(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御装置と、前記制御装置と接続されるセキュリティゲートウェイと、前記セキュリティゲートウェイとネットワークを介して接続される遠隔監視制御装置と、を有する遠隔監視制御システムであって、
前記セキュリティゲートウェイは、
前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信し、
前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信し、
前記制御装置は、前記遠隔制御モードと前記遠隔監視モードとを切り替えるための入力を受け付ける操作部を有する、
遠隔監視制御システム。
【請求項２】
請求項１に記載の遠隔監視制御システムにおいて、
前記セキュリティゲートウェイは、
前記遠隔制御モードの時には、前記制御結果データ以外の前記制御装置から送信されるデータを破棄し、
前記遠隔監視モードの時には、前記ログデータ以外の前記制御装置から送信されるデータを破棄する、
遠隔監視制御システム。
【請求項３】
請求項１に記載の遠隔監視制御システムにおいて、
前記セキュリティゲートウェイは、現在のモードが、前記遠隔制御モードと前記遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報を出力する出力部をさらに有する、
遠隔監視制御システム。
【請求項４】
請求項１に記載の遠隔監視制御システムにおいて、
前記制御装置と前記セキュリティゲートウェイとは、レガシーＩＦを介して接続され、
前記制御装置は、前記レガシーＩＦを介して前記セキュリティゲートウェイとの間でデータを送受信する、
遠隔監視制御システム。
【請求項５】
請求項１に記載の遠隔監視制御システムにおいて、
前記セキュリティゲートウェイと前記遠隔監視制御装置とは、電話網を介して接続され、
前記セキュリティゲートウェイは、前記電話網を介して前記遠隔監視制御装置との間でデータを送受信する、
遠隔監視制御システム。
【請求項６】
制御装置と接続されるとともに、遠隔監視制御装置とネットワークを介して接続されるセキュリティゲートウェイであって、
前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信し、
前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信する、
セキュリティゲートウェイ。
【請求項７】
制御装置と接続されるとともに、遠隔監視制御装置とネットワークを介して接続されるセキュリティゲートウェイのコンピュータに実行させる通信制御プログラムであって、
前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、セキュリティゲートウェイの通信制御部が、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信する処理と、
前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記通信制御部が、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信する処理と、
を前記コンピュータに実行させる、通信制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遠隔監視制御システムおよびセキュリティゲートウェイならびに通信制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置や医療機器などの制御装置は、外部ネットワークに接続されてこなかった。そのため、半導体製造装置や医療機器などの制御装置を製造している業者は、制御装置を点検したり修理したりするため定期的に装置設置場所に訪問する必要があった。
【０００３】
半導体製造装置や医療機器は、インターネットに接続されることによって遠隔地からの監視や制御が可能になる。近年、半導体製造装置や医療機器をインターネットに接続することで情報を授受するＭ２Ｍ（Ｍａｃｈｉｎｅ  ｔｏ  Ｍａｃｈｉｎｅ）やＩＯＴ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ  ｏｆ  Ｔｈｉｎｇｓ）などが活用されるようになってきている。これによって、訪問頻度を抑えられるため、利便性を向上することやコストを削減することが可能になる。
【０００４】
一方、半導体製造装置や医療機器がインターネットに接続することにより、マルウェアなどによって攻撃される可能性が高まる。そのため、半導体製造装置や医療機器などの制御装置をインターネットに接続させる場合、サイバーセキュリティ対策が重要になる。
【０００５】
サイバーセキュリティ対策としては、セキュリティガイドである“ＳＥＭＩ  Ｅ１６９−０４１４（Ｇｕｉｄｅ−ｆｏｒ−Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ  Ｓｅｃｕｒｉｔｙ）”（非特許文献１）がリリースされている。非特許文献１には、マルウェアの攻撃に対する防御や、未使用のサービスおよびプログラムを停止させることや、アクセスを制御することなどセキュリティ防御策が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】“ＳＥＭＩ  Ｅ１６９−０４１４（Ｇｕｉｄｅ−ｆｏｒ−Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ  Ｓｅｃｕｒｉｔｙ）”
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
半導体製造装置や医療機器などの制御装置は、重要な業務を担うものである。そのため、非特許文献１に記載されているセキュリティ対策を講じ、マルウェア感染や不正操作などを防止したとしても、インターネットを経由して情報が搾取されるという不安をユーザに抱かれる可能性がある。
【０００８】
本発明の目的は、半導体製造装置や医療機器などの制御装置を外部ネットワークに接続させる際にユーザが抱く不安を、減少可能にする技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
【００１０】
本発明の一実施の形態の遠隔監視制御システムは、制御装置と、前記制御装置と接続されるセキュリティゲートウェイと、前記セキュリティゲートウェイとネットワークを介して接続される遠隔監視制御装置と、を有する。また、前記セキュリティゲートウェイは、前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信し、前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信する。また、前記制御装置は、前記遠隔制御モードと前記遠隔監視モードとを切り替えるための入力を受け付ける操作部を有する。
【００１１】
また、本発明の一実施の形態のセキュリティゲートウェイは、制御装置と接続されるとともに、遠隔監視制御装置とネットワークを介して接続される。また、前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信する。また、前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信する。
【００１２】
また、本発明の一実施の形態のセキュリティゲートウェイのコンピュータに実行させる通信制御プログラムは、前記制御装置が遠隔制御される遠隔制御モードの時には、セキュリティゲートウェイの通信制御部が、前記遠隔監視制御装置から送信される制御信号を前記制御装置へ送信し、前記制御装置から送信される制御結果データを前記遠隔監視制御装置へ送信する処理を前記コンピュータに実行させる。また、前記制御装置が遠隔監視される遠隔監視モードの時には、前記通信制御部が、前記遠隔監視制御装置から送信されるデータを破棄し、前記制御装置から送信されるログデータを前記遠隔監視制御装置へ送信する処理を前記コンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【００１３】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１４】
本発明の代表的な実施の形態によれば、半導体製造装置や医療機器などの制御装置を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムの構成例の概要を示す図である。
【図２】遠隔制御モードの時におけるセキュリティゲートウェイの動作について説明する図である。
【図３】遠隔監視モードの時におけるセキュリティゲートウェイの動作について説明する図である。
【図４】（ａ）および（ｂ）は、現在のモードが、遠隔制御モードと遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報の例を示す図である。（ａ）は、現在のモードが遠隔制御モードであることを示し、（ｂ）は、現在のモードが遠隔監視モードであることを示す。
【図５】本発明の一実施の形態におけるログデータの例を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態における遠隔監視制御装置の表示部が表示する監視結果表示画面の例を示す図である。
【図７】本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムの構成例の概要を示す図である。
【図８】本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムの構成例の概要を示す図である。
【図９】本発明の一実施の形態における遠隔制御処理の概要を示す図である。
【図１０】本発明の一実施の形態における遠隔監視処理の概要を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１７】
本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムは、半導体製造装置や医療機器などの制御装置と、この制御装置を遠隔制御および遠隔監視する遠隔監視制御装置と、制御装置と遠隔監視制御装置との間で送受信されるデータを監視するセキュリティゲートウェイとを有する。また、セキュリティゲートウェイは、制御装置が遠隔制御される遠隔制御モード時には、制御装置と遠隔監視制御装置との間で行われる双方向のデータの送受信を許可する。一方、セキュリティゲートウェイは、制御装置が遠隔監視される遠隔監視モード時には、制御装置から遠隔監視制御装置へのデータの送信のみを許可する。これによって、遠隔監視モード時にて、制御装置に想定外のデータが送信され、制御装置がマルウェアなどに感染することを防止できる。そして、半導体製造装置や医療機器などの制御装置を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安を減少させることができる。
【００１８】
また、本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムが有するセキュリティゲートウェイは、現在のモードが、遠隔制御モードと遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報を出力する出力部をさらに有する。これによって、例えば、遠隔監視モード時にて、遠隔監視制御装置から制御装置へのデータの送信が禁止されていることをユーザに示すことが可能になり、制御装置を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安をさらに減少させることができる。
【００１９】
また、本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムが有するセキュリティゲートウェイと制御装置とは、通信速度が低速なＩＦ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）を介して接続される。そして、制御装置は、低速なＩＦ（情報の搾取は困難だが、ログデータや、制御信号の送受信が可能な速度のＩＦ）を介してセキュリティゲートウェイとの間でデータを送受信する。これによって、データが遠隔地まで送信される時間を増加させることが可能になるとともに、制御装置へデータが送受信されることを抑制できる。そして、遠隔制御および遠隔監視を可能にするとともに、外部の装置との間で大量のデータが送受信されることを抑制できる。
【００２０】
また、本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムが有するセキュリティゲートウェイと遠隔監視制御装置とは、電話網を介して接続される。そして、遠隔監視制御装置は、電話網を介して遠隔監視制御装置との間でデータを送受信する。これによって、データが遠隔監視制御装置まで送信される時間を増加させることが可能になるとともに、制御装置へデータが送受信されることを抑制できる。そして、遠隔制御および遠隔監視を可能にするとともに、外部との間で大量のデータが送受信されることを抑制できる。
【００２１】
＜システム構成＞
図１は、本発明の一実施の形態における遠隔監視制御システムの構成例の概要を示す図である。図１に示されるように遠隔監視制御システムは、半導体製造装置や医療機器などの制御装置１００と、制御装置１００と接続されるセキュリティゲートウェイ２００と、セキュリティゲートウェイ２００とネットワーク４００を介して接続される遠隔監視制御装置３００とを有する。
【００２２】
また、制御装置１００、セキュリティゲートウェイ２００、遠隔監視制御装置３００は、所定のハードウェアおよびソフトウェアにより実装される。例えば、制御装置１００、セキュリティゲートウェイ２００、遠隔監視制御装置３００は、プロセッサやメモリなどを有し、プロセッサにより実行されるメモリ上のプログラムが、制御装置１００、セキュリティゲートウェイ２００、遠隔監視制御装置３００のコンピュータを機能させる。
【００２３】
制御装置１００は、コントローラ１１０と、ログ管理部１２０と、レガシーＩＦ１３０と、操作部１４０とを有する。
【００２４】
セキュリティゲートウェイ２００は、ファイアウォール機能などのセキュリティ機能を有するゲートウェイである。セキュリティゲートウェイ２００は、出力部２１０と、通信許可部２２０と、レガシーＩＦ２３０と、通信制御部２４０とを有する。
【００２５】
制御装置１００とセキュリティゲートウェイ２００とは、レガシーＩＦ１３０，２３０を介して接続される。ここで、レガシーＩＦ１３０，２３０は、通常、機器同士を接続するのに用いられるインターフェースと比較して相対的に著しく性能が劣るインターフェースを意味する。例えば、ＲＳ２３２Ｃポートなどの通信速度が低速なインターフェースが該当する。
【００２６】
セキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０は、パケットフィルタリングなどのファイアウォール機能の各種設定を行う。
【００２７】
セキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０は、設定されたファイアウォール機能などに基づいて、セキュリティゲートウェイ２００に送信された各種データを破棄するか、送信するかのいずれかの処理を実行する。
【００２８】
遠隔監視制御装置３００は、操作者から所定の入力を受け付けた場合に、制御装置１００を制御するための制御信号を生成し、生成した制御信号を、ネットワークを介してセキュリティゲートウェイ２００へ送信する。
【００２９】
制御装置１００のコントローラ１１０は、受信した制御信号に基づいて制御装置１００を制御する。
【００３０】
また、コントローラ１１０は、制御した結果を示すデータである制御結果データを、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００に送信する。
【００３１】
遠隔監視制御装置３００の表示部３１０は、受信した制御結果データに基づいて、制御装置１００が制御された結果を表示する。
【００３２】
制御装置１００のログ管理部１２０は、コントローラ１１０から定期的にログデータ（後述、図５）を取得する。また、ログ管理部１２０は、取得したログデータを、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００に送信する。
【００３３】
通信制御部２４０は、セキュリティゲートウェイ２００に送信されたログデータを、遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００３４】
遠隔監視制御装置３００の表示部３１０は、受信したログデータに基づいて、監視結果表示画面（後述、図６）を表示する。
【００３５】
制御装置１００の操作部１４０は、遠隔制御モードと遠隔監視モードとを切り替えるための入力を受け付ける。操作部１４０は、例えば、ディップスイッチが該当する。
【００３６】
セキュリティゲートウェイ２００の出力部２１０は、現在のモードが、遠隔制御モードと遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報を出力する。
【００３７】
遠隔制御モードでは、遠隔監視制御装置３００は、操作者から入力を受け付けることで制御装置１００を遠隔制御する。一方、遠隔監視モードでは、遠隔監視制御装置３００は、制御装置１００から定期的に送信されるログを表示することで、制御装置１００を遠隔監視する。
【００３８】
操作部１４０が入力を受け付けることで、モード（遠隔制御モードまたは遠隔監視モード）が切り替えられると、制御装置１００のコントローラ１１０は、対応するモード切替要求信号（遠隔制御モード切替要求信号または遠隔監視モード切替要求信号）を生成する。
【００３９】
コントローラ１１０が生成したモード切替要求信号は、セキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０に送信される。そして、通信許可部２２０は、受信したモード切替要求信号に基づいて、パケットフィルタリングなどのファイアウォール機能の各種設定を行う。
【００４０】
これによって、遠隔制御モードの時には、セキュリティゲートウェイ２００は、制御装置１００から遠隔監視制御装置３００へのデータの送信を許可するとともに、遠隔監視制御装置３００から制御装置１００へのデータの送信を許可する。一方、遠隔監視モードの時には、セキュリティゲートウェイ２００は、制御装置１００から遠隔監視制御装置３００へのデータの送信のみを許可する。
【００４１】
より詳細には、操作部１４０が入力を受け付けることで、遠隔制御モードに切り替えられると、制御装置１００のコントローラ１１０は、遠隔制御モード切替要求信号を生成する。また、コントローラ１１０は、生成した遠隔制御モード切替要求信号を、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００に送信する。そして、セキュリティゲートウェイ２００に送信された遠隔制御モード切替要求信号は、レガシーＩＦ２３０を介して通信許可部２２０に送信される。
【００４２】
セキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０は、遠隔制御モード切替要求信号を受信する。遠隔制御モード切替要求信号を受信したセキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０は、遠隔監視制御装置３００から送信されるデータについては、制御信号以外のデータを通信制御部２４０に破棄させるのに必要な設定をする。また、通信許可部２２０は、制御装置１００から送信されるデータについては、制御結果データ以外のデータを通信制御部２４０に破棄させるのに必要な設定をする。
【００４３】
これによって、遠隔制御モードの時には、通信制御部２４０は、遠隔監視制御装置３００から送信されるデータについては、制御信号のみを制御装置１００へ送信する。また、通信制御部２４０は、制御装置１００から送信されるデータについては、制御結果データのみを遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００４４】
一方、操作部１４０が入力を受け付けることで、遠隔監視モードに切り替えられると、制御装置１００のコントローラ１１０は、遠隔監視モード切替要求信号を生成する。また、コントローラ１１０は、生成した遠隔監視モード切替要求信号を、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００に送信する。そして、セキュリティゲートウェイ２００に送信された遠隔監視モード切替要求信号は、レガシーＩＦ２３０を介して通信許可部２２０に送信される。
【００４５】
セキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０は、送信された遠隔監視モード切替要求信号を受信する。遠隔監視モード切替要求信号を受信したセキュリティゲートウェイ２００の通信許可部２２０は、遠隔監視制御装置３００を含むすべての外部装置から送信されるデータについては、通信制御部２４０にすべて破棄させるのに必要な設定をする。また、通信許可部２２０は、制御装置１００から送信されるデータについては、ログデータ以外のデータを通信制御部２４０に破棄させるのに必要な設定をする。
【００４６】
これによって、制御装置１００以外の装置からセキュリティゲートウェイ２００に送信されるデータは、制御装置１００に送信されることなく破棄される。また、通信制御部２４０は、制御装置１００から送信されるデータについては、ログデータのみを遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００４７】
以下、図２を用いて、遠隔制御モードの時におけるセキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０の動作について詳細に説明する。
【００４８】
図２に示されるように、通信制御部２４０は、ネットワーク４００を介して送信された制御信号３０１を受信する。そして、通信制御部２４０は、受信した制御信号３０１を、レガシーＩＦ２３０を介して制御装置１００へ送信する。
【００４９】
また、通信制御部２４０は、制御装置１００から送信された制御結果データ３０２を受信する。そして、通信制御部２４０は、受信した制御結果データ３０２を、ネットワーク４００を介して遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００５０】
また、通信制御部２４０は、ネットワーク４００を介して送信された社内データ３０３を破棄する。
【００５１】
次に、図３を用いて、遠隔監視モードの時におけるセキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０の動作について詳細に説明する。
【００５２】
図３に示されるように、通信制御部２４０は、制御装置１００から送信されたログデータ２０１を受信する。そして、通信制御部２４０は、受信したログデータ２０１を、ネットワーク４００を介して遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００５３】
また、通信制御部２４０は、ネットワーク４００を介して送信された社内データ３０３を破棄する。
【００５４】
なお、図７に示されるように、セキュリティゲートウェイ２００がモデム２５０をさらに有し、セキュリティゲートウェイ２００のモデム２５０と、遠隔監視制御装置３００とが、電話網（電話線を含む）６００を介して接続されるようにしても良い。この場合、セキュリティゲートウェイ２００は、電話網６００を介して遠隔監視制御装置３００にデータを送信する。これによって、セキュリティゲートウェイ２００から遠隔監視制御装置３００へデータを送信する際の通信速度が低速になり、制御装置１００に記憶されているデータが、遠隔地まで送信されるまでの時間を長くすることができる。そして、外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安をさらに減少させることができる。
【００５５】
また、図８に示されるように、制御装置１００およびセキュリティゲートウェイ２００が、社内ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）７００と接続され、社内ＬＡＮ７００が、ＷＡＮ（Ｗｉｄｅ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）８００を介して遠隔監視制御装置３００と接続されるようにしても良い。この場合、遠隔監視制御装置３００は、ＷＡＮ８００および社内ＬＡＮ７００を介して制御装置１００を制御し、監視する。
【００５６】
＜詳細構成＞
図４（ａ）および（ｂ）は、セキュリティゲートウェイ２００の出力部２１０に出力される情報（現在のモードが、遠隔制御モードと遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報）の例を示す図である。（ａ）は、現在のモードが遠隔制御モードであることを示し、（ｂ）は、現在のモードが遠隔監視モードであることを示す。
【００５７】
図４（ａ）では、出力部２１０には、制御装置１００を表す図形から遠隔監視制御装置３００を表す図形へと向かい、かつ、遠隔監視制御装置３００を表す図形から制御装置１００を表す図形へと向かう矢印４０１が表示される。すなわち、現在のモードが、遠隔制御モードであり、セキュリティゲートウェイ２００が制御装置１００から遠隔監視制御装置３００へのデータの送信を許可するとともに、遠隔監視制御装置３００から制御装置１００へのデータの送信を許可していることを示す。
【００５８】
一方、図４（ｂ）では、出力部２１０には、制御装置１００を表す図形から遠隔監視制御装置３００を表す図形へと向かう矢印４０２が表示される。すなわち、現在のモードが、遠隔監視モードであり、セキュリティゲートウェイ２００が制御装置１００から遠隔監視制御装置３００へのデータの送信のみを許可していることを示す。
【００５９】
＜ログデータ＞
図５は、本発明の一実施の形態におけるログデータの例を示す図である。図５に示されるように、ログデータは、[発生時刻]、[装置名]、[メッセージ]、[ステータス]などのデータ項目からなる。図５に示されるように、ログデータはテキストデータである。そのため、レガシーＩＦ１３０，２３０や、電話網６００を介しても問題なく、送信可能である。
【００６０】
[発生時刻]は、コントローラ１１０がログデータを生成した日時および時刻を示す。[装置名]は、コントローラ１１０を構成する部位の名称を示す。[メッセージ]は、コントローラ１１０を構成する部位により実行された処理の内容を示す。[ステータス]は、コントローラ１１０を構成する部位により実行された処理が成功したか否かを示す。
【００６１】
＜遠隔監視画面＞
図６は、本発明の一実施の形態における遠隔監視制御装置３００の表示部３１０が表示する監視結果表示画面の例を示す図である。
【００６２】
図６に示されるように、監視結果表示画面には、制御結果データを構成する各データが表示される。具体的には、監視結果表示画面には、遠隔監視制御装置３００が制御装置１００に送信した制御信号の内容や、処理を実行した部位（コントローラ１１０を構成する部位）の名称や、制御した結果などの情報が表示される。
【００６３】
＜遠隔制御処理＞
図９は、本発明の一実施の形態における遠隔制御処理の概要を示す図である。遠隔制御処理は、制御装置１００が遠隔制御モードであって、遠隔監視制御装置３００が、操作者から制御装置１００を制御するための入力を受け付けた場合に開始する。
【００６４】
まず、Ｓ９０１にて、遠隔監視制御装置３００は、制御装置１００を制御するための制御信号を生成する。
【００６５】
次に、Ｓ９０２にて、遠隔監視制御装置３００は、Ｓ９０１にて生成した制御信号を、ネットワーク４００を介してセキュリティゲートウェイ２００へ送信する。
【００６６】
次に、Ｓ９０３にて、セキュリティゲートウェイ２００は、Ｓ９０２にて送信された制御信号を受信する。そして、セキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０は、Ｓ９０２にて送信された制御信号に含まれる送信元ＩＰアドレスを参照する。
【００６７】
次に、Ｓ９０４にて、通信制御部２４０は、Ｓ９０３にて参照した送信元ＩＰアドレスに基づいて、Ｓ９０３にて受信した制御信号を制御装置１００に送信しても良いかを判定する。通信制御部２４０が、制御信号を制御装置１００に送信してはならないと判定する場合（Ｓ９０４−Ｎｏ）、通信制御部２４０は、制御信号を破棄し、遠隔制御処理を終了する。一方、通信制御部２４０が、制御信号を制御装置１００に送信しても良いと判定する場合（Ｓ９０４−Ｙｅｓ）、Ｓ９０５へ進む。
【００６８】
次に、Ｓ９０５にて、通信制御部２４０は、制御信号をレガシーＩＦ２３０介して、制御装置１００に送信する。そして、制御装置１００に送信された制御信号は、レガシーＩＦ１３０を介してコントローラ１１０に送信される。
【００６９】
次に、Ｓ９０６にて、コントローラ１１０は、Ｓ９０５にて送信された制御信号に基づいて制御装置１００を制御する。
【００７０】
次に、Ｓ９０７にて、コントローラ１１０は、Ｓ９０６にて制御をした結果を示すデータである制御結果データを、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００に送信する。そして、セキュリティゲートウェイ２００に送信された制御結果データは、レガシーＩＦ２３０を介して通信制御部２４０に送信される。
【００７１】
次に、Ｓ９０８にて、セキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０は、Ｓ９０７にて送信された制御結果データを受信する。そして、通信制御部２４０は、受信した制御結果データを、ネットワーク４００を介して遠隔監視制御装置３００へ送信する。
【００７２】
次に、Ｓ９０９にて、遠隔監視制御装置３００は、Ｓ９０８にて送信された制御結果データを受信する。そして、遠隔監視制御装置３００の表示部３１０は、制御結果データに基づいて、制御装置１００が制御された結果を表示する。
【００７３】
なお、制御装置１００が遠隔制御モードの場合、コントローラ１１０は、生成したログデータをログ管理部１２０に蓄積する。そして、ログ管理部１２０は、制御装置１００が遠隔監視モードへ切り替えられた後に、蓄積しているログデータを、セキュリティゲートウェイ２００に送信する。
【００７４】
＜遠隔監視処理＞
図１０は、本発明の一実施の形態における遠隔監視処理の概要を示す図である。遠隔監視処理は、制御装置１００が遠隔監視モードに切り替えられた場合に開始する。
【００７５】
まず、Ｓ１００１にて、制御装置１００のログ管理部１２０は、コントローラ１１０からログデータを取得する。
【００７６】
次に、Ｓ１００２にて、ログ管理部１２０は、Ｓ１００１にて取得したログデータを、レガシーＩＦ１３０を介してセキュリティゲートウェイ２００へ送信する。そして、セキュリティゲートウェイ２００に送信されたログデータは、レガシーＩＦ２３０を介して通信制御部２４０に送信される。
【００７７】
次に、Ｓ１００３にて、セキュリティゲートウェイ２００の通信制御部２４０は、Ｓ１００２にて送信されたログデータを受信する。そして、通信制御部２４０は、受信したログデータを、ネットワーク４００を介して遠隔監視制御装置３００に送信する。
【００７８】
次に、Ｓ１００４にて、遠隔監視制御装置３００は、Ｓ１００３にて送信されたログデータを受信する。そして、遠隔監視制御装置３００の表示部３１０は、受信したログデータに基づいて、監視結果表示画面（前述、図６）を表示する。
【００７９】
＜本実施の形態の効果＞
以上説明した本実施の形態における遠隔監視制御システムのセキュリティゲートウェイ２００は、遠隔制御モードの時には、遠隔監視制御装置３００から送信される制御信号を制御装置１００へ送信し、制御装置１００から送信される制御結果データを遠隔監視制御装置３００へ送信する。一方、セキュリティゲートウェイ２００は、遠隔監視モードの時には、遠隔監視制御装置３００から送信されるデータを破棄し、制御装置１００から送信されるログデータを遠隔監視制御装置３００へ送信する。これによって、半導体製造装置や医療機器などの制御装置を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安を減少させることができる。
【００８０】
また、セキュリティゲートウェイ２００は、現在のモードが、遠隔制御モードと遠隔監視モードのいずれかであるかを示す情報を出力する出力部２１０をさらに有する。これによって、例えば、遠隔監視モード時にて、遠隔監視制御装置３００から制御装置１００へのデータの送信が禁止されていることをユーザに示すことが可能になり、制御装置１００を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安をさらに減少させることができる。
【００８１】
また、セキュリティゲートウェイ２００と制御装置１００とは、通信速度が低速なＩＦ（情報の搾取は困難だが、ログデータや、制御信号の送受信が可能な速度のＩＦ）を介して接続される。これによって、遠隔制御および遠隔監視を可能にするとともに、外部との間で大量のデータが送受信されることを抑制し、制御装置１００を外部のネットワーク４００に接続させる際に、ユーザが抱く不安をさらに減少させることができる。
【００８２】
また、本発明の一実施の形態におけるセキュリティゲートウェイ２００と遠隔監視制御装置３００とは、電話網６００を介して接続される。これによって、遠隔制御および遠隔監視を可能にするとともに、外部との間で大量のデータが送受信されることを抑制し、制御装置を外部ネットワークに接続させる際に、ユーザが抱く不安をさらに減少させることができる。
【００８３】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、制御装置１００と、セキュリティゲートウェイ２００とを接続するインターフェースは、低速なインターフェースであれば良くレガシーＩＦ１３０，２３０に限られない。
【符号の説明】
【００８４】
１００…制御装置、１１０…コントローラ、１２０…ログ管理部、１３０…レガシーＩＦ、
２００…セキュリティゲートウェイ、２１０…出力部、２２０…通信許可部、２３０…レガシーＩＦ、２４０…通信制御部、２５０…モデム、
３００…遠隔監視制御装置、３１０…表示部
４００…ネットワーク、
６００…電話網、７００…社内ＬＡＮ、８００…ＷＡＮ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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