(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペーストはんだを用いて電極端子と基板とを接合する半導体装置の製造方法であって、
（ａ）前記基板における前記電極端子が接合される位置の周囲でありかつその位置の全周を囲む位置に、前記ペーストはんだと同じ融点となる組成を有する固体はんだを超音波接合で仮付けする工程と、
（ｂ）前記基板における前記電極端子が接合される位置に、前記ペーストはんだを配置する工程と、
（ｃ）前記ペーストはんだ上に前記電極端子を配置する工程と、
（ｄ）前記ペーストはんだおよび前記固体はんだを加熱することで溶融させ、前記ペーストはんだおよび前記固体はんだを用いて前記電極端子と前記基板とを接合する工程と、
を備える、半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記工程（ｂ）は、前記固体はんだで囲まれた位置に前記固体はんだの内周に沿って前記ペーストはんだを配置する工程である、請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記固体はんだは、糸はんだ、リボンはんだまたはボールはんだである、請求項１または請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電力用半導体装置（パワーモジュール）において、はんだ付けされる電極端子のはんだ接合プロセス技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パワーモジュールでは、ＩＧＢＴ（Insulated−Gate  Bipolar  Transistor）等の半導体チップが搭載された回路付き絶縁基板（以下、「絶縁基板」という）と電極端子との間、および、絶縁基板と放熱板との間がはんだ（ペーストはんだ）で接合されている。そして、これらの構成体を囲うようにケースが接合され、ケース内部にシリコーンゲルなどが充填され、半導体チップと回路はワイヤで接続されている。
【０００３】
パワーモジュールは動作中の温度上昇によって、絶縁基板と電極端子とのはんだ接合面に応力(引っ張りまたは押し込み)が発生し、これによって電極端子が絶縁基板から剥離するなどの故障が発生するという問題があった。
【０００４】
絶縁基板と電極端子とのはんだ接合面の機械強度を向上させるため、はんだ量の増加が必要であるが、単純にペーストはんだを増量した場合、近接部品、および絶縁基板の下側に配置される絶縁材へのはんだ流れ(付着)が問題となる。すなわち、ペーストはんだは、はんだ粉末にフラックスを加えて所定の粘度にしたものであるが、はんだを溶融させるための加熱による昇温過程においてペーストはんだの粘度が低下する。これにより、はんだ溶融前にはんだ粉末が近接部品および絶縁材に到達し、その場で溶融してしまう。そのため、絶縁基板と電極端子とのはんだ接合面の機械強度を向上させることは難しかった。
【０００５】
例えば特許文献１には、はんだ流れを防止するための技術として、銅回路パターンの表面に、リードフレームとの半田接合面域を囲むように半田ダムが形成された半導体装置が開示されている。半田ダムは熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂で作られ、そのダム高さは半田層の熱抵抗および疲労寿命などを勘案して定めた所要の半田厚みよりも高い寸法に設定されている。なお、半田ダムの材質は半田接合の加熱温度で剥離および劣化が起こらないように耐熱性の高い樹脂が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３６３２１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の半導体装置では、はんだ溶解後のはんだ流れとリードフレーム（電極端子）の沈下を阻止することを目的として樹脂製の半田ダムが設けられ、はんだ量を増加させた場合には半田ダムの部品コストに加えてはんだ量の増加分の部品コストが増加し、半導体装置の製造コストが上昇してしまう。
【０００８】
そこで、本発明は、低コストで、かつ、はんだ量を増加させた場合のはんだ流れを防止し、絶縁基板と電極端子とのはんだ接合面の機械強度を向上させることが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、ペーストはんだを用いて電極端子と基板とを接合する半導体装置の製造方法であって、前記基板における前記電極端子が接合される位置の周囲でありかつその位置の全周を囲む位置に、前記ペーストはんだと同じ融点となる組成を有する固体はんだを超音波接合で仮付けする工程（ａ）と、前記基板における前記電極端子が接合される位置に、前記ペーストはんだを配置する工程（ｂ）と、前記ペーストはんだ上に前記電極端子を配置する工程（ｃ）と、前記ペーストはんだおよび前記固体はんだを加熱することで溶融させ、前記ペーストはんだおよび前記固体はんだを用いて前記電極端子と前記基板とを接合する工程（ｄ）とを備えるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、半導体装置の製造方法は、基板における電極端子が接合される位置の周囲でありかつその位置の全周を囲む位置に、ペーストはんだと同じ融点となる組成を有する固体はんだを超音波接合で仮付けする工程（ａ）と、基板における電極端子が接合される位置に、ペーストはんだを配置する工程（ｂ）と、前記ペーストはんだ上に前記電極端子を配置する工程（ｃ）と、ペーストはんだおよび固体はんだを加熱することで溶融させ、ペーストはんだおよび固体はんだを用いて電極端子と基板とを接合する工程（ｄ）とを備える。
【００１１】
したがって、昇温過程におけるペーストはんだのはんだ流れを、固体はんだによって防止することができる。また、ペーストはんだの融点まで昇温したときにペーストはんだおよび固体はんだが溶融しこれらを用いて電極端子と基板とを接合するため、はんだ量が増加し基板と電極端子とのはんだ接合面の機械強度を向上させることができる。
【００１２】
さらに、固体はんだは、ペーストはんだと同じ融点となる組成を有するため、固体はんだがペーストはんだのはんだ流れの防止とはんだ量の増加に寄与する。これにより、部品コストを抑制することができ、基板と電極端子とのはんだ接合面の機械強度の向上を低コストで実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態に係る半導体装置の製造方法において電極端子の接合部の加熱前の状態を示す平面図である。
【図２】図１のA-A断面図である。
【図３】実施の形態の変形例１に係る半導体装置の製造方法において電極端子の接合部の加熱前の状態を示す平面図である。
【図４】図３のB-B断面図である。
【図５】実施の形態の変形例２に係る半導体装置の製造方法において電極端子の接合部の加熱前の状態を示す平面図である。
【図６】図５のC-C断面図である。
【図７】前提技術に係る半導体装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
＜前提技術＞
最初に前提技術に係る半導体装置の製造方法について説明する。図７は、前提技術に係る半導体装置の断面図である。図７に示すように、半導体装置は、パワーモジュールであり、例えば２つのＩＧＢＴ等の半導体チップ１、ワイヤ２、例えば２つの絶縁基板４、絶縁基板４ａ、絶縁材５、放熱板６、電極端子７、ケース８、封止材９および蓋１０を備えている。
【００１５】
２つの絶縁基板４は、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）からなる絶縁材５の上面に設けられ、絶縁材５の下面に絶縁基板４ａが設けられている。２つの半導体チップ１は、一方の絶縁基板４の上面にペーストはんだ３で接合され、ワイヤ２で電気的に接続されている。電極端子７は、他方の絶縁基板４の上面にペーストはんだ３で接合され、この絶縁基板４の上面に設けられた回路と半導体チップ１はワイヤ２で電気的に接続されている。
【００１６】
これらの構成体の側方を囲むケース８と、ケース８の下側に配置される放熱板６と、ケース８の上側に配置される蓋１０とで半導体装置の筐体を構成している。構成体（より具体的には絶縁基板４ａ）は、放熱板６の上面にペーストはんだ３で接合されている。ケース８の内部には、エポキシ樹脂またはシリコーンゲルからなる封止材９が充填されている。
【００１７】
半導体装置は動作中の温度上昇によって、絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面に応力が発生し、これによって電極端子７が絶縁基板４から剥離するなどの故障が発生するという問題があった。
【００１８】
絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度を向上させるため、ペーストはんだ３を増量した場合、近接部品（例えばワイヤ２）および絶縁材５へのはんだ流れ(付着)が問題となる。すなわち、ペーストはんだ３は、はんだ粉末にフラックスを加えて所定の粘度にしたものであるが、ペーストはんだ３を溶融させるための加熱による昇温過程においてペーストはんだ３の粘度が低下する。これにより、ペーストはんだ３に含まれるフラックスがはんだ粉末とともに流れ出して、はんだ溶融前にはんだ粉末が近接部品および絶縁材５に到達し、ペーストはんだ３の融点に達したときに、その場ではんだ粉末が溶融してしまう。そのため、絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度を向上させることは難しかった。
【００１９】
本発明は、低コストで、かつ、はんだ量を増加させた場合のはんだ流れを防止し、絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度を向上させることが可能な技術であり、以下に詳細に説明する。
【００２０】
＜実施の形態＞
本発明の実施の形態について、図面を用いて以下に説明する。図１は、実施の形態に係る半導体装置の製造方法において電極端子の接合部の加熱前の状態を示す平面図であり、図２は、図１のA-A断面図である。
【００２１】
図１と図２を用いて、実施の形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。最初に、絶縁基板４（基板）における電極端子７が接合される位置の周囲でありかつその位置の全周を囲む位置に、糸はんだ３ａ（固体はんだ）が超音波接合で仮付けされる（工程（ａ））。糸はんだ３ａは、ペーストはんだ３と同じ融点となる組成を有する。すなわち、糸はんだ３ａは、ペーストはんだ３と同じ温度で溶融し、ペーストはんだ３に溶け込むため、はんだ量の増量に寄与する。そのため、糸はんだ３ａの仮付け量は、はんだ量の増量分に合わせて設定される。ここで、固体はんだとは、所定の粘度を有するペースト状のはんだではなく固体状のはんだをいう。固体はんだとして採用される糸はんだは、例えば糸状に形成されたはんだの径方向中心部にフラックスを充填したものであり、ペーストはんだ３の融点よりも低い温度でははんだが流れ出さない。
【００２２】
次に、絶縁基板４における電極端子７が接合される位置、より具体的には、糸はんだ３ａで囲まれた位置に糸はんだ３ａの内周に沿って、ペーストはんだ３が塗布（配置）された後（工程（ｂ））、ペーストはんだ３上に電極端子７が載置（配置）される（工程（ｃ））。次に、ペーストはんだ３および糸はんだ３ａを加熱することで溶融させ、ペーストはんだ３および糸はんだ３ａを用いて電極端子７と絶縁基板４とが接合される（工程（ｄ））。
【００２３】
ここで、工程（ｄ）の詳細について説明する。ペーストはんだ３を溶融させるための加熱による昇温過程において、ペーストはんだ３の融点よりも低い所定温度のときにペーストはんだ３の粘度が低下し、ペーストはんだ３に含まれるフラックスがはんだ粉末とともに外側（糸はんだ３ａ側）に流れ出そうとするが、糸はんだ３ａによって阻止され、糸はんだ３ａで囲まれた位置に留まる。
【００２４】
昇温過程において、ペーストはんだ３の融点に達したときにペーストはんだ３に含まれるはんだ粉末と、糸はんだ３ａが溶融し始めるが、糸はんだ３ａは仮付けされた位置に保持されるため、ペーストはんだ３は糸はんだ３ａによって囲まれた位置で溶融する。そして、加熱によって溶融した糸はんだ３ａは、ペーストはんだ３に溶け込むため、はんだ量の増量に寄与する。ペーストはんだ３と糸はんだ３ａとが溶融した後、ペーストはんだ３と糸はんだ３ａとを冷却して硬化させると、電極端子７と絶縁基板４とが接合される。
【００２５】
なお、上記では、固体はんだとして糸はんだ３ａを採用した例を示したが、これに限定されることはない。図３と図４に示すように、固体はんだとしてリボンはんだ３ｂを採用しても良い。図３は、実施の形態の変形例１に係る半導体装置の製造方法において電極端子７の接合部の加熱前の状態を示す平面図であり、図４は、図３のB-B断面図である。
【００２６】
さらに、図５と図６に示すように、固体はんだとしてボールはんだ３ｃを採用しても良い。図５は、実施の形態の変形例２に係る半導体装置の製造方法において電極端子７の接合部の加熱前の状態を示す平面図であり、図６は、図５のC-C断面図である。固体はんだとして採用されるリボンはんだ３ｂは、例えばリボン状に形成されたはんだであり、また、固体はんだとして採用されるボールはんだ３ｃは、例えば球状に形成された複数のはんだであり、これらはペーストはんだ３の融点よりも低い温度でははんだが流れ出さない。固体はんだとしてリボンはんだ３ｂ、またはボールはんだ３ｃを採用した場合の半導体装置の製造方法は、糸はんだ３ａを採用した場合と同様であるため、説明を省略する。
【００２７】
以上のように、実施の形態に係る半導体装置の製造方法は、絶縁基板４における電極端子７が接合される位置の周囲でありかつその位置の全周を囲む位置に、ペーストはんだ３と同じ融点となる組成を有する固体はんだを超音波接合で仮付けする工程（ａ）と、絶縁基板４における電極端子７が接合される位置に、ペーストはんだ３を塗布する工程（ｂ）と、ペーストはんだ３上に電極端子７を載置する工程（ｃ）と、ペーストはんだ３および固体はんだを加熱することで溶融させ、ペーストはんだ３および固体はんだを用いて電極端子７と絶縁基板４とを接合する工程（ｄ）とを備える。
【００２８】
したがって、昇温過程におけるペーストはんだ３のはんだ流れを、固体はんだによって防止することができる。また、ペーストはんだ３の融点まで昇温したときにペーストはんだ３および固体はんだが溶融しこれらを用いて電極端子７と絶縁基板４とを接合するため、はんだ量が増加し絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度を向上させることができる。
【００２９】
さらに、固体はんだは、ペーストはんだ３と同じ融点となる組成を有するため、固体はんだがペーストはんだ３のはんだ流れの防止とはんだ量の増加に寄与する。これにより、部品コストを抑制することができ、絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度の向上を低コストで実現することができる。ここで、固体はんだがペーストはんだ３と同じ融点となる組成を有するとは、固体はんだとペーストはんだ３がほぼ同時に溶融することを意味しており、固体はんだとペーストはんだ３の融点が厳密に同じであることを意味するものではない。
【００３０】
以上のように、ペーストはんだ３のはんだ流れを防止するとともに、はんだ量を増加させて絶縁基板４と電極端子７とのはんだ接合面の機械強度を向上させることができるため、半導体装置の歩留り向上および耐久性の向上を図ることが可能となる。
【００３１】
工程（ｂ）は、固体はんだで囲まれた位置に固体はんだの内周に沿ってペーストはんだ３を塗布する工程であるため、ペーストはんだ３を正確な位置に塗布することができる。
【００３２】
固体はんだは、糸はんだ３ａ、リボンはんだ３ｂまたはボールはんだ３ｃであるため、一般的に流通している部材を用いることで部品コストを一層抑制することができる。
【００３３】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００３４】
３  ペーストはんだ、３ａ  糸はんだ、３ｂ  リボンはんだ、３ｃ  ボールはんだ、４  絶縁基板、７  電極端子。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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