【手続補正書】
【提出日】令和3年11月26日(2021.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体供給装置であって、
液体の流量を計測し、計測値に基づいて流量を制御する流量制御装置と、
前記流量制御装置に接続され、前記流量制御装置への第１液体の供給を制御する第１バルブと、
前記流量制御装置に接続され、前記流量制御装置への第２液体の供給を制御する第２バルブと、
前記第１バルブ及び前記第２バルブを制御する制御装置と、
を備え、
前記流量制御装置は、配管内の流体の流量を計測する差圧式流量計または超音波流量計からなる流量計と、前記流量計による計測値に基づいてフィードバック制御により前記第１液体又は前記第２液体の流量を、設定された流量に制御するための流量制御弁とを有し、
前記制御装置は、前記第１バルブ及び前記第２バルブの開閉を切り替えて前記流量制御装置への前記第１液体の供給と前記第２液体の供給とを切り替える際に、前記第１バルブの開閉切り替え時と前記第２バルブの開閉を切り替える時との間に遅延時間を設けて、前記第１バルブ及び前記第２バルブを切り替える、
液体供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液体供給装置において、
前記流量制御装置への前記第１液体の供給と前記第２液体の供給とを切り替える際に、前記制御装置は、前記第１バルブの開から閉への切り替え時から第１遅延時間後に前記第２バルブの閉から開への切り替えを行う、及び／又は、前記第２バルブの開から閉への切り替え時から第２遅延時間後に前記第１バルブの閉から開への切り替えを行う、
液体供給装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体供給装置において、
前記遅延時間は、前記第１及び／又は第２バルブの切り替え時に前記流量計の計測値上
限エラーを生じない時間に設定される、
液体供給装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載の液体供給装置において、
前記流量制御装置、前記第１バルブ及び前記第２バルブは、単一のモジュール内に配置されている、液体供給装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかに記載の液体供給装置において、
前記第１バルブに接続された第１液体供給源からの前記第１液体の供給圧力、及び、前記第２バルブに接続された第２液体供給源からの前記第２液体の供給圧力の少なくとも一方を測定可能な１又は複数の圧力計を更に備えた、液体供給装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の液体供給装置において、
前記流量計及び前記流量制御弁を有する前記流量制御装置と、前記第１バルブと、前記第２バルブとは、１つの薬液ユーティリティボックスに集積化されている、液体供給装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液体供給装置において、
前記遅延時間は０．１秒である、液体供給装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れかに記載の液体供給装置と、
前記液体供給装置に接続された洗浄装置と、
を備える、洗浄ユニット。
【請求項９】
請求項８に記載の洗浄ユニットにおいて、
前記第１液体は、前記洗浄装置に使用される薬液であり、
前記第２液体は、前記液体供給装置の流路を洗浄するための第２薬液又は純水である、
洗浄ユニット。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の洗浄ユニットを備える、基板処理装置。
【請求項１１】
請求項１乃至７の何れかに記載の液体供給装置と、
前記液体供給装置に接続された液処理装置と、
を備え、
前記第１液体は、前記液処理装置に使用される第３薬液であり、
前記第２液体は、前記液処理装置に使用される第４薬液又は純水である、
基板処理装置。
【請求項１２】
配管内の流体の流量を計測する差圧式流量計または超音波流量計からなる流量計と、前記流量計による計測値に基づいてフィードバック制御により第１液体又は第２液体の流量を、設定された流量に制御するための流量制御弁とを有する流量制御装置により液体を供給する方法であって、
前記流量制御装置への前記第１液体の供給を制御する第１バルブの開閉を切り替える工程と、
前記流量制御装置への前記第２液体の供給を制御する第２バルブの開閉を切り替える工程と、
を含み、
前記第１バルブ及び前記第２バルブの開閉を切り替えて前記流量制御装置への前記第１液体の供給と前記第２液体の供給とを切り替える際に、前記第１バルブの開閉切り替え時と前記第２バルブの開閉を切り替える時との間に遅延時間を設けて、前記第１バルブ及び
前記第２バルブを切り替える、
液体供給方法。
【請求項１３】
配管内の流体の流量を計測する差圧式流量計または超音波流量計からなる流量計と、前記流量計による計測値に基づいてフィードバック制御により第１液体又は第２液体の流量を、設定された流量に制御するための流量制御弁とを有する流量制御装置により液体を供給する処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記流量制御装置への前記第１液体の供給を制御する第１バルブの開閉を切り替える工程と、
前記流量制御装置への前記第２液体の供給を制御する第２バルブの開閉を切り替える工程と、
前記第１バルブ及び前記第２バルブの開閉を切り替えて前記流量制御装置への前記第１液体の供給と前記第２液体の供給とを切り替える際に、前記第１バルブの開閉切り替え時と前記第２バルブの開閉を切り替える時との間に遅延時間を設けて、前記第１バルブ及び前記第２バルブを切り替える工程と、
を含む処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録した非一時的なコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
なお、図２において、符号１１０は、ＣＬＣボックス（ＤＩＷ供給バルブ１１２、ＤＩＷＣＬＣ１１１）を、圧力計７６及びＤＩＷ圧調節レギュレータ７７とは別に個別のボックス（モジュール）で設けた場合におけるＣＬＣボックスに含まれる範囲を示している。本実施形態では、別々に配置されていた構成であるＣＬＣボックス１１０と、圧力計７６、及びＤＩＷ圧調節レギュレータ７７（例えば、特許文献１の図１、図２参照）を１つのモジュールであるＤＩＷユーティリティボックス５００Ｄに集積している。１つのＤＩＷユーティリティボックス５００Ｄに集積する構成により、ＣＬＣボックスと各構成要素を接続する配管を単一のモジュール内に集約することができ、液体供給装置の小型化が図られている。ただし、本実施形態は、１つのモジュールに集約しない構成に適用してもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
なお、薬液入口バルブ５２を閉鎖したときの薬液入口バルブ５２と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管内の圧力上昇は、薬液入口バルブ５２と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の距離（体積）に加え、薬液入口バルブ５２と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の材質（ＰＶＣ樹脂、フッ素樹脂等）、及び／又は、薬液入口バルブ５２、ＤＩＷ入口バルブ７０の供給能力（供給圧力、供給流量）にも依存すると考えられる。従って、遅延時間Δｔｓは、薬液入口バルブ５２と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の距離（体積）、薬液入口バルブ５２と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の材質、及び／又は薬液入口バルブ５２の供給能力（供給圧力、供給流量）を考慮して、予め実験及び／又は計算（シミュレーション等）により流量計１２１２の圧力上限エラーが生じない範囲を設定する。また、装置のスループットの観点からは、遅延時間が短いほど好ましい。一例では、スループットの観点から、遅延時
間は、５秒以内であることが好ましい。従って、遅延時間は、流量計１２１２の圧力上限エラーが生じない範囲でかつ、可能な限り短い期間を、予め実験により求める。本実施形態では、そのような遅延時間Δｔｓは、例えば、０．１秒に設定される。一実施態様においては、制御装置１５０の記録媒体１５０ｂなどに遅延時間Δｔｓの設定値をあらかじめ記憶させておき、制御装置１５０のプログラムが当該設定値を参照するように構成することもできる。また、一実施態様においては、制御装置１５０の記録媒体１５０ｂなどに遅延時間Δｔｓの設定値を含むレシピを記録させておき、制御装置１５０のプログラムが当該レシピに従って複数のバルブを制御するように構成することもできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
配管洗浄終了時には、配管洗浄開始時と同様に、ＤＩＷ入口バルブ７０を閉鎖したときのＤＩＷ入口バルブ７０と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管内の圧力上昇は、ＤＩＷ入口バルブ７０と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の距離（体積）に加え、ＤＩＷ入口バルブ７０と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の材質（ＰＶＣ樹脂、フッ素樹脂等）、及び／又は、薬液入口バルブ５２、ＤＩＷ入口バルブ７０の供給能力（供給圧力、供給流量）にも依存すると考えられる。従って、遅延時間Δｔｅは、ＤＩＷ入口バルブ７０と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の距離（体積）、薬液入口バルブ５２、ＤＩＷ入口バルブ７０と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管の材質、及び／又は薬液入口バルブ５２、ＤＩＷ入口バルブ７０の供給能力（供給圧力、供給流量）を考慮して、予め実験及び／又は計算（シミュレーション等）により流量計１２１２の圧力上限エラーが生じない範囲を設定する。また、配管洗浄開始時と同様に、流量計１２１２の圧力上限エラーが生じない範囲でかつ、スループットを考慮して可能な限り短い期間を、予め実験及び／又は計算（シミュレーション等）により求める。この結果、配管洗浄終了時においても、ＤＩＷ入口バルブ７０（薬液入口バルブ５２）と薬液ＣＬＣ１２１との間の配管内の圧力が急上昇することを抑制し、流量計１２１２の圧力上限エラーを抑制することができる。遅延時間Δｔｅは、例えば、遅延時間Δｔｓと同一とすることができる。本実施形態では、遅延時間Δｔｓ及びΔｔｅは、例えば、０．１秒に設定することが可能である。