(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する方法であって、
第１の導電性粒状材料を含む第１の充填ペーストを開口部に押圧して充填する第１工程と、
その後、第１の導電性粒状材料の粒径分布のピークの１／３〜１／２の粒径分布のピークを有する第２の導電性粒状材料を含む第２の充填ペーストを該開口部に、前記第１工程における押圧力より高い押圧力で充填する第２工程と
を含む方法。
【請求項２】
第１の導電性粒状材料のピークの粒径が２８〜３２μｍの範囲にあり、第２の導電性粒状材料のピークの粒径が１０〜１６μｍの範囲にある、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
粒状材料がはんだ材料から成る、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する装置であって、
第１の導電性粒状材料を含む第１の充填ペーストを開口部に押圧して充填するための１対の第１のスキージと、
第１の導電性粒状材料の粒径分布のピークの１／３〜１／２の粒径分布のピークを有する第２の導電性粒状材料を含む第２の充填ペーストを、前記第１のスキージによる前記第１の充填ペーストの充填後に、より高い押圧力で該開口部に充填するための１対の第２のスキージと
を備える装置。
【請求項５】
第１のスキージおよび第２のスキージの一方が、他方の１対のスキージの内側に挟まれて配置される、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
第１のスキージおよび第２のスキージの一方が、他方の１対のスキージの外側に並んで配置される、請求項４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填される充填ペースト、充填ペーストの充填方法および充填装置に関する。より詳細には、本発明は、スクリーン版に所定のパターンで設けられた開口部に充填され、スクリーン版の下に配置された基板上に印刷される充填ペースト、充填ペーストの印刷方法および印刷装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、電子回路基板を作製するための電子部品実装プロセスにおいて、基板上に形成された配線パターンの所定の箇所（例えばランド）に電子部品を接合する方法の１つに、予め配線パターンが形成された基板上にクリームはんだを供給し、その後、電子部品を基板上に配置してリフローすることにより、クリームはんだの形態で供給されたはんだ材料を介して電子部品を基板上の配線パターンにはんだ付けする方法がある。この方法におけるクリームはんだの供給は、スクリーン印刷法により、以下のようにして実施される。
【０００３】
従来のクリームはんだ印刷装置を図６に示す。この装置においては、基板６１をその上に配置し、基板６１を固定するための固定ブロック６２と、固定ブロック６２の上方に位置し、開口部（図示せず）が所定のパターンに従って設けられたスクリーン版６３と、基板６１が配置される固定ブロック６２を上下に移動させる昇降ステージ６４と、スクリーン版６３の上に供給されるクリームはんだ６５をスクリーン版６３の開口部に充填するための、モーター（図示せず）などにより駆動されてスクリーン版６３の上方で左右に往復運動可能な１対のスキージ６６ａおよび６６ｂとを備える。図６は、昇降ステージ６４により上下に移動される固定ブロック６２が上側位置にあるときを示し、この位置では、固定ブロック６２の上にある基板６１が、スクリーン版６３の下面と接触するように配置される。
【０００４】
まず、スクリーン版６３から離れた下側位置にある固定ブロック６２の上に、配線パターンが形成された基板６１を配置して固定し、基板６１が、その上方に位置するスクリーン版６３に接触するように、基板６１および固定ブロック６２が取り付けられた昇降ステージ６４を上側位置へと移動させる（図６）。このスクリーン版６３には、所定の印刷パターンに従って所定の形状の開口部（または貫通穴、図示せず）が所定の箇所に設けられており、スクリーン版６３に設けられた開口部が基板６１上の所定の箇所と一致するように、スクリーン版６３および基板６１が位置合わせされている。このスクリーン版６３は、例えば０．１２ｍｍの厚さを有し得る。
【０００５】
このとき図６に示すように、１対のスキージ６６ａおよび６６ｂがスクリーン版６３の左側端部上に位置し、右方向７０（左側端部から右側端部に向かう方向）に移動するように準備されており、また、スキージ６６ａおよび６６ｂの間に位置するスクリーン版６３の上には、クリームはんだ６５が供給されている。そして、上記のように基板６１がスクリーン版６３の直ぐ下に接触して配置された後、右方向７０の移動方向において後方側に位置するスキージ６６ａをスクリーン版６３に圧接させ、前方側に位置するスキージ６６ｂをスクリーン版６３から離した状態で、スクリーン版６３の左側端部からスクリーン版６３の右側端部まで、右方向７０に平行移動させる。その結果、移動方向においてスキージ６６ａの前方にあるクリームはんだ６５がローリングしながら移動し、スクリーン版６３に設けられた開口部に充填される。
【０００６】
充填終了後、昇降ステージ６４を下方に動かして基板６１をスクリーン版６３から離して元の下側位置へ移動させると、開口部に充填されたクリームはんだはスクリーン版６３を通り抜けて、即ち「版抜け」して、基板６１上の配線パターンの所定の箇所上に付着した状態で残る。これにより、クリームはんだが基板上の所定の箇所にのみ付着し、所望のパターンで基板上に印刷される。得られた基板６１は、その後固定ブロック６２から取り外され、新たな基板６１が固定ブロック６２上に配置される。また、新たな基板６１が上側位置へ移動されてスクリーン版６３に接触して配置されると、１対のスキージ６６ａおよび６６ｂの移動方向が反転し、今度は左方向７１の移動方向において後方側に位置するスキージ６６ｂをスクリーン版６３に圧接させ、前方側に位置するスキージ６６ａをスクリーン版６３から離した状態で、１対のスキージ６６ａおよび６６ｂが左方向７１に移動して、上記と同様にクリームはんだ６５が印刷される。
【０００７】
上記のようなクリームはんだには、一般的には、スズおよび鉛を主成分とする粒径２０〜４０μｍのはんだ粒子８１で構成される粒状材料と、ロジン、活性剤および溶剤などから成る液体のフラックス８２とを混合したものが用いられている（図７（ａ）を参照のこと）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子機器の小型化および高機能化の要求に従って、電子回路基板の更なる高集積化を図るべく、電子部品の高密度実装化がますます進行する方向にあり、より微細な回路実装技術の開発が求められている。これに伴って、基板に実装される電子部品の小型化が進む一方で、従来の大型の電子部品も依然として使用されているため、これら大型部品と小型部品とを同一基板上に混載した電子回路基板が作製されているという現状がある。
【０００９】
このような電子回路基板の作製においては、大型部品を接合するための開口部および小型部品を接合するための開口部（以下、それぞれ大型部品用開口部および小型部品用開口部とも言う）が混在したスクリーン版を用いて、クリームはんだを基板上に印刷している。しかし、スクリーン版の厚さを従来と同程度に維持したままで、単に大型部品用開口部と、大型部品用開口部よりも開口面積の小さい小型部品用開口部とをこれに混在させて用いて、クリームはんだを基板に印刷すると、小型部品用開口部に充填されたクリームはんだが版抜けせずに開口部に残留し、基板上に印刷されないものがあると言う問題がある。
【００１０】
スクリーン印刷法によれば、上述したようにクリームはんだの充填工程およびいわゆる「版抜け」工程を経てクリームはんだが供給され、スクリーン版の１つの開口部を通って基板上に付着・供給されるクリームはんだは、該開口部とほぼ同じ平面サイズを有し、スクリーン版６３とほぼ同じ厚さ（即ち、開口部とほぼ同じ高さ）を有する。版抜け工程では、スクリーン版の開口部に充填されたクリームはんだと基板との密着力と、該クリームはんだとスクリーン版の開口部壁面との摩擦力（または付着力）とのバランス（または相対関係）が重要となり、充填されたクリームはんだがスクリーン版から良好に離れ得るためには（即ち、良好な「版離れ」を得るためには）、該密着力のほうが該摩擦力よりも大きいことが必要である。
【００１１】
このような密着力と摩擦力の大きさのバランスは、通常、開口部に充填されたクリームはんだが接触している基板の面積（即ち、開口面積）ならびに開口部壁面の面積の大きさのバランスに依存する。よって、開口部高さ（即ち、スクリーン版厚さ）一定の下で開口面積を小さくすると、開口面積の減少割合より小さい割合で開口部壁面の面積が減少するため、密着力と摩擦力の大きさのバランスが崩れて、やがては摩擦力よりも密着力のほうが小さくなり、開口部に充填されたクリームはんだが版抜けせずに開口部に残留し易くなる。このため、大型部品用開口部よりも開口部面積が小さい小型部品用開口部で、クリームはんだが版抜けせずに開口部に残留し得ることとなる。
【００１２】
この問題を克服するため、クリームはんだの基板との密着力が開口部壁面との摩擦力に打ち勝ち得るのに十分な程度に摩擦力を低下させるように、スクリーン版の厚みをより薄くすることも考えられるが、これは、以下に詳述するような理由により、大型部品を基板に十分な強度で接合することができないという新たな問題を生じ得る。
【００１３】
基板上に印刷されるクリームはんだのうち、これに含まれるはんだ粒子のはんだ材料が基板と電子部品とを接合する役割を果たし、接合部分において十分な接合強度を得るためにはある程度の量のはんだ材料を必要とする。所定の組成を有するクリームはんだにおいて、１つの開口部に充填されるクリームはんだ中のはんだ材料の量は、開口部の開口面積および高さによって規定される充填容積に依存する。ここで、開口部の面積は、電子部品の規格によってある程度決まっているため、これを設計変更することは既存設備維持等の観点から好ましくない。よって、開口部面積を変更することなく、上記のようにスクリーン版の厚みを薄くすれば、開口部に充填されるクリームはんだの量、ひいてはこれに含まれるはんだ材料の量が減少して、大型部品と基板との間の接合強度の低下を招くことになる。従って、基板に大型部品を十分な強度で接合するのに必要な量のはんだ材料を開口部に充填するためには、スクリーン版の厚さをある程度厚く保つ必要があり、単にスクリーン版の厚みを薄くすることは十分な解決策ではない。
【００１４】
本発明は上記従来の問題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、電子部品を基板に接合するために利用され、基板上にスクリーン印刷され得る充填ペーストであって、電子部品の接合強度の低下を招くことなく良好な版離れが得られる充填ペーストならびに充填ペーストの充填方法および充填装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、開口部に充填されるクリームはんだのうち、これに含まれるはんだ粒子が開口部を占める割合を増加させ、はんだ粒子以外の成分が開口部を占める割合（空隙率）を減少させることによって、上述の課題を解決できることを見出した。従来のクリームはんだのうち、はんだ粒子８１は、図７（ｂ）に示すように、１つのピークを有する（即ち「単峰性」の）粒径分布を示し、概略的には正規分布に近い分布をしていると考えられる。このようなはんだ粒子８１とフラックス８２とから成るクリームはんだをスクリーン版の開口部に充填すると、１つの理想的な態様においては図７（ａ）に示すような状態で、はんだ粒子８１とフラックス８２とがおよそ１：１の体積比で存在する。よって、はんだ粒子８１によって占められない開口部の空間の割合（換言すれば、フラックス８２が開口部を占める割合）を空隙率とすれば、約０．５となる。本発明者らは、空隙率を減少させるためにはんだ粒子の粒径分布に着目し、本発明を完成させるに至った。
【００１６】
本発明の１つの要旨においては、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填される充填ペーストであって、複数のピークを有する粒径分布を示す導電性の粒状材料を含む充填ペーストが提供される。
【００１７】
本発明の充填ペーストに含まれる粒状材料は、複数のピークを有する（即ち「多峰性」の）粒径分布を示すので、このような充填ペーストを開口部に充填すると、１つのピークを有する粒径分布を示す粒子材料を含む充填ペーストを充填する場合よりも低い空隙率を得ることが可能となる。尚、本明細書において、用語「空隙率」とは、充填ペーストが充填される開口部の空間に対する、粒状材料によって占められない部分の割合を言うものとし、「充填率」とは、充填ペーストが充填される開口部の空間に対する、粒状材料によって占められる部分の割合を言うものとする。
【００１８】
好ましい態様においては、上記粒状材料の粒径分布は第１のピークおよび第２のピークを有し、第２のピークの粒径を第１のピークの粒径の１／３〜１／２とすることができる。このような粒径分布を有する充填ペーストを開口部に充填すると、第１のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子間の隙間に、第２のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子が嵌まり込むため、より低い空隙率を得ることができる。このとき、第１のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第２のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子との数の比は約１：１であることが好ましく、この場合には約０．３〜０．４の空隙率を得ることができ、１つの開口部につき、従来よりも約１．２〜１．４倍の量の粒状材料を供給することができる。
【００１９】
具体的には、第１のピークの粒径は２８〜３２μｍの範囲にあり、第２のピークの粒径が１０〜１６μｍの範囲にある粒状材料を含む充填ペーストが挙げられる。このような粒状材料は、粒状材料を基準として、例えば、２０〜４０μｍの範囲（２０μｍ以上、４０μｍ以下の範囲）にある粒子を８３〜９５質量％で、５〜２０μｍの範囲（５μｍ以上、２０μｍ未満の範囲）にある粒子を５〜１７質量％で含む。
【００２０】
より好ましい態様においては、上記粒状材料の粒径分布は第１のピーク、第２のピークおよび第３のピークを有し、第２のピークの粒径を第１のピークの粒径の１／３〜１／２とし、第３のピークの粒径を第１のピークの粒径の１／５〜１／４とすることができる。このような粒径分布を有する充填ペーストを開口部に充填すると、第１のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子間の隙間に、第２のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子が嵌まり込み、更に、第１のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子と第２のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子との隙間に、第３のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子が嵌まり込むため、より一層低い空隙率を得ることができる。このとき、第１のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第２のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第３のピークまたはその近傍の粒径を有する粒子との数の比は約１：１：２であることが好ましく、この場合には約０．２〜０．３の空隙率を得ることができ、１つの開口部につき、従来よりも約１．４〜１．６倍の量の粒状材料を供給することができる。
【００２１】
具体的には、第１のピークの粒径は２８〜３２μｍの範囲にあり、第２のピークの粒径は１０〜１６μｍの範囲にあり、第３のピークの粒径は６〜８μｍの範囲にある粒状材料を含む充填ペーストが挙げられる。このような粒状材料は、粒状材料を基準として、例えば、２０〜４０μｍの範囲（２０μｍ以上、４０μｍ以下の範囲）にある粒子を９４〜７０質量％で、１０〜２０μｍの範囲（１０μｍ以上、２０μｍ未満の範囲）にある粒子を２〜１３質量％で、５〜１０μｍの範囲（５μｍ以上、１０μｍ未満の範囲）にある粒子を４〜１７質量％で含む。
【００２２】
本発明のもう１つの要旨によれば、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する方法であって、上記のように粒径分布が複数のピークを有するように充填前に予め調製された本発明の充填ペーストを用いる方法が提供される。ここで、充填ペーストは常套の方法、例えばスキージまたは密閉式ヘッドを用いる方法によって被充填体の開口部に充填され得る。
【００２３】
また、充填ペーストは、充填後に上記のような粒径分布で粒状材料を含んでいればよいので、本発明の上記方法のように、充填前に予め調製された充填ペーストを用いてもよいが、ピーク粒径（即ち粒径分布に存在するピークの粒径）の異なる粒状材料を、少なくとも一方は該粒状材料を含む充填ペーストの形態で開口部に別々に充填しても同様の効果を得ることができる。例えば、ピーク粒径が大きいほうの第１の導電性粒状材料をそのままの形態（即ち粉末の形態）とし、ピーク粒径が小さいほうの導電性粒状材料（第２の導電性粒状材料、ならびに場合によっては第３の導電性粒状材料）を充填ペーストの形態で、開口部に別々に充填してよい。
【００２４】
尚、本発明の上記充填ペーストのように多峰性の粒径分布を示すように意図的に調製したものを除いて、粒状材料の粒径は、一般的には単峰性の正規分布に近い分布をしていると考えられるので、調製に用いる第１および第２の導電性粒状材料のピーク粒径、ならびに場合によっては第３の導電性粒状材料のピーク粒径は、平均粒径と実質的に同じであると見なすことができる。
【００２５】
よって、本発明の別の要旨によれば、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する方法であって：（ａ）第１の導電性粒状材料または該第１の導電性粒状材料を含む充填ペーストを開口部に充填する工程と；（ｂ）第１の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する（または、第１の導電性粒状材料と平均粒径が異なる）第２の導電性粒状材料を含む充填ペーストを該開口部に充填する工程とを含む方法が提供される。
【００２６】
工程（ａ）および工程（ｂ）については、いずれを先に実施してもよい。また、導電性粒状材料は、その粒径分布の粒径の上限値（最大値）が開口部の高さよりも小さければよい。また、第２の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は、第１の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）の１／３〜１／２であることが好ましく、具体的には、第１の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は２８〜３２μｍの範囲にあり、第２の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は１０〜１６μｍの範囲にあり得る。
【００２７】
好ましい態様においては、本発明の上記方法は、（ｃ）第１の導電性粒状材料および第２の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する（または、第１の導電性粒状材料および第２の導電性粒状材料と平均粒径が異なる）第３の導電性粒状材料を含む充填ペーストを前記開口部に充填する工程を更に含む。
【００２８】
工程（ａ）、工程（ｂ）および工程（ｃ）を実施する順序は特に限定されず、任意の順に実施してよい。また、第２の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は、第１の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）の１／３〜１／２であり、第３の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は、第１の導電性材料のピーク粒径（または平均粒径）の１／５〜１／４であることが好ましく、具体的には、第１の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は２８〜３２μｍの範囲にあり、第２の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は１０〜１６μｍの範囲にあり、第３の導電性粒状材料のピーク粒径（または平均粒径）は６〜８μｍの範囲にあり得る。
【００２９】
本発明の更に別の要旨においては、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する装置であって、第１の導電性粒状材料または該第１の導電性粒状材料を含む充填ペーストを開口部に充填するための１対の第１のスキージと、第１の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する第２の導電性粒状材料を含む充填ペーストを該開口部に充填するための１対の第２のスキージとを備える装置が提供される。これら第１のスキージおよび第２のスキージのいずれか一方が、他方の１対のスキージの内側に挟まれて配置されていても、あるいは、他方の１対のスキージの外側に並んで配置されていてもよい。
【００３０】
本発明の更に別の要旨によれば、被充填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを充填する装置であって、第１の導電性粒状材料または該第１の導電性粒状材料を含む充填ペーストを収容し、第１のセルの吐出口から吐出して開口部に充填するための第１のセルと、第１の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する第２の導電性粒状材料を含む充填ペーストを収容し、第２のセルの吐出口から吐出して該開口部に充填するための第２のセルとを有するヘッドを備える装置が提供される。これら第１のセルおよび第２のセルのいずれか一方が、１対のセルの形態で構成され、該１対のセルの吐出口の間に、他方のセルの吐出口が位置するように配置され得る。
【００３１】
これら本発明の充填装置は、上述のような、ピーク粒径（または平均粒径）の異なる粒状材料を、少なくとも一方は該粒状材料を含む充填ペーストの形態で別々に開口部に充填するタイプの本発明の方法を実施するのに好適に利用され得る。尚、本発明の上記充填装置は、ピーク粒径の異なる２種の粒状材料を充填するための装置に関するが、スキージの数またはセルの数を変更して、３種またはそれ以上のピーク粒径の異なる粒状材料を開口部に充填するように改変することは、当業者には容易に想到され得るであろう。
【００３２】
上述のような本発明の充填ペースト、充填方法および充填装置によれば、いずれも従来より低い空隙率を得ることができ、１つの開口部につきより多くの量の粒状材料を充填することが可能となる。
【００３３】
本発明の充填ペースト、充填ペーストの充填方法および／または充填装置は、スクリーン版を用いて充填ペーストを被印刷体上に印刷する印刷方法および印刷装置に利用できる。本発明の１つの態様では、「被充填体」をスクリーン版とし、「導電性の粒状材料」をはんだ粒子とし、「充填ペースト」をはんだ粒子とフラックスとを含むクリームはんだとし、被印刷体である基板の上にスクリーン版を配置し、クリームはんだをスクリーン版の開口部に充填し、その後スクリーン版とその下に配置された基板とを離すことによって、クリームはんだを基板上に印刷することができる。この場合、従来のクリームはんだよりも空隙率が小さい（即ち、はんだ粒子の充填率が高い）ため、被充填体であるスクリーン版の厚さを従来より薄くしても、電子部品を十分な強度で接合し得る量のはんだ材料を１つの開口部に供給することができる。例えば、従来は０．１２ｍｍ程度であったスクリーン版の厚みを０．０８ｍｍ程度にまで薄くしても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することができる。よって、電子部品の接合強度の低下を招くことなく良好な版離れを得ることが可能となり、上述の課題を解決することができる。尚、本明細書において、「はんだ粒子」とははんだ材料からなる個々の粒状物を言うものとし、スズおよび鉛を主成分とするはんだ材料から成るもの、ならびに鉛フリーのはんだ材料から成るものを含むものとする。
【００３４】
しかしながら、本発明に言う「充填ペースト」はクリームはんだに限定されず、例えば安定した電気特性、高い接合強度、接合信頼性などを得るために粒状材料を高密度で充填することが望まれる充填ペーストに広く解釈されるべきである。例えば、用語「充填ペースト」は、はんだ粒子を粒状材料として含むクリームはんだのみならず、粒状材料としてカーボン粉末またはグラファイト粉末あるいは銀粉末などを含む導電性ペーストなどを含み得る。
【００３５】
また、本発明の充填ペースト、充填方法および充填装置は、被充填体としてスクリーン版を用いて充填ペースト（例えばクリームはんだ）を基板上に印刷する場合に利用され得るが、スクリーン版を用いることなく、被充填体となる回路基板などの開口部および／または凹部に充填ペーストを充填する場合にも利用可能である。例えば、基板に形成されたビアホールなどに導電性ペーストを直接的に充填する場合などにも適用できる。この場合、導電性ペースト導電性粒状材料の充填率を高めることができる。
【００３６】
また、導電性の粒子材料は、必ずしも１種の材料から成る必要はなく、種類の異なる材料から成る粒状物を含んでいてもよい。例えば、はんだ材料から成る粒状物（はんだ粒子）と、はんだ材料よりも高融点の金属材料から成る粒状物との混合物を粒状材料として用いることもできる。
【００３７】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
本発明の１つの実施形態における充填ペーストについて図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態の充填ペーストを説明する模式図であり、図１（ａ）は充填ペーストの１つの理想的な概略模式断面図、図１（ｂ）は充填ペーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
【００３８】
本実施形態の充填ペーストは、図１（ａ）に示すように、はんだ材料から成るはんだ粒子（後述のはんだ粒子１および２を含む）と、液体のフラックス５とで構成されるクリームはんだである。このはんだ粒子は、図１（ｂ）に示すように、２８〜３２μｍの範囲にある第１のピークＡと、１０〜１６μｍの範囲にある第２のピークＢとの２つのピークを有する粒径分布を示す。このとき、第２のピークＢの粒径は、第１のピークＡの粒径の１／３〜１／２の範囲内となる。図１（ａ）においては、第１のピークＡまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子１と、第２のピークＢまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子２とを代表的に示すものとする。
【００３９】
このようなクリームはんだ（充填ペースト）は、各々ピークの異なる、単峰性の粒径分布を示す２種のはんだ原料をフラックスと共に混合することによって調製することができる。例えば、粒径分布が２０〜４０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約２８〜３２μｍ（ピークＡ）であるのはんだ原料Ｘと、粒径分布が５〜２０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約１０〜１６μｍ（ピークＢ）であるはんだ原料Ｙとをフラックスと共に混合することによって、本実施形態のクリームはんだを調製することができる。これらは、例えば、はんだ原料ＸおよびＹの粒子数の比が約１：１となるように１００質量部のはんだ原料Ｘに対してはんだ原料Ｙを５〜２０質量部とし、はんだ原料の合計に対するフラックスの体積比を約０．３５〜１倍として混合され得る。このようにして得られたクリームはんだは、粒状材料を基準として、２０〜４０μｍの範囲（２０μｍ以上、４０μｍ以下の範囲）にあるはんだ粒子を８３〜９５質量％で、５〜２０μｍの範囲（５μｍ以上、２０μｍ未満の範囲）にあるはんだ粒子を５〜１７質量％で含み得る。
【００４０】
以上のような本実施形態の充填ペースト（クリームはんだ）は、電子部品を基板に実装するための接合材料として利用でき、例えば図６を参照しながら上述した従来のスクリーン印刷方法および印刷装置により、スクリーン版の開口部に充填して、基板上に印刷することができる。このとき、スクリーン版の開口部の高さ（即ち、スクリーン版の厚さ）が、粒状材料の粒径分布の最大値（本実施形態では４０μｍ）よりも大きいスクリーン版を用いる必要がある。
【００４１】
以上のような充填ペーストでは、理想的には図１（ａ）に示すように、はんだ原料Ｘに由来する第１のピークＡまたはその近傍の粒径を有する粒子１同士の隙間に、はんだ原料Ｙに由来する第２のピークＢまたはその近傍の粒径を有する粒子２が嵌まり込む。本実施形態の充填ペーストによれば、このようにして、より大きな粒子径を有する粒子の間により小さな粒子径を有する粒子が少なくとも部分的に嵌まり込む。このため、従来の空隙率（約０．５）よりも低い、例えば約０．３〜０．４の空隙率を得ることができ、粒状材料であるはんだ粒子の充填率を高くすることができ、具体的には、１つの開口部につき、従来よりも約１．２〜１．４倍の量のはんだ材料を供給することができる。これにより、スクリーン版に設けられた１つの開口部に充填されるはんだ材料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚みを従来よりも薄くでき、例えば、従来は０．１２ｍｍ程度であったスクリーン版の厚みを０．０８ｍｍ程度にまで薄くしても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することができる。よって、大型部品などでも十分な接合強度で基板に接合することができる量のはんだ材料を開口部に供給でき、かつ、小型部品などのための小さな開口部においても充填ペーストの良好な版離れが得られる。従って、本発明の充填ペーストは、特に大型部品および小型部品の混載に良好に用いられ得る。
【００４２】
（実施形態２）
本発明のもう１つの実施形態における充填ペーストについて図面を参照しながら説明する。図２は、本実施形態の充填ペーストを説明する模式図である。
【００４３】
本実施形態の充填ペーストは、図２（ａ）に示すように、はんだ材料から成るはんだ粒子（後述のはんだ粒子１、２および３を含む）と、液体のフラックス５とで構成されるクリームはんだである。このはんだ粒子は、図２（ｂ）に示すように、２８〜３２μｍの範囲にある第１のピークＡと、１０〜１６μｍの範囲にある第２のピークＢと、６〜８μｍの範囲にある第３のピークＣの３つのピークを有する粒径分布を示す。このとき、第２のピークＢの粒径は、第１のピークＡの粒径の１／３〜１／２の範囲内となり、第３のピークＣの粒径は、第１のピークＡの粒径の１／５〜１／４の範囲内となる。図２（ａ）においては、第１のピークＡまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子１と、第２のピークＢまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子２と、第３のピークＣまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子３とを代表的に示すものとする。
【００４４】
このようなクリームはんだ（充填ペースト）は、実施形態１と同様に、各々ピークの異なる、単峰性の粒径分布を示す３種のはんだ原料をフラックスと共に混合することによって調製することができる。例えば、粒径分布が２０〜４０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約２８〜３２μｍ（ピークＡ）であるはんだ原料Ｘと、粒径分布が１０〜２０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約１０〜１６μｍ（ピークＢ）であるはんだ原料Ｙ’と、粒径分布が５〜１０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約６〜８μｍ（ピークＣ）であるはんだ原料Ｚとをフラックスと共に混合することによって、本実施形態のクリームはんだを調製することができる。これらは、例えば、はんだ原料Ｘ、Ｙ’およびＺの粒子数の比が約１：１：２となるように１００質量部のはんだ原料Ｘに対してはんだ原料Ｙ’を３〜１５質量部で、はんだ原料Ｚを５〜２０質量部とし、はんだ原料の合計に対するフラックスの体積比を約０．２５〜１倍として混合され得る。このようにして得られたクリームはんだは、粒状材料を基準として、２０〜４０μｍの範囲（２０μｍ以上、４０μｍ以下の範囲）にあるはんだ粒子を９４〜７０質量％で、１０〜２０μｍの範囲（１０μｍ以上、２０μｍ未満の範囲）にあるはんだ粒子を２〜１３質量％で、５〜１０μｍの範囲（５μｍ以上、１０μｍ未満の範囲）にあるはんだ粒子を４〜１７質量％で含み得る。
【００４５】
以上のような本実施形態の充填ペースト（クリームはんだ）もまた実施形態１と同様に、電子部品を基板に実装するための接合材料として利用でき、例えば図６を参照しながら上述した従来のスクリーン印刷方法および印刷装置により、スクリーン版の開口部に充填して、基板上に印刷することができる。
【００４６】
以上のような充填ペーストでは、理想的には図２（ａ）に示すように、はんだ原料Ｘに由来する第１のピークＡまたはその近傍の粒径を有する粒子１同士の隙間に、はんだ原料Ｙ’に由来する第２のピークＢまたはその近傍の粒径を有する粒子２が嵌まり込み、更に、はんだ原料Ｘに由来する第１のピークＡまたはその近傍の粒径を有する粒子１とはんだ原料Ｙに由来する第２のピークＢまたはその近傍の粒径を有する粒子２との隙間に、はんだ原料Ｚに由来する第３のピークＣまたはその近傍の粒径を有する粒子３が嵌まり込む。本実施形態の充填ペーストによれば、このようにして、より大きな粒子径を有する粒子の間により小さな粒子径を有する粒子が少なくとも部分的に嵌まり込む。このため、実施形態１の空隙率よりも低い、例えば約０．２〜０．３の空隙率を得ることができ、粒状材料であるはんだ粒子の充填率を更に高くすることができ、具体的には、１つの開口部につき、従来よりも約１．４〜１．６倍の量のはんだ材料を供給することができる。これにより、スクリーン版に設けられた１つの開口部に充填されるはんだ材料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚みを従来よりも薄くでき、例えば、従来は０．１２ｍｍ程度であったスクリーン版の厚みを０．０７ｍｍ程度にまで更に薄くしても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することができる。本実施態様によれば、実施形態１の充填ペーストよりも高い効果を得ることが可能となる。
【００４７】
（実施形態３）
本発明の１つの実施形態における充填ペーストの充填方法および充填装置として、充填ペーストの印刷方法および印刷装置について図面を参照しながら以下に説明する。尚、図６を参照しながら上述した従来の印刷方法および印刷装置と異なる点を中心に説明するものとする。
【００４８】
本実施形態の印刷装置は、図６を参照しながら上述した従来の印刷装置に、１対のスキージの内側にて、該１対のスキージにより挟まれて配置された別のもう１対のスキージを更に備える点で異なる。より詳細には、本実施形態の印刷装置は、図３に示すように、被印刷体である基板１１を固定する固定ブロック１２と、開口部（図示せず）が所定のパターンに従って設けられたスクリーン版１３と、固定ブロック１２を上下に移動させる昇降ステージ１４と、スクリーン版１３の上に供給される第１のクリームはんだ（充填ペースト）１５および第２のクリームはんだ（充填ペースト）１７をスクリーン版１３の開口部にそれぞれ充填するための、１対の第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに１対の第２のスキージ１８ａおよび１８ｂとを備える。第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂは、モーター（図示せず）などの駆動によりスクリーン版３の上方で左右に往復運動可能であり、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂが第２のスキージ１８ａおよび１８ｂの内側にて第２のスキージ１８ａおよび１８ｂに挟まれるように配置される。
【００４９】
このような印刷装置を用いる印刷方法について以下に説明する。本実施形態においては、スクリーン版１３の厚さは約８０〜９０μｍとし、第１のクリームはんだ１５に含まれる第１の導電性粒状材料および第２のクリームはんだ１７に含まれる第２の導電性粒状材料には、実施形態１の充填ペーストを調製するために例示したはんだ原料ＸおよびＹをそれぞれ用いるものとする。即ち、第１のクリームはんだ１５に含まれる第１の導電性粒状材料（はんだ原料Ｘ）は、粒径分布が２０〜４０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約２８〜３２μｍであるはんだ粉末とし、第２のクリームはんだ１７に含まれる第２の導電性粒状材料（はんだ原料Ｙ）は、粒径分布が５〜２０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約１０〜１６μｍであるはんだ粉末とする。第１のクリームはんだ１５および第２のクリームはんだ１７には、はんだ粉末とフラックスを例えば１：１の体積比で各々混合したものを用い得る。このとき、第２の導電性粒状材料のピークの粒径は、第１の導電性粒状材料のピークの粒径の１／３〜１／２となる。
【００５０】
まず、従来と同様にして昇降ステージ１４を用いてスクリーン版１３の下に基板１１を接触して配置する。このとき図３では、スキージ１６ａ、１６ｂ、１８ａおよび１８ｂがスクリーン版１３の左側端部の上に位置し、左側端部から右側端部に向かう右方向２０に移動するように準備されており、また、第１のクリームはんだ１５を第１のスキージ１６ａおよび１６ｂの間に供給し、第２のクリームはんだ１７をクリームはんだ１７ａおよび１７ｂとして第１のスキージ１６ａと第２のスキージ１８ａとの間ならびに第１のスキージ１６ｂと第２のスキージ１８ｂとの間にそれぞれ供給されている。その後、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂと第２のスキージ１８ａおよび１８ｂをスクリーン版１３に各々圧接させた状態で右方向２０に移動させる。この結果、まず、第１のクリームはんだ１５がローリングしながら移動してスクリーン版１３の開口部に充填され、次いで、第２のクリームはんだ１７ａが同様にして開口部に充填される。他方、第２のクリームはんだ１７ｂは、スキージ１６ｂにより掬い上げられつつスクリーン版１３の上を移動するので、押圧力を受けず、スクリーン版１３の開口部にほとんど充填されない。
【００５１】
このとき、開口部に充填されるクリームはんだ１５および１７ａのはんだ粒子の充填率をできるだけ高くするように、スキージ１６ａおよび１８ａの押圧力や移動速度などを適宜調節する。具体的には、ピーク粒径の小さいほうの導電性粒状材料（本実施形態では第２のクリームはんだ１７）を充填するためのスキージ（本実施形態ではスキージ１８）の押圧力（または印圧）をより高くし、そのスキージ角度をより小さくすることが好ましい。これにより、実施形態１の充填ペーストを従来の方法および装置により充填（または印刷）した場合と同程度の高い充填率を得ることができる。
【００５２】
その後、昇降ステージ１４によりスクリーン版１３から基板１を離すと、クリームはんだ１５および１７が混合された状態で基板１１上に印刷される。
【００５３】
以上、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂが右方向２０に移動する場合について説明したが、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂが左方向２１に移動する場合には、まず、クリームはんだ１５がスクリーン版１３の開口部に充填され、次いで、クリームはんだ１７ｂが充填されるので、クリームはんだ１５および１７の充填順序は、スキージ１６ａ、１６ｂ、１８ａおよび１８ｂが右方向２０および左方向２１のいずれに移動するかにかかわらず同じである。
【００５４】
本実施形態によれば、実施形態１の充填ペーストを従来の方法および装置により充填（または印刷）した場合と同程度の充填率を得ることができ、実施形態１と同様の効果を奏し得る。
【００５５】
尚、本実施形態の装置および／または方法には種々の改変がなされ得ることが理解されよう。例えば、本実施形態においてはスクリーン版の開口部に第１の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填してから第２の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填しているが、本発明はこれに限定されず、充填する順序を逆にしてもよい。
【００５６】
また、本実施形態においては、２対のスキージを用いてピークの異なる２種の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを充填しているが、重なって配置された３対またはそれ以上のスキージを用いてピーク粒径の異なる３種またはそれ以上の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストをそれぞれ充填するようにしてもよい。例えば、３種の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを利用する場合、実施形態２の充填ペーストを調製するために例示したはんだ原料Ｘ、Ｙ’およびＺを第１、第２および第３の導電性粒状材料としてそれぞれ含むクリームはんだを用いることができる。即ち、第１の導電性粒状材料（はんだ原料Ｘ）は、粒径分布が２０〜４０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約２８〜３２μｍであるはんだ粉末とし、第２の導電性粒状材料（はんだ原料Ｙ’）は、粒径分布が１０〜２０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約１０〜１６μｍであるはんだ粉末とし、第３の導電性粒状材料（はんだ原料Ｚ）は、粒径分布が５〜１０μｍの範囲に亘り、そのピーク粒径（および平均粒径）が約６〜８μｍであるはんだ粉末とする。クリームはんだには、はんだ粉末とフラックスを例えば１：１の体積比で各々混合したものを用い得る。このとき、第２の導電性粒状材料のピークの粒径は、第１の導電性粒状材料のピークの粒径の１／３〜１／２となり、第３の導電性粒状材料のピークの粒径は、第１の導電性材料のピークの粒径の１／５〜１／４となる。
【００５７】
更に、ピーク粒径の異なる２種もしくは３種またはそれ以上の導電性粒状材料は、少なくとも１種のみが充填ペーストの形態であればよく、他の粒状材料をそのままの形態で（即ちペースト状にすることなく、粉末の形態で）用いるようにしてもよい。例えば、第１の導電性粒状材料および第２の導電性粒状材料のいずれか一方を充填ペーストの形態で開口部に充填し、他方をそのままの形態で開口部に充填することができる。より低い空隙率（即ちより高い充填率）を得るためには、まずピーク粒径の大きいほうの導電性材料（本実施形態では第１の導電性材料）をそのままの（即ち粉末）の形態で開口部に充填し、次いでピーク粒径のより小さいほうの導電性粒状材料を充填ペーストの形態で開口部に充填することが好ましいが、まずピーク粒径の小さいほうの導電性材料をそのままのの形態で開口部に充填し、次いでピーク粒径のより大きいほうの導電性粒状材料を充填ペーストの形態で開口部に充填するようにしてもよい。
【００５８】
（実施形態４）
本実施形態の装置は、実施形態３の装置を改変したものであり、図４に示すように、１対の第１のスキージ１６ａおよび１６ｂが、１対の第２のスキージ１８ａおよび１８ｂの外側にて第２のスキージ１８ａおよび１８ｂと並んで配置される点を除いて実施形態３の装置と同様である。尚、図４において、図３と同様の部材には同様の参照符号を付すものとし、説明を省略する。
【００５９】
本実施形態の装置を用いる場合にも、実施形態３と同様にしてスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂを移動させて、クリームはんだなどの充填ペーストを基板の上に印刷することができる。しかし、本実施形態では、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂが右方向２０に向かって移動するときは、スクリーン版１３の開口部（図示せず）に、まず第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト１７が充填され、次いで第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト１５が充填され、第１のスキージ１６ａおよび１６ｂならびに第２のスキージ１８ａおよび１８ｂが左方向２１に向かって移動するときは、まず第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト１５が充填され、次いで第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト１７が充填される。このため、スキージの移動方向（右方向および左方向のいずれか）によって導電性粒状材料の充填順序が逆となるが、基板上に印刷された後の充填ペーストにおける導電性粒状材料の充填率（または空隙率）に及ぼされる影響は無視できる程度である。従って、本実施形態の装置を用いてスクリーン版の開口部に充填され、基板上に印刷された充填ペーストもまた、従来よりも高い導電性粒状材料の充填率を有し、実施形態３の場合と同様の効果を奏することができる。
【００６０】
また、本実施形態についても上述の実施形態３と同様に種々の改変がなされ得る。例えば、本実施形態では２対のスキージを用いてピークの異なる２種の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを充填しているが、横に並んで配置された３対またはそれ以上のスキージを用いてピーク粒径の異なる３種またはそれ以上の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストをそれぞれ充填するようにしてもよい。更に、ピーク粒径の異なる２種もしくは３種またはそれ以上の導電性粒状材料は、少なくとも１種のみが充填ペーストの形態であればよく、他の粒状材料をそのままの形態で（即ちペースト状にすることなく）用いるようにしてもよいが、より低い空隙率を得るためには、まずピーク粒径の大きいほうの導電性材料（本実施形態では第１の導電性材料）をそのままの（即ち粉末）の形態で開口部に充填し、次いでピーク粒径のより小さいほうの導電性粒状材料を充填ペーストの形態で開口部に充填することが好ましい。
【００６１】
（実施形態５）
本発明のもう１つの実施形態における充填ペーストの充填方法および充填装置として、充填ペーストの印刷方法および印刷装置について図面を参照しながら以下に説明する。尚、図６を参照しながら上述した従来の印刷方法および印刷装置と異なる点を中心に説明するものとし、実施形態３と同様の部材には同様の番号を付し、特に説明のない限り実施形態３と同様とする。
【００６２】
図５に示す本実施形態の印刷装置は、上述のようなスキージの代わりに密閉式のヘッド３０（これは本実施形態においては印刷用ヘッドであるが、本発明はこれに限定されない）を用いるものである。このヘッド３０においては、１対の第１のセル３１ａおよび３１ｂならびに第２のセル３２が、１対の第１のセル３１ａおよび３１ｂの各吐出口の間に、第２のセル３２の吐出口が位置するようにストライプ状に配置されている。この第１のセル３１ａおよび３１ｂには、第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト、例えば上記の第１のクリームはんだ１５がクリームはんだ１５ａおよび１５ｂとして収容されており、第２のセル３２には、第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト、例えば上記の第２のクリームはんだ１７が収容されている。
【００６３】
このようなヘッド３０を用いても、クリームはんだなどの充填ペーストをスクリーン版の開口部に充填して、基板上に印刷することができる。本実施形態では、ヘッド３０が右方向２０に向かって移動するときは、第１のセル３１ｂ内の第１のクリームはんだ１５ｂおよび第２のセル３２内の第２のクリームはんだ１７に圧力をかけて吐出させる。このとき、第１のセル３１ｂ内の第１のクリームはんだ１５ａには圧力をかけない。これにより、スクリーン版１３の開口部（図示せず）に、まず第１のクリームはんだ（第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト）１５ｂが充填され、次いで第２のクリームはんだ（第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト）１７が充填される。その後、スクリーン版１３と基板１１とを離すと、クリームはんだ１５および１７が混合された状態で基板１１上に印刷される。
【００６４】
また、ヘッド３０が、左方向２１に向かって移動するときは、第１のセル３１ａ内の第１のクリームはんだ１５ａおよび第２のセル３２内の第２のクリームはんだ１７に圧力をかけて吐出させることによって、上記と同様にスクリーン版１３の開口部（図示せず）に、まず第１のクリームはんだ（第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト）１５ａが充填され、次いで第２のクリームはんだ（第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト）１７が充填される。その後、スクリーン版１３と基板１１とを離すとクリームはんだ１５および１７が混合された状態で基板１１上に印刷される。
【００６５】
本実施形態によっても、実施形態１の充填ペーストを従来の方法および装置により充填（または印刷）した場合と同程度の充填率を得ることができ、実施形態１と同様の効果を奏し得る。
【００６６】
尚、本実施形態の装置および／または方法についても、実施形態３にて上述したような種々の改変がなされ得ることが理解されよう。例えば、本実施形態においてはスクリーン版の開口部に第１の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填してから第２の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填しているが、本発明はこれに限定されず、充填する順序を逆にしてもよい。また、本実施形態においては、ピークの異なる２種の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを充填しているが、ピーク粒径の異なる３種またはそれ以上の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストをそれぞれ充填するようにしてもよい。更に、ピーク粒径の異なる２種もしくは３種またはそれ以上の導電性粒状材料は、少なくとも１種のみが充填ペーストの形態であればよく、他の粒状材料をそのままの形態で（即ちペースト状にすることなく、粉末の形態で）用いるようにしてもよい。
【００６７】
以上、本発明の種々の実施形態として、スクリーン版（被充填体）の開口部に充填ペーストを充填し、スクリーン版とその下に配置された基板（被印刷体）とを離すことによって充填ペーストを基板上に印刷する場合について詳述したが、本発明はこれに限定されず、被充填体の開口部（または凹部）に充填ペーストを充填する場合に広く適用し得ることが当業者には明白であろう。
【００６８】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品を基板に接合するために利用され、基板上にスクリーン印刷され得る充填ペーストであって、電子部品の接合強度の低下を招くことなく良好な版離れが得られる充填ペーストならびに充填ペーストの充填方法および充填装置が提供される。本発明によれば、はんだ材料から成るはんだ粒子などの粒状材料の充填率を高くすることができるので、本発明において充填ペーストとしてクリームはんだを用いれば、スクリーン版に設けられた１つの開口部に充填されるはんだ材料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚みを従来よりも薄くできる。よって、大型部品などでも十分な接合強度で基板に接合することができる量のはんだ材料を開口部に供給でき、かつ、小型部品などのための小さな開口部においても充填ペーストの良好な版離れが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の１つの実施形態における充填ペーストを説明する図であり、図１（ａ）は充填ペーストの１つの理想的な概略模式断面図、図１（ｂ）は充填ペーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
【図２】  本発明のもう１つの実施形態における充填ペーストを説明する図であり、図２（ａ）は充填ペーストの１つの理想的な概略模式断面図、図２（ｂ）は充填ペーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
【図３】  本発明の１つの実施形態における充填ペーストの印刷装置の概略模式図である。
【図４】  本発明の別の実施形態における充填ペーストの印刷装置の概略模式図である。
【図５】  本発明の更に別の実施形態における充填ペーストの印刷装置のる概略模式図である。
【図６】  従来の印刷装置の概略断面図である。
【図７】  従来の充填ペーストを説明する図であり、図７（ａ）は充填ペーストの概略模式断面図、図７（ｂ）は充填ペーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
【符号の説明】
１、２、３  はんだ粒子
５  フラックス
Ａ  第１のピーク
Ｂ  第２のピーク
Ｃ  第３のピーク
１１  基板（被印刷体）
１２  固定ブロック
１３  スクリーン版（被充填体）
１４  昇降ステージ
１５、１５ａ、１５ｂ  第１のクリームはんだ（第１の導電性粒状材料を含む充填ペースト）
１６ａ、１６ｂ  第１のスキージ
１７、１７ａ、１７ｂ  第２のクリームはんだ（第２の導電性粒状材料を含む充填ペースト）
１８ａ、１８ｂ  第２のスキージ
２０  右方向
２１  左方向
３０  ヘッド
３１ａ、３１ｂ  第１のセル
３２  第２のセル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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