(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨方法であって：
ウェーハに接触する可撓膜と、制御可能な大きさを有し、ウェーハに対して圧力を加える負荷領域において前記ウェーハ上の前記可撓膜に下向き力を加えるよう圧力が制御され得る少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバとを有するキャリアヘッドにウェーハを保持するステップと；
研磨中に前記ウェーハの厚さ関連測定値を得るステップと；
前記厚さ関連測定値に基づき前記ウェーハに対する厚さプロファイルを計算するステップと前記計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較するステップと；
前記比較結果に基づいて、前記負荷領域の前記大きさを調節するように、前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節するステップと；
を含む方法。
【請求項２】
圧力を調節するステップは、前記負荷領域においてウェーハへ加えられる前記圧力を制御するよう前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
圧力を調節するステップは、前記ウェーハが研磨面に対して押付けられる下向き力を制御するよう前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
更に、前記ウェーハに関して、繰返して、厚さ関連測定値を得るステップと、厚さプロファイルを計算するステップと、前記計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較するステップと、前記キャリアヘッドの前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節するステップと、を含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記ウェーハの中心部位が研磨不足であることを、前記計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較するステップが示す場合、前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力が、前記負荷領域の大きさを縮小するよう調節される、請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記ウェーハの厚さ関連測定値を得るステップは、前記ウェーハ上の複数のサンプリングゾーンから反射される放射の強度を測定するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記目標厚さプロファイルは、前記研磨プロセスにおいて特定の時間に対する理想の厚さプロファイルを表す、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記目標厚さプロファイルは、前記研磨プロセスにおいて特定の時間に対する予測される厚さプロファイルを表す、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記可撓膜は、前記ウェーハに接触する外部表面を有する可撓外部膜と、制御可能な大きさを有する接触領域において前記可撓外部膜の内部表面に接触する可撓内部膜とを備え、前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバが前記接触領域の前記大きさを制御する、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
化学機械研磨装置であって：
ウェーハ研磨面と；
ウェーハを保持するためのキャリアヘッドであって、前記キャリアヘッドは、ウェーハに接触する可撓膜と、制御可能な大きさを有し、ウェーハに対して圧力を加える負荷領域において前記研磨面に対して前記ウェーハが研磨される際に前記ウェーハ上の前記可撓膜に下向きの圧力を加えるよう圧力が制御され得る少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバとを含む、ウェーハを保持するためのキャリアヘッドと；
研磨中に前記ウェーハの厚さ関連測定値を得るためのモニタと；
目標厚さプロファイルを記憶するメモリと；
プロセッサと；を備え、
前記プロセッサは：
（ａ）前記モニタにより得られる厚さ関連プロファイルに基づき前記ウェーハに対する厚さプロファイルを計算し；
（ｂ）前記計算される厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較し；
（ｃ）前記比較結果に基づいて、前記負荷領域の前記大きさを調節するように、前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節する；ように構成される、化学機械研磨装置。
【請求項１１】
前記プロセッサは、前記比較結果に基づき前記負荷領域において前記ウェーハへ加えられる前記圧力を制御するよう加圧可能なチャンバ内の圧力を調節するよう構成される、請求項１０記載の装置。
【請求項１２】
前記メモリ内に記憶される前記目標厚さプロファイルは、前記研磨プロセスにおいて特定時間に対する理想の厚さプロファイルを表す、請求項１０記載の装置。
【請求項１３】
前記メモリ内に記憶される前記目標厚さプロファイルは、前記研磨プロセスにおいて特定時間に対する予測される厚さプロファイルを表す、請求項１０記載の装置。
【請求項１４】
前記モニタは、研磨中に前記ウェーハ上の複数のサンプリングゾーンから反射される放射の測定値を得るよう編成される、請求項１０記載の装置。
【請求項１５】
前記可撓膜は、前記ウェーハに接触する外部表面を有する可撓外部膜と、制御可能な大きさを有する接触領域において前記可撓外部膜の内部表面に接触する可撓内部膜とを備え、前記少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバが前記接触領域の前記大きさを制御する、請求項１０記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般に基板の化学機械研磨に関し、より詳細には、化学機械研磨装置におけるウェーハ研磨の閉ループ制御に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路は、普通には、基板、特にシリコンウェーハ上へ、導電体、半導体、または絶縁物の層の順次堆積により形成される。各層が堆積された後に、各層はエッチングされ回路フィーチャを生成する。一連の層が順次堆積されエッチングされるのに従い、基板の外側、つまり最上部表面、すなわち、基板露出面は、次第に平坦でなくなる。この非平坦面は、集積回路製造プロセスのフォトリソグラフィックステップにおいて問題を生ずる。従って、基板表面を周期的に平坦化するニーズがある。
【０００３】
化学機械研磨（ＣＭＰ）は、容認された平坦化方法のひとつである。この平坦化方法は、普通には、基板がキャリアヘッドすなわち研磨ヘッド上に搭載される必要がある。基板露出面は、回転する研磨パッドに対して載置される。ＣＭＰプロセスの有効性は、その研磨レートにより、およびウェーハ表面の、結果として得られる仕上がり（微視的粗さの無いこと）と平坦度（巨視的トポグラフィ無いこと）により測定できる。研磨レート、仕上がり、および平坦度は、パッドとスラリの組合せ、ウェーハとパッド間の相対速度、およびパッドに対してウェーハを押付ける力により決められる。
【０００４】
ＣＭＰで再々起る問題は、「端効果 (edge-effect)」、換言すれば、ウェーハの縁部がウェーハ中心部と異なるレートで研磨される性向である。端効果は、普通には、ウェーハの周辺、例えば、２００ミリメートル（ｍｍ）ウェーハの最外部の３から１５ミリメートルで、不均一の研磨を生じる。関連する問題は、「中心部スロー効果 (center slow effect)」、換言すれば、ウェーハの中心部が研磨不足となる性向である。
【０００５】
他の要因もＣＭＰプロセスにおける不均一性に寄与する。例えば、ＣＭＰプロセスは、研磨パッドの異なるロット間の差異、スラリのバッチでの変化、および時間経過で起るプロセスのドリフトに敏感である。加えて、ＣＭＰプロセスは、温度等の環境要因に依存して変化し得る。ウェーハとウェーハ上に堆積された膜の特定の状態もＣＭＰプロセスでの変化に寄与する。同様に、ＣＭＰ装置への機械的変化がＣＭＰプロセスの均一性に影響し得る。ＣＭＰプロセスでの変化は、時間経過で、例えば、研磨パッドの磨耗の結果として、ゆっくり起こり得る。他の変化が、スラリの新規のバッチ、または新規の研磨パッドが使用される際など、突然の変更の結果として起こり得る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
現行技術を使用すると、ウェーハの厚さ動態を制御するようＣＭＰプロセスにおける先に記載の変化を補正することは困難であった。特に、ウェーハ面の所望の平坦度すなわちトポグラフィを得るようＣＭＰプロセスを制御することは困難であった。同様に、長期間にわたり多数のウェーハに対して反復可能な結果を得るようＣＭＰプロセスを制御することは困難であった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
一般に、一局面によると、ウェーハを研磨する方法は、閉ループ制御を使用する。ウェーハ上に下向き力を加えるようチャンバの圧力が制御される少なくともひとつのチャンバを有するキャリアヘッドにより、ウェーハが保持され得る。本方法は、ウェーハの厚さ関連測定値を得ること、厚さ関連測定値に基づきウェーハのための厚さプロファイルを計算すること、とを含む。計算された厚さプロファイルは、目標厚さプロファイルと比較される。比較結果に基づき、少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力が調節される。
【０００８】
別の実施例では、研磨方法は、ウェーハの多数の部位へ独立して変更可能な圧力を加えることができる多数のチャンバを有するキャリアヘッドにより保持されるウェーハで使用され得る。方法は、研磨中にウェーハの厚さ関連測定値を得ること、そして厚さ関連測定値に基づきウェーハの特定ゾーンに関連するキャリアヘッドチャンバのうちのひとつのチャンバ内の圧力を調節することとを含む。
【０００９】
化学機械研磨装置も開示される。装置は、ウェーハ研磨面と、ウェーハを保持するためのキャリアヘッドとを含む。キャリアヘッドは、ウェーハが研磨面に対して研磨される際にウェーハ上に下向き圧力を加えるよう圧力が制御され得る少なくともひとつのチャンバを含む。装置は、更に、研磨中にウェーハの厚さ関連測定値を得るためのモニタと、目標厚さプロファイルを記憶するメモリとを有する。プロセッサが：（ａ）モニタにより得られた厚さ関連プロファイルに基づきウェーハに対する厚さプロファイルを計算する；（ｂ）計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較する；（ｃ）比較結果に基づき少なくともひとつのキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節する；よう構成される。
【００１０】
一般に、チャンバ圧力は、特定ウェーハが研磨されている際に、リアルタイムで調節され得る。従って、厚さ測定値は、ウェーハの研磨と同時に取得可能であり、チャンバ圧力は、研磨面からウェーハを除去することなく調節できる。別の実施例では、サンプルウェーハの厚さ関連測定値が取得され、目標プロファイルと比較でき、それによりチャンバ圧力の調節は、他のウェーハの研磨前か、または研磨中になされ得る。
【００１１】
種々の実施例では、以下の特長のひとつ以上が存在する。キャリアヘッドチャンバ圧力を調節することは、ウェーハと研磨面との間の圧力分布を変更できる。キャリアヘッドは、制御可能な負荷領域でウェーハへ圧力を供給する可撓膜を含むことができ、それにより、チャンバ圧力を調節することが、負荷領域でウェーハへ加えられる圧力を制御できる。例えば、ウェーハの中心部位が研磨不足であることを、計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較することが示す場合、キャリアヘッドチャンバのうちのひとつのチャンバ内圧力が、負荷領域の大きさを縮小するよう調節され得る。
【００１２】
同様に、キャリアヘッドチャンバ圧力を調節することは、ウェーハが研磨面に対して押付けられる下向き力を変更できる。
【００１３】
ウェーハの厚さ関連測定値を得ることは、ウェーハ上の多数のサンプリングゾーンから反射された放射の強度を測定することを含み得る。目標厚さプロファイルは、研磨プロセスにおける特定の時間に対する、例えば、理想の厚さプロファイル、または予測される厚さプロファイルのいずれかを表すことができる。
【００１４】
加えて、厚さ関連測定値を得ることと、厚さプロファイルを計算することと、計算された厚さプロファイルを目標厚さプロファイルと比較することと、キャリアヘッドチャンバのうちの少なくともひとつのチャンバ内圧力を調節すること、とは、特定のウェーハプロセス中に多数回繰返されることができる。
【００１５】
種々の実施例は、以下の利点のひとつ以上を含むことができる。環境変化、ウェーハとスラリでの変化、ＣＭＰ装置自体での変化など、ウェーハ研磨プロセスでの変化は、より均一でより平坦な表面を提供するよう補正され得る。同様に、ウェーハの異なる部位が研磨されるレートの変化は、より容易に補正され得る。実質的に平坦な表面を得るよう、そのような変化を補正することが望ましいことが多いであろうが、ウェーハの異なる部位が異なる厚さに研磨されるよう、キャリアヘッドチャンバ圧力を変化することが望ましい場合もあり得る。
【００１６】
他の特長および利点は、詳細な説明、図面、および特許請求の範囲から容易に明らかであろう。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１に示すように、多数の半導体ウェーハ１０が化学機械研磨（ＣＭＰ）装置２０により研磨される。各ウェーハ１０は、先立って形成されたひとつ以上の膜層を有することができる。研磨装置２０は、一連の研磨ステーション２２と搬送ステーション２３とを含む。搬送ステーション２３は、個々の基板１０をローディング装置（図示せず）から受取ること、基板を洗浄すること、基板をキャリアヘッドへローディングすること、基板をキャリアヘッドから受取ること、基板を再洗浄すること、そして、最後に、ローディング装置へ基板を戻し搬送すること、を含む多数の機能を果たす。
【００１８】
各研磨ステーションは、その上に研磨パッド３０が載置される回転可能なプラテン２４を含む。研磨パッド３０は、裏打層３２とカバー層３４を含むことができる（図２）。各プラテン２４は、プラテン駆動モータ（図示せず）へ結合され得る。大抵の研磨プロセスのために、プラテン駆動モータはプラテン２４を毎分３０から２００回転で回転させるが、より低いか又はより高い回転速度も使用できる。各研磨ステーションは、ウェーハを効果的に研磨するように研磨パッドの状態を維持するパッドコンディショニング装置２８も含んでもよい。スラリ／リンス兼用アーム３９が、スラリを研磨パッド３０の表面へ供給できる。
【００１９】
回転可能なマルチヘッドカラセル６０は、中心支柱６２により支持され、その上でカラセル軸６４のまわりに、カラセルモータ組立体（図示せず）により回転される。カラセル６０は、４つのキャリアヘッド装置７０を含む。中心支柱６２は、カラセルモータが、カラセル軸６４のまわりに、カラセル支持プレート６６を回転させ、キャリアヘッド装置と該装置に取付けられた基板とを旋回させることを可能にする。キャリアヘッド装置の３つは、ウェーハを受取り保持し、研磨パッドに対して押付けることによりウェーハを研磨する。その間に、キャリアヘッド装置の１つが、搬送ステーション２３からウェーハを受取り、搬送ステーション２３へウェーハを引渡す。
【００２０】
少なくともひとつのステーションが、ＣＭＰプロセス中にウェーハについてのデータを取得し、厚さ関連情報を計算する能力のあるin-situレートモニタを含む。そのような厚さ測定技術のひとつは、１９９８年１１月２日出願で、本発明の譲受人へ譲渡された米国特許出願第０９／１８４，７７５号に開示されている。その出願は、ウェーハの厚さ関連測定値の半径方向プロファイル、すなわち直径方向走査を提供するように使用され得るin-situのリアルタイム測定装置と技術を記載しており、本明細書に引用して組込まれる。以下に説明するように、in-situ厚さモニタにより得られるウェーハの厚さ関連データは、ＣＭＰ制御装置のためのフィードバックデータとして使用される。
【００２１】
in-situ厚さモニタ５０の実施例のひとつを図２に示す。孔２６がプラテン２４に形成され、透明窓３６が、孔の上にある研磨パッド３０の一部分に形成される。光学モニタ装置４０が、孔２６のほぼ直下でプラテン２４に固定され、プラテンと共に回転する。干渉を使用できる光学モニタ装置４０は、レーザー等の光源４４と検出器４６とを含む。光源４４は、光ビーム４２を生成し、それは、透明窓３６とスラリ３８とを通って伝播し、ウェーハ１０の露出面上に当たる。光遮断器等の位置センサ１６０は、窓３６がウェーハ１０の近くにある場合を検知することに使用できる。分光光度計を含む、他の技術が、ウェーハの厚さ関連測定値を得るために使用できる。
【００２２】
運転時、ＣＭＰ装置２０は、厚さモニタ５０を使用でき、ウェーハ１０の表面から除去された材料の量、薄膜層の残存厚さ、またはウェーハ面にわたる厚さの範囲、を決定する。更に、装置２０は、ウェーハの不均一性の範囲、換言すれば、除去された厚さの平均で除去された厚さの標準偏差を割り、それに１００％を乗じた値を求めることが可能である。加えて、装置２０は、表面が平坦化された時期を求めることができる。
【００２３】
汎用プログラマブルデジタルコンピュータ４８が、レーザー４４と、検出器４６と、位置センサ１６０とに接続される。コンピュータ４８は、ウェーハがほぼ窓３６の上にある際にレーザーを起動し、検出器からの強度測定値を記憶し、強度測定値を出力装置４９上に表示し、強度測定値に基づき、初期厚さ、研磨レート、除去量、および残存厚さを計算し、研磨終点を検出するようプログラムされ得る。加えて、下記で非常に詳細に検討するように、コンピュータ４８は、光学モニタ装置４０から得られるフィードバックデータを使用して、研磨中にウェーハ１０の背面へ加えられる圧力を調節するようプログラムされる。
【００２４】
ウェーハが研磨される場合、薄膜層の厚さは時間とともに変化するので、検出器４６からの信号出力も時間とともに変化する。検出器４６の時間変化する出力は、in-situ反射率測定値軌跡 (reflectance measurement trace) と称することができ、ウェーハ層の厚さを求めるのに使用できる。
【００２５】
一般に、光学モニタ装置４０は、ウェーハ１０上の多数のサンプリングゾーンから反射された放射の強度を測定する。各サンプリングゾーンの半径方向位置が計算され、強度測定値は半径方向範囲内へ区分される。特定の半径方向範囲に対して充分な数の強度測定値が蓄積された場合、その範囲に対する強度測定値からモデル関数が計算される。モデル関数は、初期厚さ、研磨レート、残存厚さ、および除去量を計算することに使用できる。加えて、ウェーハ上に堆積された膜層の平坦度測定値が計算され得る。更なる詳細は、先に記載の米国特許出願第０９／１８４，７７５号に記載されている。代替技術も、ウェーハ厚さの半径方向プロファイルを得るために使用できる。
【００２６】
再び図１を参照すると、各キャリアヘッド装置は、キャリアヘッド１００を含む。キャリア駆動シャフト７４がキャリアヘッド回転モータ７６を各キャリアヘッド１００へ結合し、それにより、各キャリアヘッドはそれ自体の軸のまわりに独立して回転できる。各キャリアヘッドは、関連するキャリア駆動のシャフトとモータとを有する。キャリアヘッド１００は、幾つかの機械的機能を実行する。一般に、キャリアヘッドは、研磨操作中に、基板を研磨パッドに対して保持し、基板の背面にわたって下向きの圧力を分配し、トルクを駆動シャフトから基板へ転送し、そして、基板がキャリアヘッドの下から滑り出ないことを確実にする。
【００２７】
加えて、各キャリアヘッド１００は、ウェーハの背面へ加えられる下向き圧力を変化させることを可能にする、制御可能な圧力と負荷の領域を有する。適切なキャリアヘッドは、１９９９年１２月２３日出願で、本発明の譲受人へ譲渡された米国特許出願第０９，４７０，８２０号に記載されている。その出願の開示は、本明細書に引用して組込まれる。
【００２８】
先に記載の特許出願に開示されるように、そして図３に示すように、実施例のキャリアヘッド１００は、ハウジング１０２と、ベース組立体１０４と、ジンバル機構１０６と、負荷チャンバ１０８と、保持リング１１０と、基板裏打組立体１１２と、を含み、基板裏打組立体１１２は、浮動上部チャンバ１３６、浮動下部チャンバ１３４、および外側チャンバ１３８という３つの加圧可能なチャンバを含む。
【００２９】
負荷チャンバ１０８は、ハウジング１０２とベース組立体１０４との間に配置され、荷重、換言すれば、下向きの圧力つまり重量をベース組立体１０４へ加える。第１圧力レギュレータ（図示せず）が負荷チャンバ１０８へ通路１３２により流体で結合されることができ、負荷チャンバ内の圧力とベース組立体１０４の垂直位置とを制御する。
【００３０】
ウェーハ裏打組立体１１２は、可撓内部膜１１６と、可撓外部膜１１８と、内部支持構造体１２０と、外部支持構造体１３０と、内部スペーサリング１２２と、外部スペーサリング１３２とを含む。可撓内部膜１１６は、ウェーハ１０へ制御可能な領域で圧力を加える中央部分を含む。内側フラップ１４４により封止される、ベース組立体１０４と内部膜１１６との間の容積は、加圧可能な浮動下部チャンバ１３４を提供する。内側フラップ１４４と外側フラップ１４６とにより封止される、ベース組立体１０４と内部膜１１６との間の環状容積部は、加圧可能な浮動上部チャンバ１３６を画成する。
【００３１】
第２圧力レギュレータ（図示せず）が、ガスなどの流体を浮動上部チャンバ１３６内へ、または、そこから外へ向けるよう結合され得る。同様に、第３圧力レギュレータ（図示せず）が、流体を浮動下部チャンバ１３４内へ、または、そこから外へ向けるよう結合され得る。第２圧力レギュレータは、上部チャンバ内の圧力と下部チャンバの垂直位置とを制御し、第３圧力レギュレータは、下部チャンバ１３４内の圧力を制御する。浮動上部チャンバ１３６内の圧力は、外部膜１１８の上部表面に対する内部膜１１６の接触領域を制御する。従って、第２と第３の圧力レギュレータは、圧力が加えられるウェーハ１０の領域、換言すれば、負荷領域と、負荷領域における基板上の下向き力とを制御する。
【００３２】
内部膜１１６と外部膜１１８との間の封止される容積は、加圧可能な外側チャンバ１３８を画成する。第４圧力レギュレータ（図示せず）が、ガスのような流体を外側チャンバ１３８内へ又は外側チャンバ１３８から外へ向くよう通路１４０に結合され得る。第４圧力レギュレータは、外側チャンバ１３８内の圧力を制御する。
【００３３】
運転時、流体が、浮動下部チャンバ１３４内へ又は浮動下部チャンバ１３４から外へポンプ引きされ、外部膜１１８に対する、従って、ウェーハ１０に対する、内部膜１１６の下向き圧力を制御する。流体が、浮動上部チャンバ１３６内へ又は浮動上部チャンバ１３６から外へポンプ引きされ、外部膜１１８に対する、内部膜１１６の接触領域を制御する。従って、キャリアヘッド１００は、ウェーハ１０へ加えられる負荷領域と圧力との両方を制御可能である。図４は、上部浮動チャンバ１３６内の圧力（Ｐ３）と外部膜１１８に対する内部膜１１６の接触領域との間の関係をグラフで示す。図４では、外側チャンバ１３８内の外部膜圧力（Ｐ１）は４ｐｓｉである。グラフは、下部浮動チャンバ１３４内の内部膜圧力（Ｐ２）の、５ｐｓｉから６．６ｐｓｉの範囲にわたる、種々の値に対する接触領域を示す。
【００３４】
ＣＭＰプロセス中のウェーハ研磨の閉ループ制御を図５と６に示す。ウェーハ１０は、キャリアヘッド１００のひとつで保持され、初期パラメータをもつ以前に決定されたＣＭＰプロセスを使用してステーション２２で研磨される（１５０）。初期パラメータは、チャンバ１０８、１３４、１３６、と１３８内の圧力を含む。上記で検討したように、例えば、研磨パッドとスラリに関する消耗変化を含む他の要因が、ＣＭＰプロセスの動態に影響する。同様に、ウェーハでの変化、環境変化、および、ＣＭＰ装置での変化がＣＭＰプロセスの動態に影響を及ぼし、従って、ウェーハ面から除去される材料の量に影響する。普通、そのような変化は意識して装置に導入されるものではないので、制御するのが困難である。
【００３５】
ウェーハ１０が研磨されるにつれて、特定の半径方向厚さプロファイルが結果として得られる。プロセス中の所定点で、例えば、研磨の開始から所定時間後、in-situ厚さモニタ５０が、厚さ関連測定値をコンピュータ４８へ供給する（１５２）。次に、コンピュータ４８は、厚さモニタ５０から取得された測定値に基づきウェーハ１０に対する半径方向厚さプロファイルを計算する（１５４）。換言すれば、ウェーハ中心部からウェーハ縁部までの多数点でのウェーハ厚さが計算される。幾つかの場合、計算されたウェーハ厚さは、各半径方向位置に対する平均厚さを表す可能性がある。
【００３６】
次に、計算された厚さプロファイルは、目標厚さプロファイルと比較される（１５６）。目標厚さプロファイルは、メモリ１７０、例えば、ＥＥＰＲＯＭに記憶でき、ＣＭＰプロセスにおける所定点で所望する理想のウェーハ厚さプロファイルを表し得る。代替として、目標厚さプロファイルは、ＣＭＰプロセスにおけるその点で予測される厚さプロファイルを表し得る。一実施例によると、目標プロファイルと計算されたプロファイルとは、各厚さプロファイルに相応する厚さ値間の差を計算することにより比較される。例えば、特定の半径方向位置に対する目標プロファイルの厚さ値が、同じ半径方向位置に対する計算された厚さプロファイルの相応する厚さ値から減算され得る。結果は、その各々がウェーハ１０上の半径方向位置に相応し、ウェーハ上の特定の半径方向位置での目標厚さと計算された厚さとの間の不均衡を表す、一連の差値である。二つのプロファイルを比較することは、ハードウエアまたはソフトウエアで実行でき、例えば、コンピュータ４８により実行できる。
【００３７】
目標厚さ値と計算された厚さ値との間の比較結果は、コントローラ１７５へ供給される。コントローラ１７５はコンピュータ４８と分離して図示されているが、コントローラとコンピュータとは、ハードウエアおよび／またはソフトウエアを含み得る単一のコンピュータシステムの一部分であってもよい。そのようなコンピュータシステムは、例えば、コンピュータ４８とコントローラ１７５との機能を実行するよう構成されたひとつ以上の汎用または特定用途のプロセッサを含み得る。コンピュータシステムにこれらの機能を実行させるための命令は、読出専用メモリ（ＲＯＭ）等の記憶媒体上に記憶できる。
【００３８】
比較結果を受取ることに応答して、コントローラ１７５は、結果をキャリアヘッド１００のチャンバ１０８、１３４、１３６、１３８、のうちのひとつ以上のチャンバ内圧力を調節すること（１５８）に使用する。上記で検討したように、圧力は、ウェーハ上へ及ぼされるキャリアヘッド１００の下向き圧力を変更し、および／または負荷領域を変更するよう調節できる。例えば、ウェーハ縁部がウェーハ中心部とは異なるレートで研磨されている場合、または、ウェーハ中心部が研磨不足である場合に、圧力が調節される必要があるかもしれない。特に、ウェーハ中心部が研磨不足である場合、チャンバ圧力は、負荷領域の半径を小さくするよう調節できる。換言すれば、ウェーハの中心部での圧力と研磨時間との積が、ウェーハ縁部近くの領域での積よりも大きく、それによって、研磨不足を補正する。チャンバ圧力を調節した後に、ウェーハ１０の研磨は、ウェーハが実質的に平坦化されたことをin-situ厚さモニタが示すまで、または別のＣＭＰ終了点に到達するまで、継続される（１６０）。
【００３９】
上記閉ループフィードバック制御は、特定のウェーハのＣＭＰ研磨中に１回以上実行され得る。換言すれば、キャリアヘッドチャンバ内の圧力は、ＣＭＰプロセス中に１回または多数回、厚さ関連測定値に基づき調節され得る。例えば、チャンバ圧力への閉ループ調節は、ＣＭＰプロセス中に、１５秒毎に１回のような規則的な間隔で実行され得る。
【００４０】
幾つかの実施例では、各ウェーハが研磨される際に各ウェーハに対して閉ループ制御を実行することが望ましいであろう。他の状況では、ひとつ以上の試験ウェーハに対して閉ループ制御を実行することで充分であろう。試験ウェーハに対して得られたキャリアヘッドチャンバ圧力への調節が、ウェーハのバッチ全体のＣＭＰ研磨中に引続き使用され得る。
【００４１】
厚さプロファイルは、Ｔ（ｎ）の時間期間後に取得でき、所望量の材料が除去されたか否かを決定する。所望量の材料がウェーハから除去されなかった場合、研磨時間は、１秒のような小単位の時間だけ延長され得る。プロセスは、所望量の材料が除去されるまで繰返し可能である。
【００４２】
一実施例では、サンプルウェーハが標準操作モードで研磨され、そこでは、浮動チャンバ１３４、１３６は加圧されず、外側チャンバ１３８が加圧され、ウェーハの背面全体へ均一な圧力を加える。そこで、サンプルウェーハが研磨され、所定時間後に、サンプルウェーハの多数の半径方向ゾーンの厚さ関連測定値が、取得され、半径方向厚さプロファイルへ変換される。厚さプロファイルは、目標プロファイル、例えば、実質的に平坦なプロファイルと比較され、差の厚さΔｔnがウェーハ上の各半径方向ゾーンｎに対して得られる。各差の厚さΔｔnは、ｎ番目のゾーンに対する測定された厚さと目標厚さとの間の差を表す。
【００４３】
ウェーハの測定された厚さに基づき、Å／ｐｓｉ／秒の単位で表示され且つウェーハからの材料の除去の平均レートを示す除去係数（ＲＦ）が取得できる。チャンバ１３８内の外部膜圧力（Ｐ１）とチャンバ１３４内の内部膜圧力（Ｐ２）との間の圧力差に等しい差圧ΔＰが選定される。差圧ΔＰの典型的な例は、約１から数ｐｓｉの範囲である。ウェーハ上にＮ個の半径方向ゾーンを仮定し、１番目のゾーン（ｎ＝１）がウェーハ中心部に最も近く、Ｎ番目のゾーンがウェーハ縁部に最も近いことを仮定すると、厚さプロファイルを修正するために規定された差圧ΔＰnを使用して、次のウェーハの種々の部位が研磨されるべき継続時間Ｔnを、以下のように計算できる：
Ｔn＝［Δｔn／（ΔＰn・ＲＦ）］−［（Ｔ(n+1)・ΔＰ(n+1)／ΔＰ(n)）
＋（Ｔ(n+2)・ΔＰ(n+2)／ΔＰ(n)）＋  ．．．＋（Ｔ(N)・ΔＰ(N)／ΔＰ(n)）］
圧力差が一定である状況では、先に記載の式は：
Ｔn＝［Δｔn／（ΔＰn・ＲＦ）］−（Ｔ(n+1)＋Ｔ(n+2)＋  ．．．＋Ｔ(N)）
に整理される。例えば、図８を参照すると、４つのゾーン（Ｎ＝４）がある場合、
Ｔ4＝［Δｔ4／（ΔＰ4・ＲＦ）］、
Ｔ3＝［Δｔ3／（ΔＰ3・ＲＦ）］−Ｔ(4)、
Ｔ2＝［Δｔ2／（ΔＰ2・ＲＦ）］−（Ｔ(3)＋Ｔ(4)）、および
Ｔ1＝［Δｔ1／（ΔＰ1・ＲＦ）］−（Ｔ(2)＋Ｔ(3)＋Ｔ(4)）。
上部浮動チャンバ１３６内の圧力（Ｐ３）は、負荷領域が継続時間Ｔ1の間ウェーハ中心から第１ゾーン（ｎ＝１）の半径方向位置まで延び、負荷領域が継続時間Ｔ2の間ウェーハ中心から第２ゾーン（ｎ＝２）の半径方向位置まで延び、負荷領域が継続時間Ｔ3の間ウェーハ中心から第３ゾーン（ｎ＝３）の半径方向位置まで延び、負荷領域が継続時間Ｔ4の間ウェーハ中心から第４ゾーン（ｎ＝４）の半径方向位置まで延びるよう、選定可能である。上部浮動チャンバ１３６内の圧力（Ｐ３）は、ほぼ以下の通りであり得る：
Ｐ３＝（（Ｐ２−Ｐ１）Ａc＋Ｐ１Ａ1−Ｐ２Ａ2）／Ａ3、
ここで、負荷面積は、Ａc＝π（ｄc）2／４、および、Ａ1＝π（ｄ1）2／４、Ａ2＝π（ｄ2）2／４、と、Ａ3＝π（ｄ3）2／４である。図７に示すように、ｄ1、ｄ2、とｄ3はそれぞれ、外側チャンバ１３８、下部浮動チャンバ１３４、と上部浮動チャンバに相応する直径である。新規の圧力と研磨時間を使用して、より平坦な表面を得ることができる。
【００４４】
幾つかの実施例では、キャリアヘッドは、ウェーハの多数の同心円部位へ独立して変更可能な圧力を加え得る多数の同心円チャンバを含むことができる。そのようなキャリアヘッドは、本明細書に引用してその全体を組込まれた、米国特許第５，９６４，６５３号に検討されている。研磨中、各チャンバ内の圧力は、そのチャンバに関連する半径方向ゾーンにおいて測定された研磨レート、または除去量に基づき調節され得る。例えば、ウェーハの縁部が基板の中心部より早く研磨されている、と光学モニタ装置が判断した場合、キャリアヘッドの最外部のチャンバへの圧力が研磨操作中に低減され得る。上記で説明した技術は、膜厚さをモニタし、測定された厚さの目標厚さプロファイルとの比較に基づき一つ以上のキャリアヘッドチャンバ内の圧力を調節することに使用できる。それは、研磨の均一性を著しく改善する。
【００４５】
本発明は、数多くの実施例について説明された。しかし、本発明は、図示され説明された実施例に限定されない。他の実施例は、先に記載の特許請求の範囲の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【図１】化学機械研磨装置の分解斜視図である。
【図２】本発明で使用する光学干渉計を含む実施例の化学機械研磨装置の側面図である。
【図３】本発明で使用する実施例のキャリアヘッドの断面略図である。
【図４】キャリアヘッドにおける膜の接触直径の値が、キャリアヘッドチャンバのうちのひとつのチャンバ内の圧力で変化する様子を図示するグラフである。
【図５】本発明による閉ループ制御ウェーハ研磨装置を示すブロック図である。
【図６】本発明による閉ループ制御ウェーハ研磨装置の方法のフローチャートである。
【図７】キャリアヘッドの種々の寸法を図示する。
【図８】ウェーハ上の実施例のゾーンを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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