(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、前記流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、前記流体の流れに平行な向きの位置に設けられた静圧孔とを有し、前記総圧孔で前記流体の流れによって生じる総圧と、前記後流圧孔で前記流体の流れによって生じる後流圧と、前記静圧孔で前記流体の静圧とをそれぞれ検出する圧力検出管と、
前記圧力検出管によって検出される前記総圧、後流圧および静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と後流圧との第１差圧の値から前記流体の第１流量値を算出する第１演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と静圧との第２差圧の値から前記流体の第２流量値を算出する第２演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記静圧と後流圧との第３差圧の値から前記流体の第３流量値を算出する第３演算部と、
前記第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、前記総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、前記第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かを判定する流量値判定手段と、
前記流量値判定手段によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力手段と
を備えたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項２】
導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、前記流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、前記流体の流れに平行な向きの位置に設けられた２つの静圧孔とを有し、前記総圧孔で前記流体の流れによって生じる総圧と、前記後流圧孔で前記流体の流れによって生じる後流圧と、前記２つの静圧孔で前記流体の２つの静圧とをそれぞれ検出する圧力検出管と、
前記圧力検出管によって検出される前記総圧、後流圧および２つの静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と後流圧との第１差圧の値から前記流体の第１流量値を算出する第１演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と一方の静圧との第２差圧の値から前記流体の第２流量値を算出する第２演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記一方の静圧と他方の静圧との第３差圧の値から前記流体の第３流量値を算出する第３演算部と、
前記第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、前記総圧、後流圧および２つの静圧の値とに基づいて、前記第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かを判定する流量値判定手段と、
前記流量値判定手段によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力手段と
を備えたことを特徴とする流量計測装置。
【請求項３】
導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、前記流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、前記流体の流れに平行な向きの位置に設けられた静圧孔とを有し、前記総圧孔で前記流体の流れによって生じる総圧と、前記後流圧孔で前記流体の流れによって生じる後流圧と、前記静圧孔で前記流体の静圧とをそれぞれ検出する圧力検出管と、
前記圧力検出管によって検出される前記総圧、後流圧および静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と後流圧との第１差圧の値から前記流体の第１流量値を算出する第１演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と静圧との第２差圧の値から前記流体の第２流量値を算出する第２演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記静圧と後流圧との第３差圧の値から前記流体の第３流量値を算出する第３演算部と
を備える流量計測装置の不具合を検出するための試験装置であって、
前記第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、前記総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、前記総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かを判定する不具合判定手段と、
前記不具合判定手段によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力手段と
を備えたことを特徴とする試験装置。
【請求項４】
導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、前記流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、前記流体の流れに平行な向きの位置に設けられた２つの静圧孔とを有し、前記総圧孔で前記流体の流れによって生じる総圧と、前記後流圧孔で前記流体の流れによって生じる後流圧と、前記２つの静圧孔で前記流体の２つの静圧とをそれぞれ検出する圧力検出管と、
前記圧力検出管によって検出される前記総圧、後流圧および２つの静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と後流圧との第１差圧の値から前記流体の第１流量値を算出する第１演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記総圧と一方の静圧との第２差圧の値から前記流体の第２流量値を算出する第２演算部と、
前記圧力センサの出力信号に基づいて求められる、前記一方の静圧と他方の静圧との第３差圧の値から前記流体の第３流量値を算出する第３演算部と
を備える流量計測装置の不具合を検出するための試験装置であって、
前記第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、前記総圧、後流圧および２つの静圧の値とに基づいて、前記総圧孔、後流圧孔、２つの静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かを判定する不具合判定手段と、
前記不具合判定手段によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力手段と
を備えたことを特徴とする試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の流量を計測する流量計測装置、および流量計測装置の不具合を検知するための試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体や気体などの流体の各種圧力を検出し、その検出された各種圧力に基づいて流量を正確に計測する技術として、例えば、ピトー管を用いた流量計測装置が従来より知られている。しかし、従来の流量計測装置では、あらかじめ定められた一方向の流量を計測することは可能であるが、それとは逆方向の流量を計測することは事実上不可能であった。そこで、本発明者は、この問題点を解決した流量計測装置に係る発明を特許文献１および特許文献２において開示している。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−０８５３５４号公報
【特許文献２】特開２００５−００３６７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記特許文献１および特許文献２記載の流量計測装置では、例えば計測対象の流体にミスト（結露のような水滴や油脂滴等）や塵埃が混在していると、それが各種圧力を検出する孔に堆積して精確な計測を続行することが困難となる虞があった。また、孔で検出された圧力を電気信号に変換する圧力センサが故障しても、同様に精確な計測を続行することが困難となる虞があった。
【０００５】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その第１の目的は、各種圧力を検出する孔や、圧力センサに、精確な計測を続行することが困難となるような不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することの可能な流量計測装置を提供することにある。また、第２の目的は、各種圧力を検出する孔や、圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることの可能な試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の流量計測装置は、導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、流体の流れに平行な向きの位置に設けられた静圧孔とを有する圧力検出管を備えたものである。この圧力検出管は、総圧孔で流体の流れによって生じる総圧と、後流圧孔で流体の流れによって生じる後流圧と、静圧孔で流体の静圧とをそれぞれ検出するようになっている。第１の流量計測装置はまた、圧力検出管によって検出される総圧、後流圧および静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、総圧と後流圧との第１差圧の値から流体の第１流量値を算出する第１演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、総圧と静圧との第２差圧の値から流体の第２流量値を算出する第２演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、静圧と後流圧との第３差圧の値から流体の第３流量値を算出する第３演算部と、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かを判定する流量値判定手段と、流量値判定手段によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力手段とを備える。
【０００７】
本発明の第２の流量計測装置は、導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、流体の流れに平行な向きの位置に設けられた２つの静圧孔とを有する圧力検出管を備えたものである。この圧力検出管は、総圧孔で流体の流れによって生じる総圧と、後流圧孔で流体の流れによって生じる後流圧と、２つの静圧孔で流体の２つの静圧とをそれぞれ検出するようになっている。第１の流量計測装置はまた、圧力検出管によって検出される総圧、後流圧および２つの静圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、総圧と後流圧との第１差圧の値から流体の第１流量値を算出する第１演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、総圧と一方の静圧との第２差圧の値から流体の第２流量値を算出する第２演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる、一方の静圧と他方の静圧との第３差圧の値から流体の第３流量値を算出する第３演算部と、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および２つの静圧の値とに基づいて、第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かを判定する流量値判定手段と、流量値判定手段によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力手段とを備える。
【０００８】
本発明の第１および第２の流量計測装置では、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かが判定され、精確な流量値であると判定された流量値が出力される。
【０００９】
例えば、第１流量値、第２流量値および第３流量値のそれぞれは、総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサに不具合がなければ、ほぼ同じ値になるが、不具合がある場合は、不具合のある箇所を利用して各種圧力を検出し、その検出した圧力に基づいて演算した流量値が所定の範囲から外れた値となる。そこで、この性質を利用して、第１流量値、第２流量値および第３流量値のそれぞれが所定の範囲内にあるか否かが判定される。このとき、それぞれが所定の範囲内にある場合は第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれもが精確な流量値であると判定される。一方、第１流量値、第２流量値および第３流量値のうち少なくとも１つが所定の範囲から外れた場合は、その所定の範囲から外れた流量値は不精確な流量値であると判定される。このとき、所定の範囲内にある流量値のいずれが精確な流量値であるか直ちに判別できない場合は、総圧、後流圧および静圧の値に基づいて判定される。ここで、「所定の範囲」とは、例えば、第１流量値、第２流量値および第３流量値の平均値±標準偏差の範囲を指す。
【００１０】
本発明の第１の試験装置は、流量計測装置の不具合を検出するための試験装置である。この流量計測装置は、導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、流体の流れに平行な向きの位置に設けられた静圧孔とを有する圧力検出管を備えたものである。この圧力検出管は、総圧孔で流体の流れによって生じる総圧と、後流圧孔で流体の流れによって生じる後流圧と、静圧孔で流体の静圧とをそれぞれ検出するようになっている。流量計測装置はまた、圧力検出管によって検出される総圧、後流圧および静圧にそれぞれ対応した信号、または総圧と後流圧との第１差圧、総圧と静圧との第２差圧および静圧と後流圧との第３差圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第１差圧の値から流体の第１流量値を算出する第１演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第２差圧の値から流体の第２流量値を算出する第２演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第３差圧の値から流体の第３流量値を算出する第３演算部とを備える。一方、本発明の第１の試験装置は、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かを判定する不具合判定手段と、不具合判定手段によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力手段とを備える。
【００１１】
本発明の第２の試験装置は、流量計測装置の不具合を検出するための試験装置である。この流量計測装置は、導通路を流れる計測対象の流体の流れに正対する向きの位置に設けられた総圧孔と、流体の流れに正対する向きとは逆向きの位置に設けられた後流圧孔と、流体の流れに平行な向きの位置に設けられた２つの静圧孔とを有する圧力検出管を備えたものである。この圧力検出管は、総圧孔で流体の流れによって生じる総圧と、後流圧孔で流体の流れによって生じる後流圧と、２つの静圧孔で流体の２つの静圧とをそれぞれ検出するようになっている。第１の流量計測装置はまた、圧力検出管によって検出される総圧、後流圧および２つの静圧にそれぞれ対応した信号、または総圧と後流圧との第１差圧、総圧と一方の静圧との第２差圧および一方の静圧と他方の静圧との第３差圧にそれぞれ対応した信号を出力する圧力センサと、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第１差圧の値から流体の第１流量値を算出する第１演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第２差圧の値から流体の第２流量値を算出する第２演算部と、圧力センサの出力信号に基づいて求められる第３差圧の値から流体の第３流量値を算出する第３演算部とを備える。一方、本発明の第２の試験装置は、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および２つの静圧の値とに基づいて、総圧孔、後流圧孔、２つの静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かを判定する不具合判定手段と、不具合判定手段によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力手段とを備える。
【００１２】
本発明の第１および第２の試験装置では、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かが判定され、特定された不具合箇所を示す情報が出力される。
【００１３】
例えば、上記した性質を利用して、第１流量値、第２流量値および第３流量値のそれぞれが所定の範囲内にあるか否かが判定される。このとき、それぞれが所定の範囲内にある場合は総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサのいずれも不具合がないと判定される。一方、第１流量値、第２流量値および第３流量値のうち少なくとも１つが所定の範囲から外れた場合、その所定の範囲から外れた流量値の計測に用いられた孔および圧力センサのいずれかに不具合があると判定される。このときいずれに不具合があるか直ちに判別できない場合は、総圧、後流圧および静圧の値に基づいて判定される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による第１および第２の流量計測装置によれば、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、第１流量値、第２流量値および第３流量値のいずれが精確な流量値であるか否かを判定する流量値判定手段と、流量値判定手段によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力手段とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔や、圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００１５】
本発明による第３および第４の流量計測装置によれば、第１流量値、第２流量値および第３流量値の分布と、総圧、後流圧および静圧の値とに基づいて、総圧孔、後流圧孔、静圧孔および圧力センサのいずれに不具合があるか否かを判定する不具合判定手段と、不具合判定手段によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力手段とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔や、圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
［第１の実施の形態］
図１は、本発明の第１の実施の形態の流量計測装置の概要構成を表すものである。この流量計測装置は、圧力検出管１０と、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃと、流量値演算部２１（第１演算部、第２演算部、第３演算部）と、判定部２２（不具合判定手段、流量値判定手段）と、流量値出力部２３と、不具合情報出力部２４とを含んで構成される。この流量計測装置は、導通路２５を流れる流体（気体または液体）の各種圧力を検出することにより流体の流量値を計測する装置であるが、後述のように、圧力検出管１０および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃの故障を検知して外部に知らせる判定部２２および不具合情報出力部２４を備えていることから、自己診断機能を兼ね備えた検査装置でもある。
【００１８】
圧力検出管１０は、流体の流れを横切るように導通路２５に挿通された管部１と、その管部１の一端に設けられた、導通路２５を形成する外壁の外側の表面に接する管部２とからなる釘状の外観を有する。この圧力検出管１０は、導通路２５を形成する外壁から脱着可能になっていてもよいし、導通路２５を形成する外壁の一部と共にモジュールとなっていてもよい。
【００１９】
管部１の側面のうち、流体の正方向（図１において、左から右へ向かう方向）の流れに正対する側に総圧孔１１が設けられており、正方向の流体の流れに正対する側とは反対側に後流圧孔１２が設けられている。総圧孔１１は管部１から管部２に延在する第１経路１３に連通されており、後流圧孔１２は管部１から管部２に延在する第２経路１４に連通されている。また、第１経路１３および第２経路１４はそれぞれ、管部２の内部で２経路に分岐されており、管部２のうち導通路２５を形成する外壁とは反対側の面に２つの開口を有する。管部２は、さらに、導通路２５の外壁に設けられた第１静圧孔１５に対応する部分に第３経路１７が、第２静圧孔１６に対応する部分に第４経路１８がそれぞれ設けられている。これら第３経路１７および第４経路１８はそれぞれ、管部２のうち導通路２５を形成する外壁とは反対側の面に１つの開口を有する。
【００２０】
これより、圧力検出管１０は、導通路２５を流れる流体の総圧を総圧孔１１で、導通路２５を流れる流体の後流圧を後流圧孔１２で、導通路２５を流れる流体の静圧を第１静圧孔１５および第２静圧孔１６でそれぞれ検出すると共に、第１経路１３を介して総圧孔１１での総圧に対応する圧力を圧力センサ２０ａ，２０ｂに伝達し、第２経路１４を介して後流圧孔１２での後流圧を圧力センサ２０ｂ，２０ｃに伝達し、第３経路１７を介して第１静圧孔１５での静圧を圧力センサ２０ｂに伝達し、第４経路１８を介して第２静圧孔１６での静圧を圧力センサ２０ｃに伝達するようになっている。
【００２１】
なお、導通路２５を流れる流体の流れが逆方向（図１において、右から左へ向かう方向）になったときには、総圧孔１１および後流圧孔１２はの果たす機能が上記とは逆になる。
【００２２】
圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃは、流量値演算部２１の要求する電気信号を出力するものである。圧力センサ２０ａは総圧Ｐ１および後流圧Ｐ２にそれぞれ対応した電気信号を出力するものであり、圧力センサ２０ｂは総圧Ｐ１および静圧Ｐ３にそれぞれ対応した電気信号を出力するものであり、圧力センサ２０ｃは後流圧Ｐ２および静圧Ｐ４にそれぞれ対応した電気信号を出力するものである。
【００２３】
流量値演算部２１は、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて各種圧力および差圧を演算するものである。具体的には、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４をそれぞれ演算すると共に、総圧Ｐ１と後流圧Ｐ２との差圧（第１差圧）ΔＰａ（＝Ｐ１−Ｐ２）、総圧Ｐ１と静圧Ｐ３との差圧（第２差圧）ΔＰｂ（＝Ｐ１−Ｐ３）および静圧Ｐ４と後流圧Ｐ２との差圧（第３差圧）ΔＰｃ（＝Ｐ４−Ｐ２）をそれぞれ演算するようになっている。流量値演算部２１はまた、差圧ΔＰａに所定の係数を乗算することにより流量値Ｑａ（第１流量値）を、差圧ΔＰｂに所定の係数を乗算することにより流量値Ｑｂ（第２流量値）を、差圧ΔＰｃに所定の係数を乗算することにより流量値Ｑｃ（第３流量値）をそれぞれ演算するようになっている。
【００２４】
図２は、差圧ΔＰａ、ΔＰｂおよびΔＰｃと流量Ｑとの相関関係を表すものである。図２から、差圧ΔＰａ、ΔＰｂおよびΔＰｃと流量Ｑとは、非線形の関係にあるものの、１対１の対応関係にあることが確認できる。また、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃが実際に導通路２５を流れる流体から検出した差圧ΔＰａ１、ΔＰｂ１およびΔＰｃ１の値に応じた流量は、いずれもＱ１となることも確認できる。したがって、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃからのいずれの電気信号を用いても流量Ｑを精確に計測することが可能である。
【００２５】
判定部２２は、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃのそれぞれが所定の範囲内にあるか否か判定するものである。この判定部２２は、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃは、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路１３、第２経路１４、第１静圧孔１５、第２静圧孔１６、第３経路１７、第４経路１８および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃに不具合がなければ、ほぼ同じ流量値Ｑ１になるが、何らかの不具合がある場合は、不具合のある箇所を利用して各種圧力を検出し、その検出した圧力に基づいて演算した流量値が所定の範囲から外れた値となる、という性質を利用して、これらに不具合が発生しているか否かの判定を行うようになっている。判定部２２は、その判定結果に基づいて、不具合が発生していない孔、流路および圧力センサから得られた流量値と、不具合が発生している孔、流路または圧力センサから得られた流量値とを選別するようになっている。ここで、「所定の範囲」とは、例えば、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの平均値±標準偏差の範囲を指す。
【００２６】
例えば、図３に示したように、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ａからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや小さな流量値Ｑ３となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ３より大幅に小さな流量値Ｑ２となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ３が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１および流量値Ｑ２のいずれかが精確な流量値となる。
【００２７】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ａからの電気信号によって得られた総圧Ｐ１と、圧力センサ２０ｂからの電気信号によって得られた総圧Ｐ１とが極端に低いことがわかったとする。これより、総圧孔１１または（および）第１経路１３に何らかの不具合が発生していることがわかる。その結果、第１経路１３を利用していない圧力センサ２０ｃからの電気信号によって得られた流量値Ｑ２が精確な流量値であることが判明する。
【００２８】
また、例えば、図４に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量がそれぞれ流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや大きな流量値Ｑ４となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ４が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００２９】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号によって得られた静圧Ｐ３が極端に低いことがわかったとする。これより、第１静圧孔１５または（および）第３経路１７に何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００３０】
また、例えば、図５に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量がそれぞれ流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量がほとんどゼロであったとする。このとき、例えば、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００３１】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号がないことがわかったとする。これより、圧力センサ２０ｂに何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００３２】
このようにして、判定部２２では、精確な流量値と、不具合箇所の特定を行うことができる。
【００３３】
流量値出力部２３は、上記判定部２２によって精確であると判定された流量値を出力するようになっている。つまり、判定部２２によって精確でないと判定された流量値を無視するようになっている。
【００３４】
不具合情報出力部２４は、上記判定部２２によって不具合が発生していると判定された部位を示す情報が出力される。
【００３５】
本実施の形態の流量計測装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃのいずれが精確な流量値であるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力部２３とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔、流路および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００３６】
また、本実施の形態の試験装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路１３、第２経路１４、第１静圧孔１５、第２静圧孔１６、第３経路１７、第４経路１８および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃのいずれに不具合があるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【００３７】
以下、本発明の他の実施の形態の流量計測装置について説明するが、各実施の形態においては、上記実施の形態と相違する部分について主に説明し、上記実施の形態と共通する構成、作用、効果の記載を適宜省略する。
【００３８】
［第２の実施の形態］
図６は、本発明の第２の実施の形態の流量計測装置の概要構成を表すものである。この流量計測装置は、圧力検出管１０の代わりに圧力検出管３０を備える点で、上記実施の形態と相違する。
【００３９】
圧力検出管３０は、第２静圧孔１６に接続された第４経路１８の代わりに第１静圧孔１５に接続された第４経路３８を備える点で、上記実施の形態の圧力検出管１０と相違する。これより、圧力センサ２０ｃは、静圧Ｐ３と後流圧Ｐ２との差圧ΔＰｃ（＝Ｐ３−Ｐ２）の値に応じた電気信号を出力するようになっている。
【００４０】
図７は、差圧ΔＰａ、ΔＰｂおよびΔＰｃと流量Ｑとの相関関係を表すものである。図２の場合と同様、差圧ΔＰｃ（＝Ｐ３−Ｐ２）と流量Ｑとは、非線形の関係にあるものの、１対１の対応関係にあることが確認できる。また、圧力センサ２０ｃが実際に導通路２５を流れる流体から検出した差圧ΔＰｃ１の値に応じた電気信号から求められる流量は、図２の場合と同様、Ｑ１となることも確認できる。したがって、圧力センサ２０ｃからの電気信号を用いても流量Ｑを精確に計測することが可能である。
【００４１】
次に、判定部２２での判定方法の一例について説明する。例えば、図８に示したように、圧力センサ２０ａからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや大きな流量値Ｑ４となり、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値１よりやや小さな流量値Ｑ５となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ４が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１および流量値Ｑ５のいずれかが精確な流量値となる。
【００４２】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３の値を用いて判定する。その結果、すると、圧力センサ２０ｂからの電気信号によって得られた静圧Ｐ３と、圧力センサ２０ｃからの電気信号によって得られた静圧Ｐ３とが極端に低いことがわかったとする。これより、第１静圧孔１５に何らかの不具合が発生していることがわかる。その結果、第１静圧孔１５を利用していない圧力センサ２０ａからの電気信号によって得られた流量値Ｑ１が精確な流量値であることが判明する。
【００４３】
また、例えば、図９に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量がそれぞれ流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量がほとんどゼロであったとする。このとき、例えば、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００４４】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号がないことがわかったとする。これより、圧力センサ２０ｂに何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００４５】
このようにして、判定部２２では、上記実施の形態と同様、精確な流量値と、不具合箇所の特定を行うことができる。
【００４６】
本実施の形態の流量計測装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３の値とに基づいて、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃのいずれが精確な流量値であるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力部２３とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔、流路および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００４７】
また、本実施の形態の試験装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３の値とに基づいて、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路１３、第２経路１４、第１静圧孔１５、第３経路１７、第４経路３８および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃのいずれに不具合があるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【００４８】
［第３の実施の形態］
図１０は、本発明の第３の実施の形態の流量計測装置の概要構成を表すものである。この流量計測装置は、圧力検出管１０の代わりに圧力検出管４０を備える点で、上記第１の実施の形態と相違する。
【００４９】
圧力検出管４０は、第１静圧孔１５に接続された第３経路１７の代わりに第２静圧孔１６に接続された第３経路４７を備える点で、上記実施の形態の圧力検出管１０と相違する。これより、圧力センサ２０ｂは、総圧Ｐ１と静圧Ｐ４との差圧ΔＰｂ（＝Ｐ１−Ｐ４）の値に応じた電気信号を出力するようになっている。
【００５０】
図１１は、差圧ΔＰａ、ΔＰｂおよびΔＰｃと流量Ｑとの相関関係を表すものである。図２の場合と同様、差圧ΔＰｂ（＝Ｐ１−Ｐ４）と流量Ｑとは、非線形の関係にあるものの、１対１の対応関係にあることが確認できる。また、圧力センサ２０ｂが実際に導通路２５を流れる流体から検出した差圧ΔＰｂ５の値に応じた電気信号から求められる流量は、図２の場合と同様、Ｑ１となることも確認できる。したがって、圧力センサ２０ｂからの電気信号を用いても流量Ｑを精確に計測することが可能である。
【００５１】
次に、判定部２２での判定方法の一例について説明する。例えば、図１２に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや大きな流量値Ｑ６となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ６が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００５２】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号によって得られた静圧Ｐ４が圧力センサ２０ｃからの電気信号によって得られた静圧Ｐ４と比べて極端に低いことがわかったとする。これより、第３経路４７に何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００５３】
また、例えば、図１３に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量がそれぞれ流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量がほとんどゼロであったとする。このとき、例えば、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００５４】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号がないことがわかったとする。これより、圧力センサ２０ｂに何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００５５】
このようにして、判定部２２では、上記実施の形態と同様、精確な流量値と、不具合箇所の特定を行うことができる。
【００５６】
本実施の形態の流量計測装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ４の値とに基づいて、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃのいずれが精確な流量値であるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力部２３とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔、流路および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００５７】
また、本実施の形態の試験装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ４の値とに基づいて、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路１３、第２経路１４、第３経路４７、第２静圧孔１６、第４経路１８および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃのいずれに不具合があるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【００５８】
［第４の実施の形態］
図１４は、本発明の第４の実施の形態の流量計測装置の概要構成を表すものである。この流量計測装置は、圧力検出管１０の代わりに圧力検出管５０を備える点で、上記第１の実施の形態と相違する。
【００５９】
圧力検出管５０は、第２経路１４のうち圧力センサ２０ｃに分岐していた経路の代わりに、第３経路１７と圧力センサ２０ｃとに接続された第５経路１９を備える点で、上記実施の形態の圧力検出管１０と相違する。これより、圧力センサ２０ｃは、静圧Ｐ３と静圧Ｐ４との差圧ΔＰｃ（＝Ｐ３−Ｐ４）の値に応じた電気信号を出力するようになっている。
【００６０】
図１５は、差圧ΔＰａ、ΔＰｂおよびΔＰｃと流量Ｑとの相関関係を表すものである。図２の場合と同様、差圧ΔＰｃ（＝Ｐ３−Ｐ４）と流量Ｑとは、非線形の関係にあるものの、１対１の対応関係にあることが確認できる。また、圧力センサ２０ｃが実際に導通路２５を流れる流体から検出した差圧ΔＰｃ４の値に応じた電気信号から求められる流量は、図２の場合と同様、Ｑ１となることも確認できる。したがって、圧力センサ２０ｃからの電気信号を用いても流量Ｑを精確に計測することが可能である。
【００６１】
次に、判定部２２での判定方法の一例について説明する。例えば、図１６に示したように、圧力センサ２０ａからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや大きな流量値Ｑ４となり、圧力センサ２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１より極めて小さな流量値Ｑ７となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ７が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１およびＱ４のいずれかが精確な流量値となる。
【００６２】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号によって得られた静圧Ｐ３と、圧力センサ２０ｃからの電気信号によって得られた静圧Ｐ３とが極端に低いことがわかったとする。これより、第１静圧孔１５に何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００６３】
また、例えば、図１７に示したように、圧力センサ２０ａ，２０ｃからの電気信号に基づいて得られる流量がそれぞれ流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量がほとんどゼロであったとする。このとき、例えば、圧力センサ２０ｂからの電気信号に基づいて得られる流量が所定の範囲から外れたとすると、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。
【００６４】
次に、各圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃから出力される電気信号に基づいて演算された総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値を用いて判定する。その結果、圧力センサ２０ｂからの電気信号がないことがわかったとする。これより、圧力センサ２０ｂに何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００６５】
このようにして、判定部２２では、上記実施の形態と同様、精確な流量値と、不具合箇所の特定を行うことができる。
【００６６】
本実施の形態の流量計測装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃのいずれが精確な流量値であるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力部２３とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔、流路および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００６７】
また、本実施の形態の試験装置では、流量値Ｑａ、流量値Ｑｂおよび流量値Ｑｃの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路１３、第２経路１４、第３経路４７、第２静圧孔１６、第４経路１８、第５経路１９および圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃのいずれに不具合があるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【００６８】
［第５の実施の形態］
図１８は、本発明の第５の実施の形態の流量計測装置の概要構成を表すものである。この流量計測装置は、圧力検出管１０の代わりに圧力検出管６０を備え、また、圧力センサ２０ａ，２０ｂ，２０ｃの代わりに圧力センサ２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇを備える点で、上記第１の実施の形態と相違する。
【００６９】
圧力検出管６０は、分岐路を有する第１経路１３の代わりに分岐路を有しない第１経路６３を備え、また、分岐路を有する第２経路１４の代わりに分岐路を有しない第２経路６４を備える点で、上記実施の形態の圧力検出管１０と相違する。これより、圧力センサ２０ｄは総圧Ｐ１の値に応じた電気信号を、圧力センサ２０ｅは後流圧Ｐ２の値に応じた電気信号を、圧力センサ２０ｆは静圧Ｐ３の値に応じた電気信号を、圧力センサ２０ｇは静圧Ｐ４の値に応じた電気信号をそれぞれ出力するようになっている。また、流量値演算部２１は、圧力センサ２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇからの総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２、静圧Ｐ３および静圧Ｐ４の値に応じたそれぞれの電気信号に基づいて、差圧ΔＰｄ（＝Ｐ１−Ｐ２）、ΔＰｅ（＝Ｐ１−Ｐ３）、ΔＰｆ（＝Ｐ４−Ｐ２）およびΔＰｇ（＝Ｐ３−Ｐ４）を演算するようになっている。
【００７０】
図１９は、差圧ΔＰｄ、ΔＰｅ、ΔＰｆおよびΔＰｇと流量Ｑとの相関関係を表すものである。図２の場合と同様、差圧ΔＰｄ、ΔＰｅ、ΔＰｆおよびΔＰｇと流量Ｑとは、非線形の関係にあるものの、１対１の対応関係にあることが確認できる。また、圧力センサ２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇが実際に導通路２５を流れる流体から検出した差圧ΔＰｄ１、ΔＰｅ１、ΔＰｆ１およびΔＰｇ１の値に応じた電気信号から求められる流量は、図２の場合と同様、Ｑ１となることも確認できる。したがって、圧力センサ２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇからの電気信号を用いても流量Ｑを精確に計測することが可能である。
【００７１】
次に、判定部２２での判定方法の一例について説明する。例えば、図２０に示したように、圧力センサ２０ｅ，２０ｆ，２０ｇからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１となり、圧力センサ２０ｄからの電気信号に基づいて得られる流量が流量値Ｑ１よりやや小さな流量値Ｑ２となったとする。このとき、例えば、流量値Ｑ１およびＱ２が所定の範囲内にあったとしても、圧力センサ２０ｅ，２０ｆ，２０ｇから得られた流量値がいずれも流量値Ｑ１であるので、流量値Ｑ１が精確な流量値となる。これにより、総圧孔１１または（および）第１経路６３に何らかの不具合が発生していることがわかる。
【００７２】
このようにして、判定部２２では、上記実施の形態と同様、精確な流量値と、不具合箇所の特定を行うことができる。
【００７３】
本実施の形態の流量計測装置では、流量値Ｑｄ、流量値Ｑｅ、流量値Ｑｆおよび流量値Ｑｇの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、流量値Ｑｄ、流量値Ｑｅ、流量値Ｑｆおよび流量値Ｑｇのいずれが精確な流量値であるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって精確な流量値であると判定された流量値を出力する流量値出力部２３とを備えるようにしたので、不具合の発生していない孔、流路および圧力センサによって検出された信号に対応する精確な流量値だけが出力される。これにより、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合であっても、流量の精確な計測を続行することができる。
【００７４】
また、本実施の形態の試験装置によれば、流量値Ｑｄ、流量値Ｑｅ、流量値Ｑｆおよび流量値Ｑｇの分布と、総圧Ｐ１、後流圧Ｐ２および静圧Ｐ３，Ｐ４の値とに基づいて、総圧孔１１、後流圧孔１２、第１経路６３、第２経路６４、第１静圧孔１５、第２静圧孔１６、第３経路１７、第４経路１８および圧力センサ２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇのいずれに不具合があるか否かを判定する判定部２２と、判定部２２によって特定された不具合箇所を示す情報を出力する不具合情報出力部２４とを備えるようにしたので、各種圧力を検出する孔、流路および圧力センサに不具合が生じた場合に、不具合の発生箇所を直ちに知ることができる。
【００７５】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１の実施の形態の流量計測装置の概略構成を表す断面図である。
【図２】不具合がないときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図３】総圧孔に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図４】第１静圧孔に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図５】圧力センサに不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態の流量計測装置の概略構成を表す断面図である。
【図７】不具合がないときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図８】第１静圧孔に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図９】圧力センサに不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態の流量計測装置の概略構成を表す断面図である。
【図１１】不具合がないときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１２】第３経路に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１３】圧力センサに不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態の流量計測装置の概略構成を表す断面図である。
【図１５】不具合がないときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１６】第１静圧孔に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１７】圧力センサに不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図１８】本発明の第５の実施の形態の流量計測装置の概略構成を表す断面図である。
【図１９】不具合がないときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【図２０】総圧孔に不具合があるときの差圧出力と流量値との相関関係を表す関係図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０，２０，３０，４０，５０，６０…圧力検出管、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆ，２０ｇ…圧力センサ、２１…流量値演算部、２２…判定部、２３…流量値出力部、２４…不具合情報出力部、２５…導通路、１１…総圧孔、１２…後流圧孔、１３，６３…第１経路、１４，６４…第２経路、１５…第１静圧孔、１６…第２静圧孔、１７，４７…第３経路、１８，３８…第４経路、１９…第５経路、Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４…圧力、ΔＰａ，ΔＰｂ，ΔＰｃ，ΔＰｄ，ΔＰｅ，ΔＰｆ，ΔＰｇ…差圧、Ｑａ，Ｑｂ，Ｑｃ，Ｑｄ，Ｑｅ，Ｑｆ，Ｑｇ…流量。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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