(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ガスの入口と出口を有す筒形ケースと該筒形ケースの出口側に後盤を平面突合せとＶ形カット部の埋め溶接および内外面の溶接痕を除去する仕上げ研磨にて接続し、且つ該筒形ケースの前盤をボルト止めする前の開放された入口側より出口側に嵌入する誘導孔多設の主板からなる脚付の誘導部材を該筒形ケースの内径に当て嵌まる四角形の大きさにして且つ縦横いずれかの一辺を他辺より僅かに長くして、該筒形ケースに傾斜嵌め入れと傾斜嵌め入れの終盤の押し均らしにより該誘導部材の長尺辺を該筒形ケースの内面に強く押し当てしてずれ動き，揺動，震動等が生じないように固定することを特徴とする筒形ケミカルフィルターケースの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は窒素ガス，圧縮エアー，ドライエアーなどの供給ガスの供給路中に設置する筒形ケミカルフィルターケースであって、供給ガスの入口と出口を直列に有す筒形ケース内にケミカル物質を高度に浄化するフィルター材を充填して、該供給ガスを筒形ケース内を通すことでケミカル物質を除去して、ケミカル物質を含まないきれいな供給ガスを必要とする部署に供給するようにした供給ガスの筒形ケミカルフィルターケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路、液晶パネル等の製造装置などは塵埃などを除去し浄化したクリーンガスを供給されるクリーンルーム内に設置されているが、通常のエアフィルターでは除去することができないケミカル物質を含むときは、露光装置，検査装置等のレンズ，ミラーにくもり現象が現れるため、ケミカル物質を除去する特殊なフィルター材を内装したケミカルフィルターケースを供給路中に設置してケミカル物質を除去している。そしてケミカルフィルターケースは溶接個所より溶接滓などの四散を完全に解消することが求められている。
【０００３】
このケミカルフィルターケースとして、例えば特許文献１に記載されているように筒形ケースの入口側の前盤と出口側の後盤を開閉クランプを被せてネジ止めする構造のもの、このクランプネジ止めよりも構造を簡易に接続するものとして筒形ケースと後盤を凹凸の噛み合わせと噛み合わせ部を外側から溶接により接続し、入口側の前盤をネジ嵌め付けするようにしたものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１０２６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、筒形ケースと後盤を凹凸の噛み合わせにて溶接する接続は図７に示すように噛み合わせを容易にするために雄側の凸部に先細のテーパーをつけることで筒形ケースとテーパー面との間で隙間Ｓが生じ、この隙間Ｓに溶接滓，擦り滓，塵埃等が溜まり、これが四散するという課題がある。また溶接個所に溶接痕が残るときも同様に溶接滓が四散して供給ガスを汚損するという課題があった。
【０００６】
また、筒形ケースは入口より広がって流れる供給ガスを出口に寄せて流出させるために脚付の誘導部材を嵌め付けているが、嵌め付けを容易にするために該部材を筒形ケースより小径に形成していることから、筒形ケース内でずれ動き，搖動，震動などが生じて耳ざわりな騒音を発生しているという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、筒形ケースと後盤を平面突合わせ形とし、この突合せ部に外広のＶ形カット部を設けて、これを埋める溶接とおよび内外面の溶接痕を除去する仕上げ研磨にて接続するようにして、筒形ケース内に凹凸の嵌合によって生じていた隙間の発生と溶接痕を解消し，また出口側に嵌め付ける供給ガスの脚付の誘導部材を筒形ケース内に動かないように強固に固定して、該部材のずれ動き，震動等による騒音の発生を解消するようにして課題を解決する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のケミカルフィルターケースは、筒形ケースの出口側と後盤を平面突合わせ形にしてＶ形カット部の埋め溶接と仕上げ研磨にて接続するようにしたので、大小径いずれの筒形ケースも後盤との間の接続部分に隙間が生ずることと溶接痕が一切なくなり、隙間と溶接痕の存在によって生じていた溶接滓，擦り傷，塵埃等の四散を完全になくすことができるという効果を生ずる。
【０００９】
脚付の誘導部材を筒形ケース内に動かないように強固に固定するので、誘導部材のずれ動き，震動などによって生じていた耳ざわりな騒音を解消するという効果を生ずる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】筒形ケースと前盤および後盤を組付け前の状態にて示す正面図
【図２】（ａ）は後盤の短環と筒形ケースの突合わせ前の状態、（ｂ）は同、Ｖ形カット部を溶接した状態を示す部分断面図、（ｃ）は同、内外の溶接痕を仕上げ研磨して接続した状態を示す部分断面図
【図３】脚付の誘導部材の１例を筒形ケースへの嵌め入れ前の状態にて示す斜視図
【図４】（ａ）乃至（ｄ）は脚付の誘導部材の筒形ケース内への嵌め入れと押し当て付け固定する過程を示す説明図
【図５】筒形ケース内にケミカルフィルター材を充填し、前盤をボルト取付けした状態を示す断面図
【図６】クリーンルーム内での設置例を示す説明図
【図７】従来例図を示す断面図
【符号の説明】
【００１１】
１は筒形ケース
２は後盤
２ａは円盤
２ｂは供給ガスの出口孔
２ｃは筒部
２ｄは短環
３は前盤
３ａは円盤
３ｂは供給ガスの入口孔
３ｃは筒部
３ｄは供給ガスの拡散部材
４はＶ形カット部
５ａはボルト
５ｂはナット
６は脚付の誘導部材
６ａは主板
６ｂは脚
６ｃは誘導孔
７はクリーンルーム
８は供給ガスを供給する装置
Ｓは隙間
Ｗは溶接部
Ｗ１，Ｗ２は平滑面
Ｆはフィルター材
Ｙは誘導空間
Ｋは供給ガス
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明は、筒形ケースの出口側端と後盤間を隙間が生じない平面突合わせ形にしてそこに形成する外広のＶ形カット部の埋め溶接と溶接痕を取除く仕上げ研磨とにて接続して、筒形ケースの内面に従来生じていた隙間Ｓと溶接痕を解消し、溶接滓等の隙間溜まりと溶接痕への付着四散を完全に生じないようにする。
また、脚付の誘導部材は筒形ケースに当て嵌まる大きさの平面視四角形にして且つ縦横いずれかの一辺を僅かに長くするとともに四周等に設ける嵌付け脚の１本に外開き傾斜を附して形成して、該外開き傾斜脚側を前傾して筒形ケース内に嵌め付け、終盤の押し均しにより誘導部材を筒形ケースの内壁に強く押し当て付けして固定して動かないようにしてずれ動き，震動等による騒音を一切生じないようにする。
【実施例１】
【００１３】
図１に示すように、ステンレス鋼にて入口と出口を直列の両端に有す筒形ケース１と出口側に接続する後盤２と入口側に接続する前盤３を個別に形成する。
後盤２は筒形ケース１の径より大きい円盤２ａの中心に供給ガスの出口孔２ｂを設けた小筒部２ｃを外側に向けて設け、円盤２ａの内側に筒形ケース１に平面突合せする同径の短環２ｄを設けている。筒形ケース１と短環２ｄは同径によって突合わされ、図２に示すように外周に大きく深いＶ形カット部４を設けて、Ｖ形カット部４を埋める溶接Ｗをして両者を接続し、内外面の溶接痕を仕上げ研磨にて削り落として平滑面Ｗ１、Ｗ２にする。
【００１４】
前盤３は図１から明らかなように円盤３ａの中心に供給ガスＫの入口孔３ｂを設けた筒部３ｃを外側に突出し、円盤３ａと筒形ケース１端のフランジ１ａとの間で取外し自在においてボルト５ａ・ナット５ｂ止め取付けする。３ｄは供給ガスＫを筒体ケース１内に拡散させるカップ形をした多孔の拡散部材であって、円盤３ａの内面中心に溶接する。
【００１５】
図３は同質製の脚付の誘導部材６を示し、筒形ケース１に当て嵌まる大きさの角取り四角形をして且つ縦横いずれかの一辺を１ｍｍ以下にて僅かに長くした主板６ａと、その四周に４本の嵌付け脚６ｂを設け、僅かに長くした側の嵌付け脚の１本を外側に開き傾斜させて対面する脚を内側に閉じ傾斜させて形成している。なお主板６ａは誘導孔６ｃを多数設けている。
【００１６】
脚付の誘導部材６は図４（ａ）乃至（ｄ）に示すように、前盤３をボルト５ａ止めする前、即ち筒形ケース１の入口を開放した状態下において外側に開き傾斜した嵌付け脚６ｂ側を前傾させて且つ他側の嵌め付け脚６ｂを内側に弾性曲げして筒形ケース１内に入口側から嵌め入れるのである。傾斜させることによって嵌入することができる嵌め入れの最終段階で図４（ｃ）に示すように先行の嵌付け脚６ｂが後盤２に当接した時点で主板６ａの後端側を押棒などにて押して図４（ｄ）に示すように主板６ａを斜め状態から平らに押し均しする。その過程で主板６ａの長尺側は筒形ケース１の内壁に強よく押し当たり固定することとなる。主板６ａの強よい押し当たりにて脚付の誘導部材６は筒形ケース１を倒すなどして動かしても一切動かないものとなる。弾性曲げしていた後側の嵌付け脚６ｂは元形に復帰する。
【００１７】
次いで筒形ケース１内に入口側から図５に示す特殊な繊維からなる高精度のケミカルフィルター材Ｆを誘導部材６に接面するまで充填する。出口前には供給ガスＫの誘導空間Ｙが形成される。充填後に前盤３をボルト５ａ・ナット５ｂ止めして筒形ケース１を閉じ、図６に示すように入口側の短筒３ｃを例えばクリーンルーム７内の窒素ガス，圧縮エアーなどの供給路に接続し、出口側の筒部２ｃをクリーンガスを必要とする露光装置，検査装置８などに供給する供給路に接続するのである。
【００１８】
筒形ケース１内に入る供給ガスＫは拡散部材３ｄによって筒形ケース１内に広く広がって流れ、誘導部材６によって誘導空間Ｙ内に寄せられて出口より流出することとなる。
このようにして供給される供給ガスＫはフィルター材Ｆによって窒素ガスまたは圧縮エアー，ドライエアーなどの供給ガスＫに混在する塩化水素，硫化水素，ＳＯｘ，ＮＯｘ，フッ素等の酸性物質，アンモニア，アミン等のアルカリ物質，ボロン，リン等のドーパント物質，ＤＰＯなどのシロキサンフタレート類，ＢＨＴ，ＨＭＤＳ，ＴＭＳ等の有機物質などのケミカル汚染物質を吸着し、分子汚染物を精度高く除去するので、露光装置・検査装置などのレンズ・ミラーのくもりの防止、露光装置内の循環部内の汚染防止，基盤表面の薄膜密着不良等を防止して、製造歩留り・製品の品質の向上，光学部品・フォトマスク等の汚染防止に効果を奏すこととなる。
【００１９】
本発明の筒形ケミカルフィルターケースは後盤との間の接続部分の内側に生じていた隙間をなくしたので溶接滓等の溜まりがなく、さらに仕上げ研磨にて溶接痕も削り取って平滑にするので溶接痕より溶接滓等の四散も防止されることになる。特にケミカルフィルター材によってケミカル物質を含まない高精度に清浄された供給ガスにして各種装置に供給することができることとなる。また脚付の誘導部材は筒形ケース内に強く押し当たり固定することで、ずれ動き，搖動，震動などが全く生じないので耳ざわりな騒音の発生を解消することとなる。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
本発明の筒形ケミカルフィルターケースは、ケミカル物質を高精度に除去した供給ガスを必要とする各種の製造装置等に設備負担なく供給し得ることで広く利用されるものである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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