(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粉塵を含む排ガスなどの気体の導入室を内部に形成した本体筐体と、ろ過室を内部に形成したろ過筐体と、前記本体筐体とろ過筐体との間に介在させたフィルタと、前記フィルタを洗浄水にて洗浄する複数の洗浄ノズルとからなり、該洗浄ノズルに選択的に洗浄水を供給して前記フィルタの一部を選択的に洗浄水にて洗浄しながら、ろ過作業を行えるようにした集塵機において、前記フィルタを、該フィルタの周縁部を、本体筐体に形成した複数の開口の開口縁部と、ろ過筐体に形成した複数の開口の開口縁部との間で挟持し、両開口縁部をボルトナットにより締結することによって配設したことを特徴とするフィルタの自洗機能を備えた集塵機。
【請求項２】
ろ過室を複数に区画するようにしたことを特徴とする請求項１記載のフィルタの自洗機能を備えた集塵機。
【請求項３】
気体の導入室の中央部及び／又は上部位置に、排ガスなどの気体の導入口を、下部位置にろ過により除去した微粉塵を排出するための排出口を配設したことを特徴とする請求項１又は２記載のフィルタの自洗機能を備えた集塵機。
【請求項４】
ろ過室の内上部にはフィルタ面に向かって洗浄水を噴射するようにして洗浄ノズルを、底部位置には排水口を、それぞれ配設したことを特徴とする請求項１、２又は３記載のフィルタの自洗機能を備えた集塵機。
【請求項５】
ろ過室の中央部及び／又は上部位置にろ過後のガスを排出するためのガス排出口を配設したことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のフィルタの自洗機能を備えた集塵機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタの自洗機能を備えた集塵機に関し、特に、微粉塵を含む気体のろ過除去を停止することなく、かつフィルタの微粉塵による目詰まりから生じる圧損を未然に防止して効率的に排ガス中の微粉塵を連続的に除去するようにしたフィルタの自洗機能を備えた集塵機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工場、その他の製造工場や作業所などにおいて、該工場内の空気或いは工場より排出される排ガス或いは各種のガス、気体等、特に限定されるものではないが、例えば、半導体ガス（ＳｉＯ２含有）に含まれる微粉体を除去し、排気ガスを清浄化するために、バグフィルタ式等の集塵機が汎用されている。
【０００３】
ところで、バグフィルタ式集塵機は、半導体ガス（ＳｉＯ２含有）に含まれる微粉体等の除去に適しているが、該排ガス中の微粉塵を長時間に亘ってろ過除去していると、該バグフィルタに微粉塵が付着堆積して目詰まりが生じるようになり、これがためバグフィルタに圧損が生じ、微粉塵の除去能率が低下する。このため、このバグフィルタを周期的或いは定期的に圧力空気にてバックパージにて清掃除去するようにしている。
【０００４】
さらには、着脱式としたプレート状のフィルタを１枚或いは複数枚を積層して微粉塵を除去するようにした除塵機を用いる場合もある。このプレート状フィルタを採用した除塵機においても、同様に微粉塵の除去にて発生するフィルタの目詰まりを清掃するため、除塵機よりプレート状のフィルタを取り外し、これを手作業にて或いは専用の洗浄機にて圧力空気と洗浄水を用いて周期的或いは定期的に清掃するようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
しかしながら、集塵機にバグフィルタ或いはプレート状のフィルタのいずれを用いた場合であっても、該フィルタの目詰まりが生じると、該フィルタを集塵機より取り外してこれを清掃するようにしているため、このフィルタの清掃時、集塵機による微粉塵のろ過による除去作業は停止されるという問題があった。
この問題を解決するためには、同じ集塵機を２台用い、この集塵機を交互に切り替えてろ過作業を行う必要があるため、設備費が嵩むという問題があった。
【特許文献１】特開２００１−１２９３３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来のフィルタを備えた集塵機の有する問題点に鑑み、微粉塵を含む気体のろ過除去を１台の集塵機を用いて連続的に除去できるようにしたフィルタの自洗機能を備えた集塵機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機は、微粉塵を含む排ガスなどの気体の導入室を内部に形成した本体筐体と、ろ過室を内部に形成したろ過筐体と、前記本体筐体とろ過筐体との間に介在させたフィルタと、前記フィルタを洗浄水にて洗浄する複数の洗浄ノズルとからなり、該洗浄ノズルに選択的に洗浄水を供給して前記フィルタの一部を選択的に洗浄水にて洗浄しながら、ろ過作業を行えるようにした集塵機において、前記フィルタを、該フィルタの周縁部を、本体筐体に形成した複数の開口の開口縁部と、ろ過筐体に形成した複数の開口の開口縁部との間で挟持し、両開口縁部をボルトナットにより締結することによって配設したことを特徴とする。
【０００８】
この場合において、ろ過室を複数に区画するようにすることができる。
【０００９】
また、気体の導入室の中央部及び／又は上部位置に、排ガスなどの気体の導入口を、下部位置にろ過により除去した微粉塵を排出するための排出口を配設することができる。
【００１０】
また、ろ過室の内上部にはフィルタ面に向かって洗浄水を噴射するようにして洗浄ノズルを、底部位置には排水口を、それぞれ配設することができる。
【００１１】
また、ろ過室の中央部及び／又は上部位置にろ過後のガスを排出するためのガス排出口を配設することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機によれば、集塵機による微粉塵を含む気体のろ過除去を集塵機を停止することがなく、かつ１台の集塵機にて連続的に除去することができるので、気体中の微粉塵のろ過除去を効率的に行うことができる。
そして、本体筐体とろ過筐体との間を解体することで簡易かつ確実にフィルタを取り外すことができ、フィルタの定期的なメンテナンス、交換などが簡易に、迅速に行うことができる。
【００１３】
また、ろ過室を複数に区画するようにすることにより、洗浄を行っているフィルタと、微粉塵のろ過除去を行っているフィルタとを区分することができ、洗浄作業とろ過作業を効率的に行うことができる。
【００１４】
また、気体の導入室の中央部及び／又は上部位置に、排ガスなどの気体の導入口を、下部位置にろ過により除去した微粉塵を排出するための排出口を配設することにより、比較的重量のある粉塵は気体の導入室内を速やかに落下するとともに、経時的に微粉塵も気体の導入室内底部に落下し、これらが共に底部の排出口から除去されるので機外への排出が確実に行うことができる。
【００１５】
また、ろ過室の内上部にフィルタ面に向かって洗浄水を噴射するようにして洗浄ノズルを、底部位置に排水口を配設することにより、洗浄水によるスクラバ効果にてフィルタ面に付着堆積した微粉塵を除去し、底部の排水口から洗浄後の洗浄水と共に排出することができる。
【００１６】
また、ろ過室の中央部及び／又は上部位置にろ過後のガスを排出するためのガス排出口を配設することにより、ろ過されなかった微粉塵も比重差を利用して確実に分離されるので、ろ過後のガスのみを排出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１〜図３に、本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の一実施例を示す。
本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機Ｄは、内部に所要の内容積を備えるようにした気体の導入室Ｒを形成、これは特に限定されるものではないが、例えば、薄箱形とした本体筐体１と、この本体筐体１の対向する両側面に、内部にろ過室Ｒ１、Ｒ２を形成した２つのろ過筐体２、３とをそれぞれ配設し、かつ該本体筐体１、ろ過筐体２又はろ過筐体３間にフィルタ４１、４２を挟持するようにして構成する。
【００１９】
このフィルタ４１、４２を挟持するようにして本体筐体１、ろ過筐体２、３の３筐体間を連結して一体として集塵機Ｄを構成するが、この３筐体の連結は、特に限定されるものではないが、例えば、ボルトナットの締結にて行うことで、容易に組み立て、解体が行えるとともに、必要に応じてフィルタ４１又は４２の交換が容易に行えるようにする。
なお、図示の実施例においては、本体筐体１、ろ過筐体２、３の大きさ及びその形状は、組み立て、外観などを鑑みて筐体の厚さのみを変えたほぼ同じ形状としているが、これは特に限定されるものではない。
また、気体の導入室Ｒと、ろ過室Ｒ１、Ｒ２との配置は、この実施例のものに限定されず、例えば、図４に示す実施例のように、ろ過室Ｒ０の両側に気体の導入室Ｒａ、Ｒｂを形成し、さらに必要に応じて、気体の導入経路にバルブＶを配設して、気体の導入室Ｒａ、Ｒｂに気体を選択的に導入できるようにすることもできる。
【００２０】
本体筐体１には、内部に形成した気体の導入室Ｒ内に、特に限定されるものではないが、例えば、半導体製造工場、その他の製造工場、作業所などにおいて、該工場内の空気或いは工場より排出される排ガス（ＳｉＯ２含有の半導体ガス）、各種のガス、気体等を導入するように、気体の導入室Ｒの中央部及び／又は上部位置に、排ガスなどの気体の導入口１１を配設し、また下部位置にはろ過により除去された微粉塵、時には一部洗浄水の混じったものを排出するための排出口１２を配設して構成する。
【００２１】
内部にろ過室Ｒ１、Ｒ２を形成するろ過筐体２、３には、本体筐体１、ろ過筐体２、３間の連結部に配設したフィルタ面に向かって洗浄水を噴射するようにして洗浄ノズル５１、５２をろ過室Ｒ１、Ｒ２の内上部に配設し、また底部位置に排水口２１、３１をそれぞれ配設し、さらには該ろ過室の中央部及び／又は上部位置にろ過後のガスを排出するためのガス排出口２２、３２を配設して構成する。
なお、洗浄ノズルの配設箇所は、ろ過室Ｒ１、Ｒ２に限定されず、気体の導入室Ｒに配設したり、ろ過室Ｒ１、Ｒ２と気体の導入室Ｒの両方に配設することもできる。
【００２２】
このように、微粉塵を含む排ガスなどの気体の導入室Ｒの両側に、フィルタ４１又は４２を介して２つのろ過室Ｒ１、Ｒ２を配設して集塵機Ｄを構成するが、この場合、２つのろ過室Ｒ１、Ｒ２の内上部にそれぞれ配設した洗浄ノズル５１、５２は、いずれか一方のろ過室内洗浄ノズル５１又は５２から選択的に洗浄水がフィルタ面に向かって噴射するように制御する。
これにより、微粉塵を含む気体のろ過除去作業を、２つのろ過筐体２、３のろ過室Ｒ１、Ｒ２を交互に、或いは選択的に切り替えて使用するようにすることで連続的に行うようにすることができる。
【００２３】
次に、本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の作用について説明する。
本体筐体１の気体の導入口１１より気体の導入室Ｒ内に、例えば、半導体製造工場、その他の製造工場、作業所などにおいて発生する排ガス等を排ガス導入管（図示省略）を経て導入するとともに、この本体筐体１の左右いずれか一方、例えば、左方のろ過筐体２内の洗浄ノズル４１から洗浄水を、該ろ過室内のフィルタ４１面に向かって噴射すると、該ろ過室Ｒ１内のフィルタ面は洗浄水の噴射圧及び該洗浄水圧によるスクラバ効果にて該フィルタ面に付着或いは堆積している微粉塵が掻き落とされ、併せて排ガスに含まれるハロゲンガスやアンモニアガス等の有害ガスを洗浄水に吸収させて確実に除去することができる。
【００２４】
この洗浄水がフィルタ面に沿って流下する際、フィルタ面全体を覆うように、即ち洗浄水によりフィルタに目詰まりが生じるようになって該左方のろ過筐体２内のろ過室Ｒ１に圧損が生じるようになる。
これにより、該左方のろ過筐体２内のろ過室Ｒ１には排ガスが流入しなくなり、他方のフィルタ４２を経て右方のろ過筐体３内のろ過室Ｒ２に導入されるようになり、連続して排ガスのろ過作業が行われる。
【００２５】
このようにして右方のろ過筐体３内のろ過室Ｒ２を経て導入排ガスをろ過していると、排ガス中の微粉塵がフィルタ４２面に付着して目詰まりが生じるようになって該右方のろ過室Ｒ２に圧損が生じるようになる。この圧損値が一定値以上になると、左方のろ過室Ｒ１側の洗浄ノズル５１からの洗浄水の噴射を停止する。これにより、本体筐体１の気体の導入室Ｒ内に導入された排ガスは既に洗浄された左方のフィルタ４１を経て左方のろ過室Ｒ１内へ導入されるようになる。これとともに右方のろ過室Ｒ２内に配設されている洗浄ノズル５２から洗浄水を該室のフィルタ４２面に向かって噴射し、同様にして該フィルタ４２を洗浄するようにする。
なお、左右いずれのろ過室Ｒ１、Ｒ２内の洗浄ノズルから洗浄水を噴射するかは、ろ過室内に生じる圧損値により行うことができるが、このタイミングは、予め設定したプログラムにより行うこともできる。
このようにして、フィルタ４１、４２の目詰まりにより圧損が生じるようになると、排ガスをろ過する左右のろ過室Ｒ１、Ｒ２を交互に、或いは選択的に切り替えることで、集塵機Ｄの機能を停止することなく、連続して排ガスのろ過作業を行うことができる。
【００２６】
そして、排ガスのろ過作業にて各フィルタにてろ過された微粉塵は、気体の導入室Ｒの底部位置に配設された排出口１２から外部へ排出される。
また、フィルタを洗浄した後の洗浄水は、各ろ過室の底部位置に配設された排水口２３、３３から外部へ排水される。この排水にはフィルタ面からスクラバ効果にて剥ぎ取られるようになった微粉塵のほか、排ガスに含まれるハロゲンガスやアンモニアガス等の有害ガスも洗浄後の洗浄水と混合、溶存した状態となっているが、これらも共に排出される。
【００２７】
なお、排ガスに含まれるハロゲンガスやアンモニアガス等の有害ガスを吸収、除去することを目的とする水を噴射するためのノズル（図示省略）を、洗浄ノズルとは別に、ろ過室及び／又は気体の導入室の適宜位置、好ましくは、このノズルから噴射される水によってフィルタの圧損値が高まらない位置に配設することもできる。
【００２８】
ところで、上記実施例においては、気体の導入室Ｒの両側にフィルタ４１、４２を介してろ過室Ｒ１、Ｒ２を配設するようにしたが、気体の導入室とろ過室との配置は、これに限定されず、例えば、図５に示すように、気体の導入室Ｒの両側にフィルタ４１、４２を介してろ過室Ｒ１、Ｒ２を配設したユニットを複数連結（例えば、気体の導入口１１、１１’を連結管１３を介して連結するようにする。）して使用するようにしたり、図６に示すように、中心に配置した気体の導入室Ｒの周りに、フィルタ４１、４２、４３・・・を介して、複数のろ過室Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３・・・を配置したり、図７に示すように、中心に配置した気体の導入室Ｒの外周に、フィルタ４０を介して、ろ過室Ｒ０を配置する（この場合、気体の導入室Ｒに部分的な仕切り板１４を設けることが望ましい。また、気体の導入室Ｒとろ過室Ｒ０の配置を逆にすることもできる。）こともでき、本発明は、これらの構成を排除するものでない。
なお、図６及び図７に示した実施例においては、洗浄ノズル５１、５２、５３・・・、５１’、５２’、５３’・・・を、ろ過室Ｒ０、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３・・・及び気体の導入室Ｒの両方に配設するようにしたが、ろ過室Ｒ０、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３・・・と、気体の導入室Ｒのいずれか一方に配設するようにすることもできる。
【００２９】
以上、本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機は、本体筐体の左右両側にそれぞれフィルタを介してろ過室を配設し、フィルタの目詰まり状態に応じて選択的に左右のろ過室を切り替えて連続的に排気ガスのろ過を行うという特性を有していることから、連続使用する集塵機の用途に好適に用いることができるほか、例えば、工場、作業所等室内の空気を清浄化する空気清浄装置の用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の一実施例を示す正面図である。
【図２】集塵機の側面図である。
【図３】集塵機の平面図である。
【図４】本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の他の実施例を示す説明図である。
【図５】集塵機の使用例を示す平面断面図である。
【図６】本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の他の実施例を示し、（ａ−１）〜（ａ−４）は平面断面図、（ｂ−１）〜（ｂ−４）は（ａ−１）〜（ａ−４）に対応する正面断面図である。
【図７】本発明のフィルタの自洗機能を備えた集塵機の他の実施例を示し、（ａ）は平面断面図、（ｂ）は正面断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
Ｄ    集塵機
Ｒ、Ｒａ、Ｒｂ  気体の導入室
Ｒ０〜Ｒ８  ろ過室
１    本体筐体
１１  気体の導入口
１２  排出口
２    ろ過筐体
２１  排水口
２２  ガス排出口
３    ろ過筐体
３１  排水口
３２  ガス排出口
４０〜４８  フィルタ
５１〜５８  洗浄ノズル
５１’〜５８’  洗浄ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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