(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
片面に金属層を有する透明基材の該金属層上に印刷法により樹脂層のパターンを形成し、該樹脂層をエッチングマスクとして前記金属層をエッチングした後、前記樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項２】
前記金属層よりも突出している部分を粘着材もしくは超音波により除去する、請求項１に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項３】
前記金属層よりも突出している部分を超音波によって除去するに際し、前記透明基材を液体内に浸漬する、請求項２に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の方法により製造された電磁波シールドシート。
【請求項５】
請求項４に記載の電磁波シールドシートと反射防止層とを備えたフィルター。
【請求項６】
請求項５に記載のフィルターを備えたディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ），陰極線管（ＣＲＴ）など、電磁波を発生する画像表示部等に利用する、透視可能な電磁波シールドシートやその製造方法、およびそれを用いたフィルター、ディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気製品から発生する電磁波は、各種精密機器、計器、デジタル機器類への電波障害や人体への影響から、規制が厳しくなってきている。このため、電磁波放出は法的に規制されてきており、例えばＶＣＣＩ（Voluntary Control Council for Interference by data processing equipment electronic office machine）による規制がある。そのため、特に強い電磁波を画像表示部から装置外に放出するＰＤＰでは、光透過性の電磁波シールドシートを反射防止や近赤外線遮蔽など他の機能のあるシートと合わせ、前面フィルターとして画像表示部に直接貼り付けるか、前面フィルター用のガラスまたはプラスチックするなどの透明基板に貼り付け、画像表示部に設置して、上記規制を遵守できるように電磁波を遮蔽している。【０００３】
この光透過性の電磁波シールドシートとしては、従来、図２に示すように、透明基材１に銅箔などの金属層３を接着層２を介して積層した後（ａ）、レジストフィルム６を貼り付け、露光、現像（ｂ）、エッチング（ｃ）、レジスト剥離する（ｄ）フォトリソグラフィー法を利用して、透明基材上にパターン化した導電性金属層を設けたものが提案されている（特許文献１）。【０００４】
また、透明基材上にパターン化した導電性金属層を設ける別の方法としては、スクリーン印刷法またはオフセット印刷法によりエッチングレジストパターンを形成し、その後導電性金属層をエッチングし、最後にレジストを剥離する方法も提案されている（特許文献２、特許文献３）。【０００５】
しかしながら、透明基材上に積層した導電性金属層を用いて光透過性電磁波シールドシートを製造するフォトリソグラフィー法は、電磁波シールド性と良好な光透過性が確保できる細線パターン形成を問題なく両立できるが、コントラストなどの画像品質を劣化させないためには、導電性金属層として片面および、または両面を黒化処理した銅箔を用いる必要があり、コストアップの要因となっていた。またフォトリソグラフィーの工程は複雑かつ工程も長く、低コスト化の市場要求に対して満足いく方法ではなかった。なお、電磁波シールド性とディスプレイ画面の視認性を両立させるためには、パターン化させた導電金属層上に黒色レジスト層を積層させ、その黒色レジストを剥離せずに残すということも提案されているが（特許文献４）、これも結局フォトリソグラフィー法によるものであるので、低コスト化の市場要求に対して満足いく方法といえるものではなかった。【０００６】
一方、スクリーン印刷またはオフセット印刷により光透過性電磁波シールドシートのエッチングパターンを形成する方法は、簡易な装置と単純なプロセスで形成でき、かつコントラスト性能を阻害する金属光沢のある導電性金属層上に直接黒色樹脂層を形成し、ぎらつき感を押さえることができる。そのため、低コスト化の市場要求に十分に答えられるプロセスといえる。しかしながら、これら印刷法では、高精細な線幅を印刷することが難しく、メッシュパターンの非視認性の点で好ましい２０μｍ以下の細線パターン形成をすることが困難であった。また、得られる電磁波シールドシートも光透過性の点で課題の残るものであった。
【特許文献１】特許第３３８８６８２号公報
【特許文献２】特開２０００−３１５８９０号公報
【特許文献３】特開２０００−３２３８８９号公報
【特許文献４】特開平９−２９３９８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、電磁波シールド性、光透過性とともにメッシュパターンの非視認性に優れた電磁波シールドシートを低コストに製造することが可能な方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するための本発明は、次の（１）〜（６）を特徴とするものである。
（１）片面に金属層を有する透明基材の該金属層上に印刷法により樹脂層のパターンを形成し、該樹脂層をエッチングマスクとして前記金属層をエッチングした後、前記樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する電磁波シールドシートの製造方法。
（２）前記金属層よりも突出している部分を粘着材もしくは超音波により除去する、前記（１）に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
（３）前記金属層よりも突出している部分を超音波によって除去するに際し、前記透明基材を液体内に浸漬する、前記（２）に記載の電磁波シールドシートの製造方法。
（４）前記（１）〜（３）のいずれかに記載の方法により製造された電磁波シールドシート。
（５）前記（４）に記載の電磁波シールドシートと反射防止層とを備えたフィルター。
（６）前記（５）に記載のフィルターを備えたディスプレイ。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、透明基材上に細線パターン化された金属層、更にその上に樹脂層を積層することができるので、良好な電磁波シールド性と光透過性とを有し、かつコントラストやモワレなど画像品質を劣化させない光透過性電磁波シールドシートを提供することができる。また、本発明においては、電磁波シールドシートを製造するにあたり、図１に示すように、片面に金属層３を有する透明基材１（a）の該金属層３上に印刷法により樹脂層４のパターンを形成し（ｂ）、ケミカルエッチングで該金属層３をエッチングした後（ｃ）、樹脂層４のうち残存する金属層３よりもシート面方向に突出している部分５を除去するので（ｄ）、金属層および樹脂層からなる細線なメッシュパターンを、印刷法という低コストの方法で形成することができ、メッシュパターンの非視認性に優れた電磁波シールドシートを製造することができる。さらに、金属層上に樹脂層が形成されているので、製造時に、透明基材の該金属層の形成されていない面を傷付けがたくなる。また、他の素材との貼合せ工程等で他基材を傷付け難くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明にかかる電磁波シールドシートの製造方法では、片面に金属層を有する透明基材の該金属層上に印刷法により樹脂層のパターンを形成し、樹脂層をエッチングマスクとして金属層をエッチングした後、樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する。すなわち、オーバーエッチング条件でエッチングすることにより、エッチングマスクとなった樹脂層よりも線幅の細い金属層パターンを得ることができる。その後、樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去することにより、樹脂層の線幅を金属層の線幅に合わせることができる。その結果、図１（ｄ）に示すように、透明基材１上に導電性の金属層３からなる細線パターン（線幅ｗがたとえば３μｍ以上、２５μｍ以下）を有し、該金属層３上に樹脂層４からなる同線幅の細線パターンを有する、メッシュパターンの非視認性に優れた電磁波シールドシートを得ることができる。そして、従来のフォトリソグラフィー法、印刷法においては、エッチング時のマスクとして使用したエッチングレジスト層をレジスト剥離液で剥離する必要があったが、本発明においては、樹脂層４は、残存する金属層３よりもシート面方向に関して突出している部分のみを除去すればよく、それ以外の部分は基本的に除去する必要がない。したがって、電磁波シールド性、光透過性、およびメッシュパターンの非視認性に優れた電磁波シールドシートを低コストに製造することが可能である。【００１１】
透明基材１の材質としては、ガラス、プラスチックスなど特に限定されないが、取り扱い性の観点から、巻物形態にできるプラスチックスフィルムが好ましい。プラスチックスフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート（以降ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、或いは、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、或いは、トリアセチルセルロース、ジアセチルセルロース等のセルロース系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリエーテル系樹脂、ポリアクリロニトリル系樹脂等を溶融または溶液製膜したものを例示できる。これらの中でも、透明性、耐熱性、耐薬品性、コスト等の点より、ＰＥＴフィルムが最も好ましい。【００１２】
透明基材１には、これらプラスチックフィルムの単体又は２種以上の混合物からなる、単層フィルム或いは２層以上の積層フィルムなどを用いることができるが、好ましくは透明基材１として全光線透過率が８５％以上となるものがよい。【００１３】
透明基材１の厚みは用途に応じたものとすれば良く、特に限定されない。本発明にかかる電磁波シールド性ディスプレイが一般的な光学フィルターとして用いられる場合には、２５μｍ以上、さらには５０μｍ以上であることが好ましい。一方、上限に関しては、２５０μｍ以下、さらには１５０μｍ以下であることが好ましい。【００１４】
透明基材上に金属層を設けるためには透明基材にも相応の強度が必要であり、それには２５μｍ以上の厚みとすることが好ましい。厚みが５０μｍ以上であると、さらにコシが強くなり、加工時の作業性が増すので好ましい。なお、５０μｍ未満のＰＥＴフィルム等を透明基材として用いる場合は、他のフィルム、例えば紫外線および／または赤外線カット機能付きのＰＥＴフィルム、ハードコートＰＥＴフィルムなどと積層して厚みを厚くしても良い。【００１５】
一方、フィルムは通常ロールから巻き出して使用する。そのため、フィルム厚が一定以上であれば巻き出した時にフィルムが平面とならずカールした状態となり易く、平面に直すための工程が必要となる。しかしながら、２５０μｍ以下の厚みで有れば、特別な工程を必要としないでそのフィルムを用いることができるので好ましい。さらに、１５０μｍ以下の厚みであれば、ディスプレイとしたときに十分な輝度を容易に得ることができるので、透明基材として高透明ＰＥＴフィルム等、高コストな基材を用いる必要がなく、より好ましい。【００１６】
また、透明基材１には、必要に応じて、コロナ放電処理、オゾン吹付処理、プラズマ処理、易接着プライマー塗工処理等の公知の易接着処理を、透明基材１を形成中または形成した後に施しても良い。例えば、市販の易接着処理ＰＥＴフィルムを用いれば、更なる易接着処理を省略する事もできる。【００１７】
導電性の金属層３には、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、ステンレス、クロム、チタンなどの金属の内、１種または２種以上を組合せた合金あるいは多層のものを使用できる。良好な電磁波シールド性を有するための導電性、パターン加工のためのエッチングの容易さ、価格面などから、銅、アルミニウムからなるものが好ましい。また、ディスプレイの画質品質の点で金属光沢による反射を押さえる処理を施したものも好ましい。例えば銅の場合、少なくとも片面に黒化処理を施したもの、アルミニウムの場合、少なくとも片面に陽極酸化処理を施したものが好ましい。【００１８】
金属層３の厚みは、１μｍ以上が好ましく、５μｍ以上がより好ましい。上限に関しては、３０μｍ以下が好ましく、２０μｍ以下がより好ましい。金属層３の厚みを１μｍ以上とすることで、パターンの線幅を狭くして光透過性を高めつつも有効な電磁波シールド性を有するものとすることができる。一方、金属層３の厚みを３０μｍ以下とすることで、エッチング時間を短くしてより効率を高めつつパターン精度良く仕上げることができる。また、シートに対して斜めから見たときの光透過率が高く、これを備えたディスプレイとしては視野角が広いものとなる。【００１９】
金属層３を透明基材１上に形成する方法としては、図１に示しているように接着層２を介して導電性の金属箔を貼り合わせて金属層３を形成する方法（以下、金属箔ラミ法という）を例示できる。また、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレート法、化学蒸着法、無電解および電解めっき法など薄膜形成技術の１つの方法、または２以上の方法を組合せる方法などをも例示でき、特に限定されない。しかしながら、たとえば上述するように厚み１μｍ以上の金属層３を形成する方法としては、製造コスト、容易性において金属箔ラミ法が好ましい。【００２０】
金属箔ラミ法で用いる接着剤としては特に限定されないが、透明性、耐熱性、耐湿性、接着性、ラミネート適性、取り扱い性、およびコストに優れたのもが好ましい。銅箔、アルミニウム箔とＰＥＴフィルムとを貼り合わせる場合には、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などの硬化型接着剤が、さらに好ましくは、主剤にポリエステルポリオールまたはポリエーテルポリオール、硬化剤にイソシアネート系硬化剤を用いた２液型硬化接着剤が良い。【００２１】
そして、金属層３上には、エッチングマスクとなる樹脂層４のパターンを印刷法で形成する。この方法としては、公知の各種印刷法が使用することができるが、印刷寸法（幅、厚み）精度、および制御し易さから、オフセット印刷法とスクリーン印刷法が好ましい。さらに好ましくは、タクトタイムが短く、かつ環境にやさしい、水なし平版を使用したオフセット印刷法である。【００２２】
水なし平版としては、市販で入手できるものを使用できる。具体的には、フォトマスクを使用し紫外線露光してパターンを形成するポジ型版およびネガ型版、ならびにレーザーにより直接版に描画する直描画型のＣＴＰ版があるが、細線が印刷可能なネガ型版やＣＴＰ型版が好ましい。【００２３】
なお、特にオフセット印刷の場合、所定の樹脂層４の厚みを得るために、２回以上重ね印刷をしても良い。【００２４】
樹脂層４としては、特に限定されないが、金属層３を構成する各種金属に対応したエッチング液に対して十分な耐薬品性を有し、かつ金属層３との密着性が良い硬化型樹脂が好ましい。さらに紫外線、電子線などの電離放射線で硬化する電離放射線硬化型樹脂が、取り扱い性が優れている点と簡便な装置で硬化ができるという点で好ましい。【００２５】
電離放射線硬化型樹脂としては、公知の各種モノマー、オリゴマー、プレポリマーなどから、印刷に適した粘度、光重合開始剤、重合停止剤、着色剤、分散剤、レベリング剤、チキソトロピー剤などの各種添加剤の分散性を考慮して、適宜選択、配合した樹脂組成物を使用できる。例えばメタクリレート系、アクリレート系樹脂組成物を例示できる。【００２６】
樹脂層４には、金属層３の金属光沢による表面反射を防止するため、顔料、染料などの着色剤、無機および／または有機粒子を添加することが好ましい。中でもディスプレイなどの画像品質に影響を与えない黒色となるものが良く、コニカミノルタセンシング株式会社製分光測色計ＣＭ−２５００ｄ（光学系条件はＪＩＳ  Ｚ８７２２（１９８２）の条件ｃに準拠）を用い、光源はＤ６５として測定した結果Ｌ＊が４０以下となるものがよい。黒色の着色剤としては、酸化鉄、チタン、酸化クロムなどの無機顔料、カーボンブラック、アニリンブラック、ペリレン系ブラックの有機顔料、または染料と単独で黒色となる顔料などを使用すればよい。また、黄色、マゼンタ、シアンの3色の着色剤を混合して黒色となるようにしてもよい。【００２７】
また、樹脂層４には、電磁波シールド性を効果的に得るため、アースが取り易いように金属粒子、導電性カーボン粒子、カーボンナノチューブ、導電性高分子など導電性物質を含有しても良い。【００２８】
樹脂層４の厚みは、０．５μm以上、さらには１μｍ以上であることが好ましい。また、１０μｍ以下、さらには６μｍ以下であることが好ましい。この厚みを０．５μｍ以上とすることで、金属層をエッチングする際、マスクとしての機能をより確実に果たさすことができる。一方、１０μｍ以下とすることで、エッチング後、残存する金属層よりもシート面方向に関して突出している樹脂層５（樹脂層下でサイドエッチされた結果突出することになった樹脂層の一部）を容易に除去することができる。【００２９】
なお、本発明において、メッシュパターンとは、最終的に得られる電磁波シールドシートの光を透過する領域内に存在する、金属層ならびに樹脂層で形成された図形のことをいう。【００３０】
最終的に電磁波シールドシートに形成されるメッシュパターンの形状は、シート周縁部への導通が十分確保される形状で有れば、特に限定されない。たとえば幾何学図形を例示できるが、光透過性、さらにはディスプレイの輝度を高めるために、開口率が７０％以上、さらには８０％以上であることが好ましい。一方、電磁波シールド性という観点からは開口率が９５％以下、さらには９０％以下であることが好ましい。【００３１】
メッシュパターンにおける開口部の形状は、ディスプレイの仕様に応じて任意の形状で良く、例えば直線的な線形状で形成される正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、六角形、八角形、十二角形などその他多角形、または曲線的線形状で形成される円形、楕円形、それ以外の環状形などを例示でき、さらにこれらの形状の組合せを例示できる。また、開口部の形状は、シート全面に亘って均一もしくは周期的な形状である必要はなく、不均一な形状であってもよい。しかしながら、製造工程上は直線的な線形状で構成される開口部が好ましく、より好ましくは三角形、四角形である。開口部を直線的な線形状で構成されるものとする場合、シート面方向に突出している樹脂を除去する際の作業が容易になる。【００３２】
メッシュパターンの線幅は、パターンの連続性を確保するために、３μｍ以上であることが好ましい。また、ディスプレイに用いた際の画像の輝度を十分なものとするためには、２５μｍ以下であることがより好ましい。電磁波シールド性とモワレ防止、非視認性などディスプレイの画質品質も考慮すると、５μｍ以上、１５μｍ以下であることがさらに好ましい。【００３３】
本発明において、電磁波シールド性をより高めるためには、最終的な電磁波シールドシートにおいて、金属層のパターン線が分断せずに連続していることが好ましい。そのため、印刷によって設ける樹脂層のエッチングパターンも、線が分断せずに連続するような形状とするのが好ましい。【００３４】
さらに、電磁波シールドシートは、通常、外周の部分が光透過性の必要ない部分となる。そのため、電磁波シールドシートの外周部において、開口部の形状、開口率は特に限定されず、アースが取りやすい開口部のないベタパターンでもよい。【００３５】
また、金属層３上に形成した樹脂層４は、導電性が低い場合、アースと接続する部分の周辺部では化学的に剥離液により溶解剥離、機械的に削りとるなどして除去してもよい。【００３６】
続いて、金属層３上に樹脂層４のエッチングパターンを印刷した後は、その樹脂層４をマスク層として金属層３をエッチングする。その方法としては、金属層３に合わせて公知のエッチング液を使用した浸漬法またはスプレーノズルなどによる吹付き法（シャワー法）などを使用できる。エッチング液としては、導電性金属が銅の場合、例えば塩化第二鉄溶液、塩化第二銅溶液などを、アルミニウムの場合、例えば苛性ソーダ溶液などを選択すればよい。なお、エッチング液に界面活性剤、沈殿封鎖剤などの公知の添加剤を加えてもよい。【００３７】
金属層３をエッチングする前後では、必要に応じて水洗、超音波洗浄、防錆処理、エアーナイフ、加熱乾燥など施してもよい。具体的には、エッチング前に、金属層上のゴミがエッチング液内に混入するのをさけるために水洗やエアーナイフによりゴミを除去してもよい。一方、エッチング後には、シートに付着したエッチング液を洗い流したり、水洗後シートに残っている水滴をエアーナイフや加熱乾燥などで除去したりしてもよい。また、金属層が腐食するのを防ぐためエッチング後に防錆加工を施してもよい。【００３８】
そして、本発明においては、金属層３をエッチングした後、樹脂層のうち残存する金属層よりもシート面方向に突出している部分を除去する。金属層３のエッチングは、該金属の種類、エッチング液およびエッチング方法によって若干違いはあるものの、次のように進む。すなわち、エッチングは、図４に示すように、印刷した樹脂層４のパターンのエッジから鉛直方向に進むと同時に水平方向へも進行する。この時、金属層３のうちエッチングされた厚みをｄ、エッチング前の金属層３の露出部の幅をｗ１、エッチング後の金属層３の露出部の幅をｗ２とすれば、
サイドエッチ量  ｓ＝（ｗ２−ｗ１）／２                  （１）
エッチファクタ  ｅｆ＝ｄ／ｓ＝２ｄ／（ｗ２−ｗ１）      （２）
で表される。上記（２）式のエッチファクタｅｆは、金属層３を構成する金属の種類、エッチング液組成、エッチング条件、エッチング深さ（本発明においては実質的に金属層３の厚みに相当）にもよるが、普通１．０〜３．０の範囲にあることが知られている（金属エッチング技術、佐藤敏一／編、槇書店、１９７３年、７８頁）。該エッチファクタが１．０〜３．０の範囲は、例えば金属層３の厚みｔが１５μｍの場合、サイドエッチ量ｓが５μｍ〜１５μｍとなる。このことから本発明により例えば厚み１５μｍ、パターン線幅１０μｍの金属層３を形成するには、印刷法でパターン線幅が２０〜４０μｍの樹脂層４を印刷し、エッチング後、樹脂層４のうち残存する金属層３よりもシート面方向に関して突出している部分（サイドエッジから張り出している樹脂層５）を除去すればよい。【００３９】
本発明において、エッチング後、樹脂層４のうち残存する金属層３よりもシート面方向に突出している部分５を除去する方法としては、エッチング後に、超音波で樹脂層５を破断させて除去する方法や、粘着ゴムロール、粘着ロール、粘着シート、粘着テープなど粘着材に樹脂層５を転写させ粘着剥離する方法を例示できる。前者は透明基材に擦り傷等の欠陥を与える可能性が低い点で好ましい。特に、透明基材ごと洗浄水などの液体内に浸漬した状態で超音波を与え樹脂層５を破断させる場合、超音波の減衰を防ぎながら液体中に発生するキャビテーションによって樹脂層をより確実に破断することができるうえに、破断した樹脂層が透明基材に再付着することを防止できるので好ましい。一方、後者は、装置が簡素になりメンテナンスが容易である点で好ましく、特に粘着ゴムロールとその粘着ゴムロールに転写したものをさらに粘着ロールで除去する装置が、メンテナンスが容易で好ましい。なお、後者の方法は、水洗い、乾燥後に行うことが好ましい。【００４０】
このような本発明によれば、得られる電磁波シールドシートにおける樹脂層４のメッシュパターンの線幅と金属層３基材側のメッシュパターンの線幅との比を０．９５以上１．０５以下とすることも可能となり、光透過性とともにメッシュパターンの非視認性により優れた光透過性電磁波シールドシートを得ることができる。線幅の比が０．９５以上の場合には、金属層３による画像の悪化が認められず好ましい。また、線幅の比が１．０５以下の場合には、開口率が大きくなり、光透過性が高くなり好ましい。【００４１】
超音波で樹脂層５を破断するには、超音波の周波数が１６ｋＨｚ以上の装置を用いることができる。しかしながら、超音波の周波数は、人間の可聴域に入らず、かつ、除去力が高い２５ｋＨｚ以上が好ましい。一方、周波数が高すぎても除去力が低下するので５０ｋＨｚ以下であることが好ましい。そして、２５〜５０ｋＨｚの範囲内でも２５ｋＨｚに近い方が除去ムラが小さいのでより好ましい。【００４２】
洗浄水などの液体内に浸漬した状態で超音波を与え樹脂層５を破断させる場合、試料と超音波振動子の距離は、概ね、超音波の該液体中での波長の半分の距離の自然数倍であることが好ましい。したがって、超音波の周波数が２５ｋＨｚで、かつ、水中で処理を行うのであれば、試料と超音波振動子の距離は２５〜３０ｍｍ、もしくは、５５〜６０ｍｍ、以降も３０ｍｍ間隔となる距離が好ましい。これら以外の距離では、除去力が小さく、除去不足部分がムラとなって残り易い。なお、この試料と超音波振動子の距離の最適値は、超音波の周波数、液体中での音速によって決まり、複数の周波数の超音波を重ね合わせることで最適な範囲を広げることもできる。【００４３】
一方、超音波振動子と水面の距離は、概ね、（超音波の該液体中での波長の半分の距離の自然数倍）＋（該液体中での波長の４分の１の距離）であることが好ましい。【００４４】
また、複数の振動子を用いてこの処理を行う場合、除去ムラを小さくするためには振動子の配置も重要である。すなわち、電磁波シールドシートは、一般的に、透明基材等を搬送し連続的に製造されるが、複数の振動子を、該搬送方向に直交する方向（以下、交差方向という）に関して、一定間隔で配置することが好ましい。例えば、径４ｍｍのランジュバン型振動子（最大出力５０Ｗ）を用いる場合には、交差方向における２つの振動子の間隔が３０ｍｍ以下になるように、振動子を配置することが好ましい。この距離を３０ｍｍ以下とすることで、振動子間の部分で除去力が低下することを防ぐことができる。交差方向における２つの振動子の間隔をたとえば３０ｍｍ以下にすることが難しい場合には、搬送方向に関して振動子の位置をずらしたり、複数の振動子が設けられた筐体をシート搬送方向に対して傾けたりすればよい。こうすることによって、交差方向における振動子の間隔を狭めることができ、たとえば３０ｍｍ以下とすることができる。その結果、除去ムラの小さいシートを製造することもできる。なお、枚葉式の場合には、振動子に対してシートを動かすこともできるし、シートに対して振動子を動かすことも可能である。【００４５】
以上のようにして製造される本発明の電磁波シールドシートは、プラズマディスプレイなどに取り付けられるフィルターに、反射防止層などとともに好適に設けられる。【００４６】
ディスプレイは、たとえばＰＤＰ、フィルター、電源回路、ビデオ信号からＰＤＰに合った電気信号に変換する回路、等が１つ筐体のなかに収められてなり、ＰＤＰとフィルターの位置関係は後述する通りである。なお、ディスプレイの筐体には、音声を出すためのスピーカーおよびスピーカーの駆動回路、テレビ電波受信回路等を併設することも可能である。【００４７】
本発明の電磁波シールドシートを用いたフィルターは、プラズマディスプレイを構成するパネル（以下、ＰＤＰという）に一般的に次の２つの形態のいずれかで装着される。１つはＰＤＰの前面ガラス板に直接電磁波シールドシートをはりあわせる形態であり、もう１つは別途用意したガラス板などに電磁波シールドシートを貼り合わせ、その貼り合わせ体をＰＤＰの前に若干の空隙をあけて置く形態である。本発明の電磁波シールドシートは、前者の形態で好ましく用いられる。【００４８】
フィルターの構成は、上記２つの形態において、それぞれ以下のようになる。前者の形態では、たとえば、ＰＤＰ側から、衝撃吸収層、電磁波シールドシート（ＰＤＰ側に透明基材）、色調調整層、近赤外線カット層、および反射防止層、となる。後者の形態では、電磁波シールドシート（ＰＤＰ側にパターンを有する樹脂層）、ガラス、色調調整層、近赤外線カット層、および反射防止層、となる。【００４９】
上記各機能を有する層は、各々独立した層であってもよいし、１つの層で複数の機能を発揮するものであってもよい。これらは、限定されるものではないが、それぞれ以下のような構成、組成を有する物を用いることができる。【００５０】
反射防止層は、低屈折率層と高屈折率層の少なくとも２層からなり、高屈折率層をＰＤＰ側に配置する。低屈折率層を形成するには、シランカップリング剤、アルコキシシリル基を有するフッ素樹脂を用いることができる。高屈折率層を形成するには、金属化合物粒子を含有したアクリル系樹脂を用いることができる。金属化合物粒子を併用することは帯電防止効果を得ることができ、塵埃がフィルターに付着することを抑えるので好ましい。それぞれの樹脂は公知の有機溶媒に溶解し、電磁波シールドシートもしくはそれとは別に用意された基材に塗布すればよい。【００５１】
近赤外線カット層は、ジイモニウム系化合物など、近赤外線吸収能を有する色素を電磁波シールドシートの透明基材もしくはそれとは別に用意された基材に塗布することで形成できる。このとき、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ジチオールニッケル錯体系化合物を併用すると、吸収能を高めることができるので好ましい。【００５２】
色調調整層は、例えばポルフィラジン系化合物など、波長５９０ｎｍ付近の可視光線を吸収する色素を電磁波シールドシートの透明基材もしくはそれとは別に用意された基材に塗布して形成することで形成できる。なお、当該色素は、近赤外線吸収能を有する色素とあわせて用い、近高分子樹脂バインダーとともに公知の有機溶媒をもちいて基材に塗布してもよい
【実施例】
【００５３】
各実施例、比較例の評価方法について説明する。【００５４】
（１）全光線透過率
全光線透過率は、日本電色工業（株）製濁度計ＮＤＨ２０００を用い、「プラスチックス透明材料の全光線透過率の試験方法」ＪＩＳ  Ｋ７３６１−１：１９９７に基づいて測定した。電磁波シールドシートの場合には、透明基材側から全光線透過率を測定し、透明基材の場合には、金属層を設けない側から全光線透過率を測定した。シートの４角とシート中央の５点を測定し、その平均値を求めた。全光線透過率が７０％以上あれば良好である。【００５５】
（２）エッチングパターンおよびメッシュパターンの線幅、開口率
印刷された樹脂層のエッチングパターンの線幅（μｍ）、およびエッチング後残存する金属層よりもシート面方向に突出している樹脂層を除去した後のメッシュパターンの線幅（μｍ）、開口率（％）は、顕微鏡写真をもとに測定した。線幅、開口率とも、シートの４角とシート中央の５点を測定点とし、各点ごとに３回測定し、のべ１５点の平均値をもとめた。【００５６】
なお、メッシュパターンの開口率（％）は以下の計算により算出する。
・開口率（％）＝｛（Ｏm×Ｏｄ）／（Ｐｍ×Ｐｄ）｝×１００
ただし、メッシュパターンは図３に示すようなパターンとなっており、Ｐｍ（μｍ）とＰｄ（μｍ）は金属層３および樹脂層４で形成された格子間ピッチであり、Ｏｍ（μｍ）とＯｐ（μｍ）はパターンの開口幅である。【００５７】
（３）樹脂層の厚み
ミクロトームを用いて、電磁波シールドシートの断面を走査型電子顕微鏡（トプコン製  ＡＢＴ−３２  倍率２５００倍）で観察し、樹脂層の厚みを測定した。シートの４角とシート中央の５点を測定点とし、各点ごとに３回測定し、のべ１５点の平均値をもとめた。【００５８】
（４）金属層の厚み  
金属層を金属箔ラミ法で形成した場合は、ラミネート前の導電金属箔そのものをマイクロメーターにより測定し、金属層の厚み（μｍ）を求めた。シートの４角とシート中央の５点を測定点とし、各点ごとに３回測定し、のべ１５点の平均値を求めた。【００５９】
金属層を、真空蒸着法、無電解および電解めっき法など、上記金属箔ラミ法とは別の方法で形成した場合、もしくは上記マイクロメーターによる方法で測定できない場合は、金属層の断面を電子走査線顕微鏡（トプコン製  ＡＢＴ−３２  倍率２５００倍で観察し、シートの４角とシート中央の５点を測定点とし、各点ごとに３回測定し、のべ１５点の平均値を求め、金属層の厚み（μｍ）とした。【００６０】
（５）電磁波シールド性
アドバンテスト（株）製スペクトラムアナライザシステム、シールド評価機器（ＴＲ１７０３１Ａを用い、ＫＥＣ（関西電子工業振興センター）法で、１０ＭＨｚ〜１ＧＨｚの周波数範囲の電界波減衰（ｄＢ）、磁界波減衰（ｄＢ）を測定した。【００６１】
電界波減衰（ｄＢ）、磁界波減衰（ｄＢ）は値が大きいほど遮蔽性に優れていることを示す。評価基準（市場要求）は以下の通りである。電界波減衰と磁界波減衰のいずれも「○」であれば、電磁波シールド性は良好である。【００６２】
電界波減衰：４０ｄＢ以上・・○、４０ｄＢ未満・・×  
磁界波減衰：１５ｄＢ以上・・○、１５ｄＢ未満・・×  
（６）非視認性
一般的な部屋の蛍光灯下のもとで電磁波シールドシートを０．５ｍ離れた場所から観察した。評価基準は以下の通りである。「○」であれば良好である。【００６３】
メッシュパターンの幾何学図形を認識できないもの・・・○
メッシュパターンの幾何学図形を認識できるもの・・・・×
（７）画質（ディスプレイ画面の視認性）
電磁波シールドシートをＰＤＰ画面の最前面に樹脂層が観察側になるよう貼りつけ、正面、上下、左右などあらゆる方向から目視観察を行い、以下基準で評価した。「○」であれば良好である。【００６４】
画面にムラやぎらつきが発生しない・・・・・・○
画面にムラまたは／およびぎらつきが発生・・・×
（実施例１）
全光線透過率９３％、厚み１００μｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製“ルミラー”Ｕ３４）に金属層として厚み１２μｍの銅箔（古河サーキットフォイル（株）製）をドライラミネート用２液タイプ接着剤（東洋モートン（株）製 主剤AD−７P１／硬化剤ＣＡＴ−１０Ｌ）を用いてラミネートし、導電性金属シートを用意した。次に、水なし平版（東レ（株）製ネガタイプＴＡＮ２４Ｅ）および紫外線硬化型インキ（（株）ティーアンドケイ東華製“ベストキュアー”ＵＶ１７１墨インキ）を用いて、導電性金属シートの銅箔面に、線幅３５μｍ、線ピッチ２５０μｍの格子状パターンをオフセット印刷法（速度５ｍ／分）で２回印刷し、その後ＵＶキュアし、厚み３μｍの格子状の黒色樹脂層を形成した。次いで、３５〜４０℃の範囲に温度調整した塩化第二鉄溶液でシャワー法より１．５分間エッチングして、樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅箔を除去し、水洗い、乾燥した。最後に、粘着材として粘着ゴムローラー（ＴＥＫＮＥＫ社製クリーニングローラーＤＣＲ、グレードＦ）を用い、黒色樹脂層のうち残存する銅箔よりもシート面方向に突出している部分を除去し、格子状のメッシュパターン（線幅１１μｍ、線ピッチ２５０μｍ、開口率９０％）を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。【００６５】
得られた光透過性電磁波シールドシートの全光線透過率を（１）、電磁波シールド性を（５）、非視認性を（６）、画質を（７）の方法で評価した。【００６６】
結果を表１に示す。【００６７】
（実施例２）
全光線透過率８９％、厚み３８μｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製“ルミラー”Ｔ６０）上に金属層として銅をスパッタ、電解めっきして厚み５μｍの導電性金属シートを用意した。次に、この導電性金属シートの銅めっき面に、線幅１７μｍ、線ピッチ２５０μｍの格子状パターンを、実施例１と同様の方法で１回印刷し、その後ＵＶキュアし、厚み１．５μmの格子状の黒色樹脂層を形成した。次いで、３５〜４０℃の範囲に温度調整した塩化第二鉄溶液でシャワー法より０．８分間エッチングして樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅を除去し、水洗い、乾燥した。【００６８】
次いで、実施例１と同様の方法で、黒色樹脂層のうち残存する銅よりもシート面方向に突出している部分を除去した。その後、該シートをアクリル系粘着剤で全光線透過率９２％、厚み１００μｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製“ルミラー”Ｕ４２６）と貼り合せ、格子状のメッシュパターン（線幅７μｍ、線ピッチ２５０μｍ、開口率９５％）を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例１と同様に評価した。【００６９】
結果を表１に示す。【００７０】
（実施例３）
全光線透過率９３％、厚み１００μｍのＰＥＴフィルムに代えて全光線透過率は９３％、厚み１２５ｍのＰＥＴフィルムを用い、厚み１２μｍの銅箔に代えて厚み１０μｍ銅箔（日本電解（株）製）を用いた以外は実施例１と同様に形成した導電性金属シートの銅箔面に、ニューロング精密工業社製スクリーン印刷機ＬＳ−１５０型および２液エポキシ樹脂硬化型インキ（藤倉化成（株）製“ドータイト”ＳＨ−３Ａ）を用いて、線幅４５μｍ、線ピッチ３００μｍの格子状パターンをスクリーン印刷法（メッシュ＃４００、スキージ速度６ｍ／分、スキージ角度７０度）で１回印刷し、その後１２０℃３０分加熱し、厚み８μｍの格子状の黒色樹脂層を形成した。その後は、エッチング時間を１．７分間に変えた以外は実施例１と同様の方法で、格子状のメッシュパターン（線幅２３μｍ、線ピッチ３００μｍ、開口率８５％）を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例１と同様に評価した。【００７１】
結果を表１に示す。【００７２】
（実施例４）
全光線透過率９２％、厚み１００μｍのＰＥＴフィルム（東レ（株）製“ルミラー”Ｕ４２６）に金属層として厚み１５μｍのアルミ箔（日本製箔（株）製）をドライラミネート用２液タイプ接着剤（大日本インキ化学工業（株）製“ディックドライ” 主剤ＬＸ−９０１／硬化剤ＫＷ−７５）を用いてラミネートし、導電性金属シートを用意した。次に、この導電性金属シートのアルミ箔面に、線幅４５μｍ、線ピッチ３００μｍの格子状パターンを実施例３と同様にスクリーン印刷法で印刷し、厚み８μｍの格子状の黒色樹脂層を形成した。その後、４５〜５０℃の範囲に温度調整した苛性ソーダ液でシャワー法より３．５分間エッチングし、樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下のアルミ箔を除去、その後、水洗い中にナイロン製洗浄ブラシで黒色樹脂層のうち残存するアルミ箔よりもシート面方向に突出している部分を除去して乾燥し、格子状の導電性パターン（線幅１５μｍ、線ピッチ３００μｍ、開口率９３％）を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例１と同様に評価した。【００７３】
結果を表１に示す。【００７４】
（実施例５）
実施例１と同様の方法で導電性金属シートを用意、黒色樹脂層を形成し、エッチングを行って樹脂層を印刷していない部分および樹脂層の線幅端部下の銅箔を除去した。次いで、水洗いをしながら、超音波で黒色樹脂層のうち残存する銅箔よりもシート面方向に突出している部分を除去、乾燥し、格子状の導電性パターン（線幅１１μｍ、線ピッチ２５０μｍ、開口率９０％）を有する光透過性電磁波シールドシートを得た。【００７５】
なお、超音波で樹脂を除去するにあたっては、洗浄槽としてＳ＆Ｃジャパン製アクアトロン６００をシート搬送方向に２台ならべるとともに、搬送方向に直交する方向における振動子の間隔を２５ｍｍとした。また、超音波の発振周波数は２５ｋＨｚ、振動子面は水深７０ｍｍとし、さらにシートの搬送速度は１．５ｍ／分、搬送位置は振動子面から２５ｍｍとした。【００７６】
得られた光透過性電磁波シールドシートを実施例１と同様に評価した。【００７７】
結果を表１に示す。【００７８】
（実施例６）
シートの搬送位置を振動子面から４０ｍｍとした以外は、実施例５と同様にして光透過性電磁波シールドシートを作成し、評価した。【００７９】
結果を表１に示す。【００８０】
（比較例１）
エッチング後、残存する銅箔よりもシート面方向に突出している黒色樹脂層を粘着材で除去しないほかは、実施例１と同様に光透過性電磁波シールドシートを形成し、実施例１と同様に評価した。【００８１】
結果を表１に示す。【００８２】
（比較例２）
実施例１と同様にして作成した光透過性電磁波シールドシートの樹脂層を研磨パッドによって完全に除去し、実施例１と同様に評価した。結果を表１に示す。【００８３】
【表１】
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【００８４】
実施例１〜実施例６は、市場から要求される「光透過性」、「電磁波シールド性」、「非認識性」、「画質劣化させない」をすべて満足した。実施例６は、電磁波シールド性、メッシュパターンの非視認性、画質に差はなかったものの、顕微鏡観察時に、わずかではあるが、金属層よりも突出している樹脂層で除去しきれない部分が確認された。比較例１では、エッチング後に残存している銅箔よりもシート面方向に突出している黒色樹脂層を除去していないため、導電性パターンの線幅が広くなり、目視観察で格子状パターンが見えた。比較例２は、金属層の光沢が視認でき、メッシュパターンの非視認性が悪化した。そして、銅箔の色調により画像の色調が変化したため、画像本来の色調を再現できなかった。
【産業上の利用の可能性】
【００８５】
電磁波を発生するプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ），陰極線管（ＣＲＴ）など画像表示部分等での電磁波を遮蔽するシートとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】図１は、本発明の一実施形態を示す光透過性電磁波シールドシートの製造工程図（概略図）である。
【図２】図２は、従来のフォトリソ法による光透過性電磁波シールドシートの製造工程（概略図）である。
【図３】図３は、実施例で作成した光透過性電磁波シールドシートのメッシュパターンを示す概略図である。
【図４】図４は、エッチング時のサイドエッチおよびエッチングファクタを説明する概略図である。
【符号の説明】
【００８７】
１・・・透明基材
２・・・接着層（もしくは透明基材の表面処理層）
３・・・金属層
４・・・印刷法により形成した樹脂層、
５・・・エッチング後に残存する金属層よりもシート面方向に関して突出している樹脂層
６・・・レジストフィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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