(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央支持部と、前記中央支持部から両側へ延出しかつその表面に第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、前記中央支持部から前記検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつその表面に第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕とを備え、前記各検出電極及び各駆動電極にそれぞれ接続された複数の接続用電極パッドを前記中央支持部の表面に形成した圧電振動ジャイロ素子の振動特性を検査するために、
圧電ウエハに前記圧電振動ジャイロ素子の外形を、前記圧電ウエハのフレーム部分との連結部を残して加工し、
前記圧電振動ジャイロ素子の外形表面に前記検出電極、駆動電極、電極パッド及びそれらを接続する配線を形成し、前記各接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドを前記フレーム部分表面に形成し、かつ前記連結部を通して前記検査用電極パッドと前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を前記圧電ウエハ表面に形成し、
前記検出用振動腕の前記第１検出電極が信号検出用でありかつ前記第２検出電極が接地側であり、一方の前記検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと他方の前記検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとを１つの共通の前記検査用電極パッドに接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記一方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとを別の１つの共通の前記検査用電極パッドに接続し、
前記フレーム部分の各検査用電極パッドに検査用プローブを接触させ、前記検査用プローブを介して前記検出用振動腕又は駆動用振動腕の振動特性を測定することを特徴とする圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項２】
前記一方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッド又は前記他方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記１つの共通の検査用電極パッドとを前記フレーム部分に形成した配線を介して接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッド又は前記一方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記別の１つの共通の検査用電極パッドとを前記フレーム部分に形成した配線を介して接続することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項３】
前記連結部と前記中央支持部とが前記圧電ウエハの平面内で撓曲可能なブリッジ部を介して結合されるように、前記圧電振動ジャイロ素子の外形を加工することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項４】
前記フレーム部分と前記中央支持部との間で前記連結部を前記圧電ウエハの平面内で蛇行するように形成することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項５】
前記圧電ウエハに複数の前記圧電振動ジャイロ素子を形成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の方法により前記圧電ウエハに前記圧電振動ジャイロ素子を形成しかつその振動特性を検査した後、前記連結部を切断して前記圧電振動ジャイロ素子を個片化することを特徴とする圧電振動ジャイロ素子の製造方法。
【請求項７】
中央支持部と、前記中央支持部から両側へ延出しかつ第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、前記中央支持部から前記検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、前記各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつ第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕と、前記中央支持部の表面に形成した複数の接続用電極パッドと、前記各検出電極及び各駆動電極と対応する前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線とを有する１つ又は複数の圧電振動ジャイロ素子と、
フレーム部分と、
前記圧電振動ジャイロ素子と前記フレーム部分との連結部とを備え、
前記接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドが前記フレーム部分の表面に形成され、
前記検査用電極パッドと対応する前記接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線が前記連結部に形成され、
前記検出用振動腕の前記第１検出電極が信号検出用でありかつ前記第２検出電極が接地側であり、一方の前記検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと他方の前記検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとが、１つの共通の前記検査用電極パッドに接続され、かつ、前記他方の検出用振動腕の前記第１検出電極に接続された前記接続用電極パッドと前記一方の検出用振動腕の前記第２検出電極に接続された前記接続用電極パッドとが、別の１つの共通の前記検査用電極パッドに接続されていることを特徴とする圧電ウエハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動用振動腕と検出用振動腕とを有する圧電振動ジャイロ素子の振動特性をその製造工程において検査するための方法、及び圧電振動ジャイロ素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、船舶・航空機・自動車等の姿勢制御やナビゲーションシステム、ビデオカメラ等の手振れ防止及び検出等における回転角速度センサとして、また３次元立体マウス等の回転方向センサなどに圧電振動ジャイロが広く利用されている。圧電振動ジャイロは、音叉型の角速度センサ（例えば、特許文献１，２を参照）、両側音叉型の回転速度センサ（例えば、特許文献３を参照）、略Ｔ字型の駆動振動系を中央の検出振動系に関して左右対称に配置した所謂ダブルＴ字型の圧電振動子即ちジャイロ素子（例えば、特許文献４，５を参照）など、様々な構造のものが提案されている。
【０００３】
ダブルＴ字型の圧電振動ジャイロ素子は、回転軸に対して略水平な平面内に延在し、駆動用振動腕及び検出用振動腕が該平面に沿って屈曲振動する。図５は、水晶ウエハ１に形成した圧電振動ジャイロ素子２の一例を示している。圧電振動ジャイロ素子２は、中央支持部３から図中上下両側へ延出する１対の検出用振動腕４，４と、中央支持部３から該検出用振動腕と直交する向きに図中左右両側へ延出する１対の連結腕５ａ，５ｂと、各連結腕の先端部を基部６ａ，６ｂとして、それから検出用振動腕と平行に図中上下両側へ延出する左右各１対の駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂとを有する。前記各検出用振動腕にはその表裏主面及び側面に第１及び第２検出電極８，９が、前記各駆動用振動腕にはその表裏主面及び側面に第１及び第２駆動電極１０，１１がそれぞれ形成されている。中央支持部３の表面には、前記各検出電極及び各駆動電極にそれぞれ接続された電極パッド１２〜１７が形成されている。
【０００４】
前記駆動電極に交流電流を印加して駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂをその主面を含む平面内で屈曲振動させ、その状態で前記平面内で圧電振動ジャイロ素子２が回転すると、前記駆動用振動腕の長手方向に沿ってコリオリ力が交互に逆向きに発生し、その作用によって連結腕５ａ，５ｂが前記平面内で屈曲振動する。これが中央支持部３を介して伝達されることにより、検出用振動腕４，４が前記平面内で屈曲振動し、その屈曲振動による圧電材料の歪みを前記検出電極が検出して発生する信号を電子的に処理することによって、前記平面内での回転及び角速度等が求められる。
【０００５】
従って、中央支持部３が剛固に固定又は支持されると、連結腕の振動による歪みが検出用振動腕に有効に又は効率良く伝達されず、そのために圧電振動ジャイロ素子の固有振動に悪影響を与え、不必要なスプリアス振動の発生や検出用振動腕の振動に損失を生じ、ＣＩ値が高くなり、圧電振動ジャイロセンサの角速度検出感度及び精度を低下させる虞がある。そのため、圧電振動型ジャイロスコープに搭載して使用する場合、中央支持部３はパッケージ側に金属タブテープなどで間接的に、できる限り拘束しない状態で取り付けるのが通例である。
【０００６】
一般に圧電振動ジャイロ素子２は、その外形を水晶ウエハ１にフォトエッチングで加工し、かつその表面に電極膜をパターニングして前記検出電極、駆動電極、電極パッド及びそれらを接続する配線を形成することにより製造される。このとき、中央支持部３は、その周縁が連結部１８〜２１によって水晶ウエハ１のフレーム部分２２と一体に連結され、それにより圧電振動ジャイロ素子２が水晶ウエハ１に支持されている。最後にこれら連結部を切断することにより、圧電振動ジャイロ素子２が水晶ウエハ１から切り離されて個片化される。
【０００７】
製造された圧電振動ジャイロ素子は、出荷する前にその良否を判断するために振動特性を検査する。この振動特性検査は、圧電振動ジャイロ素子を組み付けた実機状態で各電極パッドにそれぞれ検査用プローブを接触させ、該検査用プローブから検出電極に電気的信号を印加して検出用振動腕を自励発振させ、その周波数を測定することにより行う（例えば、特許文献２を参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平８−１７８６６９号公報
【特許文献２】特開２０００−７４６７４号公報
【特許文献３】特開平７−５５４７９号公報
【特許文献４】特開２００３−１６６８２８号公報
【特許文献５】特開２００１−１２９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、ダブルＴ字型の圧電振動ジャイロ素子において上述した特許文献２記載のようにして振動特性を検査する場合、図５に示すように、水平に載置した圧電振動ジャイロ素子２の中央支持部３の各電極パッド１２〜１７に斜め上方から検査用プローブ２３〜２８を直接接触させ、検出用振動腕を自励発振させる。このとき、その振動によって検査用プローブが電極パッドから外れないように、検査用プローブから電極パッドに或る程度の応力をかける必要がある。ところが、この応力が過大であると、圧電振動ジャイロ素子の振動状態が実際の使用時と大きく異なるものとなり、正確に検査できなくなる虞がある。
【００１０】
特にダブルＴ字型の圧電振動ジャイロ素子は、元より実際の使用時に検出用振動腕が自励発振しないように、そのＣＩ値を高く設計するのが一般的である。従って、検査のために大気中で自励発振させるためには、その阻害要因をできる限り予め取り除いて振動し易くしておく必要がある。
【００１１】
また、中央支持部には各電極パッドが狭い面積に近接して設けられるため、各検査用プローブから電極パットにかかる応力にばらつきが生じ易く、そのために周波数の測定がばらついたり精度が低下する虞がある。更に、各検査用プローブを接触させる際に位置ずれが生じて、隣接する電極パッド間でショートしたり、測定できなくなる虞がある。
【００１２】
更に、上述した特許文献２記載の従来技術では、個々の振動子を基板に実機状態又はこれに近い状態に取り付けて検査を行っている。ところが、このような振動子又は圧電振動ジャイロ素子は、製造上１つの圧電ウエハにそれらを多数個形成した後、それぞれ圧電ウエハから切り離して個片化するのが一般的であり、かつ生産性の点から好ましい。その場合、個片化した後に検査するのでは、作業が面倒で却って生産性が低下するという問題がある。
【００１３】
また、このような検査方法では、製品化する前に検査用プローブを接触させることによって、電極パッドが損傷したり異物が付着し、そのために不良品となる虞がある。また、検査用プローブを或る程度の応力で電極パッドに接触させるためには、中央支持部の裏面を何らかの受け又は治具で支持することを要するが、そのために異物が付着して圧電振動ジャイロ素子を汚したり、その振動特性に影響を及ぼす虞がある。
【００１４】
そこで本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ダブルＴ字型の圧電振動ジャイロ素子において、その振動腕の振動をできる限り阻害しないように振動特性の検査を行うことができ、より高精度にかつ正確な周波数測定を可能にする圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法を提供することにある。
【００１５】
更に本発明の目的は、圧電振動ジャイロ素子の製造工程において、ウエハの状態で各圧電振動ジャイロ素子の振動特性を検査することができる方法を提供することにある。
【００１６】
また、本発明の目的は、圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査において、検査用プローブにより電極パッドを損傷したり異物を付着させないことにある。
【００１７】
本発明の別の目的は、高精度かつ正確な振動特性の検査によって信頼性の高い圧電振動ジャイロ素子を製造する方法を提供すること、及びその生産性を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明によれば、上記目的を達成するために、中央支持部と、該中央支持部から両側へ延出しかつその表面に第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、中央支持部から検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつその表面に第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕とを備え、各検出電極及び各駆動電極にそれぞれ接続された複数の接続用電極パッドを中央支持部の表面に形成した圧電振動ジャイロ素子の振動特性を検査するために、圧電ウエハに圧電振動ジャイロ素子の外形を、圧電ウエハのフレーム部分との連結部を残して加工し、その圧電振動ジャイロ素子の外形表面に検出電極、駆動電極、電極パッド及びそれらを接続する配線を形成し、各接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドをフレーム部分表面に形成し、かつ連結部を通して検査用電極パッドと接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を圧電ウエハ表面に形成し、フレーム部分の各検査用電極パッドに検査用プローブを接触させ、該検査用プローブを介して検出用振動腕又は駆動用振動腕の振動特性を測定する圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法が提供される。
【００１９】
検査用プローブを検査用電極パッドに接触させるために、圧電ウエハのフレーム部分を裏面から十分に支持し又は固定しても、圧電振動ジャイロ素子は中央支持部が連結部によってのみ拘束されるから、その振動を阻害する要因を従来技術に比して大幅に除去できるので、実際の使用時における実装状態に近い状態で検出用振動腕又は駆動用振動腕を振動させることができ、より正確で高精度な振動特性の検査が可能になる。しかも、圧電ウエハのフレーム部分は、圧電振動ジャイロ素子の中央支持部のように表面積が制限されないため、より大きな検査用電極パッドをより自由な位置に設けることができ、検査用プローブもその接触端子を互いに十分離隔して配置できるので、より確実にかつ簡単に検査用プローブを検査用電極パッドに接触させることができる。また、圧電振動ジャイロ素子の接続用電極パッドが検査用プローブとの接触で損傷又は汚れたり、中央支持部に異物が付着するなどの虞も無い。
【００２０】
或る実施例では、各連結部と中央支持部とが圧電ウエハの平面内で撓曲可能なブリッジ部を介して結合されるように、圧電振動ジャイロ素子の外形を加工することより、圧電振動ジャイロ素子は、より実装状態に近い状態で圧電ウエハに支持されることになる。そのため、実際の使用時により近い振動特性を測定することができる。
【００２１】
別の実施例では、圧電振動ジャイロ素子の外形を加工する際に、フレーム部分と中央支持部との間で各連結部を圧電ウエハの平面内で蛇行するように形成する。これにより、連結部の剛性が低下するので、圧電振動ジャイロ素子の振動を阻害する要因を更に除去することができ、更に正確かつ高精度に振動特性を検査することができる。
【００２２】
また、或る実施例では、検出用振動腕の第１検出電極が信号検出用でありかつ第２検出電極が接地側であり、一方の検出用振動腕の第１検出電極に接続された接続用電極パッドと他方の検出用振動腕の第２検出電極に接続された接続用電極パッドとを１つの共通の検査用電極パッドに接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕の第１検出電極に接続された接続用電極パッドと前記一方の検出用振動腕の第２検出電極に接続された接続用電極パッドとを別の１つの共通の検査用電極パッドに接続する。これにより、より少ない数の検査用電極パッド及び検査用プローブで必要な検査を行うことができる。
【００２３】
この場合、前記一方の検出用振動腕の第１検出電極に接続された接続用電極パッド又は前記他方の検出用振動腕の第２検出電極に接続された接続用電極パッドと前記１つの共通の検査用電極パッドとをフレーム部分に形成した配線を介して接続することができ、かつ、前記他方の検出用振動腕の第１検出電極に接続された接続用電極パッド又は前記一方の検出用振動腕の第２検出電極に接続された接続用電極パッドと前記別の１つの共通の検査用電極パッドとをフレーム部分に形成した配線を介して接続することができる。本発明によれば、圧電ウエハのフレーム部分を利用して配線できるので、抵抗損失の少ない配線パターンの設計自由度が高く、有利である。
【００２４】
また、或る実施例では、圧電ウエハに複数の圧電振動ジャイロ素子を形成することにより、多数の圧電振動ジャイロ素子をウエハ状態で効率良く検査することができる。各圧電振動ジャイロ素子は、それぞれ振動特性の検査により良否を判定した後に圧電ウエハから切り離して個片化できるので、不良品を個片化して実装する作業を省略でき、生産性が向上する。
従って、本発明の別の側面によれば、中央支持部と、該中央支持部から両側へ延出しかつ第１及び第２検出電極を有する１対の検出用振動腕と、中央支持部から検出用振動腕と直交して両側へ延出する１対の連結腕と、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出しかつ第１及び第２駆動電極をそれぞれ有する各１対の駆動用振動腕と、中央支持部の表面に形成した複数の接続用電極パッドと、各検出電極及び各駆動電極と対応する接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線とを有する１つ又は複数の圧電振動ジャイロ素子、フレーム部分、及び、圧電振動ジャイロ素子とフレーム部分との連結部とを備え、圧電振動ジャイロ素子の接続用電極パッドに対応する複数の検査用電極パッドをフレーム部分の表面に形成し、かつ、フレーム部分の検査用電極パッドと対応する圧電振動ジャイロ素子の接続用電極パッドとをそれぞれ接続する配線を連結部に形成した圧電ウエハが提供される。
【００２５】
本発明の別の側面によれば、上述した本発明の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法により圧電ウエハに圧電振動ジャイロ素子を形成しかつその振動特性を検査した後、各連結部を切断して圧電振動ジャイロ素子を個片化する圧電振動ジャイロ素子の製造方法が提供される。この製造方法によれば、従来より高精度かつ正確な検査が保証されているので、より信頼性の高い圧電振動ジャイロ素子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下に、本発明による圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法の好適な実施態様を添付図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、各添付図面においてそれぞれ類似の部分には同一の参照符号を付すこととする。
【００２７】
図１は、本発明の第１実施例において、水晶振動ジャイロ素子を形成した水晶ウエハを部分的に示している。この水晶ウエハ１には、図５に関連して説明した従来技術の場合と同様に、圧電振動ジャイロ素子２が形成されかつ一体に支持されている。圧電振動ジャイロ素子２は、中央支持部３から図中上下両側へ延出する１対の検出用振動腕４，４と、中央支持部３から該検出用振動腕と直交する向きに図中左右両側へ延出する１対の連結腕５ａ，５ｂと、各連結腕の先端部を基部６ａ，６ｂとして、それから検出用振動腕と平行に図中上下両側へ延出する左右各１対の駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂとを有する。各検出用振動腕４，４にはその表裏主面及び側面に第１及び第２検出電極８，９が形成され、各駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂにはその表裏主面及び側面に第１及び第２駆動電極１０，１１がそれぞれ形成されている。中央支持部３の表面には６個の接続用電極パッド１２〜１７が形成され、それぞれ対応する前記各検出電極及び各駆動電極と接続されている。
【００２８】
中央支持部３は、その周縁が４つの連結部１８〜２１によって水晶ウエハ１のフレーム部分２２と一体に連結され、それにより圧電振動ジャイロ素子２を一体に水晶ウエハ１に支持している。本実施例において、各連結部１８〜２１は、水晶ウエハ１の平面内において幾分撓曲可能であるようにそれぞれ狭幅に形成したブリッジ１８ａ〜２１ａを介して、中央支持部３周縁と結合されている。
【００２９】
水晶ウエハ１のフレーム部分２２には、中央支持部３表面の接続用電極パッド１２〜１７にそれぞれ対応する検査用電極パッド３１〜３６が形成されている。図中上側の検出用振動腕４の前記各検出電極に接続された接続用電極パッド１２、１４に対応する２つの検査用電極パッド３１、３３は、図中上側の辺縁に沿って配置されている。図中下側の検出用振動腕４の前記各検出電極に接続された接続用電極パッド１３、１５に対応する２つの検査用電極パッド３２、３４は、図中下側の辺縁に沿って配置されている。左右両側の駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂの前記各駆動電極に接続された接続用電極パッド１６、１７に対応する２つの検査用電極パッド３５、３６は、図中上側の辺縁に沿って検査用電極パッド３１、３３と一列に並べて配置されている。前記検査用電極パッドは、このように水晶ウエハ１のフレーム部分２２に配置することによって、十分に大きく形成でき、かつ互いに十分に離隔して比較的自由な位置に設計することができる。
【００３０】
前記各検出電極に接続された接続用電極パッド１２〜１５は、それぞれ隣接する連結部１８〜２１の表面に形成された配線３７〜４０を介して、対応する検査用電極パッド３１〜３４に接続されている。前記各駆動電極に接続された接続用電極パッド１６、１７は、それぞれ隣接する一方の、本実施例では図中上側の連結部１８、１９の表面に形成された配線４１、４２を介して、対応する検査用電極パッド３５、３６に接続されている。このように配線することによって、その配線長を短くすることができるので、抵抗損失を低減させることができる。従って、振動特性の検査をより安定して確実に行うことができる。
【００３１】
圧電振動ジャイロ素子２の振動特性を検査する工程をその製造工程に沿って説明する。先ず、従来と同様に、圧電振動ジャイロ素子２の外形を水晶ウエハ１にフォトエッチングで加工する。次に、圧電振動ジャイロ素子の外形表面を含む水晶ウエハ１の全面に電極膜を形成し、これをフォトリソグラフィによりパターニングすることによって、圧電振動ジャイロ素子２の第１及び第２検出電極８、９、第１及び第２駆動電極１０、１１、接続用電極パッド１２〜１７及びそれらを接続する配線と、フレーム部分２２の各検査用電極パッド３１〜３６及びそれらの配線３７〜４２とを形成する。
【００３２】
このように圧電振動ジャイロ素子２を連結部により水晶ウエハ１に支持した状態で、各検査用電極パッド３１〜３６にそれぞれ検査用プローブ４３〜４８を接触させる。このとき、図示しない受け又は治具を用いて水晶ウエハ１のフレーム部分２２を固定することにより、前記各検査用プローブをそれぞれ確実に検査用電極パッドと接触させることができる。上述したように、検査用プローブ４３〜４８は十分に大きくかつ互いに離隔して設けられるので、従来のように電極パッドからずれたりショートする虞はない。
【００３３】
振動特性の検査は、前記検査用プローブから所定周波数の電気信号を印加して、検出用振動腕４、４又は駆動用振動腕７ａ，７ａ，７ｂ，７ｂを振動させ、その周波数を前記検査用プローブを介して測定することにより行う。その測定結果が所定の周波数範囲にある場合には良品と判定され、各連結部１８〜２１のブリッジ１８ａ〜２１ａを切断することにより、圧電振動ジャイロ素子２を水晶ウエハ１を切り離して個片化する。これにより、所望の圧電振動ジャイロ素子２が得られる。
【００３４】
図２は、本発明の第２実施例において、圧電振動ジャイロ素子を形成した水晶ウエハを部分的に示している。第２実施例では、フレーム部分２２の図中上側の辺縁に沿って配置された２つの検査用電極パッド３１、３３と、その図中下側の辺縁に沿って配置された２つの検査用電極パッド３２、３４とが、フレーム部分２２の周縁に沿って形成された配線４９、５０によって電気的に接続されている。このように配線することによって、検査用プローブの数を４つに減らすことができる。
【００３５】
本実施例において、各検出用振動腕４の第１検出電極８は信号検出用であり、かつ第２検出電極９は接地側である。図示するように、一方の検出用振動腕４の第１検出電極８に接続された接続用電極パッド１２と他方の検出用振動腕４の第２検出電極９に接続された接続用電極パッド１５とを、配線５０を介して共通の検査用電極パッド３１に接続し、かつ、前記他方の検出用振動腕４の第１検出電極８に接続された接続用電極パッド１３と前記一方の検出用振動腕４の第２検出電極９に接続された接続用電極パッド１４とを、配線４９を介して共通の検査用電極パッド３３に接続する。この状態で検査用電極パッド３１と検査用電極パッド３３間で所定周波数の電気信号を印加することによって、各検出用振動腕４、４を互いに逆相に自励発振させることができる。
【００３６】
図３は、第２実施例の変形例における水晶ウエハを示している。この変形例では、水晶ウエハ１のフレーム部分２２と圧電振動ジャイロ素子２の中央支持部３間を結合する各連結部１８〜２１が、水晶ウエハ１の平面内で蛇行する部分１８ｂ〜２１ｂを有するように形成されている。これにより、連結部１８〜２１はその剛性が低下するので、圧電振動ジャイロ素子２の振動特性を検査する際に、その振動を前記連結部が阻害する虞をより小さくすることができる。
【００３７】
図４は、第２実施例の別の変形例における水晶ウエハを示している。この変形例では、各連結部１８〜２１の蛇行部分１８ｂ〜２１ｂが図３の場合よりも多く蛇行し、前記連結部の剛性を更に低下させている。これにより、圧電振動ジャイロ素子２の振動特性検査において、その振動を前記連結部が阻害する虞を更に小さくすることができる。
【００３８】
本願発明者が図２乃至図４に示す実施例に従って水晶ウエハ１に圧電振動ジャイロ素子２を加工し、その検出用振動腕及び駆動用振動腕を振動させてＣＩ値を測定したところ、いずれの場合も、従来技術のように中央支持部３の各電極パッドに直接検査用プローブを接触させる場合に比して、大幅な改善が認められた。特に図３及び図４のように、連結部１８〜２１を蛇行させてその剛性を低下させることによって、実装状態の場合に非常に近い低いＣＩ値を測定した。これにより、本発明の方法によれば、振動特性の検査をより高精度にかつ正確に行い得ることが確認された。
【００３９】
以上、本発明の好適な実施例について詳細に説明したが、本発明はその技術的範囲において上記実施例に様々な変形・変更を加えて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明による圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法の第１実施例において、圧電振動ジャイロ素子を形成した水晶ウエハを示す部分平面図。
【図２】本発明の第２実施例における水晶ウエハを示す部分平面図。
【図３】第２実施例の変形例における水晶ウエハを示す平面図。
【図４】第２実施例の別の変形例における水晶ウエハを示す部分平面図。
【図５】従来の圧電振動ジャイロ素子の振動特性検査方法において、水晶振動ジャイロ素子を形成した水晶ウエハを示す部分平面図。
【符号の説明】
【００４１】
１…水晶ウエハ、２…圧電振動ジャイロ素子、３…中央支持部、４…検出用振動腕、５ａ，５ｂ…連結腕、６ａ，６ｂ…基部、７ａ，７ｂ…駆動用振動腕、８…第１検出電極、９…第２検出電極、１０…第１駆動電極、１１…第２駆動電極、１２〜１７…電極パッド、１８〜２１…連結部、１８ａ〜２１ａ…ブリッジ、１８ｂ〜２１ｂ…蛇行部分、２２…フレーム部分、２３〜２８，４３〜４８…検査用プローブ、３１〜３６…検査用電極パッド、３７〜４２，４９，５０…配線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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