(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、
往路と復路に沿って往復移動される搬送台と、
上記搬送台に回転可能に設けられ、上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、上記搬送台の移動方向とは交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有するヘッドと、
上記搬送台に設けられ、上記テーブルを回転駆動する駆動モータと、
上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第１の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第２の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第１の塗布時に対して上記第２の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御する
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
ヘッドに並設された複数のノズルから溶液の液滴を噴射して、その下側を搬送される基板の表面に上記溶液の液滴を塗布する塗布方法において、
上記基板を搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記液滴の列を形成する第１の塗布工程と、
上記第１の塗布工程終了後、上記基板を所定の角度だけ回転し、その向きを上記ノズルの並設方向に対して相対的に変える回転工程と、
上記回転工程終了後、上記基板を再び搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記第１の塗布工程で形成された液滴の列に交差するように上記液滴の列を形成する第２の塗布工程と、
を具備することを特徴とする塗布方法。
【請求項３】
基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、
上記基板を保持するテーブルと、
上記テーブルの上側に設けられ、複数のノズルが並設されてなる複数のヘッドと、
上記テーブルと上記ヘッドとを上記複数のノズルの並設方向に交差する方向で相対的に移動させる駆動手段と、
上記テーブルを回転駆動させる駆動モータと、
上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第１の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、この第１の塗布の後、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第２の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第１の塗布時に対して上記第２の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御することを特徴とする塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから溶液を噴射して基板に塗布するインクジェット方式の塗布装置および塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置の製造工程では、ガラス基板の表面に配向膜やレジスト等の機能性薄膜が成膜される。基板の表面に機能性薄膜を成膜する場合、その材料となる溶液（機能性薄膜を形成する溶液）を基板に向けて噴射するインクジェット方式の塗布装置を用いることがある。
【０００３】
この塗布装置は、基板を搬送するためのテーブルを有しており、テーブルの上側には、複数のヘッドが基板の搬送方向に対して交差するよう並設されている。各ヘッドの下面には、多数のノズルが並設されており、これらノズルからヘッドの下側を往復搬送される基板に向けて溶液が噴射される。
【０００４】
ノズルから噴射した溶液は液滴状となり、基板の表面にノズルのピッチ間隔で付着する。このとき、基板は所定の速度で搬送されているため、基板の表面には、搬送方向に沿って一定間隔で液滴が付着する。そして、基板の表面に付着した液滴は、自重によって周辺部に流動し、基板全体に広がって１つの液膜となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述したノズルからは、比較的高い噴射周期で溶液を噴射することが可能である。そのため、基板の搬送方向に対しては非常に小さいピッチで液滴を付着させることができる。
【０００６】
しかしながら、ヘッドに形成されるノズルのピッチ間隔は、加工技術やヘッドの構成等から制限を受け、あまり小さくすることができない。そのため、ノズルの並設方向に対しては、液滴の付着間隔の狭小化に限界がある。
【０００７】
その結果、基板の搬送方向に対して小さい間隔で液滴を付着させた場合、ノズルの並設方向の付着間隔とのアンバランスから、基板の表面に形成される機能性薄膜に搬送方向に沿った筋が形成され、機能性薄膜が方向性を持ってしまうことがある。
【０００８】
この発明は、上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、基板の表面に方向性を持たない均一な膜厚の機能性薄膜を形成できる塗付装置及び塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の塗布装置および塗布方法は次のように構成されている。
【００１０】
（１）基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、往路と復路に沿って往復移動される搬送台と、上記搬送台に回転可能に設けられ、上記基板を保持するテーブルと、上記テーブルの上側に設けられ、上記搬送台の移動方向とは交差する方向に沿って並設された複数のノズルを有するヘッドと、上記搬送台に設けられ、上記テーブルを回転駆動する駆動モータと、上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、上記制御手段は、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第１の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、上記搬送台を移動させることで上記基板を移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記溶液の液滴を噴射塗布する第２の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第１の塗布時に対して上記第２の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御する。
【００１２】
（２）ヘッドに並設された複数のノズルから溶液の液滴を噴射して、その下側を搬送される基板の表面に上記溶液の液滴を塗布する塗布方法において、上記基板を搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記液滴の列を形成する第１の塗布工程と、上記第１の塗布工程終了後、上記基板を所定の角度だけ回転し、その向きを上記ノズルの並設方向に対して相対的に変える回転工程と、上記回転工程終了後、上記基板を再び搬送し、その表面に上記ノズルから溶液の液滴を噴射し上記第１の塗布工程で形成された液滴の列に交差するように上記液滴の列を形成する第２の塗布工程と、を具備する。
【００１３】
（３）基板の表面に溶液の液滴を噴射塗布する塗布装置において、上記基板を保持するテーブルと、上記テーブルの上側に設けられ、複数のノズルが並設されてなる複数のヘッドと、上記テーブルと上記ヘッドとを上記複数のノズルの並設方向に交差する方向で相対的に移動させる駆動手段と、上記テーブルを回転駆動させる駆動モータと、上記駆動モータを制御する制御手段とを有し、上記制御手段は、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第１の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列と、この第１の塗布の後、上記ヘッドと上記基板とを相対的に移動させつつ上記ヘッドのノズルから上記基板の表面に上記溶液の液滴を噴射塗布する第２の塗布によって上記基板の表面に形成される上記液滴の列とが交差して配置されるように、上記第１の塗布時に対して上記第２の塗布時の上記基板の向きを変更するように上記駆動モータを制御する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の表面に方向性を持たない均一な膜厚の機能性薄膜を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図１〜図４を参照しながら本発明の第１の実施の形態を説明する。
【００１６】
図１は本発明の第１の実施の形態に係る塗布装置の配管を示す配管系統図、図２は同実施の形態に係る塗布装置の構成を配管を省略して示す概略図である。
【００１７】
図１と図２に示すように、本発明の塗布装置はベース１を有する。ベース１の上面には所定間隔で離間した一対のレール２がベース１の長手方向に沿って設けられている。レール２には搬送台１０が移動可能に設けられており、制御装置６２（制御手段）によって駆動装置６１を制御することで、搬送台１０を所定の方向に沿って往復駆動できるようになっている。
【００１８】
搬送台１０の上面には、テーブル３がベアリング１８を介して鉛直軸の周りに回転可能に設けられている。このテーブル３は、搬送台１０上に設けられた駆動モータ１９の駆動軸１９ａに連結されており、制御装置６２によって駆動モータ１９を制御することで、上記テーブル３を搬送台１０に対して所定の角度だけ回転駆動できるようになっている。
【００１９】
テーブル３の上面には、多数の支持ピン４が設けられている。これら支持ピン４には、液晶表示装置等に用いられるガラス製の基板Ｗが供給保持される。すなわち、テーブル３の上面に保持された基板Ｗは、搬送台１０の駆動によって所定の方向に搬送され、さらに、駆動モータ１９の駆動によって搬送方向に対して回転するようになっている。
【００２０】
上記テーブル３によって搬送される基板Ｗの上側には、配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成するための溶液を噴射する複数、この実施の形態では３つのヘッド７が基板Ｗの搬送方向とほぼ直交する方向に沿って並設されている。
【００２１】
図３は同実施の形態に係るヘッド７の構成を示す断面図、図４は同実施の形態に係るヘッド７の構成を示す下面図である。
【００２２】
図３と図４に示すように、ヘッド７はヘッド本体８を有する。ヘッド本体８は筒状体からなり、その下面開口は可撓板９によって閉塞されている。この可撓板９は、ノズルプレート１１で覆われており、ノズルプレート１１と可撓板９との間には液室１２が形成されている。
【００２３】
ヘッド本体８の一端部には、液室１２に連通する供液孔１３が形成されている。この供液孔１３からは、配向膜やレジスト等の機能性薄膜を形成する溶液が液室１２内を満たすまで供給される。
【００２４】
ノズルプレート１１の幅方向中心部には、複数のノズル１４が基板Ｗの搬送方向とほぼ直交する方向に沿って一列に穿設されている。可撓板９の上面には、複数の圧電振動子１５が各ノズル１４と対向するようにそれぞれ固定されている。
【００２５】
これら圧電振動子１５は、ヘッド本体８内の駆動部１６に接続されており、この駆動部１６から駆動電圧が印加されることによって、可撓板９を振動させてノズル１４から溶液を噴射させる。
【００２６】
ヘッド本体８の他端部には、液室１２に連通する回収孔１７が形成されている。供液孔１３から液室１２に供給された溶液は、この回収孔１７から回収される。
【００２７】
図１に示すように、各ヘッド７の供液孔１３には、溶液供給管２１の先端部から分岐した供給分岐管２２がそれぞれ接続されている。また、各ヘッド７の回収孔１７には、溶液回収管２３の先端部から分岐した回収分岐管２４が接続されている。そして、供給分岐管２２には供給開閉弁２５が設けられ、回収分岐管２４には回収開閉弁２６が設けられている。
【００２８】
溶液供給管２１の先端と溶液回収管２３の先端は、連通弁２７を介して接続されている。また、溶液回収管２３は、回収分岐管２４の基端側に主回収弁２８を備えている。
【００２９】
溶液供給管２１の基端は、溶液が貯えられた溶液タンク３１の底部に接続されている。また、溶液回収管２３の基端は、溶液タンク３１に供給する溶液を貯蔵した貯蔵タンク３２に接続されている。
【００３０】
溶液回収管２３の基端部から分岐した分岐溶液供給管３４は、供給弁３３を介して溶液タンク３１の底部に接続されている。溶液タンク３１の上部には、第１の開閉制御弁３６を備えた大気開放管３５が接続されている。
【００３１】
第１の開閉制御弁３６を開放すると、溶液タンク３１内が大気に連通される。なお、大気開放管３５は、この大気開放管３５から大気に放散される気体に含まれる気化溶媒を処理するための処理装置（不図示）が接続されている。
【００３２】
溶液タンク３１の上部には、第２の開閉制御弁３７を備えたガス供給管３８が接続されている。そして、このガス供給管３８を介して、ガス供給源（不図示）から溶液タンク３１内に窒素等の不活性ガスが供給される。
【００３３】
ガス供給管３８には、第２の開閉制御弁３７の上流側にフィルタ３９と第３の開閉制御弁４０とが順に接続されている。第３の開閉制御弁４０には溶液タンク３１内に微量の不活性ガスを供給するための流量絞り弁４１が並列に設けられている。
【００３４】
貯蔵タンク３２の上部には、第４の開閉制御弁４３を備えた大気開放管４４と、第５の開閉制御弁４５を備えたガス供給管４６が接続されている。このガス供給管４６にはフィルタ４７及び第６の開閉制御弁４８が順に接続されている。第６の開閉制御弁４８には流量絞り弁４９が並列に設けられている。
【００３５】
上記供給開閉弁２５、回収開閉弁２６、主回収弁２８、供給弁３３、第１〜第６の開閉制御弁３６、３７、４０、４３、４５、４８は、上記制御装置６２によって開閉制御されるようになっている。
【００３６】
さらに、溶液タンク３１内の溶液の液面は、レベルセンサ５０によって検出される。溶液の液面が所定の液面レベル以下になったことがレベルセンサ５０によって検出されると、その検出に基づいて貯蔵タンク３２から溶液タンク３１に溶液が補給される。つまり、貯蔵タンク３２内の溶液が第５の開閉制御弁４５を通じて供給される不活性ガスによって加圧されることで、溶液タンク３１に溶液が補給される。
【００３７】
次に、上記構成の塗布装置の作用について説明する。
【００３８】
テーブル３の上面に載置された基板Ｗは、搬送台１０の駆動によってテーブル３と共に図２中矢印Ａで示す往路搬送方向に搬送される。搬送される基板Ｗがヘッド７の下側に到達したら、圧電振動子１５に駆動電圧が印加される。
【００３９】
駆動電圧が印加された圧電振動子１５は、可撓板９を振動させ、液室１２内の溶液をノズル１４から噴射させる。ノズル１４から噴射した溶液は、液滴状となって基板Ｗの表面に付着する。
【００４０】
そして、基板Ｗがヘッド７の下側を完全に通過したら、搬送台１０の駆動を停止する。以上で基板Ｗの往路塗布工程が終了する。
【００４１】
この時点における、基板Ｗの表面に付着している液滴Ｌの様子を図５に示す。図５に示すように、液滴Ｌは、基板Ｗの搬送方向Ａに対してピッチ間隔Ｐ１で付着する。このピッチ間隔Ｐ１は、基板Ｗの搬送速度と溶液の噴射周期によって決定されるもので、かなり小さく設定されている。
【００４２】
一方、搬送方向Ａと直交する方向であるノズル１４の並設方向に対しては、ノズル１４のピッチ間隔Ｐ２で付着する。ノズル１４のピッチ間隔Ｐ２は加工技術やヘッドの構成等によってあまり小さくすることができない。
【００４３】
したがって、基板Ｗの表面には、基板Ｗの搬送方向における液滴Ｌの付着密度と、ノズル１４の並設方向における液滴Ｌの付着密度のアンバランスによって、液滴Ｌによる列ｌが基板Ｗの搬送方向Ａに沿って形成される。すなわち、液滴Ｌの列ｌと列ｌの間には、液滴Ｌが付着されない大きな隙間部分が形成される。
【００４４】
基板Ｗの往路搬送が終了したら、駆動モータ１９によってテーブル３を基板Ｗの搬送方向Ａに対して約９０度回転させる。それによって、テーブル３の上面に保持された基板Ｗも、その向きを搬送方向に対して約９０度回転させる。すなわち、テーブル３の上面に保持された基板Ｗは、テーブル３の回転によってノズル１４の並設方向に対して約９０度回転する。
【００４５】
そして、搬送台１０を再び駆動し、基板Ｗをテーブル３と共に図２中矢印Ｂで示す復路搬送方向に搬送する。搬送される基板Ｗがヘッド７の下側に到達したら、圧電振動子１５に駆動電圧が印加され、基板Ｗに向けてノズル１４から溶液が噴射される。ノズル１４から噴射した溶液は、液滴状となって、上記同様に基板Ｗの表面に付着する。そして、基板Ｗがヘッド７の下側を完全に通過したら、搬送台１０の駆動を停止する。以上で基板Ｗの復路塗布工程が終了する。
【００４６】
この時点において基板Ｗの表面に付着している液滴Ｌの様子を図６に示す。なお、復路搬送時に基板Ｗの表面に塗布された液滴Ｌは黒丸で示されている。図６に示すように、液滴Ｌは、往路搬送時と同様に、基板Ｗの搬送方向Ｂに対してピッチ間隔Ｐ１で付着し、ノズル１４の並設方向に対しては、ピッチ間隔Ｐ２で付着する。
【００４７】
しかしながら、復路搬送時には、基板Ｗの向きが搬送方向に対して約９０度回転している。そのため、従来では液滴Ｌを付着させることができなかったノズル１４とノズル１４の間の部分、すなわち、基板Ｗの表面に形成される液滴Ｌの列ｌと列ｌの間の隙間部分に液滴Ｌを付着させることができる。
【００４８】
上記構成の塗布装置によれば、基板Ｗの表面に互いに直交する２つの方向から溶液を塗布している。
【００４９】
そのため、ノズル１４のピッチ間隔よりも小さい間隔で基板Ｗの表面に液滴Ｌを付着させることができる。また、基板Ｗの表面全体に亘ってほぼ均一な密度で液滴Ｌを付着させることができる。
【００５０】
その結果、基板Ｗの表面にほぼ均一な厚さの機能性薄膜を形成することができる。さらに、基板Ｗの表面に形成される機能性薄膜に筋が形成されるのを防止できる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、テーブル３の回転角度を９０度としているが、０度〜９０度の間であれば、特に限定されるものではない。制御装置６２により駆動モータ１９の回転量を制御することで、回転角度を所望の値に設定することができる。
【００５２】
そのため、往路復路別に基板Ｗに対する塗布方向を任意に変更できるので、基板Ｗのパターン形状に合わせて塗布方向を変更することで、パターン形状に起因して機能性薄膜上に発生する筋を抑制できる。
【００５３】
なお、本実施の形態では、駆動モータ１９によりテーブル３を回転させて基板Ｗの向きを変更させているが、これに限定されるものではなく、例えばロボットアームで基板Ｗを保持し、その向きを変えた後に再度テーブル３に設置するようにしてもよい。
【００５４】
また、一の基板Ｗを往路搬送時に図５に白丸で示すように液滴Ｌを塗布し、復路搬送時に図６に黒丸で示すように液滴Ｌを塗布するようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、最初の往路搬送時に図５に白丸で示すように液滴Ｌを塗布し、復路搬送時にテーブル３を回転させて基板を９０度回転させ、２回目の往路搬送時に図６に黒丸で示すように液滴Ｌを塗布するようにしてもよい。
【００５５】
また、一の基板Ｗを往復搬送させて一箇所に設けられたヘッド７の下側を２回通過させるようにしているが、これに限定されるものではない。例えば、一対のレール２を延長して設け、この一対のレール２上をテーブル３上に保持されて搬送される基板Ｗの搬送面の上方に、図１と同様に構成された３つ並設されたヘッド７を、間隔を置いて２箇所に設ける。そして、基板Ｗが一方のヘッド７の下側を通過する間に図５に白丸で示すように液滴Ｌを噴射塗布し、基板Ｗが一方のヘッド７の下側を通過した後他方のヘッド７の下側に到達するまでの間にテーブル３を回転させて基板Ｗを９０度回転させ、基板Ｗが他方のヘッド７の下側を通過する間に図６に黒丸で示すように液滴Ｌを塗布するようにしてもよい。
【００５６】
次に、本発明の第２の実施の形態について図７を参照しながら説明する。なお、ここでは、第１の実施の形態と同様の構成に対しては同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００５７】
図７は本発明の第２の実施の形態に係る塗布装置の構成を配管を省略して示す概略図である。
【００５８】
図７に示すように、本実施の形態に係る塗布装置はベース１を有する。ベース１の上面には、基板Ｗを搬送するための搬送装置５１が設けられている。この搬送装置５１は、互いに直交する第１の搬送部５１ａ（第１の搬送手段）と第２の搬送部５１ｂ（第２の搬送手段）から構成されている。
【００５９】
第１の搬送部５１ａおよび第２の搬送部５１ｂは、それぞれ第１の搬送ローラ５２ａおよび第２の搬送ローラ５２ｂを有している。これら第１の搬送ローラ５２ａおよび第２の搬送ローラ５２ｂは、駆動手段（不図示）によって回転駆動されるようになっており、第１、第２の搬送ローラ５２ａ、５２ｂを駆動することで、上面に載置された基板Ｗをそれぞれ矢印Ｃで示す第１の方向と矢印Ｄで示す第２の方向に搬送できるようになっている。
【００６０】
なお、本実施の形態では、第１の方向Ｃと第２の方向Ｄが互いに直交するように第１の搬送部５１ａと第２の搬送部５１ｂを連結しているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、第１の方向と第２の方向が少なくとも交差していれば、その交差角度に応じた効果を得ることができる。
【００６１】
第２の搬送ローラ５２ｂは、上下駆動装置（不図示）によって、上下に駆動されるようになっている。また、第１の搬送部５１ａと第２の搬送部５１ｂの連結部分５３には、第１の搬送ローラ５２ａと第２の搬送ローラ５２ｂが共に設けられている。
【００６２】
第１の搬送部５１ａの上側には複数、本実施の形態では３つの第１のヘッド７ａが設けられている。これら第１のヘッド７ａは、第１の方向Ｃに対してほぼ直交する方向に沿って並設されており、下側を搬送される基板Ｗに向けて溶液を噴射できるようになっている。
【００６３】
また、第２の搬送部５１ｂの上側にも３つの第２ヘッド７ｂが設けられている。これら第２ヘッド７ｂは、第２の方向Ｄに対してほぼ直交する方向に沿って並設されており、下側を搬送される基板Ｗに向けて溶液を噴射できるようになっている。すなわち、第１のヘッド７ａと第２のヘッド７ｂは、互いに直交する方向に沿って並設されている。
【００６４】
なお、第１のヘッド７ａと第２のヘッド７ｂの構成は、第１の実施の形態で使用したヘッド７と同様であり、第１のヘッド７ａに形成されたノズルの並設方向と第２のヘッド７ｂに形成されたノズルの並設方向は、互いに直交している。
【００６５】
次に、上記構成の塗布装置の作用について説明する。
【００６６】
上記構成の塗布装置を使用する場合、上下駆動装置５４によって第２の搬送ローラ５２ｂを第１の搬送ローラ５２ａの下側に退避させておく。
【００６７】
第１搬送部５１ａに搬入された基板Ｗは、搬送ローラ５２ａ上を第１の方向Ｃに搬送される。そして、搬送される基板Ｗが第１ヘッド７ａの下側に到達したら、圧電振動子１５に駆動電圧が印加され、下側を搬送される基板Ｗに向けて溶液が噴射される。
【００６８】
基板Ｗが第１ヘッド７ａの下側を通過し、連結部分５３に到達したら、第１の搬送ローラ５２ａの駆動を停止し、上下駆動装置によって第２の搬送ローラ５２ｂを第１の搬送ローラ５２ａよりも上側に上昇させる。これによって、連結部分５３で待機する基板Ｗは、搬送ローラ５２ｂと共に上昇し、結果として第２の搬送部５１ｂに搬入される。
【００６９】
このとき、第１の方向Ｃに対する基板Ｗの向きは、第１の搬送部５１ａに搬入されたときと同様である。そのため、第２の搬送部５１ｂに搬入された基板Ｗは、ノズル１４の並設方向に対して相対的に約９０度回転したことになる。
【００７０】
第２の搬送部５１ｂに搬入された基板Ｗは、搬送ローラ５２ｂの駆動によって第２の方向Ｄに搬送される。そして、搬送される基板Ｗが第２のヘッド７ｂに下側に到達したら、圧電振動子１５に駆動電圧が印加され、下側を搬送される基板Ｗに向けて溶液が噴射される。
【００７１】
すなわち、第２の搬送部５１ｂによって搬送される基板Ｗには、第２のヘッド７ｂによって第１のヘッド７ａと直交する方向から溶液が塗布されることになる。
【００７２】
上記構成の塗布装置によれば、第１の実施の形態と同様に、基板Ｗの表面に互いに直交する第１の方向Ｃと第２の方向Ｄから溶液を塗布している。
【００７３】
そのため、基板Ｗの表面にノズル１４のピッチ間隔よりも小さい間隔で液滴Ｌを付着させることができるから、基板Ｗの表面に液滴Ｌを高密度、かつ均一に付着させることができる。
【００７４】
その結果、基板Ｗの表面にほぼ均一な厚さの機能性薄膜を形成でき、さらに機能性薄膜に筋が形成されるのを防止できる。
【００７５】
なお、本発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【００７６】
また、上記実施の形態で、基板を一の方向に搬送しながら基板表面に溶液を噴射塗布する第１の塗布と基板を一の方向に交差する他の方向に搬送しながら基板表面に溶液を噴射塗布する第２の塗布とで、基板の搬送方向に対する液滴のピッチ間隔と基板の搬送方向と直交する方向に対する液滴のピッチ間隔とを同一にして塗布するようにしたが、第１の塗布と第２の塗布とで異なるピッチ間隔で液滴を塗布するようにしてもよい。またこのとき、ヘッド７の複数のノズルのうち、溶液を噴射させるノズルの組み合わせを変えてもよい。
【００７７】
また、ヘッド位置を固定とし基板を搬送台や搬送手段等の駆動手段で移動させるようにしたが、基板位置を固定としヘッドを駆動手段で移動させるようにしてもよく、基板とヘッド双方を駆動手段で移動させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る塗布装置の配管を示す配管系統図。
【図２】同実施の形態に係る塗布装置の構成を配管を省略して示す概略図。
【図３】同実施の形態に係るヘッドの構成を示す断面図。
【図４】同実施の形態に係るヘッドの構成を示す下面図。
【図５】往路搬送終了時において、基板の表面に付着している液滴の様子を示す概略図。
【図６】復路搬送終了時において、基板の表面に付着している液滴の様子を示す概略図。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る塗布装置の構成を配管を省略して示す概略図。
【符号の説明】
【００７９】
３…テーブル、７…ヘッド、７ａ…第１のヘッド、７ｂ…第２のヘッド、１０…搬送台、１４…ノズル、１９…駆動モータ、５１ａ…第１の搬送部（第１の搬送手段）、５１ｂ…第２の搬送部（第２の搬送手段）、６２…制御装置（制御手段）、Ｃ…第１の方向、Ｄ…第２の方向、Ｗ…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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