(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象部位を撮影する撮影装置と、被検査体に貼付され、前記被検査体の情報である属性データを格納するＲＦＩＤタグに記憶されている前記属性データを読み取るリーダと、を含んでなる画像検査システムに用いられる画像検査装置における画像検査方法であって、
前記画像検査装置は、
前記リーダを介して、前記ＲＦＩＤタグに格納されている前記属性データを取得し、
前記撮影装置を介して、前記被検査体の検査を行う箇所である検査対象部位の画像データを取得し、
前記取得した画像データを基に、ＭＴＦ値を算出し、
前記ＭＴＦ値が、画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定するための所定の値よりも大きな値であったとき、
前記取得した属性データと、前記取得した画像データとを対応付けて記憶する
ことを特徴とする画像検査方法。
【請求項２】
前記画像検査装置は、
前記リーダを介して、前記属性データを取得するとともに、前記リーダによる前記属性データの読取時刻も取得し、
前記撮影装置を介して、前記検査対象部位の画像データを取得するとともに、前記画像データの撮影時刻も取得し、
前記読取時刻と、前記撮影時刻と、の差が所定の時間内である場合に、前記取得した属性データと、前記取得した画像データとを対応付けて記憶し、
前記読取時刻と、前記撮影時刻と、の差が前記所定の時間外であれば、前記属性データおよび画像データを破棄する
ことを特徴とする請求項１に記載の画像検査方法。
【請求項３】
前記属性データは、ＣＡＤデータを基に、生成される
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像検査方法。
【請求項４】
前記画像検査装置は、
前記撮影装置を介して取得した、前記撮影装置の傾きのデジタルデータを前記画像データに付与することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像検査方法。
【請求項５】
前記画像検査装置は、
前記属性データを付与された画像データを、前記属性データに基づいて記憶することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像検査方法。
【請求項６】
前記ＲＦＩＤタグは、一部に彩色を施した彩色部を有し、
前記画像データの画像において、前記彩色部の画像が、前記画像データの画像の両サイドに位置している
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の画像検査方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の画像検査方法を、コンピュータに実行させる
ことを特徴とする画像検査プログラム。
【請求項８】
検査対象部位を撮影する撮影装置と、被検査体に貼付され、前記被検査体の情報である属性データを格納するＲＦＩＤタグに記憶されている前記属性データを読み取るリーダと、を含んでなる画像検査システムに用いられる画像検査装置であって、
前記リーダを介して、前記ＲＦＩＤタグに格納されている前記属性データを取得する手段、
前記撮影装置を介して、前記被検査体の検査を行う箇所である検査対象部位の画像データを取得する手段、
前記取得した画像データを基に、ＭＴＦ値を算出する手段、
前記ＭＴＦ値が、画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定するための所定の値よりも大きな値であったとき、前記取得した属性データと、前記取得した画像データとを対応付けて記憶する手段
を備えてなることを特徴とする画像検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浸透探傷試験（Liquid Penetrant Test：ＰＴ）、磁紛探傷試験（Magnetic Particle Test：ＭＴ）および目視検査（Visual Test:ＶＴ）に代表されるような非破壊表面検査における画像検査方法、画像検査プログラムおよび画像検査装置の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＰＴ、ＭＴおよびＶＴに代表されるような、非破壊表面検査に関して、検査結果の判定は、通常現品の確認をすることで行われ、検査結果は、認定検査員が各々の産業分野で規定される規格・基準などで定められるクライテリアに従い、規定以上の大きさである欠陥の有無を目視確認の方法で判定し、検査の合否を判断する手順で行われる。
しかしながら、現行の検査手順では、検査員が検査結果を判断した後は、被検査体の観察面は処理されてしまい記録として残されず、ほとんどの場合、良・否などの検査結果のみが検査報告書に記載されることとなる。
【０００３】
このような問題を解決するために、昨今では、非破壊表面検査の検査結果の証拠として、被検査体の検査対象部位の画像（主に、静止画像）を取得し、検査記録として保管し、被検査体から離れた場所にいる検査員が、取得した画像を基に検査結果を判定するような検査プロセスに対するニーズが高まりつつある。
【０００４】
しかしながら、前記したニーズを満足するためには、発電プラント機器・配管の溶接部の非破壊検査の例でいうと、プラント名称、系統名称、機器・配管固有管理番号、溶接部などの検査対象部の管理番号、検査対象部の設計条件およびプラント運転条件などの被検査体に関する属性データを、該当する画像データに関連付けることが必要である。
このような技術において、画像データを取得後、この画像データを整理する段階で画像データごとに、属性データを関連付けるといった手順が必要である。
【０００５】
このような非破壊表面検査における画像データを利用した技術として、以下のような技術が開示されている。すなわち、撮像手段で撮像した画像を基に、撮像手段の色表現および解像度をチェックし、さらにスケールバーを検査対象物に装着して、色表現および解像度をチェックした撮像手段を用いて、検査対象物を撮像する。そして、撮像した結果得られたデジタルデータをＰＣ（Personal Computer）に転送する。そして、転送されたデジタルデータに対し、取得した日時および場所の情報を関連付けて記憶することを特徴とする技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−７５３６１号公報（請求項１、請求項６および請求項９、段落００５４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１では、日時および場所の情報を関連付ける具体的な方法に関する記載がない。一般的に、日時および場所の情報を含む属性データは、ユーザによる手入力でＰＣに入力される。具体的には、予め被検査体の検査対象部位に固有の番号が記載されたテープを巻きつけ、撮影することにより、撮影によって取得した画像データを識別可能な状態にしておく。その後、ユーザが、画像データに撮影されているテープに記載された番号を参照しながら、該当する検査対象部位に関する属性データを入力することによって、属性データが画像データに関連付けられる。
【０００７】
このようなユーザの手入力による属性データの入力と、画像データとの関連付けは、作業工数が多くかかる上、誤って別の属性データを画像データに関連付けてしまうおそれがある。
また、撮影時に、毎回被検査体の検査対象部位にテープを巻きつける作業に関しても、作業工程を増大させる要因となるとともに、消耗品であるテープを大量に準備する必要があり、作業の効率化およびコストの点から改善が望まれている。
【０００８】
前記課題に鑑みて、本発明は、属性データと画像データの関連付けが容易に、かつ誤りなく行われ、作業の効率化が可能な画像検査方法、画像検査プログラムおよび画像検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題に鑑みて、本発明は、検査対象部位を撮影する撮影装置と、被検査体に貼付され、前記被検査体の情報である属性データを格納するＲＦＩＤタグに記憶されている前記属性データを読み取るリーダと、を含んでなる画像検査システムにおいて、前記画像検査装置は、前記リーダを介して、前記ＲＦＩＤタグに格納されている前記属性データを取得し、前記撮影装置を介して、前記被検査体の検査を行う箇所である検査対象部位の画像データを取得し、前記取得した画像データを基に、ＭＴＦ値を算出し、前記ＭＴＦ値が、画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定するための所定の値よりも大きな値であったとき、前記取得した属性データと、前記取得した画像データとを対応付けて記憶することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、属性データと画像データの関連付けが容易に、かつ誤りなく行われ、作業の効率化が可能な画像検査方法、画像検査プログラムおよび画像検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１２】
［システム構成］
図１は、本実施形態に係る画像検査システムの構成例を示す図である。
画像検査システムは、検査される対象物である被検査体６と、この被検査体６に貼付され、被検査体６の情報を格納するＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）タグ１、被検査体６において検査の対象となる部位である検査対象部位６１に貼付されたＲＦＩＤタグ１に記憶されている属性データを読み取って、ＰＣ（請求項における画像検査装置）４に送信するリーダ２、検査対象部位６１を撮影し、撮影した結果取得された画像データをＰＣ４に送信する撮影装置３、リーダ２から送信された属性データと、撮影装置３から送信された画像データとを関連付ける処理などを行うＰＣ４および被検査体６のＣＡＤ（Computer Aided Design）データなどが格納されているデータベース（Database：ＤＢ）５を含んで構成される。
【００１３】
（リーダの構成）
リーダ２は、ＲＦＩＤタグ１から、電波によって送信される属性データを受信することによって、属性データを読み取り、この属性データを処理部２２に送るデータ読取部２３、現在時刻のカウントを行い、時刻の情報である時刻データを処理部２２に送るタイマ２１、読み取った属性データと時刻データとを関連付けるなどの処理を行う処理部２２および時刻データと関連付けられた属性データをＰＣ４に送信する送受信部２４を含んで構成される。
【００１４】
（撮影装置の構成）
撮影装置３は、撮影を行うことによって検査対象部位６１の画像データを取得する画像取得部３２、現在時刻のカウントを行い、時刻の情報である時刻データを処理部３３に送るタイマ３４、取得した画像データと時刻データを関連付けるなどの処理を行う処理部３３および時刻データと関連付けられた画像データをＰＣ４に送信する送受信部３５を含んで構成される。
また、撮影装置３は、撮影方向が予め設定されている基準座標に対し、水平方向、鉛直方向にどの程度ずれているかを測定する水準器３１を設けてもよい。
なお、本実施形態において、撮影装置３は、動画像または静止画像を取得する装置であり、具体的には、例えばデジタルカメラなどである。
【００１５】
（ＰＣの構成）
ＰＣ４は、リーダ２および撮影装置３から、属性データおよび画像データを受信する送受信部４１、ＤＢ５から取得したＣＡＤデータを基に属性データを生成し、生成した属性データをＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１（図２参照）に入力などを行い、さらに受信した画像データに、リーダ２から受信した属性データを付与するなどの処理を行う処理部４２（請求項における処理手段および属性データ生成手段）、画像データの補正などの処理を行う画像処理部４４、取得した画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定する指標であるＭＴＦ（Modulation Transfer Function）値を算出するＭＴＦ値算出部４５、算出されたＭＴＦ値を基に、受信した画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定するＭＴＦ値判定部４６および画像データなどを格納する記憶部４３を含んで構成される。
リーダ２または撮影装置３と、ＰＣ４との接続は、有線でもよいし、無線でもよい。
【００１６】
なお、本実施形態では、ＰＣ４の処理部４２が、ＣＡＤデータを基に属性データを生成し、ＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１（図２参照）に生成した属性データを入力する機能を有するとしたが、これに限らず、ＲＦＩＤタグ入力装置をさらに設け、このＲＦＩＤタグ入力装置が属性データの生成およびＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１（図２参照）への入力を行ってもよい。
【００１７】
［ＲＦＩＤタグの構成］
図２は、本実施形態に係るＲＦＩＤタグの外観を示す図である。
ＩＣチップ１１は、アンテナ１２とともに柔軟素材の基板上に設置される。アンテナ１２は、伸縮型のものを使用し、様々な形状の被検査体表面に固定できるものとする。
ＩＣチップ１１には、属性データを記憶する記憶部１１１、送受信の制御を行う制御部１１２および属性データをアンテナ１２に送ることで、属性データをリーダ２に対して電波として送信する送受信部１１３が備えられている。
なお、ＩＣチップ１１の部分を黒色とすることで、後記するように常にＲＦＩＤタグ１の黒色部が撮影範囲の両サイドにくるように調節すれば、複数の画像を撮影する際にも、相互の画像取得倍率が大きく変化することなく撮影できる。
【００１８】
［属性データ］
次に、図１を参照しつつ、図３に沿って本実施形態に係る属性データの構成を説明する。
図３は、本実施形態に係る属性データの構成例を示す図である。
本実施形態では、被検査体６を、原子力プラントにおける配管６とし、当該配管６に関する非破壊表面検査で用いる属性データを想定しているが、これに限らず、他のプラントにおける被検査体６の非破壊表面検査に関する属性データであってもよい。
属性データは、（１）該当する被検査体６が存在する工場施設であるプラントの名称であるプラント名称、（２）プラント内のどの建屋に該当する被検査体６が存在するかを示す建屋名称、（３）配管６の系統の名称である系統名称、（４）配管６の番号であるラインＮｏ．、（５）配管６の口径、（６）配管６の肉厚、（７）配管６の設計温度、（８）配管６の設計圧力、（９）検査番号、（１０）配管６の材料などから構成される。
【００１９】
［属性データ生成・入力処理］
次に、図１を参照しつつ、図４に沿って本実施形態におけるＲＦＩＤタグ１の属性データの入力処理の流れを説明する。
図４は、本実施形態におけるＲＦＩＤタグの属性データの入力処理の流れを示す図である。
最初に、ＰＣ４の処理部４２は、被検査体６に関する３Ｄ−ＣＡＤデータが保持されているＤＢ５を、建屋名称、ラインＮＯ.、検査番号などの情報を基に、検索を行い、格納されている３Ｄ−ＣＡＤデータから、検査対象部位６１に関する３Ｄ−ＣＡＤデータを取得する（Ｓ１０１）。
そして、処理部４２は、取得した３Ｄ−ＣＡＤデータを基に、属性データを生成する（Ｓ１０２）。
具体的には、例えば３Ｄ−ＣＡＤデータに格納されている各寸法のデータを基に、属性データを生成する。
次に、処理部４２は、生成した属性データを、ＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１に入力し（Ｓ１０３）、ＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１は、属性データを記憶する（Ｓ１０４）。
【００２０】
なお、本実施形態では、属性データは、３Ｄ−ＣＡＤデータから生成するとしたが、これに限らず、２Ｄ−ＣＡＤデータなど、被検査体６に関するデータが格納されているものであればよい。
また、本実施形態では、属性-データの生成と生成した属性データのＲＦＩＤタグ１への入力をＰＣ４が行ったが、これに限らず、例えば図示しないＲＦＩＤタグ入力装置が、これらの作業を行ってもよい。
【００２１】
［全体処理］
次に、図１を参照しつつ、図５Ａおよび図５Ｂに沿って本実施形態における非破壊検査方法の処理の流れを説明する。
図５Ａおよび図５Ｂは、本実施形態における非破壊検査方法の処理の流れを示す図である。
まず、処理に先立ち、属性データを読み取った時刻である読取時刻と、撮影を行った時刻である撮影時刻とを比較し、これらの時刻の相違が予め設定しておいた所定の時間内であれば、画像データに属性データを付与するための時間を、図示しない入力部を介して、ＰＣ４に入力しておく。
ＲＦＩＤタグ１の貼付された被検査体６に対して、例えば、ＰＴの場合は、検査対象部に現像液を吹き付け、適切な現像時間を確保するなど、目視観察の行える状態に準備を整える（Ｓ２０１）。
次に、ＰＣ４、撮影装置３およびリーダ２が起動され（Ｓ２０２）、ユーザによって、撮影範囲が指定される（Ｓ２０３）。
【００２２】
前記したように、撮影装置３の撮影範囲の指定時に、常にＲＦＩＤタグ１の黒色部が撮影範囲の両サイドにくるように調節すれば、複数の画像を撮影する際にも、相互の画像取得倍率が大きく変化することがなく撮影することができる。
また、ＲＦＩＤタグ１が黒色部を有していない場合は、黒色部を有する耐熱性のシールなどを被検査体６に貼付し、このシールの黒色部が撮影範囲の両サイドにくるように調節してもよい。
【００２３】
次に、被検査体６に目視基準ゲージが、ユーザによって配置される（Ｓ２０４）。これは、目視基準ゲージに加工されているラインペア画像を基に、画像データ取得後、解像度評価を実施するための手順である。
【００２４】
そして、撮影装置３による撮影と、リーダ２によるＲＦＩＤタグ１内の属性データの読み取りとが連動して行われる。
具体的には、検査員Ａが、リーダ２を持つことによって検査対象部位６１の属性データを取得し、検査員Ｂは、撮影装置３で検査対象部位６１を撮影する。
【００２５】
（属性データの読取）
まず、検査員Ａは、目的とする検査対象部位６１に貼付してあるＲＦＩＤタグ１に、リーダ２を近づける。ＲＦＩＤタグ１からの電波を受信できる距離に、リーダ２がＲＦＩＤタグ１に近づくと、リーダ２のデータ読取部２３は、ＲＦＩＤタグ１の記憶部１１１に格納されている属性データを、ＲＦＩＤタグ１の制御部１１２、送受信部１１３およびアンテナ１２を介して読み取る（Ｓ２０５）。
【００２６】
ＲＦＩＤタグ１の電源の入り方と、属性データの送信の方法は、使用しているＲＦＩＤタグ１が電池搭載型（アクティブ型）か、電池非搭載型（パッシブ型）かで、以下のように変わる。
アクティブ型のＲＦＩＤタグ１である場合、ユーザによって電源をＯＮにされ、その後は常に電波を放射しているため、リーダ２が交信可能範囲内に入ると、自動的にリーダ２が属性データを取得する。そして、ユーザ操作によってＲＦＩＤタグ１の電源がＯＦＦになる。
パッシブ型のＲＦＩＤタグ１の場合は、リーダ２が交信可能範囲内に入ると、リーダ２からの電波を受信し、この電波のエネルギーによりＲＦＩＤタグ１の電源がＯＮになり、ＲＦＩＤタグ１の送信部が、属性データをリーダ２に対して送信する。そして、リーダ２が、交信可能範囲から外れることで、ＲＦＩＤタグ１の電源はＯＦＦになる。
【００２７】
データ読取部２３は、読み取った属性データを処理部２２に送り、処理部２２は、属性データを取得すると同時に、タイマ２１から現在時刻などの時刻データを取得し（Ｓ２０６）、取得した時刻データを属性データに付与する（Ｓ２０７）。
そして、処理部２２は、時刻データを付与した属性データを、送受信部２４に送り、送受信部２４は、ＰＣ４に当該属性データを送信する（Ｓ２０８）。
【００２８】
（画像データ取得）
ＲＦＩＤタグ１からの電波をリーダ２が受信できる距離に、リーダ２がＲＦＩＤタグ１に近づいたとき、検査員Ｂによって撮影装置３のシャッタが押されることにより、撮影装置３の画像取得部３２は、検査対象部位６１の画像データを取得する、すなわち検査対象部位６１を撮影する（Ｓ２０９）。
【００２９】
この際、撮影装置本体に内蔵された水準器３１により、撮影方向が予め設定されている基準座標（３Ｄ−ＣＡＤデータ上のＸ，Ｙ，Ｚ方向座標軸）に対し、水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）、鉛直方向（Ｚ方向）にどの程度ずれているかを検出し、この検出結果をデジタルデータとして取得し、処理部３３が、ステップＳ２０９で取得した画像データに付与してもよい。
また、撮影に際して、一つの画像内に検査対象部位６１全体が入りきらない場合、複数枚に分けて画像を取得してもよい。
【００３０】
そして、画像取得部３２は、取得した画像データを処理部３３に送り、処理部３３は、画像データを取得すると同時に、タイマ３４から現在時刻などの時刻データを取得し（Ｓ２１０）、取得した時刻データを撮影時刻データとして画像データに付与する（Ｓ２１１）。
次に、処理部３３は、時刻データを付与された画像データを送受信部３５に送り、送受信部３５は、当該画像データをＰＣ４に送信する（Ｓ２１２）。
【００３１】
［属性データの付与］
ＰＣ４の送受信部４１は、属性データと画像データとを受信し（Ｓ２１３）、処理部４２に送る。処理部４２は、読取時刻と撮影時刻とを基に、画像データに属性データを付与し（Ｓ２１４）、記憶部４３に送る。ここで、「読取時刻と撮影時刻とを基に、画像データに属性データを付与する」とは、例えば読取時刻と、撮影時刻とを比較し、これらの時刻の相違が予め設定しておいた、所定の時間内であれば、画像データに属性データを付与し、それ以外なら破棄するなどである。
【００３２】
以降の説明は、図５Ｂを参照して説明する。
記憶部４３は、属性データを付与された画像データをユーザの指定する属性データ区分（溶接番号など）毎に分類して記憶する（Ｓ２１５）。
なお、本実施形態では、画像データを記憶部４３に記憶させたが、これに限らず、ＤＢ５に記憶させてもよい。
なお、ステップＳ２１４およびステップＳ２１５は、必須ではない。
【００３３】
（画像データの補正）
次に、ＰＣ４は、画像処理機能を有したソフトウェアを起動することによって、画像処理部４４を起動させる。起動した画像処理部４４は、記憶部４３から属性データを付与された画像データを取得する（Ｓ２１６）。
なお、本実施形態では、属性データを付与された画像データは、一旦記憶部４３に記憶されてから、画像処理部４４が取得しているが、これに限らず、処理部４２から直接属性データを付与された画像データを取得してもよい。
そして、画像処理部４４は、画像データの補正を行い（Ｓ２１７）、補正された画像データをＭＴＦ値算出部４５に送る。
【００３４】
具体的には、画像データにおける画像の両サイドに撮影されたＲＦＩＤタグ１の黒色部（ＰＣ４）、または前記したような黒色部を有する耐熱シールの２つの像を基に、上下左右および回転などの画像のずれが補正される。また、複数枚の画像データを連結させる必要がある場合には、前記黒色部を画像に重ね合わせるための指標として利用してもよい。
【００３５】
（解像度判定）
その後、ステップＳ２１６で取得した画像データ中の目視基準ゲージのラインペア画像を基に、ＭＴＦ値算出部４５がＭＴＦ値を算出する（Ｓ２１８）。ここで、ＭＴＦ値とは、取得した画像データの解像度が目視相当であるか否かを判定する指標である。
次に、ＭＴＦ値判定部４６が、算出したＭＴＦ値が、２０％より大きい値であるか否かを判定する（Ｓ２１９）。
ＭＴＦ値が、２０％よりも大きな値であったとき（Ｓ２１９→Ｙｅｓ）、ＭＴＦ値判定部４６によって、ステップＳ２１４で属性データを付与された画像データは、解像度が目視相当であると判定され、処理部４２が、当該画像データを、検査用の画像データ、すなわち検査対象画像として記憶部４３に保存される（Ｓ２２０）。
なお、本実施形態では、画像データを記憶部４３に記憶させたが、これに限らず、ＤＢ５に記憶させてもよい。
なお、ステップＳ２２０の判定において、ＭＴＦ値が２０％以下だった場合（Ｓ２１９→Ｎｏ）、この画像データは、ＭＴＦ値判定部４６によって、検査用の画像データとしては、その解像度が目視相当に満たない不十分なものと判断され、処理部４２が、当該画像データを破棄する（Ｓ２２１）。
【００３６】
このような手順により記憶された画像データは、遠隔診断検査、検査報告書作成、またはＤＢ５へ送られ、記憶されることで蓄積データとして利用される。
画像データは、ステップＳ２１４の処理により属性データを付与されているため、この属性データを基に３Ｄ−ＣＡＤデータと連携することによって、３Ｄ−ＣＡＤデータの検査対象箇所を選択した際に、該当する検査対象画像を表示し、表示される画像によって、検査対象箇所をユーザが確認できる機能などへの有効利用が可能となる。
【００３７】
このように、本実施形態によれば、ＲＦＩＤタグ１から読み込んだ属性データと画像データの関連付けをＰＣ４にて行うため、属性データと画像データの関連付けが容易、かつ誤りなく行われ、作業の効率化が可能となる。
また、ＣＡＤデータを基に、属性データを生成するため、属性データの誤りを軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本実施形態に係る画像検査システムの構成例を示す図である。
【図２】本実施形態に係るＲＦＩＤタグの外観を示す図である。
【図３】本実施形態に係る属性データの構成例を示す図である。
【図４】本実施形態におけるＲＦＩＤタグの属性データの入力処理の流れを示す図である。
【図５Ａ】本実施形態における非破壊検査方法の処理の流れを示す図である（その１）。
【図５Ｂ】本実施形態における非破壊検査方法の処理の流れを示す図である（その２）。
【符号の説明】
【００３９】
１      ＲＦＩＤタグ
２      リーダ
３      撮影装置
６      被検査体
１１    ＩＣチップ
１２    アンテナ
２１，３４  タイマ
２２，３３，４２  処理部
２３    データ読取部
２４，３５，４１，１１３  送受信部
３１    水準器
３２    画像取得部
４３，１１１  記憶部
４４    画像処理部
４５    ＭＴＦ値算出部
４６    ＭＴＦ値判定部
６１    検査対象部位
１１２  制御部
【図１】
0004728822.tif 000002
【図２】
0004728822.tif 000003
【図３】
0004728822.tif 000004
【図４】
0004728822.tif 000005
【図５Ａ】
0004728822.tif 000006
【図５Ｂ】
0004728822.tif 000007