(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の固定支持基板と、
該一対の固定支持基板の間に位置しかつ該固定支持基板と平行な方向に相対移動可能に支持されたステージ板と、を備えるステージ装置の該ステージ板をロックするためのロック機構において、
上記ステージ板に形成されたロック孔と、
上記一対の固定支持基板どうしを連結する支柱からなり、該ロック孔に相対移動可能に遊嵌するロックピンと、
上記ステージ装置と同一平面上の外周側に位置し、上記ステージ板が作動状態になったとき、上記ステージ板から離間し、上記ステージ板が非作動状態になったとき、上記ステージ板をその移動方向に押圧して上記ロックピンを上記ロック孔の周縁部に当接させる駆動手段と、
を備えることを特徴とするステージ装置のロック機構。
【請求項２】
請求項１記載のステージ装置のロック機構において、
上記ロック孔が複数設けられ、上記ロックピンがロック孔に対応する数だけ設けられているステージ装置のロック機構。
【請求項３】
請求項２記載のステージ装置のロック機構において、
上記ロック孔とロックピンが、ステージ板の移動可能範囲を規定する移動範囲規制手段を構成するステージ装置のロック機構。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項記載のステージ装置のロック機構において、
上記駆動手段が、その軸線が上記ステージ板と平行で該軸線方向に進退する出力軸を具備するモータであるステージ装置のロック機構。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項記載のステージ装置のロック機構において、
上記ロック孔が矩形であるステージ装置のロック機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の平面上を自由に移動できるステージ板が非作動状態にあるときに、ステージ板を非作動状態にロックするステージ装置のロック機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
特定のＸ方向とＸ方向に直交するＹ方向とに移動自在であり、その前面に撮像素子が固定されたステージ板のロック機構としては、例えば特許文献１に記載されたものがある。
このロック機構は、ステージ板の後面に突設された円柱形状の一つのボスと、ステージ板の背後に設けられた、ボスを挟んで対峙する第１当接部材及び第２当接部材とを備えている。第１当接部材及び第２当接部材は共にステージ板と平行な方向に直線移動可能である。
ステージ板が手振れ補正を行わない非作動状態になると、第１当接部材及び第２当接部材が互いに接近するロック位置まで移動する。すると、第１当接部材及び第２当接部材の対向面に形成した略半円形の係合凹部が上記ボスを挟み込むので、第１当接部材及び第２当接部材によってステージ板がロックされる。
【特許文献１】特許第３４３１０２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、ステージ装置の背後に上記のようなロック機構を配置すると、ステージ装置の光軸方向寸法が大きくなってしまい、カメラ光軸方向の厚みが大きくなってしまう。
さらにステージ板にボス（ピン）を設けると、ボスの重量分だけステージ板を移動制御するのが難しくなるため、手振れ補正動作を精度よく行えなくなってしまう。
【０００４】
さらに、いわゆる回転振れを補正できる手振補正装置に特許文献１のロック機構を適用した場合には別の問題が生じる。即ち、この種の手振補正装置ではステージ板が回転可能である。しかし、特許文献１ではボスが１本なので、ボスを第１当接部材及び第２当接部材で挟持しても、ステージ板の回転を規制した状態にロック出来ない。
【０００５】
本発明の目的は、ステージ装置の光軸方向寸法を大型化させず、手振れ補正動作に影響を及ぼすことがなく、しかもステージ板の回転を規制できるステージ装置のロック機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のステージ装置のロック機構は、一対の固定支持基板と、該一対の固定支持基板の間に位置しかつ該固定支持基板と平行な方向に相対移動可能に支持されたステージ板と、を備えるステージ装置の該ステージ板をロックするためのロック機構において、上記ステージ板に形成されたロック孔と、上記一対の固定支持基板どうしを連結する支柱からなり、該ロック孔に相対移動可能に遊嵌するロックピンと、上記ステージ装置と同一平面上の外周側に位置し、上記ステージ板が作動状態になったとき、上記ステージ板から離間し、上記ステージ板が非作動状態になったとき、上記ステージ板をその移動方向に押圧して上記ロックピンを上記ロック孔の周縁部に当接させる駆動手段と、を備えることを特徴としている。
【０００７】
上記ロック孔が複数設けられ、上記ロックピンがロック孔に対応する数だけ設けられているのが好ましい。
【０００８】
上記ロック孔とロックピンが、ステージ板の移動可能範囲を規定する移動範囲規制手段を構成するのが好ましい。
【０００９】
上記駆動手段が、その軸線が上記ステージ板と平行で該軸線方向に進退する出力軸を具備するモータであるのが好ましい。
【００１１】
上記ロック孔の形状は、例えば矩形とすることが可能である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、駆動手段がステージ装置と同一平面上の外周側に位置しているので、本ロック機構を採用してもステージ装置の厚みが増大することはない。
しかも本ロック機構は、ステージ板にピン（ロックピン）を突設する構造ではなく、このピンによってステージ板の重量が増大することがないので、ステージ板を移動制御するのが難しくなることはない。従って、手振れ補正動作を精度よく行うことが可能である。
さらに、ロック孔とロックピンを複数とすれば、回転可能なステージ板の回転を規制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。以下の説明では図２の矢線で示すように、図２のデジタルカメラ２０の手振補正装置３０の左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向と定義する。
まずは本発明であるロック機構１００を装着する手振補正装置（ステージ装置）３０について説明する。
図１に示すように、デジタルカメラ２０内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方には手振補正装置３０が配設されている。
【００１４】
手振補正装置３０は図２から図８に示す構造である。
図２から図８に示すように手振補正装置３０は、軟鉄等の磁性体からなる正面視横長方形の前側固定支持基板３１と、正面形状が前側固定支持基板３１と同一で軟鉄等の磁性体からなる後側固定支持基板（固定支持基板）３２を備えている。前側固定支持基板３１と後側固定支持基板３２の４カ所同士は、前後方向に延びる４本の円柱形状の支柱（ロックピン）３６によって連結されており、前側固定支持基板３１と後側固定支持基板３２は互いに平行をなしている。前側固定支持基板３１の中央部には方形の窓孔３３が穿設されている。前側固定支持基板３１は図示を省略した３つの固定ねじによって、デジタルカメラ２０のカメラボディ内面に固定されている。
【００１５】
前側固定支持基板３１の後面４カ所には角柱形状をなす支持用突部３８が後方に延びるように突設されている。各支持用突部３８の後端面に凹設された半球状の凹部（図示略）には金属製のボール３９の前半部が回転可能に支持されている。後側固定支持基板３２の各支持用突部３８と対向する位置には４つの支持用突部４０が突設されており、各支持用突部４０の前端面に凹設された半球状の凹部（図示略）には金属製のボール４１の後部が回転可能に支持されている。
【００１６】
前側固定支持基板３１の後面の左右両端部には、Ｓ極とＮ極がＸ方向に並ぶＸ用磁石ＭＸがそれぞれ固定されている。これら左右のＸ用磁石ＭＸは互いにＸ方向に並んでおり、両者のＹ方向位置は一致している。そして、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２がＸ用磁石ＭＸの磁束を通すことにより、左右のＸ用磁石ＭＸと後側固定支持基板３２の対向部の間にＸ用磁気回路が形成されている。即ち、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２はヨークとして機能している。
一方、前側固定支持基板３１の後面の下端部には、Ｓ極とＮ極がＹ方向に並ぶＹ用磁石ＭＹが固定されている。そして、図５及び図６に示すように、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２がＹ用磁石ＭＹの磁束を通すことにより、Ｙ用磁石ＭＹと後側固定支持基板３２の対向部の間にＹ用磁気回路が形成されている。即ち、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２はヨークとして機能している。
【００１７】
平板状の電気基板（ステージ板）６０の後面には、正面形状が電気基板６０と同一の補強板（ステージ板）６１が固着され、電気基板６０と補強板６１が一体化している。図２及び図４に示すように、電気基板６０の前面の４カ所には４つのボール３９が回転自在に接触しており、かつ、図４に示すように補強板６１の後面の４カ所には４つのボール４１が回転自在に接触している。即ち、電気基板６０及び補強板６１は４つのボール３９と４つのボール４１によって前後方向から挟持され、共にレンズＬ１からＬ３の光軸Ｏに対して直交している（前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２と平行をなしている）。
従って電気基板６０及び補強板６１は、図２に示す撮影時初期位置から、前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対してＸ方向とＹ方向と平行な（光軸Ｏに直交する）ＸＹ平面上を移動可能である。さらに、電気基板６０と補強板６１の４カ所には方形（矩形でもよい）の移動範囲規制孔（ロック孔）６３が穿設されており、各移動範囲規制孔６３を対応する支柱３６が貫通している。この支柱３６と移動範囲規制孔６３は移動範囲規制手段を構成しており、電気基板６０及び補強板６１は支柱３６が移動範囲規制孔６３に接触しない範囲内で移動可能である。
【００１８】
電気基板６０の前面中央部には、ＣＣＤ（撮像素子）６５が固着されている。図２に示すようにＣＣＤ６５は正面視で長方形をなし、かつ、図２において（電気基板６０が撮影時初期位置にあるとき）Ｘ方向と平行な上下一対のＸ方向側辺６５Ｘと、図２において（電気基板６０が撮影時初期位置にあるとき）Ｙ方向と平行な左右一対のＹ方向側辺６５Ｙとを具備している。電気基板６０の前面には、ＣＣＤ６５を囲むＣＣＤホルダ６７が気密状態で固着されている。ＣＣＤホルダ６７の前壁には窓孔６８が穿設されている。ＣＣＤホルダ６７の前壁とＣＣＤ６５の間には光学ローパスフィルタ６９が嵌合固定されており、光学ローパスフィルタ６９とＣＣＤホルダ６７の前壁の間は気密状態が保たれている。ＣＣＤ６５の撮像面６６は、光学ローパスフィルタ６９及び窓孔６８と常に前後方向に対向する。ＣＣＤ６５の撮像面６６はレンズＬ１〜Ｌ３、及び光学ローパスフィルタ６９を透過した像が結像する結像面である。さらに、電気基板６０が撮影時初期位置にあるとき（図２の状態のとき）、ＣＣＤ６５の撮像面６６の中心が光軸Ｏ上に位置する。
【００１９】
電気基板６０の左右２カ所及び下端部には３つの舌片７１、舌片７２、舌片７３が突設されている。
図２に示すように、舌片７１と舌片７２は左右の上記Ｘ用磁気回路とそれぞれ対応する位置している（左右のＸ用磁石ＭＸとそれぞれ前後方向に対向している）。舌片７１と舌片７２の前面には同一仕様のＸ方向駆動用コイルＣＸが固着されている。Ｘ方向駆動用コイルＣＸはコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた（電気基板６０と平行な方向にも電気基板６０の板厚方向にも巻かれている）ＸＹ平面と平行なコイルであり、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士はＸ方向側辺６５Ｘと平行な方向に並んでいる（図２においてＸ方向に並んでいる）。別言すると、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士のＹ方向側辺６５Ｙと平行な方向の位置（図２においてはＹ方向の位置）は一致している。
そして、このＸ方向駆動用コイルＣＸと、前側固定支持基板３１、後側固定支持基板３２、及びＸ用磁石ＭＸによってＸ方向駆動手段が構成されている。
【００２０】
図５及び図６に示すように、舌片７３はＹ用磁気回路と前後方向に対向する位置に位置している。
舌片７３の前面には互いに同一仕様のＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢが固着されている。Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは共にコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた（電気基板６０と平行な方向にも電気基板６０の板厚方向にも巻かれている）ＸＹ平面と平行なコイルであり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは下側のＸ方向側辺６５Ｘに沿って並んでいる（図２においてはＸ方向に並んでいる）。別言すると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢのＹ方向側辺６５Ｙと平行な方向の位置（図２におけるＹ方向位置）は一致している。
そして、このＹ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢと、前側固定支持基板３１、後側固定支持基板３２、及びＹ用磁石ＭＹによってＹ方向駆動手段が構成されている。
Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢは、カメラに内蔵されたＣＰＵ等によって構成される制御手段に電気的に接続されている。
【００２１】
上記構成の手振補正装置３０は、上記制御手段からＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢに電流を流すことにより手振れ補正動作を行う。
即ち、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流すとＸ方向駆動用コイルＣＸには図２の矢印ＦＸ１方向またはＦＸ２方向の駆動力が生じる。また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢに電流を流すとＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢには図２の矢印ＦＹ１方向またはＦＹ２方向の駆動力が生じる。
周知のように、手振れによってカメラボディがＸ方向またはＹ方向に振動したときに、カメラボディのＸ方向とＹ方向の移動距離（手振れ量）を検出し、ＣＣＤ６５をカメラボディに対して手振れ方向と反対方向にこの手振れ量と同じ距離だけ直線移動させれば、ＣＣＤ６５の手振れ（像振れ）が補正される。従って、ＣＣＤ６５がこのような直線移動を行うように、上記制御手段から各Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢに電流を流せば、ＣＣＤ６５のＸ方向とＹ方向の手振れが補正される。
さらに、電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）は前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対して相対回転可能なので、上記制御手段からＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流す電流の向きを互いに逆にし、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに互いに逆向きの駆動力を発生させれば、電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）が回転する。従って、カメラボディがいわゆる回転振れを起こしたときに、電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）が回転振れ方向と逆向きに回転するように、上記制御手段からＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに電流を流せば回転振れが補正される。
【００２２】
次に、以上説明した手振補正装置３０に装着される本発明を適用したロック機構１００について主に図２から図８を用いて説明する。本実施形態のロック機構１００は、上述した支柱３６及び移動範囲規制孔６３と、以下に説明するリニア型ステッピングモータ１０３（出力軸１０４）、及び当接片１０５と、を構成要素として具備している。
前側固定支持基板３１の左上隅部には前側固定支持基板３１の対角線方向と略平行に延びる支持突片１０１が固定ねじ１０２によって固着されている。図４及び図８に示すようにこの支持突片１０１は側面視において略Ｌ字形に屈曲している。支持突片１０１の後面にはリニア型ステッピングモータ（駆動手段。モータ）１０３が固着されている。リニア型ステッピングモータ１０３はその軸線が支持突片１０１の軸線と平行（電気基板６０及び補強板６１と平行）な出力軸（駆動手段）１０４を具備している。
図４及び図８に示すように、リニア型ステッピングモータ１０３は電気基板６０及び補強板６１の外周側において電気基板６０及び補強板６１と同一平面上に位置している。リニア型ステッピングモータ１０３は上記制御手段と電気的に接続されており、上記制御手段からリニア型ステッピングモータ１０３に信号が送られてリニア型ステッピングモータ１０３が動作すると出力軸１０４はその軸線方向に進退する。
さらに、補強板６１の左上隅部には後方に延びる当接片１０５が突設されている。
【００２３】
次に以上構成のロック機構１００の動作について説明する。
デジタルカメラ２０の主電源がＯＦＦのとき、上記制御手段からリニア型ステッピングモータ１０３には駆動信号は送られない。従って図７及び図８に示すように、出力軸１０４はリニア型ステッピングモータ１０３から当接片１０５側に突出した突出状態にあり、出力軸１０４の先端が当接片１０５を図７の右斜め下方に向けて移動付勢している。このため、電気基板６０及び補強板６１は図７及び図８に示すロック位置にあり、４つの移動範囲規制孔６３の左上隅部が対応する支柱３６に圧接している。このため、電気基板６０及び補強板６１は移動不能にロックされ、仮にデジタルカメラ２０を振動させても電気基板６０及び補強板６１がカメラボディに対してがたつくことはない。
【００２４】
この状態でデジタルカメラ２０の主電源をＯＮにすると、上記制御手段からリニア型ステッピングモータ１０３に駆動信号が送られ、リニア型ステッピングモータ１０３の出力軸１０４がリニア型ステッピングモータ１０３のボディ側に後退し、出力軸１０４の先端が当接片１０５から離間する。さらに上記制御手段からＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢに電流が流れ、電気基板６０及び補強板６１が図２に示す撮影時初期位置に移動する。従って、電気基板６０及び補強板６１は再び各支柱３６が対応する移動範囲規制孔６３に接触しない範囲内で移動可能となり上記手振れ補正動作が可能になる。
【００２５】
手振補正動作の終了後に上記主電源をＯＦＦにすると、上記制御手段の制御により電気基板６０及び補強板６１が一旦撮影時初期位置に復帰する。さらに上記制御手段からリニア型ステッピングモータ１０３へ復帰信号が送られ、出力軸１０４が図７及び図８の位置まで突出する。従って、再度出力軸１０４の先端が当接片１０５を右下方に移動付勢し、電気基板６０及び補強板６１がロック位置に保持される。
【００２６】
以上説明したように本実施形態によれば、支柱３６、移動範囲規制孔６３、リニア型ステッピングモータ１０３（出力軸１０４）、及び当接片１０５を構成要素とするロック機構１００によって、非作動状態にある電気基板６０及び補強板６１を確実にロックできる。
さらに、リニア型ステッピングモータ１０３（出力軸１０４）を電気基板６０及び補強板６１の側方（外周側）に配置しているので、手振補正装置３０及びデジタルカメラ２０が光軸Ｏ方向には大型化することはない。
また本実施形態のロック機構１００は、電気基板６０または補強板６１にピン（ロックピン）を突設する構造ではないので、このピンによってステージ板の重量が増大し、その結果ステージ板（電気基板６０、補強板６１）を移動制御するのが難しくなることはない。従って、手振れ補正動作を精度よく行うことが可能である。
【００２７】
しかも、４つの移動範囲規制孔６３と支柱３６とによってロックを行っているので、一つのボス（ロックピン）をロックする従来技術と比べると強固なロック状態が得られる。
さらに、電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）は前側固定支持基板３１及び後側固定支持基板３２に対して相対回転可能なので、仮に従来技術のようにロックピンを一つのみとすると、ロックピンをロック部材でロックしても電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）の回転を規制することは出来ない。しかし、本実施形態のように複数の支柱３６と移動範囲規制孔６３でロックする構造ならば、電気基板６０及び補強板６１（ＣＣＤ６５）の回転を規制できるので、本実施形態のロック機構１００は回転振補正が可能な手振補正装置に適用することにより特別な有用性を発揮する。
【００２８】
さらにロック機構１００は構造が極めて簡単なので、製造コストを低く抑えることが可能である。
さらに、上記主電源がＯＮの状態で手振補正スイッチＳＷ（図１参照）のＯＮ・ＯＦＦを切換えることによって手振補正動作を制御してもよい。
さらに、リニア型ステッピングモータ１０３（出力軸１０４）から電気基板６０及び補強板６１には電気基板６０及び補強板６１と平行な方向の力が及び、光軸Ｏ方向の力は及ばない。従って、ロック時にＣＣＤ６５は光軸Ｏ方向に移動せず、そのため主電源がＯＮで手振補正スイッチがＯＦＦのときにＣＣＤ６５のピントに影響が出ることはない。
【００２９】
以上、上記実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、リニア型ステッピングモータ１０３とは別種類のアクチュエータ（例えば圧電素子やプランジャやソレノイド）によって当接片１０５を押圧してもよい。
また、前側固定支持基板３１または前側固定支持基板３２に移動範囲規制孔６３に相当するロック孔を穿設し、電気基板６０または補強板６１に支柱３６に相当するロックピンを突設してもよい。
さらに、総ての支柱３６と移動範囲規制孔６３ではなく、一部の支柱３６と移動範囲規制孔６３のみを接触させることにより、電気基板６０及び補強板６１をロックしてもよい。また、支柱３６と移動範囲規制孔６３の数は４つには限定されない。
また、デジタルカメラ２０の主電源のＯＮ時やレリーズボタンが押されたときに、上記制御手段がロック機構１００をアンロック状態に移行させるようにしてもよい。
【００３０】
さらに、ＣＣＤ６５以外の撮像素子、例えばＣＭＯＳイメージセンサーを利用できるのは勿論である。
また、本発明を電気基板６０及び補強板６１が案内軸などに沿ってＸ方向とＹ方向にのみ直線移動する従来から公知の手振補正装置に適用することや、手振補正装置とは用途が異なるステージ装置（特定の部材がＸ方向やＹ方向への直線移動や回転が可能な装置）に適用することが可能なのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施形態である手振補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。
【図２】アンロック状態にある手振補正装置を後側固定支持基板を省略して示す背面図である。
【図３】前側固定支持基板とその固定部品の背面図である。
【図４】図２のIV−IV矢線に沿う断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ矢線に沿う断面図である。
【図６】図２のVI−VI矢線に沿う断面図である。
【図７】ロック状態にある手振補正装置を後側固定支持基板を省略して示す背面図である。
【図８】ロック状態における図４と同様の断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
２０    デジタルカメラ（カメラ）
３０    手振補正装置（ステージ装置）
３１    前側固定支持基板（固定支持基板）
３２    後側固定支持基板（固定支持基板）
３３    窓孔
３６    支柱（ロックピン）
３８    支持用突部
３９    ボール
４０    支持用突部
４１    ボール
６０    電気基板（ステージ板）
６１    補強板（ステージ板）
６３    移動範囲規制孔（ロック孔）
６５    ＣＣＤ（撮像素子）
６５Ｘ  Ｘ方向側辺
６５Ｙ  Ｙ方向側辺
６６    撮像面
６７    ＣＣＤホルダ
６８    窓孔
６９    光学ローパスフィルタ
７１  ７２  ７３  舌片
１００  ロック機構
１０１  支持突片
１０２  固定ねじ
１０３  リニア型ステッピングモータ（駆動手段）
１０４  出力軸（駆動手段）
１０５  当接片
ＣＸ    Ｘ方向駆動用コイル
ＣＹＡ  ＣＹＢ  Ｙ方向駆動用コイル
ＭＸ    Ｘ用磁石（Ｘ方向駆動手段）
ＭＹ    Ｙ用磁石（Ｙ方向駆動手段）
Ｏ      光軸
【図１】
0004751712.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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