(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準ガスが封入された基準室と、
測定対象ガスを含むサンプルガスを所定方向に噴射するガス噴射方向調整部と、
ガス噴射方向調整部により噴射方向が調整されたサンプルガスが流通するガス流通路と、
ガス流通路と連通するバイパスと、
バイパスを介して連通する測定室と、
を有し、基準室の基準ガスと測定室のサンプルガスとの熱伝導率の差を利用してガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計であって、
ガス噴射方向調整部は、その噴射方向がバイパスへ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整可能であり、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性にすることを特徴とする熱伝導式ガス分析計。
【請求項２】
請求項１に記載の熱伝導式ガス分析計において、
前記ガス噴射方向調整部は、前記ガス流通路と垂直に連通するガス導入流路内に挿通されて回転可能な円筒体であって先端の開口がこの円筒体の中心軸に対して略垂直に形成され、前記ガス噴射方向調整部を回転させることで先端の開口をバイパスの開口へ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整することを特徴とする熱伝導式ガス分析計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス濃度の測定を行う熱伝導式ガス分析計に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱伝導式ガス分析計は、二成分のガスの異なる熱伝導率を利用することにより、測定対象ガスのガス濃度を測定する。例えば、水素ガスのガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計は、鉄鋼，石油精製、水素精製、化学工業といったプラントにおけるプロセス制御用や、爆発危険防止のための水素ガス濃度検知用として用いられている。
【０００３】
続いて、熱伝導式ガス分析計の分析原理について説明する。図５は熱伝導式ガス分析計の分析原理を説明するための図で、ガスセンサユニットの概略を示している。熱伝導式ガス分析計のガスセンサユニット１００の内部には、基準室１０１と測定室１０２とが設けられ、各々の内部に細い白金線１０３，１０４が張られ、かつ熱線素子１０５，１０６に接続されている。
【０００４】
ガスセンサユニット１００の中央部分には、鉛直方向に長い流路であって、測定対象ガスを含むサンプルガスが流通するガス流通路１０７が設けられている。サンプルガスの一部はガス流通路１０７からバイパス１０８を通過して測定室１０２へ導入され、バイパス１０９を通過してガス流通路１０７へ戻される。また、基準室１０１の内部には基準ガスが封入されている。
【０００５】
熱線素子１０５，１０６には、それぞれ、外部固定抵抗１１０，１１１が接続されており、白金線・熱線素子と外部固定抵抗とを組合せてブリッジ回路を形成する。各白金線・熱線素子には定電流源１１２により一定の電流が流され、熱線素子１０５は基準室１０１および白金線１０３を所定温度まで加熱し、また、熱線素子１０６は測定室１０２および白金線１０４を同じ所定温度まで加熱する。ここに基準室１０１内の温度は一定値であり、白金線１０３および熱線素子１０５の電気抵抗値は一定値である。
【０００６】
そして、サンプルガスに含まれる測定対象ガスに濃度変化があるとサンプルガスの熱伝導率が変化し、測定室１０２の白金線１０４とサンプルガスとの間を伝導する熱の変化により白金線１０４の温度が変化する。この温度変化を白金線１０４の電気抵抗変化として取出し、ＤＣアンプ１１３からの信号を経て測定対象ガスのガス濃度を算出する。つまり、測定対象ガスの濃度変化が白金線１０４の電気抵抗変化として検出される。
【０００７】
ガスセンサユニット１００は、図６（ａ）に示すように筺体１２０の中に収容されている。筺体１２０の側壁には、導入側配管接続機構１２１が設けられている。また、導入側配管接続機構１２１とガスセンサユニット１００との間はＬ字配管１２２で接続されており、サンプルガスがガスセンサユニット１００に供給される。なお、センサユニット１００内を通流したサンプルガスは不図示の排出側の配管接続機構を経由して外部の排気ラインへと排出される。
【０００８】
続いて具体的なガス分析について説明する。ここでは水素ガス濃度の測定について説明する。図７に示す各気体の中から熱伝導率の差が大きい水素と窒素という組み合わせを選択し、図５で示すガスセンサユニット１００において、基準室１０１内に窒素ガスを封入し、また、測定対象ガスである水素ガスを含むサンプルガスを測定室１０２内に通流させてガス濃度の測定を行う。
【０００９】
基準室１０１内に封入された窒素ガスと、測定室１０２内を流れるサンプルガスと、の熱伝導率の差に起因して、白金線１０３と白金線１０４との間で温度差が生じ、この温度差が熱線素子・白金線の抵抗値変化に伴う電圧変化として現れ、ブリッジ回路に不平衡電圧を生じさせる。そしてサンプルガスに含まれる水素ガスの濃度が変化するとサンプルガスの熱伝導率が変化して白金線１０４の温度変化による抵抗値変化が起こり、ブリッジ回路の電圧変化として検出できる。この電圧変化をＤＣアンプ１１３により増幅することでサンプルガスに含まれる水素ガスのガス濃度測定信号を得ることができる。
【００１０】
このガス濃度測定信号は、基準ガスと測定対象ガスの熱伝導率の差に比例する。図７でも示すように、他の一酸化炭素、酸素やメタン等と比較しても熱伝導率比が大きい窒素ガスと水素ガスというような基準ガス・測定対象ガスを選択することで強度の大きい測定信号を得ることができる。その結果、良好なＳ／Ｎ比を確保してガス濃度、特に水素ガスのガス濃度の測定を精度良く行うことが可能となる。
【００１１】
また、熱伝導式ガス分析計の従来技術として、例えば、特許文献１に開示されたものが知られている。図５，図６を用いて説明した従来技術は、ガス流通路１０７内で圧力が高いサンプルガスがバイパス１０８へも流れる現象を利用するものであったが、特許文献１に記載の装置は、加熱による自然対流現象を利用してガスを上昇させて取得するというものであり、構成の簡素化を実現し、特に流量変動による影響を減らして計測できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開昭６２−２５９０４９号公報（第３頁右下欄の２行から最終行まで、第９図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
従来の熱伝導式ガス分析計では、二成分のガスの組み合わせにより、流路の開口径などの形状・寸法が決定されるため、汎用性がないという問題があった。この点について説明する。図６（ａ），（ｂ）に示した熱伝導式ガス分析計では、サンプルガスは導入側配管接続機構１２１から導入され、Ｌ字配管１２２を経て、ガス拡散口１２２ａからガス流通路１０７内に導入される。ガス拡散口１２２ａから導入されたサンプルガスは拡散し、その一部がバイパス１０８を通過して測定室１０２内へ到達する。
【００１４】
これらガス拡散口１２２ａとバイパス１０８との位置関係は一定である。したがって、各々の内径が特定の寸法であり、かつガス流量が一定である場合、バイパス１０８を通して測定室１０２に流入するガス流量は一定となる。しかしながら、ガス濃度の濃度域が高濃度域や低濃度域というように相違する場合、測定室１０２に流入するガス流量が一定であってもガスの濃度が変化し、このため、白金線・熱線素子によるセンサの応答特性も異なる特性を示す。また、ガスの種類が異なる場合でも、白金線・熱線素子によるセンサの応答特性も異なる特性を示す。
【００１５】
センサの応答特性は、白金線・熱線素子へ到達するサンプルガスの置換時間で異なるというものであり、応答特性をある一定水準に保つため、従来は、ガス拡散口１２２ａの内径寸法やバイパス１０８の内径寸法を変えた部品を組合せ、ある一定内の応答時間となるようにするため、評価試験を実施し、最終的にガス拡散口１２２ａの内径寸法やバイパス１０８の内径寸法が決定されていた。ガス濃度の濃度域や、測定対象ガスの種類により、この組合せはさらに多様になるため、寸法の異なる部品を数多く用意しなければならないという問題があった。
【００１６】
また、特許文献１に記載の従来技術でも同様であり、ガス濃度の濃度域や、測定対象ガスの種類により、組合せは多様になるため、寸法の異なる部品を数多く用意しなければならないという問題を内包するものであった。
【００１７】
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、測定対象ガスを含むサンプルガスの測定室への流入量を調整可能として、測定対象ガスの種類や、測定対象ガスの濃度域が異なる場合においても応答特性を一定にし、多数種類の部品を用意する必要性を無くした熱伝導式ガス分析計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の請求項１に係る発明は、
基準ガスが封入された基準室と、
測定対象ガスを含むサンプルガスを所定方向に噴射するガス噴射方向調整部と、
ガス噴射方向調整部により噴射方向が調整されたサンプルガスが流通するガス流通路と、
ガス流通路と連通するバイパスと、
バイパスを介して連通する測定室と、
を有し、基準室の基準ガスと測定室のサンプルガスとの熱伝導率の差を利用してガス濃度を測定する熱伝導式ガス分析計であって、
ガス噴射方向調整部は、その噴射方向がバイパスへ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整可能であり、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性にすることを特徴とする熱伝導式ガス分析計とする。
【００１９】
また、本発明の請求項２に係る発明は、
請求項１に記載の熱伝導式ガス分析計において、
前記ガス噴射方向調整部は、前記ガス流通路と垂直に連通するガス導入流路内に挿通されて回転可能な円筒体であって先端の開口がこの円筒体の中心軸に対して略垂直に形成され、前記ガス噴射方向調整部を回転させることで先端の開口をバイパスの開口へ近づく方向、または、遠ざかる方向へ調整することを特徴とする熱伝導式ガス分析計とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、測定対象ガスを含むサンプルガスの測定室への流入量を調整可能として、測定対象ガスの種類や、測定対象ガスの濃度域が異なる場合においても応答特性を一定にし、多数種類の部品を用意する必要性を無くした熱伝導式ガス分析計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明を実施するための形態の熱伝導式ガス分析計の外観図である。
【図２】本発明を実施するための形態の熱伝導式ガス分析計の主要部であるガスセンサユニットと配管接続機構の詳細を示す断面図である。
【図３】本発明を実施するための形態の熱伝導式ガス分析計のガスセンサユニットのＡ−Ａ線断面による主要部構成の説明図である。
【図４】ガス噴射方向調整部による噴射方向調整の説明図であり、図４（ａ）はバイパスの開口へ近づける噴射方向を示す図、図４（ｂ）はバイパスの開口から遠ざける噴射方向を示す図、図４（ｃ）は通常の噴射方向を示す図である。
【図５】熱伝導式ガス分析計の分析原理を説明するための図である。
【図６】従来技術の熱伝導式ガス分析計の主要部であるガスセンサユニットと配管接続機構の詳細を示す断面図であり、図６（ａ）はその主要構成図、図６（ｂ）はバイパス周囲の拡大図である。
【図７】気体の熱伝導率の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
続いて、本発明を実施するための形態に係る熱伝導式ガス分析計について、図を参照しつつ以下に説明する。本形態の熱伝導式ガス分析計は、ガスセンサユニットを含む電気機器が耐圧防爆容器の内部に収容される防爆形の熱伝導式ガス分析計である。熱伝導式ガス分析計１は、図１で示すように、耐圧防爆容器１０、表示部２０、窓３０、操作部４０、導入側配管接続機構５０、排出側配管接続機構６０を備え、また、図２で示すように、内部にガスセンサユニット７０を備える。
【００２３】
耐圧防爆容器１０は、その内部にガスセンサユニット７０やその制御回路、表示部２０等を収納する耐圧防爆構造の容器である。特に水素計としての熱伝導式ガス分析計１は可燃性ガス雰囲気下で使用されることが多く、制御回路や表示部２０という内部の電気機器で生じた火花の引火に起因する爆発事故を防止する防爆仕様を満たしている。内部の電気機器を耐圧防爆容器１０内に収納することにより、内部の電気機器において生じた火花の引火による爆発は耐圧防爆容器１０の内部に止められ、大規模な爆発事故を防止することができる。
【００２４】
表示部２０は、耐圧防爆容器１０の窓３０を臨む位置に配置され、図示しない演算処理部がＤＣアンプ１１３からの検出信号に基づいてガス濃度の測定結果を算出したときに、この演算処理部が表示部２０に出力表示させる。
操作部４０は、耐圧防爆容器１０の前面下部に設けられ、ゼロ調整、スパン校正、リニアライズ校正などの各種操作設定を行うことができる。
【００２５】
耐圧防爆容器１０は、図２で示すように、一方の側壁に２つの取付孔１１，１２を有しており、この取付孔１１，１２に、外部のガス配管からガスセンサユニット７０へサンプルガスを導入するための導入側配管接続機構５０、及び、ガスセンサユニット７０を通流したサンプルガスを外部のガス配管へ排出するための排出側配管接続機構６０が配設固定されている。導入側配管接続機構５０、及び、排出側配管接続機構６０は、火炎の逸走も防止する耐圧防爆構造となっており、耐圧防爆容器１０の耐圧防爆機能を維持している。
【００２６】
導入側配管接続機構５０は、配管継手本体５１と、連結部材５２と、袋ナット５３を備えている。配管継手本体５１は、大径穴部５１ａと小径穴部５１ｂを有し、これらの穴部によって形成された段付部にその端面周縁を当接させるようにしてフレームアレスタ５４が大径穴部５１ａ内に遊嵌状態で挿入収容されている。Ｃリング５５は、フレームアレスタ５４の軸方向の移動を抑制する。
【００２７】
このフレームアレスタ５４は、例えばステンレス鋼又は真鍮等を所定の温度で焼き固めて円柱状部材として成形した焼結金属である。このフレームアレスタ５４はガス導入流路７２及びガス排出流路７４の途中に位置し、大径穴部５１ａの内周面とフレームアレスタ５４の外周面との間に耐圧防爆に必要な大きさに設定された間隙を形成してガス流通路とすることにより耐圧防爆構造を実現し、火炎の逸走を防止し、またサンプルガスの圧力損失を小さくする。
【００２８】
配管継手本体５１の中央部外周面には第１の雄ねじ部５６が形成されており、この第１の雄ねじ部５６を取付孔１１の内周面に形成された雌ねじ部と螺合させ、配管継手本体５１のフランジ部５１ｃが耐圧防爆容器１０の側壁に当接するまでねじ込むことにより、配管継手本体５１が耐圧防爆容器１０に固定される。なお、耐圧防爆容器１０の気密を確保するため、配管継手本体５１の外周面と耐圧防爆容器１０の内周面との間にはＯリング５７が介挿されている。耐圧防爆容器１０の外側に位置する配管継手本体５１のフランジ部５１ｃにはガス配管接続口５１ｄが設けられ、サンプルガスを供給するガス配管（図示せず）が接続される。
【００２９】
連結部材５２は、配管継手本体５１とガスセンサユニット７０との間を連結する部材である。この円筒形状の連結部材５２は、貫通孔５２ａを有するとともに、一方の端部に鍔部５２ｂが形成され、他方の端部の外周に雄ねじ部５２ｃが形成されている。連結部材５２は、袋ナット５３をその鍔部５２ｂに係止した状態で、ガスセンサユニット７０の装着部７１に螺合装着される。
【００３０】
そして、耐圧防爆容器１０の内部に突出する配管継手本体５１の端面を、ガスセンサユニット７０の装着部７１に取り付けられた連結部材５２の鍔部５２ｂと付き合わせるとともに、袋ナット５３の内周面に形成されている雌ねじ部を配管継手本体５１の第２の雄ねじ部５８と螺合させ、配管継手本体５１と連結部材５２とを相互に固定する。このとき、配管継手本体５１の大径穴部５１ａ、小径穴部５１ｂ、連結部材５２の貫通孔５２ａ、及び、ガスセンサユニット７０のガス導入口７２が直線的に連通し、外部のガス配管からガスセンサユニット７０に至るサンプルガス流路が構成されることになる。
【００３１】
ここで連結部材５２の貫通孔５２ａおよびガス導入口７２にはガス噴射方向調整部７３が挿入されている。ガス噴射方向調整部７３内には先端の開口７３ａまで通じる流路が形成されており、サンプルガスをガスセンサユニット７０内へ導入する。このガス噴射方向調整部７３の機能等については後述する。
【００３２】
また、排出側配管接続機構６０も導入側配管接続機構５０と同様に構成されるが、ガス噴射方向調整部は除かれている。そして、排出側配管接続機構６０をガスセンサユニット７０のガス排出流路７４と接続することにより、ガスセンサユニット７０のガス流通路１０７と連通させることができる。
【００３３】
このような熱伝導式ガス分析計１によれば、導入側配管継手本体５１及び排出側配管継手本体６１の内部に圧損の小さい焼結金属からなるフレームアレスタ５４，６４を収容していることに加え、外部のガス配管からガスセンサユニット７０に至るガス導入流路７２、及び、ガスセンサユニット７０から外部へ排出されるガス排出流路７４を、直線的かつ最短経路のものとしているので、圧損が少なく、サンプルガスの流量変動を抑えて精度の高いガス濃度の測定を行うことが可能となる。
【００３４】
また、フレームアレスタ５４，６４の採用により、防爆性能を確保しつつサンプルガス供給側の圧力を大幅に増加させてサンプルガスを供給可能であり、流路断面積が極端に少なく、耐圧損失が大幅に増加するようなガス流通路１０７を採用する場合でも、所定の流量を確保でき、その結果、熱伝導式ガス分析計１の小型化に寄与する。
【００３５】
そして、導入側配管接続機構５０及び排出側配管接続機構６０の耐圧防爆容器１０への着脱が容易な構成であり、フレームアレスタ５４，６４に目詰まりが生じた場合でも、メンテナンスや交換作業を簡単に行うことができる。
【００３６】
また、耐圧防爆容器１０には２つの取付孔１１，１２を設けるだけであり、耐圧防爆容器１０に対する構造上の制約もなく、耐圧防爆容器１０を安価に製作することができるので、防爆形の熱伝導式ガス分析計１の低価格化を図ることができる。
【００３７】
さらに、定期的な校正作業や交換作業が必要となるガスセンサユニット７０に関しても、袋ナット５３，６３を回動させるだけで簡単に着脱できるので、保守性を向上させることができる。このようにセンサの特性を損なわない形で防爆対策が施されている。
【００３８】
続いて、ガスセンサユニット７０について図２，図３を参照しつつ説明する。ここで図３のガスセンサユニット７０は、図２のガスセンサユニット７０のＡ−Ａ線断面を図示したものである。ガスセンサユニット７０の基本的構造については、先に図５を用いて説明したガスセンサユニット１００とほぼ同じであるがガス噴射方向調整部７３が追加された点が相違するものであり、同じ構成については同じ符号を付して重複する説明を省略することとし、相違点について重点的に説明する。
【００３９】
本発明のガスセンサユニット７０では、図２に示すように、特にガスセンサユニット７０の長手方向（上下方向）に沿って形成されたガス流通路１０７の上下両端に、ガス流通路１０７と直交するように耐圧防爆容器１０の側壁に向けて開口するガス導入流路７２とガス排出流路７４が設けられている。そして、ガスセンサユニット７０は、さらにガス噴射方向調整部７３が追加されている。
【００４０】
本実施形態のガス噴射方向調整部７３は、図２，図３で示すように、連結部材５２の直線孔である貫通孔５２ａおよびガス導入流路７２内に挿通されたときに回転可能となるように円筒体として形成されており、先端の開口７３ａがこの円筒体の中心軸に対して略垂直となるように形成されている。先端の開口７３ａは、ガス流通路１０７の上側に位置し、下側のガス流通路１０７へ向くようになされている。ガス噴射方向調整部７３を貫通孔５２ａおよびガス導入流路７２内で回転させることで先端の開口７３ａをバイパス１０８の開口へ近づける方向（図４（ａ）参照）、遠ざける方向（図４（ｂ）参照）、または、中間にある標準位置（図４（ｃ）参照）に調整することができ、所定方向にサンプルガスを噴射することができる。
【００４１】
このガス噴射方向調整部７３は、図４（ａ）では、開口７３ａの向きがバイパス１０８の開口へ近づくため、多量のサンプルガスが測定室１０２内に導入される。例えば測定対象ガスが低濃度域のガス濃度の分析で使用される。図４（ｂ）では、開口７３ａの向きがバイパス１０８の開口から遠ざかるため、少量のサンプルガスが測定室１０２内に導入される。例えば測定対象ガスが高濃度域のガス濃度の分析で使用される。図４（ｃ）では、開口７３ａの向きが中間位置となるため、普通量のサンプルガスが測定室１０２内に導入される。例えば測定対象ガスが標準濃度域のガス濃度の分析で使用される。このようにガス噴射方向調整部７３の回転だけで測定室１０２へ到達するガス流量が調節されるため、ガス別や濃度域別の調節が容易である。
【００４２】
続いてガス噴射方向調整部７３による調整について説明する。ここで、ガスセンサユニット７０を用いて予め実験がなされており、ガス噴射方向調整部７３の回転位置が既に決定されているものとする。
調整方法であるが、例えば図２に示すガスセンサユニット７０に連結部材５２のみを連結し、このガスセンサユニット７０および連結部材５２により形成される貫通孔５２ａおよびガス導入流路７２に、ガス噴射方向調整部７３を予め決定されている所定角度となるように挿入すれば調整が完了であり、その後の工程の製造を行うことで、測定対象ガスの種類や濃度域が異なる場合でも応答特性を一定の特性とした熱伝導式ガス分析計とすることができる。
【００４３】
また、定期的な校正作業時や交換作業時でも、袋ナット５３，６３を回動させるだけでガスセンサユニット７０を簡単に取り外しでき、貫通孔５２ａおよびガス導入流路７２にガス噴射方向調整部７３を予め決定されている所定角度となるように調整し、再度袋ナット５３，６３を回動させるだけでガスセンサユニット７０を固定することができるので、保守性を向上させることもできる。
【００４４】
これにより、製造時、校正時、交換時等においてバイパス内に流入するガス量を調節することが可能となり、結果として、ガス検出応答時間を一定にすることが可能となる。そして、従来ではノズル径や、拡散口の内径の異なる部品を組合せ、最適な応答特性となるよう調整していた作業を削減できるだけでなく、部品の種類も大幅に削減できる効果がある。
【００４５】
以上、本発明の熱伝導式ガス分析計について説明した。なお、本形態では防爆型の熱伝導式ガス分析計１を例示して説明した。しかしながら、防爆型に限定する趣旨ではなく、通常型の熱伝導式ガス分析計としても良い。また、本形態では、ガス噴射方向調整部７３が長尺であって、貫通孔５２ａおよびガス導入流路７２の両者に挿通するものとして説明したが、ガス噴射方向調整部７３が短尺であってガス導入流路７２のみに挿通するものとしても良い。この場合でもドライバなどを利用して調整を行うことができる。ガス噴射方向調整部７３が、少なくともガス導入流路７２内にあれば良い。また、本形態では水素のガス分析を行うものとして説明したが、他のガスを分析するものであっても良い。
【００４６】
このような本発明によれば以下のような利点がある。
（１）開口７３ａの噴射方向を変えることで、バイパス１０８に流入するサンプルガスの量を変えることができ、測定対象ガスの種類や、測定濃度範囲が異なる場合においても応答特性が一定の特性となるような調整が可能となり、測定対象ガスの種類や、濃度域で寸法の異なる部品を複数用意することなく部品の種類を作成することを可能とした。
【００４７】
（２）本発明は、特に火炎逸走防止効果の得られる耐圧防爆構造であっても、ガス噴射方向調整部７３を設置し、また、調整することを可能とした。さらに耐圧防爆容器のガス導入部及びガス排出部について、耐圧防爆性能が得られ保守性の向上が図られた接続構造を提供するとともに、フレームアレスタによりサンプルガスの圧力損失が少なく圧力変動や、流量変動の影響が少なく応答特性に優れており、ガス噴射方向調整部７３が設置されたとしても影響は軽微であり、所定の応答特性を確保できる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の熱伝導式ガス分析計は、例えば、プロセス用途、保安用途などに好適である。
【符号の説明】
【００４９】
１：熱伝導式ガス分析計
１０：耐圧防爆容器
１１，１２：取付孔
２０：表示部
３０：窓
４０：操作部 
５０：導入側配管接続機構
５１：配管継手本体
５１ａ：大径穴部
５１ｂ：小径穴部
５１ｃ：フランジ部
５２：連結部材
５２ａ：貫通孔
５２ｂ：鍔部
５２ｃ：雄ねじ部
５３：袋ナット
５４：フレームアレスタ
５５：Ｃリング
５６：雄ねじ部
５７：Ｏリング
５８：雄ねじ部
６０：排出側配管接続機構
６１：配管継手本体
６２：連結部材
６３：袋ナット
６４：フレームアレスタ
７０：ガスセンサユニット
７１：装着部
７２：ガス導入流路
７３：ガス噴射方向調整部
７３ａ：開口
７４：ガス排出流路
１０１：基準室
１０２：測定室
１０３，１０４：白金線
１０５，１０６：熱線素子
１０７：ガス流通路
１０８，１０９：バイパス
１１０，１１１：外部固定抵抗
１１２：定電流源
１１３：ＤＣアンプ
【図１】
0006340989.tif 000002
【図２】
0006340989.tif 000003
【図３】
0006340989.tif 000004
【図４】
0006340989.tif 000005
【図５】
0006340989.tif 000006
【図６】
0006340989.tif 000007
【図７】
0006340989.tif 000008