(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小物体を外観検査して良品と不良品とに分別する微小物体検査装置であって、微小物体を搬送する第１フィーダと、この第１フィーダの先端部に距離を存して設けられると共に回転可能とされ、表裏面を貫通したポケットが円弧状に間隔を存して複数形成された円形の第１回転テーブルと、この第１回転テーブルの裏面に設けられ、円弧状に順次、第１フィーダの先端部と対向し、かつ水平位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置がその裏面側に接続された吸引開口、この吸引開口から１８０°回転した位置に表裏面を貫通して設けられ、分別した良品の微小物体を送出する良品送出開口、及びこの良品送出開口に対する回転方向前後いずれかの位置に設けられ、分別した不良品の微小物体を送出する不良品送出開口で構成された第１固定テーブルと、この第１固定テーブルの良品送出開口に裏面側で接続され、微小物体を整列させつつ搬送する第２フィーダと、この第２フィーダの先端部に距離を存して設けられると共に回転可能とされ、表裏面を貫通したポケットが円弧状に間隔を存して複数形成された円形の第２回転テーブルと、この第２回転テーブルの裏面に設けられ、円弧状に順次、第２フィーダの先端部と対向し、かつ水平位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置がその裏面側に接続された吸引開口、この吸引開口から回転した位置に表裏面を貫通して設けられ、分別した良品の微小物体を送出する良品送出開口、及びこの良品送出開口に対する回転方向前後いずれかの位置に設けられ、分別した不良品の微小物体を送出する不良品送出開口で構成された第２固定テーブルと、を備えると共に、前記回転テーブルの回転する方向で前記第１固定テーブルの前記吸引開口から下流側に撮像開口を形成し、この撮像開口、前記第１フィーダの第１回転テーブルの直前、及び前記第２フィーダの第２回転テーブルの直前、及び前記第２回転テーブルの吸引開口の下流側のポケット内、が撮像可能な位置に各々カメラを配置したことを特徴とする微小物体検査装置。
【請求項２】
第１及び第２固定テーブルにおいて、第１及び第２回転テーブルの回転方向の最下流位置に対応する良品送出開口又は不良品送出開口に隣接する位置に、光電センサを埋設したことを特徴とする請求項１記載の微小物体検査装置。
【請求項３】
不良品送出開口を複数形成し、微小物体の異常毎に不良品送出開口を分別して送り出すことを特徴とする請求項１又は２記載の微小物体検査装置。
【請求項４】
第１及び第２固定テーブルの各々に、第１及び第２フィーダの先端部に対向させ、かつ第１及び第２回転テーブルの各々のポケットを介した該第１及び第２固定テーブルのそれぞれの吸引開口と連通させて、筒状の断面下半分が切除されたノズルを設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の微小物体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばコンデンサチップのような微小な物体の外観や寸法等を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
微小物体の検査装置は、フィーダから搬送される微小物体を整列させて１個ずつに分離して、下流側に吸引し、気流搬送によって微小物体を浮遊させて搬送する途中で、カメラにより微小物体を撮像し、この撮像データから微小物体の外観上の疵、寸法などを検査し、検査の結果に基づいて分別装置によって、微小物体が、良品の場合は良品貯蔵部へ、不良品の場合は不良品貯蔵部へ、各々分別されれる。
【０００３】
上記した検査装置は、良品と判定された微小物体と不良品と判定された微小物体とを分別するために、フィーダの微小物体の排出部となる先端から１本の気流搬送道が導設され、この気流搬送道における良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐位置に、良品貯蔵部と不良品貯蔵部との分岐を切り替える閉塞板を設けている。
【０００４】
従って、検査装置は、良品貯蔵部及び不良品貯蔵部から空気を吸引して、良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、不良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じ、不良品と判定された微小物体が吸引されてきたときは、良品貯蔵部へ分岐する気流搬送道を閉塞板で閉じるのである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の検査装置は、良品貯蔵部と不良品貯蔵部とに分岐した各々の気流搬送道を閉塞板で閉じるようにしていたので、検査自体が非常に短時間で行え、また空気の吸引能力を高くすることができるにも拘わらず、順次気流搬送されてくる検査を終了した微小物体に対応してタイミング良く閉塞板の開閉操作を行うためには気流搬送速度を比較的低速とする必要が生じ、結果として大量の微小物体を短時間で効率よく処理することができないといった不具合があった。
【０００６】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構造で、高速で効率良く良品と不良品の分別を行うことができる微小物体検査装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、第１フィーダで第１回転テーブル及び第１固定テーブルに微小物体を搬送して、該第１回転テーブル及び第１固定テーブルで微小物体の何面かの外観検査を行い、第２フィーダで第１フィーダで第１回転テーブル及び第１固定テーブルから第２回転テーブル及び第２固定テーブルへ、該第１回転テーブル及び第１固定テーブルで良品と分別された微小物体のの残りの何面かの外観検査を行うようにした。このようにすることで、微小物体の検査を高速化することができ、微小物体の全ての面について外観検査を行って確実に良品と不良品とを分別することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の微小物体検査装置は、微小物体を搬送する第１フィーダと、この第１フィーダの先端部に距離を存して設けられると共に回転可能とされ、表裏面を貫通したポケットが円弧状に間隔を存して複数形成された円形の第１回転テーブルと、この第１回転テーブルの裏面に設けられ、円弧状に順次、第１フィーダの先端部と対向し、かつ水平位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置がその裏面側に接続された吸引開口、この吸引開口から１８０°回転した位置に表裏面を貫通して設けられ、分別した良品の微小物体を送出する良品送出開口、及びこの良品送出開口に対する回転方向前後いずれかの位置に設けられ、分別した不良品の微小物体を送出する不良品送出開口で構成された第１固定テーブルと、この第１固定テーブルの良品送出開口に裏面側で接続され、微小物体を整列させつつ搬送する第２フィーダと、この第２フィーダの先端部に距離を存して設けられると共に回転可能とされ、表裏面を貫通したポケットが円弧状に間隔を存して複数形成された円形の第２回転テーブルと、この第２回転テーブルの裏面に設けられ、円弧状に順次、第２フィーダの先端部と対向し、かつ水平位置に設けられ、微小物体を吸引する吸引装置がその裏面側に接続された吸引開口、この吸引開口から回転した位置に表裏面を貫通して設けられ、分別した良品の微小物体を送出する良品送出開口、及びこの良品送出開口に対する回転方向前後いずれかの位置に設けられ、分別した不良品の微小物体を送出する不良品送出開口で構成された第２固定テーブルと、を備えると共に、回転テーブルの回転する方向で第１固定テーブルの吸引開口から下流側に撮像開口を形成し、この撮像開口、第１フィーダの第１回転テーブルの直前、及び第２フィーダの第２回転テーブルの直前、及び第２回転テーブルの吸引開口の下流側のポケット内、が撮像可能な位置に各々カメラを配置したものである。
【０００９】
本発明において、第１フィーダは、例えば先端部に至るまでの搬送経路を振動させて微小物体を整列する。第１フィーダの先端部は、微小物体の姿勢が崩れるのを防止するために無振動状態とされている。
【００１０】
そして、第１フィーダの先端部と僅かの（微小物体の１．５２倍の長さとしてもよいが後述する吸引装置の出力によって異なる）距離を存した位置には、第１回転テーブルのポケットの開口が位置し、このポケット（第１固定テーブル）を介し、第１固定テーブルの第１フィーダの先端部に対向する位置には吸引開口が形成されている。第１回転テーブル及び第１固定テーブルは、その面が水平な配置面に対して垂直状に立設配置されており、吸引開口は第１固定テーブルにおいて水平位置に形成され、第１フィーダで搬送された微小物体を吸引装置によって吸引して、水平状に第１回転テーブルのポケットに受け取る。
【００１１】
このとき、第１フィーダで搬送される微小物体の例えば上面、左右面については第１フィーダの先端部に各々設置されたカメラによって、撮像して外観検査を行う。その後、第１回転テーブルのポケットに吸引された微小物体は、第１固定テーブルの吸引開口の、該第１回転テーブルの回転方向下流に設けた撮像開口に埋設されたカメラによって、前面が撮像されて外観検査が行われる。
【００１２】
そして、いま、第１回転テーブル及び第１固定テーブルにおいて、微小物体の上面、左右面、及び前面について外観検査が行われ、外観検査の結果、異常がない場合は、第１固定テーブルに形成された良品送出開口から送り出されて第２フィーダによって第２回転テーブル及び第２固定テーブルへ搬送される。
【００１３】
第１固定テーブルにおいて、良品送出開口は、吸引開口に対して１８０°回転した位置に設けられる。よって、吸引開口で第１回転テーブルのポケットに吸引された微小物体の上面は、良品送出開口に達したときにその下面が上面となって第２フィーダへ送り出される。なお、ここで、上面、左右面、前面のいずれかに異常がある場合は、第１固定テーブルにおける不良品送出開口から不良品収納部へと送り出される。
【００１４】
第２フィーダで第２回転テーブル及び第２固定テーブルへ送り出された微小物体は、該第２回転テーブルに達する直前で微小物体の上面（第１回転テーブル吸引時は下面）と、後面とをカメラで撮像して外観検査を行う。そして、この外観検査で異常がない場合は、第２固定テーブルにおける良品送出開口から良品収納部へと送り出される。なお、ここで、上面、後面のいずれかに異常がある場合は、第２固定テーブルの不良品収納部へと送り出される。
【００１５】
このように、本発明の微小物体検査装置は、第１回転テーブル及び第１固定テーブルの直前にある微小物体の上面、左右面について外観検査し、第１回転テーブルのポケットにある微小物体の前面について外観検査し、これらの検査結果で良品と分別されたものを、第２固定テーブルの良品送出開口から第２フィーダを介して第２回転テーブル及び第２固定テーブルへと送り、第２回転テーブル及び第２固定テーブルの直前において微小物体の下面（このときは上面となっている）と、後面について外観検査するようにし、これらの検査結果で良品と分別されたものを第２固定テーブルの良品送出開口から送り出すようにしているので、微小物体の６面すべての外観検査が確実に行える。
【００１６】
また、本発明は、上記構成において、第１及び第２固定テーブルにおいて、第１及び第２回転テーブルの回転方向の最下流位置に対応する良品送出開口又は不良品送出開口に隣接する位置に、光電センサを埋設したものである。このようにすることで、分別した微小物体がきちんと良品又は不良品に分別されて送り出されているか否かが把握でき、第１及び第２回転テーブルのポケット内に残留した未判別の微小物体を見付けることができる。
【００１７】
また、本発明は、上記構成において、不良品送出開口を複数形成し、微小物体の異常毎に不良品送出開口を分別して送り出すものである。
【００１８】
上記構成によれば、第１固定テーブルにおいては、例えば上面に不良があった微小物体、左右面に不良があった微小物体、前面に不良があった微小物体を、各々分別してそれぞれの不良品送出開口から送り出し、一方、第２固定テーブルにおいては、例えば下面（このときは上面）に不良があった微小物体、後面に不良があった微小物体を、各々分別してそれぞれの不良品送出し開口から送り出すようにすることで、各々の不良品収納部に送り出される微小物体のどの面に異常があったのかを検査終了後に分別しなくても把握することができる。
【００１９】
また、本発明は、上記構成において、第１及び第２固定テーブルの各々に、第１及び第２フィーダの先端部に対向させ、かつ第１及び第２回転テーブルの各々のポケットを介した該第１及び第２固定テーブルのそれぞれの吸引開口と連通させて、筒状の断面下半分が切除されたノズルを設けたものである。
【００２０】
微小物体は、第１及び第２フィーダから第１及び第２固定テーブル裏面側に設けた吸引装置によって該第１及び第２回転テーブルの各々のポケットへ空中移動する。この構成では、空中移動中の微小物体の移動姿勢が安定させて、微小物体を正確に撮像し、良品と不良品とをさらに精度よく判別させるために上記ノズルを設けている。
【００２１】
ノズルは、第１及び第２フィーダの先端部に対向した位置で、第１及び第２回転テーブルの各々のポケットを介して第１及び第２固定テーブルのそれぞれの吸引開口と連通させて、第１及び第２固定テーブルに対して設けられる。つまりノズルは、第１及び第２回転テーブルの回転には伴わないで固定的に、第１及び第２フィーダの先端部に面して設けられている。これによって、ノズルを設けていない状態に較べて小さい吸引装置によって微小物体を容易に吸引することができるようになる。
【００２２】
そして、このノズルは、断面下半分が切除された状態とされている。この理由は、ノズルが筒状であると、筒状の先端開口から、第１及び第２フィーダの先端部における微小物体が容易に吸引されるが、微小物体におけるノズルと対向する面のみが吸引されるので空中姿勢が崩れやすく（前傾姿勢となりやすく）、場合によっては空中姿勢が不安定であることに起因して良品不良品の誤判別を生じることがある。
【００２３】
そこで、ノズルを筒状の断面下半分が切除された状態とすることで、ノズルの断面下半分が切除された部分と先端部分との２方向から微小物体を吸引することができるようになり、この結果、吸引される微小物体は、ノズルと対向する面と下面の２面とから吸引されることとなり、空中移動中の微小物体における下面が吸引される空気によって支えられて安定する。よって、このようにすることで、微小物体の空中姿勢が安定し、カメラによる撮像も安定したものとなり、ノズルを設けていない状態に較べ、誤判別が抑制されて検査精度が向上する。
【００２４】
【実施例】
以下に本発明の微小物体検査装置の実施例について図面を参照して説明する。
図１及び図２は本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す。図３は本発明の微小物体検査装置における第１及び第２回転テーブルを示す。図４は本発明の微小物体検査装置における第１固定テーブルを示す。図５は本発明の微小物体検査装置における第２固定テーブルを示す。図６は変形例によるノズルを設けた本発明の微小物体検査装置において変更部分を示す。図７は変形例によるほんはつめいの微小物体検査装置におけるノズル部分を示す。なお、微小物体は、非常に小さくまた、実際の装置も小さくかつコンパクトなものであるが、図示においては、拡大し、かつ誇張して示している。
【００２５】
図において、１は、例えばコンデンサチップのような微小物体Ｗ（以下、ワークＷという）の外観や寸法を検査し、検査結果に基づいて良品と不良品とに分別する微小物体検査装置（以下、検査装置という）であり、以下のように構成されている。
【００２６】
２は、例えば高周波振動を推力として利用した第１フィーダであり、この第１フィーダ２は、ワークＷを、例えば溝が形成された搬送路２ａに高周波振動を与えつつ先端部の排出部２ｂに搬送することで整列する。排出部２ｂは、ワークＷの姿勢が崩れないように無振動状態とされている。
【００２７】
第１フィーダ２は、配置面に対して水平状とされ、例えば本実施例における第１フィーダ２の排出部２ｂは、例えばサファイアガラスを用いて無色透明状態としている。また、第１フィーダ２の、排出部２ｂの上方位置にはワークＷの上面を撮像するカメラＣ１を、排出部２ｂの左右位置にはワークＷの左右面を撮像するカメラＣ２，Ｃ３（図１では省略）を各々設けている。本発明の検出装置１は、第１フィーダ２の排出部２ｂを、上記したように構成することで、これらカメラＣ１〜Ｃ３による撮像時に照明などが排出部２ｂで反射することがなくなり、外観検査の精度を向上させることができる。
【００２８】
３は、図３に示すように、第１フィーダ２の排出部２ｂからワークＷ１個分の長さだけ離間させ、かつ配置面に対して垂直状に立設されると共にモータＭ１によって回転可能とされ、表裏面を貫通したポケット３ａが円弧状に所定間隔を存して複数形成された円形の第１回転テーブルである。ポケット３ａは、ワークＷより若干大きな寸法とされ、ここに挿入したワークＷの姿勢が崩れないようになっている。
【００２９】
４は、第１回転テーブル３の裏面に同じく配置面に対して垂直状に立設された第１固定テーブルである。この第１固定テーブル４は、図４に示すように、その端面において、第１回転テーブル３が所定角度ずつ回転したときに、移動した各ポケット３ａが位置するように、円弧状に順次、次に説明する構成要素が設けられている。
【００３０】
第１固定テーブル４の端面において、第１フィーダ２の排出部２ｂと対向して配置面に対する水平位置には、ワークＷを吸引する吸引開口４Ａが設けられている。この吸引開口４Ａは、ワークＷより小さく設計され、この位置で第１固定テーブル４における第１回転テーブル３が位置する側とは反対の面側に吸引装置Ｖ１（図２）が接続されている。
【００３１】
吸引開口４Ａの位置から隣接する位置には、ワークＷの前面を撮像するための撮像開口４Ｂが設けられている。この撮像開口４Ｂの第１回転テーブル３側には無色透明なガラス４Ｂａが載置されている。また、撮像開口４Ｂが設けられた位置には、第１固定テーブルの裏面側に後述するカメラＣ４が設けられている。
【００３２】
吸引開口４Ａの位置から、第１回転テーブル３が１８０°回転した位置には、表裏面を貫通し、本実施例では、ワークＷの上面、左右面、前面の外観検査のうえ良品と判定されたワークＷを後述する第２回転テーブル７及び第２固定テーブル８へと送り出すための良品送出開口４Ｃが設けられている。この良品送出開口４Ｃにおける第１固定テーブル４の裏面には後述する第２フィーダ６が設けられている。
【００３３】
良品送出開口４Ｃの位置から、所定間隔分だけ第１回転テーブル３が回転した位置には、本実施例では、ワークＷの上面、左右面、前面の外観検査の際に、それぞれの寸法や外観が不良品と判定されたワークＷを各々の検査した面毎に分別して送り出す不良品送出開口４Ｄ〜４Ｆが設けられている。この不良品送出開口４Ｄ〜４Ｆは、この位置で第１固定テーブル４における裏面に、不良品貯蔵部４ａが接続されている。
【００３４】
不良品送出開口４Ｆの位置から、第１回転テーブル３の回転方向に隣接する位置には、ワークＷが第１回転テーブル３のポケット３ａに残留していないか否かを検知する光電センサ５が埋設されており、この光電センサ５は、例えばポケット３ａにワークＷが残留しているとき、ワークＷで照射した光が反射してその旨検知するものである。
【００３５】
６は、第１固定テーブル４の良品送出開口に裏面側で接続され、第１回転テーブル３及び第１固定テーブル４を経て、ワークＷの上面、左右面、前面の外観検査において良品と分別されたものを整列させつつ搬送する第２フィーダである。この第２フィーダ６は、第１フィーダ２と同様の構造とされ、搬送路６ａとその先端部に排出部６ｂとが設けられている。
【００３６】
この第２フィーダ６の、排出部６ｂの上方位置にはワークＷの下面（ここでは上面）を撮像するカメラＣ５を、排出部６ｂのワークＷの搬送方向下流側には、第２回転テーブル７のポケット７ａに入ったワークＷの後面を撮像するカメラＣ６を各々設けている。
【００３７】
７は、第２フィーダ６の排出部６ｂにワークＷ１個分の長さだけ離間するように設けられかつ配置面に対して垂直状態に立設され、モータＭ２によって回転可能とされ、表裏面を貫通したポケット７ａが円弧状に所定間隔を存して複数形成された円形の第２回転テーブルである。この第２回転テーブル７の構造は、図３に示すように第１回転テーブル３と同様となっている。
【００３８】
８は、第２回転テーブル７の裏面に同じく配置面に対して垂直状に立設された第２固定テーブルである。この第２固定テーブル８は、図５に示すように、その端面において、第２回転テーブル７が所定角度ずつ回転したときに、移動した各ポケット７ａが位置するように、円弧状に順次、次に説明する構成要素が設けられている。
【００３９】
第２固定テーブル８の端面において、第２フィーダ６の排出部６ｂと対向して配置面に対する水平位置に位置には、ワークＷを吸引する吸引開口８Ａが設けられている。この吸引開口８Ａは、ワークＷより小さく設計され、この位置で第２固定テーブル８における第２回転テーブル７が位置する側とは反対の面側に吸引装置Ｖ２（図２）が接続されている。
【００４０】
吸引開口８Ａの位置から、例えば第２回転テーブル７が１８０°回転した位置には、表裏面を貫通し、本実施例では、ワークＷの下面（撮像位置は上面）、後面の外観検査のうえ良品と判定されたワークＷを次工程へと送り出すための良品送出開口８Ｃが設けられている。
【００４１】
良品送出開口８Ｃの位置から、所定間隔分だけ第２回転テーブル７が回転した位置には、本実施例では、ワークＷの下面（撮像位置は上面）、後面の外観検査の際に、それぞれの寸法や外観が不良品と判定されたワークＷを各々の検査した面毎に分別して送り出す不良品送出開口８Ｄ，８Ｅが設けられている。この不良品送出開口８Ｄ，８Ｅは、この位置で第２固定テーブル８における裏面に、不良品貯蔵部８ａが接続されている。
【００４２】
不良品送出開口８Ｅの位置から、第２回転テーブル７の回転方向に隣接する位置には、ワークＷが第２回転テーブル７のポケット７ａに残留していないか否かを検知する光電センサ９が埋設されている。
【００４３】
次に上記構成の検査装置１の動作を説明する。
第１フィーダ２において、搬送路２ａを順次ワークＷが整列されつつ移動し、排出部２ｂまで搬送される。吸引装置Ｖ１は常時吸引状態とされ、第１回転テーブル３が回転して、吸引開口４Ａとポケット３ａとが連通状態となったとき、吸引装置Ｖ１の吸引力が吸引開口４Ａ及び回転テーブル３のポケット３ａを介してワークＷに及んで排出部２ｂに位置するワークＷが吸引される。
【００４４】
よって、本発明の検査装置１は、第１回転テーブル３の回転時にポケット３ａが吸引開口４Ａ上に位置しないときは、ワークＷが吸引されないから、ワークＷを１個ずつ分離するための別途の機構を要しない。
【００４５】
ワークＷが第１フィーダ２からポケット３ａに移動するときには、カメラＣ１〜Ｃ３によって、ワークＷの上面、左右面が撮像され、この撮像データは不図示の画像処理部を介して判定部へ送られる。
【００４６】
判定部ではいま撮像したワークＷがどのポケット３ａに収納されたかが記憶されており、このように記憶されたワークＷの上面、左右面の撮像データに、続いて行われるワークＷの前面の撮像データを順次加えて記憶する。
【００４７】
ポケット３ａに収納されたワークＷは、第１回転テーブル３の回転によって、カメラＣ４が配置された撮像開口４Ｂ位置へ搬送されることとなり、ここで、ワークＷの前面が撮像され、上記同様に、撮像データを画像処理部を介して判定部へ送る。
【００４８】
ワークＷが外観検査を終えてさらに回転する間に、判定部では当該ポケットに存在するワークＷについての上面、左右面、及び前面の外観検査結果の判定が下され、その結果が不図示の制御部に送られる。制御部は、判定部の判定結果が良品である場合、良品送出開口４Ｃを介して当該ワークＷを第２フィーダ６へと送り出す。
【００４９】
一方、制御部は、判定部の判定結果が外観不良品である場合、例えば上面に不良がある場合は不良品送出開口４Ｄから、左右面に不良がある場合は不良品送出開口４Ｅから、前面に不良がある場合は不良品送出開口４Ｆから、それぞれ不良のワークＷを送り出し、不良品貯蔵部４ａで貯蔵する。
【００５０】
その後、光電センサ５によって、第１回転テーブル３のポケット３ａにワークＷが残留していないかが確認され、順次処理が継続される。
【００５１】
さて、第１固定テーブル４の良品送出開口４Ｃから送り出される現時点での良品ワークＷは、吸引開口４Ａに位置している状態から１８０°反転され、つまり第１フィーダ２の排出部２ｂで撮像された上面が、良品送出開口４Ｃから送り出されるときには下面となる。
【００５２】
よって、第２フィーダ６を搬送されるワークＷの上面は、すなわち、未だ外観検査を行っていない下面が上面となって搬送され、第２フィーダ６の排出部６ｂにおいてカメラＣ５に撮像され、ワークＷの下面が外観検査されるのである。
【００５３】
続いて、第２フィーダ６から第２回転テーブル７のポケット７ａに吸引されたワークＷは、すぐさまカメラＣ６によって後面が検査され、最終的に当該ワークＷについて６面すべての外観検査が完了したこととなる。
【００５４】
その外観検査の結果、記憶された当該ワークＷの６面全ての外観に異常がない場合は、良品送出開口８Ｃから次工程へと搬送される。一方、当該ワークＷの、例えば下面に不良がある場合は不良品送出開口８Ｄから、後面に不良がある場合は不良品送出開口８Ｅから、それぞれ不良のワークＷを送り出し、不良品貯蔵部８ａで貯蔵する。
【００５５】
その後、光電センサ９によって、第２回転テーブル７のポケット７ａにワークＷが残留していないかが確認され、順次処理が継続される。
【００５６】
このように本発明の検査装置１は、第１及び第２回転テーブル３，７と第１及び第２固定テーブル８を配置面に垂直状に立設し、ワークＷを第１及び第２回転テーブル３，７の端面に円弧状に設けたポケット３ａ，７ａで収納するようにしているので、第１及び第２フィーダ２，６の搬送速度を上げることができる。
【００５７】
さらに、本発明の検査装置１は、例えばワークＷの前後の外観検査と、良品及び不良品の分別判定位置とを離すことで、第１及び第２回転テーブル３，７の回転速度をさらに高速化しても、判定時間を確保することができる。
【００５８】
さらに、本発明の検査装置１は、第１及び第２回転テーブル３，７のポケット３ａ，７ａの大きさについてワークＷの大きさより若干だけ大きくしているので、ポケット３ａ，７ａ内でワークＷの姿勢が崩れることがなく、また、第１固定テーブル４の良品送出開口４Ｃは、第１回転テーブル３が吸引開口４Ａから１８０°回転した箇所に位置するので、ワークＷを上下面を反転させて送り出すことができ、従ってワークＷの６面すべての面について外観検査を確実に行うことが可能となる。
【００５９】
さらに、不良品送出開口４Ｄ〜４Ｆ，８Ｄ，８Ｅを外観検査の不良毎に送り出すようにしているので、後の不良品チェックが容易となり、また、第１及び第２回転テーブル３，７のポケット３ａ，７ａにワークＷが残留していないか否かを確認するための光電センサ５，９を設けているので、処理エラーが発生することなく安定した動作が実現できる。
【００６０】
また、本発明の検査装置１は、例えばポケット３ａ，７ａの数や、吸引開口４Ａ，８Ａ、撮像開口４Ｂ、不良品送出開口４Ｄ〜４Ｆ，８Ｄ，８Ｅの間隔を適宜設定してもよく、不良品送出開口４Ｄ〜４Ｆ，８Ｄ，８Ｅが、良品送出開口４Ｃ，８Ｃの第１及び第２回転テーブル４，８の回転方向上流側に位置してもよい。
【００６１】
上記した実施例は、本発明の請求項１に請求項２，３を付加した態様を示したが、請求項１のみの態様、請求項１に請求項２を付加した態様、請求項１に請求項３を付加した態様としても効率よくかつ確実に外観検査を行うことができる。
【００６２】
続いて、上記した本発明の請求項１に請求項２，３を付加した態様に、さらに請求項４を付加した態様について説明する。すなわち、この実施例では、図５及び図６に示すように、上記した検査装置１において、第１及び第２固定テーブル４，８の各々に、第１及び第２フィーダ２，６の先端部（排出部２ｂ，６ｂ）に対向させ、かつ第１及び第２回転テーブル３，７のポケット３ａ，７ａを介した該第１及び第２固定テーブル４，８のそれぞれの吸引開口４Ａ，８Ａと連通させて、筒状の断面下半分が切除されたノズル１０を設けている。
【００６３】
ノズル１０は、断面下半分が切除された状態とされているので、図６に示すように、ノズル１０の断面下半分が切除された部分Ａと先端部分Ｂの２方向からワークＷを吸引することとなり、この結果、吸引されるワークＷは、ノズル１０と対向する面と下面の２面が吸引され、空中移動中の微小物体における下面が吸引される空気によって支えられて、筒状のノズルを使用することによりワークＷの吸引方向先端部が下方に傾斜した状態（前傾状態）となることなく、水平に安定して吸引される。
【００６４】
よって、このノズル１０を、上記実施例における検査装置１に付加することで、ワークＷの空中姿勢が安定し、カメラＣ１〜Ｃ６による撮像にぶれが生じない安定したものとなり、上記実施例でノズル１０を設けていない状態に較べ、誤判別が抑制されて検査精度が向上する。
【００６５】
【発明の効果】
以上のように、本発明の微小物体検査装置は、第１回転テーブル及び第１固定テーブルにおいて、微小物体の所定の面について外観検査を行い、この外観検査の結果、異常がない場合は、微小物体を１８０°反転させて第２フィーダによって第２回転テーブル及び第２固定テーブルへ搬送し、第２フィーダで第２回転テーブル及び第２固定テーブルで残りの面について外観検査を行うので、微小物体の６面すべての外観検査が確実に行える。
【００６６】
また、本発明は、上記構成において、第１及び第２固定テーブルにおいて、第１及び第２回転テーブルの回転方向の最下流位置に対応する良品送出開口又は不良品送出開口に隣接する位置に、光電センサを埋設したので、分別した微小物体がきちんと良品又は不良品に分別されて送り出されているか否かが把握でき、第１及び第２回転テーブルのポケット内に残留した未判別の微小物体を見付けることができる。
【００６７】
また、本発明は、上記構成において、不良品送出開口を複数形成し、微小物体の外観検査を行ってどの面に異常があったかに応じて不良品送出開口を異ならせて送り出すので、各々の不良品収納部に送り出される微小物体のどの面に異常があったのかを後に分別しなくとも把握することができる。
【００６８】
また、本発明は、上記構成において、第１及び第２固定テーブルの各々に、第１及び第２フィーダの先端部に対向させ、かつ第１及び第２回転テーブルの各々のポケットを介した該第１及び第２固定テーブルのそれぞれの吸引開口と連通させて、筒状の断面下半分が切除されたノズルを設けたので、微小物体が吸引方向先端方向と下面とから吸引されることとなり、微小物体の空中姿勢が安定してカメラによる撮像も安定し、従って、誤判別が抑制されて検査精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す側面方向から見た図である。
【図２】本発明の微小物体検査装置の概略構成を示す上方から見た図である。
【図３】本発明の微小物体検査装置の第１及び第２回転テーブルを示す図である。
【図４】本発明の微小物体検査装置における第１固定テーブルを示す図である。
【図５】本発明の微小物体検査装置における第２固定テーブルを示す図である。
【図６】ノズルを付加した本発明の微小物体検査装置における変更部分を示し、（ａ）は側面方向から見た図、（ｂ）は上方から見た図、である。
【図７】ノズルを付加した本発明の微小物体検査装置におけるノズル部分のみを示し、（ａ）はノズルによって微小物体を吸引する状況を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の側面方向から見た図である。
【符号の説明】
１          （微小物体）検査装置
２          第１フィーダ
２ａ        排出部
３          第１回転テーブル
３ａ        ポケット
４          第１固定テーブル
４Ａ        吸引開口
４Ｃ        良品送出開口
４Ｄ        不良品送出開口
４Ｅ        不良品送出開口
４Ｆ        不良品送出開口
５          光電センサ
６          第２フィーダ
７          第２回転テーブル
７ａ        ポケット
８          第２固定テーブル
８Ａ        吸引開口
８Ｃ        良品送出開口
８Ｄ        不良品送出開口
８Ｅ        不良品送出開口
９          光電センサ
１０        ノズル
Ｃ１〜Ｃ６  カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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