(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被蒸着部材に蒸着マスクを固定する蒸着用治具であって、
炭素鋼よりも線膨張係数が低い材質により構成された矩形の棒状枠部材と、
炭素鋼よりも線膨張係数が低い材質により構成され、前記矩形の棒状枠部材を十字に仕切る複数の棒状部材と、
前記矩形の棒状枠部材と前記矩形の棒状枠部材を十字に仕切る複数の棒状部材を接合するインロー構造と
を備え、
前記複数の棒状部材には、その直交して延在する方向に沿って蒸着マスクの熱変形を吸収するマスク伸縮緩衝用溝が設けられ、
前記矩形の棒状枠部材には、前記複数の棒状部材に設けられた前記マスク伸縮緩衝用溝から延長する形のマスク伸縮緩衝用溝が設けられていることを特徴とする蒸着用治具。
【請求項２】
前記インロー構造は、締り嵌め構造を有することを特徴とする請求項１に記載の蒸着用治具。
【請求項３】
前記蒸着用治具は、当該蒸着用治具を台座に対して変位可能な状態で固定する伸縮追従機構を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の蒸着用治具。
【請求項４】
前記伸縮追従機構は、長孔を介したビスによる固定手段を備えることを特徴とする請求項３に記載の蒸着用治具。
【請求項５】
前記蒸着用治具は、前記棒状部材に形成された複数の孔により構成される伸縮緩衝機構を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の蒸着用治具。
【請求項６】
前記矩形の棒状枠部材および前記矩形の棒状枠部材を十字に仕切る複数の棒状部材は、Ｓｉ：０．００１〜０．３重量％、Ｍｎ：０．０１〜０．５重量％、Ｎｉ：３０〜４５重量％、Ａｌ：０．００５重量％以下を含有し、残部が実質的にＦｅおよび不可避的不純物よりなる合金を構成材料とすることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の蒸着用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被蒸着部材に対して蒸着マスクを固定する蒸着用治具に係り、蒸着工程時の昇温に起因する変形を抑えることができる構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばＥＬディスプレイに利用さえるＥＬ材料は、被蒸着部材の表面に真空蒸着により形成される。この真空蒸着の工程においては、被蒸着部材の上に蒸着マスクが枠状の部材によって固定される。そして、蒸着マスクを介して、減圧雰囲気中において加熱蒸発させたＥＬ材料を被蒸着部材上に堆積させることで、ＥＬ材料の薄膜層を形成する。
【０００３】
上述したＥＬ材料の真空蒸着は、蒸着源が３５０℃程度以上に加熱され、被蒸着面の温度は一時的に１００℃前後になる。蒸着マスクおよび蒸着マスクを固定する枠状の部材は金属製であるので、蒸着工程を繰り返すことで、上記の熱の影響により、徐々に変形する。この結果、蒸着マスクの投影角に変化が発生する。蒸着マスクの投影角に変化が生じると、蒸着材料の均一な定着が望めなくなる。蒸着材料の不均一な定着は、ＥＬディスプレイの表示における輝度ムラや色ムラの要因となるので好ましくない。
【０００４】
これらの問題に関連して、特許文献１や特許文献２に記載された技術が提案されている。特許文献１には、撓み防止部材を用いることで、蒸着マスクおよび取り付け枠の密着度を高める技術について記載されている。特許文献２には、蒸着マスクを磁性材料によって構成し、この蒸着マスクの一辺部を被蒸着部材に固定し、全体をシートマグネットによって固定する構成が記載されている。特許文献２に記載の構成によれば、蒸着マスクが被蒸着面の面形状に倣って変形し、蒸着マスクの被蒸着面への密着性を改善することができるとされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２３２０５０号公報
【特許文献２】特開２００２−１０５６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、本発明者らの研究によれば、上述した蒸着マスクの投影角に変化が発生する主な要因は、刻々と変化する真空蒸着装置内部の熱的環境の影響により、蒸着マスクおよびそれを取り付ける枠構造の部材に変形（熱変形）が発生する点にある。特許文献１に記載されている技術は、剛性を高めることで、部材の変形を防止しようとするものであるが、装置内部の蓄熱の度合が進むと、剛性のみで枠部材の変形を抑えることができなくなる。また、特許文献２に記載の技術は、蒸着マスクの被蒸着部材や取り付け枠への密着性を高めるもので、蒸着マスクを固定する部材の変形が抑えられる訳ではない。このため、蒸着マスクの投影角の変化を抑える効果は十分ではない。
【０００７】
また、これら技術の有効性が限定的である理由として、蒸着マスクを取り付けるための枠状の部材の製造方法を挙げることができる。すなわち、蒸着マスクを固定する枠状の部材は、その開口部をフライス加工などの切削加工手段を用いて形成する必要があるが、その際に加工時の歪や素材の残留応力が発生する。この加工時の歪や素材の残留応力は、蒸着の際の温度上昇時に枠部材の変形を助長する要因となる。
【０００８】
そこで本発明は、上述した問題点を解決し、蒸着マスクの投影角に変化が生じないようにすることで、蒸着材料の均一な定着を行うことができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の蒸着用治具は、被蒸着部材に蒸着マスクを固定する蒸着用治具であって、炭素鋼よりも線膨張係数が低い材質により構成された矩形の棒状枠部材と、炭素鋼よりも線膨張係数が低い材質により構成され、前記矩形の棒状枠部材を十字に仕切る複数の棒状部材と、前記矩形の棒状枠部材と前記矩形の棒状枠部材を十字に仕切る複数の棒状部材を接合するインロー構造とを備え、前記複数の棒状部材には、その直交して延在する方向に沿って蒸着マスクの熱変形を吸収するマスク伸縮緩衝用溝が設けられ、前記矩形の棒状枠部材には、前記複数の棒状部材に設けられた前記マスク伸縮緩衝用溝から延長する形のマスク伸縮緩衝用溝が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、棒状部材を利用するので、部材自体に加えられる切削加工の加工量が少なくて済む。このため、従来技術のように、開口部を切削加工により形成する場合に発生する歪や素材の残留応力を小さくすることができる。したがって、蒸着工程において、これら歪や残留応力に起因する変形を抑えることができ、治具全体において生じる変形を小さく抑えることができる。また、インロー構造により接合することで、棒状部材同士の接合構造であっても、一体物と同様な強度を確保することができ、熱変形時において部分的に歪みが集中し難い構造とすることができる。また、炭素鋼よりも線膨張係数の低い材質とすることで、熱による膨張収縮を抑えることができる。
【００１１】
接合の方法としては、接着剤を用いた接合、機械接合、あるいは溶接接合を利用することができる。接着剤を用いる方法には、接合工程において、接合部に熱や歪を与えることがない優位性がある。なお接着剤を利用する場合、温度上昇時に配合成分の蒸発による汚染や接着力の低下が懸念されるので、揮発成分の少ない耐熱性の接着剤（例えば、耐熱性の無機系接着剤等）が好適である。機械接合というのは、ねじ、ボルト、リベット等による接合である。機械接合を採用する場合には、ネジ頭等の突起に対する配慮が必要である。溶接接合としては、入熱面積の小さいレーザー溶接やマイクロプラズマ溶接などが適している。また、完全固着を計る方法として、部分溶け込み溶接（ナメ付け）も好ましい。
【００１２】
本発明において、インロー構造が、締り嵌め構造を備えていることが望ましい。この態様によれば、各棒状部材同士をより一体にすることができ、熱による変形を最小限に抑えることができる。
【００１３】
本発明の蒸着用治具において、当該蒸着用治具を台座に対して変位可能な状態で固定する伸縮追従機構を備えていることが望ましい。伸縮追従機構により、蒸着用治具の被蒸着面に平行な方向における変形がある程度許容される。そのため、治具が反ったり波打ったりする変形を抑えることができ、熱変形により蒸着用治具の平坦性が乱れることを抑えることができる。これにより、蒸着マスクの平坦性を確保することができ、蒸着材料を被蒸着面に均一に堆積することができる。
【００１４】
伸縮追従機構としては、当該蒸着用治具の台座に対する固定を、長孔を介したビスによって行う可動支持構造を挙げることができる。この可動支持構造によれば、ビスが長孔内をスライドすることが可能となるので、台座に固定した状態における蒸着用治具の２次元的な熱変形が許容される。その他の可動支持構造としては、変形可能なピンにより台座に対して当該蒸着用治具を支持させ、このピンの変形によって蒸着用治具の熱変形に従った可動を行う構成を挙げることができる。
【００１５】
本発明において、蒸着用治具を構成する棒状部材に複数の孔を形成することで、伸縮緩衝機構を構成することが望ましい。この伸縮緩衝機構によれば、複数の孔が設けられていることで、蒸着用治具内における温度分布に大きな勾配が生じないようにすることができる。また孔の部分において熱応力が緩衝され、部分的な応力の集中を防ぐことができる。これにより、治具全体の変形を抑えることができる。また、複数の孔が形成されることによる治具の重量軽減効果を得ることができる。
【００１６】
本発明の蒸着用治具において、棒状部材に蒸着マスクの熱変形を吸収するマスク伸縮緩衝用溝が設けられていることが望ましい。この態様によれば、蒸着マスクの熱変形が溝の断面構造の変形により吸収される。このため、蒸着マスクの熱変形による蒸着マスクの平坦性の悪化を抑えることができる。
【００１７】
炭素鋼よりも線膨張係数の低い材質としては、Ｓｉ：０．００１〜０．３重量％、Ｍｎ：０．０１〜０．５重量％、Ｎｉ：３０〜４５重量％、Ａｌ：０．００５重量％以下を含有し、残部が実質的にＦｅおよび不可避的不純物よりなる合金が望ましい。この組成範囲の合金は、蒸着工程の雰囲気温度による変形が小さい。このため、当該合金を蒸着用治具に利用することで、蒸着材料の均一な蒸着を行うことができる。なお、蒸着用治具に加えて、蒸着マスクもこの合金で構成することが望ましい。蒸着用治具と蒸着マスクを同じ材質とすることで、線膨張係数の違いに起因する平坦性の悪化を防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、蒸着用治具の変形が抑えられるので、蒸着マスクの投影角に変化が生じないようにすることができる。このため、蒸着材料の均一な定着を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（１）第１の実施形態
（実施形態の構成）
図１は、本発明の蒸着用治具の構成を利用した蒸着用フォルダの分解状態を示す上面図である。図２は、それを組み立てた状態を示す上面図である。図１および図２に示す蒸着用フォルダ１００には、蒸着マスクが固定される。また、蒸着用フォルダ１００を利用して台座に被蒸着フィルムが固定される。
【００２０】
まず、蒸着用フォルダ１００の構造について説明する。図１および図２には、対称な構造を有する一対の棒状枠部材１０１および１０２が示されている。この棒状枠部材１０１および１０２に対して、一対の棒状枠部材１０３および１０４がインロー構造により接合される。そして、これら棒状枠部材１０１〜１０４によって、矩形の枠構造が組み上げられる。
【００２１】
棒状枠部材１０３の両端には、凸部１０３ａおよび１０３ｂが設けられ、棒状枠部材１０４の両端に凸部１０４ａおよび１０４ｂが設けられている。一方において、棒状枠部材１０１の一方の端部近くには、凸部１０３ａに嵌る形状の凹部１０１ａが形成され、他方の端部近くには、凸部１０４ａに嵌る形状の凹部１０１ｂが形成されている。また、棒状枠部材１０２の一方の端部近くには、凸部１０３ｂに嵌る形状の凹部１０２ａが形成され、他方の端部近くには、凸部１０４ｂに嵌る形状の凹部１０２ｂが形成されている。これら凸部が凹部に嵌り込むことでインロー構造の接合が行われる。
【００２２】
また、棒状枠部材１０１の中央には、凹部１０１ｃが形成され、そこに棒状仕切り部材１０５の端部１０５ａが嵌る。棒状仕切り部材１０５の他方の端部１０５ｂは、直交して配置される棒状仕切り部材１０７の中央に形成された凹部１０７ａに嵌る。また、凹部１０７ａの反対側に形成された凹部１０７ｂに棒状仕切り部材１０６の端部１０６ｂが嵌る。棒状仕切り部材１０６のもう一つの端部１０６ａは、棒状枠部材１０２の中央に形成された凹部１０２ｃに嵌る。そして、棒状仕切り部材１０７の一方の端部１０７ｃは、棒状枠部材１０３の中央に形成された凹部１０３ｃに嵌り、他方の端部１０７ｄは、棒状枠部材１０４の中央に形成された凹部１０４ｃに嵌る。これら各嵌め合いの部分は、きつい嵌め合い公差で設計されており、縛り嵌め構造となっている。すなわち、凸部の寸法は、対応する凹部の寸法より僅かに大きく設定されている。また、各接合部分は、溶接によって固定されている。
【００２３】
こうして、図２に示すように、棒状枠部材１０１、１０２、１０３および１０４によって枠構造が形成され、その内側が、棒状仕切り部材１０５、１０６および１０７によって構成される十字の仕切りによって４つに仕切られた蒸着用フォルダ１００が構成されている。また、蒸着用フォルダ１００の四隅には、蒸着用フォルダを図示しない台座に固定するためのネジ孔１０８が形成されている。
【００２４】
各棒状部材は、それぞれ同じ材質であり、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ａｌを含み、残部が実質的にＦｅおよび不可避的不純物からなる合金により構成される。この合金は、炭素鋼よりも線膨張係数の低いアンバー合金とすることが望ましい。この合金におけるＳｉ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ａｌの好適な組成の例を下記表１に示す。表１における数値の単位は、重量％である。また、表１には、不可避的不純物であるＣの割合も示されている。なお、表１に示す化学組成の例において、最も優れているのは、サンプル２の組成である。熱変形を極力抑えるためには、Ａｌの含有量を０．００５重量％以下に抑えることが望ましい。
【００２５】
【表１】
0004795842.tif 000002
【００２６】
各棒状部材は、基本的にフラットバー形状であり、その基本断面形状は扁平な矩形となっている。棒状仕切り部材１０５には、断面形状が凹型で、部材の延在方向に延びたマスク伸縮緩衝用溝１０５ｃが形成されている。棒状仕切り部材１０６にも同様な構造のマスク伸縮緩衝用溝１０６ｃが形成され、棒状仕切り部材１０７にも同様な構造のマスク伸縮緩衝用溝１０７ｅが形成されている。また、この棒状仕切り部材に形成されたマスク伸縮緩衝用溝から延長する形で、各棒状枠部材に、マスク伸縮緩衝用溝１０１ｄ、１０２ｄ、１０３ｄおよび１０４ｄが形成されている。各棒状部材は、フラットバー構造に限定されず、断面形状が六角等の多角形状、円形状、楕円形状等のものを利用することができる。
【００２７】
（実施形態の製造方法）
以下、図１および図２に示す蒸着用フォルダ１００の製造方法の一例を説明する。まず、棒状仕切り部材１０５と１０６を棒状仕切り部材１０７に接合する。この際、凹部１０７ａおよび１０７ｂの部分を加熱した状態において、そこに棒状仕切り部材１０５の端部１０５ｂと、棒状仕切り部材１０６の端部１０６ｂをそれぞれ圧入し嵌め込む。そして、加熱した部分を冷却することで、締り嵌めによるインロー構造の接合が行われる。こうして、棒状仕切り部材１０５、１０６および１０７を接合した十字型の仕切り部材が得られる。
【００２８】
また、別に棒状枠部材１０１、１０２、１０３および１０４を接合し、枠構造を得る。すなわち、棒状枠部材１０１の凹部１０１ａと１０１ｂの部分に、棒状枠部材１０３の凸部１０３ａと棒状枠部材１０４の凸部１０４ａを嵌め込み、その部分を接着剤または、入熱を極力低減したマイクロプラズマ、レーザー、ＴＩＧ(Tungsten Inert Gas Welding)等の溶接機を用いて、接合部の接着剤接合の場合は接合面全面を、溶接の場合は接合面表層を、変形がなきよう接合する。次に、棒状枠部材１０２の凹部１０２ａと１０２ｂの部分に棒状枠部材１０３の凸部１０３ｂと棒状枠部材１０４の凸部１０４ｂを嵌め込み、溶接その他の方法により接合を行う。こうして、棒状枠部材１０１、１０２、１０３および１０４を溶接、その他の方法により接合した枠型の構造を得る。
【００２９】
そして、棒状枠部材１０１、１０２、１０３および１０４を接合した矩形形状の枠構造の開口部に、棒状仕切り部材１０５、１０６および１０７を接合した十字型の仕切り部材を嵌め込み接合する。この際、凹部１０１ｃ、１０２ｃ、１０３ｃおよび１０４ｃの部分を加熱し、凹部１０１ｃに端部１０５ａを、凹部１０３ｃに端部１０７ｃを、凹部１０４ｃに端部１０７ｄを、凹部１０２ｃに端部１０６ａをそれぞれ嵌め込む。そして、図２に示す接合状態を得る。
【００３０】
（蒸着工程）
以下、図１および２に示す蒸着用フォルダを用いた蒸着工程の一例を説明する。図３は、図２に示す蒸着用フォルダ１００に固定される蒸着マスクを示す正面図である。図３に示す蒸着マスク２００は、蒸着用フォルダ１００と同じ材質であり、枠状の縁部２０１とその内側の蒸着材料通過部２０２を備えている。蒸着材料通過部２０２は、パンチングメタルと同様な構造であり、多数の円形の孔が形成された構造とされている。このようなマスクの構造とすることで、被蒸着面に対する蒸着状態の均一性を高めている。
【００３１】
図４は、図３に示す蒸着マスク２００を図２に示す蒸着用フォルダ１００に固定した状態を示す正面図である。図４に示す構造において、蒸着マスク２００は、その縁部２０１および蒸着材料通過部２０２が、蒸着用フォルダ１００に溶接により固定されている。なお、固定の方法としては、溶接以外に、ろう付け、接着剤による接着、さらにこれら接合手段の複数の組み合わせを利用することもできる。
【００３２】
図５は、蒸着を行う状態を示す概念図である。図５は、図示省略した蒸着装置内部において、被蒸着フィルム５０１の表面に蒸着を行う様子が概念的に示されている。図５に示すように、被蒸着フィルム５０１は、図２に示す蒸着用フォルダ１００によって台座５０２（試料台）に押し付けられて下向きに固定されている。蒸着用フィルダ１００は、ビス５０３によって台座５０２に固定されている。また、蒸着用フィルダ１００には、図４に示す状態で蒸着マスク２００が固定されている。被蒸着フィルム５０１は、材質が有機樹脂であり、その表面にＥＬ材料が蒸着される。被蒸着フィルム５０１は、他の材料の基板等であってもよい。符号５０４は、蒸発源である。蒸発源５０４には、ＥＬ材料の原料が配置される。
【００３３】
図５に示すように、被蒸着フィルム５０１を台座５０２に固定した状態において、雰囲気を減圧にし、蒸発源５０４を加熱する。この際、蒸発したＥＬ材料が矢印５０５によって示されるように雰囲気中に飛び出し、それが蒸着マスク２００を介して、被蒸着フィルム５０１に付着する。こうして、ＥＬ材料の膜が被蒸着フィルム５０１の表面に形成される。蒸発源５０４の加熱方法は、公知の方法、例えば抵抗加熱方式、電子ビーム加熱方式、高周波誘導加熱方式、レーザー加熱方式等から選ばれた方法が利用される。
【００３４】
（作用効果）
図２に示す蒸着用フォルダ１００は、棒状部材により構成されているので、部材自体に加えられる切削加工のような加工の加工量を少なくすることができる。このため、歪や素材の残留応力を小さくすることができ、これら歪や残留応力に起因する熱変形を抑えることができる。また、各部材がインロー構造により接合されているので、全体の一体性を高めることができ、この点も熱変形を抑える上で有用となる。また、アンバー合金によって構成することで、熱による材質自体の膨張収縮を抑えることができる。また蒸着用フォルダ１００のインロー構造を締り嵌め構造とすることで、各棒状部材同士の一体性をより高めることができ、熱による変形を最小限に抑えることができる。
【００３５】
また、図１に示すマスク伸縮緩衝用溝１０１ｄ、１０２ｄ、１０３ｄ、１０４ｄ、１０５ｃ、１０６ｃ、および１０７ｅを設けることで、熱変形に伴う蒸着マスク２００（例えば図４参照）の平坦性の悪化を抑えることができる。蒸着マスク２００は、蒸着時の熱により膨張するが、薄い平板構造であるので、内側が十字に仕切られた枠型の蒸着用フォルダ１００と同じように膨張はせず、両者の間の熱変形に微妙な違いがある。この熱変形の微妙な違いは、マスク伸縮緩衝用溝１０１ｄ、１０２ｄ、１０３ｄ、１０４ｄ、１０５ｃ、１０６ｃ、および１０７ｅの凹型の断面構造が変形することで吸収される。これにより、上述の熱変形の違いに起因して蒸着マスク２００に波打つような変形が生じることが抑えられ、その平坦性が確保される。
【００３６】
（２） 第２の実施形態
（構成）
次に、伸縮追従機構を備えた蒸着用フォルダの例を説明する。図６は、伸縮追従機構を備えた蒸着用フォルダの一例を示す概念図である。図６に示す蒸着用フォルダ６００の基本的な構造は、図１および図２に示す蒸着用フォルダ１００と同じである。蒸着用フォルダ６００が蒸着用フォルダ１００と異なるのは、蒸着用フォルダ６００を図示しない台座に固定するためのネジ孔の構造にある。
【００３７】
図６に示すように、蒸着用フォルダ６００の四隅には、ネジ孔６０１ａ〜６０１ｄが設けられている。ネジ孔６０１ａは、ネジか挿入されるカラー付きワッシャーの外径よりやや大きい内径の円孔である。ネジ孔６０１ｂ、６０１ｃおよび６０１ｄは、蒸着用フォルダ６００の対角線方向に延在した長孔形状を有している。
【００３８】
図７は、図６に示す蒸着用フィルダ６００を台座６０２に固定した状態におけるネジ孔６０１ａ付近の状態を示す上面図である。図８は、図７のＡ−Ａ’の線で切った断面構造を示す断面図である。図８に示すように、被蒸着フィルム６０５は、台座６０２に蒸着用フォルダ６００によって押さえ付けられて固定されている。図７には、蒸着用フォルダ６００を台座６０２に固定するためのネジ６０６ａが示されている。ネジによるフォルダ６００の台座６０２への固定は、他のネジ孔６０１ｂ〜６０１ｄにおいても行われている。また、蒸着用フォルダ６００には、蒸着マスク６０３が溶接により固定されている。図８において、符号６０４が溶接部分である。
【００３９】
図８に示すように、ネジ孔６０１ａには、カラー付ワッシャー６０７ａを介してネジ６０６ａが挿入されている。ネジ孔６０１ａの内径には余裕が確保されており、ネジ６０６ａによる固定点に対して蒸着用フォルダ６００の変位が僅かではあるが許容されるようになっている。ネジ孔６０１ａの形状は、丸形であるので、この変位は、面内において自在な方向に行うことができる。
【００４０】
次に図６に示すネジ孔６０１ｂ、６０１ｃおよび６０１ｄの部分における台座への固定構造について説明する。この３箇所における固定構造は、基本的に同じである。以下、ネジ孔６０１ｂの部分における固定構造を代表的に示し説明する。図９は、蒸着用フィルダ６００を台座６０２に固定した状態におけるネジ孔６０１ｂ（図６参照）付近の状態を示す上面図である。図１０は、図９のＢ−Ｂ’の線で切った断面構造を示す断面図である。図１０に示すように、ネジ孔６０１ｂには、カラー付ワッシャー６０７ｂを介してネジ６０６ｂが挿入されている。ネジ孔６０１ｂの長手方向に直交する方向（幅方向）の寸法は、カラー付きワッシャー６０７ｂの円筒部の外径に合わせた寸法になっている。このため、カラー付きワッシャー６０７ｂは、ネジ孔６０１ｂの長手方向へは相対的に動けるが、幅方向へは殆ど動けない。なお、蒸着マスク６０３および被蒸着フィルム６０５については、図７および図８に関して説明したのと同じである。また蒸着時には、図５に示すように被蒸着面を下に向け、ＥＬ材料の蒸着が行われる。また、蒸着用フォルダ６００の製造方法は、第１の実施形態の場合と同じであるので、説明は省略する。
【００４１】
このように、蒸着用フォルダを４箇所で台座にネジで固定し、そのうち３箇所を蒸着用フォルダの対角線方向に延在した長孔とする。また、残りの一箇所を円孔（好ましくは、ネジが少し動くことができる拡径された円孔）とする。こうすることで、蒸着用フォルダが熱変形しても、各固定部がその変形に追従し、蒸着用フォルダの２次元的な変形が許容される。このため、蒸着用フォルダの３次元的な変形が抑えられ、蒸着用フォルダの平坦性を保つことができる。
【００４２】
なお、ネジの代わりにピンで蒸着用フォルダを台座に固定してもよい。また、固定に利用する孔を蒸着用フォルダではなく台座側に設けてもよい。この場合、蒸着用フォルダ側に台座側の固定用孔に挿入されるピンが配置される。
【００４３】
（作用効果）
図７〜１０に示す蒸着用フォルダ６００の台座６０２への固定構造によれば、蒸着工程において蓄熱が進行し、蒸着用フォルダ６００が膨張しても、台座への固定部分がその変形に追従し動く。そのため、蒸着用フォルダ６００の波打つような変形を抑えることができ、熱変形により蒸着用フォルダ６００の平坦性が損なわれないようにすることができる。
【００４４】
すなわち、蓄熱が進むと蒸着用フォルダ６００は、膨張し主に２次元的に変形しようとする。ネジ孔６０１ｂ〜６０１ｃは、蒸着用フォルダ６００の対角線方向に延在した長孔であるので、この２次元的な変形に伴ってネジがこの長孔内をスライドする。これにより、ネジ孔６０１を中心とした蒸着用フォルダ６００の台座面に平行な方向への変形が許容され、蒸着用フィルダ６００の波打つような変形の発生が抑えられる。そして、蒸着用フォルダ６００の平坦性の悪化を抑えることができる。蒸着用フォルダ６００の平坦性の悪化が抑えられることで、蒸着マスク６０３の投影角の変化が抑えられ、蒸着材料の均一な定着を行うことができる。
【００４５】
（３） 第３の実施形態
次に第２の実施形態において、蒸着用フォルダに伸縮緩衝機構を配置した態様を説明する。図１１は、伸縮緩衝機構を備えた蒸着用フォルダの一例を示す概念図である。図１１に示す蒸着用フォルダ７００は、図６に示す蒸着用フォルダにおいて、棒状枠部材１０１、１０２、１０３および１０４に、表面から裏面に貫通する複数の孔７０１を形成している。この複数の孔７０１以外は、図６に示す構成と同じである。
【００４６】
孔７０１は、その径が、棒状部材の幅の１０〜２５％程度であり、その開口率が１５〜２５％程度であることが望ましい。孔７０１の径が上記の範囲を下回ると、その効果が発揮されず、上記の範囲を上回ると、蒸着用フォルダ７００の強度が低下する。また、開口効率が上記の範囲を下回ると、その効果が発揮されず、上記の範囲を上回ると、蒸着用フォルダ７００の強度が低下する。なお、開口率は、棒状部材の孔７０１が形成されている面の面積に対する孔７０１の総面積の割合、として定義される。
【００４７】
この態様によれば、蒸着用フォルダ７００の周囲枠部分を構成する棒状部材において、温度分布に大きな勾配が生じないようにすることができる。また孔の部分において熱応力が緩衝され、部分的な応力の集中を防ぐことができる。これにより、蒸着用フォルダ７００全体の変形を抑えることができる。また、複数の孔が形成されることで蒸着用フォルダ７００の重量を軽減することができる。
【００４８】
孔７０１の形状は、円に限定されず、楕円や多角形でもよい。また、孔７０１は、裏面側に貫通していなくてもよいが、緩衝効果を最大限発揮させるには、貫通孔であることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、蒸着マスクを固定する蒸着用治具に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】発明を利用した蒸着用フォルダの分解状態を示す分解図である。
【図２】発明を利用した蒸着用フィルダを示す上面図である。
【図３】蒸着マスクを示す上面図である。
【図４】発明を利用した蒸着用フォルダに蒸着マスクを固定した状態を示す上面図である。
【図５】蒸着の様子を示す概念図である。
【図６】伸縮追従機構を備えた蒸着用フォルダの概要を示す概念図である。
【図７】図６に示す蒸着用フォルダの台座への固定部分を示す拡大図である。
【図８】図７のＡ−Ａ’の線で切った断面を示す断面図である。
【図９】図６に示す蒸着用フォルダの台座への固定部分を示す拡大図である。
【図１０】図９のＢ−Ｂ’の線で切った断面を示す断面図である。
【図１１】伸縮緩衝機構を備えた蒸着用フォルダの概要を示す概念図である。
【符号の説明】
【００５１】
１００…蒸着用フォルダ、１０１…棒状枠部材、１０１ｄ…マスク伸縮緩衝用溝、１０２…棒状枠部材、１０２ｄ…マスク伸縮緩衝用溝、１０３…棒状枠部材、１０３ｄ…マスク伸縮緩衝用溝、１０４…棒状枠部材、１０４ｄ…マスク伸縮緩衝用溝、１０５…棒状仕切り部材、１０５ｃ…マスク伸縮緩衝用溝、１０６…棒状仕切り部材、１０６ｃ…マスク伸縮緩衝用溝、１０７…棒状仕切り部材、１０７ｅ…マスク伸縮緩衝用溝、２００…蒸着マスク、５０１…被蒸着フィルム、５０２…台座、６００…蒸着用フォルダ、６０１ａ〜ｃ…ネジ孔、６０２…台座、６０３…蒸着マスク、６０４…溶接箇所、６０５…被蒸着フィルム、６０６ａ…ネジ、６０６ｂ…ネジ、６０７ａ…カラー付ワッシャー、６０７ｂ…カラー付ワッシャー、７００…蒸着用フォルダ、７０１…孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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