(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向の一定間隔位置に長手方向を一定長さに分離するための分離補助用切り込みの形成された粘着テープをリリーステープに積層状に貼着してなる積層テープをテープ案内経路上で移動させ、該移動中に前記リリーステープから部分的に剥離させた前記粘着テープの先端をテープ貼着開始位置に合致させ、次にこのように合致された前記粘着テープをテーブル上に位置決めされたテープ被貼着体にテープ押圧手段で押圧した状態となし、次に前記粘着テープを前記リリーステープから剥離させつつ前記テーブルを移動させることにより前記粘着テープをテープ被貼着体に該粘着テープ先端側から貼着させ、該貼着中に前記積層テープの移動を規制し前記テーブルの移動力により前記粘着テープをこれの最先端側の分離補助用切り込み位置で引張分離させるように実施することを特徴とするテープ貼着方法。
【請求項２】
長手方向の一定間隔位置に長手方向を一定長さに分離するための分離補助用切り込みの形成された粘着テープをリリーステープに積層状に貼着してなる積層テープをテープ案内経路上で移動させるテープ案内移動手段と、前記積層テープの移動方向と関連した特定方向へ移動可能となされ支持面上にテープ被貼着体を位置決めするものとなされたテーブルと、前記テープ案内経路上のテープ剥離部にて前記リリーステープから前記粘着テープをその先端側から剥離させて特定方向へ張り出させ、前記粘着テープの最先端側の分離補助用切り込み位置よりも先側の前記粘着テープ部分を前記テープ被貼着体にテープ押圧手段により押圧して貼着させ且つ該貼着過程で前記積層テープから分離させるテープ貼着手段とを備え、前記粘着テープを前記リリーステープから剥離させつつ前記テーブルを移動させることにより前記粘着テープを前記テープ被貼着体に前記粘着テープ先端側から貼着させ、貼着中に前記積層テープの移動を規制し前記テーブルの移動力により前記粘着テープをこれの最先端側の分離補助用切り込み位置で引張分離させることを特徴とするテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、同一形態となされた多数のテープ被貼着体のそれぞれに粘着テープを効率的に貼着することのできるテープ貼着方法とその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  粘着テープをリリーステープに積層状に貼着してなる積層テープをテープ案内経路上で送り側へ移動させ該テープ案内経路のテープ剥離部にてリリーステープから粘着テープをその先端側から漸次に剥離させ特定方向へ張り出させるテープ案内移動手段と、リリーステープから剥離された粘着テープの先端が第１位置に到達したことを検出するテープ先端検出手段と、前記特定方向と対応する方向へ移動されるテーブルと、前記第１位置に関連したテープ貼着開始位置に到達した粘着テープを前記テーブル上に位置決めされたテープ被貼着体に押し付けて接着させるテープ押圧手段とを備え、テープ案内移動手段とテープ先端検出手段とテーブルとテープ押圧手段との関連作動によりテープ被貼着体であるリングフレームの必要箇所にラベル状の粘着テープが貼着される構成となされたテープ貼着装置は既に存在している。【０００３】  上記テープ貼着装置による処理は次のように実施されるのであり、即ち、積層テープをテープ案内経路上で移動させ、該移動中にリリーステープから部分的に剥離させた前記ラベル状の粘着テープの先端をテープ貼着開始位置に合致させ、次にこのように合致された前記粘着テープをテーブル上に位置決めされたテープ被貼着体にテープ押圧手段で押圧した状態となし、次に前記粘着テープをリリーステープから剥離させつつ前記テーブルを移動させることにより前記粘着テープをテープ被貼着体に該粘着テープ先端側から貼着させる。これにより、テーブル上のテープ被貼着体にラベル状の粘着テープが貼着されるのであり、この後は、テーブル上の処理済みのテープ被貼着体を取り除いては、次の未処理のテープ被貼着体をテーブル上に位置決めし、該テープ被貼着体について既述と同様な処理が繰り返される。【０００４】  上記のテープ貼着装置に使用される積層テープとしては、特許文献１に開示されているように、テープ被貼着体であるリングフレームに貼着されるラベル状の粘着テープが一定幅のリリーステープの片面上の適当に離れた一定間隔位置ごとに貼着された状態のものが使用される。この積層テープはリリーステープの片面に貼着された連続状の粘着テープに、該テープ貼着装置と分離して用意された専用のカット装置を使用して切り込みを入れることにより製作されるか、或いは、特許文献２に開示されているように該テープ貼着装置上に設けられたプリカット手段が、リリーステープの片面に貼着された連続状の粘着テープに切り込みを加工することにより形成されるものである。【０００５】  積層テープがテープ貼着装置上で使用されることによりテープ被貼着体にラベル状の粘着テープが貼着されると、テープ被貼着体であるリングフレームに貼着されたラベル状の粘着テープはリリーステープから剥離されて存在しない状態になるものの、該ラベル状の粘着テープを除いた範囲の粘着テープ部分はリリーステープに貼着されたまま切れ端となって残存し、リリーステープと共に廃棄される。【０００６】
【特許文献１】  特開平６−２１６２４２号公報
【特許文献２】  特開２００５−１１６９２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】  上記した従来のテープ貼着装置によりテープ被貼着体にラベル状の粘着テープを貼着する場合においては、積層テープがテープ被貼着体であるリングフレームのそれぞれに貼着されるラベル状の粘着テープを個々に一定距離だけ離してリリーステープに列状に貼着したものとなされているめ、積層テープの切り込み形態が複雑化して製作に手間がかかると共にラベル状の粘着テープの個数に対して積層テープを構成する粘着テープ及びリリーステープの必要長が大きくなるほか、多数のラベル状の粘着テープの相互間に位置した粘着テープ部分がこれの貼着されたリリーステープ部分と共に無駄に廃棄されるなどの問題がある。【０００８】  本発明はこのような問題点を解消させるために創案したものであり、即ち、テープ被貼着体であるリングフレームなどにラベル状の粘着テープを従来よりも合理的に貼着させることを可能とするテープ貼着方法及びその装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  上記目的を達成するため、本発明に係るテープ貼着方法は、請求項１に記載したように、長手方向の一定間隔位置に長手方向を一定長さに分離するための分離補助用切り込みの形成された粘着テープをリリーステープに積層状に貼着してなる積層テープをテープ案内経路上で移動させ、該移動中に前記リリーステープから部分的に剥離させた前記粘着テープの先端をテープ貼着開始位置に合致させ、次にこのように合致された前記粘着テープをテーブル上に位置決めされたテープ被貼着体にテープ押圧手段で押圧した状態となし、次に前記粘着テープを前記リリーステープから剥離させつつ前記テーブルを移動させることにより前記粘着テープをテープ被貼着体に該粘着テープ先端側から貼着させ、該貼着中に前記積層テープの移動を規制し前記テーブルの移動力により前記粘着テープをこれの最先端側の分離補助用切り込み位置で引張分離させるように実施する。【００１０】  この発明のテープ貼着方法によれば、積層テープの粘着テープの先端から最先端側の分離補助用切り込み位置までの一定長さ範囲の粘着テープ部分が積層テープから分離されて最初の未処理のテープ被貼着体に貼着された状態となる。この後、粘着テープの貼着されたテープ被貼着体をテーブルから取り外し、第二の未処理のテープ被貼着体をテーブルに位置決めし、再び、本発明のテープ貼着方法を実施すると、先に分離された分離補助用切り込み位置が積層テープの先端となり、上記と同様に、積層テープの粘着テープの先端から最先端側の分離補助用切り込み位置までの一定長さ範囲の粘着テープ部分が積層テープから分離されて第二の未処理のテープ被貼着体に貼着された状態となる。このような処理は未処理のテープ被貼着体のそれぞれについて実施される。したがって、積層テープの粘着テープは、分離補助用切り込み位置で分離された一定長さ範囲の全長範囲がラベル状の粘着テープとなってテープ被貼着体に貼着されるものとなり、長さ方向の一部が使用されることなく廃棄されることはなくなる。またテープ被貼着体に貼着されるラベル状の粘着テープ部分の相互は粘着テープの長手方向へ隙間なく配列されるため、各テープ被貼着体に貼付されるラベル状の粘着テープ部分の数に対し、積層テープの長さは比較的短くなる。【００１１】
上記目的を達成するため、本発明に係る第１のテープ貼着装置は、請求項２に記載したように、長手方向の一定間隔位置に長手方向を一定長さに分離するための分離補助用切り込みの形成された粘着テープをリリーステープに積層状に貼着してなる積層テープをテープ案内経路上で移動させるテープ案内移動手段と、前記積層テープの移動方向と関連した特定方向へ移動可能となされ支持面上にテープ被貼着体を位置決めするものとなされたテーブルと、前記テープ案内経路上のテープ剥離部にて前記リリーステープから前記粘着テープをその先端側から剥離させて特定方向へ張り出させ、前記粘着テープの最先端側の分離補助用切り込み位置よりも先側の前記粘着テープ部分を前記テープ被貼着体にテープ押圧手段により押圧して貼着させ且つ該貼着過程で前記積層テープから分離させるテープ貼着手段とを備え、前記粘着テープを前記リリーステープから剥離させつつ前記テーブルを移動させることにより前記粘着テープを前記テープ被貼着体に前記粘着テープ先端側から貼着させ、貼着中に前記積層テープの移動を規制し前記テーブルの移動力により前記粘着テープをこれの最先端側の分離補助用切り込み位置で引張分離させる。
【００１２】  このテープ貼着装置によれば、テープ案内移動手段、テーブル、テープ貼着手段の関連作動により、テープの粘着テープは、分離補助用切り込み位置で分離された一定長さ範囲の全長範囲がテープ被貼着体に貼着されるラベル状の粘着テープ部分となり、粘着テープの長さ方向の一部が使用されることなく廃棄されることはなくなる。ここで使用される積層テープは、その長さが同一であれば、各テープ被貼着体に貼付されるラベル状の粘着テープ部分の数の多いものとなる。
【発明の効果】
【００１９】  本発明によれば、粘着テープとして、その移動方向の一定間隔位置に分離補助用切り込みの形成されたものが使用されるのであり、したがって、テープ被貼着体であるリングフレームのそれぞれに貼着されるラベル状の粘着テープ部分の多数を粘着テープの長手方向上で相互に一定距離だけ離した状態でリリーステープに列状に貼着してなる従来の積層テープを使用する従来の場合に較べると、積層テープの粘着テープに形成される分離補助用切り込みの形態が簡易化されて積層テープが製作容易なものになると共に、ラベル状の粘着テープ部分の数に対して積層テープを構成する粘着テープ及びリリーステープの必要長が小さくなって、消費される積層テープの材料コストが低減されるのであり、また消費される積層テープにおける多数のラベル状の粘着テープ部分の相互間には無駄に廃棄される粘着テープやリリーステープは存在しなくなって資源の無駄が回避されるものとなり、テープ被貼着体への粘着テープの貼着が合理的に行えるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】  以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
先ず、本発明に係るテープ貼着装置で使用される積層テープについて説明する。
図１は積層テープを示す上方視斜視図、図２は積層テープの一部拡大説明図である。【００２１】  積層テープＴは基本的にはリリーステープＴ２の片面の略全面に粘着テープＴ１を積層状に貼着したものとなされている。そして、粘着テープＴ１は合成樹脂材からなるテープの下面に粘着剤層が同体状に形成され、該粘着剤層の粘着力でリリーステープＴ２に比較的容易に分離され得るように貼着された状態となっている。【００２２】  粘着テープには製作工程の任意な段階で長手方向ｆ１の一定間隔ａ１位置に長手方向ｆ１を一定長さに分離するための分離補助用切り込みｂ１が形成される。ここに、一定間隔ａ１の大きさは粘着テープＴ１の貼着されるテープ被貼着体の長さ寸法に対応したものとなされる。分離補助用切り込みｂ１は粘着テープＴ１のテープの肉厚の全長に及ばない程度の深さの単線状の切り込みを上方から形成したものとなされる。【００２３】  粘着テープＴ１の幅方向各側部には必要に応じて、リングフレームｗの形状に対応した分離用切り込みｂ２が形成される。分離用切り込みｂ２は粘着テープＴ１の肉厚の全長に及ぶ深さの連続単線状の切り込みとなされる。したがって、粘着テープＴ１に分離用切り込みｂ２が形成されている場合は、粘着テープＴ１の幅中央箇所を持ち、リリーステープＴ２から剥離させるようにすると、粘着テープＴ１は分離用切り込みｂ２の位置で分離されて、分離用切り込みｂ２の外側部分Ｔ１ａはリリーステープＴ２に接着したままの状態で残存し、分離用切り込みｂ２の内側部分Ｔ１ｂは分離補助用切り込みｂ１箇所が分離されないまま帯状となってリリーステープＴ１から剥離されるようになる。このさい、内側部分Ｔ１ｂに長手方向ｆ１の比較的強い引き力を付与すると、内側部分Ｔ１ｂは分離補助用切り込みｂ１の位置で切断されて分離される。【００２４】  次に本発明に係るテープ貼着装置について説明する。
図３は本発明に係るテープ貼着装置の側面視概要図、図４は前記テープ貼着装置の平面視概要図である。
テープ貼着装置は、積層テープＴをテープ案内経路上で移動させるテープ案内移動手段１００と、積層テープＴの移動方向と関連した特定方向（前後方向ｆ３）へ移動可能となされ且つ支持面上にテープ被貼着体であるリングフレームｗなどを位置決めするものとなされたテーブル２００と、粘着テープＴ１の最先端側の分離補助用切り込みｂ１位置よりも先側の粘着テープＴ１である一定間隔ａ１長さの内側部分Ｔ１ｂをリングフレームｗなどに貼着させ且つ該貼着過程で積層テープＴから分離させるテープ貼着手段３００とを備えてなる。【００２５】  先ず上記テープ案内移動手段１００について説明すると、供給ローラ２、案内ローラ３、プリカット装置４、案内ローラ５、ダンサーローラ６、案内ローラ７、テンション制動戻しローラ８、ピンチローラ９、案内ローラ１０、案内ローラ１１、案内ローラ１２、テープ剥離部１３、送り駆動ローラ１４、ピンチローラ１５、案内ローラ１６及び巻取ローラ１７などからなるテープ案内経路を具備している。【００２６】  このさい、供給ローラ２は、台フレーム４００の上面に固定された起立フレーム５００に左右向き軸回りの回転可能に支持されると共に第１サーボモータ２ａの出力軸と連動連結されている。該第１サーボモータ２ａは通常時は送り出す積層テープＴにテンションを付与するための回転力をテープ送出ローラ２に付与するようになされている。なお、起立フレーム５００は前後方向ｆ３に沿わせた支持面部５００ａと、該支持面部５００ａを台フレーム４００に起立状に保持する起立保持部５００ｂとからなっている。
各案内ローラ３、５、７、１０、１１、１２、１６は起立フレーム５００に左右向き軸回りの回転自在に支持されている。【００２７】  プリカット装置４は、左右向き軸回りへ回転自在となされたダイローラ４ａとダイ受けローラ４ｂとを上下配置に設けられており、ダイローラ４ａが起立フレーム５００に固定された案内部４ｃを介して上下変位自在に支持されると共に弾性部材の弾力で下方へ弾圧され外周面に突状のカッター刃を形成されたものとなされ、またダイ受けローラ４ｂが一定位置での回転自在に支持されており、ダイローラ４ａとダイ受けローラ４ｂとが積層テープＴを弾圧状に挟み付けて積層テープＴの送り移動力で連動回転されることにより、前記カッター刃が粘着テープＴ１に分離補助用切り込みｂ１及び分離用切り込みｂ２を加工する構成となされている。【００２８】  ダンサーローラ６は、起立フレーム５００に案内部６ａを介して前後方向ｆ３の変位自在に支持された左右向きの支軸に回転自在に装着されると共に弾性部材６ｂの弾力で後側（図３中の左方）へ引張された状態となされ、テープ案内経路上の案内ローラ５と案内ローラ７とに掛け渡された積層テープＴにテンションを付与するものである。ダンサーローラ６の前後方向ｆ３上の位置が前側位置ｐ１と後側位置ｐ２に到達したことを検出するための図示しないセンサが設けられており、該センサは、ダンサーローラ６が前側位置ｐ１に到達したことを検出したとき、第１サーボモータ２ａを正転させて供給ローラ２を送り回転させ、一方、ダンサーローラ６が後側位置ｐ２に到達したことを検出したとき、第１サーボモータ２ａの回転を規制して供給ローラ２の送り回転を停止させるものとなされている。【００２９】  テンション制動戻しローラ８は起立フレーム５００に左右向き軸回りの回転可能に支持されると共に第２サーボモータ８ａの出力軸と連動連結され、通常時は積層テープＴを反送り側へ付勢する適当大きさの回転力を第２サーボモータ８ａから付与され、積層テープＴに対する制動の必要時には第２サーボモータ８ａが回転規制状態となされて回転を強制的に停止され、積層テープＴの戻し変位必要時には第２サーボモータ８ａから付与される反送り側への適当大きさの回転力により反送り側へ必要量だけ積層テープＴに連動して回転されるものとなされている。一方、ピンチローラ９は起立フレーム５００に固定された支軸９ａ回りの揺動自在となされたアーム部材９ｂに固定された左右向き軸に回転自在に装着されると共に弾性部材９ｃの弾力によりテンション制動戻しローラ８に圧接された状態となされている。【００３０】  図５はテープ剥離部１３の周辺を示す側面図である。テープ剥離部１３は、起立フレーム５００から張り出された横向き部材１３ａに固定された上下駆動装置１３ｂと、上下駆動装置１３ｂの出力軸の下端に固定されて支持された剥離要部１３ｃと、剥離要部１３ｃに関連して設けられたテープ先端検出手段１３ｄとからなっている。このさい、剥離要部１３ｃは上下駆動装置１３ｂの出力軸に固定され前方視門形となされた支持部材１３ｄの左右脚部間の下部に結合片１３ｅを介して剥離用板部材１３ｆを橋渡し状に固定すると共に、支持部材１３ｄの左右脚部間の中央範囲で剥離���板部材１３ｆよりも僅かに（例えば１ｍｍ程度）上側にテープ押さえ部材１３ｇを位置させ、該テープ押さえ部材１３ｇを支持部材１３ｄの脚部に結合片を介して支持させた構造となされている。またテープ先端検出手段１３ｄは起立フレーム５００に支持された光学式のセンサｃ１と、テーブル２００の前端から前方へ張り出させた反射板ｃ２とを備え、センサｃ１から発射された光ｄ１が反射板ｃ２に反射されて再びセンサｃ１に戻るようになされており、センサｃ１から発射された光が積層テープＴから剥離された粘着テープＴ１の先端で遮断されることで粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂの先端が基準位置ｐ３に到達したことを検出するものとなされている。【００３１】  このテープ剥離部１３では、案内ローラ１２を経た積層テープＴがその幅中央範囲部分をテープ押さえ部材１３ｇの下端縁で押さえられた後に、その全幅範囲を剥離用板部材１３ｆの上面側を経てその前端縁まで導かれ、ここで略１８０度屈曲された後、剥離用板部材１３ｆの下面側を経てその後端縁から斜め後上方の送り駆動ローラ１４へ導かれる。このような積層テープＴの送り移動過程において、分離用切り込みｂ２を加工された状態の粘着テープＴ１の先端が剥離用板部材１３ｆの前端縁に到達してここを通過するさい、粘着テープＴ１は、幅方向各側縁の外側部分Ｔ１ａがリリーステープＴ２に貼着状態で残されたまま、内側部分Ｔ１ｂがその先端から前側へ向けリリーステープＴ２上から漸次に剥離されていくのであり、このさい、内側部分Ｔ１ｂは積層テープＴの送り移動の進行に伴って剥離用板部材１３ｆの前端から前方へ向けその張り出し量を漸次に増大され、該張り出し量が数ｍｍ程度となったとき、センサｃ１の発射した光ｄ１が粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ａの先端で遮断される。該遮断により、、テープ先端検出手段１３ｄは粘着テープＴ１の内側部分ＴＩａの先端が基準位置ｐ３に到達したことを検出し、該検出に関連して送り駆動ローラ１４による積層テープＴの送り移動を停止させる。【００３２】  送り駆動ローラ１４は起立フレーム５００に左右向き軸回りの回転可能に支持されると共に第１ステッピングモータ１４ａの出力軸と連動連結されている。一方、ピンチローラ１５は起立フレーム５００に固定された支点軸１５ａ回りの揺動自在となされたアーム部材１５ｂに固定された左右向きの支軸に回転自在に装着されると共に弾性部材１５ｃの弾力により送り駆動ローラ１４側へ押圧された状態となされている。テープ剥離部１３を経た後の積層テープＴ（リリーステープＴ２及びこれに貼着された粘着テープＴ１の外側部分Ｔ１ａ）は送り駆動ローラ１４とピンチローラ１５との間を通過するように配置され、ピンチローラ１５で送り駆動ローラ１４の周面に押圧された状態となり、該状態で送り駆動ローラ１４の回転力を付与され送り移動される。これによりテープ剥離部１３上の積層テープＴは送り駆動ローラ１４の回転に対応した量だけ送り移動される。【００３３】  テープ巻取ローラ１７は起立フレーム５００に左右向き軸回りの回転可能に支持されると共に第３サーボモータ１７ａの出力軸と連動連結されている。該第３サーボモータ１７ａは通常時は送り駆動ローラ１４を経た後のリリー���テープＴ２及びこれに貼着された粘着テープＴ１の外側部分Ｔ１ａにテンションを付与するための回転力をテープ送出ローラ１７に付与するようになされている。【００３４】  次に上記テーブル２００について説明すると、図３及び図４に示すように、上方視四角状の本体部１８の上側に、環状支持部１９と、これの内方に位置した円形支持部２０とが嵌合状に係着されると共に、環状支持部１９に対する円形支持部２０の高さを変更させるための高さ変更手段２１とを備えている。【００３５】  このさい、環状支持部１９はリングフレームｗを載置されるもので、本体部１８に固定状に螺着された複数のボルト２２を介して本体部１８に対し若干の上下動自在となされている。そして環状支持部１９の上面にはリングフレームｗを位置決めするための３つの係止ピン１９ａが固定されている。また円形支持部２０はリングフレームｗと一緒に粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂを貼着される他のテープ被貼着体（例えばｗ１又は半導体ウェハなど）を載置するもので、本体部１８及び環状支持部１９の内方に抜け出しの規制された状態で上下動自在に係着されている。【００３６】  また高さ変更手段２１は、円形支持部２０の下面に楔部２０ａ、２０ａを形成されると共に、これら楔部２０ａ、２０ａと本体部１８の内底面１８ａに固定された案内部材１８ｂとの間に、本体部１８に対し前後移動される前後２つの斜面部２３ａ、２３ａを有する可動体２３を配設されており、本体部１８の前部に一定位置での回転可能に設けられた操作部材２４を回転操作することで、可動体２３に螺合されたネジ軸２５が回転され、このさいのネジ軸２５の送り作用により可動体２３が楔部２０ａ、２０ａに対し前後移動され、本体部１８に対する円形支持部２０の高さが任意に変更される構成となされている。【００３７】  該テーブル２００は、台フレーム４００の上部に設けられた左右一対からなる前後方向ｆ３の案内軌道２６ａ、２６ｂにより前後方向ｆ３へ案内されると共に、前後送り機構２７により前位置ｐ４と後位置ｐ５との間の任意位置に移動可能となされている。このさい、前後送り機構２７は、台フレーム４００に固定された軸受２８ａ、２８ｂを介してネジ軸２９が一定位置での回転のみ自在に支持され、テーブル２００の本体部１８の下部に固定されたナット体３０がネジ軸２９に螺合され、該ネジ軸２９の後端に歯付ベルト伝動機構３１を介してステッピングモータ３２を連動連結された構成となされている。【００３８】  次にテープ貼着手段２００について説明すると、テープ剥離部１３でリリーステープＴ２から剥離させた粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂをテーブル２００上に位置決めされたリングフレームｗなどに押し付けて貼着させるテープ押圧手段３３と、該手段３３の動作に関連してテープ剥離部１３の上下駆動部１３ｂの出力軸を上下作動させる第１制御回路手段３４と、テープ案内移動手段１００における積層テープＴの送り移動を制御する第２制御回路手段３５とを具備したものとなされている。このさい、第１制御回路手段３４ａ及び第２制御回路手段３４ｂは起立フレーム５００の近傍に設けられた制御盤３４内に組み込まれている。【００３９】  図６はテーブル２００上のテープ貼���開始位置ｐ６がテープ剥離部１３の真下に到達した状態を示す側面図であり、図７はテーブル２００上のテープ貼着終了位置ｐ９がテープ押圧手段３３の真下に到達した状態を示す側面図である。【００４０】  テープ貼着手段２００の各部について説明する。先ず、テープ押圧手段３３は、図５に示すように、横向き部材１３ａの前面に固定された上下駆動装置３３ａと、上下駆動装置３３ａの出力軸の下端に固定されて支持された前方視門形の支持部材３３ｂと、これの左右脚部間に水平支軸３３ｃを介して回転自在に装着された押圧ローラ３３ｄとを備えている。該テープ押圧手段３３は、テーブル２００が後位置ｐ５から前位置ｐ４へ向けての移動中において、テーブル２００上のテープ貼着開始位置ｐ６が、図６に示すようにテープ剥離部１３で剥離された粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂの先端の貼着待ち位置ｐ６’に合致したとき、上下駆動部３３ａの出力軸を降下作動させて押圧ローラ３３ｄを仮想線で示す下位置ｐ７まで降下させ、また図７に示すようにテープ貼着終了位置ｐ９が押圧ローラ３３ｄの真下を通過した後、上下駆動部３３ａの出力軸を上昇作動させて押圧ローラ３３ｄを上位置ｐ８まで上昇させるものとなされている。【００４１】  また第１制御回路手段３４ａは、テープ押圧手段３３の降下作動に関連してテープ剥離部１３を図６に図示したように下位置ｐ１０まで降下させると共に、テープ押圧手段３３の上昇作動に関連してテープ剥離部１３を上位置ｐ１１まで上昇させるような制御の行われるものとなされている。【００４２】  また第２制御回路手段３４ｂは、２つの機能を有しており、１つの機能は、粘着テープＴ１がテープ押圧手段３３に押圧されテープ被貼着体ｗ、ｗ１に貼着される過程で且つ粘着テープＴ１の最先端側の分離補助用切り込みｂ１がテープ押圧手段３３の押圧領域に到達する前に、第２サーボモータ８ａの作動を停止させて積層テープＴの送り移動を規制するような作動を実現させるものである。【００４３】  そして、他の１つの機能は、テーブル２００を後位置ｐ５から前方へ移動させるための指令が制御盤３４の第１スイッチ３４ｃを入り操作することにより入力されたとき、これに関連して第２サーボモータ８ａ及び第１ステッピングモータ１４ａが反送り側である戻り側へ予め設定された任意回転量だけ回転され、その後、再び自動的に第１ステッピングモータ１４ａが送り側へ回転され、該回転により積層テープＴが送り移動されている過程で、粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂの先端が基準位置ｐ３に到達したとき、該先端をテープ先端検出手段１３ｄが検出し、該検出時点から、第１ステッピングモータ１４ａが制御盤３４の第２スイッチ３４ｄの操作により予め設定された一定回転量だけ回転し、内側部分Ｔ１ｂの先端が貼着待ち位置ｐ６’に到達したときに、第１ステッピングモータ１４ａの回転が停止されるような制御を実現させるものである。【００４４】  図３中、３４ｅは制御盤３４に設けられた第３スイッチであってテープ被貼着体ｗ、ｗ１に粘着テープＴ１の貼着を開始させるためのものである。なお、３５は前位置ｐ４のテーブル２００の上側を覆う把手付のカバー体である。【００４５】  次に上記テープ貼着装置の使用例���びに各部の作用などについて図８及び図９をも参照して説明する。このさい、図８はリングフレームｗなどを示す平面図、図９はリングフレームｗなどに粘着テープＴ１を貼着する様子を示す平面図である。【００４６】  リリーステープＴ２の片面の略全面に粘着テープＴ１を積層状に貼着され且つ該粘着テープＴ１に何ら切り込みの形成されていない状態の積層テープＴを筒芯部材に巻回したものであるロール状積層テープＴ０を用意し、該ロール状積層テープＴ０の筒芯部材を供給ローラ２に外嵌し固定させる。【００４７】  次にロール状積層テープＴ０から積層テープＴをその巻き終わり端である先端側から引き出し、テープ案内経路の上手側から下手側へ図３に示すように導き、先端を巻取ローラ１７に外嵌され固定された筒芯部材に止着させる。【００４８】  次に制御盤３４の電源を入れるなどして各部を作動可能状態となす。
そして第１サーボモータ２ａ、第２サーボモータ８ａ及び第３サーボモータ１７ａに通電させる。これにより供給ローラ２及びテンション制動戻しローラ８に反送り側への予め設定された一定大きさの回転力が付与されてそれぞれのローラ２、８の下手側の積層テープＴに適当なテンションが付与されると共に、巻取ローラ１７にも予め設定された一定大きさの巻取側への回転力が付与されてその上手側のリリーステープＴ２などに適当なテンションが付与される。【００４９】  次に第１スイッチ３４ｃを入り操作する。これによりテーブル２００がその収納位置である後位置ｐ５から前位置ｐ４へ移動される。該移動の後、カバー体３５を取り外し、図８に示すように、テープ被貼着体としてのリングフレーム（図９中に網目模様を付して示したもの）ｗをテーブル２００の環状部材１９の上面に載せ、他のテープ被貼着体としての例えば２つの電気回路基板（半導体ウエハなどであってもよい。）ｗ１、ｗ１をリングフレームｗの内孔ｗａ内でしかも円形部材２０の上面に載せる。このさい、必要に応じて操作部材２４を回転操作することにより、環状部材１９に対する円形部材２０の高さを調整し、リングフレームｗの上面と、電気回路基板ｗ１の上面との高さを合致させる。【００５０】  この後、再び第１スイッチ３４ｃを入り操作する。これにより、先ずテーブル２００上のリングフレームｗや電気回路基板ｗ１、ｗ１は公知の真空圧付与手段により真空圧を付与されてテーブル２００に固定されると共に、テーブル２００が前位置ｐ４から後位置ｐ５へ移動される。【００５１】  次に第３スイッチ３４ｅを入り操作する。これにより、第１ステッピングモータ１４ａが回転して積層テープＴが送り移動される。この送り移動の過程で、プリカット装置４が粘着テープＴ１に図１及び図２に示すような分離用切り込みｂ２や分離補助用切り込みｂ１を加工する。【００５２】  この加工が適当な積層テープＴ長さに渡って行われたとき、第３スイッチ３４ｅを切り操作して、積層テープＴの送り移動を停止させ、該停止状態の下で、プリカット装置４よりも下手側でテープ剥離部１３よりも上手側となる範囲に位置した粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂの適当長さ箇所を手作業によりリリーステープＴ２から剥離して、適当な分離補助用切り込み位置ｂ１で分離し、該分離補助用切り込み位置ｂ１よりもリリーステープＴ２先側となる内側部分Ｔ１ｂを廃棄し、いま分離された分離補助用切り込み位置ｂ１は基準位置ｐ３よりもテープ案内経路上手側に位置させる。【００５３】  これにより、積層テープＴはプリカット装置４により切り込みを連続的に加工される状態となったのであり、この後、第３スイッチ３４ｅを再び入り操作する。これにより、第１ステッピングモータ１４ａが回転し、積層テープＴを再び送り移動させる。該送り移動により、積層テープＴがテープ剥離部１３の剥離用板部材１３ｆに到達した時点から、剥離用板部材１３ｆの前端で粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂがその先端から剥離されていき、該先端が基準位置ｐ３を通過して貼着待ち位置ｐ６’に到達した時点で、第１ステッピングモータ１４ａの回転が停止され、積層テープＴは送り移動を停止され、粘着テープＴ１の内側部分Ｔ��ｂの先端は貼着待ち位置ｐ６’に保持される【００５４】  このさいの第１ステッピングモータ１４ａの回転停止に関連して、第２ステッピングモータ３２が回転を開始し、テーブル２００は後位置ｐ５から前位置ｐ４へ向けて移動される。該移動によりテーブル２００上のテープ貼着開始位置ｐ６が貼着待ち位置ｐ６’の真下に到達したとき、第１ステッピングモータ１４ａが再び回転を開始し、積層テープＴがテーブル２００の移動速度と同一大きさとなされて送り移動される。また第１制御回路手段の機能により、テーブル２００上のテープ貼着開始位置ｐ６が貼着待ち位置ｐ６’の真下に到達したことに関連して剥離要部１３ｃ及び押圧ローラ３３ｄがそれぞれの上位置ｐ１１、ｐ８から下位置ｐ１０、ｐ７に降下される。【００５５】  この押圧ローラ３３ｄの降下時に、粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂはその先端周辺を押圧ローラ３３ｄに押圧され先端がリングフレームｗのテープ貼着開始位置ｐ６に合致した状態で貼着されるのであり、その後、第１ステッピングモータ１４ａ及び第２ステッピングモータ３２の回転により内側部分Ｔ１ｂが連続的に剥離されつつテーブル２００と共に前位置ｐ４側へ引き移動され、該引き移動過程において図９に示すように押圧ローラ３３ｄによりリングフレームｗ及び電気回路基板ｗ１、ｗ１上面に押圧されて連続的に貼着される。【００５６】  このような貼着処理中において粘着テープＴ１の最先端側の分離補助用切り込みｂ１が押圧ローラ３３ｄの押圧領域に到達する前に、第２制御回路手段３４ｂの機能により、第２サーボモータ８ａの回転が制動されて瞬時に且つ強制的に停止される。これにより積層テープＴの送り移動がテンション制動戻りローラ８の回転停止で停止され、該停止状態の下でテーブル２００はなおも第２ステッピングモータ１４ａの回転により前位置ｐ４側へ移動されるため、粘着テープＴ１の最先端側の分離補助用切り込みｂ１の近傍である粘着テープＴ１箇所のテンションが漸次に増大していき、これが一定大きさに達したとき、粘着テープＴ１はこのテンションの増大に起因して最先端側の分離補助用切り込みｂ１位置で切断され分離される。【００５７】  該分離の後にもテーブル２００は前位置ｐ４側へ移動するため、いまリングフレームｗに貼着を進行されている粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂは図７などに示す貼着終了位置ｐ９まで押圧ローラ３３ｄに押圧されて確実に貼着される。そしてテーブル２００が前位置ｐ４に到達したとき、第２ステッピングモータ３２の回転が停止されてテーブル２００の移動が停止されると共に第１制御回路手段３４ａの機能によりテープ剥離部１３及び押圧ローラ３３ｄがそれぞれの上位置ｐ１１、ｐ８に上昇される。この後、テーブル２００上において粘着テープＴ１を介して一体状に貼着されたリングフレームｗ及び電気回路基板ｗ１、ｗ１をテーブル２００の外方へ取り除き、その後、次に粘着テープＴ１で貼着処理すべきリングフレームｗ及び電気回路基板ｗ１、ｗ１をテーブル２００上に先と同様に載せる。【００５８】  そして、２回目のテープ貼着処理を実行させるべく、第１スイッチ３４ｃを入り操作する。これによりテーブル２００が後位置ｐ５に移動する。
次に第３スイッチ３４ｅを入り操作する。該入り操作に関連して、第２制御回路手段３４ｂによる次のような作動が得られるのであって、即ち、第１ステッピングモータ１４ａが戻り側へ予め設定された一定回転量だけ回転して、積層テープＴを戻り側へ一定距離だけ変位させて、粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂの先端を基準位置ｐ３よりも上手側へ移動させ、その後、第１ステッピングモータ１４ａを送り側へ回転させる。このさい、積層テープＴが戻り側へ一定距離だけ変位されることは剥離要部１３ｃよりも上手側の積層テープＴに弛みを生じさせる要因をなすが、第２サーボモータ８ａから戻り側への回転力を付与されるテンション制動戻りローラ８が積層テープＴに適当なテンションを付与すると共にダンサーローラ６が弾性部材６ｂの弾力で後側に引き変位されて積層テープＴに適当なテンションを付与するため、プリカット装置４からテンション制動戻りローラ８までの積層テープＴの弛みは防止される。【００５９】  このような第２制御回路手段３４ｂによる作動において、既にテープ剥離部１３で剥離されていた粘着テープＴ１の内側部分Ｔ１ｂは基準位置ｐ３よりも上手側で再びリリーステープＴ２に接着される傾向となるものの、第１ステッピングモータ１４ａの送り側への回転によりテープ剥離部１３で再び剥離され、その内側部分Ｔ１ｂの先端が基準位置ｐ３に到達したときに基準位置検出手段１３ｄが該先端を検出し、該検出に基づいて第１ステッピングモータ１４ａが該検出時点から予め設定された一定回転量だけ回転して該検出に係る内側部分Ｔ１ｂの先端が貼着待ち位置ｐ６’に到達したときに第１ステッピングモータ１４ａの回転が停止され、その内側部分Ｔ１ｂの先端が初回の貼着処理の場合と同様に貼着待ち位置ｐ６’に保持される。【００６０】  この後は、初回の貼着処理の場合と同様な作動が行われるのであって、即ち、第１ステッピングモータ１４ａの回転が停止されたことに関連して、第２ステッピングモータ３２が回転を開始し、テーブル２００が後位置ｐ５から前位置ｐ４へ向けて移動されると共に分離補助用切り込み位置を分離されるなどして、粘着テープＴ１の最先端側の分離補助用切り込みｂ１よりも先側部分はその後端まで押圧ローラ３３ｄに押圧されて確実に貼着される。以後は既述の処理及び作動が繰り返されることにより、次々とテーブル２００上に載せられたリングフレームｗのそれぞれに、２回目のテープ貼着処理と同様な貼着処理が実行される。【００６１】  なお、テープ貼着処理を終了するさいは、前位置ｐ４に移動したテーブル２００上にリングフレームｗや電気回路基板ｗ１を載せない状態の下で、第１スイッチ３４ｃを入り操作するのであり、これによりテーブル２００は後位置ｐ５に移動し、各部は次の貼着処理に備えた状態となる。該状態下で作業を終了する場合は、制御盤３４の電源スイッチを切り操作する。【００６２】  上記実施形態は次のように変形することができる。
図１０は変形例に係るリングフレームｗなどを示す平面図、図１１は変形例に係る積層テープＴを示す平面図、図１２は変形例に係る積層テープＴを使用してリングフレームｗなどに粘着テープＴ１を貼着する様子を示す平面図である。【００６３】  これらの図に示すように、リングフレームｗの内孔は円弧縁を有しない平面視方形状となす。積層テープＴはリリーステープＴ２の片面の全面に粘着テープＴ１を貼着したものとなす。これに関連して、プリカット装置４は粘着テープＴ１の長手方向ｆ１の一定間隔位置ａ１ごとに幅方向線からなる分離補助用切り込みｂ１のみを加工するものとなされる。その他の構成は先の実施形態のものと変わらない。【００６４】  この変形例に係るテープ粘着装置においても、粘着テープＴ１が押圧ローラ３３ｄによりリングフレームｗに押圧されて図１２に示すように貼着されていき、最先端側の分離補助用切り込みｂ１が押圧ローラ３３ｄの押圧領域に到達する前に、第２サーボモータ８ａの回転が制動されて停止されることにより、先の実施形態の場合と同様に、最先端側の分離補助用切り込みｂ１の近傍である粘着テープＴ１箇所のテンションが増大し、粘着テープＴ１は最先端側の分離補助用切り込みｂ１位置で切断されて分離される。この分離後に、押圧ローラ３３ｄがリングフレームｗに貼着されている粘着テープＴ１の後端をリングフレームｗに押圧することにより、該粘着テープＴ１はテーブル２００上のリングフレームｗ及び電気回路基板ｗ１、ｗ１の上面に確実に貼着される。【００６５】  上記実施形態はさらに次のように変形してもよい。
上記テープ粘着装置においてプリカット装置４を省略すると共に、粘着テープＴ１に予め分離用切り込みｂ２及び分離補助用切り込みｂ１の双方、或いは、分離補助用切り込みｂ１のみの加工された積層テープＴを供給ロール２に装着する構成となすことも差し支えない。
また本願発明におけるテープ被貼着体はリングフレームｗや電気回路基板ｗ１や半導体ウエハなどに限定するものでなく、任意なものであってよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】粘着テープの一部を剥離した積層テープを示す上方視斜視図である。
【図２】積層テープの一部拡大説明図である。
【図３】本発明に係るテープ貼着装置の側面視概要図である。
【図４】前記テープ貼着装置の平面視概要図である。
【図５】テープ剥離部の周辺を示す側面図である。
【図６】テーブル上のテープ貼着開始位置がテープ剥離部の真下に到達した状態を示す側面図である。
【図７】テーブル上のテープ貼着終了位置がテープ押圧手段の真下に到達した状態を示す側面図である。
【図８】リングフレームなどを示す平面図である。
【図９】リングフレームなどに粘着テープを貼着する様子を示す平面図である。
【図１０】変形例に係るリングフレームなどを示す平面図である。
【図１１】変形例に係る積層テープを示す平面図である。
【図１２】変形例に係るリングフレームなどに粘着テープを貼着する様子を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６７】１３ｄ  テープ先端検出手段
３３  テープ押圧手段（テープ貼着手段）
１００  テープ案内移動手段
２００  テーブル
Ｔ  積層テープ
Ｔ１  粘着テープ
Ｔ２  リリーステープ
ａ１  一定間隔
ｂ１  分離補助用切り込み
ｆ１  長手方向
ｐ３  基準位置（第１位置）
ｐ６  テープ貼着開始位置
ｗ  リングフレーム（テープ被貼着体）
【図１】
0004665015.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004665015.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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