(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ネジ孔が設けられた第１プレートと、
前記第１プレートの前記第１ネジ孔内にネジ止めされ、前記第１プレート内に位置しており且つ第２ネジ孔を有する固定ナットと、
第２プレートと、
第３プレートと、
前記固定ナットの前記第２ネジ孔内にネジ止めされた雄ネジ部である後端部を有しており且つ前記第１プレートと前記第２プレートとを略平行に固定する第１ボルトと、
前記第１ボルトに同軸に固定されており且つ前記第３プレートを前記第２プレートに対して略平行に固定する第２ボルトと
を備えていることを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
請求項１記載のプローブカードにおいて、
前記第１ボルトの先端部又は前記第２ボルトの先端部の一方にネジ孔が設けられ、他方に雄ネジ部が設けられており、
前記雄ネジが前記ネジ孔にネジ止めされることによって、前記第２ボルトが前記第１ボルトに同軸に固定されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項１または２記載のプローブカードにおいて、
前記第１ボルトの先端部は、前記第２プレートに固定されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のプローブカードにおいて、
前記第１プレートと前記第２プレートとの間に介在した一又は複数の第４プレートをさらに備えており、
前記第４プレートには、貫通孔が設けられており、
前記第１ボルトは、前記第１プレートの第１ネジ孔および前記第４プレートの貫通孔内に収容されていることを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
プローブカードには多数のプレートが使用されている。このプレートとしては、例えば、プローブが搭載されたプローブ基板、プローブのピッチ間隔を拡張した配線ピッチに変更するスペーストランスフォーマ、拡張された配線ピッチを受けて外部に出力する電極が設けられた配線基板、及び配線基板などの熱変形を防ぐための補強板等がある。
【０００３】
それぞれのプレートを相互に位置決めして固定する方法として、２種の固定方法がある。その一つは、隣り合う二つのプレートの一方に貫通孔を設け、他方にネジ孔を設け、ボルトを一方のプレートの貫通孔に挿入し、他方のプレートのネジ孔にネジ止めする方法である。もう一つは、積層された３つのプレートのうちの一つのプレートにネジ孔を設け、残りのプレートに貫通孔を設け、ボルトをプレートの貫通孔に挿入し、プレートのネジ孔にネジ止めする方法である。
【０００４】
その一例が特許文献１に記載されている。特許文献１では、第１ボルトが支持部材（補強板）及び配線基板の貫通孔に挿入され且つベースリングのネジ孔にネジ止めされることによって、支持部材及び配線基板がベースリングに固定されている。第２ボルトが電気接続器（インターポーザ）及び配線基板の貫通孔に挿入され、支持部材のネジ孔にネジ止めされることによって、電気接続器及び配線基板が支持部材に固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ＷＯ２００８／１１４４６４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した固定方法で、複数のプレートを位置決めして固定する場合、プレートに多数のネジ孔及び／又は貫通孔が設けられる。このネジ孔及び／又は貫通孔によってプレートの多くの面積が占められるため、プレートの自由に使用できる領域が減少する。プレートが配線基板である場合、配線の設計の自由度が低下するなどの不都合が生じる。
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、プレートの自由に使用できる領域を拡大させることができるプローブカードを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のプローブカードは、第１プレート、固定ナット、第２プレート、第３プレート、第１ボルト及び第２ボルトを備えている。第１プレートは、内部に第１ネジ孔が設けられている。固定ナットは、第１プレートの第１ネジ孔内にネジ止めされ、第１プレート内に位置しており、且つ第２ネジ孔を有している。第１ボルトは、固定ナットの第２ネジ孔内にネジ止めされた雄ネジ部である後端部を有しており且つ第１プレートと第２プレートとを略平行に固定している。第２ボルトは、第１ボルトに同軸に固定されている。第２ボルトは、第３プレートを第２プレートに対して略平行に固定している。
【０００９】
このような態様のプローブカードによる場合、第１ボルトが第１プレートと第２プレートとを略平行に固定し、第２ボルトは、第３プレートを第２プレートに対して略平行に固定している。第２ボルトは第１ボルトに同軸に固定されている。よって、第１、第２、第３プレートに設けられる固定用のネジ孔及び／又は貫通孔を必須としないので、第１、第２、第３プレートの自由に使用できる領域を拡大させることができる。
【００１０】
第１ボルトの先端部又は第２ボルトの先端部の一方にネジ孔が設けられ、他方に雄ネジ部が設けられた構成とすることが可能である。雄ネジ部がネジ孔にネジ止めされることによって、第２ボルトが第１ボルトに同軸に固定された構成とすることが可能である。
【００１１】
このような態様のプローブカードによる場合、雄ネジ部をネジ孔にネジ止めするだけで、第２ボルトを第１ボルトに同軸に固定することができる。よって、第２ボルトの第１ボルトに対する固定が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例に係るプローブカードの概略的断面図である。
【図２】前記プローブカードの図１中の２部分の拡大図である。
【図３】前記プローブカードの図１中の３部分の拡大図である。
【図４】前記プローブカードの第１設計変形例を示す概略的断面図である。
【図５】前記プローブカードの第２設計変形例を示す概略的断面図である。
【図６】前記プローブカードの第３設計変形例を示す概略的部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施例に係るプローブカードＰ１について図１〜図３を参照しつつ説明する。プローブカードＰ１は、複数のプローブ１００と、第１ガイド板２００ａと、第２ガイド板２００ｂと、補強プレート３００（第３プレート）と、配線基板４００（第２プレート）と、中間基板５００と、複数のスプリングプローブ６００と、メイン基板７００と、補強板８００（第１プレート）と、複数の固定機構９００とを備えている。以下、プローブカードＰ１の各構成要素について詳しく説明する。なお、図１中に示す第１方向Ｄは、プローブカードＰ１の高さ方向に相当する。図１においては、図面の簡略化のため、プローブ１００を３つのみ図示している。
【００１４】
配線基板４００は絶縁性材料で構成されたＳＴ（スペーストランスフォーマ）基板である。配線基板４００は、第１面４０１と、第２面４０２と、複数の貫通孔４１０を有している。配線基板４００の第１面４０１は、当該配線基板４００の第１方向Ｄの一方側の面である。配線基板４００の第２面４０２は、当該配線基板４００の第１方向Ｄの他方側（前記第１面の裏側）の面である。貫通孔４１０は、図２及び図３に最も良く示されているように配線基板４００を第１方向Ｄに貫通している。
【００１５】
中間基板５００は、図１に示されるように絶縁性材料で構成された基板であって、配線基板４００の第１面４０１上に配置されている。中間基板５００は、複数の貫通孔５１０と、複数の収容孔５２０とを有している。貫通孔５１０は、図２及び図３に最も良く示されているように中間基板５００を第１方向Ｄに貫通している。貫通孔５１０は、配線基板４００の貫通孔４１０に各々連通するように配置されている。貫通孔５１０の径は、貫通孔４１０の径よりも大きい。収容孔５２０は、図１に示されるように中間基板５００の中央部を第１方向Ｄに貫通している。
【００１６】
メイン基板７００は、図１に示されるようにプリント基板であって、中間基板５００上に配置されている。メイン基板７００は、図１〜図３に示されるように、複数の貫通孔７１０を有している。貫通孔７１０は、図２及び図３に最も良く示されているようにメイン基板７００を第１方向Ｄに貫通している。貫通孔７１０は、中間基板５００の貫通孔５１０に各々連通するように配置されている。
【００１７】
各スプリングプローブ６００は、中間基板５００の収容孔５２０に収容され、メイン基板７００と配線基板４００との間に圧縮状態で介在している。これにより、スプリングプローブ６００がメイン基板７００と配線基板４００とを電気的に接続している。
【００１８】
補強板８００は、図１に示されるように、メイン基板７００よりも硬い板状の部材（例えばステンレス鋼等の板）であって、メイン基板７００上に配置されている。このように補強板８００は、配線基板４００の第１方向Ｄの一方側に配線基板４００に対して間隔をあけて略平行に配置されている。補強板８００と配線基板４００との間に、メイン基板７００及び中間基板５００（第４プレート）が介在している。
【００１９】
補強板８００は複数のネジ孔８１０（第１ネジ孔）を有している。ネジ孔８１０は、図２及び図３に最も良く示されているように補強板８００を第１方向Ｄに貫通している。ネジ孔８１０はメイン基板７００の貫通孔７１０に各々連通するように配置されている。各ネジ孔８１０は、大径孔８１１と、小径孔８１２と、縁部８１３とを有している。大径孔８１１の内周面にはネジ溝が形成されている。小径孔８１２は、大径孔８１１の第１方向Ｄの他方側に当該大径孔８１１に連通するように設けられている。小径孔８１２の径は、大径孔８１１の径よりも小さい。縁部８１３は、小径孔８１２の第１方向Ｄの一方側の縁部である。
【００２０】
補強プレート３００は、図１に示されるように配線基板４００の第１方向Ｄの他方側に配線基板４００に対して間隔をあけて略平行に配置されている。補強プレート３００はセラミックで構成されている。補強プレート３００は、第１、第２面と、複数の貫通孔３１０、３２０と、挿入孔３３０とを有している。補強プレート３００の第１面は、当該補強プレート３００の第１方向Ｄの一方側の面である。補強プレート３００の第２面は、当該補強プレート３００の第１方向Ｄの他方側（前記第１面の裏側）の面である。
【００２１】
貫通孔３１０は、図２に最も良く示されているように、補強プレート３００を第１方向Ｄに貫通している。貫通孔３１０は、配線基板４００の図１における図示外側の貫通孔４１０の第１方向Ｄの他方側に配置されている。貫通孔３１０は、小径孔と、大径孔とを有している。貫通孔３１０の小径孔の径は、貫通孔４１０の径と略同じである。大径孔は、小径孔に連通するように設けられている。大径孔の径は小径孔の径よりも大きい。
【００２２】
貫通孔３２０は、図３に最も良く示されているように、補強プレート３００を第１方向Ｄに貫通している。貫通孔３２０は、配線基板４００の図１における図示内側の貫通孔４１０の第１方向Ｄの他方側に配置されている。貫通孔３２０の径は、貫通孔４１０の径と略同じである。挿入孔３３０は、図１に示されているように、補強プレート３００を第１方向に貫通している。
【００２３】
第１ガイド板２００ａは、図１及び図３に示されているように配線基板４００と補強プレート３００との間に配置されている。第１ガイド板２００ａは絶縁性を有している。第１ガイド板２００ａは、複数の貫通孔２１０ａと、複数のガイド孔２２０ａとを有している。貫通孔２１０ａは、第１ガイド板２００ａを第１方向Ｄに貫通している。貫通孔２１０ａの径は配線基板４００の貫通孔４１０の径と略同じである。貫通孔２１０ａは、配線基板４００の貫通孔４１０の第１方向Ｄの他方側に配置されている。ガイド孔２２０ａは、図１に示されるように、第１ガイド板２００ａを第１方向Ｄに貫通している。ガイド孔２２０ａは、プローブ１００の位置に応じて配置されている。ガイド孔２２０ａの径は、プローブ１００の外径よりも若干大きい。
【００２４】
第２ガイド板２００ｂは図１に示されるように補強プレート３００の第１面に樹脂で固着されている。第２ガイド板２００ｂは絶縁性を有している。第２ガイド板２００ｂは、複数の貫通孔２１０ｂと、複数のガイド孔２２０ｂとを有している。貫通孔２１０ｂは、図３に最も良く示されているように、第２ガイド板２００ｂを第１方向Ｄに貫通している。貫通孔２１０ｂは、補強プレート３００の貫通孔３２０に連通している。貫通孔２１０ｂの径は、貫通孔３２０の径よりも大きい。ガイド孔２２０ｂは、図１に示されているように、第２ガイド板２００ｂを第１方向Ｄに貫通している。ガイド孔２２０ｂは、プローブ１００の位置に応じて配置されている。ガイド孔２２０ｂは、補強プレート３００の挿入孔３３０に連通している。ガイド孔２２０ｂの径は、プローブ１００の外径よりも若干大きい。
【００２５】
プローブ１００は、図１に示されているように、導電材料で構成された針である。各プローブ１００は、第１方向Ｄの一方側の第１端部と、第１方向Ｄの他方側の第２端部とを有している。第１端部は、第１ガイド板２００ａのガイド孔２２０ａにガイドされ、配線基板４００に接続されている。第２端部は、挿入孔３３０に挿入され、対応するガイド孔２２０ｂにガイドされている。
【００２６】
各固定機構９００は、図２及び図３に示されるように、第１ボルト９１０と、固定ナット９２０と、第２ボルト９３０とを有している。固定ナット９２０は、上端部９２１と、下端部９２２とを有している。上端部９２１の外周面にはネジ溝が形成されている。上端部９２１は補強板８００のネジ孔８１０の大径孔８１１にネジ止めされている。上端部９２１及び大径孔８１１のネジ溝は、ネジ止め時に、固定ナット９２０が補強板８００に対して第１方向Ｄの他方側に相対的に移動するように形成されている。下端部９２２は上端部９２１に連接された円筒である。下端部９２２の外径は、上端部９２１の外径よりも小さく且つ補強板８００のネジ孔８１０の小径孔８１２の内径よりも大きい。下端部９２２は補強板８００のネジ孔８１０の縁部８１３に当接している。下端部９２２の中心部には、ネジ孔９２２１（第２ネジ孔）が設けられている。
【００２７】
第１ボルト９１０は、補強板８００と配線基板４００とを略平行に位置決めして固定する。第１ボルト９１０は、中間基板５００の貫通孔５１０、メイン基板７００の貫通孔７１０及び補強板８００のネジ孔８１０内に収容されている。第１ボルト９１０は、固定部９１１と、先端部９１２とを有している。
【００２８】
先端部９１２は、配線基板４００の第１面４０１の貫通孔４１０の縁部に樹脂で固着されている。このように第１ボルト９１０の先端部９１２が配線基板４００に固定されている。先端部９１２にはネジ孔９１２１が設けられている。ネジ孔９１２１は、配線基板４００の貫通孔４１０に連通している。
【００２９】
固定部９１１は、第１ボルト９１０の後端部に設けられた雄ネジ部である。固定部９１１が固定ナット９２０のネジ孔９２２１にネジ止めされている。このように第１ボルト９１０の後端部が補強板８００に固定されている。固定部９１１及びネジ孔９２２１のネジ溝は、ネジ止め時に、第１ボルト９１０が、補強板８００に対して第１方向Ｄの一方側に相対的に移動するように形成されている。固定ナット９２０が補強板８００のネジ孔８１０にネジ止めされ、補強板８００に対して第１方向Ｄの他方側に相対的に移動するとき、固定部９１１が固定ナット９２０のネジ孔９２２１にネジ止めされ、第１ボルト９１０が補強板８００に対して第１方向Ｄの一方側に相対的に移動する。このように第１ボルト９１０の固定部９１１の固定ナット９２０のネジ孔９２２１に対する締め付け量が調整可能となっている。当該締め付け量が調整される（変化させる）ことによって、補強板８００と配線基板４００との間に挟持されるメイン基板７００（プレート）及び中間基板５００（プレート）に対する締め付け力を可変させることができる。
【００３０】
第２ボルト９３０は、第１ボルト９１０に同軸に固定され且つ補強プレート３００を配線基板４００に対して略平行に位置決めして固定している。固定機構９００のうち図１の図示外側の固定機構９００の第２ボルト９３０は、補強プレート３００の貫通孔３１０、配線基板４００の貫通孔４１０及び中間基板５００の貫通孔５１０に収容されている。図示内側の固定機構９００の第２ボルト９３０は、第２ガイド板２００ｂの貫通孔２１０ｂ、補強プレート３００の貫通孔３２０、第１ガイド板２００ａの貫通孔２１０ａ、配線基板４００の貫通孔４１０及び中間基板５００の貫通孔５１０に収容されている。
【００３１】
第２ボルト９３０は、雄ネジ部９３１と固定部９３２とを有している。雄ネジ部９３１は、第２ボルト９３０の先端部に設けられている。雄ネジ部９３１の外径は配線基板４００の貫通孔４１０の内径よりも小さい。固定部９３２は、第２ボルト９３０の後端部に設けられた円板状のヘッドである。固定部９３２の外径は、第２ボルト９３０の固定部９３２以外の部分の外径よりも大きく、且つ補強プレート３００の貫通孔３１０の小径孔及び貫通孔３２０の径よりも大きい。
【００３２】
外側の固定機構９００の第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１は、図２に示されているように、補強プレート３００の貫通孔３１０及び配線基板４００の貫通孔４１０に挿入され、第１ボルト９１０の先端部９１２のネジ孔９１２１にネジ止めされている。内側の固定機構９００の第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１は、図３に示されているように、第２ガイド板２００ｂの貫通孔２１０ｂ、補強プレート３００の貫通孔３２０、第１ガイド板２００ａの貫通孔２１０ａ及び配線基板４００の貫通孔４１０に挿入され、第１ボルト９１０の先端部９１２のネジ孔９１２１にネジ止めされている。このように第２ボルト９３０が第１ボルト９１０に同軸に固定されている。
【００３３】
外側の固定機構９００の第２ボルト９３０の固定部９３２は、図２に示されるように、補強プレート３００の貫通孔３１０の大径孔に挿入され、当該大径孔の底面（すなわち、補強プレート３００）に第１方向Ｄの他方側から当接している。内側の固定機構９００の第２ボルト９３０の固定部９３２は、図３に示されているように、第２ガイド板２００ｂの貫通孔２１０ｂに挿入され、補強プレート３００に第１方向Ｄの他方側から当接している。固定部９３２に当接された補強プレート３００と、配線基板４００との間で、第１ガイド板２００ａが挟持される。
【００３４】
雄ネジ部９３１及びネジ孔９１２１のネジ溝は、ネジ止め時に、第２ボルト９３０が補強プレート３００に対して第１方向Ｄの一方側に相対的に移動するように形成されている。第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１が第１ボルト９１０の先端部９１２のネジ孔９１２１にネジ止めされるとき、第２ボルト９３０が補強プレート３００に対して第１方向Ｄの一方側に相対的に移動し、第２ボルト９３０の固定部９３２が補強プレート３００に第１方向Ｄの他方側から当接する。この第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１の第１ボルト９１０のネジ孔９１２１に対する締め付け量が調整可能となっている。当該締め付け量が調整される（変化させる）ことによって、配線基板４００と補強プレート３００との間で挟持される第１ガイド板２００ａ（プレート）に対する締め付け力を可変させることができる。
【００３５】
以上のようなプローブカードＰ１は、以下の技術的特徴を有する。第１に、補強プレート３００、第１ガイド板２００ａ、第２ガイド板２００ｂ、配線基板４００、中間基板５００、メイン基板７００、及び補強板８００の自由に使用できる領域を拡大させることができる。なぜなら、上記した固定機構９００を採用したことによって、補強プレート３００、第１ガイド板２００ａ、第２ガイド板２００ｂ、配線基板４００、中間基板５００、及びメイン基板７００には、固定機構９００用の孔として貫通孔が各々設けられるだけであり、補強板８００には、固定機構９００用の孔としてネジ孔８１０が設けられるだけであるからである。よって、補強プレート３００、第１ガイド板２００ａ、第２ガイド板２００ｂ、配線基板４００、中間基板５００、メイン基板７００、及び補強板８００を占有する貫通孔及び／又はネジ孔の数を低減することができ、自由に使用できる領域を拡大させることができる。特に、配線基板４００及びメイン基板７００は、自由に使用できる領域を配線領域として使用することによって、配線の自由度を向上させることができる。
【００３６】
第２に、第１ボルト９１０の固定部９１１の固定ナット９２０のネジ孔９２２１に対する締め付け量を調整するだけで、補強板８００と配線基板４００との間のプレートに対する締め付け力を調整することができる。その一方で、第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１の第１ボルト９１０のネジ孔９１２１に対する締め付け量を調整するだけで、配線基板４００と補強プレート３００との間のプレートに対する締め付け力を調整することができる。このように補強板８００と配線基板４００との間のプレートに対する締め付け力と、配線基板４００と補強プレート３００との間のプレートに対する締め付け力とを個別に調整することができる。
【００３７】
第３に、プローブカードＰ１の部品の取り替えを容易に行うことができる。固定ナット９２０を補強板８００のネジ孔８１０から取り外すだけで、固定ナット９２０のネジ孔９２２１から第１ボルト９１０の固定部９１１が取り外されるので、補強板８００、メイン基板７００及び／又は中間基板５００を容易に交換することができる。また、第２ボルト９３０を第１ボルト９１０のネジ孔９１２１から取り外すだけで、補強プレート３００、第１ガイド板２００ａ及び／又はプローブ１００を交換することができる。
【００３８】
第４に、固定ナット９２０を補強板８００のネジ孔８１０にネジ止めさせると共に、第１ボルト９１０の固定部９１１を固定ナット９２０のネジ孔９２２１にネジ止めさせるときに生じる締め付けトルクが、第２ボルト９３０を介して補強プレート３００、又は補強プレート３００及び第１ガイド板２００ａに伝わるのを防止することができる。第２ボルト９３０の雄ネジ部９３１を第１ボルト９１０のネジ孔９１２１にネジ止めさせるときに生じる締め付けトルクが、第１ボルト９１０を介して補強板８００、メイン基板７００及び中間基板５００に伝わるのを防止することができる。第１ボルト９１０の先端部９１２が配線基板４００の第１面４０１に固着されているからである。
【００３９】
なお、上記したプローブカードは、上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載範囲において任意に設計変更することが可能である。以下、詳しく述べる。
【００４０】
本発明の第２プレートは、配線基板４００に限定されず、メイン基板等の他のプレートとすることが可能である。本発明の第２プレートの貫通孔は、省略可能である。省略される場合、第２ボルトの先端部が第１ボルトのネジ孔に第２プレートの外側でネジ止めされる構成とすると良い。第２プレートは、第１プレートと第３プレートとの間で直接的又は間接的に挟持されるようにすると良い。これは、後述の設計変形例にも適応可能である。
【００４１】
本発明の第１プレートは、上記実施例又は設計変形例の第２プレートの一方側に配置されている限り任意に設計変更することが可能である。本発明の第３プレートは、上記実施例又は設計変形例の第２プレートの他方側に配置されている限り任意に設計変更することが可能である。
【００４２】
例えば、図４に示されるプローブカードＰ２ように、第３プレート２００’は、プローブ１００をガイドするガイド孔２２０’が設けられたガイド板とすることが可能である。この場合も、第２ボルト９３０の先端部が第３プレート２００’の貫通孔２１０’及び配線基板４００の貫通孔４１０に挿入され、第１ボルト９１０のネジ孔にネジ止めされる。第２ボルト９３０の固定部９３２が第３プレート２００’に当接する。貫通孔２１０’は、貫通孔３１０と同様の構成である。なお、補強プレート３００も、プローブ１００をガイドするガイド孔が設けられたガイド板とすることが可能である。このガイド板は、第２ガイド板２００ｂと一体化することも可能である。
【００４３】
また、図５に示されるプローブカードＰ３ように、第３プレート２００’’は、プローブ１００’が設けられたプローブ基板とすることが可能である。この場合も、第２ボルト９３０の先端部が第３プレート２００’’の貫通孔２１０’’及び配線基板４００の貫通孔４１０に挿入され、第１ボルト９１０のネジ孔にネジ止めされる。第２ボルト９３０の固定部９３２が第３プレート２００’’に当接する。貫通孔２１０’’は、貫通孔３１０と同様の構成である。
【００４４】
更に、第３プレートは、第２ガイド板２００ｂとすることが可能である。この場合、第２ボルト９３０の固定部９３２が第２ガイド板２００ｂに当接する。
【００４５】
上記第１、第２プレートとの間には、一又は複数の第４プレートが介在していても良い。上記第１、第２プレートとの間に、一又は複数のスペーサが介在していても良い。上記第１、第４プレートとの間、上記第２、第４プレートとの間、及び／又は複数の第４プレートの間に、一又は複数のスペーサが介在していても良い。この場合、上記第１、第２プレートとの間で、プレート及び／又はスペーサが挟持されていると良い。例えば、補強板８００とメイン基板７００との間、メイン基板７００と中間基板５００との間、中間基板５００と配線基板４００との間及び／又はメイン基板７００と配線基板４００との間にプレート及び／又はスペーサが介在していても良い。
【００４６】
上記第２、第３プレートとの間には、一又は複数の第５プレートが介在していても良い。上記第２、第３プレートとの間に、一又は複数のスペーサが介在していても良い。上記第２、第５プレートとの間、上記第３、第５プレートとの間、及び／又は複数の第５プレートの間に、一又は複数のスペーサが介在していても良い。この場合、上記第２、第３プレートとの間で、プレート及び／又はスペーサが挟持されていると良い。例えば、補強プレート３００と配線基板４００との間、第１ガイド板２００ａと配線基板４００との間、及び／又は第１ガイド板２００ａと補強プレート３００との間には、プレート及び／又はスペーサが介在していても良い。
【００４７】
上記第１プレートは、上記実施例又は設計変形例の第２プレートの一方側に位置するように当該第２プレートの第１面上に設けられていても良い。上記第３プレートは、上記実施例又は設計変形例の第２プレートの他方側に位置するように当該第２プレートの第１面上に設けられていても良い。
【００４８】
本発明の第１ボルトは、上記第１プレートを上記第２プレートに対して略平行に固定し得る限り任意に設計変更することが可能である。第１ボルトの先端部には、雄ネジ部が設けられていても良い。この場合、第１ボルトの先端部の雄ネジ部が、第２ボルトの先端部に設けられたネジ孔にネジ止めされる。また、第１ボルトの先端部及び第２ボルトの先端部の何れか一方に嵌合孔が設けられ、他方に前記嵌合孔に嵌合する嵌合部が設けられた構成とすることも可能である。
【００４９】
本発明の第１ボルトの先端部は、上記第２プレートに固定された構成とすることが可能である。例えば、第１ボルトの先端部が、第２プレートの嵌合孔に嵌合したり、第２プレートのネジ孔にネジ止めされていたりしても良い。本発明の第１ボルトの先端部は、単に当接しているだけでも良い。この場合、第２ボルトの先端部が第１ボルトの先端部に胴軸に固定されることによって、第１ボルトの先端部が第１プレートの第１面に当接している状態が維持されると良い。また、本発明の第１ボルトは、第１プレートの貫通孔に挿入される構成とすることも可能である。
【００５０】
本発明の第１ボルトの固定部は、上記第１プレートに固定されていれば良い。第１ボルトの固定部は、上記第１プレートの嵌合孔に嵌合したり、上記第１プレートのネジ孔にネジ止めされていたりしても良い。また、第１ボルトの固定部が、上記実施例の第２ボルト９３０の固定部９３２のように、上記第１プレートに第１方向の一方側から当接する構成としても良い。
【００５１】
本発明の固定ナットは、第１ボルトが第２プレートに直接固定される場合、省略される。本発明の固定ナットは、当該固定ナットの外周面にネジ溝が設けられ、当該固定ナットの中心部にネジ孔が設けられている限り任意に設計変更することが可能である。
【００５２】
本発明の第２ボルトは、上記第１ボルトに対して同軸に固定されており、且つ上記第３プレートを上記第２プレートに対して略平行に固定し得る限り任意に設計変更することが可能である。本発明の第２ボルトの先端部は、上記第２プレートに固定されていてもと良い。例えば、第２ボルトの先端部が、第２プレートの嵌合孔に嵌合したり、第２プレートのネジ孔にネジ止めされていたりしても良い。本発明の第２ボルトの先端部は、単に当接しているだけでも良い。これらの場合、第２ボルトの先端部は、上記第２プレートの嵌合孔、ネジ孔又は貫通孔に挿入された上記第１ボルトの先端部に固定されていると良い。
【００５３】
本発明の第２ボルトの固定部は、上記第３プレートに固定されていれば良い。第２ボルトの固定部は、上記第３プレートの嵌合孔に嵌合したり、上記第３プレートのネジ孔にネジ止めされていたりしても良い。また、第２ボルトの固定部が、上記実施例の第１ボルト９１０の固定部９１１のように、上記第３プレートのネジ孔にネジ止めされた固定ナットのネジ孔にネジ止めされる構成としても良い。
【００５４】
また、本発明のプローブカードは、上記した第１〜第５プレート以外のプレートと、上記した第１、第２ボルト以外のボルトとを更に備えた構成とすることが可能である。ボルトは、当該ボルトの上側のボルトに同軸に固定された構成とすると良い。当該ボルトも、上記した第１、第２ボルトの先端部及び固定部と同様の先端部及び固定部を有する。この一例が図６に示されている。第２ボルト９３０’の固定部９３２は、第３プレート２００’’’に当接している。貫通孔２１０’’’は、貫通孔３１０と同様の構成である。固定部９３２には、ネジ孔９３３’が設けられている。第３ボルト９４０の先端部９４１には、後述する第６プレート１０００の貫通孔１０１０及び第７プレート１１００の貫通孔１１１０に挿入され、ネジ孔９３３’にネジ止めされる雄ネジ部が設けられている。第３ボルト９４０の固定部９４２は、当該第３ボルト９４０の後端部に設けられている。固定部９４２は、第２ボルト９３０の固定部９３２と同様の構成である。固定部９４２が第６プレート１０００に当接している。このようにして第３ボルト９４０が第６プレート１０００を第３プレート２００’’’に対して略平行に固定している。第３プレート２００’’’と第６プレート１０００との間には、第７プレート１１００が介在している。なお、上記プレート間にもスペーサを介在させることが可能である。
【００５５】
本発明における第２ボルトの第１ボルトに対する同軸固定は、上記第２ボルトが連結部材を介して上記第２ボルトに同軸に固定されることを含む。連結部材の長さ方向の一端部は、上記第２ボルトの先端部と同様の構成とし、上記第１ボルトの先端部に固定される構成とすることが可能である。連結部材の長さ方向の他端部は、上記第１ボルトの先端部と同様の構成とし、上記第２ボルトの先端部に固定される構成とすることが可能である。この場合も、第１、第２ボルトの固定部に固定された第１、第３プレートで、その間に配置された一又は複数のプレートが挟持されるようにすると良い。これらのプレート間にもスペーサを介在させることが可能である。
【００５６】
なお、上記実施例におけるプローブカードの各構成要素を構成する素材、形状、寸法、数及び配置等はその一例を説明したものであって、同様の機能を実現し得る限り任意に設計変更することが可能である。上記した実施例及び設計変更例は、互いに矛盾しない限り、相互に組み合わせることが可能である。なお、本発明は、プローブカード以外の複数のプレートの固定にも用いることができる。
【符号の説明】
【００５７】
Ｐ１・・・・・プローブカード
１００・・・・プローブ
２００ａ・・・第１ガイド板
２００ｂ・・・第２ガイド板
３００・・・・補強プレート（第３プレート）
４００・・・・配線基板（第２プレート）
４１０・・・貫通孔
５００・・・・中間基板
５１０・・・貫通孔
６００・・・・スプリングプローブ
７００・・・・メイン基板
７１０・・・貫通孔
８００・・・・補強板（第１プレート）
８１０・・・ネジ孔
９００・・・・固定機構
９１０・・・第１ボルト
９１１・・固定部
９１２・・先端部
９１２１・ネジ孔
９２０・・・・固定ナット
９２１・・・上端部
９２２・・・下端部
９２２１・ネジ孔
９３０・・・・第２ボルト
９３１・・・先端部
９３２・・・固定部
Ｄ・・・・・・第１方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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