(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１拡散抵抗体を介して被測定ガス空間に連通する第１室と、
第２拡散抵抗体を介して前記第１室に連通する第２室と、
前記第１室内の酸素濃度を測定するために前記第１室に面して配置される酸素濃度検知セルと、
前記第１室内の酸素をポンピングするために前記第１室に面して配置される第１ポンプセルと、
前記第２室内の酸素をポンピングするために前記第２室に面して配置される第２ポンプセルと、を備えたＮＯｘガスセンサであって、
前記第２ポンプセルは、酸素イオン伝導性を有する固体電解質層と、該固体電解質層の表面に設けられた一対の多孔質電極とを備えており、
前記第２室の容積をＶとし、前記一対の多孔質電極のうち前記第２室に面している多孔質電極の電極面積をＡとした場合に、Ｖ／Ａの値が０．０１［ｍｍ］以上かつ０．１［ｍｍ］以下であり、
前記第２拡散抵抗体は、気孔率が３０［％］以上かつ４５［％］以下である多孔質物質からなること、
を特徴とするＮＯｘガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のＮＯｘガスセンサであって、
前記第２室の容積をＶとし、前記多孔質電極のうち前記第２室に面している多孔質電極の体積をＢとした場合に、Ｖ／Ｂの値が０．５以上かつ５以下であること、
を特徴とするＮＯｘガスセンサ。
【請求項３】
前記第２ポンプセルに備えられる前記多孔質電極のうち前記第２室に面している多孔質電極の電極面積は、１［ｍｍ2 ］以上であること、
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のＮＯｘガスセンサ。
【請求項４】
前記第２ポンプセルに備えられる前記多孔質電極のうち前記第２室に面している多孔質電極の電極厚さは、１０［μｍ］以上であること、
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のＮＯｘガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車、燃焼器、ボイラー等から排出される排ガス等の被測定ガス中に含まれる特定成分の検出等に用いられるガスセンサであり、特にＮＯｘの検出に用いるＮＯｘガスセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、ガスセンサの一つとして、図６に示すように、酸素イオン伝導性のある固体電解質層に多孔質電極を形成することにより形成された第１酸素ポンプセル１１１，酸素濃度測定セル１１２，第２酸素ポンプセル１１３を絶縁層１１４，１１５を介して積層した構造を有するセンサ本体１１０ａと、センサ本体１１０ａを加熱するヒータ１１０ｂとからなるガスセンサ１１０が知られている。
【０００３】
即ち、センサ本体１１０ａは、第１拡散抵抗体１１６を介して被測定ガス空間（例えば、排気管内）に連通する第１測定室Ｓ１、および第２拡散抵抗体１１７を介して第１測定室Ｓ１に連通する第２測定室Ｓ２を有し、第１酸素ポンプセル１１１および第２酸素ポンプセル１１３により、第１測定室Ｓ１および第２測定室Ｓ２の内部に存在する酸素のポンピング（汲み出し，汲み入れ）をそれぞれ可能とし、酸素濃度測定セル１１２により、酸素濃度を一定に制御された酸素基準室１１８と第１測定室Ｓ１との酸素濃度差、つまり第１測定室Ｓ１内の酸素濃度の測定を可能とするように構成されている。
【０００４】
そして、このガスセンサ１１０を駆動する駆動回路１２０は、ヒータ１１０ｂにてセンサ本体１１０ａを活性温度（例えば７５０℃）まで加熱し、この状態で、酸素濃度測定セル１１２の両端電圧Ｖｓが予め設定された一定電圧（例えば４２５ｍＶ）となるように第１ポンプ電流Ｉｐ１を制御すると共に、第２酸素ポンプセル１１３に、第２測定室Ｓ２から酸素を汲み出す方向に一定の第２ポンプ電圧Ｖｐ２（例えば４５０ｍＶ）を印加し、この時、第２酸素ポンプセル１１３に流れる第２ポンプ電流Ｉｐ２の検出を行う。
【０００５】
なお、検出すべき特定成分が酸化物（例えば、窒素酸化物，亜硫酸ガス，二酸化炭素，水など）である場合には、第１測定室Ｓ１内の酸素濃度を低酸素濃度（≒０％）に保持し、且つ第２ポンプ電圧Ｖｐ２を所定の電圧に保持すると、第２測定室Ｓ２では、第２酸素ポンプセル１１３を構成する多孔質電極の触媒作用によって、酸化物が分解し、その分解により得られた酸素が第２測定室Ｓ２から抜き取られることにより第２ポンプ電流Ｉｐ２が流れる。従って、第２ポンプ電流Ｉｐ２は、特定成分の濃度に対応した大きさとなる。
【０００６】
一方、特定成分が還元性物質（例えば、一酸化炭素，炭化水素，アルコールなど）である場合には、第２測定室Ｓ２内にて特定成分と酸素とが反応し、その反応後の残存酸素が第２測定室Ｓ２から抜き取られることにより第２ポンプ電流Ｉｐ２が流れる。この時、第２測定室Ｓ２内を、特定成分が検出される最大量と同程度（通常は、ｐｐｍオーダ）の一定酸素濃度に制御することにより、特定成分の濃度が高いほど残存酸素の濃度が低くなることから、この残存酸素の濃度に応じた大きさとなる第２ポンプ電流Ｉｐ２に基づいて、特定成分の濃度を求めることが可能となる。
【０００７】
つまり、いずれの場合でも、特定成分の濃度を正確に検出するには、第２測定室Ｓ２の雰囲気を、一定の低酸素濃度となるように制御する必要がある。
なお、特定成分としてＮＯｘを検出するためのガスセンサは、ＮＯｘが還元反応することで発生する酸素の濃度を検出することで、間接的にＮＯｘ濃度を検出するよう構成されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、このようなガスセンサ１１０を用いて、例えば、内燃機関の排ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）濃度を検出する場合を考えると、ガスセンサ１１０の起動時に第２測定室Ｓ２を満たしているガスは、前回の運転を停止してから、即ち排ガスの供給が途絶えてから今回の起動までの時間が長くなるほど、大気雰囲気に近くなり酸素濃度が高くなる。
【０００９】
つまり、起動直後の第２酸素ポンプセル１１３は、起動前に第２測定室Ｓ２を満たしているガスに含まれた残留酸素等をポンピングすることになるため、本来測定すべき排ガス中の特定成分（ＮＯｘ等）濃度に関わらず、残留酸素による過大な第２ポンプ電流Ｉｐ２が流れることになる。そして、この過大な第２ポンプ電流Ｉｐ２は、第２酸素ポンプセル１１３による酸素の汲出しにより、第２測定室Ｓ２内の雰囲気が所定の低酸素濃度状態となるまで継続する。
【００１０】
このため、ガスセンサ１１０は、起動した後、被測定ガス中の特定成分濃度を正確に測定可能な状態（正常検出状態）となるまでの一定時間（ライトオフ時間）の経過が必要となり、このライトオフ時間が経過するまで待機する必要があるため、使い勝手が悪いという問題があった。
【００１１】
こうした問題に対して、ライトオフ時間を短縮するためには、第２測定室に存在する残留酸素の量を減少させることが効果的であり、例えば、第２測定室の容積を縮小することで、残留酸素の量を減少させることができる。
しかし、第２測定室の容積を縮小した場合、残留酸素の量が減少すると共に測定対象ガスの量も減少することから、検出対象である特定成分（ＮＯｘ等）と第２酸素ポンプセルとの反応量が減少してしまい、ＮＯｘ検出時におけるガスセンサの出力が低下することになる。
【００１２】
また、ガスセンサの構造によっては、第２測定室の容積を縮小するにあたり、第２酸素ポンプセルを構成する多孔質電極のうち、第２測定室に面する多孔質電極の面積を縮小する必要が生じる場合がある。そして、多孔質電極の面積を縮小した場合、検出対象であるＮＯｘとの反応量が減少してしまい、ＮＯｘ検出時におけるガスセンサの出力が低下して、ガスセンサにおける出力のＳ／Ｎ比が悪化することになる。
【００１３】
このように、ガスセンサの起動時の特性を向上するためにライトオフ時間を短縮することと、ガスセンサの検出精度を向上するために出力Ｓ／Ｎ比を改善することを両立することは難しいという問題がある。
そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、起動後のライトオフ時間を短く設定することができ、また、センサ出力のＳ／Ｎ比の悪化を防ぐことができるＮＯｘガスセンサを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明は、第１拡散抵抗体を介して被測定ガス空間に連通する第１室と、第２拡散抵抗体を介して第１室に連通する第２室と、第１室内の酸素濃度を測定するために第１室に面して配置される酸素濃度検知セルと、第１室内の酸素をポンピングするために第１室に面して配置される第１ポンプセルと、第２室内の酸素をポンピングするために第２室に面して配置される第２ポンプセルと、を備えたＮＯｘガスセンサであって、第２ポンプセルは、酸素イオン伝導性を有する固体電解質層と、この固体電解質層の表面に設けられた一対の多孔質電極とを備えており、第２室の容積をＶとし、一対の多孔質電極のうち第２室に面している多孔質電極の電極面積をＡとした場合に、Ｖ／Ａの値が０．０１［ｍｍ］以上かつ０．１［ｍｍ］以下であり、第２拡散抵抗体は、気孔率が３０［％］以上かつ４５［％］以下である多孔質物質からなること、を特徴とする。
【００１５】
なお、ＮＯｘガスセンサにおいては、第１ポンプセルが、酸素濃度検知セルにて検出した酸素濃度に基づいて、第１室内に導入された被測定ガス中の酸素をポンピングすることで、第２室に導入される被測定ガス中の酸素濃度を所定範囲に設定している。また、第２ポンプセルは、第２室において被測定ガスに含まれるＮＯｘが解離して発生する酸素をポンピングすることで、ＮＯｘ濃度に応じた電流を発生するよう構成されている。
【００１６】
そして、請求項１に記載のＮＯｘガスセンサは、第２室の容積Ｖと多孔質電極の電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値が一定範囲内に規定されて構成されている点に特徴がある。
ここで、ＮＯｘガスセンサは、第２室の容積が小さいほどセンサ起動時における残留酸素の量が少なくなることから、第２室の容積を縮小することによりセンサ起動時のライトオフ時間を短く設定できる。
【００１７】
そして、ライトオフ時間については、単に第２室の容積Ｖを縮小することに限らず、第２ポンプセルを構成する多孔質電極の電極面積Ａに対する第２室の容積Ｖの割合を適切な割合に規定することでも、ライトオフ時間の短縮を図ることができる。つまり、単位時間あたりに第２ポンプセルの多孔質電極で反応する酸素量は、多孔質電極の面積に比例することから、比較的大きい容積の第２室を形成した場合でも、多孔質電極の電極面積を大きく確保することで、残留酸素のポンピング（汲み出し）に要する時間を短縮することができる。
【００１８】
ここで、後述する測定結果を示した図３によれば、第２室の容積Ｖと多孔質電極の電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａとライトオフ時間との関係については、変数Ｖ／Ａが小さい値となるほどライトオフ時間が短くなることが判る。また、変数Ｖ／Ａ＝０．１１９［ｍｍ］の場合のライトオフ時間に比べて、変数Ｖ／Ａ＝０．０９８［ｍｍ］の場合のライトオフ時間が大幅に短縮されていることから、変数Ｖ／Ａを双方の値の略中間値である０．１［ｍｍ］以下に設定することで、ライトオフ時間を実用上支障の無い値に設定できると考えられる。さらに、変数Ｖ／Ａが０．０９８［ｍｍ］以下となる場合には、ライトオフ時間はほぼ一定の値を示すとともに最短となることから、変数Ｖ／Ａの値を少なくとも０．０９８［ｍｍ］以下に設定することで、ライトオフ時間を最短時間に設定することができる。
【００１９】
他方、第２室の容積Ｖを縮小した場合、残留酸素の量を減らすことができると共に、第２室に導入される被測定ガスの量についても減少することになり、ひいては検出対象である特定成分の量も減少することから、特定成分を検出した際のセンサ出力が低下してしまう。
【００２０】
しかし、後述する測定結果を示す図４から判るように、変数Ｖ／Ａとセンサ出力との関係については、変数Ｖ／Ａが大きくなるほどセンサ出力が大きくなることから、変数Ｖ／Ａを一定値以上に設定することで、センサ出力の大きさを外部機器が識別可能な最低値以上に設定することができる。
【００２１】
なお、第２拡散抵抗体を第２ポンプセルの多孔質電極の表面全体に当接させて形成した場合には、見かけ上は第２室が存在しない状態（容積Ｖ＝０［ｍｍ3 ］の状態）となるが、実際には、第２拡散抵抗体を形成する多孔質物質の空孔部分が第２室として機能するため、第２ポンプセルによる特定成分の検出が可能である。このとき、第２拡散抵抗体は、特定成分の検出に必要な量の被測定ガスが透過可能な気孔率（例えば、４０［％］以上）の多孔質物質で形成することが必要である。そして、特定成分の検出が可能な気孔率に設定された第２拡散抵抗体を用いてＮＯｘガスセンサを形成した場合、第２拡散抵抗体の空孔部分を第２室と見なして算出される変数Ｖ／Ａの値は、約０．０１［ｍｍ］である。このことから、変数Ｖ／Ａが少なくとも０．０１［ｍｍ］以上となる場合には、外部機器において識別可能な大きさのセンサ出力が得られることが判る。
【００２２】
よって、本発明（請求項１）のＮＯｘガスセンサによれば、変数Ｖ／Ａを０．０１［ｍｍ］以上かつ０．１［ｍｍ］以下とすることで、ライトオフ時間を短縮することができると共に、センサ出力が低下してＳ／Ｎ比が悪化するのを防ぐことができる。
ところで、被測定ガスは、第２拡散抵抗体を介して第２室に導入されるが、第２拡散抵抗体の気孔率によって、第２室に導入される被測定ガスの量が異なることから、第２拡散抵抗体の気孔率がガスセンサの検出精度に影響している。
そこで、本発明のＮＯｘガスセンサは、例えば、第２拡散抵抗体が、気孔率が２０［％］以上かつ４５［％］以下である多孔質物質からなるとよい。
つまり、図４に示す測定結果から、第２拡散抵抗体の気孔率が２０［％］以上であれば、変数Ｖ／Ａが０．０１［ｍｍ］以上となる範囲においては、少なくとも外部機器が識別可能な大きさのセンサ出力（図４の測定においては、０．９［μＡ］以上のセンサ出力）が得られることが判る。
また、第２拡散抵抗体の気孔率が大きすぎると、第１室と第２室との間における被測定ガスの単位時間あたりの移動量が過剰となるために、第１ポンプセルによる酸素の除去が十分ではない被測定ガスが第２室に流入することになる。このように被測定ガス中に酸素が残っている場合、第２室を測定に適した雰囲気に維持できず、ガスセンサとしての測定精度を低下させることになるため、第２拡散抵抗体の気孔率は所定値以下（４５［％］以下）にするとよい。
よって、このような構成のＮＯｘガスセンサによれば、第２室を測定に適した雰囲気に維持することができるため、ＮＯｘ検出を適切に行うことができ、また、センサ出力を一定値以上に維持できるため、Ｓ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
また、図４に示す測定結果から、第２拡散抵抗体の気孔率が３０［％］よりも低い値である場合には、気孔率が低くなるほどセンサ出力の値が低下することから、気孔率が３０［％］以下の領域では、第２室への被測定ガス流入量が、第２拡散抵抗体によって制限されていると判断できる。
これに対して、第２拡散抵抗体の気孔率が３０［％］以上となる場合には、気孔率の増加に伴いセンサ出力の値が増加することはなく、センサ出力の値が略一定の値を示しており、被測定ガスに含まれている実際のＮＯｘ濃度に応じたセンサ出力としての最大値を示していると判断できる。
そこで、本発明（請求項１）のＮＯｘガスセンサは、第２拡散抵抗体が、気孔率が３０［％］以上かつ４５［％］以下である多孔質物質からなるように構成されている。
このような気孔率の第２拡散抵抗体を備えることで、被測定ガスの流入量が第２拡散抵抗体によって必要以上に制限されてセンサ出力が低下するのを防ぐことができ、また、実際のＮＯｘ濃度に応じたセンサ出力としての最大値を得ることができる。
また、後述の図５に示す測定結果から、気孔率が３０［％］以上であれば、第２拡散抵抗体の厚み寸法のうち、本測定の全範囲において、外部機器が識別可能な大きさのセンサ出力（図５の測定においては、０．９［μＡ］以上のセンサ出力）を得られることが判る。このことからも、気孔率が３０［％］以上の第２拡散抵抗体を用いることで、センサ出力を一定値以上に維持することができ、Ｓ／Ｎ比の低下を防止できることが判る。
よって、本発明（請求項１）のＮＯｘガスセンサによれば、実際のＮＯｘ濃度に応じたセンサ出力としての最大値が得られるため、さらに好適なＳ／Ｎ比を実現することができる。
なお、第２拡散抵抗体は、一定量以上の被測定ガスの導入を可能とすると共に、第２室を測定に適した雰囲気に安定させるためには、その厚さ寸法が２０［μｍ］から８００［μｍ］までの範囲内となるように形成するとよい。このとき、センサ出力を大きくし最低限のＳ／Ｎ比を確保するには、第２拡散抵抗体の厚さ寸法は２００［μｍ］以下に設定するとよい。また、第２拡散抵抗体の強度を維持するためには、厚さ寸法を２０［μｍ］以上に設定すると良い。
【００２３】
次に、本発明（請求項１）のＮＯｘガスセンサは、請求項２に記載のように、第２室の容積をＶとし、多孔質電極のうち第２室に面している多孔質電極の体積をＢとした場合に、Ｖ／Ｂの値が０．５以上かつ５以下であるように構成しても良い。
【００２４】
なお、ここでは、多孔質電極に形成される気孔の部分を含めた多孔質電極全体の体積を体積Ｂとして数値を規定する。
ここで、多孔質電極は、一定の強度を確保すると共に、形成可能な最薄限界を考慮して、その厚さが１０［μｍ］から４０［μｍ］までの範囲内となるように形成するとよく、特に、２０［μｍ］程度に形成することが望ましい。
【００２５】
そして、ライトオフ時間の短縮およびセンサ出力の低下防止を実現するべく変数Ｖ／Ａを上記範囲（０．０１［ｍｍ］以上かつ０．１［ｍｍ］以下）にすると共に、多孔質電極の厚さ寸法を適切な値（２０［μｍ］）に設定するためには、多孔質電極の体積をＢとした場合、比率Ｖ／Ｂの範囲を、０．５以上かつ５以下に設定するとよい。
【００２６】
よって、本発明（請求項２）のＮＯｘガスセンサによれば、比率Ｖ／Ｂを０．５以上かつ５以下とすることで、ライトオフ時間を短縮できると共にセンサ出力が低下するのを防止でき、また、第２ポンプセルの多孔質電極の強度を適切に維持することができる。
【００３６】
ところで、第２ポンプセルは、多孔質電極の電極面積の大きさによって出力する電流値の大きさが異なることから、多孔質電極の電極面積が極度に小さくなる場合には、出力電流値が過度に小さくなってしまい、十分なＳ／Ｎ比を実現できない虞がある。
【００３７】
そこで、上述（請求項１または請求項２）のＮＯｘガスセンサにおいては、請求項３に記載のように、第２ポンプセルに備えられる多孔質電極のうち第２室に面している多孔質電極の電極面積が、１［ｍｍ2 ］以上であるとよい。
つまり、本出願の発明者が実施した測定においては、１［ｍｍ2 ］以上の電極面積を有する多孔質電極を有するＮＯｘガスセンサを使用しており、各測定結果から、少なくとも外部機器で識別可能な大きさのセンサ出力が得られることが判る。これにより、１［ｍｍ2 ］以上の電極面積を有する多孔質電極を用いて構成したＮＯｘガスセンサは、ＮＯｘの還元反応に必要な最低限の領域を確保することができ、センサ出力を少なくとも一定値以上に維持できるため、好適なＳ／Ｎ比を実現することができる。
【００３８】
よって、本発明（請求項３）のＮＯｘガスセンサによれば、ライトオフ時間を短縮すると共に、好適なＳ／Ｎ比を実現することができる。なお、第２ポンプセルの多孔質電極のうち第２室に面している多孔質電極の電極面積が０．５［ｍｍ2 ］以下となる場合には、そのＮＯｘガスセンサは、センサ出力が大きく減少するものと推定される。
【００３９】
また、上述（請求項１から請求項３のいずれか）のＮＯｘガスセンサは、請求項４に記載のように、第２ポンプセルに備えられる多孔質電極のうち第２室に面している多孔質電極の電極厚さが、１０［μｍ］以上であるとよい。
つまり、多孔質電極の厚さをこのように規定することで、一定の強度を確保することができ、振動などによる多孔質電極の破損を防ぐことができる。
【００４０】
よって、本発明（請求項４）のＮＯｘガスセンサによれば、振動等による多孔質電極の破損を防ぐことができ、耐衝撃性に優れたＮＯｘガスセンサを実現することができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
まず、本発明のＮＯｘガスセンサ１について、図１に示す内部構成図を用いて説明する。なお、このＮＯｘセンサは、自動車の内燃機関やボイラ等の各種燃焼機器の排気ガス中のＮＯｘ濃度を検出するためのセンサである。
【００４２】
そして、ＮＯｘガスセンサ１は、第１ポンプセル１１，酸素濃度検知セル１２，第２ポンプセル１３を、アルミナを主体とする絶縁層１４，１５を介して積層した構造を有する。
このうち、第１ポンプセル１１は、酸素イオン伝導性を有するジルコニアからなる第１固体電解質層１１ａと、第１固体電解質層１１ａを挟み込むように配置された第１内側電極２１ａと第１外側電極２１ｂとからなる第１多孔質電極２１とを備えて形成されている。なお、第１内側電極２１ａおよび第１外側電極２１ｂは、白金で形成されており、第１内側電極２１ａの表面には、多孔質体からなる保護層２２が形成されている。
【００４３】
また、第２ポンプセル１３は、酸素イオン伝導性を有するジルコニアからなる第２固体電解質層１３ａと、第２固体電解質層１３ａの表面のうち絶縁層１５に面する表面に配置された第２内側電極２５ａおよび第２外側電極２５ｂからなる第２多孔質電極２５とを備えて形成されている。なお、第２内側電極２５ａおよび第２外側電極２５ｂは、白金で形成されている。また、第２内側電極２５ａの周囲には、多孔質体からなる第２拡散抵抗体１７が形成されており、第２内側電極２５ａと第２拡散抵抗体１７との間には、第２室Ｓ２が形成されている。そして、第２内側電極２５ａは、第２室Ｓ２に面する電極面積（表面積）が１［ｍｍ2 ］であり、厚さ寸法が２０［μｍ］となるように形成されている。
【００４４】
さらに、酸素濃度検知セル１２は、酸素イオン伝導性を有するジルコニアからなる検知用固体電解質層１２ａと、検知用固体電解質層１２ａを挟み込むように配置された検知用電極２３ａと基準用電極２３ｂとからなる検知用多孔質電極２３とを備えて形成されている。なお、検知用電極２３ａおよび基準用電極２３ｂは、白金で形成されている。
【００４５】
そして、ＮＯｘガスセンサ１の内部には、被測定ガスが導入される第１室Ｓ１が形成されており、第１室Ｓ１には、第１ポンプセル１１と酸素濃度検知セル１２との間に配置された第１拡散抵抗体１６を介して、被測定ガスが導入される。なお、第１拡散抵抗体１６は、被測定ガスが通過する方向に積層された２種類の多孔質体で構成されている。また、第１室Ｓ１は、酸素濃度検知セル１２を貫通すると共に、第２拡散抵抗体１７に至るように形成されており、第１室Ｓ１に面するように、第１ポンプセル１１の第１内側電極２１ａ、および酸素濃度検知セル１２の検知用電極２３ａが配置されている。
【００４６】
さらに、ＮＯｘガスセンサ１の内部のうち、酸素濃度検知セル１２と第２ポンプセル１３との間には、基準酸素室１８が形成されており、この基準酸素室１８に面するように、酸素濃度検知セル１２の基準用電極２３ｂと、第２ポンプセル１３の第２外側電極２５ｂとが配置されている。
【００４７】
このように構成されたＮＯｘガスセンサ１は、第１ポンプセル１１により第１室Ｓ１の内部に存在する酸素のポンピング（汲み出し）が可能であり、酸素濃度検知セル１２により、酸素濃度を一定に制御された基準酸素室１８と第１室Ｓ１との酸素濃度差、つまり第１室Ｓ１の内部の酸素濃度を測定可能である。
【００４８】
なお、このＮＯｘガスセンサ１は、図６に示す駆動回路１２０と同様の構成の駆動回路により駆動されるものであり、また、ヒータを一体に備える構成ではなく、別個独立に備えられるヒータにより活性化温度まで加熱される。
そして、このＮＯｘガスセンサ１を駆動する駆動回路（図示省略）は、ヒータ（図示省略）を駆動制御してＮＯｘガスセンサ１を活性温度（例えば７５０℃）まで加熱し、この状態で、酸素濃度検知セル１２の両端電圧Ｖｓが予め設定された一定電圧（例えば４２５ｍＶ）となるように、第１ポンプセル１１に流れる第１ポンプ電流Ｉｐ１を制御する。また、駆動回路は、第１ポンプ電流Ｉｐ１を制御すると共に、第２ポンプセル１３に、第２室Ｓ２から酸素を汲み出す方向に一定の第２ポンプ電圧Ｖｐ２（例えば４５０ｍＶ）を印加し、この時、第２ポンプセル１３に流れる第２ポンプ電流Ｉｐ２の検出を行う。
【００４９】
なお、検出すべき特定成分がＮＯｘ（窒素酸化物）であるため、第１室Ｓ１内の酸素濃度を低酸素濃度（≒０％）に保持し、且つ第２ポンプ電圧Ｖｐ２を所定の電圧に保持すると、第２室Ｓ２では、第２ポンプセル１３を構成する第２多孔質電極２５の触媒作用によって、ＮＯｘが分解（還元）され、その分解により得られた酸素が第２室Ｓ２から抜き取られることにより第２ポンプ電流Ｉｐ２が流れる。
【００５０】
つまり、第２ポンプ電流Ｉｐ２は、被測定ガスに含まれるＮＯｘの濃度に対応した大きさとなり、本実施例のＮＯｘガスセンサは、ＮＯｘが還元反応することで発生する酸素濃度を検出することで、間接的にＮＯｘ濃度を検出するよう構成されている。
【００５１】
ここで、ＮＯｘガスセンサ１において、第２室Ｓ２の容積Ｖと、第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａの表面のうち第２室Ｓ２に面する電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値を変化させたときの、第２拡散抵抗体の気孔率とライトオフ時間との関係を測定した第１実験の測定結果について説明する。
【００５２】
なお、ライトオフ時間とは、ガスセンサを起動した後、被測定ガス中の特定成分濃度を正確に測定可能な状態（正常検出状態）となるまでの時間である。そこで、本実験では、ガスセンサの起動から６００［sec］ 経過した後のセンサ出力値を安定値とみなし、起動した後、センサ出力値がこの安定値に対して３０［ppm］ 以内に収束するまでの時間をライトオフ時間と定義して測定を実施した。
【００５３】
まず、第１実験では、第２室Ｓ２の容積Ｖと、第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａの電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値が、それぞれ異なる４種類（Ｖ／Ａ＝0.01，0.098，0.119，0.137［ｍｍ］ ）のＮＯｘガスセンサを用いた。そして、４種類のＮＯｘガスセンサのそれぞれについて、第２拡散抵抗体１７の気孔率を変化させて、ライトオフ時間を測定した。
【００５４】
縦軸をライトオフ時間とし、横軸を第２拡散抵抗体の気孔率とする座標平面に示した第１実験の測定結果を、図３に示す。
図３に示す測定結果から、第２拡散抵抗体の気孔率を変化させた場合、気孔率が小さくなるほどライトオフ時間が短縮されるが、気孔率の変化量に対するライトオフ時間の短縮割合はあまり大きくないことが判る。
【００５５】
そして、測定結果を示した図３によれば、第２室の容積Ｖと多孔質電極の電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａとライトオフ時間との関係については、変数Ｖ／Ａが小さい値となるほどライトオフ時間が短縮されており、また、変数Ｖ／Ａの変化量に対するライトオフ時間の短縮割合が大きいことが判る。なお、変数Ｖ／Ａ＝０．１１９［ｍｍ］の場合のライトオフ時間に比べて、変数Ｖ／Ａ＝０．０９８［ｍｍ］の場合のライトオフ時間が大幅に短縮されていることから、変数Ｖ／Ａを双方の値の略中間値である０．１［ｍｍ］以下に設定することで、ライトオフ時間を実用上支障の無い値に設定できると考えられる。さらに、変数Ｖ／Ａが０．０９８［ｍｍ］以下となる場合には、ライトオフ時間はほぼ一定の値を示すとともに最短となることから、変数Ｖ／Ａを０．０９８［ｍｍ］以下に設定することで、ライトオフ時間を最短時間に設定することができる。
【００５６】
なお、変数Ｖ／Ａを小さく設定することでライトオフ時間が短縮できるのは、第２内側電極２５ａの電極面積Ａに対する第２室Ｓ２の容積Ｖが小さくなり、残留酸素の量が減少するためである。
よって、第１実験の測定結果によれば、ＮＯｘガスセンサのライトオフ時間を短縮するためには、変数Ｖ／Ａの値を０．１［ｍｍ］以下に設定すると良く、より好ましくは変数Ｖ／Ａの値を０．０９８［ｍｍ］以下に設定すると良いことが判る。
【００５７】
次に、ＮＯｘガスセンサ１において、第２室Ｓ２の容積Ｖと、第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａの表面のうち第２室Ｓ２に面する電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値を変化させたときの、第２拡散抵抗体の気孔率とセンサ出力値との関係を測定した第２実験の測定結果について説明する。
【００５８】
なお、本測定は、ＮＯｘガスセンサを起動した後ライトオフ時間が経過させて活性化し、活性化状態のＮＯｘガスセンサ１をＮＯｘ濃度が一定に設定された被測定ガス中に配置した際に、第２多孔質電極２５から出力される第２ポンプ電流Ｉｐ２を測定するという手順で実施した。なお、測定結果を示す図４では、第２多孔質電極２５から出力される第２ポンプ電流Ｉｐ２を、センサ出力と称して記載している。
【００５９】
第２実験では、第１実験と同様に、第２室Ｓ２の容積Ｖと、第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａの電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値が、それぞれ異なる４種類（Ｖ／Ａ＝0.01，0.098，0.119，0.137［ｍｍ］ ）のＮＯｘガスセンサを用いた。そして、４種類のＮＯｘガスセンサのそれぞれについて、第２拡散抵抗体１７の気孔率を変化させて、センサ出力を測定した。また、各ＮＯｘガスセンサにおける第２拡散抵抗体の厚さ寸法は、すべて６０［μｍ］に設定されている。
【００６０】
縦軸をセンサ出力（第２ポンプ電流Ｉｐ２）とし、横軸を第２拡散抵抗体の気孔率とする座標平面に示した第２実験の測定結果を、図４に示す。
そして、図４に示す測定結果から、第２拡散抵抗体の気孔率が２０［％］以上であれば、変数Ｖ／Ａが０．０１［ｍｍ］以上となる範囲においては、少なくとも外部機器が識別可能な大きさのセンサ出力（図４の測定においては、０．９［μＡ］以上のセンサ出力）が得られることが判る。
【００６１】
また、第２拡散抵抗体の気孔率が大きすぎると、第１室と第２室との間における被測定ガスの単位時間あたりの移動量が過剰となるために、第１ポンプセルによる酸素の除去が十分ではない被測定ガスが第２室に流入することになる。このように被測定ガス中に酸素が残っている場合、第２室を測定に適した雰囲気に維持できず、ガスセンサとしての測定精度を低下させることになるため、第２拡散抵抗体の気孔率は所定値以下（４５［％］以下）にするとよい。
【００６２】
よって、第２実験の測定結果によれば、センサ出力の低下によるＳ／Ｎ比の悪化を防ぐためには、変数Ｖ／Ａの値が０．０１［ｍｍ］以上に設定されたＮＯｘガスセンサを用いると良いことが判る。
したがって、第１実験および第２実験の測定結果から、変数Ｖ／Ａの値が０．０１［ｍｍ］以上かつ０．１［ｍｍ］以下となるＮＯｘガスセンサを用いることで、ライトオフ時間を短縮し、かつＳ／Ｎ比の悪化を防止することができることが判る。
【００６３】
次に、第２実験の測定結果において、第２拡散抵抗体の気孔率に着目すると、第２拡散抵抗体の気孔率が２０［％］以上となる場合には、外部機器が識別可能な大きさのセンサ出力（図４の測定においては、０．９［μＡ］以上のセンサ出力）が得られることが判る。
【００６４】
しかしながら、第２拡散抵抗体の気孔率が大きすぎると、第１室と第２室との間における被測定ガスの単位時間あたりの移動量が過剰となるために、第１ポンプセルによる酸素の除去が十分ではない被測定ガスが第２室に流入することになる。このように被測定ガス中に酸素が残っている場合、第２室を測定に適した雰囲気に維持できず、ガスセンサとしての測定精度を低下させることになるため、第２拡散抵抗体の気孔率は４５［％］以下にするとよい。
【００６５】
よって、第２拡散抵抗体の気孔率が２０［％］以上かつ４５［％］以下に設定されたＮＯｘガスセンサによれば、第２室を測定に適した雰囲気に維持することができるため、ＮＯｘ検出を適切に行うことができ、また、センサ出力を一定値以上に維持できるため、Ｓ／Ｎ比の低下を防ぐことができる。
【００６６】
さらに、第２実験の測定結果によれば、第２拡散抵抗体の気孔率が３０［％］以上となる場合には、気孔率の増加に伴いセンサ出力の値が増加することはなく、センサ出力の値が略一定の値を示しており、被測定ガスに含まれている実際のＮＯｘ濃度に応じたセンサ出力としての最大値を示していると判断できる。
【００６７】
このため、気孔率が３０［％］以上の第２拡散抵抗体を備えるＮＯｘガスセンサを用いることで、第２拡散抵抗体による不必要な制限を受けて被測定ガスの通過量が減少するのを抑制でき、センサ出力が低下するのを防ぐことができる。また、このような第２拡散抵抗体を用いることで、実際のＮＯｘ濃度に応じたセンサ出力としての最大値を得ることができる。
【００６８】
次に、ＮＯｘガスセンサ１において、変数Ｖ／Ａの値を一定（Ｖ／Ａ＝０．０９８）とし、第２拡散抵抗体１７の気孔率を変化させたときの、第２拡散抵抗体の厚さ寸法とセンサ出力値との関係を測定した第３実験の測定結果について説明する。
【００６９】
なお、本測定は、起動開始時点からライトオフ時間を経過させてＮＯｘガスセンサを活性化し、活性化状態のＮＯｘガスセンサ１をＮＯｘ濃度が一定に設定された被測定ガス中に配置して、このＮＯｘガスセンサ１の第２多孔質電極２５から出力される第２ポンプ電流Ｉｐ２（センサ出力）を測定するという手順で実施した。そして、第３実験では、第２拡散抵抗体１７の気孔率がそれぞれ異なる３種類（１５，３０，４５［％］）のＮＯｘガスセンサを用い、３種類のＮＯｘガスセンサのそれぞれについて、第２拡散抵抗体１７の厚さ寸法を変化させて、センサ出力を測定した。
【００７０】
縦軸をセンサ出力（第２ポンプ電流Ｉｐ２）とし、横軸を第２拡散抵抗体の厚さ寸法とする座標平面に示した第３実験の測定結果を、図５に示す。
図５に示す測定結果から、第２拡散抵抗体の厚さ寸法を変化させた場合には、厚さ寸法が小さくなるほどセンサ出力が増大することが判り、また、第２拡散抵抗体の気孔率を変化させた場合には、気孔率が大きくなるほどセンサ出力が増大することが判る。
【００７１】
さらに、図５に示す測定結果によれば、気孔率が３０［％］以上である場合には、第２拡散抵抗体の厚み寸法に拘わらず、外部機器が識別可能な大きさのセンサ出力（図５の測定においては、０．９［μＡ］以上のセンサ出力）を得られることが判る。
【００７２】
よって、第２実験の測定結果のみならず、第３実験の測定結果からも、気孔率が３０［％］以上の第２拡散抵抗体を用いることで、ＮＯｘガスセンサの出力におけるＳ／Ｎ比の低下を防止でき、さらに好適なＳ／Ｎ比を実現できることが判る。
【００７３】
なお、より確実に外部機器に識別可能とするには、センサ出力を１．０［μＡ］以上に設定することが望ましく、そのためには、第２拡散抵抗体の気孔率が３０［％］以上であり、かつ第２拡散抵抗体の厚さ寸法が０．５［ｍｍ］以下であるＮＯｘガスセンサを用いると良い。また、第２拡散抵抗体は、一定量以上の被測定ガスの導入を可能とすると共に、第２室を測定に適した雰囲気に安定させるためには、その厚さ寸法が２０［μｍ］から８００［μｍ］までの範囲内となるように形成するとよい。このとき、センサ出力を大きくし最低限のＳ／Ｎ比を確保するには、第２拡散抵抗体の厚さ寸法は２００［μｍ］以下に設定するとよい。また、第２拡散抵抗体の強度を維持するためには、厚さ寸法を２０［μｍ］以上に設定すると良い。
【００７４】
ところで、本実施例のＮＯｘガスセンサは、第２ポンプセル１３の第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａが、１［ｍｍ2 ］の電極面積を有するように形成されていることから、ＮＯｘの還元反応に必要な領域を確保でき、センサ出力を一定値以上に維持することができる。このため、本実施例のＮＯｘガスセンサは、好適なＳ／Ｎ比を実現することができる。
【００７５】
さらに、本実施例のＮＯｘガスセンサに備えられる第２内側電極２５ａは、厚さ寸法が２０［μｍ］に形成されていることから、一定の強度を有しており、振動などによる破損が発生し難くなるため、振動などによる破損を防ぐことができ、本実施例のＮＯｘガスセンサは耐衝撃性に優れている。
【００７６】
次に、本発明を適用した第２ＮＯｘガスセンサのライトオフ時間と、従来の第３ＮＯｘガスセンサのライトオフ時間とを比較した第４実験について説明する。
そして、本発明を適用した第２ＮＯｘガスセンサ４は、第２拡散抵抗体の厚みが０．７５１［ｍｍ］、第２拡散抵抗体の気孔率が４５［％］、第２室の容積Ｖが０．２６７［ｍｍ3 ］、第２ポンプセルのうち第２室に面する多孔質電極の電極面積Ａが３［ｍｍ2 ］となるように形成されている。なお、第２ＮＯｘガスセンサ４においては、第２室の容積Ｖおよび第２ポンプセルの多孔質電極の電極面積Ａからなる変数Ｖ／Ａの値は０．０８９である。
【００７７】
また、従来の第３ＮＯｘガスセンサ５は、第２拡散抵抗体の厚みが０．５５０［ｍｍ］、第２拡散抵抗体の気孔率が４５［％］、第２室の容積Ｖが０．３８４［ｍｍ3 ］、第２ポンプセルのうち第２室に面する多孔質電極の電極面積Ａが３［ｍｍ2 ］となるように形成されている。なお、第２ＮＯｘガスセンサ４においては、第２室の容積Ｖおよび第２ポンプセルの多孔質電極の電極面積Ａからなる変数Ｖ／Ａの値は０．１２８である。
【００７８】
なお、ＮＯｘガスセンサの実使用環境下においては、起動後４０秒間は、第２ポンプセルに対して高電圧を印加して、第２室の内部に存在する残留酸素を強制的に排気する処理を実施しており、本実験においても、起動後４０秒間は、残留酸素の強制廃棄処理を実施した上でライトオフ時間を測定した。
【００７９】
そして、第４実験の測定結果を図７に示す。図７では、（ａ）に本発明を適用した第２ＮＯｘガスセンサ４の測定結果を示し、（ｂ）に従来の第３ＮＯｘガスセンサ５の測定結果を示している。なお、図７では、ガスセンサの起動後６００［sec］ 後のセンサ出力値を基準 として、この基準に対する差分の大きさの変化を縦軸とし、起動後の時間経過を横軸として測定結果を示している。
【００８０】
図７に示す測定結果によれば、本発明を適用した第２ＮＯｘガスセンサ４は、強制排気時間を含むライトオフ時間が６１［sec］ であり、強制排気時間を除くライトオフ時間が２１［sec］ である。また、従来の第３ＮＯｘガスセンサ５は、強制排気時間を含むライトオフ時間が１７６［sec］ であり、強制排気時間を除くライトオフ時間が１３６［sec］ である。
【００８１】
よって、第４実験の測定結果から、本発明を適用したＮＯｘガスセンサは、従来のＮＯｘガスセンサに比べて、ライトオフ時間を短縮できることが判る。
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、こうした実施例に限定されることなく、種々の態様をとることができる。
【００８２】
例えば、ＮＯｘガスセンサの構造は、第１実施例に示すＮＯｘガスセンサのような構造に限ることはなく、例えば、図２に示すような構造のＮＯｘガスセンサとして構成しても良い。
つまり、図２に示す第４ＮＯｘガスセンサ３は、第１ポンプセル１１，酸素濃度検知セル１２，第２ポンプセル１３を絶縁層１４，１５を介して積層した構造である点では、図１に示すＮＯｘガスセンサ１と同様であるが、第２室Ｓ２および第２拡散抵抗体１７の形状が異なっている。すなわち、ＮＯｘガスセンサ１の第２室Ｓ２は、第２拡散抵抗体１７に周囲を囲まれて形成されるのに対し、第４ＮＯｘガスセンサ３の第２室Ｓ２は、酸素濃度検知セル１２、第２ポンプセル１３、絶縁層１５、第２拡散抵抗体１７に囲まれて形成されている。
【００８３】
このような構造の第４ＮＯｘガスセンサ３においても、第２室Ｓ２の容積Ｖと第２ポンプセル１３の第２内側電極２５ａの電極面積Ａとからなる変数Ｖ／Ａの値を適切に設定することで、ライトオフ時間を短縮すると共に、センサ出力のＳ／Ｎ比の悪化を防ぐことができる。
【００８４】
また、上記実施例では、ライトオフ時間の短縮およびセンサ出力の低下防止を実現するためのＮＯｘガスセンサとして、変数Ｖ／Ａの値の範囲を規定しているが、さらに、ＮＯｘガスセンサの強度を維持するために、第２多孔質電極２５の厚さ寸法を適切な値（例えば、２０［μｍ］）に設定することが望ましい。そのため、ライトオフ時間の短縮およびセンサ出力の低下防止を実現するべく変数Ｖ／Ａを上記範囲にすると共に、第２多孔質電極２５の厚さ寸法を適切に設定するためには、第２多孔質電極２５の第２内側電極２５ａの体積をＢとした場合に、比率Ｖ／Ｂの範囲を０．５以上かつ５以下に設定するとよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明のＮＯｘガスセンサの内部構成図である。
【図２】  本発明の第４ＮＯｘガスセンサの内部構成図である。
【図３】  ＮＯｘガスセンサにおいて、変数Ｖ／Ａの値を変化させたときの、第２拡散抵抗体の気孔率とライトオフ時間との関係を測定した第１実験の測定結果である。
【図４】  ＮＯｘガスセンサにおいて、変数Ｖ／Ａの値を変化させたときの、第２拡散抵抗体の気孔率とセンサ出力値との関係を測定した第２実験の測定結果である。
【図５】  ＮＯｘガスセンサにおいて、変数Ｖ／Ａの値を一定とし、第２拡散抵抗体の気孔率を変化させたときの、第２拡散抵抗体の厚さ寸法とセンサ出力値との関係を測定した第３実験の測定結果である。
【図６】  従来のＮＯｘガスセンサの内部構成および駆動回路との接続状態を表す説明図である。
【図７】  本発明を適用した第２ＮＯｘガスセンサのライトオフ時間と、従来の第３ＮＯｘガスセンサのライトオフ時間とを比較した第４実験の測定結果である。
【符号の説明】
１，３，４，５…ＮＯｘガスセンサ、１１…第１ポンプセル、１２…酸素濃度検知セル、１３…第２ポンプセル、１４…絶縁層、１５…絶縁層、１６…第１拡散抵抗体、１７…第２拡散抵抗体、１８…基準酸素室、２１…第１多孔質電極、２３…検知用多孔質電極、２５…第２多孔質電極、Ｓ１…第１室、Ｓ２…第２室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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