(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通の放電用電極に印加する電圧として正側の高電圧生成回路と負側の高電圧生成回路とで交互に極性の異なる高電圧を生成することにより前記共通の放電用電極からプラスイオンとマイナスイオンを交互に発生させる除電装置において、
前記共通の放電用電極に正の電圧を印加して放電させる期間と次に負の電圧を印加して放電させる期間との間及び負の電圧を印加して放電させる期間と次に正の電圧を印加して放電させる期間に、夫々、前記共通の放電用電極に電圧を印加しないインターバル期間を設け、
前記共通の放電電極に前記正の電圧を印加してプラスイオンを生成した後、前記インターバル期間に入る前に、前記共通の放電用電極が略中和状態となるように負の電圧を前記負側の高電圧発生回路で生成して該負の電圧を前記共通の放電電極に印可し、
前記共通の放電電極に前記負の電圧を印加してマイナスイオンを生成した後、前記インターバル期間に入る前に、前記共通の放電用電極が略中和状態となるように正の電圧を前記正側の高電圧発生回路で生成して該正の電圧を前記共通の放電電極に印可することを特徴とする除電装置。
【請求項２】
前記放電用電極の近傍にＧＮＤプレートを有し、該ＧＮＤプレートと前記放電用電極との間に流れる電流を検出する放電用電極側イオンバランス検出手段と、
前記イオンバランス検出手段からの信号を受け、前記放電用電極の周りのイオンバランスを維持するように前記正側及び／又は前記負側の高電圧生成回路をフィードバック制御する制御手段とを更に有することを特徴とする請求項１の除電装置。
【請求項３】
ワーク近傍のイオンバランスを検出するワーク側イオンバランス検出手段と、
該ワーク側イオンバランス検出手段からの信号を受け、前記ワーク近傍のイオンバランスを維持するように前記正側及び／又は前記負側の高電圧生成回路を制御するフィードバック制御手段とを更に有することを特徴とする請求項１又は２の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、空気中の静電気制御のための静電気除去つまり除電に関する除電装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルームでの清浄化や浮遊粒子の帯電防止など、空気中の静電気制御のために静電気除去（除電）が行われているが、この非接触の除電に、コロナ放電式のイオン化装置つまり除電装置が多用されている。
【０００３】
除電装置による除電つまり所期の効果を確実なものにするには、除電装置に含まれる電極針又は放電用電極の放電による正負のイオン生成量を等しくバランスさせる必要がある。
【０００４】
特開平３−２６６３９８号公報に開示の発明は、正側放電用電極と負側放電用電極との間に電流検知電極を配置して、プラスイオンの生成量とマイナスイオンの生成量との差によって生じるイオン電流を検知することにより、イオンバランスを維持することを提案している。
【０００５】
また、特開平８−７８１８３号公報は、正側放電用電極と負側放電用電極との間に流れる電流のうち、実質的にワークの除電に寄与できるイオンを生成する有効除電電流を検知することで、除電に実質的に関与できる正負のイオン生成量を制御することを提案している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、放電用電極が放電により汚れるとイオンバランスを保つことが困難となることが知られている。
そこで、本発明の目的は、放電用電極の汚れを防止して長期に亘って良好なイオンバランスを維持することのできる除電装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、放電用電極の汚れ防止による良好なイオンバランスの維持に加えて放電用電極の摩耗を低減することのできる除電装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる技術的課題は、本発明によれば、
共通の放電用電極に印加する電圧として正側の高電圧生成回路と負側の高電圧生成回路とで交互に極性の異なる高電圧を生成することにより前記共通の放電用電極からプラスイオンとマイナスイオンを交互に発生させる除電装置において、
前記共通の放電用電極に正の電圧を印加して放電させる期間と次に負の電圧を印加して放電させる期間との間及び負の電圧を印加して放電させる期間と次に正の電圧を印加して放電させる期間に、夫々、前記共通の放電用電極に電圧を印加しないインターバル期間を設け、
前記共通の放電電極に前記正の電圧を印加してプラスイオンを生成した後、前記インターバル期間に入る前に、前記共通の放電用電極が略中和状態となるように負の電圧を前記負側の高電圧発生回路で生成して該負の電圧を前記共通の放電電極に印可し、
前記共通の放電電極に前記負の電圧を印加してマイナスイオンを生成した後、前記インターバル期間に入る前に、前記共通の放電用電極が略中和状態となるように正の電圧を前記正側の高電圧発生回路で生成して該正の電圧を前記共通の放電電極に印可することを特徴とする除電装置を提供することよって達成される。
【０００８】
本発明の上記の目的及び他の目的並びに作用効果は、以下の本発明の好ましい実施例の詳しい説明から明らかになるであろう。
【０００９】
【実施例】
図１は、パルスＡＣ式除電装置１を示し、この除電装置１は、正負の高電圧生成回路２、３で極性の異なる高電圧を生成し、これを放電用電極４に供給することにより、放電用電極４から異なる極性のイオンつまり正と負のイオンを交互に発生する。
【００１０】
放電用電極４の材質として、タングステンを採用してもよいが、耐摩耗性に優れている点でシリコンを採用するのが好ましい。
【００１１】
正負の高電圧生成回路２、３は、共に、トランス５、６の一次側コイルに接続された自励発振回路７と、二次コイルに接続された、例えば倍整流回路からなる昇圧回路８を含む。高電圧生成回路２、３と放電用電極４との間には保護抵抗９が設けられている。
【００１２】
放電用電極４の近傍又は回りには、グランド（ＧＮＤ）プレート１０が設けられ、このＧＮＤプレート１０は、導体１１を通じて、ワーク側グランドつまりフレームグランドＦＧに接続され、導体１１には、第１、第２の抵抗Ｒ１、Ｒ２が直列に設けられている。詳しくは、第１の抵抗Ｒ１がＧＮＤプレート１０側に設けられ、第２の抵抗Ｒ２がフレームグランドＦＧ側に設けられている。そして、この第１の抵抗Ｒ１と第２の抵抗Ｒ２との間と、正負のトランス５、６の二次側コイルの接地側端とが導体１２によって接続されている。
【００１３】
放電用電極４とＧＮＤプレート１０との間の電流Ｉ１は第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１によって間接的に検知することができる。また、ワーク側のフレームグランドＦＧに到達した正と負のイオンの量の差は、第２の抵抗Ｒ２を通る電流Ｉ２つまり第２の抵抗Ｒ２の電位差Ｖ２によって間接的に検知することができる。
【００１４】
したがって、第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１によって放電用電極４による放電の程度、つまり放電用電極４が生成するイオンの量を検知することができ、これにより放電用電極４の性能低下又は効率低下などを把握することができるだけでなく、放電用電極４が生成する正負のイオン生成量のバランスを知ることができる。他方、第２の抵抗Ｒ２の電位差Ｖ２によってワーク近傍でのイオンバランスを知ることができる。
【００１５】
例えば、第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１をイオン電流検知回路１４で検知して、この検知データをＣＰＵ１５に入力し、電位差Ｖ１が極端に小さい又は経時的に小さくなって、例えばしきい値よりも小さくなったら、放電異常ということで、アラーム手段又は表示手段１６で作業者に知らせるようにすればよい。この種の放電異常としては、放電用電極４にゴミが堆積した場合を挙げることができる。
【００１６】
また、例えば、第２の抵抗Ｒ２の電位差Ｖ２をイオン電流検知回路１４で検知して、この検知データをＣＰＵ１５に入力し、ワーク近傍でのイオンバランスを保つことができるように放電用電極４への正及び／又は負の供給電圧を変化させる又はパルス幅を変化させるようにすればよい。これに併せて、イオンバランスが保持されていないという事実をアラーム手段又は表示手段１６を通じて作業者に知らせるようにしてもよい。
【００１７】
また、例えば、第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１及び／又は第２の抵抗Ｒ２の電位差Ｖ２が極端に大きいときには、これを異常放電電流検知回路１７で検知してＣＰＵ１５に入力し、例えば、放電用電極４とＧＮＤプレート１０との間や放電用電極４とワークとの間に短絡が生じて異常放電が生成したということで、アラーム手段又は表示手段１６によって、非常灯を点灯させたり警報音を鳴らすなどの警報をユーザ又は作業者に発するようにすればよい。
【００１８】
第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１をイオン電流検知回路１４で検知することで、次のことを監視することができる。図２の（イ）は、第１の抵抗Ｒ１の電位差Ｖ１つまり放電用電極４とＧＮＤプレート１０との間の電流Ｉ１の変化をモニタしたものである。図２の（イ）において、矢印Ｂで示す部分は誘導成分である。
【００１９】
この誘導成分の影響が無くなった矢印Ａで示すポイントの電流値をＩ１としてＡ／Ｄ変換して取り込み、電流値Ｉ１を経時的に追跡することで図２の（ロ）で示すように電流値Ｉ１の減少が大きくなってときには、放電用電極４の汚染又は汚れが進行したとして、後に説明するように表示ＬＥＤ１６にその旨の表示を行うことができる。
【００２０】
また、正側の電流値Ｉ１又はＩ２と負側の電流値Ｉ１又はＩ２とを対比することでイオン生成量のイオンバランスを知ることができる。正側の電流値Ｉ１又はＩ２と負側の電流値Ｉ１又はＩ２との差があるときには、正側高電圧生成回路２及び／又は負側高電圧生成回路３に対してＣＰＵ１５からイオン生成量のイオンバランスを保つようにフィードバック制御信号が出力される。
【００２１】
図３（イ）は、ＣＰＵ１５から高電圧発生回路２、３に供給される基本的な制御信号を示す。この基本的な制御は、ワーク近傍のイオンバランス及び放電用電極４の周りのイオンバランスがゼロのとき、つまり検知されたプラスイオンとマイナスイオンとが均衡した状態にあると検出されたときの制御である。
【００２２】
同図から理解できるように、プラス側の高電圧発生回路２と、マイナス側の高電圧発生回路３には交互にパルス信号２０、２１が供給される。正負の高電圧発生回路２、３は、このパルス信号２０、２１に応じて、交互に正の電圧又は負の電圧を発生し、これを放電用電極４に供給する。したがって、図３（イ）は、実質的に、放電用電極４に印加する電圧の制御を図示するものであるということができる。
【００２３】
この図３（イ）に図示の基本制御について説明すると、正のパルス信号２０と、次の負のパルス信号２１との間に休止期間つまりインターバル期間Ｔiが設けられ、また、正のパルス信号２０が終わった直後および負のパルス信号が終わった直後に逆パルス２２、２３が高電圧発生回路２、３に供給される。
【００２４】
すなわち、プラス側の高電圧発生回路２を駆動する正のパルス信号２０が終わった直後に、逆パルス信号つまり負のパルス信号２２が、マイナス側の高電圧発生回路３に供給される。この逆パルス信号２２は極めて僅かな期間で終わり、その後インターバル期間Ｔiを経た後に、マイナス側の高電圧発生回路３を駆動する負のパルス信号２１が供給される。
【００２５】
この逆パルス信号２２は、具体的には、正のパルス信号２０によって放電用電極４並びにプラス側の高電圧発生回路２に残留する電荷（電圧）を略中和状態にするのに必要な期間を実験的に求め、それに基づいて発生期間を決定する。また、ここで言う略中和状態とは、放電用電極４からイオンを発生しない状態を意味し、具体的には放電用電極４が±３kＶ以内の帯電状態にあることを意味している。また、この逆パルス信号２２の発生期間は、プラス側の高電圧発生回路２に残留する電荷（電圧）を略中和状態とするために必要な電圧のみがマイナス側の高電圧発生回路３によって生成されるため、放電用電極４からのイオン放電は行われない。
【００２６】
次いで、マイナス側の高電圧発生回路３を駆動するパルス信号２１の供給が終わると、その直後に逆パルス信号つまり正のパルス信号２２が、プラス側の高電圧発生回路２に供給される。この逆パルス信号２３は極めて僅かな期間で終わり、その後インターバル期間Ｔiを経た後に、次のサイクルが始まる。ここでの逆パルス信号２３も、上述した逆パルス信号２２と同様の考え方に基づいて、その発生期間が設定され、具体的には、逆パルス信号２２と同一の発生期間が設定される。
【００２７】
以上のことを放電用電極４に印加される電圧値で説明すると、放電用電極４には、正の高電圧が供給されて放電する（プラスイオンの生成）。この正の高電圧の印加が完了すると、その直後つまり正の電圧の印加の完了と同期して逆電圧つまり負の高電圧をマイナス側の高電圧発生回路３にて上述した期間生成し、放電用電極４を略中和状態にする。
【００２８】
この逆電圧の印加が完了すると、インターバル期間Ｔiとなる。このインターバル期間Ｔiは、放電用電極４の電荷が略中和状態を維持して、イオンの放電は行われず、実質的に、放電用電極４の休止期間となる。
【００２９】
次いで、上記インターバル期間Ｔiが終わると、放電用電極４に負の高電圧が印加されて放電する（マイナスイオンの生成）。この負の高電圧の印加が完了すると、その直後に逆電圧つまり正の高電圧が僅かな期間だけ供給される。この逆電圧の印加が完了すると、インターバル期間Ｔiつまり放電用電極４の休止期間となり、このインターバル期間Ｔiが終わると、次のサイクルが始まる。
【００３０】
イオンバランスが均衡状態にあるときの上記基本制御では、放電用電極４を放電させてプラスイオンとマイナスイオンとを交互に生成するための正又は負の高電圧を印加する期間（Ｔ０）は同じである。したがって、理論的には、プラスイオンの生成量とマイナスイオンの生成量は等しい。
【００３１】
対比のため、従来の電圧印加方式を図４に示す。図４は、プラスイオンの生成量とマイナスイオンの生成量とが等しいと判断されたときに、プラス側の高電圧発生回路２と、マイナス側の高電圧発生回路３とに供給されるパルス信号２０、２１を示す。
【００３２】
図４から理解できるように、従来の高電圧印加方式によれば、放電用電極４に対して正又は負の高電圧が交互に且つ連続的に供給されていた。これに対して、本発明に従う高電圧印加方式は、正の高電圧を印加し次に負の高電圧を印加する間及び負の高電圧を印加し次に正の高電圧を印加する間に、放電用電極４に対して全く電圧を印加しないインターバル期間Ｔiを設けている点に特徴を有する。
【００３３】
本発明に従う高電圧印加方式の別の特徴は、図３（イ）に図示のように、プラスイオンを生成するために正の高電圧を印加した直後に、僅かな期間において、放電用電極４並びにプラス側の高電圧発生回路２に残留する電荷（電圧）を略中和状態とするために必要な逆電圧（負の電圧）をマイナス側の高電圧発生回路３にて生成し、同様に、マイナスイオンを生成するために負の高電圧を印加した後に、僅かな期間において、放電用電極４並びにマイナス側の高電圧発生回路３に残留する電荷（電圧）を略中和状態とするために必要な逆電圧（正の電圧）をプラス側の高電圧発生回路２にて生成するようにした点にある。換言すれば、本発明に従う高電圧印加方式にあっては、イオンを発生した放電用電極４から、その発生イオンの逆性イオンを発生することなしに、インターバル期間Ｔiに入る前に、このインターバルに先だって起動した高電圧発生回路並びに放電用電極４を略中和状態とすることを特徴とする。
【００３４】
インターバル期間Ｔiの前に、インターバル期間Ｔiに先立ち起動した高電圧発生回路並びに放電用電極４を略中和状態とすることに関し、比較のため、インターバルに先だち起動した高電圧発生回路並びに放電用電極４を略中和状態としない、言い換えれば高電圧発生回路並びに放電用電極４が残留電荷を有する場合の高電圧印加方式を図５を参照して説明する。すなわち、図５（イ）に図示の高電圧印加方式によれば、ＣＰＵから高電圧発生回路にプラス側のパルス信号２０を供給してプラスイオンを発生した後、直ちにインターバル期間Ｔiに入り、このインターバル期間Ｔiが終わると、次にマイナス側のパルス信号２１を供給してマイナスイオンを発生し、このパルス信号２１が終わると、直ちに次のインターバル期間Ｔiに入る。
【００３５】
この図５（イ）に図示した高電圧印加方式で実際に実験したところ、放電用電極４の汚れ防止に関する効果は期待したものではなかった。その理由として、次のことが考えられる。
【００３６】
すなわち、上記インターバル期間Ｔiの間、ＣＰＵから高電圧発生回路に駆動信号がＯＦＦされているにしても、放電用電極４には電荷が残存し、この残留電荷により放電用電極４は放電状態にある、と考えられる。
【００３７】
つまり、図５（ロ）に図示するように、放電用電極４はプラスイオン又はマイナスイオンを生成し続ける。この図５（ロ）は、放電用電極４にかかる電圧の測定値を示す図である。
【００３８】
したがって、図５（イ）に図示した高電圧印加方式によったとしても、放電用電極４は連続的に放電し続けることになり、放電用電極４の汚れ及び摩耗の問題は残る。
【００３９】
これに対して、図３（イ）で図示した本発明に従う高電圧印加方式によれば、正の高電圧の印加が完了し、これに続くインターバル期間Ｔiに入る前に、逆電圧つまり負の高電圧を、マイナス側の高電圧発生回路３にて、プラス側の高電圧発生回路２並びに放電用電極４を略中和状態とするのに必要な期間だけ生成する。同様に、負の高電圧の印加が完了し、これに続くインターバル期間Ｔiに入る前に、逆電圧つまり正の高電圧を、プラス側の高電圧発生回路２にて、マイナス側の高電圧発生回路３並びに放電用電極４を略中和状態とするのに必要な期間だけ生成する。
【００４０】
したがって、上記の逆電圧の印加によって、放電用電極４に在留する荷電が中和され、これにより、インターバル期間Ｔiでの放電を回避することができる。
【００４１】
つまり、図３（ロ）に図示するように、放電用電極４は、プラスイオン又はマイナスイオンを生成した後、インターバル期間Ｔiの間は放電することなく、休止した状態になる。この図３（ロ）は、放電用電極４にかかる電圧の測定値を示す図である。
【００４２】
このように、本発明に従う高電圧印加方式によれば、放電用電極４を完全に休ませる期間を設定することができるため、放電用電極４の汚れを防止し且つ摩耗を低減することができ、イオン生成に関するイオンバランスを長期に亘って維持することができ、したがって、メンテナンスが必要となる期間を長期化することができる。このような効果は、実験により確認できただけでなく、極めて顕著な効果が得られた。
【００４３】
インターバル期間Ｔiの前に印加する逆電圧は、その絶対値が一定であればよく、放電を意図して印加する正又は負の高電圧と同じ絶対値の電圧値に設定すれば、制御が簡単になる。
【００４４】
以上、本発明に従う高電圧印加方式の基本原理を放電用電極４の周りのイオンバランス及びワーク近傍のイオンバランスがゼロ、つまり、放電用電極４の周りのプラスイオンとマイナスイオンの量が同じであり且つワーク近傍のイオンバランスが均衡しているときを例に説明したが、検出したイオンバランスがプラスイオン側又はマイナスイオン側のいずれかに偏ったときには、これをゼロに戻す制御が行われる。この制御について、図６〜図１０を例に説明する。
【００４５】
図６（イ）〜図１０（イ）は、イオンバランスがゼロつまり均衡状態にあると検出されたときに制御内容を示し、これは図３（イ）と同じである。イオンバランスがゼロのときの、正のパルス信号２０及び負のパルス信号２１の出力期間つまりプラスイオン発生期間及びマイナスイオン発生期間を共にＴ０で示し、休止期間つまりインターバル期間をＴiで示す。
【００４６】
図６（ロ）は、例えばワーク近傍のイオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を示す。この制御は、正負の高電圧生成回路２、３の単位時間の発生電圧が一定となるように制御されていることを前提とする。
【００４７】
この図６（ロ）に図示の例では、一周期におけるプラスイオンの生成比率を増大させるために、正のパルス信号２０の期間つまりプラスイオン発生期間Ｔ（＋）をΔｔ（＋）延長し、他のパラメータ、すなわちインターバル期間Ｔi及び負のパルス信号２１の期間つまりマイナスイオン発生期間Ｔ（−）は固定される。なお、正のパルス信号２０の延長期間Δｔ（＋）は、イオンバランスの偏倚量によって変化することは言うまでもない。
【００４８】
図７（ロ）は、図６に示される制御方式と同一のものにおいて、ワーク近傍のイオンバランスがプラス側に偏っていると検出されたときの制御内容を示す。
【００４９】
この図７（ロ）に図示の例では、一周期のおけるマイナスイオンの生成比率を増大させるために、正のパルス信号２０の期間Ｔ（＋）を基本パルス発生期間（Ｔ０）に対してΔｔ（＋）減じるようにし、その他のパラメータ、すなわちインターバル期間Ｔi及び負のパルス期間Ｔ（−）は固定されている。これにより、相対的に、一周期におけるマイナスイオンの生成比率が増大することになる。
【００５０】
図８（ロ）は、上述した図６及び図７とは異なる第２の実施例としての制御内容を示すものであり、制御の前提として、制御の一周期の時間を一定とすると共に、一周期に存在する二つのインターバル期間Ｔiの長さを固定としたものである。
【００５１】
具体的には、図８（ロ）は、このような前提条件のもと、ワーク近傍のイオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を示すものであり、一周期において、プラスイオン発生比率を増大させるために、正のパルス信号２０を、基本パルス発生期間（Ｔ０）に対してΔｔを付加することにより、期間Ｔ（＋）とし、負のパルス信号２１を、基本パルス発生期間（Ｔ０）に対してΔｔ減じることにより、期間Ｔ（−）となるように制御している。
【００５２】
この正のパルス信号２０の追加発生期間Δｔと、負のパルス信号２１の減少期間Δｔとが同一の量となっているので、一周期の期間Ｔcを常に一定に保つことができる。
【００５３】
なお、図８（ロ）では、ワーク近傍のイオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を説明したが、ワーク近傍のイオンバランスがプラス側に偏っていると検出された場合は、正のパルス信号２０を、基本パルス発生期間（Ｔ０）に対してΔｔを減じると共に、負のパルス信号２１を、基本パルス発生期間（Ｔ０）に対してΔｔを付加することになる。また、上述した正及び負の基本パルス期間（Ｔ０）に対する増減分Δｔは、ワーク近傍のイオンバランスの偏りの程度に応じて変化させることはいうまでもない。
【００５４】
図９（ロ）は、上述した図６〜図８とは異なる第３の実施例としての制御内容を示すものであり、制御の前提として、制御の一周期の時間を一定とすると共に、一方の極性のイオン発生期間、つまり実施例ではマイナスイオン発生期間Ｔ０並びに一周期に存在する二つの逆パルス発生期間の長さを固定としたものである。
【００５５】
具体的には、図９（ロ）は、このような前提条件の下で、ワーク近傍のイオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を示すものであり、一周期において、プラスイオン発生比率を増大させるために、正のパルス信号２０を基本パルス発生期間Ｔ０に対してΔｔを追加すると共に、この増加分Δｔの１／２ずつを、各インターバル期間Ｔiから減じることにより、Ｔi（−）並びにＴi（＋）となるように制御している。
【００５６】
なお、図９（ロ）では、ワーク近傍のイオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を説明しているが、ワーク近傍のイオンバランスがプラス側に偏っていると検出された場合には、正のパルス信号２０を基本パルス発生期間Ｔ０に対してΔｔを減じると共に、この減少分Δｔの１／２ずつを、各インターバル期間Ｔiに付加することになる。上述した正及び負の基本パルス発生期間Ｔ０に対する増減分Δｔは、ワーク近傍のイオンバランスの偏りの程度に応じて変化することは言うまでもない。また、上記実施例とは逆に、プラスのイオン発生期間を固定とし、マイナスのイオン発生期間とインターバル期間とを可変とするようにしてもよい。
【００５７】
この制御においても、イオンバランスの程度に応じてΔｔ（＋）及びΔｔiが増減されることになるが、過度にインターバル期間Ｔiを短縮するのは、インターバル期間Ｔiを設定した本来的な目的が害されることになることから、インターバル期間Ｔiの短縮量Δｔiに一定の制限を設定しておくのがよい。
【００５８】
図１０（ロ）は、イオンバランスがマイナス側に偏っていると検出されたときの制御内容を示す。この制御は、プラスイオン発生期間Ｔ（＋）及びマイナスイオン発生期間Ｔ（−）を固定し（Ｔ（＋）＝Ｔ０、Ｔ（−）＝Ｔ０）、また、インターバル期間Ｔcを固定し、また、逆パルス２２、２３の絶対値及び期間も固定する一方で、正のパルス信号２０の絶対値を大きくし、逆に、負のパルス信号２１の絶対値を小さくするように制御される。
【００５９】
この制御においては、イオンバランスの程度に応じてΔＶが増減される。変形例として、負のパルス信号２１の絶対値を固定し、正のパルス信号２０の絶対値だけを大きくするようにしてもよく、逆に、正のパルス信号２０の絶対値を固定し、負のパルス信号２１の絶対値だけを小さくするようにしてもよい。
【００６０】
なお、必要であれば、放電用電極４に印加する電圧の最大値に制限を加えるために、ΔＶの値に一定の制限を設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従うパルスＡＣ式除電装置の回路ブロック図である。
【図２】（イ）は第１の抵抗を流れる電流の状態を示し、（ロ）は正及び負の検知値を時間を横軸にしてプロットした図である。
【図３】本発明に従う、イオンバランスが均衡しているときの放電用電極の基本制御を説明するための図である。
【図４】従来の放電用電極の基本制御を説明するための図である。
【図５】本発明の基本制御の作用効果の理解のために、逆電圧を印加しない制御を説明するための図である。
【図６】イオンバランスがマイナス側に偏ったときの、本発明に従う放電用電極のフィードバック制御の一例を説明するための図である。
【図７】イオンバランスがプラス側に偏ったときの、本発明に従う放電用電極のフィードバック制御の一例を説明するための図である。
【図８】イオンバランスがマイナス側に偏ったときの、本発明に従う放電用電極のフィードバック制御の他の例を説明するための図である。
【図９】イオンバランスがマイナス側に偏ったときの、本発明に従う放電用電極のフィードバック制御の別の例を説明するための図である。
【図１０】イオンバランスがマイナス側に偏ったときの、本発明に従う放電用電極のフィードバック制御の更に別の例を説明するための図である。
【符号の説明】
１    パルスＡＣ式除電装置
２    正側高電圧生成回路
３    負側高電圧生成回路
４    放電用電極
１０    放電用電極の近傍に配置されたＧＮＤプレート
１４    イオン電流検知回路
１５    ＣＰＵ
ＦＧ    ワークのフィールドグランド
【図１】
0004840955.tif 000002
【図２】
0004840955.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004840955.tif 000005
【図５】
0004840955.tif 000006
【図６】
0004840955.tif 000007
【図７】
0004840955.tif 000008
【図８】
0004840955.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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