(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性体層の両主面に磁性体層が配置された積層体と、
前記積層体内に設けられた螺旋状コイルと、
前記積層体の表面に設けられた、前記螺旋状コイルに電気的に接続する外部電極と、を備え、
前記磁性体層がＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料からなり、組成比がＦｅ2Ｏ3：４５〜４９ｍｏｌ％、ＺｎＯ：１〜３２ｍｏｌ％、ＣｕＯ：５〜１５ｍｏｌ％、残部：ＮｉＯを主成分とし、さらに、主成分に対してＳｎＯ2を０．６〜４ｗｔ％添加してなり、
前記非磁性体層がＣｕ−Ｚｎ系の非磁性体材料からなり、組成比がＦｅ2Ｏ3：４５〜４９ｍｏｌ％、ＣｕＯ：５〜１５ｍｏｌ％、残部：ＺｎＯを主成分とし、さらに、主成分に対してＳｎＯ2を０．６〜４ｗｔ％添加してなり、
前記非磁性体層のＳｎＯ2含有量が前記磁性体層のＳｎＯ2含有量以上であること、
を特徴とする積層コイル部品。
【請求項２】
前記磁性体層の主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ａｍｏｌ％（但し、４５≦ａ≦４９）
ＺｎＯ  ：ｂｍｏｌ％（但し、１≦ｂ≦３２）
ＣｕＯ  ：ｃｍｏｌ％（但し、５≦ｃ≦１５）
ＮｉＯ  ：ｄｍｏｌ％（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とし、
前記非磁性体層の主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ｘｍｏｌ％（但し、−０．５＋ａ≦ｘ≦０．５＋ａ）
ＺｎＯ  ：ｙｍｏｌ％（但し、−０．５＋（ｂ＋ｄ）≦ｙ≦０．５＋（ｂ＋ｄ））
ＣｕＯ  ：ｚｍｏｌ％（但し、−０．５＋ｃ≦ｚ≦０．５＋ｃ、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００）
とすること、
を特徴とする請求項１に記載の積層コイル部品。
【請求項３】
前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みが２５〜５０μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項４】
（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）が０．２〜０．６であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項５】
前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みが３０〜５０μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項６】
（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）が０．２〜０．５であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項７】
前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みが６〜２０μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項８】
（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）が０．７〜５．０であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項９】
前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みが６〜１０μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【請求項１０】
（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）が１．５〜５．０であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の積層コイル部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層コイル部品、特に、開磁路型の積層コイル部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び特許文献２には、直流重畳特性を向上させる目的で、Ｃｕ−Ｚｎ系の非磁性体材料からなる非磁性体層の両主面に、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料からなる磁性体層が設けられた開磁路型の積層コイル部品が記載されている。しかしながら、この構造だけでは十分な直流重畳特性が得られなかった。【０００３】
一方、特許文献３には、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料に対してＳｎＯ2を０．２〜３ｗｔ％添加すると、直流重畳特性が改善されるという技術が記載されている。そこで、本発明者らは、特許文献１や特許文献２に記載の積層コイル部品において、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料に対してＳｎＯ2を０．２〜３ｗｔ％添加したが、所望の直流重畳特性は得られなかった。
【特許文献１】特開２００５−２５９７７４号公報
【特許文献２】国際公開２００５／１２２１９２号パンフレット
【特許文献３】特開２００３−２７２９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明の目的は、直流重畳特性の良好な積層コイル部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するため、本発明に係る積層コイル部品は、
非磁性体層の両主面に磁性体層が配置された積層体と、
前記積層体内に設けられた螺旋状コイルと、
前記積層体の表面に設けられた、前記螺旋状コイルに電気的に接続する外部電極と、を備え、
前記磁性体層がＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料からなり、組成比がＦｅ2Ｏ
3：４５〜４９ｍｏｌ％、ＺｎＯ：１〜３２ｍｏｌ％、ＣｕＯ：５〜１５ｍｏｌ％、残部：ＮｉＯを主成分とし、さらに、主成分に対してＳｎＯ2を０．６〜４ｗｔ％添加してなり、
前記非磁性体層がＣｕ−Ｚｎ系の非磁性体材料からなり、組成比がＦｅ2Ｏ3：４５〜４９ｍｏｌ％、ＣｕＯ：５〜１５ｍｏｌ％、残部：ＺｎＯを主成分とし、さらに、主成分に対してＳｎＯ2を０．６〜４ｗｔ％添加してなり、
前記非磁性体層のＳｎＯ2含有量が前記磁性体層のＳｎＯ2含有量以上であること、
を特徴とする。
【０００６】
以上の構成により、非磁性体層の組成を磁性体層の組成に近付けることで、磁性体層と非磁性体層との界面（共焼結界面）での成分拡散が適度となる。【０００７】
本発明に係る積層コイル部品においては、前記非磁性体層のＳｎＯ2含有量が前記磁性体層のＳｎＯ2含有量以上である。磁性体層中のＳｎ含有量と等量もしくはそれ以上のＳｎを非磁性体層中に含有することで、共焼結時に磁性体層中のＳｎ成分が非磁性体層へ拡散しにくくなる。
【０００８】
また、本発明に係る積層コイル部品においては、
前記磁性体層の主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ａｍｏｌ％（但し、４５≦ａ≦４９）
ＺｎＯ  ：ｂｍｏｌ％（但し、１≦ｂ≦３２）
ＣｕＯ  ：ｃｍｏｌ％（但し、５≦ｃ≦１５）
ＮｉＯ  ：ｄｍｏｌ％（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）とし、
前記非磁性体層の主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ｘｍｏｌ％（但し、−０．５＋ａ≦ｘ≦０．５＋ａ）
ＺｎＯ  ：ｙｍｏｌ％（但し、−０．５＋（ｂ＋ｄ）≦ｙ≦０．５＋（ｂ＋ｄ））
ＣｕＯ  ：ｚｍｏｌ％（但し、−０．５＋ｃ≦ｚ≦０．５＋ｃ、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００）とすること、が好ましい。【０００９】
以上の構成により、焼結時における磁性体層と非磁性体層との間の収縮挙動差がより一層低減され、クラックの発生などが抑えられる。【００１０】
前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みは２５〜５０μｍであることが好ましく、（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）は０．２〜０．６の範囲であることが好ましい。インダクタンス値（Ｌ値）温度変化が絶対値で１２％以下となり、温度変化に対してインダクタンス特性の安定したコイル部品となる。【００１１】
また、前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みは３０〜５０μｍであることが好ましく、（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）は０．２〜０．５の範囲であることが好ましい。Ｌ値温度変化が絶対値で９％以下となり、温度変化に対してインダクタンス特性の安定したコイル部品となる。【００１２】
また、前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みは６〜２０μｍであることが好ましく、（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）は０．７〜５．０の範囲であってもよい。Ｌ値温度変化が絶対値で１４〜３５％となる。このコイル部品は、例えば、配線基板上の他の部品（コンデンサなど）の温度特性とマッチングさせることにより使用可能である。【００１３】
また、前記非磁性体層を構成するグリーンシートの厚みは６〜１０μｍであることが好ましく、（焼成後のＮｉＺｎの相互拡散層の厚み／焼成後の非磁性体層の厚み）は１．５〜５．０の範囲であってもよい。Ｌ値温度変化が絶対値で２５〜３５％となる。このコイル部品は、ほぼ直線的にマイナスの傾きを有する負の温度係数を示し、例えば、配線基板上の他の部品（コンデンサなど）の温度特性とマッチングさせることにより使用可能である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、非磁性体層の組成を磁性体層の組成に近付けることで、共焼結界面での成分拡散が適度となり、焼結時における磁性体層と非磁性体層との間の収縮挙動差が低減され、クラックを抑えることができる。この結果、直流重畳特性の良好な積層コイル部品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る積層コイル部品を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示した積層コイル部品の外観斜視図である。
【図３】図２に示した積層コイル部品の垂直断面図である。
【図４】図３のＡ部分の拡大模式断面図である。
【図５】非磁性体グリーンシートの厚みを０，６，１５μｍとした場合の温度に対するＬ値を示すグラフである。
【図６】非磁性体グリーンシートの厚みを０，６，１５μｍとした場合の温度変化率を示すグラフである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明に係る積層コイル部品の実施例について添付図面を参照して説明する。【００１７】
図１は積層コイル部品１の分解構成図である。積層コイル部品１は、表面にコイル導体５をそれぞれ形成した磁性体グリーンシート３と、表面に導体が形成されていない磁性体グリーンシート２と、表面にコイル導体５を形成した非磁性体グリーンシート４とを積層したものである。【００１８】
磁性体グリーンシート２，３は以下のようにして作製される。Ｆｅ2Ｏ3、ＺｎＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯを所定の比率（以下に示す表１参照）で秤量し、それぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式混合する。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を７５０℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕し、磁性体粉末を得る。【００１９】
この磁性体粉末に対して結合剤、可塑剤、湿潤剤及び分散剤を加えてボールミルで混合した後、減圧により脱泡を行う。得られた磁性体スラリーをリップコータ、コンマコータ又はダイコータなどを用いてシート状に成形して乾燥させ、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料からなる磁性体グリーンシート２，３を作製する。磁性体グリーンシート２，３の厚みは、例えば、２５μｍである。【００２０】
Ｃｕ−Ｚｎ系の非磁性体材料からなる非磁性体グリーンシート４は、Ｆｅ2Ｏ3、ＺｎＯ、ＣｕＯを所定の比率（以下に示す表１参照）で秤量し、それぞれの材料を前記磁性体グリーンシート２，３と同様の方法で処理して作製する。非磁性体グリーンシート４の厚みは、例えば、２０μｍである。【００２１】
さらに、シート３，４の所定の位置にレーザビームやパンチングにてビアホール導体用穴を形成する。その後、表面に導電ペーストをスクリーン印刷法によって塗布し、コイル導体５を形成すると同時に、ビアホール導体用穴に導電ペーストを充填して層間接続用ビアホール導体１０を形成する。コイル導体５は、インダクタ素子として高いＱ値を実現するため、抵抗値が低いことが好ましい。そのため、導電ペーストとして、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔなどを主成分とする貴金属やこれらの合金のほか、Ｃｕ、Ｎｉなどの卑金属やこれらの合金などが用いられる。低温で同時焼成するという観点からは、Ａｇ又はＡｇ合金を用いることが好ましい。【００２２】
なお、コイル導体５とビアホール導体１０とは別々に形成してもよい。また、コイル導体５は膜厚を大きくするためにスクリーン印刷を複数回重ねて行ってもよい。また、スクリーン印刷法の代わりにフォトリソグラフィ法や転写法などで形成してもよい。【００２３】
こうして得られた複数のシート２，３，４を順次積み重ねて圧着して積層体を形成する。このとき、非磁性体グリーンシート４は、積層体の厚さ方向の略中央に位置するように積層される。それぞれのコイル導体５は層間接続用ビアホール導体１０を介して電気的に直列に接続され、積層体内に螺旋状コイルＬを形成する。螺旋状コイルＬのコイル軸はシート２，３，４の積み重ね方向に対して平行である。螺旋状コイルＬの引出し部６ａ，６ｂはそれぞれ磁性体グリーンシート３の右辺及び左辺に露出している。【００２４】
この積層体を所定の製品サイズにカットして５００℃で２時間の脱脂を行い、さらに、８９０℃で２時間の焼成を行い、図２に示すような直方体形状の焼結体２０を得る。次に、焼結体２０の両端部をそれぞれＡｇ／Ｐｄ（８０／２０）ペースト浴に浸漬させて、７８０℃で２時間の焼付けによって外部電極２１，２２を形成する。外部電極２１，２２は、焼結体２０内に形成された螺旋状コイルＬの引出し部６ａ，６ｂと電気的に接続している。積層コイル部品１の寸法は、例えば、縦横３．２ｍｍ×１．６ｍｍ、厚さ０．８５ｍｍである。【００２５】
こうして得られた開磁路型の積層コイル部品１は、図３に示すように、Ｃｕ−Ｚｎ系の非磁性体材料からなる非磁性体層４の両主面に、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系の磁性体材料からなる磁性体層３，２が形成されている。螺旋状コイルＬによって発生した磁束φは、非磁性体層４が形成する開磁路を通る。【００２６】
磁性体グリーンシート２，３及び非磁性体グリーンシート４の組成の詳細は以下の表１に示すとおりであり、本発明者らは表１に示したそれぞれの組成で積層コイル部品（実施例１〜２６及び比較例１，２）を作製した。磁性体グリーンシート２，３の厚みは２５μｍ、非磁性体グリーンシート４の厚みは２０μｍである。作製した実施例１〜２６及び比較例１，２について、クラックなどの外観異常の有無を判別し、インダクタンス値（Ｌ値）温度変化率及び−３０％電流値を測定した。その結果を表１に併せて示す。Ｌ値温度変化率とは、高温時（１２５℃）における試料のＬ値の常温時（２５℃）に対するＬ値の変化率である。また、−３０％電流値とは、電流印加時のＬ値が−３０％になったときの電流値である。【００２７】
また、前記磁性体材料及び非磁性体材料には、後添加で、Ｂｉ2Ｏ3を０．１０〜０．３０ｗｔ％（例えば、０．１５ｗｔ％、０．２５ｗｔ％）、ＭｎＯを０．００２〜０．００６ｗｔ％（例えば、０．００５ｗｔ％）含有させてもよい。【００２８】
【表１】
0004811465.tif 000002
【００２９】
実施例１、実施例３〜１２、実施例２０〜２３の場合、即ち、磁性体のＳｎＯ2量＝非磁性体のＳｎＯ2量の場合、クラックの発生がなく、Ｌ値温度変化率も絶対値で１０％以下と小さく、−３０％電流値も５００ｍＡを上回る値であり、良好な特性を示した。【００３０】
また、実施例２、実施例１３〜１９の場合、即ち、磁性体のＳｎＯ2量＜非磁性体のＳｎＯ2量の場合、クラックの発生がなく、Ｌ値温度変化率も絶対値で６．５％以下と小さく（但し、実施例２は８．３％であるが）、−３０％電流値も５００ｍＡを上回る値であり、良好な特性を示した。【００３１】
これに対して、比較例１の場合、即ち、磁性体のＳｎＯ2量を０．８ｗｔ％、非磁性体のＳｎＯ2量を６．０ｗｔ％というように、非磁性体のＳｎＯ2量が４．０ｗｔ％超の場合には、焼結性の低下により、同時焼成時に積層体（チップ素体）の端部にクラックの発生が見られた。【００３２】
なお、実施例２４〜２６のように、非磁性体のＳｎＯ2量＜磁性体のＳｎＯ2量とした場合であるが、実施例２４は、実施例２１と比較して、非磁性体のＳｎＯ2量を磁性体のＳｎＯ2量よりも少なくした場合であり、磁性体層中のＳｎ成分が非磁性体層へ拡散してしまうために、磁性体層中のＳｎ成分が減少し、直流重畳特性が劣化してしまう。よって、−３０％電流値も５４０ｍＡから５３０ｍＡへと低下する結果となった。【００３３】
実施例２５は、実施例２２と比較して、非磁性体のＳｎＯ2量を磁性体のＳｎＯ2量よりも少なくした場合であり、磁性体層中のＳｎ成分が非磁性体層へ拡散してしまうために、磁性体層中のＳｎ成分が減少し、直流重畳特性が劣化してしまう。よって、−３０％電流値も５４５ｍＡから５３５ｍＡへと低下する結果となった。【００３４】
実施例２６は、実施例２３と比較して、非磁性体のＳｎＯ2量を磁性体のＳｎＯ2量よりも少なくした場合であり、磁性体層中のＳｎ成分が非磁性体層へ拡散してしまうために、磁性体層中のＳｎ成分が減少し、直流重畳特性が劣化してしまう。よって、−３０％電流値も５５５ｍＡから５４０ｍＡへと低下する結果となった。【００３５】
ここで、相互拡散の観点からすると、磁性体のＳｎＯ2以外の組成と非磁性体のＳｎＯ2以外の組成の含有量の差はできるだけ小さい方が好ましい。即ち、磁性体グリーンシートの主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ａｍｏｌ％（但し、４５≦ａ≦４９）
ＺｎＯ  ：ｂｍｏｌ％（但し、１≦ｂ≦３２）
ＣｕＯ  ：ｃｍｏｌ％（但し、５≦ｃ≦１５）
ＮｉＯ  ：ｄｍｏｌ％（但し、ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００）
とし、【００３６】
非磁性体グリーンシートの主成分組成を、
Ｆｅ2Ｏ3：ｘｍｏｌ％（但し、−０．５＋ａ≦ｘ≦０．５＋ａ）
ＺｎＯ  ：ｙｍｏｌ％（但し、−０．５＋（ｂ＋ｄ）≦ｙ≦０．５＋（ｂ＋ｄ））
ＣｕＯ  ：ｚｍｏｌ％（但し、−０．５＋ｃ≦ｚ≦０．５＋ｃ、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００）
とすることが好ましい。【００３７】
表１に示した実施例１〜２６においては、いずれも前記範囲を満たしている。参考までに、比較例２には、磁性体の組成比がＦｅ2Ｏ3：４８ｍｏｌ％、ＺｎＯ：２０ｍｏｌ％、ＣｕＯ：９ｍｏｌ％、ＮｉＯ：２３ｍｏｌ％で、非磁性体の組成比がＦｅ2Ｏ3：４７ｍｏｌ％、ＣｕＯ：８ｍｏｌ％、ＺｎＯ：４５ｍｏｌ％である場合を示している。この場合、Ｌ値温度変化率は絶対値で９．２％であったが、−３０％電流値は４６５ｍＡと５００ｍＡを大きく下回る値となった。【００３８】
次に、表２は、表１に示した実施例３の組成からなる磁性体及び非磁性体を用いて、シート３，４の厚みを種々変えて積層コイル部品１を作製した場合の評価結果（Ｌ値温度変化率）を示す。図４には、焼成後の磁性体層３の厚みＴ１、焼成後の非磁性体層４の厚みＴ２、焼成後のＮｉとＺｎ相互拡散層の厚みＴ３を示している。なお、Ｔ１’は焼成前の磁性体グリーンシート３の厚み、Ｔ２’は焼成前の非磁性体グリーンシート４の厚みである。【００３９】
【表２】
0004811465.tif 000003
【００４０】
試料１〜４は、非磁性体グリーンシートの厚みが６〜１０μｍの場合であり、それぞれＬ値温度変化率が絶対値で２５〜３５％の範囲となった。図５の曲線Ａ１及び図６の曲線Ａ２に、試料１で作製した積層コイル部品において、−４０〜１２５℃の範囲で温度を変化させた場合のインダクタンス値と温度変化率（Ｌ値／Ｌ値（２５℃））を示す。試料１ではほぼ直線的にマイナスの傾きを有しており、負の温度係数を有するものとなった。このように、試料１〜４による積層コイル部品は、例えば、配線基板上の他の電子部品（コンデンサなど）の温度特性とマッチングさせることにより使用可能である。【００４１】
ちなみに、図５の曲線Ｃ１及び図６の曲線Ｃ２は、それぞれ、非磁性体グリーンシートを設けない場合の特性を示している。非磁性体グリーンシートの厚みが５μｍ未満であると、相互拡散により非磁性体層として残らなくなり、好ましくない。【００４２】
試料５〜１０は、非磁性体グリーンシートの厚みが１５〜２０μｍの場合であり、それぞれＬ値温度変化率が絶対値で１４〜２０％の範囲となった。試料１〜４に比べて変化率は小さい。図５の曲線Ｂ１及び図６の曲線Ｂ２に、試料５で作製した積層コイル部品において、−４０〜１２５℃の範囲で温度を変化させた場合のインダクタンス値と温度変化率（Ｌ値／Ｌ値（２５℃））を示す。このように、試料５〜１０による積層コイル部品は、例えば、配線基板上の他の電子部品（コンデンサなど）の温度特性とマッチングさせることにより使用可能である。【００４３】
試料１１〜１３は、非磁性体グリーンシートの厚みが２５μｍの場合であり、それぞれＬ値温度変化率が絶対値で１０〜１２％の範囲となった。このように、試料１１〜１３による積層コイル部品は、温度変化に対してインダクタンス特性の安定した素子として様々な用途に使用可能である。【００４４】
試料１４〜２２は、非磁性体グリーンシートの厚みが３０〜５０μｍの場合であり、それぞれＬ値温度変化率が絶対値で９％以下となった。このように、試料１４〜２２による積層コイル部品は、温度変化に対してインダクタンス特性のより一層安定した素子として様々な用途に使用可能である。非磁性体グリーンシートの厚みが４０〜５０μｍであれば、さらに好ましい。なお、非磁性体グリーンシートの厚みが５０μｍを超えた場合には、開磁路としてのインダクタンス特性が低下する傾向にあるが、要求されるＬ値によって調整すればよい。【００４５】
なお、本発明に係る積層コイル部品は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。【００４６】
特に、前記実施例では、積層体の中央部に一つの非磁性体層を配置したものを示したが、このような配置以外に、非磁性体層を積層体の中央部とその上方及び下方に３層に分離して配置してもよい。あるいは、コイルが約３等分されるように非磁性体層を２層に配置してもよい。磁性体層をそれ以上の複数層に配置してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上のように、本発明は、開磁路型の積層コイル部品に有用であり、特に、直流重畳特性が良好な点で優れている。
【図１】
0004811465.tif 000004
【図２】
0004811465.tif 000005
【図３】
0004811465.tif 000006
【図４】
0004811465.tif 000007
【図５】
0004811465.tif 000008
【図６】
0004811465.tif 000009