(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品収納用の収納容器を搬送する搬送設備において、
前記収納容器を搬送する搬送手段と、前記収納容器を保管する保管部とが設けられており、
前記搬送手段は、前記収納容器を前記搬送手段と前記保管部との間で移載する移載装置を有しており、
前記収納容器は、清浄化した空気を前記収納容器内へ送風する送風装置を有しており、
前記収納容器が前記搬送手段によって搬送されている間と、前記収納容器が前記保管部によって保管されている間に、前記搬送手段または前記保管部から前記送風装置へと動作電力を供給する送電手段が、前記搬送手段および前記保管部にそれぞれ設けられており、
前記収納容器は、前記移載装置によって前記搬送手段と前記保管部との間で移載されている間には、前記送風装置が移載開始前までに行った送風によって内圧が周囲環境よりも高められた状態を維持可能であることにより、移載されている間における周囲環境からの外部物質の流入を防止可能とされていること
を特徴とする搬送設備。
【請求項２】
前記収納容器は、内部に物品を収納可能な収納空間を有する容器本体と、非接触方式により供給される前記送風装置の動作電力を受電するための容器受電器とを更に有しており、
前記移載装置は、前記収納容器を支持するための支持部と、前記搬送手段側の搬送位置と前記保管部側の保管位置との間で前記支持部を移動させる移載手段と、を有し、
前記搬送手段は、前記搬送位置における前記支持部に支持されている前記収納容器の前記容器受電器に対して非接触方式により送電を行う搬送手段送電器を有しており、
前記保管部は、前記収納容器を保管するための保管棚と、前記保管棚に保管されている前記収納容器の前記容器受電器に対して非接触方式により送電を行う保管部送電器とを有しており、
前記移載手段は、前記収納容器を支持した状態の前記支持部を前記搬送位置と前記保管位置との間で移動させることにより、前記搬送手段と前記保管部との間で前記収納容器を相互に移載することが可能であり、
前記収納容器は、前記移載手段によって前記搬送位置と前記保管位置との間で移動させられている間には、前記送風装置が移動開始前までに行った送風によって内圧が周囲環境よりも高められた状態を維持可能であることにより、移動させられている間における周囲環境からの外部物質の流入を防止可能とされていること
を特徴とする請求項１に記載の搬送設備。
【請求項３】
前記容器本体の外面のうち、第１の面には収納空間に繋がる第１の開口部が形成されており、前記第１の面と対向する第２の面には前記第１の開口部と対向する第２の開口部が形成されており、
前記第１の面に蓋体を着脱することで前記第１の開口部を開放または閉鎖可能であり、
送風装置が前記第２の面に取り付けられており、前記送風装置が前記第２の開口部から前記蓋体によって閉鎖された前記第１の開口部へ向けて送風することによって、前記収納空間の内圧が周囲環境よりも高められること
を特徴とする請求項２に記載の搬送設備。
【請求項４】
前記搬送手段が、前記支持部および前記移載手段を水平面内で旋回させる旋回台を有しており、
前記旋回台には、前記移載手段による前記支持部の移動方向とは逆方向に延びている拡張フレームが取り付けられており、
前記搬送手段送電器が、前記拡張フレームに取り付けられていること
を特徴とする請求項２に記載の搬送設備。
【請求項５】
前記保管部に保管されている前記収納容器の前記容器受電器に対する前記保管部送電器の相対位置と、
前記搬送位置における前記搬送手段の前記支持部に支持されている前記収納容器の前記容器受電器に対する前記搬送手段送電器の相対位置と、
が同じとなるよう前記容器受電器、前記保管部送電器、前記搬送手段送電器が配置されていることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品収納用の容器を搬送する設備、特にガラス基板や半導体基板などの高い清浄性が求められる物品を収納するための収納容器を搬送する搬送設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイや半導体素子といった精密機器の製造における歩留まりを高くするためには、フラットパネルディスプレイの製造過程で使用されるガラス基板や、半導体素子の製造過程において使用される半導体基板（シリコンウェハーなど）といった材料基板を製造設備内で取り扱う際に、塵埃などの意図しない外部物質が基板に付着してしまわないよう、基板の清浄性を高く保つことが求められる。
【０００３】
そのため、製造工場などの設備内でこれらの基板を搬送する際には、特許文献１に記載されているように、複数の基板を上下方向に並べて収納できる矩形状の収納容器を用いて、この矩形状収納容器の両端に形成されている開口部の一方側にＦＦＵ（ファンフィルタユニット）を取り付けておくという方法が採られることがある。この方法によれば、ＦＦＵがフィルタを通して清浄化した空気を収納容器内へと送風し続けることで、収納容器内の清浄性を保ち続けることができる。
【０００４】
ただし、ＦＦＵが収納容器内への送風を継続して行うためには、ファンを駆動させるための電力がＦＦＵに供給される必要がある。そこで、特許文献１に記載されている搬送設備では、ＦＦＵへ非接触方式で給電を行うための非接触給電装置の受電部が収納容器に備えられており、さらに収納容器を収納するための収納棚には非接触給電装置の給電部が設けられていて、この収納棚に収納容器が収納されている状態では、収納棚の給電部から収納容器の受電部へと非接触方式で電力が供給されることによりＦＦＵの駆動電力を確保している。
【０００５】
ここで、非接触方式での電力供給を継続するためには、非接触給電装置の給電部（送電部）が受電部に接近している状態を保つ必要があるが、特許文献１に記載されている搬送設備においては、この設備内で走行するスタッカークレーンで収納容器を搬送するようにしているので、スタッカークレーンで収納容器を搬送している間は給電部と受電部とが離れてしまう。そこで、特許文献１では収納容器に供給された電力を蓄えるバッテリが備えられており、給電部と受電部とが離れている間はこのバッテリに蓄えられた電力でＦＦＵを駆動している。
【０００６】
しかし、設備内で多数使用される収納容器の一つ一つにバッテリを取り付けると設備構築コストが高くつき、また長期的にはバッテリが寿命により機能低下するので、バッテリ交換の手間が必要になって設備運用コストも高くつく。
【０００７】
そこで、図８（ａ）に示すように、移載の際にスタッカークレーン８０の本体部から収納棚８１へ向けて移動するフォーク８５上に送電パッド８９ｂ（送電器）を設けておくという方法がある。移載の間にはこのフォーク８５上の送電パッド８９ｂから収納容器８２の受電パッド８９ａ（受電器）へと給電を行うようにすれば、移載の間にもＦＦＵ８４が継続して駆動できる。この方法であれば、一つ一つの収納容器８２にバッテリを取り付ける必要はないので、バッテリを用いる場合より遥かに低コストで設備を構築することができ、またバッテリ交換などの手間も掛からず設備運用コストも低くできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−９１２７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、収納容器８２の移載動作中にフォーク８５が収納棚８１に最も接近したとき（図８（ａ）に示す位置よりもさらに収納棚８１側へとフォーク８５が移動したとき）にフォーク８５側の送電パッド８９ｂが収納棚８１側の送電パッド８８ｂと衝突しないようにするためには、フォーク８５が収納棚８１に最も接近したときのフォーク８５側の送電パッド８９ｂの位置と、収納棚８１側の送電パッド８８ｂの位置とが異なっている必要がある。
そこで収納容器８２には、フォーク８５上で給電を受けるための受電パッド８９ａの他に、収納棚８１上で給電を受けるための受電パッド８８ａを取り付けておき、この２つの受電パッド８８ａ，８９ａを離れた位置としておくという対策が採られることがある。特に、図８（ａ），（ｂ）に示すように、受電パッド８８ａと受電パッド８９ａとがフォーク８５の幅方向に離れて配置されていれば、これらにそれぞれ給電を行うための、収納棚８１側の送電パッド８８ｂとフォーク８５側の送電パッド８９ｂも、互いに幅方向に異なる位置に配置されることになるので、収納容器８２の移載動作中にフォーク８５側の送電パッド８９ｂが収納棚８１側の送電パッド８８ｂと衝突してしまうことがない。
【００１０】
このようにすると、図８（ａ）に示すように収納容器８２がフォーク８５上にある場合には、フォーク８５側の送電パッド８９ｂからフォーク８５用の受電パッド８９ａへと給電が行われ、図８（ｂ）に示すように収納容器８２が収納棚８１上にある場合には、収納棚８１側の送電パッド８８ｂから収納棚８１用の受電パッド８８ａへと給電が行われることになって、ＦＦＵ８４への給電が途切れなく行われる。
【００１１】
しかしながら、一つ一つの収納容器８２に掛かるコストを低減するためにバッテリを取り付けないようにしているにも関わらず、このような構成では１つの収納容器８２に対して２つの受電パッド８８ａ，８９ａが必要になるため、結局一つ一つの収納容器８２に掛かるコストは高くつく。
【００１２】
また、移載動作中にスタッカークレーン８０の本体部と収納棚８１との間で移動するフォーク８５に送電パッド８９ｂを設ける場合には、この送電パッド８９ｂへと電力供給を行うための電力ケーブルはフォーク８５の移動に追随できなければならないので、高い可撓性を有する高価なケーブルを長距離にわたって引き回さなければならず、このケーブル配線に掛かるコストも高くついてしまう。
【００１３】
このように従来の手法では、収納容器８２内の清浄性を高く保つためには搬送設備の設備構築コストが高くついてしまうという問題があった。
そこで本発明は、基板などの物品収納用の収納容器内の清浄性を高く保つことが可能でありながらも、低コストで設備構築を行うことが可能な搬送設備を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明に係る搬送設備は、物品収納用の収納容器を搬送する搬送設備において、前記収納容器を搬送する搬送手段と、前記収納容器を保管する保管部とが設けられており、前記搬送手段は、前記収納容器を前記搬送手段と前記保管部との間で移載する移載装置を有しており、前記収納容器は、清浄化した空気を前記収納容器内へ送風する送風装置を有しており、前記収納容器が前記搬送手段によって搬送されている間と、前記収納容器が前記保管部によって保管されている間に、前記搬送手段または前記保管部から前記送風装置へと動作電力を供給する送電手段が、前記搬送手段および前記保管部にそれぞれ設けられており、前記収納容器は、前記移載装置によって前記搬送手段と前記保管部との間で移載されている間には、前記送風装置が移載開始前までに行った送風によって内圧が周囲環境よりも高められた状態を維持可能であることにより、移載されている間における周囲環境からの外部物質の流入を防止可能とされていることを特徴とする。
より具体的には、本発明に係る搬送設備は、収納容器を搬送する搬送手段と、前記収納容器を保管する保管部とが設けられており、前記収納容器は、内部に物品を収納可能な収納空間を有する容器本体と、清浄化した空気を前記収納空間内へ送風する送風装置と、非接触方式により供給される前記送風装置の動作電力を受電するための容器受電器とを有しており、前記搬送手段は、前記収納容器を支持するための支持部と、前記搬送手段側の搬送位置と前記保管部側の保管位置との間で前記支持部を移動させる移載手段と、前記搬送位置における前記支持部に支持されている前記収納容器の前記容器受電器に対して非接触方式により送電を行う搬送手段送電器と、を有しており、前記保管部は、前記収納容器を保管するための保管棚と、前記保管棚に保管されている前記収納容器の前記容器受電器に対して非接触方式により送電を行う保管部送電器とを有しており、前記移載手段は、前記収納容器を支持した状態の前記支持部を前記搬送位置と前記保管位置との間で移動させることにより、前記搬送手段と前記保管部との間で前記収納容器を相互に移載することが可能であり、前記収納容器は、前記移載手段によって前記搬送位置と前記保管位置との間で移動させられている間には、前記送風装置が移動開始前までに行った送風によって内圧が周囲環境よりも高められた状態を維持可能であることにより、移動させられている間における周囲環境からの外部物質の流入を防止可能とされていることを特徴とする。
この構成によれば、収納容器が移載されている間は、収納空間内の内圧によって塵埃などの外部物質の流入が防がれるため、ＦＦＵなどの送風装置が移載中に給電を受けられずに停止していたとしても収容空間内の清浄性が高く保たれる。
【００１５】
また、本発明に係る搬送設備は、上記構成に加えて、前記容器本体の外面のうち、第１の面には収納空間に繋がる第１の開口部が形成されており、前記第１の面と対向する第２の面には前記第１の開口部と対向する第２の開口部が形成されており、前記第１の面に蓋体を着脱することで前記第１の開口部を開放または閉鎖可能であり、送風装置が前記第２の面に取り付けられており、前記送風装置が前記第２の開口部から前記蓋体によって閉鎖された前記第１の開口部へ向けて送風することによって、前記収納空間の内圧が周囲環境よりも高められるようにしてもよい。
この構成によれば、送風装置から送風される空気は、送風装置と対向する位置の第１の開口部に向けて送られるが、その第１の開口部が蓋体で閉鎖されているため収納空間内から出ることができない。第１の開口部に向けて送られた空気が外へ出ることができない一方で、第２の開口部からは送風装置により空気が送り込まれ続けるため、収納空間内の空気密度は周囲環境よりも高められていく。このようにして、収納空間内の内圧が確実に高められる。また納空間内の空気は周囲環境へ流出することを蓋体によって遮られるため、送風装置による送風が停止してもすぐには内圧が低下しない。
【００１６】
また、本発明に係る搬送設備は、上記構成に加えて、前記搬送手段が、前記支持部および前記移載手段を水平面内で旋回させる旋回台を有しており、前記旋回台には、前記移載手段による前記支持部の移動方向とは逆方向に延びている拡張フレームが取り付けられており、前記搬送手段送電器が、前記拡張フレームに取り付けられているようにしてもよい。
この構成によれば、旋回台の外側、ひいては支持部の外側に搬送手段送電器を設けることができる。そのため、容器受電器の配置が、収納容器を支持部で支持した際に支持部の外側に位置するようになっていても、支持部の外側にて問題なく搬送手段送電器から容器受電器への給電を行うことができる。さらに、拡張フレームが延びている方向は支持部の移動方向と逆方向であるため、拡張フレームが支持部の移動を阻害してしまうことがない。
【００１７】
また、本発明に係る搬送設備は、上記構成に加えて、保管部に保管されている収納容器の容器受電器に対する保管部送電器の相対位置と、搬送位置における搬送手段の支持部に支持されている収納容器の容器受電器に対する搬送手段送電器の相対位置と、が同じとなるよう容器受電器、保管部送電器、搬送手段送電器が配置されているようにしてもよい。
この構成によれば、収納容器が保管部に保管されている状態でも、搬送手段で搬送されている状態でも、非接触給電用の送電器と受電器の位置関係が同じになるため、保管部における非接触給電と搬送手段における非接触給電とで電磁的な条件を揃えることが可能となる。そのため、移載作業中以外は送風装置の動作を一定に保つことができて、収納空間内の内圧、ひいては清浄性を一定に保つことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、収納容器の移載中に送風装置が停止していたとしても収納容器内の清浄性を高く保つことができるため、移載中に収納容器を支持しながら移載方向に移動する支持部に送電器を設けなくともよい。そのため支持部の移動に追随できるような高可撓性ケーブルを長距離にわたって引き回す必要がなくなり、配線コストを低く抑えることができる。
また、移載動作の際に搬送手段と保管部との間で移動する支持部に送電器を設けないのであれば、移載動作の際に支持部側の送電器と保管部側の送電器とが衝突する可能性を考慮しなくてよいので、搬送手段送電器と保管部送電器とを同じ幅方向位置に配置することができる。そのような配置であれば送風装置は搬送手段での搬送中にも保管部での保管中にも同一の容器受電器で電力供給を受けることができるため、収納容器に取り付ける受電器は容器受電器の１つのみで済む。つまり収納容器に２つの受電器を取り付ける必要がなくなるので、一つ一つの収納容器に掛かるコストを低く抑えることができる。したがって、搬送設備の構築を低コストで行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る搬送設備の実施形態の一例を示す平面図。
【図２】図１に示す搬送設備の概略側面図。
【図３】同実施形態の搬送設備において使用する収納容器を示す斜視図。
【図４】同実施形態の搬送設備において搬送台車が保管部の前に位置している状態を示す概略平面図。
【図５】図４のＡ−Ａ矢視図。
【図６】図４および図５に示す搬送台車の屈伸式アームが伸びた状態を示す概略平面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ矢視図。
【図８】従来技術における収納容器のＦＦＵに対する給電の様子を示す概略平面図であり、（ａ）は収納容器がフォークに支持されつつ移載されている状態を示す図、（ｂ）は収納容器が収納棚に載置されている状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明に係る搬送設備の実施形態の一例を、図１〜図７を参照して説明する。
（搬送設備）
図１にて概略的に示す搬送設備１０においては、ガラス基板などの扁平状物品が収納容器２０に収納された状態で搬送される。収容容器２０を搬送するための搬送手段としての搬送台車５０（スタッカークレーン）は、搬送設備１０内で搬送方向Ｗに延びる搬送経路に沿って走行する。この搬送台車５０の搬送経路に対して搬送方向Ｗと直角に交差する移載方向Ｙの側には、収納容器２０を保管するための保管部としてのラック１１が配設されている。
なお図面中においては、各部材間の位置関係をわかりやすくするため、収納容器２０およびそれに付属する部材を仮想線で示すことがある。
【００２１】
（保管部）
図１，図２に示す搬送設備１０においては、保管部としての２つのラック１１が、これらの間に搬送台車５０の搬送経路を挟むようにして互いに向かい合わせて設けられている。言い換えると、搬送台車５０から搬送経路に沿った搬送方向Ｗを向いたとき、左右両側にラック１１が設けられていて、搬送台車５０の走行経路はこれら左右のラック１１同士の間に設定されているということである。
ラック１１には、複数の保管棚１３が搬送方向Ｗに沿って並ぶように設けられており、この保管棚１３のそれぞれが収納容器２０を保管可能である。また図２の概略側面図に示すように、鉛直方向Ｈにも上下複数段の保管棚１３が重なるように設けられている。ラック１１は鉛直方向Ｈに延びる複数の柱１６を有しており、図１に示すように、保管棚１３の一つ一つは、搬送方向Ｗについてはこの柱１６によって区切られている。そして移載方向Ｙに沿って並ぶ２本の柱１６の間を掛け渡すように棚板１７が設けられていて、図２に示すように、鉛直方向Ｈについてはこの棚板１７によって一つ一つの保管棚１３が区切られている。
図１に示すように、棚板１７は搬送方向Ｗに大きくは広がっておらず、搬送方向Ｗに並ぶ柱１６同士の間に形成される空間のうち、搬送方向Ｗの端部（棚柱１６の近傍）のみに広がっている。これにより、１つの保管棚１３には搬送台車５０から移載方向Ｙを見て左側の棚板１７と右側の棚板１７との、２枚の棚板１７が含まれることになり、これら２枚の棚板１７同士の間には間隔が広がっている。搬送台車５０から移載方向Ｙを見て左右２本の柱１６間の距離は収納容器２０の幅よりも大きく、棚板１７同士の間の間隔は収納容器２０の幅よりも小さい。このため、収納容器２０が保管棚１３にて保管される際には、幅方向の両端部のみが２枚の棚板１７でそれぞれ支持された状態となる。
また、１つの保管棚１３に含まれる２枚の棚板１７のうち片方（ここでは搬送台車５０から移載方向Ｙを向いたときの右側）の、搬送台車５０の搬送経路に近い側（搬送台車５０から見て手前側）の端部には、保管部送電器（送電手段）として、非接触給電用の保管棚パッド１８が設けられている。保管棚パッド１８は、外部電源からの電流が流れることにより磁束を発生させるコイルが埋め込まれた板にて形成されている。
【００２２】
（収納容器）
この搬送設備１０内での搬送対象となる収納容器２０の構造を図３に示す。
収納容器２０は略直方体の形状のうち対向する２面が開口した四角筒状の容器本体２５を備えており、この容器本体２５内部で物品を収納するための収納空間となる基板収納空間２７には、ガラス基板などの扁平状物品（図示せず）を鉛直方向Ｈ上下に複数枚並べて収納することができるように、基板を載置状態で支持できる基板載置桟２７ａが上下に複数設けられている。
容器本体２５のうち開口している２面、すなわち第１の開口部２５ａと第２の開口部２５ｂにはそれぞれ、蓋体としてのシャッター２１と、送風装置としてのＦＦＵ２４（ファンフィルタユニット）が取り付けられる。
収納対象となる基板は第１の開口部２５ａから基板収納空間２７に対して出し入れされる。そして、基板の出し入れ作業以外の期間はシャッター２１によって第１の開口部２５ａが閉鎖される。
ＦＦＵ２４は第２の開口部２５ｂを覆うことのできるＦＦＵ取付板２２に取り付けられており、このＦＦＵ取付板２２で第２の開口部２５ｂを覆った状態にすると、ＦＦＵ２４は、第２の開口部２５ｂから第１の開口部２５ａへ向けて送風を行う姿勢になる。またＦＦＵ取付板２２には、容器受電器として、ＦＦＵ２４のファンの駆動電力を非接触給電方式により外部から受電する容器パッド２８が取り付けられている。容器パッド２８は、外部の磁束変動に応じて電流を発生させるコイルが埋め込まれた板にて形成されている。
シャッター２１とＦＦＵ取付板２２はそれぞれ複数の係合部２１ａ、２２ａを備えており、シャッター２１とＦＦＵ取付板２２を鉛直方向Ｈに沿って下方へと降ろしながら、容器本体２５の側面に設けられた係止部２６ａ，２６ｂに係合部２１ａ，２２ａを引っ掛けることで、第１の開口部２５ａ，第２の開口部２５ｂがそれぞれシャッター２１，ＦＦＵ取付板２２によって閉鎖される。
【００２３】
（搬送台車）
図１に示す搬送手段としての搬送台車５０は、搬送設備１０内に規定された搬送経路に沿って敷設されたレール上を搬送方向Ｗに走行することが可能なスタッカークレーンなどの走行装置である。この搬送台車５０は収納容器２０を支持するための支持部としてのフォーク５５を備えており、このフォーク５５上に収納容器２０が支持された状態で搬送台車５０がレール上を走行することにより、搬送設備１０内での収納容器２０の搬送が行われる。そして、搬送台車５０は搬送方向Ｗに沿って２本並んだマスト５１を有しており、このマスト５１は図２に示すように鉛直方向Ｈに延びている。フォーク５５はマスト５１に沿って鉛直方向Ｈに昇降することが可能になっており、搬送台車５０は収納容器２０を支持した状態のフォーク５５を鉛直方向Ｈへと昇降させることにより、上下複数段の保管棚１３のそれぞれに対して収納容器２０の鉛直方向Ｈ内の位置を合わせることができる。なお、フォーク５５を鉛直方向Ｈへと昇降させている間や、後述の旋回をしている間には搬送方向Ｗに沿っての搬送台車５０の走行が一時的に停止することがあるが、こうした一時的な停止状態も目的地となる保管棚１３に至るまでの過程の一部であるので、本実施形態においては、搬送台車５０が搬送方向Ｗに走行している間だけでなく、昇降・旋回を行っている間もまとめて、フォーク５５上に収納容器２０を支持した状態のうち後述の移載動作中以外は、収納容器２０が搬送台車５０によって搬送されているものと考える。
【００２４】
（旋回台）
図４、図５に示すように、搬送台車５０はマスト５１の間に旋回台５３を有しており、フォーク５５は移載手段としての屈伸式アーム５２を介して旋回台５３上に取り付けられている。屈伸式アーム５２とフォーク５５とで移載装置を構成する。この旋回台５３が屈伸式アーム５２とフォーク５５を水平面内で旋回させることにより、屈伸式アーム５２とフォーク５５の姿勢を変更することができる。なお、旋回台５３、屈伸式アーム５２、フォーク５５は昇降台５７に搭載され、一纏まりで鉛直方向Ｈへと昇降するようになっている。この旋回台５３によってフォーク５５および屈伸式アーム５２を旋回させることにより、搬送方向Ｗの左右両側に設けられているラック１１のどちらに対して移載を行うかを切り替えることができる。
図１では、フォーク５５はその長手方向が搬送方向Ｗと一致する姿勢になっているが、図４では、フォーク５５は旋回台５３によって図１での姿勢から９０°旋回させられて、長手方向が移載方向Ｙと一致する姿勢になっている。
【００２５】
（フォーク）
フォーク５５は略長方形状の板で構成されており、その短手方向寸法は保管棚１３の２枚の棚板１７同士の間の間隔よりも小さくなっている。
フォーク５５は屈伸式アーム５２を屈伸させることによって水平方向に移動させることが可能となっている。特に、図４に示すような、フォーク５５の長手方向が移載方向Ｙと一致する姿勢であるときに屈伸式アーム５２を屈伸させると、フォーク５５が移載方向Ｙに移動するようになっている。屈伸式アーム５２の屈伸によってフォーク５５を移載方向Ｙに移動させると、図５，図７に示すように、旋回台５３上（搬送手段側）の搬送位置５５ａと保管棚１３内（保管部側）の保管位置５５ｂとの間でフォーク５５が移動する。
そして、収納容器２０を支持した状態のフォーク５５を、図４に示すように長手方向が移載方向Ｙと一致する姿勢へと旋回させてから、フォーク５５を搬送位置５５ａから保管位置５５ｂへと移動させて、図６に示すようにフォーク５５を棚板１７同士の間に差し込むことにより、保管棚１３内に収納容器２０を送り込むことができる。
【００２６】
（拡張フレーム）
図１〜図７に示すように、旋回台５３上には屈伸式アーム５２のほかに拡張フレーム５９が取り付けられている。この拡張フレーム５９は、図６に示すように平面視Ｔ字状の形状になっており、そのＴ字縦辺部の先端が旋回台５３上に取り付けられている。そしてこのＴ字縦辺部は、図７に示すように、屈伸式アーム５２が伸びる方向とは反対側に延びており、側面視Ｌ字状に上方へと折れ曲がって、Ｔ字横辺部へと繋がっている。さらに、図６に示すように、Ｔ字横辺部の一端側に、搬送手段送電器（送電手段）として、非接触給電用の搬送台車パッド５８が設けられている。搬送台車パッド５８は、外部電源からの電流が流れることにより磁束を発生させるコイルが埋め込まれた板にて形成される。
【００２７】
（移載動作）
ここで、搬送台車５０によって搬送されている収納容器２０を保管棚１３へと移載する際の移載動作について説明する。まず、収納容器２０を支持した状態のフォーク５５を鉛直方向Ｈにおいて棚板１７よりもやや上方側まで昇降させるとともに、フォーク５５の長手方向が移載方向Ｙと一致する姿勢へと旋回させて、図５に示すように収納容器２０が保管棚１３の入り口に臨む状態とする。その後、屈伸式アーム５２を伸ばしてフォーク５５を搬送位置５５ａから保管位置５５ｂへと移動させ、それからフォーク５５を棚板１７よりも下方側へと下降させると、棚板１７同士の間の間隔がフォーク５５の短手方向寸法よりも大きく、かつ収納容器２０の幅よりも短いために、フォーク５５は棚板１７同士の間を通り抜ける一方で、収納容器２０は棚板１７上に載り図７に示す状態となる。このようにして、フォーク５５上に支持されていた収納容器２０が図７に示すように棚板１７上へと移し替えられる。収納容器２０の移載自体はこれで完了であるが、搬送台車５０が次の作業に移ることができるように、屈伸式アーム５２を縮めてフォーク５５を搬送位置５５ａへと戻し、さらに旋回台５３によりフォーク５５および屈伸式アーム５２を旋回させて、フォーク５５の長手方向が搬送方向Ｗと一致する姿勢へと戻しておく。
なお、保管棚１３に保管されている収納容器２０を取り出して搬送台車５０へと移載する際には、フォーク５５を鉛直方向Ｈで棚板１７よりもやや下方の位置で棚板１７同士の間に差し込んで（図７の状態）から、フォーク５５を上昇させることにより、棚板１７上からフォーク５５へと収納容器２０を移し替えることができる。その後、保管位置５５ｂにて収納容器２０を支持した状態のフォーク５５を、屈伸式アーム５２を縮めて搬送台車５０側の搬送位置５５ａへと引き込む（図５の状態）ことにより、収納容器２０が保管棚１３から搬送台車５０へと移載される。
【００２８】
（移載開始前）
収納容器２０を搬送台車５０から保管棚１３へと移載する際の、基板収納空間２７内の様子を説明する。
移載開始前には、図４，図５に示すように、非接触給電の送電側となる搬送台車パッド５８と、受電側となる容器パッド２８とが接近した状態が保たれているため、ＦＦＵ２４には非接触給電により駆動電力が継続して供給されている。よってＦＦＵ２４のファンがフィルタを介して清浄化された空気を基板収納空間２７内へと送り込み続ける。この状態においては、ＦＦＵ２４により基板収納空間２７内へと空気が送り込まれることにより収納容器２０の内圧が周囲環境よりも高まっており、塵埃などの外部物質は周囲環境から基板収納空間２７内に入り込むことができない。このため、基板収納空間２７内の清浄性は高く保たれており、収納容器２０に収納されている基板へ塵埃などが付着してしまうことがない。
【００２９】
（移載中）
移載のためにフォーク５５を搬送位置５５ａから保管位置５５ｂへと移動させている間は、フォーク５５上の収納容器２０に取り付けられている容器パッド２８が搬送台車パッド５８から離れることになるので、ＦＦＵ２４は駆動電力の供給を受けられなくなり、ＦＦＵ２４による送風が停止する。
しかしながら、収納容器２０は、図３に示すように、基板収納空間２７に繋がる第１の開口部２５ａおよび第２の開口部２５ｂがそれぞれシャッター２１およびＦＦＵ取付板２２により閉鎖されて密封される構造となっているため、基板収納空間２７内の空気は外部へと逃げることはできない。そのため、移載開始前までに搬送位置５５ａのフォーク５５上においてＦＦＵ２４が送風を行うことによって高めた基板収納空間２７の内圧は、周囲環境よりも高いまま維持される。
基板収納空間２７の内圧が周囲環境よりも高いままであるため、移載中にＦＦＵ２４の送風が停止していても、外部物質は周囲環境から基板収納空間２７内へと入り込むことはできず、基板収納空間２７内の清浄性は高く保たれる。
【００３０】
（移載完了後）
移載が完了して収納容器２０が図６，図７に示すように保管棚１３にて棚板１７に支持されている状態では、非接触給電の送電側となる保管棚パッド１８が容器パッド２８に接近しているため、ＦＦＵ２４に再び駆動電力が供給される。よって移載完了後はＦＦＵ２４が基板収納空間２７内への送風を再開するため、基板収納空間２７の内圧は高く維持され続け、基板収納空間２７内の清浄性が保たれる。
以上のように、本実施形態の搬送設備１０においては、移載中にＦＦＵ２４による送風が途切れている期間がありながらも、基板収納空間２７内の清浄性が移載開始前から移載完了後にまでわたって高く保たれる。
【００３１】
（本実施形態の利点）
本実施形態の搬送設備１０においては、移載中にＦＦＵ２４が停止しても基板収納空間２７内の清浄性が保たれるため、移載中にＦＦＵ２４への給電を継続する必要がない。そのため、拡張フレーム５９上の搬送台車パッド５８は移載中におけるフォーク５５の移載方向Ｙへの動きに追随する必要がない。したがって配線のために可撓性の高いケーブルを用いる必要がなく、低コストに搬送設備１０を構築することができる。
また本実施形態においては、ＦＦＵ２４の駆動電力供給のために収納容器２０に取り付けられている非接触給電用のパッドは、容器パッド２８の１つのみで済み、図８に示す従来技術のように２つの受電パッド８８ａ，８９ａを設ける必要がない。このため、一つ一つの収納容器２０を用意するために必要なコストを低く抑えることができる。
【００３２】
また本実施形態においては、基板収納空間２７に繋がる第１の開口部２５ａと第２の開口部２５ｂが閉鎖されて、収容容器２０が密封状態となっているので、ＦＦＵ２４の送風により基板収納空間２７の内圧を一旦高めておくと、その後は送風を停止しても内圧が下がりにくい。そのため、移載に多少の時間がかかったとしても、その間に内圧が下がって基板収納空間２７に外部物質が流入するおそれがない。
【００３３】
また本実施形態においては、旋回台５３に取り付けられた拡張フレーム５９上に搬送台車パッド５８が設けられているので、図４，図５に示すように、フォーク５５の外側に搬送台車パッド５８を設けることができる。そのため、図４に示すように、収納容器２０がフォーク５５上に支持されているときに容器パッド２８がフォーク５５の外側に位置していても、そのフォーク５５の外側の位置にて容器パッド２８へと非接触給電が行えるように、拡張フレーム５９の形状を適切に設計することで搬送台車パッド５８の位置を調節して設けることができる。また拡張フレーム５９は屈伸式アーム５２の屈伸方向すなわちフォーク５５の移動方向とは反対方向に延びているため、この拡張フレーム５９が屈伸式アーム５２の屈伸およびフォーク５５の移動を妨げることがない。また拡張フレーム５９および搬送台車パッド５８はフォーク５５と共に旋回するので、屈伸式アーム５２の屈伸による移載動作が始まる直前までは容器パッド２８への給電を継続することができる。
さらに、拡張フレーム５９の形状が適切であれば、図４，図５に示すような、収納容器２０が搬送位置５５ａのフォーク５５上で支持されている状態における搬送台車パッド５８と容器パッド２８との位置関係を、図６、図７に示すような、収納容器２０が保管棚１３にて保管されている状態における保管棚パッド１８と容器パッド２８との位置関係と同じにすることができる。すると、収納容器２０が保管棚１３で保管されている状態でも、搬送台車５０で搬送されている状態でも、非接触給電の電磁的な条件を同じにすることが可能となるので、移載中以外はＦＦＵ２４の動作を一定とすることができて、基板収納空間２７内の内圧、ひいては清浄性を安定に保つことができる。
【００３４】
（変形例）
なお本実施形態においては図３に示すように基板の出し入れ口となる第１の開口部２５ａと対向する第２の開口部２５ｂからＦＦＵ２４が送風を行っているが、送風方向はこれに限るものではなく、送風によって基板収納空間２７内の内圧を高めることができればよい。例えば収納容器２０の上面側から送風を行うようにしてもよい。なお本実施形態においてはＦＦＵ２４と容器パッド２８を共に第２の開口部２５ｂ側に取り付けているが、ＦＦＵ２４と容器パッド２８を電力ケーブルで繋いでおけばＦＦＵ２４を容器パッド２８とは異なる面（例えば上面）に取り付けることもできる。
また本実施形態においては、ＦＦＵ２４をＦＦＵ取付板２２に取り付けるとともに、このＦＦＵ取付板２２を第２の開口部２５ｂに対して脱着可能とすることで、第２の開口部２５ｂを開放することも閉鎖することも可能としているが、収納容器２０においてＦＦＵ２４を取り付ける側の面は常に閉鎖されていてもよい。すなわち、ＦＦＵ取付板２２が容器本体２５の一面を形成するようにして、容器本体２５と一体化したＦＦＵ取付板２２にＦＦＵ２４が取り付けられた構造としてもよい。
【００３５】
また本実施形態においては保管棚１３においても搬送位置５５ａのフォーク５５においても非接触給電の送電側と受電側との位置関係が同じとなるようにしているが、これらの相対位置が厳密に同じとなるように配置がなされていなくともよく、移載動作中（屈伸アーム５２が伸び縮みする期間）以外の期間においてＦＦＵ２４への非接触給電が行われるように、送電側のパッド（保管棚パッド１８、搬送台車パッド５８）と受電側のパッド（容器パッド２８）とが十分に接近した状態となるよう配置がなされていればよい。
【００３６】
また本実施形態においては拡張フレーム５９を介して搬送台車パッド５８を旋回台５３に取り付けているが、必ずしも拡張フレーム５９を設ける必要はなく、搬送台車５０、収納容器２０、保管棚１３などの構造、特に、容器パッド２８と保管棚パッド１８の配置に応じて搬送台車パッド５８の配置を変更してもよい。例えば旋回台５３が平面視においてフォーク５５の外側まで広がっている形状であるなら、フォーク５５の外側となる旋回台５３上に搬送台車パッド５８を直接取り付けてもよい。
【００３７】
また本実施形態においては容器パッド２８，保管棚パッド１８，搬送台車パッド５８を非接触給電方式で送受電を行うものとしているが、機械的な接触に伴う粉塵や火花の発生への対策と、正確な位置合わせを行うための処置がなされていれば、これらのパッドを接触給電方式、例えば、平面状に広がった金属端子ランド同士を接触させることで給電を行う方式として構成してもよい。
【００３８】
また本実施形態においては搬送経路に沿って敷設されたレール上を走行する搬送台車５０を搬送手段として用いて収納容器２０の搬送を行っているが、搬送手段はこれに限るものではなく、例えば設備の天井側から吊り下げられた状態で収納容器２０の搬送を行う天井搬送車などでもよい。また保管部についても本実施形態の保管棚１３に限るものではなく、例えば非接触給電装置を備えたパレット上に収納容器２０を載置することで保管を行うものであってもよい。また、本実施形態のように保管部を複数の保管棚１３で構成するのではなく、単一の保管棚で構成するものであってもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１０      搬送設備
１１      ラック
１３      保管棚
１８      保管棚パッド
２０      収納容器
２１      シャッター
２４      ＦＦＵ
２８      容器パッド
５０      搬送台車
５５      フォーク
５５ａ    搬送位置
５５ｂ    保管位置
５８      搬送台車パッド
５９      拡張フレーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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