(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置決めピンを嵌める３つの断面Ｖ字状または断面Ｕ字状をした位置決め溝が底面に設けられた容器における、該位置決め溝と該位置決めピンとの滑り性を評価する滑り性試験装置であって、
前記３つの位置決め溝のいずれかに嵌めて、該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動可能な測定用ピンと、
該測定用ピンを、測定用ピンが嵌まる該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる移動部と、
前記位置決め溝の最深部から測定用ピンの頂部をずらして位置決め溝に嵌める際の、測定用ピンに掛かる最大荷重を測定する測定部とを有することを特徴とする滑り性試験装置。
【請求項２】
前記測定用ピンは、交換可能とされていることを特徴とする請求項１に記載の滑り性試験装置。
【請求項３】
前記測定用ピンは、鉛直方向に弾性支持されていることを特徴とする請求項１または２に記載の滑り性試験装置。
【請求項４】
前記測定用ピンは、前記容器が載る前は、該位置決め溝の幅方向の移動が規制されていて、該容器を載せた後に、該位置決め溝の幅方向に移動可能とされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の滑り性試験装置。
【請求項５】
前記容器が水平に置かれていることを確認する確認部が備えられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の滑り性試験装置。
【請求項６】
位置決めピンを嵌める３つの断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の位置決め溝が底面に設けられた容器における、該位置決め溝と該位置決めピンとの滑り性を評価する滑り性試験方法であって、
前記３つの位置決め溝のいずれかに、測定用ピンを嵌めて前記容器を載せる工程と、
該測定用ピンを、該測定用ピンが嵌まる該位置決め溝から離れるように、該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる工程と、
前記測定用ピンを、前記位置決め溝に接触するように、鉛直方向に移動させる工程と、
前記測定用ピンが、前記位置決め溝に接触し、該位置決め溝の幅方向に移動し始めるまでの最大荷重を測定する工程とを有することを特徴とする滑り性試験方法。
【請求項７】
前記容器が水平に置かれていることを確認する確認工程を有することを特徴とする請求項６に記載の滑り性試験方法。
【請求項８】
前記容器に応じて前記測定用ピンを取付けることを特徴とする請求項６または７に記載の滑り性試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、滑り性試験装置および滑り性試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハなどの物品を収納した容器（シッピングボックス）を、物品の加工に使用される加工装置の所定位置に載せる際には、キネマティックカップリングと呼ばれる機構を用いて、位置決めが行われていた。この機構においては、加工装置側の所定位置に、円筒形で先端が略半球状をした位置決めピンが三角形状に配置されているとともに、容器側の底部に、平面視長方形状をした位置決め部が略Ｙ字形となるように、３箇所に設けられている。この位置決め部には、相対する傾斜面を有する断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の位置決め溝が長手方向に形成され、位置決めピンが位置決め部の２つの面を接触した状態で、両者が嵌合されるように構成されている。これら位置決めピンと位置決め溝との嵌合により加工装置に容器を載せる位置を一義的に定めることが、半導体関連の標準化機構であるＳＥＭＩによって規格化されている（特許文献１および非特許文献１参照）。
【０００３】
こうした位置決め溝の傾斜面は、位置決めピンの直径に対して、位置決め溝の幅方向に長く形成され、多少のずれがあっても、位置決め溝の最深部に位置決めピンが自動求心できるように形成されていた。また、この位置決め溝の長手方向は、少なくとも２本の位置決めピンが当接できるような長さに形成されていて、一つの加工装置に載せた容器を、搬送装置に設けられる別の位置決めピンによって、位置決め精度を保ったまま、搬送装置を使って別の装置に搬送することができるようにされている。
【０００４】
容器は、加工が行われる工場内を、主に工場の天井搬送によって自動搬送され、加工装置の位置決めピンのある所定位置に載せられる。このように、容器を天井から下降して加工装置に載せる際、搬送装置のがたつきなどが原因で、容器が正規の位置よりもずれて加工装置に載ることがある。このとき、加工装置側の位置決めピンと、容器側の位置決め溝との滑り性が悪いと、位置決め溝の傾斜面の途中で、位置決めピンが引っかかってしまい、自動求心が不完全となり、容器を正規の位置に位置決めすることができなくなる。そのため、容器への物品の収納や、容器からの物品の取り出しができなくなる、または容器からの物品の取り出しに支障をきたし、物品を破損させてしまうという問題があった。特に、容器が空の状態では、質量が軽いために、滑り性が悪くなり、自動求心が行われにくかった。また、こうした位置決めピンや容器の位置決め部は、基本寸法こそ標準化されていたものの、メーカー毎に細かい形状や材質が異なっており、こうした点も加工装置に容器を載せる際のトラブルの要因となっていた。
【０００５】
従来、このような問題を解決するための評価は、位置決め部の材質と、位置決めピンの材質とのテストピースを作製して、ＪＩＳに定められた測定方法などで摩擦係数を調べたり、テストピースの摩耗量を確認することで行っていた。
【特許文献１】特開平１１−１６８１３６号公報
【非特許文献１】ＳＥＭＩ  Ｅ５７  ＰＲＯＶＩＳＩＯＮＡＬ  ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ  ＳＰＥＣＩＦＩＣＡＴＩＯＮ  ＦＯＲ  ＫＩＮＥＭＡＴＩＣ  ＣＯＵＰＬＩＮＧＳ  ＵＳＥＤ  ＴＯ  ＡＬＩＧＮ  ＡＮＤ  ＳＵＰＰＯＲＴ  ３００−ｍｍＷＡＦＥＲ  ＣＡＲＲＩＥＲＳ、「ＳＥＭＩ  Ｅ５７（ｗｉｔｈ  ＰＩＣ  ｒｅｖｉｓｉｏｎｓ）」、１９９７年１０月１６日、ｐ．１−７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、実施の現物での評価は、容器を位置決めピン上に意図的に位置ずれさせて載せてから、自動求心位置まで問題なく滑るかどうかを確認するという、感覚的な滑り性の評価しか行われてこなかった。そのため、従来の方法では、新しい容器や、新しい加工装置の位置決めピンの評価や、容器や加工装置の製造時の不良、または使用時の摩耗などによって、位置決めピンや位置決め溝の滑り性が悪化した容器や加工装置の合否を、正しく判別することが困難であった。
【０００７】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであって、容器および加工装置の滑り性の評価を正しく行うことができる滑り性試験装置、および滑り性試験方法を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の課題を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
（１）位置決めピンを嵌める３つの断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の位置決め溝が底面に設けられた容器における、該位置決め溝と該位置決めピンとの滑り性を評価する滑り性試験装置であって、
前記３つの位置決め溝のいずれかに嵌めて、該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動可能な測定用ピンと、
該測定用ピンを、該測定用ピンが嵌まる該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる移動部と、
前記位置決め溝の最深部から測定用ピンの頂部をずらして位置決め溝に嵌める際の、測定用ピンに掛かる最大荷重を測定する測定部とを有することを特徴とする滑り性試験装置。
【０００９】
（２）前記測定用ピンは、交換可能とされていることを特徴とする（１）に記載の滑り性試験装置。
（３）前記測定用ピンは、鉛直方向に弾性支持されていることを特徴とする（１）または（２）に記載の滑り性試験装置。
（４）前記測定用ピンは、前記容器が載る前は、該位置決め溝の幅方向の移動が規制されていて、該容器を載せた後に、該位置決め溝の幅方向に移動可能とされていることを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の滑り性試験装置。
（５）前記容器が水平に置かれていることを確認する確認部が備えられていることを特徴とする（１）〜（４）のいずれかに記載の滑り性試験装置。
【００１０】
（６）位置決めピンを嵌める３つの断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の位置決め溝が底面に設けられた容器における、該位置決め溝と該位置決めピンとの滑り性を評価する滑り性試験方法であって、
前記３つの位置決め溝のいずれかに、測定用ピンを嵌めて前記容器を載せる工程と、
該測定用ピンを、該測定用ピンが嵌まる該位置決め溝から離れるように、該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる工程と、
該測定用ピンを、前記位置決め溝に接触するように、鉛直方向に移動させる工程と、
前記測定用ピンが、前記位置決め溝に接触し、該位置決め溝の幅方向に移動し始めるまでの最大荷重を測定する工程とを有することを特徴とする滑り性試験方法。
（７）前記容器が水平に置かれていることを確認する確認工程を有することを特徴とする（６）に記載の滑り性試験方法。
（８）前記容器に応じて前記測定用ピンを取付けることを特徴とする（６）または（７）に記載の滑り性試験方法。
【００１１】
ここで、本発明の試験対象となる容器としては、その内部に物品を収納して、搬送、位置決め、保管などに使用され、底部に断面Ｖ字状または断面Ｕ字状の位置決め溝を有する位置決め部が３箇所に、略Ｙ字形となるように設けられた容器が挙げられる。また、位置決め部を容器本体に一体成形した容器、容器本体に別体として位置決め部を取付けた容器、そのいずれもが試験対象となる。試験対象となる容器の位置決め部の材質は、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、フッ素含有樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミドなどの熱可塑性樹脂から形成されたもの、また、剛性や伝導性を高めるために、これら熱可塑性樹脂に炭素繊維、ガラス繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブなどが添加されたものが挙げられる。なお、位置決め部は、平面視長方形状をしており、断面Ｖ字状または断面Ｕ字状をした傾斜面が相対するように形成された位置決め溝を、その長手方向に有している。この位置決め溝の中心には、位置決め溝の最深部が設けられている。位置決め溝の傾斜面は、容器の位置がずれて加工装置の位置決めピンに載せられた場合でも、位置決めピンの頂部が位置決め溝の最深部に導くガイドの役目を果すものである。
【００１２】
試験対象となる容器の形態としては、容器本体と蓋体により密封可能な密封容器、カセットやトレイなどの非密封容器のどちらでもよく、容器の上面に、搬送ロボットに把持されるフランジが着脱自在に装着されている容器であってもよい。また、容器本体および蓋体について、その透明の有無は特に制限されない。また、施錠機構の有無は特に制限されない。容器本体、蓋体の材質は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミドなどの熱可塑性樹脂、およびこれらの樹脂に導電性や紫外線吸収性を付与する添加剤を配合したものなどが挙げられる。容器として具体的には、３００ｍｍウエハ対応のフロントオープンボックスタイプ、ＦＯＵＰタイプ、ＦＯＳＢタイプ、２００ｍｍウエハなどに対応したトップオープンボックスタイプなどのシッピングボックスが挙げられる。また、容器は、物品を直接収納するタイプであってもよく、固定キャリアに物品を収納した上で、固定キャリアを容器に収納するタイプであってもよく、そのいずれもが本発明の滑り性の試験対象の容器となる。
【００１３】
試験対象となる容器に収納される物品としては、半導体ウエハ（２００ｍｍウエハ、３００ｍｍウエハ、４５０ｍｍウエハなど）、ガラス基板、フォトマスク、アルミディスク、記録媒体用の基板などといった汚染を嫌う精密部品、および工場内を自動機で搬送されて、かつ加工装置などの所定位置に、正確に位置決めして載せる必要のある部品や、正確な取り出しが必要な部品などが挙げられる。また、試験に際しては、容器に物品を収納していてもよく、収納していなくてもよく、適宜選定される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の滑り性試験装置を用いた滑り性試験方法によれば、容器と加工装置との位置決めの際の滑り性を定量的に確認可能となるので、容器および加工装置の滑り性の評価を正しく行うことができ、容器の位置決め溝や加工装置の位置決めピンの滑り性を改善する指標を得ることが可能となる。また、位置決め時の滑り性に関して、何らかのトラブルを生じた容器または位置決めピンを標準品と比較して、正しく判別することが可能となるので、不良品を適切に排除できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら、試験対象の容器として、その底部の所定位置に断面Ｖ字状の位置決め溝を有した、３００ｍｍウエハを収納するシッピングボックス（以下、単に容器という。）を例に挙げ、本発明の位置決めピンに載せられる容器の位置決め溝の滑り性を評価する滑り性試験装置の実施形態について説明する。
図１乃至図４に示すように、本発明の実施形態の滑り性試験装置１は、位置決めピン６を嵌める３つの断面Ｖ字状の位置決め溝２４を有した位置決め部２３が底面に設けられた容器２２における、位置決め溝２４と位置決めピン６との滑り性を評価する滑り性試験装置である。滑り性試験装置１は、３つの位置決め溝２４のいずれかに嵌めて、この位置決め溝２４の幅方向（Ｘ方向）および鉛直方向（Ｚ方向）に移動可能な測定用ピン７と、測定用ピン７を、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向（Ｘ方向）および鉛直方向（Ｚ方向）に移動させる移動部４とを有している。また、滑り性試験装置１は、図３に示すように、位置決め溝２４の最深部２５から測定用ピン７の頂部をずらして位置決め溝２４に嵌める際の、測定用ピン７に掛かる最大荷重（Ｎ）を測定する測定部１６とを有している。
【００１６】
また、この滑り性試験装置１には、容器２２が水平に置かれていることを確認する変位センサー１７が搭載部３上に設けられている。また、図４に示すように、試験対象となる容器２２は、その底部に、変位センサー１７に対応したセンシングパッド２８が設けられている。また、移動部４には、測定用ピン７が位置決め溝２４の最深部２５に到達したことを検出可能な測定ピン滑り判別センサー１８が設けられている。
ここで、「位置決め溝２４の最深部２５から測定用ピン７の頂部をずらして位置決め溝２４に嵌める」とは、後述の滑り性試験方法のＳ４、５、８の工程に詳述しているように、測定用ピン７を位置決め溝２４の傾斜面２６に接触させるために行うものである。
【００１７】
また、この実施形態例では、図１又は図２に示すように、架台２によって支持される搭載部３上のＳＥＭＩ規格Ｅ５７で定められる位置に、容器２２を載せる位置を定めるための位置決めピン６が３本固定されている。位置決めピン６は、円筒形を有しており、その上端がＳＥＭＩ規格Ｅ５７で定められた寸法および形状にＲ加工されている。位置決めピン６の材質としては、例えば、ＳＵＳ、アルミニウムなどが挙げられる。位置決めピン６は、必要に応じて、その表面に、クロムメッキ、アルマイト処理、窒素処理など、各種の表面処理が施されていてもよい。また、測定用ピン７も、その上端がＳＥＭＩ規格Ｅ５７で定められた寸法および形状にＲ加工されている。
【００１８】
移動部４には、図２に示すように、位置決め溝の幅方向に移動可能なリニアスライド機構９と、図３に示すように、鉛直方向に移動可能なリニアスライド機構１０とが設けられている。リニアスライド機構９には、リニアスライド機構９の測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向への移動を調整する位置決め溝幅方向移動ダイヤル１１が設けられている。リニアスライド機構１０には、リニアスライド機構１０の鉛直方向の移動を調整する鉛直方向移動ダイヤル１２が設けられているとともに、測定部１６が固定されている。また、測定部１６には、図１、３に示すように、測定部１６で測定した荷重などを表示部２０で表示するとともに、印字部２１で印字する表示ボックス１９が信号線１９ａにより接続されている。なお、測定部１６としては、荷重を測定できれば特に制限されないが、ロードセルなどが挙げられる。
【００１９】
測定用ピン７は、図２，３に示すように、支持部８上に固定されている。支持部８は、図３に示すように、スプリング１３（弾性体）を介して測定部１６に、鉛直方向に弾性支持されている。また、測定用ピン７は、容器２２を載せていない状態で、その上端が荷重測定位置よりも１〜１０ｍｍ程度上方にあるように設定される。このような構成において、容器２２を測定用ピン７載せると、スプリング１３が圧縮されて、測定用ピン７は、若干下降して、測定用ピン７の荷重測定位置に位置する。このように、測定用ピン７の荷重測定位置を正確に位置させることで、この位置で測定用ピン７と位置決め溝の最深部２５との位置合わせ（キャリブレーション）を正確に行うことができ、後述の「該測定用ピンを、該測定用ピンが嵌まる該位置決め溝から離れるように、該位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる工程（Ｓ４工程）」の際に、移動距離を正確に調整することができる。
【００２０】
また、支持部８は、リニアスライド機構１０に、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向に移動可能に接続されている。ただし、支持部８の測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向への移動は、測定用ピン７に荷重がかかって、測定用ピン７が鉛直方向に下降したとき以外は、後述の規制手段（ベアリング１４および位置規制Ｖ溝１５）によって規制されている。
【００２１】
図２に示すように、支持部８の端部にはベアリング１４が設けられている。また、リニアスライド機構１０には、ベアリング１４を嵌めるための位置規制Ｖ溝１５が設けられている。ベアリング１４は支持部８の下降に応じて位置規制Ｖ溝１５から離れるように、不図示のカム機構によって支持部８と接続されている。これらベアリング１４および位置規制Ｖ溝１５によって、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向への支持部８の移動を規制する規制手段が構成されている。
この構成により、支持部８は、容器２２が載る前は、ベアリング１４がリニアスライド機構１０に設けられた位置規制Ｖ溝１５に嵌合していることで、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向の移動が規制されていて、測定用ピン７に容器２２を載せたときの荷重によって不図示のカム機構が働くことで、ベアリング１４が位置規制Ｖ溝１５から離れ、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向への移動の規制が解除され、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向に移動可能となる。すなわち、支持部８に固定された測定用ピン７は、容器２２が載る前は、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向の移動が規制されていて、容器２２を載せた後に、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向に移動可能とされている。このように、測定用ピン７の移動を規制することで、容器２２が測定用ピン７に載る際に、測定用ピン７が不用意に移動するのを防ぐことができるので、後述に詳述する滑り性試験を円滑に進めることができ、滑り性をより正しく評価することができる。
【００２２】
変位センサー１７およびセンシングパッド２８は、容器２２の傾きを確認する確認部を構成しており、滑り性試験の際に容器２２の傾きが所定の範囲を超えた場合、音声や表示パネルなどで報知することで、容器２２を再度、載せなおすなどの対処を的確に行うために設けられている。なお、変位センサー１７としては、例えば接触式、光電式が挙げられる。センシングパッド２８としては、例えば、容器の外底面に一体的に形成されたり、別部材として備えられた突起部であったり、容器の底部に付けられたボトムプレートに一体的に形成された別部材として備えられる突起部である。
【００２３】
測定ピン滑り判別センサー１８は、測定用ピン７が容器２２の位置決め溝２４の最深部２５に向かって摺動したか否かを確認するために設けられていて、摺動する際に測定用ピン７に加わっている荷重を測定部１６にて測定する。これにより、荷重の測定を自動的に停止したり、測定された荷重の値を表示したり印字する。あるいは、移動部４が自動制御の場合は、再測定などの制御を行うことも可能である。測定ピン滑り判別センサー１８としては、例えば、接触式変位センサーや磁気式リニアスケール、光電センサーなどが挙げられる。
【００２４】
次に、図６に示す本発明の滑り性試験方法の一例について説明する。
＜Ｓ１：３つの位置決め溝のいずれかに、測定用ピンを嵌めて容器を載せる工程＞
まず、図４に示すように、滑り性試験装置１の測定用ピン７に容器２２を載せる。これにより、測定用ピン７に容器２２からの荷重がかかり、スプリング１３（図３）が圧縮されて、測定用ピン７および支持部８が若干下降（５ｍｍ程度）し、測定用ピン７が荷重測定高さ位置になり、位置決め溝２４に嵌まる。このとき、支持部８の下降に不図示のカム機構が連動し、支持部８が３〜５ｍｍ程度、図面右側に移動するとともに、ベアリング１４（図２）が位置規制Ｖ溝１５（図２）から離れ、支持部８および測定用ピン７は、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向に移動可能な状態となる。なお、容器２２は、容器２２の３つの位置決め溝２４に、位置決めピン６が１本ずつ嵌まるように、測定用ピン７に載せられる。
【００２５】
＜Ｓ２：容器が水平に置かれていることを確認する確認工程＞
次いで、容器２２が水平に置かれていることの確認は、容器２２が位置決めピン６に対して正常に着座した状態（３箇所の位置決め溝２４の最深部２５に、位置決めピン６が当接した状態）のセンシングパット２８を変位センサー１７で検出できるかどうかによって行うことができる。正常に着座した状態のセンシングパット２８の位置情報をゼロ点としておき、測定中の容器２２の着座異常を検出することができる。例えば、容器２２が水平から傾き、センシングパット２８が、基準値（上述のゼロ点）よりも０．１ｍｍ以上変動した場合に変位センサー１７で検出できなくなるように設定し、検出できなくなった時点を着座異常とすることができる。容器２２の着座異常が認められた場合にはＳ３工程に、容器２２の着座異常が認められない場合にはＳ４工程へ進む。これにより、容器２２が斜めになって載せられたことによる、容器２２の片側への荷重の偏りが生じるトラブルを未然に防ぐことができ、滑り性のより正しい評価を行うことができる。また、確認部によって確認された傾きは、音声、表示パネルでの表示、印字など、どのような方法で報知されても構わない。
【００２６】
＜Ｓ３：容器を載せなおす工程＞
Ｓ２工程で傾きが確認された容器を、滑り性試験装置に載せなおす。なお、Ｓ３工程の後は、再度Ｓ２工程にて、容器２２が水平に置かれていることを確認する。
【００２７】
＜Ｓ４：測定用ピンを、測定用ピンが嵌まる位置決め溝から離れるように、位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動させる工程＞
位置決め溝２４に嵌っている測定用ピン７を、位置決め溝２４から離れるように、位置決め溝２４の幅方向と鉛直方向に移動させる。より詳しくは、図５（ａ）に示すように、鉛直方向において、鉛直方向移動ダイヤル１２を手動操作して、リニアスライド機構１０を下げることで、測定用ピン７の頂部が位置決め部２３に接触しない位置まで、測定用ピン７を位置決め部２３の下方端より５ｍｍ程度移動させる。さらに、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向において、位置決め溝幅方向移動ダイヤル１１を手動操作して、リニアスライド機構９を移動させることで、測定用ピン７の頂部を、位置決め溝２４の最深部２５から好ましくは１〜１０ｍｍ程度、より好ましくは２〜８ｍｍ程度位置決め溝２４の幅方向にずらす。
【００２８】
＜Ｓ５：測定用ピンを位置決め溝に接触するように鉛直方向に移動させる工程＞
図５（ｂ）に示すように、測定用ピン７が位置決め溝２４の傾斜面２６に接触するように、鉛直方向移動ダイヤル１２（図３）を操作して、リニアスライド機構１０（図３）を鉛直方向に移動させる。
【００２９】
＜Ｓ６：測定用ピンを、位置決め溝に接触させ、測定用ピンが嵌まる位置決め溝の幅方向に移動し始めるまでの最大荷重を測定する工程＞
図５（ｃ）に示すように、測定用ピン７を傾斜面２６と接触させ、さらに鉛直方向に押し上げる。このとき、測定用ピン７が位置決め溝２４に嵌まる際の、測定用ピン７が荷重により、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向に移動し始めるまでの最大荷重（Ｎ）を測定部１６（図３）で測定する。
なお、鉛直方向に押し上げた際に、測定用ピン７と傾斜面２６との摺動抵抗が大きく、幅方向に移動しない場合、容器２２は、測定用ピン７により押し上げられることとなるが、変位センサー１７にて、その異常を検出することが可能である。
【００３０】
＜Ｓ７：容器が水平に置かれていることを確認する確認工程＞
変位センサー１７およびセンシングパッド２８によって、容器２２が水平方向に対して過度に傾いていないかどうかを確認し、容器２２の着座異常が確認された場合はＳ８工程に進む。容器２２の傾きが許容範囲内、即ち、容器２２の着座異常が認められない場合は、Ｓ６工程で測定した最大荷重（Ｎ）の測定信号を信号線１９ａを通じて表示ボックス１９（図４）に送り、得られた値を表示ボックス１９の表示部２０に表示したり、印字部２１によって印字する。これにより、測定用ピン７を、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向にずらしすぎて、傾斜面２６とうまく接触しなくなり、容器２２を水平状態から傾けてしまうといったトラブルを、未然に防ぐことができる。そして、滑り性をより正しく測定することができる。なお、容器２２の着座異常は、前述したように、センシングパット２８が、基準値よりも０．１ｍｍ以上の変動があったか否かで検出することが好ましい。また、確認部によって確認された傾きは、音声、表示パネルでの表示、印字など、どのような方法で報知されても構わない。
【００３１】
＜Ｓ８：測定用ピンが嵌まる位置決め溝の幅方向の移動距離などを設定しなおす工程＞
測定用ピン７の測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向の移動距離などを設定しなおす。その後、再度Ｓ５工程を行う。
【００３２】
以上説明した本発明の滑り性試験装置を用いれば、容器と加工装置との位置決めの際の滑り性を定量的に確認可能な試験を行えるので、容器や加工装置の評価を正しく行うことができ、容器の位置決め溝や加工装置の位置決めピンの滑り性を改善する指標を得ることが可能となる。また、位置決め時の滑り性に関して、何らかのトラブルを生じた容器または位置決めピンを標準品と比較して、正しく判別することが可能となるので、不良品を適切に排除できる。
【００３３】
この滑り性試験装置を用いた本発明の滑り性試験方法によれば、容器と加工装置との位置決めの際の滑り性を定量的に確認可能なので、容器や加工装置の評価を正しく行うことができ、容器の位置決め溝や加工装置の位置決めピンの滑り性を改善する指標を得ることが可能となる。また、位置決め時の滑り性に関して、何らかのトラブルを生じた容器または位置決めピンを標準品と比較して、正しく判別することが可能となるので、不良品を適切に排除できる。
【００３４】
なお、滑り性試験装置１では、変位センサー１７およびセンシングパッド２８を設けて、容器２２が水平方向に対して過度に傾いていないかどうかを確認できるようにしている。これにより、容器２２の傾きが確認された場合、容器を載せなおすことで、容器２２が斜めになって載せられたことで、容器２２の片側に荷重がかかるといったトラブルや、測定用ピン７を測定用ピン７が嵌まる位置決め溝の幅方向にずらしすぎて、傾斜面２６、または傾斜面２７とうまく接触しなくなり、容器２２を水平状態から傾けてしまうトラブルなどを、未然に防ぐことができ、より正しい滑り性の評価を行うことができる。なお、変位センサー１７は、この形態例では搭載部３に設けられているが、他の位置に設けられていてもよい。
【００３５】
測定用ピン７は、交換可能とされていることが好ましい。例えば、各種の材質、表面処理、異なる形状に加工した予備のピンと交換することにより、種々の加工装置と容器との滑り性を容易に確認でき、それらを正しく評価できる。また、容器２２に応じて測定用ピン７を取付けることで、容器２２の位置決め部２３の形状や材質を変更した場合でも、種々の位置決めピンとの滑り性を正しく評価でき、位置決め部の形状や材質に最適な位置決めピンを選定することができる。
【００３６】
また、滑り性試験装置１では、位置決め溝幅方向移動ダイヤル１１、鉛直方向移動ダイヤル１２は手動操作としたが、これに限らず、ラック＆ピニオン、モーターなどによって、一定速度で機械的に移動させる機構とすることも可能である。
【実施例】
【００３７】
次に、滑り性試験装置１を用いた滑り性試験方法について、実施例を用いてより詳細に説明する。
試験対象となる容器としては、３００ｍｍウエハのシッピングボックスとして使用されている以下の４種類の容器を用意した。
容器１．ＰＣ製シッピングボックス、位置決め部に摺動性改質ＰＣを使用。
容器２．ＰＣ製シッピングボックス、位置決め部に表面にしぼ処理を施したＰＣを使用。
容器３．ＰＣ製シッピングボックス、位置決め部にＰＢＴ使用。
容器４．ＰＣ製シッピングボックス、位置決め部にＰＣを使用。
ＰＣ：ポリカーボネート、ＰＢＴ：ポリブチレンテレフタレート。
【００３８】
測定用ピンとしては、以下の２種類のピンを用意した。
測定用ピン１．表面に無電解ニッケルメッキ処理されたＳＵＳ３０４。
測定用ピン２．表面処理なしのＳＵＳ３０４。
ＳＵＳ：オーステナイト系ステンレス。
【００３９】
前述の４種類のシッピングボックス各々に、前述の２種類の測定用ピンによる滑り性試験を行い、最大荷重を測定するとともに、測定用ピンに容器を載せたときの位置決め部と測定用ピンとの引っ掛かり具合の有無は、測定ピン滑り判別センサーにて確認した。測定ピン滑り判別センサーとして、接触式変位センサー（型式：Ｄ５ＶＡ、オムロン株式会社製）を使用し、基準となるゼロ点から０．１ｍｍ以上の変動があったときに引っ掛かり「あり」、０．１ｍｍ未満のときを引っ掛かり「なし」となるように調整し、評価した。結果を表１に示す。
【００４０】
【表１】
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【００４１】
容器の位置決め部の最大荷重が９Ｎを超えると、容器を測定用ピンに載せたときに、位置決め部の最深部の途中で引っ掛かるなどのトラブルが生じた。このため、容器の位置決め部の滑り性が２Ｎ以上で９Ｎ以下の範囲にある場合に、滑り性が良好であることが確認された。このようにして、各容器の位置決め溝および位置決めピンの滑り性を定量的に測定でき、滑り性の正しい評価を行えることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る滑り性試験装置の一実施形態例を示す正面図である。
【図２】本発明に係る滑り性試験装置の一実施形態例を示す上面図である。
【図３】本発明の係る滑り性試験装置の一実施形態例を示す側面図である。
【図４】本発明に係る滑り性試験装置の一実施形態例に、試験対象の容器を載せた正面図である。
【図５】（ａ）は測定用ピンを位置決め部から所定距離移動させた様子を示した測定用ピンおよび位置決め部周辺の部分拡大図であり、（ｂ）は測定用ピンを鉛直方向に移動させた様子を示した測定用ピンおよび位置決め部周辺の部分拡大図であり、（ｃ）は荷重によって測定用ピンが嵌まる位置決め溝の幅方向および鉛直方向に移動して、最深部に到達する様子を示した測定用ピンおよび位置決め部周辺の部分拡大図である。
【図６】本発明の滑り性試験方法の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４３】
１  滑り性試験装置
４  移動部
６  位置決めピン
７  測定用ピン
１６  測定部
１７  変位センサー（確認部）
２２  容器
２４  位置決め溝
２５  最深部
２８  センシングパッド（確認部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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