(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンから吸込んだ空気をフィルタ部で清浄化し外部に供給する空気清浄装置であって、
上記フィルタ部側に流す清浄化用空気の流動を案内する第１の案内室と、排気口を有し上記清浄化用空気に対し間接的に吸熱または放熱を行うための温度調整用空気の流動を案内する第２の案内室とが互いに遮断された状態で積層状に形成され、上記ファン側から流入した加圧空気を案内する空気案内部と、
上記第１の案内室と上記第２の案内室との間に配され、電流通電により第１の案内室側の面と第２の案内室側の面との間に温度差を生ずる熱電素子と、
上記第１の案内室内に設けられた第１のフィンと、上記第２の案内室室内に設けられた第２のフィンとを備え、上記熱電素子との間で吸熱または放熱の熱交換を行うとともに、上記清浄化用空気及び上記温度調整用空気の流路を形成するフィン部と、
上記第１の案内室側から上記清浄化用空気が流入され該空気を清浄化するフィルタ部と、
を備え、
上記フィルタ部通過前の上記清浄化用空気または該フィルタ部通過後の清浄化空気の温度情報に基づき、上記第２の案内室の排気口の開口率及び上記ファンの回転数を制御して上記第２のフィンに接し流動する上記温度調整用空気の流動量を制御するとともに、上記熱電素子の通電電流を制御して上記第１、第２のフィン間の熱交換量を制御し、上記清浄化用空気または上記清浄化空気の温度を調整する構成としたことを特徴とする空気清浄装置。
【請求項２】
上記フィン部は、上記第１、第２のフィンのそれぞれの平面が、上記ファンの回転軸方向に略平行とされている請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項３】
上記空気案内部は、上記第２の案内室が、仕切り板によって複数に仕切られ、上記第２のフィンを含み上記排気口に至る蛇行状の空気流路を形成している請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項４】
上記第１の案内室と上記第２の案内室との間には断熱空間が形成され、上記熱電素子は、該断熱空間内に配されている請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項５】
装置内に制御部を内蔵し、該制御部が、上記温度情報を基準情報と比較し該比較結果に基づき、上記第２の案内室の排気口の開口率及び上記ファンの回転数を制御し、上記第１の案内室内の流動空気量を略一定に保持した状態で該第２の案内室内の流動空気量を制御するとともに、上記熱電素子の通電電流を制御する構成である請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項６】
吸込んだ空気を清浄化し対象の清浄空間部に供給する空気清浄化システムであって、
請求項１から６のいずれかに記載の空気清浄装置と、
上記空気清浄装置のフィルタ部から清浄化空気が供給される清浄空間部と、
上記清浄空間部と、上記空気清浄装置のファンの空気吸込み側との間を接続するダクトと、
を備え、上記空気清浄装置から上記清浄空間部に温度調整した清浄化空気を供給するとともに、該空気清浄装置と該清浄空間部との間で空気を循環させる構成としたことを特徴とする空気清浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶パネル等を製造するためのクリーンルーム内や製造装置内などに設置する空気清浄装置に係り、特に、装置内で空気の温度調整を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、空気清浄装置においては、冷媒を用いた温度調整装置を空気清浄装置に付帯的に設け、これにより空気の温度調整を行っていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来技術では、上記温度調整装置が、冷媒を用いかつラジエータやコンプレッサを内蔵した構成であるため、空気清浄装置と温度調整装置とを合わせた全体寸法が大きく、このために設置場所が限定されることや、振動や騒音が発生することや、冷媒に関する管理が必要なことなどの不都合があった。
本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、空気清浄装置において、冷媒を用いずに空気の温度調整を可能にし、かつ、装置全体を小型化して設置場所が限定されないようにすることである。
本発明の目的は、上記課題点を解決し、コンパクトで、汎用性及び設置自由度が高い空気清浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題点を解決するために、本発明では、空気清浄装置として、フィンを内蔵しファン側で加圧した空気を分流させて案内する第１、第２の案内室を互いに積層状に設け、かつ該第１、第２の案内室の間には熱電素子（電流通電によりペルチェ効果で両面間に電子的ヒートポンプを形成する半導体素子）を設け、第１の案内室にはフィルタ部側に向かう清浄化するための空気（以下、清浄化用空気という）を流し、第２の案内室には該清浄化用空気に対し間接的に吸熱または放熱を行うための温度調整用空気を流し、清浄化用空気またはフィルタ部通過後の清浄化された空気（以下、清浄化空気という）の温度情報に基づき、第２の案内室の排気口の開口率及びファンの回転数を制御して温度調整用空気の流動量を制御するとともに、熱電素子を制御し第１、第２の案内室間の熱交換量を制御することで、清浄化用空気の温度を変え、清浄化用空気または清浄化空気の温度を調整する構成とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、空気清浄装置において、冷媒を用いずに清浄化用空気または清浄化空気の温度調整が可能となり、かつ、装置の小型化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図１〜図６は、本発明の実施例としての空気清浄装置の説明図である。図１は、空気清浄装置の構成例図、図２は、図１の空気清浄装置の熱交換部分を示す図、図３は、図１の空気清浄装置の正面側外観を示す図、図４は、図１の空気清浄装置における空気流れの説明図、図５は、図１の空気清浄装置の制御系の説明図、図６は、図１の空気清浄装置の温度調整における制御因子の変化の説明図である。
【０００７】
図１において、（ａ）は正面図、（ｂ）は下面図、（ｃ）は側面図である。図１において、１は空気清浄装置、１１は、装置の外面を覆うハウジング部材、１２は、装置外部から空気を吸込み加圧して流出させるファンとしてのターボ型ファン、１２１はターボ型ファン１２の羽根車、１２２は、羽根車１２１を回転駆動するターボ型ファン１２のモータ、１２３は、羽根車１２１の空気入り口側を覆うターボ型ファン１２のカバー、１２４は、ターボ型ファン１２の回転軸、１４は、流入した空気を清浄化するフィルタ部、１３１は、フィルタ部１４側に流す清浄化用空気の流動を案内する第１の案内室、１３１ａは、第１の案内室１３１内に配され、対向平面が互いに平行にかつターボ型ファン１２の回転軸１２４の方向に略平行にされた第１のフィン、１３２は、上記第１の案内室１３１内の清浄化用空気に対し間接的に吸熱または放熱を行う温度調整用空気の流動を案内する第２の案内室、１３２ａは、第２の案内室１３２内に配され、対向平面が互いに平行にかつターボ型ファン１２の回転軸１２４の方向に略平行にされた第２のフィン、１３２ｂは、第２の案内室１３２内を上記第２のフィン１３２ａを含んだ状態で複数に仕切る仕切り板、１６は、第１の案内室１３１と第２の案内室１３２との間に形成された断熱空間である。第１の案内室１３１と第２の案内室１３２とで空気案内部を形成する。該第１の案内室１３１と第２の案内室１３２とは互いに積層状に形成され、断熱空間１６によって互いに遮断されている。該断熱空間１６内には、第１の案内室１３１内の第１のフィン１３１ａと第２の案内室１３２内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を制御するための熱電素子（図示なし）が配されている。第２の案内室１３２には開口率が可変の排気口（図示なし）が設けられ、温度調整用空気の流動量が該開口率によって調整されるようになっている。また、該第２の案内室１３２内の上記仕切り板１３２ｂは該第２の案内室１３２内で上記排気口に至る蛇行状の空気流路を形成し、該流路に沿って温度調整用空気が流れるようにされる。また、第１のフィン１３１ａはその平面をＸＹ平面に略平行とされ、第２のフィン１３２ａはその平面をＹＺ平面に略平行とされ、第１の案内室１３１内を流れる清浄化用空気の方向と、第２の案内室１３１内を流れる温度調整用空気の方向とは互いに略直交するようにされている。ターボ型ファン１２の空気吸込み口には、空気流の案内（導風）と逆流防止のために、ベルマウスが設けられている。
【０００８】
上記構成において、ターボ型ファン１２に吸込まれ加圧された空気は、空気案内部の第１の案内室１３１と第２の案内室１３２とに分流する。第１の案内室１３１に流入した空気は該第１の案内室１３１内で清浄化用空気としてその流動を第１のフィン１３１ａにより案内され第１のフィン１３１ａ間を流れた後流出してフィルタ部１４側に向かう。フィルタ部１４に流入した清浄化用空気は、該フィルタ部１４内で塵埃や細菌などを除去されて清浄化され、清浄化空気として装置外部の対象とする清浄空間部に供給される。一方、第２の案内室１３２に流入した空気は、該第２の案内室１３２内で温度調整用空気としてその流動を、仕切り板１３２ｂで形成された蛇行状の空気流路内を第２のフィン１３２ａで案内されながら流れ、排気口側に向かうようになっている。排気口が閉じられ開口率ゼロとされた場合には、第２の案内室１３２内で排気口側に向かう温度調整用空気の流れはほとんどなくなり、ターボ型ファン１２から空気案内部に供給された空気は、そのほとんど全部が清浄化用空気として第１の案内室１３１に流入し、フィルタ部１４側に向かうことになる。清浄化用空気または清浄化空気の温度調整が行われる場合は、該排気口は開口状態とされる。上記第２の案内室１３２内に、仕切り板１３２ｂにより排気口に至る蛇行状の空気流路が形成されることにより、該第２の案内室１３２内における温度調整用空気の圧力損失が増大し、第１の案内室１３１及びフィルタ部１４を流れる清浄化用空気の圧力損失と略同等の値となる。これによって、温度調整用空気の流動量が多くなり過ぎることが防止される。また、上記第２の案内室１３２内において、蛇行状の空気流路は流路断面積を縮小させるため、温度調整用空気の流動速度（風速）が増大することになり、第２の案内室１３２内における強制対流熱伝達性が向上する。さらに、第１の案内室１３１内では、第１のフィン１３１ａにより清浄化用空気が流動を案内され整流状態とされてフィルタ部１４に供給されるため、清浄化用空気の流動抵抗の増大を抑えられかつフィルタ部１４から流出する清浄化空気の流速分布の一様性を高められる。また、第２の案内室１３２内では、第２のフィン１３２ａにより温度調整用空気が流動を案内され整流状態とされるため、該温度調整用空気の流動抵抗の増大を抑えられる。
【０００９】
清浄化用空気または清浄化空気の温度調整を行う場合、フィルタ部１４を通過する前の清浄化用空気の温度情報またはフィルタ部を通過した後の清浄化空気の温度情報に基づき、第２の案内室１３２の排気口の開口率及びターボ型ファン１２の回転数すなわちモータ１２２及び羽根車１２１の回転数を制御して、第２の案内室１３２内における温度調整用空気の流動量を制御するとともに、熱電素子を制御して第１、第２の案内室間の熱交換量を制御することで、清浄化用空気の温度を変え、清浄化用空気または清浄化空気の温度を調整する。上記温度情報に基づく上記排気口の開口率制御、上記ターボ型ファン１２の回転数制御及び上記熱電素子を制御は、制御部（図示なし）により行う。
【００１０】
図２は、図１の空気清浄装置１の熱交換部分を示す図である。該熱交換部分は、熱電素子と、第１、第２の案内室１３１、１３２のフィン１３１ａ、１３２ａとで形成される。
図２において、１３２４〜１３２６はそれぞれ、第２の案内室１３２が仕切り板１３２ｂによって仕切られて成る分割案内室、１６４〜１６６はそれぞれ、分割案内室１３２４〜１３２６に対応して断熱空間１６内に設けられた熱電素子、１７は、第２の案内室１３２の排気口、１８は、排気口１７の開口率を変化させるシャッター部材、Ｂ４〜Ｂ７は、第２の案内室１３２内の温度調整用空気の流動方向、Ａｎは、第１の案内室１３１内の清浄化用空気の流動方向を示す。他は、図１の場合と同様である。熱電素子１６４は、第１の案内室１３１の第１のフィン１３１ａと、第２の案内室１３２の分割案内室１３２４内の第２のフィン１３２ａとに対し熱的に結合され、該第１のフィン１３１ａと該分割案内室１３２４内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換を行い、同様に、熱電素子１６５は、第１の案内室１３１の第１のフィン１３１ａと、第２の案内室１３２の分割案内室１３２５内の第２のフィン１３２ａとに対し熱的に結合され、該第１のフィン１３１ａと該分割案内室１３２５内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換を行い、熱電素子１６６は、第１の案内室１３１の第１のフィン１３１ａと、第２の案内室１３２の分割案内室１３２６内の第２のフィン１３２ａとに対し熱的に結合され、該第１のフィン１３１ａと該分割案内室１３２６内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換を行うようになっている。
【００１１】
図２の構成において、清浄化用空気または清浄化空気の温度調整時には、清浄化用空気の温度を変化させるために、清浄化用空気または清浄化空気の温度情報に基づき、シャッター部材１８の移動位置、モータ１２２の回転数及び熱電素子１６４〜１６６の電流を制御する。シャッター部材１８の移動位置は排気口１７の開口率を変え、モータ１２２の回転数は、ターボ型ファン１２の回転数すなわち羽根車１２１の回転数を変え、熱電素子１６４〜１６６の電流は該熱電素子１６４〜１６６の両面の発熱状態を変える。排気口１７の開口率の変化とターボ型ファン１２の回転数の変化は、第２の案内室１３２内の温度調整用空気の流動量を変化させ、熱電素子１６４〜１６６の両面の発熱状態の変化は、第１の案内室１３１の第１のフィン１３１ａと第２の案内室１３２の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を変化させる。すなわち、熱電素子１６４の両面の発熱状態の変化は、該熱電素子１６４を介し熱的に結合された、第１の案内室１３１内の第１のフィン１３１ａと分割案内室１３２４内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を変化させ、熱電素子１６５の両面の発熱状態の変化は、該熱電素子１６５を介し熱的に結合された、第１の案内室１３１内の第１のフィン１３１ａと分割案内室１３２５内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を変化させ、熱電素子１６６の両面の発熱状態の変化は、該熱電素子１６６を介し熱的に結合された、第１の案内室１３１内の第１のフィン１３１ａと分割案内室１３２６内の第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を変化させる。該各熱交換量を増大させる場合には各熱電素子の電流値を増大させ、該各熱交換量を減少させる場合には各熱電素子の電流値を減少させる。温度調整用空気は、第２の案内室１３２内を、Ｂ４〜Ｂ７のように蛇行状に流動し、各分割案内室内の各第２のフィン１３２ａに対し、その流動量に対応した吸熱または放熱を行う。該温度調整用空気の流動量は、第１の案内室１３１内の清浄化用空気の流動量を略一定に維持するという条件下で変化させる。
【００１２】
図３は、図１の空気清浄装置１の正面側外観を示す図である。
図３において、１９ａ、１９ｂは、シャッター部材１８を駆動するシャッター駆動部である。該シャッター駆動部１９ａ、１９ｂは、駆動用のモータを備えて構成される。他は、図１、図２の場合と同様である。清浄化用空気または清浄化空気の温度調整時には、制御部（図示なし）によりシャッター駆動部１９ａ、１９ｂが制御され、シャッター部材１８の移動位置が制御されて排気口１７の開口率が制御され、排気口１７は適切な開口状態とされる。
【００１３】
図４は、図１の空気清浄装置１における空気流れの説明図で、（ａ）は、清浄化用空気または清浄化空気の温度調整を行っている時（温度調整時）の説明図、（ｂ）は、同温度調整を行っていない時（温度非調整時）の説明図である。
図４（ａ）において、１６１〜１６６は熱電素子、２０は、第１の案内室１３１とフィルタ部１４との間に形成される清浄化用空気の流路、１３２１〜１３２６は、第２の案内室１３２の分割案内室、Ａは、第１の案内室１３１から出た清浄化用空気の流動方向、Ｂは、第２の案内室１３２の分割案内室から出て排気口１７から外部に排出される温度調整用空気の流動方向、Ｃは、フィルタ部１４から出る清浄化空気の流動方向である。熱電素子１６１〜１６３は、図２で説明した熱電素子１６４〜１６６と同様の作用・効果を有する。また、分割案内室１３２１〜１３２３は、図２で説明した分割案内室１３２４〜１３２６と同様の作用・効果を有する。温度調整時、温度調整用空気は、清浄化用空気または清浄化空気の温度情報に基づき制御された流動量で第２の案内室１３２内を蛇行状に流れ、第２のフィン１３２ａに対し吸熱または放熱を行った後、開口状態にある排気口１７から外部に排気される。また、清浄化用空気は、略一定流動量のものが第１の案内室１３１からフィルタ部１４に供給される。該清浄化用空気は、該第１の案内室１３１内を流動するとき、熱電素子１６１〜１６６による熱交換によって吸熱または放熱され、フィルタ部１４からは所定の設定温度に温度調整された清浄化空気として流出され、外部の対象の清浄空間部に供給される。
【００１４】
図４（ｂ）において、Ａ'は、第１の案内室１３１から出た清浄化用空気の流動方向、Ｃ'は、フィルタ部１４から出る清浄化空気の流動方向である。清浄化用空気または清浄化空気が所定の温度状態にあるときは、温度調整は行われず、温度非調整の状態とされ、熱電素子１６１〜１６６の電流通電もオフ状態とされる。かかる温度非調整時には、排気口１７がシャッター部材１８によって閉じられて開口率ゼロとされ、第２の案内室１３２内で温度調整用空気の流れはほとんどなくなり、ターボ型ファン１２から空気案内部に供給された空気は、そのほとんど全部が清浄化用空気として第１の案内室１３１に流入し、温度調整をされないまま該第１の案内室１３１から出てフィルタ部１４側に向かう。本図４（ｂ）では、温度非調整時に排気口１７は、シャッター部材１８によって閉じられて開口率ゼロとされるとしたが、本発明はこれに限定されず、排気口１７は、シャッター部材１８によって全部が閉じられず、一部が開口された状態であってもよい。
【００１５】
図５は、図１の空気清浄装置１の制御系の説明図である。
図５において、３０は、空気清浄装置１を制御する制御部、４１は、第１の案内室１３１内または該第１の案内室１３１から流出してフィルタ部１４に向かう清浄化用空気またはフィルタ部１４から流出した清浄化空気の温度を検知し検知結果を電気信号として出力する第１の温度センサ、４２は、温度調整用空気の温度を検知し検知結果を電気信号として出力する第２の温度センサ、４３は、温度調整用空気や清浄化用空気の流動速度を検知し検知結果を電気信号として出力する風速センサである。制御部３０は、例えばマイコンやパソコン等で構成され、第１の温度センサ４１、第２の温度センサ４２及び風速センサ４３からの各出力信号と併せ、清浄化用空気または清浄化空気の所定の設定温度に対応する基準信号や、温度調整用空気や清浄化用空気の所定の設定流動速度に対応する基準信号が基準情報として入力される。該制御部３０では、これら入力された出力信号を上記設定された基準情報と比較し、該比較結果に応じて、シャッター部材１８を制御し排気口１７の開口率を制御するための制御信号、モータ１２２を制御しターボ型ファン１２の回転数を制御するための制御信号、及び熱電素子１６１〜１６６の通電電流を制御し熱交換量を制御するための制御信号をそれぞれ形成して出力する。清浄化用空気または清浄化空気の温度調整時、少なくとも、第１の温度センサ４１の出力信号（＝温度情報）のレベルを、予め設定された基準情報と比較し、該比較結果に応じて、第２の案内室１３２の排気口１７の開口率及びモータ１２２の回転数を制御（＝ターボ型ファン１２の回転数を制御＝羽根車１２１の回転数を制御）して、第２の案内室１３２内における温度調整用空気の流動量を制御するとともに、熱電素子１６１〜１６６の通電電流を制御して第１、第２の案内室間の熱交換量すなわち第１のフィン１３１ａと第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を制御することで、清浄化用空気の温度または清浄化空気の温度を所定の設定温度にする。温度調整用空気の温度の検知結果に基づき清浄化用空気または清浄化空気の温度制御（調整）を行うことも可能であり、この場合も制御の仕方は上記場合と同様である。また、風速センサ４３の出力信号に基づき温度調整用空気や清浄化用空気の流動速度の制御を行う場合も基本的制御は上記の温度調整の場合と同様である。
【００１６】
図６は、図１の空気清浄装置における清浄化用空気または清浄化空気の温度調整時の制御要因変化の説明図である。（ａ）は清浄化用空気または清浄化空気の温度の対時間変化特性、（ｂ）は熱電素子の電流Ｉｈの対時間変化特性、（ｃ）は排気口１７の開口率ｑの対時間変化特性、（ｄ）はモータ１２２の回転数ｎの対時間変化特性である。
図６において、Ｔ０は、清浄化用空気または清浄化空気の温度の目標とする設定値、ｔｓは、清浄化用空気または清浄化空気の温度が設定値Ｔ０に達した時点である。（ａ）に示す清浄化用空気または清浄化空気の温度Ｔｒ（設定値Ｔ０よりも低い場合の温度）またはＴｄ（設定値Ｔ０よりも高い場合の温度）は、熱電素子１６１〜１６６の通電電流Ｉｈが制御部３０（図５）により（ｂ）のように制御され、排気口１７の開口率ｑが同じく制御部３０により（ｃ）のように制御され、モータ１２２の回転数ｎが同じく制御部３０により（ｄ）のように制御されることで、時点ｔｓで設定値Ｔ０に達するようにされる。すなわち、清浄化用空気または清浄化空気の温度ＴｒまたはＴｄの、設定値Ｔ０との差が大きい時点では、第１、第２の案内室間の熱交換量すなわち第１のフィン１３１ａと第２のフィン１３２ａとの間の熱交換量を増大させる必要があるため、熱電素子１６１〜１６６の通電電流Ｉｈも、排気口１７の開口率ｑも、モータ１２２の回転数ｎも大きな値となるように制御され、該温度ＴｒまたはＴｄが設定値Ｔ０に近づいた時点では、上記熱交換量を減少させる必要があるため、熱電素子１６１〜１６６の通電電流Ｉｈも、排気口１７の開口率ｑも、モータ１２２の回転数ｎも減少するように制御される。
【００１７】
上記実施例の空気清浄装置１によれば、冷媒を用いずに清浄化用空気または清浄化空気の温度調整が可能となり、かつ温度調整部を含む装置の小型化が可能となる。特に、熱電素子による熱交換を利用した構成のため、簡易な構成の制御系により応答時間が短く精度の良い温度調整を行うことができる。これによって、コンパクトで信頼性、汎用性及び設置自由度の高い空気清浄装置の提供が可能となる。
【００１８】
図７は、図１の空気清浄装置１を用いた空気清浄化システムの構成例図である。
図７において、１００は空気清浄化システム、５１は、空気清浄装置１のフィルタ部１４から清浄化空気が供給される清浄空間部、５２は、空気清浄装置１のターボ型ファン１２の空気吸込み側の空気吸込み空間部、５３は、清浄空間部５１と空気吸込み空間部５２との間を接続する帰還ダクト、５４は、外部から空気を取入れる空気取入れ口、５５は、空気清浄装置１の第２の案内室１３２の排気口１７に接続される排気ダクト、Ａ０は、空気吸込み空間部５２内で空気清浄装置１に吸込まれる空気の流動方向、Ｄは、帰還ダクト５３内の帰還空気の流動方向である。
上記構成において、空気清浄装置１と清浄空間部５１との間で空気を循環させるとともに、該空気清浄装置１内では、図１〜図６を用いて説明したように、清浄化用空気または清浄化空気を温度調整し、清浄空間部５１には温度調整した清浄化空気を供給する。
上記空気清浄化システム１００によれば、冷媒を用いずに清浄空間部５１内の清浄化空気の温度調整が可能となり、システム全体の小型化も可能となる。また、清浄化空気の温度調整の応答時間や精度の改善も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施例としての空気清浄装置の構成例図である。
【図２】図１の空気清浄装置の熱交換部分を示す図である。
【図３】図１の空気清浄装置の正面側外観を示す図である。
【図４】図１の空気清浄装置における空気流れの説明図である。
【図５】図１の空気清浄装置の制御系の説明図である。
【図６】図１の空気清浄装置の温度調整における制御因子の変化の説明図である。
【図７】図１の空気清浄装置を用いた空気清浄化システムの構成例図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…空気清浄装置、
１１…ハウジング部材、
１２…ターボ型ファン、
１４…フィルタ部、
１６…断熱空間、
１７…排気口、
１８…シャッター部材、
１９ａ、１９ｂ…シャッター駆動部、
３０…制御部、
４１…第１の温度センサ、
４２…第２の温度センサ、
４３…風速センサ、
５１…清浄空間部、
５２…空気吸込み空間部、
５３…帰還ダクト、
５４…空気取入れ口、
５５…排気ダクト、
１００…空気清浄化システム、
１２１…羽根車、
１２２…モータ、
１２３…カバー、
１３１…第１の案内室、
１３１ａ…第１のフィン、
１３２…第２の案内室、
１３２ａ…第２のフィン、
１３２ｂ…仕切り板、
１６１〜１６６…熱電素子、
１３２１〜１３２６…分割案内室。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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