(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
銅または銅基合金からなる複数の銅部材の端面同士を摩擦攪拌接合により接合する接合方法であって、
熱間圧延された銅部材の端面を切断し、当該切断された端面同士を摩擦攪拌接合により接合した後、接合された接合体を圧延加工率８０％以上で冷間圧延し、
前記摩擦攪拌接合は、前記複数の銅部材の端面同士を突合せ、前記端面同士の近傍において前記複数の銅部材の表面を研磨した後に行うものであって、
前記複数の銅部材が同じ材質であり、
前記冷間圧延後の焼鈍温度が２５０℃以上であることを特徴とする、接合方法。
【請求項２】
前記複数の銅部材は厚さが５〜３０ｍｍの熱延コイルであることを特徴とする、請求項１に記載の接合方法。
【請求項３】
前記複数の銅部材の端面同士を突合せ、前記端面同士の両側にダミープレートを配置した状態で、前記端面同士を摩擦攪拌接合により接合することを特徴とする、請求項１に記載の接合方法。
【請求項４】
請求項１に記載の接合方法に使用される摩擦攪拌接合装置であって、
前記端面同士の間に挿入される回転ピンを先端に形成した回転軸に放熱用のフィンを取り付け、前記複数の銅部材の端面同士の近傍において前記複数の銅部材の表面を研磨する研磨部材を備え、前記回転ピンと前記研磨部材を、前記複数の銅部材の端面同士に沿って移動させる移動機構を門型フレームに設けたことを特徴とする、摩擦攪拌接合装置。
【請求項５】
前記移動機構は、前記回転ピンに対して前記研磨部材を先行させて前記複数の銅部材の端面同士に沿って移動させるように構成されていることを特徴とする、請求項４に記載の摩擦攪拌接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅または銅基合金からなる複数の銅部材の端面同士を摩擦攪拌接合により接合する方法に関し、更に、この接合方法に利用可能な摩擦攪拌接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば銅コイルなどの銅部材を複数接合してより長尺な接合体（銅コイル）を得ることが行われている。こうして得られた接合体（銅コイル）は、例えばコネクタやリードフレーム等の電気・電子部品用材料などに広く用いられている。
【０００３】
このように複数の銅部材を接合する方法として、例えば特許文献１には、アルミニウム基合金板等を対象とした摩擦攪拌接合方法が開示されている。これは、小径の回転ピンを先端に形成した回転体を、互いに付き合わせた銅部材の端面同士に沿って移動させ、摩擦熱を利用して端面同士を溶融させ、その後固化させて接合する技術である。
【０００４】
また、特許文献２には、被圧延材を突合せ接合して長尺化したコイルを得る製造方法が開示されており純アルミニウムの例が開示されている。
【０００５】
また、特許文献３には、銅及び銅合金の板材同士の長さ方向の端部を接合面として突合せて摩擦攪拌接合を行い、接合部分で所定の特性を示すものが開示されている。
【０００６】
更に、特許文献４には、回転式摩擦溶接工具を用いる摩擦攪拌溶接方法に関し、前記工具はプローブを有し、プローブの温度を制御するための温度制御用冷却剤を工具の１つ以上のチャネルに通過させることにより、工具の温度を制御する方法が記載されている。
【０００７】
【特許文献１】特表平７−５０５０９０号公報
【特許文献２】特開平１０−２３０３２０号公報
【特許文献３】特開２００３−２５０７８号公報
【特許文献４】特表２００５−５０６２０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、コネクターやリードフレーム材料等の電子部品の電気的特性、機械的特性は高度にばらつきの少ないものが要求されている。しかしながら、上記特許文献１〜４の方法で銅または銅基合金を摩擦攪拌接合した場合、接合部分とそうでない部分との特性の差を十分に小さくすることが困難であった。特に、銅または銅基合金の接合は、アルミニウムやアルミニウム合金よりも数１００℃高い温度で接合する必要があり、摩擦接合のための回転ツールの温度を制御するには水冷などの装置を取り付ける必要があるが、装置が大掛かりなものになり、特性も十分に制御することは困難であった。
【０００９】
本発明は、銅または銅合金の板材あるいはコイルを摩擦攪拌接合したときに、接合部分とそうでない部分の特性差が無視できる銅または銅基合金のコイルの接合方法と、簡易な構造で摩擦攪拌接合できる摩擦攪拌接合装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは様々な試行を行い検討した結果、銅または銅基合金からなる複数の銅部材の接合方法において、冷間圧延前の銅部材の端面同士を突合せて、該突合せ部に回転ピンを挿入して摩擦攪拌接合を行い、その後、接合された接合体を冷間圧延することで、接合部分とそうでない部分の特性差を大幅に少なくすることができることがわかり、本発明に至った。即ち、より上工程で摩擦攪拌接合することにより、その後の冷間加工及び熱処理で、特性差が無視できるほどに小さくすることができた。
【００１１】
本発明は上記知見に基いてなされたものである。本発明によれば、銅または銅基合金からなる複数の銅部材の端面同士を摩擦攪拌接合により接合する接合方法であって、熱間圧延された銅部材の端面を切断し、当該切断された端面同士を摩擦攪拌接合により接合した後、接合された接合体を圧延加工率８０％以上で冷間圧延し、前記摩擦攪拌接合は、前記複数の銅部材の端面同士を突合せ、前記端面同士の近傍において前記複数の銅部材の表面を研磨した後に行うものであって、前記冷間圧延後の焼鈍温度が２５０℃以上であることを特徴とする、接合方法が提供される。
【００１３】
なお、前記複数の銅部材は、例えば厚さが５〜３０ｍｍの熱延コイルである。また、前記複数の銅部材の端面同士を突合せ、前記端面同士の両側にダミープレートを配置した状態で、前記端面同士を摩擦攪拌接合により接合しても良い。
【００１４】
また本発明によれば、請求項１に記載の接合方法に使用される摩擦攪拌接合装置であって、前記端面同士の間に挿入される回転ピンを先端に形成した回転軸に放熱用のフィンを取り付け、前記複数の銅部材の端面同士の近傍において前記複数の銅部材の表面を研磨する研磨部材を備え、前記回転ピンと前記研磨部材を、前記複数の銅部材の端面同士に沿って移動させる移動機構を門型フレームに設けたことを特徴とする、摩擦攪拌接合装置が提供される。
【００１５】
この摩擦攪拌接合装置において、前記移動機構は、前記回転ピンに対して前記研磨部材を先行させて前記複数の銅部材の端面同士に沿って移動させるように構成されていても良い。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、銅または銅合金の銅部材の端面同士を摩擦攪拌接合した接合体について、接合部分とそうでない部分の特性の差が無視できる材料を得ることができ、また、簡易な装置で摩擦攪拌接合を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本発明の実施の形態にかかる摩擦攪拌接合装置１の正面図である。図２は、同じ摩擦攪拌接合装置１の側面図である。図３は、摩擦攪拌接合装置１によって行われる接合方法のフローシートである。図４は、摩擦攪拌接合装置１による接合状態の説明図である。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１８】
この摩擦攪拌接合装置１は、銅または銅基合金からなる銅部材の一例である銅コイルａ同士を接合するものとして構成されている。摩擦攪拌接合装置１は、熱間圧延工程と冷間圧延工程の間において、銅コイルａ（熱延コイル）同士を接合するように、熱延設備２と冷延設備３の間に配置されている。
【００１９】
摩擦攪拌接合装置１によって接合される銅コイルａはいずれも同じ材質であり、その厚さは、例えば５〜３０ｍｍである。銅コイルａは、熱間圧延工程を経た後、摩擦攪拌接合装置１に設けられたベッド１０の上に載置されて、図１の図面において垂直方向（図２において水平時方向右向き）（Ｘ方向）に所定の速度で搬送されている。また、摩擦攪拌接合装置１を経た銅コイルａは、下流側の冷間圧延工程に送られる。
【００２０】
ベッド１０の両側には、ベッド１０の長手方向（Ｘ方向）に沿ってレール１１が設けられている。このレール１１の上に、門型フレーム１２の支柱部１３がそれぞれ載せられている。支柱部１３の上端には、ベッド１０の上方においてベッド１０を水平に横切る方向（Ｙ方向）に配置された横レール１５が支持されている。門型フレーム１２全体は、レール１１上を走行することにより、ベッド１０の長手方向（Ｘ方向）に沿って移動するように構成されている。
【００２１】
門型フレーム１２の横レール１５には、支持フレーム１６が取り付けてある。支持フレーム１６は、門型フレーム１２の横レール１５に沿って、ベッド１０を水平に横切る方向（Ｙ方向）に移動するように構成されている。
【００２２】
支持フレーム１６には、銅コイルａ同士を摩擦攪拌接合させるための接合モータ２０と、銅コイルａの端面同士の近傍において銅コイルａの表面を研磨するための研磨モータ２１が支持されている。これら接合モータ２０と研磨モータ２１は、何れも鉛直方向（Ｚ方向）に移動するように構成されている。
【００２３】
接合モータ２０の回転軸２５には、大径の円筒形状のショルダー部２６が設けられており、更にショルダー部２６の下端に、小径の円筒形状の回転ピン２７が設けられている。なお、回転軸２５に設けられたこれらショルダー部２６および回転ピン２７は同軸であり、鉛直方向（Ｚ方向）に直列に配置されている。後述するように、回転ピン２７は回転しながら銅コイルａの端面同士の間に挿入されて、摩擦攪拌接合させるためのものであり、例えば、塑性流動する銅または銅基合金に反応しない非消耗性の回転体としてＷＣ超硬材、工具鋼などを用いることができる。
【００２４】
ショルダー部２６の上方には、放熱用のフィン２８が取り付けてある。後述するように、回転ピン２７によってコイルａの端面同士を摩擦攪拌接合させる際には、このフィン２８によって放熱され、回転ピン２７およびショルダー部２６が冷却されるようになっている。
【００２５】
研磨モータ２１の回転軸３０には、銅コイルａの端面同士の近傍において銅コイルａの表面を研磨するための研磨部材３１が取り付けてある。
【００２６】
前述のように支持フレーム１６が門型フレーム１２の横レール１５に沿ってベッド１０を水平に横切る方向（Ｙ方向）に移動することにより、回転ピン２７と研磨部材３１は、ベッド１０上を搬送される銅コイルａの搬送方向（Ｘ方向）に対して直角な水平方向（Ｙ方向）に一体的に移動させられるようになっている。
【００２７】
次に、以上のように構成された摩擦攪拌接合装置１において行われる接合方法について説明する。先ず、上工程である熱間圧延工程において銅コイルａが熱間圧延される（図３のＳ１）。こうして圧延された銅コイルａ（熱延コイル）が、順次Ｘ方向に搬送されて、摩擦攪拌接合装置１を通過していく。なお、熱間圧延された後、摩擦攪拌接合の前に銅コイルａ（熱延コイル）の表面を酸洗、面削を行っても良い。
【００２８】
そして、摩擦攪拌接合装置１において、銅コイルａの端面同士が摩擦攪拌接合により接合される（図３のＳ２）。即ち、摩擦攪拌接合装置１においては、先ず、先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面を、銅コイルａの搬送方向（Ｘ方向）に対して直角な水平方向（Ｙ方向）に直線状にそれぞれ切断し、先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面の形状がそれぞれ整えられる。そして、そのように直線状に形状が整えられた銅コイルａの端面同士（先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面）を突き合わせた状態で、銅コイルａが搬送されていく。
【００２９】
そして、摩擦攪拌接合装置１では、そのように端面同士を突き合わせた状態で銅コイルａを搬送させながら、銅コイルａの端面同士（突き合わせ部）の間に回転ピン２７を回転させながら挿入し、摩擦攪拌接合を行う。この場合、接合モータ２０を銅コイルａの側方において予め下降させることにより、回転ピン２７を銅コイルａの端面同士の間に挿入できる高さに移動させる。その後、支持フレーム１６をＹ方向に移動させて、図４に示すように、回転ピン２７をＹ方向に移動させながら銅コイルａの端面同士に挿入し、回転ピン２７を銅コイルａの端面同士の間に沿って移動させていく。
【００３０】
こうして、回転ピン２７を銅コイルａの端面同士の間に挿入して移動させることにより、回転ピン２７表面と銅コイルａの端面との間で発生した摩擦熱を利用し、銅コイルａ材の固相の塑性流動拡散によって接合することにより、先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面が摩擦攪拌接合される。また、回転軸２５の回転に伴い、ショルダー部２６の上方に取り付けたフィン２８の作用によって放熱が行われ、回転ピン２７およびショルダー部２６が冷却されることにより、銅コイルａの端面同士の溶融温度が制御される。
【００３１】
なお、このように銅コイルａの端面同士の摩擦攪拌接合が行われる際には、門型フレーム１２がレール１１上を走行することにより、回転ピン２７は銅コイルａの搬送速度と同じ速度でＸ方向に移動していく。そのため、ベッド１０上において銅コイルａを搬送させながら、摩擦攪拌接合を行うことができる。なお、銅コイル材ａを搬送させながら摩擦攪拌接合する例について説明したが、銅コイルａを停止させたまま摩擦攪拌接合しても良い。
【００３２】
また、摩擦攪拌接合が行われる際には、銅コイルａの端面同士の間に回転ピン２７が挿入されると共に、銅コイルａの端面同士の間の近傍において、銅コイルａの表面にショルダー部２６の底面が当接する。これにより、回転ピン２７との摩擦熱によって塑性流動溶融した銅コイルａの素材の流出が抑制され、銅コイルａ同士の接合部の形状が整えられる。
【００３３】
摩擦攪拌接合を行う場合、回転ピン２７の回転数は、１５０〜１２００ｒｐｍとし、好ましくは３００〜１０００ｒｐｍの範囲の回転速度で回転させながら回転ピン２７を銅コイルａの端面同士の間に挿入する。また、Ｙ方向における回転ピン２７の移動速度は、２０〜３００ｍｍ／ｍｉｎ、好ましくは３０〜２５０ｍｍ／ｍｉｎの速度で移動させる。以上の条件で、銅コイルａの端面同士の間に回転ピン２７を貫通的もしくは非貫通的に挿入して摩擦攪拌接合を行うことにより、先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面を円滑に接合することができる。
【００３４】
なお、先行する銅コイルａと次の銅コイルａは、同じ材質、同じ厚さであることが好ましい。銅コイルａの厚さは５〜３０ｍｍが好ましく、さらに好ましくは７〜２０ｍｍ程度である。厚くなりすぎると銅または銅基合金のコイルの放熱性の関係で、回転ピン２７の回転を制御する接合モータ２０の出力を非常に高くする必要があり、装置としても大掛かりなものになるのに加え、回転ピン２７の冷却等熱的な制御が難しくなるためである。接合モータ２０の出力は３〜３０ｋＷがよく、好ましくは５〜２０ｋＷ程度で設計すると良い。
【００３５】
また、例えばリードフレーム用あるいはコネクター用の銅コイルａを接合する場合、接合の温度は概ね４００〜８００℃の範囲が良い。より好ましくは５００〜７００℃である。この温度範囲は、接合モータ２０の回転駆動出力による回転ピン２７の摩擦と、フィン２８による放熱のバランスによって調整することができ、フィン２８の大きさなどによって温度制御が可能となる。
【００３６】
また、この摩擦攪拌接合装置１では、銅コイルａの端面同士を摩擦攪拌接合するに際し、研磨モータ２１を下降させることにより、図４に示すように、研磨部材３１の底面を銅コイルａの端面同士の近傍において銅コイルａの表面に当接させる。そして、支持フレーム１６をＹ方向に移動させることにより、研磨部材３１を銅コイルａの表面に当接させながら、回転ピン２７と共にＹ方向に移動させていく。
【００３７】
この場合、図４に示したように、回転ピン２７に対して研磨部材３１を先行させて銅コイルａの表面に当接させることにより、回転ピン２７によって銅コイルａの端面同士を摩擦攪拌接合する直前に、研磨部材３１によって、銅コイルａの端面同士の近傍において銅コイルａの表面を予め研磨した状態としておく。こうして、銅コイルａの端面同士の近傍において銅コイルａの表面を予め研磨した後、銅コイルａの端面同士を摩擦攪拌接合により接合する。これにより、例えば銅コイルａの表面の酸化物などが銅コイルａの厚さ方向内部（摩擦接合部）に巻き込まれることを防ぎ、摩擦接合部の組織や特性に影響をおよぼすことを防止する。
【００３８】
こうして、摩擦攪拌接合装置１において銅コイルａの端面同士を摩擦攪拌接合により接合した後、接合された接合体は、下工程である冷間圧延工程において冷間圧延される（図３のＳ３）。なお、冷間圧延工程において焼鈍等の熱処理を付加しても良い。また、冷間圧延工程において、冷間圧延と熱処理を繰り返しても良い。こうして、複数の銅コイルａを接合した製品（冷延コイル）ａ’が得られる。
【００３９】
以上のようにして得られた製品（冷延コイル）ａ’は、摩擦攪拌接合後に、冷間圧延と焼鈍等の熱処理が行われたことによって、接合部分とそうでない部分の特性差が抑制されたものとなる。また、アルミニウムやアルミニウム合金と異なり、銅および銅基合金は融点が高く熱伝導性も２倍程度あるため、摩擦攪拌接合の制御が難しく、制御の困難さのために、接合部分の熱影響にばらつきが生じ、最終製品の特性の差が発生しやすい。しかるに、この実施の形態によれば、回転ピン２７によってコイルａの端面同士が摩擦攪拌接合される際に、ショルダー部２６の上方に取り付けたフィン２８によってコイルａの端面同士（摩擦攪拌接合部）が冷却される。この場合、フィン２８の大きさや形状等を適当なものに設定することにより、フィン２８による放熱量が調整され、銅コイルａの端面同士の溶融温度が制御されることになる。摩擦攪拌接合部の温度制御は水冷装置を用いればできることは分かっているが、このような回転するフィンを用いた空冷を行うことによって簡単な構造で実用的な温度制御が可能になる。
【００４０】
以上、本発明の好ましい実施の形態の一例を説明したが、本発明はここに例示した形態に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に相到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。例えば、図４中に一点鎖線で記載したように、先行する銅コイルａと次の銅コイルａを突き合わせた端面同士の両側に、ダミープレート４０を配置した状態で、銅コイルａの端面同士を摩擦攪拌接合により接合しても良い。ダミープレート４０の材質は、銅コイルａと同じでも良い。
【００４１】
上述のように回転ピン２７をＹ方向に移動させながら摩擦攪拌接合を行う場合、例えば銅コイルａの端部（Ｙ方向の端部）と中央部（Ｙ方向の中央部）で放熱性に差がでてくるため、幅方向に組織などの差が現れることがある。このように銅コイルａの端面同士の両側にダミープレート４０を配置して摩擦攪拌接合を行えば、放熱状態をより均一に制御することができ、接合部分の組織もより均一にできる。
【００４２】
なお、上述のように、摩擦攪拌接合装置１において先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面をＹ方向にそれぞれ切断することにより、銅コイルａの端面同士を密着させ、好適に接合できるようになる。この場合、銅コイルａの端面は搬送方向（Ｘ方向）に対して必ずしも直角に切断する必要はなく、例えばＸ方向に対して４５°の方向に切断しても良い。ただし、先行する銅コイルａの後端面と次の銅コイルａの先端面を互いに略隙間なく突き当てられるように、対称な形状とすることが必要である。なお、銅コイルａの端面同士を密着させた状態において、端面同士の幅方向両側からダミープレート４０で挟んで押さえることにより、銅コイルａの端面同士の幅方向の位置合わせを行うことができる。
【実施例】
【００４３】
以下に接合すべき銅部材としてＣ２６００材を用いた実施例を示す。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００４４】
［実施例］
長さ３０００ｍｍ、厚さ２００ｍｍのＣ２６００材（ＪＩＳ規格、Ｃｕ７０％−Ｚｎ３０％合金）を２つ鋳造した。この２つの鋳造材をともに厚さ１０ｍｍまで熱間圧延を実施した後、表面の酸化物などを除去するため、表面研削と酸洗を行った。
【００４５】
次に、前記熱間圧延で作製された２つの熱延コイルのそれぞれの端部を圧延方向に直角に切断した。この切断した部分同士を接合面として突合せてベッドに固定し、摩擦攪拌接合を行った。摩擦攪拌接合は、小径部（回転ピン）の径が１０ｍｍ、長さが１．９ｍｍで、大径部（ショルダー部）の径が２０ｍｍで材質がＷＣ超硬材からなる回転体を用い、回転速度１０００ｒｐｍ、移動速度２００ｍｍ／ｍｉｎで非貫通に挿入して行った。
【００４６】
その後に、冷間圧延と焼鈍を変えて、所定の厚さまで圧延した時の特性を表１の実施例０〜６に示した。それぞれ、接合部分と母材部分における結晶粒径、引張強さ、導電率を測定し、接合部分の値の母材部分の値に対する比率を算出した。
【００４７】
【表１】
0004842693.tif 000002
【００４８】
［比較例］
熱間圧延および表面研削、酸洗までは、実施例と同じ工程でコイルを作製した。さらに冷間圧延により、板厚１．０ｍ、幅３００ｍｍの冷延コイルを作製した後に、実施例と同様の方法で摩擦攪拌接合を行った。
【００４９】
この摩擦攪拌接合されただけの板材における接合部の母材部分に対する特性値の比は、表１の比較例Ｎｏ．４に示すように、結晶粒径で５．８、引張強さで０．５２、導電率で０．８９であった。摩擦攪拌接合によって、得られた上記接合材について、さらに加工率２５％の冷間圧延後２５０℃および３００℃での焼鈍、または３０％の冷間加工後に２５０℃での焼鈍後を行った。得られた処理板材を比較例Ｎｏ．１〜４として、それぞれ、接合部分と母材部分における結晶粒径、引張強さ、導電率を測定し、接合部分の値の母材部分の値に対する比率を算出した。結果を表１に示した。
【００５０】
なお、使用した素材Ｃ２６００材の平均結晶粒径は２０μｍ、引張強さは３９０Ｎ／ｍｍ2、導電率は３５％ＩＡＣＳであった。
【００５１】
すなわち、表１に示されるように比較例においては接合部分と母材部分の特性差は大きいか、または所定の焼鈍条件に限定される。
圧延加工率０％、焼鈍なしの条件では実施例と比較例では、結晶粒径の比では約２倍の違いがあり、引張強さでは０．３（３０％）の違いがあり、実施例の接合部分の方が母材に近い。実施例において、特に引張強さは母材部分の８０％以上を維持する。
圧延加工後、熱処理を行う本発明においては、接合部分と母材部分との特性差は±２％以下、或いは±１％以下に抑えられ十分に小さい。
さらに、熱処理の温度の制限がある組成の銅部材、即ち高温で熱処理することが所定の特性を得るためにできない銅部材について特に好適である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、銅コイルなどの銅部材同士の摩擦攪拌接合に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施の形態にかかる摩擦攪拌接合装置の正面図である。
【図２】同じ摩擦攪拌接合装置の側面図である。
【図３】摩擦攪拌接合装置によって行われる接合方法のフローシートである。
【図４】摩擦攪拌接合装置による接合状態の説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
ａ  銅コイル
１  摩擦攪拌接合装置
２  熱延設備
３  冷延設備
１０  ベッド
１１  レール
１２  門型フレーム
１３  支柱部
１５  横レール
１６  支持フレーム
２０  接合モータ
２１  研磨モータ
２５  回転軸
２６  ショルダー部
２７  回転ピン
２８  フィン
３０  回転軸
３１  研磨部材
４０  ダミープレート
【図１】
0004842693.tif 000003
【図２】
0004842693.tif 000004
【図３】
0004842693.tif 000005
【図４】
0004842693.tif 000006