(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気液化分離における原料空気の前処理方法において、前記原料空気中の水分、二酸化炭素を吸着除去するとともに一酸化二窒素を一時的に吸着する第１吸着器と、該第１吸着器の下流側に、前記第１吸着器で一時的に吸着された後脱着した前記一酸化二窒素を吸着除去するための第２吸着器とを設け、前記第１吸着器の吸着工程中に、前記第２吸着器の再生工程と吸着工程とを行うことを特徴とする空気液化分離における前処理方法。
【請求項２】
前記第１吸着器から導出した原料空気を冷却してから前記第２吸着器に導入することを特徴とする請求項１記載の空気液化分離における前処理方法。
【請求項３】
空気液化分離における原料空気の前処理装置において、吸着工程と再生工程とを交互に行う複数の第１吸着器と、該第１吸着器の下流側に設けられた一つの第２吸着器とを備え、前記複数の第１吸着器には、前記原料空気中の水分、二酸化炭素を吸着除去するとともに一酸化二窒素を一時的に吸着する吸着剤を充填し、前記第２吸着器には、前記第１吸着器で一時的に吸着された後脱着した前記一酸化二窒素を吸着除去する吸着剤を充填したことを特徴とする空気液化分離における前処理装置。
【請求項４】
前記第１吸着器から導出した原料空気を冷却してから前記第２吸着器に導入するための冷却器を設けたことを特徴とする請求項３記載の空気液化分離における前処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気液化分離における前処理方法及び装置に関し、詳しくは、空気液化分離装置の深冷分離部に導入する原料空気中に含まれる水分、二酸化炭素、一酸化二窒素等の不純物を吸着除去する空気液化分離における前処理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
原料空気を液化して酸素、窒素、アルゴン等の製品ガスを製造する空気液化分離装置では、深冷分離部での低温下で固化する水分や二酸化炭素等の不純物を前処理であらかじめ除去するため、前記不純物成分を吸着する吸着剤を充填した吸着器を使用して前記不純物を原料空気中から吸着分離している。
【０００３】
原料空気中の不純物の中で一酸化二窒素（Ｎ２Ｏ）は、大気中に約０．３ｐｐｍ存在しており、その濃度は上昇傾向にある。この一酸化二窒素は、二酸化炭素を吸着するゼオライトに吸着するが、一酸化二窒素が吸着しているゼオライトに原料空気中の二酸化炭素が接触すると、二酸化炭素が吸着して一酸化二窒素を原料空気中に放出する置換現象が発生するため、従来の一般的な吸着器で一酸化二窒素を十分に除去することは困難であった。
【０００４】
このため、原料空気中の水分及び二酸化炭素を完全に除去してから一酸化二窒素を吸着除去することで、二酸化炭素による置換を防止したり、二酸化炭素よりも一酸化二窒素を選択的に吸着除去する吸着剤を使用したり、一酸化二窒素の吸着量が多い吸着剤を使用したり、数種類の吸着剤を物理的に混合した複合吸着剤を使用したりするなど、一酸化二窒素の吸着除去に関して様々な提案がなされている（例えば、特許文献１〜９参照。）。
【特許文献１】特許第３３０８２４８号公報
【特許文献２】特開２００１−１２９３４２号公報
【特許文献３】特開２００２−１２６４３６号公報
【特許文献４】特開２００３−２７５５３２号公報
【特許文献５】特開２００４−９７５号公報
【特許文献６】特開２００４−１４８３１５号公報
【特許文献７】特開２０００−１４０５５０号公報
【特許文献８】特許第２９６７８７１号公報
【特許文献９】特開２００２−１４３６２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般的な吸着剤で一酸化二窒素を除去するためには、原料空気中の二酸化炭素を略完全に除去した状態で一酸化二窒素を吸着除去する必要がある。この場合には、既設の吸着器の二酸化炭素吸着剤の下流に一酸化二窒素除去用の吸着剤を増し充填することが最も簡便であるが、吸着器の塔径は、一般に、水分や二酸化炭素の除去を主目的として設定されるため、一酸化二窒素を吸着除去するための最適設計が困難であるだけでなく、塔径の大きな吸着器に一酸化二窒素除去用の吸着剤を充填するために大量の一酸化二窒素除去用の吸着剤を必要とし、吸着器が大型になるという問題がある。
【０００６】
また、二酸化炭素よりも一酸化二窒素を選択的に吸着除去する特殊な吸着剤を採用すると、この吸着剤の製造メーカーが限られ、価格が高いなどの懸念があり、吸着剤の安定供給の点からも不安が残る。
【０００７】
さらに、数種類の吸着剤を物理的に混合した複合吸着剤を用いると、長時間の使用によって各吸着剤の比重差で各吸着剤が分離して適切な混合状態を維持できなくなるため、定期的に再混合するなどの対応が必要であった。加えて、既設の前処理装置で新たに一酸化二窒素の除去も行うときには、吸着器自体の改造が必要となり、大掛かりな作業となってコスト面でも大きな問題となる。
【０００８】
そこで本発明は、簡単な構成で一酸化二窒素を確実に吸着除去することができ、既設の前処理装置にも容易に適用が可能な空気液化分離における前処理方法及び装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の空気液化分離における前処理方法は、空気液化分離における原料空気の前処理方法において、前記原料空気中の水分、二酸化炭素を吸着除去するとともに一酸化二窒素を一時的に吸着する第１吸着器と、該第１吸着器の下流側に、前記第１吸着器で一時的に吸着された後脱着した前記一酸化二窒素を吸着除去するための第２吸着器とを設け、前記第１吸着器の吸着工程中に、前記第２吸着器の再生工程と吸着工程とを行うことを特徴としている。さらに、前記第１吸着器から導出した原料空気を冷却してから前記第２吸着器に導入することを特徴としている。
【００１０】
また、本発明の空気液化分離における前処理装置は、空気液化分離における原料空気の前処理装置において、吸着工程と再生工程とを交互に行う複数の第１吸着器と、該第１吸着器の下流側に設けられた一つの第２吸着器とを備え、前記複数の第１吸着器には、前記原料空気中の水分、二酸化炭素を吸着除去するとともに一酸化二窒素を一時的に吸着する吸着剤を充填し、前記第２吸着器には、前記第１吸着器で一時的に吸着された後脱着した前記一酸化二窒素を吸着除去する吸着剤を充填したことを特徴とし、さらに、前記第１吸着器から導出した原料空気を冷却してから前記第２吸着器に導入するための冷却器を設けたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、水分や二酸化炭素を除去する第１吸着器で一時的に一酸化二窒素を吸着するので、第１吸着器の下流側に設けた一酸化二窒素を吸着除去するための第２吸着器では、間欠的に原料空気を精製すればよくなる。このため、第２吸着器を１つ設けるだけで、原料空気の連続精製が可能となる。また、一酸化二窒素のみを吸着除去する第２吸着器を設けるので、一酸化二窒素を最適な条件で確実に吸着除去することができる。
【００１２】
さらに、一酸化二窒素除去用の吸着剤量を原料空気中の一酸化二窒素量に応じて設定できるので、必要最小限の吸着剤量でよく、吸着器及び吸着剤に要するコストの削減も図れる。また、小型の吸着器を一つだけ設置すればよいため、既設の前処理装置にも簡単に増設することが可能である。さらに、原料空気を冷却してから一酸化二窒素を除去することにより、一酸化二窒素の除去効率を大幅に向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は本発明の空気液化分離装置の前処理方法を実施する前処理装置の一形態例を示す系統図、図２は各吸着器の運転状態を示す図である。
【００１４】
この前処理装置は、一対の第１吸着器１１Ａ，１１Ｂと、その下流側に設けられた一つの第２吸着器１２とを備えるもので、第１吸着器１１Ａ，１１Ｂには、主として原料空気中の水分を吸着除去するための吸着剤、例えば活性アルミナ１３ａと、主として原料空気中の二酸化炭素を吸着除去するための吸着剤、例えばゼオライト１３ｂとが二層に設けられている。また、第２吸着器１２には、原料空気中の一酸化二窒素を吸着除去することが可能な一酸化二窒素用吸着剤１３ｃが充填されている。
【００１５】
第１吸着器１１Ａ，１１Ｂは、各吸着器がそれぞれ所定時間の吸着工程と再生工程とを交互に繰り返し、一方の第１吸着器が吸着工程を行っているときに他方の第１吸着器が再生工程を行うことにより、連続的に原料空気の精製処理を行う。また、第２吸着器１２は、吸着工程と再生工程とを交互に繰り返して行うにあたり、前記第１吸着器のいずれか一方が吸着工程を開始したときに再生工程を開始し、該第１吸着器の吸着工程時間内に再生工程から吸着工程に切り替わり、該第１吸着器の吸着工程の終了と共に第２吸着器１２も吸着工程を終了するように設定されている。したがって、第２吸着器１２では、原料空気中の一酸化二窒素を吸着除去する吸着工程を間欠的に行うことになる。
【００１６】
第１吸着器には、水分除去用と二酸化炭素除去用の吸着剤が充填されている。二酸化炭素除去用の吸着剤として用いられるＸ型ゼオライトは、前述のように、一酸化二窒素も吸着するが二酸化炭素によって置換脱着する。このような二酸化炭素吸着剤の性質により、第１吸着器における吸着工程の前半では、第１吸着器から導出した原料空気中の一酸化二窒素濃度は、深冷分離部で問題にならない程度に低い。しかし、第１吸着器における吸着工程の後半では、導出した原料空気中に大気中よりも高濃度の一酸化二窒素が含まれる。これは、第１吸着器内で一酸化二窒素が濃縮されたと考えられる。本発明は、この現象を利用したもので、複数の第１吸着器１１Ａ，１１Ｂの下流に１つの第２吸着器１２を設けることで、効率的に一酸化二窒素を除去することが可能となる。
【００１７】
この前処理装置は、図２に示すように各吸着器を運転することにより、深冷分離部に供給する原料空気中の不純物を連続的に吸着除去する。まず、一方の第１吸着器１１Ａが吸着工程、他方の第１吸着器１１Ｂが再生工程をそれぞれ行っているとき、第２吸着器１２は、再生工程と吸着工程とを行う。
【００１８】
原料空気圧縮機２１で所定圧力に圧縮された原料空気は、アフタークーラー２２で圧縮熱が除去され、ドレン分離器２３で凝縮水が除去された後、入口弁２４ａを通って第１吸着器１１Ａに導入される。なお、必要に応じてアフタークーラー２２の下流に冷凍機２５を設けて原料空気を冷却することもできる。
【００１９】
第１吸着器１１Ａに導入された原料空気中の不純物である水分は活性アルミナ１３ａに吸着除去され、二酸化炭素及び一酸化二窒素がゼオライト１３ｂに吸着除去される。一酸化二窒素は、吸着工程開始によりゼオライト１３ｂに吸着するが、一酸化二窒素を吸着したゼオライト１３ｂに二酸化炭素が接触すると、二酸化炭素と一酸化二窒素との置換現象によって一酸化二窒素がゼオライト１３ｂから脱着して二酸化炭素が吸着する状態となり、一酸化二窒素は順次のゼオライト１３ｂに対する吸着と脱着とを繰り返し、次第に下流側に位置するゼオライト１３ｂに濃縮された状態となる。
【００２０】
活性アルミナ１３ａ及びゼオライト１３ｂで不純物が吸着除去された原料空気は、第１吸着器１１Ａから出口弁２６ａを通って導出され、冷却器２７で吸着熱が除去された後、第１供給弁２８を通って図示しない深冷分離部に供給される。また、冷却器２７の下流側には一酸化二窒素の濃度を測定する測定器２９が設けられており、吸着工程中の第１吸着器から導出された原料空気中の一酸化二窒素が連続的に測定されている。
【００２１】
一方、再生工程を行っている他方の第１吸着器１１Ｂには、第１加熱器３０で所定温度に加熱された再生ガスが再生入口弁３１ｂを通って出口側から導入されており、ゼオライト１３ｂ及び活性アルミナ１３ａを高温の再生ガスで加熱することにより、前回の吸着工程でこれらの吸着剤に吸着した二酸化炭素や水分を脱着させるとともに、再生ガスに同伴させて第１吸着器１１Ｂの入口側から再生出口弁３２ｂを通して排出している。
【００２２】
第１吸着器１１Ａの吸着工程、第１吸着器１１Ｂの再生工程の前半では、第２吸着器１２が再生工程を行っており、第２加熱器３３で所定温度に加熱された再生ガスが、第２吸着器再生入口弁３４を通って第２吸着器１２の出口側から導入され、第２吸着器１２内の一酸化二窒素用吸着剤１３ｃを加熱することにより、前回の吸着工程で吸着剤１３ｃに吸着した一酸化二窒素を脱着させ、再生ガスに同伴させて入口側から第２吸着器再生出口弁３５を通して排出している。
【００２３】
通常、各吸着器の再生工程では、減圧段階、加熱再生パージ段階、冷却段階、充圧段階の各段階が所定時間行われる。なお、上述の運転状態において、図１に示されている各弁は、上記説明中に記載されたものが開となっており、その他の弁は閉じた状態となっている。
【００２４】
第１吸着器１１Ａの吸着工程を所定時間行った後、あるいは、前記測定器２９で一酸化二窒素が検出されたとき、第２吸着器１２が再生工程から吸着工程に切り換えられる。この第２吸着器１２の吸着工程では、第１供給弁２８、第２吸着器再生入口弁３４及び第２吸着器再生出口弁３５が閉状態になり、第２吸着器入口弁３６及び第２吸着器出口弁３７が開状態となる。これにより、吸着工程を行っている第１吸着器１１Ａから導出された原料空気の流れが、冷却器２７の下流で第２吸着器１２を通過する経路に切り換えられる。
【００２５】
したがって、第１吸着器１１Ａから導出された原料空気は、第２吸着器入口弁３６を通って第２吸着器１２に導入され、第２吸着器出口弁３７を通って深冷分離部に供給される。このとき、第１吸着器１１Ａのゼオライト１３ｂに一旦吸着し、二酸化炭素に置換されて脱着した一酸化二窒素は、原料空気に同伴されて第１吸着器１１Ａから第２吸着器１２に導入され、第２吸着器１２内の充填剤１３ｃに吸着されて原料空気中から除去される。
【００２６】
第１吸着器１１Ａは、ゼオライト１３ｂが破過して二酸化炭素が第１吸着器１１Ａから流出する前に吸着工程から再生工程に切り換えられ、同時に、他方の第１吸着器１１Ｂが再生工程から吸着工程に切り換えられ、第２吸着器１２は吸着工程から再生工程に切り換えられる。すなわち、第一吸着器１１Ａ、第二吸着器１２の減圧段階の後、入口弁２４ａ、出口弁２６ａ、再生入口弁３１ｂ、再生出口弁３２ｂ、第２吸着器入口弁３６及び第２吸着器出口弁３７が閉じ、入口弁２４ｂ、出口弁２６ｂ、再生入口弁３１ａ、再生出口弁３２ａ、第２吸着器再生入口弁３４及び第２吸着器再生出口弁３５が開くとともに、第１加熱器３０及び第２加熱器３３が作動する。
【００２７】
第１吸着器１１Ｂの吸着工程の前半において、圧縮された原料空気は、第１吸着器１１Ｂを通って充填層１３ａ，１３ｂで水分、二酸化炭素、一酸化二窒素等の不純物が吸着除去され、そのまま深冷分離部に供給され、第１吸着器１１Ａ及び第２吸着器１２では再生工程が行われる。第１吸着器１１Ｂの吸着工程の後半では、第２吸着器１２が吸着工程に切り換わり、第１吸着器１１Ｂから導出した原料空気は、第２吸着器１２を通過して一酸化二窒素を吸着除去して深冷分離部に供給される。
【００２８】
以下、図２に示すように各吸着器の運転状態を切り換えることにより、原料空気中の水分、二酸化炭素、一酸化二窒素等の不純物を、各吸着剤に吸着させて除去することができる。そして、一酸化二窒素は、二酸化炭素による置換で吸着工程後半の第１吸着器１１Ａ，１１Ｂから流出するものを第２吸着器１２で吸着除去すればよいから、第２吸着器１２で使用する吸着剤の量を原料空気中に含まれる一酸化二窒素の濃度に応じて設定することができ、第２吸着器１２の径は一酸化二窒素の吸着に適した条件に合わせて形成できる。
【００２９】
また、第２吸着器１２は、第１吸着器の吸着工程後半でのみ吸着工程を行えばよいから、第１吸着器の吸着工程前半で第２吸着器１２の再生工程を行うことが可能であり、一つの第２吸着器１２のみを設置すればよい。さらに、二酸化炭素を吸着するゼオライトに積層させた状態で吸着器内に充填する場合に比べて、第２吸着器１２の一酸化二窒素用吸着剤の充填量を少なくすることができる。したがって、小型の吸着器を一つ追加するだけで、原料空気中の一酸化二窒素を効率よく除去することが可能となる。
【００３０】
第２吸着器１２に使用する一酸化二窒素吸着用の吸着剤は、第１吸着器で原料空気中の水分や二酸化炭素が十分に除去されているため、一酸化二窒素が吸着した後の二酸化炭素による置換を考慮する必要がなく、原料空気中の一酸化二窒素を吸着して除去できるものならば任意に選択することができる。したがって、高価で特殊な吸着剤を使用する場合に比べて吸着剤コストを大幅に削減できる。
【実施例】
【００３１】
実施例１
図１における本発明のプロセスにおいて、原料空気中の水分、二酸化炭素及び一酸化二窒素を除去した例を以下に示す。
【００３２】
一酸化二窒素を約０．３ｐｐｍ含む原料空気（流量３８５０Ｎｍ３／ｈ）を、原料空気圧縮機２１で約０．６ＭＰａまで昇圧し、アフタークーラー２２と冷凍機２５とで約１５℃に冷却した後、ドレン分離器２３でドレンを除去し、吸着工程を行っている第１吸着器（１１Ａ又は１１Ｂ）に導入した。第１吸着器の下部には活性アルミナ１３ａ、その上部にはＮａ−Ｘ型ゼオライト１３ｂを、それぞれ充填した。第１吸着器に導入された原料空気は、水分、二酸化炭素が除去され、第２吸着器１２に導入される。本実施例では、冷却器２７による冷却を行わずに第２吸着器へ導入した。第２吸着器には、一酸化二窒素の吸着剤としてＭｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃを０．３ｍ３充填した。
【００３３】
測定器２９で測定した第１吸着器出口における原料空気中の一酸化二窒素の濃度変化を図３の三角印で示す。この条件では、第１吸着器での吸着工程開始から約６０分後に、一酸化二窒素が破過した。
【００３４】
第１吸着器の吸着工程及び再生工程は２４０分間ずつで１サイクルを４８０分間とした。第２吸着器の吸着工程は、第１吸着器の吸着工程開始６０分経過後から開始し、１８０分間行った。第２吸着器の再生工程(減圧、加熱、冷却、充圧)時間は６０分間とし、第２吸着器の１サイクルは２４０分間とした。
【００３５】
最終的に原料空気に含まれる一酸化二窒素の全量を除去することができた。
【００３６】
比較例１
比較のために、従来法による一酸化二窒素の除去例を示す。図４に示す装置において、一酸化二窒素を約０．３ｐｐｍ含む原料空気（流量３８５０Ｎｍ３／ｈ）を、原料空気圧縮機２１で約０．６ＭＰａまで昇圧し、アフタークーラー２２と冷凍機２５とで約１５℃に冷却した後、ドレン分離器２３でドレンを除去し、吸着工程を行っている吸着器（１１１Ａ又は１１１Ｂ）に導入する。各吸着器には、下部から活性アルミナ１３ａ、Ｎａ−Ｘ型ゼオライト１３ｂを前記実施例１の第１吸着器と同量充填し、更にＭｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃを積層充填した。
【００３７】
実施例１の第１吸着器と同様に、吸着器の吸着工程及び再生工程は２４０分間ずつで１サイクルを４８０分間とした。原料空気に含まれる一酸化二窒素の全量を吸着除去するためには、Ｍｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃが各吸着器に０．３ｍ３ずつ、計０．６ｍ３必要であった。比較例１では第２吸着器は用いていないが、各吸着器にＭｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃを充填しているため、各吸着器は、実施例１の第１吸着器と比較して、高さが約２６％大きくなり、一酸化二窒素用の吸着剤は２倍必要となった。
【００３８】
実施例２
図１に示した装置を用い、一酸化二窒素を約０．３ｐｐｍ含む原料空気（流量３８５０Ｎｍ３／ｈ）を、原料空気圧縮機２１で約０．６ＭＰａまで昇圧し、アフタークーラー２２で約４０℃まで冷却した後、冷凍機２５を用いないでドレンを除去し、吸着工程を行っている第１吸着器（１１Ａ又は１１Ｂ）に導入した。第１吸着器の下部には活性アルミナ１３ａを、その上部にはＮａ−Ｘ型ゼオライト１３ｂを、それぞれ充填した。
【００３９】
第１吸着器に導入された原料空気は、水分、二酸化炭素が除去され、冷却器２７で冷却後、第２吸着器１２に導入した。第２吸着器には、一酸化二窒素の吸着剤としてＭｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃを０．３ｍ３充填した。
【００４０】
測定器２９で測定した第１吸着器出口における原料空気中の一酸化二窒素の濃度変化を図３に丸印で示す。この条件では、第１吸着器での吸着工程開始から約３０分後に一酸化二窒素が破過した。
【００４１】
第１吸着器の１サイクルを２４０分間とした。第２吸着器の吸着工程は、第１吸着器の吸着工程開始６０分経過後から開始し、６０分間行った。第２吸着器の再生工程(減圧、過熱、冷却、充圧)時間は６０分間とし、第２吸着器の１サイクルは１２０分間とした。最終的に原料空気に含まれる一酸化二窒素の約８０％を除去することができた。
【００４２】
比較例２
図４に示す装置において、一酸化二窒素を約０．３ｐｐｍ含む原料空気（流量３８５０Ｎｍ３／ｈ）を、原料空気圧縮機２１で約０．６ＭＰａまで昇圧し、アフタークーラー２２で約４０℃に冷却した後、ドレン分離器２３でドレンを除去し、吸着工程を行っている吸着器（１１１Ａ又は１１１Ｂ）に導入する。各吸着器には、下部から活性アルミナ１３ａ、Ｎａ−Ｘ型ゼオライト１３ｂを実施例２の第１吸着器と同量充填し、更にＭｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃを積層充填した。
【００４３】
実施例２の第１吸着器と同様に、吸着器の１サイクルを２４０分間とした。原料空気に含まれる一酸化二窒素を８０％除去するためには、Ｍｇ−Ｘ型ゼオライト１３ｃが各吸着器に０．５５ｍ３ずつ、計１．１０ｍ３必要であった。各吸着器は、実施例２の第１吸着器と比較して、高さが約３０％高くなり、一酸化二窒素用の吸着剤は３．７倍必要となった。
【００４４】
実施例２では、一酸化窒素吸着器を一つとしたことに加えて、一酸化二窒素の吸着条件を改善することにより、一酸化二窒素吸着剤の量を減少させている。つまり、比較例２では、吸着器(１１１Ａ、１１１Ｂ)で水分、二酸化炭素が吸着除去された空気の温度は、吸着熱により数１０℃上昇する。このため、この温度条件で一酸化二窒素を吸着除去しなければならない。それに対し、本発明によれば、第１吸着器の下流に設置した冷却器２７によって一酸化二窒素の吸着温度を大幅に下げることができるので、第２吸着器での吸着条件が改善され、必要な一酸化二窒素吸着剤量を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の空気液化分離における前処理方法を実施する前処理装置の一形態例を示す系統図である。
【図２】各吸着器の運転状態を示す図である。
【図３】実施例１及び実施例２における第１吸着器出口の一酸化二窒素の濃度変化を示す図である。
【図４】比較例１，２で使用した前処理装置を示す系統図である。
【符号の説明】
【００４６】
１１Ａ，１１Ｂ…第１吸着器、１２…第２吸着器、１３ａ…活性アルミナ、１３ｂ…ゼオライト、１３ｃ…一酸化二窒素用吸着剤、２１…原料空気圧縮機、２２…アフタークーラー、２３…ドレン分離器、２４ａ，２４ｂ…入口弁、２５…冷凍機、２６ａ，２６ｂ…出口弁、２７…冷却器、２８…第１供給弁、２９…測定器、３０…第１加熱器、３１ａ，３１ｂ…再生入口弁、３２ａ，３２ｂ…再生出口弁、３３…第２加熱器、３４…第２吸着器再生入口弁、３５…第２吸着器再生出口弁、３６…第２吸着器入口弁、３７…第２吸着器出口弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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