(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック粉末と、ブチラール系、アクリル系、及びオレフィン系の樹脂の内の少なくとも１種からなる有機バインダーと、前記有機バインダーに対して良溶媒である、芳香族炭化水素、ケトン、及びアルコールの内の少なくとも１種からなる第１の溶剤と、前記有機バインダーに対して貧溶媒でありかつ前記第１の溶剤よりも高沸点である、芳香族炭化水素、脂環式炭化水素、脂肪族飽和炭化水素、及びミネラルスピリットの内の少なくとも１種からなる第２の溶剤と、を含む第１のスラリーを用いて支持体上に第１の層を形成する工程と、
前記第１のスラリーよりも少ない比率の前記第２の溶剤を含む第２のスラリーを用いて、前記第１の層上に第２の層を形成する工程と、
を備え、
前記第１の層を形成する工程では、前記第１のスラリーの前記第２の溶剤を、使用する有機溶剤の総量の３５ｗｔ％〜４５ｗｔ％の比率とする、ことを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記第２のスラリーを、前記第１のスラリーと同一の組成材料から調製する、ことを特徴とする請求項１に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記第１の溶剤を複数種用い、そのうち最も沸点の低い溶剤に対して３０℃以上沸点の高い溶剤を前記第２の溶剤に用いる、ことを特徴とする請求項１または２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のグリーンシートの製造方法により、グリーンシートを製造する工程と、前記製造されたグリーンシートを積層する工程を備える、ことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシートおよび積層型電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ、積層型バリスタ、チップインダクタ等の積層型電子部品は、通常、セラミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、所定サイズに切断後、焼結工程を経て製造される。
【０００３】
例えば、積層セラミックコンデンサは、以下のような方法で製造される。まず、チタン酸化物等のセラミック粉末、アクリル系、ブチラール系の樹脂バインダー、可塑剤、有機溶剤等を組成成分として、これらを分散混合させて得たセラミックスラリーを準備する。
【０００４】
次に、このセラミックスラリーをドクターブレード法、ノズル法などを用いてＰＥＴフィルム等のキャリアフィルム（支持体）上に塗布し、これを加熱乾燥させて塗膜を形成する。その後、形成した塗膜上に金属粒子等を含む電極ペースト（内部電極）を塗布し、乾燥させ、グリーンシートを得る。
【０００５】
次に、キャリアフィルムからグリーンシートを剥離し、これを複数枚積層し、圧着した後、所定のサイズに切断してグリーンチップとする。これらのグリーンチップに、焼成、外部電極形成等の処理を施して積層セラミックコンデンサを得る。
【０００６】
上記積層型電子部品の製造工程では、支持体上にセラミックスラリー、次いで、電極ペーストを塗布する工程を含むが、このように形成されるグリーンシートのシート欠陥、接着性等が積層体（電子部品）の特性等に大きく影響するため、このグリーンシート形成工程は非常に重要である。
【０００７】
このような観点から、グリーンシート形成工程については、シート欠陥の低減、接着性の向上等のため、種々の方法が開発されている。例えば、支持体上に電極膜を形成し、その上に粒径が細かい第１の誘電体層を形成し、さらに粒径の大きい第２の誘電体層を形成する方法が開発されている（特許文献１参照）。この方法によれば、加熱転写時に必要なバインダーの量が少なくて済むことから脱バインダーが容易となり、デラミネーションの発生を抑制でき、耐電圧性に優れたコンデンサが得られる。
【特許文献１】特開平５−１０１９７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、上記のような積層型電子部品においては、小型化、高性能化等のため、シートの薄層化が進行している。しかし、薄層化が進行するほど、グリーンシートの支持体からの剥離は次第に困難となり、よって、グリーンシートおよびこれを用いた積層体の歩留まりや信頼性が低下する。
【０００９】
通常、剥離を軽くするため、ＰＥＴフィルム等の支持体の表面にはシリコン処理が施されている。これにより、剥離は軽くなるものの、濡れが悪くスラリーのはじき、ムラなど、シート欠陥が発生しやすい。これは薄層であるほど生じやすい。逆に、濡れがよい支持体を用いてシートを形成した場合、シートの剥離が重くなり、剥離の際にシートが切れたり、全く剥離できなくなり、積層ができなくなる。
【００１０】
また、一般的な１回のスラリー塗布で形成するシートは、シートが薄いほど塗布時のシート欠陥がそのまま特性の不良となってしまう。この点、上記したような２層を塗布する構成によれば、このような第一層のシート欠陥は第二層によりある程度軽減されるように思われる。しかし、シートが薄い場合には、第一層の悪さを第二層も引きずってしまう。
【００１１】
また、上記特許文献１に記載の方法は、デラミネーションの抑制を目的とするものであり、シート形成の容易化やシート間接着性の向上を可能とするものではない。さらに、支持体上に電極層を直接形成した場合には、電極部分の接着性が悪く、加熱転写による誘電体層の積層がうまくいかず、積層ずれが起こりやすい。
【００１２】
このように、従来、薄層化の進行とともに、シート欠陥の少ない良好なシート特性と、良好な剥離性と、の双方を有し、グリーンシートおよびこれを用いた積層体の高い歩留まりと信頼性とを実現可能なグリーンシートおよび積層型電子部品の製造方法が求められていた。
【００１３】
上記事情を鑑みて、本発明は、シート欠陥の少ない良好なシート特性と、良好な剥離性と、の双方を有するグリーンシートの製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、良好なシート特性および剥離性を備えたグリーンシートが積層されて構成され、歩留まりおよび信頼性の高い積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点にかかるグリーンシートの製造方法は、
セラミック粉末と、ブチラール系、アクリル系、及びオレフィン系の樹脂の内の少なくとも１種からなる有機バインダーと、前記有機バインダーに対して良溶媒である、芳香族炭化水素、ケトン、及びアルコールの内の少なくとも１種からなる第１の溶剤と、前記有機バインダーに対して貧溶媒でありかつ前記第１の溶剤よりも高沸点である、芳香族炭化水素、脂環式炭化水素、脂肪族飽和炭化水素、及びミネラルスピリットの内の少なくとも１種からなる第２の溶剤と、を含む第１のスラリーを用いて支持体上に第１の層を形成する工程と、
前記第１のスラリーよりも少ない比率の前記第２の溶剤を含む第２のスラリーを用いて、前記第１の層上に第２の層を形成する工程と、
を備え、
前記第１の層を形成する工程では、前記第１のスラリーの前記第２の溶剤を、使用する有機溶剤の総量の３５ｗｔ％〜４５ｗｔ％の比率とすることを特徴とする。
【００１５】
上記方法において、前記第２のスラリーを、前記第１のスラリーと同一の組成材料から調製してもよい。
【００１６】
上記方法において、前記第１の溶剤を複数種用い、そのうち最も沸点の低い溶剤に対して３０℃以上沸点の高い溶剤を前記第２の溶剤に用いてもよい。
【００２１】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点にかかる積層型電子部品の製造方法は、
上記第１の観点にかかるグリーンシートの製造方法により、グリーンシートを製造する工程と、前記製造されたグリーンシートを積層する工程を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、シート欠陥の少ない良好なシート特性と、良好な剥離性と、の双方を有するグリーンシートの製造方法およびこれを用いたグリーンシートが提供される。
また、本発明によれば、良好なシート特性および剥離性を備えたグリーンシートが積層されて構成され、歩留まりおよび信頼性の高い積層型電子部品の製造方法およびこれを用いた積層型電子部品が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の実施の形態に係るグリーンシートおよび積層型電子部品の製造方法ならびにこれらを用いたグリーンシートおよび積層型電子部品について、以下詳細に説明する。なお、以下では、セラミックグリーンシートを用いた積層セラミックコンデンサを製造する場合を例として説明する。
【００２６】
本実施の形態にかかるグリーンシートは、誘電体粉末と、有機バインダーと、添加剤と、有機溶剤と、その他必要な添加物と、を組成成分として含むスラリーを用いて製造される。
【００２７】
誘電体粉末としては、セラミック粉末が使用可能である。セラミック粉末は、一般的に積層セラミック電子部品の製造に使用される材料粉末であればよく、チタン酸バリウム等のチタン酸化物の他に、アルミニウム、バリウム、鉛、ジルコニウム、ケイ素、イットリウム等の酸化物あるいはこれらの混合物が使用可能である。誘電体粉末には、所定の粒度のものが用いられる。
【００２８】
有機バインダーとしては、ブチラール系、アクリル系、オレフィン系等の樹脂を用いることができる。
添加剤は、可塑剤や分散剤等から構成されている。可塑剤には、例えば、フタル酸エステルが用いられる。
【００２９】
有機溶剤としては、使用する有機バインダーに対して良溶媒である第１の溶剤と、貧溶媒である第２の溶剤と、が用いられる。
なお、本明細書、特許請求の範囲等において、「良溶媒」とは、所定の有機樹脂を溶解する能力の大きい溶媒を意味し、「貧溶媒」とは、所定の有機樹脂を可溶であるが、溶解する能力の小さい溶媒、または、所定の有機樹脂を全く溶解しない溶媒を意味する。
【００３０】
良溶媒としての第１の溶剤は、有機バインダーの溶解度が大きい溶剤が用いられる。使用する有機バインダーによって多少異なるが、例えば、トルエン等の芳香族炭化水素、メチルエチルケトン等のケトン、エチルアルコール等のアルコールといった一般的な有機溶剤が使用可能である。
【００３１】
貧溶媒としての第２の溶剤は、使用する有機バインダーの溶解度が小さい溶剤であって、使用する第１の溶剤に対して高沸点のものが用いられる。以下で詳述するように、貧溶媒としての第２の溶剤は、第１の溶剤の揮発量との差を利用して、塗布されたスラリー中の有機バインダーを乾燥工程前に不溶化、析出させ、シートの剥離性を向上させるために用いられる。
なお、第２の溶剤は、第１の溶剤に対して相溶性が高いものが好ましく、また、後述する乾燥工程において除去可能なものが好ましい。
【００３２】
第２の溶剤として使用可能な溶剤は、キシレン、トルエンなどの芳香族炭化水素、シクロヘキサン、エチルシクロヘキサンなどの脂環式炭化水素、ｎ−ヘキサンなどの脂肪族飽和炭化水素、ミネラルスピリットなどの、一般的に溶剤として用いられるものを使用可能である。
【００３３】
具体的には、例えば、ブチラール系の有機バインダーを用い、かつ、第１の溶剤（良溶媒）としてエタノールを用いた場合には、第２の溶剤（貧溶媒）としてはエタノールよりも高沸点のものが用いられる。例えば、３０℃以上沸点が高いものとして、表１に示すような溶剤を第２の溶剤として使用可能である。沸点の差が小さい場合には後述する有機バインダーの不溶化効果が不十分となる。
【００３４】
【表１】
0004654572.tif 000002
【００３５】
以下、上記組成材料を用いてグリーンシートを製造する方法について図面を参照して説明する。この製造工程を説明する図を、図１（ａ）〜（ｅ）に示す。
【００３６】
まず、上記した、誘電体粉末と、有機バインダーと、添加剤と、有機溶剤と、その他必要な添加物と、を、例えば、メディアとともにボールミルで混合、分散してスラリーとする。なお、スラリーは、塗布前にろ過を行って、粗大粒子、凝集体等を除去することが好ましい。
【００３７】
スラリーは、有機溶剤の添加量等が異なる第１のスラリーおよび第２のスラリーの２種を調製する。本実施の形態では、まず、第１のスラリーを支持体１１上に塗布し、次いで乾燥して有機溶剤を飛ばし、図１（ａ）に示すように第１の層１２を形成する。さらに、第２のスラリーを第１の層１２の上に塗布し、次いで乾燥して有機溶剤を飛ばし、図１（ｂ）に示すように、第２の層１３を形成する。
支持体１１としては、例えば、表面がシリコン処理されたポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが用いられる。
【００３８】
第１のスラリーの組成は、支持体１１に対する塗布時のはじき、ムラ等の少ない、剥離性の良いものに設定されている。これにより、薄層であっても、支持体１１上にはじき、ムラ等の少なく剥離性が良好な第１の層１２が形成される。
【００３９】
薄層化のシート作製時に、シート欠陥が少ないものを得るために、濡れ性が良好な支持体を用いる場合、一般的に、形成されたシートの支持体からの剥離性は低下する。本実施の形態では、有機溶剤中に高沸点の貧溶媒（第２の溶剤）を比較的高い所定の比率で添加することにより、剥離性の向上が図られている。
【００４０】
具体的には、第２の溶剤を所定の比率（貧溶媒比率）で含む有機溶剤を第１のスラリーに用いることにより、支持体１１に対する塗布時のはじき、ムラ等を少なくしつつ、剥離性は以下のように高められている。
【００４１】
上記のように、第１のスラリーが支持体１１上に塗布された際、その組成はムラ等の少なく剥離性が良好な第１の層１２が形成されるように設定されているため、はじき、ムラ等の少ない均一な第１の層１２が形成される。
【００４２】
その後、乾燥工程前に、有機溶剤は自然に揮発するが、第２の溶剤は第１の溶剤よりも高沸点であるので、第１の溶剤の揮発量が多い。このため、塗布されたスラリー中では、貧溶剤である第２の溶剤の比率が高まる。貧溶剤の比率が高まるにつれ、有機バインダーの一部が乾燥工程前、または、乾燥の途中で不溶化する。乾燥途中で有機バインダーが不溶化することにより第１の層１２の支持体１１への粘着力は、第２の溶剤を用いなかった場合と比較して低いものとなる。このため、第１の層１２と支持体１１との剥離性、すなわち、後のグリーンシート１５の支持体１１との剥離性は良好となる。
【００４３】
したがって、たとえ濡れ性は良いがシートの剥離性の低い支持体を用いても、有機溶剤の所定割合を比較的高沸点の貧溶媒とすることにより、はじき、ムラ等の少ない（シート欠陥の少ない）均一なシートを維持しつつ、シートの支持体からの軽い剥離が実現される。
【００４４】
ここで、第１のスラリーの貧溶媒比率は、乾燥工程前に有機バインダーが適度に不溶化するように、用いる有機バインダーの種類、量、割合等によって決定される。しかし、用いる支持体１１等の他の要件も考慮し、例えば、使用する有機溶剤の総量の３５ｗｔ％〜４５ｗｔ％の比率（貧溶媒比率）とすることが好ましい。
【００４５】
上記のように第１の層１２を形成した後、この第１の層１２上に、第２のスラリーを塗布、乾燥し、図１（ｂ）に示すように、第２の層１３を形成する。
【００４６】
ここで、第２のスラリーは、良好なシート面および良好なシート間接着性を実現可能な組成とされている。第１の層１２は、上述したように、低減されたシート欠陥と良好な剥離性とを実現するものであるが、表面の荒れ等の良好なシート面形成やシート間接着性のために最適化されたものではない。また、実験によれば、貧溶媒比率を高めたスラリーを１層で形成したシートは、良好な剥離性を示すものの、これを用いて作製した積層チップは不良率が高い。
【００４７】
第１の層１２の上に形成される第２の層１３は、第１の層１２のこのような欠点を補償するために設けられている。このため、第２の層１３を形成するための第２のスラリーは、良好なシート面を形成し、シート間接着性が良好な層を形成可能な組成とされている。
【００４８】
具体的には、第２のスラリーは、第１のスラリーと同様の組成を有し、例えば、同様の種類および量の誘電体粉末や有機バインダーを用いて、良好なシート特性（シート面、シート間接着性等）のために最適化したものである。
また、第２のスラリーは、貧溶媒（第２の溶剤）を全く含まないわけではなく、少量の、第１のスラリーに用いたよりも少ない比率の貧溶媒（第２の溶剤）を含む。
【００４９】
上記のように第１の層１２および第２の層１３を形成した後、第２の層１３の上に、パラジウム、銀−パラジウム、ニッケル等の内部電極となる金属と有機溶剤等とを含む電極ペーストを用い、図１（ｃ）に示すように、所定パターンの電極１４を印刷する。
【００５０】
その後、図１（ｄ）に示すように、形成されたグリーンシート１５を支持体１１より剥離する。次いで、図１（ｅ）に示すように、複数枚のグリーンシート１５を積層し、厚み方向にプレスして圧着する。剥離工程および積層工程は、例えば、同一の積層機で行うことができる。
【００５１】
この剥離工程において、上述したように、第１の層１２と支持体１１との良好な剥離性から、グリーンシート１５の剥離は軽く行うことができ、剥離時の破断等は回避される。このため、欠陥の少ないシートで積層が可能となりグリーンシート１５の歩留まりは向上される。
【００５２】
続いて、圧着された積層体を、個々のセラミックコンデンサを得るための積層体が得られるように切断し、有機バインダー、可塑剤等を熱処理等で除去した後、焼成して焼結体とする。最後に、内部の電極１４と導通する外部電極を焼き付けることにより、積層セラミックコンデンサが得られる。
【００５３】
上記のように製造された積層セラミックコンデンサは、高い信頼性を有する。すなわち、本実施の形態にかかるグリーンシート１５は、上述したように、シート欠陥の少ないシートであるとともに、支持体１１からの剥離が軽いシートである。また、その表面にはシート面の良好な層が形成され、シート間接着性の良好なシートである。このため、信頼性や歩留まりの高い積層セラミックコンデンサの製造が可能となる。
【００５４】
本発明は、上記例に限られず、種々の変更等が可能である。
上記実施の形態では、第１のスラリーの組成を最初に決定し、これに合わせて第２のスラリーの組成を決定するものとした。しかし、逆に、第２のスラリーの組成を接着性、濡れ性等について最適化し、これに応じて第１のスラリーの組成を決定するようにしてもよく、例えば、最適化した第２のスラリーの貧溶媒比率を変えて第１のスラリーを形成するようにしてもよい。
【００５６】
上記実施の形態では、有機バインダーに対して良溶媒である第１の溶剤は１種類のみ用いるものとした。しかし、良溶媒として複数種の溶媒の組み合わせを用いても良い。この場合、例えば、良溶媒のうち最も沸点が低いものに対して所定程度沸点の高い貧溶媒を用いることが好ましい。
【００５７】
上記実施の形態では、第１の塗布層１２と、第２の塗布層１３と、を形成した後に、電極１４を形成する構成とした。しかし、図２（ａ）〜（ｅ）に示すように、まず第１の塗布層１２を形成し（図２（ａ））、次いで電極１４を形成し（図２（ｂ））、その後、第２の塗布層１３を形成し（図２（ｃ））、さらに、支持体１１からの剥離（図２（ｄ））、積層（図２（ｅ））を行うようにしてもよい。
【００５８】
この方法によれば、グリーンシート１５の表面（積層時の接着面）に電極１４が露出せず、図２（ｅ）のように積層のされた際に、より良好なシート間接着性が得られる。
【００５９】
さらに、このように電極１４を第１の塗布層１２と第２の塗布層１３との間に形成する場合には、図３（ａ）〜（ｇ）に示すように、一通り積層したもの（図３（ｃ））の上にさらに電極１４（図３（ｄ））と、第２の塗布層１３（図３（ｅ））と、の形成を繰り返してこの積層体を支持体１１から剥離し（図３（ｆ））、これを所定枚数積層する（図３（ｇ））ようにしてもよい。この場合、支持体１１の剥離工程を数工程省くことができ、工程数の削減等、生産性の向上を図ることができる。
【００６０】
なお、図に示す例では、第１の塗布層１２と、電極１４と、第２の塗布層１３と、の形成工程を２回繰り返すものとした。しかし、繰り返す回数、すなわち、グリーンシート１５の積層数は、これに限られない。
【００６１】
上記実施の形態では、積層セラミックコンデンサを例として説明した。しかし、勿論、上記例に限らず、本発明は、積層インダクタ、積層アクチュエータ、積層ＬＣフィルタ等あるいはこれらの複合電子部品にも適用可能である。
【実施例】
【００６２】
以下、本実施の形態の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。
本実施の形態に係るセラミックグリーンシートおよびこれを用いた積層セラミックコンデンサを作製し、その特性について調べた。
【００６３】
グリーンシートの材料としては、チタン酸バリウムと少量数種の金属酸化物の混合粉とを合わせた誘電体材料と、これに合ったバインダー、溶剤、その他添加剤等を用いた。これらの組成、特に、有機溶剤の種類等を種々変化させて本実施の形態にかかる実施例１〜６および比較例１〜３を作製した。表２にそれぞれに用いた組成を、実験結果とともに示す。
【００６４】
【表２】
0004654572.tif 000003
【００６５】
グリーンシートは、種々の組成の材料を調合してメディアとともにボールミル分散機で混合、分散し、スラリーとし、この塗料をＰＥＴフィルム上にドクターブレード法により塗布、乾燥し、電極をスクリーン印刷して形成した。ここで、実施の形態にかかる実施例１〜６については、塗布、乾燥工程を２回繰り返してグリーンシートを形成した。ＰＥＴフィルムには、シリコン処理を施したものを用いた。さらに、このグリーンシートを積層機でＰＥＴフィルムから剥離、積層し、プレス圧着し、所定形状に切断し、セラミックグリーンチップを作製した。
【００６６】
実施例１〜６では、本実施の形態に従って製造したグリーンシートおよびこれを用いた積層チップについて調べた。また、実施例１〜６では、貧溶媒の添加量、その種類等を変化させている。実施例１〜６では、用いる誘電体材料の平均粒度は０．３１で一定とし、作製するシートの厚みおよび密度もほぼ一定とした。
また、比較例として、１層の塗布層からグリーンシートを形成し貧溶媒の添加量を変化させたものを作製した（比較例１〜３）。
【００６７】
表２に示すように、作製した実施例および比較例にかかるグリーンシートの特性は、シート厚みの合計、シート密度、剥離荷重および支持体からの剥離について調べ、また積層チップについてはショート不良および耐圧不良について調べた。
【００６８】
表２において、剥離荷重とは、グリーンシートに幅５ｃｍのフィルムを貼り付けて、ＰＥＴフィルムから剥離させるのに必要な荷重を示す。また、積層とは、積層機においてグリーンシートの剥離、積層が可能であったか否かを示す。
【００６９】
ショート不良および耐圧不良については、シートを１００層積層したコンデンサチップについて一般的な評価方法でその不良率を調べた。また、ショート不良および耐圧不良については、これらの数値を合計したものを不良合計として示した。
【００７０】
まず、比較例に関して説明する。比較例１では、貧溶媒としてキシレンを１５．０ｗｔ％の貧溶媒比率で添加したスラリーを１層塗布してグリーンシートを作製している。ここで、貧溶媒比率とは、溶剤の使用量全体のうち、貧溶媒が占める割合（ｗｔ％）である。
表２に示すように、比較例１にかかるスラリーの粘度は高く（６０ｍＰａ・ｓ）、また、シートの剥離性は低く（剥離荷重１４．０ｇ）、積層時には剥離不可であった。
【００７１】
比較例２および３では、使用する溶剤量をほぼ一定に保ちつつ、ミネラルスピリットを量を変えて添加し、貧溶媒比率を上昇させたものである。貧溶媒比率は、比較例２では３５．０ｗｔ％であり、比較例３では４５．０ｗｔ％であった。
表２の結果から、貧溶媒比率を上昇させるほど、シートの剥離荷重も低下することがわかる。しかし、一方で、不良率（不良合計）は、貧溶媒比率を上昇させるほど大きく劣化することがわかる。
これは、貧溶媒比率を上昇させると、剥離性は良好となるものの、シート面が荒れやすくなり、このため不良率が劣化することを示す。したがって、貧溶媒比率を上昇させたものを１層のみ塗布してシートを製造する方法は、現実的ではない。
【００７２】
以下、本実施の形態にかかる実施例について説明する。比較例とは異なり、実施例では、比較的高い比率で貧溶媒を含む第１のスラリーをＰＥＴフィルム上にまず塗布、乾燥して第１層を形成し、その後、第１のスラリーより低い比率で貧溶媒を含む第２のスラリーをさらに塗布、乾燥して第２層を形成してシートを製造している。
【００７３】
まず、実施例１では、貧溶媒（キシレン、８．４ｗｔ％）に加えて、さらにミネラルスピリット（１２．４ｗｔ％）を添加して貧溶媒比率を３５．０ｗｔ％としたスラリーを用いてＰＥＴフィルム上に第１層を形成している。また、第１層上の第２層を、第１のスラリーより低い比率（１５ｗｔ％）で貧溶媒（キシレン）を含むスラリーを用いて、形成している。
結果に示されるように、実施例１にかかるシートは、比較例と比べて、良好な剥離性（剥離荷重６．０ｇ）を示し、また、積層チップにおいても、良好な不良率を示している。
【００７４】
実施例２では、実施例１とほぼ同様の組成で、ミネラルスピリットの量を増加させて貧溶媒比率を４５ｗｔ％まで上げたものである。結果に示されるように、実施例２にかかるシートは良好な剥離性（剥離荷重４．０ｇ）を示し、比較例と比べて良好な不良率を示している。しかし、実施例１と比べて、貧溶媒比率を高めることにより、剥離荷重をさらに向上しているものの、不良率はやや増大しており、貧溶媒比率は４５ｗｔ％程度を超えるのはあまり好ましくないと考えられる。
【００７５】
参考例では、実施例１とほぼ同様にシートを形成しているが、第２層に第１層と同じ貧溶媒比率３５．０ｗｔ％まで上昇させたものを用いている。参考例にかかるシートも良好な剥離性を示し、また、そのシート積層体の不良率も低い。しかし、実施例１と比べて、不良率は逆にやや増大しており、第２層の貧溶媒比率を上昇させてもそれほどの特性向上は得られないように思われる。
【００７６】
実施例４では、実施例１とほぼ同様にシートを形成しているが、第２の貧溶媒比率を１５．０ｗｔ％まで低下させている。
結果に示されるように、実施例４にかかるシートは、実施例１と同様の良好な剥離性を示し、さらに、実施例１の良好な不良率をさらに半減させた。これは、第２層の貧溶媒比率を実施例１のものより実施例４のものを若干低くすることによって、実施例４の第２の層が良好なものが得られたことによると考えられる。
【００７７】
実施例５は、実施例４とほぼ同じであるが、キシレンを使用せず、ミネラルスピリットの量を減らして、トルエンを主な貧溶媒として用いて実施例４とほぼ同じ貧溶媒比率（３５ｗｔ％）としたものである。
また、実施例６は、実施例５において、トルエンの代りに、キシレンを主な貧溶媒として用いたものである。
【００７８】
実施例４〜６を比較して、ミネラルスピリット、トルエン、キシレンのいずれを主たる貧溶媒として用いた場合でも、ほぼ変わらず、良好なシートの剥離性およびチップの不良率を示すことがわかる。以上の結果から、良好なシート特性およびチップ特性を得るには、第１層形成用のスラリー組成における貧溶媒比率が所定範囲にあればよく、貧溶媒の種類にはあまり依存しないことがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施の形態にかかるグリーンシートの製造方法の工程を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるグリーンシートの製造方法の変形例を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかるグリーンシートの製造方法の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１１  支持体
１２  第１の層
１３  第２の層
１４  電極
１５  グリーンシート
【図１】
0004654572.tif 000004
【図２】
0004654572.tif 000005
【図３】
0004654572.tif 000006