(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングの先端に微小径な射出孔を有する射出ノズルを設け、ケーシング内には、駆動源によりプランジャーをシリンダ孔内に上下微振動自在に収納し、そのシリンダ孔の先端に前記射出孔へ連なる液溜室を設け、液溜室には射出液を供給する供給路に導入路を介して接続し、その導入路から液溜室内へ供給される射出液をプランジャーの上下微振動によって加圧することにより前記射出孔から射出させるようにした液滴射出装置において、上記シリンダ孔と液溜室との臨界面に前記プランジャーの上下微振動に追従するダイアフラムを配設するとともに該ダイアフラムに前記導入路を形成し、その導入路が、前記液溜室の上面に開口する環状路とそれに連通する二又路を有して前記供給路に接続していることを特徴とする液滴射出装置。
【請求項２】
上記プランジャーの先端にダイアフラムを挟着するプランジャーチップを取り付けて、該チップの外周に前記導入路の環状路が形成されていることを特徴とする請求項１記載の液滴射出装置。
【請求項３】
上記プランジャーチップが液溜室内に突出した逆円錐台形を呈し、その液溜室が射出孔に向けて径を順次に小さくなるよう形成されていることを特徴とする請求項２記載の液滴射出装置。
【請求項４】
上記プランジャーチップが、その先端面に凹面部を有することを特徴とする請求項３記載の液滴射出装置。
【請求項５】
上記二又路が、左右対称な溝形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の液滴射出装置。
【請求項６】
上記二又路が、一方を主として流入用とする曲線溝形状とし、他方を流入側の途中に接続した曲線溝であって環状路側の溝幅を大きく順次に溝幅を狭くしていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の液滴射出装置。
【請求項７】
射出液が金属微粒子を含んだ配線回路の描画用分散液であることを特徴とする請求項１記載の液滴射出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴射出装置、詳しくは、電子部品などの工業的生産分野において導電ペースト（金属微粒子分散液、はんだ材料）や還元剤、接着剤、液体レジスト等の液体材料を液滴として射出し、あるいは、食品分野や薬品分野などにおいて液体試料を液滴として射出し、さらには、金属・セラミックス・樹脂等を混合した微小物体造形用の高粘度微粒子液を射出するなど、各種の液体材料・試料を微細な液滴として射出するために使用される液滴射出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明における射出装置の基本形態は、ケーシングの先端に微小径な射出孔を有する射出ノズルを設け、ケーシング内には、プランジャーをシリンダ孔内に上下微振動自在に収納し、そのシリンダ孔の先端に前記射出孔へ連なる液溜室を設け、液溜室には射出液を供給する供給路に導入路を介して接続し、その導入路から液溜室内へ供給される射出液をプランジャーの上下微振動（下降動作）によって加圧することにより前記射出孔から射出させるようにした装置であるが、それに類似した装置が特開２０００−３１２８５１号公報（特許文献１）に開示されている。
すなわち、特許文献１の図４を参照すると、先端にノズル１１を設けたシリンダ１０内に、ピストン（プランジャー）１２を高速で上下往復動可能に配設するとともにピストン１２下に液溜室を形成し、その液溜室には接着剤（射出液）がシリンジ４２から供給管口部５３を通して供給されるようにし、液溜室へ供給された接着剤を下降時のピストンにより加圧してノズル１１より吐出（射出）させるようにした接着剤吐出装置が開示されている。そして、上記供給管口部５３には逆止弁５４が内蔵されており、この逆止弁５４により、ピストン１２の上昇時にシリンジ４２から液溜室へ接着剤の導入を可能にするとともに、ピストン１２が下降する加圧時に液溜室から供給管口部５３方向への接着剤の逆流を防止するようにしている。
【０００３】
また、接着剤ではなく導電ペースト又は導電インクを射出ノズルから液滴として射出する射出装置も、例えば、特開２００４−２０７５１０号公報（特許文献２）で例示されるように知られている。この特許文献２は、配線パターンを直接に描画する方式を可能としたものであって、その図３（ｂ）及び図４（ｂ）に開示されるように、ピエゾ素子３３の作用で導電インク（金属微粒子を含む分散液）２０が貯められた圧力室３１の壁を撓ませることにより、又は圧力室の壁自身をピエゾ素子で形成することによって導電インクを微小液滴で吐出させるものであるが、導電インクを吐出させるため圧力室を加圧するタイミングでの導電インクの逆流（上方への逃げ）については特に配慮されていない。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３１２８５１号公報（特に図４を参照）
【特許文献２】特開２００４−２０７５１０号公報（図３（ｂ）及び図４（ｂ）とその説明を参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記射出装置は、一般に、射出孔からの射出機能（迅速な射出・停止動作、射出液の定量化など安定した射出状態の確保）を高めるために、プランジャーやピストンを上下微振動させる駆動源の駆動力を強化させることは勿論であるが、それ以外にも、液溜室内の圧縮力を増大させて射出液の加圧力を増圧させる工夫や、加圧時の逆流を防止して液溜室の圧力損失を減少させる等の改善も重要である。特に、特許文献２のような、配線パターンを直接に描画する方式に使用される射出装置においては、配線の微細線化に伴う射出孔径の微小化や射出液として使用される導電ペースト、導電インクの高粘度化、高密度化の傾向に鑑みると上記の改善が要請される。
【０００６】
しかるに、特許文献１は、射出液が供給される供給管口部に逆止弁を設けているので、加圧時における液溜室の圧力損失の減少には寄与しているものの液溜室内の圧縮力を増大させる構造的な改善は何ら考慮されていない。しかも、逆流防止手段もメカニカルな逆止弁機構であるため、ピストンの高速な上下動との応答性に問題が残り、液滴射出の高速化に追従し得ず射出液の補給遅れが発生するなど高い射出機能を確保できない不具合が考えられる。
一方、特許文献２は、前記のとおり導電インクの逆流防止について配慮がなされておらず、液溜室内の圧縮力を増大させる構造的な改善についても何らの考慮もされていない。
【０００７】
本発明は上記従来事情に鑑み、液溜室内の圧縮力を増大させる構造的な改善により射出液の加圧力を増圧させるとともに、加圧時の逆流を防止して液溜室の圧力損失を減少させるようにし、しかも逆流防止動作とプランジャーの上下微振動との応答性を良好にして高い射出機能性を担保する液滴射出装置を提供することを目的とする。
また、本発明は液溜室の増圧機能及び逆流防止機能を簡易な構造により達成できるようにして、製作上の利便性も確保せんとするものである
【課題を解決するための手段】
【０００８】
斯る本発明の液滴射出装置は、ケーシングの先端に微小径な射出孔を有する射出ノズルを設け、ケーシング内には、駆動源によりプランジャーをシリンダ孔内に上下微振動自在に収納し、そのシリンダ孔の先端に前記射出孔へ連なる液溜室を設け、該液溜室には射出液を供給する供給路に導入路を介して接続し、その導入路から液溜室内へ供給される射出液をプランジャーの上下微振動によって加圧することにより前記射出孔から射出させるようにした液滴射出装置において、上記シリンダ孔と液溜室との臨界面に前記プランジャーの上下微振動に追従するダイアフラムを配設するとともに該ダイアフラムに前記導入路を形成し、その導入路が、前記液溜室の上面に開口する環状路とそれに連通する二又路を有して前記供給路に接続していることを特徴とする（請求項１）。
この本発明によれば、シリンダ孔と液溜室との臨界面に配設したダイアフラムがプランジャーの上下微振動に追従して弾性変形するので、その下向き膨出時にプランジャーだけの場合よりも液溜室に強い圧縮力を付与する。また、液溜室の圧縮時に射出液が導入路を通して供給路側へ逆流しようとするが、二又路を逆行する射出液は二又路の合流点（分岐点）において衝突し逆流が阻止される。
なお、上記プランジャーを上下微振動させる駆動源は、制御のし易さや高速性を考慮すると圧電素子を使用したアクチュエータが好ましいが、それに限定されるものではなく、例えば、エアシリンダー、あるいはパルスモータなどの電動モータ、さらにはカム機構など公知の手段を採用することも自由である。
【０００９】
そして、上記ダイアフラムの取り付け構造は、プランジャー先端にプランジャーチップを取り付け、該チップとプランジャーとによりダイアフラムを挟着することが、プランジャーの上下微振動とダイアフラムとの追従性に優れ、その場合に、プランジャーチップの外周に前記導入路の環状路を形成することが製作上好ましい（請求項２）。
また、上記プランジャーチップを設ける場合に、該チップが必然的に液溜室内へ突出するが、そのプランジャーチップを逆円錐台形とすることが好ましい（請求項３）。それにより、液溜室内の空間をその内壁面に沿って適度に狭めるので、プランジャーチップが下降する際に液溜室内の圧縮力をさらに増圧させることができる。
さらに、上記プランジャーチップの先端面に凹面部を形成すれば（請求項４）、射出液の直進性が確保されてさらに好ましい。
【００１０】
上記逆流防止機能を付与する二又路は、例えば、左右対称な溝形状とし（請求項５）、あるいは、一方を主として流入用とする曲線溝形状とし、他方を流入側の途中に接続した曲線溝であって環状路側の溝幅を大きく順次に溝幅を狭くした溝形状（請求項６）など、各種の形状を選択することも任意である。
また、本発明においては、射出液としては前記導電インク、樹脂溶液など各種の液体材料や試料を使用することができるが、その選択材料の一つとして、導電インク、すなわち金属微粒子を含んだ配線回路の描画用分散液に適用する（請求項７）。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ダイアフラムの配設による液溜室内の増圧作用と二又路の逆流防止作用による液溜室の圧力損失の減少によって、駆動源の駆動力強化によらずして又はその強化と共に液溜室内の圧縮力を増強することができる。したがって、プランジャーにより大きな射出力をもって射出液を射出ノズルから射出させることができるので、高密度、高粘性の導電インクなどの射出液を使用する場合でも高精度かつ安定な射出機能性を担保することができる（請求項１）。
また、請求項５や請求項６のような逆流防止機構を二又路という流路構造により構成したので、逆止弁などメカニカルな機構に比べ、液滴射出後に導電インクを液溜室へ補給する際の応答性に優れて、導電インクの補給遅れがなく液滴射出の高速化を図ることができるとともに構造簡易にして耐久性に優れ、しかもメンテナンスも容易である。さらに、二又路、環状路を含む導入路をダイアフラムに設けるので、エッチング加工を施すことにより導入路を形成でき製作が容易である（請求項１，５，６）。
【００１２】
そして、請求項２によれば、プランジャーの上下微振動とダイアフラムとの追従性に優れるとともに請求項３により、プランジャーチップが下降する際に液溜室内の圧縮力をさらに増圧させることができるので、さらに射出機能性を高めて液滴射出の高速化を促進することができる。
また、請求項４によれば、プランジャーチップの先端面に形成した凹面部により射出液が射出孔の軸心へ誘導されるので、射出液の直進性を高めて所定位置へ高精度に射出させることができる。
【００１３】
さらに、請求項７によれば、配線パターンを効率よく確実に描画できるとともに射出孔を微小径とすることにより極微細なパターンを描画でき、従来のスクリーン印刷法やフォトリソエッチング法に代わる直接描画法を実用化することに有用な液滴射出装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施の形態を、射出液として導電インクを供給する配線パターンの直接描画法に使用される液滴射出装置の場合について図面により説明する。
図１は、装置全体を示す断面側面図であって、図中の符号１はケーシング、２は射出ノズル、３は駆動源として例示する圧電素子、４はプランジャー、５は導電インクを射出ノズル２へ供給する供給口管である。
【００１５】
ケーシング１は、金属製の長筒からなる細径縦長なペンシル型の外観形態を呈し、その下端面にノズルホルダー２ａとノズル管２ｂからなる射出ノズル２をボルト１１により着脱可能に組み付け、上端にキャップ部１ａをボルト１２により着脱可能に封着し、下部内にはシリンダ孔２０を開口し、そのシリンダ孔２０内にプランジャー４を摺動自在に挿着している。
【００１６】
ケーシング１内には、積層型の圧電素子３を装着し、この圧電素子３の下端に前記プランジャー４の上面を直接に衝合させた状態とし、圧電素子３の微伸縮動によってプランジャー４がシリンダ孔２０内を摺動するように配設する。なお、プランジャー４にはケーシング１との間に弾性部材（皿バネ）１５を介在させ、プランジャー４を上向きに付勢するようにしている。
圧電素子３は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を主成分とする圧電材料と内部電極を交互に積み重ねた積層型であって、電圧を印加することによって積層方向（長手方向）の変位が得られるものであり、図示例においては、狭いケーシング１内に配置されて前記プランジャー４に向け集中的に出力するように長方体形状のものを使用している。
【００１７】
この圧電素子３は、上面を取付円板１３に接着固定され、その取付円板１３を前記ボルト１２によりケーシング１とキャップ部１ａとの間に共締めすることによって固定されるとともに、キャップ部１ａに取り付けた配線プラグ１４により電源コード１７が接続される。
そして、圧電素子３は、電源コード１７により印加される電圧の周波数及び波形によって微伸縮動をし、それを駆動源として前記プランジャー４を上下微振動（微小な下降動作と上昇動作）させる。すなわち、圧電素子３の伸長時にその伸長量だけプランジャー４を下降させ、電圧の印加が停止したときに弾性部材１５の弾性復元力によって圧電素子３が収縮してプランジャー４を上昇復帰させ、その反復動作によりプランジャー４が高速で上下微振動をするものである。
【００１８】
また、ケーシング１の外周、詳しくは前記取付円板１３の外周に調整リング１８を螺合つまりネジどうしの噛み合いにより回動自在に取り付け、この調整リング１８を回動操作することによりケーシング１を微小な範囲で上下動させて高さ調整できるようにする。調整リング１８にはスリット１８ａを形成しておき、そのスリット１８ａをクランプネジ１６により狭圧することによって調整リング１８の回動を規制、すなわちケーシング１を調整した位置で固定するようにする。
【００１９】
射出ノズル２は、図２で拡大して示すように、ノズルホルダー２ａとそれに嵌入されたノズル管２ｂとにより構成され、ノズル管２ｂには、上面が開口する液溜室８とそれに連続して先端に小径な所定孔径（例えば、５〜１００μｍ）からなる射出孔１０を開口して構成される。射出孔１０は微小長さを同一孔径とした微小孔であるが、液溜室８は、その上端から射出孔１０に向けて径を順次に小さく形成した内面形状、好ましくは増圧機能を発揮するホーン形状とする。
この射出ノズル２は、そのノズルホルダー２ａを前記ボルト１１によりケーシング１の下端面に取り付けるが（図１参照）、前記シリンダ孔２０の下端に液溜室８が対向するとともに、そのシリンダ孔２０、液溜室８及び射出孔１０は前記プランジャー４の軸心と同一軸心上に配置されるように形成し（図２参照）、しかも、ノズルホルダー２ａの上面とケーシング１の下端面との間にダイアフラム３０を挟着状に介在させた構成とする。すなわち、上記シリンダ孔２０と液溜室８との臨界面にダイアフラム ３０を配設した構成とする（図２の要部をさらに拡大した図４参照）。
【００２０】
また、上記射出ノズル２は、ノズル管２ｂの液溜室８内にプランジャー４の先端を構成するプランジャーチップ４ａが突出した状態とする。具体的には、図１又は図２に示すように、プランジャー４の先端部にマグネット（永久磁石）２１を埋め込み、そのマグネット２１に吸着されるマグネットプレート２２をプランジャー４の先端面に一体的に付設し、前記ダイアフラム３０を下面より貫通させたプランジャーチップ４ａを前記マグネットプレート２２に嵌め込んで組み付ける。それにより、プランジャーチップ４ａは、射出ノズル２の前記液溜室８内に突出した状態であり、ダイアフラム３０は、マグネットプレート２２とプランジャーチップ４ａとにより挟着されるので、プランジャー４の上下微振動に応答性よく追従することになる。
そして、プランジャーチップ４ａは、図示のように、ホーン状の液溜室８の上部に位置して室内面との間に適度の間隔を形成する逆円錐台形とすることが好ましい。
【００２１】
上記ダイアフラム３０についてさらに詳述すれば、図５は、ダイアフラム３０とプランジャーチップ４ａとの取り付け構造を、説明の便宜のため表裏（上下）逆向きに示した斜視図であり、ダイアフラム３０は、ステンレス、ベリリュウム銅などバネ性の高い金属円板を使用し、その中央部裏面にエッチング等の加工を施すことにより円形凹陥部３１を形成し、また、その中心部に穿孔加工等により取付孔３２を開口する（図５（ａ）参照）。
このダイアフラム３０は、薄肉となった円形凹陥部３１が弾性部材として機能するとともに、前記のとおり、取付孔３２に前記プランジャーチップ４ａを差込み、表面側の前記マグネットプレート２２に嵌め込むことにより組み付けられ、それによって、プランジャーチップ４ａの外周と円形凹陥部３１の外周壁との間に環状溝からなる環状路３３が形成される（図５（ｂ）参照）。ダイアフラム３０は図５とは表裏反対にしてプランジャー４に取り付けられることから、環状路３３は射出ノズル２の液溜室８の上面に開口状対向して配置される（図２、図４参照）。
【００２２】
また、ダイアフラム３０の裏面には、エッチング等の加工を施すことにより溝形状の二又路３４ａ，３４ｂ、詳しくは図５に示すように、ダイアフラム３０を上下に貫通して開口した導入口３５の下部に続く流路３４を左右対称に分岐させた二又路３４ａ，３４ｂを形成し、それら二又路３４ａ，３４ｂの内端を前記環状路３３に接続させる。この導入口３５、流路３４及び二又路３４ａ，３４ｂは、ダイアフラム３０をケーシング１と射出ノズル２との間に組み付けることにより、孔又は溝の下面がノズルホルダー２ａの上面により塞がれ、したがって、導入口３５、流路３４及び二又路３４ａ，３４ｂから環状路３３までが導電インクを液溜室８へ流入させる導入路３６を構成する（図２、図３参照）。
そして、ケーシング１の下部外周には、導電インクを射出ノズル２へ供給する供給口管５が配設され、該管５に接続する供給路３７が前記導入路３６の導入口３５に接続され、その導入口３５、流路３４、二又路３４ａ，３４ｂ及び環状路３３を通して液溜室８へ導電インクが供給される構成である（図１、図２参照）。
なお、図１において、符号２３はプランジャー４を摺動させるためのメタルブッシュである。
【００２３】
導電インクとしては特に制限されるものではないが、ナノサイズやサブミクロンサイズ或いはそれらを混合した銀（Ａｇ）又は銅（Ｃｕ）などの金属微粒子、又はそれらに被覆処理を施した金属微粒子に、アルキルアミン、カルボン酸アミン等の分散剤や還元剤、バインダー、界面活性剤などを溶媒中に添加した金属微粒子分散液を使用する。特に、配線パターンを直接描画する際に線を細く薄く多層化に効果的な描画を可能にすることを考慮すると、従来のインクジェット方式による場合よりも高密度で粘度が数十倍から数百倍ないしそれ以上の高粘度、高密度の導電インクを使用することが好適である。勿論、従来のインクジェット方式で提案されている直接描画用の導電インクを使用することも任意である。
【００２４】
上記の液滴射出装置は、電源コード１７により圧電素子３に電圧を印加することにより圧電素子３が変位するので、それを駆動源としてプランジャー４が液溜室８に向けて上下微振動する。そのプランジャー４の下降時にダイアフラム３０及びプランジャーチップ４ａにより液溜室８が圧縮されて導電インクが加圧されるので射出孔１０より射出され、プランジャー４の上昇時に液溜室８内が負圧となるのでインクタンク（図示省略）内の導電インクが供給口管５の供給路３７から導入口３５を通り流路３４の二又路３４ａ，３４ｂ、環状路に導入されて液溜室８へ補給され、この動作の反復により導電インクを液滴として射出することができる。
そして、ダイアフラム３０を配設したことにより、液溜室８の上面が完全に密閉されるので、プランジャー４の下降動作に連動したダイアフラム３０、詳しくは円形凹陥部３１の弾性変形により液溜室８内の圧縮力が増大するとともに、液溜室８のホーン形状と該液溜室８に突出したプランジャーチップ４ａにより液溜室８内の導電インクを圧縮する加圧力がさらに増圧される。
【００２５】
一方、上記プランジャー４が下降する液溜室８の加圧時には、その加圧力により導電インクが導入路３６を通して供給路３７側へ逆流しようとするが、二又路３４ａ，３４ｂを逆行する導電インクは合流点Ｐにおいて衝突し逆流が阻止される。すなわち、図６に示すように、導電インクの供給時には導入口３５へ供給される導電インクは流路３４から二又路３４ａ，３４ｂへ分配されて環状路３３へ導入されるが、環状路３３から二又路３４ａ，３４ｂへ流入しようとする逆行流は、流路３４の分岐点である前記合流点Ｐにおいて衝突するとともに供給路３７にかかる供給圧と相俟って逆流が防止されるものである。
したがって、二又路３４ａ，３４ｂの逆流防止作用により、プランジャー４による加圧時の圧力損失を最小にするので、前記ダイアフラム３０及びプランジャーチップ４ａの増圧作用と相俟って導電インクの液滴射出を確実にすることが可能であるとともに導電インクが高粘度、高密度であっても確実かつ円滑に射出することができる。しかも、二又路により逆流防止機能を付与したことから、逆止弁などメカニカルな機構に比べて、次に導電インクを供給（補給）する際の応答性に優れるので、導電インクの補給遅れがなく液滴射出の高速化を図ることができる。
【００２６】
図７は逆流防止機能を具備する二又路の他の実施形態を示す。
図７において、導入路１３６は、導入口１３５に続く流路１３４を滑らかな曲線溝形状として環状路１３３へ接続したもの、すなわち、流路１３４と二又路１３４ａとを連続一体に形成して、それを主として導電インクの流入用とし、他方の二又路１３４ｂを環状路１３３から前記二又路１３４ａの途中部位に接続した曲線溝形状とする。また、後者の二又路１３４ｂは、環状路１３３側の開口部の溝幅を最大とし、二又路１３４ａとの接続部に向けて順次に溝幅を狭く形成する。
この図７の実施形態によれば、上記プランジャー４が下降する液溜室８の加圧時に、環状路１３３から二又路１３４ｂへ逆流しようとする導電インクは、二又路１３４ｂを逆流する間に溝形状により徐々に流動圧を高めて合流点Ｐにおいて流れ易い方向、すなわち二又路１３４ａの環状路１３３側へ向かうので導入口１３５への逆流は阻止される。また、二又路１３４ａへ逆流しようとする導電インクは、前記二又路１３４ａから合流点Ｐを経て環状路１３３へ向かう流動圧を受けるので逆流が阻止される。
【００２７】
なお、射出テストの結果によると、図７の実施形態の場合が図６に比べて安定した射出動作が確認されたことから、図７の構成の逆流防止機能が高いことが推測される。
【００２８】
図８は上記プランジャーチップの各種形状を示す。図中の（ａ）が上述した実施形態のプランジャーチップ４ａであり、それを標準として他の形状を比較する。
（ｂ）は、主としてダイアフラムを取り付けるとともに環状路を形成することを目的としたもので、単なる円板状としたプランジャーチップ４ｂである。このプランジャーチップ４ｂは、（ａ）や他と比べて最も射出状態が悪い結果であった。
（ｃ）は、前記プランジャーチップ４ａの底面に略半円形の凹面部５０を形成したプランジャーチップ４ｃである。このプランジャーチップ４ｃは、射出される導電インクの直進性に特に優れるとともに液切れがよく、全体の中で最良の射出状態であった。
（ｄ）は、外形を液溜室の内面形状に沿うＲ形状として突出長さを大きくしたプランジャーチップ４ｄである。このプランジャーチップ４ｄは、液切れはよいが、（ｃ）に比べると射出される導電インクの直進性が劣っていた。
射出テストの結果から判定すると、射出状態がよいプランジャーチップの形状は（ｃ）（ｄ）（ａ）（ｂ）の順序であった。
【００２９】
以上の本発明における実施の形態においては、プランジャーを上下微振動させる駆動源として積層型の圧電素子を使用した場合を説明したが、それに限定されるものでないことは前述したとおりであり、また、ケーシングとして細径縦長なペンシル型の外観形態を例示したがそれに限定されるものでなく、さらに、逆流防止機能を有する二又路は流路構造として逆流を防止し得る構造であれば図６又は図７以外の構造を採用することも任意である。
【００３０】
また、射出液として配線パターンの直接描画法で使用される導電インクの場合について説明したが、それ以外にも、還元剤、接着剤やバンプ材料、ＣＲＴ、プラズマなどのディスプレイ面用の蛍光体材料や光造形用の液体レジスト等の液体材料、食品分野や薬品分野における分析用の液体試料、ＤＮＡ解析用の試料など各種の液体材料・試料を射出液として使用することも自由である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の液滴射出装置を示す断面側面図である。
【図２】本発明の要部を拡大した断面側面図である。
【図３】図２における（３）−（３）線に沿う底面図である。
【図４】図２におけるさらに要部（射出ノズル）を拡大断面図である。
【図５】ダイアフラムの詳細を説明する斜視図であって、（ａ）は分解図、（ｂ）は組立図である。
【図６】二又路の構造とその動作を説明する拡大平面図である。
【図７】二又路の他の実施形態を説明する拡大平面図である。
【図８】プランジャーチップの各種形状（変形例）を説明する拡大断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１：ケーシング                      ２：射出ノズル
２ａ：ノズルホルダー                ２ｂ：ノズル管
３：圧電素子                        ４：プランジャー
４ａ〜４ｄ：プランジャーチップ      ５：供給口管
１０：射出孔                        ２０：シリンダ孔
３０：ダイアフラム                  ３３：環状路
１３３：環状路                      ３４：流路
１３４：流路                        ３４ａ，３４ｂ：二又路
１３４ａ，１３４ｂ：二又路          ３５：導入口
１３５：導入口                      ３６：導入路
１３６：導入路                      ５０：凹面部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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