(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の孔が形成された第１金属プレートと、前記第１の孔に連通すべき第２の孔が形成された第２金属プレートと、少なくとも表面が前記第１金属プレート及び前記第２金属プレートの材料とは異なる金属材料からなり液体を濾過するフィルタが形成されたフィルタプレートとを備え、前記フィルタを介してそれぞれの前記孔同士を連通するように、前記フィルタプレートが前記第１及び第２金属プレートによって挟持されたプレート積層構造において、
前記フィルタプレートには、前記フィルタプレートを貫通する少なくとも１つの貫通孔が前記フィルタの周囲に形成されており、
前記第１金属プレートは、前記フィルタプレートの前記貫通孔及び前記フィルタの周囲と対向する第１フィルタ支持平面を有し、
前記第２金属プレートは、前記第１フィルタ支持平面と対向し、前記第２の孔の周囲に設けられた第２フィルタ支持平面を有し、
前記２つのフィルタ支持平面は、前記フィルタプレートを介さずに、前記フィルタプレートを環状に取り囲む接着剤、及び前記貫通孔に注入された接着剤によって直接接着されていることを特徴とするプレート積層構造。
【請求項２】
前記接着剤が前記フィルタプレートの外周縁と接触するように塗布されていることを特徴とする請求項１に記載のプレート積層構造。
【請求項３】
前記フィルタプレートは、前記貫通孔が前記フィルタを構成する孔よりも大きな径を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のプレート積層構造。
【請求項４】
前記フィルタプレートは、複数の前記貫通孔が前記フィルタを避けて形成され、前記貫通孔と前記フィルタとが前記貫通孔同士の間隙より大きな間隙を介して離隔していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のプレート積層構造。
【請求項５】
前記フィルタプレートの厚みが、８μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のプレート積層構造。
【請求項６】
前記第１フィルタ支持平面が、前記第１金属プレートから前記第２金属プレートに向かって突出して形成された突出部の先端面であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のプレート積層構造。
【請求項７】
前記第１金属プレートが、前記第１の孔が形成されたプレートと、前記プレートの前記第２金属プレートと対向する面に接合され前記第１の孔と連通する連通孔が形成された小片とから構成されており、
前記第１フィルタ支持平面が前記小片の前記第２金属プレートと対向する先端面であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のプレート積層構造。
【請求項８】
前記フィルタプレートがニッケル製であり、
前記接着剤がエポキシ系接着剤であり、
前記第１及び第２金属プレートは、前記フィルタプレートに比べて前記接着剤の付着力が強固なステンレス製であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のプレート積層構造。
【請求項９】
第１の孔が形成された第１金属プレートを含み、インクを一時的に貯溜するリザーバユニットと、前記第１の孔に連通すべき第２の孔が形成された第２金属プレートを含み、画像信号に基づいて内部の液体を吐出するヘッド本体と、少なくとも表面が前記第１金属プレート及び前記第２金属プレートの材料とは異なる金属材料からなり液体を濾過するフィルタが形成されたフィルタプレートとを備え、前記フィルタを介してそれぞれの前記孔同士を連通するように、前記フィルタプレートが前記第１及び第２金属プレートによって挟持された液体吐出ヘッドにおいて、
前記フィルタプレートには、前記フィルタプレートを貫通する少なくとも１つの貫通孔が前記フィルタの周囲に形成されており、
前記第１金属プレートは、前記フィルタプレートの前記貫通孔及び前記フィルタの周囲と対向する第１フィルタ支持平面を有し、
前記第２金属プレートは、前記第１フィルタ支持平面と対向し、前記第２の孔の周囲に設けられた第２フィルタ支持平面を有し、
前記２つのフィルタ支持平面は、前記フィルタプレートを介さずに、前記フィルタプレートを環状に取り囲む接着剤、及び前記貫通孔に注入された接着剤によって直接接着されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記フィルタプレートは、複数の前記貫通孔が前記フィルタを避けて形成され、前記貫通孔と前記フィルタとが前記貫通孔同士の間隙より大きな間隙を介して離隔していることを特徴とする請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記第１フィルタ支持平面が、前記第１金属プレートから前記第２金属プレートに向かって突出して形成された突出部の先端面であって、平面視において、前記フィルタプレートを内包することを特徴とする請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記第１金属プレートが、前記第１の孔が形成されたプレートと、前記プレートの前記第２金属プレートと対向する面に接合され前記第１の孔と連通する連通孔が形成された小片とから構成されており、
前記第１フィルタ支持平面が、前記小片の前記第２金属プレートと対向する先端面であって、平面視において、前記フィルタプレートを内包することを特徴とする請求項９又は１０に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２枚の金属プレート間にフィルタプレートが挟持されたプレート積層構造及び液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ヘッドユニットに取り付けられたフィルタに接着剤を介してジョイント部材が接合されたインクジェットヘッドについて記載されている。このインクジェットヘッドにおいて、ジョイント部材は、インク供給口にインクを流通させる流路を内部に有する４つの筒部と、これら筒部と一体的に繋がった鍔部とを有している。フィルタには、各インク供給口と対向する位置に複数のフィルタ孔が形成されている。そして、鍔部が、フィルタの複数のフィルタ孔を取り囲む領域とエポキシ系接着剤を介して接合されている。鍔部の接合面には、インク供給口とそれぞれ連通する開口の間を横切るように複数の溝が形成されている。これら溝には、鍔部とフィルタとを接合するときに接着剤が入り込み、溝に入り込んだ接着剤が、固化後、鍔部の開口とインク供給口との間の流路間を仕切る仕切り壁となっている。これにより、各流路間を流れるインク同士の混色を防止することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２６８４５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、フィルタが電気鋳造法で形成されており、４２合金製のヘッドユニットとは材料が異なっている。このような部材同士を接着剤で接合したとき、部材（材質）の組み合わせによっては、接着剤の付着力が十分に発揮されず、例えば、組み立て後に加わる外力に耐えられないことがある。もちろん、別部材で接合部分を補強することも考えられるが、インクジェットヘッド全体が大型化してしまう。少なくともフィルタの材質によっては、ジョイント部材とヘッドユニットとの間に十分な接着力が得られない。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、フィルタプレートを挟んでいても互いに剥離しにくいプレート積層構造及び液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明のプレート積層構造は、第１の孔が形成された第１金属プレートと、前記第１の孔に連通すべき第２の孔が形成された第２金属プレートと、少なくとも表面が前記第１金属プレート及び前記第２金属プレートの材料とは異なる金属材料からなり液体を濾過するフィルタが形成されたフィルタプレートとを備え、前記フィルタを介してそれぞれの前記孔同士を連通するように、前記フィルタプレートが前記第１及び第２金属プレートによって挟持されたプレート積層構造において、前記フィルタプレートには、前記フィルタプレートを貫通する少なくとも１つの貫通孔が前記フィルタの周囲に形成されており、前記第１金属プレートは、前記フィルタプレートの前記貫通孔及び前記フィルタの周囲と対向する第１フィルタ支持平面を有し、前記第２金属プレートは、前記第１フィルタ支持平面と対向し、前記第２の孔の周囲に設けられた第２フィルタ支持平面を有し、前記２つのフィルタ支持平面は、前記フィルタプレートを介さずに、前記フィルタプレートを環状に取り囲む接着剤、及び前記貫通孔に注入された接着剤によって直接接着されている。
【０００７】
これによると、フィルタプレートに対する接着剤の付着力が小さくても、第１フィルタ支持平面と第２フィルタ支持平面とがフィルタプレートを介さずに接着剤によって互いに接着されているので、第１及び第２金属プレートどうしが強固に接着される。したがって、第１及び第２金属プレートどうしが剥離しにくくなる。加えて、接着剤がフィルタプレートを取り囲むように存在しているので、フィルタプレートも第１及び第２金属プレート間から脱落しない。また、液漏れもない。また、接着剤がフィルタプレートの貫通孔に注入されているので、第１及び第２金属プレートどうしがより一層強固に接着されるとともに、フィルタプレートの位置が確実に固定され安定する。
【０００８】
本発明において、前記接着剤が前記フィルタプレートの外周縁と接触するように塗布されていることが好ましい。これにより、フィルタプレートの位置が確実に固定され安定する。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【００１２】
また、このとき、前記フィルタプレートは、前記貫通孔が前記フィルタを構成する孔よりも大きな径を有していてもよい。これにより、フィルタプレートの貫通孔に接着剤を注入しやすくなる。
【００１３】
また、このとき、前記フィルタプレートは、複数の前記貫通孔が前記フィルタを避けて形成され、前記貫通孔と前記フィルタとが前記貫通孔同士の間隙より大きな間隙を介して離隔していてもよい。これにより、フィルタプレートの貫通孔に注入された接着剤が、フィルタを構成する孔に侵入しにくくなる。
【００１４】
また、本発明において、前記フィルタプレートの厚みが、８μｍ以下であることが好ましい。これにより、２つのフィルタ支持平面を接着する接着剤の厚みが小さくなる。そのため、第１及び第２金属プレートどうしがより剥がれにくくなる。
【００１５】
また、本発明において、前記第１フィルタ支持平面が、前記第１金属プレートから前記第２金属プレートに向かって突出して形成された突出部の先端面であることが好ましい。これにより、突出部が第１金属プレートと一体化したものとなるので、突出部を別部材にする必要がなくなる。そのため、プレート積層構造を作りやすくなる。
また、本発明において、前記第１金属プレートが、前記第１の孔が形成されたプレートと、前記プレートの前記第２金属プレートと対向する面に接合され前記第１の孔と連通する連通孔が形成された小片とから構成されており、前記第１フィルタ支持平面が前記小片の前記第２金属プレートと対向する先端面であることが好ましい。これにより、小片が別部材からなることで、小片の厚み（高さ）の精度が向上する。そのため、小片を挟んだ第１及び第２金属プレートの離隔距離が安定する。
また、本発明において、前記フィルタプレートがニッケル製であり、前記接着剤がエポキシ系接着剤であり、前記第１及び第２金属プレートは、前記フィルタプレートに比べて前記接着剤の付着力が強固なステンレス製であることが好ましい。
【００１６】
本発明の液体吐出ヘッドは、第１の孔が形成された第１金属プレートを含み、インクを一時的に貯溜するリザーバユニットと、前記第１の孔に連通すべき第２の孔が形成された第２金属プレートを含み、画像信号に基づいて内部の液体を吐出するヘッド本体と、少なくとも表面が前記第１金属プレート及び前記第２金属プレートの材料とは異なる金属材料からなり液体を濾過するフィルタが形成されたフィルタプレートとを備え、前記フィルタを介してそれぞれの前記孔同士を連通するように、前記フィルタプレートが前記第１及び第２金属プレートによって挟持された液体吐出ヘッドにおいて、前記フィルタプレートには、前記フィルタプレートを貫通する少なくとも１つの貫通孔が前記フィルタの周囲に形成されており、前記第１金属プレートは、前記フィルタプレートの前記貫通孔及び前記フィルタの周囲と対向する第１フィルタ支持平面を有し、前記第２金属プレートは、前記第１フィルタ支持平面と対向し、前記第２の孔の周囲に設けられた第２フィルタ支持平面を有し、前記２つのフィルタ支持平面は、前記フィルタプレートを介さずに、前記フィルタプレートを環状に取り囲む接着剤、及び前記貫通孔に注入された接着剤によって直接接着されている。
これによると、フィルタプレートに対する接着剤の付着力が小さくても、第１フィルタ支持平面と第２フィルタ支持平面とがフィルタプレートを介さずに接着剤によって互いに接着されているので、第１及び第２金属プレートどうしが強固に接着される。したがって、第１及び第２金属プレートどうしが剥離しにくくなる。加えて、接着剤がフィルタプレートを取り囲むように存在しているので、フィルタプレートも第１及び第２金属プレート間から脱落しない。また、液漏れもない。また、接着剤がフィルタプレートの貫通孔に注入されているので、第１及び第２金属プレートどうしがより一層強固に接着されるとともに、フィルタプレートの位置が確実に固定され安定する。
また、本発明において、前記フィルタプレートは、複数の前記貫通孔が前記フィルタを避けて形成され、前記貫通孔と前記フィルタとが前記貫通孔同士の間隙より大きな間隙を介して離隔していることが好ましい。これにより、フィルタプレートの貫通孔に注入された接着剤が、フィルタを構成する孔に侵入しにくくなる。
また、本発明において、前記第１フィルタ支持平面が、前記第１金属プレートから前記第２金属プレートに向かって突出して形成された突出部の先端面であって、平面視において、前記フィルタプレートを内包することが好ましい。これにより、突出部が第１金属プレートと一体化したものとなるので、突出部を別部材にする必要がなくなる。そのため、液体吐出ヘッドを作りやすくなる。
また、本発明において、前記第１金属プレートが、前記第１の孔が形成されたプレートと、前記プレートの前記第２金属プレートと対向する面に接合され前記第１の孔と連通する連通孔が形成された小片とから構成されており、前記第１フィルタ支持平面が、前記小片の前記第２金属プレートと対向する先端面であって、平面視において、前記フィルタプレートを内包することが好ましい。これにより、小片が別部材からなることで、小片の厚み（高さ）の精度が向上する。そのため、小片を挟んだ第１及び第２金属プレートの離隔距離が安定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態によるプレート積層構造が採用されたインクジェットヘッドの外観斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、主走査方向に長尺な形状であって、下から順に、被記録媒体に対向するヘッド本体２及びインクを一時的に貯溜するリザーバユニット３を有している。ヘッド本体２の上面には、給電部材であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）６が４つ貼り付けられており、ヘッド本体２とリザーバユニット３との間から上方に引き出されている。ＦＰＣ６は、一端において後述するアクチュエータユニット２１と接続され、他端において図示しない制御基板と接続されている。また、ＦＰＣ６には、アクチュエータユニット２１から制御基板に至る途中でドライバＩＣ７が実装されている。つまり、ＦＰＣ６は、制御基板とドライバＩＣ７と電気的に接続されており、制御基板から出力された画像信号をドライバＩＣ７に伝達し、ドライバＩＣ７から出力された駆動信号をアクチュエータユニット２１に供給する。
【００１９】
図２は、図１に示すインクジェットヘッドの断面図である。図３は、図１に示すリザーバユニットの分解平面図である。図４は、図２に示す流路構成部材を斜め下方から見たときの部分斜視図である。図５は、図２に示す流路構成部材を斜め上方から見たときの部分斜視図である。なお、図２では説明の都合上、鉛直方向の縮尺を拡大し、且つ、同一線に沿った断面では通常描かれないリザーバユニット３内のインク流路をも適宜に示している。また、図３（ａ）、（ｂ）はリザーバユニット３の一部を構成する流路構成部材１１であって、（ａ）は上方から見た図であり、（ｂ）は下方から見た図である。また、図３〜図５には、流路構成部材の構造を分かり易くするために、後述するフィルム４１，４２，４９及びフィルタプレート５５を省略して描いている。
【００２０】
リザーバユニット３は、インクを一時的に貯溜し且つヘッド本体２に含まれる流路ユニット９にインクを供給するものである。リザーバユニット３は、図３（ａ）〜（ｅ）に示すように、主走査方向に長尺な流路構成部材１１と、主走査方向に長尺な矩形状の平面を有する３枚のプレート１２〜１４とが積層された積層構造を有している。これらのうち３枚のプレート１２〜１４が、例えば、ステンレス鋼等の金属プレートである。
【００２１】
最上層の流路構成部材１１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂やポリプロピレン樹脂のような合成樹脂から形成されており、図２及び図３（ａ）に示すように、流路構成部材１１の長手方向一端及び他端近傍に表面１１ａから突出した筒状のジョイント部３１，３２が形成されている。ジョイント部３１は図示しないインク供給チューブに、ジョイント部３２は図示しない排出チューブにそれぞれ嵌合して接続されるものである。
【００２２】
流路構成部材１１の裏面１１ｂには、図３（ｂ）及び図４に示すように、ジョイント部３１，３２と対向する領域をそれぞれ取り囲みつつ突出した環状壁３７，３８が形成されている。環状壁３７，３８は、共に裏面１１ｂを底面とし、プレート１２側に開口している。このうち、環状壁３７は、平面視で、裏面１１ｂのジョイント部３１と対向する領域からＬ字状に屈曲している。環状壁３８は、平面視で、裏面１１ｂのジョイント部３２と対向する領域からＬ字状に屈曲しそこから副走査方向に幅が拡大しつつ流路構成部材１１の中央近傍で副走査方向に幅が縮小している。また、環状壁３７の突出方向の端部には、図４に示すように、先細り形状のテーパ部３７ａが形成されている。テーパ部３７ａは、フィルム４１越しに加熱されることで溶融し、フィルム４１と溶着される。なお、図３（ｂ）中に左側のハッチングで示す領域がフィルム４１と溶着される領域である。こうして、環状壁３７の開口が封止される。このとき、テーパ部３７ａは先細り形状となっているので、先端を加熱すると容易に溶融する。そのため、フィルム４１越しに環状壁３７の先端を加熱してフィルム４１を簡易に溶着させることができる。つまり、環状壁３７の先端の平面度に誤差が生じていても、容易にその誤差を吸収することができる。加えて、テーパ部３７ａ以外の環状壁３７が溶融されるのを防ぐことができる。こうして、裏面１１ｂ、環状壁３７及びフィルム４１に囲まれることで、ジョイント部３１に繋がったインク流入流路４５が形成される。
【００２３】
また、流路構成部材１１のジョイント部３２側にある環状壁３８にも、上述した環状壁３７と同様に、端部に先細り形状のテーパ部が形成されている。そして、環状壁３８の端部にフィルム４２が同じように溶着されている。なお、図３（ｂ）中に右側のハッチングで示す領域がフィルム４２と溶着される領域である。こうして、環状壁３８の開口が封止され、裏面１１ｂ、環状壁３８及びフィルム４２に囲まれた空間内にジョイント部材３２に繋がった排出流路４４が形成される。
【００２４】
流路構成部材１１の表面１１ａには、図２及び図３（ａ）、（ｂ）に示すように、表面１１ａから裏面１１ｂまで貫通した円孔４６，４７が形成されている。円孔４６は、インク流入流路４５の下流端と連通する位置に形成されている。円孔４７は、流路構成部材１１の中央からややジョイント部３２よりの位置に形成されており、排出流路４４の上流端と連通している。表面１１ａには、図３（ａ）及び図５に示すように、上流側の円孔４６及び下流側の円孔４７を取り囲みつつ表面１１ａから突出した環状壁４８が形成されている。環状壁４８の平面形状は、円孔４６近傍から流路構成部材１１の長手方向に沿って副走査方向の両端近傍まで幅が拡大しつつそこから中央近傍まで両端に沿って延在し円孔４７にかけて副走査方向に幅が縮小している。環状壁４８の端部（突出方向）には、先細り形状のテーパ部４８ａが形成されている。テーパ部４８ａは、フィルム４９越しに加熱されることで溶融し、フィルム４９と溶着されている（図２参照）。なお、図３（ａ）中にハッチングで示す２つの環状領域のうち外側がフィルム４９と溶着される領域である。こうして、環状壁４８の開口が封止される。こうして、表面１１ａ、環状壁４８及びフィルム４９で囲まれることで、後述のフィルタを内蔵するフィルタ室が形成され、インク流路の一部を構成する。このとき、環状壁４８の端部にテーパ部４８ａが形成されているので、加熱すると容易に溶融する。そのため、フィルム４９越しに環状壁４８の先端を加熱してフィルム４９を簡易に溶着させることができる。つまり、テーパ部３７ａと同様に溶融することで平面度の誤差を吸収することができる。また、フィルム４９は、可撓性を有し上面が大気と接するように設けられているので、インクの振動を減衰するダンパを兼ねている。
【００２５】
本実施形態のフィルム４１，４２，４９は、優れたガスバリア性を有する材質（例えば、シリカ膜（ＳｉＯｘ膜）やアルミ膜が蒸着されたＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレート）フィルム）から構成されており、インクジェットヘッド２の外側の気体がフィルム４１，４２，４９を介して流路構成部材１１のインク流路内にほとんど侵入することができないようになっている。
【００２６】
表面１１ａの環状壁４８の内側領域（フィルム４９によって封止された表面１１ａ）には、凹部５１が形成されている。凹部５１は、図３（ａ）に示すように、円孔４６からやや流路構成部材１１の中央より部分から流路構成部材１１の中央まで延在している。また、凹部５１の平面形状は、環状壁４８の外周平面形状より一回り小さい相似形状となっている。凹部５１の底面であって流路構成部材１１の中央には、円孔５２が形成されている。凹部５１の周囲には、凹部５１を取り囲むように環状に延在した環状面５３が形成されており、この環状面５３にインクが通過する微小径の孔５４が複数形成されたフィルタプレート５５が固定されている。なお、図３（ａ）中においてハッチングで示す２つの環状領域のうち内側がフィルタプレート５５と固定される環状面５３である。環状面５３の周縁には、環状壁５８が形成されている。フィルタプレート５５は、電気鋳造法によって製造されたニッケル金属製からなり、その周端部が環状面５３に固定されている。つまり、環状面５３は、フィルタプレート５５の外縁部に沿って突設された環状壁５８により区画されている。環状壁５８は、環状壁４８よりも低く形成されており、環状壁４８がフィルタ室を規定し、環状壁５８がフィルタ室内におけるフィルタプレート５５の支持部（環状面５３）を規定している。
【００２７】
流路構成部材１１には、図２に示すように、インク流入流路４５の下流端に繋がった円孔４６からフィルム４９とフィルタプレート５５との間の空間および凹部５１内の空間を通過し円孔５２に至る湾曲インク流路６０が形成されている。湾曲インク流路６０は、流路構成部材１１の中央近傍において、円孔４７を介して排出流路４４とも接続されている。湾曲インク流路６０の出口（円孔５２の開口）周囲には、下方に向かって開口する環状溝６７が形成されている。環状溝６７内には、Ｏリング６８が嵌め込まれている。また、流路構成部材１１には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように表面１１ａから裏面１１ｂまで貫通した４つの円孔５９が形成されている。これら円孔５９は、中央部の２つに加え、流路構成部材１１の長手方向に沿う端部側にそれぞれ１つずつ形成されており、流路構成部材１１の中央を中心として点対称に配置されている。
【００２８】
上から二番目のプレート１２には、図２及び図３（ｃ）に示すように、長手方向の両端部にそれぞれ円孔７１，７２が形成されている。これら円孔７１，７２は、ネジによってプリンタ本体にインクジェットヘッド２を固定するときに使用されるものである。また、プレート１２には、中央に円孔７３が形成されており、円孔７１，７２からやや中央よりに位置決め孔７５ａ，７５ｂが形成されている。また、プレート１２には、４つのネジ穴７６が形成されている。これらネジ穴７６は、中央部の２つに加え、プレート１２の長手方向に沿う端部側にそれぞれ１つずつ形成されており、プレート１２の中央を中心として点対称に配置されている。つまり、４つのネジ穴７６は、上述した円孔５９と対応して形成されており、流路構成部材１１の４つの円孔５９にそれぞれネジが通され、それらネジをプレート１２のネジ穴７６にねじ込むことで流路構成部材１１とプレート１２とが固定される。このとき、プレート１２の円孔７３と円孔５２とが対向し円孔７３と湾曲インク流路６０とが連通する。湾曲インク流路６０の出口を囲む環状溝６７内には、Oリング６８が嵌め込まれているので、湾曲インク流路６０の出口から流路構成部材１１とプレート１２との間にインクが漏れ出さない。
【００２９】
上から三番目のプレート１３には、図２及び図３（ｄ）に示すように、貫通孔８１が形成されている。貫通孔８１は、主流路８２及び主流路８２に連通する１０個の支流路８３を含むリザーバ流路８５を形成している。リザーバ流路８５の平面形状は、プレート１３の中央に関して点対称となっている。主流路８２は、プレート１３の長手方向に延在しており、その中央がプレート１３の円孔７３に対応している。支流路８３は、主流路８２よりも流路幅が狭くなっている。なお、支流路８３はどれも同じ流路幅、流路長となっており、各支流路８３間での流路抵抗がほぼ同じ値となっている。また、プレート１３には、プレート１２に形成された位置決め孔７５ａ，７５ｂに対応した位置決め孔８６ａ，８６ｂと、プレート１４との位置決め孔８７ａ，８７ｂとが形成されている。
【００３０】
上から四番目のプレート（第１金属プレート）１４には、図２及び図３（ｅ）に示すように、各支流路８３の先端部と対向する位置に平面形状が楕円状のインク排出孔（第１の孔、連通孔）８８がそれぞれ形成されている。プレート１４の下面においては、インク排出孔８８の周縁部分（図中点線で囲んだ部分）が下方に突出した突出部（連通部）８９ａ，８９ｂ，８９ｃ，８９ｄが形成されている。本実施形態においてプレート１４の突出部８９ａ〜８９ｄは、インク排出孔８８とともにエッチングによって形成されている。このように、突出部８９ａ〜８９ｄは、インク排出孔８８を形成するときと同時であって、プレート１４と一体化したものとなるので、突出部を別部材で構成する必要がなくなる。そのため、リザーバユニット３が作りやすくなる。突出部８９ａ，８９ｄには、プレート１４の長手方向の端部側に形成された３つのインク排出孔８８がそれぞれ形成されている。突出部８９ｂ，８９ｃには、プレート１４の短手方向の端部側であってプレート１４の中央付近に形成された２つのインク排出孔８８がそれぞれ形成されている。突出部８９ａと突出部８９ｄ、及び、突出部８９ｂと突出部８９ｃはそれぞれ同一平面形状を有しており、プレート１４の中央を中心とした点対称に配置されている。これら突出部８９ａ〜８９ｄの先端面（プレート１４の下面）９０ａ〜９０ｄが、流路ユニット９の上面９ａ及びその上面９ａに配置された６個のフィルタプレート９５ａ，９５ｂ（図８参照）と固定される。そのため、突出部８９ａ〜８９ｄ以外は流路ユニット９から離隔しており、その離隔することで形成された空間からＦＰＣ６が引き出されている。また、プレート１４には、プレート１３に形成された４つの位置決め孔８６ａ，８６ｂ，８７ａ，８７ｂに対応した４つの位置決め孔９１ａ，９１ｂ，９２ａ，９２ｂが形成されている。
【００３１】
これら３枚のプレート１２〜１４は、それぞれに形成された位置決め孔７５ａ，７６ｂ，８６ａ，８６ｂ，８７ａ，８７ｂ，９１ａ，９１ｂ，９２ａ、９２ｂに図示しない位置決めピンが挿入されることで位置決めされる。そして、互いに接着剤で固定される。こうして、流路構成部材１１及び３枚のプレート１２〜１４が積層されたリザーバユニット３が構成される。なお、本実施形態では、流路構成部材１１はポリプロピレン樹脂製であり、各プレート１２〜１４はＳＵＳ４３０製である。
【００３２】
次に、インクが供給されたときにおけるリザーバユニット３内でのインクの流れについて説明する。なお、図２中黒塗り矢印がリザーバユニット３内でのインク流れを示している。
【００３３】
図２中黒塗り矢印で示すように、ジョイント部３１を介して流路構成部材１１内に流入したインクは、インク流入流路４５内で水平に流れる。そして、インクは円孔４６を通過するように上昇し湾曲インク流路６０内に流入する。湾曲インク流路６０内に流入したインクは、ジョイント部３２が開放されておれば、円孔４７を介して排出流路４４に流入しジョイント部３２の一部に流入する。例えば、インクの初期導入時であれば、ジョイント部３２からインクを排出することで、フィルタプレート５５の上面側に存在する空気も排出されて、少なくともフィルタプレート５５の上流側が新鮮なインクで満たされることになる。このとき、フィルタプレート５５近傍のインクはフィルタプレート５５に形成された孔５４を通過して凹部５１内に落ち込む。そして、凹部５１内に落ち込んだインクは、円孔５２及び湾曲インク流路６０の出口と連通する円孔７３を通ってリザーバ流路８５に落とし込まれる。その後、インクは、図３（ｄ）の矢印で示すように、主流路８２の中央からその長手方向両端に向かって流れるインクの流れを形成する。主流路８２の長手方向両端に到達したインクは、各支流路８３に分岐して流れ込む。各支流路８３に流れ込んだインクは、インク排出孔８８及びフィルタプレート９５ａ、９５ｂに形成された孔９６を通過して流路ユニット９の上面９ａに形成されたインク供給口１０１（第２の孔：図６参照）に流入する。なお、流路ユニット９内に流入したインクは、後述するように、マニホールド流路１０５に連通する複数の個別インク流路１３２に分配される。さらに、各個別インク流路１３２の終端であるノズル１０８に至り外部へと吐出される。このように、リザーバユニット３内には、インク流入流路４５、湾曲インク流路６０及びリザーバ流路８５というようなインク流路が形成されており、インクが一時的に貯溜されることなる。
【００３４】
次に、図６〜図９を参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図６は、ヘッド本体２の平面図である。図７は、図６の一点鎖線で囲まれた領域Ａの拡大図である。なお、図７では説明の都合上、アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき圧力室１１０、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。図８は、図７に示すVIII−VIII線に沿った部分断面図である。図９（ａ）はアクチュエータユニット２１の拡大断面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）においてアクチュエータユニット２１の表面に配置された個別電極を示す平面図である。
【００３５】
ヘッド本体２は、図６に示すように、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに固定された４つのアクチュエータユニット２１を含む。アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０に対向して設けられた複数のアクチュエータを含み、流路ユニット９に形成された圧力室１１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。
【００３６】
流路ユニット９は、リザーバユニット３と略同じ幅で、主走査方向に関する長さがリザーバユニット３より若干短い、略直方体状の外形を有する。流路ユニット９の下面には、図７及び図８に示すように多数のノズル１０８がマトリクス状に配置されたインク吐出面が形成されている。圧力室１１０も流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との固定面においてノズル１０８と同様マトリクス状に多数配列されている。また、流路ユニット９の長手方向両端には、位置決め孔１０２ａ，１０２ｂが形成されており、プレート１３，１４に形成された位置決め孔８７ａ，８７ｂ，９２ａ，９２ｂと対応した位置に形成されている。これら位置決め孔８７ａ，８７ｂ，９２ａ，９２ｂ，１０２ａ，１０２ｂに位置決め用ピンを通すことで、流路ユニット９とリザーバユニット３の位置決めが行われる。
【００３７】
流路ユニット９は、図８に示すように、上から順に、キャビティプレート（第２金属プレート）１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚のステンレス鋼等の金属プレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０は、主走査方向（図１参照）に長尺な矩形状の平面を有する。
【００３８】
キャビティプレート１２２には、インク供給口１０１（図８参照）に対応する貫通孔、及び、圧力室１１０に対応する略菱形の貫通孔が多数形成されている。ベースプレート１２３には、各圧力室１１０について圧力室１１０とアパーチャ１１２との連絡孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。アパーチャプレート１２４には、各圧力室１１０についてアパーチャ１１２となる貫通孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。サプライプレート１２５には、各圧力室１１０についてアパーチャ１１２と副マニホールド流路１０５ａとの連絡孔及び圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されていると共に、インク供給口１０１とマニホールド流路１０５との連絡孔が形成されている。マニホールドプレート１２６、１２７、１２８には、各圧力室１１０について圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔、及び、積層時に互いに連結してマニホールド流路１０５及び副マニホールド流路１０５ａとなる貫通孔が形成されている。カバープレート１２９には、各圧力室１１０について圧力室１１０とノズル１０８との連絡孔が形成されている。ノズルプレート１３０には、各圧力室１１０についてノズル１０８に対応する孔が形成されている。
【００３９】
これら９枚のプレート１２２〜１３０は、図８に示すような個別インク流路１３２が流路ユニット９内に形成されるように位置合わせしつつ積層され且つ互いに固定されている。なお、本実施形態では、各プレート１２２〜１３０は、リザーバユニット３のプレート１２〜１４と同様に、いずれもＳＵＳ４３０製である。
【００４０】
図６に戻って、流路ユニット９の上面９ａには、リザーバユニット３のインク排出孔８８（図３（ｅ）参照）に対応して、計１０個のインク供給口１０１が開口している。流路ユニット９の内部には、インク供給口１０１に連通するマニホールド流路１０５及びマニホールド流路１０５から分岐した副マニホールド流路１０５ａが形成されている。各ノズル１０８に対しては、図８に示すように、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経てノズル１０８に至る個別インク流路１３２が形成されている。リザーバユニット３からインク供給口１０１を介して流路ユニット９内に供給されたインクは、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａに分岐され、絞りとして機能するアパーチャ１１２及び圧力室１１０を介してノズル１０８に至る。また、流路ユニット９の上面９ａには、インク供給口１０１を覆う複数のフィルタプレート９５ａ，９５ｂが配置されている。フィルタプレート９５ａは、流路ユニット９の副走査方向（短手方向）に対して斜めに傾いて延在しており、流路ユニット９の長手方向両端近傍に位置するインク供給口１０１をそれぞれ覆っている。フィルタプレート９５ｂは、流路ユニット９の長手方向に沿って延在しており、短手方向の両端で長手方向に沿って位置するインク供給口１０１をそれぞれ２つずつ覆っている。つまり、フィルタプレート９５ａ，９５ｂは合計６つ設けられている。これらフィルタプレート９５ａ，９５ｂは、図６中２点鎖線で示すように、リザーバユニット３のプレート１４に形成された突出部８９ａ〜８９ｄのそれぞれと対向する領域内に配置されている。なお、フィルタプレート９５ａ，９５ｂは、公知の電気鋳造法によって製造されたニッケル金属製であり、厚みが８μｍ以下となっている。
【００４１】
４つのアクチュエータユニット２１は、図６に示すように、それぞれ台形の平面形状を有しており、流路ユニット９の上面９ａに開口したインク供給口１０１及びフィルタプレート９５ａ，９５ｂを避けるよう千鳥状に配置されている。上述したインク吐出面は、アクチュエータユニット２１の接着領域に対応する流路ユニット９の下面側に位置する。つまり、本実施の形態では、ノズル１０８がマトリクス状に開口するインク吐出面と圧力室１１０がマトリクス状に配列する面とが、流路ユニット９の対向する一対の面を構成しており、この一対の面に挟まれるようにして複数の個別インク流路１３２が流路ユニット９内に形成されている。さらに、各アクチュエータユニット２１の平行対向辺は流路ユニット９の長手方向に沿っており、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺同士は流路ユニット９の幅方向（副走査方向）に関して互いにオーバーラップしている。４つのアクチュエータユニット２１は、流路ユニット９の幅方向の中心から互いに相反する側に等距離離隔するような相対位置関係を有する。
【００４２】
アクチュエータユニット２１は流路ユニット９の上面９ａにおけるリザーバユニット３の下面と離隔しつつ対向する部分に固定されている。上述したように、リザーバユニット３は、突出部８９ａ〜８９ｄによって、流路ユニット９に固定されており、ちょうど突出部８９ａ〜８９ｄの突出高さだけリザーバユニット３と流路ユニット９との間には隙間が生じている。アクチュエータユニット２１は、この隙間内に配置されている。さらに、アクチュエータユニット２１上にはＦＰＣ６が固定されているが、このＦＰＣ６はリザーバユニット３の下面には接触していない。
【００４３】
アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる厚み略１５μｍの３枚の圧電シート１４１、１４２、１４３から構成されている（図９（ａ）参照）。圧電シート１４１〜１４３は、１つのインク吐出面に対応して形成された多数の圧力室１１０に跨って配置されている。
【００４４】
最上層の圧電シート１４１上における圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間にはシート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極１３４が介在している。個別電極１３５及び共通電極１３４は共に例えばＡｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなる。圧電シート１４２、１４３の間には電極が配置されていない。
【００４５】
個別電極１３５は略１μｍの厚みを有し、図９（ｂ）に示すように圧力室１１０と相似な略菱形の平面形状を有する。略菱形の個別電極１３５における鋭角部の一方は延出され、その先端には個別電極１３５と電気的に接続された略１６０μｍの径を有する円形のランド１３６が設けられている。ランド１３６は、例えばガラスフリットを含む金からなる。ランド１３６は、図９（ａ）に示すように、個別電極１３５の延出部上であって、圧電シート１４１〜１４３の厚み方向に関してキャビティプレート１２２における圧力室１１０を画定する壁に対向する位置、即ち圧力室１１０に重ならない位置に形成され、ＦＰＣ６（図１参照）に設けられた接点と電気的に接合されている。
【００４６】
共通電極１３４は図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極１３４は全ての圧力室１１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。一方、個別電極１３５は、選択的に電位を制御することができるよう、個別電極１３５（ランド１３６）ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ６及びランド１３６を介してドライバＩＣ７に接続されている（図１参照）。つまり、アクチュエータユニット２１において、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室１１０の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。
【００４７】
ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されており、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。即ち、圧電シート１４１はその厚み方向に伸長又は収縮し、圧電横効果により平面方向に収縮又は伸長しようとする。一方、残り２枚の圧電シート１４２，１４３は、個別電極１３５と共通電極１３４とに挟まれた領域をもたない非活性層であって、自発的に変形することができない。
【００４８】
つまりアクチュエータユニット２１は、圧力室１１０から離れた上側１枚の圧電シート１４１を活性部を含む層とし且つ圧力室１１０に近い下側２枚の圧電シート１４２，１４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプである。図９（ａ）に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されているため、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２，１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１１０の容積が低下することによって、圧力室１１０内の圧力が上昇し、圧力室１１０からノズル１０８へとインクが押し出され、ノズル１０８からインクが吐出される。その後、個別電極１３５を共通電極１３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４１〜１４３は元の平坦な形状になって、圧力室１１０の容積が元の容積に戻る。これに伴い、マニホールド流路１０５から圧力室１１０へとインクが導入され、再び圧力室１１０内にインクが貯溜される。
【００４９】
続いて、ヘッド本体２とリザーバユニット３との積層構造について以下に説明する。ヘッド本体２とリザーバユニット３は、リザーバユニット３のプレート１４と流路ユニット９の最上層にあるキャビティプレート１２２とがエポキシ系接着剤９９で接着されている。このとき、両プレート１４，１２２の間にフィルタプレート９５ｂを挟むことで、ヘッド本体２とリザーバユニット３との積層構造を構成している。ここで、図１０を参照しつつより具体的に説明する。図１０（ａ）は、図６に示す一点鎖線で囲まれた領域Ｂの拡大図であり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示すXB−XB線に沿った部分断面図である。なお、図１０（ａ）に示す二点鎖線は、プレート１４の突出部８９ｃの外形を示している。
【００５０】
図１０（ａ）に示すように、フィルタプレート９５ｂは、表面のほぼ全域に亘って複数の貫通孔が形成されている。貫通孔には２種類あって、フィルタプレート９５ｂをキャビティプレート１２２上に配置したとき、インク供給口１０１と対向する領域に集合して形成された孔９６と、インク供給口９５ｂを囲む上面９ａと対向する領域に形成された孔９８とで構成されている。さらに、多数の孔９６が集まって孔群９７を構成している。孔群９７を構成する孔９６にはインクが通過し、この孔群９７がフィルタとなっている。一方、複数の孔９８には接着剤９９（後述）が充填され、リザーバユニット３と流路ユニット９との接合部となっている。本実施形態におけるフィルタプレート９５ｂの孔９８は、円形平面形状を有しており、その直径が約１００μｍとなっている。また、孔９６も円形平面形状を有しており、その直径が約８μｍ〜１２μｍとなっている。つまり、孔９６は、孔９８よりも直径が小さく形成されている。ノズル１０８は、約２０μｍの径を有することから、孔９６を通過するインクからは、少なくともノズル１０８を詰まらせるようなサイズの異物は取り除かれることになる。また、複数の孔９８は、隣接した孔９８同士よりも大きな間隙が孔群９７との間に形成されるように配置されている。これにより、仮に、孔９８に充填された接着剤９９がフィルタプレート９５ｂとリザーバユニット３あるいは流路ユニット９との界面に広がってしまったとしても、その広がりがフィルタ部分にまで到達しにくくなっている。つまり、接着剤９９が孔９６を塞いでフィルタ機能を低下することがなくなる。なお、フィルタプレート９５ａにも図示していないがフィルタプレート９５ｂと同様に複数の孔９６と複数の孔９８が形成されている。
【００５１】
フィルタプレート９５ｂは、図１０（ｂ）に示すように、互いに平行な平面である突出部８９ｃの先端面（第１フィルタ支持平面）９０ｃとキャビティプレート１２２の上面（第２フィルタ支持平面）９ａとの間に挟持されている。フィルタプレート９５ｂは、平面視で、先端面９０ｃ内に収まるサイズとなっている。そして、接着剤９９が、孔９８内に注入されていると共に、フィルタプレート９５ｂの周囲外側にも配置されている。この状態でリザーバユニット３とヘッド本体２とが加熱されつつ加圧されることで、両者が接着剤９９によって接着される。このとき、フィルタプレート９５ｂの周囲外側に配置されていた接着剤９９がその外周側面と接触することで、接着剤９９によって、フィルタプレート９５ｂが環状に取り囲まれつつその周辺及び孔９８を介して直接プレート１４とキャビティプレート１２２とが接着される。こうして、プレート積層構造が構成される。
【００５２】
以上のような本実施形態によるプレート積層構造が採用されたインクジェットヘッド１によると、フィルタプレート９５ａ，９５ｂに対する接着剤９９の付着力が小さくても、先端面９０ｃと上面９ａとがフィルタプレート９５ｂを介さずにフィルタプレート９５ｂの周囲外側に配置された接着剤９９によって互いに接着されている。そのため、プレート１４とキャビティプレート１２２が強固に接着される。つまり、ヘッド本体２とリザーバユニット３とが強固に固定される。したがって、プレート１４（リザーバユニット３）とキャビティプレート１２２（ヘッド本体２）が剥離しにくくなる。加えて、接着剤９９がフィルタプレート９５ｂを取り囲むように環状に配置されていることで、フィルタプレート９５ｂがプレート１４とキャビティプレート１２２との間から脱落しない。また、孔９８に注入された接着剤９９によってもプレート１４とキャビティプレート１２２とが接着されているので、両者がより強固に接着される。加えて、接着剤９９が孔９８内に存在していることで、フィルタプレート９５ｂの位置が確実に固定され安定する。また、フィルタプレート９５ｂの周囲外側に配置された接着剤９９が、フィルタプレート９５ｂの外周側面と接触しているので、フィルタプレート９５ｂの位置が固定されより安定する。
【００５３】
また、孔９８が孔９６よりも大きな直径を有しているので、孔９８に接着剤９９を注入させやすくなる。さらにより多くの接着剤９９を注入することもできるので、プレート１４とキャビティプレート１２２との接着力が向上する。また、フィルタプレート９５ａ，９５ｂの厚さが８μｍ以下となっているので、プレート１４とキャビティプレート１２２との間の接着剤９９の厚みが小さくなる。そのため、プレート１４とキャビティプレート１２２とがより剥がれにくくなる。
【００５４】
続いて、上述したリザーバユニット３を構成する部材のうち、プレート１４の構成が異なった変形例について以下に説明する。図１１は、図３（ｅ）に示すプレート１４の変形例を示す平面図である。なお、上述したものと同様なものについては、同符号で示し説明を省略する。
【００５５】
本変形例におけるリザーバユニットは、上述のリザーバユニット３を構成する流路構成部材１１及び２枚のプレート１２，１３を同様に有しており、プレート１３の下面にプレート２１４が接合され、さらにプレート２１４の下面に４つの小片（連通部）２８９ａ〜２８９ｄが接合されることで構成されている。プレート２１４は、図１１（ａ）に示すように、上述したプレート１４と同じ平面形状を有しており、プレート１４に形成された突出部８９ａ〜８９ｄが形成されていないだけである。つまり、プレート２１４には、プレート１３と接合されたときに各支流路８３の先端部と対向する位置に平面形状が楕円状のインク排出孔２８８がそれぞれ形成されている。さらに、プレート１３に形成された４つの位置決め孔８６ａ，８６ｂ，８７ａ，８７ｂに対応した４つの位置決め孔２９１ａ，２９１ｂ，２９２ａ，２９２ｂが形成されている。
【００５６】
４つの小片２８９ａ〜２８９ｄは、図１１（ｂ）に示すように、上述した突出部８９ａ〜８９ｄと対応するものどうしがそれぞれ同じ平面形状を有している。つまり、小片２８９ａが突出部８９ａと対応し、小片２８９ｂが突出部８９ｂと対応し、小片２８９ｃが突出部８９ｃと対応し、小片２８９ｄが突出部８９ｄと対応している。２つの小片２８９ａ及び小片２８９ｄには、プレート２１４の下面において、プレート１４の突出部８９ａ，８９ｄが形成された領域と対応する領域に小片２８９ａ，２８９ｄが接合されたときに、インク排出孔２８８と連通する連通孔２９３がそれぞれ３つずつ形成されている。また、２つの小片２８９ｂ及び小片２８９ｃにも、プレート２１４の下面において、プレート１４の突出部８９ｂ，８９ｃが形成された領域と対応する領域に小片２８９ｂ，２８９ｃが接合されたときに、インク排出孔２８８と連通する連通孔２９３がそれぞれ２つずつ形成されている。なお、２つの小片２８９ａ，２８９ｄには、プレート２１４に形成された４つの位置決め孔２９１ａ，２９１ｂ，２９２ａ，２９２ｂに対応した位置決め孔２９４ａ，２９４ｂ，２９５ａ，２９５ｂが形成されている。このように４つの小片２８９ａ〜２８９ｄは、突出部８９ａ〜８９ｄがプレート１４から分離したものとほぼ同じものとなる。
【００５７】
また、４つの小片２８９ａ〜２８９ｄは、厚みが一様な平板からレーザ加工やエッチング加工によって切り出されて形成されている。４つの小片２８９ａ〜２８９ｄを厚みが一様な平板から切り出した独立した小片とすることで、小片２８９ａ〜２８９ｄの厚みがほぼ同じものとなり、小片２８９ａ〜２８９ｄ毎に厚みのばらつきがほとんどなくなる。つまり、エッチングを施すことで形成された突出部８９ａ〜８９ｄでは、その突出高さ（厚み）にばらつきが生じる虞がある。しかし、突出部８９ａ〜８９ｄとなる部分を独立した小片２８９ａ〜２８９ｄとして４つ形成することで、厚みのばらつきを抑制することができる。そして、これら４つの小片２８９ａ〜２８９ｄを、プレート２１４の下面において、プレート１４の突出部８９ａ〜８９ｄが形成された領域と対応する領域に接着剤で接着することで、プレート１４とほぼ同様な構成を有することになる。このような、４つの小片２８９ａ〜２８９ｄが接合されたプレート２１４を、流路構成部材１１、プレート１２及びプレート１３が順に接合された積層体の下面（すなわち、プレート１３の下面）に接合することで、本変形例のリザーバユニットが構成される。そして、小片２８９ａ〜２８９ｄの先端面（第１フィルタ支持平面）２９０ａ〜２９０ｄが、上述と同様に、流路ユニット９の上面９ａ及びその上面９ａに配置された６個のフィルタプレート９５ａ，９５ｂと固定される。
【００５８】
続いて、本変形例によるリザーバユニットとヘッド本体２との積層構造について以下に説明する。図１２は、本発明の一実施形態によるプレート積層構造の変形例を示す部分断面図である。本変形例によるリザーバユニットは、図１２に示すように、プレート２１４の下面に接合された小片２８９ｃとキャビティプレート１２２とがエポキシ系接着剤９９で接着されている。このとき、小片２８９ｃとキャビティプレート１２２の間にフィルタプレート９５ｂを挟むことで、リザーバユニットとヘッド本体２との積層構造を構成している。
【００５９】
フィルタプレート９５ｂは、図１２に示すように、互いに平行な平面である小片２８９ｃの先端面（第１フィルタ支持平面）２９０ｃとキャビティプレート１２２の上面（第２フィルタ支持平面）９ａとの間に挟持されている。フィルタプレート９５ｂは、平面視で、先端面２９０ｃ内に収まるサイズとなっている。そして、接着剤９９が、孔９８内に注入されていると共に、フィルタプレート９５ｂの周囲外側にも配置されている。この状態でリザーバユニットとヘッド本体２とが加熱されつつ加圧されることで、両者が接着剤９９によって接着される。このとき、フィルタプレート９５ｂの周囲外側に配置されていた接着剤９９がその外周側面と接触することで、接着剤９９によって、フィルタプレート９５ｂが環状に取り囲まれつつその周辺及び孔９８を介して直接小片２８９ｃとキャビティプレート１２２とが接着される。こうして、小片２８９ａ〜２８９ｄが接合されたプレート２１４と、キャビティプレート１２２とのプレート積層構造が構成される。
【００６０】
以上のような本変形例によるプレート積層構造によると、上述した実施形態と同様な効果を有することができるとともに、小片２８９ａ〜２８９ｄの厚みがほぼ同じになることで、プレート２１４とキャビティプレート１２２との間の空間（すなわち、アクチュエータユニット２１及びＦＰＣ６の一部）高さにばらつきがなくなり安定する。加えて、小片２８９ａ〜２８９ｄの厚みがほとんど同じになることで、厚みが異なることによって生じる接合時の加圧力のばらつきをも均等にすることが可能となる。
【００６１】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した実施形態においては、フィルタプレート９５ｂの周囲外側及び孔９８内に接着剤９９を配置しているが、いずれか一方にだけ接着剤を配置するとともにフィルタプレートを介さずに接着しておればよい。また、フィルタプレート９５ｂの周囲外側に配置された接着剤９９は、フィルタプレート９５ｂの外周側面と接触していなくてもよい。また、孔９８に注入された接着剤９９が、プレート１４とキャビティプレート１２２とを接着するときに、フィルタプレート９５ｂの先端面９０ｃ及び上面９ａと対向する上下面領域と先端面９０ｃ及び上面９ａとの間にほとんど広がらないのであれば、孔９８と孔群９７との間が孔９８同士の間隙以下であってもよい。また、フィルタプレートの厚みが８μｍより分厚くてもよい。また、フィルタプレートは内部が金属以外の材質から構成されていてもよく、少なくとも表面が金属製であればよい。
【００６２】
また、本発明のプレート積層構造は、インクジェットヘッドに限らず、それぞれに孔が形成された２枚のプレート間に、フィルタプレートがフィルタを介してそれぞれの孔同士が連通するように挟持されたものであれば、いずれのものにおいても採用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態によるプレート積層構造が採用されたインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの断面図である。
【図３】図１に示すリザーバユニットの分解平面図である。
【図４】図２に示す流路構成部材を斜め下方から見たときの部分斜視図である。
【図５】図２に示す流路構成部材を斜め上方から見たときの部分斜視図である。
【図６】ヘッド本体の平面図である。
【図７】図６の一点鎖線で囲まれた領域Ａの拡大図である。
【図８】図７に示すVIII−VIII線に沿った部分断面図である。
【図９】（ａ）はアクチュエータユニットの拡大断面図であり、（ｂ）は図９（ａ）においてアクチュエータユニットの表面に配置された個別電極を示す平面図である。
【図１０】（ａ）は図６に示す一点鎖線で囲まれた領域Ｂの拡大図であり、（ｂ）は図１０（ａ）に示すXB−XB線に沿った部分断面図である。
【図１１】図３（ｅ）に示すプレートの変形例を示す平面図である。
【図１２】本発明の一実施形態によるプレート積層構造の変形例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  インクジェットヘッド
９ａ  上面（第２フィルタ支持平面）
１４  プレート（第１金属プレート）
８８  インク排出孔（第１の孔）
８９ａ〜８９ｄ  突出部（連通部）
９０ａ〜９０ｄ  先端面（第１フィルタ支持平面）
９５ａ，９５ｂ  フィルタプレート
９６  孔
９７  孔群（フィルタ）
９８  孔（貫通孔）
９９  接着剤
１０１  インク供給口（第２の孔）
１２２  キャビティプレート（第２金属プレート）
２１４  プレート（第１金属プレート）
２８８  インク排出孔（第１の孔）
２８９ａ〜２８９ｄ  小片（連通部）
２９０ａ〜２９０ｄ  先端面（第１フィルタ支持平面）
２９３  連通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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