(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第１レンズ群は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズと、像側により屈折力の大きな面を向けた正レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第２接合レンズとを有し、
前記第２レンズ群は、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、
前記第３レンズ群は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第６接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第７接合レンズとを有し、
前記第１レンズ群中の前記メニスカスレンズのｄ線に対する屈折率ｎ１２、及び前記第７接合レンズ中の前記正レンズのｄ線に対する屈折率ｎ８２が、
ｎ１２＞２．０
ｎ８２＞１．８０
の条件を夫々満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第１レンズ群中の前記第２接合レンズを構成する前記負レンズの焦点距離をｆ３１とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、
５＜｜ｆ３１｜／Ｆ＜２５
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第２レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第３接合レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第４接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズとを有することを特徴とする請求項１または２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第６接合レンズ中の前記正レンズのｄ線に対する屈折率ｎ７１が、
ｎ７１＞１．４９
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項５】
前記第１レンズ群中の前記平凸レンズのｄ線に対する屈折率ｎ１１が、
ｎ１１＞１．５５
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液浸系顕微鏡対物レンズに関し、特に対物レンズと観察物体との間の光路を水やオイルなどの液体で満たした状態で観察を行う液浸系顕微鏡に好適な対物レンズに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高倍率の液浸系顕微鏡対物レンズでは、像面湾曲の補正をするために、先端のレンズに相対的に屈折率の低い平凸レンズを埋め込み、その屈折率の差により接合面に負の屈折力を与えてペッツバール和を低減させている。さらに、光束径の小さい位置に互いに向き合った一対の凹面を配置し、その強い負の屈折力によりペッツバール和を減少させている。
【０００３】
すなわち、埋め込みレンズを用いたペッツバール和の低減と、いわゆるガウスタイプを用いたペッツバール和の低減とを組み合わせた構成が、公知の技術となっている。このような液浸系顕微鏡対物レンズで高倍率のアポクロマート級対物レンズが、たとえば特開２０００−３５５４１号公報に開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、先端の埋め込み平凸レンズでペッツバール和を低減させるとき、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズでは、そのレンズ厚をなるべく大きくし、且つ屈折率のより高い光学材料を使用する方が有利である。しかしながら、その反面、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズの像側に向けた曲率の強い凸面で発生する色の球面収差が増大してしまう。
【０００５】
これは、光学材料の屈折率が高くなると分散（波長による屈折率差）が相対的に大きくなる傾向があること、およびメニスカスレンズを厚くするとその空気側屈折面での光束の高さｈが大きくなることに起因している。上述の公報に開示された従来の液浸系顕微鏡対物レンズにおいても、諸収差の補正が充分ではなく、特に色の球面収差（波長による球面収差の差）の高次成分が残存している。
【０００６】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたものであり、高倍率および高開口数を有し、広視野に亘って諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明では、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群とを備え、
前記第１レンズ群は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けたメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズと、像側により屈折力の大きな面を向けた正レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第２接合レンズとを有し、
前記第２レンズ群は、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる接合レンズを有し、
前記第３レンズ群は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第６接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第７接合レンズとを有し、
前記第１レンズ群中の前記メニスカスレンズのｄ線に対する屈折率ｎ１２、及び前記第７接合レンズ中の前記正レンズのｄ線に対する屈折率ｎ８２が、
ｎ１２＞２．０
ｎ８２＞１．８０
の条件を夫々満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。
【０００８】
本発明の好ましい態様によれば、前記第１レンズ群中の前記第２接合レンズを構成する前記負レンズの焦点距離をｆ３１とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、
５＜｜ｆ３１｜／Ｆ＜２５
の条件を満足する。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第２レンズ群は、物体側から順に、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第３接合レンズと、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる第４接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズとを有する。
【００１０】
さらに、本発明の好ましい態様によれば、前記第６接合レンズ中の前記正レンズのｄ線に対する屈折率ｎ７１が、
ｎ７１＞１．４９
の条件を満足する。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記第１レンズ群中の前記平凸レンズのｄ線に対する屈折率ｎ１１が、
ｎ１１＞１．５５
の条件を満足する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明の典型的な形態にしたがう液浸系顕微鏡対物レンズでは、第１レンズ群Ｇ１が３つのレンズ成分で構成されている。第１レンズ成分は、いわゆる埋め込みレンズ成分であって、物体側に平面を向けた平凸レンズと、この平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズである。
【００１３】
ここで、平凸レンズが使用する液体（浸液）とほぼ等しい屈折率を有する構成により、液体と平凸レンズとの境界面で球面収差がほとんど発生しないという利点がある。さらに、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズとの接合面に強い負の屈折力を付与することにより、ペッツバール和を減少させている。
【００１４】
第１レンズ成分を介した光束は、正屈折力の単レンズである第２レンズ成分によって緩やかな屈折作用を受ける。その際に、第２レンズ成分を構成する正レンズが像側により屈折力の大きな面を向ける構成により、マージナル光線の偏角ができるだけ小さくなるようにしている。
【００１５】
第３レンズ成分では、屈折率が互いに近く且つ分散の互いに異なる負レンズと正レンズとを貼り合わせて構成された第２接合レンズにより、第１レンズ成分および第２レンズ成分において像側の曲率の強い凸面で発生する軸上色収差および色の球面収差を補正している。
【００１６】
一方、第２レンズ群Ｇ２では、第１レンズ群Ｇ１からの発散光を収斂光に変換するとともに、負レンズと正レンズとを貼り合わせて構成された接合レンズを配置することにより、球面収差および軸上色収差を補正している。この場合、負レンズと正レンズとの貼り合わせからなる２組の接合レンズすなわち第３接合レンズおよび第４接合レンズと、負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズとで第２レンズ群Ｇ２を構成することが、上述の収差補正の観点から最も好ましい。
【００１７】
第３レンズ群Ｇ３では、ペッツバール和を減少させつつ、軸上色収差と倍率色収差とをバランス良く補正している。この場合、いわゆるガウスタイプに構成する方が、ペッツバール和の良好な補正効果を、ひいては像面湾曲の良好な補正効果を期待することができる。
【００１８】
以下、本発明の各条件式について詳述する。本発明においては、第１レンズ群Ｇ１中の第１接合レンズを構成するメニスカスレンズ、すなわち平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズのｄ線に対する屈折率ｎ１２が、次の条件式（１）を満足する。
ｎ１２＞１．９    （１）
【００１９】
条件式（１）は、平凸レンズが埋め込まれるメニスカスレンズの屈折率ｎ１２について適切な範囲を規定している。条件式（１）の下限値を下回ると、平凸レンズとメニスカスレンズとの接合面において十分な負の屈折力が得られなくなる。その結果、ペッツバール和を十分に減少させることができず、像面の平坦性が悪くなってしまう。視野数２５まで像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式（１）の下限値を２．０に設定することが望ましい。
【００２０】
また、本発明においては、次の条件式（２）を満足することが好ましい。
５＜｜ｆ３１｜／Ｆ＜２５    （２）
ここで、ｆ３１は、第１レンズ群Ｇ１中の第２接合レンズを構成する負レンズの焦点距離である。また、Ｆは、対物レンズ全系の焦点距離である。
【００２１】
条件式（２）は、軸上色収差および色の球面収差を良好に補正するための条件を規定している。条件式（２）の範囲を逸脱すると、色収差だけでなく球面収差の補正も困難になるので好ましくない。なお、１．４以上の開口数ＮＡを確保しつつさらに優れた結像性能を確保するには、条件式（２）の上限値を２１とし、下限値を７と設定することが好ましい。
【００２２】
また、本発明では、第３レンズ群Ｇ３が、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正レンズと像側に凹面を向けた負レンズとの貼り合わせからなる第６接合レンズと、物体側に凹面を向けた負レンズと像側に凸面を向けた正レンズとの貼り合わせからなる第７接合レンズとを有し、次の条件式（３）および（４）を満足することが好ましい。
【００２３】
ｎ７１＞１．４９    （３）
ｎ８２＞１．６    （４）
ここで、ｎ７１は、第６接合レンズ中の正レンズのｄ線に対する屈折率である。また、ｎ８２は、第７接合レンズ中の正レンズのｄ線に対する屈折率である。
【００２４】
条件式（３）は、ガウスタイプに構成された第３レンズ群Ｇ３における、第６接合レンズ中の正レンズの屈折率ｎ７１について適切な範囲を規定している。条件式（３）の範囲を逸脱すると、ペッツバール和を十分に減少させるには、第６接合レンズ中の正レンズの空気側面（物体側面）の曲率半径が小さくなりすぎて、コマ収差が悪化するので好ましくない。なお、像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式（３）の下限値を１．５６に設定することが望ましい。
【００２５】
条件式（４）は、ガウスタイプに構成された第３レンズ群Ｇ３における、第７接合レンズ中の正レンズの屈折率ｎ８２について適切な範囲を規定している。条件式（４）の範囲を逸脱すると、ペッツバール和を十分に減少させるには、第７接合レンズ中の正レンズの空気側面（像側面）の曲率半径が小さくなりすぎて、コマ収差が悪化するので好ましくない。なお、像面湾曲を良好に補正しつつ、さらに良好な結像性能を確保するには、条件式（４）の下限値を１．８０に設定することが望ましい。
【００２６】
また、本発明においては、対物レンズの開口数が１．４を超える場合、第１レンズ群Ｇ１中の平凸レンズのｄ線に対する屈折率ｎ１１が、次の条件式（５）を満足することが好ましい。
ｎ１１＞１．５５    （５）
【００２７】
高い開口数を確保するために、屈折率の比較的高い液体、たとえば１．５５以上の屈折率を有するオイルなどを使用する場合、条件式（５）を満足することにより、液体と平凸レンズとの境界面で発生する球面収差を良好に抑えることができる。
【００２８】
【実施例】
本発明の実施例を、添付図面に基づいて説明する。
各実施例において、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。各実施例の顕微鏡対物レンズは、浸液として油（オイル）を用いた油浸系である。したがって、各実施例の顕微鏡対物レンズを用いて観察を行う場合、観察物体に接するようにカバーガラスが配置され、カバーガラスと対物レンズとの間の光路中に油浸液が満たされる。
【００２９】
各実施例において、顕微鏡対物レンズは無限遠設計されているので、顕微鏡対物レンズの像側に所定の空気間隔を隔てて結像レンズ（第２対物レンズ）を配置し、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの組合せにより有限光学系を形成している。なお、以下の各実施例において示す諸収差図は、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの軸上空気間隔が１５０ｍｍの場合の諸収差図である。ただし、軸上空気間隔が５０ｍｍ〜１８０ｍｍの範囲で変化しても、収差の変動がほとんどないことを本発明者は検証している。
【００３０】
図７は、各実施例における結像レンズの構成を示す図である。図７に示すように、各実施例における結像レンズは、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズＬ２１と、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズＬ２２とから構成されている。次の表（１）に、各実施例における結像レンズの諸元の値を掲げる。表（１）において、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各レンズ面の間隔（ｍｍ）を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【００３１】
【表１】
0004692698.tif 000002
【００３２】
〔第１実施例〕
図１は、本発明の第１実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図１に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズＬ１と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第２接合レンズＬ３とから構成されている。
【００３３】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第３接合レンズＬ４と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第４接合レンズＬ５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズＬ６とから構成されている。
【００３４】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第６接合レンズＬ７と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第７接合レンズＬ８とから構成されている。
【００３５】
第１実施例では、カバーガラスの厚さｔ＝０．１７ｍｍであり、カバーガラスのｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．５２２１６であり、カバーガラスのｄ線に対するアッベ数νｄ＝５８．８０である。また、油浸液のｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．５１５３６であり、油浸液のｄ線に対するアッベ数νｄ＝４１．３６である。
【００３６】
次の表（２）に、第１実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。表（２）において、Ｆは対物レンズ全系の焦点距離（対物レンズのみの焦点距離：ｍｍ）を、ＮＡは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、ＷＤは作動距離（カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔：ｍｍ）をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各レンズ面の間隔（ｍｍ）を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【００３７】
【表２】
0004692698.tif 000003
0004692698.tif 000004
【００３８】
図２は、第１実施例における諸収差図である。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、ＣはＣ線（λ＝６５６．３ｎｍ）を、ＦはＦ線（λ＝４８６．１ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はｄ線を、破線はＣ線を、一点鎖線はＦ線を、二点鎖線はｇ線をそれぞれ示している。
【００３９】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのｄ線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第１実施例では、６０倍の高倍率および１．４の高開口数を確保しつつ、視野数２５まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【００４０】
〔第２実施例〕
図３は、本発明の第２実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図３に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズＬ１と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第２接合レンズＬ３とから構成されている。
【００４１】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第３接合レンズＬ４と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第４接合レンズＬ５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズＬ６とから構成されている。また、第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる接合レンズＬ７’から構成されている。
【００４２】
第２実施例においても第１実施例と同様に、カバーガラスの厚さｔ＝０．１７ｍｍであり、カバーガラスのｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．５２２１６であり、カバーガラスのｄ線に対するアッベ数νｄ＝５８．８０である。また、油浸液のｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．５１５３６であり、油浸液のｄ線に対するアッベ数νｄ＝４１．３６である。
【００４３】
次の表（３）に、第２実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。
表（３）において、Ｆは対物レンズ全系の焦点距離（対物レンズのみの焦点距離：ｍｍ）を、ＮＡは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、ＷＤは作動距離（カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔：ｍｍ）をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各レンズ面の間隔（ｍｍ）を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【００４４】
【表３】
0004692698.tif 000005
0004692698.tif 000006
【００４５】
図４は、第２実施例における諸収差図である。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、ＣはＣ線（λ＝６５６．３ｎｍ）を、ＦはＦ線（λ＝４８６．１ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はｄ線を、破線はＣ線を、一点鎖線はＦ線を、二点鎖線はｇ線をそれぞれ示している。
【００４６】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのｄ線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第２実施例では、１００倍の高倍率および１．４の高開口数を確保しつつ、視野数２５まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【００４７】
〔第３実施例〕
図５は、本発明の第３実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。図５に示す顕微鏡対物レンズにおいて、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に平面を向けた平凸レンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第１接合レンズＬ１と、像側により屈折力の大きな凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第２接合レンズＬ３とから構成されている。
【００４８】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹レンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第３接合レンズＬ４と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズとの貼り合わせからなる第４接合レンズＬ５と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズと両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第５接合レンズＬ６とから構成されている。
【００４９】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合わせからなる第６接合レンズＬ７と、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズと像側に凸面を向けた正メニスカスレンズとの貼り合わせからなる第７接合レンズＬ８とから構成されている。
【００５０】
第３実施例では、第１実施例および第２実施例とは異なり、カバーガラスの厚さｔ＝０．１７ｍｍであり、カバーガラスのｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．８０４１１であり、カバーガラスのｄ線に対するアッベ数νｄ＝４６．５５である。また、油浸液のｄ線に対する屈折率ｎｄ＝１．８０９１４であり、油浸液のｄ線に対するアッベ数νｄ＝１６．１１である。
【００５１】
次の表（４）に、第３実施例にかかる顕微鏡対物レンズの諸元の値を掲げる。表（４）において、Ｆは対物レンズ全系の焦点距離（対物レンズのみの焦点距離：ｍｍ）を、ＮＡは対物レンズ全系の開口数を、βは対物レンズと結像レンズとを組み合わせた合成光学系の倍率を、ＷＤは作動距離（カバーガラスの対物レンズ側の面と対物レンズの最も物体側のレンズ面との軸上間隔：ｍｍ）をそれぞれ表している。さらに、面番号は物体側からの各レンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径（ｍｍ）を、ｄは各レンズ面の間隔（ｍｍ）を、ｎはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示している。
【００５２】
【表４】
0004692698.tif 000007
0004692698.tif 000008
【００５３】
図６は、第３実施例における諸収差図である。各収差図において、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、ＣはＣ線（λ＝６５６．３ｎｍ）を、ＦはＦ線（λ＝４８６．１ｎｍ）を、ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）をそれぞれ示している。また、球面収差図およびコマ収差図において、実線はｄ線を、破線はＣ線を、一点鎖線はＦ線を、二点鎖線はｇ線をそれぞれ示している。
【００５４】
さらに、非点収差図および歪曲収差図は、基準波長としてのｄ線に対する収差を示している。また、非点収差図において、実線はサジタル像面を、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。各収差図から明らかなように、第３実施例では、１００倍の高倍率および１．６５の高開口数を確保しつつ、視野数２５まで色の球面収差を含む諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることがわかる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、６０倍〜１００倍の高倍率および１．４〜１．６５の高開口数を有し、視野数２５までの広視野に亘って諸収差（球面収差、色収差、コマ収差、像面湾曲など）が良好に補正され、優れた結像性能を有する液浸系顕微鏡対物レンズを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図２】第１実施例における諸収差図である。
【図３】本発明の第２実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図４】第２実施例における諸収差図である。
【図５】本発明の第３実施例にかかる液浸系顕微鏡対物レンズの構成を概略的に示す図である。
【図６】第３実施例における諸収差図である。
【図７】各実施例における結像レンズの構成を示す図である。
【符号の説明】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｌｉ  各レンズ成分
【図１】
0004692698.tif 000009
【図２】
0004692698.tif 000010
【図３】
0004692698.tif 000011
【図４】
0004692698.tif 000012
【図５】
0004692698.tif 000013
【図６】
0004692698.tif 000014
【図７】
0004692698.tif 000015