(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、
前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、
前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、
前記部分流路の前記加圧室面側における前記第１共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第１共通流路側の壁面より、前記第１共通流路側に位置しており、
前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅は、前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、
前記第１共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されており、
前記流路部材を平面視したとき、
前記複数の加圧室は、仮想線上に並んで配置されており、
前記第１共通流路は前記仮想線の一方の側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、
前記第２共通流路は前記仮想線に対して前記第１共通流路とは反対側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、
前記部分流路の前記吐出孔面側の断面の面積重心は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面の面積重心より、前記第２共通流路側に位置していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、
前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、
前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、
前記部分流路の前記加圧室面側における前記第１共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第１共通流路側の壁面より、前記第１共通流路側に位置しており、
前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅は、前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、
前記第１共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されており、
前記流路部材が、前記第１共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第１個別流路と、前記第２共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第２個別流路とを有しており、前記第１個別流路の流路抵抗が、前記第２個別流路の流路抵抗より小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材を平面視したとき、
前記複数の加圧室は、仮想線上に並んで配置されており、
前記第１共通流路は前記仮想線の一方の側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、
前記第２共通流路は前記仮想線に対して前記第１共通流路とは反対側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路部材を平面視したとき、前記部分流路の前記吐出孔面側の断面の面積重心は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面の面積重心より、前記第２共通流路側に位置していることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記部分流路の前記吐出孔面側の断面積は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第２共通流路は、前記部分流路の、前記吐出孔面側において前記加圧室面側よりも断面積の小さくなっている部位で繋がっていることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、
前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、
前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、
前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、
前記部分流路の前記加圧室面側における前記第２共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第２共通流路側の壁面より、前記第２共通流路側に位置しており、
前記第２共通流路の前記吐出孔面側の幅は、前記第２共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、
前記第２共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第２共通流路の前記加圧室面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記部分流路の前記吐出孔面側の断面積は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面積よりも小さくなっていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第２共通流路は、前記部分流路の、前記吐出孔面側において前記加圧室面側よりも断面積の小さくなっている部位で繋がっていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記流路部材を平面視したとき、
前記複数の加圧室は、仮想線上に並んで配置されており、
前記第１共通流路は前記仮想線の一方の側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、
前記第２共通流路は前記仮想線に対して前記第１共通流路とは反対側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びていることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記流路部材を平面視したとき、前記部分流路の前記吐出孔面側の断面の面積重心は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面の面積重心より、前記第１共通流路側に位置していることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記流路部材が、前記第１共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第１個別流路と、前記第２共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第２個別流路とを有しており、前記第２個別流路の流路抵抗が、前記第１個別流路の流路抵抗より小さいことを特徴とする請求項７〜１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、印刷用ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なう液体吐出ヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、液体を吐出する吐出孔と、吐出孔から液体が吐出されるように液体を加圧する加圧室と、加圧室に液体を供給する第１共通流路と、加圧室から液体を回収する第２共通流路とを備えたものが知られている。液体が滞留することで流路のつまり等が生じ難いように、吐出を行なわないときにも、液体は、第１共通流路から加圧室を通って第２共通流路に流れるようになっており、外部も含めて液体を循環させることが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１４３１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドでは、液体を吐出するために加圧室内の液体に圧力を加えると、第１共通流路あるいは第２共通流路を介して、他の加圧室まで液体の振動が伝わり、それにより、他の加圧室から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度）が変動してしまう、流体クロストークを起こすという問題があった。
【０００５】
そして、流体クロストークを抑制するには、第１共通流路あるいは第２共通流路にダンパを設けることが考えられる。しかし、液体吐出ヘッドの限られた体積内に、加圧室、第１共通流路、および第２共通流路などを配置しようとすると、第１共通流路、および第２共通流路の幅はある程度狭くする必要があり、幅の狭い流路にダンパを付けても、ダンパの効果は低くなる。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、ダンパの効果を高くできる液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、前記部分流路の前記加圧室面側における前記第１共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第１共通流路側の壁面より、前記第１共通流路側に位置しており、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅は、
前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されており、前記流路部材を平面視したとき、前記複数の加圧室は、仮想線上に並んで配置されており、前記第１共通流路は前記仮想線の一方の側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、前記第２共通流路は前記仮想線に対して前記第１共通流路とは反対側に配置されているとともに、前記仮想線に沿って伸びており、前記部分流路の前記吐出孔面側の断面の面積重心は、前記部分流路の前記加圧室面側の断面の面積重心より、前記第２共通流路側に位置していることを特徴とする。
また、本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、前記部分流路の前記加圧室面側における前記第１共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第１共通流路側の壁面より、前記第１共通流路側に位置しており、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅は、前記第１共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第１共通流路の前記吐出孔面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されており、前記流路部材が、前記第１共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第１個別流路と、前記第２共通流路と前記加圧室とを繋いでいる第２個別流路とを有しており、前記第１個別流路の流路抵抗が、前記第２個別流路の流路抵抗より小さいことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、該複数の吐出孔とそれぞれ繋がっている複数の加圧室、該複数の加圧室と繋がっている第１共通流路、および前記複数の加圧室と繋がっている第２共通流路を有する流路部材と、前記複数の加圧室をそれぞれ加圧する複数の加圧部とを含んでいる液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出孔は、前記流路部材の一方の主面である吐出孔面に開口しており、前記複数の加圧室は、前記流路部材の他方の主面である加圧室面側に配置されている加圧室本体と、該加圧室本体から前記吐出孔面側に伸びており、前記吐出孔に繋がっている部分流路とを含んでおり、前記第２共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位は、前記第１共通流路と前記加圧室とが繋がっている部位よりも前記吐出孔側に位置しており、前記部分流路の前記加圧室面側における前記第２共通流路側の壁面は、前記部分流路の前記吐出孔面側における前記第２共通流路側の壁面より、前記第２共通流路側に位置しており、前記第２共通流路の前記吐出孔面側の幅は、前記第２共通流路の前記加圧室面側の幅よりも大きくなっており、前記第２共通流路の前記吐出孔面側の壁面に、前記第２共通流路の前記吐出孔面側の幅よりも幅の広いダンパが配置されていることを特徴とする。
【０００９】
さらに、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置によれば、ダンパ効果が高くなることにより、クロストークなどを低減でき、記録精度を高くできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】（ａ）は、図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）から第２流路部材を除いた平面図である。
【図３】図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。
【図４】図２（ｂ）の一部の拡大平面図である。
【図５】（ａ）は、図４のＶ−Ｖ線に沿った部分縦断面図であり、（ｂ）は、図２（ａ）のヘッド本体の部分縦断面図ある。
【図６】図４のＸ−Ｘ線に沿った部分縦断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態のヘッド本体の部分縦断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態のヘッド本体の部分縦断面図である。
【図９】本発明の他の実施形態のヘッド本体の部分縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１３】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液
体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１４】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１５】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１６】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１７】
プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッド群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッド群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１８】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１９】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、５０ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００２０】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベル
ト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００２１】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２２】
次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２（ａ）は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図２（ｂ）は、ヘッド本体２ａから第２流路部材６を除いた状態の平面図である。図３および図４は、図２（ｂ）の拡大平面図である。図５（ａ）は、図４のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、図５（ｂ）は、ヘッド本体２の、第１共通流路２０の開口２０ａ付近における、第１共通流路２０に沿った部分縦断面図である。図６は、図４のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。
【００２３】
各図は、図面を分かり易くするために次のように描いている。図２〜４では、他のものの下方にあって破線で描くべき流路などを実線で描いている。図２（ａ）では、第１流路部材４内の流路については、ほとんど省略し、加圧室１０の配置のみを示している。図３および図４では、第１共通流路２０は、加圧室面４−１側の壁面の位置を示してある。
【００２４】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、金属製の筐体や、ドライバＩＣ、配線基板などを含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、支持部材である第１流路部材４と、第１流路部材４に液体を供給する第２流路部材６と、加圧部である変位素子５０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板４０とを含んでいる。ヘッド本体２ａは、一方方向に長い平板形状を有しており、その方向を長手方向と言うことがある。
【００２５】
ヘッド本体２ａを構成する第１流路部材４は、平板状の形状を有しており、その厚さは０．５〜２ｍｍ程度である。第１流路部材４の第１の主面である加圧室面４−１には、加圧室１０が平面方向に多数並んで配置されている。第１流路部材４の第２の主面である吐出孔面４−２には、液体が吐出される吐出孔８が平面方向に多数並んで配置されている。吐出孔８は、それぞれ加圧室１０と繋がっている。以下において、加圧室面４−１は、吐出孔面４−２に対して、上方に位置しているものとして説明をする。
【００２６】
第１流路部材４には、複数の第１共通流路２０および複数の第２共通流路２４が、第１方向に沿って伸びるように配置されている。また、第１共通流路２０と第２共通流路２４とは、第１方向と交差する方向である第２方向に交互に並んでいる。
【００２７】
第１共通流路２０の両側に沿って加圧室１０が並んでおり、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第１共通流路２０とその両側に並んでいる加圧室１０とは、第１個別流路１２を介して繋がっている。
【００２８】
第２共通流路２４の両側に沿って加圧室１０が並んでおり、片側１列ずつ、合計２列の加圧室列１１Ａを構成している。第１統合流路２２とその両側に並んでいる加圧室１０とは、個別排出流路である第２個別流路１４を介して繋がっている。
【００２９】
別の表現をすれば、加圧室１０は仮想線上に並んで配置されており、仮想線の一方の側に沿って第１共通流路２０が伸びており、仮想線の他方の側に沿って第２共通流路２４が伸びている。ヘッド本体２では、加圧室１０が並んでいる仮想線は直線状であるが、曲線状や折れ線状であってもよい。
【００３０】
以上のような構成により、第１流路部材４においては、第２共通流路２４に供給された液体は、第２共通流路２４に沿って並んでいる加圧室１０に流れ込み、一部の液体は吐出孔８から吐出され、他の一部の液体は、加圧室１０に対して第２共通流路２４と反対側に位置している第１共通流路２０に流れ込み、第１流路部材４から外部に排出される。
【００３１】
第１共通流路２０の両側に第２共通流路２４が、第２共通流路２４の両側に第１共通流路２０が配置されていることにより、１つの加圧室列１１Ａに対して、１つの第１共通流路２０および１つの第２共通流路２４が繋がっており、別の加圧室列１１Ａに対して、別の第１共通流路２０および別の第２共通流路２４が繋がっている場合と比較して、第１共通流路２０および第２共通流路２４の数を約半分位にできるので好ましい。第１共通流路２０および第２共通流路２４の数が少なくて済む分、加圧室１０の数を増やして高解像度化したり、第１共通流路２０や第２共通流路２４を太くして、吐出孔８からの吐出特性の差を小さくしたり、ヘッド本体２ａの平面方向の大きさを小さくすることができる。
【００３２】
第１共通流路２０に繋がっている第１個別流路１２の第１共通流路２０側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第１共通流路２０内の第１個別流路１２の位置により変わる。第２共通流路２４に繋がっている第２個別流路１４側の部分に加わる圧力は、圧力損失の影響で、第２共通流路２４内の第２個別流路１４の位置により変わる。第１共通流路２０の外部への開口２０ａを第１方向の一方の端部に配置し、第２共通流路２４の外部への開口２４ａを第１方向の他方の端部に配置すれば、各第１個別流路１２および各第２個別流路１４の配置による圧力の差が打ち消されるように作用し、各吐出孔８に加わる圧力の差を小さくできる。なお、第１共通流路２０の開口２０ａ、および第２共通流路２４の開口２４ａはともに、加圧室面４−１に開口している。
【００３３】
吐出しない状態では、吐出孔８には液体のメニスカスが保持されている。吐出孔８において液体の圧力が負圧（液体を第１流路部材４に引き込もうとする状態）になっていることで、液体の表面張力とつり合ってメニスカスが保持できる。正圧が大きくなれば、液体はあふれ出し、負圧が大きくなれば、液体が第１流路部材４内に引き込まれてしまい、液体が吐出可能な状態を維持できない。そのため、第２共通流路２４から第１共通流路２０に液体を流した際における、吐出孔８での液体の圧力の差が大きくなり過ぎないようにする必要がある。
【００３４】
第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の壁面は、ダンパ２８となっている。ダンパ２８の一方の面は、第１共通流路２０に面しており、他方の面はダンパ室２９に面している。ダンパ室２９があることにより、ダンパ２８は変形可能になっており、変形することで第１共通流路２０の体積を変えることができる。液体を吐出させるために加圧室１０内の液体が加圧されると、その圧力の一部は、第１共通流路２０に、液体を通じて伝わってくる。これにより、第１共通流路２０内の液体が振動し、その振動が、元の加圧室１０や、他の加圧室１０に伝わって、液体の吐出特性を変動させる、流体クロストークが生じることがある。ダンパ２８が存在すると、第１共通流路２０に伝わってきた液体の振動でダンパ２８が振動し、さらにそれ減衰することで、第１共通流路２０内の液体の振動は持続され難くなるので、流体クロストークの影響を小さくできる。
【００３５】
加圧室１０は、加圧室面４−１に面して配置されており、変位素子５０からの圧力を受
ける加圧室本体１０ａと、加圧室本体１０ａの下から吐出孔面４−２に開口している吐出孔８に繋がる部分流路であるディセンダ１０ｂとを含んだ中空の領域である。加圧室本体１０ａは、直円柱形状であり、平面形状は円形状である。平面形状が円形状であることにより変位素子５０が同じ力で変形させた場合の変位量、および変位により生じる加圧室１０の体積変化を大きくできる。ディセンダ１０ｂは、直径が加圧室本体１０ａより小さい、概略円柱形状の形状であり、断面形状は円形状である。また、ディセンダ１０ｂは、加圧室面４−１から見たときに、加圧室本体１０ａ内に納まる位置に配置されている。ディセンダ１０ｂは、吐出孔面４−２側で断面積が小さくなっている。これにより、第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の幅を大きくでき、その部分に配置されているダンパ２８の効果を高くできる。これらについては、後で詳述する。
【００３６】
複数ある加圧室１０は、第１方向に沿った複数の加圧室列１１Ａを構成しているとともに、第１方向と交差する方向である第２方向に沿った複数の加圧室行１１Ｂを構成している。各吐出孔８は、対応する加圧室１０の中心に位置している。複数ある吐出孔８も、加圧室１と同様に、第１方向に沿った複数の吐出孔列９Ａを構成しているとともに、第２方向に沿った複数の吐出孔行９Ｂを構成している。
【００３７】
本実施形態では、第１共通流路２０は５０本、第２共通流路２４は５１本であり、加圧室列１１Ａおよび吐出孔列９Ａは１００列ある。１つの加圧室列１１Ａには、１６個の加圧室１０が含まれており、１つの吐出孔列９Ａには、１６個の吐出孔８が含まれている。つまり、加圧室行１１Ｂは１６行あり、吐出孔行９Ｂも１６行ある。
【００３８】
なお、隣り合う加圧室列１１Ａにおいて、加圧室１０を第１方向にずらして千鳥状に配置すれば、隣り合う加圧室列１１Ａに属する加圧室１０の距離を大きくできるので好ましい。その場合、加圧室行１１Ｂは３２行になり、吐出孔行９Ｂも３２行になる。
【００３９】
第１方向と第２方向（ヘッド本体２ａの長手方向）とが成す角度は直角からずれている。このため、第１方向に沿って配置されている吐出孔列９Ａに属する吐出孔８同士は、その直角からのずれた角度の分、第２方向にずれて配置される。そして、吐出孔列９Ａが第２方向に並んで配置されるので、異なる吐出孔列９Ａに属する吐出孔８は、その分、第２方向にずれて配置される。これらが合わさって、第１流路部材４の吐出孔８は、第２方向に一定間隔で並んで配置されており、これにより、吐出した液体により形成される画素で所定の範囲を埋めるように印刷ができる。
【００４０】
図３において、吐出孔８を第２方向と直交する方向に投影すると、仮想直線Ｒの範囲に３２個の吐出孔８が投影され、仮想直線Ｒ内で各吐出孔８は３６０ｄｐｉの間隔に並ぶ。これにより、仮想直線Ｒに直交する方向に印刷用紙Ｐを搬送して印刷すれば、３６０ｄｐｉの解像度で印刷できる。仮想直線Ｒ内に投影される吐出孔８は、１列の吐出孔列９Ａに属する吐出孔８すべて（１６個）と、その吐出孔列９Ａの両隣に位置する２つの吐出孔列９Ａに属する吐出孔８半分（８個）ずつである。各吐出孔行９Ｂでは、吐出孔８は、２２．５ｄｐｉの間隔で並んでいる。
【００４１】
１つの吐出孔列９Ａに属する吐出孔８の配置は、第１方向に沿って完全に一直線上に配置すれば、上述のように所定範囲を埋め尽くすように印刷が可能である。ただし、そのように配置した場合に、プリンタ１に液体吐出ヘッド２を設置する際に生じる第２方向と搬送方向とのずれにより、印刷精度に与える影響が大きくなる。そのため、上述の一直線上の吐出孔８の配置から、隣り合う吐出孔列９Ａの間で、吐出孔８を入れ替えて配置するのが好ましい。本実施形態では、吐出孔８を４個の組にして入れ替えている。そのため、１つの吐出孔列９Ａにおいて、第１方向の一端側から４つの吐出孔８が、一直線上に配置されており、続く８個の吐出孔８が先の４つの吐出孔８が並んでいる直線とはずれた別の一
直線上に配置されており、続く４個の吐出孔８が先の８つの吐出孔８が並んでいる直線とはずれた別の一直線上に配置されている。
【００４２】
第１共通流路２０および第２共通流路２４は、吐出孔８が直線上に並んでいる範囲では、直線になっており、直線がずれる吐出孔８の間で平行にずれている。このずれる箇所が、第１共通流路２０および第２共通流路２４において、少ないので流路抵抗が小さくなっている。また、この平行にずれる部分は、加圧室１０と重ならない位置に配置されているので、加圧室１０毎に吐出特性の変動を小さくできる。
【００４３】
第２方向の両端に位置する加圧室列１１Ｂに属する加圧室１０は、ダミー加圧室である。ダミー加圧室に対する、第２方向の端側には第１共通流路２０もしくは第２共通流路２４が設けられる。配置される流路は、ダミー加圧室に対して第２方向の中央側に配置されているのが第２共通流路２４であれば、第１共通流路２０となり、ダミー加圧室に対して第２方向の中央側に配置されているのが第１共通流路２０であれば、第２共通流路２４となる。ダミー加圧室も、通常の加圧室１０と同様に、第１個別流路１２を介して第１共通流路２０と繋がっており、第２個別流路１４を介して第２共通流路２４と繋がっている。
【００４４】
第２方向の端に位置する共通流路（第１共通流路２０および第１共通排出流路２４のどちらであっても）は、供給もしくは回収する加圧室列１１Ａが１列になり、そのためその１列の加圧室列１１Ａに属する加圧室１０からの液体の吐出特性が、他の加圧室１０からの液体の吐出特性に対して変動するおそれがある。そこでその加圧室列１１Ａに属する加圧室１０は、印刷に使わないダミー加圧室とする。ダミー加圧室は、基本的な形状は通常の加圧室１０と同じであり、吐出孔面４−２側に吐出孔８を配置しなくてもよいし、してもよい。
【００４５】
上述のように、第２方向の両端に位置する加圧室列１１Ａに属する加圧室１０をダミー加圧室とすれば、第２方向の両端から２番目に位置する加圧室列１１Ａに属する加圧室１０に液体を供給する第２共通流路２４が他の通常の第２共通流路２４と同様に、２列の加圧室列１１Ａに液体を供給するものになり、第２方向の両端から２番目に位置する加圧室列１１Ａに属する加圧室１０の液体を回収する第１共通流路２０が他の通常の第１共通流路２０と同様に、２列の加圧室列１１Ａの液体を回収するものになるので、吐出特性の差が生じ難くなる。
【００４６】
第２方向の端から２番目に位置する吐出孔列９Ａに属する吐出孔８のうち、第２方向の端に近い８個の吐出孔８は、第２方向の間隔が３６０ｄｐｉとなっていないので、その位置には吐出孔８を設けず、対応する位置にある加圧室１０をダミー加圧室としてもよい。
【００４７】
第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１に接合されており、第２共通流路２４に液体を供給する第２統合流路２６と、第１共通流路２０の液体を回収する第１統合流路２２とを有している。第２流路部材６の厚さは、第１流路部材４よりも厚く、５〜３０ｍｍ程度である。
【００４８】
第２流路部材６は、第１流路部材４の加圧室面４−１の圧電アクチュエータ基板４０が接続されていない領域で接合されている。より具体的には、圧電アクチュエータ基板４０を囲むように接合されている。このようにすることで、圧電アクチュエータ基板４０に、吐出した液体の一部がミストとなって付着するのを抑制できる。また、第１流路部材４を外周で固定することになるので、第１流路部材４が変位素子５０の駆動にともなって振動し、共振などが生じるのを抑制できる。
【００４９】
また、第２流路部材６の中央部で、貫通孔６ｃが上下に貫通している。貫通孔６ｃは、
圧電アクチュエータ基板４０を駆動する駆動信号を伝達するＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの配線部材が通される。なお、貫通孔６ｃの第１流路部材４側は、短手方向の幅が広くなっている拡幅部６ｃａとなっており、圧電アクチュエータ基板４０から短手方向の両側に伸びる配線部材は、拡幅部６ｃａで曲げられて上方に向かい、貫通孔６を抜ける。なお、拡幅部６ｃａに広がる部分の凸部は、配線部材を傷つけるおそれがあるので、Ｒ形状にしておくのが好ましい。
【００５０】
第１統合流路２２を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第１統合流路２２の断面積を大きくすることができ、それにより第１統合流路２２と第１共通流路２０とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第１統合流路２２の流路抵抗（より正確には第１統合流路２２のうちで、第１共通流路２０と繋がっている範囲の流路抵抗）は、第１共通流路２０の１／１００以下にするのが好ましい。
【００５１】
第２統合流路２６を、第１流路部材４とは別の、第１流路部材４より厚い第２流路部材６に配置することで、第２統合流路２６の断面積を大きくすることができ、それにより第２統合流路２６と第２共通流路２４とが繋がっている位置の差による圧力損失の差を小さくできる。第２統合流路２６の流路抵抗（より正確には第２統合流路２６のうちで、第１統合流路２２と繋がっている範囲の流路抵抗）は、第２共通流路２４の１／１００以下にするのが好ましい。
【００５２】
第１統合流路２２を第２流路部材６の短手方向の一方の端に配置し、第２統合流路２６を第２流路部材６の短手方向の他方の端に配置し、それぞれの流路を第１流路部材４側に向かわせて、それぞれ第１共通流路２０および第２共通流路２４と繋げる構造にする。このようにすることで、第１統合流路２２および第２統合流路２６の断面積を大きく（つまり流路抵抗を小さく）できるともに、第２流路部材６で、第１流路部材４の外周を固定して剛性を高くし、さらに、配線部材の通る貫通孔６ｃを設けることができる。
【００５３】
第２流路部材６は、第２流路部材のプレート６ａと６ｂとが積層されて構成されている。プレート６ｂの上面には、第１統合流路２２のうち第２方向に伸びている流路抵抗の低い部分である第１統合流路本体２２ａとなる溝と、第２統合流路２６のうち第２方向に伸びている流路抵抗の低い部分である第２統合流路本体２６ａとなる溝が配置されている。
【００５４】
第１統合流路本体２２ａとなる溝から、下方（第１流路部材４の方向）に向かって複数の第１接続流路２２ｂが伸びており、加圧室面４−１上に開口している第１共通流路の開口２０ａに繋がっている。各第１接続流路２２ｂの間は仕切り６ｂａで区切られている（つまり、第１接続流路２２ｂの第１共通流路２０側は分岐している）。これにより、第２流路部材６と第１流路部材４との接続の剛性を高くできる。さらに、第２方向において、仕切り６ｂａの長さは、第１接続流路２２ｂの長さより長くなっていることで、第２流路部材６と第１流路部材４との接続の剛性をより高くできる。
【００５５】
第２統合流路本体２６ａとなる溝から、下方（第１流路部材４の方向）に向かって複数の第２接続流路２６ｂが伸びており、加圧室面４−１上に開口している第２共通流路の開口２４ａに繋がっている。各第２接続流路２６ｂの間は仕切り６ｂｂで区切られている（つまり、第２接続流路２６ｂの第２共通流路２４側は分岐している）。これにより、第２流路部材６と第１流路部材４との接続の剛性を高くできる。さらに、第２方向において、仕切り６ｂｂの長さは、第２接続流路２６ｂの長さより長くなっていることで、第２流路部材６と第１流路部材４との接続の剛性をより高くできる。
【００５６】
プレート６ａには、第１統合流路２２の第２の方向の両端それぞれに開口２２ｃ、２２
ｄが設けられている。プレート６ａには、第２統合流路２６の第２の方向の両端それぞれに開口２６ｃ、２６ｄが設けられている。液体の入っていない液体吐出ヘッド２に液体を供給するとき、第２統合流路２６内の液体が外部に排出され易いように、一方の開口（例えば開口２６ｃ）から液体を供給し、第１流路部材４に液体を供給するとともに、空気および溢れた液体を他の開口（例えば２６ｄ）から排出することで、第１流路部材４に気体が入り込み難くできる。第１統合流路２２についても同様に、一方の開口（例えば開口２２ｃ）から供給し、他方の開口（例えば開口２２ｄ）から排出するようにすればよい。
【００５７】
印刷をする場合の、液体の供給および回収にはいくつかの方法がある。一つは、第２統合流路２６に供給した液体のすべてが、第１流路部材４に入り、さらに第１統合流路２２入って外部に排出される。この際、第１統合流路２２へは、外部からの液体は供給されない。この場合さらに、２つの開口２６ｃ、２６ｄから液体を供給し、２つの開口２２ｃ、２２ｄから回収する方法と、開口２６ｃ、２６ｄのどちらか一方から液体を供給し、他方は閉じておき、開口２２ｃ、２２ｄのどちらか一方から液体を回収し、他方は閉じておく方法がある。どちらの開口を用いるかは組み合わせ可能なので、合計４通りの方法があることになる。圧力損失による圧力の差を小さくするには、２つの開口から供給し、２つの開口から回収するのが好ましいが、液体を給排するチューブの接続や、圧力の制御が煩雑になる。１つの開口から供給し、１つの開口から回収すると、接続や圧力の制御が簡単になる。その場合、供給と回収は、第２方向に関して反対側の位置にある開口を組にして行なえば、圧力損失の影響が相殺するようになるので好ましい。具体的には、開口２６ｃから供給し開口２２ｄから回収する、あるいは開口２６ｄから供給し開口２２ｃから回収するようにすればよい。
【００５８】
給排の他の方法は、第２統合流路２６の一方の開口（例えば２６ｃ）から液体を供給し、他方の開口（例えば２６ｄ）から回収し、第１統合流路２２の一方の開口（例えば２２ｄ）から液体を供給し、他方の開口（例えば２２ｃ）から回収する。それぞれの給排の圧力を調節して、第２統合流路２６の圧力が、第１統合流路２２の圧力より高くなるようにすれば、第１流路部材４に液体が流れるようになる。このようにすると、各吐出孔８のメニスカスに加わる圧力の差は、ここまで説明した方法の中ではもっとも小さくなる。
【００５９】
上述の方法を組み合わせて、第２統合流路２６に対して給排を行なって、第１統合流路２２からは回収だけにしてもよい。逆に、第２統合流路２６に対しては供給だけを行ない、第１統合流路２２には給排を行なってもよい。
【００６０】
またさらに、以上で説明した供給と回収の関係を逆にしてもよい。例えば、第１統合流路２２の開口２２ｄは閉じて、開口２２ｃから液体を供給し、第２排出流路２６の開口２２ｃは閉じて、開口２６ｄから液体を回収してもよい。
【００６１】
第１統合流路２２および第２統合流路２６には、ダンパを設けて、液体の吐出量の変動に対して液体の供給、あるいは排出が安定するようにしてもよい。また、第１統合流路２２および第２統合流路２６内に、フィルタを設けることにより、異物や気泡が、第１流路部材４に入り込み難くしてもよい。
【００６２】
第１流路部材４の上面である加圧室面４−１には、変位素子５０を含む圧電アクチュエータ基板４０が接合されており、各変位素子５０が加圧室１０上に位置するように配置されている。圧電アクチュエータ基板４０は、加圧室１０によって形成された加圧室群とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の加圧室面４−１に圧電アクチュエータ基板４０が接合されることで閉塞される。圧電アクチュエータ基板４０は、ヘッド本体２ａと同じ方向に長い長方形状である。また、圧電アクチュエータ基板４０には、各変位素子５０に信号を供給するためのＦＰＣなどの信号伝達部が
接続されている。第２流路部材６には、中央で、上下に貫通している貫通孔６ｃがあり、信号伝達部は貫通孔６ｃを通って制御部８８と電気的に繋がれる。信号伝達部は、圧電アクチュエータ基板４０の一方の長辺の端から他方の長辺の端に向かうように短手方向に伸びる形状にし、信号伝達部に配置される配線が短手方向に沿って伸び、長手方向に並ぶようにすれば、配線間の距離をとりやすくなり、好ましい。
【００６３】
圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極４４がそれぞれ配置されている。
【００６４】
流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、上カバープレート４ｂ、マニホールドプレート４ｃ〜ｆ、下カバープレート４ｇ、カバースペースプレート４ｈおよびノズルプレート４ｉである。これらのプレートには多数の孔や溝が形成されている。孔や溝は、例えば、各プレートを金属で作製し、エッチングで形成できる。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。マニホールドプレート４ｃ〜ｆの中には、同じ形状のプレートがあり、それらは１枚のプレートで構成してもよいが、孔を精度よく形成するため、４枚のプレートで構成している。各プレートは、これらの孔が互いに連通して第１共通流路２０などの流路を構成するように、位置合わせして積層されている。
【００６５】
平板状の流路部材４の加圧室面４−１には、加圧室本体１０ａが開口しており、圧電アクチュエータ基板４０が接合されている。また、加圧室面４−１には、第２共通流路２４に液体を供給する開口２４ａ、および第１共通流路２０から液体を回収する開口２０ａが開口している。流路部材４の、加圧室面４−１と反対側の面である吐出孔面４−２には吐出孔８が開口している。なお、加圧室面４−１にさらにプレートを積層して、加圧室本体１０ａの開口を塞ぎ、その上に圧電アクチュエータ基板４０を接合してもよい。そのようにすれば、吐出する液体が圧電アクチュエータ基板４０の信頼性に影響を与えるものの場合に、信頼性をより高くできる。
【００６６】
液体を吐出する構造としては、加圧室１０と吐出孔８とがある。加圧室１０は、変位素子５０に面している加圧室本体１０ａと、加圧室本体１０ａより断面積が小さいディセンダ１０ｂから成っている。加圧室本体１０ａは、キャビティプレート４ａに形成されており、ディセンダ１０ｂは、プレート４ｂ〜ｈに形成された孔が重ねられ、さらにノズルプレート４ｉで（吐出孔８以外の部分を）塞がれて成っている。
【００６７】
加圧室本体１０ａには、第１個別流路１２が繋がっており、第１個別流路１２は、第１共通流路２０に繋がっている。第１個別流路１２は上カバープレート４ｂを貫通する円形状の孔であり、液体は上下方向に流れる。第１共通流路２０はプレート４ｃ〜ｆに形成された孔が重ねられ、さらに上側を上カバープレート４ｂで、下側を下カバープレート４ｇで塞がれて成っている。
【００６８】
ディセンダ１０ｂには、第２個別流路１４が繋がっており、第２個別流路１４は、第２共通流路２４に繋がっている。第２個別流路１４は下カバープレート４ｇを貫通している貫通溝であり、液体は溝に沿って流れる。第２共通流路２４はプレート４ｃ〜ｇに形成された孔が重ねられ、さらに上側を上カバープレート４ｂで、下側をカバースペースプレート４ｈで塞がれて成っている。
【００６９】
液体の流れについて、まとめると、第２統合流路２６に供給された液体は、第２共通流路２４および第２個別流路１４を順に通って加圧室１０に入り、一部の液体は吐出孔８から吐出される。吐出されなかった液体は、第１個別流路１２を通って、第１共通流路２０
に入った後、第１統合流路２２に入り、ヘッド本体２の外部に排出される。
【００７０】
圧電アクチュエータ基板４０は、圧電体である２枚の圧電セラミック層４０ａ、４０ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。すなわち、圧電アクチュエータ基板４０の圧電セラミック層４０ａの上面から圧電セラミック層４０ｂの下面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂの厚さの比は、３：７〜７：３、好ましく４：６〜６：４にされる。圧電セラミック層４０ａ、４０ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層４０ａ、４０ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系などのセラミックス材料からなる。
【００７１】
圧電アクチュエータ基板４０は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極４２およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極４４を有している。共通電極４２の厚さは２μｍ程度であり、個別電極４４の厚さは、１μｍ程度である。
【００７２】
個別電極４４は、圧電アクチュエータ基板４０の上面における各加圧室１０に対向する位置に、それぞれ配置されている。個別電極４４は、平面形状が加圧室本体１０ａより一回り小さく、加圧室本体１０ａとほぼ相似な形状を有している個別電極本体４４ａと、個別電極本体４４ａから引き出されている引出電極４４ｂとを含んでいる。引出電極４４ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極４６が形成されている。接続電極４６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極４６は、信号伝達部に設けられた電極と電気的に接合されている。
【００７３】
また、圧電アクチュエータ基板４０の上面には、共通電極用表面電極（不図示）が形成されている。共通電極用表面電極と共通電極４２とは、圧電セラミック層４０ａに配置された、図示しない貫通導体を通じて、電気的に接続されている。
【００７４】
詳細は後述するが、個別電極４４には、制御部８８から信号伝達部を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００７５】
共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極４２は、圧電アクチュエータ基板４０に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極４２は、圧電セラミック層４０ａ上に個別電極４４からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極に、圧電セラミック層４０ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極は、複数の個別電極４４と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
【００７６】
圧電セラミック層４０ａの個別電極４４と共通電極４２とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極４４に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子５０となっている。より具体的には、個別電極４４を共通電極４２と異なる電位にして圧電セラミック層４０ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極４４を共通電極４２に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層４０ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層４０ｂは電界の影響を受けないた
め、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層４０ａと圧電セラミック層４０ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層４０ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００７７】
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極４４に供給される駆動信号により、変位素子５０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
【００７８】
あらかじめ個別電極４４を共通電極４２より高い電位（以下、高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極４４を共通電極４２と一旦同じ電位（以下、低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極４４が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層４０ａ、４０ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極４４を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
【００７９】
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極４４に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、加圧室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。加圧室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、加圧室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、圧電アクチュエータ基板４０の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
【００８０】
本実施形態では、第１共通流路２０および第２共通流路２４（以下で、両者を合わせて共通流路と呼ぶことがある）は、ヘッド本体２ａのほぼ短手方向に沿って伸びている。このようにすることで、共通流路をヘッド本体２ａの長手方向に沿って伸ばすようにした場合と比較して、流路抵抗による圧力損失により生じる、吐出孔８間の圧力差を小さくでき、メニスカスを破壊せずに液体を循環させやすくできる。一方、共通流路を短手方向に伸ばして配置すると、１本の共通流路により給排される加圧室１０の数は、相対的に少なくなり、共通流路に流れる液体の量も、相対的に少なくなる。また、共通流路の数も増える。そのため、共通流路を長手方向に伸ばして配置する場合として比較して、共通流路の幅（断面積）は小さくされることになる。
【００８１】
ダンパ２８は、共通流路に面して設けられるが、側壁に配置するとヘッド本体２ａが平面的に大きくなるので、共通流路の上面あるいは下面に配置するのが好ましい。特に、第１流路部材４をプレート積層で作製する場合、共通流路の上面あるいは下面に配置すれば、ダンパ２８を形成し易くなる。
【００８２】
共通流路の上面側には加圧室１０が比較的広い面積で広がっている。そのため、ダンパ２８を共通流路の上面に配置しようとすると、加圧室１０を避けるようにダンパ２８を配置することで制約の大きくなる設計をするか、プレートの積層数を増やして加圧室１０を避ける必要性を小さくする代わりに、製造コストが高くなる設計をする必要がある。いずれもあまり好ましくないため、ダンパ２８を配置するのは、共通流路の上面よりも共通流路の下面が好ましい。なお、ダンパ２８は、共通流路の下面および上面の両方に配置して
もよい。
【００８３】
ダンパ２８は面積が大きい方が、効果が大きくなるので、共通流路の下面全体が、ダンパ２８となるように、ダンパ室２９を配置する。具体的には、ダンパ室２９は、共通流路の幅と同じかそれ以上の幅とし、共通流路の長手方向に関しては、少なくとも加圧室１０に繋がっている流路の開口が存在する範囲にわたってダンパ室２９を配置する。
【００８４】
ダンパ２８は、変形による体積変化が大きいほど効果が高くなる。共通流路は、一方方向に長い形状をしているため、体積変化の量に対しては、共通流路の幅の影響が大きい。そのため、本発明では、次のようにしてダンパ２８の幅を大きくすることで、ダンパ２８の体積変化を大きくして、ダンパ効果を高くする。なお、上述したように、ヘッド本体２ａの短手方向に伸びる共通流路は、幅が狭く設計され、ダンパ２８の効果が小さくなるので、本発明は、そのような場合に特に有効である。
【００８５】
図６を使って、発明の詳細を説明する。図６は、図４のＸ−Ｘ線に沿った部分縦断面図である。これは、第１共通流路２０および第２共通流路２４が伸びている方向である第１方向に直交する方向に沿った縦断面である。なお、図５（ａ）と図６では、各所の寸法が異なって見えるが、これは、図５（ａ）が、図４の示した屈曲したＶ−Ｖ線に沿った断面図であることによるものである。
【００８６】
加圧室１０の一部であるディセンダ１０ｂは、加圧室面４−１側に配置されている円柱状のディセンダ上部１０ｂａと、吐出孔面４−２側に配置されている円柱状のディセンダ下部１０ｂｂとから成っている。ディセンダ下部１０ｂｂの直径は、ディセンダ上部１０ｂａの直径よりも小さくなっている。また、ディセンダ下部１０ｂｂの中心（面積重心）は、ディセンダ上部１０ｂａの中心（面積重心）よりも第２共通流路２４側に配置されており、ディセンダ下部１０ｂｂの第２共通流路２４側の壁面と、ディセンダ上部１０ｂａの第２共通流路２４側の壁面とは、第２共通流路２４からの距離が同じ位置になっている。
【００８７】
なお、ディセンダ上部１０ｂａおよびディセンダ下部１０ｂｂの形状は、吐出孔８の存在する方向に向かって断面積の小さくなる円錐形状や台形円錐形状であってもよい。また、断面形状も正方形などの多角形状であってもよい。
【００８８】
ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側における第１共通流路２０側の壁面の位置ＰＴは、ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側における第１共通流路２０側の壁面の位置ＰＢよりも第１共通流路２０側に配置されている。逆に言えば、第１共通流路２０に対して、位置ＰＢは、位置ＰＴよりも遠い位置にある。これにより、第１共通流路２０は、加圧室面４−１側の幅がＷ１Ｔ［μｍ］（以下で単位は省略することがある）であるのに対して、吐出孔面４−２側の幅をＷ１Ｂ［μｍ］と、Ｗ１Ｔよりも大きくできる。そして、ダンパ２８の幅は、Ｗ１Ｔよりも大きくできるので、ダンパ２８の効果を高くできる。
【００８９】
第１共通流路２０は、プレート４ｃ〜ｆに開いた孔と、上側を塞ぐプレート４ｂの下面と、下側を塞ぐプレート４ｇの上面とで構成されている。プレート４ｃ〜ｅの孔の平面形状は、幅がＷ１Ｔの長方形状であり、３枚のプレートが重なって第２共通流路上部２０ｂを構成している。プレート４ｆの孔の平面形状は、幅がＷ１Ｂの長方形状であり、第２共通流路下部２０ｃを構成している。第２共通流路下部２０ｃは、第２共通流路上部２０ｂより幅の広い幅広部となっており、第２共通流路上部２０ｂは幅狭部となっている。また、ダンパ室２９は、プレート４ｇの下面を窪ませた部分と、プレート４ｈの上面を窪ませた部分とが組み合わせて構成されている。それぞれの窪みの平面形状は、幅がＷ１Ｂとほぼ同じ長方形状である。すなわち、ダンパ室２９は、第１共通流路２０の長手方向にわた
って、第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の幅Ｗ１Ｂと同じ幅で形成されている。それぞれの窪みは、プレート４ｇ、ｈをハーフエッチィングすることなどで形成できる。
【００９０】
なお、第１共通流路２０の長手方向において、ディセンダ１０ｂや、ディセンダ１０ｂから繋がっている第２個別流路１４などがない部分では、第１共通流路２０、およびダンパ室２９の幅をＷ１Ｂよりさらに広げてもよい。そのようにすれば、ダンパ２８の効果をさらに高くできる。
【００９１】
なお、第１共通流路２０の加圧室面４−１側の幅とは、より詳細には、第１共通流路２０の加圧室面４−１側の面である上面の幅のことであり、第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の幅とは、より詳細には、第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の面である下面の幅のことである。また、ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側における第１共通流路２０側の壁面の位置ＰＴとは、より詳細には、第１共通流路２０の加圧室面４−１側の面である上面と同じ高さから下に向かうディセンダ１０ｂの壁面の位置のことであり、ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側における第１共通流路２０側の壁面の位置ＰＢとは、より詳細には、第１共通流路２０の吐出孔面４−２側の面である下面と同じ高さから上に向かうディセンダ１０ｂの壁面の位置のことである。
【００９２】
壁面の位置ＰＴを、壁面の位置ＰＢよりの第１共通流路２０側にするには、例えば、次にようにする。ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の断面積ＳＢ［μｍ２］を、ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側の断面積ＳＴ［μｍ２］よりも小さくする。ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の断面の面積重心を、ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側の面積重心よりも、第２共通流路２４側に配置する。ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の断面の形状を、ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側の断面の形状と比較して、第１共通流路２０の幅方向に小さくする。これについては、例えば、ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の断面の形状を、第１共通流路２０の長手方向に大きくすることで、ディセンダ１０ｂの断面積を変えないようにすることもできる。以上の方法は、組み合わせて用いることもできる。
【００９３】
ダンパ２８の幅を広くするだけであれば、ディセンダ１０ｂ全体の断面積を小さくすることでも可能であるが、次のような影響があり、好ましくない。１つは、ディセンダ１０ｂ全体の断面積を小さくすると、液体の吐出量の減少や、吐出速度が低下することである。もう１つは、加圧室１０全体の固有振動周期が長くなり、ＡＬが長くなることである。ＡＬが長くなると、それにほぼ比例して駆動信号が長くなるため、駆動信号を送る周期の逆数である駆動周波数を高くできにくくなり、高速印刷に対応し難くなる。また、液体を複数回に分けて吐出して１つの画素を形成する場合、駆動信号の長さが、ＡＬにほぼ比例して長くなり、各液体が吐出される時間の間隔が長くなるため、液体が１つの画素にまとまり難くなる。これらの影響が生じ難くなるように、ディセンダ１０ｂの加圧室面４−１側の断面積ＳＴは変えずに、ディセンダ１０ｂの吐出孔面４−２側の断面積ＳＢを小さくするのが好ましい。ＳＢは、ＳＴの３／４以下、さらに１／２以下にするのが好ましい。ただし、上述の吐出量減少、吐出速度低下、ＡＬ値増加の影響が大きくならないように、ＳＢはＳＴの１／８以上、さらに１／４以上にするのが好ましい。断面積がＳＢと小さくなっているディセンダ下部１０ｂｂの長さは、ディセンダ１０ｂ全体の長さの１／２、さらに１／４以下であるのが好ましい。
【００９４】
ヘッド本体２ａでは、第１共通流路２０に下面にダンパ２８が設けられている。このような構成は、第１共通流路２０と加圧室１０とを繋いでいる第１個別流路１２の流路抵抗が、第２共通流路２４と加圧室１０とを繋いでいる第２個別流路１４の流路抵抗よりも小さい場合に特に有効である。そのような構成では、変位素子５０により加えられた圧力は、第２共通流路２４よりも、第１共通流路２０に多く漏れ出すことになるので、その多く
漏れ出した第１共通流路２０側で圧力をダンピングすることで、流体クロストークを抑制できる。
【００９５】
後述するように、第２共通流路２４の下面にもダンパを設けてよいが、低い流路抵抗で繋がっている方の共通流路である第１共通流路２０の下面の幅Ｗ１Ｂを、上述の構成により第１共通流路２０の上面の幅Ｗ１Ｔよりも大きくするとともに、高い流路抵抗で繋がっている方の共通流路である第２共通流路２４の幅Ｗ２よりも大きくすることで、ディセンダ下部１０ｂｂの形状を変えることによるダンピグ効果が、より有効になる。
【００９６】
なお、第１個別流路１２の流路抵抗と第２個別流路１４の流路抵抗を同程度にすると、液体を循環させた場合の各吐出孔８に生じる圧力の差が大きくなる。そのため、それらの流路抵抗は、２倍以上異なる値にして、値が低い側の共通流路に、上述のように拡幅したダンパ２８を配置するのが好ましい。
【００９７】
ヘッド本体２ａでは、第１共通流路２０から繋がっている第１個別流路１２は、加圧室本体１０ａに繋がっており、第２共通流路２４から繋がっている第２個別流路１４は、ディセンダ１０ｂに繋がっている。つまり、加圧室１０において、第２共通流路２４は、第１共通流路２０より吐出孔８側で繋がっている。このようにすれば、加圧室１０内を、循環する液体が通り抜けることで、液体中の固形分の沈降など生じることを抑制できる。第２共通流路２４が（第２個別流路１４介して）繋がる加圧室１０の部位を、ディセンダ下部１０ｂｂ、すなわちディセンダ１０ｂの断面積の小さくなっている部分にすれば、ディセンダ下部１０ｂｂを含めて液体の循環が行なわれることになる。そのようにすれば、吐出孔８近くの部位であるディセンダ下部１０ｂｂを流れる液体の流速は、ディセンダ下部１０ｂｂの断面積が小さいことにより速くなり、沈降等がより生じ難くできるので好ましい。
【００９８】
続いて、本発明の他の実施形態について説明する。図７、図８、および図９は、それぞれ、本発明の他の実施形態のヘッド本体１０２ａ、２０２ａ、３０２ａの部分縦断面図である。ヘッド本体１０２ａ、２０２ａ、３０２ａの基本的な構成は、図２〜５で示したヘッド本体２ａとほぼ同じであり、差異の少ない部分については、同じ符号を付けて説明を省略する。なお、図７、図８、および図９は、図６と同様の部分の部分縦断面図である。
【００９９】
図７のヘッド本体１０２ａでは、加圧室１１０の一部であるディセンダ１１０ｂは、加圧室面４−１側に配置されている円柱状のディセンダ上部１１０ｂａと、吐出孔面４−２側に配置されている円柱状のディセンダ下部１１０ｂｂとから成っている。ディセンダ下部１１０ｂｂの直径は、ディセンダ上部１１０ｂａの直径よりも小さくなっている。また、ディセンダ下部１１０ｂｂの中心（面積重心）は、ディセンダ上部１１０ｂａの中心（面積重心）よりも第１共通流路１２０側に配置されており、ディセンダ下部１１０ｂｂの第１共通流路１２０側の壁面と、ディセンダ上部１１０ｂａの第１共通流路１２０側の壁面とは、第１共通流路１２０からの距離が同じ位置になっている。
【０１００】
これにより、ディセンダ１１０ｂの加圧室面４−１側における第２共通流路１２４側の壁面の位置は、ディセンダ１１０ｂの吐出孔面４−２側における第２共通流路１２４側の壁面の位置より第２共通流路１２４側に配置されている。逆に言えば、第２共通流路１２４に対して、ディセンダ１１０ｂの吐出孔面４−２側における第２共通流路１２４側の壁面は、ディセンダ１１０ｂの加圧室面４−１側における第２共通流路１２４側の壁面よりも遠い位置にある。これにより、第２共通流路１２４は、加圧室面４−１側の幅がＷ２Ｔ［μｍ］であるのに対して、吐出孔面４−２側の幅をＷ２Ｂ［μｍ］と、Ｗ２Ｔよりも大きくできる。そして、ダンパ１２８の幅は、Ｗ２Ｔよりも大きくできるので、ダンパ１２８の効果を高くできる。ダンパ室１２９は、第２共通流路１２４の長手方向にわたって、
第２共通流路１２４の吐出孔面４−２側の幅Ｗ２Ｂと同じ幅で形成されている。
【０１０１】
ヘッド本体１０２ａにおいても、ヘッド本体２ａの場合と同様に、次のようにすることで、ダンパ１２８の幅を広くして、ダンパ効果を高くできる。ディセンダ１１０ｂの吐出孔面４−２側の断面積ＳＢ［μｍ２］を、ディセンダ１１０ｂの加圧室面４−１側の断面積ＳＴ［μｍ２］よりも小さくする。ディセンダ１１０ｂの吐出孔面４−２側の断面の面積重心を、ディセンダ１１０ｂの加圧室面４−１側の面積重心よりも、第１共通流路１２０側に配置する。ディセンダ１１０ｂの吐出孔面４−２側の断面の形状を、ディセンダ１１０ｂの加圧室面４−１側の断面の形状と比較して、第１共通流路１２０の幅方向に小さくする。以上の方法は、組み合わせて用いることもできる。
【０１０２】
なお、第２共通流路２４の吐出孔面４−２側の幅を大きくし、ダンパ１２８の幅を大きくする上述のような構成は、第２個別流路１４の流路抵抗が、第１個別流路１２の流路抵抗よりも低い場合に、より有効である。
【０１０３】
図８のヘッド本体２０２ａでは、加圧室２１０の一部であるディセンダ２１０ｂは、加圧室面４−１側に配置されている円柱状のディセンダ上部２１０ｂａと、吐出孔面４−２側に配置されている円柱状のディセンダ下部２１０ｂｂとから成っている。ディセンダ下部２１０ｂｂの直径は、ディセンダ上部２１０ｂａの直径と実質的に同じである。また、ディセンダ下部２１０ｂｂの中心（面積重心）は、ディセンダ上部２１０ｂａの中心（面積重心）よりも第１共通流路２２０側に配置されている。また、ディセンダ１０ｂをこのように配置するために、第１共通流路２２０の吐出孔面４−２側の幅は、第１共通流路２２０の加圧室面４−１側の幅よりも狭くなっている。つまり、第１共通流路２２０の吐出孔面４−２側における第２共通流路２２４側の壁面が、第２共通流路２４よりも遠い位置に配置されている。
【０１０４】
このような構成にすることで、ディセンダ２１０ｂの断面積をほぼ一定（ディセンダ上部２１０ｂａとディセンダ下部２１０ｂｂとの境界の極短い距離の間では断面積が狭くなる）の形状で、第２共通流路２２４の吐出孔面４−２側の幅を、第２共通流路２２４の加圧室面４−１側の幅よりの広くでき、ダンパ２２８の幅も広くできる。
【０１０５】
また、ヘッド本体２０２ａでは、第１共通流路２２０の下面がダンパ３２８となっており、ダンパ３２８の下面がダンパ室３２９となっている。ダンパ３２８の幅はダンパ２２８の幅よりも狭くなっているので、ダンパ３２８よりは効果が低くなるが、ダンパ効果が得られる。
【０１０６】
また、吐出孔８は、ディセンダ上部２１０ｂａの中心ではなく、ディセンダ下部２１０ｂｂの中心に位置している。このようにすることで、液体の吐出量を大くし、吐出速度を速くできる。また、製造上のばらつきで、吐出孔８とディセンダ下部２１０ｂｂとの位置がずれた場合の影響が吐出特性に影響し難くなる。
【０１０７】
図９のヘッド本体３０２ａでは、加圧室３１０の一部であるディセンダ３１０ｂは、加圧室面４−１側に配置されている円柱状のディセンダ上部３１０ｂａと、吐出孔面４−２側に配置されている円柱状のディセンダ下部３１０ｂｂと、それらの間にある円柱状のディセンダ中間部から成っている。ディセンダ下部３１０ｂｂの直径は、ディセンダ上部３１０ｂａの直径より小さくなっている。ディセンダ中間部の直径は、ディセンダ下部３１０ｂｂの直径と、ディセンダ上部３１０ｂａの直径との間の値である。また、ディセンダ下部２１０ｂｂの中心（面積重心）は、ディセンダ上部２１０ｂａの中心（面積重心）よりも第１共通流路２２０側に配置されている。ディセンダ中間部の中心（面積重心）は、ディセンダ下部３１０ｂｂの中心（面積重心）と、ディセンダ上部３１０ｂａの中心（面
積重心）との間の位置である。
【０１０８】
ディセンダ３１０ｂの吐出孔面４−２側における第１共通流路２２０側の壁の位置が、ディセンダ３１０ｂの加圧室面４−１側における第１共通流路２２０側の壁の位置よりも第１共通流路２２０側に配置されており、さらに、ディセンダ３１０ｂの吐出孔面４−２側の断面積が、ディセンダ３１０ｂの加圧室面４−１側の断面積よりも小さくなっている。これらが合わさることで、ヘッド本体３０２ａでは、第２共通流路３２４の加圧室面４−１側の幅は、第２共通流路３２４の吐出孔面４−２側の幅に対して、より大きくできる。具体的には、このような構成により、ヘッド本体３０２ａのダンパ４２８の幅は、ヘッド本体２０２ａのダンパ２２８の幅よりも広くすることができる。
【符号の説明】
【０１０９】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・（第１）流路部材
４ａ〜ｇ
４−１・・・加圧室面
４−２・・・吐出孔面
６・・・第２流路部材
６ａ、６ｂ・・・（第２流路部材の）プレート
６ｂａ、６ｂｂ・・・仕切り
６ｃ・・・（第２流路部材の）貫通孔
６ｃ−２・・・貫通孔の拡幅部
８・・・吐出孔
９Ａ・・・吐出孔列
９Ｂ・・・吐出孔行
１０、１１０、２１０、３１０・・・加圧室
１０ａ、１１０ａ、２１０ａ、３１０ａ・・・加圧室本体
１０ｂ、１１０ｂ、２１０ｂ、３１０ｂ・・・部分流路（ディセンダ）
１０ｂａ、１１０ｂａ、２１０ｂａ、３１０ｂａ・・・部分流路（ディセンダ）上部
１０ｂｂ、１１０ｂｂ、２１０ｂｂ、３１０ｂｂ・・・部分流路（ディセンダ）下部
１１Ａ・・・加圧室列
１１Ｂ・・・加圧室行
１２・・・第１個別流路
１４・・・第２個別流路
２０、１２０、２２０・・・第１共通流路
２０ａ・・・（第１共通流路）開口
２０ｂ、２２０ｄ・・・第１共通流路上部
２０ｃ、２２０ｃ・・・第１共通流路下部
２２・・・第１統合流路
２２ａ・・・第１統合流路本体
２２ｂ・・・第１接続流路
２２ｃ、２２ｄ・・・（第１統合流路の）開口
２４、１２４、２２４、３２４・・・第２共通流路
２４ａ・・・（第２共通流路の）開口
１２４ｂ、２２４ｂ、３２４ｂ・・・第２共通流路上部
１２４ｃ、２２４ｃ、３２４ｃ・・・第２共通流路下部
２６・・・第２統合流路
２６ａ・・・第２統合流路本体
２６ｂ・・・第２接続流路
２６ｃ、２６ｄ・・・（第２統合流路の）開口
２８、１２８、２２８、３２８、４２８・・・ダンパ
２９、１２９、２２９、３２９、４２９・・・ダンパ室
４０・・・圧電アクチュエータ基板
４０ａ・・・圧電セラミック層
４０ｂ・・・圧電セラミック層（振動板）
４２・・・共通電極
４４・・・個別電極
４４ａ・・・個別電極本体
４４ｂ・・・引出電極
４６・・・接続電極
５０・・・変位素子（加圧部）
６０・・・信号伝達部
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙
【図１】
0006336842.tif 000002
【図２】
0006336842.tif 000003
【図３】
0006336842.tif 000004
【図４】
0006336842.tif 000005
【図５】
0006336842.tif 000006
【図６】
0006336842.tif 000007
【図７】
0006336842.tif 000008
【図８】
0006336842.tif 000009
【図９】
0006336842.tif 000010