(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気シールドケースと、
この磁気シールドケース内に配置された恒温槽と、
この恒温槽内に設けられた磁気センサと、
前記恒温槽内に設けられて前記磁気センサの温度特性を測定するための温度センサと、
前記磁気シールドケースの外部に配置され、前記恒温槽内の温度を所定範囲に調節するための冷熱発生源からなり、かつ全体が磁気シールドで覆われた温度調節器と、
一端が前記恒温槽内に接続され、他端が前記磁気シールドケース外部に導出されて前記温度調節器に接続され、かつ非磁性体で構成された熱媒体と、
を備えることを特徴とする磁気センサの温度特性測定用ケース。
【請求項２】
前記磁気シールドケースは全体が断熱材で覆われていることを特徴とする請求項１記載の磁気センサの温度特性測定用ケース。
【請求項３】
前記恒温槽内に熱伝導性ブロックが配置され、この熱伝導性ブロックに前記磁気センサが配置されるとともに、この熱伝導性ブロックに前記温度センサが前記磁気センサに近接して配置されたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気センサの温度特性測定用ケース。
【請求項４】
磁気シールドケースと、
この磁気シールドケース内に配置された恒温槽と、
この恒温槽内に設けられた磁気センサと、
前記恒温槽内に設けられて前記磁気センサの温度特性を測定するための温度センサと、
前記磁気シールドケースの外部に配置され、前記恒温槽内の温度を所定範囲に調節するための冷熱発生源からなり、かつ全体が磁気シールドで覆われた温度調節器と、
一端が前記恒温槽内に接続され、他端が前記磁気シールドケース外部に導出されて前記温度調節器に接続され、かつ非磁性体で構成された熱媒体と、
を備える磁気センサの温度特性測定用ケースを用いて、磁気センサの温度特性を測定する方法であって、
被測定の磁気センサを前記恒温槽内に配置し、前記温度調節器より前記熱媒体を介して前記恒温槽内の温度を制御し、前記温度センサの出力と前記磁気センサの出力を前記磁気シールドケース外部に導出して、前記磁気センサの温度・出力特性を得ることを特徴とする磁気センサの温度特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気センサの温度特性測定用ケース及び磁気センサの温度特性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、恒温槽内に磁気シールドケースを組み込み、その磁気シールドケース内に測りたい磁気センサを入れて磁気センサの温度試験（温度特性の測定）を行っていた。
【０００３】
また、通信機器の妨害電磁波に対する排除能力を測定する場合にも、電磁シールド筐体が使用される。
【０００４】
この種の電磁シールド筐体を用いて、通信機器を所定の温度条件下で電波特性や電気特性を測定するものとして、電磁シールド筐体の内部空間を恒温槽として使用し、この筐体の開口部に対して着脱可能な送風管、筐体内の温度センサから内部空間の温度を示す電気信号を受信する温度観測器、筐体の内部空間の温度を設定する温度入力器、所定の恒温槽温度に達するまで送風管を通じて内部空間に温風又は冷風を強制対流させる送風機を備えた温度制御装置により、電磁シールド筐体内の温度を制御する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−１３４０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、恒温槽内に磁気シールドケースを組み込む場合、磁気シールドケースの温度特性もあるので、磁気センサの出力は自身の温度特性と磁気シールドケースの温度特性とを加えたものとなり、磁気センサのみの温度特性を正確に測定することが困難である。また、恒温槽から発生する磁気、振動もノイズとなるため、磁気センサの温度特性のみを抽出することは容易ではない。
【０００６】
また、上記特許文献１に記載された技術の場合、電磁シールド筐体の内部空間を恒温槽として使用し、この内部空間全体の温度を制御するので、電磁シールド筐体自体から発生する磁気が内部空間の温度変化による影響を受けて変動し、これがノイズとなるため、やはり磁気センサの温度特性だけを正確に測定することが困難である。
【０００７】
本発明は、そのような問題点に着目してなされたものであって、磁気センサのみの温度特性を正確かつ容易に測定することが可能な磁気センサの温度特性測定用ケース及び磁気センサの温度特性測定方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、この発明の磁気センサの温度特性測定用ケースは、磁気シールドケースと、この磁気シールドケース内に配置された恒温槽と、この恒温槽内に設けられた磁気センサと、前記恒温槽内に設けられて前記磁気センサの温度特性を測定するための温度センサと、前記磁気シールドケースの外部に配置され、前記恒温槽内の温度を所定範囲に調節するための冷熱発生源からなり、かつ全体が磁気シールドで覆われた温度調節器と、一端が前記恒温槽内に接続され、他端が前記磁気シールドケース外部に導出されて前記温度調節器に接続され、かつ非磁性体で構成された熱媒体と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、磁気シールドケースは全体が断熱材で覆われていることが好ましい。
【００１１】
更に、恒温槽内に熱伝導性ブロックが配置され、この熱伝導性ブロックに磁気センサが配置されるとともに、この熱伝導性ブロックに温度センサが磁気センサに近接して配置されていることが好ましい。
【００１２】
この発明の磁気センサの温度特性測定方法は、磁気シールドケースと、この磁気シールドケース内に配置された恒温槽と、この恒温槽内に設けられた磁気センサと、前記恒温槽内に設けられて前記磁気センサの温度特性を測定するための温度センサと、前記磁気シールドケースの外部に配置され、前記恒温槽内の温度を所定範囲に調節するための冷熱発生源からなり、かつ全体が磁気シールドで覆われた温度調節器と、一端が前記恒温槽内に接続され、他端が前記磁気シールドケース外部に導出されて前記温度調節器に接続され、かつ非磁性体で構成された熱媒体と、を備える磁気センサの温度特性測定用ケースを用いて、磁気センサの温度特性を測定する方法であって、被測定の磁気センサを前記恒温槽内に配置し、前記温度調節器より前記熱媒体を介して前記恒温槽内の温度を制御し、前記温度センサの出力と前記磁気センサの出力を前記磁気シールドケース外部に導出して、前記磁気センサの温度・出力特性を得ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明（請求項１，４記載の発明）によれば、次の効果が得られる。
（１）今まで難しかった磁気センサの温度特性が簡単かつ正確に測れる。
（２）磁気センサの温度特性に磁気シールドケースの温度特性が影響しないので、磁気シールドケースの温度特性の計測が不要である。
（３）恒温槽の振動や磁気或いは電磁シールド筐体の磁気により発生するノイズの対策が不要である。
（４）磁気センサの温度特性に係る計測システムが小型化、省電力化できる。
（５）熱媒体や温度調節器からの磁気の影響を受けないので、磁気センサの温度特性をより正確に測定することができる。
（６）請求項２の構成とすることで、磁気シールドケース内、延いては恒温槽内に外部温度が影響し難くなるので、磁気センサの温度特性をより正確に測定することができる。
（７）請求項３の構成とすることで、磁気センサの温度を応答性良く測定することができるだけでなく、温度をより正確に測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、実施の形態により、この発明を更に詳細に説明する。
【００１５】
その実施形態に係る磁気センサの温度特性測定用ケースの要部断面図を図１に示す。この温度特性測定用ケース１は磁気シールドケース１０を備え、この磁気シールドケース１０は、外熱の影響を受け難くするために全体が断熱材１１で覆われ、内部に恒温槽２が配置されている。恒温槽２は全体が断熱材２１で覆われ、この断熱材２１の内部に熱伝導性ブロックとしてアルミブロック２２が配置され、アルミブロック２２上に磁気センサ２３が設けられている。磁気センサ２３は磁気シールドケース１０の外部に導出されたケーブル２４を介して磁気シールドケース１０の外部のセンサ駆動回路２５に接続され、更にセンサ駆動回路２５からセンサ出力２６が取り出される。
【００１６】
アルミブロック２２には磁気センサ２３の温度を測定するための温度センサ３０が取り付けられている。但し、磁気センサ２３の温度を温度センサ３０により応答性良く測定できるのであれば、必ずしもアルミブロック２２である必要はなく、他の良熱伝導性のもので代替可能である。また、磁気センサ２３の温度を正確に計る意味から、温度センサ３０は磁気センサ２３にできるだけ接近させて設ける方がよい。
【００１７】
温度センサ３０は磁気シールドケース１０の外部に導出されたケーブル３１を介して磁気シールドケース１０の外部に配置された温度調節器４０に接続されている。温度調節器４０は、例えば冷熱発生源からなるものであり、磁気シールドケース１０と磁気的に影響のない程度に離して配置されるとともに、磁気の影響が恒温槽２内の磁気センサ２３に及ばないように全体が磁気シールド４１で覆われている。
【００１８】
恒温槽２には熱媒体としてのヒートパイプ４２の一端が接続され、ヒートパイプ４２の他端は磁気シールドケース１０の外部に導出されて温度調節器４０に接続されている。このヒートパイプ４２も、磁気の影響が恒温槽２内の磁気センサ２３に及ばないように非磁性体で構成されている。なお、温度調節器４０によるヒートパイプ４２を介しての恒温槽２内の温度調整範囲は、例えば−１０〜５０℃である。
【００１９】
この温度特性測定用ケース１では、測定対象となる磁気センサ２３を恒温槽２内に配置し（アルミブロック２２上に取り付け）、温度調節器４０によりヒートパイプ４２を介して恒温槽２内の温度を制御し、磁気シールドケース１０の外部に導出される磁気センサ２３の出力と温度センサ３０の出力に基づいて、磁気センサ２３の温度・出力特性を計測する。
【００２０】
この温度特性測定用ケース１によれば、磁気シールドケース１０内に恒温槽２があるので、磁気センサ２３の温度特性に磁気シールドケース１０の温度特性が影響せず、磁気シールドケース１０の温度特性も合わせて計測する必要がなく、磁気センサ２３のみの温度特性を容易に測定することができる。また、恒温槽２から発生する振動や磁気によるノイズの影響が及ばないので、そのノイズ対策が不要である。しかも、磁気センサ２３の温度特性に係る計測システムを小型化、省電力化できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施形態に係る磁気センサの温度特性測定用ケースの要部断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１            温度特性測定用ケース
２            恒温槽
１０          磁気シールドケース
１１，２１    断熱材
２２          アルミブロック（熱伝導性ブロック）
２３          磁気センサ
３０          温度センサ
４０          温度調節器
４１          磁気シールド
４２          ヒートパイプ（熱媒体）
【図１】
0004779799.tif 000002