【手続補正書】
【提出日】令和3年11月26日(2021.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内を第１の方向に搬送される基板を検査するための基板検査システムであって、
前記容器内に設置され、基板を支持するための基板支持機構と、
前記第１の方向における上流側に配置され、前記容器内に搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板支持機構の基板支持面に平行な第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得するための基板位置情報取得手段と、
前記第１の方向における下流側に配置され、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査するための基板検査手段と、
前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の第２の方向における相対位置を調整するように、前記基板支持機構及び前記基板検査手段の少なくとも一つを駆動する駆動手段と、
を含むことを特徴とする基板検査システム。
【請求項２】
前記駆動手段は、前記基板位置情報に基づいて前記基板支持機構及び前記基板検査手段の少なくとも一つを駆動することで、前記基板検査手段による検査領域を前記容器内で移動させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記駆動手段は、前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段を駆動することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査システム。
【請求項４】
前記駆動手段は、前記基板位置情報取得手段により取得された前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段の位置を調整することを特徴とする請求項３に記載の基板検査システム。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記基板位置情報取得手段により取得された前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段の角度を調整することを特徴とする請求項３に記載の基板検査システム。
【請求項６】
前記基板位置情報取得手段は、前記基板が前記基板支持機構に支持された状態で、前記基板位置情報を取得することができるように設置されることを特徴とする請求項１から請
求項５のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項７】
前記基板位置情報取得手段は、前記基板の前記第２の方向におけるエッジの位置に関する情報を取得する手段であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項８】
前記基板位置情報取得手段は、カメラを有し、前記カメラにより取得された画像に基づいて、前記基板の前記第２の方向におけるエッジの位置に関する情報を取得することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項９】
前記容器は、
前記基板が前記第１の方向における上流側から搬入される基板搬入口と、
前記基板が前記第１の方向における下流側に搬出される基板搬出口と、
を有することを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項１０】
前記基板位置情報取得手段は、前記容器の前記第１の方向における中央部を基準に前記基板搬入口側に設置され、
前記基板検査手段は、前記中央部を基準に前記基板搬出口側に設置されることを特徴とする請求項９に記載の基板検査システム。
【請求項１１】
前記基板位置情報は、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する第３の方向を軸とする回転方向における基板の位置に関する情報を含み、
前記駆動手段は、前記基板位置情報及び前記基板の前記第１の方向への搬送速度に基づいて、前記基板検査手段を連続的又は断続的に駆動することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項１２】
前記駆動手段を制御する制御手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記基板位置情報取得手段により取得された前記基板位置情報に基づいて、基準位置に対する前記基板の相対的位置ずれ量を算出し、
前記制御手段は、前記駆動手段が、前記相対的位置ずれ量に基づいて、前記基板支持機構を駆動するよう制御し、
前記基板位置情報は、前記第２の方向における前記基板の位置に関する情報と、前記第１の方向及び前記第２の方向と交差する第３の方向を軸とする回転方向における前記基板の位置に関する情報とを含むことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項１３】
前記基板検査手段は、光学手段を有することを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項１４】
前記基板検査手段は、前記第２の方向に並んで配置される複数のレーザセンサを有することを特徴とする請求項１３に記載の基板検査システム。
【請求項１５】
前記容器の内部を真空状態に維持するための真空手段をさらに有することを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項１６】
容器内を第１の方向に搬送される基板を検査するための基板検査システムであって、
前記第１の方向における上流側に配置され、前記容器内に搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板の主面に平行な方向である第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得するための基板位置情報取得手段と、
前記第１の方向における下流側に配置され、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査するための基板検査手段と、
前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の第２の方向における相対位置を調整する調整手段と、
を含むことを特徴とする基板検査システム。
【請求項１７】
前記調整手段は、前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段を駆動する駆動手段であることを特徴とする請求項１６に記載の基板検査システム。
【請求項１８】
電子デバイスの製造装置であって、
基板にマスクを介して第１の材料を堆積させて成膜するための成膜装置を有する第１のクラスタ装置と、
基板にマスクを介して第２の材料を堆積させて成膜するための成膜装置を有する第２のクラスタ装置と、
前記第１のクラスタ装置から前記第２のクラスタ装置に搬送される基板を検査するための基板検査システムと、
を有し、
前記基板検査システムは、請求項１から請求項１７のいずれか１項に記載の基板検査システムであることを特徴とする電子デバイスの製造装置。
【請求項１９】
容器内を第１の方向に搬送される基板を検査するための基板検査方法であって、
前記基板を前記第１の方向に沿って前記容器内に搬入する基板搬入工程と、
前記第１の方向における上流側に配置された位置情報取得手段により、搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板の主面に平行な第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得する基板位置情報取得工程と、
前記第１の方向における下流側に配置された基板検査手段により、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査する基板検査工程と、
前記基板位置情報取得工程の後、かつ、前記基板検査工程の前に、取得された前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の前記第２の方向における相対位置を調整するように前記基板及び前記基板検査手段の少なくとも一つを駆動する駆動工程と、
を含むことを特徴とする基板検査方法。
【請求項２０】
前記駆動工程においては、前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段を駆動することを特徴とする請求項１９に記載の基板検査方法。
【請求項２１】
前記基板位置情報取得工程は、前記基板搬入工程において、前記基板が前記容器内に搬入される過程で行われることを特徴とする請求項１９又は請求項２０に記載の基板検査方法。
【請求項２２】
前記基板搬入工程の後に、前記容器内に搬入された前記基板を前記容器内の基板支持機構によって支持する基板支持工程をさらに有し、
前記基板位置情報取得工程は、前記基板支持工程の後に行われることを特徴とする請求項１９又は請求項２０に記載の基板検査方法。
【請求項２３】
前記基板位置情報取得工程においては、前記基板の前記第２の方向におけるエッジの位置に関する情報を取得することを特徴とする請求項１９から請求項２２のいずれか１項に記載の基板検査方法。
【請求項２４】
前記駆動工程においては、前記基板位置情報取得工程で取得された前記基板位置情報に
基づいて、前記基板検査手段の前記第２の方向における位置を調整することを特徴とする請求項１９から請求項２３のいずれか１項に記載の基板検査方法。
【請求項２５】
前記駆動工程においては、前記基板位置情報取得工程で取得された前記基板位置情報に基づいて、前記基板検査手段の前記第１の方向を軸とした回転角度を調整することを特徴とする請求項１９から請求項２４のいずれか１項に記載の基板検査方法。
【請求項２６】
電子デバイスの製造方法であって、
基板にマスクを介して材料を堆積させて成膜する成膜工程と、
前記成膜工程の前又は後に、基板を検査する基板検査工程と、
を有し、
前記基板検査工程は、請求項１９から請求項２５のいずれか１項に記載の基板検査方法により行われることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第１の態様にかかる基板検査システムは、容器内を第１の方向に搬送される基板を検査するための基板検査システムであって、前記容器内に設置され、基板を支持するための基板支持機構と、前記第１の方向における上流側に配置され、前記容器内に搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板支持機構の基板支持面に平行な第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得するための基板位置情報取得手段と、前記第１の方向における下流側に配置され、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査するための基板検査手段と、前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の第２の方向における相対位置を調整するように、前記基板支持機構及び前記基板検査手段の少なくとも一つを駆動する駆動手段と、を含むことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第２の態様にかかる基板検査システムは、容器内を第１の方向に搬送される基板を検査するための基板検査システムであって、前記第１の方向における上流側に配置され、前記容器内に搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板の主面に平行な方向である第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得するための基板位置情報取得手段と、前記第１の方向における下流側に配置され、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査するための基板検査手段と、前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の第２の方向における相対位置を調整する調整手段と、を含むことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第４の態様にかかる基板検査方法は、容器内を第１の方向に搬送される基板を
検査するための基板検査方法であって、前記基板を前記第１の方向に沿って前記容器内に搬入する基板搬入工程と、前記第１の方向における上流側に配置された位置情報取得手段により、搬入された前記基板の、前記第１の方向と交差し、かつ、前記基板の主面に平行な第２の方向における位置情報を含む基板位置情報を取得する基板位置情報取得工程と、前記第１の方向における下流側に配置された基板検査手段により、前記基板の前記第１の方向に沿った辺部での欠陥を検査する基板検査工程と、前記基板位置情報取得工程の後、かつ、前記基板検査工程の前に、取得された前記基板位置情報に基づいて、搬送される前記基板と前記基板検査手段の前記第２の方向における相対位置を調整するように前記基板及び前記基板検査手段の少なくとも一つを駆動する駆動工程と、を含むことを特徴とする。