(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半田バンプとなる半田ボールをプリント配線板のパッドに搭載する半田ボール搭載装置であって、
プリント配線板のパッドに対応する複数の開口を備えるボール整列用マスクと、
ボール整列用マスクの上方に位置し、開口部から不活性ガス又は還元ガスを吸引することで開口部直下に半田ボールを集合させる筒部材と、
少なくとも前記筒部材の開口部の周囲に不活性ガス又は還元ガスを供給するガス供給器と、
前記筒部材、又は、前記ボール整列用マスク及びプリント配線板を移動させる移動機構であって、前記筒部材又は該ボール整列用マスク及びプリント配線板を移動させることで、前記筒部材直下に集合させた半田ボールを、ボール整列用マスクの開口を介してプリント配線板のパッドへ落下させる移動機構と、を備え、
前記筒部材の外周に、前記不活性ガス又は還元ガスを供給する外筒を設けたことを特徴とする半田ボール搭載装置。
【請求項２】
前記筒部材をプリント配線板の幅に対応させて複数並べたことを特徴とする請求項１の半田ボール搭載装置。
【請求項３】
前記筒部材の少なくとも半田ボール接触部位を導電性部材により構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２の半田ボール搭載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半田バンプとなる半田ボールをプリント配線板に搭載するための半田ボール搭載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開２００６−７４００１には、以下のプロセスを含む製法でプリント配線板のパッド上に半田ボールを搭載している。
（１）整列用マスクの開口をプリント配線板のパッドに位置合わせする。
（２）筒部材で空気を吸引し、筒部材下の整列用マスク上に半田ボールを集合させる。
（３）筒部材を移動し、半田ボールを整列用マスクの開口を介してプリント配線板のパッドに半田ボールを搭載する。
【特許文献１】特開２００６−７４００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記筒部材を用いる半田ボールの搭載方法では、半田ボールをリフローして半田バンプを形成した際に、半田バンプ内にボイドが残り易く、熱が加わった際にボイドが膨張し、バイアホールから半田バンプが剥離することがあった。【０００４】
本発明の１つの目的は、微細な半田ボールをパッドに搭載でき、リフローする際にバンプ内へボイドの入り難い半田ボール搭載方法及び半田ボール搭載装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、半田バンプとなる半田ボールをプリント配線板のパッドに搭載する半田ボール搭載装置であって、
プリント配線板のパッドに対応する複数の開口を備えるボール整列用マスクと、
ボール整列用マスクの上方に位置し、開口部から不活性ガス又は還元ガスを吸引することで開口部直下に半田ボールを集合させる筒部材と、
少なくとも前記筒部材の開口部の周囲に不活性ガス又は還元ガスを供給するガス供給器と、
前記筒部材、又は、前記ボール整列用マスク及びプリント配線板を移動させる移動機構であって、前記筒部材又は該ボール整列用マスク及びプリント配線板を移動させることで、前記筒部材直下に集合させた半田ボールを、ボール整列用マスクの開口を介してプリント配線板のパッドへ落下させる移動機構と、を備え、
前記筒部材の外周に、前記不活性ガス又は還元ガスを供給する外筒を設けたことを技術的特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
請求項１の半田ボール搭載装置によれば、ボール整列用マスクの上方に筒部材を位置させ、少なくとも筒部材の開口部の周囲に不活性ガス又は還元ガスを供給し、該筒部材の開口部から不活性ガス又は還元ガスを吸引することで半田ボールを集合させ、ボール整列用マスク及びプリント配線板を移動させることで、筒部材直下に集合させた半田ボールを、ボール整列用マスクの上を移動させ、ボール整列用マスクの開口を介してプリント配線板のパッドへ落下させる。このため、微細な半田ボールを確実にプリント配線板の全てのパッドに搭載させることができる。また、半田ボールを非接触で移動させるため、スキージを用いる場合とは異なり、半田ボールに傷を付けることなくパッドに搭載でき、半田バンプの高さを均一にすることができる。更に、ビルドアップ多層配線板の様に、表面に起伏の多いプリント配線板でも半田ボールをパッドに適切に載置させることができる。また、不活性ガス又は還元ガスを用いるため、パッドへの搭載時、半田ボールの表面に酸化膜が無いあるいは薄い状態で、プリント配線板のパッドへ搭載できる。これにより、リフローの際、パッドへの半田の濡れ性がよくなるので、バンプ無いにボイドが発生し難くなる。さらに、パッド上にはフラックスが塗布されているのが望ましい。パッド上にフラックスが塗布されていると、パッド内のフラックスで半田ボールが包まれることで、半田ボールの下部が空気と触れなくなる。
【０００８】
請求項２の半田ボール搭載装置では、筒部材をプリント配線板の幅に対応させて複数並べてあるため、ボール整列用マスク及びプリント配線板を、筒部材の列方向に対して垂直方向へ送るだけで、半田ボールを確実にプリント配線板の全てのパッドに搭載させることができる。
【０００９】
請求項３の半田ボール搭載装置では、半田ボールをボール整列用マスク上を移動させて送る際に、相互の衝突により半田ボールが帯電しても、筒部材の少なくとも半田ボール接触部位を導電性部材により構成してあるので、小径で軽量な半田ボールが、静電気により筒部材へ付着することがなく、半田ボールをプリント配線板に確実に搭載することができる。
【００１０】
請求項１の半田ボール搭載装置では、筒部材の外周に、不活性ガス又は還元ガスを供給する外筒を設けてあるため、必要最小限の不活性ガス又は還元ガスを供給することで、半田ボールを空気に触れさせることなく集合させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
先ず、本発明の実施例１に係る半田ボール搭載方法及び搭載装置を用いて製造する多層プリント配線板１０の構成について、図７及び図８を参照して説明する。図７は、該多層プリント配線板１０の断面図を、図８は、図７に示す多層プリント配線板１０にＩＣチップ９０を取り付け、ドータボード９４へ載置した状態を示している。図７に示すように多層プリント配線板１０では、コア基板３０の両面に導体回路３４が形成されている。コア基板３０の上面と裏面とはスルーホール導体３６を介して接続されている。【００１２】
更に、コア基板３０の導体回路３４の上に層間樹脂絶縁層５０を介して導体回路層を形成する導体回路５８が形成されている。導体回路５８は、バイアホール導体６０を介して導体回路３４と接続されている。導体回路５８の上に層間樹脂絶縁層１５０を介して導体回路１５８が形成されている。導体回路１５８は、層間樹脂絶縁層１５０に形成されたバイアホール導体１６０を介して導体回路５８に接続されている。【００１３】
バイアホール導体１６０、導体回路１５８の上層にはソルダーレジスト層７０が形成されており、該ソルダーレジスト層７０の開口７１にニッケルめっき層７２及び金めっき層７４を設けることで、パッド７５が形成されている。上面のパッド７５上には半田バンプ７８Ｕが、下面のパッド７５上にはＢＧＡ（ボールグリッドアレー）７８Ｄが形成されている。【００１４】
図８中に示すように、多層プリント配線板１０の上面側の半田バンプ７８Ｕは、ＩＣチップ９０の電極９２へ接続される。一方、下側のＢＧＡ７８Ｄは、ドータボード９４のランド９６へ接続されている。【００１５】
図６は、多層プリント配線板１０に半田バンプを形成する工程の説明図である。
図６（Ａ）に示すように表面のソルダーレジスト層７０の開口７１にパッド７５を形成した多層プリント配線板１０の表面にフラックス８０を印刷する。図６（Ｂ）に示すように多層プリント配線板１０の上側のパッド７５上に後述する半田ボール搭載装置を用いて微少な半田ボール７８ｓ（例えば日立金属社製、タムラ社製、直径４０μｍ以上、２００μｍ未満）を搭載する。ファイン化対応のため直径２００μｍ未満の半田ボールが望ましい。直径４０μｍ未満では半田ボールが軽すぎるためパッド上に落下し難くなる。一方、２００μｍ以上になると逆に重すぎるため筒部材内に半田ボールを集合させることができず、半田ボールが載っていないパッドが存在し易くなる。【００１６】
その後、図６（Ｃ）に示すように多層プリント配線板１０の下側のパッド７５上に、従来技術に係る吸着ヘッドで通常径（直径２５０μｍ）の半田ボール７８Ｌを吸着して載置する。その後、リフロー炉で過熱し、図７に示すように多層プリント配線板１０の上側に６０〜１５０μｍピッチで半田バンプ７８Ｕを、例えば２０００個、下側に２mmピッチでＢＧＡ７８Ｄを、例えば２５０個形成する。６０μｍピッチ未満となると、そのピッチに適した半田ボールを製造するのが困難になる。１５０μｍピッチを越えた場合、本方法においても何ら問題なく製造できるが、印刷法でも製造可能である。更に、図８に示すように、リフローにより半田バンプ７８Ｕを介してＩＣチップ９０を搭載させた後、ＩＣチップ９０を搭載した多層プリント配線板１０を、ＢＧＡ７８Ｄを介してドータボード９４へ取り付ける。【００１７】
図６（Ｂ）を参照して上述した多層プリント配線板のパッド上に微少（直径２００μｍ未満）な半田ボール７８ｓを搭載する半田ボール搭載装置について、図１を参照して説明する。
図１（Ａ）は、実施例１に係る半田ボール搭載装置の構成を示す構成図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の半田ボール搭載装置を矢印Ｂ側から見た矢視図である。【００１８】
半田ボール搭載装置２０は、多層プリント配線板１０を位置決め保持するＸＹθ吸引テーブル１４と、該ＸＹθ吸引テーブル１４を昇降する上下移動軸１２と、多層プリント配線板のパッド７５に対応する開口を備えるボール整列用マスク１６と、半田ボールを誘導する搭載筒（筒部材）２４と、搭載筒２４に負圧を与える吸引ボックス２７と、搭載筒２４内の不活性雰囲気を高めるために、不活性ガスを供給する不活性ガスボンベ２８と、余剰の半田ボールを回収するためのボール除去筒６１と、該ボール除去筒６１に負圧を与える吸引ボックス６６と、回収した半田ボールを保持するボール除去吸引装置６８と、ボール整列用マスク１６をクランプするマスククランプ４４と、多層プリント配線板１０を撮像するためのアライメントカメラ４６と、搭載筒２４下にある半田ボールの残量を検出する残量検出センサ１８と、残量検出センサ１８により検出された残量に基づき半田ボールを搭載筒２４側へ供給する半田ボール供給装置２２と、を備える。【００１９】
搭載筒２４及びボール除去筒６１は、接続パッド領域の大きさに対応させてＹ方向へ複数並べてある。なお、複数の接続パッド領域に対応した大きさにしてもよい。ここで、Ｙ方向は便宜的であり、Ｘ方向に並べても良い。ＸＹθ吸引テーブル１４は、半田ボールの搭載される多層プリント配線板１０を位置決め、吸着、保持、補正、移送を行う。ここで、ＸＹθ吸引テーブル１４は、プリント配線板１０の移送の際には、マスククランプ４４にクランプされたボール整列用マスク１６と共に移送することができる。アライメントカメラ４６は、ＸＹθ吸引テーブル１４上の多層プリント配線板１０のアライメントマークを検出し、検出された位置に基づき、多層プリント配線板１０とボール整列用マスク１６との位置が調整される。残量検出センサ１８は光学的な手法により半田ボールの残量を検出する。【００２０】
実施例１の半田ボール搭載装置２０は、搭載筒２４を固定してボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０を移動させることで、半田ボールを送ることができる。また、ボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０を固定し、搭載筒２４を移動させることで、半田ボールを送ることもできる。【００２１】
搭載筒２４の断面を示す図２を参照して、搭載筒２４の構成について説明する。
搭載筒２４は、不活性ガスを供給するための供給筒２６と、供給された不活性ガスを吸引するための吸引筒２５とから構成され、吸引筒２５の外周に供給筒２６が設けられ、図１中に示す不活性ガスボンベ２８から管路２６Ｂを介して供給された不活性ガスが、供給筒２６の開口２６Ａと吸引筒２５の下端外周２５Ｃとの間から放出される。一方、図１に示す吸引ボックス２７により発生された負圧により、搭載筒２４の開口部２５Ａから、不活性ガスが吸引される。なお、実施例１では、不活性ガスとして、Ｎ2を用いた。不活性ガスとしては、例えばＡｒを用いることもでき、不活性ガスの代わりに、Ｈ2等の還元ガスを用いることもできる。【００２２】
引き続き、半田ボール搭載装置２０による半田ボールの搭載工程について図３〜図５を参照して説明する。
（１）多層プリント配線板の位置認識、補正
図３（Ａ）に示すように多層プリント配線板１０のアライメントマーク３４Ｍをアライメントカメラ４６により認識し、ボール整列用マスク１６に対して多層プリント配線板１０の位置をＸＹθ吸引テーブル１４によって補正する。即ち、ボール整列用マスク１６の開口１６ａがそれぞれ多層プリント配線板１０のパッド７５に対応するように位置調整する。なお、ここでは、図示の便宜上、１枚分の多層プリント配線板１０のみを示しているが、実際には、複数枚の多層プリント配線板を構成するワークシートサイズの多層プリント配線板に対して半田ボールが搭載され、半田バンプの形成後に個片の多層プリント配線板に切り分けられる。【００２３】
（２）半田ボール供給
図３（Ｂ）に示すように半田ボール供給装置２２から半田ボール７８ｓを搭載筒２４側へ定量供給する。【００２４】
（３）半田ボール搭載
図４（Ａ）に示すように、ボール整列用マスク１６の上方に、該ボール整列用マスクとの所定のクリアランス（例えば、ボール径の１００％〜３００％）を保ち搭載筒２４を位置させ、吸引部２５Ｂから不活性ガス又は還元ガスを吸引することで、吸引筒２５とプリント配線板間の隙間の流速を５m/sec〜５０m/secにして、当該吸引筒２５の開口部２５Ａ直下のボール整列用マスク１６上に半田ボール７８ｓを集合させた後、図４（Ｂ）及び図５（Ａ）、並びに図１（Ｂ）及び図１（Ａ）に示すようにプリント配線板１０及びボール整列用マスク１６を、ＸＹθ吸引テーブル１４によりＸ軸に沿って水平方向へ送る。これにより、搭載筒２４直下に集合させた半田ボール７８ｓを、ボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０の移送に伴い移動させ、ボール整列用マスク１６の開口１６ａを介して多層プリント配線板１０のパッド７５へ落下、搭載させて行く。これにより、半田ボール７８ｓが多層プリント配線板１０側の全パッド上に順次整列される。【００２５】
図１０（Ｃ）は、図４（Ｂ）中に円Ｄで囲んだ部分を拡大して示す図である。
半田ボール７８ｓの下側は、パッド７５内に塗布されたフラックス８０で包まれることで、半田ボール７８ｓの下部が空気と触れなくなり、酸化が防がれる。ここで、実施例では、不活性ガス又は還元ガスを用いるため、半田ボールの表面に酸化膜を形成させることなく、プリント配線板のパッド７５へ搭載できる。これにより、リフローの際に、例え、半田ボール７８ｓのフラックス８０から露出した上部に酸化被膜が形成されていても、半田ボール７８ｓの下部には酸化被膜が無いため素早く溶融し、ボイド（気泡）が残ることなく半田バンプを形成できる。【００２６】
（４）付着半田ボール除去
図５（Ｂ）に示すように、プリント配線板１０及びボール整列用マスク１６を移送することにより、余剰の半田ボール７８ｓをボール整列用マスク１６上に開口１６ａの無い位置まで誘導した後、ボール除去筒６１により吸引除去する。【００２７】
（５）基板取り出し
ＸＹθ吸引テーブル１４から多層プリント配線板１０を取り外す。【００２８】
本実施例の半田ボール搭載方法、半田ボール搭載装置２０によれば、ボール整列用マスク１６の上方に搭載筒２４を位置させ、該搭載筒２４の開口部２５Ａから不活性ガス又は還元ガスを吸引することで半田ボール７８ｓを集合させ、ボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０を水平方向に移送させることで、集合させた半田ボール７８ｓを、ボール整列用マスク１６の上を移動させ、ボール整列用マスク１６の開口１６ａを介して多層プリント配線板１０のパッド７５へ落下させる。このため、微細な半田ボール７８ｓを確実に多層プリント配線板１０の全てのパッド７５に搭載させることができる。また、半田ボール７８ｓを非接触で移動させるため、スキージを用いる場合とは異なり、半田ボールを傷を付けることなくパッド７５に搭載でき、半田バンプ７８Ｕの高さを均一にすることができる。このため、ＩＣ等の電子部品の実装性、実装後のヒートサイクル試験、高温・高湿試験等の耐環境試験に優れる。更に、製品の平面度に依存しないので、表面に起伏の多いプリント配線板でも半田ボールをパッドに適切に載置させることができる。また、微少な半田ボールを確実にパッド上に載置することができるので、パッドピッチが６０〜１５０μｍピッチでソルダーレジストの開口径が４０〜１００μｍのプリント配線板においても全てのバンプにおいてバンプ高さが安定した半田バンプとすることができる。【００２９】
更に、吸引力により半田ボールを誘導するため、半田ボールの凝集、付着を防止することができる。更に、搭載筒２４の数を調整することで、種々の大きさのワーク（ワークシートサイズの多層プリント配線板）に対応することができるので、多品種、少量生産にも柔軟に適用することが可能である。【００３０】
本実施例の半田ボール搭載装置では、図１（Ｂ）に示すように搭載筒２４をワーク（ワークシートサイズの多層プリント配線板）の幅に対応させてＹ方向へ複数並べてあるため、ボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０を、搭載筒２４の列方向に対して垂直方向（Ｘ方向）へ送るだけで、半田ボールを確実に多層プリント配線板１０の全てのパッド７５に搭載させることができる。【００３１】
更に、ボール除去筒６１によりボール整列用マスク１６上に残った半田ボール７８ｓを回収できるので、余剰の半田ボールが残り、故障等の障害の原因となることがない。【００３２】
[実施例２]
図９は実施例２に係る搭載筒１２５を示している。図２を参照して上述した搭載筒は、２重構造を採用し、吸引筒２５の外側の供給筒２６から不活性ガスを供給した。これに対して、実施例２では、搭載筒１２５の開口１２５Ａ周囲に不活性ガスを供給するためのノズル１２６が備えられている。この実施例２の構成でも、実施例１と同様に半田バンプでのボイドの巻き込みを防止できる。【００３３】
以下、実施例１の半田ボール搭載方法により製造した半田バンプと、空気を吸引して半田ボールを搬送する方法により製造した半田バンプとの比較試験と行った結果について説明する。
[実施例１]
（１）プリント配線板の作製
出発材料として両面銅張積層板（例えば、日立化成工業株式会社製  ＭＣＬ−Ｅ−６７）を用い、この基板に周知の方法でスルーホール導体及び導体回路を形成した。その後、周知の方法（例えば、２０００年６月２０日  日刊工業新聞社発行の「ビルドアップ多層プリント配線板」（高木清著）で層間絶縁層と導体回路層とを交互に積層し、最外層の導体回路層において、ＩＣと電気的に接続するための直径１５０μｍ、１５０μｍピッチ、５０×５０個（格子状配置）からなるパッド群を形成した。その上に市販のソルダーレジストを形成し、パッド上に、写真法で直径１００μｍの開口を形成した。ここで、バイアホールからなる接続パッド（バイアホールの直上に半田バンプを形成）は、フィルドビアとし、表面の凹み量、凸量は、導体回路１５８の導体厚さに対し、図１０（Ａ）に示すように凹み量（上端面からの窪み量）Ｐ１が−５μｍ以下、及び、図１０（Ｂ）に示すように凸量（上部平坦面からの突出量）Ｐ２が＋５μｍ以下の範囲が望ましい。フィルドビアの凹み量が５μｍを越える（−５μｍ）と、半田ボールとフィルドビアからなる接続パッドの接点が少なくなるので、半田バンプとするとき濡れ性が悪くなり、半田内にボイドを巻き込んだり、未搭載（ミッシングバンプ）になりやすい。一方、５μｍを越えると導体回路１５８の厚みが厚くなるので、ファイン化に向かない。【００３４】
（２）半田ボール搭載
（１）で作製したプリント配線板の表面（ＩＣ実装面）に市販のロジン系フラックスを塗布した。その後上述した本願発明の半田ボール搭載装置の吸着テーブルに搭載し、プリント配線板およびボール搭載用マスクのアライメントマークをＣＣＤカメラを用いて認識し、プリント配線板とボール搭載用マスクを位置合わせした。ここで、ボール搭載用マスクは、プリント配線板のパッドに対応した位置に直径１１０μｍの開口を有する２５μｍ〜５０μｍ厚みのＮｉ製のメタルマスクを用いた。その他ＳＵＳ製やポリイミド製のボール搭載用マスクを用いることも可能である。尚、ボール搭載用マスクに形成する開口径は、使用するボールの径に対して１．１〜１．５倍が好ましい。次に、パッド領域に対応した大きさ（パッド領域に対して１．２〜３倍）で、高さ２００ｍｍの搭載筒を半田ボール径の２倍のクリアランスを保ってプリント配線板上に位置させ、その周囲近辺のボール搭載用マスク上にボール直径８０μｍのＳｎ６３Ｐｂ３７半田ボール（日立金属社製）を載せた。【００３５】
本実施例では、半田ボールにＳｎ／Ｐｂ半田を用いたが、ＳｎとＡｇ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ等の群から選ばれるＰｂフリー半田であってもよい。そして、吸引筒２５より不活性ガス又は還元ガスを吸引して、吸引筒２５とプリント配線板間の隙間の流速を５〜３５ｍ／ｓｅｃに調整して、搭載筒内に集合させた。その後、ボール整列用マスク１６及びプリント配線板１０を移動速度４０ｍｍ／ｓｅｃで移送して半田ボールを移動させ、ボール搭載用マスクの開口部から半田ボールを落下させてパッド上に半田ボールを搭載した。次に、ボール搭載用マスクの余分な半田ボールを除去したのち、半田ボール搭載用マスクとプリント配線板を半田ボール搭載装置から別個に取り外した。最後に、前記で作製したプリント配線板を２３０度に設定してあるリフローに投入して半田バンプとした。【００３６】
[参考例]
参考例では、半田ボールをパッドに供給する方法を変更させた以外は実施例１と同様である。
つまり、吸引筒２５により空気を吸引して空気中で半田ボールを移動させ、ボール搭載用の開口部から半田ボールを落下させてパッドに半田ボールを搭載した。【００３７】
[評価試験]
実施例と参考例の半田バンプをＸ線検査装置（名古屋電気工業（株）ＮＬＸ３５００Ｆ）で観察した。この結果、実施例の半田バンプにはボイドが見られなかったが、参考例では半田バンプ内にボイドが観察された。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施例１に係る半田ボール搭載装置の構成を示す構成図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の半田ボール搭載装置を矢印Ｂ側から見た矢視図である。
【図２】実施例１に係る半田ボール搭載装置の搭載筒の構成を示す断面図である。
【図３】図３（Ａ）は多層プリント配線板の位置決めの説明図であり、図３（Ｂ）は搭載筒への半田ボールの供給の説明図である。
【図４】図４（Ａ）は搭載筒による半田ボールの集合の説明図であり、図４（Ｂ）は搭載筒による半田ボールの集合、誘導の説明図である。
【図５】図５（Ａ）は半田ボールのパッドへの落下の説明図であり、図５（Ｂ）はボール除去筒による半田ボールの除去の説明図である。
【図６】図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）は多層プリント配線板の製造工程の説明図である。
【図７】多層プリント配線板の断面図である。
【図８】図７に示す多層プリント配線板にＩＣチップを取り付け、ドータボードへ載置した状態を示す断面図である。
【図９】実施例２に係る半田ボール搭載装置の搭載筒の構成を示す断面図である。
【図１０】図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）は実施例でのフィルドビアの説明図であり、図１０（Ｃ）は図４（Ｂ）中に円Ｄで囲んだ部分を拡大して示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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