(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の基板のどちらかの基板の内面にシール剤が枠状に塗布され、これら２枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が基板を保持する保持面に形成された上部保持テーブルと、
上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に外面を上にして供給された他方の基板の外面を保持してその他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面に外面を保持させて受け渡すものであって、その受渡しの際に上記保持面に上記基板の一部を接触させてから他の部分を接触させる受け渡し手段と、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向及び水平方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記２枚の基板を位置合わせして上記シール剤を介して貼り合わせる駆動手段を具備し、
上記受け渡し手段は、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された基板の外面の中央部と端部を吸着保持する吸着パッドを有し、
上記基板の中央部を吸着する吸着パッドは、上記保持面に上記基板を接触させる際、上記基板の端部を吸着する吸着パッドよりも上記基板を吸着保持した状態での弾性的収縮変形量が大きいことを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
【請求項２】
２枚の基板のどちらかの基板の内面にシール剤が枠状に塗布され、これら２枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が基板を保持する保持面に形成された上部保持テーブルと、
上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に外面を上にして供給された他方の基板の外面を保持してその他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面に外面を保持させて受け渡すものであって、その受渡しの際に上記保持面に上記基板の一部を接触させてから他の部分を接触させる受け渡し手段と、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向及び水平方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記２枚の基板を位置合わせして上記シール剤を介して貼り合わせる駆動手段を具備し、
上記受け渡し手段は、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された基板の外面を吸着保持する吸着パッドを有し、
上記吸着パッドは、上記保持面に上記基板を接触させる際、上記基板の一端部から他端部にゆくにつれて上記基板を吸着保持した状態での弾性的収縮変形量が順次大きくなっていることを特徴とする基板の貼り合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は２枚の基板をシール剤を介して貼り合せる貼り合せ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイパネルに代表されるフラットディスプレイパネルなどの製造工程では、２枚の基板を所定の間隔で対向させ、これら基板間に流体としての液晶を封入してシール剤によって貼り合わせる、貼り合わせ作業が行なわれる。
【０００３】
上記貼り合わせ作業は、２枚の基板のどちらかの内面に上記シール剤を枠状に塗布し、その基板或いは他方の基板の内面の上記シール剤の枠内に対応する部分に所定量の上記液晶を複数の粒状にして滴下供給する。
【０００４】
つぎに、上記２枚の基板の一方をチャンバ内に設けられた下部保持テーブルの上面に外面を下にして供給載置し、他方の基板を外面を上にして上部保持テーブルの下面に形成された保持面に静電チャックによって吸着保持する。
【０００５】
そして、上記チャンバ内を減圧してから、下部保持テーブルと上部保持テーブルとを相対的に水平方向に駆動して２枚の基板を位置合わせした後、同じく相対的に上下方向に駆動して２枚の基板を上記シール剤によって貼り合わせるようにしている。特許文献１にはこのような基板の貼り合わせ装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−６６１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
最近では液晶ディスプレイパネルが大型化する傾向あり、それに応じて基板も大型化してきている。そのため、基板をロボットアームなどで吸着保持して上部保持テーブルの保持面に受け渡す際、上記基板の、とくに中央部分に下方へのたわみが生じ易いということある。
【０００７】
下方に凸状のたわみが生じた状態の基板を上部保持テーブルに受け渡し、その保持面に静電チャックによって吸着保持すると、基板の下方にたわんだ部分の外面と上記上部保持テーブルの吸着面との間に空気層が形成される。
【０００８】
基板と保持面との間に空気層が形成された状態で２枚の基板を貼り合せるためにチャンバ内を減圧すると、上記空気層の空気が膨張する。それによって、膨張する空気の圧力が基板を上部保持テーブルの保持面から剥がす力として作用することになるから、その力で基板が上部保持テーブルから落下し、損傷するということがある。
【０００９】
この発明は、基板を上部保持テーブルに供給してその保持面に吸着保持させるときに、上記保持面と基板の外面との間に空気が介在させずに吸着保持させることができるようにし、２枚の基板を品質良く貼り合わせることができる基板の貼り合わせ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、２枚の基板のどちらかの基板の内面にシール剤が枠状に塗布され、これら２枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が基板を保持する保持面に形成された上部保持テーブルと、
上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に外面を上にして供給された他方の基板の外面を保持してその他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面に外面を保持させて受け渡すものであって、その受渡しの際に上記保持面に上記基板の一部を接触させてから他の部分を接触させる受け渡し手段と、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向及び水平方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記２枚の基板を位置合わせして上記シール剤を介して貼り合わせる駆動手段を具備し、
上記受け渡し手段は、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された基板の外面の中央部と端部を吸着保持する吸着パッドを有し、
上記基板の中央部を吸着する吸着パッドは、上記保持面に上記基板を接触させる際、上記基板の端部を吸着する吸着パッドよりも上記基板を吸着保持した状態での弾性的収縮変形量が大きいことを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。
【００１１】
この発明は、  ２枚の基板のどちらかの基板の内面にシール剤が枠状に塗布され、これら２枚の基板の内面を対向させて上記シール剤を介して貼り合わせる貼り合わせ装置において、
一方の基板が内面を上にし外面を下にして保持される下部保持テーブルと、
この下部保持テーブルの上方に対向して設けられ下面が基板を保持する保持面に形成された上部保持テーブルと、
上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に外面を上にして供給された他方の基板の外面を保持してその他方の基板を上記上部保持テーブルの保持面に外面を保持させて受け渡すものであって、その受渡しの際に上記保持面に上記基板の一部を接触させてから他の部分を接触させる受け渡し手段と、
上記上部保持テーブルと上記下部保持テーブルとを相対的に上下方向及び水平方向に駆動し各保持テーブルに保持された上記２枚の基板を位置合わせして上記シール剤を介して貼り合わせる駆動手段を具備し、
上記受け渡し手段は、上記上部保持テーブルの保持面に対向する位置に供給された基板の外面を吸着保持する吸着パッドを有し、
上記吸着パッドは、上記保持面に上記基板を接触させる際、上記基板の一端部から他端部にゆくにつれて上記基板を吸着保持した状態での弾性的収縮変形量が順次大きくなっていることを特徴とする基板の貼り合わせ装置にある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、基板を上部保持テーブルに受け渡すとき、その保持面に基板の一部を吸着させてから他の部分を吸着保持させるため、基板の外面と吸着面との間に空気が介在し難くなる。そのため、減圧雰囲気下で基板を貼り合わせる際、上部保持テーブルから基板が落下するのを防止でき、２枚の基板を品質良く貼り合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施の形態を説明する。
【００２２】
図１乃至図６はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は液晶ディスプレイパネルの組立て装置１を示す概略図である。この組立て装置１は、シール剤の塗布装置２を有する。この塗布装置２には液晶ディスプレイパネルを構成する第１、第２の基板３，４のうちの一方である、第１の基板３が供給される。
【００２３】
上記塗布装置２は、第１の基板３が供給載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された塗布ノズル（ともに図示せず）を有し、この塗布ノズルが上記第１の基板３に対して相対的にＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動されることで、この第１の基板３の内面（第２の基板４と貼り合される側の面）には粘弾性材からなるシール剤（図示せず）が矩形枠状に塗布される。
【００２４】
シール剤が塗布された第１の基板３は滴下装置７に供給される。この滴下装置７は第１の基板３が載置されるテーブル及びこのテーブルの上方に配置された滴下ノズル（ともに図示せず）を有し、この滴下ノズルが上記第１の基板３に対して相対的にＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動される。それによって、この第１の基板３の内面のシール剤によって囲まれた領域内には流体としての複数の液滴状の液晶が所定の配置パターン、たとえば行列状に滴下供給される。
【００２５】
液晶が滴下された第１の基板３は貼り合わせ装置１１に供給される。この貼り合わせ装置１１には上記第１の基板３とともに上記第２の基板４が供給される。そして、上記第１の基板３と第２の基板４とが後述するごとく位置決めされて貼り合わされる。それによって、一対の基板３，４が上記シール剤によって貼り合わされ、これら基板３，４間に液晶が密封されることになる。
【００２６】
上記貼り合わせ装置１１は図２に示すようにチャンバ１２を有する。このチャンバ１２内は減圧ポンプ１０によって所定の圧力、たとえば１Ｐａ程度に減圧されるようになっている。チャンバ１２の一側にはシャッタ１３によって開閉される出し入れ口１４が形成され、この出し入れ口１４から上記第１の基板３と第２の基板４とが後述する供給手段としてのロボット装置３１によって出し入れされるようになっている。
【００２７】
上記チャンバ１２内には下部保持テーブル１５が設けられている。この下部保持テーブル１５はＸＹθ駆動源１６によってＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるようになっている。この下部保持テーブル１５の保持面１５ａ（上面）には、上記塗布装置２によってシール剤が塗布されたのち、上記滴下装置７によって液晶が滴下された上記第１の基板３が、上記ロボット装置３１によって後述するごとく液晶が滴下された内面を上に向けて供給される。保持面１５ａに供給された基板３は、外面（第２の基板４と貼り合わされる面とは反対側の面）がたとえば静電気力によって上記保持面１５ａに所定の保持力で保持される。
【００２８】
なお、上記下部保持テーブル１５には、この保持面１５ａに上記ロボット装置３１のアーム３４によって供給される第１の基板３を、そのアーム３４から受け取るための図示しない受け渡しピンが保持面１５ａから突没可能に設けられている。
【００２９】
上記下部保持テーブル１５の上方には、第１の駆動軸１７ａを介して第１のＺ駆動源１７によって上下方向（Ｚ方向）に駆動される上部保持テーブル１８が配設されている。つまり、上部保持テーブル１８は上記下部保持テーブル１５に対して接離する方向に駆動される。この上部保持テーブル１８の下面は保持面１８ａに形成され、この保持面１８ａには、後述するごとく上記第２の基板４が外面を静電気力によって吸着保持される。
【００３０】
各保持テーブル１５，１８にはそれぞれ静電チャックを構成する電極１５ｃ，１８ｃが埋設されている。これら電極１５ｃ、１８ｃに図示しない電源によって給電すると、各保持テーブル１５，１８に基板３，４を保持する静電気力を発生させることができるようになっている。
【００３１】
なお、下部保持テーブル１５には静電チャックを設けず、その保持面１５ａに所定の摩擦抵抗を有する弾性シートを設け、この弾性シート上に第１の基板３を供給載置するようにしてもよい。
【００３２】
上記上部保持テーブル１８には厚さ方向に貫通した複数の貫通孔２１が行列状に形成されている。各貫通孔２１にはロッド状の駆動部材２２が上下方向に移動可能に挿通されている。各駆動部材２２は上端が矩形状の連結部材２４によって連結され、下端には駆動部材２２の軸方向に沿って形成された吸引路２２ａ（図４（ａ），（ｂ）に示す）を通じて図示しない吸引ポンプに連通した第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂが設けられている。
【００３３】
たとえば、図５に示すように上部保持テーブル１８に貫通孔２１が５行４列の行列状で形成されている場合、鎖線で囲む中央部Ｃの６つの貫通孔２１に挿通された駆動部材２２の下端には第１の吸着パッド２３ａが設けられ、中央部の６つの貫通孔２１以外の周辺部（端部）の貫通孔２１に挿通された駆動部材２２の下端には第２の吸着パッド２３ｂが設けられている。
【００３４】
第１の吸着パッド２３ａは図４（ａ）に示すように吸着時に吸引力が作用することで高さ寸法が弾性的に収縮変形する蛇腹状であって、上記第２の吸着パッド２３ｂは吸着時に吸引力が作用しても高さ寸法がほとんど変化することのないラッパ形状となっている。すなわち、第１の吸着パッド２３ａは第２の吸着パッド２３ｂに比べて吸着時の吸引力による弾性的収縮変形量が十分に大きくなる構造となっている。
【００３５】
第１の吸着パッド２３ａは、第２の基板４を吸着すると、その内部に作用する真空圧により蛇腹部分が収縮する。そのため、第１の吸着パッド２３ａにおける第２の基板４を吸着している面（吸着面）は、蛇腹部分の収縮した分だけ上昇する。
【００３６】
一方、第２の吸着パッド２３ｂは、第２の基板４を吸着すると、根元部と一体的に形成されたスカート部が真空圧によって収縮する。そこで、第２の吸着パッド２３ｂの吸着面は、スカート部が収縮した分だけ上昇する。しかし、スカート部は、第１の吸着パッド２３ａの蛇腹部分に比べて収縮変形量が小さくなるよう形成されているので、その吸着面の上昇量は、第１の吸着パッド２３ａにおける吸着面の上昇量よりも小さい。
【００３７】
なお、上記上部保持テーブル１８に形成された貫通孔２１の下端部は、図２に示すように上記真空パッド２３が入り込む大径部２１ａに形成されている。  
上記連結部材２４の上面には一対の第２の駆動軸２５の下端が連結されている。これら第２の駆動軸２５を介して上記真空パッド２３は第２のＺ駆動源２６によってＺ方向に駆動されるようになっている。なお、上記駆動部材２２、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂ、連結部材２４、第２の駆動軸２５及び第２のＺ駆動源２６は受け渡し手段を構成している。
【００３８】
上記第１、第２の駆動軸１７ａ，２５は上記チャンバ１２の上部壁を貫通しており、その貫通部分は図示しないベローズなどによって上記上部壁に対して気密な状態で上下動可能となっている。
【００３９】
図２に示すように上記ロボット装置３１はＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動可能な基部３２を備えている。この基部３２にはガイド板３３が設けられている。このガイド板３３にはアーム３４が図示しないシリンダなどの駆動源によってガイド板３３に沿って進退駆動可能に設けられている。
【００４０】
上記アーム３４は図３に示すように一対の腕部３４ａを有して平面形状がほぼコ字状に形成されている。図２に示すように、アーム３４の一対の腕部３４ａの下面には複数の下部吸着パッド３５が設けられ、上面には複数の上部吸着パッド３６が設けられている。下部吸着パッド３５と上部吸着パッド３６とは別々の吸引経路を介して図示しない真空ポンプに連通している。それによって、アーム３４は、その上面及び下面に基板を吸着保持することができるようになっている。
【００４１】
図２に示すように、上記構成のロボット装置３１はチャンバ１２の一側に形成された出し入れ口１４に対向して配設されている。それによって、アーム３４は上記出し入れ口１４からチャンバ１内に進入可能となっている。
【００４２】
なお、貼り合わせ装置１１は、不図示の制御装置を有する。この制御装置は、減圧ポンプ１０の駆動、ＸＹθ駆動源１６、第１のＺ駆動源１７及び第２のＺ駆動源２６の駆動、電極１５ｃ、１８ｃへの通電を制御する。
【００４３】
つぎに、上記構成の貼り合わせ装置１１を用いて第１の基板３と第２の基板４とを貼り合わせる手順を図６（ａ）〜（ｄ）を参照しながら説明する。
【００４４】
まず、ロボット装置３１のアーム３４には、その上部吸着パッド３６が設けられた上面に滴下装置７から搬出された第１の基板３が内面を上にして供給される。アーム３４の上面に供給された第１の基板３は上記上部吸着パッド３６によって吸着保持される。その状態でチャンバ１の出し入れ口１４が開放され、アーム３４がチャンバ１内の下部保持テーブル１５の保持面１５ａ上に進入し、所定の位置まで下降する。その時点で、第１の基板３に作用した上部吸着パッド３６の吸引力が除去される。
【００４５】
つぎに、下部保持テーブル１５に設けられた図示しない受け渡しピンが上昇して上記アーム３４から第１の基板３を持ち上げて受け取る。その状態でアーム３４はチャンバ１内から後退する。アーム３４が後退すると、受け渡しピンが下降し、第１の基板３が下部保持テーブル１５の保持面１５ａに内面を上にし、外面を下にして静電気力で吸着されて保持される。
【００４６】
つぎに、ロボット装置３１のアーム３４の下面に内面上向きの第２の基板４が図示しない他のロボット装置などによって内面を下向きに反転して供給される。それによって、図２に示すようにアーム３４の下面には、第２の基板４が上を向けた外面を下部吸着パッド３５によって吸着保持される。
【００４７】
第２の基板４を吸着保持したアーム３４は出し入れ口１４からチャンバ１内に進入し、第２の基板４の上面が上部保持テーブル１８の保持面１８ａに対向するよう位置決めされる。
【００４８】
第２の基板４が上部保持テーブル１８の保持面１８ａに対向する位置に位置決めされると、ロボット装置３１のアーム３４が上昇方向に駆動される。それによって、図６（ａ）に示すように、上部保持テーブル１８の保持面１８ａから下側に突出して待機していた駆動部材２２の下端に設けられた第１の吸着パッド２３ａと第２の吸着パッド２３ｂに第２の基板４の上面が当接する。
【００４９】
第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂに第２の基板４の上面が当たったならば、これら吸着パッド２３ａ，２３ｂに吸引力を作用させる。それによって、第２の基板４は外面が第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂに吸着保持される。
【００５０】
第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂが第２の基板４の外面を吸着保持したならば、アーム３４の下部吸着パッド３５の吸引力が遮断され、このアーム３４が上昇してから後退し、チャンバ１内から退出する。
【００５１】
第２の基板４の上面の中央部分を吸着する蛇腹状の第１の吸着パッド２３ａは、中央部分以外の周辺部（端部）を吸着するラッパ状の第２吸着パッド２３ｂに比べて吸着時に発生する吸引力による弾性収縮変形量が大きい。そのため、第１の吸着パッド２３ａにおける吸着面の高さ位置は、その弾性収縮によって、第２の吸着パッド２３ｂの吸着面の高さ位置よりも高くなる。
【００５２】
液晶ディスプレイパネルの製造に用いられる基板３，４はガラス製や樹脂製の薄板からなり、可撓性を有する。そのため、第２の基板４は図６（ｂ）に示すように第１の吸着パッド２３ａによって吸着保持された幅方向中央部分が第２の吸着パッド２３ｂによって吸着保持された両端部よりも上方に向かって凸となる、円弧状に湾曲して保持される。
【００５３】
ついで、第２のＺ駆動源２６によって駆動部材２２が上昇方向に駆動される。それによって、図６（ｃ）に示すように第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂが貫通孔２１の大径部２１ａ内に入り込む。このとき、第２の基板４は、上述のように第１の吸着パッド２３ａによって吸着保持された部分が第２の吸着パッド２３ｂによって吸着保持された部分よりも高い、上に向かって凸となっている。そこで、まずその中央部分が上部保持テーブル１８の保持面１８ａに接触する。
【００５４】
ついで、図６（ｄ）に示すように第２の基板４は、その外面の接触面積が端部に向かって徐々に拡大していき、最終的には図６（ｄ）に示すように外面全体が保持面１８ａに接触する。そして、図６（ｄ）に示すように第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂが大径部２１ａ内に完全に入り込んで停止したタイミングで、上部保持テーブル１８の電極１８ｃに通電されてその保持面１８ａに静電気力が生じ、第２の基板４はその全体が保持面１８ａに吸着保持される。
【００５５】
なお、駆動部材２２の上昇過程において、上に凸の円弧状となった第２の基板４の中央部が保持面１８ａに接触した後は、第２の基板４が保持面１８ａにつかえて上昇できなくなるので、第１の吸着パッド２３ａの蛇腹部分は吸引力による弾性収縮に抗して引き伸ばされることになる。
【００５６】
このように、第２の基板４は幅方向の中央部分が上部保持テーブル１８の保持面１８ａに接触してから、幅方向両端部が接触して吸着保持されることになる。このとき、第２の基板４は、その中央部分が上部保持テーブル１８の保持面１８ａに接触した後、徐々に端部に向けて保持面１８ａとの接触面積が広げられる。そのため、第２の基板４の外面と保持面１８ａとの間の空気は、第２の基板４の中央部分から端部へと移動し、その外へと押出される。したがって、第２の基板４は、その外面と保持面１８ａとの間に空気が介在することが防止され、保持面１８ａに吸着保持される。
【００５７】
第２の基板４が静電気力によって保持面１８ａに吸着保持されると、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂの吸引力が解除される。このように、第２の基板４は、デバイス面である内面にロボット装置３１のアーム３４を接触させずに、上部保持テーブル１８の保持面１８ａに吸着保持させることができる。  
なお、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂの吸着力の解除は、第２の基板４を上部保持テーブル１８の吸着面１８ａから離脱させるまでに行なえばよい。
【００５８】
このようにして第１の基板３と第２の基板４とを各保持テーブル１５，１８の保持面１５ａ，１８ａに吸着保持したならば、出し入れ口１４をシャッタ１３によって閉じた後、減圧ポンプ１０を作動させてチャンバ１内を所定の圧力に減圧する。
【００５９】
ついで、下部保持テーブル１５をＸＹθ駆動源１６によって水平方向に駆動し、第１の基板３と第２の基板４とを位置合わせしたならば、第１のＺ駆動源１７によって上部保持テーブル１８を下降方向に駆動する。それによって、位置合わせされた第１の基板３と第２の基板４とがシール剤によって貼り合されることになる。
【００６０】
上部保持テーブル１８の保持面１８ａと、この保持面１８ａに保持された第２の基板４の外面との間に空気が介在していると、第１の基板３と第２の基板４とを貼り合わせるためにチャンバ１内を減圧したとき、上記空気が膨張して第２の基板４が上部保持テーブル１８の保持面１８ａから落下する虞がある。
【００６１】
しかしながら、第２の基板４の外面を保持面１８ａに吸着保持する際、上述したように第２の基板４の中央部を吸着保持してから端部を吸着保持することで、第２の基板４の外面と、上部保持テーブル１８の保持面１８ａとの間に空気が介在するのを防止した。
【００６２】
そのため、第１の基板３と第２の基板４とを貼り合わせるためにチャンバ１内を減圧しても、上部保持テーブル１８の保持面１８ａと第２の基板４との間で空気が膨張し、第２の基板４が保持面１８ａから落下するようなことが防止される。
【００６３】
また、受け渡し手段としての第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂ及びロボット装置３１の下部吸着パッド３５のいずれもが、第２の基板４の外面を保持する。そのため、第２の基板４を上部保持テーブル１８の保持面１８ａに受け渡すときに、受け渡し手段やロボット装置３１が第２の基板４の内面に触れることなく第２の基板４の中央部分を保持することができる。
【００６４】
したがって、第２の基板４を、その中央部分を上に向かって凸となるよう確実に湾曲させることができ、しかも、内面に形成された透明電極や配向膜を傷付けることが防止できる。そのため、第１、第２の基板３，４の貼り合わせを品質良く行うことができる。
【００６５】
第１の基板３と第２の基板４とを貼り合わせたら、チャンバ１内に気体を供給し、この内部の圧力を徐々に大気圧に戻す。それによって、一対の基板３，４はチャンバ１内の圧力と、貼り合わされた一対の基板３，４間の圧力差によって加圧されるから、シール剤によって確実に貼り合わされることになる。
【００６６】
つぎに、上部保持テーブル１８の静電吸着力が除去されてこのテーブル１８が上昇するとともに、下部保持テーブル１５の静電吸着力が除去されて受け渡しピンが上昇し、貼り合された基板３，４が下部保持テーブル１５上で上昇する。
【００６７】
その後、第１の基板３の下面側にロボット装置３１のアーム３４が進入し、受け渡しピンが下降することで、基板３，４がアーム３４に受け渡される。その状態で、アーム３４が後退し、基板３，４がチャンバ１２から搬出され、上述した貼り合わせが繰り返して行なわれる。
【００６８】
上記一実施の形態では、上部保持テーブル１８に貫通孔２１が５行４列の行列状で形成されている場合について説明したが、図７に示す第２の実施の形態のように２行４列で形成されている場合にはその貫通孔２１のうち、鎖線で囲む長手方向の中央部Ｃの４つの貫通孔２１に挿通された駆動部材２２の下端に第１の吸着パッド２３ａを設け、長手方向の中央部の４つの貫通孔２１以外の端部である、両端部のそれぞれ２つの貫通孔２１に挿通された駆動部材２２の下端に第２の吸着パッド２３ｂを設けるようにする。
【００６９】
それによって、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂによって吸着保持された第２の基板４を第１の実施の形態と同様、上方に向かって凸状に湾曲させて上部保持テーブル１８の保持面１８ａに供給することができる。
【００７０】
図８はこの発明の第３の実施の形態を示し、この実施の形態は第２の基板４を上部保持テーブル１８の保持面１８ａに吸着保持させる際、その基板４の幅方向或いは長手方向に沿って設けられる複数の吸着パッドを、一端部から他端部にゆくにつれて基板４を吸着保持したときの圧縮変形量が順次大きくなる複数の吸着パッドを用いるようにした。この実施の形態では４つの吸着パッド１２３ａ〜１２３ｄを用いるようにした。
【００７１】
それによって、第２の基板４を吸着パッド１２３ａ〜１２３ｄによって吸着保持すると、この基板４は幅方向或いは長手方向に対して傾斜して保持されるから、保持面１８ａに吸着保持されるとき、幅方向或いは長手方向の一端部から他端部に向かって順次接触面積を広げていった後、吸着保持されることになる。  
したがって、そのような場合にも、保持面１８ａと第２の基板４の上面との間に空気が溜まることなく、上記第２の基板４を保持面１８ａに吸着保持することが可能となる。
【００７２】
上記一実施の形態では上部保持テーブルの保持面に、第２の基板の中央部分を吸着保持させてから端部を吸着保持させるために、上記基板の中央部と端部とを吸着する吸着パッドに、基板を吸着したときの弾性的収縮変形量が異なるものを用いるようにした。
【００７３】
しかしながら、弾性的収縮変形量が同じ吸着パッドを用いても、基板の中央部を吸着する吸着パッドと、端部を吸着保持する吸着パッドを別々の駆動装置によって上下駆動することで、基板の中央部を保持面に接触させてから、端部を接触させるようにすることも可能である。
【００７４】
たとえば、吸着パッド２３ａ，２３ｂの弾性的収縮変形量が同じと仮定し、図６を用いて説明する。
【００７５】
すなわち、吸着パッド２３ａ，２３ｂを上下動させる駆動装置として、２つの駆動装置、つまり中央部分に位置する３つの吸着パッド２３ａを上下動させる駆動装置と、両端部に位置する吸着パッド２３ｂを上下動させる駆動装置を設ける。
【００７６】
そして、第２の基板４を上部保持テーブル１８の保持面１８ａに受け渡すときには、不図示の制御装置は、中央部分の吸着パッド２３ａを上昇開始させてから設定時間経過したタイミングで両端の吸着パッド２３ｂを上昇開始させるように２つの駆動装置を制御する。吸着パッド２３ａ，２３ｂを上昇させている間は、中央部分の吸着パッド２３ａと両端の吸着パッド２３ｂとが同じ速度で上昇するように制御する。
【００７７】
ここで、設定時間が短ければ第２の基板４の湾曲は小さく、長ければ大きくなるので、設定時間を増減することで、第２の基板４の湾曲の大きさを設定することができる。
【００７８】
また、両端の吸着パッド２３ｂを上昇開始させるタイミングを中央部分の吸着パッド２３ａを上昇開始させるタイミングより設定時間遅らせる代わりに、中央部分の吸着パッド２３ａの高さ（Ｚ方向）位置を検出し、両端の吸着パッド２３ｂを中央部分の吸着パッド２３ａに対して設定距離だけ低い位置関係で上昇するように駆動装置を制御するようにしても良い。
【００７９】
また、図８に示すように、第２の基板４を上部保持テーブル１８の保持面１８ａにその一方の端部から順に接触させるように、駆動装置を制御するようにしても良い。
【００８０】
なお、上記実施の形態において、上部保持テーブル１８の電極１８ｃに通電してその保持面１８ａに静電気力を発生させるタイミングを、第１、第２の吸着パッド２３ａ、２３ｂが大径部２１ａ内に完全に入り込んだ時点とした例で説明したが、これに限らず、例えば、第２の駆動源２６によって駆動部材２２（第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂ）の上昇が開始された時点、或いは、駆動部材２２の上昇過程において第２の基板４の中央部が保持面１８ａに接触した時点としても良い。すなわち、基板は、保持テーブルに接触と同時に吸着保持されるようにしても良く、保持テーブルに被保持面全体が接触してから吸着保持されるようにしても良い。
【００８１】
また、第２の基板４の外面全体が保持面１８ａに接触し静電気力で吸着保持されてから、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂの吸引力を解除する例で説明したが、これに限らず、上に凸の円弧状となった第２の基板４の中央部が保持面１８ａに接触した時点で、まず第１の吸着パッド２３ａの吸引力を解除し、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂが大径部２１ａ内に完全に入り込んだ時点で第２の吸着パッド２３ｂの吸引力を解除するようにしても良い。この場合、第１の吸着パッド２３ａの吸着力を解除するよりも早いタイミングで、保持面１８ａに静電気力を発生させるようにすると良い。
【００８２】
なお、第１の吸着パッド２３ａの吸引力を解除すると、第１のパッドの蛇腹部分が復元するから、上部保持テーブル１８の保持面１８ａに静電気力によって保持された第２の基板４の中央部を保持面１８ａから押し離してしまう可能性がある。このようなことにならないように第１の吸着パッド２３ａの吸引力は、第２の基板４の中央部が保持面１８ａに接触した後、駆動部材２２が上昇するにつれて徐々に弱くなるように解除するようにすると良い。
【００８３】
また、本発明を、第１，第２の基板３，４を貼り合わせると同時にこれら基板３，４間におけるシール剤で囲まれる空間内に液晶を密封する貼り合わせ装置に適用した例で説明したが，第１，第２の基板３，４をシール剤を介して貼り合わせた後に、液晶を密封する貼り合わせ装置にも適用可能である。
【００８４】
また、第１、第２の基板３，４をシール剤によって貼り合わせる例で説明したが、シール剤は必ずしも接着力を有するものに限らず、シール剤とは別に第１、第２の基板３，４を接着する接着剤を設け、シール剤は液晶を密封する機能のみを有するものとしてもよい。
【００８５】
また、予め内面が下向きとなるよう反転させた第２の基板４を、ロボット装置３１のアーム３４に設けられた下部吸着パッド３５で受け取る例で説明したが、ロボット装置３１のアーム３４を１８０度反転可能に構成し、下部吸着パッド３５の吸着面を上向きにした状態で内面が上向きの第２の基板４を受け取り、その後、アーム３４を１８０度反転させて第２の基板４を内面下向きとするようにしても良い。
【００８６】
また、第１、第２の吸着パッド２３ａ，２３ｂを、第１の実施の形態では５行４列で、第２、第３の実施の形態では２行４列で配置した例で説明したが、これに限られるものでなく、上記より多い行列でも少ない行列であっても良い。要は、基板を保持面に対してその一部が接触してから順次他の部分が接触するようにできる配置であれば良い。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】この発明の第１の実施の形態に係る液晶ディスプレイパネルの組立て装置を示す概略図。
【図２】貼り合わせ装置の概略的構成を示す断面図。
【図３】ロボット装置のアームの平面図。
【図４】（ａ）は第２の基板の中央部を吸着保持する第１の吸着パッドの断面図、（ｂ）は第２の基板の端部を吸着保持する第２の吸着パッドの断面図。
【図５】第２の基板上部保持テーブルに形成された貫通孔の配置状態を示す平面図。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は第２の基板を上部保持テーブルの保持面に吸着保持するときの動作を順次示した説明図。
【図７】この発明の第２の実施の形態を示す第２の基板上部保持テーブルに形成された貫通孔の配置状態を示す平面図。
【図８】この発明の第３の実施の形態を示す第２の基板を上部保持テーブルの保持面に吸着保持するときの説明図。
【符号の説明】
【００８８】
３…第１の基板、４…第２の基板、１５…下部保持テーブル、１５ａ…保持面、１８…上部保持テーブル、１８ａ…保持面、２２…駆動部材（受け渡し手段）２３ａ…第１の吸着パッド（受け渡し手段）、２３ｂ…第２の吸着パッド（受け渡し手段）、３１…ロボット装置（供給手段）、３４…アーム（供給手段）。
【図１】
0004751659.tif 000002
【図２】
0004751659.tif 000003
【図３】
0004751659.tif 000004
【図４】
0004751659.tif 000005
【図５】
0004751659.tif 000006
【図６】
0004751659.tif 000007
【図７】
0004751659.tif 000008
【図８】
0004751659.tif 000009