(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セットしたワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを走査方向に相対的に移動させながら、前記機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させて前記ワークに描画を行う描画装置を備えると共に、クリーンエアーの管理下に設置された液滴吐出装置に設けられ、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出検査装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドの検査吐出を受ける帯状の検査シートと、
前記検査シートが吸着載置されると共に、前記検査シートを吸着するための真空吸引手段に連通する検査ステージと、
前記検査ステージの一端側に配設され、ロール状に巻回した前記検査シートを前記検査ステージ上に繰り出すシート繰出し機構と、
前記検査ステージの他端側に配設され、繰り出した前記検査シートを前記検査ステージ上から巻き取るシート巻取り機構と、
前記検査ステージと前記真空吸引手段との間に介設され、前記検査ステージの吸引エアーを制御する吸引エアーバルブユニットと、
前記吸引エアーバルブユニット、前記シート繰出し機構および前記シート巻取り機構を制御する制御手段と、
前記検査ステージに併設され、前記吸引エアーバルブユニットおよび前記制御手段を収容する防塵キャビネットと、
を備えたことを特徴とする吐出検査装置。
【請求項２】
前記防塵キャビネットは、防錆材料および表面を防錆処理した材料のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の吐出検査装置。
【請求項３】
前記防塵キャビネットは、
キャビネット外エアーを吸気するエアー吸気口と、
キャビネット内エアーを排気するエアー排気口と、
前記エアー排気口に面して配設され、排気ファンおよびフィルタから成るファン・フィルタユニットと、
を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出検査装置。
【請求項４】
前記防塵キャビネットは、
キャビネット外エアーを吸気するエアー吸気口と、
キャビネット内エアーを排気するエアー排気口と、
一端を前記エアー排気口に連通し他端を排気処理設備に連通する排気流路と、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の吐出検査装置。
【請求項５】
前記防塵キャビネットは、前記検査ステージの下側に配設されており、
前記エアー吸気口は、
前記シート繰出し機構に面して設けた繰出し側吸気口と、
前記シート巻取り機構に面して設けた巻取り側吸気口と、
から成ることを特徴とする請求項３または４に記載の吐出検査装置。
【請求項６】
前記検査ステージは、前記検査シートを浮上させるためのエアー供給手段にさらに連通しており、
前記検査ステージと前記エアー供給手段との間に介設され、前記検査ステージの浮上エアーを制御する浮上エアーバルブユニットを、さらに備え、
前記制御手段は、前記シート繰出し機構による前記検査シートの繰出し動作および前記シート巻取り機構による前記検査シートの巻取り動作に際し、前記浮上エアーバルブユニットを制御して前記検査シートを浮上させることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の吐出検査装置。
【請求項７】
前記シート繰出し機構および前記シート巻取り機構は、それぞれ駆動源を有しており、
前記制御手段は、前記シート繰出し機構および前記シート巻取り機構を同時に駆動して、前記検査シートの繰出し動作および前記検査シートの巻取り動作を行わせることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の吐出検査装置。
【請求項８】
前記検査シートは、非発塵性のフィルム材および紙材のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の吐出検査装置。
【請求項９】
前記検査シートは、繰出し側端部を円筒状の繰出しコアに巻回した状態で前記シート繰出し機構に装着され、且つ巻取り側端部を円筒状の巻取りコアに巻回した状態で前記シート巻取り機構に装着されており、
前記繰出しコアおよび前記巻取りコアは、非発塵性の材料で構成されていることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の吐出検査装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の吐出検査装置と、
前記描画装置と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記描画装置は、前記ワークをセットするセットテーブルと、前記機能液滴吐出ヘッドに対し、前記セットテーブルを介して前記ワークを走査方向に移動させる移動機構と、を有し、
前記吐出検査装置は、前記セットテーブルに隣接すると共に前記移動機構に搭載されていることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式で機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの吐出検査装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させてワーク（例えば液晶表示装置のガラス基板）に描画を行う描画装置を備えた液滴吐出装置に設けられ、機能液滴吐出ヘッドの吐出結果を画像認識することにより、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出検査装置が知られている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−１４２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、従来の吐出検査装置に対し、ランニングコストの削減等を考慮して、検査用ワークとしてロール状に巻回した検査シートを用い、検査シートを検査ステージ上に繰り出すと共にこれを検査ステージ上から巻き取るように構成することが考えられる。さらに、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に検査ワークが接触することを防ぐべく、検査シートを検査ステージ上に吸着載置した状態で吐出検査を行うことが好ましい。
【０００４】
しかしながら、この場合、検査ステージの吸引エアーを制御する吸引エアーバルブユニットや、これを制御する制御ユニット、さらには検査シートの繰出し機構および巻取り機構を制御する制御ユニット等の各種電装機器は、自身（動体部分等）からの塵埃や、静電気により周囲から集まった塵埃等により、発塵するおそれがある。したがって、液滴吐出装置をクリーンエアーの管理下に設置したとしても、吐出検査装置からの発塵があるため、装置設置雰囲気中の塵埃が増加してしまい、塵埃の混入のない高品質な製品を提供することができず、問題となる。
【０００５】
本発明は、装置設置雰囲気中の塵埃を増加させることなく、検査シートを検査ステージ上で送る共に、検査シートを検査ステージ上に吸着載置することができる吐出検査装置、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吐出検査装置は、セットしたワークに対し、インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドを走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動させてワークに描画を行う描画装置を備えると共に、クリーンエアーの管理下に設置された液滴吐出装置に設けられ、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出検査装置であって、機能液滴吐出ヘッドの検査吐出を受ける帯状の検査シートと、検査シートが吸着載置されると共に、検査シートを吸着するための真空吸引手段に連通する検査ステージと、検査ステージの一端側に配設され、ロール状に巻回した検査シートを検査ステージ上に繰り出すシート繰出し機構と、検査ステージの他端側に配設され、繰り出した検査シートを検査ステージ上から巻き取るシート巻取り機構と、検査ステージと真空吸引手段との間に介設され、検査ステージの吸引エアーを制御する吸引エアーバルブユニットと、吸引エアーバルブユニット、シート繰出し機構およびシート巻取り機構を制御する制御手段と、検査ステージに併設され、吸引エアーバルブユニットおよび制御手段を収容する防塵キャビネットと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、制御手段によりシート繰出し機構およびシート巻取り機構を制御することで、ロール状の検査シートを、検査ステージ上に繰り出すと共に、これを検査ステージ上から巻き取ることができる。また、制御手段により吸引エアーバルブユニットを制御することで、吐出検査の際に吸引エアーにより検査シートを検査ステージに吸着載置できると共に、検査シートの吸着を解除した状態で検査シートの送り（繰出しおよび巻取り）を行うことができる。しかも、発塵するおそれのある、吸引エアーバルブユニットおよび制御手段を防塵キャビネットに収容したことで、吸引エアーバルブユニットまたは制御手段から発塵したとしても、これを防塵キャビネット内に留めておくことができる。したがって、装置設置雰囲気中の塵埃を増加させることなく、検査シートを検査ステージ上で送る共に、検査シートを検査ステージ上に吸着載置することができる。
【０００８】
この場合、防塵キャビネットは、防錆材料および表面を防錆処理した材料のいずれかで構成されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、防塵キャビネットから錆が生ずることを防止でき、防塵キャビネットからの発塵を防止することができる。なお、防錆材料としては、例えばＳＵＳ（ステンレス）を用いることができ、防錆処理としては、メッキ処理等の表面処理を行うことができる。
【００１０】
この場合、防塵キャビネットは、キャビネット外エアーを吸気するエアー吸気口と、キャビネット内エアーを排気するエアー排気口と、エアー排気口に面して配設され、排気ファンおよびフィルタから成るファン・フィルタユニットと、を有していることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ファン・フィルタユニットを駆動することで、エアー吸気口からキャビネット外エアーを吸気すると共に、エアー排気口からキャビネット内エアーを外部に排気することができる。このため、防塵キャビネット内で制御手段等から発生した熱を防塵キャビネット外に逃すことができる。さらに、フィルタを介してキャビネット内エアーをエアー排気口から排気するため、防塵キャビネット内の塵埃を装置設置雰囲気中に排出することがない。
【００１２】
この場合、防塵キャビネットは、キャビネット外エアーを吸気するエアー吸気口と、キャビネット内エアーを排気するエアー排気口と、一端をエアー排気口に連通し他端を排気処理設備に連通する排気流路と、を有していることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、排気処理設備に連なる排気流路をエアー排気口に連通することで、エアー吸気口からキャビネット外エアーを吸気すると共に、エアー排気口からキャビネット内エアーを外部（排気流路）に排気することができる。このため、防塵キャビネット内で制御手段等から発生した熱を外部に逃すことができる。また、この場合、キャビネット内エアーをエアー排気口から排気流路に排気するため、防塵キャビネット内の塵埃を装置設置雰囲気中に排出することがない。
【００１４】
この場合、防塵キャビネットは、検査ステージの下側に配設されており、エアー吸気口は、シート繰出し機構に面して設けた繰出し側吸気口と、シート巻取り機構に面して設けた巻取り側吸気口と、から成ることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、シート繰出し機構またはシート巻取り機構から発塵したとしても、その塵埃を、それぞれ繰出し側吸気口および巻取り側吸気口から防塵キャビネット内に吸い込むことができる。
【００１６】
この場合、検査ステージは、検査シートを浮上させるためのエアー供給手段にさらに連通しており、検査ステージとエアー供給手段との間に介設され、検査ステージの浮上エアーを制御する浮上エアーバルブユニットを、さらに備え、制御手段は、シート繰出し機構による検査シートの繰出し動作およびシート巻取り機構による検査シートの巻取り動作に際し、浮上エアーバルブユニットを制御して検査シートを浮上させることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、制御手段により浮上エアーバルブユニットを制御することで、検査シートを検査ステージから浮上させた状態で、検査シートの繰出し動作および巻取り動作を行うことができる。このため、検査シートを検査ステージと擦れ合わせずに送ることができ、検査シートや検査ステージからの発塵を防止することができる。
【００１８】
この場合、シート繰出し機構およびシート巻取り機構は、それぞれ駆動源を有しており、制御手段は、シート繰出し機構およびシート巻取り機構を同時に駆動して、検査シートの繰出し動作および検査シートの巻取り動作を行わせることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、シート巻取り機構の駆動に加えて、これを同時にシート繰出し機構を駆動することで、検査シートに対してテンションをほとんど掛けずに送ることができる。したがって、検査シートが検査ステージに触れたとしても、強く擦れ合うことがなく、検査シートや検査ステージからの発塵を防止することができる。
【００２０】
この場合、検査シートは、非発塵性のフィルム材および紙材のいずれかで構成されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、検査シートを非発塵性の材料で構成したことで、検査シートからの発塵を防止することができる。
【００２２】
この場合、検査シートは、繰出し側端部を円筒状の繰出しコアに巻回した状態でシート繰出し機構に装着され、且つ巻取り側端部を円筒状の巻取りコアに巻回した状態でシート巻取り機構に装着されており、繰出しコアおよび巻取りコアは、非発塵性の材料で構成されていることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、検査シートを繰出しコアに巻回した状態とすることで、シート繰出し機構に適切且つ容易に装着することができ、同様に、検査シートを巻取りコアに巻回した状態とすることで、シート巻取り機構に適切且つ容易に装着することができる。さらに、繰出しコアおよび巻取りコアを非発塵性の材料で構成したことで、繰出しコアおよび巻取りコアからの発塵を防止することができる。
【００２４】
本発明の液滴吐出装置は、上記した吐出検査装置と、描画装置と、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、装置設置雰囲気中の塵埃を増加させることなく、検査シートを検査ステージ上で送る共に、検査シートを検査ステージ上に吸着載置することができる吐出検査装置を備えたことで、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を適切に検査することができると共に、塵埃を混入させることなく、ワークに対して描画を行うことができる。
【００２６】
この場合、描画装置は、ワークをセットするセットテーブルと、機能液滴吐出ヘッドに対し、セットテーブルを介してワークを走査方向に移動させる移動機構と、を有し、吐出検査装置は、セットテーブルに隣接すると共に移動機構に搭載されていることが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、移動機構により、セットテーブルにセットしたワークを機能液滴吐出ヘッドに対し走査方向に移動させながら描画を行った後、これに引き続いて、セットテーブルに隣接する吐出検査装置を機能液滴吐出ヘッドに臨ませることで、吐出検査が行われる。このため、ワークに対する描画の後、即座に吐出検査を行うことができ、生産効率を向上させることができる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３０】
これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を適切に検査することができると共に、塵埃を混入させることなく、ワークに対して描画を行うことができる液滴吐出装置により製造することで、信頼性の高いワークを効率良く生産することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、添付の図面を参照して、本発明に係る吐出検査装置およびこれを備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上に機能液による成膜部を形成するものである。
【００３４】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置２と、描画装置２に添設されたメンテナンス装置３と、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良を検査するための吐出検査装置４とを備え、吐出検査装置４の検査結果に基づいて、メンテナンス装置３により機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・回復を行うと共に、描画装置２により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。また、液滴吐出装置１には、各種カメラを有する画像認識装置５と、装置全体を統括制御する制御コンピュータ６（図８参照）とが組み込まれている。
【００３５】
さらに、液滴吐出装置１は、クリーンエアーの管理下に設置されている。すなわち、液滴吐出装置１は、チャンバルーム７に収容されており、チャンバルーム７には、これに併設した図外のクリーンエアー供給ユニットにより、温度管理された清浄なガス（クリーンエアー）が供給されるようになっている。
【００３６】
描画装置２は、基板Ｗを載置するＸ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられた７個のキャリッジ１４と、各キャリッジ１４に垂設され、それぞれ１２個（図１および図２では２個のみ示す）の機能液滴吐出ヘッド１７を装着したヘッドユニット１５とを備えている。
【００３７】
Ｘ軸テーブル１２による基板Ｗの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１４の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア１８となっており、また、Ｙ軸テーブル１３によるキャリッジ１４の移動軌跡上のＸ軸テーブル１２から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア１９となっており、このメンテナンスエリア１９に上記のメンテナンス装置３が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル１２の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対する基板Ｗの搬出入を行う基板搬出入エリア２０となっている。
【００３８】
Ｘ軸テーブル１２は、搬入された基板Ｗを吸着セットするセットテーブル２１と、セットした基板Ｗをθ補正するためのθテーブル２２と、θテーブルを介してセットテーブル２１を載置する載置ベース２３と、載置ベース２３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ２４と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル２１を介して基板ＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸エアースライダ２４の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール２５とを備えている。さらに、セットテーブル２１の前後には、基板Ｗへの描画前後に各機能液滴吐出ヘッド１７からのフラッシングを受ける一対のフラッシングボックス２６が設けられている。
【００３９】
このように構成されたＸ軸テーブル１２により、セットテーブル２１にセットした基板ＷがＸ軸方向に往復動する。なお、基板搬出入エリア２０側から描画エリア１８側（図１の下側から上側）に移動するときを往動とし、描画エリア１８側から基板搬出入エリア２０側（図１の上側から下側）に移動するときを復動とする。
【００４０】
なお、後述する吐出検査装置４は、セットテーブル２１に対して往動側に隣接して、載置ベース２３上に搭載されている。そのため、Ｘ軸テーブル１２を駆動させることで、セットテーブル２１と吐出検査装置４とを一体としてＸ軸方向に移動するようになっている。
【００４１】
一方、Ｙ軸テーブル１３は、前後一対の支柱３２に載置されており、７個のキャリッジ１４をそれぞれ垂設する７個のブリッジプレート３１がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する７組のＹ軸スライダ（図示省略）と、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸スライダを介して各ブリッジプレート３１をＹ軸方向に移動させる前後一対のＹ軸リニアモータ（図時省略）と、Ｙ軸方向に延在し、７個のブリッジプレート３１の移動を案内する前後各２本（計４本）のＹ軸ガイドレール（図示省略）とを備えている。このため、７個のキャリッジ１４を個別に、あるいは一括してＹ軸方向に移動可能となっている。
【００４２】
各キャリッジ１４は、モータ駆動系で構成され、搭載したヘッドユニット１５を昇降するヘッド昇降機構３６を有している。このヘッド昇降機構３６により、ワークギャップ（機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２と基板Ｗ表面との間隙）を所定の値（例えば、０．１５ｍｍ〜０．３ｍｍ）に調整できるようになっている。
【００４３】
液滴吐出装置１には、７個のキャリッジ１４に１２個ずつ、計８４個の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されており、いわゆるラインプリント方式で描画処理を行うようになっている。すなわち、８４個の機能液滴吐出ヘッド１７がＹ軸方向（基板Ｗの幅方向）に連なり、大形の基板Ｗ（例えば幅１８００ｍｍ）に対しても、１回の吐出走査で基板Ｗの全域に描画処理を行うことできる。
【００４４】
各機能液滴吐出ヘッド１７は、図示しない機能液パック等から機能液が供給され、インクジェット方式（例えば圧電素子駆動）で機能液を吐出するものである。複数（例えば１８０個）のノズル４１を列設したノズル面４２を有しており、ヘッドドライバ（図示省略）から駆動波形を印加することにより、各ノズル４１から機能液が吐出される。
【００４５】
メンテナンス装置３は、メンテナンスエリア１９に配設され、機能液滴吐出ヘッド１７内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う７個の吸引ユニット４６と、吸引ユニット４６の描画エリア１８側に配設され、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２を払拭するワイピングユニット４７と、ワイピングユニット４７の描画エリア１８側に配設され、ノズル４１から吐出された機能液の飛行状態を撮像する飛行観測ユニット４８とを備えている。
【００４６】
画像認識装置５は、基板搬出入エリア２０の前後両側に臨むように配設され、基板Ｗに形成された２つのアライメントマーク（図示省略）をそれぞれ画像認識する２台のアライメントカメラ５１と、上記のＹ軸テーブル１３に添設されたカメラ移動機構（図示省略）によりＹ軸方向に移動可能に搭載され、吐出検査装置４の検査シートＳ（図３等参照）に吐出・着弾した機能液を画像認識する検査用カメラ５２とを有している。
【００４７】
吐出検査装置４は、詳細は後述するが、上記の載置ベース２３上に配設されており、全機能液滴吐出ヘッド１７に対応した長さを有する検査ステージ６３と、検査ステージ６３上に吸着載置され、各機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受ける検査シートＳとを有している。なお、検査シートＳに対して各機能液滴吐出ヘッド１７から検査吐出を行う際、基板Ｗに対する描画と同条件となるよう、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２と検査シートＳ上面との間隙は、上記のワークギャップと同程度の僅かな距離に設定されている。
【００４８】
各機能液滴吐出ヘッド１７は、検査シートＳに対して、吐出検査１回ごとに、幅方向（Ｘ軸方向）に着弾位置をずらしながら検査吐出を行う。そして、複数回の吐出検査により検査シートＳの幅いっぱい（全面）に吐出検査が行われると、その検査済み部分が巻き取られ、新たに繰り出された未描画部分に対して、同様に複数回の吐出検査が行われるようになっている。
【００４９】
制御コンピュータ６は、図示しないが、パソコン等で構成されており、各装置と接続され、ＣＰＵやメモリ等から成るコンピュータ本体、キーボードおよびディスプレイ等を有している。なお、詳細は後述するが、吐出検査装置４の検査シートＳの吸着不良が検出されると、ディスプレイ上にその旨が表示（報知）されにようになっている。
【００５０】
ここで、液滴吐出装置１による基板Ｗへの一連の描画処理について簡単に説明する。まず、基板搬出入エリア２０に移動させたセットテーブル２１に基板Ｗをセットすると共に、機能液を吐出する前の準備として、２台のアライメントカメラ５１によるアライメントマークの画像認識結果に基づいて、基板Ｗのアライメントを行う。
【００５１】
続いて、基板Ｗに対し、機能液滴吐出ヘッド１７を走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させて基板Ｗに描画を行う。すなわち、Ｘ軸テーブル１２により基板ＷをＸ軸方向に往復動させながら、基板Ｗに対して複数の機能液滴吐出ヘッド１７から機能液をそれぞれ吐出・着弾させる。
【００５２】
描画処理の最終段階では、Ｘ軸テーブル１２によりセットテーブル２１と共に復動してきた吐出検査装置４を、セットテーブル２１に後追いするようにして、複数の機能液滴吐出ヘッド１７に臨ませる。複数の機能液滴吐出ヘッド１７は、セットテーブル２１上の基板Ｗに描画を行った後、後追いしてきた吐出検査装置４の検査シートＳに対して全ノズル４１から検査用の吐出を行う。このため、基板Ｗに対する描画の後、即座に吐出検査を行うことができ、生産効率を向上させることができる。
【００５３】
続いて、上記の検査用カメラ５２をＹ軸方向に走査させながら、吐出結果を画像認識する。各ノズル４１にドット抜け、飛行曲がり等の異常が確認されなかった場合には、引き続き次の基板Ｗに対する描画処理が行われ、異常が確認された場合には、描画処理を行う前に、対応する機能液滴吐出ヘッド１７（ヘッドユニット１５）をメンテナンス装置３に臨ませ、メンテナンス処理を行うようになっている。
【００５４】
図３ないし図８を参照して、吐出検査装置４について詳細に説明する。吐出検査装置４は、上記の載置ベース２３上に設置され、各種電装機器（後述する制御ユニット６７等）を収容する防塵キャビネット６１と、防塵キャビネット６１上の後半部に載置されたベースフレーム６２と、ベースフレーム６２上に支持され、検査シートＳを吸着載置する検査ステージ６３と、検査ステージ６３の一方の端部から検査シートＳを検査ステージ６３上に繰り出すと共に、繰り出した検査シートＳを検査ステージ６３上から検査ステージ６３の他方の端部に巻き取るシート送り機構６４とを備えている。
【００５５】
また、吐出検査装置４は、検査シートＳを検査ステージ６３上に吸着するためのエアー吸引機構６５と、検査シートＳを検査ステージ６３から浮上させるためのエアー浮上機構６６（図７参照）と、各部を制御する制御ユニット６７とを備えており、機能液滴吐出ヘッド１７からの検査吐出を受ける検査シートＳを検査ステージ６３上に吸着載置すると共に、これを浮上させながら送るようになっている。さらに、ベースフレーム６２と各分割ステージ６３ａとの間には、各分割ステージ６３ａが水平となるように微調整可能な傾き調整機構６８が介設されている。
【００５６】
検査シートＳは、防塵紙等の非発塵性のフィルム材および紙材で構成され、帯状（例えば幅１００ｍｍ）に形成されている。また、繰出し側端部を円筒状の繰出しコアＣ１に巻回した状態でシート送り機構６４のシート繰出し機構８１（後述する）に装着され、巻取り側端部を円筒状の巻取りコアＣ２に巻回した状態でシート巻取り機構８２（後述する）に装着されている。そして、繰出しコアＣ１および巻取りコアＣ２についても、樹脂等の非発塵性の材料で構成されている。これにより、検査シートＳや繰出しコアＣ１および巻取りコアＣ２からの発塵が防止されている。なお、検査シートＳは、塵埃の混入を極力防止すべく、クリーン環境で製造し、クリーン度を保ったままパッキングして、チャンバルーム７内で開封することが好ましい。
【００５７】
検査ステージ６３は、検査シートＳを吸着載置する多孔質プレート７１と、上部に多孔質プレート７１を水平に保持する枠状フレーム７２と、多孔質プレート７１の下面に面して枠状フレーム７２の内側に形成されると共に、後述する真空吸引装置およびエアー供給装置（図示省略）に連通するエアー室７３（図８参照）とを有している。
【００５８】
また、検査ステージ６３は、検査シートＳの延在方向（Ｙ軸方向）に分割した６個の分割ステージ６３ａで構成されており、それに伴って、多孔質プレート７１は、Ｙ軸方向に分割した６個の分割多孔質プレート７１ａで、枠状フレーム７２は、Ｙ軸方向に分割した６個の分割枠状フレーム７２ａで、エアー室７３は、Ｙ軸方向に分割した６個の分割エアー室７３ａで構成されている。すなわち、各分割ステージ６３ａは、分割多孔質プレート７１ａと、分割枠状フレーム７２ａと、分割エアー室７３ａとから成っている。
【００５９】
このように、複数の分割ステージ６３ａにより検査ステージ６３を構成することで、検査ステージ６３を、複数の機能液滴吐出ヘッド１７に対応した長尺のもの（本実施形態では１８００ｍｍ以上）とすることが容易となる。
【００６０】
さらに、各分割エアー室７３ａは、隔壁により複数の細分化エアー室７３ｓに細分化されている。すなわち、６個の分割エアー室７３ａのうち、両端の２個の分割エアー室７３ａは、Ｙ軸方向に細分化された３個の細分化エアー室７３ｓでそれぞれ構成され、中間の４個の分割エアー室７３ａは、Ｙ軸方向に細分化された２個の細分化エアー室７３ｓでそれぞれ構成されている。つまり、検査ステージ６３のエアー室７３は、１４個の細分化エアー室７３ｓを有している。
【００６１】
各分割多孔質プレート７１ａは、平面視長方形のプレート状に形成され、その幅は、検査シートＳの幅よりも僅かに幅狭（例えば９４ｍｍ）となっている。また、ステンレス等の焼結金属から成る多孔質体で構成されており、載置した検査シートＳを、平面精度を損なうことなく、均一に吸引できると共に、均一に浮上させることができるようになっている。なお、各分割多孔質プレート７１ａは、導電性を有しており、多孔質体にテフロン（登録商標）等を用いる場合には、最表層に導電性処理がなされている。
【００６２】
各分割枠状フレーム７２ａは、ステンレス等の導電性の材料で構成されており、上面を開放した平面視長方形のボックス状に形成されている。各分割枠状フレーム７２ａは、図示省略したが、分割多孔質プレート７１ａが載置される周壁部、後述するエアー吸引チューブ９１およびエアー供給チューブ１０１が接続する底部と、周壁部に載置された分割多孔質プレート７１ａが、後述する削り加工時等に撓まないようにこれを支持する格子状の補強リブとから構成されている。
【００６３】
検査シートＳの延在方向（Ｙ軸方向）に対向する両短辺部分の周壁部（短辺周壁部）は、その上端部が、各分割多孔質プレート７１ａの短辺部分を載置する載置部となっている。このため、隣接する２つの分割枠状フレーム７２ａは、隣接する分割多孔質プレート７１ａ同士を突き合わせた状態で、すなわち検査シートＳの延在方向に連続するようにして載置している。
【００６４】
さらに、隣接する分割多孔質プレート７１ａ同士は、接着剤により突き合わせた状態で接着されている。これによれば、隣接する分割多孔質プレート７１ａ同士の間隙から吸引エアーがリークすることがない。このため、検査シートＳを均一に吸引することができる。
【００６５】
一方、各分割枠状フレーム７２ａのＸ軸方向に対向する両長辺部分の周壁部（長辺周壁部７８）は、その上端部が、それぞれ内側が段部を介して低く形成されており、この段部の部分で、各分割枠状フレーム７２ａを載置している。そして、両長辺周壁部７８（各分割枠状フレーム７２ａの両側部）の上端面７８ａは、載置した各分割多孔質プレート７１ａの上面と面一になるように形成されている。例えば、厚めの分割多孔質プレート７１ａを載置した後、両長辺周壁部７８の上端面７８ａと面一になるまで、分割多孔質プレート７１ａを削るようにしている。
【００６６】
このように、各分割多孔質プレート７１ａの上面と各枠状フレーム７２の両長辺周壁部７８の上端面７８ａとを面一に形成すると共に、各分割多孔質プレート７１ａの幅が、検査シートＳの幅より僅かに幅狭に形成されていることで、検査シートＳは、幅方向の両端部が各分割多孔質プレート７１ａから僅かにはみ出して各枠状フレーム７２の両長辺周壁部７８の上端面７８ａに掛かった状態で、各分割多孔質プレート７１ａ上に載置される（図４参照）。このため、検査シートＳが多少蛇行（±３ｍｍ程度）しながら送られたとしても、各分割多孔質プレート７１ａの全面が検査シートＳに覆われるため、吸引エアーがリークすることなく、検査シートＳを効率良く吸引することができる。
【００６７】
傾き調整機構６８は、検査シートＳの延在方向（Ｙ軸方向）に沿う各分割ステージ６３ａの一方の辺側の中間部位置に介設した１の調整ねじ機構７９と、他方の辺側の両端部位置に介設した２つ調整ねじ機構７９とで構成されている。
【００６８】
各調整ねじ機構７９は、図示省略したが、各分割ステージ６３ａの前面または背面に固定され、上下方向に貫通する調整ねじ孔（雌ねじ）を形成したスライドブロックと、スライドブロックの調整ねじ孔に螺合するアジャストねじと、ベースフレーム６２の前面または背面に固定され、アジャストねじの下端が当接する固定ブロックとから構成されている。スライドブロックに対しアジャストねじを回転させる（ねじ込みまたは緩ませる）と、スライドブロックが上下し、ベースフレームに対して各分割ステージ６３ａを上下させることができる。
【００６９】
３つの調整ねじ機構７９のアジャストねじをそれぞれ適宜回転させることで、各分割ステージ６３ａが水平となるように、その傾きを簡易且つ適切に調整することができる。そして、複数の分割ステージ６３ａを、相互に傾くことなく、同一平面（水平面）上に設けることができるため、複数の分割多孔質プレート７１ａが正確に水平に保持される。したがって、検査シートＳを精度良く水平に載置することができる。
【００７０】
そして、検査シートＳは、多孔質プレート７１上で吸引されるため、吸着面の平面精度を損なうことなく、均一に吸引される。したがって、検査ステージ６３上に検査シートＳを水平且つ平坦に載置することができるようになっている。
【００７１】
シート送り機構６４は、検査ステージ６３の一端側（図示左側）に配設され、ロール状に巻回した検査シートＳを検査ステージ６３上に繰り出すシート繰出し機構８１と、検査ステージ６３の他端側（図示右側）に配設され、繰出した検査シートＳを検査ステージ６３上から巻き取るシート巻取り機構８２とを有している。
【００７２】
シート繰出し機構８１は、防塵キャビネット６１の一方の側面に固定され、検査シートＳの繰出しコアＣ１が挿填される繰出し軸８３（例えばエアーシャフト）と、繰出し軸８３の一端にカップリングを介して接続され、繰出し軸８３を繰出し回転させる繰出しモータ８４（サーボモータ等）と、検査ステージ６３の端部に回転自在に取り付けられ、繰出し軸８３から繰り出された検査シートＳを検査ステージ６３上に案内する繰出しガイドローラ８５とで構成されている。また、後述する送り速度検出器８６により、繰出しモータ８４が制御されている。なお、繰出しモータ８４のトルクを検出し、これと併せて繰出しモータ８４を制御してもよい。
【００７３】
同様に、シート巻取り機構８２は、防塵キャビネット６１の他方の側面に固定され、検査シートＳの巻取りコアＣ２が挿填される巻取り軸８７（例えばエアーシャフト）と、巻取り軸８７の一端にカップリングを介して接続され、巻取り軸８７を巻取り回転させる巻取りモータ８８（サーボモータ等）と、検査ステージ６３の端部に回転自在に取り付けられ、検査ステージ６３上を送られてきた検査シートＳを巻取り軸８７に案内する巻取りガイドローラ８９とで構成されている。また、巻取りガイドローラ８９には、エンコーダ等で構成された送り速度検出器８６が設けられており、これにより、巻取りモータ８８が制御されている。もちろん、この場合もトルク管理による制御が可能である。
【００７４】
このように構成されたシート繰出し機構８１およびシート巻取り機構８２により、ロール状の検査シートＳが、検査ステージ６３上に繰り出されると共に、これが検査ステージ６３上から巻き取られる。このため、ロール状の検査シートＳを吐出検査に供することが可能となり、検査シートＳの交換頻度を少なくすることができる。したがって、液滴吐出装置１を効率的に稼動させることができる。なお、検査シートＳの長さは、交換頻度を少なくすべく、ある程度長い（例えば５０ｍ）ほうが好ましい。
【００７５】
また、詳細は後述するが、繰出しモータ８４および巻取りモータ８８は、制御ユニット６７により同時に駆動するように制御されている。また、検査シートＳを送った後、検査シートＳの吸着に際し、シート繰出し機構８１を僅かに逆送り駆動（繰出しモータ８４を逆回転）したり、シート巻取り機構を僅かに正送り駆動（巻取りモータ８８を正回転）したりして、検査シートＳにテンションを付与するようにしている。
【００７６】
なお、図示省略したが、巻取り軸８７および繰出し軸８３の下方には、それぞれエゼクタ等で構成された吸引装置が設けられ、万一、検査シートＳから塵埃が生じた場合にも、これを吸い込み除去するようになっている。
【００７７】
図７および図８に示すように、エアー吸引機構６５は、１４個の細分化エアー室を個別に吸引可能に構成されており、１４個の細分化エアー室７３ｓに対応して、各細分化エアー室７３ｓの底部に形成された吸引口（図示省略）に接続された１４本のエアー吸引チューブ９１と、１４本のエアー吸引チューブ９１を３組に分けてそれぞれ合流させた３本の合流吸引チューブ９２とを有し、各合流吸引チューブ９２は、圧縮エアー供給設備（工場設備）からの圧空が供給されるエゼクタ等で構成された真空吸引装置（図示省略）に連通している。
【００７８】
各エアー吸引チューブ９１には、細分化エアー室７３ｓ側から順に、吸引フィルタ９４と、エアー室の圧力を検出するための真空センサ９５と、吸引流量調整弁９６（絞り弁）と、吸引切換えバルブ９７（電磁切換え弁）とが介設されている。制御ユニット６７により、各吸引切換えバルブ９７を開閉制御することで、各細分化エアー室７３ｓの吸引エアーを個々に制御している。
【００７９】
エアー吸引機構６５全体としては、吸引フィルタ９４、真空センサ９５、吸引流量調整弁９６および吸引切換えバルブ９７を１４個ずつ有している。これらは、それぞれ吸引フィルタユニット（図示省略）、真空センサユニット（図示省略）、吸引流量調整弁ユニット（図示省略）および吸引バルブユニット９８（吸引エアーバルブユニット）としてユニット化され、後述する防塵キャビネット６１に収容されている。
【００８０】
同様に、エアー浮上機構６６は、圧縮エアー供給設備からの圧縮エアーを圧力調整するレギュレータ等で構成されたエアー供給装置（図示省略）に接続された上流側供給チューブ１０３と、上流側供給チューブ１０３から分岐した３本の接続供給チューブ１０２と、各接続供給チューブ１０２から分岐し、各細分化エアー室７３ｓの底部に形成された供給口（図示省略）に接続された１４本のエアー供給チューブ１０１とで構成され、圧力調整されたエアーを１４個の細分化エアー室７３ｓに個別に供給可能となっている。
【００８１】
各エアー供給チューブ１０１には、細分化エアー室７３ｓ側から順に、供給フィルタ１０４と、供給流量調整弁１０６（絞り弁）と、供給切換えバルブ１０７（電磁切換え弁）とが介設されている。制御ユニット６７により、各供給切換えバルブ１０７を開閉制御することで、各細分化エアー室７３ｓの浮上エアーを個々に制御している。
【００８２】
エアー浮上機構６６全体としては、供給フィルタ１０４、供給流量調整弁１０６および供給切換えバルブ１０７を１４個ずつ有している。これらは、それぞれ供給フィルタユニット、供給流量調整弁ユニットおよび供給バルブユニット１０８（浮上エアーバルブユニット）としてユニット化され、後述する防塵キャビネット６１に収容されている。
【００８３】
このように構成された吸引バルブユニット９８および供給バルブユニット１０８を制御することで、各分割ステージ６３ａを吸着動作させたり、浮上動作させたりしている。すなわち、各細分化エアー室において、各吸引切換えバルブ９７を「開」とすると共に、各供給切換えバルブ１０７を「閉」とすることで、各細分化エアー室７３ｓに吸引エアーが生じ、各分割ステージ６３ａが吸着動作をする。
【００８４】
このとき、各分割ステージ６３ａにおいて、検査シートＳが分割多孔質プレート７１ａから浮き上がり、吸引エアーがリークしている場合には、対応する真空センサ９５により、所定の負圧よりも負圧小（負圧の絶対値が小）が検出される。このように、各エアー吸引チューブ９１に真空センサ９５を介設したことで、吸着不良に伴う検査シートＳの浮き上がりを簡易且つ確実に検出することができる。
【００８５】
そして、その検出結果が制御ユニット６７を介して制御コンピュータ６に出力され、対応する分割ステージ６３ａにおいて検査シートＳが浮上している旨の警告が表示されるようになっている。このため、検査シートＳの吸着不良により、検査シートＳが浮き上がり、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２と接触するおそれのある状態のまま、機能液滴吐出ヘッド１７により検査シートＳに対する検査吐出を行うことを回避することができる。もちろん、吐出検査動作を自動停止するようにしてもよい。
【００８６】
なお、検査シートＳの浮き上がりを、検査ステージ６３の一方の端部（例えばシート繰出し機構８１側）に設けた発光素子と、他方の端部（例えばシート巻取り機構８２側）に設けた受光素子とから成る光センサにより検出するようにしてもよい。
【００８７】
一方、各細分化エアー室において、各吸引切換えバルブ９７を「閉」とすると共に、各供給切換えバルブ１０７を「開」とすることで、各細分化エアー室７３ｓに浮上エアーが生じ、各分割ステージ６３ａが浮上動作をする。
【００８８】
制御ユニット６７は、ＣＰＵやメモリ等の素子を組み込んだ回路基板やリレー回路等で構成されており、後述する防塵キャビネット６１に収容されている。また、上記の制御コンピュータ６に接続されており、制御コンピュータ６の各種指令を取り込みながら、吐出検査装置４の各部を制御すると共に、真空センサ９５の検出結果等を制御コンピュータ６に出力するようになっている。なお、制御の具体的な内容については後述する。
【００８９】
防塵キャビネット６１は、検査ステージ６３の下側に配設されており、ステンレス製のアングル材を格子状に組み付けたキャビネットフレーム１１１と、キャビネットフレーム１１１に気密に取り付けたステンレス製の複数枚のパネル１１２とで構成されている。また、その下面には、防錆処理（メッキ）された設置金具１１３が複数個固定されており、この設置金具１１３により上記の載置ベース２３上に設置される。このように、防塵キャビネット６１は、ステンレス等の防錆材料および表面を防錆処理した材料で構成されている。このため、防塵キャビネット６１から錆が生ずることを防止でき、防塵キャビネット６１からの発塵を防止することができる。
【００９０】
防塵キャビネット６１は、発塵のおそれのある各種電装装置等を収容しており、例えば、その下部には、シート繰出し機構８１側から順に、吸引バルブユニット９８、制御ユニット６７および供給バルブユニット１０８が載置されている。また、防塵キャビネット６１の上部には、上記のエアー吸引チューブ９１およびエアー供給チューブ１０１等のチューブ類が収容されている。
【００９１】
防塵キャビネット６１の両側面のパネル１１２には、シート繰出し機構８１に面した繰出し側吸気口（図示省略）と、シート巻取り機構８２に面した巻取り側吸気口１１４とが形成されている。繰出し側吸気口および巻取り側吸気口１１４には、金属メッシュフィルタが取り付けられている。
【００９２】
また、防塵キャビネット６１の前面のパネル１１２には、シート繰出し機構８１側の繰出し側排気口（図示省略）と、シート巻取り機構８２側の巻取り側排気口（図示省略）とが形成されている。さらに、各排気口に面して、排気ファンおよびフィルタ（例えばＵＬＰＡフィルタ）から成るファンフィルタユニット１１５が配設されている。
【００９３】
ファン・フィルタユニットを駆動することで、繰出し側吸気口および巻取り側吸気口１１４からキャビネット外エアーを吸気すると共に、繰出し側排気口および巻取り側排気口からキャビネット内エアーを外部に排気する。このため、シート繰出し機構８１またはシート巻取り機構８２から発塵したとしても、その塵埃を、それぞれ繰出し側吸気口および巻取り側吸気口１１４から防塵キャビネット６１内に吸い込むことができる。そして、ファンフィルタユニット１１５のフィルタを介してキャビネット内エアーを繰出し側排気口および巻取り側排気口から排気するため、防塵キャビネット６１内の塵埃を装置設置雰囲気中に排出することがない。防塵キャビネット６１内で制御ユニット６７等から発生した熱を防塵キャビネット６１外に逃すことができる。
【００９４】
なお、繰出し側排気口および巻取り側排気口にファンフィルタユニット１１５を設けることに代えて、一端を各排気口に連通し、他端を排気処理設備（工場設備）に連通する排気管路を設けてもよい。
【００９５】
ここで、図８を参照して、吐出検査装置４における検査シートＳの浮上送りおよび検査シートＳ上への吸着載置の一連の動作について説明する。なお、図８では、図示簡略化のため、吸引切換えバルブ９７、供給切換えバルブ１０７および真空センサ９５は、それぞれ図示左側端部の細分化エアー室７３ｓに設けられもののみ制御ユニット６７に接続したが、実際には、すべての吸引切換えバルブ９７、供給切換えバルブ１０７および真空センサ９５がそれぞれ制御ユニット６７に接続され、個別に制御を受けている。
【００９６】
まず、検査ステージ６３上に吸着載置した検査シートＳに検査吐出が行われる（図８（ａ）参照）。このとき、検査シートＳは、上記したように、検査ステージ６３上に水平且つ平坦に載置される。このため、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２と検査シートＳ上面との間隙は、上記のワークギャップ（０．１５ｍｍ〜０．３０ｍｍ）と同程度の僅かな距離に設定されているが、検査シートＳに対して機能液滴吐出ヘッド１７を走査した際に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２に検査シートＳが接触することがない。
【００９７】
その後、検査シートＳの送りに先立って、検査シートＳの吸着を解除する（図８（ｂ）参照）。すなわち、吸引バルブユニット９８を制御して、全分割ステージ６３ａの吸着動作を停止させる。
【００９８】
続いて、検査シートＳを浮上させる（図８（ｃ）参照）。すなわち、供給バルブユニット１０８を制御して、全分割ステージ６３ａの浮上動作を開始する。このため、検査シートＳを検査ステージ６３に吸着載置したことで、検査シートＳが検査ステージ６３から剥がれ難い状態となったとしても、これを確実に剥がすことができる。なお、検査シートＳを円滑に浮上させるべく、１４個の細分化エアー室７３ｓに対し、例えばシート繰出し機構８１側端部のものからシート巻取り機構８２側端部のものに向かって順に浮上エアーを生じさせるようにしてもよい。
【００９９】
検査シートＳを浮上させた後、シート繰出し機構８１およびシート巻取り機構８２を同時に駆動して、検査済み部分が巻き取られるまで、検査シートＳを送る（図８（ｄ）参照）。このため、検査シートＳが検査ステージ６３と擦れ合うことがなく、静電気を帯びることもない。したがって、検査シートＳを、真空吸着や静電吸着等により検査ステージ６３に張り付いた状態で送ることがなく、検査シートＳにしわが寄ったり、検査シートＳの巻取り負荷が増大したりするがない。また、検査シートＳが静電気を帯びることがないため、吐出検査時の機能液の着弾位置に影響を与えることもない。なお、上述したように、検査シートＳが載置される各分割枠状フレーム７２ａおよび各分割多孔質プレート７１ａを導電性としており、検査シートＳが静電気により帯電することをより確実に防止できるようになっている。
【０１００】
さらに、検査シートＳを検査ステージ６３から浮上させた状態で検査シートＳを送ることで、検査シートＳを検査ステージ６３と擦れ合わせることなく送ることができ、検査シートＳや検査ステージ６３からの発塵を防止することができる。
【０１０１】
また、シート繰出し機構８１およびシート巻取り機構８２を同時に駆動して、検査シートＳを送ることで、検査シートＳに対してテンションをほとんど掛けることなく送ることができる。このため、仮に検査シートＳが検査ステージ６３に触れたとしても、強く擦れ合うことがなく、検査シートＳや検査ステージ６３からの発塵を防止することができる。さらに、検査シートＳの巻取り負荷も軽減され、繰出しモータ８４および巻取りモータ８８が過負荷となることを防止できる。
【０１０２】
検査シートＳの送りが完了したら、新たに繰り出された検査シートＳを検査ステージ６３上に吸着載置する。このとき、シート繰出し機構８１を僅かに逆送り駆動させて検査シートＳにテンションを付与した状態で、１４個の細分化エアー室７３ｓに対し、シート巻取り機構８２側端部のものからシート繰出し機構８１側端部のものに向かって順に吸引エアーを生じさせる（図８（ｅ）参照）。このため、シート巻取り機構８２側端部から順にエアーを追い出しながら検査シートＳを吸着することができ、シワがよることなく、検査シートＳを適切に吸着載置することができる。
【０１０３】
このとき、検査シートＳにテンションを付与せずに、シート巻取り機構８２側端部のものからシート繰出し機構８１側端部のものに向かって順に吸引エアーを生じさせるだけでもよい。もっとも、本実施形態のように、シート繰出し機構８１側から検査シートＳにテンションを付与することで、より効果的にエアーを追い出しながら検査シートＳを吸着することができる。
【０１０４】
また、シート巻取り機構８２を僅かに正送り駆動させて検査シートＳにテンションを付与した状態で、１４個の細分化エアー室７３ｓを、シート繰出し機構８１側端部のものからシート巻取り機構８２側端部のものに向かって順に吸引エアーを生じさせてもよい。さらに、短時間で検査シートＳを吸着載置すべく、シート繰出し機構８１を僅かに逆送り駆動させ且つシート巻取り機構８２を僅かに正送り駆動させて検査シートＳに両端部からテンションを付与した状態で、１４個の細分化エアー室７３ｓを、中間部に位置するものからシート繰出し機構８１側端部のものおよびシート巻取り機構８２側端部のものに向かって順に吸引エアーを生じさせてもよい。
【０１０５】
そして、シート繰出し機構８１側端部の細分化エアー室７３ｓまで吸引エアーを生じさせると、新たに繰り出された検査シートＳの全体が検査ステージ６３上に吸着載置される（図８（ｆ）参照）。このようにして、吐出検査装置４における検査シートＳの浮上送りおよび検査シートＳ上への吸着載置の一連の動作が完了する。
【０１０６】
なお、本実施形態では、細分化エアー室７３ｓ単位で吸引エアーおよび浮上エアーの制御を行ったが、分割エアー室７３ａ（分割ステージ６３ａ）単位で行ってもよい。もっとも、細分化エアー室７３ｓ単位で行うことで、各分割多孔質プレート７１ａに対し、吸引エアーおよび浮上エアーをより細かく制御することができ、上述した検査シートＳの吸着載置時のエアーの追い出し等を、より適切に行うことができる。
【０１０７】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、検査シートＳを水平且つ平坦に載置することができる吐出検査装置４を備えたことで、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面４２に検査シートＳが接触することなく、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良検査を適切に行うことができる。また、装置設置雰囲気中の塵埃を増加させることなく、検査シートＳを検査ステージ６３上で送る共に、検査シートＳを検査ステージ６３上に吸着載置することができる吐出検査装置４を備えたことで、クリーンエアーの管理下で、塵埃を混入させることなく基板Ｗに対して描画を行うことができる。さらに、検査シートＳを検査ステージ６３上に吸着載置すると共に、検査シートＳの繰出し・巻取り負荷を増大させることなく検査シートＳを送ることができる吐出検査装置４を備えたことで、吐出検査装置４を適切に駆動させた状態で機能液滴吐出ヘッド１７の吐出不良検査を行うことができる。
【０１０８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【０１０９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【０１１０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【０１１１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【０１１２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【０１１４】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【０１１５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【０１１６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【０１１７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１１８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【０１１９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【０１２０】
図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【０１２１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１２２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１２３】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１２４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１２５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１２６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１２７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１２８】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１２９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１３０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１３１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１３２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１３３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１３４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１３５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１３６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１３７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１３８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１３９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１４０】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１４１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１４２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１４３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１４４】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１４５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１４６】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちのいずれか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１４７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１４８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１４９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１５０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１５１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１５２】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１５３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１５４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１５５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１５６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１５７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１５８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１５９】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１６０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１６１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１６２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１６３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１６４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１６５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１６６】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の正面図である。
【図３】実施形態に係る吐出検査装置の正面図である。
【図４】吐出検査装置の平面図である。
【図５】吐出検査装置の背面図である。
【図６】吐出検査装置の右側面図である。
【図７】吐出検査装置のエアー吸引機構およびエアー浮上機構の回路図である。
【図８】吐出検査装置により検査シートの浮上送りおよび吸着載置を説明する概念図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１６７】
１…液滴吐出装置  ２…描画装置  ４…吐出検査装置  １７…機能液滴吐出ヘッド  ６１…防塵キャビネット  ６３…検査ステージ  ６８…傾き調整機構  ７１…多孔質プレート  ７２…枠状フレーム  ７３…エアー室  ８１…シート繰出し機構  ８２…シート巻取り機構  ９８…吸引バルブユニット  １０８…供給バルブユニット  Ｓ…検査シート  Ｗ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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