(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側より順に、全体として正の屈折力を有する第1レンズ群と、全体として負の屈折力を有する第２レンズ群と、全体として正の屈折力を有する第３レンズ群とより構成され、
前記第１レンズ群は、正レンズと負レンズを貼りあわせた正屈折力を有する物体側に凸面を向けたメニスカス形状の接合レンズを含み、
前記第２レンズ群は、メニスカス形状の２つの接合レンズを有し、前記メニスカス形状の２つの接合レンズは、互いに凹面が向かい合うように配置され、前記メニスカス形状の２つの接合レンズのうち物体側に位置する接合レンズは正レンズと負レンズを貼りあわせた接合レンズであり、
物体側に略テレセントリックであることを特徴とする無限遠系対物レンズ。
【請求項２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載の無限遠系対物レンズ。
１．１  ＜  νｄｐ１／νｄｎ１  ＜  ３．５            （１）
１．１  ＜  νｄｎ２／νｄｐ２  ＜  ３．０            （２）
但し、νｄｐ１：前記第１レンズ群中の前記メニスカス形状接合レンズを構成する                正レンズ硝材のアッベ数
νｄｎ１：前記第１レンズ群中の前記メニスカス形状接合レンズを構成する負レンズ硝材のアッベ数
νｄｎ２：前記第２レンズ群に含まれる前記接合レンズ中、最も物体側の接合レンズを構成する負レンズ硝材のアッベ数
νｄｐ２：前記第２レンズ群に含まれる前記接合レンズ中、最も物体側の接合レンズを構成する正レンズ硝材のアッベ数
【請求項３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の無限遠系対物レンズ。
０．８  ＜  ＥＰ／ＯＤ  ＜  １．５                  （３）
但し、ＥＰ：光軸上、物体位置から前記対物レンズの像側瞳位置までの距離
ＯＤ：光軸上、物体位置から前記対物レンズの物体から最も遠い面までの距離
【請求項４】
以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の無限遠系対物レンズ。
−０．３  ＜  α  ＜  ０．３                        （４）
但し、α：物体上任意の位置における主光線が光軸となす角度（単位は度）
【請求項５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の無限遠系対物レンズ。
０．５  ＜  ｜Ｒ１／ｆ２｜  ＜  １．５              （５）
０．５  ＜  ｜Ｒ２／ｆ２｜  ＜  １．８              （６）
但し、Ｒ１：前記第２レンズ群中、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の接合レンズ中、物体側の接合レンズが持つ凹面の曲率半径
Ｒ２：前記第２レンズ群中、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の接合レンズ中、像体側の接合レンズが持つ、前記Ｒ１に向かい合う凹面の曲率半径
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離
【請求項６】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項５に記載の無限遠系対物レンズ。
０．５  ＜  ｜ＨＲ３／Ｙ｜  ＜  １．１              （７）
但し、ＨＲ３：前記第１レンズ群に含まれる、正屈折力を有する物体側に凸の面を向けたメニスカス形状の接合レンズの接合面における最大物体高に対応する主光線の高さ
Ｙ：最大物体高
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物レンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
肉眼でも見ることが出来る物体や標本などを、広い視野に渡って全体を観察しようとする場合、低倍（１０倍以下）の対物レンズが使用される。このような低倍の対物レンズを用いたマクロ観察が要求される分野として、例えば工業用途では、半導体ウェーハの欠陥やコンタミネーションの検査、生物分野の用途では、臓器や皮膚などの比較的大きな細胞をスライスせずに観察しようとするもの等がある。従来、このような目的に対しては主として、実体顕微鏡が使われており、上記のような要求に対応する対物レンズは、例えば以下の特許公報に開示されている。
【特許文献１】特開平１１−３４４６６７  しかしながら、
【特許文献１】に開示されている対物レンズでは、落射照明で、物体からの反射照明光による観察を行う場合など、視野周辺まで均一な明るさが得られず、広視野を観察した時にパースペクティブを生じたり、観察物体の位置の僅かな差により倍率の変化を生じたりしてしまう。このため、物体の大きさを計測したり、画像解析を行ったりする際に不便であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような従来の問題点を解決するためになされたものであり、広い視野を要求する低倍（１０倍以下）の対物レンズで、落射照明により、物体からの反射照明光による観察を行う場合でも、視野周辺まで均一な明るさが得られ、広視野を観察した時にパースペクティブを生じたりせず、観察物体位置に僅かな差があっても、倍率の変化が非常に少ない、所謂マクロ観察に好適な低倍対物レンズを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
物体側より順に、全体として正屈折力を有する第１レンズ群、全体として負の屈折力を有する第２レンズ群、全体として正の屈折力を有する第３レンズ群より構成され、前記第１レンズ群は、正レンズと負レンズを貼りあわせた正屈折力を有する物体側に凸の面を向けたメニスカス形状の接合レンズを含み、前記第２レンズ群は、メニスカス形状の２つの接合レンズを有し、前記メニスカス形状の２つの接合レンズは、互いに凹面が向かい合うように配置され、前記メニスカス形状の２つの接合レンズのうち物体側に位置する接合レンズは正レンズと負レンズを貼りあわせた接合レンズであり、物体側に略テレセントリックであることが好ましい。
【０００５】
さらに、以下の条件式を満足することが好ましい。
１．１  ＜  νｄｐ１／νｄｎ１  ＜  ３．５              （１）
１．１  ＜  νｄｎ２／νｄｐ２  ＜  ３．０              （２）
但し、νｄｐ１：前記第１レンズ群中の前記メニスカス形状接合レンズを構成する                正レンズ硝材のアッベ数
νｄｎ１：前記第１レンズ群中の前記メニスカス形状接合レンズを構成する負レンズ硝材のアッベ数
νｄｎ２：前記第２レンズ群に含まれる前記接合レンズ中、最も物体側の接合レンズを構成する負レンズ硝材のアッベ数
νｄｐ２：前記第２レンズ群に含まれる前記接合レンズ中、最も物体側の接合レンズを構成する正レンズ硝材のアッベ数
【０００６】
さらに、以下の条件式を満足することが好ましい。
０．８  ＜  ＥＰ／ＯＤ  ＜  １．５              （３）
但し、ＥＰ：光軸上、物体位置から前記対物レンズの像側瞳位置までの距離
ＯＤ：光軸上、物体位置から前記対物レンズの物体から最も遠い面までの距離
【０００７】
さらに、以下の条件式を満たす構成とすることが好ましい。
−０．３  ＜  α  ＜  ０．３            （４）
但し、α：物体上任意の位置における主光線が光軸となす角度（単位は度）
【０００８】
さらに、以下の条件式を満たす構成とすることが好ましい。
０．５  ＜  ｜Ｒ１／ｆ２｜  ＜  １．５              （５）
０．５  ＜  ｜Ｒ２／ｆ２｜  ＜  １．８              （６）
但し、Ｒ１：前記第２レンズ群中、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の接合レンズ中、物体側の接合レンズが持つ凹面の曲率半径
Ｒ２：前記第２レンズ群中、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の接合レンズ中、像体側の接合レンズが持つ、前記Ｒ１に向かい合う凹面の曲率半径
ｆ２：第２レンズ群の焦点距離
【０００９】
さらに、以下の条件式を満たす構成とすることが好ましい。
０．５  ＜  ｜ＨＲ３／Ｙ｜  ＜  １．１              （７）
但し、ＨＲ３：前記第１レンズ群に含まれる、正屈折力を有する物体側に凸の面を向けたメニスカス形状の接合レンズの接合面における最大物体高に対応する主光線の高さ
Ｙ：最大物体高
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、以上の構成をとることにより、広い視野を要求する低倍（１０倍以  下）の対物レンズであっても、通常の明視野観察に加え、透過照明や、物体からの反射照明光による観察を行う落射照明においても、視野周辺まで均一な明るさが得られ、広視野を観察した時にパースペクティブを生じたりせず、観察物体位置に僅かな差があっても、倍率の変化が非常に少なく、かつ充分な結像性能を有した、マクロ観察に好適な対物レンズを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、最良の形態の構成および条件式を詳しく説明する。
低倍で観察を行う場合、実視野が大きくなる。即ち、物体高が大きくなり、レンズを通過する光軸上の光束と周辺光束の高さの差が大きくなるため、結像に係わる通常の収差に加え、瞳の収差、色収差の補正は格段に困難となってくる。そして、既に述べた如く、落射照明観察を行う場合等、視野周辺まで均一な明るさで、パースペクティブが無く、物体の位置変化に対する像の倍率変動を小さく抑えるためには、物体側に略テレセントリックに照明される必要がある。請求項１に係わるレンズ構成はこれを解決するための基本的な構成である。
【００１２】
また、マクロ観察では、コントラストを高めるため、微分干渉観察を行いたいという要求も多いが、この場合、色ムラの無い画像を得るため、特に、対物レンズ像側瞳の軸上の色収差や球面収差、球面収差の色による変化等が充分に補正される必要がある。また、平坦な像を得るため、像面湾曲に係わるペッツバール和を効率よく補正する必要もある。この目的のために好ましいレンズ構成を与えるものである。
【００１３】
条件式（１）および（２）は、色収差の補正上好ましい条件を与えるものである。条件式（１）は、前記第1レンズ群G１中の、正の屈折力を有する物体側に凸の面を向けたメニスカス形状の接合レンズを構成する、正レンズ硝材のアッベ数νdp1と負レンズ硝材のアッベ数νdn1との比率を与える。正レンズに負レンズよりもアッベ数の大きい硝材を用いて接合レンズとし、色消し効果をもたせている。条件式（２）は、前記第２レンズ群G２に含まれる、最も物体側に位置する接合レンズを構成している、正レンズ硝材のアッベ数νdp２と負レンズ硝材のアッベ数νdn２との比率を規定している。条件式（１）の場合とは逆に、負レンズに正レンズよりアッベ数の大きい硝材を使用することで、接合面に色出し効果を持たせている。
【００１４】
このように、条件式（１）と（２）を同時に満足することにより、対物レンズ全系と像側瞳の色収差補正を両立させることが可能となる。条件式（１）の上限を超えると第１レンズ群の色消しが過剰となり、倍率の色収差の補正が困難となる。また、下限を超えると、第１レンズ群の色消しが不足となり、対物レンズの像側瞳の軸上色収差が増大してしまう。ここで、条件式（１）の上限を２．９、下限を１．９とすることで、より効果的に対物レンズ全系の色収差及び像側瞳の色収差を補正することが出来る。
【００１５】
条件式（３）は、ズーム光学系との接続を可能にするために好ましい条件を与えるものである。マクロ観察といえども、ある程度の拡大観察が要求される場合が多く、ズーム機能への要望も多い。この時、対物レンズに後続するズーム光学系に、光束のケラレを生じることなく対物レンズを接続するためには、対物レンズの像側瞳を像側に寄せ、好ましくはレンズの外側に位置させる必要がある。そして、かかる構成を採っても、瞳の軸上色収差や瞳の球面収差、対物レンズ全系の非点収差やコマ収差等の軸外収差は、良好に補正されている必要がある。条件式（３）は、上記構成をとるために好ましい条件である。条件式（３）の上限を超えると像側瞳が物体面から離れ過ぎ、対物レンズの非点収差やコマ収差等、軸外収差の補正が困難になり、後続する光学系での補正も不可能となるので、光学システム全体の構成が困難になる。また、条件式（３）の下限を超えると、像側瞳が物体面に近くなり過ぎ、瞳の軸上色収差や瞳の球面収差の補正が困難になると共に、後続するズーム光学系との結合も困難になってしまう。更に、条件式（３）の上限を１．２、下限を０．９とすることで、より効果的に上記収差を補正することが出来る。
【００１６】
条件式（４）は、完全テレセンからのズレをどの程度までに抑えるのが好ましいかを規定する条件式を与えるものである。この条件式（４）の範囲外では、落射照明時に照明ムラが発生してしまい均一な明るさの像を得ることが出来ない。また条件式の上限を外れると、レンズ径が大きくなり過ぎ、システム構成上問題となる。
【００１７】
条件式（５）および（６）は対物レンズ全系のコマ収差およびペッツバール和の補正に係わるものである。条件式（５）および（６）の上限を超えると、向い合う凹面の曲率半径が共に大きくなり過ぎ、ペッツバール和の補正が困難となり、像面湾曲が残存してしまう。また、下限を超えると向かい合う凹面の曲率半径は小さくなり過ぎコマ収差、非点収差等の補正が困難となる。
【００１８】
条件式（７）は、色収差の補正およびテレセン性の確保に係わるものである。条件式（７）の上限を超えると、物体高に比べ前記接合面における主光線の位置が高くなり過ぎ、対物レンズ全系での倍率の色収差の補正が困難になると共にレンズ径が増大し、テレセン性の確保が困難となる。下限を超えると、物体高に比べ前記接合面における主光線位置が低くなり過ぎ、像側瞳における瞳の軸上色収差や瞳の球面収差の補正が困難となる。
【００１９】
以下、添付図面に基づいて、実施の形態を説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は、本発明による第１実施形態の対物レンズ構成図である。なお、図１には、物体上、物体の中心から最周辺に至る4点から発する光線の光路を併せて記載している。この第1実施形態の対物レンズは、物体側より順に、第1レンズ群G１、第２レンズ群G２、第３レンズ群Ｇ３で構成される。前記第1レンズ群Ｇ１は、物体側に、より屈折力の大きな面を有する両凸レンズである第１レンズ成分Ｌ１１と、物体側に凸面を向けた正屈折力の接合メニスカスレンズである、レンズＬ１２とレンズＬ１３とより成る第２レンズ成分ＭＬ１で構成される。第２レンズ群Ｇ２は、レンズＬ２１とレンズＬ２２とより成る第３レンズ成分ＭＬ２及びレンズＬ２３とレンズＬ２４とより成る第４レンズ成分ＭＬ３の、２つのメニスカス形状接合レンズより構成され。ＭＬ２およびＭＬ３は、互いに凹面が向かい合うように配置されている。第3レンズ群Ｇ３は、像側により屈折力の大きな面を有する両凸レンズである第５レンズ成分Ｌ３１で構成されている。
【００２１】
本実施形態は後続するズームレンズ系の最短焦点距離が１００ｍｍのときに総合倍率β＝−１でＮＡ＝０．０３となり、ズーム比が最大で８倍程度かつＮＡが最大で０．１まで拡大可能となるように設計された無限系対物レンズである。
以下、第１実施形態の諸元の値を表１に示す。表１において、βは対応倍率、ＮＡは物体側開口数、Ｆは対物レンズ全系の合成焦点距離（単位ｍｍ）、Ｄ０は物体から第１レンズ面までの距離（単位ｍｍ）である。左端の数字は物体側からの順序を表し、Ｒは各レンズ面の曲率半径（単位ｍｍ）、Ｄはレンズ厚および各レンズ面間隔（単位    ｍｍ）、ｎdはｄ線（λ＝５８７．５６２ｎｍ）に対する屈折率、νdは各レンズ硝材のアッベ数である。
表１［第１実施形態］
β＝−１〜−７.５、ＮＡ＝０．０３〜０．１、
ＤＯ＝３７．８、Ｆ＝９９．７
NO.          Ｒ            Ｄ            nd          νd
1:        39.25410      5.500000      1.59240        68.3
2:      -133.28791      0.500000
3:        27.69737      6.718011      1.59240        68.3
4:       -64.55481      2.000000      1.72047        34.7
5:        43.44754      9.949972
6:        20.55359      4.717811      1.71736        29.5
7:       -28.90048      2.000000      1.83481        42.7
8:        10.74737     12.641442
9:       -11.15870      5.955076      1.83481        42.7
10:       121.28201      5.518289      1.49782        82.5
11:       -16.47334      0.500000
12:      1825.60719      5.500000      1.59240        68.3
13:       -21.22923
第１実施形態についての諸収差図を図２から図４に示す。
【００２２】
図２は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が１００ｍｍの理想レンズとして計算された、球面収差、非点収差、歪曲収差およびコマ収差の収差図である。図２に示すように第１実施形態の対物レンズでは、ｄ線（５８７．５６２ｎｍ）、Ｃ線（６５６．２７３ｎｍ）、Ｆ線（４８６．１３３ｎｍ）、ｇ線（４３５．８３５ｎｍ）の各波長においてＮＡ＝０．０３、視野数２２まで良好に補正されている。
【００２３】
図３は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が４００ｍｍの理想レンズとして計算された上記各収差の収差図である。図３に示すように第１実施例の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０６視野数２まで良好に補正されている。
【００２４】
図４は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が７５０ｍｍの理想レンズとして計算された上記各収差の収差図である。図４に示すように第１実施例の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．１、視野数２２まで良好に補正されている。
【実施例２】
【００２５】
図５は、本発明による第２実施形態の対物レンズ構成図（光路図）である。この第２実施形態では、第１レンズ群Ｇ１を構成するＬ２が正屈折率を有するメニスカス形状の単レンズであることを除けば上記第１実施例と同様の構成となっている。第２実施形態は、後続するズームレンズ系の最短焦点距離が１００ｍｍのときに総合倍率β＝−１でＮＡ＝０．０３となり、ズーム比が最大で８倍程度かつＮＡが最大で０．１まで拡大可能となるように設計された無限系対物レンズである。
【００２６】
以下、表２に上記第１実施形態と同様に第２実施形態の諸元を示す。
表２［第２実施形態］
β＝−１〜−７.５、ＮＡ＝０．０３〜０．１、
ＤＯ＝３８．０、Ｆ＝９９．６
NO.          Ｒ              Ｄ            nd        νｄ
1:        44.99800        5.500000        1.59240    68.3
2:      -154.71000        0.500000
3:        25.23100        5.000000        1.59240    68.3
4:        53.22200        6.500000
5:        25.47300        7.500000        1.49782    82.5
6:       -40.27000        3.000000        1.75500    52.3
7:        11.27600       15.250000
8:       -12.87300        6.000000        1.80400    46.6
9:        59.78600        5.500000        1.49782    82.5
10:       -18.89500        1.000000
11:      1128.31000        5.500000        1.59240    68.3
12:       -21.60030
第２実施形態についての諸収差図を図６から図８に示す。
【００２７】
図６は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が１００ｍｍの理想レンズとして計算された第1実施形態と同様な諸収差図である。図６に示すように第２実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０３、視野数２２まで良好に補正されている。
【００２８】
図７は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が４００ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。
図７に示すように第２実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０６視野数２２まで良好に補正されている。
【００２９】
図８は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が７５０ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。
図８に示すように第２実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．１、視野数２２まで良好に補正されている。
【実施例３】
【００３０】
図９は、本発明による第３実施形態の対物レンズ構成図（光路図）である。この第３    実施形態は、物体側より順に、第1レンズ群G１、第２レンズ群G２、第３レンズ群Ｇ３で構成される。前記第1レンズ群Ｇ１は、両凸レンズである第１レンズ成分Ｌ１１と、物体側に凸面を向けた正屈折力の接合メニスカスレンズである、レンズＬ１２とレンズＬ１３とから成る第２レンズ成分ＭＬ１とで構成される。第２レンズ群Ｇ２は、像側に凹面を向けたメニスカスレンズである第３レンズ成分Ｌ２１および、レンズＬ２２とレンズＬ２３とより成る第４レンズ成分ＭＬ２、レンズＬ２４とレンズＬ２５とより成る第５レンズ成分ＭＬ３の、２つのメニスカス形状接合レンズより構成され。ＭＬ２およびＭＬ３は、互いに凹面が向かい合うように配置されている。第3レンズ群Ｇ３は、像側により屈折力の大きな面を有する両凸レンズである第６レンズ成分Ｌ３１で構成されている。第３実施形態は、後続するズームレンズ系の最短焦点距離が１００ｍｍのときに総合倍率β＝−０．５でＮＡ＝０．０１５となり、ズーム比が最大で８倍程度かつＮＡが最大で０．０５まで拡大可能となるように設計された無限系対物レンズである。
以下、表３に上記第１実施形態と同様に第３実施例の諸元を示す。
表３［第３実施形態］
β＝−０．５〜−３．７５、ＮＡ＝０．０１５〜０．０５、
ＤＯ＝５２．０、Ｆ＝１９８．０
NO.          Ｒ            Ｄ              nd          νｄ
1:        74.30554        6.500000        1.77250      49.6
2:      2037.03211        0.500000
3:        36.39599       10.400000        1.75500      52.3
4:        INFINITY        3.000000        1.80809      22.8
5:        45.76349        4.000000
6:        22.64802        4.000000        1.64000      60.1
7:        16.06360       22.600000
8:        28.01779        5.000000        1.80809      22.8
9:       -28.01779        2.000000        1.80400      46.6
10:        12.31254       13.950000
11:       -17.06184        2.000000        1.90265      35.7
12:        27.41684        5.500000        1.49782      82.5
13:       -17.14338        7.000000
14:      -130.69481        6.000000        1.59240      68.3
15:       -19.30158
第３実施形態についての諸収差図を図１０から図１２に示す。
【００３１】
図１０は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が１００ｍｍの理想レンズとして計算された、第1実施形態と同様な諸収差図である。第１０に示すように第３実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０１５、  視野数２２まで良好に補正されている。
【００３２】
図１１は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が４００ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。図１１に示すように第３実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０３、視野数２２まで良好に補正されている。
【００３３】
図１２は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が７５０ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。図１２に示すように第３実施例の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０５、視野数２２まで良好に補正されている。
【実施例４】
【００３４】
図１３は、本発明による第４実施形態の対物レンズ構成図（光路図）である。第４実施形態は、上記第３実施形態と同様な構成であり、後続のズームレンズ系の焦点距離が１００ｍｍのときに総合倍率β＝−０．５でＮＡ＝０．０１５となり、ズーム比が最大で８倍程度かつＮＡが最大で０．０５まで拡大可能となるように設計された無限系対物レンズである。
【００３５】
以下、表４に上記第１実施形態と同様に第４実施形態の諸元を示す。
表４［第４実施形態］
β＝−０．５〜−３．７５、ＮＡ＝０．０１５〜０．０５、
ＤＯ＝５２．０、Ｆ＝１９８．０
NO.          R                Ｄ            nd        νｄ
1:        171.62745        5.882876      1.77250      49.6
2:       -171.62745        0.500000
3:         35.35032       10.656757      1.60300      65.5
4:       -968.99678        3.000000      1.80809      22.8
5:         57.21174        0.500000
6:         21.16891        5.566517      1.72916      54.7
7:         17.03188       21.998566
8:         31.69094        5.000000      1.80809      22.8
9:        -31.69094        2.000000      1.81600      46.6
10:         12.10648       20.297055
11:        -16.97407        2.000000      1.88300      40.8
12:         43.25710        5.713904      1.49782      82.5
13:        -18.51337        3.378728
14:       -412.62298        5.955597      1.59240      68.3
15:        -20.57021
第４実施形態についての諸収差図を図１４〜図１６に示す。
【００３６】
図１４は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が１００ｍｍの理想レンズとして計算された第1実施形態と同様の諸収差図である。図１４に示すように第４実施形態の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０１５、視野数２２まで良好に補正されている。
【００３７】
図１５は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が４００ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。図１５に示すように第４実施例の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０３、視野数２２まで良好に補正されている。
【００３８】
図１６は、対物レンズに後続するズーム光学系(結像レンズを含む)の焦点距離が７５０ｍｍの理想レンズとして計算された諸収差図である。図１６に示すように第４実施例の対物レンズでは、ｄ線、Ｃ線、Ｆ線、ｇ線の各波長においてＮＡ＝０．０５、視野数２２まで良好に補正されている。
以下に各実施形態の条件式対応値を示す。
┌───────┬───────┬───────┬───────┬───────
│              ｜  実施形態１  ｜  実施形態２  ｜  実施形態３  ｜  実施形態４｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────       ｜νdp1／νdn1  ｜  １．９７    ｜    ―        ｜  ２．２９    ｜  ２．８７  ｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜νdn2／νdp2  ｜  １．４５    ｜    ―        ｜  ２．０４    ｜  ２．０４  ｜ ├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜EP／OD        ｜  １．００    ｜  １．００    ｜  １．０７    ｜  １．１２  ｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜最大物体高α  ｜  ０．０５７  ｜  ０．０５７  ｜  ０．０２３  ｜−０．２６４｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜f2            ｜−１３．９７  ｜−１１．８１  ｜−１１．２５  ｜−１２．５６｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜｜R1／f2｜    ｜  ０．７６９  ｜  ０．９５５  ｜  １．０９４  ｜  ０．９６４｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜｜R2／f2｜    ｜  ０．７９９  ｜  １．０９０  ｜  １．５１７  ｜  １．３５１｜
├───────┼───────┼───────┼───────┼───────
｜｜HR3／Y｜    ｜  ０．８０    ｜    ―        ｜  ０．８３２  ｜  ０．８３２｜
└───────┴───────┴───────┴───────┴───────
以上の説明は、後続するズームレンズ系の最短焦点距離が１００ｍｍ（広視野端）で、総合倍率が符号を除いて1倍以下となるような極低倍の対物レンズを例に説明したが、低倍領域の対物レンズにも、本発明が適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施形態１の対物レンズ構成図（光路図）
【図２】実施形態１の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が１００ｍｍの  時の諸収差図
【図３】実施形態１の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が４００ｍｍの  時の諸収差図
【図４】実施形態１の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が７５０ｍｍの  時の諸収差図
【図５】実施形態２の対物レンズ構成図（光路図）
【図６】実施形態２の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が１００ｍｍの  時の諸収差図
【図７】実施形態２の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が４００ｍｍの  時の諸収差図
【図８】実施形態２の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が７５０ｍｍの  時の諸収差図
【図９】実施形態３の対物レンズ構成図（光路図）
【図１０】実施形態３の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が１００ｍｍ  の時の諸収差図
【図１１】実施形態３の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が４００ｍｍ  の時の諸収差図
【図１２】実施形態３の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が７５０ｍｍ  の時の諸収差図
【図１３】実施形態４の対物レンズ構成図（光路図）
【図１４】実施形態４の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が１００ｍｍ  の時の諸収差図
【図１５】実施形態４の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が４００ｍｍ  の時の諸収差図
【図１６】実施形態４の対物レンズで、後続するズーム光学系の焦点距離が７５０ｍｍ  の時の諸収差図
【符号の説明】
【００４０】
Ｇ１  第1レンズ群
Ｇ２  第2レンズ群
Ｇ３  第3レンズ群
ＭＬ１  第１レンズ群Ｇ１に含まれる物体側に凸面を向けた正屈折力の接合メニスカ            スレンズ
ＭＬ２  第２レンズ群Ｇ２が有する、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の            、２つの接合レンズのうち、物体側に位置する接合レンズ
ＭＬ３  第２レンズ群Ｇ２が有する、互いに向かい合う凹面を持つメニスカス形状の            、２つの接合レンズのうち、像側に位置する接合レンズ
Ｌｉｊ  第ｉレンズ群中物体側より第ｊ番目のレンズ
【図１】
0004720319.tif 000002
【図２】
0004720319.tif 000003
【図３】
0004720319.tif 000004
【図４】
0004720319.tif 000005
【図５】
0004720319.tif 000006
【図６】
0004720319.tif 000007
【図７】
0004720319.tif 000008
【図８】
0004720319.tif 000009
【図９】
0004720319.tif 000010
【図１０】
0004720319.tif 000011
【図１１】
0004720319.tif 000012
【図１２】
0004720319.tif 000013
【図１３】
0004720319.tif 000014
【図１４】
0004720319.tif 000015
【図１５】
0004720319.tif 000016
【図１６】
0004720319.tif 000017