(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状体の搬送路を形成する天板を備え、前記天板に形成された複数の孔から流体を噴出して前記板状体の少なくとも一部分を浮上させる板状体搬送装置において、
前記天板の複数の孔から搬送路側に流体を噴出させる噴出手段と、
前記天板の複数の孔から搬送路側とは反対側に流体を吸引させる吸引手段と、
前記板状体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在すると判断した場合に、前記噴出手段を作動させ、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記吸引手段を作動させる制御手段とを備えたことを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の板状体搬送装置において、前記制御手段は、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記吸引手段を間欠的に作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項３】
請求項１記載の板状体搬送装置において、前記制御手段は、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在せず且つ前記板状体が前記天板に到達する前の所定の位置に到達していないと判断した場合に、前記噴出手段及び前記吸引手段をともに停止させ、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在せず且つ前記板状体が前記天板に到達する前の所定の位置に到達したと判断した場合に、前記吸引手段を作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項記載の板状体搬送装置において、前記吸引手段によって吸引された流体が前記天板の複数の孔を通過する平均流速は、前記噴出手段によって噴出された流体が前記天板の複数の孔を通過する平均流速より速いことを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載の板状体搬送装置において、前記噴出手段及び前記吸引手段は、共通の流体機械で構成されており、前記制御手段は、前記流体機械の駆動回転方向を切り替えることで前記噴出手段及び前記吸引手段を選択的に作動させることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項６】
請求項５記載の板状体搬送装置において、前記流体機械の本体と前記天板との間の流路に設けられ流体中の異物を除去するフィルタと、前記フィルタの流体機械本体側表面の一部領域を閉塞可能な可動式の第１シャッタ群と、前記第１シャッタ群で閉塞不能な前記フィルタの流体機械本体側表面の残りの領域に対し流路断面位置が同じとなる前記フィルタの天板側表面の一部領域を閉塞可能な可動式の第２シャッタ群とを備え、前記噴出手段が作動する場合は前記第１シャッタ群が閉塞されて前記第２シャッタ群が開放され、前記吸引手段が作動する場合は前記第２シャッタ群が閉塞されて前記第１シャッタ群が開放されるように構成したことを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
板状体の搬送路を形成する天板に形成された複数の孔から流体を噴出して、前記板状体の少なくとも一部分を浮上させる搬送装置の制御方法において、
前記板状体の位置を検出し、その検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在すると判断した場合に、前記天板の複数の孔から搬送路側に流体を噴出させ、前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記天板の複数の孔から搬送路側とは反対側に流体を吸引させることを特徴とする搬送装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェハ等の板状体を搬送する板状体搬送装置及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造においては、近年、ガラス基板のサイズの大型化が進んでおり、最近では３ｍ角に達するものも計画されている。従来は、ガラス基板を搬送するために、スタッカークレーン等の搬送台車が使用されていた。この搬送台車は、複数枚のガラス基板をカセットに収容して搬送するものである。ところが、前述したようにガラス基板のサイズが大型化して搬送重量が増大すると、これに対応して搬送台車を大型化しなければならず、クリーンスペースの増大や安全性の低下などの課題が生じる。そこで、これに対応するため、例えば、ガラス基板を１枚ずつ搬送する搬送装置が提唱されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の搬送装置は、搬送方向と直交する幅方向中央部に配置された浮上チャンバと、その幅方向両側に配置され、ガラス基板の幅方向両端を支持する一対の搬送ローラ列とを備えている。浮上チャンバには、ブロアからフィルタ及びダクトホースを介して比較的低圧な気体が供給されており、その上面板に形成された多数の気体噴出小孔から気体を噴出する。これにより、浮上チャンバの上面板とガラス基板の幅方向中央部との間に気体膜が形成されて、ガラス基板の幅方向中央部を浮上させる。そして、この状態のガラス基板を搬送ローラの搬送力によって搬送するようになっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−６３６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載の搬送装置は、浮上チャンバの上面板に形成された多数の気体噴出小孔から気体を噴出して、ガラス基板の幅方向中央部を浮上させるようになっている。ところで、搬送装置が設置されるクリーンルーム内では、ダウンフローが生じており、装置等から発生した塵を床下等に排出するようになっている。しかし、搬送装置には、ダウンフローが及ばず吹き溜まりとなる領域が生じることがある。あるいは、搬送装置は、水平面積が比較的広いために雰囲気中の塵が堆積し、この堆積した塵が気体噴出の際に舞い上がることがある。そのため、ガラス基板の搬送路における塵の浮遊量がクリーンルーム内の一般的な雰囲気より多くなる可能性があった。そして、このような場合には、ガラス基板の表面に多くの塵が付着し、基板上に形成する回路の不良発生が増加する恐れがあった。
【０００６】
本発明の目的は、板状体の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる板状体搬送装置及びその制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、板状体の搬送路を形成する天板を備え、前記天板に形成された複数の孔から流体を噴出して前記板状体の少なくとも一部分を浮上させる板状体搬送装置において、前記天板の複数の孔から搬送路側に流体を噴出させる噴出手段と、前記天板の複数の孔から搬送路側とは反対側に流体を吸引させる吸引手段と、前記板状体の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在すると判断した場合に、前記噴出手段を作動させ、前記位置検出手段の検出結果に基づき前記天板上に前記板状体が存在しないと判断した場合に、前記吸引手段を作動させる制御手段とを備える。
【０００８】
このように本発明においては、例えば位置検出手段の検出結果に基づき天板上に板状体が存在すると判断した場合は、噴出手段を作動させる。これにより、天板に形成された複数の孔から流体が噴出して板状体の少なくとも一部分を浮上させることができ、板状体を搬送することができる。一方、例えば位置検出手段の検出結果に基づき天板上に板状体が存在しないと判断した場合は、吸引手段を作動させる。これにより、板状体の搬送路における雰囲気中の塵を吸引することができる。また、天板上に堆積された塵も吸引することができるので、その後の噴出手段の作動によって生じる塵の飛散を低減することができる。したがって、板状体の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、板状体の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施形態における搬送システムの全体構成を表す概略図である。
【００１２】
この図１において、例えばガラス基板１を１枚ずつ搬送する搬送システムがクリーンルーム内に設置されており、クリーンルーム内では図１中矢印Ａで示すようなダウンフローが生じている。搬送システムは、複数（図１では５つ）の搬送ユニット２と、これら搬送ユニット２を制御する制御装置３とを備えている。複数の搬送ユニット２は、ガラス基板１の搬送路を形成する略平坦な天板４をそれぞれ備えており、それら天板４がガラス基板１の搬送方向（図中左方向）に連続するように配置されている。そして、天板４のほぼ全域に亘って形成された複数の孔５（但し、図１では図示せず、後述する図３で１つのみ図示）から搬送路側（図中上側）に気体（例えば空気等）を噴出させることで、天板４とガラス基板１の幅方向（図中紙面に対し垂直方向）中央部との間に気体膜を形成し、ガラス基板１の幅方向中央部を浮上させるようになっている。また、図示しないが、搬送路から逸脱しないようにガラス基板１を案内するガイドローラと、ガラス基板１の幅方向両側端部を支持する対の搬送ローラとが設けられており、モータ等の動力によって搬送ローラを回転させることで、ガラス基板１を所定の速度で搬送するようになっている。
【００１３】
搬送ユニット２は、上記天板４と、この天板４の複数の孔５から搬送路側に気体を噴出させるか、あるいは搬送路側とは反対側（図中下側）に気体を吸引させる噴出吸引装置６と、ガラス基板１の位置を検出する位置センサ７とを備えている。天板４の搬送方向長さは、例えば、１０ｃｍ〜５０ｃｍ程度としてもよいし、１ｍ程度としてもよいし、ガラス基板１の搬送方向長さとほぼ同じ２〜３ｍ程度としてもよいし、それ以上の１０ｍ程度としてもよい。なお、本実施形態では、図示するように、天板４の搬送方向長さをガラス基板１の搬送方向長さより長くしている。
【００１４】
各搬送ユニット２の噴出吸引装置６は、例えば同期作動する複数のファン８で構成されている。ファン８は、詳細を図示しないが、羽根車及びこの羽根車を正方向又は逆方向に回転駆動可能なモータを有するファン本体と、このファン本体を収納するとともに、ファン本体と天板４との間の流路を形成するチャンバとを備えている。そして、例えば羽根車を正方向に回転させると、図中矢印Ｂで示すように、天板４の複数の孔５から気体が噴出するようになっている。一方、例えば羽根車を逆方向に回転させると、図中矢印Ｃで示すように、天板４の複数の孔５から気体が吸引されるようになっている（図中矢印Ｃ参照）。すなわち、ファン本体の回転駆動方向を切り替えることで、噴出動作及び吸引動作を選択的に行わせるようになっている。なお、ファン本体の回転駆動方向の切り替えは、例えばインバータ等（図示せず）を用いモータの電流の向きを変えることで行われる。
【００１５】
各搬送ユニット２の位置センサ７は、天板４の上流側端部位置に１つ設けられている。そのため、位置センサ７の配置間隔は、天板４の搬送方向長さと同じとなり、ガラス基板１の搬送方向長さより長くなっている。なお、位置センサ７は、例えば超音波センサ、光センサ、圧力センサ、又は荷重センサ等を採用している。
【００１６】
制御装置３は、ケーブル９等を介して位置センサ７からの検出信号を入力し、それら検出信号に対し所定の演算処理を行って、搬送ユニット２を個別に制御するようになっている。詳細には、各搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在するかどうかを、その対象となる搬送ユニット２の位置センサ７（以降、上流側の位置センサ７Ａと称す）からの検出信号と下流側に隣接する搬送ユニット２の位置センサ７（以降、下流側の位置センサ７Ｂと称す）からの検出信号に基づいて判断する。そして、例えば搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在すると判断した場合は、その対象となる搬送ユニット２の噴出吸引装置６にケーブル１０を介して指令信号を出力し、噴出吸引装置６に噴出動作を行わせる。一方、例えば搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在しないと判断した場合は、その対象となる搬送ユニット２の噴出吸引装置６にケーブル１０を介して指令信号を出力し、噴出吸引装置６に吸引動作を行わせるようになっている。このような動作の具体例を、図２を用いて以下説明する。
【００１７】
例えば図２（ａ）に示すように、対象となる搬送ユニット２の天板４の上流側端部位置にガラス基板１の前端部が到達していなければ、上流側の位置センサ７Ａの検出信号及び下流側の位置センサ７Ｂの検出信号はともにＯＦＦとなる。そして、制御装置３は、上流側の位置センサ７Aの検出信号がＯＮとなるまでは、その搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在しないと判断して、その搬送ユニット２の噴出吸引装置６に吸引動作を連続的に行わせる。その後、例えば図２（ｂ）に示すように、対象となる搬送ユニット２の天板４の上流側端部位置にガラス基板１の前端部が到達すれば、上流側の位置センサ７Aの検出信号がＯＮに切り替わる。これにより、制御装置３は、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在すると判断して、その搬送ユニット２の噴出吸引装置６に噴出動作を行わせる。その後、ガラス基板１が上流側の位置センサ７Aと下流側の位置センサ７Ｂとの間に位置すれば（前述の図１参照）、上流側の位置センサ７Ａの検出信号及び下流側の位置センサ７Ｂの検出信号はともにＯＦＦとなる。このとき、制御装置３は、噴出動作中に下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＦＦからＯＮに切り替わっていないことから、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在すると判断して、噴出動作を継続させる。その後、例えば図２（ｃ）に示すように、下流側に隣接する搬送ユニット２の天板４の上流側端部位置にガラス基板１の前端部が到達すれば、下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＮに切り替わる。さらに、例えば図２（ｄ）に示すように、下流側に隣接する搬送ユニット２の天板４の上流側端部位置をガラス基板１の後端部が通過すれば、下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＦＦに切り替わる。これにより、制御装置３は、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在しないと判断して、その搬送ユニット２の噴出吸引装置６に吸引動作を行わせる。そして、対象となる搬送ユニット２の天板４の上流側端部位置に新たなガラス基板１の前端部が到達するまで、吸引動作を継続させる。
【００１８】
このように本実施形態においては、制御装置３は、位置センサ７の検出結果に基づき、各搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在するかどうかを判断する。そして、例えば天板４上にガラス基板１が存在すると判断された搬送ユニット２においては、噴出動作を行わせる。これにより、ガラス基板１の幅方向中央部を浮上させることができ、ガラス基板１の幅方向中央部が垂れ下がることなく搬送することができる。一方、例えば天板４上にガラス基板１が存在しないと判断された搬送ユニット２においては、吸引動作を行わせる。これにより、ガラス基板１の搬送路における雰囲気中の塵を吸引することができる。また、天板４上に堆積された塵も吸引することができるため、その後の噴出動作によって生じる塵の飛散を低減することができる。その詳細を、図３を用いて以下説明する。
【００１９】
天板４は、水平面積が比較的広いために雰囲気中の塵１１ａ，１１ｂが堆積しやすくなっており、特に、噴出吸引装置６を停止させた場合は顕著となる（図３（ａ）参照）。このような状態で噴出吸引装置６に噴出動作を行わせると、天板４の孔５から噴出される気体によって孔５の周囲領域Ｄ１に堆積した塵が飛散することになる（図３（ｂ）参照）。しかし、本実施形態では、噴出吸引装置６に吸引動作を行わせることにより、孔５の周囲領域Ｄ２にある塵１１ｂが吸引されるので（図３（ｂ）参照）、その後の噴出動作によって生じる塵の飛散を低減することができる。特に、吸引動作における気体の流速（言い換えれば、天板４の複数の孔５を通過する平均流速）が噴出動作における気体の流速より速くなるように噴出吸引装置６を制御すれば、Ｄ２の面積＞Ｄ１の面積の関係となるため、前述した効果を増大させることができる。
【００２０】
したがって、本実施形態においては、ガラス基板１の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる。その結果、ガラス基板１に付着する塵を低減することができ、ガラス基板１に形成される回路の不良発生を低減することができる。
【００２１】
なお、上記第１の実施形態においては、位置センサ７は、天板４の上流側端部位置に１つ設けた場合を例にとって説明したが、これに限られない。すなわち、例えば位置センサ７の配置間隔がガラス基板１の搬送方向長さより短くなるように、複数設けてもよい。このような変形例を図４により説明する。
【００２２】
図４は、本発明の一変形例における搬送システムの全体構成を表す概略図である。この図４において、上記第１の実施形態と同等の部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２３】
本変形例では、検出センサ７の配置間隔が短くなるように、上流側の検出センサ７Ａと下流側の検出センサ７Ｂとの中間に位置するように検出センサ７Ｃを追設している。これにより、制御装置３Ａは、位置センサ７Ａ〜７Ｃの検出信号のうちのいずれか１つでもＯＮであれば、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在すると判断し、一方、位置センサ７Ａ〜７Ｃの検出信号の全てがＯＦＦであれば、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在しないと判断することができる。このような変形例においても、上記第１の実施形態同様の効果を得ることができる。
【００２４】
本発明の第２の実施形態を図５により説明する。本実施形態は、天板上にガラス基板が存在しないと判断した場合に、吸引動作を間欠的に行わせる実施形態である。なお、本実施形態において、上記第１の実施形態及び変形例と同等の部分は、適宜説明を省略する。
【００２５】
本実施形態では、制御装置３は、天板４上にガラス基板１が存在しないと判断した場合、図５に示すように、吸引動作を間欠的に行わせる（言い換えれば、吸引状態と停止状態を交互に繰り返す）。この間欠動作の時間間隔は予め設定された固定値としてもよいし、例えばガラス基板の位置等に応じて変動させるようにしてもよい。
【００２６】
以上のような実施形態においても、上記第１の実施形態同様、ガラス基板１の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる。また、本実施形態においては、消費電力の低減を図ることができる。
【００２７】
本発明の第３の実施形態を図６及び図７により説明する。本実施形態は、ガラス基板が天板に到達する前の所定のタイミングで、吸引動作を行わせる実施形態である。
【００２８】
図６は、本実施形態における搬送システムの全体構成を表す概略図である。なお、この図６において、上記第１の実施形態と同等の部分は同一符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２９】
本実施形態では、各搬送ユニット２の位置センサは、天板４の後流側端部位置に１つ設けられている。そして、制御装置３Ｂは、各搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在するかどうかを、その対象となる搬送ユニット２の位置センサ７Ｂ（以降、下流側の位置センサと称す）からの検出信号と上流側に隣接する搬送ユニット２の位置センサ７A（以降、上流側の位置センサと称す）からの検出信号に基づいて判断する。そして、位置センサ７Ａ，７Ｂの検出結果に基づいて、噴出吸引装置６に噴出動作及び吸引動作を選択的に行わせるようになっている。その詳細を、図７を用いて以下説明する。
【００３０】
例えば対象となる搬送ユニット２の上流側に隣接する搬送ユニット２の天板４の後端部位置にガラス基板１の前端部が到達していなければ、上流側の位置センサ７Ａの検出信号及び下流側の位置センサ７Ｂの検出信号はともにＯＦＦとなる。そして、制御装置３Ｂは、上流側の位置センサ７Aの検出信号がＯＮとなるまでは、対象となる搬送ユニット２の噴出吸引装置６を停止させる（図７中ブロックＴ１）。その後、例えば対象となる搬送ユニット２の天板４に到達する前の所定の位置にガラス基板１の前端部が到達すれば、上流側の位置センサ７Aの検出信号がＯＮに切り替わる。これにより、制御装置３Ｂは、所定の設定時間（詳細には、ガラス基板１の搬送速度に基づいて設定された時間であり、対象となる搬送ユニット２の天板４にガラス基板１の前端部が到達するまでの時間）だけ、対象となる搬送ユニット２の噴出吸引装置６に吸引動作を行わせる（図７中ブロックＴ２）。そして、所定の設定時間が経過すれば、対象となる搬送ユニット２の天板４にガラス基板１の前端部が到達したと判断して、その搬送ユニット２の噴出吸引装置６に噴出動作を行わせる（図７中ブロックＴ３）。その後、ガラス基板１が上流側の位置センサ７Aと下流側の位置センサ７Bとの間に位置すれば（前述の図６参照）、上流側の位置センサ７Ａの検出信号及び下流側の位置センサ７Ｂの検出信号はともにＯＦＦとなる。このとき、制御装置３Ｂは、噴出動作中に下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＦＦからＯＮに切り替わっていないことから、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在すると判断して、噴出動作を継続させる。その後、例えば対象となる搬送ユニット２の天板４の後流側端部位置にガラス基板１の前端部が到達すれば、下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＮに切り替わる。さらに、例えば対象となる搬送ユニット２の天板４の後流側端部位置をガラス基板１の後端部が通過すれば、下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＦＦに切り替わる。制御装置３Ｂは、下流側の位置センサ７Bの検出信号がＯＦＦに切り替わってから所定の設定時間が経過すれば、対象となる搬送ユニット２の天板４上にガラス基板１が存在しないものと判断して、その搬送ユニット２の噴出吸引装置６に吸引動作を行わせる。
【００３１】
以上のような本実施形態においても、上記第１及び第２の実施形態と同様、ガラス基板１の搬送路における塵の浮遊量を低減することができる。また、本実施形態においては、消費電力の低減を図ることができる。
【００３２】
なお、上記第１〜第３の実施形態においては、対象となる搬送ユニット２の天板４にガラス基板１が到達したと判断した場合に、噴出吸引装置６に噴出動作を開始させる場合を例にとって説明したが、これに限られない。すなわち、噴出吸引装置６は、吸引動作から噴出動作に切り替えて定常状態となるまでに時間を要する（図８参照）。そのため、この切り替え時間を見越して、対象となる搬送ユニット２の天板４にガラス基板１が到達する所定の時間前に、噴出動作を開始させるようにしてもよい。このような変形例においては、ガラス基板１の前端部が天板２の上流側端部に到達した直後であっても、ガラス基板１を浮上させるために十分な気体の噴出量を確実に確保することができる。また、一般に、定常状態に達するまでの時間を短縮するためには噴出吸引装置６の起動電流を大きくし、その駆動回路を大容量電流に対応させなければならないが、その必要がなくなるのでコスト低減を図ることができる。
【００３３】
本発明の第４の実施形態を図９により説明する。本実施形態は、ファン本体と天板との間の流路にフィルタを設け、このフィルタの両面にシャッタ群を設けた実施形態である。なお、本実施形態において、上記実施形態及び変形例と同等の部分は、説明を省略する。
【００３４】
図９は、本実施形態におけるファンの構造を表す概略図である。
【００３５】
本実施形態では、ファン８Ａは、羽根車１２及びこの羽根車１２を正方向又は逆方向に回転駆動可能なモータ（図示せず）を有するファン本体１３と、このファン本体１３を収納するとともに、ファン本体１３と天板４との間の流路１４を形成するチャンバ１５と、このチャンバ１５内の流路１４に設けられ気体中の塵等を除去するフィルタ１６と、フィルタ１６のファン本体１３側（図中下側）表面の一部領域（例えば全面積の半分となる領域）を閉塞可能な可動式の第１シャッタ群１７と、この第１シャッタ群１７で閉塞不能なフィルタ１６のファン本体１３側表面の残りの領域に対し流路断面位置が同じとなるフィルタ１６の天板４側（図中上側）表面の一部領域を閉塞可能な可動式の第２シャッタ群１８とを備えている。言い換えれば、フィルタ１６における第１シャッタ群１７で閉塞される領域と第２シャッタ群１８で閉塞される領域は、互いに流路断面位置が異なっている。なお、第１シャッタ群１７及び第２シャッタ群１８は、詳細を図示しないが、例えば気流の作用によって自然に開閉するように構成してもよいし、あるいは例えば制御装置３からの指令に応じて駆動する開閉駆動機構を介し開閉するように構成してもよい。
【００３６】
そして、例えば図９（ａ）で示すように羽根車１２を正方向に回転する場合は、第１シャッタ群１７を閉塞状態とし、第２シャッタ群１８を開放状態とする。これにより、ファン本体１３からチャンバ１５内の流路１４に送気された気体は、フィルタ１６における第１シャッタ群１７で閉塞されていない領域を通過し、天板４の複数の孔５から搬送路側（図中上側）に噴出される。このとき、フィルタ１６を通過する気体中の塵は、第１シャッタ群１７で閉塞されていない流路断面位置の領域で補足される。一方、例えば図９（ｂ）で示すように羽根車１２を逆方向に回転する場合は、第１シャッタ群１７を開放状態とし、第２シャッタ群１８を閉塞状態とする。これにより、天板４の複数の孔５からチャンバ１５内の流路１４に吸引された気体は、フィルタ１６における第２シャッタ群１８で閉塞されていない領域を通過する。このとき、フィルタ１６を通過する気体中の塵は、第２シャッタ群１８で閉塞されていない流路断面位置の領域で補足される。したがって、気体噴出中及び気体吸引中のいずれの場合も共通のフィルタ１６で塵を補足することができ、補足した塵が再飛散することもほとんどない。
【００３７】
なお、以上においては、噴出吸引装置６は、複数のファン８又は８Ａで構成した場合を例にとって説明したが、これに限られず、ファン以外の流体機械で構成してもよい。例えば図１０に示すように、噴出吸引装置６Ａは、１つのブロア１９と、このブロア１９と天板４との間に接続されたチャンバ２０とで構成し、ブロア１９の回転駆動方向を切り替えることで噴出動作及び吸引動作を選択的に行うようにしてもよい。このような場合も、上記同様の効果を得ることができる。また、噴出手段及び吸引手段を共通の流体機械で構成するものとして、噴出吸引装置６又は６Ａを設けた場合を例にとって説明したが、これに限られず、例えば噴出手段及び吸引手段を別々の流体機械で構成するようにしてもよい。このような場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００３８】
また、搬送システムは、天板４の複数の孔５から気体を噴出してガラス基板１の幅方向中央部を浮上させる搬送ユニット２と、ガラス基板１の幅方向両側端部を支持するとともに搬送力を付与する搬送ローラとを備えた構成を例にとって説明したが、これに限られない。すなわち、ガラス基板１の幅方向両側端部を支持する支持機構として、搬送ローラに代えて、例えば搬送力を付与しない従動ローラを設けてもよいし、ローラ以外のものを設けてもよい。また、例えばガラス基板１の幅方向両側端部を支持する支持機構を設けないで、搬送ユニットからの気体の噴出によってガラス基板１全体を浮上させるような構成としてもよい。また、例えば搬送ユニットにおける気体の噴出方向や噴出分布を制御して搬送力を付与するようにしてもよい。これらの場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００３９】
また、ガラス基板１を搬送する場合を例にとって説明したが、これに限られず、ガラス基板１以外の板状体を搬送する場合に適用してもよいことは言うまでもない。また、搬送ユニット２は、気体を噴出又は吸引する構成を例にとって説明したが、これに限られず、例えば液体を噴出又は吸引する構成としてもよいことは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１の実施形態における搬送システムの全体構成を表す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における搬送システムの動作を説明するための概略図である。
【図３】本発明の第１の実施形態の作用効果を説明するための天板の部分拡大斜視図である。
【図４】本発明の一変形例における搬送システムの全体構成を表す概略図である。
【図５】本発明の第２の実施形態における噴出吸引装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図６】本発明の第３の実施形態における搬送システムの全体構成を表す概略図である。
【図７】本発明の第３の実施形態における噴出吸引装置の動作を説明するためのタイムチャートである。
【図８】噴出吸引装置の切り替え動作を説明するためのタイムチャートである。
【図９】本発明の第４の実施形態におけるファンの構造を表す概略図である。
【図１０】本発明の他の変形例における搬送システムの全体構成を表す概略図である。
【符号の説明】
【００４１】
１    ガラス基板
２    搬送ユニット
３，３Ａ，３Ｂ  制御装置（制御手段）
４    天板
５    孔
６，６Ａ  噴出吸引装置（噴出手段、吸引手段）
７，７Ａ，７Ｂ，７Ｃ  位置センサ（位置検出手段）
８，８Ａ  ファン
１３  ファン本体
１４  流路
１６  フィルタ
１７  第１シャッタ群
１８  第２シャッタ群
１９  ブロア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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