(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃焼により発生するNOx及び固形分を含む排気ガスを濾過し、吸着材と接触させることにより有害物質を乾式除去処理し、処理後の排気ガスを３０℃以下に冷却し、冷却後の排気ガスをオゾン及び光触媒の存在下で３０℃以下の水中において気泡状でバブリングさせることにより湿式処理し、処理後の排気ガスを吸着材で吸着処理して残存するオゾン及びNOxを排気ガスから除去することを特徴とする、排気ガスの処理方法。
【請求項２】
燃焼により発生するNOx及び固形分を含む排気ガスを濾過して固形分を除去するフィルター；濾過後の排気ガスと接触させてNOxを含む有害物質を吸着する吸着材層；吸着処理後の排気ガスを３０℃以下に冷却する冷却手段及び排気ガスを搬送する排気搬送手段；冷却後の排気ガスをオゾン及び光触媒の存在下で３０℃以下の水中においてバブリング処理するためのバブリング手段を備えた水槽；及びバブリング処理後の排気ガスから残存オゾンおよび残存NOxを除去するための吸着手段；を備えてなる、排気ガスの処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は有害物質排気（有害物質を含む排気；例えばガソリンエンジン、ディーゼルエンジン、タービンエンジン等の内燃機関、蒸気機関、スターリングエンジン等の外燃機関などからのエンジン排気ガス、各種工場の排ガス、ゴミ処理場の排ガス、悪臭排気等）からの有害物質の除去方法及び装置に関する。詳細には本発明は乾式除去及び湿式除去を順に組み合わせた有害物質の除去方法及び装置に関し、さらに詳細には、有害物質排気を乾式で濾過、吸着、分解処理し、冷却し、冷却後の排気をオゾンの存在下に水でバブリング処理し、次いで残存オゾンおよび残存NOxを除去する有害物質排気からの有害物質の除去方法、及びその方法を実施するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
排気ガス（排出ガス）は車の排気管から排出される気体や微粒子であり、水蒸気と炭酸ガスがほとんどであるが、一酸化炭素（CO）、炭化水素（HC）、窒素酸化物（NOx）、鉛酸化物（ガソリンにアルキル鉛が混入されている場合）、炭素粒子（スモーク）などが含まれている。このように排気ガスは有害物質を含んでおり、法規制の対象になっている。特に、ディーゼルエンジンから排出される排気ガスには黒煙、白煙などのディーゼルスモークが含まれて、ディーゼルスモークには煤、煤に付着している可溶有機成分（SOF）、金属の微粒子などが含まれており、問題とされている。規制の対象となっている有害物質は、窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素及び粒子状物質(PM: Particulate Matter)の４種類である。ディーゼル車は窒素酸化物の排出が多く、ガソリン車では生成しない粒子状物質を排出する。ガソリン車は窒素酸化物等の有害物質を除去するための三元触媒を使用しているが、ディーゼル車は燃焼状態が異なるため三元触媒が使えず、粒子状物質の規制が緩いこともあって通常、浄化装置を装着していない。しかし、窒素酸化物と粒子状物質の規制は欧米でも強化される傾向にあり、ディーゼル車も浄化装置を装着することが望まれている。従来、提案されている粒子状物質の除去方法には、2個のフィルターで交互に粒子状物質を捕集し、捕集していない方のフィルターを加熱して粒子状物質を焼却する方法；酸化触媒を使って排ガスから窒素酸化物を生成させ、濾過して捕集した粒子状物質を窒素酸化物によって低温で酸化除去する方法；フィルターに酸化触媒を担持し、フィルターで捕集した粒子状物質をその触媒の作用によって低温で酸化除去する方法；フィルターで粒子状物質を捕集し、自動車が停止している時に外部電源などを使用して粒子状物質を焼却する方法；及び、フィルターで粒子状物質を捕集し、エンジンの高圧噴射装置による燃料の二次噴射、燃料に加えた添加剤、酸化触媒を使って粒子状物質を酸化除去する方法；などがある。しかし、いずれの方法も十分ではなく、しかも窒素酸化物は除去されない。これらに加え、最近、リーンバーン・エンジン向けに窒素酸化物還元型三元触媒を多孔質のセラミックスフィルターに担持した触媒が提案されている。しかしこの触媒を使用するためには、酸素が多い燃焼と少ない燃焼を切り換え制御できるシステムを搭載したディーゼルエンジンを使用しなければならないため、この触媒は既存の車には事実上適用できないという欠点がある。また、燃料の軽油に含まれる硫黄が触媒能力を低下させるため、現行の軽油は事実上使用できず、低硫黄軽油の導入が必須である。そのため、これらの従来技術の課題を解消し、ディーゼルエンジンの排ガスを処理して排気ガスから有害物質排気をほぼ完全に除去することが求められている。
【０００３】
また、化学工場、半導体工場等の各種工場からも有害物質排気が排出される。これらの工場の排気はその種類に応じて、微細な塵埃だけでなく、アンモニアや有機アミン等の塩基、硫黄酸化物や窒素酸化物等の酸、硫化水素やメルカプタン等の腐食性物質、炭化水素やハロゲン化炭化水素など各種物質を混入しており、各工場ではこれらを除去するよう努力し、混入しないよう厳しく管理している。しかし、効果的な除去方法はなく、有効な除去方法が求められているのが実情である。
【０００４】
また、生ゴミ焼却場等から発生する有害物質排気(悪臭物質排気)を処理するには、(1)臭気の源を絶つこと、(2)臭気の発散量を減らすこと、(3)臭気を除去すること、があるが、(3)の方法しか現実的な対策はないと考えられる。臭気ガスの脱臭の方法にはオゾンや光触媒を用いる方法等の各種の方法が用いられているが、いずれの方法も不十分であり、完全に有害物質(悪臭物質)を除くことはできなかった。また、生ゴミ処理のリサイクル化が進む中で、住宅密集地にある事業所等、更には各町内ブロック単位や、マンション、アパート等での分散型の小型バイオ処理機の使用を可能にするためには、どうしても脱臭システムの完全性が求められる。しかし、従来、このような要求に応えることができる有害物質除去システムはなく、効果的な除去方法が求められている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、これらの従来技術の欠点を克服し、有害物質排気中の有害物質をほぼ完全に除去し得る方法及び装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、燃焼により発生するNOx及び固形分を含む排気ガスを濾過し、吸着材と接触させることにより有害物質を乾式除去処理し、処理後の排気ガスを３０℃以下に冷却し、冷却後の排気ガスをオゾン及び光触媒の存在下で３０℃以下の水中において気泡状でバブリングさせることにより湿式処理し、処理後の排気ガスを吸着材で吸着処理して残存するオゾン及びNOxを排気ガスから除去することを特徴とする、排気ガスの処理方法；及び、燃焼により発生するNOx及び固形分を含む排気ガスを濾過して固形分を除去するフィルター；濾過後の排気ガスと接触させてNOxを含む有害物質を吸着する吸着材層；吸着処理後の排気ガスを３０℃以下に冷却する冷却手段及び排気ガスを搬送する排気搬送手段；冷却後の排気ガスをオゾン及び光触媒の存在下で３０℃以下の水中においてバブリング処理するためのバブリング手段を備えた水槽；及びバブリング処理後の排気ガスから残存オゾンおよび残存NOxを除去するための吸着手段；を備えてなる、排気ガスの処理装置である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
本発明においては、NOx及び固形分を含む有害物質排気を、乾式で濾過し、吸着材と接触させて有害物質を乾式処理する。
濾過に用いるフィルターは、有害物質排気から固形分（エンジンからの排気中の炭素粒子；工場の排ガス、ゴミ処理場の排気中の固形分）を除くものである。有害物質排気は、高温で排出されるため、無機又は有機の耐熱性材料からなる耐熱性のフィルター、特にガラス繊維のフィルターが好ましい。このフィルターは、後の工程でさらにフィルターを用いる場合には、一次フィルターになる。
【０００８】
フィルターで濾過した後の排気は、吸着材で処理され、吸着される成分、例えばNOx、炭化水素等が排気から吸着除去される。吸着材が排気中の成分と反応する場合には、吸着及び反応によって除去される。吸着材としてはゼオライト、活性炭、アルミナ、シリカ、シリカ・アルミナ、マグネシア等で例示される各種の吸着材があげられるが、ゼオライトが好ましく、装置内にゼオライト層を設けるのが好ましい。上記吸着材には、水酸化カルシウムと活性炭との組み合わせ吸着材を添加し又は付着（好ましくは層状又はハニカム状で付着）させることもでき、これによりNOx、SO2、COを効果的に除去することができる。
吸着材で処理した後の排気は必要に応じ白金ハニカム触媒で処理し、一酸化炭素及び炭化水素を除去することができる。白金ハニカム触媒は、高温で活性がある。上記白金ハニカム触媒には、水酸化カルシウムと活性炭との組みあわせ吸着材を添加し又は付着させることができ、これによりNOx、SO2、COを効果的に除去することができる。
【０００９】
吸着材で処理した後の排気は、好ましくは光触媒（任意）で処理され、排気中の有害物質、例えばNOx、炭化水素等が分解、除去される。ここで必要に応じ用いられる光触媒は固体であり、例えば酸化チタンで例示される溶出性の光触媒、セラミックス系光触媒で例示される非溶出性の光触媒があげられる。光触媒は各種の形態で使用することができる。酸化チタン光触媒は、例えば酸化チタン粉末を焼付けや各種のバインダーにより粒子状またはボール状にすることができ、また水そのものをバインダーとすることもできるので、コスト面で好ましい。また、非溶出性の光触媒は長時間使用の点で好ましい。後の工程で、水によるバブリング処理を光触媒の存在下で行なう場合には、上記の吸着材処理後の光触媒は不要となることがあり、そのときは省略される。
【００１０】
吸着材で処理した後の排気は、必要に応じフィルター（二次フィルター）にかけることができ、フィルターとしてはゼオライト成形フィルターが好ましい。二次フィルターを用いる場合、アンモニア添加法；白金、パラジウム等で例示される酸化浄化触媒；金属酸化物法又は金属イオン法（酸化チタン、酸化バナジウム、銀イオン、銅イオン法）を併用することができ、これによってNOx、SO2、COを還元又は吸着し除去することができる。特に水酸化カルシウムと活性炭からなる吸着材をフィルターに含ませ又は付着させることによりNOx、SO2、COを効果的に除去することができる。吸着材はハニカム状として付着させるのが特に効果的である。
【００１１】
上記の乾式処理後の排気は、次の水（オゾン水）との接触処理の前に冷却される。冷却には冷却ジャケット、ラジエーター、ペルチェ素子などを含む各種の手段を使用し得る。ラジエーターを使用する場合には、冷却水、外気を含む各種媒体で冷却し得るが、急冷却ファン等を用いた外気冷却が好ましい。ペルチェ素子は装置を小型化するのに有用である。冷却により生じたドレン水は、必要に応じドレン水ポンプ等を用いて、次工程の処理用の水(好ましくは水槽中の水)に戻すのが好ましく、これにより次工程で使用する水の補充を軽減又はなくすることができる。
【００１２】
本発明においては、排気を各処理工程に送るのに排気搬送手段を用いるのが好ましく、搬送手段としてはコンプレッサー、ブロア等の各種の搬送手段を使用し得るが、ブロア（吸引ブロア）が好ましい。搬送手段は、各工程の前後に適宜設けることができるが、オゾン水処理工程の前に設けるのが好ましく、高温の排気及び設備の保守等を考慮すれば、高温を避けて排気の冷却後に設けるのが好ましい。
【００１３】
冷却後の排気には、オゾンを添加、混合し、得られた混合ガスを水（オゾンを含有するオゾン水）と接触、好ましくは水中をバブリングさせて排気中の有害物質及び臭気を分解し、水溶性成分を水に溶解させて排気から除去する。接触は、必要に応じ励起光及び光触媒の存在下に行なうことができる。この工程において、水はオゾンを含む排気を吸収してオゾン水（オゾン含有水）となるが、オゾンの一部を水に直接供給（例えば水中にオゾンをバブリング）してオゾン供給水とするのが処理効果の点で好ましい。水は水槽中に入れた形態で使用すること及び攪拌することが好ましく、例えば水循環ポンプ（水槽を用いる場合には水槽循環ポンプ）を用いて循環される。排気を気泡状で水とバブリング接触させるには各種の手段が採用可能であるが、排気を導管によって水槽の底部に導入し多孔板等の気泡発生手段を用いて気泡状とするのが好ましい。油分及び粒子等の除去には、油、煤除去フィルター、残存PM除去フィルター、及び単分子コピフィルター等の除去手段を水槽内又は前記水循環ポンプによる循環路に設けて除去するのが好ましい。また、オゾンの効果的な利用及び排気中の有害成分の完全な除去のために、排気中の有害成分の供給量を検知するセンサーを設けて検知し、その供給量に応じた量のオゾンを発生させ供給するのが好ましい。
なお、水との接触に際して必要に応じて用いる光触媒は前述の光触媒と同じである。光触媒は水槽の底面、側壁に板状で設置したり、水中に粒子状で懸濁させたり等の各種の形態で使用することができる。必要に応じ光触媒を使用することにより、排気は水中でオゾン水によって分解され、また光触媒混合水によって分解される。
水（オゾン水）に溶解された成分は、光触媒により分解され除去され、それによって水の腐敗を防止することができる。水の浄化を行うために、さらに汚染洗浄フィルター等により汚染物質を除去することもできる。オゾン水が水槽中で使用されるときは、水が所定の水位を超えたら余分の水は除去するのが好ましく、この除去は例えばオーバーフロー排水により好適に行われる。
【００１４】
水槽中の水は、必要に応じ硝酸を回収するために上記オーバーフロー排水などによって適宜抜き出され、新たな水又はオゾン水が補充される。
【００１５】
水（オゾン水）処理後の排気は、必要に応じ二次冷却し及び／又はイオン発生装置により発生したイオンにより処理することができる。
二次冷却における冷却手段は前記の冷却手段と同様であり、ラジエーター（二次冷却ラジエーター）を含む各種の手段を使用することができ、ラジエーターを使用する場合には、冷却水、外気を含む各種媒体、好ましくは外気で冷却される。ペルチェ素子は装置を小型化するのに有用である。冷却により生じたドレン水は、必要に応じ前記水循環ポンプ（水槽を用いる場合には水槽循環ポンプ）等を用いて、前記工程の処理用の水(好ましくは水槽中の水)に戻すのが好ましく、これにより水の補充を軽減又はなくすることができる。
イオン発生装置により処理する場合には、発生したイオンの一部はオゾン水の処理系に導入される。ここでいうイオン発生装置は負（マイナス）イオン発生装置である。負イオンにすることにより、陽排出物質が吸着融合性を高めオゾン水バブリング時の酸化速度を早めると共に、オゾン水処理後の吸着材による残存オゾン及び排気物質の吸着除去を効果的に行なう。
【００１６】
本発明においては、オゾン水で処理された排気はさらに吸着材（吸着手段）で吸着処理されて、残存するオゾン及びNOxが排気から除去される。ここで用いる吸着材としては、例えばマンガン酸化物、マンガン酸化物と酸化チタン及び／又は酸化銅との混合触媒などで例示されるマンガン酸化物含有触媒；水酸化カルシウム、活性炭、ゼオライト、アルミナ、シリカ、シリカ・アルミナ、マグネシア等、好ましくはマンガン酸化物含有触媒、水酸化カルシウム、活性炭、ゼオライト、特に好ましくはマンガン酸化物含有触媒；水酸化カルシウムと活性炭を含む吸着材があげられる。マンガン酸化物含有触媒、水酸化カルシウムと活性炭を含む吸着材、活性炭又はゼオライトを用いる場合は、NOx、残存オゾン等は効果的に吸収され除去される。
【００１７】
本発明の装置は、前述のとおり、NOx及び固形分を含む有害物質排気を濾過して固形分を除去するフィルター；濾過後の排気と接触させてNOxを含む有害物質を吸着する吸着材層；吸着処理後の排気を冷却する冷却手段及び排気を搬送する排気搬送手段；冷却後の排気をオゾンの存在下に水中でバブリング処理するためのバブリング手段を備えた水槽；及びバブリング処理後の排気から残存オゾンおよび残存NOxを除去するための吸着手段；を備えてなる、有害物質排気からの有害物質の除去装置である。
【００１８】
本発明の装置においては、吸着材層の後に、必要に応じ白金ハニカム触媒層を設けることができ、白金ハニカム触媒層により排気中の一酸化炭素及び炭化水素を除去される。
また、本発明の装置においては吸着材層の後に、光触媒層（任意）を設けるのが好ましい。さらに、吸着材の後、必要に応じ設けられる光触媒層の後には、フィルター（二次フィルター）を設けることができ、二次フィルターとしてはゼオライト成形フィルターが好ましい。二次フィルターにおいては、アンモニア添加法；白金、パラジウム等で例示される酸化浄化触媒；金属酸化物法又は金属イオン法（酸化チタン、酸化バナジウム、銀イオン、銅イオン法）を併用してNOxを還元し除去することもできる。
【００１９】
本発明の装置において光分解除去後の排気を冷却する冷却手段としては、前記の冷却手段と同様である。
【００２０】
本発明の装置において、搬送手段としてはコンプレッサー、ブロア等の各種の搬送手段を使用し得るが、ブロア（吸引ブロア）が好ましい。搬送手段は、各工程の前後に適宜設けることができるが、バブリング用の水槽の前に設けるのが好ましく、高温の排気及び設備の保守等を考慮すれば、排気の冷却手段の後に設けるのが好ましい。
【００２１】
本発明の装置における、冷却後の排気をバブリング処理するためのバブリング手段を備えたオゾン水槽においては、オゾン発生器からのオゾンが排気と混合され、水槽中の水は混合ガス中のオゾンを吸収してオゾン水となるが、排気との混合用に供給するオゾンの一部を水槽中の水に直接導入してもよい。これにより当初から水をオゾンを含んだオゾン含有水とすることができ、オゾン水中のオゾン濃度を高めることができる。水槽には、水槽中の規定水位を越えたオーバーフロー水を回収するシステムを設けることができる。また、水槽の水を循環するポンプを設けて、水を攪拌することができる。このポンプに残存PM等の固形物を除去するフィルターや単分子水コピフィルターを設けることもできる。水槽中の水にはNOxが溶解して硝酸が含まれるので、この水槽から高い濃度の硝酸を回収することができる。また、この水槽中の水は強酸性のためアルカリ例えば苛性ソーダで中和することもできる。
【００２２】
本発明の装置において、必要に応じオゾン水槽の後に、バブリング処理された排気の冷却用の冷却手段及び／又は排気のイオン処理のためのイオン発生装置および排気へのイオン導入部を設けることができる。イオン発生装置を設ける場合には、吸着手段としてマンガン酸化物含有触媒、又は水酸化カルシウムと活性炭を含む吸着材を用いるのが好ましい。
【００２３】
本発明の装置においては、オゾン水槽の後に、バブリング処理された排気の中に残存するオゾン及びNOxを除去するための吸着手段が設けられる。この手段は、吸着材層による吸着処理であり、吸着材としては、前記のものが使用される。
【００２４】
【実施例】
以下、この発明の装置の一実施例を添付図面(図１)によって例示しつつ説明するが、本発明はこれによって限定される訳ではない。
図１の装置は、処理すべき排気が自動車の排気ガスの場合は、車両の下部に取り付けられる。そして自動車のアクセルと図１のオゾン発生器９と吸引ブロア８は同時に能力コントロールされるように設定できる。
【００２５】
図１において、排気はガラス繊維フィルター１（一次フィルター）を通して導入され、ここで固形分（PM、黒鉛、煤、塵など）が除去される。ガラス繊維フィルター１は、NOx及び固形分を含む有害物質排気を濾過して固形分を除去するフィルターであり、前述のとおりガラス繊維フィルターのかわりに各種の耐熱性材料を使用することができる。一次フィルターを通過した排気は、ゼオライト層２（吸着材層）を通り、NOx、炭化水素等が吸着除去される。前述のようにゼオライトのかわりに各種の吸着材を用いることができる。吸着材層を通過した排気は白金ハニカム触媒３（任意）、光触媒層４（任意）と接触し、排気中のNOx等が分解除去される。光触媒４の温度は、通常、５００〜６００℃である。ついで排気は二次フィルター５に導入され、排気中の残存固形分が除去される。この二次フィルター５は必要に応じ設けられる任意のものであり、この二次フィルターにおいて、アンモニア添加法、白金触媒ハニカム法、金属酸化物法又は金属イオン法（酸化チタン、酸化バナジウム、銀イオン、銅イオン法）を併用することもでき、これによってNOxを還元し除去することができる。
【００２６】
高温時における上記の一連の処理（一次工程）後、排気はファン７を備えた一次冷却ラジエーター６で冷却される。この一次冷却ラジエーター６のかわりに各種の冷却手段を用いることができる。冷却後の排気の温度は通常、３０℃以下である。図１においては、一次冷却ラジエーター６の後に吸引ブロアー８（排気搬送手段）が設けられ、これによって排気を搬送し、一連の処理を行なっている。この吸引ブロアー８は後述の水槽１０（オゾン水槽）でのバブリング処理の前であればその配置は任意であるが、一次冷却ラジエーター６の後が好ましい。
【００２７】
上記の冷却、吸引送圧の後に、排気にはオゾン発生器９からのオゾンが添加、混合され、混合ガスは水槽１０の底部または下部から導入され、水中で気泡（バブリング）処理される。水槽中の水は混合ガスの導入によりオゾン水となるが、別途、オゾンの一部を直接、水槽に添加してもよい。オゾン水中のバブリングにより、排気中の成分は酸化され、水溶性成分又はガスは水に吸収、溶解されて排気から除去される。バブリング時の水槽１０中の水の温度は通常、３０℃以下である。図１の水槽１０には規定水位を越えたオーバーフロー水の回収口が設けられており、オーバーフロー水１２を回収することができる。水槽中の水にはNOxが溶解して硝酸が含まれるので、この水槽から高い濃度の硝酸を回収することができる。なお、この硝酸は苛性ソーダ等のアルカリによって中和することもできる。図１には、水槽１０の水を攪拌し循環するポンプ１１が設けられている。このポンプ１１には残存PM等の固形物を除去するフィルターや単分子水コピフィルターを設けることもできる。
【００２８】
水槽でバブリング処理された排気は、二次外気冷却ラジエーター１３（冷却手段）で冷却される。イオン発生装置１４で発生したイオンは、（マイナス）イオン導入部１５から系内に導入され、排気はイオン接触処理（マンガン酸化物含有触媒ハニカム法、水酸化カルシウムと活性炭を含むハニカム法）される。イオンの一部はイオン導入分岐部１６を通して水槽１０中に導入される。なお上記の二次外気冷却ラジエーター１３、イオン発生装置１４、イオン導入部１５、イオン導入分岐部１６は必要に応じ設けられる任意のものである。イオン導入分岐部１６を水中に挿入し、イオンを水中に直接導入すればより効果的になる。
【００２９】
排気は、さらに吸着手段１７（吸着材）で吸着処理され、残存オゾン、残存NOxが除去される。吸着手段（吸着材）は前記のとおりであり、マンガン酸化物含有触媒、水酸化カルシウムと活性炭とを含有する吸着材が特に好ましい。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、エンジン排気ガス、工場排気、ゴミ処理場の排気等の有害物質排気から、有害物質を有効に除去することができる。
特に従来、処理が困難であったディーゼル・エンジンからの排気ガスの臭気、及び窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素及び粒子状物質等を除去を可能にするものであり、処理によって自然でクリーンな排気が得られる。本発明の装置は車両下部に取り付け可能であり、アクセルとオゾン発生器、排気ガス吸入ブロワーは同時に能力コントローすることができる。
本発明において、水槽中のオゾン水は、必要に応じ水槽中に設けられる光触媒の作用により腐敗が防止され、連続又は繰り返し使用ができるため、本発明は極めて実用的である。
本発明によれば環境を害することなく安全に且つ低コストで有害物質排気の処理を行うことができる。
【００３１】
以上の説明に関して更に以下の項を開示する。
（１）  NOx及び固形分を含む有害物質排気を濾過し、吸着材と接触させることにより有害物質を乾式除去処理し、処理後の排気を冷却し、冷却後の排気をオゾンの存在下に水中を気泡状でバブリングさせることにより湿式処理し、処理後の排気を吸着材で吸着処理して残存するオゾン及びNOxを排気から除去することを特徴とする、有害物質排気からの有害物質の除去方法。
（２）  バブリングにより水中に溶解したNOxを硝酸として回収する、上記（１）記載の方法。
（３）  濾過及び吸着材による接触処理後の排気を、白金ハニカム触媒と接触処理する、上記（１）記載の方法。
（４）  濾過及び吸着材による接触処理後の排気を、光触媒と接触させて処理する、上記（１）記載の方法。
（５）  濾過及び吸着材による接触処理後の排気を、フィルター（二次フィルター）を通過させる、上記（１）記載の方法。
（６）  フィルター（二次フィルター）に、アンモニア添加法；白金、パラジウム等で例示される酸化浄化触媒；金属酸化物法、又は酸化チタン、酸化バナジウム、銀イオン及び銅イオンからなる群から選択される金属イオン法を併用して排気を処理する、上記（５）記載の方法。
（７）  濾過及び吸着材による接触処理後の排気の冷却に、外気冷却ラジエーターを用いる、上記（１）記載の方法。
（８）  外気冷却ラジエーターが急冷却ファンを有する、上記（７）記載の方法。
（９）  排気の搬送手段により排気を搬送する、上記（１）に記載の方法。
（１０）  排気の搬送手段を排気の冷却の後に設ける、上記（９）の方法。
（１１）  オゾン存在下のバブリング用の水をポンプにより循環する、上記（１）に記載の方法。
（１２）  冷却により生成したドレン水をポンプによりオゾン存在下のバブリング用の水に循環する、上記（１）に記載の方法。
（１３）  オゾン存在下の水中でのバブリング処理後、排気を冷却する、上記（１）に記載の方法。
（１４）  バブリング処理後の冷却の後に、イオン発生装置で発生したイオンで排気を処理する、上記（１３）に記載の方法。
（１５）  イオン発生装置で発生したイオンの一部を、オゾン存在下のバブリング用の水に導入する、上記（１４）に記載の方法。
（１６）  バブリング処理後の排気をゼオライトからなる吸着材層で吸着処理して、残存するオゾン及びNOxを排気から除去する、上記（１）に記載の方法。
（１７）  NOx及び固形分を含む有害物質排気を濾過して固形分を除去するフィルター；濾過後の排気と接触させてNOxを含む有害物質を吸着する吸着材層；吸着処理後の排気を冷却する冷却手段及び該排気を搬送する排気搬送手段；冷却後の排気をオゾンの存在下に水中でバブリング処理するためのバブリング手段を備えた水槽；及びバブリング処理後の排気から残存オゾンおよび残存NOxを除去するための吸着手段；を備えてなる、有害物質排気からの有害物質の除去装置。
（１８）  バブリング処理により水中に溶解したNOxを硝酸として回収する手段を有する、上記（１７）記載の装置。
（１９）  フィルター及び吸着材層の後に、白金ハニカム触媒層を設けてなる、（１７）記載の装置。
（２０）  フィルター及び吸着材層の後に、光触媒層を設けてなる、（１７）記載の装置。
（２１）  フィルター及び吸着材層の後に、排気と接触させるフィルター（二次フィルター）を有する、上記（１７）記載の装置。
（２２）  フィルター（二次フィルター）が、アンモニア添加法、白金ハニカム法、金属酸化物法、又は酸化チタン、酸化バナジウム、銀イオン及び銅イオンからなる群から選択される金属イオン法を併用したものである、上記（２１）記載の装置。
（２３）  フィルター及び吸着材層の後に、排気の冷却のための外気冷却ラジエーターを設けてなる、上記（１７）記載の装置。
（２４）  外気冷却ラジエーターが急冷却ファンを有する、上記（２３）記載の装置。
（２５）  排気の搬送手段を有する、上記（１７）記載の装置。
（２６）  排気の搬送手段を排気の冷却手段の後に設けてなる、上記（１７）記載の装置。
（２７）  オゾン水の循環ポンプを有する、上記（１７）記載の装置。
（２８）  冷却により生成したドレン水をオゾン水槽に循環するポンプを有する、上記（１７）記載の装置。
（２９）  オゾン水槽の後に、冷却ラジエーターを設けてなる、上記（１７）記載の装置。
（３０）  冷却ラジエーターの後に、イオン発生装置及び排気と接触させるためのイオン導入部を設けてなる、上記（２９）記載の装置。
（３１）  イオン発生装置で発生したイオンの一部をオゾン水槽に導入する、イオン導入分岐部を設けてなる、上記（３０）記載の装置。
（３２）  バブリング処理後の排気を吸着処理し残存するオゾン及びNOxを排気から除去するための吸着手段が、ゼオライトからなる吸着材層である、上記（１７）記載の装置。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の、有害物質排気の除去装置の説明図である。
【符号の説明】
１  ガラス繊維フィルター（一次フィルター）
２  ゼオライト層（吸着材層）
３  白金ハニカム触媒層
４  光触媒層
５  二次フィルター
６  一次外気冷却ラジエーター（冷却手段）
７  急冷却ファン
８  吸引ブロア（排気搬送手段）
９  オゾン発生器
１０  水槽（オゾン水槽）
１１  ポンプ
１２  オーバーフロー水
１３  二次外気冷却ラジエーター（冷却手段）
１４  負イオン発生器
１５  イオン導入部
１６  イオン導入分岐部
１７  吸着手段
【図１】
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