(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハキャリアに収納されたウェハを、ウェハ搬送装置によりプリアライメント装置に供給し、プリアライメントされたウェハを再びウェハ搬送装置によりウェハ検査部又はウェハ測定部に供給してウェハの検査又は測定を行うウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法であって、プリアライメント装置でウェハの偏芯が大きくプリアライメントが不可能となった場合、又はその後の搬送が不可能となった場合、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻したときのウェハの偏芯している方向が、ウェハキャリアのウェハの引き出し方向に一致するように、前記プリアライメントの情報に基づいてプリアライメント装置によってウェハを回転させ、その後、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻すことを特徴とするウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウェハキャリアに収納されたウェハを、ウェハ搬送装置によりプリアライメント装置に供給し、プリアライメントされたウェハを再びウェハ搬送装置によりウェハ検査部又はウェハ測定部に供給してウェハの検査又は測定を行うウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ウェハキャリアに収納されたウェハを、ウェハ搬送装置によりプリアライメント装置に供給し、プリアライメントされたウェハを再びウェハ搬送装置によりウェハ検査部又はウェハ測定部に供給してウェハの検査又は測定を行うことは、半導体製造プロセスにおいて一般的に行われている。
【０００３】
ここで、プリアライメントは、ウェハ検査部又はウェハ測定部自体において正確なアライメントが可能な範囲に、あらかじめウェハの位置合わせを行うものであり、水平方向２方向及び回転方向について位置合わせを行っている。
【０００４】
ウェハキャリアに収納されたウェハの偏芯が非常に大きい場合には、プリアライメント装置の調整能力を最大限としても、ウェハ検査部又はウェハ測定部自体において正確なアライメントが可能な範囲にウェハの位置を調整できない場合、ウェハ検査部やウェハ測定部への搬送自体ができない場合がある。このような場合には、そのままウェハ検査部又はウェハ測定部に送っても検査や測定ができないので、エラー発生として装置を停止し、オペレータの介入を待つか、ウェハ搬送装置を利用して偏芯分の補正をし、再びプリアライメントを行うか、そのウェハをそのままウェハキャリアに返し、次のウェハについて処理を実行するかの方法がとられていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の方法のうち、エラー発生として装置を停止する方法は、装置が停止している分、スループットが低下するという問題点がある。また、ウェハ搬送装置を利用して偏芯分の補正を行う方法は、ウェハ搬送装置に偏芯の補正機能を持たせる必要があり、その分ウェハ搬送装置が高価になるという問題点がある。
【０００６】
ウェハをそのままウェハキャリアに返し、次のウェハについて処理を実行する方法は、簡便であり上記のような問題点はないが、ウェハをウェハキャリアに戻すとき、ウェハの偏芯している方向によっては、ウェハとウェハキャリアの側面又は取り出し（引き出し）方向と反対の面（奥の面）とウェハが接触し、ゴミを発生するという問題点がある。すなわち、ウェハはプリアライメント装置で偏芯検出のため回転を受けるので、はじめに収納されている方向と異なる方向を向いている場合があり、このような場合には、そのままウェハをウェハキャリアに戻すと、ウェハとウェハキャリアが接触することが起こるのである。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、高価なウェハ搬送装置を使用せず、簡単な操作により、スループットを低下させることなく、プリアライメントが不能となったウェハをハンドリングする方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題は、ウェハキャリアに収納されたウェハを、ウェハ搬送装置によりプリアライメント装置に供給し、プリアライメントされたウェハを再びウェハ搬送装置によりウェハ検査部又はウェハ測定部に供給してウェハの検査又は測定を行うウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法であって、プリアライメント装置でウェハの偏芯が大きくプリアライメントが不可能となった場合、又はその後の搬送が不可能となった場合、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻したときのウェハの偏芯している方向が、ウェハキャリアのウェハの引き出し方向に一致するように、前記プリアライメントの情報に基づいてプリアライメント装置によってウェハを回転させ、その後、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻すことを特徴とするウェハ検査装置又はウェハ測定装置におけるウェハのハンドリング方法（請求項１）により解決される。
【０００９】
本手段においては、ウェハをウェハキャリアに返却するに先立ち、プリアライメント装置でウェハの回転を行い、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻したときのウェハの偏芯している方向が、ウェハキャリアのウェハの引き出し方向に一致するようにする。このようにすると、ウェハ搬送装置を使用してウェハをウェハキャリアに戻したとき、ウェハはウェハキャリアのウェハ引き出し方向にずれた形でウェハキャリアに収納される。よって、ウェハキャリアの左右の壁や、引き出し方向と反対（奥）の壁にウェハが接触することが無く、ゴミの発生が防止できる。ウェハキャリアのウェハ引き出し方向には壁がないので、こちら側にウェハが偏芯していても、何ら問題は起こらない。
【００１０】
本手段によれば、ウェハ搬送装置にアライメント機能を持たせる必要が無く、かつ、プリアライメント装置が通常有する機能を有効に利用してウェハとウェハキャリアの接触を防いでいるので、高価なウェハ搬送装置を使用せず、簡単な操作により、スループットを低下させることなく、プリアライメントが不能となったウェハをハンドリングすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明を実施するウェハ検査装置（ウェハ測定装置）の構成を示した概要図である。図２は、本発明の実施の形態であるウェハハンドリング方法を示すフローチャートである。ウェハキャリア１に収納されてウェハ検査装置（ウェハ測定装置）に供給されたウェハは、搬送アーム２により順次取り出され、プリアライメント部３に供給される（▲１▼）。搬送アーム２は、周知のロボットからなるのが一般的である。
【００１２】
プリアライメント部３では、ウェハを回転させ、その外周をセンサでサーチすることにより、ウェハの偏芯量と回転方向のずれを検出し、これに基づいてウェハのプリアライメントを実行する（▲２▼）。プリアライメントが成功してウェハの偏芯がウェハ検査部（ウェハ測定部）におけるアライメント可能範囲（許容範囲）に収まったかどうかを判断する（▲３▼）。許容範囲に収まった場合には、ウェハは再び搬送アーム２によりプリアライメント部３からウェハ検査部（ウェハ測定部）４に搬送され、そこでアライメントを行った後、ウェハの検査（ウェハの測定）が行われる（▲４▼）。検査（測定）が終了したウェハは、搬送アーム２によりウェハキャリアに戻される（正常終了）。
【００１３】
偏芯量が許容範囲に収まらなかった場合には、プリアライメント部３でウェハを回転させ、ウェハ搬送装置２を使用してウェハをウェハキャリアに戻したときのウェハの偏芯している方向が、ウェハキャリアのウェハの引き出し方向に一致するようにする（▲５▼）。そして、ウェハ搬送装置２により、ウェハをウェハキャリア１に返却する（▲６▼）。
【００１４】
このようにすれば、ウェハをウェハキャリア１に返却する際、ウェハはその引き出し方向に偏芯した状態でウェハキャリア１に戻されるので、ウェハキャリアの側壁や奥壁に接触することなく、ウェハキャリア１に収納される。なお、この際、ウェハを、その偏芯分だけ、ウェハキャリアの奥に位置させるようにウェハ搬送装置を制御すると、ウェハはより正常な位置でウェハキャリア１に収納される。
【００１５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ウェハの偏芯が大きくてプリアライメントができなかった場合においても、装置が停止することがない。また、ウェハ搬送装置に偏芯補正機能を持たせる必要がないので、ウェハ搬送装置が高価になることがない。さらに、ウェハをウェハキャリアに返却するときに、ウェハとウェハキャリアが接触してゴミが発生することが無くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施するウェハ検査装置（ウェハ測定装置）の構成を示した概要図である。
【図２】本発明の実施の形態であるウェハハンドリング方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１…ウェハキャリア
２…搬送アーム
３…プリアライメント部
４…ウェハ検査部（ウェハ測定部）
【図１】
0004665367.tif 000002
【図２】
0004665367.tif 000003