(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性を有する基板の両面に露光を行う露光システムであって、
搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部と、
前記粗位置決め部によって粗位置決めされた前記基板を精密位置決めして、前記基板の第１の面を露光する第１の露光部と、
前記第１の露光部により露光された前記基板を反転させる反転部と、
前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めして、前記基板の第２の面を露光する第２の露光部と、を備え、
前記反転部の搬送反転装置は、
基板の第１の面を保持し、第１の移動手段により移動される第１の保持手段と、前記第１の移動手段による移動位置に応じて、前記第１の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第１の回転手段と、第１の付勢手段と、を有する第１のユニットと、
前記基板の第２の面を保持し、第２の移動手段により移動される第２の保持手段と、前記第２の移動手段による移動位置に応じて、前記第２の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第２の回転手段と、第２の付勢手段と、を有する第２のユニットと、
前記第１の保持手段の保持面及び前記第２の保持手段の保持面が略垂直位置にある状態であって、前記基板の第１の面と第２の面とがそれぞれ前記第１の保持手段の保持面と前記第２の保持手段の保持面とに密着しているときに、前記基板の保持を前記第１の保持手段から前記第２の保持手段に切り替えるように前記第１及び第２のユニットを制御する制御部と、
前記第１及び第２の回転手段は、前記第１及び第２のユニットの移動方向に沿って設けられた第１及び第２のラックギヤとかみ合い、前記第１及び第２の移動手段によって移動されることにより得た回転を、前記第１及び第２の保持手段に伝える段ギアを備えるものであって、
前記第１の露光部は、前記基板の第１の面を露光するための第１の露光テーブルと、光源と、第１のアクチュエータとを備え、前記第１の保持手段に露光を完了した前記基板を渡す基板渡し部であって、
前記第２の露光部は、前記基板の第２の面を露光するための第２の露光テーブルと、光源と、第２のアクチュエータとを備え、前記第２の保持手段から露光を完了した前記基板を受け取る基板受取部であって、
前記第１及び第２の付勢手段は、略水平位置にあるときの前記第１及び第２の保持部の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢するものであって、
前記第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ前記第１及び第２の付勢手段に抗して前記第１及び第２の保持部の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向に駆動するものである、
ことを特徴とする露光システム。
【請求項２】
請求項１に記載の露光システムにおいて、
前記基板の第１の面を保持する第３の保持手段を有し、
第３の移動手段により前記粗位置決め部から前記第１の露光部へ移動する第３のユニットと、
前記基板の第２の面を保持する第４の保持手段を有し、第４の移動手段により前記第２の露光部から搬出部へ移動する第４のユニットと、を備え、
前記第１及び第２のユニットは、前記第１の露光部と前記第２の露光部との間に設けられていること、
を特徴とする露光システム。
【請求項３】
請求項２に記載の露光システムにおいて、
前記第３及び第４のユニットは、前記第３及び第４の保持部の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢する第３及び第４の付勢手段を備え、
前記第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段に抗して前記第３及び第４の保持手段の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向への駆動も行うこと、
を特徴とする露光システム。
【請求項４】
請求項３に記載の露光システムにおいて、
前記粗位置決め部及び前記搬出部には、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段に抗して前記第３及び第４の保持手段の保持面を駆動する第３及び第４のアクチュエータが固定されていること、
を特徴とする露光システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、各種の製造ライン中で、一つの工程から次工程に移るときに、基板の表裏面を反転させる搬送反転装置を用いて基板の両面に原版フィルムを密着して露光する露光システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、この種の装置について、各種の提案が行われている。
例えば、特許第２８９７０７３号公報には、基板を保持する保持部の移動と回転を同一の駆動源で行う反転装置が記載されている。
しかし、上記公報に記載の反転装置では、露光システムに用いる場合、反転後に再度粗位置決めを行う必要があった。
また、特開平７−２５１９２１号公報には、反転後に粗位置決めが不要な反転装置が記載されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述した従来の装置は、いずれも反転動作を独立して行うので、反転に必要な動作時間が露光システム全体の処理時間を長くする原因となるという問題があった。
また、特開平７−２５１９２１号公報に記載の反転装置では、装置が複雑であった。
【０００４】
本発明の課題は、反転後に基板の粗位置決めを再度行わなくてもよく、駆動源が少なく、エアー（空気）配管等を連れ回して移動することもなく、構造が簡単な露光システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。
【０００８】
請求項１の発明は、感光性を有する基板（Ｋ）の両面に露光を行う露光システムであって、搬入された基板を粗位置決めする粗位置決め部（１０）と、前記粗位置決め部によって粗位置決めされた前記基板を精密位置決めして、前記基板の第１の面（ＫＡ）を露光する第１の露光部（２０）と、前記第１の露光部により露光された前記基板を反転させる反転部（３０）と、前記反転部により反転された前記基板を精密位置決めして、前記基板の第２の面（ＫＢ）を露光する第２の露光部（４０）と、を備え、前記反転部の搬送反転装置は、基板の第１の面を保持し、第１の移動手段により移動される第１の保持手段と、前記第１の移動手段による移動位置に応じて、前記第１の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第１の回転手段と、第１の付勢手段と、を有する第１のユニットと、前記基板の第２の面を保持し、第２の移動手段により移動される第２の保持手段と、前記第２の移動手段による移動位置に応じて、前記第２の保持手段の保持面を略垂直位置と略水平位置との間で回転させる第２の回転手段と、第２の付勢手段と、を有する第２のユニットと、前記第１の保持手段の保持面及び前記第２の保持手段の保持面が略垂直位置にある状態であって、前記基板の第１の面と第２の面とがそれぞれ前記第１の保持手段の保持面と前記第２の保持手段の保持面とに密着しているときに、前記基板の保持を前記第１の保持手段から前記第２の保持手段に切り替えるように前記第１及び第２のユニットを制御する制御部と、前記第１及び第２の回転手段は、前記第１及び第２のユニットの移動方向に沿って設けられた第１及び第２のラックギヤとかみ合い、前記第１及び第２の移動手段によって移動されることにより得た回転を、前記第１及び第２の保持手段に伝える段ギアを備えるものであって、前記第１の露光部は、前記基板の第１の面を露光するための第１の露光テーブルと、光源と、第１のアクチュエータとを備え、前記第１の保持手段に露光を完了した前記基板を渡す基板渡し部であって、前記第２の露光部は、前記基板の第２の面を露光するための第２の露光テーブルと、光源と、第２のアクチュエータとを備え、前記第２の保持手段から露光を完了した前記基板を受け取る基板受取部であって、前記第１及び第２の付勢手段は、略水平位置にあるときの前記第１及び第２の保持部の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブルから所定距離離れた位置にあるように付勢するものであって、前記第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ前記第１及び第２の付勢手段に抗して前記第１及び第２の保持部の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向に駆動するものである、ことを特徴とする露光システムである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の露光システムにおいて、前記基板の第１の面（ＫＡ）を保持する第３の保持手段（Ａ１−６）を有し、第３の移動手段により前記粗位置決め部（１０）から前記第１の露光部（２０）へ移動する第３のユニット（Ａ１）と、前記基板の第２の面（ＫＢ）を保持する第４の保持手段（Ｂ２−６）を有し、第４の移動手段により前記第２の露光部（４０）から搬出部（５０）へ移動する第４のユニット（Ｂ２）と、を備え、前記第１及び第２のユニット（Ａ２，Ｂ１）は、前記第１の露光部と前記第２の露光部との間に設けられていること、を特徴とする露光システムである。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項２に記載の露光システムにおいて、前記第３及び第４のユニット（Ａ１，Ｂ２）は、前記第３及び第４の保持手段（Ａ１−６，Ｂ２−６）の保持面を、前記第１及び第２の基板露光テーブル（２２，４２）から所定距離離れた位置にあるように付勢する第３及び第４の付勢手段（Ａ１−３，Ｂ２−３）を備え、前記第１及び第２のアクチュエータ（２１，４１）は、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段に抗して前記第３及び第４の保持部の保持面を前記第１及び第２の基板露光テーブルに接する方向への駆動も行うこと、を特徴とする露光システムである。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３に記載の露光システムにおいて、前記粗位置決め部（１０）及び前記搬出部（５０）には、それぞれ前記第３及び第４の付勢手段（Ａ１−３，Ｂ２−３）に抗して前記第３及び第４の保持手段（Ａ１−６，Ｂ２−６）の保持面を駆動する第３及び第４のアクチュエータ（１１，５１）が固定されていること、を特徴とする露光システムである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照しながら、本発明の実施の形態について、更に詳しく説明する。
（第１実施形態）
図１及び図２は、本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
本実施形態における露光システムは、粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，反転部３０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０を備えている。
【００１４】
粗位置決め部１０は、図示しない前工程から受け台１２上に投入された基板Ｋ（図中には、基板Ｋ１〜Ｋ４を示すが、総じて基板Ｋとする）を粗位置決めする（概ねの位置に位置決めする）部分であり、図示しない複数のピンに基板Ｋの端面を突き当てる等して、位置決めを行う。粗位置決め部１０には、シリンダ１１（第３のアクチュエータ）が設けられているが、これについての説明は、他のシリンダ２１（第１のアクチュエータ），４１（第２のアクチュエータ），５１（第４のアクチュエータ）と併せて後に行う。
【００１５】
Ａ面露光部２０は、シリンダ２１，露光テーブル（第１の基板台）２２，原版フィルム２３，光源２４を備え、露光テーブル２２に空気吸引により吸着された基板Ｋを原版フィルム２３に対して精密位置決め（以下、整合）した後に、基板ＫのＡ面（第１の面）に原版フィルム２３を密着してＡ面を光源２４により露光する第１の露光部（基板渡し部）である。
【００１６】
粗位置決め部１０とＡ面露光部２０との間には、キャリアＡ１が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアＡ１は、基板Ｋを保持部Ａ１−６により保持して粗位置決め部１０からＡ面露光部２０へ移動するユニット（第３のユニット）である。
【００１７】
反転部３０は、ラックギア３１，３２と、キャリアＡ２，Ｂ１を備え、基板Ｋの表裏を反転する搬送反転装置である。
図３は、キャリアＡ２を拡大した図である。
図４は、キャリアＡ２を図３中の矢印Ｘ方向から見た図である。
キャリアＡ２は、ベース部Ａ２−１，上下可動部Ａ２−２，付勢ばねＡ２−３，第１ギヤＡ２−４，第２ギヤＡ２−５，保持部Ａ２−６を備えたユニット（第１のユニット）である。
ベース部Ａ２−１は、レール６０によりガイドされ、図示しない駆動部（第１の移動手段）によりレール６０に沿った方向に移動する。
上下可動部Ａ２−２は、ベース部１に対して上下方向（図３及び図４においての上下とする。以下、本実施形態の説明中において、同様に使用する）に移動可能に設けられた部材であり、付勢ばねＡ２−３によって上方向に付勢され、付勢ばねＡ２−３による付勢力以外の外力を受けない場合には、ベース部Ａ２−１に対して所定の位置に規制されている。
第１ギヤＡ２−４は、大歯車がラック３１とかみ合う位置に設けられ、小歯車に第２ギヤＡ２−５がかみ合っている段ギヤである。
保持部Ａ２−６は、基板Ｋを空気の負圧により吸引して保持する部分であり、第２ギヤＡ２−５の回転軸に対して一体で回転するように保持されている。
なお、上記各部は、図４に示すように、保持部６を中心にして、両側に同様な形態で設けられている。
【００１８】
ここで、キャリアＡ２の基本的な動作について説明する。
図３（ａ）と図４は、Ａ面露光部２０にキャリアＡ２がある状態を示しており、シリンダ２１と露光テーブル２２を併せて示している。なお、位置関係が明確になるように、図４には、ラックギヤ３１も併せて示しているが、図１〜図３に示すように、ラックギヤ３１は、反転部３０に設けられている。
露光を終えた基板Ｋを反転部３０へ移動するときには、キャリアＡ２がＡ面露光部２０に移動し、シリンダ２１の先端部が上下可動部Ａ２−２の作用部Ａ２−２ａを引き下げ、付勢ばねＡ２−３の付勢力に抗して上下可動部Ａ２−２を下降させる。上下可動部Ａ２−２が下降すると、保持部Ａ２−６も同時に下降し、基板ＫのＡ面ＫＡに保持面Ａ２−６ａが接する〔図３（ａ）の状態〕。この状態で保持部Ａ２−６の空気吸引を開始して、基板Ｋを保持部Ａ２−６に吸着し、露光テーブル２２側の吸引を解除する。そして、シリンダ２１を上昇させてやることにより、基板Ｋは、保持部Ａ２−６に保持されたまま上昇し、キャリアＡにより移動可能になる。
【００１９】
基板Ｋを保持したキャリアＡ２は、図示しない駆動部により駆動力を得て図１中右方向に移動を行う。移動開始直後の第１ギヤＡ２−４は、ラックギヤ３１とかみ合う位置にないので、保持部Ａ２−６は、略水平を保ったまま移動する（図１におけるＴ１）。そのまま移動を続けると、第１ギヤＡ２−４がラックギヤ３１とかみ合う位置に到達し、第１ギヤＡ２−４が回転を開始する（図１におけるＴ２）。図３（ｂ）には、保持部Ａ２−６が移動しながら回転する状態を示した（６−１〜６−５）。保持部Ａ２−６の回転は、ラックギヤ３１と第１ギヤＡ２−４がかみ合う範囲で９０度回転するようにラックギヤ３１，第１ギヤＡ２−４，第２ギヤＡ２−５の歯数が設定されている。したがって、保持部Ａ２−６は、略水平状態から略垂直状態まで回転する。
なお、キャリアＡ２は、第１ギヤＡ２−４とラックギヤ３１とのかみ合いが外れた後も、わずかな距離だけ移動を行う。このとき、保持部Ａ２−６は、略垂直状態のまま移動する。
【００２０】
キャリアＢ１は、キャリアＡ２と同様な形態のユニット（第２のユニット）であり、保持部Ｂ１−６の保持面Ｂ１−６ａがキャリアＡ２の保持面Ａ２−６ａと対面可能な向きに回転するように設けられており、その他のベース部Ｂ１−１，上下可動部Ｂ１−２，付勢ばねＢ１−３，第１ギヤＢ１−４，第２ギヤＢ１−５は、キャリアＡ２と同様に設けられている。
基板Ｋを反転するときには、キャリアＡ２によって９０度回転した基板Ｋを、略垂直状態でキャリアＢ１の保持面Ｂ１−６ａに密着させて（図１におけるＴ２〜Ｔ３）、キャリアＢ１側で保持させる。つぎに、キャリアＡ２側による保持を解除し、その後に、キャリアＢ１が図１中左方向に移動することにより、基板Ｋは、更に９０度回転する。以上のようにして、基板Ｋは、キャリアＡ２及びキャリアＢ１により合計１８０度回転して表裏の反転が行われる。
【００２１】
Ｂ面露光部４０は、シリンダ４１，露光テーブル（第２の基板台）４２，原版フィルム４３，光源４４を備え、露光テーブル４２に空気吸引により吸着された基板Ｋを原版フィルム４３に対して整合した後に、基板ＫのＢ面（第２の面）に原版フィルム４３を密着してＢ面を光源４４により露光する第２の露光部（基板受取部）である。
【００２２】
搬出部５０は、両面の露光が完了した基板Ｋをつぎの工程に搬出する部分であり、シリンダ５１を有している。
Ｂ面露光部４０と搬出部５０との間には、キャリアＢ２が両者の間を往復可能に設けられている。キャリアＢ２は、基板Ｋを保持部Ｂ２−６により保持してＢ面露光部４０から搬出部５０へ移動するユニット（第４のユニット）である。
【００２３】
キャリアＡ１及びキャリアＢ２は、ほぼ同様な形態のユニットであり、キャリアＡ２の保持部Ａ２−６を回転する機構を省いた構造であり、それぞれベース部Ａ１−１，Ｂ２−１，上下可動部Ａ１−２，Ｂ２−２，付勢ばねＡ１−３，Ｂ２−３を備えている。よって、キャリアＡ２，Ｂ１と同様にして、キャリアＡ１は、シリンダ１１，２１により保持部Ａ１−６が上下し、キャリアＢ２は、シリンダ４１，５１により保持部Ｂ２−６が上下する。
【００２４】
上述のキャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２は、各々独立して移動するので、それぞれが独立した不図示の移動手段（第１〜４の移動手段）により移動される。本実施形態では、リニアモータを４つ設けている。
また、キャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２及び粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，反転部３０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０の動作は、図示しない制御部により一括して制御されている。
【００２５】
図５は、本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。図５におけるＴ１〜Ｔ５は、図１，２におけるＴ１〜Ｔ５にそれぞれ対応している。
以下、Ｔ１〜Ｔ５の時間毎に、本実施形態における露光システム全体の動作について説明する。
【００２６】
（Ｔ１）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が基板Ｋ３を保持して粗位置決め部１０からＡ面露光部２０へ移動する。
Ａ面露光部２０：キャリアＡ２が基板Ｋ２を保持してＡ面露光部２０反転部３０へ移動する。
反転部３０：キャリアＢ１が保持面Ｂ１−６ａを垂直にして待機中。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１と原版フィルム４３との密着を確認する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２７】
（Ｔ２）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が基板Ｋ３をＡ面露光部２０において保持を解除した後、空のキャリアＡ１がＡ面露光部２０から粗位置決め部１０へ戻る。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３をキャリアＡ１から受け取り、保持する。
反転部３０：キャリアＡ２が基板Ｋ２を保持したまま、移動を継続する。この途中で、ラックギヤ３１と第１ギヤＡ２−４とがかみ合い、基板Ｋ２を保持する保持部Ａ２−６が回転する。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１のＢ面を露光する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２８】
（Ｔ２〜Ｔ３）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が待機中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３を保持中。
反転部３０：基板Ｋ２がキャリアＡ２の保持部Ａ２−６に保持されたまま、キャリアＢ１の保持面Ｂ１−６ａに密着して保持され、その後に、保持部Ａ２−６による保持が解除される。これにより、基板Ｋ２がキャリアＡ２からキャリアＢ１に受け渡される。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ１のＢ面の露光が完了する。
搬出部５０：キャリアＢ２が待機中。
【００２９】
（Ｔ３）
粗位置決め部１０：キャリアＡ１が待機中。基板Ｋ４が新たに投入され、粗位置決めを開始する。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３を整合する。
反転部３０：空のキャリアＡ２は、戻りながら、保持部Ａ２−６が垂直から水平へ回転する。同時に、基板Ｋ２を保持したキャリアＢ１は、移動しながら、保持部Ｂ１−６が垂直から水平へ回転する。
Ｂ面露光部４０：キャリアＢ２が搬出部から移動してきて、基板Ｋ１を保持する。
搬出部５０：待機中。
【００３０】
（Ｔ４）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３と原版フィルム２３との密着を確認する。
反転部３０：キャリアＡ２は、Ａ面露光部２０に戻る手前で停止し、待機する。
Ｂ面露光部４０：キャリアＢ１から基板Ｋ２を受け取る。キャリアＢ２は、基板Ｋ１を搬出部へ移動する。
搬出部５０：待機中。
【００３１】
（Ｔ５）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：基板Ｋ３のＡ面を露光する。
反転部３０：キャリアＡ２は、待機中。キャリアＢ１は、Ｂ面露光部４０から戻り移動を行う。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ２を保持して待機中。
搬出部５０：基板Ｋ１を搬出する。
【００３２】
（Ｔ６）
粗位置決め部１０：基板Ｋ４の粗位置決め中。
Ａ面露光部２０：キャリアＡ２が反転部３０から移動してきて、基板Ｋ３を保持する。
反転部３０：キャリアＢ１が保持部Ｂ１−６を水平から垂直へ回転しながら戻る。
Ｂ面露光部４０：基板Ｋ２の整合を行う。
搬出部５０：待機中。
【００３３】
Ｔ６の後には、Ｔ１からの動作を繰り返す。このように、本実施形態における露光システムは、Ｔ１〜Ｔ６を１つの節（タクト）として繰り返し、複数の基板Ｋに対して同時に処理を行う。本実施形態では、この１つのタクトに要する時間（タクトタイム）は、１２秒であった。
【００３４】
（比較例）
本実施形態と比較するために、移動しながらの反転を行わない従来の手法を用いた場合のタクトタイムを求めた。
図６は、比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
比較例では、キャリアＡ１が基板を保持して反転部のキャリアＢ１上に移動してくると、キャリアＡ１が下降して基板をキャリアＡ２とキャリアＢ１とにより両側から保持する。そして、そのまま１８０度回転して基板の表裏を反転させる。その後に、キャリアＢ１が基板を保持して上昇し、移動を行う。
【００３５】
図７は、比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
図７に示すように、反転に要する時間が長くなり、Ａ面露光とＢ面露光の後に、待機している時間が発生しており、タクトタイムは、１８秒となっており、本実施形態のタクトタイム１２秒に比べて、５割も長く掛かっている。
【００３６】
本実施形態によれば、キャリアＡ２，Ｂ１が回転しながら移動を行い、反転動作を２つのキャリアに分担させたので、反転動作に要する時間を短くすることができる。
また、キャリアＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の保持部の上下動作を行うシリンダを粗位置決め部１０，Ａ面露光部２０，Ｂ面露光部４０，搬出部５０に設けたので、各キャリアに保持部を上下動作用のアクチュエータを設ける必要が無く、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることができると共に、保持部に必要な空気配管のみ行えばよいので、シリンダ用の配管が移動する空間が不要であり、空間を有効に利用することができ、配置の自由度を高くすることができる。
各キャリアは、独立して移動するので、キャリアの駆動源は、４つ必要であることから、各キャリアを駆動するときに必要な駆動力を小さくすることにより得られる効果は大きく、小型で低出力の駆動源を使用することにより、システム全体を小さくすることができ、必要な消費電力等も少なくすることができる。
更に、反転を行うときに、基板を吸着したまま行うので、基板の位置が安定しており、反転後に粗位置決めを行う必要もない。
【００３７】
（変形形態）
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の均等の範囲内である。
例えば、本実施形態では、第１ギヤＡ２−４、第２ギヤＡ２−５を用いて、減速を行う例を示したが、これに限らず、例えば、減速を行わなくてもよいし、更にギヤを追加して、減速してもよい。
また、キャリアＡ２，Ｂ１の保持部の回転は、ラックとギヤの組合わせにより行う例を示したが、これに限らず、例えば、キャリアＡ２，Ｂ１の移動に応じて、保持部が所定位置に回転移動するように、斜面や溝等及び係合部を有する案内部により回転させてもよいし、別途駆動源としてモータ等をキャリアＡ２，Ｂ１に設けてもよい。
更に、本実施形態では、搬送反転装置を露光システムに使用した例を示したが、これに限らず、搬送反転装置は、基板の反転が必要な各種システムに使用してもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳しく説明したように、請求項１の発明によれば、基板の第１の面を保持し、第１の回転手段を有する第１のユニットと、基板の第２の面を保持し、第２の回転手段を有する第２のユニットと、基板の保持を第１の保持手段から第２の保持手段に切り替えるように第１及び第２のユニットを制御する制御部とを備えたので、反転動作を分担して行うことができ、反転に要する動作時間を短くすることができる。
【００３９】
請求項２の発明によれば、第１及び／又は第２の回転手段は、第１及び／又は第２のラックギヤとかみ合い、回転を第１及び／又は第２の保持手段に伝えるギヤ部材を備えるので、回転専用の駆動源を設けなくてもよくすることができる。また、駆動源を第１及び第２のユニットと共に移動する必要もないので、第１及び第２のユニットの移動に必要な駆動力を小さくすることができる。
【００４０】
請求項３の発明によれば、第１及び第２のユニットは、第１及び第２の付勢手段を備え、基板渡し部及び基板受取部には、第１及び第２のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第１及び第２のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第１及び第２のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【００４１】
請求項４の発明によれば、第１の露光部により露光された基板を反転させる請求項１又は請求項２に記載の搬送反転装置を有する反転部を備える露光システムであるので、反転部によって反転された基板について、再度の粗位置決めを省略することができる。
【００４２】
請求項５の発明によれば、第１及び第２のユニットは、第１及び第２の付勢手段を備え、第１及び第２の露光部には、第１及び第２のアクチュエータが固定されているので、保持面の動作に必要な駆動源を移動する必要が無く、第１及び第２のユニットの移動を小さい駆動力で行うことができる。また、第１及び第２のアクチュエータに接続される動力伝達部材も移動する必要がないので、空間を有効に利用することができる。
【００４３】
請求項６の発明によれば、第３のユニットと第４のユニットとを備え、第１及び第２のユニットは、第１の露光部と第２の露光部との間に設けられているので、複数の基板の処理を同時に行うことができ、効率よく処理を行うことができる。
【００４４】
請求項７の発明によれば、第３及び第４のユニットは、第３及び第４の付勢手段を備え、第１及び第２のアクチュエータは、それぞれ第３及び第４の付勢手段に抗して第３及び第４の保持部の駆動も行うので、第３及び第４のユニット専用のアクチュエータを設ける必要が無く、露光システムを小型で安価にすることができる。
【００４５】
請求項８の発明によれば、粗位置決め部及び搬出部には、第３及び第４の保持手段を駆動する第３及び第４のアクチュエータが固定されているので、粗位置決め部及び搬出部を簡単な構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
【図２】本発明による搬送反転装置（反転部）と、この搬送反転装置を含む露光システムの第１実施形態の動作を説明する図である。
【図３】キャリアＡ２を拡大した図である。
【図４】キャリアＡ２を図３中の矢印Ｘ方向から見た図である。
【図５】本実施形態における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【図６】比較例とした露光システムの反転動作を説明する図である。
【図７】比較例における露光システムの各部の動作を時間毎に示す図である。
【符号の説明】
１０  粗位置決め部
１１  シリンダ（第３のアクチュエータ）
２０  Ａ面露光部
２１  シリンダ（第１のアクチュエータ）
３０  反転部
４０  Ｂ面露光部
４１  シリンダ（第２のアクチュエータ）
５０  搬出部
５１  シリンダ（第３のアクチュエータ）
Ａ１  キャリア（第３のユニット）
Ａ１−６  保持部
Ａ２  キャリア（第１のユニット）
Ａ２−６  保持部
Ｂ１  キャリア（第２のユニット）
Ｂ１−６  保持部
Ｂ２  キャリア（第４のユニット）
Ｂ２−６  保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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