(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける磁気シールドルーム用遮蔽構造であって、
前記板材間の隙間を同板材間に遮蔽板を橋架して塞ぐことにより遮蔽し、
前記シールドルームの稜線部を稜線部遮蔽板により遮蔽し、
前記枠部材に非磁性取付部材が設けられ、それらの取付部材に遮蔽板、稜線部遮蔽板および稜角部遮蔽部材が、非磁性留め部材により取り付けられてなる
ことを特徴とする磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項２】
稜角部を稜角部遮蔽部材により遮蔽してなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項３】
遮蔽板および稜線部遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔で単列形成されてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項４】
稜角部遮蔽部材に留め部材用の孔が形成されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項５】
留め部材が、木ねじ、タップねじまたは釘とされてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項６】
枠部材に磁気シールド用板材を仮留めする仮留め手段が配設されてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項７】
遮蔽板および／または稜線部遮蔽に仮留め手段が配設されてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項８】
稜角部遮蔽部材に仮留め手段が配設されてなることを特徴とする請求項２記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の磁気シールドルーム用遮蔽構造を備えてなることを特徴とする磁気シールドルーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気シールドルーム用遮蔽構造に関する。さらに詳しくは、非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける遮蔽構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、脳磁計測や心磁計測のように微弱な磁気を測定・検出する場合や、半導体製造において微細な回路パターンを電子線で描画する場合には、測定磁気や電子線が外部から磁気的な影響を受けるのを防止する必要があり、その手段として磁気シールドルームが用いられている。
【０００３】
磁気シールドルームは、角形アルミ管などの非磁性枠部材を箱型体に骨組みするとともに、この箱型体の全外周面にパーマロイなどの高透磁率合金からなる所要数の板材を隙間なく取り付けて壁面としてなるものとされ、地磁気や外部変動磁界の磁束を高透磁率板材の壁に集中して流すことにより、磁束（磁気）が室内へ漏洩するのを防止している。
【０００４】
かかる磁気シールドルームにおいては、壁面に隙間が存在するとシールド性能が低下するため、各壁面に前記板材を隙間なく配設することが重要であるが、実際には複数の板材をその端縁部が密接するように相互に突合わせて取り付けることは、板材の加工精度や組立て精度から困難である。そこで、図６および図７に示すように、板材１０１、１０１の突合わせ部１０１ａを高透磁率合金からなる遮蔽板１０２で覆うことにより、突合わせ部１０１ａに生じる隙間から磁束が室内へ漏洩するのを防止している。
【０００５】
ここで、遮蔽板１０２は、突合わせ部１０１ａに対応した位置に配設された枠部材１０３に、板材１０１、１０１とともにねじ留めすることにより取り付けられている。
【０００６】
具体的には、板材１０１、１０１の突合わせ端縁部近傍に所定間隔で穿設されたねじ挿通用透孔１０１ｂ、１０１ｂ、…と、このねじ挿通用透孔１０１ｂ、１０１ｂ、…に対応させて遮蔽板１０２に穿設されたねじ挿通用透孔１０２ａ、１０２ａ、…と、ねじ挿通用透孔１０１ｂ、１０１ｂ、…に対応させて枠部材１０３に螺設されたねじ孔１０３ａ、１０３ａ、…とを利用してねじ留めすることにより、板材１０１、１０１および遮蔽板１０２が枠部材１０３に取り付けられている（例えば、特開２０００−１８３５８０号公報、特開２０００−１８３５８１号公報参照）。
【０００７】
しかしながら、かかる従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造は、次のような問題を有している。
【０００８】
（１）ねじ留め個所が多く磁気シールドルームの組立作業に時間がかかる。
【０００９】
（２）板材１０１および遮蔽板１０２にはそれぞれねじ挿通用透孔１０１ｂおよび１０２ａを穿設する必要があり、また枠部材１０３にはねじ孔１０３ａを螺設する必要があるため、それぞれの加工コストが高くなる。
【００１０】
（３）遮蔽板１０２に設けられた多数のねじ挿通用透孔１０２ａ、１０２ａ、…により磁束の通路が途切れて磁束が磁気シールドルーム内に漏洩するため、シールド性能が低下する。
【００１１】
このような問題点に対処するために、出願人は、板材および枠部材にねじ孔等を穿設することなく、板材および遮蔽板を枠部材に取り付けられるようにした磁気シールドルーム用遮蔽構造を提案している（特願２００１−１０５０８５号参照）。
【００１２】
すなわち、図２に示すように、この遮蔽構造Ｋ’においては、枠部材３０’に凹溝３１’を設け、ここに木製の固定部材３２’を埋め込み、この固定部材３２’に遮蔽板取り付け用の木ねじ４１’をねじ込むようにして、遮蔽板２０’および板材１０’を木ねじ４１’によって枠部材３０’に取り付けるものとしている。この構成によって、前掲の（１）〜（３）の各問題点において顕著な改善結果を得ることができた。
【００１３】
ところが、この改良された磁気シールドルーム用遮蔽構造においても、図８に示すように、磁気シールドルーム３００の各壁面交差部分３０１、３０２、３０３では、例えば横断面Ｌ形の遮蔽板２０４’および各板材２０６に多数のねじ孔３０８を穿設し、これを枠部材に直接ねじ止めするようにしている。したがって、この部分においては、前掲の（１）〜（３）に示す各問題点が未解決のままに残されているものといえる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる本出願人の先の提案に係る技術の課題に鑑みなされたものであって、非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおいて、さらに組立作業時間が短縮されかつ加工コストが安く、しかもシールド性能がより高い磁気シールドルーム用遮蔽構造を提供することを目的としている。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造は、非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームにおける磁気シールドルーム用遮蔽構造であって、前記板材間の隙間を同板材間に遮蔽板を橋架して塞ぐことにより遮蔽し、前記シールドルームの稜線部を稜線部遮蔽板により遮蔽し、前記枠部材に非磁性取付部材が設けられ、それらの取付部材に遮蔽板、稜線部遮蔽板および稜角部遮蔽部材が、非磁性留め部材により取り付けられてなることを特徴とする。
【００１６】
本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、稜角部を稜角部遮蔽部材により遮蔽してなるのが好ましい。
【００１７】
また、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、遮蔽板および稜線部遮蔽板に留め部材用の孔が所定間隔で単列形成されていたり、稜角部遮蔽部材に留め部材用の孔が形成されていたりするのが好ましい。
【００１８】
さらに、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、留め部材が、木ねじ、タップねじまたは釘とされてなるのが好ましい。
【００１９】
さらに、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造においては、枠部材に磁気シールド用板材を仮留めする仮留め手段が配設されていたり、遮蔽板や稜線部遮蔽に仮留め手段が配設されていたり、稜角部遮蔽部材に仮留め手段が配設されていたりするのが好ましい。
【００２０】
しかして、本発明の磁気シールドルーム用遮蔽構造は、磁気シールドルームに備えられる。
【００２１】
【作用】
本発明は前記のごとく構成されているので、非磁性枠部材に磁気シールド用板材を配設して構成されてなる磁気シールドルームのシールド性能が改善され、しかも組立作業時間が短縮されるとともに加工コストが低減される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００２３】
実施形態１
本発明の実施形態１にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造（以下、単に遮蔽構造という）が適用された磁気シールドルームの一壁面の分解斜視図を図１に、その要部断面図を図２に、方形箱形の磁気シールドルームの各壁面が交差する交差部分の詳細斜視図を図３に、図３中のＩ−Ｉ線断面図を図４に示す。
【００２４】
この遮蔽構造Ｋは、図１および図２に示すように、磁気シールドルームの一壁面において、非磁性枠部材３０に板材１０をその端縁部が隣接する板材１０と所定の隙間を設けて配設されてなるものに、板材１０，１０に遮蔽板２０を橋架してその隙間を塞ぐことにより遮蔽してなるものである。
【００２５】
板材１０は、高透磁率合金、例えばＦｅ−４５Ｎｉ合金、８０Ｎｉ−Ｍｏ−Ｆｅ合金、７８Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｕ−Ｆｅ合金、７０Ｎｉ−１０Ｃｕ−１２Ｍｎ−Ｆｅ合金などからなる長方形状平板とされ、本実施形態においては、１面に４枚の板材１０、１０、…が、その端縁部を同一平面内で相互に突合わせた状態で配設されている。また、板材１０、１０は、その突合わせ部１１に所定の隙間、具体的には、後述する遮蔽板２０を枠部材３０に取り付ける非磁性留め部材、例えば木ねじ４１を通すことができる程度の隙間が生じるように配設される。なお、非磁性留め部材は木ねじに限定されるものではなく、例えばタップねじ、釘などとすることもできる。
【００２６】
遮蔽板２０は、板材１０と同様の高透磁率合金からなる所定幅、具体的には板材１０、１０間に橋架されてその隙間を塞ぐ幅を有する長方形状平板とされる。また、その長手方向中央にはねじ挿通用透孔２１、２１、…が所定間隔で単列に設けられている。
【００２７】
非磁性枠部材３０は、例えば角形アルミ管、角形真鍮管、角形ジュラルミン管、角形非磁性ステンレス管などとされ、板材１０が配設される面の軸方向中央に凹溝３１が形成されるとともに、この凹溝３１に前記木ねじ４１がねじ込まれる木製の固定部材（取付部材）３２が埋め込まれている。また、板材１０が当接する個所には、板材１０を仮留めするための両面テープ（仮留め手段）３３、３３が貼り付けられている。なお、固定部材３２は木製に限定されるものではなく、木ねじ４１などにより遮蔽板２０の取付がなし得る各種非磁性材とすることができ、例えば所定の弾力性を有する合成樹脂とすることもできる。
【００２８】
図３および図４に示すように、非磁性枠部材３０は、磁気シールドルームの各壁面が交差する壁面交差部（稜線部）５１においては、凹溝（稜線部シールド溝）３３が各壁面（板材１０）と４５度をなす方向、つまり壁面の稜線に開口するように設けられており、この凹溝３３に固定部材３４を埋め込み、この固定部材３４にねじ込まれる木ねじ４１によって、横断面が例えば変形Ｌ字形とされた稜線部遮蔽板２４を各板材１０端縁部の隙間を塞ぐよう板材１０，１０に橋架するようにして非磁性枠部材３０に固定されるものとされる。この場合、稜線部遮蔽板２４の板材１０との当接部に高透磁率のペーストを塗布しておいて、稜線部遮蔽板２４を板材１０に仮留めした後に固定部材３４に稜線部遮蔽板２４を固定するようにしてもよい。なお、図４中の符号２５はねじ挿通用透孔を示す。
【００２９】
また、磁気シールドルームの３つの壁面が交差する稜角部５２には、各遮蔽板２４の間隙を塞ぐための稜角部遮蔽部材５３が配設される。この稜角部遮蔽部材５３は、稜角部５２中心部の木ねじ４１、およびその周辺部の木ねじ４１によって遮蔽板２４とともに、非磁性枠部材３２に固定される。この場合も、稜角部遮蔽部材５３の稜線部遮蔽板２４との当接部に高透磁率のペーストを塗布しておいて、稜角部遮蔽部材５３を稜線部遮蔽板２４に仮留めした後に固定部材３４に稜角部遮蔽部材５３を固定するようにしてもよい。
【００３０】
次に、かかる構成とされている遮蔽構造Ｋの施工について説明する。
【００３１】
（１）板材１０、１０を隙間１１が枠部材３０の前記固定部材３２軸方向中央または壁面交差部分５１と一致するようにして仮留めする。この仮留めは、板材１０、１０を枠部材３０に貼り付けられた両面テープ３３、３３に軽く押し付けてなされる。
【００３２】
（２）遮蔽板２０をねじ挿通用透孔２１、２１、…が隙間１１と一致するようにして仮留めする。
【００３３】
（３）稜線部遮蔽板２４を稜線部５１に当接させて仮留めする。
【００３４】
（４）ねじ挿通用透孔２１から隙間１１へ挿通させた木ねじ４１を枠部材３０の前記固定部材３２にねじ込む。この作業は、遮蔽板２０に設けられた全てのねじ挿通用透孔２１、２１、…についてなされる。これにより、遮蔽板２０が枠部材３０に取り付けられるとともに、板材１０の端部が遮蔽板２０により枠部材３０に押し付けられて板材１０が枠部材３０に固定される。なお、図２および図４中、符号４２は非磁性座金を示す。
【００３５】
（５）同様にねじ挿通用透孔２５から木ねじ４１を枠部材３０の前記固定部材３４にねじ込んで、稜線部遮蔽板２４を枠部材３０に取り付ける。これにより、板材１０の稜線部５１に位置する部分が枠部材３０に固定される。
【００３６】
（６）稜角部遮蔽部材５３を稜角部５２に仮留めした後、ねじ挿通用透孔から木ねじ４１を枠部材３０の前記固定部材３４にねじ込んで、稜角部遮蔽部材５３を枠部材３０に取り付ける。
【００３７】
このように、この実施形態１によれば、壁面交差部分５１において壁面中央部分と同様に、板材１０および枠部材３０にそれぞれねじ挿通用透孔およびねじ孔を設ける必要がなく、また遮蔽板２０および稜線部遮蔽板２４に穿設するねじ挿通用透孔２１，２５の数も従来の半分となるため、加工コストが著しく低減され、かつシールド性能が向上する。また、ねじ留め個所も従来の半分となり、しかも枠部材３０に貼り付けられた両面テープ３３に板材１０を仮留めできるため、作業性が向上し磁気シールドルームの組立作業に要する時間が短縮される。
【００３８】
実施形態２
本発明の実施形態２にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造（以下、単に遮蔽構造という）の要部断面図を図５に示す。この遮蔽構造Ｋ１は、実施形態１の遮蔽構造Ｋを改変してなるものであり、具体的には、壁面中央部分において、内面および外面の両方に板材１０が配設される形式の磁気シールドルームに適用できるように、非磁性枠部材３０を改変してなるものである。
【００３９】
この枠部材３０Ａは、実施形態１の枠部材３０において、凹溝３１が形成されている面と対向する面の軸方向中央に凹溝３１Ａを形成するとともに、この凹溝３１Ａに固定部材３２Ａを埋め込む一方、その板材１０が当接する個所に両面テープ３３Ａ、３３Ａが貼り付けられてなるものとされる。
【００４０】
なお、板材１０および遮蔽板２０などの個々の構成は、実施形態１と同様とされている。
【００４１】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく種々改変が可能である。例えば、実施形態においては、枠部材は角形アルミ管などとされているが、枠部材はこれに限定されるものではなく、木製とされてもよい。この場合には、枠部材に固定部材を埋め込む必要がなくなり施工性がより向上する。
【００４２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、磁気シールドルームの壁面交差部分においても、板材および非磁性枠部材にそれぞれねじ挿通用透孔およびねじ孔を設ける必要がなく、また遮蔽板に穿設するねじ挿通用透孔の数も従来の半分となるため、加工コストが著しく低減されるにもかかわらず、シールド性能が向上するという優れた効果が得られる。
【００４３】
また、ねじ留め個所も従来の半分となるため、磁気シールドルームの組立作業に要する時間が短縮されるという優れた効果も得られる。
【００４４】
本発明の好ましい形態によれば、仮留め手段により板材を枠部材に仮留めできるため、作業性が向上し磁気シールドルームの組立作業に要する時間がさらに短縮されるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１にかかる磁気シールドルーム用遮蔽構造が適用された磁気シールドルームの一壁面の構成要素を分解して示す斜視図である。
【図２】同要部断面図である。
【図３】同磁気シールドルームの壁面交差部分を拡大して示す斜視図である。
【図４】図３のＩ−Ｉ線断面図である。
【図５】本発明の実施形態２の磁気シールドルーム用遮蔽構造の要部断面図である。
【図６】従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造の図１相当図である。
【図７】同図２相当図である。
【図８】改良された従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造における問題点を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１０          板材
１１          隙間
２０          遮蔽板
２４          稜線部遮蔽板
３０          非磁性枠部材
３２、３４    非磁性固定部材（非磁性取付部材）
３３          両面テープ（仮留め手段）
５１          壁面交差部
５２          稜角部
５３          稜角部遮蔽部材
Ｋ          遮蔽構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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