(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤表面に貼付された研磨パッドと定盤との間にできた空気溜まりから空気を抜くための方法であって、
前記定盤表面に貼付された前記研磨パッドの表面を砥石によって削るステップと、
前記研磨パッド表面における変色部を検出するステップと、
前記検出した変色部に対して先端の尖った針状体を突き刺すステップと、
を備えることを特徴とする、研磨パッドの空気抜き方法。
【請求項２】
前記砥石は、ダイヤモンド砥粒を分散させたボンド層を備えたもの、又は、ダイヤモンド砥粒を基体表面に電着したものであることを特徴とする、請求項１記載の研磨パッドの空気抜き方法。
【請求項３】
前記変色部に対する針状体の突き刺しは、斜め方向から行うことを特徴とする、請求項１記載の研磨パッドの空気抜き方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨加工を行う研磨加工機の定盤表面に貼付された研磨パッドと定盤との間の空気溜まりから空気を抜く研磨パッドの空気抜き方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス材料や金属材料や半導体材料やセラミック材料等の各種基板の表面を平滑な鏡面に仕上げるために、研磨加工が行われている。近年、磁気ディスクの小型・高密度化に伴い、表面平滑性及び機械的強度が優れたガラスディスクを情報記録媒体用ディスクとして利用することが多くなっている。情報記録媒体用ガラスディスクは、ガラスディスクの表裏の記録面をラッピング加工したあと研磨加工することが行われている。
【０００３】
研磨加工に用いられる研磨加工機の定盤表面には、ポリエステルフェルトや多孔質ポリウレタン樹脂等からなる研磨パッドが貼付されている。研磨パッドは、その裏面側に粘着シートを介して剥離紙が貼付された構成をしている。使用時には、剥離紙を引き剥がして、パッド部が粘着シートを介して定盤に貼り付けられる。
【０００４】
研磨パッドを定盤に貼り付けるとき、研磨パッドと定盤との間に空気を噛み込むことによって空気溜まりが形成される。空気溜まりにより研磨パッドの研磨面に隆起部が形成されることによって、被研磨加工物の平坦度や歩留まりが低下したり、被研磨加工物が隆起部分に引っ掛かって研磨パッドを破損したりするという問題がある。このような空気溜まりの形成を防止するために、研磨パッドに多くの通気孔を予め形成しておくことが提案されている（例えば、特許文献１及び２を参照のこと）。
【０００５】
しかしながら、研磨パッドのどの位置に空気溜まりが形成されるかは不確実なことであり、通気孔の位置と空気溜まりの位置とがうまく一致しないことが多い。研磨パッドを押圧して空気溜まり中の空気を通気孔の位置まで押し出すことも行われているが、空気溜まり中の空気を確実に押し出すためには熟練した技術を要する。また、両者の位置ができるだけ一致するように多くの通気孔を形成することも可能であるが、多くの通気孔を形成するために多大な費用がかかってしまうこと、大多数の不必要な通気孔を形成したことで粘着面積が低下することによって研磨パッドが剥離しやすくなること等の問題がある。
【特許文献１】特開２００２−２０５２５８号公報
【特許文献２】特開平１１−１５１６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明の解決すべき技術的課題は、空気溜まりの位置を確実に検出して、空気溜まりから空気を簡単に抜くことのできる研磨パッドの空気抜き方法を提供することである。
【課題を解決するための手段および作用・効果】
【０００７】
上記技術的課題を解決するために、本発明によれば、以下の研磨パッドの空気抜き方法が提供される。
【０００８】
すなわち、本発明に係る研磨パッドの空気抜き方法は、
定盤表面に貼付された研磨パッドと定盤との間にできた空気溜まりから空気を抜くための方法であって、
前記定盤表面に貼付された前記研磨パッドの表面を砥石によって削るステップと、
前記研磨パッド表面における変色部を検出するステップと、
前記検出した変色部に対して先端の尖った針状体を突き刺すステップと、
を備えることを特徴とする。
【０００９】
上記方法によれば、定盤表面に研磨パッドを貼付して研磨パッドと定盤との間に空気溜まりが存在する場合には、空気溜まりの存在する位置で研磨パッドの表面がわずかに隆起する。このような研磨パッドの表面を砥石で削ると、空気溜まりによる隆起部がその周囲の他の部分よりも優先的に摩耗することによって、隆起部がその周囲の他の部分と比較して変色した状態になる。空気溜まりを示唆しているこの変色部に対して先端の尖った針状体を突き刺すことにより、空気溜まりから空気を抜くことができる。したがって、空気溜まりの位置を確実に検出して、空気溜まりから空気を簡単に抜くことができる。
【００１０】
砥石は、ＣＢＮ砥粒のものも使用可能であるが、切れ味の鋭いダイヤモンド砥粒を分散させたボンド層を備えたもの、又は、ダイヤモンド砥粒を基体表面に電着したものが好適である。
【００１１】
針状体の突き刺しによって外部と連通した通気孔から研磨液が侵入することで、研磨パッドが定盤から剥離しやすくなってしまう。このことを防止するために、変色部に対する針状体の突き刺しは、垂直方向から行うよりも、斜め方向から行うことが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明に係る研磨パッド２０の空気抜き方法の一実施形態を、図１を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明に係る研磨パッド２０の空気抜き方法の一実施形態を説明する模式図である。（Ａ）は、研磨パッド２０と定盤１０との間に空気溜まり３０が形成されたことを示している。（Ｂ）は、砥石によって研磨パッド２０、特に隆起部２６の表面を削ったことを示している。（Ｃ）は、針状体４０で空気溜まり３０を突き刺していることを示している。（Ｄ）は、通気孔３２の形成によって空気溜まり３０と外部とが連通していることを示している。（Ｅ）は、空気溜まり３０が脱気されたことを示している。
【００１４】
本発明に係る研磨パッド２０の空気抜き方法が適用される研磨加工機の略円板状の定盤１０は、鉛直方向に延在する主軸を中心に回転可能である。定盤１０の表面には、研磨パッド２０が貼り付けられている。研磨パッド２０は、例えば、例えば、ポリウレタン、ポリエステル、ポリビニルアルコ−ル、ポリアミド、セルロ−ス系繊維等の不織布、フェルト、発泡シ−ト状物からなるパッド部２２と、パッド部２２を定盤１０に粘着固定する粘着シート２８と、を備えている。粘着シート２８の反対側に位置するパッド部２２の表面は、研磨面２４を構成する。
【００１５】
図１の（Ａ）に示すように、定盤１０の表面に研磨パッド２０をうまく貼付できなかったときには、定盤１０と研磨パッド２０との間に空気溜まり３０が形成される。その場合、空気溜まり３０の存在する位置では、研磨パッド２０の表面がわずかに隆起した隆起部２６が形成されている。
【００１６】
隆起部２６の表面をわずかに削るために、ステンレス鋼からなる基体の表面にダイヤモンド砥粒が電着された可撓性を有する金属製シート（板厚が２ｍｍ以下）からなるドレッシング砥石が用いられる。ダイヤモンド砥粒の粒径、ドレッシング砥石表面での砥粒の密度、砥粒の材質等は、研磨パッド２０の材質等を考慮して適宜のものが選択される。ドレッシング砥石の表面に電着される砥粒としてはダイヤモンドが好ましいが、これ以外に、たとえば、ＣＢＮ砥粒も使用できる。なお、電着とは、電解メッキ法を利用した研削・研磨工具の製造方法であり、一般的にニッケルが使用される。電着ドレッシング砥石の代わりに、ダイヤモンド砥粒を分散させたボンド層（メタルボンド、ビトリファイドボンド又はレジンボンド）を基体に形成したものを用いることもできる。
【００１７】
また、表面にダイヤモンド砥粒が電着された金属製シートからなるドレッシング砥石を使用することに代えて、表面にダイヤモンド砥粒が付着されているペレット砥石を離間配置した樹脂製シートからなるドレッシング砥石を使用することもできる。さらに、通常のペレット砥石に代えて、表面にダイヤモンド砥粒が電着された金属製シートを通常のペレット砥石と同様のサイズに分割したペレット砥石を離間配置した樹脂製シートからなるドレッシング砥石を使用することもできる。樹脂製シートには、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、超高分子ポリエチレン等の材料が使用される。
【００１８】
図１の（Ｂ）に示すように、上述したドレッシング砥石が研磨パッド２０の研磨面２４に当接した状態で純水を供給しながらドレッシング砥石及び研磨パッド（定盤）を短時間（例えば、３０秒程度）回転させることによって、研磨パッド２０の隆起部２６の表面がわずかに削り取られて、平坦面２７が出現する。空気溜まり３０による隆起部２６がその周囲の他の部分よりも優先的に摩耗することによって、隆起部２６の平坦部２７がその周囲の他の部分と比較して変色している。したがって、この変色した平坦部２７が空気溜まり３０であると検出される。
【００１９】
図１の（Ｃ）に示すように、空気溜まり３０を示唆している変色した平坦部２７に対して、先端の尖った針状体（針や千枚通し等）４０が斜め方向から突き刺される。その結果、図１の（Ｄ）に示すように、研磨パッド２０の隆起部２６には斜め方向に貫通した通気孔３２が形成され、通気孔３２によって空気溜まり３０と外部とが連通する。そして、図１の（Ｅ）に示すように、空気溜まり３０から空気が抜かれて、隆起部２６が萎んでしまい凹部２９となる。したがって、空気溜まり３０の位置を確実に検出して、空気溜まり３０から空気を簡単に抜くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る研磨パッドの空気抜き方法の一実施形態を説明する模式図である。（Ａ）は、研磨パッドと定盤との間に空気溜まりが形成されたことを示している。（Ｂ）は、砥石によって研磨パッド、特に隆起部の表面を削ったことを示している。（Ｃ）は、針状体で空気溜まりを突き刺していることを示している。（Ｄ）は、通気孔の形成によって空気溜まりと外部とが連通していることを示している。（Ｅ）は、空気溜まりが脱気されたことを示している。
【符号の説明】
【００２１】
１０：定盤
２０：研磨パッド
２２：パッド部
２４：研磨面
２７：平坦面（変色部）
２８：粘着シート
２９：凹部
３０：空気溜まり
３２：通気孔
４０：針状体
【図１】
0004710684.tif 000002