(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板などのワークと、直列状に並ぶと共に、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口を有する第１ボックス及び第２ボックスとからなり、この第１ボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石を設け、また上記第１ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズルを設け、さらに上記第１ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、また上記第２ボックス内にワークに付着したクーラント水の水切りエアナイフを設け、上記ワーク或いは上記第１ボックス及び第２ボックスのいずれか片方を走行手段により走行させるようにしたことを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワーク（例えば、ガラス基板）の辺を研磨する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板の辺（縁の面や縁の両面コーナーの面取り）の研磨は、保持したガラス基板を走行させながら、走行途中に回転砥石により縁の面や面取り研磨する（特許文献１）。
【０００３】
なお、定位置にガラス基板を保持し、保持したガラス基板の辺縁に沿って回転砥石を移動させながら研磨することもある。
【特許文献１】特開２００１−１３８１９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のような研磨方式の際に研磨部分に向けてウエット式クーラント水を使用する。
【０００５】
その際、クーラント水がワーク（ガラス基板）全面或いは広範囲に飛散して、ワークによっては一定範囲以外にクーラント水が付着し、ワークのマスキングなどに悪影響を及ばし、又研磨付近が大幅に汚れて作業性が悪くなるなどの問題が発生した。
【０００６】
そこで、この発明は、ボックス内でワークの辺を研磨すると共に、研磨部位に噴射するクーラント水のボックス外への飛散を抑止した研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、この発明は、ガラス基板などのワークと、直列状に並ぶと共に、周囲の一面に上記ワークの研磨辺が嵌り込む開口を有する第１ボックス及び第２ボックスとからなり、この第１ボックス内にワークの辺縁を研磨する回転砥石を設け、また上記第１ボックス内に研磨部分にクーラント水を噴射するノズルを設け、さらに上記第１ボックス内に噴射クーラント水を吸引して排出する吸引手段を設け、また上記第２ボックス内にワークに付着したクーラント水の水切りエアナイフを設け、上記ワーク或いは上記第１ボックス及び第２ボックスのいずれか片方を走行手段により走行させるようにした構成を採用する。
【０００８】
すると、開口から第１ボックス内に嵌入するワークの辺縁を第１ボックス内の回転砥石により研磨すると共に、ノズルから研磨部位に噴射（供給）したクーラント水を第１ボックス内に吸引し、排出すると共に、ワークに付着したクーラント水を第２ボックス内のエアナイフにより水切りする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、この発明の研磨装置によれば、周囲一面の開口から第１ボックス内にワークの研磨辺を嵌入すると共に、第１ボックス内の回転砥石によりワークの上記嵌入した辺を研磨すると共に、研磨部位にノズルからクーラント水を噴射するようにしてあるので、クーラント水の飛散を第１ボックスにより受け止めて防止し、第１ボックス内の吸引によって第１ボックス外に流出しようとするクーラント水の略全量の強制的な回収ができる。
【００１０】
このため、研磨周囲の飛散クーラント水の汚れがなく、特にワークに対するクーラント水の付着が極力なくするため、ワークのマスキングに悪影響を及ぼすことがないと共に、クーラント水の侵蝕に問題があるワークについてもマスキングを行なったり加工工程の最後にするなど、加工工程の順位などの制約がなくなる。
【００１１】
また、第２ボックス内に設けてあるエアナイフによってワークに付着したクーラント水の水切りもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１３】
この発明の実施形態では、図１から図４に示すように、ガラス基板などのワークＷと、周囲の一面にワークＷの研磨辺が嵌り込む開口１を有する第１ボックス２とからなる。
【００１４】
上記のワークＷは、上側に、第１ボックス２は下側に位置する縦型を示し、第１ボックス２に設ける開口１は、第１ボックス２の上面壁のセンター線上と、第１ボックス２の両端壁の上端中央から下方に向け開放させて設けたが、限定されず、一側にワークＷを、他側に第１ボックス２を配置した横型であってもよい。
【００１５】
そして、走行手段ＡによりワークＷ或いは第１ボックス２のいずれか片方を走行させるようにしてある。
【００１６】
上記の走行手段Ａは、図示の場合二条の水平なレール３と、下面両側に設けてあるスライダ４をレール３にスライド自在に係合した走行体５と、両端を軸承してレール３に沿わせた雄ネジ６と、走行体５に取付けて雄ネジ６にねじ込んだ雌ネジ７と、雄ネジ６を可逆駆動するモーター８とで構成され、走行体５の側面に配置したプレート９の表面に設けてある吸盤１０により板面が垂直なワークＷの片面を吸引保持してワークＷを走行させるようにしてある。
【００１７】
勿論、定位置にワークＷを保持（クランプ）して第１ボックス２を進退走行を介し走行させてもよい。
【００１８】
そして、走行体５に設けるプレート９も、モーター１１により可逆駆動する旋回軸１２を取付けて、旋回軸１２の旋回によりワークＷの辺縁の傾き調整や、研磨縁（辺）の変更など行なう。
【００１９】
また、第１ボックス２内には、モーター１３により一方向に駆動する回転砥石１４が設けてある。
【００２０】
すると、第１ボックス２の開口１内に辺縁が嵌入してワークＷが第１ボックス２の部分を通過する際に、ワークＷの辺縁の面に回転砥石１４の周面（図示上周面）が接触して研磨する。
【００２１】
なお、研磨材は、入れ込み機（図示省略）を介しプレート９の吸盤１０にワークＷを保持させる際に研磨材を見込んで供給するか、或いはプレート９又は第１ボックス２を図示上下方向に昇降装置（図示省略）を作用させて行なえばよい。
【００２２】
さらに、第１ボックス２内には、回転砥石１４による研磨部位にクーラント水を噴射するノズル２１が設けてある。
【００２３】
上記のノズル２１には、パイプ２２をへてクーラント水が圧送されるようになっている。
【００２４】
また、第１ボックス２内は、吸引パイプ２３によってクーラント水を吸引するようになっている。
【００２５】
上記の吸引パイプ２３は、吸引ポンプ（図示省略）に接続され、濾過されてクーラント水を再使用する。
【００２６】
勿論、吸引パイプ２３は、図示の場合、開口１の反対側、すなわち、第１ボックス２の図示底側に接続し、開口１から大気のエアを吸引する。
【００２７】
その要因は、ノズル２１から噴射したクーラント水が開口１から外側、すなわち第１ボックス２外に飛散するのを防止することにある。
【００２８】
なお、図示のように、第１ボックス２の両端壁の開口１下縁に対する回転砥石１４の上周縁を極力近づけて（上方への突出度合いを小さくする）、回転砥石１４の回転にともなうクーラント水の第１ボックス２外への（開口１から）飛散をなくする。
【００２９】
すると、研磨場所の付近がクーラント水で汚れるのを防止すると共に、ワークＷに対する一定範囲以外にクーラント水の付着（飛散にともなう）や研磨粉粒の付着による汚れがなくなる。勿論、マスキングに悪影響を及ぼすこともない。
【００３０】
また、図２及び図５に示すように、第１ボックス２を通過したワークＷの研磨ずみ辺を第２ボックス３１の開口１と同様の開口３２に嵌入させて通過させ、第２ボックス３１内に設けてあるエアナイフ３３（パイプ３４からエアナイフ３３の噴射孔にエアを圧送する）によってワークＷの両面に付着したクーラント水を吹き飛ばして水切りする。
【００３１】
勿論、第２ボックス３１内の水はパイプ３５をへて排出する。
勿論、図１、２に示すようにワークＷが走行する場合、第１ボックス２、第２ボックス３１は走行しないようになっており、逆にすることもある。
【００３２】
すると、クーラント水の付着しない研磨ずみワークＷを回収（取り出す）することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の実施形態を示す平面図
【図２】同上の側面図
【図３】同上の要部を示す一部切欠背面図
【図４】研磨部分の縦断背面図
【図５】エアナイフを示す縦断背面図
【符号の説明】
【００３４】
Ｗ  ワーク
Ａ  走行手段
１、３２  開口
２  第１ボックス
３  レール
４  スライダ
５  走行体
６  雄ネジ
７  雌ネジ
８  モーター
９  プレート
１０  吸盤
１１  モーター
１２  旋回軸
１３  モーター
１４  回転砥石
２１  ノズル
２２  パイプ
２３  吸引パイプ
３１  第２ボックス
３３  エアナイフ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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