(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削装置のスピンドルの先端部に装着され、ボス部と該ボス部と一体的に形成され切削ブレードを支持する支持面を備えた固定フランジとからなるブレードマウントの該支持面を修正する修正器具であって、
該ブレードマウントに装着される切削ブレードの円形基台と同等の形状及びサイズに形成され、中心部に開口を有する環状基台と、
該固定フランジの該支持面に対応する領域の該環状基台の側面に配設され、該支持面を研磨する研磨部材と、を備え、
該修正器具の該開口に該ブレードマウントの該ボス部を挿入し、該支持面に該研磨部材を圧接させた状態で該ブレードマウントと該修正器具とを互いに逆回転する向きに相対移動させて、該ブレードマウントの該支持面を研磨して滑面に修正することを特徴とする修正器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードを支持する固定フランジの支持面（端面）を修正する修正器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板、セラミックスやガラス等の板状物を複数のチップに分割するのに、高速回転する切削ブレードを用いる切削装置がよく使用されている。切削装置の切削ユニットは、モータにより回転駆動されるスピンドルと、スピンドルの先端部に取り付けられた固定フランジを有するブレードマウントと、このブレードマウントに装着された薄い切り刃を有する切削ブレードと、切削ブレードをブレードマウントに固定する固定ナットとを含んでいる。
【０００３】
切削ブレードは、固定ナットによってブレードマウントの固定フランジの支持面に押圧された状態で固定されるため、支持面が平滑面でないと切削ブレードは斜めに固定されたり、がたついたりしてしまうため、正常な切削ができなくなる。
【０００４】
また、切削ブレードは固定ナットの締め付けにより円形基台が固定フランジの支持面に圧接されるため、円形基台の金属粉が固定フランジの支持面に付着して円形基台の固定フランジに対する密着性が経時的に悪化する。
【０００５】
その結果、スピンドルの回転に対して切削ブレードの切り刃が蛇行して回転するようになり、分割されたチップの側面や角部に欠けやクラックが発生してデバイスの品質を低下させるという問題がある。
【０００６】
そこで、固定フランジの支持面を平滑にするために、ブレード交換のタイミングで定期的に支持面を砥石で削り、支持面を平滑面とする修正治具が特許第３４７２３９０号に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３４７２３９０号公報
【特許文献２】特許第５０８１６００号公報
【特許文献３】特開平６−３２６１８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１に開示された修正治具では、修正治具をチャックテーブルで保持し、固定フランジの支持面の近くに砥石を位置付けてから支持面に砥石を往復させるため、通常の加工とはかけ離れた作業となり、作業者は作業内容を別途覚える必要がある。また、砥石を誤って支持面に衝突させると、逆に支持面を傷つけてしまうという問題があった。
【０００９】
特許文献２に開示された修正器具によると、修正器具を手で持って固定フランジの支持面に付着したごみ等を除去して固定フランジの支持面を滑面に修正できるので、熟練を要することなく誰でも簡単に固定フランジの支持面を滑面に修正できるというメリットがあるが、特許文献３に開示された切削ブレードの交換を全自動化した切削装置においては、手作業での支持面（端面）修正作業は避けたい作業である。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削ブレードをブレードマウントに装着するのと同様な作業で修正器具をブレードマウントの支持面に対面させることができ、切削ブレードの交換を全自動化した切削装置にも容易に適用可能な修正器具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、切削装置のスピンドルの先端部に装着され、ボス部と該ボス部と一体的に形成され切削ブレードを支持する支持面を備えた固定フランジとからなるブレードマウントの該支持面を修正する修正器具であって、該ブレードマウントに装着される切削ブレードの円形基台と同等の形状及びサイズに形成され、中心部に開口を有する環状基台と、該固定フランジの該支持面に対応する領域の該環状基台の側面に配設され、該支持面を研磨する研磨部材と、を備え、該修正器具の該開口に該ブレードマウントの該ボス部を挿入し、該支持面に該研磨部材を圧接させた状態で該ブレードマウントと該修正器具とを互いに逆回転する向きに相対移動させて、該ブレードマウントの該支持面を研磨して滑面に修正することを特徴とする修正器具が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の修正器具は切削ブレードの円形基台と同等な形状及びサイズを有しているため、切削ブレードをブレードマウントに装着するのと同様な作業で修正器具を支持面に対面させることができるため、修正作業が容易であり、誤って支持面を傷つけることがない。
【００１３】
また、切削ブレードを保持するのと同じ工具で修正器具を保持できるため、切削ブレードの交換を全自動化した切削装置では、ブレード交換装置を利用して支持面（端面）修正作業を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図である。
【図２】切削ブレードをブレードマウントのボス部に挿入した様子を示す断面図である。
【図３】図３（Ａ）は固定ナットをブレードマウントのボス部に挿入しようとする状態を示す断面図、図３（Ｂ）は固定ナットをブレードマウントのボス部に形成された雄ねじに螺合して切削ブレードを固定した状態の断面図である。
【図４】図４（Ａ）は本発明実施形態に係る修正器具の斜視図、図４（Ｂ）はその断面図である。
【図５】図５（Ａ）は修正器具をブレードマウントに装着する様子を示す分解斜視図、図５（Ｂ）は修正器具をブレードマウントのボス部に挿入した状態の断面図である。
【図６】図６（Ａ）は第１実施形態に係る修正器具を保持工具で保持してブレードマウントのボス部に挿入した状態の断面図、図６（Ｂ）は保持工具で保持した修正器具を回転してブレードマウントの支持面を修正している状態の断面図である。
【図７】図７（Ａ）は第２実施形態の修正器具を螺合工具で保持してブレードマウントのボス部に挿入した状態の断面図、図７（Ｂ）は螺合工具で保持した修正器具でブレードマウントの支持面を修正している状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、切削ブレードをスピンドルに装着する様子を示す分解斜視図が示されている。切削ユニット２は、スピンドルハウジング４中に回転可能に収容されたスピンドルを有しており、スピンドルハウジング４から突出したスピンドル先端部６は先端に行くにつれて細くなるテーパー形状に形成されている。
【００１６】
スピンドル先端部６の端面には雌ねじ８を有するねじ穴７が形成されている。１０はブレードマウントであり、円筒状ボス部１２と、円筒状ボス部１２と一体的に形成された固定フランジ（鍔部）１４とから構成される。
【００１７】
固定フランジ１４の外周前面側には切削ブレードに当接して切削ブレードを支持する支持面（端面）１４ａが形成されている。円筒状ボス部１２には雄ねじ１６が形成されていると共に、スピンドル先端部６のテーパー形状に対応したテーパー状の係合穴１８を有している。
【００１８】
ブレードマウント１０の係合穴１８をテーパー状のスピンドル先端部６に挿入し、座金２０及びねじ２２をブレードマウント１０の係合穴１８を通してねじ穴７に挿入しねじ２２を螺合して締め付けることにより、図２に示すように、ブレードマウント１０はテーパー状のスピンドル先端部６に装着される。
【００１９】
切削ブレード２４はアルミニウム合金から形成された円形基台２６の外周に電鋳された切り刃３０を有するハブブレードであり、円形基台２６の前面側に円形のハブ２８が形成されている。３２は装着穴である。
【００２０】
３４は固定ナットであり、内周にブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に形成された雄ねじ１６に螺合する雌ねじ３６が形成されている。固定ナット３４には、固定ナット３４をブレードマウント１０の雄ねじ１６に螺合するための螺合工具のピンが挿入される複数の（本実施形態では４個）ピン穴３８が形成されている。
【００２１】
切削ブレード２４のテーパー状のスピンドル先端部６に装着するには、図２に示すように保持工具４０で切削ブレード２４を保持し、スピンドル先端部６に固定されたブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に切削ブレード２４を挿入する。
【００２２】
次いで、図３（Ａ）に示すように、固定ナット３４のピン穴３８中に螺合工具４２のピン４４を挿入することにより、固定ナット３４を螺合工具３４で保持し、図３（Ｂ）に示すように、固定ナット３４をブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に形成された雄ねじ１６に螺合して締め付ける。
【００２３】
これにより、切削ブレード２４がブレードマウント１０の固定フランジ１４の支持面（端面）１４ａと固定ナット３４とで挟持されて、テーパー状のスピンドル先端部６に装着される。
【００２４】
次に、図４乃至図７を参照して、本発明実施形態に係る修正器具４６について詳細に説明する。図４（Ａ）を参照すると、本発明実施形態に係る修正器具４６の斜視図が示されている。図４（Ｂ）はその縦断面図を示している。
【００２５】
修正器具４６は、切削ブレード２４の円形基台２６と同等の形状及びサイズを有する環状基台４８と、固定フランジ１４の環状の支持面１４ａに対応する領域の環状基台４８の側面に固着された支持面１４ａを研磨する研磨部材５２とを含んでいる。研磨部材５２は、環状の砥石又はシート状の研磨布などから構成される。環状基台５０の中心部には開口５４が形成されている。
【００２６】
図５（Ａ）を参照すると、修正器具４６をブレードマウント１０に装着する様子を示す分解斜視図が示されており、図５（Ｂ）には修正器具４６がブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に挿入された状態の縦断面図が示されている。
【００２７】
次に、図６を参照して、本発明第１実施形態に係る修正器具４６でブレードマウント１０の支持面１４ａを研磨して修正する修正作業について説明する。まず、図６（Ａ）に示すように、切削ブレード２４を保持する保持工具４０で修正器具４６を保持する。
【００２８】
これは、修正器具４６の環状基台４８が切削ブレード２４の円形基台２６と同等な形状及びサイズに形成されているため、保持工具４０で修正器具４６を容易に保持できるためである。
【００２９】
保持工具４０で保持した修正器具４６を、図６（Ａ）に示すように、ブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に挿入し、図６（Ｂ）に示すように、研磨部材５２をブレードマウント１０の支持面１４ａに当接させて保持工具４０を回転させることにより、研磨部材５２で支持面１４ａを研磨して支持面１４ａを修正することができる。
【００３０】
次に、図７を参照して、本発明第２実施形態に係る修正器具４６Ａについて説明する。本実施形態の修正器具４６Ａは、環状基台４８と一体的に形成された環状凸部５６を有している。
【００３１】
環状凸部５６の形状は図１に示された固定ナット３４の形状と同等であり、固定ねじ３４を螺合するために使用する螺合工具４２のピン４４が挿入される４個のピン穴５７を有している。
【００３２】
修正器具４６Ａでブレードマウント１０の支持面１０ａを研磨して修正するには、まず図７（Ａ）に示すように、螺合工具４２のピン４４を修正器具４６Ａのピン穴４７に挿入し、螺合工具４２で修正器具４６Ａを保持する。
【００３３】
螺合工具４２で修正器具４６Ａを保持した状態で、図７（Ａ）に示すように、修正器具４６Ａをブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に挿入する。次いで、修正器具４６Ａの研磨部材５２をブレードマウント１０の支持面１４ａに当接させた状態で、図７（Ｂ）に示すように、螺合工具４２を回転して研磨部材５２で支持面１４ａを研磨して支持面１４ａを修正する。
【００３４】
第２実施形態の修正器具４６Ａによると、環状基台４８が切削ブレード２８の円形基台２６と固定ナット３４とが合体した形状をしている。これにより、固定ナット３４を螺合する螺合工具４２で修正器具４６Ａをブレードマウント１０の円筒状ボス部１２に装着した後、螺合工具４２で修正器具４６Ａを回転して研磨部材５２で支持面１４ａを研磨して支持面１４ａの修正作業を容易に実施することができる。
【００３５】
第１実施形態の修正器具４６では、切削ブレード２４を保持する保持工具４０で保持することができ、第２実施形態の修正器具４６Ａは固定ナット３４を保持する螺合工具４２で保持できるため、切削ブレード２４の交換を全自動化した切削装置では、ブレード交換装置を利用して支持面（端面）の修正作業を容易に実施することができる。
【符号の説明】
【００３６】
２    切削ユニット
６    テーパー状のスピンドル先端部
１０    ブレードマウント
１２    円筒状ボス部
１４    固定フランジ
１４ａ    支持面（端面）
１６    雄ねじ
２４    切削ブレード
２６    円形基台
３０    切り刃
３４    固定ナット
３８    ピン穴
４０    保持工具
４２    螺合工具
４４    ピン
４６，４６Ａ    修正器具
４８    環状基台
５２    研磨部材
【図１】
0006440560.tif 000002
【図２】
0006440560.tif 000003
【図３】
0006440560.tif 000004
【図４】
0006440560.tif 000005
【図５】
0006440560.tif 000006
【図６】
0006440560.tif 000007
【図７】
0006440560.tif 000008