【手続補正書】
【提出日】令和3年11月17日(2021.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査型電子顕微鏡と制御部と記憶部と演算部を備えて半導体デバイスのウェハを観察す
るウェハ観察装置であって、
前記制御部は、前記走査型電子顕微鏡を制御して前記走査型電子顕微鏡のステージに設置された前記半導体デバイスのウェハを観察するウェハ観察部と、前記ウェハ観察部で観察した前記ウェハの画像を取得する画像取得部とを備え、
前記記憶部は、前記画像取得部で取得した前記ウェハの画像やテンプレート画像を記憶
する画像記憶部と、前記テンプレート画像に付随するマッチング成否判定用しきい値と画
像処理パラメータセットと使用優先度を含むウェハアライメント用レシピを記憶するレシ
ピ記憶部とを備え、
前記演算部は、前記画像記憶部に記憶したテンプレート画像と前記レシピ記憶部に記憶
した前記ウェハアライメント用レシピとを読み込むレシピ読み込み部と、前記レシピ記憶
部に記憶した前記ウェハアライメント用レシピの更新要否を判定するレシピ更新要否判定
部と、前記レシピ更新要否判定部における判定結果に基づいて前記ウェハアライメント用
レシピを更新するレシピ更新部とを備える
ことを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項２】
請求項１に記載のウェハ観察装置であって、
前記演算部は、前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記テンプレート画像また
は前記マッチング成否判定用しきい値または前記画像処理パラメータセットのうち更新す
る項目を選択する更新項目選択部を更に備えることを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項３】
請求項２に記載のウェハ観察装置であって、
前記レシピ更新部は、
前記ウェハを前記ステージに設置するときに発生するウェハ設置誤差または前記ステー
ジの移動誤差またはユーザからの入力情報の少なくとも１つ以上を用いて、前記画像取得
部にて取得した前記ウェハの画像から周辺画像を取得し、取得した前記周辺画像からアラ
イメントマークの画像を生成するアライメントマーク画像生成部と、
前記アライメントマーク画像生成部で取得した前記周辺画像中で、前記アライメントマ
ーク以外の箇所の画像を非アライメントマークの画像として生成する非アライメントマー
ク画像生成部と、
前記テンプレート画像と前記アライメントマークの前記画像を用いて、前記アライメン
トマークの類似度分布を算出し、前記テンプレート画像と前記非アライメントマークの前
記画像を用いて、前記非アライメントマークの類似度分布を算出する類似度分布算出部と
を更に備えることを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項４】
請求項３に記載のウェハ観察装置であって、
前記レシピ更新部は、
前記アライメントマークの前記画像を前記テンプレート画像として前記ウェハアライメ
ント用レシピに追加するテンプレート画像追加部と、
適合する画像処理パラメータセットを決定する画像処理パラメータセット決定部と、
適合するマッチング成否判定用しきい値を決定するマッチング成否判定用しきい値決定
部と、
前記ウェハアライメント用レシピ内の前記テンプレート画像に付随する使用優先度を更
新する使用優先度更新部と
を更に備えることを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項５】
請求項４に記載のウェハ観察装置であって、
前記レシピ更新要否判定部は、前記類似度分布算出部で算出した前記アライメントマー
クの類似度分布と前記非アライメントマークの類似度分布と、前記マッチング成否判定用
しきい値決定部で決定した前記マッチング成否判定用しきい値を用いて、前記アライメン
トマークの類似度分布と前記非アライメントマークの類似度分布が分離できるかどうかを
判定する類似度分布分離可否判定部を備え、前記類似度分布分離可否判定部での判定結果
に基づいて、前記ウェハアライメント用レシピの更新要否を判定することを特徴とするウ
ェハ観察装置。
【請求項６】
請求項４に記載のウェハ観察装置であって、
前記レシピ更新要否判定部は、前記ウェハ観察部での前記ウェハの観察結果を用いて、
前記レシピ記憶部に記憶された前記ウェハアライメント用レシピの更新要否を判定するこ
とを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載のウェハ観察装置であって、
前記更新項目選択部は、
前記レシピ記憶部に記憶された前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記テンプ
レート画像の更新要否を判定するテンプレート画像更新要否判定部と、
前記レシピ記憶部に記憶された前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記マッチ
ング成否判定用しきい値の更新要否を判定するマッチング成否判定用しきい値更新要否判
定部と、
前記レシピ記憶部に記憶された前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記画像処
理パラメータセットの更新要否を判定する画像処理パラメータセット更新要否判定部と
を備えることを特徴とするウェハ観察装置。
【請求項８】
半導体デバイスのウェハを観察するウェハ観察装置を用いて前記ウェハを観察するウェ
ハ観察方法であって、
前記ウェハ観察装置のステージに設置された前記ウェハの画像を取得する画像取得ステップと、
テンプレート画像と、前記テンプレート画像に付随するマッチング成否判定用しきい値
と画像処理パラメータセットと使用優先度を含むウェハアライメント用レシピを読み込む
レシピ読み込みステップと、
前記レシピ読み込みステップで読み込んだ前記ウェハアライメント用レシピを用いて、
ウェハ観察装置のステージに対する前記ウェハの回転角度および位置ずれ量を算出するウ
ェハアライメント実行ステップと、
前記ウェハの観察を行うウェハ観察ステップと、
前記ウェハアライメント用レシピの更新要否を判定するレシピ更新要否判定ステップと
、
前記レシピ更新要否判定ステップにおける判定の結果に基づいて前記ウェハアライメン
ト用レシピを更新するレシピ更新ステップと
を備えることを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項９】
請求項８に記載のウェハ観察方法であって、
前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記テンプレート画像または前記マッチン
グ成否判定用しきい値または前記画像処理パラメータセットのうち更新する１つ以上の項
目を選択する更新項目選択ステップ
を更に備えることを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のウェハ観察方法であって、
前記ウェハを前記ステージに設置するときに発生するウェハ設置誤差または前記ステー
ジの移動誤差またはユーザからの入力情報の少なくとも１つ以上を用いて、前記画像取得
ステップにて取得した前記ウェハの画像から周辺画像を取得し、前記取得した前記周辺画
像からアライメントマークの画像を生成するアライメントマーク画像生成ステップと、
前記アライメントマーク画像生成ステップで前記取得した前記周辺画像中で、前記アラ
イメントマーク以外の箇所の画像を非アライメントマークの画像として生成する非アライ
メントマーク画像生成ステップと、
前記テンプレート画像と前記アライメントマークの前記画像を用いて前記アライメント
マークの類似度分布を算出し、前記テンプレート画像と前記非アライメントマークの前記
画像を用いて前記非アライメントマークの類似度分布を算出する類似度分布算出ステップ
と
を更に備えることを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のウェハ観察方法であって、
前記レシピ更新ステップは、
前記アライメントマークの前記画像を前記テンプレート画像として前記ウェハアライメ
ント用レシピに追加するテンプレート画像追加ステップと、
適合する画像処理パラメータセットを決定する画像処理パラメータセット決定ステップ
と、
適合するマッチング成否判定用しきい値を決定するマッチング成否判定用しきい値決定
ステップと、
前記ウェハアライメント用レシピ内の前記テンプレート画像に付随する使用優先度を更
新する使用優先度更新ステップと
を備えることを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のウェハ観察方法であって、
前記レシピ更新要否判定ステップは、前記類似度分布算出ステップで算出した前記アラ
イメントマークの類似度分布と前記非アライメントマークの類似度分布と前記マッチング
成否判定用しきい値を用いて前記アライメントマークの類似度分布と前記非アライメント
マークの類似度分布が分離できるかどうかを判定する類似度分布分離可否判定ステップを
備え、前記類似度分布分離可否判定ステップでの判定結果に基づいて前記ウェハアライメ
ント用レシピの更新要否を判定することを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項１３】
請求項１１に記載のウェハ観察方法であって、
前記レシピ更新要否判定ステップは、前記ウェハ観察ステップでのウェハ観察結果を用
いて前記ウェハアライメント用レシピの更新要否を判定することを特徴とするウェハ観察
方法。
【請求項１４】
請求項１２または請求項１３に記載のウェハ観察方法であって、
前記更新項目選択ステップは、
前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記テンプレート画像の更新要否を判定す
るテンプレート画像更新要否判定ステップと、
前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記マッチング成否判定用しきい値の更新
要否を判定するマッチング成否判定用しきい値更新要否判定ステップと、
前記ウェハアライメント用レシピに含まれる前記画像処理パラメータセットの更新要否
を判定する画像処理パラメータセット更新要否判定ステップと
を備えることを特徴とするウェハ観察方法。
【請求項１５】
請求項１２記載のウェハ観察方法であって、
前記類似度分布分離可否判定ステップで前記アライメントマークの類似度分布と前記非
アライメントマークの類似度分布が分離できるかどうかを判定した結果を画面上に表示す
ることを特徴とするウェハ観察方法。