(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイル導体が内蔵されたフェライト素体を有する積層型フェライト部品において、
前記コイル導体が、Ａｇを主成分とする導電性ペーストが焼結されてなると共に、
前記フェライト素体が、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％からなるＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を主成分とし、
Ｂｉ２Ｏ３を０．１０〜０．５０重量％含有していることを特徴とする積層型フェライト部品。
【請求項２】
前記Ｂｉ２Ｏ３の含有量が、０．２５〜０．５０重量％であることを特徴とする請求項１記載の積層型フェライト部品。
【請求項３】
Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％となるようにフェライト素原料を秤量すると共に、Ｂｉ２Ｏ３が０．１０〜０．５０重量％となるように秤量し、これら秤量物を混合して得られたＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を使用して磁性体グリーンシートを作製し、Ａｇを主成分とする導電性ペーストを使用して前記磁性体グリーンシートの表面にコイルパターンを形成し、前記コイルパターンの形成された磁性体グリーンシートを積層して積層体を形成し、酸素濃度が１０体積％以下の焼成雰囲気で前記積層体に焼成処理を施してコイル導体が内蔵されたフェライト素体を作製し、その後、前記コイル導体の端部と電気的に接続可能となるように前記フェライト素体の外表面に外部電極を形成することを特徴とする積層型フェライト部品の製造方法。
【請求項４】
前記酸素濃度は５体積％以下であることを特徴とする請求項３記載の積層型フェライト部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は積層型フェライト部品、及び積層型フェライト部品の製造方法に関し、より詳しくはＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を使用した積層型フェライト部品、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型フェライト部品は、小型軽量で磁気特性が良好であり、信頼性にも優れていることから、各種電子機器に広く使用されている。【０００３】
この種の積層型フェライト部品は、通常、フェライト材料からなる磁性体グリーンシートと導電性材料からなるコイルパターンとを交互に積層してなる積層体に焼成処理を施し、これにより磁性体グリーンシートとコイルパターンとを共焼結させてコイル導体の内蔵されたフェライト素体を作製し、その後フェライト素体の外表面に外部電極を形成することにより製造される。【０００４】
また、導電性材料としては、比較的安価で低抵抗率を有するＡｇやＡｇ合金等のＡｇを主成分とする材料が広く使用されている。【０００５】
一方、フェライト材料としては、近年、環境面やコスト面を考慮し、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料が注目され、盛んに研究・開発されている。【０００６】
例えば、特許文献１では、Ｆｅ２Ｏ３が４５〜５２．５モル％、ＭｇＯが１０〜５０モル％、ＺｎＯが５〜３５モル％、ＣｕＯが１〜１５モル％の主成分組成からなり、２〜７０ｐｐｍのホウ素（Ｂ）を含有したフェライト材料が提案されている。【０００７】
この特許文献１によれば、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライトにおいて、２〜７０ｐｐｍのホウ素（Ｂ）を含有させることにより、造粒性の優れた安価なフェライト材料を得ることができる。【０００８】
【特許文献１】特開平１０−３２４５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１のＭｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料は、その焼成温度が１２００℃と高く、このため磁性体グリーンシートとコイルパターンとを共焼結させることができず、積層型フェライト部品の素材としては適さないという問題点があった。【００１０】
すなわち、前記フェライト材料の焼成温度が１２００℃であるのに対し、Ａｇの融点は９６０℃と低いため、磁性体グリーンシートとコイルパターンとを共焼結させようとすると、融点の低いＡｇが磁性体グリーンシート側に拡散し、このため所望の磁気特性を有する積層型フェライト部品を得ることができなかった。【００１１】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料を使用してもＡｇとの共焼結が可能な程度に低温焼成して得られる積層型フェライト部品、及び該積層型フェライト部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は上記目的を達成するために鋭意研究したところ、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料にＢｉ２Ｏ３を０．１０〜０．５０重量％含有することにより、Ａｇの融点よりも低い９００℃以下の低温でフェライト材料を焼結させることができ、これにより導電性材料としてＡｇを使用した場合であっても、共焼結が可能な積層型フェライト部品を得ることができるという知見を得た。【００１３】
本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る積層型フェライト部品は、コイル導体が内蔵されたフェライト素体を有する積層型フェライト部品において、前記コイル導体が、Ａｇを主成分とする導電性ペーストが焼結されてなると共に、前記フェライト素体が、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％からなるＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を主成分とし、Ｂｉ２Ｏ３を０．１０〜０．５０重量％含有していることを特徴としている。
【００１４】
また、Ｂｉ２Ｏ３の含有量を０．２５〜０．５０重量％とすることにより、良好な磁気特性を確保しつつ、より一層の焼結性向上を図ることができる。【００１５】
すなわち、本発明の積層型フェライト部品は、前記Ｂｉ２Ｏ３の含有量が、０．２５〜０．５０重量％であることを特徴としている。【００１６】
また、本発明に係る積層型フェライト部品の製造方法は、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％となるようにフェライト素原料を秤量すると共に、Ｂｉ２Ｏ３が０．１０〜０．５０重量％となるように秤量し、これら秤量物を混合して得られたＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を使用して磁性体グリーンシートを作製し、Ａｇを主成分とする導電性ペーストを使用して前記磁性体グリーンシートの表面にコイルパターンを形成し、前記コイルパターンの形成された磁性体グリーンシートを積層して積層体を形成し、酸素濃度が１０体積％以下の焼成雰囲気で前記積層体に焼成処理を施してコイル導体が内蔵されたフェライト素体を作製し、その後、前記コイル導体の端部と電気的に接続可能となるように前記フェライト素体の外表面に外部電極を形成することを特徴としている。
【００１７】
さらに、本発明に係る積層型フェライト部品の製造方法は、前記酸素濃度が５体積％以下であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の積層型フェライト部品によれば、コイル導体が、Ａｇを主成分とする導電性ペーストが焼結されてなると共に、フェライト素体が、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％からなるＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を主成分とし、Ｂｉ２Ｏ３を０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％含有しているので、９００℃以下での低温焼成が可能となり、Ａｇを主成分とする導電性材料を使用した場合であってもフェライト素体とコイル導体とが共焼結されてなる積層型フェライト部品を得ることができる。
【００１９】
また、本発明の積層型フェライト部品の製造方法によれば、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％となるようにフェライト素原料を秤量すると共に、Ｂｉ２Ｏ３が０．１０〜０．５０重量％となるように秤量し、これら秤量物を混合して得られたＭｇ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライト材料を使用して磁性体グリーンシートを作製し、Ａｇを主成分とする導電性ペーストを使用して前記磁性体グリーンシートの表面にコイルパターンを形成し、前記コイルパターンの形成された磁性体グリーンシートを積層して積層体を形成し、酸素濃度が１０体積％以下、好ましくは５体積％以下の焼成雰囲気で前記積層体に焼成処理を施してコイル導体が内蔵されたフェライト素体を作製し、その後、前記コイル導体の端部と電気的に接続可能となるように前記フェライト素体の外表面に外部電極を形成するので、Ａｇを主成分として形成されたコイルパターンと磁性体グリーンシートとが共焼結されてコイル導体が内蔵されたセラミック素体が形成されることとなり、良好な磁気特性を確保しつつ、低温焼成可能な積層型フェライト部品を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る積層フェライト部品の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１の断面図である。
【図３】Ｂｉ２Ｏ３の含有量とインダクタンスとの関係を示す図である。
【図４】焼成温度と相対密度との関係を示す図である。
【図５】酸素濃度と相対密度との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００２１】
１  フェライト素体
３  コイル導体
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、本発明の実施の形態を詳説する。【００２３】
図１は本発明に係る積層型フェライト部品の実施の形態を示す斜視図であり、図２は積層型フェライト部品の断面図である。【００２４】
図１及び図２において、本積層型フェライト部品は、フェライト素体１と、フェライト素体１に内蔵されたコイル導体２と、フェライト素体１の両端部に形成された外部導体３ａ、３ｂとから構成されている。【００２５】
また、コイル導体２は、所定のコイルパターンを有するように形成された平面状の内部導体４（４ａ〜４ｇ）が、ビアホール５を介して電気的に直列に接続され、コイル状に巻回されている。そして、本積層型フェライト部品は、内部導体４ａの引き出し部６が一方の外部電極３ｂと電気的に接続されると共に、内部導体４ｇの引き出し部７は他方の外部電極３ａと電気的に接続されている。【００２６】
そして、上記フェライト素体１は、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト系材料を主成分とし、Ｂｉ２Ｏ３が０．１０〜０．５０重量％含有されている。【００２７】
すなわち、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト系材料は、環境面やコスト面から従来のＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト系材料の代替品として有望視されているが、特許文献１からも明らかなように、従来のＭｇ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト系材料は焼成温度が１２００℃と高い。一方、コイル導体２は、通常、Ａｇを主成分とする導電性ペーストの焼結体で形成されることが多いが、Ａｇの融点は９６０℃と低い。したがって、コイル導体２とフェライト素体１とを共焼結して形成しようとすると、Ａｇがフェライト素体１側に拡散してしまい、磁気特性を損なうおそれがある。【００２８】
そこで、本実施の形態では、Ｂｉ２Ｏ３が焼成温度を低下させる作用を有することから、Ｂｉ２Ｏ３をフェライト素体１中に０．１０〜０．５０重量％含有させ、これにより大気雰囲気であってもフェライト素体１の低温焼成を可能とし、磁気特性を低下させることなくコイル導体２とフェライト素体１とを共焼結させている。【００２９】
ここで、Ｂｉ２Ｏ３の含有量を０．１０〜０．５０重量％としたのは、含有量が０．１０重量％未満になると十分な低温焼成作用を発揮することができないため焼結性を向上させることができず、また所望の磁気特性を得ることができないからであり、一方、含有量が０．５０重量％を超えると異常粒成長した結晶粒子が生成し、このため積層型フェライト部品に適用した場合、内部応力が増大して品質のバラツキや劣化を招くおそれがあるからである。【００３０】
そして、より一層良好な磁気特性を確保しつつ、かつ、より一層の焼結性向上を図るためには、Ｂｉ２Ｏ３の含有量は０．２５〜０．５０重量％とするのが好ましい。【００３１】
このように本実施の形態では、Ｍｇ−Ｚｎ−Ｃｕフェライト系材料を主成分とし、かつＢｉ２Ｏ３が０．１０〜０．５０重量％含有されているので、大気雰囲気であっても９００℃以下の低温焼成が可能となり、したがって導電性材料としてＡｇを使用した場合であっても、フェライト素体１とコイル導体２とを共焼結させて得ることが可能となる。【００３２】
また、酸素濃度が１０体積％以下、好ましくは５体積％以下の低酸素雰囲気で焼成処理を行うことにより、磁気特性を損なうことなく、より一層の低温焼成が可能となり、焼結性の向上を図ることができる。【００３３】
次に、上記積層フェライト部品の製造方法を詳述する。【００３４】
まず、フェライト素原料として  Ｆｅ２Ｏ３、ＣｕＯ、ＺｎＯ及びＭｇＯを用意し、組成範囲が、Ｆｅ２Ｏ３：４０〜５１モル％、ＣｕＯ：５〜３０モル％、ＺｎＯ：０．５〜３５モル％、ＭｇＯ：５〜５０モル％となるようにこれらフェライト素原料を秤量し、さらにＢｉ２Ｏ３の含有量が０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％となるように秤量する。そしてこれら秤量物を部分安定化ジルコニア（Partially Stabilized Zirconia；以下、「ＰＳＺ」という。）ボール等の粉砕媒体及び溶媒と共にボールミルに投入し、該ボールミル内で湿式で十分に混合処理を行い、得られた混合物を乾燥させた後、６００〜９００℃の温度で約２時間仮焼処理を施し、これにより仮焼物を作製する。尚、フェライト素原料の組成範囲を上記範囲としたのは、積層型フェライト部品の磁気特性は組成依存性が非常に強く、上記組成範囲を外れると磁気特性が劣化し、積層型フェライト部品として適さなくなるからである。【００３５】
次いで、この仮焼物を再度ボールミル内で湿式で粉砕処理を行い、その後バインダ樹脂や可塑剤を添加し、再度湿式粉砕してフェライトスラリーを作製する。そしてこの後、ドクターブレード法により成形加工を施し、所定寸法に切断し、所定厚みの磁性体グリーンシートを作製し、その後、所定位置にビアホールを形成する。【００３６】
次に、以下の方法で導電性ペーストを作製する。【００３７】
すなわち、まず、有機バインダと溶剤との配合比率が、例えば１：９となるように調製して有機ビヒクルを作製する。ここで、有機バインダとしてはエチルセルロース樹脂やアルキッド樹脂、或いはこれら両者の混合物を使用することができ、溶剤としては、ジヒドロターピネオールやオイゲノール、或いはこれら両者の混合物を使用することができる。次いで、該有機ビヒクルに平均粒径が０．５〜２．５μｍ、好ましくは１．５〜１．８μｍのＡｇ粒子をＡｇ粒子と有機ビヒクルの比が重量比で、例えば４：１となるように混ぜて３本ロールミルで混練し、これにより導電性ペーストを作製する。尚、導電性ペースト中には脂肪族系多価カルボン酸等の添加剤を必要に応じて含有させるのも好ましい。【００３８】
そして、この導電性ペーストを使用し、磁性体グリーンシートにスクリーン印刷を施して所定のコイルパターンを形成する。【００３９】
次に、コイルパターンの形成された磁性体グリーンシートを積層した後、その上下をコイルパターンの形成されていない磁性体グリーンシートで挟持し、圧着し、これによりブロック体を作製し、所定寸法に切断してフェライト積層体を得る。【００４０】
次いで、このフェライト積層体を温度４００〜５００℃に加熱して脱バインダ処理を施した後、温度８６０〜９００℃の低温で大気雰囲気、好ましくは酸素濃度が１０体積％以下、さらに好ましくは酸素濃度が５体積％以下の低酸素濃度雰囲気で焼成処理を行い、フェライト素体１を作製する。すなわち、大気雰囲気で焼成する場合は焼成温度を８８０〜９００℃、酸素濃度が１０体積％以下、さらに好ましくは酸素濃度が５体積％以下の低酸素濃度雰囲気で焼成する場合は焼成温度を８６０〜８７０℃の低温に設定して焼成処理を行う。【００４１】
次に、フェライト素体１の両端部に前記導電性ペーストを塗布・焼き付けて外部導体３ａ、３ｂを形成し、これにより積層フェライト部品が作製される。【００４２】
このように本実施の形態では、Ｂｉ２Ｏ３を０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％含有した積層体を、９００℃以下の低温で焼成してフェライト素体を作製しているので、Ａｇを主成分とする導電性材料を使用した場合であっても、磁性体グリーンシートとコイルパターンとを共焼結させることができ、したがってＭｇ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料を使用した場合であってもＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料と比べて遜色のない良好な磁気特性を有する積層型フェライト部品を得ることができる。【００４３】
また、酸素濃度を１０体積％以下、さらに好ましくは５体積％以下の低酸素濃度雰囲気で焼成する場合は、焼成温度を８６０〜８７０℃まで低下させても共焼結させることができ、磁気特性及び焼結性をより一層向上させることが可能な積層型フェライト部品を得ることができる。【００４４】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、フェライト素原料としてＭｇＯを使用しているが、ＭｇＯと共に、又はＭｇＯに代えてＭｇ（ＯＨ）２、ＭｇＣＯ３を使用することもできる。【００４５】
また、上記実施の形態では、コイル導体２の巻回方向（コイルの軸方向）がチップの実装面に対して垂直であるが（縦巻き）、実装面に対し平行であってもよい（横巻き）。【００４６】
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例１】
【００４７】
まず、フェライト素原料としてＦｅ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｍｇ（ＯＨ）２を用意した。そして、Ｆｅ２Ｏ３が４９モル％、ＺｎＯを２９モル％、ＣｕＯを８モル％、Ｍｇ（ＯＨ）２が１４モル％となるようにこれらフェライト素原料を秤量し、さらに、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０〜０．７５重量％となるようにＢｉ２Ｏ３を秤量し、これら秤量物をＰＳＺボール及び純水と共にボールミルに投入し、該ボールミル内で４８時間、湿式混合を行い、混合物を得た。次いで、この混合物を乾燥し、粉砕した後、７５０℃の温度で２時間仮焼し、仮焼物を得た。【００４８】
次に、この仮焼物を再びＰＳＺボール及び純水と共にボールミルに投入し、該ボールミルで１６時間湿式で粉砕処理を行った。そしてこの後、この粉砕物にアクリル樹脂（有機バインダ）を所定量添加し、フェライトスラリーを得た。【００４９】
次いで、ドクターブレード法を使用して前記フェライトスラリーに成形加工を施し、磁性体グリーンシートを作製し、その後レーザ加工機を使用して前記磁性体グリーンシートの所定位置にビアホールを形成した。【００５０】
次いで、スクリーン印刷法を使用して磁性体グリーンシートの上面に導電性ペーストを印刷し、内部導体となるべき所定形状のコイルパターンを形成した。【００５１】
ここで、導電性ペーストは、平均粒径が１．７μｍのＡｇ粉末を有機ビヒクル中に分散させ（Ａｇ粉末：有機ビヒクル＝４：１）、３本ロールミルで十分に混練し、Ａｇペーストを作製した。尚、有機ビヒクルとしては、エチルセルロース樹脂とジヒドロターピネオールとの比が重量比で１：９となるようにエチルセルロース樹脂をジヒドロターピネオールに溶解させ、かつ脂肪族系多価カルボン酸を適当量添加したものを使用した。【００５２】
次いで、コイルパターンの形成された磁性体グリーンシートを所定枚数積層し、さらに、その上下両面にコイルパターンの形成されていない磁性体グリーンシートを積層し、これを９．８×１０７Ｐａ（１０００ｋｇｆ／ｃｍ２）の加圧力で圧着してブロック体を形成し、このブロック体を所定寸法に切断してフェライト積層体を得た。尚、コイルターン数は４．５であった。【００５３】
次に、このフェライト積層体に４５０℃の温度で脱バインダ処理を施した後、大気雰囲気とされた焼成炉を最高温度９００℃で２時間保持して焼成処理を行い、コイル導体が埋設されたフェライト素体を作製した。尚、温度上昇は、５℃／分の温度勾配で室温から上記最高温度まで上昇させ、温度冷却は、−５℃／分の温度勾配で上記最高温度から室温まで冷却させた。【００５４】
次いで、このフェライト素体に端面処理を施した後、該フェライト素体の両端面に、別途作製したＡｇペーストを塗布し、その後７００℃の温度で焼付け処理を行って外部導体を形成し、さらにＮｉめっき、Ｓｎめっきを順次施して外部導体の表面にＮｉ被膜及びＳｎ被膜を形成し、これにより試料番号１〜５の積層型フェライト部品を作製した。尚、作製された積層型フェライト部品の外形寸法は、長さ２．０ｍｍ、幅１．２５ｍｍ、厚み０．８５ｍｍであった。【００５５】
次に、試料番号１〜５の積層型フェライト部品について、ＬＣＲメータ（ヒューレット・パッカード社製ＨＰ４１９４Ａ）を使用して周波数１ＭＨｚにおけるインダクタンスを測定し、Ｂｉ２Ｏ３の含有量とインダクタンスとの関係を調べた。【００５６】
図３はその測定結果を示しており、横軸がＢｉ２Ｏ３の含有量（重量％）、縦軸がインダクタンス（μＨ）である。尚、試料番号１はＢｉ２Ｏ３の含有量が０重量％、試料番号２はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％、試料番号３はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．２５重量％、試料番号４はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％、試料番号５はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．７５重量％である。【００５７】
この図３から明らかなように、Ｂｉ２Ｏ３をフェライト素体中に含有させることによりインダクタンスは向上し、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％を超えると１５μＨ以上の良好なインダクタンスを得ることができることが分かった。一方、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％を超えるとインダクタンスが低下傾向となっている。これはＢｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％を超えると、粒径が１０μｍ以上の異常粒成長した結晶粒子が生成し、その結果、フェライト素体とコイル導体との間の内部応力が増大し、その結果インダクタンスの劣化を招くものと思われる。そしてこのような異常粒成長の生じた積層型フェライト部品は品質のバラツキが大きくなり、信頼性を損なうおそれがある。したがって磁気特性を考慮すると、Ｂｉ２Ｏ３の含有量は０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％とする必要があることが確認された。
【実施例２】
【００５８】
上記実施例１と同様の方法・手順でＢｉ２Ｏ３の含有量が異なるフェライト積層体を作製し、このフェライト積層体に温度４５０℃で脱バインダ処理を行った後、大気雰囲気とされた焼成炉内の温度を最高温度８６０℃、８８０℃、９００℃、９２０℃、及び９４０℃に各々設定してそれぞれ２時間保持し、焼成処理を行ってフェライト素体を作製した。尚、温度勾配は〔実施例1〕と同様、５℃／分で行った。【００５９】
そしてその後は〔実施例１〕と同様の方法・手順で試料番号１１〜１５の積層型フェライト部品を作製した。【００６０】
次に、この積層型フェライト部品の作製途中で得られた仮焼物について、その格子定数を粉末Ｘ線回折装置を使用して測定し、理論密度を算出した。そして、上記フェライト素体の密度をアルキメデス法で測定し、この測定された密度（測定密度）を理論密度で除算して相対密度を求めた。【００６１】
図４は焼成温度と相対密度との関係を示す図であり、横軸は焼成温度（℃）、縦軸は相対密度（％）である。試料番号１１はＢｉ２Ｏ３の含有量が０重量％、試料番号１２はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％、試料番号１３はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．２５重量％、試料番号１４はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％、試料番号１５はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．７５重量％である。【００６２】
この図４から明らかなように、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が増加するのに伴い、相対密度が向上することが分かる。すなわち、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％では焼成温度が９００℃のときでも相対密度は９６％以上となって極めて高い焼結性を得ることができ、また、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．２５重量％以上になると、焼成温度が８８０℃でも相対密度は９６％以上となる。ただし、〔実施例１〕でも述べたように、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％を超えると、粒径が１０μｍ以上の異常粒成長した結晶粒子が生成し、その結果、磁性体層とコイル導体との間の内部応力が増大し、品質のバラツキが大きくなって信頼性を損なうおそれがある。したがって、大気雰囲気で焼成しても、磁気特性を損なうことなく低温焼成が可能な積層フェライト部品を得るためには、Ｂｉ２Ｏ３の含有量は０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％とする必要のあることが分かった。
【実施例３】
【００６３】
上記実施例１と同様の方法・手順でＢｉ２Ｏ３の含有量の異なるフェライト積層体を作製し、このフェライト積層体に４５０℃の温度で脱バインダ処理を施した後、焼成炉内の酸素濃度を１体積％、５体積％、１０体積％、１５体積％、２１体積％（大気雰囲気）に各々設定し、最高温度８６０℃でそれぞれ２時間保持して焼成処理を行い、これによりフェライト素体を作製した。【００６４】
そしてその後は〔実施例１〕と同様の方法・手順で試料番号２１〜２５の積層型フェライト部品を作製した。尚、温度勾配は〔実施例１〕及び〔実施例２〕と同様、±５℃／分で行った。【００６５】
次いで、〔実施例２〕と同様の方法・手順で、試料番号２１〜２５の積層型フェライト部品の相対密度を求めた。【００６６】
図５は焼成温度と酸素濃度との関係を示す図であり、横軸は酸素濃度（体積％）、縦軸は相対密度（％）である。試料番号２１はＢｉ２Ｏ３の含有量が０重量％、試料番号２２はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％、試料番号２３はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．２５重量％、試料番号２４はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％、試料番号２５はＢｉ２Ｏ３の含有量が０．７５重量％である。【００６７】
この図５から明らかなように、Ｂｉ２Ｏ３をフェライト素体中に含有させ、かつ酸素濃度を１０体積％以下とすることにより、積層型フェライト部品の相対密度が顕著に向上することが分かる。すなわち、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．１０重量％では酸素濃度が１０体積％のときでも焼成温度が８６０℃で相対密度は９２％以上となって良好な焼結性を得ることができ、さらに酸素濃度が５体積％になると相対密度は９６％以上となり、焼結性が向上する。また、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．２５重量％以上になると、焼成温度が８６０℃のときでも相対密度は９４％以上となり、酸素濃度が５体積％になると相対密度は９８％以上の極めて良好な焼結性を有する積層型フェライト部品を得ることができる。ただし、〔実施例１〕でも述べたように、Ｂｉ２Ｏ３の含有量が０．５０重量％を超えると、粒径が１０μｍ以上の異常粒成長した結晶粒子が生成し、その結果、磁性体層とコイル導体との間の内部応力が増大し、品質のバラツキが大きくなって信頼性を損なうおそれがある。したがって、Ｂｉ２Ｏ３の含有量は０．１０〜０．５０重量％、好ましくは０．２５〜０．５０重量％とし、かつ１０体積％以下、好ましくは５体積％以下の低酸素濃度雰囲気で焼成することにより、磁気特性を損なうことなく、低温焼成が可能な積層型フェライト部品を得ることのできることが分かった。【００６８】
尚、上記各実施例では、積層型フェライト部品の外形寸法は、長さ２．０ｍｍ、幅１．２５ｍｍ、厚み０．８５ｍｍであったが、長さ０．６ｍｍ、幅０．３ｍｍ、厚み０．３ｍｍ〜長さ３．２ｍｍ、幅１．６ｍｍ、厚み１．１ｍｍの各種寸法の積層型フェライト部品でも略同様の結果が得られたことを確認した。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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