(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モリブデンプレートの製造方法において、前記方法が
（ａ）モリブデン酸アンモニウムを還元し、モリブデン金属粉末を形成し、
（ｂ）モリブデン金属粉末および合金成分からなる構成材料を団結し、長さ方向の軸を有する第１加工品を形成し、合金成分がチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択され、
（ｃ）第１加工品を熱処理し、長さ方向の軸に対して直角をなす第１加工品の断面積が減少する程度に第１加工品に第１方向に熱機械的力を作用し、これにより第２加工品を形成し、
（ｄ）第２加工品を熱処理し、かつ、長さ方向の軸に対して直角をなす第２加工品の断面積が増加する程度に第２加工品に第２方向に熱機械的力を作用し、
（ｅ）熱機械的に処理された第２加工品を再結晶熱処理工程で処理し、これにより熱処理された加工品を形成し、
（ｆ）熱処理された加工品をスライス工程または機械処理工程で処理し、これにより熱機械的に加工されたモリブデンプレートを形成する
ことからなるモリブデンプレートの製造方法。
【請求項２】
第１加工品が更にニオブを約３質量％より少ない量で含有する請求項１記載の方法。
【請求項３】
第１加工品が更にタングステンを約１〜約３０質量％の範囲の量で含有する請求項１記載の方法。
【請求項４】
構成材料を粉末冶金技術により第１加工品に団結する請求項１記載の方法。
【請求項５】
構成材料をアーク鋳造技術により第１加工品に団結する請求項１記載の方法。
【請求項６】
アーク鋳造技術が真空アーク鋳造技術である請求項５記載の方法。
【請求項７】
第１加工品がビレットまたはインゴットであり、ビレットまたはインゴットの押出により第１加工品を、約３：１〜約４：１の範囲の横断面積の減少比（Ｄ０：Ｄｆ）に熱機械的に処理する請求項１記載の方法。
【請求項８】
工程（ｄ）において第２加工品をアップセット鍛造法で処理する請求項１記載の方法。
【請求項９】
第２加工品を、プレートを形成するために、寸法が調節された、閉じたダイを使用する閉鎖型鍛造法によりアップセット鍛造する請求項８記載の方法。
【請求項１０】
第２加工品を、プレートを形成するために、寸法が調節された、開いたダイを使用する開放型鍛造法によりアップセット鍛造する請求項８記載の方法。
【請求項１１】
工程（ｅ）の方法により形成されるプレートが更に心棒を有するように、工程（ｄ）において閉じたダイを、心棒の型を含むように更に寸法を調節する、請求項９記載の方法。
【請求項１２】
プレートおよびプレートに結合した心棒を有する請求項１１記載の方法により製造された部品。
【請求項１３】
均一な粒子構造を有するプレートである請求項１記載の方法により製造されたプレート。
【請求項１４】
合金成分が約１.２質量％以下の量で存在する請求項１記載の方法。
【請求項１５】
合金成分が約１質量％〜約１.５質量％の範囲の量で存在する請求項１記載の方法。
【請求項１６】
プレートが約１"〜約１４"の範囲の直径および約１／４"〜約７"の範囲の厚さ／高さを有する請求項１記載の方法。
【請求項１７】
製造されたプレートが約１６００℃の温度にさらされた場合に、前記プレートが少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する請求項１記載の方法。
【請求項１８】
合金成分が酸化ランタンを有し、製造されたプレートが酸化ランタンを有せずに製造されたプレートに比べて改良されたクリープ抵抗を有する請求項１記載の方法。
【請求項１９】
（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料
からなる群から選択される熱機械的に加工された構成材料からなるプレートにおいて、熱機械的に加工された構成材料は、前記プレートが約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する程度に当該構成材料の単一の長さの方向の軸に沿って多方向に作業されていることを特徴とする熱機械的に加工された構成材料からなるプレート。
【請求項２０】
プレートが更に心棒を有する請求項１９記載のプレート。
【請求項２１】
（ａ）（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料
からなる群から選択される熱機械的に加工された構成材料からなるプレート、その際、熱機械的に加工された構成材料は、前記プレートが約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する程度に当該構成材料の単一の長さの方向の軸に沿って多方向に作業されており、
（ｂ）プレートの表面に配置された焦点通路
（ｃ）プレートから延びる心棒
からなるＸ線ターゲット。
【請求項２２】
心棒が、
（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有する構成材料
からなる群から選択される熱機械的に加工された構成材料からなり、心棒が約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの強度を有する請求項２１記載のターゲット。
【請求項２３】
（ａ）モリブデン酸アンモニウムを還元し、モリブデン金属粉末を形成し、
（ｂ）モリブデン金属粉末および合金成分からなる構成材料を団結し、長さ方向の軸を有する第１加工品を形成し、合金成分がチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択され、
（ｃ）第１加工品を熱処理し、第１加工品の長さ方向の軸に対して直角をなす断面積が減少する程度に第１加工品に第１方向に熱機械的力を作用し、これにより第２加工品を形成し、
（ｄ）第２加工品を熱処理し、かつ、第２加工品の長さ方向の軸に対して直角をなす断面積が増加する程度に第２加工品に第２方向に熱機械的力を作用し、
（ｅ）熱機械的に処理された第２加工品を再結晶熱処理工程で処理し、これにより熱処理された加工品を形成し、
（ｆ）熱処理された加工品をスライス工程または機械処理工程で処理し、これにより熱機械的に加工されたモリブデンプレートを形成する、
方法により製造された、均一な粒子構造を有するモリブデンプレート。
【請求項２４】
プレートが更にプレートに取り付けられた心棒を有するものであって、第２加工品の熱処理が、プレートを形成するために寸法が調節された閉じたダイを使用する閉鎖型鍛造法によるアップセット鍛造を含み、その際、この閉じたダイは、更に心棒の型を含むように寸法を調節されている、請求項２３に記載のモリブデンプレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の背景
Ｘ線製造装置は工業および医学で広い範囲の用途に使用されるきわめて価値ある手段である。例えばこのような装置は診断および治療放射線学、半導体製造および製作、材料分析および試験のような分野に一般に使用される。
【０００２】
多くの用途に使用されているが、Ｘ線装置の基本構造および操作は類似している。電子が発生するとＸ線が製造され、高速に加速され、突然中断する。この全部の工程は典型的にＸ線を発生する管に形成される真空内で行う。Ｘ線管は通常３つの主な部品を含む。電子の供給源であるカソードアセンブリー、カソードから離れて軸方向に配置され、カソードにより放出される電子を受け取るように配置されるアノード、カソードからアノードに電子を進行するための高い電圧を印加する装置である、一般にカソードアセンブリーはカソードキャップを有する金属カソードヘッドからなる。電流により加熱する場合に電子を放出するフィラメントがカソードキャップの内部に配置されている。
【０００３】
通常真空にしたガラス管の内部に３つのＸ線管部品が配置され、電気回路内で接続されている。アノードとカソードの間にきわめて高い電圧（約一万ボルトから数十万ボルトより大きいまでの範囲にわたる）を印加することができるように電気回路が接続されている。この高い電圧差はカソードフィラメントから放出される電子をきわめて高い速度でアノードに配置されたＸ線ターゲットの方向に希薄流またはビームの形で加速する。Ｘ線ターゲットは焦点通路を有するプレートを有する。電子がターゲット表面を振動すると、振動する電子ビームの運動エネルギーがきわめて高い周波数の電磁波、すなわちＸ線に変わる。得られるＸ線はアノードターゲット表面から発生し、患者の身体の部分のような物体に浸透するためにＸ線装置に形成される窓を通してコリメートされる。
【０００４】
残念ながらプレートを製造する公知の方法は技術者がＸ線ターゲットに有効なプレートを速く有効に製造する簡単で効果的な方法の開発を妨げる制限を有する。公知の単一鍛造法の特に制限する欠点は、例えば、この方法が無駄が多く、能率的でなく、費用がかかり、実用的に実施できないことである。公知方法は生成物を均一性が乏しい粒度を有するものにする。粒度の乏しい均一性はＸ線アノードの性能を損なう。公知方法は更に乏しい温度特性を有するアノードを生じる。
【０００５】
前記の理由に対して均一な特性を有するＸ線ターゲットに使用するプレートを製造する方法を開発することが必要である。
【０００６】
前記の理由に対して均一な特性を有するＸ線ターゲットを製造する方法を開発することが必要である。
【０００７】
発明の要約
本発明は横方向に作業されたモリブデンプレートの製造方法に関する。前記プレートは有利にＸ線ターゲットに使用され、プレートがアノードとして機能する。前記方法は、
（ａ）モリブデン酸アンモニウムを還元し、モリブデン金属粉末を形成し、
（ｂ）モリブデン金属粉末および合金成分からなるモリブデン成分を団結し、第１加工品を形成し、合金成分がチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択され、
（ｃ）第１加工品を熱処理し、加工品に第１方向に熱機械的力を作用し、これにより第２加工品を形成し、
（ｄ）第２加工品を熱処理し、第２加工品に第１方向と異なる第２方向に熱機械的力を作用し、
（ｅ）熱機械的に処理された第２加工品を再結晶熱処理工程で処理し、これにより熱処理され、横方向に作業された加工品を形成し、
（ｆ）熱処理され、横方向に作業された加工品をスライス工程または機械処理工程で処理し、これにより横方向に作業されたモリブデンプレートを形成する
ことからなる。
【０００８】
１つの実施態様において、本発明は前記方法により製造された部品に関し、前記部品がプレートおよびプレートに結合した心棒を有する。
【０００９】
１つの実施態様において、本発明は、
（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分
からなる群から選択される横方向に作業されたモリブデン成分を含有するプレートに関し、前記プレートが約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向の強度を有する。
【００１０】
他の実施態様において、本発明はＸ線ターゲットに関し、前記ターゲットは、
（ａ）（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分
からなる群から選択される横方向に作業されたモリブデン成分からなるプレート、前記プレートは約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する
（ｂ）プレートの表面に配置された焦点通路
（ｃ）プレートから延びる心棒
からなる。
【００１１】
図面の説明
本発明のこれらの、他の特徴、構成および利点は以下の説明および請求項により良好に理解される。
図１は本発明によりビレット／インゴットを押出できることを示す図であり、
図２（ａ）および２（ｂ）は本発明により第１加工品をアップセット鍛造できることを示す図であり、
図３（ａ）はＡで中央のディスク作用材料を除去したアップセット鍛造作業の間に製造した第２加工品の図であり、
図３（ｂ）はアップセット鍛造法から形成された第２加工品およびビレットから薄く切り取ることができるプレートの図であり、
図４はハンマー鍛造で処理される加工品を示す側面図であり、
図５はハンマー鍛造で処理される加工品から形成される第２加工品を示し、
図６は本発明により製造されたプレートに結合できる心棒の側面図である。
【００１２】
発明の説明
横方向に作業されたモリブデンプレートは、一般に、
（ａ）モリブデン酸アンモニウムを還元し、モリブデン金属粉末を形成し、
（ｂ）モリブデン金属粉末および合金成分からなるモリブデン成分を団結し、第１加工品を形成し、合金成分がチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択され、
（ｃ）第１加工品を熱処理し、加工品に第１方向に熱機械的力を作用し、これにより第２加工品を形成し、
（ｄ）第２加工品を熱処理し、第２加工品に第１方向と異なる第２方向に熱機械的力を作用し、
（ｅ）熱機械的に処理された第２加工品を再結晶熱処理工程で処理し、これにより熱処理され、横方向に作業された加工品を形成し、
（ｆ）熱処理され、横方向に作業された加工品をスライス工程または機械処理工程で処理し、これにより横方向に作業されたモリブデンプレートを形成する
方法により製造される。
【００１３】
モリブデン金属粉末は任意の適当な方法によりモリブデン酸アンモニウムを還元することにより製造する。一般にこれは一般的な水素還元法により行う。この方法によりモリブデン金属粉末および合金成分を含有するモリブデン成分を団結し、第１加工品を形成する。１つの実施態様において、粉末冶金技術によりモリブデン成分を第１加工品に団結する。この方法は一般にモリブデン金属粉末および任意の合金成分を第１加工品の未処理プレフォームにするコールドアイソスタティックプレス工程を含む。他の実施態様において、溶融鋳造技術によりモリブデン成分を第１加工品に団結する。この方法は真空アーク鋳造法、電子ビーム溶融法、またはインゴットのプラズマアーク鋳造法を含んでいてもよい。合金成分は一般にチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される。１つの実施態様において、第１加工品が更にニオブを約３質量％未満、有利に約１質量％〜約３質量％の量で含有する。他の実施態様において、合金成分が約１.２質量％以下の量で存在する。他の実施態様において、合金成分が約１質量％〜約１.５質量％の範囲の量で存在する。他の実施態様において、第１加工品が更にタングステンを約１質量％〜約３０質量％の範囲の量で含有する。
【００１４】
第１加工品を熱処理し、第１方向に熱機械的力を作用し、第２加工品を形成する。第１加工品の熱処理は一般に少なくとも約２１００°Ｆ（約１１４８℃）、有利に約２５００°Ｆ（約１３７１℃）〜約３０００°Ｆ（１６４８℃）の温度で行う。
【００１５】
熱処理した第１加工品を任意の熱機械的処理で処理し、熱機械的処理は本発明により実施する場合にＸ線ターゲットに有効なプレートを製造する。１つの実施態様において、第１加工品がビレットまたはインゴットであり、ビレットまたはインゴットを、約３：１〜約４：１の範囲の横断面積の減少比（Ｄ０：Ｄｆ）に押し出すことにより第１加工品を熱機械的処理する。より有利に図１により、ビレット／インゴットを長さＬに沿って適当な減少比（Ｄ０：Ｄｆ）に押し出す。ビレット長さは変動することができ、有利に約１４”（約３６ｃｍ）〜約３２”（約８２ｃｍ）である。
【００１６】
第２加工品を引き続き熱処理し、第１方向と異なる第２方向に熱機械的力を作用する。１つの実施態様において、第２加工品をアップセット鍛造する。第１加工品の熱処理は一般に少なくとも約２１００°Ｆ（約１１４８℃）、有利に約２５００°Ｆ（約１３７１℃）〜約３０００°Ｆ（１６４８℃）の温度で行う。
【００１７】
熱処理された第２加工品を任意の熱機械的処理で処理し、熱機械的処理は本発明により実施する場合にＸ線ターゲットに有効なプレートを製造する。１つの実施態様において、第２加工品を、プレートを形成するために寸法が調節された閉鎖したダイを使用する閉鎖型鍛造法によりアップセット鍛造する。他の実施態様において、第２加工品を、プレートを形成するために寸法が調節された開放ダイを使用する開放型（パンケーキ）鍛造法によりアップセット鍛造する。他の実施態様において、前記方法により形成されたプレートが更に心棒を有するように心棒のための型を有する（図６参照）ように閉鎖したダイを更に寸法を調節する。本発明はそれ自体、本発明の方法により製造される部品を有し、前記部品はプレートおよびプレートに結合した心棒を有する。
【００１８】
図２（ａ）および図２（ｂ）に関して、図２（ａ）はアップセット鍛造工程の開始時の第１加工品（１０）を示し、前記加工品はプレスライナー（１２）内に、中央ディスク（１４，１６）の間に、および押出ライナー（１９）の内部に配置され、移動する中央ディスクが（１４）が固定した中央ディスク（１６）に対して主要ドロップハンマートン数（１８）を負荷する。図２（ｂ）は鍛造工程の終了を示し、加工品（１０）に熱機械的力を作用し、これにより鍛造した加工品（または鍛造したビレット（２０））を形成する。
【００１９】
他の実施態様において、図４および５に示されるように、第２加工品をアップセット鍛造の代わりにハンマー鍛造する、図４はハンマー鍛造される加工品を示し、図５は第１加工品から形成される第２加工品を示す。この実施態様において、Ｄ０横断面積とＤｆ横断面積の比は有利に１：２.０〜１：２.８の範囲である。
【００２０】
熱機械的処理された第２加工品を再結晶熱処理工程で処理して完全にアニーリングされた、横方向に作業された加工品を形成する。これは一般に通常の熱処理法により行う。
【００２１】
熱処理は一般に少なくとも約２１００°Ｆ（約１１４８℃）、有利に約２５００°Ｆ（約１３７１℃）〜約３０００°Ｆ（１６４８℃）の温度で行う。
【００２２】
熱処理された、横方向に作業された加工品を引き続きスライス工程または機械処理工程で処理し、これにより横方向に作業されたモリブデンプレートが形成される。アップセット鍛造の間にビレットを形成しない材料（作用された材料）を、図３（ａ）および図４に示されるように、中央ディスク（ＣＤ）により除去する。プレートをビレットから図３（ｂ）に示される方向で薄く切り取ることができる。有利に全部のビレットをプレートの製造のために使用する。
【００２３】
本発明の方法により製造されたプレートは、プレートをスパッタリングターゲットに使用できる任意の適当な寸法を有する。１つの有利な実施態様において、プレートは約６”（約１５ｃｍ）〜約１４”（３６ｃｍ）の範囲の直径および約０.５”（約１ｃｍ）〜約２”（約５ｃｍ）の範囲の厚さ／高さを有する。他の実施態様において、プレートは約１”（約２.５４ｃｍ）〜約１４”（３６ｃｍ）の範囲の直径および約１／４”（約０.６ｃｍ）〜約７”（約１８ｃｍ）の範囲の厚さ／高さを有する。
【００２４】
本発明により製造されたプレートは有利に高温特性を有する。１つの実施態様において、プレートはプレートを約１６００℃の温度にさらした場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向の強度を有する。合金成分が酸化ランタンを含有する場合は、本発明の方法により製造されるプレートは酸化ランタンを有せずに製造したプレートに比べて改良されたクリープ抵抗を有する。１つの実施態様において、プレートは更に心棒を有する。
【００２５】
本発明の１つの有利な実施態様において、本発明はそれ自体
（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分
からなる群から選択される横方向に作業されたモリブデン成分を有するプレートを提供し、前記プレートは約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する。
【００２６】
１つの実施態様において、心棒は、
（ｉ）モリブデンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉ）モリブデン、ニオブ、およびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分または
（ｉｉｉ）モリブデン、約１〜約３０質量％の範囲の量のタングステンおよびチタン、ジルコニウム、ハフニウム、炭素、酸化ランタンおよびこれらの組合せ物からなる群から選択される合金成分を含有するモリブデン成分
からなる群から選択される横方向に作業されたモリブデン成分を含有し、前記心棒は約１６００℃の温度にさらされた場合に、少なくとも約６０ｋｓｉの半径方向強度を有する。
【００２７】
本発明を以上のとおり説明の目的のために詳細に説明したが、この説明は前記目的のためのみであり。請求の範囲により限定されるものを除いて当業者により本発明の思想および範囲から逸脱することなく変形がなされることが理解される。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明によりビレット／インゴットを押出できることを示す図である。
【図２ａ】アップセット鍛造工程の開始時の第１加工品の図である。
【図２ｂ】第１加工品に熱機械的力を作用して鍛造した加工品を形成する工程の終了の図である。
【図３ａ】Ａで中央のディスク作用材料を除去したアップセット鍛造作業の間に製造した第２加工品の図である。
【図３ｂ】（ｂ）はアップセット鍛造法から形成された第２加工品およびビレットから薄く切り取ることができるプレートの図である。
【図４】ハンマー鍛造で処理される加工品を示す側面図である。
【図５】ハンマー鍛造で処理される加工品から形成される第２加工品を示す図である。
【図６】本発明により製造されたプレートに結合できる心棒の側面図である。
【図１】
0004728225.tif 000002
【図２（ａ）】
0004728225.tif 000003
【図２（ｂ）】
0004728225.tif 000004
【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
0004728225.tif 000006
【図４】
0004728225.tif 000007
【図５】
0004728225.tif 000008
【図６】
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