(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性金属粉末とガラス粉末と第１の潤滑剤と第２の潤滑剤とを混合して混合体を形成する混合体形成工程と、
前記混合体を加圧成形して焼きなましする成形工程と、を備え、
互いに溶融している状態で前記第１の潤滑剤は前記第２の潤滑剤よりも分散性が高く、前記第２の潤滑剤は前記第１の潤滑剤よりも潤滑性が高く、
前記混合体形成工程において、前記第１の潤滑剤の融点以上かつ前記第２の潤滑剤の融点以上で加熱しながら前記磁性金属粉末と前記ガラス粉末と前記第１の潤滑剤と前記第２の潤滑剤とを混合し、前記磁性金属粉末に前記ガラス粉末、前記第１の潤滑剤、及び前記第２の潤滑剤を均一に付着させる、
圧粉磁心の製造方法。
【請求項２】
前記成形工程の加圧成形は、前記第１の潤滑剤の融点以上かつ前記第２の潤滑剤の融点以上に加熱した状態で実施する、請求項１に記載の圧粉磁心の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧粉磁心の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、車両の駆動モータを構成するステータコアやロータコア、電力変換回路を構成するリアクトルコアなどに圧粉磁心が用いられている。圧粉磁心は、電磁鋼板を積層して形成したコアと比べて、高周波損失（鉄損）が少ない等の利点を備える。
【０００３】
特許文献１には圧粉磁心の製造方法が開示されている。特許文献１に開示されている圧粉磁心の製造方法では、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合し、その後これらの混合体を圧縮して成形することで圧粉磁心を製造している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−０５４９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されている圧粉磁心の製造方法では、磁性金属粉末にガラス粉末を添加することで、圧粉磁心の強度を向上させている。しかしながら、ガラス粉末は流動性が低いため、磁性金属粉末にガラス粉末を添加すると粉末流動性が低下し、圧粉磁心を成形する際の成形性が悪化する。このような成形性の悪化は潤滑剤を添加することで改善することができる。しかしながら、添加する潤滑剤の量が多くなると圧粉磁心の密度が低下し、圧粉磁心の強度が低下するという問題がある。
【０００６】
上記課題に鑑み本発明の目的は、圧粉磁心の成形性を向上させつつ圧粉磁心の強度低下を抑制することが可能な圧粉磁心の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる圧粉磁心の製造方法は、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合して混合体を形成する混合体形成工程と、前記混合体を加圧成形して焼きなましする成形工程と、を備え、前記混合体形成工程において、前記潤滑剤の融点以上で加熱しながら前記磁性金属粉末と前記ガラス粉末と前記潤滑剤とを混合する。
【０００８】
本発明にかかる圧粉磁心の製造方法では、混合体形成工程において、潤滑剤の融点以上で加熱しながら磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合している。よって、混合時に潤滑剤が溶融し、潤滑剤の分散性と付着性が向上し、混合体の粉末流動性が向上する。したがって、磁性金属粉末の表面にガラス粉末および潤滑剤を均一に付着させることができるので、圧粉磁心の成形性を向上させることができる。また、混合時に潤滑剤を溶融させているので、潤滑剤の機能を効果的に発揮させることができる。よって、混合体に添加する潤滑剤の添加量を低減させることができるので、圧粉磁心の密度の低下を抑制することができ、圧粉磁心の強度が低下することを抑制することができる。
【０００９】
本発明にかかる圧粉磁心の製造方法において、前記成形工程の加圧成形は、前記潤滑剤の融点以上に加熱した状態で実施してもよい。
【００１０】
このように、加熱した状態で加圧成形することで、磁性金属粉末の表面を被覆している潤滑剤を再び溶融させることができる。よって、溶融した潤滑剤を用いて金型と成形体との間の摩擦力を低減させることができるので、混合体を加圧成形して成形体を形成した後、当該成形体を金型から取り出すときに必要な力を低減させることができる。
【００１１】
本発明にかかる圧粉磁心の製造方法において、前記潤滑剤は第１の潤滑剤と第２の潤滑剤とを含んでいてもよく、互いに溶融している状態で前記第１の潤滑剤は前記第２の潤滑剤よりも分散性が高く、前記第２の潤滑剤は前記第１の潤滑剤よりも潤滑性が高くてもよい。
【００１２】
このように、分散性が高い第１の潤滑剤を添加することで、混合体の分散性を効果的に向上させることができる。よって、混合体の粉末流動性が向上し、圧粉磁心の成形性を効果的に向上させることができる。また、潤滑性が高い第２の潤滑剤を添加することで、成形体と金型との間の摩擦力を効果的に低減させることができる。よって、成形体を金型から取り出すときに必要な力を効果的に低減させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、圧粉磁心の成形性を向上させつつ圧粉磁心の強度低下を抑制することが可能な圧粉磁心の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図２】実施例にかかる圧粉磁心の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】圧粉磁心の作製条件および評価結果を示す表である。
【図４】混合体形成工程における温度プロファイルを説明するための図である。
【図５】潤滑剤の添加量と粉末流動性との関係を示すグラフである。
【図６】混合体形成工程後の混合体のＳＥＭ像である（実施例）。
【図７】混合体形成工程後の混合体のＳＥＭ像である（比較例）。
【図８】潤滑剤の添加量と圧粉密度との関係を示すグラフである。
【図９】潤滑剤の添加量と圧環強度との関係を示すグラフである。
【図１０】成形工程後の圧粉磁心のＥＰＭＡ像である（実施例）。
【図１１】成形工程後の圧粉磁心のＥＰＭＡ像である（比較例）。
【図１２】潤滑剤の添加量と抜き出し力との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法を説明するためのフローチャートである。本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法は、混合体形成工程（ステップＳ１）と成形工程（ステップＳ２）とを備える。
【００１６】
混合体形成工程（ステップＳ１）は、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合して混合体を形成する工程である。磁性金属粉末には、例えば表面が絶縁被膜で覆われた軟磁性金属粉末を用いる。具体的には、Ａｌ２Ｏ３またはＡｌＮなどの絶縁被膜で覆われたＦｅ−Ｓｉ系合金の粉末やＡｌ２Ｏ３またはＡｌＮなどの絶縁被膜で覆われたＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ系合金の粉末を用いることができる。なお、これらの材料は一例であり、本実施の形態では磁性金属粉末として他の材料を用いてもよい。
【００１７】
また、ガラス粉末には低融点ガラス粉末を用いることができる。具体的には、潤滑剤の融点よりも軟化点が高く、成形工程（ステップＳ２）で実施する焼きなまし（後述する）の温度よりも軟化点が低いガラス粉末を用いる。一例を挙げると、硼珪酸系、硼珪酸バリウム系、硼酸バリウム系、アルミノリン酸塩系、リン酸塩系のガラス粉末を用いることができる。例えば、平均粒子径が１μｍ〜１０μｍのガラス粉末を用いる。なお、これらの材料は一例であり、本実施の形態ではガラス粉末として他の材料を用いてもよい。
【００１８】
潤滑剤には、例えば、ベヘニルアルコール、エルカ酸モノアミド、ステアリン酸モノアミド、オレイン酸モノアミド、ステアリン酸カルシウム、およびエチレンビス−ステアリン酸アミドから選ばれる１種または２種以上の材料を用いることができる。なお、これらの材料は一例であり、本実施の形態では潤滑剤として他の材料を用いてもよい。
【００１９】
本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法では、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合する際（つまり、撹拌する際）、潤滑剤の融点以上で加熱しながらこれらの混合体を混合する。このように、混合時に潤滑剤の融点以上に加熱することで、混合時に潤滑剤を溶融させることができ、潤滑剤の分散性と付着性を向上させることができる。よって、混合体の粉末流動性を向上させることができる。
【００２０】
本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法では、例えば、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合して混合体を形成する際、混合体１００重量％に対して、潤滑剤を０．１〜０．６重量％の割合で混合することが好ましい。また、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合する際の温度の上限値は、ガラス粉末の軟化点よりも低い温度とする。
【００２１】
次に、成形工程（ステップＳ２）について説明する。成形工程（ステップＳ２）では、混合体形成工程（ステップＳ１）において形成した混合体（混合粉末）を加圧成形し、その後、焼きなましをすることで所定の形状を備える圧粉磁心を形成する。具体的には、所定の形状（つまり、完成後の圧粉磁心の形状に対応した形状）を備える金型に、混合体形成工程（ステップＳ１）において形成した混合体を充填する。その後、金型に充填されている混合体に所定の圧力を印加する。例えば、印加する圧力は１００〜２０００ＭＰａとすることができる。これにより、混合体が成形される（成形後の混合体を成形体と呼ぶ）。そして、加圧成形後、成形体を金型から取り外す。
【００２２】
なお、本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法では、加圧成形をする際に、潤滑剤の融点以上に加熱した状態で加圧成形（つまり、温間成形）してもよい。このように、加熱した状態で加圧成形することで、磁性金属粉末の表面を被覆している潤滑剤を再び溶融させることができる。よって、溶融した潤滑剤を用いて金型と成形体との間の摩擦力を低減させることができるので、混合体を加圧成形して成形体を形成した後、当該成形体を金型から取り出すときに必要な力を低減させることができる（つまり、抜き出し力を低減させることができる）。なお、この場合も、加圧成形する際の温度の上限値は、ガラス粉末の軟化点よりも低い温度とする。
【００２３】
その後、成形体を焼きなましする。例えば、焼きなましの条件は、窒素雰囲気で６００〜９００℃、１５〜６０分とすることができる。なお、焼きなましの条件は、この条件に限定されることはなく、適宜、変更してもよい。
【００２４】
特許文献１に開示されている圧粉磁心の製造方法では、磁性金属粉末にガラス粉末を添加することで、圧粉磁心の強度を向上させていた。しかしながら、ガラス粉末は流動性が低いため、磁性金属粉末にガラス粉末を添加すると粉末流動性が低下し、圧粉磁心を成形する際の成形性が悪化する。このような成形性の悪化は潤滑剤を添加することで改善することができる。しかしながら、添加する潤滑剤の量が多くなると圧粉磁心の密度が低下し、圧粉磁心の強度が低下するという問題があった。
【００２５】
そこで、本発明にかかる圧粉磁心の製造方法では、混合体形成工程において、潤滑剤の融点以上で加熱しながら磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを混合している。よって、混合時に潤滑剤が溶融し、潤滑剤の分散性と付着性が向上し、混合体の粉末流動性が向上する。したがって、磁性金属粉末の表面にガラス粉末および潤滑剤を均一に付着させることができるので、圧粉磁心の成形性を向上させることができる。また、混合時に潤滑剤を溶融させているので、潤滑剤の機能を効果的に発揮させることができる。よって、混合体に添加する潤滑剤の添加量を低減させることができるので、圧粉磁心の密度の低下を抑制することができ、圧粉磁心の強度が低下することを抑制することができる。
【００２６】
また、本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法では、性質が異なる２種以上の潤滑剤を用いてもよい。例えば、潤滑剤として第１の潤滑剤と第２の潤滑剤とを用いる場合は、第１の潤滑剤として第２の潤滑剤よりも分散性（溶融している状態における分散性）が高い潤滑剤を用い、また、第２の潤滑剤として第１の潤滑剤よりも潤滑性（溶融している状態における潤滑性）が高い潤滑剤を用いてもよい。例えば、第１の潤滑剤はベヘニルアルコールを含んでいてもよく、第２の潤滑剤はエルカ酸モノアミド及びステアリン酸モノアミドの少なくとも一つを含んでいてもよい。
【００２７】
このように、分散性が高い第１の潤滑剤を添加することで、混合体の分散性を効果的に向上させることができる。ここで、分散性が高い潤滑剤は融点が比較的低いという性質がある。つまり、融点が低い潤滑剤は溶けやすいので、潤滑剤が均一になりやすい。このように分散性が高い潤滑剤を用いることで、混合体の粉末流動性が向上し、圧粉磁心の成形性を効果的に向上させることができる。
【００２８】
また、潤滑性が高い第２の潤滑剤を添加することで、成形体と金型との間の摩擦力を効果的に低減させることができる。つまり、潤滑性が高い潤滑剤は、表面の摩擦係数を低減させる効果が高いので、成形体を金型から取り出すときに必要な力を効果的に低減させることができる。
【００２９】
なお、分散性が高い潤滑剤は融点が比較的低いという性質があり、潤滑性が高い潤滑剤は融点が比較的高いという性質がある。よって、本実施の形態にかかる圧粉磁心の製造方法では、融点が異なる２種以上の潤滑剤を用いることで、上記で説明した混合体の粉末流動性の向上と、成形体と金型との間の摩擦力の低減の効果を得ることができる。
【００３０】
以上で説明した本実施の形態にかかる発明により、圧粉磁心の成形性を向上させつつ圧粉磁心の強度低下を抑制することが可能な圧粉磁心の製造方法を提供することができる。
【実施例】
【００３１】
次に、本発明の実施例について説明する。
図２は、実施例にかかる圧粉磁心の製造方法を説明するためのフローチャートである。図３は、圧粉磁心の作製条件および評価結果を示す表である。
【００３２】
＜サンプルの作製＞
まず、図２に示す混合体形成工程（ステップＳ１１）に従い、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを含む混合体を形成した。具体的には、まず、所定の容器（混合機）に磁性金属粉末を投入した。磁性金属粉末には、Ｆｅを３％、Ｓｉを３．５％含むＦｅ−Ｓｉ−Ａｌ系合金の粉末（表面がＡｌ２Ｏ３の絶縁被膜で覆われているもの）を用いた。更に、この磁性金属粉末にガラス粉末と潤滑剤とを添加した。ガラス粉末には平均粒径が１．５μｍの硼珪酸ガラス（軟化点：５０５℃）を用いた。ガラス粉末の添加量は２．０重量％とした。
【００３３】
また、潤滑剤として、ベヘニルアルコール粉末（融点：約７０℃）、エルカ酸モノアミド粉末（融点：約８２℃）、ステアリン酸モノアミド粉末（融点：約１０３℃）をそれぞれ１：１：３の割合で混合したものを用いた。潤滑剤（３種の潤滑剤を混合した後の潤滑剤ａ１）の添加量は、０．１〜０．６重量％とした。図３の表に示すように、潤滑剤の添加量が０．１重量％のサンプルを実施例１、潤滑剤の添加量が０．２重量％のサンプルを実施例２、潤滑剤の添加量が０．４重量％のサンプルを実施例３、潤滑剤の添加量が０．６重量％のサンプルを実施例４とした。
【００３４】
そして、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを含む混合体の温度を、図４に示す温度プロファイルとなるように制御しながら、混合体を撹拌した。具体的には、実施例１〜４に含まれる潤滑剤のうち最も融点が高いステアリン酸モノアミド粉末（融点：約１０３℃）の融点よりも高い温度である１１０℃に混合体を加熱し、５分間、撹拌した。つまり、混合体に含まれる潤滑剤を溶融させながら、混合体を撹拌した。その後、混合体を撹拌しながら７０℃まで冷却した。
【００３５】
また、図３の表に示すように、比較例１として潤滑剤を添加しないサンプルを作製した。更に、潤滑剤としてステアリン酸亜鉛粉末（融点：約１５０℃）を用いたサンプルを比較例２〜４として作製した。潤滑剤の添加量が０．２重量％のサンプルを比較例２、潤滑剤の添加量が０．４重量％のサンプルを比較例３、潤滑剤の添加量が０．６重量％のサンプルを比較例４とした。
【００３６】
比較例１〜４にかかるサンプルを作製する際は、磁性金属粉末とガラス粉末と潤滑剤とを含む混合体をＶ型混合機に入れて常温で乾式混合した。すなわち、比較例１〜４では潤滑剤が溶融していない状態で混合体を撹拌した。
【００３７】
次に、図２に示す成形工程（ステップＳ１２）に従い、混合体形成工程（ステップＳ１１）で形成した混合体を成形した。具体的には、リング形状（φ３０〜φ３９）および円柱形状（φ１７）の金型に、混合体形成工程（ステップＳ１１）において形成した混合体を充填した。その後、温間成型法を用いて混合体を成形した。つまり、金型を１３０℃に加熱しながら、金型に充填されている混合体に９８０ＭＰａの圧力を印加して混合体を成形した。加圧成形後、成形体を金型から取り外した。その後、成形体を窒素雰囲気において７５０℃で３０分、焼きなまし処理をすることで圧粉磁心を作製した。このようにして、各々のサンプル（実施例１〜４、比較例１〜４）を作製した。
【００３８】
＜サンプルの評価＞
次に、サンプルの評価結果について説明する。各々のサンプル（実施例１〜４、比較例１〜４）に対して、粉末流動性試験、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）による表面観察、圧粉密度測定、圧環強度測定、磁気測定（鉄損）、引き出し力測定、ＥＰＭＡ（Electron Probe Micro Analyser）による表面分析を実施した。以下、各々の評価結果について説明する。
【００３９】
（粉末流動性試験）
図２に示す混合体形成工程（ステップＳ１１）で形成した混合体（粉末）に対して粉末流動性試験を実施した。粉末流動性試験は、ＪＩＳ、Ｚ−２５０２に準拠した方法で行った。具体的には、排出口直径φ２．６３ｍｍのかさ密度測定器から５０ｇの混合体（粉末）を室温にて排出し、この排出が終了するまでの時間を測定することで粉末流動性を調べた。つまり、排出時間が短いほど粉末流動性がよいといえる。
【００４０】
図５に、潤滑剤の添加量と粉末流動性との関係を示す（図３の表も参照）。図５に示すように、比較例１〜４では粉末流動性（排出時間）が７６〜８５（ｓ／５０ｇ）であったのに対して、実施例１〜４では粉末流動性（排出時間）が２４〜２８（ｓ／５０ｇ）と小さく（短く）なった。よって、実施例１〜４では比較例１〜４と比べて粉末流動性が著しく向上したといえる。つまり、混合体形成工程において、潤滑剤の融点以上に加熱して潤滑剤を溶融させながら混合体を混合することで、潤滑剤の分散性と付着性を向上させることができ、混合体の粉末流動性を向上させることができた。
【００４１】
（ＳＥＭによる表面観察）
また、混合体形成工程（ステップＳ１１）で形成した混合体の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察した。図６は、実施例にかかる混合体のＳＥＭ像であり、図７は比較例にかかる混合体のＳＥＭ像である。図６に示すように、実施例にかかる混合体では、潤滑剤を溶融させながら混合体を混合したので、磁性金属粉末の表面がガラス粉末および潤滑剤で均一に被覆されていた。よって、磁性金属粉末間の摩擦力を低減することができ、混合体の粉末流動性を向上させることができたといえる。
【００４２】
一方、図７に示すように、比較例にかかる混合体では、潤滑剤が溶融していない状態で混合体を混合したので、ガラス粉末および潤滑剤の分散状態が不均一となった。このため、比較例にかかる混合体では粉末流動性が悪くなったといえる。
【００４３】
（圧粉密度）
また、作製した圧粉磁心の密度を測定した。図８は、潤滑剤の添加量と圧粉密度との関係を示すグラフである（図３の表も参照）。図８に示すように、実施例１〜４では圧粉磁心の密度が６．３２〜６．３３と略一定となったのに対して、比較例１〜４では、圧粉磁心の密度が潤滑剤の添加量が増加するにしたがって低下した。この理由は、比較例では混合体を形成した際に潤滑剤が偏って存在しているため（図７参照）、焼きなまし処理で潤滑剤が抜ける際に空孔ができ、密度が低下したためであると考えられる。一方、実施例１〜４では、潤滑剤が均一に分散しているため、焼きなまし処理で潤滑剤が抜ける際に、空孔の発生を抑制できたと考えられる。
【００４４】
（圧環強度）
また、作製した圧粉磁心の圧環強度試験を行った。具体的には、５ｋＮオートグラフを用いて最大荷重を測定して圧環強度を算出した。圧環強度試験は、ＪＩＳ、Ｚ−２５０７に準拠した方法を用いて行った。図９に潤滑剤の添加量と圧環強度との関係を示す（図３の表も参照）。図９に示すように、実施例１〜４では比較例１〜４と比べて圧環強度が高くなった。これは、実施例１〜４では比較例１〜４と比べて圧粉磁心の密度が高いためであると考えられる（図８参照）。また、比較例１〜４では、潤滑剤の添加量が増加するにしたがって圧環強度が低下した。これは、比較例１〜４では潤滑剤の添加量が増加するにしたがって圧粉磁心の密度が低下したためであると考えられる（図８参照）。
【００４５】
（ＥＰＭＡによる表面分析）
また、作製した圧粉磁心に対してＥＰＭＡによる表面分析を実施した。図１０は、実施例にかかる圧粉磁心のＥＰＭＡ像であり、図１１は比較例にかかる圧粉磁心のＥＰＭＡ像である。図１０に示すように、実施例にかかる圧粉磁心では、磁性金属粉末の粒界においてガラスが均一に分散していることが確認できた。一方、図１１に示すように、比較例にかかる圧粉磁心では、磁性金属粉末の粒界においてガラスが偏析していることが確認できた。このように比較例にかかる圧粉磁心ではガラスが偏析しており、このガラスの偏析は圧環強度が低くなる原因の一つであると考えられる。
【００４６】
（引き出し力）
また、混合体形成工程（ステップＳ１１）で形成した混合体を、５００ｋＮアムスラー試験機を用いて加圧成形（温間成形）した後、金型から成形体を抜き出す時の荷重を測定し、この測定した最大荷重を抜き出し力とした。図１２に潤滑剤の添加量と抜き出し力との関係を示す。図１２に示すように、実施例２〜４では比較例２〜４と比べて抜き出し力が低くなった。これは、実施例では、磁性金属粉末の表面に潤滑剤が均一に被覆されているため、加圧成形時に潤滑剤が溶融した際に、金型と成形体との間に潤滑剤が均一に分散したためであると考えられる。
【００４７】
（磁気測定）
また、作製した圧粉磁心に対して磁気測定を行った。磁気測定は、リング形状の圧粉磁心に励磁用、検出用の巻線（９０×９０ターン）をそれぞれ設けて行った。巻線にはφ０．５ｍｍの銅線を用いた。磁気測定には、ＢＨアナライザ（岩通計測、型番ＳＹ−８２３２）を用いた。測定条件は、０．１Ｔ、２０ｋＨｚとした。図３の表に示すように、比較例１〜４では鉄損が３１３〜３３６（ｋＷ／ｍ３）となり、潤滑剤の添加量が増加するにしたがって鉄損の値が上昇した。これに対して、実施例１〜４では鉄損が３１１〜３１４（ｋＷ／ｍ３）となり、比較例と比べて鉄損の値が低くなった。
【００４８】
以上で説明した実施例１〜４では、潤滑剤として３種の材料を用いた場合を示したが、本発明では、１種の材料を用いた潤滑剤を溶融した場合でも同様の効果が得られる。つまり、添加する潤滑剤の種類が１種の場合であっても、本発明の効果が奏される基本的なメカニズム（潤滑剤が溶融することによる効果）は、潤滑剤の種類が３種の場合と同様である。
【００４９】
以上、本発明を上記実施の形態および実施例に即して説明したが、本発明は上記実施の形態および実施例の構成にのみ限定されるものではなく、本願特許請求の範囲の請求項の発明の範囲内で当業者であればなし得る各種変形、修正、組み合わせを含むことは勿論である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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