(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォイルホルダと、前記フォイルホルダの内周面に取り付けられた複数のフォイルとを備え、各フォイルが、軸受面を有するトップフォイル部と、前記トップフォイル部の周方向一端側に設けられ、前記フォイルホルダの内周面に設けられた凹部に差し込まれる差込部と、前記トップフォイル部の周方向他端側に設けられ、隣接するフォイルの前記トップフォイル部と前記フォイルホルダの内周面との間に配されるアンダーフォイル部と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界に設けられ、隣接するフォイルの差込部が差し込まれる差込口と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界のうち、前記差込口を除く領域に設けられ、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部とを連結する連結部とを有するフォイル軸受であって、
前記差込口の周方向他端側の縁を、前記連結部から離反する側へ向けて周方向他端側に傾斜させることにより、前記差込口の周方向幅を前記連結部から離反する側へ向けて徐々に広げたフォイル軸受。
【請求項２】
前記フォイルの軸方向端部に、前記差込部及び前記差込口を設けた請求項１記載のフォイル軸受。
【請求項３】
前記フォイルの軸方向中間部に、前記差込部及び前記差込口を設けた請求項１又は２記載のフォイル軸受。
【請求項４】
前記アンダーフォイル部の周方向他端に、周方向一方側へ向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部を設けた請求項１〜３の何れかに記載のフォイル軸受。
【請求項５】
軸受面を有するトップフォイル部と、前記トップフォイル部の周方向一端側に設けられ、フォイルホルダの内周面に設けられた凹部に差し込まれる差込部と、前記トップフォイル部の周方向他端側に設けられ、隣接するフォイルの前記トップフォイル部と前記フォイルホルダの内周面との間に配されるアンダーフォイル部と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界に設けられ、隣接するフォイルの差込部が差し込まれる差込口と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界のうち、前記差込口を除く領域に設けられ、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部とを連結する連結部とを有するフォイルであって、
前記差込口の前記アンダーフォイル部側の縁を、前記連結部から離反する側へ向けて周方向他端側に傾斜させることにより、前記差込口の周方向幅を前記連結部から離反する側へ向けて徐々に広げたフォイル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォイル軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械の主軸を支持する軸受として、フォイル軸受が着目されている。フォイル軸受は、曲げに対して剛性の低い可撓性を有する薄膜（フォイル）で軸受面を構成し、軸受面のたわみを許容することで荷重を支持するものである。軸の回転時には、軸の外周面とフォイルの軸受面との間に流体膜（例えば空気膜）が形成され、軸が非接触支持される。この場合、フォイルの可撓性により軸の回転速度や荷重、周囲温度等の運転条件に応じた適切な軸受隙間が自動的に形成されるため、安定性に優れ、一般的な空気動圧軸受と比べて高速での使用が可能となる。
【０００３】
例えば下記の特許文献１には、図１０に示すようなフォイル軸受が示されている。このフォイル軸受は、円筒状のフォイルホルダ１１１の内周面１１１ａに、複数のフォイル１１３の周方向両端を接触した状態で保持させた、いわゆる多円弧型のフォイル軸受である。各フォイル１１３は、図１１（ａ）に示すように、軸受面を有するトップフォイル部１１３ａと、トップフォイル部１１３ａの周方向一端側に設けられた差込部１１３ｂと、トップフォイル部１１３ａの周方向他端側に設けられたアンダーフォイル部１１３ｃと、トップフォイル部１１３ａとアンダーフォイル部１１３ｃとの境界に設けられた差込口（スリット１１３ｄ）とを有する。図１１（ｂ）に示すように、各フォイル１１３の差込部１１３ｂを、隣接するフォイル１１３のスリット１１３ｄに差し込むことにより、複数（図示例では３枚）のフォイル１１３が筒状に仮組みされる。この状態で、図１０に示すように、各フォイル１１３の差込部１１３ｂが、フォイルホルダ１１１の内周面１１１ａに設けられた溝１１１ｂに差し込まれる。このとき、各フォイル１１３のアンダーフォイル部１１３ｃは、隣接するフォイル１１３のトップフォイル部１１３ａとフォイルホルダ１１１の内周面１１１ａとの間に配され、トップフォイル部１１３ａを背後（外径側）から支持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１１９０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなフォイル軸受では、差込部１１３ｂがフォイルホルダ１１１の溝１１１ｂに差し込まれているため、図１２に誇張して示すように、各フォイル１１３のトップフォイル部１１３ａのうち、差込部１１３ｂに隣接した領域Ｑが内径側にせり出した状態となる。さらに、この領域Ｑは、背後からアンダーフォイル部１１３ｃで支持されているため、外径側への変形が規制されており、支持剛性が高い。従って、上記の領域Ｑは、空気膜の圧力により変形しにくく、軸１０６が振動したときに、各フォイルの上記領域Ｑと軸１０６の外周面１０６ａとが接触しやすくなる恐れがある。
【０００６】
特に、図１３に示すように、各フォイル２１３の軸方向両端部に差込部１１３ｂが設けられる場合、支持剛性の高い領域Ｑが軸方向両端に設けられるため、軸１０６がコニカルモードで振動したときに、各フォイル２１３の上記領域Ｑと軸１０６とが接触しやすくなる。
【０００７】
例えば、図１４に示すように、各フォイル３１３のアンダーフォイル部１１３ｃの軸方向両端に切り欠き部１１３ｅを設け、トップフォイル部１１３ａの上記領域Ｑの背後に配される部分を除去すれば、トップフォイル部１１３ａが変形しやすくなり、軸との接触を防止できる。しかし、このように、上記領域Ｑの背後のアンダーフォイル部１１３ｃを完全に除去すると、トップフォイル部１１３ａの支持剛性が低くなりすぎ、軸のモーメント剛性が大幅に低下してしまう恐れがある。また、トップフォイル部１１３ａのうち、アンダーフォイル部１１３ｃで支持されている領域Ｒと、アンダーフォイル部１１３ｃで支持されていない領域Ｑとが軸方向で隣接することになるため、これらの領域の境界でトップフォイル部１１３ａの剛性が急激に変化することになる。この場合、トップフォイル部１１３ａのうち、両領域Ｑ，Ｒの境界付近に微小な盛り上がり部が形成され、この盛り上がり部と軸とが接触する恐れがある。
【０００８】
そこで、本発明が解決すべき課題は、多円弧型のフォイル軸受のフォイルと軸との接触を低減し、フォイルの損傷を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明は、フォイルホルダと、前記フォイルホルダの内周面に取り付けられた複数のフォイルとを備え、各フォイルが、軸受面を有するトップフォイル部と、前記トップフォイル部の周方向一端側に設けられ、前記フォイルホルダの内周面に設けられた凹部に差し込まれる差込部と、前記トップフォイル部の周方向他端側に設けられ、隣接するフォイルの前記トップフォイル部と前記フォイルホルダの内周面との間に配されるアンダーフォイル部と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界に設けられ、隣接するフォイルの差込部が差し込まれる差込口と、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部との境界のうち、前記差込口を除く領域に設けられ、前記トップフォイル部と前記アンダーフォイル部とを連結する連結部とを有するフォイル軸受であって、前記差込口の周方向他端側の縁を、前記連結部から離反する側へ向けて周方向他端側に傾斜させることにより、前記差込口の周方向幅を前記連結部から離反する側へ向けて徐々に広げたフォイル軸受を提供する。
【００１０】
上記のように、本発明のフォイル軸受では、差込部の周方向他端側（アンダーフォイル部側）の縁を周方向他端側に変位させることにより、差込部の周方向幅を広げた。これにより、トップフォイル部のうち、差込部の周方向他端側に隣接した領域の背後（外径側）に、周方向幅が広げられた差込口が配されるため、この領域が、他のフォイルのアンダーフォイル部で背後から支持されていない非支持領域となる。これにより、非支持領域の剛性が低下し、空気膜の圧力で非支持領域が変形しやすくなるため、非支持領域と軸とが接触する恐れを低減できる。
【００１１】
また、本発明のフォイル軸受では、差込口の周方向他端側の縁を、連結部から離反する側（以下、「反連結部側」と言う。）へ向けて周方向他端側に傾斜させることにより、差込口の周方向幅を反連結部側へ向けて徐々に広げた。これにより、トップフォイル部の非支持領域の周方向幅が、反連結部側へ向けて徐々に広げられるため、非支持領域におけるフォイルの剛性は、反連結部側へ向けて徐々に低下することになる。これにより、トップフォイル部のうち、上記の非支持領域と、これと軸方向に隣接し、アンダーフォイル部で支持された領域との境界で剛性を連続的に変化させることができるため、剛性の急激な変化に伴う盛り上がり部の形成を回避し、フォイルと軸とが接触する恐れをさらに低減できる。
【００１２】
前記差込部及び前記差込口は、前記フォイルの軸方向端部、又は、前記フォイルの軸方向中間部、あるいはこれらの双方に設けることができる。特に、差込部及び差込口をフォイルの軸方向端部に設けた場合、トップフォイル部のうち、差込部の周方向他端側に隣接した領域が、コニカルモードで振動した軸と接触しやすいため、上記のように、差込口の周方向幅を広げて、トップフォイル部の上記領域の剛性を低下させることが好ましい。
【００１３】
また、上記のフォイル軸受は、各フォイルのアンダーフォイル部の周方向他端に、周方向一方側へ向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部を設けることができる。この場合、各フォイルのアンダーフォイル部の内径側に重ねられた隣接するフォイルのトップフォイル部に、切り欠き部に沿った段差が形成される。この段差により、流体が各切り欠き部の軸方向中央側に集められ、流体の圧力が高められて軸受剛性が向上する。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明のフォイル軸受によれば、多円弧型のフォイル軸受のフォイルと軸との接触を低減し、フォイルの損傷を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ガスタービンの構成を概念的に示す図である。
【図２】上記ガスタービンにおけるロータの支持構造を示す断面図である。
【図３】上記支持構造に組み込まれた、本発明の一実施形態に係るフォイル軸受の断面図である。
【図４】上記フォイル軸受に設けられるフォイルの平面図である。
【図５】複数のフォイルを連結した状態を示す平面図である。
【図６】図３のフォイル軸受の拡大断面図である。
【図７】フォイルの他の例を示す平面図である。
【図８】フォイルのさらに他の例を示す平面図である。
【図９】フォイルのさらに他の例を示す平面図である。
【図１０】従来のフォイル軸受の断面図である。
【図１１】（ａ）は、図１０のフォイル軸受に設けられるフォイルの斜視図であり、（ｂ）は複数のフォイルを仮組みした状態を示す斜視図である。
【図１２】図１０のフォイル軸受の断面図であり、周方向を直線状に変換して示した図である。
【図１３】（ａ）は、比較例に係るフォイルの平面図であり、（ｂ）は（ａ）図のフォイルを連結した状態を示す平面図である。
【図１４】（ａ）は、他の比較例に係るフォイルの平面図であり、（ｂ）は（ａ）図のフォイルを連結した状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に、ターボ機械の一種であるガスタービンの構成を概念的に示す。このガスタービンは、翼列を形成したタービン１および圧縮機２と、発電機３と、燃焼器４と、再生器５とを主に備える。タービン１、圧縮機２、および発電機３には、水平方向に延びる共通の主軸６が設けられ、この主軸６と、タービン１および圧縮機２とで一体回転可能のロータが構成される。吸気口７から吸入された空気は、圧縮機２で圧縮され、再生器５で加熱された上で燃焼器４に送り込まれる。この圧縮空気に燃料を混合して燃焼させ、高温、高圧のガスでタービン１を回転させる。タービン１の回転力が主軸６を介して発電機３に伝達され、発電機３が回転することにより発電し、この電力がインバータ８を介して出力される。タービン１を回転させた後のガスは比較的高温であるため、このガスを再生器５に送り込んで燃焼前の圧縮空気との間で熱交換を行うことで、燃焼後のガスの熱を再利用する。再生器５で熱交換を終えたガスは、排熱回収装置９を通ってから排ガスとして排出される。
【００１７】
図２に、上記ガスタービンにおけるロータの支持構造の一例を示す。この支持構造では、軸方向の２箇所にラジアル軸受１０が配置され、主軸６に設けられたフランジ部６ｂの軸方向両側にスラスト軸受２０、２０が配置される。このラジアル軸受１０およびスラスト軸受２０により、主軸６がラジアル方向及び両スラスト方向に回転自在に支持される。
【００１８】
この支持構造において、タービン１と圧縮機２の間の領域は、高温、高圧のガスで回転されるタービン１に隣接しているために高温雰囲気となる。この高温雰囲気では、潤滑油やグリース等からなる潤滑剤が変質・蒸発してしまうため、これらの潤滑剤を使用する通常の軸受（転がり軸受等）を適用することは難しい。そのため、この種の支持構造で使用される軸受１０、２０としては、空気動圧軸受、特にフォイル軸受が適合する。
【００１９】
以下、上記ガスタービン用のラジアル軸受に適合するフォイル軸受１０の構成を図面に基づいて説明する。
【００２０】
フォイル軸受１０は、図３に示すように、筒状（図示例では円筒状）のフォイルホルダ１１と、フォイルホルダ１１の内周面に取り付けられた複数（図示例では３枚）のフォイル１２とを有する。フォイルホルダ１１の外周面は、ガスタービンのハウジング３０の内周面３１に固定される。
【００２１】
フォイルホルダ１１は、例えば焼結金属や溶製材等の金属で形成される。図示例のフォイルホルダ１１は、円筒面状の内周面１１ａ及び外周面１１ｂを有する。内周面１１ａのうち、周方向に離隔した複数箇所（図示例では３箇所）には、凹部としての軸方向溝１１ｃが形成される。各軸方向溝１１ｃの軸方向両端は、それぞれフォイルホルダ１１の端面に開口している。
【００２２】
フォイル１２は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属、例えば鋼材料や銅合金からなる厚さ２０μｍ〜２００μｍ程度の金属フォイルにプレス加工や放電加工を施すことで形成される。本実施形態のように流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、金属フォイルとしてステンレス鋼もしくは青銅製のものを使用するのが好ましい。
【００２３】
各フォイル１２は、図４に示すように、軸方向に並べられた第１領域１２ａと第２領域１２ｂとからなる。
【００２４】
第１領域１２ａは、軸受面を有するトップフォイル部１２ａ１と、トップフォイル部１２ａ１の周方向一端側に設けられた差込部１２ａ２と、トップフォイル部１２ａ１の周方向他端側に設けられたアンダーフォイル部１２ａ３とを有する。図示例では、差込部１２ａ２が、トップフォイル部１２ａ１の周方向一端部の軸方向両端に設けられる。アンダーフォイル部１２ａ３には、周方向一端側に向けて軸方向幅を徐々に狭めた切り欠き部１２ａ４が設けられる。図示例では、切り欠き部１２ａ４が、略円弧状に形成される。このほか、切り欠き部１２ａ４を、直線を軸方向中央で折り曲げた略Ｖ字形状としてもよい。トップフォイル部１２ａ１の周方向一端部のうち、差込部１２ａ２に近接した位置には、周方向の微小な切り込み１２ａ５が設けられる。
【００２５】
第１領域１２ａのトップフォイル部１２ａ１とアンダーフォイル部１２ａ３との境界には、隣接するフォイル１２の差込部１２ａ２が差し込まれる差込口１２ａ６と、トップフォイル部１２ａ１とアンダーフォイル部１２ａ３とを連結する連結部１２ａ７とが形成される。図示例では、差込口１２ａ６が、第１領域１２ａの軸方向両端部（すなわち、フォイル１２の軸方向一端部及び軸方向中央部付近）に設けられ、差込口１２ａ６の軸方向間に連結部１２ａ７が設けられる。差込口１２ａ６の周方向他端側（アンダーフォイル部１２ａ３側）の縁は、反連結部側（連結部１２ａ７から離反する側。図示例では、第１領域１２ａの軸方向端部側。）へ向けて周方向他端側に傾斜している。これにより、差込口１２ａ６の周方向幅が、反連結部側へ向けて徐々に広がる。図示例では、差込口１２ａ６の周方向他端側の縁が、反連結部側へ向けて周方向他端側に傾斜した直線で構成される。また、図示例では、差込口１２ａ６の連結部１２ａ７側の端部に、周方向幅が一定の領域が設けられる。
【００２６】
第２領域１２ｂは、第１領域１２ａと同様の形状を成し、トップフォイル部１２ｂ１、差込部１２ｂ２、アンダーフォイル部１２ｂ３、切り欠き部１２ｂ４、切り込み１２ｂ５、差込口１２ｂ６、連結部１２ｂ７等を有する（重複説明は省略する）。
【００２７】
各フォイルは、第１領域１２ａと第２領域１２ｂの境界の一部が分断されると共に、両領域１２ａ，１２ｂの境界の他の部分が連結されている。本実施形態では、両領域１２ａ，１２ｂの差込部１２ａ２，１２ｂ２同士が連結され、両領域１２ａ，１２ｂのトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１の間、及びアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３の間に、これらを周方向全域にわたって分断する周方向のスリット１２ｃが形成される。
【００２８】
図５に示すように、各フォイル１２の差込部１２ａ２，１２ｂ２を、隣接するフォイルの差込口１２ａ６，１２ｂ６に差し込むことにより、３枚のフォイル１２を筒状に仮組みすることができる。この仮組体を、フォイルホルダ１１の内周に挿入することで、フォイル軸受１０が組み立てられる。具体的には、３枚のフォイル１２の仮組体をフォイルホルダ１１の内周に挿入しながら、各フォイル１２の差込部１２ａ２，１２ｂ２をフォイルホルダ１１の軸方向溝１１ｃに軸方向一端側から差し込む。以上により、３枚のフォイル１２が、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに周方向に並べた状態で取り付けられる。
【００２９】
３枚のフォイル１２をフォイルホルダ１１に組み付けた状態で、各フォイル１２の周方向両端は、フォイルホルダ１１に接触した状態で保持される。図示例では、各フォイル１２の周方向両端が、それぞれ隣接するフォイル１２の背後（外径側）に配されている。具体的に、各フォイル１２の周方向一端に設けられた差込部１２ａ２，１２ｂ２は、隣接するフォイル１２の差込口１２ａ６，１２ｂ６を介して、フォイルホルダ１１の内周面１１ａの軸方向溝１１ｃに差し込まれる。一方、各フォイル１２の周方向他端に設けられたアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３は、隣接するフォイル１２のトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１とフォイルホルダ１１の内周面１１ａとの間に配され、隣接するフォイル１２のトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１を背後から支持する（図６参照）。尚、隣接するフォイル１２同士は、周方向で係合して互いに突っ張り合っている。これにより、各フォイル１２のトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１が外径側に張り出し、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに沿った形状に湾曲する。
【００３０】
主軸６が図３の矢印方向に回転すると、フォイル軸受１０の各フォイル１２のトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１の内径面（軸受面）と主軸６の外周面６ａとの間のラジアル軸受隙間の空気膜の圧力が高められる。図６に示すように、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１の周方向一端（回転方向先行側の端部）を含む領域は、隣接するフォイルのアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３に乗り上げているため、軸受面が、回転方向先行側へ向けて主軸６の外周面６ａに徐々に接近する。これにより、各フォイル１２の軸受面と主軸６の外周面６ａとの間に、回転方向先行側へ向けて徐々に狭くなったラジアル軸受隙間が形成され、ラジアル軸受隙間の幅狭側に空気が押し込まれる。これにより、ラジアル軸受隙間の空気膜の圧力が高められ、この圧力により主軸６がラジアル方向に非接触支持される。
【００３１】
このとき、フォイル１２が有する可撓性により、各フォイル１２の軸受面が、荷重や主軸６の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて任意に変形するため、ラジアル軸受隙間は運転条件に応じた適切幅に自動調整される。そのため、高温・高速回転といった過酷な条件下でも、ラジアル軸受隙間を最適幅に管理することができ、主軸６を安定して支持することが可能となる。尚、主軸６が回転している時は、主軸６の回転に伴って流動する流体（空気）との摩擦により、各フォイル１２が回転方向先行側に押し込まれ、フォイルホルダ１１の軸方向溝１１ｃの角部１１ｃ１に突き当たっている。
【００３２】
また、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１のうち、差込部１２ａ２，１２ｂ２の周方向他端側に隣接した領域の背後には、隣接するフォイル１２の差込口１２ａ６，１２ｂ６が配される。すなわち、この領域には、隣接するフォイル１２のアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３で背後から支持されていない非支持領域Ｐが設けられる（図５参照）。トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１のうち、差込部１２ａ２，１２ｂ２に隣接した領域は、フォイルホルダ１１の軸方向溝１１ｃに差し込まれた差込部１２ａ２，１２ｂ２に追従して変形することで、内径側に迫り出しやすい（図１２参照）。そこで、上記のように、差込部１２ａ２，１２ｂ２に隣接した領域に非支持領域Ｐを設けることで、この領域の支持剛性が低下し、空気膜の圧力で外径側に変形しやすくなるため、この非支持領域Ｐと主軸６とが接触する恐れを低減できる。特に、非支持領域Ｐをフォイル１２の軸方向端部に設けることで、主軸６がコニカルモードで振動したときの主軸６の外周面６ａとフォイル１２との接触を可及的に回避できる。
【００３３】
また、差込口１２ａ６，１２ｂ６が、反連結部側へ向けて周方向幅を徐々に広げた形状を成すことにより、非支持領域Ｐの周方向幅も同様に反連結部側へ向けて徐々に広げられるため、非支持領域Ｐの剛性が、反連結部側へ向けて徐々に低下する。これにより、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１のうち、差込部１２ａ２，１２ｂ２の周方向他端側に隣接し、非支持領域Ｐを含む領域と、連結部１２ａ７の周方向他端側に隣接し、アンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３で支持された領域との境界で、フォイル１２の剛性が連続的に変化するため、この境界に盛り上がり部が形成される事態を回避し、フォイル１２と主軸６とが接触する恐れをさらに低減できる。
【００３４】
また、本実施形態では、図４に示すように、アンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３に切り欠き部１２ａ４，１２ｂ４を設けることで、これに乗り上げるトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１に、切り欠き部１２ａ４，１２ｂ４に沿った段差が形成される。これにより、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１に沿って流れる流体が、上記の段差に沿って流れて軸方向中央側に集められるため、圧力向上効果が高められる（図５の矢印参照）。
【００３５】
このとき、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１の周方向一端部のうち、差込部１２ａ２，１２ｂ２の近傍に、微小な切り込み１２ａ５，１２ｂ５を設けることで、この部分の剛性が低下する。これにより、トップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１を、その背後に配されたアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３の切り欠き部１２ａ４，１２ｂ４に沿って変形させやすくなる。
【００３６】
また、各フォイル１２は、フォイルホルダ１１に完全に固定されておらず、フォイルホルダ１１に対して移動可能とされる。従って、主軸６の回転中は、ラジアル軸受隙間に形成された空気膜の影響でフォイル１２がフォイルホルダ１１に押し付けられ、これに伴って各フォイル１２とフォイルホルダ１１、特に、各フォイル１２のトップフォイル部１２ａ１，１２ｂ１及びアンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３の外径面とフォイルホルダ１１の内周面１１ａとの間に微小摺動が生じる。この微小摺動による摩擦エネルギーにより、主軸６の振動を減衰させることができる。本実施形態では、図４に示すように、各フォイル１２の第１領域１２ａと第２領域１２ｂとの境界にスリット１２ｃを設け、両領域１２ａ，１２ｂを分断していることで、フォイル１２の剛性が低下する。これにより、フォイル１２の変形の自由度が高められ、フォイル１２が変形しやすくなり、主軸６の振動を減衰する効果が高められる。
【００３７】
尚、主軸６の停止直前や起動直後の低速回転時には、各フォイル１２の軸受面と主軸６の外周面とが接触摺動するため、これらの何れか一方または双方に、ＤＬＣ膜、チタンアルミナイトライド膜、二硫化タングステン膜、あるいは二硫化モリブデン膜等の低摩擦化被膜を形成してもよい。また、フォイル１２とフォイルホルダ１１との間の微小摺動による摩擦力を調整するために、これらの何れか一方または双方に、上記のような低摩擦化被膜を形成してもよい。
【００３８】
本発明は、上記の実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明するが、上記の実施形態と同様の機能を有する箇所には同一の符号を付して、重複説明を省略する。
【００３９】
例えば、図７に示すように、差込口１２ａ６，１２ｂ６の周方向他端側の縁を円弧状の曲線としてもよい。
【００４０】
また、図８に示すように、各フォイル１２の第１領域１２ａと第２領域１２ｂとを分断するスリット１２ｃを省略し、両領域１２ａ，１２ｂを完全に連結してもよい。この場合、第１領域１２ａの図中下側の差込口１２ａ６と、第２領域の図中上側の差込口１２ｂ６とが一体化され、これらで一つの穴を構成する。
【００４１】
また、図９に示すように、各フォイル１２の軸方向両端部の差込口１２ａ６，１２ｂ６を、反連結部側に向けて周方向幅を徐々に大きくする一方で、各フォイル１２の軸方向中央部の差込口１２ａ６，１２ｂ６を、周方向幅一定のスリットとしてもよい。また、これとは逆に、各フォイル１２の軸方向中央部の差込口１２ａ６，１２ｂ６を、反連結部側に向けて周方向幅を徐々に大きくする一方で、各フォイル１２の軸方向両端部の差込口１２ａ６，１２ｂ６を、周方向幅一定のスリットとしてもよい（図示省略）。
【００４２】
また、図示は省略するが、各フォイル１２の軸方向両端部のみに、差込部１２ａ２，１２ｂ２及び差込口１２ａ６，１２ｂ６を設けてもよい。また、各フォイル１２の軸方向中間部のみに、差込部１２ａ２，１２ｂ２及び差込口１２ａ６，１２ｂ６を設けてもよい。
【００４３】
また、以上の実施形態では、フォイルホルダ１１の内周面１１ａに形成された溝１１ｃの開口部の周方向幅が比較的大きい場合を示したが、これに限らず、例えば、フォイルホルダの内周面に、開口部の周方向幅が小さいスリット状の溝を形成し、この溝にフォイルの端部を差し込んでもよい。
【００４４】
また、特に必要なければ、切り欠き部１２ａ４，１２ｂ４を省略し、アンダーフォイル部１２ａ３，１２ｂ３の周方向他端を軸方向に延びる直線状としてもよい（図示省略）。
【００４５】
本発明にかかるフォイル軸受の適用対象は、上述したガスタービンに限られず、例えばターボチャージャ（過給機）のロータを支持する軸受としても使用することができる。また、本発明にかかるフォイル軸受は、ガスタービンやターボチャージャ等のターボ機械に限らず、油の使用が制限される車両用軸受や産業機器用軸受として広く使用することが可能である。
【００４６】
また、以上に説明した各フォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受であるが、これに限らず、圧力発生流体としてその他のガスを使用することもでき、あるいは水や油などの液体を使用することもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１０   フォイル軸受
１１   フォイルホルダ
１１ｃ 軸方向溝（凹部）
１２   フォイル
１２ａ 第１領域
１２ｂ 第２領域
１２ａ１，１２ｂ１   トップフォイル部
１２ａ２，１２ｂ２   差込部
１２ａ３，１２ｂ３   アンダーフォイル部
１２ａ４，１２ｂ４   切り欠き部
１２ａ６，１２ｂ６   差込口
１２ａ７，１２ｂ７   連結部
１２ｃ スリット
Ｐ     非支持領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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