(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
(イ)リン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に対して、飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる樹脂組成物、(ロ)末端にエチレン性不飽和基を少なくとも１個含有する光重合性不飽和化合物および（ハ）光重合開始剤を含有するソルダレジストであって、
前記（イ）で示す樹脂組成物の重量平均分子量が１０３〜１０５であり、前記リン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に対して、前記飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させる際の当量比（酸無水物基/水酸基）が、０．１〜０．９５の範囲であるソルダレジスト。
【請求項２】
前記(イ)で示す樹脂組成物をソルダレジスト全体に対して２０〜９０重量％含有する請求項１記載のソルダレジスト。
【請求項３】
請求項１又は２記載のソルダレジストの層とこの層を支持する支持体フィルムとを有する感光性フィルム。
【請求項４】
剥離可能なカバーフィルムを前記ソルダレジストの層上に積層してなる請求項３記載の感光性フィルム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性樹脂組成物、及びこの組成物を用いた感光性フィルムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気および電子部品には耐熱性、絶縁性などの特性に優れているエポキシ樹脂やフェノール樹脂のような熱硬化性樹脂が広く使用されている。これらの樹脂には火災安全性確保のために難燃性が多くの場合付与されている。従来から難燃化の高いハロゲン系難燃剤が一般的であり、中でも火災安全性、加工性、信頼性、経済性面でのバランスの良いことから臭素化エポキシが主として使用されてきた。近年、世界的な環境意識の高まりから臭素化エポキシのような芳香族臭素化合物中のいくつかは熱分解した際に臭素、臭化水素を分解するだけでなく、酸素存在下で分解した場合に毒性の高いポリブロムベンゾオキシンやポリブロムベンゾフランを形成する可能性があるためハロゲン化物を用いずに難燃化を達成する必要が生じている。
【０００３】
そこで、ノンハロゲン難燃剤として窒素系やリン系難燃剤及び酸化されて水分を生じる水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウムなどの無機化合物を含む樹脂組成物などが知られている。これらの難燃剤は樹脂添加系である。
一方、プリント配線板等においてソルダレジストインキは、はんだ付け時のブリッジの防止や回路の保護を目的として従来から広く使用されてきた。このソルダレジストはインキを塗工後、乾燥して基材との密着させる２段工程で行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
一般的に、樹脂を難燃化するには、ハロゲン化物や無機化合物を用いる。しかし、ハロゲン化物は、燃焼時にハロゲンが流出するという課題があり、近年ではハロゲン化物を用いずに難燃化を達成する必要が生じている。これに対し、通常無機化合物を多く添加する手法をとるが、この場合、樹脂のはんだ耐熱性や電気絶縁性、耐電食性、現像後の樹脂残りおよび解像性の低下という課題が生じる。また、無機充填剤は、内層回路板への流動性を悪化させるという課題もある。
【０００５】
一方、ソルダレジストインキに関して、これを基材へ塗工する際の課題として、両面一括で塗工することが困難であることおよび基材との密着性を高めるためにインキの塗工と乾燥を２段工程に分けて行っていることが挙げられる。これらは無駄なコストおよび時間をかけていることになり、生産性を低下させる要因となっている。これらを解決するためにはフィルム化が有効であるが、この際、選択する高分子成分の電気絶縁性、はんだ耐熱性、現像後の樹脂残りが課題となる。たとえば、メタクリル酸及びメタクリル酸メチル共重合体は樹脂のＴｇが低いため、永久レジストとして使用する場合に電気絶縁性やはんだ耐熱性等が不足するという問題があることが知られている。
【０００６】
また、現像液の溶解性を改良するために、酸変性したゴム、すなわち、カルボン酸変性ＮＢＲやカルボン酸変性架橋ＮＢＲ粒子のようなゴムをフィルム形成性の可能な量添加した樹脂組成物が知られているが、これは現像後の樹脂残りが生じやすいという欠点を有する。
【０００７】
本発明は、上記の従来技術の問題点を解消するためになされたものである。すなわち、本発明の目的は、はんだ耐熱性、電気絶縁性、耐電食性、難燃性及び解像性に優れた無電解金めっき用ソルダレジストとして好適な感光性樹脂組成物を提供することである。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、ソルダレジストインキのような乾燥工程が不要で、ロールラミネータや真空加圧ラミネータにより両面同時に基材との密着を確保できる上記感光性樹脂組成物の層とこの層を支持する支持体フィルムを有する感光性フィルムを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく、本発明の第一の目的である感光性樹脂組成物は、(イ)リン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に対して、飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる樹脂組成物、(ロ)末端にエチレン性不飽和基を少なくとも1個含有する光重合性不飽和化合物および（ハ）光重合開始剤から構成されており、ここで、リン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に対して、飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させる際は、当量比（酸無水物基/水酸基）が０．１〜０．９５の範囲となることが好ましく、また、(イ)で示す樹脂組成物は、本発明の感光性樹脂組成物全体に対して２０〜９０重量％含有させることが好ましく、さらに、（イ）の重量平均分子量を１０３〜１０５とすることが好ましい。また、必要に応じて、熱硬化性樹脂、フィラー、重合安定剤、レベリング剤、顔料、染料、密着性向上剤等を使用しても良く、これらの選択は、通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮のもとで行われ、これらの添加量は、本発明の目的を損なわない程度とする。このようにして得られる本発明の感光性樹脂組成物は、基板又はプリント配線板上に直接塗工され、基板又は配線板上に樹脂層を容易に形成することができる。
【００１０】
また、第２の目的である上記感光性フィルムは、上記感光性樹脂組成物の層とこの層を支持する支持体フィルムから構成される。この感光性フィルムは、感光性樹脂組成物を支持体に均一な厚さに塗布し、加熱・乾燥して溶剤を揮発させることで得られる。さらに感光性樹脂組成物と、支持体である支持体フィルムと、残存溶剤とからなる配線板用接着剤とすることもできる。さらに剥離可能なカバーフィルムが接着剤表面保護のために積層されうる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明に用いる（イ）で示す樹脂組成物は、例えば東都化成（株）より試作中のリン含有フェノキシ樹脂（商品名ＥＲＦ-001）をジメチルホルムアミド又はシクロヘキサノン等可溶性有機溶媒に溶解させ、必要によりトリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の触媒を用い、温度６０〜１１５℃で飽和または不飽和の多塩基酸無水物を付加反応させることにより得られる。この反応の際、リン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に対して飽和または不飽和の多塩基酸無水物を当量比（酸無水物基/水酸基）０．１〜０．９５の範囲となるように反応させることが好ましい。この当量比が０．１未満では、現像残りが生じ、この当量比が０．９５を超えると耐めっき液性が低下する。
【００１２】
上記のリン含有フェノキシ樹脂中の水酸基に反応させる飽和または不飽和の多塩基酸無水物の例としては無水フタル酸、無水テトラフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水メチル２置換ブテニルテトラヒドロフタル酸、無シトラコン酸、無水マレイン酸、無水マレイン酸のリノレイン酸付加物、無水クロレンド酸、無水アルケニル酸、無水ドゼセニルコハク酸、無水トリカルバニル酸、メチルシクロペンタジエンの無水マレイン酸付加物、無水アルキル化エンドアルキレンテトラヒドロフタル酸、無水トリメリット酸等をあげることができる。
【００１３】
なお、密着性、耐めっき液性の点から、飽和または不飽和の多塩基酸無水物の他に、さらに、エチレン性不飽和基とイソシアネート基をそれぞれ１個有する化合物（例えば、（メタ）アクリロイルイソシアネート、（メタ）アクリル酸エチルイソシアネート等）をリン含有フェノキシ樹脂の水酸基に反応させても良く、イソシアネート基／水酸基の当量比が０．１〜０．５の範囲であることが好ましい。
【００１４】
このようにして得られた（イ）の添加量は本発明の感光性樹脂組成物全体の２０〜９０重量％とすることが好ましい。２０重量％未満では、難燃性、光感度、解像性が低下する。また、９０重量％を超えると難燃性は発現できるが、現像性、はんだ耐熱性が不良となる。また、（イ）の分子量は１０３〜１０５であることが好ましい。１０３以下であると樹脂組成物のフィルムが形成できなくなり、１０５より大きくなると樹脂組成物が弾性力不足のため、堅くなり、ラミネート成形時の基材の凹凸への追従性、密着性が悪く、成形ボイド発生の原因となる。
【００１５】
（ロ）で示す光重合性不飽和化合物としては、光とラジカル性光重合開始剤によって架橋可能な官能基を有した共重合体あるいは分子内に重合可能な不飽和結合を有する単量体が挙げられる。末端にエチレン性不飽和基を少なくとも１個含有するためには、分子内に重合可能なエチレン性不飽和結合を含む化合物であれば用いることができ、特に制限はなく、アクリロイル基やメタクリロイル基をもつ化合物が好ましく用いられる。また、その添加量は感光性樹脂組成物全体の１０〜７０％が好ましい。
【００１６】
例えば、アクリロイル基を持つ化合物としては、アクリル酸をはじめ、ヒドロキシルエチルアクリレート、ヒドロキシルプロピルアクリレート等の水酸基を持つアクリル酸エステル、アクリル酸メチル、アクリル酸ブチル等の脂肪族アルコールとアクリル酸からなるアクリル酸エステル、グリシジルアクリレート等のエポキシ基を持つアクリル酸エステル、エチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート等の多価アルコールのアクリル酸エステル、テトラヒドロフルフリールアクリレート等の環状エーテルを含む構造のアクリル酸エステル、ビスフェノール類のジグリシジルエーテル化物にアクリル酸が付加したエポキシアクリレート、ノボラック型エポキシ樹脂にアクリル酸が付加したアクリル変性ノボラック型エポキシ樹脂等を用いることができる。
【００１７】
また、メタクリロイル基を持つ化合物としては、メタクリル酸をはじめ、ヒドロキシルエチルメタクリレート、ヒドロキシルプロピルメタクリレート等の水酸基を持つメタクリル酸エステル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸ブチル等の脂肪族アルコールとメタクリル酸からなるメタクリル酸エステル、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基を持つメタクリル酸エステル、エチレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリメタクリレート等の多価アルコールのメタクリル酸エステル、テトラヒドロフルフリールメタクリレート等の環状エーテルを含む構造のメタクリル酸エステル、ビスフェノール類のジグリシジルエーテル化物にメタクリル酸が付加したエポキシメタクリレート、ノボラック型エポキシ樹脂にメタクリル酸が付加したメタクリル変性ノボラック型エポキシ樹脂等を用いることができる。
【００１８】
（ハ）の光重合開始剤は、使用する露光機の光波長にあわせたものであればよく、公知のものを利用することができる。ラジカル系光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、４，４−ビスジメチルアミノベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、３，３，４，４−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、リン−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、リン−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル類、２−クロロチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソン、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等のキサンソン類、ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール等のベンジルケタール類、１，２−ジ−９−アクリジニルエタン、１，３−ジ−９−アクリジニルプロパン、１，４−ジ−９−アクリジニルブタン、１，７−ジ−９−アクリジニルヘプタン、１，８−ジ−９−アクリジニルオクタン等のアクリジニル類、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−ジメトキシ−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン、アゾビスイソブチルニトリル、メチルベンゾイルフォーメート、が挙げられ、これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。光重合開始剤の配合量は感光性樹脂組成物中の樹脂、添加剤などの全固形分に対して０．１〜１０重量％とすることが好ましく、０．５〜５．０重量％とすることが特に好ましい。
【００１９】
また、光照射でルイス酸を発生する光重合開始剤と発生したルイス酸で硬化可能な樹脂の組合せを使用することもできる。光照射で発生したルイス酸で硬化可能な樹脂としては例えば、エポキシ樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂としては分子内に二つ以上のエポキシ基を有するものであればどのようなものでも良く、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンジオキシド等の脂環式エポキシ化合物からなるエポキシ樹脂、ナフタレンジオール等各種ジオールのジグリシジルエーテル化物からなるエポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、及びこれらのアルキル置換体、ハロゲン化物などを利用することができる。これらは併用しても良い。
【００２０】
光照射でルイス酸が発生する光重合開始剤としては、通常、カチオン型光反応開始剤として用いられている化合物ならばどのようなものでも使用でき、このような化合物の例としては、トリフェニルスルフォンヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルフォンヘキサフルオロフォスフェート、リン−メトキシベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、リン−クロロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェート、４，４−ジ−ｔ−ブチルフェニルヨードニウムヘキサフルオロフォスフェート、（１−６−ｎ−クメン）（ｎ−ジクロペンタジニエル）鉄６フッ化リン酸等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いられる。光照射でルイス酸が発生する光重合開始剤の配合量は感光性樹脂組成物中の樹脂、添加剤などの全固形分に対して０．１〜１０重量％とすることが好ましく、０．５〜５．０重量％とすることが特に好ましい。
【００２１】
さらに、本発明で用いられる感光性樹脂組成物に熱で硬化する樹脂等を添加してもよい。熱で硬化する樹脂としては、特に制限は無く、公知の熱硬化性樹脂を利用することができる。例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、アルキド樹脂、メラミン樹脂、イソシアネート樹脂、ビスマレイミド化合物等があり、それらの硬化剤又は硬化促進剤が適宜配合される。例えばエポキシ樹脂を用いた場合、前記の酸無水物、公知のアミン化合物を用いることができる。この熱硬化性樹脂の添加量は感光性樹脂組成物中の樹脂、添加剤などの全固形物に対して、５〜２０重量％であることが好ましい。
【００２２】
また、不飽和ポリエステル樹脂や前記のラジカル性光開始剤によって架橋可能な官能基を有した共重合体あるいは単量体と同等の化合物などに例示される、熱と熱重合開始剤で重合する樹脂を用いることもできる。熱重合開始剤としては公知のものを利用することができ、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、メチルエチルケトンパーオキサイド等のケトンパーオキサイド類、ターシャリーブチルパーオキサイド等のアルキルパーオキサイド類、パーオキシジカーボネート類、パーオキシケタール類、パーオキシエステル類、アルキルパーエステル類などを用いることができる。熱重合開始剤の配合量は感光性樹脂組成物中の樹脂、添加剤などの全固形分に対して０．１〜１０重量％とすることが好ましく、０．５〜５．０重量％とすることが特に好ましい。
【００２３】
また、フィラーを配合してもよく、コストを低減することができる点で好ましい。フィラーとしてはシリカ、溶融シリカ、タルク、アルミナ、水和アルミナ、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウム、エーロジル、炭酸カルシウム等の無機微粒子、粉末状エポキシ樹脂、粉末状ポリイミド粒子、粉末状ポリテトラフルオロエチレン粒子等の有機微粒子が挙げられる。これらのフィラーには予めカップリング処理を施してあってもよい。これらの分散はニーダー、ボールミル、ビーズミル、３本ロール等既知の混練方法によって達成される。フィラーの配合量は感光性樹脂組成物中の樹脂、添加剤などの全固形分に対して２〜２０重量％とすることが好ましく、５〜１５重量％とすることが特に好ましい。
【００２４】
本発明の感光性樹脂組成物は、溶剤に希釈して用いることができる。この溶剤には、メチルエチルケトン、アセトン、シクロヘキサノン等のケトン化合物、キシレン、トルエン等の芳香族炭化水素化合物、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のアミド化合物などを使用できる。これらの溶剤は、単独あるいは混合系でも良い。樹脂を効率よく溶解させるためには、樹脂の溶解性にあわせてエチレングリコールモノエチルエーテル、エチルエトキシプロピオネート等を溶剤に用いてもよく、他の溶剤に加えてもよい。感光性樹脂組成物中の溶剤以外の成分に対する溶剤の割合は、好ましくは溶剤以外の成分１００重量部に対して１０〜２００重量部とされ、３０〜１００重量部の範囲が特に好ましい。１０重量部未満の場合は粘度が高くなる傾向があり、均一に混合することが難しくなり、また、樹脂層を形成する際の取り扱い性で不利になりやすい。溶剤が２００重量部を超える場合は粘度の低下により、樹脂層を形成した際の層の厚さを制御することが難しくなる傾向があり、また、溶剤の使用量が多いことから、コスト高になりやすい。
【００２５】
本発明の感光性樹脂組成物は、通常使用される添加剤である、重合安定剤、レベリング剤、顔料、染料、密着性向上剤を使用しても良い。これらの選択は、通常の感光性樹脂組成物と同様の考慮のもとで行われる。添加量は、本発明の目的を損なわれない程度で、各々、感光性樹脂組成中０．０１〜１０重量％とすることが好ましい。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物は、ディップコート法、ロールコート法、フローコート法、スクリーン印刷法、スプレー法、静電スプレー法等の常法により、基板又はプリント配線板上に直接塗工され、基板又は配線板上に樹脂層を容易に形成することができる。樹脂層の厚さについては特に制限はなく、通常１０〜１５０μｍの範囲で適宜選択される。
【００２７】
また、本発明の感光性樹脂組成物をポリエチレンテトラフタレートなどのプラスチックフィルムの支持体フィルムに、コンマコータ、ブレードコータ、リップコータ、ロッドコータ、スクイズコータ、リバースロールコータ、トランスファロールコータ等によって均一な厚さに塗布し、加熱・乾燥して溶剤を揮発させることで、感光性樹脂組成物の層とこの層を支持する支持体フィルムとからなる感光性フィルムが得られる。これらの支持体としては他に、ポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の公知のフィルム等がある。
【００２８】
さらに、上記感光性樹脂フィルムは、樹脂組成物と残存溶媒とキャリアフィルムからなる配線板用接着剤とすることができる。この場合、接着剤表面を保護するために、露出している感光性樹脂組成物表面に剥離可能なカバーフィルムを積層すると重ねて巻き取ることもできる。この剥離可能なカバーフィルムとしてはポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、フッ素樹脂フィルム、表面処理した紙などがあり、カバーフィルムを剥離するときに感光性樹脂組成物の層と支持体フィルムとの接着力よりも感光性樹脂組成物の層とカバーフィルムとの接着力がより小さいものであればよい。
【００２９】
本発明の感光性フィルムを基板またはプリント配線板と重ね、ホットロールラミネーターなどを用いて貼り合わせることで、基板又は配線板上に本発明による樹脂組成物の樹脂層を容易に形成することができる。樹脂層の厚さについては特に制限はなく、通常１０〜１５０μｍの範囲で適宜選択される。
【００３０】
形成された樹脂層の露光及び現像は常法により行うことができる。例えば、光源として超高圧水銀灯や高圧水銀灯等を用い、樹脂組成物の層上に直接、又はポリエチレンテレフタレートフィルム等の透明フィルムを介し、ネガマスクを通して像的に露光することができる。露光後透明フィルムが残っている場合には、これを剥離した後現像するとよい。
【００３１】
現像処理に用いられる現像液は、露光部にダメージを与えず、未露光部を選択的に溶出するものであれば、その種類については特に制限はなく、樹脂組成物の現像タイプによって決定され、アルカリ現像液、準水系現像液、溶剤現像液など一般的なものを用いることができる。例えば、特開平７−２３４５２４号公報に記載されるような水と有機溶剤とを含むエマルジョン現像液を使用することができる。特に有用なエマルジョン現像液としては、例えば、有機溶剤成分としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、２，２−ブトキシエトキシエタノール、乳酸ブチル、乳酸シクロヘキシル、安息香酸エチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等の有機溶剤を１０〜４０重量％含有するエマルジョン現像液を挙げることができる。また、アルカリ現像液を用いる場合には、水酸化ナトリウム水溶液や４ホウ酸ナトリウムなどのアルカリ水溶液と前記有機溶剤とのエマルジョン現像液を用いることもできる。
【００３２】
上記の方法で得られた像的な樹脂膜は、通常のエッチング、めっき等のための耐食膜としての特性を持っているが、現像後に活性光の露光又は８０〜２００℃での加熱処理を行うことによって密着性、耐熱性、耐溶剤等の特性を向上することができる。これらの活性光の露光及び加熱処理を行う場合の順序はどちらが先でもよい。
【００３３】
本発明の感光性樹脂組成物は、印刷法、炭酸ガスレーザ、ＹΑＧレーザ、エキシマレーザ等を用いたレーザ穴明け法等で像的樹脂膜を形成することも可能である。
【００３４】
本発明の樹脂組成物を用いた樹脂硬化物は耐溶剤性に優れ、酸性水溶液やアルカリ性水溶液などにも耐える。さらに耐熱性、機械的特性にも優れているため、永久的な保護膜としても好適である。例えば、プリント配線板やパッケージ基板等に用いられるソルダーレジストや多層プリント配線板の層間樹脂絶縁層としてとして特に有用である。ほかにも塗料、ガラス、セラミック、プラスチック、紙等のコーティング剤としても使用することができる。
【００３５】
【実施例】
（合成例１）
温度計、撹拌装置、冷却管、窒素導入管のついた加熱及び冷却可能な容積約1リットルの反応容器に下記のリン含有フェノキシ樹脂を入れ、３０分間撹拌した後、テトラヒドロ無水フタル酸を入れ、９０℃に昇温した。液温が９０℃に到達した時間から約２時間反応させた後、室温に冷却して、カルボキシル酸変性リン含有フェノキシ樹脂化合物の溶液を得た。なお、合成の際、反応の当量比は、（酸無水物/水酸基）＝０．３９である。
【００３６】
【表１】
0004720000.tif 000002
【００３７】
（実施例１）
以下、評価基板の作製方法を記載する。
【００３８】
（１）ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板［銅箔の厚さ１８μｍ、両面粗化箔を両面に有する日立化成工業株式会社製ＭＣＬ−Ｅ−６７（商品名）］にエッチングを施して片面に回路層（以下、第１回路層とする）を有する回路板を作製した。
（２）下記表２組成の樹脂組成物を前記（１）で作製した回路板の片面に塗工し、８０℃で２０分間乾燥して３０μｍの樹脂層を形成した。
【００３９】
【表２】
0004720000.tif 000003
（３）前記（２）で得られた樹脂層つき回路板のバイアホールとなる部分に遮蔽部を形成したフォトマスクを介して、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を照射して、さらに未露光部分を、２，２−ブトキシエトキシエタノールを１０重量％、４ホウ酸ナトリウム８ｇ／Ｌを含んだ現像液を使用して３０℃で１分間スプレー処理をしてバイアホールを形成した。
（４）ついで、メタルハライドランプ型コンベア式露光機（ランプ出力：８０Ｗ／ｃｍ2、ランプ高さ：８０ｃｍ、コールドミラーなし、コンベア速度：１．５ｍ／ｍｉｎ）を用いて、紫外線１０００ｍＪ／ｃｍ2を絶縁層に照射して後露光を行った。
（５）１７０℃で２時間の後加熱を行うことにより、ネガマスクに相応するソルダマスク、及び該ソルダマスクの形成されたプリント配線板を得た。
【００４０】
（実施例２）
実施例１において、樹脂組成物の組成を、熱硬化型材料のエポキシ樹脂を含む表３の組成にした。その他は、実施例１と同様に行った。
【００４１】
【表３】
0004720000.tif 000004
【００４２】
（実施例３）
実施例１において樹脂組成物を変えずに下記の方法で、評価基板を作製した。
【００４３】
（１）ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板［銅箔の厚さ１８μｍ、両面粗化箔を両面に有する日立化成工業株式会社製ＭＣＬ−Ｅ−６７（商品名）］にエッチングを施して片面に回路層（以下、第１回路層とする）を有する回路板を作製した。
（２）実施例１と同様の組成をＰＥＴフィルム上に塗工し、８０℃で２０分間乾燥して樹脂付フィルムを作製した。この樹脂付フィルムを、前記（１）で作製した回路板の片面に樹脂が回路層と接する面側にしてラミネーターを用いて形成し、膜厚３０μｍの絶縁層を形成した。
（３）フォトマスクを介して、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を照射して、さらに未露光部分を、２，２−ブトキシエトキシエタノールを１０重量％、４ホウ酸ナトリウム８ｇ／Ｌを含んだ現像液を用いて３０℃で１分間スプレー処理をした。
（４）メタルハライドランプ型コンベア式露光機（ランプ出力：８０Ｗ／ｃｍ2、ランプ高さ：８０ｃｍ、コールドミラーなし、コンベア速度：１．５ｍ／ｍｉｎ）を用いて、紫外線１０００ｍＪ／ｃｍ2を絶縁層に照射して後露光を行った。
（５）１７０℃で２時間の後加熱を行うことにより、ネガマスクに相応するソルダマスク、及び該ソルダマスクの形成されたプリント配線板を得た。
【００４４】
（比較例１）
実施例１において、カルボン酸変性リン含有フェノキシ樹脂をリン酸エステル：ＣＲ−７４１（大八化学株式会社製商品名）１５重量部に置き換えた。その他は、実施例１と同様な方法で行った。
【００４５】
（比較例２）
実施例１において、カルボン酸変性リン含有フェノキシ樹脂を用いずに、水酸化アルミニウム：Ｈ−４２Ｍ（昭和電工株式会社製商品名）７０重量部を加えた。その他は、実施例１と同様な方法で行った。
【００４６】
（比較例３）
実施例１において、カルボン酸変性リン含有フェノキシ樹脂を用いずに、リン酸エステル：ＣＲ−７４１（大八化学株式会社、商品名）を１５重量部と水酸化アルミニウム：Ｈ−４２Ｍ（昭和電工株式会社、商品名）を５０重量部追加した。その他は、実施例１と同様な方法で行った。
【００４７】
（比較例４）
比較例１と同様な樹脂組成の樹脂を用いて、実施例３と同様の工程によって評価基板を作製した。
【００４８】
（比較例５）
実施例１において、カルボン酸変性リン含有フェノキシ樹脂を用いずに、カルボン酸変性アクリロニトリルブタジエンゴム：ＸＥＲ−３１ＳＫ−２５（固形分２５重量％のメチルエチルケトン溶液/ＪＳＲ株式会社製商品名）を１０重量部（固形分）添加した。その他は、実施例３と同様な方法で行った。
【００４９】
以上の様にして作製した多層配線板について、解像性、難燃性、絶縁抵抗、フィルム性を以下に示した方法で調べた。その結果を表４に示す。
【００５０】
［解像性］
実施例１の（３）に相当する工程において、フォトマスクに、直径１００μｍの円形黒丸の遮蔽部を設け、バイアホールを形成した。なお、バイアホールを形成できた現像残りの評価は、実施例１の（５）に相当する工程を実施した後、走査型顕微鏡（ＳＥＭ）１００００倍により評価した。
○：現像性の良好なもの（基板表面上に樹脂が全く残らないもの）
×：現像性の不良なもの（基板表面上に樹脂が少し残るもの）
［難燃性］
実施例１の工程において、ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板［銅箔の厚さ１８μｍ、両面粗化箔を両面に有する日立化成工業株式会社製ＭＣＬ−Ｅ−６７（商品名）］にエッチングを施して回路層（以下、第１回路層とする）がない基板を作製し、実施例１〜２及び比較例１〜３の樹脂を回路層（以下、第１回路層とする）がない基板に塗工し、８０℃で２０分間乾燥した。さらに、樹脂を硬化するために実施例１と同様な光照射工程及び熱処理工程を行った。すなわち、樹脂の全面に、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を照射し、さらにメタルハライドランプ型コンベア式露光機（ランプ出力：８０Ｗ／ｃｍ2、ランプ高さ：８０ｃｍ、コールドミラーなし、コンベア速度：１．５ｍ／ｍｉｎ）を用いて、紫外線１０００ｍＪ／ｃｍ2を絶縁層に照射して後露光を行った。そして、１７０℃で２時間の後加熱を行うことにより、難燃性の試験片を作製した。また、実施例３及び比較例４の樹脂については実施例１と同様の組成をＰＥＴフィルム上に塗工し、８０℃で２０分間乾燥して樹脂付フィルムを作製した。この樹脂付フィルムを、前記回路板の片面に樹脂が回路層と接する面側にしてラミネーターを用いて形成し、膜厚３０μｍの絶縁層を形成した。さらに、樹脂を硬化するために実施例１と同様な光照射工程及び熱処理工程を行った。すなわち、樹脂の全面に、露光量３００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線を照射し、さらにメタルハライドランプ型コンベア式露光機（ランプ出力：８０Ｗ／ｃｍ2、ランプ高さ：８０ｃｍ、コールドミラーなし、コンベア速度：１．５ｍ／ｍｉｎ)を用いて、紫外線１０００ｍＪ／ｃｍ2を絶縁層に照射して後露光を行った。そして、１７０℃で２時間の後加熱を行うことにより、難燃性の試験片を作製した。
試験法は、すべてＵＬ−９４法に従い試験した。
［絶縁抵抗］
ライン幅／スペース幅（４０μｍ／４０μｍ）寸法の櫛形形状の回路を形成した前記方法による評価基板を作製した。この評価基板について、常態のサンプル及び１３０℃，８５％ＲＨ，６Ｖ，２００時間の処理を施したサンプルを用いてそれぞれ絶縁抵抗値を測定した。
［フィルム性］
実施例１と同様の組成をＰＥＴフィルム上に塗工し、８０℃で２０分間乾燥して樹脂付フィルムを作製した。このときフィルム形成性を観察した。
【００５１】
【表４】
0004720000.tif 000005
【００５２】
表４から、カルボン酸変性リン含有フェノキシ樹脂を用いることで、実施例１〜３に示したように、難燃性がＵＬ−９４Ｖ−０を確保しながら、解像性、１２１℃−１００％ＲＨの高温・高湿下での常態及び１３０℃，８５％ＲＨ，６Ｖ，２００時間処理後の絶縁抵抗ともに良好なことが示された。また、実施例３ではフィルム性に問題なく、３０μm厚の均一な樹脂フィルムを得た。一方、比較例１、比較例２及び比較例４においては、難燃性の確保ができない。また、比較例３は、難燃性がＵＬ−９４Ｖ−０を確保できたが高温・高湿下でのピール強度と解像性が低下した。さらに、比較例１、３、４では、１３０℃，８５％ＲＨ，６Ｖ，２００時間処理後の絶縁抵抗が低下した。一方、比較例５ではフィルム形成が可能であるが、解像性、難燃性、１３０℃，８５％ＲＨ，６Ｖ，２００時間処理後の絶縁抵抗が低下した。
【００５３】
以上の実施例から本発明における感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルムが、従来の樹脂組成物より優れた解像性、難燃性、絶縁性を有するということが容易に理解されよう。
【００５４】
本発明は上記に複数の実施の形態を示したが、この記載が本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはここでは記載していない様々な代替実施の形態、実施例、運用技術が明らかとなろう。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【００５５】
【発明の効果】
本発明による感光性樹脂組成物を用いることにより、ハロゲン化物を用いない系においても十分な難燃性を確保することができる。また、高い解像性を維持することができるため、本発明の感光性樹脂組成物をソルダレジストとして用いることで、近年の配線板に対する高密度化要求に応えることができる。また、本発明による感光性樹脂組成物を用いた配線板は高温・高湿度下の過酷な条件においても、十分に高い絶縁性を有する。このため、高密度配線、微細配線などの特性に対する要求の厳しい用途の配線板として用いた場合でも高い信頼性を実現することができる。さらにフィルム化が可能であることから、工程の短縮化及び絶縁層の両面一括形成が可能となり、生産性の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  多層配線板を製造する工程の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
(a)  回路形成
(b)  樹脂組成物の塗工、乾燥工程
(c)  露光工程
(d)  現像工程
(e)  後露光工程
(f)  後加熱工程
１  回路層
２  絶縁基板
３  回路板
４  絶縁材料組成物層
５  フォトマスク
６a、６c  光線
７  バイアホール
８b、８c、８d 絶縁層
【図１】
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