(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量分析計によるサンプル溶質の分析のため、サンプル溶質及び溶媒を含む液体流出液を前記サンプル溶質分子のイオンに変換する装置において、
個々の荷電された液滴が制御可能に、一時に１個ずつ発生され得る噴霧化領域と、
前記液滴を脱溶媒和化し且つ前記イオンの形成を促進する脱溶媒和化領域と、
前記イオン又は液滴をトラッピングし、濃縮するための電界を発生するための手段を備えるトラッピング領域と、
検出器領域と、を備え、
前記検出器領域において、検出器が前記脱溶媒和化領域から前記検出器領域に入るイオンの質量を検出する、装置。
【請求項２】
ガスの流れが前記検出器領域に入るのを遮断する手段を更に備える請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記脱溶媒和化領域が、関連したガスの流れを効率的に分離するため用いられる１つ以上の半透過性の構造を備える請求項１記載の装置。
【請求項４】
請求項１記載の装置であって、
前記脱溶媒和化領域が、他の導管を介してガスの追加の流れが脱溶媒和化プロセスを支援する当該他の導管に隣接している半透過性の壁を備え、
前記装置が、
ガスの流れが前記検出器領域に入るのを遮断する手段を更に備える、
装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［発明の分野］
本発明は、分析機器に関し、より詳細には、エレクトロスプレー及び液体クロマトグラフィ（ＬＣ）／質量分析（ＭＳ）インターフェース、及びこれらのインターフェースの小型化に関する。
【０００２】
［発明の背景］
物理的現象を理解する際に、多くの場合、所与の化合物の分子量及び構造を得る要求がある。質量分析（ＭＳ）はこの要求に対処する技術である。この技術を用いて、分子は、その分子自体をイオン化し、そしてそのイオンが電磁界を横切るときのイオンの応答を測定することにより計量される。質量分析の初期の開発においては、イオン化のメカニズムは、電子イオン化、化学イオン化及び光イオン化であった。これらのイオン化方法は、低分子量の分子に有効であった。しかしながら、比較的大きな分子は、これらのイオン化モードを用いて、質量分析の解析を受けることができないであろう。これは、例えば、ある一定の生物学的現象を理解する能力に大きな隔たりを残していた。大きな分子量の分子に適用可能な技術を開発する必要性が明らかに存在していた。
【０００３】
例えば、電界脱離、サーモスプレー及びエレクトロスプレーのような、イオン化技術が改良されてきた。これらのソフト・イオン化技術は、高分子量の分子から生じる完全な分子イオンを生成する。この開発の結果として、質量分析を生物学的研究（調査）に適用することが、益々より頻繁になってきた。正確な適用は、多くの場合、どのソフト・イオン化技術を用いるべきかを決定するが、しかしエレクトロスプレーは、大きな生体分子についての分子量データを生成するため多くの場合用いられるソフト・イオン化技術である。
【０００４】
キャピラリー又はオリフィスを通って流れる液体は、その液体がキャピラリーの先端から現れるとき、強い電界をその液体に印加することにより、荷電された小さい液滴（直径が１μｍのオーダ）の噴霧に変換され得る。十分に高い印加電界に対して、その電界により課せられた静電圧力、及び表面に誘発された電荷は、液体上の表面張力に打ち勝つに十分である。多数の荷電された小さい液滴にバラバラにするのは、液体が電荷を分散させ且つより低い全体エネルギ状態に達する１つの方法である。噴霧を形成するこのプロセスは、一般にエレクトロスプレーと呼ばれる。
【０００５】
現在では、液体クロマトグラフィ分離ステップからの液体の流れの流出液のようなサンプル溶液のエレクトロスプレーを形成し、続いて、四重極質量分析計、イオン・トラップ、飛行時間質量分析計、又は扇形磁場型質量分析計等のような質量分析計を用いてエレクトロスプレーを分析するための装置が入手可能である。エレクトロスプレーを形成する装置と分析装置との間に、分析されるべき完全なイオンの流れを形成するようにエレクトロスプレーを形成する液滴を脱溶媒和化（ｄｅｓｏｌｖａｔｅ）する手段が介挿される。液体クロマトグラフにおいては、溶液の中に化学種の混合物を含む溶媒の流れは、高圧でクロマトグラフィック・カラムを通される。カラムは、それが混合物を、カラム上の差の保持によりその成分種に分離するよう設計される。次いで、異なる種は、カラムから、時間的に分離された溶媒の流れにおける別個のバンドとして現れる。液体クロマトグラフィの出力を質量分析計にエレクトロスプレー・インターフェースを介して結合することは、それが、分離された種が液体クロマトグラフィから現れるときその分離された種についての分子量及び構造情報を与えるので、分析家に強力なツールを与える。
【０００６】
例えば、Ｂａｊｉｃへの米国特許Ｎｏ．５，７５６，９９４、Ｃｈｏｗｄｈｕｒｙ他への米国特許Ｎｏ．４，９７７，３２０、Ａｌｌｅｎ他への米国特許Ｎｏ．５，０１５，８４５、Ａｌｌｅｎ他への米国特許Ｎｏ．４，９９９，４９３、Ｌａｂｏｗｓｋｙ他への米国特許Ｎｏ．４，５３１，０５６、Ｔｏｍａｎｙ他への米国特許Ｎｏ．５，３０４，７９８、Ｈｅｎｉｏｎ他への米国特許Ｎｏ．４，８６１，９８８、Ｆｉｔｅへの米国特許Ｎｏ．４，２０９，６９６、及びＨａｚｅｌｂｙ他への英国特許Ｎｏ．１，２４６，７０９に記載されているエレクトロスプレー・インターフェースような、様々なエレクトロスプレー・インターフェースが、産業界で既知である。
【０００７】
これらの技術は、主として、被分析試料を含む液体の流れの液滴を形成するのを空気圧の、熱の、又は超音波の支援有りで又はそれなしでの静電噴霧化に関係する。これらの液滴は、加熱された又は無加熱のガスの流れの中で発生され得る。ガスは、液滴を脱溶媒和化するのに役立つ。液滴は続いて、それらが脱溶媒和化するにつれ収縮し、その結果被分析試料の大気イオンの形成をもたらす。次いで、これらのイオン及びガス及び溶媒蒸気は、より低い圧力の領域の中へサンプリングされ、そこでそれらは、質量分析を用いて分析されることができる。
【０００８】
更に、時変調されたエレクトロスプレーを用いるインターフェースが、Ｊａｒｒｅｌｌ他への米国特許Ｎｏ．５，４３６，４４６、及びＪａｒｒｅｌｌ他への米国特許Ｎｏ．５，３０６，９１０に記載されている。時変調されたエレクトロスプレーは、噴霧操作を容易にする噴霧の不連続バーストを形成する。
【０００９】
いずれのインターフェースの性能は、サンプル分子がイオン化される効率と、次いでこれらの形成されたイオンが分析手段に移送される効率とにより特徴付けられ得る。しかしながら、これらの従来方法は、それらがこれらのイオンを低圧力の領域に入る一層低い圧力の領域に転送する前に、イオンの濃縮の実質的手段を欠いている点で不完全である。
【００１０】
分離出力を質量分析計に結合するためのこれらのソフト・イオン化技術を用いる有用性は、過去１０年間に十分に実証された。現在は、これらの技術に基づいて分析機器のコスト及び大きさを低減する更なる必要性がある。小型化は、多くの点で、即ち、コストの改善、大きさの低減、信頼性の向上、試薬の費用及びそれに付随して使用済みの試薬の廃棄の費用の低減においてこれらの技術の有用性に対して影響を及ぼす。
【００１１】
最近、分離技術の小型化が発展を遂げた。キャピラリー・ゾーン電気泳動及び液体クロマトグラフィが、マイクロマシン加工（微細加工）された基板上に実現された。同様に、質量分析計の小型化が発展を遂げた。例えば、Ｒａｍｓｅｙ及びその同僚は、要約Ｎｏ．ＴｈＰＢ０２７（テキサス州ダラスでの１９９９年質量分析アメリカ学会会議における）で報告されたようにマイクロ・イオン・トラップ質量分析計を開発した。完全に小型化されたＬＣ／ＭＳ又はＣＺＥ／ＭＳ又はＣＥＣ／ＭＳベースのシステムを使用可能にするため、分離技術と質量分析計との間のインターフェースを小型化する手段に対する必要性がある。Ｋａｒｇｅｒ（米国特許Ｎｏ．５８７２０１０）は、従来のエレクトロスプレーを形成する手段の発生部を小型化するための手段を実証した。関心があるとはいえ、これは、目的が完全に小型化された分析機器を製造することである場合少ししか有効性がない。
【００１２】
従って、完全なインターフェースを小型化する方法及び装置に対する必要性がある。
［発明の概要］
本発明は、液相分離技術からの出力を質量分析、特に液体クロマトグラフィ／質量分析（ＬＣ／ＭＳ）に結合するための改良された方法及び装置を提供する。更に、これらの方法及び装置は小型化されることができる。
【００１３】
例示的実施形態によれば、荷電された液滴（それからイオンが形成される。）は、制御可能な要領で、即ち、一時に１個、又は「要求に応じて」生成される。液滴が、機械的手段により形成される。電圧を用いて液滴を荷電するのであるが、しかし従来のエレクトロスプレーとは異なり、供給された電圧は、エレクトロスプレーの形成を直接もたらすには十分でない。これは、液滴が殆ど制御されないで大量に生成される従来技術とは対照的である。液滴の発生手段を制御することにより、後続の必要なステップが起こることができる効率が増大する。完全なインターフェースに必要な構造が様々なマイクロマシニング技術を用いてそれらの構成を可能にするに十分な大きさに低減されることができる更なる実施形態が、この増大した効率により可能になる。
【００１４】
脱溶媒和化、イオン発生、イオン濃縮、及び完全なインターフェースを具現化する一層低い圧力（真空）領域に前記の形成されたイオンを導入する後続のステップは、空間的に又は時間的に分散されることができる。従来技術は、空間的に分散されたプロセスが本質的に連続であるイオンの流れをより容易に最適化されるようにそのプロセスに焦点を当ててきた。しかしながら、単一の液滴の制御された生成は、これらのプロセスの時間的に効果的な分散を実行可能にさせる。更に、液滴従ってイオンのこの制御された生成は、これらのイオンをより低い圧力の領域に転送する前にこれらの液滴及び／又はイオンを濃縮するための実効的手段を可能にする。
【００１５】
本発明の更なる実施形態によれば、ガスの追加の流れが噴霧化領域に与えられて、望ましくない溶媒蒸気を実効的に除去し、そして液滴及び／又は被分析試料イオンを含む望ましい被分析試料を濃縮する。多孔質の構造を用いて、関連のガスの流れを実効的に分離する。イオンは、ＤＣ及びＲＦ電圧でもって適切に電気的にバイアスされ且つ駆動されることによりイオンを層状のガスの流れの中で濃縮する電極を用いて濃縮される。更に、テーパ状のウエッジ（ｗｅｄｇｅｓ）又はスキマー（ｓｋｉｍｍｅｒｓ）が配置され、それにより、例えば大多数のイオンを含むガスの流れの一部分を引きはがす。
【００１６】
本発明から得られる著しい利点は、イオン形成及び輸送に関する効率を増大させることである。
本発明のこれらの及び他の特徴は、図面と関連した以下の詳細な説明に鑑みて一層良く理解されるであろう。
【００１７】
［詳細な説明］
本発明は、典型的には液体分離装置から現れる液体の流れを質量分析計にインターフェースする（結びつける）改善された方法及び装置に関する。例示的実施形態において、そのインターフェースは、ベース１と蓋２とを備える。蓋２は、貫通孔３、４、５、６、１０、８、９、７及び１２を有する。ベース１は、対応する組の浅い孔（貫通孔でない）３４、３７、３８、５０、７８、４１、４３、４８及び７６を有し、これら対応する組の浅い孔３４、３７、３８、５０、７８、４１、４３、４８及び７６は、対応する組の流体を移送する導管３５、３９、４４、４０、５１、７７、４２、４９及び７５へ接続する。蓋２がベース１の上に配置され、２つの部材が一緒に接着されると、流体の接続が、貫通孔を介して蓋２の上側表面に行われる。孔及び導管の寸法は、例えばＫａｒｇｅｒ他への米国特許Ｎｏ．５，８７２，０１０に記載されているようにマイクロマシニングとして知られている技術の集合により孔及び導管が都合良く作られることができる。蓋２及びベース１は、シリコン、プラスティック、金属又はガラスを含むがこれらに限定されるものではない様々な材料から作られ得る。これらは異種の材料から作ってもよい。構成の詳細は、選定された材料に応じて変わり得るが、しかし本明細書で説明された基本的空間的配置は同一のままである。
【００１８】
同様に、導電性構成要素１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９及び２０が蓋２を通り抜ける。蓋２の構成の材料が導電性である場合、追加の電気的絶縁シース（鞘）（図示せず）が勿論、導電性構成要素１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９及び２０を囲んで、それによりそれらを蓋２から絶縁しなければならない。対応する電気的導体３１、３２、５２、５３、５４、６１、６２及び６３は、蓋２がベース１と接着されたとき導電性構成要素１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９及び２０と接触し、それにより外部の電気信号が、圧電性素子３３に、そして導電性構成要素６４、６５、６６、２１、６７、６８、６９、２２、７０、７１、７２及び２３に供給され得る。導電性構成要素６４、６５、６６、２１、６７、６８、６９、２２、７０、７１、７２、２１、２２及び２３は、電着、スパッタリング又は蒸着による、又はさもなければ他の非導電性材料のドーピングによる金属被服（メタライゼーション）を含む様々な手段により形成され得る。チタン酸バリウムは、圧電性素子３３のための適切な材料の一例である。金、アルミニウム及び白金は、いずれの導電性構成要素のための適切な材料の例である。
【００１９】
電気信号を導電性構成要素２１、２２、２３、６５、６８及び７１に供給する手段は、図示されていない。これは、電気信号が導電性構成要素６４、６７、７０、６６、６９及び７２に供給される要領と似た要領で行われ得る。
【００２０】
構成要素７９は、それを通る通路８０を備える回転可能なバルブ・ステムである。構成要素１１は、貫通孔でなく、むしろ深さが浅い孔であり、その目的は、バルブ・ステム７９の回転運動に対するベアリング支持部を与えることである。バルブ・ステム７９は、当業者には既知である、機械的、磁気的、静電的、及び他の手段を含む様々な手段により作動され得る。構成要素７９は、シリコン、プラスチック、ガラス、又は金属から構成され得る。材料の適切な選定は、上記の作動手段の選定に依存する。
【００２１】
分析用の液体サンプルは、孔３及び３４を通して導入され、それによりその液体サンプルは、導管３５を通って、オリフィス３６及び電気的に駆動される圧電性素子３３から構成される液滴発生器に通すことができる。そのような液滴発生技術は周知である。圧電性素子３３は、その圧電性素子３３の向かいあう２つの面と接触する電気的導体３１及び３２と接触している導電性構成要素１３及び１４に印加された電圧により駆動される。こうして、電圧の迅速な変化を参照番号１３と１４との間に与えることにより、この電圧を参照番号３３の２つの面間に印加し、その電圧が、機械的応力を発生し、その機械的応力により、導管３５内の流体を、オリフィス３６から空間４７への液滴として射出させる。この実施形態においては、空間４７は単純に、ベース１の長さを本質的に通る一層大きなマイクロマシン加工された導管４９の一部分である。電荷が様々な技術により液滴に供給され得る。この例示的実施形態においては、電圧が、適切な電極を介して液滴の流れを入れる貫通孔３に供給され得る。ヒューレット・パッカード社によりそのインクジェット・プリンタで用いられているような熱的手段のような、等価の機械的応力を発生する代替手段は、既知であり、そして本明細書に記載されている圧電性手段の代わりに用いることができるであろう。窒素、アルゴン、又はヘリウムのような乾性ガス（他のものも用い得る。）が、孔４、９、３７及び４１、及び導管３９及び４２を介して導入されることができ、それによりこのガスは、領域４７に流入し、そのため液滴を容積部（ｖｏｌｕｍｅ）４７を一緒に通るように運び、そして液滴の脱溶媒和化を開始する。液滴は、容積部４７を通って出口８１に向かって、その発生の間にそれに付与されるいずれの速度により且つ導管４２及び３９から出るガスの流れの力により移動する。必要なら、液体の流れに印加される電位の極性を瞬間的に逆にし、それにより液滴の移動をゆっくりさせるため用いることができる制動電界を発生する。液滴の脱溶媒和化を支援するため、容積部４７の壁４５及び４６は、半透過性の又は多孔質の材料から作られる。典型的には、これは、多孔質のシリコンでよいが、しかし他の材料又は半透過性の構造も可能である。乾性ガスの追加の流れが貫通孔６及び７を介して導入され、それによりガスは、導管４４及び４０を走行し、貫通孔６及び７から貫通孔５及び８に向けて流れ、そしてその貫通孔５及び８を出る。このガスの流れは、液滴の走行方向に対する向流であり、そして、そういうものだから、多孔質の構造４５及び４６と組み合って、液滴が容積部４７を通過する間に、液滴の脱溶媒和化を最適に支援するであろう。液滴が脱溶媒和化されるにつれ、液滴は収縮し、そして液滴の表面上の電気応力が増大し、その結果従来のエレクトロスプレーにおいて起こる同じプロセスによりイオンの形成をもたらす。ガスを脱溶媒和化する並流がまた、用いられることができるが、しかし最適な結果はより少ない。
【００２２】
領域４７を出た後で、液滴は、領域５１の中を通過する。なお、その領域５１は、導電性構成要素６４、６５、６６、２１、６７、６８、６９、２２、７０、７１、７２及び２３を備える。それらの幾何学的構成により、これらの構成要素を用いて、ＤＣ及びＲＦ電界を液滴又はイオンに領域５１で印加することができる。こられの電界の時間的及び空間的依存性を発生する様々な手段は、存在し、そして特許及び科学文献に記載されている。これは、Ｍａｒｓｈａｌｌ他への米国特許Ｎｏ．４，７６１，５４５に記載された頭字語ＳＷＩＦＴ、及びＫｅｌｌｙへの米国特許Ｎｏ．５，２０６，５０７に記載されたフィルタリングされた雑音電界（Ｆｉｌｔｅｒｅｄ  Ｎｏｉｓｅ  Ｆｉｅｌｄｓ）により知られているものを含む。これらの技術は、当業者にとって周知であり、そして、例えば、Ｒ．Ｅ．Ｍａｒｃｈ及びＪ．Ｆ．Ｊ．Ｔｏｄｄ編集の本「イオン・トラップ質量分析の実際的外観、巻Ｉ、ＩＩ及びＩＩＩ（Ｐｒａｃｔｉｃａｌ  Ａｓｐｅｃｔｓ  ｏｆ  Ｉｏｎ  Ｔｒａｐ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ，  Ｖｏｌｕｍｅｓ  Ｉ，ＩＩ  ａｎｄ  ＩＩＩ）」（ＣＲＣ出版会社（ＣＲＣ  Ｐｒｅｓｓ）、１９９５年）に記載されている。この実施形態においては、ＲＦ電界が一般的に、導管４９の中心軸の近くに液滴を含み且つそれに焦点合わせするよう印加され、そして、ＤＣ電圧が、時間に関して順次的且つ反復的にスイッチングされ、それにより、構成要素６７、６８、６９及び２２により境界を付けられた導管４９のその部分に液滴及びイオンを一時的にトラップ（捕捉）し、次いで上記その部分から解放するであろう。このスイッチングは、液滴の発生と最適に位相同期され、それにより各液滴は最適に脱溶媒和化され、そして各液滴から発生されたイオンは、ガスをより低い圧力領域８１へ導入する前に気相で最適に濃縮される。なお、そのより低い圧力領域８１は、質量分析計の真空系に結合されている。
【００２３】
トラッピング（捕捉）フェーズの間に、この領域中の液滴を更に脱溶媒和化され、更なるイオンの発生を起こさせることができる。印加された電界が液滴及びイオンを保持する一方、領域４７から領域５１へ流れ且つ導管７５及び７７を通って出るガスは、蒸発した溶媒蒸気を搬送するであろう。更に、イオンの濃度が、このトラッピング・フェーズの間に増大する。
【００２４】
バルブ・ステム部分７９が図２に示される開位置にあるとき、より低い圧力領域８１は、領域５１とオリフィス７４及び通路８０を介して連通する。次いで、ガス及びイオンは、領域８１の中に、そして質量分析計上へ流入することができる。バルブ・ステム部分７９が図２に示される位置から９０度回転され、従って閉じられるとき、ガス及びイオンは領域８１に流入しない。この状況においては、全てのガスは、導管７５及び７７を通って出て行かなければならない。オリフィス７４を含む導管７５及び７７の壁の輪郭は、オリフィス７４の端部がナイフ状であり、従ってＫａｎｔｒｏｗｉｔｚにより最初に記載されたスキマー手段（Ａ．Ｋａｎｔｒｏｗｉｔｚ及びＪ．Ｇｒａｙ「分子ビーム用高強度源、パートＩ、理論的（Ａ  ｈｉｇｈ  ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ  ｓｏｕｒｃｅ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  ｍｏｌｅｃｕｌａｒ  ｂｅａｍ．Ｐａｒｔ  Ｉ．Ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ）」（Ｒｅｖ．Ｓｃｉ，Ｉｎｓｔｒｕｍ、２２，５（１９５１）３２８−３３２頁）を形成するように形成されることができる。そのような手段は当業者に周知である。
【００２５】
領域５１からのイオンの電気的解放と実質的に一致するようバルブ・ステム７９の開きを位相同期させることは、領域８１に導入されるガスの流れの単位容積当たりのイオンの数を増大させる。
【００２６】
要約すると、個々の又は小数の荷電された液滴の制御された発生は、トラッピング、脱溶媒和化及び濃縮の後続のステップを使用可能にする。小型化も可能である。対照的に、エレクトロスプレーを形成する従来の手段は、混沌していて、多数の荷電された液滴を同時に発生する。これは、液滴の相互反力を生じさせ、形成された液滴及びイオンが空間に拡散することにつながる。更に、１個の液滴から解放された溶媒蒸気が隣接の液滴からの溶媒の蒸発速度を低減するので、多数の液滴が発生されるとき、実効的脱溶媒和化が阻止される。
【００２７】
本発明の様々な特質が、グロー放電をイオン発生手段として用いる粒子ビーム質量分析のような質量分析のための他のサンプル導入手段に有利に適用され得ることが当業者に明らかであろう。更に、中性粒子の伝達、及び背景雑音をもたらすことがあるクラスタを遮断するため、バッフル又はバリヤ（障壁）を追加することが有利である場合があることが当業者に明らかであろう。更に、適切な材料を用いて、領域４７と５１との機能を組み合わせることが有利である場合があることが当業者に明らかであろう。更に、単一の液滴の制御された発生が例示的実施形態の本質的部分である一方、静電トラッピング及びバルブ（ｖａｌｖｉｎｇ）を使用することのような本発明の別の局面は、質量分析計へのイオン移送の効率を増大し、それは、従来の又はパルス化されたエレクトロスプレーを用いる都合良い大きさのインターフェースに対して積極的な結果を伴って適用されることができることが当業者に明らかであろう。
【００２８】
更に、本発明のアレイを１個の基板に構成することができることが当業者に明らかであろう。余分の電極又は放射線源の追加は、Ｃａｒｒｏｌｌ他により「大気圧イオン化質量分析（Ａｔｏｍｏｓｐｈｅｒｉｃ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）」（応用分光学レビュー（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ  Ｒｅｖｉｅｗ）、１７（３）、３３７−４０６頁（１９８１））に記載されたような大気圧化学イオン化技術の関連したインターフェース技術の使用を可能にすることがまた明らかであろう。最後に、非回転手段を含む代替手段を用いて、ガスの流れが低圧力領域８１に入るのを遮断し得ることが明らかである。
【００２９】
本発明がその例示的実施形態を参照して示され記載されたが、その形式及び詳細において前述のそして様々な他の変更、省略及び追加が、基本となる本発明を変えることなく実行できるであろうことが認められる筈である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１Ａは、例示的実施形態の２つのパーツの斜視図の一方であり、マイクロスケールのベース部を示す。図１Ｂは、例示的実施形態の２つのパーツの斜視図の他方であり、対応する蓋部を示す。
【図２】  図２は、ベース部の上側合わせ面の概略図である。
【図３】  図３は、蓋部の下側合わせ面の概略図である。
【図１Ａ】
0004812219.tif 000002
【図１Ｂ】
0004812219.tif 000003
【図２】
0004812219.tif 000004
【図３】
0004812219.tif 000005