(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化鉄と、酸化コバルトと酸化亜鉛とを主成分とし、酸化鉄：酸化コバルト：酸化亜鉛の配合比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で５０：４７：３、５０：４２：８、４５：５２：３、４４：４２：１４、４２：５２：６、４２：４４：１４ｍｏｌ％で囲まれる組成範囲内であるとともに、副成分として少なくともチタン、タンタル、インジウム、ジルコニウム、リチウム、錫、バナジウムのいずれか、もしくは複数を、各副成分の添加量もしくは各副成分の合計添加量が酸化物換算で０．２〜２．０ｗｔ％含む磁性フェライト。
【請求項２】
棒状の碍子と、この碍子にらせん状に設けられた導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層と、この導体コイルに接続される二つの外部電極とからなり、前記碍子に請求項１に記載の磁性フェライトを用いてインダクタンス素子とした磁性素子。
【請求項３】
磁性絶縁体と、この磁性絶縁体の内部にミアンダ状に設けられた導体コイルと、この導体コイルに接続される二つの外部電極とからなり、前記磁性絶縁体に請求項１に記載の磁性フェライトを用いてインピーダンス素子とした磁性素子。
【請求項４】
リング状コアと、このリング状コアに同一方向に巻かれた二つの導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層と、この導体コイルに接続される四つの外部電極とからなり、前記リング状コアに請求項１に記載の磁性フェライトを用いてコモンモードノイズフィルタとした磁性素子。
【請求項５】
フェライトコアと、このコアにらせん状に巻かれた導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層とからなり、前記フェライトコアに請求項１に記載の磁性フェライトを用いてアンテナ素子とした磁性素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は各種電子機器に用いられる磁性フェライトおよびそれを用いた磁性素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、磁性フェライトは酸化鉄、酸化亜鉛、酸化ニッケル、酸化マンガン、酸化マグネシウムを主成分としたスピネル型フェライト、すなわちＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト、Ｍｇフェライトを基本に主成分の配合比率や副成分の添加量の調整を行うことにより低周波回路から２００ＭＨｚ前後までの電子回路に用いられている。これらの電子回路に用いられる磁性素子は磁芯に用いられる磁性フェライトの複素透磁率μ＝μ’−μ”×ｉ（μ’：透磁率、μ”：損失成分）を利用してさまざまな特性を実現している。
【０００３】
さらに、最近では２００ＭＨｚを超える帯域の電子回路には酸化鉄、酸化バリウム、酸化ストロンチウムを主成分とした六方晶フェライトが用いられている。
【０００４】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば特許文献１が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平５−３６５１７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記磁性フェライトは損失成分μ”が急激に増大する周波数が１ＧＨｚ未満であることから、従来の磁性フェライトを磁芯に用いた磁性素子は１ＧＨｚまでの使用が限界である。一方、これらの磁性素子を用いる電子機器のデジタル化に伴う高周波化技術の進展は著しく進化している。これらの高速大容量の信号を処理するためにはより高周波化に対応できる部品の実現が不可欠である。
【０００７】
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、損失成分μ”が急激に増大する周波数が１ＧＨｚ以上を有する磁性フェライトを実現するとともに、その磁性フェライトを用いた１ＧＨｚ以上の周波数での使用が可能な磁性素子を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の磁性フェライトおよびそれを用いた磁性素子は以下の構成を有するものである。
【０００９】
本発明の請求項１に記載の発明は、酸化鉄と、酸化コバルトと酸化亜鉛とを主成分とし、酸化鉄：酸化コバルト：酸化亜鉛の配合比がＦｅ2Ｏ3，ＣｏＯ，ＺｎＯ換算で５０：４７：３、５０：４２：８、４５：５２：３、４４：４２：１４、４２：５２：６、４２：４４：１４ｍｏｌ％で囲まれる組成範囲内であるとともに、副成分として少なくともチタン、タンタル、インジウム、ジルコニウム、リチウム、錫、バナジウムのいずれか、もしくは複数を、各副成分の添加量もしくは各副成分の合計添加量が酸化物換算で０．２〜２．０ｗｔ％含む磁性フェライトであり、より優れた高周波特性を有する磁性フェライトを実現することができる。
【００１０】
本発明の請求項２に記載の発明は、棒状の碍子と、この碍子にらせん状に設けられた導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層と、この導体コイルに接続される二つの外部電極とからなり、前記碍子に請求項１に記載の磁性フェライトを用いてインダクタンス素子とした磁性素子であり、１ＧＨｚ以上でもＱが大きく、内部導体ラインを短縮することができるインダクタンス素子を実現することができる。
【００１１】
本発明の請求項３に記載の発明は、磁性絶縁体と、この磁性絶縁体の内部にミアンダ状に設けられた導体コイルと、この導体コイルに接続される二つの外部電極とからなり、前記磁性絶縁体に請求項１に記載の磁性フェライトを用いてインピーダンス素子とした磁性素子であり、ローパスフィルターのカットオフ周波数を１ＧＨｚ帯以上にでき、大きなインピーダンス値を有することからノイズを効率よくカットすることができるインピーダンス素子を実現することができる。
【００１２】
本発明の請求項４に記載の発明は、リング状コアと、このリング状コアに同一方向に巻かれた二つの導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層と、この導体コイルに接続される四つの外部電極とからなり、前記リング状コアに請求項１に記載の磁性フェライトを用いてコモンモードノイズフィルタとした磁性素子であり、伝送信号の周波数帯を１ＧＨｚ以上に設計できるとともにＧＨｚ帯で用いる結合係数の大きいコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００１３】
本発明の請求項５に記載の発明は、フェライトコアと、このコアにらせん状に巻かれた導体コイルと、この導体コイルを覆う絶縁体層とからなり、前記フェライトコアに請求項１に記載の磁性フェライトを用いてアンテナ素子とした磁性素子であり、１〜３ＧＨｚにおける小型のアンテナ素子を実現することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の磁性フェライトおよびそれを用いた磁性素子について実施の形態および図面を用いて説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１および図１、図２により請求項１に記載の発明について説明する。
【００１６】
本発明の磁性フェライトの出発原料である市販の酸化鉄粉と酸化亜鉛粉と酸化コバルト粉をＦｅ2Ｏ3：ＺｎＯ：ＣｏＯ＝４８．０：６．５：４５．５ｍｏｌ％の組成比で配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後１２０℃で乾燥して混合粉を得る。この混合粉を９００℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて最大粒径が８μｍ以下になるまで粉砕してフェライト仮焼粉を得る。このフェライト仮焼粉に１ｗｔ％のＳｎＯ2を加えて混合し、この混合粉にＰＶＡ（ポリビニルアルコール）水溶液を適量添加して混練することにより平均粒径２０μｍφ程度の造粒粉を作製する。
【００１７】
この造粒粉をリング形状に成形し、焼成体が緻密になる温度、例えば１２００〜１３００℃で焼成し、トロイダルコアを得る（本発明品１）。比較のために透磁率の殆ど等しい六方晶フェライトを用いてトロイダルコアを作製した（比較品１）。得られたそれぞれのトロイダルコアの特性を比較したものを図１に示す。図１に示すように、比較品１では損失成分μ”が急激に増大する周波数が０．８ＧＨｚ付近であるのに対して、本発明品１では１．５ＧＨｚ付近の高周波側にシフトしており、また透磁率μ’は６ＧＨｚ付近まで約３を維持していることからＧＨｚ帯で用いる磁性フェライトとして十分利用できる磁気特性を有していることがわかる。
【００１８】
また、同様のプロセスを用いて酸化鉄、酸化亜鉛および酸化コバルトを（表１）に示す主成分の組成比となるように配合し、副成分としてＳｎＯ2を２ｗｔ％添加したトロイダルコアを作製した（本発明品２〜８）。この得られた各種トロイダルコアの磁気特性を比較して（表１）に示す。
【００１９】
【表１】
0004736311.tif 000002
【００２０】
（表１）の結果より、本発明品２〜８は比較品２〜７に比べて透磁率μ’が高く、損失成分μ”が小さい磁性フェライトを実現していることがわかる。これらのことから、本発明品はＧＨｚ帯で用いるために優れた特性を有する高周波用の磁性フェライトであることがわかる。
【００２１】
次に、前記本発明品１の組成を有するフェライト仮焼粉に各種副成分を添加したときの２ＧＨｚにおける透磁率μ’の変化を図２に示す。
【００２２】
図２に示すように、添加する副成分の添加量が２ｗｔ％までは添加量が多くなるほど透磁率μ’は大きくなり、最大約６０％もの特性向上が認められた。ただし、０．１ｗｔ％の添加では透磁率μ’の増大はわずかであり、また２．５ｗｔ％の副成分の添加は副成分を添加しない場合に比べて透磁率μ’が低下していることがわかる。以上の結果より、副成分として少なくともチタン、タンタル、インジウム、ジルコニウム、リチウム、錫、バナジウムのいずれかを酸化物換算で０．２〜２．０ｗｔ％が好ましいことがわかる。
【００２３】
次に、前記本発明品１のフェライト仮焼粉に（表２）で示した複数の副成分を添加物として加えた磁性フェライトを前記と同様のプロセスを経てトロイダルコアを作製した（本発明品９〜１５）。また比較のために、本発明品１のフェライト仮焼粉に副成分を添加しない磁性フェライトを用いてトロイダルコアを作製した（比較品８）。そしてそれぞれの磁気特性を比較して（表２）に示す。
【００２４】
【表２】
0004736311.tif 000003
【００２５】
（表２）の結果より、本発明品９〜１５では副成分を同時に２つ以上添加した場合においても副成分を添加しない比較品８に対して２ＧＨｚにおける透磁率μ’が大きくなっていることがわかる。これらの副成分は主成分の焼成挙動に促進的に作用し、複合添加した場合にも副次的に焼結を阻害することなく作用しているものと思われる。なお、主成分である酸化鉄、酸化亜鉛、酸化コバルトの組成範囲が、本発明品２から本発明品８の組成範囲内においても副成分の複数の添加による同様な効果が認められた。
【００２６】
また、主成分の原料となる酸化物や添加した副成分が価数の異なる酸化物もしくは炭酸物、例えばＣｏＯ，Ｃｏ2Ｏ3，Ｃｏ2Ｏ4，ＣｏＣＯ3のいずれであっても同様な効果が得られることを確認している。
【００２７】
（実施の形態２）
本発明の実施の形態２および図３、図４により請求項２に記載の発明について説明する。
【００２８】
図３は本発明の実施の形態２における磁性素子の一例としてのインダクタンス素子に用いる碍子の構造を説明するための斜視図であり、図４はこの碍子を用いたインダクタンス素子の構造を説明するための一部切り欠き斜視図である。図３および図４において、１は（表３）に示した組成を有する磁性フェライトからなる碍子である。この碍子１の表面には銅もしくは銀などからなる導体コイル２を形成し、この導体コイル２の表面には樹脂などからなる絶縁体層３を形成し、この導体コイル２の両端に接続される二つの外部電極４を形成してインダクタンス素子を形成している。
【００２９】
以上のように構成されたインダクタンス素子について、以下にその製造方法を説明しながらその構造および得られたインダクタンス素子の電気特性について詳述する。
【００３０】
まず初めに、本発明品１と同じ組成を有するフェライト仮焼粉を準備し、このフェライト仮焼粉に副成分として（表３）に示した酸化物を加えて混練することにより、実施の形態１と同様なプロセスを経て造粒粉を得た。
【００３１】
次に、この造粒粉を金型内に充填した後所定の成形条件にて成形した後、焼成体が緻密になる温度、例えば１２００〜１３００℃で焼成することにより碍子１を得る。
【００３２】
次に、この碍子１に巻き線などにより導体コイル２を形成し、その後絶縁性樹脂あるいは絶縁性無機材料を用いて絶縁体層３を形成することにより、図４に示すインダクタンス素子を得る（本発明品１６〜２２）。比較のためにアルミナを碍子１として用いたインダクタンス素子（比較品９）と六方晶フェライトを碍子１として用いたインダクタンス素子（比較品１０）を作製した。これらのインダクタンス素子の特性を比較して（表３）に示す。
【００３３】
【表３】
0004736311.tif 000004
【００３４】
（表３）の結果より、本発明品１６〜２２は比較品９と比較して透磁率μ’が大きくなるに従ってインダクタンス値が大きくなっており、高周波回路におけるインダクタンス素子として大きな特性改善が認められた。
【００３５】
また、比較品１０のインダクタンス素子はＱ値の最大を示す周波数が０．８ＧＨｚ前後であり、１ＧＨｚ以上の周波数では損失が大きくなりＧＨｚ帯で使用できないのに対して、本発明品ではＱ値の最大を示す周波数はすべて１〜３ＧＨｚであり、ＧＨｚ帯での使用が可能なインダクタンス素子であることがわかる。
【００３６】
なお、碍子１は造粒粉体の圧縮成形法以外にもグリーンシートを積層し、所望のサイズに切断もしくは打ち抜きにより作製しても同様の効果が得られる。
【００３７】
また、導体コイル２の形成においても巻き線ではなく、全面にめっき技術或いは薄膜技術を用いて形成した後、らせん状にレーザーカットあるいは砥石を用いてスパイラル状のコイルを形成しても同様の効果を得ることができる。
【００３８】
また、絶縁体層３の中に磁性材料を混合して用いても良く、このような構成とすることによりインダクタンス値をさらに向上することができる。この絶縁体層３の中に入れる磁性材料は本発明による磁性フェライトの粉末を用いることが好ましい。さらに、この磁性フェライトの粉末の粒子径は大きいほどＱ値が大きくなることから、４５μｍ以上とすることが最も好ましい。
【００３９】
所望のインダクタンス値を実現したりあるいはインダクタンス値の増大、素子の小型化を実現するために前記磁性フェライトに導体コイルを形成してインダクタンス素子を得ることができる。この磁性フェライトの透磁率μ’が大きいほどインダクタンス値を大きく設計したりあるいはサイズを小型化することができる。
【００４０】
また、用いる磁性フェライトの損失成分μ”が小さいほどＱ値を大きくすることができるので使用する周波数帯域でのＱ値が大きいほど優れた高周波用のインダクタンス素子である。
【００４１】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３および図５、図６により請求項３に記載の発明について説明する。
【００４２】
図５は本発明の実施の形態３における磁性素子の他の例としてのインピーダンス素子の積層構造図であり、図６はそのインピーダンス素子の斜視図である。
【００４３】
図５および図６において、５は白金やパラジウムなどで形成されたミアンダ状の導体であり、この導体５を上下に挟んで磁性フェライトのグリーンシートなどを積層して磁性フェライト６を形成している。この磁性フェライト６は絶縁体である。この磁性フェライト６の両端には内部に形成された導体５の両端と接続される二つの外部電極７を形成してインピーダンス素子を構成している。
【００４４】
このようにノイズ対策部品として用いられるインピーダンス素子は信号ラインである導体５を磁性フェライト６で覆うことにより実現している。この磁性フェライト６の損失成分μ”の急激に増大する周波数をカットオフ周波数とし、それ以上の周波数でインピーダンス素子のインピーダンス値が選択的に大きくなるため、カットオフ周波数よりも高い周波数成分を持つノイズが除去される。このとき、磁性フェライト６の透磁率μ’が大きいほどインピーダンス値を大きく設計することができ、優れたインピーダンス素子である。
【００４５】
以上のように構成されたインピーダンス素子について、以下にその製造方法を説明する。
【００４６】
酸化鉄、酸化亜鉛および酸化コバルトＦｅ2Ｏ3：ＺｎＯ：ＣｏＯ＝４８．０：６．５：４５．５ｍｏｌ％で配合し、これに純水を適量加えてボールミルを用いて混合した後１２０℃で乾燥して混合粉を得る。この混合粉を９００℃で仮焼した後、遊星ボールミルを用いて最大粒径が８μｍ以下になるまで粉砕してフェライト仮焼粉を得た。このフェライト仮焼粉に（表４）で示した副成分を添加物として加え、さらにブチラール樹脂と酢酸ブチルを適量加えてボールミルを用いて十分に分散させてフェライトスラリーを得る。このフェライトスラリーをドクターブレード法によりフェライトグリーンシートを得る。このフェライトグリーンシートの上にＰｔペーストを用いて導体５のパターンを印刷形成する。この導体５のパターンを印刷形成したフェライトグリーンシートと導体５を印刷形成していないフェライトグリーンシートを所望の厚みになるように複数枚積層し、その後個片に切断してチップ状の成形品を得る。この成形品を１２００〜１３００℃で焼成することにより、導体５を内層に形成した磁性フェライトの焼結体を得る。この磁性フェライトの焼結体の両端に導体５の両端部と接続する二つの外部電極７を形成することにより図６に示すインピーダンス素子を完成することができる（本発明品２３〜２９）。
【００４７】
比較のために、六方晶フェライトを用いてインピーダンス素子を作製した（比較品１１）。このようにして得られたインピーダンス素子の電気特性を比較して（表４）に示す。
【００４８】
【表４】
0004736311.tif 000005
【００４９】
（表４）の結果より、本発明品２３〜２９では比較品１１に対してカットオフ周波数（＝インピーダンスが１０Ωとなる周波数）が高く、ＧＨｚ帯用のノイズフィルターとして用いることのできるインピーダンス素子であり、用いる磁性フェライトの透磁率μ’が大きくなるためにインピーダンス値が大きくなることから優れたインピーダンス素子であることがわかる。
【００５０】
また、内部に形成する導体５のＰｔパターンはミアンダ形状以外でもよく、ビアを通じてフェライトグリーンシートを積層することにより、らせん状にコイルを形成してもよい。その場合、らせん状の導体コイル５の端部と外部電極７間の距離が短いとインピーダンス値が低下してしまうので、この間隔を広く取ることが望ましく、この間隔が２００μｍ以上あることが最も好ましい。
【００５１】
また、導体５を形成する材料はＰｄもしくはＰｔとＰｄの合金でもよいが、導電率を大きくするためにはＰｔもしくはＰｄが好ましい。
【００５２】
（実施の形態４）
本発明の実施の形態４および図７、図８により請求項４に記載の発明について説明する。
【００５３】
図７はリング状コアの外観を示す斜視図であり、図８は本発明の磁性素子の他の例としてのコモンモードノイズフィルタの構造を示す一部切り欠き斜視図である。図７および図８において、９は磁性フェライトからなるリング状コアである。このリング状コア９の表面には銅もしくは銀などからなる二つの導体コイル１０を形成し、この二つの導体コイル１０の表面には樹脂などからなる絶縁体層１１を形成し、この二つの導体コイル１０の端子に接続される四つの外部電極１２を形成してコモンモードノイズフィルタを構成しているものである。
【００５４】
一般の電子回路の差動伝送ラインに用いられるコモンモードノイズフィルタは磁性フェライトのリング状コア９に２本の導体コイル１０を同一方向に巻きつけた構造とすることにより、これに用いる磁性フェライトの透磁率μ’を利用して２本の差動伝送ラインの磁気結合を高めてコモンモード成分を除去するものである。このとき用いる磁性フェライトの損失成分μ”が小さいほどディファレンシャルモードの損失すなわち伝えるべき信号レベルの損失が小さくなり、優れたコモンモードノイズフィルタである。この構成において本発明の磁性フェライトをリング状コア９に用いることにより、ＧＨｚ帯で用いることができる優れたコモンモードノイズフィルタを実現することができる。
【００５５】
以上のように構成されたコモンモードノイズフィルタについて、以下にその製造方法を説明する。
【００５６】
（表５）で示した副成分を本発明品１の主成分に添加物として加え、実施の形態１と同様なプロセスを経て、造粒粉を得る。この造粒粉をリング状に成形し、１２００〜１３００℃で焼成してリング状コア９を得る。このリング状コア９に同一方向に２重の巻き線を施して二つの導体コイル１０を形成した後樹脂モールド成形で絶縁体層１１を形成し、二つの導体コイル１０の端子に接続される外部電極１２を形成することにより図８に示したコモンモードノイズフィルタを実現することができる（本発明品３０〜３６）。比較のために、リング状コア９に六方晶フェライトを用いたコモンモードノイズフィルタを作製した（比較品１２）。
【００５７】
得られたコモンモードノイズフィルタの特性を（表５）に示す。
【００５８】
【表５】
0004736311.tif 000006
【００５９】
（表５）の結果より、本発明品３０〜３６では比較品１２よりも１ＧＨｚでの透磁率μ’が大きく、損失成分μ”が小さくなるために結合係数が大きくなっていることがわかる。
【００６０】
なお、面実装を実現するために巻き線を施したリング状コア９を絶縁体層１１でモールドしているが、樹脂モールドせずに二つの導体コイル１０を直接基板などに接続しても同様な効果が得られる。
【００６１】
（実施の形態５）
本発明の実施の形態５および図９、図１０により請求項５に記載の発明について説明する。
【００６２】
図９は本発明の磁性素子のさらに他の例としてのアンテナ素子に用いるフェライトコアの斜視図であり、図１０はそのアンテナ素子の構造を説明するための一部切り欠き斜視図である。図９および図１０において、１３は磁性フェライトからなるフェライトコアである。このフェライトコア１３の表面には銅もしくは銀などからなる導体コイル１４を形成し、この導体コイル１４の表面には樹脂などからなる絶縁体層１５を形成してアンテナ素子を構成しているものである。
【００６３】
以上のように構成されたアンテナ素子について、以下にその製造方法を説明する。
【００６４】
（表６）で示した副成分を本発明品１と同じ主成分に添加物として加え、実施の形態１と同様なプロセスを経て、造粒粉を得る。この造粒粉を棒状に成形した後に１２００〜１３００℃で焼成し、その後図９に示す形状に切削加工をすることによりアンテナ素子のフェライトコア１３を得る。次に、このフェライトコア１３の全表面を銅あるいは銀などの低抵抗を有する金属めっき法などにより形成した後、らせん状にレーザーカットを施して導体コイル１４を形成する。
【００６５】
次に、この導体コイル１４を形成したフェライトコア１３を樹脂モールド成形して絶縁体層１５で覆い、図１０に示すアンテナ素子を完成することができる（本発明品３７〜４３）。比較のために、相似形状の樹脂をコアとして用いたアンテナ素子（比較品１３）と六方晶フェライトをフェライトコア１３として用いたアンテナ素子（比較品１４）を作製した。
【００６６】
得られたアンテナ素子の放射損失および樹脂をコアとしたアンテナ素子のサイズを１００としたときのアンテナ素子のサイズ効果を比較して（表６）に示す。
【００６７】
【表６】
0004736311.tif 000007
【００６８】
（表６）の結果より、本発明品では用いる磁性フェライトの透磁率μ’が大きいほど樹脂をコアとしたアンテナ素子よりもサイズが小さくなっていることがわかる。
【００６９】
また、六方晶フェライトをフェライトコア１３としたアンテナ素子は放射損失が大きくアンテナ素子のサイズを正確に決定することができなかった。
【００７０】
また、六方晶フェライトを用いたアンテナ素子の放射損失が大きいのに対して、本発明品は２ＧＨｚ帯で実際に使用できるほど放射損失が小さいことがわかる。
【００７１】
なお、回路への接続ははんだ付けまたはかしめでも良いが、接続部分をネジ形状にすることによって、接続強度を確保することができるのでより好ましい。
【００７２】
このネジ形状は切削工法以外にも分割金型を用いた粉体プレス工法でも良い。
【００７３】
また、金属めっきはＡｇ，Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌ，Ｎｉ，Ｐｔ，Ｐｄなどが用いられるが特に導電率の大きなＡｇ，Ｃｕがより望ましい。
【００７４】
また、導体コイル１４の形成方法はワイヤーを巻きつける方法や金属の板金を打ち抜いてコイルにする方法でも良く、同様な効果が得られる。
【００７５】
また、フェライトコア１３の表面と導体コイル１４の間に薄く非磁性材料の膜が形成されていてもよい。
【００７６】
また、アンテナ素子は樹脂モールドあるいは樹脂成形品のキャップで覆われていてもよい。
【００７７】
また、透磁率μ’による波長短縮の効果を利用していることから、前記へリカルタイプのアンテナ素子以外にもパッチアンテナなどのアンテナ素子に対しても同様な効果が得られることはいうまでもない。
【００７８】
【発明の効果】
以上のように本発明は、酸化鉄と酸化コバルトと酸化亜鉛とを主成分とし、またはさらに副成分としてＴｉ，Ｔａ，Ｉｎ，Ｚｒ，Ｌｉ，Ｓｎ，Ｖのいずれかを含む磁性フェライトおよびそれを用いた磁性素子であり、ＧＨｚ帯域で使用される電子回路に用いることのできる磁性素子およびそれを用いた磁性素子を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１における磁性フェライトの特性図
【図２】  同透磁率と副成分の添加量の関係を示す特性図
【図３】  本発明の実施の形態２における碍子の斜視図
【図４】  同磁性素子の一例としてのインダクタンス素子の一部切り欠き斜視図
【図５】  本発明の実施の形態３における磁性素子の他の例としてのインピーダンス素子の積層の構造図
【図６】  同インピーダンス素子の斜視図
【図７】  本発明の実施の形態４におけるリング状コアの斜視図
【図８】  同磁性素子の他の例としてのコモンモードノイズフィルタの一部切り欠き斜視図
【図９】  本発明の実施の形態５におけるフェライトコアの外観図
【図１０】  同磁性素子のさらに他の例としてのアンテナ素子の一部切り欠き斜視図
【符号の説明】
１  碍子
２  導体コイル
３  絶縁体層
４  外部電極
５  導体
６  磁性フェライト
７  外部電極
９  リング状コア
１０  導体コイル
１１  絶縁体層
１２  外部電極
１３  フェライトコア
１４  導体コイル
１５  絶縁体層
【図１】
0004736311.tif 000008
【図２】
0004736311.tif 000009
【図３】
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【図４】
0004736311.tif 000011
【図５】
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【図６】
0004736311.tif 000013
【図７】
0004736311.tif 000014
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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