(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリプレグに錐体状または錐台状のバンプが貫通して該バンプの周りの領域での前記プリプレグが盛り上がって前記バンプの先端部が突出する、前記バンプと前記プリプレグとを有する検査対象におけるバンプの異常検知方法であって、
前記検査対象を、前記バンプの前記先端部が突出する前記プリプレグの面を上に向けて載置台に載置するステップと、
前記プリプレグの面に突出する前記バンプの先端部と前記プリプレグの面における前記バンプの先端部の周り領域とを含むように検査領域を設定し、傾き１５度以下で盛り上がった前記プリプレグの前記周り領域からの正反射光が真上に向かうのを防止するように、前記検査領域から仰角３０度以下の位置に照明光源を設置して、前記検査領域を前記照明光源により照明するステップと、
傾き１５度以下で盛り上がった前記プリプレグの前記周り領域からの、前記照明光源による正反射光が入射されないように前記検査領域のほぼ真上にカメラを設置し、該カメラで前記検査領域を撮像するステップと、
前記撮像された検査領域について２値化の画像処理を行うステップと
を具備することを特徴とする錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【請求項２】
前記照明光源が、前記検査領域を取り囲むように複数設けられた照明光源であることを特徴とする請求項１記載の錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【請求項３】
前記照明光源が、前記検査領域を取り囲むようにリング状の発光部位を有する照明光源であることを特徴とする請求項１記載の錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【請求項４】
前記載置台が、バキュームチャック機能を有する載置台であることを特徴とする請求項１記載の錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【請求項５】
前記照明光源による照明は、前記検査領域からの仰角位置が同じで前記検査領域からの方向が異なる２以上の照明光源のひとつから逐次行い、
前記カメラによる撮像は、前記２以上の照明光源による前記逐次の照明のたびに行い、
前記画像処理が、前記逐次の照明のたびに行われた撮像で得られた画像同士の差処理を含むこと
を特徴とする請求項１記載の錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【請求項６】
前記画像処理が、特定の色相を含む領域について輝度を無視する処理を含むことを特徴とする請求項１記載の錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、錐体または錐台形状を有するバンプに異常があるか否かを検知する、錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法に係り、特に、配線板の層間接続体として用いられるバンプに対して好適な、配線板製造工程における錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、配線板の配線パターンなどに必要な微細化に伴い、配線層間を電気的接続する層間接続体には、スルーホール構造のものに代わり導電性バンプを用いた密構造のものも用いられるようになってきている。このような導電性バンプは、例えば、導電性ペーストをスクリーン印刷を用いて配線パターン上に印刷する方法によって、多数を一度に生産性高くかつ微細に形成することができる。スクリーン印刷により形成される導電性バンプはほぼ円錐形状であり、これを乾燥・硬化させると、半硬化状態の絶縁板（プリプレグ）を貫通させるのに向く。
【０００３】
このような貫通のあとプリプレグを熱硬化させてその上下面に位置する導電層（配線パターン）を導電性バンプにより電気的に接続しつつ一体化し、スルーホールによらない層間接続体を有する配線板を得ることができる。
【０００４】
このような製造工程を有する配線板の製造過程では、製造歩留まりを向上するため、すべての導電性バンプがプリプレグを異常なく貫通しているかどうかを検査する工程を設けることができる。ここで、バンプ形状のものの検査を行なう装置には、例えば、特開２０００−２２１０１４号公報記載のものがある。同文献では、検査対象上に形成されたバンプについてその有無などをカメラで撮像して検査する。このようにカメラで撮像された画像を用いてこれを画像処理し検査を行なうこと自体は周知である。
【特許文献１】特開２０００−２２１０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
導電性バンプがプリプレグを異常なく貫通しているかどうかを検査するには、第一に、貫通により突出した導電性バンプとその周りの絶縁板とが撮像された画像上で識別できることが必要である。バンプ形状のものとその周りのものとの識別ということ自体は、上記公知文献に示される検査対象でも同様であるが、周りのものがプリプレグであるところが本願特有である。
【０００６】
すなわち、プリプレグはバンプが貫通される時点では半硬化状態であり、また、熱硬化後に確保すべき強度を備えるため、ガラスクロスに樹脂が含浸された構成を有している。このようなプリプレグに導電性バンプを貫通させると、貫通して突出した先端部の周りのプリプレグ部分が、バンプ先端との接触によるガラスクロスの移動により多少盛り上る。このような盛り上りは、その後の積層プレスにより解消するので配線板としての製造品質上はほとんど問題ない。しかしながら、貫通させた時点においてその貫通が十分か否かを検査するときには問題となり得ることが発明者の検討により判明した。つまり、その盛り上がりの程度によっては、導電性バンプの先端の凸形状との識別が難しくなるということである。
【０００７】
本発明は、上記した事情を考慮してなされたもので、錐体または錐台形状を有するバンプに異常があるか否かを検知する、錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法において、精度よくバンプの異常検知が可能な錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法は、プリプレグに錐体状または錐台状のバンプが貫通して該バンプの周りの領域での前記プリプレグが盛り上がって前記バンプの先端部が突出する、前記バンプと前記プリプレグとを有する検査対象におけるバンプの異常検知方法であって、前記検査対象を、前記バンプの前記先端部が突出する前記プリプレグの面を上に向けて載置台に載置するステップと、前記プリプレグの面に突出する前記バンプの先端部と前記プリプレグの面における前記バンプの先端部の周り領域とを含むように検査領域を設定し、傾き１５度以下で盛り上がった前記プリプレグの前記周り領域からの正反射光が真上に向かうのを防止するように、前記検査領域から仰角３０度以下の位置に照明光源を設置して、前記検査領域を前記照明光源により照明するステップと、傾き１５度以下で盛り上がった前記プリプレグの前記周り領域からの、前記照明光源による正反射光が入射されないように前記検査領域のほぼ真上にカメラを設置し、該カメラで前記検査領域を撮像するステップと、前記撮像された検査領域について２値化の画像処理を行うステップとを具備することを特徴とする。
【０００９】
すなわち、絶縁板（プリプレグ）に突出するバンプの先端部を含む検査領域に対して、カメラを真上に、照明光源を検査領域から仰角３０度以下の位置に、それぞれ設置する。このような三者の位置関係によると、バンプの周りに位置するプリプレグ部分の盛り上りを無視するように撮像することが可能である。これは、仰角の高い照明を行なうと小さな盛り上りに対してもカメラ方向への反射光量が増加しこれによりバンプ先端の凸形状との識別がより困難になるところ、仰角が低くなるとプリプレグの盛り上りからカメラへの反射光量が減少しバンプ先端からカメラへの反射光量との差が大きくなるからである。
【００１０】
したがって、この方法によれば錐体状または錐台状のバンプを地のものとはっきりと識別することが容易になり、よって精度よくバンプの異常検知が可能になる。なお、仰角を３０度以下にするのは、実際の導電性バンプ先端の凸形状とプリプレグの盛り上りを考慮して実験的に求めたものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、カメラへの反射光量の差から錐体状または錐台状のバンプを地のものとはっきりと識別することが容易になり、精度よくバンプの異常検知が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施態様として、前記照明光源は、前記検査領域を取り囲むように複数設けられた照明光源であるようにしてもよい。これによれば複数の方向からバンプの先端凸形状に照明が照射され、その位置特定がさらに容易になるように撮像され得る。      
【００１４】
また、実施態様として、前記照明光源は、前記検査領域を取り囲むようにリング状の発光部位を有する照明光源であるようにしてもよい。これは、上記複数の照明光源を機能的にさらに進めたものである。
【００１５】
また、実施態様として、前記載置台は、バキュームチャック機能を有する載置台であるようにしてもよい。バキュームチャックにより検査対象を保持するようにすると、絶縁板（すなわち検査対象）の平面性がより確保されるので、プリプレグの盛り上り部分からカメラへの反射光量を好ましく抑制することができる。よって、なお高精度なバンプの異常検知が可能になる。
【００１６】
また、実施態様として、前記照明光源による照明は、前記検査領域からの仰角位置が同じで前記検査領域からの方向が異なる２以上の照明光源のひとつから逐次行い、前記カメラによる撮像は、前記２以上の照明光源による前記逐次の照明のたびに行い、前記画像処理が、前記逐次の照明のたびに行われた撮像で得られた画像同士の差処理を含む、としてもよい。
【００１７】
また、実施態様として、前記画像処理が、特定の色相を含む領域について輝度を無視する処理を含むようにしてもよい。
【００１８】
以上を踏まえ、以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す正面図である。図１に示すように、この異常検知方法は、検査対象１が有するバンプとしての導電性バンプ１５について、その異常を検知するためのものである。
【００１９】
構成を説明するに、検査対象１を載置する載置台２１、検査対象１の検査領域のほぼ真上に設けられ、同検査領域を上方から撮像するカメラ２３、検査領域からの仰角θが所定の角度に設定されて同検査領域を照明する照明光源２４、および、カメラ２３で撮像された画像が入力され、この画像に所定の画像処理を行なう画像処理装置２５を有する。また、載置台２１には、検査対象１をバキュームチャックするための細孔２２がその載置面に開口するように設けられている。
【００２０】
載置台２１は、検査対象１を検査のために載置する台である。検査対象１は配線板の素材となるものなので、これに符合する平面性の上面を有するものが好ましい。また、細孔２２からの減圧で検査対象１をバキュームチャックすることにより、検査対象１に反りなどが生じている場合にも、載置台２１上面の平面性に倣うように検査対象１を形状矯正して検査することができる。細孔２２の配置密度は、例えば、縦横とも１０ｍｍから２０ｍｍ程度の間隔で１個ずつである。これは、検査対象１に生じやすい反りの曲率半径などを勘案して、その曲率半径より小さい値に選ぶのが好ましい。また、細孔２２の直径は、例えば、０．８ｍｍから１．０ｍｍ程度に設定することができる。
【００２１】
カメラ２３は、載置台２１上に載置された検査対象１の上方に設けられる。その位置からほぼ真下方向を俯瞰するように検査対象１を撮像する。その真下位置を中心とする所定の範囲が検査領域である。検査領域は、カメラ２３で撮像できる範囲内で適当に設定することができる。一般に、範囲を狭く設定すればより細かいオーダーで精密に検査できるものの検査効率は小面積ずつのため低下し、範囲を広く設定すれば検査の精密さはなくなるが検査効率は向上する。カメラ２３で撮像された画像は、画像処理装置２５に出力される。なお、カメラ２３に、ＣＣＤ（charge coupled device）撮像素子などの撮像デバイスを有するもの用いれば装置として小型化に適する。
【００２２】
照明光源２４は、上記検査領域からの仰角がθの位置に設けられる。θは例えば２０度である（詳しくは後述）。検査対象１上の検査領域が切り替わった場合にも仰角θを一定に保つため、カメラ２３との相対位置が不変となるように設置する。例えば単一のフレームを用意してそのフレームにカメラ２３と照明２４とを図示するような姿勢で固定するようにすればよい。検査対象１の検査領域を切り替えるためには、フレーム側を移動させても載置台２１側を移動させてもよい。照明光源２４には、各種の周知の照明光源を利用可能である。例えば、ＬＥＤ（light emitting diode）ランプ、ハロゲンランプ、蛍光灯などである。
【００２３】
画像処理装置２５は、カメラ２３で撮像された画像が入力されてその画像に対して処理を行なうものである。処理としては、例えば２値化などである。２値化された結果の画像をパターン認識して検査対象１に異常があるか否かを決定するソフトウエアを備えるようにしてもよい。
【００２４】
以上説明の構成を動作させるには、例えば、まず、プリプレグ１６を有する検査対象１を、導電性バンプ１５の先端部が突出するプリプレグ１６の面を上に向けて載置台２１に載置する。次に、プリプレグ１６の上面に検査領域を設定してこの検査領域から仰角３０度以下の位置に設置された照明光源２４により検査領域を照明しつつ、検査領域のほぼ真上に設置されたカメラ２３で検査領域を撮像する。そして撮像された検査領域について２値化などの画像処理を行なう。
【００２５】
次に、検査対象１の構成について説明する。検査対象１は、図に示す場合では、硬化絶縁板１１、導電層１２、配線パターン１３、導電性バンプ１４、導電性バンプ１５、プリプレグ（半硬化状態の絶縁板）１６からなるものである。導電層１２は、パターニングによりすでに配線パターン化されていてもよい。図示する状態における検査内容は、導電性バンプ１５がプリプレグ１６を十分に貫通して先端が突出しているかどうかである。図１に示す前段階では、検査対象１には、未だプリプレグ１６は積層されていない。すなわち、硬化絶縁板１１の両面それぞれに導電層１２、配線パターン１３が積層され、両面間の電気的接続が導電性バンプ１４によりなされている両面配線板の片面上（配線パターン１３上）に、導電性ペーストを例えばスクリーン印刷することによりほぼ円錐状の導電性バンプ１５を形成しておく。
【００２６】
このような状態のものにプリプレグ１６を積層させて、導電性バンプ１５を貫通させる。このような貫通を行なう積層のためには、例えば、導電性バンプ１５の先端（頭部）をつぶさないように、プリプレグ１６の上面に容易に塑性変形する離型シートを重ねてプレスし、プレス後に離型シートを剥がすようにすればよい。プリプレグ１６に対する導電性バンプ１５の貫通は、導電性バンプ１５の形成高さばらつきにより不完全になる不良が発生し得る。このような不良が発生すると、図示する検査対象１の上面にさらに配線パターンを有する配線板を積層して導電性バンプ１５による層間接続構造を形成する場合にそれらの電気的接続が不完全になり製造歩留まりが悪化する。そこで、図示する状態において導電性バンプ１５の貫通を検査する。
【００２７】
なお、プリプレグ１６の厚さは、例えば０．０８ｍｍ、導電性バンプ１５の高さは例えば名目として０．１８ｍｍである。導電性バンプ１５の底面径は、例えば０．１５ｍｍから０．２ｍｍである。また、上記では、導電性バンプ１５としてスクリーン印刷で形成されたものを例示しているが、錐体状（円錐や角錐）または錐台状（円錐台や角錐台）に形成される導電性バンプであれば、プリプレグ１６を貫通させるのに適しまた貫通後に同様の状況が生じるので、検査対象となり得る。
【００２８】
図２は、プリプレグ１６の構成をやや詳しく示す模式図である。プリプレグ１６は、熱硬化後の機械的強度が十分確保できるようにガラスクロスが含まれ、ガラスクロスに樹脂が含浸された構造を有している。ガラスクロスは、図２（ａ）に示すように、例えば、ガラス繊維束を縦横に打ち違えた構造である。図２（ｂ）は、ガラスクロスを含むプリプレグ１６の断面を示す図である。このようなガラスクロスを含むプリプレグ１６に対して円錐状の導電性バンプ１５を貫通させようとすると、導電性バンプ１５がガラスクロスに当たる部分では一部のガラス繊維が切れ、残りのガラス繊維を押しのけるようにして導電性バンプ１５が貫通する。ガラス繊維を押しのけるときにガラス繊維自体も縦方向に多少移動するので樹脂の盛り上りが形成される。すなわち、プリプレグ１６の表面には、導電性バンプ１５の周りに樹脂の隆起部分が発生する。
【００２９】
一般には、図２（ａ）に示す部位３１（ガラス繊維の交点）での導電性バンプ１５の衝突が、導電性バンプ１５がまともにガラスクロスに当たるので最も大面積の樹脂盛り上り原因になり、次に部位３２（ガラス繊維の一重部分）、次に部位３３（ガラス繊維間の空間）の順の樹脂盛り上り原因となる。
【００３０】
図３は、プリプレグ１６を貫通した導電性バンプの状態をやや詳細に示す模式図である。図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の違いは、導電性バンプの形成高さのばらつきによる貫通度の違いである。すなわち、図３（ａ）の導電性バンプ１５Ａは、形成高さが十分であったためその先端がプリプレグ１６から十分に突き出している。図３（ｂ）の導電性バンプ１５Ｂは、形成高さがやや低いながらも先端の突き出しが確保された状態である。図３（ｃ）の導電性バンプ１５Ｃは、形成高さが不足して先端の突き出しが十分でない状態である。
【００３１】
これらの図において、上記説明の理由により、導電性バンプ１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃの周りのプリプレグ１６には図示するように盛り上り部位が形成されている。ここで、これらの貫通度が異なる導電性バンプのうち、例えば、図３（ａ）から図３（ｂ）までの状態を異常なしとし、図３（ｃ）のような状態を異常のものとして検知することが、本実施形態の本来の機能である。なお、導電性バンプ１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃいずれも詳細にみれば先端部分には丸みがあることを指摘しておく。これは、バンプとして形成後の積層プレスなどにより多少は塑性変形するからである。錐台状である場合も事情は同様である。
【００３２】
図４は、図１に示した構成において、撮像対象が傾きを有している場合に照明光源２４の照射光による正反射光がカメラ２３からみてどのぐらい逸れるかを示すグラフ（計算値）である。図４は、例えば、照明仰角が６０度で撮像対象の傾きが０度（すなわち傾いていない）ときは、正反射光がカメラ２３に対して−３０度の逸れ角度となることを示す。また、例えば、照明仰角が６０度で撮像対象の傾きが１５度（ただし照明に向かい合うような傾き）であれば、正反射光はちょうどカメラ２３に向かうので逸れ角度は０度となることを示す。
【００３３】
同様にして、照明光源２４の仰角を３０度、および０度（正確には０度では反射が起こらないので、０度にきわめて近いある角度）として正反射光の方向を検討すると図４に示すようなグラフが得られる。ここで、図４の縦軸「反射光のカメラに対する逸れ角度」が０度付近の場合になっているときが、反射光量として大きな量がカメラ２３に入射されることになるので、「白」として撮像される場合である。この範囲を外れると「黒」として撮像されることになる。
【００３４】
図４で照明仰角が６０度である場合をみると、撮像対象の傾きが１５度付近のときに「白」として撮像されることがわかる。すなわち、典型的に図３（ａ）に示すような場合には、プリプレグ１６の盛り上り部位は１５度程度には傾いているため「白」として撮像されてしまう可能性が生じる。一方、導電性バンプ１５Ａの先端は、その丸みの一部分が１５度の傾きになり得るのでその部分が「白」として撮像される。すなわち、貫通された導電性バンプ１５Ａと地のプリプレグ１６の一部とが区別されず「白」となる。
【００３５】
そこで、図４で照明仰角が３０度である場合をみると、撮像対象の傾きが３０度付近のときに「白」として撮像されることがわかる。この場合には、典型的に図３（ａ）に示すときでもプリプレグ１６の盛り上り部位の角度が３０度までは達していない（例えば１５度程度）ため「白」の範囲からはずれて「黒」として撮像される。一方、導電性バンプ１５Ａの先端は、その丸みの一部分が３０度の傾きとなり得るのでその部分が「白」として撮像される。すなわち、貫通された導電性バンプ１５Ａと地のプリプレグ１６とが問題なく区別され撮像される。
【００３６】
これは、図３（ｂ）に示す導電性バンプ１５Ｂの場合でも同様である。なお、図３（ｃ）に示す場合には、プリプレグ１６については同様に「黒」として撮像され、導電性バンプ１５Ｃの先端については、その丸みの一部分が３０度まで達していないことになり得るので「黒」として撮像される。すなわち不十分な貫通を検知できる。
【００３７】
図４に示すように、照明仰角が３０度以下である場合には、「白」として撮像される撮像対象の角度はさらに大きな値（３０度〜４５度）にシフトする。すなわち、このような場合には、プリプレグ１６の盛り上り程度の傾きによってはこれが「白」として撮像されることはなく、逆に導電性バンプ１５Ａ、１５Ｂのような先端部の丸みはその一部分が３０度〜４５度の傾きとなるので「白」として撮像され得る。また、導電性バンプ１５Ｃのような先端部の丸みではその一部分が３０度〜４５度には達していないので「黒」として撮像される。すなわち、不十分な貫通を検知できる。
【００３８】
図５は、図１に示す構成において、照明仰角をそれぞれ２０度、４５度とした場合に、カメラ２３で得られた画像とその画像を２値化した画像とを模式的に示す図である。図５において、照明は図の真左から照射されている。図５に示すように、照明仰角を２０度に設定した場合には、導電性バンプ１５の存在を地のプリプレグ１６と明確に区別して画像化している。これに対して、照明仰角を４５度に設定した場合には、プリプレグ１６の盛り上りも「白」として撮像されていて検査画像として識別性に欠けていることがわかる。このような画像（２値化画像）は、導電性バンプ１５の貫通が十分であるのかそれともプリプレグ１６が盛り上っているだけなのか判断の困難な画像である。
【００３９】
以上説明したように、本実施形態によれば、プリプレグ１６に突出する導電性バンプ１５の先端部を含む検査領域に対して、カメラ２３を真上に、照明光源２４を検査領域から仰角３０度以下の位置に、それぞれ設置する。このような三者の位置関係によると、導電性バンプ１５の周りに位置するプリプレグ１６部分の盛り上りを無視するように撮像することが可能である。これは、仰角の高い照明を行なうと小さな盛り上りに対してもカメラ２３方向への反射光量が増加しこれにより導電性バンプ１５先端の凸形状との識別がより困難になるところ、仰角が低くなるとプリプレグ１６の盛り上りからカメラ２３への反射光量が減少し導電性バンプ１５先端からカメラ２３への反射光量との差が大きくなるからである。
【００４０】
したがって、この方法によれば導電性バンプ１５を地のものとはっきりと識別することが容易になり、よって精度よく導電性バンプ１５の異常検知が可能になる。
【００４１】
次に、本発明の別の実施形態について図６を参照して説明する。図６は、本発明の別の実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す正面図である。同図において、すでに説明した構成要素には同一番号を付しその説明を省略する。この実施形態は、照明光源２４に加えてその向かい側にも照明光源６１を設けるようにしている点が先の実施形態とは異なる。照明光源６１の仰角位置の条件は照明光源２４と同様である。
【００４２】
このような構成によると、導電性バンプ１５に２方向から光が当たるので、導電性バンプ１５が「白」として撮像される面積が上記の実施形態の場合より増加する。よってさらに導電性バンプ１５をはっきりと識別することが容易になり、よって精度よく導電性バンプ１５の異常検知が可能になる。このような効果を増すため、照明光源は２つに限らず、検査領域を取り囲むように３つ以上設けてもよい。それらの仰角位置の条件は照明光源２４と同様である。
【００４３】
次に、本発明のさらに別の実施形態について図７を参照して説明する。図７は、本発明のさらに別の実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す平面図である。図６において、すでに説明した構成要素には同一番号を付しその説明を省略する。この実施形態は、照明光源２４に代えて検査領域を取り囲むようにリング状の発光部位を有する照明光源７１を設けた点が上記各実施形態と異なる。照明光源７１の仰角位置の条件は照明光源２４と同様である。
【００４４】
このような構成によると、導電性バンプ１５に平面的にみて全方向から光が当たるので、導電性バンプ１５が「白」として撮像される面積が上記の各実施形態の場合よりさらに増加する。よってさらに導電性バンプ１５をはっきりと識別することが容易になり、よって精度よく導電性バンプ１５の異常検知が可能になる。なお、リング状に発光部位を有する照明光源７１は、例えばＬＥＤの集合体として形成することができる。また、円形の蛍光灯でもほぼリング状の照明となる。
【００４５】
なお、図６に示す実施形態は、ある別の場合にも好適である。その場合とは、プリプレグ１６（またはその表面に設けられた別材料のパターンなど）の表面が乱反射性の表面を有する場合である。乱反射性の表面を有する場合には、照明光源２４が低い仰角に位置するときであってもカメラ２３で捉えられるその表面の画像はある程度の輝度になる。このような輝度は導電性バンプ１５を捉える上でのノイズになる。
【００４６】
そこで、図６に示す実施形態で、最初に照明光源２４のみを点灯させて検査画像を得て保持しておき、次に照明光源６１のみを点灯させて検査画像を得るようにする。そしてそのあと、画像処理装置２５でこれらの画像同士の輝度差を求めるようにすると上記のノイズを除去することができる。これは、乱反射性であるがゆえその表面を撮像して得られる画像が、いずれの方向（例えば、上から見て０度方向、１８０度方向、９０度方向、２７０度方向など）から光を照射したときもほとんど変わらないからである。したがって、乱反射性の表面が存在する場合においても、よりノイズに干渉されない導電性バンプ１５の検査が可能になる。
【００４７】
また、上記のような乱反射成分が存在する場合に、色情報を利用して乱反射によるノイズの除去を図ることも考えられる。例えば、プリプレグ１６には特定の色相（例えば赤茶色の色相）があり、導電性バンプ１５が無彩色である場合には、その特定の色相が重なって得られる領域については得られる輝度を無視して検査に供する画像とする。このような処理を画像処理装置２５で行えば、図６に示した実施形態と同様に、乱反射性の表面によるノイズを除去して導電性バンプ１５の検査が可能になる。
【００４８】
なお、以上の説明では、実施形態の検査対象１として導電性バンプ１５がプリプレグ１６を貫通しているものを例に挙げているが、当然ながら、導電性バンプ１５が配線パターン１３の上に印刷・形成されている段階のものも検査対象とすることができる。この場合にはプリプレグ１６の盛り上りによる撮像の外乱要因がない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す正面図。
【図２】図１中に示したプリプレグ１６の構成をやや詳しく示す模式図。
【図３】図１中に示したプリプレグ１６を貫通した導電性バンプの状態をやや詳細に示す模式図。
【図４】図１に示した構成において、撮像対象が傾きを有している場合に照明光源２４の照射光による正反射光がカメラ２３からみてどのぐらい逸れるかを示すグラフ。
【図５】図１に示す構成において、照明仰角をそれぞれ２０度、４５度とした場合に、カメラ２３で得られた画像とその画像を２値化した画像とを模式的に示す図。
【図６】本発明の別の実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す正面図。
【図７】本発明のさらに別の実施形態に係る錐体状または錐台状のバンプの異常検知方法を実施するための構成を模式的に示す平面図。
【符号の説明】
【００５０】
１…検査対象、１１…硬化絶縁板、１２…導電層、１３…配線パターン、１４…導電性バンプ、１５，１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ…導電性バンプ、１６…プリプレグ、２１…載置台、２２…細孔、２３…カメラ、２４，６１，７１…照明光源、２５…画像処理装置。
【図１】
0004606734.tif 000002
【図２】
0004606734.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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