(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハの構造において、
前記圧電ウェハは、
前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って貫通形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、
前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなし、前記圧電ウェハから前記圧電振動素子を分離する際に、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂するように構成されていることを特徴とする圧電ウェハの構造。
【請求項２】
圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしている圧電ウェハであって、
圧電ウェハから各圧電振動素子を分離する際に、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂するように構成したことを特徴とする圧電ウェハの構造。
【請求項３】
前記圧電ウェハ上において隣接し合う２つの圧電振動素子の周回スリットを一部共用させたことを特徴とする請求項１又は２のいずれか一項に記載の圧電ウェハの構造。
【請求項４】
前記圧電ウェハ上において隣接し合う複数の圧電振動素子間に厚肉部を介在させたことを特徴とする請求項１又は２のいずれか一項に記載の圧電ウェハの構造。
【請求項５】
各一本の前記分岐スリットと前記周回スリットの一部分との間に前記非スリット部と連接する連接片を形成し、前記圧電振動素子を圧電ウェハから分離する際に該非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生するように構成したことを特徴とする請求項１、２、３又は４のいずれか一項に記載の圧電ウェハの構造。
【請求項６】
前記分岐スリットを２本ずつ形成することにより、前記非スリット部と連接する連接片を形成したことを特徴とする請求項１、２、３又は４のいずれか一項に記載の圧電ウェハの構造。
【請求項７】
前記非スリット部を挟んで対向配置された２つの周回スリット端部は、圧電振動素子の内側へ向けて屈曲していることを特徴とする請求項１、２、３、４、５又は６のいずれか一項に記載の圧電ウェハの構造。
【請求項８】
複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハから各圧電振動素子を分離する圧電振動素子の製造方法であって、
前記圧電ウェハは、前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々対称位置関係で形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしており、
前記圧電ウェハの平板部上に導体膜と、各導体膜を包囲する前記周回スリット、非スリット部及び分岐スリットを形成する工程と、前記圧電ウェハを固定した状態で個々の圧電振動素子個片を吸着して圧電ウェハ面と直交する方向へリフトすることにより前記周回スリットに沿って圧電振動素子個片を分離する工程と、を備え、該圧電振動素子個片を分離する工程において、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂することを特徴とする圧電振動素子の製造方法。
【請求項９】
複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハから分離した圧電振動素子をパッケージ内に収容した圧電デバイスの製造方法であって、
前記圧電ウェハは、前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々対称位置関係で形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしており、
前記圧電ウェハの平板部上に導体膜と、各導体膜を包囲する前記周回スリット、非スリット部及び分岐スリットを形成する工程と、前記圧電ウェハを固定した状態で個々の圧電振動素子個片を吸着して圧電ウェハ面と直交する方向へリフトすることにより前記周回スリットに沿って圧電振動素子個片を分離する工程と、該分離した圧電振動素子個片をパッケージ内に搭載する工程と、を備え、前記圧電振動素子個片を分離する工程において、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
【請求項１０】
圧電基板と、該圧電基板面に形成した励振用電極と、を備え、請求項１乃至７の何れか一項に記載の構造を有する圧電ウェハから製造される圧電振動素子であって、
前記圧電基板周縁の対向し合う２つの位置には、互いに反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂した断裂部を備え、該各断裂部を除いた圧電基板の外周縁はエッチング加工縁であることを特徴とする圧電振動素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動素子をバッチ処理により製造する際に使用する圧電ウェハの構造、圧電振動素子の製造方法、圧電デバイスの製造方法及び圧電振動素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
水晶によって代表される圧電基板上に励振電極等を形成した構造の圧電振動素子は、圧電振動子、圧電発振器等の各種圧電デバイスに適用されており、この圧電デバイスは、各種電子機器、とりわけ通信機器においては不可欠の主要パーツとして使用されている。
各種電子機器の小型化に伴い、圧電デバイスについても小型化が求められている。圧電振動素子の個片サイズとして、例えば１．２ｍｍ□程度の超小型サイズも実用化されている。
このような超小型サイズの圧電振動素子を製造する方法としては、例えば図１３に示すように、大面積の水晶ウェハ１上に複数の水晶振動素子２をフォトリソグラフィ技術等を用いて形成した後で、ダイシングソー等を用いて水晶振動素子の個片２ａに切り分ける方法が一般的である。その後、各個片２ａを図示しないバキュームノズルにより一つずつ吸着した上で図示しないパッケージ内に移載し、パッケージとの間に配線を施した上で、圧電デバイスとしての特性（共振周波数、温度特性等）を測定する。各個片の特性を測定した結果、所定の特性を満たさない場合には、所定の特性となるように微調整を施した上で、パッケージを封止する、という手順がとられていた。
しかし、微小サイズの水晶振動素子の個片２ａを一個ずつバキュームノズルによってピックアップしてパッケージ内に搭載する工程は極めて煩雑であり、特に素子が超小型化すると、煩雑さが更に増大して生産性が低下し、コスト高となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、圧電振動素子を大面積の圧電ウェハから切り出すことによりバッチ処理生産する際に、圧電振動素子が小型化すればするほど、ウェハからの切り出し作業と、切り出し後のピックアップ作業が煩雑化するという不具合を解決することを可能にした圧電ウェハの構造、圧電振動素子の製造方法、圧電デバイスの製造方法及び圧電振動素子を提供することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の課題を解決するために、請求項１は、複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハの構造において、前記圧電ウェハは、前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って貫通形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなし、前記圧電ウェハから前記圧電振動素子を分離する際に、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂するように構成されていることを特徴とする。
請求項２は、圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしている圧電ウェハであって、圧電ウェハから各圧電振動素子を分離する際に、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂するように構成したことを特徴とする。
請求項３は、前記圧電ウェハ上において隣接し合う２つの圧電振動素子の周回スリットを一部共用させたことを特徴とする。
請求項４は、前記圧電ウェハ上において隣接し合う複数の圧電振動素子間に厚肉部を介在させたことを特徴とする。
請求項５は、各一本の前記分岐スリットと前記周回スリットの一部分との間に前記非スリット部と連接する連接片を形成し、前記圧電振動素子を圧電ウェハから分離する際に該非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生するように構成したことを特徴とする。
請求項６の発明は、前記分岐スリットを２本ずつ形成することにより、前記非スリット部と連接する連接片を形成したことを特徴とする。
請求項７の発明は、前記非スリット部を挟んで対向配置された２つの周回スリット端部は、圧電振動素子の内側へ向けて屈曲していることを特徴とする。
請求項８の発明は、複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハから各圧電振動素子を分離する圧電振動素子の製造方法であって、前記圧電ウェハは、前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々対称位置関係で形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしており、前記圧電ウェハの平板部上に導体膜と、各導体膜を包囲する前記周回スリット、非スリット部及び分岐スリットを形成する工程と、前記圧電ウェハを固定した状態で個々の圧電振動素子個片を吸着して圧電ウェハ面と直交する方向へリフトすることにより前記周回スリットに沿って圧電振動素子個片を分離する工程と、を備え、該圧電振動素子個片を分離する工程において、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂することを特徴とする。
請求項９の発明は、複数の圧電振動素子を連結した構成を備えた圧電ウェハから分離した圧電振動素子をパッケージ内に収容した圧電デバイスの製造方法であって、前記圧電ウェハは、前記各圧電振動素子の個片の外周輪郭に沿って形成した周回スリットと、該周回スリットの対向し合う２つの辺上に夫々対称位置関係で形成した非スリット部と、一方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、他方の非スリット部を挟んで対向する２つの周回スリット端部の一方の適所から外側へ向けて延設した分岐スリットと、を備え、前記２つの分岐スリットは、互いに点対称の位置関係をなしており、前記圧電ウェハの平板部上に導体膜と、各導体膜を包囲する前記周回スリット、非スリット部及び分岐スリットを形成する工程と、前記圧電ウェハを固定した状態で個々の圧電振動素子個片を吸着して圧電ウェハ面と直交する方向へリフトすることにより前記周回スリットに沿って圧電振動素子個片を分離する工程と、該分離した圧電振動素子個片をパッケージ内に搭載する工程と、を備え、前記圧電振動素子個片を分離する工程において、前記各非スリット部に反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂することを特徴とする。
請求項１０の発明は、圧電基板と、該圧電基板面に形成した励振用電極と、を備え、請求項１乃至７の何れか一項に記載の構造を有する圧電ウェハから製造される圧電振動素子であって、前記圧電基板周縁の対向し合う２つの位置には、互いに反対方向へのねじれ剪断力が発生して断裂した断裂部を備え、該各断裂部を除いた圧電基板の外周縁はエッチング加工縁であることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
図１（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は本発明の一実施形態に係る圧電ウェハの要部平面図、及び製造された圧電振動素子の構成図であり、水晶等の圧電材料から成る薄板である圧電ウェハ１１は、その面積内に複数の圧電振動素子１２をバッチ処理によって形成した後で、個片に分割することによって、圧電振動素子１２を量産することができる。
本発明の圧電ウェハ１１の特徴的な構成は、個々の圧電振動素子１２を構成する励振電極１５、リード電極１６等の導体膜を形成する際に、これらの導体膜を包囲するように各圧電振動素子１２の外周輪郭線に沿って周回スリット２０，非スリット部２１を形成し、更に周回スリット２０の適所から分岐スリット２２を、夫々圧電ウェハ１１上に形成した点にある。即ち、図２に示すようにバキュームノズル５０によって圧電ウェハの一部を構成する圧電振動素子１２の中心部を吸着して上方にリフトした時に、非スリット部２１が対向配置された分岐スリット２２の作用によって容易に直線状に切断されて、非スリット部２１を介して対向配置されている周回スリット２０の２つの端部２０ａ同志が連通し、その結果周回スリット２０の形状に沿って圧電振動素子１２が圧電ウェハ１１から離脱するように構成されている。
【０００６】
即ち、本実施形態の圧電ウェハ１１は、バッチ処理によって量産することを可能ならしめるために、図１（ａ）のように加工される。即ち、この圧電ウェハ１１は、圧電振動素子１２の個片の外周輪郭線に沿って一部非連続的に形成した周回スリット２０と、該周回スリット２０の対向し合う２つの辺上に対称位置関係で形成した非スリット部２１と、２つの非スリット部２１を挟んで夫々対向する２つの周回スリット端部２０ａのうちの一方の端部２０ａに近い適所２０ａ‘から外側へ向けて夫々延設した分岐スリット２２と、を備える。この例では、各分岐スリット２２は、圧電振動素子１２の中心点に対して点対称の位置関係をなしている。各分岐スリット２２と、近接する周回スリット２０との間には、細幅の連接片２３が形成されている。非スリット部２２と連設した連接片２３は、周回スリット２０によって包囲された圧電振動素子１２が圧電ウェハ１１から脱落することを阻止している。一方、周回スリット２０の対向し合う２つの辺上に点対象の位置関係で連接片２３を形成することによって、後述するように圧電振動素子１２を圧電ウェハからリフトする際に、非スリット部２２内に、対向する両端部２０ａ間を連結する直線的な切れ目（断裂線）が形成され易くなる。
なお、本実施形態の圧電ウェハ１１の構成を言い換えれば、圧電振動素子１２の外周輪郭線に沿って形成する周回スリット２０を、２つに分割された周回スリット部分２０Ａ、２０Ｂから構成し、各周回スリット部分２０Ａ、２０Ｂは所要角度内側に屈曲した端部２０ａを有する。各周回スリット部分２０Ａ、２０Ｂに設けた各端部２０ａは、非スリット部２２を介して対向している。各周回スリット部分２０Ａ、２０Ｂの４つの端部２０ａのうち、はす向かいの位置関係にある２つの端部２０ａの適所（手前側位置＝屈曲部）２０ａ‘からは、夫々外側へ向けて略く字型の分岐スリット２２が所要角度で引き出されている。各分岐スリット２２は、近接する周回スリット２０との間で細幅の連接片２３を形成しており、連接片２３は非スリット部２１との連接部において幅が最小となっている。つまり、各周回スリット部分２０Ａ、２０Ｂの各端部２０ａは、内側へ向かって所要角度で屈曲した構成となっているため、隣接し合う２つの端部２０ａは、その内側端部において最も近接した位置関係にある。
なお、対向配置された２つの分岐スリット２２は、点対称な形状、位置関係にあることが好ましいが、寸分たりとも相違のない同一形状であることが必要なわけではなく、多少の形状の違いは問題ない。要するに、分岐スリット２２が存在しない場合には、圧電振動素子を吸着してリフトする際に、非スリット部２１が理想通りに切断されず、周回スリット２０の対向する２つの端部２０ａが励振電極１５等を横断、或いは縦断して延長された状態で切断線が形成されて不良品となる不具合が発生する。これに対して分岐スリット２２を設けた場合には、圧電振動素子１２を吸着してリフトしたときに、非スリット部２３を挟んで対向配置された２つの端部２０ａ間に理想的な切断線が形成され易くなるのである。
【０００７】
図１（ｂ）に示すように分離された圧電振動素子１２は、圧電基板１２Ａ上に励振電極１５，リード電極１６を形成した構成を備えている。この圧電振動素子１２の特徴的な構成は、２つの対向する辺の適所、この例では各辺の中心位置に夫々設けた断裂部１２Ｂ（非スリット部２１に相当）だけを切断（断裂）により形成し、他の外周縁はエッチング加工によって形成している点にある。
また、本発明の圧電ウェハ１１上に形成する圧電振動素子１２の形状（圧電基板１２Ａの外形輪郭）は、略矩形である必要はなく、種々の形状の圧電基板１２Ａを備えた圧電振動素子を形成することができる。例えば図１（ｃ）に示すように円形（楕円，長円などを含む）の外形輪郭を有した圧電基板１２Ａから成る圧電振動素子１２を形成することもできる。なお、各請求項中において、「対向し合う２つの辺」とは、図１（ｂ）に示した如き矩形の圧電基板にあってはまさに対向する辺のことであり、図１（ｃ）に示した如き円形の圧電基板にあっては、ほぼ１８０度間隔で対向し合う位置を意味する。つまり、各請求項には、矩形の圧電基板（周回スリット）のみならず、種々の外形輪郭形状を備えた圧電基板（周回スリット）が含まれるものである。
【０００８】
次に、図２は加工を完了した圧電ウェハ１１中に含まれる圧電振動素子１２をウェハ載置台５１上に固定した状態で、バキュームノズル５０によって個々の圧電振動素子１２の中心部を吸着してリフトし、パッケージ５２の凹所内に搭載する場面を示している。図３（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は、バキュームノズルによる吸着と、吸着後のリフト状態を示す斜視図、及び周回スリットの要部拡大図である。
まず、図２及び図３（ａ）に示すように、バキュームノズル５０を圧電ウェハ１１上の特定の圧電振動素子１２の中心部に向けて下降させて中心部を吸着する。続いて、図３（ｂ）のようにバキュームノズル５０による吸着を継続した状態で、圧電振動素子面と直交する方向へバキュームノズル５０を上昇させる。すると、対向配置された２つの非スリット部２１から夫々外側へ延びる連接片２３が水晶振動素子１２に連られて同時に引き上げられる。この際、連接片２３の全長のうち、周回スリット２０の２つの端部２０ａ間に介在する非スリット部２１と連接している部分が最も幅が狭くなっているため、図３（ｂ）の状態よりも更に圧電振動素子１２を持ち上げると、この部分が点線Ｌで示した線に沿って切断される。具体的には、２つの連接片２３は、互いに点対称形状であるために、圧電振動素子１２を上方に持ち上げた際に、夫々異なった方向へ向かうねじれ方向へのトルクが両非スリット部２１に同時に集中して発生し、夫々異なった方向へ向かうねじれ方向への剪断力によって点線Ｌに沿った切断が的確に行われる（図４参照）。
仮に、図５に示したように、周回スリット２０だけを設け、分岐スリット２２を形成しない場合には、圧電振動素子１２をバキュームノズルによって持ち上げたときに、非スリット部２１にねじれ方向へのトルクが発生しないので、充分な剪断力が発生せず、無理に持ち上げて切断しようとすると、図３中に示した理想的な切断線Ｌに沿った切断が行われず、圧電振動素子の本体部分に切り込みが形成されて不良品となる虞が生じる。
【０００９】
また、本実施形態では、連接片２３の延びる方向が点対称となっているために、圧電振動素子１２を圧電ウェハ１１の面に対して直交する方向へ持ち上げた際に、非スリット部２１にねじれ方向への剪断力が発生したが、図６（ａ）のように連接片２３の方向を同じ方向にした場合（線対称とした場合）、矢印で示すように各非スリット部２１には同じ方向へのねじれが発生するので、図６（ｂ）のように圧電振動素子１２が全体として一方向（同図中左廻り）へ回転してしまい、非スリット部２１を切断するのに充分な剪断力が発生しにくくなる。
また、図１、図２，図３、図４に開示したように、本発明では、圧電ウェハ１１の平板部上に導体膜（励振電極とリード）１５，１６を形成する工程と、各導体膜を包囲する前記周回スリット２０、非スリット部２１及び分岐スリット２２を形成する工程と、圧電ウェハを固定した状態で個々の圧電振動素子個片を吸着して圧電ウェハ面と直交する方向へリフトすることにより周回スリット２０に沿って圧電振動素子個片を分離する工程と、を実施することにより、図１（後述する図７、図８、図９、図１０、図１２も含む）に示した如き構成の圧電振動素子１２を製造することができる。尚、スリットを形成する際には、機械的な切削やレーザ加工を用いてもよいが、バッチ処理を行う上では、エッチング加工が最適である。
更に、上記の工程によって分離された圧電振動素子１２を図２に示した如きパッケージ５２内に搭載し、配線後に密封する等の手順を経ることによって、圧電デバイス（圧電振動子、圧電フィルタ、圧電発振器、ＳＡＷ等）を製造することができる。
【００１０】
次に、図７は本発明の変形実施形態であり、この実施形態の圧電ウェハ１１は、周回スリット２０の対向し合う２つの辺に夫々非スリット部２１を形成する際に、非スリット部２１を挟んで対向する２つの端部２０ａを内側へ向けて屈曲させていない。一方、分岐スリット２２を２本平行（平行でなくてもよい）に外側へ延ばすことによって形成する連接片２３を夫々点対称となるように構成している。
このため、圧電振動素子１２を吸着して持ち上げたときに、各非スリット部２１には反対方向へ向かうねじれ剪断力が発生し、前記実施形態の場合と同様に理想的な切断線に沿った切離しが行われ、圧電振動素子１２を精度よく圧電ウェハ１１から分離することができる。
次に、図８は本発明の変形例である。即ち、周回スリット２０上に形成する２つの非スリット部２１の位置は、図１等に示した対向し合う２つの辺の中央部に限らず、２つの辺の中央部から偏位した位置であってもよい。例えば、図８のように対角線に沿って対向配置された２つの角隅部に非スリット部を配置してもよく、この場合にも圧電振動素子１２を持ち上げるだけで各非スリット部２１に反対方向へ向かうねじれ剪断力が発生して、非スリット部２１が理想的な切断線（端部２０ａ間を結ぶ直線）に沿って切断される。
【００１１】
次に、図９は本発明の変形実施形態の圧電ウェハの構成図であり、この実施形態が前記実施形態と異なる点は、横方向に隣接し合う圧電振動素子１２同志を共通の周回スリット部分２０ｂを介して連接した構成にある。このように構成すれば、一枚のウェハ上により多くの圧電振動素子を配置することが可能となり生産性を高めることができる。
なお、上記各実施形態において、非スリット部２１の幅（端部２０ａ間の間隔）が狭すぎる場合には圧電振動素子１２を持ち上げたときの切断が容易となる一方で、圧電振動素子を分離する前の圧電ウェハ１１を取り扱う際に、圧電振動素子が落下、離脱する虞が発生する。このため、非スリット部２１の幅、即ち対向し合う端部２０ａ間の幅は、圧電ウェハ１１の板厚の１０倍以下、好ましくは８倍〜１０倍の範囲とする。
次に、図１０（ａ）は本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの斜視図、（ｂ）は要部拡大平面図である。前記各実施形態に係る圧電ウェハが平板状であったのに対して、本実施形態の圧電ウェハ１１は、水晶振動素子１２に相当する位置に凹所３０が形成されており、凹所３０の内底面３０ａを水晶振動素子１２として活用する。即ち、凹所３０の内底面３０ａには、全面電極３１を形成すると共に、その裏面には励振電極１５，リード電極１６を形成する。また、凹所３０の内底面３０ａの外周縁、即ち厚肉部３３の内壁裾部に沿った領域には、周回スリット２０が非連続的に形成されている。周回スリット２０の対向し合う２つの辺には非スリット部２１が形成され、周回スリット２０の両端部２０ａの適所からは外側へ向けて分岐スリット２２が引き出されることによって連接片２３を形成している。各連接片２３の延びる方向は、各連接片が点対称となるように設定されている。
このように本実施形態では、平板状の凹所内底面に形成した周回スリット２０の外側に厚肉部３３が位置しているので、凹所内底面に相当する圧電振動素子１２の中心部をバキュームノズルによって吸着して持ち上げる際に、周囲の厚肉部３３が強固であるために、分割し易くなる。
【００１２】
図１１は、このような構造の圧電ウェハを製造する手順を示す工程図である。
まず、図１１（ａ）の工程では、圧電ウェハ１１の表面に配列された全ての凹所３０内に全面電極となる導体膜３５（銀、或いはアルミニウム等）を成膜し、続いて（ｂ）の工程では凹所３０の裏面側にフォトリソグラフィ技術を用いて励振電極１５等を形成する。続いて、（ｃ）の工程では凹所の裏面に対してフォトレジスト膜３６を成膜し、（ｄ）の工程では図示しないマスクを用いて周回スリット２０及び分岐スリット２２に相当する位置だけを露光して、感光した部分を除去する。次いで，（ｅ）の工程のようにフォトレジスト膜が除去された部分３６ａから露出したウェハ裏面をエッチングによって除去することによって、内底面３０ａの周縁に周回スリット２０及び分岐スリット２２を貫通形成する。その後、フォトレジスト膜３６を除去することによって、図１０に示した如き構成を備えた圧電ウェハが完成する。
この製造方法によれば、図１、図７、図８等に示した圧電ウェハのみならず、種々のタイプの圧電ウェハを凹所内に形成することができ、圧電振動素子１２を吸着してリフトしたときにおける、非スリット部２１の切断性も向上する。
なお、励振電極の個数、形状等の構成は、図示したものに限定される訳ではなく、種々変更可能である。
【００１３】
次に、図１２は、上記各実施形態全てに適用可能な変形例であり、圧電ウェハ１１上に配置された各圧電振動素子１２の余白、具体的には周回スリット２０の外側に位置するウェハ面に、２次元バーコード等から成る情報記録部４０を印刷等しておくようにしている。即ち、この情報記録部４０には、各圧電振動素子の固有の特性（共振周波数、温度周波性特性等）を記録しておく。即ち、圧電ウェハ１１上の各圧電振動素子１２の特性を個別に測定した後に、測定結果を記録した情報記録部４０を図示の位置に印刷等しておく。
このように一つの圧電ウェハ１１上に配置された複数の圧電振動素子毎の特性を直近に位置する情報記録部４０に記録しておくことにより、圧電ウェハ１１から圧電振動素子１２を分離してパッケージ内に自動搭載する際に、図示しないリーダによって記録内容を読取り、読取った特性の違い、良否、レベルに基づいて各圧電振動素子１２を分類，ランク付けして仕分けることができる。具体的には、例えば共振周波数や温度周波数特性についてのスペック値からのずれの程度に応じて、ウェハから分離した後の圧電振動素子を、分類、ランク付けして、仕分けしておくことにより、後工程における特性の微調整作業を効率化することができる。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、圧電振動素子を大面積の圧電ウェハから切り出すことによりバッチ処理生産する際に、圧電振動素子が小型化すればするほど、ウェハからの切り出し作業と、切り出し後のピックアップ作業が煩雑化するという不具合を解決することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態に係る圧電ウェハの要部平面図、（ｂ）及び（ｃ）は完成した圧電振動素子の一例の構成図。
【図２】圧電ウェハ上から圧電振動素子を分離する装置及び手順を示す図。
【図３】（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は本発明の圧電ウェハから圧電振動素子を分離する手順を示す図、及び要部の拡大図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は本発明の原理を説明する平面図、及び正面図。
【図５】比較例を示す平面図。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は比較例を示す平面図、及び正面図。
【図７】本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの要部構成図。
【図８】本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの要部構成図。
【図９】本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの要部構成図。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの要部構成図。
【図１１】（ａ）乃至（ｅ）は図１０に示した圧電ウェハの製造手順を示す図。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る圧電ウェハの要部構成図。
【図１３】従来例の構成説明図。
【符号の説明】
１１  圧電ウェハ、１２  圧電振動素子、１５  励振電極、１６  リード電極、２０  周回スリット、２０ａ  端部、２１  非スリット部、２２  分岐スリット、２３  連接片、３０  凹所、３１  全面電極、４０  情報記録部、５０  バキュームノズル、５２  パッケージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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