(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体装置のボディ本体に溶着部材を介して流体接触部材を溶接する溶接方法であって、
前記ボディ本体の所定位置に全周に亘って形成された第一突条部と前記流体接触部材の外周縁部に全周に亘って形成された第二突条部とによって溶接溝部を形成し、前記溶接溝部内に溶融性を有する溶着部材を介在させ、前記第一突条部の外周側と前記第二突条部の内周側のいずれか一方または双方から前記第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を押圧して該第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を前記溶接溝部側に変形させるとともに、前記第一突条部及び第二突条部を介して間接的に加熱して前記溶着部材を溶解させて溶接することを特徴とする流体接触部材の溶接方法。
【請求項２】
前記第一突条部の外周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第一突条部の直上方向から前記テーパ状の外周面に対して押圧することにより、前記第一突条部を前記溶接溝部側に変形させる請求項１に記載の流体接触部材の溶接方法。
【請求項３】
前記第二突条部の内周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第二突条部の直上方向から前記テーパ状の内周面に対して押圧することにより、前記第二突条部を前記溶接溝部側に変形させる請求項１又は２に記載の流体接触部材の溶接方法。
【請求項４】
前記第一突条部の外周面側から加熱する第一加熱部と前記第二突状部の内周面側から加熱する第二加熱部とを有し、前記第一加熱部の内周面と前記第二加熱部の外周面のいずれか一方または双方を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成した加熱部材によって、前記第一突条部及び第二突状部を直上方向から押圧して前記溶接溝部側に変形させる請求項１に記載の流体接触部材の溶接方法。
【請求項５】
前記流体接触部材がダイヤフラムである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の流体接触部材の溶接方法。
【請求項６】
前記流体接触部材がベローズである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の流体接触部材の溶接方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体装置のボディ本体に溶着部材を介して流体接触部材を溶接する溶接方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等の分野において、特に、半導体の洗浄工程は、わずかな不純物の混入も許さない極めてクリーンな環境下で実施される。その際、純水や高温の薬液あるいは金属腐食性を有する薬液等の被制御流体が使用されるため、フッ素樹脂等の耐熱性、耐蝕性、耐薬品性等の高い樹脂からなる流体装置が用いられる。このような流体装置としては、ダイヤフラム弁やダイヤフラムポンプ等のダイヤフラム装置や、ベローズ弁やベローズポンプ等のベローズ装置等が知られており、流体接触部材としてダイヤフラムやベローズ等を被制御流体の流路に配置することにより、流体装置の金属部分等と被制御流体とが接触しないようにして、流通する被制御流体に不純物等が混入することを防止するように構成されている。
【０００３】
ところで、従来の流体装置では、ボディ本体の所定位置に流体接触部材の外周縁部を圧入して固定するように構成されていたが、高温環境下（例えば約１５０℃）で使用される場合には、固定部分が応力と熱によって変形する等してシール性を十分に確保することができなくなり、被制御流体が外部へ漏れる恐れがあった。そこで、流体接触部材の固定部分のシール性を向上させる方法として、ボディ本体に溶着部材を介して流体接触部材を溶接する方法が知られている。
【０００４】
この溶接方法は、例えば、ボディ本体の所定位置の全周に亘って形成された突条部と、流体接触部材の外周縁部の全周に亘って形成された突条部とによって溝部を形成し、前記溝部にＰＦＡからなる溶接棒（溶着部材）を加熱して溶解させて流し込むことにより、ボディ本体と流体接触部材とを溶接するように構成される。しかしながら、溶接棒を溶解させて溝部に流し込む方法では、溶解させた溶接棒（溶着部材）を溝部の全周に亘って順次流し込んでいくものであるため、流し始める箇所とその終点に繋ぎ目ができてしまうことがあり、その繋ぎ目から被制御流体が外部へ漏れる恐れがあった。また、この方法は手作業で行うものであるため、作業効率の点でも問題があった。
【０００５】
一方、他の溶接方法として、ボディ本体と流体接触部材との間に全周に亘って介在された溶着部材を加熱部材によって一度に加熱して溶接するものがある（例えば、特許文献１参照。）。この溶接方法では、図５に示すように、ボディ本体２１１の所定位置（流体接触部材の固定部分）に先端に切欠部２１６を有する突条部２１５を形成するとともに、流体接触部材２４０の外周縁部に先端に切欠部２４２を有する突条部２４１を形成し、ボディ本体２１１の突条部２１５の切欠部２１６と流体接触部材２４０の突条部２４１の切欠部２４２とが対向配置されて形成された溝部２５０に溶融性を有する溶着部材２６０を介在させ、前記溶着部材２６０に加熱部材２７０を押し当てるように構成される。これにより、溶着部材２６０が流動的に溶解されるとともに、溶着部分の周辺温度が上昇してボディ本体２１１の突条部２１５及び流体接触部材２４０の突条部２４１が膨張（軟化）し、溶解された溶着部材２６０とボディ本体２１１の突条部２１５及び流体接触部材２４０の突条部２４１とが溶け合って溶接される。なお、図中の符号２７１は溶着部材２６０に当接して加熱するための上部加熱部、２７２は溶着部材２６０をボディ本体２１１の突条部２１５の側面から加熱するための側面加熱部、２７３は溶着部材２６０を流体接触部材２４０の突条部２４１の側面から加熱するための側面加熱部である。
【０００６】
しかしながら、上記従来の溶接方法では、加熱部材を溶着部材に接触させて溶解させるものであるため、溶解した溶着部材が加熱部材に付着して汚れたり、加熱部材を離す際に付着した溶着部材が溝部から剥がれたりしてしまう等の問題があった。
【特許文献１】特開２００５−１６３８７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、溶着部材を直接加熱することなくボディ本体と流体接触部材とをより確実に溶接することができる流体接触部材の溶接方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、請求項１の発明は、流体装置のボディ本体に溶着部材を介して流体接触部材を溶接する溶接方法であって、前記ボディ本体の所定位置に全周に亘って形成された第一突条部と前記流体接触部材の外周縁部に全周に亘って形成された第二突条部とによって溶接溝部を形成し、前記溶接溝部内に溶融性を有する溶着部材を介在させ、前記第一突条部の外周側と前記第二突条部の内周側のいずれか一方または双方から前記第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を押圧して該第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を前記溶接溝部側に変形させるとともに、前記第一突条部及び第二突条部を介して間接的に加熱して前記溶着部材を溶解させて溶接することを特徴とする流体接触部材の溶接方法に係る。
【０００９】
請求項２の発明は、前記第一突条部の外周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第一突条部の直上方向から前記テーパ状の外周面に対して押圧することにより、前記第一突条部を前記溶接溝部側に変形させる請求項１に記載の流体接触部材の溶接方法に係る。
【００１０】
請求項３の発明は、前記第二突条部の内周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第二突条部の直上方向から前記テーパ状の内周面に対して押圧することにより、前記第二突条部を前記溶接溝部側に変形させる請求項１又は２に記載の流体接触部材の溶接方法に係る。
【００１１】
請求項４の発明は、前記第一突条部の外周面側から加熱する第一加熱部と前記第二突状部の内周面側から加熱する第二加熱部とを有し、前記第一加熱部の内周面と前記第二加熱部の外周面のいずれか一方または双方を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成した加熱部材によって、前記第一突条部及び第二突状部を直上方向から押圧して前記溶接溝部側に変形させる請求項１に記載の流体接触部材の溶接方法に係る。
【００１２】
請求項５の発明は、前記流体接触部材がダイヤフラムである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の流体接触部材の溶接方法に係る。
【００１３】
請求項６の発明は、前記流体接触部材がベローズである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の流体接触部材の溶接方法に係る。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明に係る流体接触部材の溶接方法は、流体装置のボディ本体に溶着部材を介して流体接触部材を溶接する溶接方法であって、前記ボディ本体の所定位置に全周に亘って形成された第一突条部と前記流体接触部材の外周縁部に全周に亘って形成された第二突条部とによって溶接溝部を形成し、前記溶接溝部内に溶融性を有する溶着部材を介在させ、前記第一突条部の外周側と前記第二突条部の内周側のいずれか一方または双方から前記第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を押圧して該第一突条部と第二突条部のいずれか一方または双方を前記溶接溝部側に変形させるとともに、前記第一突条部及び第二突条部を介して間接的に加熱して前記溶着部材を溶解させて溶接するため、ボディ本体と流体接触部材とを極めて効果的に溶接することができる。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１において、前記第一突条部の外周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第一突条部の直上方向から前記テーパ状の外周面に対して押圧することにより、前記第一突条部を前記溶接溝部側に変形させるため、ボディ本体とダイヤフラムとの溶接を容易に行うことができる。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、前記第二突条部の内周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、前記第二突条部の直上方向から前記テーパ状の内周面に対して押圧することにより、前記第二突条部を前記溶接溝部側に変形させるため、ボディ本体とダイヤフラムとの溶接を容易に行うことができる。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項１において、前記第一突条部の外周面側から加熱する第一加熱部と前記第二突状部の内周面側から加熱する第二加熱部とを有し、前記第一加熱部の内周面と前記第二加熱部の外周面のいずれか一方または双方を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成した加熱部材によって、前記第一突条部及び第二突状部を直上方向から押圧して前記溶接溝部側に変形させるため、ボディ本体とダイヤフラムとの溶接を容易に行うことができる。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項１ないし４において、前記流体接触部材がダイヤフラムであるため、ダイヤフラムを用いた流体装置でも好適に溶接を行うことができる。
【００１９】
請求項６の発明は、請求項１ないし４において、前記流体接触部材がベローズであるため、ベローズを用いた流体装置でも好適に溶接を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１は流体接触部材の溶接構造を備えたダイヤフラム弁の断面図、図２はダイヤフラムの溶接方法を表した概略断面図、図３は図２の溶接方法を段階的に表した概略図、図４は流体接触部材の溶接構造を備えたベローズ弁の要部断面図、図５は第二突状部の内周面をテーパ状に形成した場合の溶接方法を段階的に表した概略図、図６は他の実施例に係る溶接方法を段階的に表した概略図である。
【００２１】
図１に示す流体装置は、いわゆる流量制御弁であるダイヤフラム弁１０であって、ボディ本体１１と、該ボディ本体１１に形成されたチャンバ２０に装置される弁機構体３０とからなる。
【００２２】
ボディ本体１１は、フッ素樹脂等の耐熱性、耐蝕性、耐薬品性等の高い樹脂から形成されてなり、一側に被制御流体のための流入部１２を有し、弁座１４を介して他側に被制御流体のための流出部１３が形成されたチャンバ２０を有している。ボディ本体１１の材質としては、ＰＴＦＥや変性ＰＴＦＥ等が好適に用いられるが、この実施例では変性ＰＴＦＥが使用されている。また、実施例のボディ本体１１は、図示のように、複数のブロック（第１ブロック１１ａ，第２ブロック１１ｂ，第３ブロック１１ｃ）に分割され、これらを一体に組み付けて構成されている。
【００２３】
弁機構体３０は、フッ素樹脂等の耐熱性、耐蝕性、耐薬品性等の高い樹脂から形成され、弁座１４を開閉する弁部３５と、流体接触部材としての第一ダイヤフラム４０及び第二ダイヤフラム４５とを有する。この弁機構体３０は、第一ダイヤフラム４０及び第二ダイヤフラム４５によってチャンバ２０を弁室２１と第一加圧室２２と第二加圧室２３に区画するものである。この実施例では、第一ダイヤフラム４０が一側を第一加圧室２２，他側を弁室２１に区画し、第二ダイヤフラム４５が一側を弁室２１，他側を第二加圧室２３に区画するように構成されている。なお、この弁機構体３０はボディ本体１１と同様にＰＴＦＥや変性ＰＴＦＥ等によって形成されることが好ましく、実施例では変性ＰＴＦＥが使用される。
【００２４】
また、図１において、符号２２ａは第一加圧室２２内の空気の出入りを行う呼吸路、２４は第二ダイヤフラム４５に対して常時弁室方向に加圧気体よって一定圧力を加える加圧手段の給気ポート、２５はその排気ポート、Ｓは第一ダイヤフラム４０に対して常時弁室方向に一定圧力を加えるバネからなる加圧手段、Ｓ１はバネＳのための受け部を表す。
【００２５】
このダイヤフラム弁１０では、図１に示すように、ボディ本体１１の所定位置に全周に亘って形成された第一突条部１５（１５ａ，１５ｂ）とダイヤフラム４０，４５の外周縁部に全周に亘って形成された第二突条部４１，４６とによって溶接溝部５０，５５を形成し、前記溶接溝部５０，５５内に溶融性を有する溶着部材６０，６５を介在させ、前記第一突条部１５の外周側と前記第二突条部４１，４６の内周側のいずれか一方または双方から前記第一突条部１５と第二突条部４１，４６のいずれか一方または双方を押圧して該第一突条部１５と第二突条部４１，４６のいずれか一方または双方を溶接溝部５０，５５側に変形させるとともに、前記第一突条部１５及び第二突条部４１，４６を介して間接的に加熱して前記溶着部材６０，６５を溶解させて溶接するように構成される。以下、上記ダイヤフラムの溶接方法の好ましい実施例を、第二ダイヤフラム４５の溶接構造とともに具体的に説明する。
【００２６】
第二ダイヤフラム４５の溶接構造は、図２，３に示すように、ボディ本体１１の第２ブロック１１ｂに形成された第一突条部１５ｂと第二ダイヤフラム４５に形成された第二突条部４６とによって形成された溶接溝部５５を備え、該溶接溝部５５には溶着部材６５が介在され、加熱部材７０によって溶着部材６５を溶解させてボディ本体１１の第２ブロック１１ｂと第二ダイヤフラム４５とを溶接したものである。
【００２７】
第一突条部１５ｂは、ボディ本体１１の第二ブロック１１ｂの一面側に全周に亘って突出して形成されたものである。この第一突条部１５ｂでは、外周面１６が先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成されている。また、第一突条部１５ｂの材質は、ボディ本体１１と同様に変性ＰＴＦＥであることはいうまでもない。
【００２８】
第二突条部４６は、第二ダイヤフラム４５の外周縁部に全周に亘って突出して形成されたものである。この第二突条部４６の突出高さは、前記第一突条部１５ｂの突出高さと略同一に構成される。また、第二突条部４６の材質は、弁機構体３０と同様に変性ＰＴＦＥであることはいうまでもない。なお、符号４７は第二突条部４６の内周面である。
【００２９】
溶接溝部５５は、第一突条部１５ｂの内側に所定間隔を空けて第一ダイヤフラム４５の第二突条部４６が対向配置されて形成されたものである。
【００３０】
溶着部材６５は、前記溶接溝部５５に介在されるものであり、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性が高い樹脂から形成され、特に、熱溶融特性に優れた部材であることが好ましい。実施例の溶着部材６５は、ＰＦＡによって形成されている。
【００３１】
加熱部材７０は、図２，３に示すように、第一突条部１５ｂの外周１６側と第二突条部４６の内周４７側の両側から第一突条部１５ｂ及び第二突条部４６が溶接溝部５５側に変形するように押圧するとともに、第一突条部１５ｂ及び第二突条部４６を介して間接的に加熱して溶着部材６５を溶解させるものである。この加熱部材７０は、内部に熱源部（図示せず）を有する熱伝導率のよい本体部７５に第一突条部１５ｂ側から加熱する第一加熱部７１と第二突条部４６側から加熱する第二加熱部７６とが形成されている。
【００３２】
実施例の加熱部材７０は、熱源部として約３００℃に加熱可能な公知のヒータが使用され、真鍮からなる本体部７５がボディ本体１１に形成された第一突条部１５ｂの外径よりわずかに大きい外径の略円柱形状に形成される。また、第一加熱部７１は本体部７５の一面７５ａ側の外周縁部に全周に亘って突出して形成されており、第二加熱部７６は前記第一加熱部７１の内側に第一突条部１５ｂの外径と第二突条部４６の内径との間隔よりわずかに小さい所定間隔を空けて全周に亘って突出して形成されている。さらに、第一加熱部７１及び第二加熱部７６は、加熱時に先端部がボディ本体１１またはダイヤフラム４５に当接した際、本体部７５の一面７５ａが第一突条部１５ｂ及び第二突条部４６の先端部分に当接することがない十分な間隔が得られる突出高さでそれぞれ形成されている。なお、図３において、符号７２は第一加熱部７１の内周面側先端に形成された段部、７７は第二加熱部７６の外周側先端に形成された切欠部を表す。
【００３３】
すなわち、図３（ａ）から理解されるように、まず、ボディ本体１１の第二ブロック１１ｂに形成された第一突条部１５ｂの内側に所定間隔を空けて第二ダイヤフラム４５の第二突条部４６を対向配置して溶接溝部５５を形成し、該溶接溝部５５に未溶解の溶着部材６６を介在させる。そして、加熱部材７０は、第一加熱部７１が第一突条部１５ｂの外周面１６の略上方かつ第二加熱部７６が第二突条部４６の内周面４７の略上方となるように配置される。
【００３４】
次に、加熱部材７０の加熱温度を約３００℃に上昇させて加熱状態とし、図３（ｂ）に図示のように、前記加熱状態の加熱部材７０を第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６に向けて降下させる。そして、加熱部材７０の第一加熱部７１の内周側が第一突条部１５ｂの外周面１６に当接することによって第一突条部１５ｂを介して溶着部材６７が間接的に加熱されるとともに、加熱部材７０の第二加熱部７６の外周側（切欠部７７）が第二突条部４６の内周面４７に当接することによって第二突条部４６を介して溶着部材６７が間接的に加熱されて流動的に溶解される。
【００３５】
上記当接状態から加熱部材７０がさらに降下されると、加熱部材７０の第一加熱部７１が第一突条部１５ｂの直上方向からテーパ状の外周面１６に対して押圧する状態となって、第一突条部１５ｂが溶接溝部５５側に押されて変形される。一方、加熱部材７０の第二加熱部７６では、切欠部７７が第二突状部４６の内周４７側先端部分に当接した状態から降下されることにより、第二突条部４６が溶接溝部５５側に押されて変形される。なお、加熱部材７０の第一加熱部７１及び第二加熱部７６によって第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６の双方が溶接溝部５５側に変形されるので、流動的に溶解された溶着部材６７が溶接溝部５５からわずかに押し出される。
【００３６】
そして、図３（ｃ）に示すように、加熱部材７０を、第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６に適度な押圧力が加えられる位置まで継続して降下させ、第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６をさらに溶接溝部５５側に変形させつつ溶着部材６８を間接的に加熱することにより、第一突条部１５ｂと第二突状部４６とが溶接される。その際、流動的に溶解された溶着部材６８が、溶接溝部５５から第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６の先端面を覆うようにさらに押し出される。これにより、第一突条部１５ｂと第二突状部４６とがより効果的に溶接される。なお、加熱部材７０の本体部７５の一面７５ａと第一突条部１５ｂ及び第二突条部４６の先端部分との間にそれぞれ当接することがない十分な間隔が形成されているため、溶接溝部５５から押し出された前記溶着部材６８と加熱部材７０とを接触させずに溶接を行うことができる。
【００３７】
このように、上記溶接方法は、第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６を介して溶着部材６５を間接的に加熱して溶解させることによりボディ本体１１（１１ｂ）とダイヤフラム４５とを溶接するものであるため、溶接時に加熱部材７０と溶着部材６５とが接触せず、溶着部材６５が溶接溝部５５から剥がれる恐れがなく、確実に溶接を行うことができる。また、特に、第一突条部１５ｂの外周１６側と第二突状部４６の内周４７側から押圧して第一突条部１５ｂと第二突状部４６を溶接溝部５５側に変形させるものであるから、外部から押圧された第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６から溶着部材６５に対して適度な圧力が加わり、溶着部材６５と第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６とがより強力に接合されて、極めて効果的に溶接することができる。
【００３８】
さらに、第一突条部１５ｂの外周面１６を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、第一突条部１５ｂの直上方向からテーパ状の外周面１６に対して押圧して第一突条部１５ｂを溶接溝部５５側に変形させるものであるため、極めて簡易な構成で第一突条部１５ｂを溶接溝部５５側に変形させることが可能となり、ボディ本体１１（１１ｂ）とダイヤフラム４５との溶接を容易に行うことができる。また、実施例の如く、加熱部材７０によって第一突条部１５ｂの直上方向からテーパ状の外周面１６に対して押圧することで、前記加熱部材７０による直上方向からの押圧力を調整することにより第一突条部１５ｂの溶接溝部５５側への変形を容易に制御することができる。
【００３９】
なお、図示しないが、上記溶接方法は、ボディ本体１１（１１ｂ）と第一ダイヤフラム４０との溶接に適用可能であることはいうまでもない。
【００４０】
次に、図４を用いて、流体接触部材をベローズ１４０とした実施例について説明する。図示の流体装置はベローズ弁１００であって、ボディ本体１１１と、該ボディ本体１１１に形成されたチャンバ１２０に装置される弁機構体１３０とからなる。この図において、符号１１１ｂはボディ本体１１１の第２ブロック、１１１ｃはボディ本体１１の第３ブロック、１１５はボディ本体１１の第２ブロック１１１ｂに形成された第一突条部、１１６は第一突条部の外周面、１３１は弁機構体１３０を作動させるピストン部、１３５は弁機構体１３０の弁部、１４１はベローズ１４０の外周縁部に形成された第二突状部、１４２は第二突状部の内周面、１５０は第一突条部１１５と第二突状部１４１とによって形成された溶接溝部、１６０は溶接溝部１５０に介在される溶着部材である。
【００４１】
このベローズ弁１００では、図示の如く、前記ダイヤフラム弁１０の溶接構造と同様に、第一突条部１１５の外周１１６側と第二突条部１４１の内周１４２側から第一突条部１１５と第二突条部１４１が溶接溝部１５０側に変形するように押圧するとともに、第一突条部１１５及び第二突条部１４１を介して間接的に加熱して溶着部材１６０を溶解させてボディ本体１１１（１１１ｂ）とベローズ１４０とが溶接される。このように、本発明の溶接方法にあっては、流体接触部材をベローズ１４０とした場合であっても、効果的に溶接することができる。
【００４２】
なお、本発明の流体接触部材の溶接方法は、上記実施例で述べた構成に限るものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を付加して実施することができる。例えば、実施例では、第一突条部の外周側と第二突状部の内周側から第一突条部及び第二突状部の双方を溶接溝部側に変形するように押圧する構成としたが、第一突条部の外周側または第二突状部の内周側のいずれか一方から第一突条部または第二突条部のいずれか一方を溶接溝部側に変形するように押圧するようにしてもよい。
【００４３】
また、実施例では、第一突条部の外周面を先端方向へ肉薄となるよう傾斜するテーパ状に形成したが、図５（ａ）に示すように、第二突条部４６ｓの内周面４７ｓを先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成してもよい。図５において、符号１５ｓは外周面１６ｓが略垂直に形成されたボディ本体１１（１１ｂ）の第一突条部、４５ｓは流体接触部材、７０ｓは加熱部材、７１ｓは内周面先端に切欠部７２ｓを有する第一加熱部、７６ｓは外周面先端に形成された段部７７ｓを有する第二加熱部を表す。なお、以下の実施例において、前述の実施例と同一符号は同一の構成を表すものとして、その説明を省略する。
【００４４】
この実施例では、図５（ａ）に示すように、加熱部材７０ｓの第一加熱部７１が第一突条部１５ｓの外周面１６ｓの略上方かつ第二加熱部７６ｓが第二突状部４６ｓの内周面４７ｓの略上方となるように配置され、続いて、第一突条部１５ｓ及び第二突状部４６ｓに向けて降下される。そして、図５（ｂ）に示すように、加熱部材７０ｓの第一加熱部７１（切欠部７２ｓ）が第一突条部１５ｓの外周１６ｓ側先端部分に当接した状態から降下して第一突条部１５ｓを溶接溝部５５側に押圧して変形させ、さらに、第二加熱部７６ｓが第二突条部４６ｓの直上方向からテーパ状の外周面４７ｓに対して押圧して第二突条部４６ｓを溶接溝部５５側に変形させ、第一突条部１５ｂ及び第二突状部４６ｓを介して溶着部材６８を間接的に加熱することにより、第一突条部１５ｂと第二突状部４６ｓとが溶接される。
【００４５】
すなわち、第二突条部４６ｓの内周面４７ｓを先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、第二突条部４６ｓの直上方向からテーパ状の外周面４７ｓに対して押圧して第二突条部４６ｓを溶接溝部５５側に変形させることにより、極めて簡易な構成で第二突条部４６ｓを溶接溝部５５側に変形させることができる。このように、第二突条部４６ｓの内周面４７ｓを先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成した場合であっても、第一突条部の外周面を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成した前述の実施例と同様にボディ本体と流体接触部材との溶接を容易に行うことができる。なお、図示しないが、第一突条部の外周面と第二突状部の内周面の双方を先端方向へ薄肉となるように傾斜するテーパ状に形成すれば、ボディ本体と流体接触部材との溶接をより簡易に行うことができる。
【００４６】
また、前述の実施例では、第一突条部の外周面や第二突状部の内周面をテーパ状に形成するように構成したが、これに限らず、加熱部材の第一加熱部の内周面と第二加熱部の外周面のいずれか一方または双方を先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成してもよい。
【００４７】
図６に示す実施例は、第一加熱部７１ｔの内周面７２ｔと第二加熱部７６ｔの外周面７７ｔの双方が先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成された加熱部材７０ｔによって溶接を行うものである。この加熱部材７０ｔでは、第一加熱部７１ｔの内周面７２ｔ先端と第二加熱部７６ｔの外周面７７ｔ先端との間隔（最大間隔）が、第一突条部１５ｔの外周面１６ｔと第二突状部４６の内周面４７との間隔より大きく形成されている。また、第一加熱部７１ｔの内周面１６ｔと第二突状部７６ｔの外周面７７ｔの本体部７５側の間隔は第一突条部１５ｔの外周面１６ｔと第二突状部４６の内周面４７との間隔より小さく形成される。この図において、符号１５ｔは外周面１６ｔが略垂直に形成されたボディ本体１１（１１ｂ）の第一突条部、４５ｔは流体接触部材である。
【００４８】
そこで、図６（ａ）に示すように、加熱部材７０ｔを、第一加熱部７１ｔの内周面７２ｔが第一突条部１５ｔの外周面１６ｔの略上方かつ第二加熱部７６ｔの内周面７７ｔが第二突条部４６の外周面４７の略上方となるように配置し、第一突条部１５ｔ及び第二突状部４６ｔに向けて降下させる。続いて、図６（ｂ）に示すように、第一加熱部７１ｔの内周面７２ｔが第一突条部１５ｔの外周面１６ｔ先端に当接した状態から降下されて第一突条部１５ｔが溶接溝部５５側に押圧されて変形され、さらに、第二加熱部７６ｔの外周面７７ｔが第二突条部４６ｔの内周面４７ｔ先端に当接した状態から降下されて第二突条部４６ｔが溶接溝部５５側に押圧されて変形されて、第一突条部１５ｔ及び第二突状部４６ｔを介して溶着部材６８が間接的に加熱されることにより、第一突条部１５ｔと第二突状部４６ｔとが溶接される。
【００４９】
このように、加熱部材７０ｔの第一加熱部７１ｔの内周面７２ｔ及び第二加熱部７６ｔの外周面７７ｔを先端方向へ肉薄となるように傾斜するテーパ状に形成し、第一突条部１５ｔ及び第二突状部４６ｔを直上方向から押圧して溶接溝部５５側に変形させることにより、極めて簡易な構成で第一突条部１５ｔ及び第二突状部４６ｔを溶接溝部５５側に変形させることができる。したがって、第一突条部の外周面や第二突状部の内周面をテーパ状に形成した場合と同様に、ボディ本体と流体接触部材との溶接を容易に行うことができる。なお、図示しないが、加熱部材の第一加熱部の内周面または第二加熱部の外周面のいずれか一方を先端方向へ薄肉となるように傾斜するテーパ状に形成しても、ボディ本体と流体接触部材との溶接を簡易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】流体接触部材の溶接構造を備えたダイヤフラム弁の断面図である。
【図２】ダイヤフラムの溶接方法を表した概略断面図である。
【図３】図２の溶接方法を段階的に表した概略図である。
【図４】流体接触部材の溶接構造を備えたベローズ弁の要部断面図である。
【図５】第二突状部の内周面をテーパ状に形成した場合の溶接方法を段階的に表した概略図である。
【図６】他の実施例に係る溶接方法を段階的に表した概略図である。
【図７】従来の流体接触部材の溶接方法を表した概略断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  ダイヤフラム弁
１１  ボディ本体
１５  第一突条部
２０  チャンバ
３０  弁機構体
４０  第一ダイヤフラム
４１  第二突状部
４５  第二ダイヤフラム
４６  第二突状部
５０，５５  溶接溝部
６０，６５  溶着部材
【図１】
0004774399.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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