(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材において、
当該被加工物保持枠材は、前記定盤から突出する複数の位置決めピンそれぞれに嵌合可能な複数の位置決め穴を備えるとともに、
これらの位置決め穴の形状が多角形に形成されている被加工物保持枠材であって、
前記位置決めピンの形状が円柱状であり、
前記位置決め穴の形状が矩形状であり、
前記加工装置が前記被加工物を研磨加工するものである、
ことを特徴とする加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材。
【請求項２】
当該被加工物保持枠材は、一対の分割枠材の組み合わせからなり、
両分割枠材は、それぞれ、縦方向に延びる縦枠部と横方向に延びる横枠部とを備えており、
前記位置決め穴の形状が、前記分割枠材の縦枠部が延びる方向に長辺が沿う長方形である、
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材。
【請求項３】
両分割枠材を、縦方向に延びる縦糸と横方向に延びる横糸とを編み合わせた繊維基材と樹脂とを積層した積層板で構成し、前記位置決め穴の形状を矩形形状とし、その矩形をなす各辺が、前記縦糸の方向または前記横糸の方向に沿う方向にそれぞれ形成されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材。
【請求項４】
前記位置決め穴は貫通穴であって、
その定盤側の開口寸法を、前記定盤側とは反対側の開口寸法よりも大きくした、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材。
【請求項５】
前記定盤上に固定されて被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材と、
前記定盤上に固定されて被加工物の外周を保持する、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の被加工物保持枠材とを備える、
ことを特徴とする加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置の定盤および当該定盤に固定されて研磨加工されるガラス基板等の被加工物の外周を囲むようにして保持する被加工物保持枠材およびそれを用いた被加工物保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
加工装置、例えば、研磨装置には上下方向に相対回転可能に対向配置された一対の定盤を用いて被加工物を研磨加工するものがある（例えば、特許文献１参照）。このような研磨装置において、例えば１ｍを超える大型のガラス基板等の被加工物を研磨加工するに際しては、被加工物はその裏面側が保持具により、例えば下側定盤に保持される。被加工物の被加工面（表面）を研磨加工する研磨パッドは、対向する上側定盤に貼り付けられる。被加工物の表面を研磨加工するに際しては、被加工物の表面を研磨パッドに圧接させつつ両定盤間に研磨液を供給しながら両定盤を相対回転させるようになっている。
【０００３】
上記研磨装置にあって、保持具は、下側定盤に配置されて被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材に加えて、下側定盤に配置されて被加工物をその外周を取り囲む形態で保持し被加工物が研磨中に下側定盤から位置ずれしないよう保持する保持枠材を備える。保持枠材は下側定盤に両面テープで固定される。
【０００４】
この保持枠材の中には、例えば図９に示す分割タイプのものがある。図９に示す保持枠材は突き合わされた一対の第１、第２分割枠材５０ａ，５０ｂからなり、これら両分割枠材５０ａ，５０ｂで囲む空所を被加工物の外周を保持する保持凹部としている。
【０００５】
第１、第２分割枠材５０ａ，５０ｂは共に平面視が片仮名の「コ」の字形状に構成されている。第１分割枠材５０ａは、平面視が片仮名の「コ」の字形状に、第２分割枠材５０ｂは、第１分割枠材５０ａとは平面視が１８０度反対向きの「コ」の字形状に、それぞれ、対向配置されることで、その対向間に被加工物の保持凹部が構成される。被加工物は、両分割枠材５０ａ，５０ｂの上記対向により形成される保持凹部内に嵌め込まれて保持される。
【０００６】
このような保持枠材５０を下側定盤の所定位置に取り付ける手順を説明する。
【０００７】
保持枠材５０において第１、第２分割枠材５０ａ，５０ｂそれぞれの２箇所に形状が円形である位置決め穴６０ａ，６０ｂが形成されている。下側定盤には図示略の円柱形状の位置決めピンが、前記位置決め穴６０ａ，６０ｂに対応して４箇所に出没自在に設けられている。
【０００８】
そして、保持枠材を下側定盤に固定するに際しては、下側定盤上の４箇所に位置決めピンを突出させ、例えば、第１分割枠材５０ａの２箇所の位置決め穴６０ａに、対応する位置決めピンをそれぞれ嵌合させて位置合わせし、両面テープにより下側定盤に貼り付け、同様にして、第２分割枠材５０ｂを位置合わせして下側定盤に貼り付け、その後、すべての位置決めピンを下側定盤内部へ退避させるようにしている。
【特許文献１】特開平９−５７５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記構成を備えた保持枠材においては、両分割枠材５０ａ，５０ｂそれぞれの位置決め穴６０ａ，６０ｂを、細いドリルの刃を保持枠材５０に突き刺して円周に沿って１周移動させて円形にくり抜き加工することにより形成している。
【００１０】
この場合、円周に沿うくり抜き加工開始点付近と、当該くり抜き加工開始点に戻るくり抜き加工終了点付近とでは、ドリルの刃先にぶれが生じるのを避け難く、位置決め穴を真円形の形状に形成することができなかった。そのため、くり抜き加工開始点とくり抜き加工終了点付近において位置決め穴６０ａ，６０ｂの形状が歪んで形成されてしまい位置決め穴６０ａ，６０ｂは真円形ではなく楕円形等の歪んだ非円形の形状に仕上げられてしまっている。
【００１１】
このように非円形の形状を有する位置決め穴６０ａ，６０ｂに向けて位置決めピンを進入させる際には、位置決め穴６０ａ，６０ｂの穴内周面に位置決めピンの外周面が強く押し当たりつつ進入させられて、保持枠材５０は位置決めピンから加わる強い力により歪んだり反り返ったりする等の変形が発生する。
【００１２】
その結果、保持枠材５０は研磨加工中に被加工物を位置ずれすることなくその外周を保持することが困難となり、最悪には、研磨加工中に、被加工物が位置ずれして保持枠材５０の保持凹部外に飛び出してしまったり、クラックや割れなどが発生することになる。
【００１３】
そこでは、ドリルを用いないで、打ち抜き加工により上記位置決め穴６０ａ，６０ｂを形成することも考えられるが、位置決め穴６０ａ，６０ｂの打ち抜き加工では、位置決め穴６０ａ，６０ｂの周縁部に上記打ち抜きによりバリや返りが発生するなどの不具合が起こり、被加工物の外周を高精度で研磨加工できるように被加工物の外周を保持させることができないという課題があった。
【００１４】
したがって、本発明により解決すべき課題は、大型の矩形平板状の被加工物を加工中に高精度に位置決めして保持することを可能にする保持枠材とそれを備える保持具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
（１）本発明は、加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材において、当該被加工物保持枠材は、前記定盤から突出する複数の位置決めピンそれぞれに嵌合可能な複数の位置決め穴を備えるとともに、これらの位置決め穴の形状が多角形に形成されている被加工物保持枠材であって、前記位置決めピンの形状が円柱状であり、 前記位置決め穴の形状が矩形状であり、前記加工装置が前記被加工物を研磨加工するものであることを特徴とするものである。
【００１６】
当該被加工物保持枠材は、被加工物の外周の全周に亘って保持するものであってもよいし、前記外周の少なくともその一部、例えば、１／２あるいは１／４を保持するものであってもよく、このように一部を保持する場合には、複数の枠材を組み合わせて被加工物の外周を保持すればよい。
【００１７】
本発明によると、位置決め穴が矩形状であるので、この位置決め穴を加工形成する場合に、例えば、細いドリルの刃を、枠材に突き刺して矩形の各辺に順次沿わせて１周相対移動させてくり抜くように加工形成する際に、加工の開始点付近および前記開始点に戻る終了点付近では、ドリルの刃先にぶれが生じるのは避け難いのであるが、矩形の一つの角部を、加工の前記開始点および終了点とすることにより、前記一つの角部の近傍がドリルの刃先のぶれによって、位置決め穴の形状が多少歪んだ形状になっても、残余の部分、特に矩形の各辺の中間部分は、精度よく加工することができる。
【００１８】
したがって、位置決めピンに、矩形の位置決め穴を嵌合させて位置決めする際に、前記一つの角部の近傍が歪んで形成されていても、それ以外の各辺の部分で精度よく位置合わせすることができるので、歪んだ楕円のような形状の位置決め穴である従来例のように、無理に位置決めピンを位置決め穴に嵌合させるといった必要がなくなり、当該被加工物保持枠材に歪みや反り等が生じるのを有効に防止できる。
【００２０】
しかも、円柱形状の位置決めピンに、矩形の位置決め穴を嵌合させて位置決めする際に、精度よく位置合わせして定盤に固定することができるので、当該被加工物保持枠材に歪みや反り等が生じるのを抑制することができ、これによって、研磨加工中に、被加工物が枠材から飛び出したり、被加工物に割れやクラックが発生することを低減することができる。
【００２１】
（２）本発明の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材の好ましい実施形態では、当該被加工物保持枠材は、一対の分割枠材の組み合わせからなり、両分割枠材は、それぞれ、縦方向に延びる縦枠部と横方向に延びる横枠部とを備えており、前記位置決め穴の形状が、前記分割枠材の縦枠部が延びる方向に長辺が沿う長方形である。
【００２２】
なお、本明細書において「縦」「横」の意義は、作業者から見た縦横の意味に限定するものではなく、一方向と他方向とが直角に交わる場合のいずれか一方を縦方向、いずれか他方を横方向という意である。
【００２６】
前記縦枠部は、前記横枠部に比べて長いのが好ましい。
【００２７】
この実施形態においては、位置決め穴の形状を長方形とすることにより、例えば、縦枠部の長手方向における位置決め穴の加工の位置精度や定盤の位置決めピンの前記長手方向の位置精度に多少の誤差があっても、位置決めピンに、長方形の位置決め穴を嵌合させて位置決めする際に、被加工物保持枠材を、長手方向にスライドさせて微調整を行って嵌合させることにより、前記誤差を吸収して容易に位置決めすることができる。
【００２８】
（３）上記（２）の実施形態では、両分割枠材を、縦方向に延びる縦糸と横方向に延びる横糸とを編み合わせた繊維基材と樹脂とを積層した積層板で構成し、前記位置決め穴の形状を矩形形状とし、その矩形をなす各辺が、前記縦糸の方向または前記横糸の方向に沿う方向にそれぞれ形成してもよい。
【００２９】
この実施形態の場合、縦糸と横糸とを編み合わせた繊維基材の縦方向と横方向とに沿うように、位置決め穴の矩形の各辺が加工形成されるので、円形に加工形成する従来例に比べて、繊維の毛羽立ちが抑制されてより精度良く加工形成することができるとともに、位置決め穴の内面から毛羽立った繊維が脱落するといったことも抑制される。  
【００３０】
（４）本発明の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材の他の実施形態では、前記位置決め穴は貫通穴であって、その定盤側の開口寸法を、前記定盤側とは反対側の開口寸法よりも大きくしている。前記位置決め穴を、定盤側の面から反対側の面に向かって、開口寸法が小さくなるようにテーパ状としてもよい。
【００３１】
この実施形態の場合、被加工物保持枠材の位置決め穴を、定盤の位置決めピンに嵌合させて位置決めする際に、位置決めピンと位置決め穴の内面とによって被加工物保持枠材が円滑に誘導されて容易に位置決めすることができる。
【００３２】
（５）本発明の加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持具は、前記定盤上に固定されて被加工物の裏面を吸着保持するバッキング材と、前記定盤上に固定されて被加工物の外周を保持する、上記（１）〜（４）のいずれかの被加工物保持枠材とを備えることを特徴とするものである。
【００３３】
本発明の被加工物保持具によると、バッキング材によって被加工物の裏面を吸着保持するとともに、被加工物保持枠材によって被加工物の外周を保持して位置ずれを防止して被加工物を安定に保持することができ、しかも、被加工物保持枠材を定盤に固定する際に、前記被加工物保持枠材に歪みや反り等が生じるのを抑制できるので、加工中に、被加工物が被加工物保持枠材から飛び出したり、被加工物に割れやクラックが発生するのを低減することができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明では、被加工物保持枠材の位置決め穴の形状を矩形状としているので、この位置決め穴の加工形成の際に生じる不具合を、位置決め穴の矩形状内周面の一つの隅部に止め、残余の部分によって、被加工物保持枠材の位置決めを精度よく行なうことができる。
【００３５】
本発明ではまた、従来の歪んだ楕円のような形状の位置決め穴のように、被加工物保持枠材を、定盤に位置決めする際に、被加工物保持枠材に歪みや変形が生じるのを防止することができるので、加工中に被加工物が位置ずれして被加工物保持枠材から飛び出したり、割れやクラックが生じるのを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施の形態に係る被加工物保持枠材、および、この被加工物保持枠材を備える被加工物保持具を説明する。
【００３７】
（実施形態１）
図１を参照して、１は、実施の形態に係る被加工物保持具を示す。この被加工物保持具１は、研磨加工される被加工物であるガラス基板２を、加工装置である研磨装置の下側定盤３に保持するものである。
【００３８】
被加工物保持具１は、ガラス基板２の裏面を吸着保持するバッキング材４に加えて、ガラス基板２が位置ずれしないようにその外周を囲んで該ガラス基板２を保持する被加工物保持枠材５を備える。
【００３９】
バッキング材４と被加工物保持枠材５は、共に、図示略の両面接着テープにより下側定盤３に接着されて固定されるようになっている。
【００４０】
バッキング材４は、例えば、ポリウレタン樹脂製の発泡シートで構成される。バッキング材４は、下側定盤３に固定されている被加工物保持枠材５で囲まれてなる保持凹部内に露出する下側定盤３に上記した両面接着テープにより接着される。
【００４１】
ガラス基板２はバッキング材４で裏面が保持され、被加工物保持枠材５でその外周が保持された状態で下側定盤３上に保持される。
【００４２】
研磨パッド１０は、下側定盤３の上方で対向配置されている上側定盤１１の下面に貼り付けられて保持されている。
【００４３】
以上の構成を備えた加工装置においては、下側定盤３と上側定盤１１との間への研磨砥粒を含む研磨液の供給と共に、両定盤３，１１の相対回転により、ガラス基板２の表面（被加工面）を研磨パッド１０により研磨することができる。
【００４４】
図２にガラス基板２を保持した被加工物保持枠材５の平面を示す。被加工物保持枠材５は、２つの第１、第２分割枠材５１，５２を組み合わせて構成されている。
【００４５】
第１分割枠材５１は、平面視形状が片仮名の「コ」の字形状になるように、図２において縦方向に延びる縦枠部５１ａと、縦枠部５１ａの両端部から共に同一右横方向直角に屈曲して同一長さに延びる２つの横枠部５１ｂと、を有している。
【００４６】
第２分割枠材５２は、平面視形状が片仮名の「コ」の字形状とは１８０度反対向きの形状となるように、前記縦枠部５１ａと同一長さで縦方向に延びる縦枠部５２ａと、縦枠部５２ａそれぞれの両端部から共に同一左横方向直角に屈曲して前記横枠部５１ｂと同一長さに延びる２つの横枠部５２ｂと、を有している。
【００４７】
第１、第２分割枠材５１，５２は、互いの横枠部５１ｂ，５２ｂの端面同士が突き合わされて配置される。この配置により、第１、第２分割枠材５１，５２の対向間には矩形状の保持凹部１２が構成される。この保持凹部１２は、例えば、縦横寸法が１ｍ×１ｍ以上の大型矩形状のガラス基板２を嵌め込んで保持することができる程度の大きさである。
【００４８】
第１分割枠材５１は、縦枠部５１ａに対して２つの横枠部５１ｂがそれぞれ直角に屈曲する２つの屈曲部分の付近それぞれに位置決め穴６ａを備えている。
【００４９】
第２分割枠材５２にも、縦枠部５２ａに対して２つの横枠部５２ｂがそれぞれ直角に屈曲する２つの屈曲部分の付近それぞれに位置決め穴６ｂを備えている。
【００５０】
一方、下側定盤３には、上記合計４つの位置決め穴６ａ，６ｂそれぞれに個別に対応して位置決めピン（図２には現わされていない）が合計４つ突出配置されている。これら４つの位置決めピンは下側定盤３から出没自在に構成されている。
【００５１】
以上から、これら４つの位置決め穴６ａ，６ｂと、４つの位置決めピンそれぞれは、被加工物保持枠材５により形成される保持凹部１２に保持されているガラス基板２の角部の近傍に形成されていることになる。
【００５２】
第１、第２分割枠材５１，５２は、ポリカーボネート、ユニレート、ポリエーテルケトン樹脂、結晶化ポリエステル（ガラス繊維入り）ユニレート、高分子量ポリエチレン等からなる単層の高分子材料で構成してもよいし、あるいは、布や紙、アラミド繊維、ガラス、テトロンエポキシ、カーボンファイバー等からなる繊維基材と、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シリコン樹脂等の樹脂とを、何層か積層してプレス成形した積層板で構成してもよい。
【００５３】
第１、第２分割枠材５１，５２の厚みは、例えば、数ｍｍ程度である。
【００５４】
図３（ａ）（ｂ）（ｃ）は、いずれも、第１、第２分割枠材５１，５２の下側定盤３への取り付け手順を説明するために第１分割枠材５１については図２の矢印Ａ方向から見た側面図となり、第２分割枠材５２については図２の矢印Ｂ方向から見た側面図になる。
【００５５】
図３（ａ）（ｂ）（ｃ）には、下側定盤３に対して出没自在とされた円柱状の位置決めピン７ａ，７ｂが示されている。下側定盤３に対する位置決めピン７ａ，７ｂの出没機構の説明は略する。これら位置決めピン７ａ，７ｂは、第１、第２分割枠材５１，５２それぞれの位置決め穴６ａ，６ｂそれぞれと対応している。
【００５６】
まず、図３（ａ）で示すように、下側定盤３から、各位置決めピン７ａ，７ｂを突出させる。
【００５７】
次いで、図３（ｂ）で示すように、各位置決めピン７ａ，７ｂに第１、第２分割枠材５１，５２それぞれの位置決め穴６ａ，６ｂを嵌合させて第１、第２分割枠材５１，５２の位置決めをする。この位置決めの後、図示略の両面接着テープによって、第１、第２分割枠材５１，５２それぞれの下面を下側定盤３に接着固定する。こうして第１、第２分割枠材５１、５２が下側定盤３に位置決めされて固定される。
【００５８】
この位置決め固定の後は、図３（ｃ）で示すように各位置決めピン７ａ，７ｂを対応する位置決め穴６ａ，６ｂそれぞれから退出させて下側定盤３内部に退避させる。
【００５９】
図４に第１、第２分割枠材５１，５２の位置決め穴６ａ，６ｂを拡大して示す。これらの位置決め穴６ａ，６ｂの形状は正方形であって、それぞれ、第１、第２分割枠材５１，５２を貫通している。
【００６０】
これによって、後述のように、各分割枠材５１，５２それぞれの位置決め穴６ａ，６ｂを、位置決めピン７ａ，７ｂに嵌合させて位置決めする際に、無理に嵌合させて各分割枠材５１，５２に、歪みや反りが生じないようにすることができる。
【００６１】
この実施形態では、一例として、位置決めピン７ａ，７ｂの外径１５．０ｍｍに対して、位置決め穴６ａ，６ｂの内周面における各辺の長さを１６．０〜１６．６ｍｍとして、位置決め穴６ａ，６ｂの各辺の長さを、位置決めピン７の外径よりも１．０〜１．６ｍｍ程度大きくしている。なお、前記位置決め穴６ａ，６ｂの内周面における各辺とは、位置決め穴６ａ，６ｂの平面視形状が正方形であり、この正方形を構成する各辺のことである。
【００６２】
位置決め穴６ａ，６ｂは、従来と同様に、例えば、細いドリルの刃先を各分割枠材５１，５２に突き刺して位置決め穴６ａ，６ｂの形状である正方形の各辺に順次沿うように移動させるくり抜き加工することにより、各分割枠材５１，５２に位置決め穴６ａ，６ｂを形成する。この加工に際しては、上述のようにくり抜き加工開始点付近とくり抜き加工終了点付近においてドリルの刃先のぶれを回避することが困難である。
【００６３】
このため、図４に示す位置決め穴６ａ，６ｂの内周面における４つの隅部のうち任意の１つの隅部６Ａをくり抜き加工開始点とし、この内隅部６Ａをくり抜き加工終了点としてドリルの刃先で位置決め穴６ａ，６ｂを正方形の形状にくり抜き加工すると、前記隅部６Ａは、ドリルの刃先のぶれによって歪んだ形状となってしまう可能性が極めて高くなる。
【００６４】
しかしながら、実施の形態では位置決めピン７の円柱状の外周面を位置決め穴６ａ，６ｂの正方形状の内周面に嵌合させて位置決めする際には、位置決めピン７ａ，７ｂは、その外周が位置決め穴６ａ，６ｂの任意の隅部６Ａを除いた内周面に当接することにより、位置決めされる。その結果、前記隅部６Ａは前記位置決めに殆ど寄与しないので、隅部６Ａが歪んだ形状であっても前記位置決めの精度に影響しなくなる。
【００６５】
位置決め穴６ａ，６ｂの正方形状の内周面が、前記任意の一つの隅部６Ａを除いて高精度に加工されているので、位置決め穴６ａ，６ｂに位置決めピン７ａ，７ｂを嵌合させる際に、従来の歪んだ形状の位置決め穴を、位置決めピンに嵌合させたときのように、無理に嵌合させる必要がなくなる。これによって、分割枠材５１，５２に無理な力が加わって歪みや反りが生じるといったことを無くすことができるようになる。
【００６６】
特に、分割枠材５１，５２を、縦糸１３と、横糸１４とが編み込まれた繊維基材と樹脂とを積層してプレスした積層板で構成した場合には、図４に示すように、位置決め穴６ａ，６ｂの内周面における各辺を、繊維の縦糸１３の方向（図の縦方向）または横糸１４の方向（図の横方向）に沿うように加工形成することができる。
【００６７】
その結果、位置決め穴６の穴内周面の繊維の毛羽立ちが、従来の円形の位置決め穴と比較して抑制されてより精度良く加工できるとともに、位置決め穴６ａ，６ｂの穴内周面から毛羽立った繊維が脱落するといったことも抑制されることになる。
【００６８】
更に、正方形状の位置決め穴６ａ，６ｂでは、それらの内周面が例えば、図５に示すように、円柱状の位置決めピン７ａ，７ｂに対して２点で当接させて位置決めすることができる。これにより、図２に示す、例えば第１分割枠材５１の長手方向（図の上下方向）の２箇所の位置決め穴６ａのうちの一方の位置決め穴６ａの穴内周面を、対応する一方の位置決めピン７ａの外周面に、２点で当接させることにより、前記長手方向とその直交方向との仮りの（暫定的）位置決めをした状態で、他方の位置決め穴６ａの穴内周面を、他方の位置決めピン７ａの外周面に１点で当接させて容易に位置決めすることができる。
【００６９】
図６は本発明の他の実施形態に係る被加工物保持枠材５において、第１分割枠材５１については図２の矢印Ａ方向から見た側面図として、また、第２分割枠材５２については図２の矢印Ｂ方向から見た側面図として示す。
【００７０】
図６に示す実施の形態では第１、第２分割枠材５１，５２それぞれの位置決め穴６ａ１，６ｂ１が貫通穴として、下側定盤３に向かってその穴開口寸法が大きくなるように、テーパ状に形成され、その下側定盤３側の開口寸法は、下側定盤３側とは反対側の開口寸法よりも大きくなっている。
【００７１】
そして、下側定盤３の位置決めピン７ａ，７ｂそれぞれの外周面に、第１、第２分割枠材５１，５２それぞれの位置決め穴６ａ１，６ｂ１それぞれの内周面を嵌合させて位置決めする際には、上記テーパ形状を利用して円滑に位置決めすることができるようになっている。
【００７２】
また、バッキング材４は、被加工物保持枠材５よりも広いものであってもよく、この場合には、バッキング材４に位置決めピンが挿通する挿通孔を形成しておき、被加工物保持枠材５よりも先に、下側定盤３に固定しておけばよい。
【００７３】
また、位置決め穴の穴内周面の繊維の毛羽立ちをなくすために前記内周面を処理、例えば、熱処理、樹脂によるコーティング処理、あるいは、サンドペーパーによる研磨処理してもよい。
【００７４】
図７に、本発明のさらに他の実施形態の被加工物保持枠材の平面図、図８に図７の一部拡大図を示す。ただし、図８は、図７の第１、第２分割枠材５１，５２の位置決め穴６ａ２，６ｂ２を共に示す。これらの図を参照して第１、第２分割枠材５１，５２それぞれには、位置決め穴６ａ２，６ｂ２が形成されている。この位置決め穴６ａ２，６ｂ２の形状は長方形の形状になっている。
【００７５】
各分割枠材５１，５２は、上述の実施形態と同様に、縦枠部５１ａ，５２ａと、この縦枠部５１ａ，５２ａの両端から延びる横枠部５１ｂ，５２ｂとを有して平面視が片仮名の「コ」の字形状に形成されるのであるが、各位置決め穴６ａ２，６ｂ２は、縦枠部５１ａ，５２ａの長手方向（図７，図８の上下方向）にそれぞれ長い長方形、例えば、長辺が１７．６ｍｍ、短辺が１６ｍｍに形成されている。長辺の長さは、短辺の長さの１．１倍以内であることが好ましい。
【００７６】
このように位置決め穴６ａ２，６ｂ２の形状を長方形とすることにより、例えば、分割枠材５１，５２の位置決め穴６ａ２，６ｂ２の前記長手方向の加工精度や下側定盤３の位置決めピン７ａ，７ｂの前記長手方向の位置精度に多少の誤差があっても、下側定盤３の位置決めピン７ａ，７ｂに、長方形の位置決め穴６ａ２，６ｂ２を嵌合させて位置決めする際に、第１、第２分割枠材５１，５２を、前記長手方向にスライドさせて微調整を行いながら嵌合させることにより、前記誤差を吸収して容易に位置決めすることができる。
【００７７】
その他の構成は、上述の実施形態１と同様である。
【実施例】
【００７８】
以下本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明する。
【００７９】
上述の実施形態１，２に対応する分割枠材を実施例１，２とし、従来例の分割枠材を比較例とし、かかる分割枠材を用いた被加工物保持具によってガラス基板を保持して研磨を行なってガラス基板のクラックの発生頻度を評価した。
【００８０】
実施例１の分割枠材は１辺が１６ｍｍの正方形の位置決め穴を形成し、実施例２の分割枠材は長辺が１７．６ｍｍ、短辺が１６ｍｍの長方形の位置決め穴を形成した。また、従来例である比較例は、内径が１６ｍｍの円形の位置決め穴を形成した。
【００８１】
いずれの分割枠材もガラス繊維強化エポキシ樹脂板で構成し、バッキング材にはニッタ・ハース社製Ｒ６０１を使用した。研磨装置の定盤の位置決めピンの外径は１５ｍｍであり、研磨パッドはニッタ・ハース社製Ｓｕｂａ６４０Ｄ５２を用い、研磨圧力３００ｇｆ／ｃｍ２下で５分３０秒（内１５秒間水のみ）間ライムガラス（厚さ  ０．７ｍｍ）の研磨を行なった。
【００８２】
その結果、全研磨枚数７０００枚に対するクラックの発生頻度は、実施例１では１．２％であり、実施例２では０．８％であり、従来例である比較例では２．３％であった。
【００８３】
比較例では、クラックの発生頻度が２．３％であるのに対して、正方形の位置決め穴を有する実施例１では、クラックの発生頻度が１．２％と比較例の略半分に低減されており、更に、長方形の位置決め穴を有する実施例２では、クラックの発生頻度が０．８％と比較例の略１／３に低減されている。
【００８４】
このように実施例１，２の分割枠体では、従来例の分割枠体に比べて、ガラス基板の不良率が顕著に改善されていることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
液晶ディスプレイ用のガラス基板などの研磨においてクラック、割れなどの不良発生を低減し、生産性の向上に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】図１は本発明の実施の形態に係る被加工物保持具によって被加工物を下側定盤上に保持した状態の断面図である。
【図２】図２はガラス基板を保持した状態の被加工物保持枠材の平面図である。
【図３】図３（ａ）は下側定盤に対する分割枠材を取り付ける直前の状態示す側面図、図３（ｂ）は同取り付けた状態で位置決めピンが位置決め穴に嵌合されている状態を示す側面図、図３（ｃ）は同取り付けた状態で位置決めピンが位置決め穴外に退避した状態を示す側面図である。
【図４】図４は位置決め穴付近の一部拡大図である。
【図５】図５は位置決め穴と位置決めピンとの当接状態を示す図である。
【図６】図６は本発明の他の実施形態の図３に対応する側面図である。
【図７】図７は本発明のさらに他の実施形態の図２に対応する平面図である。
【図８】図８は図７の位置決め穴付近の一部拡大図である。
【図９】図９は従来例の被加工物保持枠材の平面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１  被加工物保持具
２  ガラス基板（被加工物）
３  下側定盤
４  バッキング材
５  被加工物保持枠材
５１  第１分割枠材
５２  第２分割枠材
６ａ，６ｂ  位置決め穴  
７ａ，７ｂ  位置決めピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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