(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム本体の先端に被搬送体を保持するフォークを有する搬送アーム部と、複数の被搬送体を所定のピッチで多段に収容できるカセット容器を載置するために、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも１つ以上の容器載置台と、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置されて、回転基準台に載置された被搬送体の偏心量と偏心方向とこの被搬送体の周縁部に形成されている切り欠き目印の回転位置を光学的センサにより検出することができる方向位置決め装置と、全体の動作を制御する制御部とを備えてティーチング基準位置に対して前記搬送アーム部の位置合わせを行なう搬送システムの搬送位置合わせ方法において、
前記制御部に前記搬送アーム部の複数のティーチング基準位置の仮の位置座標を予め入力する工程と、前記搬送アーム部の前記フォークに前記被搬送体をマニュアルにより前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に合わせるように位置決めして設置することにより保持させた前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記方向位置決め装置について予め入力されたティーチング基準位置である方向位置決め装置ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記容器載置台上に載置した前記カセット容器内のスロットの中心と前記被搬送体の中心とをマニュアルにより正確に位置合わせして収容した被搬送体を、前記搬送アーム部を予め入力されたティーチング基準位置である容器ティーチング基準位置の仮の位置座標へ動かすことによって取りに行くと共に取りに行った前記被搬送体を前記搬送アーム部によって前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記容器ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程とを備えたことを特徴とする搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項２】
前記搬送アーム部を案内レールに沿って移動させる移動機構を有し、前記仮の位置座標は、前記案内レールに沿ったＸ座標と、前記搬送アーム本体の屈伸量であるＲ座標と、前記搬送アーム本体の旋回量であるθ座標と、前記搬送アーム本体の旋回平面に直交する方向のＺ座標とを含むことを特徴とする請求項１記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項３】
前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程では、前記被搬送体は、前記搬送アーム部を前記案内レール上の絶対座標の基準点に位置させた状態で前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持されることを特徴とする請求項２記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項４】
前記搬送アーム部の移動エリア内には、内部に前記被搬送体を載置する被搬送体載置台を有して真空引き可能になされたロードロック室が配置されており、前記制御部に前記搬送アーム部の前記被搬送体載置台についてのティーチング基準位置の仮の位置座標が設定されて、前記容器ティーチング基準位置における仮の位置座標に対する補正と同様な補正を行なうようにしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項５】
前記ロードロック室には、内部に屈伸及び旋回自在になされた移載アーム本体の先端に被搬送体を保持するピックを有する移載アーム部を有する移載室が連結され、この移載室には内部に前記被搬送体を載置するサセプタを有して前記被搬送体に所定の処理を行なう処理チャンバが連結されており、前記制御部に前記移載アーム部の前記ロードロック室と前記サセプタについてのティーチング基準位置の仮の位置座標を予め入力する工程と、前記移載アーム部の前記ピックに前記ピックの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた前記被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のロードロック室ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記サセプタに、該サセプタの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして載置すると共に該載置された被搬送体を前記移載アーム部により前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向と前記切り欠け目印の回転位置とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のサセプタティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、検出された前記切り欠け目印の回転位置を前記方向位置決め装置の位置決め方向として前記制御部に格納する工程とを、更に備えたことを特徴とする請求項４記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項６】
前記ロードロック室は２個設けられており、各ロードロック室に対応して前記回転位置を２個格納することを特徴とする請求項５記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項７】
前記搬送アーム部は、前記搬送アーム本体と平行に、前記カセット容器内の前記被搬送体のマップ情報をとるマッピングアームが設けられており、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいてＺ座標に関して前記仮の位置座標を補正して適正位置座標としたことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項８】
前記仮の位置座標を入力する工程を行なって前記搬送アーム部を前記仮の位置座標に移動した後に、マニュアルにより前記搬送アーム部を移動して前記各ティーチング基準位置に対して大まかな位置合わせを行なって得られた位置座標を新たな仮の位置座標とすることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項９】
前記フォークまたは前記搬送アーム本体を改修した時には、前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＸ軸を除くＲ座標とθ座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを含むことを特徴とする請求項２乃至８のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１０】
前記フォークまたは前記搬送アーム本体を補修または交換した時には、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＺ座標を補正して適正位置座標としたことを特徴とする請求項９記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１１】
前記ピックまたは前記移載アーム本体を改修した時には、前記ピックに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部の全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを含むことを特徴とする請求項５乃至１０のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１２】
前記適正位置座標を求めた後の動作中においては、前記被搬送体を保持していない状態で前記フォークの特定位置の座標を前記方向位置決め装置内の前記光学的センサにより求めることにより、動作中に発生した前記フォークの位置ズレを求めるように構成したことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１３】
前記フォークの特定位置は、前記フォークに形成されている光通過窓であることを特徴とする請求項１２記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１４】
前記フォークの特定位置は、前記フォークの特定の箇所のエッジであることを特徴とする請求項１２記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１５】
前記搬送アーム本体と前記フォークは、２個設けられていることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１６】
前記移載アーム本体と前記ピックは、２個設けられていることを特徴とする請求項５乃至１５のいずれか一項に記載の搬送システムの搬送位置合わせ方法。
【請求項１７】
屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム本体の先端に被搬送体を保持するフォークを有する搬送アーム部と、複数の被搬送体を所定のピッチで多段に収容できるカセット容器を載置するために、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも１つ以上の容器載置台と、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置されて、回転基準台に載置された被搬送体の偏心量と偏心方向とこの被搬送体の周縁部に形成されている切り欠き目印の回転位置を光学的センサにより検出することができる方向位置決め装置と、全体の動作を制御する制御部とを備えてティーチング基準位置に対して前記搬送アーム部の位置合わせを行なう搬送システムにおいて、
前記制御部には、前記搬送アーム部の複数のティーチング基準位置の仮の位置座標が予め入力されていると共に、前記搬送アーム部の前記フォークに前記被搬送体をマニュアルにより前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に合わせるように位置決めして設置することにより保持させた前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記方向位置決め装置について予め入力されたティーチング基準位置である方向位置決め装置ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記容器載置台上に載置した前記カセット容器内のスロットの中心と前記被搬送体の中心とをマニュアルにより正確に位置合わせして収容した被搬送体を、前記搬送アーム部を予め入力されたティーチング基準位置である容器ティーチング基準位置の仮の位置座標へ動かすことによって取りに行くと共に取りに行った前記被搬送体を前記搬送アーム部によって前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記容器ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程とを実行することを特徴とする搬送システム。
【請求項１８】
前記搬送アーム部を案内レールに沿って移動させる移動機構を有し、前記制御部に入力された前記仮の位置座標は、前記案内レールに沿ったＸ座標と、前記搬送アーム本体の屈伸量であるＲ座標と、前記搬送アーム本体の旋回量であるθ座標と、前記搬送アーム本体の旋回平面に直交する方向のＺ座標とを含むことを特徴とする請求項１７記載の搬送システム。
【請求項１９】
前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程では、前記被搬送体は、前記搬送アーム部を前記案内レール上の絶対座標の基準点に位置させた状態で前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持されることを特徴とする請求項１８記載の搬送システム。
【請求項２０】
前記搬送アーム部の移動エリア内には、内部に前記被搬送体を載置する被搬送体載置台を有して真空引き可能になされたロードロック室が配置されており、前記制御部には、前記搬送アーム部の前記被搬送体載置台についてのティーチング基準位置の仮の位置座標が予め設定されており、前記容器ティーチング基準位置における仮の位置座標に対する補正と同様な補正を行なうことを特徴とする請求項１７乃至１９のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項２１】
前記ロードロック室には、内部に屈伸及び旋回自在になされた移載アーム本体の先端に被搬送体を保持するピックを有する移載アーム部を有する移載室が連結され、この移載室には内部に前記被搬送体を載置するサセプタを有して前記被搬送体に所定の処理を行なう処理チャンバが連結されており、前記制御部には前記移載アーム部の前記ロードロック室と前記サセプタについてのティーチング基準位置の仮の位置座標が予め入力されており、前記制御部は、前記移載アーム部の前記ピックに前記ピックの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた前記被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のロードロック室ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記サセプタに、該サセプタの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして載置すると共に該載置された被搬送体を前記移載アーム部により前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向と前記切り欠け目印の回転位置とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のサセプタティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、検出された前記切り欠け目印の回転位置を前記方向位置決め装置の位置決め方向として前記制御部に格納する工程とを実行することを特徴とする請求項２０記載の搬送システム。
【請求項２２】
前記ロードロック室は２個設けられており、前記制御部は、各ロードロック室に対応して前記回転位置を２個格納することを特徴とする請求項２１記載の搬送システム。
【請求項２３】
前記搬送アーム部は、前記搬送アーム本体と平行に、前記カセット容器内の前記被搬送体のマップ情報をとるマッピングアームが設けられており、前記制御部は、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいてＺ座標に関して前記仮の位置座標を補正して適正位置座標としたことを特徴とする請求項１７乃至２２のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項２４】
前記制御部は、前記仮の位置座標を入力する工程を行なって前記搬送アーム部を前記仮の位置座標に移動した後に、マニュアルにより前記搬送アーム部を移動して前記各ティーチング基準位置に対して大まかな位置合わせを行なって得られた位置座標を新たな仮の位置座標とすることを特徴とする請求項１７乃至２３のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項２５】
前記フォークまたは前記搬送アーム本体を改修した時には、前記制御部は、前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＸ座標を除くＲ座標とθ座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを行なうことを特徴とする請求項１８乃至２４のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項２６】
前記フォークまたは前記搬送アーム本体を補修または交換した時には、前記制御部は、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＺ座標を補正して適正位置座標とすることを特徴とする請求項２５記載の搬送システム。
【請求項２７】
前記ピックまたは前記移載アーム本体を改修した時には、前記制御部は、前記ピックに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部の全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを行なうことを特徴とする請求項２１乃至２６のいずれか一項に記載の搬送システム。
【請求項２８】
前記適正位置座標を求めた後の動作中においては、前記制御部は、前記被搬送体を保持していない状態で前記フォークの特定位置の座標を前記方向位置決め装置内の前記光学的センサにより求めることにより、動作中に発生した前記フォークの位置ズレを求めることを特徴とする請求項１７乃至２７のいずれか一項に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等を搬送するための搬送機構において行なわれる位置合わせ方法に係り、特に迅速にこの搬送位置合わせを行なうことができる搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体デバイスを製造する際の装置としては、多種多様な処理チャンバが組み合わされており、これらのチャンバ同士間及び半導体ウエハを多数枚収容するカセットと上記チャンバとの間などにウエハを自動的に受け渡しを行なうために搬送機構が設けられている。この搬送機構は、例えば屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム部を有しており、これを搬送位置まで水平移動してウエハを所定の位置まで搬送するようになっている。
この場合、搬送アーム部の動作中にこれが他の部材と干渉乃至衝突することを避けなければならないばかりか、ある一定の場所に置かれているウエハを適正に保持し、且つこのウエハを目的とする位置まで搬送し、適正な場所に精度良く受け渡す必要がある。
このため、搬送アーム部の移動経路においてウエハＷの受け渡しを行なう場所などの重要な位置を、この搬送アーム部の動作を制御するコンピュータ等の制御部に位置座標として覚えこませる、いわゆるティーチングという操作が行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このティーチングは、例えば搬送アーム部とカセット容器との位置関係、ウエハを取るためにアームとカセットの高さ方向の位置関係、ロードロック室の載置台とアームとの位置関係など、ウエハの受け渡しを行なうためのほとんど全ての場合について行なわれ、その位置座標が記憶される。尚、全ての駆動系には、その駆動位置を特定するためのエンコーダ等が組み込まれているのは勿論である。
具体的には、まず、搬送アーム部の移動経路のある点を絶対基準として装置全体のティーチングすべき場所の位置座標を装置の設計値から求め、これを仮の位置座標として制御部に予め入力して記憶させておく。この場合、アームが他の部材と干渉しないように所定量のマージンを見込んで各仮の位置座標を入力する。
【０００４】
次に、個々の仮の位置座標に基づいて搬送アーム部を駆動して搬送アーム部がティーチング基準位置の近傍まで移動してきたならば、手動に切り替えて、例えばアームのフォークとウエハが接触した状態でフォーク中心位置とウエハの中心位置とが一致するように横方向から目視しながら操作し、両中心が一致したところでその座標を正確な適正な位置座標として制御部へ記憶することにより、ティーチングを行なっていた。そして、このような操作を必要とする各ティーチング基準位置でそれぞれ手動と目視により行なって、搬送位置合わせを行なっていた。
このため、上述したような従来の位置合わせ方法にあっては、目視しつつアームを旋回したり、屈伸させたりして微妙な位置合わせを行なうので、非常に長時間要してしまうという問題があった。
【０００５】
また、位置合わせの精度に個人差が生じ、位置合わせ精度にかなりバラツキが生じてしまうという問題もあった。また、更に、何らかの故障等により、フォークやアーム等に修理を加えたり、これを交換したりして改修を行なった場合には、上記した一連のティーチングによる位置合わせ操作を再度繰り返し行わなければならず、非常に時間的な損失が発生するという問題があった。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、ティーチング基準位置における位置合わせを、精度良く且つ効率的に行なうことができる搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システムを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に規定する発明は、屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム本体の先端に被搬送体を保持するフォークを有する搬送アーム部と、複数の被搬送体を所定のピッチで多段に収容できるカセット容器を載置するために、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも１つ以上の容器載置台と、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置されて、回転基準台に載置された被搬送体の偏心量と偏心方向とこの被搬送体の周縁部に形成されている切り欠き目印の回転位置を光学的センサにより検出することができる方向位置決め装置と、全体の動作を制御する制御部とを備えてティーチング基準位置に対して前記搬送アーム部の位置合わせを行なう搬送システムの搬送位置合わせ方法において、前記制御部に前記搬送アーム部の複数のティーチング基準位置の仮の位置座標を予め入力する工程と、前記搬送アーム部の前記フォークに前記被搬送体をマニュアルにより前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に合わせるように位置決めして設置することにより保持させた前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記方向位置決め装置について予め入力されたティーチング基準位置である方向位置決め装置ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記容器載置台上に載置した前記カセット容器内のスロットの中心と前記被搬送体の中心とをマニュアルにより正確に位置合わせして収容した被搬送体を、前記搬送アーム部を予め入力されたティーチング基準位置である容器ティーチング基準位置の仮の位置座標へ動かすことによって取りに行くと共に前記取りに行った被搬送体を前記搬送アーム部によって前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記容器ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程とを備えるようにしたものである。
【０００７】
これにより、搬送アーム部のフォークにマニュアルにより被搬送体を正確に位置合わせして載置したり、或いは各ティーチング基準位置にてマニュアルにより正確に位置合わせして設置した被搬送体を受け取りに行き、これを方向位置決め装置に搬送してその偏心量と偏心方向を求めることにより真に正しい適正位置座標を得ることができる。
実際の動作時には、制御部は、この適正位置座標に基づいて搬送アーム部を動作させることになる。このように、従来行なわれていた時間のかかる搬送アーム部自体の正確な位置合わせは行なうことなく、迅速に、且つ精度の高い位置合わせを行なうことができる。また、位置合わせ操作に個人差が入り込む余地もなく、オペレータの能力に関係なく、常に高い精度で位置合わせを行なうことができる。
【０００８】
請求項２に規定する発明は、前記搬送アーム部を案内レールに沿って移動させる移動機構を有し、前記仮の位置座標は、前記案内レールに沿ったＸ座標と、前記搬送アーム本体の屈伸量であるＲ座標と、前記搬送アーム本体の旋回量であるθ座標と、前記搬送アーム本体の旋回平面に直交する方向のＺ座標とを含む。
請求項３に規定する発明は、前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程では、前記被搬送体は、前記搬送アーム部を前記案内レール上の絶対座標の基準点に位置させた状態で前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持される。
請求項４に規定する発明は、前記搬送アーム部の移動エリア内には、内部に前記被搬送体を載置する被搬送体載置台を有して真空引き可能になされたロードロック室が配置されており、前記制御部に前記搬送アーム部の前記被搬送体載置台についてのティーチング基準位置の仮の位置座標が設定されて、前記容器ティーチング基準位置における仮の位置座標に対する補正と同様な補正を行なうようにする。これにより、ロードロック室の被搬送体載置台に対する精度の高い位置合わせも行なうことができる。
【０００９】
請求項５に規定する発明は、前記ロードロック室には、内部に屈伸及び旋回自在になされた移載アーム本体の先端に被搬送体を保持するピックを有する移載アーム部を有する移載室が連結され、この移載室には内部に前記被搬送体を載置するサセプタを有して前記被搬送体に所定の処理を行なう処理チャンバが連結されており、前記制御部に前記移載アーム部の前記ロードロック室と前記サセプタについてのティーチング基準位置の仮の位置座標を予め入力する工程と、前記移載アーム部の前記ピックに前記ピックの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた前記被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のロードロック室ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記サセプタに、該サセプタの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして載置すると共に該載置された被搬送体を前記移載アーム部により前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向と前記切り欠け目印の回転位置とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のサセプタティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、検出された前記切り欠け目印の回転位置を前記方向位置決め装置の位置決め方向として前記制御部に格納する工程とを、更に備える。これにより、移載室の移載アーム部の位置合わせ及び処理チャンバのサセプタに対する移載アーム部の精度の高い位置合わせも行なうことができる。
請求項６に規定する発明は、前記ロードロック室は２個設けられており、各ロードロック室に対応して前記回転位置を２個格納する。これにより、２個のロードロック室のどちらを通って搬送してもよい搬送システムの精度の高い位置合わせを行なうことができる。
【００１０】
請求項７に規定する発明は、前記搬送アーム部は、前記搬送アーム本体と平行に、前記カセット容器内の前記被搬送体のマップ情報をとるマッピングアームが設けられており、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいてＺ座標に関して前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする。これにより、Ｚ座標に関しても補正を加えて適正位置座標とすることができる。
また、請求項８に規定するように、前記仮の位置座標を入力する工程を行なって前記搬送アーム部を前記仮の位置座標に移動した後に、マニュアルにより前記搬送アーム部を移動して前記各ティーチング基準位置に対して大まかな位置合わせを行なって得られた位置座標を新たな仮の位置座標とするようにしてもよい。これによれば、設計値に基づいて設定された仮の位置座標を、ラフな大まかな位置合わせで得られたより正確な位置座標を新たな仮の位置座標として置き替えることができる。尚、このラフな大まかな位置合わせ操作は、設計値に基づいて設定された仮の位置座標の精度がある程度高い場合には、行なう必要がない。
【００１１】
また、請求項９に規定する発明のように、前記フォークまたは前記搬送アーム本体を改修した時には、前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＸ軸を除くＲ座標とθ座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを含むようにする。
これによれば、フォークまたは搬送アーム本体を改修した場合には、一箇所のティーチング基準位置に対して行なったＲ座標とθ座標の補正を、搬送アーム部の全てのティーチング基準位置に対して適用することができるので、搬送アーム部のＲ、θ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
【００１２】
また、請求項１０に規定する発明のように、前記フォークまたは前記搬送アーム本体を補修または交換した時には、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＺ座標を補正して適正位置座標とする。
これによれば、フォークまたは搬送アーム本体を改修した場合には、Ｚ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
また、請求項１１に規定する発明のように、前記ピックまたは前記移載アーム本体を改修した時には、前記ピックに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部の全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを含むようにする。
これによれば、ピックまたは移載アーム本体を改修した場合には、一箇所のティーチング基準位置に対して行なったＲ座標とθ座標の補正を、搬送アーム部の全てのティーチング基準位置に対して適用することができるので、搬送アーム部のＲ、θ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
【００１３】
また、請求項１２に規定する発明のように、前記適正位置座標を求めた後の動作中においては、前記被搬送体を保持していない状態で前記フォークの特定位置の座標を前記方向位置決め装置内の前記光学的センサにより求めることにより、動作中に発生した前記フォークの位置ズレを求めるように構成する。
これによれば、通常の動作中において、フォークの位置ズレがどの程度発生したかを容易に検出することができる。この場合、前記フォークの特定位置は、前記フォークに形成されている光通過窓であったり、或いは前記フォークの特定位置は、前記フォークの特定の箇所のエッジである。また、１つの搬送アーム部に、搬送アーム本体とフォークをそれぞれ２個設けて個別に動作する場合にも、上記した本発明を適用できる。また、１つの移載アーム部に、移載アーム本体とピックをそれぞれ２個設けて個別に動作する場合にも、上記した本発明を適用できる。
請求項１７の発明は、屈伸、旋回及び昇降自在になされた搬送アーム本体の先端に被搬送体を保持するフォークを有する搬送アーム部と、複数の被搬送体を所定のピッチで多段に収容できるカセット容器を載置するために、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置された少なくとも１つ以上の容器載置台と、前記搬送アーム部の移動エリア内に配置されて、回転基準台に載置された被搬送体の偏心量と偏心方向とこの被搬送体の周縁部に形成されている切り欠き目印の回転位置を光学的センサにより検出することができる方向位置決め装置と、全体の動作を制御する制御部とを備えてティーチング基準位置に対して前記搬送アーム部の位置合わせを行なう搬送システムにおいて、前記制御部には、前記搬送アーム部の複数のティーチング基準位置の仮の位置座標が予め入力されていると共に、前記搬送アーム部の前記フォークに前記被搬送体をマニュアルにより前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に合わせるように位置決めして設置することにより保持させた前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記方向位置決め装置について予め入力されたティーチング基準位置である方向位置決め装置ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記容器載置台上に載置した前記カセット容器内のスロットの中心と前記被搬送体の中心とをマニュアルにより正確に位置合わせして収容した被搬送体を、前記搬送アーム部を予め入力されたティーチング基準位置である容器ティーチング基準位置の仮の位置座標へ動かすことによって取りに行くと共に前記取りに行った被搬送体を前記搬送アーム部によって前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記容器ティーチング基準位置に対する前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程とを実行することを特徴とする搬送システムである。
例えば請求項１８に規定するように、前記搬送アーム部を案内レールに沿って移動させる移動機構を有し、前記制御部に入力された前記仮の位置座標は、前記案内レールに沿ったＸ座標と、前記搬送アーム本体の屈伸量であるＲ座標と、前記搬送アーム本体の旋回量であるθ座標と、前記搬送アーム本体の旋回平面に直交する方向のＺ座標とを含む。
例えば請求項１９に規定するように、前記被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程では、前記被搬送体は、前記搬送アーム部を前記案内レール上の絶対座標の基準点に位置させた状態で前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持される。
例えば請求項２０に規定するように、前記搬送アーム部の移動エリア内には、内部に前記被搬送体を載置する被搬送体載置台を有して真空引き可能になされたロードロック室が配置されており、前記制御部には、前記搬送アーム部の前記被搬送体載置台についてのティーチング基準位置の仮の位置座標が予め設定されており、前記容器ティーチング基準位置における仮の位置座標に対する補正と同様な補正を行なう。
例えば請求項２１に規定するように、前記ロードロック室には、内部に屈伸及び旋回自在になされた移載アーム本体の先端に被搬送体を保持するピックを有する移載アーム部を有する移載室が連結され、この移載室には内部に前記被搬送体を載置するサセプタを有して前記被搬送体に所定の処理を行なう処理チャンバが連結されており、前記制御部には前記移載アーム部の前記ロードロック室と前記サセプタについてのティーチング基準位置の仮の位置座標が予め入力されており、前記制御部は、前記移載アーム部の前記ピックに前記ピックの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた前記被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のロードロック室ティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、前記サセプタに、該サセプタの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして載置すると共に該載置された被搬送体を前記移載アーム部により前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向と前記切り欠け目印の回転位置とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部のサセプタティーチング基準位置における前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とする工程と、検出された前記切り欠け目印の回転位置を前記方向位置決め装置の位置決め方向として前記制御部に格納する工程とを実行する。
例えば請求項２２に規定するように、前記ロードロック室は２個設けられており、前記制御部は、各ロードロック室に対応して前記回転位置を２個格納する。
例えば請求項２３に規定するように、前記搬送アーム部は、前記搬送アーム本体と平行に、前記カセット容器内の前記被搬送体のマップ情報をとるマッピングアームが設けられており、前記制御部は、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいてＺ座標に関して前記仮の位置座標を補正して適正位置座標とした。
例えば請求項２４に規定するように、前記制御部は、前記仮の位置座標を入力する工程を行なって前記搬送アーム部を前記仮の位置座標に移動した後に、マニュアルにより前記搬送アーム部を移動して前記各ティーチング基準位置に対して大まかな位置合わせを行なって得られた位置座標を新たな仮の位置座標とする。
例えば請求項２５に規定するように、前記フォークまたは前記搬送アーム本体を改修した時には、前記制御部は、前記フォークに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＸ座標を除くＲ座標とθ座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを行なう。
例えば請求項２６に規定するように、前記フォークまたは前記搬送アーム本体を補修または交換した時には、前記制御部は、水平方向に出射されたレベル検出光に対して前記搬送アーム部を相対的に高さ方向へ移動させることにより前記搬送アーム本体と前記マッピングアームとの間の距離情報を求め、この距離情報と前記マッピング情報とに基づいて前記搬送アーム部の全ての適正位置座標のＺ座標を補正して適正位置座標とする。
例えば請求項２７に規定するように、前記ピックまたは前記移載アーム本体を改修した時には、前記制御部は、前記ピックに、前記フォークの中心と前記被搬送体の中心とを正確に位置合わせして保持させた被搬送体を前記ロードロック室まで搬送して移載する工程と、前記ロードロック室に載置された前記被搬送体を前記搬送アーム部により前記方向位置決め装置まで搬送して移載する工程と、前記方向位置決め装置に載置された前記被搬送体の偏心量と偏心方向とを検出する工程と、この検出された偏心量と偏心方向とに基づいて前記移載アーム部の全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とする工程とを行なう。
例えば請求項２８に規定するように、前記適正位置座標を求めた後の動作中においては、前記制御部は、前記被搬送体を保持していない状態で前記フォークの特定位置の座標を前記方向位置決め装置内の前記光学的センサにより求めることにより、動作中に発生した前記フォークの位置ズレを求める。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システムの一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は本発明方法を実施するために用いるクラスタツール装置を示す概略構成図、図２は搬送アーム部を示す概略構成図、図３はマッピングアームを示す平面図、図４はマッピング時の動作説明図、図５は方向位置決め装置を示す側面図、図６は方向位置決め装置へ被搬送体を載置した状態を示す平面図、図７は方向位置決め装置における検出波形の一例を示す図である。ここでは被搬送体として半導体ウエハを用いた場合について説明する。
【００１５】
まず、図１を参照してクラスタツール装置について説明する。このクラスタツール装置２は、被搬送体としての半導体ウエハＷに対して成膜処理、拡散処理、エッチング処理等の各種の処理を行なう処理システム４と、この処理システムに対してウエハＷを搬入、搬出させる搬送システム６とにより主に構成される。
処理システム４は、真空引き可能になされた移載室８と、ゲートバルブ１０Ａ〜１０Ｄを介して連結された４つの処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄよりなり、各チャンバ１２Ａ〜１２Ｄにおいて同種の或いは異種の熱処理をウエハＷに対して施すようになっている。各チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ内には、ウエハＷを載置するためのサセプタ１４Ａ〜１４Ｄがそれぞれ設けられる。また、移載室８内には、屈伸及び旋回自在になされた移載アーム部１６が設けられ、各チャンバ１２Ａ〜１２Ｄ間や後述するロードロック室間とウエハＷの受け渡しを行なうようになっている。
【００１６】
一方、搬送システム６は、カセット容器を載置するカセットステージ１８とウエハＷを搬送して受け渡しを行なうための搬送アーム部２０を移動させる搬送ステージ２２よりなる。カセットステージ１８には、容器載置台２４が設けられ、ここに複数、図示例にあっては最大４つのカセット容器２６Ａ〜２６Ｄを載置できるようになっている。各カセット容器２６Ａ〜２６Ｄには、最大例えば２５枚のウエハＷを等ピッチで多段に載置して収容できるようになっている（図４参照）。
搬送ステージ２２には、その中心部を長さ方向に沿って延びる案内レール２８が設けられており、この案内レール２８に上記搬送アーム部２０がスライド移動可能に支持されている。この案内レール２８には、移動機構として例えばボールネジ３０が並設されており、このボールネジ３０に上記搬送アーム部２０の基部３４が嵌装されている。従って、このボールネジ３０の端部に設けた駆動モータ３２を回転駆動することにより、搬送アーム部２０は案内レール２８に沿って移動することになる。
【００１７】
また、搬送ステージ２２の他端には、ウエハの位置決めを行なう方向位置決め装置としてのオリエンタ３６が設けられ、更に、搬送ステージ２２の途中には、上記移載室８との間を連結するために真空引き可能になされた２つのロードロック室３８Ａ、３８Ｂが設けられる。各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂ内には、ウエハＷを載置する被搬送体載置台４０Ａ、４０Ｂが設けられると共に、各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂの前後には、移載室８或いは搬送ステージ２２へ連通するためのゲートバルブ４２Ａ、４２Ｂ及び４４Ａ、４４Ｂがそれぞれ設けられる。
【００１８】
上記搬送アーム部２０は、図２〜図４にも示すように、屈伸可能になされた多関節状の搬送アーム本体４６とこの先端に取り付けたフォーク４８を有しており、このフォーク４８上にウエハＷを直接的に保持するようになっている。また、この搬送アーム部２０は、同じく屈伸可能になされたマッピングアーム５０を有しており、円弧状の先端には、例えばレーザ光を発してウエハＷの有無を確認するマッピングセンサ５２が設けられる。これらの搬送アーム本体４６とマッピングアーム５０の各基端は基部３４から起立させた支柱５４に沿って昇降する昇降台５６に連結されている。また、この支柱５４は、旋回可能になされている。従って、カセット容器に収容されているウエハＷの位置を認識するために行なうマッピング操作は図３に示すようにマッピングアーム５０を延ばした状態で、このアーム５０を上昇或いは下降すればよく、これによりウエハの位置を確認するようになっている。ここでは、上記した一連の動作を行なう駆動機構の記載を省略しており、また、図２に示す構造は搬送アーム部２０の概念的な動きを示すものであり、実際の構造を示すものではない。
【００１９】
ここでは各軸方向の動きについて、案内レール２８に沿った方向をＸ方向、昇降台５６の上下方向の動きをＺ方向、支柱５４或いは昇降台５６の旋回方向をθ方向、フォーク４８及び搬送アーム本体４６を含む長さ方向をＲ方向と定義し、従って、全ての位置座標は、後述するようにＸ、Ｚ、Ｒ、θの座標として表される。各軸の座標は、予め設定された基準点からの変位量を、例えばエンコーダ等によって認識できるようになっているのは勿論である。
また、オリエンタ３６は、図５及び図６にも示すように駆動モータ５８によって回転される回転基準台６０を有しており、この上にウエハＷを載置した状態で回転するようになっている。回転基準台６０の外周には、ウエハＷの周縁部を検出するための光学的センサ６２が設けられる。この光学的センサ６２は回転基準台６０の半径方向に沿って配置した所定の長さの発光素子６２Ａと受光素子６２Ｂとよりなり、カーテン状のレーザ光をウエハ端部に照射してこの変動を検出できるようになっている。そして、検出演算部６３では図７に示すような波形がウエハＷの偏心量、偏心方向及びウエハＷに形成されている切り欠き目印としての例えばノッチ６４の回転位置、すなわち方位を認識できるようになっている。
【００２０】
図６中において、Ｏ１は回転基準台６０の中心（回転中心）であり、Ｏ２はウエハＷの中心である。従って、偏心量は、Δｒとなり、また、図７に示す波形はΔｒに相当する振幅のサイン曲線となっている。更に、偏心方向は振幅が最小となる回転位置である。尚、偏心量Δｒがゼロならば、出力波形は信号６４Ａの部分を除き、直線状となる。また、ノッチ６４に対応する部分には、その回転位置を示す信号６４Ａが表れている。これにより、予め設定された基準位置からのノッチ６４までの回転位置のズレを検出することができる。尚、切り欠き目印は、１２インチウエハではノッチ６４となるが、８インチ、或いは６インチウエハではノッチまたはオリエンテーションフラットになる。
【００２１】
図１に示すようにオリエンタ３６の入口側には、水平方向へレベル検出レーザ光６６を出力するレーザ素子６８とこのレーザ光６６を受ける受光素子７０とよりなるレベル検出器７１を設けており、後述するように搬送アーム部２０のマッピングアーム５０とフォーク４８との間の距離を測定して距離情報を得るようになっている。そして、このクラスタツール装置２の全体の動作を制御する制御部７２（図１参照）に各軸の位置情報や各検出部等で得られた情報が集められ、ウエハＷの搬送の制御を行なう。また、この制御部７２には後述する位置決めティーチング操作の際に必要な位置座標等が記憶されることになる。
【００２２】
次に、以上のようなクラスタツール装置２を用いて行なわれる本発明の搬送位置合わせ方法について説明する。
ここでは搬送システム６における搬送アーム部２０の位置合わせについて主として説明するが、処理システム４における移載アーム部１６も、併せて位置合わせを行なうことができる。
まず、位置合わせを行なうべき所は、主として搬送アーム部２０がウエハＷの受け渡しを行なう場所であり、動作中においてはこの場所に正確に搬送アーム部２０を位置させ且つ、ウエハに対しても適正な方向付け状態で受け渡しを行なうために、フォーク及びアーム本体の姿勢も特定させる必要がある。
また、搬送アーム部２０は、２次元の平面内における移動方向としてＸ、Ｒ、θの３軸があるため、例えばいずれか１つの軸を固定しなければ特定の座標に対して搬送アーム部２０の姿勢が定まらないので、ここではＸ軸を固定とする。すなわち、Ｘ軸を固定した状態ならば、Ｒとθを変化させるだけで、アームのストローク範囲内の任意の点を特定することができる。ここでは、案内レール２８上の点ＰＯ（図８参照）を絶対座標の基準点とし、ここを基準として各ティーチングの位置座標を特定する。また、点ＰＯでは、搬送アーム部２０はＸ軸上の原点にあり、θ軸は案内レール２８の方向を向き、Ｚ軸は最下点にあり、Ｒ軸は縮めた基本姿勢とする。
【００２３】
また、ウエハの搬送位置等をティーチング基準位置として定め、例えばここでは図８に示すようにティーチング基準位置としてＰ１〜Ｐ７及びＱ１〜Ｑ６を予め規定する。Ｐ１〜Ｐ４は、それぞれカセット容器２６Ａ〜２６Ｄに対する移載位置に対応している容器ティーチング基準位置である。Ｐ５、Ｐ６はそれぞれロードロック室３８Ａ、３８Ｂに対する移載位置に対応しているロードロックティーチング基準位置である。Ｐ７はオリエンタ３６に対する移載位置に対応しているオリエンタティーチング基準位置であり、Ｏ１上にある。これに対して、処理システム４のＱ０は移載アーム部１６の絶対座標の基準点に対応し、Ｑ１〜Ｑ４は各処理チャンバ１２Ａ〜１２Ｄの各サセプタ１４Ａ〜１４Ｄに対応しているサセプタティーチング基準位置である。Ｑ５、Ｑ６はそれぞれロードロック室３８Ａ、３８Ｂに対する移載位置に対応しているロードロックティーチング基準位置であり、それぞれＰ５、Ｐ６と平面的には同じ位置である。
【００２４】
位置決めの手順を概説的に述べると、最初に、例えば点ＰＯにおいてフォーク４８の中心とウエハＷの中心が非常に正確に合うようにウエハＷを載置する。そして、このウエハをオリエンタ３６まで搬送してオリエンタティーチング基準位置において仮の位置座標を用いて回転基準台６０に載置し、これを回転することによってこの時のウエハＷの偏心量Δｒ（図６参照）と偏心方向を求める。そして、この偏心量Δｒの分だけ偏心方向と逆の方向に、上記仮の位置座標を補正（Ｒ、θに関してのみ）して適正位置座標とする。すなわち、仮の位置座標が不正確ならば、その不正確分が偏心量Δｒとなって現れるので、この偏心量Δｒに相当する分だけ仮の位置座標を補正すれば、正しい適正な位置座標とすることができる。次に、各ティーチング基準位置においてティーチング基準位置とウエハＷの中心が非常に正確に合うようにウエハＷを載置し、且つ必要に応じてノッチ６４の回転位置（方向）も基準方向に正確に合わせておく。そして、このウエハを各ティーチング基準位置において仮の座標を用いて取り上げ、オリエンタ３６まで搬送して回転基準台６０に載置し、これを回転することによってこの時のウエハＷの偏心量Δｒと偏心方向とノッチ６４の回転位置（方向）を求める。そして、この偏心量Δｒの分だけ偏心方向と同じ方向に、上記仮の位置座標を補正（Ｒ、θに関してのみ）して適正位置座標とする。また、ノッチ６４の回転位置（方向）を制御部７２に記憶する。この方向は通常動作中においてノッチ６４の位置決め方向として使用されることになる。尚、Ｚ軸に関しては、ウエハＷを載置等する際のフォークの上下動だけなので、カセット容器に対する場合を除き、昇降量の厳密性は要求されない。また、カセット容器に対する操作は、後述のマッピング操作にて説明する。
【００２５】
まず、図９に示すフローチャートを用いて位置決めの基本的動作について説明する。尚、水平、垂直調整などのメカ的調整は予め終了しているものとする。
まず、クラスタツール装置２の設計値に基づいて各ティーチング基準位置Ｐ１〜Ｐ７に対する仮の位置座標を入力する（Ｓ１）。次に、各ティーチング基準位置に搬送アーム部２０を移動して、マニュアルによりラフな、大まかな位置付けを行なってその座標を記憶させることにより大まかなティーチングを行なう（Ｓ２）。この記憶した座標が先の仮の位置座標を更新して新たな仮の位置座標となる。尚、上記設計値による仮の位置座標がある程度正確ならば、このステップＳ２は行わなくてもよい。
次に、フォーク４８の中心にウエハＷをマニュアルにより正確に位置決めして設置する（Ｓ３）。そして、このウエハＷをオリエンタ３６内へ搬送し、ここでウエハＷの偏心量と偏心方向を求める（Ｓ４）。次に、この求めた偏心量と偏心方向に基づいて先のオリエンタティーチング基準位置Ｐ７に対する仮の位置座標を補正して適正位置座標とする（Ｓ５）。
【００２６】
次に、他のティーチング基準位置において、ウエハＷをマニュアルにより正確に位置決めして設置する（Ｓ６）。そして、このウエハＷをオリエンタ３６内へ搬送し、ここでウエハＷの偏心量と偏心方向とノッチの回転位置を求める（Ｓ７）。次に、この求めた偏心量と偏心方向に基づいて先の仮の位置座標を補正して適正位置座標とする（Ｓ８）。次に、求めたノッチの回転位置を制御部７２にノッチの位置決め方向として記憶する（Ｓ９）。そして、上記ステップＳ６、７、８、９をオリエンタ以外の各ティーチング位置座標に対して同様に行なう（Ｓ１０）。これにより、位置決め操作を完了することができる。尚、ティーチング位置座標Ｑ１〜Ｑ６については後述する。
【００２７】
次に、上記した位置決め操作を図１０及び図１１を参照して具体的に説明する。
まず、Ｘ、Ｒ、θ、Ｚなどの各軸のゼロ点調整を行なう（Ｓ１１）。そして、対象となる各ティーチング基準位置Ｐ１〜Ｐ７、Ｑ１〜Ｑ６としてクラスタツール装置２の設計値に基づいた各位置座標を制御部７２に入力し、これを仮の位置座標とする（Ｓ１２）。
次に、各ティーチング基準位置まで搬送アーム部２０を自動で移動させ、ここでマニュアルに切り替えてアーム部４６やフォーク４８の姿勢をマニュアルで調整し、この位置座標を制御部７２に記憶させることによってラフな位置合わせを行ない、古い仮の位置座標を更新して新たな仮の位置座標とする（Ｓ１３）。
尚、ティーチング基準位置Ｑ１〜Ｑ６については移載アーム部１６に対して行なう。また、上記設計値に基づいて仮の位置座標の精度が高い場合には、このステップＳ１３は実行する必要がない。
【００２８】
次に、まず、案内レール２８上の所定の位置、例えば基準点Ｐ０まで搬送アーム部２０を自動で移動させる。そして、アーム本体４６やフォーク４８等を基本姿勢にした状態でこのフォーク４８の上にウエハをマニュアルで正確に位置決めして保持させる（Ｓ１４）。この際、ウエハＷの中心とフォーク４８の中心を非常に正確に合わせる。この場合、必要ならば適当な治具等を用いるようにしてもよい。尚、ノッチ６４の方向は任意でよい。
次に、Ｘ軸を駆動してウエハＷを保持したまま搬送アーム部２０をオリエンタ３６まで移動させる（Ｓ１５）。そして、Ｒ、θ、Ｚ軸を駆動してウエハＷをオリエンタ３６の回転基準台６０上に移載する（Ｓ１６）。
【００２９】
次に、ウエハＷを回転することによって図５及び図７に示すように光学的センサ６２と検出演算部６４を用いてこのウエハＷの偏心量Δｒと偏心方向を求める（Ｓ１７）。この場合、オリエンタティーチング基準位置Ｐ７における仮の位置座標が非常に正確ならば、偏心量Δｒはゼロとなるが、仮の位置座標が不正確な場合には、その不正確量が偏心量Δｒとなって現れることになる。
次に、得られた偏心量Δｒと偏心方向に基づいてオリエンタティーチング基準位置Ｐ７における仮の位置座標を補正し、適正位置座標とする（Ｓ１８）。この場合、Ｘ座標については固定とし、Ｒ及びθ座標のみで補正を行なう。すなわち、Ｘ座標に関しては、仮の位置座標の時のＸ座標が適正位置座標となる。この点は、以後説明する位置決めの操作でも同様である。
この操作により、オリエンタティーチング基準位置Ｐ７に対する位置決めを完了する。
【００３０】
次に、容器ティーチング基準位置の位置決め操作へ移行する。
まず、例えばカセット容器２６Ａ内の所定の位置である容器ティーチング基準位置Ｐ１にウエハＷをマニュアルで非常に正確に位置合わせして収容する（Ｓ１９）。この場合、カセット容器２６Ａの２５スロットの内の例えば最下段の第１スロットを所定の位置と規定し、ここにウエハＷを非常に正確に位置合わせして収容する。図４は最下段の第１スロットにウエハＷを収容した状態を示す。この時、ウエハＷの中心と、スロットの中心とを非常に正確に位置合わせしておく。この場合にも、必要ならば治具を用いるようにしてもよい。尚、ノッチ６４の方向は任意でよい。
【００３１】
次に、制御部７２の制御下で上記容器ティーチング基準位置Ｐ１の仮の位置座標に基づいて搬送アーム部２０を駆動し、ウエハＷを取りに行く。この時、後述するマッピング操作を行なって、ウエハＷとフォーク４８とが干渉乃至衝突しないようにする（Ｓ２０）。
次に、受け取ったウエハＷを搬送アーム部２０に保持したままオリエンタ３６まで搬送し（Ｓ２１）、このウエハＷをオリエンタ３６の回転載置台６０上に載置し、前述したステップＳ１７と同様にウエハＷの偏心量と偏心方向を求める（Ｓ２２）。そして、ここで得られた偏心量と偏心方向とに基づいて、容器ティーチング基準位置の仮の位置座標を補正し（Ｒ、θ座標のみ）、適正な位置座標とする（Ｓ２３）。尚、ここでもＸ座標に関しては仮の位置座標のＸ座標をそのまま適正な位置座標のＸ座標として用いる。
【００３２】
次に、他の容器ティーチング基準位置Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４についても上述したステップＳ１９〜２３を行なう（Ｓ２４）。そして、各カセット容器２６Ａ〜２６Ｄにおけるティーチング基準位置Ｐ１〜Ｐ４に対する位置決めが終了する。
次に、他のティーチング基準位置が存在するならば（Ｓ２６のＹＥＳ）、その対象となるティーチング基準位置においてウエハＷをマニュアルで非常に正確に位置合わせして載置し（Ｓ２５）、そして、ステップＳ２１、２２、２３を同様に実行することにより、それぞれ適正位置座標を求める。例えば、各ロードロック室３８Ａ、３８Ｂの被搬送体載置台４０Ａ、４０ＢにウエハＷを非常に正確に位置合わせして載置し、これを搬送アーム部２０により受け取りに行ってオリエンタ３６にて同様に偏心量Δｒと偏心方向を求めることによって適正位置座標を得る。
【００３３】
また、このようにロードロック室３８Ａ、３８Ｂに対する位置合わせが終了したならば、次に、ティーチング基準位置Ｑ１〜Ｑ６の位置合わせを行なう。この場合、まず、ロードロックティーチング基準位置Ｑ５、Ｑ６について位置合わせを行ない、次に、任意の順でサセプタティーチング基準位置Ｑ１〜Ｑ４について位置合わせを行なう。
まず、ロードロックティーチング基準位置Ｑ５については、例えばこの移載アーム部１６の基準点Ｑ０においてこのアームにウエハＷを非常に正確に位置決めして載置する。この場合、前述したと同様にアームのピックの中心とウエハＷの中心をマニュアルにより正確に位置合わせしておく。尚、この場合も、ノッチ６４の方向は任意でよい。そして、このウエハＷをロードロック室３８Ａの被搬送体載置台４０Ａ上に移載し、次にこのウエハＷを、すでにロードロック室４０Ａに対して正確に位置合わせされた搬送アーム部２０により取りに行き、これをオリエンタ３６に搬送する。そして、ここで前述のようにウエハＷの偏心量及び偏心方向を求めることにより、移載アーム部１６の適正位置座標を得ることができる。ロードロックティーチング基準位置Ｑ６についても同様である。
【００３４】
このようにして、移載アーム部１６のロードロックティーチング基準位置Ｑ５、Ｑ６についての位置決めを完了したならば、次に、処理チャンバ例えば１２Ａのサセプタ１４Ａ上にウエハＷをマニュアルにより非常に正確に位置合わせして載置する。この場合にもウエハＷの中心とサセプタ１４Ａの中心とを正確に位置合わせし、且つノッチ６４の方向を基準方向と正確に位置合わせする。そして、このウエハＷを移載アーム部１６、ロードロック室３８Ａ及び搬送アーム部２０の順序で受け渡し、これをオリエンタ３６に移送して前述のようにウエハＷの偏心量及び偏心方向を求めて、点Ｑ１について適正位置座標を得ることができる。また、ノッチ６４の回転位置も同時に求めることにより、オリエンタにおけるノッチ６４の位置合わせ方向を得ることができる。ただし、ノッチ６４の回転位置はロードロック室３８Ａ及び３８Ｂのどちらを経由するかによって変わるので、本操作は各ロードロック室について行なう必要がある。
他の処理チャンバ１２Ｂ〜１２Ｄについても、処理チャンバ１２Ａの場合と同様に操作することにより、各ティーチング基準位置Ｑ２〜Ｑ４について適正位置座標とノッチ６４の位置合わせ方向を得ることができる。
【００３５】
次に、図１２に示すフローチャートに基づいて図１０中のステップＳ２０で行なうマッピング操作（Ｚ座標調整）について説明する。
ここでは、ウエハＷとフォーク４８とが衝突しないようにするためには、ウエハＷの高さ方向の位置と、図２に示すようにマッピングアーム５０とフォーク４８との間の距離Ｌ１の情報が必要である。尚、カセット容器のスロットピッチ等はすでに制御部７２（図１参照）に記憶されているのは勿論である。
このマッピング操作においては、まず、最初のカセット容器に対するマッピング操作の場合には（Ｓ１０１のＹＥＳ）、搬送アーム部２０をカセット容器に対応する位置まで移動する前に、オリエンタ３６へ移動させる。そして、ここでマッピングアーム５０とフォーク４８を含む搬送アーム本体４６を一体的にＺ軸方向（上方或いは下方）へ移動させる（Ｓ１０２）。この時、オリエンタ３６の入口に設けてあるレベル検出器７１（図１参照）はレベル検出レーザ光６６を水平方向へ放射させているので、これをフォーク４８とマッピングアーム５０が一時的に遮断することになり、これらの間の距離Ｌ１を距離情報として得る（Ｓ１０３）。
【００３６】
次に、対象となっている容器ティーチング基準位置、この場合には位置Ｐ１へ搬送アーム部２０を移動させる（Ｓ１０４）。そして、ウエハＷと干渉しないような位置でマッピングアーム５０と搬送アーム本体４６を一体的にＺ軸方向へ移動（上昇或いは降下）し、ここでマッピングセンサ５２（図３参照）によりマッピング情報を得る（Ｓ１０５）。これにより、ウエハ位置が認識できるので、得られたマッピング情報と上記距離情報とに基づいてフォーク４８とウエハＷとの位置関係が判り、これに基づいてこのティーチング基準位置Ｐ１における仮の位置座標のＺ座標のみを補正し、適正位置座標とする（Ｓ１０６）。
【００３７】
また、他のカセット容器２６Ｂ〜２６Ｄに対する容器ティーチング基準位置Ｐ２〜Ｐ４の位置決めの際には、すでにマッピングアーム５０とフォーク４８との間の距離Ｌ１を示す距離情報は得られているので、この計測を行なうステップＳ１０２、１０３を行なわず、直接ステップＳ１０４より実行してマッピング情報を取りに行き、Ｚ座標に関してそれぞれの適正位置座標を得る。このようなマッピング操作は容器ティーチング基準位置のみならず、ロードロック等の他のティーチング基準位置に対しても適用することができる。
これらにより、Ｘ、Ｒ、θ、Ｚの全ての座標が適正なものに更新されたことになる。しかも、各ティーチング基準位置において、マニュアルで搬送アーム部２０の姿勢等を精度良く位置合わせした従来方法と異なり、単にウエハＷを正確に位置合わせするだけで適正位置座標を得ることができるので、迅速に、且つ正確に搬送アーム部２０の位置合わせを行なうことができる。
【００３８】
次に、通常動作中において、フォークや搬送アーム本体等を何らかの理由により、取り替えたり、或いは補修を加えたりして改修を行なった場合について図１３に示すフローチャートを参照して説明する。
この場合には、フォーク４８や搬送アーム本体４６の改修により、Ｘ軸を除くＲ、θ、Ｚの各軸がズレる恐れがあるので、この各座標を再度調整する必要がある。
この場合には、まず、案内レール２８上の所定の位置、例えば基準点Ｐ０まで搬送アーム部２０を自動で移動させる。そして、アーム本体４６やフォーク４８等を基本姿勢にした状態でこのフォーク４８の上にウエハをマニュアルで正確に位置決めして保持させる（Ｓ２０１）。この点は図１０中のＳ１４と同じである。この際、ウエハＷの中心とフォーク４８の中心を非常に正確に合わせる。この場合、必要ならば適当な治具等を用いるようにしてもよい。
次に、Ｘ軸を駆動してウエハＷを保持したまま搬送アーム部２０をオリエンタ３６まで移動させる（Ｓ２０２）。この点も図１０中のＳ１５と同じである。そして、Ｒ、θ、Ｚ軸を駆動してウエハＷをオリエンタ３６の回転基準台６０上に移載する（Ｓ２０３）。この点も図１０中のＳ１６と同じである。
【００３９】
次に、ウエハＷを回転することによって図５及び図７に示すように光学的センサ６２と検出演算部６４を用いてこのウエハＷの偏心量Δｒと偏心方向を求める（Ｓ２０４）。この点も図１０中のＳ１７と同じである。この場合、改修したフォーク４８や搬送アーム本体４６に全く位置的な狂いが生じていなければ、偏心量Δｒはゼロとなるが、位置的な狂いが生じている場合には、その狂い量が偏心量Δｒとなって現れることになる。
次に、得られた偏心量Δｒと偏心方向に基づいてオリエンタティーチング基準位置Ｐ７における適正位置座標のみならず、他の全てのティーチング基準位置Ｐ１〜Ｐ６における適正位置座標を補正し、新たな適正位置座標とする（Ｓ２０５）。この場合、Ｘ座標については固定とし、Ｒ及びθ座標のみで補正を行なう。Ｘ座標の変動に関しては、Ｒ及びθ座標の補正で吸収できるからである。
【００４０】
次に、図１１において行ったようなマッピング操作、すなわちＺ軸調整を行なう（Ｓ２０６）。この場合、マッピングアーム５０とフォーク４８との間の距離Ｌ１を示す距離情報を求めるステップ（図１２中のＳ１０２、１０３）のみを行なえばよい。その理由は、各カセット容器におけるマッピング情報は、すでに得られているからである。そして、ここで得られた距離情報に基づいて、全てのティーチング基準位置の適正位置座標のＺ座標を補正して、新たな適正位置座標を求めるようにする。
【００４１】
このように、フォーク４８や搬送アーム本体４６を改修した場合には、全てのティーチング基準位置で再度位置合わせを行なう必要がなく、一部のティーチング基準位置で行なった位置合わせの結果を全てのティーチング基準位置において反映させることができる。従って、非常に迅速にリカバリーの位置合わせを行なうことができる。
尚、ここではフォーク４８や搬送アーム本体４６を改修した場合の位置合わせについて説明したが、移載アーム部１６のピックや移載アーム本体を改修した場合にも、同様な位置合わせを行なうことができる。
また、位置合わせ完了後の通常動作中においては、図１４に示すフローチャートのように、フォーク４８の位置ずれが生じないかチェックする。
まず、前述したような位置合わせ完了後、搬送アーム部２０をオリエンタ３６に移動し、オリエンタ３６の光学的センサ６２（図５及び図６参照）を用いてこのフォーク４８の特定位置を検出し、その座標を基準特定位置座標として制御部７２に記憶しておく（Ｓ３０１）。
【００４２】
図１５に示すようにフォーク４８の特定位置７４としては、フォーク４８の一部に設けた幅の狭いスリット状の光透過窓７６を用いてもよいし、図１６及び図１７に示すように２股に割れたフォーク４８のいずれか一方の先端のエッジ７８として規定してもよい。
図１５に示す場合には、例えばスリット状の光透過窓７６を光学的センサ６４により検出しつつＲ軸方向へ移動し、光透過窓７６がセンサ６４から外れた位置を基準特定位置座標とすればよい。
また、図１６及び図１７に示す場合には、まず、図１６に示すようにＸ、Ｚ、Ｒ軸を固定した状態でθ軸を駆動してフォーク４８の側面の端部を光学的センサ６２で検出し、次に、図１７に示すようにＲ軸を駆動してフォーク４８のエッジ７８を光学的センサ６２により検出するようにすればよい。これにより、基準特定位置座標を規定することができる。尚、特定位置の場所によっては、ウエハＷを保持したままでも検出することができる。
【００４３】
図１４に示すフローへ戻って、次に、通常の動作を開始し、搬送アーム部２０を用いて製品ウエハの搬送を行なってウエハＷの処理を継続的に行なう（Ｓ３０２）。そして、長期間の使用に従って、搬送アーム部２０自体に種々の機械的劣化等が生ずる可能性があるので、ある一定の期間だけ通常の運用を行なったならば（Ｓ３０３のＹＥＳ）、先のＳ３０１にて実施したように、搬送アーム部２０をオリエンタ３６に移動し、ここでオリエンタ３６の光学的センサ６２を用いて再度、フォーク４８の特定位置の座標を求め、これを特定位置座標とする（Ｓ３０４）。
【００４４】
次に、Ｓ３０１で求めた基準特定位置座標と上記Ｓ３０４で求めた特定位置座標とを比較し、その誤差を求める（Ｓ３０５）。そして、この誤差が予め定められた所定の値よりも小さい場合には（Ｓ３０６のＮＯ）、正常であると認識して再度、Ｓ３０２へ戻って通常動作を続行する。これに対して、上記誤差が所定の値よりも大きい場合には（Ｓ３０６のＹＥＳ）、フォーク４８の姿勢が機械的なガタ等により当初の姿勢とは大きく変化していることを示すので、このまま継続して動作を行なうと、他の部材とフォーク４８が衝突するなどして故障の原因となる場合が生ずる。従って、この場合には、動作を直ちに停止して警告ランプ等を点灯するなどの警告処理を実行して、その旨をオペレータに知らせる（Ｓ３０７）。これにより、フォーク４８が他の部材と衝突するなどの事故が発生することを未然に防止することができる。
【００４５】
尚、以上の各実施例では搬送アーム部２０には１本のフォーク付きの搬送アーム本体を設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されるものではなく、図１８に示すようにフォーク付きの搬送アーム本体を２本設けるようにした構造の搬送アーム部にも本発明方法を適用することができる。このような構造の搬送アーム部では、２本のフォークは一体的にＺ軸方向及びθ方向へは動作するが、Ｒ方向へは個別に制御可能である。このような搬送アーム部の位置合わせは、前述したような位置決め操作を各フォークに対して行なうようにすればよい。
また、上記実施例では、移載アーム部１６には１本のピック付きの移載アーム本体を設けた場合を例にとって説明したが、これに限定されるものではなく、図１８に示すようにピック付きの移載アーム本体を２本設けるようにした構造の移載アーム部にも本発明方法を適用することができる。
また、ここでは被搬送体として半導体ウエハを例にとって説明したが、これに限定されず、ＬＣＤ等を処理する場合のＬＣＤの搬送系についても適用できるのは勿論である。
更には、ここでは搬送システムの構造は単に一例を示したに過ぎず、搬送アーム部を用いてウエハ等を搬送するようなシステムであれば、どのような構造の搬送システムにも本発明方法を適用することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の搬送システムの搬送位置合わせ方法及び搬送システムによれば、次のように優れた作用効果を発揮することができる。
本発明によれば、搬送アーム部のフォークにマニュアルにより被搬送体を正確に位置合わせして載置したり、或いは各ティーチング基準位置にてマニュアルにより正確に位置合わせして設置した被搬送体を受け取りに行き、これを方向位置決め装置に搬送してその偏心量と偏心方向を求めることにより真に正しい適正位置座標を得ることができる。
従って、従来行なわれていた時間のかかる搬送アーム自体の正確な位置合わせは行なうことなく、或いは位置合わせを行なうとしても所要時間が少なくて済むラフな大まかな位置合わせで済むので、迅速に、且つ精度の高い位置合わせを行なうことができる。また、位置合わせ操作に個人差が入り込む余地もなく、オペレータの能力に関係なく、常に高い精度で位置合わせを行なうことができる。
【００４７】
例えば請求項４の発明によれば、ロードロック室の被処理体載置台に対する精度の高い位置合わせも行なうことができる。
例えば請求項５の発明によれば、移載室の移載アーム部の位置合わせ及び処理チャンバのサセプタに対する位置アーム部の精度の高い位置合わせも行なうことができる。
例えば請求項７の発明によれば、Ｚ座標に関しても補正を加えて適正位置座標とすることができる。
例えば請求項９の発明によれば、フォークまたは搬送アーム本体を改修した場合には、一箇所のティーチング基準位置に対して行なったＲ座標とθ座標の補正を、搬送アーム部の全てのティーチング基準位置に対して適用することができるので、搬送アーム部のＲ、θ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
【００４８】
例えば請求項１０の発明によれば、フォークまたは搬送アーム本体を改修した場合には、Ｚ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
例えば請求項１１の発明によれば、ピックまたは移載アーム本体を改修した場合には、ピックまたは移載アーム本体を改修した場合には、一箇所のティーチング基準位置に対して行なったＲ座標とθ座標の補正を、搬送アーム部の全てのティーチング基準位置に対して適用することができるので、搬送アーム部のＲ、θ座標に関して簡単且つ迅速に全ての適正位置座標を補正して新たな適正位置座標とすることができる。
例えば請求項１２の発明によれば、通常の動作中において、フォークの誤差ズレがどの程度発生したかを容易に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施するために用いるクラスタツール装置を示す概略構成図である。
【図２】搬送アーム部を示す概略構成図である。
【図３】マッピングアームを示す平面図である。
【図４】マッピング時の動作説明図である。
【図５】方向位置決め装置を示す側面図である。
【図６】方向位置決め装置へ被搬送体を載置した状態を示す平面図である。
【図７】方向位置決め装置における検出波形の一例を示す図である。
【図８】各ティーチング基準位置を示す図である。
【図９】位置決めの基本的動作を示すフローチャートである。
【図１０】位置決め操作を示すフローチャートである。
【図１１】位置決め操作を示すフローチャートである。
【図１２】図１０中のステップＳ２０で行なうマッピング操作（Ｚ座標調整）を示すフローチャートである。
【図１３】搬送アーム部に改修を行なった場合を示すフローチャートである。
【図１４】通常動作中にフォークの位置ずれが生じないかチェックする場合を示すフローチャートである。
【図１５】フォークの特定位置を検出する場合の動作を説明する説明図である。
【図１６】フォークの特定位置を検出する場合の動作を説明する説明図である。
【図１７】フォークの特定位置を検出する場合の動作を説明する説明図である。
【図１８】搬送アーム本体と移載アーム本体を２本ずつ設けた場合のクラスタツール装置を示す概略構成図ある。
【符号の説明】
２  クラスタツール装置
４  処理システム
６  搬送システム
８  移載室
１２Ａ〜１２Ｄ  処理チャンバ
１４Ａ〜１４Ｄ  サセプタ
１６  移載アーム部
２０  搬送アーム部
２２  搬送ステージ
２４  容器載置台
２６Ａ〜２６Ｄ  カセット容器
２８  案内レール
３０  ボールネジ（移動機構）
３６  オリエンタ（方向位置決め装置）
３８Ａ，３８Ｂ  ロードロック室
４０Ａ，４０Ｂ  被搬送体載置台
４６  搬送アーム本体
４８  フォーク
５０  マッピングアーム
６０  回転基準台
６２  光学的センサ
６４  ノッチ（切り欠き目印）
６６  レベル検出センサ
６８  レーザ素子
７０  受光素子
７２  制御部
７４  特定位置
７６  光透過窓
７８  エッジ
Ｐ０  搬送アーム基準点
Ｑ０  移載アーム基準点
Ｐ１〜Ｐ７，Ｑ１〜Ｑ６  ティーチング基準位置
Ｗ  半導体ウエハ（被搬送体）
【図１】
0004674705.tif 000002
【図２】
0004674705.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004674705.tif 000005
【図５】
0004674705.tif 000006
【図６】
0004674705.tif 000007
【図７】
0004674705.tif 000008
【図８】
0004674705.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004674705.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0004674705.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
0004674705.tif 000015
【図１５】
0004674705.tif 000016
【図１６】
0004674705.tif 000017
【図１７】
0004674705.tif 000018
【図１８】
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