(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に第１の突起電極が形成された第１の部材と、前記第１の部材と対向する表面に第２の突起電極が形成された第２の部材との少なくとも２つの部材と、
前記第１の部材と前記第２の部材との間に設置され、前記第１の部材と前記第２の部材とを所定の間隙をもって接続する中間部材とを有し、
前記第１の部材と前記第２の部材との間の間隙に実装部品が配置されている積層実装構造体であって、
前記第１の突起電極と前記第２の突起電極とが、前記中間部材に設けられている開口部内で接続されていることを特徴とする積層実装構造体。
【請求項２】
対向する前記第１の突起電極の高さと前記第２の突起電極の高さとを合計した高さは、前記中間部材の高さよりも大きく、かつ
前記第１の突起電極の形状と前記第２の突起電極の形状とは、それぞれ先端部が最も細くなっている形状であることを特徴とする請求項１に記載の積層実装構造体。
【請求項３】
前記第１の突起電極の直径の最大値と前記第２の突起電極の直径の最大値とは、それぞれ前記中間部材に設けられている前記開口部の直径よりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の積層実装構造体。
【請求項４】
前記第１の突起電極と前記第２の突起電極とは、それぞれ幅と高さとの比が１対１である突起電極を複数段積層して形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項５】
前記開口部の内壁は凹凸形状を有していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項６】
前記開口部の内壁の角部に面取り部が形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項７】
前記第１の突起電極と前記第２の突起電極との材質は、Ａｕであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項８】
前記中間部材の前記開口部の内壁表面に導体層が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項９】
前記第１の突起電極と前記第２の突起電極との材質は、はんだ材料であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の積層実装構造体。
【請求項１０】
表面に第１の突起電極が形成された第１の部材と、前記第１の部材と対向する表面に第２の突起電極が形成された第２の部材との少なくとも２つの部材とを対向させる対向ステップと、
前記第１の部材と前記第２の部材との間に中間部材を配置する配置ステップと、
前記第１の突起電極と前記第２の突起電極とが、前記中間部材に設けられている開口部内で接続されるように、前記第１の部材と前記第２の部材との間を前記中間部材を介して所定の間隙をもって接合する接合ステップとを有し、
前記対向ステップにおいて、対向する前記第１の突起電極の高さと前記第２の突起電極の高さとを合計した高さは、前記中間部材の高さよりも大きく、かつ
前記第１の突起電極の形状と前記第２の突起電極の形状とは、それぞれ先端部が最も細くなっている形状であることを特徴とする積層実装構造体の製造方法。
【請求項１１】
前記対向ステップにおいて、前記第１の突起電極の直径と前記第２の突起電極の直径とは、それぞれ前記中間部材に設けられている前記開口部の直径よりも小さいことを特徴とする請求項１０に記載の積層実装構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層実装構造体、特に複数の部材を部材の厚さ方向に積層してできる３次元的な積層実装構造体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品が実装されている基板を備える構造体に関しては、種々の構成が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。特許文献１には、例えば、図１５に示すような、内視鏡１０の先端部に設けられている撮像ユニットに関する実装構造体が開示されている。ここでは、撮像素子１１と平行に実装基板を積層する技術が述べられている。この技術では、まず、撮像素子１１と平行に実装基板１２を配置する。そして、撮像素子１１が実装された実装基板１２と、その他の部品が実装されている実装基板１３とを、スペーサを介して実装する。これにより、スペーサの高さ分で得られた空間に実装基板上の実装部品を配置できる。従って、実装構造体の実装密度を向上できる。この結果、内視鏡の先端部に設けられている撮像ユニットの小型化を図ることができる。
【０００３】
また、特許文献２には、図１６に示すような、メモリモジュール基板２４を備える実装構造体２０の構成が開示されている。対向する基板２１の内側は中空である。基板２１の両面に複数の電極が設けられている。そして、基板２１の表面の電極と、対向する基板２１の裏面の電極とが互いに電気的に接続されている。電極どうしの接続部分では、導電性スペーサ２５の両面に異方性導電フィルム２２が貼り付けられている。このように、特許文献２には、電子部品２３が実装されている基板２１の実装構造体が開示されている。この構成では、導電性スペーサ２５と異方性導電フィルム２２との接合のために、導電性スペーサ２５上に設けたスルーホール上に電極を設けている。
【０００４】
【特許文献１】特公平４-３８４１７号公報
【特許文献２】特開平１１-１１１９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された構成では、積層して配置した基板間の電気的導通はリード線１４により確保されている。リード線１４による基板間接合は、作業の自動化が困難である。例えば、立体的に配置された微小な構造体に、短いリード線を配置し、はんだ付けする作業は、一般的な自動実装機では対応が不可能である。
【０００６】
そのため、リード線１４の取付け作業は、自ずと手作業になってくる。また、たとえ手作業によっても、このような実装内容は難度が高い部類に入る。自動化が難しく、作業難度が高い技術では、実装コストの増加や生産能力の低下を招いてしまうという問題がある。また、手作業にてハンドリング可能なリード線の大きさ、及びハンドリング時に制御可能なリード線間の間隙を考慮すると、従来技術の構成では、実装構造体の小型化に対しても不利である。
【０００７】
また、特許文献２に開示された構成では、図１６から明らかなように、導電性スペーサ２５上に、スルーホール外形よりも大きな面積の電極を設ける必要がある。このため、接合部の狭ピッチ化が困難となる。換言すると、実装構造体を上部から見たときの投影面積を小さくすることが困難である。また、この構成では、導電性スペーサ２５と基板２１との接合材料として、異方性導電フィルム２２を用いている。このため、導電性スペーサ２５と基板２１との間の接続抵抗値が高くなってしまう欠点がある。
【０００８】
このように、従来技術の実装構造体は、電子部品の実装スペースを確保するためのスペーサを介した基板積層実装を行う上で、良好な生産性を確保することが困難である。また、基板の平面方向の投影面積を減少させるように小型化することも困難である。
【０００９】
本発明は、上述のような問題点を考慮してなされたものであり、複数の基板をスペーサを介して接続し、基板間の空間に実装部品を実装する積層実装構造体において、基板の平面方向の投影面積を減少させるように小型化しつつ、製造工程を少なくしたことで歩留まり向上及びコストの低減及び製造時間の短縮を実現した積層実装構造体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、表面に第１の突起電極が形成された第１の部材と第１の部材と対向する表面に第２の突起電極が形成された第２の部材との少なくとも２つの部材と、第１の部材と第２の部材との間に設置され、第１の部材と第２の部材とを所定の間隙をもって接続する中間部材とを有し、第１の部材と第２の部材との間の間隙に実装部品が配置されている積層実装構造体であって、第１の突起電極と第２の突起電極とが、中間部材に設けられている開口部内で接続されていることを特徴とする積層実装構造体を提供できる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、対向する第１の突起電極の高さと第２の突起電極の高さとを合計した高さは、中間部材の高さよりも大きく、かつ第１の突起電極の形状と第２の突起電極の形状とは、それぞれ先端部が最も細くなっている形状であることが望ましい。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の突起電極の直径の最大値と第２の突起電極の直径の最大値とは、それぞれ中間部材に設けられている開口部の直径よりも小さいことが望ましい。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の突起電極と第２の突起電極とは、それぞれ幅と高さとの比が１対１である突起電極を複数段積層して形成されていることが望ましい。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様によれば、開口部の内壁は凹凸形状を有していることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、開口部の内壁の角部に面取り部が形成されていることが望ましい。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の突起電極と第２の突起電極との材質は、Ａｕであることが望ましい。
【００１７】
また、本発明の好ましい態様によれば、中間部材の開口部の内壁表面に導体層が設けられていることが望ましい。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様によれば、第１の突起電極と第２の突起電極との材質は、はんだ材料であることが望ましい。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様によれば、表面に第１の突起電極が形成された第１の部材と第１の部材と、表面に第２の突起電極が形成された第２の部材との少なくとも２つの部材とを対向させる対向ステップと、第１の部材と第２の部材との間に中間部材を配置する配置ステップと、第１の突起電極と第２の突起電極とが、中間部材に設けられている開口部内で接続されるように、第１の部材と第２の部材との間を中間部材を介して所定の間隙をもって接合する接合ステップとを有し、対向ステップにおいて、対向する第１の突起電極の高さと第２の突起電極の高さとを合計した高さは、中間部材の高さよりも大きく、かつ第１の突起電極の形状と第２の突起電極の形状とは、それぞれ先端部が最も細くなっている形状であることを特徴とする積層実装構造体の製造方法を提供できる。
【００２０】
また、本発明の好ましい態様によれば、対向ステップにおいて、第１の突起電極の直径と第２の突起電極の直径とは、それぞれ中間部材に設けられている開口部の直径よりも小さいことが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、複数の基板をスペーサを介して接続し、基板間の空間に実装部品を実装する積層実装構造体において、基板の平面方向の投影面積を減少させるように小型化しつつ、製造工程を少なくしたことで歩留まり向上及びコストの低下及び製造時間の短縮を実現した積層実装構造体を提供できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明に係る積層実装構造体の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２３】
本発明の実施例１に係る積層実装構造体１００について説明する。図１は、積層実装構造体１００の断面構成を示している。図２は、積層実装構造体１００を分解したときの斜視構成を示している。
【００２４】
図１において、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとは、それぞれ平板形状を有している。これら基板は、有機基板、セラミック基板、ガラス基板、Ｓｉ基板、メタル基板、フレキシブル基板などを用いることができる。また、これら基板を複合した複合材料基板も用いることができる。第１の基板１０１ａは、第１の部材に対応する。第２の基板１０１ｂは、第２の部材に対応する。
【００２５】
なお、ここでは便宜上、基板と記載しているが、基板に限らず、Ｓｉチップやパッケージ部品など、実装構造を構成する要素で平面を有している部材であれば、同様に本発明を適用することが可能である。
【００２６】
第１の基板１０１ａには、第１の突起電極１０２ａが形成されている。また、第２の基板１０１ｂには、第２の突起電極１０２ｂが形成されている。これら突起電極１０２ａ、１０２ｂは、スタッドバンピング、めっき、エッチング、導電性ペースト塗布・印刷などの工法で作成される。
【００２７】
突起電極１０２ａ、１０２ｂの材料としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｓ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｐｄ、Ｂｉなどの金属材料、またはこれらの金属材料を複数種組み合わせた合金を用いることができる。
【００２８】
そして、突起電極１０２ａ、１０２ｂの材質には、これらの金属、または合金のうち、拡散による接合、金属結合による接合を起こし得る金属の組み合わせが用いられる。例えば、第１の突起電極１０２ａはＡｕ、第２の突起電極１０２ｂはＡｌである構成、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ共にＡｕである構成である。また、突起電極１０２ａ、１０２ｂとして、導電性樹脂などの機能性樹脂材料を用いる場合もある。
【００２９】
第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとの間には、中間基板１０３が設けられている。中間基板１０３としては、有機基板、セラミック基板、ガラス基板、Ｓｉ基板、メタル基板、フレキシブル基板などを用いることができる。また、上述した基板を複合した複合材料基板も用いることができる。
【００３０】
中間基板１０３には、中間基板１０３の面方向と垂直な方向に開口部１０５が設けられている。開口部１０５を設ける方法としては、ドリリング、パンチング、レーザ加工、エッチングなどが挙げられる。加工方法は、加工対象である中間基板１０３の材質や開口部１０５の寸法などにより適切な方法が選択される。
【００３１】
第２の基板１０１ｂ上には、実装部品１０４が設けられている。図１に示すように、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとは、中間基板１０３を挟んで接合されている。そして、実装部品１０４は、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとの間の空間に形成されている。
【００３２】
実装部品１０４は、図示しない基板上に形成されたパターン、実装基板と何らかの方法で電気的に接続されている他の基板上に実装された他の部品と合わせて、所定の機能を有する電子回路を構成する。実装部品１０４としては、チップ抵抗、ミニモールドトランジスタ、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）などが挙げられる。しかしながら、実装部品１０４は、これらに限られるものではない。
【００３３】
また、図示しないが、第１の基板１０１ａと第１の突起電極１０２ａとの間、及び第２の基板１０１ｂと第２の突起電極１０２ｂとの間には、それぞれ突起電極１０２ａ、１０２ｂと電気的導通を取るため、及び基板１０１ａ、１０１ｂ上への突起電極１０２ａ、１０２ｂの形成を助けるための電極を形成することもできる。
【００３４】
次に、各々の構成要素の位置関係について説明する。第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとは、突起電極が形成された面を対向させて配置されている。また、図示しないが、基板１０１ａ、１０１ｂの両面に突起電極が設けられる場合もある。この場合も、接合させる突起電極どうしを対向させる方向で基板が配置される。
【００３５】
第１の基板１０１ａ、第２の基板１０１ｂのｘ−ｙ面内（図２参照）方向の位置関係は、接合させる突起電極１０２ａ、１０２ｂどうしの位置関係に関連して決められる。接合させる突起電極１０２ａ、１０２ｂの位置関係は、突起電極１０２ａ、１０２ｂを上方向または下方向、つまりｚ軸（図２参照）の方向から見た投影図の中心位置を、対応する突起電極１０２ａ、１０２ｂどうしで一致させる。このとき許容される配置誤差は、ｘ−ｙ方向共に、相互の第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの形成位置精度、及び各々の基板１０１a、１０１ｂをハンドリングする装置の位置合わせ精度を合計したものである。
【００３６】
中間基板１０３と第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとの位置関係は、中間基板１０３に形成されている開口部１０５と第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂとの位置関係に関連して決められる。
【００３７】
第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ、及び中間基板１０３の開口部１０５を上方向または下方向、つまりｚ軸の方向から見た投影図の中心位置を、対応する突起電極１０２ａ、１０２ｂ及び開口部１０５で一致させる。このとき許容される位置精度は、ｘ−ｙ方向共に、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ、及び中間基板１０３の開口部１０５の位置精度、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの形状誤差、中間基板１０３の開口部１０５の形状誤差、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂが形成されている基板をハンドリングする装置の位置合わせ精度、中間基板１０３をハンドリングする装置の位置合わせ精度を合計したものである。
【００３８】
第１の基板１０１ａの第１の突起電極１０２ａを有する面、及び第２の基板１０１ｂの第２の突起電極１０２ｂを有する面は、それぞれ中間基板１０３の各基板１０１ａ、１０１ｂに対応する面と接触する位置に配置される。
【００３９】
また、図示しないが、接合の為の材料を中間基板１０３と各基板１０１ａ、１０１ｂと間に設けるときは、中間基板１０３と各基板１０１ａ、１０１ｂとの間に接合の為の材料層が入る場合がある。
【００４０】
次に、上述の手順で各部材の位置あわせをした後、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを接触させ、加熱・加圧する。これにより、第１の突起電極１０２ａと第２の突起電極１０２ｂとを接合する。
【００４１】
この際、加熱する方法は以下の（１）、（２）、（３）がある。
（１）第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂまたは第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ近傍の部材に直接ヒータを接触させて、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを加熱する直接加熱方法
（２）第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂまたは第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ近傍の部材をレーザや温風吹き付けにより加熱する間接加熱方法
（３）周辺雰囲気温度を上昇させて第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを含む実装構造体全体を加熱する全体加熱方法
【００４２】
そして、これらの加熱方法のうちから、積層実装構造体の仕様などにより、適切な方法を選択する。なお、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしを接触させる前に、プラズマや活性剤により第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの表面を活性化させることが望ましい。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしが接合しやすくなる。さらに、加熱加圧と同時に第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂに超音波を印加することが望ましい。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしが接合しやすくなる。
【００４３】
次に、本実施例の作用を説明する。例えば、特許文献１に開示された従来技術では、上述したように、積層して配置した基板間の電気的導通はリード線により確保されていた。このため、基板接合の自動化が難しく、作業難度が高い該技術では、実装コストの増加や生産能力の低下を招いている。また、この従来技術の構成では、実装構造の小型化も困難である。
【００４４】
これに対し、本実施例では、積層して配置した第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとの間の電気的導通を、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしの接合及び接触により確保する。そして、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの形成は、自動機を用いる作業が可能である。その作業内容は特別な技能を必要とするものではない。
【００４５】
また、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂは、例えばスタッドバンプの場合、直径が１００μｍ程度の寸法である。このため、リード線よりも接合部を小さくすることが可能である。
【００４６】
この結果、本実施例では、積層実装構造体において、従来技術では困難であったような作業の自動化及び実装構造体の小型化を実現することが可能である。
【００４７】
また、特許文献２に開示された従来技術の構成では、上述したように、導電性スペーサ（本実施例における中間基板１０３に対応する）と異方性導電フィルムとの接合の為に、スペーサ上に設けたスルーホール（本実施例における中間基板１０３の開口部１０５に対応する）上に電極を設けていた。そして、従来技術の構成では、実装構造体の上部からの投影面積を小さくすることが困難である。
【００４８】
これに対し、本実施例では、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしを直接接合している。このため、中間基板１０３には開口部１０５だけ設ければ良い。これにより、接合部の狭ピッチ化が可能となる。この結果、積層実装構造体１００上部からの投影面積の縮小化が可能となる。
【００４９】
このように、本実施例では、接合部材及び接合部を中間基板１０３の開口部１０５内に格納できるため、基板厚さ方向の寸法を小さくすることが可能となる。また、接合部近傍に電極を設けることなく実装が可能となるため、この電極を省いた分だけ、積層実装構造体の高密度化が可能となる。また、一般的に入手が容易な自動機を用いて実装作業が可能となる。
【００５０】
以上説明したように、本実施例によれば、基板平面方向の投影面積を減少させるように小型化が可能な積層実装構造体を提供することが可能となる。また、製造工程を自動化し生産性を向上させた積層実装構造体を提供することが可能になる。
【実施例２】
【００５１】
次に、本発明の実施例２に係る積層実装構造体２００について説明する。図３は、積層構造体２００を接合する前の状態の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５２】
本実施例では、図３に示すように、各部材を接合する前の状態において、対向する第１の突起電極１０２ａの高さＨａと第２の突起電極１０２ｂの高さＨｂとを合計した高さＨａ＋Ｈｂは、中間基板１０３の高さＨｃよりも大きい。同時に、第１の突起電極１０１ａの形状と第２の突起電極１０１ｂとは、それぞれ先端部が最も細くなっている形状を有している。
【００５３】
換言すると、突起電極１０１ａ、１０１ｂの高さＨａ、Ｈｂと中間基板１０３の高さ（厚さ）Ｈｃとが、次式（１）を満足する。
Ｈａ＋Ｈｂ＞Ｈｃ    ・・・（１）
【００５４】
本実施例の積層実装構造体２００を製造するとき、まず、実装時に第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを加圧・加熱する。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂが圧縮される方向に変形する。第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂが圧縮される方向に変形するとき、これら突起電極１０２ａ、１０２ｂは、それぞれ高さ方向の寸法は小さく、直径は大きくなるように変形する。
【００５５】
このような変形により中間基板１０３の開口部１０５より第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂが大きくなったとき、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂは、それぞれ中間基板１０３の開口部１０５の内壁に接触する。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと中間基板１０３とを摩擦力によって固定できる。これにより、外力が加わったとき、中間基板１０３が移動してしまうことを防止できる。
【００５６】
本実施例によれば、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと中間基板１０３とが固定された、より堅固な積層実装構造体を提供できる。
【００５７】
また、従来技術の構成では、中間基板１０３を、第１の基板１０１ａ、第２の基板１０１ｂに、それぞれ固定する工程を別途設けなければならない。このような固定する工程を設けないと、中間基板１０３は、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとに挟まれているだけの状態となる。このため、外力が加わったとき、中間基板１０３が移動してしまう可能性がある。これに対して、本実施例では、中間基板１０３を第１の基板１０１ａ、第２の基板１０１ｂに固定する工程を削減しつつ、中間基板１０３を固定することができる。
【００５８】
これらのことから、本実施例によれば、より堅固かつ実装が簡易な積層実装構造体を提供できる。
【実施例３】
【００５９】
次に、本発明の実施例３に係る積層実装構造体３００について説明する。図４は、積層構造体３００を接合する前の状態の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６０】
本実施例では、図４に示すように、各部材を接合する前の状態において、対向する第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの直径の最大値Ｗａは、中間基板１０３に設けられている開口部１０５の直径Ｗａより小さい。
【００６１】
換言すると、突起電極１０２ａ、１０２ｂの直径の最大値Ｗａと中間基板１０３の開口部１０５の直径Ｗｃとは、次式（２）を満足する。
Ｗｃ＞Ｗａ    ・・・（２）
【００６２】
次に、本実施例の作用を説明する。式（２）を満足することで、「突起電極１０２ａ、１０２ｂの直径の最大値≧中間基板１０３の開口部１０５の直径」であるときに比較して、実装時の圧力を低くすることが可能となる。
【００６３】
図５の（ａ）、（ｂ）は、「突起電極１０２ａ、１０２ｂの直径の最大値≧中間基板１０３の開口部１０５の直径」である場合の接合工程を示している。なお、図４では、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂは、それぞれ先端部に向かって細くなるテーパ形状を有している。これに対して、図５の（ａ）、（ｂ）では、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂは、それぞれ複数の突起電極を高さ方向に積層した形状として示している。
【００６４】
図５の（ａ）において、実装時に中間基板１０３及び中間基板１０３の開口部１０５と第１の突起電極１０２ａとが物理的に干渉してしまう。第２の突起電極１０２ｂについても同様なので説明は省略する。
【００６５】
このように、図５の工程においては、中間基板１０３の開口部１０５の直径に比較して、より大きな直径を有する第１の突起電極１０２ａを中間基板１０３の開口部１０５に圧入するような実装になってしまう。このため、第１の突起電極１０２ａ自体、及び第１の突起電極１０２ａの実装部及びその近傍、さらに中間基板１０３の開口部１０５近傍に対して、圧力による負荷が作用する。
【００６６】
また、図５の（ｂ）に示すように、さらに、圧力を加えてゆくと、第１の突起電極１０２ａが塑性変形しながら開口部１０５に入ってゆく状態となる。このとき、第１の突起電極１０２ａと開口部１０５等とが干渉している部分Ａに機械的な応力、例えば、圧縮応力や摩擦力が生じてしまう。
【００６７】
これに対して、本実施例では、第１の突起電極１０２ａを変形させながら、中間基板１０３の開口部１０５に配置する。そして、本実施例の構成では、中間基板１０３の開口部１０５と、第１の突起電極１０２ａとの干渉がなくなる。このため、実装時の圧力を低減できる。また、圧力による部材へのダメージ、例えば破壊、損傷を軽減できる。
【００６８】
本発明を適用する対象例として、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）デバイスがある。このデバイスは、シリコンプロセスにより製造した軽量、薄型、小型な構造体である。
【００６９】
軽量、薄型、小型な構造体は、外力による影響を受けやすい。このため、上述のような外力により破壊してしまう場合も少なくない。したがって、本実施例は、このような外力に対して敏感な部材、デバイスを組み立てるとき、特に有効である。
【００７０】
本実施例によれば、実装時に受ける負荷が少なく、より状態の良い部材を用いた積層実装構造体を提供できる。
【実施例４】
【００７１】
次に、本発明の実施例４に係る積層実装構造体４００について説明する。図６は、積層構造体４００を接合する前の状態の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００７２】
本実施例では、第１の突起電極１０２ａは、それぞれ幅と高さとの比が１対１、すなわちアスペクト比が１対１である突起電極１０２ａ１、１０２ａ２、１０２ａ３を複数段、例えば３段積層して形成されている。同様に、第２の突起電極１０２ｂは、それぞれ幅と高さとの比が１対１である突起電極１０２ｂ１、１０２ｂ２、１０２ｂ３を複数段、例えば３段積層して形成されている。突起電極は、いわゆるスタッドバンプと呼ばれるものである。
【００７３】
本実施例では、中間基板１０３の開口部１０５のアスペクト比が高い場合であっても、実装が可能となる。例えば、中間基板１０３の開口部１０５のアスペクト比が高い場合、すなわち、開口部１０５の直径が小さく、かつ中間基板１０３の高さ（厚さ）が大きいような開口部１０５の内部に第１の突起電極１０２ａを配置することになる。
【００７４】
一般的に、突起電極を作成するとき、アスペクト比すなわち突起電極の直径と高さの比は１対１程度である。このため、一般的には、あまりアスペクト比を大きくすることはできない。そして、中間基板１０３の開口部１０５のアスペクト比が高いとき、一般的な構成の突起電極では、対向する第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂどうしが接触しない場合がある。
【００７５】
これに対して、本実施例では、突起電極１０２ａ１、１０２ａ２、１０２ａ３等を複数段積層している。このため、第１の突起電極１０２ａのアスペクト比を大きくすることが可能となる。この結果、中間基板１０３の開口部１０５のアスペクト比が大きい場合でも実装が可能である。従って、積層実装構造体の設計をする上で、設計の自由度を向上させることができるという面で大きな利点となる。
【００７６】
本実施例によれば、中間基板１０３の開口部１０５のアスペクト比が高い積層実装構造を提供できる。
【００７７】
（製造方法）
次に、積層実装構造体の製造手順について説明する。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図８（ａ）、（ｂ）は、製造手順を示している。図７の（ａ）において、第１の基板１０１ａ、第２の基板１０１ｂの一方の面に、それぞれ第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを形成する。突起電極の形成は、突起電極作成ツール１１０を用いて、突起電極材料細線１１１を材料として行う。
【００７８】
図７の（ｂ）において、第１の基板１０１ａの上に中間基板１０３を配置する。このとき、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの位置が、それぞれ中間基板１０３の開口部１０５の位置と一致するように配置する。
【００７９】
図７の（ｃ）において、第２の基板１０２ｂを第１の基板１０２ａに対向するように配置する。このとき、中間基板１０３の開口部１０５の位置と、第２の突起電極１０２ｂの位置とが一致するように配置する。これは、対向ステップに対応する。また、図示しないが、さらに配置ステップにおいて、第１の基板１０１ａと第２の基板１０２ｂとの間に配置する。
【００８０】
図８の（ａ）において、第２の基板１０１ｂを加熱する。そして、第２の基板１０１ｂに対して、第１の基板１０１ａの方向に圧力Ｆを印加する。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂは、径方向により大きく、高さ方向により小さく変形する。
【００８１】
図８の（ｂ）において、第２の基板１０１ｂと中間基板１０３とが接触して、第１の突起電極１０２ａと第２の突起電極１０２ｂが接合するまで圧力Ｆを印加する。これは、接合ステップに対応する。このような手順により、上述した構成の積層実装構造体を得ることができる。なお、この製造手順において、式（１）や式（２）の条件を満足することがさらに好ましい。
【実施例５】
【００８２】
次に、本発明の実施例５に係る積層実装構造体５００について説明する。図９は、積層構造体５００を接合する前の状態の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００８３】
本実施例では、中間基板１０３の開口部１０５の内壁に凹凸部５０１が形成されている。凹凸部５０１の加工方法は、エッチングのような化学的方法、サンドブラストのような物理的方法が挙げられる。なお、その他の方法でも、化学的方法や物理的方法と同様の構造が得られるのであれば特に方法は限定しない。
【００８４】
次に、本実施例の作用を説明する。本実施例では、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと、中間基板１０３の開口部１０５の内壁との接触面積を増加させることができる。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと、中間基板１０３の開口部１０５の内壁の接触面積が大きくなる。このため、積層実装構造体５００の構造が堅固になる。
【００８５】
本実施例によれば、構造が堅固な積層実装構造体５００を提供できる。
【実施例６】
【００８６】
次に、本発明の実施例６に係る積層実装構造体６００について説明する。図１０は、積層構造体６００の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００８７】
本実施例では、中間基板１０３の開口部１０５の内壁の角部に面取り部６０１が形成されている。面取り部６０１の加工方法は、エッチングのような化学的方法、レーザ加工のような物理的方法が挙げられる。なお、その他の方法でも、化学的方法や物理的方法と同様の構造が得られるのであれば特に方法は限定しない。
【００８８】
次に、本実施例の作用を説明する。本実施例では、実装後の第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの形状が、それぞれ突起電極の根元に傾斜がついた形状となる。このような形状により、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂの根元、及びその近傍領域、さらに第１の突起電極１０２ａと第２の突起電極１０２ｂとの接合部に生じる応力集中を軽減できる。
【００８９】
なお、一般的事象として、温度変化による熱応力や、曲げ、振動、衝撃などの負荷応力が積層実装構造体に作用したとき、応力集中部に負荷応力が集中的に作用する。この結果、応力集中部より亀裂を生じて、破壊に至ることがある。本実施例によれば、このような亀裂、破壊を低減できる。また、本実施例では、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと、中間基板１０３の開口部１０５の内壁との接触面積が増える。このため、実装構造を堅固にすることができる。
【００９０】
本実施例によれば、構造が堅固かつ、突起電極−電極間接合部の信頼性に優れた積層実装構造体６００を提供できる。
【実施例７】
【００９１】
次に、本発明の実施例７に係る積層実装構造体７００について説明する。図１１は、積層構造体７００の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００９２】
本実施例では、中間基板１０３の開口部１０５の内壁に、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと接合が可能な金属膜７０１を形成している。金属膜７０１は、めっき、スパッタ、析出などの方法で形成される。また、これに限られるものではなく、図１１に示すような構造を得られるのであれば、方法は特に限定しない。
【００９３】
金属膜７０１の材料としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ａｓ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｐｂ、Ｐｄ、Ｂｉなどの金属材料、及びこれらの金属材料を複数種組み合わせた合金が挙げられる。金属膜７０１の材料には、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂを形成する金属または合金に対して、拡散による接合、金属結合による接合を起こし得る金属が用いられる。例えば、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂがＡｕ、金属膜７０１がＡｌである構成、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと金属膜７０１共にＡｕである構成である。
【００９４】
次に、本実施例の作用を説明する。本実施例によれば、実装した際に第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと、中間基板１０３の開口部１０５の内壁に形成された金属膜７０１とが、加熱・加圧により接合する。これにより、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂと、中間基板１０３の開口部１０５との接合力は著しく向上する。
【００９５】
また、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ及び金属膜７０１がどちらも導電材料、導体層により構成されている場合は、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ及び金属膜７０１を電気回路として使用することが可能となる。これにより、中間基板１０３を、単なるスペーサとしてではなく、機能部品として活用することができる。この結果、電気回路の高密度化や、技術適用対象デバイスの多機能化が容易になる。
【００９６】
本実施例によれば、構造が堅固かつ、第１の突起電極１０２ａ、第２の突起電極１０２ｂ及び中間基板１０３の開口部１０５の内壁に形成された金属膜７０１を電気回路としても使用可能であり、電気回路の高密度化や、技術適用対象デバイスの多機能化が容易な積層実装構造体を提供できる。
【実施例８】
【００９７】
次に、本発明の実施例８に係る積層実装構造体８００について説明する。図１２の（ａ）、（ｂ）は、積層実装構造体８００の断面構成を示している。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００９８】
本実施例では、第１の突起電極８０１ａ、第２の突起電極８０１ｂがはんだ材料で形成されている。はんだ材料としては、Ｓｎ-Ｐｂ系はんだをはじめ、Ａｕ−Ｓｎ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ-Ｂｉ系はんだ、Ｓｎ-Ｉｎ系はんだなどが挙げられる。
【００９９】
図１２の（ａ）に示すように、はんだ材料で第１の突起電極８０１ａ、第２の突起電極８０１ｂを形成する場合、まず、第１の基板１０１ａ、第２の基板１０１ｂの上に電極を形成する。そして、電極上に、はんだペーストを印刷やディスペンスにより供給し、加熱により溶融させて作成する方法や、めっきにより作成する方法により突起電極を形成する。なお、上記構造を得られるのであれば、工法は特に限定しない。
【０１００】
そして、図１２の（ｂ）に示すように、はんだ材料の融点以上の加熱を行い、はんだを溶融させる。これにより、はんだ材料接合部８０２を形成する。なお、はんだ材料突起電極である第１の突起電極８０１ａ、第２の突起電極８０１ｂは、必ずしも一つの塊である必要はなく、微細なはんだ粉を固めたような、微細材料による構造であっても良い。
【０１０１】
次に、本実施例の作用について説明する。本実施例によれば、実装の際に、はんだ材料の融点以上の加熱を行って第１の突起電極８０１ａ、第２の突起電極８０１ｂを溶融させる。これにより、はんだ材料接合部８０２を形成する。この結果、積層実装構造体８００に圧力をかけずに接合をすることが可能になる。
【０１０２】
また、図１３の（ａ）、（ｂ）の変形例に示すように、中間基板１０３の開口部１０５の形状を、中間基板１０３の高さ方向の中心に向かうにつれて小さくすることもできる。これにより、毛細管現象を利用し、はんだ材料どうしの接合をさらに容易にできる。
【０１０３】
本実施例によれば、積層実装構造体にほとんど圧力をかけずに実装構造を得ることが可能となる。すなわち、特に圧力に対する強度が小さい部材であっても実装が可能となる。また、実装時に受ける圧力負荷が少なく、より状態の良い部材を用いた積層実装構造体を提供することが可能となる。
【０１０４】
また、上述した各実施例は、２枚の基板を有する積層実装構造体について説明している。しかしながら、本発明はこれに限られず、図１４に示すように３枚の基板を有する積層実装構造体１０００としても良い。
【０１０５】
図１４において、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとの間には、中間基板１０３ａが形成されている。そして、第１の基板１０１ａと第２の基板１０１ｂとは、それぞれと突起電極１０２ａ、１０２ｂとで電気的に接続されている。
【０１０６】
また、第２の基板１０１ｂと第３の基板１０１ｃとの間には、中間基板１０３ｂが形成されている。そして、第２の基板１０１ｂと第３の基板１０１ｃとは、それぞれと突起電極１０２ｃ、１０２ｄとで電気的に接続されている。
【０１０７】
さらに、突起電極１０２ｂと突起電極１０２ｃとは、導電部材１００１で電気的に導通するように構成されている。このように、本発明は、容易に複数の基板の積層化を達成できる。また、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で、様々な変形例をとることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０８】
以上のように、本発明に積層実装構造体は、小型で製造容易な構造体に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の実施例１に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図２】実施例１の積層実装構造体の分解した斜視構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例２に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図４】本発明の実施例３に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は、積層実装構造体の製造時の干渉状態を示す図である。
【図６】本発明の実施例４に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、実施例４に係る積層実装構造体の製造手順を示す図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、実施例４に係る積層実装構造体の製造手順を示す他の図である。
【図９】本発明の実施例５に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１０】本発明の実施例６に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１１】本発明の実施例７に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１２】（ａ）、（ｂ）は、実施例８に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１３】（ａ）、（ｂ）は、実施例８の変形例に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１４】本発明の変形例に係る積層実装構造体の断面構成を示す図である。
【図１５】従来技術の積層実装構造体の概略構成を示す図である。
【図１６】従来技術の積層実装構造体の概略構成を示す他の図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１００    積層実装構造体
１０１ａ  第１の基板
１０１ｂ  第２の基板
１０１ｃ  第３の基板
１０２ａ  第１の突起電極
１０２ｂ  第２の突起電極
１０３、１０３ａ、１０３ｂ  中間基板
１０４    実装部品
１０５    開口部
２００、３００、４００  積層実装構造体
５００  積層実装構造体
５０１  凹凸部
６００、７００  積層実装構造体
６０１  面取り部
７０１  金属膜
８００  積層実装構造体
８０１ａ  第１の突起電極
８０１ｂ  第２の突起電極
８０２  はんだ材料接合部
９００、１０００  積層実装構造体
１００１  導電部材
１０  内視鏡
１１  撮像素子
１２  実装基板
１３  実装基板
１４  リード線
２０  実装構造体
２１  基板
２２  異方導電フィルム
２３  電子部品
２４  メモリモジュール基板
２５  スペーサ
【図１】
0004751714.tif 000002
【図２】
0004751714.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004751714.tif 000008
【図８】
0004751714.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004751714.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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