(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光導波路が形成されたデバイスに設けられ、当該各光導波路を加熱して屈折率を制御する光導波路用ヒータ回路において、
前記各光導波路に対応して前記デバイスに形成された複数の給電パッドと、
前記複数の光導波路で共通して前記デバイスに形成された共通給電パッドと、
前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線であって、それぞれが同一の抵抗値を有する複数の給電回路と、
前記各給電回路の配線に設けられ、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとの間に電圧が印加されて発熱する複数のヒータ部とを備え、
前記共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して前記各給電回路を構成し、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線のうち、前記各給電パッドから前記各ヒータに接続された配線と前記共通給電パッドから引き出されて前記各ヒータ部に接続された配線とからなる各配線の各抵抗値を同一としたこと
を特徴とする光導波路用ヒータ回路。
【請求項２】
前記各給電回路は、それぞれの配線長が等しく構成されていることを特徴とする請求項１に記載の光導波路用ヒータ回路。
【請求項３】
前記各給電回路は、それぞれの配線幅が等しく構成されており、配線長が長いほど配線厚さを厚くしたことを特徴とする請求項１に記載の光導波路用ヒータ回路。
【請求項４】
前記各給電回路は、それぞれの配線厚さが等しく構成されており、配線長が長いほど配線幅を広くしたことを特徴とする請求項１に記載の光導波路用ヒータ回路。
【請求項５】
複数の光導波路が形成され、当該各光導波路が加熱されて屈折率が制御される光導波路デバイスにおいて、
前記各光導波路に対応して形成された複数の給電パッドと、
前記複数の光導波路で共通して形成された共通給電パッドと、
前記各給電パッドと共通給電パッドとを接続する配線であって、それぞれが同一の抵抗値を有する複数の給電回路と、
前記各給電回路の配線に設けられ、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとの間に電圧が印加されて発熱する複数のヒータ部とが、前記複数の光導波路が内部に形成されたチップに形成され、
前記共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して前記各給電回路を構成し、前記各給電パッドと前記共通給電パッドとを接続する配線のうち、前記各給電パッドから前記各ヒータに接続された配線と前記共通給電パッドから引き出されて前記各ヒータ部に接続された配線とからなる各配線の各抵抗値を同一としたこと
を特徴とする光導波路デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路の一部を加熱することによって、屈折率分布を変化させて、光の進行経路を切り換えたり、伝搬される光の強度を調整する光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイスに関し、特に、光導波路と光導波路用ヒータ回路とによって光スイッチ又は光減衰器などの光デバイスを構成するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、熱光学（ＴＯ）効果を利用した光導波路型デバイスには、光スイッチや光減衰器などがある。これらの導波路型デバイスは、光導波路の一部をヒータで加熱して、光導波路のコア周辺の屈折率分布を変化させることにより、光の進行経路を切り換えたり、伝搬される光の強度を減衰させたりするものである。
【０００３】
このような光導波路型デバイスには、下記の特許文献１に示すような熱光学光スイッチが知られている。この熱光学光スイッチは、例えば図１１に示すように、チップ状の光スイッチ１００のクラッド層１０２内にＹ字状のコア１０１が２つ並設されており、２チャンネル分の２本のコア１０１が４本のコア１０１に分岐して、２チャンネル分の入力光を４チャンネル分の出力光としている。この分岐したコア１０１ａ，１０１ｂには、それぞれにヒータ１０３ａ，１０３ｂが形成されている。
【０００４】
このヒータ１０３ａ、１０３ｂには、正極及び負極となるパッドと、配線とからなる給電回路とが接続される。この給電回路は、外部から給電されると、ヒータ１０３ａ，１０３ｂを発熱させる。
【０００５】
ヒータ１０３ａは、一方端が配線１０５ａを介してパッド１０４ａと接続されると共に、他方端が配線１０５ｂを介してパッド１０４ｂに接続されている。また、ヒータ１０３ｂは、一方端が配線１０５ｃを介してパッド１０４ｃと接続されると共に、他方端が配線１０５ｄを介してパッド１０４ｄに接続されている。例えば片側のヒータ１０３ａは、パッド１０４ａを正極とし、パッド１０４ｂを負極とし、パッド１０４ａとパッド１０４ｂとの間に所定の電圧を印加すると、発熱してヒータ周辺の屈折率が変化する。これによって、この光スイッチ１００は、コア１０１から分岐したコア１０１ａあるいはコア１０１ｂのいずれかから光を出力する。熱光学定数が正であるか、負であるかにより出力されるチャンネル数は異なる。このような光スイッチ１００における給電回路は、独立に形成すると４つの出力チャンネル分の制御を行うために、８個のパッドから構成される必要がある。
【０００６】
更なるチャンネル数の集積化のために、４チャンネル分の光入力を行って８チャンネル分の光出力を得る同様の光スイッチ１００を作製するためには、１６個のパッドを備えた給電回路を構成する必要がある。この場合、図１１に示すパッドの間隔と同様の間隔で１６個のパッドを配置するためには、光スイッチ１００のチップ面積を増加させる必要がある。これに対し、特許文献１に記載の熱光学光スイッチは、１つのチャンネルに対して、例えば負極側のパッド及び配線を共通とすることによって、３個のパッドで給電回路を構成している。
【特許文献１】特開２００４−１９８６９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の特許文献１に記載された熱光学光スイッチを始めとする、熱光学効果を利用した光導波路型デバイスにおいては、チップ面積の増加を避けつつ、更なるチャンネルの集積化を図るために、一般的に、給電回路を構成するパッド数の削減と共に、配線の効率的な引き回しの為にできるだけ配線を共通化することが望まれる。
【０００８】
また、チャンネルの集積化をした場合であっても、隣接するチャンネル間における光スイッチング特性又は光減衰特性の干渉を回避し、且つ、各チャンネルにおいて略同一の光スイッチング特性又は光減衰特性を維持するという課題もある。
【０００９】
そこで、本発明は、上述した実情に鑑みて提案されたものであり、複数のチャンネルを有したものであっても、チャンネル間の光スイッチング特性又は光減衰特性の干渉を無くして、各チャンネルの光スイッチング特性又は光減衰特性を独立に安定して制御できる光導波路用ヒータ回路、光導波路デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数の光導波路が形成されたデバイスに設けられ、当該各光導波路を加熱して屈折率を制御するために、各光導波路に対応してデバイスに形成された複数の給電パッドと、複数の光導波路で共通してデバイスに形成された共通給電パッドと、各給電パッドと共通給電パッドとを接続する配線であって、それぞれが同一の抵抗値を有する複数の給電回路と、各給電回路の配線に設けられ、各給電パッドと共通給電パッドとの間に電圧が印加されて発熱する複数のヒータ部とを備え、上述の課題を解決するために、共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して各給電回路を構成し、各給電パッドと共通給電パッドとを接続する配線のうち、各給電パッドから各ヒータに接続された配線と共通給電パッドから引き出されて各ヒータ部に接続された配線とからなる各配線の各抵抗値を同一としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、共通給電パッドから光導波路数分の配線を引き出して、各給電回路を構成しているので、複数の給電回路の配線を共通化して複数の光導波路に対応したヒータ部を同時に発熱させた場合のチャンネル間の光スイッチング特性又は光減衰特性の干渉を無くして、各チャンネルの光スイッチング特性又は光減衰特性を独立に安定して制御できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
本発明を適用した光導波路用ヒータ回路は、図１の平面図に示すような光導波路デバイス１に設けられる。この光導波路デバイス１は、光通信分野におけるＷＤＭ（Wavelength Division Multiplexing、波長分割多重方式）通信において、光出力のオンオフを切り換える光スイッチ又は光の強度を減衰させる光減衰器として機能する。なお、図１に示した光導波路デバイス１は、光減衰器の一例を示したものである。
【００１４】
図１に示す光導波路デバイス１は、８本の光導波路で伝搬される光の強度を調整して出力して、８チャンネル分の光出力を得るものである。なお、図１では、説明上、４本の光導波路と、当該光導波路の下方に光導波路用ヒータ回路が設けられている光導波路デバイス１を示しているが、上方にも４本の光導波路及び光導波路用ヒータ回路が存在するものとする。
【００１５】
光導波路デバイス１は、クラッド層内に４本の光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが並設されたチップで構成されている。この光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄには、それぞれ、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄがクラッド層上に形成されている。ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは、図示しない制御回路によって電圧の印加状態が制御されて、当該電圧が印加されている時に発熱する。この制御回路は、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄをそれぞれ独立に発熱させることによって、光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄそれぞれの屈折率を変化させて、光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのそれぞれに伝搬される光の強度を調整する。
【００１６】
このような光導波路デバイス１における光導波路用ヒータ回路は、制御回路の制御に従ってヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに給電を行う。光導波路用ヒータ回路は、制御回路と接続された正極となる給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと、負極となる共通給電パッド５と、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの一方端と給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとを接続する配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄと、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの他方端と接続される配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを備える。この配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、それぞれが共通給電パッド５と接続されている。すなわち、給電回路は、図１中の点線で示しているように、共通給電パッド５からチャンネル数分の配線を引き出して、配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを構成している。
【００１７】
この光導波路用ヒータ回路において、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ、配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄと共通給電パッド５との間に設けられ、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに給電を行う給電回路として機能する。配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄは、各チャンネルで独立して光スイッチング状態又は光減衰状態を調整するために、光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄごとに形成されており、配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、それぞれが独立して単一の共通給電パッド５に接続されている。
【００１８】
また、この光導波路用ヒータ回路において、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの形成位置からの距離が異なるように光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが並設されていても、チャンネル間で給電回路の抵抗値が略同一となるように配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄが形成されている。これは、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに所定の電圧を印加した場合に、全ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄで同一の光スイッチング特性及び光減衰特性を得るためである。
【００１９】
配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄは、上述のように、単一の共通給電パッド５からチャンネル数分の配線が引き出されることによって構成されている。このように各給電回路を構成した理由は、複数のチャンネル、すなわち給電回路で共通の配線構成としたことによって、各チャンネルの光スイッチング特性及び光減衰特性が、他のチャンネルの動作の影響を受けてしまうことを無くすためである。
【００２０】
すなわち、図１に示す光導波路用ヒータ回路に対する比較例として示す図２の光導波路用ヒータ回路のように、配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを共通とした１本の共通回路部と共通給電パッド５とを接続し、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄから共通給電パッド５までの配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄと配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとの合計長さを各チャンネルについて同一とすることによって、各給電回路の抵抗値を同一とした場合の特性を図３及び図４に示す。
【００２１】
図３は、各チャンネル１，２の給電回路に供給した電力［ｍＷ］と、光導波路における光減衰量［ｄＢ］との関係を示し、図４は、チャンネル２の電力の変化に対するチャンネル１における光減衰量［ｄＢ］の関係を示す図である。図３より、一方のチャンネルを動作させた時に他方のチャンネルの動作を停止させた場合には、他のチャンネルの影響を受けずに動作するが、図４に示すように、チャンネル１のヒータ部に所定の電力（例えば２５ｍＷ程度）を供給している時に、チャンネル２のヒータ部に供給する電力を次第に上昇させると、チャンネル２の電力が高くなるほど、当該チャンネル１の光減衰量は低くなってしまう。
【００２２】
このように、チャンネル１のヒータ部に一定の電力を供給していても、他方のチャンネル２のヒータ部に供給する電力が変化すると、チャンネル１の光スイッチング特性及び光減衰特性が変化するという不具合が発生する。
【００２３】
つぎに、このような光スイッチング特性及び光減衰特性の不具合が発生する理由について説明する。
【００２４】
図５に共通回路部を備えた光導波路用ヒータ回路の回路図を示すように、チャンネル１，２のヒータ部３のそれぞれの抵抗値をＲｈとし、共通回路部の抵抗値をＲｃとする。また、チャンネル１用パッドとヒータ部３との間の配線部６の抵抗値をＲ１１とし、チャンネル１のヒータ部３と共通回路部との間の配線部７の抵抗値をＲ１２とし、チャンネル２用パッドとヒータ部３との間の配線部６の抵抗値をＲ２１とし、チャンネル２のヒータ部３と共通回路部との間の配線部７の抵抗値をＲ２２とする。また、チャンネル１用パッドと共通給電パッドとの間に印加される電圧をＶ１とし、チャンネル２用パッドと共通給電パッドとの間に印加される電圧をＶ２とし、共通回路部からチャンネル１の抵抗に流れる電流をＩ１とし、共通回路部からチャンネル２の抵抗に流れる電流をＩ２とする。
【００２５】
この光導波路用ヒータ回路において、Ｖ１及びＶ２は、
Ｖ１＝（Ｒ１１＋Ｒｈ＋Ｒ１２）×Ｉ１＋Ｒｃ×（Ｉ１＋Ｉ２）    （式１−１）
Ｖ２＝（Ｒ２１＋Ｒｈ＋Ｒ２２）×Ｉ２＋Ｒｃ×（Ｉ１＋Ｉ２）    （式１−２）
となる。ここで、各チャンネルの給電回路の抵抗値は等しく調整されており、Ｒ＊＝Ｒ１１＋Ｒｈ＋Ｒ１２＋Ｒｃ＝Ｒ２１＋Ｒｈ＋Ｒ２２＋Ｒｃとし、式１−１及び式１−２を電流Ｉ１，Ｉ２それぞれについて解くと、
Ｉ１＝（Ｒ＊×Ｖ１−Ｒｃ×Ｖ２）／（Ｒ＊２−Ｒｃ２）      （式２−１）
Ｉ２＝（Ｒ＊×Ｖ２−Ｒｃ×Ｖ１）／（Ｒ＊２−Ｒｃ２）      （式２−２）
となる。この式２−１及び式２−２のように、各ヒータ部３に流れる電流は、当該チャンネルに印加される電圧のみならず、他のチャンネルのヒータ部３に印加される電圧に依存して変化する。すなわち、チャンネル１のヒータ部３に印加する電圧を一定に維持していても、チャンネル２のヒータ部３に印加する電圧が変化すれば、チャンネル１のヒータ部３に流れる電流が変化してしまい、発熱量が変化してしまう。また、式２−１及び式２−２から、それぞれのチャンネルのヒータ部３に流れる電流値は、共通回路部の抵抗値Ｒｃにも依存している。
【００２６】
また、例えば光スイッチとして光導波路デバイス１を機能させる場合のように、各チャンネルに印加する電圧Ｖ１，Ｖ２が等しい場合であっても、
Ｉ１＝Ｉ２＝Ｖ１／（Ｒ＊＋Ｒｃ）＝Ｖ２／（Ｒ＊＋Ｒｃ）  （式３）
となる。したがって、この場合も、電流値Ｉ１、Ｉ２は、共通回路部の抵抗値Ｒｃに影響を受けることになる。
【００２７】
更に、単独でチャンネルを制御した場合には、例えばＩ２＝０とすると、電圧値Ｖ１は、式２−１より、
Ｖ１＝（Ｒ１１＋Ｒｈ＋Ｒ１２）×Ｉ１＋Ｒｃ×Ｉ１＝Ｒ＊×Ｉ１
となり、すなわち、Ｉ１は、
Ｉ１＝Ｖ１／Ｒ＊
となる。
【００２８】
このことから、共通回路部の抵抗値Ｒｃを無くす（Ｒｃ＝０）ことにより、他チャンネルの影響を抑制することができ、各チャンネルの光スイッチング特性及び光減衰特性の安定度を向上させることができる。
【００２９】
上述したような理由から、本発明を適用した光導波路用ヒータ回路は、上述のように、共通給電パッド５からチャンネル数分の配線が引き出されて、配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを構成している。
【００３０】
このような光導波路用ヒータ回路を備えた光導波路デバイス１によって、あるチャンネル１に所定の電力［ｍＷ］を供給している状態で、他のチャンネル２の電力［ｍＷ］を増加させた場合には、図６に示すように、チャンネル２が動作しても、チャンネル１の光減衰量［ｄＢ］が変化しないことが分かる。
【００３１】
このように、本発明を適用した光導波路用ヒータ回路によれば、共通給電パッド５からチャンネル数分の配線の引き出しを行って配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄと接続した給電回路を構成することにより、複数のチャンネルで共通化した配線部分を無くすことができ、多チャンネルを同時に動作させた時に当該共通化した配線の影響によって光スイッチング特性及び光減衰特性が変動することを無くすことができる。したがって、光導波路デバイス１の更なるチャンネルの集積化を実現できる。
【００３２】
つぎに、上述したように、共通給電パッド５からチャンネル数分の配線を引き出して給電回路を構成した光導波路用ヒータ回路において、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄへの給電回路の抵抗値をチャンネル間で同一とする構成について説明する。
【００３３】
チャンネル間で給電回路、特に配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの抵抗値を同一とする構成としては、図１に示すように、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄから低抵抗共通回路部８までの配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを全ての同じ配線長とすると共に、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとを接続する配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの配線長を同一にしている。ここで、各給電回路で配線長を同一にして抵抗値を同一とするためには、配線の配線幅や配線厚さを給電回路間で一定とする。
【００３４】
配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄは、それぞれのチャンネルで給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの距離が異なるために、給電パッド４ａとヒータ部３ａとは最短距離で接続し、給電パッド４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ｂ，３ｃ，３ｄとの間の配線引き回し距離を調整している。
【００３５】
また、図１に示したように給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間で配線の引き回し距離（配線長さ）を調整してチャンネル間で抵抗値を同一にする構成ではなく、ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと共通給電パッド５との間の配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの配線の引き回し距離（配線長さ）を調整しても良く、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄと配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとの双方の配線長さを調整しても良い。
【００３６】
このように、全チャンネルにおいて、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄと配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄとを加算した配線長を同一に構成することにより、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを同一配線幅及び同一厚さとした配線レイアウトとできる。したがって、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの形成プロセスにおいて、スパッタやメッキ等のプロセス時間によって厚みを調整する必要なく配線形成工程を簡単にでき、当該配線形成工程を一回にすることにより、作製工数及び作製コストを削減できる。
【００３７】
また、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にする他の構成としては、図７の光導波路デバイス１の平面図に示すように、光導波路デバイス１の平面視における配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの配線幅を等しくし、長さ又は厚みを調整するものであっても良い。この光導波路用ヒータ回路は、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄまでの配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの配線長をチャンネル間で任意の長さとしている。図７においては、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとを接続する配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄを、図中縦方向の配線と図中横方向の配線とで構成することによって、できるだけ配線長を短くしている。なお、この場合に限らず、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄとヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとの間の配線長が最短となるように斜め方向に配線を形成しても良い。
【００３８】
図７において、給電パッド４ａからヒータ部３ａまでの配線部６ａの長さ（ａ−ａ’間配線長）をＬ１、給電パッド４ｂからヒータ部３ｂまでの配線部６ｂの長さ（ｂ−ｂ’間配線長）をＬ２、給電パッド４ｃからヒータ部３ｃまでの配線部６ｃの長さ（ｃ−ｃ’間配線長）をＬ３、給電パッド４ｄからヒータ部３ｄまでの配線部６ｄの長さ（ｄ−ｄ’間配線長）をＬ４とする。この場合、チャンネル間の配線の長さは、
Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３＞Ｌ４
という関係となる。このため、配線部６ａの厚みをｔ１、配線部６ｂの厚みをｔ２、配線部６ｃの厚みをｔ３、配線部６ｄの厚みをｔ４とすると、
Ｌ１／ｔ１＝Ｌ２／ｔ２＝Ｌ３／ｔ３＝Ｌ４／ｔ４＝一定
とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にできる。すなわち、配線長が長いほど、配線厚さを厚くする。
【００３９】
このように、全チャンネルにおいて給電回路の平面視における配線幅を同一としても、各チャンネルの配線長と配線厚さとの比を、全チャンネルにおいて同一とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にでき、配線レイアウトの自由度が制限されることなく、回路設計を行うことができる。これによって、光導波路デバイス１における光導波路２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄのピッチを小さくしてチャンネル数の増加をし易くなり、光導波路デバイス１のチャンネル集積化に有利となる。
【００４０】
また、給電パッドとヒータ部との距離が最も長い配線長に他の配線長を合わせる必要がなく、チャンネルごとの配線長の相違に応じて厚みを調整して、配線長が最も長いチャンネルにおける配線厚さを厚くすることにより、給電回路の抵抗値を低くできる。この結果、給電回路における電力消費を低減して、効率的にヒータ部に電力供給して、低消費電力化に貢献できる。
【００４１】
また、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にする他の構成としては、図８の光導波路デバイス１の平面図に示すように、配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの配線厚さを等しくし、配線長又は配線幅を調整するものであっても良い。図８の光導波路用ヒータ回路は、給電パッド４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄまでの配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄの長さをチャンネル間で任意の長さとしている。
【００４２】
図８において、各給電回路の配線長をＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４とし、配線幅をＷａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｄとする。この場合、
Ｌ１／Ｗａ＝Ｌ２／Ｗｂ＝Ｌ３／Ｗｃ＝Ｌ４／Ｗｄ＝一定
とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にできる。すなわち、配線長が長いほど、配線幅を広くする。
【００４３】
このように、全チャンネルにおいて給電回路の平面視における配線厚さを同一としても、各チャンネルの配線長と配線幅との比を、全チャンネルにおいて同一とすることにより、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にできる。
【００４４】
また、給電パッドとヒータ部との距離が最も長い配線長に他の配線長を合わせる必要がなく、チャンネルごとの配線長の相違に応じて配線幅を調整して、配線長が最も長いチャンネルにおける配線幅を広くすることにより、給電回路の抵抗値を低くできる。この結果、給電回路における電力消費を低減して、効率的にヒータ部に電力供給して、低消費電力化に貢献できる。
【００４５】
更に、給電回路の形成プロセスにおいて、チャンネルごとに配線厚さを調整する必要なく、配線形成工程を一回にすることができ、作製工数及び作製コストを削減できる。
【００４６】
このように、光導波路用ヒータ回路において、給電回路の抵抗値をチャンネル間で同一にするように配線部６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ及び配線部７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄを構成したので、全ヒータ部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄで同一の発熱特性を得ることができ、上述の他チャンネルからの影響を抑制することができるという効果と相まって、チャンネル間の光スイッチング特性及び光減衰特性のばらつきを更に抑制できる。
【００４７】
なお、上述の実施の形態は本発明の一例である。このため、本発明は、上述の実施形態に限定されることはなく、この実施の形態以外であっても、本発明に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明を適用した光導波路用ヒータ回路を備えた光導波路デバイスの平面図である。
【図２】比較例としての光導波路デバイスの構成を示す平面図である。
【図３】比較例としての光導波路デバイスにおいて、ヒータ部に供給する電力と、光減衰量との関係を示す図である。
【図４】比較例としての光導波路デバイスにおいて、一方のチャンネルのヒータ部に一定の電力を供給している時に、他のチャンネルのヒータ部に供給する電力を変化させた時の一方のチャンネルの光減衰量の変化を示す図である。
【図５】本発明を適用した光導波路用ヒータ回路の回路図である。
【図６】本発明を適用した光導波路用ヒータ回路を備えた光導波路デバイスにおいて、一方のチャンネルに供給する電力を一定にして、他のチャンネルに供給する時の電力を変化させた時の当該一方のチャンネルにおける光減衰量の変化を示す図である。
【図７】本発明を適用した光導波路用ヒータ回路を備えた光導波路デバイスにおいて、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にするために配線部の長さ又は厚さを調整した構成を説明するための平面図である。
【図８】本発明を適用した光導波路用ヒータ回路を備えた光導波路デバイスにおいて、チャンネル間で給電回路の抵抗値を同一にするために配線部の幅を調整した構成を示す平面図である。
【図９】従来の光導波路デバイスの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  光導波路デバイス
２  光導波路
３  ヒータ部
４  給電パッド
５  共通給電パッド
６，７  配線部
【図１】
0004752448.tif 000002
【図２】
0004752448.tif 000003
【図３】
0004752448.tif 000004
【図４】
0004752448.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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