(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体と電気的に絶縁された高電圧電源系の地絡を検出する地絡検出回路（１０）であって、
前記高電圧電源系に接続され、直流成分を絶縁する絶縁手段（Ｃｓ）と、
前記絶縁手段に直列接続された抵抗手段（Ｒｓ）と、
前記抵抗手段に直列接続され、前記抵抗手段に所定周波数の交流電圧を印加する発振手段（１２）と、
前記絶縁手段と前記抵抗手段との接続点での電圧に基づいて、前記地絡を検出する検出手段（１１，１３）と、
前記高電圧電源系に含まれるバッテリ（２０）と前記高電圧電源系に含まれるその他の電気機器（３３，３４）との接続状態に応じて、前記発振手段により出力される前記交流電圧の所定周波数を変化させる可変手段（１１）と、を備え、
前記その他の電気機器は、走行用モータ（３３）、及び前記走行用モータの駆動とは異なる用途で用いられる電力変換器（３４）を含み、
前記可変手段は、前記バッテリに前記電力変換器が接続されている場合における前記所定周波数を、前記バッテリに前記走行用モータが接続されている場合における前記所定周波数よりも低くすることを特徴とする高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【請求項２】
所定通過帯域から外れた周波数成分を遮断するデジタルフィルタ手段（１１）を備え、
前記可変手段は、前記交流電圧の所定周波数に応じて、前記フィルタ手段の所定通過帯域を変化させる請求項１に記載の高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【請求項３】
前記電力変換器と車体との間には、ノイズ対策用コンデンサが接続されている請求項１又は２に記載の高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【請求項４】
前記可変手段は、前記バッテリに前記その他の電気機器が接続されていない場合における前記所定周波数を、前記バッテリに前記その他の電気機器が接続されている場合における前記所定周波数よりも高くする請求項１〜３のいずれかに記載の高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【請求項５】
前記その他の電気機器は、走行用モータを含み、
前記可変手段は、前記バッテリに前記その他の電気機器が接続されていない場合における前記所定周波数を、前記バッテリに前記走行用モータが接続されている場合における前記所定周波数よりも高くする請求項４に記載の高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【請求項６】
前記可変手段は、前記バッテリに前記その他の電気機器が接続されていない場合における前記所定周波数を、前記バッテリに前記走行用モータが接続されている場合における前記所定周波数よりも高くする請求項１又は２に記載の高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高電圧のバッテリが採用されたハイブリッド自動車や電気自動車等では、地絡に対する保護の重要性が認識されており、種々の地絡検出回路が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の地絡検出回路は、車体に高い電気抵抗（絶縁抵抗）を介して設置された直流電源回路に接続されたカップリングコンデンサに、出力インピーダンスを介して所定周波数の交流電圧を印加し、カップリングコンデンサと出力インピーダンスとの接続点における対地電圧を検出している。この対地電圧は、交流電圧を出力インピーダンスと絶縁抵抗で分圧した電圧である。上記検出回路では、この分圧の変動に基づいて、直流電源回路の地絡を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許３７８１２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記検出回路において、地絡の検出は、交流電圧の１波形ごとに行われる。よって、地絡を早期に検出するためには、交流電圧の周波数を高くし、漏電の検出頻度を高くすればよい。
【０００６】
しかしながら、絶縁抵抗には並列に浮遊容量が存在する。交流電圧の周波数を高くすると、浮遊容量のインピーダンスが小さくなるため浮遊容量の影響が大きくなり、絶縁抵抗に対応した分圧の検出精度が低下するおそれがある。ひいては、地絡の検出精度が低下するおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記実情に鑑み、高電圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを適切に両立することが可能な高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するため、車体と電気的に絶縁された高電圧電源系の地絡を検出する地絡検出回路であって、前記高電圧電源系に接続され、直流成分を絶縁する絶縁手段と、前記絶縁手段に直列接続された抵抗手段と、前記抵抗手段に直列接続され、前記抵抗手段に所定周波数の交流電圧を印加する発振手段と、前記絶縁手段と前記抵抗手段との接続点での電圧に基づいて、前記地絡を検出する検出手段と、前記高電圧電源系に含まれるバッテリと前記高電圧電源系に含まれるその他の電気機器との接続状態に応じて、前記発振手段により出力される前記交流電圧の所定周波数を変化させる可変手段と、を備える。
【０００９】
本発明によれば、高電圧電源系に接続された絶縁手段と絶縁手段に直列接続された抵抗手段との接続点での電圧に基づいて、高電圧電源系の地絡が検出される。上記接続点での電圧は、抵抗手段に印加される交流電圧を、高電圧電源系の絶縁抵抗と抵抗手段とで分圧した電圧となる。高電圧電源系の絶縁抵抗に並列に浮遊容量が存在する場合、交流電圧の周波数を高くするほど、浮遊容量の影響が大きくなって、絶縁抵抗に対応する電圧降下分が小さくなり、高電圧電源系の地絡の検出精度は低下する。一方、交流電圧の周波数を高くするほど、地絡の検出機会は増加する。
【００１０】
ここで、高電圧電源系の地絡の発生頻度は、高電圧電源系に含まれるバッテリとその他の電気機器との接続状態に応じて異なる。地絡の発生頻度が高い場合には、地絡の発生頻度が低い場合よりも、地絡の検出頻度を高くすることが望まれる。よって、高電圧電源系に含まれるバッテリとその他の電気機器との接続状態に応じて、交流電圧の所定周波数を変化させることにより、高電圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを適切に両立することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る地絡検出回路の概略構成を示す図。
【図２】絶縁抵抗と接続点Ｐの電圧との特性を示す図。
【図３】走行中の地絡検出回路の概略構成を示す図。
【図４】停車中の地絡検出回路の概略構成を示す図。
【図５】充電中の地絡検出回路の概略構成を示す図。
【図６】バッテリと電気機器との接続パターンに対するノイズ量、浮遊容量、漏電の発生度、及び交流電圧の周波数を示す図。
【図７】他の実施形態に係る高圧電源系の概略構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、高電圧電源系を備えた車両の地絡検出回路を具現化した実施形態について説明する。本実施形態に係る地絡検出回路１０を適用する車両は、高電圧電源系を備え走行用モータを駆動源としたハイブリッド自動車、電気自動車、及び燃料電池自動車等を想定している。
【００１３】
まず、本実施形態に係る車両の高電圧電源系の構成について、図１を参照しつつ説明する。本車両の高圧電源系は、バッテリ２０及び複数の電気機器を含み、車体と電気的に絶縁されている。複数の電気機器は、コンバータ３１、インバータ３２、ＭＧ３３及び電力変換器３４を含む。
【００１４】
バッテリ２０は、複数の電池セルが直列接続されて構成された高圧（例えば数百Ｖ）の組電池であり、例えばリチウムイオン二次電池である。バッテリ２０は、スイッチＳＷ１及びＳＷ２を介してコンバータ３１に接続される。コンバータ３１にはインバータ３２が接続されており、インバータ３２は、ＭＧ３３が接続されている。
【００１５】
ＭＧ３３（走行用モータ）は、車両に走行動力を付与する電動機として作動するとともに、車両の減速時に回生発電を行う発電機として作動するモータジェネレータである。インバータ３２は、ＭＧ３３を発電機又は電動機として駆動する。コンバータ３１は、ＭＧ３３が電動機として作動する場合、バッテリ２０から供給された電力を昇圧してインバータ３２に供給する。また、コンバータ３１は、ＭＧ３３が発電機として作動する場合、インバータ３２から供給された電力を昇圧して、バッテリ２０を充電する。
【００１６】
さらに、バッテリ２０は、スイッチＳＷ３及びＳＷ４を介して電力変換器３４に接続される。電力変換器３４は、ＭＧ３３の駆動とは異なる用途で用いられる電気機器である。本実施形態において、電力変換器３４は、外部電源のプラグの差し込み口を有し、車両の外部から供給された電力の電圧を変換してバッテリ２０に供給する充電器とする。なお、電力変換器３４は、外部負荷のプラグの差し込み口を有し、バッテリ２０の電力を電圧変換して外部負荷に供給する機器でもよい。
【００１７】
高電圧電源系に含まれるバッテリ２０、コンバータ３１、インバータ３２、ＭＧ３３及び電力変換器３４と車体との間には、対地絶縁抵抗４１ａ〜ｅ及び対地浮遊容量４２ａ〜ｅがそれぞれ存在する。特に、電力変換器３４はノイズ量が多いため、電力変換器３４と車体との間には、ノイズ対策用コンデンサが接続されることが多い。ここでは便宜上、ノイズ対策用コンデンサも対地浮遊容量４２ｅに含める。よって、対地浮遊容量４２ｅは、対地浮遊容量４２ｂ〜ｄよりも大きい。また、対地浮遊容量４２ｂ〜ｄの中では、インバータ３２の対地浮遊容量４２ｃが大きく、コンバータ３１及びＭＧ３３の対地浮遊容量４２ｂ，４２ｄは小さい。以下、対地絶縁抵抗４１ａ〜ｅの少なくとも１つを示す場合は対地絶縁抵抗４１とし、対地浮遊容量４２ａ〜ｅの少なくとも１つを示す場合は対地浮遊容量４２とする。
【００１８】
次に、本実施形態に係る地絡検出回路１０の構成について、図１を参照して説明する。地絡検出回路１０は、カップリングコンデンサＣｓ、抵抗素子Ｒｓ、発振回路１２、検出回路１３、及びＣＰＵ１１を備え、高電圧電源系における車体への地絡を検出する。
【００１９】
カップリングコンデンサＣｓ（絶縁手段）は、バッテリ２０の負極端子側に接続されており、直流成分を絶縁する。抵抗素子Ｒｓ（抵抗手段）は、カップリングコンデンサＣｓに直列接続されているとともに、発振回路１２に直列接続されている。
【００２０】
発振回路１２（発振手段）は、所定周波数のパルス電圧（交流電圧であればよい）を発生し、所定周波数のパルス電圧を抵抗素子Ｒｓに印加する。所定周波数は、ＣＰＵ１１により設定される。
【００２１】
検出回路１３は、カップリングコンデンサＣｓと抵抗素子Ｒｓとの接続点Ｐに接続されており、接続点Ｐにおける対地電圧を抽出して、ＣＰＵ１１へ出力する。詳しくは、検出回路１３は、バンドパスフィルタ回路及び増幅回路を含む。バンドパスフィルタ回路は、接続点Ｐの対地電圧からバッテリ２０の電圧変動に伴う変動成分等のノイズ成分を除去し、ノイズ成分を除去した接続点Ｐの対地電圧を増幅回路に入力する。増幅回路は、接続点Ｐの対地電圧のピーク値と基準電圧との差分を増幅してＣＰＵ１１へ入力する。
【００２２】
接続点Ｐにおける対地電圧は、抵抗素子Ｒｓに印加された交流電圧を、抵抗素子Ｒｓと高電圧電源系の対地絶縁抵抗とで分圧した電圧となる。高電圧電源系の対地絶縁抵抗は、バッテリ２０の対地絶縁抵抗４１ａ、及びバッテリ２０に接続されている電機機器の対地絶縁抵抗４１を合成した値となる。また、高電圧電源系の対地浮遊容量は、バッテリ２０の対地浮遊容量４２ａ、及びバッテリ２０に接続されている電機機器の対地浮遊容量４２を合成した値となる。
【００２３】
ＣＰＵ１１は、マイクロコンピュータであり、ＳＷ１〜４のオンオフを制御するとともに、交流電圧の所定周波数を設定する。また、ＣＰＵ１１は、検出回路１３から入力された電圧に基づいて、高電圧電源系の地絡を検出する。詳しくは、ＣＰＵ１１は、接続点Ｐの対地電圧が基準電圧よりも低い場合に、地絡と判定する。なお、接続点Ｐにおける対地電圧と、予め用意されている対地電圧と絶縁抵抗とのマップから、絶縁抵抗を算出してもよい。
【００２４】
ここで、交流電圧の所定周波数をｆｃ、対地浮遊容量４２の容量値をＣとした場合、対地浮遊容量４２のインピーダンスＸは、Ｘ＝１／（２π×ｆｃ×Ｃ）となる。すなわち、所定周波数ｆｃが高くなるほどインピーダンスＸは小さくなるとともに、容量値Ｃが大きくなるほどインピーダンスＸは小さくなる。そして、インピーダンスＸが小さくなるほど、対地絶縁抵抗４１に対する対地浮遊容量４２の影響が大きくなり、対地絶縁抵抗４１に対応する電圧降下分が小さくなって、接続点Ｐの対地電圧は小さくなる。
【００２５】
よって、図２に示すように、実際の対地絶縁抵抗４１が同じ値でも、所定周波数ｆｃが高くなるほど又は容量値Ｃが大きくなるほど、接続点Ｐにおける対地電圧の検出値は小さくなる。すなわち、所定周波数ｆｃが高くなるほど、対地絶縁抵抗４１は実際の値よりも小さく見える。
【００２６】
そのため、ＣＰＵ１１は、所定周波数ｆｃが高いと、実際は地絡していない場合でも、地絡と判定しやすくなる。一方、ＣＰＵ１１は、発振回路１２から出力される交流電圧の１波形ごとに地絡か否かを判定する。そのため、所定周波数ｆｃが高いほど、地絡の検出機会は増加する。また、バッテリ２０とその他の電気機器との接続状態によって、地絡の発生頻度は異なる。地絡の発生頻度が高い場合には、地絡の検出機会を増加させることが望ましい。
【００２７】
そこで、ＣＰＵ１１は、バッテリ２０と高圧電源系に含まれるその他の電気機器との接続状態に応じて、発振回路１２から出力される交流電圧の所定周波数ｆｃを変化させる。ただし、所定周波数ｆｃを変化させることにより、アナログのバンドパスフィルタだけでは適切に信号成分を抽出できないおそれがある。そのため、ＣＰＵ１１は、所定通過帯域から外れた周波数成分を遮断するデジタルフィルタを構成し、交流電圧の所定周波数ｆｃに応じて、デジタルフィルタの所定通過帯域を変化させる。本実施形態では、ＣＰＵ１１及び検出回路１３が検出手段を構成し、ＣＰＵ１１が可変手段及びデジタルフィルタ手段を構成する。
【００２８】
次に、高圧電源系内の接続状態に応じて交流電圧の所定周波数ｆｃを変化させる態様について、図３〜６を参照して説明する。
【００２９】
接続状態としては、パターンＡ、パターンＢ、パターンＣの３通りに分けられる。パターンＡは、図３に示すように、車両の走行中のパターンで、スイッチＳＷ１及びＳＷ２をオンにし、スイッチＳＷ３及びＳＷ４をオフにした状態である。一点鎖線で囲まれた部分が、バッテリ２０とバッテリ２０に接続された電気機器を示す。パターンＡでは、バッテリ２０にコンバータ３１及びインバータ３２を介してＭＧ３３が接続されている。
【００３０】
パターンＢは、図４に示すように、車両の停車中のパターンで、スイッチＳＷ１〜ＳＷ４を全てオフにした状態である。パターンＢでは、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていない。車両の停車中とは、車両が駐車場や交差点で停車しているときである。
【００３１】
パターンＣは、図５に示すように、外部電源によるバッテリ２０の充電中のパターンで、スイッチＳＷ１及びＳＷ２をオフにし、スイッチＳＷ３及びＳＷ４をオンにした状態である。パターンＣでは、バッテリ２０に電力変換器３４が接続されている。なお、電力変換器３４が充電器以外の電気機器の場合でも、パターンＣは、バッテリ２０に電力変換器３４を接続し、電力変換器３４を使用している状態である。
【００３２】
図６（ａ）に示すように、パターンＣでは、バッテリ２０に、外部プラグが接続される電力変換器３４が接続されているため、３つのパターンの中でノイズ量は最も多くなる。一方、パターンＢでは、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていないため、３つのパターンの中でノイズ量は最も少なくなる。
【００３３】
また、図６（ｂ）に示すように、パターンＣでは、電力変換器３４と車体との間にノイズ対策用コンデンサが設置されるため、３つのパターンの中で対地浮遊容量４２は最も大きくなる。一方、パターンＢでは、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていないため、３つのパターンの中で対地浮遊容量４２は最も小さくなる。
【００３４】
また、車両の振動が多く且つ大きい場合に、高圧電源系と車体とが地絡して漏電が発生しやすい。図６（ｃ）に示すように、パターンＡでは、車両が走行中のため車両の振動が多く、３つのパターンの中で漏電の発生頻度は最も高くなる。一方、パターンＣでは、駐車場等に停車して充電しているため車両の振動が小さく且つ少なく、３つのパターンの中で漏電の発生頻度は最も低い。電力変換器３４が充電器以外の電気機器の場合でも、駐車場等に停車して使用されるため、３つのパターンの中で漏電の発生頻度は最も低い。パターンＢでは、交差点に停車する場合、図６（ｃ）に示すように漏電の発生頻度は、パターンＡよりも低くパターンＣよりも高くなり、駐車場等に停車する場合、漏電の発生頻度はパターンＣと同程度になる。
【００３５】
パターンＡでは、漏電の発生頻度が比較的高いため、所定周波数ｆｃを比較的高くすることが望まれる。一方、パターンＣでは、漏電の発生頻度が比較的低く、対地浮遊容量４２が比較的大きい。そのため、パターンＣでは、対地浮遊容量４２の影響を低減するために所定周波数ｆｃを比較的低くすることが望まれる。よって、パターンＣにおける所定周波数ｆｃを、パターンＡにおける所定周波数ｆｃよりも低くする。
【００３６】
また、車両が駐車場等に停車して電気機器を使用していない場合、一般に、ＣＰＵ１１はスリープ状態となっており、定期的に短時間起動して所定の処理を実行する。そのため、パターンＢでは、ＣＰＵ１１がスリープ状態からの起動時に短時間で地絡を検出できるように、地絡の検出機会を多くすることが望ましい。よって、パターンＢにおける所定周波数ｆｃを、バッテリ２０に他の電気機器が接続されている場合における所定周波数ｆｃよりも高くする。すなわち、パターンＢにおける所定周波数ｆｃを、パターンＡにおける所定周波数ｆｃよりも高くし、３つのパターンの中でも最も高い周波数にする。
【００３７】
以上説明した本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
【００３８】
・高電圧電源系に含まれるバッテリ２０とその他の電気機器との接続状態に応じて、発振回路１２から出力する交流電圧の所定周波数ｆｃを変化させることにより、高圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを適切に両立することができる。
【００３９】
・交流電圧の所定周波数ｆｃに応じてデジタルフィルタの通過帯域が変化される。これにより、交流電圧の所定周波数ｆｃに応じて信号成分を抽出できるため、高圧電源系の対地絶縁抵抗４１に対応した接続点Ｐでの電圧の検出精度、ひいては地絡の検出精度を向上させることができる。
【００４０】
・バッテリ２０にＭＧ３３が接続されているときは、車両が走行中であり、車両の振動が大きく地絡の発生頻度が高い。一方、バッテリ２０に電力変換器３４が接続されているときは、車両が駐車場等に停車して充電しているときであり、車両の振動が小さく且つ少なく地絡の発生頻度は低い。よって、交流電圧の所定周波数ｆｃを、バッテリ２０にＭＧ３３が接続されている場合よりも、バッテリ２０に電力変換器３４が接続されている場合に低くすることにより、高電圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを適切に両立することができる。
【００４１】
・一般的に、電力変換器３４にはノイズ対策用コンデンサが接続されているため、他の電気機器よりも対地浮遊容量４２の容量値が大きくなる。容量値が大きくなるほど、対地浮遊容量４２のインピーダンスＸは小さくなり、対地絶縁抵抗４１に対する対地浮遊容量４２の影響は大きくなる。よって、交流電圧の所定周波数ｆｃを、バッテリ２０にＭＧ３３が接続されている場合よりも、バッテリ２０に電力変換器３４が接続されている場合に低くすることにより、高電圧電源系の地絡の検出精度を上げることができる。
【００４２】
・バッテリ２０にその他の電気機器が接続されていないときは、車両が駐車場や交差点に停車しているときである。車両が駐車場に停車している場合、一般的に、ＣＰＵ１１はスリープ状態になっており、定期的に起動して地絡の検出を行う。そのため、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていないときは、ＣＰＵ１１の起動時に短時間で地絡の検出ができるように、地絡の検出頻度を高くすることが望まれる。よって、交流電圧の所定周波数ｆｃを、バッテリ２０に電力変換器３４が接続されている場合よりも、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていない場合に高くすることにより、高電圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを適切に両立することができる。
【００４３】
・交流電圧の所定周波数ｆｃを、バッテリ２０にその他の電気機器が接続されている場合よりも、バッテリ２０に他の電気機器が接続されていない場合に高くすることにより、高電圧電源系の地絡の検出頻度と検出精度とを更に適切に両立することができる。
【００４４】
（他の実施形態）
・ＣＰＵ１１のスリープ状態からの定期的な起動時間が長くなるおそれはあるが、パターンＢにおける所定周波数ｆｃは、発振回路１２から出力可能な範囲であればどのような周波数にしてもよい。パターンＣにおける所定周波数ｆｃを、パターンＡにおける所定周波数ｆｃよりも低くさえすれば、パターンＢにおける所定周波数ｆｃをどのような周波数にしてもよい。
【００４５】
・パターンＢにおいて、信号停車時と駐車場等での停車時とで、所定周波数ｆｃを変化させてもよい。すなわち、パターンＢにおいて、ＣＰＵ１１が常時起動している場合と、スリープ状態から起動する場合とで、所定周波数ｆｃを変化せてもよい。例えば、信号停車時における所定周波数ｆｃを、パターンＡにおける所定周波数ｆｃとパターンＣにおける所定周波数ｆｃとの間の周波数にし、駐車場等での停車時における所定周波数ｆｃを最も高い周波数にする。
【００４６】
・高電圧電源系に電力変換器３４が含まれていなくてもよい。この場合、バッテリ２０にＭＧ３３が接続されているパターンと、バッテリ２０にＭＧ３３が接続されていないパターンとで所定周波数ｆｃを変化させる。
【００４７】
・カップリングコンデンサＣｓは、バッテリ２０の正極端子側又はバッテリ２０の内部に接続してもよい。
【００４８】
・高圧電源系に含まれる他の電気機器は、コンバータ３１、インバータ３２及びＭＧ３３からなる走行用の電力系統と、電力変換器３４からなる走行用以外の電力系統との２系統に限らず、３つ以上の電力系統を含んでいてもよい。図７に、他の電気機器として、コンバータ３１、インバータ３２、ＭＧ３３、電力変換器３４以外に、電気機器３５を含み、３つの電力系統を備える高圧電源系の構成を示す。電気機器３５は、コンバータ、インバータ及びＭＧからなる走行用の電力系統でもよいし、走行用以外の用途で用いられる電気機器でもよい。例えば、電力機器３５が走行用の電力系統の場合には、ＳＷ５及びＳＷ６がオンの場合に、パターンＡと同様の処理を実施する。また、電力機器３５が走行用以外の用途で用いられる電気機器の場合には、ＳＷ５及びＳＷ６がオンの場合に、パターンＣと同様の処理を実施する。
【符号の説明】
【００４９】
１０…地絡検出回路、１１…ＣＰＵ、１２…発振回路、１３…検出回路、２０…バッテリ、３３…ＭＧ、３４…電力変換器、Ｃｓ…カップリングコンデンサ、Ｒｓ…抵抗素子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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