(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示用カラーフィルタ用基板の片面上に、少なくとも遮光層パターンと、着色層パターンと、透明電極層パターンを形成する、複数の製造装置を配置した液晶表示用カラーフィルタ製造工程からなる生産ラインの複数の部署で発生する情報を、情報システムを用いて、その発生時に電子データ化して記憶するデータベースと、前記データベースの情報を受信し、前記データを表示装置の画面に表示することにより、開示し、該データにより生産ラインの状況を監視するカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムにおいて、
稼動情報のデータを記憶する第１のサーバと、品質情報のデータを記憶する第２のサーバと、変換モニタリングシステムを備え、
前記変換モニタリングシステムが、前記第１のサーバから第１の電子化データを受信し、前記第２のサーバから第２の電子化データを受信し、前記第１の電子化データと前記第２の電子化データを、共通化したデータベースの格納構造を有する変換データに変換するデータ変換手段を有し、前記変換データを記憶する共通化データベースと、前記変換データを表示する複数の変換データ表示手段を有し、
前記共通化したデータベースの格納構造を有する変換データが、
カラーフィルタを識別する名称又は番号のデータを割り当てたファイル毎に、工程毎の処理基板枚数を記録する稼動情報のページデータと、不良名称毎の欠陥数を記録する品質情報を割り当てた品質情報のページデータとからなり、
前記稼動情報のページデータと前記品質情報のページデータが同じサイズのページデータに変換されてデータが統一されて標準化され、
前記データ変換手段が、前記第１の電子化データを稼動情報のページデータに変換して前記共通化データベースへ入力し、
前記データ変換手段が、前記第２の電子化データを品質情報のページデータに変換して前記共通化データベースへ入力し、
前記共通化データベースから、前記変換データのページデータを、データ発生と同時に前記複数の変換データ表示手段へ出力し、
前記複数の変換データ表示手段が、稼動情報のページデータのグラフと品質情報のページデータのグラフとを合わせて表示装置の画面に表示することにより、カラーフィルタ製造工場内の一つ以上の箇所にデータ情報を開示し、該データ情報により生産ラインの状況を製造工場内でも監視することを特徴とするカラーフィルタ製造工場モニタリングシステム。
【請求項２】
前記表示装置は、少なくともパソコンを介して表示する表示装置であって、有線又は無
線によるネットワークシステムによる方法で表示装置の画面に表示することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステム。
【請求項３】
前記データ変換手段は、少なくとも以下の手段を含むことを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステム。
（ａ１）データ項目毎に、名称を明示し、必要な場合は名称を変更するデータ変換手段。（ａ２）データ項目毎に、データ値表示では、データ値の単位を統一する、又は画像表示では、表示倍率を統一するデータ変換手段。
（ａ３）データ項目毎に、索引語を付与するデータ変換手段。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造工場モニタリングシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、カラーフィルタ製造工場において、生産ライン内の監視対象の製造設備毎に稼働情報及び品質情報等の種々の情報を、各々の電光掲示画面、又は大型ディスプレイ画面を用いた表示装置に表示し、稼働情報及び品質情報の情報を確認することにより、カラーフィルタ製造工場内の製品不良の発生状況の監視が行われている。
【０００３】
前記生産ラインは、液晶表示用カラーフィルタ製造工程からなり、複数種の製造装置を配置したものである。液晶表示用カラーフィルタ製造工程では、カラーフィルタ用基板の片面上に遮光層パターンを形成した後に、Ｒ（赤）色パターンの形成処理と、Ｇ（緑）色パターンの形成処理と、Ｂ（青）色パターンの形成処理とをその順に処理した後に、該遮光層パターン及び着色層パターンの表面に透明電極層パターンを形成した後、品質検査等の品質保証を経て製品が完成するものである。
【０００４】
カラーフィルタ製造工場では、前記生産ラインと、生産ラインを補助する部署があり、工場全体で液晶表示用カラーフィルタの製品を生産する役割を担っている。
【０００５】
また、カラーフィルタ製造工場モニタリングシステムを特定の監視センター内に設け、当該センターの専属担当による監視が行われている。
【０００６】
例えば、カラーフィルタ製造工場での生産量のモニターの画面は、生産指示命令を補助する部署に配置され、生産処理数の実績推移等の開示データの監視が行われている。例えば、品質トレンドの監視モニターの画面は、品質管理を補助する部署に配置され、製品不良数の推移等の開示データの監視が行われている。生産数量と不良数量とは、個別に、各々独立した区域内に電子化データ化し、各々のモニター画面による監視が行われている。
【０００７】
前記カラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、各々個別にシステム化されている。前記電子化データは、共通の格納構造を持たずに、該電子化データの標準化も不完全であり、完全には標準化されていない。また、電子化データの特定のデータ項目のグループの情報検索でも非効率である。
【０００８】
従来、生産ラインの複数の部署で発生する情報については、各々個別のシステムを用いて、その発生時に電子データ化して情報のデータを登録し、該電子データを記憶するデータベースを構築している。前記発生情報には、生産ラインでの液晶表示用カラーフィルタの生産処理数（以下処理数と記す）又は生産性（処理数／基準処理数）と、設備稼働率（稼働時間／基準時間×１００（単位％））に関連する情報、すなわち生産ライン稼働状況（以下稼働情報と記す）がある。
【０００９】
また、従来、生産ラインの複数の部署で発生する情報には、生産された製品の良／不良の不良率（不良製品数／処理数×１００（単位％））と、不良製品の欠陥部の欠陥種類別と、形状及び発生場所等に関連する情報、すなわち製品品質状況（以下品質情報と記す）がある。
【００１０】
上記のように、生産ラインの複数の部署で発生する情報には、稼働情報と品質情報があ
るが、情報開示では、前記各々のデータベースから電子化データを受信し、各々特定の表示装置の画面に表示することにより、特定範囲内のみにデータ情報を開示している。
【００１１】
このように、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、個別のシステムのため、初期投資／システム維持／システム管理に無駄な費用がかかる問題がある。
【００１２】
また、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、個別のシステムのため、カラーフィルタ製造工場の全関係者に同時に情報開示することが困難である。
【００１３】
一方、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、電子化データの互換性がないため、システムに柔軟性を持たせることが困難である。
【００１４】
加えて、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムは、電子化データの互換性がないため、稼働情報と品質情報の一括監視が、費用面等により困難である。
【００１５】
近年市場での要求は、カラーフィルタの製品コストの低減と、カラーフィルタ画面の面積、サイズの大型化が加速されている。製品コストの低減と画面サイズの大型化の対応策は、基板サイズの大型化であり、それに追従するための大型サイズ設備への更新である。生産ラインは、初期投資額が増大し、初期投資の回収期間は短縮化となる傾向である。そのため、液晶表示用カラーフィルタ用の生産ラインでは、設備稼働率を１００％に、製品不良率を０％に近接させる活動が必要となる問題がある。
【００１６】
一方、設備稼働率の低下の原因は、装置異常の発生による設備停止時間の増加である。設備異常は、第一段階では、突発的に発生する場合と、徐々に進行する場合があり、徐々に進行する場合では、設備の始業点検時の稼働情報の経過推移の変化、又は不良の発生等の品質情報の経過推移の変化を発現する傾向があり、第二段階では、設備の瞬時停止の頻度の増加であり、最終段階では、設備停止となる。停止からの復帰時間は、第一段階が最小時間であり、第三段階では復帰時間が急激に増加し、処理数量の低下と製品不良数量の増加により多大な損害を発生させることになる。すなわち、より早期に異常を読み取り、早期に当該部位装置を初期状態に復帰させることが重要となる。
【００１７】
製品不良率の増加の原因は、製品品質異常の発生による不良数の増加である。品質異常は、生産時の設備異常による発生の場合と、生産時の処理条件の経時劣化による発生の場合がある。前者の設備異常による発生は、上述した第一〜第三段階の経過と同様に製品異常の程度が劣化し、該劣化程度の変化から装置異常の兆候を発見することもある。後者の処理条件の経時劣化による発生は、製品の処理結果を常時測定し、該測定データを管理する管理グラフ等の変化から処理プロセス異常の兆候を発見することもある。
【００１８】
生産ラインでは、一定時間毎に、基板がラインへ投入され、一定時間毎に、製品がラインから搬出されている。生産ラインは、常時、生産ライン内の複数の部署から基板の搬送毎に稼働情報が出力され、常時、処理毎に品質情報が出力されている。従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムでは、情報の発生時に電子データ化し、該データを開示する方法で実施しているが、生産ラインの状況は、稼働情報と品質情報ともに関連した変化を発現する場合が多く、稼働情報と品質情報を関連させた、一覧性のある形態での一括監視が不可欠である。
【００１９】
近年、生産ラインでは、製品の大画面化により処理面積が増大し、同時にライン長も長くなる傾向である。ライン内での異常発生の情報は、即座にライン内に通達し、生産ライン内の部署で復元処置及び予防処置が必要となる。基板の大型化により基板単価が高額となり、不安定な状況でのライン投入は、その被害額が大きくなる問題がある。
【００２０】
上述した問題点に関し、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの現状及び課題を説明する。電子データを記憶するデータベースでは、各々のシステム領域内において安定稼動し、必要な稼働情報が電子化データとして記憶されている。生産計画、例えば生産指示命令、投入指示及び工程順序等の生産カードに関連する稼働情報データは電子化され、システム（ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ）として安定稼動している。前記ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒのシステムでは、品質仕様、例えば製造方法、製造条件及び検査規格等の品質カードに関連する品質仕様データも電子化されている。前記システム（ＣＩＭＳｅｒｖｅｒ）は、計画の（指示の）稼働情報及び品質仕様のデータと対比させ、生産時の複数の部署で発生する稼働情報及び品質仕様の情報のすべてを電子化データとして記憶することができる。
【００２１】
同様に、品質情報も各々のシステム領域内において安定稼動し、必要な品質情報を電子化データとして記憶されている。対象の設備は、パターンの配置位置、パターン形状の寸法及び膜厚等を測定する計測機器と、着色層の色バランスを計測する色度計と、欠陥等を検出する欠陥検査装置等であり、各々内製のアプリケーションソフトウエア（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ）を具備し、検査データ等の集計ソフトを経由して品質情報を提供する方法である。
【００２２】
必要な稼働情報と品質情報は、電子化データとして記憶され、システム稼動上の問題はないが、前記情報を集約する場合に課題がある。前記課題は、例えば各々工程の稼動情報と当該工程の品質情報をリアルタイムに表示することである。例えば、ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒの電子化データとＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒの電子化データを標準化することが課題となる。
【００２３】
図８は、従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの一例を説明する概略図である。
【００２４】
液晶表示用カラーフィルタ製造工程からなる生産ライン１０は、液晶表示用カラーフィルタ用基板の片面上に遮光層パターン（ＢＭと記す）を形成するＢＭ工程１と、Ｒ（赤）色の着色層パターンを形成するＲ工程２と、Ｇ（緑）色の着色層パターンを形成するＧ工程３と、Ｂ（青）色の着色層パターンを形成するＢ工程４と、着色層パターン（ＲＧＢと記す）を検査するＲＧＢ検査工程５と、透明電極層パターン（ＩＴＯと記す）を形成するＩＴＯ工程６と、一面毎（一ピース毎）に目視検査するピース（Ｐと記す）検査工程及び品質保証の最終検査工程及び測定値等を照合するマクロ検査工程の検査工程７と、出荷工程８とに工程分割され、その名称も統一されている。前記工程は、複数の製造装置、又は検査装置を配置し、装置間は、搬送ラインで連結されている。装置、又はラインへの投入搬出は、基板移載装置及び専用カセットを用いて行い、自動化した構成である。前記一ピースは、図９（ａ）に示すように、カラーフィルタ８０は、基板８２上にピース（一面）８１が多面付け配置されており、例えば４面付け基板の場合、４ピースと計算し、１ピース８１毎に良／不良判定し、その不良ピース数を検査する方法である。
【００２５】
生産ライン１０の複数の部署、又は工程で発生する情報は、その発生部署は、例えば投入用基板移載装置、又は処理用基板移載装置、処理用製造装置、検査装置であり、その発生時に各々個別のシステムを用いて、電子データ化してデータベースへ記憶する。カラーフィルタ製造工場は、２系統のシステムを備えている。一つ目のシステムは、各々工程の稼動情報を記憶するＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０である。他のシステムは、当該工程の品質情報を記憶するＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ３０である。
【００２６】
前記ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０は、各々特定の表示装置を備え、前記データベースの情
報を受信し、画面２１に表示する。すなわち、各々特定の表示装置の画面２１には、稼動情報のデータが開示されている。各々区域内の管理者、又は作業員は、各々の稼動情報のデータを視認して、工場内、又は生産ライン内の設備稼働状況を個々に監視するカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムである。
【００２７】
前記Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ３０は、主に検査装置関連の品質情報を集約するものであり、各々特定の表示装置を備え、前記データベースの情報を受信し、画面３１に表示する。すなわち、各々特定の表示装置の画面３１には、検出した欠陥部位の個数を集計し、各々欠陥部位の特徴を層別し、その名称、例えば基板不良、ＢＭ不良、ＩＴＯ不良、ＰＳ・ＡＳＶ不良、及び異物レジカス、異物埋め込み、及びムラ、及び膜キズ、Ｇキズ、及び白ヌケ、汚れ等に区分され、統一された名称毎に品質情報のデータ情報が開示されている。なお、前記欠陥部位は、その発生位置の座標値が同時に開示されている。各々区域内の管理者、又は作業員は、各々の品質情報のデータを視認して、工場内、又は生産ライン内のカラーフィルタの製品品質状況を個々に監視するカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムである。
【００２８】
検査装置では、検出した欠陥部位を撮像画像として電子データ化され、当該画像を活用した発生原因の解析も行われている。表示装置の画面２１、３１は、独立したシステムに所属し、限定した情報を表示する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
液晶表示用のカラーフィルタ製造工場において、生産状況、品質トレンド、装置稼働状態、設備停止の状態、例えばトラブル状況等を製造工場の全関係者を対象に、リアルタイム且つ統括的に情報を開示することを目的とするカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムを提供すること。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
本発明の請求項１に係る発明は、液晶表示用カラーフィルタ用基板の片面上に、少なくとも遮光層パターンと、着色層パターンと、透明電極層パターンを形成する、複数の製造装置を配置した液晶表示用カラーフィルタ製造工程からなる生産ラインの複数の部署で発生する情報を、情報システムを用いて、その発生時に電子データ化して記憶するデータベースと、前記データベースの情報を受信し、前記データを表示装置の画面に表示することにより、開示し、該データにより生産ラインの状況を監視するカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムにおいて、
稼動情報のデータを記憶する第１のサーバと、品質情報のデータを記憶する第２のサーバと、変換モニタリングシステムを備え、
前記変換モニタリングシステムが、前記第１のサーバから第１の電子化データを受信し、前記第２のサーバから第２の電子化データを受信し、前記第１の電子化データと前記第２の電子化データを、共通化したデータベースの格納構造を有する変換データに変換するデータ変換手段を有し、前記変換データを記憶する共通化データベースと、前記変換データを表示する複数の変換データ表示手段を有し、
前記共通化したデータベースの格納構造を有する変換データが、
カラーフィルタを識別する名称又は番号のデータを割り当てたファイル毎に、工程毎の処理基板枚数を記録する稼動情報のページデータと、不良名称毎の欠陥数を記録する品質情報を割り当てた品質情報のページデータとからなり、
前記稼動情報のページデータと前記品質情報のページデータが同じサイズのページデータに変換されてデータが統一されて標準化され、
前記データ変換手段が、前記第１の電子化データを稼動情報のページデータに変換して前記共通化データベースへ入力し、
前記データ変換手段が、前記第２の電子化データを品質情報のページデータに変換して前記共通化データベースへ入力し、
前記共通化データベースから、前記変換データのページデータを、データ発生と同時に前記複数の変換データ表示手段へ出力し、
前記複数の変換データ表示手段が、稼動情報のページデータのグラフと品質情報のページデータのグラフとを合わせて表示装置の画面に表示することにより、カラーフィルタ製造工場内の一つ以上の箇所にデータ情報を開示し、該データ情報により生産ラインの状況を製造工場内でも監視することを特徴とするカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムである。
【００３１】
本発明の請求項２に係る発明は、前記表示装置は、少なくともパソコンを介して表示する表示装置であって、有線又は無線によるネットワークシステムによる方法で表示装置の画面に表示することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムである。
【００３２】
本発明の請求項３に係る発明は、前記データ変換手段は、少なくとも以下の手段を含むことを特徴とする請求項１、又は２記載のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムである。
（ａ１）データ項目毎に、名称を明示し、必要な場合は名称を変更するデータ変換手段。（ａ２）データ項目毎に、データ値表示では、データ値の単位を統一する、又は画像表示では、表示倍率を統一するデータ変換手段。
（ａ３）データ項目毎に、索引語を付与するデータ変換手段。
【発明の効果】
【００３３】
請求項１の発明によれば、生産ラインの稼動情報と品質情報が、一覧で、且つ情報発生と同時に（リアルタイムに）表示され、稼動情報と品質情報の一覧性のある形態で監視することが可能となり、処理数及び生産性と、不良数及び不良率が同一時間軸上で確認され、その関連が容易に理解でき、問題点の把握が容易となり、且つ全体で問題点／処置等が把握され、生産ラインの状況に即応した対策を講じやすくなる。
【００３４】
請求項２の発明によれば、本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムでは、比較的安価で拡張性の容易なパソコンのシステムへ当該情報を出力させるため、情報の配送先を容易に拡大することが可能となり、カラーフィルタ製造工場内の全ての部署で情報をリアルタイムに把握できるので、問題への対応策が迅速に実行できる。
【００３５】
請求項３の発明によれば、本発明のデータ変換手段により、稼動情報と品質情報のデータ項目が混在するデータグループが迅速に抽出され、一覧性のあるデータ項目の出力が可能となり、データ項目のグループ組替えが容易となり、柔軟性のあるモニタリングシステムとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムを一実施形態に基づいて以下説明する。
【００３７】
図１は、本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの一実施例を説明する概略図である。
【００３８】
生産ライン１０は、カラーフィルタ用基板の片面上に遮光層パターンを形成するＢＭ１と、Ｒ（赤）色の着色層パターン形成のＲ２と、Ｇ（緑）色形成のＧ３と、Ｂ（青）色形成のＢ４と、ＲＧＢ検査５と、透明電極形成のＩＴＯ６と、Ｐ検査及び最終検査及びマクロ検査のカラーフィルタ検査７と、出荷８の工程から構成されている。生産ラインの複数の部署で発生する情報は、各々個別のシステムを用いて、その発生時に電子データ化して記憶するデータベースを備えている。前記データベースは、ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０の稼働情報のデータと、Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ３０の品質情報のデータがある。以上の領域は、従来のシステム２００であり、図左側のエリアである。本発明では、前記従来のシステム２００に本発明の追加システム１００（以下変換モニタリングシステムと記す）を付加したシステムである。
【００３９】
前記本発明の変換モニタリングシステム１００は、図１の右側の部分であり、データ変換手段４０と、共通化データベース５０と、変換データ表示手段６０と、表示装置の画面７０から構成されている。
【００４０】
本発明の変換モニタリングシステム１００は、従来のデータベース２０、３０から電子化データを受信し、前記電子化データを本発明のデータ変換手段４０により共通化したデータ格納構造に変換して、ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０と、Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅ
ｒｖｅｒ３０の電子化データのデータ格納構造を統一し、標準化した。
【００４１】
図２は、本発明の変換モニタリングシステムのフロー図である。
【００４２】
図２（ａ）では、データ変換手段４０を実行する。最初に、ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０と、Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ３０の電子化データを共通化したデータ格納構造に変換して、データ格納構造を統一し、標準化した。実施例でのデータベースの格納構造は、階層構造であり、最上位の一つのファイルに、次位の特定サイズの単位に分割したページを複数設け、このページを入出力の単位とする方法を用いた。図４は、ファイルのページとレコードの対応関係の一実施例を示す図面であり、図左側に共通化データベース５０と、図右側に電子化データ９０の情報の記憶エリアを示している。共通化データベース５０には、ファイルと、その一つのファイルに複数分割したページと、その一つのページ毎にレコードを割り当てている。ファイルには、電子化データ９０の製品名称、又は生産指示番号、品質仕様書番号等、カラーフィルタを識別する名称又は番号を割り当てた。ページには、工程毎の処理基板数、又は不良名称毎の欠陥数等の発生した稼働情報及び品質情報を割り当てた。レコードには、索引語を割り当てた。
【００４３】
なお、ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ２０と、Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ３０の電子化データの内容を検討し、以下の標準化のための追加のデータ変換手段を実行する。図３に示すデータ変換手段４０は、データ格納構造を統一すると同時に、データ項目毎に、名称を明示し、必要の場合は名称を変更するデータ変換手段を用いて、名称を確定した（図３（ａ１）参照）。
【００４４】
次いで、データ項目毎に、数値表示では、データ値の単位を統一するデータ変換手段を用いて、表示単位を確定した。次いで、画像表示では、表示倍率を統一するデータ変換手段を用いて、表示倍率を確定した（図３（ａ２）参照）。
【００４５】
次いで、データ項目毎に、索引語を付与するデータ変換手段を用いて、索引語を確定した。以上により、本発明のデータ変換手段４０を用いて電子化データの標準化を行った（図３（ａ３）参照）。
【００４６】
次いで、図２（ｂ）では、共通化データベースを構築する。前記共通化データベースへ前記変換データを記憶する手段を実行する。
【００４７】
図１の共通化データベース５０は、標準化された変換データを記憶するものである。前記共通化データベース５０に記憶された複数の変換データのデータ項目は、共通化したデータベースの格納構造を備えたデータであり、一覧性のある形態で表示装置の画面に表示することにより、カラーフィルタ製造工場内にデータ情報を開示することが容易になる。
【００４８】
次いで、図２（ｃ）では、共通化データベースから、所定の複数の稼働情報及び品質情報の変換データを受信し、前記複数の変換データをデータ発生と同時に、且つ全表示装置に表示する手段を実行する。
【００４９】
図１の変換データ表示手段６０は、この共通化データベース５０から複数の変換データを受信し、前記複数の変換データをデータ発生とほぼ同時に、且つ全表示装置に表示することが容易になる。
【００５０】
図１の表示装置の画面７０は、前記変換データ表示手段６０よりの情報を表示するものである。該画面７０のデータ情報より生産ラインの状況を全体で監視することにより本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムが完成する。
【００５１】
前記表示装置の画面７０は、少なくともパソコンを介した表示装置の画面も含まれ、有線または無線によるネットワークシステムによる方法で表示装置の画面に表示する本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムが完成する。
【００５２】
本発明の実施例を説明する。
【実施例１】
【００５３】
実施例１は、図５に示す画面である。画面上には、生産処理数と不良率（不良製品数／処理数×１００）の稼働及び品質情報をグラフ形式によりデータ開示した。図５の上段の画面の処理数１１０は、基板単位とし、期間は１日毎の集計である。図５の下段の画面の不良率１２０は、日々に対応する実績である。なお、期間は、時間毎、日毎、月毎と、及び開始〜終了までの期間、例えば会計年度等を用いる場合もある。データの層別は、工程毎、例えば、ＢＭ、Ｒ、Ｇ、Ｂ、ＲＧＢ検査、ＩＴＯ、Ｐ及び最終検査及びマクロ検査の検査、出荷の工程毎に表示する場合もある。
【実施例２】
【００５４】
実施例２は、図６（ａ）〜（ｃ）に示す画面である。画面上には、（ａ）は、欠陥数量／ロット１３０、（ｂ）は、欠陥数量が最大値のロットの欠陥種類別の欠陥数量１４０であり、（ｃ）は、その特定欠陥種類の欠陥画像である。不良製品の欠陥部の数と設備稼働率（稼働時間／基準時間×１００）の稼働及び品質情報をグラフ形式によりデータ開示した。次いで、該画面上の指定箇所、例えば特定のロットの位置をクリックし、当該ロットの欠陥部の数を、欠陥種類別に内訳数のデータ開示した。次いで、特定の欠陥種類の位置をクリックし、当該欠陥種類の欠陥画像のデータ開示した。欠陥種類別の名称は、基板不良、ＢＭ不良、ＩＴＯ不良、ＰＳ・ＡＳＶ不良、及び異物レジカス、異物埋め込み、及びムラ、及び膜キズ、Ｇキズ、及び白ヌケ、汚れに分類した。欠陥部の数は、総欠陥部の数量／不良製品であり、欠陥部総数／基板で表示した。欠陥画像の位置座標は、基板センター（基板中心点座標）を座標原点とした座標軸上で表示する方法である。また、欠陥画像の表示倍率は、×１０００を標準とした。なお、画面のデータ部をクリックし、より詳細なデータの開示画面に切り替えるユーザー志向のインターフェィス、画像データはポップアップ表示方法を標準方法とした。
【実施例３】
【００５５】
実施例３は、図７に示す画面は、欠陥種類別のピース数１６０である。画面上には、不良ピース数と不良ピースの位置の分布の品質情報をグラフ形式によりデータ開示した。不良ピース数は、不良ピース総数／基板である。不良ピースの位置は、基板センター（基板中心点座標）を座標原点とした座標軸上の不良ピースの中心位置の座標とした。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの一実施例を説明する概略図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの変換モニタリングシステムのフロー図である。
【図３】（ａ１）〜（ａ１）は、本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムのデータ変換手段のフロー図である。
【図４】本発明の共通化データベースの説明図である。
【図５】本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの実施例１を説明する画面である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの実施例２を説明する画面である。
【図７】本発明のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの実施例３を説明する画面である。
【図８】従来のカラーフィルタ製造工場モニタリングシステムの一実施例を説明する概略図である。
【図９】カラーフィルタの部分拡大図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、側断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１…ＢＭ（工程）
２…Ｒ（工程）
３…Ｇ（工程）
４…Ｂ（工程）
５…ＲＧＢ（工程）
６…ＩＴＯ（工程）
７…（Ｐ検査及び最終検査及びマクロ検査の）検査（工程）
８…出荷（工程）
１０…生産ライン
２０…ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ
２１…ＣＩＭ  Ｓｅｒｖｅｒ系の表示装置の画面
３０…Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ
３１…Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｅｒｖｅｒ系の表示装置の画面
４０…データ変換手段（データ変換システム）
５０…共通化データベース
６０…変換データ表示手段（変換データ表示システム）
６１…変換データ
７０…共通化データベース系の表示装置の画面
８０…カラーフィルタ
８１…ピース
８２…基板
８３…ＢＭ
８４…Ｒ
８５…Ｇ
８６…Ｂ
８７…ＩＴＯ
９０…電子化データ
１００…本発明の変換モニタリングシステム
１１０…処理数
１２０…不良率
１３０…欠陥数量／ロット
１４０…欠陥種類別の欠陥数量
１５０…欠陥画像
１６０…欠陥種類別のピース数
１７０…面付け毎の不良ピースの発生比率
２００…従来のモニタリングシステム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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