(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体（２１）を備え前記振動体（２１）の検出振動に基づいて角速度の検出を行う角速度検出素子（２０）を備える構造体（１００）を、ケース（２００）内に支持してなる角速度センサ装置において、
前記ケース（２００）は樹脂よりなり、
前記ケース（２００）の一部は、前記ケース（２００）を構成する樹脂により形成され前記構造体（１００）を支持する支持部（２２０）となっており、
前記支持部（２２０）は、前記振動体（２１）の検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向にバネ性によって振動可能なものであり、
前記支持部（２２０）の振動により、外部振動に対する前記振動体（２１）の防振がなされており、
前記支持部（２２０）は、前記検出振動の方向（Ｙ）に沿った前記構造体（１００）の両外側に設けられて前記構造体（１００）を挟み込むように支持する一対のものであり、
各々の前記支持部（２２０）の一部が、当該支持部（２２０）の他の部位よりも細い部位（２２２）となっており、この細い部位（２２２）が前記検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向にバネ性を有するものとなっていることを特徴とする角速度センサ装置。
【請求項２】
前記支持部（２２０）における前記細い部位（２２２）は、前記検出振動の方向（Ｙ）を厚さ方向とする板状のものであることを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ装置。
【請求項３】
前記検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向における前記支持部（２２０）と前記構造体（１００）との間には、前記支持部（２２０）を構成する樹脂よりも内部損失の大きな樹脂よりなる介在部材（４００）が介在していることを特徴とする請求項１または２に記載の角速度センサ装置。
【請求項４】
前記支持部（２２０）を含む前記ケース（２００）の全体を構成する樹脂が、液晶ポリマーであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
【請求項５】
前記支持部（２２０）を含む前記ケース（２００）の全体を構成する樹脂が、エラストマーであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
【請求項６】
前記ケース（２００）のうち前記支持部（２２０）を構成する樹脂のみが、液晶ポリマーであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
【請求項７】
前記ケース（２００）のうち前記支持部（２２０）を構成する樹脂のみが、エラストマーであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
【請求項８】
前記ケース（２００）と前記支持部（２２０）が粘弾性を有する接着部材で接合されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の角速度センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型の角速度検出素子を有する構造体をケースに支持してなる角速度センサ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の角速度センサ装置は、振動体を備え当該振動体の検出振動に基づいて角速度の検出を行う振動型の角速度検出素子を有しており、この角速度検出素子を含む構造体をケースに支持してなる。
【０００３】
ここで、このような振動型の角速度センサ装置においては、振動体を駆動振動させ、角速度印加時のコリオリ力による振動体の変位すなわち検出振動を検出することで角速度検出を行う。この検出振動は、通常、数千Ｈｚ程度の高周波振動であり、このような高周波の検出振動に基づいて角速度検出を行う。
【０００４】
そのため、検出振動の振動方向に沿った高周波の外部振動が、ケースを介して振動体へ伝わり、その検出振動に重畳された場合、検出誤差を生じる。そのため、防振を施すにあたっては、検出振動の振動方向における高周波の外部振動を減衰することが必要となってくる。
【０００５】
従来では、この防振構造を施した角速度センサ装置として、樹脂ケースにインサートされた金属バネを用い、その伝達特性により、角速度検出素子を含む構造体に加わる外部振動（加速度）を減衰させるものが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】再公表特許２００３−４６４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した従来の角速度センサ装置では、金属材料を防振バネとして使用しているため、振動の共振点においてはＱ値が大きくなり、たとえば、そのバネの共振点付近では、センサ信号を信号処理するのに必要な内部レンジに対して余裕がなくなるという問題を生じる。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、振動型の角速度検出素子を有する構造体をケースに支持してなる角速度センサ装置において、金属バネを用いることなく、金属バネよりもＱ値の低減が可能な防振構造を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、ケース（２００）を樹脂よりなるものとし、ケース（２００）の一部を、ケース（２００）を構成する樹脂により形成され構造体（１００）を支持する支持部（２２０）とし、この支持部（２２０）を、振動体（２１）の検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向にバネ性によって振動可能なものとして、支持部（２２０）の振動により、外部振動に対する振動体（２１）の防振を行うようにし、支持部（２２０）は、検出振動の方向（Ｙ）に沿った構造体（１００）の両外側に設けられて構造体（１００）を挟み込むように支持する一対のものであり、各々の支持部（２２０）の一部が、当該支持部（２２０）の他の部位よりも細い部位（２２２）となっており、この細い部位（２２２）が検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向にバネ性を有するものとしたことを特徴とする。
【０００９】
それによれば、樹脂よりなるケース（２００）の一部である支持部（２２０）により振動体（２１）の防振を行うが、この支持部（２２０）は金属バネよりも内部損失の大きな樹脂材料よりなるため、金属バネを用いることなく、金属バネよりもＱ値の低減が可能な防振構造を実現することができる。
【００１１】
さらに、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の角速度センサ装置において、支持部（２２０）における細い部位（２２２）を、検出振動の方向（Ｙ）を厚さ方向とする板状のものにすれば、支持部（２２０）における細い部位（２２２）を、検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向にバネ性により振動可能なものにしやすい。
【００１２】
また、上記構成において、請求項３に記載の発明のように、検出振動の方向（Ｙ）に沿った方向における支持部（２２０）と構造体（１００）との間に、支持部（２２０）を構成する樹脂よりも内部損失の大きな樹脂よりなる介在部材（４００）を介在させれば、さらに外部振動の減衰性能を向上させることが可能となる。
【００１３】
また、支持部（２２０）の形態としては、ケース（２００）が基部（２１０）を有し、構造体（１００）がこの基部（２１０）の上に配置されている場合、支持部（２２０）を、基部（２１０）から構造体（１００）に向かって延びるように配設されたものとし、支持部（２２０）の先端部にて構造体（１００）における基部（２１０）との対向する部位を支持するようにしてもよい。
【００１４】
ここで、支持部（２２０）を含むケース（２００）の全体を構成する樹脂を、液晶ポリマーやエラストマーとしたり、ケース（２００）のうち支持部（２２０）を構成する樹脂のみを、液晶ポリマーやエラストマーとすることで、支持部（２２０）のバネ性を適切に発揮させることができる。
【００１５】
また、ケース（２００）と支持部（２２０）が粘弾性を有する接着部材で接合されていてもよい。
【００１６】
なお、特許請求の範囲およびこの欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１８】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る角速度センサ装置Ｓ１の概略平面構成を示す図、図２は、図１に示される角速度センサ装置Ｓ１の概略側面図、図３は、図１中のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。また、図４は、本角速度センサ装置Ｓ１における構造体１００の内部構成を示す概略断面図であり、ＸＹＺ座標が図３と同様である場合の断面構成を示している。
【００１９】
なお、図１、図２では、角速度センサ装置Ｓ１におけるカバー３００の内部構成を当該カバー３００を透過して示してある。また、図３では、構造体１００の内部構成を省略しており、この構造体１００の内部構成は図４に示している。この角速度センサ装置Ｓ１は、たとえば自動車に搭載されて自動車に印加される角速度を検出するものとして適用される。
【００２０】
図１に示されるように、この角速度センサＳ１は、大きくは、角速度検出素子２０および回路基板３０をパッケージ１０に収納してなるユニットとしての構造体１００を、樹脂よりなるケース２００に支持してなる。
【００２１】
まず、主として、図４を参照して、角速度センサ装置Ｓ１の検出部となる構造体１００について説明する。
【００２２】
パッケージ１０は、角速度検出素子２０および回路基板３０を収納するものであって、構造体１００の本体を区画形成する基部となる。ここでは、パッケージ１０は、一面側に開口部１１を有し、この開口部１１を介して上記角速度検出素子２０や回路基板３０が、パッケージ１０内に収納されるようになっている。
【００２３】
そして、構造体１００は、このパッケージ１０の開口部１１側をケース２００の基部２１０と対向させた状態で、ケース２００上に搭載されるとともに、ケース２００の一部である支持部２２０により支持されている（図１〜図３参照）。このケース２００による構造体１００の支持構造の詳細については後述する。
【００２４】
このパッケージ１０は、図示しないが、たとえばアルミナなどのセラミック層が複数積層された積層基板として構成されており、各セラミック層の表面や各セラミック層に形成されたスルーホールの内部に配線が形成されたものである。
【００２５】
そして、このパッケージ１０の上記配線は、パッケージ１０の開口部１１およびパッケージ１０における開口部１１とは反対側の他面に露出している。ここで、上記図１においては、パッケージ１０の上記他面に露出する配線１２が示されている。
【００２６】
そして、図４に示されるように、パッケージ１０の上記配線のうち開口部１１内に露出する配線は、ボンディングワイヤ５０を介して角速度検出素子２０や回路基板３０と電気的に接続されている。
【００２７】
一方、図１、図２に示されるように、パッケージ１０の上記他面に露出する配線１２は、ケース２００に設けられているターミナル２３０の一端部とボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続されている。
【００２８】
こうして、構造体１００においては、このパッケージ１０の配線およびボンディングワイヤ５０を介して、角速度検出素子２０や回路基板３０とが、ケース２００のターミナル２３０に電気的に接続されている（図１、図２参照）。
【００２９】
また、図４に示されるように、パッケージ１０の開口部１１には、金属や樹脂あるいはセラミックなどからなる蓋（リッド）１３が溶接やロウ付けなどにより取り付けられ、この蓋１３によってパッケージ１０の内部が封止されている。
【００３０】
そして、図４に示されるように、パッケージ１０の開口部１１の底部側から、回路基板３０、角速度検出素子２０が接着剤４０を介して、順次搭載され固定されている。
【００３１】
この接着剤４０は、一般的な接着剤を採用することができるが、好ましくは、各部の熱応力の緩和のために弾性率の低い軟接着剤が用いられる。そのような軟接着剤としては、たとえば、シリコーンゲルなどの樹脂接着剤やシリコーン系、エポキシ系、ポリイミド系などの接着フィルムが用いられる。
【００３２】
角速度検出素子２０は一般的な振動型の角速度検出素子と同様に、振動体２１を備えた半導体チップとして構成されたものである。このような角速度検出素子２０は、たとえばＳＯＩ（シリコン−オン−インシュレータ）基板などの半導体基板に対して周知のマイクロマシン加工を施すことにより形成されたものである。
【００３３】
具体的に、角速度検出素子２０における振動体２１は、一般に知られている櫛歯構造を有する梁構造体とすることができ、弾性を有する梁により支持されて角速度の印加により可動となっている。
【００３４】
そして、図４において、振動体２１がＸ軸方向に駆動振動しているときにＺ軸回りの角速度Ωが印加されると、Ｘ軸と直交するＹ軸の方向へコリオリ力により振動体２１が検出振動するようになっている。以下、Ｘ軸方向を駆動振動の方向Ｘといい、Ｙ軸方向を検出振動の方向Ｙということにする。
【００３５】
そして、角速度検出素子２０には、図示しない検出用電極が設けられ、振動体２１の検出振動による振動体２１と当該検出用電極との間の静電容量変化を検出することにより、角速度Ωの検出が可能となっている。
【００３６】
このように、角速度検出素子２０は振動体２１の検出振動、本例ではＹ軸方向への検出振動に基づいて、角速度Ωを検出するものである。ここで、この種の振動型の角速度センサ１００においては、検出振動の周波数は振動体の構成などから特に決められているわけではないが、通常は、たとえば数千Ｈｚ程度である。
【００３７】
また、回路基板３０は、角速度検出素子２０へ駆動や検出用の信号を送ったり、角速度検出素子２０からの電気信号を処理して外部へ出力する等の機能を有する信号処理チップとして構成されたものである。
【００３８】
このような回路基板３０は、たとえばシリコン基板等に対してＭＯＳトランジスタやバイポーラトランジスタ等が、周知の半導体プロセスを用いて形成されているＩＣチップなどにより構成されたものである。
【００３９】
そして、図４に示されるように、角速度検出素子２０と回路基板３０、および、回路基板３０とパッケージ１０の上記配線とは、それぞれ金やアルミニウムなどからなるボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続されている。
【００４０】
このように、本実施形態の構造体１００においては、角速度検出素子２０、回路基板３０、およびパッケージ１０の各部間はボンディングワイヤ５０を介して電気的に接続されている。
【００４１】
こうして、角速度検出素子２０からの電気信号は回路基板３０へ送られて、たとえば、回路基板３０に備えられたＣ／Ｖ変換回路などにより電圧信号に変換されて、角速度信号として出力されるようになっている。
【００４２】
そして、上述したが、パッケージ１０の上記配線およびボンディングワイヤ５０を介して、角速度検出素子２０や回路基板３０と、ケース２００のターミナル２３０とが電気的に接続されているため、上記角速度信号は、ターミナル２３０を介して、外部へ出力される。
【００４３】
以上のように構成された構造体１００は、図１〜図３に示されるように、パッケージ１０の開口部１１側をケース２００の基部２１０と対向させた状態で、ケース２００上に搭載される。そして、構造体１００は、ケース２００の支持部２２０により支持されて、基部２１０から浮いた状態となっている。
【００４４】
ここで、ケース２００は樹脂よりなるが、基部２１０とこの基部２１０に支持された支持部２２０とよりなる。ケース２００の支持部２２０は、ケース２００を構成する樹脂により形成され構造体１００を支持するものであり、この支持部２２０は、振動体２１の検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性によって振動可能なものである。
【００４５】
このようなバネ性を持たせるために、本実施形態では、基部２１０および支持部２２０を含むケース２００全体を、液晶ポリマーより構成している。本実施形態では、支持部２２０は、基部２１０から構造体１００に向かって延びる一対のものである。
【００４６】
具体的には、図１〜図３に示されるように、支持部２２０は、検出振動の方向であるＹ軸に沿った構造体１００の両外側に設けられた一対のものであり、ここでは、この支持部２２０は、スナップフィットとして機能するものである。
【００４７】
そして、支持部２２０は、構造体１００に接触する突起部２２１を有し、この突起部２２１にて１００に当接すると同時に、支持部２２０のバネ性を利用して両支持部２２０の間に構造体１００を挟み込むように支持している。
【００４８】
また、図２、図３に示されるように、各々の支持部２２０の一部が、当該支持部２２０の他の部位よりも細い部位２２２となっている。具体的には、支持部２２０は、その根元部から構造体１００に接触する部位の間が、細くなっており、この細い部位２２２が検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性を有するバネ部２２２となっている。
【００４９】
本例では、支持部２２０における細い部位２２２としてのバネ部２２２は、検出振動の方向Ｙを厚さ方向とする板状のものである。つまり、バネ部２２２は検出振動の方向Ｙに自由度を持つ板バネ形状となっており、検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性により振動可能なものになっている。
【００５０】
さらに言うならば、本例のバネ部２２２は、当該バネ部２２２が延びる方向と直交する方向にバネ性によって振動可能なものであり、バネ部２２２は実質的に振動体２１の検出振動の方向Ｙと同一方向に振動可能になっている。
【００５１】
そして、このようなバネ部２２２においては、たとえば、バネ部２２２の長さを長くすることにより、このバネ部２２２をバネ、構造体１００をマスとしたバネマス系における共振周波数を低くすることができる。
【００５２】
それによって、上記検出振動の振動方向Ｙに沿った高周波の外部振動が、ケース２００２００に加わっても、その外部振動は、このバネ部２２２の振動によって減衰されるため、振動体２１の検出振動には重畳しない。
【００５３】
このように、本実施形態の角速度センサ装置Ｓ１においては、支持部２２０におけるバネ部２２２の振動により、外部振動に対する振動体２１の防振がなされるようになっている。
【００５４】
なお、外部振動を減衰させようとするとき、この種の角速度センサ装置の場合は、駆動周波数での減衰量を確保する必要があるが、その周波数は１０ｋＨｚ前後となり、その周波数を減衰させるのに必要なバネ部２２２の共振周波数として、たとえば１ｋＨｚ前後に設定する必要がある。このとき、バネ部２２２の持つ共振倍率によっては、回路の内部レンジをオーバーする場合があり、倍率を低減させることが望ましい。
【００５５】
また、本角速度センサ装置Ｓ１においては、上述したようにケース２００には、上記ターミナル２３０がインサート成形されている。このターミナル２３０は、銅や４２アロイなどの導電性材料からなる一般的なものであり、複数本設けられている。。
【００５６】
そして、上述したように、各ターミナル２３０は、たとえば外部の回路基板などに電気的に接続されるとともに、構造体１００とこのターミナル２３０とをボンディングワイヤ５０にて結線することで、角速度センサ装置Ｓ１における信号が外部へ取り出されるようになっている。
【００５７】
また、図１〜図３に示されるように、この構造体１００を支持するケース２００には、これら構造体１００およびケース２００を覆うように、カバー３００が取り付けられている。そして、構造体１００およびケース２００は、このカバー３００により保護されている。
【００５８】
このような角速度センサ装置Ｓ１は、次のようにして製造することができる。パッケージ１０に回路基板３０、角速度検出素子２０を収納し、ワイヤボンディングを行って、リッド１３を取り付けて構造体１００を形成する。
【００５９】
次に、この構造体１００をケース２００に対して、本例では、スナップフィットとしての支持部２２０を介してはめ込むことで、支持させる。その後、構造体１００とケース２００のターミナル２３０との間でワイヤボンディングを行い、カバー３００を被せることにより、角速度センサ装置Ｓ１ができあがる。
【００６０】
ところで、本実施形態によれば、樹脂よりなるケース２００の一部である支持部２２０にバネ部２２を形成することにより、当該支持部２２０を、振動体２１の検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性によって振動可能なものとしている。
【００６１】
このようにして、この支持部２２０を実質的に振動体２１の検出振動と同一方向に振動させて振動体２１の防振を行うが、この支持部２２０は金属よりも内部損失の大きな樹脂材料よりなるため、結果として共振倍率を低減することが可能となる。
【００６２】
つまり、樹脂の方が金属よりも、振動の減衰における損失係数が大きいため、Ｑ値すなわち共振時における振動のピーク値を低減することができ、防振に効果がある。よって、本実施形態によれば、金属バネを用いることなく、金属バネよりもＱ値の低減が可能な防振構造を実現することができる。
【００６３】
（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る角速度センサ装置Ｓ２の概略平面構成を示す図である。本実施形態の角速度センサ装置Ｓ２は、上記図３に示される角速度センサ装置において、介在部材４００を追加したものである。
【００６４】
図５に示されるように、本実施形態では、検出振動の方向Ｙに沿った方向における支持部２２０と構造体１００との間に、支持部２２０を構成する樹脂よりも内部損失の大きな樹脂よりなる介在部材４００を介在させている。
【００６５】
ここでは、上記第１実施形態の支持部２２０に設けられていた突起部２２１（上記図１、図３参照）を、介在部材４００に置き換えている。このような介在部材４００としては、たとえば、支持部２２０を構成する樹脂が液晶ポリマーである場合には、この液晶ポリマーよりも内部損失の大きなゴム材料よりなるものにできる。もちろん、ゴム以外のものでもよい。
【００６６】
それによれば、この介在部材４００が、それ自身が持つ粘弾性により検出振動の方向Ｙに沿った方向に変形するため、防振効果を発揮する。そのため、本実施形態によれば、上記実施形態と同様の作用効果を発揮するとともに、さらに外部振動の減衰性能を向上させることが可能となる。
【００６７】
（第３実施形態）
図６は、本発明の第３実施形態に係る角速度センサ装置Ｓ３の概略断面構成を示す図である。
【００６８】
本実施形態の角速度センサ装置Ｓ３においても、上記実施形態と同様、構造体１００を、樹脂よりなるケース２００内に支持するにあたって、ケース２００の一部を上記支持部２２０として構成し、この支持部２２０を介して構造体１００を支持することにより、振動体２１の防振がなされている。
【００６９】
そして、本実施形態においても、上記実施形態と同様に、ケース２００は基部２１０を有し、構造体１００は、この基部２１０の上に配置されている。
【００７０】
ここで、本実施形態では、図６に示されるように、支持部２２０は、基部２１０から構造体１００に向かって延びるように配設されており、支持部２２０の先端部にて構造体１００における基部２１０との対向する部位を支持している。
【００７１】
この場合、構造体１００は、そのパッケージ１０の蓋１３において支持部２２０の先端部に接着などにより固定されている。
【００７２】
そして、支持部２２０は、この構造体１００を支持する先端部と基部２１０側の根元部との間の部位が、上記実施形態と同様に、当該支持部２２０の他の部位よりも細い形状となったバネ部２２２を構成している。本例では、バネ部２２２は、上記例と同様、板バネ形状である。
【００７３】
このような本実施形態の角速度センサ装置Ｓ３によっても、上記実施形態と同様の作用効果を発揮することが可能である。
【００７４】
（他の実施形態）
なお、上記第１および第２実施形態では、支持部２２０は、検出振動の方向Ｙに沿った構造体１００の両外側に設けられて構造体１００を挟み込むように支持する一対のものであったが、支持部２２０は、振動体１００の検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性によって振動可能なものであれば、その支持の形態は、これら一対の支持部２２０に限定されるものではない。
【００７５】
たとえば、上記図１において、支持部２２０は構造体１００の四隅に設けられ、構造体１００の４つのコーナー部分を挟んで支持するものであってもよい。
【００７６】
また、上記した各実施形態において、支持部２２０におけるバネ部２２２は、支持部２２０の一部が、当該支持部２２０の他の部位よりも細い形状となっているが、検出振動の方向Ｙに沿った方向にバネ性を有するものであれば、バネ部の形状としては任意の形状が可能である。
【００７７】
たとえば、バネ部としては、上述した板バネ形状以外にも、棒状のものでもよい。棒状のバネ部とすれば、検出振動の方向Ｙ以外にも駆動振動の方向Ｘにも、バネ性を有して振動可能な支持形態とすることができる。さらに、バネ部としては、たとえばコイルバネ形状などでもよい。
【００７８】
また、ケース２００を構成する樹脂としては、上記実施形態に示した液晶ポリマー以外にも、支持部２２０が上記したバネ性を適切に発揮できるものであればよく、そのような樹脂としては、たとえば、ゴムなどであってもよい。
【００７９】
また、上記各実施形態では、支持部２２０を含むケース２００の全体を構成する樹脂を、液晶ポリマーとしたが、ケース２００のうち支持部２２０を構成する樹脂のみを、液晶ポリマーとしてもよい。さらには、これらケース２００や支持部２２０をエラストマーで構成してもよい。
【００８０】
この場合、ケース２００のうち支持部２２０以外の部位、すなわちケース２００の基部２１０などは、たとえばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）などにより構成することができる。これら異種の樹脂材料よりなるケース２００は、異種材料部位間の接着や、２重の樹脂成形を行うことなどにより形成可能である。そして、この場合、ケース２００と支持部２２０とは、ゴム系接着剤などの粘弾性を有する接着部材で接合されていてもよい。
【００８１】
また、上記各実施形態において、構造体１００は、パッケージ１０の開口部１１側をケース２００の基部２１０と対向させた状態で、ケース２００上に搭載されているが、これとは、逆に、パッケージ１０の開口部１１側とは反対側の部位をケース２００の基部２１０と対向させた状態で、ケース２００上に搭載されていてもよい。
【００８２】
また、支持部２２０と構造体１００との固定方法としては、上述したスナップフィットや接着などの手段以外にも、各種の接合方法を採用することができる。
【００８３】
また、構造体１００としては、パッケージ１０に、回路基板３０が収納されていなくてもよく、角速度検出素子２０のみが収納されていてもよい。その場合、角速度検出素子２０とパッケージ１０の配線とを直接ボンディングワイヤ５０で接続するなどの構成とすればよい。つまり、構造体としては、振動体を備え当該振動体の検出振動に基づいて角速度の検出を行う角速度検出素子を備えるものであればよい。
【００８４】
また、ケースとしては、上記したターミナルを有するものでなくてもよく、角速度検出素子を含む構造体を支持することができ、好ましくは、角速度検出素子と外部との電気的な接続を行うことが可能なものであれば、種々のものを採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る角速度センサ装置の概略平面図である。
【図２】図１に示される角速度センサ装置の概略側面図である。
【図３】図１中のＡ−Ａ概略断面図である。
【図４】図１に示される角速度センサ装置における構造体の概略断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る角速度センサ装置の概略平面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る角速度センサ装置の概略断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
２０…角速度検出素子、２１…振動体、１００…構造体、
２００…ケース、２１０…ケースの基部、２２０…ケースの支持部、
２２２…支持部におけるバネ部、４００…介在部材、Ｙ…検出振動の方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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