(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明高分子フィルムの一方の面に表面保護層が設けられた表面保護フィルムにおいて、
表面保護層が、離型性成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂を含み、バインダー成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂を含むことを特徴とする表面保護フィルム。
【請求項２】
前記水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂として、縮合反応型シリコーン系樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の表面保護フィルム。
【請求項３】
前記水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂の割合は、前記バインダー成分１００重量部に対して、１重量部〜４０重量部であることを特徴とする請求項１記載の表面保護フィルム。
【請求項４】
前記透明高分子フィルムの他方の面に、粘着層が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の表面保護フィルム。
【請求項５】
ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂と、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂とを含むことを特徴とする表面保護膜用組成物。
【請求項６】
前記縮合反応型樹脂が、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を含むことを特徴とする請求項５に記載の表面保護膜用組成物。
【請求項７】
ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を前記縮合反応型樹脂の１５重量％以上、７０重量％以下含むことを特徴とする請求項６に記載の表面保護膜用組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離型性を有する表面保護フィルムに関し、特に、プリント基板作製工程などにおいて粘着性を有するフォトレジストを露光する際の原稿（フォトマスク）の表面に好適に用いられる表面保護フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、プリント配線板や樹脂凸版は、液状フォトレジストなどの粘着性のあるフォトレジストにフォトマスク（露光用原稿）を密着露光して作製される。このため、フォトマスクの表面に何らかの処理を施さないと、露光終了後フォトマスクをフォトレジストから剥がす際に、フォトレジストの一部がフォトマスク表面に付着し、拭き取ってもフォトマスク上に残存してしまい、露光精度の低下を招いてしまうという問題を生じる。このような事情から、従来からフォトマスク上のフォトレジストに対向する面に、離型性を有する表面保護フィルムを設けて、フォトレジストがフォトマスクに付着することを防止している。【０００３】
このようなフォトマスク用の表面保護フィルムとしては、プラスチックフィルムの一方の面に離型性を有する表面保護層を有し、もう一方の面に粘着層を有するものが提案されている（特許文献１）。表面保護層を構成する材料としては、通常シリコーン系樹脂などの離型性を有する樹脂が用いられている。
しかしこのような表面保護フィルムにおいても、表面保護層へのフォトレジストの付着を完全に防止することはできず、表面保護層に露光を繰り返すごとに少しずつ付着したフォトレジストによって、露光の際の光が遮蔽されたり、光散乱性が増加するといったことが起こり、露光障害となってしまう。また、付着したフォトレジストの表面凹凸が基板（レジスト）に再転写されてしまい、傷による不良となってしまう。【０００４】
このような問題を解決するため、表面保護膜に残ったフォトレジストや、その他のほこりなどを除去するため、表面保護膜の表面を洗浄溶剤によって定期的にクリーニング（ふき取り操作）することが行われている（特許文献２）。【０００５】
しかし、このような作業を行うことは煩雑であり、量産性を高めるためにも、クリーニングの回数を少なくすることやクリーニングをなくすことが望まれている。【０００６】
【特許文献１】特開平１１−７１２１号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開２００３−９６４０９号公報（発明が解決しようとする課題）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、フォトレジストに対する極めて高い離型性が持続する表面保護フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題達成のために、検討の結果、露光を繰り返すごとに表面保護膜に少しずつフォトレジストが付着して、表面保護膜の離型性が失われていくことがわかった。【０００９】
したがって、本発明者らは、このような目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、表面保護層を、離型性成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂を含み、バインダー成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂より構成することによって、上記のような課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。【００１０】
即ち、本発明の表面保護フィルムは、透明高分子フィルムの一方の面に表面保護層が設けられた表面保護フィルムにおいて、表面保護層が、離型性成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂を含み、バインダー成分としてＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂より構成されることを特徴とするものである。【００１１】
また、本発明の表面保護フィルムは、前記水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂として、縮合反応型シリコーン系樹脂を含むことを特徴とするものである。【００１２】
また、本発明の表面保護フィルムは、前記水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂の割合は、前記バインダー成分１００重量部に対して、１重量部〜４０重量部であることを特徴とするものである。
本発明の表面保護フィルムの一態様において、透明高分子フィルムの他方の面には粘着層が設けられている。【００１３】
さらに、本発明の表面保護層用組成物は、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂と、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂を含むことを特徴とする。
また本発明の表面保護膜用組成物は、前記縮合反応型樹脂が、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型シリコーン系樹脂を含む。本発明の表面保護膜用組成物において、縮合反応型樹脂は、例えば、この縮合反応型シリコーン系樹脂を１５重量％以上、７０重量％以下含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば表面保護膜へのフォトレジストの付着を防止し、クリーニングを行わなくても、フォトレジストに対する極めて高い離型性を持続することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の表面保護層用組成物および表面保護フィルムについて説明する。
本発明の表面保護層用組成物は、水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂と、水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂を含むものである。本発明の表面保護層用組成物は、高分子フィルム等の基材に表面保護層を設けた表面保護フィルムの表面保護層や、表面保護すべき材料（例えばフォトマスク）の表面に直接設けた表面保護層を形成するのに用いられる。
本発明の表面保護フィルムは、透明高分子フィルムの一方の面に表面保護層が設けられ、他方の面に粘着層が設けられた表面保護フィルムであり、表面保護層は本発明の表面保護層用組成物から形成されたものである。以下、本発明の表面保護フィルムの実施の形態について説明する。【００１６】
透明高分子フィルムとしては、露光の際に使われる紫外線の透過率の高いものであれば良く、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、トリアセチルセルロース、アクリル、ポリ塩化ビニルなどの透明性に優れる高分子フィルムが用いられる。特に二軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムが機械的強度、寸法安定性に優れているため好適に使用することができる。また、これらの透明高分子フィルムに、適宜易接着層などを設けたものも好適に使用される。【００１７】
透明高分子フィルムの厚みは、解像度に影響するため薄いほうが好ましいが、取り扱い性も考慮して、厚みの下限としては、１μｍ以上、好ましくは２μｍ以上、さらに４μｍ以上がより望ましく、上限としては、１００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以下、さらに１２μｍ以下の範囲がより望ましい。【００１８】
透明高分子フィルムの表面保護層が設けられる面と反対側の面に設けられる粘着層は、一般に使用されるアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤などの公知の透明粘着剤が使用できる。本発明の表面保護フィルムは、画像などの保護を目的としていることから、粘着剤も透明でそれ自体高い耐候性を有していることが望ましい。このような粘着剤としては、ウレタン架橋性またはエポキシ架橋性の高分子量のアクリル系の粘着剤が適している。また、帯電防止などの性能を持つ粘着剤を使用しても良い。
或いは帯電防止層を設けた透明高分子フィルムの面に、粘着層を設けても良い。【００１９】
この粘着層の厚みとしては、透明性（解像度）を阻害せず、適度な粘着性が得られるよう、下限として０．５μｍ以上、好ましくは１μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上の範囲が望ましく、上限としては３０μｍ以下、好ましくは１５μｍ以下、より好ましくは７μｍ以下の範囲が望ましい。【００２０】
また、粘着層には、その粘着性によって表面保護フィルムの取り扱い性が低下しないようにするために、表面に離型処理を施した離型フィルムを貼り合わせることも適宜行うことができる。【００２１】
透明高分子フィルムの他方の表面に設けられる表面保護層は、離型性を有する表面保護層からなり、離型性成分、バインダー成分より構成されてなるものである。
離型性成分は、フォトレジストに対し高い離型性を与える成分であり、主として、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が１００度以上である縮合反応型シリコーン系樹脂（以下、高接触角縮合反応型樹脂ともいう）からなる。またバインダー成分は、透明高分子フィルムに対する高い接着性を与える成分であり、主として、ＪＩＳ  Ｒ３２５７：１９９９における水との接触角が９０度以下である縮合反応型樹脂（以下、低接触角縮合反応型樹脂ともいう）とからなる。【００２２】
これら２種類の縮合反応型樹脂を含む表面保護層用組成物を用いて基材上に表面保護層を形成した場合、塗膜が乾燥する過程で、自律的に高接触角縮合反応型樹脂が表面側に偏在し、低接触角縮合反応型樹脂が基材側に偏在するようになる。また両者の界面において離型性成分とバインダー成分が縮合反応により結合する。このように上記２種類の縮合反応型樹脂を用いることにより、表面保護層表面には、高い離型性を持つ離型性成分が高濃度で存在することになるので、高い離型性が得られる。また離型性成分が高濃度に存在する領域と、バインダー成分が高濃度に存在する領域とが両成分を構成する樹脂の縮合反応により結合しているため、離型性成分が塗膜から脱落することがなくなり、離型性を持続することができる。【００２３】
一方、バインダー成分である低接触角縮合反応型樹脂だけでは離型性が得られない。また、離型性成分である高接触角縮合反応型樹脂だけでは、透明高分子フィルムとの接着性が悪く、また機械的強度に劣り、プリント基板と接触する際の耐擦傷性が十分に得られない。さらに、高接触角縮合反応型シリコーン系樹脂をバインダー成分として縮合反応型樹脂ではない樹脂と組み合わせた場合や、低接触角離縮合反応型樹脂を離型性成分として縮合反応型シリコーン系樹脂ではない樹脂と組み合わせた場合では、離型性成分とバインダー成分が結合することがないため、持続する離型性が得られない。【００２４】
縮合反応型シリコーン樹脂は、次式（１）のようなシロキサン主鎖を持つシリコーン系樹脂であり、側鎖の有機官能基Ｒ及び／又は末端基として、シラノール基を生成する加水分解性基すなわち加水分解してシラノール基（Si-OH）を再生し、さらに脱水縮合して主鎖間にシロキサン結合を形成する基と、疎水性基とを有する。加水分解性基としては、例えば、アセトキシ基、オキシム基、メトキシ基、アミド基、プロペノキシ基などが挙げられる。また疎水性基としては、フェニル基、アルキル基、フルオロアルキル基などが挙げられる。これら有機官能基Ｒを構成する加水分解性基および疎水性基を適宜選択導入することにより縮合反応型シリコーン樹脂の水との接触角を調整することができる。具体的には、疎水性基の割合を多くするほど接触角を大きくすることができる。また疎水性基の割合を少なくし、加水分解性基を多くするほど接触角を小さくすることができる。
【化１】
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【００２５】
高接触角の縮合反応型シリコーン系樹脂として、例えば、ジメチルポリシロキサンをベースポリマーとした側鎖及び／又は末端基にフェニル基、アルキル基、フルオロアルキル基を有するものなどを用いることができ、縮合反応性という観点から、シラノール基を生成する加水分解性基、例えば、アセトキシ基、オキシム基、メトキシ基、アミド基、プロペノキシ基などを有するものを用いることができる。【００２６】
離型性成分としては、上述した縮合反応型シリコーン系樹脂以外の離型性成分も、塗膜の機能を阻害しない範囲で添加することもできる。他の離型性成分として、例えば、側鎖や末端基に加水分解性基を持たないシリコーンオイル（ジメチルポリシロキサン）などが挙げられる。他の離型性成分を添加する場合、離型性成分に占める縮合反応型シリコーン系樹脂の割合は９０％以上であることが好ましい。【００２７】
低接触角縮合反応型樹脂は、バインダー成分としての役割を果たすものであり、水との接触角が９０度以下、好ましくは８５度以下のものを用いる。低接触角縮合反応型樹脂についても、側鎖である有機官能基を構成する加水分解性基および疎水性基の割合を適宜調整することにより縮合反応型樹脂の水との接触角を調整することができる。このような樹脂としては、縮合反応型シリコーン系樹脂、縮合反応型アルキド樹脂、縮合反応型メラミン樹脂、縮合反応型アクリル樹脂、縮合反応型ポリエステル樹脂などを用いることができる。【００２８】
特に、縮合反応型シリコーン系樹脂は、溶液状態において離型性成分のシリコーン系樹脂との相溶性が良いため好ましく、例えばシラノール基を生成する加水分解性基を有するものを使用することができる。また、縮合反応型樹脂中にシリコーン成分（シリコーン系樹脂）は、下限として１５重量％以上が好ましく、上限として７０重量％程度含有させることが好ましい。このような範囲とすることより、バインダー成分である他の縮合反応型樹脂と離型性成分である高接触角縮合反応型シリコーン系樹脂との間に、バインダー成分である縮合反応型シリコーン系樹脂が介在して結合させることができるため、透明高分子フィルムとの接着性を向上することができ、さらに塗膜に十分な硬化性やフォトレジストに含まれる溶剤に対して十分な機械的強度、耐擦傷性を与えることができる。【００２９】
さらに縮合反応型樹脂以外の樹脂を、塗膜の機能を阻害しない範囲で、バインダー成分として添加することができる。縮合反応型樹脂以外の樹脂として、例えば、熱可塑性アクリル樹脂、熱可塑性エポキシ樹脂などが挙げられる。全バインダー成分中の縮合反応型樹脂の割合は、下限として７０重量％以上程度である。【００３０】
離型性成分の縮合反応型シリコーン系樹脂は、バインダー成分１００重量部に対して、上限として４０重量部以下、さらに２０重量部以下が好ましく、下限として１重量部以上、さらに２重量部以上が好ましい。下限を１重量部以上とするのは、１重量部より少ないと離型効果が得られにくいためである。また、上限を４０重量部以下とするのは、４０重量部より多いとフォトレジストに含まれる溶剤に対して十分な機械的強度、耐擦傷性が得られにくくなること、透明高分子フィルムとの接着性が悪化すること、さらに多く添加しても離型効果の向上がみられないためである。【００３１】
本発明の表面保護層用組成物は、上述した高接触角縮合反応型シリコーン系樹脂及び低接触角縮合反応型樹脂との縮合反応を促進するための触媒を含んでいても良い。触媒としては、金属脂肪酸塩、金属アルコラートなどの公知の触媒を用いることができる。具体的には、スズ化合物、ジルコニウム化合物、チタン系化合物などが用いられる。【００３２】
本発明の表面保護フィルムは、縮合反応で各成分を結合できることから、機械的強度、耐擦傷性の向上や、塗膜からの離型性成分の脱落の減少、即ちプリント基板への離型性成分の転写の減少、及び離型持続性の向上を図ることができる。【００３３】
表面保護層中には、これらの樹脂のほかに、表面保護層に凹凸を形成するために無機顔料や、樹脂ビーズなどの微粒子などを加えることができる。このような微粒子としては、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、硫酸バリウム、シリカ、水酸化アルミニウム、カオリン、クレー、タルク等の無機顔料や、アクリル樹脂粒子、ポリスチレン樹脂粒子、ポリウレタン樹脂粒子、ポリエチレン樹脂粒子、ベンゾグアナミン樹脂粒子、エポキシ樹脂粒子等の樹脂ビーズ等が使用できる。このような微粒子の添加量は、微粒子の種類、表面保護層の厚みによって異なってくるので一概にいえないが、通常は表面保護層を構成する全固形分中の０．０５重量％〜９．５重量％程度である。また、このような微粒子の平均粒径は、表面保護層の厚みによって異なってくるので一概にいえないが、通常０．１μｍ〜１０μｍ程度であり、好ましくは０．５μｍ〜５μｍのものが使用される。このように凹凸を形成することにより、レジストと適度な間隙を設け、密着露光時の空気の抜けを良好にすることができ、さらに密着露光時にニュートンリングの発生を防止することができる。【００３４】
表面保護層の厚みとしては、特に限定されないが、露光の際のフォトマスクの解像度を低下させないという観点からできるだけ薄い方が好ましく、また表面保護層の表面硬度、密着露光を繰り返すことによる表面保護層の削れ、初期の離型性、および離型性の持続という観点から具体的には０．２μｍ〜５μｍ、好ましくは０．４μｍ〜２．５μｍ程度とする。【００３５】
以上のような表面保護層や粘着層は、各々の構成成分や必要に応じて他の成分を配合して、適当な溶媒に溶解又は分散させて塗布液を調製し、当該塗布液をロールコーティング法、バーコーティング法、スプレーコーティング法、エアナイフコーティング法などの公知の方法により透明高分子フィルム上に塗布、乾燥した後、適宜必要な硬化方法を用いて硬化させることにより形成することができる。【００３６】
以上のように本実施形態によれば、表面を保護したいものに、粘着層を介して貼り付けることで、容易に表面保護膜を形成することができる。また、表面保護膜の膜表面の硬さを保ちつつ、汚れをつきにくくすることができるので、フォトレジストに対する極めて高い離型性を持続することができる。
なお表面保護フィルムとしては、以上の実施の形態で説明したように、粘着層を有するものが一般的であるが、本発明の表面保護フィルムにおいて粘着層は必須ではなく、粘着層を有しないものも本発明に含まれる。
【実施例】
【００３７】
以下、実施例により本発明を更に説明する。なお、「部」、「％」は特に示さない限り、重量基準とする。【００３８】
［実施例１］
厚み６μｍの透明高分子フィルム（ルミラー：東レ社）の一方の表面に下記組成の表面保護層用塗布液をバーコーティングにより塗布し、１２０℃で５分加熱硬化させ、厚み約１μｍの表面保護層を形成した。更にもう一方の面に下記組成の粘着層用塗布液を塗布し、乾燥させることにより、厚み約２μｍの粘着層を形成して、表面保護フィルムを作製した。粘着層には、取り扱い上のために厚み２５μｍのポリエチレンテレフタレート離型フィルム（ＭＲＢ：三菱化学ポリエステルフィルム社）を貼り合わせた。【００３９】
＜表面保護層用塗布液＞
・縮合反応型シリコーン系樹脂                      ４部 
（KS705F:信越化学工業、接触角１０８度：固形分３０％）
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    ６０部
（有機シラン縮合物：メラミン樹脂：アルキド樹脂＝１０：３：７、接触角８０度：固形分３０％）
・スズ系硬化触媒                              ０．５部
・顔料                                        ０．１部
（Nipsil
SS-15：東ソー・シリカ）
・メチルエチルケトン                            ２０部
・トルエン                                      ２０部【００４０】
＜粘着層用塗布液＞
・アクリル酸エステル共重合体                    １０部
（アコンタックSCL-200：固形分４０％、東亜合成化学）
・トルエン                                      １０部
・酢酸エチル                                    １０部【００４１】
［実施例２］
実施例１の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例１と同様に表面保護フィルムを作製した。【００４２】
＜表面保護層用塗布液＞
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    １２部 
（KS705F:信越化学工業、接触角１０８度：固形分３０％）
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    ６０部
（有機シラン縮合物：メラミン樹脂：アルキド樹脂＝１０：３：７、接触角８０度：固形分３０％）
・スズ系硬化触媒                              ０．５部
・顔料                                        ０．１部
（Nipsil
SS-15：東ソー・シリカ）
・メチルエチルケトン                            １６部
・トルエン                                      １６部【００４３】
［実施例３］
実施例１の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例１と同様に表面保護フィルムを作製した。【００４４】
＜表面保護層用塗布液＞
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    ２１部 
（KS705F:信越化学工業、接触角１０８度：固形分３０％）
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    ６０部
（有機シラン縮合物：メラミン樹脂：アルキド樹脂＝１０：３：７、接触角８０度：固形分３０％）
・スズ系硬化触媒                              ０．５部
・顔料                                        ０．１部
（Nipsil
SS-15：東ソー・シリカ）
・メチルエチルケトン                            １２部
・トルエン                                      １２部【００４５】
［比較例１］
実施例１の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例１と同様に表面保護フィルムを作製した。【００４６】
＜表面保護層用塗布液＞
・付加重合型シリコーン系樹脂                    ３０部
（LTC750A:東レダウコーニングシリコーン、接触角１００度以上：固形分３０％）
・白金系硬化触媒                              ０．３部
・顔料                                      ０．０５部
（Nipsil
SS-15：東ソー・シリカ）
・トルエン                                      ７０部【００４７】
［比較例２］
実施例１の表面保護層塗布液を、下記表面保護層塗布液に変更した以外は、実施例１と同様に表面保護フィルムを作製した。【００４８】
＜表面保護層用塗布液＞
・縮合反応型シリコーン系樹脂                    ３０部
（KS705F:信越化学工業、接触角１００度以上）
・スズ系硬化触媒                              ０．６部  
・顔料                                      ０．０５部
（Nipsil
SS-15：東ソー・シリカ株式会社）
・トルエン                                      ７０部【００４９】
実施例１〜３、および比較例１〜２で得られた表面保護フィルムについて、繰り返し露光を行うことにより表面保護層が高い離型性を持続するかどうかを以下のような試験を行ない評価した。また、フォトレジスト中に含まれる多価アルコール等の溶剤によっても侵されることがなく、フォトレジストに対する高い離型性が持続するかどうかを評価した。また、表面保護層の耐擦傷性についても評価した。評価結果を表１に示す。【００５０】
＜初期の離型性の評価＞
実施例１〜３、および比較例１〜２の表面保護フィルムの表面保護層を有する面に、粘着テープ（ニチバンセロテープＮｏ．４０５：ニチバン社）幅１８ｍｍを貼り付けて、引張試験機（TENSILON HTM-100:東洋ボールドウイン社）を用いて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎにおける１８０°剥離力を測定した。測定結果が、５０ｇ／１８ｍｍ未満のものを「◎」、５０ｇ／１８ｍｍ〜２００ｇ／１８ｍｍ未満のものを「○」、２００ｇ／１８ｍｍ以上のものを「×」とした。【００５１】
＜繰り返し露光による離型性の評価＞
フォトレジスト（光感光性樹脂）としてエトキシ化ビスフェノールＡジアクリレート（Ａ−ＢＰＥ４：新中村化学）を使用し、これに光重合開始剤としてアセトフェノン系光ラジカル重合開始剤（イルガキュア１８４：チバスペシャリティーケミカルズ社）を３重量％加えたものをバーコーターでポリエステルフィルム上に塗布厚１０μｍとなるように塗布した試験片Ａを作製した。この試験片Ａの光感光性樹脂塗布面と、実施例１〜３、および比較例１〜２の表面保護フィルムの表面保護層を有する面を密着させ、表面保護層を有する面の背面からメタルハライドランプを用いて２００ｍＪ／ｃｍ２の紫外線露光を行った後、試験片Ａを剥離した。同様の作業を１００回行った後、表面保護フィルムの表面保護層を有する面に、粘着テープ（ニチバンセロテープＮｏ．４０５：ニチバン社）１８ｍｍ幅を貼り付けて、引張試験機（TENSILON HTM-100:東洋ボールドウイン社）を用いて、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎにおける１８０°剥離力を測定した。測定結果が、５０ｇ／１８ｍｍ未満のものを「◎」、５０ｇ／１８ｍｍ〜２００ｇ／１８ｍｍ未満のものを「○」、２００ｇ／１８ｍｍ以上のものを「×」とした。【００５２】
＜耐擦傷性評価＞
実施例１〜３、および比較例１〜２の表面保護フィルムの表面保護層を有する面を、プロピレングリコールモノメチルエーテルを染み込ませたガーゼで、１００ｇ／ｃｍ２となる荷重をかけながら往復２０回ラビングした後、表面保護層を有する面を観察した。表面保護層の変化が認められないものを「◎」、擦過痕は認められるが表面保護層の脱落が認められないものを「○」、表面保護層の脱落が若干認められるものを「△」、表面保護層の脱落が顕著に認められるものを「×」とした。【００５３】
【表１】
0004842281.tif 000003
【００５４】
実施例１〜２のものは、離型性成分、バインダー成分どちらも縮合反応型シリコーン系樹脂で表面保護層を形成したので、初期の離型性、繰り返し露光による離型性、耐擦傷性、いずれの評価によっても表面保護フィルムとして十分な性能を示した。実施例３のものは、初期の離型性、繰り返し露光による離型性は、他の実施例のものと同様に良好な結果であったが、離型性成分を他の実施例より多く含むため、耐擦傷性に若干劣るものとなった。【００５５】
比較例１のものは、従来型の表面保護フィルムで用いられている付加重合型シリコーン系樹脂を用いているため、繰り返し露光による離型性の評価で性能の低下が著しかった。【００５６】
比較例２のものは、離型性成分としての縮合反応型シリコーン系樹脂のみで表面保護層を形成したため、表面保護層の耐擦傷性が著しく悪いものであり、表面保護層が傷つきやすいため、傷による露光障害を起こしやすく、使用に耐え得るものではなかった。