(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を洗浄する工程において、成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９５容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により、被洗物表面に付着した汚れ成分を剥離するプレ洗浄をした後、
成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）で、洗浄して、
仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱することによって得られる凝縮液であるリンス剤、又は組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤で、被洗物表面に付着している汚れ成分を含む仕上げ洗浄剤（ｃ）を除去するリンス洗浄を行うことを特徴とする洗浄方法。
【請求項２】
成分（ａ）が、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）及び／またはハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）を含有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
【請求項３】
成分（ａ）が、２Ｈ，２Ｈ，４Ｈ，４Ｈ，４Ｈ−ペンタフルオロブタン（ＨＦＣ３６５ｍｆｃ）、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン（ＨＦＣ４３−１０ｍｅｅ）、メチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７１００）、エチルパーフルオロブチルエーテル、エチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７２００）、１，１，２，２−テトラフルオロ−１−（２，２，２−トリフルオロエトキシ）エタン（ＨＦＥ３４７ｐｃ−ｆ）及び４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンタンからなる群より選ばれる一種又は二種以上の組み合わせを含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄方法。
【請求項４】
成分（ｄ）が、炭化水素、アルコール、ケトン、エーテル結合及び／又はエステル結合を有する有機化合物のいずれかであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の洗浄方法。
【請求項５】
成分（ｄ）が、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、３−メトキシブタノールおよび３−メチル−３−メトキシブタノール、乳酸ブチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテートであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄方法。
【請求項６】
組成物（ｂ）を加熱した状態及び／又は加熱して蒸気を発生させた状態でプレ洗浄することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄方法。
【請求項７】
組成物（ｂ）によるプレ洗浄の前工程として、炭化水素類（ｅ）から選ばれる一種又は二種以上の組み合わせで、荒洗浄することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の洗浄方法。
【請求項８】
炭化水素類（ｅ）が、Ｃ８からＣ１６の飽和炭化水素及び／または灯油であることを特徴とする請求項７に記載の洗浄方法。
【請求項９】
プレ洗浄において、汚れ成分を含む組成物（ｂ）を蒸留することにより、汚れ成分を分離することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
（Ａ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を浸漬するためのプレ洗浄槽、（Ｂ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する蒸留槽、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ａ）プレ洗浄槽と（Ｂ）蒸留槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｈ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する仕上げ洗浄槽と、
（Ｉ）該仕上げ洗浄槽（Ｈ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｊ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽と、
（Ｋ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽とを有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
【請求項１１】
（Ｄ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を洗浄するためのプレ洗浄槽、（Ｅ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｆ）該加熱槽（Ｅ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｇ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ｄ）プレ洗浄槽と（Ｅ）加熱槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｈ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する仕上げ洗浄槽と、
（Ｉ）該仕上げ洗浄槽（Ｈ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｊ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽と、
（Ｋ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽とを有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
【請求項１２】
（Ａ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を浸漬するためのプレ洗浄槽、（Ｂ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する蒸留槽、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ａ）プレ洗浄槽と（Ｂ）蒸留槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｌ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）により被洗物を洗浄するための仕上げ洗浄槽と、
（Ｍ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽と、
（Ｎ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽と、
（Ｏ）該加熱槽（Ｎ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｐ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽とを有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
【請求項１３】
（Ｄ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を洗浄するためのプレ洗浄槽、（Ｅ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｆ）該加熱槽（Ｅ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｇ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ｄ）プレ洗浄槽と（Ｅ）加熱槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｌ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）により被洗物を洗浄するための仕上げ洗浄槽と、
（Ｍ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽と、
（Ｎ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽と、
（Ｏ）該加熱槽（Ｎ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｐ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽とを有することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
【請求項１４】
プレ洗浄装置が、組成物（ｂ）から分離する汚れ成分を系外に排出する機構を有する請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械部品、精密機械部品、光学機械部品等の加工時に使用される加工油類、グリース類、ワックス類や電気電子部品のハンダ付け時に使用されるフラックス類および液晶等のあらゆる汚れを洗浄するのに好適な、洗浄方法および洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
機械部品、精密機械部品、光学機械部品等の加工時に使用される種々の加工油類、例えば、切削油、プレス油、引抜き油、熱処理油、防錆油、潤滑油等、または、グリース類、ワックス類等が使用されるが、これらの汚れは最終的には除去する必要があり、溶剤による除去が一般的に行われている。
【０００３】
また、電子回路の接合方法としてはハンダ付けが最も一般的に行われているが、ハンダ付けすべき金属表面の酸化物の除去清浄化、再酸化防止、ハンダ濡れ性の改良の目的で、ロジンを主成分としたフラックスでハンダ付け面を予め処理することが通常行われている。このフラックス残渣は金属の腐食や絶縁性の低下の原因となるため、ハンダ付け終了後、十分に除去する必要がある。
【０００４】
これらの洗浄、除去には、不燃性で毒性が低く、優れた溶解能を示す等、多くの特徴を有することから、１，１，２−トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン（以下ＣＦＣ１１３という）やＣＦＣ１１３とアルコールなどを混合した溶剤で洗浄していたが、オゾン層破壊等の地球環境汚染問題が指摘され、日本では１９９５年末にその生産が全廃された。このＣＦＣ１１３の代替品として、３，３−ジクロロ−１，１，１，２，２−ペンタフルオロプロパンと１，３−ジクロロ−１，１，２，２，３−ペンタフルオロプロパンの混合物（以下ＨＣＦＣ２２５という）等のハイドロクロロフルオロカーボンが提案されているが、これらもオゾン層破壊能があるため、日本では２０２０年にその使用が禁止される予定である。
【０００５】
さらに、近年、塩素原子を全く含まないハイドロフルオロカーボン類（以下ＨＦＣという）やハイドロフルオロエーテル類（以下ＨＦＥという）等のオゾン層破壊能が全くなく、不燃性のフッ素系溶剤が提案されているが、塩素原子を含まないために溶解能が低く、単独では洗浄剤として使用できない。
【０００６】
特許文献１、特許文献２、および特許文献３等に、ＨＦＣやＨＦＥ等の非塩素系フッ素化合物と汚れに対する洗浄力の向上を目的とした特定の条件を満たす化合物との混合溶剤が開示されている。これらの発明により上記問題点は解決され、オゾン層破壊能がなく溶解能に優れた非引火性の洗浄剤組成物が得られるものの、洗浄剤中に蓄積する汚れ成分の増加にともなう、被洗物表面への汚れ成分の再付着や汚れ成分と洗浄剤成分の分離の困難さから生じる洗浄液寿命の短縮が課題になっている。特許文献３や特許文献４には、洗浄槽において汚れ成分の混入した洗浄剤を連続的に汚れ分離槽に送り、汚れ成分を分離除去して清浄化し、清浄化された洗浄剤を洗浄槽に戻す洗浄方法および洗浄装置が提案されているが、装置が大型化するなどの課題があり十分な解決には至っていない。
【０００７】
代替洗浄剤として、ハロゲン系溶剤以外にも炭化水素系溶剤やアルコール系溶剤などを用いた非水系洗浄剤、酸、アルカリ或いは界面活性剤等が配合された水系洗浄剤の開発が進められているが、これら洗浄剤、特に汚れに対する溶解能が高くて比較的沸点の高い溶剤を成分とする洗浄剤においては、同様に、洗浄剤中に蓄積する汚れ成分の分離除去や溶剤の蒸留再使用の困難さが問題となっている。
【０００８】
【特許文献１】特開平１０−３６８９４号公報
【特許文献２】特開平１０−１９２７９７号公報
【特許文献３】国際公開第０１／０９２４５６号パンフレット
【特許文献４】特開２０００−８０９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、物品を洗浄する工程において、洗浄剤中に蓄積する汚れ成分の増加に起因する、洗浄性の低下や被洗物表面への汚れ成分の再付着により発生する洗浄不良の抑制効果に優れ、洗浄剤の液寿命を飛躍的に改善する洗浄方法および洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記課題を達成するための洗浄剤組成物、洗浄方法、汚れ分離方法および洗浄装置につき種々の検討を重ねた結果、物品を洗浄する工程において、洗浄に先立って、汚れに対する溶解能が乏しく比重の大きい（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を含有する組成物（ｂ）によりプレ洗浄することで、仕上げ洗浄剤への汚れ持込み量を大幅に削減できるだけでなく、プレ洗浄において被洗物表面から除去された汚れ成分を組成物（ｂ）より連続的かつ容易に分離することが可能となり、仕上げ洗浄剤の液寿命を大幅に改善できることを見出し、さらにプレ洗浄の前処理として炭化水素系溶剤で荒洗浄することによりプレ洗浄効果がよりいっそう高まり、仕上げ洗浄剤への汚れ持込み量をさらに削減することにより前期課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。
本発明の態様は以下に記載する通りである。
【００１１】
（１）物品を洗浄する工程において、成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９５容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により、被洗物表面に付着した汚れ成分を剥離するプレ洗浄をした後、
成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）で、洗浄して、
仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱することによって得られる凝縮液であるリンス剤、又は組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤で、被洗物表面に付着している汚れ成分を含む仕上げ洗浄剤（ｃ）を除去するリンス洗浄を行うことを特徴とする洗浄方法。
（２）成分（ａ）が、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）及び／またはハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）を含有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。
（３）成分（ａ）が、２Ｈ，２Ｈ，４Ｈ，４Ｈ，４Ｈ−ペンタフルオロブタン（ＨＦＣ３６５ｍｆｃ）、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン（ＨＦＣ４３−１０ｍｅｅ）、メチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７１００）、エチルパーフルオロブチルエーテル、エチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７２００）、１，１，２，２−テトラフルオロ−１−（２，２，２−トリフルオロエトキシ）エタン（ＨＦＥ３４７ｐｃ−ｆ）及び４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−ヘプタフルオロシクロペンタンからなる群より選ばれる一種又は二種以上の組み合わせを含有することを特徴とする上記（１）又は（２）に記載の洗浄方法。
（４）成分（ｄ）が、炭化水素、アルコール、ケトン、エーテル結合及び／又はエステル結合を有する有機化合物のいずれかであることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれか１項に記載の洗浄方法。
（５）成分（ｄ）が、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、３−メトキシブタノールおよび３−メチル−３−メトキシブタノール、乳酸ブチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテートであることを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれか１項に記載の洗浄方法。
（６）組成物（ｂ）を加熱した状態及び／又は加熱して蒸気を発生させた状態でプレ洗浄することを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれか１項に記載の洗浄方法。
（７）組成物（ｂ）によるプレ洗浄の前工程として、炭化水素類（ｅ）から選ばれる一種又は二種以上の組み合わせで、荒洗浄することを特徴とする上記（１）〜（６）のいずれか１項に記載の洗浄方法。
（８）炭化水素類（ｅ）が、Ｃ８からＣ１６の飽和炭化水素及び／または灯油であることを特徴とする上記（７）に記載の洗浄方法。
（９）プレ洗浄において、汚れ成分を含む組成物（ｂ）を蒸留することにより、汚れ成分を分離することを特徴とする上記（１）〜（８）のいずれか１項に記載の洗浄方法。
【００１２】
（１０）（Ａ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を浸漬するためのプレ洗浄槽、（Ｂ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する蒸留槽、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ａ）プレ洗浄槽と（Ｂ）蒸留槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｈ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する仕上げ洗浄槽と、
（Ｉ）該仕上げ洗浄槽（Ｈ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｊ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽と、
（Ｋ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽とを有することを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
（１１）（Ｄ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を洗浄するためのプレ洗浄槽、（Ｅ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｆ）該加熱槽（Ｅ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｇ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ｄ）プレ洗浄槽と（Ｅ）加熱槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｈ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する仕上げ洗浄槽と、
（Ｉ）該仕上げ洗浄槽（Ｈ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｊ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽と、
（Ｋ）水分離槽において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽とを有することを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
（１２）  （Ａ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を浸漬するためのプレ洗浄槽、（Ｂ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する蒸留槽、（Ｃ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ａ）プレ洗浄槽と（Ｂ）蒸留槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｌ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）により被洗物を洗浄するための仕上げ洗浄槽と、
（Ｍ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽と、
（Ｎ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽と、
（Ｏ）該加熱槽（Ｎ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｐ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽とを有することを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
（１３）（Ｄ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物を９０容量％以上１００容量％以下含有する組成物（ｂ）により被洗物を洗浄するためのプレ洗浄槽、（Ｅ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽、（Ｆ）該加熱槽（Ｅ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン、（Ｇ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽を有し、（Ｄ）プレ洗浄槽と（Ｅ）加熱槽とが配管で接続されているプレ洗浄装置と、
（Ｌ）成分（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物１０容量％以上９０容量％未満と成分（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分１０容量％以上９０容量％未満とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）により被洗物を洗浄するための仕上げ洗浄槽と、
（Ｍ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤により浸漬リンスするための浸漬リンス槽と、
（Ｎ）成分（ａ）または組成物（ｂ）と同一組成であるリンス剤の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽と、
（Ｏ）該加熱槽（Ｎ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーンと、
（Ｐ）発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽とを有することを特徴とする上記（１）〜（９）のいずれか１項に記載の洗浄方法を実施するための洗浄装置。
（１４）プレ洗浄装置が、組成物（ｂ）から分離する汚れ成分を系外に排出する機構を有する上記（１０）〜（１３）のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は物品を洗浄する工程において、仕上げ洗浄の前処理として行うプレ洗浄に、汚れに対する溶解能に乏しくかつ比重の大きい成分（ａ）を含有する組成物（ｂ）をプレ洗浄剤として用いることで、組成物（ｂ）からの汚れ成分の比重差分離が極めて容易となる。さらに、汚れたプレ洗浄液を蒸留して汚れ成分と組成物（ｂ）とを分離することにより、（ｂ）高い清浄度を有する組成物（ｂ）により優れたプレ洗浄性を長期間維持することができる。この組成物（ｂ）によるプレ洗浄効果により、仕上げ洗浄工程への汚れ成分の持込み量の大幅削減が達成され、仕上げ洗浄剤への負荷を低減することで液寿命を飛躍的に改善すると共に、仕上げ洗浄剤単独で洗浄するよりも高い洗浄レベルの要求される精密洗浄が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を詳細に説明する。
まず、本明細書において用いる用語について説明する。
本明細書において、「プレ洗浄」とは、汚れに対する溶解能に乏しくかつ比重の大きい成分（ａ）を含有する組成物（ｂ）により、被洗物表面に付着する汚れ成分を除去する中間洗浄を表し、後工程における仕上げ洗浄を必要とする。
また、「仕上げ洗浄」とは、プレ洗浄された被洗物表面に残留する汚れ成分を各種洗浄剤により最終的に除去し、洗浄を完了させる最終洗浄を表す。
また、「荒洗浄」とは、プレ洗浄の前工程として汚れ成分に対する優れた溶解能を有する炭化水素類（ｅ）により被洗物表面に付着する汚れ成分を除去するための予備洗浄を表す。
また、「汚れ成分」とは、被洗物から除去したい成分を表す。例えば精密部品に付着した加工油、プリント基板に付着したフラックス残渣、液晶セルのギャップ間に残留した液晶等が挙げられ、またリンス工程においては、仕上げ洗浄剤成分も表す。
【００１５】
本発明における洗浄方法は仕上げ洗浄工程とその前工程として、汚れに対する溶解能に乏しく、蒸気圧が高く、かつ比重の大きい成分（ａ）を含有する組成物（ｂ）によるプレ洗浄工程からなる。
（ａ）成分に求められる性能は、１）比重差分離を容易にするために、比重が大きいこと（１．０以上）、２）蒸留による分離を容易にするために、蒸気圧が高い（２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上）こと、３）汚れを分離しやすくするために、汚れ溶解性が低いことである。
（ａ）成分の比重は汚れ成分と比重差分離する上で１．０以上が好ましく、より好ましくは１．１以上であり、さらに好ましくは１.２以上である。
本発明に係る洗浄方法に必須のプレ洗浄工程は、仕上げ洗浄工程の前処理工程として、被洗物に付着する汚れ成分を被洗物表面から５０％以上、好ましくは７５％以上除去することにより、後工程の仕上げ洗浄工程における汚れ成分の蓄積による洗浄不良の発生や液交換作業の負荷を低減し、かつ仕上げ洗浄単独では得られない高清浄度の仕上がりを得るための工程であり、プレ洗浄槽に貯留する組成物（ｂ）によるプレ洗浄を主体とし、必要に応じて、組成物（ｂ）を加熱して得られる蒸気により蒸気洗浄する工程や使用中の組成物（ｂ）からなるプレ洗浄剤を蒸留器に移して連続蒸留等による各種汚れ成分を分離する工程等を組み合わせて使用できる工程である。
【００１６】
具体的なプレ洗浄工程としては、プレ洗浄するためのプレ洗浄槽、組成物（ｂ）からなるプレ洗浄剤を加熱することにより蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽あるいは蒸留槽、発生した蒸気を凝縮して得られる凝縮液から水分を除去するための水分離槽からなる。加熱槽あるいは蒸留槽のヒーターにより加熱されて発生した蒸気は冷却管により凝縮され、凝縮した液は水分離槽で水分を分離した後プレ洗浄槽、加熱槽あるいは蒸留槽の順にオーバーフローする。必要に応じて、加熱槽あるいは蒸留槽のヒーターにより加熱されて発生した蒸気による蒸気洗浄工程や、加熱槽あるいは蒸留槽中に蓄積する汚れ成分を分離するためのポンプ、フィルター及び比重差を利用した静置槽等のあらゆる機構を設置することができる。
【００１７】
さらに、本発明に係る洗浄方法は、プレ洗浄工程とこれに続く仕上げ洗浄工程の組み合わせにより、仕上げ洗浄剤では困難な高い洗浄性が要求される精密洗浄に対応した洗浄方法を可能とすると共に、仕上げ洗浄剤への汚れ持込み量が削減されることで、液寿命が飛躍的に高まり洗浄現場における作業効率の大幅な改善が可能となる。
【００１８】
仕上げ洗浄工程は、プレ洗浄工程でプレ洗浄された被洗物に残留する汚れ成分を除去し洗浄を完了させる工程で、仕上げ洗浄槽に貯留する各種仕上げ洗浄剤による仕上げ洗浄を主体として、必要に応じて、仕上げ洗浄した被洗物表面に付着している汚れ成分を含む仕上げ洗浄剤成分を汚れ成分を含まない溶剤に置換するためのリンス槽あるいはシャワーリンスするための機構や、更に被洗物表面に僅かに残留する汚れ成分を被洗物と蒸気との温度差によって被洗物表面で凝縮する液体で除去する蒸気洗浄するための機構などを含む工程である。
【００１９】
さらに、本発明に係る洗浄方法ではプレ洗浄工程の前工程として、汚れ成分に対する優れた溶解能を有する炭化水素類（ｅ）による荒洗浄工程を組み合わせる事により、プレ洗浄工程への汚れ成分の持込み量を削減すると共に荒洗浄剤で置換し、プレ洗浄工程において溶解能に乏しくかつ比重の大きい成分（ａ）を含有する組成物（ｂ）の汚れ成分に対する溶解能をわずかに付与することにより、汚れ成分の被洗物表面からの分離除去性が向上することでプレ洗浄効果を高めることが可能となる。
【００２０】
荒洗浄工程はプレ洗浄工程の前工程で被洗物に付着する多量の汚れ成分の付着量を削減し、荒洗浄剤で置換する工程で、荒洗浄槽に貯留する炭化水素類（ｅ）による浸漬荒洗浄を主体として、必要に応じて荒洗浄槽で揺動、振動、液中噴流、シャワー及び超音波或いはこれら物理的な力の組み合わせの併用等を含む工程である。
【００２１】
本発明の組成物（ｂ）からなるプレ洗浄剤に用いる（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物は、２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上あれば特に種類を問わないが、例えば、下記一般式（１）で特定される環状ＨＦＣ、下記一般式（２）で特定される鎖状ＨＦＣ、又は下記一般式（３）で特定されるＨＦＥの、塩素原子を含まない、炭素原子、水素原子、酸素原子、フッ素原子からなる化合物、及びこれらの中から選ばれる２種以上の化合物の組み合わせ等を挙げることができる。
ＣｎＨ２ｎ−ｍＦｍ    ・・・・・（１）
（式中、４≦ｎ≦６、５≦ｍ≦２ｎ−１の整数を示す）
ＣｘＨ２ｘ＋２−ｙＦｙ  ・・・・・（２）
（式中、４≦ｘ≦６、５≦ｙ≦１２の整数を示す）
ＣｓＦ２ｓ＋１ＯＲ    ・・・・・（３）
（式中、４≦ｓ≦６、Ｒは炭素数１〜３のアルキル基）
【００２２】
環状ＨＦＣの具体例としては３Ｈ，４Ｈ，４Ｈ−パーフルオロシクロブタン、４Ｈ、５Ｈ、５Ｈ−パーフルオロシクロペンタン（例えばゼオローラＨ（商品名））、５Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−パーフルオロシクロヘキサン等を挙げることができる。  鎖状ＨＦＣの具体例としては１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、４Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，１Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，１Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロブタン、１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン、２Ｈ，２Ｈ，４Ｈ，４Ｈ，４Ｈ−パーフルオロブタン（ＨＦＣ３６５ｍｆｃ）、１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン（ＨＦＣ４３−１０ｍｅｅ）、２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、２Ｈ，２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ，４Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，４Ｈ，５Ｈ，５Ｈ，５Ｈ−パーフルオロペンタン、１Ｈ，２Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，３Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，４Ｈ−パーフルオロヘキサン、２Ｈ，５Ｈ−パーフルオロヘキサン、３Ｈ，４Ｈ−パーフルオロヘキサン等を挙げることができる。  ＨＦＥの具体例としてはメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７１００）、メチルパーフルオロペンチルエーテル、メチルパーフルオロシクロヘキシルエーテル、エチルパーフルオロブチルエーテル、エチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびこれらの混合物（ＨＦＥ７２００）、エチルパーフルオロペンチルエーテル、及び１，１，２，２−テトラフルオロ−１−（２，２，２−トリフルオロエトキシ）エタン（ＨＦＥ３４７ｐｃ−ｆ）等を挙げることができる。
これら（ａ）非塩素系フッ素化合物の中から選ばれる１種又は２種以上の化合物を組み合わせて用いることができるが、好ましくは地球温暖化係数の低いＨＦＣまたはＨＦＥを挙げることができる。より好ましくは、ＨＦＣ３６５ｍｆｃ、４Ｈ、５Ｈ、５Ｈ−パーフルオロシクロペンタン（例えばゼオローラＨ（商品名））、メチルパーフルオロブチルエーテルとメチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびＨＦＥ７１００、エチルパーフルオロブチルエーテルとエチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびＨＦＥ７２００、ＨＦＥ３４７ｐｃ−ｆを挙げることができる。さらに好ましくは引火点抑制効果に優れるメチルパーフルオロブチルエーテル、メチルパーフルオロイソブチルエーテルおよびＨＦＥ７１００やプレ洗浄剤として適した汚れ溶解能を有するＨＦＣ３６５ｍｆｃを挙げることができる。特に組成物（ｂ）や仕上げ洗浄剤を非引火性とするためには成分（ａ）である非塩素系フッ素化合物を含有する必要がある。
【００２３】
本発明のプレ洗浄に用いられる組成物（ｂ）は成分（ａ）を必須成分とするが、その特性を損なわない範囲で、必要に応じて少量の前記成分（ｄ）、酸化防止剤或いは紫外線防止剤等を含有しても良い。組成物（ｂ）における成分（ａ）の割合は、本発明のプレ洗浄剤としての特徴である汚れに対する溶解能、比重、揮発性、不燃性を損なわない範囲であれば特に制限はないが、好ましくは全組成物の９０容量％以上１００容量％以下、更に好ましくは９５〜１００容量％であり、より好ましくは９８〜１００容量％である。この範囲において、充分な汚れ分離性、乾燥性及び非引火性が得られる。
【００２４】
本発明のプレ洗浄方法は、被洗物をプレ洗浄可能な如何なる方法で洗浄しても良く、プレ洗浄方法を限定するものではないが、成分（ａ）を含有する組成物（ｂ）により、物品をプレ洗浄することを必須の要件とする。プレ洗浄工程にはプレ洗浄性を向上することを目的とした浸漬、揺動、振動、液中噴流及び超音波等の物理的な方法を組み合わせることにより、効果的なプレ洗浄が可能となる。加熱あるいは蒸留工程では組成物（ｂ）と汚れ成分とを分離することを目的とした加熱機構により、組成物（ｂ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環することによって連続的に汚れ成分と分離され、清浄度の高い組成物（ｂ）によるプレ洗浄が可能となる。
本発明のプレ洗浄方法は組成物（ｂ）により被洗物表面の汚れ成分を除去すると共に、除去した汚れ成分を連続的に組成物（ｂ）から分離することにより、後工程における仕上げ洗浄効果を高めるのに最も適した洗浄方法と言える。
【００２５】
具体的なプレ洗浄方法及びプレ洗浄装置を添付図面によって説明する。
図１は本発明の態様（１０）に記載のプレ洗浄装置の一例である。主な構造として組成物（ｂ）により被洗物を浸漬するためのプレ洗浄槽（Ａ）１、該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する蒸留槽（Ｂ）２、該組成物の蒸気に満たされる蒸気ゾーン３、発生した蒸気を凝縮して得られる凝縮液から水分を除去するための水分離槽（Ｃ）４を有する。実際のプレ洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内のプレ洗浄槽（Ａ）１を通過させてプレ洗浄を完了させる。一方、被洗物表面より除去された汚れは、組成物（ｂ）を加熱して発生させた蒸気の凝縮液と共にプレ洗浄槽（Ａ）１から連続的にオーバーフローして矢印６のように蒸留槽（Ｂ）２へ入るので、常にプレ洗浄槽（Ａ）１内の組成物（ｂ）の清浄度を高く維持することが可能となる。
【００２６】
プレ洗浄槽（Ａ）１では、組成物（ｂ）に被洗物を浸漬し、物理的な力として超音波振動子５によって発生する超音波により被洗物表面に付着した汚れを被洗物表面から剥離する。組成物（ｂ）によるプレ洗浄では、被洗物表面に付着した汚れを溶解除去せず、被洗物表面から物理的に引き剥がすため、物理的な力が有効である。物理的な力としては、例えば、超音波、揺動、攪拌、組成物（ｂ）の液中噴霧及びブラッシング或いはこれらの組み合わせを併用する等、これまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。また、プレ洗浄槽（Ａ）１において発生する組成物（ｂ）の蒸気は冷却管１４によって凝縮し、配管１５を通り水分離槽（Ｃ）４に集めた後冷却管１２により温度を下げることにより、凝縮液と冷却管１４に付着した水とを静置分離し、配管１３からプレ洗浄槽（Ａ）１に戻す。
【００２７】
蒸留槽（Ｂ）２では、組成物（ｂ）をヒーター８で加熱して発生させた蒸気が矢印９のように冷却管１０で凝縮し、凝縮液が配管１１を通り水分離槽（Ｃ）４に集めた後冷却管１２により温度を下げることにより、凝縮液と冷却管１０に付着した水とを静置分離し、配管１３からプレ洗浄槽（Ａ）１に送り、オーバーフローして矢印６のように配管７を通り蒸留槽（Ｂ）２に戻す。なお、冷却管１０及び１４では空気中の水分を凝縮し、洗浄機への水分の持込みを防止すると共に、蒸気拡散による組成物（ｂ）の蒸発ロス量を抑制することができる。この浸漬プレ洗浄においてはこれら物理的な力の併用により、被洗物に付着する汚れ成分量を大幅に削減することが可能となる。
【００２８】
プレ洗浄槽（Ａ）１では組成物（ｂ）の汚れに対する溶解能が低いため、汚れ成分の一部は組成物（ｂ）に溶解するが、大部分は溶解せず組成物（ｂ）との比重差により、組成物（ｂ）の上層に浮遊した状態で存在する。プレ洗浄槽（Ａ）１中の組成物（ｂ）と浮遊する汚れ成分とは、水分離槽（Ｃ）４からプレ洗浄槽（Ａ）１へ連続的に給液される組成物（ｂ）の凝縮液により、プレ洗浄槽（Ａ）１からオーバーフローして矢印６のように配管７を通り、蒸留槽（Ｂ）２に移行する。
【００２９】
蒸留槽（Ｂ）２に移行した組成物（ｂ）中に僅かに溶解した汚れ成分及び組成物（ｂ）に溶解せず浮遊した汚れ成分は、ヒーター８による加熱により蒸発せず蒸留槽（Ｂ）２内に蓄積濃縮される。蒸留槽（Ｂ）２内に蓄積濃縮された汚れ成分は、必要に応じて蒸留槽（Ｂ）２内より系外に排出する。排出する方法についてはこれまで使用されてきたいかなる方法を使用しても良いが、例えば、分離浮遊している汚れ成分をポンプ循環によりオーバーフローさせ系外に排出した後、オイルスキマー及びフィルターにより連続的に処理する方法、槽内に一定量蓄積した段階でオイルマットによる吸着するか容器等によりすくい取る方法を挙げることができる。さらに、組成物（ｂ）の液温を低下させることでより効果的に汚れ成分の分離を加速することが可能となる。
【００３０】
本発明のプレ洗浄方法及びプレ洗浄装置では、汚れ成分に対する溶解能の低い組成物（ｂ）を使用し、汚れ成分を溶解せず被洗物表面から物理的に除去することにより、組成物（ｂ）と汚れ成分との分離性を高め、汚れ成分の系外への排出を容易とするだけでなく、後工程における仕上げ洗浄剤への汚れ成分の持込み量を大幅に削減することができる。特に蒸留等の方法により、仕上げ洗浄剤中に持ち込まれた汚れ成分を容易に分離できない仕上げ洗浄剤の前処理工程として有効である。
【００３１】
図２は本発明の態様（１１）に記載のプレ洗浄装置の一例である。主な構造として組成物（ｂ）により被洗物を洗浄するためのプレ洗浄槽（Ｄ）１６、（ｂ）該組成物を構成する少なくとも一種の成分または化合物の蒸気を発生させるための加熱機構を有する加熱槽（Ｅ）１７、該加熱槽（Ｅ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（Ｆ）１８、発生した蒸気を凝縮して得られる凝縮液から水分を除去するための水分離槽（Ｇ）１９を有する。
実際のプレ洗浄においては被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、洗浄装置内のプレ洗浄槽（Ｄ）１６、蒸気ゾーン（Ｆ）１８を通過させてプレ洗浄を完了させる。一方、被洗物表面より除去された汚れは、組成物（ｂ）を加熱して発生させた蒸気の凝縮液と共にプレ洗浄槽（Ｄ）１６から連続的にオーバーフローして矢印２１のように加熱槽（Ｂ）１７へ入り、常にプレ洗浄槽（Ｄ）１６内の組成物（ｂ）の清浄度を高く維持することが可能となる。
【００３２】
プレ洗浄槽（Ｄ）１６では、組成物（ｂ）に被洗物を浸漬し、物理的な力として超音波振動子５によって発生する超音波２０により被洗物表面に付着した汚れを被洗物表面から剥離する。組成物（ｂ）によるプレ洗浄では、被洗物表面に付着した汚れを溶解除去せず、被洗物表面から物理的に引き剥がすため、物理的な力が有効である。物理的な力としては、例えば、超音波、揺動、攪拌、組成物（ｂ）の液中噴霧及びブラッシング或いはこれらの組み合わせの併用等、これまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
【００３３】
加熱槽（Ｅ）１７では、組成物（ｂ）をヒーター２２で加熱して発生させた蒸気が矢印２３のように冷却管２４で凝縮し、凝縮液が配管２５を通り水分離槽（Ｃ）１９に集めた後冷却管２６により温度を下げることにより、凝縮液と冷却管２６に付着した水とを静置分離し、配管２７からプレ洗浄槽（Ｄ）１６に送り、オーバーフローして矢印２１のように加熱槽（Ｅ）１７に戻す。なお、冷却管２４では空気中の水分を凝縮し、洗浄機への水分の持込みを防止すると共に、蒸気拡散による組成物（ｂ）の蒸発ロス量を抑制することができる。
【００３４】
蒸気ゾーン（Ｆ）１８では、加熱槽（Ｅ）１７で発生した主に仕上げ洗浄剤（ｃ）に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｄ）の蒸気を利用して蒸気洗浄を行う。蒸気ゾーン（Ｆ）１８で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、プレ洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
【００３５】
該プレ洗浄工程の洗浄装置では、主に仕上げ洗浄剤（ｃ）に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｄ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環し被洗物に残留している可能性のある汚れ成分をプレ洗浄槽（Ｄ）１６および蒸気ゾーン（Ｆ）１８で洗浄することで、後工程の仕上げ洗浄剤への汚れ持込み量を大幅に削減することが可能となる。この洗浄方法においては、蒸気ゾーン（Ｆ）１８で蒸気洗浄した後に仕上げ洗浄工程へ移動するので、仕上げ洗浄剤への汚れ成分の持込み量をより削減するのに効果的な方法及び装置である。
【００３６】
より高い洗浄レベルの求められる精密洗浄、或いは、汚れの種類などによっては、本発明の組成物（ｂ）によるプレ洗浄の前工程として、（ｅ）炭化水素類から選ばれる一種又は二種以上の組み合わせで、荒洗浄することが有効である。ここに用いられる（ｅ）炭化水素類としてはヘキサン、ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、ペンタデカン、テトラデカン、ペンタデカン、メンタン、ビシクロヘキシル、シクロドデカン、２，２，４，４，６，８，８−ヘプタメチルノナン、灯油、軽油等が挙げられる。これら炭化水素類（ｅ）の中から選ばれる１種又は２種以上の化合物を組み合わせて用いることができるが、好ましくは引火点が高く粘度の低いデカン及び灯油を挙げることができる。荒洗浄に用いられる洗浄方法及び洗浄装置としては、洗浄可能な如何なる方法および装置であっても良く、これまで炭化水素系洗浄剤で使用されていた一般的な洗浄方法及び洗浄装置や単に浸漬洗浄するためのタンクを使用することも可能である。
【００３７】
プレ洗浄された被洗物は仕上げ洗浄工程において、被洗物に残留する汚れ成分を最終的に洗浄除去することで洗浄が完了する。この仕上げ洗浄工程に用いられる洗浄剤、洗浄方法及び洗浄装置は、従来公知のものが適用される。特に本発明のプレ洗浄方法の効果がより顕著に示されるのは、洗浄剤成分と汚れ成分との分離が困難である場合や蒸留回収の比較的困難な洗浄剤成分を含む洗浄剤においてである。従って、限定するものではないが、好ましくはプレ洗浄した後の洗浄工程に使用する仕上げ洗浄剤（ｃ）が（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分を含有する仕上げ洗浄剤であり、特に仕上げ洗浄工程の不燃化、各種汚れに対する洗浄性、リンス性、更には、仕上げ洗浄工程におけるリンス洗浄や蒸気洗浄に用いる仕上げ洗浄剤とプレ洗浄剤とを共通の溶媒にできることをも考慮すると、仕上げ洗浄剤（ｃ）が（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分とを含有する仕上げ洗浄剤において最も効果な洗浄剤が可能となる。
【００３８】
ここにおいて、（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分は、種々の炭化水素類、アルコール類、ケトン類およびエーテル結合及び／またはエステル結合を有する有機化合物等の、各種汚れに対して良好な洗浄性を有し、且つ２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の化合物である。成分（ｄ）の蒸気圧が、この範囲にあるときに、仕上げ洗浄工程における洗浄性及びリンス性に優れた仕上げ洗浄剤が得られる。好ましくは、２０℃において６．６６×１０2Ｐａ以下であり、さらに好ましくは１．３３×１０2Ｐａ以下である。
【００３９】
以下、成分（ｄ）について具体例を挙げて説明する。
炭化水素類の具体例としてはデカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペンタデカン、メンタン、ビシクロヘキシル、シクロドデカン、２，２，４，４，６，８，８−ヘプタメチルノナン等があげられ、アルコール類の具体例としてはｎ−ブタノール、イソブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、イソアミルアルコール、ｎ−ヘプタノール、ｎ−オクタノール、ｎ−ノナノール、ｎ−デカノール、ｎ−ウンデカノール、ベンジルアルコール、フルフリルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール等が挙げられ、ケトン類の具体例としてはメチル−ｎ−アミルケトン、ジイソブチルケトン、ジアセトンアルコール、ホロン、イソホロン、シクロヘキサノン、アセトフェノン等が挙げられる。エーテル結合を有する有機化合物とは、分子構造の中にエーテル結合（Ｃ−Ｏ−Ｃ）を少なくとも１個以上含有する化合物であり、エステル結合を有する有機化合物とは、分子構造の中にエステル結合（−ＣＯＯ−）を少なくとも１個以上含有する化合物である。具体例として、エーテル結合を有する化合物としては、エチレングリコールモノ−ｎ−ヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｉ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｉ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｉ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｉ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｉ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｉ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、３−メトキシブタノール、３−メチル−３−メトキシブタノール、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等を挙げることができる。エステル結合を有する化合物としては酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソアミル、酢酸−２−エチルヘキシル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、γ−ブチルラクトン、コハク酸ジメチル、グルタル酸ジメチル、アジピン酸ジメチル、、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。本発明に使用する成分（ｄ）としては、人体における代謝系でアルコキシ酢酸を生成しないジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、３−メトキシブタノールおよび３−メチル−３���メトキシブタノール、乳酸ブチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等がより毒性が低く好ましい。
【００４０】
仕上げ洗浄剤（ｃ）の成分として用いられる（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物としてはプレ洗浄剤のところで説明した化合物の一種または又は二種以上の組み合わせが用いられる。必要に応じて、酸化防止剤、紫外線吸収剤を添加することができる。
【００４１】
各成分の質量割合については、仕上げ洗浄剤の特徴である、高洗浄性、低毒性、非引火性が損なわれない範囲であれば、特に制限はないが、（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素性フッ素化合物と（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分とを併用する場合の成分（ａ）／成分（ｄ）の質量割合の範囲が９０／１０〜２０／８０であることがより好ましい。成分（ｄ）の質量割合が１０より大きいときに、各種汚れに対するより好ましい溶解能改善効果が得られ、８０より小さいときにより好ましい被洗物表面における洗浄剤成分の低残留性が得られる。洗浄剤の洗浄性と被洗物表面における洗浄剤成分の残留性のバランスを考慮した、さらに好ましい成分（ａ）と（ｂ）の質量割合の範囲は８０／２０〜４０／６０であり、いっそう好ましくは７０／３０〜５０／５０である。
【００４２】
仕上げ洗浄工程における洗浄方法及び洗浄装置としては、被洗物を洗浄可能な如何なる方法および装置でも良く、これまで塩素系洗浄剤で使用されていた一般的な洗浄方法及び洗浄装置等を改良することにより使用することも可能である。洗浄方法及び洗浄装置を限定するものではないが、本発明のプレ洗浄に続く仕上げ洗浄を実施する上で特に好ましい、（ａ）２０℃における蒸気圧が１．３３×１０3Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物と（ｄ）２０℃における蒸気圧が１３．３Ｐａ以上１．３３×１０3Ｐａ未満の成分とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を用いた洗浄方法および洗浄装置について以下に説明する。
【００４３】
高い洗浄レベルの要求される精密洗浄を行う場合に好ましい洗浄方法および洗浄装置としては、仕上げ洗浄槽において被洗物に残留する汚れを洗浄し、かつ、仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱して発生する蒸気に主に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｄ）の凝縮液を浸漬リンス槽に滞留させ被洗物を浸漬してリンスすることにより、被洗物表面に付着している可能性のあるわずかな汚れ成分をリンスするとともに、被洗物温度を低下させることで蒸気洗浄効果を高める方法及び装置を挙げることができる。浸漬リンス槽に使用できるリンス剤としては、仕上げ洗浄剤を加熱することによって得られる凝縮液を使用する以外に、成分（ａ）又は成分（ａ）に成分（ｄ）を適宜混合したものを用いることもできる。さらに、仕上げ洗浄工程において使用するリンス剤は、プレ洗浄をするための組成物（ｂ）と同一組成とすることにより、プレ洗浄工程及び仕上げ洗浄工程を合わせた洗浄工程全体の液管理が容易となるのでより好ましい。
【００４４】
成分（ａ）と成分（ｄ）とを含有する仕上げ洗浄剤（ｃ）を用いた仕上げ洗浄工程の具体的な洗浄方法の事例を添付図面によって説明する。図３は前記本発明の態様（１０）に記載のプレ洗浄装置と本発明の態様（１４）に記載の仕上げ洗浄装置からなる洗浄装置の一例を示したものである。
仕上げ洗浄装置の主な構造として仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱機構を有する仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８、該仕上げ洗浄槽（Ｈ）から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（Ｉ）３０、発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽（Ｊ）３１、水分離槽（Ｊ）において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽（Ｋ）２９とからなる。実際の洗浄においてはプレ洗浄工程を経た被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、仕上げ洗浄装置内を仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８、リンス槽（Ｋ）２９、蒸気ゾーン（Ｉ）３０の順に通過させながら洗浄を完了させる。
【００４５】
仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８における仕上げ洗浄では、仕上げ洗浄剤（ｃ）をヒーターで加熱し、プレ洗浄された被洗物に残留する汚れを沸騰状態で洗浄除去する。この時、物理的な力としては揺動や仕上げ洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
リンス槽（Ｋ）２９では、仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８で仕上げ洗浄剤（ｃ）をヒーターで加熱し、蒸発した仕上げ洗浄剤を冷却管によって凝縮し、水分離槽（Ｊ）３１で冷却管により凝縮液の液温を低下させるとともに水分を除去し、リンス槽（Ｋ）２９に戻った水分の除去された凝縮液で超音波振動子３４によって発生する超音波により、被洗物に付着した仕上げ洗浄剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時、物理的な力としては揺動や仕上げ洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。また、リンス槽に用いるリンス剤組成を任意に調整してもよいが、仕上げ洗浄剤を加熱して得られる凝縮液と同一組成とすることで、仕上げ洗浄剤の組成変動を抑制できるので好ましい。
【００４６】
蒸気ゾーン（Ｉ）３０では、主に仕上げ洗浄剤（ｃ）に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｄ）の蒸気を冷却管で凝縮させ３１水分離槽（Ｊ）に集めた後、リンス槽（Ｋ）２９に送りリンス槽（Ｋ）２９において被洗物を凝縮液に浸漬することによって付着している仕上げ洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｊ）３１に集められた後、配管３９からリンス槽（Ｋ）２９に入り、オーバーフローして矢印３３のように仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８に戻りヒーター３２で加熱沸騰され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印のように冷却管３６で凝縮された後、凝縮液用配管３７から水分離槽（Ｊ）３１に戻る。仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｉ）３０で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。該仕上げ洗浄工程の洗浄装置では、主に仕上げ洗浄剤（ｃ）に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｄ）が洗浄装置内で液体や気体に状態変化させながら循環し被洗物に付着しているわずかに残留している可能性の有る汚れ成分をリンス槽（Ｋ）２９および蒸気ゾーン（Ｉ）３０で洗浄することで、より高い洗浄レベルの求められる精密洗浄に適合することができる。
【００４７】
図４は前記本発明の態様（１０）に記載のプレ洗浄装置と前記本発明の態様（１５）に記載の仕上げ洗浄装置とからなる洗浄装置の一例を示したものである。仕上げ洗浄装置の主な構造として、仕上げ洗浄剤（ｃ）により被洗物を洗浄するための仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０、仕上げ洗浄剤（ｃ）を構成する少なくとも一種の成分を加熱及び／または加熱して蒸気を発生させるための加熱槽（Ｍ）４２、該加熱槽（Ｍ）４２から発生した蒸気で蒸気洗浄するための蒸気ゾーン（Ｎ）４３、発生した蒸気を凝縮して得られた凝縮液から水分を除去するための水分離槽（Ｏ）４４、水分離槽（Ｏ）４４において水分の除去された凝縮液により浸漬リンスするためのリンス槽（Ｐ）４１、仕上げ洗浄剤（ｃ）を仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０と加熱槽（Ｍ）４２との間で循環するための機構（Ｑ）を構成する仕上げ洗浄剤用循環配管５７及び循環ポンプ５８とからなる。
【００４８】
仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０では、一定温度にコントロールしながら被洗物に付着した汚れを超音波振動子４５によって発生する超音波で洗浄除去する。この時，物理的な力としては揺動や仕上げ洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。
リンス槽（Ｐ）４１では、加熱槽（Ｍ）４２で仕上げ洗浄剤（ｃ）をヒーター４７で加熱し、蒸発した仕上げ洗浄剤を冷却管（５３）によって凝縮し、水分離槽（Ｏ）４４で冷却管５５により凝縮液の液温を低下させるとともに水分を除去し、リンス槽（Ｐ）４１に戻った水分の除去された凝縮液で超音波振動子４６によって発生する超音波により、被洗物に付着した仕上げ洗浄剤および汚れ成分を洗浄除去する。この時、物理的な力としては揺動や仕上げ洗浄剤の液中噴流等のこれまでの洗浄機に採用されている物理的な力であれば、いかなる方法を使用しても良い。また、リンス槽（Ｐ）４１に用いるリンス剤組成は成分（ａ）又は成分（ａ）に成分（ｄ）を適宜混合したものを使用してもよいが、仕上げ洗浄剤を加熱して得られる凝縮液と同一組成とすることで、仕上げ洗浄剤の組成変動を抑制できるので好ましい。さらに、仕上げ洗浄工程において使用するリンス剤は、プレ洗浄をするための組成物（ｂ）と同一組成とすることにより、プレ洗浄工程及び仕上げ洗浄工程を合わせた洗浄工程全体の液管理が容易となるのでより好ましい。
【００４９】
蒸気ゾーン（Ｎ）４３では、主に仕上げ洗浄剤（ｃ）に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）の蒸気とわずかに含まれる成分（ｄ）の蒸気を冷却管５３で凝縮させ水分離槽（Ｏ）４４に集めた後、リンス槽（Ｐ）４１に送りリンス槽（Ｐ）４１において被洗物を凝縮液に浸漬することによって付着している仕上げ洗浄剤中に溶解および／または分散している汚れ成分を除去する。凝縮液は、水分離槽（Ｏ）４４に集められた後、配管５６からリンス槽（Ｐ）４１に入り、オーバーフローして矢印５１のように仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０に入り、さらに配管入口４８、配管４９、配管出口５０より加熱槽（Ｍ）４２に入り、ヒーター４７で加熱沸騰され、その組成の一部または全部が蒸気となって矢印５２のように冷却管５３で凝縮された後、配管５４から水分離槽（Ｏ）４４に戻る。
加熱槽（Ｍ）４２で発生した蒸気に満たされた蒸気ゾーン（Ｎ）４３で行う蒸気洗浄は、被洗物表面で蒸気が凝縮することによりできた液中に汚れ成分が全く含まれないので、洗浄工程最後の仕上げ洗浄として有効である。
【００５０】
仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０と加熱槽（Ｍ）４２との間で仕上げ洗浄剤を循環するための機構（Ｑ）５７，５８は、仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱槽（Ｍ）４２から配管（Ｑ）５７を通って循環ポンプ（Ｑ）５８で仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０に送液し、仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０からオーバーフローしてオーバーフロー口４８、配管４９、配管出口５０より加熱槽（Ｍ）４２に戻すことによって、仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０と加熱槽（Ｍ）４２の仕上げ洗浄剤（ｃ）の組成を常に同一に保ち、仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０における仕上げ洗浄剤（ｃ）の組成変動を抑制し、安定した洗浄性を得ることができる。実際の洗浄においてはプレ洗浄工程を経た被洗物を専用のジグやカゴ等に入れて、仕上げ洗浄装置内を仕上げ洗浄槽（Ｌ）４０、リンス槽（Ｐ）４１、蒸気ゾーン（Ｎ）４３の順に通過させながら洗浄を完了させる。図４に示す洗浄方法及び洗浄装置では仕上げ洗浄槽を沸騰させないため、超音波洗浄が可能となり、高い清浄度が求められる精密洗浄により適した洗浄方法及び装置である。
【００５１】
その他にも後工程の仕上げ洗浄方法としては各種洗浄方法を使用することができ、例えば、リンス剤を使用せずに一液洗浄する場合に好ましい洗浄装置としては、仕上げ洗浄槽を加熱することにより、仕上げ洗浄槽において被洗物に残留する汚れを加熱洗浄し、かつ、主に仕上げ洗浄剤に含まれる蒸気圧の高い成分（ａ）とわずかに含まれる成分（ｄ）の凝縮液を蒸気ゾーン内でシャワーリンスすることにより、被洗物表面に付着している可能性のあるわずかな汚れ成分をリンスするとともに被洗物温度を低下させることで、蒸気洗浄効果を高めた洗浄方法を挙げることができる。この洗浄方法ではリンス剤を使用する必要がなく、一液洗浄が可能となり液管理の容易な洗浄システムとすることができる。
上記の何れの例においても、仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱して得られる凝縮液とプレ洗浄の組成物（ｂ）の液組成を同一組成とすることで、プロセス全体の液管理が容易となるので好ましい。
【実施例】
【００５２】
本発明を実施例に基づいて説明する。なお、洗浄方法及び洗浄装置による効果は以下のようにして測定、評価した。
（１）脱脂洗浄性試験
表面を鏡面仕上げしたアルミ製テストサンプル（２０×５０×２ｍｍ）を金属加工油に浸漬し、引き上げてから室温で１時間放置した後テストサンプルとした。洗浄剤を用いて、下記に示す試験条件に基づき、荒洗浄、プレ洗浄及び仕上げ洗浄の順に洗浄を行い、脱脂洗浄性を評価する。
【００５３】
１）荒洗浄条件
２５℃の灯油３００ｍｌで１分間超音波洗浄（２８ｋＨｚ、１００Ｗ）する。
２）プレ洗浄条件
２５℃の組成物（ｂ）３００ｍｌで１０分間超音波洗浄（２８ｋＨｚ、１００Ｗ）する。
３）仕上げ洗浄条件
洗浄  ：１分間、沸騰、液量３００ｍｌ
リンス：１分間、液温３０℃、液量３００ｍｌ（ＨＦＣ３６５ｍｆｃ、商品名：ソルカン３６５ｍｆｃ、日本ソルベイ（株）製）、超音波／２８ｋＨｚ、１００Ｗ
蒸気洗浄：１分間、液量３００ｍｌ（ＨＦＣ３６５ｍｆｃ、商品名：ソルカン３６５ｍｆｃ、日本ソルベイ（株）製）
【００５４】
＜評価方法（脱脂洗浄性）＞
上記の仕上げ洗浄終了後、サンプル表面状態を目視評価する。
評価は以下の基準による。
◎：白色シミなし
○：白色シミ僅かにあり
△：白色シミ部分的にあり
×：白色シミあり
試験に用いた金属加工油：
Ａ−５４（商品名：ダイカトール、大同化学工業（株）製）
【００５５】
［実施例１〜８］
表１に記載の組成で各成分を混合し、目的の組成物（ｂ）及び仕上げ洗浄剤（ｃ）を得た。組成物（ｂ）及び仕上げ洗浄剤（ｃ）を用いて上記評価試験を行ない、結果を表１にまとめた。成分（ａ）を含む組成物（ｂ）によりプレ洗浄することで優れた脱脂洗浄性が得られ、さらに灯油による荒洗浄を加えることにより脱脂洗浄性が向上した。
【００５６】
[比較例１]
上記評価試験で行った荒洗浄及びプレ洗浄を実施せず、実施例１〜８と同じ仕上げ洗浄だけを行った。その結果を表１にまとめた。アルミ製テストサンプル表面全体に白色シミが確認され、十分な脱脂洗浄性が得られなかった。
【００５７】
（２）実機洗浄試験
図３に示す洗浄装置のプレ洗浄槽（Ａ）１、蒸留槽（Ｂ）２、水分離槽（Ｃ）４に組成物（ｂ）を入れ、仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８に仕上げ洗浄剤入れ、リンス槽（Ｋ）２９及び水分離槽（Ｊ）３１にリンス剤を入れ、仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８の仕上げ洗浄剤をヒーター３２により加熱沸騰させ、被洗物をプレ洗浄槽（Ａ）１、仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８、リンス槽（Ｋ）２９、蒸気ゾーン（Ｉ）３０の順に移動して、加工油に対するプレ洗浄性について、以下の操作及び洗浄条件により測定した。
【００５８】
１）プレ洗浄条件
プレ洗浄槽（Ａ）１：１０分間、液温２５℃、液量３０００ｍｌ、超音波／２８ｋＨｚ、１００Ｗ
２）仕上げ洗浄条件
仕上げ洗浄槽（Ｈ）２８：１分間、沸騰、液量３０００ｍｌ
リンス槽（Ｋ）２９：１分間、液温３０℃、液量３０００ｍｌ、超音波／２８ｋＨｚ、１００Ｗ
蒸気ゾーン（Ｉ）３０：１分間
リンス剤：各仕上げ洗浄剤（ｃ）を加熱して得られる蒸気の凝縮液組成と同一組成液
【００５９】
＜評価方法（プレ洗浄性）＞
７５０００個のステンレス製玉軸受用鋼球（φ２ｍｍ）を洗浄カゴに入れたまま金属加工油に含浸して引き上げた後、金属加工油付着量が１８〜２２ｇ／７５０００個の範囲に入るまで室温で一定時間放置しサンプルとした。これを別な洗浄カゴに移し変え金属加工油の付着した７５０００個のステンレス製玉軸受用鋼球（φ２ｍｍ）を組成物（ｂ）により浸漬超音波プレ洗浄した後、さらに仕上げ洗浄剤による沸騰浸漬仕上げ洗浄、リンス剤による超音波浸漬リンス、蒸気洗浄の順に洗浄する。洗浄操作は金属加工油を付着させたサンプルを繰り返し洗浄し、仕上げ洗浄剤中の金属加工油濃度の上昇による洗浄性の低下を部品表面に残留する残存油分量の測定によりプレ洗浄性を評価する。洗浄操作は残存油分量が５μｇ／ｃｍ2に達した段階で終了とする。残存油分量は油分測定装置（ＯＩＬ−２０、セントラル科学（株）製）で測定した。評価は以下の基準による。
◎：洗浄回数３００回以上
○：洗浄回数２００回以上〜３００回未満
△：洗浄回数１００回以上〜２００回未満
×：洗浄回数１回以上〜１００回未満
試験に用いた金属加工油：
ＡＭ３０（商品名：ユニカットテラミ、新日本石油（株）製）
ＤＭ１５（商品名：ユニカットテラミ、新日本石油（株）製）
【００６０】
［実施例９〜１３］
表２に記載の組成で各成分を混合し、目的のプレ洗浄剤及び仕上げ洗浄剤を得た。プレ洗浄剤及び仕上げ洗浄剤を用いて上記評価試験を行ない、結果を表２にまとめた。成分（ａ）を含む組成物（ｂ）によるプレ洗浄効果により、比較例２及び３と比較して洗浄回数が大幅に増加し、仕上げ洗浄剤への汚れ持込み量の削減に優れた効果のあることが確認された。
【００６１】
[比較例２、３]
表２に記載の仕上げ洗浄剤について上記洗浄評価試験を行った。結果を表２にまとめた。プレ洗浄を実施していないため、いずれも洗浄回数１００回未満で残存油分量が５μｇ／ｃｍ2を超えてしまった。
【００６２】
【表１】
0004767002.tif 000002
【００６３】
【表２】
0004767002.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、精密機械部品、光学機械部品等の加工時に使用される種々の加工油類やグリース類やワックス類、電気電子部品のハンダ付け時に使用されるフラックス類、基板製造時に使用されるスクリーンに付着したインキやペースト類および樹脂吐出装置のミキシング部に付着した樹脂類を洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の態様（１０）に記載の洗浄装置の一例である。
【図２】本発明の態様（１１）に記載の洗浄装置の一例である。
【図３】本発明の態様（１４）に記載の洗浄装置の一例である。
【図４】本発明の態様（１５）に記載の洗浄装置の一例である。
【符号の説明】
【００６６】
１  プレ洗浄槽（Ａ）
２  蒸留槽（Ｂ）
３  蒸気ゾーン
４  水分離槽（Ｃ）
５  超音波振動子
６  組成物（ｂ）の流れ
７  組成物（ｂ）用配管
８  ヒーター
９  蒸気の流れ
１０  冷却管
１１  凝縮液用配管
１２  冷却管
１３  水分離後の凝縮液用配管
１４  冷却管
１５  凝縮液用配管
１６  プレ洗浄槽（Ｄ）
１７  加熱槽（Ｅ）
１８  蒸気ゾーン（Ｆ）
１９  水分離槽（Ｇ）
２０  超音波振動子
２１  組成物（ｂ）の流れ
２２  ヒーター
２３  蒸気の流れ
２４  冷却管
２５  凝縮液用配管
２６  冷却管
２７  水分離後の凝縮液用配管
２８  仕上げ洗浄槽（Ｈ）
２９  リンス槽（Ｋ）
３０  蒸気ゾーン（Ｉ）
３１  水分離槽（Ｊ）
３２  ヒーター
３３  凝縮液の流れ
３４  超音波振動子
３５  蒸気の流れ
３６  冷却管
３７  凝縮液用配管
３８  冷却管
３９  水分離後の凝縮液用配管
４０  仕上げ洗浄槽（Ｌ）
４１  リンス槽（Ｐ）
４２  加熱槽（Ｍ）
４３  蒸気ゾーン（Ｎ）
４４  水分離槽（Ｏ）
４５  超音波振動子
４６  超音波振動子
４７  ヒーター
４８  仕上げ洗浄剤用オーバーフロー口
４９  仕上げ洗浄剤用配管
５０  仕上げ洗浄剤用配管出口
５１  凝縮液の流れ
５２  蒸気の流れ
５３  冷却管
５４  凝縮液用配管
５５  冷却管
５６  水分離後の凝縮液用配管
５７  仕上げ洗浄剤循環用配管（Ｑ）
５８  循環ポンプ（Ｑ）
【図１】
0004767002.tif 000004
【図２】
0004767002.tif 000005
【図３】
0004767002.tif 000006
【図４】
0004767002.tif 000007