(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の一方の面に接着面を対向させて接着シートを供給する供給手段と、
前記接着シートを押圧して前記被着体に貼付する押圧手段と、
前記接着シートの接着面にデータキャリアを貼付するデータキャリア貼付手段と、
前記被着体に貼付された前記接着シートを所定の形状に切断して貼付シートを形成する切断手段とを有し、
前記切断手段は、前記貼付シートを折り返して前記データキャリアを包み込む包み込み部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記被着体は、凹み部を備え、
前記データキャリア貼付手段は、前記凹み部に表出した前記接着シートの接着面に前記データキャリアを貼付可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記データキャリア貼付手段は、前記被着体に貼付される前の前記接着シートの接着面に前記データキャリアを貼付可能に設けられ、
前記接着シートに貼付された前記データキャリアが前記被着体の前記凹み部に配置されるように位置合わせを行う位置合わせ手段を有することを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
被着体の一方の面に接着面を対向させて接着シートを供給する工程と、
前記接着シートを押圧して前記被着体に貼付する工程と、
前記接着シートの前記接着面にデータキャリアを貼付する工程と、
前記被着体に貼付された前記接着シートを所定の形状に切断して貼付シートを形成する工程とを有し、
前記貼付シートを形成する工程は、前記貼付シートを折り返して前記データキャリアを包み込む包み込み部を形成可能であることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＲＦＩＤ(Radio Frequency Identification)やマイクロチップ等のデータキャリアを管理対象の物品（被着体）に貼付し、当該データキャリアから情報を入手して物品の処理や管理等が行われており、例えば、特許文献１では、半導体の製造工程においてデータキャリアを半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）加工用のリングフレームに貼り付けたものが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１８６２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術においては、被着体がデータキャリアを備えるためにはリングフレームが必須となる、という不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、リングフレームなどを用いずに被着体がデータキャリアを備えることができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するために、本発明は、被着体の一方の面に接着面を対向させて接着シートを供給する供給手段と、前記接着シートを押圧して前記被着体に貼付する押圧手段と、前記接着シートの接着面にデータキャリアを貼付するデータキャリア貼付手段と、
前記被着体に貼付された前記接着シートを所定の形状に切断して貼付シートを形成する切断手段とを有し、前記切断手段は、前記貼付シートを折り返して前記データキャリアを包み込む包み込み部を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置である。
【０００７】
上述したシート貼付装置において、前記被着体は、凹み部を備え、前記データキャリア貼付手段は、前記凹み部に表出した前記接着シートの接着面に前記データキャリアを貼付可能に設けられていることを特徴としてもよい。
【０００８】
上述したシート貼付装置において、前記データキャリア貼付手段は、前記被着体に貼付される前の前記接着シートの接着面に前記データキャリアを貼付可能に設けられ、前記接着シートに貼付された前記データキャリアが前記被着体の前記凹み部に配置されるように位置合わせを行う位置合わせ手段を有することを特徴としてもよい。
【０００９】
上述したシート貼付装置において、前記被着体に貼付された前記接着シートを所定の形状に切断して貼付シートを形成する切断手段を有し、前記切断手段は、前記貼付シートを折り返して前記データキャリアを包み込む包み込み部を形成可能に設けられていることを特徴としてもよい。
【００１０】
本発明の別の態様は、被着体の一方の面に接着面を対向させて接着シートを供給する工程と、前記接着シートを押圧して前記被着体に貼付する工程と、前記接着シートの前記接着面にデータキャリアを貼付する工程と、前記被着体に貼付された前記接着シートを所定の形状に切断して貼付シートを形成する工程とを有し、前記貼付シートを形成する工程は、前記貼付シートを折り返して前記データキャリアを包み込む包み込み部を形成可能であることを特徴とするシート貼付方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、接着シートにデータキャリアを貼付するので、リングフレームなどを用いずに被着体がデータキャリアを備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。
【図２】シート貼付装置の動作説明図。
【図３】シート貼付装置の動作説明図。
【図４】被着体と貼付シートとを示す平面図。
【図５】変形例を示す部分平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態に係るシート貼付装置１０を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、当該所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」が紙面に直交する手前方向であってＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１４】
図１において、シート貼付装置１０は、ウエハ等の被着体ＷＫの一方の面に接着面ＡＦを対向させて接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、被着体ＷＫに貼付される前の接着シートＡＳの接着面ＡＦにデータキャリアＤＣを貼付するデータキャリア貼付手段３０と、被着体ＷＫを支持する支持手段４０と、接着シートＡＳを押圧して被着体ＷＫに貼付する押圧手段５０と、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳを所定の形状に切断して貼付シートＳＳ（図４参照）を形成する切断手段６０とを備えて構成されている。なお、データキャリアＤＣとしては、ＲＦＩＤやマイクロチップ等を例示することができる。
【００１５】
供給手段２０は、供給側フレーム２１と、回収側フレーム２２と、回収側フレーム２２をそのスライダ２３Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ２３とを備え、供給側フレーム２１には、ロール状の接着シートＡＳを支持する支持ローラ２１Ａと、接着シートＡＳを案内するガイドローラ２１Ｂと、駆動機器としての回動モータ２１Ｃで回転駆動する駆動ローラ２１Ｄと、駆動ローラ２１Ｄとで接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ２１Ｅとが設けられ、回収側フレーム２２には、駆動機器としての回動モータ２２Ａで回転駆動する駆動ローラ２２Ｂと、接着シートＡＳから貼付シートＳＳが切り抜かれた不要シートＵＳを駆動ローラ２２Ｂとで挟み込むピンチローラ２２Ｃと、不要シートＵＳを案内するガイドローラ２２Ｄと、駆動機器としての回動モータ２２Ｅで回転駆動し不要シートＵＳを回収する回収ローラ２２Ｆとが設けられている。
【００１６】
データキャリア貼付手段３０は、振動により複数のデータキャリアＤＣを整列させて順次送り出していくパーツフィーダ３１と、駆動機器としての直動モータ３２の出力軸３２Ａに支持され、パーツフィーダ３１から送り出されたデータキャリアＤＣを１つずつ保持可能な保持部材３３と、接着シートＡＳに押圧されるデータキャリアＤＣの押圧力を受けとめる受け部材３４とを備えている。
【００１７】
支持手段４０は、凹部４１Ａが形成された外側テーブル４１と、凹部４１Ａ内に配置され、接着シートＡＳに貼付されたデータキャリアＤＣが被着体ＷＫの凹み部ＷＫ１（図４参照）としてのＶノッチに配置されるように位置合わせを行う位置合わせ手段４２と、位置合わせ手段４２に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫを吸着保持可能な支持面４３Ａを有する支持テーブル４３とを備えている。
位置合わせ手段４２は、そのスライダ４４ＡをＸ軸方向とＹ軸方向との直交２軸方向に移動可能な駆動機器としての所謂ＸＹテーブル４４と、スライダ４４Ａに支持され、その出力軸４５Ａで支持した支持テーブル４３のＺ軸方向への移動と、Ｘ−Ｙ平面内での回転とを可能にする駆動機器としての直動・回動モータ４５と、支持テーブル４３の上方に配置され、公知の被写体認識技術等により、撮像したものの位置を認識可能な撮像手段４６とを備えている。
【００１８】
押圧手段５０は、供給手段２０と兼用するリニアモータ２３のスライダ２３Ｂに支持された押圧フレーム５１と、押圧フレーム５１に支持された駆動機器としての直動モータ５２と、直動モータ５２の出力軸５２Ａに支持されたブラケット５３に回転可能に支持された押圧部材としての押圧ローラ５４とを備えている。
【００１９】
切断手段６０は、ＸＹテーブル４４と同等の図示しない駆動機器のスライダに支持された駆動機器としての単軸ロボット６１と、単軸ロボット６１のスライダ６１Ａに支持されたフレーム６２と、フレーム６２に支持された駆動機器としての回動モータ６３と、回動モータ６３の出力軸６３Ａに支持された回転アーム６４と、回転アーム６４に支持された切断部材としての切断刃６５とを備えている。なお、撮像手段４６は、回転アーム６４の下面であって、当該回転アーム６４の回転中心位置に支持されている。
【００２０】
次に、本実施形態におけるシート貼付装置１０の動作について説明する。
先ず、各部材が初期位置で待機する図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、被着体ＷＫが支持面４３Ａ上に載置されると、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該被着体ＷＫの吸着保持を開始する。
【００２１】
次に、データキャリア貼付手段３０がパーツフィーダ３１を駆動し、データキャリアＤＣを保持部材３３方向に送り出し、先頭のデータキャリアＤＣが保持部材３３に保持されると、直動モータ３２を駆動し、出力軸３２Ａを昇降させる。これにより、図２（Ａ）に示すように、保持部材３３に保持されたデータキャリアＤＣが接着面ＡＦに貼付される。
【００２２】
次に、供給手段２０が回動モータ２２Ａの回転をロックした状態で、回動モータ２１Ｃおよびリニアモータ２３を駆動し、スライダ２３Ａを図１中二点鎖線で示す位置に移動させる。これにより、図２（Ｂ）に示すように、接着面ＡＦに貼付されたデータキャリアＤＣの左右方向の中心（以下、単に「データキャリアＤＣの中心」という場合がある）を、外側テーブル４１の中心ＴＣを通るＹ軸と並行な直線ＴＣＹ上に配置する。このとき、データキャリアＤＣの中心と直線ＴＣＹとがずれていることを撮像手段４６が検知した場合、撮像手段４６の位置情報を基に、供給手段２０が回動モータ２１Ｃ、２２Ａを駆動し、または、供給手段２０が回動モータ２１Ｃおよびリニアモータ２３を駆動し、接着シートＡＳを出し戻して、データキャリアＤＣの中心を直線ＴＣＹ上に配置するようにしてもよい。
【００２３】
次いで、支持手段４０が直動・回動モータ４５を駆動し、出力軸４５Ａを回転させるとともに、撮像手段４６が被着体ＷＫの中心ＷＣと凹み部ＷＫ１の谷部ＷＫ２の位置を認識する。その後、支持手段４０がＸＹテーブル４４および直動・回動モータ４５を駆動し、撮像手段４６の位置情報を基にして、図３（Ａ）に示すように、被着体ＷＫの中心ＷＣを外側テーブル４１の中心ＴＣに一致させるとともに、谷部ＷＫ２を直線ＴＣＹ上に配置することで、凹み部ＷＫ１の下方にデータキャリアＤＣを配置する。このとき、データキャリアＤＣの位置と凹み部ＷＫ１の位置とがＹ軸方向で所定の間隔となるように、撮像手段４６の位置情報を基に、支持手段４０がＸＹテーブル４４を駆動し、図３（Ｂ）に示すように被着体ＷＫをＹ軸方向に移動させてもよい。
【００２４】
次いで、支持手段４０が直動・回動モータ４５を駆動し、出力軸４５Ａを昇降させて被着体ＷＫの上面が外側テーブル４１の上面と同一平面上に位置するように被着体ＷＫを移動させる。次に、押圧手段５０がリニアモータ２３および直動モータ５２を駆動し、押圧ローラ５４で接着シートＡＳを外側テーブル４１および被着体ＷＫに押圧した状態で、スライダ２３Ｂを図１中二点鎖線で示す位置まで移動させる。これにより、データキャリアＤＣが凹み部ＷＫ１に配置された状態で、接着シートＡＳが外側テーブル４１の上面と被着体ＷＫの上面とに貼付される。
【００２５】
その後、撮像手段４６の位置情報を基に、切断手段６０が図示しない駆動機器を駆動し、回動モータ６３の回転中心が被着体ＷＫの中心ＷＣと一致するように単軸ロボット６１を移動させる。次いで、切断手段６０が単軸ロボット６１を駆動し、スライダ６１Ａを下降させ、接着シートＡＳにおける被着体ＷＫの外縁に対応した位置に切断刃６５を突き刺した後、回動モータ６３を駆動し、その出力軸６３Ａを３６０度以上回転させることで、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付された貼付シートＳＳと不要シートＵＳとに分離する。そして、切断手段６０が単軸ロボット６１および回動モータ６３を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。
【００２６】
次に、支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段が貼付シートＳＳが貼付された被着体ＷＫを次工程に搬送する。その後、供給手段２０が回動モータ２１Ｃの回転をロックした状態で、供給手段２０および押圧手段５０がリニアモータ２３および回動モータ２２Ａ、２２Ｅを駆動し、不要シートＵＳを外側テーブル４１の上面から剥離して回収ローラ２２Ｆで回収しながら、各部材を初期位置に復帰させる。次いで、支持手段４０がＸＹテーブル４４および直動・回動モータ４５を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２７】
以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳにデータキャリアＤＣを貼付するので、リングフレームなどを用いずに被着体ＷＫがデータキャリアＤＣを備えることができる。
【００２８】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、被着体の一方の面に接着面を対向させて接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
【００２９】
供給手段２０は、剥離シート上に仮着された接着シートＡＳを繰り出し、この繰り出しの途中で剥離手段によって剥離シートを剥離して供給する構成のものでもよく、このような剥離手段は、板状部材やローラ等を採用することができる。
供給手段２０は、枚葉の接着シートＡＳを供給する構成でもよい。
【００３０】
データキャリア貼付手段３０は、楕円運動によりデータキャリアＤＣを整列させるパーツフィーダ３１を備えてもよい。
データキャリア貼付手段３０は、パーツフィーダ３１に代えて、適宜な駆動機器を組み合わせて保持部材３３にデータキャリアＤＣを保持させる構成のものを採用してもよい。
保持部材３３は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段や、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、接着剤、磁力等でデータキャリアＤＣを保持する構成でもよい。
保持部材３３は、複数のデータキャリアＤＣを保持し、それら複数のデータキャリアＤＣを接着面ＡＦに貼付してもよいし、それら複数のデータキャリアＤＣのうちの一部である１または複数を接着面ＡＦに貼付してもよい。
データキャリア貼付手段３０は、データキャリアＤＣを接着面ＡＦに貼付できればよく、例えば、パーツフィーダ３１や保持部材３３に代えて、駆動機器としての多関節ロボットやベルトコンベア等を採用してもよい。
データキャリア貼付手段３０は、被着体ＷＫに貼付された後の接着シートＡＳにデータキャリアＤＣを貼付してもよいし、被着体ＷＫに貼付されて切断手段６０で切断された後の貼付シートＳＳにデータキャリアＤＣを貼付してもよい。
【００３１】
位置合わせ手段４２は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成し、支持テーブル４３のＸＹ方向への移動と回転とが実施できる構成としてもよい。
位置合わせ手段４２は、撮像手段４６に代えて、紫外線、赤外線、レーザ光線等の光線を照射する投光手段と、その反射光を検知するＣＣＤ(Charge Coupled Device)やＣＭＯＳ(Complementary Metal Oxide Semiconductor)等の受光素子を備える受光手段とから構成される投受光型の光学センサや、反射型の光学センサを採用してもよいし、リミットスイッチや圧力センサ等の接触型のセンサを採用してもよいし、音波（超音波）センサ、磁力センサ、赤外線センサ等を採用してもよく、なんら限定されるものではない。
位置合わせ手段４２は、人が目で見て支持テーブル４３を移動させて位置合わせするようにしてもよく、その場合、撮像手段４６はあってもよいし、なくてもよい。
他の装置で被着体ＷＫを支持する場合、シート貼付装置１０において支持手段４０はなくてもよく、この場合、位置合わせ手段４２は、供給手段２０側（接着シートＡＳ）を移動させればよい。
位置合わせ手段４２は、支持テーブル４３上に被着体ＷＫが載置された後、供給手段２０が被着体ＷＫの一方の面に対向させて接着シートＡＳを供給する前に、被着体ＷＫの中心ＷＣを外側テーブル４１の中心ＴＣに一致させるとともに、谷部ＷＫ２を直線ＴＣＹ上に配置させてもよい。
位置合わせ手段４２は、撮像手段４６を切断手段６０に支持させることなく切り離して配置したり、凹部４１Ａ内に設けて、被着体ＷＫやデータキャリアＤＣを下方から位置認識するようにしたりしてもよい。
位置合わせ手段４２は、上述のように接着シートＡＳを移動させてもよいし、被着体ＷＫと接着シートＡＳとの両方を移動させてもよいし、なくてもよい。
【００３２】
押圧手段５０は、大気やガス等の気体を押圧部材とし、当該気体を吹き出して接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付してもよい。
押圧手段５０は、供給手段２０で供給された接着シートＡＳを減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持し、被着体ＷＫに押圧して貼付する構成でもよい。
押圧手段５０は、押圧部材を停止させておき、被着体ＷＫを移動させてもよいし、押圧部材と被着体ＷＫとの両方を移動させて接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付してもよい。
【００３３】
切断手段６０は、図５（Ａ）に示すように、折り返されることで、凹み部ＷＫ１内でデータキャリアＤＣを包み込むことが可能な包み込み部ＡＳ１を備えた貼付シートＳＳを形成するように接着シートＡＳを切断してもよい。このような包み込み部ＡＳ１は、凹み部ＷＫ１の形状に合わせて被着体ＷＫの外縁から三角形状に突出した凸部により構成され、折り返されることで貼付シートＳＳの接着面ＡＦ同士が接着するようになっている。これにより、データキャリアＤＣが脱落することを防止することができる上、被着体ＷＫに所定の処理を施す過程で当該データキャリアＤＣが水や薬品に侵されることも防止することができる。
切断手段６０は、図５（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫの外縁から四角形状に突出した凸部により構成され、折り返されることで、データキャリアＤＣを包み込むことが可能な包み込み部ＡＳ２を備えた貼付シートＳＳを形成するように接着シートＡＳを切断してもよい。このような包み込み部ＡＳ２も、上記包み込み部ＡＳ１と同様の効果を得ることができる。
切断手段６０が被着体ＷＫの外縁から突出した凸部を形成するように接着シートＡＳを切断する場合、被着体ＷＫに凹み部ＷＫ１がある場合でも、当該凹み部ＷＫ１に表出した接着面ＡＦにデータキャリアＤＣを貼付しなくてもよい。
なお、被着体ＷＫの外縁から突出した凸部の形状や、包み込み部ＡＳ１、ＡＳ２の形状は、円形状、半円形状、楕円形状、半楕円形状、五角形以上の多角形状に突出した凸部により構成されていてもよいし、凹み部ＷＫ１の形状に合わせた形状でなくてもよい。
上記のような包み込み部ＡＳ１、ＡＳ２の折り返しは、人の作業により行うようにしてもよいし、駆動機器等により構成される折り返し手段により行うようにしてもよい。このような折り返し手段としては、例えば、包み込み部ＡＳ１、ＡＳ２を接着面ＡＦの反対側から保持する保持部材と、この保持部材を接着面ＡＦ同士が接着するように回転させる駆動機器としての回動モータとを備えたものが例示できる。
なお、折り返し手段は、シート貼付装置１０に装備させてもよいし、シート貼付装置１０に装備させることなく、貼付シートＳＳが貼付された被着体ＷＫを適宜な搬送手段によって折り返し装置に搬送し、貼付の後工程として折り返し装置により包み込み部ＡＳ１、ＡＳ２の折り返しを行うようにしてもよい。搬送手段は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等で被着体ＷＫを保持する構成でもよい。
切断手段６０は、図５（Ｂ）に示す貼付シートＳＳにおいて、包み込み部ＡＳ２がない凸部を形成するように接着シートＡＳを切断してもよい。このような凸部も、円形状、半円形状、楕円形状、半楕円形状、三角形や五角形以上の多角形状であってもよい。
切断手段６０は、レーザ光、イオンビーム、火力、熱、水圧、または空気圧等で切断を行う切断部材を構成してもよい。
切断手段６０は、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので構成し、切断部材を移動させてもよい。
切断手段６０は、切断部材を停止させておき、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫを移動させて当該接着シートＡＳを切断してもよいし、切断部材と接着シートＡＳおよび被着体ＷＫとの両方を移動させて当該接着シートＡＳを切断してもよい。
切断手段６０は、切断刃６５を被着体ＷＫの外縁に当接させた状態で、当該切断刃６５における接着シートＡＳ側を当該被着体ＷＫ側に傾斜させ、当該被着体ＷＫの外縁に沿って移動させることで、当該被着体ＷＫの外縁よりも小さな外縁を備えた貼付シートＳＳを形成してもよい。
切断手段６０は、被着体ＷＫの外縁と同形状となる外縁を備えた貼付シートＳＳを形成してもよいし、当該被着体ＷＫの外縁よりも大きな外縁を備えた貼付シートＳＳを形成してもよい。
【００３４】
被着体ＷＫが半導体ウエハの場合、凹み部ＷＫ１として略直線状の切り欠きであるオリエンテーションフラット（オリフラ）を有する被着体ＷＫへの接着シートＡＳの貼付に適用することも可能である。
前記実施形態では、データキャリアＤＣと凹み部ＷＫ１との位置合わせを直線ＴＣＹ上で行ったが、外側テーブル４１の中心ＴＣを通るＸ軸と平行な直線ＴＣＸ上や、直線ＴＣＹ、ＴＣＸと交差する任意の直線上でそれらの位置合わせを行ってもよい。
凹み部ＷＫ１としては、被着体ＷＫの外縁部に形成された凹みだけでなく、被着体ＷＫの面内に形成された凹みでもよく、そのような外縁部および面内に形成された凹みは、貫通孔でもよいし有底穴でもよい。
データキャリアＤＣに記憶させる情報は、被着体ＷＫの製品名、ロット番号などの被着体ＷＫについての各種情報、今までに被着体ＷＫに施した処理の履歴情報、今後被着体ＷＫに施す処理の内容を示す情報、次に被着体ＷＫを送る工程や客先等の搬送先情報、被着体ＷＫがウエハのように分割して使用される物の場合における不良品の位置情報等、被着体ＷＫに関する情報であればどのような情報でもよい。
シート貼付装置１０は、天地反転して配置したり横置きにしたりして、被着体ＷＫの下面や側面に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよい。
位置合わせ手段４２、切断手段６０のように本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
【００３５】
さらに、本発明における接着シートＡＳ、被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、さらには、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、電極基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３６】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３７】
１０・・・シート貼付装置
２０・・・供給手段
３０・・・データキャリア貼付手段
４２・・・位置合わせ手段
５０・・・押圧手段
６０・・・切断手段
ＤＣ・・・データキャリア
ＷＫ・・・被着体
ＷＫ１・・凹み部
ＡＳ・・・接着シート
ＡＦ・・・接着面
ＡＳ１・・包み込み部
ＡＳ２・・包み込み部
ＳＳ・・・貼付シート
【図１】
0006437343.tif 000002
【図２】
0006437343.tif 000003
【図３】
0006437343.tif 000004
【図４】
0006437343.tif 000005
【図５】
0006437343.tif 000006