(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、相対するいずれか一方または両方のプレートの相対する他方のプレートに対向する表面には溝が設けられており、該溝の中には前記表面に対して垂直であるとともに前記溝の両側の縁を含む面で切断した断面形状が相対する他方のプレート側に凸状である接着剤遮蔽用突起部が有り、前記接着剤遮蔽用突起部は相対する他方のプレートに設けられた前記接着剤遮蔽用突起部よりも低硬度の材質からなる突起受け部に当接しているとともに、前記接着剤遮蔽用突起部が、前記液体流路を形成するためのプレートの貫通孔または溝の周囲に隔壁状に形成されていることを特徴とする液体流路部材。
【請求項２】
前記接着剤遮蔽用突起部は、前記断面形状において、前記突起受け部に当接する先端の幅が、基端に位置する後端の幅よりも小さい請求項１記載の液体流路部材。
【請求項３】
前記接着剤遮蔽用突起部の先端が先尖形状である請求項２記載の液体流路部材。
【請求項４】
前記接着剤遮蔽用突起部の先端が曲面形状である請求項１または２記載の液体流路部材。
【請求項５】
前記突起受け部を構成する材料が樹脂である請求項１〜４のいずれかに記載の液体流路部材。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の液体流路部材と、液体加圧手段とを備え、前記液体流路部材には前記液体流路と連通した液体噴出孔が設けられていることを特徴とする液体噴出装置。
【請求項７】
前記液体噴出孔が複数設けられ、前記液体加圧手段により各液体噴出孔から独立して液滴が噴出される請求項６記載の液体噴出装置。
【請求項８】
インクジェット印刷ヘッドである請求項７記載の液体噴出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、布、紙、プラスチック、金属、ガラス、セラミックス、シリコンやＧａＡｓ等の半導体用基板等の記録媒体の表面に微小な液滴を噴射して記録を行う印刷ヘッドに好適に使用できる液体流路部材および液体噴出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット印刷ヘッドは、例えば流路部材に設けられた液体圧力室内の液体を加圧し該液体加圧室から液滴を噴出させて記録媒体に記録するものである。このような流路部材は、貫通孔または溝を各々有する複数のプレートが積層され、内部に液体流路が形成されている。
【０００３】
例えば、インクジェットプリンタに搭載されているインクジェット印刷ヘッドでは、インク室、圧力室、噴出孔等のインク流路（液体流路）を構成するために、一般に、複数のプレートを積層し、これらのプレート同士を接着剤で接着している（例えば、特許文献１）。図８(a)は、従来のインクジェット印刷ヘッドの構成を模式的に示す概略断面図であり、図８(b)はその部分拡大断面図である。図８(a)，(b)に示すように、このインクジェット印刷ヘッドは、噴出孔プレート１２１と、プールプレート１２２と、供給孔プレート１２３と、封止プレート１２４と、圧力室プレート１２５と、振動プレート１２６とを積層した液体流路部材に、アクチュエータ（液体加圧手段）１２７が取り付けられて構成されている。
【０００４】
噴出孔プレート１２１には、インクを噴出させるための液体噴出孔１２８が形成されている。この液体噴出孔１２８は、プールプレート１２２、供給孔プレート１２３および封止プレート１２４にそれぞれ設けられた貫通孔で構成される連通孔１２９を介して、圧力室プレート１２５に設けられた圧力室１３０と連通している。圧力室１３０は、封止プレート１２４に形成された供給連通路１３１と供給孔プレート１２３に形成された供給孔１３２とを介して、プールプレート１２２に形成されたインクプール１３３と接続されている。各プレートは接着剤を用いて積層接着されている。
【０００５】
ところが、各プレートには、液体噴出孔１２８、連通孔１２９等の非常に微小な径の孔や溝が設けられているため、これらの孔が余剰の接着剤によって埋まったり、余剰の接着剤がはみ出した肉盛り１３５ａ、１３５ｂによって流れが阻害され、液体噴出孔１２８から液滴を正常に噴出させることができないという問題があった。
【０００６】
そこで、特許文献１，２には、プレートの接合面に、余剰の接着剤を逃がすための溝部（逃げ溝）を設けた印刷ヘッドが提案されている。しかしながら、印刷ヘッドにおけるプレートの厚みは５０〜１５０μｍ程度と薄いため、特許文献１，２に開示されている手段では、薄いプレートに十分な大きさの逃げ溝を確保することは困難であり、余剰の接着剤が孔を塞ぐのを防止する上で十分ではなかった。
【０００７】
そこで、特許文献３には、貼り合わせる２枚のプレートのうち、薄い方を基準にして接着剤層の厚みが調整された印刷ヘッドが提案されている。この印刷ヘッドによれば、各プレートに設けられた孔や溝内部への接着剤のはみ出しおよびそれに伴う孔の塞がりを防止することができるとされている。
【０００８】
しかしながら、特許文献３に記載されている印刷ヘッドでは、前記と同様に、薄いプレートに十分な大きさの逃げ溝を確保することが困難であることには変わりがないため、余剰の接着剤が液体流路にはみ出して液体流路を塞いで液体の噴出を妨げるという問題がある。また、液体流路を完全に塞がない場合でも、余剰の接着剤が内壁から液体流路内にはみ出して（例えば、特許文献３の図２参照）、このはみ出した接着剤が液体の進行を阻害し、印刷品質が低下して不良品が増加するという問題がある。
【特許文献１】特開平５−３３００６７号公報
【特許文献２】特開２００２−２４０２７２号公報
【特許文献３】特開２０００−１６８０７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、液体流路への余剰の接着剤のはみ出しが抑制され、液体を円滑に流すことができる液体流路部材および液滴噴出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の液体流路部材および液体噴出装置は、以下の構成からなる。
(1)  複数のプレートが接着剤層を介して積層接着され、内部に液体流路が形成された液体流路部材であって、相対するいずれか一方または両方のプレートの相対する他方のプレートに対向する表面には溝が設けられており、該溝の中には前記表面に対して垂直であるとともに前記溝の両側の縁を含む面で切断した断面形状が相対する他方のプレート側に凸状である接着剤遮蔽用突起部が有り、前記接着剤遮蔽用突起部は相対する他方のプレートに設けられた前記接着剤遮蔽用突起部よりも低硬度の材質からなる突起受け部に当接しているとともに、前記接着剤遮蔽用突起部が、前記液体流路を形成するためのプレートの貫通孔または溝の周囲に隔壁状に形成されていることを特徴とする液体流路部材。
(2)  前記接着剤遮蔽用突起部は、前記断面形状において、前記突起受け部に当接する先端の幅が、基端に位置する後端の幅よりも小さい請求項１記載の液体流路部材。
(3)  前記接着剤遮蔽用突起部の先端が先尖形状である(2)記載の液体流路部材。
(4)  前記接着剤遮蔽用突起部の先端が曲面形状である(1)または(2)記載の液体流路部材。
(5)  前記突起受け部を構成する材料が樹脂である(1)〜(4)のいずれかに記載の液体流路部材。
(6)  前記(1)〜(5)のいずれかに記載の液体流路部材と、液体加圧手段とを備え、前記液体流路部材には前記液体流路と連通した液体噴出孔が設けられていることを特徴とする液体噴出装置。
(7)  前記液体噴出孔が複数設けられ、前記液体加圧手段により各液体噴出孔から独立して液滴が噴出される(6)記載の液体噴出装置。
(8)  インクジェット印刷ヘッドである(7)記載の液体噴出装置。
【発明の効果】
【００１１】
前記(1)記載の液体流路部材は、相対するいずれか一方または両方のプレートに、これらのプレート間のシール性を高めるための接着剤遮蔽用突起部を有する溝が設けられており、この突起部が相対する他方のプレートに設けられた前記接着剤遮蔽用突起部よりも低硬度の材質からなる突起受け部に当接しているので、プレート積層時の圧力で貫通孔または溝の内壁面側（液体流路の内壁面側）に押し出されてきた余剰の接着剤の進路を前記突起部が遮り、多量の余剰接着剤が液体流路の内壁から液体流路内にはみ出して液体の流れが阻害されるのを抑制することができる。これにより、液体流路内において液体の円滑な流れを達成することができる。しかも、突起部が当接する部位に、突起部よりも低硬度の材料からなる突起受け部が設けられているので、突起部の先端が突起受け部中に食い込むため、より安定したシール性を得ることができる。なお、本発明における「接着剤遮蔽用突起部」は、必ずしもプレート間を液密的に封止（密封）する機能を有している必要はなく、少なくとも液体流路の内壁から多量の接着剤が液体流路内にはみ出すのを抑制することにより、液体流路内における液体の円滑な流れを確保できる機能を有していればよい。
【００１２】
本発明において、前記突起部は、プレート間のシール性を高める必要がある部位に適宜形成すればよく、前記(1)記載のように、液体流路を形成するために設けられたプレートの貫通孔または溝の周囲に、隔壁状に形成されているのがよい。これにより、余剰の接着剤が液体流路内へはみ出すのをより確実に防止することができる。
【００１３】
前記(2)，(3)記載のように、本発明の液体流路部材は、突起部の先端の幅が後端よりも小さく、特に突起部の先端が先尖形状であるのがよい。また、前記(4)記載のように、突起部の先端が曲面形状であってもよい。このように突起部の先端の幅が小さいか、あるいは曲面であることにより、他方のプレートに設けられた前記接着剤遮蔽用突起部よりも低硬度の材質からなる突起受け部にシール性の高い状態で当接しやすくなる。
【００１５】
前記(5)記載の液体流路部材によれば、突起部が当接する部位に、突起部よりも低硬度の材料からなる突起受け部が設けられているので、突起部の先端が突起受け部中に食い込むため、より安定したシール性を得ることができる。
【００１７】
前記(6)記載の液体噴出装置によれば、上記のような液体流路部材を備えているので、液体流路内において液体の円滑な流れを達成するとともに、液体流路内を流れる液体が漏れ出すのを抑制することができる。これにより、液体噴出孔からばらつきの少ない安定した液滴を噴出させることができる。
【００１８】
前記(7)記載の液体噴出装置によれば、液体噴出孔が複数設けられ、液体加圧手段により各噴出孔から独立して液滴が噴出されるように構成されているので、例えば前記(8)のようにインクジェット方式の印刷機に適用した場合には、精細で美しい画像を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の液体流路部材および液体噴出装置について、これらをインクジェット印刷ヘッドに適用した場合を例に挙げて、図面を参照し詳細に説明する。図１(a)は、本発明の一参考例にかかる液体流路部材の構造を模式的に示す概略断面図であり、図１(b)は図１(a)の液体流路部材の一部を拡大した部分拡大断面図である。
【００２０】
図１(a)に示すように、本参考例にかかる液体流路部材１４は、噴出孔プレート１と、プールプレート２と、供給孔プレート３と、封止プレート４と、圧力室プレート５と、振動プレート６とを積層したものである。
【００２１】
噴出孔プレート１には、液体を噴出させるための液体噴出孔１ａが形成されている。この液体噴出孔１ａは、プールプレート２、供給孔プレート３および封止プレート４にそれぞれ設けられた貫通孔２ａ，３ａ，４ａで構成される連通孔９を介して、圧力室プレート５に設けられた貫通孔５ａにより形成された圧力室１０と連通している。圧力室１０は、封止プレート４に設けられた貫通孔４ｂにより形成された供給連通路１１と、供給孔プレート３に形成された供給孔３ｂとを介して、プールプレート２に設けられた貫通孔２ｂにより形成されたプール１３に接続されている。プール１３には、インクジェット印刷用のインクが収容されている。このインクは、外部に設けられたインクタンク（不図示）から液体プール１３内に供給される。
【００２２】
上記のように、各プレートに液体噴出孔１ａ、貫通孔２ａ〜５ａ、貫通孔２ｂ〜４ｂなどの貫通孔が形成されていることにより、液体流路部材１４の内部には、液体プール１３から供給孔３ｂ、供給連通路１１、圧力室１０、連通孔９、液体噴出孔１ａに至るまでの液体流路が形成されている。なお、図１(a)に示す液体流路部材１４では、圧力室１０が３枚のプレート（すなわち、封止プレート４、貫通孔５ａを設けた圧力室プレート５および振動プレート６）を積層して形成されているが、例えば１枚のプレートに貫通孔を設けることにより圧力室を形成したり、溝を設けたプレートに別のプレートを積層することにより圧力室を形成することもできる。
【００２３】
液体流路部材１４は、振動プレート６および貫通孔が設けられたプレート１〜５が接着剤層を介して積層接着されたものである。この液体流路部材１４では、相対するいずれか一方のプレートの表面に、プレート間のシール性を高める接着剤遮蔽用突起部が貫通孔の周囲に隔壁状に形成され、該突起部が相対する他方のプレートの表面に当接している。
【００２４】
具体例を挙げて説明すると、例えば図１(b)に示すように、供給孔プレート３は、その表面３ｃに、プールプレート２と供給孔プレート３との間のシール性を高めるための接着剤遮蔽用突起部３ｄを有し、この突起部３ｄが相対する他方のプールプレート２の表面２ｃに当接している。これにより、プールプレート２，供給孔プレート３の積層時の圧力で貫通孔２ａ，３ａ側に押し出されてきた余剰の接着剤の進路を突起部３ｄが遮るので、液体流路の内壁面に余剰の接着剤からなる肉盛りが形成されるのを抑制し、連通孔９内において液体の流れが阻害されるのを防止することができる。本発明の液体流路部材では、突起部の形状は特に限定されず、プレート間のシール性を高めることができるものであればよいが、好ましくは先端側の幅がプレート表面側よりも小さい形状であるのがよく、より好ましくは突起部３ｄのように先端が先尖形状であるのがよい。なお、突起部は、少なくともプレート間のシール性を高めることができるものであればよく、必ずしもプレート間を液密的に完全に封止できなくてもよい。すなわち、例えば一部の接着剤が突起部よりも連通孔９側に流れ出して、はみ出し２７ａを形成してもよく、連通孔９内に多量の接着剤がはみ出して液体の流れを阻害するようなことがなければよい。
【００２５】
以下、プレートを積層接着する方法について、プールプレート２と供給孔プレート３の積層接着を例に挙げて具体的に説明する。図２(a)はプールプレート２と供給孔プレート３を接合する直前の状態を示す概略断面図であり、図２(b)はプールプレート２と供給孔プレート３を接合した後の状態を示す概略断面図である。
【００２６】
まず、図２(a)に示すように、貫通孔２ａを有するプールプレート２と、貫通孔３ａおよびこの貫通孔３ａの近傍でかつ貫通孔３ａの周囲を囲むように形成された突起部３ｄを有する供給孔プレート３とを公知の成形方法により作製する。ついで、供給孔プレート３の表面３ｃに、所定量の接着剤２７をスクリーン印刷等の公知の手段により塗布する。このとき、接着剤２７は、突起部３ｄに対して貫通孔３ａの反対側の表面３ｃ上にのみ塗布するのがよい。これにより、突起部３ｄを超えて余剰の接着剤２７が貫通孔２ａ，３ａ側に拡散してきても、その量を著しく低減することができる。
【００２７】
次に、これらのプールプレート２，供給孔プレート３を所定の圧力をかけて貼り合わせる。このとき、図２(b)に示すように、貼り合わせ時の圧力で接着剤２７が貫通孔２ａ，３ａ側に押し出され移動してくるが、接着剤２７の進路が突起部３ｄにより遮られるので、余剰の接着剤２７が貫通孔２ａ，３ａ内に多量にはみ出してくるのを防止することができる。
【００２８】
本発明の液体流路部材をインクジェット印刷ヘッドに適用する場合、液体流路部材を構成するプレートの材料としては、例えばＦｅ−Ｃｒ系またはＦｅ−Ｃｒ−Ｎｉ系のステンレス鋼、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系などの金属、超硬合金、シリコン、アルミナ、ジルコニアなどのセラミックスなどが挙げられる。また、これらのプレートを接着する接着剤としては、例えばエポキシ樹脂系接着剤、ＵＶ樹脂系接着剤などが挙げられる。
【００２９】
また、プレート間のシール性をさらに高めるためには、突起部３ｄが当接するプールプレート２の表面２ｃが、突起部３ｄよりも低硬度であるのが好ましい。これにより、突起部３ｄがプールプレート２の表面２ｃに食い込みやすくなり、シール性が向上する。具体的には、例えばプールプレート２および供給孔プレート３の材料として、Ｎｉ合金とステンレス鋼、ステンレス鋼と超硬合金鋼等の組合せが挙げられる。
【００３０】
また、プールプレート２と供給孔プレート３が、例えばＮｉ合金同士、ステンレス鋼同士等のように同一材料であっても、供給孔プレート３の表面３ｃのうち少なくとも突起部３ｄの表面にダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、セラミックス等の薄膜を被覆して硬度を高めることで、突起部３ｄがプールプレート２の表面２ｃに食い込みやすくなる。
【００３１】
さらに、図３(a)，(b)に示すように、プールプレート２の表面２ｃのうち、少なくとも突起部３ｄが当接する部位に、突起部３ｄよりも低硬度の材料からなる突起受け部１５または突起受け部１６を設けてもよい。突起受け部１５は、突起部３ｄよりも低硬度の軟質薄膜からなる。また、突起受け部１６は、表面２ｃに設けられた受け溝２ｈの内部に配置された樹脂等の軟質材料からなる成形体である。これらの突起受け部１５，１６を設けることで、突起部３ｄがプールプレート２に食い込みやすくなり、シール性が向上する。なお、接着剤を加熱硬化させる場合には、加熱処理温度よりも高い融点を有する軟質材料を使用することで、加熱処理を施しても、突起受け部はその形状を維持し受け溝２ｈ内に保持される。
【００３２】
ここで、本発明の一実施形態にかかる液体流路部材は、図３(c)に示すように、供給孔プレート３の表面をエッチング処理加工するなどして、例えば断面が凸状（プールプレート２側に凸）の溝を形成することにより先端が供給孔プレート３の表面より低い突起部３ｈを設け、この突起部３ｈに対向するプールプレート２の表面に突起受け部１７を凸状（プールプレート２の表面よりも供給孔プレート３側に凸）に設けて、突起部３ｈと突起受け部１７とが当接するようにする。このような突起部３ｈは、供給孔プレート３の一部を僅かに加工するだけで形成することができるので、加工が容易で、かつ材料に無駄がなく、コストダウンを図ることができる。また、突起受け部１７は、樹脂などの軟質材料の成形体を接着剤などにより取り付けるか、あるいは金属めっき、金属蒸着などにより形成することができる。
【００３４】
図４に示すように、供給孔プレート３の表面３ｃに突起部３ｄを設けるだけでなく、さらにプレートの表面３ｃに接着剤２７を保持する逃げ溝３ｅが設けられていてもよい。これにより、プールプレート２，供給孔プレート３を積層接着した際に、接着剤２７の一部が逃げ溝３ｅに充填（保持）されるので、余剰の接着剤２７が液体流路にはみ出すのをより効果的に防止することができる。
【００３５】
図５(a)に示す突起部３ｆのように、その先端が曲面形状であってもよい。突起部は、供給孔プレート３の表面を加工して供給孔プレート３の一部を突起部としてもよいが、例えば図５(b)に示すように、供給孔プレート３の表面に、別の部材を接着するなどして取り付けることにより突起部３ｉを形成してもよい。この突起部３ｉには、シリコン、Ｓｉ3Ｎ4、ＳｉＣ、アルミナ、ジルコニア、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボンなどのセラミックス、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇなどの金属、高融点の樹脂などを用いることができる。この樹脂には、金属めっきや金属蒸着を施してもよい。
【００３６】
さらに、図６に示すように、突起部２ｇ，３ｇがプールプレート２，供給孔プレート３の表面２ｃおよび表面３ｃにそれぞれ形成されていてもよい。これにより、プールプレート２と供給孔プレート３の間のシール性をより向上させることができる。
【００３７】
以上の説明では、プールプレート２と供給孔プレート３を貼り合わせる場合を例に挙げて説明したが、他のプレートの積層接着においても上記と同様に実施すればよい。すなわち、液体噴出孔１ａ、貫通孔２ａ〜５ａ、貫通孔２ｂ〜４ｂなどの貫通孔の周囲に、上記と同様にして接着剤遮蔽用突起部を設けることで、貫通孔内への接着剤のはみ出しを抑制することができる。
【００３８】
次に、本発明の一実施形態にかかる液体噴出装置について説明する。図７(a)は本実施形態にかかる液体噴出装置の構造を模式的に示す概略断面図であり、図７(b)は該液体噴出装置の平面図（液体噴出孔側から見た図）であり、図７(c)は該液体噴出装置の底面図（液体加圧手段側から見た図）である。
【００３９】
図７(a)に示すように、本実施形態の液体噴出装置は、上記した液体流路部材１４と、アクチュエータ（液体加圧手段）７とを備えている。液体流路部材１４には、複数の液体流路と、該液体流路のそれぞれに対応した複数の液体噴出孔１ａとを備えている。また、図７(b)，(c)に示すように、液体噴出装置は、液体流路部材１４に設けられた複数の液体噴出孔１ａと、該液体噴出孔１ａのそれぞれに対応した複数のアクチュエータ７とを備えている。これにより、いずれかのアクチュエータ７が変位すると、該アクチュエータ７の直下に位置する圧力室１０が押圧され、この圧力室１０およびこれと連通する連通孔９に存在する液体を加圧して液体噴出孔１ａから液滴を噴出させることができる。
【００４０】
図７(b)，(c)に示すように、例えばアクチュエータ７が変位すると、このアクチュエータ７に対応して設けられた液体噴出孔１ａから液滴が噴出し、別のアクチュエータ７’が変位すると、アクチュエータ７’に対応して設けられた液体噴出孔１ａ’から液滴が噴出する。このように、各液体噴出孔は、個別に制御されており、所望の部位にかつ所望の時間に液滴を噴出させることができる。
【００４１】
以上のように、本発明の液体噴出装置は、上記した液体流路部材を備えているため、液体流路内に大きな肉盛りが形成されるのを防止でき、液滴の進行方向や液滴量がばらつくことなく、均一な液体噴出を実現できる。また、接着剤遮蔽用突起部により相対するプレート間のシール性が高められているので、液体流路部材の使用時に液体流路内を流れる液体がプレート間を通じて漏れ出すのを抑制することができる。
【００４２】
特に、本発明を印刷ヘッドと印刷ヘッドにインクを供給する機構と印刷ヘッドの液体噴出孔から噴出されるインクを定着される紙、布等の媒体を特定の速度で送り出す機構とを備えたインクジェット方式の印刷機に応用した場合、精彩で美しい印刷状態を得ることができる。また、本発明は、バブルジェット（登録商標）方式、圧電アクチュエータ方式を問わず、全てのインクジェット印刷ヘッドに適応することができる。また、工業用印刷機への応用も期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】(a)は本発明の一参考例にかかる液体流路部材の構造を模式的に示す概略断面図であり、(b)はその液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図である。
【図２】(a)はプレートとプレートを接合する直前の状態を示す概略断面図であり、(b)はこれらのプレートを接合した後の状態を示す概略断面図である。
【図３】(a)，(b)は、本発明の他の参考例にかかる液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図であり、(c)は、本発明の一実施形態にかかる液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図である。
【図４】本発明のさらに他の参考例にかかる液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図である。
【図５】(a)，(b)は、本発明のさらに他の参考例にかかる液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図である。
【図６】本発明のさらに他の参考例にかかる液体流路部材の貫通孔付近を拡大した拡大断面図である。
【図７】(a)は本発明の一実施形態にかかる液体噴出装置の構造を模式的に示す概略断面図であり、(b)は該液体噴出装置の平面図（液体噴出孔側から見た図）であり、(c)は該液体噴出装置の底面図（液体加圧手段側から見た図）である。
【図８】(a)は従来の液体噴出装置（インクジェット印刷ヘッド）の構造を模式的に示す概略断面図であり、(b)はその一部を拡大した部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  噴出孔プレート
１ａ  液体噴出孔
２  プールプレート
２ａ，３ａ，４ａ，５ａ  貫通孔
２ｂ，３ｂ，４ｂ  貫通孔
２ｃ，３ｃ  プレートの表面
２ｇ，３ｄ，３ｆ，３ｇ，３ｈ，３ｉ  接着剤遮蔽用突起部
３  供給孔プレート
４  封止プレート
５  圧力室プレート
６  振動プレート
７  アクチュエータ（液体加圧手段）
９  連通孔
１０  圧力室
１１  供給連通路
１５，１６  突起受け部
２７  接着剤
２７ａ  接着剤のはみ出し
【図１】
0004620955.tif 000002
【図２】
0004620955.tif 000003
【図３】
0004620955.tif 000004
【図４】
0004620955.tif 000005
【図５】
0004620955.tif 000006
【図６】
0004620955.tif 000007
【図７】
0004620955.tif 000008
【図８】
0004620955.tif 000009