(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状のリング電極と、該リング電極を挟むように配設された一対のエンドキャップ電極とで囲まれる空間にイオントラップを形成してなるイオントラップ型質量分析装置であって、前記イオントラップ内に各種イオンを捕捉した後にそのうちの特定の質量数を有する目的イオンを選別するイオン選別を行うものにおいて、
前記目的イオンの振動の基本周波数と、該基本周波数と所定の関係を有する別の周波数とに対応する二箇所にノッチを有するような周波数スペクトルを持つ交流電圧を前記エンドキャップ電極に印加する電圧印加手段を備えることを特徴とするイオントラップ型質量分析装置。
【請求項２】
前記基本周波数と所定の関係を有する別の周波数は、基本周波数成分とそれとは別の周波数成分との間で生じるうなり振動の周波数であることを特徴とする請求項１に記載のイオントラップ型質量分析装置。
【請求項３】
前記電圧印加手段は、前記周波数スペクトルを持つ交流電圧の印加に引き続いて、前記別の周波数のみを含むような周波数スペクトルを持つ交流電圧を前記エンドキャップ電極に印加することを特徴とする請求項１又は２に記載のイオントラップ型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電場によってイオンを閉じ込めるためのイオントラップを備えるイオントラップ型質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
イオントラップ型質量分析装置等を用いた質量分析においてはＭＳ/ＭＳ分析（タンデム分析）という手法が知られている。一般にＭＳ/ＭＳ分析では、まず分析対象物から目的とする特定質量数（質量/電荷）を有するイオンを前駆イオンとして選別し、その選別した前駆イオンをＣＩＤ（Collusion Induced Dissociation：衝突誘起分解）によって開裂させ、開裂イオンを生成する。その後、開裂によって生成したイオンを質量分析することによって、目的とするイオンの質量や化学構造についての情報を取得することができる。
【０００３】
通常、イオントラップ型質量分析装置においては、内側面が回転１葉双曲面形状を有する１個の環状のリング電極と、それを挟むように対向して設けられた、内側面が回転２葉双曲面形状を有する一対のエンドキャップ電極とで囲まれる空間にイオントラップ領域が形成される。このリング電極及びエンドキャップ電極にそれぞれ所定の電圧を印加すると、イオントラップ領域に四重極電場が形成され、そこに内部で発生した又は外部から導入されたイオンを閉じ込めておくことができる。ＭＳ/ＭＳ分析を行う場合には、上記のようにイオントラップ領域に各種イオンを閉じ込めた後に、前駆イオンの選別行程として、目的とする前駆イオンのみをイオントラップ領域に残し、他の不要なイオンはイオントラップ領域から排除するような処理を実行する。
【０００４】
具体的には、例えば次のようなイオン選別方法が知られている。すなわち、２個のエンドキャップ電極間に逆位相の交流電圧を印加すると、その交流電圧の周波数と一致する固有周波数（振動数）を有するイオンが共鳴して振動する。その共鳴振動の振幅は次第に増大し、結果的にそのイオンはイオントラップ領域から飛び出したり電極に衝突したりして排除される。共鳴振動するイオンの質量数はその固有周波数と所定の関係を有しているから、例えば図６に示すような、特定の周波数ｆ0にノッチを持つ（換言すればその周波数成分を持たないような）周波数スペクトルを有する広帯域交流電圧をエンドキャップ電極に印加すると、そのノッチ周波数ｆ0に応じた質量数ｍ0を有するイオンのみが共鳴振動せずにイオントラップ領域に留まり、他のイオンはイオントラップ領域外部に排出される。これにより前駆イオンの選別を達成することができる。このようにして選別されたイオンに対しイオントラップ領域に導入したバッファガスの分子を衝突させて開裂を促進し、それによって発生する生成イオンをイオントラップ領域から放出させて検出すればよい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
イオントラップ領域でのイオンの振動周波数はイオンの質量数に依存するが、それ以外にイオントラップの動作パラメータ、具体的にはリング電極に印加するＲＦ主電圧の振幅値などを変えることによっても変えることができる。図７は、リング電極に印加されるＲＦ主電圧の振幅をパラメータとしたときの、イオンの質量数とその振動周波数（つまり上記イオン選別においてはノッチ周波数に相当）との関係の一例を示すグラフである（本出願人による特開2000-323090号公報参照）。このグラフ上で、質量数と周波数との関係を示す曲線の接線の傾きが分解能を表す。図７中に示すように、或る同一質量数（例えば200）に対しては、ＲＦ主電圧の振幅を大きくするほどノッチ周波数は高くなり、その周波数が高いほど周波数対質量数の接線の傾きは緩やかになる（接線Ｐ1とＰ2を比較すれば明らか）。これは、質量数の選別分解能が高くなること、つまり質量数の選択性が向上することを意味する。したがって、前駆イオンを高い質量数分解能で選別するには、振動周波数が高くなるような条件（例えばＲＦ主電圧の振幅を大きくする）を設定することが望ましい。
【０００６】
しかしながら、例えばＲＦ主電圧の振幅を大きくする等の振動周波数が高くなる条件下で前駆イオンの選別を行うと、選別されるべき前駆イオンの一部もイオントラップ領域から排除されてしまい、イオントラップ領域に留まる前駆イオンの量が減って、最終的に分析感度の低下を招くという現象があった。すなわち、上記の従来方法では、前駆イオンの選別行程で、質量数分解能と分析感度とはトレードオフの関係にあり、両者をともに充分に満足させることは困難であった。
【０００７】
本発明はこのような課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、イオントラップ領域で特定のイオンの選別を行う場合に、高い質量数分解能と高い分析感度とをともに達成することができるイオントラップ型質量分析装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
後に詳述するように、イオンの振動周波数が高くなるような条件を設定した際に選別されるべきイオンの量も減じてしまうのは、主として、そのイオンが有する基本周波数以外のうなりの周波数での共鳴振動の励起が無視できなくなり、これによって、選別されるべきイオンが共鳴振動して電極へ衝突してしまったり或いはイオントラップから排出されてしまったりすることによる。
【０００９】
そこで、本発明は上記課題を解決するために、環状のリング電極と、該リング電極を挟むように配設された一対のエンドキャップ電極とで囲まれる空間にイオントラップを形成してなるイオントラップ型質量分析装置であって、前記イオントラップ内に各種イオンを捕捉した後にそのうちの特定の質量数を有する目的イオンを選別するイオン選別を行うものにおいて、
前記目的イオンの振動の基本周波数と、該基本周波数と所定の関係を有する別の周波数とに対応する二箇所にノッチを有するような周波数スペクトルを持つ交流電圧を前記エンドキャップ電極に印加する電圧印加手段を備えることを特徴としている。
【００１０】
ここで、上記「基本周波数と所定の関係を有する別の周波数」とは、基本周波数成分とそれとは別の周波数成分との間で生じるうなりの周波数のことを言う。
【００１１】
すなわち、本発明に係るイオントラップ型質量分析装置によれば、エンドキャップ電極に印加される交流電圧によってイオントラップ領域に発生する電場は、目的イオンの共鳴振動の基本周波数を含まないのみならず、そのイオンのうなり振動の周波数成分も含まない。そのため、基本周波数によって共鳴振動が励起されないだけでなくうなり周波数によっても共鳴振動が励起されないので、非常に高い確率でもってイオントラップ領域に留まることができる。一方、目的イオン以外の各種イオンは上記電場により共鳴振動が励起され、次第にその振幅が増大して電極に衝突したりイオントラップ領域の外部へと排出されてしまったりする。その結果、目的イオンが効率よくイオントラップ領域に残ることになる。
【００１２】
上述したように二箇所にノッチを有する周波数スペクトルを持つ交流電圧をエンドキャップ電極に印加してイオンの選別を行うと、目的イオンが選別されるのみならず、上記別の周波数が基本周波数と偶然に一致するような質量数を有する不所望のイオンも同時に選別される恐れがある。そこで、本発明に係るイオントラップ型質量分析装置では、上記電圧印加手段は、上述したように二箇所にノッチを有する交流電圧の印加に引き続いて、上記別の周波数のみを含む周波数スペクトルを持つような交流電圧を前記エンドキャップ電極に印加する構成とするとよい。これにより、上記不所望のイオンが共鳴振動してイオントラップ領域から排除されるため、最終的に目的イオンのみをイオントラップ領域に残すことができる。
【００１３】
なお、上述したような特定の周波数にノッチを有する広帯域信号は、例えば、周波数の相違する複数の単一周波数の正弦波信号を合成することにより得ることができるほか、本出願人が特願2000-22370号で提案しているような方法でも得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
まず、本発明に係るイオントラップ型質量分析装置におけるイオン選別の原理を詳細に説明する。いま、図２に示すように円筒座標系(ｒ，ｚ)において典型的なイオントラップを考える。
【００１５】
すなわち、内側面が回転１葉双曲面形状を有する１個の環状のリング電極２と、それを挟むように対向して設けられた、内側面が回転２葉双曲面形状を有する一対のエンドキャップ電極３，４により囲われた空間がイオントラップ領域１になる。図示するように、リング電極２には、＋(Ｕ−ＶcosΩｔ)/２、エンドキャップ電極３，４には−(Ｕ−ＶcosΩｔ)/２なる交流電圧が印加されているとする。
【００１６】
このような電圧が印加されたときにイオントラップ領域１に形成される四重極電場における各種イオンの運動は、ｚ方向、ｒ方向について次の(1)，(2)式で示す独立の運動方程式で記述することができる。
ｄ2ｒ/ｄｔ2＋(ｅ/ｍｒ02)(Ｕ−ＶcosΩｔ)ｒ＝０       …(1)
ｄ2ｚ/ｄｔ2＋(２ｅ/ｍｒ02)(Ｕ−ＶcosΩｔ)ｚ＝０     …(2)
ここで、ｍはイオンの質量、ｅはイオンの電荷である。
【００１７】
いま、ａz，ａr，ｑz，ｑrを(3)，(4)式のように定義すると、上記運動方程式(1)，(2)は(5)，(6)のマチウ(Mathieu)方程式の形で表すことができる。
ａz＝−２ａr＝(−８ｅＵ)/(ｍｒ02 Ω2)        …(3)
ｑz＝−２ｑr＝(−４ｅＶ)/(ｍｒ02 Ω2)        …(4)
ｄ2ｒ/ｄζ2＋(ａr−２ｑrcos２ζ)ｒ＝０       …(5)
ｄ2ｚ/ｄζ2＋(ａz−２ｑzcos２ζ)ｚ＝０       …(6)
但し、ζ＝(Ωｔ)/２
【００１８】
このマチウ方程式の解の性質は、ａz，ｑzを用いて表すことができる。図３はこのマチウ方程式の解の安定条件を説明するための図であり、縦軸がａz、横軸がｑzである。図３に示すａz−ｑz面において実線で囲まれた領域Ｓが上記方程式の安定解となる。すなわち、上記パラメータａz，ｑzはイオンの質量数（ｍ/ｅ）によって定まり、これらの値の組（ａz，ｑz）が特定の範囲に存在する場合に、このイオンは特定の周波数で振動を繰り返しイオントラップ領域１に捕捉される。具体的には、図３中で実線で囲まれた安定領域Ｓがイオンがイオントラップ領域１に安定して存在できる範囲であり、その外側が不安定領域である。なお、βはｑに依存する値である。
【００１９】
イオントラップ領域１に閉じ込められたイオンは、このβをパラメータとして(7)式で表される運動をする。
α1ΣＣ2n cos(２ｎ±β)ζ＋α2ΣＣ2n sin(２ｎ±β)ζ       …(7)
(7)式より、これは周波数ωn＝(２ｎ±β)ζの重なり合った運動であることがわかるが、一般には、イオンは近似的にｎ＝０とした基本周波数ω0で運動するものとして近似されている。
【００２０】
通常、イオントラップ型質量分析装置は、Ｕ＝０つまりａ＝０で使用されることが多いので、説明を簡単にするためにこのような条件の下で説明を続ける。いま、或る一定の電圧Ｖをリング電極２に印加したとすると、(4)式の定義からもわかる通り、安定領域Ｓ内でのｑの値は質量ｍに依存している。また図３より、ｑzの相違はβzの相違であることもわかる。したがって、一定電圧Ｖがリング電極２に印加された状態では、各種イオンはイオントラップ領域１で質量ｍによってそれぞれ異なる周波数で運動していることになる。その運動（振動）の周波数は、質量ｍが小さいイオンでは相対的に高く、質量ｍが大きなイオンでは低くなる。
【００２１】
既述のように、イオントラップ領域１に閉じ込められている各種イオンのうち、或る特定の質量数を有するイオンをイオントラップ領域１から排除するためには、そのイオンの振動の周波数と共振するような周波数の交流電圧をエンドキャップ電極３，４に印加するという方法が用いられる。すなわち、特定質量数のイオンをイオントラップ領域１に残し、それ以外の不要な質量数のイオンを排除する前駆イオンの選別行程においては、前駆イオンの質量数に相当する周波数にノッチを有する周波数スペクトルを持つ広帯域の交流電圧をエンドキャップ電極３，４に印加する。図３からわかる通り、安定領域Ｓ内のａz＝０上では、一定のｑzの差に対するβの差はｑzが大きいほど大きくなる。つまり、一定の質量差Δｍに対する周波数差はｑzが大きいところほど大きくなる。換言すれば、上述の前駆イオンの選別行程におけるｑzが大きいほど前駆イオンの質量分解能能（選択性）が高くなる。このことは図７のグラフにも合致している。
【００２２】
さて、前述したように、イオンの振動は(7)式においてｎ＝０を基本周波数とする運動で近似できると考えられているが、実は、このような近似が成立し得るのはｑが比較的小さい領域でのことである。図５に相異なるｑにおけるイオンの運動の周波数スペクトルをシミュレーションによって計算した結果を示す。図５で（ａ）はｑ＝0.14、（ｂ）はｑ＝0.782のときの結果である。この結果から明らかなように、ｑが0.14のときは基本周波数ω0よりも高い周波数成分の強度は基本周波数ω0の1/10以下であるが、ｑが0.782まで大きくなると、基本周波数ω0よりも高い周波数成分における強度の比率が大きくなり、例えばｎ＝１とした周波数ω1＝(１−β/２)Ωは基本周波数ω0＝(β/２)Ωの1/2程度にまで大きくなっている。
【００２３】
図２からわかるように、βの採り得る値は０から１までの範囲である。したがって、イオンの振動周波数の最大値は補助交流電圧の周波数の1/2までであって、基本周波数ω0はイオンの振動成分の最低周波数である。基本周波数の次に低い周波数成分は(１−β/２)Ωであるが、βの最大値が１であることから(β/２)Ωを下回ることはない。そのため、(１−β/２)Ωが安定領域Ｓ内の周波数と重なることはなく、このような周波数成分が混在しても安定領域Ｓ内に存在するイオンの振動が不所望に励起されることはないから、イオントラップ領域１から排除されずにすむ。
【００２４】
しかしながら、複数の周波数成分が混在している場合には、その周波数差に相当するうなりが発生する。図５（ｂ）に示すように、ｑが大きな場合には、(１−β/２)Ωの周波数成分が大きくなるとイオンの共鳴振動の振幅が増大する。このときのうなりの周波数は(１−β)Ωとなり、安定領域Ｓ内の周波数と重なる。そのため、前駆イオンの選別の際にこのような周波数成分が存在すると、イオンのうなりの振動振幅が励起されて次第にその振幅が大きくなり、電極に衝突したりイオントラップ領域から排除されてしまったりする。
【００２５】
そこで、本発明に係るイオントラップ型質量分析装置では、次のような手順で前駆イオンの選別、換言すれば前駆イオン以外のイオンのイオントラップ領域からの排除を実行する。
【００２６】
まず、各種イオンを四重極電場によってイオントラップ領域１に捕捉した後、第一段階として、目的とする前駆イオンの基本周波数に相当する(β/２)Ωとうなりの周波数に相当する(１−β)Ωの二箇所にノッチを有する周波数スペクトルを持つ広帯域電圧をエンドキャップ電極３，４に印加する。これにより、上記前駆イオンは基本周波数でもって振動することがないのみならず、うなりの周波数でも振動することがない。したがって、前駆イオンは確実にイオントラップ領域１に残る。
【００２７】
このとき、前駆イオン以外の殆ど全てのイオンはイオントラップ領域１で共鳴振動して電極に衝突するか或いは外部へと飛び出すため、イオントラップ領域１には残らない。但し、上記広帯域交流電圧はうなりの周波数に相当する(１−β)Ωにノッチを有しているため、この周波数が基本周波数となるような、前駆イオンとは異なる他のイオンは殆ど振動せず（実際には、このイオンに対するうなりの周波数によって振動する可能性はある）、前駆イオンと共にイオントラップ領域１に残る可能性が高い。
【００２８】
そこで第二段階として、(１−β)Ωの周波数成分のみを有する単一周波数の補助交流電圧をエンドキャップ電極３，４に印加する。上記のようにこの周波数は前駆イオンと共にイオントラップ領域１に残った他の不所望のイオンの基本周波数であるから、その電圧により形成される電場によって上記不所望のイオンは共鳴振動して振幅が次第に増大し、電極に衝突するか或いは外部へと飛び出して排除されてしまう。このとき、周波数は単一であるためうなりは生じず、前駆イオンはその電場の影響を受けることなくイオントラップ領域１にそのまま残る。
【００２９】
このようにして、二段階の手順で前駆イオン以外の不所望のイオンの排除を行うことにより、前駆イオンを実質的に殆ど排除することなく他の不所望のイオンをイオントラップ領域１から除外することができる。したがって、このようなイオン選別行程により選別された前駆イオンに、外部からイオントラップ領域１へ導入されたＨｅ等のバッファガスの分子に衝突させることにより開裂を促し、各種の開裂イオンを生成する。その後、この開裂によって生成したイオンを質量分析することによって、分析対象イオンの質量や化学構造についての情報を取得することができる。
【００３０】
図１は上記原理を具現化するイオントラップ型質量分析装置の一実施例の構成図である。イオントラップ領域１周辺の構成に関しては、既に説明した図２と同一であるので説明を省略する。
【００３１】
図１に示すように、リング電極２にはＲＦ主電圧発生部１１が接続され、エンドキャップ電極３、４には補助電圧発生部１２が接続される。入口側エンドキャップ電極３のほぼ中央に穿孔された入射口５の外側には熱電子生成部７が配設されており、この熱電子生成部７から放出された電子が入射口５を通過してイオントラップ領域１に導入され、試料導入部９から導入された試料分子に接触してこれをイオン化する。一方、出口側エンドキャップ電極４にあって入射口５とほぼ一直線上に設けられた出射口６の外側には検出器８が配設されており、出射口６を通してイオントラップ領域１から放出されたイオンを検出し、検出信号をデータ処理部１０へと送出する。
【００３２】
ＲＦ主電圧発生部１１及び補助電圧発生部１２は制御部１３から与えられる制御信号により、それぞれ所定周波数及び所定振幅の交流電圧を発生するように制御される。制御部１３はＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを含んで構成されており、入力部１４から設定された条件に基づいて上記各部に制御信号を送る。制御部１３は機能的に広帯域信号データ生成部１３１を含んでいる。広帯域信号データ生成部１３１は、入力部１４から設定された条件に基づいて、後述するように所定の周波数にノッチを有する広帯域信号を構成するデジタルデータを生成して補助電圧発生部１２へと送り、補助電圧発生部１２はこのデジタルデータをＤ/Ａ変換器１２１でアナログ信号に変換してエンドキャップ電極３，４に印加する。
【００３３】
広帯域信号データ生成部１３１は、例えば、多数の正弦波波形を重畳することにより所望の広帯域信号を生成する構成を有する。具体的には、本出願人が特願2000-22370号で提案しているような方法を利用することができる。
【００３４】
次に、このイオントラップ型質量分析装置において、或る特定の質量数を有するイオンをＭＳ/ＭＳモードで分析したい場合について説明する。オペレータが入力部１４により分析対象の前駆イオンの質量数を入力設定すると、制御部１３は予め決められている分解能等に応じて、その前駆イオンの基本周波数に相当する第１ノッチ周波数と、うなり周波数に相当する第２のノッチ周波数とを求める。このようなノッチ周波数の算出は予め格納されているＲＯＭテーブルを用いてもよいし、計算式に基づいて計算を行うようにしてもよい。
【００３５】
イオントラップ領域１に前駆イオンを含む各種イオンを捕捉するまでの動作は従来の装置と同様である。すなわち、試料導入部９からイオントラップ領域１に導入した試料分子に熱電子生成部７で発生した電子を接触させて試料分子をイオン化する。発生したイオンは、ＲＦ主電圧発生部１１からリング電極２に印加されるＲＦ主電圧によりイオントラップ領域１に形成される四重極電場に閉じ込められる。
【００３６】
その後、広帯域信号データ生成部１３１は上述したような二箇所にノッチを有する広帯域信号を構成するデータを生成し、補助電圧発生部１２へと送る。補助電圧発生部１２は、Ｄ/Ａ変換器１２１でこのデータをアナログ信号に変換してエンドキャップ電極３，４に印加する。印加電圧の周波数スペクトルは例えば図４（ａ）に示すようにｆ0とｆ1の二箇所にノッチを有するものとなる。これにより、所望の周波数を有する前駆イオンのみが共振振動を生じずにイオントラップ領域１に残り、他の不要なイオンは次第に振動振幅が増大して、電極に衝突したり出射口６から外部へと排出されたりしてしまう。
【００３７】
このようにして所望の前駆イオンのみをイオントラップ領域１に残した後、次に、広帯域信号データ生成部１３１はうなり周波数に相当する周波数ｆ1のみを有する単一周波数信号を構成するデータを生成し、補助電圧発生部１２へと送る。補助電圧発生部１２は、Ｄ/Ａ変換器１２１でこのデータをアナログ信号に変換してエンドキャップ電極３，４に印加する。印加電圧の周波数スペクトルは例えば図４（ｂ）に示すようにｆ1にのみ周波数成分を有している。これにより、イオントラップ領域１において、周波数ｆ1が基本周波数となっているために先の広帯域交流電圧の印加の際には充分に共鳴振動しなかった不所望のイオンを大きく振動させ、電極に衝突させたり或いは出射口６から外部へと排出させることによってイオントラップ領域１から排除する。
【００３８】
これにより、イオントラップ領域１には目的とする前駆イオンのみが残るから、図示しないバッファガス供給管を介してイオントラップ領域１へと導入したバッファガスの分子を衝突させることにより、前駆イオンの開裂を誘発して各種の開裂イオンを発生させればよい。
【００３９】
なお、既に述べたように、本発明は、特に、前駆イオンの選別分解能は高い反面、その選別により分析感度が低下する（つまり選別効率が良好でない）ような高い周波数を用いてイオン選別を行う場合に有効であって、そうでない領域での分析には充分な効果を奏さない。したがって、そのイオントラップの設定条件に応じて、必要とされるときにのみ上述したようなイオン選別を行い、そうでない場合には従来のイオン選別を行うようにしてもよい。また、上記実施例は一例にすぎないから、本発明の趣旨の範囲で適宜変更や修正を行えることは明らかである。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るイオントラップ型質量分析装置によれば、特定の質量数を有するイオンをイオントラップ領域に残すようなイオン選別を行う際に当該イオンの共鳴振動をより確実に抑制することができるので、イオントラップ領域により多くの量のイオンを残すことができる。したがって、例えばこのイオン選別行程に引き続いてＭＳ/ＭＳ分析を行うような場合に、検出可能なイオンの量が従来よりも増加するので、分析感度を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例によるイオントラップ型質量分析装置の構成図。
【図２】  本発明のイオントラップ型質量分析装置の原理を説明するための円筒座標系(ｒ，ｚ)におけるイオントラップの構成図。
【図３】  イオントラップにおけるイオンの安定領域を示す図。
【図４】  本発明に係るイオントラップ型質量分析装置のイオン選別行程における補助交流電圧の周波数スペクトルの一例を示す図。
【図５】  相異なるｑにおけるイオンの運動の周波数スペクトルをシミュレーションによって計算した結果を示す図。
【図６】  従来のイオン選別行程における補助交流電圧の周波数スペクトルの一例を示す図。
【図７】  補助交流電圧のノッチ周波数と選別されるイオンの質量数との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
１…イオントラップ領域
２…リング電極
３，４…エンドキャップ電極
５…入射口
６…出射口
７…熱電子生成部
８…検出器
１０…データ処理部
１１…ＲＦ主電圧発生部
１２…補助電圧発生部
１２１…Ｄ/Ａ変換器
１３…制御部
１３１…広帯域信号データ生成部
１４…入力部
【図１】
0004631219.tif 000002
【図２】
0004631219.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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