(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を吸着保持するアームと、このアーム内に形成され且つ上記アームの吸着面で開口する排気路と、この排気路に連通管を介して連結された真空吸着機構とを備え、移動体に搭載して使用する被処理体の真空保持装置であって、上記真空吸着機構は、搭載電源で駆動するコンプレッサと、このコンプレッサから上記連通管を介して圧送される気体を圧縮気体として貯留する容器と、この容器内から上記連通管を介して流出する圧縮気体の圧力を調整する気体圧調整手段と、この気体圧調整手段から上記連通管を介して供給される圧力気体を噴出させることにより上記排気路内を減圧する噴出手段と、上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間で上記連通管を開閉する第１の開閉弁と、上記アームと上記噴出手段の間で上記連通管を開閉する第２の開閉弁と、上記アームと上記第２の開閉弁の間で上記排気路内の圧力を検出する圧力検出手段と、を有し、上記圧力検出手段は、上記アーム上における上記被処理体の有無を検出する第１の圧力手段と、上記排気路内の圧力漏れを検出する第２の圧力検出手段と、を有し、上記第２の開閉弁は、上記第２の圧力検出手段の検出結果に基づいて開閉することを特徴とする被処理体の真空保持装置。
【請求項２】
上記移動体が自動搬送車であることを特徴とする請求項１に記載の被処理体の真空保持装置。
【請求項３】
上記アームを複数有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被処理体の真空保持装置。
【請求項４】
上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間に上記連通管内の圧力を検出する第３の圧力検出手段を設け、上記第３の圧力検出手段の検出結果に基づいて上記コンプレッサを駆動させることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の被処理体の真空保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理体の真空保持装置に関し、更に詳しくは自動搬送装置等の移動体に搭載される被処理体の真空保持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば半導体装置の検査工程では半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称す。）の検査装置としてプローバが広く用いられている。プローバは、通常、ローダ室とプローバ室とを備え、ウエハ状態でデバイスの電気的特性検査を行う。ローダ室は、複数（例えば、２５枚）のウエハが収納されたキャリアを載置するキャリア載置部と、キャリア載置部からウエハを一枚ずつ搬送するウエハ搬送機構（以下、「ピンセット」と称す。）と、ピンセットを介して搬送されるウエハのプリアライメントを行うプリアライメント機構（以下、「サブチャック」と称す。）とを備えている。また、プローバ室は、ウエハを載置してＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する載置台（以下、「メインチャック」と称す。）と、メインチャックと協働してウエハのアライメントを行うアライメント機構と、メインチャックの上方に配置されたプローブカードと、プローブカードとテスタ間に介在するテストヘッドとを備えている。
【０００３】
従って、ウエハの検査を行う場合には、まずオペレータがロット単位で複数のウエハが収納されたキャリアをローダ室のキャリア載置部に載置する。次いで、プローバが駆動すると、ピンセットがキャリア内のウエハを一枚ずつ取り出し、サブチャックを介してプリアライメントを行った後、ピンセットを介してプローバ室内のメインチャックへウエハを引き渡す。プローバ室ではメインチャックとアライメント機構が協働してウエハのアライメントを行う。アライメント後のウエハをメインチャックを介してインデックス送りしながらプローブカードと電気的に接触させて所定の電気的特性検査を行う。ウエハの検査が終了すれば、メインチャック上のウエハをローダ室のピンセットで受け取ってキャリア内の元の場所に戻した後、次のウエハの検査を上述の要領で繰り返す。キャリア内の全てのウエハの検査が終了すれば、オペレータが次のキャリアと交換し、新たなウエハについて上述の検査を繰り返す。
【０００４】
しかしながら、例えば３００ｍｍウエハのように大口径化すると、複数枚のウエハが収納されたキャリアは極めて重いため、オペレータがキャリアを持ち運ぶことが殆ど不可能に近くなって来ている。また、持ち運びできたとしても重量物であるため一人での持ち運びには危険を伴う。このようなことはプローバに限らず半導体製造装置一般に云えることでもある。
【０００５】
そこで、特開平１０−３０３２７０号公報では自動搬送車（以下、「ＡＧＶ」と称す。）を使ってキャリアをロット単位で搬送する方法が提案されている。この搬送方法を用いればウエハの搬送は解決することができる。
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ウエハの大口径化及びデバイスの超微細化により一枚のウエハに形成されるデバイスの数が飛躍的に増え、一枚のウエハの検査を終えるにも長時間を要する上に、ロット単位でウエハの検査を行うと全てのウエハの検査を終了するまで検査済みのウエハまでプローバ（キャリア）内に止め置くことになり、ロット単位のウエハを後工程に廻す時間がそれだけ遅延し、結果的にＴＡＴ（Turn-Around-Time）の短縮が難しい。
【０００７】
そこで、ウエハを一枚ずつ複数のプローバに分散して複数のプローバでウエハを並行処理し、検査を終えたウエハを順次取り出してロット毎にキャリアに纏め、纏まったウエハをキャリア単位で次工程へ廻すことでＴＡＴを短縮することができる。この場合にはウエハを一枚ずつ受け渡すためにＡＧＶにもピンセットを搭載する必要がある。しかしながら、ピンセットを用いてウエハを一枚ずつアーム上に保持するためには、真空吸着機構が必要になる。真空吸着機構としては例えばコンプレッサとエジェクタを用いた機構が簡便で好ましいが、ＡＧＶに搭載できるコンプレッサの駆動源であるバッテリの電源容量には限界があり、真空吸着に必要な排気流量を十分に確保することができないという課題があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、移動体に搭載する低容量の電源でも排気流量を十分に確保することができると共に被処理体を真空吸着するために所定の真空度を保持することができ、被処理体をアーム上に確実に真空吸着することができる被処理体の真空保持装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載の被処理体の真空保持装置は、被処理体を吸着保持するアームと、このアーム内に形成され且つ上記アームの吸着面で開口する排気路と、この排気路に連通管を介して連結された真空吸着機構とを備え、移動体に搭載して使用する被処理体の真空保持装置であって、上記真空吸着機構は、搭載電源で駆動するコンプレッサと、このコンプレッサから上記連通管を介して圧送される気体を圧縮気体として貯留する容器と、この容器内から上記連通管を介して流出する圧縮気体の圧力を調整する気体圧調整手段と、この気体圧調整手段から上記連通管を介して供給される圧力気体を噴出させることにより上記排気路内を減圧する噴出手段と、上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間で上記連通管を開閉する第１の開閉弁と、上記アームと上記噴出手段の間で上記連通管を開閉する第２の開閉弁と、上記アームと上記第２の開閉弁の間で上記排気路内の圧力を検出する圧力検出手段と、を有し、上記圧力検出手段は、上記アーム上における上記被処理体の有無を検出する第１の圧力手段と、上記排気路内の圧力漏れを検出する第２の圧力検出手段と、を有し、上記第２の開閉弁は、上記第２の圧力検出手段の検出結果に基づいて開閉することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項２に記載の被処理体の真空保持装置は、請求項１に記載の発明において、上記移動体が自動搬送車であることを特徴とする被処理体のものである。
【００１１】
また、本発明の請求項３に記載の被処理体の真空保持装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記アームを複数有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項４に記載の被処理体の真空保持装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記気体圧調整手段と上記噴出手段の間に上記連通管内の圧力を検出する第３の圧力検出手段を設け、上記第３の圧力検出手段の検出結果に基づいて上記コンプレッサを駆動させることを特徴とするものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１６に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
まず、本実施形態の被処理体の真空保持装置を適用した被処理体（以下、「ウエハ」と称す。）を搬送する搬送システムについて説明する、この搬送システムＥは、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハ（図示せず）の検査工程を含む工場全体を生産管理するホストコンピュータ１と、このホストコンピュータ１の管理下でウエハの電気的特性検査を行う複数の検査装置（例えば、プローバ）２と、これらのプローバ２に対してそれぞれの要求に応じてウエハを一枚ずつ自動搬送する複数の自動搬送装置３と、これらのＡＧＶ３を制御する搬送制御装置（以下、「ＡＧＶコントローラ」と称す。）４とを備えている。プローバ２とＡＧＶ３は、ＳＥＭＩ規格Ｅ２３やＥ８４に基づく光結合された並列Ｉ／Ｏ（以下、「ＰＩＯ」と称す。）インターフェースを有し、両者間でＰＩＯ通信を行うことによりウエハＷを一枚ずつ受け渡すようにしてある。このプローバ２はウエハＷを一枚ずつ枚葉単位で受け取って検査を行うため、枚葉式プローバ２として構成されている。以下では枚葉式プローバ２を単にプローバとして説明する。また、ＡＧＶコントローラ４はホストコンピュータ１とＳＥＣＳ(Semiconductor Equipment Communication Standard)通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ１の管理下でＡＧＶ３を無線通信を介して制御すると共にウエハＷをロット単位で管理している。
【００１８】
また、図１に示すように、複数のプローバ２はグループコントローラ５を介してホストコンピュータ１とＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ１はグループコントローラ５を介して複数のプローバ２を管理している。グループコントローラ５は、プローバ２のレシピデータやログデータ等の検査に関する情報を管理している。また、各プローバ２にはそれぞれテスタ６がＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、各プローバ２はそれぞれのテスタ６からの指令に従って所定の検査を個別に実行する。これらのテスタはテスタホスト７を介してホストコンピュータ１とＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、ホストコンピュータ１はテスタホストコンピュータ（以下、「テスタホスト」と称す。）７を介して複数のテスタ６を管理している。また、ホストコンピュータ１にはウエハの検査結果に基づいて所定のマーキングを行うマーキング装置８がマーキング指示装置９を介して接続されている。マーキング指示装置９はテスタホスト７のデータに基づいてマーキング装置８に対してマーキングを指示する。更に、ホストコンピュータ１には複数のキャリアＣを保管するストッカ１０がＳＥＣＳ通信回線を介して接続され、ストッカ１０はホストコンピュータ１の管理下で検査の前後のウエハをキャリア単位で保管、分類すると共にキャリア単位でウエハの出し入れを行う。
【００１９】
而して、プローバ２は、図２の（ａ）に示すように、ローダ室２１と、プローバ室２２とを備えている。ローダ室２１はアダプタ２３、ピンセット２４及びサブチャック２５を有し、アダプタ２３を除き従来のプローバに準じて構成されている。アダプタ２３はＡＧＶ３との間でウエハＷを一枚ずつ受け渡す第１の受け渡し機構として構成されている。アダプタ２３の詳細は後述する。ピンセット２４は、上下二段のアーム２４１を有し、それぞれのアーム２４１でウエハＷを真空吸着して保持し、真空吸着を解除することでアダプタ２３との間でウエハの受け渡しを行い、受け取ったウエハＷをプローバ室２２へ搬送する。サブチャック２５はピンセット２４でウエハＷを搬送する間にオリフラを基準にプリアライメントを行う。また、プローバ室２２はウエハチャック２６、アライメント機構２７及びプローブカード２８を有している。メインチャック２６はＸ、Ｙテーブル２６１を介してＸ、Ｙ方向へ移動すると共に図示しない昇降機構及びθ回転機構を介してＺ及びθ方向へ移動する。アライメント機構２７は、従来公知のようにアライメントブリッジ２７１、ＣＣＤカメラ２７２等を有し、メインチャック２６と協働してウエハＷとプローブカード２８とのアライメントを行う。プローブカード２８は複数のプローブ２８Ａを有し、プローブ２８Ａとメインチャック２６上のウエハが電気的に接触し、テストヘッド（図示せず）を介してテスタ６と接続される。尚、ピンセット２４は上下二段のアーム２４１を有しているため、以下では必要に応じて上段のアームをアーム２４１Ａ、下段のアームを２４１Ｂとして説明する。
【００２０】
アダプタ２３は本実施形態に固有の機器である。このアダプタ２３は、図２の（ｂ）に示すように、偏平な筒状に形成され且つテーパ面を有するアダプタ本体２３１と、アダプタ本体２３１の底面中央で昇降するサブチャック２３２とを備え、ＡＧＶ３との間あるいはピンセット２４との間でウエハＷを受け渡す際にサブチャック２３２が昇降すると共にウエハＷを吸着保持できるようにしてある。このアダプタ２３は、例えばキャリアテーブル（図示せず）に着脱可能に配設され、キャリアテーブルのインデクサ（図示せず）を介して昇降するようになっている。キャリアテーブルはキャリアも配置可能に構成され、キャリアあるいはアダプタ２３を判別する判別センサ（図示せず）を有している。従って、ウエハＷを受け渡す際に、アダプタ２３がインデクサを介して上昇すると共に、図２の（ｂ）に示すようにサブチャック２３２がウエハＷの受け渡し位置まで上昇し、ウエハＷを受け取った後、同図に二点鎖線で示す位置まで下降してアダプタ本体２３１を介してウエハＷのセンタリングを行う。
【００２１】
また、ＡＧＶ３は、図１の（ｂ）、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、装置本体３１と、装置本体３１の一端部に配置され且つキャリアＣを載置する昇降可能なキャリア載置部３２と、キャリア内でのウエハの収納位置を検出するマッピングセンサ３３と、キャリアＣ内のウエハを搬送するピンセット３４と、ウエハＷのプリアライメントを行うサブチャック３５と、光学式のプリアライメントセンサ３６（図１１参照）と、ウエハＷのＩＤコード（図示せず）を読み取る光学式文字読取装置（ＯＣＲ）３７と、駆動源となるバッテリ（図示せず）とを備え、ＡＧＶコントローラ４との無線通信を介してストッカ１０とプローバ２間や複数のプローバ２間を自走してキャリアＣを搬送し、ピンセット３４を介してキャリアＣのウエハ２Ｗを複数のプローバ２に対して一枚ずつ配るようにしてある。
【００２２】
ピンセット３４はＡＧＶ３に搭載されたウエハ搬送機構である。このピンセット３４はウエハＷの受け渡し時に回転及び昇降可能に構成されている。即ち、ピンセット３４は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、ウエハＷを真空吸着する上下二段のアーム３４１を有する真空保持装置３８と、これらのアーム３４１を前後動可能に支持する正逆回転可能な基台３４２と、基台３４２内に収納された駆動機構（図示せず）とを備え、ウエハＷを受け渡す際に後述のように上下のアーム３４１が駆動機構を介して基台３４２上で個別に前後へ移動し、ウエハＷを受け渡す方向へ基台３４２が正逆回転する。尚、以下では、必要に応じて上段のアームをアーム３４１Ａ、下段のアームを３４１Ｂとして説明する。
【００２３】
しかし、ＡＧＶ３に搭載可能なコンプレッサは搭載バッテリを電源にしているが、前述したようにバッテリとしては例えばせいぜい２５Ｖ程度の低容量ものしか搭載することができないため、ピンセット３４の真空吸着機構としては利用するには空気流量が不足する。即ち、ＡＧＶ３の搭載バッテリを電源とする小型のコンプレッサ３４４で空気をそのままエジェクタ３４７Ａから排気してもコンプレッサ３４４の空気流量が小さいため、アーム３４１の排気路３４１Ｃ内の空気を十分に吸引排気することができず、アーム３４１上にウエハＷを真空吸着することができない。そこで、本実施形態の被処理体の真空保持装置３８に以下のような特殊な工夫を施すことで流量不足を補っている。
【００２４】
即ち、本実施形態の真空保持装置３８は、図３、図４に示すように、ウエハＷを吸着保持する上下二段のアーム３４１と、これらのアーム３４１内に形成された且つウエハＷの吸着面で開口する排気路３４１Ｃと、この排気路３４１Ｃに配管３４４Ａを介して連結された真空吸着機構３４３とを備え、ＡＧＶコントローラ４の制御下で駆動する。この真空吸着機構３４３は、搭載バッテリで駆動するコンプレッサ３４４と、このコンプレッサ３４４から圧送される空気を所定の圧力（例えば、０．４５ＭＰａ）で圧縮空気として貯留する空気タンク３４５と、この空気タンク３４５から流出する圧縮空気の圧力を調整する気体圧調整機構３４６と、この気体圧調整機構３４６から供給される圧力空気を噴出させるエジェクタ３４７Ａとを備えている。
【００２５】
コンプレッサ３４４は空気を圧送して所定圧力で圧縮空気を空気タンク３４５内に一旦貯留する。ＡＧＶ３の搭載バッテリを電源とする小型のコンプレッサ３４４の空気流量が小さくても所定量の圧縮空気で空気タンク３４５内に一旦貯留することによってウエハＷの真空吸着に必要な空気流量を確保することができる。即ち、空気タンク３４５内に貯留された圧縮空気を利用することによりウエハＷの真空吸着に必要な空気流量を確保することができる。気体圧調整機構３４６は、図４に示すように、エアフィルタ３４６Ａ、減圧弁３４６Ｂ、及び圧力計３４６Ｃを有し、空気タンク３４５内の圧縮空気を貯留すると共にウエハＷの真空吸着に必要な一定の流量で圧縮空気をエジェクタ３４７Ａから外部へ排気する。尚、図３の配管３４４Ａの斜線部分は減圧部分である。
【００２６】
また、真空吸着機構３４３は、気体圧調整機構３４６とエジェクタ３４７Ａの間に配設された配管３４４Ａを開閉する切換弁３４７と、アーム３４１とエジェクタ３４７Ａの間に配設された配管３４４Ａを開閉するパイロット付き逆止弁３４８と、アーム３４１とパイロット付き逆止弁３４８の間に配設された排気路３４１Ｃ内の圧力を検出する圧力センサ３４９とを備え、アーム３４１でウエハＷを保持し解放するように構成されている。
【００２７】
切換弁３４７は図４に示すようにソレノイドバルブによって構成され、ソレノイドが付勢されると気体圧調整機構３４６とアーム３４１とを連通し、それ以外の時は気体圧調整機構３４６をアーム３４１から遮断する。従って、切換弁３４７が付勢される気体圧調整機構３４６から一定圧の空気が流れ、エジェクタ３４７Ａから空気を排気すると共にアーム３４１の排気路３４１Ｃから空気を吸引して排気する。この時、アーム３４１でウエハＷを保持していると、アーム３４１の排気路３４１Ｃの開口部をウエハＷで閉じているため、排気路３４１Ｃ（図４では配管３４４Ａの減圧部分も排気路３４１Ｃとして示してある）内は減圧状態になってウエハＷをアーム３４１上に真空吸着することになる。この時の真空度を圧力センサ３４９が検出し、この検出値に基づいて切換弁３４７のＯＮ、ＯＦＦを制御する。また、空気タンク３４５内の空気が消費されることで圧力計３４６Ｃの検出値に基づいてコンプレッサ３４４のＯＮ、ＯＦＦを制御する。また、パイロット付き逆止弁３４８はソレノイドが付勢されるとアーム３４１の排気路３４１Ｃをエジェクタ３４７Ａ側に連通して排気路３４１Ｃから空気を吸引し、ソレノイドが付勢状態でなくなるとパイロット付き逆止弁３４８が排気路３４１Ｃを閉じて所定の減圧度を保持する。アーム３４１での真空吸着を解除する時にはパイロット付き逆止弁３４８のソレノイドを付勢して排気路３４１Ｃとエジェクタ３４７Ａを連通させて排気路３４１Ｃを大気に開放すれば良い。
【００２８】
また、圧力センサ３４９は、図４に示すように、第１圧力スイッチ３４９Ａ及び第２圧力スイッチ３４９Ｂを有し、それぞれ異なった圧力を検出する。第１圧力スイッチ３４９Ａはアーム３４１上のウエハＷの有無を検出するセンサで、排気路３４１Ｃ内の圧力が例えば大気圧より２５ｋＰａ低い圧力を検出し、この検出値に基づいてウエハＷの存在の有無を知らせる。また、第２圧力スイッチ３４９Ｂは排気路３４１Ｃ内の圧力漏れを検出するセンサで、排気路３４１Ｃ内の圧力が例えば大気圧より４０ｋＰａ低い圧力を検出し、内圧がこの検出値より高くなった時点で圧力漏れのあることを知らせる。第２圧力スイッチ３４９Ｂが圧力漏れを検出すると、即ち排気路３４１Ｃ内の圧力が高くなると（真空度が低下すると）、第２圧力スイッチ３４９Ｂの検出結果に基づいてソレノイドバルブ３４７を付勢してパイロット付き逆止弁３４８が開いて圧縮空気をエジェクタ３４７Ａから排気することにより排気路３４１Ｃ内の減圧を行い、第２圧力スイッチ３４９Ｂの圧力が大気圧より４０ｋＰａ以上低い圧力に達したらソレノイドバルブ３４７をＯＦＦすると共にパイロット付き逆止弁３４８が閉じて減圧状態を保持する。また、圧力計３４６Ｃの値が所定の値を下回った場合には、コンプレッサ３４４が駆動して空気タンク３４５内に圧縮空気を補充する。
【００２９】
而して、ＡＧＶ３がプローバ２のウエハＷの受け渡し位置に到達すると、ＡＧＶ３においてピンセット３４が駆動してキャリアＣ内のウエハＷを一枚ずつ取り出す。ところが、図５に示すようにキャリアＣの内面には例えば上下方向に２５段の溝Ｃ１が形成され、これらの溝Ｃ１にそれぞれウエハＷを挿入して水平に収納している。そのため、ウエハＷはキャリアＣ内の溝Ｃ１に左右にゆとりを持って挿入されウエハＷの左右に隙間があるため、ピンセット３４を用いてキャリアＣからウエハＷを取り出した後、例えば光学式のセンサを用いてセンタリングを行う必要がある。ところが、本実施形態ではキャリアＣを利用してウエハＷのセンタリングを行う。
【００３０】
即ち、キャリアＣは、図５に示すように、キャリアＣの背面に向けて側面が徐々に狭くなる傾斜面Ｃ２が左右対称に形成されている。そこで、ウエハＷのセンタリングを行う際にこの傾斜面Ｃ２を利用する。例えば、図５に示すようにピンセット３４を駆動し、真空吸着機構３４３をＯＦＦの状態にしてアーム３４１を所定のウエハＷの下側からカセットＣ内へ挿入する。この間にピンセット３４を僅かに持ち上げてアーム３４１上にウエハＷを載せる。この状態でアーム３４１をキャリアＣ内の奥へ更に挿入すると、アーム３４１を介してウエハＷが同図の破線で示す位置から奥に移動する間にキャリアＣの左右の傾斜面Ｃ２と接触して止まる一方、アーム３４１は奥に進入する。この際、左右の傾斜面Ｃ２は左右対称になっているため、ピンセット３４１がウエハＷをキャリアＣ内に押し込む間にアーム３４１上のウエハＷを左右の傾斜面Ｃ２に接触させて自動的にセンタリングを行うことができる。センタリング後に真空吸着機構３４３が駆動してウエハＷをアーム３４１で吸着保持する。この状態でアーム３４１がキャリアＣ内から後退し、ウエハＷをキャリアＣから取り出す。ピンセット３４は上述のようにしてキャリアＣから一枚のウエハＷを取り出すと、９０°回転してプローバ２のアダプタ２３にウエハＷを受け渡す。
【００３１】
ＡＧＶ３のピンセット３４がプローバ２のアダプタ２３との間でウエハＷの受け渡しを行う際には、前述のようにプローバ２とＡＧＶ３間で光結合ＰＩＯ通信を行う。そのため、ＡＧＶ３とプローバ２はそれぞれＰＩＯ通信インターフェースを備え、互いにＰＩＯ通信利用して一枚のウエハＷの受け渡しを正確に行うようにしてある。ＡＧＶ３は従来にないピンセット３４を備えているため、従来のＳＥＭＩ規格で規定された通信回線に加えて、ピンセット３４の真空吸着機構３４３を制御するための信号回線及びアーム３４１を制御するための信号回線を有している。
【００３２】
また、プローバ２は前述のようにウエハＷの受け渡しのためのロードポートとして一つのアダプタ（以下では、必要に応じて「ロードポート」とも称す。）２３を備えている。ところが、ロードポート２３が一つの場合にはプローバ２では検査済みのウエハＷを取り出すまでは次のウエハＷを投入することができず、スループット向上に限界があった。そこで、本実施形態では図６に示すようにソフトウエアによって実際のロードポート（以下、「実ロードポート」と称す。）２３とは別に仮想ロードポート２３Ｖを少なくとも一つプローバ２に設定し、あたかも複数のロードポートがあるかのごとく取り扱うようにしてある。即ち、ＡＧＶ３は、ウエハＷを受け渡す際に図６に示すようにプローバ２内に検査済みのウエハＷが存在していても、光信号ＬによるＰＩＯ通信を行う時にソフトウエアを介してＰＩＯ通信インターフェースの信号回線のロードポート番号を切り換え、プローバ２内にウエハＷが存在していても新たにウエハＷを投入することができる。
【００３３】
ＡＧＶ３とプローバ２とのＰＩＯ通信を介してプローバ２に仮想ロードポート２３Ｖを指定すると、実ロードポート２３に検査済みのウエハＷを戻すことなく、例えばアンロード用のアーム２４１やアンロードテーブル（図示せず）が仮想ロードポート２３Ｖとして機能し、これらで検査済みのウエハＷを保持し、アダプタ２３を空けておき次のウエハＷを待機することができる。このように仮想ロードポート２３Ｖを設けることで、アンロード用のアーム２４１やアンロードテーブル（図示せず）をフルに活用することができ、スループットの向上を図ることができ、余分な実ロードポートを設ける必要がなく、フットプリントアップや装置のコストアップを防止することができる。
【００３４】
ところで、本実施形態の搬送システムＥは、図１、図７に示すように、ＡＧＶ３のピンセット３４とプローバ２のアダプタ２３との間でウエハＷを正確に受け渡すために独自のＰＩＯ通信インターフェース１１Ａ、１１Ｂを備えている。これらのＰＩＯ通信インターフェース１１Ａ、１１Ｂは、図７に示すように、それぞれ８つのポートを有する８ビットで構成され、第１ビットから第８ビットには同図に示す信号が割り振られている。
【００３５】
そこで、図７に示すＰＩＯ通信インターフェース１１Ａ、１１Ｂを用いたＰＩＯ通信を利用したＡＧＶ３とプローバ２間のウエハＷの受け渡し方法について図８〜図１６を参照しながら説明する。図８〜図１２はＡＧＶ３からプローバ３へウエハＷをロードする方法を示し、図１３はプローバ２内のウエハＷの流れを示し、図１４から図１６はプローバ２からＡＧＶ３へウエハＷをアンロードする方法を示す。
【００３６】
まず、ＡＧＶ３からプローバ２へウエハＷを受け渡すウエハのロード方法について説明する。ホストコンピュータ１がＳＥＣＳ通信を介してＡＧＶコントローラ４へウエハＷの搬送指令を送信すると、図８のフローチャートに示すように、ＡＧＶ３はＡＧＶコントローラ４の制御下でプローバ２の前（ウエハ受け渡し位置）へ移動する（ステップＳ１）。ＡＧＶ３が図１０の（ａ）に示すようにプローバ２に到達すると、図１０の（ｂ）に示すようにマッピングセンサ３３がキャリアＣ側へ進出すると共にピンセット３４が昇降し、ピンセット３４が昇降する間にマッピングセンサ３３を介してキャリアＣ内のウエハＷの収納状況をマッピングした後、図１０の（ｃ）に示すようにピンセット３４の上段アーム３４１Ａが前進して所定のウエハＷの僅か下方からキャリアＣ内に進入する。この間に図８のフローチャートに示すようにアーム３４１ＡとキャリアＣを介してウエハＷのセンタリングを行う（ステップＳ２）。即ち、図１０の（ｃ）に示すようにアーム３４１ＡがキャリアＣの最奥部へ進入する間に、ピンセット３４が僅かに上昇してアーム３４１Ａ上にウエハＷを載せ、そのままアーム３４１Ａが最奥部に到達する。この間にアーム３４１ＡはウエハＷをキャリアＣの左右対称の傾斜面Ｃ２に接触させてウエハＷのセンタリングを行う。次いで、ピンセット３４の真空吸着機構３４３（図３、図４参照）が駆動してアーム３４１ＡでウエハＷを真空吸着した後、アーム３４１ＡがキャリアＣから後退してセンタリング後のウエハＷをキャリアＣから取り出す（ステップＳ２）。
【００３７】
アーム３４１ＡでウエハＷをキャリアＣから取り出すと、図１０の（ｄ）に示すようにサブチャック３５が上昇してアーム３４１からウエハＷを受け取った後、サブチャック２５が回転する間にプリアライメントセンサ３６を介してウエハＷのプリアライメントを行う。引き続き、図１０の（ｅ）に示すようにサブチャック３５が回転を停止した後下降し、ウエハＷをアーム３４１Ａへ戻す間にピンセット３４が上昇しＯＣＲ３７でウエハＷに附されたＩＤコードを読み取ってウエハＷのロットを識別した後、図１０の（ｆ）に示すようにピンセット３４が９０°回転してプローバ２のアダプタ２３にアーム３４１の向きを合わせ、図１１の（ａ）に示す状態になる。ＯＣＲ３７で識別されたウエハＷのＩＤコードは後述の光通信によってＡＧＶ３からプローバ２に通知する。
【００３８】
次いで、図８、図９に示すようにＡＧＶ３とプローバ２間の光結合ＰＩＯ通信を開始する。まず、図８、図９に示すようにＡＧＶ３はプローバ２に対してＨｉｇｈ状態のＣＳ_０信号を送信した後、Ｈｉｇｈ状態のＶＡＬＩＤ信号を送信する。ＣＳ_０信号がＨｉｇｈ状態で有効であればＶＡＬＩＤ信号はＨｉｇｈ状態を維持し、プローバ２のアダプタ（ロードポート）２３がウエハＷの受け取り可能な状態を確認する（ステップＳ３）。プローバ２はＶＡＬＩＤ信号を受信すると図９に示すようにプローバ２のＬ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状態になってＡＧＶ３へＬ_ＲＥＱ信号を送信してウエハロードのための搬送を指示する。
【００３９】
ＡＧＶ３は図８に示すようにＬ_ＲＥＱ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ４）、ＡＧＶ３がＬ_ＲＥＱ信号を受信していないと判断すると、プローバ２はＡＧＶ３へＬ_ＲＥＱ信号を送信する（ステップＳ５）。ＡＧＶ３がＬ_ＲＥＱ信号を受信した旨判断すると、ウエハＷの搬送を開始するためにＡＧＶ３のＴＲ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状態になってプローバ３へＴＲ_ＲＥＱ信号を送信し（ステップＳ６）、ＡＧＶ３はプローバ２に対してウエハＷの搬送を開始する旨通知する。プローバ２は図９に示すようにＴＲ_ＲＥＱ信号を受信するとＲＥＡＤＹ信号がＨｉｇｈ状態になってＡＧＶ３に対してＲＥＡＤＹ信号を送信し、ロードポート２３がアクセス可能になっていることをＡＧＶ３に通知する。
【００４０】
ＡＧＶ３はプローバ２からＲＥＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ７）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判断すると、プローバ２はＡＧＶ３へＲＥＡＤＹ信号を送信する（ステップＳ８）。ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信した旨判断すると、図９に示すようにＡＧＶ３ではＢＵＳＹ信号がＨｉｇｈ状態になってプローバ３へその信号を送信し（ステップＳ９）、プローバ２に対してウエハＷの搬送を開始する旨通知する。
【００４１】
次いで、ＡＧＶ３は図８に示すようにＡＥＮＢ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ１０）、ＡＧＶ３がＡＥＮＢ信号を受信していないと判断すると、図９に示すようにプローバ２ではＡＥＮＢ信号をＨｉｇｈ状態にして送信を開始する（ステップＳ１１）。このＡＥＮＢ信号はＡＧＶ３からのＢＵＳＹ信号がＨｉｇｈ状態になった後、ロード時にはアダプタ２３のサブチャック２３２が下降位置にあってウエハＷを保持していない時、つまりウエハＷをロードできる状態の時にＨｉｇｈ状態になり、アンロード時にはサブチャック２３２が上昇位置にあってウエハＷを保持し、ウエハＷをアンロードできることを確認してＨｉｇｈ状態になる。また、ＡＥＮＢ信号はアダプタ２３内のサブチャック２３２の真空吸着センサでロード時にウエハＷを検出してロードできない時にはＬｏｗ状態になり、アンロード時にウエハＷを検出せず、アンロードできない時にＬｏｗ状態になる。
【００４２】
而して、ステップＳ１０においてＡＧＶ３がＨｉｇｈ状態のＡＥＮＢ信号を受信した旨判断すると、ＡＧＶ３からのウエハＷの搬送（ロード）を開始し（ステップＳ１１）、図１１の（ａ）に示す状態からピンセット３４の上段アーム３４１Ａがプローバ２のアダプタ２３に向けて進出し、同図の（ｂ）に示すようにウエハＷをロードポート２３の真上まで搬送する。
【００４３】
次いで、ＡＧＶ３はプローバ２へＰＥＮＢ信号を送信した後（ステップＳ１２）、プローバ２でウエハＷを検出してＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＬ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断し（ステップＳ１３）、プローバ２がいずれの信号もＨｉｇｈ状態でサブチャック２３２が下降位置でウエハＷが無く、アクセス可能状態である判断すると、図１１の（ｃ）に示すようにサブチャック２３２が上昇すると共にピンセット３４の真空吸着機構３４３が真空吸着を解除する。ＰＥＮＢ信号はロード時には真空吸着機構３４３をＯＦＦにした時にＨｉｇｈ状態になる。また、ロードポート２３内のサブチャック２３２は図９に示すように真空吸着を行ってウエハＷを受け取る（ステップＳ１４）。引き続き、図９に示すようにプローバ２がＡＥＮＢ信号をＬｏｗ状態にしてＡＧＶ３へその信号を送信し、サブチャック３２３でウエハＷを保持している旨通知する（ステップＳ１５）。また、これと同時にプローバ２はＬ_ＲＥＱ信号をＬｏｗ状態にしてその信号をＡＧＶ３へ送信し、Ｌｏｗでいない旨通知する（ステップＳ１６）。これによりＡＧＶ３はこのプローバ２では現在のところ次のウエハＷをロードでいないことを認識する。
【００４４】
その後、ステップＳ１３へ戻り、再度プローバ２でウエハＷを検出してＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＬ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断し、いずれの信号もＬｏｗ状態であり、ロードを終了した旨判断すると、アーム３４１Ａをロードポート２３からＡＧＶ３へ戻す（ステップＳ１７）。ＡＧＶ３ではアーム３４１Ａが戻るとＴＲ_ＲＥＱ信号、ＢＵＳＹ信号、ＰＥＮＢ信号をいずれもＬｏｗ状態にしてそれぞれの信号をプローバ２へ送信し、ウエハＷのロードを終了した旨通知する（ステップＳ１８）。
【００４５】
次いで、ＡＧＶ３は図９に示すようにＣＯＭＰＴ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ２へ送信してウエハＷの搬送作業を完了した旨通知した後（ステップＳ１９）、ＡＧＶ３がプローバ２からＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ２０）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判断すると、図９に示すようにプローバ２がＲＥＡＤＹ信号をＬｏｗ状態してＡＧＶ３へ送信し、一連の搬送作業が完了したことを通知する（ステップＳ２１）。ＡＧＶ３がＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信した旨判断すると、図９に示すようにＡＧＶ３ではＣＳ_０信号、ＶＡＬＩＤ信号をＬｏｗ状態にしてプローバ３へそれぞれの信号を送信し（ステップＳ２２）、ウエハＷの搬送作業を終了すると共に図１１の（ｄ）に示すようにピンセット３４を逆方向に９０°回転させ、ホストコンピュータ１の指示を待って次のウエハＷの受け渡し態勢に入る。
【００４６】
プローバ２では図１１の（ｅ）に示すようにアダプタ２３内でウエハＷを受け取ったサブチャック２３２が一旦下降してアダプタ２３内でウエハＷのセンタリングを行った後、同図の（ｆ）に示すようにアダプタ２３がピンセット２４とのウエハＷの受け渡し位置まで下降すると共にサブチャック２３２が上昇してアダプタ本体２３１の上方まで上昇する。この状態でピンセット２４の上段アーム２４１Ａが同図の（ｇ）に示すようにアダプタ２３側へ進出し、アダプタ２３のサブチャック２３１が下降すると共にアーム２４１ＡでウエハＷを真空吸着して受け取る。
【００４７】
アーム２４１ＡでウエハＷを受け取ると、アーム２４１は図１２の（ａ）に示すように向きをプローバ室２２内のメインチャック２６の方向に向ける。後は従来のプローバと同様に、同図の（ｂ）に示すようにピンセット２４とサブチャック２５が協働してウエハＷのプリアライメントを行った後、同図の（ｃ）に示すようにメインチャック２６へウエハＷを引き渡す。更に、同図の（ｄ）に示すようにアライメント機構２７を介してアライメントを行った後、同図の（ｅ）に示すようにメインチャック２６をインデックス送りを行いながらウエハＷとプローブカード２８のプローブ２８Ａと電気的に接触させてウエハＷの電気的特性検査を行う。尚、図１２の（ｂ）、（ｃ）において２６ＡはウエハＷの昇降ピンである。
【００４８】
ウエハＷを受け取ったプローバ２が検査を実施している間に、ウエハＷの受け渡しを終了した上述のＡＧＶ３はホストコンピュータ１の制御下で同一ロットのウエハＷを他の複数のプローバ２の要求に応じて、上述の要領で他の複数のプローバ２との間でウエハＷの受け渡しを行った後、このプローバ２において同一の検査を並行して実施することができる。
【００４９】
プローバ２でのウエハＷの電気的特性検査を終了すると、図１３の（ａ）に示すようにメインチャック２６の昇降ピン２６Ａが上昇してウエハＷをメインチャック２６から持ち上げる。引き続き、同図の（ｂ）に示すようにピンセット２４の下段のアーム２４１Ｂがメインチャック２６へ進出してウエハＷを受け取り、同図の（ｃ）に示すようにピンセット２４を９０°回転させ、先端をアダプタ２３に向けた後、同図の（ｄ）に示すようにピンセット２４がアダプタ２３へ進出すると、同図の（ｅ）に示すようにアダプタ２３内のサブチャック２３２が上昇してウエハＷをアーム２４１Ｂから受け取る。その後、図１３の（ｆ）に示すようにＡＧＶコントローラ４の制御下でＡＧＶ３がプローバ２の前に移動する。ＡＧＶ３がプローバ２と対峙すると、アダプタ２３が図１３の（ｆ）に示すように二点鎖線で示す位置からウエハＷを受け渡す実線位置まで上昇する。
【００５０】
次に、図１４〜図１６を参照しながらプローバ２からＡＧＶ３へウエハＷを引き渡すウエハのアンロード方法について説明する。図１４、図１５に示すようにＡＧＶ３がＡＧＶコントローラ４からの指示に基づいて所定のプローバ２の前に移動すると（ステップ３１）、ＡＧＶ３とプローバ２間のＰＩＯ通信を開始する。ＡＧＶ３はプローバ２に対してＣＳ_０信号を送信した後、ＶＡＬＩＤ信号を送信する（ステップＳ３２）。プローバ２はＶＡＬＩＤ信号を受信すると図１５に示すようにプローバ２のＵ_ＲＥＱ信号がＨｉｇｈ状態になってＡＧＶ３へＵ_ＲＥＱ信号を送信してウエハＷをアンロードするための搬送を指示する。
【００５１】
ＡＧＶ３は図１４に示すようにＵ_ＲＥＱ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ３３）、ＡＧＶ３がＵ_ＲＥＱ信号を受信していないと判断すると、プローバ２はＡＧＶ３へＵ_ＲＥＱ信号を送信する（ステップＳ３４）。これによりステップＳ３３においてＡＧＶ３がＵ_ＲＥＱ信号を受信した旨判断すると、ウエハＷの搬送を開始するためにＡＧＶ３はＴＲ_ＲＥＱ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ３へその信号を送信し（ステップＳ３５）、プローバ２に対してウエハＷの搬送を開始する旨通知する。
【００５２】
次いで、ＡＧＶ３はプローバ２からＲＥＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ３６）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判断すると、プローバ２はＡＧＶ３へＲＥＡＤＹ信号をＨｉｇｈ状態にして送信する（ステップＳ３７）。ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信し、プローバ２へのアクセス可能と判断すると、図１５に示すようにＡＧＶ３ではＢＵＳＹ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ３へその信号を送信し（ステップＳ３８）、プローバ２に対してウエハＷの搬送を開始する。
【００５３】
次いで、ＡＧＶ３は図１４に示すようにプローバ２からＡＥＮＢ信号のＨｉｇｈ状態の受信したか否かを判断し（ステップＳ３９）、ＡＧＶ３がＡＥＮＢ信号を受信していないと判断すると、図１５に示すようにプローバ２はＡＥＮＢ信号をＨｉｇｈ状態にして送信する。（ステップＳ４０）。ステップＳ３９においてＡＧＶ３がＨｉｇｈ状態のＡＥＮＢ信号を受信し、プローバ２におけるウエハＷを検出しロードポート２３内のサブチャック２３２が上昇状態でアンロード可能であると判断すると、ＡＧＶ３からのウエハＷの搬送を開始して図１６の（ａ）に示すようにピンセット３４の下段アーム３４１Ｂをプローバ２のアダプタ２３の真上まで移動させる（ステップＳ４１）。
【００５４】
次いで、ＡＧＶ３は真空吸着機構３４３をＯＮしてプローバ２へＨｉｇｈ状態のＰＥＮＢ信号を送信した後（ステップＳ４２）、プローバ２はウエハＷが無いことを検出してプローバ２のＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＵ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断し（ステップＳ４３）、プローバ２がいずれの信号もＨｉｇｈ状態でサブチャック２３２がアクセス可能状態である判断すると、図１６の（ａ）に示すようにアダプタ２３が上昇すると共にサブチャック２３２が下降した後、ピンセット３４の下段アーム３４１ＢでウエハＷを真空吸着してウエハＷをアダプタ２３からピンセット３４へ引き渡す（ステップＳ４４）。プローバ２はウエハＷが取り除かれたことを検出すると図１５に示すようにＵ_ＲＥＱ信号をＬｏｗ状態にしてその信号をＡＧＶ３へ送信し、ウエハＷが取り除かれたことをＡＧＶ３に通知する（ステップＳ４５）。引き続き、プローバ２はＡＥＮＢ信号をＬｏｗ状態にしてＡＧＶ３へ送信し、アダプタ２３にウエハＷがない旨通知する（ステップＳ４６）。
【００５５】
その後、ステップＳ４３へ戻り、プローバ２はアダプタ２３にウエハＷの無いことを検出してＡＥＮＢ信号がＬｏｗ状態で且つＵ_ＲＥＱ信号がＬｏｗ状態であるか否かを判断し、いずれの信号もＬｏｗ状態でアダプタ２３でのウエハＷのアンロードが終了したと判断すると、アーム３４１Ｂをロードポート２３からＡＧＶ３へ戻す（ステップＳ４７）。ＡＧＶ３はアーム３４１Ｂが戻るとＴＲ_ＲＥＱ信号、ＢＵＳＹ信号、ＰＥＮＢ信号をいずれもＬｏｗ状態にしてそれぞれの信号をプローバ２へ送信し、アンロード作業が終了したことをプローバ２に通知した後（ステップＳ４８）、ＡＧＶ３は図１５に示すようにＣＯＭＰＴ信号をＨｉｇｈ状態にしてプローバ２へ送信し、アンロード作業の完了を通知する（ステップＳ４９）。
【００５６】
次いで、ＡＧＶ３がプローバ２からＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信したか否かを判断し（ステップＳ５０）、ＡＧＶ３がＲＥＡＤＹ信号を受信していないと判断すると、図１４に示すようにプローバ２がＲＥＡＤＹ信号をＬｏｗ状態して送信する（ステップＳ５１）。ＡＧＶ３がＬｏｗ状態のＲＥＡＤＹ信号を受信した旨判断すると、図１５に示すようにＡＧＶ３ではＣＳ_０信号、ＶＡＬＩＤ信号をＬｏｗ状態にしてプローバ３へそれぞれの信号を送信し（ステップＳ５２）、ウエハＷの搬送を終了すると共に図１６の（ｂ）に示すようにピンセット３４を逆方向に９０°回転させた後、図１６の（ｃ）に示すようにサブチャック３５が上昇してウエハＷをアーム３４１Ｂから受け取り、プリアライメントセンサ３６でオリフラを検出する。引き続き、同図の（ｄ）に示すようにサブチャック３５が下降してアーム３４１ＢへウエハＷを戻し、ピンセット３４が上昇してＯＣＲ３７でウエハＷのＩＤコードを読み取った後、同図の（ｅ）に示すようにアーム３４１ＢをキャリアＣ内の元の場所へ収納する。
【００５７】
以上説明したように本実施形態によれば、ウエハＷを吸着保持するアーム３４１と、このアーム３４１内に形成された且つウエハＷの吸着面で開口する排気路３４１Ｃと、この排気路３４１Ｃに配管３４４Ａを介して連結された真空吸着機構３４３とを備え、真空吸着機構３４３は、搭載バッテリで駆動するコンプレッサ３４４と、このコンプレッサ３４４から圧送される気体を圧縮気体として貯留する空気タンク３４５と、この空気タンク３４５から流出する圧縮気体の圧力を調整する気体圧調整機構３４６と、この気体圧調整機構３４６から供給される圧力気体を噴出させるエジェクタ３４７Ａとを有するため、ＡＧＶ３に搭載されたバッテリによって駆動するコンプレッサ３４４から圧送される空気を空気タンク３４５内に圧縮空気として貯留した後、気体圧調整機構３４６を介して圧縮空気の圧力を調整しながらエジェクタ３４７Ａから噴出させることでアーム３４１にウエハＷを確実に真空吸着することができる。
【００５８】
また、本実施形態によれば、上下二段のアーム３４１Ａ、３４１Ｂを有するため、上段のアーム３４１Ａをウエハロード専用に使用することができると共に下段のアーム３４１Ｂをウエハアンロード専用に使用することができ、ウエハＷの搬送能力を高めることができる。また、気体圧調整機構３４６とエジェクタ３４７Ａの間に配管３４４Ａを開閉する切換弁３４７を設けたため、切換弁３４７を介して真空吸着機構３４３を確実にＯＮ、ＯＦＦ制御することができる。アーム３４１とエジェクタ３４７Ａの間に配管３４４Ａを開閉するパイロット付き逆止弁３４８を設けたため、パイロット付き逆止弁３４８を介してウエハＷの真空保持、真空保持解除を確実に制御することができる。アーム３４１とパイロット付き逆止弁３４８の間で排気路３４１Ｃ内の圧力を検出する圧力センサ３４９を設けたため、圧力センサ３４９を介して排気路３４１Ｃ内の真空度を検出してアーム３４１上のウエハＷの保持状況を知ることができ、しかも検出値に基づいてコンプレッサ３４４をＯＮ、ＯＦＦ制御することができる。
【００５９】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて適宜設計変更することができる。例えば、真空吸着機構３４３の空気回路に用いられる弁類は必要に応じて変更することができる。本発明の要旨は、真空吸着する真空吸着機構３４３として用いられるコンプレッサ３４４の流量不足をコンプレッサ３４４で空気タンク３４５に圧縮空気を貯留して空気等の流量を確保する点に特徴がある。
【００６０】
【発明の効果】
本発明によれば、移動体に搭載する低容量の電源でも排気流量を十分に確保することができると共に被処理体を真空吸着するために所定の真空度を保持することができ、被処理体をアーム上に確実に真空吸着することができる被処理体の真空保持装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の被処理体の真空保持装置の一実施形態を示す概念図、（ｂ）はＡＧＶの構成を概念図である。
【図２】（ａ）はプローバとＡＧＶ間のウエハを受け渡す状態を概念的に示す平面図、（ｂ）は（ａ）の要部を示す断面図である。
【図３】ＡＧＶに用いられるピンセットの真空吸着機構を示す概念図である。
【図４】図３に示す真空吸着機構を示す回路図である。
【図５】キャリアを利用したウエハのセンタリング方法を説明するための説明図である。
【図６】プローバに仮想ロードポートを設定した場合のウエハの受け渡しを説明するための説明図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す搬送システムのＰＩＯ通信に用いられるインターフェースを示す構成図である。
【図８】図１に示す搬送システムを用いたウエハの搬送方法に適用されるウエハのロード方法を示すフローチャートである。
【図９】図８に示すロード方法に適用される光通信のタイミングチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｆ）は図８に示すフローチャートに対応するロード工程を示す工程図である。
【図１１】（ａ）〜（ｇ）は図８に示すフローチャートに対応するロード工程を示す工程図である。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）はプローバ内におけるウエハのフローを示す工程図である。
【図１３】（ａ）〜（ｆ）は図８に示すフローチャートに対応するロード工程を示す工程図である。
【図１４】図１に示す搬送システムを用いたウエハの搬送方法におけるウエハのアンロード方法を示すフローチャートである。
【図１５】図１４に示すアンロード方法に適用される光通信のタイミングチャートである。
【図１６】（ａ）〜（ｅ）は図１４に示すフローチャートに対応するアンロード工程を示す工程図である。
【符号の説明】
３８ 被処理体の真空保持装置
３４１ アーム
３４３ 真空吸着機構
３４４ コンプレッサ
３４４Ａ 配管（連通管）
３４５ 空気タンク（容器）
３４６ 気体圧調整機構（気体圧調整手段）
３４６Ｃ 圧力計（第３の圧力検出手段）
３４７ 切換弁（第１の開閉弁）
３４７Ａ エジェクタ（噴出手段）
３４８ パイロット付き逆止弁（第２の開閉弁）
３４９ 圧力センサ（圧力検出手段）
３４９Ａ 第１圧力スイッチ（第１の圧力検出手段）
３４９Ｂ 第２圧力スイッチ（第２の圧力検出手段）
Ｗ ウエハ（被処理体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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