(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
感温室を有する良熱伝導性の感温部材を用意し、
前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に被検室を形成するように配置し、前記感温室と被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、
前記被検室の圧変化を測定するとともに、前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に被検室の温度変化のデータを得、
前記被検室の圧変化と温度変化のデータに基づいて漏れ判定を行なうことを特徴とするリークテスト方法。
【請求項２】
内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
（ａ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に採取用被検室の温度変化のデータを得、これにより、採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と温度変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
（ｂ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に検査用被検室の温度変化のデータを得、この温度変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
を実行することを特徴とするリークテスト方法。
【請求項３】
内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
（ｃ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、これにより、前記採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と感温室の圧変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
（ｄ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、この感温室の圧変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
を実行することを特徴とするリークテスト方法。
【請求項４】
前記相関関係は、前記閉鎖後の所定時点から一定時間経過時までの圧変化量に基づいて求めることを特徴とする請求項２又は３に記載のリークテスト方法。
【請求項５】
前記圧変化は、測定対象の室と基準となる空間との差圧を測定する差圧センサによる差圧変化とすることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のリークテスト方法。
【請求項６】
検査対象が互いに連通する複数の内部空間を有しており、
これら内部空間の各々に感温部材を収容するとともに、これら感温部材の感温室どうしを互いに連通して等圧とし、前記圧変化の測定を行なうことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のリークテスト方法。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか１項に記載のリークテスト方法に用いる感温部材であって、前記感温室と、この感温室に連なるポートとを有し、このポートを介して加圧気体の導入及び圧変化の測定がなされることを特徴とするリークテスト用感温部材。
【請求項８】
外周面と内周面に吸放熱のためのフィンがそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項７に記載のリークテスト用感温部材。
【請求項９】
良熱伝導性を有して環状をなし、シール部材を挟んで積層された複数の感温部材本体と、これら感温部材本体を連ねる連結手段とを備え、前記複数の感温部材本体の中心孔どうしが連通されることにより前記感温室が形成されており、前記フィンが、各感温部材本体の外周面と内周面にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項８に記載のリークテスト用感温部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、検査対象の内部空間に加圧気体を導入してその圧変化を測定することによりリークテストを行なう方法に関し、特に、温度変化に伴う圧変化分を除いて漏れ判定できるようにしたリークテスト方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に差圧式のリークテストでは、検査対象の内部空間と基準となる空間とに圧縮エア等の加圧気体を導入した後、この内部空間と基準空間とを互いに遮断して各々閉鎖系とする。検査対象から漏れがあったときは、これが差圧として検出される。これによって、検査対象の良否を判定することができる。
【特許文献１】特開２００４−６１２０１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
検査対象の内部空間に加圧気体を導入すると、断熱圧縮により昇温し、その後、経時的に放熱し、温度が下がる。また、検査対象が加温又は冷却され周辺の設備や雰囲気との間に温度差があったり、加圧気体が検査対象とは異なる温度であったりすると、検査対象の内部温度が経時的に変動する。このような温度変化も圧変化の原因となる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
したがって、漏れ判定の精度を高めるには、圧変化のうち温度変化による分が除かれている必要がある。先ず考えられるのは、検査対象の内部空間に例えば熱電対のような一般的な温度計を設けて温度変化を把握し補正することである。
しかし、上記の断熱圧縮等による温度変化は微かな量であり、そのようなシビアな解析度を満たす温度計となると入手困難である。また、ある程度の容積を有する検査対象の内部空間のうち、温度計の位置する一点の温度のみを局所的に測定することになり、内部空間に温度分布がある場合には対応しきれない。
そこで、内部空間を有する検査対象のためのリークテスト方法において、
感温室を有する良熱伝導性の感温部材を用意し、
前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に被検室を形成するように配置し、前記感温室と被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、
前記被検室の圧変化を測定するとともに、前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に被検室の温度変化のデータを得、
前記被検室の圧変化と温度変化のデータに基づいて漏れ判定を行なうことが好ましい。
また、 検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
（ａ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に採取用被検室の温度変化のデータを得、これにより、採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と温度変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
（ｂ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定することにより実質的に検査用被検室の温度変化のデータを得、この温度変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
を実行することが好ましい。
或いは、検査対象と実質的に同構成をなす相関関係採取対象と、感温室を有する良熱伝導性の感温部材とを用意しておき、
（ｃ）前記感温部材を前記採取対象の内部空間の内面との間に採取用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記採取用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記採取用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、これにより、前記採取用被検室ひいては後記検査用被検室における圧変化と感温室の圧変化の相関関係を求める相関関係取得工程と、
（ｄ）前記感温部材を検査対象の内部空間の内面との間に検査用被検室を形成するように配置し、前記感温室と前記検査用被検室にそれぞれ加圧気体を導入し、これら室を互いに遮断された閉鎖系とした後、前記検査用被検室の圧変化を測定するとともに前記感温室の圧変化を測定し、この感温室の圧変化データと前記相関関係とに基づいて、前記検査用被検室の圧変化のうち温度変化による分を除外し、漏れ判定を行なう本検査工程と、
を実行することが好ましい。
これによって、微小な温度変化をも確実に感知でき、温度測定の感度を高めることができる。また、被検室の温度を平均的に測定できるため、被検室内に温度分布があっても信頼性を確保できる。
【０００５】
前記相関関係は、前記閉鎖後の所定時点から一定時間経過時までの圧変化量に基づいて求めることが望ましい。これによって、相関関係を容易に求めることができる。
【０００６】
前記圧変化は、測定対象の室と基準となる空間との差圧を測定する差圧センサによる差圧変化とすることが望ましい。これによって、測定精度を高めることができる。
【０００７】
検査対象が互いに連通する複数の内部空間を有している場合には、
これら内部空間の各々に感温部材を収容するとともに、これら感温部材の感温室どうしを互いに連通して等圧とし、前記圧変化の測定を行なうことが望ましい。これによって、複数の被検室の温度変化を平均化した単一の温度変化データを得ることができる。
【０００８】
前記感温部材は、前記感温室と、この感温室に連なるポートとを有し、このポートを介して加圧気体の導入及び圧変化の測定がなされることが望ましい。
前記感温部材の外周面と内周面には、吸放熱のためのフィンがそれぞれ設けられていることが望ましい。これによって、温度変化に対する応答性を向上させることができる。
感温室の容積は、なるべく小さくするのが望ましく、感温室に導入するガス圧は、なるべく大きくするのが望ましい。これによって、僅少な温度変化に対し大きな圧変化を確実に得ることができ、感度を確実に向上させることができる。
【０００９】
前記感温部材は、良熱伝導性を有して環状をなし、シール部材を挟んで積層された複数の感温部材本体と、これら感温部材本体を連ねる連結手段とを備え、前記複数の感温部材本体の中心孔どうしが連通されることにより前記感温室が形成されていてもよい。この場合、前記フィンが、各感温部材本体の外周面と内周面にそれぞれ設けられていることが望ましい。これによって、フィンの形成が容易になる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、検査対象の被検室の温度変化を圧力換算で求めることができるため、微小な温度変化をも確実に感知でき、温度測定の感度を高めることができる。したがって、被検室の圧変化量から温度変化による分をより正確に除外することができ、漏れ判定の精度を向上させることができる。また、被検室の温度を平均的に測定できるため、被検室内に温度分布があっても信頼性を確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって詳述する。
図１は、ワーク１０を漏れ検査の対象とするリークテスタの回路構成を概略図示したものである。ワーク１０は、例えば自動車のシリンダブロック等である。ワーク１０の内部には空間１０ａが形成されている。図３に示すように、この実施形態の内部空間１０ａは、ワーク１０の１の面に開口されている。
【００１２】
図１に示すように、リークテスタは、加圧気体供給源としての圧縮エア源２０と、これから延びるエア圧回路３０を有している。エア圧回路３０は、次のように構成されている。
圧縮エア源２０は、数百ｋＰａオーダーのエア圧を供給できるようになっている。この圧縮エア源２０からエア圧回路３０の共通路３１が延びている。共通路３１には、レギュレータ３２が設けられており、このレギュレータ３２によって共通路３１の二次圧が調節されるようになっている。共通路３１の下流端からワーク内圧測定回路４０とワーク内温測定回路５０が分岐されている。
【００１３】
ワーク内圧測定回路４０は、共通路３１に連なる元路４１と、この元路４１から分岐して延びる２つの枝路４２，４３を有している。これら路４１，４２，４３に、開閉弁Ｖ４１，Ｖ４２，Ｖ４３がそれぞれ設けられている。各開閉弁の符号Ｖには、その弁が設けられた路の符号４１，４２，４３を添字にて示す（後記の弁Ｖ５１，Ｖ５３において同様）。開閉弁Ｖ４２，Ｖ４３より下流の枝路４２，４３どうしの間に、センサ接続路４２ａ，４３ａを介して差圧センサ４４が設けられている。一方の枝路４２の下流端には、エアタンク４５が接続されている。他方の枝路４３の下流端は、ワーク１０の被検室１１に接続されるようになっている。
【００１４】
ワーク内温測定回路５０は、ワーク内圧測定回路４０と略等価の回路構成になっている。すなわち、ワーク内温測定回路５０は、共通路３１に連なる元路５１と、この元路５１から分岐して延びる２つの枝路５２，５３を有している。元路５１と枝路５３に、開閉弁Ｖ５１，Ｖ５３がそれぞれ設けられている。枝路５２からセンサ接続路５２ａが分岐し、このセンサ接続路５２ａと枝路５３の下流端どうしの間に差圧センサ５４が設けられている。枝路５２の下流端には、感温部材６０が接続されている。
【００１５】
感温部材６０は、ワーク１０の内部空間１０ａより小さく、内部空間１０ａ内に収容できるようになっている。図２に示すように、感温部材６０は、複数の感温部材本体６１を備えている。感温部材本体６１は、例えばアルミニウム等の良熱伝導性の材料にて構成されるとともに、環状をなしている。その外周面には第１フィン６２が全周にわたって設けられ、内周面には第２フィン６３が全周にわたって設けられている。
【００１６】
複数の感温部材本体６１は、互いに積層されるとともにボルト６４（連結手段）にて連ねられている。各感温部材本体６１の一方側の面には環状のシール溝６１ａが形成されている。このシール溝６１ａにウレタン製の角リングからなるシール部材６５が収容されている。このシール部材６５によって隣接する感温部材本体６１どうし間がシールされている。
【００１７】
各感温部材本体６１の中心孔どうしが連通され、これにより、感温室６６が形成されている。一端側の感温部材本体６１Ｘは、中心孔の無い円盤状をなしている。この感温部材本体６１Ｘによって感温室６６が塞がれている。他端側の感温部材本体６１Ｙには、感温室６６の出入口となるポート６７が設けられている。
【００１８】
図３に示すように、感温部材６０は、上記ワーク内温測定回路５０の枝路５２を構成する管５２Ｘに支持されるようにして、ワークセットテーブル７０の上方に設置されている。この管５２Ｘが、ワークセットテーブル７０を貫通し、感温部材６０のポート６７に接続されている。これにより、枝路５２が、感温室６６に連通されている。
ワーク１０が、この感温部材６０に被さるように、内部空間１０ａの開口を下にして、ワークセットテーブル７０上に配置されるようになっている。これにより、感温部材６０が、内部空間１０ａ内のほぼ中央に位置されるようになっている。また、内部空間１０ａの開口が、ワークセットテーブル７０に閉塞されるようになっている。内部空間１０ａの内面と感温部材６０との間に圧力測定されるべき被検室１１が形成される。
なお、図示は省略するが、リークテスタには、開閉弁Ｖ４１，Ｖ４２，Ｖ４３，Ｖ５１，Ｖ５３を操作したり、差圧センサ４４，５４による測定データを記憶・解析したりする等、後記のリークテスト方法を実施するための制御手段が設けられている。
【００１９】
上記構成のリークテスタを用いたリークテスト方法を説明する。このリークテスト方法は、相関関係取得工程と本検査工程を順次実行する。
〔相関関係取得工程〕
相関関係取得工程は、ワーク１０の被検室１１の圧変化と温度変化の相関関係を求めるものである。この工程で用いるワーク１０は、「相関関係採取対象」を構成する。この相関関係採取対象としてのワーク１０は、後の本検査工程において検査すべきワーク１０と同一構成のものを用いる。漏れが無いことが判明しているワーク１０を用いてもよく、漏れの有無が不明なワーク１０を用いてもよい。ワーク１０と実質的に同構成の擬似ワークを作り、これを用いることにしてもよい。
この相関関係取得工程で用いるワーク１０には、適宜、符号に「Ｘ」を添え、本検査でのワーク１０と区別することにする。
【００２０】
このワーク１０Ｘを、図３のように感温部材６０に被せるようにしてワークセットテーブル７０上にセットし、その採取用被検室１１の内部に感温部材６０を収容するとともに採取用被検室１１の開口をワークセットテーブル７０で塞ぐ。採取用被検室１１の容積は、見かけ上、感温部材６０の分だけ小さくなる。この採取用被検室１１（ワーク１０Ｘの内周面と感温部材６０との間の空間）にワーク内圧測定回路４０の枝路４３を接続する。
【００２１】
開閉弁Ｖ４１，Ｖ４２，Ｖ４３，Ｖ５１，Ｖ５３は、全て開いておく。そして、圧縮エア源２０からエア圧回路３０に数百ｋＰａの圧縮エアを導入する。この圧縮エアの一部が、枝路４３を経てワーク１０Ｘの被検室１１に導入され、他の一部が、枝路５２を経て感温室６６に導入される。（枝路４２を経てエアタンク４５に導入される分もある。）
【００２２】
次に、開閉弁Ｖ４１，Ｖ５１を閉じる。
続いて、開閉弁Ｖ４２，Ｖ４３を閉じる。これによって、ワーク１０Ｘの被検室１１及びそれに連なる差圧センサ４４の第１室４４ａと、エアタンク４５及びそれに連なる差圧センサ４４の第２室４４ｂとが、互いに遮断され、それぞれ独立した閉鎖系となる。したがって、差圧センサ４４によって、エアタンク４５を基準とする被検室１１の差圧を測定可能になる。
また、開閉弁Ｖ５３を閉じる。これによって、感温室６６及びそれに連なる差圧センサ５４の第１室５４ａと、差圧センサ５４の第２室５４ｂとが、それぞれ独立した閉鎖系となる。したがって、差圧センサ５４によって、第２室５４ｂを基準とする感温室６６の差圧を測定可能になる。
【００２３】
上記開閉弁Ｖ４２，Ｖ４３を閉じてから２〜３秒程度の所定のバランス期間を経た時点（時刻ｔ＝ｔ０）で、差圧センサ４４，５４の読みをそれぞれリセットし、これ以降の差圧変化をそれぞれ測定し記録する。
図４（ａ）は、差圧センサ４４による時刻ｔ０以降の被検室１１の差圧の経時変化を例示したものであり、同図（ｂ）は、差圧センサ５４による時刻ｔ０以降の感温室６６の差圧の経時変化を例示したものである。被検室１１の差圧変化には、ワーク１０Ｘからの漏れに起因する分の他、断熱圧縮後の放熱やワーク１０Ｘと周辺との温度差等による温度変化に起因する分が含まれている。被検室１１の温度変化は、良熱伝導性の感温部材６０を伝って感温室６６に及ぶ。これによって、図４（ｂ）に示すように、感温室６６においても差圧変化が生じる。
【００２４】
以後、圧縮エア源１０からの導入圧力やワーク１０Ｘの初期温度やワークセットテーブル７０の温度や雰囲気温度等を種々に変更し、上記と同様にして、ワーク１０Ｘの被検室１１の差圧変化と感温室６６の差圧変化をそれぞれデータ採取する。なお、ワーク１０Ｘは、同じものを用いることにする。
【００２５】
そして、採取条件ごとの被検室１１の差圧曲線と感温室６６の差圧曲線を見比べ、両者の相関関係を探す。例えば、時刻ｔ０からある一定の時間ｔ１だけ経過した時点における被検室１１の差圧値と感温室６６の差圧値をそれぞれピックアップする。時間ｔ１は、２つの差圧曲線が互いに似た指数関数的な挙動を示している範囲内（直線的になる前）に設定するとよい。この時間ｔ１は、任意に設定変更できるようにするのが好ましい。そして、図５に例示するように、感温室６６の時間ｔ１における差圧値を横軸ｘとし、被検室１１の時間ｔ１における差圧値を縦軸ｙとしたグラフ上に上記採取条件ごとのピックアップデータをプロットし、最小二乗法等による直線補間を行なう。これによって、感温室６６の差圧値ｘと被検室１１の差圧値ｙとの相関関係を表す一次式（１）を得ることができる。
ｙ＝ａ・ｘ＋ｂ    …（１）
式（１）において、ａ、ｂは、それぞれ定数である。
なお、時間ｔ１における差圧値に代えて、ｔ０での差圧とｔ１での差圧を結ぶ線の傾きをピックアップデータにしてもよく、この場合、上記式（１）と等価の相関関係式が得られる。また、時間ｔ０における差圧の微分値をピックアップデータにして相関関係式を求めることにしてもよい。或いは、上掲特許文献；特開２００４−６１２０１のように、指数関数を用いた近似式を立てて非線形フィッティングを行ない、上記近似式の係数を確定することにしてもよい。
【００２６】
ここで、感温室６６の差圧変化は、被検室１１の温度変化に起因するものであるので、上記の相関関係式（１）は、被検室１１における温度変化と差圧変化の関係を示していると見ることもできる。また、相関関係式（２）の右辺第１項と第２項のうち感温室６６の差圧値ｘを含むのは、第１項のみであり、第２項の定数ｂは、感温室６６の差圧変化すなわち被検室１１の温度変化とは無関係の量である。すなわち、定数ｂは、被検室１１の差圧変化量のうち温度変化に依存する分を除いたものに相当し、これは、被検室１１からの漏れに起因する差圧変化成分を表している。したがって、被検室１１の温度変化と、それのみに起因する差圧変化成分との相関関係は、次式（２）で表すことができる。
ｙ＝ａ・ｘ        …（２）
【００２７】
〔本検査工程〕
その後、本検査を行なう。詳述すると、リークテスタから上記相関関係採取用のワーク１０Ｘを外し、これに代えて、実際に検査すべきワーク１０を取り付ける。そして、上記相関関係取得工程と略同様の操作を順次実行する。
すなわち、ワーク１０の検査用被検室１１内に感温部材６０を収容し、検査用被検室１１と感温室６６に圧縮エアを導入する。次に、開閉弁Ｖ４１，Ｖ５１を閉じ、続いて、開閉弁Ｖ４２，Ｖ４３を閉じるとともに、開閉弁Ｖ５３を閉じる。これによって、検査用被検室１１と感温室６６が、それぞれ独立した閉鎖系となる。
【００２８】
開閉弁Ｖ４２，Ｖ４３の閉じ操作時から所定のバランス期間を経た時点ｔ０で、差圧センサ４４，５４をそれぞれリセットし、被検室１１と感温室６６の各々について差圧測定を開始する。そして、時間ｔ０から一定時間ｔ１経ったときの差圧センサ４４による被検室１１の測定差圧Ｄ１１と差圧センサ５４による感温室６６の測定差圧Ｄ６６とをそれぞれピックアップする。
【００２９】
次いで、被検室１１の測定差圧Ｄ１１を、感温室６６の測定差圧Ｄ６５と、上記相関関係取得工程で得られた相関関係式（２）とに基づいて補正する。具体的には、感温室６６の差圧値Ｄ６６を式（２）の右辺の変数ｘに代入することにより、被検室１１の温度起因分の差圧変化量ｙ＝ａ・Ｄ６６を求める。これを実際の測定差圧Ｄ１１から差し引く。すなわち、下式の演算を行なう。
ＤＬＥＡＫ＝Ｄ１１−ａ・Ｄ６６    …（３）
これによって、被検室１１の漏れだけに起因する差圧変化量ＤＬＥＡＫを得ることができる。
【００３０】
この漏れによる差圧変化量ＤＬＥＡＫに基づいて、ワーク１０の良否判定を行なう。すなわち、差圧変化量ＤＬＥＡＫが許容限度以下であれば、ワーク１０を良品と判定し、許容限度を上回っていれば、ワークを不良品と判定する。
【００３１】
この判定方法によれば、温度変化に起因する差圧変化分が取り除かれているので、判定の確度を向上させることができる。
しかも、ワーク１０の被検室１１の温度変化を圧力換算で測定するものであるため、温度変化が微小であっても確実に感知できる。例えば、初期圧力を５００ｋＰａ、初期温度を２５℃とし、この温度が、＋０．１℃だけ変化したものとすると、圧変化量は、ボイルシャルルの法則により１６７．８Ｐａとなる。すなわち、感温室６６の圧力を被検室１１に導入するテスト圧と同程度のオーダーにすれば、微小な温度変化に対して大きな圧変化を得ることができる。これによって、温度測定を極めて高感度に行なうことができる。加えて、圧変化量は差圧センサ５４による差圧にて測定しているので、測定感度を一層高めることができる。また、感温部材６０は、良熱伝導性であるのに加えて、外周のフィン６２にて被検室１１から効率良く吸熱し、内周のフィン６３にて感温室６６に効率良く放熱でき、応答性を確保できる。
【００３２】
更に、感温部材６０は、被検室１１の局所ではなく全体から熱を受けることができ、被検室１１全体の温度を平均的に測定できるため、被検室内に温度分布があっても信頼性を確保できる。
【００３３】
図６に示すように、ワーク１０によっては複数の室１１が有り、それら室１１が連通路１３を介して互いに連通しているものがある。この場合、各室１１に感温部材６０を収容する。エア圧回路３０の枝路５２は、各感温部材６０に分岐させて接続する。したがって、複数の感温部材６０の感温室６６どうしが、互いに連通して等圧になる。これによって、複数の被検室１１の温度変化を平均化した単一の温度変化データを得ることができ、被検室１１どうしの温度変化が異なっていても、信頼性を保ちながら容易に漏れ判定することができる。
【００３４】
図７は、感温部材の変形例を示したものである。この感温部材６０Ａでは、感温部材本体６１どうし間をシールするシール部材６５Ａが、角リングではなく平パッキンにて構成されている。感温部材本体６１の端面には、シール用の溝が形成されていない。その分だけ感温部材本体６１の径方向の寸法（感温部材６０Ａの周壁の厚さ）を小さくすることができる。これによって、外周から内周への熱の伝わり時間を短くでき、応答性を高めることができる。
【００３５】
図８に示すように、ワーク１０の内部空間１１が大きな場合、測定感度の向上のためにいわゆる中子８０を入れて、被検室としての実質容積を小さくすることがある。この場合、中子８０を良熱伝導性の材料で構成し、この中子８０の内室８１にエア圧回路３０の枝路５２を接続するとよい。これによって、中子８０を感温部材として用い、内室８１を感温室として用いることができ、本発明方法を適用することができる。
【００３６】
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の改変をなすことができる。
例えば、感温部材は、複数の感温部材本体に分割されるのではなく、全体が一体物になっていてもよい。
差圧ではなく圧力そのものを測定することにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係るリークテスタの概略構成を示す回路図である。
【図２】（ａ）は、上記リークテスタの感温部材の断面図であり、（ｂ）は、上記感温部材の感温部材本体の平面図である。
【図３】上記リークテスタのワーク設置状態の一例を示す正面断面図である。
【図４】被検室及び感温室の差圧の経時変化を示すグラフである。
【図５】時間ｔ１における感温室の差圧値と被検室の差圧値の関係を示すグラフである。
【図６】ワークが複数の室を有する場合の本発明の適用態様を示す正面断面図である。
【図７】感温部材の変形例を示す断面図である。
【図８】ワーク内に中子を収容する場合の本発明の適用態様を示す正面断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  ワーク（検査対象）
１０Ｘ  ワーク（相関関係採取対象）
１１  被検室
１０ａ  内部空間
４４  被検室用差圧センサ
５４  感温室用差圧センサ
６０，６０Ａ  感温部材
６１  感温部材本体
６４  ボルト（連結手段）
６５，６５Ａ  シール部材
６６  感温室
【図１】
0004630769.tif 000002
【図２】
0004630769.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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