(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に貫通する複数のノズルを有する金属製のノズルプレート本体を有し、該ノズルプレート本体の液滴吐出側表面に、複数の凸部が分布配置され、
前記凸部は、ノズル列方向に延びる平面長方形状を成し、その長辺の長さは、前記ノズルプレート本体が接着されるキャビティプレートと前記ノズルプレート本体とで形成される圧力発生室の同方向の長さ寸法よりもやや長い長さを有し、前記圧力発生室を跨ぐように配置形成されていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
前記凸部は、前記ノズルプレート本体を前記キャビティプレートと接着する際の接着面における接着部分に対応した前記液滴吐出側表面上の部位に形成されていることを特徴とする請求項１記載のノズルプレート。
【請求項３】
前記凸部は、前記液滴吐出側表面に対するワイピングの妨げに成らない高さ及び形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のノズルプレート。
【請求項４】
前記凸部は、ノズル列方向に、前記ノズルの配置ピッチの整数倍のピッチで配列され、その凸部列が前記ノズル列と直交する方向に並列配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載のノズルプレート。
【請求項５】
前記凸部の短辺を外方に凸の円弧状としたことを特徴とする請求項４記載のノズルプレート。
【請求項６】
前記各圧力発生室に共通の液体室で、前記ノズル列方向に延びるリザーバーが前記キャビティプレートに形成されており、そのリザーバーに対応した前記ノズルプレート本体における前記液滴吐出側表面の部位では、前記凸部列が省略されていることを特徴とする請求項５記載のノズルプレート。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れかに記載のノズルプレートの製造方法であって、
母型の表面に、前記凸部の外形形状に相当する凹部を転写加工する工程と、
前記凹部を含む前記母型の表面にシード層を形成する工程と、
前記シード層の表面に、前記ノズルに対応するパターンを形成する工程と、
前記パターンをマスクとして前記シード層の上に前記ノズルプレート本体に相当する電鋳層を形成する工程と、
前記パターンを除去した後、前記母型から前記電鋳層を取り外すことにより、前記ノズル及び前記凸部が形成された前記ノズルプレート本体を得る工程と、
を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６の何れかに記載のノズルプレートの製造方法であって、
母型の表面にシード層を形成する工程と、
前記シード層をパターニングして前記凸部の外形形状に相当する開口を形成する工程と、
前記シード層の表面に前記ノズルに対応するパターンを形成する工程と、
前記パターンをマスクとして前記シード層の上に前記ノズルプレート本体に相当する電鋳層を形成する工程と、
前記パターンを除去した後、前記母型から前記電鋳層を取り外すことにより、前記ノズル及び前記凸部が形成された前記ノズルプレート本体を得る工程と、
を有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項９】
前記シード層の表面に前記ノズルに対応するパターンを形成する工程に先だって、前記ノズル列の周囲を囲むようにして形成される凹状のクレータに対応するパターンを前記シード層の表面に形成し、その上に前記ノズルに対応するパターンを形成するようにしたことを特徴とする請求項７又は請求項８記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１０】
前記ノズルプレート本体の材質が、前記母型と略同等の線膨張係数を有する材料で形成されていることを特徴とする請求項７乃至請求項９の何れかに記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１１】
前記母型がステンレスで構成され、前記ノズルプレートがＮｉ＋Ｃｏ合金で形成されていることを特徴とする請求項１０記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項１２】
請求項１乃至請求項６の何れかに記載のノズルプレートと、該ノズルプレートの前記複数のノズルそれぞれに連通して液滴を収容する複数の圧力発生室を有するキャビティプレートと、該圧力発生室に液滴を飛翔させる圧力変化を与える圧力発生手段とを有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記圧力発生手段は、静電駆動式又は圧電駆動式であることを特徴とする請求項１２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項１２又は請求項１３の液滴吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドのノズルプレート及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に関し、更に詳しくは、電鋳法により作成されるノズルプレートを流路形成基板へ接合する際に好適なノズルプレート構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液滴吐出ヘッドでは、流路形成基板に設けられた圧力発生室内の一部を振動板で構成し、この振動板を静電気力や圧電素子の圧電効果によって弾性変位させ、圧力室内に圧力を発生させることによりノズルから液滴を吐出させるようにしている。この種の液滴吐出ヘッドでは、液滴を吐出するための複数のノズルが形成されたノズルプレートが用いられており、このノズルプレートがノズルと圧力発生室とを連通するように流路形基板に接合されている。従来、このようなノズルプレートをＮｉ電鋳法により製造する方法が提案されていた（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平３−２７４１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のＮｉ電鋳法により形成されたノズルプレートは反りが生じやすいことから、流路形成基板に接着等で接合する際に流路形成部分のシールがとれず、このことが吐出液体の漏れや、液滴の不吐出、液滴の吐出特性のばらつきや吐出液体の経時変化の原因となり、印刷不能や印刷品位の低下に至ってしまうという課題があった。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、流路形成基板と良好に接合できるノズルプレート及びその製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るノズルプレートは、厚み方向に貫通する複数のノズルを有する金属製のノズルプレート本体を有し、ノズルプレート本体の液滴吐出側表面に、複数の凸部が分布配置され、凸部は、ノズル列方向に延びる平面長方形状を成し、その長辺の長さは、ノズルプレート本体が接着されるキャビティプレートと前記ノズルプレート本体とで形成される圧力発生室の同方向の長さ寸法よりもやや長い長さを有し、圧力発生室を跨ぐように配置形成されているものである。
これにより、他のプレートとの接合時にノズルプレートの反りを矯正して良好な接続を行うことが可能なノズルプレートを得ることができる。
また、圧力発生室の周囲の接着を確実に行うことが可能で、隣接する圧力発生室間の液漏れといった不都合を防止することが可能なノズルプレートを得ることができる。
【０００７】
また、本発明に係るノズルプレートは、凸部が、ノズルプレート本体をキャビティプレートと接着する際の接着面における接着部分に対応した液滴吐出側表面上の部位に形成されているものである。
これにより、接合時に接着部分を確実に押圧できるようになり、キャビティプレートとの良好な接着接合をより確実なものとすることができる。
【０００８】
また、本発明に係るノズルプレートは、凸部が、液滴吐出側表面に対するワイピングの妨げに成らない高さ及び形状に形成されているものである。
これにより、ワイピングに不都合を生じることなく上記効果を奏することが可能なノズルプレートを得ることができる。
【０００９】
また、本発明に係るノズルプレートは、凸部が、ノズル列方向に、ノズルの配置ピッチの整数倍のピッチで配列され、その凸部列がノズル列と直交する方向に並列配置されているものである。
これにより、良好な接合を得る上で押圧すべき箇所を均等に押圧することが可能となる。
【００１１】
また、本発明に係るノズルプレートは、凸部の短辺を外方に凸の円弧状としたものである。
このようにすることで、凸部の短辺を直線状とした場合に比べ、液滴吐出側表面のワイピング時のワイパーの抵抗を低減でき、液滴払拭をより確実に行うことが可能となる。なお、ワイピング方向はノズル列に直交する方向を想定している。
【００１２】
また、本発明に係るノズルプレートは、各圧力発生室に共通の液体室で、ノズル列方向に延びるリザーバーがキャビティプレートに形成されており、そのリザーバーに対応したノズルプレート本体における液滴吐出側表面の部位では、凸部列が省略されているものである。
これにより、下部が空間（リザーバーによる空間）となっている部分は押圧せず、そのリザーバーの周囲の押圧必要部位のみを押圧することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、母型の表面に、凸部の外形形状に相当する凹部を転写加工する工程と、凹部を含む母型の表面にシード層を形成する工程と、シード層の表面に、ノズルに対応するパターンを形成する工程と、パターンをマスクとしてシード層の上にノズルプレート本体に相当する電鋳層を形成する工程と、パターンを除去した後、母型から電鋳層を取り外すことにより、ノズル及び凸部が形成されたノズルプレート本体を得る工程とを有するものである。
また、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、ノズルプレートの製造方法であって、母型の表面にシード層を形成する工程と、シード層をパターニングして凸部の外形形状に相当する開口を形成する工程と、シード層の表面にノズルに対応するパターンを形成する工程と、パターンをマスクとしてシード層の上にノズルプレート本体に相当する電鋳層を形成する工程と、パターンを除去した後、母型から電鋳層を取り外すことにより、ノズル及び凸部が形成されたノズルプレート本体を得る工程とを有するものである。
以上のようにして上記効果を奏するノズルプレートを製造することができる。
【００１４】
また、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、シード層の表面にノズルに対応するパターンを形成する工程に先だって、ノズル列の周囲を囲むようにして形成される凹状のクレータに対応するパターンをシード層の表面に形成し、その上にノズルに対応するパターンを形成するようにしたものである。
このようにしてクレータを作成することができる。
【００１５】
また、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、ノズルプレート本体の材質が、母型と略同等の線膨張係数を有する材料で形成されているものである。
これにより、電着工程においてノズルプレート本体の反りや母材からの剥離発生を防止できる。
【００１６】
また、本発明に係るノズルプレートの製造方法は、母型がステンレスで構成され、ノズルプレートがＮｉ＋Ｃｏ合金で形成されているものである。
このように、母型としてステンレスを用いることができ、ノズルプレートにはＮｉ＋Ｃｏ合金を用いることができる。
【００１７】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、上記の何れかのノズルプレートと、ノズルプレートの複数のノズルそれぞれに連通して液滴を収容する複数の圧力発生室を有するキャビティプレートと、圧力発生室に液滴を飛翔させる圧力変化を与える圧力発生手段とを有するものである。
これにより、吐出液体の漏れや、液滴の不吐出、液滴の吐出特性のばらつきや吐出液体の経時変化といった不都合が防止され、液滴の着弾位置の高精度化が可能で、液滴吐出を安定して行うことの可能な液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【００１８】
また、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、圧力発生手段が、静電駆動式又は圧電駆動式であるものである。
このように圧力発生手段としては、静電駆動式又は圧電駆動式のどちらも採用可能である。
【００１９】
また、本発明に係る液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドが搭載されているものである。
これにより、液滴の着弾位置の高精度化が可能で、液滴吐出を安定して行うことの可能な液滴吐出装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１の液滴吐出ヘッドの分解斜視図である。図２は、図１に示す液滴吐出ヘッドの縦断面図である。
【００２１】
実施の形態１の液滴吐出ヘッドは、主にキャビティプレート１、電極基板２及びノズルプレート３が接合されることにより構成されている。キャビティプレート１は、例えば単結晶シリコン基板（以下、単にシリコン基板という）から構成される。なお、図１では、キャビティプレート１として（１００）面方位のシリコン基板を使用している。キャビティプレート１には、ノズルプレート３の複数のノズル２０それぞれに連通して液滴を収容する複数の圧力発生室５と、各圧力発生室５に共通の液体室で、ノズル列方向に延びるリザーバー６と、リザーバー６を各圧力発生室５に連通しているオリフィス６ａとが形成されており、いわゆる流路形成基板となっている。圧力発生室５は、その底壁が振動板４として形成されており、振動板４が変位して内部の液滴に圧力変化が与えられると、ノズル２０から液滴が飛翔するようになっている。圧力発生室５に圧力変化を与える圧力発生手段は、本例では振動板４とこの振動板４に対向して配置された後述の個別電極１１とを有し、振動板４を静電気力で変形させる静電駆動式のものを採用した場合を例に説明するが、圧電駆動方式のものとしても良い。また、図１の電極端子７は、図２に示す駆動回路２３と接続されている。
【００２２】
振動板４は、高濃度のボロン・ドープ層から形成されている。このボロン・ドープ層は、ボロンを高濃度（約５×１０19ａｔｏｍｓ／ｃｍ3以上）にドープして形成されており、例えばアルカリ性水溶液で単結晶シリコンをエッチングしたときに、エッチング速度が極端に遅くなるいわゆるエッチングストップ層となっている。ボロン・ドープ層がエッチングストップ層として機能するため、振動板４の厚み及び圧力発生室５の容積を高精度で形成することができるようになっている。なお、この振動板４は本例では厚さ４μｍで形成されている。かかる構成の振動板４は、各圧力発生室５側の共通電極として機能する。
【００２３】
また、キャビティプレート１の電極基板２側の面全体には、絶縁膜４ａが形成されている。この絶縁膜４ａは、各圧力発生室５側の共通電極として機能する振動板４と後述の個別電極１１との短絡及び絶縁破壊を防止するためのものである。
【００２４】
電極基板２は、例えば厚さが１ｍｍのホウ珪酸ガラスからなり、キャビティプレート１の振動板４側に接合されている。この電極基板２には、振動板４との間にギャップ１０を構成する例えば深さが０．２μｍの電極用凹部１０ａがエッチングにより形成されている。そして、この電極用凹部１０ａの内部には、振動板４に対向して個別電極１１が形成されている。個別電極１１は、酸化錫をドープしたＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ、インジウム錫酸化物）等からなり、例えばスパッタにより厚さ０．１μｍで形成されている。また、電極基板２には、リザーバー６に液滴を供給するための液体供給口１７が設けられている。さらに、個別電極１１は、リード部及び端子部１３（図１参照）を介して駆動回路２３と接続されている。また、ギャップ１０は封止材１０ｂによって封止されている。なお、電極基板２は、ホウ珪酸ガラスではなくシリコン基板等で形成してもよい。
【００２５】
ノズルプレート３は、電鋳法により形成された金属製で、例えば厚さが３２μｍのＮｉ＋Ｃｏ合金基板からなり、その厚さ方向に貫通する複数のノズル２０が形成されている。ノズル２０は、本例ではφ１８μｍのノズル径を有し、ノズルプレート３の下面側が圧力発生室５に連通し、ノズルプレート３の上面側が液滴を吐出するための開口面となっている。ノズル列の周囲には、ノズル列を囲むように深さ約１μｍの凹状のクレータ２１が形成され、このクレータ２１により紙ジャムに対するノズル２０へのダメージを防止できるようになっている。また、クレータ２１は、その底面がノズル２０の先端開口に連通しており、その底面部分にはフッ素系の樹脂のコーティングやフッ素含有のニッケルメッキによる撥液膜（図示せず）が形成されている。また、ノズルプレート３の液滴吐出側表面（以下、ノズル面という）には、例えば高さ約０．２μｍの凸部２２が分布配置されている。この凸部２２の配置位置や形状等の詳細については後述する。
【００２６】
以上のキャビティプレート１、電極基板２及びノズルプレート３の３枚の基板のうち、まず、キャビティプレート１と電極基板２とが陽極接合により接合され、その後、キャビティプレート１とノズルプレート３とが接着剤により接着接合されて液滴吐出ヘッドが構成されている。
【００２７】
このように構成された液滴吐出ヘッドにおいては、駆動回路２３によりキャビティプレート１と個別電極１１の間にパルス電圧が印加されると、振動板４と個別電極１１との間に静電気力が発生し、その吸引作用により振動板４が個別電極１１側に引き寄せられて撓み、圧力発生室５の容積が拡大する。これによりリザーバー６の内部に溜まっていたインク等の液滴がオリフィス２１を通じて圧力発生室５に流れ込む。次に、個別電極１１への電圧の印加を停止すると、静電吸引力が消滅して振動板４が復元し、圧力発生室５の容積が急激に収縮する。これにより、圧力発生室５内の圧力が急激に上昇し、この圧力発生室５に連通しているノズル２０からインク等の液滴が吐出される。
【００２８】
次に、本発明の特徴部分であるノズルプレート３について詳細に説明する。図３は、ノズルプレートの拡大平面図で、図中の点線は、ノズルプレート３をキャビティプレート１に位置合わせした状態においてノズルプレート３の接着面側に位置するキャビティプレート１の圧力発生室５の位置を図示したものである。
ここで、この凸部２２は、ノズルプレート３とキャビティプレート１とを良好に接合するために設けられるもので、この凸部２２の配置位置等に特徴を持たせている。ここではまず、凸部２２の詳細を説明するに先立って、ノズルプレート３とキャビティプレート１との接合手順について説明する。
【００２９】
まず、ノズルプレート３とキャビティプレート１のどちらか一方の接着面に、エポキシ等の接着剤を例えば２μｍ程度の均一な厚みで転写塗布する。そして、両プレート３，１の接着面同士を重ね合わせ、ノズルプレート３のノズル面を定盤で押圧し、ノズルプレート３をその反りを矯正しながらキャビティプレート１に押しつける。そして、その状態を６５℃で２時間保ち、接着剤を硬化させることにより両プレート３，１を接着接合する。
【００３０】
このような接合手順を鑑み、本例では、ノズルプレート３の反りを矯正するとともに、キャビティプレート１との接着部分（接着しろとなる部分）を確実に押圧すべく、ノズルプレート３のノズル面よりも僅かに高い高さを有する凸部２２を、キャビティプレート１との接着部分に対応するノズル面上の部位に分布配置している。なお、この凸部２２は、ノズル面に付着した液滴をワイパーにより払拭するワイピング時に、そのワイピング作業の妨げに成らない程度の高さに設定される。具体的には１μｍ以下とされ、本例では加工性が良い０．２μｍとしている。また、その形状も、ワイピング作業の妨げに成らない形状に設定される。
【００３１】
以下、各凸部２２のノズル面上における具体的な配置概略を図１を参照して説明する。凸部２２は、ノズル列方向（図示上下方向）に、ノズル２０と同数、ノズル２０の配置ピッチに合わせて配列されている。そして、その凸部列２２ａが、ノズル列に直交する方向（図示左右方向）に並列配置されている。また、各凸部２２のそれぞれは、ノズル列方向に延びる平面長方形状を成し、その長さは、圧力発生室５の短手方向（ノズル列方向に一致）の長さ寸法よりもやや長い長さを有し、図３に示すように圧力発生室５を短手方向に跨ぐように配置形成されている。すなわち、各圧力発生室５それぞれの短手方向の両端部の接着しろとなる部分に跨るように形成されている。
【００３２】
このような位置に凸部２２を配置形成することにより、キャビティプレート１との接合に際しての押圧時に、その各凸部２２に対して荷重がかかるようになるため、キャビティプレート１との接着部分を確実に押圧することができ、良好な接合を行うことが可能となる。なお、図１に示されているように、リザーバー６に対応するノズル面上の位置には、凸部列２２ａの形成が省略されており、下部が空間（リザーバー６による空間）となっている部分は押圧せず、そのリザーバー６の周囲の押圧必要部位のみを押圧する構成となっている。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態１によれば、ノズルプレート３のノズル面に凸部２２を分布配置したので、キャビティプレート１との接合時にノズルプレート３の反りを矯正して良好な接合を行うことが可能となる。また、凸部２２は、キャビティプレート１との接着部分に対応するノズル面上の部位に設けているので、接合時に接着部分を確実に押圧できるようになり、キャビティプレート１との接着接合をより確実なものとすることができる。その結果、吐出液体の漏れや、液滴の不吐出、液滴の吐出特性のばらつきや吐出液体の経時変化といった不都合を防止することが可能なノズルプレート３を形成できる。よって、このノズルプレート３を用いて液滴吐出ヘッドを構成することにより、液滴の着弾位置の高精度化が可能で、液滴吐出を安定して行うことの可能な液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【００３４】
また、凸部２２は、ノズル面に対するワイピングの妨げに成らない高さ及び形状に形成されているので、ワイピングに不都合を生じることなく上記効果を奏することが可能なノズルプレート３を得ることができる。なお、ワイピングの妨げになる形状とは、ワイピング時にワイピング方向（ノズル列に直交する方向）に液滴を払拭できなくなる形状であり、例えば、ノズル列方向にそのノズル列の端から端へと延びる１つの凸条部とした場合が相当する。
【００３５】
また、凸部２２を、ノズル２０の配置ピッチの整数倍のピッチで配列し、その凸部列をノズル列と直交する方向に並列配置したので、良好な接合を得る上で押圧すべき箇所を均等に押圧することが可能となる。
【００３６】
また、凸部２２を、ノズル列方向に延びる平面長方形状とし、その長辺の長さを、圧力発生室５の短手方向の長さ寸法よりもやや長い長さとし、圧力発生室５を跨ぐように配置形成したので、圧力発生室５の周囲の接着を確実に行うことが可能となり、隣接する圧力発生室５間の液漏れといった不都合を防止することができる。
【００３７】
なお、本例では、凸部２２を、ノズル列方向にノズル２０数と同数、ノズル２０の配置ピッチに合わせて配列するようにしたが、これに限られたものではなく、ノズル２０の配置ピッチの整数倍のピッチで配列されればよい。例えば、２倍ピッチとして、各ノズル２０それぞれに対応して凸部２２を設けるのではなく、一つおきに凸部２２を設けた構成としてもよい。
【００３８】
なお、各凸部２２の形状は、図示の形状に限られたものではなく、キャビティプレート１との接着部分を確実に押圧することが可能な位置に配置形成されていればその形状は任意に設定可能である。例えば、本例では平面形状が長方形状としているが、短辺を円弧状とするなどとしてもよい。この場合、短辺を直線状とした場合に比べ、ワイピング時のワイパーの抵抗を低減でき、液滴払拭をより確実に行うことが可能となる。なお、ワイピング方向は、ノズル列に直交する方向である。また、例えば、隣接する圧力発生室５間の壁面部に対応して、ノズルプレート３の長手方向に長辺を有する長方形状の凸条部としてもよい。
【００３９】
ここで、本発明のノズルプレートは、電鋳法により形成されて反りが発生しやすい金属製のものを主に想定しているが、シリコン基板で構成したノズルプレートであってもよい。この場合、シリコン基板表面にＳｉＯ2 膜を形成し、そのＳｉＯ2 膜をパターニングすることによりＳｉＯ2 で凸部を形成することができる。
【００４０】
実施の形態２．
次に、実施の形態１の液滴吐出ヘッドの製造方法を説明する。なお、キャビティプレート１及び電極基板２は従来公知の方法を用いて形成でき、ここではその説明を省略し、以下では本発明の要部であるノズルプレート３の製造方法について説明する。なお、以下では、２つの方法を説明する。
【００４１】
図４は、ノズルプレートの製造方法（その１）を示す図である。以下、図４を参照してノズルプレートの製造方法（その１）について説明する。
まず、母型となるステンレス基板３１の表面を無電界メッキまたはスパッタリングによりメタライズして、メッキのシード層３２を形成する（図４（ａ）参照）。そして、このシード層３２をパターニングして凸部２２形成のための凹部（凸部２２の外形形状に相当する凹部）３２ａを形成する（図４（ｂ）参照）。その後、そのシード層３２の上面にレジストフィルム３３を配置してレジストコートを行い（図４（ｃ）参照）、マスク３４を介して露光し（図４（ｄ）参照）、現像することでクレータ２１を形成するための凸パターン３３ａを形成する（図４（ｅ）参照）。そして、その上に再度レジストフィルム３５を配置し、マスク３６を介して露光し（図４（ｆ）参照）、現像することでノズル２０を形成するための凸パターン３５ａを形成する（図４（ｇ）参照）。
【００４２】
そして、このステンレス基板３１に、母型と線膨張係数が等しいＮｉ＋Ｃｏ合金を電着させてノズルプレート本体３７を形成する（図４（ｈ）参照）。この電着工程では、本例では以下の液組成、条件で行った。
【００４３】
（液組成）
・硫酸ニッケル７水塩：１９５ｇ／ｌ
・硫酸コバルト７水塩：  ３５ｇ／ｌ
・食塩              ：  １５ｇ／ｌ
（条件）
・ＰＨ      ：２．０
・電流密度  ：３Ａ／ｄｍ2
・温度      ：２０℃
・メッキ時間：６０分
【００４４】
なお、図４（ｈ）の凹部３７ａは、シード層３２に設けた凹部３２の影響により形成されたものである。そして、レジストによる凸パターン３３ａ，３５ａを除去し、母型（ステンレス基板３１）を取り外してノズルプレート３を完成する（図４（ｉ）参照）。そして、クレータ２１の底面に撥液膜を形成する（図示せず）。
【００４５】
図５は、ノズルプレートの製造方法（その２）を示す図である。以下、図５を参照してノズルプレートの製造方法（その２）について説明する。
まず、母型となるステンレス基板４１の表面へ、超硬の型を用いて凹部（凸部２２の外形形状に相当する凹部）４１ａを転写して予め塑性加工を行う（図５（ａ）参照）。そして、その表面に無電界メッキまたはスパッタリングによりシード層４２をメッキする（図５（ｂ）参照）。図５（ｃ）以降は基本的に図４に示した製造方法（その１）と同様であり、シード層４２の上面にレジストフィルム４３を配置してレジストコートを行い（図５（ｃ）参照）、マスク４４を介して露光し（図５（ｄ）参照）、現像することでクレータ２１を形成するための凸パターン４３ａを形成する（図５（ｅ）参照）。そして、その上に再度レジストフィルム４５を配置し、マスク４６を介して露光し（図５（ｆ）参照）、現像することでノズル２０を形成するための凸パターン４５ａを形成する（図５（ｇ）参照）。そして、このステンレス基板４１に、母型と線膨張係数が等しいＮｉ＋Ｃｏ合金を電着させてノズルプレート本体４７を形成する（図５（ｈ）参照）。この電着工程における液組成、条件は上記図４（ｈ）の電着工程と同じである。
【００４６】
そして、レジストによる凸パターン４３ａ，４５ａを除去し、母型（ステンレス基板４１）を取り外してノズルプレート３を完成する（図５（ｉ）参照）。そして、クレータ２１の底面に撥液膜を形成する（図示せず）。
【００４７】
なお、図５に示した製造方法においては、図４に示した製造方法と異なり、シード層４２に開口が無いため、ノズルプレート３のキャビティプレート１との接着面表面に凹部３７ａが形成されない。このため、接着面の平坦度を確保でき、シール性の接着品質をより確保することが可能となる。また、シード層４２のパターニングの工程が不要になるため、より製造が容易である。
【００４８】
また、ノズルプレート３は、母型となるステンレスと略同等の線膨張係数を有するＮｉ＋Ｃｏ合金より形成されているため、電着工程におけるノズルプレート３本体の反りやステンレス基板３１，４１からの剥離発生を防止できる。
【００４９】
実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態に係る液滴吐出装置の一例を示す図で、図６では、特にインクを吐出するインクジェット記録装置の例で示している。図６に示されるインクジェット記録装置１００は、インクジェットプリンタであり、実施の形態１の液滴吐出ヘッドを搭載している。このため、液滴の着弾位置が高精度で、液滴吐出を安定して行うことができ、安定した高品質の印字が可能なインクジェット記録装置１００を得ることができる。
【００５０】
なお、実施の形態１に係る液滴吐出ヘッドは、図６に示すインクジェットプリンタの他に、吐出する液体を種々変更することで、カラーフィルタのマトリクスパターンの形成、有機ＥＬ表示装置の発光部の形成、生体液体試料の吐出等を行う液滴吐出装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】実施形態１の液滴吐出ヘッドの分解斜視図。
【図２】図１の液滴吐出ヘッドの概略縦断面図。
【図３】ノズルプレートの拡大平面図。
【図４】ノズルプレートの製造方法（その１）を示す図。
【図５】ノズルプレートの製造方法（その２）を示す図。
【図６】実施の形態１の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の一例図。
【符号の説明】
【００５２】
３  ノズルプレート、５  圧力発生室、６  リザーバー、２０  ノズル、２１  クレータ、２２  凸部、２２ａ  凸部列、１００  インクジェット記録装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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