(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を圧縮して吐出する複数の圧縮機と、
該複数の圧縮機から吐出された圧縮空気を貯留する空気タンクと、
内部に吸着剤が充填され前記空気タンクから送られる圧縮空気のうちの一の気体を分離して他の気体を製品ガスとして生成する吸着工程を順次行う複数の吸着槽と、
前記複数の圧縮機の運転を制御する制御手段とを有する気体分離装置において、
前記制御手段は、前記複数の吸着槽を順に前記吸着工程を行わせ、その際に、一の吸着槽の吸着工程時は、前記複数の圧縮機のうちの一の圧縮機を最長時間運転させ、他の圧縮機を停止または前記一の圧縮機よりも短い時間運転させるように制御し、次の吸着槽の吸着工程時は、前記他の圧縮機のうちの一台を最長時間運転させ、前記一の圧縮機を停止または前記他の圧縮機のうちの一台よりも短い時間運転させるように制御することを特徴とする気体分離装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記一の圧縮機を、次の吸着槽の吸着工程の開始後の一部の時間まで連続して運転させるように制御することを特徴とする請求項１に記載の気体分離装置。
【請求項３】
前記複数の圧縮機と前記複数の吸着槽とを同数で構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の気体分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体分離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
気体分離装置として、例えば、空気を圧縮する複数の圧縮機と、内部に吸着剤が吸着され圧縮機から吐出された圧縮空気のうちの一の気体を分離して他の気体を製品ガスとして生成する複数の吸着槽とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−３２９９８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の気体分離装置において、複数の圧縮機の運転制御は、これらが吐出する圧縮空気を貯留する空気タンク内の圧力に基づいて行われることになり、余剰な空気を外部に排気しつつの１００％での負荷運転、インバータ制御、台数制御等が一般的となっている。これらの場合、各圧縮機は、空気タンク内の圧力を検知して行われる圧力制御で制御されるため、周囲温度や、製品ガスの顧客による使用量、時系列的な圧縮機の性能低下による影響を受けることになり、運転時間が毎回変化してしまう。よって、各圧縮機の運転時間に個体差が生じることになり、メンテナンス管理が困難になってしまう。
【０００４】
したがって、本発明は、複数の圧縮機のメンテナンス管理を容易に行うことができる気体分離装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明は、空気を圧縮して吐出する複数の圧縮機と、該複数の圧縮機から吐出された圧縮空気を貯留する空気タンクと、内部に吸着剤が充填され前記空気タンクから送られる圧縮空気のうちの一の気体を分離して他の気体を製品ガスとして生成する吸着工程を順次行う複数の吸着槽と、前記複数の圧縮機の運転を制御する制御手段とを有する気体分離装置において、前記制御手段は、前記複数の吸着槽を順に前記吸着工程を行わせ、その際に、一の吸着槽の吸着工程時は、前記複数の圧縮機のうちの一の圧縮機を最長時間運転させ、他の圧縮機を停止または前記一の圧縮機よりも短い時間運転させるように制御し、次の吸着槽の吸着工程時は、前記他の圧縮機のうちの一台を最長時間運転させ、前記一の圧縮機を停止または前記他の圧縮機のうちの一台よりも短い時間運転させるように制御することを特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、各圧縮機の運転時間を平均化することができる。したがって、複数の圧縮機のメンテナンス管理を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の一実施形態の気体分離装置を図面を参照して以下に説明する。
図１に示すように、本実施形態の気体分離装置１は、空気を圧縮する複数具体的には三台の圧縮機２Ａ〜２Ｃと、これら圧縮機２Ａ〜２Ｃにより生成された圧縮空気を乾燥させる冷凍式のエアドライヤ４と、このエアドライヤ４に接続されこのエアドライヤ４で乾燥後の圧縮空気を貯留する１本の共通空気タンク５とを有している。
【０００８】
また、気体分離装置１は、共通空気タンク５に接続される複数具体的には３個の供給開閉弁８Ａ〜８Ｃと、それぞれが一対一で設けられた供給開閉弁を介して共通空気タンク５に接続される複数具体的には３本の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃとを有している。これらの吸着槽１０Ａ〜１０Ｃは、ＰＳＡ（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｗｉｎｇ  Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）式のものであり、内部に分子篩カーボン等の吸着剤が充填され、供給された圧縮空気のうちの一の気体である酸素を分離して他の気体である窒素を製品ガスとして生成する吸着工程を行うものである。
【０００９】
また、気体分離装置１は、吸着槽１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれに一対一で設けられて対応する吸着槽内から気体を外気に排出する排気開閉弁１１Ａ〜１１Ｃと、吸着槽１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれに一対一で設けられて対応する他の一の吸着槽との連通・遮断を切り替える連通開閉弁１２Ａ〜１２Ｃと、吸着槽１０Ａ〜１０Ｃのそれぞれに一対一で設けられて対応する吸着槽から窒素ガスを取り出す取出開閉弁１３Ａ〜１３Ｃと、これら取出開閉弁１３Ａ〜１３Ｃを介してすべての吸着槽１０Ａ〜１０Ｃに接続されて窒素ガスを貯留する１本の窒素ガスタンク１５と、窒素ガスタンク１５から供給先に供給する窒素ガスの濃度を検出する濃度センサ１６と、これらを制御する制御部（制御手段）２０とを有している。
【００１０】
ここで、制御部２０は、複数の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃに対して順に吸着工程を行わせ、その際に、複数の圧縮機２Ａ〜２Ｃを、一の吸着槽の吸着工程の時間は一の圧縮機を運転するように、順に運転する。つまり、制御部２０は、吸着槽１０Ａ、吸着槽１０Ｂ、吸着槽１０Ｃ、吸着槽１０Ａ、…の順番を繰り返すように吸着工程を同じ所定の吸着時間ＴＸ１だけそれぞれ行わせることになり、その際に、圧縮機２Ａ〜２Ｃを、一の吸着槽１０Ａの吸着工程の吸着時間ＴＸ１の間にわたって一の圧縮機２Ａを連続で運転し、一の吸着槽１０Ｂの吸着工程の吸着時間ＴＸ１の間にわたって一の圧縮機２Ｂを連続で運転し、一の吸着槽１０Ｃの吸着工程の吸着時間ＴＸ１の間にわたって一の圧縮機２Ｃを連続で運転し、というように、圧縮機２Ａ、圧縮機２Ｂ、圧縮機２Ｃ、圧縮機２Ａ、…の順番を繰り返すように運転する。
【００１１】
また、制御部２０は、一の吸着槽１０Ａの吸着工程の所定の吸着時間ＴＸ１にわたって運転を継続する一の圧縮機２Ａを次の吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時の一部の時間まで運転することになり、一の吸着槽１０Ｂの吸着工程の吸着時間ＴＸ１にわたって運転を継続する一の圧縮機２Ｂを次の吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時の一部の時間まで運転することになり、一の吸着槽１０Ｃの吸着工程の吸着時間ＴＸ１にわたって運転を継続する一の圧縮機２Ｃを次の吸着槽１０Ａの吸着工程開始時の一部の時間まで運転することになる。
【００１２】
具体的には、図２のタイミングチャートに示すように、吸着槽１０Ａの吸着工程において、その開始時点ｔａ１で吸着槽１０Ａ用の供給開閉弁８Ａのみを開いた状態とし圧縮機２Ａおよび圧縮機２Ｂの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ｃは時点ｔａ１以前からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ｃは吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時点から所定の連続運転時間ＴＹ１（最長時間）だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔａ１でも継続している。また、圧縮機２Ｂの運転は圧縮機２Ａの運転を補助するためのものである。
【００１３】
そして、時点ｔａ２において、吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時点で開始された圧縮機２Ｃの所定の連続運転時間ＴＹ１の運転が終了し、次に、時点ｔａ３において、吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔａ１で開始された圧縮機２Ｂによる、連続運転時間ＴＹ１よりも短く且つ吸着時間ＴＸ１よりも短い補助運転時間ＴＹ２の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔａ１から吸着時間ＴＸ１が経過した時点ｔａ４において、吸着槽１０Ａの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ａを閉じ連通開閉弁１２Ａを開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ１が経過した時点ｔａ５において、開閉弁１２Ａを閉じて次の吸着槽１０Ｂの吸着工程を開始する。
【００１４】
つまり、吸着槽１０Ｂの吸着工程において、その開始時点ｔａ５で吸着槽１０Ｂ用の供給開閉弁８Ｂのみを開いた状態とし圧縮機２Ｂおよび圧縮機２Ｃの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ａはｔａ５以前の時点ｔａ１からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ａは吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔａ１から所定の連続運転時間ＴＹ１だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔａ５でも継続している。また、圧縮機２Ｃの運転は圧縮機２Ｂの運転を補助するためのものである。
【００１５】
そして、時点ｔａ６において、吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔａ１で開始された圧縮機２Ａの所定の連続運転時間ＴＹ１の運転が終了し、次に、時点ｔａ７において、吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点ｔａ５で開始された圧縮機２Ｃによる補助運転時間ＴＹ２の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔａ５から吸着時間ＴＸ１が経過した時点ｔａ８において、吸着槽１０Ｂの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ｂを閉じ連通開閉弁１２Ｂを開いて吸着槽１０Ｂと吸着槽１０Ｃとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ１が経過した時点ｔａ９において、開閉弁１２Ｂを閉じて次の吸着槽１０Ｃの吸着工程を開始する。
【００１６】
つまり、吸着槽１０Ｃの吸着工程において、その開始時点ｔａ９で吸着槽１０Ｃ用の供給開閉弁８Ｃのみを開いた状態とし圧縮機２Ｃおよび圧縮機２Ａの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ｂはｔａ９以前の時点ｔａ５からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ｂは吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点ｔａ５から所定の連続運転時間ＴＹ１だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ｃの吸着工程の開始時点ｔａ９でも継続している。また、圧縮機２Ａの運転は圧縮機２Ｃの運転を補助するためのものである。
【００１７】
そして、時点ｔａ１０において、吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点ｔａ５で開始された圧縮機２Ｂの所定の連続運転時間ＴＹ１の運転が終了し、次に、時点ｔａ１１において、吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時点ｔａ９で開始された圧縮機２Ａによる補助運転時間ＴＹ２の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ｃの吸着工程の開始時点ｔａ９から吸着時間ＴＸ１が経過した時点ｔａ１２において、吸着槽１０Ｃの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ｃを閉じ連通開閉弁１２Ｃを開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｃとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ１が経過した時点ｔａ１３において、開閉弁１２Ｃを閉じて次の吸着槽１０Ａの吸着工程を開始する。
【００１８】
つまり、吸着槽１０Ａの吸着工程において、その開始時点ｔａ１３で吸着槽１０Ａ用の供給開閉弁８Ａのみを開いた状態とし圧縮機２Ａおよび圧縮機２Ｂの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ｃはｔａ１３以前の時点ｔａ９からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ｃは吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時点ｔａ９から所定の連続運転時間ＴＹ１だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔａ１３でも継続している。また、圧縮機２Ｂの運転は圧縮機２Ａの運転を補助するためのものである。
【００１９】
そして、時点ｔａ１４において、吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時点ｔａ９で開始された圧縮機２Ｃの所定の連続運転時間ＴＹ１の運転が終了し、次に、時点ｔａ１５において、吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔａ１３で開始された圧縮機２Ｂによる補助運転時間ＴＹ２の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔａ１３から吸着時間ＴＸ１が経過した時点ｔａ１６において、吸着槽１０Ａの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ａを閉じ開閉弁１２Ａ〜１２Ｃを開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂと吸着槽１０Ｃとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ１が経過した時点ｔａ１７において、開閉弁１２Ａ〜１２Ｃを閉じて次の吸着槽１０Ｂの吸着工程を上記と同様に開始する。
以上のパターンを繰り返すのである。
【００２０】
以上に述べた本実施形態の気体分離装置１によれば、制御部２０が、複数の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃに対して順に吸着工程を行わせることになり、その際に、複数の圧縮機２Ａ〜２Ｃを、一の吸着槽１０Ａの吸着工程の時間は一の圧縮機２Ａを運転し、一の吸着槽１０Ｂの吸着工程の時間は一の圧縮機２Ｂを運転し、一の吸着槽１０Ｃの吸着工程の時間は一の圧縮機２Ｃを運転し、というように、決められたサイクルパターンで順に運転することになるため、各圧縮機２Ａ〜２Ｃの運転時間を平均化することができる。したがって、複数の圧縮機２Ａ〜２Ｃのメンテナンス管理を容易に行うことができる。
【００２１】
しかも、圧縮機２Ａ〜２Ｃを適度な断続運転とするため、連続運転による温度上昇に起因した耐久性低下および過剰な断続運転による耐久性低下も防止できる。
また、余剰空気を大量に排出しないため、エネルギのロスを抑制できる。つまり、本実施形態によれば、図３に示すように、圧縮機２Ａ〜２Ｃの運転状態に対して、実線ａで示すように共通空気タンク５の圧力が変化することになり、従来のインバータ制御または圧縮空気の外部への排出でなくしている余剰分ｂを圧縮機２Ａ〜２Ｃの適宜の停止でなくすことができるため、エネルギのロスを抑制できる。
また、圧力制御するよりも、制御システムが簡素化できる。
【００２２】
また、制御部２０は、一の吸着槽１０Ａの吸着工程の時間運転する一の圧縮機２Ａを次の吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時の一部の時間まで運転し、一の吸着槽１０Ｂの吸着工程の時間運転する一の圧縮機２Ｂを次の吸着槽１０Ｃの吸着工程開始時の一部の時間まで運転し、一の吸着槽１０Ｃの吸着工程の時間運転する一の圧縮機２Ｃを次の吸着槽１０Ａの吸着工程開始時の一部の時間まで運転するため、圧縮機２Ａ〜２Ｃを補助的に運転する時間も平均化することができる。また、圧縮機２Ａ〜２Ｃを補助的に運転する際にも圧縮機２Ａ〜２Ｃの運転・停止の回数を抑えることができる。
【００２３】
また、複数の圧縮機２Ａ〜２Ｃと複数の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃとを同数で構成したため、制御が容易となり、またいずれの圧縮機が運転状態にあるかを見ることでいずれの吸着槽１０で吸着工程が行われているかが判断可能となる。
【００２４】
なお、圧縮機２Ａ〜２Ｃの空気発生量と１本の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃの容量とによって、吸着工程の時間が決まり、吸着工程中に停止する各圧縮機２Ａ〜２Ｃの運転時間も決まることになる。また、吸着槽の数と圧縮機の数とが異なる場合は、圧縮機の運転パターンを異ならせることになる。例えば、３台の圧縮機２Ａ〜２Ｃに対して２本の吸着槽１０Ａ，１０Ｂを用いる場合には、図２に示す吸着槽１０Ｃの時点ｔａ９〜ｔａ１２の吸着工程が吸着槽１０Ａの吸着工程となり、図２に示すその後の吸着槽１０Ａの時点ｔａ１３〜ｔａ１６の吸着工程が吸着槽１０Ｂの吸着工程となる。また例えば、３台の圧縮機２Ａ〜２Ｃに対して４本の吸着槽１０Ａ〜１０Ｄを用いる場合には、図２に示す吸着槽１０Ｃの吸着工程の後の吸着槽１０Ａの時点ｔａ１３〜ｔａ１６の吸着工程が吸着槽１０Ｄの吸着工程となる。
【００２５】
また、例えば、図４に示すように、２台の圧縮機２Ａ，２Ｂに対して２本の吸着槽１０Ａ，１０Ｂを用いる場合には、図５のタイミングチャートに示すように、吸着槽１０Ａの吸着工程において、その開始時点ｔｂ１で吸着槽１０Ａ用の供給開閉弁８Ａのみを開き圧縮機２Ａの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ｂはｔｂ１以前からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ｂは吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点から所定の連続運転時間ＴＹ３だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔｂ１でも継続している。
【００２６】
そして、時点ｔｂ２において、吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点で開始された圧縮機２Ｂの所定の連続運転時間ＴＹ３の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔｂ１から吸着時間ＴＸ２が経過した時点ｔｂ３において、吸着槽１０Ａの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ａを閉じ吸着槽１０Ａ，１０Ｂ間に設けられた連通開閉弁１２を開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ２が経過した時点ｔｂ４において、開閉弁１２を閉じて次の吸着槽１０Ｂの吸着工程を開始する。
【００２７】
つまり、吸着槽１０Ｂの吸着工程において、その開始時点ｔｂ４で吸着槽１０Ｂ用の供給開閉弁２Ｂのみを開いた状態として圧縮機２Ｂの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ａはｔｂ４以前の時点ｔｂ１からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ａは吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔｂ１から所定の連続運転時間ＴＹ３だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔｂ４でも継続している。
【００２８】
そして、時点ｔｂ５において、吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔｂ１で開始された圧縮機２Ａの所定の連続運転時間ＴＹ３の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔｂ４から吸着時間ＴＸ２が経過した時点ｔｂ６において、吸着槽１０Ｂの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ｂを閉じ連通開閉弁１２を開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ２が経過した時点ｔｂ７において、連通開閉弁１２を閉じて次の吸着槽１０Ａの吸着工程を開始する。
【００２９】
つまり、吸着槽１０Ａの吸着工程において、その開始時点ｔｂ７で吸着槽１０Ａ用の供給開閉弁８Ａのみを開いた状態とし圧縮機２Ａの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ｂはｔｂ７以前の時点ｔｂ４からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ｂは吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点ｔｂ４から所定の連続運転時間ＴＹ３だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔｂ７でも継続している。
【００３０】
そして、時点ｔｂ８において、吸着槽１０Ｂの吸着工程開始時点ｔｂ４で開始された圧縮機２Ｂの所定の連続運転時間ＴＹ３の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ａの吸着工程の開始時点ｔｂ７から吸着時間ＴＸ２が経過した時点ｔｂ９において、吸着槽１０Ａの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ａを閉じ連通開閉弁１２を開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ２が経過した時点ｔｂ１０において、連通開閉弁１２を閉じて次の吸着槽１０Ｂの吸着工程を開始する。
【００３１】
つまり、吸着槽１０Ｂの吸着工程において、その開始時点ｔｂ１０で吸着槽１０Ｂ用の供給開閉弁８Ｂのみを開いた状態とし圧縮機２Ｂの運転を開始することになる。このとき、圧縮機２Ａはｔｂ１０以前の時点ｔｂ７からの運転を継続している。つまり、圧縮機２Ａは吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔｂ７から所定の連続運転時間ＴＹ３だけ運転を継続することになり、これが吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔｂ１０でも継続している。
【００３２】
そして、時点ｔｂ１１において、吸着槽１０Ａの吸着工程開始時点ｔｂ７で開始された圧縮機２Ａの所定の連続運転時間ＴＹ３の運転が終了する。そして、吸着槽１０Ｂの吸着工程の開始時点ｔｂ１０から吸着時間ＴＸ２が経過した時点ｔｂ１２において、吸着槽１０Ｂの吸着工程を終了し、制御部２０は、供給開閉弁８Ｂを閉じ連通開閉弁１２を開いて吸着槽１０Ａと吸着槽１０Ｂとを連通させる均圧工程を開始する。そして、均圧工程を行う所定の均圧時間ＴＺ２が経過した時点ｔｂ１３において、連通開閉弁１２を閉じて次の吸着槽１０Ａの吸着工程を上記と同様に開始する。
以上のパターンを繰り返すのである。
【００３３】
例えば、２台の圧縮機２Ａ，２Ｂに対して３本の吸着槽１０Ａ〜１０Ｃを用いる場合には、図５に示す吸着槽１０Ａの時点ｔｂ７〜ｔｂ９の吸着工程が吸着槽１０Ｃの吸着工程となり、その後の吸着槽１０Ｂの時点ｔｂ１０〜ｔｂ１２の吸着工程が吸着槽１０Ａの吸着工程となる。また例えば、２台の圧縮機２Ａ，２Ｂに対して４本の吸着槽１０Ａ〜Ｄを用いる場合には、図５に示す吸着槽１０Ｂの吸着工程の後の吸着槽１０Ａの時点ｔｂ７〜ｔｂ９の吸着工程が吸着槽１０Ｃの吸着工程となり、その後の吸着槽１０Ｂの時点ｔｂ１０〜ｔｂ１２の吸着工程が吸着槽１０Ｄの吸着工程となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態の気体分離装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態の気体分離装置の制御内容を示すタイミングチャートである。
【図３】本発明の一実施形態の気体分離装置の効果を説明するためのタイミングチャートである。
【図４】本発明の一実施形態の気体分離装置の変形例の全体構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態の気体分離装置の変形例の制御内容を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００３５】
１  気体分離装置
２Ａ〜２Ｃ  圧縮機
１０Ａ〜１０Ｃ  吸着槽
２０  制御部（制御手段）
【図１】
0004806690.tif 000002
【図２】
0004806690.tif 000003
【図３】
0004806690.tif 000004
【図４】
0004806690.tif 000005
【図５】
0004806690.tif 000006