(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する帯状のキャリアフィルムの表面上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラミックシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給機構及び第１搬送機構と、
前記搬送されたセラミックシートフィルムの裏面側に配設されて、上面にセラミックシートフィルムの裏面側を吸着する吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部を有し、セラミックシートフィルムの裏面側を固持して待機位置である第１停止位置と所定のセラミックシート積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移動する剥離テーブルを備えた剥離機構と、
前記第１停止位置の前方に近接して配置され、下面に前記セラミックシートを吸着する吸着機構を備えた積層ヘッドと、積層ヘッドの周囲にセラミックシートを切断する切断機構とを備えた積層機構と、
前記積層ヘッドの直下に対向して配設され、上部にヒータを内蔵するとともに、前記積層ヘッドに押圧することにより積層されたセラミックシートを熱圧着するプレスヘッドを備えた仮プレス機構と、
前記剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキャリアフィルムを前記剥離テーブルの鋭角端部に押圧する方向に連続的に搬送及び巻取る第２搬送機構及び巻取り機構と、を備え、
前記剥離テーブルの第１停止位置は前記鋭角端部先端が積層ヘッドの手前の位置であり、第２停止位置は前記鋭角端部先端が積層ヘッドの下面を通過した位置であり、
前記供給機構及び第１搬送機構は、
ロール状に回巻された前記セラミックシートフィルムを取付け、アクチュエータにより駆動されて順次セラミックシートフィルムを送り出し供給するための供給ローラを備えた供給機構と、
供給機構から供給された前記セラミックシートフィルムを案内して搬送する複数のガイドローラからなる第１搬送機構と、
第１搬送機構の中間に設けられ、前記セラミックシートフィルムの適宜なテンションを維持する第１テンション調整機構と、
前記剥離テーブルの手前に設けられ、剥離テーブルの進退動作に対応して剥離テーブルの進退方向に進退自在に移動するように構成され、剥離テーブルに対してセラミックシートフィルムを絶えず相対的に前進又は停止するように供給するためのフィードローラ機構と、を備え、
前記第２搬送機構及び巻取り機構は、
前記剥離機構の下方に配設され、剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキャリアフィルムを案内して搬送する複数のガイドローラからなる第２搬送機構と、
第２搬送機構に隣接して設けられ、前記キャリアフィルムを係止する少なくとも１つのフィルム係止機構と、
第２搬送機構の中間に設けられ、前記キャリアフィルムの適宜なテンションを維持する第２テンション調整機構と、
アクチュエータにより駆動されて第２搬送機構により搬送されたキャリアフィルムを最終的に巻取るための巻取りローラを備えた巻取り機構と、を有することを特徴とする積層セラミック部品の積層装置。
【請求項２】
前記フィードローラ機構は、
アクチュエータに連結されて前記剥離テーブルの移動方向に剥離テーブルの進退動作に対応して進退自在に移動するように構成されたスライド部材と、
前記スライド部材に取付けられて前記剥離テーブルの上面と略一直線上にセラミックシートフィルムを搬送する可動ローラとを備え、
前記可動ローラが常にセラミックシートフィルムを前進させる方向に回転するか又は停止するように可動ローラを進退移動させるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
【請求項３】
前記第１テンション調整機構は、
前記セラミックシートフィルムの張力を適宜一定の力に維持するための第１アクチュエータに連結されて第１アクチュエータの作動方向に進退自在に移動する第１スライド部材に取付けられ、セラミックシートフィルムを搬送する第１可動ローラを備え、
前記第２テンション調整機構は、
前記キャリアフィルムの張力を適宜一定の力に維持するための第２アクチュエータに連結されて第２アクチュエータの作動方向に進退自在に移動する第２スライド部材に取付けられ、キャリアフィルムを搬送する第２可動ローラを備えたことを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
【請求項４】
前記積層機構の積層ヘッドは、
前記仮プレス機構の外枠を形成してプレス反力を支持する仮プレスフレーム上部のフレーム天板と積層ヘッドとの間に配置されて、フレーム天板の下面に垂設された中空構造の支柱部材と、
前記フレーム天板及び支柱部材を挿通して設けられ、その上端に連結されたアクチュエータにより上下方向に進退自在に移動するロッド部材と、
ロッド部材の下端部に固設され、積層ヘッドの上端周囲に設けられた複数個のローラ部材の下部に配置されてローラの転動面となる板部材と、によって回動自在に支持されるとともに、
積層ヘッドの上端部に、前記支柱部材の上端部が挿通する中空部を有しフレーム天板の下面に固設されたアライメント機構と、上下方向に伸縮自在に構成された複数個のリニアスライド機構と、を介して係合され、
積層ヘッドが上方に後退したときは、積層ヘッドの上面が前記支柱部材の下端面に当接するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
【請求項５】
前記仮プレス機構のプレスヘッドを駆動する駆動機構は、
プレスヘッドの進退時に高速移動する高速駆動機構と、
最終プレス時に微速移動する微速駆動機構と、を備え、
前記高速及び微速移動の少なくとも２段に速度制御されることを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
【請求項６】
前記プレスヘッドの駆動機構は、
前記仮プレスフレームに固設されたガイド部材に案内されて上下に進退自在なスライド部材に連結された前記プレスヘッドの下部に軸受部材を介して回転自在に連結した動力伝達部材と、前記動力伝達部材の下部に固設されたナット部材とそのナット部材に係合したネジ部材とからなるネジ駆動機構と、前記ネジ部材の下端部に連結されて、ネジ部材を回転駆動する第１モータと、からなる高速駆動機構と、
前記動力伝達部材と係合する動力減速部材に連結され、前記ナット部材を回転駆動する第２モータと、前記第１モータの上部の仮プレスフレームに固設され、ネジ部材を回転係止するネジ部材係止機構とからなる微速駆動機構と、を備え、
前記第２モータを停止することにより前記ナット部材を係止した状態で第１モータを作動させ前記ネジ部材を回転して前記プレスヘッドを高速進退させ、前記最終プレス時には第１モータを停止すると同時に前記ネジ部材係止機構を作動させてネジ部材を係止した状態で第２モータを作動させ前記ナット部材を回転して前記プレスヘッドを微速進長させることを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック部品の積層装置。
【請求項７】
前記請求項１乃至請求項６に記載の積層セラミック部品の積層装置を用いて、導体パターンを印刷形成したセラミックシートを積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する積層セラミック部品の積層方法において、
前記セラミックシートフィルムを前記供給機構及び第１搬送機構により適宜のテンション調整を維持して連続的に供給及び搬送する供給及び搬送工程と、
前記セラミックシートフィルムをその裏面側が前記剥離機構に吸着及び固持されて前記積層位置に移動する前進工程と、
前記前進工程の間に、画像処理機構により確認したセラミックシートのずれ量をアライメント機構によって位置補正するアライメント工程と、
前記前進工程終了後、前記積層機構が前記セラミックシートフィルム上に下降してセラミックシートフィルムの表面のセラミックシートを吸着すると同時に前記剥離機構の吸着が解除されるとともに、前記切断機構が下降して前記セラミックシートの周辺を切断する切断工程と、
切断工程終了後、前記切断機構が上昇すると同時に前記フィルム係止機構により前記キャリアフィルムを係止した状態で、前記剥離機構が前記待機位置まで後退し、これに伴い前記セラミックシートフィルムの表面のセラミックシートが剥離される剥離工程と、
剥離工程終了後、前記フィルム係止機構が解除され、前記セラミックシートを吸着した積層機構が上昇するとともに、前記アライメント機構とも原点位置に復帰する待避工程と、
待避工程終了後、ヒータにより加熱された前記仮プレス機構が前記仮プレス駆動機構により高速で上昇し、前記セラミックシートがプレスを開始すると同時に仮プレス機構が微速上昇して最終プレスを行って前記セラミックシートを熱圧着する仮プレス工程と、を含み、
前記工程を所定回数行うことにより、上下にそれぞれ所定の数の積層された導体パターンが印刷形成されていないカバーシートにより挟み込まれた状態で所定の数の積層されたセラミックシートを所定の仮プレス力により熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成することを特徴とする積層セラミック部品の積層方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサ等の積層セラミック部品の積層方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、特に、積層セラミックコンデンサの分野では、体積当りの静電容量の増大及び小型化が強く望まれている。最近の情報産業の隆盛に伴い、その傾向はますます強まるとともに需要の増大に拍車がかかっている。そのため、セラミックシートの厚さを従来の２０μｍ位から５μｍ、さらには、４〜３．５μｍ程度のものまで要求されるようになっている。
【０００３】
従来の積層セラミック部品の積層装置の第１の例は、図２２に示すように、連続する帯状のキャリアフィルム８０ｂの表面上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラミックシートフィルム８０を連続的に供給する供給機構８１と、剥離された連続する帯状のセラミックシート８０ａを搬送する搬送機構８２と、キャリアフィルム８０ｂを連続的に巻取る巻取り機構８３と、搬送されたセラミックシート８０ａの表面側に配設され下面に吸着機構８５を備えて、セラミックシート８０ａを吸着して直接切り取るとともにプレス機８８上まで移送機構８４を介して搬送する吸着・搬送機８７と、搬送されたセラミックシート８０ａを順次熱圧着してセラミック積層体を形成するプレス機８８とから構成されていた。
ここで、セラミックシート８０ａは、供給機構８１及び巻取り機構８３と搬送機構８２との組合せによりセラミックシートフィルム８０のキャリアフィルム８０ｂから連続する帯状の状態で剥離される。
【０００４】
セラミックシート８０ａは、機械的強度が比較的低いため厚さが薄くなると脆くなり、吸着・搬送機８７で吸着してキャリアフィルム８０ｂからセラミックシート８０ａを切断・剥離する際などに、セラミックシート８０ａに皺、破れ、変形などが生じ易い。このため、従来の前記第１の例においては、セラミックシート８０ａの厚さは２０μｍ以上に限定されていた。
【０００５】
これを解決するため例えば、特開平７−１４２８号公報には、図２３に示すような概念図により、セラミックシートフィルム８０を連続的に供給及び搬送する供給機構８１及び搬送機構８２と、キャリアフィルム８０ｂを連続的に巻取る巻取り機構８３と、搬送されたセラミックシートフィルム８０の裏面側に配設されて鋭角端部８９ａを有する剥離台８９と、搬送されたセラミックシートフィルム８０の表面側に配設され下面に吸着機構８５を備えて、セラミックシートフィルム８０の表面を吸着してセラミックシート８０ａを切り取るとともにプレス機８８上まで移送機構８４を介して搬送する吸着・搬送機８７と、搬送されたセラミックシート８０ａを順次熱圧着してセラミック積層体を形成するプレス機８８とから構成された第２の例が提案されている。
第２の例においては、剥離台８９上において搬送されたセラミックシートフィルム８０からその表面のセラミックシート８０ａのみを吸着・搬送機８７により切断し、同時に巻取り機構８３によりキャリアフィルム８０ｂを剥離台８９の鋭角端部８９ａに押圧する方向にキャリアフィルム８０ｂを巻取ることによって切断されたセラミックシート８０ａがキャリアフィルム８０ｂから剥離されるように構成した点が、第１の例の欠点を改善したものである。これによって、セラミックシート８０ａの厚さが５μｍのものまで積層することが可能になったとの記載がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の技術には、下記の問題点があった。
（１）積層タクトタイムが長い。
吸着・搬送機が比較的長い距離を水平移動する搬送時間や、プレス時の積層セラミックシートへの気泡巻込み防止のため制限されたプレス機のプレス時間などによりセラミックシート１枚当りのタクトタイムが長い（約６〜７秒）。
（２）積層精度が悪い。
比較的重量構造の吸着・搬送機が搬送水平移動するため、セラミックシート積層時の精度が比較的悪い（約１０μｍ程度）。
（３）積層セラミックシートへの気泡巻込み。
タクトタイムをできるだけ短縮するためプレス機の高速化を図ると、プレス時に積層セラミックシート間に気泡を巻込むとともに、セラミックシートに皺が発生し易い等の難点があった。
（４）セラミックシートの厚さに限界。
以上の構成では、セラミックシートの厚さは５μｍ以上が限界である。さらに薄膜化の要求には、上記問題点の改善に加えてセラミックシートフィルムの供給機構及び搬送機構やキャリアフィルムの巻取り機構等に各フィルムのテンション調整機構やセラミックシートフィルムのセラミックシート切断位置精度確保のためのフィード機構などの適正な調整機構を加える必要があるなど工夫の余地が有る。
【０００７】
これらの問題点を解決すべく、本発明の目的は、５μｍ未満の薄いセラミックシートに対応でき、高積層精度及び積層セラミックシートへの気泡巻込み防止が可能で、積層タクトタイムが短縮された高性能で高生産能力を有し、省スペースである積層セラミック部品の積層方法とその装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明による積層セラミック部品の積層装置は、連続する帯状のキャリアフィルムの表面上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラミックシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給機構及び第１搬送機構と、前記搬送されたセラミックシートフィルムの裏面側に配設されて、上面にセラミックシートフィルムの裏面側を吸着する吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部を有し、セラミックシートフィルムの裏面側を固持して待機位置である第１停止位置と所定のセラミックシート積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移動する剥離テーブルを備えた剥離機構と、前記第１停止位置の前方に近接して配置され、下面に前記セラミックシートを吸着する吸着機構を備えた積層ヘッドと、積層ヘッドの周囲にセラミックシートを切断する切断機構とを備えた積層機構と、前記積層ヘッドの直下に対向して配設され、上部にヒータを内蔵するとともに、前記積層ヘッドに押圧することにより積層されたセラミックシートを熱圧着するプレスヘッドを備えた仮プレス機構と、前記剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキャリアフィルムを前記剥離テーブルの鋭角端部に押圧する方向に連続的に搬送及び巻取る第２搬送機構及び巻取り機構と、を備え、前記剥離テーブルの第１停止位置は前記鋭角端部先端が積層ヘッドの手前の位置であり、第２停止位置は前記鋭角端部先端が積層ヘッドの下面を通過した位置であり、前記供給機構及び第１搬送機構は、ロール状に回巻された前記セラミックシートフィルムを取付け、アクチュエータにより駆動されて順次セラミックシートフィルムを送り出し供給するための供給ローラを備えた供給機構と、供給機構から供給された前記セラミックシートフィルムを案内して搬送する複数のガイドローラからなる第１搬送機構と、第１搬送機構の中間に設けられ、前記セラミックシートフィルムの適宜なテンションを維持する第１テンション調整機構と、前記剥離テーブルの手前に設けられ、剥離テーブルの進退動作に対応して剥離テーブルの進退方向に進退自在に移動するように構成され、剥離テーブルに対してセラミックシートフィルムを絶えず相対的に前進又は停止するように供給するためのフィードローラ機構と、を備え、前記第２搬送機構及び巻取り機構は、前記剥離機構の下方に配設され、剥離機構からセラミックシートが切断剥離されたキャリアフィルムを案内して搬送する複数のガイドローラからなる第２搬送機構と、第２搬送機構に隣接して設けられ、前記キャリアフィルムを係止する少なくとも１つのフィルム係止機構と、第２搬送機構の中間に設けられ、前記キャリアフィルムの適宜なテンションを維持する第２テンション調整機構と、アクチュエータにより駆動されて第２搬送機構により搬送されたキャリアフィルムを最終的に巻取るための巻取りローラを備えた巻取り機構と、を有することを特徴とする。
【００１０】
また、前記フィードローラ機構は、アクチュエータに連結されて剥離テーブルの移動方向に剥離テーブルの進退動作に対応して進退自在に移動するように構成されたスライド部材と、前記スライド部材に取付けられて前記剥離テーブルの上面と略一直線上にセラミックシートフィルムを搬送する可動ローラとを備え、前記可動ローラが常にセラミックシートフィルムを前進させる方向に回転するか又は停止するように可動ローラを進退移動させるように構成した。
【００１１】
また、前記第１テンション調整機構は、前記セラミックシートフィルムの張力を適宜一定の力に維持するための第１アクチュエータに連結されて第１アクチュエータの作動方向に進退自在に移動する第１スライド部材に取付けられ、セラミックシートフィルムを搬送する第１可動ローラを備え、前記第２テンション調整機構は、前記キャリアフィルムの張力を適宜一定の力に維持するための第２アクチュエータに連結されて第２アクチュエータの作動方向に進退自在に移動する第２スライド部材に取付けられ、キャリアフィルムを搬送する第２可動ローラを備えた。
【００１２】
また、前記積層機構の積層ヘッドは、前記仮プレス機構の外枠を形成してプレス反力を支持する仮プレスフレーム上部のフレーム天板と積層ヘッドとの間に配置されて、フレーム天板の下面に垂設された中空構造の支柱部材と、前記フレーム天板及び支柱部材を挿通して設けられ、その上端に連結されたアクチュエータにより上下方向に進退自在に移動するロッド部材と、ロッド部材の下端部に固設され、積層ヘッドの上端周囲に設けられた複数個のローラ部材の下部に配置されてローラの転動面となる板部材とによって回動自在に支持されるとともに、積層ヘッドの上端部に、前記支柱部材の上端部が挿通する中空部を有しフレーム天板の下面に固設された前記アライメント機構と、上下方向に伸縮自在に構成された複数個のリニアスライド機構を介して係合され、積層ヘッドが上方に後退したときは、積層ヘッドの上面が前記支柱部材の下端面に当接するように構成されていることを特徴とする。
【００１３】
また、前記仮プレス機構のプレスヘッドを駆動する駆動機構は、プレスヘッドの進退時に高速移動する高速駆動機構と、最終プレス時に微速移動する微速駆動機構とを備え、前記高速及び微速移動の少なくとも２段に速度制御されることを特徴とする。
【００１４】
また、前記プレスヘッドの駆動機構は、前記仮プレスフレームに固設されたガイド部材に案内されて上下に進退自在なスライド部材に連結された前記プレスヘッドの下部に軸受部材を介して回転自在に連結した動力伝達部材と、前記動力伝達部材の下部に固設されたナット部材とそのナット部材に係合したネジ部材とからなるネジ駆動機構と、前記ネジ部材の下端部に連結されて、ネジ部材を回転駆動する第１モータとからなる高速駆動機構と、前記動力伝達部材と係合する動力減速部材に連結され、前記ナット部材を回転駆動する第２モータと、前記第１モータの上部の仮プレスフレームに固設され、ネジ部材を回転係止するネジ部材係止機構とからなる微速駆動機構とを備え、前記第２モータを停止することにより前記ナット部材を係止した状態で第１モータを作動させ前記ネジ部材を回転して前記プレスヘッドを高速進退させ、前記最終プレス時には第１モータを停止すると同時に前記ネジ部材係止機構を作動させてネジ部材を係止した状態で第２モータを作動させ前記ナット部材を回転して前記プレスヘッドを微速進長させることを特徴とする。
【００１５】
また、前記の積層セラミック部品の積層装置を用いて、導体パターンを印刷形成したセラミックシートを積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する積層セラミック部品の積層方法において、前記セラミックシートフィルムを前記供給機構及び第１搬送機構により適宜のテンション調整を維持して連続的に供給及び搬送する供給及び搬送工程と、前記セラミックシートフィルムをその裏面側が前記剥離機構に吸着・固持されて前記積層位置に移動する前進工程と、前記前進工程の間に、前記画像処理機構により確認したセラミックシートのずれ量を前記アライメント機構によって位置補正するアライメント工程と、前記前進工程終了後、前記積層機構が前記セラミックシートフィルム上に下降してセラミックシートフィルムの表面のセラミックシートを吸着すると同時に前記剥離機構の吸着が解除されるとともに、前記カッタ機構が下降して前記セラミックシートの周辺を切断する切断工程と、切断工程終了後、前記切断機構が上昇すると同時に前記フィルム係止機構により前記キャリアフィルムを係止した状態で、前記剥離機構が前記待機位置まで後退し、これに伴い前記セラミックシートフィルムの表面のセラミックシートが剥離される剥離工程と、剥離工程終了後、前記フィルム係止機構が解除され、前記セラミックシートを吸着した積層機構が上昇するとともに、前記アライメント機構とも原点位置に復帰する待避工程と、待避工程終了後、ヒータにより加熱された前記仮プレス機構が前記仮プレス駆動機構により高速で上昇し、前記セラミックシートのプレスを開始すると同時に仮プレス機構が微速上昇して最終プレスを行って前記セラミックシートを熱圧着する仮プレス工程とを含み、前記工程を所定回数行うことにより、上下にそれぞれ所定の数の積層された導体パターンが印刷形成されていないカバーシートにより挟み込まれた状態で所定の数の積層されたセラミックシートを所定の仮プレス力により熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の最も好ましい一実施の形態について、添付図面を参照し詳細に説明する。
図１は、本発明に係る一実施の形態による積層セラミック部品の積層装置の概念図である。
本発明に係る積層セラミックコンデンサ等の積層セラミック部品の積層装置は、連続する帯状のＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）などの材質からなるキャリアフィルム１ｂの表面上に内部電極となる導体パターンが印刷形成されたセラミックシートフィルム１を連続的に供給及び搬送する供給機構１１及び第１搬送機構と、搬送されたセラミックシートフィルム１の裏面側に配設されて、上面にセラミックシートフィルム１の裏面側を吸着する吸着機構２６ｄを備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部２６ｅを有し、セラミックシートフィルム１の裏面側を固持して待機位置である第１停止位置と所定のセラミックシート積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移動する剥離テーブル２６ａを備えた剥離機構２６と、前記第１停止位置の前方に近接して配置され、下面にセラミックシート１ａを吸着する吸着機構３３を備えた積層ヘッド３１ａと、積層ヘッド３１ａの周囲にセラミックシート１ａのみを切断する切断機構３４とを備えた積層機構３１と、積層ヘッド３１ａの直下に対向して配設され、上部に図示しないヒータを内蔵するとともに、積層ヘッド３１ａに押圧することにより積層されたセラミックシート１ａを熱圧着するプレスヘッド３６ａを備えた仮プレス機構３６と、剥離機構２６からセラミックシート１ａが切断剥離されたキャリアフィルム１ｂを剥離テーブル２６ａの鋭角端部２６ｅに押圧する方向にキャリアフィルム１ｂを連続的に搬送及び巻取る後述する第２搬送機構及び巻取り機構２５とを備えている。
吸着機構２６ｄ及び３３は、例えば、適宜大きさの複数の孔を有する多孔質板などから構成されている。
【００１８】
図１０に示すように、剥離テーブル２６ａの第１停止位置Ｐ１は鋭角端部２６ｅの先端が積層ヘッド３１ａの手前の位置であり、第２停止位置Ｐ２は鋭角端部２６ｅの先端が積層ヘッド３１ａの下面を通過した位置である。
【００１９】
供給機構１１及び第１搬送機構は、図１に示すように、ロール状に回巻されたセラミックシートフィルム１を取付け、図示しないアクチュエータにより駆動されて順次セラミックシートフィルム１を送り出し供給するための供給ローラ１１ａを備えた供給機構１１と、供給機構１１から供給されたセラミックシートフィルム１を案内して搬送する複数のガイドローラ１２、１３、１５、１６からなる第１搬送機構と、第１搬送機構の中間に設けられ、セラミックシートフィルム１の適宜な（例えば、１〜２ｋｇ程度の）テンション（張力）を維持する第１テンション調整機構１４と、剥離テーブル２６ａの手前に設けられ、剥離テーブル２６ａの進退動作に対応して剥離テーブル２６ａの進退方向に進退自在に移動するように構成され、剥離テーブル２６ａに対してセラミックシートフィルム１を絶えず相対的に前進又は停止するように供給するためのフィードローラ機構１７とを備えている。
【００２０】
第１テンション調整機構１４は、セラミックシートフィルム１の張力を前記適宜一定の力に維持するための第１アクチュエータ１４ｃに連結されて、第１アクチュエータ１４ｃの作動方向に延設された第１ガイド部材１４ｂに案内されて進退自在に移動する第１スライド部材１４ａに取付けられ、セラミックシートフィルム１を搬送する第１可動ローラ１４ｄを備えている。また、第１スライド部材１４ａには、第１可動ローラ１４ｄの位置を検出し制御信号を操作制御ユニットに送るポテンショメータなどの第１位置センサ１４ｅが、第１アクチュエータ１４ｃと平行して配設されている。
【００２１】
フィードローラ機構１７は、剥離テーブル２６ａの移動方向に延設されたガイドレール部材１７ｂに案内されて、剥離テーブル２６ａの進退動作に対応して進退自在に移動するようにアクチュエータ１７ｃに連結されたスライド部材１７ａと、スライド部材１７ａに取付けられて剥離テーブル２６ａの上面と略一直線上にセラミックシートフィルム１を搬送する可動ローラ１７ｄとを備え、可動ローラ１７ｄが常にセラミックシートフィルム１を前進させる方向に回転するか又は少なくとも停止するように可動ローラ１７ｄを進退移動させるように構成されている。
このような構成によって、剥離テーブル２６ａの進退動作中に常にセラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａに対して相対的に後退させることなく、後述の監視機構２７を備えた画像処理機構とも組合され、セラミックシートフィルム１上のセラミックシート１ａの位置を所定の待機位置である第１の停止位置Ｐ１に精度よく合せて搬送することができる。
【００２２】
第２搬送機構及び巻取り機構２５は、剥離機構２６の下方に配設され、剥離機構２６からセラミックシート１ａが切断剥離されたキャリアフィルム１ｂを案内して搬送する複数のガイドローラ１９、２０、２１、２２、２４からなる第２搬送機構と、第２搬送機構に隣接して設けられ、キャリアフィルム１ｂを係止するフィルム係止機構２８、２９と、第２搬送機構の中間に設けられ、キャリアフィルム１ｂの適宜な（例えば、１〜２ｋｇ程度の）テンションを維持する第２テンション調整機構２３と、図示しないアクチュエータにより駆動されて第２搬送機構により搬送されたキャリアフィルム１ｂを最終的に巻取るための巻取りローラ２５ａを備えた巻取り機構２５とを備えている。
第２搬送機構のうちのガイドローラ１９、２０及び２１とフィルム係止機構２８は、スライド部材２６ｂ上に取付けられており、剥離テーブル２６ａと共に進退移動する。
【００２３】
フィルム係止機構２８、２９は、それぞれガイドローラ１９、２２に隣接して設けられ、図示しないアクチュエータによりガイドローラ１９、２２の方向に係止部材２８ａ、２９ａを押付けてガイドローラ１９、２２上を搬送されているキャリアフィルム１ｂを係止する。
剥離テーブル２６ａが第１停止位置Ｐ１から第２停止位置Ｐ２まで前進するときにフィルム係止機構２８が作動し、剥離機構２６においてキャリアフィルム１ｂの表面からセラミックシート１ａを切断及び剥離する過程で、剥離テーブル２６ａが第２停止位置Ｐ２から第１停止位置Ｐ１の方向に後退するときにフィルム係止機構２９が作動し、いずれのときもキャリアフィルム１ｂが後戻りしないように係止される。
【００２４】
第２テンション調整機構２３は、キャリアフィルム１ｂの張力を前記適宜一定の力に維持するための第２アクチュエータ２３ｃに連結されて第２アクチュエータ２３ｃの作動方向に延設されたガイド部材２３ｂに案内されて進退自在に移動する第２スライド部材２３ａに取付けられ、キャリアフィルム１ｂを搬送する第２可動ローラ２３ｄを備えている。
また、第２スライド部材２３ａには、第２可動ローラ２３ｄの位置を検出し制御信号を操作制御ユニットに送るポテンショメータなどの第２位置センサ２３ｅが、第２アクチュエータ２３ｃと平行して配設されている。
【００２５】
前記画像処理機構は、剥離テーブル２６ａの上方に近接して積層機構３１の手前に少なくとも２ヶ所配設され、第１停止位置Ｐ１において、セラミックシートフィルム１上のセラミックシート１ａの位置を規定する図示しないマークの位置を監視するＣＣＤカメラなどの監視機構２７、３５と、監視機構２７、３５によって得られたセラミックシート１ａの位置ずれ画像データを画像処理してそのずれ量を確認する図示しない画像処理システムとから構成されている。
監視機構２７、３５は、セラミックシート１ａが例えば四角形のものであれば、その四角形の対角に前記マークも配置されているので、その対角に対応して少なくとも１個ずつ配設するのが望ましい。
【００２６】
また、第１停止位置Ｐ１近辺に設けられている図示しないファイバーセンサなどの第１位置検出手段が、剥離テーブル２６ａ上に搬送されたセラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａの待機位置である第１停止位置Ｐ１にセラミックシート１ａに設けられている図示しないストップマークの位置を検出し、第１停止位置Ｐ１に正確に合せて停止させ待機を行わせる。
【００２７】
さらに、第２停止位置Ｐ２近辺に設けられている図示しないファイバーセンサなどの第２位置検出手段が、剥離テーブル２６ａがセラミックシート積層位置である第２停止位置Ｐ２まで前進した時にセラミックシート１ａのストップマークの位置を検出し、第２停止位置Ｐ２に正確に合せて停止させる。
【００２８】
積層機構３１は、その上部に、前記画像処理機構によって画像処理して確認されたセラミックシート１ａのずれ量を位置補正するアライメント機構３２が設けられている。
【００２９】
アライメント機構３２は、既に市販されている公知のものであり詳細な説明は省略するが、図２及び図３にそれぞれ構成及び作動の概念図を示すように、平面配置構造のトップテーブル３２ａとベース３２ｂとの間の４隅に、平面内水平軸Ｘ１、Ｘ２軸とこれに直交するＹ軸方向に進退自在に構成されたＸ１、Ｘ２、Ｙ軸クロスリニアガイド３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３とＸ１、Ｘ２、Ｙ軸クロスローラリング３２ｄ１、３２ｄ２、３２ｄ３とを組合せたモジュール及び第４クロスローラリング３２ｄ４が平面配置されている。
【００３０】
図１及び図４に示すように、トップテーブル３２ａが積層ヘッド３１ａの上面に取付けられ、ベース３２ｂが仮プレス機構３６の外枠を形成してプレス反力を支持する仮プレスフレーム３６ｋの天板３６ｋ１に固定されている。
Ｘ１、Ｘ２、Ｙ軸クロスリニアガイド３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３は、それぞれカップリング３２ｅ１、３２ｅ２、３２ｅ３を介してＸ１、Ｘ２、Ｙ軸モータＭ１、Ｍ２、Ｍ３によってそれぞれＸ１、Ｘ２、Ｙ軸方向に進退自在に駆動され、図３に示すように、前記３つのモジュールを選択的に駆動することによりトップテーブル３２ａに取付けられた積層ヘッド３１ａを水平面内で適宜Ｘ１、Ｘ２、Ｙ軸移動又は回転させ、前記セラミックシート１ａのずれ量を正確に位置補正（アライメント）することができる。
【００３１】
積層機構３１の積層ヘッド３１ａは、図４及び図５に示すように、仮プレスフレーム３６ｋ上部のフレーム天板３６ｋ１と積層ヘッド３１ａとの間に配置されて、フレーム天板３６ｋ１の下面に垂設された中空構造の支柱部材３７と、フレーム天板３６ｋ１及び支柱部材３７の内部に配設されたリニアブッシュなどの軸受部材３７ｂ、３７ｃ、３７ｄを挿通して設けられ、その上端に連結されたエアシリンダなどのアクチュエータ３９により上下方向に僅かに（例えば２ｍｍ程度）進退自在に移動するロッド部材３１ｂと、ロッド部材３１ｂの下端部に固設され、積層ヘッド３１ａの上端周囲にローラ取付部材３８ａを介して設けられた少なくとも３個以上の複数個のボルト付ボールベアなどのローラ部材３８の下部に配置されてローラの転動面となる板部材３１ｃとによって回動自在に支持されている。
【００３２】
アクチュエータ３９は、例えば、フレーム天板３６ｋ１上に図示しない固定部材によりヒンジ連結されたエアシリンダであり、図４に示すように、エアシリンダロッド先端の先端部材３９ａと、中央部がロッド部材３１ｂの上端の先端部材３１ｄとピンなどの軸部材３１ｅによってヒンジ結合され、一方の端部がフレーム天板３６ｋ１の上面に立設された支持部材３１ｇ先端部とピンなどの軸部材３１ｈによってヒンジ結合されたリンク部材３１ｆの他方の端部とピンなどの軸部材３１ｉによってヒンジ結合されている。
また、アクチュエータ３９が作動し、シリンダロッドが下方に伸張したとき、シリンダロッド先端部材３９ａの下端部に固設されたストップ部材３９ｂが、フレーム天板３６ｋ１上面に垂設された位置決め調整ネジブロック３１ｊに当接して停止する。この停止位置は、以下に述べるが、剥離テーブル２６ａが積層位置である第２停止位置Ｐ２に来た時、積層ヘッド３１ａの下面がセラミックシートフィルム１上に軟接触してセラミックシート１ａを吸引する第２の停止位置として、調整ネジブロック３１ｊにより調整される。
【００３３】
さらに、積層ヘッド３１ａの上端部に、支柱部材３７の上端部が挿通する中空部３２ｆを有しフレーム天板３６ｋ１の下面に固設されたアライメント機構３２のベース３２ｂの下部のトップテーブル３２ａと、上下方向に僅かに（例えば２ｍｍ程度）伸縮自在に構成された複数個のリニアスライド機構３２ｃを介して係合されている。
そして、積層ヘッド３１ａがアクチュエータ３９により上方に引上げられ後退したときは、積層ヘッド３１ａの上面が支柱部材３７の下端面３７ａに当接するように構成されている。
【００３４】
このような構成により、積層ヘッド３１ａが上方に後退した状態で仮プレス機構３６が作動してプレスされるが、プレス反力は積層ヘッド３１ａから直接支柱部材３７を経てフレーム天板３６ｋ１に伝わる。
すなわち、精緻な機構であるアライメント機構３２にはプレス反力が掛らないように構成されている。
【００３５】
なお、アクチュエータ３９は、次の２段階で作動する。
まず初めに、積層機構３１の積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方のアライメント作動位置である第１の停止位置まで伸展させる。
この第１の停止位置で、前記画像処理機構により確認したセラミックシート１ａのずれ量をアライメント機構３２によって位置補正が行われる。
次に前記アライメント工程終了後に、再びアクチュエータ３９が作動して積層積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方の吸着位置である第２の停止位置まで伸展させセラミックシートフィルム１上に接触させる。
この第２の停止位置で、積層積層ヘッド３１ａがセラミックシートフィルム１の表面のセラミックシート１ａを吸着する。
【００３６】
切断機構３４は、図６乃至図８に示すように、積層ヘッド３１ａの周囲に沿って配設されたガイド部材３４ｋに係合して進退自在に移動するスライド部材３４ｊに配設されたリンク機構３４ｈを介して回転自在に取付けられてセラミックシート１ｂのみを同時に切断する複数個のカッタ３４ａと、積層ヘッド３１ａの周囲に配設されて、スライド部材３４ｊを進退させるための、図示しないアクチュエータにより駆動される駆動タイミングプーリ３４ｂ、駆動タイミングベルト３４ｄに係合して駆動される従動タイミングプーリ３４ｃ及び従動タイミングベルト３４ｅなどから構成された駆動機構と、カッタ３４ａをリンク機構３４ｈを介して上下移動するためのアクチュエータ３４ｑと、リンク機構３４ｈに取付けられカッタ３４ａを適宜の力で押し下げる方向に付勢する付勢部材３４ｉとを備えている。
【００３７】
カッタ３４ａは、図７及び図８に示すように、スライド部材３４ｊの下方部に突設されたカッタフレーム３４ｇの下端部に一端部をピンなどの軸支部材３４ｎを介してヒンジ結合されたカッタアーム３４ｆの他端部にピンなどの軸支部材３４ｍを介してリンク機構３４ｈと共に回転自在にヒンジ結合されている。
また、ガイド部材３４ｋの下方の積層ヘッド３１ａの周囲に延設されて、その上部に設けられたアクチュエータ３４ｑにより上下に進退自在に構成された押下げ部材３４ｒが、図８に示すように、カッタアーム３４ｆの上部を介してカッタ３４ａを押し下げるように構成されている。
【００３８】
一方、リンク機構３４ｈの上部に取付けられた付勢部材３４ｉは、カッタ３４ａがアクチュエータ３４ｑによりセラミックシート１ａの上面に接するように押し下げられときにはカッタ３４ａを適宜の力で押し下げる方向に付勢し、その付勢力はセラミックシート１ａのみを切断するように調整されている。
このような構成により、アクチュエータ３４ｑの過大な押下げ力が直接カッタ３４ａに伝わらず、キャリアフィルム１ｂまで切断することのないように付勢部材３４ｉが緩衝の役割を果たしている。
しかし、付勢部材３４ｉは、アクチュエータ３４ｑが後退した通常の待機状態では、リンク機構３４ｈを介してカッタ３４ａを自動的に引上げる方向に張力が作動するように構成されている。
【００３９】
仮プレス機構３６のプレスヘッド３６ａを駆動する駆動機構は、プレスヘッド３６ａの進退時に高速移動する高速駆動機構と、最終プレス時に微速移動する微速駆動機構とを備え、前記高速及び微速移動の少なくとも２段に速度制御される。
【００４０】
プレスヘッド３６ａの駆動機構は、図１に示すように、仮プレスフレーム３６ｋに固設されたガイド部材３６ｎに案内されて上下に進退自在なスライド部材３６ｐに連結されたプレスヘッド３６ａの下部に軸受部材３６ｅを介して回転自在に連結した動力伝達部材３６ｈと、動力伝達部材３６ｈの下部に固設されたナット部材３６ｇとナット部材３６ｇに係合したネジ部材３６ｃとからなるネジ駆動機構３６ｂと、ネジ部材３６ｃの下端部に連結されて、ネジ部材３６ｃを回転駆動する第１モータ３６ｊとからなる高速駆動機構と、図９に示すように、動力伝達部材３６ｈと係合する動力減速部材３６ｉに連結され、ナット部材３６ｇを回転駆動する第２モータ３６ｍと、第１モータ３６ｊの上部の仮プレスフレーム３６ｋに固設され、ネジ部材３６ｃを回転係止するネジ部材係止機構３６ｆとからなる微速駆動機構とを備えている。
【００４１】
第２モータ３６ｍを停止することによりナット部材３６ｇを係止した状態で第１モータ３６ｊを作動させ、ネジ部材３６ｃを回転してプレスヘッド３６ａを高速進退させ、最終プレス時には第１モータ３６ｊを停止すると同時にネジ部材係止機構３６ｆを作動させてネジ部材３６ｃを係止した状態で第２モータ３６ｍを作動させ、ナット部材３６ｇを回転してプレスヘッド３６ａを微速進長させる。
【００４２】
以上の構成により、例えば、プレスヘッド３６ａの前記高速進退は、ストローク５５ｍｍを０．２〜０．５秒程度の高速で、微速進長は、０．２ｍｍを約０．２秒以上から可変の微速に制御される。
これは、積層タクトタイムの短縮を図るためプレスヘッド３６ａを高速伸張させるが、最終プレス段階で積層セラミックシート１ａ及び／又は後述する導体パターンが印刷形成されていないカバーシートを熱圧着するときにはプレスヘッド３６ａを微速伸張させ、積層セラミックシート１ａ間及び／又はカバーシート間の空気を充分に追い出して気泡を巻込まないようにするためである。
【００４３】
次に、前記の積層セラミック部品の積層装置を用いて、セラミックシート１を積層し、熱圧着してセラミック積層体を形成する本発明の一実施の形態による積層セラミック部品の積層方法について、図１０乃至図１９を参照して説明する。
【００４４】
まず、積層セラミック部品の積層第１工程は、図１及び図１０に示すように、セラミックシートフィルム１を供給機構１１及び第１搬送機構により適宜のテンション調整を維持して第１停止位置Ｐ１に待機している剥離テーブル２６ｅ上に連続的に供給及び搬送する供給及び搬送工程である。
このとき、前記第１位置検出手段によって、剥離テーブル２６ａ上に搬送されたセラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａの第１停止位置Ｐ１に▲１▼番のセラミックシート１ａの位置を正確に合せて停止させ待機を行わせる。
【００４５】
次に、積層第２工程は、図１１に示すように、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａが伸展してにキャリアフィルム１ｂを係止した状態で、セラミックシートフィルム１の裏面側を剥離テーブル２６ａに吸着・固持されて、前記第２位置検出手段により積層位置である第２停止位置Ｐ２に正確に合せて移動する前進工程と、この前進工程の間に、アクチュエータ３９（図４）が作動して積層機構３１の積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方のアライメント作動位置である第１の停止位置まで伸展させた状態で、前記画像処理機構により確認した▲１▼番のセラミックシート１ａのずれ量をアライメント機構３２によって位置補正するアライメント工程とを含む前進及びアライメント工程である。
【００４６】
次に、積層第３工程は、前記アライメント工程終了後、図１２に示すように、再びアクチュエータ３９（図４）が作動して積層積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）下方の吸着位置である第２の停止位置まで伸展させセラミックシートフィルム１上に接触させて、積層ヘッド３１ａがセラミックシートフィルム１の表面の▲１▼番のセラミックシート１ａを吸着すると同時に剥離機構３１の吸着が解除される積層機構吸着工程である。
【００４７】
次に、積層第４工程は、図１３に示すように、カッタ機構３４が下降してセラミックシート１ａの周辺を切断する切断工程である。
【００４８】
引続き、積層第５工程は、図１４に示すように、切断機構３４が上昇する切断機構待避工程である。
【００４９】
引続き、積層第６工程は、図１５に示すように、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａが後退して係止状態を解除するとともに、フィルム係止機構２９の係止部材２９ａが伸展してキャリアフィルム１ｂを係止した状態で、剥離テーブル２６ａが待機位置の第１停止位置Ｐ１まで後退し、これに伴いセラミックシートフィルム１の表面の▲１▼番のセラミックシート１ａが剥離される剥離工程である。
このとき、前記第１位置検出手段によって、図１６に示すように、剥離テーブル２６ａ上に搬送されたセラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａの第１停止位置Ｐ１に▲２▼番のセラミックシート１ａの位置を正確に合せて停止させ待機を行わせる。
【００５０】
次に、積層第７工程は、図１６に示すように、剥離工程終了後、前記フィルム係止機構２９の係止部材２９ａが後退して係止状態が解除され、アクチュエータ３９（図４）が後退して▲１▼番のセラミックシート１ａを吸着した積層ヘッド３１ａを僅かに（例えば約１ｍｍ程度）上方の前記第１の停止位置まで上昇させた状態で、アライメント機構３２が原点位置に復帰するアライメント機構待避工程である。
【００５１】
引続き、積層第８工程は、図１７に示すように、アライメント機構待避工程終了後さらに、積層機構３１がアクチュエータ３９（図４）の作動により原点の退避位置まで上昇する積層機構待避工程である。
【００５２】
次に、積層第９工程は、図１８に示すように、積層機構待避工程終了後、ヒータにより加熱された仮プレス機構３６が仮プレス駆動機構により高速で伸張（上昇）する仮プレス機構高速伸張工程である。
【００５３】
引続き、積層第１０工程は、図１９に示すように、▲１▼番のセラミックシート１ａのプレスを開始すると同時に仮プレス機構３６が微速伸張（上昇）して最終プレスを行って▲１▼番のセラミックシート１ａを熱圧着する仮プレス工程である。
【００５４】
最後に、積層第１１工程は、図示しないが図１０のように、仮プレス機構３６が待機位置まで高速で後退（下降）する仮プレス機構待避工程である。
なお、フィルム係止機構２８の係止部材２８ａも後退して係止状態が解除される。
【００５５】
前記工程を順次▲２▼、▲３▼、―――番のセラミックシート１ａに対して所定回数繰返し行うことにより、上下にそれぞれ所定の数（例えば、４０〜５０枚程度）の積層された導体パターンが印刷形成されていないカバーシートにより挟み込まれた状態で所定の数（例えば、２００〜４００枚程度）の積層されたセラミックシート１ａを所定（例えば８トン程度）の仮プレス力により熱圧着して一体化し、セラミック積層体を形成する。
【００５６】
次に、本発明に係る一実施の形態による積層セラミック部品の積層システム全体について、添付の図２０及び図２１を参照して説明する。
【００５７】
本発明に係る一実施の形態による積層セラミック部品の積層システムは、図１に示すとともに前記したように、供給機構１１及び第１搬送機構と、剥離機構２６と、前記画像処理機構と、第２搬送機構及び巻取り機構２５とからなるセラミックシートフィルム供給搬送ユニット１０と、図２０に示すように、セラミックシートフィルム供給搬送ユニット１０の前方に第１の側面３０ａを隣接して配設され、図１に示すように、積層機構３１と、仮プレス機構３６とからなる積層仮プレスユニット３０と、積層仮プレスユニット３０の第１の側面３０ａと相対側の第２の側面３０ｂに隣接して配置され、いずれも図示しないが図１及び前記のセラミックシートフィルム供給搬送ユニット１０と同様に構成され、連続する帯状のキャリアフィルムの表面上に導体パターンが印刷形成されていないカバーシートフィルムの適宜なテンションを維持するテンション調整機構を備え、カバーシートフィルムを連続的に供給及び搬送する供給機構及び第１搬送機構と、前記搬送されたカバーシートフィルムの裏面側に配設されて、上面にカバーシートフィルムの裏面側を吸着する吸着機構を備え、先端上方部が適宜な鋭角で形成された鋭角端部を有し、カバーシートフィルムの裏面側を固持して待機位置である第１停止位置と所定のカバーシート積層位置である第２停止位置との間を進退自在に移動する剥離テーブルを備えた剥離機構とからなるカバーシートフィルム供給搬送ユニット７０と、積層仮プレスユニット３０の第３または第４のいずれかの側面（例えば第３の側面３０ｃ）に隣接して配置され、ヒータ及び真空吸引機構５１ａ、５２ａを内蔵するとともに、積層仮プレスユニット３０で一体化形成されて搬送機構により搬送された積層体を仮プレス機構３６のプレス力より強大な所定（例えば、５０トン程度）のプレス力により熱圧着して最終的にセラミック積層体を形成する本プレス機構から構成される積層本プレスユニット５０と、セラミックシートフィルム供給搬送ユニット１０、カバーシートフィルム供給搬送ユニット７０、積層仮プレスユニット３０及び積層本プレスユニット５０の各吸着機構及び真空吸引機構に真空を供給するための真空発生ユニット４０等と、図１に示すような上記各ユニットの操作制御及びモニター用パネル６１、を含む操作制御ユニット６０とから構成されている。
【００５８】
積層本プレスユニット５０は、図２１に示すように、上面にヒータを内蔵するとともに、積層仮プレスユニット３０で一体化形成されて搬送された前記積層体を真空吸引するヒータ及び真空吸引機構５１ａを備えたプレス台座５１と、下面にヒータ及び真空吸引機構５２ａを内蔵するとともに、プレス台座５１上面に接触する位置まで下降して前記積層体を密閉して真空吸引する密閉機構５２ｂを備え、積層体を前記所定のプレス力により熱圧着して最終的にセラミック積層体を形成するプレスヘッド５２とを備えた積層本プレス機構と、その積層本プレス機構を支えるフレーム台座５４と、前記全体を覆うカバー５９とからなっている。
【００５９】
プレス台座５１は、フレーム台座５４の上面に固設されている。
また、プレスヘッド５２は、フレーム台座５４の上面に立設されたガイド部材５５に案内されて上下方向に進退自在に移動するスライド部材５６の中央下面に固設されている。
スライド部材５６の中央上面には、ガイド部材５５の上端にナットなどの固定部材５８によって固設されたシリンダ取付け部材５７の中央に取付けられた流体圧シリンダ５３のシリンダロッド５３ａの先端が連結されている。この流体圧シリンダ５３により前記所定の強大なプレス力が得られる。
【００６０】
積層仮プレスユニット１０において積層される積層体は、前記したように、積層セラミックシート１ａの上下部がそれぞれ適宜枚数（例えば、４０〜５０枚程度）のカバーシートの積層体である。
【００６１】
【発明の効果】
以上、詳細に説明した本発明による積層セラミックコンデンサなどのセラミック積層部品の積層方法とその装置は、下記のような従来にない優れた効果を奏する。
（１）積層タクトタイムを短縮化及び省スペース化。
積層機構３１の水平移動をなくし、剥離機構２６のセラミックシート１ａの大きさに近い最小限距離の水平移動によるセラミックシートフィルム１の搬送及びセラミックシート１ａの剥離を行うこと（省スペース化）と、仮プレス機構３６の高速及び微速制御の採用による高速プレスを可能にしたこととによって、セラミックシート１枚当りのタクトタイムを、例えば前記従来の約６〜７秒から３．８秒に大幅に短縮化した。
【００６２】
（２）積層精度を向上。
比較的重量構造の積層機構３１の水平移動をなくし、剥離機構２６の水平移動によるセラミックシートフィルム１の搬送を行うようにしたことと、フィードローラ機構１７により常にセラミックシートフィルム１を剥離テーブル２６ａに対して相対的に後退させることなく、前記画像処理機構とも組合され、セラミックシートフィルム１上のセラミックシート１ａの位置を所定の待機位置である第１の停止位置Ｐ１に精度よく合せて搬送することと、アライメント機構３２によりセラミックシート１ａのずれ量を最終的に正確に位置補正することとによって、セラミックシート積層時の精度を、例えば前記従来の約１０μｍ程度から５μｍ以内に大幅に向上させた。
【００６３】
（３）積層セラミックシートへの気泡巻込み及び皺発生を防止。
仮プレス機構３６の高速及び微速制御の採用による最終的な微速プレスを可能にしたことによって、積層セラミックシート１ａ間及び／又はカバーシート間の空気を充分に追い出して気泡を巻込まないようにするとともに、これによってセラミックシートに皺が発生しないようにした。
【００６４】
（４）セラミックシートの薄膜化要求に対応可能。
以上の構成と効果等によって、セラミックシートの厚さを、例えば前記従来の限界である５μｍ以上から２〜３．５μｍの薄膜化の要求に充分対応可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る一実施の形態による積層セラミック部品の積層装置の概念図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視、アライメント機構の概念図である。
【図３】アライメント機構の作動概念図である。
【図４】図１のＦ部（積層機構支持構造）の詳細図である。
【図５】図４のＧ−Ｇ矢視図（積層機構支持構造部）である。
【図６】図１のＢ−Ｂ矢視図（カッタ機構の概念図）である。
【図７】図６のＤ−Ｄ矢視図（カッタ機構の概念図）である。
【図８】図７のＥ−Ｅ矢視図（カッタ機構の概念図）である。
【図９】図１のＣ−Ｃ矢視図（仮プレス機構の概念図）である。
【図１０】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第１工程図（供給及び搬送工程図）である。
【図１１】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第２工程図（前進及びアライメント工程図）である。
【図１２】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第３工程図（積層機構吸着工程図）である。
【図１３】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第４工程図（切断工程図）である。
【図１４】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第５工程図（切断機構待避工程図）である。
【図１５】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第６工程図（剥離工程図）である。
【図１６】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第７工程図（アライメント機構待避工程図）である。
【図１７】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第８工程図（積層機構待避工程図）である。
【図１８】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第９工程図（仮プレス機構高速伸張工程図）である。
【図１９】本発明の積層セラミック部品の積層装置による積層セラミック部品の積層第１０工程図（仮プレス工程図）である。
【図２０】本発明に係る一実施の形態による積層セラミック部品の積層システムの概念平面図である。
【図２１】図２０のＦ−Ｆ矢視、本プレス機構の概念図である。
【図２２】従来の積層セラミック部品の積層装置（第１の例）の概念図である。
【図２３】従来の積層セラミック部品の積層装置（第２の例）の概念図である。
【符号の説明】
１、８０    セラミックシートフィルム
１ａ、８０ａ  セラミックシート
１ｂ、８０ｂ  キャリアフィルム
１０      セラミックシートフィルム供給搬送ユニット
１１、８１  供給機構
１２、１３、１５、１６、１８、１９、２０、２１、２２、２４、２９、８２搬送機構（ガイドローラ）
１４        第１テンション調整機構
１４ａ        第１スライド部材
１４ｂ        第１ガイド部材
１４ｃ        第１アクチュエータ
１４ｄ        第１可動ローラ
１４ｅ        第１位置センサ
１７        フィードローラ機構
１７ａ、２６ｂ、３４ｊ、３４ｐ、３６ｐ、５６  スライド部材
１７ｂ、２６ｃ、３４ｋ、３６ｎ、５５  ガイド部材
１７ｃ、２６ｆ  、３４ｑ、３９  アクチュエータ
１７ｄ        可動ローラ
２３        第２テンション調整機構
２３ａ        第２スライド部材
２３ｂ        第２ガイド部材
２３ｃ        第２アクチュエータ
２３ｄ        第２可動ローラ
２３ｅ        第２位置センサ
２５、８３    巻取り機構
２６        剥離機構
２６ａ        剥離テーブル
２６ｄ、３３、８５  吸着機構
２６ｅ        鋭角端部
２７、３５    監視機構（ＣＣＤカメラ）
２８        第１フィルム係止機構
２８ａ、２９ａ  係止部材
２９        第２フィルム係止機構
３０        積層仮プレス装置ユニット
３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ  第１、第２、第３、第４の側面
３１        積層機構
３１ａ        積層ヘッド
３１ｂ        ロッド部材
３１ｃ        板部材
３１ｄ、３９ａ  先端部材
３１ｅ、３１ｈ、３１ｉ  軸部材
３１ｆ        リンク部材
３１ｇ        支持部材
３２        アライメント機構
３２ａ        トップテーブル
３２ｂ        ベース
３２ｃ１、３２ｃ２、３２ｃ３  Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸クロスリニアガイド
３２ｄ１、３２ｄ２、３２ｄ３  Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸クロスローラリング
３２ｄ４      第４クロスローラリング
３２ｅ        リニアスライド機構
３２ｆ        中空部
３４        切断機構
３４ａ、８６    カッタ
３４ｂ        従動タイミングプーリ
３４ｃ        駆動タイミングプーリ
３４ｄ        駆動タイミングベルト
３４ｅ        従動タイミングベルト
３４ｆ        カッタアーム
３４ｇ        カッタフレーム
３４ｈ        リンク機構
３４ｉ        付勢部材
３４ｍ        カッタ軸
３４ｒ        押下げ部材
３６        仮プレス機構
３６ａ、５２    プレスヘッド
３６ｂ        ネジ駆動機構
３６ｃ        ネジ部材
３６ｅ、３７ｂ、３７ｃ、３７ｄ  軸受部材
３６ｆ        ネジ部材係止機構
３６ｇ        ナット部材
３６ｈ        動力伝達部材
３６ｉ        動力減速部材
３６ｊ        第１モータ
３６ｋ        仮プレスフレーム
３６ｋ１        フレーム天板
３６ｍ        第２モータ
３７        支柱部材
３７ａ        下端面
３８        ローラ部材
３８ａ        ローラ取付け部材
４０        真空発生ユニット
５０        本プレス装置ユニット
５０ａ        流体圧ユニット
５１        プレス台座
５１ａ、５２ａ  ヒータ及び真空吸引機構
５２ｂ        密閉機構
５３        流体圧シリンダ
５３ａ        シリンダロッド
５４        フレーム台座
５５        ガイド部材
５７        シリンダ取付け部材
５８        固定部材
５９        カバー
６０        操作制御ユニット
６１        制御パネル
６２        操作パネル
７０        カバーシート供給装置ユニット
８４        移送機構
８７        吸着・切断機
８８        プレス機
８９        剥離台
Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３  Ｘ１軸、Ｘ２軸、Ｙ軸モータ
Ｐ１        第１停止位置（待機位置）
Ｐ２        第２停止位置（積層位置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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