(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアの一面の全面にソルダレジスト層を積層するステップと、
前記ソルダレジスト層の全面に第１電極パッドを含む第１回路パターンを形成するステップと、
前記第１電極パッドの表面に伝導性ポストを形成するステップと、
絶縁層が積層された内層基板の前記絶縁層に、前記伝導性ポストが前記絶縁層に向かうように前記キャリアを積層して加圧するステップと、
前記キャリアを除去するステップとを含み、
前記第１回路パターンを形成するステップが、
前記ソルダレジスト層の全面に無電解メッキを行ってシード層を形成するステップと、
前記シード層に第１フォトレジストを積層するステップと、
前記第１回路パターンが形成される位置に対応して前記第１フォトレジストの一部を選択的に除去するステップと、
前記シード層を電極として用いて電解メッキを行うステップとを含み、
前記伝導性ポストを形成するステップが、
前記第１回路パターンの全面及び前記第１フォトレジストの全面をカバーするように第２フォトレジストを積層するステップと、
前記伝導性ポストが形成される位置に対応して前記第２フォトレジストの一部を選択的に除去するステップと、
前記シード層を電極として用いて電解メッキを行うステップと、
を含む印刷回路基板の製造方法。
【請求項２】
前記キャリアを除去するステップの後に、
前記第１電極パッドが露出するように前記ソルダレジスト層を穿孔するステップと、
前記第１電極パッドに表面処理するステップと、
をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項３】
前記表面処理するステップの後に、
前記第１電極パッドにソルダバンプを形成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項４】
前記電解メッキを行うステップの後に、
前記第１フォトレジスト、第２フォトレジスト及び前記シード層を除去するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１から請求項３までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項５】
前記ソルダレジスト層と前記絶縁層及び前記内層基板のすべては、液晶ポリマーを含むことを特徴とする請求項１から請求項４までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項６】
前記積層して加圧するステップの前記内層基板は、
液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸してプリプレグを形成するステップと、
前記プリプレグの表面に金属層を形成するステップと、
前記金属層を選択的にエッチングして第２電極パッドを含む第２回路パターンを形成するステップと、
前記プリプレグに前記絶縁層を積層するステップと、
を経て形成されることを特徴とする請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁層が、
液晶ポリマー樹脂または液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸して形成されるプリプレグを含むことを特徴とする請求項６に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項８】
前記伝導性ポストと前記第２電極パッドが、互いに接合されることを特徴とする請求項１から請求項７までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項９】
前記伝導性ポストと前記第２電極パッドが、伝導性ペーストまたは伝導性接着剤で接合されることを特徴とする請求項８に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項１０】
前記キャリアが、金属板であり、
前記キャリアを除去するステップが、
前記金属板をエッチングすることにより行われることを特徴とする請求項１から請求項９までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項１１】
前記金属板が、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ステンレス鋼、及びこれらの合金からなる群より選ばれる何れか一つ以上を含むことを特徴とする請求項１０に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項１２】
前記内層基板が、
回路パターンが形成された絶縁体が多層で積層された多層印刷回路基板であることを特徴とする請求項１から請求項１１までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【請求項１３】
前記ソルダレジスト層を積層するステップが、
二つのキャリアの一面に各々ソルダレジスト層を積層するステップを含み、
前記第１回路パターンを形成するステップが、
前記ソルダレジスト層の各々に第１電極パッドを含む第１回路パターンを形成するステップを含み、
前記伝導性ポストを形成するステップが、
前記第１電極パッドの各々に伝導性ポストを形成するステップを含み、
前記積層して加圧するステップが、
両面に絶縁層が積層された前記内層基板の前記絶縁層の各々に、前記伝導性ポストが形成された前記二つのキャリアの一面が互いに対向するように積層して加圧するステップを含むことを特徴とする請求項１から請求項１２までの何れか１項に記載の印刷回路基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷回路基板及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子産業の発達につれて電子部品の高性能化、高機能化、小型化が要求されており、これに伴い、ＳＩＰ（Ｓｙｓｔｅｍ  ｉｎ  ｐａｃｋａｇｅ）、３Ｄパッケージなどの高密度の表面実装部品用基板が注目されてきている。このように基板の高密度化及び薄板化の要求に対応するために、回路パターンの層間の高密度接続が重要である。
【０００３】
多層印刷回路基板の層間の電気的接続のためには、メッキによる技術、金属ペーストを印刷してビアホールの内部を伝導体で充填する技術、三角円錐型のペーストを作って層間接続する、いわゆる「Ｂ２ｉｔ（Ｂｕｒｉｅｄ  ｂｕｍｐ  ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ  ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）：大日本印刷（株）社の登録商標」技術などが用いられている。
【０００４】
一方、印刷回路基板に要求される事項は、電子産業市場における高速化、高密度化と密接な関連があり、これらの事項を満足させるためには、印刷回路基板の微細回路化、優れた電気的特性、高信頼性、高速信号の伝達構造、高機能化など、多くの問題点を解決しなければならない。
【０００５】
最近、電子製品は、多機能化、高速化の傾向が急速に進行しつつある。このような傾向に対応するために、半導体チップ（ｃｈｉｐ）は、より速い速度で発展を重ねており、これにより半導体チップとメインボード（Ｍａｉｎ  Ｂｏａｒｄ）とを接続させる半導体チップ実装基板も非常に急速に発展している。
【０００６】
図１〜図６は、従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の各工程毎に断面図で示された工程図である。図１〜図６を参照すると、絶縁層１０２の両面に銅層が形成された銅箔積層板に貫通ホルを加工した後、電解メッキを行ってビア１０６を形成し、ビア１０６の内壁に絶縁性樹脂１０３を充填する。そして、層間電気的接続のためのビア１０６が形成されたら、絶縁層の表面に回路パターン１０４を形成して内層基板を製造する（図１参照）。
【０００７】
このような内層基板の両面に絶縁性材質のビルドアップ層１０８を積層し（図２参照）、ブラインドビアホール１０９（図３参照）をメッキで充填してブラインドビア１１０を形成する。また、最外層に回路パターン１１２を形成し、ビルドアップ（ｂｕｉｌｄ−ｕｐ）する（図４参照）。このようなビルドアップ層１０８を内層基板に多層で積層し、最外側のビルドアップ層１０８に回路を保護するためのソルダレジスト１１４を塗布（図５参照）して、図６に示すような高密度の多層印刷回路基板を製造する。
【０００８】
しかし、基板の高密度化及び薄板化の要求に対応するためには層間の高密度接続が必要であるが、従来技術によりビアを形成する場合、層間の高密度接続の向上には限界がある。
【０００９】
また、従来技術に係る印刷回路基板の製造方法は、絶縁層の熱膨張係数が大きくて、製造過程中に発生する熱により基板のスケールが変わるようになり、このため、各層間のレジストレーション（ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ）が合わなく、電気信号伝達に問題が発生するおそれがある。
【００１０】
また、ソルダレジストが絶縁層に比べて熱膨張係数が非常に大きいため、半導体チップの実装の際に、ソルダバンプとの熱膨張の差から割れ（ｃｒａｃｋ）が発生するおそれがある。
【００１１】
また、印刷回路基板の高密度化のためには基板表面に大きい平坦度が要求され、このような基板表面の平坦度はソルダレジストにより左右されるが、従来技術により液状タイプのソルダレジストを塗布する場合、基板表面の平坦度の対応には限界がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
こうした従来技術の問題点に鑑み、本発明は、多層印刷回路基板において、回路パターン間の層間接続を高密度化することにより、回路設計の自由度を高め、回路の高密度化及び薄板化を得ることができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することにその目的がある。
【００１３】
また、本発明は、絶縁層及びソルダレジスト層に低い熱膨張係数を有する絶縁材質を用いて、印刷回路基板全体の熱膨張係数を低下させることができる印刷回路基板及びその製造方法を提供することにその目的がある。
【００１４】
また、キャリアを用いてソルダレジスト層を基板表面に形成するので、基板表面の平坦度が高い印刷回路基板及びその製造方法を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一実施形態によれば、キャリアの一面にソルダレジスト層を積層するステップと、ソルダレジスト層に第１電極パッドを含む第１回路パターンを形成するステップと、第１電極パッドに伝導性ポスト（ｐｏｓｔ）を形成するステップと、絶縁層が積層された内層基板の絶縁層に、伝導性ポストが絶縁層に向かうようにキャリアを積層して加圧するステップと、キャリアを除去するステップと、を含む印刷回路基板の製造方法が提供される。
【００１６】
キャリアを除去するステップの後に、第１電極パッドが露出するようにソルダレジスト層を穿孔するステップと、第１電極パッドに表面処理するステップとをさらに含むことができる。
【００１７】
表面処理するステップの後に、第１電極パッドにソルダバンプを形成するステップをさらに含むことができる。
【００１８】
第１回路パターンを形成するステップは、ソルダレジスト層に無電解メッキを行ってシード層を形成するステップと、シード層に第１フォトレジストを積層するステップと、第１回路パターンが形成される位置に対応して第１フォトレジストの一部を選択的に除去するステップと、シード層を電極として用いて電解メッキを行うステップと、を含むことができる。ここで、伝導性ポストを形成するステップは、第１回路パターン及び第１フォトレジストをカバーするように第２フォトレジストを積層するステップと、伝導性ポストが形成される位置に対応して第２フォトレジストの一部を選択的に除去するステップと、シード層を電極で電解メッキを行うステップと、を含むことができる。
【００１９】
電解メッキを行うステップの後に、第１フォトレジスト、第２フォトレジスト、及びシード層を除去するステップをさらに含むことができる。
【００２０】
ソルダレジスト層は液晶ポリマー（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｐｏｌｙｍｅｒ）を含むことができる。
【００２１】
積層して加圧するステップの内層基板は、液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸してプリプレグ（ｐｒｅｐｒｅｇ）を形成するステップと、プリプレグの表面に金属層を形成するステップと、金属層を選択的にエッチングして第２電極パッドを含む第２回路パターンを形成するステップと、プレプレに絶縁層を積層するステップと、を経て形成されることができる。ここで、絶縁層は、液晶ポリマー樹脂または液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸して形成されるプリプレグを含むことができる。
【００２２】
伝導性ポストと第２電極パッドとは、互いに接合されることができ、伝導性ポストと第２電極パッドとは、伝導性ペーストまたは伝導性接着剤で接合されることができる。
【００２３】
キャリアは、金属板であってもよく、この場合、キャリアを除去するステップは、金属板をエッチングすることから行われることができる。
【００２４】
金属板は、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ステンレス鋼、及びこれらの合金からなる群より選ばれる何れか一つ以上を含むことができる。
【００２５】
内層基板は、回路パターンが形成された絶縁体が多層で積層された多層印刷回路基板であることができる。
【００２６】
ソルダレジスト層を積層するステップは、二つのキャリアの一面に各々ソルダレジスト層を積層するステップを含み、第１回路パターンを形成するステップは、ソルダレジスト層の各々に第１電極パッドを含む第１回路パターンを形成するステップを含み、伝導性ポストを形成するステップは、第１電極パッドの各々に伝導性ポストを形成するステップを含み、積層して加圧するステップは、両面に絶縁層が積層された内層基板の絶縁層の各々に、伝導性ポストが形成された二つのキャリアの一面が互いに対向するように積層して加圧するステップを含むことができる。
【００２７】
また、本発明の他の実施形態によれば、絶縁層と、一部が絶縁層の表面に露出するように絶縁層に埋め込まれる第１電極パッドを含む第１回路パターンと、絶縁層が積層され、第２電極パッドを含む第２回路パターンが形成される内層基板と、一端部が第１電極パッドに接続され、他端部が第２電極パッドに接続されるように絶縁体に埋め込まれる伝導性ポストと、絶縁層に積層されるソルダレジスト層と、を含む印刷回路基板が提供される。
【００２８】
一方、ソルダレジスト層に形成され、第１電極パッドをオープンさせる開口部と、第１電極パッドに形成される表面処理部とをさらに含むことができる。また、表面処理部に形成されるソルダバンプをさらに含むことができる。
【００２９】
ソルダレジスト層は、液晶ポリマーを含むことができる。また、前記絶縁層は、液晶ポリマー樹脂または液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸して形成されるプリプレグを含むことができる。
【００３０】
内層基板は、液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸して形成されることができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明は伝導性のポストを用いて層間の接続を具現するため、ビアホールの穿孔のためのドリリング工程が省略され、回路設計の自由度が高まり、回路の高密度化が可能になる。
【００３２】
また、回路パターンを絶縁層に埋め込んで形成するため、基板の厚さを薄くすることができ、回路パターンと絶縁層との接触面積が増加して接着力に優れている。
【００３３】
また、絶縁層及びソルダレジスト層に低い熱膨張係数を有する絶縁材質を用いるため、印刷回路基板全体の熱膨張係数を低めることができる。
【００３４】
また、キャリアにソルダレジスト層を予め形成しておき、キャリアを用いてソルダレジスト層を基板に転写することにより、基板に形成されるソルダレジスト層の平坦度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明は多様な変換を加えることができ、様々な実施例を有することができるため、特定実施例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に限定しようとするものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれるあらゆる変換、均等物及び代替物を含むものとして理解されるべきである。本発明を説明するに当たって、係る公知技術に対する具体的な説明が本発明の要旨をかえって不明にすると判断される場合、その詳細な説明を省略する。
【００３６】
「第１」、「第２」などの用語は、多様な構成要素を説明するのに用いることに過ぎなく、前記構成要素が前記用語により限定されるものではない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的だけに用いられる。
【００３７】
本願で用いた用語は、ただ特定の実施例を説明するために用いたものであって、本発明を限定するものではない。単数の表現は、文の中で明らかに表現しない限り、複数の表現を含む。本願において、「含む」または「有する」などの用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在を指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品、またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除するものではないと理解しなければならない。
【００３８】
以下、本発明に係る印刷回路基板及びその製造方法の実施例を添付図面を参照して詳細に説明し、添付図面を参照して説明することに当たって、同一かつ対応する構成要素は、同一の図面符号を付し、これに対する重複説明は省略する。
【００３９】
図７は、本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示すフローチャートであり、図８〜図２２は、本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法の各工程を説明するために工程別断面図で表した工程図である。図８〜図２２を参照すると、キャリア１２、ソルダレジスト層１４、シード層１５、第１回路パターンに含まれる第１電極パッド１６、伝導性ポスト１８、プリプレグ２０、金属層２２、ビアホール２４、第２電極パッド２６、第２回路パターン２８、ビア３０、絶縁層３２、開口部３４、表面処理部３６、ソルダバンプ３８が示されている。伝導性ポスト１８は導電性を有することは勿論のこと、熱伝導性に優れたものであることが好ましい。
【００４０】
本実施例に係る印刷回路基板の製造方法は、図８に示すように用意されたキャリア１２の一面にソルダレジスト層１４を積層するステップ（図９参照）と、ソルダレジスト層１４に第１電極パッド１６を含む第１回路パターンを形成するステップ（図１０参照）と、第１電極パッド１６に接続された伝導性ポスト１８（ｐｏｓｔ）を形成するステップ（図１１〜１２参照）と、絶縁層３２が積層された内層基板の絶縁層３２に、伝導性ポスト１８が絶縁層３２に向かうようにキャリア１２を積層して加圧するステップ（図１３〜１８参照）と、キャリア１２を除去するステップ（図１９参照）と、を含み、伝導性のポストが絶縁層に圧入されて層間の接続を実現するため、ビアホールの形成のためのドリリング工程が省略され、回路設計の自由度が高まり、回路の高密度化が可能になる。また、回路パターンを絶縁層に埋め込んで形成するので、基板の厚さを薄くすることができ、回路パターンと絶縁層との接触面積が増加して接着力に優れている。また、キャリアにソルダレジスト層を予め形成しておき、キャリアを用いてソルダレジスト層を基板に転写することにより、基板に形成されるソルダレジスト層の平坦度を高めることができる。
【００４１】
本実施例では、二つのキャリア１２の各々にソルダレジスト層１４を積層し、ソルダレジスト層１４の各々に第１電極パッド１６と伝導性ポスト１８とを形成した後、二つのキャリア１２を内層基板の両面に積層して加圧することにより、内層基板の両面にソルダレジスト層１４を形成する方法を提示する。勿論、一つのキャリア１２を用いて内層基板のソルダレジスト層１４を形成することも可能である。
【００４２】
本実施例に係る印刷回路基板を製造する方法は、先ず、ステップＳ１００で、図８及び図９に示すように、キャリア１２の一面にソルダレジスト層１４を積層する。ソルダレジスト層１４は、基板の表面に塗布されて基板の表面に形成された回路パターンを保護し、電子部品の実装の際に、短絡接続が起こることを防止する。
【００４３】
本実施例では、表面平坦度の高い扁平なキャリア１２にソルダレジスト層１４を予め形成しておき、キャリア１２を用いてソルダレジスト層１４を基板に転写することにより、基板に形成されるソルダレジスト層１４の平坦度を高めることができる。このような平坦度は、印刷回路基板の高密度化に大きい影響を及ぼす。
【００４４】
キャリア１２に積層されるソルダレジスト層１４は、液状の形態でキャリア１２に塗布され積層されたり、フィルム形態でキャリア１２に積層されることができる。
【００４５】
一方、ソルダレジスト層１４は、液晶ポリマー（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｐｏｌｙｍｅｒ）からなるか、耐熱性樹脂からなるソルダレジスト用インクに液晶ポリマーを含浸させ製造することができる。
【００４６】
従来、基板の絶縁基材としてガラス繊維が含浸されたエポキシ樹脂などを用い、ソルダレジストとして耐熱性樹脂を用いた。しかし、従来の絶縁基材は熱膨張係数が大きく、ソルダレジストが絶縁基材に比べて熱膨張係数が非常に大きくて、製造過程や使用中の熱膨張の差から、基板の反りや半導体チップの実装の際に割れが発生する場合があった。
【００４７】
このような問題点を解決するためには、熱による収縮と膨張が少ない絶縁基材及びソルダレジスト層が要求されて、本実施例では低い熱膨張係数を有する液晶ポリマーをソルダレジスト層１４、絶縁層３２、または内層基板の絶縁基材として用い、印刷回路基板全体の熱膨張係数を低めることにより、上述した問題点を解決することができる。
【００４８】
液晶ポリマーは、溶融の際に液晶状態を示す樹脂であって、成形性に優れ、熱膨張率が低いため、寸法変化率が低い。このような液晶ポリマーを絶縁基材またはソルダレジスト層１４として用いることにより基板全体の熱膨張率を低めて、高密度実装と割れ発生とを防止することができる。
【００４９】
キャリア１２は、被転写物を基板に転写した後に除去されるもので、金属板からなることができ、このような金属板からなったキャリア１２は、後述する工程で金属板の金属材質に対応するエッチング液を塗布してキャリア１２を除去することができる。
【００５０】
一方、キャリア１２に発泡性接着剤を塗布してソルダレジスト層１４を積層した場合には、一定温度の熱を加えて発泡性接着剤を発泡した後、キャリア１２を除去することも可能である。
【００５１】
金属板は、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ステンレス鋼、及びこれらの合金からなる群より選ばれる何れか一つ以上を含むことができる。すなわち、金属板は、銅、ニッケル、アルミニウム、ステンレス鋼、及びこれらの合金を単独で用いて製造することができ、これらを組み合わせて製造することもできる。
【００５２】
次に、ステップ  Ｓ２００で、図１０に示すように、キャリア１２に積層されたソルダレジスト層１４に第１電極パッド１６を含む第１回路パターンを形成する。このような第１電極パッド１６を含む第１回路パターン（図示せず）は、ソルダレジスト層１４にシード層１５を無電解メッキで積層し、シード層１５に選択的に電気メッキしてシード層１５から突出する凸状の回路パターンを形成する。すなわち、シード層１５にフォトレジスト１３を積層し、第１回路パターンが形成される部分だけ選択的に露光、現像、除去し、シード層１５を電極で電解メッキを行い電気メッキを蒸着して第１電極パッド１６を含む第１回路パターンを形成する。図１０には第１電極パッド１６だけ表示した。
【００５３】
次に、ステップ  Ｓ３００で、図１１及び図１２に示すように、第１電極パッド１６表面上に伝導性ポスト１８を形成する。第１電極パッド１６に層間電気的接続のための通路として第１電極パッド１６表面よりさらに大きく突出する伝導性ポスト１８を共に形成する。
【００５４】
伝導性ポスト１８を形成する方法は、前記工程での第１のフォトレジスト１３及びシード層１５を除去せずに、その上に第２のフォトレジスト１３を積層し、伝導性ポスト１８が形成される部分だけ選択的に露光、現像、除去した後、ソルダレジスト層１４に積層されたシード層１５を電極として利用して電気メッキを蒸着する。以後、キャリア１２に残留するフォトレジスト１３を剥離し、シード層１５をエッチングすれば、キャリア１２に第１電極パッド１６よりさらに突出した伝導性ポスト１８が形成される。
【００５５】
次に、ステップ  Ｓ４００で、絶縁層３２が積層された内層基板の絶縁層３２に、伝導性ポスト１８が絶縁層３２に向かうようにキャリア１２を積層して加圧する。
【００５６】
図１３〜図１６は、絶縁層３２が積層された内層基板を製作する方法を示している。本実施例では、内層基板の絶縁基材として液晶ポリマー樹脂にガラス繊維が含浸されたプリプレグ２０（ｐｒｅｐｒｅｇ）を用いる。これは上述したように、ソルダレジスト層１４と共に絶縁基材として液晶ポリマーを用いることにより、基板全体の熱膨張率を低めることができる。勿論、上述した液晶ポリマー樹脂にガラス繊維が含浸されたプリプレグ２０だけでなく、従来の絶縁基材を内層基板の絶縁基材として用いることも可能である。
【００５７】
内層基板を製作する方法は、先ず、図１３に示すように、液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸してプリプレグ２０を形成し、プリプレグ２０の両面に金属層２２を形成する。また、図１４及び図１５に示すように、金属層２２が両面に形成されたプリプレグ２０を穿孔してビアホール２４を形成する。また、プリプレグ２０をメッキし、ビア３０を形成した後、プリプレグ２０に積層された金属層２２を選択的にエッチングして第２電極パッド２６を含む第２回路パターン２８を形成する。第２電極パッド２６を含む第２回路パターン２８を形成する方法は、上述した第１回路パターンを形成する方法と同様であるため、説明を省略する。次に、図１６に示すように、第２回路パターン２８が形成されたプリプレグ２０に絶縁層３２を積層する。この場合、絶縁層３２は液晶ポリマー樹脂または液晶ポリマー樹脂にガラス繊維を含浸して形成されるプリプレグ２０であることができる。
【００５８】
すなわち、内層基板の絶縁基材、内層基板にビルドアップされる絶縁層３２、及び印刷回路基板の最外側に積層されるソルダレジスト層１４の材料の全部または一部に液晶ポリマーを用いることにより、印刷回路基板全体の熱膨張係数を低める。勿論、内層基板の絶縁基材、内層基板にビルドアップされる絶縁層３２、及び印刷回路基板の最外側に積層されるソルダレジスト層１４のうち一部だけに液晶ポリマーが含まれた材料を用いることもできる。
【００５９】
一方、内層基板は、回路パターンが形成された絶縁体が多層で積層された多層印刷回路基板であることができる。
【００６０】
本実施例は図１７に示すように、二つのキャリア１２の各々にソルダレジスト層１４を積層し、ソルダレジスト層１４の各々に第１電極パッド１６と伝導性ポスト１８とを形成した後、図１８に示すように、二つのキャリア１２を、両面に絶縁層３２が積層された内層基板に、二つのキャリア１２に形成された伝導性ポスト１８が互いに対向するように積層し、加圧してキャリア１２に形成された第１回路パターン及び伝導性ポスト１８が絶縁層３２内に埋め込まれる方法を提供する。
【００６１】
本工程により、伝導性ポスト１８は内層基板の第２電極パッド２６と接触かつ接合され、層間電気的導通がなされる。伝導性ポスト１８と第２電極パッド２６との接合を強化するために、伝導性ペーストまたは伝導性接着剤で接合することができる。
【００６２】
キャリア１２を加圧すると、キャリア１２のソルダレジスト層１４に突出して形成された第１電極パッド１６を含む第１回路パターンと伝導性ポスト１８とが絶縁層３２に圧入され埋め込まれる。この場合、伝導性ポスト１８が第２電極パッド２６に接触するようにキャリア１２を加圧する。
【００６３】
一方、キャリア１２の加圧過程で絶縁層３２の一部がビア３０の内部に圧入されて充填されることができる。
【００６４】
次に、ステップ  Ｓ５００で、図１９に示すように、キャリア１２を除去する。キャリア１２を除去すれば、キャリア１２上に積層されているソルダレジスト層１４、第１回路パターン、及び伝導性ポスト１８は絶縁層３２に転写される。
【００６５】
扁平なキャリア１２にソルダレジスト層１４を予め形成しておき、キャリア１２を用いてソルダレジスト層１４を基板に転写させることにより、基板に形成されるソルダレジスト層１４の平坦度を高めることができる。
【００６６】
キャリア１２は、金属板からなることができ、このような金属板からなったキャリア１２は金属板の金属材質に対応するエッチング液を塗布して、キャリア１２を除去することができる。
【００６７】
一方、キャリア１２に発泡性接着剤を塗布してソルダレジスト層１４を積層する場合には一定温度の熱を加えて、発泡性接着剤を発泡した後、キャリア１２を除去することも可能である。
【００６８】
次に、ステップ  Ｓ６００で、図２０に示すように、絶縁層３２に転写された第１電極パッド１６が露出するようにソルダレジスト層１４を穿孔して開口部３４を形成する。ソルダレジスト層１４を穿孔するためにＣＯ２レーザー、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザーなどを用いることができる。
【００６９】
次に、ステップ  Ｓ７００で、図２１に示すように、ソルダレジスト層１４の穿孔により開口部３４から露出した第１電極パッド１６に表面処理を施して表面処理部３６を形成し、開口部３４位置にて露出された領域が酸化されることを防止する。表面処理方法としては、ＨＡＳＬ（Ｈｏｔ  Ａｉｒ  Ｓｏｌｄｅｒ  Ｌｅｖｅｌｉｎｇ）、プリフラックス（Ｐｒｅ−ｆｌｕｘ）コーティング、無電解または／及びニッケルメッキ、無電解または／及び金メッキ、無電解パラジウム（Ｐｄ）メッキ、無電解または／及び銀（Ａｇ）メッキ、無電解または／及びスズメッキなど当業者に自明な多様な方法を用いることができる。
【００７０】
次に、ステップ  Ｓ８００で、図２２に示すように、表面処理された第１電極パッド１６上にソルダバンプ３８を形成する。ソルダバンプ３８は、印刷回路基板に実装される半導体チップとの接続方法に応じて、ソルダスクリーン印刷方法やソルダメッキ方法など当業者に自明な多様な方法を用いて形成することができる。
【００７１】
図２３は、本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の断面図である。図２３を参照すると、ソルダレジスト層１４、第１電極パッド１６、伝導性ポスト１８、プリプレグ２０、第２電極パッド２６、第２回路パターン２８、ビア３０、絶縁層３２、開口部３４、表面処理部３６、ソルダバンプ３８が示されている。
【００７２】
従来の層間の接続方法では、層間の高密度接続に限界があって、高密度回路パターンを設計するには困難な点があった。しかし、上述した印刷回路基板の製造方法により、絶縁層３２に埋め込まれる回路パターンが形成された基板に、伝導性ポスト１８を用いて層間接続すると、高密度の回路パターン及び薄い基板の製作が可能になる。
【００７３】
本実施例に係る印刷回路基板は、絶縁層３２と、一部が絶縁層３２の表面に露出するように絶縁層３２に埋め込まれる第１電極パッド１６を含む第１回路パターンと、絶縁層３２が積層され、第２電極パッド２６を含む第２回路パターン２８が形成される内層基板と、一端部が第１電極パッド１６と接続され、他端部が第２電極パッド２６に接続されるように絶縁体に埋め込まれる伝導性ポスト及び絶縁層３２に積層されるソルダレジスト層１４を備える。
【００７４】
また、ソルダレジスト層１４には、第１電極パッド１６をオープンさせる開口部３４が形成され、開口部３４によりオープンされた第１電極パッド１６に上述した表面処理方法により表面処理部３６が形成される。また、表面処理部３６上にソルダバンプ３８が形成される。
【００７５】
一方、ソルダレジスト層１４は、液晶ポリマー（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｐｏｌｙｍｅｒ）からなるか、耐熱性樹脂からなったソルダレジスト用インクに液晶ポリマーを含浸させ製造することができる。
【００７６】
上述した印刷回路基板の製造過程で説明したように、キャリア１２に突出形成された第１電極パッド１６を含む第１回路パターン（図示せず）を絶縁層３２の両面から加圧するので、第１電極パッド１６を含む第１回路パターンは絶縁層３２の両面に各々埋め込まれる。また、キャリア１２には回路パターンだけでなく、伝導性ポスト１８も突出形成されるので、回路パターン間の電気的通路は、第１電極パッド１６と第２電極パッド２６とを伝導性ポスト１８が接続させることにより形成できる。
【００７７】
従来には基板の絶縁基材としてガラス繊維が含浸されたエポキシ樹脂などを用い、ソルダレジストとして耐熱性樹脂を用いた。しかし、従来の絶縁基材は熱膨張係数が大きく、ソルダレジストが絶縁基材に比べて熱膨張係数が非常に大きいため、製造過程や使用中の熱膨張の差から、半導体チップの実装の際に割れが発生する場合があった。
【００７８】
このような問題点を解決するためには、熱による収縮と膨張が少ない絶縁基材及びソルダレジストが要求される。したがって、本実施例では、低い熱膨張係数を有する液晶ポリマーをソルダレジスト層１４または絶縁基材として用い、印刷回路基板全体の熱膨張係数を低めることにより、上述した問題点を解決することができる。
【００７９】
液晶ポリマーは、溶融の際に液晶状態を示す樹脂であって、成形性に優れ、熱膨張率が低いため、寸法変化率が低い。このような液晶ポリマーを絶縁基材またはソルダレジスト層１４として用いることにより基板全体の熱膨張率を低めて、高密度実装と割れ発生とを防止することができる。
【００８０】
また、絶縁層３２または内層基板の絶縁基材として液晶ポリマー樹脂や液晶ポリマー樹脂にガラス繊維が含浸されたプリプレグ２０（ｐｒｅｐｒｅｇ）を用いることができる。これは、ソルダレジスト層１４と共に絶縁基材として液晶ポリマーを用いることから基板全体の熱膨張率を低めることができる。勿論、上述した液晶ポリマー樹脂にガラス繊維が含浸されたプリプレグ２０だけでなく、従来の絶縁基材を内層基板の絶縁基材として用いることも可能である。
【００８１】
伝導性ポスト１８は、第１電極パッド１６上に伝導性金属を蒸着させ形成され、伝導性ポスト１８が絶縁層３２に圧入され埋め込まれて、第２電極パッド２６と接触するようになり、これにより層間の電気的接続がなされる。
【００８２】
以外の構成要素は上述したものと同様であるため、その説明を省略する。
【００８３】
以上、本発明の実施例を参照して説明したが、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正及び変更させることができることを理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図２】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図３】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図４】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図５】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図６】従来技術に係る印刷回路基板の製造方法の一工程図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示すフローチャートである。
【図８】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図１９】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図２０】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図２１】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図２２】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の製造方法を示す図である。
【図２３】本発明の一実施形態に係る印刷回路基板の断面図である。
【符号の説明】
【００８５】
１２：キャリア
１４：ソルダレジスト層
１５：シード層
１６：第１電極パッド
１８：伝導性ポスト
２０：プリプレグ
２２：金属層
２４：ビアホール
２６：第２電極パッド
２８：第２回路パターン
３０：ビア
３２：絶縁層
３４：開口部
３６：表面処理部
３８：ソルダバンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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