(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度測定システムであって、
光パルスを出射するレーザ光源と、
複数の測定点を通るように配置され、前記光パルスを入力される光ファイバと、
前記光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定して測定温度データを取得する測定装置を備え、
前記測定装置は、前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出することを特徴とする、温度測定システム。
【請求項２】
前記相関は、前記測定温度データと前記測定温度データの移動平均との差と、前記伝達関数との相関である、請求項１記載の温度測定システム。
【請求項３】
前記測定装置は、前記相関を表す相関係数が閾値より大きいという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、請求項２記載の温度測定システム。
【請求項４】
前記測定装置は、前記測定点における温度と前記相関を表す相関係数との積の絶対値が閾値以上であるという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、請求項２記載の温度測定システム。
【請求項５】
温度測定システムのレーザ光源が出射する光パルスを、複数の測定点を通るように配置された光ファイバに入力し、
前記光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定装置で測定して測定温度データを取得し、
前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する
ことを特徴とする、温度測定方法。
【請求項６】
温度測定システムのコンピュータに、温度測定処理を実行させるプログラムであって、
複数の測定点を通るように配置され、光パルスを入力される光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定して実測温度データを取得し、
前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度測定システム、温度測定方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
計算機室、インターネットデータセンタ（ＩＤＣ：Internet Data Center）などでは、サーバなどの電子機器の高密度化に伴い電子機器の発熱量が増大する傾向にあり、電子機器を適切に冷却することが望まれる。
【０００３】
電子機器を冷却する方法には、例えば過度の熱だまりの発生を防止するために室内の気流を制御する方法や、空調により室内を冷却する方法などがある。これらの冷却方法により室内の冷却状態を安定に制御するためには、室内の温度を複数の測定点で測定することが望ましい。室内の３次元的な温度分布が把握できれば、この温度分布を用いて空調などを制御して、室内の冷却状態を安定に制御することができる。
【０００４】
上記の如き温度分布を測定する方法の一例として、温度センサに光ファイバを用いる方法がある。一般的に、光ファイバを用いた温度測定方法の場合、データセンタ内のサーバなどのように、比較的狭い範囲の温度分布を高精度で測定することは、比較的広い範囲の温度分布を高精度で測定することと比べると難しい。
【０００５】
光ファイバを用いた多点温度測定システムは、所定の波長の光パルスを光ファイバ内に伝搬させ、光パルスの伝搬に伴って生じる後方散乱光（即ち、ラマン（Raman）散乱光）の経時的変化から、光パルスの伝搬方向に沿った温度分布を求める。光ファイバを用いた温度測定方法において、距離分解能は光パルス幅に依存する。また、信号対雑音比（ＳＮＲ：Signal-to-Noise Ratio）は、パルス面積と、後方散乱光の経時的変化から温度分布を算出するための各測定点における温度データの積算時間とに基づき決定される。このため、距離分解能を高くし、且つ、ＳＮＲを高くするためには、光パルスの尖塔値が高いことが望ましい。しかし、非線形媒質である光ファイバに、閾値（即ち、ラマン閾値）を超えるような高いレーザパワーの光パルスが入射されると、所謂誘導ラマン散乱(ＳＲＳ：Stimulated Raman Scattering）が発生してしまうので、レーザパワーは閾値以下に抑えることが望ましい。
【０００６】
光パルスを出射する光源の一例であるレーザ光源には、一般的には固体レーザと半導体レーザの２種類のいずれかが用いられている。固体レーザは、波長精度及び光パルスの尖塔値が高くノイズが発生しにくいため、高精度な測定に適しているが、比較的高価である。一方、半導体レーザは、固体レーザと比較すると安価であるが、波長精度及び光パルスの尖塔値が低くノイズが発生しやすいため、特に遠方での波長分散が増大することからＳＮＲが悪くなる傾向がある。このため、光源に安価な半導体レーザを用いた場合、ノイズを低減することが望ましい。なお、ゴレイコード（Golay Code）を応用し、光パルスをシングルパルスではなくマルチパルスにすることで、ＳＮＲを改善する方法が知られているが、光パルスをマルチパルスにしても、例えばビッグデータ解析などで要求される温度精度を満たせない場合もある。
【０００７】
ＳＮＲをさらに改善するために、ハイパスフィルタ、ローパスフィルタ、バンドパスフィルタなどのフィルタを用いて、温度データの周波数帯域以外を減衰させてノイズを低減する方法がある。しかし、フィルタリングする周波数帯域を、ノイズを確実に低減するように設定すると、フィルタリングにより温度データ成分をも減衰されてしまう。一方、フィルタリングする周波数帯域を、温度データ成分が減衰されないように設定すると、フィルタリングによりノイズを確実に低減することは難しい。また、光ファイバを用いた多点温度測定システムの場合、どのような温度分布が測定されるのかを予測することは難しく、統計的モデルまたは物理モデルを作成してカルマンフィルタ（Kalman Filter）を適用するなどの方法でノイズを低減することは難しい。
【０００８】
このように、光ファイバを用いた多点温度測定システムでは、温度データとノイズとを判別することは難しい
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−９１３２０号公報
【特許文献２】特開２００６−２５７４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の光ファイバを用いた温度測定において、温度データとノイズとを判別することは難しいため、ノイズを低減することは難しい。
【００１１】
そこで、１つの側面では、光ファイバを用いた温度測定において、ノイズを低減できる温度測定システム、温度測定方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
１つの案によれば、温度測定システムであって、光パルスを出射するレーザ光源と、複数の測定点を通るように配置され、前記光パルスを入力される光ファイバと、前記光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定して測定温度データを取得する測定装置を備え、前記測定装置は、前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する温度測定システムが提供される。
【発明の効果】
【００１３】
一態様によれば、光ファイバを用いた温度測定において、ノイズを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施例における温度測定システムの一例を示すブロック図である。
【図２】相関の一例を説明する図である。
【図３】伝達関数の一例を示す図である。
【図４】測定温度データの一例を示す図である。
【図５】ローパスフィルタにより補正された測定温度データの比較例を示す図である。
【図６】一実施例により補正された測定温度データの一例を示す図である。
【図７】一実施例における温度測定処理の一例を説明するフローチャートである。
【図８】測定温度データの一例を示す図である。
【図９】図８の測定温度データをローパスフィルタにより補正した測定温度データの比較例を示す図である。
【図１０】図８の測定温度データを一実施例における温度測定処理により補正した測定温度データの一例を示す図である。
【図１１】測定温度データの他の例を示す図である。
【図１２】図１１の測定温度データをローパスフィルタにより補正した測定温度データの比較例を示す図である。
【図１３】図１１の測定温度データを一実施例における温度測定処理により補正した測定温度データの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
開示の温度測定システム、温度測定方法及びプログラムでは、レーザ光源が出射する光パルスを、複数の測定点を通るように配置された光ファイバに入力し、測定装置が、光ファイバから出力される後方散乱光を検出して複数の測定点における温度を測定して測定温度データを取得する。測定装置は、取得した測定温度データと、温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、測定温度データの、光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する。
【００１６】
以下に、開示の温度測定システム、温度測定方法及びプログラムの各実施例を図面と共に説明する。
【実施例】
【００１７】
図１は、一実施例における温度測定システムの一例を示すブロック図である。図１に示す温度測定システム１は、レーザ光源１１、レンズ１２、ビームスプリッタ１３、光学スイッチ１４、波長分離部１５、フォトダイオード１６、及び測定装置１７を有する。光学スイッチ１４は、光ファイバ２１に接続されている。光ファイバ２１は、測定対象（図示せず）の一例である、データセンタ内のサーバなどの測定対象の、複数の測定点（即ち、温度を測定する箇所）を通るように配置されたループ形状を有し、ループ形状の両端が光学スイッチ１４に接続している。なお、測定対象は、データセンタ内のサーバなどに限定されるものではない。図１において、フォトダイオード１６と測定装置１７との間の経路は電気的な配線経路であるが、その他の経路は光学的な経路である。
【００１８】
レーザ光源１１は、例えば固体レーザ、半導体レーザなどで形成可能である。レーザ光源１１から出射された光パルスは、レンズ１２と、光分離手段の一例であるビームスプリッタ１３とを介して、切り替え手段の一例である光学スイッチ１４に供給される。光学スイッチ１４は、周知の方法で、例えば一定間隔で光ファイバ２１の両端を交互に切り替えることで、光ファイバ２１の一端から出射された光パルスの後方散乱光を光ファイバ２１の他端から受光する第１のモードと、光ファイバ２１の他端から出射された光パルスの後方散乱光を光ファイバ２１の一端から受光する第２のモードとを、交互に繰り返す。
【００１９】
光学スイッチ１４が受光した後方散乱光は、ビームスプリッタ１３により波長分離部１５の方へ偏向される。波長分離部１５は、周知の方法で、後方散乱光を測定に用いるラマン散乱光、ブルリアン散乱光などの波長成分に分離する。波長分離部１５が後方散乱光を分離する波長成分は、検出するべき温度に応じて設定すれば良い。波長分離部１５は、例えばビームスプリッタ、光学フィルタ、及び集光レンズなどの組み合わせにより形成可能である。光検出部の一例であるフォトダイオード１６は、波長分離部１５により分離された、測定に用いる波長成分を検出し、検出波長成分を測定装置１７に出力する。測定に用いる波長成分には、ラマン散乱光、ブリルアン（Brillouin）散乱光、レイリー（Rayleigh）散乱光などが含まれる。
【００２０】
フォトダイオード１６に入力される後方散乱光のパルス幅は、光ファイバ２１の長さに依存するので、レーザ光源１１から出射される光パルスの間隔は、各光パルスによる後方散乱光が重ならないように設定される。
【００２１】
測定装置１７は、例えばプロセッサの一例であるＣＰＵ（Central Processing Unit）１７１、ＣＰＵ１７１が実行するプログラムやデータを格納する記憶手段の一例であるメモリ１７２、及び測定結果を出力する出力手段の一例である表示部１７３を有する。ＣＰＵ１７１は、メモリ１７２に格納されたプログラムを実行することで、フォトダイオード１６からの検出波長成分に基づいて、光ファイバ２１から出力される後方散乱光を検出して、複数の測定点における温度を算出して測定温度データを取得する温度測定処理を行う。メモリ１７２は、半導体記憶装置、各種記録媒体などの、プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体により形成可能である。ＣＰＵ１７１から出力された測定温度データは、例えば表示部１７３に表示される。表示部１７３に表示される測定温度データは、測定対象の温度分布、各測定点における温度などに加え、温度に応じた警告などを含んでも良い。
【００２２】
また、測定装置１７は、取得した測定温度データと、温度測定システム１に固有の伝達関数との相関に応じて、測定温度データの、光ファイバ２１の距離方向の平滑化の度合（即ち、重み付け）を変えて補正した補正温度データを算出する。つまり、温度測定システム１を線形システムであると仮定すると、測定される測定温度分布は、実温度分布と伝達関数との畳み込みであり、測定温度分布にノイズが含まれる。このため、測定温度分布と伝達関数との間には相関があり、この相関に応じて温度変化であるか、或いは、ノイズであるかを判別することができる。
【００２３】
次に、測定温度データと測定温度データの移動平均との差と、伝達関数との相関に応じた測定温度データの補正について説明する。この場合、相関を表す相関係数が閾値以下であると、ノイズであると判断して、測定温度データの、光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する。相関係数は、伝達関数との相関強さを検出するＦＩＲ（Finite Impulse Response）フィルタにより求めることができる。
【００２４】
図２は、相関の一例を説明する図である。図２中、（ａ）は光ファイバ２１の距離方向に沿った測定温度分布を示し、（ｂ）は温度測定システム１に固有の伝達関数を示す。図２において、縦軸は温度を任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離に相当する位置ｘにおける伝達関数との相関係数ｐ（ｘ）は、位置ｘにおける測定温度データｙ（ｘ）に基づき次式により表すことができる。
【００２５】
【数１】
0006428336.tif 000002
ここで、
【００２６】
【数２】
0006428336.tif 000003
は位置ｘにおける測定温度データｙ（ｘ）の相加平均、ｈ（ｘ'）は伝達関数、
【００２７】
【数３】
0006428336.tif 000004
は伝達関数の相加平均を示す。
【００２８】
図３は、長さｎについての伝達関数ｈの一例を示す図である。図３中、縦軸は温度を任意単位で示し、横軸は光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離に相当する位置を任意単位で示す。また、図４は、測定温度データの一例を示す図である。図４中、縦軸は温度Ｔを任意単位で示し、横軸は光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離に相当する位置ｘを任意単位で示す。
【００２９】
相関係数ｐ（ｘ）の絶対値が閾値Ｐ１より大きい、例えば｜ｐ（ｘ）｜＞０．７の場合、測定温度データが温度変化を表していると判断して、例えば測定温度データｙ（ｘ）をそのまま（重み付けを１として）補正温度データとして利用する。一方、｜ｐ（ｘ）｜≦０．７の場合、測定温度データｙ（ｘ）がノイズを表していると判断し、測定温度データｙ（ｘ）に重み付けしたデータを補正温度データとして利用する。つまり、温度変化であると判断した場合の第１の重み付けと、ノイズであると判断した場合の第２の重み付けは互いに異なり、第１の重み付けは、測定温度データをそのまま（重み付けを１として）補正温度データとして算出するものであっても良い。
【００３０】
図５は、ローパスフィルタにより補正された測定温度データの比較例を示す図である。図５中、縦軸は温度を示し、横軸は光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離に相当する位置を示す。図４に示す如き測定温度データをローパスフィルタによりフィルタリングした場合、破線で示す測定温度データに対し、フィルタリングされた測定温度データは実線で示すようになり、ノイズの低減に伴い本来検出したい温度データの高周波成分が失われてしまう。
【００３１】
これに対し、本実施例では、相関を表す相関係数ｐ（ｘ）が閾値Ｐ１（例えば、Ｐ１＝０．７）以下であると、測定温度データの、光ファイバ２１の距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出するので、補正された温度データは、図６に示すようになる。図６は、一実施例により補正された測定温度データの一例を示す図である。図６中、縦軸は温度を示し、横軸は光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離に相当する位置を示す。図４に示す如き測定温度データを本実施例により補正した場合、破線で示す測定温度データに対し、補正された測定温度データは実線で示すようになり、ノイズの低減に伴い本来検出したい温度データの高周波成分が失われことはないことが確認できる。
【００３２】
図７は、一実施例における温度測定処理の一例を説明するフローチャートである。図７に示す温度測定処理は、図１に示す測定装置１７のＣＰＵ１７１により実行可能である。図７のステップＳ１において、光ファイバ２１の温度測定処理が開始されると、ＣＰＵ１７１は、フォトダイオード１６からの検出波長成分に基づいて、注目位置（または、測定点）で測定された温度データ（即ち、測定温度データ）を取得し、メモリ１７２に記憶する。ステップＳ１の後、処理はステップＳ２の補正処理へ進む。
【００３３】
ステップＳ２の補正処理は、以下に説明するステップＳ２１〜Ｓ２４の処理を含む。ステップＳ２１において、ＣＰＵ１７１は、伝達関数との相関強さを測定点毎に算出し、メモリ１７２に記憶する。ステップＳ２２において、ＣＰＵ１７１は、相関係数ｐ（ｘ）が条件を満たすか否かを判定する。条件は、例えば｜ｐ（ｘ）｜＞０．７、または、測定点（即ち、測定位置）ｘにおける温度をＴｘが閾値温度をＴ'とすると、Ｔｘ≧Ｔ'という第１の条件である。また、条件は、例えば測定点ｘにおける温度Ｔｘと相関係数ｐ（ｘ）との積の絶対値が閾値Ｐ２以上、即ち、｜Ｔｘ・ｐ（ｘ）｜≧Ｐ２という第２の条件であっても良い。
【００３４】
ステップＳ２２の判定結果がＮＯであると、ステップＳ２３において、ＣＰＵ１７１は、今回取得した測定温度データと前回取得した測定温度データとの差分温度データがノイズであると判断し、測定温度データの、光ファイバ２１の距離方向の平滑化の度合を変えて重み付けしたデータを補正温度データとして算出する。ステップＳ２３で行う重み付け自体は、特に限定されない。一方、ステップＳ２２の判定結果がＹＥＳであると、ステップＳ２４において、ＣＰＵ１７１は、今回取得した測定温度データと前回取得した測定温度データとの差分温度データが温度変化であると判断し、例えば温度データをそのまま（重み付けを１として）補正温度データとして算出する。
【００３５】
ステップＳ２３またはステップＳ２４の後、処理はステップＳ３へ進む。ステップＳ３において、ＣＰＵ１７１は、ステップＳ２３またはステップＳ２４が算出した補正温度データを出力し、処理は光ファイバ２１の次の温度測定処理へ進む。ＣＰＵ１７１は、このように補正された補正温度データに基づいて温度分布を算出できる。また、ＣＰＵ１７１は、補正温度データに対し、例えば光の減衰を考慮した、周知の測定温度データの重み付け平均（または、荷重移動平均）などの処理を施すことで、補正温度分布を算出するようにしても良い。図７の温度測定処理は、終了条件に応じて終了させれば良い。
【００３６】
図８は、図７の温度測定処理のステップＳ１により取得された測定温度データの一例を示す図である。図８及び後述する図９乃至図１３中、縦軸は温度を示し、横軸は光ファイバ２１の光パルスが入力される一端からの距離を示す。
【００３７】
図９は、図８の測定温度データをローパスフィルタにより補正した測定温度データの比較例を示す図である。また、図１０は、図８の測定温度データを一実施例における温度測定処理、即ち、図７の温度測定処理のステップＳ２により補正した測定温度データの一例を示す図である。図９と図１０との比較からも明らかなように、本実施例によれば、温度測定システム１から比較的遠い位置ｘにおいて、図９に示す場合のようにノイズの低減に伴い本来検出したい温度データの高周波成分が失われてしまうこともなく、図１０に示すように、本来検出したい温度データの高周波成分が失われることなくノイズの低減が可能となる。
【００３８】
図１１は、図７の温度測定処理のステップＳ１により取得された測定温度データの他の例を示す図である。
【００３９】
図１２は、図１１の測定温度データをローパスフィルタにより補正した測定温度データの比較例を示す図である。また、図１３は、図１１の測定温度データを一実施例における温度測定処理、即ち、図７の温度測定処理のステップＳ２によりにより補正した測定温度データの一例を示す図である。図１２と図１３との比較からも明らかなように、本実施例によれば、温度測定システム１から比較的近い位置ｘにおいて、図１２に示す場合のようにノイズの低減に伴い本来検出したい温度データの高周波成分が失われてしまうこともなく、図１３に示すように、本来検出したい温度データの高周波成分が失われることなくノイズの低減が可能となる。
【００４０】
上記各実施例によれば、光ファイバを用いた温度測定において、温度変化とノイズとを判別可能であるため、容易にノイズを低減することができる。また、温度分布を測定するのに要する測定時間の短縮と、測定精度の向上を図ることができる。さらに、ノイズを低減できるので、例えば固体レーザと比較すると温度特性が劣るものの固体レーザより安価な半導体レーザをレーザ光源に用いることができ、比較的低コストの温度測定システムを構築することが可能となる。
【００４１】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
温度測定システムであって、
光パルスを出射するレーザ光源と、
複数の測定点を通るように配置され、前記光パルスを入力される光ファイバと、
前記光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定して測定温度データを取得する測定装置を備え、
前記測定装置は、前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出することを特徴とする、温度測定システム。
（付記２）
前記相関は、前記測定温度データと前記測定温度データの移動平均との差と、前記伝達関数との相関である、付記１記載の温度測定システム。
（付記３）
前記測定装置は、前記相関を表す相関係数が閾値より大きいという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記２記載の温度測定システム。
（付記４）
前記測定装置は、前記測定点における温度と前記相関を表す相関係数との積の絶対値が閾値以上であるという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記２記載の温度測定システム。
（付記５）
前記第１の重み付けは、前記測定温度データをそのまま、重み付けを１として前記補正温度データを算出することを特徴とする、付記３または４記載の温度測定システム。
（付記６）
前記レーザ光源は、固体レーザまたは半導体レーザであることを特徴とする、付記１乃至５のいずれか１項記載の温度測定システム。
（付記７）
温度測定システムのレーザ光源が出射する光パルスを、複数の測定点を通るように配置された光ファイバに入力し、
前記光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定装置で測定して測定温度データを取得し、
前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する
ことを特徴とする、温度測定方法。
（付記８）
前記相関は、前記測定温度データと前記測定温度データの移動平均との差と、前記伝達関数との相関である、付記７記載の温度測定方法。
（付記９）
前記算出は、前記相関を表す相関係数が閾値より大きいという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記８記載の温度測定方法。
（付記１０）
前記算出は、前記測定点における温度と前記相関を表す相関係数との積の絶対値が閾値以上であるという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記８記載の温度測定方法。
（付記１１）
前記第１の重み付けは、前記測定温度データをそのまま、重み付けを１として前記補正温度データを算出することを特徴とする、付記９または１０記載の温度測定方法。
（付記１２）
前記レーザ光源は、固体レーザまたは半導体レーザであることを特徴とする、付記７乃至１１のいずれか１項記載の温度測定方法。
（付記１３）
温度測定システムのコンピュータに、温度測定処理を実行させるプログラムであって、
複数の測定点を通るように配置され、光パルスを入力される光ファイバから出力される後方散乱光を検出して、前記複数の測定点における温度を測定して実測温度データを取得し、
前記測定温度データと、前記温度測定システムに固有の伝達関数との相関に応じて、前記測定温度データの、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変えて補正した温度データを算出する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とする、プログラム。
（付記１４）
前記相関は、前記測定温度データと前記測定温度データの移動平均との差と、前記伝達関数との相関である、付記１３記載のプログラム。
（付記１５）
前記算出する処理は、前記相関を表す相関係数が閾値より大きいという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記１４記載のプログラム。
（付記１６）
前記算出する処理は、前記測定点における温度と前記相関を表す相関係数との積の絶対値が閾値以上であるという条件を満たすと、前記測定温度データに第１の重み付けを行い、前記条件を満たさないと、前記第１の重み付けとは異なり、前記光ファイバの距離方向の平滑化の度合を変える第２の重み付けを行うことを特徴とする、付記１４記載のプログラム。
（付記１７）
前記第１の重み付けは、前記測定温度データをそのまま、重み付けを１として前記補正温度データを算出することを特徴とする、付記１５または１６記載のプログラム。
【００４２】
以上、開示の温度測定システム、温度測定方法及びプログラムを実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４３】
１      温度測定システム
１１      レーザ光源
１２      レンズ
１３      ビームスプリッタ
１４      光学スイッチ
１５      波長分離部
１６      フォトダイオード
１７      測定装置
２１      光ファイバ
１７１      ＣＰＵ
１７２      メモリ
１７３      表示部
【図１】
0006428336.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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