(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護シート上に載せられた状態で搬送されるガラス基板を下流側の加工ステーションに移載させる前段階で、該ガラス基板から保護シートを分離させる方法において、
搬送方向がその下流側の端部で水平方向から下方向に変化する搬送帯が、少なくともその搬送方向変化部位で、ガラス基板を加工ステーションに移載させ得る方向に搬送しつつ、該ガラス基板下の保護シートを負圧吸引力により吸着保持して水平方向から下方向に方向変換させることを特徴とする保護シート分離方法。
【請求項２】
前記搬送帯は、水平方向搬送部位から搬送方向変化部位に亘り、前記保護シートを負圧吸引力により吸着保持することを特徴とする請求項１に記載の保護シート分離方法。
【請求項３】
前記搬送帯は、搬送方向変化部位から下方向搬送部位に亘り、前記保護シートを負圧吸引力により吸着保持することを特徴とする請求項１または２に記載の保護シート分離方法。
【請求項４】
保護シート上に載せられた状態で搬送されるガラス基板を下流側の加工ステーションに移載させる前段階で、該ガラス基板から保護シートを分離させる装置において、
前記加工ステーションの直上流側に、前記保護シート上に載せられた状態にあるガラス基板を前記加工ステーションに移載させる搬送帯を配備すると共に、該搬送帯の搬送方向は、その下流側の端部で水平方向から下方向に変化し、且つ少なくともその搬送方向変化部位で該搬送帯に負圧吸引力が発生するように構成されていることを特徴とする保護シート分離装置。
【請求項５】
前記搬送方向変化部位に、前記搬送帯が巻き掛けられる中空状の回転ローラが配置され、該回転ローラの中空部が、前記搬送帯の搬送方向変化部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされていることを特徴とする請求項４に記載の保護シート分離装置。
【請求項６】
前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記回転ローラの周壁部に複数の周溝が形成されて、その各周溝の底面壁部に前記中空部に通じる貫通孔がそれぞれ形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記回転ローラにおける周溝の軸方向の配列ピッチとが同一になるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載の保護シート分離装置。
【請求項７】
前記搬送帯の水平方向搬送部位の下方に、箱状体が配置され、該箱状体の内部空間が、前記搬送帯の水平方向搬送部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされていることを特徴とする請求項４〜６の何れかに記載の保護シート分離装置。
【請求項８】
前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記箱状体の上面壁部に搬送方向に長尺な複数のスリットが並列に形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記箱状体におけるスリットの幅方向の配列ピッチとが同一になるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載の保護シート分離装置。
【請求項９】
前記搬送帯の下方向搬送部位の内側方に、箱状体が配置され、該箱状体の内部空間が、前記搬送帯の下方向搬送部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされていることを特徴とする請求項４〜８の何れかに記載の保護シート分離装置。
【請求項１０】
前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記箱状体の外側面壁部に搬送方向に長尺な複数のスリットが並列に形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記箱状体におけるスリットの幅方向の配列ピッチとが同一になるように設定されていることを特徴とする請求項９に記載の保護シート分離装置。
【請求項１１】
前記搬送帯の搬送速度が可変とされていることを特徴とする請求項４〜１０の何れかに記載の保護シート分離装置。
【請求項１２】
前記加工ステーションには、ガラス基板が前記搬送帯から移載される搬送手段が配備されると共に、保護シートが前記搬送帯の搬送方向変化部位を通過する以前は前記搬送手段よりも搬送帯の方が低速度で駆動され、その通過後の所定時期以後は前記搬送手段と搬送帯とが同速度で駆動されるように構成されていることを特徴とする請求項４〜１１の何れかに記載の保護シート分離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護シートの分離方法及びその装置に係り、詳しくは、保護シート上に載せられた状態で搬送されるガラス基板から保護シートを分離させて除去するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器用のガラスパネルの製作に際しては、複数枚のガラスパネルが一枚のガラス基板（素板ガラス）から作り出される手法が採用されている。そして、近年においては、画像表示機器の大型化等に伴って、ガラスメーカー等で製造される上記のガラス基板は、大板化が推進されているのが現状である。
【０００３】
これらのガラス基板は、製造工程の終盤において、加工ステーションに移送され、この加工ステーションで、矩形状で且つ所定の大きさに切断されたガラス基板の各辺（詳しくは各辺の端面）に対して面取り加工を行うなどの所定の加工が施される。この種の加工が施されるまでの工程は、具体的には、以下に示すようにして実行されるのが通例である。
【０００４】
即ち、図７(a)に示すように、折り割り工程などの待機位置においては、パレットＰ上に、複数枚のガラス基板（原板）２０が、それぞれの相互間に保護シートとしての合紙２１を介在させて縦置きで梱包された状態にあり、この合紙２１の介在により、ガラス基板２０同士が直接接触しないようにして、傷や異物の付着防止が図られている。尚、保護シートとしては、合紙２１に代えて、ポリエチレンシートや発泡樹脂シート等の他の保護シートが使用される場合もある。
【０００５】
そして、このような梱包体から、一枚のガラス基板２０と一枚の合紙２１とを一緒に取り出し、図７(b)に示すように、合紙２１がガラス基板２０の下敷きとなるように搬送手段上或いは作業台上に載置する。この後、合紙２１の上にガラス基板２０を載せたままの状態で、図７(c)に示すように、スクライブ刻設機構２２によりガラス基板２０の表面にスクライブ線Ｓを刻設した後、図７(d)に示すように、スクライブ線Ｓに沿ってガラス基板２０の外周部２０ａを折り割りする。更にその後、図７(e)に示すように、合紙２１をガラス基板２０から分離して除去した後、ガラス基板２０のみが、その面取りを含む端面加工等を施す加工ステーションＷ１の例えばベルト搬送手段Ｃ１上に載置される。
【０００６】
この場合、上述のように合紙２１をガラス基板２０から分離除去して加工ステーションＷ１に移載する作業は、従来においては、図８(a)、(b)に概略平面視として示すように、作業者Ｍ１が合紙２１を抜き取りつつ、他の作業者Ｍ２がガラス基板２０のみを持ち上げ、そのガラス基板２０を適宜水平旋回させるなどして位置合せを行った後に、加工ステーション（ベルト搬送手段等）に移載していた。即ち、図９に側面視として示すように、作業者Ｍがガラス基板２０のみを持ち上げようとした場合、静電気等が原因となってガラス基板２０の裏面に合紙２１が付着した状態で持ち上げてしまうという事態を招くことから、この合紙２１の付着を阻止するための作業が別途必要となる。
【０００７】
このような作業者の手作業に代えて、自動化装置を使用したものとして、下記の特許文献１によれば、載置台上にガラス基板と合紙とを横置き姿勢で交互に積層した状態から、吸着パッドにより最上段のガラス基板を吸着保持し且つその下方に密着している合紙と共に横方向に移動させた後、合紙のみを２番目のガラス基板上に落下させ、清掃治具の押圧部により合紙を横方向に押し遣って２番面のガラス基板上から一掃する手法が開示されている。
【０００８】
また、下記の特許文献２及び特許文献３によれば、パレット上にガラス基板と合紙とを縦置き姿勢で交互に積層した状態から、吸着パッドによりガラス基板を吸着保持すると共に、該ガラス基板の下端または側端から露出した合紙の縁部を前記吸着パッドとは独立して作動する吸着部材により吸着保持し、これらの吸着パッドと吸着部材との連係動作により合紙をガラス基板から離脱させる手法が開示されている。
【０００９】
【特許文献１】実開平５−８５７３０号公報
【特許文献２】実開平６−１４１５５号公報
【特許文献３】実開平６−２７７６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、近年においては、液晶ディスプレイ用に代表されるように、ガラス基板の大板化が顕著となっていることから、必然的に合紙も大きなものが必要となり、これが一要因となって、上記従来の手法では、ガラス基板と合紙との分離を適切に行う上で支障を来たすに至っている。
【００１１】
即ち、上記従来の手法のうちの作業者による手法では、図８(c)に例示するように、大板（例えば一辺の長さが１５００ｍｍ程度以上）のガラス基板を作業者が手で合紙を抜き取りつつ持ち上げることは、極めて困難或いは実質的に不可能なことであり、作業の停滞ひいては生産性の大幅な低下を招く。従って、このような手法は、もはや採用不能とされているのが実情である。
【００１２】
また、上記の特許文献１に開示された手法によれば、吸着パッドにより最上段のガラス基板を吸着保持して横方向に移動させる動作と、２番目のガラス基板上に落下した合紙を清掃治具の押圧部により横方向に押し遣る動作とを、タイミング良く連係させる必要があり、そのための制御や装置が複雑になるおそれや、作業時間に無駄が生じるおそれがある。しかも、この手法では、合紙を２番目のガラス基板上に落下させた後に清掃治具の押圧部で横方法に押し遣る動作が、合紙の広面積化に伴って困難となり、作業ミスの発生確率が高くなるおそれもある。
【００１３】
更に、上記の特許文献２、３に開示された手法によるにしても、吸着パッドによりガラス基板を吸着保持して移動させる動作と、吸着部材により合紙の縁部を吸着保持してガラス基板から分離移動させる動作とを、適切に連係させることが困難であるため、上記と同様に、制御や装置の複雑化、作業時間の無駄、作業ミスの多発等を招くおそれがある。
【００１４】
そして、上記の特許文献１〜３に開示の何れの手法によるにしても、ガラス基板の面(有効面)が吸着パッドにより吸着保持されるものであるため、吸着パッドとの接触に起因してガラス基板の面に傷や異物が付着するという根本的な問題が生じる。しかも、これらの手法は何れも、ガラス基板の面と合紙等とが接触して摺動するおそれがあるため、その両者の直接の摺動により、或いは摺動部に異物が混入していることにより、上記と同様にガラス基板の面に傷や異物が付着する。そして、これらが原因となって、製品としてのガラス基板の品位が低下し、ひいては製品歩留まりが悪化する。
【００１５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、作業時間の無駄や作業ミスの発生を可及的に抑制した上で、ガラス基板の面に異物や傷を付着させることなく、ガラス基板から合紙等の保護シートを適正に分離させることを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る方法は、保護シート上に載せられた状態で搬送されるガラス基板を下流側の加工ステーションに移載させる前段階で、該ガラス基板から保護シートを分離させる方法において、搬送方向がその下流側の端部で水平方向から下方向に変化する搬送帯が、少なくともその搬送方向変化部位で、ガラス基板を加工ステーションに移載させ得る方向に搬送しつつ、該ガラス基板下の保護シートを負圧吸引力により吸着保持して水平方向から下方向に方向変換させることに特徴づけられる。
【００１７】
このような方法によれば、ガラス基板は、合紙、ポリエチレンシートまたは発泡樹脂シート等の保護シートを下敷きにした状態で、搬送帯上に載せられて水平方向に搬送されるが、この搬送帯は、下流側の端部で、搬送方向が水平方向から下方向に変化している。そして、ガラス基板及び保護シートが、搬送方向変化部位（水平方向から下方向に変化する部位）を通過する際には、搬送帯は、ガラス基板については負圧吸引力の影響を付与することなく下流側の加工ステーションに移載させ得る方向に搬送するのに対して、ガラス基板の下に敷かれている保護シートについては負圧吸引力により吸着保持して水平方向から下方向に方向変換させる。これにより、ガラス基板の搬送方向と保護シートの搬送方向とが相違することになり、この結果、保護シートは、ガラス基板から分離されて除去され得ることになる。そして、このようなガラス基板からの保護シートの分離時には、両者間に摺動が生じないようにすることができ、ガラス基板面への摺動に起因する異物や傷の付着を回避することが可能となる。しかも、このような保護シートの分離動作は、ガラス基板の加工ステーションへの移載と同時に行われることから、作業時間の無駄をなくすことができると共に、保護シートの搬送方向の変換は、搬送帯の搬送方向変化部位で負圧吸引力により行われることから、作業ミスの発生が可及的に抑制される。
【００１８】
この場合、前記搬送帯は、水平方向搬送部位から搬送方向変化部位に亘り、前記保護シートを負圧吸引力により吸着保持するようにしてもよい。
【００１９】
このようにすれば、保護シートのうち、搬送帯の方向変化部位を通過して下方に向かうシート部分が垂れ下がり、その自重に起因して保護シートが落下しようとしても、保護シートの他方のシート部分は、搬送帯の水平方向搬送部位で負圧吸引力により吸着保持されていることから、そのような保護シートの落下が阻止される。これにより、保護シートが落下することによるガラス基板と保護シートとの摺動、及びこれに起因するガラス基板面への傷や異物の付着が、より確実に阻止される。
【００２０】
また、前記搬送帯は、搬送方向変化部位から下方向搬送部位に亘り、前記保護シートを負圧吸引力により吸着保持するようにしてもよい。
【００２１】
このようにすれば、保護シートのうち、搬送帯の方向変化部位を通過して下方に向かうシート部分が、搬送帯の下方向搬送部位で負圧吸引力により確実に吸着保持されるため、保護シートは落下することなく且つガラス基板と摺動することなく（好ましくは、ガラス基板の搬送速度と同速度で）下方に適正に搬送され、ガラス基板から円滑に分離される。
【００２２】
一方、上記技術的課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、保護シート上に載せられた状態で搬送されるガラス基板を下流側の加工ステーションに移載させる前段階で、該ガラス基板から保護シートを分離させる装置において、前記加工ステーションの直上流側に、前記保護シート上に載せられた状態にあるガラス基板を前記加工ステーションに移載させる搬送帯を配備すると共に、該搬送帯の搬送方向は、その下流側の端部で水平方向から下方向に変化し、且つ少なくともその搬送方向変化部位で該搬送帯に負圧吸引力が発生するように構成されていることに特徴づけられる。
【００２３】
このような装置によれば、ガラス基板は、既述と同様の保護シートを下敷きにした状態で、加工ステーションの直上流側に配備された搬送帯の上に載せられて水平方向に搬送されるが、この搬送帯は、下流側の端部で、搬送方向が水平方向から下方向に変化すると共に、その搬送方向変化部位で該搬送帯に負圧吸引力が発生しており、保護シートを当該部位で吸着保持するようになっている。従って、ガラス基板及び保護シートが搬送方向変化部位を通過する際には、搬送帯は、ガラス基板については負圧吸引力の影響を付与することなく下流側の加工ステーションに移載させ得る方向に搬送するのに対して、ガラス基板の下に敷かれている保護シートについては負圧吸引力により水平方向から下方向に方向変換させる。これにより、ガラス基板の搬送方向と保護シートの搬送方向とが相違することになり、保護シートは、ガラス基板から分離されて除去され得ることになる。このような動作が行われることによる作用効果は、既に述べた通りであるので、ここでは敢えてその記載を省略する。
【００２４】
この場合、前記搬送方向変化部位に、前記搬送帯が巻き掛けられる中空状の回転ローラが配置され、該回転ローラの中空部が、前記搬送帯の搬送方向変化部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされるように構成することができる。
【００２５】
このようにすれば、搬送帯の搬送方向を水平方向から下方向に変化させるべく該搬送帯が巻き掛けられる回転ローラを、搬送帯に負圧吸引力を発生させる負圧発生手段の一構成要素として有効利用できることになり、適切な回転ローラの兼用がなされて、部品点数の削減や利用スペースの狭小化、ひいては装置の小型化や簡素化が図られる。
【００２６】
この構成においては、前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記回転ローラの周壁部に複数の周溝が形成されて、その各周溝の底面壁部に前記中空部に通じる貫通孔がそれぞれ形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記回転ローラにおける周溝の軸方向の配列ピッチとが同一になるように構成されていることが好ましい。
【００２７】
このようにすれば、搬送帯の貫通孔から、回転ローラの周溝内及びその周溝の底面壁部に形成された貫通孔を通じて、回転ローラの中空部（空気吸引部）に空気が吸引されることにより、搬送帯の搬送方向変化部位の外周面に負圧吸引力が発生する。この場合、搬送帯における貫通孔の幅方向配列ピッチと、回転ローラにおける周溝の軸方向配列ピッチとが同一に設定されているので、搬送帯の貫通孔からの負圧吸引（空気の吸引）が無駄なく且つ途切れることなく行われ得ることになり、搬送方向変化部位では搬送帯から保護シートに対して効率良く且つ連続して適切な負圧吸引力を作用させることが可能となる。
【００２８】
また、前記搬送帯の水平方向搬送部位の下方に、箱状体が配置され、該箱状体の内部空間が、前記搬送帯の水平方向搬送部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされるように構成することができる。
【００２９】
このようにすれば、箱状体の空気吸引部を通じて搬送帯の水平方向搬送部位に負圧吸引力が発生し、この負圧吸引力によってガラス基板の下敷きとなっている保護シートが搬送帯の水平方向搬送部位に吸着保持される。従って、保護シートのうち、搬送帯の方向変化部位を通過して下方に向かうシート部分が垂れ下がり、その自重に起因して保護シートが落下しようとしても、保護シートの他方のシート部分が上述のように搬送帯の水平方向搬送部位に吸着保持されていることから、そのような保護シートの落下が阻止される。この結果、これと対応する構成について既に述べた事項と同様の作用効果を享受することができる。
【００３０】
更に、この構成においては、前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記箱状体の上面壁部に搬送方向に長尺な複数のスリットが並列に形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記箱状体におけるスリットの幅方向の配列ピッチとが同一になるように構成されていることが好ましい。
【００３１】
このようにすれば、搬送帯の貫通孔から、箱状体の上面壁部に形成されたスリットを通じて、該箱状体の内部空間（空気吸引部）に空気が吸引されることにより、搬送帯の水平方向搬送部位の上面に負圧吸引力が発生する。この場合、搬送帯における貫通孔の幅方向配列ピッチと、箱状体におけるスリットの幅方向配列ピッチとが同一に設定されているので、搬送帯の貫通孔からの負圧吸引（空気の吸引）が無駄なく且つ途切れることなく行われ得ることになり、搬送帯の水平方向搬送部位から保護シートに対して効率良く且つ連続して適切な負圧吸引力を作用させることが可能となる。
【００３２】
また、前記搬送帯の下方向搬送部位の内側方に、箱状体が配置され、該箱状体の内部空間が、前記搬送帯の下方向搬送部位に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされるように構成することができる。
【００３３】
このようにすれば、箱状体の空気吸引部を通じて搬送帯の下方向搬送部位に負圧吸引力が発生し、この負圧吸引力によってガラス基板の下敷きとなっていた保護シートが搬送帯の下方向搬送部位に吸着保持される。従って、保護シートのうち、搬送帯の方向変化部位を通過して下方に向かうシート部分が、搬送帯の下方向搬送部位で負圧吸引力により確実に該搬送帯の外側面に吸着保持されるため、保護シートは落下することなく且つガラス基板と摺動することなく（好ましくは、ガラス基板の搬送速度と同速度で）下方に適正に搬送され、ガラス基板から円滑に分離される。
【００３４】
また、この構成においては、前記搬送帯に複数の貫通孔が形成されると共に、前記箱状体の外側面壁部に搬送方向に長尺な複数のスリットが並列に形成され、且つ、前記搬送帯における貫通孔の幅方向の配列ピッチと、前記箱状体におけるスリットの幅方向の配列ピッチとが同一になるように構成されていることが好ましい。
【００３５】
このようにすれば、搬送帯の貫通孔から、箱状体の外側面壁部に形成されたスリットを通じて、該箱状体の内部空間（空気吸引部）に空気が吸引されることにより、搬送帯の下方向搬送部位の外側面に負圧吸引力が発生する。この場合、搬送帯における貫通孔の幅方向配列ピッチと、箱状体におけるスリットの幅方向配列ピッチとが同一に設定されているので、搬送帯の貫通孔からの負圧吸引（空気の吸引）が無駄なく且つ途切れることなく行われ得ることになり、搬送帯の下方向搬送部位から保護シートに対して効率良く且つ連続して適切な負圧吸引力を作用させることが可能となる。
【００３６】
以上の構成を備えた装置において、前記搬送帯の搬送速度が可変とされていることが好ましい。
【００３７】
このようにすれば、ガラス基板の搬送の迅速化と、保護シートの吸着保持の確実化との二種の要請に応じて、搬送帯の搬送速度を適宜変化させることが可能となり、作業能率の改善並びに生産性の向上を図る上で有利となる。
【００３８】
この場合、前記加工ステーションには、ガラス基板が前記搬送帯から移載される搬送手段が配備されると共に、保護シートが前記搬送帯の搬送方向変化部位を通過する以前は前記搬送手段よりも搬送帯の方が低速度で駆動され、その通過後の所定時期以後は前記搬送手段と搬送帯とが同速度で駆動されるように構成されていることが好ましい。
【００３９】
このようにすれば、保護シートが搬送帯の搬送方向変化部位を通過するまでの間、つまり保護シートの先端部が搬送方向変化部位で下方に方向変換してガラス基板から保護シートが確実に分離可能な状態となるまでの間は、搬送帯が低速度で保護シート及びガラス基板を搬送し、そのような状態となった後に、搬送帯が高速度（加工ステーションの搬送手段と同速度）で保護シート及びガラス基板を搬送する。これにより、ガラス基板から保護シートを分離させる作業が原因となって一連の流れ作業に要する時間が不当に長くなることを回避でき、生産効率の悪化を効果的に阻止することが可能となる。
【発明の効果】
【００４０】
以上のように本発明によれば、ガラス基板及びその下に敷かれている保護シートが、搬送方向変化部位を通過する際には、搬送帯は、ガラス基板を下流側の加工ステーションに移載させ得る方向に搬送するのに対して、保護シートについては負圧吸引力により水平方向から下方向に方向変換させるので、ガラス基板の搬送方向と保護シートの搬送方向とが相違することになり、この結果、保護シートは、ガラス基板から分離されて除去され得ることになる。そして、このようなガラス基板からの保護シートの分離時には、両者間に摺動が生じないようにすることができるため、ガラス基板面への摺動に起因する異物や傷の付着を回避することが可能となる。しかも、このような保護シートの分離動作は、ガラス基板の加工ステーションへの移載と同時に行われることから、作業時間の無駄をなくすことができると共に、保護シートの搬送方向の変換は、搬送帯の搬送方向変化部位で負圧吸引力により行われることから、作業ミスの発生が可及的に抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００４２】
先ず、図１に示す概略平面図及び図２に示す概略側面図に基づいて、本発明の実施形態に係る保護シート分離装置について説明する。この保護シート分離装置１は、加工ステーションＷに配備され且つガラス基板を矢印ａ方向に搬送する搬送手段Ｃの直上流側に、搬送帯としての無端状のベルト２を備えてなる。このベルト２は、樹脂やゴム等（表面部は好ましくはゴム）からなると共に、計三個の回転ローラ３、４、５に巻き掛けられ、矢印Ａ方向に駆動される構成である。なお、上記の加工ステーションＷは、ガラス基板に対して面取り加工等の端面加工を施すステーションである。
【００４３】
前記ベルト２は、水平方向搬送部位２ａと、搬送方向変化部位２ｂと、下方向搬送部位２ｃとを有すると共に、これらのうちの水平方向搬送部位２ａは、加工ステーションＷの搬送手段Ｃと略同一高さに位置し、且つ、ガラス基板が水平方向搬送部位２ａから搬送手段Ｃに移載可能となるように、両者２ａ、Ｃが近接配置されている。従って、ベルト２の搬送方向は、上流側から下流側に向かって水平方向に移行した後、下流側の端部で方向変換して下方に向かうようになっている。そして、ベルト２の搬送速度は、図外の速度制御手段により可変とされている。
【００４４】
前記ベルト２が巻き掛けられている三個の回転ローラ３、４、５のうち、搬送方向変化部位２ｂに存する回転ローラ３は、中空状とされると共に、その回転ローラ（以下、中空回転ローラという）３の中空部は、ベルト２の搬送方向変化部位２ｂに負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされている。更に、ベルト２の水平方向搬送部位２ａの下方には、第１箱状体６が近接して設置されると共に、その第１箱状体６の内部空間は、ベルト２の水平方向搬送部位２ａの上面に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされている。更に、ベルト２の下方向搬送部位２ｃの内側方には、第２箱状体７が近接して設置されると共に、その第２箱状体７の内部空間は、ベルト２の下方向搬送部位２ｃの外面に負圧吸引力を発生させるための空気吸引部とされている。そして、中空回転ローラ３の中空部、第１箱状体６の内部空間、及び第２箱状体７の内部空間は、吸引ホース８を介して真空発生源に通じている。
【００４５】
詳述すると、図３及び図４に示すように、ベルト２には全周に亘って複数の貫通孔９が形成され、これらの貫通孔９を通じて負圧吸引力が発生する構成とされている。即ち、中空回転ローラ３の周壁部３ａには、複数の周溝３ｂが形成されると共に、これらの周溝３ｂの底面壁部３ｃには、中空部に通じる複数の貫通孔１０がそれぞれ形成されている。そして、この中空回転ローラ３に形成された複数の周溝３ｂの軸方向における配列ピッチは、ベルト２に形成された複数の貫通孔９の幅方向における配列ピッチと同一に設定されている。
【００４６】
更に、第１箱状体６の上面壁部６ａには、搬送方向に長尺で且つ内部空間に通じる複数の第１スリット１１が並列に形成され、また第２箱状体７の外側面壁部７ａにも、搬送方向に長尺で且つ内部空間に通じる複数の第２スリット１２が並列に形成されている。そして、第１箱状体６に形成された複数の第１スリット１１の幅方向における配列ピッチと、第２箱状体７に形成された複数の第２スリット１２の幅方向における配列ピッチとは、何れもが、ベルト２に形成された複数の貫通孔９の幅方向における配列ピッチひいては中空回転ローラ３に形成された複数の周溝３ｂの軸方向における配列ピッチと同一に設定されている。従って、第１スリット１１と周溝３ｂと第２スリット１２とは、それぞれが１列上、つまり全てが複数列上に配列されており、これらは、ベルト２に形成された複数列の貫通孔９の移動軌跡に沿うように配列されている。
【００４７】
以上の構成を備えた保護シート分離装置１によれば（図５及び図６参照）、先ず、スクライブ工程及び折り割り工程を終えて合紙１３の上に載せられた状態にあるガラス基板１４が、ベルト２の上に水平姿勢で移載される。この移載は、作業者が手動で、或いはベルト２の更に上流側に配置されている搬送手段から自動的に行われる。そして、その移載直後においては、合紙１３及びガラス基板１４の先端は、ベルト２の水平方向搬送部位２ａの上流側に位置している。このような状態から、合紙１３及びガラス基板１４がベルト２により下流側に向かって搬送されていくが、ここでは常時、ベルト２の水平方向搬送部位２ａにおける複数の貫通孔９から、第１箱状体６の上面壁部６ａに形成された複数の第１スリット１１を通じて、その内部空間（空気吸引部）に空気が吸引されている。従って、ガラス基板１４の下敷きとなっている合紙１３が、負圧吸引力によってベルト２に吸着保持された状態で、ガラス基板１４はベルト２によって水平方向に搬送される。
【００４８】
この後において、合紙１３の先端がベルト２の水平方向搬送部位２ａの下流端に達した場合には、ここでも常時、ベルト２の搬送方向変化部位２ｂにおける複数の貫通孔９から、中空回転ローラ３の複数の周溝３ｂ内及びその底面壁部３ｃの貫通孔１０を通じて、その中空部（空気吸引部）に空気が吸引されている。従って、合紙１３の先端部は、負圧吸引力によってベルト２の搬送方向変化部位２ｂに吸着保持された状態で下向きに方向変換するが、ガラス基板１４は継続して水平方向に搬送される。
【００４９】
更に、合紙１３の先端がベルト２の搬送方向変化部位２ｂを通過した場合には、ここでも常時、ベルト２の下方向搬送部位２ｃにおける複数の貫通孔９から、第２箱状体７の外側面壁部７ａに形成された複数の第２スリット１２を通じて、その内部空間（空気吸引部）に空気が吸引されている。従って、図５及び図６に示すように、合紙１３の先端部は、負圧吸引力によってベルト２の下方向搬送部位２ｃに吸着保持された状態で下向きに搬送されるのに対して、ガラス基板１４はベルト２の水平方向搬送部位２ａによって搬送されて、加工ステーションＷの搬送手段Ｃに移載される。そして、合紙１３の後端部がベルト２の下方向搬送部位２ｃを通過した段階で、合紙１３が自重により落下して回収箱等に収納されると共に、ガラス基板１４が搬送手段Ｃに完全に移載されて該搬送手段Ｃの動作により搬送されていく。これにより、合紙１３は、ガラス基板１４から完全に分離されて除去されることになる。
【００５０】
この場合、ベルト２の搬送速度は、合紙１３の先端部がベルト２の搬送方向変化部位２ｂを通過して下方向搬送部位２ｃにより吸着保持されるまでの間は低速度であるのに対して、その後においては高速度となって搬送手段Ｃの搬送速度と同速度になる。そして、ガラス基板１４は、搬送手段Ｃにより高速度で搬送されていく間に、その両側方に設置された研削具等によって、面取り加工等の加工に付される。
【００５１】
尚、上記実施形態は、保護シートとして合紙１３が使用される場合に本発明を適用したものであるが、合紙に代えて、ポリエチレンシートまたは発泡樹脂シート等が使用される場合にも、同様にして本発明を適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明に係る保護シート分離方法及び分離装置は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラスパネルの製作に用いられるガラス基板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス基板から、保護シートを分離して除去する場合に有効利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態に係る保護シート分離装置及びその周辺構造を示す概略平面図である。
【図２】前記保護シート分離装置及びその周辺構造を示す概略側面図である。
【図３】前記保護シート分離装置の単体斜視図である。
【図４】前記保護シート分離装置の構成要素である二個の箱状体及び回転ローラを示す部品分解配列斜視図である。
【図５】前記保護シート分離装置の使用状態を示す概略平面図である。
【図６】前記保護シート分離装置の使用状態を示す概略側面図である。
【図７】図７(a)〜(f)はそれぞれ従来における保護シートの分離手順を順序立てて示す概略図である。
【図８】図８(a)〜(c)はそれぞれ従来における保護シートの分離手順を示す概略平面図である。
【図９】従来の問題点を示す概略側面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  保護シート分離装置
２  ベルト（搬送帯）
２ａ  水平方向搬送部位
２ｂ  搬送方向変化部位
２ｃ  下方向搬送部位
３  回転ローラ
３ｂ  周溝
３ｃ  周溝の底面壁部
６  第１箱状体
６ａ  上面壁部
７  第２箱状体
７ａ  外側面壁部
９  ベルトの貫通孔
１０  回転ローラの貫通孔
１１  第１スリット
１２  第２スリット
１３  合紙（保護シート）
１４  ガラス基板
Ｗ  加工ステーション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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