(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面パネルにファン及びフィルタを備えた空気清浄ユニットが取付けられると共に高さ調整可能であり、且つ上端部がクリーンルームの天井面に当接することができ、しかも下端部はクリーンルームの床面に支持されるようにした空気清浄装置であって、当該空気清浄装置を前記クリーンルーム内に所定の状態に設置した際にクリーンルームの壁面に面する側には空気清浄装置内の空間をクリーンルーム内から塞ぐパネルを設けず、クリーンルームの壁面に面する側が前記壁面に当接し得るようにし、クリーンルームの壁面に面する側が前記壁面に当接した際には当該壁面がパネルとして機能し得るよう構成したことを特徴とする空気清浄装置。
【請求項２】
クリーンルームの壁面に面する側は装置後面側である請求項１に記載の空気清浄装置。
【請求項３】
クリーンルームの壁面に面する側は装置側面側である請求項１又は２に記載の空気清浄装置。
【請求項４】
クリーンルームの天井面に当接する上端部及びクリーンルームの壁面に面する側にはパッキンが設けられている請求項１乃至３の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項５】
高さ調節手段を備えた請求項１乃至４の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項６】
高さ調節手段はボルトである請求項１乃至５の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項７】
高さ調節手段は、枠体の支柱に昇降可能且つ固定可能に嵌合した脚である請求項１乃至５の何れかに記載の空気清浄装置。
【請求項８】
クリーンルーム内の空気を空気清浄装置内に導入する間隙の高さを調節するための昇降可能なスカートを設けた請求項１乃至７の何れかに記載の空気清浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空気清浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、クリーンルームでは室内の空気を清浄化して循環することが行なわれている。而して、クリーンルームに使用する従来の空気清浄装置の一例は図１４〜図１６に示されており、図中、１はクリーンルーム、２はクリーンルーム１内の一端側において室の略幅方向中央に固定設置されるよう設置した空気清浄装置である。この空気清浄装置２はクリーンルーム１の室一端側の幅方向中央において天井面３に固定されると共に天井面３から床面４上方所定位置まで垂下する、断熱材入りの水平断面コの字状のパネル５を備えており、パネル５とクリーンルーム１の端部壁面６と天井面３とにより包囲された空間７内には空気清浄ユニット８が収納されている。
【０００３】
而して、空気清浄ユニット８の空気流れ方向下流側先端部はパネル５の前面部５ａを切除して形成した開口部５ａ’に嵌合されて固定されている。
【０００４】
又、パネル５の下端と床面４との間にはクリーンルーム１内の空気Ａを空間７内に取込むための間隙Ｇが形成されており、間隙Ｇにはがらり９が設けられている。
【０００５】
空気清浄ユニット８は図１６に示すように、筒状のケーシング１０内の空気流れ方向上流側に設けられてモータ１１により駆動し得るようにしたファン１２と、ファン１２の空気流れ方向下流側に設けられたＨＥＰＡフィルタ等のフィルタ１３を備えており、フィルタ１３により清浄化された空気Ａはクリーンルーム１内に吹出し得るようになっている。ファン１２は円板１２ａに対し円周方向へ並べられて固定された複数の羽根１２ｂを備えている。
【０００６】
図１４〜図１６に示す空気清浄装置２においては、クリーンルーム１内のパネル５下方のがらり９から空間７内に取込まれれた空気Ａは、空気清浄ユニット８において、モータ１１により駆動されているファン１２により加圧されてフィルタ１３で清浄化され、清浄化された空気Ａは再びクリーンルーム１内に吹込まれる。
【０００７】
クリーンルームに使用する従来の空気清浄装置の他の例は図１７、図１８に示されている。而して、本図示例においては、クリーンルーム１内に設置される空気清浄装置２は可搬式であり、矩形箱状のケーシング１４内には、図１６に示す構成の空気清浄ユニット８が収納されている。
【０００８】
而して、空気清浄ユニット８の空気流れ方向下流側先端部はケーシング１４の前面部１４ａを切除して形成した開口部１４ａ’に嵌合されて固定されており、ケーシング１４の前面部１４ａにおける空気清浄ユニット８の下部にはクリーンルーム１内の空気Ａを空間７内に取込むための間隙Ｇが形成されており、間隙Ｇにはがらり９が設けられている。
【０００９】
図１７、図１８に示す空気清浄装置２においては、ケーシング１４の前面部１４ａにおける空気清浄ユニット８よりも下部に形成された間隙Ｇからケーシング１４の空間７内に取込まれた空気Ａは、空気清浄ユニット８のファン１２により加圧されてフィルタ１３において清浄化され、清浄化された空気Ａは再びクリーンルーム１内に吹込まれる。
【００１０】
空気清浄装置の先行技術文献としては特許文献１がある。特許文献１の空気清浄装置は、床置き、天井吊下げ、壁掛け等に対応することができる。
【特許文献１】特開平１１−５１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図１４〜図１６に示す空気清浄装置２はクリーンルーム１内に固定配置されているため、クリーンルーム１内の機器のレイアウトを変更する場合に対応が困難であり、又、大型になるため、転倒防止の手段を講じる必要がある等の制約があった。
【００１２】
又、図１７、図１８に示す空気清浄装置２は移動させることができるため、クリーンルーム１内の機器のレイアウトを変更する場合には容易に対応することができるが、転倒防止や搬入等のために制限される高さの関係で、空気Ａを取込む位置と空気Ａを吹込む位置とが近いため、取込まれる空気Ａと吹込まれる空気Ａとが間隙Ｇと空気清浄ユニット８の空気吹出し部で混じり易く、クリーンルーム１内を十分に清浄化することが難しく、従って良好な空気の循環を行なうことができないという問題がある。更に、特許文献１に示す装置は、高さ調節ができず、加えて、図１７、図１８に示す空気清浄装置２と同様の問題がある。
【００１３】
本発明は、斯かる実情に鑑み、良好な空気の循環を行なうことができると共に、レイアウトの変更にも容易に対応でき、しかも大型であっても転倒の虞がない空気清浄装置を提供することを目的としてなしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の請求項１の空気清浄装置は、前面パネルにファン及びフィルタを備えた空気清浄ユニットが取付けられると共に高さ調整可能であり、且つ上端部がクリーンルームの天井面に当接することができ、しかも下端部はクリーンルームの床面に支持されるようにした空気清浄装置であって、当該空気清浄装置を前記クリーンルーム内に所定の状態に設置した際にクリーンルームの壁面に面する側には空気清浄装置内の空間をクリーンルーム内から塞ぐパネルを設けず、クリーンルームの壁面に面する側が前記壁面に当接し得るようにし、クリーンルームの壁面に面する側が前記壁面に当接した際には当該壁面がパネルとして機能し得るよう構成したものである。
【００１５】
本発明の請求項２の空気清浄装置においては、クリーンルームの壁面に面する側は装置後面側であり、請求項３の空気清浄装置においては、クリーンルームの壁面に面する側は装置側面側であり、請求項４の空気清浄装置においては、クリーンルームの天井面に当接する上端部及びクリーンルームの壁面に面する側にはパッキンが設けられている。
【００１６】
本発明の請求項５の空気清浄装置は高さ調節手段を備えており、請求項６の空気清浄装置においては、高さ調節手段はボルトであり、請求項７の空気清浄装置においては、高さ調節手段は、枠体の支柱に昇降可能且つ固定可能に嵌合した脚であり、請求項８の空気清浄装置は、クリーンルーム内の空気を空気清浄装置内に取込む間隙の高さを調節するための昇降可能なスカートを設けたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の請求項１〜８記載の空気清浄装置によれば、クリーンルームから空気を取込む間隙と空気清浄ユニットの空気を吹出す箇所との高さ方向の間隔を十分に取ることができるため、装置内に取込まれる空気と空気清浄ユニットから吹込まれる空気とが装置近傍で混じる虞がなく、従って、良好な空気の循環を行なうことができ、又、空気清浄装置の固定は高さ調節手段による高さ調節によりパッキンをクリーンルームの天井面に当接させることにより行なっているため、装置は大掛かりな手段を用いなくても床面に簡単且つ確実に固定され、従って、装置は大型であっても転倒の虞がない。
【００１８】
又、高さ調節手段により装置を下降させ、パッキンをクリーンルームの天井面から離反させれば、装置を容易に移動させることができるため、クリーンルーム内の機器のレイアウトの変更にも容易に対応でき、更に、装置のクリーンルームに面する側にはクリーンルーム内と装置内とを遮断するパネルは設けずとも、クリーンルームの壁面が装置のパネルの機能を果たすことができるため、コストダウンを図ることもできる。
【００１９】
更に、高さ調節可能なスカートを設けることにより、空気が取込まれる間隙の高さを調節することができるため、空気の装置内への取込み位置及び取込み量を調節することができ、従って、クリーンルーム内に循環する空気の流れや空気量を調節できて自由度の高いクリーンルームを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
図１〜図５は本発明を実施する形態の第一例である。
本図示例においては、空気清浄装置２はクリーンルーム１内の一端側において室の略幅方向中央に設置されている。この空気清浄装置２は、クリーンルーム１の高さ寸法よりも若干短い４本の支柱１５備えると共に、４本の支柱１５には上端部、高さ方向中間部、下端部に平面視で額縁状となるよう、補強のための水平部材１６−１，１６−２，１６−３が取付けられている。而して、４本の支柱１５及び水平部材１６−１，１６−２，１６−３により枠体が形成されている。
【００２１】
空気清浄装置２の枠体の前面には前面パネル１７が、又左右両側面には側面パネル１８が、夫々支柱１５の前面或は左右両側面に固定されるよう設けられて空気清浄装置２の前面及び両側面の三面は塞がれており、更に、枠体の後面側一面には何等パネルは設けられてはおらず、開放されている。又、支柱１５上端部の水平部材１６−１を取付けた部分も塞がれておらず、開放されている。前面パネル１７、側面パネル１８は断熱材入りで、前面パネル１７及び側面パネル１８により空気清浄装置２の高さ方向中間部の水平断面形状はコの字状に形成されている。
【００２２】
上端部の水平部材１６−１の上面にはパッキン１９が貼設されており、水平部材１６−１，１６−３のパネルが貼設されていない側の面（後面）にはパッキン２０が貼設されており、支柱１５のパネルが設けられていない開放されている側の面（後面）には、支柱１５に沿って上端から下端までパッキン２１が貼設されている。
【００２３】
空気清浄装置２の前面パネル１７及び側面パネル１８に包囲された空間２２内には図１６に示す構成の空気清浄ユニット８が収納されており、天井面３側に近接して前面パネル１７の高さ方向上部側に形成した開口部１７ａ’には、空気清浄ユニット８の空気流れ方向下流側先端部が嵌合されて固定されている。
【００２４】
枠体が形成される４本の支柱１５の下端にはナット２３が固設されており、ナット２３には縦向きにボルト２４が螺合されて高さ調節手段が形成されている。
【００２５】
而して、使用に際しては、例えば、空気清浄装置２をクリーンルーム１内の一端側においてクリーンルーム１の幅方向略中央部に位置させてパッキン２０，２１をクリーンルーム１の端部壁面６に当接させると共に、ボルト２４の高さを調節して空気清浄装置２の高さを調節し、パッキン１９を天井面３の下面に当接させる。
【００２６】
上記図示例においては、クリーンルーム１から、前面パネル１７及び側面パネル１８の下端と床面４との間の間隙Ｇから空気清浄装置２の空間２２内に取込まれた空気Ａは空間２２内を上昇して空気清浄ユニット８のファン１２により空気清浄ユニット８内に吸引され、フィルタ１３により清浄化されて再びクリーンルーム１内に吹込まれ、循環する。
【００２７】
本図示例の空気清浄装置２によれば、空気Ａを取込む間隙Ｇと空気清浄ユニット８の空気吹出部との高さ方向の間隔を十分に取れるため、装置内に取込まれる空気Ａと空気清浄ユニット８によりクリーンルーム１内に吹込まれる空気Ａは装置近傍で混じることなく良好な循環を行なうことができると共に、空気清浄装置２の固定は、ボルト２４による高さ調節によりパッキン１９を天井面３に当接させることにより行なっているため、空気清浄装置２は大掛かりな手段を用いなくても床面４に簡単且つ確実に固定され、従って、空気清浄装置２は大型であっても転倒の虞がない。
【００２８】
又、ボルト２４の高さを調節して、空気清浄装置２を下降させ、パッキン１９を天井面３から離反させれば、空気清浄装置２を容易に移動させることができるため、クリーンルーム１内の機器のレイアウトの変更にも容易に対応できる。
【００２９】
更に、空気清浄装置２に後面側のパネルは設けずとも、クリーンルーム１の端部壁面６が空気清浄装置２のパネルの機能を果たすことができるため、コストダウンを図ることもできる。
【００３０】
図６〜図８は本発明を実施する形態の第二例で、図中、図１〜図５に示すものと同一のものには同一の符号が付してある。而して、本図示例の特徴とするところは、前記図示例においては、空気清浄装置２をクリーンルーム１の幅方向中間部に設置するようにして後面側をクリーンルーム１の端部壁面６に当接させることにより、空気清浄装置２の後面側のパネルのみを省略するようにしているのに対し、本図示例においては、空気清浄装置２をクリーンルーム１の隅部に設置するようにして後面のみならず、左右の側面パネル１８のうち何れか一方をも省略するようにしている。
【００３１】
而して、本図示例では、空気清浄装置２の前面パネル１７及び左右一方（図示例においては空気流れ方向へ向かって右側）の側面パネル１８の二面は設けられているが、後面側と左側の二面はパネルを設けないようにした例であり、前面パネル１７及び側面パネル１８により空気清浄装置２の高さ方向中間部の水平断面形状はＬ字状に形成されている。
【００３２】
又、本図示例においては、側面パネルの設けられていない水平部材１６−１，１６−３の外側面にもパッキン２０が貼設されており、支柱１５の外側面にも、支柱１５の上端から下端まで延在するパッキン２１が貼設されている。更に、これ以外の部分の構成は図１〜図５に示す空気清浄装置２と同一の構成である。
【００３３】
而して、使用に際しては、例えば、空気清浄装置２をクリーンルーム１内の隅部に位置させてパッキン２０，２１をクリーンルーム１の端部壁面６及び側部壁面２５に当接させると共に、ボルト２４の高さを調節して空気清浄装置２の高さを調節し、パッキン１９を天井面３の下面に当接させる。
【００３４】
上記図示例においては、上述の図示例と同様の作用効果を奏し得ると共に、後面のパネルの他に左右一側のうちの何れか一方の側部パネルも不要であるため、上記図示例よりも更に一層のコストダウンを図ることができる。
【００３５】
図９〜図１１は本発明を実施する形態の第三例で、図中、図１〜図５に示すものと同一のものには同一の符号が付してある。而して、本図示例においては、前面パネル１７や側面パネル１８の設置の仕方は前述の実施の形態の第一例或は第二例に倣うが、空気清浄装置２の高さを調節する手段としてはボルトではなく、上下にスライド可能な脚２６としている。
【００３６】
すなわち、支柱１５としては円管状の材料を用い、その下端に上下に摺動し得るよう、円管状の脚２６を嵌入し、又、支柱１５の下端外周には下方へ行くに従い外径が拡大するようにした雄ねじ１５ａを螺設すると共に、下端が開口したスリット１５ｂを円周方向へ複数箇所に設け、支柱１５の雄ねじ１５ａに螺嵌したナット２７を回して支柱１５の雄ねじ１５ａの部分を締めることにより脚２６を固定し得るようにしたものである。なお、図９中、２８は隣合う脚２６を結ぶ水平連結部材、図１０、図１１中、２９は支柱１５の下端内周に設けたストッパ、３０は脚２６の上端外周に設けたストッパであり、支柱１５に内嵌された脚２６は通常の高さ調節の際に支柱１５から抜けないようになっている。
【００３７】
本図示例も前記各図示例と同様の作用効果を奏し得ると共に、空気清浄装置２の高さを容易に調節することができ、又、高さ調節を行なう脚２６は円管状であるため、アジャスタがボルトの場合に比較して強度的に有利となる。
【００３８】
図１２及び図１３は本発明を実施する形態の第四例で、図中、図１〜図５及び図９に示すものと同一のものには同一の符号が付してある。而して、本図示例においては、前面パネル１７や側面パネル１８の設置の仕方は前述の実施の形態の第一例或は第二例（図示例では第一例）に倣い、支柱１５の下端部の構成、脚２６の構成、ナット２７の構成等は前述の実施の形態の第三例に倣っているが、それに加えて、前面パネル１７や側面パネル１８の下端から床面４までの間隙Ｇの高さＨを調節できるようにしている。
【００３９】
すなわち、前面パネル１７及び左右の側面パネル１８並びにその下部に位置する支柱１５を外側から包囲するよう水平断面形状がコの字状のスカート３１が、昇降可能に配置されている。又、スカート３１の前面の左右両側には上下方向へ所定の間隔で複数の孔３２が穿設されると共に、支柱１５には上下方向へ一定の間隔でナット３３が固設されており、所定の孔３２に挿通したねじ３４をナット３３に螺合することにより、高さ調節されたスカート３１は支柱１５に対し固定し得るようになっている。
【００４０】
本図示例においては、スカート３１を昇降させて位置決めし、ねじ３４により支柱１５に固定することにより、間隙Ｇの高さＨを調節することができるため、上述の各図示例と同様の作用効果を奏し得ると共に、空気の空気清浄装置２内への取込み位置及び取込み量を調節することができる。従って、空気清浄装置２を経てクリーンルーム１内に循環する空気の流れや空気量を調節できて自由度の高いクリーンルーム１を形成することができる。
【００４１】
なお、本発明の空気清浄装置においては、空気清浄ユニットのファンのモータは、円板の羽根を設けた側と同一の側に設ける場合について説明したが、円板の羽根を設けた側とは反対の側に設けても実施可能であること、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の空気清浄装置の実施の形態の第一例を示し、クリーンルーム内に配置した状態を示す断面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１に示す空気清浄装置の拡大断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ方向矢視図である。
【図５】図１に示す空気清浄装置の外形を示す斜視図である。
【図６】本発明の空気清浄装置の実施の形態の第二例を示し、クリーンルーム内に配置した状態を示す平面図である。
【図７】図６に示す空気清浄装置の外形を示す斜視図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ方向矢視図である。
【図９】本発明の空気清浄装置の実施の形態の第三例を示す正面図である。
【図１０】図９の空気清浄装置のＸ部拡大断面図である。
【図１１】図９に拡大して示す支柱と脚とを外した状態で示す断面図である。
【図１２】本発明の空気清浄装置の実施の形態の第四例を示す正面図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ方向矢視図である。
【図１４】従来の空気清浄装置の一例を示し、クリーンルーム内に配置した状態を示す断面図である。
【図１５】図１４の平面図である。
【図１６】図１等に示す空気清浄装置に適用する空気清浄ユニットの拡大断面図である。
【図１７】従来の空気清浄装置の他の例を示し、クリーンルーム内に配置した状態を示す断面図である。
【図１８】図１７の平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  クリーンルーム
２  空気清浄装置
３  天井面
４  床面
６  端部壁面（壁面）
８  空気清浄ユニット
１２  ファン
１３  フィルタ
１５  支柱
１７  前面パネル
１９  パッキン
２０  パッキン
２１  パッキン
２４  ボルト（高さ調節手段）
２５  側部壁面（壁面）
２６  脚（高さ調節手段）
３１  スカート
Ａ  空気
Ｇ  間隙
Ｈ  高さ
【図１】
0004624941.tif 000002
【図２】
0004624941.tif 000003
【図３】
0004624941.tif 000004
【図４】
0004624941.tif 000005
【図５】
0004624941.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004624941.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
0004624941.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0004624941.tif 000016
【図１６】
0004624941.tif 000017
【図１７】
0004624941.tif 000018
【図１８】
0004624941.tif 000019