(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送する搬送機構と、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持する記憶部と、
前記履歴情報を表示する表示部と、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールと、前記モジュール上に重ねて表示される、前記履歴情報に示されている前記基板が通過した前記モジュール同士を連結する前記搬送路を組み合わせて、前記複数のモジュールを経由しつつ前記基板を搬送した搬送経路とを示す画像と、を前記表示部に並べて表示する制御部と、を有する基板処理装置。
【請求項２】
前記履歴情報は、基板処理中に逐次前記記憶部に保存される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、更に、前記表示部に成膜条件の情報を表示する請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールと、前記モジュール上に重ねて表示される、前記履歴情報に示されている前記基板が通過した前記モジュール同士を連結する前記搬送路を組み合わせて、前記複数のモジュールを経由しつつ前記基板を搬送した搬送経路とを示す画像とを並べて表示する基板処理装置の表示方法。
【請求項５】
基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールを示す画像とを並べて表示する際に、前記履歴情報を示す表内で選択されたモジュールに対応して、前記モジュールを示す画像に前記基板を示すアイコンを表示させる記憶処理装置の表示方法。
【請求項６】
基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送し、
前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれかの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持し、
前記記憶部から前記履歴情報を読み出し、少なくとも基板処理装置を構成するモジュールと前記モジュールのスロット番号とを含む前記履歴情報を示す表と、前記履歴情報に示されている前記基板の処理を行う複数のモジュールを示す画像とを並べて表示する際に、前記履歴情報を示す表内で選択されたモジュールに対応して、前記モジュールを示す画像に前記基板を示すアイコンを表示させ、前記履歴情報を示す表で上から下方に向けて順に選択されたモジュールに対応して、前記アイコンを移動させる基板処理装置の表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置の内部では、基板が各モジュール内を搬送されて行き来している。基板の搬送経路に関する情報は記憶部にて保存されている。図４に、従来の基板処理装置の一例である枚葉式の基板処理装置Ｈを示す。
【０００３】
この基板処理装置Ｈは、処理部１、表示部（ディスプレイ）２、記憶部（メモリ）３および制御部（ＣＰＵ）４を備えている。処理部１は、プロセスモジュール１（１１）、プロセスモジュール２（１９）、プロセスモジュール３（１ａ）、プロセスモジュール４（１８）、真空搬送ロボット１２、ロードロック１（１３）、ロードロック２（１ｂ）、ロードポート１（１４）、ロードポート２（１７）、大気搬送ロボット１５およびアライナ１６を備えた構成となっている。
【０００４】
記憶部３は、モニタ情報などを記憶する揮発性の主記憶装置と、ログ情報などを記憶する不揮発性の補助記憶装置とから構成されており、プログラム、画面出力データおよび画面遷移履歴などの情報を記憶している。制御部４は、プログラムを実行し、同装置における各種処理を行う。
【０００５】
プロセスモジュール１〜４は、基板にプロセスを実施するモジュールである。真空搬送ロボット１２は、真空状態の環境において、基板を搬送するためのロボットである。ロードロック１およびロードロック２は、基板を真空モジュールに挿入するための隔離チャンバである。ロードポート１およびロードポート２は、キャリアが送られる装置のインターフェースとなる場所である。大気搬送ロボット１５は、非真空状態の環境において基板を搬送するためのロボットである。アライナ１６は、基板を正しい方向に整列させるための装置である。
【０００６】
図５は、同装置の真空搬送ロボット１２について詳細に説明するための図である。真空搬送ロボット１２は、基板を搬送するための上ツイーザＵおよび下ツイーザＬ（搬送機構）を収容する搬送室Ｔとを有している。基板処理装置Ｈは、搬送室Ｔにそれぞれ気密に連結され、それぞれ基板を処理するプロセスモジュール２（１９）およびプロセスモジュール３（１ａ）を有しており、搬送室Ｔとプロセスモジュール２（１９）およびプロセスモジュール３（１ａ）とは、それぞれゲートバルブＧ１およびＧ２により開放または閉鎖される構成となっている。
【０００７】
このような基板処理装置Ｈにおいて、処理部１における複数のモジュールの内のいずれかを経由して基板を搬送しつつ、この基板に対して各種の処理を行う。同装置では、処理部１における複数のモジュール間を結ぶ搬送路に沿って、複数通りの搬送経路での基板の搬送が可能となっている。
【０００８】
図６は、ある基板がどのような搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報Ｒを示している。表示部２は、必要に応じてこのような履歴情報Ｒ、モニタ情報およびログ情報などを表示するものであり、オペレータとコミュニケーションをとる役割を有するＧＵＩである。
【０００９】
次に履歴情報Ｒについて説明する。同図ではカセット内のある１つの基板の搬送経路について示している。履歴情報Ｒは、過去にロギングされた搬送経路情報であり、記憶部３に格納されている。履歴情報Ｒには、基板が搬入されたモジュールの名称、そのモジュールに基板が搬入された搬入時刻などが表記されている。
【００１０】
まず、カセットがロードポート１（１４）に到着し、２０：１１：１１に、ある基板がカセットのスロット番号１の位置に検出される。その基板が２０：１１：１３に大気搬送ロボット１５のスロット番号１の位置に挿入される。２０：１１：１５にアライナ１６のユニットのスロット番号１の位置に挿入される。２０：１５：１１に大気搬送ロボット１５のスロット番号１の位置に挿入される。２０：１７：１６にロードロック１（１３）のスロット番号２の位置に挿入される。２０：１８：００に真空搬送ロボット１２のスロット番号１の位置に挿入される。２０：１８：２０にプロセスモジュール１（１１）のスロット番号１の位置に挿入される。
【００１１】
このような履歴情報Ｒは、オペレータが各々の基板の搬送経路を分析できるようにするために、基板ごとに記憶部３に格納されている。
【００１２】
このように、複数の搬送経路を有する装置において、基板に不具合（例えば、パーティクル、膜厚均一性、スループットなどに関する不具合）が生じた場合、基板の処理状態を知る必要がある。従い、基板の処理状態を知るためには、過去にどのようなモジュールを経由して搬送されたかを示す履歴情報を分析する必要がある。このような搬送経路の分析を行うため、リアルタイムに基板の搬送状況を表示する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特許第３２３６７２４号公報  （第３―６頁、第６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
上記従来技術により、基板が現在どの位置にあるのかを把握することはできる。しかし、その基板が過去に、複数ある搬送路をどのように組み合わせ、どのような搬送経路を経て搬送されて処理が行われたかに関しては、図６に示したような履歴情報から読み取らなければならず、直感的に把握しにくく、時間がかかる。又、情報量が多いときは人為的なミスが生じるおそれがある。
【００１４】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、基板の搬送経路の分析を容易にすることができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した課題を解決するため、本発明に係る基板処理装置は、基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送する搬送機構と、前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持する記憶部と、前記履歴情報を表示すると共に、前記履歴情報に対応する搬送経路を画像により表示する表示部とを有する構成となっている。
【００１６】
ここでの搬送路とは、上述の基板処理装置において基板の処理を行う複数のモジュール間で基板を行き来させるためのモジュールとモジュールを繋ぐそれぞれの経路を意味し、搬送経路とはこのように複数ある搬送路を組み合わせて複数のモジュールを経由しつつ基板を搬送した経路を意味する。
【００１７】
このような構成とすることにより、基板が過去に複数ある搬送路をどのように組み合わせた搬送経路を経て搬送されたかを、直感的に把握しやすくなる。すなわち、基板の搬送経路の分析を容易にすることができるので、実際の装置の構成（配置）や基板処理の流れが分かる。
【００１８】
また、本発明に係る基板処理装置は、基板がどの経路をとおり搬送処理をされたかのデータを表示する為の表示部と、前記データを保持する為の記憶部と、前記記憶部に保存されていた前記データを読出し、前記表示部に表示させる機能を有する制御部とを有する基板処理装置において、前記基板の搬送経路情報（履歴情報）は、基板処理中逐次前記記憶部に保存され、基板処理終了後、前記記憶部から読み出された搬送経路情報は、前記表示部により前記搬送経路情報を示す表とともにグラフィック表示される構成となっている。
【００１９】
また、グラフィック表示されている画像における各モジュールに対応する部分には、履歴情報において選択したモジュールに対応するモジュール上にアイコンを表示させ、履歴情報における選択部分（カーソル等）を表の上方から下方に向けて順に移動させてゆくことにより、アイコンがグラフィック表示された各モジュールの画面上を移動して、基板の搬送経路がアニメーション表示されるようにすることもできる。これにより、基板が過去にどの搬送経路をたどったかということを視覚的に把握することが容易になる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、基板の搬送経路の分析を容易にすることができるので、基板の処理状態が把握できる。従って、基板に不具合が生じても基板の処理状態が容易に把握できるので、不具合の原因の調査が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
本発明は記憶部に格納されている基板の搬送経路に関する履歴情報を、グラフィカルに（視覚的に把握し易いように）表示するための機能を提供するものである。
【００２３】
本実施の形態による基板処理装置は、図４および図５にて示した従来の基板処理装置Ｈと同様な構成となっている。以下、従来の基板処理装置Ｈと同様な構成部分については同一の符号を付し、説明は割愛する。
【００２４】
本実施の形態では、図１に示すような処理部１における各モジュールをグラフィック表示した画像を、図２に示すように履歴情報Ｒと共に表示部２に表示させている。ここで、図１に示す画像における１１ｇ〜１ｂｇは、処理部１における各モジュールであるプロセスモジュール１（１１）〜ロードロック２（１ｂ）を表すものである。
【００２５】
図２では、履歴情報Ｒと各モジュールを画像表示したものとを左右に並べて表示しているが、これに限られるものではなく、上下に並べて表示するようにしてもよい。
【００２６】
なお、同図に示すように、履歴情報Ｒに示されている搬送された基板が通過したモジュール同士は矢印（それぞれの矢印が搬送路に相当）にて連結されている。これにより、基板がどのような搬送路の組み合わせで搬送されたか（どのような搬送経路を経て搬送されたのか）を視覚的に容易に把握することができる。
【００２７】
また、上述のように基板が搬送されたモジュールを矢印で連結するだけでなく、例えば図３に示すように、履歴情報Ｒの内のいずれかのステップ（ここでは、ロードポート１のステップを選択している。）をマウスやカーソル等によって選択すると、グラフィック表示されているモジュールの内、履歴情報Ｒで選択されたステップのモジュールの部分に基板のアイコン（ポインタ）Ｐを表示することにより、履歴情報とモジュールとの関係をより直感的に把握しやすいようにすることができる。このとき、履歴情報に示されている各モジュールと、グラフィック表示されている各モジュールの画像とはそれぞれ１：１で対応している。
【００２８】
これによって、履歴情報Ｒの最上段に示されているステップ（ロードポート１）から下段へと選択位置を移動させていくことで、基板の搬送経路をアニメーション表示することができ、基板が処理部１における各モジュールをどのように経由しながら処理されたかを容易に把握することができる。
【００２９】
なお、本実施の形態では、図２および図３に示すように処理部１における各モジュールは履歴情報と共に常に表示されているが、これに限られるものではなく、例えば履歴情報Ｒに関係するモジュールのみをグラフィック表示するようにすることも可能である。
【００３０】
また、図３ではアイコンＰと搬送経路を表すための矢印とを同時にグラフィック表示している例を示しているが、これに限られるものではなく、図２に示すように矢印のみ、或いはアイコン（ポインタ）Ｐのみを各モジュールのグラフィック表示と共に表示させるようにしてもよい。
【００３１】
すなわち、本実施の形態による基板処理装置は、基板の処理を行うために複数の搬送路に沿って基板を搬送する搬送機構と、前記基板が前記複数の搬送路の内のいずれの搬送路を経て処理されたかを示す履歴情報を保持する記憶部と、前記履歴情報を表示すると共に、前記履歴情報に対応する搬送経路を画像により表示する表示部とを有する構成となっている。
【００３２】
換言すれば、基板がどの経路をとおり搬送処理をされたかのデータを表示する為の表示部と、前記データを保持する為の記憶部と、前記記憶部に保存されていた前記データを読出し、前記表示部に表示させる機能を有する制御部と、を有する基板処理装置において（前記基板の搬送経路情報は、基板処理中逐次前記記憶部に保存され、）基板処理終了後、前記記憶部から読み出された(前記)搬送経路情報は、前記表示部により前記搬送経路情報を示す表とともにグラフィック表示される構成となっている。
【００３３】
また、グラフィック表示されている画像における各モジュールに対応する部分には、履歴情報Ｒにおいて選択したモジュールに対応するモジュール上にアイコンＰが表示されるが、履歴情報Ｒにおける選択部分（カーソル等）を表の上方から下方に向けて順に移動させてゆくことによりアイコンＰが、グラフィック表示された各モジュールの画面上を移動することにより、基板の搬送経路がアニメーション表示され、前記基板が過去にどの搬送経路をたどったかということを目視確認可能である。
【００３４】
従って、例えば基板に不具合が生じたとき、この基板処理時のモジュールの配置、基板処理の流れ等の処理状態が簡単に把握できるので、原因調査が容易となる。さらに詳細に処理状態を把握するため、成膜条件等の情報も表示することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】処理部における各モジュールをグラフィック表示した画像を示す図である。
【図２】履歴情報と各モジュールをグラフィック表示したものとを左右に並べて表示した画像を示す図である。
【図３】履歴情報と各モジュールおよびアイコンをグラフィック表示したものとを左右に並べて表示した画像を示す図である。
【図４】従来の枚葉式の基板処理装置の一例を示す図である。
【図５】同装置の真空搬送ロボットについて詳細に説明するための図である。
【図６】履歴情報について説明するための図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  処理部、１１  プロセスモジュール１、１２  真空搬送ロボット、１３  ロードロック１、１４  ロードポート１、１５  大気搬送ロボット、１６  アライナ、１７  ロードポート２、１８  プロセスモジュール４、１９  プロセスモジュール２、１ａ  プロセスモジュール３、１ｂ  ロードロック２、２  表示部、３  記憶部、４  制御部、Ｈ  基板処理装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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