(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有する基板と、
前記基板の主面上の前記開口周りに、めっき成長で設けられたコイルと、
前記基板の主面上の前記開口周りに設けられ、前記コイルの巻回部が間に介在する複数の樹脂壁を有する樹脂体と、
磁性粉含有樹脂からなり、前記基板の主面の前記コイルと前記樹脂体とを一体的に覆う被覆樹脂と
を備え、
前記樹脂壁の高さが、前記コイルの巻回部の高さと同じまたは前記コイルの巻回部の高さより高く、かつ、前記樹脂壁が前記コイルの巻回部の上側に回り込んでおらず、
前記基板の主面上に複数並んだ樹脂壁のうち、最外に位置する樹脂壁および最内に位置する樹脂壁の厚さが、前記最外に位置する樹脂壁と前記最内に位置する樹脂壁との間に位置する樹脂壁の厚さより厚い、コイル部品。
【請求項２】
前記樹脂体の樹脂壁の高さが前記コイルの巻回部の高さより高い、請求項１に記載のコイル部品。
【請求項３】
前記樹脂体の樹脂壁の断面形状が矩形状である請求項１または２に記載のコイル部品。
【請求項４】
前記樹脂体の樹脂壁のアスペクト比が１より大きく、該樹脂壁が前記基板の主面の法線方向に沿って長く延びている請求項３に記載のコイル部品。
【請求項５】
前記コイルの巻回部の断面形状が矩形状である請求項１〜４のいずれか一項に記載のコイル部品。
【請求項６】
前記コイルの巻回部の断面はアスペクト比が１より大きく、該巻回部の断面が前記基板の主面の法線方向に沿って長く延びている請求項５に記載のコイル部品。
【請求項７】
前記コイルの巻回部の上面に接するように設けられた絶縁体をさらに備える請求項１〜６のいずれか一項に記載のコイル部品。
【請求項８】
前記樹脂体の樹脂壁は、幅が５〜３０μｍの範囲であり、かつ、高さが５０〜３００μｍの範囲である請求項１〜７のいずれか一項に記載のコイル部品。
【請求項９】
開口を有し、複数の樹脂壁を有する樹脂体が主面上の前記開口周りに設けられた基板を準備する工程と、
前記複数の樹脂壁を有する前記樹脂体が設けられた前記基板の主面上の前記開口周りに、前記樹脂壁の間にコイルの巻回部が介在するように、前記コイルをめっき成長させる工程と、
磁性粉含有樹脂からなる被覆樹脂で、前記基板の主面の前記コイルと前記樹脂体とを一体的に覆う工程と
を含み、
前記樹脂壁の高さが、前記コイルの巻回部の高さと同じまたは前記コイルの巻回部の高さより高く、かつ、前記樹脂壁が前記コイルの巻回部の上側に回り込んでおらず、
前記基板の主面上に複数並んだ樹脂壁のうち、最外に位置する樹脂壁および最内に位置する樹脂壁の厚さが、前記最外に位置する樹脂壁と前記最内に位置する樹脂壁との間に位置する樹脂壁の厚さより厚い、コイル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイル部品およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装型の平面コイル素子等のコイル部品が、民生用機器、産業用機器等の電気製品に幅広く利用されている。中でも小型携帯機器においては、機能の充実化に伴い、各々のデバイスを駆動させるために単一の電源から複数の電圧を得る必要が生じてきている。そこで、このような電源用途等にも表面実装型の平面コイル素子が使用されている。
【０００３】
このようなコイル部品は、たとえば、下記特許文献１〜３に開示されている。これらの文献に開示されたコイル部品は、基板の表裏面にそれぞれ平面渦巻き状の空芯コイルが設けられ、空芯コイルの磁芯部分において基板を貫くように設けられたスルーホール導体により空芯コイル同士が接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１０７１６号公報
【特許文献２】特開２０１２−０８９７６５号公報
【特許文献３】特開２０１３−２０１３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した空芯コイルは、基板上に設けられたシードパターンにＣｕなどの導体材料をめっき成長させることで形成されるが、めっき成長した後にコイルの外周面全体を絶縁樹脂で一体的に覆うとともに、絶縁樹脂を硬化させる。絶縁樹脂は、先に基板上に形成されたコイルの寸法形状に応じた寸法形状になるため、コイルが適切に形成されていないとき等は、設計どおりの寸法形状にならない虞がある。
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、コイル間の樹脂の寸法精度の安定化が図られたコイル部品およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一側面に係るコイル部品は、基板と、基板の主面上に、めっき成長で設けられたコイルと、基板の主面上に設けられ、コイルの巻回部が間に介在する複数の樹脂壁を有する樹脂体と、磁性粉含有樹脂からなり、基板の主面のコイルと樹脂体とを一体的に覆う被覆樹脂とを備え、樹脂壁の高さが、コイルの巻回部の高さと同じまたはコイルの巻回部の高さより高く、かつ、樹脂壁がコイルの巻回部の上側に回り込んでいない。
【０００８】
このようなコイル部品においては、樹脂体の樹脂壁の間に介在するように、コイルの巻回部がめっき成長されている。すなわち、被覆樹脂でコイルを覆う前に、コイルの巻回部間にはすでに樹脂壁が介在している。そのため、コイルの巻回部間に樹脂を別途に充填する必要はなく、樹脂壁によりコイルの巻回部間の樹脂の寸法精度の安定化が図られる。
【０００９】
また、樹脂体の樹脂壁の高さがコイルの巻回部の高さより高い態様であってもよい。この場合、巻回部は、高さ方向にわたって設計寸法どおりの厚さとなり得る。また、巻回部同士が樹脂壁を越えて接する事態が有意に回避される。
【００１０】
また、樹脂体の樹脂壁の断面形状が矩形状である態様であってもよい。このとき、樹脂体の樹脂壁のアスペクト比が１より大きく、該樹脂壁が基板の主面の法線方向に沿って長く延びている態様であってもよい。
【００１１】
また、コイルの巻回部の断面形状が矩形状である態様であってもよい。このとき、コイルの巻回部の断面はアスペクト比が１より大きく、該巻回部の断面が基板の主面の法線方向に沿って長く延びている態様であってもよい。
【００１２】
また、コイルの巻回部の上面に接するように設けられた絶縁体をさらに備える態様であってもよい。
【００１３】
また、基板の主面上に複数並んだ樹脂壁のうち、最外に位置する樹脂壁の厚さが内側に位置する樹脂壁の厚さより厚い態様であってもよい。
【００１４】
また、樹脂体の樹脂壁は、幅が５〜３０μｍの範囲であり、かつ、高さが５０〜３００μｍの範囲である態様であってもよい。
【００１５】
本発明の一側面に係るコイル部品は、複数の樹脂壁を有する樹脂体が主面上に設けられた基板を準備する工程と、基板の主面上に、樹脂壁の間に巻回部が非接着状態で介在するように、コイルをめっき成長させる工程と、磁性粉含有樹脂からなる被覆樹脂で、基板の主面のコイルと樹脂体とを一体的に覆う工程とを含む。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、コイル間の樹脂の寸法精度の安定化が図られたコイル部品およびその製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るコイル部品の概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示すコイル部品の製造に用いられる基板を示した斜視図である。
【図３】図３は、図２に示した基板のシードパターンを示した平面図である。
【図４】図４は、図１に示すコイル部品の製造方法の一工程を示した斜視図である。
【図５】図５は、図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図６は、コイルの巻回部上に設けられる絶縁体を示した断面図である。
【図７】図７は、図１に示すコイル部品の製造方法の一工程を示した斜視図である。
【図８】図８は、図１に示すコイル部品の製造方法の一工程を示した斜視図である。
【図９】図９は、従来技術においてコイルをめっき成長させたときの様子を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１９】
まず、本発明の実施形態に係るコイル部品の構造について、図１〜４を参照しつつ説明する。説明の便宜上、図示のようにＸＹＺ座標を設定する。すなわち、平面コイル素子の厚さ方向をＺ方向、外部端子電極の対面方向をＹ方向、Ｚ方向とＹ方向とに直交する方向をＸ方向と設定する。
【００２０】
コイル部品１は、略直方体形状を呈する本体部１０と、本体部１０の対向する一対の端面を覆うようにして設けられた一対の外部端子電極３０Ａ、３０Ｂとによって構成されている。コイル部品１は、一例として、長辺２．０ｍｍ、短辺１．６ｍｍ、高さ０．９ｍｍの寸法で設計される。
【００２１】
以下では、本体部１０を作製する手順を示しつつ、併せて、コイル部品１の構造についても説明する。
【００２２】
本体部１０は、図２に示す基板１１を含んでいる。基板１１は、非磁性の絶縁材料で構成された平板矩形状の部材である。基板１１の中央部分には、主面１１ａ、１１ｂ間を繋ぐように貫通された略円形の開口１２が設けられている。基板１１としては、ガラスクロスにシアネート樹脂（ＢＴ（ビスマレイミド・トリアジン）レジン：登録商標）が含浸された基板で、板厚６０μｍのものを用いることができる。なお、ＢＴレジンのほか、ポリイミド、アラミド等を用いることもできる。基板１１の材料としては、セラミックやガラスを用いることもできる。基板１１の材料としては、大量生産されているプリント基板材料が好ましく、特にＢＴプリント基板、ＦＲ４プリント基板、あるいはＦＲ５プリント基板に用いられる樹脂材料が最も好ましい。
【００２３】
基板１１には、図３に示すように、それぞれの主面１１ａ、１１ｂに、後述するコイル１３をめっき成長させるためのシードパターン１３Ａが形成されている。シードパターン１３Ａは、基板１１の開口１２の周りを回る螺旋パターン１４Ａと、基板１１のＹ方向に関する端部に形成された端部パターン１５Ａとを有し、これらのパターン１４Ａ、１５Ａが連続的かつ一体的に形成されている。なお、一方の主面１１ａ側に設けられるコイル１３と他方の主面１１ｂ側に設けられるコイル１３とでは電極引き出し方向が逆であり、そのため、一方の主面１１ａ側の端部パターン１５Ａと他方の主面１１ｂ側の端部パターンとは、基板１１のＹ方向に関する互いに異なる端部に形成されている。
【００２４】
各主面１１ａ、１１ｂには、シードパターン１３Ａに加えて、導通パターン１６が設けられている。後述するコイル１３をめっき成長させるとき、シードパターン１３Ａが形成された基板１１はウエハ状態である。すなわち、基板ウエハの表面に、複数のシードパターン１３Ａが規則的に並んだ状態である。このような状態で、複数のシードパターン１３Ａそれぞれに電圧を印加するためには、隣り合うシードパターン１３Ａ同士を電気的に接続しておく必要がある。導通パターン１６は、その電気的な接続をおこなうためのものであり、めっき成長の際には利用されるが、めっき成長後は不要となる。
【００２５】
図２に戻って、基板１１の各主面１１ａ、１１ｂ上には、樹脂体１７が設けられている。樹脂体１７は、公知のフォトリソグラフィーによってパターニングされた厚膜レジストである。樹脂体１７は、コイル１３の巻回部１４の成長領域を画定する樹脂壁１８と、コイル１３の引出電極部１５の成長領域を画定する樹脂壁１９とを有している。また、樹脂体１７は、上述した導通パターン１６上に配置され、導通パターン１６におけるめっき成長を防止するための樹脂壁２０も有している。
【００２６】
図４は、シードパターン１３Ａを用いてコイル１３をめっき成長させたときの基板１１の状態を示している。コイル１３のめっき成長には、公知のめっき成長方法を採用することができる。
【００２７】
コイル１３は、銅で構成されており、シードパターン１３Ａの螺旋パターン１４Ａ上に形成された巻回部１４と、シードパターン１３Ａの端部パターン１５Ａ上に形成された引出電極部１５とを有している。コイル１３の形状は、平面視したときに、シードパターン１３Ａの形状と略同一である。すなわち、コイル１３およびシードパターン１３Ａは、基板１１の主面１１ａ、１１ｂに平行に延在する平面渦巻き状の空芯コイルの形状となっている。より詳しくは、基板上面１１ａの巻回部１４は、上面側から見て外側に向かう方向に沿って左回転の渦巻きであり、基板下面１１ｂの巻回部１４は、下面側から見て、外側に向かう方向に沿って左回転の渦巻きである。開口１２において端部同士が接続されたこのような両面のコイル１３に一方向に電流を流したときには、両コイル１３の電流の流れる回転方向が同一となるため、コイル１３で発生する磁束が重畳して強め合う。
【００２８】
図５は、図４に示しためっき成長後の基板１１の状態を示しており、図４のＶ−Ｖ線断面図である。なお、図５では、シードパターン１３Ａの図示は省略している。
【００２９】
図５に示すように、基板１１上には、基板１１の法線方向（Ｚ方向）に沿って長く延びる矩形状断面の樹脂壁１８が形成されており、これらの樹脂壁１８の間においてコイル１３の巻回部１４がＺ方向に成長する。コイル１３の巻回部１４は、その成長領域が、めっき成長前に基板１１上に形成された樹脂壁１８によって予め画定されている。そのため、コイル１３の巻回部１４は、隣り合う２つの樹脂壁１８の間に画成された空間を充たすように成長して、樹脂壁１８の間に画成された空間と同一の形状に形成され、基板１１の法線方向（Ｚ方向）に沿って長く延びる形状となる。すなわち、樹脂壁１８の間に画成される空間の形状を調整することで、コイル１３の巻回部１４の形状が調整され、設計したとおりの形状にコイル１３の巻回部１４を形成することができる。コイル１３の巻回部１４の断面寸法は、一例として、高さ８０〜２６０μｍ、幅（厚さ）４０〜２６０μｍ、アスペクト比１〜５である。コイル１３の巻回部１４のアスペクト比は２〜５であってもよい。樹脂壁１８の断面寸法は、一例として、高さ５０〜３００μｍ、幅（厚さ）５〜３０μｍ、アスペクト比５〜３０である。樹脂壁１８の断面寸法は、高さ１８０〜３００μｍ、幅（厚さ）５〜１２μｍ、アスペクト比１５〜３０であってもよい。
【００３０】
コイル１３の巻回部１４は、隣り合う２つの樹脂壁１８の間を成長する際、成長領域を画定する樹脂壁１８の内側面に接しながら成長していく。このとき、コイル１３の巻回部１４と樹脂壁１８との間には、機械的結合も化学的結合も生じない。すなわち、コイル１３の巻回部１４は、樹脂壁１８と接着されないままめっき成長し、非接着状態で樹脂壁１８の間に介在する。本明細書において「非接着状態」とは、アンカー効果等の機械的結合および共有結合等の化学的結合が生じていない状態をいう。
【００３１】
図５に示すとおり、コイル１３の巻回部１４の高さｈは、樹脂壁１８の高さＨよりも低いこと（ｈ＜Ｈ）が好ましい。すなわち、コイル１３の巻回部１４のめっき成長が樹脂壁１８の高さＨよりも低い位置で止まるように調整することが好ましい。コイル１３の巻回部１４の高さｈが樹脂壁１８の高さＨよりも低いと、巻回部１４は高さ方向にわたって設計寸法どおりの厚さとなる。また、コイル１３の巻回部１４の高さｈが、樹脂壁１８の高さＨより高いと、隣り合う巻回部１４同士が接触するなどしてコイル１３の耐圧抵抗が低下するためである。
【００３２】
また、コイル１３の巻回部１４の厚さＤは、高さ方向にわたって均一になっている。これは、隣り合う樹脂壁１８の間隔が高さ方向にわたって均一になっているためである。
【００３３】
さらに、コイル１３の巻回部１４の頂面１４ａは、基板１１の主面１１ａに対して略平行になっている。これは、めっき成長のときに、頂面が基板１１の主面１１ａに対して平行を保ったままコイル１３の巻回部１４が成長するためである。
【００３４】
なお、各樹脂壁１８の厚さｄ１、ｄ２も、コイル１３の巻回部１４同様、高さ方向にわたって均一となっている。その結果、隣り合うコイル１３の巻回部１４の間隔が、高さ方向にわたって均一になる。すなわち、コイル１３の巻回部１４は、高さ方向に関して局所的に薄くなっている箇所（つまり、局所的に耐圧抵抗が低下している箇所）が存在しない、または存在しにくい構造となっている。
【００３５】
また、樹脂壁１８によって画成された空間は、上端が開放されており、樹脂壁１８の上端部が巻回部１４の上側を覆うように回り込んでいないため、巻回部１４の上側の設計自由度が高い。すなわち、巻回部１４の上に任意の層を形成する態様も何の層も形成しない態様も選択し得る。
【００３６】
巻回部１４の上に層を形成する場合には、各種の層形態や層材料を選択し得る。たとえば、図６に示すように、巻回部１４の上に、後述する被覆樹脂２１に含まれる金属磁性粉と巻回部１４との間の絶縁性を高めるために、絶縁体４０を設けることができる。絶縁体４０は、絶縁樹脂または絶縁磁性材料で構成することができる。また、絶縁体４０は、巻回部１４の上面１４ａに直接的または間接的に接するとともに、巻回部１４と樹脂壁１８とを一体的に覆っている。なお、絶縁体４０は、巻回部１４のみを選択的に覆う構成にすることもできる。また、巻回部１４と絶縁体４０との間の接合性を高めるために、所定の接合層（たとえば、銅めっきの黒化層）４１を設けることができる。
【００３７】
さらに、図５に示すとおり、複数の樹脂壁１８のうち、最外に位置する樹脂壁１８の厚さｄ１が内側に位置する樹脂壁１８の厚さｄ２より厚いこと（ｄ１＞ｄ２）が好ましい。この場合、コイル部品１の作製時や使用時に受けるＺ方向の圧力に対して剛性が付与される。厚さが厚い樹脂壁１８を最外位置に配置することで、この部分において主に上記圧力を受け止める。剛性の観点からは、両端に位置する樹脂壁１８の両方が、内側に位置する樹脂壁１８の厚さより厚いことが好ましい。
【００３８】
なお、上述したコイル１３のめっき成長は、基板１１の両主面１１ａ、１１ｂにおいておこなわれる。両主面１１ａ、１１ｂのコイル１３同士は、基板１１の開口においてそれぞれの端部同士が接続されて導通される。
【００３９】
基板１１上にコイル１３をめっき成長させた後、図７に示すように、基板１１は被覆樹脂２１で全体的に覆われる。すなわち、被覆樹脂２１が、基板１１の主面１１ａ、１１ｂのコイル１３と樹脂体１７とを一体的に覆う。樹脂体１７は、被覆樹脂２１内に残ったままコイル部品１の一部を構成する。被覆樹脂２１は、金属磁性粉含有樹脂からなり、ウエハ状態の基板１１の上に印刷され、その後、仮硬化されることにより形成される。そして、所定厚さまで被覆樹脂２１を研磨した後、さらに被覆樹脂２１の本硬化をおこなう。
【００４０】
被覆樹脂２１を構成する金属磁性粉含有樹脂は、金属磁性粉が分散された樹脂で構成されている。金属磁性粉は、たとえば鉄ニッケル合金（パーマロイ合金）、カルボニル鉄、アモルファス、非晶質または結晶質のＦｅＳｉＣｒ系合金、センダスト等で構成され得る。金属磁性粉含有樹脂に用いられる樹脂は、たとえば熱硬化性のエポキシ樹脂である。金属磁性粉含有樹脂に含まれる金属磁性粉の含有量は、一例として、９０〜９９ｗｔ％である。
【００４１】
さらに、ウエハ状態の基板１１を研磨等で所望の厚さにし、さらにダイシングしてチップ化することで、図８に示す本体部１０が得られる。チップ化した後、必要に応じてバレル研磨等によりエッジの面取りをおこなってもよい。
【００４２】
最後に、本体部１０の端部パターン１５Ａが露出した端面（Ｙ方向において対向する端面）に、端部パターン１５Ａと電気的に接続されるように外部端子電極３０Ａ、３０Ｂを設けることで、コイル部品１が完成する。外部端子電極３０Ａ、３０Ｂは、コイル部品を搭載する基板の回路に接続するための電極であり、複数層構造とすることができる。たとえば、外部端子電極３０Ａ、３０Ｂは、端面に樹脂電極材料を塗布した後、その樹脂電極材料に金属めっきを施すことにより形成することができる。外部端子電極３０Ａ、３０Ｂの金属めっきには、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｓｎ、Ａｕ、はんだ等を用いることができる。
【００４３】
上述したコイル部品１およびその製造方法によれば、図５で示したとおり、コイル１３がめっき成長される前に設けられた樹脂体１７の樹脂壁１８の間を延びるように、コイル１３の巻回部１４がめっき成長される。めっき成長時、コイル１３の巻回部１４の間には樹脂壁１８が介在するため、コイル１３の巻回部１４同士が互いに接触する事態が回避され、コイル１３における絶縁をより確実におこなうことができる。一方、上述した樹脂壁１８が存在しない状態で、基板１１上に巻回部１１４を成長させる場合には、図９に示すように、巻回部１１４の形状が定まらない。すなわち、巻回部１１４のめっき成長領域を画定するものが存在しないため、設計したとおりの形状になりにくい。この場合、巻回部１１４は、高さ方向に成長（縦成長）するだけでなく、基板１１の面方向にも成長（横成長）する。そして、横成長することにより、隣り合う巻回部１１４同士が接触する等してコイルの耐圧抵抗の低下を招く。特に、高さの高い巻回部１１４を成長させようとする場合には、横成長により巻回部１１４の厚さが厚くなるため、耐圧抵抗の低下がより顕著になる。
【００４４】
また、横成長することにより、隣り合う巻回部１１４同士の間隔は狭くなる。そのため、隣り合う巻回部１１４の間に、巻回部１１４の絶縁を確保するための樹脂を充填することが困難になる。もし、隣り合う巻回部１１４の間に樹脂をうまく充填できたとしても、充填の際に樹脂中に気泡が生じやすいため、必要十分な耐圧抵抗が得られない虞がある。
【００４５】
その上、高さ方向に関して、隣り合う巻回部１１４同士の間隔が異なるため、相対的に間隔が狭くなっている箇所において耐圧抵抗の低下が招かれる。
【００４６】
さらに、コイル部品１およびその製造方法によれば、複数の樹脂壁１８の間にコイル１３の巻回部１４が非接着状態で介在するため、コイル１３の巻回部１４と樹脂壁１８とが互いに対して変位可能である。そのため、コイル部品１の使用環境が高温になったときなどの周辺温度に変化があり、コイル１３の巻回部１４と樹脂壁１８との間の熱膨張係数の差に起因する応力が生じた場合であっても、コイル１３の巻回部１４と樹脂壁１８とが相対移動することでその応力が緩和される。
【００４７】
さらに、コイル部品１およびその製造方法によれば、樹脂体１７の樹脂壁１８の間に介在するように、コイル１３の巻回部１４がめっき成長されている。すなわち、被覆樹脂２１でコイル１３を覆う前に、コイル１３の巻回部１４間にはすでに樹脂壁１８が介在している。そのため、コイル１３の巻回部１４間に樹脂を別途に充填する必要はなく、樹脂壁１８によりコイル１３の巻回部１４間の樹脂の寸法精度の安定化が図られる。
【符号の説明】
【００４８】
１…コイル部品、１１…基板、１３…コイル、１４…巻回部、１７…樹脂体、１８…樹脂壁、２１…被覆樹脂、３０Ａ、３０Ｂ…外部端子電極、４０…絶縁体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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