(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像の画像データを１コマずつ繰り返し作成する画像データ作成部と、画像データを表示する表示器と、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとにその最新画像データを表示することにより透視Ｘ線像を動画像表示する動画像表示制御部と、画像バッファメモリに静止画像データ作成に用いる画像データを蓄積し、蓄積した画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとを用いて静止画像データを作成する静止画像データ作成部と、動画像表示と静止画像データの表示とを切り替える表示切替部とを備えたＸ線検査装置であって、
静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに、予め、静止画像データを作成し、画像データバッファメモリに静止画像データ、または静止画像データとともに次回の静止画像データ作成に用いる画像データを蓄積することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の複数コマの直近画像データを静止画像データ作成に用いる画像データとして画像データバッファメモリに蓄積し、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに蓄積した直近画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとの平均化処理を実行することにより静止画像データを作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに、画像データバッファメモリに蓄積されている静止画像データと最新画像データとの間でリカーシブフィルタ処理を実行することにより新しい静止画像データを作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変化させる視野調整部と、視野変化に連動して画像バッファメモリに蓄積されている静止画像データを破棄する静止画像データ消去部とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関し、さらに詳細には、検査対象物のＸ線動画像とＸ線静止画像とを切り替え表示するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置は、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（ＩＩ）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線カメラ、あるいはフラットパネルＸ線検出器などのＸ線検出器が配置してある。
そして、Ｘ線源とＸ線検出器との間に、ステージを配置し、この上に被測定物を載置して透視Ｘ線像を撮影する。
【０００３】
Ｘ線検査装置による検査では、通常、位置合わせや測定倍率調整のため、ステージを移動しつつ被測定物の透視Ｘ線動画像を撮影して検査位置を探し、検査位置が見つかると移動を停止し、その状態で動画像を確認した上で、問題なければ動画像を形成する複数コマの画像データをメモリに蓄積し、これらを画像処理（例えば平均化処理）してＸ線静止画像データを作成するとともに、動画像表示から静止画像表示に切り替える。
【０００４】
静止画像データを作成する際に、Ｘ線動画像を形成している複数のコマ画像を蓄積して画像処理するのは、以下の理由による。すなわち、透視Ｘ線測定では、Ｘ線発生装置の原理に起因してＸ線のゆらぎが発生するため、ゆらいでいるＸ線を、Ｘ線検出器で検出して撮影したコマ画像には、ノイズ状のちらつきが含まれている。１つ１つのコマ画像で静止画像データを作成しただけでは、品質の悪い静止画像しか得られない。そのため、複数のコマ画像を平均化してちらつきのない静止画像データを作成するようにしている。
【０００５】
また、Ｘ線動画像のちらつきノイズを低減する方法として、リカーシブフィルタ処理が行われている（例えば特許文献１参照）。
これは、入力画像データに補正データを加算して画像データの変化を緩和する処理であり、各画素について、１フレーム前の画像データと最新の入力画像データとの差分を求め、差分に対応した補正データを設定比率で入力画像データに加算するようにしている。
リカーシブフィルタ処理を行うことにより、最新の入力画像データと前回までの画像データとが、設定比率での重み付けで平均化されることになり、ちらつきノイズについても平均化され緩和されることになる。その一方で、リカーシブフィルタ処理を実行した画像データで動画像表示すると、動画像に残像が残り、応答が遅くなる。そのため、移動停止後、残像のない安定した動画像が表示されるまで、ある程度の待ち時間が必要になる。
Ｘ線検査では、位置合わせのための視野移動中に、リカーシブフィルタ処理を実行しつつ被測定物の動画像を撮影すると、ちらつきノイズが低減される点で好ましいが、その一方で、残像が残ることによる追従性が問題となる。
【０００６】
一方、位置合わせが完了した後は、観察部位について詳細に観察することになる。このときはＸ線動画像のちらつきが重大な問題となる。
そのため、詳細画像を観察したいときは、上述したように、ステージ停止状態で撮影した複数のコマ画像データを平均化処理して静止画像データを作成し、動画像表示から静止画像表示に切り替えて観察することがなされている。
【０００７】
ここで、従来から行われているコマ画像データの平均化処理について説明する。図７に示すように、コマ画像データ１〜８は、Ｘ線検出器により撮影された映像信号（アナログ信号）を、順次、デジタル処理して時系列的に作成した画像データ群である。
一般に、詳細かつ鮮明な静止画像データを作成するには、数十から数百のコマ画像データに基づいて平均化処理を行うのが好ましいが、ここでは、説明の便宜上、４コマのコマ画像データを平均化処理することにより、静止画像データを作成するものとする。コマ画像１〜３によるコマ画像が順次表示され、コマ画像データ４によるコマ画像が画面に表示されたとする。この時点で、静止画像データ作成指示の操作を行うと、その次以降の４コマのコマ画像データ５、６、７、８を、順次、画像バッファメモリに蓄積し、コマ画像８まで蓄積し終えた時点で４コマの平均化処理を行い、平均化処理された静止画像データＡ８を表示する。これにより、各コマ画像データに含まれているノイズ状のちらつきも平均化されて消滅し、詳細かつ鮮明な画像が得られる。
【特許文献１】特開２０００−３１６８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
Ｘ線動画像を表示するときに使用する複数コマの画像データから、Ｘ線静止画像データを作成する場合に、ちらつきノイズの影響を十分に除去するためには、なるべく多くのコマ画像に基づいて平均化することが必要であり、そのためには、数秒から数十秒程度の時間が必要となる。例えば、３２コマ／秒でコマ画像を撮影し、２５６枚のコマ画像を平均化して静止画像を作成する場合は、８秒程度必要になる。
操作者は、静止画像データ作成を指示する操作を行ってから、実際に静止画像データを得るまでに、長い待ち時間が生じることになる。この待ち時間は、撮影中にリカーシブフィルタ処理を実行していた場合でも同じである。
【０００９】
そこで、本発明は、動画像表示から静止画像表示に切り替えたときに、静止画像が表示されるまでの待ち時間を短縮し、動画像表示から静止画像表示への切替操作直後に、直ちにＸ線静止画像を表示させることができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、動画像表示中に、予め静止画像データを蓄積しておくととともに、随時更新しておき、静止画像表示に切り替えたときにすぐに静止画像表示ができるようにする。
すなわち、本発明のＸ線検査装置は、被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像の画像データを１コマずつ繰り返し作成する画像データ作成部と、画像データを表示する表示器と、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとにその最新画像データを表示することにより透視Ｘ線像を動画像表示する動画像表示制御部と、画像バッファメモリに静止画像データ作成に用いる画像データを蓄積し、蓄積した画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとを用いて静止画像データを作成する静止画像データ作成部と、動画像表示と静止画像データの表示とを切り替える表示切替部とを備え、静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに、静止画像データを作成し、画像データバッファメモリに静止画像データ、または静止画像データとともに次回の静止画像データ作成に用いる画像データを蓄積するようにしている。
ここで、画像バッファメモリに蓄積される「静止画像データ作成に用いる画像データ」は、ちらつきノイズを除去する処理に用いる画像データであり、透視Ｘ線像の最新画像データと同一視野の画像データであることが望ましい。具体的には、最新画像データと同じ視野で過去に撮影したコマ画像データ、あるいは、前回に作成した静止画像データを「静止画像データ作成に用いる画像データ」として蓄積することが好ましい。
【００１１】
この発明によれば、画像データ作成部は、Ｘ線検出器からの映像信号に基づいて、透視Ｘ線像の画像データを１コマずつ作成し、透視Ｘ線像のコマ画像データを次々と作成する。それぞれの画像データ（コマ画像データ）は、ちらつきノイズを含んでいる。動画像表示制御部は、透視Ｘ線像の最新の画像データ（コマ画像データ）が作成されるごとに、その最新画像データを次々と表示器に表示させることにより、動画像表示を行う。この動画像表示では、ちらつきノイズが見られるが、位置合わせを行う上では問題とならず、残像のない応答の速い動画像表示が行われる。静止画像データ作成部は、動画像表示制御部による動画像表示と並行して、画像バッファメモリに蓄積中の静止画像データ作成に用いる画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとにより、平均化処理等のちらつきノイズを除去する処理を行い、ちらつきノイズが除去された最新の静止画像データを作成する。そして作成された最新の静止画像データを画像バッファメモリに蓄積する。なお、画像バッファメモリに蓄積された静止画像データを次回の静止画像データ作成に用いる画像データとして利用する場合は、静止画像データを蓄積するだけでよいが、これ以外の画像データを次回の静止画像データ作成に用いる場合は、その画像データについても同時に画像バッファメモリに蓄積しておく。このようにして、透視Ｘ線像の最新の画像データ（コマ画像データ）が作成されるごとに、最新の静止画像データを作成して蓄積し、更新することにより、表示切替部が動画像表示から静止画像表示に切り替えたときに、その時点で蓄積されていた最新の静止画像データを直ちに表示する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、動画像表示から静止画像表示に切り替えたときに、ちらつきノイズが除去された最新の静止画像データを、直ちに表示することができる。
【００１３】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の複数コマの直近画像データを静止画像データ作成に用いる画像データとして画像データバッファメモリに蓄積し、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに蓄積した直近画像データと透視Ｘ線像の最新画像データとの平均化処理を実行することにより静止画像データを作成するようにしてもよい。
これによれば、透視Ｘ線像の複数コマの直近画像データと最新画像データとの平均化処理を実行することにより、ちらつきノイズが平均化されて消失することができ、ノイズの少ない、詳細画像データを静止画像データとして作成することができる。
【００１４】
また、上記発明において、静止画像データ作成部は、透視Ｘ線像の最新画像データが作成されるごとに、画像データバッファメモリに蓄積されている静止画像データと最新画像データとの間でリカーシブフィルタ処理を実行することにより新しい静止画像データを作成するようにしてもよい。
これによれば、画像データバッファメモリに蓄積されている静止画像データと最新画像データとの間でリカーシブフィルタ処理を実行することにより、ちらつきノイズが平均化されて消失することができ、ノイズの少ない、詳細画像データを静止画像データとして作成することができる。しかも、画像データバッファメモリは静止画像データだけを蓄積しておけばよいので、画像データバッファメモリの容量を小さくすることができる。
【００１５】
また、上記のいずれかの発明において、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変化させる視野調整部と、視野変化に連動して画像バッファメモリに蓄積されている静止画像データを破棄する静止画像データ消去部とを備えるようにしてもよい。
ここで、視野調整部は、被測定物を移動させて視野調整してもよいし、Ｘ線測定光学系であるＸ線発生装置あるいはＸ線検出器を移動させて視野調整してもよい。視野調整は、被測定物の測定位置を変化させる場合のみならず、被測定物の測定倍率や測定方法を変化させる場合も含まれる。
【００１６】
これによれば、視野変化前後の画像データで平均化処理すると、画像ブレが生じることになるので、これを防ぐために、視野調整部によって測定視野が変化すると、視野変化前の位置の画像データを破棄することで、画像ブレが生じないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１８】
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物の測定視野を調整する視野調整機構１４と、装置全体の制御を行う制御系１５とにより構成される。
【００１９】
制御系１５は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１、キーボード、マウスなどの入力装置２２、液晶パネルなどの表示装置２３、画像データを蓄積する画像バッファメモリ２４により構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、画像データ作成部３１、動画像表示制御部３２、静止画像データ作成部３３、表示切替部３４、視野調整部３５、静止画像データ消去部３６に分けられる。
【００２０】
Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるイメージインテンシファイア（以下ＩＩと略す）と、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。
【００２１】
視野調整機構１４は、被測定物Ｓを載置するステージ１６と、ステージ１６をステージ面方向である二次元ＸＹ方向に移動することにより検査位置を調整するとともに、ステージ１６をステージ面に垂直な方向であるＺ方向に移動することにより測定倍率を調整する３次元駆動機構１７とからなる。
【００２２】
ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。画像データ作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、コマ画像データを作成する制御を行う。具体的には、例えば３２コマ／秒でコマ画像データを作成する。なお、このコマ画像はちらつきノイズが含まれている。
【００２３】
動画像表示制御部３２は、後述する表示切替部３４において動画像表示を行う設定がなされている場合に、画像データ作成部３１が透視Ｘ線像の最新画像データを作成するごとに、これを表示装置２３に表示する制御を行い、これによって表示装置２３に動画像表示を行う。
【００２４】
静止画像データ作成部３３は、表示切替部３４において静止画像表示を行う設定がなされているか否かに関係なく、画像データ作成部３１が透視Ｘ線像の最新画像データＤｎを作成するごとに、この最新画像データＤｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積されているコマ画像からなる画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１（「静止画像データ作成に用いる画像データ」）を用いて平均化処理（各画素について平均値を求める）行い、新しく静止画像データＢｎを作成し、作成した最新の静止画像データＢｎを、画像バッファメモリ２４に蓄積する制御を行う。
このＤｎ−１は、直前（前回）に作成したコマ画像データであり、Ｄｎ−２はＤｎ−１の１つ前、Ｄｎ−３はＤｎ−２の１つ前、Ｄｎ−４はＤｎ−３の１つ前に作成したコマ画像データである。ここでは、便宜上、最新画像データＤｎと、蓄積された４コマのコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１との平均化処理を行っているが、蓄積したコマ画像データ数を増やすほど、ちらつきノイズを減らすことができる。ただし、それだけメモリ容量を必要になるので、求める画質に応じて、適切なメモリ容量にしておく。
【００２５】
表示切替部３４は、操作者が入力装置２２により、動画像表示から静止画像表示への切り替え指示を行ったときに、画像バッファメモリ２４から最新静止画像データを読み出して、表示装置２３に表示する制御を行う。
視野調整部３５は、操作者が入力装置２２により、ステージをＸＹ方向あるいは、Ｚ方向に移動させる指示を行ったときに、三次元駆動機構１７を制御して、ステージ１６を所望の位置に移動する制御を行う。
静止画像データ消去部３６は、視野調整部３５が三次元駆動機構１７を駆動させたときに、それまでに画像バッファメモリ２４に蓄積していた画像データを消去する制御を行う。
【００２６】
次に、このＸ線検査装置１による測定動作（表示処理動作）について説明する。図２は、測定動作を示すフローチャートである。
【００２７】
測定が開始され、既に、ステージ１６を移動して視野調整を行い、被測定物Ｓの所望の検査位置に位置合わせし、ステージ１６が停止状態にしてあるものとする。この状態で、Ｘ線検出器１２が透視Ｘ線像を検出し、映像信号を出力する（Ｓ１０１）。映像信号は、ＡＤ変換され、デジタル化処理されることで、最新のコマ画像データＤｎが作成される（Ｓ１０２）。作成された最新のコマ画像データＤｎは、表示装置２３にて表示され（Ｓ１０３）、直前に表示されていたコマ画像データＤｎ−１が消え、最新のコマ画像データＤｎに更新される。この動作が繰り返し行われることにより、動画像表示が行われることになる。
【００２８】
続いて、三次元駆動機構１７への駆動信号の有無を検出することで、視野変化の有無を調べる（Ｓ１０４）。なお、視野変化の有無を調べる方法は、駆動信号の検出以外の方法でもよい。例えば、ステージ１６に取り付けた位置センサの信号をモニタしてもよい。視野変化が行われたと判定されたときは、現時点で画像バッファメモリ２４に蓄積されている画像データを破棄し、後に実行する平均化処理で画像ブレが生じないようにしておく（Ｓ１０５）。
Ｓ１０４で視野変化が行われていないと判定されたときは、画像バッファメモリ２４に蓄積されている平均化処理用のコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１を読み出して（Ｓ１０６）、最新のコマ画像データＤｎとともに平均化処理を行い、最新の静止画像データＢｎを作成する（Ｓ１０７）。
【００２９】
作成した最新の静止画像データＢｎと最新のコマ画像データＤｎとを、画像バッファメモリ２４に蓄積し、前回の平均化処理により取得した静止画像データＢｎ−１と、画像バッファメモリ２４に蓄積されたコマ画像データのうち最も古いＤｎ−４とを破棄することにより、蓄積されるデータを更新する（Ｓ１０８）。
【００３０】
続いて、動画像表示から静止画像表示への表示切替指示がなされているかをチェックし（Ｓ１０９）、指示がなされているときは、最新の静止画像データＢｎを画面に表示する（Ｓ１１０）。
指示がなされていないときは、再びＳ１０１に戻り、同様の処理を繰り返す。
【００３１】
次に、表示切替操作の前後における表示装置２３に表示される画像データと、画像バッファメモリ２４に蓄積される画像データ（平均化処理用のコマ画像データ）との関係について説明する。
図３は、ステージ１６を停止後、図２で説明した表示処理を繰り返し実行したときの各回数ごとの表示装置２３の画面に表示される画像データ、および、画像バッファメモリ２４に蓄積される画像データを説明する図である。
平均化処理には、４コマ分の画像データを蓄積しておくことが必要であるので、必要数の画像データが蓄積されていないうちは、静止画像は表示できないものとして、必要な数の画像データが蓄積された後に、静止画像表示するものとする。
【００３２】
操作者により、動画像表示が指示されていると、表示装置２３には、初回の表示処理により、最初のコマ画像データ１が表示され、画像バッファメモリ２４にコマ画像データ１が蓄積される。このときバッファメモリには１つしかコマ画像データが蓄積されていないので、平均化処理により、（形式的に）作成された静止画像データＢ１は不適切な静止画像データであり、たとえ静止画像表示の指示がなされたとしても表示されない。
【００３３】
同様に、第２回目（第３回目）の表示処理により、コマ画像データ２（３）が表示され、画像バッファメモリ２４にはコマ画像データ１、２（１、２、３）が蓄積される。このときも、必要数のコマ画像データが蓄積されていないので、（形式的に）作成された静止画像データＢ２、Ｂ３は不適切な静止画像データであり、表示されない。
【００３４】
第４回目の表示処理により、コマ画像データ４が表示され、画像バッファメモリ２４にコマ画像データ１〜４が蓄積されると、必要数のコマ画像データが蓄積されているので、平均化処理を行うことにより、静止画像データＢ４が作成され、画像バッファメモリ２４に蓄積される。この静止画像データＢ４は、静止画像表示の指示がなされればすぐに表示されることになる。
【００３５】
第５回目の表示処理により、コマ画像５が表示され、画像バッファメモリに２４にはデータ更新により、コマ画像データ２〜５が蓄積され、さらに、静止画像データＢ５が蓄積される。
ここで、操作者が表示切替指示を行い、静止画像表示に切り替わったとする。
直ちに、画像バッファメモリ２４から現在蓄積中の静止画像データＢ５が読み出され、表示装置２３の画面に表示される。
以上の動作により、動画像表示中に静止画像表示に切り替えられたとき、ほとんど待ち時間なく、詳細かつ鮮明な静止画像に切り替わることができる。
【００３６】
なお、上記実施例では、画像バッファメモリ２４に必要な画像データが蓄積されていない段階では、静止画像表示を行わないものとしたが、画像データが必要数蓄積されていない過渡期は、例外的に図７で説明した従来方法を実行するようにしてもよい。
【００３７】
（実施形態２）
図４は本発明の他の一実施形態であるＸ線検査装置２の構成を示すブロック図である。図４において、図１と同じものについては同符号を付すことにより、説明を省略する。
Ｘ線検査装置１では、平均化処理により静止画像データＥｎを作成していたのに対し、Ｘ線検査装置２では、リカーシブフィルタ処理により静止画像データＣｎを作成する。そのため、平均化処理を実行する静止画像データ作成部３３に代えて、図４ではリカーシブフィルタ処理を実行する静止画像データ作成部３７を備えている。
【００３８】
静止画像データ作成部３７は、前回の表示処理のときに作成し、画像バッファメモリ２４に蓄積した静止画像データＣｎ−１を読み出し、最新のコマ画像データＤｎを、予め設定してある比率で加算して補正する処理を行い、補正処理により得られた画像データを最新の静止画像データＣｎとして画像バッファメモリ２４に蓄積する（リカーシブフィルタ処理）。これにより、静止画像データは、最新のコマ画像データＤｎが作成されるごとに更新されるようにする。
このようにリカーシブフィルタ処理の場合は、前回作成した静止画像データを用いて、次回の静止画像データを更新するので、画像バッファメモリ２４には、静止画像データだけを蓄積する容量があればよい。
【００３９】
次に測定動作について説明する。図５は、Ｘ線検査装置２による測定動作を説明するフローチャートである。図２のフローチャートとの違いは、Ｓ２０６からＳ２０８までの処理（図２ではＳ１０６からＳ１０８）の部分であり、他の処理は同じであるので、説明の一部を省略する。
図２と同様に、Ｓ２０１からＳ２０４までを実行し、視野変化がない場合は、静止画像データを更新するために、画像バッファメモリ２４に蓄積された前回の静止画像データＣｎ−１を読み出す（Ｓ２０６）。
【００４０】
続いて、最新のコマ画像データＤｎと静止画像データＣｎ−１とを用いて、リカーシブフィルタ処理を行い、最新の静止画像データＣｎを作成する（Ｓ２０７）。
続いて、作成した最新の静止画像データＣｎを画像バッファメモリ２４に蓄積し、データ更新を行う（Ｓ２０８）。
以後、Ｓ２０９以降は、図２と同じ動作を繰り返す。
【００４１】
図６は、ステージ１６を停止後、図５で説明した表示処理を繰り返し実行したときの各回数ごとの表示装置２３の画面に表示される画像データ、および、画像バッファメモリ２４に蓄積される画像データを説明する図である。
リカーシブフィルタ処理は、最低必要回数のリカーシブフィルタ処理を繰り返し実行しておくことがノイズ除去に必要であるので、必要回数の表示処理（リカーシブフィルタ処理）が実行されていないうちは、静止画像は表示できないものとして、必要回数の表示処理を実行後に、静止画像表示するものとする。
【００４２】
操作者により、動画像表示が指示されていると、表示装置２３には、初回の表示処理により、最初のコマ画像データ１が表示され、画像バッファメモリ２４にコマ画像データ１が蓄積される。それとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積されている静止画像データＣ０（初回は静止画像データが蓄積されていないのでＣ０は形式的に作られた静止画像データである）と最新のコマ画像データ１とによりリカーシブフィルタ処理が実行され、静止画像データＣ１が作成される。この静止画像データは、必要回数のリカーシブフィルタ処理が実行されていないので、たとえ静止画像表示の指示がなされたとしても表示されない。
【００４３】
同様に、第２回目（第３回目）の表示処理により、コマ画像データ２（３）が表示され、画像バッファメモリ２４には静止画像データＣ２（Ｃ３）が蓄積される。このときも、必要回数のリカーシブフィルタ処理が実行されていないので、不適切な静止画像データであり、表示されない。
【００４４】
第４回目の表示処理により、コマ画像データ４が表示され、リカーシブフィルタ処理を実行して画像バッファメモリ２４に静止画像データＣ４が蓄積されると、既に必要回数のリカーシブフィルタ処理が実行されているので、この静止画像データＣ４は、静止画像表示の指示がなされれば、すぐに表示されることになる。
【００４５】
第５回目の表示処理により、コマ画像５が表示され、画像バッファメモリに２４にはデータ更新により、静止画像データＣ５が蓄積される。
ここで、操作者が表示切替指示を行い、静止画像表示に切り替わったとする。
直ちに、画像バッファメモリ２４から現在蓄積中の静止画像データＣ５が読み出され、表示画面に表示される。
以上の動作により、動画像表示中に静止画像表示に切り替えられたとき、ほとんど待ち時間なく、詳細かつ鮮明な静止画像に切り替わることができる。
リカーシブフィルタ処理では、画像バッファメモリに蓄積するのは静止画像データＣｎだけでありメモリ容量が小さくすることができる。
【００４６】
なお、上記２つの実施形態による説明では、いずれもＩＩおよびＣＣＤカメラを組み合わせたＸ線検出器１２を用いたが、これに代えて、フラットパネルＸ線検出器を用いてもよい。又、上記２つの実施形態による説明では、Ｘ線透視装置を説明したが、Ｘ線ＣＴ装置にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、動画像と静止画像とを切り替えて表示するようにしたＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】図１のＸ線検査装置による測定動作（表示処理動作）のフローチャート。
【図３】図１のＸ線検査装置による表示処理ごとの表示画面および画像バッファメモリの状態を説明する図。
【図４】本発明の他の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図５】図４のＸ線検査装置による測定動作（表示処理動作）のフローチャート。
【図６】図４のＸ線検査装置による表示処理ごとの表示画面および画像バッファメモリの状態を説明する図。
【図７】従来のＸ線検査装置が実行する平均化処理を説明する図。
【符号の説明】
【００４９】
１、２：  Ｘ線検査装置
１１：  Ｘ線発生装置
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  視野調整機構
１６：  ステージ
１７：  三次元駆動機構
２２：  入力装置
２３：  表示装置
２４：  画像バッファメモリ
３１：  画像データ作成部
３２：  動画像表示制御部
３３：  静止画像データ作成部（平均化処理用）
３４：  表示切替部
３５：  視野調整部
３６：  静止画像データ消去部
３７：  静止画像データ作成部（リカーシブフィルタ処理用）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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