(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体の流れを測定するフローセンサと、
前記フローセンサが装着されるセンサ取り付け面と、前記センサ取り付け面と連通され、かつ抜け留めが形成された複数の取り付け孔と、を有するセンサベースと、
ガラス封止部により接続端子と環状カバーとを予め固定したものであって、複数の前記取り付け孔に前記環状カバーを嵌めて前記環状カバーの軸方向端部を前記抜け留めに当接させた状態で接着剤を用いてそれぞれ固定される複数個のハーメチック端子と、
前記センサ取り付け面から突出する複数個の前記接続端子の一端と前記フローセンサの電極部とを接続する複数のボンディングワイヤと、
を備えることを特徴とする赤外線ガス分析計用センサ部。
【請求項２】
請求項１に記載の赤外線ガス分析計用センサ部と、
大径穴部と小径穴部からなる段付の凹部を有する本体ブロックと、を備え、
前記センサ取り付け面を内方に向けて前記凹部へ前記センサベースを嵌挿して前記本体ブロックに前記赤外線ガス分析計用センサ部を固定した状態とし、前記センサ取り付け面の外周縁部が前記凹部の段付部分と当接することによって形成されるセンサ収容空間に前記フローセンサが配置されることを特徴とする赤外線ガス分析計用検出器。
【請求項３】
請求項２に記載の赤外線ガス分析計用検出器において、
前記本体ブロックは、測定対象ガスと同じ吸収特性を示す充填ガスが封入される第１，第２ガス室を有し、
前記本体ブロックおよび前記センサベースは、前記第１，第２ガス室と連通するガス通路をさらに有するものであり、
前記ガス通路は、一端が前記第１ガス室内に開口すると共に他端が前記小径穴部に開口し、前記第１ガス室と前記小径穴部とを連通するように前記本体ブロックに形成された第１通路と、一端が前記第２ガス室内に開口すると共に他端が前記大径穴部の側壁に向けて開口し、前記第２ガス室と前記大径穴部とを連通するように前記本体ブロックに形成された第２通路と、一端が前記センサ取り付け面の中心で開口すると共に他端が側壁で開口するように前記センサベースの中心から外周方向に延びるように前記センサベースに形成された第３通路とからなり、
前記センサベースを前記凹部に嵌合した状態で前記第１，第２，第３の通路が互いに連通するように構成されていることを特徴とする赤外線ガス分析計用検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線ガス分析計に用いられる赤外線ガス分析計用センサ部および赤外線ガス分析計用検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
赤外線がガスを透過する際、そのガスに固有な特定波長の光がガスに吸収される。赤外線ガス分析計は、この事象を利用して分析を行うものであり、サンプルガス中に赤外線を透過させてサンプルガス中に含まれる測定対象ガスに光を吸収させ、この吸収後の赤外線を用いてそのサンプルガス中に含まれる測定対象ガスの濃度を計測する。このような赤外線ガス分析計の先行技術例として、シングルビーム方式の赤外線ガス分析計が知られている。
【０００３】
このシングルビーム方式の赤外線ガス分析計について説明する。図３に示すように、赤外線ガス分析計１は、光源部１０、光チョッパ２０、サンプルセル３０、赤外線ガス分析計用検出器４０を備える。
【０００４】
光源部１０は、さらに光源室１１、赤外線光源１２、赤外線透過窓１３を備える。光源室１１は、赤外線光源１２を収納する。この光源室１１内の赤外線光源１２は、不図示の電源および駆動回路と接続されており、駆動電圧を印加することで発熱し、その発熱温度に応じて赤外線を放射する。赤外線透過窓１３は、この赤外線を透過する。このような光源部１０は、サンプルセル３０の一端側に配置され、サンプルセル３０の内部に向けて赤外線を照射する。この赤外線は光チョッパ２０を通過する。
【０００５】
光チョッパ２０は、回転円板２１、モータ２２を備える。回転円板２１は、光源部１０とサンプルセル３０との間に位置している。この回転円板２１には、赤外線を通過させる開口又は切り欠き部が形成されている。モータ２２が回転円板２１を回転駆動すると、光源部１０から出射された赤外線を所定周期でオンオフして断続的な赤外線としてサンプルセル３０に入射させる。
【０００６】
サンプルセル３０は、セル本体３１、サンプルガス出入口３２ａ，３２ｂ、赤外線透過窓３３ａ，３３ｂを備える。セル本体３１は、例えばステンレス鋼など金属材料製の円筒形状を有しており、その両端には赤外線透過材料で形成された赤外線透過窓３３ａ，３３ｂが固着されている。サンプルガスは、サンプルガス出入口３２ａ，３２ｂの一方から導入され、セル本体３１内を通流した後に、サンプルガス出入口３２ａ，３２ｂの他方から導出される。
【０００７】
赤外線ガス分析計用検出器４０は、図３，図４で示すように、本体ブロック４１、第１ガス室４２、第２ガス室４３、赤外線透過窓４４ａ，４４ｂ，４４ｃ、第１通路４５、第２通路４６を備える。また、詳しくは図４で示すように、さらに座繰り穴部４７、凹部４８、センサ収容空間４９、赤外線ガス分析計用センサ部５０を備えている。なお、赤外線ガス分析計用センサ部５０は、本体ブロック４１に対して着脱可能に構成される。この赤外線ガス分析計用検出器４０は、サンプルセル３０の他端側（光源部１０の反対側）に配置される。
【０００８】
まず、赤外線ガス分析計用センサ部５０の詳細について説明する。赤外線ガス分析計用センサ部５０は、図４，図５，図６でも示すように、ハーメチック端子５１、フローセンサ５２、接続端子（リードピン）５３、ボンディングワイヤ５４、センサ内通路５５、センサ取り付け面５６、ガラス封止部５７を備える。
【０００９】
ハーメチック端子５１は、側面に突条部５１ａを有する多段回転体であり、その平面にはフローセンサ５２が装着されるセンサ取り付け面５６が形成されている。接続端子（リードピン）５３は、フローセンサ５２と不図示の外部機器とを電気的に接続する。接続端子（リードピン）５３は、特に図６（ａ），図６（ｂ）で示すように、ハーメチック端子５１に穿設した取り付け孔５１ｂを貫通した状態でガラス封止部５７によって保持固定されており、その一端がセンサ取り付け面５６から突出すると共に他端が下面から突出するように設けられている。
【００１０】
図５（ａ），図５（ｂ）で示すように、ハーメチック端子５１の中心には先に説明したセンサ内通過路５５が設けられている。 ガス通路の一部を形成しているため、実装後に赤外線ガス分析計用検出器４０に容易に組み込むことが可能である。
【００１１】
続いてこのような赤外線ガス分析計用センサ部５０を組み込んだ赤外線ガス分析計用検出器４０について説明する。図３，図４に示すように、赤外線ガス分析計用検出器４０の第１ガス室４２と第２ガス室４３とは、赤外線の光路に沿ってサンプルセル３０側から並んで配置されている。また、赤外線透過性材料よりなる赤外線透過窓４４ａ、４４ｂ、４４ｃが設けられている。第１ガス室４２と第２ガス室４３との間は、赤外線透過窓４４ｂで仕切られている。また、第１ガス室４２の前側に赤外線透過窓４４ａが、また、第２ガス室４３の後側にも赤外線透過窓４４ｃが設けられている。このような第１ガス室４２と第２ガス室４３は、それぞれ単一の空間を形成している。そして、第１ガス室４２と第２ガス室４３のそれぞれには、測定対象ガスと同じ吸収特性を示す充填ガスが封入されている。
【００１２】
本体ブロック４１の下部には、小径穴部４８ａと大径穴部４８ｂとからなる段付の凹部４８が形成されている。この凹部４８の大径穴部４８ｂに多段回転体形状のハーメチック端子５１の本体部が嵌合するように形成されている。座繰り穴部４７は、ハーメチック端子５１の突条部５１ａと嵌合するように形成されている。
【００１３】
そして、センサ取り付け面５６を上側に向けてハーメチック端子５１を本体ブロック４１の凹部４８へ嵌挿した状態において、センサ取り付け面５６の外周縁部が本体ブロック４１の凹部４８の段付部分と当接することによってセンサ収容空間４９が形成される。このセンサ収容空間４９は本体ブロック４１の小径穴部４８ａと赤外線ガス分析計用センサ部５０のセンサ取り付け面５６とにより区画される空間である。
【００１４】
第１ガス室４２と第２ガス室４３には充填ガスが封入されるため長期間安定して気密を保つ必要があり、エポキシ系接着剤などの気密性に優れた接着剤を用いてハーメチック端子５１を本体ブロック４１に接着する。取り付けにより、赤外線ガス分析計用センサ部５０は隙間なく固定された状態で、センサ収容空間４９内にフローセンサ５２が配置される。
【００１５】
第１通路４５は、一端が第１ガス室４２に連通すると共に他端が小径穴部４８ａに連通するように、本体ブロック４１に形成された通路である。また、第２通路４６は、一端が第２ガス室４３に連通すると共に他端が大径穴部４８ｂの側壁に連通するように、本体ブロック４１に形成された通路である。
【００１６】
ハーメチック端子５１の内部にはハーメチック端子５１の中心から外周方向に向けて延びるセンサ内通路（第３通路）５５が形成されている。センサ内通路（第３通路）５５は、一端がセンサ取り付け面５６の中心に連通すると共に他端がハーメチック端子５１の側壁（周壁）と連通する。
【００１７】
そして、センサ内通路（第３通路）５５の開口と本体ブロック４１の第２通路４６の開口とを一致させるようにしてハーメチック端子５１を本体ブロック４１の凹部４８に嵌合することによって、第１通路４５、第２通路４６、及びセンサ内通路（第３通路）５５からなるガス通路が接続され、第１ガス室４２とセンサ収容空間４９と第２ガス室４３とが連通する。そして、センサ収容空間４９内のフローセンサ５２が、第１ガス室４２から第２ガス室４３への流体の流れを検出できるようになる。
【００１８】
続いて先行技術例の赤外線ガス分析計１によるガス分析について説明する。図３で示すように、サンプルセル３０では、サンプルガス出入口３２ａ，３２ｂの一方からサンプルガスが導入されサンプルセル３０内を流通している状態とする。
【００１９】
赤外線光源１２から放射される赤外線（ＩＲ）は、モータ２２によって回転駆動される光チョッパ２０により所定周期でオンオフされて断続光の赤外線となる。この赤外線は、その両端が赤外線透過窓３３ａ，３３ｂで封止されているサンプルセル３０内に入射し、測定対象ガスを含むサンプルガスを通過する。この際、サンプルガス中に含まれる測定対象ガスの濃度に応じた吸収量で赤外線が吸収される。そして、吸収が行われた後の赤外線が、赤外線ガス分析計用検出器４０に入射する。
【００２０】
赤外線ガス分析計用検出器４０において、前段のサンプルセル３０内を透過してきた赤外線が第１ガス室４２，第２ガス室４３へ入射される。第１ガス室４２，第２ガス室４３には測定対象ガスと同じ吸収特性を示す充填ガスが封入されている。赤外線は、最初に第１ガス室４２でその一部を吸収された後、第２ガス室４３で残りが吸収される。この赤外線は、熱源であり、第１ガス室４２，第２ガス室４３のそれぞれの充填ガスは赤外線吸収量に比例して体積が膨張し、第１ガス室４２，第２ガス室４３で圧力上昇が生じる。
【００２１】
したがって、第１ガス室４２，第２ガス室４３における充填ガスの赤外線吸収量の差に基づく圧力差により、第１ガス室４２から第２ガス室４３へという矢印Ｇ方向（図４参照）の微小なガスの流れが生じる。本体ブロック４１に設けた第１通路４５からセンサ収容空間４９およびハーメチック端子５１のセンサ内通路（第３通路）５５を経由して本体ブロック４１に設けた第２通路４６へ至る。このような微小なガスの流れをフローセンサ５２にて圧力または流量の変化に応じた抵抗変化として検出して濃度信号Ｖを出力する。濃度信号Ｖは、不図示の演算処理回路で電気信号（ガス濃度検出信号）に変換して外部へ出力するように構成されている。そして、例えば、「ランベルト・ベーアの式」により測定ガス濃度を求めることができる。なお、同様の従来技術が例えば、特許文献１にも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２２】
【特許文献１】特開２０１３−１８５８６７号公報（図１，図４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
図６に示すように、先行技術のハーメチック端子５１は、取り付け孔５１ｂに接続端子（リードピン）５３を直接取り付ける一体構造となっているが、フローセンサ５２と接続端子（リードピン）５３とは、機械装置がワイヤボンディングを行うため、正確な位置決めをしながら接続端子（リードピン）５３をハーメチック端子５１に固定する必要があり、例えば専用の製造治具を用いてハーメチック端５１の取り付け孔５１ｂに対して接続端子（リードピン）５３を位置決めした状態でガラス封止部５７を形成して固定していた。
【００２４】
さて、図５に示すようなフローセンサ５２は、微小なガスの流れを検出するものであり、改良が頻繁に行われる。改良によりフローセンサ５２の形状や寸法が変更になった場合、フローセンサ５２を固定するハーメチック端子５１も新規に設計し直す必要がある。加えてハーメチック端子５１の形状や寸法の変更に伴って製造治具も合わせて新規に設計し直す必要がある。さらには、場合によってはワイヤボンディングの条件出しも改めて行う必要がある。
【００２５】
このように赤外線ガス分析計用センサ部５０は、設計変更が頻繁に行われるが、その設計変更に手間や時間を要するものであり、このような設計変更時の手間を極力省きたいという事情があった。
【００２６】
そこで、本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、フローセンサが改良された場合でも設計変更する部品点数を減らすとともに、製造治具がなくとも製造できるようにして、製造コストや手間の低減を図った赤外線ガス分析計用センサ部、および、この赤外線ガス分析計用センサ部を搭載する赤外線ガス分析計用検出器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記目的を達成するため、請求項１に係る赤外線ガス分析計用センサ部は、
気体の流れを測定するフローセンサと、
前記フローセンサが装着されるセンサ取り付け面と、前記センサ取り付け面と連通され、かつ抜け留めが形成された複数の取り付け孔と、を有するセンサベースと、
ガラス封止部により接続端子と環状カバーとを予め固定したものであって、複数の前記取り付け孔に前記環状カバーを嵌めて前記環状カバーの軸方向端部を前記抜け留めに当接させた状態で接着剤を用いてそれぞれ固定される複数個のハーメチック端子と、
前記センサ取り付け面から突出する複数個の前記接続端子の一端と前記フローセンサの電極部とを接続する複数のボンディングワイヤと、
を備えることを特徴とする。
【００２８】
請求項２に係る赤外線ガス分析計用検出器は、
請求項１に記載の赤外線ガス分析計用センサ部と、
大径穴部と小径穴部からなる段付の凹部を有する本体ブロックと、を備え、
前記センサ取り付け面を内方に向けて前記凹部へ前記センサベースを嵌挿して前記本体ブロックに前記赤外線ガス分析計用センサ部を固定した状態とし、前記センサ取り付け面の外周縁部が前記凹部の段付部分と当接することによって形成されるセンサ収容空間に前記フローセンサが配置されることを特徴とする。
【００２９】
請求項３に係る赤外線ガス分析計用検出器は、請求項２に記載の赤外線ガス分析計用検出器において、
前記本体ブロックは、測定対象ガスと同じ吸収特性を示す充填ガスが封入される第１，第２ガス室を有し、
前記本体ブロックおよび前記センサベースは、前記第１，第２ガス室と連通するガス通路をさらに有するものであり、
前記ガス通路は、一端が前記第１ガス室内に開口すると共に他端が前記小径穴部に開口し、前記第１ガス室と前記小径穴部とを連通するように前記本体ブロックに形成された第１通路と、一端が前記第２ガス室内に開口すると共に他端が前記大径穴部の側壁に向けて開口し、前記第２ガス室と前記大径穴部とを連通するように前記本体ブロックに形成された第２通路と、一端が前記センサ取り付け面の中心で開口すると共に他端が側壁で開口するように前記センサベースの中心から外周方向に延びるように前記センサベースに形成された第３通路とからなり、
前記センサベースを前記凹部に嵌合した状態で前記第１，第２，第３の通路が互いに連通するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、フローセンサが改良された場合でも設計変更する部品点数を減らすとともに、製造治具がなくとも製造できるようにして、製造コストや手間の低減を図った赤外線ガス分析計用センサ部、および、この赤外線ガス分析計用センサ部を搭載する赤外線ガス分析計用検出器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明を実施するための形態の赤外線ガス分析計用センサ部の構成図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ断面図である。
【図２】赤外線ガス分析計用センサ部からフローセンサを取り去った状態の説明図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）はＢ−Ｂ断面図、図２（ｃ）はハーメチック端子の説明図である。
【図３】赤外線ガス分析計の構成図である。
【図４】赤外線ガス分析計用検出器の構成図である。
【図５】先行技術例の赤外線ガス分析計用センサ部の構造図であり、図５（ａ）は平面図、図５（ｂ）はＣ−Ｃ断面図である。
【図６】先行技術例の赤外線ガス分析計用センサ部からフローセンサを取り去った状態の説明図であり、図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）はＤ−Ｄ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
続いて、本発明を実施するための形態の赤外線ガス分析計用センサ部および赤外線ガス分析計用検出器について説明する。本発明では赤外線ガス分析計用センサ部１００（図１，図２参照）の構造が新規なものとなっている。そして、この赤外線ガス分析計用センサ部１００を搭載した赤外線ガス分析計用検出器４０（図４参照）の構造も新規なものとなっている。
【００３３】
以下、赤外線ガス分析計用センサ部１００について説明し、赤外線ガス分析計用検出器については、図４の赤外線ガス分析計用検出器４０において、従来技術の赤外線ガス分析計用センサ部５０（図５，図６参照）に代えて本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００（図１，図２参照）を搭載したものであるとし、構成や分析機能は同じものであるため、重複する説明を省略する。
【００３４】
また、赤外線ガス分析計については図３の赤外線ガス分析計１の赤外線ガス分析計用センサ部５０（図５，図６参照）に代えて本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００（図１，図２参照）を搭載したものであり、構成や分析機能は同じものであるため、重複する説明を省略する。以下、赤外線ガス分析計用センサ部１００についてのみ説明する。
【００３５】
図１（ａ），図１（ｂ）に示すように、赤外線ガス分析計用センサ部１００は、ハーメチック端子１０１，センサベース１０２、フローセンサ１０３、ボンディングワイヤ１０４、センサ内通路１０５、センサ取り付け面１０６を備える。
【００３６】
フローセンサ１０３は、例えば、上部電極、焦電体薄膜、下部電極、及びヒータなどから構成される焦電検出部を備えた焦電型のフローセンサであり、センサベース１０２のセンサ内通路１０５の中心と焦電検出部の貫通孔の中心とを一致させるようにしてセンサ取り付け面１０６上に固着されている。
【００３７】
図１（ａ）に示すように、矩形状のフローセンサ５２の四隅には、上部電極引出し用の電極部、下部電極引出し用の電極部、ヒータ電極引出し用の２個の電極部の計４つの電極部が形成されている。そして、センサ取り付け面１０６からはフローセンサ１０３の四辺と近接するように４本の接続端子１０１ａの一端が突出しており、各電極部と接続端子１０１ａとの間はボンディングワイヤ１０４によって接続されている。
【００３８】
ハーメチック端子１０１は、図２（ｃ）で示すように、接続端子（リードピン）１０１ａ、環状カバー１０１ｂ、ガラス封止部１０１ｃを備える。導電性材料で形成された接続端子（リードピン）１０１ａを、金属で形成された環状カバー１０１ｂに挿通した状態で、ガラス樹脂を環状カバー１０１ｂ内に充填してガラス封止部１０１ｃを形成し、ガラス封止部１０１ｃを硬化させてハーメチック端子１０１を形成する。環状カバー１０１ｂは、詳しくはＳＵＳ等の材料からなり、表面は腐食性ガスなどの影響を低減するために金メッキが施されている。このようなハーメチック端子１０１を予め多数形成しておく。
【００３９】
センサベース１０２は、図２（ａ），図２（ｂ）に示すように取り付け孔１０２ｂを備える。取り付け孔１０２ｂは、環状カバー１０１ｂの外径と同程度の径で形成されている。また、取り付け孔１０２ｂには抜け留め１０２ｃが形成されており、環状カバー１０１ｂの軸方向端部が抜け留め１０２ｃに当接したときに所定位置にて固定される。センサベース１０２は、ＳＵＳ等の材料からなり、表面は腐食性ガスなどの影響を低減するために金メッキが施されている。
【００４０】
この取り付け孔１０２ｂはセンサベース１０２に複数個（本形態では４個）形成されており、これら全ての取り付け孔１０２ｂにハーメチック端子１０１が接着剤により固定される。
【００４１】
そして、センサベース１０２の一方の面（平面）をセンサ取り付け面１０６とし、フローセンサ１０３がセンサ取り付け面１０６に固定される。フローセンサ１０３の各電極部とハーメチック端子１０１の接続端子１０１ａとの接続に自動ワイヤボンディングが可能な平面取り付け構造を採用している。ワイヤボンディングによりボンディングワイヤ１０４が形成されて赤外線ガス分析計用センサ部１００が形成される。ワイヤボンディングを採用することで、人手による配線作業をなくしセンサ実装の効率化を図ると共に信頼性の向上を図ることができる。このような赤外線ガス分析計用センサ部１００の機能としては先に説明した赤外線ガス分析計用センサ部５０と同じである。
【００４２】
以上説明した本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００では以下のような利点を有する。
【００４３】
（１）本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００は製造が容易である。
従来技術の赤外線ガス分析計用センサ部４０では、製造治具を用いてハーメチック端子５１に対して４本の接続端子（リードピン）５３を位置決めしつつガラス封止により一体に形成するというものであり、製造が容易ではなかった。
【００４４】
一方、本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００では、センサベース１０２にハーメチック端子１０１を固定する場合に、センサベース１０２の取り付け孔１０２ｂに、ハーメチック端子１０１の環状カバー１０１ｂを嵌め込んで環状カバー１０１ｂの軸方向端部を抜け留め１０２ｃに当接させた状態で接着剤により固定すれば、位置決めをした状態で固定でき、製造治具を不要として、取り付けが容易である。
【００４５】
また、ハーメチック端子１０１自体も予め環状カバー１０１ｂに対して位置決めした状態で、１本の接続端子（リードピン）１０１ａをガラス封止によりガラス封止部１０１ｃを形成して固定した独立単体のハーメチック端子１０１としており、ハーメチック端子１０１の各部品の位置決めも製造も容易である。また、ハーメチック端子１０１用の製造治具を用いる場合でもフローセンサ５２に設計変更があったとしても、製造治具の変更は不要である。
【００４６】
（２）本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００は設計変更が容易である。
従来技術の赤外線ガス分析計用センサ部４０では、フローセンサ５２を改良した場合に、ハーメチック端子５１の形状も併せて変更するとともに、このハーメチック端子５１に接続端子（リードピン）５２を取り付けるための製造治具も変更する必要があり、手間や費用を要していた。
【００４７】
本発明の赤外線ガス分析計用センサ部１００は、フローセンサを改良した場合でも、ハーメチック端子１０１のセンサベース１０２への取り付けは製造治具なしで行えるため、設計変更があった場合でも手間や費用を少なくしている。
【００４８】
また、センサベース１０２の材質等を変更することも容易になり、例えば、腐食性ガスを封入する場合などにも耐食性を考慮した材質に変更することが容易となる。また、ワイヤボンディングに際し、ハーメチック端子１０１の接続端子（リードピン）１０１ａの材質や位置を同じにできればボンディング条件は同じとなるため、ボンディング条件などの再評価が不要となる。
【００４９】
（３）本発明の赤外線ガス分析計用検出器４０は製造が容易である。
センサ取り付け面１０６を内方に向けて本体ブロック４１の凹部４８へ赤外線ガス分析計用センサ部１００のセンサベース１０２を嵌合し、センサ取り付け面１０６の外周縁部と本体ブロック４１の凹部の段付部分と当接させるだけで、所定のセンサ収容空間４９にフローセンサ１０３が配置されるので、赤外線ガス分析計用センサ部１００の本体ブロック４１への組み付けも簡単に完了させることができ、組み立て作業の効率向上を実現している。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
このような本発明は、ガス分子固有の赤外線吸収効果を利用してサンプルガス中に含まれる測定対象ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計に利用することができ、特に化学工場や製鉄所のガス濃度に関するプロセスモニター、ボイラーや燃焼炉の燃焼ガス分析、大気汚染の監視、自動車排気ガスの測定などに使用される。
【符号の説明】
【００５１】
１：赤外線ガス分析計
１０：光源部
１１：光源室
１２：赤外線光源 
１３：赤外線透過窓
２０：光チョッパ
２１：回転円板
２２： モータ
３０：サンプルセル
３１：セル本体
３２ａ，３２ｂ：サンプルガス出入口
３３ａ，３３ｂ：赤外線透過窓
４０：赤外線ガス分析計用検出器
４１：本体ブロック
４２：第１ガス室
４３：第２ガス室
４４ａ，４４ｂ，４４ｃ：赤外線透過窓
４５：第１通路
４６：第２通路
４７：座繰り穴部
４８：凹部 
４８ａ：小径穴部
４８ｂ：大径穴部
４９：センサ収容空間
１００：赤外線ガス分析計用センサ部 
１０１：ハーメチック端子
１０１ａ：接続端子（リードピン）
１０１ｂ：環状カバー
１０１ｃ：ガラス封止部 
１０２：センサベース
１０２ａ：突条部
１０２ｂ：取り付け孔
１０２ｃ：抜け留め
１０３：フローセンサ
１０４：ボンディングワイヤ
１０５：センサ内通路
１０６：センサ取り付け面
Ｖ：センサ出力
【図１】
0006436343.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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