(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理チャンバにおいてエッチングを行うための方法であって、
有機低ｋ材料で形成されハードマスク層の下に配置された低容量誘電体層を上に備えた基板を準備する工程と、
Ｎ2と、Ｏ2と、炭化水素と、を含んだエッチング化学剤を、前記プラズマ処理チャンバ内に流し込む工程であって、前記Ｎ2の流量率は総流量の５０％〜９５％であり、前記Ｏ2の流量率は総流量の２％〜４０％であり、前記炭化水素の流量率は総流量の２％〜４０％である工程と、
前記エッチング化学剤から、酸素種を備えたプラズマを生成する工程と、
前記酸素種を利用し、前記ハードマスク層の開口部を通して前記低容量誘電体層をエッチングする工程と、
を備える方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法であって、
前記炭化水素はＣ2Ｈ4である方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の方法であって、
前記ハードマスク層は、ＴＥＯＳと、ＳｉＮと、ＳｉＯＮと、からなる群より選択された材料で形成されている方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の方法であって、
前記プラズマ処理チャンバは低圧・高密度のプラズマ処理チャンバである方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の方法であって、
前記プラズマ処理チャンバは誘導結合型のプラズマ処理チャンバである方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の方法であって、
前記Ｎ2の流量率は総流量の９３．３％である方法。
【請求項７】
請求項６記載の方法であって、
前記Ｏ2の流量率は総流量の３．３％である方法。
【請求項８】
請求項７記載の方法であって、
前記炭化水素の流量率は総流量の３．３％である方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の方法であって、
前記ハードマスク層はフォトレジスト層の下に配置されている方法。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の方法であって、
前記エッチング化学剤の前記炭化水素は、ＣＨ4ではない炭化水素からなる方法。
【請求項１１】
プラズマ処理チャンバ内において、有機低ｋ材料で形成された低容量誘電体層をエッチングするための方法であって、前記低容量誘電体層は基板上においてハードマスク層の下に配置され、前記方法は、
前記ハードマスク層をエッチングし、前記ハードマスク層に開口部を形成する工程と、
Ｎ2とＯ2と炭化水素とを含んだエッチング化学剤を、前記プラズマ処理チャンバ内に流し込む工程であって、前記Ｎ2の流量率は総流量の５０％〜９５％であり、前記Ｏ2の流量率は総流量の２％〜４０％であり、前記炭化水素の流量率は総流量の２％〜４０％である工程と、
前記エッチング化学剤からプラズマを生成する工程と、
前記プラズマを使用し、前記ハードマスク層の前記開口部を通して前記低容量誘電体層をエッチングする工程であって、前記エッチング化学剤は、前記低容量誘電体層のエッチングの最中に前記開口部の側壁を不活性化させ、ほぼ垂直な輪郭を与える工程と、
を備える方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の方法であって、
前記ハードマスク層のエッチングおよび前記低容量誘電体層のエッチングは１つの処理チャンバ内で実施される方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２記載の方法であって、
前記低容量誘電体層は、有機材料で形成されている方法。
【請求項１４】
プラズマ処理チャンバ内において、有機低ｋ材料で形成された低容量誘電体層をエッチングするための方法であって、前記低容量誘電体層は基板上においてハードマスク層の下に配置され、前記ハードマスクはフォトレジストマスクの下に配置され、前記方法は、
前記フォトレジストマスクに開口部をパターン形成する工程と、
前記フォトレジストマスクの前記開口部を使用し、ＳｉＮと、ＳｉＯＮと、ＴＥＯＳと、からなる群より選択された材料の前記ハードマスク層をパターン形成する工程と、
Ｎ2と、Ｏ2と、炭化水素と、を含んだエッチング化学剤を、前記プラズマ処理チャンバ内に流し込む工程であって、前記Ｎ2の流量率は総流量の５０％〜９５％であり、前記Ｏ2の流量率は総流量の２％〜４０％であり、前記炭化水素の流量率は総流量の２％〜４０％である工程と、
前記エッチング化学剤からプラズマを生成する工程と、
前記プラズマを使用し、前記ハードマスク層の前記開口部を通して前記低容量誘電体層をエッチングする工程と、
を備える方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法であって、
前記フォトレジストマスクはエッチングの最中に除去される方法。
【請求項１６】
請求項１４または請求項１５記載の方法であって、
前記エッチング化学剤はさらにフッ化炭素を含む方法。
【請求項１７】
請求項１４に記載の方法であって、
前記フォトレジストマスクはエッチングに先立って除去される方法。
【請求項１８】
請求項１４ないし請求項１７のいずれかに記載の方法であって、
前記プラズマ処理チャンバは、誘導結合型のプラズマ処理チャンバおよび静電型のプラズマ処理チャンバのいずれか一方である方法。
【請求項１９】
請求項１４ないし請求項１８のいずれかに記載の方法であって、
前記炭化水素および前記Ｏ2は、２：１〜１：９９の比率で前記エッチング化学剤に含まれる方法。
【請求項２０】
プラズマ処理チャンバ内において、有機材料層をプラズマエッチングするための方法であって、
ハードマスク層の下に配置された前記有機材料層を上に備えた基板を準備する工程であって、前記ハードマスク層は、開口部のパターンを有する、工程と、
Ｎ2と、Ｏ2と、炭化水素と、を含んだエッチング化学剤を、前記プラズマ処理チャンバ内に流し込む工程であって、前記Ｎ2の流量率は総流量の５０％〜９５％であり、前記Ｏ2の流量率は総流量の２％〜４０％であり、前記炭化水素の流量率は総流量の２％〜４０％である工程と、
前記エッチング化学剤からプラズマを生成する工程と、
前記プラズマを使用し、前記ハードマスク層の前記開口部のパターンを通して前記有機材料層をエッチングする工程と、を備え、
前記有機材料層は、低誘電率の誘電材料を含む、方法。
【請求項２１】
請求項２０記載の方法であって、
前記ハードマスク層は、ＴＥＯＳと、ＳｉＮと、ＳｉＯＮと、からなる群より選択された材料で形成されている方法。
【請求項２２】
請求項２０ないし請求項２２のいずれかに記載の方法であって、
前記ハードマスク層の前記開口部のパターンを通して前記有機材料層をエッチングする工程は、前記エッチング化学剤の前記Ｏ2が、前記有機材料層をエッチングすると共に、前記エッチング化学剤の前記炭化水素が、前記エッチングの最中に前記開口部の側壁を不活性化させることで、ほぼ垂直な輪郭を与えるエッチング工程である方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体集積回路（ＩＣ）の製造に関する。本発明は、特に、ＩＣの製造中において、低容量の誘電体層を含むＩＣの積層体をエッチングするための改良技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特定の半導体集積回路を製造するにあたっては、形成されるデバイスの容量を下げ、その電気性能を向上させるために、誘電体層の材料として低誘電率の（低Ｋ）材料を利用する場合がある。一般に、どんな誘電体層であっても、層を貫く金属接続を形成するためには、ビアまたはトレンチをエッチングする必要がある。以下では、低容量の誘電体層を貫いてビア／トレンチを形成するためのプロセスを説明する。
【０００３】
議論を容易にするため、図１に、フォトレジスト層１０２と、ハードマスク層１０４と、低容量の誘電体層１０６と、エッチ止め層１０８とを備えた代表的な積層体１００を示す。エッチ止め層１０８は、例えば、デュアルダマシンプロセス用のエッチ止め層で良く、ＴｉＮ、ＳｉＮ、ＴＥＯＳ等々の適切なエッチ止め層からなる。低容量の誘電体層１０６は、ダウ・ケミカル社によるＳＩＬＫ、アライド・シグナル社によるＦｌａｒｅ、ダウ・ケミカル社によるＢＣＢ、ノベラス社によるＰａｒｙｌｅｎｅ等の低Ｋの有機誘電材料からなる層である。また、エッチング化学剤によって、フォトレジスト等の有機薄膜で代表される非低Ｋ誘電材料をエッチングしても良い。
【０００４】
低容量の誘電体層１０６の上には、ハードマスク層１０４が示されている。このハードマスク層１０４は、一般に、ＳｉＮ、ＳｉＯＮ（酸窒化シリコン）、またはＴＥＯＳ等の材料から形成される。ハードマスク層１０４は、低容量の誘電体層１０６にビア／トレンチをエッチングするために利用されるマスク層である。ハードマスク層が利用されるのは、低Ｋの有機誘電材料からなる低容量誘電体層１０６をエッチングする場合に、フォトレジスト層がマスク材料として無効であるためである。これは、フォトレジスト材料と低Ｋの有機誘電材料とが、類似の化学的特性を有する、類似のエッチング化学剤を必要とする、および／または類似のエッチング速度を有する傾向にあることが原因である。ハードマスク層１０４にハードマスクのパターンを形成するために、フォトレジスト層１０２が提供される。フォトレジスト層１０２は、例えば、真空紫外線材料または従来のフォトレジスト材料からなる層で良い。
【０００５】
図２では、従来のフォトレジストパターン形成プロセスを使用して、フォトレジスト層１０２のパターン形成が行われる。フォトレジスト層１０２のパターン形成によって、開口部２０２が形成され、続くハードマスクのエッチングプロセスでは、この開口部２０２を通してハードマスク層１０４のエッチングが行われる。
【０００６】
図３では、ハードマスクのエッチングプロセスが実行され、開口部２０２がハードマスク層１０４まで拡張される。一例として、ハードマスク層１０４がＴＥＯＳ層である場合は、Ａｒ／Ｃ4Ｆ8／Ｃ2Ｆ6／Ｏ2または従来のＴＥＯＳエッチャント等の適切なＴＥＯＳエッチング化学剤を使用し、プラズマ処理リアクタ内でハードマスクのエッチングプロセスを実行して良い。
【０００７】
図４では、低容量の誘電体層１０６がエッチングされる。低容量の誘電体層１０６のエッチングは、プラズマ処理リアクタ内で実行されるのが通常である。低容量の誘電体層１０６は、一般に、酸素含有ガス（Ｏ2、ＣＯ、ＣＯ2等々）を使用してエッチングされる。低容量の誘電材料のエッチングに利用されるエッチャントガスには、一般に、Ｎ2等の希釈剤が添加される。後ほど簡単に説明する理由から、エッチング化学剤には、フッ化炭素ガス等の不活性化剤も添加されるのが通常である。
【０００８】
周知のように、低容量誘電体層１０６のエッチングに利用される酸素種は、等方向にエッチングを行う傾向にあるので、開口部２０２の側壁は、望ましい垂直な側壁輪郭を維持できずに湾曲してしまう。図５は、低容量誘電体層１０６を等方性エッチングする際に形成される湾曲した側壁を示した図である。ウエハ全体から見たエッチングのムラを補償するために、オーバエッチングが必要な場合は、この湾曲の現象がさらに悪化する。この湾曲の現象は、輪郭制御の悪化をもたらす。例えば、角度が９０度を超える内曲輪郭が形成され、その結果、金属充填等の後続のプロセスにも問題が生じる。
【０００９】
輪郭制御を維持し、上記した側壁が湾曲する問題を回避するために、従来技術では、一般に、酸素含有ガスに加えてＣ4Ｆ8、Ｃ2ＨＦ5、ＣＨ2Ｆ2等のフッ化炭素を不活性化剤として利用する。フッ化炭素不活性化剤を添加すると、側壁の垂直輪郭の維持が促進されるものの、先ずはフォトレジストの、続いてハードマスクのファセット形成が行われるので、低容量の誘電体層１０６のエッチングが進行するにつれて、開口部２０２が拡大される。
【００１０】
詳しく言うと、低容量の誘電体層１０６のエッチングに利用される酸素種は、その上にあるフォトレジスト層のフォトレジスト材料をも過度に攻撃する。その結果、低容量誘電体層１０６のエッチングが進行するのに伴って、フォトレジスト層１０２の厚さが減少する。酸素種がフォトレジスト材料を等方向に攻撃するので、多くの場合において、フォトレジストマスクはビア／トレンチの領域４０２，４０４まで後退する。フォトレジスト材料が酸素種によって削られ、図４に示すように領域４０２，４０４まで後退すると、ハードマスク層１０４のＴＥＯＳハードマスク材料が、不活性化の目的で添加されたフッ化炭素エッチャントに曝される。フッ化炭素はＴＥＯＳのエッチャントの１つであるので、ハードマスク材料の露出領域４０８，４１０もやはり時間の経過とともにエッチングされ、ハードマスク層１０４の開口部が拡大される。ハードマスク層１０４の開口部が拡大されると、低容量の誘電体層１０６にエッチングされるビア／トレンチも拡大される。この拡大によって、ビア／トレンチの微小寸法が失われるまたは損なわれる。その結果、図６に示すように、目標より断面の大きいビア／トレンチが形成される。ここで、幅（ｗ）は、目標とする断面を示すものとする。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
フッ化炭素添加物の使用によって、低容量の誘電体層のエッチングのプロセス窓も狭められる。エッチング化学剤に添加するフッ化炭素が多すぎると、低容量誘電体層のエッチングが急激に減速し、最終的には停止するに至る。添加するフッ化炭素が少なすぎると、不活性化の度合いが不十分で、側壁を所望の垂直輪郭に維持することができなくなる。
【００１２】
以上からわかるように、輪郭制御を維持し、得られるビア／トレンチの微小寸法を保ち、高いエッチング速度を維持しながら低容量の誘電体層をエッチングする改良技術が必要とされている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、プラズマ処理チャンバ内で低容量の誘電体層をエッチングするための方法に関する。この方法では、Ｎ2と、Ｏ2と、炭化水素とを含んだエッチング化学剤をプラズマ処理チャンバ内に流し込む。本発明によれば、高いエッチング速度を得るだけでなく、輪郭制御を維持し、且つ低容量の層にエッチングされる開口部（例えばビア／トレンチ）の微小寸法を保つことも可能である。
【００１４】
一実施形態において、本発明は、プラズマ処理チャンバ内で低容量の誘電体層をエッチングするための方法に関する。低容量の誘電体層は、基板上においてハードマスク層の下に設けられている。この方法は、Ｎ2と、Ｏ2と、炭化水素をと含んだエッチング化学剤をプラズマ処理チャンバ内に流し込む工程を備える。次いで、エッチング化学剤からプラズマが生成される。この方法は、また、プラズマを使用し、ハードマスク層の開口部を通して低容量の誘電体層をエッチングする工程を備える。
【００１５】
別の一実施形態に従うと、エッチング化学剤は、さらに、フッ化炭素含有ガスを含む。フッ化炭素含有ガスは、例えば、シリコン含有の低Ｋ誘電体層をエッチングする際に効果的である。さらに別の一実施形態において、プラズマ処理チャンバは、誘導型のプラズマ処理チャンバである。さらに別の一実施形態において、プラズマ処理チャンバは、静電型のプラズマ処理チャンバである。
【００１６】
添付図面との関連で行う以下の本発明の詳細な説明から、本発明の上述したおよびその他の特徴が、さらに詳しく示される。
【００１７】
添付図面において、限定的ではなく例示的に本発明を示す。なお、この添付図面は、図を単純化するために同じ縮尺で描かれていない。また、同様の構成要素には同様の番号体型が与えられている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面に例示された幾つかの好ましい実施形態に関連して、本発明の詳しい説明を行う。以下の説明では、本発明の徹底的な理解を促すために、多くの項目を特定している。しかしながら、当業者には明らかなように、本発明は、これらの項目の一部または全てを特定しなくても実施することが可能である。そのほか、本発明が不必要に不明瞭となるのを避けるため、周知のプロセス動作および／または構造の詳細な説明は省略した。
【００１９】
本発明の一態様にしたがって、低容量の有機誘電材料からなる低容量の誘電体層を、炭素水素を含むエッチング化学剤を使用してプラズマリアクタ内でエッチングする。一実施形態において、エッチング化学剤はＮ2、Ｏ2、およびＣxＨyである。例えばシリコン含有の低容量誘電体層をエッチングする等の特定の用途で使用されるエッチング化学剤には、選択的に、少量のフッ化炭素含有ガスが含まれても良い。
【００２０】
本発明によるＨ2／Ｎ2化学剤の幾つかの実施形態が、１９９８年８月１７日付けの米国特許出願第０９／１３５，４１９号「基板上の低容量の誘電体層をエッチングするための改良技術」にさらに記載されており、本文献を引例として本明細書に組み込むものとする。Ｎ2／Ｈ2化学剤を使用すると、優れた垂直輪郭および微小寸法（ＣＤ）制御を実現することができるが、エッチング速度は減速する。さらに、Ｎ2／Ｈ2化学剤を使用するにあたって、ウエハ全体から見たエッチングのムラを補償するために、オーバエッチングが必要とされる場合は、エッチングされた開口部に僅かに湾曲の現象が生じる。本発明によるＮ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤を使用すると、例えば２０００〜８０００Å／分、好ましくは５０００〜８０００Å／分の高いエッチング速度で、優れた垂直輪郭および微小寸法制御という望ましい利点を達成できるとともに、例えば側壁の湾曲、微小寸法および輪郭制御の欠落、エッチング速度の低下等の、別のエッチング化学剤を使用したエッチングで見られる望ましくない特性を回避することができる。
【００２１】
本発明によるＮ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤は、図１の積層体に含まれる低容量の誘電体層に類似した低容量の誘電体層をエッチングする際に使用しても良い。例えば、図１〜４の部分的なプロセスフローに示されるように、フォトレジスト層と、ハードマスク層と、低容量の誘電体層と、エッチ止め層とを備えた積層体に対してエッチングプロセスが開始される。先ず、従来のフォトレジストパターン形成プロセスによって、フォトレジスト層がパターン形成されて開口部が形成され、続いて、ハードマスクエッチングプロセスによって、その開口部がハードマスク層内まで延長される。次いで、本発明によるＮ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤によって、低容量の誘電体層がエッチングされる。
【００２２】
低容量の誘電体層のエッチングで利用される酸素種は、上層であるフォトレジスト層をも攻撃する。その結果、低容量の誘電体層のエッチングが進行するにつれて、フォトレジスト層１０２の厚さが減少する。酸素種はフォトレジスト材料を等方向に攻撃するので、ビア／トレンチの領域ではフォトレジストマスクが後退し、エッチングがエッチ止め層に到達した際には、フォトレジストマスクが完全に除去されることもある。この現象は、エッチング中にフォトレジストの除去が要求される用途において望ましい。
【００２３】
本発明によるＮ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤では、不活性化剤としてＣ2Ｈ4またはＣＨ4等の炭素水素が利用される。本発明によるこのエッチング化学剤に含まれる炭素水素成分は、従来技術による方法で使用されるフッ化炭素に取って代わるものであり、エッチングされた開口部の側壁を不活性化させることによって、低容量の誘電体層のエッチングに含まれる等方性の要素が最小限に抑えられる。炭化水素の使用によって、ハードマスクエッチングの化学的な要素が排除され、物理的スパッタリングの要素のみが維持される。フォトレジストの後退に加え、フォトレジストおよび続くハードマスクのファセット形成が行われるものの、低容量の誘電体層のエッチングに使用されるガス化学剤にフッ素が含まれないことから、ファセット形成の効果は大幅に低減される。したがって、フォトレジストおよびハードマスクのファセット形成が比較的少ないということは、エッチング化学剤の炭化水素成分によって適度な不活性化がもたらされ、微小寸法および側壁の垂直輪郭が望ましい状態に保たれることを意味する。結果として、エッチングされた開口部の断面は拡大されず、微小寸法の制御が実現される。
【００２４】
図７は、本発明によるＮ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤を使用して低容量の誘電体層１０６にエッチングされた代表的なビア／トレンチ７０２を示した図である。フォトレジスト層の完全除去およびハードマスク１０４の部分的侵食にもかかわらず、エッチング化学剤の炭化水素成分による側壁７０４の不活性化によって、輪郭を垂直に保ち、望ましい微小寸法を達成することができる。
【００２５】
本発明による低容量の誘電材料をエッチングする技術は、静電型のリアクタや、誘導型の低圧・高密度（例えば、＞１０9イオン／ｃｍ3）のリアクタ等の、任意の適切なプラズマ処理リアクタで実施して良い。好ましい一実施形態では、ラム・リサーチ社から市販されているＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸプラズマリアクタ等の誘導結合型プラズマ処理リアクタにおいて本発明を実施する。図８は、プラズマ処理チャンバ８０２を含むＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸプラズマリアクタの概略図である。電極８０６の下方に設けられた誘電ウィンドウ８０４は、プラズマ処理チャンバ８０２内のプラズマを電極８０６に誘電結合させる仲立ちの誘電ウィンドウとして作用する。電極８０６はＲＦ誘導ソースであり、図８の例ではコイルとして実現されている。電極８０６は、整合回路網（従来から知られており、簡略化のため図８には図示しない）を介してＲＦジェネレータ８０８によって通電される。ＲＦジェネレータ８０８のＲＦ周波数は、一実施形態では約１３．５６ＭＨｚであるが、他の適切なＲＦ周波数を利用しても良い。
【００２６】
チャンバ８０２内には、ガス分布板８１０を設けて良く、この分布板は、それ自体とウエハ８１２との間のＲＦ誘発プラズマ領域に、ガス状のソース材料、例えばエッチャントソースガスを分布させるための複数の穴を含むことが好ましい。ガス状のソース材料は、また、チャンバ自体の壁に設けられたポートから放出されても良い。ウエハ８１２は、チャンバ８０２内に導入されてチャック８１４上に配置される。チャック８１４は、第２の電極として機能し、ＲＦジェネレータ８１６によって（通常は整合回路網も介して）バイアスをかけられることが好ましい。ＲＦジェネレータ８１６のＲＦ周波数は、一実施形態では約４ＭＨｚであるが、他の適切なＲＦ周波数を利用しても良い。ウエハ８１２は、従来の機械的なクランプ技術、または静電的なクランプ力を利用した技術によって、チャック８１４に固定されて良い。
【００２７】
チャック８１４とウエハ８１２との間には、加圧状態のもとでヘリウム冷却ガスが導入される。このガスは、処理中に、ウエハの温度を正確に制御する伝熱媒体として作用することによって、均一で再現性のあるエッチング効果を保証するものである。プラズマエッチング中は、ポート８１８からガスを排気することによって、チャンバ８０２内の圧力を低く抑えることが好ましい。例えば、低Ｋ誘電体のエッチング中は、圧力を約１ミリトール〜約３０ミリトールに維持することが好ましい。
【００２８】
好ましい別の一実施形態では、ラム・リサーチ社から市販されている４５２０ＸＬEプラズマリアクタ等の静電型のプラズマ処理リアクタにおいて本発明が実施される。図９は、プラズマ処理チャンバ９０２を含む４５２０ＸＬEプラズマリアクタの概略図である。ギャップ駆動９０４は、トップ電極９０６の上方に配置される。ギャップ駆動９０４は、ウエハの搬送用に主として使用されるが、プロセスパラメータとして使用される場合もある。図９の例では、トップ電極９０６がシリコン電極として具体化されている。トップ電極９０６は、整合回路網（従来から知られており、簡略化のため図９には図示しない）を介してＲＦジェネレータ９０８によって通電される。ＲＦジェネレータ９０８のＲＦ周波数は、一実施形態では約２７ＭＨｚであるが、他の適切なＲＦ周波数を利用しても良い。
【００２９】
チャンバ９０２内には、閉じ込めリング９１０を提供して良い。この閉じ込めリングは、例えばエッチング化学剤等のガス状ソース材料内で生成されたプラズマを、トップ電極９０６とウエハ９１２とに挟まれたＲＦ誘発プラズマ領域内に閉じ込めることが好ましい。ガスは、トップ電極９０６を通ってチャンバ９０２に入る。ガス状ソース材料は、チャンバ自体の壁に設けられたポートから放出されても良いし、静電チャック９１４の外周に沿って放出されても良い。ウエハ９１２は、チャンバ９０２内に導入されてチャック９１４上に配置される。チャック９１４は、第２の電極として機能し、ＲＦジェネレータ９１６によって（通常は整合回路網も介して）バイアスをかけられることが好ましい。ＲＦジェネレータ９１６のＲＦ周波数は、一実施形態では約２ＭＨｚであるが、他の適切なＲＦ周波数を利用しても良い。ウエハ９１２は、従来の機械的なクランプ技術、または静電的なクランプ力を利用した技術によって、チャック９１４に固定されて良い。プラズマエッチング中は、チャンバ９０１内の圧力が低く抑えられるのが通常であり、例えば低Ｋ誘電体のエッチング中は、約１０ミリトールから約３００ミリトールに抑えられる。
【００３０】
図１０は、本発明による低容量誘電体のエッチングプロセス１０００を、本発明の一実施形態にしたがって示したフローチャートである。動作１００２では、従来のフォトレジストのパターン形成プロセスを使用して、フォトレジストマスクのパターン形成が行われる。動作１００４では、予め形成されたフォトレジストマスクを使用して、ハードマスク層からハードマスクのパターンが形成される。すなわち、動作１００４では、低容量の誘電体層内に形成する予定の開口部に対応する開口部がハードマスクにエッチングされる。低容量の誘電体層の開口部という用語は、低容量の誘電体層にエッチングされる特徴を指しており、トレンチおよびビアをともに含む。
【００３１】
動作１００６、１００８、１０１０では、低容量の誘電体層がエッチングされる。低容量誘電体層のエッチングは、独立したプラズマ処理チャンバ内で行われても良いし、さらに好ましくは、ハードマスクのエッチングで利用されたものと同じプラズマ処理チャンバ内で行われても良い。動作１００６では、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤がプラズマ処理チャンバ内に流し込まれる。Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤は、選択的にＣ2Ｆ6またはＣ4Ｆ8等のフッ化炭素を含んでも良い。これは、ベンゾシクロブテン（ＢＣＢ）材料等のシリコン含有の低容量誘電体層をエッチングする際に望ましい。動作１００８では、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤からプラズマが生成される。動作１０１０では、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤から生成されたプラズマが、低容量の誘電体層の低容量の誘電材料を、ハードマスクの開口部を通してエッチングすることが可能になる。動作１０１０において低容量の誘電体層がエッチングされると、低容量の誘電体のエッチングプロセス１０００は終了する。しかしながら、ウエハ全体から見たエッチングのムラを補償するために、オーバエッチングの工程が利用される場合がほとんどである。したがって、エッチングされたウエハから集積回路を形成するために、従来の処理動作を利用しても良い。
【００３２】
一例において、エッチングされるウエハは、上に低容量の誘電材料ＦＬＡＲＥ２．０を、その上に更にＴＥＯＳからなるハードマスク層を有した２００ｍｍのウエハである。低容量の誘電体層の厚さは約７，５００Åであり、ハードマスク層の厚さは約２，０００Åである。フォトレジストマスクは、真空紫外線材料からなるフォトレジストマスクであって良いが、任意のフォトレジスト材料を利用しても良い。エッチングされる開口部は、約０．３ミクロンの断面を有する。低容量の誘電体層のエッチングは、カリフォルニア州フリーモント市所在のラム・リサーチ社によるＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸとして知られる高密度・低圧の誘導結合プラズマ処理リアクタ内で実施される。以下の例で提供されるパラメータが、寸法の異なる基板をエッチングするため、または特殊なプラズマリアクタの要請を満たすために、適当な値に縮小・倍化されても且つ／または変更されても良いことは、当業者の技術の範囲内であり、当業者にとって明白である。
【００３３】
上述したＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸプラズマ処理システムにおいて、プラズマ処理チャンバ内の圧力は約１ミリトール（ｍＴ）〜約３０ｍＴで良く、より好ましくは約５ｍＴ〜約２０ｍＴで良く、好ましくは約１０ｍＴで良い。トップ電極の電力は約７００ワット〜約２，２００ワットで良く、より好ましくは約１，２００ワット〜約２，０００ワットで良く、好ましくは約１，８００ワットで良い。ボトム電極の電力は約５０ワット〜約５００ワットで良く、より好ましくは約１００ワット〜約４００ワットで良く、好ましくは約３００ワットで良い。
【００３４】
この例で使用されるＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸプラズマ処理システムにおいて、Ｎ2の流量は、約２５ｓｃｃｍ〜約１５０ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約５０ｓｃｃｍ〜約１００ｓｃｃｍで良く、好ましくは約５０ｓｃｃｍで良い。Ｏ2の流量は約５ｓｃｃｍ〜約７５ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約１０ｓｃｃｍ〜約５０ｓｃｃｍで良く、好ましくは約２５ｓｃｃｍで良い。ＣxＨyの流量は約１ｓｃｃｍ〜約５０ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約５ｓｃｃｍ〜約３０ｓｃｃｍで良く、好ましくは約１５ｓｃｃｍで良い。ＢＣＢ等のシリコン含有の低容量誘電体層をエッチングする際には、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤に、少量の（例えば、＜５ｓｃｃｍ）フッ化炭素含有ガスを添加しても良い。例えば、Ｃ2Ｆ6またはＣ4Ｆ8を添加して良い。
【００３５】
低容量の誘電体層のエッチングは、カリフォルニア州フリーモント市所在のラム・リサーチ社から市販の４５２０ＸＬE等の静電型プラズマ処理リアクタ内において実施することもできる。上述した４５２０ＸＬEプラズマ処理システムにおいて、プラズマ処理チャンバ内の圧力は約１０ミリトール（ｍＴ）〜約３００ｍＴで良く、より好ましくは約３０ｍＴ〜約２００ｍＴで良く、好ましくは約１００ｍＴで良い。トップ電極の電力は約０ワット〜約２，０００ワットで良く、より好ましくは約２００ワット〜約８００ワットで良く、好ましくは約５００ワットで良い。ボトム電極の電力は約０ワット〜約２，０００ワットで良く、より好ましくは約２００ワット〜約８００ワットで良く、好ましくは約５００ワットで良い。
【００３６】
４５２０ＸＬEプラズマ処理システムにおいて、Ｎ2の流量は、約０ｓｃｃｍ〜約１，０００ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約５０ｓｃｃｍ〜約６００ｓｃｃｍで良く、好ましくは約５００ｓｃｃｍで良い。Ｏ2の流量は約５ｓｃｃｍ〜約５００ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約５ｓｃｃｍ〜約５０ｓｃｃｍで良く、好ましくは約１８ｓｃｃｍで良い。ＣxＨyの流量は約０ｓｃｃｍ〜約５００ｓｃｃｍで良く、より好ましくは約０ｓｃｃｍ〜約５０ｓｃｃｍで良く、好ましくは約１８ｓｃｃｍで良い。ＢＣＢ等のシリコン含有の低容量誘電体層をエッチングする際には、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤に、少量の（例えば、＜５ｓｃｃｍ）フッ化炭素含有ガス、例えばＣ2Ｆ6またはＣ4Ｆ8を添加しても良い。
【００３７】
総流量に占める割合で表されるＮ2の流量率は、約５０％〜約９５％で良く、代表的なエッチングプロセスでは約９３．３％で良い。総流量に占める割合で表されるＯ2の流量率は、約２％〜約４０％で良く、代表的なエッチングプロセスでは約３．３％で良い。総流量に占める割合で表されるＣxＨyの流量率は、約２％〜約４０％で良く、代表的なエッチングプロセスでは約３．３％で良い。上述したように、シリコン含有の低容量誘電体層（例えばＢＣＢ）をエッチングする際には、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤にフッ化炭素含有ガスを添加しても良い。例えば、Ｃ2Ｆ6またはＣ4Ｆ8を添加して良く、この場合、総流量に占める割合で表されるＣxＦyの流量率は例えば約０．０５％で良い。
【００３８】
エッチング化学剤に関し、酸素に対する炭化水素の含量を増加させると、酸素の流量を単に変化させる以上に、輪郭制御の改善に大きく寄与するとされている。ＣxＨy：Ｏ2の比は、約１：９９〜約２：１で良く、より好ましくは約２：３〜約３：２で良い。代表的なエッチングにおいては、エッチング化学剤混合物のＣxＨy：Ｏ2の比が約３：２である場合に有利なエッチング効果が得られる。
【００３９】
以上からわかるように、Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有のエッチング化学剤を利用した本発明による低容量の誘電体層のエッチングは、側壁を有利に不活性化させるので、たとえ高いエッチング速度でエッチングする場合であっても、ほぼ垂直な輪郭を維持し、微小寸法を高レベルで制御することができる。Ｎ2／Ｏ2／ＣxＨy含有の改良エッチング化学剤に含まれる炭化水素成分による側壁の不活性化によって、エッチングされた開口部をほぼ垂直な輪郭に維持すると同時に微小寸法を高レベルで制御することが可能になる。本発明によるエッチング化学剤に炭化水素を添加すると、酸素含有成分が有する等方性の特性が補償される。
【００４０】
以上では、本発明をいくつかの好ましい実施形態の形で説明したが、本発明の範囲内で、種々の代替、置き換え、および等価物が可能である。また、本発明による方法および装置を実現する代替の方法が数多く存在することにも注意が必要である。したがって、添付した特許請求の範囲は、このような代替、置き換え、および等価物の全てを、本発明の真の趣旨および範囲内に含むものとして、解釈される。
【図面の簡単な説明】
【図１】  従来技術による代表的なＩＣ積層体を示した図である。
【図２】  フォトレジスト層のパターン形成後における、従来技術による図１のＩＣ積層体を示した図である。
【図３】  ハードマスク層のパターン形成後における、従来技術による図１のＩＣ積層体を示した図である。
【図４】  低容量の誘電体層のエッチングの開始およびフォトレジストの後退を示した図である。
【図５】  低容量の誘電体層のエッチングに従来技術によるエッチング化学剤を利用すると生じるビア側壁の湾曲を示した図である。
【図６】  低容量の誘電体層のエッチングに従来技術によるエッチング化学剤を利用すると生じるビアの微小寸法の悪化を示した図である。
【図７】  本発明の一実施形態を使用して低容量の誘電体層にエッチングされる代表的なビアを示した図である。
【図８】  本発明を実施するのに適したプラズマリアクタの１つであるＴＣＰ（商標）９１００ＰＴＸプラズマリアクタを示した概略図である。
【図９】  本発明を実施するのに適したプラズマリアクタの１つである４５１０ＸＬEプラズマリアクタを示した概略図である。
【図１０】  本発明による低容量の誘電体層のエッチングの動作を本発明の一実施形態にしたがって示したフローチャートである。
【符号の説明】
１００…積層体
１０２…フォトレジスト層
１０４…ハードマスク層
１０６…低容量の誘電体層
１０８…エッチ止め層
２０２…開口部
４０２，４０４…ビア／トレンチの領域
４０８，４１０…ハードマスク材料の露出領域
７０２…ビア／トレンチ
７０４…側壁
８０２…プラズマ処理チャンバ
８０４…誘電ウィンドウ
８０６…電極
８０８…ＲＦジェネレータ
８１０…ガス分布板
８１２…ウエハ
８１４…チャック
８１６…ＲＦジェネレータ
８１８…ポート
９０１…プラズマ処理チャンバ
９０４…ギャップ駆動
９０６…トップ電極
９０８…ＲＦジェネレータ
９１０…閉じ込めリング
９１２…ウエハ
９１４…チャック
９１６…ＲＦジェネレータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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