(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ照射によりバネ部品を製造するバネ部品の製造装置において、
前記バネ部品に対して所定のレーザ照射を行う複数のレーザ照射装置を備えたレーザ照射部を備え、
前記レーザ照射装置は、それぞれ予め異なるレーザ照射条件が設定されてなるとともに、それぞれのレーザ照射位置が重ならないように配置されてなり、
前記レーザ照射部は、バネ部品に必要なバネ荷重調整量に応じて決められた調整最小量の２の（ｎ−１）乗倍（ｎは正の整数）となるレーザ照射条件を有するレーザ照射装置の組み合わせで構成されてなることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のバネ部品の製造装置において、
前記レーザ照射部は、複数のレーザ照射装置が前記バネ部品の表面および裏面に対してそれぞれレーザ照射が行えるようにバネ部品の表裏両面側にそれぞれ配置されてなることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載のバネ部品の製造装置において、
前記バネ部品を前記１からｎ番目のレーザ照射装置全てに対応して一定速度で、レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、
前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射されることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のバネ部品の製造装置において、
前記バネ部品を前記１からｎ番目の各レーザ照射装置に対応して設定した速度で、レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、
前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射されることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項５】
請求項２に記載のバネ部品の製造装置において、
バネ部品の一端を固定端として支持する固定部を有し、
前記レーザ照射装置は、バネ部品の複数のレーザ照射位置に対応して配置され、かつバネ部品の固定端より最も遠い照射位置から順次固定端側に近づく照射位置にレーザ照射を行うように配置されていることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項６】
請求項１に記載のバネ部品の製造装置において、
前記バネ部品の荷重を測定する荷重計と、  
前記荷重計により測定された荷重と目標荷重との差に基づいて荷重調整量を求め、その調整量に応じた前記レーザ照射装置の組み合わせを選択し、選択されたレーザ照射装置によりバネ部品へのレーザ照射を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするバネ部品の製造装置。
【請求項７】
請求項１記載のバネ部品の製造装置を使用して、レーザ照射によりバネ荷重を調整してバネ部品を製造することを特徴とするバネ部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バネ部品の製造装置および製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記憶装置は、磁気ディスクの回転により浮上するヘッドスライダをトラックに位置決めして磁気ディスク上に情報の記録／再生を行っている。
このような磁気記憶装置は、ヘッドスライダをトラックに位置決めするためのアクチュエータを有する。このアクチュエータは、電磁変換素子を持つヘッドスライダと、これを搭載するサスペンションと、サスペンションを支持するアーム等を備える。そして、サスペンションは、ステンレス製のバネ部材であるロードビームと、このロードビームの端部に設けられ、ヘッドスライダを搭載するフレキシャ部とを有する。
そして、このヘッドスライダには、２つの力が作用している。
第１の力は、サスペンションにより加わる荷重である。
第２の力は、磁気ディスクの回転により発生する空気流が、ヘッドスライダの磁気ディスク面側にあるＡＢＳ(Air Bearing Surface)面のレール部分を通過することにより発生する磁気ディスク面からヘッドスライダを離そうとする揚力である。
これらの２つの力のバランスによりヘッドスライダは一定の浮上量を保った状態で、所定のトラック位置に位置決めして、記録再生が行われる。
このような磁気記憶装置では、ヘッドスライダの浮上量は、磁気ヘッドの特性に影響する。そのため、サスペンションの製造段階において、サスペンションに加わる荷重を所定の規格範囲内に調整することで、目標の浮上量を得ることが行われる。
このサスペンションの荷重調整の方法としては、例えば、ロードビームにレーザを照射する方法が用いられている。ロードビームを変形することで、荷重を増減させ、所定の規格範囲内に調整する方法である（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−２６０３５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
レーザを照射して荷重調整を行うためには、調整量に応じた照射量をサスペンション上に付与する必要がある。このため、サスペンション上を１台のレーザ照射装置が複数回往復運動してレーザ照射を行う。この結果、レーザ照射装置の空走時間が増え、工場での運用に際して、調整量の大小によりタクトタイムが変動してしまう。
【０００４】
本発明は、バネ部品を製造する際のタクトタイムの変動を減少させるためのバネ部品の製造装置および製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のバネ部品の製造装置は、レーザ照射によりバネ部品を製造するものである。そのため、バネ部品の製造装置は、前記バネ部品に対して所定のレーザ照射を行う複数のレーザ照射装置を備えたレーザ照射部を備え、前記レーザ照射装置は、それぞれ予め異なるレーザ照射条件が設定されてなるとともに、それぞれのレーザ照射位置が重ならないように配置されてなり、前記レーザ照射部は、バネ部品に必要なバネ荷重調整量に応じて決められた調整最小量の２の（ｎ−１）乗倍（ｎは正の整数）となるレーザ照射条件を有するレーザ照射装置の組み合わせで構成されている。
【０００６】
この構成により、バネ部品のバネ荷重の調整に関して、最小数のレーザ照射装置の組み合わせのみで、最小調整量を維持しながら必要な荷重調整量を確保することが出来る。この結果、バネ部品の調整量の大小に関わらずバネ部品上を複数回往復運動してレーザを照射する必要がないため、タクトタイム一定での荷重調整が可能となる。
【０００７】
また、前記レーザ照射部は、複数のレーザ照射装置が前記バネ部品の表面および裏面に対してそれぞれレーザ照射が行えるようにバネ部品の表裏両面側にそれぞれ配置されている。
この構成により、バネ部品の荷重の増減が可能となる。
【０００８】
また、前記バネ部品を１からｎ番目のレーザ照射装置全てに対応して一定速度で、前記レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射される構成である。
この構成により、バネ部品上を複数回往復運動せずに、バネ部品のレーザ照射による荷重調整が可能となる。
【０００９】
また、前記バネ部品を前記１からｎ番目の各レーザ照射装置に対応して設定した速度で、前記レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射される構成である。
この構成により、バネ部品上を複数回往復運動せずに、バネ部品のレーザ照射による荷重調整が可能となる。
【００１０】
また、バネ部品の一端を固定端として支持する固定部を有し、前記レーザ照射装置は、バネ部品の複数のレーザ照射位置に対応して配置され、かつバネ部品の固定端より最も遠い照射位置から順次固定端側に近づく照射位置にレーザ照射を行うように配置されている構成である。
この構成により、バネ部品の固定端より最も遠い照射位置から順次固定端側に近づく照射位置に向けて、順次レーザを照射するので、調整のための荷重の調整精度を向上できる。
【００１１】
また、前記バネ部品の荷重を測定する荷重計と、前記荷重計により測定された荷重と目標荷重との差に基づいて荷重調整量を求め、その調整量に応じた前記レーザ照射装置の組み合わせを選択し、選択されたレーザ照射装置によりバネ部品へのレーザ照射を制御する制御部と、を備える構成である。
この構成により、バネ部品の荷重を測定した結果を基に必要なレーザ照射装置を選択してバネ部品に照射できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、バネ部品の調整量の大小に関わらず同一工程内での調整が可能となるため、タクトタイム一定での荷重調整が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
（実施例）
図１に磁気記憶装置の説明図を示す。
図１（ａ）に磁気記憶装置４１の概要を示す。
磁気記憶装置４１は、磁気ディスク４２と、磁気ディスク４２を回転するためのスピンドルモータ４３と、磁気ディスク４２に対して情報の書き込みまたは読み出しを行う磁気ヘッドを搭載するアクチュエータ５１とを有する。
【００１４】
アクチュエータ５１は、アクチュエータブロック５２とアクチュエータブロック５２を駆動する駆動部３５とを有する。そして、アクチュエータブロック５２は、磁気ヘッドを備えるヘッドスライダ３１を搭載するサスペンション４とそのサスペンション４を支持するアーム３４とを有する。そして、アクチュエータブロック５２の側面には、磁気ヘッドと接続されるフレキシブルプリント基板３６が取り付けられている。このフレキシブルプリント基板３６は固定部材３７を経由して制御回路（図示なし）に接続されている。  そして、制御回路が駆動部３５によりアクチュエータブロック５２を回転駆動して、磁気ディスク４２上の所定トラックに磁気ヘッドを位置付けることで、情報の書き込み読み出しを行う。
【００１５】
図１（ｂ）にサスペンション４の説明図を示す。
サスペンション４は、ロードビーム３２、フレキシャ３８、スペーサ部３３を有する。
ロードビーム３２は、バネ部品であり、フレキシャ３８が接合されている。
また、フレキシャ３８には、ヘッドスライダ３１を搭載するためのジンバル部３９が先端に設けられている。
ロードビーム３２の荷重は、ロードビーム３２に形成されているピボット４０によりジンバル部３９に搭載されているヘッドスライダ３１に作用する。そして、この荷重がヘッドスライダ３１の浮上力と釣り合うことで、磁気ヘッドは、所定の浮上位置を維持することができる。
スペーサ部３３は、ロードビーム３２に溶接され、またアクチュエータブロック５２のアーム３４とかしめられる。
【００１６】
図２にバネ部品の製造装置の構成図を示す。
バネ部品の製造装置１は、サスペンション４の製造工程の中のサスペンション４のバネ荷重を調整するための装置である。また、バネ部品の製造装置１は、荷重調整部２と制御部３を有する。
【００１７】
荷重調整部２は、サスペンション４の荷重を測定し、規格範囲外ならば、荷重を調整する。
そのため、荷重調整部２は、サスペンション４、固定部５、搬送部６、荷重計７−１、荷重計駆動部８−１、レーザ照射部９、荷重計７−２、荷重計駆動部８−２を有する。
固定部５は、サスペンション４のスペーサ部３３を保持する。保持された状態では、ロードビーム３２の裏面側が上を向き、表面側が下を向くように配置される。ロードビーム３２の表面側とは、ヘッドスライダ３１の搭載面である。ロードビーム３２の裏面側とは、ヘッドスライダ３１を搭載していない面である。
搬送部６は、固定部５をＸ方向に駆動することで、サスペンション４が、荷重測定およびレーザ照射を受けられるようにしている。
【００１８】
荷重計７−１および荷重計７−２は、例えば押下により発生したサスペンション４のひずみを測定することで荷重を計測する計測器である。また、荷重計７−１、７−２は、所定の位置に設置されている。測定結果は、制御部３に通知する。
そして、固定部５に搭載されたサスペンション４が搬送部６にセットされると、荷重計７−１まで、搬送される。搬送された結果、サスペンション４は、荷重計７−１の上部に位置づけされる。次に、荷重計７−１が荷重計駆動部８−１により上昇してサスペンション４の荷重を測定する。サスペンション４の荷重とは、ロードビーム３２によるヘッドスライダ３１へのバネ圧のことである。
また、固定部５に搭載されたサスペンション４が搬送部６によりレーザ照射を終了して搬送されてくると、荷重計７−２まで搬送される。搬送された結果、サスペンション４は、荷重計７−２の上部に位置づけされる。次に、荷重計７−２が荷重計駆動部８−２により上昇してサスペンション４の荷重を測定する。
【００１９】
荷重計駆動部８−１は、サスペンション４に接触するようにＺ方向（図２に示すＸ方向、Ｙ方向で構成される面に垂直方向）に荷重計７−１を移動させる。荷重計駆動部８−２は、サスペンション４に接触するようにＺ方向に荷重計７−２を移動させる。
レーザ照射部９は、レーザ出力をサスペンション４のロードビーム３２の所定位置に調整量をあわせて所定熱量で走査しながら照射する。
【００２０】
図３は、サスペンションの測定の説明図である。
図３（ａ）は、荷重計７の初期位置とサスペンション４の位置関係を示す。
Ｌ１が荷重計７の初期位置を示す。サスペンション４は、荷重計７の上部にセットされている。
図３（ｂ）は、荷重計７が荷重計駆動部８によりＬ１からＬ２までの所定距離Ｈ、上昇した位置を示す。この位置は、サスペンション４のヘッドスライダ３１が目標の浮上位置まで上昇した位置を示す。そして、このときの荷重計７の値を取得する。この移動距離Ｈは、スペーサ部３３の位置と荷重計のＬ１の位置を基に予め計算された値である。
【００２１】
図４にレーザ照射部の説明図を示す。
レーザ照射部９は、表面照射部９１および裏面照射部９２を有する。ここで表面とは、サスペンション４のヘッドスライダ３１の搭載側の面を指す。裏面とは、サスペンション４のヘッドスライダ３１を搭載していない面を指す。
【００２２】
表面照射部９１は、サスペンション４のヘッドスライダ３１の搭載面側である表面を照射する。荷重が増加する方向の照射である。そして、表面照射部９１は、レーザ照射装置１０−１〜レーザ照射装置１０−Ｎを有する。
レーザ照射装置１０−１〜レーザ照射装置１０−Ｎは、固定部５の搬送方向であるＸ方向に向けてレーザ照射装置１０−１からレーザ照射装置１０−Ｎの順番で配置されている。Ｎは、正の整数である。
レーザ照射装置１０−１のレーザ照射調整量は、ｍ×１（ｇ）、レーザ照射装置１０−２のレーザ照射調整量は、ｍ×２（ｇ）、・・・レーザ照射装置１０−Ｎのレーザ照射調整量ｍ×（２の（ｎ−１）乗）（ｇ）である。ここで、ｎは、正の整数である。ｍは、荷重調整量の最小調整単位の数である。
このような構成にしている理由は、サスペンション４の最小調整量と最大調整量をもとに、レーザ照射装置１０の構成を最小調整量の２の（ｎ−１）乗倍とすることで、最小限の構成で、最小調整量から最大調整量までの範囲の調整量を実現できるからである。
【００２３】
また、このような構成の複数のレーザ照射装置１０−１〜１０−Ｎを使用することで、一回の操作で、所定の照射量を得ることができる。このため、レーザ照射装置１０−１〜１０−Ｎにより、所定の照射量を得るために、従来技術のようにサスペンション４上を複数回操作する必要がなくなる。このため、搬送部６を往復運動させることがなくなり、走査時間が減少する。
この結果、サスペンション４の調整量にかかわらず、サスペンション４上を１回の走査でレーザを照射するため、荷重調整量の大小により、製品製造のタクトタイムが変動することを防止することができる。
【００２４】
また、レーザ照射装置１０−１は、照射エリアの中のフレキシャ３９側に最も近い位置に照射する。レーザ照射装置１０−Ｎは、照射エリアの中のスペーサ部３３に最も近い位置に照射する。Ｎが増えるごとに、照射エリアの中のフレキシャ３９側に最も近い位置から照射エリアの中のスペーサ部３３に最も近い位置へ照射位置を移動していく。
このような構成にしている理由は、他の部分のレーザ照射によりロードビーム３２が屈曲した部分にレーザを照射すると、レーザのフォーカスが変わり、照射量が変動するためである。
【００２５】
一方、裏面照射部９２は、サスペンション４のヘッドスライダ３１の搭載面の反対面である裏面を照射するため、荷重が減少する方向の照射である。そして、裏面照射部９２は、レーザ照射装置２０−１〜レーザ照射装置２０−Ｎを有する。
レーザ照射装置２０−１〜レーザ照射装置２０−Ｎは、固定部５の搬送方向に向けてレーザ照射装置２０−１からレーザ照射装置２０−Ｎの順番で配置されている。
レーザ照射装置２０−１のレーザ照射調整量は、ｍ×１（ｇ）、レーザ照射装置２０−２のレーザ照射調整量は、ｍ×２（ｇ）、・・・レーザ照射装置２０−Ｎのレーザ照射調整量ｍ×（２の（ｎ−１）乗）（ｇ）である。ここで、ｎは、正の整数である。ｍは、調整量の最小調整単位の数である。
このような構成にしている理由は、表面照射部９１と同一の理由による。
【００２６】
レーザ照射装置２０−１は、照射エリアの中のフレキシャ側に最も近い位置に照射する。レーザ照射装置２０−Ｎは、照射エリアの中のスペーサ部に最も近い位置に照射する。Ｎが増えるごとに、照射エリアの中のフレキシャ側に最も近い位置から照射エリアの中のスペーサ部３３に最も近い位置へ照射位置を移動していく。
このような構成にしている理由は、表面照射部９１と同一の理由による。
【００２７】
対向したレーザ照射装置１０とレーザ照射装置２０との間を搬送部６によりサスペンション４を通過させるために、２つの搬送方法がある。  
【００２８】
第１の搬送方法は、サスペンション４について、搬送部６により対向したレーザ照射装置１０とレーザ照射装置２０との間を一定速度かつ一方向に移動させる方法である。この搬送により、サスペンション４の所定の照射位置がレーザにより照射される時間は、ほぼ同一となる。このため、所定のレーザ照射調整量を得るには、レーザ照射調整量に応じたレーザ出力の異なるレーザ照射装置１０−１〜１０−Ｎおよびレーザ照射装置２０−１〜２０−Ｎを使用する。
【００２９】
第２の搬送方法は、サスペンション４について、搬送部６により対向したレーザ照射装置１０とレーザ照射装置２０との間を各レーザ照射装置１０−１〜１０−Ｎ、各レーザ照射装置２０−１〜２０−Ｎに対応した速度で、かつ一方向に移動する方法である。この搬送の場合のレーザ照射装置１０−１〜１０−Ｎの各出力は、同一とする。また、レーザ照射装置２０−１〜２０−Ｎの各出力は同一とする。このため、この方式では、例えばレーザ照射装置１０−１の速度からレーザ照射装置１０−Ｎまで、順次速度を下げることで、レーザ照射量を順次増加させて、所定のレーザ照射調整量を実現する方法である。
【００３０】
この結果、レーザ光は、サスペンション４の表面および裏面に集光し走査される。これにより、レーザ照射装置１０およびレーザ照射装置２０とサスペンション４の修正位置との相対位置関係が一定であるため、安定した荷重調整が出来る。
【００３１】
また、サスペンション４が搬送部６により対向したレーザ照射装置１０とレーザ照射装置２０との間を移動する方式ではなく、サスペンション４を所定位置に停止させ、レーザ照射装置１０またはレーザ照射装置２０がサスペンション４上を走査する方式の構成も可能である。
【００３２】
図５にレーザ照射装置の配置の説明図を示す。
サスペンション４の表面のロードビーム３２の所定の４箇所に表面照射部９１によりレーザを照射する場合の例である。このため、サスペンション４の搬送方向およびサスペンション４の長手方向にずらしてレーザ照射装置１０−１〜１０−４を表面照射部９１に配置する。
図５に示すようにサスペンション４は、搬送部６により表面照射部９１を通過することで、４箇所に照射を受ける。
【００３３】
図６にサスペンションの照射位置の説明図を示す。
サスペンション４上の表面の４箇所に照射する例である。
ロードビーム３２を幅方向へ走査してレーザを照射する。照射すると、一旦照射部分は、熱膨張する。しかし、照射完了し、しばらくすると温度が低下するので、収縮し、照射した側に折れ曲がる。そして、照射量の増加に対応して、折れ曲がり量も増加する。
【００３４】
図６（ａ）に、レーザ照射装置１０−１によるサスペンション４の照射位置Ｅとレーザ照射前のサスペンション４の折れ曲がり状態を示す。
レーザ照射装置１０−１の照射位置Ｅは、ロードビーム３２の端部にあるスペーサ部３３より最も遠い部位にレーザ照射する位置である。レーザ照射位置Ｅへのレーザ照射調整量ｍ（ｇ）である。
図６（e）に、図６（ａ）の状態でサスペンション４にレーザが照射された位置を示す。
【００３５】
図６（ｂ）は、レーザ照射装置１０−２のサスペンション４の照射位置Ｆとレーザ照射前のサスペンション４の折れ曲がり状態を示す。サスペンション４は、レーザ照射装置１０−１の照射後の状態であり、照射された部分よりサスペンション４のフレキシャ３９側に曲がりを生じている。
レーザ照射位置Ｆは、レーザ照射装置１が照射した位置より、スペーサ部３３に向けて所定距離、離れた位置である。レーザ照射位置Ｆへのレーザ照射調整量２ｍ（ｇ）である。
図６（ｆ）は、図６（ｂ）の状態でサスペンション４にレーザが照射された位置を示す。
【００３６】
図６（ｃ）は、レーザ照射装置１０−３のサスペンション４の照射位置Ｇとレーザ照射前のサスペンション４の折れ曲がり状態を示す。サスペンション４は、レーザ照射装置１０−２の照射後の状態であり、照射された部分よりサスペンション４のフレキシャ３９側に曲がりを生じている。
レーザ照射位置Ｇは、レーザ照射装置１０−２が照射した位置より、スペーサ部３３に向けて所定距離、離れた位置である。レーザ照射位置Ｇへのレーザ照射調整量４ｍ（ｇ）である。
図６（ｇ）は、図６（ｃ）の状態でサスペンション４にレーザが照射された位置を示す。
【００３７】
図６（ｄ）は、レーザ照射装置１０−４のサスペンション４の照射位置Ｈとレーザ照射前のサスペンション４の折れ曲がり状態を示す。サスペンション４は、レーザ照射装置１０−３の照射後の状態であり、照射された部分よりサスペンション４のフレキシャ３９側に曲がりを生じている。
レーザ照射位置Ｈは、レーザ照射装置１０−３が照射した位置より、スペーサ部３３に向けて所定距離、離れた位置である。そして、スペーサ部３３より最も近い部位にレーザ照射する位置でもある。レーザ照射位置Ｈのレーザ照射調整量８ｍ（ｇ）である。
図６（ｈ）は、図６（ｄ）の状態でサスペンション４にレーザが照射された位置を示す。
図６（ｉ）は、レーザ照射装置１０−４によりサスペンション４の照射位置Ｈにレーザ照射されたあとのサスペンション４の折れ曲がり状態を示す。
【００３８】
このようにレーザ照射装置１０−１〜レーザ照射装置１０−４まで順番にずらして構成しているのは、照射をするときに、レーザ光のフォーカスの変動が小さいように、ロードビーム３２上のフラット部分にレーザを付与するためである。
【００３９】
図７は、制御部の構成図を示す。
制御部３は、荷重調整部２を制御して、サスペンション４の荷重量を調整する。
制御部３は、プロセッサ６１、メモリ６２、入出力制御部６３、表示部６４を有する。
プロセッサ６１は、荷重調整部２の全体を制御する。
メモリ６２は、荷重の規格値、荷重とレーザ照射量との対応テーブル、プロセッサにより動作をする荷重制御部２を制御するための制御プログラムを格納する。制御プログラムとしては、搬送部６を制御する搬送制御プログラム、荷重計７を駆動してサスペンションの荷重を測定する荷重測定プログラム、荷重計７により測定された荷重と規格値の目標荷重とを比較し、その差に基づいて荷重調整量を求め、その調整量に応じた前記レーザ照射装置の組み合わせを選択する荷重調整プログラムと、選択されたレーザ照射装置によりサスペンション４へのレーザ照射を制御するレーザ照射プログラムと、処理プロセスを管理するプロセス制御プログラム等を有する。
入出力制御部６３は、表面照射部９１と裏面照射部９２、搬送部６、荷重計７、荷重計駆動部８等との入出力を制御する。
表示部６４は、バネ部品の製造装置１の操作画面や初期状態のサスペンション４の荷重計７の測定内容と、再測定の際のサスペンション４の荷重計７の測定内容等を表示する。
【００４０】
図８は、荷重調整工程の説明図を示す。
予め、バネ荷重調整前のサスペンション４が製造される。そして、サスペンション４の製造工程の一部として製造されたサスペンション４について荷重調整処理が行われる。
荷重調整処理について説明を行う。
【００４１】
まず、固定部５にセットされた測定対象のサスペンション４が搬送部６上の初期位置にロボット等によりセットされる。搬送部６は、ロードされたサスペンション４を検出すると初期位置から荷重計７の位置まで搬送する（Ｓ１ステップ）。
次に、サスペンション４の荷重を測定する（Ｓ２ステップ）。次に、荷重が規格の範囲内か否かをチェックする（Ｓ３ステップ）。
規格の範囲内ならば調整は不要のため、固定部５にセットされたサスペンション４の排出指示を行うとロボット等により排出される（Ｓ４ステップ）。そして、製造されたサスペンション４は、アクチュエータ５１の製造に用いられる。
規格範囲外ならば、調整が必要である。
次に、規格より小さいか否かをチェックする（Ｓ５ステップ）。
規格より小さい場合には、荷重を加える方向に荷重の調整量を計算する（Ｓ６ステップ）。
調整量は、規格値と取得した荷重値との差分から求める。
【００４２】
次に、調整量から使用する表面照射部９１のレーザ照射装置１０を決定する（Ｓ７ステップ）。
次に、サスペンション４を所定方向に搬送部６により搬送する。そして、決定されたレーザ照射装置１０は、サスペンション４が到着すると、サスペンション４の表面側を走査し、レーザを照射する（Ｓ８ステップ）。
次に、荷重調整されたサスペンション４の荷重を再測定する（Ｓ９ステップ）。
測定結果が規格内か否かをチェックする（Ｓ１０ステップ）。
測定結果が規格内の場合は、Ｓ４ステップへ行き、サスペンション４をアンロードする。
測定結果が規格外の場合には、不良品として廃棄して処理を終了する（Ｓ１１ステップ）。
一方、Ｓ３ステップでのチェック結果が、規格より大きい場合には、荷重を減ずる方向に荷重の調整量を計算する（Ｓ１２ステップ）。
調整量は、規格値と取得した荷重値との差分から求める。
【００４３】
次に、調整量から使用する裏面照射部９２のレーザ照射装置２０を決定する（Ｓ１３ステップ）。
次に、サスペンション４を所定方向に駆動して、決定されたレーザ照射装置２０によりサスペンション４の裏面側を走査し、レーザを照射する（Ｓ１４ステップ）。
次に、荷重調整されたサスペンション４の荷重を再測定するため、Ｓ９ステップへ行く。
測定結果が規格内の場合は、Ｓ４ステップへ行く。
測定結果が規格外の場合には、不良品として廃棄するため、Ｓ１１ステップへ行く。
【００４４】
図９に荷重修正の具体例を示す。
サスペンション４の荷重の測定値が規格より小さい場合の例である。
レーザ照射装置４は、４台からなる。そして、例えば荷重規格値を１．３５〜１．６５ｇとする。またレーザ最小調整量を０．１ｇとする。このため、レーザ照射装置１０−１の調整量を０．１ｇとする。レーザ照射装置１０−２の調整量は、０．２ｇとする。レーザ照射装置１０−３の調整量は、０．４ｇとする。レーザ照射装置１０−４の調整量は、０．８ｇとする。
そして、荷重計７により測定された結果が０．５ｇのとき、０．８５ｇ〜１．１５ｇが調整範囲となるので、平均値をとる。平均値は、１ｇである。そのため、調整荷重を１ｇと決定する。
次に、レーザ照射装置１０を選択する。測定値が規格値より小さいため、荷重修正のためには、表面照射部９１により照射する必要がある。
具体的には、レーザ照射装置１０−２、レーザ照射装置１０−４が選択される。そしてレーザ照射装置１０−１、レーザ照射装置１０−３は、使用されない。
【００４５】
この場合の照射の処理は、次のようである。
サスペンション４が搬送部６により搬送され、レーザ照射装置１０−１の位置を通過する。このとき、レーザは、照射されない。そして、さらに搬送され、レーザ照射装置１０−２の位置を通過する。このとき、レーザが照射され、０．２ｇ調整される。そして、さらに搬送されてレーザ照射装置１０−３の位置を通過する。このとき、レーザは、照射されない。そして、さらに搬送され、レーザ照射装置１０−４の位置を通過する。このとき、レーザが照射され、０．８ｇ調整される。この結果、調整量１ｇが達成される。
裏面照射部２０−１〜裏面照射部２０−４は、使用されない。
【００４６】
このような処理により、荷重調整に関して、最小のレーザ照射装置数の組み合わせのみで、設定された最小調整量（分解能）を維持しながら必要な荷重調整量を確保することが出来る。
【００４７】
また、レーザ照射装置１０とレーザ照射装置２０を対向させ配置することで荷重の正負方向の調整が出来る。
また、レーザ照射装置１０およびレーザ照射装置２０とサスペンション４の修正位置との相対位置関係が一定であるため、安定した荷重調整が出来る。
また、サスペンション４の調整量の大小に関わらず同一工程内での調整が可能となるため、タクトタイム一定での荷重調整が可能となる。
また、サスペンション４のフレキシャ３９の方向からスペーサ部３３の方向に順次照射していくため、ロードビーム３２のフラット部分に照射できるため、荷重調整精度を向上できる。
また、荷重調整最小量の２の０乗倍から２の（ｎ−１）乗倍（ｎは正の整数）までの各照射量を有するｎ個の照射位置の定まったレーザ照射装置を使用することで、簡単にレーザ照射条件を設定できるので、１台のレーザ照射装置に対して、照射量、照射位置等に関する複雑な条件パラメータを組み合わせてレーザ照射条件を設定する必要がなくなる。
【００４８】
また、バネ部品の製造装置１は、機械な加工により既に曲げ加工がなされているサスペンション４に対して荷重調整を行う場合に限らず、曲げ加工がされていないサスペンション４について所定のバネ荷重を得るように曲げ加工を行う場合にも使用可能である。
【００４９】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）レーザ照射によりバネ部品を製造するバネ部品の製造装置において、前記バネ部品に対して所定のレーザ照射を行う複数のレーザ照射装置を備えたレーザ照射部を備え、前記レーザ照射装置は、それぞれ予め異なるレーザ照射条件が設定されてなるとともに、それぞれのレーザ照射位置が重ならないように配置されてなり、前記レーザ照射部は、バネ部品に必要なバネ荷重調整量に応じて決められた調整最小量の２の（ｎ−１）乗倍（ｎは正の整数）となるレーザ照射条件を有するレーザ照射装置の組み合わせで構成されてなることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記２）付記１に記載のバネ部品の製造装置において、前記レーザ照射部は、複数のレーザ照射装置が前記バネ部品の表面および裏面に対してそれぞれレーザ照射が行えるようにバネ部品の表裏両面側にそれぞれ配置されてなることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記３）付記１または付記２に記載のバネ部品の製造装置において、前記バネ部品を前記１からｎ番目のレーザ照射装置全てに対応して一定速度で、前記レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射されることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記４）付記１または付記２に記載のバネ部品の製造装置において、前記バネ部品を前記１からｎ番目の各レーザ照射装置に対応して設定した速度で、前記レーザ照射装置が配置されている所定の方向に沿って移動する移動機構を備え、前記バネ部品は、前記移動機構によるバネ部品の移動により、各レーザ照射装置を順次通過することで各レーザ照射装置の所定の照射位置上に沿ってレーザ照射されることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記５）付記２に記載のバネ部品の製造装置において、バネ部品の一端を固定端として支持する固定部を有し、前記レーザ照射装置は、バネ部品の複数のレーザ照射位置に対応して配置され、かつバネ部品の固定端より最も遠い照射位置から順次固定端側に近づく照射位置にレーザ照射を行うように配置されていることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記６）付記１に記載のバネ部品の製造装置において、前記バネ部品の荷重を測定する荷重計と、前記荷重計により測定された荷重と目標荷重との差に基づいて荷重調整量を求め、その調整量に応じた前記レーザ照射装置の組み合わせを選択し、選択されたレーザ照射装置によりバネ部品へのレーザ照射を制御する制御部と、を備えることを特徴とするバネ部品の製造装置。
（付記７）付記１記載のバネ部品の製造装置を使用して、レーザ照射によりバネ荷重を調整してバネ部品を製造することを特徴とするバネ部品の製造方法。
（付記８）前記バネ部品が磁気ディスク装置のヘッドスライダを搭載するサスペンションであることを特徴とする付記１記載のバネ部品の製造装置。
（付記９）バネ部品のバネ荷重をレーザ照射装置によるレーザ照射により調整する荷重調整方法であって、前記バネ部品の荷重を測定するステップと、測定された荷重と目標荷重との差に基づいて荷重調整量を取得するステップと、荷重調整最小量の２の０乗倍から２の（ｎ−１）乗倍（ｎは正の整数）までの各照射量を有する前記複数のレーザ照射装置の中から前記取得した荷重調整量に応じたレーザ照射装置を選択するステップと、選択されたレーザ照射装置により前記バネ部品にレーザを照射するステップと、を有することを特徴とするバネ部品の製造方法。
（付記１０）前記レーザを照射するステップは、前記バネ部品の複数のレーザ照射位置に対応して配置されたレーザ照射装置により、バネ部品上を所定方向に向けて所定の照射位置に順次照射することを特徴とする付記９記載のバネ部品の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】磁気記憶装置の説明図
【図２】バネ部品の製造装置の構成図
【図３】サスペンションの測定の説明図
【図４】レーザ照射部の説明図
【図５】レーザ照射装置の配置の説明図
【図６】サスペンションの照射位置の説明図
【図７】制御部の構成図
【図８】荷重調整工程の説明図
【図９】荷重修正の具体例
【符号の説明】
【００５１】
１  バネ部品の製造装置
２  荷重調整部
３  制御部
４  サスペンション
５  固定部
６  搬送部
７  荷重計
８  荷重計駆動部
９  レーザ照射部
１０、２０  レーザ照射装置
３１  ヘッドスライダ
３２  ロードビーム
３３  スペーサ部
３４  アーム
３５  駆動部
３６  フレキシブルプリント板
３７  固定部材
３８  フレキシャ
３９  ジンバル
４０  ピボット
４１  磁気記憶装置
４２  磁気ディスク
４３  スピンドルモータ
５１  アクチュエータ
５２  アクチュエータブロック
６１  プロセッサ
６２  メモリ
６３  入出力制御部
６４  表示部
９１  表面照射部
９２  裏面照射部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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