(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方端に砥石が固定された第１回転軸と、一方端に前記研削砥石と対向するように被加工物を配置可能かつ前記第１回転軸と軸方向が平行になるように配設された第２回転軸とを備えた加工装置において、前記第２回転軸の前記一方端に、基台となる第１板体と、前記第１板体に対して対向配置される第２板体と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材と、を備えた傾斜ステージが着脱自在に固定されていることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記支持体は、前記少なくとも球面の一部を有するように形成されており、少なくとも前記第１板体又は前記第２板体のいずれか一方に前記球面を受ける球受部が形成されており、前記保持部材は、前記第１板体に平行な同一平面内で直交する２軸上の少なくとも３点に均等に配置されているものである請求項１記載の加工装置。
【請求項３】
前記支持体は、前記第２板体の中心を支持するように配設されているものである請求項２記載の加工装置。
【請求項４】
前記支持体は、球体に形成されているものである請求項２又は請求項３記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、被加工物に任意の傾斜角度をつけて被加工物を固定する傾斜ステージを備える加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被加工物に傾斜をつけて研削・切削等の加工を施す際に、多次元バイス（万力）等により、被加工物を任意の傾斜角度に挟持・固定して、被加工物の傾斜角度の調整が行われる。ここで、被加工物を支持するとともに被加工物の傾斜角度を調整するために、所望の高さを有する精密な板材を必要とし、この精密な板材を多数組み合わせて傾斜角度の調整を行わなければならない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した精密な板材は非常に高価であり、また、剛性を確保するために板材本体の大きさも非常に大きく使用できる加工装置が限定される。加えて、被加工物の傾斜角度を変更する際に、角度調整用の板材の変更・交換を行わなければならず、様々な傾斜角度で被加工物を加工するのは煩雑な作業を伴う。
【０００４】
また、上記した多次元バイスのような傾斜治具を用いずに、光学用ゴニオメータを用いて被加工物に傾斜をつけて研削・切削等の加工を行うことも可能であるが、光学用ゴニオメータは剛性に乏しく加工用の傾斜治具としては不適である。さらに加工用ゴニオメータを用いることも可能であるが、加工用ゴニオメータ自体がサイズ面のみならず重量面においても非常に大きく、被加工物の特殊な加工に用いられている。これらのことより、被加工物の傾斜角度の調整を容易に行うことができ、さらに被加工物の取付治具をかねた傾斜治具として様々な加工装置に適用できる汎用性に優れた傾斜治具（傾斜ステージ）が求められている。
【０００５】
そこで本発明は、被加工物の傾斜角度を容易に調整することのできる汎用性に優れた傾斜ステージを備える加工装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
例えば図１、２及び図４〜８に示すように、請求項１記載の発明の傾斜ステージ（Ａ）は、基台となる第１板体（固定板１）と、前記第1板体に対して対向配置される第２板体（傾斜板２）と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体（球体３，半球体３０，円柱３１，半円柱３２）と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材（ボルト４）と、を備える。
【０００７】
ここで、「少なくとも円柱の側周面の一部」とは、円柱の側周面と、側周面のうち円弧を形成する一部分との両方を含むものである。また、「少なくとも球面の一部」とは、球体全体と、半球面のような球面の一部との両方を含むものである。円柱の側周面又は球面の一部が第１板体又は第2板体のいずれかに一体に形成されていてもよい。
【０００８】
請求項１記載の発明によれば、支持体の円柱の側周面の一部又は球面の一部によって第２板体が支持される場合、支持体が支点となって、第２板体は第１板体に対して揺動自在とされることになる。そして、保持部材を用いてこれら二枚の板体を連結することにより、第２板体の第１板体に対する傾斜角度を所望通りに容易に調整することができる。従って、この第２板体に被加工物を固定した際に、第２板体に一体となって固定された被加工物の加工面の傾斜角度の調整も容易に行うことができる。
【０００９】
また、第２板体は支持体に支持されるとともに保持部材により第１板体に連結されるので、第２板体の傾斜状態は確実に保持され、剛性を有する傾斜ステージとすることができる。
【００１０】
さらに、本発明の傾斜ステージは、板体の面積と二枚の板体の厚みと板体同士の間隔とからその占有されるスペースがほぼ決まることになり、容易に小型化可能である。従って、この傾斜ステージを各種加工装置等に容易に組み込んで使用することができる。
【００１１】
なお、傾斜ステージを加工装置に組み込む場合に、被加工物の載置・固定される第２板体のステージ面には、被加工物を固定する固定装置が設けられているものとしても良いし、ステージ面にワックス等の接着及び剥離が可能な材料で被加工物をステージ面に取り付けるものとしても良いし、ステージ面上に締結、クランプ等により板材を固定し、該板材に部材をワックス等により固定するものとしても良い。また、基台となる第１板体に加工装置への固定機構を設けても良い。
【００１２】
請求項２記載の発明は、例えば図２，３に示すように、請求項１記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、前記少なくとも球面の一部を有するように形成されており、少なくとも前記第1板体又は前記第2板体のいずれか一方に前記球面を受ける球受部（１ａ，２ａ）が形成されており、前記保持部材は、前記第１板体に平行な同一平面内で直交する２軸（Ｘ軸，Ｙ軸）上の少なくとも３点に均等に配置されているものである。
【００１３】
ここで、「保持部材」は２軸上の少なくとも３点に配置されていれば、第２板体を所望の傾斜状態に調整可能であるが、２軸上の４点に均等に配置される場合のほうが、より簡単に傾斜状態を保持できるので好ましい。
【００１４】
保持部材をＸ軸，Ｙ軸の２軸上の４点に均等に配置した場合には、Ｘ軸上の二つの保持部材により、Ｙ軸を回転軸とするステージ面の傾斜角を決め、かつ、Ｙ軸上の二つの保持部材によりＸ軸を回転軸とする第２板体の傾斜角を決めることができる。すなわち、Ｘ軸及びＹ軸のうちの一方の軸を回転中心とする第２板体の角度を決めた後に、他方の軸を回転中心とする第２板体の角度を決めることで、第２板体において被加工物の載置・固定されるステージ面の傾斜方向と傾斜角度を容易に決めることができる。
【００１５】
また、請求項３記載の発明は、例えば図２に示すように、請求項２記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、前記第２板体の中心を支持するように配設されているものである。
【００１６】
請求項３記載の発明によれば、支持体が第２板体の中心を支持するので、第２板体の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）の調整を容易に行うことができる。
【００１７】
また、請求項４記載の発明は、例えば図２に示すように、請求項２又は３記載の傾斜ステージにおいて、前記支持体は、球体（３）に形成されているものである。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、支持体を球体に形成するので、傾斜ステージの構造がより簡単になり、傾斜ステージを容易に製造することができる。すなわち、請求項１乃至３の傾斜ステージの構成も考慮すると、傾斜ステージは、二枚の板体と、球体と、ボルト等の保持部材により製造できるので、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。従って、この傾斜ステージを加工装置に組み込むものとしても、加工装置のコストアップを最小限のものとすることができ、各種加工装置に角度調整が可能な機構を安価に付加することができる。そして、これらのことより、本発明の傾斜ステージを汎用性に優れたものとすることができる。
【００１９】
請求項１乃至４記載の発明は、例えば図９に示すように、一方端に研削砥石（砥石５ａ）が固定された第１回転軸（砥石軸５ｂ）と、一方端に前記研削砥石と対向するように被加工物（Ｗ）を配置可能かつ前記第１回転軸と軸方向が平行になるように配設された第２回転軸（ステージ軸６）とを備えた加工装置（Ｂ）において、前記第２回転軸の前記一方端に、傾斜ステージ（Ａ）が基台となる第１板体と、前記第1板体に対して対向配置される第２板体と、少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成され、前記第１板体に対して前記第２板体を傾斜可能に支持する支持体と、前記第２板体を前記第１板体に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能に、前記第１板体と前記第２板体とを互いに連結する保持部材と、を備えた傾斜ステージが着脱自在に固定されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項１乃至４記載の発明によれば、第２回転軸の一方端に傾斜ステージが着脱自在に固定されるので、傾斜ステージの取り付け、取り外しを容易に行うことができる。また、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の傾斜ステージは固定されているので、被加工物に所望の傾斜状態を与えて簡単に加工することができる。
【００２１】
なお、傾斜ステージを加工装置に固定する際には、直接、被加工物を固定することに限られるものではなく、被加工物を掴んだり挟持したりして被加工物を固定する装置を加工装置に固定する装置、すなわち、間接的に被加工物を加工装置に固定する装置を備えて傾斜ステージを加工装置に固定するようにしてもよい。また、傾斜ステージ全体が載置された状態で、傾斜ステージ全体の自重と、傾斜ステージの載置された加工装置の載置面の摩擦力とにより傾斜ステージが加工装置に固定されるものとしてもよいし、被加工物の搭載された傾斜テーブルを磁力により加工装置に固定するようにしてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の傾斜ステージ及び加工装置に係る実施の形態について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態において、「加工装置」は被加工物固定用ステージに被加工物を固定し、回転させた研削砥石を用いて被加工物表面の研削を行う装置であり、「傾斜ステージ」は固定された被加工物に所定の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）を与えるステージである。
【００２３】
図１〜３に示すように、傾斜ステージＡは、二枚の板体１，２と、球体３（支持体）と、二枚の板体１，２を連結する四本のボルト４（保持部材）とから主要部が構成されている。
【００２４】
二枚の板体１，２は、傾斜ステージＡを備える加工装置（後述）側に固定される固定板（第１板体）１と、固定板１に対する傾斜状態が調整される傾斜板２（第２板体）とから構成されている。
【００２５】
固定板１は、図２に示すように、所定の厚みを有する円盤状の部材であって、焼きいれ鋼で形成されている。また、固定板１には、球体３と接する側面の略中央に略円錐凹状に形成された球受部１ａが設けられている。この球受部１ａは、球体３が全方向に回転自在となるように球体３を受けている。球受部１ａから放射状に延在する固定板１の四方向の端部には、四本のボルト４が螺合・締結されるための締結孔１ｂが形成されている。詳しくは、締結孔１ｂは、球受部１ａ（または嵌合された状態の球体３）の中心を通るＸ軸上で、かつ、球受部１ａを中央に挟む二つの位置と、Ｘ軸に直交するＹ軸上で、かつ、球受部１ａを中央に挟む二つの位置との計四つの位置に形成されている。
【００２６】
傾斜板２は、前記した固定板１と略同様の構成とされており、固定板１に対して対向する位置に配置されている。そして、球体３と接する側面に球受部２ａが形成されるとともに、四本のボルト４が挿通されるための挿通孔２ｂが形成されている。なお、球受部２ａは略円錐凹状に形成されており、球体３が全方向に回転自在となるように球体３を受けている。そして、これら固定板１及び傾斜板２それぞれの球体３と接する側面同士を重ねた状態においては、球受部１ａ，２ａ及び締結孔１ｂ，挿通孔２ｂとが一致するようになっている。
【００２７】
また、傾斜板２の球体３と接する側面の反対側面にベースＢを介して被加工物Ｗが固定されるようになっている。詳しくは、ベースＢは略正方形に形成された所定の厚みを有する板状部材であって、四つの角部がボルトＢ１により傾斜板２に固定されている。そして、傾斜板２に固定されたベースＢの表面に被加工物Ｗが固定されるようになっている。従って、傾斜板２のベースＢの固定された側面が、被加工物Ｗに所定の傾斜角度及び傾斜方向を与えるステージ面２ｃとされる。なお、傾斜板２のステージ面２ｃにベースＢを介して被加工物Ｗを固定するようにしているが、被加工物Ｗをステージ面２ｃに直接固定するようにしてもよい。
【００２８】
球体３は、焼きいれ鋼球で形成されており、前述した固定板１及び傾斜板２により挟みこまれている。即ち、球体３は、球受部１ａ，２ａそれぞれに嵌合され、傾斜板２の中心を支持するように配設されている。この場合、二枚の板体１，２間で球体３は回転自在に保持されるが、嵌合された位置からの水平方向及び垂直方向への移動は規制された状態となる。
【００２９】
なお、球体３が二枚の板体１，２の球受部１ａ，２ａそれぞれに嵌合された際には、球体３全体が嵌合されるのではなく、球体３の端部同士（すなわち球体３の一部同士）が嵌合されるので、二枚の板体１，２は互いに間隔をあけて配置されることになる。従って、球体３が二枚の板体１，２間に保持された状態にあっては、これら二枚の板体１，２は球体３を介して互いに揺動自在に配置された状態となる。また、この状態を保持しつつ固定板１を水平面状に固定した際には、傾斜板２は回転自在な球体３が支点となって、固定板１に対して傾斜板２を傾斜可能に支持する。すなわち、球体３が傾斜板２の中心を支点として傾斜板２を支持するため、固定板１に対する傾斜板２のステージ面２ｃの傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）を自在なものとすることができるとともに、傾斜状態の調整が容易に行えるようになっている。
【００３０】
ボルト４は、前述したような球体３を介して二枚の板体１，２を配置した際に、傾斜板２の挿通孔２ｂに挿通し、さらに固定板１の締結孔１ｂに螺合・締結することにより、これら二枚の板体１，２間同士を互いに連結するものである。また、ボルト４は、その締め具合を操作することにより、傾斜板２を固定板１に対して所望の傾斜状態に調整可能かつ前記傾斜状態を保持可能にするものである。
【００３１】
ここで、図３に示すように、ボルト４は球体の中心を通るＸ，Ｙ軸のそれぞれの軸上を通り、かつ、球体３を中心に配置するように４箇所に配置されて二枚の板体１、２を締結する。従って、Ｘ軸上の二本のボルト４（以下、Ｘボルト４と称する）を固定・保持した状態で、Ｙ軸上の二本のボルト４（以下、Ｙボルト４と称する）の締め具合を操作することにより、Ｘボルト４及び球体３を支点とした（Ｘ軸を回転中心とした）Ｙ軸方向の傾斜角度（すなわち傾斜板２のステージ面２ｃのＹ軸方向の傾斜角度）を任意に決めることができる。また、同様にＹボルト４を固定・保持した状態で、Ｘボルト４の締め具合を操作することにより、Ｙボルト４及び球体３を支点とした（Ｙ軸を回転中心とした）Ｘ軸方向の傾斜角度を決めることができる。そして、これらＸ，Ｙボルト４の締め具合をそれぞれ組み合わせて操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃの固定板１に対する傾斜角度及び傾斜方向を所望通りに設定することができる。すなわち、これらの構成を備えた傾斜ステージＡはＸ，Ｙ軸それぞれに対応して傾斜する、いわゆる二軸式の傾斜ステージとすることができる。
【００３２】
前記した傾斜ステージＡにおいては、傾斜板２を傾斜可能に支持する支持体が球体（球体３）に形成されている例を示したが、他の変形例としては以下のようなものも考えられる。なお、以下に示す変形例は、前記した傾斜ステージＡの支持体（球体３）と二枚の板体１，２の支持体と関わり合う部分を除く構成が略同様であるので、上記例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明は省略する。
【００３３】
図４に示すように、第一の変形例においては、支持体は半球体３０に形成されている。半球体３０は、底部が平坦に形成された基端部３０ａと、頂部が少なくとも球面の一部を有する半球部３０ｂとを備えている。基端部３０ａは固定板１の中央に形成されている凹部１ｃに嵌合・固定されている。一方、半球部３０ｂは傾斜板２の上記例と同様の球受部２ａに回転自在に受けられている。そして、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃは、Ｘ及びＹ軸の二軸が回転中心となって所望の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）が可能となる。
【００３４】
また、図５及び６に示すように、第二の変形例においては、支持体は円柱３１に形成されている。円柱３１は、その側周面の一部が固定板１及び傾斜板２の受部１ｄ，２ｄそれぞれに回転自在に受けられている。なお、この場合、受部１ｄ，２ｄは円柱３１の延在する方向に断面三角形状の溝となって形成され、この溝内で円柱３１が周方向に回転自在となっている。そして、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃはＸ又はＹ軸の一軸が回転中心となって傾斜可能となる。
【００３５】
さらに、図７及び８に示すように、第三の変形例においては、支持体は半円柱３２に形成されている。半円柱３２は底部が平坦に形成された基端部３２ａを有し、略長方形状に形成された固定板１の凹部１ｅに嵌合・固定されている。また、半円柱３２の側周面の一部が傾斜板２の受部２ｅに回転自在に受けられている。なお、この場合、受部２ｅは半円柱３２の延在する方向に断面三角形状の溝となって形成されている。そして、この場合においても、図５及び６に示した傾斜ステージＡと同様に、ボルト４の締め具合を操作することにより、傾斜板２のステージ面２ｃはＸ又はＹ軸の一軸が回転中心となって傾斜可能となる。
【００３６】
次に、前述した傾斜ステージを備えた加工装置において、加工装置の概略構成を説明するとともに被加工物の研削方法を図面を参照して説明する。図９に示すように、加工装置Ｍは、被加工物Ｗを研削する砥石車５と、前述した傾斜ステージＡとを備え、砥石車５と傾斜ステージＡに固定される被加工物Ｗとが互いに対向する位置に配置されている。
【００３７】
砥石車５は、被加工物Ｗに向かう表面側に砥石５ａを備え、この砥石５ａにより被加工物Ｗの研削を行う。また、砥石車５は砥石軸（第１回転軸）５ｂの先端に装着されており、砥石軸５ｂの基端に備えられた駆動手段（図示しない）を作動させることにより、その駆動力に連動して砥石軸５ｂが軸心となって砥石車５が回転可能になるとともに、砥石車５を略垂直に保持した状態で紙面の左右方向に沿って砥石車５を移動可能とすることができるようになっている。
【００３８】
傾斜ステージＡは、上記した砥石車５の対向する位置に配置されるとともに、加工装置Ｍに備えられたステージ軸（第２回転軸）６の先端に略垂直に立設された状態で着脱自在に固定されている。詳しくは、図３に示すように、固定板１底部の中心には軸受１ｆが形成されており、ステージ軸６の先端をこの軸受１ｆに装着することにより、傾斜ステージＡがステージ軸６に着脱自在に固定されるようになっている。従って、傾斜ステージＡの加工装置Ｂに対する取り付け・外しを容易に行うことができる。
【００３９】
また、ステージ軸６の基端には駆動手段（図示しない）が備えられ、駆動手段を作動させることにより、その駆動力に連動してステージ軸６が軸心となって傾斜ステージＡが回転可能となっている。なお、ステージ軸６は前記した砥石車５の砥石軸５ｂと軸方向が平行になるように配設されている。
【００４０】
そして、実際に、被加工物Ｗを研削する際には、図２に示すように、球体３を二枚の板体１，２間に介した状態でボルト４を締結し、二枚の板体１，２同士を連結する。そして、傾斜板２のステージ面２ｃにベースＢをボルトＢ１により固定し、さらに、ベースＢの表面に被加工物Ｗを研削面が表面側に配置するようにワックス等の材料で取り付ける。次に、四本のボルト４の締め具合を操作するとともにマイクロメータ等の機器を用いて、傾斜板２のステージ面２ｃが所望の傾斜角度及び傾斜方向になるように調整する。
【００４１】
なお、マイクロメータは一般に測定用として利用されている周知なもので、先端に設けられたヘッドが微小間隔で移動可能であり、傾斜板２のステージ面２ｃの各点と前記ヘッドとの距離を測定することでステージ面２ｃの傾斜角度及び傾斜方向を容易に測定することができる。
【００４２】
その後、図９に示すように、被加工物Ｗが固定された傾斜ステージＡを垂直に立てた状態でステージ軸６の先端に固定する。最後に、前述した二つの駆動手段を作動させることで、砥石軸５ｂ及びステージ軸６を回転させるとともに、砥石車５を被加工物Ｗ側に移動させて、砥石５ａにより被加工物Ｗの研削面を研削する。
【００４３】
なお、二枚の板体１，２及び支持体としての球体３（半球体３０，円柱３１，半円柱３２）は鋼製材料から形成されており、被加工物Ｗを研削する際に、被加工物Ｗが傾斜ステージＡに適するサイズであれば、被加工物Ｗに対して砥石車５からの圧力が加わったとしても、該圧力に抗する剛性力を充分に有しているものである。また、仮に、前記圧力により傾斜ステージＡが弾性変形したとしても、傾斜板２自体の復元力により、被加工物Ｗは所望の傾斜角度及び傾斜方向の状態に戻され、被加工物Ｗの研削面への研削精度は充分に確保される。
【００４４】
以上、本実施の形態に係る傾斜ステージＡ及び加工装置Ｍによれば、ボルト４の締め具合により、傾斜板２のステージ面２ｃの固定板１に対する傾斜角度及び傾斜方向を容易に調整することができる。従って、ステージ面２ｃに固定された被加工物Ｗの研削面の傾斜角度及び傾斜方向の調整も容易に行うことができる。
【００４５】
また、傾斜ステージＡは、板体１，２の面積と二枚の板体１，２の厚みと板体１，２同士の間隔とからその占有されるスペースがほぼ決まることになり、容易に小型化可能であり、各種加工装置等に容易に組み込んで使用することができる。さらに、傾斜ステージＡは二枚の板体１，２と、球体３と、ボルト４により製造できるので、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。そして、この傾斜ステージＡを加工装置Ｍに組み込むものとしても、加工装置Ｍのコストアップを最小限のものとすることができ、加工装置Ｍに角度調整が可能な機構を安価に付加することができる。これらのことから、傾斜ステージＡを汎用性に優れたものとすることができる。
【００４６】
なお、本実施形態に係る傾斜ステージでは、ボルトで保持部材を構成するとして説明したが、ボルトに限られず、クランプやネジで構成してもよい。また、支持体として、固定板1、傾斜板２と別体に形成されたものを説明したが、これに限定されず、固定板１又は傾斜板２と一体的に形成されていてもよい。
【００４７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、簡単な構成で被加工物の加工面の傾斜角度の調整を容易に行うことができる。また、支持体が少なくとも円柱の側周面の一部又は少なくとも球面の一部を有するように形成されているため、剛性があるという効果を奏する。さらに、本発明に係る傾斜ステージを平面研削盤や回転研削盤に取りつけてサファイアの面調整加工を行なうと、0.02度以下の精度で面の調整を行なうことができる。
【００４８】
請求項２記載の発明によれば、同一平面内で直交する二軸（Ｘ，Ｙ軸）を回転中心として容易に傾斜ステージのステージ面の傾斜方向と傾斜角度を決めることができる。
【００４９】
請求項３記載の発明によれば、第２板体の中心を支点とするため、第２板体の傾斜状態（傾斜角度及び傾斜方向）の調整を容易に行うことができる。
【００５０】
請求項４記載の発明によれば、既製の部材を利用して極めて容易かつ安価に製造することができる。また、本発明の傾斜ステージを汎用性に優れたものとすることができる。
【００５１】
請求項５記載の発明によれば、加工装置に対する傾斜ステージの取り付けや取り外しを容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。
【図２】前記傾斜ステージを示す断面図である。
【図３】前記傾斜ステージを示す平面図である。
【図４】本実施の形態に係る支持体として半球体を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図５】本実施の形態に係る支持体として円柱を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図６】図５に示す傾斜ステージを水平方向に９０度回転させた場合の断面図である。
【図７】本実施の形態に係る支持体として半円柱を用いた場合の傾斜ステージを示す断面図である。
【図８】図７に示す傾斜ステージを水平方向に９０度回転させた場合の断面図である。
【図９】本実施の形態に係る加工装置を示す概略図である。
【符号の説明】
Ａ    傾斜ステージ
Ｍ    加工装置
Ｗ    被加工物
１    板体，固定板（第１板体）
１ａ  球受部
２    板体，傾斜板（第２板体）
２ａ  球受部
３    球体（支持体）
４    ボルト（保持部材）
５ａ  砥石
５ｂ  砥石軸（第１回転軸）
６    ステージ軸（第２回転軸）
３０  半球体（支持体の変形例）
３１  円柱（支持体の変形例）
３２  半円柱（支持体の変形例）
【図１】
0004630962.tif 000002
【図２】
0004630962.tif 000003
【図３】
0004630962.tif 000004
【図４】
0004630962.tif 000005
【図５】
0004630962.tif 000006
【図６】
0004630962.tif 000007
【図７】
0004630962.tif 000008
【図８】
0004630962.tif 000009
【図９】
0004630962.tif 000010