(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡装置が電子線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記電子顕微鏡装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、
電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部と、
前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成ることを特徴とする電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項２】
前記電子線照射条件の変化が、分析位置の変化であることを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項３】
前記分析位置の変化が、前記電子線を照射する電子線照射部および前記分析対象体を載置するステージ間の移動による変化、または、電子線を照射する位置の変化、または、電子線の加速電圧の変化、または、前記電子顕微鏡のレンズ系の倍率の変化であることを特徴とする請求項２記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項４】
前記電子線照射条件の変化が、照射電流の変化であることを特徴とする請求項１乃至３いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項５】
前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記照射電流に変化が生じていないとの監視結果を得た際に、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記エネルギー線に関するデータを、データ分析に用いるか否かに関する命令を受け付けるデータ使用選択命令受付部を具備していることを特徴とする請求項４記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項６】
前記エネルギー線分析部が、前記分析対象体から放射される特性Ｘ線を利用して、該分析対象体の構成元素を分析するエネルギー分散型Ｘ線分析部であることを特徴とする請求項１乃至５いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項７】
前記データ記憶部が、前記エネルギー線分析部での分析結果を、前記データとして一時的に記憶するものであり、
前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記変化が生じたとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を削除する一方、前記変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を用い得るように構成していることを特徴とする請求項１乃至６いずれか記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項８】
前記分析結果を削除した後、電子線照射条件変化監視部が前記変化が無くなった旨の監視結果を出力した場合には、削除した分析結果を、復活利用し得るように構成していることを特徴とする請求項７記載の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置。
【請求項９】
第１の分析装置がエネルギー線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記第１の分析装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、
前記エネルギー線の照射条件に変化が生じたか否かを監視するエネルギー線照射条件変化監視部と、
前記分析対象体の他の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記エネルギー線照射条件変化監視部を参照し前記エネルギー線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の他の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成ることを特徴とする第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の分析装置がエネルギー線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記第１の分析装置での分析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを利用して、該分析対象体の他の分析を行うように構成した第１の分析装置と共に用いる分析装置に関するものであり、特に、電子顕微鏡装置が電子線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記電子顕微鏡装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを利用して、該分析対象体の分析を行うように構成した電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、分析対象試料の電子顕微鏡画像を出力する電子顕微鏡と、Ｘ線分析部と、これらを制御するコンピュータとを具備して成り、電子顕微鏡によって得られる顕微鏡画像とＸ線分析部によって得られるＸ線スペクトルとをコンピュータに取り込み可能に構成したＸ線分析装置が知られている。
【０００３】
具体的に、この種のＸ線分析装置は、顕微鏡画像を表わす画像データと、この顕微鏡画像上の指定された分析位置から発生するＸ線のスペクトルデータとを、コンピュータで読み書き可能な一つの記録媒体に一回の操作で一括して保存可能とすることで、操作者の操作性を向上させ、且つ、データの管理を容易性を向上させることが可能になっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２９２３８３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のものでは、顕微鏡画像データとＸ線のスペクトルデータとを、一回の操作で一つの記録媒体に一括して保存できるだけであり、Ｘ線のスペクトルデータの分析する前段階で顕微鏡画像データを収集することを要するにもかかわらず、電子線照射時に、Ｘ線のスペクトルデータを収集しているものでは無い。
【０００５】
したがって、顕微鏡画像データを得るための時間とは別に、Ｘ線のスペクトルデータを得るための時間を要し、かかるＸ線のスペクトルデータの分析に、トータルで大幅な時間を要してしまうといった問題点を有している。
【０００６】
また、分析対象試料に電子線を照射すると、その表面にコンタミネーション（汚れ等）が生じる場合があり、このコンタミネーションを少なくするためにできるだけ電子線の照射時間を少なくするという要望を満たしていないといった問題点を有している。
【０００７】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち本発明に係る電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置は、電子顕微鏡装置が電子線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記電子顕微鏡装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部と、前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記電子線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成ることを特徴とする。
【０００９】
ここで、電子顕微鏡装置は、走査型であるか透過型であるかを問わない。
【００１０】
電子顕微鏡装置での解析に用いられるエネルギー線とは、２次電子、反射電子、透過電子などの中で、画像解析に用いられて、顕微鏡像が得られるものをいう。
【００１１】
また、「別のエネルギー線に関するデータ」とは、分析処理に用いるエネルギー線のスペクトルデータに加え、エネルギー分析部での分析結果などをも含む広い概念である。
【００１２】
電子線照射条件の変化は、電子線が照射される分析位置の変化と、電子線の量の変化を含む。分析位置には、点だけでなく、平面、３次元的な空間といった領域も含まれる。また、電子線の量の変化の具体的態様としては、照射電流の変化が挙げられる。
【００１３】
また、前記電子線照射条件変化監視部の監視対象である分析位置の変化の具体的態様としては、前記電子線を照射する電子線照射部および前記分析対象体を載置するステージ間の移動による変化、または、電子線を照射する位置の変化、または、電子線の加速電圧の変化、または、前記電子顕微鏡のレンズ系の倍率の変化が挙げられる。すなわち、分析位置の変化が、水平方向の変化であるか垂直方向の変化であるかを問わない。
【００１４】
このようなものであれば、顕微鏡画像データを取りながら、顕微鏡画像データ以外のデータ、例えば特性Ｘ線のスペクトルデータを同時に取っておくことができ、該特性Ｘ線のスペクトルデータを改めて最初から取るといったことをしなくて済む。したがって、かかる特性Ｘ線のスペクトルデータの分析に、大幅な時間を要さず短時間で行うことが可能となる。そして、このように電子線の照射時間を短くできるため、その表面にコンタミネーションが生じ難くなり、分析精度の向上に資する。
【００１５】
すなわち、分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供することができる。
【００１６】
照射電流の変化に応じた好適な処理を行うには、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記照射電流に変化が生じていないとの監視結果を得た際に、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記エネルギー線に関するデータを、データ分析に用いるか否かに関する命令を受け付けるデータ使用選択命令受付部を具備していることが望ましい。
【００１７】
なお、本発明のエネルギー線分析部の望ましい態様としては、このエネルギー線分析部が、前記分析対象体から放射される特性Ｘ線を利用して、該分析対象体の構成元素を分析するエネルギー分散型Ｘ線分析部であるものが挙げられる。
【００１８】
本発明の望ましい態様としては、前記データ記憶部が、前記エネルギー線分析部での分析結果を、前記データとして一時的に記憶するものであり、前記分析対象体の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記電子線照射条件変化監視部を参照し前記変化が生じたとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を削除する一方、前記変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している分析結果を用い得るように構成しているものが挙げられる。
【００１９】
この場合、前記分析結果を削除した後、電子線照射条件変化監視部が前記変化が無くなった旨の監視結果を出力した場合には、削除した分析結果を、復活利用し得るように構成しているのであれば、測定のやり直しを防ぐことができるなど、分析時間の短縮などに資する。
【００２０】
また、本発明の第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置の望ましい態様としては、この第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置が、第１の分析装置がエネルギー線を照射した際に分析対象体から放射され且つ前記第１の分析装置での解析に用いるエネルギー線とは別のエネルギー線に関するデータを一時的に記憶するデータ記憶部と、前記エネルギー線の照射条件に変化が生じたか否かを監視するエネルギー線照射条件変化監視部と、前記分析対象体の他の分析を前記別のエネルギー線を利用して行う際に、前記エネルギー線照射条件変化監視部を参照し前記エネルギー線照射条件に変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部に一時的に記憶している前記データのうち別のエネルギー線に関するデータを読み出して、前記分析対象体の他の分析に用いるエネルギー線分析部と、を具備して成るものが挙げられる。
【００２１】
ここで、このような第２の分析装置の具体的な態様としては例えば収束イオンビーム装置（ＦＩＢ）が挙げられる。この場合、第１の分析装置が照射するエネルギー線としては、イオンビームであり、第１の分析装置での解析に用いるエネルギー線は２次電子、２次イオンなどで、画像解析に用いられて、顕微鏡像が得られるものを言う。別のエネルギー線は、電磁波（光）やＸ線などが挙げられる。
【発明の効果】
【００２２】
以上説明したように本発明の電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置によれば、顕微鏡画像データを取りながら、例えば特性Ｘ線のスペクトルデータを同時に取っておくことができ、該特性Ｘ線のスペクトルデータを改めて最初から取るといったことをしなくて済む。したがって、かかる特性Ｘ線のスペクトルデータの分析に、大幅な時間を要さず短時間で行うことが可能となる。そして、このように電子線の照射時間を短くできるため、その表面にコンタミネーションが生じ難くなり、分析精度の向上に資する。
【００２３】
すなわち、分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置を提供することができる。
【００２４】
また、本発明の第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置によれば、第１の分析装置で、当該第１の分析装置での解析に必要なエネルギー線を放射しながら、かかる分析とは別の分析のための、別のエネルギー線に関するデータを取っておくことができ、該、別のエネルギー線に関するデータを改めて最初から取るといったことをしなくて済む。したがって、かかる別のエネルギー線の解析に大幅な時間を要さず短時間で行うことが可能となる。そして、このようにエネルギー線の照射時間を短くできるため、試料の破壊や表面にコンタミネーションが生じ難くなり、分析精度の向上に資する。
【００２５】
すなわち、分析時間の短縮を図れるとともに分析対象体表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れた第１の分析装置と共に用いる第２の分析装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２７】
本実施形態にかかるエネルギー分散型Ｘ線分析装置Ｑ（本発明の「電子顕微鏡装置と共に用いる分析装置（第２の分析装置）」に相当）は、図１に示すように、電子走査顕微鏡装置Ｐ（本発明の「第１の分析装置」に相当）と共に用いられるものであって、この電子走査顕微鏡装置Ｐとともに分析システムＡを構成している。以下、各装置について具体的に説明する。
【００２８】
電子走査顕微鏡装置Ｐは、図１に示すように、測定対象体である試料Ｓを載置するステージＰ１と、このステージＰ１に載置した試料Ｓに対して電子ビームを照射する電子線照射部Ｐ２と、試料Ｓに電子線を照射した際に該試料Ｓによって反射される反射電子Ｅ１または二次電子Ｅ２を測定する電子顕微鏡部（検出部）Ｐ３と、この電子顕微鏡部Ｐ３で得た各電子Ｅ１、Ｅ２を利用して試料Ｓ表面等についての画像処理を行う画像処理部Ｐ４とを具備して成る。
【００２９】
ステージＰ１は、１または複数の試料Ｓを載置可能な試料載置面Ｐ１１を有するものである。そして、本実施形態では、演算制御部によって制御されたステッピングモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって、試料載置面Ｐ１１が電子線照射部Ｐ２に対して移動し得るように構成している。
【００３０】
電子線照射部Ｐ２は、陰極より放出した電子線を陽極で加速させた後に集束レンズおよび対物レンズで試料Ｓにフォーカスされるようにし、且つ、試料Ｓの走査画像（ＳＥＭ像）を得るために、この電子線を偏向器で試料Ｓ上を２次元的に走査されるように構成してある。
【００３１】
電子顕微鏡部Ｐ３は、試料Ｓから発生した二次電子Ｅ２を含む反射電子Ｅ１を検出し、電気信号（像信号）に変換するものである。
【００３２】
画像処理部（演算制御部）Ｐ４は、前記電子顕微鏡部Ｐ３から得た電気信号（像信号）よりＳＥＭ画像を生成するものである。
【００３３】
エネルギー分散型Ｘ線分析装置Ｑは、図１に示すように、前記電子顕微鏡部Ｐ３の近傍に設けた特性Ｘ線検出器Ｑ１と、この特性Ｘ線検出器Ｑ１で検出した特性Ｘ線Ｅｘに基づいて試料Ｓの構成元素の分析を行う分析装置本体Ｑ２とを具備して成るものである。
【００３４】
特性Ｘ線検出器Ｑ１は、試料Ｓ表面から放出される特性Ｘ線Ｅｘを検出するものであって、本実施形態では、エネルギー分散型のＸ線分光器を用いている。なお、この特性Ｘ線検出器Ｑ１の種類は、これに限られるものではなく、例えば、波長分散型（WDX：Wavelength Dispersive X-ray Spectrometry）のものを用いるなど、実施態様に応じて適宜変更可能である。また、カソードルミネセンス（CL：Cathodeluminescence）、電子線エネルギー損失分光器（EELS：Electron Energy-Loss Spectroscopy）、後方散乱電子回折検出器（EBSD：Electron Backscatter Diffraction）などを用いることを妨げない。
【００３５】
分析装置本体Ｑ２は、一般的な情報処理機能に加え試料Ｓの分析機能を備えたものであって、図２に示すように、ＣＰＵ１０１、内部メモリ１０２、ＨＤＤ等の外部記憶装置１０３、マウスやキーボードなどの入力インタフェース１０４、液晶ディスプレイなどの表示装置１０５、電子走査顕微鏡装置Ｐと通信するための通信インタフェース１０６等を具備して成る。
【００３６】
そして、この分析装置本体Ｑ２は、その内部メモリ１０２に記憶されたプログラムにしたがって、前記ＣＰＵ１０１や周辺機器を作動し、図３に示すように、前記特性Ｘ線検出器Ｑ１で検出した特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータを記憶するデータ記憶部１と、電子線照射条件に変化が生じたか否かを監視する電子線照射条件変化監視部２と、試料Ｓの分析を特性Ｘ線Ｅｘを利用して行うエネルギー線分析部３と、データ使用選択命令受付部４としての機能を発揮する。以下、各部を詳述する。
【００３７】
データ記憶部１は、電子走査顕微鏡装置Ｐの電子線照射部Ｐ２が電子線を照射した際に試料Ｓから放射される特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータを一時的に記憶するものであって、前記内部メモリ１０２または外部記憶装置１０３の所定領域に形成して成る。なお、本実施形態では、このデータ記憶部１が、電子線の照射位置情報と特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータとを関連付けて記憶するように構成している。また、このデータ記憶部１に記憶するデータは、特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータに限られるものではなく、別のエネルギー線のスペクトルデータを記憶することができるし、その他のデータ（例えば、電子線の照射開始時間や終了時間など）を記憶することができる。
【００３８】
電子線照射条件変化監視部２は、前記電子線照射部Ｐ２および前記ステージＰ１間に分析位置の変化である移動が生じたか否かを監視する分析位置変化監視部２ａと、照射電流の変化を監視する照射電流変化監視部２ｂとしての機能を有するものである。
【００３９】
分析位置変化監視部２ａは、電子線照射部Ｐ２およびステージＰ１間に移動が生じたか否かを、すなわち、分析位置に変化が生じたか否かを、前記アクチュエータの制御量から得られるステージＰ１の移動量により監視するものである。そして、その監視結果をエネルギー線分析部３に対して出力する。具体的には、例えば、制御量が０であれば、電子線照射部Ｐ２およびステージＰ１間に移動が生じていないとの監視結果を、エネルギー線分析部３に対して出力する。
【００４０】
照射電流変化監視部２ｂは、電子線照射部Ｐ２が電子線を照射する際の照射電流に変化が生じたか否かを監視するものである。
【００４１】
エネルギー線分析部３は、試料Ｓから放射される特性Ｘ線Ｅｘを利用して、該試料Ｓの構成元素を分析しその構成元素のマッピングを行うものであるものである。なお、本実施形態では、このエネルギー線分析部３が、分析を行う際において、前記分析位置変化監視部２ａを参照し前記移動が生じていないとの監視結果を得た場合には、前記データ記憶部１に一時的に記憶しているエネルギー線のスペクトルデータを読み出して、前記試料Ｓの分析および構成元素のマッピングに用いるように構成している。
【００４２】
また、このエネルギー線分析部３を、後述するデータ使用選択命令受付部４において、データ分析に用いる旨の命令を受け付けた場合には、データ記憶部１に記憶しているデータを読み出して、前記試料Ｓの分析などを行い得るようにしている。
【００４３】
データ使用選択命令受付部４は、照射電流変化監視部２ｂを参照し照射電流に変化が生じていないとの監視結果を得た際に、前記データ記憶部１に一時的に記憶している前記エネルギー線に関するデータを、データ分析に用いるか否かに関する命令を受信するものであって、前記入力インタフェース１０４などを利用して構成している。
【００４４】
次に、このように構成した電子走査顕微鏡装置Ｐおよび分析装置本体Ｑ２の動作について説明する。
【００４５】
（１）電子走査顕微鏡装置ＰによるＳＥＭ画像の生成フローについて
【００４６】
図４に示すように、まず、電子走査顕微鏡装置Ｐの電子線照射部Ｐ２が、試料Ｓに対して電子線を照射する（ステップ１０１）。
【００４７】
すると、この電子線によって試料Ｓから発生した二次電子Ｅ２を含む反射電子Ｅ１を、電子顕微鏡部Ｐ３が検出し（ステップ１０２）、電気信号（像信号）に変換する（ステップ１０３）。
【００４８】
そして、画像処理部Ｐ４が電子顕微鏡部Ｐ３から得た電気信号（像信号）からＳＥＭ画像を生成する（ステップ１０４）。
【００４９】
（２）分析装置本体Ｑ２による試料Ｓ分析フローについて
【００５０】
このように、電子線照射部Ｐ２が電子線を照射している際において、試料Ｓからは、例えば特性Ｘ線Ｅｘなど、反射電子Ｅ１または二次電子Ｅ２とは別のエネルギー線が発生している。
【００５１】
図５に示すように、本実施形態では、電子線照射部Ｐ２が電子線を照射している場合（ステップ２０１）、特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータと電子線の照射位置情報とを、データ記憶部１に記憶する。（ステップ２０２）。
【００５２】
そして、エネルギー線分析部３が、前記試料Ｓの構成元素の分析を行う際に際し、前記電子線照射条件変化監視部２の分析位置変化監視部２ａを参照し、分析位置に変化（例えば、電子線照射部Ｐ２およびステージＰ１間に移動）が生じていないとの監視結果を得た場合には（ステップＳ２０３）、前記データ記憶部１に一時的に記憶しているエネルギー線のスペクトルデータを読み出して（ステップＳ２０４）、前記試料Ｓの構成元素の分析およびマッピングを行い、検出元素の分布を示す元素マップを生成する（ステップＳ２０５）。一方、監視結果が、分析位置に変化が生じた旨を示すものであれば（ステップS２０３）、電子線照射部Ｐ２から電子線を試料Ｓに対して新たに照射してエネルギー線のスペクトルデータを計測した上で（ステップＳ２０６）、試料Ｓの構成元素の分析およびマッピングを行い元素マップを生成する（ステップＳ２０５）。
【００５３】
なお、ステップＳ２０３からＳ２０５かけて、さらに、照射電流値の変化を考慮した動作をさせることもできる。照射電流値が変化しても、強度が変わるだけのため、データ記憶部１に一時的に記憶している別のエネルギー線に関するデータを、データ分析に使うことができるからである。
【００５４】
具体的には、図６に示すように、分析位置に変化が生じていないとの監視結果を得た場合（ステップＳ２０３）において、照射電流変化監視部２ｂを参照し照射電流に変化が生じたとの監視結果を得た際に（ステップＳ２０３ａ）、データ使用選択命令受付部４で受け付ける命令が、データ記憶部１に一時的に記憶している前記エネルギー線に関するデータを、データ分析に用いる旨の命令であれば（ステップＳ２０３ｂ）、前記データ記憶部１に一時的に記憶しているエネルギー線のスペクトルデータを読み出して（ステップＳ２０４）、前記試料Ｓの構成元素の分析およびマッピングを行い、検出元素の分布を示す元素マップを生成する（ステップＳ２０５）。一方、変化が生じていないとの監視結果を得た場合には（ステップＳ２０３ａ）、前記データ記憶部１に一時的に記憶しているエネルギー線のスペクトルデータを読み出して（ステップＳ２０４）、前記試料Ｓの構成元素の分析およびマッピングを行い、検出元素の分布を示す元素マップを生成する（ステップＳ２０５）。
【００５５】
したがって、以上のように構成した本実施形態に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装置Ｑによれば、ＳＥＭ画像を取りながら、特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータを同時に取っておくことができ、該特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータを改めて最初から取るといったことをしなくて済む。したがって、かかる特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータの分析に、大幅な時間を要さず短時間で行うことが可能となる。そして、このように電子線の照射時間を短くできるため、その表面にコンタミネーションが生じ難くなり、分析精度の向上に資する。
【００５６】
すなわち、分析時間の短縮を図れるとともに試料Ｓ表面のコンタミネーションの発生を抑制して分析精度の向上を図れるといった、優れたエネルギー分散型Ｘ線分析装置Ｑを提供することができる。
【００５７】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００５８】
例えば、エネルギー線分析部３を、試料Ｓから放射される特性Ｘ線Ｅｘを利用して、図７に示すように、該試料Ｓの構成元素を分析し元素マップを得られるようにしているが、図８に示すように、分析領域全体を平均化したスペクトルを得ることもできる。また、分析領域全体を平均化したスペクトルを得た後、元素マップを得ることもできる。さらに、相分析結果の組成分布を示す組成マップを得ることもできるし、また、試料Ｓの定性・定量分析に用いることもできる。
【００５９】
また、データ記憶部１が、特性Ｘ線Ｅｘのスペクトルデータを一時的に記憶するようにしているが、恒久的に記憶するようにしていもよい。
【００６０】
また、電子線照射条件変化監視部２が、電子線照射部Ｐ２およびステージＰ１間に移動が生じたか否かを監視する方法は、本実施形態のものに限られず実施態様に応じて適宜変更可能である。
【００６１】
また、分析位置変化監視部２ａが、分析位置に変化が生じたか否かの監視を、電子線照射部Ｐ２およびステージＰ１間の移動による変化の監視により行っているが、これに限らず、例えば、電子線を照射する位置の変化、または、電子線の加速電圧の変化、または、前記電子顕微鏡のレンズ系の倍率の変化の監視により行うことができる。
【００６２】
また、ステップＳ２０３と、ステップＳ２０３ａおよびＳ２０３ｂとの順番は、本実施形態に限られるものではない。
【００６３】
また、電子走査顕微鏡装置Ｐに代えて、透過型の電子顕微鏡装置を用いることもできる。
【００６４】
また、データ記憶部１に、エネルギー線分析部３での分析結果を、一時的に記憶させることもできる。そして、試料Ｓの分析を、特性Ｘ線Ｅｘを利用して行う際に、電子線照射条件変化監視部２を参照し上述した変化が生じたとの監視結果を得た場合には、データ記憶部１に一時的に記憶している分析結果を削除する一方、前記変化が生じていないとの監視結果を得た場合には、データ記憶部１に一時的に記憶している分析結果を用い得るように動作させることもできる。加えて、前記分析結果を削除した後、電子線照射条件変化監視部２が前記変化が無くなった旨の監視結果を出力した場合には、削除した分析結果を、復活利用し得るように動作させることもできる。これにより、測定のやり直しを防ぐことができるなど、分析時間の短縮を行うことが可能となる。なお、復活利用する方法は、一般的なコンピュータなどで実現されている方法を採用すればよく、ハード的に復活させるかソフト的に復活させるかを問わない。
【００６５】
また、電子走査顕微鏡装置Ｐにかえて、例えば、イオンビームを放射する分析装置（ＦＩＢ）を採用することもできる。この場合には、イオンビームが放射された際に、顕微鏡画像を得るために測定されるエネルギー線とは別のエネルギー線をデータ記憶部１に記憶しておき、この記憶しているデータを、イオンビームを放射する分析装置とは別のデータ解析に用いるようにすればよい。
【００６６】
その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の一実施形態であるエネルギー分散型Ｘ線分析装置を有する分析システムの構成を概略的に示す全体概略図。
【図２】同実施形態に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装置の機器構成図。
【図３】同実施形態に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装置の機能構成図。
【図４】同実施形態に係る電子走査顕微鏡装置の動作を説明するためのフロー図。
【図５】同実施形態に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフロー図。
【図６】同実施形態に係るエネルギー分散型Ｘ線分析装置の動作を説明するためのフロー図。
【図７】同実施形態に係る分析結果の一例を示す図。
【図８】同実施形態に係る分析結果の一例を示す図。
【符号の説明】
【００６８】
Ｅ１・・・反射電子
Ｅ２・・・二次電子
Ｅｘ・・・別のエネルギー線（特性Ｘ線）
Ｐ・・・・電子走査顕微鏡装置（電子顕微鏡装置（第１の分析装置））
Ｐ１・・・ステージ
Ｐ２・・・電子線照射部
Ｑ・・・・電子走査顕微鏡装置（電子顕微鏡装置）と共に用いる分析装置（第２の分析装置）
（エネルギー分散型Ｘ線分析装置）
Ｓ・・・・分析対象体（試料）
１・・・・データ記憶部
２・・・・電子線照射条件変化監視部
２ａ・・・分析位置変化監視部
２ｂ・・・照射電流変化監視部
３・・・・エネルギー線分析部
【図１】
0004712584.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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