(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接場プローブ先端に近接場光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段と、
前記近接場プローブは、楕円状コアをもつ光ファイバの一端を略楕円錘状に先鋭化し、該先鋭化された光ファイバの最先端に楕円状またはスリット状の開口を作成したものであって、前記励起光照射手段からの励起光が前記近接場プローブに導入され、前記先鋭化された光ファイバの最先端から発生した近接場光を、該開口を介して所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する前記近接場プローブと、
得られた試料測定面からの被測定光に基づいて偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかを検出する検出手段と、を備え、
前記近接場プローブを用いて偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定を行うことを特徴とする近接場顕微鏡。
【請求項２】
試料測定面に近接場光を発生させる励起光を照射する励起光照射手段と、
試料測定面に対し所定の角度に配置された偏光子と、
楕円状コアをもつ光ファイバの一端を略楕円錘状に先鋭化し、該先鋭化された光ファイバの最先端に楕円状またはスリット状の開口を作成した近接場プローブであって、前記励起光照射手段からの励起光を前記偏光子を通して前記試料測定面に照射し、前記励起光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を、前記開口を介して所定の振動方向の直線偏光として集光する近接場プローブと、
得られた試料測定面からの被測定光に基づいて偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかを検出する検出手段と、を備え、
前記近接場プローブを用いて偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定を行うことを特徴とする近接場顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡、特に光の波長の値より小さい領域での偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定を行うための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的な光学顕微鏡は、光の波長より小さなものは観察することができず、その分解能には限界がある。一方、電子顕微鏡等では、分解能は大きく向上させることができるものの、大気中、または溶液中での動作は極めて困難であり、電子顕微鏡等の高分解能顕微鏡は特に生体試料を扱う分野では必ずしも満足のいくものではなかった。
【０００３】
これに対し、近年一般的な光学顕微鏡または電子顕微鏡とは異なる原理に基づく近接場顕微鏡が開発され、その応用が期待されている。この近接場顕微鏡は、いわゆる近接場光を検出するものである。
すなわち、被測定試料に光を照射すると、被測定物表面付近には近接場光と呼ばれる表面波が発生する。この表面波は物体表面に光の波長以内の距離領域に局在している。
【０００４】
そこで、光の波長以下の先端寸法をもつ先鋭化プローブを近接場光の場の中に差し込んで近接場光を散乱させ、その散乱光強度を測定することによりプローブ先端と被測定物表面との距離を規定することができる。
したがって、前記散乱光の強度が一定となるようにしつつプローブの走査を行うことにより、該プローブ先端位置は被測定物表面の凹凸を的確に反映するものとなり、しかもプローブ先端は近接場光の場に存在するのみであり被測定物そのものには接触していないため、試料に対して非接触、非破壊でかつ光の波長の値より小さいものを観察できる。
【０００５】
ところで、前記先鋭化プローブは、一般に、略真円形のコアをもつ光ファイバの一端を先鋭化して略真円錐状の先鋭化部をつくり、その表面に金属皮膜などでマスクを形成し、その最先端部に略真円状の微小開口を作成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、各種有機物質は直線偏光の偏光面を回転させる性質をもっており、この偏光特性を測定することにより、同定または光学異性体の識別などを行うことができるので、一般的な光の波長より大きいものを観察する光学装置においては、偏光性の測定がよく行われている。
また、試料表面に平行な面内で異方性を持つ試料では、結晶軸と励起光または散乱光の偏光軸の相対変化により得られるスペクトルに差が生じる。これを調べることにより試料の内部構造に対する有用な情報が得られるので、多用されている。
【０００７】
最近、光の波長の値より小さいものを観察する近接場顕微鏡においても、その偏光性を測定したいという要望がある。
しかしながら、前述のような略真円状の開口をもつ近接場プローブでは、プローブ先端の極微小領域に近接場光をしみ出させるものの、この開口よりしみ出させた近接場光は偏光とは無関係であるので、前述のような近接場プローブを用いた近接場顕微鏡では、偏光性を測定することは不可能であった。
【０００８】
本発明は前記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は光の波長の値よりも小さい領域での偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定に用いられる近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本発明にかかる近接場プローブは、導光部と、マスクと、開口と、を備えることを特徴とする。
ここで、前記導光部は、プローブ先端に近接場光を発生させる励起光ないし試料測定面からの被測定光に透明な材質で構成され、該励起光ないし該被測定光を導光する。
【００１０】
また、前記マスクは、前記励起光ないし前記被測定光に不透明な材質で構成され、前記導光部の少なくとも先端表面に形成されている。
前記開口は、前記マスクが形成された導光部の最先端に作成され、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状である。
【００１１】
なお、本発明において、前記導光部は、楕円状のコアをもつ光ファイバであり、
前記楕円状またはスリット状の開口は、前記楕円状コアをもつ光ファイバの一端を略楕円錘状に先鋭化した導光部の最先端に作成されていることが好適である。
また、前記目的を達成するために本発明にかかる近接場プローブ製造方法は、先鋭化工程と、マスク形成工程と、開口作成工程と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
ここで、前記先鋭化工程は、プローブ先端に近接場光を発生させる励起光ないし試料測定面からの被測定光に透明な材質で構成され、該励起光ないし該被測定光を導光する導光部の先端を先鋭化する。
また、前記マスク形成工程は、前記先鋭化工程により先鋭化された導光部の少なくとも先端表面に、前記励起光ないし前記被測定光に不透明な材質で構成されたマスクを形成する。
【００１３】
前記開口作成工程は、前記マスク形成工程によりマスクが形成された導光部の最先端に、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって試料測定面に発生した被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状の開口を作成する。  なお、本発明において、前記先鋭化工程は、前記導光部としての、楕円状コアをもつ光ファイバの一端を略楕円錘状に先鋭化し、前記開口作成工程は、前記先鋭化工程により略楕円錘状に先鋭化された導光部の最先端に、前記楕円状またはスリット状の開口を形成することが好適である。
【００１４】
また、前記目的を達成するために本発明にかかる近接場顕微鏡は、励起光照射手段と、前記近接場プローブと、検出手段と、を備え、本発明にかかる近接場プローブを用いて偏光解消度、偏光度、およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定を行うことを特徴とする。
ここで、励起光照射手段は、前記近接場プローブ先端に近接場光を発生させる励起光または試料測定面に近接場光を発生させる励起光を照射する。
【００１５】
また、前記近接場プローブは、前記励起光照射手段からの励起光が前記近接場プローブに導入され、その導光部の最先端に発生した近接場光を、前記楕円状またはスリット状の開口を介して所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を、前記楕円状またはスリット状の開口を介して所定の振動方向の直線偏光として集光する。  前記検出手段は、得られた試料測定面からの被測定光に基づいて偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかを検出する。
【００１６】
なお、本発明にかかる近接場プローブは、イルミネーションモード、コレクションモード、イルミネーション−コレクションモード等のいずれの測定モードでも用いることができる。
このため、ここでいう励起光ないし試料測定面からの被測定光に透明な材質で構成され、該励起光ないし該被測定光に透明とは、導光部が、例えばイルミネーションモードでは励起光に透明なことをいい、コレクションモードでは被測定光に透明なことをいい、イルミネーション−コレクションモードでは、励起光及び被測定光に透明なこと等をいう。
【００１７】
また、ここでいう励起光ないし被測定光に不透明な材質で構成されたマスクとは、マスクが、例えばイルミネーションモードでは励起光に不透明なものをいい、コレクションモードでは被測定光に不透明なものをいい、イルミネーション−コレクションモードでは、励起光及び被測定光に不透明なもの等をいう。
【００１８】
さらに、ここでいう導光部の最先端に、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって試料測定面に発生した被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状の開口とは、楕円状またはスリット状の開口が、例えばイルミネーションモードではプローブ先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光としてしみ出せるものをいう。
コレクションモードでは測定試料面に発生した近接場光をプローブ先端で散乱させた被測定光を所定の振動方向の直線偏光して集光するものをいう。
イルミネーション−コレクションモードでは、プローブ先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光としてしみ出させ、かつ測定試料面にて散乱された近接場光のうち、前記試料測定面に照射した近接場光と同じ偏光面をもつ光を集光するもの等をいう。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の好適な一実施形態について説明する。
図１には本発明の一実施形態にかかる近接場プローブを用いた近接場顕微鏡の概略構成が示されている。
同図に示す近接場顕微鏡１０は、励起光照射手段１２と、波長以下の先端寸法をもつ近接場プローブ１４と、検出手段１６を備える。
【００２０】
ここで、前記励起光照射手段１２は、光源１８と、反射鏡２０を含み、前記光源１８は、近接場プローブ１４の先端に近接場光を発生させる励起光２２を出射し、その励起光２２は、反射鏡２０を介してプローブ１４にその後端より導入される。
【００２１】
また、前記プローブ１４は、光源１８からの励起光２２が反射鏡２０を介して導入されると、その先鋭化先端に近接場光が発生し、開口よりしみ出す。このとき、近接場光は、楕円状またはスリット状の開口２６より所定の振動方向の直線偏光となってしみ出し、該プローブ１４先端と試料測定面２８との距離を近づけることにより、この偏光した近接場光２４が散乱される。
【００２２】
前記検出手段１６は、この散乱光を被測定光３０として集光する集光レンズ３２と、検光子３４と、角度変更手段３６と、光検出器３８と、コンピュータ４０を含み、試料測定面２８に照射された近接場光２４に対する試料測定面２８からの被測定光３０の偏光方向及びその角度を検出する。
【００２３】
ここで、前記検光子３４は、プローブ１４の開口２６の偏光面に対して所定の角度で配置され、集光レンズ２８により集光された試料測定面２８からの被測定光３０のうち、所定角度の偏光面をもつ直線偏光４２（４４）を通過させる。
また、前記角度変更手段３６は、試料測定面２８からの被測定光３０のうち、その光の進行方向に垂直な平面内で、近接場光２４の偏光方向に対して平行成分４２と垂直成分４４を交互に通過させるように検光子３４を回転させる。
前記光検出器３８は、前記検光子３４を通過した光４２（４４）の光量を検出する。
【００２４】
前記コンピュータ４０は、前記光検出器３４で得た電気信号に基づいて被測定光３０の、直線偏光した近接場光２４に対する偏光方向及びその角度を求め、外部出力する。
本発明において特徴的なことは、光の波長以下の値のものの偏光解消度あるいは偏光度の測定を可能にしたことであり、このために本実施形態にかかる近接場顕微鏡１０においては、図２に示すような近接場プローブを用いている。
【００２５】
なお、同図（Ａ）は本発明の第一実施形態にかかる近接場プローブの先端近傍を拡大した斜視図、同図（Ｂ）は同様の上面図である。
同図に示す近接場プローブ１４は、楕円状のコアをもつ光ファイバの一端を略円錐状に先鋭化し、先鋭化部５０を構成している。プローブ１４の表面にはマスク５２として金（Ａｕ）皮膜が形成されている。この略円錐状の先鋭化部５０の最先端には、所定の振動方向の直線偏光を得るための楕円状の開口２６が作成されている。
【００２６】
このため、本実施形態では、プローブ先端に近接場光を発生させる励起光がプローブ他端に導入されると、プローブ先端には近接場光が発生し、近接場光は楕円状の開口５２より、所定の振動方向の直線偏光とされる。つまり、プローブ先端の楕円状開口５２より、該楕円状開口５２の長軸方向と平行な偏光面をもつ近接場光がしみ出す。
そして、プローブ先端と試料測定面との距離を近づけると、この直線偏光した近接場光が試料測定面により散乱される。この散乱光は、試料測定面に対し所定の角度で配置された集光レンズにより集光され、前述のようにして被測定光の、試料測定面に照射した近接場光の偏光面に対する回転方向及びその角度が求められる。
【００２７】
以上のように本実施形態にかかる近接場顕微鏡１０によれば、最先端に楕円状の開口５２が作成された本実施形態にかかる近接場プローブ１４により、所定の振動方向に直線偏光した近接場光２４を発生させることができる。
本実施形態では、このように所定の振動方向に直線偏光した近接場光２４は、プローブ１４先端と試料測定面２８との距離を近づけることにより該試料測定面２８で散乱され、その散乱光である被測定光３０の近接場光２４の偏光面に対する回転方向及びその角度が、後段の検出手段１６により検出されるので、従来極めて困難であった、光の波長の値より小さいものの偏光解消度等の偏光性を容易に測定することができる。
【００２８】
第二実施形態
前記図２に示した楕円状の開口が作成されている近接場プローブに代えて、図３に示すような近接場プローブを用いることができる。なお、同図（Ａ）は本実施形態にかかる近接場プローブの先端近傍を拡大した斜視図、同図（Ｂ）は上面図であり、前記第一実施形態と対応する部分には符号１００を加えて示し説明を省略する。
同図に示す近接場プローブ１１４では、略円錘状の先鋭化部１５０の最先端に作成される開口１２６を、第一実施形態のような楕円状に代えて、スリット状としている。
【００２９】
この結果、本実施形態では、励起光がプローブ後端に導入されると、プローブ先端には近接場光が発生し、近接場光はスリット状の開口により、前記第一実施形態と同様、所定の振動方向の直線偏光が得られる。つまり、プローブ先端のスリット状開口１５２より、スリット状開口１５２の長手方向と平行な偏光面をもつ近接場光がしみ出す。
【００３０】
そして、この直線偏光した近接場光は、プローブ先端と試料測定面との距離を近づけると、試料測定面により散乱され、その散乱光は集光レンズにより集光され、後段の検出手段により被測定光の、試料測定面に照射した近接場光の偏光面に対する回転方向及びその角度が検出されるので、第一実施形態と同様、従来極めて困難であった、光の波長の値より小さいものの偏光解消度等の偏光性を容易に測定することができる。
【００３１】
なお、前記構成では、イルミネーションモードを用いて偏光解消度を測定した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、コレクションモード、イルミネーション−コレクションモード等の測定モード、偏光度、スペクトルの偏光依存性等の測定に適用することができる。
【００３２】
例えば、コレクションモードでは、試料測定面に対し所定の角度に励起光照射手段、偏光子を配置し、試料測定面に近接場光を発生させる励起光を偏光子を通して試料測定面に照射し、その励起光によって試料測定面に発生した近接場光をプローブ先端で散乱させ、その散乱光のうち、所定の振動方向の直線偏光成分を前記プローブ先端開口を通して集光し、偏光解消度、スペクトルの偏光依存性等を測定すること、あるいは単に光源からの光をそのまま試料測定面に照射し、試料測定面からの被測定光のうち所定の振動方向の直線偏光をプローブにより取出し、偏光度等を測定すること等が一例として挙げられる。
【００３３】
また、イルミネーション−コレクションモードでは、プローブ先端に近接場光を発生させる励起光がプローブに導入され、プローブ先端に発生した近接場光を開口を通して所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射し、その透過または反射した被測定光のうち、入射光と同一の振動方向の直線偏光成分を集光する偏光度等を測定することが一例として挙げられる。これにより、ファイバを伝播する偏光方向と開口部から取出される偏光の方向が常に同じになるので、偏光子に対する検光子の角度調整を行う必要がないので、そのような作業の手間と時間が省ける。
【００３４】
さらに、前記図１に示した構成では、光検出器３８の前段に分光器を設置し、偏光解消度、偏光度等の測定に加えて、分光スペクトル測定を行なうことが可能であり、本発明にかかるプローブを用いてスペクトルの偏光依存性を測定することにより、光の波長より小さな試料表面に平行な面内で異方性を持つ試料等の内部構造に対する有用な情報が確実に得られる。
【００３５】
【実施例】
図４〜５には本発明の一実施例にかかる近接場プローブの製造過程が示されている。なお、図４は本実施例にかかる先鋭化工程からマスク形成工程までの過程を示し、図５は図４に示したマスク形成工程により得られたプローブの開口作成工程を示す。
本実施例においては、まず光ファイバ先端の化学エッチング法による先鋭化工程を行う。
【００３６】
すなわち、本実施例においては、図４（Ａ）に示すようなコア２６０が楕円状で、クラッド２６２が略真円状の光ファイバ（導光部）２６４の一端をカットして緩衝溶液に浸し、先端寸法が光の波長以下となるように先鋭化する。
この結果、先鋭化工程後の光ファイバの一端には、同図（Ｂ）に示すような楕円錐状の先鋭化部２５０（例えば根元径が長軸方向５μｍ×短軸方向１μｍ、略最先端部の短軸方向２５０ｎｍ、根元から最先端部までの高さ１．９μｍ）が形成され、つぎにマスク形成工程を行う。
【００３７】
すなわち、光ファイバ２６４を回転させつつその表面に金の真空蒸着を行うことにより、同図（Ｃ）に示すような遮光性の金属膜でマスク２５２を形成することができる。
そして、マスク形成後、開口作成工程を行う。
【００３８】
すなわち、図５（Ａ）に示すように光ファイバ２６４の先鋭化部２５０を硬い平板２６６等に所定圧で押し付けることにより、先鋭化部２５０から金属膜が剥がれ、開口が作成される。このとき、先鋭化部２５０の平板２６６への押付け量、あるいは平板２６６の先鋭化部２５０への押付け量を所望の開口径に応じて制御することにより、同図（Ｂ）に示すように先鋭化部２５０の最先端には楕円状の開口２６２が所望の大きさ（例えば長軸方向９００ｎｍ×短軸方向１５０ｎｍ）で作成される。
【００３９】
ここで、通常、近接場プローブは、略真円状のコアをもつ光ファイバが用いられ、該光ファイバの一端を略円錐状に先鋭化している。
しかしながら、この円錐状先鋭化部を前述のような押付け法により硬い平板等に押し付けても、略真円状の開口が作成されてしまい、所定の振動方向の直線偏光を得るための楕円状等の開口を作成するのは非常に困難である。
【００４０】
そこで、本実施例では、先鋭化部の最先端に所定の振動方向の直線偏光を得るための楕円状等の開口を作成するため、一般的な略真円状のコアをもつ光ファイバに代えて、楕円状のコアをもつ光ファイバを用いることとした。
これによりエッチング等の先鋭化工程により略楕円錘状の先鋭化部を容易につくり、このような略楕円錘状の先鋭化部に前記押付け法を用いることにより、所定の振動方向の直線偏光を得るための楕円状等の開口を容易に作成することができる。
【００４１】
図６には前述のようにして製造された本実施例にかかる近接場プローブと、従来の近接場プローブ等の被検体の偏光特性の比較結果が示されている
なお、同図では、まず透過光の進行方向に垂直な平面内に基準方向を設け、該透過光の基準方向に対する回転角度を横軸に取り、縦軸に各対応角度での強度を取っている。
【００４２】
同図Ｉは一般的な略真円状コアをもつ光ファイバ、同図II及び同図IIIは、一般的な略円状のコアをもち、略真円状の開口が作成された一般的な近接場プローブ、同図IVは楕円状コアをもつ光ファイバ、同図Ｖは本実施例にかかる近接場プローブの偏光特性である。各被検体を示す符号の横に示したカッコ書きは、被検体の一端より光を入れ、その他端よりの透過光の基準方向と平行（図中０度）な成分の光強度と、消光位、つまり直交（図中９０度）する成分の光強度の比である。
【００４３】
本試験例では、本実施例にかかる近接場プローブに関しては、前記基準方向に平行となるように楕円状開口の偏光方向を一致させる条件としている。同図IVに示す楕円状コアをもつ光ファイバに関しては、この基準方向に平行となるように楕円状コアの長軸方向を一致させる条件としている。その他の上記被検体に関しては、基準方向に任意の角度で被検体の端面を配置する条件としている。
【００４４】
この結果、略真円状のコアをもつ光ファイバを示す同図Ｉと楕円状のコアをもつ光ファイバを示す同図IVの偏光特性が、つまり透過光の基準方向に対して平行成分と直交成分の強度の比が、略同一の２：１である。また一般的な略真円状のコアをもつ光ファイバに対して略真円状の開口が作成された近接場プローブを示す同図II及び同図IIIでは、それぞれ５：１、８：１であるのに対し、本実施例を示す同図Ｖは、１５：１という優れた偏光特性を示している。
【００４５】
したがって、本実施例にかかる近接場プローブの優れた偏光特性は、単に楕円状コアをもつ光ファイバを用いただけでは得られず、前述のようにして楕円状コアをもつ光ファイバの一端に形成された略楕円錘状の先鋭化部の最先端に、楕円状またはスリット状に開口を作成してはじめて得られることが理解される。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明にかかる近接場プローブによれば、先鋭化された導光部の最先端に形成された楕円状またはスリット状の開口を介して、直線偏光した近接場光を試料測定面に照射する、ないし試料測定面からの被測定光の所定の振動方向の直線偏光を取り出すこととしたので、光の波長の値より小さい領域での直線偏光を得ることができる。
なお、本発明において、前記導光部に楕円状のコアをもつ光ファイバを用いることにより、先鋭化された導光部の最先端に前記偏光測定用の楕円状またはスリット状の開口を容易に作成することができる。
また、本発明にかかる近接場プローブ製造方法によれば、開口作成工程により、先鋭化された導光部の最先端に、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状の開口を作成することとしたので、前記近接場プローブを容易に製造することができる。
なお、本発明において、前記開口作成工程で用いる導光部に楕円状のコアをもつ光ファイバを用いることにより、先鋭化された導光部の最先端に前記偏光測定用の楕円状またはスリット状の開口を容易に作成することができる。
また、本発明にかかる近接場顕微鏡によれば、本発明にかかる近接場プローブを用いることとしたので、光の波長よりも小さい領域での偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる近接場顕微鏡の概略構成の説明図である。
【図２】図１に示した近接場顕微鏡に用いられる、本発明の第一実施形態にかかる近接場プローブの概略構成の説明図である。
【図３】図１に示した近接場顕微鏡に用いられる、本発明の第二実施形態にかかる近接場プローブの概略構成の説明図である。
【図４】，【図５】本発明の一実施例にかかる近接場プローブの製造過程の説明図である。
【図６】本実施例にかかる近接場プローブ及び従来の近接場プローブ等の被検体の偏光特性の比較説明図である。
【符号の説明】
１０  近接場顕微鏡
１２  励起光照射手段
１４，１１４，２１４  近接場プローブ
１６  検出手段
２４  所定の振動方向に直線偏光した近接場光
２６，１２６，２２６  楕円状またはスリット状開口
２６４  楕円状コアをもつ光ファイバ（導光部）
【図１】
0004703841.tif 000002
【図２】
0004703841.tif 000003
【図３】
0004703841.tif 000004
【図４】
0004703841.tif 000005
【図５】
0004703841.tif 000006
【図６】
0004703841.tif 000007