(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、
前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、
前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、
前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、
前記解析手段は、前記総合画像データ生成手段により生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成手段により生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析装置。
【請求項２】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、
前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、
前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、
前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、
前記解析手段は、
前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出手段を備え、
前記総合画像データ生成手段により生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成手段により生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析装置。
【請求項３】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、
前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、
前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、
前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、
前記解析手段は、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出手段を備える、解析装置。
【請求項４】
前記算出手段は、所定の基準を満たす前記パラメータの値を算出する際に、前記個別画像データ生成手段が生成した画像データの画素数を小さくした状態で前記所定の基準を満たすパラメータの値を算出することを特徴とする、請求項２又は３に記載の解析装置。
【請求項５】
前記個別画像データ生成手段は、前記個別画像データを生成する際に、前記複数の物理パラメータの値に対応する色情報についてＲＧＢ（ＲＥＤ、ＧＲＥＥＮ、ＢＬＵＥ）データを用いて特定している、請求項１から４のいずれかに記載の解析装置。
【請求項６】
前記総合画像データ生成手段は、前記物理パラメータに対応して画素数の調整を行う画素数調整手段を備える、請求項１から５のいずれかに記載の解析装置。
【請求項７】
前記総合画像データ生成手段は、前記個別画像データ生成手段が生成した個別画像データを、四則演算処理またはその組合せの演算処理を行うことにより個別画像データを合成する、請求項１から６のいずれかに記載の解析装置。
【請求項８】
前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを表示する表示手段を備える、請求項１から７のいずれかに記載の解析装置。
【請求項９】
前記解析対象物は、半導体装置である、請求項１から８のいずれかに記載の解析装置。
【請求項１０】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、
個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、
総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、
解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、
前記解析ステップは、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成ステップにより生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析方法。
【請求項１１】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、
個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、
総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、
解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、
前記解析ステップは、
前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出ステップを含み、
前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成ステップにより生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析方法。
【請求項１２】
２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、
個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、
総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、
解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、
前記解析ステップは、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出ステップを含む、解析方法。
【請求項１３】
前記算出ステップは、所定の基準を満たす前記パラメータの値を算出する際に、前記個別画像データ生成手段が生成した画像データの画素数を小さくした状態で前記所定の基準を満たすパラメータの値を算出することを特徴とする、請求項１１又は１２に記載の解析方法。
【請求項１４】
表示手段が前記総合画像データ生成ステップで生成された総合画像データを表示する表示ステップを含む、請求項１０から１３のいずれかに記載の解析方法。
【請求項１５】
請求項１０から１４のいずれかに記載の解析方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラム。
【請求項１６】
請求項１５記載のプログラムをコンピュータが実行することが可能にて記録した記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、解析装置、解析方法、解析方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラム、及び、このプログラムを記録した記録媒体に関し、特に、複数の物理パラメータの値から画像データを生成し、解析する解析装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の対象物に対して２種類以上の性質の異なる物理パラメータにより解析処理が行われる場合、それぞれの処理が個別に且つシリアルに行われている。例えば、半導体装置のシミュレーションを行う場合には、電磁界のシミュレーションや熱のシミュレーションを行う必要がある。これらのシミュレーションは個々のツールで個別にシリアルに行われ、それぞれのシミュレーションで得られた結果を総合して最終的な判定を行っている。
【０００３】
図６は、従来の半導体装置のシミュレーションを行う処理について説明するための処理フロー図である。
【０００４】
まず、ステップＳＴ１で初期パラメータを設定する。次に、ステップＳＴ２で処理Ａが行われる。ステップＳＴ３で処理Ａの結果が条件を満たすか否かが判定され、判定条件が満たされなければステップＳＴ４で処理Ａのパラメータが再計算されて再びステップＳＴ２の処理Ａが行われる。ステップＳＴ３の判定条件が満たされればステップＳＴ５の処理Ｂが行われる。ステップＳＴ６で処理Ｂの結果が条件を満たすか否かが判定され、判定条件が満たされなければステップＳＴ７で処理Ｂのパラメータが再計算されて再びステップＳＴ６の処理Ｂが行われる。そして、ステップＳＴ８で処理Ａと処理Ｂの結果が何れも判定条件を満たすか否かが判定され、判定基準が満たされれば処理が終了する。判定条件が満たされなければステップＳＴ９で処理Ａの結果と処理Ｂの結果のどちらを再計算するかが判定される。処理Ａの結果を再計算する場合は、ステップＳＴ４に戻って処理Ａのパラメータの再計算が行われ、ステップＳＴ２の処理Ａが行われる。処理Ｂの結果が再計算される場合は、ステップ７に戻って、処理Ｂのパラメータの再計算が行われ、ステップＳＴ６の処理Ｂが行われる。このようにして、処理Ａ及び処理Ｂの双方の判定条件を満たすまで処理が繰り返して行われる。
【０００５】
なお、上記技術とは直接関連はないが、技術水準を示す参考文献として特許文献１を挙げる。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２７７４０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のように２種類以上の性質の異なる物理パラメータにより解析が行われる場合は、それぞれの処理が個別に且つシリアルに行われているため処理が遅くなる問題がある。また、関連性のない複数の物理パラメータのそれぞれに対応する判定基準を満たす必要があるため、図６に示す処理においても条件を満たすか否かを判断する処理が一度で済まされておらず、多数回にわたっており、それだけ処理が複雑化しているという問題もある。
【０００８】
ゆえに、本発明は、処理の複雑化と遅延化を防止する解析装置、解析方法、解析方法をコンピュータにより実行可能なプログラム、及び、そのプログラムを記録した記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、
前記解析手段は、前記総合画像データ生成手段により生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成手段により生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析装置である。
【００１０】
請求項２に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、 前記解析手段は、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出手段を備え、前記総合画像データ生成手段により生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成手段により生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析装置である。
【００１１】
請求項３に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析装置であって、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成手段と、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成手段と、前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析手段とを備え、
前記解析手段は、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出手段を備える、解析装置である。
【００１２】
請求項４に係る発明では、請求項２又は３において、前記算出手段は、所定の基準を満たす前記パラメータの値を算出する際に、前記個別画像データ生成手段が生成した画像データの画素数を小さくした状態で前記所定の基準を満たすパラメータの値を算出することを特徴とする。
【００１３】
請求項５に係る発明では、請求項１から４のいずれかにおいて、前記個別画像データ生成手段は、前記個別画像データを生成する際に、前記複数の物理パラメータの値に対応する色情報についてＲＧＢ（ＲＥＤ、ＧＲＥＥＮ、ＢＬＵＥ）データを用いて特定している。
【００１４】
請求項６に係る発明では、請求項１から５のいずれかにおいて、前記総合画像データ生成手段は、前記物理パラメータに対応して画素数の調整を行う画素数調整手段を備える。
【００１５】
請求項７に係る発明では、請求項１から６のいずれかにおいて、前記総合画像データ生成手段は、前記個別画像データ生成手段が生成した個別画像データを、四則演算処理またはその組合せの演算処理を行うことにより個別画像データを合成する。
【００１６】
請求項８に係る発明は、請求項１から７のいずれかにおいて、前記総合画像データ生成手段が生成した総合画像データを表示する表示手段を備える。
【００１７】
請求項９に係る発明では、請求項１から８のいずれかにおいて、前記解析対象物は、半導体装置である。
【００１８】
請求項１０に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、前記解析ステップは、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成ステップにより生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析方法である。
【００１９】
請求項１１に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、前記解析ステップは、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出ステップを含み、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データ又は前記個別画像データ生成ステップにより生成されたそれぞれの個別画像データのうち一方を２値化処理し、前記２値化処理された総合画像データ又は各個別画像データと前記２値化処理されなかった他方の総合画像データ又は各個別画像データとを四則演算処理またはその組合せの演算処理をする、解析方法である。
【００２０】
請求項１２に係る発明は、２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布を示す画像データを生成し、解析する解析方法であって、個別画像データ生成手段が、前記物理パラメータのそれぞれに対応して解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と前記座標における前記物理パラメータの値に対応する色情報を含む画像データを生成する個別画像データ生成ステップと、総合画像データ生成手段が、前記個別画像データ生成手段により生成された画像データを合成して総合画像データを生成する総合画像データ生成ステップと、解析手段が、前記総合画像データ生成ステップにより生成された総合画像データを解析して前記２種類以上の性質の異なる物理パラメータの値の分布が所定の基準を満たすか否かを判定する解析ステップとを含み、前記解析ステップは、前記物理パラメータのそれぞれに対応して設けられた所定の基準を満たすパラメータの値を算出する算出ステップを含む、解析方法である。
【００２１】
請求項１３に係る発明では、請求項１１又は１２において、前記算出ステップは、所定の基準を満たす前記パラメータの値を算出する際に、前記個別画像データ生成手段が生成した画像データの画素数を小さくした状態で前記所定の基準を満たすパラメータの値を算出することを特徴とする。
【００２２】
請求項１４に係る発明は、請求項１０から１３のいずれかにおいて、表示手段が前記総合画像データ生成ステップで生成された総合画像データを表示する表示ステップを含む、解析方法である。
【００２３】
請求項１５に係る発明は、請求項１０から１４のいずれかに記載の解析方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラムである。
【００２４】
請求項１６に係る発明は、請求項１５記載のプログラムをコンピュータが実行することが可能にて記録した記録媒体である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、２種類以上の性質の異なる物理パラメータにより解析処理が行われる際に、それぞれの物理パラメータの値から共通の総合画像データを生成するため、処理を並行して同時に行うことができ、性質の異なる物理パラメータ同士であっても処理が複雑にならず解析時間を短縮することができる。
【００２６】
また、本発明によれば、それぞれの物理パラメータの値から色情報を含む画像データを生成し、それらが合成されて表示されるため、人間の目で直感的な判断をすることができる。
【００２７】
さらに、本発明によれば、それぞれの物理パラメータの値から座標情報を含む画像データを生成するため、問題箇所の抽出が可能となり、性質の異なる物理パラメータ同士であっても修正が容易になる。
【００２８】
さらに、本発明によれば、物理パラメータ毎に生成された画像データの画素数を調整することができるため、種類の異なる物理パラメータであっても解析の精度を調整することで合成して判定することが可能となる。また、ユーザの状況に応じて画素数を少なく調整することにより処理時間を速くしたり、画素数を大きくすることで高い精度で解析することも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、図を用いて本発明の実施の形態を説明する。
【００３０】
図１は、本発明の実施の形態に係る画像データ生成解析装置の構成を示したブロック図である。
【００３１】
画像データ生成解析装置１００は、画像データ生成部１０２と解析部１０７と表示部１１０とから構成される。画像データ生成部１０２は、個別画像データ生成部１０４と総合画像データ生成部１０６とから構成されている。解析部１０７は、算出部１０８を備える。総合画像データ生成部１０６は、画素数調整処理部１１７と演算処理部１１８から構成される。
【００３２】
ここで、画像データ生成解析装置１００の処理を簡単に説明する。まず、入力者１５０から処理装置１６０に対して初期パラメータが設定される。設定された初期パラメータに基づいて処理装置１６０の処理部（Ａ）１３０及び処理部（Ｂ）１４０が、処理対象物１２０に対してそれぞれ処理Ａ、処理Ｂを行う。それぞれの処理に対して、画像データ生成解析装置１００における画像データ生成部１０２の個別画像データ生成部１０４が物理パラメータの値に対応する個別画像データ１１２を生成する。生成された個別画像データ１１２は、総合画像データ生成部１０６の画素数調整処理部１１７で画素数が調整され、演算処理部１１８で演算処理が行われることで、合成されて総合画像データ１１４が生成される。
【００３３】
表示部１１０は、総合画像データ１１４を人間が見える形態で総合画像分布１１６として表示する。解析部１０７は、総合画像データ１１４を解析し、問題箇所を抽出し、算出部１０８がパラメータの値を再計算する。再計算で算出されたパラメータの値は、必要に応じて再び処理装置１６０の各処理に設定される。そして、それぞれの処理に対応して設定された判定基準を満たすまで処理が繰り返して行われる。
【００３４】
次に、本発明の実施の形態に係る画像データ生成解析装置の処理を説明する。図２は、図１に示した画像データ生成解析装置の動作処理の一例を示したフロー図である。
【００３５】
まず、ステップＳＴ３１で初期パラメータが処理装置１６０に対して設定される。次に、ステップＳＴ３２の処理Ａが処理部（Ａ）１３０において行われ、その結果に基づいてステップＳＴ３３で個別画像データ生成部１０４により個別画像データ（カラーマップ）Ａが生成される。一方これと同時に並行して、ステップＳＴ３４の処理Ｂが処理部（Ｂ）１４０において行われ、その結果に基づいてステップＳＴ３５で個別画像データ生成部１４０において個別画像データ（カラーマップ）Ｂが生成される。
【００３６】
この個別画像データを生成する処理は、個別画像データ生成部１０２が、具体的には、複数の物理パラメータのそれぞれに対応して、解析の対象となる解析対象物の空間位置を表す座標を示す座標情報と、その座標における物理パラメータの値を色情報に変換して個別画像データを生成することにより行われる。
【００３７】
ここで、解析対象物を２次元としてその平面座標によって座標情報を把握してもよいが、立体的に把握する必要がある場合には、例えば、その解析対象物の一方向（例えば高さ方向）に対して垂直方向の断面によって得られる複数の平面を得て、その平面毎に画像データを生成することで、空間座標として座標情報を把握してもよい。
【００３８】
次に、色情報について説明する。物理パラメータの値を色情報に変換する際には、物理パラメータの値をＲＧＢ（ＲＥＤ、ＧＲＥＥＮ、ＢＬＵＥ）データに変換することにより特定している。
【００３９】
ここで、物理パラメータの値をＲＧＢの値に変換する際に、１つの物理パラメータの値に対してＲ、Ｇ及びＢが全て含まれるように対応させてもよいし、１つの物理パラメータに対してＲ、Ｇ及びＢのいずれか１つが含まれるように対応させてもよい。また、ＲＧＢのうち１つまたは２つを固定値とし、それ以外のデータに物理パラメータの値を対応させるようにしてもよい。
【００４０】
さらに、上記に示した色のＲＧＢの割合等により色相、彩度、明度という３属性が表現されるが、それ以外に、例えば、透明度を示すデータ、ハイライトの度合いを示すデータ等を用いて物理パラメータの値を色情報に対応させて変換してもよい。
【００４１】
図２に戻って、ステップＳＴ３３及びステップＳＴ３５で生成された個別画像データ（カラーマップ）Ａ、Ｂは、ステップＳＴ３６で画素数が調整される処理が行われる。
【００４２】
ここで、図３は、解析の対象となる解析対象物に合わせて画素数を調整して解析の精度を変更する場合の一例を示した図である。
【００４３】
図２のステップＳＴ３３及びステップＳＴ３５で生成された個別画像データは、図１の総合画像データ生成部１０６により、総合画像データの生成処理が行われるが、この時、物理パラメータ毎に解析の精度を変更する必要がある場合がある。そのような場合に、図１の画素数調整処理部１１７により、図３に示すようなモザイク処理を行って、個別画像データの画素数を解析対象物の状態に合わせてダイナミックに調整することを可能としている。これにより、状況に応じた判定を行うことができる。図３の例では、画素数１０の精度のカラーマップを画素数３の精度のカラーマップに調整している。また、解析精度が異なる物理パラメータ同士も解析精度を合わせることで総合的な判定が可能である。
【００４４】
なお、この解析精度の判断は、総合画像データ生成部１０６が自動で判断することが好ましいが、状況に応じて人間の判断により変更するようにしてもよい。
【００４５】
図２に戻って、ステップＳＴ３６で画総数が調整されたそれぞれの個別画像データは、ステップＳＴ３７で図１の総合画像データ生成部１０６の演算処理部１１８により演算処理が行われることで合成され、総合画像データが生成される。
【００４６】
ここで、総合画像データの生成について説明する。図４は、生成された個別画像データを合成して総合画像データを生成する過程の一例を示した図である。
【００４７】
図２のステップＳＴ３３及びステップＳＴ３５で生成されたそれぞれの個別画像データは、加算処理をすることにより加色混合され、重なった箇所が明るく表示される。図４において、処理Ａの物理パラメータの値に基づいて生成された個別画像データＡと処理Ｂの物理パラメータの値に基づいて生成された個別画像データＢを加算処理することにより総合画像データＣが得られている。総合画像データＣは、個別画像データＡと個別画像データＢが重なっている部分は明るく表示されている。すなわち、重なるほど品質が良いと評価できる条件の場合は、全体的に明るく、明暗が均一であれば判定基準を満たした結果であり、全体的に暗く、明暗が不均一であれば判定基準を満たしていない結果であると判断できる。
【００４８】
ここで、重なるほど品質が良いと評価できる条件について説明する。例えば、シミュレーションの対象物を半導体とした場合に、半導体の設計時に回路とプロセスの違いにより、半導体装置の上を配線が通ってよい場合と通ることを避けるべき場合がある。半導体装置の上を配線が通ってもよい場合は、配線が半導体装置部分に均一に重なることが許容され、それを考慮すればするほど面積が小さくなり、品質が向上する。このような場合のシミュレーションを行う際に加算処理が行われればよく、全体的に明るく、明暗が均一に表示されているか否かで判定基準を満たしているか否かが判断基準とされる。
【００４９】
一方、上記加算処理以外にも、乗算処理を利用することができる。図３のステップＳＴ３３及びステップＳＴ３５で生成されたそれぞれの個別画像データを乗算処理した場合は、上記加算処理を行った場合とは逆に、重なった箇所が暗く表示される。すなわち、重ならないほど品質が良いと評価できる条件の場合には、全体的に暗く、明暗が均一であれば判定基準を満たした結果であり、全体的に明るく、明暗が不均一であれば判定基準を満たしていない結果であると判断できる。
【００５０】
ここで、重ならないほど品質が良いと評価できる条件とは、例えば、シミュレーションの対象を半導体とした場合に、上記とは逆に、半導体装置の上を配線が通ることを避けるべき場合に、もし、配線が半導体装置部分に均一に重なっていると、品質が低下する。このような場合のシミュレーションを行う際に乗算処理を行うことで判定基準を満たしているか否かを判断できる。
【００５１】
なお、加算処理または乗算処理の選択は、図１の総合画像データ生成部１０６が自動で判断できるようにすることが好ましいが、状況に応じてユーザが選択できるようにしてもよい。
【００５２】
また、加算処理及び乗算処理に限らず、これら２つの処理を含む四則演算処理及びそれらの組合せにより総合画像データを生成できるようにしてもよい。
【００５３】
図２に戻って、ステップＳＴ３８では、ステップＳＴ３７で生成された総合画像データに基づいて、図１の解析部１０７が総合画像データを分析し、処理Ａ及び処理Ｂのそれぞれの物理パラメータの値のそれぞれに対応する判定基準を満たすか否かを判定する。それぞれの物理パラメータの値が判定基準を満たす場合は、処理を終了する。満たさない場合は、ステップＳＴ３９の問題箇所の抽出処理に進む。
【００５４】
なお、判定基準が満たされているか否かの判断は、図１の表示部１１０が表示した総合画像分布１１６に基づいて直感的に人間が判断することも可能である。また、総合画像データの平均色温度、色の分布の均一度等を本発明における画像データ生成解析装置が分析して判断することも可能である。平均色温度、色の分布の均一度等を用いて画像データ生成解析装置が判断する際には、所定の基準値を設けて、その基準値を満たすかどうかを判断する。
【００５５】
図２に戻って、ステップＳＴ３９の問題箇所の抽出処理に進んだ場合、図１の解析部１０７は、ステップＳＴ３７で生成された総合画像データの分析結果に基づいて問題箇所を抽出する。次に、ステップＳＴ４０で、図１の解析部１０７の算出部１０８が、ステップ３９で抽出された問題箇所から判定基準を満たすようなパラメータの値を再計算して設定する。そして、再設定されたパラメータの値に基づいて、再び、図１の処理部１３０は図２のステップＳＴ３２の処理Ａを行い、図１の処理部１４０は図２のステップＳＴ３４の処理Ｂを行う。全ての物理パラメータの値が判定基準を満たすまで処理が繰り返して行われる。
【００５６】
ここで、図２のステップＳＴ３９及びステップＳＴ４０の処理について説明する。ステップＳＴ３７で生成された総合画像データに基づいて、それぞれの判定基準が満たされていないと判断された場合にステップＳＴ３９で問題箇所の抽出が行われ、ステップＳＴ４０でパラメータの再計算が行われる
【００５７】
図５は、生成された総合画像データを基に問題箇所を抽出する処理の過程を示した図である。
【００５８】
ここでは、図５に示すように、まず図２のステップＳＴ３７で生成された総合画像データを白黒処理する。この白黒処理を行う際には、ある所定の基準値に基づいて２値化処理行うが、その基準値はシミュレーションの状況により異なってくる。そのため、解析部１０７が自動で基準値を決定することが好ましいが、ユーザが指定できるようにしてもよい。
【００５９】
図５に戻って、個別画像データＡと白黒処理された総合画像データＣを加算処理すると、マスク画像データＤが生成される。この時、白黒処理された総合画像データＣは、図４において加色混合されて明るく表示された箇所が白色となり、それ以外の部分は黒色に白黒処理されている。すなわち、問題ではないと判断された部分は白色で表示されている。マスク画像データＤにおいて、総合画像データＣの黒色でマスクされた部分が抽出され、その部分が問題箇所となる。また、同様に、個別画像データＢと白黒処理された総合画像データＣを加算処理すると、マスク画像データＥが生成される。マスク画像データＥにおいても、総合画像データＣの黒色でマスクされた部分が抽出され、その部分が問題箇所となる。すなわち、黒色でマスク処理をすることで加算処理が行われない箇所を不具合箇所として抽出し、パラメータの再計算を行う際に利用することができる。
【００６０】
なお、上記白黒処理は総合画像データに対して行ったが、個別画像データを白黒処理して白黒処理されていない総合画像データを加算処理してもよい。
【００６１】
次に、抽出された問題箇所から判定基準を満たすようなパラメータを算出し設定を行う。まず、初期最適解を求める処理を行うが、その際に、モザイク処理により個別画像データの画素数を小さくしてデータの精度を低くする。画素数が小さくなることで処理速度は速くすることができる。ただし、モザイク処理により処理結果の重要箇所が消滅しない範囲で画素数は調整されるものとする。
【００６２】
最適解を求める際は、最適解がある確率が高いと思われる領域の近傍処理を行うことで最適解を求める。例えば、ＲＧＢを８ビットで表現していた場合に、近傍処理として２ビットの範囲内で最適解を求める処理を行う。
【００６３】
なお、ここで算出するパラメータは配置情報または配線情報を示すパラメータであり、それらのパラメータを変更することで、温度や電磁波等の物理パラメータの値も変更される。
【００６４】
初期最適解が求められたら、その解に基づいて画素数を大きくして精度の高いデータ（解）を得ることができる。そして、得られたパラメータの値をフィードバックして再処理を行う。この処理は、それぞれの物理パラメータが判定基準を満たす値になるまで繰り返して行われる。
【００６５】
このように、図６の従来手法に比べて図２に示した本発明においては、複数の処理を並行して同時に行うことができ、性質の異なる物理パラメータ同士であっても判定処理は一度であり、処理が複雑にならず解析時間を短縮することができる。
【００６６】
なお、上記本発明の実施の形態では処理Ａと処理Ｂの２つの処理を並行して行っているが、装置の処理能力の範囲内で２以上の処理を同時に並行して行うようにしてもよい。
【００６７】
また、図１に示す処理対象物は半導体装置のような装置に限る必要はなく、例えば、農業分野において果物の色や糖度や形を物理パラメータとして画像データを生成して判定するようにしてもよい。さらに、例えば環境分野において、様々な環境問題の要因を物理パラメータとして画像データを生成して判定処理を行い、環境を悪化させている原因を追求し改善策を講じるための装置としても利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態に係る画像データ生成解析装置の構成を示したブロック図である。
【図２】図１に示した画像データ生成解析装置の動作処理の一例を示したフロー図である。
【図３】解析の対象となる解析対象物に合わせて画素数を調整して解析の精度を変更する場合の一例を示した図である。
【図４】生成された個別画像データを合成して総合画像データを生成する過程を説明するためのその一例を示した図である。
【図５】生成された総合画像データを基に問題箇所を抽出する処理の過程を説明するためのその一例を示した図である。
【図６】半導体装置のシミュレーションを行う処理の従来の手法を示した処理フロー図である。
【符号の説明】
【００６９】
１００  画像データ生成解析装置
１０４  個別画像データ生成部
１０６  総合画像データ生成部
１１２  個別画像データ
１１４  総合画像データ
１２０  処理対象物
【図１】
0004795070.tif 000002
【図２】
0004795070.tif 000003
【図６】
0004795070.tif 000004
【図３】
0004795070.tif 000005
【図４】
0004795070.tif 000006
【図５】
0004795070.tif 000007