(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面部に取り囲まれて表面が前記表面部の表面と面一である埋め込み磁性層を備えるマスター磁気情報担持体において、該マスター磁気情報担持体の表面を、ＮｉＰメッキ（ただし、Ｃｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような磁気特性を有したものを除く。）しポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に密着させることにより、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物を、ＮｉＰメッキしたアルミ基板の表面に移着させることを特徴とするマスター磁気情報担持体の異物除去方法。
【請求項２】
基板の表面部に取り囲まれて表面が前記表面部の表面と面一である埋め込み磁性層を備えるマスター磁気情報担持体において、該マスター磁気情報担持体の表面を、ＮｉＰメッキ（ただし、Ｃｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような磁気特性を有したものを除く。）しポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に複数回密着させることにより、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物を、ＮｉＰメッキしたアルミ基板の表面に移着させることを特徴とするマスター磁気情報担持体の異物除去方法。
【請求項３】
基板の表面部に取り囲まれて表面が前記表面部の表面と面一である埋め込み磁性層を備えるマスター磁気情報担持体において、該マスター磁気情報担持体の表面を、一枚のＮｉＰメッキ（ただし、Ｃｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような磁気特性を有したものを除く。）しポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に一回密着させ、この動作を複数枚のアルミ基板に対して繰り返すことにより、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物を、ＮｉＰメッキしたアルミ基板の表面に移着させることを特徴とするマスター磁気情報担持体の異物除去方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかの項に記載のマスター磁気情報担持体の異物除去方法において、ＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の直径が、マスター磁気情報担持体の直径より大きいことを特徴とするマスター磁気情報担持体の異物除去方法。
【請求項５】
請求項１から３のいずれかの項に記載のマスター磁気情報担持体の異物除去方法において、ＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の直径を、マスター磁気情報担持体の直径より小さくし、一枚のアルミ基板とマスター磁気情報担持体の相対位置を変えながら複数回接触させることによってマスター磁気情報担持体の全面積範囲との接触を行わせ、この動作を複数枚のアルミ基板に対して繰り返すことにより、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物を、ＮｉＰメッキしたアルミ基板の表面に移着させることを特徴とするマスター磁気情報担持体の異物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体にサーボ信号、アドレス信号又は再生クロック信号などのプリフォーマット記録を行う目的で使用されるマスターディスクなどのマスター磁気情報担持体に関し、特に、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物の除去方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気記録媒体の記録密度の高密度化とそれに伴うプリフォーマットの所要時間の長大化に伴い、サーボライターによるサーボ信号の線書込みの代わりに、マスターディスクを用いて磁気転写技術によりプリフォーマット情報を一括して面書込みするプリフォーマット記録方式が数年前から提案されており、サーボ信号記録時間の大幅な短縮化が図られている。
【０００３】
マスター磁気情報担持体の製造方法は、たとえばシリコン基板の表面にレジストをスピンコート法などにより塗布した後、光リソグラフィー法でパターニングし、これによって形成されたエッチングマスクを通して反応性プラズマエッチングを行うことによりシリコン基板に掘り込み穴を形成し、この穴の中にコバルト系の軟磁性膜をスパッタ成膜してからエッチングマスクとその上の軟磁性膜をレジスト溶剤にて除去する方法が一般的である。
【０００４】
このようなマスター磁気情報担持体の製造方法では、リフトオフ法でレジストを除去するのであるが、レジストパターンのアンダーカットが十分に形成されていないと、磁性膜がレジスト層の側壁を覆ってしまい、溶剤で除去できなくなるため、図５に示すようにシリコン基板１１に形成されたコバルト系軟磁性膜１２のいわゆるバリ１３が発生してしまう。
【０００５】
このようなバリ１３を有するマスター磁気情報担持体と磁気ディスク媒体の表面を接触させることにより磁気転写作業を実施すると、接触時にバリ１３が折れて磁気ディスクに移着する。磁気ディスクにこのような異物が存在すると、情報を読み書きする磁気ヘッドに衝突してノイズの原因になり、最悪の場合にはヘッドクラッシュを引き起こす。
【０００６】
また、マスター磁気情報担持体の耐久性を向上して寿命を延ばすために、その表面にＤＬＣ(ダイアモンドライクカーボン)膜等をスパッタ法で成膜することが通常行われるが、上記のようなバリがあると、その部分からＤＬＣの膜はがれが発生するという問題がある。
【０００７】
ブラッシングやポリッシュによりバリを除去する試みは従来から種々行われているが、ブラッシングではバリを完全に除去することはできず、ポリッシュでは除去したバリの砕片がシリコンとコバルト粒子のすきまに入り込み、転写作業を繰り返すとこれが磁気ディスクに移動・付着（以下「移着」という）するという問題があった。
【０００８】
そこで、やむを得ず転写作業の最初の数十枚をダミー磁気ディスクとして使い、バリをダミーディスクに移着させてから本番の転写作業を行うという方法も採用されたが、この方法では以下のような問題があった。
（イ）最初の数十枚のダミーディスクは廃却することになるのでコストアップになる。（ロ）磁気ディスクの表面はDLC保護膜が成膜されており硬いので、マスター磁気情報担持体を傷つけることがある。
（ハ）磁気ディスクの表面には潤滑材が塗布されているので、これがマスター磁気情報担持体に移着し、マスター磁気情報担持体と磁気ディスクとの密着距離が変化する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、磁気転写時に発生する上記のようなマスター磁気情報担持体から磁気ディスクヘの異物の移着をなくすために、磁気転写を行う前にマスター磁気情報担持体の表面に存在する異物をあらかじめ除去する手段を提供するもので、上述した経験に鑑みて、マスター磁気情報担持体のバリを折るのには十分硬いが、マスター磁気情報担持体の表面をキズつけることはなく、かつマスター磁気情報担持体の表面に密着するには十分な平面度を有し、さらにコスト的にも十分採算性のある異物移着用の基板を提供することを課題とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
この課題は、請求項１に記載の発明によれば、基板の表面部に取り囲まれて表面が前記表面部の表面と面一である埋め込み磁性層を備えるマスター磁気情報担持体において、該マスター磁気情報担持体の表面を、ＮｉＰメッキ（ただし、Ｃｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような磁気特性を有したものを除く。以下同じ。）しポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に密着させることにより、マスター磁気情報担持体の表面に存在する異物を、ＮｉＰメッキしたアルミ基板の表面に移着させることにより達成される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
この発明の第一の実施形態によれば、マスター磁気情報担持体の表面は、ＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に１回ではなく複数回密着させられる（請求項２）。
【００１２】
この発明の第二の実施形態によれば、マスター磁気情報担持体の表面は、一枚のＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の表面に一回密着させられ、この動作が複数枚のアルミ基板に対して繰り返される（請求項３）。
【００１３】
この発明の第三の実施形態によれば、ＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の直径が、マスター磁気情報担持体の直径より大きくされる（請求項４）。
【００１４】
この発明の第四の実施形態によれば、ＮｉＰメッキしポリッシュ仕上げしたアルミ基板の直径は、マスター磁気情報担持体の直径より小さくされ、一枚のアルミ基板とマスター磁気情報担持体とをそれらの相対位置を変えながら複数回接触させることによってマスター磁気情報担持体の全面積範囲との接触が行われ、この動作が複数枚のアルミ基板に対して繰り返される（請求項５）。
【００１５】
【発明の実施例】
図１は、この発明の第一実施例を示すもので、バリ１を表面に有するマスター磁気情報担持体２は真空吸着機構（図示せず）により上部移動体３に吸着されている。ここではマスター磁気情報担持体２の異物はバリ１としたが、コンタミと通称される外部から付着したパーティクル、金属あるいは有機物などの異物であっても構わない。
【００１６】
４はアルミ基板で、表面をＮｉＰメッキ（無電解ニッケル−リン合金メッキ）した上でポリッシュ仕上げ（鏡面仕上げ）してあり、これまた図示しない真空吸着機構によって下部固定体５に吸着されている。
【００１７】
マスター磁気情報担持体２とアルミ基板４とは、図１のＡ）に示すように当初はある距離をもって離れている。上部移動体３を下降させてマスター磁気情報担持体２とアルミ基板４とを図１のＢ）に示すように接触させると同時に、下部固定体５の中心に形成された孔６を介して真空引きを行うと、マスター磁気情報担持体２とアルミ基板４とは強固に密着する。その後、孔６内の圧力を大気状態に戻して、図１のＣ）に示すように上部移動体３を上昇させると、バリ１の一般的には一部（かけら）がアルミ基板４の表面に移着する。
【００１８】
図１のＡ）〜Ｃ）の一連の作業を終了した後にアルミ基板を交換するか否かは状況次第であるが、実験の結果では次のいずれかの方法が採用可能である。
１）Ａ）〜Ｃ）の一連の作業を終えたら、アルミ基板を交換する。
２）アルミ基板を交換せずにＡ）〜Ｃ）の一連の作業を複数回繰り返す。
３）最初はアルミ基板を交換せずにＡ）〜Ｃ）の一連の作業を複数回繰り返し、その後に
Ａ）〜Ｃ）の一連の作業を終了する毎にアルミ基板を交換する。
４）最初はＡ）〜Ｃ）の一連の作業を終了する毎にアルミ基板を交換し、その後アルミ基
板を交換せずにＡ）〜Ｃ）の一連の作業を複数回繰り返す。
【００１９】
図２はこの発明の第二実施例を示すもので、図１と同一部分には同一の符号を付してある。この実施例ではアルミ基板４の直径がマスター磁気情報担持体２の直径より大きく選ばれている。これにより、マスター磁気情報担持体１の外周近くに存在するバリ１を確実に除去することができる。
【００２０】
図３はこの発明の第三実施例を示すもので、図１と同一部分には同一の符号を付してある。この実施例ではアルミ基板４の直径がマスター磁気情報担持体２の直径より小さく選ばれている。このため、図３のＡ）〜Ｃ）の作業を一回行っただけでは、マスター磁気情報担持体２の外周近くに存在するバリ１０を確実に除去することはできない。
【００２１】
そこで、この場合には図３のＡ）〜Ｃ）の動作を複数回繰り返す際に、マスター磁気情報担持体２とアルミ基板４との接触領域を変化させて、アルミ基板４がマスター磁気情報担持体２の全面積をカバーするようにする。
【００２２】
これを図４を用いて詳細に説明する。図４は図３のマスター磁気情報担持体２とアルミ基板４の相対関係を上から透視図で見たものである。図３のようにアルミ基板４とマスター磁気情報担持体２が同心の関係にあれば、マスター磁気情報担持体２の外周近くに存在するバリを確実に除去することはできない。
【００２３】
そこで、一回目の作業では図４のＡ）に示したようにマスター磁気情報担持体２の中心をアルミ基板４の中心から右上の２１で示す位置にずらして図３の一連の作業を実施する。二回目の作業では図４のＢ）に示したようにマスター磁気情報担持体２の中心をアルミ基板４の中心から左上の２２で示す位置にずらして図３の一連の作業を実施する。三回目の作業では図５のＣ）に示したようにマスター磁気情報担持体２の中心をアルミ基板４の中心から左下の２３で示す位置にずらして図３の一連の作業を実施する。四回目の作業では図４のＤ）に示したようにマスター磁気情報担持体２の中心をアルミ基板４の中心から右下の２４で示す位置にずらして図３の一連の作業を実施する。
【００２４】
以上の作業によって、マスター磁気情報担持体２の全面積をカバーすることができる。
【００２５】
図６は、本発明の第二実施例である図３の作業を、一回毎にアルミ基板を取り替えて繰り返した場合の実験結果である。横軸はマスター磁気情報担持体の密着回数、縦軸は各回にアルミ基板に移着した異物の数を示す。この図から判るように、マスター磁気情報担持体表面のバリなどの異物が、初めのうちは大量にアルミ基板に移着しているが、回数を繰り返すにつれて移着する個数が減少し、５０回になると数個のレベルになる。すなわち、図３の作業を５０回繰り返した後に、磁気転写によりプリフォーマット情報を一括して面書込みするプリフォーマット記録作業を行えば、本番の記録媒体に移着する異物はほとんどなくなる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、マスター磁気情報担持体の表面に付着した異物を除去する際に、ＮｉＰメッキ（ただし、Ｃｏ−Ｒｅ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｒｅ−Ｐのような磁気特性を有したものを除く。）しポリッシュ仕上げをしたアルミ基板を用いることにより、マスター磁気情報担持体の表面を傷つけることなく、異物をほとんど除去できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ａ）〜Ｃ）はこの発明の第一実施例の作業工程を示す略示断面図である。
【図２】Ａ）〜Ｃ）はこの発明の第二実施例の作業工程を示す略示断面図である。
【図３】Ａ）〜Ｃ）はこの発明の第三実施例の作業工程を示す略示断面図である。
【図４】Ａ）〜Ｄ）はこの発明の第三実施例の作業工程を平面的に見た場合の略示平面図である。
【図５】マスター磁気情報担持体に生じるバリの断面図である。
【図６】マスター密着回数と残存異物個数の推移を示す棒グラフ図である。
【符号の説明】
１，１０・・・バリなどの異物
２，２１，２２，２３，２４・・・マスター磁気情報担持体
３・・・上部移動体
４・・・アルミ基板
５・・・下部固定体
６・・・孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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