(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダを支持するように構成される支持部を備え、所定方向に延びる回路付サスペンション基板であって、
金属支持層と、
前記金属支持層の厚み方向一方面に配置されるベース絶縁層と、
前記ベース絶縁層の前記厚み方向一方面に配置される導体パターンと、
前記ベース絶縁層の前記厚み方向一方面において、前記導体パターンを被覆するように配置されるカバー絶縁層と、
前記カバー絶縁層の前記厚み方向一方面に配置される支持層とを備え、
前記支持部は、少なくとも、前記所定方向に互いに間隔を隔てて配置される１対の台座を備え、
前記１対の台座のそれぞれは、
前記ベース絶縁層に含まれる台座ベース層と、
前記導体パターンに含まれ、前記台座ベース層の前記厚み方向一方面に配置される台座導体層と、
前記カバー絶縁層に含まれ、前記台座導体層の前記厚み方向一方面に配置される台座カバー層と、
前記支持層に含まれ、前記台座カバー層の前記厚み方向一方面に配置される台座支持層とを備え、
前記１対の台座のうち、一方の台座の前記台座導体層は、
周縁部の少なくとも一部が円弧形状を有する扇部と、
前記扇部から、前記扇部の周方向に連続し、前記扇部と中心を共有する仮想円よりも、前記仮想円の径方向の外方に突出する突出部分を有する連続部と、を有し、
前記１対の台座のうち、他方の台座の前記台座導体層は、少なくとも前記扇部を有し、
前記他方の台座の前記台座導体層が、前記扇部のみを有する場合、
前記台座支持層は、前記１対の台座のそれぞれにおいて、前記厚み方向から見て前記扇部と重なり、前記一方の台座において、前記厚み方向から見て前記連続部と重ならないように配置され、
前記他方の台座の前記台座導体層が、前記連続部をさらに有する場合、
前記台座支持層は、前記１対の台座のそれぞれにおいて、前記厚み方向から見て、前記連続部と重なるように配置されるか、前記扇部と重なり、かつ、前記連続部と重ならないように配置されていることを特徴とする、回路付サスペンション基板。
【請求項２】
前記支持部は、前記１対の台座を、前記所定方向および前記厚み方向の両方向と交差する幅方向に間隔を空けて複数備えていることを特徴とする、請求項１に記載の回路付サスペンション基板。
【請求項３】
全ての前記台座の前記台座支持層は、前記厚み方向から見て、互いに同一形状を有していることを特徴とする、請求項１または２に記載の回路付サスペンション基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路付サスペンション基板、詳しくは、ハードディスクドライブに用いられる回路付サスペンション基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、磁気ヘッドを有するスライダが実装され、ハードディスクドライブに搭載される回路付サスペンション基板が知られている。回路付サスペンション基板は、金属支持基板と、金属支持基板の一方面に配置されるベース絶縁層と、ベース絶縁層の一方面に配置され、配線を備える導体層と、ベース絶縁層の一方面に配置され、導体層を被覆するカバー絶縁層とを備えている。
【０００３】
このような回路付サスペンション基板として、例えば、スライダを支持する複数の台座を備え、複数の台座のそれぞれが、ベース絶縁層と、その上に形成される導体パターンと、ベース絶縁層の上に、導体パターンを被覆するように形成されるカバー絶縁層と、カバー絶縁層の上に形成される表側支持層とを備える回路付サスペンション基板が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
そして、そのような回路付サスペンション基板では、スライダが複数の台座の上面に接触するように設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−９９２０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかるに、特許文献１に記載の回路付サスペンション基板において、スライダを安定して支持すべく、台座に対応する導体パターンを円形形状に形成することが検討される。また、そのような導体パターンの円形部分には、配線の効率的な引き回しを確保するために、配線が連続する場合がある。
【０００７】
ここで、カバー絶縁層の厚みは、カバー絶縁層が被覆する導体パターンの面積に依存する。具体的には、カバー絶縁層の厚みは、導体パターンの面積が大きいほど厚く形成され、導体パターンの面積が小さいほど薄く形成される。
【０００８】
そのため、導体パターンの円形部分と配線との連続部分を被覆するカバー絶縁層は、円形部分のみを被覆するカバー絶縁層と比較して、相対的に厚くなる。つまり、配線が連続する円形部分を備える台座は、配線が連続しない円形部分を備える台座と比較して、カバー絶縁層の厚みの差により、高さ（回路付サスペンション基板の厚み方向寸法）が不均一となる。
【０００９】
その結果、複数の台座が、配線が連続する円形部分を備える台座と、配線が連続しない円形部分を備える台座とを含む場合、回路付サスペンション基板の厚み方向において、複数の台座上に載置されるスライダの位置精度が低下するという不具合がある。
【００１０】
また、複数の台座が、配線が連続する円形部分を備える台座を複数含む場合においても、台座の高さの均一化が望まれている。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、簡易な構成でありながら、厚み方向におけるスライダの位置精度の向上を図ることができる回路付サスペンション基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の回路付サスペンション基板は、スライダを支持するように構成される支持部を備え、所定方向に延びる回路付サスペンション基板であって、金属支持層と、前記金属支持層の厚み方向一方面に配置されるベース絶縁層と、前記ベース絶縁層の前記厚み方向一方面に配置される導体パターンと、前記ベース絶縁層の前記厚み方向一方面において、前記導体パターンを被覆するように配置されるカバー絶縁層と、前記カバー絶縁層の前記厚み方向一方面に配置される支持層とを備え、前記支持部は、少なくとも、前記所定方向に互いに間隔を隔てて配置される１対の台座を備え、前記１対の台座のそれぞれは、前記ベース絶縁層に含まれる台座ベース層と、前記導体パターンに含まれ、前記台座ベース層の前記厚み方向一方面に配置される台座導体層と、前記カバー絶縁層に含まれ、前記台座導体層の前記厚み方向一方面に配置される台座カバー層と、前記支持層に含まれ、前記台座カバー層の前記厚み方向一方面に配置される台座支持層とを備え、前記１対の台座のうち、一方の台座の前記台座導体層は、周縁部の少なくとも一部が円弧形状を有する扇部と、前記扇部から、前記扇部の周方向に連続し、前記扇部と中心を共有する仮想円よりも、前記仮想円の径方向の外方に突出する突出部分を有する連続部と、を有し、前記１対の台座のうち、他方の台座の前記台座導体層は、少なくとも前記扇部を有し、前記他方の台座の前記台座導体層が、前記扇部のみを有する場合、前記台座支持層は、前記１対の台座のそれぞれにおいて、前記厚み方向から見て前記扇部と重なり、前記一方の台座において、前記厚み方向から見て前記連続部と重ならないように配置され、前記他方の台座の前記台座導体層が、前記連続部をさらに有する場合、前記台座支持層は、前記１対の台座のそれぞれにおいて、前記厚み方向から見て、前記連続部と重なるように配置されるか、前記扇部と重なり、かつ、前記連続部と重ならないように配置されることを特徴としている。
【００１３】
このような構成によれば、一方の台座の台座導体層は、扇部と、扇部から周方向に連続し、かつ、突出部分を有する連続部とを有しているので、一方の台座の台座カバー層は、扇部を被覆する相対的に薄い部分と、連続部を被覆する相対的に厚い部分とを含んでいる。
【００１４】
また、他方の台座の台座導体層が、扇部のみを有する場合、他方の台座の台座カバー層は、扇部を被覆する相対的に薄い部分のみを有している。
【００１５】
この場合、台座支持層は、１対の台座のそれぞれにおいて、厚み方向から見て扇部と重なり、一方の台座において、厚み方向から見て連続部と重ならないように、対応する台座カバー層上に配置される。
【００１６】
つまり、台座支持層は、１対の台座のそれぞれにおいて、台座カバー層の相対的に厚い部分に配置されることなく、台座カバー層の相対的に薄い部分に局在的に配置される。
【００１７】
そのため、１対の台座のそれぞれの高さ（厚み方向寸法）のばらつきを抑制することができる。
【００１８】
また、他方の台座の台座導体層が、扇部から周方向に連続し、かつ、突出部分を有する連続部をさらに有する場合、他方の台座の台座カバー層は、扇部を被覆する相対的に薄い部分と、連続部を被覆する相対的に厚い部分とを含んでいる。
【００１９】
この場合、台座支持層は、１対の台座のそれぞれにおいて、厚み方向から見て、連続部と重なるように配置されるか、扇部と重なり、かつ、連続部と重ならないように、対応する台座カバー層上に配置される。
【００２０】
つまり、台座支持層は、１対の台座のそれぞれにおいて、台座カバー層の相対的に厚い部分に配置されるか、台座カバー層の相対的に厚い部分に配置されることなく、台座カバー層の相対的に薄い部分に、局在的に配置される。
【００２１】
そのため、１対の台座のそれぞれの高さ（厚み方向寸法）のばらつきを抑制することができる。
【００２２】
その結果、１対の台座がスライダを精度よく支持でき、厚み方向において、スライダの位置精度の向上を図ることができる。
【００２３】
また、前記支持部は、前記１対の台座を、前記所定方向および前記厚み方向の両方向と交差する幅方向に間隔を空けて複数備えていることが好適である。
【００２４】
このような構成によれば、支持部が、１対の台座を複数備えているので、スライダを安定して支持することができる。
【００２５】
また、全ての前記台座の前記台座支持層は、前記厚み方向から見て、互いに同一形状を有していることが好適である。
【００２６】
このような構成によれば、全ての台座支持層が、厚み方向から見て、互いに同一形状を有しているので、全ての台座のそれぞれの高さのばらつきを抑制することができ、厚み方向において、スライダの位置精度のさらなる向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の回路付サスペンション基板では、厚み方向におけるスライダの位置精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の回路付サスペンション基板の第１実施形態の平面図を示す。
【図２】図２は、図１に示す実装部の拡大平面図であって、カバー絶縁層および支持層を除いた状態を示す。
【図３】図３は、図２に示すスライダ搭載領域の拡大平面図である。
【図４】図４は、図３に示すスライダ搭載領域のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図５は、本発明の回路付サスペンション基板の第２実施形態に係るスライダ搭載領域の拡大平面図である。
【図６】図６は、図５に示すスライダ搭載領域のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】図７は、本発明の回路付サスペンション基板の第３実施形態に係るスライダ搭載領域の拡大平面図である。
【図８】図８は、本発明の回路付サスペンション基板の第１の変形例に係るスライダ搭載領域の拡大平面図である。
【図９】図９は、本発明の回路付サスペンション基板の第２の変形例に係るスライダ搭載領域の拡大平面図である。
【図１０】図１０は、図３に示すＡ−Ａ断面に相当する断面図であって、図４に示す第２台座の第２台座支持層が、上下方向から見て、連続部と重なるように配置された場合を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
１．第１実施形態
回路付サスペンション基板１は、図１および図４に示すように、磁気ヘッド１０１を有するスライダ１００、および、ピエゾ素子１０２を実装して、外部基板１０３および電源１０４と電気的に接続された状態で、ハードディスクドライブ（図示せず）に搭載される。
【００３０】
回路付サスペンション基板１は、図１に示すように、所定方向に延びる略平帯形状を有している。回路付サスペンション基板１は、その所定方向一方側（図１の紙面左側）に配置され、スライダ１００（図４参照）が実装される実装部２と、その所定方向他方側（図１の紙面右側）に配置され、外部基板１０３および電源１０４に接続される外部接続部３と、実装部２と外部接続部３との間において、所定方向に延びる配線部４とを備えている。
【００３１】
なお、以下の説明において、方向について言及する場合には、実装部２が設けられる所定方向一方側を、回路付サスペンション基板１の先側とし、外部接続部３が設けられる所定方向他方側を、回路付サスペンション基板１の後側とする。つまり、先後方向が所定方向の一例である。
【００３２】
また、図１において、紙面上下方向を幅方向の一例としての左右方向とし、紙面上側を幅方向一方側の一例の左側とし、紙面下側を幅方向他方側の一例の右側とする。また、図１において、紙厚方向を厚み方向の一例としての上下方向とし、紙面手前側を厚み方向一方側の一例の上側とし、紙面奥側を厚み方向他方側の一例の下側とする。具体的には、各図に示す方向矢印を基準とする。
【００３３】
このような回路付サスペンション基板１は、図４に示すように、金属支持層の一例としての金属支持基板５と、ベース絶縁層６と、導体パターン７と、カバー絶縁層８と、支持層９とを備えている。そして、回路付サスペンション基板１は、積層構造を有しており、金属支持基板５、ベース絶縁層６、導体パターン７、カバー絶縁層８および支持層９が、下側から上側に向かって順次積層されている。なお、図１では、便宜上、ベース絶縁層６、カバー絶縁層８および支持層９を省略し、図２では、カバー絶縁層８および支持層９を省略している。
【００３４】
金属支持基板５は、図１に示すように、先後方向に延びる略平板形状を有しており、実装部２に対応するジンバル部１１と、配線部４に対応する基板配線部１２と、外部接続部３に対応する基板接続部１３とを備えている。
【００３５】
ジンバル部１１は、金属支持基板５の先端部分であって、図２に示すように、１対のアウトリガー部１４と、１対の連結部１６と、搭載部１５とを備えている。
【００３６】
１対のアウトリガー部１４は、ジンバル部１１の左右両端部であって、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。１対のアウトリガー部１４のそれぞれは、先後方向に延びる平面視略矩形形状を有している。１対のアウトリガー部１４の後端部は、基板配線部１２の先端縁における左右両端部に接続されている。
【００３７】
１対の連結部１６は、１対のアウトリガー部１４のそれぞれに１つずつ対応している。１対の連結部１６のそれぞれは、対応するアウトリガー部１４の先端部から連続して、左右方向内側に向かうに従って、後方に傾斜するように延びている。１対の連結部１６の後端部は、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。
【００３８】
搭載部１５は、左右方向において、１対の連結部１６間に配置されている。搭載部１５は、平面視略Ｈ字形状を有しており、基部１５Ａと、ステージ１５Ｂと、架橋部１５Ｃとを備えている。
【００３９】
基部１５Ａは、搭載部１５の後側部分であって、左右方向に延びる平面視略矩形形状を有している。そして、基部１５Ａの左右両端部のそれぞれは、対応する連結部１６の後端部に接続されている。
【００４０】
ステージ１５Ｂは、搭載部１５の先側部分であって、基部１５Ａに対して先側に間隔を空けて配置されている。ステージ１５Ｂは、平面視略矩形形状を有している。
【００４１】
架橋部１５Ｃは、搭載部１５の先後方向中央部分であって、基部１５Ａとステージ１５Ｂとを先後方向に連結している。架橋部１５Ｃは、先後方向に延びる平面視略矩形形状を有している。そして、架橋部１５Ｃの後端部は、基部１５Ａの先端部における左右方向略中央に接続され、架橋部１５Ｃの先端部は、ステージ１５Ｂの後端部における左右方向略中央に接続されている。
【００４２】
基板配線部１２は、図１に示すように、ジンバル部１１の後側に配置されており、先後方向に延びる平面視略矩形形状を有している。
【００４３】
基板接続部１３は、基板配線部１２の後端部から連続して、後側に延びる平面視略矩形形状を有している。
【００４４】
金属支持基板５は、例えば、ステンレス、４２アロイ、アルミニウム、銅−ベリリウム、りん青銅などの金属材料から形成され、好ましくは、ステンレスから形成される。金属支持基板５の厚みは、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上、例えば、３５μｍ以下、好ましくは、２５μｍ以下である。
【００４５】
ベース絶縁層６は、図４に示すように、金属支持基板５の上面に配置されている。ベース絶縁層６は、図２に示すように、ジンバル部１１に対応するベース実装部２１と、基板配線部１２に対応するベース配線部（図示せず）と、基板接続部１３に対応するベース接続部（図示せず）とを備えている。
【００４６】
ベース実装部２１は、第１搭載部３０と、第２搭載部２３と、ベース架橋部２４と、配線支持部２５と、ベース連結部２６とを備えている。
【００４７】
第１搭載部３０は、ベース実装部２１の先側部分に配置され、スライダ搭載部２２と、先側素子搭載部２８とを一体に備えている。
【００４８】
スライダ搭載部２２は、ステージ１５Ｂの上面に配置されており、平面視略矩形形状を有している。スライダ搭載部２２の後端縁は、上下方向から見て、ステージ１５Ｂの後端縁と略一致している。スライダ搭載部２２の上面は、図４に示すように、先後方向および左右方向に沿って延びている。
【００４９】
また、スライダ搭載部２２は、図２に示すように、複数（４つ）の貫通穴２２Ａを有している。複数（４つ）の貫通穴２２Ａのそれぞれは、平面視略円形形状を有しており、スライダ搭載部２２を上下方向に貫通している。
【００５０】
より具体的には、複数（４つ）の貫通穴２２Ａは、複数（２つ）の第１貫通穴２２Ｂと、複数（２つ）の第２貫通穴２２Ｃとを含んでいる。
【００５１】
複数の第１貫通穴２２Ｂは、スライダ搭載部２２の先後方向略中央部分において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。
【００５２】
複数の第２貫通穴２２Ｃは、複数の第１貫通穴２２Ｂに対して後側に間隔を空けて配置され、スライダ搭載部２２の後端部において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。
【００５３】
また、スライダ搭載部２２において、複数の貫通穴２２Ａのそれぞれの周縁部は、台座ベース層９０に対応する。つまり、ベース絶縁層６は、複数（４つ）の台座ベース層９０を含んでいる。複数の台座ベース層９０は、図４に示すように、複数の第１貫通穴２２Ｂの周縁部である複数（２つ）の第１台座ベース層９０Ａと、複数の第２貫通穴２２Ｃの周縁部である複数（２つ）の第２台座ベース層９０Ｂとを含んでいる。
【００５４】
先側素子搭載部２８は、スライダ搭載部２２に対して後側に配置され、左右方向に互いに間隔を空けて複数（２つ）配置されている。先側素子搭載部２８は、平面視略矩形形状を有しており、スライダ搭載部２２の後端縁における左右方向端部から連続して後側に向かって突出している。これによって、先側素子搭載部２８は、ステージ１５Ｂよりも後側に突出しており、先側素子搭載部２８の下面は、金属支持基板５から露出している。先側素子搭載部２８の上面は、図４に示すように、スライダ搭載部２２の上面と面一である。また、先側素子搭載部２８の厚みは、スライダ搭載部２２よりも薄い。
【００５５】
また、先側素子搭載部２８は、図２に示すように、先側端子開口２８Ａを有している。先側端子開口２８Ａは、平面視略矩形形状を有しており、先側素子搭載部２８を上下方向に貫通している。
【００５６】
第２搭載部２３は、第１搭載部３０に対して後側に間隔を空けて配置されており、ベース基部２７と、後側素子搭載部２９とを一体に備えている。
【００５７】
ベース基部２７は、基部１５Ａの上面における先端部に配置されており、左右方向に延びる平面視略矩形形状を有している。ベース基部２７の先端縁は、上下方向から見て、基部１５Ａの先端縁と略一致している。
【００５８】
後側素子搭載部２９は、ベース基部２７に対して先側に配置され、左右方向に互いに間隔を空けて複数（２つ）配置されている。また、後側素子搭載部２９は、先側素子搭載部２８に対応しており、対応する先側素子搭載部２８に対して後側に間隔を空けて配置されている。
【００５９】
後側素子搭載部２９は、平面視略矩形形状を有しており、ベース基部２７の先端縁における左右方向端部から連続して先側に向かって突出している。これによって、後側素子搭載部２９は、基部１５Ａよりも先側に突出しており、後側素子搭載部２９の下面は、金属支持基板５から露出している。後側素子搭載部２９の上面は、ベース基部２７の上面と面一である。後側素子搭載部２９の厚みは、ベース基部２７よりも薄い。
【００６０】
また、後側素子搭載部２９は、後側端子開口２９Ａを有している。後側端子開口２９Ａは、平面視略矩形形状を有しており、後側素子搭載部２９を上下方向に貫通している。
【００６１】
ベース架橋部２４は、架橋部１５Ｃの上面に配置されており、先後方向において、スライダ搭載部２２とベース基部２７との間、かつ、左右方向において、２つの先側素子搭載部２８の間に配置されている。ベース架橋部２４は、先後方向に延びる平面視略矩形形状を有している。そして、ベース架橋部２４は、ベース架橋部２４の先端部がスライダ搭載部２２の後端縁における左右方向略中央に接続され、ベース架橋部２４の後端部がベース基部２７の先端縁における左右方向略中央に接続されることにより、スライダ搭載部２２とベース基部２７とを連結している。
【００６２】
配線支持部２５は、ベース基部２７の後側に配置されている。配線支持部２５は、基部１５Ａの上面において、ベース基部２７の後端縁における左右方向略中央から連続して、後側に向かって延びた後、基部１５Ａよりも後側において、２股に分岐し、後側に向かって延びている。
【００６３】
ベース連結部２６は、ベース実装部２１の先端部に配置されている。ベース連結部２６は、可撓性を有しており、アウトリガー部１４の先端部とステージ１５Ｂとを連結している。
【００６４】
ベース配線部（図示せず）は、基板配線部１２の上面に配置され、その先端部には、配線支持部２５の後端部が連続している。ベース接続部（図示せず）は、基板接続部１３の上面に配置され、その先端部には、ベース配線部（図示せず）の後端部が連続している。
【００６５】
ベース絶縁層６は、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。
【００６６】
ベース絶縁層６の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上、例えば、２５μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。
【００６７】
導体パターン７は、図４に示すように、ベース絶縁層６の上面に配置されている。導体パターン７は、図１および図２に示すように、ヘッド側端子７１と、ピエゾ側端子７２と、外部側端子７３と、電源端子７４と、配線７５と、台座導体層９１とを備えている。
【００６８】
ヘッド側端子７１は、図２に示すように、スライダ搭載部２２の先端部の上面において、左右方向に互いに間隔を空けて複数（４つ）配置されている。ヘッド側端子７１は、平面視略矩形形状を有している。
【００６９】
ピエゾ側端子７２は、複数（４つ）備えられており、第１ピエゾ側端子７７と、第２ピエゾ側端子７８とを含んでいる。
【００７０】
第１ピエゾ側端子７７は、複数の先側素子搭載部２８のそれぞれに１つずつ配置されている。第１ピエゾ側端子７７は、図４に示すように、先側端子開口２８Ａに充填されている。なお、第１ピエゾ側端子７７の下面は、先側素子搭載部２８の下面と、先後方向および左右方向に面一である。
【００７１】
第２ピエゾ側端子７８は、図２に示すように、複数の後側素子搭載部２９のそれぞれに１つずつ配置されている。第２ピエゾ側端子７８は、後側端子開口２９Ａに充填されている。なお、第２ピエゾ側端子７８の下面は、後側素子搭載部２９の下面と、先後方向および左右方向に面一である。
【００７２】
外部側端子７３は、図１に示すように、外部接続部３（詳しくは、図示しないベース接続部の上面）において、先後方向に互いに間隔を空けて複数（４つ）配置されている。外部側端子７３は、平面視略矩形形状を有している。なお、外部側端子７３は、外部基板１０３に電気的に接続される。
【００７３】
電源端子７４は、外部接続部３（詳しくは、図示しないベース接続部の上面）において、複数の外部側端子７３を先後方向に挟むように複数（２つ）配置されている。電源端子７４は、平面視略矩形形状を有している。なお、電源端子７４は、電源１０４に電気的に接続される。
【００７４】
配線７５は、図２に示すように、複数（６本）備えられており、複数（４本）の信号配線７９と、複数（２本）の電源配線８０とを備えている。
【００７５】
複数の信号配線７９は、複数のヘッド側端子７１と複数の外部側端子７３（図１参照）とを電気的に接続している。詳しくは、複数の信号配線７９のそれぞれは、スライダ搭載部２２の上面において、対応するヘッド側端子７１の先端部から連続して適宜引き回された後、ベース架橋部２４、ベース基部２７、配線支持部２５、図示しないベース配線部およびベース接続部上を順次通過するように延び、対応する外部側端子７３に接続されている（図１参照）。
【００７６】
複数の電源配線８０は、複数の第２ピエゾ側端子７８と複数の電源端子７４（図１参照）とを電気的に接続している。詳しくは、複数の電源配線８０のそれぞれは、後側素子搭載部２９の上面において、対応する第２ピエゾ側端子７８の後端部から連続して後側に向かって延びた後、ベース基部２７、配線支持部２５、図示しないベース配線部およびベース接続部上を順次通過するように延び、対応する電源端子７４に接続されている（図１参照）。
【００７７】
台座導体層９１は、第１搭載部３０の上面に複数（４つ）配置されており、複数（２つ）の第１台座導体層９２と、複数（２つ）の第２台座導体層９３とを備えている。
【００７８】
複数の第１台座導体層９２は、複数の第１貫通穴２２Ｂに対応しており、スライダ搭載部２２の先後方向略中央部分において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。複数の第１台座導体層９２のそれぞれは、第１実施形態において、扇部の一例としての第１円形部９４のみを有している。
【００７９】
第１円形部９４は、平面視略円形形状を有している。つまり、第１円形部９４は、中心角の角度が３６０°の扇形であって、その周縁部全体が円形状（円弧形状）を有している。そして、第１円形部９４は、図３および図４に示すように、上方から見て、第１貫通穴２２Ｂと重なるように、対応する第１台座ベース層９０Ａの上面に配置されている。
【００８０】
また、第１円形部９４の中心部分は、図４に示すように、第１貫通穴２２Ｂに充填されている。これによって、第１円形部９４は、スライダ搭載部２２を上下方向に貫通しており、第１貫通穴２２Ｂ内において露出するステージ１５Ｂの上面と接触している。また、第１円形部９４の上面における中心部分は、下側に向かって凹んでいる。
【００８１】
複数の第２台座導体層９３は、図３に示すように、第１搭載部３０の後側部分において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。また、複数の第２台座導体層９３は、複数の第１台座導体層９２に対して後側に間隔を空けて配置され、かつ、複数の第１ピエゾ側端子７７に対して先側に配置されている。複数の第２台座導体層９３のそれぞれは、扇部９５と、連続部９６とを一体に備えている。
【００８２】
扇部９５は、中心角の角度が略２７０°の平面視略扇形形状を有しており、後側に向かって開放されている。つまり、扇部９５の周縁部のうち、中心角の角度が略２７０°の部分が円弧形状を有している。扇部９５の曲率半径は、第１円形部９４の半径と略同じである。
【００８３】
連続部９６は、扇部９５の後側に配置されており、扇部９５と第１ピエゾ側端子７７とを連結している。連続部９６は、後側に向かうに従って幅広となる平面視略三角形形状を有しており、具体的には、頂部９６Ａと、突出部分９６Ｂとを有している。
【００８４】
頂部９６Ａは、扇部９５と中心を共有する仮想円Ｉ内に配置されている。頂部９６Ａは、中心角の角度が略９０°の平面視略扇形形状を有しており、扇部９５と周方向に連続している。これによって、扇部９５および頂部９６Ａは、平面視円形形状の第２円形部９７を構成している。
【００８５】
第２円形部９７（扇部９５および頂部９６Ａ）は、上方から見て、第２貫通穴２２Ｃと重なるように、対応する第２台座ベース層９０Ｂの上面に配置されている。そして、第２円形部９７の中心部分は、図４に示すように、第２貫通穴２２Ｃに充填されている。これによって、第２円形部９７は、スライダ搭載部２２を上下方向に貫通しており、第２貫通穴２２Ｃ内において露出するステージ１５Ｂの上面と接触している。また、第２円形部９７の上面における中心部分は、下側に向かって凹んでいる。
【００８６】
突出部分９６Ｂは、図３に示すように、頂部９６Ａから連続して、扇部９５の仮想円Ｉよりも後側に突出している。つまり、突出部分９６Ｂは、扇部９５の仮想円Ｉよりも仮想円Ｉの径方向外方に突出している。また、突出部分９６Ｂの左右方向寸法は、後側に向かうにつれて徐々に大きくなる。
【００８７】
そして、突出部分９６Ｂの後端部は、対応する第２ピエゾ側端子７８の前端部に接続されている。これにより、第２ピエゾ側端子７８は、第２台座導体層９３を介して、ステージ１５Ｂに接地されている。
【００８８】
導体パターン７は、例えば、銅、ニッケル、金、はんだ、またはこれらの合金などの導体材料から形成され、好ましくは、銅から形成されている。
【００８９】
導体パターン７の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上であり、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１２μｍ以下である。
【００９０】
カバー絶縁層８は、図１および図３が参照されるように、実装部２、外部接続部３および配線部４にわたって、導体パターン７を上側から被覆するように、ベース絶縁層６の上面に配置されている。また、カバー絶縁層８は、図３に示すように、搭載領域カバー８１を備えている。
【００９１】
搭載領域カバー８１は、第１搭載部３０の上面に配置されており、スライダ搭載カバー８２と、素子搭載カバー８３とを一体に備えている。
【００９２】
スライダ搭載カバー８２は、スライダ搭載部２２の上面に配置されており、複数のヘッド側端子７１、複数の台座導体層９１およびスライダ搭載部２２上に配置される複数の信号配線７９を被覆している。また、スライダ搭載カバー８２は、端子開口８２Ａを有している。
【００９３】
端子開口８２Ａは、スライダ搭載カバー８２の先端部において、上方から見て、全てのヘッド側端子７１の先後方向略中央部分と重なるように配置されている。端子開口８２Ａは、左右方向に延びる平面視略矩形形状を有しており、スライダ搭載カバー８２を上下方向に貫通している。これによって、ヘッド側端子７１の先後方向略中央部分は、端子開口８２Ａを介して、スライダ搭載カバー８２から露出されている。
【００９４】
また、スライダ搭載カバー８２は、台座導体層９１の上面に配置される台座カバー層８５、より具体的には、複数の台座導体層９１に対応する複数（４つ）の台座カバー層８５を含んでいる。
【００９５】
複数の台座カバー層８５は、複数（２つ）の第１台座カバー層８６と、複数（２つ）の第２台座カバー層８７とを有している。
【００９６】
複数の第１台座カバー層８６のそれぞれは、対応する第１台座導体層９２（第１円形部９４）の上面に配置されている。第１台座カバー層８６は、第１円形部９４と略同一の形状を有しており、平面視略円形形状を有している。
【００９７】
しかるに、カバー絶縁層８の厚みは、図４に示すように、被覆する導体パターン７の面積に依存する。ここで、第１円形部９４は円形形状を有しているので、第１円形部９４の上面に配置される第１台座カバー層８６の厚みは、全体にわたって一定である。より具体的には、第１台座カバー層８６の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上、例えば、１０μｍ以下、好ましくは、８μｍ以下である。なお、第１台座カバー層８６の中心部分は、第１円形部９４の上面の凹みに対応して、下側に凹んでいる。
【００９８】
複数の第２台座カバー層８７のそれぞれは、図３に示すように、平面視において、対応する第２台座導体層９３と略同一の形状を有しており、その第２台座導体層９３（扇部９５および連続部９６）の上面に配置されている。第２台座カバー層８７は、扇部９５の上面に配置され、相対的に薄い薄肉部８７Ａと、連続部９６の上面に配置され、相対的に厚い厚肉部８７Ｂとを有している。
【００９９】
薄肉部８７Ａは、扇部９５と略同一の形状を有しており、中心角の角度が略２７０°の平面視略扇形形状を有している。
【０１００】
薄肉部８７Ａの厚みは、図４に示すように、扇部９５の曲率半径が第１円形部９４の曲率半径と略同じであるので、第１台座カバー層８６の厚みと略同じである。より具体的には、第１台座カバー層８６の厚みに対する、薄肉部８７Ａの厚みの割合は、例えば、０．７以上１．３以下、好ましくは、１である。
【０１０１】
厚肉部８７Ｂは、図３に示すように、連続部９６と略同一の形状を有しており、後側に向かうに従って幅広となる平面視略三角形形状を有している。そして、厚肉部８７Ｂの先端部（頂部）は、連続部９６の頂部９６Ａの上面に配置されており、薄肉部８７Ａと周方向に連続している。また、厚肉部８７Ｂの後側部分は、連続部９６の突出部分９６Ｂの上面に配置されている。
【０１０２】
そして、厚肉部８７Ｂは、連続部９６が後側に向かうに従って幅広となるので（図３参照）、後側に向かうに従って厚くなる。そのため、厚肉部８７Ｂの上面は、後側に向かうに従って上側に傾斜している。
【０１０３】
なお、厚肉部８７Ｂの先端部の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上、例えば、１０μｍ以下、好ましくは、８μｍ以下である。また、厚肉部８７Ｂの後端部の厚み（厚肉部８７Ｂの最大厚み）は、薄肉部８７Ａの厚みに対して、例えば、１１０％以上、好ましくは、１２０％以上、例えば、３００％以下、好ましくは、２００％以下である。具体的には、厚肉部８７Ｂの後端部の厚み（厚肉部８７Ｂの最大厚み）は、例えば、１．５μｍ以上、好ましくは、３μｍ以上、例えば、２０μｍ以下、好ましくは、１５μｍ以下である。
【０１０４】
素子搭載カバー８３は、図３に示すように、複数の先側素子搭載部２８のそれぞれの上面に１つずつ配置されており、対応する第１ピエゾ側端子７７を上側から被覆している。また、素子搭載カバー８３の先端部は、対応する第２台座カバー層８７の厚肉部８７Ｂの後端部に接続されている。
【０１０５】
カバー絶縁層８は、ベース絶縁層６と同様の合成樹脂から形成され、好ましくは、ポリイミド樹脂から形成される。カバー絶縁層８の厚みは、適宜設定される。
【０１０６】
支持層９は、図３および図４に示されるように、スライダ搭載部２２の上面に配置されており、複数（４つ）の台座支持層を備えている。
【０１０７】
複数の台座支持層８９は、上下方向から見て互いに同一の形状を有しており、先後方向に延びる平面視略楕円形形状を有している。
【０１０８】
複数の台座支持層８９は、複数（２つ）の第１台座支持層９８と、複数（２つ）の第２台座支持層９９とを備えている。
【０１０９】
複数の第１台座支持層９８は、複数の第１台座カバー層８６に１つずつ対応しており、スライダ搭載カバー８２の先後方向略中央部分において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。より詳しくは、複数の第１台座支持層９８のそれぞれは、上下方向から見て、第１円形部９４の先端縁（周縁）を跨ぐように配置されている。これにより、第１台座支持層９８の後側部分は、上下方向から見て第１円形部９４と重なるように、第１台座カバー層８６の上面に配置され、第１台座支持層９８の先側部分は、上下方向から見て第１円形部９４と重ならないように、第１台座カバー層８６よりも先側に位置している。
【０１１０】
複数の第２台座支持層９９は、複数の第２台座カバー層８７に１つずつ対応しており、スライダ搭載カバー８２の後端部において、左右方向に互いに間隔を空けて配置されている。より詳しくは、複数の第２台座支持層９９のそれぞれは、上下方向から見て、扇部９５の先端縁（周縁）を跨ぐように配置されている。これにより、第２台座支持層９９の後側部分は、上下方向から見て扇部９５と重なるように、薄肉部８７Ａの上面に配置され、第２台座支持層９９の先側部分は、上下方向から見て扇部９５と重ならないように、第２台座カバー層８７よりも先側に位置している。つまり、第２台座支持層９９は、上下方向から見て、連続部９６と重ならないように配置されている。
【０１１１】
支持層９は、ベース絶縁層６と同様の合成樹脂または金属材料などから形成され、好ましくは、合成樹脂から形成される。支持層９の厚みは、例えば、１μｍ以上、好ましくは、２μｍ以上、例えば、１０μｍ以下、好ましくは、８μｍ以下である。
【０１１２】
このような回路付サスペンション基板１は、図４に示すように、スライダ１００が搭載されるスライダ搭載領域４０を備えている。
【０１１３】
スライダ搭載領域４０は、図３および図４に示すように、ステージ１５Ｂと、スライダ搭載部２２と、スライダ搭載部２２上に配置される導体パターン７（複数のヘッド側端子７１、複数の信号配線７９の先側部分、複数の台座導体層９１）と、スライダ搭載カバー８２とを備えている（からなる）。
【０１１４】
そして、スライダ搭載領域４０は、スライダ１００を支持するための支持部の一例としての台座ユニット４１を含んでいる。
【０１１５】
台座ユニット４１は、図３に示すように、先後方向に互いに間隔を隔てて配置される第１台座４２および第２台座４３を、左右方向に間隔を空けて複数（２つ）備えている。つまり、台座ユニット４１は、第１台座４２および第２台座４３を、それぞれ２つずつ備えている。なお、第１台座４２および第２台座４３が１対の台座の一例であり、第１台座４２が他方の台座の一例、第２台座４３が一方の台座の一例である。
【０１１６】
第１台座４２は、図４に示すように、第１台座ベース層９０Ａと、第１台座導体層９２と、第１台座カバー層８６と、第１台座支持層９８とを備えている（からなる）。
【０１１７】
第１台座４２の高さ（厚み）は、例えば、１０μｍ以上、好ましくは、１２μｍ以上、例えば、５０μｍ以下、好ましくは、４５μｍ以下である。なお、第１台座４２の高さは、ステージ１５Ｂの上面から、第１台座支持層９８の最上端部までの上下方向に沿う距離である。
【０１１８】
第２台座４３は、第１台座４２に対して後側に間隔を空けて配置されており、第２台座ベース層９０Ｂと、第２台座導体層９３と、第２台座カバー層８７と、第２台座支持層９９とを備えている（からなる）。
【０１１９】
第２台座４３の高さ（厚み）は、第１台座４２の高さと略同じである。より具体的には、第１台座４２の高さに対する、第２台座４３の高さの比率は、例えば、０．９以上１．１以下、好ましくは、１である。なお、第２台座４３の高さは、ステージ１５Ｂの上面から、第２台座支持層９９の最上端部までの上下方向に沿う距離である。
【０１２０】
このような回路付サスペンション基板１は、例えば、特開２０１２−９９２０４号公報に開示されるような公知の製造方法により製造できる。
【０１２１】
例えば、感光性の合成樹脂を含むワニスを、金属支持基板５の上に塗布して乾燥させた後、露光（必要により階調露光）および現像して、ベース絶縁層６を上記のパターンに形成する。
【０１２２】
次いで、導体パターン７を、例えば、アディティブ法またはサブトラクティブ法によって、上記のパターンに形成する。その後、例えば、感光性の合成樹脂を含むワニスを、ベース絶縁層６および導体パターン７上に塗布して乾燥させた後、露光および現像して、カバー絶縁層８を上記のパターンに形成する。
【０１２３】
次いで、上記のパターンの支持層９を、公知の形成方法により、カバー絶縁層８上に形成する。
【０１２４】
次いで、金属支持基板５を外形加工した後、必要により、ベース絶縁層６の不要部分を除去する。
【０１２５】
以上により、回路付サスペンション基板１が製造される。
【０１２６】
このような回路付サスペンション基板１には、スライダ１００および複数（２つ）のピエゾ素子１０２が搭載される。
【０１２７】
スライダ１００は、上下方向に厚みを有する略平板形状を有している。スライダ１００の磁気ヘッド１０１は、スライダ１００の先端部に配置されている。
【０１２８】
ピエゾ素子１０２は、先後方向に伸縮可能なアクチュエータであって、電気が供給され、その電圧が制御されることによって伸縮する。ピエゾ素子１０２は、図示しない電極を備えている。
【０１２９】
スライダ１００およびピエゾ素子１０２を回路付サスペンション基板１に搭載するには、まず、導電性接合剤４４を、ヘッド側端子７１の上面と、ピエゾ側端子７２の下面とに配置する。導電性接合剤４４は、例えば、低融点のはんだ、または、導電性接着剤などの導電性材料から調製される。
【０１３０】
次いで、スライダ搭載カバー８２の上面における略中央部分に、図示しない接着剤を配置する。
【０１３１】
そして、スライダ１００をスライダ搭載領域４０に対して上側から搭載する。すると、スライダ１００の下面が、第１台座４２の第１台座支持層９８の上面、および、第２台座４３の第２台座支持層９９の上面に下側から接触する。これによって、スライダ１００は、台座ユニット４１に支持される。
【０１３２】
また、スライダ１００の下面における中央部分は、図示しない接着剤により、スライダ搭載領域４０に固定される。
【０１３３】
その後、磁気ヘッド１０１を、導電性接合剤４４を介して、ヘッド側端子７１に電気的に接続する。
【０１３４】
また、ピエゾ素子１０２を、先側素子搭載部２８および後側素子搭載部２９に対して下側から搭載する。これにより、ピエゾ素子１０２は、基部１５Ａとステージ１５Ｂとの間に配置される。
【０１３５】
その後、ピエゾ素子１０２の電極を、導電性接合剤４４を介して、ピエゾ側端子７２に電気的に接続する。
【０１３６】
これによって、回路付サスペンション基板１に対するスライダ１００およびピエゾ素子１０２の搭載作業が完了する。
【０１３７】
回路付サスペンション基板１において、第１台座４２の第１台座導体層９２は、図４に示すように、第１円形部９４のみを有している。そのため、第１台座４２の第１台座カバー層８６は、第１円形部９４のみを被覆している。
【０１３８】
また、第２台座４３の第２台座導体層９３は、扇部９５と、頂部９６Ａおよび突出部分９６Ｂを有する連続部９６とを有している。そのため、第２台座４３の第２台座カバー層８７は、扇部９５を被覆する薄肉部８７Ａと、連続部９６を被覆する厚肉部８７Ｂとを有している。そして、薄肉部８７Ａの厚みは、第１台座カバー層８６の厚みと略同じであり、厚肉部８７Ｂの厚みは、第１台座カバー層８６の厚みよりも大きい。
【０１３９】
このような構成において、図１０に示すように、第１台座４２の第１台座支持層９８が、第１台座カバー層８６の上面に配置されるとともに、第２台座４３の第２台座支持層９９が、第２台座カバー層８７の厚肉部８７Ｂの上面に配置されると、第１台座４２は、第１台座カバー層８６と厚肉部８７Ｂとの厚みの差に起因して、第２台座４３よりも低くなる。
【０１４０】
そのため、第１台座４２および第２台座４３のそれぞれの高さ（上下方向寸法）にばらつきが生じ、スライダ１００を精度よく支持することができない。
【０１４１】
一方、第１実施形態では、図４に示すように、第１台座４２の第１台座支持層９８が、上下方向から見て第１円形部９４と重なるように、第１台座カバー層８６の上面に配置されるとともに、第２台座４３の第２台座支持層９９が、上下方向から見て、扇部９５と重なり、かつ、連続部９６と重ならないように、第２台座カバー層８７の薄肉部８７Ａの上面に配置されている。
【０１４２】
つまり、台座支持層８９（第１台座支持層９８および第２台座支持層９９）は、第１台座４２および第２台座４３のそれぞれにおいて、台座カバー層８５の相対的に厚い部分に配置されることなく、台座カバー層８５の相対的に薄い部分に局在的に配置されている。
【０１４３】
そのため、第１台座４２および第２台座４３の高さにばらつきが生じることを抑制でき、ひいては、第１台座４２および第２台座４３の高さを、互いに略同じにすることができる。
【０１４４】
その結果、第１台座４２および第２台座４３がスライダ１００を精度よく支持でき、上下方向において、スライダ１００の位置精度の向上を図ることができる。
【０１４５】
また、台座ユニット４１は、図３に示すように、第１台座４２および第２台座４３のそれぞれを複数備えている。そのため、スライダ１００を安定して支持することができる。
【０１４６】
また、全ての台座支持層８９は、図３に示すように、上下方向から見て、互いに同一形状を有している。そのため、全ての第１台座４２および第２台座４３のそれぞれの高さのばらつきを抑制することができ、上下方向において、スライダ１００の位置精度のさらなる向上を図ることができる。
【０１４７】
２．第２実施形態
次に、図５〜図６を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。なお、第２実施形態では、上記した第１実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
【０１４８】
第１実施形態では、図３に示すように、第１台座４２の第１台座導体層９２は、第１円形部９４のみを有するが、これに限定されない。
【０１４９】
第２実施形態では、第１台座導体層９２は、図５に示すように、第１扇部１１０と、第１連続部１１１とを一体に有している。なお、第２実施形態において、第２台座導体層９３が備える扇部９５を、第２扇部９５とし、第２台座導体層９３が備える連続部９６を、第２連続部９６とする。
【０１５０】
第１扇部１１０は、第２扇部９５と同一の形状およびサイズを有している。具体的には、第１扇部１１０は、中心角の角度が略２７０°の平面視略扇形形状を有しており、後側に向かって開放されている。
【０１５１】
第１連続部１１１は、第１扇部１１０の後側に配置されている。第１連続部１１１は、後側に向かうに従って幅広となる平面視略三角形形状を有しており、具体的には、頂部１１１Ａと、突出部分１１１Ｂとを有している。
【０１５２】
頂部１１１Ａは、第１扇部１１０と中心を共有する仮想円Ｉ内に配置されている。頂部１１１Ａは、中心角の角度が略９０°の平面視扇形状を有しており、第１扇部１１０と周方向に連続している。これによって、第１扇部１１０および頂部１１１Ａは、平面視円形形状の第１円形部９４を構成している。
【０１５３】
突出部分１１１Ｂは、頂部１１１Ａから連続して、第１扇部１１０の仮想円Ｉよりも後側に突出している。突出部分１１１Ｂは、第２連続部９６の突出部分９６Ｂの先側部分と同一の形状およびサイズを有している。つまり、突出部分１１１Ｂの面積と、突出部分９６Ｂの先側部分（頂部９６Ａとの連続部分）の面積とは、略一致している。
【０１５４】
また、第１台座４２の第１台座カバー層８６は、図６に示すように、平面視において、第１台座導体層９２と略同一の形状を有しており、第１扇部１１０の上面に配置される薄肉部８６Ａと、第１連続部１１１の上面に配置される厚肉部８６Ｂとを有している。
【０１５５】
薄肉部８６Ａの厚みは、第１扇部１１０が第２扇部９５と同一の形状およびサイズを有しているので、第２台座カバー層８７の薄肉部８７Ａの厚みと略同じである。
【０１５６】
厚肉部８６Ｂは、薄肉部８６Ａよりも厚い。厚肉部８７Ｂの厚みは、第１連続部１１１が後側に向かうに従って幅広となるので（図５参照）、後側に向かうに従って厚くなる。そのため、厚肉部８６Ｂの上面は、後側に向かうに従って上側に傾斜している。なお、厚肉部８６Ｂの先端部の厚みは、厚肉部８７Ｂの先端部の厚みと同様であり、厚肉部８６Ｂの上面の傾斜角度は、厚肉部８７Ｂの上面の傾斜角度と略同じである。
【０１５７】
また、第１台座４２の第１台座支持層９８は、図５に示すように、平面視において、第１台座導体層９２と略同一の形状を有している。そして、第１台座支持層９８は、上下方向から見て、第１台座導体層９２と重なるように、第１台座カバー層８６の上面に配置されている。
【０１５８】
つまり、第１台座支持層９８の後側部分は、図６に示すように、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１連続部１１１と重なるように、第１台座カバー層８６の厚肉部８６Ｂの上面に配置されている。また、第１台座支持層９８の先側部分は、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１扇部１１０と重なるように、第１台座カバー層８６の薄肉部８６Ａの上面に配置されている。
【０１５９】
また、第２台座４３の第２台座支持層９９は、図５に示すように、第１台座支持層９８と略同一の形状を有しており、上下方向から見て、第２台座導体層９３と重なるように、第２台座カバー層８７の上面に配置されている。
【０１６０】
つまり、第２台座支持層９９の後側部分は、図６に示すように、上下方向から見て、第２台座導体層９３の第２連続部９６の先側部分と重なるように、第２台座カバー層８７の厚肉部８７Ｂの上面に配置されている。また、第２台座支持層９９の先側部分は、上下方向から見て、第２台座導体層９３の第２扇部９５と重なるように、第２台座カバー層８７の薄肉部８７Ａの上面に配置されている。
【０１６１】
そして、第１台座４２の高さ（厚み）は、例えば、１２μｍ以上、好ましくは、１５μｍ以上、例えば、５５μｍ以下、好ましくは、５０μｍ以下であり、第２台座４３の高さ（厚み）は、第１台座４２の高さと略同じである。
【０１６２】
このような第２実施形態によれば、第１台座支持層９８の後側部分は、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１連続部１１１と重なるように、第１台座カバー層８６の厚肉部８６Ｂの上面に配置される。
【０１６３】
また、第２台座支持層９９の後側部分は、上下方向から見て、第２台座導体層９３の第２連続部９６と重なるように、第２台座カバー層８７の厚肉部８７Ｂの上面に配置される。
【０１６４】
つまり、台座支持層８９（第１台座支持層９８および第２台座支持層９９）は、第１台座４２および第２台座４３のそれぞれにおいて、台座カバー層８５の相対的に厚い部分に配置される。
【０１６５】
そのため、第１台座４２および第２台座４３の高さにばらつきが生じることを抑制でき、ひいては、第１台座４２および第２台座４３の高さを、互いに略同じにすることができる。
【０１６６】
その結果、スライダ１００を、互いに高さが略同じである第１台座４２および第２台座４３の最も高い部分に支持させることができるので、上下方向において、スライダ１００の位置精度の向上を図ることができる。
【０１６７】
よって、このような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１６８】
３．第３実施形態
次に、図７を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。なお、第３実施形態では、上記した第１実施形態および第２実施形態と同様の部材には同様の符号を付し、その説明を省略する。
【０１６９】
第２実施形態では、図６に示すように、第１台座支持層９８が、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１連続部１１１と重なるように配置され、第２台座支持層９９が、上下方向から見て、第２台座導体層９３の第２連続部９６と重なるように配置されている。
【０１７０】
これに対して、第３実施形態では、第１台座支持層９８が、図７に示すように、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１扇部１１０と重なり、かつ、第１連続部１１１と重ならないように配置され、第２台座支持層９９が、上下方向から見て、第１台座導体層９２の第１扇部１１０と重なり、かつ、第１連続部１１１と重ならないように配置されている。
【０１７１】
より具体的には、第１台座支持層９８および第２台座支持層９９のそれぞれは、第１実施形態と同様に、平面視略楕円形状を有している。そして、第１台座支持層９８は、上下方向から見て、第１連続部１１１の先端縁を跨ぐように配置されている。これにより、第１台座支持層９８の後側部分は、上下方向から見て第１扇部１１０と重なるように、第１台座カバー層８６の薄肉部８６Ａの上面に配置され、第１台座支持層９８の先側部分は、上下方向から見て第１扇部１１０と重ならないように、第１台座カバー層８６よりも先側に位置している。
【０１７２】
つまり、第１台座支持層９８は、上下方向から見て第１扇部１１０と重なり、かつ、第１連続部１１１と重ならないように配置されている。
【０１７３】
また、第２台座支持層９９は、第１実施形態と同様に、上下方向から見て第２扇部９５と重なり、かつ、第２連続部９６と重ならないように配置されている。
【０１７４】
このような第３実施形態によれば、台座支持層８９（第１台座支持層９８および第２台座支持層９９）は、第１台座４２および第２台座４３のそれぞれにおいて、台座カバー層８５の相対的に厚い部分に配置されることなく、台座カバー層８５の相対的に薄い部分に局在的に配置される。
【０１７５】
そのため、このような第３実施形態においても、第１実施形態および第２実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１７６】
なお、図７において仮想線で示すように、第１扇部１１０と第２扇部９５との中心角の角度が互いに異なり、第１連続部１１１の突出部分１１１Ｂと、第２連続部９６の突出部分９６Ｂの先側部分との面積が互いに異なる場合、第１台座支持層９８は、上記のように、上下方向から見て第１扇部１１０と重なり、かつ、第２連続部９６と重ならないように配置され、第２台座支持層９９は、上下方向から見て第２扇部９５と重なり、かつ、第２連続部９６と重ならないように配置される。
【０１７７】
４．変形例
第１実施形態では、第１台座支持層９８および第２台座支持層９９のそれぞれは、図３に示すように、先後方向に延びる平面視楕円形形状を有しているが、第１台座支持層９８および第２台座支持層９９の形状は、特に制限されず、円形形状であってもよく、図８に示すように、多角形形状であってもよい。
【０１７８】
また、第１実施形態では、全ての台座支持層８９は、図３に示すように、厚み方向から見て、互いに同一形状を有しているが、これに限定されず、複数の台座支持層８９は、互いに異なる形状を有することもできる。
【０１７９】
また、第１台座支持層９８の配置は、図８および図９に示すように、上下方向から見て、第１円形部９４と重なれば、特に制限されず、第２台座支持層９９の配置は、上下方向から見て、扇部９５と重なり、連続部９６と重ならなければ、特に制限されない。
【０１８０】
例えば、第１台座支持層９８および第２台座支持層９９のそれぞれは、図９に示すように、先側に向かうに従って左右方向の外側に傾斜するように配置することもできる。この場合、第１台座支持層９８の先後方向に対する傾斜と、第２台座支持層９９の先後方向に対する傾斜とは略同じである。
【０１８１】
また、第１台座支持層９８および第２台座支持層９９のそれぞれは、図８に示すように、左右方向に沿うように配置することもできる。
【０１８２】
また、第１実施形態では、扇部９５の中心角の角度は、略２９０°であるが、扇部９５の中心角の角度は、これに限定されず、例えば、９０°以上、好ましくは、１００°以上、例えば、３５０°以下、好ましくは、３４０°以下の範囲で適宜変更される。
【０１８３】
第２実施形態では、図５に示すように、第１台座支持層９８が、上下方向から見て、第１扇部１１０および第１連続部１１１と重なるように配置され、第２台座支持層９９が、上下方向から見て、第２扇部９５および第２連続部９６の先側部分と重なるように配置されているが、これに限定されない。
【０１８４】
第１台座支持層９８は、上下方向から見て、第１連続部１１１と重なり、かつ、第１扇部１１０と重ならないように配置することもでき、第２台座支持層９９は、上下方向から見て、第２扇部９５と重なり、かつ、第２連続部９６と重ならないように配置することもできる。
【０１８５】
これら変形例によっても、上記の第１実施形態〜第３実施形態と同様の作用効果を奏することができる。なお、上記の第１実施形態〜第３実施形態および変形例のそれぞれは、適宜組み合わせることができる。
【符号の説明】
【０１８６】
１        回路付サスペンション基板
５        金属支持基板
６        ベース絶縁層
７        導体パターン
８        カバー絶縁層
９        支持層
４１      台座ユニット
８５      台座カバー層
８９      台座支持層
９０      台座ベース層
９１      台座導体層
９４      第１円形部
９５      扇部
９６      連続部
９６Ｂ    突出部分
１１０    第１扇部
１１１    第１連続部
１１１Ｂ  突出部分
Ｉ      仮想円
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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