(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも排気手段を搭載するとともに、複数のチップ管付フラットパネルを保持する保持部材と炉床開口部を塞ぐ断熱部材とを備え、強制対流型カート式連続処理炉内を移動させて前記フラットパネル内を排気する排気カートにおいて、
前記断熱部材の前端部あるいは後端部に炉内処理室の天井壁および側壁との間に所定隙間を形成する衝立部材を立設し、
前記排気カートの衝立部材の周縁部に前記隙間を塞ぐシール部材を設けたことを特徴とする排気カート。
【請求項２】
複数の区画室を備え、かつ、この区画室のそれぞれを独立して温度制御可能とした強制対流型カート式連続処理炉と、少なくとも排気手段を搭載し、かつ、複数のチップ管付フラットパネルを保持する排気カートとからなり、前記排気カートのフラットパネルを前記強制対流型カート式連続処理炉の区画室内に形成される処理室内に位置するように間欠搬送させながら処理する強制対流型カート式連続処理設備において、
前記区画室長さを排気カート長さの整数倍とし、かつ、前記排気カートの前端部あるいは後端部に前記処理室の天井壁および側壁と所定の隙間を形成する衝立部材を設けるとともに、
排気カートの停止時に形成される前記隙間を塞ぐシール機構を備え、
前記シール機構は、前記天井壁と側壁とに接触するように前記排気カートの衝立部材の周縁部に取り付けられたシール部材からなることを特徴とする強制対流型カート式連続処理設備。
【請求項３】
前記シール機構は、さらに前記処理室の天井壁および側壁に取り付けられたシール部材からなることを特徴とする請求項２に記載の強制対流型カート式連続処理設備。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）等の中空フラットパネルの内部を排気処理するのに使用する排気カートおよびフラットパネルの強制対流型カート式連続処理設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＰＤＰ等のフラットパネル内を真空排気する連続処理方式は、複数のチップ管付フラットパネルを搭載した排気カートを、強制対流型カート式連続処理炉内を移動させて処理するものである。
【０００３】
なお、前記チップ管付フラットパネルには、表面ガラス基板と裏面ガラス基板およびガラス基板とチップ管を融着用ガラスペーストを介在させてクリップ等の治具により一体に固定したもの、あるいは、これらを封着処理により一体に固定したものとがある。
【０００４】
たとえば、封着処理に引続き排気処理する強制対流型カート式連続処理炉Ｔは、図１、図５、図１０〜図１３に示すように、炉床に開口部７を全長にわたって有する封着処理ゾーンＡ、排気ゾーンＢおよび冷却ゾーンＣとからなる。
【０００５】
前記各ゾーンＡ，Ｂ，Ｃは、炉内に設けた循環バッフル１と炉内との空間を区画板Ｆで区画した複数の区画室Ｄで構成される（図５、図１０、図１１参照）。
【０００６】
詳しくは、封着処理ゾーンＡと排気ゾーンＢは、図１０に示すように、両側壁が多孔板１Ａ，１Ｂで構成された循環バッフル１が炉内に設けられるとともに、循環通路２にラジアントチューブバーナまたは電熱ヒータ等の熱源３が配置され、炉内の雰囲気は循環ファン４により多孔板１Ｂから吸引され、前記熱源３により加熱され、多孔板１Ａから循環バッフル１内の処理室Ｅへ吐出、多孔板１Ｂから吸引することにより区画室Ｄ内を循環し、下記するフラットパネルであるガラスパネルＰ１を強制対流加熱する。
【０００７】
なお、冷却ゾーンＣは、図１１に示すように、前記封着処理ゾーンＡ、排気ゾーンＢにおける熱源３に加えて炉床に冷却気体（空気）供給管６Ａと天井部に炉気排出管６Ｂ、あるいは冷却チューブ等の冷却源（図示せず）を有するもので、他の構成は前記封着処理ゾーンＡ（排気ゾーンＢ）と同一である。
【０００８】
前記ガラスパネルＰ１は、図１３に示すように、表面ガラス基板Ｗ１とチップ管Ｐａ付裏面ガラス基板Ｗ２とのいずれか一方の対向する外縁部に、融着用ガラスペーストからなる封着剤Ｓを塗布して重ね合わせ、クリップ等の治具Ｋにより一体に固定したものである。
【０００９】
図１３に示す治具Ｋは、チップ管Ｐａ部分に適用するもので、チップ管Ｐａ側の一片ａにチップ管Ｐａの径より少し幅の広い長溝ｂを設け、この長溝ｂ内にチップ管Ｐａを位置させた状態で、貫通孔ｃを有する保持部材ｄを嵌合させることでチップ管Ｐａを支持するようにしたものである。なお、チップ管Ｐａの支持方法は前記保持部材ｄに限らず、他の構成としてもよい。
【００１０】
また、チップ管Ｐａ以外の部分を固定するクリップには前記長溝ｂは不必要である。
【００１１】
排気カート１０’は、図１０、図１１に示すように、前記封着・排気炉Ｔの炉床下に敷設したレールＲ上をプッシャ（図示せず）により移動するもので、排気カート１０’の上面には前記封着・排気炉Ｔの開口部７を貫通してガラスパネルＰ１をほぼ水平状態で炉巾方向に保持する保持部材１１ａを有する支柱部材１１が複数配設されている。また、この支柱部材１１には前記開口部７と若干の間隙をもって開口部７を遮蔽する断熱部材１２を排気カート１０’の全長にわたって備えている。
【００１２】
さらに、排気カート１０’には、いずれも図示しない真空排気ポンプを有する真空排気系と放電ガスボンベを有する放電ガス供給系とが搭載されており、両者は電磁式開閉弁を介して接管金具に接続されている。さらにまた、排気カート１０’にはガラスパネルＰ１のチップ管Ｐａを溶断する封止ヒータ（図示せず）を備えている。
【００１３】
なお、前記レールＲは、強制対流型カート式連続処理炉Ｔの側方（リターンライン部）にも設けられ、両端は装入，抽出トランスファーカーＴｆ１，Ｔｆ２で接続され、前記排気カート１０’は循環するとともに、前記冷却ゾーンＣと抽出トランスファーカーＴｆ２との間に、放電ガス封入・封止ゾーンＺｇが設けてある。
【００１４】
つぎに、ＰＤＰの処理方法を説明する。
まず、前記ガラスパネルＰ１を積込み・積卸しゾーンＺで排気カート１０’に積込む。
この場合、ガラスパネルＰ１は図１０、図１１に示すように、チップ管Ｐａを断熱部材１２に設けた貫通孔（図示せず）に挿通し、たとえば、図示しないクリップ等の適宜手段により保持部材１１ａを介して排気カート１０’上にほぼ水平状態に載置固定されるとともに、前記チップ管Ｐａは前記接管金具に接続される。また、封止ヒータがチップ管Ｐａ部に取り付けられる。
【００１５】
前述のようにして複数のガラスパネルＰ１を載積した排気カート１０’は適宜手段で装入トランスファーカーＴｆ１に至り、ここで、強制対流型カート式連続処理炉Ｔの装入側に移動し、プッシャ等により図１２で示すように、連結状態で順次炉Ｔ内に装入される。したがって、炉床の開口部７は殆ど各排気カート１０’の断熱部材１２で閉鎖された状態となる。
【００１６】
前記排気カート１０’が炉内に装入されると、所定のヒートカーブにもとづいて、まず、ガラスパネルＰ１は封着処理ゾーンＡで封着剤Ｓが溶融して両ガラス基板Ｗ１，Ｗ２を封着してガラスパネルＰ２とする。そして、排気ゾーンＢに至ると、前記開閉弁を操作して各ガラスパネルＰ２内を真空排気ポンプに連通して排気する。
【００１７】
各ガラスパネルＰ２は炉Ｔ内を通過する間に加熱され、ガラスパネルＰ２内は１０−４〜１０−７Ｔｏｒｒまで排気されながら冷却ゾーンＣを経て炉Ｔ外に搬出され、放電ガス封入・封止ゾーンＺｇに至ると、真空排気ポンプを停止するとともに前記開閉弁を操作することにより放電ガスボンベからたとえば、ネオン（Ｎｅ）、アルゴル（Ａｒ）あるいはキセノン（Ｘｅ）等の放電ガスをガラスパネルＰ２内に規定圧力（４００〜７６０Ｔｏｒｒ）まで封入する。
【００１８】
そして、前記放電ガスの封入が完了すると、封止ヒータに通電してチップ管Ｐａを封じ切り、ＰＤＰとする。
【００１９】
その後、排気カート１０’は抽出トランスファーカーＴｆ２を通って積込み・積卸しゾーンＺに移行し、ここで前記処理済ＰＤＰを積卸すとともに新規なガラスパネルＰ１を積込み、前述の工程を繰り返す。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＰＤＰ用ガラスパネル等のフラットパネルの強制対流型カート式連続処理炉Ｔにおいては、各ゾーンＡ，Ｂ，Ｃは複数の区画室Ｄで構成されているが、循環バッフル１の内方（処理室Ｅ内）はフラットパネルＰ１，Ｐ２が通過するため、炉の装入側から抽出側にかけて連通している。したがって、各区画室Ｄの循環雰囲気温度を所定温度に制御しても、隣接区画室Ｄ間で雰囲気が混合するため、処理室Ｅ内の厳格な温度管理ができず、つまり、フラットパネルＰ１，Ｐ２の均一な加熱および冷却が行えず、良好な封着・排気処理あるいは排気処理を行うことができないという課題を有していた。
【００２１】
したがって、本発明は、前記課題を解決すべく種々検討の結果、フラットパネルの強制対流型カート式連続処理設備において、排気カートは強制対流型カート式連続処理炉内に互いに連結状態で装入され、炉床の開口部は断熱部材で閉鎖されて、いわゆる炉床が形成された状態であることに着目してなされたものである。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために、
少なくとも排気手段を搭載するとともに、複数のチップ管付フラットパネルを保持する保持部材と炉床開口部を塞ぐ断熱部材とを備え、強制対流型カート式連続処理炉内を移動させて前記フラットパネル内を排気する排気カートにおいて、
前記断熱部材の前端部あるいは後端部に炉内処理室の天井壁および側壁との間に所定隙間を形成する衝立部材を立設し、
前記排気カートの衝立部材の周縁部に前記隙間を塞ぐシール部材を設けた構成としたものである。
【００２３】
また、複数の区画室を備え、かつ、この区画室のそれぞれを独立して温度制御可能とした強制対流型カート式連続処理炉と、少なくとも排気手段を搭載し、かつ、複数のチップ管付フラットパネルを保持する排気カートとからなり、前記排気カートのフラットパネルを前記強制対流型カート式連続処理炉の区画室内に形成される処理室内に位置するように間欠搬送させながら処理する強制対流型カート式連続処理設備において、
前記区画室長さを排気カート長さの整数倍とし、かつ、前記排気カートの前端部あるいは後端部に前記処理室の天井壁および側壁と所定の隙間を形成する衝立部材を設けるとともに、
排気カートの停止時に形成される前記隙間を塞ぐシール機構を備え、
前記シール機構は、前記天井壁と側壁とに接触するように前記排気カートの衝立部材の周縁部に取り付けられたシール部材からなる構成としたものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】
つぎに、本発明の実施の形態を図１〜図９にしたがって説明する。
なお、強制対流型カート式連続処理炉Ｔと排気カート１０の基本構造は前記従来のものと同一のため、同一部分に同一符号を付して詳細は省略する。
【００２６】
本発明における排気カート１０は、図４、図６等から明らかなように、前記従来の排気カート１０’の断熱部材１２の前端部あるいは後端部に衝立部材１３を立設したもので、この衝立部材１３は強制対流型カート式連続処理炉Ｔの前記循環バッフル１内に形成された処理室Ｅの天井壁および側壁と所定隙間を形成するものである。なお、前記衝立部材１３の通過部（上部と両側）には、図６、図７に示すように、断熱材１５ａを金属薄板１６ａで被覆したシール部材１４Ａを取り付けてもよい。また、前記区画室Ｄの長さは前記排気カート１０の長さの整数倍（図示のものは等倍）となっている。
【００２７】
つぎに、本発明にかかる強制対流型カート式連続処理設備におけるガラスパネルＰ１の封着・排気方法を説明する。
【００２８】
まず、前記従来と同様、ガラスパネルＰ１を積込み・積卸しゾーンＺで排気カート１０の支柱部材１１に水平状態で複数段にわたって積込み、プッシャ等により連結状態で順次、強制対流型カート式連続処理炉Ｔ内に装入されるとともに、排気カート１０は、排気カート１０の長さずつ間欠搬送される。
【００２９】
すなわち、各排気カート１０は、各ゾーンＡ，Ｂ，Ｃにおける各区画室Ｄに位置し、各ゾーンＡ，Ｂ，Ｃにおける所定温度となった雰囲気が循環バッフル１の多孔板１Ａ，１Ｂを介して循環し、その間にガラスパネルＰ１は所定温度に加熱、冷却されて両ガラス基板Ｗ１，Ｗ２の封着処理とガラスパネルＰ２内の排気処理が行われる。
【００３０】
そして、排気カート１０が強制対流型カート式連続処理炉Ｔから抽出されて放電ガス封入ゾーンＺｇに来ると、放電ガスがガラスパネルＰ２内に封入されたのち、抽出側トランスファーカーＴｆ２により復路レールＲに移動され、治具取外し・封止ゾーンＺｃでクリップＫの取外しとチップ管Ｐａの封止切り処理が行われてガラスパネルＰ２はＰＤＰとなり、その後、積卸しゾーンＺｄでＰＤＰを積卸す。
【００３１】
ところで、前記排気カート１０が区画室Ｄ内（処理室Ｅ）に停止すると、排気カート１０の衝立部材１３に設けたシール部材１４Ａが区画板Ｆに圧着、あるいは接触し、たとえば、当該排気カート１０の衝立部材１３と後続の排気カート１０の衝立部材１３とで、図４に示すように、当該区画室Ｄの処理室Ｅは、隣接する区画室の処理室Ｅとの連通が遮断されることになる。
【００３２】
したがって、当該排気カート１０上のガラスパネルＰ１あるいはガラスパネルＰ２は所定温度に制御された雰囲気により正確に対流加熱あるいは冷却されることになる。
【００３３】
なお、前記実施の形態では、シール部材１４Ａを排気カート１０の衝立部材１３に設けた場合について述べたが、強制対流型カート式連続処理炉Ｔの前記区画室Ｄの境界を形成する区画板Ｆの位置における循環バッフル１の内面に断熱材１５ｂを金属薄板１６ｂで被覆したシール部材１４Ｂ、あるいは、これらに代えてエラストマー、断熱クロス、金属薄板１４Ｃ等を取り付けてもよい。また、若干シール性は劣るが、排気カート１０に衝立部材１３を出来るだけ処理室Ｅの側壁および天井壁に近設するように設けただけでもよい。
【００３４】
前記各実施の形態においては、ガラスパネルＰ１として表面ガラス基板Ｗ１に裏面ガラス基板Ｗ２を封着剤Ｓを塗布して重ね合わせたものとし、これを封着・排気処理する場合について述べたが、チップ管Ｐａが予め封着されたガラスパネルＰ２であってもよく、この場合は封着工程を経ることなく連続排気処理するものである。
【００３５】
また、前記実施の形態では、ガラスパネルＰ１を排気カート１０上に水平に載置する場合であるが、排気カート１０の進行方向に直行するように縦方向に載置してもよい。この場合、炉内雰囲気は循環バッフル１の両側下方から処理室Ｅ内に入り、天井部から循環ファン４に吸引されるようにするのが好ましい。
【００３６】
さらに、前記説明では真空排気される対象物として、ガラスパネルを示したが、これに限らず、合成樹脂製パネルあるいは金属製パネルであってもよい。
【００３７】
なお、前記説明では、パネルＰ２内を排気したのちガスを封入する場合について述べたが、ガスを封入することなくチップ管Ｐａを封止して断熱パネルとする場合であってもよい。
【００３８】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項１にかかる発明は、少なくとも排気手段を搭載するとともに、複数のチップ管付フラットパネルを保持する保持部材と炉床開口部を塞ぐ断熱部材とを備え、強制対流型カート式連続処理炉内を移動させて前記フラットパネル内を排気する排気カートにおいて、前記断熱部材の前端部あるいは後端部に炉内処理室の天井壁および側壁との間に所定隙間を形成する衝立部材を立設し、前記排気カートの衝立部材の周縁部に前記隙間を塞ぐシール部材を設けた構成としたため、先行あるいは後続の排気カートの衝立部材で、各々独立した別個の処理室が形成でき、処理室内の温度分布が均一化でき、つまり、フラットパネルを所定の温度に正確、かつ、効率的に加熱、冷却することができる。
【００３９】
請求項２、３にかかる発明は、強制対流型カート式連続処理炉と前記排気カートとからなり、前記処理炉を前記排気カート長さの整数倍長さの複数の区画室で構成し、排気カートを区画室内に間欠搬送させるようにし、かつ、排気カートの前端部あるいは後端部に区画室を形成する区画板との間に形成される隙間を塞ぐシール機構を備え、前記シール機構は、前記天井壁と側壁とに接触するように前記排気カートの衝立部材の周縁部に取り付けられたシール部材からなる構成とした強制対流型カート式連続処理設備であるため、フラットパネルを所定の温度により正確かつ効率的に加熱、冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を適用するフラットパネルの強制対流型カート式連続処理設備の概略平面図。
【図２】  本発明にかかる強制対流型カート式連続処理炉の封着処理ゾーン（排気ゾーン）の排気カートが位置する状態の断面図。
【図３】  本発明にかかる強制対流型カート式連続処理炉の冷却ゾーンの排気カートが位置する状態の断面図。
【図４】  図２のイ−イ線断面図。
【図５】  区画室、区画板、処理室の関係を示す説明図。
【図６】  排気カートの要部に関する斜視図。
【図７】  図６のロ−ロ線断面図。
【図８】  区画板に設けたシール部材の断面図。
【図９】  区画板に設けたシール部材の他の構成の断面図。
【図１０】  従来の強制対流型カート式連続処理炉の封着処理ゾーン（排気ゾーン）の排気カートが位置する状態の断面図。
【図１１】  従来の強制対流型カート式連続処理炉の冷却ゾーンの排気カートが位置する状態の断面図。
【図１２】  図１０のハ−ハ線断面図。
【図１３】  ガラスパネルの説明用部分斜視図。
【符号の説明】
１〜循環バッフル、１Ａ，１Ｂ〜多孔板、２〜循環通路、３〜熱源、４〜循環ファン、７〜開口部、１０〜排気カート、１１〜支柱部材、１１ａ〜保持部材、１２〜断熱部材、１３〜衝立部材、１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ〜シール部材、１５ａ，１５ｂ〜断熱材、１６ａ，１６ｂ〜金属薄板、Ａ〜封着処理ゾーン、Ｂ〜排気ゾーン、Ｃ〜冷却ゾーン、Ｄ〜区画室、Ｅ〜処理室、Ｆ〜区画板、Ｐ１〜ガラスパネル、Ｒ〜レール、Ｔ〜強制対流型カート式連続処理炉。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004745539.tif 000010
【図１０】
0004745539.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0004745539.tif 000013
【図１３】
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