(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検体テーブル上に載置された被検体にＸ線源からのＸ線を照射し、Ｘ線検出器によって、前記被検体の検査領域の透過画像を検出し、表示部に画像表示するＸ線透視検査装置であって、
前記検査領域を前記Ｘ線のほぼ光軸上に位置すると共に、前記Ｘ線源と前記被検体テーブル間距離を調整して前記被検体の検査倍率を設定するように前記被検体テーブルを平行移動させて位置設定するテーブル移動手段と、
前記Ｘ線の照射領域内において、前記Ｘ線検出器を前記被検体テーブルのテーブル面及びテーブル面法線に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段と、
固定した前記Ｘ線源に対して前記Ｘ線検出器を位置設定すると共に、前記検査領域が前記Ｘ線のほぼ光軸上に位置するように前記被検体テーブルを位置設定して前記検査領域のテーブル面法線から０°ないし所定の最大角度までの任意の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出するように前記検出器移動手段及び前記テーブル移動手段を制御する機構制御手段を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項２】
請求項１記載のＸ線透視検査装置において、前記機構制御手段は、前記被検体テーブルを前記検出器移動方向に位置設定するように前記テーブル移動手段を制御することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のＸ線透視検査装置において、
前記被検体テーブルを前記テーブル面に垂直な回転軸に対して回転させて位置設定するテーブル回転手段を有し、
前記Ｘ線検出器は、前記検査領域の任意の方位に傾斜した方向の透過画像を検出することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項４】
請求項３記載のＸ線透視検査装置において、
前記テーブル移動手段は、前記検査領域を前記テーブル面に沿って前記回転の回転軸上に移動させる移動と、前記回転軸上の前記検査領域を前記光軸上に移動させる移動とを可能とすることを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項５】
請求項３又は４記載のＸ線透視検査装置において、
前記Ｘ線源と前記Ｘ線検出器とを固定し、
前記テーブル移動手段に前記検査領域が前記回転軸と前記光軸の上に位置するよう前記被検体テーブルを位置設定して固定させた状態で前記テーブル回転手段に前記被検体テーブルを回転させて前記Ｘ線検出器に前記被検体の透過データを検出させるスキャン制御手段と、
前記透過データを演算処理して、前記被検体の前記検査領域内の断層画像を形成する再構成手段とを有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１記載のＸ線透視検査装置において、
前記Ｘ線検出器の移動に同期して前記Ｘ線検出器が前記Ｘ線源と対向するように前記Ｘ線検出器を首振り運動させる首振り手段を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１記載のＸ線透視検査装置において、
前記傾斜した方向の透過画像を前記表示部に画像表示する際、明るさが一定になるよう階調変換して表示させる階調変換手段を有することを特徴とするＸ線透視検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体に対し、Ｘ線を透過させて被検体の内部を検査するＸ線透視検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を実装した基板等の板状の被検体を検査するＸ線透視検査装置が利用されている。このような被検体を検査するＸ線透視検査装置では、基板等の被検体に対し、高倍率で、また、透視角度を変化させて透過画像を得られるようにした装置として、例えば、特許文献１あるいは特許文献２に記載された透視検査装置がある。
【０００３】
図１１は、特許文献１による従来のＸ線透視検査装置の概略構成図である。透過型のＸ線管１０１は、広角度のＸ線ビーム１０２を放射する。このＸ線ビーム１０２を二次元分解能のＸ線検出器１０３で検出して被検体１０５の透過画像を得る。さらに、Ｘ線ビーム１０２の範囲内で、Ｘ線検出器１０３を円弧状レール１０４上を摺動させることで、Ｘ線焦点Ｆを中心として回転させ、透視角度αを変更することができる。これにより、Ｘ線焦点と被検体１０５の距離ＦＯＤを保ったまま透視角度を変えることができるので、被検体１０５を斜め方向から高倍率で観察することが可能となる。
【０００４】
図１２は、特許文献２による従来のＸ線透視検査装置の概略構成図である。このＸ線透視検査装置も図１１に示すＸ線透視検査装置と同様に、Ｘ線管１０１が放射したＸ線ビーム１０２をＸ線検出器１０３で検出して被検体１０５の透過画像を得る。さらに、Ｘ線ビーム１０２の範囲内で、Ｘ線検出器１０３を水平方向の直線状レール１０７上を摺動させ、かつＸ線焦点Ｆに対向するよう首振り運動をさせ、透視角度αを変更する。これにより、Ｘ線焦点と被検体１０５の距離ＦＯＤを保ったまま透視角度αを変えることができるので、被検体１０５を斜め方向から高倍率で観察することが可能となる。
【特許文献１】特開２００３−２２２５９９号公報
【特許文献２】特開２００１−１５３８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１記載のＸ線透視検査装置は、透視角度（傾斜角）αを大きくすると検査倍率が低下する問題がある。図１１において、Ａ点の検査倍率はＦＤ／ＦＡであるが、Ｂ点の検査倍率はＦＤ’／ＦＢで、ｃｏｓαに比例して小さくなる。Ａ点を視野に納めたまま、Ａ点を同じ検査倍率で観察しようとすると、Ｘ線検出器の移動に同期して、被検体のＡ点をＦを中心とする円弧上を追従させなければならず、被検体移動制御が複雑になる問題がある。また、Ｘ線検出器の移動についても、高価な円弧上レールを用いる必要があり、円弧に沿って移動させる機構も複雑化する問題がある。
【０００６】
また、上述した特許文献２記載のＸ線透視検査装置は、透視角度αを大きくしても検査倍率が低下しない。図１２において、Ａ点の検査倍率はＦＤ／ＦＡで、Ｂ点の検査倍率はＦＤ’／ＦＢで、検査倍率は一定である。しかしながら、図１２に示す特許文献２記載のＸ線透視検査装置では、αが大きくなるとＸ線検出器がＸ線管から遠くなるので透過画像が暗くなり、また、Ｘ線検出器の移動量が大きくなると装置が大型化する問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、上記課題に鑑み、簡単な機構と制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を達成するため、請求項１記載の発明は、被検体テーブル上に載置された被検体にＸ線源からのＸ線を照射し、Ｘ線検出器によって、前記被検体の検査領域の透過画像を検出し、表示部に画像表示するＸ線透視検査装置であって、前記検査領域を前記Ｘ線のほぼ光軸上に位置すると共に、前記Ｘ線源と前記被検体テーブル間距離を調整して前記被検体の検査倍率を設定するように前記被検体テーブルを平行移動させて位置設定するテーブル移動手段と、前記Ｘ線の照射領域内において、前記Ｘ線検出器を前記被検体テーブルのテーブル面及びテーブル面法線に対して傾斜した検出器移動方向に直線的に移動させて位置設定する検出器移動手段と、固定した前記Ｘ線源に対して前記Ｘ線検出器を位置設定すると共に、前記検査領域が前記Ｘ線のほぼ光軸上に位置するように前記被検体テーブルを位置設定して前記検査領域のテーブル面法線から０°ないし所定の最大角度までの任意の傾斜角αで傾斜した方向の透過画像を検出するように前記検出器移動手段及び前記テーブル移動手段を制御する機構制御手段を有することを要旨とする。
【０００９】
上記構成の本発明によれば、Ｘ線検出器を直線に沿って移動させるので、簡単な機構で被検体の透視角度（傾斜角α）を変更することができる。また、Ｘ線検出器の移動方向がテーブル面に対して傾斜した方向なので、装置が大型化することなく、また透視角度が大きい時の透過画像の明るさ低下の問題も少ない。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のＸ線透視検査装置において、機構制御手段は、被検体テーブルを検出器移動方向に位置設定するようにテーブル移動手段を制御することを要旨とする。
【００１１】
上記構成の本発明によれば、Ｘ線検出器に直線移動させると共に、被検体テーブルに、検出器移動量に比例した簡単な直線移動をさせるだけで視野ずれがなく、検査倍率を保つことができ、任意の傾斜角αの透過画像を得ることができる。また、テーブル移動が直線でよいため、制御が容易になると共に追従精度を向上することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のＸ線透視検査装置において、前記被検体テーブルを前記テーブル面に垂直な回転軸に対して回転させて位置設定するテーブル回転手段を有し、前記Ｘ線検出器は、前記検査領域の任意の方位に傾斜した方向の透過画像を検出することを要旨とする。
【００１３】
上記構成による本発明によれば、傾斜角αの傾斜方位を任意の方位に変更することができる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項３記載のＸ線透視検査装置において、前記テーブル移動手段は、前記検査領域を前記テーブル面に沿って前記回転の回転軸上に移動させる移動と、前記回転軸上の前記検査領域を前記光軸上に移動させる移動とを可能とすることを要旨とする。
【００１５】
上記構成による本発明によれば、被検体の任意の検査領域を回転軸上に合わせ、また、回転軸と一緒に検査領域を移動させて光軸上に合わせるので、任意の検査領域を視野に入れることができ、この検査領域は常に回転軸上および光軸上にあるので、これにより、テーブル回転手段により、いかなる傾斜角αにおいてもこの検査領域を中心に被検体を回転することが可能であり、検査領域が視野から外れることなく傾斜方位を変更することができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項３又は４記載のＸ線透視検査装置において、Ｘ線源とＸ線検出器とを固定し、テーブル移動手段に検査領域が回転軸と光軸の上に位置するよう被検体テーブルを位置設定して固定させた状態でテーブル回転手段に被検体テーブルを回転させてＸ線検出器に被検体の透過データを検出させるスキャン制御手段と、透過データを演算処理して、被検体の前記検査領域内の断層画像を形成する再構成手段とを有することを要旨とする。
【００１７】
上記構成による本発明によれば、検査領域の傾斜角αを設定した後、被検体テーブルを回転させてこの検査領域の断層画像を得ることができる。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１乃至５いずれか１記載のＸ線透視検査装置において、Ｘ線検出器の移動に同期してＸ線検出器がＸ線源と対向するようにＸ線検出器を首振り運動させる首振り手段を有することを要旨とする。
【００１９】
上記構成の本発明によれば、首振り手段により、移動時に常にＸ線検出器の検出面がＸ線源と対向するよう首振りするので、透過画像の歪が減少する効果がある。
【００２０】
請求項７記載の発明は、請求項１乃至６いずれか１記載のＸ線透視検査装置において、傾斜した方向の透過画像を表示部に画像表示する際、明るさが一定になるよう階調変換して表示させる階調変換手段を有することを特徴とする。
【００２１】
上記構成の本発明によれば、傾斜角αを変化させたとき、Ｘ線の強度の方向依存性や、Ｘ線源とＸ線検出器間の距離が変化することによる透過画像の明るさ変化を補正して、一定に保つことができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上、説明したように本発明によれば、簡単な機構および簡単な制御で検査倍率を保ち、画像の明るさ変化の少ない透視角度可変のＸ線透視検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、図面を用いて本発明について説明する。
【００２４】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１の概念図である。図１に示すように、本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１は、Ｘ線管１１、Ｘ線検出器１２、被検体テーブル１３、テーブル移動機構１４、検出器移動機構１５、機構制御部１６および表示部１７を有している。
【００２５】
Ｘ線管１１は、Ｘ線ビーム２０を発生して、被検体２１に照射させる。 
Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管１１のＸ線焦点Ｆから発生したＸ線ビーム２０が被検体２１を透過したＸ線を透過画像として２次元分解能で検出する。
【００２６】
被検体テーブル１３は、被検体２１を載置する。また、テーブル面１３ａは、被検体テーブル１３の被検体を載置する面である。 
テーブル移動機構１４は、被検体テーブル１３をｘｔ方向、ｙｔ方向、ｚｔ方向の直交３方向に平行移動（向きを変えずに移動）して位置を設定する。
【００２７】
検出器移動機構１５は、Ｘ線検出器１２をテーブル面１３ａに対して傾斜（傾斜角β）した方向ｘｄに移動させて位置を設定する。Ｘ線ビーム２０内でＸ線検出器１２を移動することで、傾斜角（透視角度）αを変えることができる。傾斜角αは、テーブル面１３ａの法線とＸ線光軸２２（直線ＦＤ）のなす角度である。ここで、Ｘ線検出器１２の移動方向ｘｄの傾斜角βとして、例えば、３０°程度が考えられる。この傾斜角βは３０°には限られないが、通常、傾斜角αの最大αMAXの１／２程度あるいは１／２よりやや少ない角度である１０°〜４０°が望ましい。
【００２８】
機構制御部１６は、検出器移動機構１５とテーブル移動機構１４とを制御する。 
表示部１７は、Ｘ線検出器１２で検出されたＸ線を透過データとした透過画像が表示される。
【００２９】
次に、第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１の作用を説明する。 
図２は、第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１の透過画像を得る際の設定の処理を説明するフローチャートである。
【００３０】
まず、垂直透視を設定する（Ｓ１１）。具体的に、操作者により機構制御部１６に傾斜のリセット指示が入力されると、機構制御部１６は、Ｘ線検出器１２を移動させ、図１に示すように検出面１２ａの中心ＤがＸ線焦点Ｆの真下になるように設定する。この場合、Ｘ線検出器１２で得られる被検体２１の透過画像は、テーブル面１３ａに対する垂直方向からの透視となる。このような垂直方向からの透視を、垂直透視と称する。
【００３１】
次に、ステップＳ１１で検出面１２ａの中心ＤがＸ線焦点Ｆの真下になるように設定された状態で、被検体２１の検査領域Ａの位置を設定する（Ｓ１２）。具体的に、操作者によりテーブル移動指令（ｘｔ方向およびｙｔ方向の移動量の値）が機構制御部１６に入力され、機構制御部１６によってテーブル移動機構１４が制御されて被検体テーブル１３が移動することによって、被検体２１の検査領域Ａが光軸２２（直線ＦＤ）上となるように設定される。テーブル移動指令は、表示部１７に表示されるリアルタイム画像を観察しながら、操作者によって行われる。
【００３２】
続いて、画像の拡大率（検査倍率Ｍ）を設定する（Ｓ１３）。具体的に、操作者により（画像を観察しながら）、ｚｔ移動指令が機構制御部１６に入力され、機構制御部１６によってテーブル移動機構１４が制御されて被検体テーブル１３がｚｔ方向に移動することによって、画像の拡大率（検査倍率Ｍ）が設定される。
【００３３】
その後、機構制御部１６で検査倍率Ｍが計算される（Ｓ１４）。具体的に、操作者により、検査領域Ａのテーブル面１３ａからの高さｈが機構制御部１６に入力されると、この高さｈに基づいて機構制御部１６は、検査倍率Ｍを計算する。検査倍率Ｍの計算には（式１）が用いられる。
【００３４】
Ｍ＝ＦＤ0／（ＦＢ0−ｈ）・・・（１）
ここで、ＦＤ0はＸ線焦点Ｆから検出面１２ａの中心Ｄまでの距離（α＝０°）であり、ＦＢ0はＸ線焦点Ｆから光軸２２とテーブル面１３ａの交点Ｂまでの距離（α＝０°）である。機構制御部１６は、テーブル移動機構１４および検出器移動機構１５のエンコーダ出力から、Ｄ点と被検体テーブル１３の現在位置が認識できる。従って、（式１）によって検査倍率Ｍを算出することができる。
【００３５】
次に、Ｘ線検出器１２を移動する（Ｓ１５）。Ｘ線検出器１２の移動は、傾斜角αを変化させる際に操作者によりＸ線検出器１２の移動指令が機構制御部１６に入力された場合に行なわれる。ここで機構制御部１６に入力されるＸ線検出器１２の移動指令は、ｘｄ方向の移動量Ｌｄを含んでいる。したがって、機構制御部１６によって、検出器移動機構１５が制御されてＸ線検出器１２を移動量Ｌｄだけｘｄ方向に移動させる。
【００３６】
ステップＳ１５でＸ線検出器１２が移動されると、被検体テーブル１３の移動量Ｌｔを算出し（Ｓ１６）、被検体テーブル１３を算出した移動量Ｌｔだけ移動させる（Ｓ１７）。具体的にステップＳ１６において機構制御部１６は、ステップＳ１５で利用した移動量ＬｄおよびステップＳ１４で算出した検査倍率Ｍを用いて（式２）により移動量Ｌｔを算出する。
【００３７】
Ｌｔ＝Ｌｄ／Ｍ・・・（２）
被検体テーブル１３の移動量Ｌｔの移動は、テーブル移動機構１４により、ｘｔ方向とｚｔ方向の動きを合成してｘｄ方向に移動させることにより行われる。ｘｔ方向とｚｔ方向の合成は、ｘｔ方向にＬｔ・ｃｏｓβ動かし、ｚｔ方向にＬｔ・ｓｉｎβだけ動かせばよい。
【００３８】
このように、検出器移動機構１５によってＸ線検出器１２をｘｄ方向に移動量Ｌｄ移動させ、テーブル移動機構１４により被検体テーブル１３をｘｄ方向にＬｔ移動させることにより、あらゆる移動量Ｌｄに対し、検査領域を光軸２２上に保つことができ、また、検査倍率Ｍも一定に保つことができる。検査倍率Ｍが一定になることは、図１で三角形ＦＡＡ’と三角形ＦＤＤ’が相似になるため、あらゆるＬｄに対し、（式３）が成り立つことにより理解できる。
【００３９】
ＦＤ’／ＦＡ’＝ＦＤ／ＦＡ・・・（３）
上述した第１の実施の形態によれば、Ｘ線検出器に直線移動させると共に、被検体テーブルに検出器の移動量に比例した簡単な直線移動をさせることで、視野ずれすることなく、検査倍率を保つと共に、任意の傾斜角αの透過画像が得られる。すなわち、傾斜角αを変えても検査倍率が低下しない。また、検出器を一定速度で移動させるのと同期して、テーブル移動を直線、一定速度で移動させるだけで連続して視野ずれを補正でき、制御が容易になると共に追従精度を上げることができる。
【００４０】
また、Ｘ線検出器を直線に沿って移動させるので機構が単純で安価である。 
さらに、Ｘ線検出器の移動方向がテーブル面１３ａに対し傾斜した方向なので、装置が大型化することなく、また、αが大きい時の画像の明るさ低下も少ない利点がある。
【００４１】
［第２の実施の形態］
本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａは、図１に示したＸ線透視検査装置１と比較して、テーブル回転機構１８を追加した点で異なる。 
図３は、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａが図１に示した第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１と異なる部分を説明する図である。図３に示すように、第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａは、図１に示したＸ線透視検査装置１と比較して、被検体テーブル１３とテーブル移動機構１４との間にテーブル回転機構１８が配置されている点で異なる。
【００４２】
テーブル回転機構１８は、被検体テーブル１３をテーブル面１３ａに沿って回転させる。この回転の動作は、他の動作と独立しているため、随時、同時に、また、連続的に行うことができる。 
また、第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａのテーブル移動機構１４は、被検体テーブル１３をテーブル回転機構１８による回転の回転軸２３と共に平行移動させる。 
なお、他の構成については、上述した第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１と同一である為、説明を省略する。
【００４３】
次に、第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａの作用を説明する。 
図４は、本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置１ａの処理を説明するフローチャートである。また、図４に示すフローチャートにおいて、図２に示した点と同一の処理は同一のステップ番号を付している。
【００４４】
まず、被検体２１を被検体テーブル１３に載置する（Ｓ２１）。このとき、操作者によって、被検体２１の検査領域Ａの位置が回転軸２３上にくるように載置される。ここで、操作者は、被検体テーブル１３上の回転軸２３を示す十字線等のマーク、あるいは、回転軸２３に沿った投光や治具を用いて検査領域Ａを回転軸２３に合わせる。次に、操作者により傾斜のリセット指示が入力されると、機構制御部１６は、傾斜角αを０°に設定し、さらに、回転軸２３が光軸２２に一致するように被検体テーブル１３をｘｔ方向に移動させる。ここで、機構制御部１６によって移動された位置が基準位置である。なお、操作者による傾斜のリセット指示の入力と、被検体テーブル１３の移動は、被検体２１の載置の前に行なわれてもよい。
【００４５】
続いて、画像の拡大率（検査倍率Ｍ）を設定する（Ｓ１３）。具体的に、操作者により（画像を観察しながら）、ｚｔ移動指令が機構制御部１６に入力され、被検体テーブル１３がｚｔ方向に移動されることによって、画像の拡大率（検査倍率Ｍ）が設定される。
【００４６】
その後、検査倍率Ｍを計算する（Ｓ１４）。ステップＳ１４〜Ｓ１７の処理については、第１の実施の形態で上述した図２の処理と同一である為説明を省略する。なお、第２の実施の形態のＸ線透視検査装置１ａでは、ステップＳ１７で被検体テーブル１３を移動させるとき、機構制御部１６は、回転軸２３を被検体テーブル１３と共に移動させる。これにより、検査領域（Ａ点）は常に回転軸２３上に保たれるので、テーブル回転機構１８により、いかなる傾斜角αにおいても検査領域（Ａ点）を中心に被検体を回転でき、検査領域（Ａ点）が視野から外れることなく傾斜方位を変更することができる。
【００４７】
上述した第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置によれば、第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置で得られる効果に加え、あらゆる傾斜角αにおいて、検査領域（Ａ点）を中心に被検体を回転させることができ、検査領域（Ａ点）が視野から外れることなく傾斜方位を変更することができる。
【００４８】
［第３の実施の形態］
図５は、本発明の第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３を示す概念図（正面図）である。第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３は、Ｘ線管３１、Ｘ線検出器３２、被検体テーブル３３、ＸＹ機構３４、テーブル回転機構３５、視野調整機構３６、検出器移動機構３７、直進フレーム３８、表示部３９、機構制御部４０、Ｘ線制御部４１を有している。
【００４９】
Ｘ線管３１は、透過型マイクロフォーカスＸ線管で、１μｍ程度の小さなＸ線焦点Ｆから広角度のＸ線ビーム５１を発生する。 
Ｘ線検出器３２は、Ｘ線管３１から発生して被検体５２を透過したＸ線ビーム５１を検出する。このＸ線検出器３２は、検出面３２ａで２次元分解能でＸ線を検出するもので、Ｘ線Ｉ．Ｉ．（Ｘ線イメージインテンシファイア）とテレビカメラとを組み合わせたものや、ＦＰＤ（フラットパネル型検出器）等を用いる。 
被検体テーブル３３は、被検体５２が載置される。また、テーブル面３３ａは、被検体テーブル３３の被検体５２を載置する面である。
【００５０】
検出器移動機構３７は、Ｘ線検出器３２を検出器傾動面５３（紙面）内でテーブル面３３ａに対し傾斜（傾斜角β）したｘｄ方向に移動させて位置設定する。Ｘ線検出器３２は、検出器移動機構３７により、ｘｄ方向に移動される直進フレーム３８上に首振り可能に保持され、後述する首振り機構により、首振りされ、検出面３２ａが常にＸ線焦点Ｆを向くようにされる。検出器移動機構３７は、直進フレーム３８を摺動可能に直線状のレールで保持し、特許文献１に記載されるような、チェーン（あるいはベルト）で駆動するか、通常よく用いられるようにボールねじで駆動する。 
検出器移動機構３７は、Ｘ線ビーム５１内でＸ線検出器３２を移動させて、傾斜角αを変えるために使われる。傾斜角αは、テーブル面３３ａの法線とＸ線光軸５５（Ｘ線焦点Ｆと検出面３２ａの中心Ｄを結ぶ直線ＦＤ）のなす角度である。
【００５１】
テーブル回転機構３５は、被検体テーブル３３（及びＸＹ機構３４）をテーブル面３３ａに沿って回転させて、被検体５２を回転位置決めする。ここで、テーブル回転機構３５は、傾斜角（透視角度）αの傾斜方位を変更するのに使われる。この回転の動作は、他の動作と独立しているため、随時、同時に、また、連続的に行うことができる。
【００５２】
ＸＹ機構３４は、テーブル回転機構３５の回転軸５６に対して、被検体テーブル３３を、テーブル面３３ａに沿ってＸ方向およびＹ方向の２方向に平行移動させて、被検体テーブル３３上の被検体５２の位置を設定する。ここで、ＸＹ機構３４は、被検体５２の所望の検査領域Ａを回転軸５６上に移動するために使われる。
【００５３】
視野調整機構３６は、被検体テーブル３３（と、ＸＹ機構３４及びテーブル回転機構３５）を、回転軸５６と共にテーブル面３３ａと直交する平面（検出器傾動面５３（紙面））に沿ってｘｔ方向およびｚｔ方向の２方向に平行移動させて位置を設定する。ここで、視野調整機構３６は、検査倍率の設定をするとともに、傾斜角αが変化したとき検査領域ＡがＸ線光軸５５上からずれないようにする（視野ずれ補正）ために使われる。 
以上で、ＸＹ機構３４と視野調整機構３６は、請求項のテーブル移動手段に相当する。
【００５４】
表示部３９は、Ｘ線検出器３２で検出された透過画像を表示する。 
機構制御部４０は、ＸＹ機構３４、テーブル回転機構３５、視野調整機構３６および検出器移動機構３７を制御する。 
Ｘ線制御部４１は、Ｘ線管３１を制御する。
【００５５】
また、図５に示されていないが、第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３は、Ｘ線管３１、視野調整機構３６および検出器移動機構３７等を固定し、また、Ｘ線を遮蔽するための筐体等を構成要素とする。
【００５６】
図６は、第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３の検出器の首振り機構４２を示す図であり、図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）はＡＡ断面図である。首振り機構４２は、シャフト４２１、ベアリング４２２、アーム４２３、ピン４２４を有している。また、アーム４２３は、溝４２３ａを有している。
【００５７】
シャフト４２１は、Ｘ線検出器３２にその一端を固定されている。具体的に、シャフト４２１はシャフト軸４２１ａが概略、検出面の中心Ｄを通るようにＸ線検出器３２に固定される。 
ベアリング４２２は、シャフト４２１を、シャフト軸４２１ａが検出器傾動面５３に直交し、直進フレーム３８に対して回転可能に、直進フレーム３８に保持する。
【００５８】
アーム４２３は、シャフト４２１の他端に検出器傾動面５３に沿って固定される。 
ピン４２４は、アーム４２３に沿って摺動するようアームの溝４２３ａに契合する。また、ピン４２４は、正面図（図５及び図６（ａ））で焦点Ｆの位置に略一致するよう図示してない装置の筐体に固定される。
【００５９】
第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３において、Ｘ線検出器３２は、移動した時これに同期して、首振り機構４２により、略Ｄ点を中心に、検出面３２ａが常にＸ線焦点Ｆの方向を向くように首振り運動をする。また、首振りの中心が略Ｄ点であるので、検出面中心Ｄの軌道５４はｘｄ方向の直線となる。
【００６０】
次に、第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３の作用を説明する。 
図７は、本発明の第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３の処理を説明するフローチャートである。
【００６１】
まず、検査領域Ａを設定する（Ｓ３１）。具体的に、まず、操作者により傾斜のリセットが入力されると、機構制御部４０は、Ｘ線検出器３２を移動させ、図５に示すように、検出面３２ａの中心ＤをＸ線焦点Ｆの真下に設定（α＝０°）し、垂直方向からの透視とする。このとき、機構制御部４０は、視野調整機構３６により、回転軸５６をｘｔ移動させ光軸５５に一致させる（基準位置として記憶している）。この状態で、操作者が表示部３９のリアルタイム画像を観察しながらテーブル移動指令（Ｘ方向の移動量，Ｙ方向の移動量）を機構制御部４０に入力することによって、ＸＹ機構３４の移動により、被検体５２の検査領域Ａが光軸５５上、すなわち回転軸５６上に設定される。
【００６２】
続いて、拡大率を設定する（Ｓ３２）。具体的に、操作者によって、ｚｔ移動指令が入力され、被検体テーブル３３がｚｔ方向に移動することによって、拡大率が設定される。
【００６３】
その後、検査倍率Ｍを計算する（Ｓ３３）。具体的に、操作者により、検査領域Ａのテーブル面３３ａからの高さｈが機構制御部４０に入力されると、機構制御部４０は、検査倍率Ｍを計算する。検査倍率Ｍの計算には（式１）が用いられる。
【００６４】
Ｍ＝ＦＤ0／（ＦＢ0−ｈ）・・・（１）
ここで、ＦＤ0はＸ線焦点Ｆから検出面３２ａの中心Ｄまでの距離（α＝０°）であり、ＦＢ0はＸ線焦点Ｆから、光軸５５とテーブル面３３ａの交点Ｂまでの距離（α＝０°）である。機構制御部４０は、テーブル回転機構３５、視野調整機構３６および検出器移動機構３７のエンコーダ出力から、Ｄ点と被検体テーブル３３の現在位置が認識できる。従って、（式１）によって検査倍率Ｍを算出することができる。
【００６５】
次に、Ｘ線検出器３２を移動する（Ｓ３４）。検出器移動機構３７によるＸ線検出器３２の移動は、傾斜角αを変化させる際、操作者によりＸ線検出器３２の移動指令が機構制御部４０に入力された場合に行なわれる。ここで機構制御部４０に入力されるＸ線検出器３２の移動指令は、ｘｄ方向の移動量Ｌｄを含んでいる。したがって、機構制御部４０によって、検出器移動機構３７が制御されてＸ線検出器３２を移動量Ｌｄだけｘｄ方向に移動する。
【００６６】
その後、被検体テーブル３３の移動量Ｌｔを算出し（Ｓ３５）、被検体テーブル３３を算出した移動量Ｌｔだけ移動する（Ｓ３６）。具体的にステップＳ３５における移動量Ｌｔの算出の処理において機構制御部４０は、ステップＳ３４で利用した移動量Ｌｄおよび検査倍率Ｍを用いて（式２）により移動量Ｌｔを算出する。
【００６７】
Ｌｔ＝Ｌｄ／Ｍ・・・（２）
被検体テーブル３３の移動量Ｌｔの移動は、視野調整機構３６により、ｘｔ方向とｚｔ方向の動きを合成されてｘｄ方向に行われる。ｘｔ方向とｚｔ方向の合成は、ｘｔ方向にＬｔ・ｃｏｓβ動かし、ｚｔ方向にＬｔ・ｓｉｎβだけ動かす合成である。
【００６８】
このように、検出器移動機構３７によってＸ線検出器３２をｘｄ方向に移動量Ｌｄ移動させ、視野調整機構３６により被検体テーブル３３をｘｄ方向にＬｔ移動させることにより、あらゆる移動量Ｌｄに対し、検査領域を光軸５５上に保つことができ、また、検査倍率Ｍも一定に保つことができる。検査倍率Ｍが一定になることは、図５で三角形ＦＡＡ’と三角形ＦＤＤ’が相似になるため、あらゆるＬｄに対し、（式３）が成り立つことにより理解できる。
【００６９】
ＦＤ’／ＦＡ’＝ＦＤ／ＦＡ・・・（３）
また、視野調整機構３６は、被検体５２と回転軸５６とを共に移動させるので、検査領域Ａは常に回転軸上にある。
【００７０】
これにより、あらゆる移動量Ｌｄに対し、検査領域Ａが回転軸５６上に保たれるので、テーブル回転機構３５により、いかなる傾斜角αにおいても検査領域Ａを中心に被検体を回転でき、検査領域Ａが視野から外れることなく傾斜角（透視角度）αの傾斜方位を変更できる。
【００７１】
上述した第３の実施の形態によれば、Ｘ線検出器に直線移動させると共に、被検体テーブルに、検出器移動量に比例した簡単な直線移動をさせるだけで視野ずれなく、検査倍率も保たれ、任意の傾斜角αの透過画像が得られる。すなわち、傾斜角αを変えても検査倍率が低下しない。また、検出器を一定速度で移動させるのと同期して、被検体テーブルを直線、一定速度移動させるだけで連続して視野ずれを補正でき、制御が容易になると共に追従精度を上げることができる。
【００７２】
また、Ｘ線検出器を直線に沿って移動させるので機構が単純で安価である。 
さらに、Ｘ線検出器の移動方向がテーブル面３３ａに対して傾斜した方向なので、装置が大型化することなく、傾斜角αが大きいときの画像の明るさ低下も少ない利点がある。
【００７３】
また、被検体の任意の検査領域を回転軸上に合わせ、回転軸と一緒に検査領域を移動させて光軸上に合わせるので、任意の検査領域を視野に入れることができると共に、この検査領域は常に回転軸上及び光軸上にあるので、これによりテーブル回転機構により、いかなる傾斜角αにおいてもこの検査領域を中心に被検体を回転でき、検査領域が視野から外れることなく傾斜方位を変更できる。 
さらに、Ｘ線検出器３２に対して、首振り機構４２があり、移動時に常に検出面３２ａがＸ線焦点Ｆと対向するよう首振りするので、画像の歪が減少する。
【００７４】
［第４の実施の形態］
本発明の第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａは、図５に示したＸ線透視検査装置３と比較して、断層撮影の機能を追加した点で異なる。 
図８は、本発明の第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａの構成を説明する図である。第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａは、図５に示した第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３に加え、断層撮影の機能として、Ｘ線検出器３２、機構制御部４０およびＸ線制御部４１に接続された断層撮影制御部６０が追加される。したがって、図８に示す例では、断層撮影制御部６０と、この断層撮影制御部６０と接続されるＸ線検出器３２、機構制御部４０およびＸ線制御部４１のみを示すが、第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａは、図５に示した各構成も備えている。
【００７５】
断層撮影制御部６０は、具体的に、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、メモリ、各種インタフェース、ディスク、キーボード、マウス、プリンタ、ディスプレイ等を有し、通信回線を通じて外部と通信を行う通信機器を有する一般的なコンピュータである。断層撮影制御部６０は、ソフトウェアの機能ブロックとしてスキャン制御部６０ａと再構成部６０ｂを持つ。具体的には、このソフトウェアは、断層撮影制御部６０のディスクに記憶されており、ディスクからメモリに読み込まれて起動されることで機能を発揮する。ソフトウェアとしてのスキャン制御部６０ａと再構成部６０ｂは、ＣＤ等の記憶媒体に記憶することも、通信回線を利用して通信の対象とすることもできる。他方、スキャン制御部６０ａと再構成部６０ｂは、ハードウェアで組んで実現することもできる。
【００７６】
次に、第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の作用を説明する。 
図９は、本発明の第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａにおける断層撮影モードの処理を説明するフローチャートである。
【００７７】
第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置３ａは、透視モードと断層撮影モードを持つ。透視モードにおける作用は、上述した第３の実施の形態と同一である為、説明を省略する。断層撮影モードは、透視モードにおける処理から開始することができ、断層画像が得られると透視モードに戻る。透視モードにおいて、検査領域が所望の傾斜角αで斜め透視状態にあるとき、操作者が断層撮影の開始指令を断層撮影制御部６０に入力すると、断層撮影制御部６０は、断層撮影モードを開始する。
【００７８】
断層撮影モードが開始されると、被検体テーブル３３が回転開始する（Ｓ４１）。具体的に、断層撮影モードが開始されると、スキャン制御部６０ａから機構制御部４０に、一定回転速度の回転の制御指令が出力され、機構制御部４０によりテーブル回転機構３５が制御されて被検体テーブル３３が連続回転を開始する。 
ステップＳ４２で、スキャン制御部６０ａは機構制御部４０からの角度信号を待つ。角度信号は、テーブル回転機構３５が発生するエンコーダパルスから作られ、例えば０．５°の、一定回転角ごとの信号である。
【００７９】
角度信号の入力があると、スキャン制御部６０ａは、Ｘ線検出器３２へ撮影指令を出力し、Ｘ線検出器３２で検出された透過画像を取り込む（Ｓ４３）。
【００８０】
次に、ステップＳ４４で、３６０°の撮影が終了したか否かを判定し、終了していない場合（ステップＳ４４でＮＯ）、ステップＳ４２およびＳ４３の処理を繰り返す。一方、３６０°の撮影が終了していた場合（Ｓ４４でＹＥＳ）、ステップＳ４５で、回転している被検体テーブル３３を回転開始時の位置に戻して停止させる。
【００８１】
続いて、再構成部６０ｂは、ステップＳ４３で検出した３６０°方向からの透過画像から、被検体５２の検査領域の断層画像を再構成する（Ｓ４６）。
【００８２】
このような傾斜した透過画像から断層画像を再構成する方法は、ＦｅｌｄｋａｍｐのコーンビームＣＴ再構成アルゴリズム（L.A. Feldkamp, L.C.Davis and J.W.Kress, Practical cone-beam algorithm, J.Opt.Soc.Am.A/Vol.1,No.6/June1984）等を用いて行う。
【００８３】
図１０を参照して、この断層画像を再構成する方法を簡単に説明する。まず、収集した多数の透過画像を対数変換して投影画像７０とし、この投影画像７０それぞれに空間フィルタ処理をする。空間フィルタ処理は、検出器傾動面５３に沿った方向７１にハイカット処理、直交方向７２に高域強調処理（ＣＴでいうRamachahandran & Lakshminarayanan フィルタ処理等）を行う。ここで、方向７１へのハイカット処理は傾斜角αが大きいほどカットオフ周波数を大きくする。
【００８４】
次にこれを、被検体５２に固定したマトリックス７３へ、Ｘ線焦点Ｆに向けて、三次元的に逆投影し、互いに積算することで断層画像を得る。
【００８５】
逆投影は例えばＭ点のデータをＰ点に積算するように行われる。
【００８６】
断層画像は１枚だけでなく、等間隔で並んだ多数枚を再構成して３次元画像を得ることもできる。通常、断層画像はテーブル面３３ａに沿った面で再構成するが、どの方向の面で再構成することも可能である。
【００８７】
なお、断層画像の再構成の方法には、ＡＲＴ（Algebraic Reconstruction Technique）のような公知のアルゴリズムを用いてもよい。
【００８８】
上述した第４の実施の形態によれば、上述した第３の実施の形態に記載の効果に加え、断層撮影モードの場合、透視モードで検査領域を位置設定し、傾斜角αを設定して、直ちにその検査領域の断層画像を得ることができる。
【００８９】
また、再構成理論上は、傾斜角αが９０°に近いほうが高品質となるが、被検体により、αが９０°に近いとＸ線吸収が大きくなり画像劣化する。このため、傾斜角αの最適値は被検体により異なるが、第４の実施の形態によれば、透視画像を目視しながら吸収の度合いを確認して傾斜角αを最適に設定することができる。
【００９０】
なお、Ｘ線透視検査装置の断層撮影モードの装置は、ラミノグラフ（または、ラミノグラフィ装置）と呼ばれるが、他の様々な名称も使用される。例えば、トモシンセンス装置、傾斜型ＣＴ、或いは単にＣＴ、断層撮影装置等の名称も使用される。
【００９１】
［第１の変形例］
上述した第１乃至第４の実施の形態によれば、検査倍率Ｍを固定して、視野ずれを起こさずに傾斜角αを変化させている。しかし、第１乃至第４の実施の形態において、逆に傾斜角αを固定し、視野ずれを起こさずに検査倍率Ｍを変化させることもできる。具体的には、被検体テーブル１３のｚｔ移動指令（検査倍率Ｍの変更指令）が入力されたとき、機構制御部１６，４０は、ｚｔ方向の移動量Δｚｔだけ、移動先を求めるための始点であるＡ点およびＦＢ0値を変更し、さらに、（式１）及び（式２）を用いて移動量Ｌｔを再計算して移動先となる位置を求め、現在の位置から移動先となる位置まで被検体テーブル１３，３３を移動させればよい。計算結果として、このときの検査領域Ａの動きは、傾斜角αによらずＸ線焦点Ｆに近づく動き、又は、遠ざかる動きとなる。
【００９２】
また、第１乃至第４の実施の形態において、傾斜角αを固定して、視野ずれを起こさずに検査領域の高さｈを変更することもできる。具体的には、高さｈの変更入力があったとき、機構制御部１６，４０は、高さｈの変化分だけ移動先を求めるための始点であるＡ点を変更し、さらに、（式１）及び（式２）を用いて移動量Ｌｔを再計算して移動先となる位置を求め、現在の位置から移動先となる位置まで動かせばよい。結果として、このときの被検体テーブル１３，３３の動きは、高さｈの変化分だけｚｔ方向に移動する動きとなる。
【００９３】
以上のように、Ｌｄ（傾斜角α）、ｚｔ（検査倍率）、ｈ（検査領域の高さ）の変更は随時行うようにできる。
【００９４】
［第２の変形例］
第１乃至第４の実施の形態において、移動量Ｌｄの変更（傾斜角αの変更）、ｚｔ方向の移動（検査倍率Ｍの変更）、検査領域の高さｈの変更は同時に行うこともできる。この場合は、ｚｔ方向、高さｈの変化分から移動先を求めるための始点であるＡ点とＦＢ0値を変更し、さらに、（式１）及び（式２）を用いて移動量Ｌｔを再計算して移動先となる位置を求め、現在の位置から移動先となる位置まで動かせばよい。
【００９５】
また、第１乃至第４の実施の形態において、移動量Ｌｄの変更、ｚｔ方向の移動、高さｈの連続的な変更に対し、逐次移動先を計算して移動させることで、検査領域Ａを画像内（視野）に納めたまま、連続的に傾斜角α、検査倍率Ｍおよび検査領域の高さｈを変更できる。
【００９６】
［第３の変形例］
第１の実施の形態においては、被検体２１内の検査領域Ａを設定（変更）するためのｘｔ方向、ｙｔ方向の移動の操作をα＝０°の状態で行っているが、任意のαで行うことができる。
【００９７】
また、第３及び第４の実施の形態においては、被検体５２内の検査領域Ａを設定（変更）するためのＸ方向、Ｙ方向の移動の操作をα＝０°の状態で行っているが、任意のαで行うことができる。
【００９８】
［第４の変形例］
第１及び第２の実施の形態では、Ｘ線検出器１２を平行移動（向きを変えずに移動）させている。しかし、第１及び第２の実施の形態において、Ｘ線検出器１２に対して、首振り機構を追加して、移動時に常に検出面１２ａがＸ線焦点Ｆと対向するように、Ｘ線検出器１２を首振りさせてもよい。これにより、画像の歪を減少させることができる。
【００９９】
［第５の変形例］
第１乃至第４の実施の形態において、テーブル移動機構１４のｘｔ方向の移動軸をｘｄ方向にとることができる。これによれば、傾斜角を変更するとき、被検体テーブルの移動がｘｔ方向の１軸のみで済ませることができるとともに、追従精度を上げることができる。
【０１００】
［その他の変形例］
本発明の第１乃至第４の実施の形態で、Ｘ線検出器で検出された透過データである透過画像は表示部に表示されるだけでなく、プリンタで印刷されたり、デジタルデータとして記録されたり、回線を通じて送信したりすることが可能である。
【０１０１】
本発明の第１乃至第４の実施の形態では、被検体テーブルの上方にＸ線管を配置しているが、下方にＸ線管を配置し、上方にＸ線検出器を配置してもよい。すなわち、上下を逆にしてもよい。また、Ｘ線透視検査装置の各構成は、どの方向に向けて設置してもよい。例えばテーブル面は水平、垂直、傾斜面でもよく、例えばｘｄ方向を水平としてもよい。
【０１０２】
本発明の第１乃至第４の実施の形態で、Ｘ線焦点ＦとＸ線検出器との距離ＦＤ0を可変にする機能を追加してもよい。
【０１０３】
本発明の第１乃至第４の実施の形態では、傾斜角αを変化させたとき、透過画像の明るさは概略一定に保たれるが、厳密には多少変化する。これはＸ線ビームの強度に方向依存性があること、Ｘ線焦点とＸ線検出器間の距離が変化すること、また、被検体（および被検体テーブル）の透過長が変化すること等が原因である。そこで、Ｘ線検出器と表示部の間に明るさを変更する階調変換器等を設けると明るさを一定に保つことができる。この階調変換器は平均の明るさが一定になるように係数をきめて、画像にこの係数を掛けて明るさを調整する。これにより、より正確に明るさが保たれる。
【０１０４】
また、被検体の透過長による明るさ変化を調整しない場合は、被検体がない状態で各αに対し画像を収集して明るさ変化を求めて、この明るさの逆数を補正係数として記憶しておき、αごとにこの係数を掛けて明るさを調整する階調変換器を設けてもよい。
【０１０５】
本発明の第１乃至第４の実施の形態で検出器移動角度である傾斜角βを変更できる機構を追加してもよい。傾斜角αの最大値に合わせて検出器移動角度である傾斜角βを最適にすることができる。また、傾斜角αの大小に合わせて検出器移動角度である傾斜角βを変えることができる。
【０１０６】
本発明の第３及び第４の実施の形態で、検出器首振り機構は、他の機構でもよい。例えば、単にモータで回転するようにし、Ｘ線検出器の移動に同期してモータの回転量を制御するようにしてもよい。
【０１０７】
上記したように、本発明の実施の形態および変形例によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなる。本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概念図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の処理を説明するフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置を説明する図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の処理を説明するフローチャートである。
【図５】本発明の第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の概念図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の検出器首振り機構を示す図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の処理を説明するフローチャートである。
【図８】本発明の第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置を説明する図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態に係るＸ線透視検査装置の処理を説明するフローチャートである。
【図１０】断層画像を再構成する方法を簡単に説明する図である。
【図１１】従来のＸ線透視検査装置の概略構成図である。
【図１２】従来のＸ線透視検査装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【０１０９】
１…，１ａ，３，３ａ…Ｘ線透視検査装置
１１，３１…Ｘ線管
１２，３２…Ｘ線検出器
１２ａ，３２ａ…検出面
１３，３３…被検体テーブル
１３ａ，３３ａ…テーブル面
１４…テーブル移動機構
１５，３７…検出器移動機構
１６，４０…機構制御部
１７，３９…表示部
１８，３５…テーブル回転機構
３４…ＸＹ機構
３６…視野調整機構
３８…直進フレーム
４１…Ｘ線制御部
４２…首振り機構
４２１…シャフト
４２１ａ…シャフト軸
４２２…ベアリング
４２３…アーム
４２３ａ…溝
４２４…ピン
６０…断層撮影制御部
６０ａ…スキャン制御部
６０ｂ…再構成部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004732886.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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