(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータと、
前記ステータにより接触支持される略球体状のロータと、
前記ステータを振動させることにより前記ロータを回転させるステータ振動手段と、
前記ロータの表面に対向する予圧部材と、
少なくとも前記ロータを回転させる際に前記予圧部材を振動させて前記予圧部材からの放射圧により前記ロータを前記ステータに対して予圧する予圧力を発生させるための予圧部材振動手段と
を備えることを特徴とする多自由度超音波モータ。
【請求項２】
前記予圧部材は、前記ロータの表面に対応した湾曲形状を有するリング部材からなる請求項１に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項３】
前記予圧部材は、それぞれ前記ロータの表面に対応した湾曲形状を有する複数の湾曲部材からなる請求項１に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項４】
前記予圧部材は前記ステータから離間して配置され、前記予圧部材振動手段は、前記予圧部材に取り付けられる圧電素子板を有する請求項１〜３のいずれか一項に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項５】
前記予圧部材は、前記圧電素子板により振動するときに形成される節位置で支持される請求項４に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項６】
前記予圧部材は前記ステータと一体に形成され、前記ステータ振動手段は前記予圧部材振動手段を兼ねている請求項１〜３のいずれか一項に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項７】
前記予圧部材は、前記予圧部材振動手段により振動するときには前記ロータの表面から離れた状態にあり、振動しないときには前記ロータの表面に接触してこのロータを保持する請求項１〜６のいずれか一項に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項８】
前記予圧部材振動手段により振動される前記予圧部材の振幅を制御することにより、前記ロータを前記ステータに対して予圧する予圧力の大きさを変化させる請求項１〜７のいずれか一項に記載の多自由度超音波モータ。
【請求項９】
前記ステータ振動手段は、互いに異なる３方向の振動を生じる３対の圧電素子板を有し、これら３方向の振動のうち少なくとも２方向の振動を互いに位相をずらして組み合わせた合成振動を発生させることにより前記ステータの前記ロータとの接触部分に楕円運動を形成する請求項１〜８のいずれか一項に記載の多自由度超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、多自由度超音波モータに係り、特に球体状のロータを複数の軸回りに回転させるモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、超音波振動を利用してロータを回転させる超音波モータが提案され、実用化されている。この超音波モータは、圧電素子を用いてステータの表面に進行波を発生させ、ステータにロータを加圧接触させることによりこれら両者間の摩擦力を介してロータを移動させるものである。
例えば、特許文献１には、ベアリングを介してバネでロータに予圧をかけることによりロータをステータに加圧接触させ、この状態で互いに重ね合わされた複数の圧電素子板に駆動電圧を印加してステータに超音波振動を発生させることでロータを回転させる多自由度超音波モータが開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−３１２８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、予圧をかけるためにベアリングをロータに接触させるので、摩擦損失に起因してトルクが低下するという問題点があった。
この発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、高トルクを実現することができる多自由度超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に係る多自由度超音波モータは、ステータと、ステータにより接触支持される略球体状のロータと、ステータを振動させることによりロータを回転させるステータ振動手段と、ロータの表面に対向する予圧部材と、少なくとも前記ロータを回転させる際に予圧部材を振動させて予圧部材からの放射圧によりロータをステータに対して予圧する予圧力を発生するための予圧部材振動手段とを備えるものである。
【０００６】
予圧部材としては、ロータの表面に対応した湾曲形状を有するリング部材、あるいは、それぞれロータの表面に対応した湾曲形状を有する複数の湾曲部材を用いることができる。
【０００７】
予圧部材をステータから離間して配置し、予圧部材振動手段として予圧部材に圧電素子板を取り付けることができ、この場合、予圧部材が圧電素子板により振動するときに形成される節位置でこの予圧部材を支持することが好ましい。
また、予圧部材をステータと一体に形成し、ステータ振動手段が予圧部材振動手段を兼ねるように構成することもできる。
【０００８】
予圧部材は、予圧部材振動手段により振動するときにはロータの表面から離れた状態にあり、振動しないときにはロータの表面に接触してこのロータを保持するように構成してもよい。
また、予圧部材振動手段により振動される予圧部材の振幅を制御することにより、ロータをステータに対して予圧する予圧力の大きさを変化させることもできる。
なお、ステータ振動手段は、互いに異なる３方向の振動を生じる３対の圧電素子板を有し、これら３方向の振動のうち少なくとも２方向の振動を互いに位相をずらして組み合わせた合成振動を発生させることによりステータのロータとの接触部分に楕円運動を形成するように構成することができる。
ここで、本発明において予圧とはロータをステ―タに向けて押し付ける圧力のことをいう。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、高トルクを実現することができる多自由度超音波モータが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
実施の形態１．
図１及び２に、この発明の実施の形態１に係る多自由度超音波モータを示す。基部ブロック１とステータ２との間にステータ振動手段となる円筒状の振動子３が挟持されると共に基部ブロック１とステータ２とが振動子３内に通された連結ボルト４を介して互いに連結されており、多自由度超音波モータ全体としてほぼ円柱状の外形を有している。ここで、説明の便宜上、基部ブロック１からステータ２へと向かう円柱状の外形の中心軸をＺ軸と規定し、Ｚ軸に対して垂直方向にＸ軸が、Ｚ軸及びＸ軸に対して垂直にＹ軸がそれぞれ延びているものとする。
振動子３は、それぞれＸＹ平面上に位置し且つ互いに重ね合わされた平板状の第１〜第３の圧電素子部３１〜３３を有しており、これらの圧電素子部３１〜３３が絶縁シート３４〜３７を介してステータ２及び基部ブロック１から、また互いに絶縁された状態で配置されている。
【００１１】
ステータ２には、振動子３に接する面とは反対側に凹部５が形成されており、この凹部５内に球体状のロータ６が収容される。凹部５は、ロータ６の直径より小さな内径を有する小径部７と、ロータ６の直径より大きな内径を有する大径部８とからなり、これら小径部７と大径部８との境界部にＸＹ平面上に位置する環状の段差９が形成されている。ロータ６は凹部５内の段差９に当接することにより回転自在に支持されている。また、ステータ２は、凹部５の開口周縁部からほぼＺ軸方向に突出するように形成された環状のリング部材１０を有している。リング部材１０は、ロータ６を周方向、つまりロータのＸＹ平面方向断面の周方向に沿って囲むように配置され、リング部材１０の先端部１０ａからロータ６の一部が露出している。また、リング部材１０の内面がロータ６の表面に近接して対向している。
【００１２】
図３に示されるように、リング部材１０は、凹部５の開口周縁部に位置する基端部１０ｂから先端部１０ａに向かうほど、すなわちＺ軸方向に向かうほど徐々に縮径するように形成されると共に、図４に示されるように、リング部材１０の断面は、ロータ６の表面の形状すなわち球面形状に対応して湾曲した円弧形状を有している。
【００１３】
例えば、基部ブロック１とステータ２はジェラルミンから形成され、多自由度超音波モータ全体が直径４０ｍｍ及び高さ１００ｍｍ程度のほぼ円柱体を形成している。ロータ６としては、直径２５．８ｍｍの鋼球が用いられ、ステータ２のリング部材１０は、内径２５．４ｍｍ、厚さを１．５ｍｍで、内面が曲率半径１２．７ｍｍ及び角度２３度の円弧を描くように立ち上がっている。
【００１４】
図５に示されるように、振動子３の第１の圧電素子部３１は、それぞれ円板形状を有する電極板３１ａ、圧電素子板３１ｂ、電極板３１ｃ、圧電素子板３１ｄ及び電極板３１ｅが順次重ね合わされた構造を有している。同様に、第２の圧電素子部３２は、それぞれ円板形状を有する電極板３２ａ、圧電素子板３２ｂ、電極板３２ｃ、圧電素子板３２ｄ及び電極板３２ｅが順次重ね合わされた構造を有し、第３の圧電素子部３３は、それぞれ円板形状を有する電極板３３ａ、圧電素子板３３ｂ、電極板３３ｃ、圧電素子板３３ｄ及び電極板３３ｅが順次重ね合わされた構造を有している。
【００１５】
図６に示されるように、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄは、Ｙ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３１ｂと圧電素子板３１ｄは互いに裏返しに配置されている。
第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄは、２分割されることなく全体がＺ軸方向（厚み方向）に膨張あるいは収縮の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３２ｂと圧電素子板３２ｄは互いに裏返しに配置されている。
第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄは、Ｘ軸方向に２分割された部分が互いに逆極性を有してそれぞれＺ軸方向（厚み方向）に膨張と収縮の反対の変形挙動を行うように分極されており、圧電素子板３３ｂと圧電素子板３３ｄは互いに裏返しに配置されている。
【００１６】
図１に示されるように、第１の圧電素子部３１の両面部分に配置されている電極板３１ａ及び電極板３１ｅと、第２の圧電素子部３２の両面部分に配置されている電極板３２ａ及び電極板３２ｅと、第３の圧電素子部３３の両面部分に配置されている電極板３３ａ及び電極板３３ｅがそれぞれ電気的に接地されている。また、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの間に配置されている電極板３１ｃから第１の端子３１ｔが、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄの間に配置されている電極板３２ｃから第２の端子３２ｔが、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの間に配置されている電極板３３ｃから第３の端子３３ｔがそれぞれ引き出されている。
【００１７】
次に、この実施の形態１に係る多自由度超音波モータの動作について説明する。
まず、振動子３に対して、第１の端子３１ｔからステータ２の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第１の圧電素子部３１の一対の圧電素子板３１ｂ及び３１ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＹ軸方向のたわみ振動を発生する。また、第２の端子３２ｔからステータ２の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第２の圧電素子部３２の一対の圧電素子板３２ｂ及び３２ｄがＺ軸方向に膨張と収縮を繰り返し、ステータ２にＺ軸方向の縦振動を発生する。さらに、第３の端子３３ｔからステータ２の固有振動数に近い周波数の交流電圧を印加すると、第３の圧電素子部３３の一対の圧電素子板３３ｂ及び３３ｄの２分割された部分がＺ軸方向に膨張と収縮を交互に繰り返し、ステータ２にＸ軸方向のたわみ振動を発生する。
【００１８】
そこで、第１の端子３１ｔと第２の端子３２ｔの双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｙ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされてロータ６と接触するステータ２の段差９にＹＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ６がＸ軸回りに回転することとなる。
同様に、第２の端子３２ｔと第３の端子３３ｔの双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＺ軸方向の縦振動とが組み合わされてロータ６と接触するステータ２の段差９にＸＺ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ６がＹ軸回りに回転することとなる。
さらに、第１の端子３１ｔと第３の端子３３ｔの双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、Ｘ軸方向のたわみ振動とＹ軸方向のたわみ振動とが組み合わされてロータ６と接触するステータ２の段差９にＸＹ面内の楕円振動が発生し、摩擦力を介してロータ６がＺ軸回りに回転することとなる。
【００１９】
このように、振動子３の第１の端子３１ｔ、第２の端子３２ｔ及び第３の端子３３ｔのうち２つの端子を選択し、これら２つの端子の双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、ステータ２に振動が発生し、図７に破線矢印で示されるように、ロータ６と接触するステータ２の段差９に、選択された２つの端子に対応する面内の楕円振動が発生する。
ここで、ステータ２は一体に形成されたリング部材１０を有しているため、ステータ２の振動に伴って図７に実線矢印で示されるように、リング部材１０もロータ６に非接触の状態で振動することになる。これにより、リング部材１０から放射される音波の放射圧によってロータ６がステータ２の段差９に対して加圧される。その結果、これらロータ６と段差９との間の摩擦力が大きくなり、ロータ６に効果的に回転力が伝達される。
【００２０】
上述のように、リング部材１０によりロータ６に非接触の状態で予圧をかけることができるため、リング部材１０とロータ６の表面との間で摩擦損失を生じることがなく、これにより高トルクで高効率な多自由度超音波モータを実現することができる。
また、リング部材１０とロータ６とが接触して騒音等を生じることもない。
【００２１】
また、リング部材１０はステータ２と一体に設けられ、振動子３によるステータ２の振動を利用してリング部材１０を振動させるため、単純な構成の多自由度超音波モータを得ることができる。
また、振動子３の３つの端子３１ｔ及び３２ｔ及び３３ｔのうち２つを選択して電圧を印加するだけで、ステータ２が振動して段差９にロータ６を回転するための楕円運動が生じると共にリング部材１０によりロータ６に非接触の状態で予圧がかけられ、ロータ６を多自由度で回転させることができる。
【００２２】
また、エアーや静電力、電磁力を用いてロータ６に非接触で予圧をかけることもできるが、エアーの場合には、吸引装置等を設ける必要があるため構成が複雑になるおそれがあり、静電力または電磁力の場合には、静電力または電磁力が周りの機器に影響を及ぼすおそれがあり使用が好ましくないことがある。これに対して、この多自由度超音波モータは、単純な構成であり、静電力や電磁力の使用が好ましくない環境でも用いることができる。
【００２３】
また、振動子３の駆動によりリング部材１０の振幅を制御すれば、リング部材１０から放射される放射圧の大きさを変化させて段差９に対するロータ６の加圧力を変化させることにより、この多自由度超音波モータのトルク制御、位置制御、回転数制御等を行うことができる。
【００２４】
従って、リング部材１０の先端部１０ａを通して露出するロータ６の表面部分に図示しないアーム、撮像装置等を取り付けることで、多自由度のアクチュエータ、広視野範囲を対象とするカメラ等を実現することができる。
【００２５】
実施の形態２．
図８を参照して、この発明の実施の形態２に係る多自由度超音波モータを示す。この実施の形態２は、実施の形態１における環状のリング部材１０をその周方向に沿って４つの湾曲部材１１に分割したものである。すなわち、ステータ２は一体に形成される４つの湾曲部材１１を有すると共に、これら４つの湾曲部材１１はロータ６の周方向に沿って互いに間隔を隔てて配置されている。それぞれの湾曲部材１１はロータ６の表面に沿った湾曲形状を有しており、各湾曲部材１１の内面がロータ６の表面に近接して対向している。
【００２６】
このような構成にすれば、４つの湾曲部材１１は互いに分割されてそれぞれ独立しているため振動しやすくなる。したがって、振動子３の駆動によりそれぞれの湾曲部材１１をロータ６に非接触の状態で振動させることにより、ロータ６に効果的に予圧をかけることができる。
【００２７】
なお、湾曲部材１１は、振動する時も振動しない時もロータ６に対して非接触の状態とすることができるが、図９に示されるように、振動子３が停止されて振動しない時には、その先端部１１ａがロータ６の表面に接触するような構成とすることもできる。このようにすれば、振動子３の停止時に回転していないロータ６の表面に湾曲部材１１の先端部１１ａを接触させてこのロータ６を保持することができる。この場合でも、振動時には湾曲部材１１がロータ６の表面から離れた状態になることが必要である。振動停止時にロータ６に接触している湾曲部材１１も、振動時には湾曲部材１１から放射される音波の放射圧によって、湾曲部材１１自体がロータ６から浮き上がるようにすればよい。
また、４つの湾曲部材１１に限定されず、３つ以下、あるいは５つ以上の湾曲部材に分割されてもよい。
【００２８】
実施の形態３．
図１０を参照して、この発明の実施の形態３に係る多自由度超音波モータを示す。この実施の形態３は、実施の形態１において、ステータ１２に一体に設けられるリング部材１０の代わりに、ステータ１２から離間してリング部材１３を配置するものである。すなわち、リング部材１３とステータ１２とは、互いに独立した部材としてそれぞれ形成されると共にＺ軸方向に互いに間隔をあけて配置されている。リング部材１３は、実施の形態１のリング部材１０と同様にＺ軸方向に向かうほど徐々に縮径するような形状を有すると共に、その内面がロータ６の表面に近接して対向した状態に配置され、図１１に破線で示されるように支持部材１４により支持されている。また、リング部材１３の外面には、リング部材１３を振動させるための４つの振動子１５が貼付されている。なお、リング部材１３が振動子１５によって振動した場合の振動モードにおいて、節になる部分で支持部材１４によって支持したり振動子１５を貼付けたりするのが好ましい。
【００２９】
図１２に示すように、各振動子１５は、電極板１５ａ、圧電素子板１５ｂ及び電極板１５ｃが順次重ね合わされた構造を有している。各振動子１５の圧電素子板１５ｂは、その厚み方向に膨張あるいは収縮の変形挙動を行うように分極されており、電極板１５ａ及び１５ｃ間に独立した交流電圧を印加することにより、この振動子１５を駆動制御することができるように構成されている。このような振動子１５の両面にそれぞれ絶縁シート１６及び１７が配置され、振動子１５は一方の絶縁シート１７を介してリング部材１３から絶縁された状態で配置されている。
【００３０】
なお、ステータ１２は、実施の形態１におけるステータ２と同様に、基部ブロック１との間に振動子３を挟持した状態で連結ボルト４により互いに連結されており、ステータ１２の振動子３に接する面とは反対側に、ロータ６の直径より小さな内径を有する凹部１８が形成されている。この凹部１８の開口端周縁にＸＹ平面上に位置する環状の角部１９が形成され、この角部１９にロータ６が当接して回転自在に保持されている。
【００３１】
このような構成にしても、振動子３の第１の端子３１ｔ、第２の端子３２ｔ及び第３の端子３３ｔのうち２つの端子を選択し、これら２つの端子の双方から位相を９０度シフトさせた交流電圧をそれぞれ印加すると、ステータ１２に振動が発生し、ロータ６と接触するステータ１２の角部１９に、選択された２つの端子に対応する面内の楕円振動が発生する。
【００３２】
このとき、振動子１５を駆動制御すると、振動子１５の厚み方向、すなわちロータ６の表面に直交する方向の縦振動がリング部材１３に発生し、リング部材１３がロータ６に非接触の状態で振動する。これにより、リング部材１３から放射される音波の放射圧によってロータ６がステータ１２の角部１９に対して加圧される。したがって、上述の実施の形態１と同様に、高トルクで高効率な多自由度超音波モータを実現することができると共にリング部材１３とロータ６との接触による騒音等を防止できる。
【００３３】
加えて、この実施の形態３では、リング部材１３は振動子１５により駆動されると共にステータ１２は振動子３により駆動され、リング部材１３をステータ１２と独立して振動させることができるため、振動子１５の駆動によりリング部材１３の振幅を制御することで、この多自由度超音波モータのトルク制御、位置制御、回転数制御等を容易に行うことができる。
また、リング部材１３が振動子１５によって振動するときに形成される節位置で支持部材１４によりリング部材１３を支持することができ、このようにすればリング部材１３の振動に与える影響を最小限に抑えながらリング部材１３を支持することができる。
さらに、図示しないバネ等を用いてステータ１２あるいは基部ブロック１に対して弾力的に支持部材１４を保持することもできる。
【００３４】
なお、リング部材１３は、上述の実施の形態２と同様に、その周方向に沿って複数の湾曲部材に分割されてもよく、この場合、複数の湾曲部材はそれぞれ振動時の節位置で支持部材１４により支持されると共に、各湾曲部材に１つの振動子１５が貼付されるように構成することができる。このような構成とすれば、複数の湾曲部材は互いに分割されてそれぞれ独立しているため振動しやすくなり、ロータ６に効果的に予圧をかけることができる。
【００３５】
リング部材はロータの周方向に配置されたが、放射圧によって予圧力を発生できるのであれば、周方向に限らない。
また、リング部材１３は、上述の実施形態２の変形例のように、ロータ６停止時に接触させるように弾性的に保持するようにし、ロータ６回転時には振動子１５を振動させ、リング部材１３から放射される音波の放射圧によってリング部材１３自体がロータ６から浮き上がるようにしても良い。
【００３６】
なお、上記実施の形態において、振動子３の第１の端子３１ｔ、第２の３２ｔ、第３の３３ｔのうち２つを選択して印加する交流電圧の位相は９０度シフトさせていたが、９０度に限らず変化させても良い。また、印加する交流電圧の電圧値を変化させてもよい。交流電圧を様々に制御することでステ―タ２，１２に発生する楕円振動を制御することができる。
また、上記実施の形態においてステ―タ２，１２とロータ６との接触は段差９や角部１９のような角部であったが、この構成に限らない。楕円運動が伝達できれば平面で接触するようにしても曲面で接触しても良いし、環状でなくてもよい。
【００３７】
また、上記実施形態において振動子３は互いに異なる３方向の振動としてＺ方向の縦振動と、Ｘ，Ｙ方向のたわみ振動を発生する振動子を用いているが、このように互いに直交する振動でなくても良い。また、３方向の振動を発生させる振動子は第１圧電素子部３１、第２圧電素子部３２、第３圧電素子部３３とそれぞれの方向に対応した圧電素子を用いているが、それぞれの方向の振動を発生させるのに複数の圧電素子部による振動を合成させても良いし、１つの圧電素子部を３つ以上に分極して１つの圧電素子部で２つ以上の方向の振動を発生させても良い。
また、上記実施の形態では３方向のうちの２方向を選択して振動を発生させていたが、３方向に対応した圧電素子全てに交流電圧を印加し、各方向の振動の位相や振幅を制御して合成振動を発生させてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の実施の形態１に係る多自由度超音波モータを示す断面図である。
【図２】実施の形態１に係る多自由度超音波モータを示す平面図である。
【図３】実施の形態１におけるリング部材の形状を示す斜視図である。
【図４】実施の形態１におけるリング部材を示す部分断面図である。
【図５】実施の形態１で用いられた振動子の構成を示す部分断面図である。
【図６】実施の形態１で用いられた振動子の３対の圧電素子板の分極方向を示す斜視図である。
【図７】実施の形態１に係る多自由度超音波モータの部分拡大断面図である。
【図８】実施の形態２に係る多自由度超音波モータを示す平面図である。
【図９】実施の形態２の変形例に係る多自由度超音波モータの部分拡大断面図である。
【図１０】実施の形態３に係る多自由度超音波モータを示す断面図である。
【図１１】実施の形態３に係る多自由度超音波モータを示す平面図である。
【図１２】実施の形態３で用いられた振動子の構成を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  基部ブロック、２，１２  ステータ、３，１５  振動子、４  連結ボルト、５，１８  凹部、６  ロータ、７  小径部、８  大径部、９  段差、１０，１３  リング部材、１０ａ，１１ａ  先端部、１０ｂ  基端部、１１  湾曲部材、１４  支持部材、１５ａ，１５ｃ，３１ａ，３１ｃ，３１ｅ，３２ａ，３２ｃ，３２ｅ，３３ａ，３３ｃ，３３ｅ  電極板、１５ｂ，３１ｂ，３１ｄ，３２ｂ，３２ｄ，３３ｂ，３３ｄ  圧電素子板、１６，１７，３４，３５，３６，３７  絶縁シート、１９  角部、３１  第１圧電素子部、３１ｔ  第１の端子、３２  第２圧電素子部、３２ｔ  第２の端子、３３  第３圧電素子部、３３ｔ  第３の端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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