(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のコイル巻装部を軸方向に並べて配設し、該コイル巻装部の間に鍔部を配設した巻芯部材と、
前記コイル巻装部のそれぞれに設けられた、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する少なくとも一つの薄膜コイルと、
前記複数のコイル巻装部相互間に設けられ、前記鍔部の外周に周方向に形成された分断溝と、
前記巻芯部材の表面に設けられ、前記薄膜コイルの両端部にそれぞれ電気的に接続された外部端子電極と、
を備えたことを特徴とするインダクタ部品。
【請求項２】
複数のコイル巻装部を軸方向に並べて配設し、該コイル巻装部の間に鍔部を配設した巻芯部材と、
前記巻芯部材に接合した板状部材と、
前記コイル巻装部のそれぞれに設けられた、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する少なくとも一つの薄膜コイルと、
前記複数のコイル巻装部相互間に設けられ、前記鍔部の外周に周方向に形成された分断溝と、
前記板状部材の表面に設けられ、前記薄膜コイルの両端部にそれぞれ電気的に接続された外部端子電極と、
を備えたことを特徴とするインダクタ部品。
【請求項３】
前記板状部材の表面に外部端子電極位置調整用パターンを設けたことを特徴とする請求項２記載のインダクタ部品。
【請求項４】
前記巻芯部材がコイル巻装部を残して前記板状部材に接合していることを特徴とする請求項２又は請求項３記載のインダクタ部品。
【請求項５】
前記薄膜コイルのそれぞれが、前記コイル巻装部の外周に形成した薄膜導体にスパイラル状のコイル構成溝を設けることにより形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項６】
各薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部と終端部とがそれぞれ前記巻芯部材の外周方向に略同一の位置に配設されていることを特徴とする請求項５記載のインダクタ部品。
【請求項７】
各薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部と終端部とがそれぞれ前記巻芯部材の外周方向に略１８０度ずれていることを特徴とする請求項５記載のインダクタ部品。
【請求項８】
前記コイル巻装部のそれぞれに、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する二つの薄膜コイルを設け、該二つの薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部が前記巻芯部材の周回方向に略１８０度ずれていることを特徴とする請求項６又は請求項７記載のインダクタ部品。
【請求項９】
前記分断溝が、コイル巻装部毎に前記薄膜コイルが分断されていることを特徴とする請求項８記載のインダクタ部品。
【請求項１０】
前記分断溝が、隣り合う二つのコイル巻装部にそれぞれ設けられた二つの薄膜コイルのうち、一方の薄膜コイルのみを分断していることを特徴とする請求項８記載のインダクタ部品。
【請求項１１】
前記巻芯部材のコイル巻装部の横断面積が、前記巻芯部材の残りの部分の横断面積より小さいことを特徴とする請求項１〜請求項１０のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項１２】
前記薄膜コイルの少なくとも一部を、絶縁樹脂および磁粉入り絶縁樹脂のいずれか一つで覆ったことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれかに記載のインダクタ部品。
【請求項１３】
前記薄膜コイルの少なくとも一部を天板で覆ったことを特徴とする請求項１〜請求項１２のいずれかに記載のインダクタ部品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インダクタ部品、特にトランス、アレイ型チョークコイル、アレイ型インピーダなどとして用いられるインダクタ部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の技術としては、たとえば特開平５−４１３２４号公報に開示されたようなインダクタ部品が知られている。該インダクタ部品は、フェライト等の絶縁性を有する磁性体からなる円柱状の磁性体コアを備えている。該磁性体コアの表面には導体膜が形成されており、この導体膜にレーザ光を照射して前記磁性体コアを回転させながら軸方向に移動させることにより、螺旋状のコイル構成溝を形成し、導体膜の残余部分により磁性体コアをスパイラル状に周回する薄膜コイルを形成している。このインダクタ部品は、高周波領域で狭偏差のインダクタンス値が得られるという利点を有しており、近年その利用価値が高くなってきている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の薄膜コイルを用いたインダクタ部品はコイルを一つ内蔵するだけであって、コイルを複数内蔵したものは世の中にまだなく、当然そのアレイ型も存在していない。これは、レーザ加工技術を利用したインダクタ部品の商品化がここ数年のことであり、また、構造がアレイ化に適さないと考えられていたからである。
【０００４】
そこで、本発明の目的は、狭偏差のインダクタンス値を有した薄膜コイルを複数内蔵したインダクタ部品を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係るインダクタ部品は、
（ａ）複数のコイル巻装部を軸方向に並べて配設し、該コイル巻装部の間に鍔部を配設した巻芯部材と、
（ｂ）前記コイル巻装部のそれぞれに設けられた、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する少なくとも一つの薄膜コイルと、
（ｃ）前記複数のコイル巻装部相互間に設けられ、前記鍔部の外周に周方向に形成された分断溝と、
（ｄ）前記巻芯部材の表面に設けられ、前記薄膜コイルの両端部にそれぞれ電気的に接続された外部端子電極と、
を備えたことを特徴とする。ここに、薄膜コイルは、巻芯部材の外周に形成した薄膜導体にスパイラル状のコイル構成溝を設けることにより形成することが好ましい。
【０００６】
また、本発明に係るインダクタ部品は、
（ｅ）複数のコイル巻装部を軸方向に並べて配設し、該コイル巻装部の間に鍔部を配設した巻芯部材と、
（ｆ）前記巻芯部材に接合した板状部材と、
（ｇ）前記コイル巻装部のそれぞれに設けられた、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する少なくとも一つの薄膜コイルと、
（ｈ）前記複数のコイル巻装部相互間に設けられ、前記鍔部の外周に周方向に形成された分断溝と、
（ｉ）前記板状部材の表面に設けられ、前記薄膜コイルの両端部にそれぞれ電気的に接続された外部端子電極と、
を備えたことを特徴とする。巻芯部材はコイル巻装部を残して板状部材に接合している。そして、巻芯部材のコイル巻装部の横断面積は、巻芯部材の残りの部分の横断面積より小さいことが好ましい。
【０００７】
以上の構成により、複数のコイルは巻芯部材の軸方向に分断溝を間にして並べて形成されている。そして、コイルの少なくとも一部を、絶縁樹脂や磁粉入り絶縁樹脂や天板で覆うことにより、種々のコイルの組み合わせのインダクタ部品が得られる。
【０００８】
また、コイル巻装部のそれぞれに、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する二つの薄膜コイルを設け、該二つの薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部を巻芯部材の周回方向に略１８０度ずらせるとともに、各薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部と終端部とを巻芯部材の外周方向に略１８０度ずらせて配設し、分断溝にてコイル巻装部毎に薄膜コイルを分断させることにより、ノイズ差分タイプのインピーダをアレイ状に形成することができる。
【０００９】
あるいは、コイル巻装部のそれぞれに、コイル巻装部の外周をスパイラル状に周回する二つの薄膜コイルを設け、該二つの薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部を巻芯部材の周回方向に略１８０度ずらせるとともに、各薄膜コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部と終端部とを巻芯部材の外周方向に略同一の位置に配設させ、隣り合う二つのコイル巻装部にそれぞれ設けられた二つの薄膜コイルのうち、一方の薄膜コイルのみを分断溝にて分断させることにより、トランスを形成することができる。
【００１０】
さらに、各コイルのスパイラル状のコイル構成溝の始端部と終端部とをそれぞれ巻芯部材の周回方向に略１８０度ずらせることによって、対角の位置関係を有する外部端子電極にコイルの両端部が引き出されることになる。また、板状部材の表面に外部端子電極位置調整用パターンを設けることによって、各コイルの入力側と出力側が同一線上に配置されることになる。これにより、インダクタ部品を実装するためのプリント基板のパターン設計の自由度が高くなる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るインダクタ部品の実施の形態について添付の図面を参照して説明する。
【００１２】
［第１実施形態、図１〜図６］
図１に示すように、巻芯部材１１はコイル巻装部１２，１３，１４と、該コイル巻装部１２，１３，１４を間にして設けられた鍔部１５，１６，１７，１８とを有している。コイル巻装部１２〜１４の横断面積は、巻芯部材１１の残りの部分の横断面積より小さい。
【００１３】
巻芯部材１１は、例えばＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト等の磁性体材料、非磁性のアルミナ等のセラミック材料や樹脂材料等からなる。この巻芯部材１１と硼珪酸亜鉛系ガラス粉末を攪拌しながら８００〜９００℃で熱処理することにより、巻芯部材１１の表面にガラス粉末を付着させて絶縁被覆膜（図示せず）を形成する。この絶縁被覆膜は、後述するように、レーザビームを照射して薄膜コイルを形成する際に、レーザビームが巻芯部材１１に達して巻芯部材１１を劣化させ、磁気抵抗を低下させるのを防止するためのものである。なお、硼珪酸亜鉛系ガラスを巻芯部材１１の表面に含浸させるようにしてもよいし、絶縁被覆膜の材料はガラスの他に、エポキシ樹脂などの樹脂であってもよい。また、この絶縁被覆膜は必ずしも必要なものではなく、巻芯部材１１の表面に絶縁被覆膜を設けないで、直接薄膜導体２０（後述）を設けてもよい。
【００１４】
次に、図２に示すように、無電解めっきやスパッタリング等の方法によって、巻芯部材１１の左右の端面Ｅ，Ｆ以外の四つの側面に薄膜導体２０を形成する。薄膜導体２０は、Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｇ，Ａｇ−Ｐｄ等からなる。次に、巻芯部材１１をレーザ加工機のスピンドル（図示せず）にチャッキングする。スピンドルを駆動させて巻芯部材１１を矢印Ｋ１の方向（右回り方向）に適宜回転させるとともに矢印Ｋ３の方向に移動させながら、レーザビームを巻芯部材１１に照射する。これにより、レーザビームが照射された部分の薄膜導体２０が除去され、コイル巻装部１２，１３，１４にそれぞれスパイラル状のコイル構成溝２２，２３，２４が形成される。
【００１５】
コイル構成溝２２の始端部２２ａは、巻芯部材１１の側面Ａのコイル巻装部１２の左端中央から傾斜部３１，鍔部１５を通って巻芯部材１１の一方の端面Ｅに達している。コイル構成溝２２の終端部２２ｂは、巻芯部材１１の側面Ｂ（側面Ａが対向している側面）のコイル巻装部１２の右端中央から傾斜部３１を通って鍔部１６に達している。そして、このコイル構成溝２２の終端部２２ｂは、側面Ｂにてコイル構成溝２３の始端部２３ａに接続している。
【００１６】
コイル構成溝２３の始端部２３ａは、巻芯部材１１の側面Ｂのコイル巻装部１３の左端中央から傾斜部３１を通って鍔部１６に達している。コイル構成溝２３の終端部２３ｂは、巻芯部材１１の側面Ａのコイル巻装部１３の右端中央から傾斜部３１を通って鍔部１７に達している。そして、このコイル構成溝２３の終端部２３ｂは、側面Ａにてコイル構成溝２４の始端部２４ａに接続している。
【００１７】
コイル構成溝２４の始端部２４ａは、巻芯部材１１の側面Ａのコイル巻装部１４の左端中央から傾斜部３１を通って鍔部１７に達している。コイル構成溝２４の終端部２４ｂは巻芯部材１１の側面Ｂのコイル巻装部１４の右端中央から傾斜部３１、鍔部１８を通って巻芯部材１１の他方の端面Ｆに達している。
【００１８】
このように、コイル構成溝２２〜２４の始端部２２ａ〜２４ａと終端部２２ｂ〜２４ｂとは、それぞれ巻芯部材１１の外周方向に略１８０度ずれている。なお、本第１実施形態では、コイル構成溝２２〜２４を連接して形成しているが、それぞれ分離して形成してもよいことは言うまでもない。
【００１９】
次に、図３に示すように、巻芯部材１１を矢印Ｋ４の方向に回転させながら、レーザビームを巻芯部材１１の鍔部１６，１７にそれぞれ照射する。これにより、レーザビームが照射された部分の薄膜導体２０が除去され、鍔部１６，１７をそれぞれ巻芯部材１１の外周方向に一周している分断溝３５，３６が形成される。分断溝３５は、コイル構成溝２２の終端部２２ｂとコイル構成溝２３の始端部２３ａとを切り離す。分断溝３６は、コイル構成溝２３の終端部２３ｂとコイル構成溝２４の始端部２４ａとを切り離す。
【００２０】
こうして、コイル巻装部１２，１３，１４の外周部を、周回方向が互いに同方向の状態で、スパイラル状に周回する薄膜コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３が形成される。これらの薄膜コイルＬ１〜Ｌ３は、巻芯部材１１の表面に設けた薄膜導体をレーザ加工することにより形成しているため、コイルの巻膨らみなどの不具合が発生しない。従って、薄膜コイルＬ１〜Ｌ３のインダクタンス値の誤差を低く抑えることができる。
【００２１】
この後、コイル構成溝２２，２３，２４、分断溝３５，３６並びに巻芯部材１１の両端面Ｅ，Ｆを残して、鍔部１５，１６，１７，１８の外周面に、ＳｎめっきあるいはＮｉ−Ｃｕ−Ｓｎめっき等を行い、はんだ付け性等の良好な端子電極２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂを形成する。これにより、端子電極２５ａ，２５ｂの間には薄膜コイルＬ１が接続され、端子電極２６ａ，２６ｂの間には薄膜コイルＬ２が接続され、端子電極２７ａ，２７ｂの間には薄膜コイルＬ３が接続される。
【００２２】
次に、図４および図５に示すように、巻芯部材１１を板状部材４０にはんだ付けなどの方法によって実装する。このとき、巻芯部材１１は、コイル巻装部１２〜１４の横断面積が鍔部１５〜１８の横断面積より小さく、コイル巻装部１２〜１４が窪んでいるので、巻芯部材１１を板状部材４０に実装する際、薄膜コイルＬ１〜Ｌ３が板状部材４０の表面に接触せず、薄膜コイルＬ１〜Ｌ３を保護することができる。
【００２３】
板状部材４０の上面には、外部端子電極位置調整用パターン４１ａ〜４３ｂが形成されている。これらのパターン４１ａ〜４３ｂは、それぞれ板状部材４０の両側面部に設けた外部端子電極４４ａ〜４６ｂに接続している。外部端子電極４４ａ，４４ｂはそれぞれパターン４１ａ，４１ｂを介して巻芯部材１１に形成された端子電極２５ａ，２５ｂに接続され、外部端子電極４５ａ，４５ｂはそれぞれパターン４２ａ，４２ｂを介して端子電極２６ａ，２６ｂに接続され、外部端子電極４６ａ，４６ｂはそれぞれパターン４３ａ，４３ｂを介して端子電極２７ａ，２７ｂに接続されている。これにより、薄膜コイルＬ１の入力側と出力側が板状部材４０の対向する２辺にそれぞれ引き出され、同一線上に配置されることになる。同様に、薄膜コイルＬ２，Ｌ３のそれぞれの入力側と出力側も同一線上に配置されることになる。
【００２４】
図６の（Ａ）は薄膜コイルＬ１〜Ｌ３を設けた巻芯部材１１の電気等価回路図であり、（Ｂ）はこの巻芯部材１１を板状部材４０に実装した後のアレイ型インダクタ１の電気等価回路図である。
【００２５】
板状部材４０は、例えばフェライトや磁粉入り樹脂などの磁性体材料、あるいは金属などからなる。巻芯部材１１の材質としてアルミナを使用し、かつ、板状部材４０の材質としてフェライトを使用することにより、浮遊容量のばらつきが小さいＧＨｚ帯に対応したアレイ型インダクタ１が得られる。一方、巻芯部材１１の材質としてフェライトを使用し、かつ、板状部材４０の材質としてフェライトや磁粉入り樹脂などを使用することにより、ＧＨｚ帯より低い周波数に対応したアレイ型インダクタ１が得られる。
【００２６】
この後、必要に応じて保護ケースなどを板状部材４０の上に被せ、巻芯部材１１を保護する。
【００２７】
以上の構成からなるアレイ型インダクタ１は、薄膜コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３が巻芯部材１１の軸方向に分断溝３５，３６を間にして並べて形成されている。これにより、狭偏差のインダクタンス値を有するアレイ型インダクタ１を得ることができる。
【００２８】
［第２実施形態、図７〜図９］
第２実施形態は、コモンモードチョークコイルについて説明する。図７に示すように、コモンモードチョークコイル５１は、前記第１実施形態のインダクタ１にフェライトからなる天板５２を取り付けたものと同様の構造を有している。
【００２９】
天板５２は、薄膜コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３を覆うようにして、巻芯部材１１の両端部の鍔部１５，１８の外周面に接合され、鍔部１５の外周部と鍔部１８の外周部とを連結している。一方、巻芯部材１１の中央寄りに位置する鍔部１６，１７の外周面と天板５２との間には間隙が形成されている。さらに、巻芯部材１１の材質としてフェライトを使用し、板状部材１１の材質として非磁性のアルミナなどのセラミック材料や樹脂材料を使用する。
【００３０】
図８の（Ａ）は薄膜コイルＬ１〜Ｌ３を設けた巻芯部材１１の電気等価回路図であり、（Ｂ）はこの巻芯部材１１と天板５２と板状部材４０とからなるコモンモードチョークコイル５１の電気等価回路図である。
【００３１】
以上の構成からなるコモンモードチョークコイル５１は、薄膜コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３が鍔部１６，１７で分割されていることにより、薄膜コイルＬ１〜Ｌ３によって生じる磁束が重なり合わない。そのため、ノーマルモードの電流によって生じる磁束が打ち消し合わず、ノーマルモードの電流に対しても、インダクタンスを得ることができる。従って、このチョークコイル５１は、コモンモードノイズのみならず、ノーマルモードノイズも除去することができる。従って、従来は困難とされていた三つの薄膜コイルＬ１〜Ｌ３を有したコモンモードチョークコイル５１が得られる。しかも、鍔部１６，１７の外周面と天板５２との間に間隙が形成されているため、鍔部１６，１７と天板５２との間の磁気抵抗が大きくなる。この結果、大きなノーマルモードの電流が流れても、磁気飽和現象が発生しにくいチョークコイル５１が得られる。
【００３２】
なお、図９に示すように、中央寄りに位置する鍔部１６，１７の高さ寸法を小さくした巻芯部材１１Ａと、板状の天板５２Ａとを用いて、低背化を図ってもよい。
【００３３】
［第３実施形態、図１０〜図１５］
第３実施形態は、アレイ型インピーダについて説明する。
【００３４】
図１０に示すように、巻芯部材６１はフェライトからなり、コイル巻装部６２，６３と鍔部６５，６６，６７とを有している。この巻芯部材６１の表面に必要に応じて絶縁被覆膜を形成した後、図１１に示すように、左右の端面Ｅ，Ｆ以外の四つの側面に薄膜導体７０を形成する。
【００３５】
次に、巻芯部材６１をレーザ加工機のスピンドル（図示せず）にチャッキングする。スピンドルを駆動させて巻芯部材６１を適宜回転させるとともに軸の方向に移動させながら、レーザビームを巻芯部材６１に照射する。これにより、レーザビームが照射された部分の薄膜導体７０が除去され、コイル巻装部６２，６３にそれぞれスパイラル状のコイル構成溝７２，７４が形成される。
【００３６】
コイル構成溝７２の始端部７２ａは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６２の左端中央から傾斜部８１、鍔部６５を通って巻芯部材１１の一方の端面Ｅに達している。コイル構成溝７２の終端部７２ｂは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６２の右端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。そして、このコイル構成溝７２の終端部７２ｂは、側面Ｂにてコイル構成溝７４の始端部７４ａに接続している。
【００３７】
コイル構成溝７４の始端部７４ａは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６３の左端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。コイル構成溝７４の終端部７４ｂは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６３の右端中央から傾斜部８１、鍔部６７を通って巻芯部材６１の他方の端面Ｆに達している。
【００３８】
さらに、図１２に示すように、レーザ加工機のスピンドルを駆動させて巻芯部材６１を適宜回転させるとともに軸の方向に移動させながら、レーザビームを巻芯部材６１に照射し、コイル巻装部６２，６３にそれぞれスパイラル状のコイル構成溝７３，７５を、コイル構成溝７２，７４に略並走するように形成する。
【００３９】
コイル構成溝７３の始端部７３ａは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６２の左端中央から傾斜部８１，鍔部６５を通って巻芯部材６１の端面Ｅに達している。コイル構成溝７３の終端部７３ｂは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６２の右端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。そして、このコイル構成溝７３の終端部７３ｂは、側面Ａにてコイル構成溝７５の始端部７５ａに接続している。
【００４０】
コイル構成溝７５の始端部７５ａは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６３の左端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。コイル構成溝７５の終端部７５ｂは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６３の右端中央から傾斜部８１、鍔部６７を通って巻芯部材６１の他方の端面Ｆに達している。
【００４１】
このように、コイル構成溝７２〜７５の始端部７２ａ〜７５ａと終端部７２ｂ〜７５ｂとは、それぞれ巻芯部材６１の外周方向に略１８０度ずれている。さらに、コイル構成溝７２，７３の始端部７２ａと７３ａ、並びに、コイル構成溝７４，７５の始端部７４ａと７５ａも、巻芯部材６１の外周方向に略１８０度ずれている。
【００４２】
次に、巻芯部材６１を回転させながら、レーザビームを巻芯部材６１の鍔部６６に照射することにより、図１３に示すように、鍔部６６の外周面を一周している分断溝８５が形成される。分断溝８５は、コイル構成溝７２，７３の終端部７２ｂ，７３ｂとコイル構成溝７４，７５の始端部７４ａ，７５ａとを切り離す。
【００４３】
こうして、周回方向が互いに同方向の状態で、コイル巻装部６２の外周部をスパイラル状に周回する一対の薄膜コイルＬ１，Ｌ２が形成されるとともに、コイル巻装部６３の外周部をスパイラル状に周回する一対の薄膜コイルＬ３，Ｌ４が形成される。
【００４４】
この後、コイル構成溝７２〜７５、分断溝８５並びに巻芯部材６１の両端面Ｅ，Ｆを残して、鍔部６５，６６，６７の外周面にそれぞれめっき等を行い、はんだ付け性等の良好な端子電極９０ａ，９１ｂ、９１ａ，９０ｂ、９２ａ，９３ｂ、９３ａ，９２ｂを形成する。これにより、対角の位置関係を有する端子電極９０ａ，９０ｂの間には薄膜コイルＬ１が接続され、端子電極９１ａ，９１ｂの間には薄膜コイルＬ２が接続され、端子電極９２ａ，９２ｂの間には薄膜コイルＬ３が接続され、端子電極９３ａ，９３ｂの間には薄膜コイルＬ４が接続される。
【００４５】
次に、図１４に示すように、巻芯部材６１を、非磁性のアルミナなどからなる板状部材１００に実装する。板状部材１００の上面には、外部端子電極位置調整用パターン１０１ａ〜１０４ｂが形成されている。これらのパターン１０１ａ〜１０４ｂは、それぞれ板状部材１００の両側面部に設けた外部端子電極１０５ａ〜１０８ｂに接続している。外部端子電極１０５ａ〜１０８ｂはそれぞれ、パターン１０１ａ〜１０４ｂを介して巻芯部材６１に形成された端子電極９０ａ〜９３ｂに接続されている。これにより、薄膜コイルＬ１〜Ｌ４のそれぞれの入力側と出力側が板状部材１００の対向する２辺に引き出され、同一線上に配置されることになる。
【００４６】
この後、必要に応じて保護ケースや外装保護樹脂などを板状部材１００の上に被せ、巻芯部材６１を保護する。図１５の（Ａ）は薄膜コイルＬ１〜Ｌ４を設けた巻芯部材６１の電気等価回路図であり、（Ｂ）はこの巻芯部材６１と板状部材１００とからなるノイズ差分タイプのアレイ型インピーダ６０の電気等価回路図である。
【００４７】
以上の構成からなるアレイ型インピーダ６０は、略バイファイラ巻きされた隣り合う薄膜コイルＬ１とＬ２、並びに、薄膜コイルＬ３とＬ４が相互に磁気的に結合しており、さらに、レーザ加工による薄膜コイルＬ１〜Ｌ４の位置精度が高いため、高結合状態となる。従って、このアレイ型インピーダ６０は、同相かつ同方向の大電流正規信号が入ってきた場合でも、飽和せずにノイズを除去することができる。
【００４８】
なお、本第３実施形態は、巻芯部材６１にフェライトを用い、板状部材１００にアルミナを用いている。これは、隣り合う薄膜コイルＬ１とＬ２の結合度、並びに、薄膜コイルＬ３とＬ４の結合度を良くするため、初透磁率が比較的高いものを利用しているからである。従って、巻芯部材６１の材料として、アルミナや樹脂などを用いてもよく、また、板状部材１００の材料として、樹脂や金属などを用いてもよいことは言うまでもない。
【００４９】
［第４実施形態、図１６〜図２０］
第４実施形態は、トランスについて説明する。図１６に示すように、巻芯部材６１はフェライトからなり、コイル巻装部６２，６３と鍔部６５，６６，６７とを有している。この巻芯部材６１の表面に必要に応じて絶縁被覆膜を形成した後、左右の端面Ｅ，Ｆ以外の四つの側面に薄膜導体７０を形成する。
【００５０】
次に、巻芯部材６１をレーザ加工機のスピンドル（図示せず）にチャッキングする。スピンドルを駆動させて巻芯部材６１を適宜回転させるとともに軸の方向に移動させながら、レーザビームを巻芯部材６１に照射する。これにより、レーザビームが照射された部分の薄膜導体７０が除去され、コイル巻装部６２，６３にそれぞれスパイラル状のコイル構成溝１２２，１２４が形成される。
【００５１】
コイル構成溝１２２の始端部１２２ａは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６２の左端中央から傾斜部８１、鍔部６５を通って巻芯部材６１の一方の端面Ｅに達している。コイル構成溝１２２の終端部１２２ｂは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６２の右端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。そして、このコイル構成溝１２２の終端部１２２ｂは、側面Ａにてコイル構成溝１２４の始端部１２４ａに接続している。
【００５２】
コイル構成溝１２４の始端部１２４ａは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６３の左端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。コイル構成溝１２４の終端部１２４ｂは、巻芯部材６１の側面Ａのコイル巻装部６３の右端中央から傾斜部８１、鍔部６７を通って巻芯部材６１の他方の端面Ｆに達している。
【００５３】
さらに、図１７に示すように、レーザ加工機のスピンドルを駆動させて巻芯部材６１を適宜回転させるとともに軸の方向に移動させながら、レーザビームを巻芯部材６１に照射し、コイル巻装部６２，６３にそれぞれスパイラル状のコイル構成溝１２３，１２５を、コイル構成溝１２２，１２４に略並走するように形成する。
【００５４】
コイル構成溝１２３の始端部１２３ａは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６２の左端中央から傾斜部８１，鍔部６５を通って巻芯部材６１の端面Ｅに達している。コイル構成溝１２３の終端部１２３ｂは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６２の右端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。そして、このコイル構成溝１２３の終端部１２３ｂは、側面Ｂにてコイル構成溝１２５の始端部１２５ａに接続している。
【００５５】
コイル構成溝１２５の始端部１２５ａは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６３の左端中央から傾斜部８１を通って鍔部６６に達している。コイル構成溝１２５の終端部１２５ｂは、巻芯部材６１の側面Ｂのコイル巻装部６３の右端中央から傾斜部８１、鍔部６７を通って巻芯部材６１の他方の端面Ｆに達している。
【００５６】
このように、コイル構成溝１２２〜１２５の始端部１２２ａ〜１２５ａと終端部１２２ｂ〜１２５ｂとは、それぞれ巻芯部材６１の外周方向に略同一の位置に配置している。さらに、コイル構成溝１２２，１２３の始端部１２２ａと１２３ａ、並びに、コイル構成溝１２４，１２５の始端部１２４ａと１２５ａは、巻芯部材６１の外周方向に略１８０度ずれている。
【００５７】
次に、巻芯部材６１を回転させながら、レーザビームを巻芯部材６１の鍔部６６に照射することにより、図１８に示すように、鍔部６６の外周面を略半周している分断溝１３０が形成される。分断溝１３０は、コイル構成溝１２２，１２３の終端部１２２ｂ，１２３ｂとコイル構成溝１２４，１２５の始端部１２４ａ，１２５ａとを切り離す。
【００５８】
こうして、周回方向が互いに同方向の状態で、コイル巻装部６２の外周部をスパイラル状に周回する一対の薄膜コイルＬ１，Ｌ２が形成されるとともに、コイル巻装部６３の外周部をスパイラル状に周回する一対の薄膜コイルＬ３，Ｌ４が形成される。
【００５９】
この後、コイル構成溝１２２〜１２５、分断溝１３０並びに巻芯部材６１の両端面Ｅ，Ｆを残して、鍔部６５，６６，６７の外周面にそれぞれめっき等を行い、はんだ付け性等の良好な端子電極１４０ａ，１４１ａ、端子電極１４１ｂ，１４２ａ及び中継電極１４５、端子電極１４０ｂ，１４２ｂを形成する。これにより、端子電極１４０ａ，１４０ｂの間には薄膜コイルＬ１とＬ３が直列に接続され、端子電極１４１ａ，１４１ｂの間には薄膜コイルＬ２が接続され、端子電極１４２ａ，１４２ｂの間には薄膜コイルＬ４が接続される。薄膜コイルＬ１，Ｌ３は１次側コイルとなり、薄膜コイルＬ２，Ｌ４は２次側コイルとなる。なお、この状態で、トランスとしての構成は完成しているので、製品としてもよい。
【００６０】
次に、図１９に示すように、巻芯部材６１を、非磁性のアルミナなどからなる板状部材１５０に実装する。板状部材１５０の上面には、外部端子電極位置調整用パターン１５１ａ〜１５３ｂが形成されている。これらのパターン１５１ａ〜１５３ｂは、それぞれ板状部材１５０の両側面部に設けた外部端子電極１５５ａ〜１５７ｂに接続している。外部端子電極１５５ａ〜１５７ｂはそれぞれ、パターン１５１ａ〜１５３ｂを介して巻芯部材６１に形成された端子電極１４０ａ〜１４２ｂに接続されている。図２０は、こうして得られたトランス１６０の電気等価回路図である。
【００６１】
以上の構成からなるトランス１６０は、レーザ加工による薄膜コイルＬ１〜Ｌ４の位置精度が高いため、狭偏差、高結合のトランスとなる。また、薄膜コイルＬ１〜Ｌ４の巻回数は、コイル構成溝１２２〜１２５の巻回数を調整して容易に変更することができる。
【００６２】
なお、本第４実施形態は、巻芯部材６１にフェライトを用い、板状部材１５０にアルミナを用いている。これは、トランスとしての性能を良くするために、初透磁率が比較的高いものを利用しているからである。従って、板状部材１５０の材料として、樹脂や金属などを用いてもよいことは言うまでもない。また、巻芯部材６１のコイル巻装部６３に形成しているコイル構成溝１２４を省略することにより、薄膜コイルＬ４を有さないトランスであってもよい。
【００６３】
［他の実施形態］
なお、本発明は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。たとえば、巻芯部材としては、鼓形状を連接したものに代えて、断面が円形や三角形や五角形以上の柱状もしくは筒状のものを使用することができる。
【００６４】
また、図２１に示すように、軸方向に薄膜コイルＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を分断溝３５，３６，３７を間にして並べて形成したフェライトからなる巻芯部材１１Ｂと、アルミナからなる板状部材４０Ａと、フェライトからなる二つの天板５２Ｂとで構成したアレイ型コモンモードチョークコイル１７０であってもよい。図２１に示した巻芯部材１１Ｂには、鼓形状を連接した巻芯部材に代えて、柱状の巻芯部材が使用されている。図２２の（Ａ）は薄膜コイルＬ１〜Ｌ４を設けた巻芯部材１１Ｂの電気等価回路図であり、（Ｂ）はこの巻芯部材１１Ｂと天板５２Ｂと板状部材４０Ａとからなるアレイ型コモンモードチョークコイル１７０の電気等価回路図である。
【００６５】
以上の構成からなるコモンモードチョークコイル１７０は、コモンモードインピーダンスとノーマルモードインピーダンスを有するため、コモンモードノイズのみならず、ノーマルモードノイズも除去することができる。従って、従来は困難とされていた２組の一対の薄膜コイルＬ１〜Ｌ４を有したコモンモードチョークコイル１７０が得られる。
【００６６】
また、図２３に示すように、第４実施形態のトランス１６０において、フェライトからなる天板１８０を、巻芯部材６１の両端部および中央部の鍔部６５〜６７の外周面に接合し、薄膜コイルＬ１〜Ｌ４を覆うようにしてもよい。なお、図２４に示すように、板状部材１５０を外して低背化を図ってもよい。また、絶縁樹脂（あるいは、磁粉入り絶縁樹脂）１８５を巻芯部材６１のコイル巻装部６２，６３に設けてもよい。巻芯部材６１は、コイル巻装部６２，６３の横断面積が小さい鼓状のものであり（コイル巻装部６２，６３が窪んでいるため）、絶縁樹脂１８５を設けても低背化を妨げない。なお、図２４では、絶縁樹脂１８５を巻芯部材６１の上下両方に設けているが、巻芯部材６１の上方又は下方のいずれか一方にのみ設けるものであってもよい。さらに、絶縁樹脂１８５は、巻芯部材６１（コイル巻装部６２，６３）の周囲を覆うように設けてもよい。
【００６７】
また、図２５に示すように、鼓形状を連接した巻芯部材６１に代えて、柱状の巻芯部材６１Ａを使用するとともに、天板１８０に代えて磁粉入り絶縁樹脂１８７を設けてもよい。あるいは、図２６に示すように、一対の薄膜コイルＬ１，Ｌ２およびＬ３，Ｌ４毎に天板１８８を設けるようにしてもよい。
【００６８】
さらに、巻芯部材、板状部材及び天板を構成するそれぞれの材料として、フェライト等の磁性体とアルミナ等の非磁性体とを使い分けて用いることにより、高周波特性等の電気的特性を調整することもできる。
【００６９】
また、分断溝やコイル構成溝を形成する際、前記実施形態はレーザビームを利用したが、電子ビームやイオンビームなどを利用してもよいし、サンドブラストやダイヤモンドソーの機械切削などによる方法であってもよい。さらに、前記実施形態は、巻芯部材の側面全面に薄膜導体を形成した後、分断溝やコイル構成溝などの不要な部分を除去して薄膜コイルを形成する方法を採用しているが、必ずしもこの方法に限るものではなく、必要な部分にのみスパッタリングや蒸着やめっきなどで導体を付与して薄膜コイルを形成する、いわゆるアディティブ法などを採用してもよい。
【００７０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、膜状コイル導体からなる複数のコイルを巻芯部材の軸方向に分断溝を間にして並べて形成しており、これら複数のコイルのインダクタンス値の誤差を低く抑えることができる。この結果、狭偏差のインダクタンス値を有するインダクタ部品を得ることができる。そして、コイルの少なくとも一部を、絶縁樹脂や磁粉入り絶縁樹脂や天板で覆うことにより、種々のコイルの組み合わせのインダクタ部品が得られる。
【００７１】
さらに、板状部材の表面に外部端子電極位置調整用パターンを設けることによって、各コイルの入力側と出力側を同一線上に配置することができる。これにより、インダクタ部品を実装するためのプリント基板のパターン設計の自由度が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るインダクタ部品の第１実施形態の製造手順を示す斜視図。
【図２】図１に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図３】図２に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図４】図３に続くインダクタ部品の製造手順を示す平面図。
【図５】図４に示したインダクタ部品の正面図。
【図６】図４に示したインダクタ部品の電気等価回路図。
【図７】本発明に係るインダクタ部品の第２実施形態を示す正面図。
【図８】図７に示したインダクタ部品の電気等価回路図。
【図９】図７に示したインダクタ部品の変形例を示す正面図。
【図１０】本発明に係るインダクタ部品の第３実施形態の製造手順を示す斜視図。
【図１１】図１０に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図１２】図１１に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図１３】図１２に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図１４】図１３に続くインダクタ部品の製造手順を示す平面図。
【図１５】図１４に示したインダクタ部品の電気等価回路図。
【図１６】本発明に係るインダクタ部品の第４実施形態の製造手順を示す斜視図。
【図１７】図１６に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図１８】図１７に続くインダクタ部品の製造手順を示す斜視図。
【図１９】図１８に続くインダクタ部品の製造手順を示す平面図。
【図２０】図１９に示したインダクタ部品の電気等価回路図。
【図２１】本発明に係るインダクタ部品の他の実施形態を示す正面図。
【図２２】図２１に示したインダクタ部品の電気等価回路図。
【図２３】本発明に係るインダクタ部品の別の他の実施形態を示す正面図。
【図２４】本発明に係るインダクタ部品のさらに別の他の実施形態を示す正面図。
【図２５】本発明に係るインダクタ部品のさらに別の他の実施形態を示す正面図。
【図２６】本発明に係るインダクタ部品のさらに別の他の実施形態を示す正面図。
【符号の説明】
１…アレイ型インダクタ
１１，１１Ａ，１１Ｂ…巻芯部材
１２，１３，１４…コイル巻装部
２２，２３，２４…コイル構成溝
２５ａ，２５ｂ，２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂ…端子電極
３５，３６，３７…分断溝
４０，４０Ａ…板状部材
４１ａ〜４３ｂ…外部端子電極位置調整用パターン
４４ａ〜４６ｂ…外部端子電極
５１，１７０…コモンモードチョークコイル
５２，５２Ａ，５２Ｂ…天板
６０…アレイ型インピーダ
６１，６１Ａ…巻芯部材
６２，６３…コイル巻装部
７２〜７５，１２２〜１２５…コイル構成溝
８５，１３０…分断溝
９０ａ〜９３ｂ，１４０ａ〜１４２ｂ…端子電極
１００，１５０…板状部材
１０１ａ〜１０４ｂ，１５１ａ〜１５３ｂ…外部端子電極位置調整用パターン
１０５ａ〜１０８ｂ，１５５ａ〜１５７ｂ…外部端子電極
１６０…トランス
１８０，１８８…天板
１８５…絶縁樹脂
１８７…磁粉入り絶縁樹脂
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４…薄膜コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004654508.tif 000007
【図７】
0004654508.tif 000008
【図８】
0004654508.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
0004654508.tif 000018
【図１８】
0004654508.tif 000019
【図１９】
0004654508.tif 000020
【図２０】
0004654508.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
0004654508.tif 000025
【図２５】
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【図２６】
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