(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路基板に液状材料を塗布する塗布装置であって、
前記液状材料を吐出する塗布ノズルと、
前記塗布ノズルを前記回路基板に対して移動する移動装置と、
試験塗布用のシート材を保持するシート保持装置と、
を備え、
前記塗布ノズルは、前記シート保持装置に対して、前記シート材に前記液状材料を試験塗布する試験動作と、前記シート材に接触しながら相対移動する清掃動作とを実施可能であり、
前記試験動作は、裏面側へ変位不能に支持された範囲のシート材に対して実施され、前記清掃動作は、裏面側へ変位可能に支持された範囲のシート材に対して実施される、
塗布装置。
【請求項２】
前記シート保持装置は、前記塗布ノズルが前記試験動作を実施する試験エリアと、前記塗布ノズルが前記清掃動作を実施する清掃エリアとを有し、
前記試験エリアでは、前記シート材が裏面側へ変位不能に支持されるとともに、前記清掃エリアでは、前記シート材が裏面側へ変位可能に支持される、請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記シート保持装置は、前記シート材の裏面側に位置する支持テーブルを有し、
前記試験エリアでは、前記支持テーブルが前記シート材の裏面に接触するとともに、前記清掃エリアでは前記シート材の裏面側に空間が形成される、請求項２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記支持テーブルが、前記清掃エリアに対応する範囲に穴又は凹部を有する、請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記シート材は長尺のシート材であり、
前記シート保持装置は、前記支持テーブル上を通過する経路に沿って、前記長尺のシート材を搬送する搬送機構をさらに有し、
前記清掃エリアは、前記長尺のシート材の搬送方向に関して、前記試験エリアよりも下流側に位置する、請求項３又は４に記載の塗布装置。
【請求項６】
前記清掃エリアにおいて前記塗布ノズルが前記シート材に接触しながら相対移動する方向は、前記長尺のシート材の搬送方向に対して垂直である、請求項５に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記シート保持装置は、前記シート材の裏面側に位置するとともに、その少なくとも一部が前記シート材に対して進退可能な可動テーブルを有し、
前記塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、前記可動テーブルの少なくとも一部を前記シート材の裏面に接触させることによって、前記シート材が裏面側へ変位不能に支持された試験エリアを形成し、
前記塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、前記可動テーブルの少なくとも一部を前記シート材の裏面から離間させることによって、前記シート材が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリアを形成する、請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項８】
前記シート保持装置は、第１支持テーブルと第２支持テーブルとを有し、
前記塗布ノズルが試験動作を実施するときは、前記第１支持テーブルを前記シート材の裏面側に配置することによって、前記シート材が裏面側へ変位不能に支持された試験エリアを形成し、
前記塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、前記第２支持テーブルを前記シート材の裏面側に配置することによって、前記シート材が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリアを形成する、請求項１又は２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
ここで開示する技術は、回路基板に液状材料を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、回路基板に液状材料を塗布する塗布装置が開示されている。この塗布装置は、液状材料を吐出する塗布ノズルと、塗布ノズルを回路基板に対して移動する移動装置と、試験塗布用のシート材を保持するシート保持装置とを備える。塗布ノズルは、シート保持装置に対して、シート材に液状材料を試験塗布する試験動作と、シート材に接触しながら相対移動する清掃動作とを実施することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−４８６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した構成によると、試験塗布用のシート材を用いて塗布ノズルの清掃を行うことができるので、塗布ノズルを清掃するための機構を別に設ける必要がなく、塗布装置の構成を簡素化することができる。しかしながら、液状材料の試験塗布では、塗布ノズルとシート材との間隔を適切に管理する必要があるのに対して、塗布ノズルの清掃時では、塗布ノズルとシート材とを適切な圧力で接触させる必要があり、それらを両立するための技術が必要とされている。
【０００５】
本明細書が開示する技術は、上述の課題を考慮してなされたものであり、改良された塗布装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した課題は、次の構成を採用することによって解決される。即ち、液状材料の試験塗布では、液状材料が塗布されるシート材を、その裏面側へ変位不能に支持するとともに、塗布ノズルの清掃時には、塗布ノズルが接触するシート材を、その裏面側へ変位可能に支持する。これにより、液状材料の試験塗布では、シート材の位置が安定することから、塗布ノズルとシート材との間隔を適切に管理することができる。一方、塗布ノズルの清掃時には、塗布ノズルとの接触に応じてシート材が受動的に変位することから、塗布ノズルとシート材とを適切な圧力で接触させることができる。
【０００７】
上記した技術に基づいて、本明細書は、改良された塗布装置を開示する。この塗布装置は、回路基板に液状材料を塗布する塗布装置であり、液状材料を吐出する塗布ノズルと、塗布ノズルを回路基板に対して移動する移動装置と、試験塗布用のシート材を保持するシート保持装置とを備える。塗布ノズルは、シート保持装置に対して、シート材に液状材料を試験塗布する試験動作と、シート材に接触しながら相対移動する清掃動作とを実施することができる。一方、試験動作は、裏面側へ変位不能に支持されたシート材に対して実施され、清掃動作は、裏面側へ変位可能に支持されたシート材に対して実施される。このような構成によると、塗布ノズルが試験動作を実施するときは、塗布ノズルとシート材との間隔を適切に管理することができるとともに、塗布ノズルの清掃時には、塗布ノズルとシート材とを適切な圧力で接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例の塗布装置の構成を模式的に示す側面図。
【図２】図１中のＩＩ−ＩＩ線における断面図を示す。
【図３】シート保持装置の構成を示す側面図。なお、フレームの一部等は図示が省略されている。
【図４】シート保持装置の支持テーブルの示す平面図。
【図５】図４中のＶ−Ｖ線における断面図。
【図６】支持テーブルの一変形例を示す図。
【図７】可動テーブルを有する支持テーブルの一例を示す図であり、可動テーブルがシート材の裏面に接触する状態を示す。
【図８】可動テーブルを有する支持テーブルの一例を示す図であり、可動テーブルがシート材の裏面から離間した状態を示す。
【図９】巻取リールの構成を示す正面図。
【図１０】巻取リールを示す平面図。
【図１１】巻取リールを分解した状態で示す正面図。なお、手前側に位置するフランジ等は図示が省略されている。
【図１２】巻取リールを分解した状態で示す平面図。
【図１３】シート材の始端を巻取リールにセットする状態を示す図。
【図１４】巻き取られたシート材を巻取リールから取り外す状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本技術の一実施形態において、シート保持装置は、塗布ノズルが試験動作を実施する試験エリアと、塗布ノズルが清掃動作を実施する清掃エリアとを有することが好ましい。この場合、試験エリアでは、シート材が裏面側へ変位不能に支持されるとともに、清掃エリアでは、シート材が裏面側へ変位可能に支持されることが好ましい。なお、シート保持装置は、試験エリアと清掃エリアの両者を常に有する必要はなく、試験エリアと清掃エリアの一方又は両方を、一時的に形成できるものであってもよく、このような構成についても、シート保持装置は試験エリアと清掃エリアとを有すると表現される。
【００１０】
上記した実施形態では、シート保持装置が、シート材の裏面側に位置する支持テーブルを有することが好ましい。この場合、試験エリアでは、支持テーブルがシート材の裏面に接触するとともに、清掃エリアではシート材の裏面側に空間が形成されることが好ましい。このような構成によると、試験エリアでは、シート材が裏面側へ変位不能に支持され、清掃エリアでは、シート材が裏面側へ変位可能に支持される。但し、他の実施形態として、清掃エリアでは、塗布ノズルの接触によるシート材の変位を許容し得る軟質な部材（例えばスポンジ）が、シート材の裏面に接触していてもよい。
【００１１】
上記した実施形態では、支持テーブルが、清掃エリアに対応する範囲に穴又は凹部を有することが好ましい。このような構成によると、清掃エリアでは、シート材が裏面側へ変位可能に支持される一方で、その周囲では、シート材が支持テーブルによって支持される。それにより、塗布ノズルがシート材に接触しながら相対移動するときに、シート材が過剰に変位することが防止され、塗布ノズルとシート材との接触圧が適切に維持される。
【００１２】
本技術の一実施形態において、シート材は長尺のシート材であり、シート保持装置は、支持テーブル上を通過する経路に沿って、長尺のシート材を搬送する搬送機構を有することが好ましい。この場合、清掃エリアは、長尺のシート材の搬送方向に関して、試験エリアよりも下流側に位置することが好ましい。このような構成によると、清掃動作で塗布ノズルから除去された付着物が、試験エリアを通過することがないので、例えば、当該付着物が試験エリアを汚染するといったことを避けることができる。
【００１３】
上記した実施形態において、清掃エリアで塗布ノズルがシート材に接触しながら相対移動する方向は、長尺のシート材の搬送方向に対して垂直であることが好ましい。このような構成によると、試験塗布後のシート材に残る限られたスペースを有効に利用して、塗布ノズルの清掃を行うことができる。
【００１４】
本技術の一実施形態において、シート保持装置は、シート材の裏面側に位置するとともに、その少なくとも一部がシート材に対して進退可能な可動テーブルを有してもよい。この場合、シート保持装置は、塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、可動テーブルの少なくとも一部をシート材の裏面に接触させることによって、シート材が裏面側へ変位不能に支持された試験エリアを形成し、塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、可動テーブルの少なくとも一部をシート材の裏面から離間させることによって、シート材が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリアを形成することが好ましい。このような構成によると、シート保持装置は、可動テーブルの少なくとも一部を移動させることにより、物理的に同一の範囲を、試験エリアと清掃エリアとのいずれにも変更することができる。
【００１５】
本技術の一実施形態において、シート保持装置は、第１支持テーブルと第２支持テーブルとを有してもよい。この場合、シート保持装置は、塗布ノズルが試験動作を実施するときは、第１支持テーブルをシート材の裏面側に配置することによって、シート材が裏面側へ変位不能に支持された試験エリアを形成し、塗布ノズルが清掃動作を実施するときは、第２支持テーブルをシート材の裏面側に配置することによって、シート材が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリアを形成することが好ましい。このような構成によると、シート保持装置は、それら二つの支持テーブルを選択的に使用することにより、物理的に同一の範囲を、試験エリアと清掃エリアとのいずれにも変更することができる。
【実施例】
【００１６】
図面を参照して、実施例の塗布装置１０について説明する。塗布装置１０は、回路基板２に接着剤４を塗布する装置である。接着剤は、回路基板と電子部品とを互いに接着する液状材料である。塗布装置１０は、典型的には、回路基板２に電子部品を装着して部品実装基板を生産する生産システムで使用されるが、これに限定されない。また、塗布装置１０は、接着剤４に限られず、クリームはんだやその他の液状材料を回路基板２に塗布することもできる。
【００１７】
図１、図２に示すように、塗布装置１０は、回路基板２を搬入及び搬出する基板コンベア１２と、基板コンベア１２が搬入した回路基板２を支持する基板支持装置１４とを備える。また、塗布装置１０は、液状材料を吐出する塗布ノズル１６と、塗布ノズル１６をＺ方向に移動させる塗布ヘッド１８と、塗布ヘッド１８をＸ方向及びＹ方向に移動させる移動ロボット２０とを備える。なお、塗布ヘッド１８及び移動ロボット２０は、回路基板２に対して塗布ノズル１６を移動させる移動装置の一例であり、これらの構成に限定されない。塗布装置１０は、回路基板２に対する塗布ノズル１６の位置を制御することにより、回路基板２上の定められた位置に接着剤４を塗布することができる。ここで、一例ではあるが、本実施例の塗布装置１０は、塗布ヘッド１８を装着ヘッド（図示省略）に置き換えることによって、電子部品の装着装置としても機能することができる。
【００１８】
塗布装置１０は、試験塗布用のシート材６を保持するシート保持装置２２を備える。シート材６は、一例ではあるが、長尺のシート材であり、より詳しくはロール紙である。塗布装置１０では、回路基板２に対して接着剤４を過不足なく塗布することが求められる。従って、本実施例の塗布装置１０では、塗布ノズル１６が、シート保持装置２２に対して、シート材６に接着剤４を試験布する試験動作を実行することができる。シート材６に試験塗布された接着剤２は、カメラ２４によって撮影され、その塗布量等が検査される。なお、本実施例のカメラ２４は移動ロボット２０に取り付けられているが、これに限定されない。試験動作の全般に関しても、本実施例の塗布装置１０では、公知の態様を適宜採用することができる。
【００１９】
上記に加え、本実施例の塗布装置１０では、塗布ノズル１６が、シート保持装置２２に対して、シート材６に接触しながら相対移動する清掃動作を実施することもできる。塗布ノズル１６に余分な接着剤４が付着していると、接着剤４の塗布量が過不足したり、回路基板２を汚染されたりするためである。通常、塗布装置１０は、試験塗布の結果が不良であるときに、清掃動作を実施して塗布ノズル１６の清掃を実施し、試験動作を再度実施する。本実施例の清掃動作では、塗布ノズル１６がシート材６に対してＸ方向に摺動するが、これに限定されない。清掃動作では、シート材６に対して塗布ノズル１６を二以上の方向へ移動させることも有効である。また、清掃動作では、塗布ノズル１６だけでなく、あるいは塗布ノズル１６に代えて、シート材６を移動させてもよい。清掃動作の全般に関して、本実施例の塗布装置１０では、公知の態様を自由に採用することができる。また、試験動作の全般に関しても、公知の態様を適宜採用することができる。
【００２０】
塗布装置１０は、制御装置２６及びタッチパネル２８をさらに備える。制御装置２６は、ＣＰＵ及び記憶装置を含む、コンピュータを用いて構成されている。制御装置２６は、例えば生産プログラムに基づいて、塗布装置１０の各部の動作を制御する。また、塗布装置１０は、カメラ２４による撮像画像を処理することによって、試験塗布された接着剤４の可否を判定する。タッチパネル２８は、作業者に各種の情報を提供する表示装置であるとともに、作業者からの指示や情報を受け付けるユーザインターフェースである。例えば、タッチパネル２８は、試験塗布の判定結果を作業者に対して表示することができる。
【００２１】
図３、図４、図５を参照して、シート保持装置２２の構成について説明する。シート保持装置２２は、塗布装置１０に固定されるフレーム３０と、長尺のシート材６を搬送する搬送機構３２と、支持テーブル４０とを備えている。搬送機構３２は、主に、ロール状にまかれたシート材６を回転可能に支持する送出リール３４と、送出リール３４から送り出されたシート材６を案内する複数の案内ローラ３６と、シート材６を巻き取る巻取リール３８とを備えている。これらのリール又はローラ３４、３６、３８は、フレーム３０によって回転可能に支持されている。また、巻取リール３８は、モータ（図示省略）によって回転駆動されるように構成されている。これらの構成により、搬送装置は、支持テーブル４０上を通過する経路に沿って、長尺のシート材６を搬送する。支持テーブル４０は、シート材６の裏面側（塗布ノズル１６とは反対側）に位置しており、シート材６の裏面に接触している。支持テーブル４０には、シート材６を表面側から押さえる押さえ部材４２が設けられている。図３に示すように、押さえ部材４２は、支持テーブル４０に対して回動可能に支持されている。
【００２２】
図４、図５に示すように、シート保持装置２２は、塗布ノズル１６が試験動作を実施する試験エリア４４と、塗布ノズル１６が清掃動作を実施する清掃エリア４６とを有する。清掃エリア４６は、シート材６の搬送方向Ａに関して、試験エリア４４よりも下流側に位置している。このような配置によると、清掃動作で塗布ノズル１６から除去された接着剤４等が、試験エリア４４を通過することがないので、例えば、当該接着剤４等が試験エリア４４を汚染するといったことを避けることができる。また、清掃エリア４６において塗布ノズル１６がシート材６に接触しながら相対移動する方向は、シート材６の搬送方向Ａに対して垂直となっている。このような構成によると、試験塗布後のシート材６に残る限られたスペースを有効に利用して、塗布ノズル１６の清掃を行うことができる。
【００２３】
本実施例のシート保持装置２２では、シート材６の保持される態様が、試験エリア４４と清掃エリア４６とで互いに異なる。即ち、試験エリア４４では、支持テーブル４０がシート材６の裏面に接触しており、シート材６が裏面側へ変位不能に支持されている。これにより、試験エリア４４では、シート材６の位置が安定する。従って、接着剤４を試験塗布する試験動作において、例えば塗布ノズル１６とシート材６との間隔を適切に管理することができるので、接着剤４の試験塗布を正しく行うことができる。
【００２４】
一方、清掃エリア４６では、支持テーブル４０に凹部４８が形成されており、シート材６の裏面側に空間が形成されている。これにより、清掃エリア４６では、シート材６が裏面側へ変位可能に支持されるので、塗布ノズル１６の清掃動作において、シート材６は、塗布ノズル１６との接触に応じて受動的に変位することができる（図５参照）。従って、塗布ノズル１６とシート材６とが適切な圧力で接触して、塗布ノズル１６に付着した接着剤４を正しく除去できるとともに、塗布ノズル１６等が損傷することを避けることもできる。なお、支持テーブル４０の凹部４８は、支持テーブル４０を貫通する穴であってもよい。また、支持テーブル４０については、清掃エリア４６に必ずしも存在する必要はなく、試験エリア４４のみに設けられていてもよい。
【００２５】
試験エリア４４及び清掃エリア４６の構成は、上記した構成に限られず、様々に変更することができる。例えば、図６に示すように、清掃エリア４６では、シート材６がスポンジ等の柔軟部材１０２によって支持されてもよい。このような構成によると、柔軟部材１０２の復元力（弾性力）によって、塗布ノズル１６とシート材６との接触圧を適度に高めることができる。言い換えると、適当な弾性を有する柔軟部材４８を採用することで、塗布ノズル１６とシート材６との接触圧を所望する値に調整することができる。
【００２６】
あるいは、図７、図８に示すように、シート保持装置２２は、支持テーブル４０に代えて、可動テーブル１４０を備えてもよい。可動テーブル１４０は、シート材６の裏面側に位置するとともに、アクチュエータ１４４（例えばエアシリンダ）によって、その一部１４２をシート材６に対して進退させることができる。これにより、シート保持装置２２は、塗布ノズル１６が試験動作を実施するときは、可動テーブル１４０の一部１４２をシート材６の裏面に接触させることによって、シート材６が裏面側へ変位不能に支持された試験エリア４４を広く形成することができる（図７参照）。一方。塗布ノズル１６が清掃動作を実施するときは、可動テーブル１４０の一部１４２をシート材６の裏面から離間させることによって、シート材６が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリア４６を広く形成することができる。このような可動テーブル１４０を採用することで、物理的に同一の範囲を、試験エリア４４と清掃エリア４６とのいずれにも変更することができる。なお、可動テーブル１４０は、その全体がシート材６に対して進退可能であって、試験エリア４４と清掃エリア４６とを択一的に形成し得るものであってもよい。
【００２７】
あるいは、シート保持装置２２は、第１支持テーブルと第２支持テーブルとを含む複数の支持テーブル４０を有してもよい。この場合、シート保持装置２２は、塗布ノズル１６が試験動作を実施するときは、第１支持テーブルをシート材６の裏面側に配置することによって、シート材６が裏面側へ変位不能に支持された試験エリア４４を形成し、塗布ノズル１６が清掃動作を実施するときは、第２支持テーブルをシート材６の裏面側に配置することによって、シート材６が裏面側へ変位可能に支持された清掃エリア４６を形成するように構成することができる。このような構成によると、シート保持装置２２は、それら二つの支持テーブル４０を選択的に使用することにより、物理的に同一の範囲を、試験エリア４４と清掃エリア４６とのいずれにも変更することができる。ここで、第１支持テーブルと第２支持テーブルは、単一の部材で構成されてもよく、例えば、支持テーブル４０の一方の面に第１支持テーブルが形成され、他方の面に第２支持テーブルが形成される構成であってもよい。
【００２８】
次に、図９〜図１４を参照して、本実施例の第２特徴である巻取リール３８について説明する。図９〜図１２に示すように、巻取リール３８は、回転シャフト５０と、一対のフランジ板５２、５４と、二分割された分割カラー５６とを有している。回転シャフト５０は、フレーム３０によって回転可能に支持されている。また、回転シャフト５０は、タイミングベルト７０を介して、前述したモータ（図示省略）に接続されている。各々のフランジ５２、５４は、円板状の部材である。奥側のフランジ板５２は、回転シャフト５０に対して回転不能に固定されている。手前側のフランジ板５４は、回転シャフト５０に対して着脱可能に構成されており、取付部材６０によって回転シャフト５０に固定される。
【００２９】
分割カラー５６は、円筒状の部材を周方向に関して二分割したものであり、一対のフランジ板５２、５４の間において、回転シャフト５０の周面を囲むように取り付けられる。このとき、二つの分割カラー５６の間には隙間５７が形成される（図９参照）。各々の分割カラー５６は、軸方向の両端面に複数の係合ピン５６ａを有している。奥側の端面に形成された係合ピン５６ａは、奥側のフランジ板５２に形成された穴５２ａに係合し、手前側の端面に形成された係合ピン５６ａは、手前側のフランジ板５４に形成された穴５４ａに係合する。これにより、分割カラー５６は、回転シャフト５０に対して相対回転不能に固定され、回転シャフト５０や一対のフランジ板５２、５４と共に、前述したモータ（図示省略）によって回転駆動される。分割カラー５６は、手前側のフランジ板５４によって回転シャフト５０に固定されており、手前側のフランジ板５４が回転シャフト５０から取り外されると、分割カラー５６も回転シャフト５０から取り外すことが可能となる。
【００３０】
上記した構成により、本実施例の巻取リール３８では、例えば図１３に示すように、シート材６の始端を、回転シャフト５０と分割カラー５６との間に挟むことで、巻取リール３８に固定することができる。これにより、粘着テープ等を必要とすることなく、シート材６の始端を巻取リール３８に固定することができる。また、巻取リール３８に巻き取られたシート材６を廃棄するときも、当該シート材６を巻取リール３８から容易に取り外すことができる。即ち、図１４に示すように、巻き取られたシート材６を分割カラー５６と一緒に巻取リール３８から取り外すと、巻き取られたシート材６の内周面６ａと分割カラー５６との間に隙間が形成されるので、巻き取られたシート材６から分割カラー５６を容易に取り外すことができる。従来の一体型のカラーのように、シート材６が強く巻き付いてしまい、ロール状のシート材６からカラーを取り外すことができないといった問題を避けることができる。
【００３１】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００３２】
例えば、シート材６の材質や形状は特に限定されない。特に、シート材６は長尺のものに限定されず、一枚又は複数枚のシート材６であってもよい。また、分割カラー５６は、二分割されたものに限定されず、周方向に関して三以上に分割されたものであってもよい。また、分割カラー５６はさらに、軸方向に関して二以上に分割されたものであってもよい。さらに、支持テーブル４０の材質や形状についても特に限定されず、少なくとも試験エリア４４においてシート材６の裏面側への変位を実質的に禁止できる強度や表面形状を有すればよい。その限りにおいて、支持テーブル４０の表面は、メッシュ状であってもよく、多数の穴が形成されていてもよい。
【００３３】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３４】
２：回路基板
４：接着剤
６：シート材
６ａ：内周面
１０：塗布装置
１６：塗布ノズル
１８：塗布ヘッド
２０：移動ロボット
２２：シート保持装置
３０：フレーム
３２：搬送機構
３４：送出リール
３６：案内ローラ
３８：巻取リール
４０：支持テーブル
４２：押さえ部材
４４：試験エリア
４６：清掃エリア
４８：凹部
４８：柔軟部材
１０２：柔軟部材
１４０：可動テーブル
１４２：一部
１４４：アクチュエータ
【図１】
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【図２】
0006336335.tif 000003
【図３】
0006336335.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0006336335.tif 000008
【図８】
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【図９】
0006336335.tif 000010
【図１０】
0006336335.tif 000011
【図１１】
0006336335.tif 000012
【図１２】
0006336335.tif 000013
【図１３】
0006336335.tif 000014
【図１４】
0006336335.tif 000015