(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱することにより溶融した半田に超音波振動するコテ先を接触して、上記溶融した半田に超音波振動を付与して濡れ性を高めて被半田付基板に半田付けを行う超音波半田付装置において、
赤外光を発光するとともに発光した赤外光を集光して上記コテ先に照射する赤外線ヒータを備え、
赤外光が照射されて加熱された上記コテ先により上記半田を加熱して溶融し、
上記コテ先の照射面での上記赤外光のビーム径は、上記コテ先の外径以下且つ上記コテ先の外径の１／３以上であり、
上記コテ先は、中心軸が被半田付基板の半田面に対して上記コテ先の平行移動方向に所定の傾斜角だけ傾斜し、
上記赤外光の光軸は、上記中心軸に対して直交するとともに上記コテ先の端面から所定の距離だけ離れた位置の上記コテ先の側面と交わり、
上記側面で反射した上記赤外光は上記被半田付基板の表面に到来せず、
上記コテ先は、上記赤外光の光軸に対して直交する照射平面部が設けられ、
上記赤外線ヒータは、上記照射平面部に向けて上記赤外光を照射することを特徴とする超音波半田付装置。
【請求項２】
上記赤外線ヒータは、近赤外線領域の赤外光を発光するハロゲンランプと、発光された赤外光を集光する集光ミラーと、を備えることを特徴とする請求項１に記載の超音波半田付装置。
【請求項３】
上記コテ先は、耐熱性の黒色塗料によって塗装されていることを特徴とする請求項１に記載の超音波半田付装置。
【請求項４】
上記超音波半田コテと上記赤外線ヒータとが保持部材により一体化された集合体と、
上記集合体を昇降および水平移動するアクチュエータと、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の超音波半田付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、超音波半田コテを用いた超音波半田付装置に関し、特に半田を加熱溶融するための加熱手段の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
加熱手段によって加熱溶融させた半田に、超音波振動子によって超音波振動させたコテ先を接触させることにより、溶融半田に超音波振動を付与して濡れ性を高めて被半田付基板に半田付けを行う超音波半田コテを用いた超音波半田付装置は実用されている。
例えば、インジウムハンダ被覆銅箔リボン導線を用いた接続方法によれば、ガラス基板上の導体電極とリボン導線とを、損傷なしに低コストで確実・強固に接続するために、超音波半田コテを加熱しながらインジウム半田を溶融させながら半田接続を行う（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
但し、半田コテの加熱手段については開示されていないが、一般市場で提供されている
超音波半田コテの加熱手段は、超音波半田コテのコテ先の外周に間隙をおいてヒータコイルが巻回され、このヒータコイルに通電することによってコテ先を加熱するようになっている。
また、半田である線状ろう材の供給用ホルダに設けた加熱装置、または基板を加熱する予熱プレートによって半田を溶融するようにした超音波半田の技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
また、ハロゲンランプを用いてハンダを溶融するようにした非接触ハンダ付け装置が開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２０７８６１号公報
【特許文献２】特許第３２０５４２３号公報
【特許文献３】特開平０６−２５４６７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１による接続方法において、ヒータコイルが使用されると、半田カスが間隙に侵入して超音波振動を阻害し、これに対処するための保守・清掃に手間がかかるとともに、間隙を広げると熱伝達効率が悪化するという問題がある。
また、特許文献２による半田付方法においては、超音波半田コテ自身が加熱処理されていないので、コテ先により溶融半田の熱を奪って良質な半田付けが行えなくなるという問題がある。
また、特許文献３による半田付け装置は、超音波半田ではないので半田コテを必要としないが、もしも超音波半田コテにおいて、半田を赤外線加熱するようにした場合には、加
熱されていないコテ先によって溶融半田の熱を奪って良質な半田付けが行えなくなるという問題がある。
【０００６】
この発明は、熱効率が良く保守・清掃の手間を大幅に削減することができる超音波半田コテの加熱手段を有し、コテ先から溶融半田の熱を奪うことのない超音波半田付装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る超音波半田付装置は、加熱することにより溶融した半田に超音波振動するコテ先を接触して、上記溶融した半田に超音波振動を付与して濡れ性を高めて被半田付基板に半田付けを行う超音波半田付装置において、赤外光を発光するとともに発光した赤外光を集光して上記コテ先に照射する赤外線ヒータを備え、赤外光が照射されて加熱された上記コテ先により上記半田を加熱して溶融し、上記コテ先の照射面での上記赤外光のビーム径は、上記コテ先の外径以下且つ上記コテ先の外径の１／３以上であり、上記コテ先は、中心軸が被半田付基板の半田面に対して上記コテ先の平行移動方向に所定の傾斜角だけ傾斜し、上記赤外光の光軸は、上記中心軸に対して直交するとともに上記コテ先の端面から所定の距離だけ離れた位置の上記コテ先の側面と交わり、上記側面で反射した上記赤外光は上記被半田付基板の表面に到来せず、上記コテ先は、上記赤外光の光軸に対して直交する照射平面部が設けられ、上記赤外線ヒータは、上記照射平面部に向けて上記赤外光を照射する。
【発明の効果】
【０００８】
この発明に係る超音波半田付装置の効果は、赤外光を発光するハロゲンランプおよび発光された赤外光をコテ先に集光して照射する集光ミラーを備え、超音波振動する半田付け用のコテ先を赤外光により加熱するので、コテ先を外周から電熱ヒータコイルにより加熱するものに比べて、半田カスによる目詰まりによって超音波振動が阻害されることが無くなったり、目詰まりを防止するための清掃管理の手間が省けたりするとともに、熱効率が高く、急速加熱が行なえることである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置の全体構成図である。図２は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置の超音波半田コテの詳細図である。
この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００は、図１に示すように、超音波半田コテ１０と赤外線ヒータ２０とを一体化した集合体５０と、集合体５０を昇降移動および前後移動するアクチュエータ４０と、を備える。
そして、超音波半田付装置１００は、例えばガラス板である被半田付基板３０に半田３１を用いてリード３２を半田付けする工程において使用される。
【００１０】
超音波半田コテ１０は、例えばステンレスの丸棒材であるコテ先１１Ａと、コテ先１１Ａの大径部１２をケース１３に固定する固定板１４と、大径部１２の一端に固定される超音波振動子１５と、超音波振動子１５にリード線１６を介して接続される超音波コントローラ１７と、を備える。
なお、丸棒材のコテ先１１Ａの中心軸５は、被半田付基板３０の半田面３１ａに当接するコテ先１１Ａの端面１９に対して傾斜角θ度だけ傾いている。また、コテ先１１Ａの円筒状の腹面のうち少なくとも赤外光２８が照射される照射面２７Ａは、例えばセラミックス系の耐熱性黒色塗料が塗装されており、赤外光２８を効率的に吸収する。
【００１１】
赤外線ヒータ２０は、近赤外領域の赤外光２８を発光するハロゲンランプ２１と、集光ミラー２２と、ハロゲンランプ２１にリード線２３を介して接続されるランプコントローラ２４と、を備える。ハロゲンランプ２１から発光される赤外光２８は、集光ミラー２２によりコテ先１１Ａの照射面２７Ａでビーム径ｄになるように集光されて照射面２７Ａに照射される。このとき、赤外光２８が照射されるコテ先１１Ａの側面は円筒面であり、赤外光２８が照射される領域のコテ先１１Ａの中心軸５方向の長さをｄとし、以下ビーム径ｄと称す。なお、ビーム径ｄとコテ先１１Ａの外径Ｄとの関係は式（１）の範囲に設定するのが好ましい。
【００１２】
Ｄ／３≦ｄ≦Ｄ      （１）
【００１３】
赤外線ヒータ２０および超音波半田コテ１０は、ケース１３を外周から挟持する第１保持部材１８と、一端側で第１保持部材１８を保持するとともに他端側で赤外線ヒータ２０が固定される第２保持部材２５と、により一体化されている。
【００１４】
アクチュエータ４０は、サーボモータ４１と、サーボモータ４１にカップリング４２およびボールネジ４３を介して被半田付基板３０に平行して移動する移動体４４と、移動体４４に固定された上下駆動用のエアシリンダ４５と、エアシリンダ４５のピストンにより上下動作を行う昇降台４６と、昇降台４６上に固定された昇降駆動用のエアシリンダ４７と、エアシリンダ４７のピストンによって昇降動作を行う昇降台４９ａと、一端が第２保持部材２５に固定されるとともに他端にストッパ４９ｂが固定された支持軸２６と、昇降台４９ａとストッパ４９ｂ間に圧縮介挿されたバネ４８と、を備える。
そして、支持軸２６は、アクチュエータ４０により水平方向および上下方向に駆動され、支持軸２６に固定された集合体５０も水平方向および上下方向に一体として駆動される。
【００１５】
次に、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置の動作を説明する。
超音波コントローラ１７は、超音波振動子１５に高周波電流を流すことにより、超音波振動子１５に固定されたコテ先１１Ａに例えば周波数４０ｋＨｚの超音波振動を付与し、超音波振動するコテ先１１Ａは、溶融された半田３１の濡れ性を向上する。
赤外線ヒータ２０は、コテ先１１Ａの照射面２７Ａに集光された赤外光２８を照射してコテ先１１Ａを加熱する。
アクチュエータ４０は、超音波半田コテ１０と赤外線ヒータ２０との集合体５０をコテ先１１Ａの端面１９が半田面３１ａに当接するまで下降し、次に、コテ先１１Ａの端面１９が半田面３１ａに当接しながら図１に示す被半田付基板３０の左手側から右手側に水平移動させながら半田付け作業を行う。但し、図１に示す超音波半田コテ１０の右側には図示しない温風ヒータが設けられていて、半田付け部位を予熱するようになっている。
【００１６】
ここで、赤外光２８が照射されるコテ先１１Ａの照射面２７Ａは、コテ先１１Ａの端面１９に近い方が望ましいが、集光ミラー２２の外径が大きいので赤外光２８の光軸３は、被半田付基板３０の半田面３１ａに対して上から覗き込むように斜めにする必要がある。
そして、赤外光２８の光軸３を半田面３１ａに対して傾斜させた場合、コテ先１１Ａの中心軸５に平行な照射面２７Ａの中心線が半田面３１ａに対して垂直になっていると照射面２７Ａに照射された赤外光２８の一部は照射面２７Ａで反射されて半田面３１ａを照射してしまうという問題がある。
そこで、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００では、コテ先１１Ａの中心軸５に平行な照射面２７Ａの中心線が赤外光２８の光軸３に対して直交するように、コテ先１１Ａの中心軸５を半田面３１ａに対して直交させずに傾けている。赤外光２８の光軸３を半田面３１ａに対して（１８０−θ）度傾けたとき、コテ先１１Ａの中心軸５を半田面３１ａに対して傾斜角θ度傾けることにより、赤外光２８の光軸３が照射面２７Ａの中心線と直交する。
このように、赤外光２８の光軸３が照射面２７Ａの中心線に直交すると、照射面２７Ａの中心線上で反射された赤外光２８は集光ミラー２２に向かうので、集光ミラー２２で再度反射されて照射面２７Ａに照射される。
【００１７】
但し、コテ先１１Ａの外側面は円筒面であるので反射した赤外光２８は多方向に散乱するが、被半田付基板３０の表面には散乱光が照射されないように照射面２７Ａの位置を端面１９から離れるように設定している。
また、ビーム径ｄはコテ先１１Ａの外径Ｄよりも小さな寸法として、散乱方向が広角度にならないように配慮されている。
なお、コテ先１１Ａが安定した超音波振動するためには、単純な円柱形状であって、半田面３１ａに対して直交しているのが望ましいが、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置では円柱形状のコテ先１１Ａの中心軸５を半田面３１ａに対して傾斜角θ度だけ傾けることにより反射光が半田面３１ａを照射しないようにしたものである。
【００１８】
この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００は、赤外光２８を発光するハロゲンランプ２１および発光された赤外光２８をコテ先１１Ａに集光して照射する集光ミラー２２を備え、超音波振動する半田付け用のコテ先１１Ａを赤外光２８により加熱するので、コテ先１１Ａを外周から電熱ヒータコイルにより加熱するものに比べて、半田カスによる目詰まりによって超音波振動が阻害されることが無くなったり、目詰まりを防止するための清掃管理の手間が省けたりするとともに、熱効率が高く、急速加熱が行なえる。
【００１９】
また、赤外線ヒータ２０によって半田３１自体を直接加熱するものに比べ、超音波振動を付与するためのコテ先１１Ａが半田３１から熱を奪うことがなく、加熱されたコテ先１１Ａの熱容量によって安定した温度による半田３１の加熱が行えるととともに、コテ先１１Ａの形状を変更することによって必要とされる最低限度の領域の半田３１を加熱することができる。
【００２０】
また、コテ先１１Ａの照射面２７Ａに照射される赤外光２８の照射面２７Ａでのビーム径ｄがコテ先１１Ａの外径Ｄ以下且つコテ先１１Ａの外径Ｄの１／３以上になるように赤外光２８が集光されるので、コテ先１１Ａの全体を均一に加熱することができるとともにコテ先１１Ａの外径幅を超える領域に対する無駄な投光を防止することができる。
【００２１】
また、半田面３１ａに対して傾いている赤外光２８の光軸３に対して直交するようにコテ先１１Ａの中心軸５を半田面３１ａに対して傾けているので、コテ先１１Ａの端面１９に近い箇所に赤外光２８を照射してもコテ先１１Ａの照射面２７Ａで散乱した赤外光２８が半田面３１ａには向かわずに被半田付基板３０を必要以上に加熱することが防げる。
また、赤外光２８が照射されるコテ先１１Ａの照射面２７Ａがコテ先１１Ａの端面１９から離れているように赤外光２８をコテ先１１Ａに照射するので、コテ先１１Ａの端面１９に近い箇所に赤外光２８を照射してもコテ先１１Ａの照射面２７Ａで散乱した赤外光２８が半田面３１ａには向かわずに被半田付基板３０を必要以上に加熱することが防げる。
【００２２】
また、超音波半田コテ１０のコテ先１１Ａは耐熱性の黒色塗料によって塗装されているので、赤外光２８の吸収を高め、加熱効率が向上する。
【００２３】
また、超音波半田コテ１０および赤外線ヒータ２０が第１保持部材１８および第２保持部材２５により集合体５０として一体化され、一体化された集合体５０がアクチュエータ４０により昇降および水平移動されるので、超音波半田コテ１０と赤外線ヒータ２０との間の相互の寸法関係を維持したままで昇降および水平移動されながら常に安定した加熱が行われる。
【００２４】
実施の形態２．
図３は、この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置の部分構成図である。図４は、この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置のコテ先の正面図である。
この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００とコテ先１１Ｂが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
この発明の実施の形態２に係るコテ先１１Ｂは、この発明の実施の形態１に係るコテ先１１Ａの赤外線ヒータ２０に対面する腹面に溝状の照射平面部２７Ｂが設けられたことが異なっており、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
コテ先１１Ｂの照射平面部２７Ｂは、コテ先１１Ｂが水平移動する方向に対して直交するコテ先１１Ｂの腹面に設けられ、赤外光２８の光軸３に対して直交する平面を有し、平面のコテ先１１Ｂの中心軸５方向の幅は集光された赤外光２８の平面でのビーム径ｄより大きい。
【００２５】
赤外線ヒータ２０から照射平面部２７Ｂに照射された赤外光２８は、照射平面部２７Ｂの平面で反射されるが、平面が赤外光２８の光軸３に直交しているので、平面で反射した赤外光２８は集光ミラー２２に向かう。そして、コテ先１１Ａの照射面２７Ａのように円筒側面ではないので、反射した赤外光２８の全てが集光ミラー２２に向かい、他の方向への散乱光を発生しない。
【００２６】
この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００と同様に、赤外光２８を発光するハロゲンランプ２１および発光された赤外光２８をコテ先１１Ｂに集光して照射する集光ミラー２２を備え、コテ先１１Ｂを赤外光２８により加熱するので、高効率で省電力、急速加熱が行なえるとともに燃焼による生成物もないクリーンな加熱が行える。
【００２７】
また、この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置は、半田面３１ａに対して傾いている赤外光２８の光軸３に対して直交する面を有する照射平面部２７Ｂに赤外光２８を照射するので、コテ先１１Ｂの端面１９に近い箇所に赤外光２８を照射してもコテ先１１Ｂの照射平面部２７Ｂ反射した赤外光２８が全て集光ミラー２２に向かい被半田付基板３０を必要以上に加熱することが防げる。
【００２８】
実施の形態３．
図５は、この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置の部分構成図である。図６は、この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置のコテ先の正面図である。
この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００と超音波半田コテが異なり、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
この発明の実施の形態１に係る超音波半田コテ１０ではコテ先１１Ａの中心軸５が半田面３１ａに対してコテ先１１Ａが水平移動される方向に傾斜角θ度傾斜しているが、この発明の実施の形態３に係る超音波半田コテではコテ先１１Ｃの中心軸５が半田面３１ａに直交している。
この発明の実施の形態３に係るコテ先１１Ｃは、赤外光２８が照射されるコテ先１１Ｃの水平移動される方向に直交する腹面に溝状の照射平面部２７Ｃが設けられ、端面１９がコテ先１１Ｃの中心軸５に対して直交することがこの発明の実施の形態１に係るコテ先１１Ａと異なっており、それ以外は同様であるので、同様な部分に同じ符号を付記し説明は省略する。
コテ先１１Ｃの照射平面部２７Ｃは、コテ先１１Ｃが水平移動される方向に直交し且つ赤外線ヒータ２０に対面する腹面に設けられ、赤外光２８の光軸３に対して直交する平面を有し、平面のコテ先１１Ｃの中心軸５方向の幅は集光された赤外光２８の平面でのビーム径ｄより大きい。
【００２９】
赤外線ヒータ２０から照射平面部２７Ｃに照射された赤外光２８は、照射平面部２７Ｃの平面で反射されるが、平面が赤外光２８の光軸３に直交しているので、平面で反射した赤外光２８は集光ミラー２２に向かう。そして、コテ先１１Ａの照射面２７Ａのように円筒側面ではないので、反射した赤外光２８の全てが集光ミラー２２に向かい、他の方向への散乱光を発生しない。
【００３０】
この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００と同様に、赤外光２８を発光するハロゲンランプ２１および発光された赤外光２８をコテ先１１Ｃに集光して照射する集光ミラー２２を備え、コテ先１１Ｃを赤外光２８により加熱するので、高効率で省電力、急速加熱が行なえるとともに燃焼による生成物もないクリーンな加熱が行える。
【００３１】
また、この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置と同様に、半田面３１ａに対して傾いている赤外光２８の光軸３に対して直交する面を有する照射平面部２７Ｃに赤外光２８を照射するので、コテ先１１Ｃの端面１９に近い箇所に赤外光２８を照射してもコテ先１１Ｃの照射平面部２７Ｃで反射した赤外光２８が全て集光ミラー２２に向かい被半田付基板３０を必要以上に加熱することが防げる。
【００３２】
また、この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置は、コテ先１１Ｃが単純な円柱形状であり、且つ中心軸５が半田面３１ａに直交しているので、コテ先１１Ｃが安定した超音波振動する。
【００３３】
実施の形態４．
図７は、この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置の部分構成図である。図８は、この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置のコテ先の側面図である。
この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置では、赤外線ヒータ２０がコテ先１１Ｂが水平移動する方向に直交するコテ先１１Ｂの腹面に設けられた照射平面部２７Ｂに赤外光２８を照射しているが、この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置では、赤外線ヒータ２０がコテ先１１Ｄが水平移動する方向に平行なコテ先１１Ｄの腹面に設けられた照射平面部２７Ｄに赤外光２８を照射していることがこの発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置と異なっている。
この発明の実施の形態４に係るコテ先１１Ｄは、コテ先１１Ｄが水平移動される方向に平行な両方の腹面に赤外光２８の光軸３に対して直交する平面を有する照射平面部２７Ｄがコテ先１１Ｄの中心軸５を中心に点対称の位置に２つ設けられる。
コテ先１１Ｄの照射平面部２７Ｄは、赤外光２８の光軸３に対して直交する平面を有しており、この平面に向けて赤外線ヒータ２０を向けると、赤外光２８が反射して集光ミラー２２に戻る。
【００３４】
この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置１００と同様に、赤外光２８を発光するハロゲンランプ２１および発光された赤外光２８をコテ先１１Ｄに集光して照射する集光ミラー２２を備え、コテ先１１Ｄを赤外光２８により加熱するので、高効率で省電力、急速加熱が行なえるとともに燃焼による生成物もないクリーンな加熱が行える。
【００３５】
また、この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置は、この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置と同様に、半田面３１ａに対して傾いている赤外光２８の光軸３に対して直交する面を有する照射平面部２７Ｄに赤外光２８を照射するので、コテ先１１Ｄの端面１９に近い箇所に赤外光２８を照射してもコテ先１１Ｄの照射平面部２７Ｄで反射した赤外光２８が全て集光ミラー２２に向かい被半田付基板３０を必要以上に加熱することが防げる。
【００３６】
また、コテ先１１Ｄの先端に中心軸５を中心に点対称に２つの照射平面部２７Ｄを設けたので、コテ先１１Ｄをより安定して超音波振動することができる。
なお、上述の実施の形態４に係る超音波半田付装置では、コテ先１１Ｄの中心軸５をコテ先１１Ｄが水平移動される方向に半田面３１ａに対して傾けているが直交しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置の全体構成図である。
【図２】この発明の実施の形態１に係る超音波半田付装置の超音波半田コテの詳細図である。
【図３】この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置の部分構成図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係る超音波半田付装置のコテ先の正面図である。
【図５】この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置の部分構成図である。
【図６】この発明の実施の形態３に係る超音波半田付装置のコテ先の正面図である。
【図７】この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置の部分構成図である。
【図８】この発明の実施の形態４に係る超音波半田付装置のコテ先の正面図である。
【符号の説明】
【００３８】
３  光軸、５  中心軸、１０  超音波半田コテ、１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ  コテ先、１２  大径部、１３  ケース、１４  固定板、１５  超音波振動子、１６  リード線、１７  超音波コントローラ、１８  第１保持部材、１９  端面、２０  赤外線ヒータ、２１  ハロゲンランプ、２２  集光ミラー、２３  リード線、２４  ランプコントローラ、２５  第２保持部材、２６  支持軸、２７Ａ  照射面、２７Ｂ、２７Ｃ、２７Ｄ  照射平面部、２８  赤外光、３０  被半田付基板、３１  半田、３１ａ  半田面、３２  リード、４０  アクチュエータ、４１  サーボモータ、４２  カップリング、４３  ボールネジ、４４  移動体、４５  エアシリンダ、４６  昇降台、４７  エアシリンダ、４８  バネ、４９ａ  昇降台、４９ｂ  ストッパ、５０  集合体、１００  超音波半田付装置。
【図１】
0004665003.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004665003.tif 000004
【図４】
0004665003.tif 000005
【図５】
0004665003.tif 000006
【図６】
0004665003.tif 000007
【図７】
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【図８】
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