(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の板厚を有する金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して上記一方面側に深さが異なる凹所を形成し、
上記凹所の形成と同時に、上記金属板の他方面側に面したダイに形成した複数の上記突台に対応した凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成し、
上記ダイの凹陥部を、上記パンチの上記突台の外形寸法よりもやや小さいほぼ相似形に形成しておくことにより、上記パンチを押圧したとき上記凹所と上記凸部の周囲に連結部を形成し、
上記金属板の他方面側から上記凸部を切削することにより平坦に形成し、
上記凸部を切削する工程では、この凸部の切削を、上記連結部に至るまで繰り返して行い、上記凹所の底部に上記連結部の板厚とほぼ等しい板厚の肉薄な底板を形成することを特徴とする肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項２】
金属板の一方面側から押圧して凹所を形成するパンチの先端と、ダイの上面との最接近寸法を上記凹所の底部に形成する底板の板厚にほぼ等しくした連結部を形成し、この連結部を残して上記金属板の他方面側に突出形成した凸部を切削した請求項１に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項３】
金属板の他方面側に凸部を突出形成した後、この凸部を切削加工を複数回繰り返して切削した後、上記金属板の他方面側の全面を微少寸法切削した請求項１に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項４】
所定の板厚を有する金属板を平坦なダイ板に載置し、
金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して一方面側に深さが異なる浅い第１の凹所を形成し、上記金属板の他方面側を平坦に形成する鍛造工程と、
複数の上記突台に対応した凹陥部を形成したダイに上記金属板の他方面側を載置した後、上記第１の凹所を上記パンチにより更に押圧して上記凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成して、上記金属板の一方面側に所定の深さの第２の凹所を突出形成し、
上記ダイの凹陥部を、上記パンチの上記突台の外形寸法よりもやや小さいほぼ相似形に形成しておくことにより、上記パンチを押圧したとき上記凹所と上記凸部の周囲に連結部を形成し、
上記金属板の他方面側から上記凸部を切削することにより平坦に形成し、
上記凸部を切削する工程では、この凸部の切削を、上記連結部に至るまで繰り返して行い、上記凹所の底部に上記連結部の板厚とほぼ等しい板厚の肉薄な底板を形成することを特徴とする肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項５】
第１の凹所を更に押圧するパンチの先端と、ダイの上面との最接近寸法を上記凹所の底部に形成する底板の板厚に等しくし、上記金属板の他方面側に突出形成した凸部を切削した請求項４に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項６】
所定の板厚を有する金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して一方面側に深さが異なる凹所を形成し、上記凹所の形成と同時に、上記金属板の他方面側に面したダイに形成した複数の上記突台に対応した凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成する押圧工程と、
この押圧工程の後に上記金属板の他方面側から上記凸部を切削する切削工程と、
上記押圧工程の後に上記凸部を切削加工により切削する切削工程を複数回繰り返し、上記凹所を、所定厚さの底板部分と、所定形状及び深さを有する突台を形成することを特徴とする肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【請求項７】
高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチには、小孔が形成され、複数の上記突台に対応した凹陥部を形成したダイには、突部が形成され、上記パンチを金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて押圧するとき、上記ダイの突部により上記金属板の一方面側の金属肉を小孔に移行して、上記凹所の底部に支柱を一体に形成した請求項１、請求項４及び請求項６に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロマシン等のシャーシやベース部材等に好適な金属板から肉薄な底板を有する所定形状の凹所を形成したキャビティーを形成する方法に関するものであり、詳しくは凹所の底部に加工硬化を最小限に止めて肉薄な底板を形成する形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＯＡ機器や携帯機器等の各種機器は軽薄短小化が一段と進み、マイクロマシン的な形態に変化している。これに伴い、これらマイクロマシンに使用されるシャーシやベース部材等も軽薄短小化を要求されるようになり、小型化と共にベース部材等も高精度化が必要となった。
【０００３】
図３は、上記マイクロマシンに使用されるベース部材の一例を示し、例えば厚さを３ｍｍ乃至５ｍｍとしたベース部材１には、一方面側に異形状の凹所２を形成すると共に、凹所２の底部には厚さを０．２ｍｍ程度に肉薄に形成した底板３を有し、全体としてキャビティー構造に形成している。更に、凹所２には、図示しない機構部品を配設するための支柱４や台座部５等、底板３からの高さを異ならせた各種の部位が一体に形成されている。このように上記マイクロマシンにおいては、全体の厚さを薄くすると共に、収納容積を大きくすることが要求されるために、ベース部材１の凹所２内の底板３を極薄に形成することが重要な課題となっている。
【０００４】
このようなベース部材１を形成する方法としては、プレスによる押圧パンチを用いた鍛造加工、或いはダイキャスト成型による鋳造加工等の工法を用いることが一般に知られている。
【０００５】
プレスによる鍛造加工は、ほぼ上記ベース部材１の板厚を有する金属板をダイの載置し、金属板の一方面側から、凹所２の形状に合致したパンチ（図示せず）を押圧することにより、凹所２を形成するものである。また、ダイキャスト成型による鋳造加工は、上記ベース部材１の形状のダイキャスト型に熔解したアルミニウム等の湯を注入することにより、ベース部材１を成型するものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プレスによる鍛造加工は、図７（Ａ）に示すように、凹所２の容積分の金属肉が周囲に移行することから、この移行時の応力によってカーリングし、平面度が著しく悪化する問題が生ずる。このカーリングを矯正するためには平押し加工等の追加工を施す必要があるが、内部応力によってカーリングした場合は多少の矯正はできても、所望の高精度な平面度を得るには限界がある。また、パンチによって凹所２の底板３を肉薄に形成する場合には、押圧によって底板３に加工硬化が生するため、臨界以上に押圧することができない。このため、底板３の肉厚ｔ１を薄くできない問題がある。
【０００７】
一方、ダイキャスト成型による鋳造加工の場合、肉厚が大きい部分はアルミニウム等の湯が良好に流入するが、凹所２の底板３の肉厚ｔ２を薄く形成しようとする部分には湯が行き渡り難いために、図７（Ｂ）に示すように、穴３ａが空いてしまう問題がある。また、高温の湯が冷却する過程でひけや歪みが生ずるために寸法精度が悪化し、高精度の平面度を得るためには研削等の追加工が必要となる。ところが、凹所２の底板３は肉薄に形成しているので研削等の追加工が実質的にできないため、高精度の製品が得られない問題がある。
【０００８】
本発明は以上のような従来方法の問題点を解決するためになされたもので、凹所の底板を高精度の平面度を以て形成することができ、しかも、安価に形成することができる金属板へのキャビティー形成方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【問題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、請求項１記載の発明は、所定の板厚を有する金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して上記一方面側に深さが異なる凹所を形成し、上記凹所の形成と同時に、上記金属板の他方面側に面したダイに形成した複数の上記突台に対応した凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成し、上記ダイの凹陥部を、上記パンチの上記突台の外形寸法よりもやや小さいほぼ相似形に形成しておくことにより、上記パンチを押圧したとき上記凹所と上記凸部の周囲に連結部を形成し、上記金属板の他方面側から上記凸部を切削することにより平坦に形成し、上記凸部を切削する工程では、この凸部の切削を、上記連結部に至るまで繰り返して行い、上記凹所の底部に上記連結部の板厚とほぼ等しい板厚の肉薄な底板を形成することを特徴としている。
【００１０】
また、請求項２に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、金属板の一方面側から押圧して凹所を形成するパンチの先端と、ダイの上面との最接近寸法を上記凹所の底部に形成する底板の板厚にほぼ等しくした連結部を形成し、この連結部を残して上記金属板の他方面側に突出形成した凸部を切削したことを特徴としている。
【００１１】
さらに、請求項３に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、金属板の他方面側に凸部を突出形成した後、この凸部を切削加工により複数回繰り返して切削した後、上記金属板の他方面側の全面を微少寸法切削したことを特徴としている。
【００１２】
請求項４に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、所定の板厚を有する金属板を平坦なダイ板に載置し、金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して一方面側に深さが異なる浅い第１の凹所を形成し、上記金属板の他方面側を平坦に形成する鍛造工程と、複数の上記突台に対応した凹陥部を形成したダイに上記金属板の他方面側を載置した後、上記第１の凹所を上記パンチにより更に押圧して上記凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成して、上記金属板の一方面側に所定の深さの第２の凹所を突出形成し、上記ダイの凹陥部を、上記パンチの上記突台の外形寸法よりもやや小さいほぼ相似形に形成しておくことにより、上記パンチを押圧したとき上記凹所と上記凸部の周囲に連結部を形成し、上記金属板の他方面側から上記凸部を切削することにより平坦に形成し、上記凸部を切削する工程では、この凸部の切削を、上記連結部に至るまで繰り返して行い、上記凹所の底部に上記連結部の板厚とほぼ等しい板厚の肉薄な底板を形成することを特徴としている。
【００１３】
請求項５に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、第１の凹所を更に押圧するパンチの先端と、ダイの上面との最接近寸法を上記凹所の底部に形成する底板の板厚に等しくし、上記金属板の他方面側に突出形成した凸部を切削したことを特徴としている。
【００１４】
請求項６に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、所定の板厚を有する金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチにより押圧して一方面側に深さが異なる凹所を形成し、上記凹所の形成と同時に、上記金属板の他方面側に面したダイに形成した複数の上記突台に対応した凹陥部に金属肉を移行させて、上記金属板の他方面側に高さの異なる凸部を突出形成する押圧工程と、この押圧工程の後に上記金属板の他方面側から上記凸部を切削する切削工程と、上記押圧工程の後に上記凸部を切削加工により切削する切削工程を複数回繰り返し、上記凹所を、所定厚さの底板部分と、所定形状及び深さを有する突台を形成することを特徴としている。
【００１５】
請求項７に記載の肉薄な底板を有する凹所の形成方法は、高さが異なる所定形状の複数の突台を形成したパンチには、小穴が形成され、複数の上記突台に対応した凹陥部を形成したダイには、突部が形成され、上記パンチを金属板の一方面側から反対側の他方面側に向けて押圧するとき、上記ダイの突部により上記金属板の一方面側の金属肉を小穴に移行して、上記凹所の底部に支柱を一体に形成したことを特徴としている。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の形成方法を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図３は、本発明にかかる金属板へのキャビティー形成方法によって形成された最終製品の一例として、例えばマイクロマシンに使用されるベース部材を示している。即ち、前述したように、厚さを３ｍｍ乃至５ｍｍとしたベース部材１の一方面側には、異形状の凹所２を形成すると共に、凹所２の底部には厚さを０．２ｍｍ程度の肉薄に形成した底板３を有し、全体としてキャビティー構造に形成している。更に、凹所２には、図示しない機構部品を配設するための支柱４や台座部５等、底板３からの高さを異ならせた各種の部位が一体に形成されている。このベース部材１の素材としては、塑性加工が可能なアルミニウム、銅、ステンレス、真鍮等の金属板から各種の用途に応じて選択され、以下に説明する形成方法によって形成される。
【００１７】
図１（Ａ）乃至（Ｄ）は、図３におけるＡ−Ａ断面を示すもので、本発明による金属板へのキャビティー形成方法の第１の方法を示している。図１（Ａ）は上記ベース部材１の素材として、厚さを３ｍｍ乃至５ｍｍとした金属板１０を示している。図１（Ｂ）は、押圧工程を示し、金属板１０は、図示しないプレス機に設置したダイ１１に位置決めして載置し、この金属板１０の一方面側から上記プレス機の可動側に装着されたパンチ１２によって凹所２を形成する。
【００１８】
上記パンチ１２は、図２に示すように、深い凹所２ａを形成することによってベース部材１に肉薄の底板３を形成するための第１の突台１２ａと、浅い凹所２ｂを形成するための第２の突台１２ｂと、円柱状の支軸４を形成するための小穴１２ｃが、台座部１２ｄに一体的に形成されている。
【００１９】
一方、ダイ１１には、図１（Ｂ）に示すように、深い凹所１１ｂと浅い凹所１１ｃからなる凹陥部１１ａ、及び、支軸４を形成するための円柱突部１１ｄが形成されている。そして、凹陥部１１ａは上記パンチ１２の外形よりもやや小さくした相似形に形成されている。
【００２０】
以上の構成からなるダイ１１に載置した金属板１０の一方面側から、上記パンチ１２を下降することにより、金属板１０の一方面側には凹所２を形成すると共に、この凹所２の金属肉をダイ１１の凹陥部１１ａに移行することにより、金属板１０の他方面側に凹所２の深さとほぼ等しい高さの凸部１３を突出形成する。更に、凹所２には支柱４や台座部５が一体に形成される。
【００２１】
前述のように、ダイ１１の凹陥部１１ａは、パンチ１２の外形よりもやや小さく形成されている。従って、パンチ１２が最下点に達したとき、パンチ１２の周囲の部分がダイ１１の上端面と対向する。この対向間隔は、上記ベース部材１の底板３の板厚、即ち、０．２ｍｍの寸法、もしくは、この寸法よりもやや厚い寸法に設定している。この設定により、凹所２と凸部１３は上記ベース部材１の底板３にほぼ等しい板厚とした連結部１４によって連結される。
【００２２】
図１（Ｃ）は切削工程を示し、上記押圧工程によって金属板１０の他方面側に形成された凸部１３を、カッター１５によって連結部１４の底面と同一面となるまで、凸部１３の先端側から一点鎖線で示すように複数回に分割して徐々に切削する。切削工程で使用するカッター１５は、先端中心を突出させた矢型状の歯部１５ａを有し、矢示の方向に移動させことにより凸部１３を切削する。
【００２３】
この切削工程においてカッター１５によって１回に切削する切削代は、上記底板３に大きな負荷を与えない程度の厚さに設定し、このような切削代を以て複数回に分けて切削する。また、この切削工程において、カッター１５により底板３が凹所２ａ方向に変位することを阻止するために、凹所２内に押え具１６を挿入して押圧しておくことが望ましい。
【００２４】
以上の切削工程により、連結部１４を残して同一面となるまで切削することにより、金属板１０の他方面側は図１（Ｄ）に示すように平坦に形成され、ベース部材１が完成する。このとき、凹所２の底板３の板厚ｔ３は、０．２ｍｍ程度の薄さに形成されている。尚、連結部１４の厚さを底板３の板厚と同じに設定した場合は、凸部１３部分のみに切削痕が残るが、金属板１０の他方面側全面を同一の面状態とするためには、予め連結部１４の板厚を底板３の板厚よりもやや厚く設定し、最終の切削時に他方面側全面を切削して底板３を指定の板厚にすればよい。また、上記切削工程において、上記カッター１５の他、グラインダーやサンドペーパー、或いは、フライス等の他の切削手段を単独もしくは併用によって使用してもよい。
【００２５】
以上説明した形成方法によってベース部材１を形成すると、金属板１０の一方面側に形成した凹所２の容積分の肉を金属板１０の他方面側に移行するので、金属板１０に与えるストレスを最小限に止めることができる。従って、金属板１０のカーリング現象が抑制され、良好な平面度が得られる。更に、属板１０の他方面側に突出形成した凸部１３を複数回に分けて徐々に切削するので、凹所２の底板３を０．２ｍｍ程度の極限までに板厚を薄くすることができる。
【００２６】
図４（Ａ）（Ｂ）は、前述した形成方法によって形成されたベース部材１の他の形態を示している。即ち、図４（Ａ）に示す形態は、支軸４の他に、凹所２から角台６及び円錐台７を一体に形成している。また、図４（Ｂ）は、周囲の突堤８に切欠き部８ａを形成している。更に、凹所２には透孔９を形成している。この透孔９は、前記パンチ１２に形成した第１の突台１２ａよりも更に高い凸軸を形成し、金属板１０の他方面側に上記凸軸に対応した突起を突出させ、前記カッター１５によって切削することにより形成することができる。また、ベース部材１の裏面側両縁には、補強のために一対のリブ１ａを一体に形成している。このリブ１ａは、前述した各ベース部材１にも形成することができる。尚、凹所２の形状や周囲の突堤の形状は種々変更可能である。また、透孔９は、凹所２の底板３を形成した後に、打ち抜き加工によって形成しても良い。
【００２７】
図５（Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明によるる肉薄な底板を有する凹所の形成方法の第２の方法を示している。図５（Ａ）は第１の押圧工程を示し、金属板１０の一方面側から上記パンチ１２を押圧し、所定の深さに対して約半分の深さの第１の凹所２０ａを形成すると共に、この第１の凹所２０ａの金属肉をダイ２１の凹陥部２１ａに移行し、金属板１０の他方面側に第１の凹所２０ａの深さとほぼ等しい高さの低い第１の凸部２２を突出形成する。このとき、第１の凹所２０ａには、所定の高さよりも低い支柱４や台座部５が形成される。
【００２８】
上記第１の押圧工程において、ダイ２１は、基本的構成を前述した図２（Ｂ）に示すダイ１１と比較し構成としては同様である。即ち、深い凹所２１ｂと浅い凹所２１ｃからなる凹陥部２１ａ、及び、支軸４を形成するための円柱突部２１ｄを形成し、更に、凹陥部２１ａを上記パンチ１２の外形よりもやや小さい相似形に形成している。前述した図２（Ｂ）に示すダイ１１と相違する点は、凹陥部２１ａの深さを所定の深さに対して約半分の深さに設定していることである。このように凹陥部２１ａを浅くすることにより、金属板１０の他方面側に突出形成する第１の凸部２２の高さと形状をある程度制限している。尚、この第１の押圧工程において、図２（Ｂ）に示す通常の深さとしたダイ１１を使用しても良いことは勿論である。
【００２９】
図５（Ｂ）は第１の切削工程を示し、上記第１の押圧工程によって金属板１０の他方面側に形成された第１の凸部２２を先端側からカッター１５によって複数回に分割して徐々に切削する。この第１の切削工程において、カッター１５によって１回に切削する切削代は、第１の押圧工程によって形成された底板２３に大きな負荷を与えない程度の厚さに設定しているが、第１の凸部２２が低く形成されているので、カッター１５の加圧力による底板３側への変位は小さい。更に、カッター１５による底板２３の凹所２ａ方向への変位を更に防止するために、凹所２０ａ内に押え具１６を挿入し押圧することが望ましい。
【００３０】
図５（Ｃ）は第２の押圧工程を示し、金属板１０の一方面側に形成した第１の凹所２０ａ内に上記パンチ１２を再度押圧し、ベース部材１として所定の深さの凹所２を形成すると共に、押圧による凹所２の肉をダイ２１の凹陥部２１ａに移行し、金属板１０の他方面側に高さの低い第２の凸部２３を突出形成する。このとき、凹所２には、所定の高さの支柱４や台座部５が形成される。
【００３１】
この例においても、ダイ２１の凹陥部２１ａは、パンチ１２の外形よりも小さいので、パンチ１２が最下点に達したときダイ２１の上端面と対向する。この対向間隔は、上記ベース部材１の底板３の板厚、即ち、０．２ｍｍの寸法、もしくは、この寸法よりもやや厚い寸法に設定している。これにより、凹所２と第２の凸部２３との間はこの底板３の板厚とした連結部２４により連結している。
【００３２】
図５（Ｄ）は第２の切削工程を示し、上記第２の押圧工程によって金属板１０の他方面側に形成された第２の凸部２３を先端側からカッター１５により、連結部２４の底面と同一面まで複数回に分割して徐々に切削する。この結果、凹所２の底面には０．２ｍｍの板厚とした底板３が形成される。この第２の切削工程においても、カッター１５によって１回に切削する切削代は、第２の押圧工程によって形成された底板３に大きな負荷を与えない程度の厚さに設定しているが、第２の凸部２３が低く形成されているので、カッター１５の加圧力による底板３側への変位は小さい。更に、第２の切削工程においても、カッター１５による底板３方向への変位を更に防止するために、凹所２０ｂ内に押え具１６により押圧しておくことが望ましい。
【００３３】
以上の第２の切削工程によって凸部２３を複数回に分割して切削し、連結部２４と同一面となるまで切削することにより他方面側は平坦に形成され、ベース部材１が完成する。このとき、凹所２の底板３の板厚は、０．２ｍｍ程度の薄さに形成されている。尚、金属板１０の他方面側に形成される凸部２３部分の切削痕を消去し、他方面側全面を同一の状態にするためには、最終の切削時に他方面側全面を切削して底板３を指定の板厚にすればよい。また、上記第１及び第２の切削工程の両工程または一方の工程において、上記カッター１５の他、グラインダーやサンドペーパー、或いは、フライス等の他の切削手段を使用してもよいことは前述の例と同様である。
【００３４】
上記第２の方法は、押圧工程及び切削工程を各々２回繰り返し、更に、切削工程において切削回数を複数回に分割するようにしたが、この例の他に、押圧工程によって１回の切削代分の高さだけ凸部を形成した後に、切削工程によって切削し、その後、更に１回の切削代分の凸部を形成した後に切削することを複数回繰り返すことにより、所定の深さの凹所と底板を形成することができる。
【００３５】
図６（Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明によるる肉薄な底板を有する凹所の形成方法の第３の方法を示し、まず鍛造工程によって浅い凹所を形成した後、前述した第１の方法と同じように押圧工程によって凹所を形成すると共に金属板の他方面に凸部を形成し、その後、切削工程によって上記凸部を切削してを行って前記ベース部材１を形成する。この第２の方法に使用される金属板１０は、前述した第１の方法で使用した金属板素材と同じであり、また、この第３の方法に使用するパンチ１２も基本的構成は第１の方法によるものと同様であり、それらの説明は省略する。
【００３６】
図６（Ａ）は鍛造工程を示している。上面を平坦に形成した上記ダイ３０に、上記ベース部材１の素材となる金属板１０を位置決めして載置し、この金属板１０の一方面側からパンチ１２によって鍛造を行い、浅い第１の凹所３１を形成する。このとき、金属板１０はパンチ１２の第１の突台１２ａによって最も深く押圧されるが、前述したように、金属板は或る限界まで押圧すると加工硬化が生ずる性質があるため、第１の突台１２ａとダイ３０との対向間隔ｔ２は、金属板１０を押圧可能な範囲に設定している。従って、ダイ３０とパンチ１２の第１の突台１２ａとの間隔は、底板３の板厚よりも大きい寸法に設定することから、第１の凹所３１は浅く形成される。  この鍛造工程において、第１の凹所３１の容積分の肉は図示のように金属板１０の周囲に移動して膨出する。
【００３７】
鍛造工程を経た金属板１０は、図６（Ｂ）に示す押圧工程に移される。金属板１０はダイ３２に載置され、金属板１０に形成された第１の凹所３１にパンチ１２を下降して所定の深さの凹所２を形成すると共に、パンチ１２によって押圧した凹所２の肉をダイ３２の凹陥部３２ａに移行し、金属板１０の他方面側に凸部３３を突出形成する。このとき、凸部３３は、鍛造工程において既に第１の凹所３１を形成しているので低く形成される。また、凹所２に形成される支柱４や台座部５は、所定の高さに増加する。
【００３８】
上記ダイ３２の凹陥部３２ａは、前述した方法と同様に、パンチ１２の外形よりも小さい相似形に形成している。そして、パンチ１２が最下点に達したときのダイ３２と対向間隔は、上記ベース部材１の底板３の板厚、即ち、０．２ｍｍの寸法、もしくは、この寸法よりもやや厚い寸法に設定しているので、凹所２と凸部３３は、底板３の板厚ｔ３に設定された連結部３４によって連結される。
【００３９】
以上のように形成された金属板１０は、次の切削工程に移行する。即ち、図６（Ｃ）に示すように、上記押圧工程によって金属板１０の他方面側に形成された凸部３３を、カッター１５によって連結部３４と同一面となるまで、凸部３３の先端側から複数回に分割して徐々に切削する。この切削工程で使用するカッター１５は、前述した第１及び第２の方法で使用した同じカッターを使用する。
【００４０】
この切削工程において、カッター１５によって１回に切削する切削代は、上記凹所２に底面に形成される底板３に大きな負荷を与えない程度に設定される。また、この切削工程において、カッター１５により底板３が凹所２ａ方向に変位することを阻止するために、凹所２内に押え具１６を挿入して押圧しておくことが望ましい。
【００４１】
以上の切削工程によって凸部３３を複数回に分割して切削し、連結部３４と同一面となるまで切削することにより、金属板１０の他方面側を平坦に形成する。但し、この状態では金属板１０の周囲に膨出部分が残されているため、最終の打ち抜き工程（図示せず）において、図６（Ｃ）に二点鎖線で示すように外形を打ち抜き形成し、、図６（Ｄ）示すような所定の寸法からなるベース部材１を完成させる。この第２の方法においても、凹所２の底板３の板厚は、０．２ｍｍ程度の薄さに形成される。
【００４２】
尚、前述した第１の方法と同様に、金属板１０の他方面側全面を同一の状態にするためには、最終の切削時に底板３を所定の板厚となるように、他方面側全面を切削してもよい。また、上記切削工程において、グラインダーやサンドペーパー、或いは、フライス等の他の切削手段を使用してもよいことは第１及び第２の方法と同様である。
【００４３】
金属板１０から、以上説明した第３の方法によってベース部材１を形成する場合も、鍛造工程において金属板１０に対し、押圧可能な範囲で鍛造加工を行い、その後、第１の凹所３１を更に深くするときに、金属板１０の他方面側に移行させるので、金属板１０に与えるストレスを最小限に止めることができる。また、金属板１０の他方面側に突出形成した凸部３３を複数回に分けて徐々に切削するので、凹所２の底板３を０．２ｍｍ程度の極限までに板厚を薄くすることができる。
【００４４】
以上説明した実施形態において、金属板の板厚が薄く凸部が低い場合は、押圧工程及び切削工程の各工程を１回としてもよい。また、凹所の形状を矩形状の他に、略々すり鉢状に形成してもよく、凹所は使用されるマイクロマシン等の用途に応じて任意の形状に形成してもよい。本発明は前述した各実施形態に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲で変形可能である。
【００４５】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明による金属板へのキャビティー形成方法によれば、金属板の一方面側に形成した凹所の容積分の肉を、他方面側に移行させるので、金属板に与えるストレスを最小限に止めることができることから、金属板のカーリング現象が抑制され、平面度を良好にすることができる。更に、金属板の他方面側に突出形成した凸部を複数回に分けて徐々に切削するので、凹所に形成される底板の板厚を０．２ｍｍ程度の極限までに薄くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明にかかる第１の形成方法を示す工程説明図である。
【図２】キャビティーを形成するパンチを示す斜視図である。
【図３】本発明によって形成された製品を示す斜視図である。
【図４】（Ａ）（Ｂ）は、本発明によって形成された他の製品を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明にかかる第２の形成方法を示す工程説明図である。
【図６】（Ａ）乃至（Ｄ）は、本発明にかかるキャビティーの第３の形成方法の形成工程を示す工程説明図である。
【図７】（Ａ）（Ｂ）は、従来の形成方法により生じた製品をを示す断面図である。
【符号の説明】
１    ベ−ス部材
２    凹所
３    底板
４    支柱
５    台座部
１０  金属板
１１  ダイ
１２  パンチ
１３  凸部
１４  連結部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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