(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一端部とを接続する接続部と、この接続部を固着するとともに少なくとも三つの端子挿入孔を設け、この端子挿入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接続される少なくとも三つの端子を挿通させるようにした第１の基台と、この第１の基台に固着され、かつ前記第１の振動体、第２の振動体および接続部を覆うカバーと、前記基台あるいはカバーを支持する支持板と、この支持板に固着されるとともに、前記検出電極から角速度により発生する出力信号を処理する電子部品を有し、かつ電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた回路基板と、前記支持板の側方に設けられるとともに支持板と当接する凹部を有する一対のゴム体と、前記第１の基台、カバー、支持板、回路基板およびゴム体を収納する有底筒状のケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、貫通孔を設け、この貫通孔に前記回路基板における電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接続される電源端子、ＧＮＤ端子および出力端子を挿通させる第２の基台とを備え、前記ゴム体にゴム体の長手方向と垂直な方向に切断した断面において断面積の小なる部分を設け、この断面積の小なる部分に棒状の治具を挿入して一対のゴム体を支持板に向かって圧縮した状態で挟持しケース内に挿入した後、前記治具を断面積の小なる部分から引き抜くことによりゴム体をケース内に圧入するようにした角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、航空機、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられる角速度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の角速度センサとしては、特開平８−２７１２５７号公報に開示されたものが知られている。
【０００３】
以下、従来の角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
【０００４】
図１１は従来の角速度センサの側断面図、図１２は同角速度センサの上面断面図、図１３は同角速度センサの下面図である。
【０００５】
図１１〜図１３において、１は第１の基台で、この第１の基台１は、第１の振動体（図示せず）および第２の振動体（図示せず）を設けた音叉（図示せず）を固着するとともに、三つの端子挿入孔（図示せず）を設けており、そしてこの端子挿入孔（図示せず）に前記第１の振動体（図示せず）および第２の振動体（図示せず）に設けた駆動電極（図示せず）あるいは検出電極（図示せず）と電気的に接続される三つの端子２を設けている。３はカバーで、このカバー３は前記第１の基台１に固着した音叉（図示せず）を覆うように設けている。４は第１の回路基板で、この第１の回路基板４は、前記第１の基台１から突出している端子２を半田付けで固着することにより、音叉（図示せず）を内部に収納した第１の基台１およびカバー３を支持している。５は第２の回路基板で、この第２の回路基板５は前記第１の回路基板４とほぼ平行に設けられるとともに、前記音叉（図示せず）における検出電極（図示せず）から角速度により発生する出力信号を処理する電子部品６を表面に設けている。また前記第２の回路基板５には電源電極（図示せず）、ＧＮＤ電極（図示せず）および出力電極（図示せず）を設けており、これらの電極は前記第１の基台１に設けた三つの端子２に第１の回路基板４および導電部材７を介して電気的に接続されるように構成されている。８は一対のゴム体で、このゴム体８は前記回路基板４の側面を支持している。９は有底筒状のケースで、このケース９は前記第１の基台１、カバー３、第１の回路基板４、第２の回路基板５および一対のゴム体８を内側に収納している。１０は樹脂製の第２の基台で、この第２の基台１０は両端部から上方へ向かって突出するように一対の支持部材１１を設けており、そしてこの一対の支持部材１１により前記一対のゴム体８を支持するとともに、この第２の基台１０により前記ケース９の開口部を閉塞している。また前記第２の基台１０には下方へ突出するように三つの外端子１２を設けており、そしてこの外端子１２は前記第２の回路基板５における電源電極（図示せず）、ＧＮＤ電極（図示せず）および出力電極（図示せず）と電気的に接続している。
【０００６】
以上のように構成された従来の角速度センサについて、次にその動作を説明する。
【０００７】
音叉（図示せず）の駆動電極（図示せず）に交流電圧を印加することにより、前記音叉（図示せず）が駆動方向の固有振動数で駆動方向に速度Ｖで屈曲振動する。この状態において、音叉（図示せず）が音叉（図示せず）の中心軸回りに角速度ωで回転すると、音叉（図示せず）の第１の振動体（図示せず）および第２の振動体（図示せず）にＦ＝２ｍＶ・ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により検知電極（図示せず）に発生する電荷を第１の回路基板４および導電部材７を介して第２の回路基板５における電子部品６に入力し、この電子部品６により増幅した出力電圧を外端子１２を介して外部のコンピュータ等に出力し、角速度を検出するものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の構成においては、第２の基台１０における一対の支持部材１１により一対のゴム体８を支持し、この支持部材１１によりゴム体８を圧縮させて音叉を設けた第１の回路基板４を固定しているものの、樹脂成型による支持部材１１は寸法のばらつきが大であるため、ゴム体８の圧縮率が変動することになり、その結果として、外部からゴム体８および第１の回路基板４を介してカバー３の内部に設けた音叉（図示せず）に加わる振動が変動して角速度センサの出力特性が不安定になってしまうという課題を有していた。
【０００９】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、ゴム体の圧縮率が変動するということがなく、出力特性の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の角速度センサは、駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一端部とを接続する接続部と、この接続部を固着するとともに少なくとも三つの端子挿入孔を設け、この端子挿入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接続される少なくとも三つの端子を挿通させるようにした第１の基台と、この第１の基台に固着され、かつ前記第１の振動体、第２の振動体および接続部を覆うカバーと、前記基台あるいはカバーを支持する支持板と、この支持板に固着されるとともに、前記検出電極から角速度により発生する出力信号を処理する電子部品を有し、かつ電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた回路基板と、前記支持板の側方に設けられるとともに支持板と当接する凹部を有する一対のゴム体と、前記第１の基台、カバー、支持板、回路基板およびゴム体を収納する有底筒状のケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、貫通孔を設け、この貫通孔に前記回路基板における電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接続される電源端子、ＧＮＤ端子および出力端子を挿通させる第２の基台とを備え、前記ゴム体にゴム体の長手方向と垂直な方向に切断した断面において断面積の小なる部分を設け、この断面積の小なる部分に棒状の治具を挿入して一対のゴム体を支持板に向かって圧縮した状態で挟持しケース内に挿入した後、前記治具を断面積の小なる部分から引き抜くことによりゴム体をケース内に圧入するようにしたもので、この構成によれば、ゴム体の圧縮率が変動するということがなく、出力特性の安定した角速度センサを提供することができるものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一端部とを接続する接続部と、この接続部を固着するとともに少なくとも三つの端子挿入孔を設け、この端子挿入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接続される少なくとも三つの端子を挿通させるようにした第１の基台と、この第１の基台に固着され、かつ前記第１の振動体、第２の振動体および接続部を覆うカバーと、前記基台あるいはカバーを支持する支持板と、この支持板に固着されるとともに、前記検出電極から角速度により発生する出力信号を処理する電子部品を有し、かつ電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた回路基板と、前記支持板の側方に設けられるとともに支持板と当接する凹部を有する一対のゴム体と、前記第１の基台、カバー、支持板、回路基板およびゴム体を収納する有底筒状のケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、貫通孔を設け、この貫通孔に前記回路基板における電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接続される電源端子、ＧＮＤ端子および出力端子を挿通させる第２の基台とを備え、前記ゴム体にゴム体の長手方向と垂直な方向に切断した断面において断面積の小なる部分を設け、この断面積の小なる部分に棒状の治具を挿入して一対のゴム体を支持板に向かって圧縮した状態で挟持しケース内に挿入した後、前記治具を断面積の小なる部分から引き抜くことによりゴム体をケース内に圧入するようにしたため、回路基板あるいは支持板とケースの内側面とに挟まれたゴム体の圧縮率が変動するということはなくなり、その結果、外部から音叉に加わる振動が変動するということもなくなるため、角速度センサの出力特性が安定するとともに、ゴム体により挟持した支持板をケース内に容易に収納することができるという作用を有するものである。
【００１２】
以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図、図２は同角速度センサの側断面図、図３は同角速度センサにおける第１の振動体、第２の振動体および接続部を示す斜視図、図４は同角速度センサにおける第１の振動体、第２の振動体および接続部を示す裏側から見た斜視図、図５は同角速度センサにおける第１の基台を支持板に固着した状態を示す側断面図、図６は同角速度センサにおけるゴム体の側断面図、図７は同角速度センサにおける基板にフレキシブル配線板を接続した状態を示す上面図である。
【００１４】
図１〜図７において、２１は互いに結晶軸の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合わせた第１の振動体で、この第１の振動体２１の表面には図３に示すように第１の駆動電極２２を設け、かつ裏面には図４に示すように第２の駆動電極２３を設け、そして外側面には金からなる第１の検出電極２４を設け、さらに内側面には金からなる第２の検出電極２５を設けている。２６は互いに結晶軸の異なる単結晶の水晶製の薄板を貼り合わせた第２の振動体で、この第２の振動体２６の表面には金からなるモニタ電極２７を設け、かつ裏面には第３の駆動電極２８を設け、そして外側面には第３の検出電極２９を設け、さらに内側面には第４の検出電極３０を設けている。３１は水晶からなる接続部で、この接続部３１は前記第１の振動体２１および第２の振動体２６の一端を接続するものである。３２は金属製の第１の基台で、この第１の基台３２は前記接続部３１を固着するとともに、六つの端子挿入孔３３を設けており、そしてこの端子挿入孔３３には、前記第１の駆動電極２２、第２の駆動電極２３、第３の駆動電極２８、第１の検出電極２４、第２の検出電極２５、第３の検出電極２９および第４の検出電極３０と電気的に接続される六つの端子３４を挿通させている。３５は金属製のカバーで、このカバー３５は前記第１の基台３２の外周部に固着されるとともに、前記第１の基台３２とこのカバー３５の内側には前記第１の振動体２１、第２の振動体２６および接続部３１からなる音叉を収納している。３６は金属製の支持板で、この支持板３６は、図５に示すように前記第１の基台３２を支持する支持部３７を側面に設けており、この支持部３７を第１の基台３２にかしめることにより、支持板３６に前記第１の基台３２を固着しているものである。このように本発明の一実施の形態においては、支持部３７を支持板３６の両側面に二つずつ四つ設け、これらの支持部３７を第１の基台３２にかしめることにより、支持板３６に第１の基台３２を取り付けるようにしているため、少ない部品点数で支持板３６に第１の基台３２を取り付けることができるという効果を有するものである。また前記支持板３６の長手方向の両端部には合計三つの支持突起３８を設けている。３９は回路基板で、この回路基板３９は前記支持板３６とほぼ平行に設けられるとともに、前記支持板３６における支持突起３８と回路基板３９とをはんだ付けすることにより、回路基板３９は支持板３６に固着されるものである。このように本発明の一実施の形態においては、支持板３６に三つの支持突起３８を設け、この支持突起３８を回路基板３９に固着して支持板３６により回路基板３９を支持するようにしているため、第１の基台３２における端子３４により回路基板３９を支持する必要はなくなり、これにより、端子３４のはんだ付け部に応力が生じて電気的な導通が不安定になるということはなくなるため、角速度センサの出力特性は安定するという効果を有するものである。また前記回路基板３９の表面には電子部品４０を実装しており、この電子部品４０で、前記第１の検出電極２４、第２の検出電極２５、第３の検出電極２９および第４の検出電極３０から発生する出力信号を処理するものである。さらにこの回路基板３９の表面には、図７に示すように電源電極４１、ＧＮＤ電極４２および出力電極４３を設けている。
【００１５】
４４は略コ字状に構成されたゴム体で、このゴム体４４は、前記支持板３６の両側面を支持するとともに、このゴム体４４には、図６に示すように断面積の小なる部分４５を設けており、この断面積の小なる部分４５によりゴム体４４の圧縮力を低減させるように構成しているものである。また前記ゴム体４４の重心と、前記第１の振動体２１、第２の振動体２６、接続部３１、第１の基台３２、カバー３５、支持板３６および回路基板３９を組み合わせた場合の重心とは、略一致するように構成されている。４６は有底筒状の金属製のケースで、このケース４６は、前記第１の基台３２、カバー３５、支持板３６、回路基板３９およびゴム体４４を収納するとともに、このケース４６の内側面と支持板３６の側面とにより、前記ゴム体４４を圧縮するものである。４７は第２の基台で、この第２の基台４７は、前記ケース４６の開口部を閉塞するとともに、七つの貫通孔４８を設けており、そしてこれらの貫通孔４８には前記回路基板３９における電源電極４１、ＧＮＤ電極４２および出力電極４３とフレキシブル配線板３９ａを介して電気的に接続される電源端子４９、ＧＮＤ端子５０および出力端子５１を挿通している。
【００１６】
以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその組立方法を説明する。
【００１７】
まず、互いに結晶軸の異なる単結晶からなる水晶製の薄板を貼り合わせることにより第１の振動体２１、第２の振動体２６および接続部３１からなる音叉を形成する。
【００１８】
次に、前記第１の振動体２１の正面に第１の駆動電極２２、裏面に第２の駆動電極２３、外側面に第１の検出電極２４、内側面に第２の検出電極２５をそれぞれ金の蒸着により形成するとともに、第２の振動体２６の正面にモニタ電極２７、裏面に第３の駆動電極２８、内側面に第４の検出電極３０、外側面に第３の検出電極２９をそれぞれ金の蒸着により形成する。
【００１９】
次に、第１の基台３２における六つの端子挿入孔３３に六つの端子３４を挿通させた後、それぞれの端子挿入孔３３にガラスからなる絶縁物（図示せず）を充填し、前記第１の基台３２に六つの端子３４を固着する。
【００２０】
次に、接続部３１を第１の基台３２の上面に固着した後、第１の基台３２における端子３４を前記第１の駆動電極２２、第２の駆動電極２３、第１の検出電極２４、第２の検出電極２５、モニタ電極２７、第３の駆動電極２８、第３の検出電極２９および第４の検出電極３０にそれぞれ金からなるリード線（図示せず）を介してワイヤーボンディングにより接続する。
【００２１】
次に、第１の基台３２の外周部にカバー３５を内側が真空になるように真空の雰囲気中で固着する。
【００２２】
次に、支持板３６に第１の基台３２を支持板３６における支持部３７をかしめることにより固着する。
【００２３】
次に、回路基板３９に電子部品４０を実装した後、前記支持板３６における支持突起３８をはんだ付けして、支持板３６に回路基板３９を固着する。
【００２４】
次に、第１の基台３２における端子３４を回路基板３９における電極（図示せず）にはんだ付けして電気的に接続する。
【００２５】
次に、断面積の小なる部分４５を略コ字状のゴム体４４に形成した後、略コ字状のゴム体４４により前記回路基板３９および支持板３６を挟持する。
【００２６】
次に、第２の基台４７における貫通孔４８に電源端子４９、ＧＮＤ端子５０および出力端子５１を挿通させた後、貫通孔４８にガラスからなる絶縁物（図示せず）を充填し、前記第２の基台４７に電源端子４９、ＧＮＤ端子５０および出力端子５１を固着する。
【００２７】
次に、回路基板３９における電源電極４１、ＧＮＤ電極４２および出力電極４３を第２の基台４７における電源端子４９、ＧＮＤ端子５０および出力端子５１にそれぞれフレキシブル配線板３９ａにより電気的に接続する。
【００２８】
次に、ケース４６の内側に略コ字状のゴム体４４における断面積の小なる部分４５を棒状の治具（図示せず）で挟んで、ゴム体４４を圧縮した後、ケース４６の内側に、回路基板３９、支持板３６およびゴム体４４を収納する。この場合、ゴム体４４には断面積の小なる部分４５を設けているため、この断面積の小なる部分４５に棒状の治具（図示せず）を挿入して、ゴム体４４を圧縮した状態で挟持し、ケース４６内に挿入した後、治具（図示せず）を断面積の小なる部分から引き抜くことにより、ゴム体４４により挟持した回路基板３９および支持板３６をケース４６内に容易に収納することができるという効果を有するものである。
【００２９】
最後に、ケース４６の開口部を第２の基台４７により閉塞する。
【００３０】
上記のようにして組み立てられた本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次に、その動作を図面を参照しながら説明する。
【００３１】
音叉における第１の駆動電極２２、第２の駆動電極２３、第３の駆動電極２８に交流電圧を印加する。このとき、まず、図８に示すように、第１の振動体２１における第２の駆動電極２３に正電圧を印加するとともに、第１の駆動電極２２に負電圧を印加すると、第１の検出電極２４側では、水晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向が同じになるため、伸びることになるとともに、第２の検出電極２５側では、結晶軸の方向と電荷の方向が反対になるため、縮むことになり、その結果として、第１の振動体２１は第２の振動体２６側に傾く。次に、図９に示すように、第１の振動体２１における第２の駆動電極２３に負電圧を印加するとともに、第１の駆動電極２２に正電圧を印加すると、第１の検出電極２４側では、水晶製の薄板における結晶軸の方向と電荷の方向が反対になるため、縮むことになるとともに、第２の検出電極２５側では、結晶軸の方向と電荷の方向が同じになるため、伸びることになり、その結果として、第１の振動体２１は外側に傾くことになる。
【００３２】
そして、第２の振動体２６における第３の駆動電極２８にも同様に交流電圧を印加すると、第１の振動体２１と第２の振動体２６とは接続部３１により機械的に接続されているため、第１の振動体２１および第２の振動体２６は接続部３１の長手方向に駆動方向の固有振動数で速度Ｖで屈曲振動する。そしてまた、この第１の振動体２１および第２の振動体２６が屈曲振動している状態において、音叉が音叉の長手方向の中心軸周りに角速度ωで回転すると、前記第１の振動体２１および第２の振動体２６にＦ＝２ｍｖωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により、第１の検出電極２４、第２の検出電極２５、第３の検出電極２９および第４の検出電極３０に発生する電荷からなる出力信号を金からなるリード線（図示せず）および端子３４を介して回路基板３９における電子部品４０により出力電圧に変換し、さらに、フレキシブル配線板３９ａおよび第２の基台４７における出力端子５１を介して、相手側のコンピュータ（図示せず）に入力することにより、角速度を検出するものである。
【００３３】
ここで、角速度センサに外部から不必要な振動が負荷される場合を考えて見ると、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、第１の振動体２１および第２の振動体２６の長手方向を前記第２の基台４７に対して垂直の方向に配設するとともに、前記ゴム体４４を前記支持板３６および回路基板３９のいずれか一方、もしくは両方の側面に装着し、この状態で前記ケース４６内に圧入するようにしているため、回路基板３９あるいは支持板３６とケース４６の内側面との間に挟まれたゴム体４４の圧縮率が変動するということはなくなり、その結果、外部から音叉に伝わる振動が変動するということもなくなるため、角速度センサの出力特性は安定したものが得られるという効果を有するものである。
【００３４】
さらに、角速度センサに外部から特に高い周波数の振動が負荷される場合を考えて見ると、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、ゴム体４４に第１の振動体２１、第２の振動体２６および接続部３１の長手方向と垂直方向の圧縮力を軽減させる断面積の小なる部分４５を設けているため、バネ定数Ｋは
【００３５】
【数１】
0004654480.tif 000002
【００３６】
で表されることになり、この場合、断面積の小なる部分４５により、ゴム体４４における断面積の小なる部分４５と垂直方向のバネ定数Ｋは小さくなる。そして、第１の振動体２１、第２の振動体２６および接続部３１からなる音叉、第１の基台３２、カバー３５、回路基板３９、支持板３６および一対のゴム体４４を合わせたマスの断面積の小なる部分４５と垂直方向の固有振動数ｆは
【００３７】
【数２】
0004654480.tif 000003
【００３８】
で表されることになり、これにより、ゴム体４４における断面積の小なる部分４５と垂直方向の固有振動数ｆが小さくなるため、角速度センサにおける音叉に外部から伝わる特に高い周波数の振動を、この断面積の小なる部分４５により減衰させることができ、その結果として、図１０に示すように、断面積の小なる部分４５をゴム体４４に設けた場合は設けない場合に比較して第１の振動体２１および第２の振動体２６に特に高い周波数の振動が伝わりにくくなるため、角速度センサの出力特性が安定するという効果を有するものである。
【００３９】
さらに、角速度センサに加速度が負荷される場合を考えて見ると、本発明の一実施の形態における角速度センサにおいては、第１の振動体２１、第２の振動体２６、接続部３１、第１の基台３２、カバー３５、支持板３６および回路基板３９を組み合わせた重心とゴム体４４の重心を略一致させているため、角速度センサに角速度を付加せず、加速度のみを加えた場合に、この加速度によりゴム体４４の内側の第１の振動体２１、第２の振動体２６、接続部３１、第１の基台３２、カバー３５、支持板３６および回路基板３９が回転してしまいあたかも角速度が発生しているような誤った出力信号が発生してしまうということはなくなり、これにより、角速度のみを感知することになるため、角速度センサに作用する角速度を正確に検出することができるという効果を有するものである。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように本発明の角速度センサは、駆動電極と検出電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第１の振動体と、検出電極と駆動電極のいずれか一方、もしくは両方を設けた第２の振動体と、前記第１の振動体の一端部と前記第２の振動体の一端部とを接続する接続部と、この接続部を固着するとともに少なくとも三つの端子挿入孔を設け、この端子挿入孔に前記駆動電極あるいは検出電極と電気的に接続される少なくとも三つの端子を挿通させるようにした第１の基台と、この第１の基台に固着され、かつ前記第１の振動体、第２の振動体および接続部を覆うカバーと、前記基台あるいはカバーを支持する支持板と、この支持板に固着されるとともに、前記検出電極から角速度により発生する出力信号を処理する電子部品を有し、かつ電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極を設けた回路基板と、前記支持板の側方に設けられるとともに支持板と当接する凹部を有する一対のゴム体と、前記第１の基台、カバー、支持板、回路基板およびゴム体を収納する有底筒状のケースと、このケースの開口部を閉塞するとともに、貫通孔を設け、この貫通孔に前記回路基板における電源電極、ＧＮＤ電極および出力電極と電気的に接続される電源端子、ＧＮＤ端子および出力端子を挿通させる第２の基台とを備え、前記ゴム体にゴム体の長手方向と垂直な方向に切断した断面において断面積の小なる部分を設け、この断面積の小なる部分に棒状の治具を挿入して一対のゴム体を支持板に向かって圧縮した状態で挟持しケース内に挿入した後、前記治具を断面積の小なる部分から引き抜くことによりゴム体をケース内に圧入するようにしたため、支持板とケースの内側面とに挟まれたゴム体の圧縮率が変動するということはなくなり、その結果、外部から音叉に加わる振動が変動するということもなくなるため、角速度センサの出力特性が安定するとともに、ゴム体により挟持した支持板をケース内に容易に収納することができる角速度センサを提供することができるという効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施の形態における角速度センサの分解斜視図
【図２】  同角速度センサの側断面図
【図３】  同角速度センサにおける第１の振動体、第２の振動体および接続部を示す斜視図
【図４】  同角速度センサにおける第１の振動体、第２の振動体および接続部を示す裏側から見た斜視図
【図５】  同角速度センサにおける第１の基台を支持板に固着した状態を示す側断面図
【図６】  同角速度センサにおけるゴム体の側断面図
【図７】  同角速度センサにおける基板にフレキシブル配線板を接続した状態を示す上面図
【図８】  本発明の一実施の形態における角速度センサの動作状態を示す模式図
【図９】  本発明の一実施の形態における角速度センサの動作状態を示す模式図
【図１０】  本発明の一実施の形態における角速度センサに外部から侵入する振動がゴム体により減衰する状態を示す図
【図１１】  従来の角速度センサの側断面図
【図１２】  同角速度センサの上面断面図
【図１３】  同角速度センサの下面図
【符号の説明】
２１  第１の振動体
２２，２３，２８  駆動電極
２４，２５，２９，３０  検出電極
２６  第２の振動体
３１  接続部
３２  第１の基台
３３  端子挿入孔
３４  端子
３５  カバー
３６  支持板
３７  支持部
３８  支持突起
３９  回路基板
４０  電子部品
４１  電源電極
４２  ＧＮＤ電極
４３  出力電極
４４  ゴム体
４５  断面積の小なる部分
４６  ケース
４７  第２の基台
４８  貫通孔
４９  電源端子
５０  ＧＮＤ端子
５１  出力端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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