(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体層と、
前記半導体層と電気的に接続されたＡｌ合金膜と、
前記Ａｌ合金膜と直接接触した透明電極層と、を少なくとも透明絶縁基板上に備えた半導体デバイスであって、
前記Ａｌ合金膜が、
Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる１種類以上の元素を０．５〜１０ｍｏｌ％と、
Ｎを５〜１５ｍｏｌ％とを、
合計５〜１５ｍｏｌ％含有することを特徴とする半導体デバイス。
【請求項２】
前記Ａｌ合金膜がＣｕ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる１種類以上の元素をさらに含有することを特徴とする請求項１に記載の半導体デバイス。
【請求項３】
前記Ａｌ合金膜と前記透明電極層の界面領域において、前記透明電極層を構成する導電性の金属酸化物が存在するとともに、前記Ａｌ合金膜または前記透明電極層に含まれる金属元素の少なくとも１種類以上が酸化されていない状態で存在することを特徴とする請求項１または２に記載の半導体デバイス。
【請求項４】
前記透明電極層がＩｎ２Ｏ３またはＳｎＯ２からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項５】
前記透明電極層がＩｎ２Ｏ３とＳｎＯ２の混合物ＩＴＯからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項６】
前記透明電極層がＩｎ２Ｏ３とＺｎＯの混合物ＩＺＯからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項７】
前記透明電極層がＩｎ２Ｏ３とＳｎＯ２とＺｎＯの混合物ＩＴＺＯからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項８】
前記透明電極層をスパッタリング法により形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の半導体デバイス。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の半導体デバイスを備えたアクティブマトリクス型表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスに関し、特に、アクティブマトリクス型表示装置に用いる半導体デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体デバイスの中でも画像を表示する表示デバイスの分野では、従来のＣＲＴに替わり、省エネルギー、省スペースを特長とした液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置等のフラットパネルディスプレイ装置が急速に普及しつつある。これらの表示デバイスにおいては、基板上に複数の電極や配線および素子が設けられており、具体的には走査配線や信号配線、ゲート電極やソース・ドレイン電極を有する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等のスイッチング素子がアレイ状に設けられ、各表示画素に電極に独立した映像信号を印加するアクティブマトリクス型のＴＦＴアレイ基板が広く用いられるようになっている。
【０００３】
特許文献１には、電気光学素子として液晶を用いた液晶表示デバイスに用いられるアクティブマトリクス型ＴＦＴアレイ基板が開示されている。このようなアクティブマトリクス型のＴＦＴアレイ基板においては、電極や配線を形成するための１種類以上の金属膜および画素電極や映像信号の入出力端子部にはＩＴＯ、ＩＺＯ等からなる透明電極層が設けられている。一般的には、この金属膜と透明電極層とが電気的に接続される接続部が複数箇所設けられている。
【０００４】
また、液晶表示デバイスの大型化、高精細化（表示画素数の増大）に伴う走査配線や信号配線の長大化や狭配線幅化による信号遅延を防止するために、電極・配線の材料としては、Ａｌのように電気的に低抵抗であることが求められている。しかし、金属膜にＡｌを用いた場合、ＩＴＯやＩＺＯ等からなる透明電極層との良好な電気的コンタクト特性を得ることができない。そのため、特許文献２および３に開示されているように、金属膜と透明電極層の接続部にＴｉ、Ｃｒ、Ｍｏ等の高融点金属膜を形成し、この高融点金属膜を介してＡｌと透明電極層間の良好な電気的コンタクト特性を得る方法が一般的に用いられていた。
【特許文献１】特開平１０−２６８３５３号公報
【特許文献２】特開平３−１２９３２６号公報
【特許文献３】特開２０００−７７６６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２、３のように、Ａｌと高融点金属とを積層して形成する場合、高融点金属膜を形成する工程が必要となる問題点があった。また、高融点金属膜の種類によっては、パターニングのためのエッチング工程において、エッチング液中での腐食電位の差により、積層配線パターンの端部が逆テーパー状、あるいは庇形状になる場合があり、上層に形成される膜のカバレッジ不良を生じさせる問題点があった。
【０００６】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、高融点金属膜を介さずに、Ａｌを主成分とする金属膜から形成された電極や配線と透明電極層とを直接接触させることができる半導体デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる半導体デバイスは、半導体層と、前記半導体層と電気的に接続されたＡｌ合金膜と、前記Ａｌ合金膜と直接接触した透明電極層とを少なくとも透明絶縁基板上に備えた半導体デバイスであって、前記Ａｌ合金膜が、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉから選ばれる１種類以上の元素を０．５〜１０ｍｏｌ％と、Ｎを５〜１５ｍｏｌ％とを、合計５〜１５ｍｏｌ％含有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、高融点金属膜を介さずに、Ａｌを主成分とする金属膜から形成された電極や配線と透明電極層とを直接接触させることができる半導体デバイスを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
従来のＡｌ膜とＩＴＯまたはＩＺＯ膜との電気的接続部において、良好なコンタクト特性が得られない理由は、両者の界面に電気的絶縁性を有するＡｌの酸化物ＡｌＯｘが形成されることが主な理由と考えられている（例えば、「第４７回応用物理学関係連合講演会講演予稿集（２０００．３  青山学院大学）３１ａ−ＹＡ−９，ｐｐ８６６（２０００）．ＸＰＳによるＩＴＯ／ＡｌＮ界面反応層の評価」）。本発明者らは、試験的に約２００ｎｍ厚の金属Ａｌ膜と、約１００ｎｍ厚のＩＴＯ膜とをスパッタリング法により成膜し、界面付近をオージェ電子分光分析法、Ｘ線光電子分光法および透過型電子顕微鏡を用いて詳細に調査した。その結果、厚さ５〜１０ｎｍ程度のＡｌ酸化物（ＡｌＯｘ）が一様な層状に形成され、これが電気的導通を阻害していることを確認した。このような現象は、ＩＴＯ膜をＩＺＯ膜とした場合でも同様である。
【００１０】
本発明者らは、鋭意研究した結果、Ａｌに適切な元素を添加することにより、良好な電気的コンタクト特性が得られることを見出した。
【００１１】
以下、本発明にかかる半導体デバイスを液晶表示装置に用いられるＴＦＴアクティブマトリクス基板に適用した実施形態の一例について説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載および図面は、適宜、省略および簡略化されている。
【００１２】
［実施形態１］
図１は、本実施形態１にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板における画像表示領域の一画素分の平面図である。図２は、図１のＸ−Ｘ'断面図、並びにＴＦＴアクティブマトリクス基板の画像表示領域の外側に形成される信号入力端子部の断面図（図１においては、当該部分は不図示）である。信号入力端子部として、走査信号が入力されるゲート端子および映像信号が入力されるソース端子を図示している。
【００１３】
図１および図２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板は、透明絶縁基板１、ゲート電極２、補助容量共通電極３、ゲート配線４、ゲート端子５、ゲート絶縁膜６、半導体能動膜７、オーミックコンタクト膜８、ソース電極９、ドレイン電極１０、ソース配線１１、ＴＦＴチャネル部１２、層間絶縁膜１３、画素ドレインコンタクトホール１４、ゲート端子コンタクトホール１５、ソース端子コンタクトホール１６、画素電極１７、ゲート端子パッド１８、ソース端子パッド１９を備える。
【００１４】
透明絶縁基板１としては、ガラス基板、石英ガラス等の透明な絶縁基板を用いることができる。絶縁性基板１の厚さは任意でよいが、液晶表示装置の厚さを薄くするために１．１ｍｍ厚以下のものが好ましい。絶縁性基板１が薄すぎる場合には各種の成膜やプロセスの熱履歴によって基板の歪みが生じるためにパターニング精度が低下するなどの不具合を生じるので、絶縁性基板１の厚さは使用するプロセスを考慮して選択する必要がある。また、絶縁性基板１がガラスなどの脆性破壊材料からなる場合、基板の端面は面取りを実施しておくことが、端面からのチッピングによる異物の混入を防止する上で好ましい。さらに、透明絶縁基板１の一部に切り欠きを設けて基板の向きが特定できるようにすることが、各プロセスでの基板処理の方向が特定できることでプロセス管理がしやすくなるため好ましい。
【００１５】
ゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４およびゲート端子５は、透明絶縁基板１上に形成されている。ゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４およびゲート端子５は、同一の金属膜から構成されている。この金属膜としては、厚さ１００〜５００ｎｍ程度のＡｌ合金を用いることができる。
【００１６】
ゲート絶縁膜６は、透明絶縁基板１およびゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４、ゲート端子５上に形成されている。ゲート絶縁膜６としては、厚さ３００〜６００ｎｍ程度のシリコン窒化膜（ＳｉＮｘ）、シリコン酸化膜（ＳｉＯｘ）、シリコン酸化窒化膜（ＳｉＯｘＮｙ）やこれらの積層膜を用いることができる。膜厚が薄い場合には、ゲート配線とソース配線の交差部で短絡を生じやすいため、ゲート配線４や補助容量電極３等の膜厚以上とすることが好ましい。一方、膜厚が厚い場合には、ＴＦＴのＯＮ電流が小さくなり、表示特性が低下する。
【００１７】
半導体能動膜７は、ゲート絶縁膜６上に形成されている。半導体能動膜７としては、厚さ１００〜３００ｎｍ程度のアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）膜または多結晶シリコン（ｐ−Ｓｉ）膜を用いることができる。膜が薄い場合には、後述するオーミックコンタクト膜８のドライエッチング時に消失が発生しやすい。一方、膜が厚い場合には、ＴＦＴのＯＮ電流が小さくなる。
【００１８】
なお、半導体能動膜７としてａ−Ｓｉ膜を用いる場合には、ゲート絶縁膜６のａ−Ｓｉ膜との界面は、ＳｉＮｘまたはＳｉＯｘＮｙとすることが、ＴＦＴが導通状態となるゲート電圧であるＴＦＴの閾値電圧（Ｖｔｈ）の制御性および信頼性の観点から好ましい。一方、半導体能動膜７としてｐ−Ｓｉ膜を用いる場合には、ゲート絶縁膜６のｐ−Ｓｉ膜との界面はＳｉＯｘまたはＳｉＯｘＮｙとすることがＴＦＴのＶｔｈの制御性および信頼性の観点から好ましい。
【００１９】
オーミックコンタクト膜８は、半導体能動膜７上に形成されている。オーミックコンタクト膜８としては、厚さ２０〜７０ｎｍ程度のａ−Ｓｉまたはｐ−ＳｉにＰを微量にドーピングしたｎ型ａ−Ｓｉ膜、ｎ型ｐ−Ｓｉ膜を用いることができる。
【００２０】
ソース電極９およびドレイン電極１０は、オーミックコンタクト膜８上に形成され、これを介し、半導体能動膜７と接続されている。また、ソース電極９はソース配線１１を介し、ソース端子（不図示）まで伸びている。ソース電極９、ドレイン電極１０およびソース配線１１は、同一の金属膜から構成されている。この金属膜としては、厚さ１００〜５００ｎｍ程度のＡｌ合金を用いることができる。
【００２１】
層間絶縁膜１３はソース電極９、ドレイン電極１０、ソース配線１１等の上に形成されている。層間絶縁膜１３としては、ゲート絶縁膜６と同様の材料を用いることができる。
【００２２】
画素電極１７、ゲート端子パッド１８およびソース端子パッド１９は層間絶縁膜１３上に形成されている。画素電極１７、ゲート端子パッド１８およびソース端子パッド１９は、同一の透明導電性薄膜から構成されている。画素電極１７は、画素ドレインコンタクトホール１４を介し、ドレイン電極１０と電気的に接続される。ゲート端子パッド１８は、ゲート端子コンタクトホール１５を介し、ゲート端子５と電気的に接続される。ソース端子パッド１９は、ソース端子コンタクトホール１６を介し、ソース端子１１と電気的に接続される。透明導電性薄膜としては、Ｉｎ２Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３とＳｎＯ２の混合物ＩＴＯ、Ｉｎ２Ｏ３とＺｎＯの混合物ＩＺＯ、Ｉｎ２Ｏ３とＳｎＯ２とＺｎＯの混合物ＩＴＺＯ等を用いることができ、特に化学的安定性の点からＩＴＯが好ましい。
【００２３】
次に、本実施形態１にかかるＴＦＴアクティブマトリックス基板の製造方法について述べる。なお、以下に説明する例は典型的なものであって、本発明の趣旨に合致する限り他の製造方法を採用することができることは言うまでもない。
【００２４】
表面を清浄化した絶縁性基板１上に、スパッタリング、真空蒸着等の方法でゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４、ゲート端子５等を形成するための第１のＡｌ合金膜を成膜する。
【００２５】
次に、第１のフォトリソグラフィプロセス（写真工程）で上記Ａｌ合金膜をパターニングし、ゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４およびゲート端子５等を形成する。フォトリソグラフィプロセスは以下の通りである。ＴＦＴアクティブマトリックス基板を洗浄後、感光性レジストを塗布・乾燥する。次に、所定のパターンが形成されたマスクパターンを通して露光し、現像することで写真製版的にＴＦＴアクティブマトリックス基板上にマスクパターンを転写したレジストを形成する。そして、感光性レジストを加熱硬化させた後にエッチングを行い、感光性レジストを剥離する。感光性レジストとＴＦＴアクティブマトリックス基板との濡れ性が悪い場合には、塗布前にＵＶ洗浄またはＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）の蒸気塗布等の処理を行う。
【００２６】
また、感光性レジストとＴＦＴアクティブマトリクス基板との密着性が悪く、剥離が生じる場合には、加熱硬化温度の高温化または加熱硬化時間の長時間化等の処理を適宜行う。上記Ａｌ合金膜のエッチングは、エッチャントを用いてウェットエッチングすることができる。また、このＡｌ合金膜のエッチングは、パターンエッジがテーパー形状となるようにエッチングすることが、他の配線との段差での短絡を防止する上で好ましい。ここで、テーパー形状とは断面が台形状になるようにパターンエッジがエッチングされることをいう。同工程においては、ゲート電極２、ゲート配線４、補助容量電極３、ゲート端子部５を形成すると述べたが、これに限定されるものではなく、その他にＴＦＴアクティブマトリックス基板を製造する上で必要な各種のマーク類や配線を形成してもよい。
【００２７】
次に、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ等からなるゲート絶縁膜６、ａ−Ｓｉまたはｐ−Ｓｉからなる半導体能動膜７、ｎ型ａ−Ｓｉまたはｎ型ｐ−Ｓｉからなるオーミックコンタクト膜８を形成するための薄膜を、プラズマＣＶＤ法により連続で成膜する。半導体能動膜７としてａ−Ｓｉ膜を用いる場合、ゲート絶縁膜６の界面付近の成膜レートを小さくし、上層部の成膜レートを大きくすることにより、短い成膜時間で、移動度が大きく、ＯＦＦ時のリーク電流が小さいＴＦＴを得ることができる。上記ＳｉＮｘ膜、ＳｉＯｘ膜、ＳｉＯｘＮｙ膜、ａ−Ｓｉ膜、ｐ−Ｓｉ膜、ｎ型ａ−Ｓｉ膜、ｎ型ｐ−Ｓｉ膜は公知のガス（ＳｉＨ４、ＮＨ３、Ｈ２、ＮＯ２、ＰＨ３、Ｎ２やこれらの混合ガス）を用いて、ドライエッチングによりパターン形成できる。
【００２８】
次に、第２のフォトリソグラフィプロセスで半導体能動膜７およびオーミックコンタクト膜８を少なくともＴＦＴ部が形成される部分にパターニングする。ゲート絶縁膜６は、全体に亘って残存する。半導体能動膜７およびオーミックコンタクト膜８は、ＴＦＴ部が形成される部分の他に、ソース配線とゲート配線４および補助容量電極３とが平面的に交差する部分にもパターニングして残存させることが交差部での耐電圧が大きくなる観点から好ましい。また、ＴＦＴ部の半導体能動膜７およびオーミックコンタクト膜８をソース配線の下部まで連続形状で残存させることが、ソース電極が半導体能動膜７およびオーミックコンタクト膜８の段差を乗り越えることがなく、段差部でのソース電極の断線が発生しにくいので好ましい。半導体能動膜７およびオーミックコンタクト膜８のエッチングは、公知のガス組成（例えば、ＳＦ6とＯ2の混合ガスまたはＣＦ4とＯ2の混合ガス）でドライエッチングできる。
【００２９】
次に、スパッタリングなどの方法でソース電極９およびドレイン電極１０を形成するためのＡｌ合金膜を成膜する。第３のフォトリソグラフィプロセスにより、このＡｌ合金膜からソース配線１１（図１参照）、ソース端子（不図示）、ソース電極９およびドレイン電極１０を形成する。
【００３０】
次に、オーミックコンタクト膜８のエッチングを行なう。このプロセスによりＴＦＴ部のオーミックコンタクト膜８の中央部が除去され、半導体能動膜７が露出する。オーミックコンタクト膜８のエッチングは、公知のガス組成（例えば、ＳＦ6とＯ2の混合ガスまたはＣＦ4とＯ2の混合ガス）でドライエッチングできる。
【００３１】
次に、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘ、ＳｉＯｘＮｙ等からなる層間絶縁膜１３を形成するための膜を、プラズマＣＶＤ法により形成する。第４のフォトリソグラフィプロセスにより、この膜から層間絶縁膜１３を形成する。図２に示すような画素ドレインコンタクトホール１４、ゲート端子コンタクトホール１５、およびソース端子コンタクトホール１６に対応する部分を開口した遮光マスク（不図示）を用いて、均一に露光を行う。上記露光工程後、現像液を用いて現像を行う。その後、コンタクトホールに対応する領域では、エッチング工程により開口部が形成されドレイン電極１０等が露出する。
【００３２】
次に、画素電極１７、ゲート端子パッド１８およびソース端子パッド１９等を形成するための透明導電性薄膜を、スパッタリング法、真空蒸着法、塗布法等により形成する。Ａｌ合金膜との接触抵抗を低減するためには、スパッタリング法が好ましい。第５のフォトリソグラフィプロセスにより、透明導電性薄膜から画素電極１７、ゲート端子パッド１８およびソース端子パッド１９等を形成する。透明導電性薄膜のエッチングは、使用する材料によって公知のウェットエッチング（例えば、透明導電性薄膜が結晶化ＩＴＯからなる場合には塩酸、および硝酸が混合されてなる水溶液）を用いて行うことができる。透明導電性薄膜がＩＴＯの場合、公知のガス組成（例えば、ＨＩ、ＨＢｒ）でのドライエッチングによるエッチングも可能である。
【００３３】
このように製造されたＴＦＴアクティブマトリックス基板は、カラーフィルターや対向電極を有する対向基板（不図示）とスペーサーを介して貼り合わされ、その間に液晶が注入される。この液晶層が挟持された液晶パネルをバックライトユニットに取り付けることにより、液晶表示装置が製造される。
【００３４】
（実施例１）
本実施形態１の具体的な実施例を説明する。本実施例１にかかる第１の金属膜（ゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４、ゲート端子５）および第２の金属膜（ドレイン電極９、ソース電極１０）として、純Ａｌに、３．０ｍｏｌ％Ｎｉを添加したＡｌ−３．０ｍｏｌ％Ｎｉ合金膜を用いた。透明導電性膜（画素電極１７、ゲート端子パッド１８、ソース端子パッド１９）としてＩＴＯ膜を用いた。なお、Ａｌ合金膜の組成は、絶縁基板に形成されたＡｌ合金膜を、例えば、王水などの酸性薬液に溶解し、ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）発光分光分析法により測定した。ＩＣＰ発光分光分析装置としては、セイコーインスツルメンツ社製ＳＰＳ−１２００ＡＲ型を用いた。
【００３５】
画素ドレインコンタクトホール１４における画素電極１７とドレイン電極１０との接続部の接触抵抗値は、コンタクトホール開口面積５０μｍ２あたり約１０Ωであった。ゲート端子部コンタクトホール１５におけるゲート端子パッド１８とゲート端子５の接触抵抗値およびソース端子部コンタクトホール１６におけるソース端子パッド１９とソース端子１１の接続部の接触抵抗値も、コンタクトホール開口面積５０μｍ２あたり約１０Ωであった。
【００３６】
第２の金属膜に従来の純Ａｌ膜を用いた場合の接触抵抗値は、コンタクトホール開口面積５０μｍ２あたり約１００ＭΩであった。すなわち、本実施例１にかかる接触抵抗値は、従来の純Ａｌ膜の１／１０７であり、極めて良好な値である。
【００３７】
次に、本実施例１において接触抵抗値が格段に低い値が得られた理由について検討した。スパッタリング法により、基板上に厚さ約５０ｎｍのＡｌ−３．０ｍｏｌ％Ｎｉ合金膜、厚さ約２０ｎｍのＩＴＯ膜をこの順に積層した分析試料を作製し、Ａｌ−Ｎｉ膜とＩＴＯ膜の界面構造を詳細に調査した。以下、説明の便宜上、上層のＩＴＯ膜と下層のＡｌ−Ｎｉ膜からなる薄膜をＩＴＯ／Ａｌ−Ｎｉと記す。
【００３８】
上記分析試料について、Ｘ線光電子分光分析を用い、深さ方向プロファイルを調査した。Ｘ線光電子分光分析装置としては、ＵＬＶＡＣ−ＰＨＩ社製Ｑｕａｎｔｕｍ２０００を用いた。分析条件は、線源Ａｌ−Ｋアルファ線、ビーム径１００μｍ、出力２０ｋＶ−１００Ｗとした。
【００３９】
図３に、上記分析試料ＩＴＯ／Ａｌ−Ｎｉの界面近傍におけるＡｌ（２ｐ軌道成分）、Ｏ（１ｓ軌道成分）、Ｉｎ（３ｄ軌道成分）、Ｓｎ（３ｄ軌道成分）およびＮｉ（２ｐ軌道成分）のＸ線光電子分光分析による深さ方向プロファイルを示す。図３中の横軸はスパッタリング時間を、縦軸は上記元素のｍｏｌ％（ａｔｏｍｉｃ％）濃度を示している。本実施例でのＸ線光電子分光分析においては、スパッタリングにより試料をエッチングし、その表面分析を行うことにより深さプロファイルを得ている。したがって、横軸のスパッタ時間は、上層にあるＩＴＯ表面からの深さに対応する。
【００４０】
図３に示すように、スパッタ時間の短い領域では、上層のＩＴＯ膜の構成元素であるＩｎ、ＯおよびＳｎが多く存在し、スパッタ時間が長くなるにつれて下層のＡｌ−Ｎｉ膜の構成元素であるＡｌおよびＮｉが多く存在する。
【００４１】
Ｉｎの最大濃度の半分になる深さ（図中Ａ）とＡｌの最大濃度の半分になる深さ（図中Ｂ）の間の領域を、界面層と定義する。また、図中Ａより上層の領域をＩＴＯ膜、図中Ｂより下層の領域をＡｌ−Ｎｉ膜と定義する。また、界面層のＩＴＯ膜側の領域をＩＴＯ近傍界面層、同じく界面層のＡｌ−Ｎｉ膜側の領域をＡｌ−Ｎｉ近傍界面層と定義する。
【００４２】
図３より、界面層では、Ｏ濃度が増加していることがわかる。これは、界面層に酸化Ａｌ（ＡｌＯｘ）が存在することを示唆している。酸化Ａｌは絶縁体であるため、酸化Ａｌが界面全体に存在すれば、電気的導通が阻害されるはずである。しかしながら、実際には上述したように、本実施例１にかかる画素ドレインコンタクトホール１４における画素電極１７とドレイン電極１０との接続部の抵抗値は、従来例に比して格段に低い接触抵抗値が得られた。
【００４３】
そこで、深さ方向の４ポイント（ＩＴＯ膜、ＩＴＯ近傍界面層、Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層およびＡｌ−Ｎｉ膜）におけるＡｌ（２ｐ軌道成分）、Ｎｉ（２ｐ軌道成分）、Ｉｎ（３ｄ軌道成分）およびＳｎ（３ｄ軌道成分）の結合状態を、Ｘ線光電子スペクトルを用いて調査した。その結果を図４（ａ）〜（ｄ）に示す。図４（ａ）はＩＴＯ膜、図４（ｂ）はＩＴＯ近傍界面層、図４（ｃ）はＡｌ−Ｎｉ近傍界面層、図４（ｄ）はＡｌ−Ｎｉ膜の上記各元素の結合状態を示したものである。
【００４４】
ＩＴＯ膜では、酸化Ｉｎ（ＩｎＯｘ）および酸化Ｓｎ（ＳｎＯｘ）のみが検出された（図４（ａ）参照）。ＩＴＯ近傍界面層では、酸化Ａｌ（ＡｌＯｘ）、Ａｌ、Ｎｉ、酸化Ｉｎ（ＩｎＯｘ）および酸化Ｓｎ（ＳｎＯｘ）が検出された（図４（ｂ）参照）。Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層では、酸化Ａｌ（ＡｌＯｘ）、Ａｌ、Ｎｉ、酸化Ｉｎ（ＩｎＯｘ）、Ｉｎ、酸化Ｓｎ（ＳｎＯｘ）およびＳｎが検出された（図４（ｃ）参照）。Ａｌ−Ｎｉ膜では、ＡｌおよびＮｉのみが検出された（図４（ｄ）参照）。なお、図４中では、酸化Ａｌ、酸化Ｉｎ、酸化Ｓｎを便宜的に各々ＡｌＯ、ＩｎＯ、ＳｎＯと表示している。
【００４５】
図５は、図４に示す結果から、ＩＴＯ膜、ＩＴＯ近傍界面層、Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層およびＡｌ−Ｎｉ膜の構造を模式的に示したものである。図５に示すように、ＡｌにＮｉを添加したＡｌ−Ｎｉ膜とＩＴＯ膜とを接触させた場合、界面層には、絶縁体である酸化Ａｌ以外に、導電性のあるＡｌ、Ｎｉ、酸化Ｉｎ、Ｉｎ、酸化ＳｎおよびＳｎが存在する。すなわち、酸化Ａｌは界面全体には存在せず、その酸化Ａｌが存在しない箇所では、上記導電性物質が界面層の深さ方向に連続的に存在することにより、ＩＴＯ膜とＡｌ−Ｎｉ膜の間に導電経路が形成され、良好な電気的コンタクト特性が得られたものと考えられる。
【００４６】
［実施形態２］
次に、上記実施形態１のＴＦＴアクティブマトリクス基板とは異なる実施形態について説明する。なお、以下の説明において、上記実施形態１と同一の構成部材は、同一の符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００４７】
図６は、本実施形態２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板の画像表示領域の一画素分の平面図である。図７は、図６中のＹ−Ｙ'切断断面図，並びにＴＦＴアクティブマトリクス基板の画像表示領域の外側に形成される信号入力端子部の断面図（図６においては、当該部分は不図示）である。本実施形態２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板は、以下の相違点を除く基本的構成は上記実施形態１にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板と同様である。
【００４８】
上記実施形態１では、透明導電性膜（画素電極１７、ゲート端子パッド１８、ソース端子パッド１９）の下層の第１の金属膜（ゲート端子５）および第２の金属膜（ドレイン電極１０、ソース端子１１）と、コンタクトホール（画素ドレインコンタクトホール１４、ゲート端子コンタクトホール１５およびソース端子コンタクトホール１６）を介して電気的に接続されていた。一方、本実施形態２では、透明導電性膜の上層の第２の金属膜（ドレイン電極１０、ソース端子１１ａ）と、コンタクトホールを介さずに電気的に接続されている。すなわち、本実施形態２と上記実施形態１とでは、第２の金属膜と透明導電性膜の電気的接続の上下関係が逆転している。そのため、上記実施形態１では、透明導電性膜を第２の金属膜および層間絶縁膜１３を積層した後にその上層に形成していたのに対し、本実施形態２では、第２の金属膜の下層に透明導電性膜を形成している点が異なる。また、本実施形態２では、層間絶縁膜１３を形成せず、絶縁性のパッシベーション保護膜２０を透明導電性膜および第２の金属膜の上層に形成している点が異なる。さらに、ゲート端子５とゲート端子パッド１８とが、第２の金属膜で形成された接続膜２１により電気的に接続されている点が異なる。
【００４９】
本実施形態２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板では、図７に示すように、ドレイン電極１０が下層の透明導電性膜からなる画素電極１７と電気的に接続され、接続膜２０が透明導電性膜からなる下層のゲート端子パッド１８と電気的に接続され、さらにソース端子１１が下層の透明導電性膜からなるソース端子バッド１９と電気的に接続されるコンタクト構造を有している。
【００５０】
（実施例２）
本実施形態２の具体的な実施例を説明する。本実施例２にかかる第１の金属膜（ゲート電極２、補助容量電極３、ゲート配線４、ゲート端子５）および第２の金属膜（ドレイン電極９、ソース電極１０）として、純Ａｌに、３．０ｍｏｌ％Ｎｉを添加したＡｌ−３．０ｍｏｌ％Ｎｉ合金を用いた。透明導電性膜（画素電極１７、ゲート端子パッド１８、ソース端子パッド１９）としてＩＴＯ膜を用いた。
【００５１】
画素電極１７とドレイン電極１０との接続部の抵抗値、ゲート端子パッド１８と接続膜２０との接続部の抵抗値、ソース端子パッド１９とソース端子１１ａとの接続部の抵抗値は、各々５０μｍ２あたり約１０Ωとなった。この値は、従来の純Ａｌ膜の１／１０７であり、極めて良好な値である。
【００５２】
スパッタリング法により、基板上に厚さ約５０ｎｍのＩＴＯ膜、厚さ約１０ｎｍのＡｌ−３．０ｍｏｌ％Ｎｉ合金膜をこの順に積層した分析試料を作製し、Ａｌ−Ｎｉ膜とＩＴＯ膜の界面構造を実施例１と同様に詳細に調査した。以下、上層のＡｌ−Ｎｉ膜と下層のＩＴＯ膜からなる薄膜をＡｌ−Ｎｉ／ＩＴＯと記す。
【００５３】
図８に、上記分析試料Ａｌ−Ｎｉ／ＩＴＯの界面近傍におけるＡｌ（２ｐ軌道成分）、Ｏ（１ｓ軌道成分）、Ｉｎ（３ｄ軌道成分）、Ｓｎ（３ｄ軌道成分）およびＮｉ（２ｐ軌道成分）のＸ線光電子分光分析による深さ方向プロファイルを示す。分析条件は実施例１と同じである。
【００５４】
図８に示すように、スパッタ時間の短い領域では、上層のＡｌ−Ｎｉ膜の構成元素であるＡｌおよびＮｉが多く存在し、スパッタ時間が長くなるにつれて下層のＩＴＯ膜の構成元素であるＩｎ、ＯおよびＳｎが多く存在することがわかる。ここで、界面層、Ａｌ−Ｎｉ膜、ＩＴＯ膜の定義は、上記実施形態１と同様である。
【００５５】
図８より、上記実施形態１と同様に、界面層では、Ｏ濃度が増加していることがわかる。これは、ＩＴＯ膜とＡｌ−Ｎｉ膜の間に存在する界面層において、酸化された酸化Ａｌ層（ＡｌＯｘ）が存在することを示唆するものである。そこで、深さ方向の４ポイント（Ａｌ−Ｎｉ膜、Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層、ＩＴＯ近傍界面層およびＩＴＯ膜）におけるＡｌ（２ｐ軌道成分）、Ｎｉ（２ｐ軌道成分）、Ｉｎ（３ｄ軌道成分）およびＳｎ（３ｄ軌道成分）の結合状態を、Ｘ線光電子スペクトルを用いて調査した。その結果を図９（ａ）〜（ｄ）に示す。図９（ａ）はＡｌ−Ｎｉ膜、図９（ｂ）はＡｌ−Ｎｉ近傍界面層、図９（ｃ）はＩＴＯ近傍界面層、図９（ｄ）はＩＴＯ膜の上記各元素の結合状態を示したものである。
【００５６】
Ａｌ−Ｎｉ膜では、ＡｌおよびＮｉに加え、ＳｎおよびＩｎも検出された（図９（ａ）参照）。Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層では、Ａｌ、Ｎｉ、ＩｎおよびＳｎが検出された（図９（ｂ）参照）。ＩＴＯ近傍界面層では、酸化Ａｌ（ＡｌＯｘ）、Ｎｉ、酸化Ｉｎ（ＩｎＯｘ）、酸化Ｓｎ（ＳｎＯｘ）およびＳｎが検出された（図９（ｃ）参照）。ＩＴＯ膜では、酸化Ｉｎ（ＩｎＯｘ）および酸化Ｓｎ（ＳｎＯｘ）のみが検出された（図９（ｄ）参照）。なお、図９中でも、酸化Ａｌ、酸化Ｉｎ、酸化Ｓｎを便宜的に各々ＡｌＯ、ＩｎＯ、ＳｎＯと表示している。
【００５７】
図１０は、図９に示す結果から、Ａｌ−Ｎｉ膜、Ａｌ−Ｎｉ近傍界面層、ＩＴＯ近傍界面層およびＩＴＯ膜の構造を模式的に示したものである。図１０に示すように、ＡｌにＮｉを添加したＡｌ−Ｎｉ膜とＩＴＯ膜とを接触させた場合、界面層には、絶縁体である酸化Ａｌ以外に、導電性のあるＡｌ、Ｎｉ、酸化Ｉｎ、Ｉｎ、酸化ＳｎおよびＳｎが存在する。すなわち、酸化Ａｌは界面全体には存在せず、その酸化Ａｌが存在しない箇所では、上記導電性物質が界面層の深さ方向に連続的に存在することにより、ＩＴＯ膜とＡｌ−Ｎｉ膜の間に導電経路が形成され、良好な電気的コンタクト特性が得られたものと考えられる。
【００５８】
上記実施例１および２では、透明導電性膜の好適な実施例としてＩＴＯ膜を用いたが、これに代えてＩＺＯ膜やＩＴＺＯ膜を用いてもよい。いずれの場合も接続部の抵抗値は、コンタクトホール開口面積５０μｍ２あたり約１０Ωであり、ＩＴＯ膜の場合とほぼ同等の良好な値が得られた。ＩＺＯ膜を用いた場合、界面層にＩｎおよびＮｉの存在を確認した。ＩＺＴＯ膜を用いた場合、界面層にＩｎ、ＳｎおよびＮｉの存在を確認した。
【００５９】
また、上記実施例１および２では、第１の金属膜または／および第２の金属膜の好適な実施例として、純Ａｌに３ｍｏｌ％Ｎｉを添加したＡｌ−Ｎｉ膜を用いたが、Ｎｉの添加量はこれに限定されない。Ｎｉの添加量が０．５ｍｏｌ％以上であれば、接触抵抗値を約１０００Ω以下にまで低減できる。Ｎｉ濃度が高くなるほど、Ａｌ−Ｎｉ合金の比抵抗値が上昇するため、Ｎｉ濃度は１０ｍｏｌ％以下が好ましい。Ａｌ−１０ｍｏｌ％Ｎｉ合金の比抵抗値は、約０．２５μΩｍである。これは、配線材料として一般的に用いられる純Ｃｒや純Ｍｏの比抵抗値より低い。
【００６０】
また、上記実施例１および２では、第１の金属膜または／および第２の金属膜としてＡｌ−Ｎｉ膜を一層で形成したが、透明導電性膜との界面部のみにＡｌ−Ｎｉ膜を形成し、その他の部分には、より低比抵抗であるＡｌ、Ｃｕまたはそれらの合金等の膜を形成した積層構造としてもよい。この場合、Ａｌ−Ｎｉ膜の厚さは５ｎｍ以上とすることが好ましい。５ｎｍ未満の場合は、成膜が不完全になりやすく、充分な接触抵抗が得られない。一方、主体となる金属膜の厚さは、デバイスに求められる配線抵抗に応じて設定すればよい。Ａｌ−Ｎｉ膜よりも低比抵抗の金属膜を配線の主体とすることにより、同じ膜厚であれば、Ａｌ−Ｎｉ単層構造よりもさらに低配線抵抗化できる。
【００６１】
Ａｌへの添加元素は、Ｎｉに限らず、Ｎｉと同族である８族元素（Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ｐｔ等）でもよい。この場合も、ＩＴＯ膜との接触抵抗値を下げることができる。添加元素は、１種類に限らず、２種類以上でもよい。ただし、原子番号の大きいＲｕ，Ｒｈ，Ｐｄ、Ｐｔを添加した場合、化学的な安定性が低下する。具体的には、アルカリ薬液に対する耐性が低下するため、フォトレジストをパターニングする工程におけるアルカリ現像液の処理等に注意を要する。したがって、プロセスに対する高信頼性を考慮すると、Ａｌへの添加元素は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉが特に好ましい。
【００６２】
Ａｌへの添加元素は、Ｎ、Ｃ、Ｓｉから選ばれる少なくとも１種類以上の元素を添加してもよい。上記元素の添加により、界面での酸化Ａｌの形成が抑制されるため、より良好な電気的コンタクト特性を実現できる。これらの元素の添加量は合計５〜１５ｍｏｌ％が好ましい。また、上記８族元素に加え、Ｎ、Ｃ、Ｓｉを添加するとさらに効果的である。この場合も、添加量は合計５〜１５ｍｏｌ％が好ましい。いずれの場合も、５ｍｏｌ％未満では良好な電気的コンタクト特性が得られず、１５ｍｏｌ％を超えると比抵抗値が０．２５μΩｍを超え、従来の高融点金属に対する優位性が失われる。なお、良好な電気的コンタクト特性とは、従来の高融点金属とＩＴＯの接触抵抗の１０倍未満を目安とする。すなわち、従来の高融点金属とＩＴＯの接触抵抗が、開口面積５０μｍ２あたり約１００〜２００Ωとすると、約１０００〜２０００Ωであればよい。
【００６３】
Ａｌへの添加元素として、上記８族元素または／およびＮ、Ｃ、Ｓｉに加え、Ｃｕ、Ｙ、希土類元素Ｌａ、Ｃｅ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙから選ばれる１種類以上の元素を添加してもよい。これらの元素の添加により、Ａｌ合金の耐熱性や耐食性が向上するため、配線の信頼性を高めるために好ましい。
【００６４】
上述の実施形態１〜４は、液晶表示装置用のＴＦＴアクティブマトリクス基板であるが、本発明はエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置等にも適用できる。また、表示装置に限らず、金属膜と透明導電性膜との電気的接続部を有する他の半導体デバイスにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本実施形態１にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板を示す平面図である。
【図２】本実施形態１にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板を示す断面図である。
【図３】本実施形態１にかかるＩＴＯ／Ａｌ−Ｎｉ合金積層膜のＸ線光電子分光分析による深さ方向プロファイルを示す図である。
【図４】本実施形態１にかかるＩＴＯ／Ａｌ−Ｎｉ合金積層膜の界面のＸ線光電子スペクトルを示す図である。
【図５】本実施形態１にかかるＩＴＯ／Ａｌ−Ｎｉ合金積層膜の界面構造を模式的に示す図である。
【図６】本実施形態２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板を示す平面図である。
【図７】本実施形態２にかかるＴＦＴアクティブマトリクス基板を示す断面図である。
【図８】本実施形態２にかかるＡｌ−Ｎｉ合金／ＩＴＯ積層膜のＸ線光電子分光分析による深さ方向プロファイルを示す図である。
【図９】本実施形態２にかかるＡｌ−Ｎｉ合金／ＩＴＯ積層膜の界面のＸ線光電子スペクトルを示す図である。
【図１０】本実施形態２にかかるＡｌ−Ｎｉ合金／ＩＴＯ積層膜の界面構造を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  透明絶縁基板
２  ゲート電極
３  補助容量共通電極
４  ゲート配線
５  ゲート端子
６  ゲート絶縁膜
７  半導体能動膜
８  オーミックコンタクト膜
９  ソース電極
１０  ドレイン電極
１１  ソース配線
１２  ＴＦＴチャネル部
１３  層間絶縁膜
１４  画素ドレインコンタクトホール
１５  ゲート端子コンタクトホール
１６  ソース端子コンタクトホール
１７  画素電極
１８  ゲート端子パッド
１９  ソース端子パッド
２０  パッシベ−ション膜
２１  接続膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004728170.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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