(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多相コイルで構成される複数の固定子と、前記複数の固定子の内少なくとも１つ以上の
固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、前記可動子の位置に応じて通電する
固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、
速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段
と、前記電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電
圧指令を生成する電流制御部と、前記速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部
と、前記電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される
電流制御装置と、前記電流制御装置は１つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも２つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、
前記速度指令と前記電流指令と前記電圧指令とモータ定数を用いて前記可動子を駆動し
ている固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部と、
前記固定子のコイル数判別部の結果と前記推定位置を用いて前記可動子を駆動する電流値を調整する電流調整部とを備えたことを特徴とするリニアモータ制御装置。
【請求項２】
多相コイルで構成される複数の固定子と、前記複数の固定子の内少なくとも１つ以上の
固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、前記可動子の位置に応じて通電する
固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、
速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段
と、前記電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電
圧指令を生成する電流制御部と、前記速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部
と、前記電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される
電流制御装置と、前記電流制御装置は１つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも２つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、
固定子のコイル数判別部で前記速度指令と前記電流指令と前記電圧指令とモータ定数を用いて前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するステップと、
前記固定子のコイル数判別部の固定子のコイル数判別結果と前記推定位置に応じて前記電流調整部で電流指令の大きさを調整するステップとを有することを特徴とするリニアモータ制御方法。
【請求項３】
前記固定子のコイル数判別部は、前記電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴とする請求項１記載のリニアモータ制御装置。
【請求項４】
前記固定子のコイル数判別部は、前記電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴とする請求項２記載のリニアモータ制御方法。
【請求項５】
前記固定子のコイル数判別部は、前記速度指令の代わりに速度センサによる速度フィー
ドバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別することを特徴
とする請求項１記載のリニアモータ制御装置。
【請求項６】
前記固定子のコイル数判別部において、前記速度指令の代わりに速度センサによる速度
フィードバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別すること
を特徴とする請求項２記載のリニアモータ制御方法。
【請求項７】
前記固定子のコイル数判別部は、
Ｎ２＝｛（Ｒ・Ｉ）２＋（ωＬ・Ｉ）２｝／｛Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２｝
ただし、Ｎは可動子を駆動しているコイル数、Ｉは電流指令、Ｒ・Ｉは抵抗による電圧
降下、ωＬ・Ｉはインダクタンスによる電圧降下、Ｖ１は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ制
御装置。
【請求項８】
前記固定子のコイル数判別部は、
Ｎ２＝｛（Ｒ・Ｉ）２＋（ωＬ・Ｉ）２｝／｛Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２｝
ただし、Ｎは可動子を駆動しているコイル数、Ｉは電流指令、Ｒ・Ｉは抵抗に
よる電圧降下、ωＬ・Ｉはインダクタンスによる電圧降下、Ｖ１は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めることを特徴とする請求項２記載のリニアモータ制御方法。
【請求項９】
前記電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させることを特徴とする
請求項１記載のリニアモータ制御装置。
【請求項１０】
前記電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させることを特徴とする
請求項２記載のリニアモータ制御方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電流制御装置を用いて複数のリニアモータを駆動するリニアモータ制御装置とリニアモータ制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアモータの電流制御装置では、複数個のコイルを有しテーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する手段と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路を備えた位置決めテーブル装置において、予め定められた通電パターンに基づいてコイルを順次切り替えながらテーブルを移動させる際、コイルを駆動するサーボ回路への電流指令を緩やかに変化させ、切り替え前後の各コイルの合成電流が実質的に一定になるようにし、各コイルの電流指令値とコイル選択信号とを乗算する手段を設け、コイル切り替え直後に電流ループが飽和しないようにコイル選択信号を遅延している（例えば、特許文献１参照）。
図５において、１０４は４相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイルであり、リニアモータコイル１０４はコイル支持部材１０３に支持されており、リニアモータコイル１０４を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド１０２が設けられている。ガイド１０２には上下一対のテーブル天板１０１が案内部１１１を介してリニアモータ１０４を挟持するように取り付けられており、上下一対のテーブル天板１０１はガイド１０２によって前記コイルの並ぶ方向に摺動自在に案内される。案内部１１１としては、位置決め精度やメンテナンス性を考慮し、転がり、摺動、静止案内などが用いられる。上下一対のテーブル天板１０１の各々には可動磁石１０５が取り付けられ、可動磁石１０５は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして４つ並べて構成されている。そして各可動磁石１０５はリニアモータコイル１０４を介して互いに異なる極性どうし向き合うようにしてテーブル天板１０１に取り付けられている。
また、ガイド１０２の側方にはテーブル天板１０１の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器１０６が設けられている。位置検出器１０６にはテーブルの位置信号を得るカウンタユニット１０７が接続され、カウンタユニット１０７には各コイル相を切り替えるための相切り替えコントローラ１０９が接続されている。相切り替えコントローラ１０９は、カウンタユニット１０７からのテーブルの位置信号に応じて通電すべきコイルを切り替えるための各コイルごとのコイル選択信号（オン・オフ信号）を出力するものである。各コイルごとのコイル選択信号は各コイルごとに設けられた各乗算器１１３の一方の入力端に入力される。乗算器１１３にはコイル相が電流アンプ１１０を介して接続されており、相切り替えコントローラ１０９からのコイル選択信号（オン・オフ信号）により乗算器１１３の出力がオン・オフされて各コイル相への通電が切り替えられる。また、カウンタユニット１０７にはテーブルの目標位置とカウンタユニット１０７から得られる現在位置との差分を演算し、各電流アンプ１１０へ指令値として出力するサーボコントローラ１０８が接続されている。
そして、相切り替えコントローラ１０９の、各コイルをオン・オフするデジタル出力のコイル選択信号出力端子には、フィルタ回路１１２が接続されている。このフィルタ回路１１２によりフィルタ処理（遅延処理）を施したコイル選択信号とサーボコントローラ１０８からの各コイルの電流指令値とは、乗算器１１３により乗算され、電流アンプ１１０への電流指令信号となる。図５の装置において、このフィルタ回路１１２により、上記電流指令値信号、すなわち各コイルの相切り替え時のスイッチング特性を制御できるようになる。
このように、従来のリニアモータの電流制御装置では、複数個のコイルを有しテーブルを駆動する多相型のモータと、各コイルへの通電電流値を指令する指令手段と、テーブルの位置に応じて通電すべきコイルを選択する手段と、選択されたコイルへの通電電流を指令された電流値に一致させるべく制御するサーボ回路を備えた位置決めテーブル装置において、予め定められた通電パターンに基づいてコイルを順次切り替えながらテーブルを移動させる際、コイルを駆動するサーボ回路への電流指令を緩やかに変化させ、切り替え前後の各コイルの合成電流が実質的に一定になるようにし、各コイルの電流指令値とコイル選択信号とを乗算する手段を設け、コイル切り替え直後に電流ループが飽和しないようにコイル選択信号を遅延する、という手順がとられていた。
【特許文献１】特開平７−１３４６１８号公報（第３−４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、従来技術では、相切り替えコントローラを駆動するために可動子の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器が必要となり、高価な上に信頼性が低下してしまうという問題があった。本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、リニアスケールを用いなくとも、複数のリニアモータ切替制御ができ、かつ速度リプルの小さいリニアモータ制御装置とその制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１記載の本発明は、多相コイルで構成される複数の固定子と、複数の固定子の内少なくとも１つ以上の固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、可動子の位置に応じて通電する固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御装置であって、速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段により検出された電流検出値と前記電流指令とが一致するように電圧指令を生成する電流制御部と、速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部と、電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される電流制御装置と、前記電流制御装置は１つの固定子に接続され、前記電流制御装置を少なくとも２つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、速度指令と電流指令と電圧指令とモータ定数を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部と、固定子のコイル数判別部の結果と前記推定位置を用いて前記可動子を駆動する電流値を調整する電流調整部とを備えるようにしたものである。
請求項２記載の本発明は、多相コイルで構成される複数の固定子と、複数の固定子の内少なくとも１つ以上の固定子を跨ぐ多極の永久磁石で構成される可動子と、可動子の位置に応じて通電する固定子を選択する手段を備えるリニアモータの制御方法であって、速度指令を用いて電流指令を生成する電流指令生成部と、電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段により検出された電流検出値と電流指令とが一致するように電圧指令を生成する電流制御部と、速度指令を積分して推定位置を生成する位置生成部と、電圧指令と前記推定位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部とから構成される電流制御装置と、電流制御装置は１つの固定子に接続され、電流制御装置を少なくとも２つ以上備えたリニアモータ駆動システムにおいて、固定子のコイル数判別部で可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するステップと、固定子のコイル数判別部の固定子のコイル数判別結果と推定位置に応じて電流調整部で電流指令の大きさを調整するステップとを有するようにしたものである。
請求項３記載の本発明は、請求項１記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項４記載の本発明は、請求項２記載のリニアモータ制御方法において、固定子のコイル数判別部は、電流指令の代わりに電流センサ信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項５記載の本発明は、請求項１記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、速度指令の代わりに速度センサによる速度フィードバック信号を用い、可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項６記載の本発明は、請求項２記載のリニアモータ制御方法において、固定子のコイル数判別部は、速度指令の代わりに速度センサによる速度フィードバック信号を用い、前記可動子を駆動している固定子のコイル数を判別するようにしたものである。
請求項７記載の本発明は、請求項１記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、
Ｎ２＝｛（Ｒ・Ｉ）２＋（ωＬ・Ｉ）２｝／｛Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２｝
ただし、Ｎは可動子を駆動しているコイル数、Ｉは電流指令、Ｒ・Ｉは抵抗による電圧降下、ωＬ・Ｉはインダクタンスによる電圧降下、Ｖ１は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めるようにしたものである。
請求項８記載の本発明は、請求項２記載のリニアモータ制御装置において、固定子のコイル数判別部は、
Ｎ２＝｛（Ｒ・Ｉ）２＋（ωＬ・Ｉ）２｝／｛Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２｝
ただし、Ｎは可動子を駆動しているコイル数、Ｉは電流指令、Ｒ・Ｉは抵抗による電圧降下、ωＬ・Ｉはインダクタンスによる電圧降下、Ｖ１は電圧指令、φωは誘起電圧
を用いて固定子のコイル数を求めるようにしたものである。
請求項９記載の本発明は、請求項１記載のリニアモータ制御装置において、電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させるようにしたものである。
請求項１０記載の本発明は、請求項２記載のリニアモータ制御方法において、電流調整部は電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によると、相切り替えコントローラを駆動するために可動子の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出器をなくすことができるので、その分低コストで信頼性を高めることができる。さらにリニアスケールを用いなくとも、複数のリニアモータ切替制御ができ、かつ速度リプルの小さいリニアモータ制御装置とその制御方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の方法の具体的実施例について、図に基づいて説明する。
【実施例１】
【０００７】
図１は、本発明の方法を実施するリニアモータ電流制御装置の構成を示すブロック図で
ある。図において、１は固定子のコイル数判別部３の結果に応じてリニアモータに流す電流を調整する電流調整部、２は速度指令４より電流指令を生成する電流指令生成部、３は速度指令４と第１推力電流指令（ＩｑｒｅｆＡ）と第１励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＡ）と電圧指令とモータ定数を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する固定子のコイル数判別部、４は速度指令、５は電流指令と電流検出手段１８で検出された電流が一致するように電圧指令を生成する電流制御部、６は電流指令生成部２で生成された第１推力電流指令（ＩｑｒｅｆＡ）、７は電流指令生成部２で生成された第１励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＡ）、８は速度指令４を積分して位置を生成する位置生成部、９は電流制御部５で生成された推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）と励磁電圧指令と位置生成部８で生成された位置を用いて二相三相変換を行う二相三相変換部、１０はデッドタイム補償を行うデッドタイム補償部、１１はデッドタイム補償部１０の出力する電圧指令どおりにリニアモータに電圧を与えるＰＷＭ制御部、１２は複数の固定子と複数の固定子を跨ぐ可動子で構成されるリニアモータ、１３は電流調整部１で調整された第２推力電流指令（ＩｑｒｅｆＢ）、１４は電流調整部１で調整された第２励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＢ）、１５は電流制御部５で生成された推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）、１６は電流制御部５で生成された励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）、１７は二相三相変換部９、デッドタイム補償部１０、ＰＷＭ制御部１１などで構成され、電流制御部５から出力された電圧指令と位置生成部８で生成された位置とを用いて電圧を出力する電圧出力部であり、１８は電流検出手段である。
図２は、本発明の方法を適用するリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成
図である。図において、１９は電流制御装置、２０はリニアモータ１２を構成する可動子
であり、複数の固定子２１を跨ぐものであり、２１はリニアモータ１２を構成する多相コイルで構成される固定子であり、リニアモータ１２は複数の固定子２１で構成されている。
図４は、本発明の電流振幅パターンである。図において、３１はリニアモータ１２が駆
動している場合、可動子が通過する固定子２１を駆動している電流制御装置１９の電流振
幅パターンであり、３２はリニアモータ１２が駆動している場合、可動子が進入する固定
子２１を駆動している電流制御装置１９の電流振幅パターンであり、３３は前記２台の電
流制御装置の合計の電流振幅パターンであり、個々の電流振幅をランプ状に変化させるこ
とで、合計の推力は変化なく滑らかに固定子励磁を切替えることができる。
複数の多相コイルで構成される固定子２１と複数の多相コイルで構成される固定子２１を跨ぐ可動子２０で構成されるリニアモータ１２を複数の電流制御装置１９で速度指令４に従って駆動する場合、固定子のコイル数判別部３で式（１）を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する。式（１）において、Ｎは可動子を駆動している固定子のコイル数、ωは速度指令４、Ｉは第１推力電流指令（ＩｑｒｅｆＡ）６および第１励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＡ）７を用いて式（３）で演算される電流指令、Ｖ１は推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５、励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６を用いて式（２）で演算される電圧指令である。固定子のコイル数判別部３の固定子のコイル数判別結果と位置生成部８で生成した推定位置に基づいて電流調整部１で電流指令の大きさを調整する処理をし、第２推力電流指令（ＩｑｒｅｆＢ）１３および第２励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＢ）１４を生成し、電流制御部５で電流検出手段１８で検出された電流と第２推力電流指令（ＩｑｒｅｆＢ）および第２励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＢ）が一致するように推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５および励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６を生成し、二相三相変換部９で、推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５、励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６および位置生成部８で生成された位置を用いて二相三相を行い、二相三相変換部９の出力電圧指令をデッドタイム補償部１０でデッドタイム補償を行い、デッドタイム補償部１０の出力電圧指令をＰＷＭ制御部１１でＰＷＭ制御することでリニアモータ１２を駆動する。電流調整部１で生成される電流パターンは駆動する可動子が複数の固定子を跨いでいる時、電流振幅パターン３１および電流振幅パターン３２のように推定位置に応じてランプ状に変化させることで、２台の電流制御装置１９の合計の電流振幅パターン３３でリニアモータ１２を駆動し、可動子が複数の固定子を跨いでいる場合の推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
【０００８】
Ｎ２＝｛（Ｒ・Ｉ）２＋（ωＬ・Ｉ）２｝／｛Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２｝
・・・（１）
Ｖ１＝√（Ｖｄｒｅｆ２＋Ｖｑｒｅｆ２）                            ・・・（２）
Ｉ＝√（ＩｑｒｅｆＡ２＋ＩｄｒｅｆＡ２）                          ・・・（３）
【０００９】
図３は、本発明の処理手順を示すフローチャートである。この図を用いて本発明の方法を順を追って説明する。
はじめにステップ２２で推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５と励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６を用いて式（２）より演算されるＶ１を取り込み、
【００１０】
ステップ２３でＶ１およびＶ１２を算出し、ステップ２４で誘起電圧φωおよび誘起電
圧の二乗（φω）２を算出し、ステップ２５で、式（１）の分母であるＶ１２−２・Ｖ１
・φω＋（φω）２を演算し、ステップ２６で抵抗分の電圧ＲＩおよび抵抗分の電圧の二
乗（ＲＩ）２を算出し、ステップ２７でリアクタンス分の電圧ωＬＩおよびリアクタンス
分の電圧の二乗（ωＬＩ）２を算出し、ステップ２８で式（１）を用いてＮ２を算出し、
ステップ２９でステップ２８の結果より固定子のコイル数判別基準を用いて固定子のコイル数判別処理し、ステップ３０でステップ２９の固定子のコイル数判別結果を用いて、電流振幅パターン３１および電流振幅パターン３２を生成する電流調整を行うことで、可動子が複数の固定子を跨いでいる時の２台の電流制御装置１９の合計の電流振幅パターン３３でリニアモータ１２を駆動し、可動子が複数の固定子を跨いでいる場合の電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させて、推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
【実施例２】
【００１１】
図３の処理手順を示すフローチャートの固定子のコイル数の二乗を求めるステップ２８の式（１）において、ωは速度発電機やＦＧ（周波数発電機）などリニアスケールと比較するとより簡易な速度フィードバック信号を用い、Ｉは電流指令生成部２で生成された第１推力電流指令（ＩｑｒｅｆＡ）６および第１励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＡ）７を用い、Ｖ１は推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５、励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６を用いて式（２）で演算される電圧指令を用いて固定子のコイル数判別し、電流調整部１で電流調整を行うことで、可動子２０が複数の固定子２１を跨いでいるときの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ、推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
【実施例３】
【００１２】
図３の本発明の本発明の方法の処理手順を示すフローチャートの固定子のコイル数の二乗を求めるステップ２８の式（１）において、ωは速度指令４を用い、Ｉは電流センサ信号を用いて検出した推力電流および励磁電流を用い、Ｖ１は推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）１５、励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）１６を用いて式（２）で演算される電圧指令を用いて固定子のコイル数判別し、電流調整部１で電流調整を行うことで、可動子２０が複数の固定子２１を跨いでいるときの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ推力リプル、速度リプルを小さくすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
リニアスケールなどの位置検出器が無くとも、リニアモータの可動子が跨っている固定子及び固定子のコイル数を判別すると同時に速度指令から得られる推定位置により複数のリニアモータの電流振幅を推定位置に応じてランプ状に変化させ推力リプル、速度リプルを小さくする。この技術はリニアモータを使用する搬送装置や移動装置だけでなく工作機械や産業機械にも適用が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の方法を適応するリニアモータ電流制御装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の方法を適用するリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成図。
【図３】本発明の方法の処理手順を示すフローチャート。
【図４】本発明の電流振幅パターン。
【図５】従来の方法を適用したリニアモータ電流制御装置の構成を示すシステム構成図。
【符号の説明】
【００１５】
１  電流調整部
２  電流指令生成部
３  固定子のコイル数判別部
４  速度指令
５  電流制御部
６  第１推力電流指令（ＩｑｒｅｆＡ）
７  第１励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＡ）
８  位置生成部
９  二相三相変換部
１０  デッドタイム補償部
１１  ＰＷＭ制御部
１２  リニアモータ
１３  第２推力電流指令（ＩｑｒｅｆＢ）
１４  第２励磁電流指令（ＩｄｒｅｆＢ）
１５  推力電圧指令（Ｖｑｒｅｆ）
１６  励磁電圧指令（Ｖｄｒｅｆ）
１７  電圧出力部
１８  電流検出手段
１９  電流制御装置
２０  可動子
２１  固定子
２２  Ｖ１を取り込むステップ
２３  Ｖ１およびＶ１２を算出するステップ
２４  φωおよび（φω）２を算出するステップ
２５  Ｖ１２−２・Ｖ１・φω＋（φω）２を演算するステップ
２６  ＲＩおよび（ＲＩ）２を算出するステップ
２７  ωＬＩおよび（ωＬＩ）２を算出するステップ
２８  固定子のコイル数２を算出するステップ
２９  固定子のコイル数判別処理ステップ
３０  電流調整ステップ
３１  電流パターン
３２  電流パターン
３３  電流パターン
１０１  テーブル天板
１０２  ガイド
１０３  コイル支持部材
１０４  リニアモータコイル
１０５  可動磁石
１０６  位置検出器
１０７  カウンタユニット
１０８  サーボコントローラ
１０９  相切り替えコントローラ
１１０  電流アンプ
１１１  案内部
１１２  フィルタ回路
１１３  乗算器
【図２】
0004626744.tif 000002
【図４】
0004626744.tif 000003
【図５】
0004626744.tif 000004
【図１】
0004626744.tif 000005
【図３】
0004626744.tif 000006