(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用基板を第１の方向に搬送する装置であって、
前記第１の方向と交差する第２の方向に間隔をおいて配置された第１及び第２の搬送アームであって表示用基板の対向する端縁部を共同して狭持する第１及び第２の搬送アームと、
前記第１及び第２の搬送アームに対して、それぞれ、前記第１の方向に間隔をおいた第３及び第４の搬送アームであって、前記第２の方向に互いに間隔をおいて配置されて、他の表示用基板の対向する端縁部を共同して狭持する第３及び第４の搬送アームと、
前記第１及び第３の搬送アームを支持する第１のアームホルダと、
前記第２及び第４の搬送アームを支持する第２のアームホルダと、
前記第１、第２、第３及び第４の搬送アームを前記第１の方向へ同期して移動させ、また前記第１及び第２の搬送アームを相寄り相離れる方向へ同期して移動させると共に、第３及び第４の搬送アームを相寄り相離れる方向へ同期して移動させる駆動装置と、
前記第１の搬送アームを第２の搬送アームに付勢する第１の付勢機構であって第１の弾性体の弾性力を付勢力とする第１の付勢機構と、
前記第３の搬送アームを第４の搬送アームに付勢する第２の付勢機構であって第２の弾性体の弾性力を付勢力とする第２の付勢機構とを含み、
前記第１及び第３の搬送アームは、それぞれ、対応する表示用基板を挟持する２つの第１の狭持部及び２つの第２の狭持部であって、前記第１の方向に間隔をおいた２つの第１の狭持部及び２つの第２の狭持部を有し、また対応する前記第１及び第２の付勢機構を介して前記第１のアームホルダに装着されており、さらに前記第１及び第２の方向と交差する第３の方向に延びる第１及び第２のピンにより、対応する前記２つの第１の狭持部の間の部分及び対応する前記２つの第２の狭持部の間の部分において対応する前記第１及び第２の付勢機構に枢軸的に連結されている、表示用基板の搬送装置。
【請求項２】
前記駆動装置は、さらに、前記第１、第２、第３及び第４の搬送アームを前記第１の方向へ同期して移動させるべく第１及び第２のアームホルダを変位させる第１の駆動機構と、前記第１及び前記第２の搬送アームを前記第２の方向へ同期して移動させると共に、前記第３及び第４の搬送アームを前記第２の方向へ同期して移動させるべく第１及び第２のアームホルダを相対的に変位させる第２の駆動機構とを含む、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２及び第４の搬送アームは前記第３の方向に伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に前記第２のアームホルダに連結されている、請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第１及び第２の狭持部のそれぞれは、第３の弾性体を備える、請求項１から３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
各第３の弾性体は、表示用基板の端縁部を受け入れる凹所を対向する端面側に有する、請求項４に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用基板を搬送する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
表示用基板を試験すなわち検査する装置において、ロード用ステージに受けられた未検査の表示用基板を測定ステージすなわち検査用ステージに搬送し、検査用ステージにおいて検査された検査済みの表示用基板をロード用ステージに戻すか又は検査用ステージに対しロード用ステージと反対側に配置されたアンロード用ステージに移す搬送装置を用いるものがある。
【０００３】
この種の搬送装置として、表示用基板を搬送アームに載せた状態で搬送するもの、表示用基板を搬送アームに真空的に吸着した状態で搬送するもの、表示用基板の対向する端縁を一対の搬送アームのコ字状部に受け入れた状態で搬送するもの等が提案されている。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかし、表示用基板を搬送アームに載せた状態で搬送する従来の装置では、表示用基板が搬送途中において振動等により搬送アームから滑り落ちることを避けることができない。
【０００５】
表示用基板を搬送アームに真空的に吸着した状態で搬送する従来の装置では、表示用基板が搬送アームに真空的に吸着されているか否かを確認することが難しく、したがって表示用基板が搬送アームに吸着されていないことに起因して、表示用基板が搬送途中において振動等により搬送アームから滑り落ちるおそれがある。
【０００６】
表示用基板の対向する端縁を一対の搬送アームのコ字状部に受け入れた状態で搬送する従来の装置では、コ字状部が剛性を有しており、しかも表示用基板の対向する端縁をコ字状部に受け入れているにすぎないから、表示用基板が搬送途中において搬送アームから滑り落ちるおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、表示用基板が搬送途中において搬送アームから滑り落ちないようにすることにある。
【０００８】
【解決手段、作用、効果】
本発明に係る搬送装置は、表示用基板を第１の方向に搬送する装置に関し、前記第１の方向と交差する第２の方向に間隔をおいた少なくとも一対の搬送アームであってそれぞれが表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を備える搬送アームと、該搬送アームを前記第１の方向へ同期して移動させると共に前記搬送アームを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる駆動装置とを含む。
【０００９】
搬送アームは、相寄る方向に移動されることにより、表示用基板を両弾性体で挟み、その状態でその表示用基板を第１の方向へ搬送する。搬送アームは、また、相離れる方向へ移動されることにより、把持している表示用基板を離す。
【００１０】
両搬送アームの弾性体は、表示用基板の搬送時、表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持することにより弾性変形されて、表示用基板が弾性体に対して滑ることを防ぐ。このため、表示用基板を両搬送アームで共同して挟持するにもかかわらず、表示用基板がその搬送途中において搬送アームから滑り落ちことを防止することができる。
【００１１】
前記駆動装置は、前記搬送アームを個々に支持する一対のアームホルダと、前記搬送アームを前記第１の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを変位させる第１の駆動機構と、前記搬送アームを前記第２の方向へ同期して移動させるべく両アームホルダを相対的に変位させる第２の駆動機構とを含むことができる。そのようにすれば、両搬送アームは、アームホルダが第１の駆動機構により変位されることにより、第２の方向へ移動されて表示用基板の挟持及びその解放を行い、アームホルダが第１の駆動機構により変位されることにより第１の方向へ移動されて表示用基板を第１の方向へ搬送する。したがって、表示用基板の挟持及び解放並びに搬送が確実に行われる。
【００１２】
搬送装置は、さらに、前記搬送アームから前記第１の方向に間隔をおいて前記アームホルダに個々に支持された一対の第２の搬送アームであってそれぞれが表示用基板の対向する端縁部を共同して挟持する部分に弾性体を備える第２の搬送アームを含むことができる。そのようにすれば、表示用基板は、少なくとも二対の搬送アームにより挟持されるから、搬送アームに確実に挟持される。
【００１３】
対をなす搬送アームの一方は、当該搬送アームを他方の搬送アームに向けて付勢する付勢機構を介して前記アームホルダに装着されていることができる。そのようにすれば、弾性体の弾性変形の反力のみならず、付勢機構による付勢力もが表示用基板を挟持する力として表示用基板に作用するから、表示用基板を適正な力で挟持することができる。
【００１４】
各搬送アームは前記第２の方向に間隔をおいた複数の箇所のそれぞれに表示用基板を挟持する弾性体を有しており、対をなす搬送アームの一方は前記第１及び第２の方向に交差する第３の方向に伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に前記付勢機構に連結されており、対をなす搬送アームの他方は前記第３の方向に伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に前記アームホルダに連結されていることができる。そのようにすれば、第２の方向における各搬送アームの弾性体の位置が表示用基板の端縁部に対して不揃いであっても、いずれか一方の弾性体が表示用基板に当接した後の搬送アームのさらなる移動によりその搬送アームが角度的に回転されて、両弾性体が表示用基板に確実に当接し、その結果表示用基板はより確実に搬送アームに挟持される。
【００１５】
各弾性体は、表示用基板の端縁部を受け入れる凹所を対向する端面側に有することができる。そのようにすれば、表示用基板の端縁部を凹所に受け入れることにより、表示用基板が搬送アームにより確実に挟持されて、表示用基板がその搬送途中において搬送アームから滑り落ちことがより確実に防止される。
【００１６】
前記付勢機構は、前記アームホルダに組み付けられた第１のベースと、該第１のベースに前記第２の方向に移動可能に配置された第２のベースであって前記搬送アームが組み付けられた第２のベースと、該第２のベースを他方の搬送アームの側に付勢する第２の弾性体とを含むことができる。
【００１７】
前記第１の駆動機構は、前記搬送アームに個々に対応された複数の駆動手段を含み、各駆動手段は、駆動源と、該駆動源により前記第２の方向へ伸びる軸線の周りに回転されるねじ棒と、該ねじ棒に螺合された移動体であって前記アームホルダに組み付けられた移動体と、該移動体の移動方向を前記第２の方向に規制するガイドとを含むことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１から図５を参照するに、搬送装置１０は、表示用基板１２の検査装置に、ロード用ステージ１４に受けられた未検査の表示用基板を測定ステージすなわち検査用ステージ１６に搬送すると同時に、検査用ステージ１６において検査された検査済みの表示用基板をアンロード用ステージ（図示せず）に移すための搬送装置として用いられている。
【００１９】
表示用基板１２は液晶を封入した長方形の液晶表示パネルであり、搬送装置１０を用いる検査装置は点灯検査装置である。ロード用ステージ１４とアンロード用ステージとは、検査用ステージ１６からＸ方向（左右方向）に及び反対側に等距離の箇所に配置されている。
【００２０】
ロード用ステージ１４は、十字状のアームにより形成されたワークテーブル２０を、受けた基板１２と直交するＺ方向へ移動させるＺ駆動機構２２に組み付けている。
【００２１】
ロード用ステージ１４は、ワークテーブル２０を実際に受けると共にその基板１２の芯出しを行う芯出し具２４を各アームに配置したプリアライメントステージとされている。各芯出し具２４は、仮想的な円の半径方向に移動可能に配置された板状のブロックに一対のローラをＺ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に支持させている。芯出し具２４は、共通の又は芯出し具毎の駆動機構（図示せず）により同期して前記半径方向へ移動される。
【００２２】
検査用ステージ１６は、基板１２を受けるワークテーブル２６を、その基板１２と平行な面内でＸ，Ｙ，Ｚの３方向へ移動させる三次元駆動機構２８に組み付けている。ワークテーブル２６は、図示の例では、上方に開放する箱の形状を有しかつバックライトユニットを収容した公知のチャックトップである。
【００２３】
ワークテーブル２６は、受けた基板１２を真空的に吸着する複数の吸着溝３０を頂面に有し、１以上の位置決めピン３２を長方形の隣り合う辺のそれぞれに有し、受けた表示用パネル１２を位置決めピン３２に向けて押すプッシャー３４を長方形の隣り合う他の辺のそれぞれに有している。
【００２４】
位置決めピン３２は、ワークテーブル２６の頂面から突出している。各プッシャー３４は、ワークテーブル２６に支持された逆転可能の回転機構により揺動体をＺ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させることにより、基板１２を位置決めピン３２の押す公知の機構である。
【００２５】
アンロード用ステージは、ロード用ステージ１２と同様の構造を有している。このため、アンロード用ステージは、十字状のアームにより形成されたワークテーブルを、受けた基板と直交するＺ方向へ移動させるＺ駆動機構に組み付けている。
【００２６】
しかし、ロード用ステージ及びアンロード用ステージは、いずれも、Ｚ駆動機構の代わりに、ワークテーブルを受けた基板１２と平行な面内でＸ方向及びＹ方向（前後方向）に二次元的に移動させると共にＺ方向へ移動させる三次元駆動機構を備えるタイプのステージであってもよい。
【００２７】
搬送装置１０は、ロード用ステージ１４、Ｘ方向に間隔をおいた２組（対）の搬送アーム４０と、両アーム組（アーム対）のうち一方側に位置する両搬送アーム４０毎及び他方側に位置する両搬送アーム４０に対応されて対応する両搬送アーム４０を支持する一対のアームホルダ４２と、アーム組に個々に対応されて対応するアーム組の搬送アーム４０の一方を他方の搬送アーム４０に向けて付勢する一対の付勢機構４４と、両アームホルダ４２をＸ方向へ同期して移動させる第２の駆動機構４６と、アームホルダ４２に個々に対応されて対応するアームホルダ４２をＹ方向へ移動させる一対の第１の駆動機構４８とを含む。
【００２８】
各搬送アーム４０は、主体部５０のＸ方向における両端から基板１２の搬送路の側に突出する２つの突出部５２を有している。各突出部５２の先端には、対応する搬送アームと共にアーム組を形成している相手の搬送アーム４０と共同して基板１２を挟持する挟持部として作用する弾性体５４が備えられている。弾性体５４は、シリコーンゴムのようなゴムにより板の形に造られており、また突出部５２の先端面に接着されている。
【００２９】
アームホルダ４２は、基板１２の搬送路を間にして平行に伸びており、また対応する第２の駆動機構４６に組み付けられている。
【００３０】
各付勢機構４４は、アームホルダ４２の端部に組み付けられた第１のベース５６と、Ｘ方向に間隔をおいてＹ方向へ平行に伸びる一対にガイドレール５８と、ガイドレール５８にＹ方向に移動可能に配置された第２のベース６０と、第２のベース６０を第１のベース５６に対し基板１２の搬送路の側に付勢する複数の弾性体６２とを含む。
【００３１】
第１及び第２のベース５６及び６０は、コ字状の形状を有しており、またそれぞれコ字状の開放部を基板１２の搬送路側及びアームホルダ４２側に向けている。ガイドレール５８は第１のベース５６に備えられている。弾性体６２は、図示の例では第１及び第２のベース５０及び６０にかけられ引っ張りコイルばねであるが、圧縮コイルばねのような他の弾性体であってもよい。
【００３２】
各アーム組の両搬送アーム４０のうち、一方はＺ方向に伸びる組み付けピン６４により対応する付勢機構４４の第２のベース６０に枢軸的に結合されており、他方は同種の組み付けピン６４により対応するアームホルダ４２の端部に枢軸的に結合されている。
【００３３】
各第２の駆動機構４８は、Ｘ方向へ移動されるように第１の駆動機構４６に組み付けられたベース６６と、Ｙ方向へ伸びる軸線の周りに回転可能にベース６６に支持されたねじ棒６８と、ねじ棒６８を回転させるようにベース６６に支持された駆動源７０と、ねじ棒６８に螺合された移動体７２とを含む。
【００３４】
図示の例では、ねじ棒６８はリードスクリューであり、駆動源７０は逆転可能の電動機であり、移動体７２はリードナットを備えている。アームホルダ４２は、その長手方向における中央において移動体７２に組み付けられている。移動体７２は、ベース６６に備えられた一対のガイド７４により、移動方向をＹ方向に規制されている。
【００３５】
両第２の駆動機構４８の駆動源は、同期して同方向へ同量回転される。ねじ棒６８が駆動源７０により正転されると、移動体７２が基板１２の搬送路側へ移動され、ねじ棒６８が駆動源７０により逆転されると、移動体７２が基板１２の搬送からから離れる側へ移動される。これにより、アームホルダ４２が相寄り相離れる方向（Ｙ方向）へ同期して移動され、各アーム組の搬送アーム４０が相寄り相離れる方向へ同期して移動される。
【００３６】
第１の駆動機構４６は、図示しない駆動源によりＸ方向へ同期して移動される一対の移動体すなわち支持アーム７６を含む。支持アーム７６がＸ方向へ移動されると、第２の駆動機構４８、搬送アーム４２、付勢機構４４等を介して搬送アーム４０がＸ方向へ移動される。
【００３７】
第１の駆動機構４６は、一対の支持アーム７６を用いる駆動機構の代わりに、互いに同期して同方向へ同量伸縮される一対のシリンダ機構を備える駆動機構のような他の適宜な駆動機構を用いてもよい。この場合、シリンダ機構を備える駆動機構を用いる場合、アームホルダ４２はシリンダ機構によりＸ方向へ移動される。
【００３８】
次に、搬送装置１０の動作を説明する。
【００３９】
搬送装置１０による搬送に先立って、ロード用ステージ１４は、アーム組を形成している搬送アーム４０が対応する第２の駆動機構４８により互いに離され、しかも各芯出し具２４がその板状ブロックに基板１２を受けるように外方へ移動された状態で、基板１２を受け、次いで各芯出し具２４を前記半径方向中央側に移動させる。これにより、基板１２の芯出し（プリアライメント）が行われる。
【００４０】
アンロード用ステージ上の検査済みの基板は、カセットのような適宜な箇所に移されている。検査用ステージ１６上の基板１２は、ワークテーブル２６に吸着されている。ロード用ステージ及びアンロード用ステージへの基板１２の受け渡しは、ロボット又は人手により行うことができる。
【００４１】
ロード用ステージ１４上の基板１２及び検査用ステージ１６上の基板１２を搬送装置１０に受けるとき、先ず、各アーム組の搬送アーム４０が互いに離された状態で、一方及び他方のアーム組がそれぞれＸ方向におけるロード用ステージ１４及び検査用ステージ１６の位置となるように、全ての搬送アーム４０が第１の駆動機構４６によりＸ方向へ移動される。
【００４２】
次いで、図３に示すように、ロード用ステージ１４、検査用ステージ１６及びアンロード用ステージの基板を受ける箇所の高さが搬送装置１０による基板搬送高さとなるようにそれぞれのステージの駆動機構により調整されかつ検査用ステージ１６上の基板１２の吸着が解除された状態で、両アーム組の搬送アーム４０が第２の駆動機構４８により相寄る方向へ移動される。
【００４３】
このとき、ロード用ステージの側の各搬送アーム４０はワークテーブル２０の上を移動することにより、また検査用ステージ側の各搬送アーム４０の突出部５２の一部及び弾性体５４はワークテーブル２６に形成された凹所７８に受け入れられる。
【００４４】
各組の両搬送アーム４０は、基板１２を挟持すべく相寄る方向へ前進されると、図４に示すように弾性体５４を基板１２の対向する端縁部に当接させ、搬送アーム４０のさらなる前進により弾性変形する。これにより、ロード用ステージ１４上の未検査の基板１２が一方の組の搬送アーム４０により挟持され、検査用ステージ１６上の検査済みの基板１２が他方の組の搬送アーム４０に挟持される。
【００４５】
各組の搬送アーム４０は、たとえ一方の弾性体５４が基板１２に先に接触するように、Ｙ方向における各弾性体５４の位置が基板１２の端縁部に対して不揃いであっても、搬送アーム４０の前進にともなって組み付けピン６４の周りに角度的に回転して、両弾性体５４が基板１２に接触する。これにより、基板１２は、その対向する端縁部をＸ方向に間隔をおいた２組の弾性体５４により挟持されることと相まって、各組の両搬送アーム４０に確実に挟持される。
【００４６】
また、各組の一方の搬送アーム４０は、その弾性体５４が基板１２に接触した後、付勢機構４４の弾性体６２の力に抗して変位する。これにより、弾性体５４の弾性変形の反力のみならず、付勢機構４４の付勢力もが基板１２を挟持する力として基板１２に作用するから、基板１２は各組の両搬送アーム４０により適正な圧力で確実に挟持される。
【００４７】
各基板１２が搬送アーム４０に挟持されると、各ステージのワークテーブルが下げられ、その状態で一方の組の搬送アーム４０に挟持された基板１２が検査用ステージの上方に位置し、他方の組の搬送アーム４０に挟持された基板１２がアンロード用ステージの上方となるように、搬送アーム４０、アームホルダ４２、付勢機構４４及び第２の駆動機構４８が第１の駆動機構４６によりＸ方向へ移動される。
【００４８】
次いで、各ステージの基板を受ける箇所の高さが搬送装置１０による基板搬送高さとなるように、各ステージのワークステージが対応する駆動機構により上昇された後、両アーム組の搬送アーム４０が第２の駆動機構４８により相離れる方向へ移動される。これにより、未検査の基板１２が検査用ステージに受けられ、検査済みの基板１２がアンロード用ステージに受けられる。
【００４９】
次いで、検査用ステージ１６上の基板１２がワークテーブル２６に吸着され、検査用ステージ１６のワークテーブル２６が所定の高さに調整され、その状態で検査用ステージ１６上の基板１２の検査が行われる。
【００５０】
基板の検査の間、搬送アーム４０を、Ｘ方向における所定の位置に待機させていてもよいし、次の基板の受け渡しのために上記と逆の方向へ移動させてもよい。また、検査済みの基板をアンロード用ステージから除去する作業と、新たな基板をロード用ステージに配置する作業とを基板の検査の間に行ってもよい。
【００５１】
基板１２を挟持して搬送する間、各組の弾性体５４は、対応する基板１２が搬送アーム４０に対して滑ることを防ぐ。このため、基板１２を各組の両搬送アーム４０で共同して挟持するにもかかわらず、基板１２がその搬送途中において搬送アーム４０から滑り落ちことを防止することができる。
【００５２】
搬送装置１０が基板１２を水平の姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４０は、図６（Ａ）に示すように、基板１２を水平に挟持し、その状態で搬送する。
【００５３】
しかし、搬送装置１０が基板１２を斜めの姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４０は、図６（Ｂ）に示すように、基板１２を斜め上下に挟持し、その状態で搬送する。また、搬送装置１０が基板１２を立てた姿勢で挟持し搬送する場合、各アーム組の搬送アーム４０は、図６（Ｃ）に示すように、基板１２を上下に挟持し、その状態で搬送する。
【００５４】
各弾性体５４は、図６に示すように、基板１２の端縁部を受け入れる凹所８０を対向する端面側に有することが好ましい。凹所８０は、図示の例では大きな曲率半径で弾性体５４の厚さ方向に伸びる弧状の断面形状を有しているが、基板１２の端縁部が当接する限り、Ｖ字状、Ｕ字状等の他の断面形状を有していてもよい。
【００５５】
そのような凹所８０を有する弾性体５４を用いれば、基板１２の端縁部を凹所８０に受け入れることにより、基板１２が搬送アーム４０に確実に挟持されるから、基板１２がその搬送途中において搬送アーム４０から滑り落ちことがより確実に防止される。
【００５６】
搬送アーム４０からの基板１２の落下をより確実に防止するためには、図７に示すように、各搬送アーム４０の各突出部５２の先端に１以上の突起８２を形成してもよい。この場合、弾性体５４は、凹所８０を有していてもよいし、有していなくてもよい。図７の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ、基板１２を水平の姿勢、斜めの姿勢及び立てた姿勢で搬送する例を示している。
【００５７】
本発明は、液晶を封入した液晶表示パネルのみならず、ＥＬ表示パネル、それらの表示パネルに用いるガラス基板等、複数の電極を有する他の表示用基板の検査に用いる搬送装置にも適用することができる。
【００５８】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る搬送装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１における２−２線に沿って得た断面図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図である。
【図４】表示用基板は搬送アームにより挟持した状態を示す、図３と同様に断面図である。
【図５】表示用基板の搬送路に対して一方側に位置する搬送装置の各要素を拡大した平面図である。
【図６】搬送アームの弾性体の他の実施例を示す図であって、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する状態を示す図である。
【図７】搬送アームの突出部の他の実施例を示す図であって、（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）はそれぞれ表示用基板を、水平の、斜めの及び立てた姿勢で挟持して搬送する状態を示す図である。
【符号の説明】
１０  搬送装置
１２  表示用基板
１４  ロード用ステージ
１６  検査用ステージ
４０  搬送アーム
４２  アームホルダ
４４  付勢機構
４６  第１の駆動機構
４８  第２の駆動機構
５２  搬送アームの突出部
５４  搬送アームの弾性体
５６，６０  付勢機構のベース
５８  付勢機構のガイド
６２  付勢機構の弾性体
６４  組み付けピン
６６  第２の駆動機構のベース
６８  第２の駆動機構のねじ棒
７０  第２の駆動機構の駆動源
７２  第２の駆動機構の移動体
７４  第２の駆動機構のガイド
７６  第１の駆動機構のアーム
８０  弾性体の凹所
８２  突出部の突起
【図１】
0004745536.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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