(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光又は熱を用いて信号を記録・再生する層を複数有する貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置において、
少なくともどちらか一方の面に溝形状を有する第一のディスク状プラスチック基板上に少なくとも一層以上の反射膜と記録膜を形成する成膜工程と、
少なくとも２枚以上の光透過性フィルムを該第一の基板上に貼り合わせる貼り合わせ工程と、
該光透過性フィルムに溝を転写する転写工程と、
該光透過性フィルムを紫外線により硬化させる硬化工程と、
該貼り合わされた光透過性フィルムをディスク形状に打ち抜く打ち抜き工程と、
打ち抜かれた光記録媒体をストックするか、又は成膜工程に搬送するストック／搬送工程を具備し、前記転写工程が、転写ローラとスタンパから構成されており、前記光透過性フィルムに該スタンパを押し当てることにより溝を転写し、該転写ローラは上下に可動可能な機構を備え、該転写ローラ中心の高さをレーザマイクロにより測長しながら位置を決める機構を備え、さらに該光透過性フィルムに押し付けるための加圧機構を備えたことを特徴とする貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置。
【請求項２】
前記第一のディスク状プラスチック基板として、厚さが０．３ｍｍ以上のものを用いることを特徴とする請求項１記載の製造装置。
【請求項３】
前記光透過性フィルムとして、厚さが０．０３〜０．３ｍｍのものを用いることを特徴とする請求項１又は２記載の製造装置。
【請求項４】
前記光透過性フィルムの材質に、紫外線によって硬化するドライフォトポリマーを用いることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の製造装置。
【請求項５】
前記第一のディスク状プラスチック基板上に、反射率７０％以上の反射膜と、光又は熱により屈折率や色相変化が生じる相変化型の記録膜と、その記録膜を保護する無機保護膜とを設けることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の製造装置。
【請求項６】
前記記録膜として、光又は熱によりアモルファス状態と結晶状態との間を変化する材料を用いることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の製造装置。
【請求項７】
前記記録膜として、成膜工程終了後、既に結晶化してものを用いることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の製造装置。
【請求項８】
貼り合わせ工程と、転写工程と、硬化工程と、打ち抜き工程とからなる貼り合わせユニットが連動し、かつ該貼り合わせユニットを、前記成膜工程と、ストック・搬送工程とも連動させうる制御機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の製造装置。
【請求項９】
前記貼り合わせユニットにおいて、前記光透過性フィルムはロール状に巻かれ、該光透過性フィルム間にセパレートフィルムが一緒に巻かれており、少なくとも一つ以上のセパレートフィルムを分離する分離機構と、少なくとも一つ以上の該透過性フィルムを巻き上げる巻き上げ機構と、前記第一のディスク状プラスチック基板を保持、搬送するロータリーテーブルとを有し、該透過性フィルム巻き上げ機構と該ロータリーテーブルとが連動され、その速度を可変できることを特徴とする請求項８記載の製造装置。
【請求項１０】
前記セパレータフィルム分離機構と、前記透過性フィルム巻き上げ機構の駆動部に可変トルクモータを用いたことを特徴とする請求項９記載の製造装置。
【請求項１１】
前記貼り合わせ工程において、第一のディスク状プラスチック基板を保持する上下可動可能な下型と、前記光透過性フィルムを該第一のディスク状プラスチック基板に貼り合わせるための貼り合せ用ローラとから構成され、該貼り合せ用ローラが可動し、かつ該貼り合せ用ローラの表面温度を可変できることを特徴とする請求項１、８〜１０のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１２】
前記貼り合せ用ローラ表面の面粗さＲｚ（十点平均粗さ）が０．０２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１１記載の製造装置。
【請求項１３】
前記貼り合せ用ローラの表面に発熱体がコーティングされていることを特徴とする請求項１１又は１２記載の製造装置。
【請求項１４】
前記発熱体の厚さが０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１３記載の製造装置。
【請求項１５】
前記スタンパはマザースタンパに金属をスパッタして、その反転パターンとしていることを特徴とする請求項１記載の製造装置。
【請求項１６】
前記硬化工程が、紫外線ランプにフラッシュ発光型の紫外線ランプを有することを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１７】
前記打ち抜き工程が、第一のディスク状プラスチック基板を保持する上下可動可能な下型と、前記光透過性フィルムの外周と中心穴を一度に打ち抜く機構を備えていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の製造装置。
【請求項１８】
前記成膜工程による成膜後の成膜欠陥及び光透過層フィルム欠陥を検査する機構を、前記ロータリーテーブル上に、少なくとも２つ以上備えていることを特徴とする請求項９に記載の製造装置。
【請求項１９】
前記成膜工程が、前記第一のディスク状プラスチック基板をストックする機構と、ステーションテーブルと、該第一のディスク状プラスチック基板を該ステーションテーブルに搬送する第一の基板搬送機構と、少なくとも一つ以上のスパッタチャンバと、各スパッタチャンバと該ステーションテーブル間を移送する反転アームとを備えていることを特徴とする請求項１記載の製造装置。
【請求項２０】
前記スパッタチャンバ内において、前記第一のディスク状プラスチック基板を保持するスパッタ保持台が温度調整可能な機構を備えていることを特徴とする請求項１９記載の製造装置。
【請求項２１】
前記貼り合わせユニットにおいて、前記光透過性フィルムの片面に粘着剤を塗布する粘着剤塗布手段を備えたことを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の製造装置。
【請求項２２】
前記粘着剤塗布手段は、粘着剤供給部、コーティングローラ、メタリングローラ、バックローラ、およびドクターブレードを有し、前記粘着剤の供給量、前記コーティングローラとメタリングローラ間のギャップ、前記バックローラと前記コーティングローラ、あるいは前記ドクターブレードと前記メタリングローラ間のギャップ又は圧力を任意に可変できる機構を備えていることを特徴とする請求項２１に記載の製造装置。
【請求項２３】
前記成膜工程と、前記貼り合わせユニットと、前記ストック・搬送工程とが、それぞれクリーンブースを備えており、クリーン度がクラス１００以下で、かつ温度・湿度コントロール機構を備えていることを特徴とする請求項８〜１０，１８，２１，２２のいずれかに記載の製造装置。
【請求項２４】
前記第一の基板の両面に、各面に少なくとも１枚以上、かつ同材質の前記光透過性フィルムを貼り合わせる機構を含むことを特徴とする請求項１〜２３のいずれかに記載の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光又は熱を用いて信号を記録・再生する層を複数有する貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光記録媒体への記録密度向上に伴い、光学ピックアップの対物レンズの開口数（ＮＡ）を大きくして、再生光スポットの小径化する方法が提案されている。対物レンズのＮＡを大きくするとスポット径が小さくなる反面、光学ピックアップの光軸に対してディスクの傾き（チルト）の許容量が小さくなり、従って基板の厚さを薄くしてチルトに対する影響をなるべく小さくするようにする方法が提案されている。
【０００３】
例えば、特開平８−２３５６３８号公報に記載の光記録媒体は上記の提案の一つである、この光記録媒体を図１に示す。図中１は光記録媒体、２は光透過層又は光透過性フィルム（以下、光透過層と記す）、３はピット又は溝、４は反射膜、５は第一の基板、６は中心穴、７はピックアップ又はピックアップレンズ、８はスポット径である。この光記録媒体１は、紫外線硬化型樹脂もしくはシートを用いて光透過層２となる基板部分をごく薄く（０．１ｍｍ程度）構成したものである。この光記録媒体１では、光透過層２の厚さとその均一性が重要である。
【０００４】
また、更なる大容量化のために、該光透過層を少なくとも２層以上形成した光記録媒体が提案されている。例えば、特開２０００−３６１３５号公報に記載の光記録媒体がその提案の一つである。図２にその構造を示す。図１と同様な要素には同じ符号を付してある。図中９は半透明膜、１０は接着層又は接着剤である。このタイプの光記録媒体では、射出成形により第一のスタンパの信号面を形成した後、信号面に反射膜を形成して第一の基板を得、次に、前記光透過層（厚さ＝０．１ｍｍ）の片面にスタンパ側の信号を転写し信号面に半透明膜を形成して打ち抜くことにより光透過層を得、該第一の基板と該光透過層を接着剤（例えば、ドライフォトポリマーあるいは感圧性粘着シート）で貼り合わせて多層構造型の光記録媒体を得る。このタイプの多層型光記録媒体は、特に光透過層や接着層に気泡やしわがあってはならず、またチルトの許容差も厳しく管理しなければならない。
【０００５】
また、紫外線硬化型樹脂を用いて薄い光透過層を作製する方法としてスピンコート法を用いた方式が提案されている（特開平８−２３５６３８号公報）が、この方式では基板の内周から外周にかけて半径方向に塗布厚にむらがでてしまい、外周にかけて厚くなる傾向がある。この厚みむらを解決する方法が、同出願人より特開平９−１３４５４７号公報、特開平１１−３１３３８号公報において提案されている。特開平９−１３４５４７号公報では、紫外線硬化型樹脂を塗布する側の基板（情報記録層側）に該樹脂が入るための溝を形成し、その溝を満たすことで厚みの均一化を図っている。一方、特開平１１−３１３３８号公報では、樹脂厚を規定するための平面治具を塗布面に配置し、その平面治具によって厚みの均一化と平面性を得ようとしている。一般に紫外線硬化型樹脂は硬化に際して体積収縮を起こし、収縮量は材料によるが一般的には７〜１０％程度である。従って、前記従来技術のように紫外線硬化型樹脂が液体の状態で厚みを均一化しても硬化収縮により厚みは変化し、かつ、均一に硬化させることは難しく、平面にはならないことが大きな問題である。特開平１１−３１３３８号公報に記載の発明は、平面治具によって平面を転写させようとの狙いであるが、所望の厚みに治具設定した後、樹脂を硬化させると体積収縮によって部分的に転写されない部分が生じてしまう。すなわち、均一な厚さの光透過層を形成し難い。
【０００６】
一方、特開２０００−３６１３５号公報に記載の光記録媒体においては、前記光透過層の信号面に半透明膜を形成する際、反射膜や半透明膜のみであれば問題が生じないが、反射膜の他、記録膜やその保護膜をスパッタ等により形成すると、該光透過層が０．１ｍｍと薄く、熱容量が小さいため、プラズマの熱やターゲットからの輻射熱により変形あるいは溶解する。あまり変形が大きいと、前記第一の基板に貼り合わせる際、気泡やしわが生じるばかりか、均一な厚さの光透過層が形成し難い。種々の手段により、変形を小さくすることが可能となったとしても、該透過層の厚さは０．１ｍｍ程度と薄いため、取り扱いが非常に困難である。
また、有機色素などを塗布する際は、該光透過層が０．１ｍｍと薄いため、その取り扱いが非常に困難となるか、またそうなることが予想される。
【０００７】
一般的に、相変化型の光記録媒体は、スパッタにより記録膜を成膜している。ａｓ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（成膜したまま）の状態で記録膜はアモルファス状態となっている。このアモルファス状態の記録膜をレーザの熱などにより結晶化状態（結晶化工程）にして光記録媒体として使用する。しかし、多層型の光記録媒体においては、該結晶化工程において、数十μｍ離れた記録層を同時に、かつ同じように結晶化させるのは現状では難しいか、あるいは困難とされている。実際は、各記録層を別々に初期結晶化を行うため、製造タクトが長くなる。
【０００８】
また、特開２０００−３６１３５号公報に記載された多層型の光記録媒体は、前記第一の基板と前記光透過層の吸水膨脹量、厚さならびに弾性率の違いにより変形する（チルトが変化する）。これを解決する方法が、前記出願人より国際公開番号ＷＯ９９／００７９４において提案されている。国際公開番号ＷＯ９９／００７９４の発明は、プラスチックで形成された該第一の基板及び該光透過層の表面に無機膜を形成し、水分が入らないようにするようにしている。確かに、この手法によれば、水分が入りにくくなるためチルトの変化が遅くなるが、最終的に、光記録媒体の側面から水分が該第一の基板と該光透過層に進入し、基板が変形してしまうか、あるいは変形することが予想される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、かかる従来技術の問題を解決し、光又は熱を用いて信号を記録・再生する層を複数有する貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置において、前記光透過層の厚さが均一であり、また気泡やしわの発生が極めて少なく、更に該光透過層が数〜数百μｍと薄くても、反射膜や記録膜を汎用のスパッタ装置で形成することができるばかりか、製造後のチルトの安定性が極めて高い製造装置を提供することをその課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成するに至った。即ち、上記課題は以下に示す技術的手段により解決される。
（１）光又は熱を用いて信号を記録・再生する層を複数有する貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置において、少なくともどちらか一方の面に溝形状を有する第一のディスク状プラスチック基板上に少なくとも一層以上の反射膜と記録膜を形成する成膜工程と、少なくとも２枚以上の光透過性フィルムを該第一の基板上に貼り合わせる貼り合わせ工程と、該光透過性フィルムに溝を転写する転写工程と、該光透過性フィルムを紫外線により硬化させる硬化工程と、該貼り合わされた光透過性フィルムをディスク形状に打ち抜く打ち抜き工程と、打ち抜かれた光記録媒体をストックするか、又は成膜工程に搬送するストック／搬送工程を具備し、前記転写工程が、転写ローラとスタンパから構成されており、前記光透過性フィルムに該スタンパを押し当てることにより溝を転写し、該転写ローラは上下に可動可能な機構を備え、該転写ローラ中心の高さをレーザマイクロにより測長しながら位置を決める機構を備え、さらに該光透過性フィルムに押し付けるための加圧機構を備えたことを特徴とする貼り合わせ多層構造型ディスク状光記録媒体の製造装置。
（２）前記第一のディスク状プラスチック基板として、厚さが０．３ｍｍ以上のものを用いることを特徴とする上記（１）記載の製造装置。
（３）前記光透過性フィルムとして、厚さが０．０３〜０．３ｍｍのものを用いることを特徴とする上記（１）又は（２）記載の製造装置。
（４）前記光透過性フィルムの材質に、紫外線によって硬化するドライフォトポリマーを用いることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載の製造装置。
（５）前記第一のディスク状プラスチック基板上に、反射率７０％以上の反射膜と、光又は熱により屈折率や色相変化が生じる相変化型の記録膜と、その記録膜を保護する無機保護膜とを設けることを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の製造装置。
（６）前記記録膜として、光又は熱によりアモルファス状態と結晶状態との間を変化する材料を用いることを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載の製造装置。
（７）前記記録膜として、成膜工程終了後、既に結晶化してものを用いることを特徴とする上記（１）〜（６）のいずれかに記載の製造装置。
（８）貼り合わせ工程と、転写工程と、硬化工程と、打ち抜き工程とからなる貼り合わせユニットが連動し、かつ該貼り合わせユニットを、前記成膜工程と、ストック・搬送工程とも連動させうる制御機構を備えたことを特徴とする上記（１）記載の製造装置。
（９）前記貼り合わせユニットにおいて、前記光透過性フィルムはロール状に巻かれ、該
光透過性フィルム間にセパレートフィルムが一緒に巻かれており、少なくとも一つ以上のセパレートフィルムを分離する分離機構と、少なくとも一つ以上の該透過性フィルムを巻き上げる巻き上げ機構と、前記第一のディスク状プラスチック基板を保持、搬送するロータリーテーブルとを有し、該透過性フィルム巻き上げ機構と該ロータリーテーブルとが連動され、その速度を可変できることを特徴とする上記（８）記載の製造装置。
（１０）前記セパレータフィルム分離機構と、前記透過性フィルム巻き上げ機構の駆動部に可変トルクモータを用いたことを特徴とする上記（９）記載の製造装置。
（１１）前記貼り合わせ工程において、第一のディスク状プラスチック基板を保持する上下可動可能な下型と、前記光透過性フィルムを該第一のディスク状プラスチック基板に貼り合わせるための貼り合せ用ローラとから構成され、該貼り合せ用ローラが可動し、かつ該貼り合せ用ローラの表面温度を可変できることを特徴とする上記（１）、（８）〜（１０）のいずれかに記載の製造装置。
（１２）前記貼り合せ用ローラ表面の面粗さＲｚ（十点平均粗さ）が０．０２ｍｍ以下であることを特徴とする上記（１１）記載の製造装置。
（１３）前記貼り合せ用ローラの表面に発熱体がコーティングされていることを特徴とする上記（１１）又は（１２）記載の製造装置。
（１４）前記発熱体の厚さが０．１ｍｍ以下であることを特徴とする上記（１３）記載の製造装置。
（１５）前記スタンパはマザースタンパに金属をスパッタして、その反転パターンとしていることを特徴とする上記（１）記載の製造装置。
（１６）前記硬化工程が、紫外線ランプにフラッシュ発光型の紫外線ランプを有することを特徴とする上記（１）〜（１５）のいずれかに記載の製造装置。
（１７）前記打ち抜き工程が、第一のディスク状プラスチック基板を保持する上下可動可能な下型と、前記光透過性フィルムの外周と中心穴を一度に打ち抜く機構を備えていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の製造装置。
（１８）前記成膜工程による成膜後の成膜欠陥及び光透過層フィルム欠陥を検査する機構を、前記ロータリーテーブル上に、少なくとも２つ以上備えていることを特徴とする上記（９）に記載の製造装置。
（１９）前記成膜工程が、前記第一のディスク状プラスチック基板をストックする機構と、ステーションテーブルと、該第一のディスク状プラスチック基板を該ステーションテーブルに搬送する第一の基板搬送機構と、少なくとも一つ以上のスパッタチャンバと、各スパッタチャンバと該ステーションテーブル間を移送する反転アームとを備えていることを特徴とする上記（１）記載の製造装置。
（２０）前記スパッタチャンバ内において、前記第一のディスク状プラスチック基板を保持するスパッタ保持台が温度調整可能な機構を備えていることを特徴とする上記（１９）記載の製造装置。
（２１）前記貼り合わせユニットにおいて、前記光透過性フィルムの片面に粘着剤を塗布する粘着剤塗布手段を備えたことを特徴とする上記（８）〜（１０）のいずれかに記載の製造装置。
（２２）前記粘着剤塗布手段は、粘着剤供給部、コーティングローラ、メタリングローラ、バックローラ、およびドクターブレードを有し、前記粘着剤の供給量、前記コーティングローラとメタリングローラ間のギャップ、前記バックローラと前記コーティングローラ、あるいは前記ドクターブレードと前記メタリングローラ間のギャップ又は圧力を任意に可変できる機構を備えていることを特徴とする上記（２１）に記載の製造装置。
（２３）前記成膜工程と、前記貼り合わせユニットと、前記ストック・搬送工程とが、それぞれクリーンブースを備えており、クリーン度がクラス１００以下で、かつ温度・湿度コントロール機構を備えていることを特徴とする上記（８）〜（１０），（１８），（２１），（２２）のいずれかに記載の製造装置。
（２４）前記第一の基板の両面に、各面に少なくとも１枚以上、かつ同材質の前記光透過性フィルムを貼り合わせる機構を含むことを特徴とする（１）〜（２３）のいずれかに記載の製造装置。
以下、各ローラは、「〜ロール」とも呼ぶ。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明を好ましい実施例に基づいて詳細に説明する。
【００１２】
実施例１
図３〜６に基づき、請求項１〜４の発明に関する実施例１を説明する（転写工程については実施例６にて説明する）。図３はこれら請求項に係る多層型光記録媒体の構成を示す概略図である。本発明の多層型光記録媒体１は、少なくともどちらか一方の面に溝形状（以下、第一の溝と記すこともある）３を有する第一のディスク状プラスチック基板（以下、第一の基板と記すこともある）５上に少なくとも一層以上の反射膜と記録膜（以下、第一の記録層と記すこともある）１１を形成した後、少なくとも２枚以上の光透過性フィルム２を該第一の基板５上に貼り合わせてなる。第一の基板５に貼られた光透過性フィルム（以下、第一の光透過層と記すこともある）２上には、スタンパにより溝（以下、第二の溝と記すこともある）３が転写されている。また、該第二の溝３上には、少なくとも一層以上の反射膜と記録膜（以下、第二の記録層と記すこともある）１１が形成されている。更に、該第二の記録層１１上には、光透過性フィルム（以下、第二の光透過層と記すこともある）２が貼られている。
【００１３】
該第一の基板の材質としては、金属、ガラス、プラスチック等が挙げられるが、これに限るものではなく、単に信号を記録・再生するための案内溝が形成されていれば何ら問題はない。しかし、作り易さならびに可搬性の観点から、プラスチックが使用されるのが良い。プラスチックの中でも、熱硬化性樹脂や熱可塑性樹脂が挙げられるが、その材質に限定はない。単に、一般の射出成形で成形可能な樹脂であれば良い。本実施例においては、後述する吸水のバランスを考え、該光透過性フィルムと同材質のポリカーボネイト、アクリル樹脂、あるいはポレオレフィン系の熱可塑性樹脂が用いられている。更に、該第一の基板の厚さは０．３ｍｍ以上であることが望ましい。０．３ｍｍ未満であると、成膜工程時に反射膜や記録膜を成膜すると、熱容量が小さいため変形量が大きくなる、あるいは、該第一の基板の融点（例えば、ポリカーボネイトなら２２０〜２３０℃）を超え、溶融する可能性が高くなる。
【００１４】
該反射膜の材質には、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｌやその元素を含む化合物が挙げられるが、これに限るものではない。本実施例においては、価格や機能の面から、Ａｌ、あるいはＡｇを主体とする無機化合物を用いた。
【００１５】
該第一と第二の記録層の記録方式には、光や熱によって屈折率や色相変化が生じる相変化型方式が挙げられるが、これに限るものではなく、単に、熱や光によって変化が生じる、穴あけ型、バブル型、テキスチャ型等の方式でも問題はない（図４）。本実施例においては、ＳｂＴｅ化合物を主体とした材料に、数種の元素を添加した材料を用いている。また、該記録膜を保護するために、ＳｉＯ2−ＺｎＳ膜を該記録膜の上下に積層した記録層を用いている。また、記録膜に有機色素を用いても何ら問題はない。
【００１６】
該光透過性フィルムの材質には、表面粘度１００〜５００ｍ・Ｐａのドライフォトポリマーを使用した。その材質に限定はないが、レーザ光の波長を透過するものであればなんでも良く、ポリカーボネイト、アクリルやポリオレフィン系の熱可塑性樹脂を主成分とした、紫外線硬化型のドライフォトポリマーであれば良い。該フォトポリマーの製法としてはキャスト法などによりフィルム状に加工してあれば良い。但し、機能の面から、その複屈折や膜厚が厳しく管理されたものでなければならない。例えば、市販のＤｕ  Ｐｏｎｔ社製、ＳＵＲＰＨＥＸTM、ＲＩＳＴＯＮR、ＶＡＣＲＥＬR等が使用可能である。本実施例に使用した該光透過性フィルムの複屈折は〜３０ｎｍ、膜厚は０．１ｍｍ±０．０１ｍｍのものである。また、該光透過性フィルムの厚さは０．０３〜０．３ｍｍが望ましい。０．３ｍｍ以上であれば、射出成形や射出・圧縮成形でも容易に作れてしまうから、そちらの方がコスト的に有利となるし、本実施例の装置は、光透過性フィルムをロール状にして供給しなければならず、０．３ｍｍ以上だとロール状に加工できない。一方、０．０３ｍｍ未満であると、取り扱いが非常に困難となる。もし、０．０３ｍｍ未満の光透過性フィルムを使用する際は、フィルムの材質にポリカーボネイトより弾性率の高い物性のものを使用すれば良いが、高価となる。
【００１７】
図５に基づき、本実施例における光記録媒体の製造装置を説明する。該製造装置は、主に、成膜ユニット１００、ストック・搬送ユニット２００、ならびに貼り合わせユニット３００から構成されている。
【００１８】
成膜ユニット１００は、図示していない射出成形で作られた、少なくとも片面に溝を有する第一の基板をストックするストッカ２０と、少なくとも一つ以上のスパッタチャンバ１０１と、各スパッタチャンバ１０１を繋ぐためのステーションテーブル１０２と、該ストッカ２０と該ステーションテーブル１０２間に基板を搬送するための搬送アーム２１と、該スパッタチャンバ１０１とステーションテーブル１０２間を繋ぐ図示されていない反転アームとから構成されている。
【００１９】
ストック・搬送ユニット２００は、少なくとも３本以上のストッカ２０と、少なくとも３本以上の搬送アーム２１から構成されている。
【００２０】
貼り合わせユニット３００は、前記光透過性フィルムを貼り合わせる工程（以下、貼り合わせ工程）３１０と、該貼り合わされた第一の光透過層の片面に溝を転写する工程（転写工程）３２０と、該光透過層を紫外線により硬化する工程（以下、硬化工程）３３０と、該貼り合わされた光透過層を打ち抜く工程（以下、打ち抜き工程）３４０と、光透過性フィルムを搬送する機構（以下、フィルム搬送機構）３５０と、第一の基板を搬送するためのロータリーテーブル（以下、ロータリーテーブル）３０１と、少なくとも二本以上の搬送アームと、少なくとも一つ以上の検査装置３０２と、少なくとも一つ以上の除電装置３０３と、少なくとも三つ以上のストッカ３０４〜３０６から構成されている。
【００２１】
次に、図５及び６に基づき、二層型光記録媒体の製造フローを説明する。図示されていない射出成形から第一の基板が形成され、成膜ユニットのストッカにセットされる。
【００２２】
成膜ユニット１００において、前記ストッカ２０にストックされている該第一の基板が搬送アーム２１によりステーションテーブル１０２に搬送される。次に、ステーションテーブル１０２が反時計周り回転し、各チャンバ１０１の前に移送される。次に、該第一の基板が所定のスパッタチャンバ１０１内において、所定膜厚の反射膜や記録膜などが形成され、成膜工程が終了する。該成膜された基板は、ストック・搬送ユニット２００に搬送される。次に、ロータリーテーブル３０１に該第一の基板が搬送され、ロータリーテーブル３０１が反時計周りに回転し、成膜欠陥検査が行われる。成膜欠陥ＯＫの場合は、貼り合わせ工程３１０に移動し、前記光透過性フィルムが第一の基板が貼り合わされる。次に、フィルム搬送機構３５０の駆動ロール３５３が回転し、該第一の基板が転写工程３２０に搬送され、第一の光透過層に溝が転写される。次に、フィルム搬送機構３５０の駆動ロール３５３が回転し、硬化工程３３０にて、該第一の光透過層が硬化する。次に、打ち抜き工程３４０で打ち抜かれた第一の基板がロータリーテーブル３０１の回転により、貼り合わせ欠陥検査装置３０２に搬送される。欠陥検査ＯＫであれば、ストック・搬送ユニット２００を介し、成膜ユニット１００に搬送される。次に、成膜ユニット１００において、所定膜厚の反射膜や記録膜を成膜した後、ストック・搬送ユニット２００を介し、再び、貼り合わせユニット３００に基板が搬送される。二層型の場合は、貼り合わせ工程→硬化工程→打ち抜き工程→検査を通り、完成品ストッカ３０６にストックされ、光記録媒体を得る。
【００２３】
本実施例では、第一の基板に光透過性フィルムを貼り合わせた後、成膜工程により反射膜や記録膜を形成するため、成膜工程によって該光透過層が溶融することがなく、更に、該光透過層の変形量も極力小さくすることが可能である。すなわち、気泡やしわが無い光記録媒体が確実に得られる。また、該光透過性フィルムに紫外線で硬化する表面粘度１００〜５００ｍ・Ｐａ、厚さ０．０３〜０．３ｍｍのドライフォトポリマーを用いているため、取り扱いが容易である。
【００２４】
実施例２
次に、図７に基づき、請求項５〜７に対する実施例２を説明する。
本実施例の光記録媒体１では、第一の基板５上に、反射膜４、第一の保護膜１２及び記録膜１３が形成され、第一の記録層１１を構成している。また、第一の記録層１１の上には光透過性フィルム２が貼られている。更にその上部には、第二の保護膜１２及び第二の記録膜１３が形成され、第二の記録層１１を構成している。
【００２５】
第一の記録層中の反射膜は正反射率で７０％以上を有している。材質は、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ａｌ、やその元素を含む化合物が挙げられるが、これに限るものではない。本実施例においては、価格や機能の面から、Ａｌ、あるいはＡｇを主体とする無機化合物を用いた。また、第一の記録膜には、ＳｂＴｅを主体とした材料に、数種の元素を添加した化合物を用いているがこれに限るものではなく、単に、結晶−アモルファスの相変化型の化合物であれば何ら問題はない。例えば、Ｇｅ−Ｔｅ系、Ｓｎ−Ｓｅ−Ｔｅ系、Ｓｂ−Ｔｅ系、Ｇｅ−Ｓｂ−Ｔｅ系等の相変化材料であっても何ら問題は無い。（相変化型材料には、α相−β相等の高温安定相−低温安定相の違いを利用した光記録媒体があるが、本発明では成膜にスパッタを使用しているため、電子温度が低すぎ、この様な相変化材料は適さなかった。）本実施例発明においては、第一、あるいは第二の記録膜ともａｓ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（成膜したまま）の状態で結晶質であることが特徴であり、記録膜初期化のための結晶化工程を有さないことを特徴としている。ａｓ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの状態で結晶質にするには、成膜時の温度や結晶化促進層添加（エピタキシャル成長）等により制御可能である。また、該記録膜を保護するための記録保護膜にはＳｉＯ2−ＺｎＳを用いたが、これに限るものではなく、例えば、ＺｒＯ、ＴａＯ、ＧｅＯ、ＴｉＯ等の酸化物、ＺｒＮ、ＴｉＮ、ＳｉＮ等の窒化物、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＺｒＣ、ＮｂＣ、ＭｏＣ、Ｍｏ2Ｃ等の炭化物、ＣａＦ等の弗化物を用いることも可能である。またこれらを複数積層しても特に問題はない。
【００２６】
実施例２に示す光記録媒体は、第一ならびに第二の記録膜がａｓ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの状態で結晶質になっているため、記録膜の結晶化工程を必要としない。すなわち、製造タクトを短縮することが可能である。
【００２７】
実施例３
次に、図５に基づき、請求項８〜１０に対する実施例３を説明する。
本実施例では、前記成膜ユニット１００と、ストック・搬送ユニット２００と、貼り合わせユニット３００は連動・非連動の選択ができる。更に、該貼り合わせユニット３００は、貼り合わせ工程３１０と、転写工程３２０と、硬化工程３３０と、打ち抜き工程３４０と、フィルム搬送機構３５０と、ロータリーテーブル３０１と連動し、図示していないコンピュータ制御装置により速度調整が可変できる構造となっている。更に、各ユニットの各セクションには、光センサーが配備されているため、第一の透過層だけが形成された基板か、あるいは完成品かを判定することが可能となっている。従って、第一の透過層を形成した基板と、第二の透過層を形成した基板を同時に流せることが可能であるだけでなく、各ユニットを単体としても使用できる。
【００２８】
フィルム搬送機構３５０では、光透過性フィルム３５１とセパレータフィルム３５２がロール状に巻かれている。以下、これを原反ロール３５４と呼ぶ。原反ロール３５４は、少なくとも２つ以上の駆動ローラ３５３によって巻き上げられる。片方の駆動ローラ３５３は、光透過性フィルム３５１を巻き取る機能であり、もう一方の駆動ローラ３５３は、セパレータフィルム３５２を巻き取る。両ローラの駆動部は図示されていない可変トルクモータに接続され、巻き取り量の相違に起因する速度変動が最小になるように制御されている。従って、前記転写工程３２０で速度ムラが発生しないため、転写工程３２０において、各基板へ確実に溝を転写することが可能となる。
【００２９】
実施例４
次に、図８に基づき、請求項１１、１２に対する実施例４を説明する。
前記貼り合わせ工程３００は、第一の基板を保持する上下可動可能な下型３１１と、前記光透過性フィルム３５１を該第一の基板に貼り合わせるためのローラ３１２とから構成され、該ローラ３１２が可動し、且つ、該ローラ３１２の表面温度を可変できる機構を備えている。該ローラ３１２の材質には、ポリアセタールを用いたがこれに限るものではなく、他のプラスチック、金属、ゴムなどでも良い。但し、ローラの表面粗さＲｚ（十点平均粗さ）が０．０２ｍｍ以下であることが望ましい。表面粗さが荒いと、貼り合わせ時に光透過性フィルムに傷つけたり、しわや気泡の原因となる。
【００３０】
始めに、ロータリーテーブル３０１により搬送された第一の基板が、貼り合わせ工程３１０に到着すると、該下型３１１が上昇し、第一の基板を吸着・保持する。光透過性フィルム３５１と第一の基板の距離を任意に設定でき、所定の位置に下型３１１が到着すると、該ローラ３１２が下降し、光透過性フィルム３５１を該第一の基板に押し当て、該ローラ３１２が移動しながら、第一の基板に光透過性フィルム３５１を貼り合わせる。最後に、下型３１１の吸着をＯＦＦにし、下型３１１が下降する。
【００３１】
実施例５
次に、図９に基づき、請求項１３、１４に対する実施例５を説明する。
前記ローラ３１２は、ステンレス製の円筒形状の表面に発熱体３１３がコーティングされている。該発熱体３１３には、外部より電気を通じることによって発熱するもの、温度調整された水や油などの液体を通じる等考えられるが、手段の限定は特に無く、温度を室温〜１００℃まで可変できれば何ら問題はない。該ローラの温度が上昇することにより、光透過性フィルム３５１の仮接着強度が上昇するばかりか、気泡やしわをなくすことが可能となる。
【００３２】
本実施例においては、厚さ０．０５ｍｍのＴａ2Ｎに図示していない電気を通じることにより発熱をした。Ｃｒ等も適応可能であった。また、発熱体の替わりに誘電体（例えば、石英、ＬｉＮｂＯ3等の酸化物、ロッシェル塩等の塩化物、硫酸グリシン等の有機物、他）を用いても可能だが、その際は誘電体を誘導加熱する外部の高周波発振器が必要となる。
【００３３】
更に、発熱体３１３の保護層や耐摩耗層として他の材料がコーティングされていても何ら問題はない。本実施例においては、発熱体の保護として酸化シリコン（ＳｉＯ2）を、更に、耐摩耗として酸化タンタル（Ｔａ2Ｏ5）をそれぞれ数μｍコーティングした。発熱体３１３は薄膜化してあるため、熱容量が比較的小さく、温度調整時間が少なくてすむ。
【００３４】
本実施例においては、ローラを用いたが、図１０に示すような円錐形状のシリコンゴムパッド３１４で押圧しても良い。
【００３５】
実施例６
次に、図１１、１２に基づき、請求項１、１５に対する実施例６を説明する。転写工程３２０は、転写ロール３２１とスタンパ３２２から構成されている。また、転写ロール３２１のシャフト３２３の受け部は軸受け３２４とその支持体３２５で構成されている。また、シャフト３２３と支持体３２５の間にはスプリング３２６が具備されており、前記光透過性フィルム３５１に該スタンパ３２２を押し当てることにより、溝を転写する。支持体３２５は上下に可動可能な機構を備え、該高さをレーザマイクロにより測長しながら位置を決める機構を備えている。従って、溝の深さ等の相違やフォトポリマーの粘度の違いにより、加圧力を任意設定できる。もちろん、転写ロール自体を加温する機構を備えて、より転写を確実にすることも可能である。
【００３６】
前記スタンパ３２２はマザースタンパに金属をスパッタして、その反転パターンとしている。すなわち、一般の射出成形により使用されているスタンパを用いることが可能である。
【００３７】
実施例７
次に、図５に基づき、請求項１６に対する実施例７を説明する。硬化工程３３０では、紫外線ランプ３３１にフラッシュ発光型の紫外線ランプを用いている。フラッシュランプの発振電源にはＸＥＮＯＮ社のＲＣ−７４２ＯＥＭを、また、そのランプには渦巻き形状のキセノンガスが封入されたランプを用いた。一般的な高圧水銀ランプを用いても可能であるが、その際は、第一の基板や光透過層が温度上昇により熱膨張するため、それらの対策を講じる必要がある。本発明においては、１５００Ｗ／ｃｍ２の光を３Ｈｚで１秒照射し、該光透過性フィルムを硬化した。
【００３８】
実施例８
次に、図１３に基づき、請求項１７に対する実施例８を説明する。打ち抜き工程３４０は、第一の基板を保持する上下可動可能な下型３４１と、前記光透過性フィルム３５１の外周と中心穴を一度に打ち抜く機構を備えている。ロータリーテーブル３０１により搬送された第一の基板が打ち抜き工程３４０に到着すると、下型３４１が上昇し第一の基板を吸着・保持する。次に、上型３４２が下降し光透過性フィルム３５１の外径を打ち抜くと同時に、上型３５２に装備されたピストン３４３によりセンター穴を打ち抜く。最後に、打ち抜かれた第一の基板は下型３４１に吸着されたまま下降し、吸着ＯＦＦにより、ロータリーテーブル３０１に積載される。一度の工程で、光透過性フィルム３５１の外径とセンター穴を形成することが可能である。
【００３９】
実施例９
次に、図５に基づき、請求項１８に対する実施例９を説明する。ロータリーテーブル３０１上には少なくとも２つ以上の欠陥検査装置３０２を備えている。第一の欠陥検査装置は、第一あるいは第二の記録層成膜後の成膜欠陥を検査するものであり、この工程でＮＧと判定されると、貼り合わせが行われず、ロータリーテーブル３０１に積載されたまま回転し、所定の位置で成膜ＮＧストッカ３０４に積載される。また、第二の欠陥検査装置は、光透過性フィルム３５１の貼り合わせ欠陥（主に、光透過性フィルムのしわや気泡欠陥）を検査するものであり、この工程でＮＧと判定されると、上述同様に、貼り合わせＮＧストッカ３０５に積載される。従って、途中工程の不良品を後工程に流さない構成になっている。
【００４０】
実施例１０
次に、図１４に基づき、請求項１９、２０に対する実施例１０を説明する。該成膜ユニット１００は、少なくとも一つ以上のスパッタチャンバ１０１と、各スパッタチャンバ１０１を繋ぐためのステーションテーブル１０２と、該スパッタチャンバ１０１とステーションテーブル１０２間を繋ぐ反転アーム１０３とから構成されている。スパッタチャンバ１０１は、基板ホルダー１０４と、ターゲット１０５とから構成されている。また、基板ホルダー１０４そのものが温度調整可能な機構（０〜２００℃）を有している。始めに、ステーションテーブル１０２により搬送された第一の基板が、該反転アーム１０３の上昇と同時に回転する。次に、スパッタチャンバ１０１内のホルダー１０４にセットされ、所定の時間で成膜が施される。次に、スパッタチャンバ１０１内の基板がステーションテーブル１０２に戻り、次のステーション→スパッタチャンバに移動する。本実施例の成膜ユニット１００の基板ホルダー１０４には、温度調整機構を備えているので、確実に実施例２を成し遂げられる（ａｓ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの状態で結晶質）。
【００４１】
また、図１５に示すように、スパッタチャンバ１０１をコータ１０６に置き換えることも可能である。コータ１０６は、第一の基板を支えるテーブル１０７と該テーブル１０７を回転させるための図示されていないスピンドルモータから構成されている。第一の基板が反転アーム１０３と搬送アーム２１を介し、コータ部に搬送される。次に、シリンジ１０８により所定の記録膜（本実施例では、フタロシアニン系の有機色素を用いた）が低速回転で塗布される。次に、高速回転で有機色素を展延し、更に、別のステーションにより反射膜が成膜され記録層を形成する。本実施例は、記録層として有機色素も使用することが可能である。すなわち、本実施例の光記録媒体製造装置一台で、ドライ、ならびにウェット系の記録膜を成膜することが可能である。
【００４２】
実施例１１
次に、図１６に基づき、請求項２１に対する実施例１１を説明する。前記ストック・搬送工程２００は、少なくとも三つ以上のストック機構を備えており、各ストック機構には、それぞれスタックポール２０１と、リフタ２０２と、基板位置センサ２０３と、搬送アームから構成されている。それぞれのリフタ２０２と搬送機構が独立して可動し、且つ、前記ステーションテーブル１０２と前記ロータリーテーブル３０１間に基板を一枚ずつ供給できる機構を備えている。また、基板位置センサ２０３により一番上面にある基板の高さが必ず一定になるよう、リフタ２０２が連動している。
【００４３】
まず始めに、ステーションテーブル１０２から搬送アームａにより、第一の基板がストッカＡに搬送される。次に、搬送アームｂによりロータリーテーブル３０１に移送される。所定の貼り合わせがなされた基板は、検査工程で検査が行なわれた後、搬送アームｃによりストッカＣに一時ストックされる。次に、搬送アームｄによりストッカＤに搬送され、ストックされる。ストッカＤの基板は、搬送アームａにより、再びステーションテーブル１０２に移送され、所定の成膜が行われる。第二の成膜が終了した後、搬送アームａにより、ストッカＥに一時ストックされ、搬送アームｆによりストッカＦに搬送され、ストックされる。更に、搬送アームｂにより再び、ロータリーテーブル３０１に移送され、最後に、所定の貼り合わせが行われ、最終完成品がストッカＧにストックされる。また、ＮＧ品は、ストッカＨにストックされる。
【００４４】
実施例１２
次に、図１７に基づき、請求項２２、２３に対する実施例１２を説明する。本実施例の貼り合わせユニット３００は、前記光透過性フィルム（本実施例では、光透過性フィルムとして、厚さ０．０７ｍｍのポリカーボネイトフィルム、アクリルフィルム、ならびにポレオレフィン系フィルムを用いた）３５１の片面に粘着剤３６１を塗布する工程（以下、粘着剤塗布工程）３５５を備えている。該粘着剤塗布工程３５５は、粘着剤供給部３５６と、コーティングロール３５７と、メタリングロール３５８と、バックロール３５９と、ドクターブレード３６０と、少なくとも２本以上のロールから構成されており、該粘着剤３６１の供給量、ロールの速度、ならびに該コーティングロール３５７とメタリングロール３５８のギャップ間、該バックロール３５９と該コーティングロール３５７あるいは該ドクターブレード３６０と該メタリングロール３５８間のギャップや圧力を任意に可変できる機構を備えている。粘着剤供給部３５６からコーティングロール３５７に粘着剤３６１が塗布され、メタリングロール３５８とコーティングロール３５７のギャップにより膜厚が均一化される。次に、粘着剤３６１が前記光透過性フィルム３５１に転写される。一方、メタリングロール３５８に付着した粘着剤３６１は、該ドクターブレード３６０によって剥ぎ落とされ、図示していない回収タンク→ろ過フィルタ→脱泡装置を通り、粘着剤供給部３５６に移動する。本実施例では、粘着剤３６１として、シリコーン系粘着用ワニス（例えば、信越シリコーン社製ＫＲ−１０１−１０）にトルエンとキシレンを配合した後、硬化剤としてベンゾイルパーオキサイドを加えたものを使用した。粘着剤３６１の材質はこれに限るものではなく、全光線透過率（＝（全光線透過量÷入射光量）×１００）８０％以上であり、発生ガス量が３００ｐｐｍ以下、記録層に対する腐食ガス（例えば、ハロゲン系ガス）が発生しないものであれば良い。また、本実施例の粘着剤塗布工程３５５には、一般的に言うリバースコータを用いているが、これに限るものではなく、グラビアコータ、キスコータ、コンマコータ、やリップコータなどを用いても可能である。各ロールの回転速度５０〜６００ｍ／ｍｉｎ、塗布量１５〜４０ｇ／ｍ2 ｗｅｔ、粘着剤粘度５０〜３０００ｍＰａ・ｓの条件において、１０μｍの膜厚を塗布した。本実施例では、光透過性フィルム３５１に一般的な熱可塑性樹脂（常温・常湿において、反応性のない物質）を用いているため、光透過性フィルム３５１の取り扱いが容易である。
【００４５】
実施例１３
図１８に基づき、請求項２２、２３に対する、実施例１３を説明する。本実施例では、貼り合わせユニット３１０において、前記光透過性フィルム３５１の片面に感圧性粘着剤を貼り付ける工程（以下、感圧粘着剤工程）３０７を備えている。該感圧粘着剤工程３０７は、前記フィルム搬送機構３５０と同様、感圧性粘着剤３０８と、セパレータフィルム３５２とが巻かれている。セパレータフィルム３５２を剥がされた後、前記光透過性フィルム３５１と感圧性粘着剤３０８が、ロールＡ部３０９で貼り合わせられる。ロールＡ部３０９は図示していない温度調整機構により、温度コントロールもできる。本実施例においては、感圧性粘着剤３０８の材質には、変性アクリル樹脂に内部架橋剤としてエチレングリコールジアクリレートを添加したものを使用した。もちろん、材質はこれに限るものではなく、実施例１２と同様の物性を有する材料であれば何ら問題はない。
【００４６】
実施例１４
次に、図５に基づき、請求項２４に対する実施例１４を説明する。本実施例では、成膜ユニット１００、ストック・搬送ユニット２００及び貼り合わせユニット３００は、クリーン度がクラス１００以下になる図示されていないクリーンブースで囲われている。また、クリーンブース内は、温度ならびに湿度がコントロールできるようになっている。本実施例では、クリーンブース内の温度２３±２℃、湿度２０ＲＨ％以下に設定されている。
【００４７】
実施例１５
次に、図１９、２０に基づき、請求項２５に対する実施例１５を説明する。本実施例の光記録媒体では、前記第一の基板の両面に、各面に少なくとも１枚以上、且つ同材質の前記光透過性フィルムが貼り合わされている。もちろん、各面に該光透過性フィルムが３枚以上貼られていても何ら問題はないが、同材質、同厚さであることが望ましい。
【００４８】
【発明の効果】
請求項１〜４に対応する作用効果第一の基板に光透過性フィルムを貼り合わせた後、成膜工程により反射膜や記録膜を形成するため、成膜工程によって該光透過層が溶融することがなく、更に、該光透過層の変形量も極力小さくすることが可能である。すなわち、気泡やしわが無い光記録媒体が確実に得られる。また、転写工程において、転写ロールとスタンパから構成されて、該スタンパの着脱が容易にできることから、機種変更などに素早く対応できる。また、該転写ローラと前記光透過性フィルムの押圧圧力を、転写ロールの高さ、スプリング圧力などで可変可能なため、様々な種類の溝形状に対応可能である。また、該光透過性フィルムに紫外線で硬化する表面粘度１００〜５００ｍ・Ｐａ、厚さ０．０３〜０．３ｍｍのドライフォトポリマーを用いると、取り扱いが容易である。
【００４９】
請求項５〜７に対応する作用効果
第一又は第二の記録膜ともａｓ  ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ（成膜したまま）の状態で結晶質であるので、記録膜初期化のための結晶化工程が必要ない。すなわち、製造タクトを短縮できる。
【００５０】
請求項８〜１０に対応する作用効果
前記成膜ユニットと、ストック・搬送ユニットと、貼り合わせユニットは連動・非連動の選択ができるので、多品種の対応が可能である。
また、前記光透過性フィルム搬送機構の駆動ローラに可変トルクモータが用いられているため、前記転写工程で速度ムラが発生しない。すなわち、各基板へ確実に溝を転写することが可能となる。
【００５１】
請求項１１、１２に対応する作用効果
光透過性フィルム貼り合わせ工程において、前記ローラの表面粗さＲｚ（十点平均粗さ）が０．０２ｍｍ以下であるため、光透過性フィルムに傷つけたりせず、更に、しわや気泡が発生しにくい。
【００５２】
請求項１３、１４に対応する作用効果
光透過性フィルム貼り合わせ工程において、前記ローラ表面に厚さ０．０５ｍｍの発熱体がコーティングされており、室温〜１００℃まで温度が調整できる機構が備えられているため、より確実に気泡やしわを取り除くことが可能である。
【００５３】
請求項１５に対応する作用効果
また、前記スタンパはマザースタンパに金属をスパッタして、その反転パターンとしている。すなわち、一般の射出成形により使用されているスタンパを用いることが可能である。
【００５４】
請求項１６に対応する作用効果
硬化工程において、紫外線ランプにフラッシュ発光型の紫外線ランプを用いているので、一般的な高圧水銀ランプなどと比較して、発熱が少ないため、熱膨張によるチルトの劣化を防ぐことができる。また、確実に光透過性フィルムを短時間で硬化することが可能である。
【００５５】
請求項１７に対応する作用効果
打ち抜き工程において、前記光透過性フィルムの内・外径を同時にカッティングすることが可能である。すなわち、製造タクトが短縮できる。
【００５６】
請求項１８に対応する作用効果
貼り合わせユニットにおいて、少なくとも２つ以上の欠陥検査装置と欠陥検査ＮＧストッカを備えているため、途中工程の不良品を後工程に流れない。すなわち、Ｆコスト低減に繋がる。
【００５７】
請求項１９、２０に対応する作用効果
成膜ユニットにおいて、前記基板ホルダーに温度可変可能な機構を備えているため確実に、実施例２のａｓ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎの状態で記録膜を結晶質にすることができる。
【００５８】
請求項２１に対応する作用効果
ストック・搬送ユニットにおいて、少なくとも三つ以上のストック機構と各ストッカにセンサを有し、それぞれが図示されていない制御盤により管理されていることから、多品種の対応が可能である。
【００５９】
請求項２２、２３に対応する作用効果
貼り合わせユニットにおいて、光透過性フィルムにドライフォトポリマーの様な特殊な材料ではなく、ポリカーボネイトやアクリル樹脂などのフィルムを用い、該光透過性フィルムに粘着剤を塗布し、前記光透過層を形成している。すなわち、光透過性フィルム自体は反応性がないので取り扱いが非常に簡単になる。
【００６０】
請求項２４に対応する作用効果
各ユニットがクリーン度クラス１００以下になるようなブースで囲われており、更に、一般的なスパッタ装置のように、全体が真空系になっていないため、メンテナンスが容易であるばかりか、コンタミも少なくできる。また、ブース内は温度ならびに湿度が管理できるため、前記第一の基板や光透過性フィルムへの吸水量や吸水時間をコントロールが可能であり、しいてはチルトを制御す
ることができる。
【００６１】
請求項２５に対応する作用効果
前記第一の基板を基準とし、表裏対称的な構造の光記録媒体を製造できるので、吸水バランスの違いによるチルトの劣化が生じない光記録媒体が得られる。また、国際公開番号ＷＯ９９／００７９４の発明のような、無機質の保護膜を必要としない光記録媒体の製造が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる光記録媒体の構造を示す模式的な断面図である。
【図２】本発明に係わる多層型光記録媒体の構造を示す模式的な断面図である。
【図３】本発明における、実施例１の多層構造型光記録媒体の構造断面図である。
【図４】本発明に係わる光記録媒体の記録方式を説明する模式図である。
【図５】本発明における、多層構造型光記録媒体の製造装置を説明する図である。
【図６】本発明における、多層構造型光記録媒体の製造フローを説明する図である。
【図７】本発明における、実施例２の多層構造型光記録媒体の構造断面図である。
【図８】本発明における、実施例４の貼り合わせ工程の詳細を説明する図である。
【図９】本発明における、実施例５の貼り合わせ工程の詳細を説明する図である。
【図１０】本発明における、実施例５の図９の代替を説明する図である。
【図１１】本発明における、実施例６の転写工程の詳細を説明する図である。
【図１２】本発明における、実施例６の転写工程の詳細を説明する図である。
【図１３】本発明における、実施例８の打ち抜き工程を説明する図である。
【図１４】本発明における、実施例１０の成膜ユニットを説明する図である。
【図１５】本発明における、実施例１０の成膜ユニット＋コータを説明する図である。
【図１６】本発明における、実施例１１のストック・搬送ユニットを説明する図である。
【図１７】本発明における、実施例１２の粘着剤塗布工程を説明する図である。
【図１８】本発明における、実施例１３の感圧粘着剤工程を説明する図である。
【図１９】本発明における、実施例１５の多層構造型光記録媒体の構造断面図である。
【図２０】本発明における、実施例１５の多層構造型光記録媒体の構造断面図である。
【符号の説明】
１  ：光記録媒体
２  ：光透過層又は光透過性フィルム
３  ：ピット又は溝
４  ：反射膜
５  ：第一の基板
６  ：中心穴
７  ：ピックアップ又はピックアップレンズ
８  ：スポット径
９  ：半透明膜
１０  ：接着層又は接着剤
１１  ：記録層
１２  ：保護膜
１３  ：記録膜
２０  ：ストッカ
２１  ：搬送アーム
１００  ：成膜ユニット
１０１  ：スパッタチャンバ
１０２  ：ステーションテーブル
１０３  ：反転アーム
１０４  ：基板ホルダー
１０５  ：ターゲット
１０６  ：コータ
１０７  ：テーブル
１０８  ：シリンジ
１０９  ：有機色素
２００  ：ストック・搬送ユニット
２０１  ：スタックポール
２０２  ：リフタ
２０３  ：センサ
３００  ：貼り合わせユニット
３０１  ：ロータリーテーブル
３０２  ：検査装置
３０３  ：除電装置
３０４  ：成膜ＮＧストッカ
３０５  ：貼り合わせＮＧストッカ
３０６  ：完成品ストッカ
３０７  ：感圧接着剤工程
３０８  ：感圧性粘着剤
３０９  ：ロールＡ
３１０  ：貼り合わせ工程
３１１  ：下型
３１２  ：貼り合わせ用ローラ
３１３  ：発熱体
３１４  ：シリコンゴムパッド
３２０  ：転写工程
３２１  ：転写ロール
３２２  ：スタンパ
３２３  ：シャフト
３２４  ：軸受け
３２５  ：支持体
３２６  ：スプリング
３３０  ：硬化工程
３３１  ：紫外線ランプ
３４０  ：打ち抜き工程
３４１  ：下型
３４２  ：上型
３４３  ：ピストン
３５０  ：フィルム搬送機構
３５１  ：光透過性フィルム
３５２  ：セパレータフィルム
３５３  ：駆動ロール
３５４  ：原反ロール
３５５  ：粘着剤塗布工程
３５６  ：粘着剤供給部
３５７  ：コーティングロール
３５８  ：メタリングロール
３５９  ：バックロール
３６０  ：ドクターブレード
３６１  ：粘着剤
【図１】
0004620274.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004620274.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004620274.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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