(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の位置と第二の位置との間を往復動自在に装着された可動支持手段と、該可動支持手段を往復動せしめるための往復動手段とを具備し、該可動支持手段には加工具と被加工物とのいずれか一方が装着される加工機械にして、該可動支持手段が該第一の位置から該第二の位置に往動する方向に見て、該可動支持手段の上流側及び／又は下流側には、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムから形成された少なくとも１個の保護部材を含む保護手段が配設され、該保護部材は合成樹脂シート又はフィルムを長さ方向に折り返して二重にせしめた後に折り返し部位をロール状に巻き付け、巻き付け状態において所定時間加熱することによって、自由状態ではロール状に巻き付けられた状態を維持するよう形成されており、
該保護部材は該可動支持手段の上流側において該可動支持部材の往動に応じて巻き出され復動に応じて巻き付けられる、及び／又は該可動支持手段の下流側において該可動支持部材の往動に応じて巻き付けられ復動に応じて巻き出される、ことを特徴とする加工機械。
【請求項２】
該保護手段は該可動支持手段の上流側と下流側との双方に配設されている、請求項１記載の加工機械。
【請求項３】
該可動支持手段の往復動方向に延在する案内手段が配設されており、該可動支持手段には該案内手段に滑動自在に係合せしめられる被案内手段が配設されており、該往復動手段は該可動支持手段の往復動方向に延在する雄ねじ部材、該可動支持手段に装着され且つ該雄ねじ部材に螺合せしめられる雌ねじ部材、及び該雄ねじ部材を回転せしめるためのモータから構成され、該保護手段は該雄ねじ部材及び該案内手段に対向して位置する主保護部材と該雄ねじ部材及び該案内手段の両側に位置する２個の副保護部材とを含み、該雄ねじ部材及び該案内手段は該主保護部材及び該副保護部材によって三方が覆われている、請求項１又は２記載の加工機械。
【請求項４】
該保護部材は片端が該可動支持手段に固定され、他端が静止部材に固定されている、請求項１記載の加工機械。
【請求項５】
加工機械における構成要素を保護するために使用される保護部材にして、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムから構成され、該保護部材は合成樹脂シート又はフィルムを長さ方向に折り返して二重にせしめた後に折り返し部位をロール状に巻き付け、巻き付け状態において所定時間加熱することによって、自由状態ではロール状に巻き付けられた状態を維持するよう形成されている、ことを特徴とする保護部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエーハの裏面を研削する研削機及び半導体ウエーハを切削する切削機の如き加工機械、及びかかる加工機械において所要構成要素を保護するために使用される保護部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記研削機及び切削機の如き加工機械は、第一の位置と第二の位置との間を往復動自在に装着された可動支持手段と、この可動支持手段を往復動せしめる往復動手段とを備えている。通常、可動支持手段の往復動方向に延在する案内手段が配設されており、可動支持手段はそれに配設された被案内手段を案内手段に滑動自在に係合せしめることによって往復動自在に装着されている。可動支持手段には研削ホイール及び切削ブレードの如き加工具と半導体ウエーハの如き被加工物のいずれか一方が装着される。可動支持手段を往動及び／又は復動せしめる際に、可動支持手段に装着されている加工具が被加工物に作用せしめられ、或いは可動支持手段に装着されている被加工物に加工具が作用せしめられ、これによって加工具によって被加工物に所要の加工が施される。可動支持手段を往復動せしめるための往復動手段の典型例は、可動支持手段の往復動方向に延在する雄ねじ部材、可動支持手段に装着され且つ雄ねじ部材に螺合せしめられた雌ねじ部材、及び雄ねじ部材を回転せしめるためのモータから構成されている。雄ねじ部材の雄ねじと雌ねじ部材の雌ねじとの間には、通常、循環せしめられるボールが配設されている。循環せしめられるボールが配設された往復動手段はボールねじ機構と称されている。
【０００３】
加工具によって被加工物に研削或いは切削の如き加工を加えると加工屑(swarf) が生成される。かかる加工屑が雄ねじ部材或いは案内手段に付着すると、可動支持手段の円滑な往復動が阻害される。そこで、可動支持手段の往動方向に見て上流側及び／又は下流側には、雄ねじ部材及び案内手段を覆う蛇腹部材を配置している。かかる蛇腹部材はキャンパス布の如き布或いは布と金属板との組合せから形成することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上記蛇腹部材は比較的高価であり、そしてまたその交換操作が必ずしも容易でない。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、蛇腹部材に代えて或いはこれに加えて、相当安価で且つ充分容易に交換することができる保護手段によって、雄ねじ部材及び案内手段の如き保護すべき構成要素に加工屑が付着することが防止される、新規且つ改良された加工機械を提供することである。
【０００６】
本発明の他の技術的課題は、加工機械における所要構成要素を保護するために、蛇腹部材に代えて或いはこれに加えて使用することができる、蛇腹部材に比べて相当安価で且つ充分容易に交換することができる保護部材を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムから形成された少なくとも１個の保護部材から保護手段を構成することによって、上記主たる技術的課題を達成することができることを見出した。上記他の技術的改題を達成する保護部材自体は、合成樹脂シート又はフィルムをロール条に巻き付け、巻き付けた状態において所定時間加熱することによって形成することができる。本明細書においては、便宜上、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムを、「巻き付けシート又はフィルム」という。
【０００８】
即ち、本発明によれば、上記第一の技術的課題を達成する加工機械として、第一の位置と第二の位置との間を往復動自在に装着された可動支持手段と、該可動支持手段を往復動せしめるための往復動手段とを具備し、該可動支持手段には加工具と被加工物とのいずれか一方が装着される加工機械にして、該可動支持手段が該第一の位置から該第二の位置に往動する方向に見て、該可動支持手段の上流側及び／又は下流側には、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムから形成された少なくとも１個の保護部材を含む保護手段が配設され、該保護部材は合成樹脂シート又はフィルムを長さ方向に折り返して二重にせしめた後に折り返し部位をロール状に巻き付け、巻き付け状態において所定時間加熱することによって、自由状態ではロール状に巻き付けられた状態を維持するよう形成されており、該保護部材は該可動支持手段の上流側において該可動支持部材の往動に応じて巻き出され復動に応じて巻き付けられる、及び／又は該可動支持手段の下流側において該可動支持部材の往動に応じて巻き付けられ復動に応じて巻き出される、ことを特徴とする加工機械が提供される。
【０００９】
該保護手段は該可動支持手段の上流側と下流側との双方に配設されているのが好適である。好適実施形態においては、該可動支持手段の往復動方向に延在する案内手段が配設されており、該可動支持手段には該案内手段に滑動自在に係合(engage)せしめられる被案内手段が配設されており、該往復動手段は該可動支持手段の往復動方向に延在する雄ねじ部材、該可動支持手段に装着され且つ該雄ねじ部材に螺合せしめられる雌ねじ部材、及び該雄ねじ部材を回転せしめるためのモータから構成され、該保護手段は該雄ねじ部材及び該案内手段に対向して位置する主保護部材と該雄ねじ部材及び該案内手段の両側に位置する２個の副保護部材とを含み、該雄ねじ部材及び該案内手段は該主保護部材及び該副保護部材によって三方が覆われている。
【００１０】
更に、本発明によれば、上記他の技術課題を達成する保護部材として、引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルムから構成され、該保護部材は合成樹脂シート又はフィルムを長さ方向に折り返して二重にせしめた後に折り返し部位をロール状に巻き付け、巻き付け状態において所定時間加熱することによって、自由状態ではロール状に巻き付けられた状態を維持するよう形成されている、ことを特徴とする保護部材が提供される。
【００１１】
該保護部材は合成樹脂シート又はフィルムを長さ方向に折り返して二重にせしめた後に折り返し部位をからロール条に巻き付け、巻き付け状態において所定時間加熱することによって形成される。かような保護部材を加工機械に適用する際には、片端を該可動支持手段に固定し他端を静止部材に固定することができる。合成樹脂シート又はフィルムの一端を支持軸に固定し、該支持軸に該合成樹脂シート又はフィルムを巻き付け、巻き付けた状態において所定時間加熱することによって、保護部材を形成することができる。かような保護部材を加工機械に適用する際には、該支持軸を該静止部材又は該可動支持手段に回転自在に装着し、自由端を該可動支持手段又は該静止部材に固定することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された加工機械の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１３】
図１には、本発明に従って構成された加工機械の好適実施形態として、被加工物である半導体ウエーハの裏面を研削するための研削機が図示されている。図示の研削機は全体を番号２で示すハウジングを具備している。このハウジング２は、細長く延在する直方体形状の主部４を有する。主部４の後端部には実質上鉛直に上方に延びる直立壁６が配設されている。そして、この直立壁６に２個の研削手段、即ち粗研削手段８ａ及び精密研削手段８ｂが配設されている。粗研削手段８ａ及び精密研削手段８ｂの構成並びにこれらの装着様式については後に更に詳述する。
【００１４】
図１を参照して説明を続けると、ハウジング２の主部４における後半部上面には、ターンテーブル１０が配設されている。このターンテーブル１０は実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。ターンテーブル１０には適宜の電動モータ（図示していない）が駆動連結されており、後に更に言及する如く、ターンテーブル１０は１２０度毎間欠的に回転せしめられる。ターンテーブル１０には周方向に等角度間隔をおいて３個のチャック手段１２が配設されている。図示のチャック手段１２は実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着された多孔性円板から構成されている。チャック手段１２には適宜の電動モータ（図示していない）が駆動連結されており、チャック手段１２は５乃至１００ｒｐｍでよい回転速度で回転せしめられる。チャック手段１２には真空源（図示していない）が選択的に連通せしめられ、後に更に言及する如く、チャック手段１２上に載置された半導体ウエーハがチャック手段１２に真空吸着される。ターンテーブル１０が１２０度毎間欠的に回転せしめられることによって、チャック手段１２の各々は、搬入及び搬出域１４、粗研削域１６並びに精密研削域１８に順次に位置せしめられる。
【００１５】
ハウジング２の主部４における前半部上面には、カセット搬入域２０、カセット搬出域２２、搬送機構２４、半導体ウエーハ受入手段２６及び洗浄手段２８が配設されている。ハウジング２の主部４の中間部上面には、搬送機構３０及び３２が配設されている。カセット搬入域２０上には、裏面を研削すべき複数個の半導体ウエーハＷを収容したカセットＣが載置される。カセット搬出域２２には、裏面が研削された半導体ウエーハＷを収容するためのカセットＣが載置される。搬送機構２４は、カセット搬入域２０上に載置されているカセットＣから半導体ウエーハＷを１枚毎搬出し、表裏を反転せしめて半導体ウエーハ受入手段２６上に載置する。搬送機構３０は、裏面を上方に向けて半導体ウエーハ受入手段２６上に載置されている半導体ウエーハＷを、搬入・搬出域１４に位置せしめられているチャック手段１２上に搬入する。
【００１６】
裏面を上方に向けて露呈せしめた状態でチャック手段１２上に搬入された半導体ウエーハＷは、ターンテーブル１０の間欠的回転によってチャック手段１２と共に粗研削域１６に位置せしめられる。粗研削域１６においては、半導体ウエーハＷを保持したチャック手段１２が回転せしめられると共に、粗研削手段８ａが半導体ウエーハＷの裏面に作用せしめられ、半導体ウエーハＷの裏面が粗研削される。粗研削域１６において粗研削された半導体ウエーハＷは、ターンテーブル１０の間欠的回転によってチャック手段１２と共に精密研削域１８に位置せしめられる。そして、精密研削域１８においては、半導体ウエーハＷを保持したチャック手段１２が回転せしめられると共に、精密研削手段８ａが半導体ウエーハＷの裏面に作用せしめられ、半導体ウエーハＷの裏面が精密研削される。粗研手段８ａによる粗研削及び精密研削手段８ｂによる精密研削については、後に更に言及する。次いで、ターンテーブル１０の間欠的回転によって、裏面が精密研削された半導体ウエーハＷはチャック手段１２と共に搬入・搬出域１４に位置せしめられる。
【００１７】
搬送機構３２は、搬入・搬出域１４に位置せしめられているチャック手段１２上の半導体ウエーハＷを洗浄手段２８に搬送する。洗浄手段２８は、半導体ウエーハＷを高速回転せしめながら純水でよい洗浄液を噴射し、半導体ウエーハＷを洗浄し、乾燥する。搬送機構２４は、洗浄し、乾燥された半導体ウエーハＷを再び反転せしめて表面が上方に向く状態にせしめて、カセット搬出域２２上に載置されているカセットＣ内に搬入する。カセット搬入域２０に載置されているカセットＣ内の半導体ウエーハＷが全て搬出されると、かかるカセットＣが裏面を研削すべき半導体ウエーハＷを収容した次のカセットＣに交換される。また、カセット搬出域２２に載置されているカセットＣに所定数の半導体ウエーハＷが収納されると、かかるカセットＣが搬出されて空のカセットＣが載置される。
【００１８】
図１と共に図２を参照して説明を続けると、ハウジング２の後端部に配設されている上記直立壁６の前面には、案内手段３４ａ及び３４ｂが配設されている。案内手段３４ａ及び３４ｂは夫々一対の案内レール３６ａ及び３６ｂから構成されている。一対の案内レール３６ａは直立壁６の前面に幅方向に間隔をおいて固定され、実質上鉛直に延びている。同様に一対の案内レール３６ｂも直立壁６の前面に幅方向に間隔をおいて固定され、実質上鉛直に延びている。一対の案内レール３６ａには可動支持手段を構成する滑動ブロック３８ａが鉛直方向に滑動自在に装着され、一対の案内レール３６ｂには可動支持手段を構成する滑動ブロック３８ｂが鉛直方向に滑動自在に装着されている。滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各々の後面の幅方向両側には鉛直方向に延びる脚部４０ａ及び４０ｂが形成されており、かかる脚部４０ａ及び４０ｂには鉛直方向に延びる溝が形成されている。滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各々は、脚部４０ａ及び４０ｂに形成されている溝を案内レール３６ａ及び３６ｂに滑動自在に係合せしめることによって、案内レール３６ａ及び３６ｂに沿って滑動自在に装着されている。従って、脚部４０ａ及び４０ｂに形成されている溝は、案内手段を構成する案内レール３６ａ及び３６ｂと協働する被案内手段を構成する。
【００１９】
上記直立壁６と滑動ブロック３８ａ及び３８ｂとの間には、滑動ブロック３８ａ及び３８ｂを昇降動、即ち鉛直方向に往復動せしめるための往復動手段４２ａ及び４２ｂが配設されている。詳述すると、直立壁６の前面には、装着片４４ａ及び４４ｂ並びに装着片４６ａ及び４６ｂによって実質上鉛直に延びる雄ねじ部材４８ａ及び４８ｂが回転自在に装着されている。雄ねじ部材４８ａ及び４８ｂの周表面には雄ねじが刻設されている。装着片４４ａ及び４４ｂにはパルスモータでよい電動モータ５０ａ及び５０ｂも装着されており、かかる電動モータ５０ａ及び５０ｂの出力軸は雄ねじ部材４８ａ及び４８ｂに連結されている。滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの後面中央部には鉛直方向に延びる貫通ねじ孔を有する雌ねじ部材（図示していない）が固定されており、かかる雌ねじ部材が雄ねじ部材４８ａ及び４８ｂに螺合せしめられている。従って、電動モータ５０ａ及び５０ｂが正転せしめられると、滑動ブロック３８ａ及び３８ｂが往動即ち下降せしめられ、電動モータ５０ａ及び５０ｂが逆転せしめられると、滑動ブロック３８ａ及び３８ｂが復動即ち上昇せしめられる。
【００２０】
図１及び図２を参照して説明を続けると、上記粗研削手段８ａは滑動ブロック３８ａに装着され、上記精密研削手段８ｂは滑動ブロック３８ｂに装着されている。滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各々には前方に突出した支持部５４ａ及び５４ｂが形成されており、かかる支持部５４ａ及び５４ｂの各々にはケーシング５６ａ及び５６ｂが固定されている。ケーシング５６ａ及び５６ｂには実質上鉛直に延びる回転軸５８ａ及び５８ｂが回転自在に装着されている。ケーシング５６ａ及び５６ｂ内には電動モータ（図示していない）が配設されており、かかる電動モータの出力軸は回転軸５８ａ及び５８ｂに連結されている。回転軸５８ａ及び５８ｂの下端には円板形状の装着部材６０ａ及び６０ｂが固定されており、装着部材６０ａ及び６０ｂの下面には研削具６２ａ及び６２ｂが固定されている。研削具６２ａ及び６２ｂの各々の下面には円弧形状である複数個の研削部材が配設されている。研削部材は、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドの如き適宜の結合剤によって結合することによって形成されたものであるのが好都合である。ケーシング５６ａ及び５６ｂ内に配設されている上記電動モータが付勢されると、研削具６２ａ及び６２ｂが高速回転せしめられる。
【００２１】
粗研削域１６においてチャック手段１２上に保持されている半導体ウエーハＷの裏面を粗研削する際には、チャック手段１２が回転せしめられると共に、研削具６２ａが高速で回転せしめられる。そして、滑動ブロック３８ａを下降せしめることによって研削具６２ａが半導体ウエーハＷの裏面に押し付けられ、そして更に漸次下降せしめられ、かくして半導体ウエーハＷの裏面が比較的厚く粗研削される。同様に、精密研削域１８においてチャック手段１２上に保持されている半導体ウエーハＷを精密研削する際には、チャック手段１２が回転せしめられると共に、研削具６２ｂが高速で回転せしめられる。そして、滑動ブロック３８ｂを下降せしめることによって研削具６２ｂが半導体ウエーハＷの裏面に押し付けられ、そして更に漸次下降せしめられ、かくして半導体ウエーハＷの裏面が比較的薄く精密研削される。
【００２２】
而して、図示の研削機における上述したとおりの構成及び作用は、例えば株式会社ディスコから商品名「ＤＦＧ８４１」として販売されている研削機における構成及び作用と実質上同一であり、既に当業者には周知のものである。それ故に、これらの構成及び作用の詳細な説明は本明細書においては省略する。
【００２３】
図１及び図２を参照して説明を続けると、可動支持手段を構成する滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各々の往動方向に見て上流側及び／又は下流側、即ち滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各々の上側及び／又は下側には、雄ねじ部材４８ａ及び４８ｂ並びに案内レール３６ａ及び３６ｂに研削屑が付着するのを防止するための保護手段が配設されていることが重要である。図示の研削機においては、滑動ブロック３８ａの上側及び下側に夫々保護手段６４ａ及び６６ａが配設されており、そしてまた滑動ブロック３８ｂの上側及び下側に夫々保護手段６４ｂ及び６６ｂが配設されている。更に詳述すると、上記直立壁６の前面には、案内レール３６ａ及び３６ｂの上端を覆う静止部材６７ａ及び６７ｂ、並びに案内レール３６ａ及び３６ｂの下端を覆う静止部材６８ａ及び６８ｂが固定されている。静止部材６７ａ及び６７ｂの各々は、上記装着片４４ａ及び４４ｂに対応して切欠が形成されている矩形板形状であり、その前縁及び両側縁は鉛直方向において滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面及び両側面と略整合せしめられている。静止部材６８ａ及び６８ｂの各々も、上記装着片４６ａ及び４６ｂに対応して切欠が形成されている矩形板形状であり、その前縁及び両側縁は鉛直方向において滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面及び両側面と略整合せしめられている。保護手段６４ａ及び６４ｂは、静止部材６７ａ及び６７ｂの前縁と滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面上端との間に配設された主保護部材７０ａ及び７０ｂと、静止部材６７ａ及び６７ｂの両側縁と滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの両側面上端との間に配設された副保護部材７２ａ及び７２ｂとから構成されている。保護手段６６ａ及び６６ｂは、滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面下端と静止部材６８ａ及び６８ｂの前縁との間に配設された主保護部材７４ａ及び７４ｂと、滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの両側面下端と静止部材６８ａ及び６８ｂの両側縁の間に配設された副保護部材７６ａ及び７６ｂとから構成されている。
【００２４】
主保護部材７０ａ及び７０ｂ並びに７４ａ及び７４ｂ、副保護部材７２ａ及び７２ｂ並びに７６ａ及び７６ｂは、巻き付けシート又はフィルム、即ち引張力が作用しない自由状態においてはロール条に巻き付けられた状態に維持され、引張力を加えることによって巻き出すことができる合成樹脂シート又はフィルム、から構成されていることが重要である。主保護部材７０ａ及び７０ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムの上端及び下端には連結ロッド７８が固定されており、適宜の連結手段（図示していない）によって一方の連結ロッド７８が静止部材６７ａ及び６７ｂの前縁に固定され他方の連結ロッド７８が滑動ブロッック３８ａ及び３８ｂの前面上端に固定され、かくして主保護部材７０ａ及び７０ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムはその一端が静止部材６７ａ及び６７ｂの前縁に固定され他端が滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面上端に固定されている。副保護部材７２ａ及び７２ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムの上端及び下端にも連結ロッド８０が固定されており、適宜の連結手段（図示していない）によって一方の連結ロッド８０が静止部材６７ａ及び６７ｂの各側縁に固定され他方の連結ロッド８０が滑動ブロッック３８ａ及び３８ｂの各側面上端に固定され、かくして副保護部材７２ａ及び７２ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムはその一端が静止部材６７ａ及び６７ｂの各側縁に固定され他端が滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各側面上端に固定されている。主保護部材７４ａ及び７４ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムの上端及び下端には連結ロッド８２が固定されており、適宜の連結手段（図示していない）によって一方の連結ロッド８２が滑動ブロッック３８ａ及び３８ｂの前面下端に固定され他方の連結ロッド８２が静止部材６８ａ及び６８ｂの前縁に固定され、かくして主保護部材７４ａ及び７４ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムはその一端が滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの前面下端に固定されその他端が静止部材６８ａ及び６８ｂの前縁に固定されている。副保護部材７６ａ及び７６ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムの上端及び下端にも連結ロッド８４が固定されており、適宜の連結手段（図示していない）によって一方の連結ロッド８４が滑動ブロッック３８ａ及び３８ｂの各側面下端に固定され他方の連結ロッド８４が静止部材６８ａ及び６８ｂの各側縁に固定され、かくして副保護部材７６ａ及び７６ａを構成する巻き付けシート又はフィルムはその一端が滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの各側面下端に固定されその他端が静止部材６８ａ及び６８ｂの各側縁に固定されている。
【００２５】
保護手段６４ａ及び６６ａは雄ねじ部材４８ａ及び案内レール３６ａを三方、即ち前側及び両側から覆い、これによって雄ねじ部材４８ａ及び案内レール３６ａに研削屑が付着することが充分確実に防止される。滑動ブロック３８ａが往動即ち下降される際には、主保護部材７０ａ及び副保護部材７２ａを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ａの下降に応じて引張力が加えられることに起因して漸次巻き出され、主保護部材７４ａ及び副保護部材７６ａを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ａの下降に応じて引張力が解除されることに起因して漸次巻き付けられる。逆に、滑動ブロック３８ａが復動即ち上昇される際には、主保護部材７０ａ及び副保護部材７２ａを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ａの上昇に応じて引張力が解除されることに起因して漸次巻き付けられ、主保護部材７４ａ及び副保護部材７６ａを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ａの上昇に応じて引張力が加えられることに起因して漸次巻き出される。同様に、保護手段６４ｂ及び６６ｂは雄ねじ部材４８ｂ及び案内レール３６ｂを三方、即ち前側及び両側から覆い、これによって雄ねじ部材４８ｂ及び案内レール３６ｂに研削屑が付着することが充分確実に防止される。滑動ブロック３８ｂが往動即ち下降される際には、主保護部材７０ｂ及び副保護部材７２ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ｂの下降に応じて引張力が加えられることに起因して漸次巻き出され、主保護部材７４ｂ及び副保護部材７６ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ｂの下降に応じて引張力が解除されることに起因して漸次巻き付けられる。逆に、滑動ブロック３８ｂが復動即ち上昇される際には、主保護部材７０ｂ及び副保護部材７２ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ｂの上昇に応じて引張力が解除されることに起因して漸次巻き付けられ、主保護部材７４ｂ及び副保護部材７６ｂを構成する巻き付けシート又はフィルムは、滑動ブロック３８ｂの上昇に応じて引張力が加えられることに起因して漸次巻き出される。
【００２６】
図３は、主保護部材及び副保護部材を構成する巻き付けシート又はフィルムの好適実施形態の製造様式を図示している。図３−ａに図示する如く、細長く延在する合成樹脂シート又はフィルム８６を準備する。かかる合成樹脂シート又はフィルムの好適例としては、厚さが０．０３乃至２．０ｍｍ、特に０．０４乃至０．１０ｍｍであるポリエステルシート又はフィルムを挙げることができる。次いで、図３−ｂに図示する如く、合成樹脂シート又はフィルム８６を長さ方向に折り返して二重にせしめる。次に、図３−ｃに図示する如く、合成樹脂シート又はフィルム８６を折り返し部から漸次巻き付ける。そして、両端部を残して所要とおりに巻き付けた合成樹脂シート又はフィルム８６を、巻き付け状態に維持して所要温度で所要時間加熱する。例えば、合成樹脂シート又はフィルム８６が厚さ０．０５ｍｍのポリエステルシート又はフィルムである場合、約１４０℃の温度で２時間程度加熱する。次いで、常温で徐冷する。かくすると、合成樹脂シート又はフィルム８６は巻き付けた状態に永久的にセットされ、引張力が作用しない状態においては、図３−ｄに実線で示す如くロール状に巻き付けられた状態に維持され、両端を引っ張ることによって引張力を加えると、図３−ｄに二点鎖線で示す如く巻き出される。そして、引張力を解除すると、図３−ｄに実線で示す如くロール状に巻き付けられた状態に戻る。かような巻き付けシート又はフィルムは安価な材料を使用して容易に製造することができ、加工機械の構成要素を保護するために従来から使用されている蛇腹部材と比べて相当安価であり、そしてまた加工機械の所要部位への装着も相当容易であることが注目されるべきである。
【００２７】
図４は、主保護部材及び副保護部材を構成する巻き付けシート又はフィルムの他の実施形態の製造様式を図示している。図４に図示する製造様式においても、図４−ａに図示する如く、細長く延在する合成樹脂シート又はフィルム８８を準備する。この合成樹脂シート又はフィルム８８も、厚さが０．０３乃至２．０ｍｍ、特に０．０４乃至０．１０ｍｍであるポリエステルシート又はフィルムであるのが好適である。次いで、図４−ｂに図示する如く、合成樹脂シート又はフィルムの一端を支持軸９０に固定する。支持軸９０は適宜の合成樹脂或いは金属から形成された丸棒でよい。支持軸９０の直径は２乃至５ｍｍ程度であるのが好適である。次に、図４−ｃに図示する如く、合成樹脂シート又はフィルム８８を支持軸９０に巻き付ける。そして、自由端部を残して支持軸９０に所要とりに巻き付けた合成樹脂シート又はフィルム８８を、巻き付けた状態に維持して所要温度（例えば約１４０℃）で所定時間（例えば約２時間）加熱する。次いで、常温で徐冷する。かくすると、合成樹脂シート又はフィルム８８は巻き付けた状態に永久的にセットされ、引張力が作用しない状態においては、図４−ｄに実線で示す如く支持軸９０に巻き付けられた状態に維持され、支持軸９０を所定位置に回転自在に保持して自由端を引っ張ることによって引張力を加えると、図４−ｄに二点鎖線で示す如く巻き出される。そして、引張力を解除すると、図４−ｄに実線で示す如く支持軸９０に巻き付けられた状態に戻る。図４−ｄに図示する形態の巻き付けシート乃至フィルム８８を、図１及び図２に図示する研削機に使用する場合には、支持軸９０を静止部材６７ａ及び６７ｂ並びに６８ａ及び６８ｂ或いは滑動ブロック３８ａ及び３８ｂに回転自在に装着し、巻き付けシート又はフィルム８８の自由端を滑動ブロック３８ａ及び３８ｂ或いは静止部材６７ａ及び６７ｂ並びに６８ａ及び６８ｂに固定すればよい。
【００２８】
以上、添付図面を参照して本発明の好適実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であることが理解されるべきである。
【００２９】
例えば、図１及び図２に図示する実施形態においては、可動支持手段を構成する滑動ブロック３８ａ及び３８ｂの往動方向に見て上流側と下流側との双方に保護手段６４ａ及び６４ｂ並びに６６ａ及び６６ｂを配設しているが、上流側又は下流側においては研削屑が飛散する虞が実質上ない場合には、上流側又は下流側においては保護手段の配設を省略することができる。また、図１及び図２に図示する実施形態においては、可動支持手段を構成する滑動ブロック３８ａ及び３８ｂに加工具である研削具６２ａ及び６２ｂが装着されているが、可動支持手段に加工具ではなくて被加工物が装着される形態の加工機械にも、本発明を適用することができる。更に、図１及び図２に図示する実施形態においては、従来使用されていた蛇腹部材に代えて巻き付けシート又はフィルムから構成された保護部材を使用しているが、所望ならば、例えば蛇腹部材を保護する様式で巻き付けシート又はフィルムを使用することもできる。この場合、蛇腹部材の存在により、所要構成を一層確実に保護することが可能である。加えて、巻き付けシート又はフィルムによって蛇腹部材が保護され、従って比較的安価で装着操作も用である巻き付けシート又はフィルムを必要に応じて交換すれば、比較的高価で装着操作の比較的煩雑である蛇腹部材を長期間に渡って使用し続けることができる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明の加工機械においては、蛇腹部材に代えて或いはこれに加えて、相当安価で且つ充分容易に交換することができる保護手段によって、雄ねじ部材及び案内手段の如き保護すべき構成要素に加工屑が付着することが防止される。
【００３１】
また、本発明の保護部材は、加工機械における所要構成要素を保護するために、蛇腹部材に代えて或いはこれに加えて使用することができ、蛇腹部材に比べて相当安価で且つ充分容易に交換することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に従って構成された加工機械の好適実施形態である研削機の全体を示す斜面図。
【図２】図２は、図１の研削機の一部を示す部分斜面図。
【図３】図３−ａ乃至ｄは、図１の研削機に使用されている巻き付けシート又はフィルムの製造様式を示す簡略図。
【図４】図４−ａ乃至ｄは、巻き付けシート又はフィルムの変形例の製造様式を示す簡略図。
【符号の説明】
８ａ：粗研削手段
８ｂ：精密研削手段
１０：ターンテーブル
１２：チャック手段
１６：粗研削域
１８：精密研削域
３４ａ：案内手段
３４ｂ：案内手段
３８ａ：滑動ブロック（可動支持手段）
３８ｂ：滑動ブロック（可動支持手段）
４０ａ：溝（被案内手段）
４０ｂ：溝（被案内手段）
４２ａ：往復動手段
４２ｂ：往復動手段
４８ａ：雄ねじ部材
４８ｂ：雌ねじ部材
５０ａ：電動モータ
５０ｂ：電動モータ
６２ａ：研削具
６２ｂ：研削具
６４ａ：保護手段
６４ｂ：保護手段
６６ａ：保護手段
６６ｂ：保護手段
６７ａ：静止部材
６７ｂ：静止部材
６８ａ：静止部材
６８ｂ：静止部材
７０ａ：主保護部材
７０ｂ：主保護部材
７２ａ：副保護部材
７２ｂ：副保護部材
７４ａ：主保護部材
７４ｂ：主保護部材
７６ａ：副保護部材
７６ｂ：副保護部材
８６：合成樹脂シート又はフィムル
８８：合成樹脂シート又はフィルム
９０：支持軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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