(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周部分に沿ってリングフレームが配置される粘着シートの一部領域に貼着されるとともに片面に保護テープが貼着された被着体を保持してなる転写体を支持する支持体と、前記保護テープの一端側に接着された剥離テープを把持する把持手段とを備え、当該把持手段が前記剥離テープを把持した状態で支持体と相対移動することにより、前記保護テープを前記一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離装置であって、
前記被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当該剥がれ部分に相対する前記粘着シートの粘着面との間において、前記被着体の剥離方向終端縁と前記リングフレームとの間に表出する前記粘着面の全領域に邪魔部材を配置可能に設けられ、
前記邪魔部材は、前記被着体における粘着シート被着面の面方向であって直線方向に前記支持体と相対移動可能に設けられていることを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
前記転写体を略鉛直方向に移動可能に支持する転写体支持手段を備えていることを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は剥離装置に係り、更に詳しくは、被着体の外側に表出する粘着シートの粘着面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを回避可能な剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、表面側が回路面となる略円盤状の半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という）が知られている。このウェハは、一般的に、前記回路面に保護テープを貼着した後で、裏面側をグラインダー等により切削加工することで厚みが調整される。そして、リングフレームの内側に表出するダイシングテープの粘着面側にウェハの裏面側を貼り合わせた状態で、保護テープをウェハの表面側から剥がし、その後、当該ウェハを賽の目状に切断することにより半導体チップが形成される。
【０００３】
ところで、本出願人は、保護テープをウェハから剥離する作業を軽減するために、当該剥離作業を自動化できる剥離装置を提案した（特願２０００−１０６８２７号等参照）。この剥離装置は、リングフレームの内側で表出するダイシングテープに貼着されたウェハがテーブルに保持された状態で、ウェハに貼着された保護テープの一端側に剥離テープを熱融着し、当該剥離テープを把持させた剥がしヘッド部とテーブルとを保護テープの面に略沿う方向に相対移動させることにより、保護テープの一端側から他端側に向かって当該保護テープを次第にウェハから剥離させるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記剥離装置にあっては、保護テープの剥離後に、当該保護テープの剥がれ部分がダイシングテープの粘着面に不用意に付着し易く、この付着した保護テープを前記粘着面から取り除く作業が新たに必要になる場合があるという問題がある。すなわち、リングフレームは、ウェハよりも大径に設定されており、それらの間には、ダイシングテープの粘着面が表出した状態となっている。そのため、剥がしヘッド部及びテーブルの相対移動によって、保護テープの剥がれ部分が前記粘着面上を通過する際に、前記剥がれ部分が垂れ下がって粘着面に付着してしまうことがある。
【０００５】
【発明の目的】
本発明は、既提案の構造上の問題に鑑みて更にこれを改良したものであり、その目的は、被着体の外側に表出する粘着シートの粘着面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを防止可能な剥離装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、外周部分に沿ってリングフレームが配置される粘着シートの一部領域に貼着されるとともに片面に保護テープが貼着された被着体を保持してなる転写体を支持する支持体と、前記保護テープの一端側に接着された剥離テープを把持する把持手段とを備え、当該把持手段が前記剥離テープを把持した状態で支持体と相対移動することにより、前記保護テープを前記一端側から他端側に向かって次第に被着体から剥離する剥離装置であって、
前記被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当該剥がれ部分に相対する前記粘着シートの粘着面との間において、前記被着体の剥離方向終端縁と前記リングフレームとの間に表出する前記粘着面の全領域に邪魔部材を配置可能に設けられ、
前記邪魔部材は、前記被着体における粘着シート被着面の面方向であって直線方向に前記支持体と相対移動可能に設けられる、という構成を採っている。このような構成によれば、邪魔部材の存在によって、保護テープの剥がれ部分が相対する粘着シートの粘着面に不用意に付着する虞を解消することができ、当該粘着面から前記剥がれ部分を取り除く作業を不要とすることができる。また、保護テープの剥離開始時には、当該剥離作業の邪魔にならない位置に邪魔部材を退避させることが可能になる他、邪魔部材の配置位置を調整することができ、サイズの異なる被着体に対する保護テープの剥離作業にも難なく対応可能となる。
【０００７】
また、本発明において、前記転写体を略鉛直方向に移動可能に支持する転写体支持手段を備える、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【０００９】
図１には、本実施例に係る剥離装置１０に適用されるウェハ転写体１２の概略斜視図が示されており、図２には、図１の拡大縦断面図が示されている。これらの図において、ウェハ転写体１２は、被着体としての略円盤状の半導体ウェハ（以下、「ウェハＷ」という）と、このウェハＷの表面側となる回路面に貼着される保護テープＣと、ウェハＷの裏面側に貼着されるとともに、ウェハＷよりも大きな平面積となる粘着シートとしてのダイシングテープＴと、このダイシングテープＴの外周部分に沿って配置されるリングフレームＲとにより構成されている。このウェハ転写体１２は、ウェハＷの外周側とリングフレームＲの内周側との間に略円環状の隙間が存在し、当該隙間からダイシングテープＴの粘着面Ｓが表出するようになっている。
【００１０】
剥離装置１０は、図示しないグラインダー等で裏面が切削された後のウェハＷから保護テープＣを剥離する装置である。すなわち、この剥離装置１０は、図３に模式的に示されるように、保護テープＣの一端側に剥離テープＡを接着して、当該剥離テープＡの一端側を把持しながらその他端側に向かってウェハＷとの間で相対移動させることにより保護テープＣをウェハＷから剥離できるように設定されたものである。ここで、剥離テープＡは、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等の耐熱性フィルムに感熱性接着剤層を設けたもの、或いは、感熱性フィルムによって全体を構成したものが例示できる。要するに、剥離テープＡとしては、保護テープＣのウェハＷへの粘着力よりも高い接着力を確保することができ、保護テープＣをウェハＷから確実に剥離できる限りにおいて、種々の材質のものを採用することができる。
【００１１】
剥離装置１０は、図４に示されるように、ウェハ転写体１２を略鉛直方向及び略水平方向に移動可能に支持する転写体支持手段２２と、この転写体支持手段２２側に支持されたウェハ転写体１２における保護テープＣの一端側に剥離テープＡを接着するテープ接着切断手段２３と、剥離テープＡの端部を把持可能な把持手段２５とを備えて構成されている。
【００１２】
前記転写体支持手段２２は、図５及び図６に示されるように、ウェハ転写体１２を昇降可能に支持するテーブルユニット２７と、このテーブルユニット２７を左右方向に移動させる移動機構２８と、テーブルユニット２７の図５及び図６左方に位置するととともに、テーブルユニット２７に対して離間接近可能なサイド部材２９とを備えている。
【００１３】
テーブルユニット２７は、図示しないバキュームポンプからの吸引力によってウェハ転写体１２を吸着保持可能に設けられた支持体としてのテーブル３１と、このテーブル３１の下方に位置する板状のベース部材３３と、このベース部材３３に固定されるとともに、当該ベース部材３３に対してテーブル３１を昇降させる昇降シリンダー３５と、テーブル３１の昇降をガイドするガイド部材３６とを備えている。テーブル３１は、特に限定されるものではないが、図６中左右幅が１２インチ用のリングフレームＲの直径よりやや長尺に設定される一方、同図中上下幅がそのリングフレームＲの直径よりも小さくなっており、これにより、ウェハ転写体１２は、その図６中上下両側がテーブル３１よりもはみ出した状態でテーブル３１上に載置されることとなる。
【００１４】
移動機構２８は、図５に示されるように、ベース部材３３の下方位置で図５中左右方向に延びるレール部材３８と、このレール部材３８に沿って摺動可能に設けられ、当該ベース部材３３を固定する摺動部材３９と、当該摺動部材３９をレール部材３８に沿って摺動させる駆動装置４２とによって構成されている。
【００１５】
前記サイド部材２９は、図５及び図６に示されるように、上部に位置する略長片状の邪魔板４４（邪魔部材）と、この邪魔板４４の図５中左端側から垂下するブラケット４６と、このブラケット４６の下端側に連なるともに、ベース部材３３の裏面側に固定されて同図中左右方向に延びるガイド４８上を移動可能に係合する摺動部材４９とを備えて構成されている。
【００１６】
ブラケット４６は、側面視略Ｕ字状に設けられており、その下端側にベース部材３３に固定される第１，第２シリンダー５１，５２のロッド５１Ａ，５２Ａが連結されている（図５、図６参照）。このため、第１シリンダー５１又は第２シリンダー５２が駆動すると、サイド部材２９がガイド４８に沿って移動し、サイド部材２９がテーブルユニット２７に対して離間接近することとなる。また、ブラケット４６に設けられた開放部４６Ａは、邪魔板４４がテーブルユニット２７に接近したときに、昇降シリンダー３５の駆動により最下降した状態のテーブル３１及びベース部材３３が共に通過可能に設けられている。
【００１７】
前記テープ接着切断手段２３及び把持手段２５は、例えば、前記特願２０００−１０６８２７号で既に提案された構造が主に採用されている。
【００１８】
すなわち、テープ接着切断手段２３は、図７に示されるように、前記剥離テープＡを繰り出すテープ繰出部５４と、テープ繰出部５４によって繰り出された剥離テープＡをウェハＷ上の保護テープＣの端部に接着するとともに、当該接着後の剥離テープＡをテープ繰出部５４側から切り離すヒーターカッター部５６とを備えて構成されている。
【００１９】
テープ繰出部５４は、図示しない昇降機構によって全体的に昇降可能に設けられており、剥離テープＡを巻回保持するテープ保持体５８と、このテープ保持体５８から繰り出された剥離テープＡを挟持する一対のピンチローラー５９及びガイドローラー６０と、これらピンチローラー５９及びガイドローラー６０の下流側に位置するテープ受け板６２と、このテープ受け板６２の上方に位置するとともに、当該テープ受け板６２に対して上下動可能に設けられた第１テープ押さえ板６３とを備えている。
【００２０】
ヒーターカッター部５６は、図示しない昇降機構によってテープ繰出部５４と相対的に昇降可能に設けられており、剥離テープＡを保護テープＣの図７中右端側に熱溶着させるヒーター部材６５と、このヒーター部材６５の周囲に設けられる一対のテープ押さえガイド６６，６６と、図７中左側のテープ押さえガイド６６に固定される第２テープ押さえ板６９と、このテープ押さえ板６９を上下方向に貫通して同図中紙面直交方向に移動可能なカッター刃７０とを備えて構成されている。ここで、ヒーター部材６５は、テープ押さえガイド６６に対して昇降可能に設けられており、第２テープ押さえ板６９は、テープ押さえガイド６６の下端側が保護テープＣ側に押さえ付けられた状態で、剥離テープＡをテープ受け板６２との間で挟み込み可能に設けられている。
【００２１】
前記把持手段２５は、剥離テープＡを把持可能な剥がしヘッド部７２を備えている。この剥がしヘッド部７２は、図示しない移動機構によって、昇降可能に設けられるとともに、図７中左方に向かって移動可能に設けられている。また、剥がしヘッド７２の先端側には、内向きのチャック７３が設けられており、剥離テープＡの端部を挟み込み可能となっている。
【００２２】
次に、剥離装置１０の全体的作用について説明する。
【００２３】
先ず、図示しないグラインダー等によって厚みを調整した後のウェハＷが保持されたウェハ転写体１２をテーブル３１上に吸着保持させる。そして、剥離テープＡを繰り出して、ウェハ転写体１２が吸着保持されたテーブル３１をテープ繰出部５４の下方まで移動させる（図４参照）。その後、剥離テープＡの先端側を剥がしヘッド部７２のチャック７３で挟持し、当該剥がしヘッド部７２をテープ繰出部５４から離反する方向に移動させて剥離テープＡを引き出す（図８参照）。そして、この状態から、ヒーターカッター部５６が下降し、第１及び第２のテープ押さえ板６３，６９、テープ押さえガイド６６によって剥離テープＡが押さえられ、ヒーター部材６５によって、剥離テープＡのリード端側がウェハＷ上の保護テープＣの図中右端側上部に熱融着される（図７参照）。その後、カッター刃７０が図７中紙面直交方向に移動し、保護テープＣに熱融着された剥離テープＡをテープ保持体５８側から切り離す。
【００２４】
そして、テープ繰出部５４及びヒーターカッター部５６が上昇し、その後、図９に示されるように、保護テープＣの図９中右端側に熱融着された剥離テープＡの端部を挟持する剥がしヘッド部７２が同図中左方（矢印方向）に移動するとともに、テーブル３１を含むテーブルユニット２７が剥がしヘッド部７２と離反する方向（同図中右方）に移動する。これによって、保護テープＣが同図中右端側から左端側に向かってウェハＷから次第に剥離されることになる。この際、剥離方向の終端側に位置する邪魔板４４は、テーブル３１と略同一の高さとなる当該テーブル３１の左側位置で、テーブルユニット２７と一体的に図９中右方に移動する。
【００２５】
ここで、剥離テープＡによりウェハＷから剥離される保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１がウェハＷの図１０の状態となったときに、剥がしヘッド部７２及びテーブル３１の相対移動が一旦停止する。そして、図１０に示されるように、テーブル３１が昇降シリンダー３５の下降動作によりベース部材３３に向かって下降し、その後、サイド部材２９が第１シリンダー５１の作動によりテーブル３１に向かって接近する。そして、サイド部材２９の邪魔板４４の先端側をウェハＷの図６，図１０中左端部分の上方位置Ｐ１に配置させる。これによって、ウェハＷの図６，図１０中左端側とリングフレームＲとの間で表出するダイシングテープＴの粘着面Ｓが邪魔板４４によって上方から覆われることになる。すなわち、ここでの邪魔板４４は、保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１と当該剥がれ部分Ｃ１に相対する粘着面Ｓとの間に配置された状態となる。そして、この状態のまま、剥がしヘッド部７２及びテーブル３１が再び相対移動し（図１１参照）、剥離テープＡ付きの保護テープＣが完全にウェハＷから剥離される。
このように、剥離テープＡによってウェハＷから剥離された保護テープＣは、剥がしヘッド部７２の移動により廃棄ボックス７５（図１，図１２参照）上に送られた後で、チャック７３が開放し、上方からのエアブローによって廃棄ボックス７５内に落下される。
この際、保護テープＣの剥離後のウェハＷを含むウェハ転写体１２は、テーブルユニット２７に載置された状態から図示しないロボットアーム等によって搬出されて、図示しない収納ボックス内に収納され、或いは、ウェハを賽の目状に切断するダイシング工程を行うダイサー等に搬送される。
そして、ウェハ転写体１２が搬出されたテーブル３１上には、新しいウェハ転写体１２が図示しないロボットアームにより載置されて、剥がしヘッド部７２の下方に位置するように搬送され、上記工程が繰り返し行われる。
【００２６】
従って、このような実施例によれば、邪魔板４４の存在によって、保護テープＣをウェハＷから剥離する際に、保護テープＣの剥がれ部分Ｃ１がダイシングテープＴの粘着面Ｓの露出面に不用意に付着することを防ぐことができ、当該粘着面Ｓから保護テープＣを取り除く作業を不要にすることができるという効果を得る。
【００２７】
なお、邪魔板４４の上面には、特殊剥離コーティング（トシカル表面処理）が施されて仮に保護テープＣの粘着面が接触しても容易に剥離可能に処理される。
【００２８】
また、前記実施例においては、リングフレームＲを備えたウェハ転写体１２に対する保護テープＣの剥離について説明したが、この剥離装置１０にあっては、図６で図示するように、サイズの異なったリングフレームＲ（Ｒ１，Ｒ２）を備えたウェハ転写体１２に対しても保護テープＣの剥離を行うことが可能である。例えば、１２インチと８インチのリングフレームＲ１，Ｒ２を備えたウェハ転写体１２を適用した場合に、邪魔板４４を前述の位置に移動させることで１２インチサイズに対応できる一方、８インチサイズに対応させるためには、図６に示されるように、第１及び第２シリンダー５１，５２を作動させることで、前記実施例の場合よりも邪魔板４４を図６中更に右方に移動させ、前記実施例の場合と同様に邪魔板４４の先端側がウェハＷの端部の上方位置Ｐ２に配置されるようになっている。
【００２９】
また、前記実施例にあっては、サイド部材２９をテーブル３１側に離間接近可能にするとともに、テーブル３１をベース部材３３に対して昇降シリンダー３５により昇降可能な構成としたが、本発明はこれに限らず、サイド部材２９或いはテーブル３１の何れか一方の部材のみを他方の部材に対して昇降及び離間接近可能な構成とすることもできる。
【００３０】
要するに、本発明における装置各部の構成は図示構成例に限定されるものではなく、保護テープＣの剥がれ部分とダイシングテープＴの粘着面Ｓとの間に邪魔板４４等の邪魔部材を配置する限りにおいて、種々の変更が可能である。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、被着体から剥離された保護テープの剥がれ部分と当該剥がれ部分に相対する粘着シートの粘着面との間に邪魔部材を配置したから、被着体の外側に表出する粘着シートの粘着面に保護テープの剥がれ部分が不用意に付着することを防止できる。
【００３２】
また、前記邪魔部材を支持体と相対移動可能に設けたから、保護テープの剥離開始時には、当該剥離作業の邪魔にならない位置に邪魔部材を退避させることが可能になる他、邪魔部材の配置位置を調整することができ、サイズの異なる被着体に対する保護テープの剥離作業にも難なく対応可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施例に係る剥離装置に適用されるウェハ転写体の概略斜視図。
【図２】図１の拡大縦断面図。
【図３】前記剥離装置による剥離作業を模式的に示した概略斜視図。
【図４】前記剥離装置の概略正面図。
【図５】転写体支持手段の拡大正面図。
【図６】図５の要部拡大平面図。
【図７】テープ接着切断手段の拡大正面図。
【図８】剥離テープを繰り出す状態を説明するための要部拡大図。
【図９】保護テープを剥離し始めた状態を示す要部拡大図。
【図１０】保護テープの剥離途中で邪魔板が移動する状態を説明するための要部拡大図。
【図１１】保護テープの剥離終了直前の状態を示す要部拡大図。
【図１２】保護テープの剥離終了後の状態を示す要部拡大図。
【符号の説明】
１０  剥離装置
１２  ウェハ転写体（転写体）
２２  転写体支持手段
２５  把持手段
３１  テーブル（支持体）
４４  邪魔板（邪魔部材）
７２  剥がしヘッド部（把持手段）
Ａ  剥離テープ
Ｃ  保護テープ
Ｃ１  剥がれ部分
Ｒ，Ｒ１，Ｒ２  リングフレーム
Ｓ  粘着面
Ｔ  ダイシングテープ（粘着シート）
Ｗ  ウェハ（被着体）
【図１】
0004739584.tif 000002
【図２】
0004739584.tif 000003
【図３】
0004739584.tif 000004
【図４】
0004739584.tif 000005
【図５】
0004739584.tif 000006
【図６】
0004739584.tif 000007
【図７】
0004739584.tif 000008
【図８】
0004739584.tif 000009
【図９】
0004739584.tif 000010
【図１０】
0004739584.tif 000011
【図１１】
0004739584.tif 000012
【図１２】
0004739584.tif 000013