(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性平板と圧電体との積層体からなり、互いに平行かつ同一線上に配された一対の変位素子と、この変位素子の間にＬ字型ヒンジ部を介して設けた両変位素子の変形によって回転可能に支持される回転部材と、前記変位素子の回転部材側と反対側を固定部材によって固定されるものであって、前記回転部材は、一対の前記Ｌ字型ヒンジ部と回転部材との結合部を結ぶ直線から離れた位置で回転支持されている圧電アクチュエータ。
【請求項２】
回転部材を支持する回転支持部材を備え、この回転支持部材によって回転支持される部位は、前記回転部材と一対の前記Ｌ字型ヒンジ部との結合部を結ぶ直線に対して、変位素子より遠い位置に設けた請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
回転支持部材は突起部を備え、この突起部により回転部材を支持する請求項２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
回転部材は回転支持部材の突起部と嵌合して支持する支持孔を備えた請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
固定部材より露出する弾性平板は、前記固定部材から回転部材に向かう方向の寸法が、これらと直交する幅方向の寸法よりも小さい請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
一体化されたＬ字型ヒンジ部及び回転部材と弾性平板とを同一平面上に配した基板を形成し、この基板に一体化されて回転部材及びＬ字型ヒンジ部を弾性平板に対して直角に折り曲げ加工し、弾性平板に対して圧電体を接着する請求項１に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
【請求項７】
弾性平板と圧電体との積層体からなり、互いに平行かつ同一線上に配された一対の変位素子と、この変位素子の間にＬ字型ヒンジ部を介して設けた両変位素子の変形によって回転可能に支持される回転部材と、前記変位素子の回転部材側と反対側を固定部材によって固定されるとともに、前記回転部材を、一対の前記Ｌ字型ヒンジ部と回転部材との結合部を結ぶ直線から離れた位置で回転支持されている圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの回転部材に固定されたスライダと、このスライダに設けられた磁気ヘッドとからなる磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば磁気記録装置内部の磁気ヘッド部の移動等に用いられる圧電アクチュエータおよびその製造方法、この圧電アクチュエータを用いた磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁気ヘッド用の圧電アクチュエータに関する技術としては、特開平５−４７１２６号に開示されているものが知られている。
【０００３】
図８は従来例における、磁気ヘッド駆動用アクチュエータの一例を示す斜視図である。梁８２ａ，８２ｂの両面にそれぞれ、圧電素子をはじめとする微小変位素子８１ａ，８１ｂ，８１ｃ，８１ｄが接着され、かつそれぞれの微小変位素子８１ａ〜８１ｄにリード線８４ａ，８４ｂ，８４ｃ，８４ｄ（８４ｂ，８４ｄは図示せず）が取り付けられている。また２本の梁８２ａ，８２ｂは両端において結合しており、一方の結合部においてスライダ８３が取り付けられ、他方の結合部においてヘッドアーム８５に取り付けられている。このスライダ８３上には記録の書き込みなどを行なう磁気ヘッド部やその配線など（図示せず）も設けられている。
【０００４】
微小変位素子８１ａ〜８１ｄが圧電素子であって、その両面に電極が設けられている場合、また梁８２ａ，８２ｂを導電性材料とした場合には、リード線８４ａ〜８４ｄと梁８２ａ，８２ｂとの間に電界を印加することにより、圧電素子は変形を生ずる。このとき圧電素子は、厚み方向の変形と同時に、圧電横効果によって長手方向にも変化を生ずる。圧電素子の変形に伴って梁８２ａ，８２ｂの長さも変化するのであるが、この変化を各梁８２ａ，８２ｂで逆向きに生じさせれば、すなわち一方の梁８２ａ，８２ｂの長さが伸びた場合、他方が縮小するように駆動を行えば、磁気ヘッドの部位において回転変位が得られるのである。
【０００５】
これらの圧電アクチュエータ及び磁気ヘッドは、通常別の長手部材を介して、モータ等のより大きな変位が得られる磁気アクチュエータに取り付けられ、両者の併用によって位置決めが行なわれる。すなわちモータによって概略の位置決めを行ない、圧電アクチュエータによってより正確な位置決めを行なうことによって、位置決めの高速化と正確性の向上を図っているのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の圧電アクチュエータは、一般に変位量が小さいため、十分な変位量を得るためには高い駆動電圧が必要であった。また大きな変位量を得るためには形状が大きくなり、あるいはアクチュエータの剛性を低下させて変形しやすくした場合、共振周波数が低下して不要振動が発生し、駆動の妨げとなった。磁気記録装置のヘッド駆動用のアクチュエータとして用いるためには、高速かつ安定的に記録媒体上のトラック間を移動できなければならず、高速に十分対応するためには耐振性を初めとするアクチュエータの剛性が必要であり、加えてモータなど他のアクチュエータから受ける振動や重力にも耐えうる必要がある。
【０００７】
さらに加えて、低電圧において大きな変位量が得られることも要求される。すなわち変位量が大きければトラック間を正確に移動できるのみならず、位置決めの調整範囲も大きく出来る。そして回路的に小型化を図りかつ雑音などの誤差要因を低下させるため、低電圧での駆動が求められるのである。
【０００８】
そして磁気記録装置全体の小型化のため、アクチュエータの小型化も同時に求められる。
【０００９】
本発明は、より外乱に対して強く、大きな変位量が得られる小型の圧電アクチュエータを提供し、各種機器本体の小型化と高精度化を図ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
そしてこの目的を達成するために本発明は、以下の構成を有する。
【００１１】
第１の発明は、圧電アクチュエータを、弾性平板と圧電体との積層体である２つの変位素子を互いに平行かつ同一直線上に配して片端固定し、両変位素子間に両変位素子の変形によって回転可能に支持された回転部材を、Ｌ字型ヒンジ部を介して結合した形状で構成するものであり、両変位素子を互いに逆方向に変位させることによって回転部材において回転変位が得られ、Ｌ字型のヒンジ部により変位素子の垂直変位が効率よく回転方向の変位に転換され、加えて回転による角度とテコの作用によって変位が拡大されてより大きな変位が得られ、更に加えて、回転部材は回転中心で支持されており、またＬ字型ヒンジ部によっても固定されているので、高い剛性を持つといった作用効果が得られる。さらに、回転支持位置がＬ字型ヒンジ部と回転部材との結合部を結ぶ線上以外にの部位であるので、見かけ上回転部材が３角形の頂点によって支持された構成となり、回転方向以外の方向への振動に対しての剛性が上がるといった作用効果が得られる。
【００１２】
第２の発明は、回転部材がＬ字型ヒンジ部との結合部を結ぶ直線上から、両変位素子に対して遠い側において回転支持されていることによって、より大きな変位量が得られるといった作用効果を有する。
【００１３】
第３の発明は、回転支持部材に設けられた突起部によって回転部材を押圧して回転支持を行うので、構成が容易であり、回転部材は突起部の先端と接触するだけであるので低摩擦である、回転変位の阻害が小さいといった作用効果を有する。
【００１４】
第４の発明は、回転部材に支持孔を設け、支持孔に回転支持部材の突起部が嵌合する構成としたので、外部からの振動によって突起部が回転中心から外れる恐れがなくなり、安定した駆動が行えるといった作用効果が得られる。
【００１５】
第５の発明は、変位素子を固定部と回転部材との結合部の方向の寸法よりも、方向と直交する幅方向の寸法が大きい長方形平板形状としたので、回転変位を得るための自由端側での垂直変位に対して、より大きな駆動力が得られ、同時に回転方向での共振周波数を上げる作用を有するために耐振性が向上するといった作用効果が得られる。
【００１６】
第６の発明は、複数の弾性平板とＬ字型ヒンジ部、及び回転部材とを同一平面状に平行に配した大面積の基板に対し、曲げ加工と圧電体を接着する工程を一括して行うので、生産性が良く低コスト化が図れ、かつ容易に請求項１以下の圧電アクチュエータを形成できるとともに、Ｌ字型ヒンジ部と弾性平板、及び回転部材が一体であるので大丈夫であり、長期的な信頼性や耐振性などに優れるといった作用効果が得られる。
【００１７】
第７の発明は、圧電アクチュエータの回転部材にスライダ及び磁気ヘッドを設けた磁気ヘッドとしたので、高剛性であるのでトラック上の位置決め動作が外乱の影響を受けることなく、また大きな変位量によって位置決めの範囲が大きく、確実にトラック上での位置決めが行えるといった作用効果が得られる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における圧電アクチュエータについて、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は本発明の実施の形態１における圧電アクチュエータの斜視図である。
【００２１】
図１において、１１ａ，１１ｂは圧電体、１２ａ，１２ｂは弾性平板、１３は回転部材、１４ａ，１４ｂはＬ字型ヒンジ部、１５ａ，１５ｂは固定部材、１６は回転支持部材、１７は突起部、１８はスライダである。弾性平板１２ａ，１２ｂは並行かつ同一線上に配置されており、それぞれの片面に圧電体１１ａ，１１ｂが接着されて変位素子を構成している。また弾性平板１２ａ，１２ｂは片端を固定部材１５ａ，１５ｂによって固定され、他方側の端部においてＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂと結合され、さらにＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂの間において回転部材１３が、弾性平板１２ａ，１２ｂの平面と直交して配置されており、回転部材１３の一部とＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂとが結合されている。回転支持部材１６は長手形状を有し、先端部近傍に突起部１７が設けられており、突起部１７の先端部は回転部材１３と当接し、回転部材１３は回転支持部材１６によって適度に押圧され、突起部１７の先端部においてほぼ点で加圧される。加えて、回転部材１３の一方側の面において、スライダ１８が接着などの方法によって固定され、回転部材１３と同様に変位可能な状態で支持されている。
【００２２】
圧電体１１ａ，１１ｂの両面にはそれぞれ電極が設けられ、両電極間に電圧を加えることによって圧電体１１ａ，１１ｂに変形が生じ、弾性平板１２ａ，１２ｂと接着されていることによってＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂ側の端部においてたわみ変位が発生する。圧電体１１ａ，１１ｂに加える電圧の方向を逆にすることによって変位素子は逆の方向に変位する。この変位はＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂを介して回転部材１３へと伝達され、スライダ１８とともに回転変位する。この回転変位は突起部１７によって拘束された点を中心とすることとなるが、前述のように突起部１７によって回転部材１３が押圧された状態である場合、互いの接触部の面積や材質などによって摩擦が変化する、よって適当な条件を選ぶことにより、摩擦を増やしてより回転中心を完全に決定したり、逆に摩擦を減らすことによって変位量を大きくすることも可能である。摩擦を増やして回転中心を拘束した場合、変位量は低下するが、アクチュエータとしての剛性は上がるため、耐振性が向上し、拘束応答が可能となる。そしてアクチュエータによる変位は回転変位であるので、回転部材やスライダの大きさを増せば、回転によって生じた角度変化はテコの原理によって大きな変位へと拡大されるので、剛性の向上とともに変位量も確保できるのである。
【００２３】
回転中心を拘束する場合、その位置によって変位量は変化する。図２は本発明の圧電アクチュエータを示す斜視図であり、図１とは視点が異なるものである。１１ａ，１１ｂは圧電体、１２ａ，１２ｂは弾性平板、１３は回転部材、１４ａ，１４ｂはＬ字型ヒンジ部、１５ａ，１５ｂは固定部材、１８はスライダであり、構造は図１で説明したのと同様である。Ｌ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂを介して回転部材１３と弾性平板１２ａ，１２ｂが結合されているのであるが、Ｌ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂの中央を結ぶ直線と直角方向で、かつ両Ｌ字型ヒンジ部間の中心を通る直線上において回転支持部と当接させ、回転中心を設けることにより、回転時のバランスがよくなるので駆動を安定に行なうことが出来る。よって回転中心は前記の直線上に設けることとなるが、この位置によって回転変位量が変わるのである。弾性平板１２ａ，１２ｂや圧電体１１ａ，１１ｂに対し、Ｌ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂの中央を結ぶ直線よりも遠い側において回転中心を設けた場合、逆に弾性平板１２ａ，１２ｂや圧電体１１ａ，１１ｂに近い側に設けた場合よりも変位量は大きくなる。ただし遠い側に回転中心を設定した場合においても変位量は変化し、かつ回転変位と同方向の共振の周波数や、その他の不要共振の周波数等も変化する。これはＬ字型ヒンジ部の形状や、回転部材との結合個所などによって最適位置が変化するためで、よってこれらの点を考慮して最も最適な位置を決定するのである。
【００２４】
本発明においてはＬ字型ヒンジ部を用いているのであるが、これは回転変位を得るために有効なものである。図３（ａ），図３（ｂ）はこの点を説明するための平面図であって、１１ａ，１１ｂは圧電体、１２ａ，１２ｂは弾性平板、１４ａ，１４ｂはＬ字型ヒンジ部、１５ａ，１５ｂは固定部材、１８はスライダ、１９は回転支持部、２０ａ，２０ｂは直線ヒンジ部である（回転部材は省略）。図３ａにおいては弾性平板１２ａ，１２ｂとスライダ１８の間にあるのは直線ヒンジ部２０ａ，２０ｂである。この場合圧電体１１ａ，１１ｂと弾性平板１２ａ，１２ｂによって構成された変位素子（ユニモルフ型素子）の変位は実線の矢印の通りであり、ほぼ変位素子面に対し直角方向である。そして直線ヒンジ部２０ａ，２０ｂにより、この変位はスライダ１８に伝えられ、ほとんど点線矢印のように実線矢印と同じ方向に変位が行なわれる。一方図３（ｂ）のようにＬ字型ヒンジ部を用いた場合、実線矢印のような変位は、見かけ上点線矢印のように斜め方向に変換される。これはヒンジ部がＬ字であるのでたわみが発生しやすく、かつこのたわみは変位の方向を変化させる効果による。またＬ字型ヒンジ部のたわみを用いることによってスライダなどが必要以上に拘束されず、有効に変位が伝達される。そしてこの点線矢印の方向が回転変位の接線方向と近くなれば、有効に回転変位が得られるのである。
【００２５】
図４は回転支持をより有効に行なうための一例を示す断面図であり、１３は回転部材、１６は回転支持部材、１７は突起部、１８はスライダ、２１は支持孔である。回転部材１３には貫通孔である支持孔２１が設けられ、スライダ１８と結合している。そして例えばスライダ１８の片側端部近傍には、磁気記録装置用のヘッドとして用いる場合には磁気ヘッド部が設けられる。回転支持部材１６に設けられた突起部１７は支持孔２１と嵌合しつつ、スライダ１８を押圧している。このような構成によれば回転中心の位置を容易に決定することができ、駆動中に回転中心がずれる等の恐れもなく、かつ外部からの振動等による回転中心の位置ずれを防止し、同時に図４の図面の垂直方向などから加わる荷重に対するストッパーとしても機能するため、アクチュエータの損壊を防止することもできるのである。
【００２６】
図５は本発明の圧電アクチュエータを、磁気記録装置用の磁気ヘッドの駆動用アクチュエータとして用いた場合の一例を示す斜視図である。図５において、１５は固定部材、１６は回転支持部材、１８はスライダ、２２は圧電アクチュエータ部、２３ａ，２３ｂはヘッド用配線パターン、２４はヘッド配線、２５は記録媒体である。圧電アクチュエータ部２２は前述のように弾性平板と圧電体からなる変位素子、Ｌ字型ヒンジ部と回転部材によって構成され、固定部材１５によって固定され、さらに可動部にはスライダ１８が設けられている。スライダ１８には図４に示したように磁気ヘッド部が設けられ、加えて磁気ヘッド部に信号を加えるための配線パターンなどが設けられている。固定部材１５は１枚の板状部材を加工して形成され、先端部にアクチュエータ部２２を配置するための溝が設けられ、また先端部に曲げ加工によって直角に成型された部位を有し、この部位にアクチュエータ部２２の弾性平板が固定されるのである。固定部材１５の一方側の面にはヘッド用配線パターン２３ａ，２３ｂが、固定部材１５とは電気的に絶縁されて形成されており、このヘッド用配線パターン２３ａ，２３ｂと前記のスライダ上の磁気ヘッド部のための配線パターンとが、ヘッド配線２４を介して接続される。また固定部材１５の他方側の面には圧電アクチュエータ部２２駆動用のアクチュエータ用配線パターン（図示せず）が形成されており、ヘッド用配線パターン２３ａ，２３ｂとともに外部の配線取り出し部（図示せず）へと伸びている。さらに回転支持部材１６が固定部材１５に固定されるとともに、圧電アクチュエータ部２２の一部を押圧して回転中心を形成している。この状態において記録媒体２５の回転時にスライダ１８が記録媒体２５上に浮上するように配置し、かつ固定部材１５の他方側の端部近傍を他の大変位用アクチュエータに取り付ける。
【００２７】
回転する記録媒体に対し、大まかな位置決めをすばやく行なうために、モータ等の大変位用アクチュエータによる固定部材の回転移動を行ない、これとともに圧電アクチュエータ部によってスライダを回転させ、正確な位置決めを行なうのである。大変位用アクチュエータによる移動時においてスライダや圧電アクチュエータ部が外力を受けることとなり、圧電アクチュエータの剛性が低い場合には歪みが生じたり、駆動力が外力に劣った結果、正確な位置決めが行なえなくなる。しかしながら本発明の圧電アクチュエータによれば、高い剛性と大きな変位量を併せ持つので、外力の影響を受けず、より幅広い範囲での位置決めが可能となる。これにより、磁気ヘッドの記録速度が向上し、かつアクチュエータも小型であるので装置全体として大型にもならず、小型化と高性能化に寄与できるものである。
【００２８】
図６は本発明の圧電アクチュエータを磁気ヘッド駆動用アクチュエータとして用いた場合の、固定方法と配線取り出し方法の一例を示す斜視図である。図６において、１１は圧電体、１２は弾性平板、１４はＬ字型ヒンジ部、１５は固定部材、２６は上部電極パターン、２７は下部電極パターン、２８ａ，２８ｂはアクチュエータ用配線、２９はアクチュエータ用配線パターンである。全体の構成は前述までとほぼ同じであり、弾性平板１２は溶接によって固定部材１５に固定されている。すなわち固定部材１５と弾性平板１２は例えば金属板であり、圧電体１１の両面の電極はパターニングされてその１部が上部電極パターン２６と下部電極パターン２７が設けられ、溶接部はこれら電極パターンを除いた部位となる。各電極パターンは弾性平板１２との界面に樹脂層を有し、電気的な絶縁が保たれている。上部電極パターン２６はその下部に圧電材料の層を有し、下部用電極との絶縁を確保している。固定部材１５上にはアクチュエータ用配線パターン２９が設けられ、これは固定部材１５表面を通ってさらに外部へと接続されており、アクチュエータ用配線パターン２９と上部電極パターン２６、及び下部電極パターン２７がアクチュエータ用配線２８ａ，２８ｂを介して電気的に接続される。この状態において上部電極と下部電極間に電圧を加えることで、圧電体と弾性平板よりなる変位素子に変位を発生させることができる。
【００２９】
変位素子の可動部は長方形の形状を有しているが、変位素子を固定部と回転部材との結合部の方向の寸法、すなわち図面で言えば横方向の寸法よりも、前記方向と直交する幅方向の寸法、すなわち図面でいえば縦方向の寸法が大きい長方形平板形状とすることで、自由端側での変位に対してより大きな駆動力が得られ、同時に共振周波数を上げる作用を有するために耐振性が向上するのである。この方法によれば通常は変位量が低下するが、本発明の圧電アクチュエータは垂直変位が回転変位に変換され、回転によって変位拡大の効果を有するのでこうした問題を回避でき、同時に圧電アクチュエータに高い剛性をもたせることが可能となるのである。
【００３０】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２における圧電アクチュエータについて、図面を参照しながら説明する。
【００３１】
図７は本発明の実施の形態２における、圧電アクチュエータの製造方法を示す図である。
【００３２】
図７において、１１ａ，１１ｂは圧電体、１２ａ，１２ｂは弾性平板、１３は回転部材、１４ａ，１４ｂはＬ字型ヒンジ部、２６ａ，２６ｂは上部用配線パターン、２７ａ，２７ｂは下部用配線パターンである。図７（ａ）において、同一の弾性平板に対し、弾性平板１２ａ，１２ｂ、回転部材１３、Ｌ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂからなる１個のアクチュエータの構成部材が、複数個並行に設けられている。これは例えば１枚の幅の広い金属板をエッチングする等して形成できる。次に図７（ｂ）に示すようにＬ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂの１部において曲げ加工を行い、Ｌ字型ヒンジ部１４ａ，１４ｂと、回転部材１３を一体的に、弾性平板１２ａ，１２ｂと直交させる。続いて弾性平板１２ａ，１２ｂに対し、あらかじめ上部電極パターン２６ａ，２６ｂ及び下部電極パターン２７ａ，２７ｂが形成された圧電体１１ａ，１１ｂを接着して図７（ｃ）の図に示す状態となる。この後、それぞれの圧電アクチュエータを分割し、他の固定部材等に固定して完成する。
【００３３】
以上のような方法によれば、圧電アクチュエータを容易に形成でき、また１枚の基板において複数の圧電アクチュエータの製造が行なえるため、作業性が良い。例えば接着や曲げ加工などの位置決めが一括して行なえ、接着については面積の大きい被着体を用いれば一括して行なうことも可能である。加えて微細な部材の取り扱いも、基板全体で一体で行なうことが出来て容易である。
【００３４】
なお本実施の形態においては、曲げ加工後に圧電体の接着を行なったが、圧電体の接着を曲げ加工に先立って行なっても、本発明の利点は失われるものではない。また上部及び下部用配線パターンについては、本実施の形態では接着前にすでに行なっていたが、曲げ加工に先立って配線パターンのない圧電体の接着を行なった後に、上部及び下部用配線パターンのパターニングを行ない、続いて曲げ加工を行なう等の方法によっても形成可能である。
【００３５】
【発明の効果】
以上のように本発明は、弾性平板と圧電体との積層体からなり、互いに平行かつ同一線上に配された一対の変位素子と、この変位素子の間にＬ字型ヒンジ部を介して設けられた両変位素子の変形によって回転可能に支持される回転部材と、前記変位素子の回転部材側との反対側を固定部材によって固定する構成としたので、高い剛性と大きな変位量とを併せ持った小型の圧電アクチュエータを実現できる。そして回転部材に対する回転支持は、突起状の部材で押圧し、あるいは回転部材に設けられた支持孔とを嵌合させる等の方法により、容易に実現できる。そして一体化されたＬ字型ヒンジ部及び回転部材と弾性平板とを同一平面上に配した基板を形成し、この基板に一体化されて回転部材及びＬ字型ヒンジ部を弾性平板に対して直角に折り曲げ加工し、弾性平板に対して圧電体を接着する製造方法によれば、Ｌ字型ヒンジ部及び回転部材を有する本発明の圧電アクチュエータを一体で、かつ容易に実現でき、各工程の一括処理が可能であるので生産性がよい。
【００３６】
本発明の圧電アクチュエータを磁気ヘッドの位置決め用のアクチュエータとして用いることにより、小型であるので機器の小型化が実現できるとともに、耐振性に優れるので情報の安定的に記録でき、かつ高速応答が可能となるので記録の高速化が図れ、加えて大変位であるので位置決めの調整幅の増加が図れるので、位置決めがより容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるアクチュエータの斜視図
【図２】同斜視図
【図３】（ａ）同アクチュエータの平面図
（ｂ）同アクチュエータの平面図
【図４】同要部である回転部材周辺の断面図
【図５】同要部である磁気ヘッドとその周辺部の斜視図
【図６】同斜視図
【図７】本発明の第２の実施の形態におけるアクチュエータの製造工程図
【図８】従来のアクチュエータの斜視図
【符号の説明】
１１ａ，１１ｂ  圧電体
１２ａ，１２ｂ  弾性平板
１３  回転部材
１４ａ，１４ｂ  Ｌ字型ヒンジ部
１５ａ，１５ｂ  固定部材
１６  回転支持部材
１７  突起部
１８  スライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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