(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を搬送トレイに収容させた状態で熱処理部に順々に搬送させて、搬送トレイに収容された被処理物を連続して熱処理させる連続熱処理設備において、被処理物が収容された搬送トレイを複数段積層させた状態で、各搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理する減圧処理部と、前記の減圧処理部から搬入された複数段積層させた状態にある搬送トレイから、一部の搬送トレイを分離させて順々に前記の熱処理部に搬送させる搬送トレイ分離部とを設け、前記の搬送トレイ分離部に、複数段積層させた状態にある搬送トレイから一部の搬送トレイを分離させる分離手段を設けたことを特徴とする連続熱処理設備。
【請求項２】
請求項１に記載の連続熱処理設備において、前記の被処理物に粉粒体を用い、減圧処理部内を減圧させた後、この減圧処理部内に不活性ガスを導入させて、複数段積層された各搬送トレイに収容されている被処理物を減圧処理させることを特徴とする連続熱処理設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理物を搬送トレイに収容させた状態で熱処理部に順々に搬送させて、搬送トレイに収容された被処理物を連続して熱処理させる連続熱処理設備に関するものである。特に、粉粒体等の被処理物を不活性雰囲気等の雰囲気条件において熱処理するにあたり、搬送トレイに前記の被処理物を収容させた状態で減圧処理部に導いて減圧処理させる際に、急激な減圧処理によって搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物が搬送トレイから吸引されて排気されるのを防止すると共に、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を効率よく減圧処理して熱処理部に導くことができるようにし、装置を大型化させることなく、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を順々に効率よく熱処理できるようにした点に特徴を有するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被処理物を熱処理部に順々に導いて被処理物を連続して熱処理させるようにした連続熱処理設備が使用されている。
【０００３】
そして、このような連続熱処理設備の１つとして、例えば、特許文献１に示されるように、被処理物を搬送トレイに収容させた状態で熱処理部に順々に導いて熱処理するようしたものが知られている。
【０００４】
また、従来においては、被処理物に対して浸炭処理等の熱処理を適切に行うために、特許文献２等に示されるように、被処理物を熱処理部に導いて熱処理する前に、被処理物を減圧処理するパージ部等の減圧処理部を設け、この減圧処理部内に被処理物を導いて、この減圧処理部内を減圧させて、被処理物の隙間に入り込んだ空気を抜き、またこのように減圧させた減圧処理部内に不活性ガスを導入して置換させるようにして、被処理物を減圧処理させた後、このように減圧処理された被処理物を熱処理部に順々に導いて熱処理することが行われている。
【０００５】
ここで、粉粒体等の被処理物を前記のように減圧処理部内において減圧処理させるにあたっては、一般に、被処理物を搬送トレイに収容させた状態で減圧処理部内に導いて減圧処理させるようにしている。
【０００６】
そして、このように粉粒体等の被処理物を搬送トレイに収容させた状態で、減圧処理部内において減圧処理するにあたり、減圧処理時間を短縮させて生産性を向上させるために、減圧処理部内を減圧させる減圧速度を速めると、粉粒体等の被処理物が搬送トレイ内から舞い上がって、空気と一緒に吸引されて排気されてしまい、処理される粉粒体等の被処理物の量が減少し、また吸引された粉粒体等の被処理物が減圧処理を行う吸引ポンプや排気管等に詰まるという問題があった。
【０００７】
一方、粉粒体等の被処理物が搬送トレイ内から舞い上がらないように、粉粒体等の被処理物を減圧処理させる際における減圧速度を遅くすると、粉粒体等の被処理物に含まれている空気を十分に除去するために、所定の圧力まで減圧させるのに長い時間が必要となり、被処理物を減圧処理させた後、熱処理部に導いて熱処理するまでの時間が長くなって生産性が著しく低下するという問題があった。
【０００８】
また、前記のように粉粒体等の被処理物を減圧処理する減圧処理部を連続して長く設け、このように長くなった減圧処理部内において、粉粒体等の被処理物を収容させた搬送トレイを順々に移動させて、搬送トレイに収容させた粉粒体等の被処理物を徐々に減圧処理させることも考えられるが、この場合、装置全体の長さが非常に長くなって、装置が大型化する等の問題があった。
【０００９】
また、特許文献３においては、カセットに上下方向に所要間隔を介して複数段の棚を設け、各棚に圧粉体を搭載させたボードをセットさせた後、各棚にボードがセットされたカセットを昇降テーブルの上に送り出し、この昇降テーブルを昇降させて、圧粉体を搭載させたボードを焼成炉に導くようにしたものが示されている。
【００１０】
しかし、特許文献３においては、カセットに設けられた複数段の棚に、それぞれ圧粉体を搭載させたボードをセットさせ、このように圧粉体を搭載させたボードを複数セットさせたカセットを昇降テーブルに導くことが示されているだけであり、粉粒体等の被処理物を熱処理部に導いて熱処理する前に、被処理物を減圧処理することや、この場合における前記のような問題は一切示されておらず、前記のような問題を解決することはできなかった。
【００１１】
また、仮に、前記のようにカセットに設けられた複数段の棚に、それぞれ粉粒体等の被処理物を収容させた搬送トレイをセットし、各搬送トレイに収容された被処理物を処理部内において減圧処理させる場合、各搬送トレイを前記のカセットにセットした状態で処理部内に導いて減圧処理させた後、カセットを処理部内から取り出すことが必要になり、作業が面倒であると共に、粉粒体等の被処理物を収容させた搬送トレイをカセットに設けられた複数段の棚にセットさせる作業が必要になる。また、カセットの嵩が大きくなって、処理部の容積を大きくすることが必要になり、処理部内を所定の圧力まで減圧させるのに時間が長くなると共に、装置が大型化する等の問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００４−１４３５６５号公報
【特許文献２】特開２００５−１７２４２６号公報
【特許文献３】特開平９−２４９９０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、被処理物を搬送トレイに収容させた状態で熱処理部に順々に搬送させて、搬送トレイに収容された被処理物を連続して熱処理させる連続熱処理設備における前記のような様々な問題を解決することを課題とするものである。
【００１４】
本発明は、前記のような連続熱処理設備において、粉粒体等の被処理物を不活性雰囲気等の雰囲気条件において熱処理するにあたり、搬送トレイに前記の被処理物を収容させた状態で減圧処理部に導いて減圧処理させる際に、急激な減圧処理により、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物が搬送トレイから吸引されて排気され、搬送トレイ内における粉粒体等の被処理物の量が減少するのを防止すると共に、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を効率よく減圧処理して熱処理部に導くことができるようにし、装置を大型化させることなく、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を順々に効率よく熱処理できるようにすることを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る連続熱処理設備においては、前記のような課題を解決するため、被処理物を搬送トレイに収容させた状態で熱処理部に順々に搬送させて、搬送トレイに収容された被処理物を連続して熱処理させる連続熱処理設備において、被処理物が収容された搬送トレイを複数段積層させた状態で、各搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理する減圧処理部と、前記の減圧処理部から搬入された複数段積層させた状態にある搬送トレイから、一部の搬送トレイを分離させて順々に前記の熱処理部に搬送させる搬送トレイ分離部とを設け、前記の搬送トレイ分離部に、複数段積層させた状態にある搬送トレイから一部の搬送トレイを分離させる分離手段を設けた。
【００１６】
ここで、本発明に係る連続熱処理設備においては、被処理物を収容させた搬送トレイを複数段積層させた状態で減圧処理部に搬入させ、この減圧処理部において各搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理した後、このように減圧処理した各搬送トレイを搬送トレイ分離部に搬入させるようにする。そして、このように搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイから、一部の搬送トレイを前記の分離手段により分離させて前記の熱処理部に順々に搬送させると共に、新たに前記の減圧処理部に、被処理物が収容された搬送トレイを複数段積層された状態で搬入させるようにする。
【００１７】
このようにすると、搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイを順々に熱処理部に搬送させて、各搬送トレイに収容された被処理物を熱処理部において順々に熱処理させている間に、新たに減圧処理部に被処理物を収容させた搬送トレイを複数段積層された状態で搬入させて、各搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理部において、長い時間をかけて減圧処理させることができるようになる。
【００１８】
このため、減圧処理部における減圧速度を遅くして、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物が搬送トレイから吸引されて排気されるのを防止しながら、減圧処理部内を所定の圧力まで減圧させることができると共に、このように所定の圧力まで減圧させた減圧処理部内に、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を保持させる保持時間を長くすることができ、被処理物の隙間に入り込んだ空気を十分に除去できるようになる。
【００１９】
ここで、本発明に係る連続熱処理設備において、前記の被処理物の種類は特に限定されないが、本発明に係る連続熱処理設備を用いると、減圧速度を速くしなくしても、被処理物を効率よく減圧処理して熱処理することができるため、被処理物が粉粒体である場合に好適に使用することができる。
【００２０】
また、本発明に係る連続熱処理設備においては、前記のように搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイから一部の搬送トレイを分離させて熱処理部に順々に搬送させるにあたり、前記の搬送トレイ分離部に、前記のように複数段積層させた状態にある搬送トレイから一部の搬送トレイを分離させる分離手段を設けている。
【００２１】
また、本発明に係る連続熱処理設備においては、前記のように被処理物が収容された搬送トレイを複数段積層された状態で減圧処理部に搬入させて、各搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理するにあたっては、前記の減圧処理部内を減圧させる他、このように減圧処理部内を減圧させた後、この減圧処理部内に窒素ガス等の不活性ガスを導入させるようにすることもできる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明における連続熱処理設備においては、前記のように搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイを順々に熱処理部に搬送させて、各搬送トレイに収容された被処理物を熱処理部において順々に熱処理させている間に、減圧処理部に新たに搬入された各搬送トレイに収容された被処理物を、減圧処理部において長い時間をかけて減圧処理させることができるようになる。
【００２３】
この結果、本発明における連続熱処理設備を用いると、搬送トレイに被処理物を収容させた状態で減圧処理部に導いて減圧処理させる際に、急激な減圧処理を行わなくても、搬送トレイに収容された被処理物を十分に効率よく減圧処理させることができ、被処理物が粉粒体である場合においても、粉粒体からなる被処理物が搬送トレイから吸引されて排気され、搬送トレイ内における粉粒体からなる被処理物の量が減少するのが防止されると共に、各搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を効率よく減圧処理して熱処理部に導くことができるようになり、装置を大型化させることなく、搬送トレイに収容された粉粒体等の被処理物を順々に効率よく熱処理できるようになる。
【００２４】
また、本発明における連続熱処理設備においては、複数の搬送トレイを直接に積層させるため、カセット等に設けられた棚等に搬送トレイを載せる従来のものに比べて高さを低くすることができ、減圧処理部の容積を小さくすることができ、減圧速度を遅くしても、所定圧力まで減圧させるのに要する時間を短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る連続熱処理設備において、搬送トレイ内に粉粒体からなる被処理物を収容させた状態を示し、（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略平面図である。
【図２】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、前記の搬送トレイを複数段積層させた状態を示した概略正面図である。
【図３】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、被処理物を収容させた搬送トレイを複数段積層させた状態で、減圧処理部に搬入させる状態を示した概略部分説明図である。
【図４】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、複数段積層された搬送トレイに収容された被処理物を、減圧処理部において減圧処理する状態を示した概略部分説明図である。
【図５】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、複数段積層された搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理部において減圧処理した後、搬送トレイ分離部に搬入させる状態を示した概略部分説明図である。
【図６】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、減圧処理された複数段の搬送トレイを減圧処理部から搬送トレイ分離部に搬入させた後、被処理物を収容させて複数段積層させた新たな搬送トレイを減圧処理部に搬入させる状態を示した概略部分説明図である。
【図７】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイから最下段の搬送トレイを分離させると共に、減圧処理部に新たに搬入された複数段積層された搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理する状態を示した概略部分説明図である。
【図８】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイを分離させて順々に熱処理部に搬出させると共に、減圧処理部に新たに搬入された複数段積層された搬送トレイに収容された被処理物を減圧処理する状態を示した概略部分説明図である。
【図９】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、搬送トレイ分離部に搬入された複数段の搬送トレイを分離させて熱処理部に搬出させた後、減圧処理部において減圧処理された複数段の搬送トレイを搬送トレイ分離部に搬入させた状態を示した概略部分説明図である。
【図１０】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、複数段積層された搬送トレイを搬送トレイ分離部内において分離させるのに用いる分離手段の例を示し、（Ａ）は概略断面図、（Ｂ）は概略平面図である。
【図１１】図１０に示す分離手段を設けた連続熱処理設備において、複数段積層された搬送トレイが搬送トレイ分離部に搬入されて搬送ローラーに保持された状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１２】図１１に示した状態から、分離手段における昇降シリンダーにより持ち上げ部材を上昇させて、複数段積層された搬送トレイを所定位置まで持ち上げた状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１３】図１２に示した状態から、分離手段における回転ロッドを回転させて、回転ロッドの先端に設けられた保持部材を、最下段の搬送トレイにおける凹みを通してその上に位置する搬送トレイの下に導いた状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１４】図１３に示した状態から、前記の昇降シリンダーにより持ち上げ部材を下降させ、最下段の搬送トレイだけを搬送トレイ分離部における搬送ローラーの上に保持させて熱処理部に搬出させる状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１５】図１４に示した状態から、最下段の搬送トレイを熱処理部に搬出させた後、前記の昇降シリンダーにより持ち上げ部材を上昇させ、前記の保持部材に保持された状態にある残りの積層された搬送トレイを持ち上げ部材によって保持させた状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１６】図１５に示す状態から、前記の回転ロッドを逆方向に回転させて、回転ロッドの先端に設けられた保持部材を搬送トレイの下から取り出した後、前記の昇降シリンダーにより持ち上げ部材を下降させて、残りの積層された搬送トレイを搬送トレイ分離部における搬送ローラーの上に保持させた状態を示し、（Ａ）は回転ロッドの先端に設けられた保持部材と搬送トレイとの位置関係を示した部分説明図、（Ｂ）は概略断面図である。
【図１７】前記の実施形態に係る連続熱処理設備において、搬送トレイに設ける凹みの位置を変更させた変更例に係る搬送トレイの概略底面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、この発明の実施形態に係る連続熱処理設備を添付図面に基づいて具体的に説明する。なお、この発明に係る連続熱処理設備は下記の実施形態に示したものに限定されず、発明の要旨を変更しない範囲において、適宜変更して実施できるものである。
【００２７】
この実施形態の連続熱処理設備においては、図１に示すように、平面四角形状で上面が開口されて所要深さの箱状になった搬送トレイ１０を用い、この搬送トレイ１０内に粉粒体からなる被処理物Ｗを収容させるようにすると共に、この搬送トレイ１０における対向する側壁１１の上縁中央部に凹み１２を設けている。
【００２８】
ここで、この実施形態の連続熱処理設備において、搬送トレイ１０内に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗを熱処理するにあたっては、図２に示すように、搬送トレイ１０の側壁１１に設けられた凹み１２が同じ面に揃うようにして、被処理物Ｗを収容させた複数の搬送トレイ１０を積層させるようにしている。
【００２９】
そして、この実施形態の連続熱処理設備においては、図３〜図９に示すように、粉粒体からなる被処理物Ｗが収容されて複数段積層された搬送トレイ１０を、熱処理炉２０における減圧処理部２１、搬送トレイ分離部２２、熱処理部２３の順に導いて、各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗを熱処理させるようにしている。
【００３０】
ここで、この実施形態の連続熱処理設備においては、図３に示すように、前記の減圧処理部２１における導入側扉２４を開け、前記のように複数段積層された搬送トレイ１０を減圧処理部２１内に搬入させて、減圧処理部２１内に設けられた搬送ローラー２５に保持させる。なお、減圧処理部２１における導出側扉２６は閉じた状態にしている。
【００３１】
そして、図４に示すように、前記の導入側扉２４を閉じて、減圧処理部２１を密閉させた状態で、この減圧処理部２１内の空気を、真空ポンプ等の吸引ポンプ（図示せず）等により吸引させて減圧させ、各搬送トレイ１０に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗの粒子間の隙間に含まれている空気を、各搬送トレイ１０の側壁１１に設けられた凹み１２を通して十分に吸引除去させる。さらに、必要に応じて、後述する搬送トレイ分離部２２や熱処理部２３の内部と同等の圧力や雰囲気成分になるように、例えば、不活性ガス供給装置（図示せず）から減圧処理部２１内に窒素ガス等の不活性ガスを導入させて、各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗを減圧処理させる。なお、減圧処理部２１内の空気を吸引して減圧させる速度は、搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗが、搬送トレイ１０内から吸引されて排出されない速度に設定している。
【００３２】
次いで、図５に示すように、減圧処理部２１における導入側扉２４を閉じた状態で、減圧処理部２１における導出側扉２６を開け、前記のように複数段積層された状態で減圧処理された搬送トレイ１０を、減圧処理部２１内から搬送トレイ分離部２２内に搬入させて、搬送トレイ分離部２２内に設けられた搬送ローラー２５に保持させるようにする。
【００３３】
そして、図６に示すように、前記の減圧処理部２１における導出側扉２６を閉じた後、大気導入弁（図示せず）を開けて減圧処理部２１を大気圧に戻し、その後、減圧処理部２１における導入側扉２４を開け、前記のように複数段積層された搬送トレイ１０を減圧処理部２１内に搬入させて、減圧処理部２１内に設けられた搬送ローラー２５に保持させるようにする。
【００３４】
その後、図７に示すように、前記の導入側扉２４を閉じて減圧処理部２１を密閉させ、前記の図４に示す場合と同様にして、複数段積層された状態にある各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗを、減圧処理部２１内において徐々に減圧処理させるようにすると共に、前記の搬送トレイ分離部２２内に搬入された複数段積層された状態にある搬送トレイ１０を、後述する分離手段により、最下段の搬送トレイ１０だけを前記の搬送ローラー２５の上に残すようにして、他の搬送トレイ１０を最下段の搬送トレイ１０の上方に保持させるようにする。
【００３５】
そして、分離された最下段の搬送トレイ１０だけを前記の搬送ローラー２５によって搬送トレイ分離部２２から熱処理部２３に搬送させ、この熱処理部２３において搬送トレイ１０内に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗを熱処理させるようにする。なお、この実施形態においては、搬送トレイ分離部２２に搬入された複数段積層された状態にある搬送トレイ１０を熱処理部２３に搬送させるあたり、搬送トレイ１０を一段毎に分離させて、搬送トレイ１０を一段毎に順々に熱処理部２３に搬送させるようにしたが、搬送トレイ１０を２段以上重ねた状態で分離させて、熱処理部２３に搬送させるようにすることもできる。
【００３６】
その後は、図８に示すように、前記のように搬送トレイ分離部２２内に搬入された各搬送トレイ１０を、一段毎に順々に熱処理部２３に導いて熱処理させている間に、減圧処理部２１内において、前記のようにして複数段積層された状態にある各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗの減圧処理を続行させるようにする。
【００３７】
そして、前記のように減圧処理部２１内において各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗを減圧処理させた後は、図９に示すように、前記の図５の場合と同様に、減圧処理部２１における導入側扉２４を閉じた状態で、減圧処理部２１における導出側扉２６を開けて、複数段積層された状態で減圧処理された搬送トレイ１０を、減圧処理部２１内から先の搬送トレイ１０が搬出された搬送トレイ分離部２２内に搬入させて、搬送トレイ分離部２２内に設けられた搬送ローラー２５に保持させるようにする。
【００３８】
その後は、前記の図６に示すように、前記の減圧処理部２１における導出側扉２６を閉じた後、減圧処理部２１を大気圧に戻し、その後、減圧処理部２１における導入側扉２４を開け、複数段積層された搬送トレイ１０を減圧処理部２１内に搬入させて、減圧処理部２１内に設けられた搬送ローラー２５に保持させるようにする。
【００３９】
そして、前記のような操作を繰り返して、被処理物Ｗを収容させた複数の搬送トレイ１０を、減圧処理部２１、搬送トレイ分離部２２、熱処理部２３の順に導いて、各搬送トレイ１０に収容された被処理物Ｗを熱処理させるようにする。
【００４０】
この実施形態の連続熱処理設備においては、前記のように搬送トレイ分離部２２に搬入された各搬送トレイ１０を分離手段により一枚毎に順々に分離させて熱処理部２３に搬送させて熱処理させている間に、粉粒体からなる被処理物Ｗが収容された搬送トレイ１０を複数段積層された状態で減圧処理部２１内に搬入させて、各搬送トレイ１０に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗを減圧処理させるようにしたため、急激な減圧処理を行わなくても、各搬送トレイ１０に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗを十分に減圧処理させる時間ができ、粉粒体からなる被処理物Ｗが搬送トレイ１０から吸引されて排気されるのが防止されると共に、装置を大型化させることなく、搬送トレイ１０に収容された粉粒体からなる被処理物Ｗを順々に効率よく熱処理できるようになる。
【００４１】
次に、この実施形態の連続熱処理設備において、複数段積層された状態で搬送トレイ分離部２２内に搬入された搬送トレイ１０を分離させて熱処理部２３に搬送させるにあたり、複数段積層された状態にある搬送トレイ１０を分離させる分離手段の例を、添付図面に基づいて説明する。なお、複数段積層された状態にある搬送トレイ１０を分離させる分離手段は、以下に示すようなものに限定されない。
【００４２】
ここで、図１０（Ａ），（Ｂ）に示す分離手段においては、前記の搬送トレイ分離部２２における床２２ａの下に密封シール材３１ａを介して昇降シリンダー３１を設け、この昇降シリンダー３１における伸縮ロッド３２を搬送トレイ分離部２２の床２２ａを通して搬送トレイ分離部２２内に導入させると共に、この伸縮ロッド３２の先端に搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持された搬送トレイ１０を持ち上げる持ち上げ部材３３を設けている。
【００４３】
また、前記の搬送トレイ分離部２２における天井２２ｂの上に、それぞれ密封シール材３４ａを介して４つのロータリーアクチュエーター３４を、搬送トレイ１０の送り方向及び送り方向と直交する幅方向に所要間隔を介するようにして設け、各ロータリーアクチュエーター３４からそれぞれ回転ロッド３５を搬送トレイ分離部２２の天井２２ｂを通して搬送トレイ分離部２２内に導入させると共に、各回転ロッド３５の先端に保持部材３６を水平方向に突出するように設け、各回転ロッド３５の回転に伴って、各保持部材３６を水平方向に回転させるようにしている。
【００４４】
ここで、前記の分離手段を用いた場合において、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に複数段積層された搬送トレイ１０を搬入させる状態では、図１１（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記の各ロータリーアクチュエーター３４により各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６を搬送トレイ１０に当たらない位置に退避させると共に、前記の昇降シリンダー３１により前記の持ち上げ部材３３を下降させて、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５よりも下に位置させるようにする。
【００４５】
そして、前記の分離手段により、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に搬入されて保持された複数段の搬送トレイ１０から最下段の搬送トレイ１０だけを分離させて熱処理部２３に搬送させるにあたっては、図１２（Ａ），（Ｂ）に示すように、各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６を搬送トレイ１０に当たらない位置に退避させた状態で維持させる一方、前記の昇降シリンダー３１により前記の持ち上げ部材３３を上昇させて、複数段積層された搬送トレイ１０を、最下段の搬送トレイ１０における凹み１２が前記の各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６の位置に達するまで持ち上げるようにする。
【００４６】
その後、図１３（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記の各ロータリーアクチュエーター３４により各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６を最下段の搬送トレイ１０における凹み１２に向けて約９０度回転させ、各保持部材３６を最下段の搬送トレイ１０における凹み１２を通して、最下段の搬送トレイ１０の上に位置する下から２段目の搬送トレイ１０の下に導き、最下段の搬送トレイ１０よりも上において積層された各搬送トレイ１０を、各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６によって保持させる準備をする。
【００４７】
次いで、図１４（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記の昇降シリンダー３１によって前記の持ち上げ部材３３を下降させ、最下段の搬送トレイ１０よりも上において積層された各搬送トレイ１０を、各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６によって保持させた後、さらに昇降シリンダー３１によって持ち上げ部材３３を下降させて、持ち上げ部材３３の上に保持された状態にある最下段の搬送トレイ１０だけを下降させて、最下段の搬送トレイ１０だけを搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持させ、持ち上げ部材３３を搬送ローラー２５よりも下に下げた後、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持された最下段の搬送トレイ１０を熱処理部２３に搬送させるようにする。
【００４８】
そして、最下段の搬送トレイ１０を熱処理部２３に搬送させた後は、図１５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記のように各保持部材３６によって残りの積層された搬送トレイ１０を保持させた状態で、前記の昇降シリンダー３１により前記の持ち上げ部材３３を上昇させて、各保持部材３６によって保持されている残りの積層された搬送トレイ１０を、この持ち上げ部材３３によって保持させるようにする。
【００４９】
このように残りの積層された搬送トレイ１０を持ち上げ部材３３によって保持させた状態で、図１６（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記の各ロータリーアクチュエーター３４により各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６を前記の場合とは逆方向に回転させて、各保持部材３６を搬送トレイ１０に当たらない位置に退避させた後、昇降シリンダー３１により前記の持ち上げ部材３３を下降させ、持ち上げ部材３３の上に保持された残りの積層された搬送トレイ１０を搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持させるようにする。
【００５０】
そして、前記のような操作を繰り返して行い、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に搬入された複数段の搬送トレイ１０を一段毎に順々に分離させて熱処理部２３に搬送させて熱処理させるようにする。
【００５１】
なお、この実施形態における連続熱処理設備においては、搬送トレイ１０における対向する側壁１１の上縁中央部に凹み１２を設けることにより、搬送トレイ１０を直接積層した状態で、各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６を、この搬送トレイ１０における凹み１２を通してその上に位置する搬送トレイ１０の下に導いて、上に位置する搬送トレイ１０を各保持部材３６により保持させ、上に位置する搬送トレイ１０と下に位置する搬送トレイ１０とを分離させるようにしたが、搬送トレイ１０に設ける凹み１２の位置や数はこのようなものに限定されない。
【００５２】
例えば、図１７に示すように、搬送トレイ１０の底面１３の４隅に凹み１２を設けることにより、搬送トレイ１０を直接積層した状態で、各回転ロッド３５の先端に設けられた各保持部材３６をこの４隅の凹み１２に係合させて、各保持部材３６により搬送トレイ１０を保持させるようにすることもできる。
【００５３】
また、この実施形態における連続熱処理設備においては、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持された搬送トレイ１０を持ち上げるにあたり、搬送トレイ分離部２２における床２２ａの下に昇降シリンダー３１を設けるようにしたが、搬送トレイ分離部２２における搬送ローラー２５の上に保持された搬送トレイ１０を持ち上げる方法はこのようなものに限定されない。
【００５４】
例えば、前記の各ロータリーアクチュエーター３４を昇降装置（図示せず）によって昇降させるようにすることもできるが、装置が複雑化すると共に、コストが高く付き、メンテナンスも困難になる等の問題がある。
【符号の説明】
【００５５】
１０    ：搬送トレイ
１１    ：側壁
１２    ：凹み
１３    ：底面
２０    ：熱処理炉
２１    ：減圧処理部
２２    ：搬送トレイ分離部
２２ａ  ：床
２２ｂ  ：天井
２３    ：熱処理部
２４    ：導入側扉
２５    ：搬送ローラー
２６    ：導出側扉
３１    ：昇降シリンダー
３１ａ  ：密封シール材
３２    ：伸縮ロッド
３３    ：持ち上げ部材
３４    ：ロータリーアクチュエーター
３４ａ  ：密封シール材
３５    ：回転ロッド
３６    ：保持部材
Ｗ      ：被処理物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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