(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
正極板と負極板をセパレータを介して積層して極板群を形成し、極板群の側縁に集電板を電子ビームを用いて溶接する電池の製造方法であって、極板の乾燥工程と、極板を積層し集電板を組み付ける工程と、集電板を組み付けた極板群を、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の真空室を順次移動させ、その内で電子ビーム照射が可能な真空度となっている真空室で電子ビームにて溶接する工程とを備えたことを特徴とする電池の製造方法。
【請求項２】
集電板を組み付けた極板群を、最も真空度の高い真空室で溶接することを特徴とする請求項１記載の電池の製造方法。
【請求項３】
互いに隣接する真空室において、上位段の真空室の下位段側のゲートを開いて極板群を搬入し、ゲートを閉じて所定の真空度に真空排気し、その後上位段側のゲートを開いて上位段の真空室に向けて極板群を搬出する動作を繰り返して極板群を順次移動させることを特徴とする請求項２記載の電池の製造方法。
【請求項４】
溶接の終わった極板群は、溶接を行う真空室の後段に配設した取り出し用の真空室を介して取り出すことを特徴とする請求項２又は３記載の電池の製造方法。
【請求項５】
少なくとも最下位段の真空室及び取り出し用の真空室の外気側のゲートを開く時には、それらの真空室に乾燥したガスを導入することを特徴とする請求項４記載の電池の製造方法。
【請求項６】
正極板と負極板をセパレータを介して積層して極板群を形成し、極板群の側縁に集電板を電子ビームを用いて溶接する電池の製造装置であって、極板群に集電板を溶接する溶接手段が、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の予備室と、電子ビーム照射が可能な真空度となっている電子ビーム照射手段を配設された加工室と、極板群を真空度の低い低位段の予備室から加工室に向けて順次移載する手段とを備えたことを特徴とする電池の製造装置。
【請求項７】
集電板を溶接した後の極板群を取り出すための後室をさらに有し、
低位段の予備室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプを備え、高位段の予備室の真空排気手段は複合ターボ分子ポンプを備え、後室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプと複合ターボ分子ポンプを備えていることを特徴とする請求項６記載の電池の製造装置。
【請求項８】
集電板を溶接した後の極板群を取り出すための後室をさらに有し、最下位段の予備室と加工室の後室に乾燥したエア又は不活性ガスを導入する手段を設けたことを特徴とする請求項６又は７記載の電池の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は電池の製造方法に関し、特に極板群と集電板を電子ビームにて溶接する電池の製造方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ニッケル水素二次電池として、幅の狭い短側面と幅の広い長側面とを有する上面開口の直方体状の電槽（図示せず）内に、図３に示すような極板群２１を電解液とともに収容し、その電槽の上面開口を蓋体（図示せず）にて一体的に閉鎖したものが提案されている。
【０００３】
上記極板群２１は、図３（ｂ）に詳細に示すように、Ｎｉの発泡メタルから成る複数枚の正極板２２とＮｉのパンチングメタルに水素吸蔵合金粉末をペースト状にした活物質を塗着した複数枚の負極板２３とを交互に配置するとともに、各正極板２２に横方向に開口部を有するポリプロピレン不織布から成る袋状のセパレータ２４を被せることにより、正極板２２と負極板２３の間にセパレータ２４を介装した状態で積層して構成されている。
【０００４】
また、正極板２２群と負極板２３群は、互いに反対側の側縁部が外側に突出されてリード部２２ａ、２３ａが設けられている。リード部２２ａは発泡メタルを加圧して圧縮しかつその一面にリード板を超音波溶接でシーム溶接して構成され、リード部２３ａは活物質の非塗着部にて構成されている。そして、この極板群２１の両側において、各リード部２２ａ、２３ａの側縁に対して垂直にニッケル板又はニッケルメッキ鋼板製の正極の集電板２５と負極の集電板２６が溶接接合されている。
【０００５】
リード部２２ａ、２３ａに対する集電板２５、２６の溶接方法としては、図４及び図５（ａ）、（ｂ）に示すように、電子ビーム３０を用いて溶接する方法が提案されている。集電板２５、２６には、その長手方向適当間隔置きに複数箇所（図示例では７箇所）にリード部２２ａ、２３ａ側に向けて凹凸部２７が設けられるとともに、リード部２２ａ、２３ａの側端縁に接する部分にＮｉロウ等のロウ材２８が添着されており、これら集電板２５、２６をリード部２２ａ、２３ａに向けて加圧した状態で、真空中で集電板２５、２６のリード部２２ａ、２３ａと接する面とは反対側の背面側に電子ビーム３０を照射するとともに、この電子ビーム３０を矢印の如く極板積層方向に走査することにより、集電板２５、２６が加熱されてロウ材２８が溶融し、集電板２５、２６とリード部２２ａ、２３ａの側端縁とが溶接される。この溶接動作は、リード部２２ａ、２３ａの長手方向に適当間隔おきの複数箇所に同時に又は継続的に行われる。なお、リード部２２ａ、２３ａには一対の位置決め穴２９ａが形成され、これに位置決めピン２９を挿通してリード部２２ａ、２３ａの側縁部を一平面に揃え、集電板２５、２６との溶接が適切に行われるようにしている。
【０００６】
ところで、上記極板群２１に対して電子ビーム３０にて集電板２５、２６を溶接する際には、真空排気可能に構成されかつ電子ビーム照射手段が配設された加工室内に集電板２５、２６を組み付けた極板群２１を搬入した後、加工室内を真空排気し、所定の真空度になると電子ビーム３０を照射して集電板２５、２６を溶接し、その後加工室内を大気圧に戻して溶接済みの極板群２１を搬出するとともに、次の極板群２１を搬入するという動作を繰り返している。
【０００７】
また、加工室の前後に溶接加工中に加工室内の真空度まで真空排気する搬入用の予備室と、加工室内の真空度から大気圧に戻す搬出用の後室とを配設したものも考えられる。
【０００８】
なお、特開昭５３−１１４７４８号公報には、同一種構造物の多量生産に供する電子ビーム溶接装置において、同一の構造の複数のチャンバーを並列して配設するとともにサイクル運転可能に構成し、各チャンバーにおける溶接工程に対応して単一の電子ビーム照射手段を順次接続する自動着脱機構を設けたものが開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のように単一の加工室に極板群２１を搬入した後その加工室を所定の真空度まで真空排気する方法では、所定の真空度になるまで長時間を要し、特に極板群２１を構成している正極板２２には水分が多く内在しているため、たとえ真空度を一挙に高くしてもその水分が時間経過とともに徐々に出てくるために一定以上の真空度を達成するには長時間が必要となり、極板群２１を加工室に搬入した後実際に溶接するまでに長い時間を要し、製造効率が極めて悪く、コスト高になって量産に適さないという問題があった。
【００１０】
また、多数の加工室を配設して同時に溶接加工すれば、量産は可能であるが、加工室は高価な設備となり、それを多数並設すると設備費が極めて高くなって同様にコスト高になるという問題がある。
【００１１】
また、加工室の前後に搬入用の予備室と搬出用の後室を配設した場合でも、所定の真空度に高めるのに大部分の時間を必要とするので、製造タクトはやはり長く、例えば３００秒程度であり、量産が可能な５０秒タクト程度まで短縮することはできないという問題がある。
【００１２】
また、上記特開昭５３−１１４７４８号公報に開示された技術は、極板群２１のように水分を多く内在するワークにおいて真空排気に時間を要するという問題について解決手段を与えるものでなく、また高真空に排気可能な高価なチャンバーを複数配設する必要があり、かつ電子ビーム照射手段を各チャンバーに切り換えて接続する必要があるために構造が複雑となり、設備費が高くなってコスト高になるという問題がある。
【００１３】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、極板群と集電板を電子ビームにて溶接する製造工程において、比較的設備費が嵩まずに製造タクトを短くでき、低コストで量産可能な電池の製造方法及び装置を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の電池の製造方法は、正極板と負極板をセパレータを介して積層して極板群を形成し、極板群の側縁に集電板を電子ビームを用いて溶接する電池の製造方法であって、極板の乾燥工程と、極板を積層し集電板を組み付ける工程と、集電板を組み付けた極板群を、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の真空室を順次移動させ、その内で電子ビーム照射が可能な真空度となっている真空室で電子ビームにて溶接する工程とを備えたものであり、予め極板を乾燥させているので、極板群を真空室内に収容してその真空度を高める際に極板に内在する水分が少ないために短時間で真空度を高めることができ、さらに集電板を組み付けた極板群を、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の真空室を順次移動させ、その内で電子ビーム照射が可能な真空室で電子ビームにて溶接することにより、製造タクトを真空室の数に比例して短くすることができ、コスト低下を図って量産することができる。
【００１５】
また、集電板を組み付けた極板群を、最も真空度の高い真空室で溶接すると、隣接する真空室間での真空度の差が小さいので各真空室において短いタクトで所定の真空度が得られ、これら真空室間で極板群を順次移動させることで製造タクトを短くできるとともに溶接に必要な真空度を得るために必要な時間を確保することができ、かつ決まった真空室にて電子ビームにて溶接するため、電子ビーム照射手段を１つの真空室に設けるだけでよく、設備費を低廉化でき、低コストにて製造することができる。
【００１６】
具体的には、互いに隣接する真空室において、上位段の真空室の下位段側のゲートを開いて極板群を搬入し、ゲートを閉じて所定の真空度に真空排気し、その後上位段側のゲートを開いて上位段の真空室に向けて極板群を搬出する動作を繰り返して極板群を順次移動させると、上記のように極板群を隣接する真空室間で能率的に移動させるとともに、各真空室を短時間で所定の真空度にすることができる。
【００１７】
また、溶接の終わった極板群を、溶接を行う真空室の後段に配設した取り出し用の真空室を介して取り出すと、溶接を行った真空室の真空度を低下することなく、外部に取り出すことができるとともに、この取り出し用の真空室には溶接を行う真空室からの極板群しか搬入されず、真空排気時には内部に極板群等が存在しないので、短時間で真空度を高くすることができ、１つの室を設けるだけで上記製造タクトに影響を与えることもない。
【００１８】
また、少なくとも最下位段の真空室及び取り出し用の真空室の外気側のゲートを開く時には、それらの真空室に乾燥したガスを導入すると、水分を含む外気がこれら真空室に侵入し難くでき、それだけ所定の真空度を達成するまでの時間を短くすることができる。
【００１９】
また、電池の製造装置は、正極板と負極板をセパレータを介して積層して極板群を形成し、極板群の側縁に集電板を電子ビームを用いて溶接する電池の製造装置であって、極板群に集電板を溶接する溶接手段が、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の予備室と、電子ビーム照射が可能な真空度となっている電子ビーム照射手段を配設された加工室と、極板群を真空度の低い低位段の予備室から加工室に向けて順次移載する手段とを備えたことを特徴とするものであり、上記製造方法を実施してその作用効果を奏し、比較的設備費が嵩まずに製造タクトを短くでき、低コストで量産することができる。
【００２０】
また、電池の製造装置は、集電板を溶接した後の極板群を取り出すための後室をさらに有し、低位段の予備室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプを備え、高位段の予備室の真空排気手段は複合ターボ分子ポンプを備え、後室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプと複合ターボ分子ポンプを備えていると、１０Ｐａ前後までの低真空度の時に能力を発揮するメカニカルブースタポンプとそれ以上の高真空度になると能力を発揮する複合ターボ分子ポンプのそれぞれの特性を生かして合理的にポンプを配設し、高価なターボ分子ポンプの数を減らして設備費を削減しながら効率的に所定の真空度を達成することができる。
【００２１】
また、最下位段の予備室と後室に乾燥したエア又は不活性ガスを導入する手段を設けると、水分を含む外気がこれらの室に侵入し難くでき、それだけ所定の真空度を達成するまでの時間を短くすることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の電池の製造方法の一実施形態について、図１、図２を参照して説明する。なお、製造すべき極板群の構成と、集電板の溶接工程の具体構成は、図３〜図５を参照して説明した従来例と同様であり、その説明を援用してここでの説明は省略し、本実施形態の要部である製造工程についてのみ説明する。
【００２３】
電池の製造工程の内、極板群を組み立ててその両側縁に正極と負極の集電板を溶接する工程を示す図１において、まず、正極板工程で製造された正極板を、内在している水分をできるだけ除去するために極板乾燥工程１に供給し、４５℃で、１２時間以上乾燥を行って内在している水分の大部分を除去する。次に、負極板工程で製造された負極板と、上記乾燥された正極板を治具組工程２に供給し、治具上で正極板と負極板をセパレータを介して積層して極板群を形成し、治具にて互いに反対側の側縁に突出された正極板群の側縁と負極群の側縁をそれぞれ一平面に揃えるとともにその上に正極と負極の集電板を組み付ける。
【００２４】
次に、まず負極板群の側縁と集電板の溶接を行うように治具の姿勢をセットした状態で、治具を第１予備室３に供給する。この第１予備室３は、図２に示すように、開閉弁４を介して１段のメカニカルブースタポンプ５が接続され、大気圧から略１０Ｐａ程度の真空度になるまで真空排気するように構成されている。メカニカルブースタポンプ５の排気側には大きな排気量に対応するために一対のロータリポンプ６が接続されている。また、第１予備室３を大気圧に戻す際に内部を乾燥雰囲気に維持するために、ドライエア供給手段７が接続されている。なお、ドライエア供給手段７はドライエアに代えて乾燥した窒素ガス、ヘリウムガスなどの不活性ガスを用いることもできる。また、第１予備室３は治具組工程２側の入口と後続側の出口がゲート８にて気密状態で開閉可能に構成されており、以下の各室も同様に入口と出口がゲート８にて気密状態で開閉可能に構成されている。
【００２５】
そして、第１予備室３内にドライエアを注入して大気圧に戻した後、入口側のゲート８を開いて治具を搬入し、その後ゲート８を閉じ、ポンプ５、６を作動して開閉弁４を開き、第１予備室３内を所定の略１０Ｐａ程度になるまで真空排気する。
【００２６】
次に、治具をより真空度の高い第２予備室９に移動させる。第２予備室９には、開閉弁４を介して２段にメカニカルブースタポンプ５が接続され、圧力が略１０Ｐａから略４Ｐａ程度の真空度になるまで真空排気するように構成されている。メカニカルブースタポンプ５の排気側には一対のロータリポンプ６が接続され、またドライエア供給手段７が接続されている。
【００２７】
そして、第２予備室９内にドライエアを注入して圧力を略１０Ｐａに戻した後、第１予備室３との間の入口側のゲート８を開いて治具を搬入し、その後ゲート８を閉じ、ポンプ５、６を作動して開閉弁４を開き、第２予備室９内を略４Ｐａ程度になるまで真空排気する。
【００２８】
以下、同様に治具をより真空度の高い第３予備室１０、第４予備室１１に順次移動させる。これら第３、第４予備室１０、１１には、開閉弁４を介して複合ターボ分子ポンプ１２が接続され、その排気側にメカニカルブースタポンプ５とロータリポンプ６が直列に接続され、またドライエア供給手段７が接続されている。
【００２９】
そして、第３予備室１０内の圧力を第２予備室９内の圧力４Ｐａに戻した後、入口側のゲート８を開いて治具を搬入し、その後ゲート８を閉じ、ポンプ１２、５、６を作動して開閉弁４を開き、第３予備室１０を略１．４Ｐａ程度になるまで真空排気する。次いで、第４予備室１１内の圧力を第３予備室１０内の圧力１．４Ｐａに戻した後、入口側のゲート８を開いて治具を搬入し、その後ゲート８を閉じ、ポンプ１２、５、６を作動して開閉弁４を開き、第４予備室１１を１．０Ｐａ程度になるまで真空排気する。
【００３０】
次に、治具を第４予備室１１から加工室１３に移動させる。加工室１３には  集電板を極板群の側縁に溶接する電子ビーム照射手段が配設されている。また、加工室１３も、開閉弁４を介して複合ターボ分子ポンプ１２が接続され、その排気側にメカニカルブースタポンプ５とロータリポンプ６が直列に接続され、またドライエア供給手段７が接続されている。
【００３１】
そして、第４予備室１１が略１．０Ｐａ程度の真空度になると、入口側のゲート８を開いて治具を加工室１３に搬入し、ゲート８を閉じた後、電子ビーム照射手段にて集電板の所定の溶接箇所に電子ビームを照射して溶接する。この電子ビームの溶接は、１．３３Ｐａ程度の真空度が必要であるが十分な真空度が確保された状態で溶接が行われる。なお、ドライエア供給手段７は加工室１３内を乾燥した雰囲気に保持するために使用され、適宜乾燥したガスを導入するとともに真空排気することによって所定の真空度が維持される。
【００３２】
極板群に対して集電板の溶接が終了すると、治具を後室１４に移動させる。後室１４には、適宜切り換え可能な一対の開閉弁４を介してメカニカルブースタポンプ５と複合ターボ分子ポンプ１２とが接続され、メカニカルブースタポンプ５の排気側には一対のロータリポンプ６が接続され、さらに複合ターボ分子ポンプ１２の排気側は上記メカニカルブースタポンプ５に接続されている。また、後室１４にはドライエア供給手段７が接続されている。
【００３３】
そして、後室１４内をメカニカルブースタポンプ５と一対のロータリポンプ６にて４Ｐａ程度まで真空排気した後、連続して複合ターボ分子ポンプ１２にて略１．０Ｐａ程度まで真空排気する。その際、後室１４には治具や極板群が存在していないので、短時間で所定の真空度まで真空排気することができる。次いで、入口側のゲート８を開いて治具を搬入し、そのゲート８を閉じる。その後、ドライエア供給手段７にてドライエアを注入してドライエア雰囲気で圧力を大気圧まで戻し、出口側のゲート８を開いて治具を搬出し、その後ゲート８を閉じる。
【００３４】
以上の工程を順次繰り返すことによって、極板群における負極板群の側縁に集電板が順次溶接されて後室１４から搬出される。搬出された治具は、反転機１５に供給されて次に極板群における正極板群の側縁に集電板を溶接するように治具の姿勢が反転され、正極側の集電板を溶接するための第１予備室１６に搬入され、以下上記負極板の場合と同様に、第２予備室１７、第３予備室１８を経て順次真空度を高めて加工室１９に移動され、加工室１９で溶接加工が行われた後、後室２０を介して排出され、後続する工程に供給される。
【００３５】
なお、上記実施形態では、ドライエア供給手段７をすべての室に設けた例を示したが、外部に対して治具を搬入・搬出するために外部に開放される第１予備室３と後室１４に設けるだけでもよい。しかし、全ての室に設けると各室で発生した水分を直ちにドライエアに置換するので乾燥状態を維持して真空度の達成時間を短くすることができ、またゲート８を開いた時の圧力変動を無くすことができる。
【００３６】
以上の実施形態によれば、極板乾燥工程１で極板を乾燥させているので、第１〜第４予備室３、９〜１１内に極板群を収容してその真空度を高める際に短時間で真空度を高めることができる。また、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の予備室３、９〜１１を順次移動させ、最も真空度の高い加工室１３で溶接するようにしているので、隣接する予備室間での真空度の差が小さく、各予備室において短いタクトで所定の真空度が得られる。従って、これら予備室３、９〜１１間で極板群を順次移動させることで製造タクトを短くできるとともに、予備室３、９〜１１を順次移動することで溶接に必要な真空度を得るために必要な時間を確保することができ、かつ決まった加工室１３にて電子ビームにて溶接するため、高価な電子ビーム照射手段を加工室１３のみに設けるだけでよく、設備費を低廉化でき、低コストにて製造することができる。
【００３７】
また、溶接の終わった極板群を後室１４を介して取り出すようにしているので、加工室１３の真空度を低下することなく外部に取り出すことができ、しかもその後室１３は短時間で真空度を高くすることができ、１つの室を設けるだけで上記製造タクトに影響を与えることもない。
【００３８】
また、少なくとも第１予備室３と後室１４にドライエア供給手段７を設けて外気側のゲート８を開く時に乾燥したガスを導入するようにしているので、水分を含む外気がこれら真空室に侵入し難くでき、それだけ所定の真空度を達成するまでの時間を短くすることができる。
【００３９】
また、第１、第２予備室３、９の真空排気手段には空気が流体の時に能力を発揮するメカニカルブースタポンプ５を、第３、第４予備室１０、１１の真空排気手段には空気が分子レベルになると能力を発揮する複合ターボ分子ポンプ１２を、後室１４の真空排気手段にはメカニカルブースタポンプ５と複合ターボ分子ポンプ１２を配設し、高価な複合ターボ分子ポンプ１２の数を減らしているので、設備費を削減しながら効率的に所定の真空度を達成することができる。
【００４０】
【発明の効果】
本発明の電池の製造方法によれば、極板の乾燥工程と、極板を積層し集電板を組み付ける工程と、集電板を組み付けた極板群を、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の真空室を順次移動させ、その内で電子ビーム照射が可能な真空度となっている真空室で電子ビームにて溶接する工程とを備えているので、極板に内在する水分が少ないために短時間で真空度を高めることができ、さらに集電板を組み付けた極板群を、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の真空室を順次移動させ、その内で電子ビーム照射が可能な真空室で電子ビームにて溶接することにより、製造タクトを真空室の数に比例して短くすることができ、コスト低下を図って量産することができる。
【００４１】
特に、集電板を組み付けた極板群を、最も真空度の高い真空室で溶接すると、隣接する真空室間での真空度の差が小さいので各真空室において短いタクトで所定の真空度が得られ、これら真空室間で極板群を順次移動させることで製造タクトを短くできるとともに溶接に必要な真空度を得るために必要な時間を確保することができ、かつ決まった真空室にて電子ビームにて溶接するため、電子ビーム照射手段を１つの真空室に設けるだけでよく、設備費を低廉化でき、低コストにて製造することができる。
【００４２】
また、溶接の終わった極板群を、溶接を行う真空室の後段に配設した取り出し用の真空室を介して取り出すと、溶接を行った真空室の真空度を低下することなく、外部に取り出すことができるとともに、この取り出し用の真空室は真空排気時に内部に極板群等が存在しないために短時間で真空度を高くすることができ、１つの室を設けるだけで上記製造タクトに影響を与えることもない。
【００４３】
また、少なくとも最下位段の真空室及び取り出し用の真空室の外気側のゲートを開く時には、それらの真空室に乾燥したガスを導入すると、水分を含む外気がこれら真空室に侵入し難くでき、それだけ所定の真空度を達成するまでの時間を短くすることができる。
【００４４】
また、本発明の電池の製造装置によれば、真空度が順次高くなるように連続して配設された複数段の予備室と、電子ビーム照射が可能な真空度となっている電子ビーム照射手段を配設された加工室と、極板群を真空度の低い低位段の予備室から加工室に向けて順次移載する手段とを備えているので、上記製造方法を実施してその作用効果を奏し、比較的設備費が嵩まずに製造タクトを短くでき、低コストで量産することができる。
【００４５】
また、電池の製造装置は、集電板を溶接した後の極板群を取り出すための後室をさらに有し、低位段の予備室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプを備え、高位段の予備室の真空排気手段は複合ターボ分子ポンプを備え、後室の真空排気手段はメカニカルブースタポンプと複合ターボ分子ポンプを備えていると、高価なターボ分子ポンプの数を減らして設備費を削減しながら効率的に所定の真空度を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態の電池の製造方法の工程説明図である。
【図２】同実施形態における予備室、加工室及び後室の真空排気系の構成と各室における真空度の説明図である。
【図３】同実施形態における極板群の構成を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図４】極板群と集電板の溶着工程の斜視図である。
【図５】同溶着工程を示し、（ａ）は要部の正面図、（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１  極板乾燥工程
２  治具組工程
３、１６  第１予備室
５  メカニカルブースタポンプ
７  ドライエア供給手段
８  ゲート
９、１７  第２予備室
１０、１８  第３予備室
１１  第４予備室
１２  複合ターボ分子ポンプ
１３、１９  加工室
１４、２０  後室
【図１】
0004732562.tif 000002
【図２】
0004732562.tif 000003
【図３】
0004732562.tif 000004
【図４】
0004732562.tif 000005
【図５】
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