(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング部品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御し、金属薄板の幅方向の温度分布を両端部において温度を高くした凹状の温度分布にしてフォトレジストの乾燥を行う工程を有することを特徴とするエッチング部品の製造方法。
【請求項２】
エッチング部品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御し、金属薄板の幅方向の温度分布を両端部において温度を低くした凸状の温度分布にしてフォトレジストの乾燥を行う工程を有することを特徴とするエッチング部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高い品質のエッチング部品を安定して製造するエッチング部品の製造方法及びエッチング部品の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレーム、シャドウマスクなどの金属薄板からなる電子部品はフォトエッチング法を用いて製造されることが多い。以下に、一般的な製造方法を説明する。
まず、金属ロールから供給され、長尺帯状で搬送される金属薄板の両面に感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布、乾燥して感光層（フォトレジスト層）を形成する。
次に、所定の遮光パターンを有する露光用マスク（多くの場合、表裏２枚のマスク）を位置合わせ、密着して、所定の露光量で感光層にパターン露光を行う。次に、所定の薬液で現像、硬膜処理等を行い、金属薄板の両面に所定形状のレジストパターンを形成する。
【０００３】
次に、レジストパターンが形成された金属薄板の両面から塩化第２鉄液等を用いて、レジストパターンが形成されていない金属薄板の露出部分が貫通するまでエッチングを行い、金属薄板に所定形状の開口パターンを形成する。
続いて、金属薄板上のレジストパターンを、アルカリ水溶液を用いて剥離処理、長尺帯状から枚葉状への断裁、不要部の除去などを行い、金属薄板からなる所定形状のパターンを有するエッチング部品とするものである。
【０００４】
図５は、上記金属薄板の両面にフォトレジストを塗布した後の乾燥を行う際に用いる乾燥装置の一例における乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。
また、図６は、図５に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【０００５】
図５、及び図６に示すように、乾燥装置内では、上乾燥ヒーター（５１ａ）及び下乾燥ヒーター（５１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（５１）が、金属薄板（５２）の搬送方向と直角に、金属薄板（５２）の搬送方向に多数個、水平に配置されている。
この乾燥ヒーター（５１）は、一様に細長い、例えば、遠赤外線パネルヒーターであり、金属薄板（５２）は、この多数個配置された、一様に細長い上下一対の乾燥ヒーター（５１）間を白太矢印で示すように、水平に搬送されるようになっている。
【０００６】
そして、金属薄板（５２）の両面に塗布された感光性樹脂（フォトレジスト）は、白太矢印で示すように、金属薄板（５２）が搬送されながら多数個配置された上下一対の乾燥ヒーター（５１）によって乾燥されて感光層（フォトレジスト層）として形成されるようになっている。
【０００７】
このような乾燥装置内での、図５に示すＹ方向、すなわち、金属薄板（５２）の幅方向の温度分布は、その中央部では温度が高く、両端部では温度が低いといった傾向を示す状態となっている。
しかし、乾燥装置が処理できる金属薄板（５２）の、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、程よい幅（ｗ２）の金属薄板においては、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥したフォトレジスト層が得られる。
【０００８】
一方、図３（ａ）に示すように、点線で示す有効幅（Ｗ）の限度に近い広幅（ｗ１）の金属薄板においては、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が生じ、金属薄板の中央部（３２）での乾燥の進みに対し、金属薄板の両端部（３１）では乾燥が遅れ、乾燥が不足するといったことが発生してしまう。
また、図３（ｂ）に示すように、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、かなり狭幅（ｗ３）の金属薄板においては、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が生じ、金属薄板の中央部（３４）での乾燥の進みに対し、金属薄板の両端部（３３）では乾燥が早まり、乾燥が過剰になるといったことが発生してしまう。
【０００９】
このような、広幅（ｗ１）の金属薄板における両端部（３１）での乾燥の不足、或いは、狭幅（ｗ３）の金属薄板における両端部（３１）での乾燥の過剰、すなわち、フォトレジスト層の金属薄板の幅方向での乾燥に過不足があると、フォトレジスト層の乾燥が過剰になった部分では金属薄板に対するフォトレジスト層の密着が過度なものとなり、エッチング後に金属薄板に形成されたエッチングパターンの寸法が小さなものとなる。
また、フォトレジスト層の乾燥が不足になった部分では金属薄板に対するフォトレジスト層の密着が不十分なものとなり、エッチング後に金属薄板に形成されたエッチングパターンの寸法が大きなものとなる。
【００１０】
従って、金属薄板の幅方向におけるフォトレジスト層の乾燥の過不足、すなわち、乾燥の不均一は、エッチング後の金属薄板のエッチングパターン寸法を不均一なものとし好ましいものではない。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、エッチング部品の製造における乾燥において、一様に細長い乾燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造することのできるエッチング部品の製造方法を提供することを課題とする。
また、一様に細長い乾燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造することのできるエッチング部品の製造装置を提供することを課題とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、エッチング部品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御し、金属薄板の幅方向の温度分布を両端部において温度を高くした凹状の温度分布にしてフォトレジストの乾燥を行う工程を有することを特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【００１３】
また、本発明は、エッチング部品の製造において、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御し、金属薄板の幅方向の温度分布を両端部において温度を低くした凸状の温度分布にしてフォトレジストの乾燥を行う工程を有することを特徴とするエッチング部品の製造方法である。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明によるエッチング部品の製造装置における乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。また、図２は、図１に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【００１５】
図１、及び図２に示すように、乾燥装置内では、上乾燥ヒーター（１１ａ）及び下乾燥ヒーター（１１ｂ）で構成される上下一対の乾燥ヒーター（１１）が、金属薄板（１２）の搬送方向と平行に、金属薄板の幅方向に多数個、水平に配置されている。
この乾燥ヒーター（１１）は、平面視矩形状の細長い、例えば、幅５０ｍｍ、長さ８００ｍｍ程度の遠赤外線パネルヒーターであり、乾燥ヒーター（１１）は、例えば、図１に示すように、Ａ〜Ｆで示す金属薄板の幅方向に乾燥装置の６か所に配置され乾燥ヒーターの群（２１）を構成している。
【００１６】
乾燥装置のＡ及びＦの位置は、乾燥装置の有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にある。これにより、乾燥装置内の図１に示すＹ方向、すなわち、金属薄板（１２）の幅方向の温度分布をより均一にすることができるものとしている。
尚、図１においては、説明の都合上乾燥ヒーターの群（２１）を金属薄板（１２）の搬送方向に更に１か所配置しているが、これに限定されるものではなく、この乾燥ヒーターの群（２１）の金属薄板の搬送方向への配置数は適宜に定めて構わない。
【００１７】
金属薄板（１２）は、この多数個配置された、平面視矩形状の細長い上下一対の乾燥ヒーター（１１）からなる乾燥ヒーターの群（２１）間を白太矢印で示すように、水平に搬送されるようになっている。
そして、金属薄板（１２）の両面に塗布された感光性樹脂（フォトレジスト）は、白太矢印で示すように、金属薄板（１２）が搬送されながら上下一対の乾燥ヒーター（１１）で構成される乾燥ヒーターの群（２１）によって乾燥されて感光層（フォトレジスト層）として形成されるようになっている。
【００１８】
本発明においては、乾燥ヒーター（１１）の各々の温度を制御して乾燥をすることを特徴とするものである。
すなわち、Ａ〜Ｆで示す乾燥装置の６か所に配置された各乾燥ヒーター（１１）の温度は、その各々が高い温度から低い温度まで制御できるようになっている。例えば、Ｃ及びＤの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度をやや高く、Ａ及びＦの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度を十分に高くすることによって、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄板（１２）の幅方向の温度分布を図４（ａ）に示すような、両端部において温度の高い凹状の温度分布（４１）とすることができる。
【００１９】
また、逆に、例えば、Ｃ及びＤの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度に対し、Ｂ及びＥの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度をやや低く、Ａ及びＦの位置の乾燥ヒーター（１１）の温度を十分に低くすることによって、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄板（１２）の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両端部において温度の低い凸状の温度分布（４２）とすることができる。
【００２０】
従って、乾燥装置が処理できる金属薄板の、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、前記程よい幅（ｗ２）の金属薄板においては、その幅方向の温度分布を均一に設定することによって、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥したフォトレジスト層が得られる。
【００２１】
また、図３（ａ）に示すような、点線で示す有効幅（Ｗ）の限度に近い前記広幅（ｗ１）の金属薄板においては、本発明における乾燥装置は、Ａ及びＦの位置に配置された乾燥ヒーター（１１）が乾燥装置の点線で示す有効幅（Ｗ）に対して十分な外側にあるので、その幅方向の温度分布を均一に設定することによって、その幅方向においてフォトレジスト層の乾燥度合いに差が生じることはなく、金属薄板の全幅が均一に乾燥したフォトレジスト層が得られる。
尚、金属薄板（１２）の両端部での乾燥が不足気味である際には、Ａ及びＦの位置に配置された乾燥ヒーター（１１）の温度を高く制御することによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
【００２２】
また、図３（ｂ）に示すような、点線で示す有効幅（Ｗ）に対し、前記かなり狭幅（ｗ３）の金属薄板においては、乾燥装置のＹ方向、すなわち、金属薄板の幅方向の温度分布を図４（ｂ）に示すような、両端部へ向かって低い温度となる凸状の温度分布（４２）にすることによって、フォトレジスト層の金属薄板の幅方向での乾燥を均一にすることができるものとなる。
【００２３】
上記のような、各々の乾燥ヒーター（１１）の温度制御は、乾燥装置から搬出された金属薄板（１２）上のフォトレジスト層の湿度を測定し、幅方向の乾燥状態を確認しつつ、随時、各々の乾燥ヒーター（１１）の温度を制御することができるので、実生産に即した管理が行えるものである。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は、フォトレジストを塗布した後の乾燥ヒーターによる乾燥をする際に、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを用い、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に乾燥ヒーターを多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御してフォトレジストの乾燥を行うエッチング部品の製造方法であるので、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造することのできるエッチング部品の製造方法となる。
【００２５】
また、本発明は、フォトレジストを塗布した後の当該フォトレジストの乾燥に用いる乾燥装置として、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターを、当該乾燥ヒーターの長手方向と水平に搬送される金属薄板の搬送方向とが平行となるように、金属薄板の幅方向に多数個、水平に配置し、各乾燥ヒーターの温度を制御可能とした乾燥装置を具備するエッチング部品の製造装置であるので、平面視矩形状の細長い乾燥ヒーターによる乾燥をおこなっても、フォトレジスト膜に金属薄板の幅方向での乾燥に過不足を発生させることのない、従って、エッチング後の金属薄板のパターン寸法を均一なものとし、高品質なエッチング部品を安定して収率よく製造することのできるエッチング部品の製造装置となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるエッチング部品の製造装置における乾燥装置の一実施例の乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。
【図２】図１に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【図３】（ａ）は、点線で示す有効幅の限度に近い広幅の金属薄板の説明図である。
（ｂ）は、点線で示す有効幅に対し、かなり狭幅の金属薄板の説明図である。
【図４】（ａ）は、乾燥装置のＹ方向の温度分布の説明図である。
（ｂ）は、乾燥装置のＹ方向の温度分布の説明図である。
【図５】フォトレジストの乾燥装置の一例における乾燥装置内部の金属薄板と乾燥ヒーターとの関係を模式的に示す平面図である。
【図６】図５に模式的に示す金属薄板と乾燥ヒーターとの関係のＸ−Ｘ’断面図である。
【符号の説明】
１１、５１……乾燥ヒーター
２１……乾燥ヒーターの群
１２、５２……金属薄板
３１、３３……金属薄板の両端部
３２、３４……金属薄板の中央部
４１……金属薄板の幅方向の凹状の温度分布
４２……金属薄板の幅方向の凸状の温度分布
Ｗ……乾燥装置の有効幅
ｗ１……金属薄板の広幅
ｗ２……金属薄板の程よい幅
ｗ３……金属薄板のかなり狭幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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