(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
運動を検出するための検出器であって、
可動な励磁器磁石（ＥＭ）と、
ワイス領域及びブロッホ磁壁を有するただ１つの強磁性要素（ＦＥ）と、
前記強磁性要素（ＦＥ）を囲んでいる誘導要素（ＳＰ１）と、
前記強磁性要素を囲んでいる第２の誘導要素（ＳＰ２）と、
を備え、
前記強磁性要素（ＦＥ）がトリガされ、且つ前記励磁器磁石（ＥＭ）によって再磁化される場合に、前記誘導要素（ＳＰ１）は、時間（ＴＳ）で第１の出力（２２）を提供し、
前記強磁性要素（ＦＥ）がトリガされ、且つ前記励磁器磁石（ＥＭ）のさらなる運動なしに、前記励磁器磁石（ＥＭ）によって再磁化される場合に、前記第２の誘導要素（ＳＰ２）は、前記時間ＴＳで前記第１の出力と正確に同時にではなく、略同時に第２の出力（２３）を提供し、
前記第１の出力（２２）及び前記第２の出力（２３）は、互いに対して時間でシフトされ、前記第１の出力（２２）及び前記第２の出力（２３）の前記時間シフト及び発生順序は、前記強磁性要素の再磁化がトリガされる方向、極性、及び前記励磁器磁石（ＥＭ）の位置を決定し、
前記強磁性要素（ＦＥ）がパルスワイヤであることを特徴とする検出器。
【請求項２】
運動を検出するための検出器であって、
可動な励磁器磁石（ＥＭ）と、
ワイス領域及びブロッホ磁壁を有するただ１つの強磁性要素（ＦＥ）と、
前記強磁性要素（ＦＥ）を囲んでいる誘導要素（ＳＰ）と、
前記強磁性要素（ＦＥ）に同調されるセンサ要素（ＳＥ）と、
を備え、
前記強磁性要素（ＦＥ）がトリガされ、且つ前記励磁器磁石（ＥＭ）によって再磁化される場合に、前記誘導要素（ＳＰ１）は、時間（ＴＳ）で第１の出力（２２）を提供し、
前記強磁性要素（ＦＥ）がトリガされ、且つ前記励磁器磁石（ＥＭ）のさらなる運動なしに、前記励磁器磁石（ＥＭ）によって再磁化される場合に、前記センサ要素（ＳＥ）は、時間ＴＳで第１の出力と正確に同時にではなく、略同時に第２の出力（２４）を提供し、
前記強磁性要素の再磁化が前記励磁器磁石（ＥＭ）によってトリガされる方向は、前記センサ要素（ＳＥ）が励磁されているかどうかによって確立され、
前記強磁性要素（ＦＥ）がヴィガントワイヤであることを特徴とする検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、強磁性要素の使用によって並進および/または回転運動を検出する位置検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
このタイプの強磁性要素は、US 4,364,013による、いわゆるパルスワイヤ運動検出器の形態、ならびにDE 4,107,847 C1およびDE 2,817,169 C2からのヴィガント(Wiegand)センサの形態で知られている。これらの場合、たとえば強磁性材料のパルスワイヤがセンサコイルによって囲まれる。強磁性材料における磁性領域(磁区または「ワイス」領域とも呼ばれる)は、最初はランダムな方向を向いているが、外部の力の影響下で単一磁区内へと方向付けることができる。ある方向および強度の外部磁界が印加されると、この磁区はすぐに反転、すなわち「フリップ」する。結果として、出力信号としてタップ式に取り出すことができる電圧パルスがセンサコイル内で生成される。
【０００３】
回転角センサ(たとえばEP 0,724,712 B1参照)の形態の公知設計では、スイッチングおよびリセット用磁石は、これらのパルスワイヤを通して行われ、その中のいくつかは円周のまわりに分布し、その結果、最初はある極の、次に反対の極の磁界が連続してパルスワイヤのそれぞれを透過する。各パルスワイヤの磁区全てが再磁化される結果として、規定の持続期間、振幅、および極性の電圧パルスがセンサコイル内に生成される。電子計数回路はこれらの電圧パルスを評価する。リセット磁石は、反対極性の磁界を生成し、反対極性の磁界は、パルスワイヤの磁区を元の状態に戻し、その結果、問題のパルスワイヤは新しいパルスをトリガする準備が整う。この動作モードは、「非対称」として知られている。対称モードでは、評価されることができるパルスはまた、リセット位相中に生成される。
【０００４】
先に述べたEP 0,724,712 B1で説明されるように、運動方向の円周の周りに分布した、これらのセンサの少なくとも2つは、回転軸のそれぞれの完全な1回転だけでなく、セットプロセスとリセットプロセス間の特有の位置の差を考慮することで、回転方向もまた判定することを可能にし、生成される電圧パルスを、回転する軸の関連する角度位置と一意に関連付けることができる。
【０００５】
少なくとも2つのセンサが、円周のまわりに分布しなければならないため、パルスワイヤセンサが必ず一定のサイズになるという理由で、こうしたシステムを構築することは面倒である。このことは、直径の小さい回転カウンタを実現することが不可能であることを意味する。これらのセンサはまた比較的費用がかかる。
【０００６】
単一センサのみを備えるこのタイプの位置検出器を使用して、軸の回転およびその回転方向を判定することができる。この場合、センサは、ヴィガントワイヤとして設計され、このヴィガントワイヤは、ある磁極がヴィガントワイヤに対向して位置する状態で、軸のセクションの運動方向に対してある角度で組み立てられる。そのため、ワイヤは、向き依存性のあるパルスを生成することができる(先に言及したDE 2,817,169 C2と比較されたい)。
【０００７】
こうした配置構成の欠点は、回転方向を認識することは可能であるが、所定の分極が、その分極によって予め決まる回転方向のみを検出することができることを意味することである。すなわち、1つの回転方向のみしか判定することができない。
【０００８】
したがって、軸の両方の回転方向を判定できるように、関連する評価回路を有する、少なくとも2つのこうしたセンサが必要とされる。さらに、こうした配置構成は、運動方向とセンサの向きの間の角度が決定的な役割を果たすため、一定の条件下で、エネルギー出力が非常に低いという欠点を持つ。したがって、このタイプの配置構成は、外部エネルギー源なしで働くことを難しくさせる。
【特許文献１】US 4,364,013
【特許文献２】DE 4,107,847 C1
【特許文献３】DE 2,817,169 C2
【特許文献４】EP 0,724,712 B1
【特許文献５】EP 0,658,745
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の課題は、この状況についての救済策を提供することである。
【００１０】
強磁性材料では、異なる磁化方向を有する隣接する原子の磁気モーメントの相互作用が非常に強いため、モーメントは、小さな空間エリア、いわゆる「ワイス」領域において互いに整列する。これらの領域は、「ブロッホ」磁壁として知られる遷移層によって相手から分離される。均一な磁化方向を有する単一の永久磁区を、たとえば、強磁性ワイヤを機械的に引っ張ることによって得ることができることが発見された。この種類の磁区が、一定の強さおよび方向の外部磁界内に導入されると、磁区は全体としては反転せず、代わりに、その単元磁石は、ある開始位置(好ましくは、ワイヤの一端)から反転し始め、これが、外部磁界に向かう方向にドミノ式に進む。強磁性要素内でこうして生成した反転波は有限速度であるが、その速度は、励磁器磁石の速度に比べて十分に速く、磁区の「瞬時反転」と呼ぶことが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
少なくとも1つの励磁器磁石を備える、ここで問題とするタイプの位置検出器について、上述した物理的な関係を利用することによって、単一の強磁性要素(FE)、少なくとも1つの誘導コイル、ならびに、励磁器磁石の極性および位置に関する情報を判定する少なくとも1つの追加のセンサ要素を有する検出器による本発明に従って、先に述べた課題が実現され、単一の強磁性要素(FE)がトリガされる時点で利用可能である情報のセットは、励磁器磁石の運動の方向を判定するのに必要とされる全てである。
【００１２】
本発明の特に単純な変形形態では、強磁性要素を通過するブロッホ磁壁の作用は、強磁性要素の再磁化がトリガされる方向を判定することによって、励磁器磁石の位置を検出することを可能にする。この再磁化は、要素の2つの端面のいずれか一方から引き起こすことができる。
【００１３】
しかしながら、再磁化のトリガ方向は、ワイス領域が、そこに対して「フリップした」磁極によって表される、再磁化自体の方向と混同されることはない。この場合、再磁化方向は、問題となる領域に、励磁器磁石のトリガ極と同じ極性を与える作用を有する。
【００１４】
連続して回転する軸の場合に、単元磁石が、外部磁界の方向に向きを変える時に生成する運動エネルギー量は十分に大きいため、強磁性要素に割り当てられたコイルから、信号パルス用の電気エネルギーだけでなく、計数回路およびホールセンサ用のエネルギーを取得することができる。
【００１５】
励磁器磁石EMの現在の位置および極性がいったんわかると、それらを、最も新しく記憶された位置および極性の値と関連付けることができる。これによって、励磁器磁石EMおよび励磁器磁石EMが永続的に接続される回転軸の運動方向を判定するのに必要な情報が全て提供される。
【００１６】
本発明をよりはっきりと理解することができるように、回転カウンタに基づいて、本発明を以下で説明する。
【００１７】
1つの励磁器磁石および半回転の分解能を特徴とする一般的な場合、回転カウンタシステムは、励磁器磁石の4つの基底(base)状態によって完全に記述され、これらの状態は、磁石について最も新しく記憶されたデータ、すなわち
Z1.) 基準線の右の北極、
Z2.) 基準線の左の北極、
Z3.) 基準線の右の南極、および
Z4.) 基準線の左の南極
と共に、種々の方法で組み合わせ可能である。
【００１８】
本発明に従って1つのパルスワイヤおよび誘導コイルのみを使用する時、これらの4つの状態を種々の方法で互いに組み合わせて、2つからなる3つのグループを形成することができる。実際の場合に存在するグループは、再磁化がトリガされる方向によって決まる。
【００１９】
第1グループ:再磁化の両方のトリガ方向が規定される。図1、図2および図3を参照されたい。
a.) 基準線Lの右の北極または左の南極 (Z1またはZ4)；
b.) 基準線Lの左の北極または右の南極 (Z2またはZ3)
【００２０】
励磁器磁石EMの位置は、追加のセンサ要素、たとえば、第2誘導コイルまたはホールセンサを使用して、再磁化がトリガされる方向を測定することによってここで判定することができる。第2コイルSP2が強磁性要素FEを覆って設けられると、測定が直接行われる。ホールセンサHSが使用されると、測定は間接的に行われる。ホールセンサHSが使用されると、ホールセンサが検出する励磁器磁石EMの極性は無関係であり、唯一重要なことは、ホールセンサが励磁されるか、されないかである。励磁器磁石EMの極性は、強磁性要素FEの誘導コイルSP1またはSPを使用して、再磁化方向を測定することによって、電圧パルスの極性から常に得ることができる。
【００２１】
第2グループ:再磁化の1つのトリガ方向のみが規定される。図4を参照されたい。
a.) 基準線Lの右の北極または左の北極 (Z1またはZ2)；
b.) 基準線Lの右の南極または左の南極 (Z3またはZ4)
【００２２】
この場合、励磁器磁石EMの位置は、ホールセンサによって、すなわち、ホールセンサが励磁されるか、または、されないかということによって、常に直接確定される。励磁器磁石EMの極性は、これとは無関係に、誘導コイルSPを使用して、再磁化方向を測定することによって判定することができる。
【００２３】
第3グループ:再磁化のトリガ方向は規定されない。図5を参照されたい。
a.) 基準線Lの上でかつ右の北極または基準線Lの下でかつ右の南極 (Z1またはZ2)；
b.) 基準線Lの下でかつ右の北極または基準線Lの下でかつ右の南極 (Z4またはZ3)
【００２４】
対応する極性は、ホールセンサHSの場所の関数として、すなわち、(図5に示すように)右側にあるか、または、左側にあるかで評価される。励磁器磁石EMの極性は、ここでは、ホールセンサHSによって直接与えられる。励磁器磁石EMの位置(上または下の北極または南極)は、再磁化方向を測定することによって間接的に判定される。
【００２５】
解決策は全て、数学的に等価であり、技術的な価値が同じである。
【００２６】
上述した本発明の処置の結果として、単一の強磁性要素のみを備える最も単純な想像可能な機械的設計によって、位置センサを実現することが可能であり、単一の強磁性要素は、ゼロに近い速度であっても、また、標準電源が故障した後であっても、励磁器磁石の運動の両方向において首尾よく働く。ここで注目すべきことは、励磁器磁石EMの極性および運動方向を判定するのに必要とされる情報は全て、時点TS、すなわち、強磁性要素FEがトリガされる時点で利用可能であることである。したがって、記憶されたデータ以外に、必要な信号は全て、問題の誘導コイル、および/または、ホールセンサの出力端子に存在する。この目標を達成するために、強磁性要素FE、ホールセンサHS、および励磁器磁石または磁石EMが、互いに非常に特別な空間配置、たとえば、1つの場所に配列されることが必要である。
【００２７】
最適に単純化した設計による位置検出器はまた、センサコイルSPまたはセンサコイルSP1,SP2から、出力信号用のエネルギーだけでなく、少なくとも1つの計数デバイス、不揮発性メモリ、およびコンデンサを備える評価回路用のエネルギーもまた取得することを可能にする。
【００２８】
本発明のさらなる特徴を従属請求項から引き出すことができる。
【００２９】
本発明を、図面において多少概略的に示される5つの例示的な実施形態に基づいて以下で説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
図1に示す位置検出器の実施形態では、移動物体は軸10であり、軸10は、矢印R1およびR2で指示する方向に、すなわち、時計方向か、反時計方向のいずれかに回転することができる。軸10の回転をカウントすることができるように、北極Nおよび南極Sを有する励磁器磁石EMが設けられる。強磁性磁束伝導片FL1およびFL2によって、強磁性要素FEは、励磁器磁石EMによって生成される磁界の影響を受けることができる。磁束伝導片の端部14および15は、励磁器磁石EMの経路によって表される円弧上にあり、一方、(FE上の基準線Lの左に配置される)端部16および(FE上の基準線Lの右に配置される)端部17は、強磁性要素FEの端面に面する。
【００３１】
励磁器磁石の運動方向に平行である強磁性要素FEは、2つのセンサコイルSP1およびSP2によって囲まれる。励磁器磁石EMが強磁性要素FEを通過する時に、励磁器磁石は要素を再磁化し、そのため、対応する極性の電圧パルスが生成される。これらのパルスは、2つのコイルの出力端子22および23からタップ式に取り出すことができる。第2誘導コイルSP2は、ここで、再磁化がトリガされる方向を判定する追加のセンサ要素として働く。再磁化がトリガされる方向、したがって、励磁器磁石EMの位置を、2つのコイルの電圧最大値間の時間シフトから導出することができる。厳密に言えば、論理状態「1」のコイル、すなわち、その電圧最大値に初めて達するコイルのみが、評価される必要がある。他のコイルは、この時点ではまだその最大値に達しておらず、したがって、論理状態「O」であると評価される。パルスワイヤは、ここで、強磁性要素の役割を果たす。
【００３２】
図2による実施形態では、図1の要素に対応する要素は、同じ参照番号を持つ。
【００３３】
図1と対照的に、1つのセンサコイルSPのみが強磁性要素FEに割り当てられる。励磁器磁石が強磁性要素のそばを通過する時に励磁器磁石の位置を判定することができるように、ここでは、ホールセンサHSが追加のセンサ要素として設けられ、ホールセンサHSの出力24において、タップ式に取り出すことができる信号が存在するか、または存在しない。極性は、強磁性要素FEのコイルSPによって、図1の場合と同様に、ここで判定される。ホールセンサによって判定される極性は、評価とは無関係であるが、余剰情報として使用されて、デバイスの挙動が監視される。
【００３４】
したがって、励磁器磁石の極性および運動方向を判定するための、時点TSで利用可能な情報の完全なセットは、不揮発性メモリ内のデータ、および、誘導コイルの出力端子の信号、または、誘導コイルの出力端子とホールセンサの出力端子の信号からなる。
【００３５】
図3による位置検出器の実施形態は、分解能を向上させるために、交互の極性を持つ、90°離れた、4つの励磁器磁石EM1〜EM4を軸10がここでは備えることを除いて、先に述べた例示的な実施形態の要素に対応する要素を有する。したがって、軸10が回転すると、最初は、北極が、次に、南極が、磁束伝導片FL1およびFL2によって、強磁性要素FEの端面のそれぞれを横切ることになる。励磁器磁石の位置を判定するのに必要とされるホールセンサは、ここでは、強磁性要素から離れたところに面する励磁器磁石EM1〜EM4の端部に割り当てられる。
【００３６】
図4による位置検出器の実施形態は、磁束伝導片が存在しないことを除いて、先に述べた実施形態の要素と同じ要素を有する。この変形形態では、励磁器磁石EMが強磁性要素FEと整列する前に、強磁性要素FEがすでにトリガされてしまっていることを主に利用する。励磁器磁石EMの位置を判定するのに必要とされるホールセンサHSの検知範囲は、検知範囲が、およそ基準線Lまで延びるように計算される。
【００３７】
図5による位置検出器の実施形態はまた、励磁器磁石に対向する磁束伝導片FL1およびFL2の端部が、180°離れて配列されることを除いて、先に述べた実施形態に対応する要素を有する。励磁器磁石の極性を判定するための、追加のセンサ要素として必要とされるホールセンサは、ここでは、軸10の回転中心を通る基準線Lに対して直角のところにあり、強磁性要素がトリガされると、励磁器磁石EMの対応する極を検知しているように配列される。これは、極が、磁束伝導片と整列するようになる前の一定の角度αで常に起こる。励磁器磁石EMの位置は、再磁化方向を測定する強磁性要素FEのコイルによって判定される。図5による本変形形態は、特に、意図する磁束伝導片を、磁束を束ねる磁気レンズの形態でも使用する時に、非常に小さい励磁器磁石EMによって動作することができる。
【００３８】
図1〜図5による例示的な実施形態では、励磁器磁石EMと強磁性要素FEが、回転軸に対して同じ平面上にある設計が示される。強磁性要素FEと励磁器磁石EMが、(図7に示すように)異なる平面上にあるか、または、(図8に示すように)同じ平面上であるが回転軸に平行にあることは、もちろん可能であり、ある場合には有利でもある。
【００３９】
全体が参照数字30で示される評価回路の入力端子32,33は、センサコイルSP1およびSP2、または、コイルSPおよびホールセンサに接続される。このタイプの回路は、図1〜図5および図7〜図8による、位置センサのそれぞれに割り当てられる。図6は、この評価器のブロック回路図を示す。認識回路34,35は入力端子の後段に設けられる。エネルギーを供給するコンデンサCはまた、整流器Dによって入力32に接続される。認識回路34,35からの信号は、カウンタ38にて評価され、カウンタ38は、それ自体の不揮発性メモリ36を有する。新しいカウンタのステータスは、記憶されたデータに含まれる履歴、および、励磁器磁石の現在の位置および極性に関する、認識回路34,35によって供給される情報に基づいて得られる。この新しいステータスは、次に、不揮発性メモリユニット、通常、FRAMユニットに記憶される。
【００４０】
評価回路用のエネルギーは、通常、誘導コイルSP,SP1およびSP2によって送出される信号から取得される。1つの誘導コイルSPのみが使用される場合、ホールセンサ用のエネルギーもまた、このコイルによって供給される。
【００４１】
接続ライン41は、先に述べた評価回路用の電圧供給部の一部である。データは、タップ39およびインタフェース40を介して読み出される。設けられている場合、ライン42は、特に、FRAMに加えて、EEPROMが使用される時に、外部からエネルギーを導入するのに役立つ。EEPROMは、FRAM内のコンフィギュレーションデータがほんの短時間後に消失することになるような非常に高温で、評価回路が動作することを通常可能にする。
【００４２】
先に述べた例示的な実施形態に共通であることは、軸10の回転および/または回転方向が、単一の強磁性要素、たとえば、パルスワイヤのみによって所定精度で検出されることができ、パルスワイヤは、評価回路および追加のセンサ要素としてのホールセンサに供給するための十分なエネルギーを利用可能にさせることである。パルスワイヤの本配置構成の最も単純な変形形態(その変形形態によれば、パルスワイヤの2つの端部は、測定技術の観点から等価である)では、生成された電圧パルスは、トリガする励磁器磁石の位置と極性の両方に関する情報を含む。
【００４３】
別の本質的な点は、強磁性要素の再磁化をトリガする方向、励磁器磁石EMのトリガする極、および回転軸に対して最も新しく記憶された励磁器磁石極性と位置に関する情報は全て、強磁性要素のトリガ時点TSで、すなわち、選択された要素の応答時間内で同時に利用可能であることである。
【００４４】
評価回路のコンデンサCは、少なくとも、信号が評価され、カウンタ値が不揮発性メモリユニットに記憶されるまで、信号から得られる供給エネルギーを蓄積するために設けられる。
【００４５】
ワイス領域の「瞬時反転」のための条件が満たされるならば、パルスワイヤまたはウィーガンドワイヤの代わりに、他のタイプの強磁性要素を使用することも可能であろう。
【００４６】
誤解を避けるために、迷走磁界を無視すると、強磁性要素FEは、1つの磁気入力と1つの磁気出力のみの存在を特徴とすることが指摘されるべきである。入力と出力間には、任意の数の平行な、かつ/または、直列な妨害物が存在するであろうということが考えられるが、このことは、単一要素という本発明の思想からの逸脱を示すことにはならない。
【００４７】
励磁器磁石の極性または位置を判定するために、ホールセンサの代わりに、フィールドプレートなどの他のセンサを使用することも可能であろう。励磁器磁石の位置および/または極性を、ホールセンサによる代わりに、容量性測定によって判定することができるように、励磁器磁石を調製することも可能である。たとえば、EP 0,658,745に述べられ、示されるように、いわゆる「マルチターン」の形態の精密回転角センサと共に、先に述べた位置検出器を使用することも可能である。この場合、基準線Lは、使用される精密回転角センサのゼロポイントに対応する。
【００４８】
たとえば、ヴィガントワイヤを使用すると、精密回転角センサとの同期は、強磁性要素FEの磁化の状態に関する精密なデータの利用可能性を必要とする。このために、たとえば、図1による2つのコイルを有する配置構成が適している。外部電流をコイルの一方、たとえば、コイルSP1に供給することによって、強磁性要素の磁化の関数として、第2コイル、たとえば、コイルSP2において電圧パルスをトリガすることが可能である。これは、互いに重なるように配列した2つのコイルについても可能である。短い電流パルスまたはゆっくりとした線形上昇を有する電流によって電圧パルスをトリガすることも可能であり、その場合、単一のコイルSPのみが必要となるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】1つの強磁性要素、2つの割り当てられた誘導コイル、および2つの強磁性磁束伝導片を有する、本発明による位置検出器の設計の略図である。
【図２】1つの強磁性要素、1つの誘導コイル、ホールセンサ、および2つの強磁性磁束伝導片を有する、本発明の第2の例示的な実施形態による位置検出器の設計の略図である。
【図３】1つの強磁性要素、1つの誘導コイル、ホールセンサ、数個の励磁器磁石、および2つの強磁性磁束伝導片を有する、本発明の第3の例示的な実施形態による位置検出器の略図である。
【図４】1つの強磁性要素、1つの誘導コイル、およびホールセンサを有する、本発明の第4の例示的な実施形態による位置検出器の略図である。
【図５】1つの強磁性要素、1つの誘導コイル、ホールセンサ、および互いから180°交差して配列された2つの強磁性磁束伝導片を有する、本発明の第5の例示的な実施形態による位置検出器の略図である。
【図６】図1〜図5による実施形態で使用するのに適した評価回路のブロック回路図である。
【図７】図5に対応する位置検出器の配置構成を示し、励磁器磁石の回転軸は、図5による配置構成に対して90°回転しており、すなわち図4に示すように設定される。
【図８】図7に対応する位置検出器の配置構成を示し、励磁器磁石の回転軸は、図5による配置構成に対して90°回転しており、明確にするために2つの励磁器磁石が示される。
【符号の説明】
【００５０】
10  軸
14,15,16,17  端部
22,23,24  出力端子
30  評価回路
32,33  入力端子
34,35  認識回路
36  不揮発性メモリユニット
38  カウンタ
39  タップ
40  インタフェース
41  接続ライン
42  ライン
α  トリガ角度
C  コンデンサ
D  整流器
EM,EM1,EM2,EM3,EM4  励磁器磁石
FE  強磁性要素
FL1,FL2  強磁性磁束伝導片
HS  ホールセンサ
L  基準線
N  北極
R1,R2  矢印
S  南極
SP,SP1,SP2  センサコイル
SE  追加センサ要素
TS  強磁性素子FEがトリガされる時点
Z1,Z2,Z3,Z4  励磁器磁石基底状態
【図１】
0004712390.tif 000002
【図２】
0004712390.tif 000003
【図３】
0004712390.tif 000004
【図４】
0004712390.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004712390.tif 000007
【図７】
0004712390.tif 000008
【図８】
0004712390.tif 000009