(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、
前記検査ユニットのベースには、当該ベース上を前記表示パネルの辺方向と直交する方向に移動可能なスライダと、前記検査用電極が固定される固定ブロックとが設けられ、
前記スライダには、加圧シリンダに接続されて当該加圧シリンダの動作に基づき回動して所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる加圧レバーが設けられ、
前記スライダが前記加圧レバーと共に前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に移動して前記加圧レバーが前記固定ブロックに対して後退することで、該加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動する
ことを特徴とするパネル検査装置。
【請求項２】
前記固定ブロックの上端部は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾する傾斜状に形成され、当該固定ブロックの上端部には、前記検査用電極が前記所定の傾斜角度で固定されることを特徴とする請求項１記載のパネル検査装置。
【請求項３】
前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、
前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続されることを特徴とする請求項１記載のパネル検査装置。
【請求項４】
前記位置決め手段には、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手段がさらに設けられていることを特徴とする請求項３記載のパネル検査装置。
【請求項５】
前記加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、
前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のパネル検査装置。
【請求項６】
前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されていることを特徴とする請求項５記載のパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパネル検査装置に係り、詳しくはＰＤＰ等の平面表示ディスプレイに用いられる表示パネルの電極に対して検査用電極を接触させて表示パネルの検査を行うパネル検査装置に関するものである。
【０００２】
近年、表示装置の発展は目覚ましく、特に平面ディスプレイは薄型・軽量などの特徴から急速に普及してきた。プラズマ・ディスプレイ・パネル(PDP: Plasma Display Panel)は大型画面の表示装置として従来の背面投射型ディスプレイ（ＣＲＴ）に代わる次世代の平面表示ディスプレイである。
【０００３】
ＰＤＰ等の表示パネルは、表示装置として組み立てる前に、パネル単体での表示電極端子列の良否検査や、表示素子の全点灯検査等が行われる。それら検査のために、表示パネルの電極に対して駆動回路から検査用信号を供給するための検査用電極を精度良く接触させる必要がある。
【０００４】
【従来の技術】
図１１は、従来のパネル検査装置を示す概略図である。
同図に示すように、表示パネル、例えば、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ PDP:Plasma Display Panel）等のガラス製のパネル７１には、複数の電極（以下、ＰＤＰ電極）７２が形成されている。ＰＤＰ電極７２は、ＰＤＰパネル７１の辺上に沿って所定の電極幅及び電極ピッチにて形成されるとともに所定数毎に一定の間隔で離間して形成され、複数（図では例えば３つ）のＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃを構成している。
【０００５】
パネル検査装置８１には、加圧機構を有する複数の検査ユニット８２ａ〜８２ｃが上記複数のＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃに対応して設けられている（図では、例えば３つのＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃに対応して３つの検査ユニット８２ａ〜８２ｃが設けられている）。各検査ユニット８２ａ〜８２ｃには、それぞれ検査用電極８３ａ〜８３ｃが備えられている。つまり、パネル検査装置８１には、検査用電極８３ａ〜８３ｃをそれぞれ備えた検査ユニット８２ａ〜８２ｃがＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃ毎に独立して設けられている。
【０００６】
各検査ユニット８２ａ〜８２ｃは、それぞれ上部加圧レバー８４と下部加圧レバー８５とを有した加圧機構であって、それらの加圧面にはそれぞれ弾性体８６が取着されている。そして、検査ユニット８２ａ〜８２ｃは、その加圧機構によりＰＤＰパネル７１と検査用電極８３ａ〜８３ｃとを挟み込み、該検査用電極８３ａ〜８３ｃを対応するＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃに接触させる。
【０００７】
図１２は、検査ユニット８２ａの検査用電極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気的に接続した状態を示す概略側面図である。
パネル検査装置８１には、ＰＤＰパネル７１に対して検査用の電気信号を供給するための駆動回路８７が該パネル７１の裏面側（図ではパネル７１の下側）にて固定されている。この駆動回路８７は、検査用電極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気的に接続するためのフィルム基板等よりなる配線基板８８を有している。
【０００８】
そして、図１２に示すように、配線基板８８をＰＤＰパネル７１及び検査用電極８３ａとともに挟み込むことにより、ＰＤＰ電極群７２ａに対して駆動回路８７から電気信号が供給され、パネル点灯検査等の所定の検査が行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＰＤＰ等のパネル検査装置８１において、ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃと検査用電極８３ａ〜８３ｃとの位置合わせは、ＰＤＰパネル７１上に設けられた通常１又は２ヶ所のアライメントマークを基準として行われる。つまり、ＰＤＰパネル７１上のアライメントマークに基づいて位置決めされた各検査ユニット８２ａ〜８２ｃは、それぞれの検査用電極８３ａ〜８３ｃとＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃとを接触させる。
【００１０】
しかしながら、近年、ＰＤＰ等の表示パネルは大型化されてきている。そのため、パネル製造工程における電極加工工程での熱処理の影響で、パネル自体に反りが発生し、ＰＤＰ電極７２の電極ピッチが設計時の寸法から大きくずれる場合がある。電極ピッチのずれは、アライメントマークから離れた位置に形成されるＰＤＰ電極７２ほど顕著に現れ、これにより各ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃと検査用電極８３ａ〜８３ｃとの位置合わせはより困難なものとなっていた。
【００１１】
そこで、従来のパネル検査装置８１では、上記のようなパネルの反りに対応するため、図１１に示すように、各検査ユニット８２ａ〜８２ｃの上下加圧レバー８４，８５がパネル７１の厚み方向（同図に示す矢印方向）に移動可能に構成されている。
【００１２】
ところが、各ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃはパネル７１の反りにともなって円弧状に変位するため、それら全ての電極群７２ａ〜７２ｃに検査用電極８３ａ〜８３ｃを均一に接触させるには、非常に大きな加圧力によってパネル７１の反りを矯正させる必要がある。このように、パネル７１に対して大きな圧力を加えることは、検査用電極８３ａ〜８３ｃの短寿命化や、パネル検査の非正確性の要因となっていた。
【００１３】
また、従来のパネル検査装置８１では、各ＰＤＰ電極群７２ａ〜７２ｃ間のピッチが異なるパネルに対応するためには、各検査ユニット８２ａ〜８２ｃの連結部分を調整する必要があり、その調整作業が煩雑なものとなっていた。その結果、パネルサイズの変更時において、その調整作業に多大な時間を要していた。
【００１４】
さらに、従来では、上記したように検査用電極８３ａとＰＤＰ電極群７２ａとを電気的に接続する配線基板８８が挟み込まれるため（図１２参照）、その加圧時に配線基板８８自身の断線等を引き起こしていた。
【００１５】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度に接触させ得るパネル検査装置を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、前記検査ユニットのベースには、当該ベース上を前記表示パネルの辺方向と直交する方向に移動可能なスライダと、前記検査用電極が固定される固定ブロックとが設けられ、前記スライダには、加圧シリンダに接続されて当該加圧シリンダの動作に基づき回動して所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる加圧レバーが設けられ、前記スライダが前記加圧レバーと共に前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に移動して前記加圧レバーが前記固定ブロックに対して後退することで、該加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動する。従って、検査用電極と電極群との接触具合を視認可能とすることができ、これにより高精度に両電極を接触させることができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明では、前記固定ブロックの上端部は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾する傾斜状に形成され、当該固定ブロックの上端部には、前記検査用電極が前記所定の傾斜角度で固定される。これにより、両電極の接触時におけるワイピング効果（酸化膜除去効果）が高められ、当該両電極の安定した接触性を得ることができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明では、前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、それら複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続される。これにより、複数の検査ユニットは、前記複数の位置決め手段を介して治具と接続されることで、前記複数の電極群に対応した位置に位置決めされる。
【００１９】
請求項４に記載の発明では、前記位置決め手段に設けられた調整手段により、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整可能とした。これにより、表示パネルの辺方向に沿った複数の検査ユニットの位置合わせをさらに高精度に行うことができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明では、前記加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えた。
請求項６に記載の発明では、前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されている。
請求項５及び請求項６に記載の発明によれば、検査用電極と電極群との接触具合の確認時には、該検査用電極が電極群に対して接触保持される加圧力で押し下げられるため、検査用電極が損傷することはない。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、例えばプラズマ・ディスプレイ・パネル(以下、PDP: Plasma Display Panel)のパネル検査装置に具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。
【００２５】
図１は、本実施形態のパネル検査装置を示す平面図である。
パネル検査装置１１にはステージ２１が設けられ、そのステージ２１には被試験パネルとしてのＰＤＰ等の表示パネル（以下、ＰＤＰパネル）２２が吸着機構等の固定手段（図示略）によって所定の位置に固定されている。
【００２６】
ＰＤＰパネル２２の所定の複数辺には、それぞれ複数の電極（以下、ＰＤＰ電極）２３が各辺に沿って形成されている。尚、説明の都合上、以下では、１つの辺に沿って形成された電極２３について説明する。
【００２７】
ＰＤＰ電極２３は、所定の電極幅及び電極ピッチにて形成されるとともに、所定数毎に一定の間隔を空けて形成され、複数（本実施形態では６つ）の電極群（以下、ＰＤＰ電極群）２３ａ〜２３ｆを構成している。つまり、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆは、１つの辺に沿って互いに所定の間隔（電極群ピッチ）で離間されて形成されている。
【００２８】
このように構成されるＰＤＰパネル２２に対して、パネル検査装置１１には、加圧機構を有した複数（本実施形態では６つ）の検査ユニット２４ａ〜２４ｆが該パネル２２に形成された複数のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆに対応して設けられている。
【００２９】
各検査ユニット２４ａ〜２４ｆには、それぞれ検査用電極２５ａ〜２５ｆが備えられている。尚、本実施形態において、検査用電極２５ａ〜２５ｆには、可撓性を有する、例えばフレキシブルプリント基板(FPC： Flexible Print Circuit)が使用される。検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、ＰＤＰパネル２２上に形成される複数のアライメントマーク（図示略）を基準として各検査用電極２５ａ〜２５ｆと、それらに対応するＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆとの位置合わせを行う。そして、検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、その加圧機構により検査用電極２５ａ〜２５ｆとＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆとを接触させることで、後述する駆動回路から出力される検査用信号が該検査用電極２５ａ〜２５ｆを介して各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆからＰＤＰパネル２２に供給される。
【００３０】
パネル検査装置１１には、ＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って第１レール２６が敷設され、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、該第１レール２６に沿って双方向（図１に示す矢印Ａ方向）に移動可能に設けられている。
【００３１】
また、パネル検査装置１１には、所定の長さを有する棒状の治具２７が第１レール２６に対して平行にキャッチブロック２８，２９にて支持されている。この治具２７は、キャッチブロック２８，２９に対して着脱可能である。
【００３２】
治具２７には、位置決め手段としての複数の接続ブロック３０ａ〜３０ｆが所定の間隔毎に取着されている。詳しくは、接続ブロック３０ａ〜３０ｆは、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極群ピッチに対応した位置にて治具２７に予め取着されるものであり、本実施形態では、６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆに対応して６つの接続ブロック３０ａ〜３０ｆが設けられている。即ち、治具２７は、ＰＤＰパネル２２の一つの辺に形成されるＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極群数、さらには電極群ピッチに対応した所定ピッチ毎に接続ブロック３０ａ〜３０ｆを有している。
【００３３】
各接続ブロック３０ａ〜３０ｆには、該接続ブロック３０ａ〜３０ｆと検査ユニット２４ａ〜２４ｆとをそれぞれ連結するキャッチクリップ３１ａ〜３１ｆが取着されている。そして、検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、それらキャッチクリップ３１ａ〜３１ｆを介して、上記治具２７に予め取着される接続ブロック３０ａ〜３０ｆと連結固定されている。
【００３４】
また、各キャッチクリップ３１ａ〜３１ｆは、各接続ブロック３０ａ〜３０ｆが有する調整手段としての微調整用ネジ３２ａ〜３２ｆにて、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆをキャッチする位置をＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って若干調整可能に形成されている。これにより、接続ブロック３０ａ〜３０ｆと連結された各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極群ピッチに合わせてＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って微調整可能である。
【００３５】
図２は、パネル検査装置１１の拡大平面図であって、上記キャッチブロック２８の周辺を拡大して示したものである。
パネル検査装置１１には、上記ＰＤＰパネル２２の辺方向と直交する方向に沿って複数の第２レール３３が敷設され、その第２レール３３に沿って双方向（図２に示す矢印Ｂ方向）に移動可能にベース部材３４が支持されている。このベース部材３４は、第１レール２６に沿った方向、即ちＰＤＰパネル２２の辺方向（図２に示す矢印Ａ方向）に沿って移動不能である。そして、ベース部材３４の双方向の移動は、それぞれアブソーバ３５又はストッパ３６により規制される。また、ベース部材３４がＰＤＰパネル２２に近接する時の移動速度がアブソーバ３５により制御される。
【００３６】
ベース部材３４には、スライドブロック３７がＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って双方向（図２に示す矢印Ａ方向）に移動可能に支持され、そのスライドブロック３７は、上記治具２７の一端部を支持するキャッチブロック２８に取着されている。つまり、治具２７とスライドブロック３７とは、キャッチブロック２８により連結固定されている。
【００３７】
スライドブロック３７はアライメント用モータ３８を有し、該モータ３８の回転軸３８ａには偏心カム３９が軸着されている。この偏心カム３９には、スライドブロック３７に設けられたカムフォロア４０が当接されている。さらに、スライドブロック３７は、ベース部材３４に設けられたスプリング４１によって、図２に示す矢印Ａの右方向に付勢されている。
【００３８】
従って、アライメント用モータ３８の回転軸３８ａが回転されると、偏心カム３９によってカムフォロア４０が図２に示す矢印Ａの左方向に移動する。すると、スライドブロック３７及びそのスライドブロック３７に連結された治具２７が同じく矢印Ａの左方向に移動する。その結果、図１に示す各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、第１レール２６に沿って同図に示す矢印Ａの左方向に同一の変位量で移動する。
【００３９】
また、上記したように、スライドブロック３７は、スプリング４１によって図２に示す矢印Ａの右方向に付勢されている。従って、アライメント用モータ３８の回転軸３８ａがさらに回転すると、カムフォロア４０は偏心カム３９から離間せずに該偏心カム３９の回転に基づいて矢印Ａの右方向に移動する。その結果、図１に示す各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、第１レール２６に沿って同図に示す矢印Ａの右方向に同一の変位量で移動する。
【００４０】
このようにして、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、アライメント用モータ３８による偏心カム３９の回転に基づきＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って第１レール２６上を各検査ユニット２４ａ〜２４ｆ間のピッチを維持したまま移動する。つまり、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは同一の変位量で移動するので、ＰＤＰパネル２２の辺方向の位置ずれに対応した位置合わせが容易に可能となる。
【００４１】
次に、パネルサイズを変更する際のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆと検査ユニット２４ａ〜２４ｆとの位置合わせを行う場合について図３〜図５に従って説明する。
【００４２】
図３に示すＰＤＰパネル２２は、その一辺の長さ（幅又は高さ）がＬ１であって、所定の電極幅及び電極ピッチ（図示略）で構成される６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆが電極群ピッチＰ１を有して形成されている。
【００４３】
このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネル２２に対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び電極群ピッチＰ１に対応した位置に接続ブロック３０ａ〜３０ｆを有した治具２７が準備される。従って、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、治具２７の各接続ブロック３０ａ〜３０ｆにより、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び電極群ピッチＰ１に対応した位置に位置決めされて連結される。
【００４４】
図４に示すＰＤＰパネル２２ａは、その一辺の長さ（幅又は高さ）がＬ２（Ｌ２＜Ｌ１）であって、所定の電極幅及び電極ピッチ（図示略）で構成される６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆが電極群ピッチＰ２（Ｐ２＜Ｐ１）を有して形成されている。尚、ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆを構成する電極幅及び電極ピッチは、上記図３のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆのそれらと同一である。
【００４５】
このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネル２２ａに対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び電極群ピッチＰ２に対応した位置に接続ブロック３０ａ〜３０ｆを有した治具２７ａが準備され、上記図３に示す治具２７と交換される。この際、パネル２２ａは、電極群ピッチＰ２（＜Ｐ１）で構成されているため、治具２７ａにおける各接続ブロック３０ａ〜３０ｆ間のピッチは、上記治具２７におけるそれらのピッチに比べて短く設定される（即ち、電極群ピッチＰ２に対応したピッチに設定される）。
【００４６】
これにより、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、治具２７ａの各接続ブロック３０ａ〜３０ｆに連結され、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆ及び電極群ピッチＰ２に対応した位置に位置決めされる。
【００４７】
図５に示すＰＤＰパネル２２ｂは、その一辺の長さ（幅又は高さ）がＬ３（Ｌ３＜Ｌ２＜Ｌ１）であって、所定の電極幅及び電極ピッチ（図示略）で構成される５つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅが電極群ピッチＰ２（Ｐ２＜Ｐ１）を有して形成されている。尚、ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅを構成する電極幅及び電極ピッチ、電極群ピッチＰ２は、上記図４に示すＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅのそれらと同一である。
【００４８】
このようなパネルサイズを持つＰＤＰパネル２２ｂに対応して、各ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ及び電極群ピッチＰ２に対応した位置に接続ブロック３０ａ〜３０ｅを有した治具２７ｂが準備され、上記図４に示す治具２７ａと交換される。この治具２７ｂは、ＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅに対応する接続位置に固定された接続ブロック３０ａ〜３０ｅと、それらと離間した非接続位置に固定された接続ブロック３０ｆを有する。ここで、治具２７ｂの各接続ブロック３０ａ〜３０ｅ間のピッチは、パネル２２ｂのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ及び電極群ピッチＰ２が上記図４に示すパネル２２ａのそれらと同様であるため、治具２７ａの各接続ブロック３０ａ〜３０ｅ間のピッチと同じ値に設定される。
【００４９】
つまり、図５に示すように、検査ユニット２４ａ〜２４ｅは各接続ブロック３０ａ〜３０ｅに連結固定され、パネル２２ｂに形成された５つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅと対応する配置に設置される。そして、検査ユニット２４ｆは、接続ブロック３０ｆに連結固定され、パネル２２ｂとの非接触位置に退避させられる。尚、接続ブロック３０ｆは、治具２７ｂから抜脱させてもよい。
【００５０】
これにより、各検査ユニット２４ａ〜２４ｅは、治具２７ｂの各接続ブロック３０ａ〜３０ｅと連結され、予めＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｅ及び電極群ピッチＰ２に対応した位置に位置決めされる。そして、検査ユニット２４ｆは接続ブロック３０ｆと連結され、ＰＤＰパネル２２ｂとの非接触位置に位置決めされる。
【００５１】
次に、検査ユニット２４ａの構成を図６〜図８に従って説明する。尚、説明の都合上、以下では、検査ユニット２４ａの構成について説明するが、他の検査ユニット２４ｂ〜２４ｆも同様に構成されている。
【００５２】
図６に示すように、パネル検査装置１１（図１参照）には、位置測定手段としてのカメラ４２が設けられている。このカメラ４２は、検査ユニット２４ａが備える検査用電極２５ａと、ＰＤＰパネル２２に形成されたＰＤＰ電極群２３ａとが接触した状態での両電極２３ａ，２５ａ同士の重なり具合を測定するために設けられている。
【００５３】
また、図７に示すように、ＰＤＰパネル２２を吸着機構等によって載置固定するステージ２１の裏面（図では、ステージ２１の下側）には、上記したように、ＰＤＰパネル２２を検査するための検査用信号を供給する駆動回路４３が設けられている。駆動回路４３は、ＰＤＰパネル２２に形成されたＰＤＰ電極群２３ａと検査ユニット２４ａが備える検査用電極２５ａとを電気的に接続するためのフィルム状配線基板（以下、フィルム基板）４４を備えている。このフィルム基板４４は、ＰＤＰパネル２２と駆動回路４３とを接続し得る長さを有している。
【００５４】
このため、検査ユニット２４ａには、検査用電極２５ａと駆動回路４３のフィルム基板４４とを中継する中継基板として中継用フィルム基板（以下、中継フレキ）４５が備えられ、該中継フレキ４５は検査用電極２５ａと一体に接続されている。そして、中継フレキ４５とフィルム基板４４とは、それらとの接触面にて弾性絶縁体を有するバネ性の中継クリップ４６により接続される。これにより、駆動回路４３から出力される検査用信号は、フィルム基板４４、中継フレキ４５、検査用電極２５ａ、及びＰＤＰ電極群２３ａを介してＰＤＰパネル２２に供給される。
【００５５】
検査ユニット２４ａは、第１レール２６上をＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って双方向に移動可能なベース５１を備え、このベース５１は上記キャッチクリップ３１ａを介して接続ブロック３０ａに接続される。
【００５６】
ベース５１には、ＰＤＰパネル２２の辺方向と直交する方向に移動可能なスライダ５２と、該スライダ５２を駆動する駆動シリンダ５３と、検査用電極２５ａ及び中継フレキ４５を固定する固定ブロック５４とが設けられている。図６及び図７に示すように、この固定ブロック５４は、その上端部がＰＤＰパネル２２側に向かって前傾する傾斜状に形成され、検査用電極２５ａを水平面に対して所定の傾斜角度を有する状態で固定する。
【００５７】
スライダ５２には、回動軸５５が該スライダ５２に対し回転不能に支持され、その回動軸５５には、支点ブロック５６が図８に示す矢印Ｃ方向に回動可能に支持されている。この支点ブロック５６には、検査用電極２５ａの上面を加圧する上部加圧レバー５７ａと、検査用電極２５ａの下面を加圧する下部加圧レバー５７ｂとが設けられ、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの先端部にはそれぞれ弾性体５８ａ，５８ｂが取着されている。また、図８に示すように、下部加圧レバー５７ｂの先端部下方は一部切り欠かれており、上記中継フレキ４５の通過経路５９が設けられている。
【００５８】
図６に示すように、上部加圧レバー５７ａは回動軸６０ａに回動可能に支持され、下部加圧レバー５７ｂは回動軸６０ｂに回動可能に支持されている。また、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの基端部には、加圧シリンダ６１が接続されている。そして、上部加圧レバー５７ａ、下部加圧レバー５７ｂ、及び加圧シリンダ６１とにより平行リンク機構が構成され、該加圧シリンダ６１により各加圧レバー５７ａ，５７ｂが駆動され回動する。
【００５９】
詳述すると、加圧シリンダ６１により各加圧レバー５７ａ，５７ｂの基端部が互いに遠ざかる方向に移動するとき、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、検査用電極２５ａの上下面を加圧する方向に回動する。逆に、加圧シリンダ６１により各加圧レバー５７ａ，５７ｂの基端部が互いに近づく方向に移動するとき、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、検査用電極２５ａを非加圧する方向（検査用電極２５ａから離間する方向）に回動する。そして、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを加圧する際の加圧面の上下方向の位置は、加圧シリンダ６１の上下方向の移動に基づいて調整される。
【００６０】
上記支点ブロック５６の後方（加圧シリンダ６１側）には、該支点ブロック５６の回動を規制する回動規制手段としての回動規制板６２が設けられている。この回動規制板６２は、加圧シリンダ６１により各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを非加圧する方向（検査用電極２５ａから離間する方向）に回動したときに、支点ブロック５６の回動（図８に示す矢印Ｃ方向の回動）を規制する。
【００６１】
詳述すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａから離間する方向に回動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが回動規制板６２に当接し、支点ブロック５６の回動が規制される。逆に、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを加圧する方向に回動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが回動規制板６２から離間し、支点ブロック５６は回動可能となる。従って、この状態では、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、図８に示す矢印Ｃ方向に回動可能となる。
【００６２】
このような回動規制板６２を設けることで、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａから離間する方向に回動したときには、支点ブロック５６が回動不能となるため、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの先端部によりパネル２２を損傷することが防止される。一方、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが検査用電極２５ａを加圧する方向に回動したときには、支点ブロック５６が回動可能となるため、パネル２２の歪みに対して各レバー５７ａ，５７ｂを追従可能とする構成にすることができる。
【００６３】
上部加圧レバー５７ａには、回動量調節手段としてのストッパボルト６３が設けられている。このストッパボルト６３は、検査用電極２５ａ上面を加圧する方向への上部加圧レバー５７ａの回動量を調節する。詳しくは、図６に示すように、ストッパボルト６３が固定ブロック５４の上部に当接して、上部加圧レバー５７ａの回動量が規制される。そして、後述するように、このストッパボルト６３により上部加圧レバー５７ａの加圧方向の回動量を調節することにより、検査用電極２５ａの押し下げ量が決定される。
【００６４】
次に、このように構成される検査ユニット２４ａの作用を説明する。
上記したように、検査ユニット２４ａは、ＰＤＰ電極群２３ａに対応して予め位置決めされて固定される接続ブロック３０ａを有する治具２７とキャッチクリップ３１ａを介して接続される。これにより、ＰＤＰパネル２２の辺方向における検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの接触位置がほぼ決定される。
【００６５】
次いで、検査ユニット２４ａは、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとが接触可能となる位置に達するまで、第２レール３３に沿って図６に示す右矢印方向に移動する。この状態から、駆動シリンダ５３によってスライダ５２が図６に示す左矢印方向に移動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが固定ブロック５４に対して後退する。つまり、図６に示すように、検査用電極２５ａがＰＤＰ電極群２３ａとの接触位置に保持されたまま、各加圧レバー５７ａ，５７ｂがＰＤＰパネル２２から離間する方向に後退する。
【００６６】
この状態で、加圧シリンダ６１によって上部加圧レバー５７ａが加圧方向に回動すると、該加圧レバー５７ａは、検査用電極２５ａの先端と固定端との略中間部分を押し下げる。
【００６７】
これにより、図６に示すように、検査用電極２５ａの先端部が視認可能な状態で、該検査用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに接触させることができる。尚、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触させる際の上部加圧レバー５７ａによる検査用電極２５ａの押し下げ量は、固定ブロック５４上端に当接させるストッパボルト６３によって調整可能である。即ち、ストッパボルト６３によって検査用電極２５ａの押し下げ量を調整することで、検査用電極２５ａ先端部をＰＤＰ電極群２３ａに接触保持させるような加圧力に設定することができる。これにより、上部加圧レバー５７ａによる検査用電極２５ａの損傷を防止することができる。
【００６８】
このようにして、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触させた状態で、検査用電極２５ａの先端部をカメラ４２により撮像することで、該検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの重なり具合を認識する。その結果、両電極２３ａ，２５ａの接触位置にズレが生じている場合には、検査用電極２５ａの電極位置を補正する。
【００６９】
そして、ＰＤＰ電極群２３ａに対する検査用電極２５ａの接触位置が決定された後、駆動シリンダ５３によってスライダ５２が図６に示す右矢印方向に移動すると、各加圧レバー５７ａ，５７ｂが固定ブロック５４に対して前進する。つまり、図７に示すように、各加圧レバー５７ａ，５７ｂの先端部が検査用電極２５ａの先端部まで移動する。
【００７０】
この状態で、加圧シリンダ６１によって各加圧レバー５７ａ，５７ｂが加圧方向に回動すると、ＰＤＰパネル２２及び検査用電極２５ａが各加圧レバー５７ａ，５７ｂ先端部の弾性体５８ａ，５８ｂによって挟み込まれる。これにより、検査ユニット２４ａは、検査用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに対して予め位置決めされた位置で精度良く接触させることができる。
【００７１】
図９は、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの接触状態を示す側面図である。尚、図９（ａ）には、本実施形態の検査ユニット２４ａに設けられる固定ブロック５４を示し、図９（ｂ）には、従来構成の固定ブロック５４ａの一例を比較のため示す。
【００７２】
本実施形態の固定ブロック５４は、上記したようにその上端部がＰＤＰパネル２２側に向かって前傾する傾斜状に形成されている。つまり、検査用電極２５ａは、水平面に対して所定の傾斜角度を有して固定ブロック５４に固定される。一方、図９（ｂ）に示すように、従来の固定ブロック５４ａは、その上端部が平坦状に形成されており、検査用電極２５ａを水平面と平行するように固定する。
【００７３】
ここで、各固定ブロック５４，５４ａにそれぞれ支持される検査用電極２５ａを、同一変位量で垂直方向に変位させて両電極２３ａ，２５ａを接触させた場合、検査用電極２５ａを斜めに固定した場合における水平方向変位ｆ１は、検査用電極２５ａを水平に固定した場合における水平方向変位ｆ２よりも大きくなる。
【００７４】
ＰＤＰ電極群２３ａは、ガラス製のＰＤＰパネル２２表面にクロム（Ｃｒ）等の金属を蒸着することによって形成されるが、大気中に晒されることで該パネル２２表面には酸化膜が形成される。このような酸化膜が形成されると、該酸化膜が絶縁層となり両電極２３ａ，２５ａの接触性を阻害する場合がある。このため、安定した接触性を得るには、上記酸化膜を除去した状態で両電極２３ａ，２５ａを接触させることが好ましい。
【００７５】
上記したように、本実施形態では、固定ブロック５４に検査用電極２５ａを斜めに固定することで、該検査用電極２５ａを垂直方向に加圧した際の水平方向変位を大きくすることができる。従って、ＰＤＰ電極群２３ａ上に形成される酸化膜を除去するワイピング効果を高め、該酸化膜を除去した状態で安定した接触性を得ることをも可能としている。
【００７６】
図１０は、ＰＤＰパネル２２の伸縮（反り）が発生した場合の検査ユニット２４ａの作用を説明する断面図である。
ＰＤＰパネル２２自体の反りが発生した場合、検査ユニット２４ａの各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、同図に示すｅを回動中心として一点鎖線で示す位置に回動する。つまり、上記したように、各加圧レバー５７ａ，５７ｂと加圧シリンダ６１とは平行リンク機構を構成しているため、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、パネル２２の厚み方向への変位に対して追従可能である。さらに、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、支点ブロック５６が回動軸５５を支軸として回動可能であるため、パネル２２の円弧状の変位に対しても追従可能である（図６及び図７参照）。これにより、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを均一に接触させることができる。
【００７７】
この際、ＰＤＰ電極群２３ａのピッチ方向に微小なズレｄが生じるが、検査用電極２５ａと上部加圧レバー５７ａの弾性体５８ａとは固着されていないため、検査用電極２５ａは、ズレｄの影響を受けずに予め位置決めされた位置にてＰＤＰ電極群２３ａと高精度に接触する。
【００７８】
尚、上記のパネル検査装置は図示しない制御装置を備え、該制御装置により図１に示す検査ユニット２４ａ〜２４ｆ等が制御される。制御装置は操作盤を備え、作業者により操作盤の操作に応答して検査ユニット２４ａ〜２４ｆの移動、検査用電極２５ａ〜２５ｆの加圧を行う。
【００７９】
詳しくは、制御装置には複数のバルブが接続され、該バルブを開閉制御し、図６に示す検査ユニット２４ａの駆動シリンダ５３、加圧シリンダ６１に供給する空気の供給方向を切り替える。これにより、制御装置は、検査ユニット２４ａを移動させ、検査用電極２５ａとＰＤＰパネル２２を挟持する上部及び下部加圧レバー５７ａ，５７ｂを回動させる。
【００８０】
また、制御装置には複数のバルブが接続され、該バルブを開閉制御し、図２に示すベース部材３４を移動させるシリンダに供給する空気の供給方向を切り替える。これにより、制御装置は、ベース部材３４を、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆがＰＤＰパネル２２に近接する検査位置と、ＰＤＰパネル２２から離間した非検査位置とに選択的に配置する。
【００８１】
更に、制御装置にはアライメント用モータ３８が接続され、操作盤の操作に応じて該モータ３８を回転駆動する。これにより、制御装置は、スライドブロック３７をＰＤＰパネル２２の辺方向に沿って移動させる。
【００８２】
以上記述したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
（１）検査ユニット２４ａには、上部及び下部加圧レバー５７ａ，５７ｂが、固定ブロック５４に固定された検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを接触可能な位置に保持した状態で、ＰＤＰパネル２２から離間する方向に移動可能に設けられる。これにより、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの重なり具合が視認可能な状態にて、両電極２３ａ，２５ａの位置合わせを予め行うことができる。従って、検査ユニット２４ａは、検査用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに対して高精度に接触させることができ、ひいてはパネル検査効率を向上させることができる。
【００８３】
（２）各加圧レバー５７ａ，５７ｂと加圧シリンダ６１とにより構成される平行リンク機構により、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、ＰＤＰパネル２２の厚み方向の変位に対して追従可能である。さらに、各加圧レバー５７ａ，５７ｂは、支点ブロック５６が回動軸５５を支軸として回動可能であるため、パネル２２の円弧状の変位に対して追従可能である。従って、検査ユニット２４ａは、ＰＤＰパネル２２自体の伸縮（反り）が発生した場合にも、検査用電極２５ａをＰＤＰ電極群２３ａに対して高精度に接触させることができる。
【００８４】
（３）固定ブロック５４は、検査用電極２５ａをＰＤＰパネル２２側に所定の傾斜角度で前傾した状態で固定する。これにより、検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとの接触時におけるワイピング（酸化膜除去）効果を向上させることができる。従って、両電極２３ａ，２５ａの接触性を高めることができる。
【００８５】
（４）ＰＤＰパネル２２の一つの辺に対応して設けられる複数の検査ユニット２４ａ〜２４ｆは、該パネル２２における複数のＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆの電極幅及び電極ピッチ、さらには電極群ピッチＰ１に対応した位置に接続ブロック３０ａ〜３０ｆを有した治具２７と接続される。そして、予め位置決めされた位置にそれら接続ブロック３０ａ〜３０ｆが固定された治具２７は、パネルサイズに応じて準備される。これにより、パネルサイズ変更時における位置合わせの調整作業を容易に行うことができる。
【００８６】
（５）検査用電極２５ａとＰＤＰ電極群２３ａとを電気的に接続するための中継用フィルム配線基板（中継フレキ）４５が設けられ、該中継フレキ４５は、下部加圧レバー５７ａの先端部下方にて切り欠き形成された通過経路５９を通過して駆動回路４３のフィルム基板４４と接続される。これにより、中継フレキ４５及びフィルム基板４４は、検査用電極２５ａとともに加圧されないため、加圧による破損が防止される。従って、検査用電極２５ａの長寿命化の実現が可能となるため、パネル検査装置１１のランニングコスト（維持費）を低減することができる。
【００８７】
尚、本実施形態は、以下の態様で実施してもよい。
・本実施形態では、中継フレキ４５と検査用電極２５ａとが一体に接続されて設けられているが、必ずしも一体に設ける必要はない。
【００８８】
・本実施形態では、ＰＤＰパネル２２の一つの辺に６つのＰＤＰ電極群２３ａ〜２３ｆが構成される場合に具体化したが、これに限らず５以下又は７以上構成される場合に具体化してもよい。
【００８９】
・本実施形態の治具２７内には、制御装置（本実施形態では図示せず）から各検査ユニット２４ａ〜２４ｆへのエア配管・配線を内蔵することもできる。このようにすれば、検査ユニット２４ａ〜２４ｆの脱着時にそれら配管・配線の接続作業を容易に行うことが可能となる。
【００９０】
・本実施形態では、ＰＤＰパネル２２の辺方向に沿った各検査ユニット２４ａ〜２４ｆ（図１参照）の位置を微調整用ネジ３２ａ〜３２ｆによって微調整可能としたが、各検査ユニット２４ａ〜２４ｆが、該パネル２２の辺方向に沿ってスライド可能とする駆動機構を個別に備えるようにしてもよい。
【００９１】
本実施形態の特徴をまとめると以下のようになる。
（付記１）  検査用電極を備えた検査ユニットが表示パネルの周辺に沿って配列される電極群に対応して設けられ、該電極群に前記検査用電極を接触させるパネル検査装置において、
前記検査ユニットは、前記電極群に前記検査用電極を圧接させる加圧機構を備えてなり、該加圧機構は、前記検査用電極と前記電極群とを接触可能とする位置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向に双方向に移動可能に設けられていることを特徴とするパネル検査装置。
（付記２）  前記検査用電極は、所定の傾斜角度で前記表示パネル側に前傾させて前記検査ユニットに固定されることを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。
（付記３）  前記検査ユニットは、前記表示パネルの周辺に沿って配列される複数の電極群に対応して複数設けられ、
前記複数の検査ユニットは、前記複数の電極群に対応して複数の位置決め手段を有する治具に接続されることを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。
（付記４）  前記位置決め手段は、前記表示パネルのパネルサイズに応じて形成される前記複数の電極群に対応した位置で前記治具に予め設けられることを特徴とする付記３記載のパネル検査装置。
（付記５）  前記治具は、前記複数の電極群の電極群数及び電極群ピッチに対応した数及びピッチにて前記位置決め手段を複数有し、該治具は、前記表示パネルのパネルサイズに応じてそれぞれ準備されるものであることを特徴とする付記３記載のパネル検査装置。
（付記６）  前記治具は、前記複数の電極群との対応位置に固定された位置決め手段と、当該複数の電極群との非対応位置に固定された位置決め手段とを有することを特徴とする付記３記載のパネル検査装置。
（付記７）  前記位置決め手段には、前記複数の検査ユニットが前記複数の電極群の電極群ピッチに対応して配置されるように、当該各検査ユニットの位置を前記表示パネルの辺方向に沿って双方向に微調整させる調整手段がさらに設けられていることを特徴とする付記３記載のパネル検査装置。
（付記８）  前記表示パネルに検査用信号を供給する駆動回路を備え、
前記検査ユニットは、前記検査用電極と前記電極群とを電気的に接続させる中継基板を、該検査用電極と電極群との非接触位置にて前記駆動回路と中継させ且つ該駆動回路に対して着脱可能としたことを特徴とする付記１乃至７のいずれか一記載のパネル検査装置。
（付記９）  前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加圧レバーを備え、
前記一対の加圧レバーのいずれか一方には、前記中継基板の通過経路が形成されていることを特徴とする付記８記載のパネル検査装置。
（付記１０）  前記加圧機構は、所定の接触圧力にて前記検査用電極を前記電極群に対して接触させる一対の加圧レバーを備え、
前記一対の加圧レバーは、前記検査用電極を対応する前記電極群と接触可能とする位置に保持した状態で、前記表示パネルの辺方向と直交する方向且つ該表示パネルから離間する方向に前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで移動可能に設けられることを特徴とする付記１記載のパネル検査装置。
（付記１１）  前記一対の加圧レバーは、前記検査用電極の上面及び下面を加圧する上部加圧レバーと下部加圧レバーとから構成され、
前記検査ユニットには、前記検査用電極の先端部が視認可能となる位置まで前記上部及び下部加圧レバーが移動したときに、該上部加圧レバーの加圧方向の回動量を調節する回動量調節手段を備えたことを特徴とする付記１０記載のパネル検査装置。
（付記１２）  前記回動量調節手段は、前記検査用電極の先端部を前記電極群に接触保持するように設定されていることを特徴とする付記１１記載のパネル検査装置。
（付記１３）  前記一対の加圧レバーは支点ブロックに回動可能に支持され、該支点ブロックは、前記表示パネルの辺方向に直交する方向に沿って設けられる回動軸を支軸として回動可能に設けられることを特徴とする付記１０又は１１記載のパネル検査装置。
（付記１４）  前記一対の加圧レバーが前記検査用電極を非加圧する方向へ回動したときに該一対の加圧レバーと当接し、前記支点ブロックの回動を規制する回動規制手段を備えたことを特徴とする付記１３記載のパネル検査装置。
【００９２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、表示パネルの電極に対して検査用電極を高精度に接触させ得るパネル検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本実施形態のパネル検査装置を示す平面図である。
【図２】  パネル検査装置を示す拡大平面図である。
【図３】  パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図４】  パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図５】  パネルサイズ変更時の位置合わせを説明する平面図である。
【図６】  検査ユニットを示す側面図である。
【図７】  検査ユニットを示す側面図である。
【図８】  検査ユニットを示す正面図である。
【図９】  検査ユニットの作用を説明する側面図である。
【図１０】  検査ユニットの作用を説明する断面図である。
【図１１】  従来のパネル検査装置を示す断面図である。
【図１２】  従来の検査ユニットを示す側面図である。
【符号の説明】
１１  パネル検査装置
２２  表示パネルとしてのＰＤＰパネル
２３ａ〜２３ｆ  電極群としてのＰＤＰ電極群
２４ａ〜２４ｆ  検査ユニット
２５ａ〜２５ｆ  検査用電極
５７ａ，５７ｂ  加圧機構としての上部及び下部加圧レバー
【図１】
0004732630.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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