(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライドレールが取り付けられたテストヘッドと、
このテストヘッドの上面に取り付けられ、前記スライドレールに沿って前記テストヘッドから水平方向にスライドするテストボードと、
このテストボードの対向する側面に設けられる軸と、
前記テストヘッドに回転可能に取り付けられ、前記軸が挿入される溝を有する回転プレートと、
この回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダと、
を備え、
前記軸を前記回転プレートの溝に挿入させ、前記シリンダを用いて前記回転プレートを回転させることにより、前記テストボードを前記テストヘッド上から水平またはほぼ直立に回転させることを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
回転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたことを特徴とする請求項１に記載のＩＣテスタ。
【請求項３】
テストヘッドに取り付けられたスライドレールに沿って前記テストヘッドの上面に取り付けられたテストボードを水平にスライドさせ、このテストボードの対向する側面に設けられた軸を前記テストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードをほぼ直立させるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法。
【請求項４】
ほぼ直立状態のテストボードの対向する側面に設けられた軸をテストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードを水平にさせるステップと、
前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けられたスライドレールに沿って水平にスライドさせ、前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストボードをテストヘッドから水平方向に着脱するＩＣテスタ及びテストボードの着脱方法に関し、テストボードの着脱スペースを抑えられるＩＣテスタ及びテストボードの着脱方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の被試験対象を試験するものである。そして、ＩＣテスタは、ピンエレクトロニクスボードと呼ばれるプリント基板が多数搭載されるテストヘッドを有し、このテストヘッドに、被試験対象のパッケージを取り付けるソケットが多数設けられるテストボードを取り付けている。テストボードは、被試験対象の種類に応じて取替えやピンエレクトロニクスボードのメンテナンスのために、テストヘッドから着脱可能になっている。このような装置は例えば特許文献１〜３等に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２８８１４７号公報
【特許文献２】特開平１０−３００８１６号公報
【特許文献３】特開２００３−１６０２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような装置では、テストボードを水平移動させ、テストヘッドから分離しているので、テストボードの着脱スペースが大きく必要である。ＩＣテスタは、クリーンルームに多数設置されるので、着脱スペースがとられることにより、ＩＣテスタの設置台数が少なくなってしまうという問題点があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、テストボードの着脱スペースを抑えられるＩＣテスタ及びテストボードの着脱方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような課題を達成するために、本発明のうち第１の手段は、
水平方向にスライドレールが取り付けられたテストヘッドと、
このテストヘッドの上面に取り付けられ、前記スライドレールに沿って前記テストヘッドから水平方向にスライドするテストボードと、
このテストボードの対向する側面に設けられる軸と、
前記テストヘッドに回転可能に取り付けられ、前記軸が挿入される溝を有する回転プレートと、
この回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダと、
を備え、
前記軸を前記回転プレートの溝に挿入させ、前記シリンダを用いて前記回転プレートを回転させることにより、前記テストボードを前記テストヘッド上から水平またはほぼ直立に回転させることを特徴とするＩＣテスタである。
第２の手段は、第１の手段であって、
回転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたことを特徴とするものである。
第３の手段は、
テストヘッドに水平方向に取り付けられたスライドレールに沿って前記テストヘッドの上面に取り付けられたテストボードを水平にスライドさせ、このテストボードの対向する側面に設けられた軸を前記テストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードをほぼ直立させるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法である。
第４の手段は、
ほぼ直立状態のテストボードの対向する側面に設けられた軸をテストヘッドに回転可能に取り付けられた回転プレートの溝に挿入するステップと、
前記回転プレートに一端が取り付けられ、前記テストヘッドに他端が取り付けられ、前記回転プレートを支えるシリンダを用いて、前記回転プレートを回転させ、前記テストボードを水平にさせるステップと、
前記テストボードを前記テストヘッドに水平方向に取り付けられたスライドレールに沿って水平にスライドさせ、前記テストボードを前記テストヘッドに取り付けるステップと、
を備えたことを特徴とするテストボードの着脱方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば以下のような効果がある。
第１の手段は、テストボードを回転プレートによりシリンダを用いて回転させ、テストボードを水平またはほぼ直立にさせるので、テストボードの着脱スペースを抑えることができる。
また、第２の手段は、回転プレートが回転し、テストボードがほぼ直立したとき、テストボードを保持する設置台を設けたので、テストボードをテストヘッドから取り外すことができる。
第３，４の手段は、テストボードを回転プレートによりシリンダを用いて回転させ、テストボードを水平またはほぼ直立にさせるので、テストボードの着脱スペースを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。
【０００９】
図１において、テストヘッド本体１は、ピンエレクトロニクスボードが複数内部に設けられ、スライドレール１１が取り付けられる。テストボード２は、被試験対象が取り付けられるソケット（図示せず）が上面に多数設けられ、テストヘッド本体１の上面に取り付けられ、テストヘッド本体１から、スライドレール１１に沿って水平方向に着脱する。軸２１，２２は、テストボード２の対向する側面に上下斜めに設けられる。マニピュレータ３は、テストヘッド本体１を回転させる。マニピュレータ３の回転機構は本発明の主要部でないので説明を省略する。２つの回転プレート４は、略長方形に形成され、軸２１，２２が挿入される溝４１，４２を有し、マニピュレータ３に設けられる回転軸３１に取り付けられる。シリンダ５は、回転プレート４に一端が取り付けられ、マニピュレータ３に他端が取り付けられ、回転プレート４を支える。
【００１０】
このような装置の動作を、図２を用いて説明する。テストボード２を取り外す場合、図２（ａ）に示す状態から、テストボード２をテストヘッド本体１上でスライドさせ、軸２１，２２が回転プレート４の溝４１，４２に挿入される（図２（ｂ））。そして、回転プレート４を、シリンダ５を用いて回転させることにより、テストボード２を回転させ、ほぼ直立させる（図２（ｃ））。
【００１１】
テストボード２を取り付ける場合、図２（ｃ）に示す場合、シリンダ５を用いて、回転プレート４を回転させることにより、ほぼ直立状態のテストボード２を水平にさせる（図２（ｂ））。そして、テストボード２をテストヘッド本体１上でスライドさせ、テストボード２をテストヘッド本体１に取り付ける（図２（ａ））。
【００１２】
このように、テストボード２を回転プレート４によりシリンダ５を用いて回転させ、テストボード２を水平またはほぼ直立にさせるので、テストボード２の着脱スペースを抑えることができる。
【００１３】
次に、第２の実施例を、図３を用いて説明する。図３において、台車６は設置台で、図示しない車輪が下部に設けられる。そして、台車６は、底プレート６１、支持プレート６２、昇降プレート６３、昇降部６４からなる。底プレート６１は、長方形で、図示しない車輪が下部に設けられる。支持プレート６２は、長方形で、底プレート６０の短手の両端に垂直に設けられ、長手方向のほぼ中央にスリット６２１を有する。昇降プレート６３は、略長方形で、支持プレート６２より内側に平行に設けられ、軸２１を保持する溝６３１、軸２２を支える切欠き部６３２を有する。昇降部６４は、台形ネジ６４１、ナット６４２を有する。台形ネジ６４１は、支持プレート６２の長手方向にスリット６２１に沿って取り付けられる。ナット６４２は、台形ネジ６４１に嵌め合わされ、スリット６２１に挿入され、昇降プレート６３に取り付けられる。
【００１４】
このような装置の動作を説明する。図３（ａ）は、図２（ｂ）に示す状態にした図である。そして、回転プレート４を、シリンダ５を用いて回転させることにより、テストボード２を回転させ、ほぼ直立にさせる（図３（ｂ））。台形ネジ６４１を図示しないハンドルにより回転させ、昇降プレート６３を上昇させる。これにより、溝６３１に軸２１が嵌り、切欠き部６３２に軸２２が載り、溝４１，４２から軸２１，２２が外れ、テストボード２が上昇する。そして、回転プレート４を、シリンダ５を用いて回転させ、元の位置に戻す（図３（ｃ））。テストボード２をテストヘッド本体１に取り付ける場合は、上記と逆の動作をさせる。
【００１５】
このように、回転プレート４が回転したとき、テストボード２を保持すると共に、昇降可能な昇降プレート６３を有する台車６を設けたので、テストボード２をテストヘッド本体１から取り外すことができる。
【００１６】
なお、マニピュレータ３に回転プレート４、シリンダ５を取り付ける構成を示したが、テストヘッド本体１に取り付ける構成にしてもよい。また、テストヘッド本体１とマニピュレータ３とが別々の構成を示したが、テストヘッドとしてもよい。
【００１７】
また、軸２１，２２は、１つでもよい。これに対応して、溝４１，４２も１つでもよい。同様に、切欠き部６３２がなくともよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１に示す装置の動作を説明する図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示した構成図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  テストヘッド本体
２  テストボード
２１，２２  軸
３  マニピュレータ
４  回転プレート
５  シリンダ
６  台車
６３  昇降プレート
【図１】
0004835939.tif 000002
【図２】
0004835939.tif 000003
【図３】
0004835939.tif 000004