(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた基板に載置する部品移載装置であって、
上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、
上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記基板の位置を特定するために当該基板の上面に付された位置認識用のフィデューシャルマークを撮像するヘッド側撮像手段と、
上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、
上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた前記部品の検査用ソケットに載置する部品移載装置であって、
上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、
上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記検査用ソケットの位置を特定するために当該検査用ソケットを撮像するヘッド側撮像手段と、
上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、
上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の部品移載装置において、
上記位置認識マークが互いに離間した箇所に複数付されており、
上記制御手段は、上記複数の位置認識マークをそれぞれ基準として上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、これら複数の座標ずれデータに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とする部品移載装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品移載装置において、
上記部品供給部が、ダイシングされたウェハからなる多数のチップ部品の集合体を供給するウェハ用フィーダであることを特徴とする部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた載置部に載置する部品移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に示されるように、複数の吸着ノズルを備えた移動可能な移載ヘッドにより、ウェハ保持部に保持された半導体ウェハからチップ部品を取り出して搬送し、所定距離離れた基板に実装する部品実装装置において、上記移載ヘッドとは独立して移動可能な撮像手段を設け、この撮像手段を用いて、上記移載ヘッドにより次に取り出される予定のチップ部品をあらかじめ撮像することが行われている。
【０００３】
この特許文献１に開示された部品実装装置によれば、部品搬送用の移載ヘッドと独立して移動可能な撮像手段を設けたことにより、移載ヘッドによるチップ部品の搬送動作と並行して、次に吸着される予定のチップ部品を認識することができるため、タクトタイムを短縮して基板の生産効率を向上させることができる。
【特許文献１】特開２００３−５９９５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１のように、移載ヘッドと独立して移動可能な撮像手段により吸着予定部品の位置を認識するようにした場合、これら移載ヘッドおよび撮像手段の座標系が相対的にずれることがあり、このような座標系のずれが生じると、上記撮像手段により位置認識されるウェハ保持部内のチップ部品が移載ヘッドに対しどのような相対位置にあるかが正確に把握できず、上記移載ヘッドによる部品の吸着動作に支障が生じるおそれがある。しかしながら、上記特許文献１の技術では、このような問題に対して何ら対策が施されておらず、上記のような座標系のずれに起因した部品の吸着ミスの発生を有効に防止することができなかった。
【０００５】
このことは、部品供給部から供給された部品を移載ヘッドにより搬送して検査用の検査ソケットに装着する部品試験装置など、他の種類の部品移載装置についても同様である。
【０００６】
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、移載ヘッドと独立して移動可能な吸着位置認識用の撮像手段を備えながら、これら移載ヘッドと撮像手段との間の座標系のずれに起因した部品の吸着ミスの発生を効果的に防止することが可能な部品移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためのものとして、本発明の一の局面に係る部品移載装置は、部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた基板に載置する部品移載装置であって、上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記基板の位置を特定するために当該基板の上面に付された位置認識用のフィデューシャルマークを撮像するヘッド側撮像手段と、上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とするものである（請求項１）。
【０００８】
また、本発明の他の局面に係る部品移載装置は、部品供給部から供給された部品を移動可能な移載ヘッドにより吸着して搬送し、所定距離離れた前記部品の検査用ソケットに載置する部品移載装置であって、上記移載ヘッドと独立して移動可能に設けられ、上記移載ヘッドが上記部品供給部から部品を吸着する前にその部品を撮像する吸着位置撮像手段と、上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動し、上記検査用ソケットの位置を特定するために当該検査用ソケットを撮像するヘッド側撮像手段と、上記移載ヘッド、上記吸着位置撮像手段及び上記ヘッド側撮像手段の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置撮像手段によりあらかじめ撮像された部品の撮像データに基づいて、上記移載ヘッドをその部品の位置へ移動させる制御手段とを備え、上記制御手段は、所定のタイミングで、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正することを特徴とするものである（請求項２）。
【０００９】
本発明によれば、部品を吸着して搬送する移載ヘッドと独立して移動可能な吸着位置撮像手段を設けたことにより、部品供給部内の部品を撮像してその位置を認識する動作を、前に吸着された部品が載置部まで搬送されている間に効率よく行うことができ、タクトタイムを短縮して部品移載作業の効率を効果的に向上させることができる。しかも、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれが所定のタイミングで調べられ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量が補正されるように構成されているため、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間に存在する座標系のずれにかかわらず、吸着すべき部品の位置へ上記移載ヘッドを正確に移動させることができ、上記のような座標系のずれに起因した部品の吸着ミスの発生を効果的に防止することができる。
【００１０】
また、上記移載ヘッドに取り付けられてこれと一体に移動するヘッド側撮像手段をさらに備え、上記制御手段は、上記部品供給部もしくはその周辺に付された共通の位置認識マークの上に上記吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段を移動させ、これら各撮像手段により撮像された上記位置認識マークの撮像データに基づいて、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べるように構成されている。
【００１１】
従って、部品供給部等に付された共通の位置認識マークを吸着位置撮像手段およびヘッド側撮像手段で撮像するだけの簡単な構成で、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを効率よく調べられるという利点がある。
【００１２】
上記位置認識マークが互いに離間した箇所に複数付されている場合、上記制御手段は、上記複数の位置認識マークをそれぞれ基準として上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを調べ、これら複数の座標ずれデータに基づいて、上記移載ヘッドが上記部品供給部内の部品にアクセスする際の移動量を補正するように構成されていることが好ましい（請求項３）。
【００１３】
このように、複数の位置認識マークを基準に求められた複数の座標ずれデータに基づき、移載ヘッドの移動量を補正するようにした場合には、移載ヘッドによる部品の吸着動作をより正確に行わせることができるという利点がある。
【００１４】
本発明は、上記部品供給部が、ダイシングされたウェハからなる多数のチップ部品の集合体を供給するウェハ用フィーダである場合に、特に好適である（請求項４）。
【００１５】
すなわち、部品供給部がウェハ用フィーダである場合には、密集したチップ部品の中から所望のチップ部品を取り出すのにより高い吸着精度が要求されるため、上記移載ヘッドと吸着位置撮像手段との間の座標系のずれを考慮して正確に部品を吸着するようにした本発明の構成は、上記のような高い吸着精度が要求される状況下で特に有効である。
【発明の効果】
【００１６】
以上説明したように、本発明によれば、移載ヘッドと独立して移動可能な吸着位置認識用の撮像手段を備えながら、これら各撮像手段の座標系のずれに起因した部品の吸着ミスの発生を効果的に防止することが可能な部品移載装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
（実施形態１）
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる部品実装装置１を概略的に示す平面図である。本図に示される部品実装装置１は、基台２と、この基台２上に設置されて基板Ｐの搬送ラインを構成するコンベア３と、多数のチップ部品６，６…の集合体としてのウェハ７を供給する部品供給部５と、この部品供給部５から供給されたチップ部品６を吸着して搬送し、基板Ｐに実装する移載ヘッド４とを備えている。
【００１８】
上記コンベア３は、基台２上においてＸ軸方向（基板Ｐの搬送方向）に延びるように設置され、基板Ｐを上流側（−Ｘ側）から搬送して所定の実装作業位置（図示されている位置）で保持し、その基板Ｐに対する実装作業が終了するのを待って上記実装作業位置の下流側（＋Ｘ側）に基板Ｐを搬出するように構成されている。なお、上記コンベア３には、基板Ｐを上記実装作業位置に保持するための図略のクランプ機構等が設けられている。また、当実施形態では、上記実装作業位置に位置決めされた基板Ｐが、本発明にかかる載置部（つまり部品供給部５から取り出されたチップ部品６の搬送先）に相当する。
【００１９】
上記部品供給部５は、円盤状のシリコンウェハからなるウェハ７が碁盤目状にダイシングされて形成された多数のチップ部品６，６…（ベアチップ）の集合体を、トレイ８上に載置した状態で供給するウェハ用フィーダとして構成されている。具体的に、部品供給部５は、ウェハ７をトレイ８上に載置した状態で上下多段に収納するウェハ収納エレベータ９と、このウェハ収納エレベータ９の前方側（−Ｙ側）に位置する基台２上に設置されたウェハステージ１０と、上記ウェハ収納エレベータ９からウェハステージ１０上にトレイ８を引き出すためのコンベア１１等からなる引出ユニットとを備えている。
【００２０】
上記移載ヘッド４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に支持されており、上記部品供給部５のウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の上方と、上記実装作業位置に保持された基板Ｐの上方とにわたって自在に移動し得るように構成されている。
【００２１】
すなわち、基台２上には、Ｙ軸方向に延びる一対の固定レール１３と、第１Ｙ軸サーボモータ１４により回転駆動されるボールねじ軸１５とが配設され、上記移載ヘッド４を支持するための支持フレーム１６が、上記固定レール１３に沿ってＹ軸方向に移動可能に支持されるとともに、この支持フレーム１６の内部に設けられたナット部分１７が上記ボールねじ軸１５に螺合している。また、上記支持フレーム１６には、Ｘ軸方向に延びる図略のガイド部材と、第１Ｘ軸サーボモータ１８により回転駆動されるボールねじ軸１９とが配設され、上記移載ヘッド４が上記ガイド部材に沿ってＸ軸方向に移動可能に支持されるとともに、この移載ヘッド４の内部に設けられた図略のナット部分が上記ボールねじ軸１９に螺合している。そして、第１Ｙ軸サーボモータ１４が作動してボールねじ軸１５が回転駆動されることにより、上記支持フレーム１６が移載ヘッド４と一体にＹ軸方向に移動し、かつ第１Ｘ軸サーボモータ１８が作動してボールねじ軸１９が回転駆動されることにより、移載ヘッド４が支持フレーム１６に対してＸ軸方向に移動するように構成されている。
【００２２】
図２のブロック図に示すように、上記第１Ｘ軸サーボモータ１８および第１Ｙ軸サーボモータ１４には、エンコーダ等からなる位置検出手段１８ａ，１４ａがそれぞれ設けられており、これら各手段１８ａ，１４ａの検出値に基づいて、上記移載ヘッド４の理論上の位置が認識されるようになっている。
【００２３】
上記移載ヘッド４は、図１に示すように、上記ウェハステージ１０上のウェハ７から個々のチップ部品６を吸着するための複数の（図例では３つの）ノズルユニット３０を有している。これら各ノズルユニット３０は、その下端部に中空状のノズル部材（図示省略）を有しており、部品吸着時には、真空ポンプ等からなる図略の負圧供給手段から上記ノズル部材の先端部に負圧が供給され、その負圧による吸引力で上記ノズル部材にチップ部品６が吸着されるようになっている。
【００２４】
また、上記ノズルユニット３０は、移載ヘッド４の本体部に対し上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能でかつノズル中心軸（Ｒ軸）回りに回転可能な状態で取り付けられ、図略のＺ軸サーボモータおよびＲ軸サーボモータによりそれぞれ各方向に駆動されるように構成されている。
【００２５】
以上のように構成された移載ヘッド４には、基板Ｐの上面に付された位置認識用のフィデューシャルマーク（図示省略）を認識するための基板認識カメラ３１（本発明にかかるヘッド側撮像手段）が取り付けられている。具体的に、この基板認識カメラ３１は、基板Ｐがコンベア３によって実装作業位置まで搬送された後の所定のタイミングで、移載ヘッド４とともに上記フィデューシャルマークの上方まで移動してこれを撮像することにより、基板Ｐの正確な位置を特定するように構成されている。
【００２６】
一方、上記部品供給部５の上方には、そのウェハステージ１０上に位置決めされたウェハ７の各チップ部品６を撮像してその正確な位置を特定するための吸着位置認識カメラ３２（本発明にかかる吸着位置撮像手段に相当）が設けられている。この吸着位置認識カメラ３２は、上記移載ヘッド４と同様の機構によりＸ，Ｙ軸の各方向に移動可能に支持されている。
【００２７】
すなわち、吸着位置認識カメラ３２は、Ｙ軸方向に沿って延びる一対のガイドレール３３に沿って移動可能な支持フレーム３６に、カメラ取付部３３を介して支持されており、上記支持フレーム３６の内部に設けられたナット部分３７に螺合するボールねじ軸３５が、第２Ｙ軸サーボモータ３４により回転駆動されることで、上記支持フレーム３６と一体にＹ軸方向に移動するように構成されている。また、上記支持フレーム３６には、上記カメラ取付部３３の内部に設けられた図略のナット部分と螺合するボールねじ軸３９が配設されており、このボールねじ軸３９が第２Ｘ軸サーボモータ３８により回転駆動されることで、上記吸着位置認識カメラ３２がＸ軸方向に移動するように構成されている。
【００２８】
図２のブロック図に示すように、上記第２Ｘ軸サーボモータ３８および第２Ｙ軸サーボモータ３４には、上記移載ヘッド４駆動用のサーボモータ１８，１４と同様に、エンコーダ等からなる位置検出手段３８ａ，３４ａがそれぞれ設けられており、これら各手段３８ａ，３４ａの検出値に基づいて、上記吸着位置認識カメラ３２の理論上の位置が認識されるようになっている。
【００２９】
以上のように、当実施形態の部品実装装置１には、移載ヘッド４と一体に移動して基板Ｐを撮像する基板認識カメラ３１とは別に、移載ヘッド４用の駆動機構（サーボモータ１４，１８等）とは異なる駆動機構（サーボモータ３４，３８等）により駆動されることで移載ヘッド４と独立に移動可能な吸着位置認識カメラ３２が設けられ、この吸着位置認識カメラ３２により、部品供給部５内のチップ部品６が撮像されてその位置が認識されるようになっている。ただし、このように吸着位置認識カメラ３２が移載ヘッド４とは独立して移動可能であると、これら移載ヘッド４および吸着位置認識カメラ３２の座標系が相対的にずれるおそれがある。
【００３０】
すなわち、吸着位置認識カメラ３２により認識された位置と同一座標に移載ヘッド４を移動させたつもりでも、上記位置検出手段１４ａ，１８ａの検出値に基づく移載ヘッド４の理論上の座標と、位置検出手段３４ａ，３８ａの検出値に基づく吸着位置認識カメラ３２の理論上の座標とが、上記各位置検出手段の検出誤差等に起因して必ずしも一致しないことから、上記移載ヘッド４および吸着位置認識カメラ３２の座標系にずれが生じることがある。そして、このようなずれが生じると、部品供給部５内のチップ部品６が移載ヘッド４に対しどのような相対位置にあるかが正確に把握できなくなり、上記移載ヘッド４によるチップ部品６の吸着動作に支障が生じるおそれがある。
【００３１】
そこで、当実施形態の部品実装装置１では、あらかじめ定められた所定のタイミングで、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれが調べられ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド４が上記部品供給部５内のチップ部品６にアクセスする際の移動量が補正されるように構成されている。そして、上記のような座標系のずれを調べるための基準マークとして、上記部品供給部５のウェハステージ１０には、位置認識マークＭが付されている。具体的には、ウェハステージ１０の側辺部に突片１０ａが設けられ、この突片１０ａの上面に、上記位置認識マークＭが付されている。また、当実施形態において、位置認識マークＭは、ＸＹ平面上で座標（Ｘ0，Ｙ0）に付されているものとする。
【００３２】
次に、以上のように構成された部品実装装置１の制御系について、図２のブロック図を用いて説明する。
【００３３】
部品実装装置１には、ＣＰＵや各種メモリ、ＨＤＤ等からなる制御ユニット４０（本発明にかかる制御手段に相当）が内蔵されており、この制御ユニット４０に、上記各サーボモータ１４，１８，３４，３８、基板認識カメラ３１、吸着位置認識カメラ３２等がそれぞれ電気的に接続されることにより、これら各部の動作が上記制御ユニット４０によって統括的に制御されるようになっている。
【００３４】
上記制御ユニット４０は、その機能要素として、上記各サーボモータ１４，１８，３４，３８の駆動を制御するとともに、これら各モータに取り付けられた上記位置検出手段１４ａ，１８ａ，３４ａ，３８ａから送信される検出信号を受け付ける軸制御部４２と、上記基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２から送信される撮像データを受け付けて所定の画像処理を施す画像処理部４３と、実装プログラム等の各種プログラムや各種データを記憶する記憶部４４と、これら各部４２〜４４を統括的に制御するとともに、各種の演算処理を実行する主演算部４１とを有している。
【００３５】
そして、このような制御ユニット４０は、上記各サーボモータ１４，１８，３４，３８の駆動や、上記基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２による撮像動作等をあらかじめ定められた実装プログラムに基づいて制御することにより、上記移載ヘッド４にチップ部品６の吸着や搬送等の一連の動作を実行させるとともに、その動作前や動作中において、上記基板認識カメラ３１による基板Ｐの撮像や、吸着位置認識カメラ３２によるチップ部品６の撮像等を実行させるように構成されている。
【００３６】
また、制御ユニット４０は、部品実装装置１の起動時や、基板Ｐの生産枚数が所定数に達したとき等の所定のタイミングで、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるべく、上記基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２を、部品供給部５のウェハステージ１０に付された位置認識マークＭの上方に移動させ、この位置認識マークＭを上記各カメラ３１，３２に撮像させるように構成されている。そして、この位置認識マークＭの撮像データから得られた上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド４が部品供給部５内のチップ部品６にアクセスする際の移動量を補正するように構成されている。
【００３７】
次に、このような制御ユニット４０による制御に基づき部品実装装置１が行う実装動作の具体的内容について、図３および図４のフローチャートに基づき説明する。
【００３８】
図３に示すように、基板Ｐの実装が開始されると、制御ユニット４０は、その記憶部４４から適当な生産プログラムを読み込むとともに（ステップＳ１）、基板Ｐの生産枚数を記憶するカウンタのカウント値Ｃをリセット（Ｃ＝０）する制御を実行する（ステップＳ３）。
【００３９】
次いで、制御ユニット４０は、現時点が、後述するステップＳ７で行われる座標系誤差認識制御を行うべきタイミング（座標系誤差認識タイミング）にあるか否かを判定する（ステップＳ５）。具体的に、図３のフローチャートでは、基板Ｐの生産枚数が所定枚数Ｎに達したときに、上記座標系誤差認識タイミングになったと判定される。なお、この所定枚数Ｎは、例えばＮ＝ｎ×１００（ｎ＝１，２…）など、所定数ごとに間隔を空けた複数の値に設定されることが好ましい。また、上記座標系誤差認識タイミングとしては、このような基板Ｐの生産枚数に基づくものだけに限らず、例えば、部品実装装置１の起動時など、その他の適宜のタイミングに設定することが可能である。
【００４０】
上記ステップＳ５でＹＥＳと判定されて現時点が座標系誤差認識タイミングにあることが確認された場合、制御ユニット４０は、次のステップＳ７に移行して、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを認識する座標系誤差認識制御を実行する。
【００４１】
図４は、この座標系誤差認識制御の具体的内容を示すサブルーチンである。このサブルーチンがスタートすると、制御ユニット４０は、まず、部品供給部５のウェハステージ１０に付された上記位置認識マークＭの上方へ基板認識カメラ３１を移動させる制御を実行する（ステップＳ４１）。具体的には、第１Ｘ軸サーボモータ１８および第１Ｙ軸サーボモータ１４を作動させて基板認識カメラ３１を移載ヘッド４とともにＸ，Ｙ軸の各方向に駆動するとともに、上記各サーボモータ１８，１４に設けられた位置検出手段１８ａ，１４ａにより検出される上記基板認識カメラ３１の移動量が、あらかじめ記憶された上記位置認識マークＭの位置データに基づく目標移動量に一致するように、上記基板認識カメラ３１を移動させる。
【００４２】
次いで、制御ユニット４０は、上記基板認識カメラ３１に位置認識マークＭの撮像を実行させるとともに（ステップＳ４３）、この位置認識マークＭの撮像データから、基板認識カメラ３１の実際の座標（実座標）を算出して記憶部４４に記憶させる制御を実行する（ステップＳ４５）。例えば、図５に示すように、基板認識カメラ３１の撮像視野をＡ１、この撮像視野Ａ１の中心点をＯ1（当実施形態ではこの中心点Ｏ1の座標が基板認識カメラ３１の実座標に一致するものとする）、位置認識マークＭの座標（既知）を（Ｘ0，Ｙ0）としたときに、この位置認識マークＭから上記中心点Ｏ1までのＸＹ方向の座標誤差が図示のように（＋α1，＋β1）であるとすると、上記基板認識カメラ３１の実座標は、位置認識マークＭの座標に上記誤差を加えた（Ｘ0＋α1，Ｙ0＋β1）として算出されることになる。
【００４３】
このようにして基板認識カメラ３１に対し位置認識マークＭを基準とした実座標を調べる処理が完了すると、制御ユニット４０は、次に、吸着位置認識カメラ３２に対して上記と同様の処理を行うべく、上記と同じ位置認識マークＭの上方へ吸着位置認識カメラ３２を移動させる制御を実行する（ステップＳ４７）。具体的には、第２Ｘ軸サーボモータ３８および第２Ｙ軸サーボモータ３４を作動させて吸着位置認識カメラ３２をＸ，Ｙ軸の各方向に駆動するとともに、上記各サーボモータ３８，３４に設けられた位置検出手段３８ａ，３４ａにより検出される上記吸着位置認識カメラ３２の移動量が、あらかじめ記憶された上記位置認識マークＭの位置データに基づく目標移動量に一致するように、上記吸着位置認識カメラ３２を移動させる。なお、このとき、先に位置認識マークＭに移動していた上記基板認識カメラ３１に対し吸着位置認識カメラ３２が干渉するのを防止するため、制御ユニット４０は、上記基板認識カメラ３１を、移載ヘッド４とともに上記マークＭから所定距離離れた場所まで退避させる。
【００４４】
次いで、制御ユニット４０は、上記吸着位置認識カメラ３２に位置認識マークＭの撮像を実行させるとともに（ステップＳ４９）、この位置認識マークＭの撮像データから、吸着位置認識カメラ３２の実座標を算出して記憶部４４に記憶させる制御を実行する（ステップＳ５１）。例えば、図６に示すように、吸着位置認識カメラ３２の撮像視野をＡ２、この撮像視野Ａ２の中心点をＯ2（当実施形態ではこの中心点Ｏ2の座標が吸着位置認識カメラ３２の実座標に一致するものとする）、位置認識マークＭの座標（既知）を（Ｘ0，Ｙ0）としたときに、この位置認識マークＭから上記中心点Ｏ2までのＸＹ方向の座標誤差が図示のように（＋α2，＋β2）であるとすると、上記吸着位置認識カメラ３２の実座標は、位置認識マークＭの座標に上記誤差を加えた（Ｘ0＋α2，Ｙ0＋β2）として算出されることになる。
【００４５】
以上のようにして基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２に対しそれぞれ実座標を調べる処理が完了すると、制御ユニット４０は、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを算出して記憶部４４に記憶させる制御を実行する（ステップＳ５３）。具体的には、図７に示すように、上記ステップＳ５１で求めた吸着位置認識カメラ３２の実座標Ｏ2（Ｘ0＋α2，Ｙ0＋β2）から、上記ステップＳ４５で求めた基板認識カメラ３１の実座標Ｏ1（Ｘ0＋α1，Ｙ0＋β1）に至るずれベクトルｄ（α1−α2，β1−β2）を算出し、このずれベクトルｄを、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれとして記憶する。すなわち、吸着位置認識カメラ３２の実座標Ｏ2から基板認識カメラ３１の実座標Ｏ1に至るずれベクトルｄが求まることで、直接的には、上記各カメラ３１，３２の間の座標系のずれが算出されるが、この各カメラ３１，３２間の座標系のずれは、基板認識カメラ３１と一体に移動する移載ヘッド４と、吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれと同一であるため、上記ずれベクトルｄを求めることで、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを算出することができる。
【００４６】
再び図３のメインフローに戻って説明を行う。上記ステップＳ５でＮＯと判定されて現時点が座標系誤差認識タイミングでないことが確認された場合、もしくは、上記ステップＳ５でＹＥＳと判定されて次のステップＳ７での座標系誤差認識制御が完了した場合、制御ユニット４０は、コンベア３を作動させて基板Ｐを図１に示される実装作業位置まで搬入する制御を実行する（ステップＳ９）。
【００４７】
次いで、制御ユニット４０は、基板認識カメラ３１を移載ヘッド４とともに基板Ｐの上方に移動させ、この基板Ｐの上面に付された位置認識用のフィデューシャルマークを上記基板認識カメラ３１で撮像することにより、上記実装作業位置に位置決めされた基板Ｐの位置を認識する制御を実行する（ステップＳ１１）。
【００４８】
次いで、制御ユニット４０は、吸着位置認識カメラ３２を、部品供給部５のウェハステージ１０の上方に移動させ、このウェハステージ１０上のウェハ７に含まれる多数のチップ部品６，６…のうち、吸着する予定のチップ部品６を上記吸着位置認識カメラ３２で撮像することにより、そのチップ部品６の位置を認識する制御を実行する（ステップＳ１３）。すなわち、このステップＳ１３では、吸着する予定のチップ部品６が吸着位置認識カメラ３２で撮像され、その撮像データに基づき特定されるチップ部品６の位置が、当該チップ部品６を吸着する上記移載ヘッド４の移動目標地点として認識される。
【００４９】
このようにして吸着すべきチップ部品６の位置が認識されると、制御ユニット４０は、移載ヘッド４が上記チップ部品６の上方まで移動するのに必要な移動量を、上記ステップＳ５３で算出された移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを考慮して決定するとともに（ステップＳ１４）、その決定された移動量に基づいて、上記移載ヘッド４をチップ部品６の上方に移動させる制御を実行する（ステップＳ１５）。
【００５０】
すなわち、当実施形態の部品実装装置１では、チップ部品６の位置が、移載ヘッド４（および基板認識カメラ３１）とは独立して移動可能な吸着位置認識カメラ３２により認識されるため、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを考慮して移載ヘッド４を移動させないと、この移載ヘッド４のノズルユニット３０が、上記チップ部品６の上方に正確に到達しないおそれがある。そこで、移載ヘッド４をチップ部品６の上方へ移動させる際には、上記のような座標系のずれを考慮して移動量を決定する。より具体的には、上記移載ヘッド４の目標地点を、上記吸着位置認識カメラ３２によって認識されたチップ部品６の座標から、図７で求めたずれベクトルｄの分だけオフセットされた座標に補正設定し、この補正後の目標地点に上記移載ヘッド４が到達するように、移載ヘッド４の移動量を決定する。これにより、上記のような座標系のずれにかかわらず、吸着すべきチップ部品６の上方に上記移載ヘッド４のノズルユニット３０が正確に到達する。
【００５１】
上記のようにして移載ヘッド４が吸着位置に移動すると、制御ユニット４０は、上記移載ヘッド４の本体部からノズルユニット３０を下降させる等により、このノズルユニット３０にチップ部品６を吸着させる制御を実行する（ステップＳ１７）。なお、当実施形態では、移載ヘッド４に３つのノズルユニット３０が設けられているため、これら各ノズルユニット３０にそれぞれチップ部品６を吸着させることにより、最大３つのチップ部品６を移載ヘッド４により吸着することが可能である。
【００５２】
次いで、制御ユニット４０は、移載ヘッド４を基板Ｐ上の実装箇所の上方に移動させるとともに（ステップＳ１９）、上記移載ヘッド４のノズルユニット３０を下降させる等により、このノズルユニット３０の下端部に吸着された上記チップ部品６を基板Ｐに実装する制御を実行する（ステップＳ２１）。このとき、移載ヘッド４の３つのノズルユニット３０にそれぞれチップ部品６が吸着されている場合、移載ヘッド４は、その各ノズルユニット３０を基板Ｐ上の各実装箇所に順次移動させてチップ部品６を実装する。また、このとき、ノズルユニット３０により吸着されたチップ部品６を下から撮像することが可能な不図示の部品認識カメラが基台２に設けられている場合には、チップ部品６を基板Ｐに実装する前に、各ノズルユニット３０に対するチップ部品６の吸着位置のずれ（吸着ずれ）が上記部品認識カメラで認識され、吸着ずれが存在する場合には、そのずれの分だけ、基板Ｐに対する各ノズルユニット３０の移動量が補正される。
【００５３】
なお、上記のようにしてチップ部品６を基板Ｐに実装する場合において、その実装箇所の正確な位置は、上記ステップＳ１１で基板認識カメラ３１により認識された基板Ｐの位置に基づいて決定される。このとき、基板認識カメラ３１の実座標に図５に示したような座標誤差が含まれている場合でも、基板Ｐに対するチップ部品６の実装動作が、上記基板認識カメラ３１と一体に移動する移載ヘッド４、つまり、基板認識カメラ３１と同一量だけずれた座標系を有する移載ヘッド４によって行われることから、部品実装時において上記のような誤差は問題とならず、チップ部品６の実装は適正に行われる。
【００５４】
上記ステップＳ２１での移載ヘッド４によるチップ部品６の実装動作が完了すると、制御ユニット４０は、基板Ｐに実装すべき全てのチップ部品６が実装されたか否かを判定し（ステップＳ２３）、ここでＮＯと判定されて実装すべきチップ部品６が未だに残っていることが確認された場合には、そのチップ部品６を基板Ｐに実装すべく、上記ステップＳ１３に戻ってそれ以降の処理を同様に繰り返す。
【００５５】
一方、上記ステップＳ２３でＹＥＳと判定されて基板Ｐに実装すべき全てのチップ部品６が実装されたことが確認された場合には、コンベア３を作動させて基板Ｐを装置外に搬出するとともに（ステップＳ２５）、基板Ｐの生産枚数を記憶するカウンタのカウント値Ｃをインクリメント（Ｃ＝Ｃ＋１）する制御を実行し（ステップＳ２７）、さらにその値が生産予定枚数Ｎｔよりも小さいか否かを判定する（ステップＳ２９）。そして、ここでＹＥＳと判定されて現状の累積生産枚数が生産予定枚数Ｎｔに達していないことが確認された場合には、上記ステップＳ５以降の処理に戻り、新たな基板Ｐに対し上記と同様の実装処理を実行する。一方、上記ステップＳ２９でＮＯと判定されて現状の累積生産枚数が生産予定枚数Ｎｔに達したことが確認された場合、生産は終了する。
【００５６】
上記のように部品供給部５から供給されたチップ部品６を移動可能な移載ヘッド４により吸着して搬送し、所定距離離れた基板Ｐに実装（載置）する部品実装装置１において、上記移載ヘッド４と独立して移動可能で、かつ上記移載ヘッド４が上記部品供給部５からチップ部品６を吸着する前にそのチップ部品６を撮像する吸着位置認識カメラ３２と、上記移載ヘッド４や吸着位置認識カメラ３２等の動作を統括的に制御するとともに、部品吸着時に、上記吸着位置認識カメラ３２によりあらかじめ撮像されたチップ部品６の撮像データに基づいて、上記移載ヘッド４をそのチップ部品６の位置へ移動させる制御ユニット４０とを設け、この制御ユニット４０による制御の下、所定のタイミングで、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるとともに、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド４が上記部品供給部５内のチップ部品６にアクセスする際の移動量を補正するようにした上記第１実施形態の構成によれば、移載ヘッド４と独立して移動可能な吸着位置認識カメラ３２により吸着位置の認識を効率よく行いながら、これら移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれに起因したチップ部品６の吸着ミスの発生を効果的に防止できるという利点がある。
【００５７】
すなわち、上記構成では、移載ヘッド４と独立して移動可能な吸着位置認識カメラ３２により、上記移載ヘッド４が部品供給部５から吸着する予定のチップ部品６が撮像されるように構成されているため、当該チップ部品６（吸着予定部品）を撮像してその位置を認識する動作を、前に吸着されたチップ部品６が移載ヘッド４により搬送されて基板Ｐに実装されている間に効率よく行うことができ、タクトタイムを短縮して基板Ｐの生産効率を効果的に向上させることができる。
【００５８】
しかも、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれが所定のタイミングで調べられ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド４が上記部品供給部５内のチップ部品６にアクセスする際の移動量が補正されるように構成されているため、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間に存在する座標系のずれにかかわらず、上記移載ヘッド４に対する上記チップ部品６の相対位置を正確に把握してそのチップ部品６の位置へ移載ヘッド４を正確に移動させることができ、当該移載ヘッド４にチップ部品６の吸着動作を適正かつ確実に行わせることができる。したがって、上記のように移載ヘッド４と独立した吸着位置認識カメラ３２を用いて吸着位置の認識を効率よく行いながら、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれに起因したチップ部品６の吸着ミスの発生を効果的に防止できるという利点がある。
【００５９】
特に、上記第１実施形態では、移載ヘッド４に、基板Ｐの位置を認識するための基板認識カメラ３１を一体に設けるとともに、上記制御ユニット４０による制御に基づき、上記部品供給部５に付された共通の位置認識マークＭの上方に上記基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２を移動させ、これら各カメラ３１，３２により撮像された上記位置認識マークＭの撮像データに基づいて、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるようにしたため、共通の位置認識マークＭを各カメラ３１，３２で撮像するだけの簡単な構成で、上記座標系のずれを効率よく調べられるという利点がある。
【００６０】
また、上記第１実施形態では、部品供給部５が、ダイシングされたウェハ７からなる多数のチップ部品６，６…の集合体を供給するウェハ用フィーダとして構成されているため、密集したチップ部品６，６…の中から所望のチップ部品６を取り出すのにより高い吸着精度が要求されるが、移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを考慮してチップ部品６を吸着するようにした当実施形態の構成によれば、上記のように高い吸着精度が要求される状況下でも、適正に所望のチップ部品６を吸着できるという利点がある。
【００６１】
なお、上記第１実施形態では、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれ（ずれベクトルｄ）を単一の位置認識マークＭを基準として算出し、移載ヘッド４を部品供給部５内のチップ部品６に移動させる際には、上記座標系のずれの分だけ移載ヘッド４の移動量を一律に補正することにより、吸着すべきチップ部品６の位置へ上記移載ヘッド４が正確に移動し得るように構成したが、部品供給部５のウェハステージ１０に位置認識マークＭを複数付して、これら複数の位置認識マークＭをそれぞれ基準として上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを算出し、その複数の座標ずれデータに基づいて、上記移載ヘッド４が部品供給部５にアクセスする際の移動量を補正するようにしてもよい。
【００６２】
例えば、図８に示すように、部品供給部５のウェハステージ１０の周囲に２つの位置認識マークＭ１，Ｍ２が付されている場合、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれは、上記各マークＭ１，Ｍ２を基準してそれぞれ求められることになるが、この場合における移載ヘッド４の移動量の補正値は、一方のマークＭ１を基準として算出された座標系のずれと、他方のマークＭ２を基準として算出された座標系のずれとの２つの座標ずれデータを元に、補間法によって求めることが可能である。このように、複数の座標ずれデータに基づいて移載ヘッド４の移動量を補正するようにした場合には、その補正値をより高精度に算出することができ、移載ヘッド４による部品の吸着動作をより正確に行わせることができるという利点がある。
【００６３】
なお、上記のように複数の座標ずれデータに基づいて移載ヘッド４の移動量を補正する場合において、そのずれデータを求める基準となる位置認識マークの数は、上記位置認識マークＭ１，Ｍ２の２つに限らず、３つ以上であってもよい。位置認識マークを３つ以上にすれば、移載ヘッド４による部品の吸着精度をさらに向上させることができる。
【００６４】
また、上記第１実施形態では、部品を供給する部品供給部５が、ダイシングされたウェハ７からなる多数のチップ部品６，６…の集合体を供給するウェハ用フィーダである場合について説明したが、例えば図９に示す部品実装装置１００のように、部品供給部１０５が、トレイフィーダ１０７やテープフィーダ１０８により構成されている場合にも、本発明の構成を好適に適用することができる。具体的に、この図９の例では、部品供給部１０５が、パッケージ化された複数の電子部品１０６（例えばセラミック製のケーシング等に収容されてパッケージ化された集積回路部品や、トランジスタ、コンデンサ等）をトレイ１０９上に載置した状態で供給するトレイフィーダ１０７と、間欠的に繰り出し可能に設けられた多数列のテープ１０８ａの内部に比較的小型のチップ部品等（図示省略）を収容した状態で供給するテープフィーダ１０８とによって構成されている。なお、図９では、トレイフィーダ１０７およびテープフィーダ１０８からなる部品供給部１０５を除いたその他の構成については、上記第１実施形態と同様である。
【００６５】
そして、図９の部品実装装置１００では、上記トレイフィーダ１０７およびテープフィーダ１０８からそれぞれ供給される部品の位置が、移載ヘッド４（および基板認識カメラ３１）と独立して移動可能な吸着位置認識カメラ３２によりそれぞれ認識され、その位置に基づいて上記移載ヘッド４が各フィーダ１０７，１０８から部品を吸着するように構成されている。また、上記トレイフィーダ１０７およびテープフィーダ１０８には、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるための基準マークとして、位置認識マークＭ１，Ｍ２がそれぞれ付されている。
【００６６】
また、上記第１実施形態では、部品供給部５のウェハステージ１０に付された共通の位置認識マークＭの上方に上記基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２を移動させ、これら各カメラ３１，３２により撮像された上記位置認識マークＭの撮像データに基づいて、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるようにしたが、例えば図９の二点鎖線に示すように、移載ヘッド４に吸着された部品を下から撮像してその吸着状態を認識する部品認識カメラ１１０が基台２上に設置されている場合には、この部品認識カメラ１１０を利用して上記座標系のずれを調べるようにしてもよい。すなわち、移載ヘッド４もしくは基板認識カメラ３１の下面と、吸着位置認識カメラ３２の下面とにそれぞれマークを付して、このマークを上記部品認識カメラ１１０で撮像することにより、上記移載ヘッド４と吸着位置認識カメラ３２との間の座標系のずれを調べるようにしてもよい。この場合でも、両者の座標系のずれを上記第１実施形態と同様に適正に調べることができ、部品の吸着動作を正確に行わせることができる。また、上記構成では、移載ヘッド４に吸着された部品の吸着状態を調べる部品認識カメラ１１０を利用して、各カメラ３１，３２に付されたマークを撮像するようにしたため、新たなカメラを設ける必要がなく、装置のコストアップを効果的に抑制することができる。
【００６７】
また、上記第１実施形態では、位置認識マークＭがＸＹ平面上で座標（Ｘ0，Ｙ0）に付されているものとし、この位置認識マークＭを目標に基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２を移動させてそこで撮像を行うことにより、これら各カメラ３１，３２の実座標を割り出して両者の座標ずれを調べ、そのずれを考慮して移載ヘッド４の移動量を補正するようにしたが、上記各カメラ３１，３２の位置を上記位置認識マークＭに一致させるようにその移動量を補正することにより、上記移載ヘッド４および吸着位置認識カメラ３２の座標系の整合性を取るようにしてもよい。
【００６８】
例えば、図５に示したように、基板認識カメラ３１を位置認識マークＭの上方に移動させてこれを撮像することにより、その撮像視野Ａ１の中心Ｏ1（つまり基板認識カメラ３１の実座標）が、上記位置認識マークＭの実座標（Ｘ0，Ｙ0）から（＋α1，＋β1）だけずれた位置に認識された場合、以後は、このずれ量がゼロになるように、上記基板認識カメラ３１が移動する際の制御上の目標地点を上記ずれ分だけ差し引くようにする。すなわち、図５の例では、位置検出手段１４ａ，１８ａの検出値に基づき基板認識カメラ３１を位置認識マークＭの座標（Ｘ0，Ｙ0）に移動させたつもりでも、実際には（Ｘ0＋α1，Ｙ0＋β1）に移動してしまうことから、上記基板認識カメラ３１を位置認識マークＭの上方に正確に移動させる（つまり撮像視野Ａ１の中心Ｏ1を位置認識マークＭに一致させる）には、その制御上の目標地点を、位置認識マークＭの実座標（Ｘ0，Ｙ0）から上記ずれ分だけ差し引いて、（Ｘ0−α1，Ｙ0−β1）に設定すればよい。そして、このような補正を、他の目標地点に移動する際にも同様に行う。
【００６９】
一方、図６に示したように、吸着位置カメラ３２を位置認識マークＭの上方に移動させてこれを撮像することにより、その撮像視野Ａ２の中心Ｏ2（つまり吸着位置認識カメラ３２の実座標）が、上記位置認識マークＭの実座標（Ｘ0，Ｙ0）から（＋α2，＋β2）だけずれた位置に認識された場合には、以後、吸着位置認識カメラ３２の制御上の目標地点を、上記ずれ分だけ差し引くようにする（つまり制御上の目標地点を（−α2，−β2）だけシフトする）。
【００７０】
このように、基板認識カメラ３１（および移載ヘッド４）と、吸着位置認識カメラ３２とにおける制御上の座標が、図５および図６で認識された座標誤差を考慮して補正されることにより、移載ヘッド４および吸着位置認識カメラ３２の座標系どうしの整合性が、上記位置認識マークＭを媒体として確保される。したがって、以後は、吸着位置認識カメラ３２により吸着位置を認識し、この吸着位置に移載ヘッド４を移動させた場合に、移載ヘッド４を上記吸着位置に正確に到達させることができる。
【００７１】
また、この手法による場合、基板認識カメラ３１および吸着位置認識カメラ３２でそれぞれ位置認識マークＭを撮像する時点において、当該マークＭの位置が同じ位置に存在していれば、上記のような位置合わせを正確に行うことができる。したがって、上記位置認識マークＭは、基台２上において常に同じ位置に固定されている必要はない。
【００７２】
（実施形態２）
上記第１実施形態では、部品供給部５から供給された部品（チップ部品６）を移載ヘッド４により搬送して基板Ｐに実装する部品実装装置１に、本発明の構成を適用した例について説明したが、本発明の構成は、このような部品実装装置１に限らず、部品を部品供給部から取り出して搬送する部品移載装置の部類であれば広く適用することが可能であり、例えば、図１０に示される部品試験装置２００に好適に適用することが可能である。以下では、このような部品試験装置２００について簡単に説明する。
【００７３】
図１０に示すように、部品試験装置２００の基台２０１上には、検査対象となる複数の部品２０６をトレイ２０８上に載置した状態で供給するトレイフィーダからなる部品供給部２０５と、この部品供給部２０５から搬送されてきた部品２０６に対し導通チェック等の所定の検査処理を施す複数の（図例では３つの）検査ソケット２１０（本発明にかかる載置部に相当）と、この検査ソケット２１０による検査結果が良とされた部品２０６を収容する良品トレイ２１１と、検査結果が不良とされた部品２０６を収容する不良品トレイ２１２とが配設されている。
【００７４】
また、基台２０１上には、上記部品供給部５、良品・不良品トレイ２１１，２１２、および検査ソケット２１０の上方にわたってＸ，Ｙ軸の各方向に移動可能な移載ヘッド２０４が設けられている。この移載ヘッド２０４は、上記部品供給部２０５から供給された部品２０６を３つのノズルユニット２１３の下端部にそれぞれ吸着して各検査ソケット２１０まで搬送するとともに、この検査ソケット２１０で各部品２０６に対し所定の検査処理が施されている間、各部品２０６を上記検査ソケット２１０に装着された状態に保持した後、そこでの検査結果に応じて、上記検査ソケット２１０から各部品２０６を上記良品・不良品トレイ２１１，２１２のいずれかに搬送するように構成されている。なお、移載ヘッド２０４は、上記第１実施形態における移載ヘッド４と同様に、サーボモータやボールねじ軸等からなる駆動機構により駆動されるが、図１０ではその駆動機構の図示を省略している。
【００７５】
上記移載ヘッド２０４には、上記検査ソケット２１０を撮像するための検査ソケット用カメラ２１４（本発明にかかる第１の撮像手段に相当）が取り付けられている。この検査ソケット用カメラ２１４は、部品試験装置２００が起動されたとき等の所定のタイミングで、上記移載ヘッド２０４と一体に各検査ソケット２１０の上方まで移動してこれを撮像することにより、上記３つの検査ソケット２１０の正確な位置を特定するように構成されている。
【００７６】
一方、上記部品供給部２０５の上方には、そのトレイ２０８上に載置された各部品２０６を撮像するための吸着位置認識カメラ２１５が設けられている。この吸着位置認識カメラ２１５は、上記移載ヘッド２０４用の駆動機構とは別の駆動機構により駆動されることにより、上記移載ヘッド２０４と独立してＸ，Ｙ軸の各方向に移動し得るように構成されている。そして、このような吸着位置認識カメラ２１５は、上記部品供給部２０５内の部品２０６が移載ヘッド２０４により吸着される前の所定のタイミングで、上記部品供給部２０５内の部品２０６を撮像してその正確な位置を特定するように構成されている。
【００７７】
また、上記部品供給部５の側辺部には、上記第１実施形態と同様の位置認識マークＭが付されている。
【００７８】
以上のように構成された部品試験装置２００では、その各部の動作を統括的に制御する図外の制御ユニットによる制御に基づき、部品試験装置２００の起動時や、部品２０６の検査処理数が所定数に達したとき等の所定のタイミングで、上記検査ソケット用カメラ２１４および吸着位置認識カメラ２１５がそれぞれ上記位置認識マークＭの上方に移動してこれを撮像し、その撮像データに基づいて、移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間の座標系のずれが調べられるように構成されている。そして、このようにして調べられた座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド２０４が上記部品供給部２０５内の部品２０６にアクセスする際の移動量が補正されるようになっている。なお、これらの処理の具体的な内容については上記第１実施形態と同様であるため、その詳細な説明は省略する。
【００７９】
上記のように部品供給部２０５から供給された部品２０６を移動可能な移載ヘッド２０４により吸着して搬送し、所定距離離れた検査ソケット２１０に装着する部品試験装置２００において、上記移載ヘッド２０４と独立して移動可能で、かつ上記移載ヘッド２０４が上記部品供給部２０５から部品２０６を吸着する前にその部品２０６を撮像する吸着位置認識カメラ２１５を設け、上記移載ヘッド２０４や吸着位置認識カメラ２１５等の各部の動作を制御する制御ユニットによる制御に基づき、所定のタイミングで、上記移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間の座標系のずれを調べるとともに、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド２０４が上記部品供給部２０５内の部品２０６にアクセスする際の移動量を補正するようにした上記第２実施形態の構成によれば、移載ヘッド２０４と独立して移動可能な吸着位置認識カメラ２１５により吸着位置の認識を効率よく行いながら、これら移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間の座標系のずれに起因した部品２０６の吸着ミスの発生を効果的に防止できるという利点がある。
【００８０】
すなわち、上記構成では、移載ヘッド２０４とは独立して移動可能な吸着位置認識カメラ２１５により、上記移載ヘッド２０４が部品供給部２０５から吸着する予定の部品２０６が撮像されるように構成されているため、当該部品２０６（吸着予定部品）を撮像してその位置を認識する動作を、前に吸着された部品２０６が移載ヘッド２０４により検査ソケット２１０や良品・不良品トレイ２１１，２１２へと搬送されている間に効率よく行うことができ、タクトタイムを短縮して部品２０６の検査効率を効果的に向上させることができる。
【００８１】
しかも、上記移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間の座標系のずれが所定のタイミングで調べられ、その座標系のずれに基づいて、上記移載ヘッド２０４が上記部品供給部２０５内の部品２０６にアクセスする際の移動量が補正されるように構成されているため、上記移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間に存在する座標系のずれにかかわらず、上記移載ヘッド２０４に対する上記部品２０６の相対位置を正確に把握してその部品２０６の位置へ移載ヘッド２０４を正確に移動させることができ、当該移載ヘッド２０４に部品２０６の吸着動作を適正かつ確実に行わせることができる。したがって、上記のように移載ヘッド２０４と独立した吸着位置認識カメラ２１５を用いて吸着位置の認識を効率よく行いながら、上記移載ヘッド２０４と吸着位置認識カメラ２１５との間の座標系のずれに起因した部品２０６の吸着ミスの発生を効果的に防止できるという利点がある。
【００８２】
なお、上記第２実施形態では、部品供給部２０５が、複数の部品２０６をトレイ２０８上に載置した状態で供給するトレイフィーダである場合について説明したが、この部品供給部２０５が、上記第１実施形態と同様のウェハ用フィーダである場合にも、本発明の構成を好適に適用することが可能である。
【００８３】
また、以上説明したような第１および第２の実施形態では、部品移載装置の一種としての部品実装装置１や部品試験装置２００に本発明の構成を適用した例について説明したが、本発明の構成は、さらに他の種類の部品移載装置に適用することも可能である。このような他の種類の部品移載装置としては、例えば、トレイフィーダ等からなる部品供給部から供給された部品を移載ヘッドにより吸着して搬送し、別のトレイに移し変える部品ソーティング装置等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる部品実装装置を概略的に示す平面図である。
【図２】上記部品実装装置の制御系を示すブロック図である。
【図３】上記部品実装装置において行われる制御動作の内容を示すフローチャートである。
【図４】図３のフローチャートにおいて行われる座標系誤差認識制御の具体的内容を示すサブルーチンである。
【図５】基板認識カメラの実座標を求める手順を説明するための図である。
【図６】吸着位置認識カメラの実座標を求める手順を説明するための図である。
【図７】移載ヘッドと吸着位置認識カメラとの間の座標系のずれを求める手順を説明するための図である。
【図８】上記部品実装装置の変形例を説明するための図である。
【図９】上記部品実装装置のさらに他の変形例を説明するための図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態にかかる部品試験装置を概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
【００８５】
１，１００  部品実装装置
４  移載ヘッド
５，１０５  部品供給部
６（１０６）  チップ部品（部品）
７  ウェハ
３１  基板認識カメラ（ヘッド側撮像手段）
３２  吸着位置認識カメラ（吸着位置撮像手段）
４０  制御ユニット（制御手段）
Ｐ  基板（載置部）
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２  位置認識マーク
２００  部品試験装置
２０４  移載ヘッド
２０５  部品供給部
２０６  部品
２１０  検査ソケット（載置部）
２１４  検査ソケット用カメラ（ヘッド側撮像手段）
２１５  吸着位置認識カメラ（吸着位置撮像手段）
【図１】
0004712766.tif 000002
【図２】
0004712766.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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