(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、
上記基板を配置させてその支持を行う基板支持部と、
上記基板支持部に支持された上記基板における上記端子部の表面より離間された第１の位置において、当該クリーニング部材を支持する第１の支持部と、
上記端子部表面から離間されかつ上記第１の位置より上記端子部沿いの方向に配置された第２の位置において、当該クリーニング部材を支持する第２の支持部と、
上記第１の位置と上記第２の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、上記基板の上記端子部に当接させて加圧するクリーニングヘッド部と、
上記端子部沿いの方向に、上記第１の支持部及び上記第２の支持部を一体的にかつ上記基板に対して相対的に移動させる支持部移動装置と、
上記支持部移動装置による上記第１の支持部及び上記第２の支持部の第１の移動速度とは異なる第２の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記クリーニングヘッド部を上記基板に対して相対的に移動させるクリーニングヘッド移動装置とを備える基板端子クリーニング装置。
【請求項２】
上記支持部移動装置による上記第１の移動速度での移動により、上記端子部に当接された状態の上記クリーニング部材を、上記端子部沿いに移動させ、
上記クリーニングヘッド移動装置による上記第２の移動速度と上記第１の移動速度との移動速度差でもって、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接位置を、上記第１の位置と上記第２の位置との間で可変させる請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項３】
上記支持部移動装置は、上記第１の支持部及び上記第２の支持部と一体的に上記クリーニングヘッド移動装置を上記第１の移動速度で移動可能であって、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記支持部移動装置による上記移動の際に、上記第１の支持部及び上記第２の支持部に対して上記クリーニングヘッド部を、上記第２の移動速度と上記第１の移動速度との差の移動速度でもって相対的に移動させる請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項４】
上記端子部表面から離間されかつ上記第１の支持部及び上記第２の支持部とともに上記端子部沿いの方向に配置された第３の位置において、上記クリーニング部材を支持する第３の支持部と、
第１の上記クリーニングヘッドとは別に備えられ、上記第２の支持位置と上記第３の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、その当接位置において上記基板の上記端子部に当接させて加圧する第２のクリーニングヘッド部とをさらに備え、
上記支持部移動装置は、上記第１の支持部、上記第２の支持部、及び上記第３の支持部を一体的に移動させ、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第１の移動速度とは異なる第３の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記第２のクリーニングヘッド部を移動させる請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項５】
上記第２の移動速度と上記第３の移動速度とは同じ移動速度であって、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第１のクリーニングヘッド部及び上記第２のクリーニングヘッド部を一体的に上記第２の移動速度でもって移動させる請求項４に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項６】
上記クリーニングヘッド部は、
上記端子部に加圧可能に、上記クリーニング部材の一部と当接するクリーニング部材当接部と、
上記端子部への上記クリーニング部材の加圧高さ位置と、上記端子部より離間された加圧解除高さ位置との間で、当該クリーニング部材当接部を昇降させる昇降装置とを備える請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項７】
上記支持部は、上記クリーニング部材を走行可能に支持する支持用ローラ部であって、
上記クリーニングヘッド部における上記クリーニング部材当接部は、移動可能に上記クリーニング部材と当接される当接用ローラ部である請求項６に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項８】
上記クリーニングヘッド移動装置における上記第２の移動速度は、上記支持部移動装置における上記第１の移動速度よりも大きく設定されている請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項９】
上記支持部移動装置による上記第１の支持部の上記端子部のクリーニング領域の移動に要する時間は、上記クリーニングヘッド移動装置による上記第１の位置の近傍における上記当接位置から上記第２の位置の近傍における上記当接位置への上記クリーニングヘッド部の移動に要する時間以下となるように、上記第１の移動速度及び上記第２の移動速度が設定される請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項１０】
上記端子部の表面及び裏面を共にクリーニング実施可能に、上記基板を介して、上記それぞれの支持部及び上記クリーニングヘッド部が一対に備えられ、
当該一対のクリーニングヘッド部は、上記端子部における同じ位置における表面及び裏面のそれぞれに上記各々のクリーニング部材を当接させる請求項１に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項１１】
上記一対のそれぞれの支持部は、上記第１の移動速度でもって互いに同期して移動されるとともに、上記一対のクリーニングヘッド部は、上記第２の移動速度でもって互いに同期して移動される請求項１０に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項１２】
上記第１の支持部と上記第３の支持部との間に配置される上記第２の支持部は、上記第１の支持位置と上記第２の支持位置との間に配置された上記クリーニング部材の支持姿勢に対して、上記第２の支持位置と上記第３の支持位置との間に配置された当該クリーニング部材の支持姿勢を表裏反転させる捩り機構を備える請求項４又は５に記載の基板端子クリーニング装置。
【請求項１３】
基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子のクリーニング方法において、
上記基板における上記端子部の表面より離間された第１の位置と、上記第１の位置より上記端子部に沿った方向に離間して配置された第２の位置とにおいて、上記クリーニング部材を支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第１及び第２の位置並びに上記クリーニング部材を上記基板に対して第１の移動速度で移動させるとともに、上記第１の位置と上記第２の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部が上記基板の上記端子部に当接される当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第１の移動速度とは異なる第２の移動速度にて、上記基板に対して移動させる基板端子のクリーニング方法。
【請求項１４】
上記端子部表面から離間されかつ上記第１及び上記第２の位置とともに上記端子部沿いの方向に配置された第３の位置において、上記クリーニング部材をさらに支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第１、第２、及び第３の位置、並びに上記クリーニング部材を上記基板に対して上記第１の移動速度で移動させるとともに、上記第２の位置と上記第３の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部がさらに上記基板の上記端子部に当接される第２の当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第１の移動速度とは異なる第３の移動速度にて、上記基板に対して移動させる請求項１３に記載の基板端子のクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板における端子部をクリーニングする基板端子クリーニング装置に関するものであって、特に、上記基板として液晶パネルの実装端子面へのＩＣ等の実装品質を向上させるための液晶パネル実装端子面をクリーニングする液晶パネル端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶パネルの需要は急成長しており、液晶パネルの品質、歩留まりの向上が強く望まれている。その中で液晶パネルの実装工程での品質、歩留まり向上のためには、実装工程の直前に再度実装面のクリーニング（洗浄あるいは清掃）を行うことが効果的であり、液晶パネル端子クリーニング装置に対する関心が高まっている。
【０００３】
ここで、従来の液晶パネル端子クリーニング装置の構成（例えば、特許文献１参照）について、以下に説明する。従来のクリーニング装置においては、液晶パネルの端子部をその両面より挟み込むような形状に構成された一対のクランプ爪部と、このクランプ爪部の内側に沿って供給配置される帯状のクリーニング布とが備えられている。このようなクランプ爪部により、液晶パネルの端子部の表裏面を、クリーニング布を介して把持し、当該把持状態を保ちながら、帯状の端子部に沿ってクランプ爪部を移動させることにより、端子部の表裏面に付着しているパーティクルや油分等をクリーニング布にて拭き取ることで、端子部をクリーニングすることができる。
【０００４】
【特許文献１】特許第３４４５７０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、このような液晶パネルの大型化が進んできており、それに伴って、クリーニング布による拭き取りクリーニングを行う端子部のクリーニング領域も長大化している。しかしながら、上述のような従来のクリーニング装置の構成では、端子部に対する拭き取りクリーニングの開始から終了まで、クリーニング布の同じ部分が端子部と接触されていることとなり、上記端子部のクリーニング領域の長大化により、一度拭き取った汚れが引き延ばされてクリーニング布より端子部へ再度付着させてしまう場合がある。また、このようなクリーニング領域の長大化により、一度のクリーニング動作によってもクリーニング布が汚れる度合いも大きくことからも、上記汚れの再付着の問題が顕著となっている。このような場合にあっては、液晶パネルの実装工程における品質向上が阻害されてしまうという問題がある。
【０００６】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させて、当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、当該クリーニング部材より上記端子部へ汚れの再付着を確実に防止して、効率的かつ良好なクリーニング処理を行うことができる基板端子クリーニング装置及び基板端子のクリーニング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００８】
本発明の第１態様によれば、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子クリーニング装置において、
上記基板を配置させてその支持を行う基板支持部と、
上記基板支持部に支持された上記基板における上記端子部の表面より離間された第１の位置において、当該クリーニング部材を支持する第１の支持部と、
上記端子部表面から離間されかつ上記第１の位置より上記端子部沿いの方向に配置された第２の位置において、当該クリーニング部材を支持する第２の支持部と、
上記第１の位置と上記第２の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、上記基板の上記端子部に当接させて加圧するクリーニングヘッド部と、
上記端子部沿いの方向に、上記第１の支持部及び上記第２の支持部を一体的にかつ上記基板に対して相対的に移動させる支持部移動装置と、
上記支持部移動装置による上記第１の支持部及び上記第２の支持部の第１の移動速度とは異なる第２の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記クリーニングヘッド部を上記基板に対して相対的に移動させるクリーニングヘッド移動装置とを備えることを特徴とする基板端子クリーニング装置を提供する。
【０００９】
本発明の第２態様によれば、上記支持部移動装置による上記第１の移動速度での移動により、上記端子部に当接された状態の上記クリーニング部材を、上記端子部沿いに移動させ、
上記クリーニングヘッド移動装置による上記第２の移動速度と上記第１の移動速度との移動速度差でもって、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接位置を、上記第１の位置と上記第２の位置との間で可変させる第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１０】
本発明の第３態様によれば、上記支持部移動装置は、上記第１の支持部及び上記第２の支持部と一体的に上記クリーニングヘッド移動装置を上記第１の移動速度で移動可能であって、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記支持部移動装置による上記移動の際に、上記第１の支持部及び上記第２の支持部に対して上記クリーニングヘッド部を、上記第２の移動速度と上記第１の移動速度との差の移動速度でもって相対的に移動させる第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１１】
本発明の第４態様によれば、上記端子部表面から離間されかつ上記第１の支持部及び上記第２の支持部とともに上記端子部沿いの方向に配置された第３の位置において、上記クリーニング部材を支持する第３の支持部と、
第１の上記クリーニングヘッドとは別に備えられ、上記第２の支持位置と上記第３の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部を、その当接位置において上記基板の上記端子部に当接させて加圧する第２のクリーニングヘッド部とをさらに備え、
上記支持部移動装置は、上記第１の支持部、上記第２の支持部、及び上記第３の支持部を一体的に移動させ、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第１の移動速度とは異なる第３の移動速度にて、上記端子部沿いの方向に上記第２のクリーニングヘッド部を移動させる第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１２】
本発明の第５態様によれば、上記第２の移動速度と上記第３の移動速度とは同じ移動速度であって、
上記クリーニングヘッド移動装置は、上記第１のクリーニングヘッド部及び上記第２のクリーニングヘッド部を一体的に上記第２の移動速度でもって移動させる第４態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１３】
本発明の第６態様によれば、上記クリーニングヘッド部は、
上記端子部に加圧可能に、上記クリーニング部材の一部と当接するクリーニング部材当接部と、
上記端子部への上記クリーニング部材の加圧高さ位置と、上記端子部より離間された加圧解除高さ位置との間で、当該クリーニング部材当接部を昇降させる昇降装置とを備える第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１４】
本発明の第７態様によれば、上記支持部は、上記クリーニング部材を走行可能に支持する支持用ローラ部であって、
上記クリーニングヘッド部における上記クリーニング部材当接部は、移動可能に上記クリーニング部材と当接される当接用ローラ部である第６態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１５】
本発明の第８態様によれば、上記クリーニングヘッド移動装置における上記第２の移動速度は、上記支持部移動装置における上記第１の移動速度よりも大きく設定されている第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１６】
本発明の第９態様によれば、上記支持部移動装置による上記第１の支持部の上記端子部のクリーニング領域の移動に要する時間は、上記クリーニングヘッド移動装置による上記第１の位置の近傍における上記当接位置から上記第２の位置の近傍における上記当接位置への上記クリーニングヘッド部の移動に要する時間以下となるように、上記第１の移動速度及び上記第２の移動速度が設定される第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１７】
本発明の第１０態様によれば、上記端子部の表面及び裏面を共にクリーニング可能に、上記基板を介して、上記それぞれの支持部及び上記クリーニングヘッド部が一対に備えられ、
当該一対のクリーニングヘッド部は、上記端子部における同じ位置における表面及び裏面のそれぞれに上記各々のクリーニング部材を当接させる第１態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１８】
本発明の第１１態様によれば、上記一対のそれぞれの支持部は、上記第１の移動速度でもって互いに同期して移動されるとともに、上記一対のクリーニングヘッド部は、上記第２の移動速度でもって互いに同期して移動される第１０態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００１９】
本発明の第１２態様によれば、上記第１の支持部と上記第３の支持部との間に配置される上記第２の支持部は、上記第１の支持位置と上記第２の支持位置との間に配置された上記クリーニング部材の支持姿勢に対して、上記第２の支持位置と上記第３の支持位置との間に配置された当該クリーニング部材の支持姿勢を表裏反転させる捩り機構を備える第４態様又は第５態様に記載の基板端子クリーニング装置を提供する。
【００２０】
本発明の第１３態様によれば、基板の表面に帯状に形成された端子部に、帯状のクリーニング部材を当接させながら上記端子部に沿って移動させることにより、当該端子部のクリーニングを行う基板端子のクリーニング方法において、
上記基板における上記端子部の表面より離間された第１の位置と、上記第１の位置より上記端子部に沿った方向に離間して配置された第２の位置とにおいて、上記クリーニング部材を支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第１及び第２の位置並びに上記クリーニング部材を上記基板に対して第１の移動速度で移動させるとともに、上記第１の位置と上記第２の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部が上記基板の上記端子部に当接される当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第１の移動速度とは異なる第２の移動速度にて、上記基板に対して移動させる基板端子のクリーニング方法を提供する。
【００２１】
本発明の第１４態様によれば、上記端子部表面から離間されかつ上記第１及び上記第２の位置とともに上記端子部沿いの方向に配置された第３の位置において、上記クリーニング部材をさらに支持しながら、上記端子部沿いの方向に上記第１、第２、及び第３の位置、並びに上記クリーニング部材を上記基板に対して上記第１の移動速度で移動させるとともに、上記第２の位置と上記第３の位置との間にて上記支持された状態のクリーニング部材の一部がさらに上記基板の上記端子部に当接される第２の当接位置を、上記端子部沿いの方向に上記第１の移動速度とは異なる第３の移動速度にて、上記基板に対して移動させる第１３態様に記載の基板端子のクリーニング方法を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、第１の支持部と第２の支持部とにより支持された状態のクリーニング部材の一部を端子部表面に当接させた状態で、支持部移動装置により当該端子部沿いに第１の移動速度でもって移動させることで、上記クリーニング部材の一部により上記支持部表面に付着された汚れを拭き取りながら、上記クリーニング部材の一部を当接させるクリーニングヘッド部を、クリーニングヘッド移動装置により上記第１の移動速度とは異なる第２の移動速度でもって上記端子部沿いに移動させることで、上記クリーニング部材に対する上記クリーニングヘッド部の当接の位置を可変させることができる。すなわち、上記端子部の拭き取りを行うクリーニング部材の上記一部の位置を、その移動過程において変化させ、常に拭き取り未使用の部分を上記端子部に接触させながら上記拭き取り動作を行うことができる。従って、一度拭き取りによりクリーニング部材に付着された汚れが、当該クリーニング部材より上記端子部に再付着されることを防止することができ、高精度なクリーニング動作を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の記述を続ける前に、添付図面において同じ部品については同じ参照符号を付している。
【００２４】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２５】
（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる基板端子クリーニング装置の一例である端子クリーニング装置１０１の主要な構成を示す模式斜視図を図１に示す。本第１実施形態の端子クリーニング装置１０１は、液晶表示装置（液晶パネル）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットディスプレイパネル用の基板表面における縁部等に形成された端子部（あるいは端子部表面又は端子部配置領域）を、クリーニング部材の一例であるクリーニング布に接触させて拭き取ることによりクリーニングを行う装置である。なお、本明細書において、「クリーニング」とは、洗浄又は清掃により、対象物に付着している汚れの除去を行うことであり、例えば有機溶剤等を染みこませたクリーニング布を用いて行うような湿式クリーニングや溶剤等を用いない乾式クリーニングの両者を含むものである。
【００２６】
ここで、装置の具体的構成を説明するに先立って、このような基板における端子部近傍の構造について、図１１に示す模式図を用いて以下に説明する。なお、図１１においては、基板５が液晶パネルであるような場合を一例として、その構造を示している。
【００２７】
図１１に示すように、基板５は、例えばガラス基板パネル５１をベース層とした多層構造を有している。具体的には、ガラス基板パネル５１の図示上面には液晶５２、カラーフィルタ５３、別のガラス基板パネル５４、さらに偏光板５５が積層されており、ガラス基板パネル５１の図示下面には偏光板５６が積層された構造を有している。このように、それぞれの層が積層された構造を有する部分が、基板５における表示部４となっており、この表示部４に対して、図示上面側からバックライト等の光源を用いて光を照射させることで、表示部４の図示下面側において所望の画像等を視認可能に表示させることが可能となっている。
【００２８】
また、図１１に示すように、ガラス基板パネル５１は、その他の層よりも大きく形成されて、表示部４の端部よりも突き出るように形成されている。このように表示部４の周囲において表示部４の表面よりも一段下がるように形成されたガラス基板パネル５１の表面が電極面となっており、このような電極面が形成された部分（領域）が端子部６となっている。このような端子部６には、基板５を外部の電子回路等と接続するための多数の電極端子６ａが配置される。
【００２９】
例えば、表示部４と端子部６との境界に形成された段部３（図示上面側の段部）の高さは、例えば０．７ｍｍ程度であり、表示部４の周囲に沿って形成された端子部６の幅（すなわち長手方向とは直交する方向の長さ寸法）は例えば５ｍｍ程度となるように形成されている。なお、このような端子部６は、略方形状を有する表示部４の周囲における少なくとも一辺に形成されており、一般的には、上記略方形状の２辺若しくは３辺において、周縁部として形成されている。
【００３０】
本第１実施形態の端子クリーニング装置１０１は、このような構造を有する基板５において、端子部６の表面の洗浄を行う装置である。
【００３１】
次に、具体的な装置構成について以下に説明する。図１に示すように、端子クリーニング装置１０１は、搬送供給される基板５を解除可能に保持するとともに、基板５における端子部６のクリーニングのための位置決め動作を実施可能に、当該保持された基板５を、その表面沿いの方向であるＸ軸方向又はＹ軸方向、さらに当該表面内における回転方向であるθ方向に移動させる基板支持ステージ７と、この基板支持ステージ７により保持された基板５の端子部６に対して、クリーング処理を行うクリーニングユニット１０を備えている。
【００３２】
基板支持ステージ７は、四角形板状の基板５の中央付近において、基板５の下面が載置されるとともに、当該載置された基板５を解除可能に吸着保持する基板保持部８と、この基板保持部を図示Ｘ軸方向及びＹ軸方向に進退移動させるとともに、基板保持部８をθ方向に回転移動させる保持部移動装置９とを備えている。なお、このような保持部移動装置９は、ボールねじ軸機構やシリンダ機構等を用いた駆動機構により構成することができる。また、保持部移動装置９は、上述のようにＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びθ方向における移動動作に加えて、基板５の表面に直交する方向であるＺ軸方向にも基板保持部８を移動させる機構を有しており、これにより、基板支持ステージ７により支持された基板５は、全ての方向への移動を行うことができ、上記クリーニング処理のための確実な位置決めを行うことが可能となっている。
【００３３】
クリーニングユニット１０は、基板保持ステージ７にて保持された基板５の上面側において端子部６に対するクリーニング処理を行う第１のクリーニングヘッド部１１と、この第１のクリーニングヘッド部１１に隣接して配置された第２のクリーニングヘッド部１２と、第１のクリーニングヘッド部１１と基板５に対して対称に配置され、その裏面側において端子部６に対するクリーニング処理を行う第３のクリーニングヘッド部１３と、この第３のクリーニングヘッド部１３に隣接して配置されるとともに、第２のクリーニングヘッド部１２と基板５に対して対称に配置された第４のクリーニングヘッド部１４との合計４個のクリーニングヘッド部１１〜１４を備えている。
【００３４】
また、図１に示すように、クリーニングユニット１０における図示上面側においては、帯状（テープ状）のクリーニング布２がリールに巻き回された状態にて保持するとともに、上記クリーニング処理のためにクリーニング布２を、第１のクリーニングヘッド部１１及び第２のクリーニングヘッド部１２に供給する第１のクリーニング布供給部１５と、当該クリーニング処理に用いられたクリーニング布２をリールに巻き回させて回収する第１のクリーニング布回収部１６とが備えられている。同様に、クリーニングユニット１０における図示下面側においても、第２のクリーニング布供給部１７及び第２のクリーニング布回収部１８が備えられている。なお、第１のクリーニング布供給部１５と第１のクリーニング布回収部１６との間においては、一続きの帯状のクリーニング布２が取り扱われ、同様に第２のクリーニング布供給部１７と第２のクリーニング布回収部１８との間においても、一続きのクリーニング布２が取り扱われる。なお、本実施形態においては、クリーニング布２として、例えば、合成繊維を編み込んだ布材料を用いて、幅１０〜１３ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ程度の大きさでテープ状に形成されたものが用いられる。
【００３５】
ここで、クリーニングユニット１０において、第１のクリーニングヘッド部１１及び第２のクリーニングヘッド部１２に関係する構成について、図３及び図４の模式構成図に示す。なお、図３は、図示Ｘ軸方向からクリーニングユニット１０を見た場合の部分模式側面図であり、図４は、図３のクリーニングユニット１０におけるＡ−Ａ線矢視図である。また、クリーニングユニット１０において、第１のクリーニングヘッド部１１及び第２のクリーニングヘッド部１２と、第３のクリーニングヘッド部１３及び第４のクリーニングヘッド部１４とは、基板５に対して対称関係の構造を有しているため、それぞれのクリーニングヘッド部の構成を代表して、図３及び図４においては、第１のクリーニングヘッド部１１及び第２のクリーニングヘッド部１２の構成についてのみを示し、その説明を行うものとする。
【００３６】
図３及び図４に示すように、クリーニングユニット１０の図示上面側においては、第１のクリーニング布供給部１５より図示Ｘ軸方向に沿って供給されたクリーニング布２を、当該Ｘ軸方向に沿っての走行を案内可能に支持する３つの支持部（支持用ローラ）である第１のローラ部２１、第２のローラ部２２、及び第３のローラ部２３が備えられている。また、第１のローラ部２１によるクリーニング布２の支持位置である第１の位置Ｐ１と、第２のローラ部２２による支持位置である第２の位置Ｐ２と、第３のローラ部２３による支持位置である第３の位置Ｐ３は、Ｘ軸方向に沿って略直線状に配置されている。
【００３７】
また、図３及び図４に示すように、それぞれのローラ部２１〜２３により支持された状態のクリーニング布２における第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間の当接位置（第１の当接位置）Ｐ１１において、クリーニング布２の図示上面に当接されるように第１のクリーニングヘッド部１１が配置され、また、第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３との間の当接位置（第２の当接位置）Ｐ１２において、クリーニング布２の図示上面に当接されるように第２のクリーニングヘッド部１２が配置されている。また、第１のクリーニングヘッド部１１は、当接位置Ｐ１１にて、クリーニング布２の一部と当接されるクリーニング部材当接部の一例であって当接用ローラ部の一例でもあるヘッドローラ部１１ａと、このヘッドローラ部１１ａを昇降させる昇降部１１ｂとを備えている。同様に、第２のクリーニングヘッド部１２も、当接位置Ｐ１２にて、クリーニング布２の一部と当接されるヘッドローラ部１２ａと、このヘッドローラ部１２ａを昇降させる昇降部１２ｂとを備えている。
【００３８】
第１のクリーニングヘッド部１１において、昇降部１１ｂは、ヘッドローラ部１１ａに当接された状態のクリーニング布２を、基板５の表面における端子部６に接触させて所定の加圧力でもって加圧した状態とする加圧高さ位置と、クリーニング布２と端子部６との接触を確実に解除して、基板支持ステージ７による基板５の移動が行われた場合であっても、基板５との干渉が確実に防止された高さ位置である加圧解除高さ位置との間で、ヘッドローラ部１１ａを昇降させることが可能となっている。同様に、第２のクリーニングヘッド部１２においても、昇降部１２ｂは、加圧高さ位置と加圧解除高さ位置との間で、ヘッドローラ部１２ａを昇降させることが可能となっている。なお、このような昇降部１１ｂ及び１２ｂは、例えばシリンダ機構を用いて構成することができる。
【００３９】
また、図３及び図４に示すように、クリーニングユニット１０においては、昇降部１１ｂ及び１２ｂは、共通フレーム２４に支持されてその支持位置が固定されおり、さらにこの共通フレーム２４を、図示Ｘ軸方向に沿って進退移動させるクリーニングヘッド移動装置３０が備えられている。また、このクリーニングヘッド移動装置３０及びそれぞれのローラ部２１〜２３は、共通フレーム２４とは、分離されたメインフレーム２５に支持されてその支持位置が固定されている。クリーニングユニット１０においてこのような構成が採用されていることにより、それぞれのローラ部２１〜２３に対して相対的に、ヘッドローラ部１１ａ及び１１ｂをＸ軸方向に進退移動させることが可能となっている。すなわち、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間におけるクリーニング布２に対して、ヘッドローラ部１１ａによる当接位置Ｐ１１を自由に可変させることが可能となっており、また、第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３との間におけるクリーニング布２に対して、ヘッドローラ部１２ａによる当接位置Ｐ１２を自由に可変させることが可能となっている。なお、このようなクリーニングヘッド移動装置３０は、例えばシリンダ機構を用いて構成することができる。また、クリーニング布２に当接しながらのこのような移動を考慮して、ヘッドローラ部１１ａ及び１２ａの形状は、滑らかな形状とすることが好ましい。なお、このようなヘッドローラ部や支持用ローラ部は、例えば樹脂材料にて形成される。
【００４０】
また、このようなクリーニングユニット１０における上面側の構成は、その下面側においても同様に備えられており、第３のクリーニングヘッド部１３及び第４のクリーニングヘッド部１４のそれぞれのローラ部に対する相対的な移動が可能となっている。
【００４１】
また、図１に示すように、端子クリーニング装置１０１においては、クリーニングユニット１０の上記上面側の構成及び下面側の構成を一体的な状態で、図示Ｘ軸方向に進退移動させる支持部移動装置の一例であるユニット移動装置３１が備えられている。具体的には、ユニット移動装置３１は、上記上面側の構成におけるメインフレーム２５と、このメインフレーム２５に相当する下面側のメインフレーム（図示しない）とを、互いに一体的な状態にて、図示Ｘ軸方向に沿って進退移動させることが可能となっている。なお、このようなユニット移動装置３１は、例えばボールねじ軸機構を用いて構成することができ、さらに、上記進退方向に沿ってその移動を高精度に案内する移動案内用レール等が用いられることが好ましい。
【００４２】
このようにユニット移動装置３１により、クリーニングユニット１０が、図示Ｘ軸方向手前側向きをそのクリーニング方向Ｄとして移動可能とされていることにより、それぞれのヘッドローラ部１１ａ及び１２ａが加圧高さ位置に位置されてクリーニング布２を端子部６の表面に加圧した状態で、当該クリーニング布２をクリーニング方向Ｄに沿って移動させて、端子部６の表面を拭き取るようにクリーニングを行うことが可能となっている。なお、クリーニングユニット１０におけるそれぞれのクリーニング布供給部１５、１７、及びクリーニング布回収部１６、１８には、クリーニング布２に対して所定の張力を付与する図示しない張力付与部が備えられており、上記拭き取り状態においてクリーニング布２に対して弛みが生じないように構成されている。
【００４３】
さらにクリーニングユニット１０には、このようなクリーニング処理の開始前の端子部６の表面状態の画像を撮像することで、当該表面の汚れ度合いを認識するクリーニング前確認用カメラ３２と、クリーニング処理の実施後の端子部６の表面状態の画像を撮像することで、当該表面の汚れの除去度合いを認識するクリーニング後確認用カメラ３３とが備えられている。
【００４４】
また、端子クリーニング装置１０１においては、基板支持ステージ７による基板５の保持動作及び位置合わせ動作、クリーニングユニット１０におけるそれぞれの動作、ユニット移動装置３１によるクリーニングユニット１０の移動動作、及びそれぞれの確認用カメラ３２、３３による認識動作を、互いに関連付けながら、統括的に制御を行う制御装置２０が備えられている。
【００４５】
なお、図２に示す端子クリーニング装置１０１においては、長方形状を有する基板５が、長手方向を図示Ｙ軸方向に沿って基板支持ステージ７に保持された状態を示している。このように基板支持ステージ７は、基板５をその表面沿いのあらゆる向きにおいて保持することが可能となっていることにより、基板５の外周全体の縁部に設けられた端子部６に対して、クリーニング処理を施すことが可能となっている。
【００４６】
次に、このような構成を有する端子クリーニング装置１０１において、基板５の端子部６に対してクリーニング処理を行う動作について、図５、図６、及び図７の模式説明図を用いて以下に説明する。なお、以下において説明するクリーニング処理は、端子クリーニング装置１０１が備える制御装置２０によりそれぞれの構成部が互いに関連付けられて統括的に制御されることにより行われる。
【００４７】
まず、図１に示すように、端子クリーニング装置１０１において、クリーニング処理が行われる基板５が図示しない搬送装置により搬送されて、基板支持ステージ７の基板保持部８に載置されて保持される。その後、基板保持部８が保持部移動装置９により、図示Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、又はθ軸方向に移動されることにより、上記クリーニング処理の対象となる端子部６と、クリーニングユニット１０との位置合わせが行われる。
【００４８】
また、この位置合わせとともに、あるいは位置合わせの前に、クリーニングユニット１０においては、それぞれのクリーニング布供給部１５及び１７とクリーニング布回収部１６及び１８とにより、クリーニング布２の供給送り動作及び回収動作が行われ、新たなクリーニング布２がそれぞれのローラ部２１、２２、及び２３により支持された状態とされる。
【００４９】
上記位置合わせ及びクリーニング布２の送り動作が完了した後、クリーニングユニット１０の上面側の構成である第１のクリーニングヘッド部１１及び第２のクリーニングヘッド部１２においては、ヘッドローラ部１１ａ及び１２ａがクリーニング方向Ｄの上流側に位置、すなわち、ヘッドローラ部１１ａの当接位置Ｐ１１が第２の位置Ｐ２に近接するように、また、ヘッドローラ部１２ａの当接位置Ｐ１２が第３の位置Ｐ３に近接するように、クリーニングヘッド移動装置３０により移動されて位置された状態とされる。また、クリーニングユニット１０の下面側の構成である第３のクリーニングヘッド部１３及び第４のクリーニングヘッド部１４においても同様に、それぞれのヘッドローラ部がクリーニング方向Ｄの上流側の位置へと位置された状態とされる。
【００５０】
また、それとともに、クリーニングユニット１０の上面側の構成におけるそれぞれのクリーニングヘッド部１１及び１２において、ヘッドローラ部１１ａ及び１２ａが、昇降部１１ｂ及び１２ｂにより下降されて、加圧解除高さ位置から加圧高さ位置へと位置される。また、クリーニングユニット１０の下面側の構成におけるそれぞれのクリーニングヘッド部１３及び１４においても、同様の動作が行われて、図示しない昇降部によりヘッドローラ部が上昇されて加圧解除高さ位置から加圧高さ位置へと位置される。このような状態におけるクリーニングユニット１０と基板５の端子部６との位置関係が、図５の模式説明図に示す状態である。
【００５１】
図５に示すように、第１のクリーニングヘッド部１１におけるヘッドローラ部１１ａは、高さ方向において加圧高さ位置に位置されているとともに、基板５の表面沿いの方向において第２の位置Ｐ２に近接した位置に位置されており、また、第２のクリーニングヘッド１２におけるヘッドローラ部１２ａは、高さ方向において加圧高さ位置に位置されているとともに、基板５の表面沿いの方向において第３の位置Ｐ３に近接した位置に位置されている。さらに、第３クリーニングヘッド部１３におけるヘッドローラ部１３ａも、高さ方向において加圧高さ位置に位置されるとともに、基板５の表面沿いの方向において第２の位置Ｐ２に近接した位置に位置されている。そして、第４クリーニングヘッド部１４におけるヘッドローラ部１４ａも、高さ方向において加圧高さ位置に位置されるとともに、基板５の表面沿いの方向において第３の位置Ｐ３に近接した位置に位置されている。
【００５２】
また、基板５の上面側と下面側において、それぞれのクリーニングヘッド部１１〜１４は、基板５を対称面として、上下対称に配置されている。すなわち、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａと、第３のクリーニングヘッド部１３のヘッドローラ部１３ａとは、基板５の表面沿いの方向において同じ位置、すなわち当接位置Ｐ１１に位置されており、また、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａと、第４のクリーニングヘッド部１４のヘッドローラ部１４ａとは、基板５の表面沿いの方向において同じ位置、すなわち当接位置Ｐ１２に位置されている。このようにそれぞれのヘッドローラ部１１ａ〜１４ａが基板５を挟んで対称の位置関係を有していることにより、ヘッドローラ部１１ａ及び１３ａによりクリーニング布２を介在させながら基板５の端子部６を表裏面から挟み込んだ状態とされ、また、ヘッドローラ部１２ａ及び１４ａによりクリーニング布２を介在させながら基板５の端子部６を表裏面から挟み込んだ状態とされている。
【００５３】
次に、図５に示す状態において、ユニット移動装置３１によりクリーニングユニット１０のクリーニング方向Ｄに向けての移動を開始する。この移動においては、クリーニングユニット１０は、クリーニング方向Ｄに向けて例えば移動速度Ｖ１（第１の移動速度、すなわち基板５に対する移動速度）にてその移動が行われる。すなわち、当該移動により、第１の位置Ｐ１と第３の位置Ｐ３との間において支持されているクリーニング布２は、第１の移動速度Ｖ１でもってクリーニング方向Ｄへ移動されることとなる。これにより、基板５の端子部６の表面及び裏面に当接位置Ｐ１１及びＰ１２でもって当接されているクリーニング布２の当接部分が、端子部６との接触状態が保たれながら、クリーニング方向Ｄに向けて移動され、端子部６の表面及び裏面がクリーニング布２により拭き取られてクリーニングされることとなる。なお、当該移動に際して、基板５の上面側及び下面側において、それぞれのローラ部２１、２２、２３、２６、２７、及び２８は、互いに一体的な配置関係が保たれた状態とされる。
【００５４】
このユニット移動装置３１によるクリーニングユニット１０の移動の開始とともに、クリーニングヘッド移動装置３０による共通フレーム２４のクリーニング方向Ｄに向けての移動が開始される。具体的には、図６に示すように、クリーニングユニット１０の上面側の構成において、第２の位置Ｐ２に近接した位置に位置されていたヘッドローラ部１１ａを第１の位置Ｐ１へ向けて移動されるとともに、第３の位置Ｐ３に近接した位置に位置されていたヘッドローラ部１２ａを第２の位置Ｐ２へ向けて移動させるように、上記クリーニングヘッド移動装置３０による移動を移動速度Ｖ２でもって行う。また、このクリーニングユニット１０の上面側の構成における移動と同期させて、下面側の構成においても、第２の位置Ｐ２に近接した位置に位置されていたヘッドローラ部１３ａを第１の位置Ｐ１へ向けて移動されるとともに、第３の位置Ｐ３に近接した位置に位置されていたヘッドローラ部１４ａを第２の位置Ｐ２へ向けて移動させるように、上記クリーニングヘッド移動装置３０による移動を行う。
【００５５】
このようなクリーニングヘッド移動装置３０による移動が行われることにより、それぞれのヘッドローラ部１１ａ〜１４ａによるクリーニング布２に対する当接位置Ｐ１１、Ｐ１２が可変されることとなる。すなわち、例えば、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間にて支持された状態のクリーニング布２を例にとって説明すると、当該クリーニング布２の一部が当接位置Ｐ１１にて端子部６の表面に接触された状態にて、移動速度Ｖ１でもってクリーニング方向Ｄに向けて移動されながら、さらにその移動状態において、その当接位置Ｐ１１が移動速度Ｖ２でもって第１の位置Ｐ１へ向けて移動されることとなる。従って、端子部６の表面に接触するクリーニング布２の当接部分を常に新しい清浄な状態の部分とすることができる。
【００５６】
なお、この移動状態をそれぞれのローラ部２１〜２３及び２６〜２８の基板５に対する移動速度Ｖａと、それぞれのヘッドローラ部１１ａ〜１４ａの基板５に対する移動速度Ｖｂ（第２の移動速度）との関係で説明すると、Ｖａ＝Ｖ１にてクリーニング方向Ｄへのローラ部の移動が行われ、Ｖｂ＝Ｖ１＋Ｖ２にてクリーニング方向Ｄへのヘッドローラ部の移動が行われることとなる。
【００５７】
その後、図７に示すように、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａ及び第３のクリーニングヘッド部１３のヘッドローラ部１３ａが、クリーニング方向Ｄにおける端子部６の端部へと到達すると、ユニット移動装置３１によるクリーニングユニット１０の移動が停止される。また、当該状態においては、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａ及び第３のクリーニングヘッド部１３のヘッドローラ部１３ａが、第１の位置Ｐ１に近接する位置にまで移動された状態とされるとともに、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａ及び第４のクリーニングヘッド部１４のヘッドローラ部１４ａが、第２の位置Ｐ２に近接する位置にまで移動された状態とされ、当該状態においてクリーニングヘッド移動装置３０による移動も停止される。
【００５８】
その後、それぞれのクリーニングヘッド部１１〜１４において、ヘッドローラ部１１ａ〜１４ａが昇降部により加圧高さ位置から加圧解除高さ位置へと移動されて、端子部６の表裏面に対するクリーニング布２の接触が解除される。このようにクリーニング布２の接触が解除されると、第１のクリーニング布供給部１５及び第１のクリーニング布回収部１６によりクリーニング布２の送り動作及び回収動作が行われて、第１の位置Ｐ１と第３の位置Ｐ３との間において端子部６に接触した部分のクリーニング布２を新たなクリーニング布２に入れ替える。第２のクリーニング布供給部１７及び第２のクリーニング布回収部１８においても同様な動作を行い、クリーニング布２における使用済みの部分を未使用の部分に入れ替える動作を行う。
【００５９】
その後、端子クリーニング装置１０１において、例えば、保持部移動装置９により基板保持部８をθ方向に９０度回転させるとともに、Ｘ、Ｙ、又はＺ軸方向に移動させることで、基板５の別の縁部における端子部６とクリーニングユニット１０との位置合わせを行う。当該位置合わせの後、上述の同様な手順でもって当該別の端子部６に対してクリーニング処理を行う。
【００６０】
基板５に対する全ての端子部６に対するクリーニング処理が完了すると、基板支持ステージ７による基板５の保持が解除されて、図示しない搬送装置に基板５が受け渡され、基板５が排出される。これで、基板５の端子部６に対する一連のクリーニング処理が完了する。
【００６１】
ここで、クリーニングユニット１０によるクリーニング処理において用いられたクリーニング布２における当接位置Ｐ１１及びＰ１２の位置の変化を、図５〜図７に示す状態と対応させて示す模式説明図を図８Ａ〜図８Ｃに示す。なお、図８Ａに示す状態は、図５の状態と対応しており、図８Ｂに示す状態は、図６の状態と対応しており、図８Ｃに示す状態は、図７の状態と対応している。
【００６２】
まず、図８Ａに示すように、クリーニング処理開始の際のクリーニング布２においては、当接位置Ｐ１１における端子部６との当接領域Ｒ１１は、第２の位置Ｐ２に近接した位置に配置されており、当接位置Ｐ１２における端子部６との当接領域Ｒ１２は、第３の位置Ｐ３に近接した位置に配置されている。
【００６３】
その後、それぞれのヘッドローラ部１１ａ〜１４ａが、それぞれのローラ部２１〜２３及び２６〜２８に対して相対的に移動速度Ｖ２でもってクリーニング方向Ｄに移動されることにより、図８Ｂに示すように、それぞれの当接領域Ｒ１１、Ｒ１２が、クリーニング方向Ｄに向けて移動された状態とされる。
【００６４】
さらにその後、クリーニング処理完了の際のクリーニング布２においては、当接領域Ｒ１１は第１の位置Ｐ１に近接した位置に配置されており、当接領域Ｒ１２は第２の位置Ｐ２に近接した位置に配置されている。
【００６５】
このようにクリーニング処理の過程において、それぞれの当接領域Ｒ１１、Ｒ１２の移動が行われることにより、当接領域Ｒ１１の軌跡領域Ｒ１が第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間に渡って配置され、また、当接領域Ｒ１２の軌跡領域Ｒ２が第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３との間に渡って配置されることとなる。従って、従来のクリーニング方法のように、ヘッド等の移動によるクリーニング動作を実施している間において、クリーニング布の一部の限られた領域のみを使用するのではなく、端子部６への当接位置Ｐ１１、Ｐ１２を可変させながら、常に未使用の部分でもって拭き取りクリーニングを行うことができるとともに、クリーニング布２全体を無駄なく効率的に使用することができる。よって、高い清浄性でもってのクリーニングを可能としながら、効率的にクリーニング布を使用することができる端子クリーニング装置１０１を提供することができる。
【００６６】
また、このような端子クリーニング装置１０１においては、端子部６に対するヘッドローラ部１１ａ〜１４ａの移動の際に、端子部６に接触されるクリーニング布２の部分を常に異なる面とすることができるため、一度拭きとった汚れを端子部６に再付着させることを確実に防止することができ、特に近年長大化される液晶パネル等に対する端子部のクリーニング処理に適している。
【００６７】
なお、図８Ｃに示すように、クリーニング処理が完了した時点において、当接領域Ｒ１１の移動軌跡Ｒ１が第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２との間に収まり、かつ、当接領域Ｒ１２の移動軌跡Ｒ２が第２の位置Ｐ２と第３の位置Ｐ３との間に収まるように、それぞれの位置Ｐ１〜Ｐ３が設定されるとともに、移動速度Ｖ１及びＶ２が設定されるようにすることが好ましい。
【００６８】
なお、本第１の実施形態のクリーニングユニット１０は、上述の説明のような構成のみに限られるものではなく、その他様々な構成を採用することができる。例えば、図９Ａ、図９Ｂ、及び図９Ｃの模式説明図に示すクリーニングユニット４０のように、第１のクリーニングヘッド部４１におけるヘッドローラ部４１ａと、第２のクリーニングヘッド部４２におけるヘッドローラ部４２ａとを互いに異なる構造のものとするような場合であってもよい。
【００６９】
具体的には、図９Ｃに示すように、第１のクリーニングヘッド部４１のヘッドローラ部４１ａとして、端子部６における隅部を重点的にクリーニングする小型のローラを用い、図９Ｂに示すように、第２のクリーニングヘッド部４２のヘッドローラ部４２ａとして、端子部６の全面を全体的にクリーニングする大型のローラを用いるような構成が採用されている。
【００７０】
このような構成が採用されることにより、基板５の端子部６において、汚れが拭き取り難い隅部を確実かつ高精度にクリーニングすることができる。なお、図９Ｃに示すように、小型のヘッドローラ部４１を端子部６の隅部に付勢するようなバネ部４１ｃが用いられることで、当該隅部のクリーニング効果をより向上させることができる。
【００７１】
また、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａと、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａとのＹ軸方向における位置を異ならせるように配置させるような構成を採用することもできる。特に、端子部６のＹ軸方向における領域幅が大きいような場合にあってが、このように２つのヘッドローラ部１１ａと１２ａとの位置を異ならせることで、全領域に対する確実なクリーニング処理を実現することができる。
【００７２】
また、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａと、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａとの大きさだけでなく、種類自体を互いに異なるものとするような構成を採用することもできる。例えば、一方のヘッドローラ部をローラ形状としながら、他方のヘッドローラ部をブレード状のもの、あるいはブラシ状のものとすることもできる。このような場合にあっては、より多様化されたクリーニング態様に対応することができ、様々な種類の基板のクリーニング処理に対応することが可能となる。
【００７３】
また、図５〜図７を用いたクリーニング処理の説明においては、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａの当接位置Ｐ１２が、基板５の端子部６の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が開始されるような場合について説明したが、本第１実施形態のクリーニング処理はこのような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、例えば、図５において、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａの当接位置Ｐ１１が基板５の端子部６の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が開始されるような場合であってもよい。
【００７４】
また、同様に、図７に示すように、第１のクリーニングヘッド部１１のヘッドローラ部１１ａの当接位置Ｐ１１が基板５の端子部６の端部に位置された状態にて、クリーニング処理が完了するような場合に代えて、さらにクリーニングユニット１０の移動を行い、第２のクリーニングヘッド部１２のヘッドローラ部１２ａの当接位置Ｐ１２が基板５の端子部６の端部にまで位置させた状態にて、クリーニング処理が完了されるような場合であってもよい。このような場合あっては、クリーニング方向Ｄにおいて端子部６の全ての領域を、２度拭き取ることができ、クリーニング性を向上させることができる。
【００７５】
また、上述の説明においては、クリーニング処理において、クリーニングヘッド移動装置３０によるそれぞれのクリーニングヘッド部１１、１２の移動方向が、クリーニング方向Ｄと同じ向きであるような場合について説明したが、このような場合のみに限られず、クリーニング方向Ｄと逆向きに移動させるような場合であってもよい。ただし、図５から図７に示すように、クリーニング方向Ｄと同じ向きに移動させる方が、ユニット移動装置３１によるクリーニングユニット１０の移動範囲を小さくすることができ、クリーニング処理に要する時間を短縮することができるという観点、及び、端子クリーニング装置１０１全体の小型化という観点からは好ましい。なお、第１のクリーニングヘッド部１１と第２のクリーニングヘッド部１２とは、同じ向きに移動されるような場合のみに限られず、異なる向きに移動されるような場合であってもよい。
【００７６】
また、クリーニングヘッド移動装置３０がメインフレーム２５に固定され、メインフレーム２５がユニット移動装置３１により移動されるような場合について説明したが、このような場合に代えて、それぞれの移動装置３０、３１が互いに独立して備えられているような場合であってもよい。それぞれのローラ部２１〜２３及び２６〜２８の移動速度Ｖａと、それぞれのヘッドローラ部１１ａ〜１４ａの移動速度Ｖｂが互いに異なるという関係を有すれば、移動装置の主従関係に拘わらず、本第１実施形態による効果を得ることができる。
【００７７】
また、本第１実施形態の端子クリーニング装置１０１においては、基板支持ステージ７により保持された基板５を固定して、当該基板５に対してクリーニングユニット１０を移動させることで、上記クリーニング処理を行うような場合について説明したが、このような場合についてのみ限られるものではない。このような場合に代えて、クリーニングユニット１０を固定して、基板支持ステージ７により基板５を移動させるような場合であっても良い。このような場合であっても、上記クリーニング処理のための両者の相対的な移動を行うことができるからである。
【００７８】
（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる端子クリーニング装置が備えるクリーニングユニット１１０の部分的な構成を示す模式説明図を図１０に示す。
【００７９】
図１０に示すように、クリーニングユニット１１０においては、第１のクリーニングヘッド部１１１により基板５の端子部６に当接されるクリーニング布２の当接面と、第２のクリーニングヘッド部１１２により端子部６に当接されるクリーニング布２の当接面とが、互いに表裏反転するように、クリーニング布２の表面と裏面とを反転させる捩り機構１２０が備えられている点において、上記第１実施形態のクリーニングユニット１０とは異なる構成を有している。
【００８０】
具体的には、図１０に示すように、クリーニングユニット１１０は、上面側の構成部分において、供給されるクリーニング布２を走行案内可能に支持する４個のローラ部１２１、１２２、１２３、１２４と、それぞれのローラ部１２１〜１２４とは９０度異なる方向に配置され、中央付近に配置されるローラ部１２２及び１２３の間に支持されたクリーニング布２を支持しながら表面と裏面とを反転させる捩り用ローラ部１２５とを備えている。すなわち、上記中央付近の２個のローラ部１２２及び１２３と、捩り用ローラ部１２５とにより、クリーニング布２を反転させる捩り機構１２０が構成されている。
【００８１】
また、図１０に示すように、クリーニングユニット１１０の下面側の構成部分においても、基板５を挟んで対称の構成が備えられており、４個のローラ部１２６〜１２９と、捩り用ローラ部１３１とが備えられ、中央付近の２個のローラ部１２７及び１２８と、捩り用ローラ部１３１とにより捩り機構１３０が構成されている。
【００８２】
このようにそれぞれの捩り機構１２０、１３０が備えられていることにより、第１のクリーニングヘッド部１１１による端子部６へのクリーニング布２の当接面と、第２のクリーニングヘッド部１１２による端子部６へのクリーニング布２の当接面とを表裏反転させることができるとともに、第３のクリーニングヘッド部１１３による端子部６へのクリーニング布２の当接面と、第４のクリーニングヘッド部１１４による端子部６へのクリーニング布２の当接面とを表裏反転させることができる。従って、例えば、第１のクリーニングヘッド部１１１にて使用したクリーニング布２の裏面を第２のクリーニングヘッド１１２にて使用することが可能となり、良好なクリーニング精度を保ちながら、クリーニング布２をより効率的に使用することが可能となる。
【００８３】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００８４】
本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
【００８５】
２００５年４月１日に出願された日本国特許出願Ｎｏ．２００５−１０５９４３号の明細書、図面、及び特許請求の範囲の開示内容は、全体として参照されて本明細書の中に取り入れられるものである。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
本発明のこれらと他の目的と特徴は、添付された図面についての好ましい実施形態に関連した次の記述から明らかになる。
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態にかかる端子クリーニング装置の主要な構成を示す模式構成図である。
【図２】図２は、上記第１実施形態の端子クリーニング装置において、基板の保持の向きが９０度回転された状態を示す模式構成図である。
【図３】図３は、図１の端子クリーニング装置が備えるクリーニングユニットの構成を示す模式図である。
【図４】図４は、図３のクリーニングユニットにおけるＡ−Ａ線矢視模式図である。
【図５】図５は、上記第１実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の開始時の状態を示す図である。
【図６】図６は、上記第１実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の実施中の状態を示す図である。
【図７】図７は、上記第１実施形態の端子クリーニング装置におけるクリーニング処理の動作を示す模式説明図であって、クリーニング処理の完了時の状態を示す図である。
【図８Ａ】図８Ａは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を示す模式説明図であって、図５のクリーニング処理開始時の状態を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を図８Ａに続いて示す模式説明図であって、図６のクリーニング処理実施中の状態を示す図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、上記クリーニング処理の際におけるクリーニング布の当接領域の配置状態を図８Ｂに続いて示す模式説明図であって、図７のクリーニング処理完了時の状態を示す図である。
【図９Ａ】図９Ａは、上記第１実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、クリーニングユニット全体を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、上記第１実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、第２のクリーニングヘッド部を示す図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、上記第１実施形態のクリーニングユニットの変形例を示す模式説明図であって、第１のクリーニングヘッド部を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の第２の実施形態にかかるクリーニングユニットの構成を示す模式構成図である。
【図１１】図１１は、基板における端子部近傍の構成を示す模式説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０】
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【図１１】
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