(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の液滴吐出ヘッドと、前記複数の液滴吐出ヘッドと基板とを対向配置させた状態で相対的に移動させる移動手段とを備えた液滴吐出装置を用い、前記基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を含む描画領域に、前記移動手段による複数回の主走査に同期して、色要素材料を含む複数種の液状体を前記複数の液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して複数種の色要素を描画形成する色要素の形成方法であって、
前記描画領域を複数の部分描画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少なくとも１回の主走査により描画する第１の描画工程と、
前記第１の描画工程で描画された前記少なくとも１つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返して描画する第２の描画工程と、を備え、
１回の主走査では、１つの前記色要素領域に前記色要素を形成するために必要な前記液状体の総量を分割した吐出量とし、かつ、前記第２の描画工程では、前記第１の描画工程に比べて前記色要素領域への着弾数を変えることで、１回の主走査で吐出する前記液状体の吐出量を減少させて吐出描画することを特徴とする色要素の形成方法。
【請求項２】
前記第２の描画工程では、前記少なくとも１つの部分描画領域をさらに仮想分割した分割領域の一を主走査により描画し、所定の時間を置いて、残りの分割領域を描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返して行うことを特徴とする請求項１に記載の色要素の形成方法。
【請求項３】
前記第１の描画工程と前記第２の描画工程の間に、前記少なくとも１つの部分描画領域以外の他の部分描画領域を少なくとも１回の主走査で描画することで、前記所定の時間を置く工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の色要素の形成方法。
【請求項４】
前記第１の描画工程と前記第２の描画工程の間に、前記少なくとも１つの部分描画領域以外の他の部分描画領域を少なくとも２回の主走査で描画することで、前記所定の時間を置く工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の色要素の形成方法。
【請求項５】
前記描画領域を３分割以上の部分描画領域に仮想分割し、前記第１の描画工程と前記第２の描画工程の間に、１つの部分描画領域以外の他の部分描画領域のすべてを１回ずつ描画することで、前記所定の時間を置く工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の色要素の形成方法。
【請求項６】
前記第１の描画工程では、前記少なくとも１つの部分描画領域に含まれる前記複数の色要素領域のうち、互いに隣接しない前記色要素領域に前記液状体を吐出して描画し、前記第２の描画工程では、前記第１の描画工程で前記液状体が吐出されなかった前記色要素領域に前記液状体を吐出して描画することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の色要素の形成方法。
【請求項７】
前記第１の描画工程では、前記少なくとも１つの部分描画領域に含まれる前記複数の色要素領域のそれぞれに、前記液状体を間隔を置いて複数着弾させて描画し、前記第２の描画工程では、前記第１の描画工程で前記液状体が着弾していない前記複数の色要素領域のそれぞれの部位に前記液状体を着弾させて描画することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の色要素の形成方法。
【請求項８】
一対の基板を有すると共に少なくとも一方の前記基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置の製造方法であって、
請求項１ないし７のいずれか一項に記載の色要素の形成方法を用いて、前記基板上の前記複数の色要素領域に、色要素材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画する色要素描画工程と、
描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
複数の液滴吐出ヘッドと、前記複数の液滴吐出ヘッドと基板とを対向配置させた状態で相対的に移動させる移動手段を備え、前記基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を含む描画領域に、前記移動手段による複数回の主走査に同期して、色要素材料を含む複数種の液状体を前記複数の液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出装置であって、
前記描画領域を複数の部分描画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少なくとも１回の主走査により描画する第１の描画と、前記第１の描画で描画された前記少なくとも１つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返して描画する第２の描画を制御する描画制御手段を備え、
１回の主走査では、１つの前記色要素領域に前記色要素を形成するために必要な前記液状体の総量を分割した吐出量とし、かつ、前記第２の描画では、前記第１の描画に比べて前記色要素領域への着弾数を変えることで、１回の主走査で吐出する前記液状体の吐出量を減少させて吐出描画することを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置を用いた色要素の形成方法、並びに電気光学装置の製造方法、
電気光学装置及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板上に機能性材料を含む液状体を液滴として吐出描画する液滴吐出装置として、イン
クジェットプリンタのインクジェットヘッドを機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）と
して用い、複数の機能液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを介して複数の機能液滴吐
出ヘッドを主走査方向および副走査方向に移動させる移動手段を備えた描画装置が知られ
ている（特許文献１）。
【０００３】
この描画装置は、副走査方向に均等に区分したワーク（基板）上の複数の仮想分割部位
に対応して、複数の機能液滴吐出へッドを副走査方向に分散してキャリッジに搭載してい
る。また、複数の機能液滴吐出ヘッドにより、複数の仮想分割部位に対して副走査方向の
中間部位から両外側部位に向かって、略同時並行的に液状体を吐出して描画を行うもので
ある。これにより、複数の仮想分割部位の両外側部位を先に描画する場合に比べて、両外
側部位における着弾した液状体から溶剤が気化する時期を遅らせて、乾燥処理前の溶剤の
気化量が基板上の位置によって大きく異なることを低減しようとするものである。すなわ
ち、乾燥後の機能性材料からなる成膜部の乾燥ムラをより低減しようとするものである。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２６７９２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の描画装置を用いて、例えば、３色の色要素（絵素）を有する
カラーフィルタを成膜する場合は、色要素材料を含む液状体を基板上の所定の描画領域に
吐出して描画する描画装置が１色につき１台、すなわち３台必要であった。また、基板を
各描画装置に給除材する時間や位置決めする時間に加えて、１つの描画装置で描画を行っ
た後に、次の描画装置で描画を行う前に乾燥装置により乾燥を行っていたため、すべての
色要素を描画するまでに時間を要するという課題を有していた。
【０００６】
上記課題を解決するために、同一の描画装置内で、すべての色要素を描画することが考
えられる。しかしながら、描画工程中の乾燥が省かれるため、異なる色要素材料を含む複
数種の液状体が基板に着弾して表面張力により盛り上がった状態では、異種の液状体同士
が混じり合って混色を引き起こす可能性があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、複数種の液状体を略同時に吐出し
て描画することができ、且つ混色が起き難い色要素の形成方法、並びにこの形成方法を用
いた電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする
。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の色要素の形成方法は、複数の液滴吐出ヘッドと、複数の液滴吐出ヘッドと基板
とを対向配置させた状態で相対的に移動させる移動手段とを備えた液滴吐出装置を用い、
基板上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を含む描画領域に、移動
手段による複数回の主走査に同期して、色要素材料を含む複数種の液状体を複数の液滴吐
出ヘッドのノズルから吐出して複数種の色要素を描画形成する色要素の形成方法であって
、描画領域を複数の部分描画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少な
くとも１回の主走査により描画する第１の描画工程と、第１の描画工程で描画された少な
くとも１つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以
上繰り返して描画する第２の描画工程と、を備え、１回の主走査では、１つの色要素領域
に色要素を形成するために必要な液状体の総量を分割した吐出量で吐出描画することを特
徴とする。
【０００９】
この方法によれば、第１の描画工程では、複数の色要素領域を含む描画領域を複数の部
分描画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少なくとも１回の主走査に
より描画する。そして、第２の描画工程では、第１の描画工程で描画された少なくとも１
つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返
して描画する。また、１回の主走査では、１つの色要素領域に色要素を形成するために必
要な液状体の総量を分割した吐出量で吐出描画される。したがって、第１の描画工程で描
画された少なくとも１つの部分描画領域に着弾した複数種の液状体は、各色要素領域に濡
れ拡がって表面張力により盛り上がるが、吐出量が必要な総量に対して分割されているた
め、各色要素領域を区画する隔壁部を乗り越えて異なる色要素を含む液状体が互いに混じ
り合うことが低減される。また、第２の描画工程では、再描画されるまでに所定の時間が
置かれるため、第１の描画工程で吐出された液状体の乾燥が進み減膜するので、繰り返し
主走査が行われても液状体の盛り上がりが抑制されて異なる色要素を含む液状体が混じり
合うことが低減される。すなわち、同一の液滴吐出装置により、複数種の液状体を吐出描
画しても、混色が起き難い色要素の形成方法を提供することができる。
【００１０】
また、上記第２の描画工程では、少なくとも１つの部分描画領域をさらに仮想分割した
分割領域の一を主走査により描画し、所定の時間を置いて、残りの分割領域を描画する主
走査を少なくとも１回以上繰り返して行うことが好ましい。
【００１１】
この方法によれば、第２の描画工程では、第１の描画工程で描画された少なくとも１つ
の部分描画領域をさらに仮想分割して、所定の時間を置いて分割領域の一を主走査により
描画し、再び所定の時間を置いて残りの分割領域を描画する。したがって、残りの分割領
域では、第１の描画工程で着弾した液状体がより長い時間を置いて乾燥が進んだ状態で、
第２の描画工程において再び描画される。ゆえに液状体の乾燥が進んだ残りの分割領域に
さらに液状体を繰り返し着弾させても、色要素領域内で盛り上がった、異なる種類の液状
体が隔壁部を越えて混じり合うことが確率的に低下する。よって、同一の液滴吐出装置に
より、複数種の液状体を吐出描画しても、より混色が起き難い色要素の形成方法を提供す
ることができる。
【００１２】
また、上記第１の描画工程と第２の描画工程の間に、上記少なくとも１つの部分描画領
域以外の他の部分描画領域を少なくとも１回の主走査で描画することで、所定の時間を置
く工程を備えることが好ましい。
【００１３】
この方法によれば、第１の描画工程の後に、ほとんど間を置かずに第２の描画工程を実
施する場合に比べて、他の部分描画領域を少なくとも１回の主走査で描画する所定の時間
を置く工程の間に、第１の描画工程で吐出された液状体の乾燥を進めることができる。よ
って、より混色が起き難い色要素の形成方法を提供することができる。
【００１４】
また、上記第１の描画工程と第２の描画工程の間に、上記少なくとも１つの部分描画領
域以外の他の部分描画領域を少なくとも２回の主走査で描画することで、所定の時間を置
く工程を備えてもよい。
【００１５】
この方法によれば、第１の描画工程の後に、他の部分描画領域を少なくとも２回の主走
査で描画するより長い所定の時間を置く工程を実施してから第２の描画工程が行われる。
よって、第１の描画工程で吐出された液状体の乾燥がより進行して減膜することになり、
より混色が起き難い色要素の形成方法を提供することができる。
【００１６】
また、上記描画領域を３分割以上の部分描画領域に仮想分割し、上記第１の描画工程と
第２の描画工程の間に、１つの部分描画領域以外の他の部分描画領域のすべてを１回ずつ
描画することで、所定の時間を置く工程を備えてもよい。
【００１７】
この方法によれば、描画領域は３分割以上の部分描画領域に仮想分割されるので、第２
の描画工程は、他の部分描画領域のすべてを１回ずつ描画した後、すなわち２回以上の主
走査で描画する所定の時間を置いて行われる。したがって、第１の描画工程で吐出された
液状体の乾燥がより進行して減膜することになり、より混色が起き難い色要素の形成方法
を提供することができる。
【００１８】
また、上記第２の描画工程では、第１の描画工程に比べて１回の主走査で吐出する液状
体の吐出量を徐々に減少させて描画することが好ましい。
【００１９】
この方法によれば、１つの色要素領域に色要素を形成するために必要な液状体の総量を
単純に主走査回数で分割した吐出量で液状体を吐出する場合に比べて、着弾して濡れ拡が
った液状体により、隔壁部で区画された各色要素領域の容量が徐々に減少するが、同一色
要素領域内に繰り返し吐出される液状体の量が低下してゆくため、液状体の盛り上がり方
が後に行くほど抑制され、異なる種類の液状体が隔壁部を乗り越えて互いに混じり合うこ
とをより低減することができる。
【００２０】
また、上記第１の描画工程では、少なくとも１つの部分描画領域に含まれる複数の色要
素領域のうち、互いに隣接しない色要素領域に液状体を吐出して描画し、第２の描画工程
では、第１の描画工程で液状体が吐出されなかった色要素領域に液状体を吐出して描画す
ることが好ましい。
【００２１】
この方法によれば、第１の描画工程では、互いに隣接しない色要素領域に液状体が吐出
され、第２の描画工程では、第１の描画工程で吐出されなかった色要素領域を埋めるよう
に液状体が吐出される。よって、第１の描画工程では隣り合う色要素領域には液状体が吐
出されないので、隣り合う色要素領域間での異なる種類の液状体の混じり合いが低減され
る。また、第２の描画工程は、所定の時間を置いてから行われ、第１の描画工程で吐出さ
れた液状体の乾燥が進んだ状態で、再び液状体が吐出される。よって隣接する色要素領域
間で混色が発生することをより低減することができる。
【００２２】
また、上記第１の描画工程では、少なくとも１つの部分描画領域に含まれる複数の色要
素領域のそれぞれに、液状体を間隔を置いて複数着弾させて描画し、第２の描画工程では
、第１の描画工程で液状体が着弾していない複数の色要素領域のそれぞれの部位に液状体
を着弾させて描画してもよい。
【００２３】
この方法によれば、第２の描画工程では、第１の描画工程で液状体が着弾していない複
数の色要素領域のそれぞれに液状体を着弾させて描画する。したがって、第２の描画工程
で吐出された液状体は、第１の描画工程で吐出された液状体に重なり合って着弾しないの
で、着弾した液状体の盛り上がりを低減することができる。すなわち、盛り上がった液状
体が隔壁部を越えて異なる種類の液状体と混色することを低減することができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法は、一対の基板を有すると共に少なくとも一方の基板
上に配置された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を有する電気光学パネルを備
えた電気光学装置の製造方法であって、上記発明の色要素の形成方法を用いて、基板上の
複数の色要素領域に、色要素材料を含む複数種の液状体を吐出して複数種の色要素を描画
する色要素描画工程と、描画された色要素を乾燥して成膜化する成膜工程と、を備えたこ
とを特徴とする。
【００２５】
この方法によれば、色要素描画工程では、混色が起き難い色要素の形成方法を用いて複
数種の液状体が基板上の複数の色要素領域に吐出され複数種の色要素が描画される。そし
て、成膜工程では、描画された色要素を乾燥して成膜化される。したがって、混色による
色ムラや表示ムラの発生を低減して歩留まりよく電気光学装置を製造することができる。
【００２６】
本発明の電気光学装置は、一対の基板を有すると共に少なくとも一方の基板上に配置さ
れた隔壁部によって区画された色要素領域を有する電気光学パネルを備えた電気光学装置
であって、上記発明の電気光学装置の製造方法を用いて、基板上の複数の色要素領域に、
複数種の色要素が形成されたことを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、電気光学パネルの基板上の複数種の色要素は、混色が起き難い電気
光学装置の製造方法を用いて製造されているため、混色による色ムラや表示ムラの発生が
低減された高い表示品質を有する電気光学装置を提供することができる。
本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置を備えたこと特徴とする。これによれば
、混色による色ムラや表示ムラの発生が低減された高い表示品質を有する電気光学装置を
備えているため、表示された画像等の情報を正しく認識することができる電子機器を提供
することができる。
【００２８】
また、本発明の液滴吐出装置は、複数の液滴吐出ヘッドと、前記複数の液滴吐出ヘッド
と基板とを対向配置させた状態で相対的に移動させる移動手段を備え、前記基板上に配置
された隔壁部によって区画された複数の色要素領域を含む描画領域に、前記移動手段によ
る複数回の主走査に同期して、色要素材料を含む複数種の液状体を前記複数の液滴吐出ヘ
ッドのノズルから吐出して複数種の色要素を描画形成する液滴吐出装置であって、前記描
画領域を複数の部分描画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少なくと
も１回の主走査により描画する第１の描画と、前記第１の描画工程で描画された前記少な
くとも１つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以
上繰り返して描画する第２の描画を制御する描画制御手段を備え、１回の主走査では、１
つの前記色要素領域に前記色要素を形成するために必要な前記液状体の総量を分割した吐
出量で吐出描画することを特徴とする。
この構成によれば、第１の描画では、複数の色要素領域を含む描画領域を複数の部分描
画領域に仮想分割して、少なくとも１つの部分描画領域を少なくとも１回の主走査により
描画する。そして、第２の描画では、第１の描画で描画された少なくとも１つの部分描画
領域を、所定の時間を置いて再描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返して描画する
。また、１回の主走査では、１つの色要素領域に色要素を形成するために必要な液状体の
総量を分割した吐出量で吐出描画される。したがって、第１の描画で描画された少なくと
も１つの部分描画領域に着弾した複数種の液状体は、各色要素領域に濡れ拡がって表面張
力により盛り上がるが、吐出量が必要な総量に対して分割されているため、各色要素領域
を区画する隔壁部を乗り越えて異なる色要素を含む液状体が互いに混じり合うことが低減
される。また、第２の描画では、再描画されるまでに所定の時間が置かれるため、第１の
描画で吐出された液状体の乾燥が進み減膜するので、繰り返し主走査が行われても液状体
の盛り上がりが抑制されて異なる色要素を含む液状体が混じり合うことが低減される。す
なわち、複数種の液状体を吐出描画しても、混色が起き難い液滴吐出装置である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の実施形態は、色要素材料を含む複数種の液状体を液滴として吐出可能な液滴吐
出装置を用いて、電気光学装置としての液晶表示装置を構成する液晶表示パネルにおいて
、基板上の色要素領域に色要素としてのカラーフィルタを描画形成する色要素の形成方法
を例に説明する。
【００３０】
（液滴吐出装置）
まず、液滴吐出装置について図１〜図３を基に説明する。図１は、液滴吐出装置の構造
を示す概略斜視図である。
【００３１】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、ワークとしての基板Ｗを載置してＸ軸方向（主
走査方向）に移動させるワーク移動手段２と、複数（２つ）のキャリッジユニット５をＹ
軸方向（副走査方向）に移動させるヘッド移動手段３とを備えている。複数のキャリッジ
ユニット５には、複数の液滴吐出ヘッド５２（図２参照）が基板Ｗと対向するように搭載
されたキャリッジ５１（図３参照）がそれぞれ備えられている。また、ワーク移動手段２
による基板ＷのＸ軸方向への移動（主走査）に同期して、複数の液滴吐出ヘッドを選択的
に駆動して複数種の液状体を基板Ｗ上に吐出させる描画制御手段としての制御部４（図４
参照）を備えている。この制御部４により、描画領域を複数の部分描画領域に仮想分割し
て、少なくとも１つの部分描画領域を少なくとも１回の主走査により行なう描画や、少な
くとも１回は描画された少なくとも１つの部分描画領域を、所定の時間を置いて再描画す
る主走査を少なくとも１回以上繰り返して行なう描画を制御する。
【００３２】
ワーク移動手段２は、基板Ｗが載置されるセットテーブル２４と、セットテーブル２４
をエアスライダ（図示省略）を介してＸ軸方向に移動させるリニアモータ２２を備えた一
対のＸ軸ガイドレール２３とを有している。一対のＸ軸ガイドレール２３は、床上に設置
された共通架台９上に載置されＸ軸方向に延在する石定盤２１上に配設されている。
【００３３】
セットテーブル２４には、基板Ｗが真空吸着して固定される吸着テーブル（図示省略）
と、基板Ｗの表面が複数の液滴吐出ヘッド５２と所定の間隔を置いて精度よく対向するよ
うに基板Ｗの水平調整および角度調整が可能なθテーブル（図示省略）とを備えている。
【００３４】
ヘッド移動手段３は、複数のキャリッジユニット５をエアスライダ（図示省略）を介し
てＹ軸方向に移動させるリニアモータ３１を備えた一対のＹ軸ガイドレール３２を有して
いる。一対のＹ軸ガイドレール３２は、共通架台９上に間隔を置いて立脚した８本の支持
スタンド８上にワーク移動手段２を跨ぐように配設されている。
【００３５】
一対のＹ軸ガイドレール３２の間には、キャリッジ５１に搭載された複数の液滴吐出ヘ
ッド５２のノズルの目詰まりの解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを
行うメンテナンス手段１４が、複数の液滴吐出ヘッド５２を臨む位置に配設されている。
【００３６】
キャリッジユニット５は、一対のＹ軸ガイドレール３２に差し渡されるようにして配置
されている。差し渡されたキャリッジユニット５のプレート上には、各液状体が貯留され
たタンクから配管を経由して送り込まれた液状体を所定量貯留して、各液滴吐出ヘッド５
２に液状体を供給する液状体供給ユニット６と、各液滴吐出ヘッド５２を駆動するための
電気信号を供給するヘッド用電装ユニット７とが、載置されている。
【００３７】
次に液滴吐出ヘッドについて図２に基づいて説明する。図２は、液滴吐出ヘッドを示す
概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である
。
【００３８】
図２（ａ）に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッド５２は、所謂２連のものであり
、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板
５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本
体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給ユニット６に配管を経由して
接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラッ
トケーブル（図示省略）を介して前述のヘッド用電装ユニット７に接続される２連のコネ
クタ５９が設けられている。
【００３９】
ヘッド本体５６は、ピエゾ素子等で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズ
ル面５８ａに２つのノズル列６２，６２が相互に平行に形成されたノズルプレート５８と
を有している。
【００４０】
図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列６２，６２は、それぞれ複数（１８０個）の
ノズル６１がピッチＰ１で並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた
状態でノズルプレート５８に配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４０μ
ｍである。よって、ノズル列６２に直交する方向から見ると３６０個のノズル６１がおよ
そ７０μｍのノズルピッチ（Ｐ２）で配列した状態となっている。尚、実際の液状体の吐
出の際には、ノズル列６２の両端側の１０個のノズル６１を用いていない。これは、両端
側に位置するノズル６１からの吐出量が他のノズル６１に比べて安定しにくいことを考慮
したものである。したがって、２つのノズル列６２，６２を有する液滴吐出ヘッド５２の
有効ノズルの全長は、ピッチＰ２×３１９（およそ２２ｍｍ）である。
【００４１】
液滴吐出ヘッド５２は、ヘッド用電装ユニット７から電気信号としての駆動波形がピエ
ゾ素子等に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ
作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル６１から液状体を液滴として吐
出することができる。尚、本実施形態の液滴吐出ヘッド５２は、２連のノズル列６２を有
しているが、これに限定されず１連のものでもよい。また、以降に述べるノズル列６２と
は、有効ノズルの列を指すものとする。
【００４２】
次に、キャリッジについて図３に基づいて説明する。図３は、液滴吐出ヘッドが搭載さ
れたキャリッジを示す概略平面図である。詳しくは、ノズル面５８ａを臨む平面図である
。
【００４３】
図３に示すように、キャリッジ５１は、平行四辺形の平面形状となっており、３つの液
滴吐出ヘッド５２を１つの群として、４つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃ，５２Ｄが
、副走査方向（Ｙ軸方向）と主走査方向（Ｘ軸方向）とにそれぞれ２群ずつ配置されてい
る。そして、主走査方向に配列した２つのヘッド群５２Ａ，５２Ｂと、もう２つのヘッド
群５２Ｃ，５２Ｄとの間には、間隔が設けられている。
【００４４】
ヘッド群５２Ａは、それぞれ異なる種類の液状体を吐出するヘッドＲ１、ヘッドＧ１お
よびヘッドＢ１の３つの液滴吐出ヘッド５２がＹ軸方向に並列して配置されたものである
。そして、各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の端部の位置がＹ軸方向において互いに
ずれて配置されている。この場合のずれ量は、（ピッチＰ２×３２０）／３すなわち有効
ノズルの全長に１ノズルピッチ加えたものの１／３となっている。他のヘッド群５２Ｂ，
５２Ｃ，５２Ｄにおける液滴吐出ヘッド５２の配置も同様である。
【００４５】
さらに、ヘッド群５２Ａとヘッド群５２Ｂとにおいて、同一種類の液状体を吐出する液
滴吐出ヘッド５２（例えば、ヘッドＲ１とヘッドＲ２）のノズル列６２は、主走査方向か
ら見て、１ノズルピッチを置いて連続するように配置されている。また、ヘッド群５２Ｂ
とヘッド群５２Ｃとにおいて、主走査方向から見て、最も近接して位置する同一種類の液
状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長に１ノ
ズルピッチを加えた長さに、主走査方向（Ｘ軸方向）に配列するヘッド群の数を乗じた値
の自然数倍の値に１ノズルピッチ加えた長さとなるように設定されたものである。すなわ
ち、例えば、ヘッドＲ２とヘッドＲ３の各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔は、
有効ノズルの全長（Ｐ２×３１９）に１ノズルピッチ（Ｐ２）を加えたものの２倍に１ノ
ズルピッチ（Ｐ２）、すなわち（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ２となっている。
【００４６】
また、２つのキャリッジ５１，５１の間隔Ｌ１は、異なるキャリッジ５１に配置された
複数の液滴吐出ヘッド５２のうち、主走査方向から見て、最も近接して位置する同一種類
の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、ノズル列６２の全長に
１ノズルピッチを加えた長さに、主走査方向（Ｘ軸方向）に配列するヘッド群の数を乗じ
た値の自然数倍の値に１ノズルピッチ加えた長さとなるように設定されている。例えば、
ヘッドＲ４とヘッドＲ５の各液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２の間隔が、（Ｐ２×３２
０）×２＋Ｐ２となるように間隔Ｌ１が設定されている。
【００４７】
キャリッジ５１を用いて、Ｘ軸方向への主走査とＹ軸方向へ（Ｐ２×３２０）×２＋Ｐ
２の間隔で移動させる副走査とを繰り返して行えば、副走査方向に連続した描画幅で、３
種の異なる液状体を吐出することが可能となる。詳しい吐出描画の方法については、後述
する。
【００４８】
次に液滴吐出装置１の制御系について説明する。図４は、液滴吐出装置の制御系を示す
ブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置１の制御系は、キーボード１２とデ
ィスプレイ１３とが本体１１に接続された上位コンピュータ１０と、液滴吐出ヘッド５２
、ワーク移動手段２、ヘッド移動手段３、メンテナンス手段１４等を駆動する各種ドライ
バを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め液滴吐出装置１全体を統括制御する制御部４
とを備えている。
【００４９】
駆動部４６は、ワーク移動手段２およびヘッド移動手段３の各リニアモータ２２，３１
をそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、液滴吐出ヘッド５２を吐出駆動制御する
ヘッドドライバ４８と、メンテナンス手段１４の各メンテ用ユニットを駆動制御するメン
テナンス用ドライバ４９とを備えている。
【００５０】
制御部４は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、
これらは互いにバス４５を介して接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する
制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理等を行うた
めの制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００５１】
ＲＡＭ４３は、基板Ｗに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、基
板Ｗおよび液滴吐出ヘッド５２の位置データを記憶する位置データ記憶部等の各種記憶部
を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部
４６の各種ドライバのほか、ワーク認識カメラ１５やヘッド認識カメラ１６等が接続され
ており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うた
めの論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピ
ュータ１０からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、Ｃ
ＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１等からバス４５に出力されたデータや制御信号を、その
ままあるいは加工して駆動部４６に出力する。
【００５２】
そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介
して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ４３内の各種データ等を処
理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６等に各種の制御信号を出力することにより
、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、液滴吐出ヘッド５２、ワ
ーク移動手段２およびヘッド移動手段３を制御して、所定の描画条件および所定の移動条
件で、基板Ｗと液滴吐出ヘッド５２との相対的な移動（複数回の主走査）に同期して、基
板Ｗに対向配置された複数の液滴吐出ヘッド５２のノズル６１から液状体を吐出させて描
画を行う。また、１回の主走査により液滴吐出ヘッド５２の各ノズル６１から吐出される
液滴の量をヘッドドライバ４８からの制御信号に基づいて駆動波形を選択することにより
可変することが可能である。
【００５３】
（液晶表示装置）
次に本実施形態の電気光学装置としての液晶表示装置について図５に基づいて説明する
。図５は、液晶表示装置の構造を示す概略斜視図である。図５に示すように、本実施形態
の液晶表示装置１００は、ＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）透過型の液晶表示パネル１
２０と、液晶表示パネル１２０を照明する照明装置１１６とを備えている。液晶表示パネ
ル１２０は、色要素としてのカラーフィルタを有する対向基板１０１と、画素電極１１０
に３端子のうちの１つが接続されたＴＦＴ素子１１１を有する素子基板１０８と、一対の
対向基板１０１、素子基板１０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。
また、液晶表示パネル１２０の外面側となる一対の対向基板１０１、素子基板１０８の表
面には、透過する光を偏向させる上偏光板１１４と下偏光板１１５とが配設される。
【００５４】
対向基板１０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部１０４
によってマトリクス状に区画された複数の色要素領域に、複数種の色要素としてＲＧＢ３
色のカラーフィルタ１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂが形成されている。隔壁部１０４は、
Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれ
る下層バンク１０２と、下層バンク１０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合
物からなる上層バンク１０３とにより構成されている。また対向基板１０１は、隔壁部１
０４と隔壁部１０４によって区画されたカラーフィルタ１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂと
を覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）１０６と、ＯＣ層１０６を覆うよう
に形成されたＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極１０７と
を備えている。カラーフィルタ１０５Ｒ，１０５Ｇ，１０５Ｂは後述する液晶表示装置の
製造方法を用いて製造されている。
【００５５】
素子基板１０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜
１０９を介してマトリクス状に形成された画素電極１１０と、画素電極１１０に対応して
形成された複数のＴＦＴ素子１１１とを有している。ＴＦＴ素子１１１の３端子のうち、
画素電極１１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極１１０を
囲むように格子状に配設された走査線１１２とデータ線１１３とに接続されている。
【００５６】
照明装置１１６は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これら
の光源からの光を液晶表示パネル１２０に向かって出射することができる導光板や拡散板
、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。
【００５７】
尚、液晶表示パネル１２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子に限らずＴＦＤ（Thin
Film  Diode）素子を有したものでもよく、さらには、少なくとも一方の基板にカラー
フィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置される
パッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上偏光板１１４、下偏光板１１５は、視角依
存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わ
されたものでもよい。
【００５８】
（液晶表示装置の製造方法）
次に本発明の色要素の形成方法を用いた液晶表示装置の製造方法について、図６〜図１
２に基づいて説明する。図６は、液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
図７（ａ）〜（ｇ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図である。
【００５９】
図６に示すように、本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法は、対向基板１０１の
表面に隔壁部１０４を形成する工程と、隔壁部１０４によって区画された色要素領域を表
面処理する工程とを備えている。また、液滴吐出装置１を用いて表面処理された色要素領
域に色要素形成材料としてのカラーフィルタ形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与
して、カラーフィルタ１０５を描画する色要素描画工程としての第１の描画工程および第
２の描画工程と、描画されたカラーフィルタ１０５を乾燥して成膜化する成膜工程とを備
えている。さらに隔壁部１０４とカラーフィルタ１０５とを覆うようにＯＣ層１０６を形
成する工程と、ＯＣ層１０６を覆うように透明な対向電極１０７を形成する工程とを備え
ている。
【００６０】
液滴吐出装置１を用いて色要素を描画形成する場合、実際の液晶表示パネル１２０の対
向基板１０１の製造工程では、１つの液晶表示パネル１２０に対応する対向基板１０１が
マトリクス状に配置されるよう設計されたマザー基板が用いられる。昨今、マザー基板は
、大画面の液晶表示パネル１２０の製造、またこれを効率的かつ安価に製造するために大
型化している。このような大型のマザー基板に複数種の色要素としてのカラーフィルタを
形成する方法として、カラーフィルタ材料を無駄なく使用してカラーフィルタを効率的に
形成するために液滴吐出法を用いている。
【００６１】
図６のステップＳ１は、隔壁部１０４を形成する工程である。ステップＳ１では、図７
（ａ）に示すように、まずブラックマトリクスとしての下層バンク１０２を対向基板１０
１上に形成する。下層バンク１０２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｌ等の不透明な金
属、あるいはこれらの金属の酸化物等の化合物を用いることができる。下層バンク１０２
の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜を対向基板１０１
上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい
。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法
により開口部１０２ａに対応する部分以外をレジストで膜を覆い、上記材料に対応する酸
等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部１０２ａを有する下層
バンク１０２が形成される。
【００６２】
次に上層バンク１０３を下層バンク１０２の上に形成する。上層バンク１０３の材料と
しては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、
遮光性を有することが好ましい。上層バンク１０３の形成方法としては、例えば、下層バ
ンク１０２が形成された対向基板１０１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピ
ンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして
、色要素領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを対向基板１０１と所定の
位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク１０３を形成する方法が挙げら
れる。これにより対向基板１０１上に複数の色要素領域Ａをマトリクス状に区画する隔壁
部１０４が形成される。そしてステップＳ２へ進む。
【００６３】
図６のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、Ｏ2を処理ガスとす
るプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、色要
素領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク１０３の表面（壁面を含
む）が撥液処理される。そしてステップＳ３へ進む。
【００６４】
ここで実際に用いるマザー基板としての基板Ｗの描画領域に対する描画方法について図
８を基に説明する。図８は、基板の描画領域に対する描画方法を示す模式図である。詳し
くは、基板Ｗに対してキャリッジ５１に搭載された液滴吐出ヘッド５２のノズル面５８ａ
が対向するように配置された状態に基づく模式図である。尚、図面上の各異なる種類の液
状体を吐出するヘッドＲ１、ヘッドＧ１、ヘッドＢ１で始まる各液滴吐出ヘッド５２を示
す四角形のＹ軸方向の幅は、当該液滴吐出ヘッド５２の有効ノズルの全長に対応した描画
幅Ｉｗを示すものである。また、色要素領域Ａならびにヘッド群５２Ａ〜５２Ｈの大きさ
は、説明をわかりやすくするために、適当な大きさに拡大あるいは縮小して表示している
。
【００６５】
図８（ａ）および（ｂ）に示すように、マザー基板としての基板Ｗの描画領域Ｅには、
複数の色要素領域ＡがＹ軸方向に同一種類の色要素が配列するように隔壁部１０４によっ
て区画されている。また異なる種類の色要素がＸ軸方向にＲＧＢの順に配列するように区
画されている。いわゆるストライプ方式の色要素領域Ａの配置となっている。
【００６６】
このような基板Ｗに対してキャリッジ５１は、Ｙ軸方向に２つ並ぶように位置しており
、先に説明した液滴吐出装置１のワーク移動手段２による基板ＷのＸ軸方向への移動すな
わち主走査に同期して、液滴吐出ヘッド５２の各ノズル６１から複数の色要素領域Ａに選
択的に複数種の液状体を吐出することにより、複数色のカラーフィルタを描画可能となっ
ている。
【００６７】
図８（ａ）に示すように、基板Ｗの描画領域Ｅは、７つの部分描画領域Ｅ１〜Ｅ７に仮
想分割されている。各部分描画領域Ｅ１〜Ｅ７の幅は、キャリッジ５１に搭載された同一
種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル列６２が主走査方向から見て連続し
ている部分の長さ（Ｐ２×３１９）×２＋Ｐ２、すなわち当該液滴吐出ヘッド５２の有効
ノズルの全長に対応した描画幅Ｉｗの２倍に１ノズルピッチ加えた長さとなっている。例
えば、Ｂ（青色）のカラーフィルタ材料を含む液状体を吐出するヘッドＢ４の有効ノズル
の端が描画領域ＥのＹ軸方向の端とほぼ同じ位置になるようにキャリッジ５１を基板Ｗに
対して位置決めし主走査を行えば、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７に配列し
たＢの色要素領域Ａに対して、Ｂのカラーフィルタ材料を含む液状体を隈なく吐出するこ
とが可能である。
【００６８】
この場合、キャリッジ５１に搭載された、異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッ
ド５２のノズル列６２の端部の位置は、互いにずれて配置されている。したがって、他の
種類の液状体を略同時に吐出すると、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７におい
て、ＧとＲの色要素領域Ａに対応する液状体がＹ軸方向で吐出されない部分が生じる。よ
って、ノズル列６２の端部のずれ量に相当する長さで、キャリッジ５１をＹ軸方向に副走
査した後に、主走査を行えば、異なる種類の液状体を４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ
５，Ｅ７に配列した３種（ＲＧＢ）の色要素領域Ａに対して、隈なく吐出することが可能
である。尚、この場合、ノズル列６２の端部のずれ量に相当する長さの２倍で副走査して
も同様に隈なく吐出することが可能であり、副走査の回数を減ずることができる。
【００６９】
図８（ｂ）に示すように、他の部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を描画する場合には、キ
ャリッジ５１をＹ軸方向に有効ノズルの全長に対応した描画幅Ｉｗの２倍に１ノズルピッ
チ加えた長さ、すなわち（Ｐ２×３１９）×２＋Ｐ２に相当する長さで移動（改行）させ
る。そしてＸ軸方向に主走査すれば、描画領域Ｅの全域に渡って異なる種類の液状体を対
応する色要素領域Ａに吐出することが可能である。この場合も、各ノズル列６２のずれ量
に対応した副走査を行ってから主走査することを繰り返せば、他の部分描画領域Ｅ２，Ｅ
４，Ｅ６に配列した３種（ＲＧＢ）の色要素領域Ａに対して、隈なく吐出することが可能
である。
【００７０】
尚、本実施形態では、基板Ｗの描画領域Ｅを均等に仮想７分割した部分描画領域Ｅ１〜
Ｅ７を前提に説明したが、これに限らず、基板Ｗのサイズに応じて仮想分割して、余った
領域が発生してもよい。例えば、部分描画領域Ｅ７の幅が、他の部分描画領域Ｅ１〜Ｅ６
に比べて狭くても対応可能である。また、基板Ｗの大きさが、２つのキャリッジ５１を間
隔Ｌ１をおいて配置した場合よりも、大きい場合は、改行動作をさらに行うか、キャリッ
ジ５１を増設すれば対応することができる。
【００７１】
以上のような基本的な描画方法を踏まえて、図６のステップＳ３について説明する。ス
テップＳ３は、色要素としてのカラーフィルタの第１の描画工程である。ステップＳ３で
は、図７（ｂ）に示すように、表面処理された各色要素領域Ａのそれぞれに、対応する液
状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂを付与してカラーフィルタ１０５を描画する。液状体７０Ｒ
はＲ（赤色）のカラーフィルタ形成材料を含み、液状体７０ＧはＧ（緑色）のカラーフィ
ルタ形成材料を含み、液状体７０ＢはＢ（青色）のカラーフィルタ形成材料を含むもので
ある。そして液滴吐出装置１を用い、液滴吐出ヘッド５２に各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７
０Ｂを充填し、液滴として色要素領域Ａに着弾させる。第１の描画工程では、図８（ａ）
に示すようにヘッドＢ４の端部を基準とする１回の主走査と、ノズル列６２のずれ量に対
応する副走査と主走査とを少なくとも１回繰り返すことにより、４つの部分描画領域Ｅ１
，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７を吐出描画する。続いて図８（ｂ）に示すように、キャリッジ５１を
改行させて、ヘッドＢ４の端部を基準とする１回の主走査と、ノズル列６２のずれ量に対
応する副走査と主走査とを少なくとも１回繰り返すことにより、残りの部分描画領域Ｅ２
，Ｅ４，Ｅ６を吐出描画する。この場合の１つの色要素領域Ａに吐出される液状体の吐出
量は、必要な液状体の総量を分割して減少させている。したがって、着弾した異なる種類
の各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂは、色要素領域Ａに濡れ拡がって表面張力により盛り
上がるが、吐出量が必要な総量に対して減じられているので、互いに隔壁部１０４を乗り
越えて混じり合うことが抑制される。
【００７２】
また、先に吐出描画された部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７の色要素領域Ａに着弾
した各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂは、残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を吐出描
画する所定の時間を置く工程を備えることにより、溶媒成分が蒸発して自然乾燥が進み、
図７（ｃ）に示すように膜減りした第１描画層１０５ａとなる。尚、残りの部分描画領域
Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６においても、以降に説明する第２の描画工程で再描画されるまでに、先
に４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７が再描画される所定の時間を置く工程が実
施されるので、第１の描画工程で吐出された各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂは、図７（
ｃ）に示すように膜減りした第１描画層１０５ａとなる。そしてステップＳ４へ進む。
【００７３】
図６のステップＳ４は、第２の描画工程である。ステップＳ４では、まず４つの部分描
画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７を再吐出描画する。続いて残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４
，Ｅ６を再吐出描画する。この場合の各部分描画領域Ｅ１〜Ｅ７を描画する方法は、基本
的にステップＳ３の第１の描画工程と同様であるが、再描画時の１つの色要素領域Ａに１
回の主走査によって吐出される液状体の吐出量は、先の第１の描画工程に比べて徐々に減
少させている。したがって、図７（ｄ）に示すように、第１描画層１０５ａの上に各液状
体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂを吐出しても、表面張力で盛り上がった各液状体７０Ｒ，７０
Ｇ，７０Ｂは、吐出量が減じられているので、互いに隔壁部１０４を乗り越えて混じり合
うことが抑制される。そしてステップＳ５へ進む。尚、第１の描画工程および第２の描画
工程におけるさらに詳しい色要素の形成方法については、後述する。
【００７４】
図６のステップＳ５は、描画されたカラーフィルタ１０５を乾燥して成膜化する工程で
ある。ステップＳ５では、図７（ｅ）に示すように、第１描画層１０５ａ上に第２描画層
１０５ｂが積層されるように吐出描画されたカラーフィルタ１０５を一括乾燥し、各液状
体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂから溶剤成分を除去してカラーフィルタ１０５Ｒ，１０５Ｇ，
１０５Ｂを成膜する。乾燥方法としては、溶剤成分を均質に乾燥可能な減圧乾燥などの方
法が望ましい。そしてステップＳ６へ進む。
【００７５】
図６のステップＳ６は、ＯＣ層形成工程である。ステップＳ６では、図７（ｆ）に示す
ように、カラーフィルタ１０５と上層バンク１０３とを覆うようにＯＣ層１０６を形成す
る。ＯＣ層１０６の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形
成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層１０
６は、カラーフィルタ１０５が形成された対向基板１０１の表面の凹凸を緩和して、後に
この表面に膜付けされる対向電極１０７を平担化するために設けられている。また、対向
電極１０７との密着性を確保するために、ＯＣ層１０６の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜
を形成してもよい。そしてステップＳ７へ進む。
【００７６】
図６のステップＳ７は、対向電極１０７を形成する工程である。ステップＳ７では、図
７（ｇ）に示すように、スパッタ法や蒸着法を用いてＩＴＯなどの透明電極材料を真空中
で成膜して、ＯＣ層１０６を覆うように全面に対向電極１０７を形成する。
【００７７】
上記の液晶表示装置の製造方法において、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７
に着目したが、残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６に着目すれば、同様に第１の描画工
程と第２の描画工程を備え、第１の描画工程後、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，
Ｅ７を吐出描画する所定の時間を置いた後に、第２の描画工程が行われることになる。
【００７８】
本実施形態では、カラーフィルタ１０５を第１描画層１０５ａに第２描画層１０５ｂを
積層するように形成したが、これに限らず複数の描画層が積層される構成としてもよい。
また、下層バンク１０２および上層バンク１０３により隔壁部１０４を形成する例を示
したが、これに限らず、遮光性のある材料を用いて１層バンクの構成としてもよい。
【００７９】
上記の液晶表示装置の製造方法を用いて、対向基板１０１に色要素としてのカラーフィ
ルタ１０５を形成すれば、カラーフィルタ１０５の混色不良を低減して歩留まりよく対向
基板１０１を製造すること可能である。また、出来上がった対向基板１０１と画素電極１
１０およびＴＦＴ素子１１１を有する素子基板１０８とを接着剤を用いて所定の位置で接
着し、一対の対向基板１０１、素子基板１０８との間に液晶を充填すれば、カラーフィル
タ１０５の混色が低減された見映えのよい表示品質を有する液晶表示装置１００が出来上
がる。
【００８０】
次に液晶表示装置１００の製造方法における色要素の形成方法としての第１の描画工程
および第２の描画工程の液状体の吐出描画について、実施例１〜４を基にさらに詳しく説
明する。
【００８１】
（実施例１）
図９は、実施例１の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図である。詳しくは、同図（
ａ）は第１の描画工程の液状体の着弾状態を示し、同図（ｂ）は第２の描画工程の液状体
の着弾状態を示すものである。
【００８２】
図９（ａ）に示すように、第１の描画工程では、先に図８に示した４つの部分描画領域
Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７の複数の色要素領域Ａに、少なくとも２回の主走査により異なる
種類の液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂを液滴として吐出描画する。各色要素領域Ａに着弾
した液状体７１の吐出量は、１つの色要素領域Ａに色要素を形成するために必要な総量が
分割された量である。そして、図８に示した残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を同様
にして吐出描画する所定の時間を置く工程を実施してから、再び４つの部分描画領域Ｅ１
，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７を再吐出描画する。この時の各色要素領域Ａに着弾した液状体７２の
吐出量は、先に着弾した液状体７１の残量があることを考慮して液状体７１の吐出量に比
べて減じられている。したがって、必要な総量を第１の描画工程ですべて吐出する場合に
比べて、所定の時間を置いて先に着弾した液状体７１が色要素領域Ａに濡れ拡がり自然乾
燥して減膜した後に液状体７２が着弾するので、隔壁部１０４を超えて異なる種類の液状
体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂが互いに混じり合い混色が起きることが低減される。
【００８３】
（実施例２）
図１０は、実施例２の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図である。詳しくは、同図
（ａ）は第１の描画工程の液状体の着弾状態を示し、同図（ｂ）および（ｃ）は第２の描
画工程の液状体の着弾状態を示すものである。実施例２は、実施例１に対して、第２の描
画工程では、部分描画領域をさらに仮想分割した分割領域の一を主走査により描画し、所
定の時間を置いて、残りの分割領域を描画する主走査を少なくとも１回以上繰り返すもの
である。
【００８４】
図１０（ａ）に示すように、第１の描画工程では、実施例１と同様にして、まず図８に
示した描画領域Ｅを４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７と残りの部分描画領域Ｅ
２，Ｅ４，Ｅ６とに分割して主走査を繰り返すことにより吐出描画する。そして残りの部
分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を吐出描画する所定の時間を置いてから、再び描画領域Ｅを
再吐出描画する第２の描画工程を行う。この時、図１０（ｂ）に示すように、例えば部分
描画領域Ｅ１は、さらに２つの分割領域Ｅ１ａと分割領域Ｅ１ｂとに仮想分割され、まず
分割領域Ｅ１ａを再吐出描画する。着弾した液状体７１，７２の吐出量は、実施例１と同
様に徐々に減少させている。他の３つの部分描画領域Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７においても同様に
さらに２つに仮想分割した一の分割領域を再描画する。そして、改行（副走査）を行い残
りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６も同様に２つに仮想分割した一の分割領域を再描画す
る。次に、図１０（ｃ）に示すように、残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６の一の分割
領域を再描画する所定の時間を置いて、今度は、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，
Ｅ７の残りの分割領域Ｅ１ｂを、再吐出描画する。このようにすれば、残りの分割領域が
再吐出描画されるまでに実施例１に比べて長い時間が必要となるため、残りの分割領域に
おいて着弾した液状体７１の自然乾燥が進み、より減膜した後で次の液状体７２が着弾す
るので、より混色が低減される。
【００８５】
（実施例３）
図１１は、実施例３の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図である。詳しくは、同図
（ａ）、（ｂ）は第１の描画工程の吐出描画状態を示し、同図（ｃ）、（ｄ）は第２の描
画工程の吐出描画状態を示すものである。実施例３は、第１の描画工程では、描画領域Ｅ
に含まれる複数の色要素領域Ａのうち、互いに隣接しない色要素領域Ａに液状体を吐出し
て描画し、第２の描画工程では、第１の描画工程で液状体が吐出されなかった色要素領域
Ａに液状体を吐出して描画するものである。
【００８６】
図１１（ａ）に示すように、第１の描画工程では、まず描画領域ＥのＲＧＢ３種の色要
素が形成される複数の色要素領域Ａの内、互いに隣接しない色要素領域Ａに、吐出される
総量が分割された液状体７１を着弾させる。そして図１１（ｂ）に示すように、さらに吐
出量が減少した液状体７２を着弾させる。この時、図８に示したように描画領域Ｅを４つ
の部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７と残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６とに分割
して主走査を繰り返すことにより液状体７１，７２を吐出して描画する。次に図１１（ｃ
）に示すように、第２の描画工程では、第１の描画工程で液状体７１，７２が吐出されな
かった色要素領域Ａに、液状体７１を着弾させる。そして図１１（ｄ）に示すように、さ
らに吐出量が減少した液状体７２を着弾させる。液状体７１，７２の吐出描画の方法は、
第１の描画工程と同様に描画領域Ｅを４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７と残り
の部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６とに分割して主走査を繰り返す。このようにすれば、隣
接する色要素領域Ａの一方に液状体７１，７２が着弾する。そして、液状体７２は、残り
の部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６に液状体７１を吐出描画する所定の時間を置いてから、
４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７に吐出される。また、残りの部分描画領域Ｅ
２，Ｅ４，Ｅ６では、４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７に液状体７２が吐出さ
れる所定の時間を置いてから、液状体７２が吐出される。よって、１回の主走査において
隣接する色要素領域Ａに液状体７１，７２が着弾せず、先に吐出される液状体７１が上記
所定の時間を置くことで自然乾燥が進み減膜した状態になってから、液状体７２が着弾す
る。ゆえに異なる種類の液状体同士が隔壁部１０４を超えて混じり合い混色することがよ
り低減される。
【００８７】
（実施例４）
図１２は、実施例４の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図である。実施例４は、第
１の描画工程では、描画領域Ｅに含まれる複数の色要素領域Ａのそれぞれに、液状体を間
隔を置いて複数着弾させて描画し、第２の描画工程では、第１の描画工程で液状体が着弾
していない複数の色要素領域Ａのそれぞれの部位に液状体を着弾させて描画するものであ
る。
【００８８】
図１２（ａ）に示すように、第１の描画工程では、描画領域ＥのＲＧＢ３種の色要素が
形成される複数の色要素領域Ａのそれぞれに、少なくとも２回の主走査により、液状体７
１，７２を間隔を置いて着弾させて描画する。この場合も、図８に示したように、描画領
域Ｅを４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７と残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ
６とに分割して主走査を繰り返すことにより液状体７１，７２を吐出して描画する。この
時、異なる種類の色要素が形成される色要素領域Ａにおいて、互いに液状体７１，７２が
副走査方向にずれて着弾するように液状体７１，７２を吐出する。次に図１２（ｂ）に示
すように、第２の描画工程では、第１の描画工程で液状体７１，７２が着弾していない複
数の色要素領域Ａのそれぞれの部位７３に液状体７１，７２を着弾させて再吐出描画する
。再吐出描画でも同様に図８に示した描画領域Ｅを４つの部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５
，Ｅ７と残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６とに分割して主走査を繰り返すことにより
液状体７１，７２を吐出して描画する。このようにすれば、第１の描画工程では、異なる
種類の色要素が形成される色要素領域Ａのそれぞれに互いにずれた状態で間隔を置いて液
状体７１，７２が着弾するので、着弾した位置で盛り上がった液状体７１，７２が隔壁部
１０４を超えて互いに混じり合い混色となることが低減される。また、第２の描画工程で
は、分割して主走査を行う所定の時間を置いて、複数の色要素領域Ａのそれぞれの部位７
３に液状体７１，７２が着弾するため、先に着弾した液状体７１，７２の自然乾燥が進み
、より減膜した状態で次の液状体７１，７２がその間に着弾するので、より混色が低減さ
れる。
【００８９】
上記実施例１〜４では、各色要素領域Ａにおいて、液状体７１，７２が副走査方向に１
列に並んだ状態で着弾しているが、実際には、図２に示すように液滴吐出ヘッド５２は、
２連のノズル列６２を有しているため、各液状体７１，７２をそれぞれ２列に着弾させて
もよい。また、１つの色要素領域Ａに着弾する液滴の数（量）は、色要素領域Ａのサイズ
や各液状体の種類によって変えてもよい。
【００９０】
（電子機器）
次に上記液晶表示装置の製造方法を用いて製造された電気光学装置としての液晶表示装
置を備えた電子機器について図１３に基づいて説明する。図１３は、電子機器としての携
帯型情報処理装置を示す概略斜視図である。
【００９１】
図１３に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯型情報処理装置２００は、入
力用のキーボード２０２を有する情報処理装置本体２０１と、表示部２０３とを備えてい
る。表示部２０３には、カラーフィルタ１０５の混色が低減された見映えのよい表示品質
を有する液晶表示装置１００が搭載されている。
【００９２】
本実施形態の効果は、以下の通りである。
（１）本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法において、第１の描画工程では、基
板Ｗの描画領域Ｅを仮想分割した７つの部分描画領域Ｅ１〜Ｅ７のうち、まず４つの部分
描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７を少なくとも２回の主走査により各液状体７０Ｒ，７０
Ｇ，７０Ｂを吐出描画する。そしてキャリッジ５１を移動させる改行（副走査）を行って
、残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を同様に吐出描画する。これにより第１描画層１
０５ａを形成する。残りの部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６を少なくとも２回の主走査によ
り吐出描画する所定の時間を置く工程の後に、第２の描画工程では、再び４つの部分描画
領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７を少なくとも２回の主走査により再描画する。第１の描画工
程の１回の主走査では、色要素領域Ａに色要素としてのカラーフィルタ１０５を形成する
ために必要な総量を分割した吐出量で各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂを吐出描画し、第
２の描画工程では、第１の描画工程に対して吐出量を徐々に減少させて吐出描画する。し
たがって、第１の描画工程では、隔壁部１０４を超えて各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂ
が互いに混じり合うことが抑制される。また第２の描画工程では、上記所定の時間を置い
てから再び吐出描画され、第１の描画工程で吐出された各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂ
が上記所定の時間において自然乾燥により減膜した後に、再び着弾するので、異なる種類
の液状体同士が隔壁部１０４を超えて混じり合うことが抑制される。すなわち、カラーフ
ィルタ１０５の混色を低減することができる。
【００９３】
（２）液晶表示装置１００の製造方法の実施例２の色要素の形成方法において、第２の
描画工程では、部分描画領域Ｅ１，Ｅ３，Ｅ５，Ｅ７をさらに２つに仮想分割した分割領
域の一を主走査により描画した後に、他の部分描画領域Ｅ２，Ｅ４，Ｅ６をさらに２つに
仮想分割した分割領域の一を主走査により描画する所定の時間を置いて、残りの分割領域
を少なくとも２回の主走査により描画する。したがって、残りの分割領域は、より長い時
間を置いてから第１の描画工程で着弾した液状体７１の自然乾燥がより進んだ状態で、再
描画されるため、異なる種類の液状体同士が隔壁部１０４を超えて混じり合うことが抑制
され、よりカラーフィルタ１０５の混色が低減される。
【００９４】
（３）液晶表示装置１００の製造方法の実施例３の色要素の形成方法おいて、第１の描
画工程では、互いに隣接しない色要素領域Ａに液状体７１，７２を吐出して描画し、第２
の描画工程では、描画領域Ｅを分割して主走査する所定の時間を置いて、第１の描画工程
で液状体７１，７２が着弾しなかった色要素領域Ａに液状体７１，７２が着弾する。した
がって、隣接する色要素領域Ａの一方に液状体７１，７２が着弾するので、異なる種類の
液状体同士が隔壁部１０４を超えて混じり合い混色することがより低減される。
【００９５】
（４）液晶表示装置１００の製造方法の実施例４の色要素の形成方法おいて、第１の描
画工程では、異なる種類の色要素が形成される色要素領域Ａのそれぞれに互いにずれた状
態で間隔を置いて液状体７１，７２が着弾する。第２の描画工程では、描画領域Ｅを分割
して主走査する所定の時間を置いて、該間隔を埋めるように再び液状体７１，７２が着弾
する。したがって、先に着弾した液状体７１，７２の自然乾燥が進み、より減膜した状態
で次の液状体７１，７２がその間の部位７３に着弾するので、異なる種類の液状体同士が
隔壁部１０４を超えて混じり合い混色することがより低減される。
【００９６】
（５）本実施形態の携帯型情報処理装置２００は、液晶表示装置１００を搭載している
ため、色ムラ等の表示不具合の少ない、高い表示品質で文字や画像等の情報を確認するこ
とが可能な電子機器としての携帯型情報処理装置２００を提供することができる。
【００９７】
上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
（変形例１）上記実施例１〜４における色要素の形成方法において、先の主走査により
着弾した液状体７１（あるいは液状体７１，７２）の乾燥は、自然乾燥に限定されない。
例えば、基板Ｗを加温可能なヒータを液滴吐出装置１に備えて乾燥させてもよい。また、
基板Ｗの表面を流れるように気流を設定し、液状体７１からの溶媒の蒸発を促すようにし
て乾燥させてもよい。
【００９８】
（変形例２）液晶表示装置１００の製造方法において、１回の主走査で色要素領域Ａに
吐出する各液状体７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂの吐出量は、ノズル６１から吐出される１つの
液滴の量を同じとして、色要素領域Ａに着弾する数を第１の描画工程と第２の描画工程と
で変えてもよい。このようにすれば、液状体７１に対して液状体７２の液滴の大きさを変
えるような複雑な吐出制御をせずとも、総量を分割して色要素領域Ａに各液状体７０Ｒ，
７０Ｇ，７０Ｂを吐出することができる。
【００９９】
（変形例３）液滴吐出装置１において、キャリッジ５１に搭載される液滴吐出ヘッド５
２の配置は、これに限定されない。例えば、異なる種類の液状体を吐出する各液滴吐出ヘ
ッド５２をＸ軸方向において同じ描画範囲となるように、Ｙ軸方向に並列させて配置して
もよい。このようにすれば、異なる種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノズル
列６２のずれ量を考慮して行う副走査と主走査の回数を減らすことができる。
【０１００】
（変形例４）液滴吐出装置１において、キャリッジ５１の数は、２つに限定されない。
また、キャリッジ５１に搭載される液滴吐出ヘッド５２の配置は、これに限定されない。
例えば、キャリッジ５１を１つとして、ヘッド群５２Ａ，５２Ｂとヘッド群５２Ｃ，５２
Ｄの異なるヘッド群列間において、同一種類の液状体を吐出する液滴吐出ヘッド５２のノ
ズル列６２の間隔が（Ｐ２×３２０）×４＋Ｐ２となるように各液滴吐出ヘッド５２をキ
ャリッジ５１に配置する。すなわち、このようなキャリッジ５１を用いれば、主走査方向
に配列したヘッド群（ヘッド群列）が描画可能な描画幅の２倍の間隔を開けた状態で吐出
描画することになる。そして描画領域Ｅを部分描画領域Ｅ１，Ｅ４、部分描画領域Ｅ２，
Ｅ５、部分描画領域Ｅ３，Ｅ６、部分描画領域Ｅ７の４つ（３つ以上）に分割して主走査
を繰り返すように吐出描画するようにしてもよい。このようにすれば、第１の描画工程で
は、分割された描画領域Ｅの各領域を一ずつ改行して吐出描画し、第２の描画工程では、
例えば、部分描画領域Ｅ１，Ｅ４以外の他の部分描画領域のすべてを１回ずつ描画する所
定の時間を置いてから部分描画領域Ｅ１，Ｅ４を再描画することができる。
【０１０１】
（変形例５）上記実施形態の基板Ｗにおける、色要素領域Ａの配置は、ストライプ方式
に限定されない。図１４は、色要素領域の配列を示す概略図である。上記実施形態のおけ
る色要素領域Ａの配列は、図１４（ａ）に示すようなストライプ方式であるが、図１４（
ｂ）に示すモザイク方式あるいは、図１４（ｃ）に示すデルタ方式であっても、上記実施
形態と同様な色要素の形成方法を適用することができ、その効果を奏する。
【０１０２】
（変形例６）上記実施例１〜４に示した色要素としてのカラーフィルタ１０５の形成方
法は、隔壁部によって区画された色要素領域に、透明電極を形成し、形成された透明電極
上に正孔注入輸送層を積層した後に、発光層形成材料を含む複数種の液状体を吐出描画し
て色要素として有機ＥＬなどの発光層を形成する場合にも適用することができる。
【０１０３】
（変形例７）液晶表示装置１００が搭載される電子機器は、携帯型情報処理装置２００
に限定されない。例えば、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal  Digital  Assistants）と呼
ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、卓上型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジ
タルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファイン
ダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子
手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等々
の画像表示手段として好適に用いることができ、いずれの電子機器においても見映えのよ
い表示を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】液滴吐出装置の構造を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドを示す概略図。
【図３】液滴吐出ヘッドが搭載されたキャリッジを示す概略平面図。
【図４】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図５】液晶表示装置の構造を示す概略斜視図。
【図６】液晶表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｇ）は、液晶表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、基板の描画領域に対する描画方法を示す模式図。
【図９】実施例１の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図。
【図１０】実施例２の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図。
【図１１】実施例３の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図。
【図１２】実施例４の液状体の吐出描画状態を示す概略平面図。
【図１３】電子機器としての携帯型情報処理装置を示す概略斜視図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は、色要素領域の配列を示す概略図。
【符号の説明】
【０１０５】
１…液滴吐出装置、２…移動手段としてのワーク移動手段、３…移動手段としてのヘッ
ド移動手段、５２…液滴吐出ヘッド、６１…ノズル、７０Ｒ，７０Ｇ，７０Ｂ…色要素材
料を含む液状体、７１，７２…着弾した液状体、７３…液状体が着弾していない複数の色
要素領域のそれぞれの部位、１００…電気光学装置としての液晶表示装置、１０１…基板
としての対向基板、１０４…隔壁部、１０５…色要素としてのカラーフィルタ、１２０…
電気光学パネルとしての液晶表示パネル、２００…電子機器としての携帯型情報処理装置
、Ａ…色要素領域、Ｅ…描画領域、Ｅ１〜Ｅ７…部分描画領域、Ｅ１ａ，Ｅ１ｂ…分割領
域、Ｗ…基板。
【図１】
0004779773.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004779773.tif 000004
【図４】
0004779773.tif 000005
【図５】
0004779773.tif 000006
【図６】
0004779773.tif 000007
【図７】
0004779773.tif 000008
【図８】
0004779773.tif 000009
【図９】
0004779773.tif 000010
【図１０】
0004779773.tif 000011
【図１１】
0004779773.tif 000012
【図１２】
0004779773.tif 000013
【図１３】
0004779773.tif 000014
【図１４】
0004779773.tif 000015