(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ基板を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持するパッケージ基板を切削ブレードで切削加工する切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルの該保持面以外を囲繞し該切削水を流下させるカバーと、該カバーから流下する該切削水と該切削手段によるパッケージ基板の切削で生成され該切削水に混入される切削屑とパッケージ基板の外周部分が切削されて形成された端材とを受け止めて排水する排水口を有するウォータケースと、を備える切削装置であって、
該排水口に向って水を噴射させ該ウォータケースで受け止めた少なくとも該端材を該排水口に流動させる流動ノズルと、該流動ノズルから噴射する水を循環させる循環システムとを含み、
該循環システムは、
該切削屑と該端材とを含み該排水口から排水される使用済切削水を貯水するタンクと、少なくとも該端材を取り除いた該使用済切削水を汲み上げ該流動ノズルに供給する循環ポンプと、該循環ポンプで汲み上げられた該使用済切削水を該流動ノズルに送水する送水管とを備える切削装置。
【請求項２】
前記タンクには、前記端材を受け止める端材受け止め部を備えた請求項１記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パッケージ基板を切削ブレードで切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークを切削ブレードで切削する切削装置は、切削加工中、切削ブレードに対して切削水ノズル等から切削水を供給して、切削により生じた切削屑の除去及び切削ブレードの冷却を行っている。ここで、板状ワークがパッケージ基板である場合に使用される切削装置では、切削によりパッケージ基板の外周部分が小片化することで生ずる端材を、切削ブレードに対して供給され切削で排出される切削屑を含む加工廃液となった切削水と共に排水している。
【０００３】
この排水においては、端材を切削加工で排出される切削屑を含む切削水と共に廃棄する必要があり、その廃棄方法としては、まず、端材を含む切削水をチャックテーブルの移動経路の両側に設けた溝から流下させ、箱状のウォータケースで受け止め（例えば、特許文献１参照）、次いで、端材を含む切削水をウォータケース内の排水口へ流し、排水口から流れ出た切削水（使用済切削水）から端材だけを別に分離して受け止めてから端材を廃棄する方法がある（例えば、特許文献２参照）。ここで、切削ブレードに供給され流下した切削水だけでは、端材がウォータケース内で排水口まで流れず、ウォータケースの底面に滞留、蓄積する。この滞留・蓄積を防ぐため、排水口に遠い場所からウォータケースの底面に平行に排水口に向かって水を噴射する流動ノズルを備える切削装置もある（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５０９６１００号公報
【特許文献２】特許第４６５７６８８号公報
【特許文献３】特許第４２４３３８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように流動ノズルから噴射させた水により端材を切削水と共に排水口に誘導した後、端材を使用済切削水から分離し除去することができる。ここで、切削ブレードに供給する切削水と同様の水を、端材を排水口に誘導するために流動ノズルから噴射させる水として用いると、一連の切削加工における切削水の総消費量が増大し不経済となる。よって、切削水の総消費量を抑制する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するための本発明は、パッケージ基板を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持するパッケージ基板を切削ブレードで切削加工する切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルの該保持面以外を囲繞し該切削水を流下させるカバーと、該カバーから流下する該切削水と該切削手段によるパッケージ基板の切削で生成され該切削水に混入される切削屑とパッケージ基板の外周部分が切削されて形成された端材とを受け止めて排水する排水口を有するウォータケースと、を備える切削装置であって、該排水口に向かって水を噴射させ該ウォータケースで受け止めた少なくとも該端材を該排水口に流動させる流動ノズルと、該流動ノズルから噴射する水を循環させる循環システムとを含み、該循環システムは、該切削屑と該端材とを含み該排水口から排水される使用済切削水を貯水するタンクと、少なくとも該端材を取り除いた該使用済切削水を汲み上げ該流動ノズルに供給する循環ポンプと、該循環ポンプで汲み上げられた該使用済切削水を該流動ノズルに送水する送水管とを備える切削装置である。
【０００７】
前記タンクには、前記端材を受け止める端材受け止め部を備えると好ましい。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、切削装置において、端材を排水口に流動させる流動ノズルと、流動ノズルから噴射する水を循環させる循環システムを備え、該循環システムを、排水口から排水される使用済切削水を貯水するタンクと、少なくとも端材を取り除いた使用済切削水を汲み上げ流動ノズルに供給する循環ポンプと、循環ポンプで汲み上げられた使用済切削水を流動ノズルに送水する送水管とを備えるものとしたことで、流動ノズルから噴射されウォータケース内の端材を排水口に流動する水に新しい切削水をほとんど用いず、代わりに一度切削水ノズルから切削ブレードに供給した使用済切削水を用いることが可能となり、その結果、一連の切削加工において使用する切削水の総消費量を抑えることが可能となる。
【０００９】
また、使用済切削水を貯水するタンクに、端材を受け止める端材受け止め部を設けたことで、オペレータが使用済切削水から端材を容易に除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】チャックテーブル上でパッケージ基板が保持される状態を示す分解斜視図である。
【図２】切削装置の外観の一例を示す斜視図である。
【図３】切削装置を構成するチャックテーブル、ウォータケース、カバー、流動ノズル及び切削送り手段の斜視図である。
【図４】循環システムの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１に示す切削加工が施されるパッケージ基板Ｗは、例えば、その外形が矩形状であり、パッケージ基板上面Ｗａ上は、ストリートＳによって格子状に区画され切削加工により複数のチップサイズの基板に切り分けられる矩形領域Ｗ１と、矩形領域Ｗ１を囲み切削により小片化され端材となり廃棄される外周部分Ｗ２とからなる。
【００１２】
図２に示す切削装置１は、チャックテーブル３０が保持するパッケージ基板Ｗに対して、切削手段６によって切削加工を施す装置である。切削装置１上は、主にパッケージ基板Ｗの着脱等が行われる領域である着脱領域Ａと、切削手段６によるパッケージ基板Ｗの切削等が行われる領域である切削領域Ｂとに分かれる。
【００１３】
切削装置１の前面側には、切削装置１に対してオペレータが加工条件等を入力するための操作手段１０が備えられており、操作手段１０の後方には着脱領域Ａと切削領域Ｂとの間をＸ軸方向に往復移動するチャックテーブル３０が配設されている。また、着脱領域Ａ内には、加工対象のパッケージ基板Ｗが一時的に載置される仮置き領域１１が設けられており、仮置き領域１１には、パッケージ基板Ｗを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１２が配設されている。
【００１４】
仮置き領域１１の近傍には、チャックテーブル３０と仮置き領域１１との間で、パッケージ基板Ｗを搬送する旋回アームを有する第一の搬送手段１３ａが配設されている。加工対象として仮置き領域１１に搬出されたパッケージ基板Ｗは、第一の搬送手段１３ａにより吸着されて、仮置き領域１１からチャックテーブル３０に搬送される。
【００１５】
第一の搬送手段１３ａの近傍には、切削加工後のパッケージ基板Ｗを洗浄する洗浄手段１５が配設されている。また、洗浄手段１５の上方には、チャックテーブル３０から洗浄手段１５へと、切削加工後のパッケージ基板Ｗを吸着し搬送する第二の搬送手段１３ｂが配設されている。
【００１６】
図１に示すチャックテーブル３０は、例えば、その外形が、矩形のパッケージ基板Ｗに対応する矩形状であり、パッケージ基板Ｗを吸引保持する保持面３０ａと、底面３０ｂとを備える。保持面３０ａの中央部には、格子状に形成された複数の逃げ溝３００と、逃げ溝３００により形成された各格子中に各々設けられた複数の吸引孔３０１とを備える。吸引孔３０１は、チャックテーブル３０の厚み方向に貫通形成され、図示しない吸引管と連通しており、吸引管に繋がる図示しない真空発生装置により生み出された吸引力を保持面３０ａに伝達する。また、図２で示すように、チャックテーブル３０は、保持面３０ａ以外がカバー４によって周囲から囲繞されかつ回転可能に支持されている。
【００１７】
図２で示すように、チャックテーブル３０の移動経路の上方には、パッケージ基板Ｗの切削すべきストリートＳを検出するアライメント手段１７が配設されている。アライメント手段１７は、パッケージ基板上面Ｗａを撮像する撮像手段１７０を備えており、撮像手段１７０により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の画像処理によって切削すべきストリートＳを検出することができる。撮像手段１７０によって取得された画像はアライメント手段１７の上方に配設された表示手段１８に表示される。また、アライメント手段１７の近傍には、切削領域Ｂ内で、チャックテーブル３０に保持されたパッケージ基板Ｗに対して切削加工を施す切削手段６が配設されている。切削手段６はアライメント手段１７と一体となって構成されており、両者は連動してＹ軸方向及びＺ軸方向へと移動する。
【００１８】
図２に示す切削手段６は、軸方向がＸ軸方向に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）である回転軸を有するスピンドル６１と、スピンドル６１に固定され回転可能な切削ブレード６２とを備えており、図示しない割り出し送り手段によってＹ軸方向へ移動可能となっており、図示しない切り込み送り手段によってＺ軸方向に移動可能となっている。
【００１９】
切削ブレード６２の近傍には、切削ブレード６２に切削水を供給する切削水供給手段２が設けられており、切削ブレード６２のＹ軸方向前後には、切削ブレード６２のパッケージ基板Ｗに対する加工点に対して切削水供給手段２により供給した切削水を噴射する切削水ノズル２０が設けられている。切削水ノズル２０から噴射される切削水は、切削ブレード６２とパッケージ基板Ｗとの接触部位を冷却しかつパッケージ基板Ｗの加工点に生じた切削屑を除去する。さらに、切削屑を除去した切削水は、切削屑及び端材と共にカバー４の短手方向（Ｙ軸方向）の両端から図３に示すウォータケース７へと流下する。
【００２０】
図３に示すウォータケース７は、チャックテーブル３０の移動経路下に配設され、チャックテーブル３０をＸ軸方向に往復移動させるのを可能とするために、箱状の部材の底板７０の中央部に矩形状の開口部７１を設けており、底板７０、内側壁７２及び外側壁７３により構成されて切削水を受け止める樋部７４と、底板７０に形成された排水口７５とから構成される。排水口７５には、ウォータケース７の外部に延びる排水管７６の一端である管端７６ａが接続されている。そして、ウォータケース７は、カバー４から流下する切削水と切削手段６によるパッケージ基板Ｗの切削で生成され切削水に混入される切削屑Ｃとパッケージ基板の外周部分が切削された端材Ｍとを受け止めて、後述する図２に示すタンク９０へと排出する機能を有する。
【００２１】
図３に示すカバー４は、チャックテーブル３０の保持面３０ａ以外を囲繞するように配設され、ウォータカバー４０と蛇腹カバー４２とを備え、切削ノズル２０から噴射された切削水を流下させる。ウォータカバー４０は、平面状に形成された上盤４０ａの端部から２つの側板４０ｂが−Ｚ方向に垂設されたもので、上盤４０ａの端部及び２つの側板４０ｂは、ウォータケース７を構成する内壁側７２に摺動可能に係合している。ウォータカバー４０のＸ軸方向の両端には、蛇腹カバー４２を構成する蛇腹カバー４３ａ、４３ｂがその端部に設けられた取り付けプレート４４ａ、４４ｂを介して取り付けられている。また、蛇腹カバー４３ａ、４３ｂの他方の端部は、固定プレート４５ａ、４５ｂを介してウォータケース７の外側壁７３の内側に固定されている。
【００２２】
蛇腹カバー４３ａ、４３ｂは、チャックテーブル３０の移動方向の開口部７１を覆う表面部４６ａ、４６ｂと、表面部４６ａ、４６ｂのＹ軸方向の端部から垂下する垂下部４７ａ、４７ｂとからなり、垂下部４７ａ、４７ｂは、樋部７４を構成する内側壁７２に係合しており、蛇腹カバー４３ａ、４３ｂは、開口部７１の全体を跨ぐようにして塞いでいる。
【００２３】
蛇腹カバー４３ａ、４３ｂの中間部には、下部にローラー４８ａ、４８ｂを備えたガイドプレート４９ａ、４９ｂがそれぞれ設けられ、蛇腹カバー４３ａ、４３ｂの中央部が垂下しないように支持している。
【００２４】
このように、チャックテーブル３０が移動しても、蛇腹カバー４３ａ、４３ｂが伸縮し、開口部７１はウォータカバー４０及び蛇腹カバー４２によって常に覆われている。こうして開口部７１の全体をウォータカバー４０及び蛇腹カバー４２によって覆うことにより、切削水を流下させても装置内部に切削水、切削屑及び端材が侵入するのを防止している。
【００２５】
図３に示す切削送り手段５は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し底部がガイドレール５１に摺接する可動板５３とから構成される。そして、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い可動板５３がガイドレール５１にガイドされてＸ軸方向に往復移動する構成となっている。可動板５３上には、チャックテーブル３０を回転させるための回転手段３３が設けられており、さらに回転手段３３上にはチャックテーブル３０が接続されており、可動板５３のＸ軸方向への往復移動に伴って、チャックテーブル３０が切削送りされる。
【００２６】
図３で示すように、ウォータケース７内には、排水口７５へ向かって水を噴射させウォータケース７で受け止めた少なくとも端材Ｍを排水口７５に流動させる流動ノズル８が一つ配設されている。流動ノズル８は、例えば、形状がＬ字型をしており、水を噴射させる噴射口８０と、噴射させる水が流入する流入口８１とを備える。なお、流動ノズル８の形状はＬ字型に限定されるものではなく、流動ノズル８の配設数は１つに限定されず２つ以上が好ましい。また、流動ノズル８の配設位置は排水口７５からＸ軸方向にある程度離れている場所が好ましく、噴射口８０の配設角度は、噴射口８０から噴射される水がウォータケース７の底板７０に沿って平行に噴射される角度であると好ましい。
【００２７】
図２、４で示すように、切削装置１の内部には、流動ノズル８から噴射する水を循環させる循環システム９が配設されている。循環システム９は、切削屑Ｃと端材Ｍとを含み排水口７５から排水される切削水（以下、「使用済切削水Ｆ」とする。）を貯水するタンク９０と、少なくとも端材Ｍを取り除いた使用済切削水Ｆを汲み上げ図３に示した流動ノズル８に供給する循環ポンプ９１と、循環ポンプ９１で汲み上げられた使用済切削水Ｆを流動ノズル８に送水する送水管９２とを備える。
【００２８】
図２、４で示すように、タンク９０は、例えば、外形が直方体状であり、タンク９０のタンク上面９０ａが開閉可能となっている。タンク上面９０ａには、排水管７６の一方の管端７６ｂが貫通し着脱可能に接続されている。
【００２９】
タンク９０と循環ポンプ９１とは配管９３により配管接続されている。配管９３は、その一端である管端９３ａがタンク上面９０ａを貫通しタンク９０内部のＺ軸方向の所定の位置Ｚ１に至るようにタンク９０に着脱自在に接続され、配管９３の他端である管端９３ｂが循環ポンプ９１の循環ポンプ上面９１ａを貫通し循環ポンプ９１の内部に至るように循環ポンプ９１に着脱自在に接続されている。また、循環ポンプ９１の循環ポンプ側面９１ｂの下部に送水管９２の一端である管端９２ａが着脱自在に接続され、送水管９２のもう一端である管端９２ｂが、図示しない調整弁を介して図３に示す流動ノズル８の流入口８１と着脱自在に接続される。なお、ここにいう所定の位置Ｚ１とは、図４で示すように、タンク９０の底部の切削屑Ｃの沈殿層Ｌに配管９３の管端９３ａが接しない程度のＺ軸方向の位置であると好ましく、使用済切削液Ｆ及び切削屑Ｃの量により適宜変更可能となる位置である。また、送水管９２と流動ノズル８との接続については、送水管９２と流動ノズル８との間に、例えば、切削屑Ｃを除去するフィルターを設けると好ましい。
【００３０】
図４で示すように、タンク９０は、タンク９０内に沈殿した切削屑Ｃを排出する切削屑排出ポンプ９４と配管９５により配管接続されている。配管９５は、その一端である管端９５ａがタンク上面９０ａを貫通してタンク９０内部のＺ軸方向の所定の位置Ｚ２に至るようにタンク９０に着脱自在に接続され、配管９５のもう一端である管端９５ｂが切削屑排出ポンプ９４の切削屑排出ポンプ上面９４ａを貫通し切削屑排出ポンプ９４内部に至るように切削屑排出ポンプ９４に着脱自在に接続されている。また、切削屑排出ポンプ９４の切削屑排出ポンプ側面９４ｂ下部には、切削屑排出ポンプ９４で吸い上げられた切削屑Ｃを含む使用済切削水Ｆを切削装置１の外部に排出する配管９６の一端である管端９６ａが接続されている。配管９６のもう一端である管端９６ｂは、切削装置１の外部に出されている。なお、ここにいう所定の位置Ｚ２とは、図４で示すように、位置Ｚ１よりもＺ軸方向で下方にありタンク９０の底部の切削屑Ｃの沈殿層Ｌに配管９５の管端９５ａが接する位置であり、使用済切削液Ｆ及び切削屑Ｃの量により適宜変更可能となる位置である。
【００３１】
タンク側面９０ｂ上部には、配管９８が接続されており、配管９８は、タンク９０内の所定の位置Ｚ３にまで使用済切削水Ｆの水位が至った場合に、タンク９０内の使用済切削水Ｆを切削装置１の外部に排水する。配管９８の一端である管端９８ａは、タンク側面９０ｂに対して貫設されており、配管９８のもう一端である管端９８ｂは、切削装置１の外部に出されている。なお、ここにいう所定の位置Ｚ３とは、図４で示すように、位置Ｚ１よりもＺ軸方向で上方にある位置であり、使用済切削液Ｆ及び切削屑Ｃの量により適宜変更可能となる位置である。
【００３２】
また、図４で示すように、タンク９０の内部には、端材Ｍを受け止める端材受け止め部９７を備えている。端材受け止め部９７は、例えば、メッシュ材で形成されており、断面が凹形状で使用済切削水Ｆをタンク９０内部でろ過し端材Ｍをろ物として受け止めるざる部９７ａと、ざる部９７ａの端から垂設されタンク９０のタンク側面９０ｂの上部にざる部９７ａを懸架できるように形成した引っ掛け部９７ｂとを備える。なお、端材受け止め部９７に用いられるメッシュ材のメッシュは、少なくとも端材Ｍを受け止められる程度であればよい。また、ざる部９７ａのタンク９０内部における設置位置は、位置Ｚ３よりＺ軸方向で上方であると好ましい。
【００３３】
以下に、図１〜４用いて、パッケージ基板Ｗを切削装置１により切削する場合の切削装置１の動作について説明する。
【００３４】
図２で示すように、加工対象である一枚のパッケージ基板Ｗが仮置き領域１１に搬出され仮置き領域１１において位置合わせ手段１２によりパッケージ基板Ｗが所定の位置に位置決めされた後、第一の搬送手段１３ａがパッケージ基板Ｗを吸着して仮置き領域１１からチャックテーブル３０へとパッケージ基板Ｗを移動させる。次いで、パッケージ基板Ｗが保持面３０ａ上で吸引保持される。
【００３５】
チャックテーブル３０によりパッケージ基板Ｗが保持された後、図３に示す切削送り手段５が、チャックテーブル３０に保持されたパッケージ基板Ｗを−Ｘ方向に送り、撮像手段１７０によってパッケージ基板上面Ｗａが撮像されて切削すべきストリートＳの位置が検出される。ストリートＳが検出されるのに伴って、切削手段６が図示しない割り出し送り手段によってＹ軸方向に駆動され、切削すべきストリートＳと切削ブレード６２とのＹ軸方向における位置合わせが行われる。
【００３６】
切削ブレード６２と検出したストリートＳとのＹ軸方向の位置合わせが割り出し送り手段によって行われた後、切削送り手段５がパッケージ基板Ｗをさらに−Ｘ方向に送り出すとともに、図示しない切込み送り手段が切削ブレード６２を−Ｚ方向に降下させていく。また、スピンドル６１に固定された切削ブレード６２が高速回転をしながらパッケージ基板Ｗに切込み、ストリートＳを切削していく。切削中は、切削ブレード６２とパッケージ基板Ｗとの接触部位に対して切削水ノズル２０から切削水を噴射する。
【００３７】
切削ブレード６２がストリートＳを切削し終えるＸ軸方向の所定の位置までパッケージ基板Ｗが−Ｘ方向に進行すると、切削送り手段５によりパッケージ基板Ｗの切削送りを一度停止させ、切込み送り手段が切削ブレード６２をパッケージ基板Ｗから離間させ、次いで、切削送り手段５がチャックテーブル３０を＋Ｘ方向へ送り出して元の位置に戻す。そして、隣り合うストリートＳの間隔ずつ切削ブレード６２をＹ軸方向に割り出し送りしながら順次同様の切削を行うことにより、同方向の全てのストリートＳを切削する。さらに、チャックテーブル３０を回転手段３３によって９０度回転させてから同様の切削を行うと、全てのストリートＳが縦横に全てカットされる。
【００３８】
ここで、切削中では図３に示す切削屑Ｃは常に生じ、さらに、チャックテーブル３０を９０度回転させてからの切削が開始されると、図１に示すパッケージ基板Ｗの外周部分Ｗ２が切削され小片化されることで端材Ｍも生じることになる。
【００３９】
そこで、切削中に切削ブレード６２とパッケージ基板Ｗとの接触部位に対して切削水ノズル２０から噴射された切削水は、切削ブレード６２とパッケージ基板Ｗとの接触部位を冷却しかつパッケージ基板Ｗの加工点に生じた切削屑Ｃを除去し、切削屑Ｃ及び端材Ｍと共にカバー４のＹ軸方向の両端からウォータケース７へと流下する。
【００４０】
切削屑Ｃ及び切削水と共にウォータケース７内に流下した端材Ｍは、流動ノズル８から噴射される水により、切削水及び切削屑Ｃと共に排水口７５へと流動し、排水口７５から排出される。
【００４１】
切削屑Ｃと端材Ｍとを含み排水口７５から排水された切削水は、使用済切削水Ｆとなり、排水管７６を通りその管端７６ｂからタンク９０内部へと排出される。ここで、図４に示すように、管端７６ｂから排出された使用済切削水Ｆは、端材受け止め部９７のざる部９７ａを通過しタンク９０の底部へと落下し、タンク９０の内部に貯水されていく。ここで、使用済切削水Ｆに含まれる端材Ｍは、ざる部９７ａを通過せず、ざる部９７ａ上にろ物として受け止められ蓄積していく。
【００４２】
端材受け止め部９７により少なくとも端材Ｍが取り除かれタンク９０内部に貯水された使用済切削水Ｆについては、使用済切削水Ｆ中の切削屑Ｃの大部分がタンク９０底部に沈殿する。そして、使用済切削水Ｆの水位がタンク９０内部の所定の位置Ｚ１に達すると、使用済切削水Ｆが循環ポンプ９１によりタンク９０内部から配管９３を通して汲み上げられる。次いで、循環ポンプ９１により汲み上げられた使用済切削水Ｆは、送水管９２を通り送水管９２に接続された流動ノズル８の流入口８１へと送水される。
【００４３】
流入口８１から流入した使用済切削水Ｆが、流動ノズル８の噴射口８０からウォータケース７内へと噴射され、新たに生じ流下してきた切削屑Ｃ及び端材Ｍを排水口７５へと流動し、排水口７５から排出することで、流動ノズル８から噴射する水を使用済切削水Ｆとしかつ循環させる循環システム９が構築される。
【００４４】
また、タンク９０にその大部分が沈殿する切削屑Ｃは、切削屑排出ポンプ９４により使用済切削水Ｆと共に配管９５を通して汲み上げられ、配管９６を通して切削装置１の外部に排出されることで、タンク９０底部に大量に沈殿することがなくなる。また、使用済切削水Ｆの水位が位置Ｚ３に達すると、使用済切削水Ｆは配管９８からも排出されるためタンク９０内部からあふれ出ることがなく、切削装置１を故障させる水漏れ等は生じない。
【００４５】
以上説明したように、パッケージ基板Ｗの切削加工において、切削水ノズル２０から一度噴射されウォータケース７内へ切削屑Ｃ及び端材Ｍと共に流下し使用済切削水Ｆとなった切削水を、さらにタンク９０で貯水し、タンク９０内で少なくとも端材Ｍを取り除いた後に循環ポンプ９１によって汲み上げ、送水管９２によりウォータケース７内の流動ノズル８へと送水することで、流動ノズル８から噴射する水のほとんどを使用済切削水Ｆとすることを可能とする循環システム９を本発明に係る切削装置１は含むこととなる。そのため、切削装置１を用いた切削加工においては、使用する切削水の総消費を抑えることが可能となる。配管９３を介して循環ポンプ９１に汲み上げられ流通ノズル８に送水される使用済切削水Ｆには、沈殿層Ｌにまでは沈降しない細かな切削屑が含まれうるが、流通ノズル８から噴出される使用済切削水は、切削ブレード６２とパッケージ基板Ｗとの接触部位に供給されるものではなく、端材Ｍを排水口７５に流すためだけに使用されるものであるため、細かな切削屑が混じっていても弊害はない。
【００４６】
また、タンク９０に端材受け止め部９７を備えたことで、排水口７５から排水された使用済切削水Ｆがタンク９０内に貯水される前に、少なくとも使用済切削水Ｆから端材Ｍを取り除くことでき、送水管９２から流動ノズル８へと送水される使用済切削水Ｆ中には少なくとも端材Ｍを含まないようにすることが可能となる。同時に、ざる部９７ａ上に受け止められた端材Ｍの量が一定量となった場合や複数枚のパッケージ基板Ｗについての切削加工が終了した場合に、一度切削装置１の動作を停止させた後、オペレータがタンク９０の底部を攫う等の行為を行わなくとも、容易に端材Ｍを除去し廃棄することが可能となる。
【符号の説明】
【００４７】
１：切削装置  １０：操作手段  １１：仮置き領域  １２：位置合わせ手段
１３ａ：第一の搬送手段  １３ｂ：第二の搬送手段  １５：洗浄手段
１７：アライメント手段  １７０：撮像手段  １８：表示手段
２：切削水供給手段  ２０：切削水ノズル
３０：チャックテーブル
３０ａ：保持面  ３０ｂ：底面  ３００：逃げ溝  ３０１：吸引孔  ３３：回転手段
４：カバー
４０：ウォータカバー  ４０ａ：上盤  ４０ｂ：側板
４２：蛇腹カバー
４３ａ：蛇腹カバー  ４３ｂ：蛇腹カバー
４４ａ：取り付けプレート  ４４ｂ：取り付けプレート
４５ａ：固定プレート  ４５ｂ：固定プレート  ４６ａ：表面部  ４６ｂ：表面部
４７ａ：垂下部  ４７ｂ：垂下部  ４８ａ：ローラー  ４８ｂ：ローラー
４９ａ：ガイドプレート  ４９ｂ：ガイドプレート
５：切削送り手段
５０：ボールネジ  ５１：ガイドレール  ５２：モータ  ５３：可動板
６：切削手段  ６１：スピンドル  ６２：切削ブレード  
７：ウォータケース  ７０：底板  ７１：開口部  ７２：内側壁  ７３：外側壁
７４：桶部  ７５：排水口  ７６：排水管  ７６ａ：管端  ７６ｂ：管端
８：流動ノズル  ８０：噴射口  ８１：流入口
９：循環システム
９０：タンク  ９０ａ：タンク上面  ９０ｂ：タンク側面
９１：循環ポンプ  ９１ａ：循環ポンプ上面  ９１ｂ：循環ポンプ側面
９２：送水管  ９２ａ：管端  ９２ｂ：管端
９３：配管  ９３ａ：管端  ９３ｂ：管端
９４：切削屑排出ポンプ
９４ａ：切削屑排出ポンプ上面  ９４ｂ：切削屑排出ポンプ側面
９５：配管  ９５ａ：管端  ９５ｂ：管端  
９６：配管  ９６ａ：管端  ９６ｂ：管端
９７：端材受け止め部  ９７ａ：ざる部  ９７ｂ：引っ掛け部
９８：配管  ９８ａ：管端  ９８ｂ：管端
Ｗ：パッケージ基板  Ｗａ：パッケージ基板上面  Ｗ１：矩形領域  Ｗ２：外周部分
Ｓ：ストリート
Ａ：着脱領域  Ｂ：切削領域
Ｃ：切削屑  Ｍ：端材  Ｆ：使用済切削水  Ｌ：沈殿層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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