(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搭載したパレットを一時的に載せるためのステージが、複数段、縦方向に等間隔に並んで配置され、前記複数段のステージが、一方の端部において互いに連結されてなる第１ステージブロックと、
前記第１ステージブロックと同じ間隔で縦方向に並んで配置された複数段のステージが、前記第１ステージブロックの複数段のステージと対向するように配置され、一方の端部において互いに連結されてなり、全体として縦方向に移動可能な第２ステージブロックと、
前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックのステージ上に載せられたパレットを把持し、第１ステージブロックと第２ステージブロックの間で、把持したパレットを載せるステージを移動するパレット移動機構と、
外部から新たに供給されるワークを搭載したパレットを把持し、前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックにおける所定の投入ステージに載せるためのパレット投入機構と、
前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックにおける所定の取り出しステージ上に載せられたワークを搭載したパレットを把持し、外部へ取り出すためのパレット取り出し機構とを有する搬送装置であって、
前記第１ステージブロックと前記第２ステージブロックが、同じ段数のステージを有してなり、
前記パレット移動機構が、同じ高さ位置にある２本一組のロッドを有してなり、
前記ロッドの一方の端部に前記パレットを持ち上げるための爪が設けられ、前記ロッドのもう一方の端部において２本が互いに連結されてなり、
前記２本一組のロッドが、縦方向に垂直な水平面内において前記第１ステージブロックと第２ステージブロックを結ぶ方向に移動し、
前記２本一組のロッドが、前記第１ステージブロックのステージと同じ段数と間隔で複数段配置され、
前記各段における２本一組のロッドのもう一方の端部が互いに連結されて、パレット移動ロッドブロックが構成されてなり、
前記パレット移動機構が、２個の前記パレット移動ロッドブロックを有してなり、
前記２個のパレット移動ロッドブロックが、互いの各段の爪が干渉しないように縦方向における高さ位置を異にして配置され、縦方向連結部材を介して、縦方向に連結して移動することによって、前記２本一組のロッドが、全体として縦方向に移動することを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記パレット移動機構が、３本のシリンダを有してなり、
２本の前記シリンダが、それぞれ、前記２個のパレット移動ロッドブロックの水平面内における移動を駆動し、
もう１本の前記シリンダが、前記縦方向連結部材を介した２個のパレット移動ロッドブロックの縦方向における移動を駆動することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記投入ステージと取り出しステージが、前記第２ステージブロックにおける最下段のステージであることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記投入ステージと取り出しステージが、前記第２ステージブロックにおける最上段のステージであることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第１ステージブロックと第２ステージブロックの対向する各ステージの幅が、前記パレットの幅より狭く設定され、
前記パレットが、前記各ステージの幅方向において、両端をはみ出すようにして各ステージに載せられることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記第１ステージブロックが、固定されてなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記第２ステージブロックの各段のステージが、前記第１ステージブロックの対応する各段のステージと同じ高さ位置から、一段ずれた高さ位置へ移動することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記第２ステージブロックに、シリンダが連結され、
前記シリンダが、前記第２ステージブロックの縦方向の移動を駆動することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記ワークが、半導体装置であり、
前記搬送装置が、クリーンルーム内で用いられることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記半導体装置が、隣接して配置された櫛歯状の可動電極と固定電極を有する、加速度センサであることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを搭載したパレットを搬送するための搬送装置に関するもので、特に、クリーンルーム内での使用に好適な搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置は一般的にクリーンルーム内で製造されるが、半導体装置の各製造工程内および各製造工程間においては、微細なワークである半導体装置を搬送するための種々の搬送装置が使用されている。例えば、特開平７−３１６６４１号公報（特許文献１）には、半導体装置等のワークを熱処理するメッシュベルト炉が開示されているが、このメッシュベルト炉ではエンドレス回転するメッシュベルトを用いた搬送装置が使用されている。
【０００３】
図１４は、クリーンルーム内で用いられる上記メッシュベルト炉と同様のスチールベルト搬送炉を示す図で、（ａ）は、スチールベルト搬送炉９０の要部を部分的な断面で示した上面図であり、（ｂ）は、スチールベルト搬送炉９０の要部を部分的な断面で示した正面図である。
【０００４】
図１４（ａ），（ｂ）に示すスチールベルト搬送炉９０は、半導体センサ装置の組付け工程において、センサと制御ＬＳＩを接合する接着剤のベーキングに用いられる。
【０００５】
センサと制御ＬＳＩの間に接着剤が塗布されたワーク１０は、ステンレス製のパレット１１に数十個単位でまとめて搭載され、前工程搬送装置８９により、スチールベルト搬送炉９０に供給される。供給されたパレット１１は、パレット投入機構（図示省略）により多数列に分配されて、スチールベルト９０ｂ上に載せられる。
【０００６】
スチールベルト９０ｂは、２個のローラ９０ｒによってエンドレス回転しており、連続して循環するコンベヤとなっている。ワーク１０を搭載したパレット１１は、図の左の投入口から図の右の取り出し口までゆっくり搬送され、この間にワーク１０の熱処理が行われる。スチールベルト９０ｂは、回転途中でヒータ９０ｈを埋設した加熱プレート９０ｐに接触しており、ワーク１０がパレット１１ごとスチールベルト９０ｂを介して加熱される構造となっている。尚、スチールベルト搬送炉９０内には窒素ガスが導入され、接着剤のベーキングは、窒素雰囲気中でおこなわれる。
【０００７】
ベーキング処理の終わったワーク１０は、パレット取り出し機構（図示省略）によりパレット１１に搭載されたままスチールベルト搬送炉９０から取り出され、集合されて後工程搬送装置９１に供給される。尚、前工程搬送装置８９と後工程搬送装置９１でのパレット１１の搬送は、できるだけパレット１１と搬送装置８９，９１が擦れて磨耗しないように、パレット１１を機械的に持ち上げて移動し、所定の位置に下ろす、いわゆるグリッパ搬送機構８９ｇ，９１ｇが採用されている。
【特許文献１】特開平７−３１６６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図１４（ａ），（ｂ）に示すスチールベルト搬送炉９０は、搬送中のワークを連続的に熱処理することができるため、ワークの処理効率（スループット）が高い。
【０００９】
一方、図１４（ａ），（ｂ）のスチールベルト搬送炉９０に用いられている搬送装置は、スチールベルト９０ｂが加熱プレート９０ｐ上を擦る構造が採用されており、伝熱効率は高い反面、スチールベルト９０ｂと加熱プレート９０ｐの摩擦磨耗によって粉塵が発生する。また、スチールベルト搬送炉９０に用いられているエンドレス回転構造の搬送装置では、２個のローラ９０ｒとスチールベルト９０ｂの接触部においても、粉塵が発生しやすい。このため、スチールベルト搬送炉９０に用いられている搬送装置は、クリーンルームの清浄度低下要因となっており、発生した粉塵がワークである半導体装置に付着すると、半導体装置の動作不良にもつながってしまう。また、スチールベルト搬送炉９０に用いられている搬送装置は、横方向に搬送する構造で広い床面積を占めるため、床費の高いクリーンルームの利用効率の低下要因にもなっている。
【００１０】
そこで本発明は、粉塵の発生を抑制することができると共に、必要床面積を低減でき、特にクリーンルーム内での使用に適した小型で安価な搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１に記載の搬送装置は、ワークを搭載したパレットを一時的に載せるためのステージが、複数段、縦方向に等間隔に並んで配置され、前記複数段のステージが、一方の端部において互いに連結されてなる第１ステージブロックと、前記第１ステージブロックと同じ間隔で縦方向に並んで配置された複数段のステージが、前記第１ステージブロックの複数段のステージと対向するように配置され、一方の端部において互いに連結されてなり、全体として縦方向に移動可能な第２ステージブロックと、前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックのステージ上に載せられたパレットを把持し、第１ステージブロックと第２ステージブロックの間で、把持したパレットを載せるステージを移動するパレット移動機構と、外部から新たに供給されるワークを搭載したパレットを把持し、前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックにおける所定の投入ステージに載せるためのパレット投入機構と、前記第１ステージブロックまたは第２ステージブロックにおける所定の取り出しステージ上に載せられたワークを搭載したパレットを把持し、外部へ取り出すためのパレット取り出し機構とを有する搬送装置であって、前記第１ステージブロックと前記第２ステージブロックが、同じ段数のステージを有してなり、前記パレット移動機構が、同じ高さ位置にある２本一組のロッドを有してなり、前記ロッドの一方の端部に前記パレットを持ち上げるための爪が設けられ、前記ロッドのもう一方の端部において２本が互いに連結されてなり、前記２本一組のロッドが、縦方向に垂直な水平面内において前記第１ステージブロックと第２ステージブロックを結ぶ方向に移動し、前記２本一組のロッドが、前記第１ステージブロックのステージと同じ段数と間隔で複数段配置され、前記各段における２本一組のロッドのもう一方の端部が互いに連結されて、パレット移動ロッドブロックが構成されてなり、前記パレット移動機構が、２個の前記パレット移動ロッドブロックを有してなり、前記２個のパレット移動ロッドブロックが、互いの各段の爪が干渉しないように縦方向における高さ位置を異にして配置され、縦方向連結部材を介して、縦方向に連結して移動することによって、前記２本一組のロッドが、全体として縦方向に移動することを特徴としている。
【００１２】
上記搬送装置においては、ワークを搭載したパレットを把持して移動（機械的に持ち上げて移動し、所定の位置に下ろす、いわゆるグリッパ搬送）することができ、従来のローラとベルトを用いた搬送装置にあるような摩擦構造部がない。このため、粉塵の発生が抑制され、クリーンルーム内に設置しても、クリーンルームの清浄度を低下する要因とならない。また、上記搬送装置は、ワークを搭載したパレットを縦方向（鉛直方向）に搬送できるため、小型の搬送装置とすることができると共に当該搬送装置を含む設備の必要床面積を低減することができ、床費の高いクリーンルーム内での使用にも適している。
また、上記搬送装置は、前記第１ステージブロックと前記第２ステージブロックが、同じ段数のステージを有しており、前記パレット移動機構が、同じ高さ位置にある２本一組のロッドを有してなり、前記ロッドの一方の端部に前記パレットを持ち上げるための爪が設けられ、前記ロッドのもう一方の端部において２本が互いに連結されてなり、前記２本一組のロッドが、縦方向に垂直な水平面内において前記第１ステージブロックと第２ステージブロックを結ぶ方向に移動する構成となっている。
これにより、次に示すように、例えばステージからはみ出したパレットの両端を、２本一組のロッドの爪に載せてパレットを持ち上げ、ワークを搭載したパレットを第１ステージブロックと第２ステージブロック間で移動することができる。
また、上記搬送装置においては、前記２本一組のロッドが、前記第１ステージブロックのステージと同じ段数と間隔で複数段配置され、前記各段における２本一組のロッドのもう一方の端部が互いに連結されて、パレット移動ロッドブロックが構成されている。
これによって、１個の駆動源を用いて、各段のステージ上にあるワークを搭載したパレットを、一括して移動させることができる。
さらに、上記搬送装置においては、前記パレット移動機構が、２個の前記パレット移動ロッドブロックを有してなり、前記２個のパレット移動ロッドブロックが、互いの各段の爪が干渉しないように縦方向における高さ位置を異にして配置され、縦方向連結部材を介して、縦方向に連結して移動することによって、前記２本一組のロッドが、全体として縦方向に移動する構成となっている。
これにより、上記２個のパレット移動ロッドブロックを操作して、第１ステージブロックと第２ステージブロックの各ステージに載せられた全パレットを、第１ステージブロックと第２ステージブロックの間で、グリッパ搬送により載せるステージを一括して交換することができる。これによって、当該搬送装置の構造と操作が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【００１３】
以上のようにして、上記搬送装置は、粉塵の発生を抑制することができると共に、必要床面積を低減でき、特にクリーンルーム内での使用に適した小型で安価な搬送装置となっている。
上記搬送装置は、請求項２に記載のように、前記パレット移動機構が、３本のシリンダを有してなり、２本の前記シリンダが、それぞれ、前記２個のパレット移動ロッドブロックの水平面内における移動を駆動し、もう１本の前記シリンダが、前記縦方向連結部材を介した２個のパレット移動ロッドブロックの縦方向における移動を駆動する構成とすることができる。
このように、上記したパレット移動機構は、３本のシリンダのみを用いて駆動することができる。
上記搬送装置において、前記投入ステージと取り出しステージは、第１ステージブロックまたは第２ステージブロックの任意のステージとしてよいが、例えば請求項３に記載のように、前記投入ステージと取り出しステージが、前記第２ステージブロックにおける最下段のステージであるように構成することができる。また、請求項４に記載のように、前記投入ステージと取り出しステージが、前記第２ステージブロックにおける最上段のステージであるように構成してもよい。
いずれの場合も、ワークを搭載したパレットが、縦方向に往復循環して搬送される。尚、ワークを搭載したパレットが、前者の場合には上方に往復循環され、後者の場合には下方に往復循環される。
上記搬送装置においては、請求項５に記載のように、前記第１ステージブロックと第２ステージブロックの対向する各ステージの幅は、前記パレットの幅より狭く設定され、前記パレットが、前記各ステージの幅方向において、両端をはみ出すようにして各ステージに載せられることが好ましい。
これにより、第１ステージブロックおよび第２ステージブロックの各ステージと干渉することなく、パレット移動機構によりステージからはみ出したパレットの両端を把持し、両ステージブロックの間で把持したパレットを移動することができる。
【００１４】
請求項６に記載のように、上記搬送装置においては、前記第１ステージブロックが、固定されてなることが好ましい。
【００１５】
前記第１ステージブロックは、第２ステージブロックと同様に縦方向に移動可能な構成としてもよいが、第１ステージブロックが固定されていても、第２ステージブロックの移動とパレット移動機構の操作のみで、グリッパ搬送によるワークの縦方向の搬送を実現することができる。従って、当該搬送装置の構造と操作が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【００１６】
また、第１ステージブロックを固定とすることで、当該搬送装置の第１ステージブロックにワークの処理装置を連結させて、第１ステージブロックの各ステージ上で、ワークに対する処理を実施することができる。
【００１７】
請求項７に記載のように、上記搬送装置においては、前記第２ステージブロックの各段のステージが、前記第１ステージブロックの対応する各段のステージと同じ高さ位置から、一段ずれた高さ位置へ移動するように構成することができる。
【００１８】
この場合には、ワークの縦方向での搬送を実現する第２ステージブロックの移動ストロークが最小となり、これによって、高さ方向においても小型の搬送装置とすることができる。
【００１９】
請求項８に記載のように、上記搬送装置においては、前記第２ステージブロックに、シリンダが連結され、前記シリンダが、前記第２ステージブロックの縦方向の移動を駆動するように構成することができる。
【００２０】
上記シリンダを用いた第２ステージブロックの移動によるワークの搬送は、従来のローラとベルトを用いた搬送のような摩擦構造部がなく、粉塵の発生要因とならない。また、第２ステージブロックは、１本のシリンダで駆動することができる。
【００３３】
以上のようにして、上記搬送装置は、請求項９に記載のように、前記ワークが半導体装置であり、クリーンルーム内で用いられる搬送装置として好適である。
【００３４】
例えば、請求項１０に記載のように、前記半導体装置が、隣接して配置された櫛歯状の可動電極と固定電極を有する、加速度センサ装置である場合にも好適である。
【００３５】
上記加速度センサ装置における櫛歯状の可動電極と固定電極は、微細構造体を構成している。このような微細構造体を持つ加速度センサ装置の搬送であっても、上記した搬送装置によれば、粉塵の発生が抑制されるため、粉塵の微細構造体への混入に起因する動作不良を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図に基づいて説明する。
【００３７】
最初に、本発明の搬送装置を用いて搬送されるワークの代表例を示す。
【００３８】
図１（ａ）〜（ｃ）は、上記ワークの代表例である半導体装置の一例で、加速度センサ装置を示す図である。図１（ａ）は、加速度センサ１の断面を示す斜視図であり、図１（ｂ）は、ワークである加速度センサ装置１０の模式的な断面図である。また、図１（ｃ）は、ワーク１０のパレット１１への搭載状態を模式的に示した上面図および正面図である。
【００３９】
図１（ａ）に示す加速度センサ１は、隣接して配置された櫛歯状の可動電極１ｍと固定電極１ｓを有する、静電容量式の加速度センサである。加速度センサ１の櫛歯状の可動電極１ｍと固定電極１ｓの隙間は２μｍ程度であり、微細構造体を構成している。このような微細構造を有する加速度センサ１は、微細な異物であっても混入を嫌うため、クリーン度の高いクラス１００以上のクリーンルームで組み立てられる。
【００４０】
図１（ｂ）に示すように、図１（ａ）の加速度センサ１が制御ＬＳＩ２と組み合わされてボンディングワイヤ４により電気的に接続され、加速度センサ装置１０が構成される。制御ＬＳＩ２上に載せられた加速度センサ１は、接着剤３により固定され、パッケージ５内に入れられる。
【００４１】
パッケージ５の寸法は、５ｍｍ角程度と小さい。このため、ワークである加速度センサ装置１０は、図１（ｃ）に示すように、ステンレス製のパレット１１に数十個単位で搭載されて、加工工程間を搬送される。
【００４２】
次に、本発明の搬送装置を示す。
【００４３】
図２（ａ），（ｂ）は、本発明の搬送装置の一例で、それぞれ、搬送装置１００の要部を示した上面図と側面図である。
【００４４】
図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００は、第１ステージブロックＪ１，第２ステージブロックＪ２およびパレット移動機構Ｈ３とを有している。
【００４５】
搬送装置１００における第１ステージブロックＪ１では、ワークを搭載したパレットを一時的に載せるためのステージＪ１ｓが、複数段（図では６段）、縦（鉛直）方向に等間隔に並んで配置され、複数段のステージＪ１ｓが、一方の端部（図の右側）において互いに連結されている。尚、搬送装置１００の第１ステージブロックＪ１は、固定されている。
【００４６】
搬送装置１００における第２ステージブロックＪ２は、第１ステージブロックＪ１と同じ段数のステージＪ２ｓを有している。第１ステージブロックＪ１と同じ間隔で縦方向に並んで配置された複数段（図では６段）のステージＪ２ｓは、第１ステージブロックＪ１の複数段のステージＪ１ｓと対向するように配置され、一方の端部（図の左側）において互いに連結されている。第２ステージブロックＪ２には、１本のシリンダＣ１が連結されている。このシリンダＣ１に駆動されて、第２ステージブロックＪ２が、全体として縦方向に移動可能に構成されている。尚、搬送装置１００における第２ステージブロックＪ２の移動ストロークは、第２ステージブロックＪ２の各段のステージＪ２ｓが、第１ステージブロックＪ１の対応する各段のステージＪ１ｓと同じ位置から、下方に一段ずれた位置（図２（ｂ）に示す状態）まで移動するように設定されている。
【００４７】
図２（ａ）に示す第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の対向する各ステージの幅ｗｓは、図１（ｃ）に示すパレット１１の幅ｗｐより狭く設定されている。このため、パレット１１は、各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓの幅（ｗｓ）方向において、両端をはみ出すようにして第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２の各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓに載せられる。従って、以下に示すように、ステージＪ１ｓ，Ｈ２からはみ出したパレット１１の両端を２本一組のロッドＬ１の爪Ｔに載せて、パレット１１を持ち上げることができる。
【００４８】
搬送装置１００におけるパレット移動機構Ｈ３は、第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓ上に載せられたパレット１１（ワーク１０）を把持し、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で、把持したパレットを載せるステージを移動する。
【００４９】
図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００のパレット移動機構Ｈ３は、図中において点のパターンで塗られた、１個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１を有している。
【００５０】
パレット移動ロッドブロックＬＢ１は、一方の端部（図の左側）にパレットを持ち上げるための爪Ｔが設けられ、もう一方の端部（図の右側）において互いに連結された、同じ高さ位置にある２本一組のロッドＬ１を有している。２本一組のロッドＬ１は、第１ステージブロックＪ１のステージＪ１ｓと同じ段数と間隔で複数段（図では６段）配置され、各段におけるロッドＬ１のもう一方の端部（図の右側）が互いに連結されて、パレット移動ロッドブロックＬＢ１が構成されている。
【００５１】
パレット移動ロッドブロックＬＢ１には、シリンダＣ２が連結されている。このシリンダＣ２に駆動されて、パレット移動ロッドブロックＬＢ１が、水平面内において、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２を結ぶ方向に移動するように構成されている。また、パレット移動ロッドブロックＬＢ１は、連結部材Ｑを介して、縦方向に連結されている。連結部材Ｑには、シリンダＣ４が連結されている。このシリンダＣ４に駆動されて、パレット移動ロッドブロックＬＢ１が、連結部材Ｑを介して、縦方向に連結して移動可能に構成されている。
【００５２】
尚、図２（ａ），（ｂ）において、符号Ｐ１は、外部から新たに供給されるワーク１０を搭載したパレット１１を把持し、第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２における所定の投入ステージに載せるためのパレット投入機構である。また、符号Ｏ２は、第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２における所定の取り出しステージ上に載せられたワーク１０を搭載したパレット１１を把持し、外部へ取り出すためのパレット取り出し機構である。
【００５３】
次に、図３〜図５を用いて、搬送装置１００の搬送動作を説明する。
【００５４】
最初に、図３（ａ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を下限端に移動する。
【００５５】
次に、外部から新たに供給される６番のパレット１１（ワーク１０）をパレット投入機構Ｐ１により把持し、第１段（最下段）の空いたステージＪ２ｓ−１に載せて、搬送装置１００にパレット１１を投入する。尚、図３（ａ）では、搬送装置１００に投入されているパレット１１が、投入順の番号を付されて示されている。
【００５６】
次に、図３（ｂ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を上限端に移動する。これによって、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージが、同じ高さ位置に揃う。
【００５７】
次に、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を左限端に移動する。これによって、パレット移動ロッドブロックＬＢ１における各段の爪Ｔが、第２ステージブロックＪ２の各段のステージ位置まで移動する。
【００５８】
次に、図４（ａ）に示すように、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動機構Ｈ３のパレット移動ロッドブロックＬＢ１を、連結部材Ｑを介して上限端に移動する。これによって、第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上にあるパレット１１（ワーク１０）が、爪Ｔによって持ち上げられて把持される。
【００５９】
次に、図４（ｂ）に示すように、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を右限端に移動する。
【００６０】
次に、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を下限端に移動する。これによって、爪Ｔに把持されていたパレット１１（ワーク１０）が、第１ステージブロックＪ１の各段のステージ上に載せられる。
【００６１】
以上の動作によって、図４（ｂ）では、先の図３（ｂ）に示した第２ステージブロックＪ２側に載っていたパレット１１が第１ステージブロックＪ１側に移動する。この第１ステージブロックＪ１において、各段のステージＪ１ｓ上に載せられたパレット１１のワーク１０に対して、各段のステージＪ１ｓに接続された処理装置により、組み付けや加工等の種々の処理が施される。
【００６２】
次に、第１ステージブロックＪ１の第６段（最上段）のステージＪ１ｓ−６に載せられている処理が終わった１番のパレット１１（ワーク１０）を、パレット取り出し機構Ｏ２により把持し、搬送装置１００の外部に取り出す。
【００６３】
次に、図５（ａ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を下限端に移動する。
【００６４】
次に、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を上限端に移動する。これによって、第１ステージブロックＪ１の最上段を除く各段のステージ上にあるパレット１１が、爪Ｔによって持ち上げられて把持される。
【００６５】
次に、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を左限端に移動する。
【００６６】
次に、図５（ｂ）に示すように、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を下限端に移動する。これによって、爪Ｔに把持されていたパレット１１（ワーク１０）が、第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上に載せられる。
【００６７】
次に、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を右限端に移動する。これによって、パレット移動ロッドブロックＬＢ１の各段の爪Ｔが、第１ステージブロックＪ１の各段のステージ位置まで戻る。
【００６８】
最後に、外部から新たに供給される７番のパレット１１（ワーク１０）をパレット投入機構Ｐ１により把持し、第２ステージブロックＪ２の第１段（最下段）の空いたステージＪ２ｓに載せて、搬送装置１００にパレット１１を投入する。
【００６９】
以上、図３〜図５に示した動作を繰り返すことで、搬送装置１００に投入されたパレット１１（ワーク１０）は、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各ステージ上を経て、縦方向（鉛直方向）に搬送される。この搬送の間に、第１ステージブロックＪ１の各段のステージＪ１ｓにおいて、種々の処理がワーク１０に施される。
【００７０】
図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００においては、例えば図１（ａ）〜（ｃ）に示すワーク１０を搭載したパレット１１を把持して移動（機械的に持ち上げて移動し、所定の位置に下ろす、いわゆるグリッパ搬送）することができ、図１４（ａ），（ｂ）に示したスチールベルト搬送炉９０にある従来のローラとベルトを用いた搬送装置にあるような摩擦構造部がない。このため、粉塵の発生が抑制され、クリーンルーム内に設置しても、クリーンルームの清浄度を低下する要因とならない。また、上記搬送装置１００は、ワーク１０を搭載したパレット１１を縦方向（鉛直方向）に搬送できるため、小型の搬送装置とすることができると共に当該搬送装置を含む処理設備の必要床面積を低減することができ、床費の高いクリーンルーム内での使用にも適している。
【００７１】
以上のようにして、図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００は、粉塵の発生を抑制することができると共に、必要床面積を低減でき、特にクリーンルーム内での使用に適した小型で安価な搬送装置となっている。
【００７２】
尚、図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００では、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の対向する各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓの幅ｗｓは、図１（ｃ）に示すパレット１１の幅より狭く設定され、パレット１１が、各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓの幅方向において、両端をはみ出すようにして各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓに載せられていた。
【００７３】
これにより、第１ステージブロックＪ１および第２ステージブロックＪ２の各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓと干渉することなく、パレット移動機構Ｈ１によりステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓからはみ出したパレット１１の両端を把持し、両ステージブロックＪ１，Ｊ２の間で把持したパレット１１を移動することができる。しかしながら、本発明の搬送装置はこれに限らず、例えばパレット１１に任意の把持部を設けて、別のパレット移動機構に把持するようにしてもよい。
【００７４】
また、図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００では、第１ステージブロックＪ１が、固定されていた。
【００７５】
第１ステージブロックＪ１は、第２ステージブロックＪ２と同様に縦方向に移動可能な構成としてもよいが、搬送装置１００のように第１ステージブロックＪ１が固定されていても、第２ステージブロックＪ２の移動とパレット移動機構Ｈ３の操作のみで、グリッパ搬送によるワークの縦方向の搬送を実現することができる。従って、搬送装置１００の構造と操作が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【００７６】
また、前述したように、第１ステージブロックＪ１を固定とすることで、搬送装置１００の第１ステージブロックＪ１にワーク１０の処理装置を連結させて、第１ステージブロックＪ１の各ステージＪ１ｓ上で、ワーク１０に対する各種の処理を実施することができる。
【００７７】
図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００では、第２ステージブロックＪ２の各段のステージＪ２ｓが、第１ステージブロックＪ１の対応する各段のステージＪ１ｓと同じ高さ位置から、下方の一段ずれた高さ位置へ移動するように構成されていた。
【００７８】
この場合には、ワーク１０の縦方向での搬送を実現する第２ステージブロックＪ２の移動ストロークが最小となり、これによって、高さ方向においても小型の搬送装置とすることができる。しかしながら本発明の搬送装置はこれに限らず、第２ステージブロックＪ２の各段のステージＪ２ｓが、第１ステージブロックＪ１の対応する各段のステージＪ１ｓと同じ高さ位置から、下方もしくは上方の任意の段数ずれた高さ位置へ移動するように構成してもよい。
【００７９】
図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００では、第２ステージブロックＪ２に、シリンダＣ１が連結され、シリンダＣ１が、第２ステージブロックＪ２の縦方向の移動を駆動するように構成されていた。
【００８０】
上記シリンダを用いた第２ステージブロックＪ２の移動によるワークの搬送は、従来のローラとベルトを用いた搬送のような摩擦構造部がなく、粉塵の発生要因とならない。しかしながら本発明の搬送装置における第２ステージブロックＪ２の駆動は、油圧や空気圧等を用いるシリンダに限らず、粉塵の発生が抑制された任意の駆動機構であってよい。尚、第２ステージブロックＪ２は、各ステージＪ２ｓが連結されているため、１本のシリンダＣ１で駆動することができる。
【００８１】
さらに、図２（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００では、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２が、同じ段数のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓを有していた。また、搬送装置１００のパレット移動機構Ｈ３は、同じ高さ位置にある２本一組のロッドＬ１を有し、ロッドＬ１の一方の端部にパレット１１を持ち上げるための爪Ｔが設けられ、ロッドＬ１のもう一方の端部において２本が互いに連結され、２本一組のロッドＬ１が、全体として、縦方向と、縦方向に垂直な水平面内において第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２を結ぶ方向に移動する構成とされていた。
【００８２】
また、搬送装置１００では、２本一組のロッドＬ１が、第１ステージブロックＪ１のステージと同じ段数と間隔で複数段配置され、各段における２本一組のロッドＬ１のもう一方の端部が互いに連結されて、パレット移動ロッドブロックＬＢ１が構成されていた。
【００８３】
上記のように簡単な構成で、例えばステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓからはみ出したパレット１１の両端を、２本一組のロッドＬ１の爪Ｔに載せてパレット１１を持ち上げ、ワーク１０を搭載したパレット１１を第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２間で移動することができる。搬送装置１００では、１個の駆動源であるシリンダＣ２を用いて、各段のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓ上にあるワーク１０を搭載したパレット１１を、一括して移動させることができる。
【００８４】
しかしながら本発明の搬送装置におけるパレット移動機構ではないが、参考として、例えば各段における２本一組のロッドＬ１のもう一方の端部が互いに連結されおらず、各段における２本一組のロッドＬ１を別々に駆動するようにしてもよい。また、例えば２本一組のロッドＬ１に限らず、図２（ｂ）の紙面に垂直な方向から、第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓ上に載せられたパレット１１を把持し、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で、把持したパレット１１を載せるステージを移動するパレット移動機構であってもよい。
【００８５】
尚、図３〜図５では、搬送装置１００のパレット投入機構Ｐ１が、外部から新たに供給されるパレット１１（ワーク１０）を、第２ステージブロックＪ２の最下段のステージＪ２ｓ−１に投入し、パレット取り出し機構Ｏ２が、第１ステージブロックＪ１の最上段のステージＪ１ｓ−６から、処理の終わったパレット１１（ワーク１０）を、外部へ取り出していた。
【００８６】
しかしながらこれに限らず、パレット投入機構によるパレットの投入ステージとパレット取り出し機構によるパレットの取り出しステージは、第１ステージブロックまたは第２ステージブロックにおける任意のステージであってよい。
【００８７】
次に、本発明の別の搬送装置を示す。
【００８８】
図６（ａ），（ｂ）は、本発明における別の搬送装置の例で、それぞれ、搬送装置１００ｊの要部を示した上面図と側面図である。尚、図６（ａ），（ｂ）の搬送装置１００ｊにおいて、図２（ａ），（ｂ）の搬送装置１００と同様の部分については同じ符号を付して、その説明は省略する。
【００８９】
図６（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００ｊは、ワーク１０を搭載したパレット１１の縦方向（鉛直方向）の往復循環搬送が可能な搬送装置である。
【００９０】
図６（ａ），（ｂ）に示すように、搬送装置１００ｊは、第１ステージブロックＪ１，第２ステージブロックＪ２およびパレット移動機構Ｊ３とを有している。第１ステージブロックＪ１および第２ステージブロックＪ２は、図２（ａ），（ｂ）の搬送装置１００におけるそれと同様である。
【００９１】
図６（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００ｊのパレット移動機構Ｊ３は、図２（ａ），（ｂ）の搬送装置１００におけるパレット移動機構Ｈ３と同様に、第１ステージブロックＪ１または第２ステージブロックＪ２のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓ上に載せられたパレット１１（ワーク１０）を把持し、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で、把持したパレットを載せるステージを移動する。
【００９２】
図６（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００ｊのパレット移動機構Ｊ３は、図中において疎な点のパターンと蜜な点のパターンで塗り分けられた、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を有している。
【００９３】
パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２は、それぞれ、一方の端部（図の左側）にパレットを持ち上げるための爪Ｔが設けられ、もう一方の端部（図の右側）において互いに連結された、同じ高さ位置にある２本一組のロッドＬ１，Ｌ２を有している。２本一組のロッドＬ１，Ｌ２は、それぞれ、第１ステージブロックＪ１のステージＪ１ｓと同じ段数と間隔で複数段（図では６段）配置され、各段におけるロッドＬ１，Ｌ２のもう一方の端部（図の右側）が互いに連結されて、各パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２が構成されている。
【００９４】
各パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２には、それぞれ、シリンダＣ２，Ｃ３が連結されている。このシリンダＣ２，Ｃ３に駆動されて、各パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２が、水平面内において、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２を結ぶ方向に移動するように構成されている。また、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２は、互いの各段の爪Ｔが干渉しないように高さ位置を異にして配置され、連結部材Ｒを介して、鉛直方向に連結されている。連結部材Ｒには、シリンダＣ４が連結されている。このシリンダＣ４に駆動されて、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２が、連結部材Ｒを介して、縦方向に連結して移動可能に構成されている。
【００９５】
次に、図７〜図１０を用いて、搬送装置１００ｊの往復循環搬送動作を説明する。
【００９６】
最初に、図７（ａ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を下限端に移動する。
【００９７】
次に、外部から新たに供給される１２番のパレット１１（ワーク１０）をパレット投入機構Ｐ１により把持し、第１段（最下段）の空いたステージＪ２ｓ−１に載せて、搬送装置１００ｊにパレット１１を投入する。尚、図７（ａ）では、搬送装置１００ｊに投入されているパレット１１が、投入順の番号を付されて示されている。
【００９８】
次に、図７（ｂ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を上限端に移動する。これによって、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージが、同じ高さ位置に揃う。
【００９９】
次に、シリンダＣ３を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ２を左限端に移動する。これによって、パレット移動ロッドブロックＬＢ２における各段の爪Ｔが、第２ステージブロックＪ２の各段のステージ位置まで移動する。
【０１００】
次に、図８（ａ）に示すように、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動機構Ｊ３の２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を、連結部材Ｒを介して上限端に移動する。これによって、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上にあるパレット１１（ワーク１０）が、爪Ｔによって持ち上げられて把持される。
【０１０１】
次に、シリンダＣ２，Ｃ３をそれぞれ駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を左限端に移動すると共に、パレット移動ロッドブロックＬＢ２を右限端に移動する。これによって、爪Ｔに把持されたパレット１１を載せるステージが、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で交換される。
【０１０２】
次に、図８（ｂ）に示すように、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を下限端に移動する。これによって、爪Ｔに把持されていたパレット１１（ワーク１０）が、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上に載せられる。
【０１０３】
以上の動作によって、図８（ｂ）では、先の図７（ｂ）に示した第１ステージブロックＪ１側に載っていたパレット１１が第２ステージブロックＪ２側に、また第２ステージブロックＪ２側に載っていたパレット１１が第１ステージブロックＪ１側に移動している。
【０１０４】
次に、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を右限端に移動する。これによって、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２の各段の爪Ｔが、第１ステージブロックＪ１の各段のステージ位置まで戻る。
【０１０５】
次に、図９（ａ）に示すように、シリンダＣ１を駆動して、第２ステージブロックＪ２を下限端に移動する。
【０１０６】
次に、第２ステージブロックＪ２の第１段（最下段）のステージＪ２ｓ−１上にある処理の終わった１番のパレット１１（ワーク１０）を、パレット取り出し機構Ｐ２により把持し、搬送装置１００ｊから外部に取り出す。
【０１０７】
次に、図９（ｂ）に示すように、シリンダＣ３を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ２を左限端に移動する。
【０１０８】
次に、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を上限端に移動する。これによって、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上にあるパレット１１が、爪Ｔによって持ち上げられて把持される。
【０１０９】
次に、図１０（ａ）に示すように、シリンダＣ２，Ｃ３をそれぞれ駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を左限端に移動すると共に、パレット移動ロッドブロックＬＢ２を右限端に移動する。これによって、爪Ｔに把持されたパレット１１を載せるステージが、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で交換される。
【０１１０】
次に、シリンダＣ４を駆動し、パレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を下限端に移動する。これによって、最上にある７番を除いた残りの全てのパレット１１（ワーク１０）が、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各段のステージ上に載せられる。
【０１１１】
次に、図１０（ｂ）に示すように、シリンダＣ２を駆動して、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を右限端に移動する。これによって、爪Ｔ上に残っていた７番のパレット１１が、第１ステージブロックＪ１の第６段（最上段）のステージ上に載せられる。尚、簡単化のために図示を省略したが、第１ステージブロックＪ１の最上段のステージには、第２ステージブロックＪ２に対向する端面（図の左側）から連結部（図の右側）に向ってテーパが形成されている。このため、パレット移動ロッドブロックＬＢ１の右限端への移動に伴って、７番のパレット１１を第１ステージブロックＪ１の最上段のステージ上にスムーズに載せることができる。また、上記のように第１ステージブロックＪ１の最上段のステージにテーパを形成する代わりに、シリンダＣ１，Ｃ４を連動して上昇駆動し、７番のパレット１１が第１ステージブロックＪ１の最上段のステージと干渉しない高さで、パレット移動ロッドブロックＬＢ１を右限端に移動するようにしてもよい。
【０１１２】
最後に、外部から新たに供給される１３番のパレット１１（ワーク１０）をパレット投入機構Ｐ１により把持し、第２ステージブロックＪ２の第１段（最下段）の開いたステージＪ２ｓに載せて、搬送装置１００ｊにパレット１１を投入する。
【０１１３】
以上、図７〜図１０に示した動作を繰り返すことで、搬送装置１００ｊに投入されたパレット１１（ワーク１０）は、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各ステージ上を、縦方向（鉛直方向）で往復循環搬送される。この往復循環搬送の間に、例えば第２ステージブロックＪ２に備えられた処理装置によって、ワーク１０の各種処理がなされる。
【０１１４】
図６（ａ），（ｂ）に示す搬送装置１００ｊにおいては、パレット移動機構Ｊ３が、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を有しており、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２が、互いの各段の爪が干渉しないように縦方向における高さ位置を異にして配置され、縦方向連結部材Ｒを介して、縦方向に連結して移動する。
【０１１５】
このため、上記２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を操作して、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の各ステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓに載せられた全パレット１１を、第１ステージブロックＪ１と第２ステージブロックＪ２の間で、グリッパ搬送により載せるステージを一括して交換することができる。これによって、搬送装置１００ｊの構造と操作が簡略化され、コストダウンを図ることができる。
【０１１６】
また、パレット移動機構Ｊ３は、３本のシリンダＣ２〜Ｃ４を有しており、２本のシリンダＣ２，Ｃ３が、それぞれ、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２の水平面内における移動を駆動し、もう１本のシリンダＣ４が、縦方向連結部材Ｒを介した２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２の縦方向における移動を駆動する構成となっている。
【０１１７】
このように、搬送装置１００ｊにおけるパレット移動機構Ｊ３は、３本のシリンダＣ２〜Ｃ４のみを用いて駆動することができる。
【０１１８】
図１１〜１３は、図６〜図１０に示した搬送装置１００ｊを熱処理装置の往復循環搬送機構として利用した例で、それぞれ、熱処理装置１１０の模式的な正面図、上面図および側面図で、要部を部分的な断面で示した図である。図１１〜１３は、熱処理装置１１０を、前工程搬送装置９９と後工程搬送装置１０１の中間に配置した図となっている。
【０１１９】
図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、半導体装置をワークとする、クリーンルーム内での使用に好適な熱処理装置である。熱処理装置１１０は、図１４に示したスチールベルト搬送炉９０と同様に、半導体センサ装置の組付け工程において、図１に示すワーク１０の加速度センサ２と制御ＬＳＩ２を接合する接着剤３のベーキングに用いられる。
【０１２０】
図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、パレット１１（ワーク１０）を把持して移動し、縦方向（鉛直方向）に往復循環して搬送する搬送装置１００ｊと、図１３に示した搬送装置１００ｊにより搬送中のワーク１０を加熱するためのヒータ１００ｈと、図中に破線ハッチングで示したヒータ１００ｈにより加熱中のワーク１０を内部に収容する断熱壁１００ｄとを有している。断熱壁１００ｄは、図１１と図１２に示すように、縦方向（鉛直方向）において筒状で、一端（鉛直下方）が開口し、もう一端（鉛直上方）が閉じた形状となっている。
【０１２１】
このように、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０では、筒状で一端が閉じた形状の断熱壁１００ｄの開口が、鉛直下方にある。このため、空気より軽い雰囲気ガスや温まって軽くなった雰囲気ガスを、効率的に炉内に閉じ込めることができる。
【０１２２】
熱処理装置１１０は酸化雰囲気を嫌う半導体装置をワーク１０としているため、雰囲気ガス導入管（図示省略）によって断熱壁１００ｄの内部に窒素ガスもしくはアルゴンガスが導入され、ワーク１０の熱処理が、低酸素雰囲気中で行われる。過剰となった窒素ガスもしくはアルゴンガスは、鉛直下方にある断熱壁１００ｄの開口から放出されるため、外気の導入が防止される。以上のようにして、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、酸化雰囲気を嫌う半導体装置の熱処理に利用できる構造となっている。
【０１２３】
熱処理装置１１０においては、図１１と図１２に示す前工程搬送装置９９で外部から新たに供給されるパレット１１（ワーク１０）を、図１３に示すパレット投入機構Ｐ１により断熱壁１００ｄの開口から露出する搬送装置１００ｊ（第２ステージブロックＪ２の最下段のステージＪ２ｓ−１）に投入する。また、断熱壁１００ｄの同じ開口から露出する搬送装置１００ｊ（第２ステージブロックＪ２の最下段のステージＪ２ｓ−１）から、熱処理の終わったパレット１１（ワーク１０）をパレット取り出し機構Ｐ２により外部へ取り出し、後工程搬送装置１０１で次工程へ搬送する。
【０１２４】
図１３に示すように、熱処理装置１１０のヒータ１００ｈは、搬送装置１００ｊの第１ステージブロックＪ１および第２ステージブロックＪ２において、上方にある第３〜６段のステージ近くの連結部に組み込まれている。このため、図中に波線パターンで塗りつぶした部分が加熱領域となり、この第１ステージブロックＪ１および第２ステージブロックＪ２の上方にある第３〜６段のステージが、加熱プレートとして作用する。例えば、先に説明したように熱処理装置１１０を加速度センサ装置１０の接着剤のベーキングに用いる場合には、上方にある第３〜６段のステージが、温度制御装置により１７０℃に温度調節される。搬送中のパレット１１（ワーク１０）は、この第３〜６段のステージ上に直置きされて、熱伝導により加熱される。この熱伝導を用いた加熱機構は、輻射や対流による加熱機構に較べて、パレット１１（ワーク１０）を高い伝熱効率で加熱することができる。尚、ヒータの設置は、上記連結部に限らず、第１ステージブロックＪ１および第２ステージブロックＪ２のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓに組み込むようにしてもよい。
【０１２５】
また、図１３に示すように、第２ステージブロックＪ２の第１段のステージＪ２ｓ−１は、パレット１１（ワーク１０）の投入や取り出しに利用されるため、強制冷却されることが好ましい。例えば、熱処理装置１１０を加速度センサ装置１０の接着剤のベーキングに用いる場合には、ステージＪ２ｓ−１が、温度制御装置により４０℃以下に温度調節される。尚、パレット１１の投入や取り出しに利用されるステージＪ２ｓ−１だけでなく、断熱壁１００ｄの開口側にある第１ステージブロック１および／または第２ステージブロックＪ２の他のステージについても、必要に応じて強制冷却するようにしてもよい。
【０１２６】
以上のようにして、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０では、熱伝導を用いた加熱機構を採用し、熱処理時間を確保するため、加熱プレートとして機能する第１ステージブロック１と第２ステージブロックＪ２の複数段のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓが、縦方向に等間隔に配置された構造となっている。さらに、これらの複数段のステージＪ１ｓ，Ｊ２ｓを包み込むようにして、下方端が開口し、上方端が閉じた筒状（釣鐘状）の断熱壁１００ｄが設けられている。この断熱壁１００ｄ内に、上部から窒素ガスもしくはアルゴンガスを流すことによって、容器内が低酸素雰囲気に保たれる構造となっている。
【０１２７】
図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、搬送装置１００ｊにより搬送中のワーク１０を連続的に熱処理するため、ワーク１０の処理効率（スループット）が高い。また、熱処理装置１１０では、パレット１１（ワーク１０）を、擦らずに把持して移動する（機械的に持ち上げて移動し、所定の位置に下ろす、いわゆるグリッパ搬送方式）。このため、図１４に示す従来のスチールベルト搬送炉９０のような摩擦構造部がなく、粉塵の発生が抑制される。従って、熱処理装置１１０は、特にクリーンルームでの使用に適しており、クリーンルームの清浄度を低下することのない連続熱処理装置となっている。このため、図１に示した微細構造体を持つ加速度センサ装置１０の熱処理であっても、上記した熱処理装置１１０によれば、粉塵の発生が抑制されるため、粉塵の微細構造体への混入に起因する動作不良を抑制することができる。尚、第２ステージブロックＪ２を駆動するシリンダＣ１や、２個のパレット移動ロッドブロックＬＢ１，ＬＢ２を駆動するシリンダＣ１〜Ｃ３および連結部材Ｒは、パレット１１（ワーク１０）の熱処理室の外部に、分離されて設置されている。このため、これら駆動部で発生する異物が、ワーク１０に付着することもない。
【０１２８】
また、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、ワーク１０を鉛直方向で往復循環して搬送している。このため、図１４に示す従来のスチールベルト搬送炉９０に較べて、熱処理装置１１０の床面に対する占有面積（装置設置面積）を低減でき、小型の熱処理装置とすることができる。このため、これによっても、床費の高いクリーンルームでの使用に特に適している。
【０１２９】
さらに、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、ワーク１０を鉛直方向の一方向に往復循環して搬送し、外部から新たに供給されるワーク１０の投入と熱処理の終わったワーク１０の外部の取り出しを、断熱壁１００ｄの同じ開口付近で行っている。このため断熱壁１００ｄの内部の開口付近において、熱処理の終わったワークと外部から新たに供給されるワークの間で熱交換させることもでき、効率的な熱利用が可能である。また、熱処理装置１１０では、外部から新たに供給されるワーク１０の投入と熱処理の終わったワーク１０の外部の取り出しを第２ステージブロックＪ２の第１段のステージＪ２ｓ−１に統合しており、これによって装置の小型化が図られている。
【０１３０】
以上のようにして、図１１〜１３に示す熱処理装置１１０は、ワーク１０の処理効率（スループット）が高く、粉塵の発生が抑制され、特にクリーンルームでの使用に適する小型で安価な熱処理装置となっている。
【０１３１】
以上示したように、上記した本発明の搬送装置は、縦型のグリッパ搬送が可能な搬送装置であって、粉塵の発生を抑制することができると共に、必要床面積を低減でき、特にクリーンルーム内での使用に適した小型で安価な搬送装置となっている。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】ワークの代表例である半導体装置の一例で、（ａ）は、加速度センサ１の断面を示す斜視図であり、（ｂ）はワークである加速度センサ装置１０の模式的な断面図である。また、（ｃ）は、ワーク１０のパレットへの搭載状態を模式的に示した上面図および正面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は、本発明の搬送装置の一例で、それぞれ、搬送装置１００の要部を示した上面図と側面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００の搬送動作を説明する図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００の搬送動作を説明する図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００の搬送動作を説明する図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は、本発明における別の搬送装置の例で、それぞれ、搬送措置１００ｊの要部を示した上面図と側面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００ｊの往復循環搬送動作を説明する図である。
【図８】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００ｊの往復循環搬送動作を説明する図である。
【図９】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００ｊの往復循環搬送動作を説明する図である。
【図１０】（ａ），（ｂ）は、搬送装置１００ｊの往復循環搬送動作を説明する図である。
【図１１】搬送装置１００ｊを熱処理装置の往復循環搬送機構として利用した例で、熱処理装置１１０の模式的な正面図で、要部を部分的な断面で示した図である。
【図１２】熱処理装置１１０の模式的な上面図で、要部を部分的な断面で示した図である。
【図１３】熱処理装置１１０の模式的な側面図で、要部を部分的な断面で示した図である。
【図１４】従来のスチールベルト搬送炉９０を示す図で、（ａ）は、スチールベルト搬送炉９０の要部を部分的な断面で示した上面図であり、（ｂ）は、スチールベルト搬送炉９０の要部を部分的な断面で示した正面図である。
【符号の説明】
【０１３３】
１０  ワーク（加速度センサ装置）
１１  パレット
１００，１００ｊ  搬送装置
Ｊ１  第１ステージブロック
Ｊ２  第２ステージブロック
Ｊ１ｓ，Ｊ２ｓ  ステージ
Ｈ３，Ｊ３  パレット移動機構
ＬＢ１，ＬＢ２  パレット移動ロッドブロック
Ｌ１，Ｌ２  ロッド
Ｔ  爪
Ｑ，Ｒ  連結部材
Ｃ１〜Ｃ４  シリンダ
Ｐ１  パレット投入機構
Ｏ２，Ｐ２  パレット取り出し機構
【図１】
0004720437.tif 000002
【図２】
0004720437.tif 000003
【図３】
0004720437.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004720437.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004720437.tif 000008
【図８】
0004720437.tif 000009
【図９】
0004720437.tif 000010
【図１０】
0004720437.tif 000011
【図１１】
0004720437.tif 000012
【図１２】
0004720437.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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