(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周面にネジが形成され、回転軸中心に回転して気体を移送するスクリューロータにおいて、
気体移送方向上流側に形成され、上流側ネジ山の間隔が等間隔に形成された上流側ネジ部と、
前記上流側ネジ部の気体移送方向下流側に連続して形成された下流側ネジ部であって、下流側ネジ山の間隔が前記上流側ネジ山の間隔よりも狭く且つ等間隔に形成されると共に、前記下流側ネジ山の気体移送方向上流端と前記上流側ネジ山の気体移送方向下流端とが変曲点により連続的に連結された前記下流側ネジ部と、
単一の前記スクリューロータの外表面に形成された前記上流側ネジ部および前記下流側ネジ部と、
を備えたことを特徴とする前記スクリューロータ。
【請求項２】
前記上流側ネジ山の側面にネジ山の先端側が狭くなるように形成された上流側干渉防止部を有する前記上流側ネジ部と、
前記下流側ネジ山の側面に形成され且つ前記上流側干渉防止部とは異なる形状の下流側干渉防止部を有する前記下流側ネジ部と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載のスクリューロータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のスクリューロータを備えたことを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外周面にネジが形成されたスクリューロータおよび一対の前記スクリューロータを備えたスクリュー型の真空ポンプに関し、特に、気体を圧縮して移送可能なスクリューロータおよび前記スクリューロータを備えた真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空室を排気する真空ポンプとして、外周面にネジが形成された一対のスクリューロータを噛合わせた状態で回転させることにより、気体を移送して排気するスクリュー型の真空ポンプが知られている。
このようなスクリュー型ドライ真空ポンプとして、例えば、下記の従来技術（Ｊ01）が従来公知である。
（Ｊ01）特許文献１（特開２０００−４５９７６号公報）記載の技術
特許文献１には、リード（ネジが１回転した時に進む距離、１条ネジの場合はピッチ（ネジ山どうしの間隔）と一致）が等しい角ネジが外周面に形成された一対のスクリューロータを有するスクリュー型ドライ真空ポンプが記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−４５９７６号公報（「００２２」、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
（従来技術の問題点）
前記従来技術（Ｊ01）のスクリュー型の真空ポンプでは、スクリューロータのネジが等リード（等ピッチ）であるため、上流側から排気側に気体を排気する際に気体が圧縮されずに移送される。
前記スクリューロータで移送中に気体を圧縮するための技術として、スクリューロータのネジのピッチを吸気側で最大、排気側で最小となるように連続的に滑らかに変化させたスクリューロータが考えられている。しかし、ピッチを連続的に変化させる場合には、加工が複雑でコストが高くなるという問題がある。
また、スクリュー型の真空ポンプでは、一対のスクリューロータのネジ山は僅かな隙間をあけて噛合うように配置されているが、ネジ山が矩形歯状の場合、回転時にネジ山の噛合面で干渉（接触）が発生する。このため、従来のスクリュー型真空ポンプでは、ネジ山の干渉を防止するために、ネジ山の先端側が狭く（細く）なるようにネジ山の側面形状（干渉防止部）を加工している。しかし、前記噛合の干渉は、リードが大きくなるのに伴って大きくなるため、連続的にピッチを変化させると側面形状も連続的に変化させる必要がある。このため、連続的にピッチを変化させる場合、１種類のエンドミルで側面形状を加工することができず、加工が複雑で、コストが上昇するという問題もある。
【０００５】
また、スクリューロータにおいて、移送中の気体を圧縮するために、大リード（大ピッチ）のネジが形成されたロータと、小リード（小ピッチ）のネジが形成されたロータとを、同じ回転軸に、軸方向に間隔をおいて配置したものも実用化されている。しかし、大リードのロータと小リードのロータとの間の排気容積の変化が連続的でないため、排気効率が低下するという問題がある。また、２つのロータが間隔を置いて配置されているので、ロータの軸方向の長さ（ロータ長）が長くなり易いという問題がある。ロータ長が長くなると、装置が大型化すると共に、回転軸を支持する軸受（ベアリング）を両端に配置しなければならなくなり、真空側に軸受を配置しなければならなくなる場合がある。真空側に軸受を配置すると、軸受への潤滑剤の供給や潤滑剤による真空室の汚染対策等が必要となり、構成が複雑化し、コストが上昇するという問題がある。
【０００６】
本発明は、前述の事情に鑑み、気体を圧縮可能なスクリューロータを低コストで提供することを第１の技術的課題とする。
また、スクリューロータの排気効率を高めつつ、ロータ長を短くすることを第２の技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（本発明）
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施の形態の具体例（実施例）の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【０００８】
（第１発明）
前記技術的課題を解決するために、第１発明のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）は、
外周面にネジ（４３）が形成され、回転軸（２１，２２）中心に回転して気体を移送するスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）において、
気体移送方向上流側に形成され、上流側ネジ山（４１ａ）の間隔が等間隔に形成された上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）と、
前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）の気体移送方向下流側に連続して形成された下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）であって、下流側ネジ山（４１ｂ）の間隔が前記上流側ネジ山（４１ａ）の間隔よりも狭く且つ等間隔に形成されると共に、前記下流側ネジ山（４１ｂ）の気体移送方向上流端と前記上流側ネジ山（４１ａ）の気体移送方向下流端とが変曲点（４３ｃ）により連続的に連結された前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）と、
単一の前記スクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）の外表面に形成された前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）および前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
（第１発明の作用）
前記構成要件を備えた第１発明のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）では、外周面にネジ（４３）が形成され、回転軸（２１，２２）中心に回転して気体を移送する。スクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）の気体移送方向上流側には、上流側ネジ山（４１ａ）の間隔が等間隔に形成された上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）が形成されている。前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）の気体移送方向下流側に連続して形成された下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）は、下流側ネジ山（４１ｂ）の間隔が前記上流側ネジ山（４１ａ）の間隔よりも狭く且つ等間隔に形成されている。また、前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）は、前記下流側ネジ山（４１ｂ）の気体移送方向上流端と前記上流側ネジ山（４１ａ）の気体移送方向下流端とが変曲点（４３ｃ）により連続的に連結されている。また、前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）および前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）は、単一の前記スクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）の外表面に形成されている。
【００１０】
したがって、第１発明のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）は、上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）も下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）も等ピッチで形成されている。したがって、連続的にピッチが変化する場合に比べ容易に作製することができ、コストを抑えることができる。
また、第１発明のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）では、上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）のピッチよりも下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）のピッチが狭いので、気体が上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）から下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）に移行する際に気体が圧縮される。このとき、上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）の下流端と下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）の上流端とが変曲点（４３ｃ）により連続的に連結されているので、変曲点（４３ｃ）の近傍において排気容積が連続的に変化する。したがって、ピッチの異なるロータが間隔を空けて配置され、排気容積が不連続の場合に比べ、排気効率を高めることができると共に、ロータ長を短くすることができる。また、ロータ長が短くなるので、軸受を回転軸（２１，２２）の一方側に配置する片持支持構造を採用しやすくすることができる。
【００１１】
（第１発明の形態１）
第１発明の形態１のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）は、前記第１発明において、
前記上流側ネジ山（４１ａ）の側面にネジ山の先端側が狭くなるように形成された上流側干渉防止部（４４ａ）を有する前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）と、
前記下流側ネジ山（４１ｂ）の側面に形成され且つ前記上流側干渉防止部（４４ａ）とは異なる形状の下流側干渉防止部（４４ｂ）を有する前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）と、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
（第１発明の形態１の作用）
前記構成要件を備えた第１発明の形態１のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）では、前記上流側ネジ部（４３ａ，４３ａ′）の上流側ネジ山（４１ａ）の側面には、ネジ山の先端側が狭くなる上流側干渉防止部（４４ａ）が形成されている。前記下流側ネジ部（４３ｂ，４３ｂ′）の下流側ネジ山（４１ｂ）の側面には、前記上流側干渉防止部（４４ａ）とは異なる形状の下流側干渉防止部（４４ｂ）が形成されている。したがって、スクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）どうしの噛合い部分での干渉に応じた干渉防止部が形成されており、干渉を防止することができる。
【００１３】
（第２発明）
前記技術的課題を解決するために第２発明の真空ポンプ（１）は、
前記第１発明または第１発明の形態１のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）を備えたことを特徴とする。
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明の真空ポンプ（１）は、第１発明または第１発明の形態１のスクリューロータ（２６，２７，２６′，２７′）を備えているので、第１発明または第１発明の形態１と同様の作用を有する。
【発明の効果】
【００１４】
前述の本発明は、気体を圧縮可能なスクリューロータを低コストで提供することができる。
また、スクリューロータの排気効率を高めつつ、ロータ長を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
なお、以後の説明の理解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸方向、左右方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とする。
また、図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味するものとする。
【実施例１】
【００１６】
図１は実施例１のスクリュー型のドライ真空ポンプの全体説明図である。
図１において、本発明の真空ポンプとしての実施例１のスクリュー型ドライ真空ポンプ１は、ベース２を有する。前記ベース２は、上側ベース３と下側ベース４とを有し、上側ベース３および下側ベース４の内部には、ギア室６が設けられている。前記ベース２の右部には、ポンプ駆動用モータＭを支持するモータ支持部３ａが形成されており。モータ支持部３ａには、駆動軸Ｍ１が貫通するモータ軸貫通孔３ｂが形成されている。前記上側ベース３の左側上端部には、一対の上側ベアリング支持部３ｃが形成されている。前記上側ベース３の左側面には排気ダクト７が固定支持されており、排気ダクト７には上側ベース３内部に形成された排気路３ｄの下流端が接続されている。排気路３ｄの上流端には排気口３ｅが形成されている。
前記下側ベース４の左側上部には、下側ベアリング支持部４ａが設けられており、下側ベース４の底部にはベアリング潤滑用の潤滑剤が貯留されている。
【００１７】
前記上側ベース３の左側上面には、円筒状のケーシング１１が支持されており、ケーシング１１の上端はカバー１２により閉塞されている。前記カバー１２には、図示しない真空室に連通する吸気口１２ａが形成されている。したがって、上側ベース３の上端面、ケーシング１１およびカバー１２の内部には、上端に吸気口１２ａ、下端に排気口３ｅを有するポンプ室１３が設けられている。前記ケーシング１１の下端部および上側ベース３の上端部の外周側には、ポンプ室１３冷却用の冷却水が流れるドーナツ状の冷却水路１４が形成されている。
【００１８】
前記ベース２およびケーシング１１内部には、ポンプ室１３およびギア室６を貫通して左右一対のロータ軸（回転軸）２１，２２が配置されている。前記ロータ軸２１，２２は、ギア室６内の前記上側ベアリング支持部３ｃおよび下側ベアリング支持部４ａにベアリング２３，２４を介して回転可能に支持されている。前記ロータ軸２１，２２のポンプ室１３内には、互いに噛み合う左スクリューロータ２６および右スクリューロータ２７が支持されている。前記スクリューロータ２６，２７の下端部内部には、シール機構収容部２６ａ、２７ａ（後述する図２参照）が形成され、シール機構収容部２６ａ、２７ａの上部には、上方に貫通するテーパ状の軸貫通孔２６ｂ、２７ｂが形成されている。前記軸貫通孔２６ｂ、２７ｂには、ロータ軸２１，２２のテーパ状上端部が貫通している。前記ロータ軸２１，２２の上端にはネジ部が形成されており、ワッシャＷを介してネジ部に螺合するナットＮによりロータ軸２１，２２とスクリューロータ２６，２７とが一体的に回転可能に連結されている。
上側ベアリング２３の上部にはシール取付け用ハウジング２８が支持されている。前記シール機構収容部２６ａには、シール取付け用ハウジング２８に支持されたオイルシール２９ａやロータ軸２１，２２と共に回転するフリンガ２９ｂ、２９ｃを有し、気体や潤滑剤の漏れ、逆流等を防止するためのシール機構２９が配置されている。
【００１９】
前記ギア室６内のロータ軸２１、２２には、互いに噛み合って駆動力が伝達されるタイミングギア３１，３２が支持されている。なお、実施例１の真空ポンプでは、前記右側タイミングギア３２の下部には回転伝達ギア部３２ａが形成されており、右側タイミングギア３２は右側ロータ軸２２に図示しないキーとキー溝により一体的に回転可能に支持されている。また、左側タイミングギア３１は左側ロータ軸２１に継手（ジョイント）３３により連結されており、前記継手３３により、ギア３１，３２の噛合わせとスクリューロータ２６，２７の噛合わせを容易に行うことができる。
前記ポンプ駆動用モータＭの駆動軸Ｍ１には駆動ギア３６が固定支持されており、駆動ギア３６および前記回転伝達ギア部３２ａに噛み合う中間ギア３７を介して、タイミングギア３１，３２に回転が伝達される。なお、中間ギア３７を回転可能に支持するベアリング３８やその他のベアリング２３，２４には図示しない潤滑剤供給装置によって下側ベース４に貯留された潤滑剤が供給される。
【００２０】
（スクリューロータの説明）
図２は実施例１のスクリューロータの説明図であり、図２Ａは断面図、図２Ｂは側面図、図２Ｃは図２Ｂの矢印ＩＩＣ方向から見た図、図２Ｄは図２Ｂの矢印ＩＩＤ方向から見た図である。
図３は実施例１のスクリューロータの要部説明図であり、図３Ａは図２ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線断面図、図３Ｂは図２ＡのＩＩＩＢ部分の拡大説明図、図３Ｃは図２ＡのＩＩＩＣ部分の拡大説明図である。
図４は実施例１のスクリューロータの外側面の展開図である。
図２〜図４において、実施例１のスクリューロータ２６，２７の外周面には、ネジ山４１およびネジ溝４２からなる１条のネジ（スクリュー）４３が形成されている。前記ネジ４３は、気体移送方向上流側である上部の上流側ネジ部４３ａと、気体移送方向下流側である下部の下流側ネジ部４３ｂとを有する。
【００２１】
図３Ｂ、図４において、前記上流側ネジ部４３ａでは、隣接する上流側ネジ山４１ａどうしの間隔（ピッチｐ１、図３Ｂ参照）が等間隔に形成されており、上流側ネジ溝４２ａの幅が等幅に形成されている。
図３Ｃ、図４において、前記下流側ネジ部４３ｂでは、隣接する下流側ネジ山４２ａどうしの間隔（ピッチｐ２、図３Ｃ参照）が等間隔に形成されており、下流側ネジ溝４２ｂの幅が等幅に形成されている。また、下流側ネジ部４３ｂのピッチｐ２（図３Ｃ参照）は、上流側ネジ部４３ａのピッチｐ１よりも幅が狭く形成されている。
図４において、前記上流側ネジ部４３ａの下流端と、下流側ネジ部４３ｂの上流端とは、変曲点（屈曲点）４３ｃ、４３ｃにより連続的に連結されている。したがって、前記変曲点４３ｃ、４３ｃの近傍では、排気容積が連続的に滑らかに変化して、上流側ネジ部４３ａの排気容積から下流側ネジ部４３ｂの排気容積に連続的に変化している。
【００２２】
図２Ｃ，図２Ｄ、図３Ｂ、図３Ｃにおいて、ネジ山４１ａ、４２ａの先端部側面には、ロータ２６，２７が矩形歯（面取りされていない歯）の場合に発生する干渉を逃がすために切削（面取り）された干渉防止部４４ａ、４４ｂが形成されている。なお、図３Ｂ、図３Ｃに示すように、前記干渉防止部４４ａ、４４ｂは、上流側干渉防止部４４ａと下流側干渉防止部４４ｂの形状が異なっており、リードが大きな上流側で干渉が大きくなるのに対応して、上流側干渉防止部４４ａの方が下流側干渉防止部４４ｂに比べ、切削量が大きくなっている。
また、ネジ山４１ａ、４２ａの基端部側面には、干渉防止部４４ａ、４４ｂの切除に対応して、干渉防止部４４ａ、４４ｂとネジ山４１ａ、４２ａ側面との隙間を埋める隙間充填部４６ａ、４６ｂが形成されている。前記ロータ２６，２７噛合っている状態で干渉防止部４４ａ、４４ｂとネジ山４１ａ、４２ａ側面との間に隙間があると気体が漏れ、逆流してしまい、排気効率が低下してしまう。したがって、実施例１では、噛合った状態では隙間充填部４６ａ、４６ｂにより僅かな隙間を空けて噛合い、噛合が外れる際には干渉防止部４４ａ、４４ｂにより干渉が防止される。
【００２３】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１のスクリュー型の真空ポンプ１では、ポンプ駆動用モータＭ１駆動時に、ギア３１，３２，３６，３７により回転が伝達されて、ロータ軸２１，２２が回転し、スクリューロータ２６，２７が回転する。前記スクリューロータ２６、２７の回転に伴い、ネジ４３により気体が移送され、吸気口１２ａから吸気された気体が排気孔３ｅに排気される。
実施例１のスクリューロータ２６，２７は、上流側に大リード（大ピッチ）の上流側ネジ部４３ａが配置され、下流側に小リード（小ピッチ）の下流側ネジ部４３ｂが配置されているので、上流側ネジ部４３ａで移送された気体が下流側ネジ部４３ｂに移行する際に排気容積が小さくなるので圧縮される。そして、前記上流側ネジ部４３ａと下流側ネジ部４３ｂは、変曲点４３ｃで連続的に連結され、排気容積が連続的に変化すると共に、上流側ネジ部と下流側ネジ部が隙間を空けて分割されていないので、排気容積が不連続に変化する場合に比べ、効率よく排気できる。
【００２４】
また、上流側ネジ部４３ａと下流側ネジ部４３ｂが隙間を空けて分割されていないので、ロータ長を短くすることができる。したがって、図１に示すように、真空側（吸気口１２ａ側）に軸受（ベアリング）を設ける必要がない片側支持構造とすることができる。
さらに、実施例１のスクリューロータ２６，２７では、前記干渉防止部４４ａ、４４ｂが干渉の程度に対応して形成されており、噛合い状態から外れる際の干渉を防止することができる。また、隙間充填部４６ａ、４６ｂにより噛合い状態では隙間が埋められているので、気体の漏れが低減され、排気効率を高めることができる。
また、実施例１のスクリューロータ２６，２７では、スクリューロータ２６，２７を作製する際に、変曲点４３ｃより上部は、大リード用の切削工具で加工し、変曲点４３ｃより下部は小リード用の切削工具で加工して作製できる。したがって、連続的にピッチを変化させる場合に比べ、加工が容易になり、スクリューロータ２６，２７の作製が容易になる。また、干渉防止部４４ａ、４４ｂの加工も、形状が２種類なので、連続的に形状が変化する場合に比べ、容易に加工することができる。この結果、コストを低減できる。
【実施例２】
【００２５】
図５は実施例２のスクリュー型のドライ真空ポンプの全体説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。
図６は実施例１の図２に対応する実施例２のスクリューロータの説明図であり、図６Ａは断面図、図６Ｂは側面図、図６Ｃは図６Ｂの矢印ＶＩＣ方向から見た図、図６Ｄは図６Ｂの矢印ＶＩＤ方向から見た図、図６Ｅは図６ＡのＶＩＥ部分の拡大説明図である。
図７は実施例２のスクリューロータの外側面の展開図であり、実施例１の図４に対応する図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
【００２６】
図５〜図７において、実施例２のスクリュー型の真空ポンプ１では、実施例１のスクリューロータ２６，２７とは異なるスクリューロータ２６′，２７′を有している。
実施例２のスクリューロータ２６′，２７′では、上流側ネジ部４３ａの更に気体移送方向上流側（吸気口１２ａ側）には、ネジのリードに相当する長さが無限大の無限リード部６１が連続的に形成されている。前記無限リード部６１は、小円部６１ａと大円部６１ｂとを有し、前記大円部６１ｂには円弧状切除部６１ｃが形成されている。また、小円部６１ａと大円部６１ｂとの間には、気体圧縮部６１ｄが形成されている。前記無限リード部６１は、前記特許文献１に記載されているように（特許文献１のロータ延長部７，８参照）、従来公知であり、特許文献１の第３図に記載されているような排気原理で排気されるため、詳細な説明は省略する。なお、特許文献１記載の構成では、無限ロータ部６１の重心が片寄り、スクリューロータ２６′，２７′回転時にバランスが悪くなるので、実施例２の無限ロータ部６１では、前記切除部６１ｃによりスクリューロータ２６′，２７′のバランスを取っている。
【００２７】
図６、図７において、実施例２のスクリューロータ２６′，２７′では、上流側ネジ部４３ａ′の下流端と下流側ネジ部４３ｂ′の上流端は、変曲点４３ｃ、４３ｃで連続的に接続されており、上流側ネジ部４３ａ′の上流端と無限リード部６１の下流端（下端）は変曲点４３ｃ′、４３ｃ′で連続的に接続されている。
なお、実施例２のスクリューロータ２６′，２７′では、実施例１の場合と比較して、下流側ネジ部４３ｂ′の巻き数が多く（約７巻き）設定されている。
【００２８】
（実施例２の作用）
前記構成を備えた実施例２のスクリュー型の真空ポンプ１では、スクリューロータ２６′，２７′回転時に、気体は、無限リード部６１から上流側ネジ部４３ａ′に移送される際に圧縮され、上流側ネジ部４３ａ′から下流側ネジ部４３ｂ′に移送される際にも圧縮される。したがって、圧縮率を高めることができる。
また、実施例２のスクリューロータ２６′，２７′では、無限リード部６１と上流側ネジ部４３ａ′との間が隙間無く変曲点４３ｃ′で連続的に連結されると共に、上流側ネジ部４３ａ′と下流側ネジ部４３ｂ′との間も隙間無く変曲点４３ｃで連続的に連結されているので、スクリューロータ２６′，２７′の全長を短くすることができる。この結果、片持ち支持構造とし易くなる。さらに、連続的に連結されているので、排気容積の変化が連続的であり、排気効率を高めることができる。
【００２９】
さらに、実施例２のスクリューロータ２６′，２７′では、小リードの下流側ネジ部４３ｂ′の巻き数が多く設定されているので、移送される気体が仕切られる仕切数が増える。したがって、排気口３ｅ側から吸気口１２ａ側への気体の漏れを減少させることができる。
その他、実施例２の真空ポンプ１は、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００３０】
(変更例)
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例（Ｈ01）〜（Ｈ06）を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例において、上流側ネジ部４３ａ、４３ａ′の上流側または下流側ネジ部４３ｂ、４３ｂ′の下流側に、１つあるいは複数のネジ部を更に設けることも可能である。すなわち、ネジ部は２つに限定されず、３つ以上のネジ部を有するスクリューロータとすることも可能である。
（Ｈ02）前記実施例において、ネジ４３を１条のネジにより構成することが好適であるが、２条以上のネジとすることも可能である。
（Ｈ03）前記実施例において、ネジの巻き数やリードの長さｐ１，ｐ２，ｐ１′、ｐ２′、ロータの全長等の具体的数値は、設計に応じて任意に変更可能である。
【００３１】
（Ｈ04）前記実施例において、無限リード部６１に替えて、特許文献１記載のようにルーツロータを設けることも可能である。
（Ｈ05）前記実施例において、ネジ山が変曲点４３ｃ、４３ｃ′で屈曲して連続的に連結させたが、これに限定されず、例えば、屈曲部分の角を取り、変曲点の近傍で曲線的に滑らかに接続させることも可能である。
（Ｈ06）前記実施例において、モータ支持部３ａに支持されたポンプ駆動用モータＭからロータ軸２１，２２に駆動ギア３６や中間ギア３７を介して駆動力を伝達したが、この構成に限定されず、ロータ軸２１，２２のいずれか一方にモータロータを支持し、その周囲にモータステータを配置する、いわゆる、ビルドインモータを採用することもできる。前記ビルドインモータを採用した場合、コストを減少させることができ、小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は実施例１のスクリュー型のドライ真空ポンプの全体説明図である。
【図２】図２は実施例１のスクリューロータの説明図であり、図２Ａは断面図、図２Ｂは側面図、図２Ｃは図２Ｂの矢印ＩＩＣ方向から見た図、図２Ｄは図２Ｂの矢印ＩＩＤ方向から見た図である。
【図３】図３は実施例１のスクリューロータの要部説明図であり、図３Ａは図２ＢのＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ線断面図、図３Ｂは図２ＡのＩＩＩＢ部分の拡大説明図、図３Ｃは図２ＡのＩＩＩＣ部分の拡大説明図である。
【図４】図４は実施例１のスクリューロータの外側面の展開図である。
【図５】図５は実施例２のスクリュー型のドライ真空ポンプの全体説明図であり、実施例１の図１に対応する図である。
【図６】図６は実施例１の図２に対応する実施例２のスクリューロータの説明図であり、図６Ａは断面図、図６Ｂは側面図、図６Ｃは図６Ｂの矢印ＶＩＣ方向から見た図、図６Ｄは図６Ｂの矢印ＶＩＤ方向から見た図、図６Ｅは図６ＡのＶＩＥ部分の拡大説明図である。
【図７】図７は実施例２のスクリューロータの外側面の展開図であり、実施例１の図４に対応する図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…真空ポンプ、
２１，２２…回転軸、
２６，２７，２６′，２７′…スクリューロータ、
４１ａ…上流側ネジ山、
４１ｂ…下流側ネジ山、
４３…ネジ、
４３ａ，４３ａ′…上流側ネジ部、
４３ｂ，４３ｂ′…下流側ネジ部、
４３ｃ…変曲点、
４４ａ…上流側干渉防止部、
４４ｂ…下流側干渉防止部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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