(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤを巻回したスプールを回転させてスプールの側方へとワイヤを繰り出すモータと、前記スプールの側方に設置され、前記スプールから繰り出されたワイヤの送り方向を下方に変更させるワイヤガイドと、前記ワイヤガイドの下方に設置され、ワイヤガイドからのワイヤを挟持して下方に送りを掛ける送りローラと、前記スプールから前記ワイヤガイドに向け自重で弛むテンションレス状態で送給されるワイヤの弛み量が規定の下限値まで低減したときの該ワイヤの高さ位置を検出する非接触式のワイヤ位置センサを具備し、前記ワイヤ位置センサの検出信号に基づいて前記モータによるワイヤ繰り出し量を調整するワイヤ送給装置であって、
前記スプールと前記ワイヤガイドとの間にストッパーが配置され、該ストッパーは、ガイドローラと、該ガイドローラを回転可能及び上下動可能に保持するガイド穴とを備え、該ガイドローラは前記ワイヤの上下動に追従して前記ガイド穴に沿って上下動し、前記ガイド穴の天井面に当接したときに、前記ワイヤ位置センサの高さ以上に上昇しない上限位置に前記ワイヤの上昇変位を規制することを特徴とするワイヤ送給装置。
【請求項２】
前記スプールを支持するモータと前記ワイヤガイドおよび前記ワイヤ位置センサを支持する第一支持体と、前記送りローラを支持する第二支持体を備え、前記第二支持体は前記送りローラから送られたワイヤが供給される対象物に対して相対移動する可動体であり、前記第一支持体は前記第二支持体に対し定位置にある固定体であることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ送給装置。
【請求項３】
前記スプールとワイヤガイドの間に、前記スプールに最初に巻回されて、スプールの回転で最後にスプールから繰り出されたワイヤ終端部を検知するワイヤエンドセンサを設置したことを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤ送給装置。
【請求項４】
前記ワイヤエンドセンサは、前記スプールに終端が係止されたワイヤがスプールの回転で繰り出されて弛んだワイヤ終端部がスプールの更なる回転でスプールに巻き取られるようになると、このワイヤ終端部を検知するワイヤエンドセンサを含むことを特徴とする請求項３に記載のワイヤ送給装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造設備などに使用されるワイヤ送給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームを使って半導体装置を製造するダイボンダでは、半田ワイヤや金線ワイヤを定量送りするワイヤ送給装置が使用される。例えば、リードフレームのアイランド上に半導体チップをマウントする場合、アイランド上に供給した定量の半田上に半導体チップを供給する。アイランドへの半田供給を行うワイヤ送給装置は、アイランド上に半田ワイヤを所定長さずつ定量的に繰り出す。このワイヤ送給装置は、長尺な半田ワイヤを巻回したスプールから半田ワイヤを送りローラを使って繰り出す。送りローラは、半田ワイヤを挟持して回転する一対のローラで構成される。送りローラから送り出された半田ワイヤの先端が、予熱されたリードフレームにおけるアイランドの複数箇所に順に当接して溶融する。
【０００３】
上記ワイヤ送給装置は、スプールから送りローラに繰り出される半田ワイヤにテンションを付与したものや、テンションを付与すると共にスプールに巻回されたワイヤの巻き癖を矯正するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。半田ワイヤにテンションを付与するワイヤ送給装置の概要を、図６〜図８を参照して説明する。
【０００４】
図６および図７に示されるワイヤ送給装置１０は、ワイヤ供給の対象物であるリードフレーム１のアイランド上に半田ワイヤ２を定量ずつ供給する。リードフレーム１は水平な搬送路３上に設置され、搬送路３上を間欠送りされる。搬送路３に沿ってＸＹテーブル１１が水平なＸ方向とＹ方向に可動に設置され、ＸＹテーブル１１にワイヤ送給装置１０が設置される。ワイヤ送給装置１０は、半田ワイヤ２を巻回するスプール１２を回転させて半田ワイヤ２を繰り出すパルスモータ１３と、スプール１２から側方に繰り出された半田ワイヤ２の途中箇所を突き上げてテンションを付与するテンションローラ１４と、テンションローラ１４からの半田ワイヤ２を真下にガイドするワイヤガイド１５と、ワイヤガイド１５の下方に配置された送りローラ１６を備える。
【０００５】
ＸＹテーブル１１上に固定された支持体２０に横方向にテンションバー２１が支軸２２を支点に上下に揺動自在に設置される。テンションバー２１の先端部にテンションローラ１４が回転自在に配設される。テンションバー２１の先端部は、テンションばね２３で常時上方に附勢される。テンションばね２３は、テンションバー２１とテンションローラ１４の合計重量の負荷に打ち勝つばね力でテンションバー２１を附勢する。ワイヤガイド１５は、支持体２０に固定された略１／４円弧のガイド面である。送りローラ１６は、ＸＹテーブル１１の側面に取り付けた作業ヘッド３０に設置される。作業ヘッド３０は、ＸＹテーブル１１に上下動可能に設置される。作業ヘッド３０に上下に分けて一対の鉛直なノズル３１、３２が固定され、この両ノズル３１、３２の間に送りローラ１６が設置される。送りローラ１６は、図８に示すように金属ローラ１６ａとゴムローラ１６ｂの一対で構成される。金属ローラ１６ａの外周に形成したガイド溝２５に半田ワイヤ２が嵌入され、ゴムローラ１６ｂがガイド溝２５に半田ワイヤ２を押圧する。金属ローラ１６ａをサーボモータ（図示せず）などでワイヤ送り方向に回転駆動させると、両ローラ１６ａ、１６ｂで挟持された半田ワイヤ２が下方に送られ、この送りにゴムローラ１６ｂが従動回転する。
【０００６】
スプール１２から繰り出された半田ワイヤ２はテンションローラ１４の外周上部に向けて斜めに上昇移動し、テンションローラ１４の外周上部からワイヤガイド１５のガイド面に向けて斜めに下降移動して、ワイヤガイド１５の真下に配置されたノズル３１に挿通される。ノズル３１に挿通された半田ワイヤ２は、ノズル３１の下端から金属ローラ１６ａとゴムローラ１６ｂの間を通過して、下部のノズル３２に挿通される。金属ローラ１６ａとゴムローラ１６ｂが半田ワイヤ２を挟持するグリップ力で、スプール１２から延びる半田ワイヤ２が張設され、半田ワイヤ２がテンションローラ１４をテンションばね２３のばね力に抗し押し下げ、テンションバー２１が図６で時計方向に揺動し、半田ワイヤ２にテンションが掛けられる。下部のノズル３２はリードフレーム１に半田ワイヤ２を直接に供給する半田供給ノズルで、１回の半田供給毎に送りローラ１６が駆動して半田ワイヤ２を定量ずつ送り出す。
【０００７】
送りローラ１６が半田ワイヤ２を送り出す毎に、ノズル３１内の半田ワイヤ２が下方に引っ張られ、テンションバー２１が下方に揺動してテンションローラ１４が下がり、半田ワイヤ２に掛かるテンションが増大する。テンションローラ１４の下降量が規定値以上になる時点を図示しないセンサで検出して、パルスモータ１３を駆動させてスプール１２を回転させ、半田ワイヤ２を繰り出してテンションを調整する。また、スプール１２から半田ワイヤ２を繰り出すことで、テンションバー２１が上方に揺動してテンションローラ１４が上がり、半田ワイヤ２に掛かるテンションが減少すると、テンションローラ１４の上昇量が規定値以上になる時点を図示しないセンサで検出して、テンションを調整する。
【特許文献１】特開平０６−３１３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図６のワイヤ送給装置１０のように半田ワイヤ２に適宜のテンションを掛けて送りローラ１６で定量的にワイヤ送りすることで、送給される半田ワイヤ２が送給途中で弛んでワイヤ解れが生じるなどのトラブル発生が減少する。しかし、半田ワイヤ２の線径が小さくなるほど、送りローラ１６によるグリップ力が低減して、半田ワイヤ２に掛かるテンションで半田ワイヤ２が送りローラ１６に対してワイヤ送り方向と反対方向にスリップする可能性が大きくなり、定量的なワイヤ安定供給が難しくなる。
【０００９】
例えば、半導体装置製造に使用される半田ワイヤ２は、線径が０．２５ｍｍの極細ワイヤから線径が０．８ｍｍを超えるワイヤと様々であり、最近は半導体チップのますますの小形化で極細ワイヤが多用される傾向にある。このような極細ワイヤを、送りローラ１６の一対の金属ローラ１６ａとゴムローラ１６ｂで挟持して送りを掛ける場合、極細ワイヤは各ローラとの接触面積が少なくて挟持されるときのグリップ力が小さくなり、また、ゴムローラ１６ｂの変質や摩耗でグリップ力が低下するため、グリップ力がワイヤに掛かるテンションに負けて金属ローラ１６ａとゴムローラ１６ｂの間でスリップすることがある。また、図６に示すワイヤ送給装置１０のように、ＸＹテーブル１１でワイヤ送給装置１０における下部のノズル３２をワイヤ供給対象物であるリードフレーム１の複数箇所の真上に順に間欠移動させて半田供給すると、ＸＹテーブル１１の間欠移動時に半田ワイヤ２とテンションバー２１が上下に振動して、半田ワイヤ２に掛かるテンションが変動し、このテンションの変動で半田ワイヤ２が送りローラ１６に対してスリップし易くなり、定量的なワイヤ安定供給が更に難しくなる問題がある。
【００１０】
また、スプール１２に巻回される半田ワイヤ２は、スプール１２に巻始め端を係止（ロック）せずフリーにして巻回するエンドフリータイプと、スプール１２に巻始め端を係止（ロック）して巻回するエンドロックタイプがある。エンドフリータイプの半田ワイヤ２の場合、スプール１２から最終的に繰り出されるワイヤ終端部がスプール１２から離脱して送りローラ１６まで送給されて、ワイヤ送りが停止する。また、エンドロックタイプの半田ワイヤ２の場合、スプール１２から繰り出されたワイヤ終端部がスプール１２を引っ張る状態になると、ワイヤ送りが停止する。このようなワイヤ送り停止は、その停止の事前に自動で検知して対処することが望ましいが、現状ではリードフレーム１への半田供給のＮＧ品が生じることでワイヤ送り停止を検知するか、スプール１２のワイヤ残量を作業員が監視することで検知するようにしている。前者の場合、ワイヤ供給対象物に余分なＮＧ品を出す不具合がある。後者の場合、極細ワイヤにおいてはスプールでのワイヤ残量の誤認があり、信頼性に欠ける。
【００１１】
本発明の目的とするところは、送りローラで送りが掛けられるワイヤが極細ワイヤであっても、送りローラに対してスリップすることなく安定したワイヤ供給ができるワイヤ送給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ワイヤを巻回したスプールを回転させてスプールの側方へとワイヤを繰り出すモータと、スプールの側方に設置されてスプールから繰り出されたワイヤの送り方向を下方に変更させるワイヤガイドと、前記ワイヤガイドの下方に設置されてワイヤガイドからのワイヤを挟持して下方に送りを掛ける送りローラと、スプールからワイヤガイドに向け自重で弛むテンションレス状態で送給されるワイヤの弛み量が規定の下限値まで低減したときの該ワイヤの高さ位置を検出する非接触式のワイヤ位置センサを具備し、ワイヤ位置センサの検出信号に基づいてモータによるワイヤ繰り出し量を調整するワイヤ送給装置であって、スプールとワイヤガイドとの間にストッパーが配置され、ストッパーは、ガイドローラと、ガイドローラを回転可能及び上下動可能に保持するガイド穴とを備え、ガイドローラはワイヤの上下動に追従してガイド穴に沿って上下動し、ガイド穴の天井面に当接したときに、ワイヤ位置センサの高さ以上に上昇しない上限位置にワイヤの上昇変位を規制する構成を提供する。
【００１３】
ここで、ワイヤは、半田ワイヤや金線ワイヤが適用できる。半田ワイヤの場合は、線径が０．２ｍｍ〜０．８ｍｍの範囲のものが有効に適用できる。長尺なワイヤがスプールに多層に巻回され、表層のワイヤがスプールの回転で側方に繰り出される。スプールとワイヤガイドはほぼ同じ高さ位置に設置されて、スプールから側方に繰り出されたワイヤが弛んだ状態でワイヤガイドへと延び、ワイヤガイドから真下に延びて送りローラで挟持され、送りローラの回転で下方へと送りが掛けられる。スプールからワイヤガイドに延在するワイヤは自重で弛んだ状態、つまり、テンションが掛からないテンションレス状態にあり、テンションレスのまま送りローラへと延びるため、送りローラによるグリップ力が低下してもスリップすることなく送りローラで送りが掛けられ、安定したワイヤ送りができる。ワイヤ位置センサは、スプールとワイヤガイドの間で弛んだワイヤの弛み量が規定の下限値まで低減したときのワイヤの高さ位置を検出する非接触式センサであり、ワイヤ位置センサのワイヤ検出信号で、スプールを回転させてワイヤの繰り出しを行い、ワイヤを許容範囲の弛み量で弛ませ、テンションレスの状態を維持させる。ストッパーは、スプールとワイヤガイドとの間に配置され、ガイドローラがワイヤの上昇変位に追随して上方に移動してガイド穴の天井面に当接したときに、ワイヤ位置センサの高さ以上に上昇しない上限位置にワイヤの上昇変位を規制する。ワイヤ位置センサは、この上限位置でワイヤを検出することにより、ワイヤの弛み量が規定の下限値まで低減したことを検知する。
【００１４】
本発明においては、スプールを支持するモータとワイヤガイドとワイヤ位置センサを支持する第一支持体と、送りローラを支持する第二支持体を備え、第二支持体は送りローラから送られたワイヤが供給される対象物に対して相対移動する可動体であり、第一支持体は第二支持体に対し定位置にある固定体である構造とすることができる。
【００１５】
このように、第一支持体と第二支持体を別々に構成して、第一支持体に設置したスプールとワイヤガイドの間でワイヤをテンションレスの状態にすることで、可動体である第二支持体がワイヤ供給動作のために移動しても、この移動でテンションレスのワイヤが振動してワイヤ供給を不安定にする虞がなくなり、より安定したワイヤ供給ができる。
【００１６】
また、本発明においては、スプールとワイヤガイドの間に、スプールから繰り出されたワイヤのワイヤ終端部を検知するワイヤエンドセンサを設置することができる。このワイヤエンドセンサは、スプールに終端が係止されたワイヤがスプールの回転で繰り出されて弛んだワイヤ終端部がスプールの更なる回転でスプールに巻き取られるようになると、このワイヤ終端部を検知するセンサを含む構造とすることができる。また、ワイヤエンドセンサは、スプールに終端が係止されないフリータイプのワイヤがスプールの回転で繰り出されて、ワイヤ終端部がスプールから離脱して自重で垂れ下がるときのワイヤ終端部を検知するセンサを含む構造とすることができる。
【００１７】
このようなワイヤエンドセンサは、ワイヤ送り停止が始まる少し事前でスプール近くでワイヤ終端部を検知するため、ワイヤ送り停止が始まる事前にワイヤ送給装置の運転を自動停止させるといった対処を容易なものにする。ワイヤ送り停止が始まる少し事前にワイヤ送給装置の運転を停止させることで、ワイヤ供給対象物にワイヤ供給不良によるＮＧ品を出すといった不具合の発生が無くなり、スプールを常に適切なタイミングで交換することができるようになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のワイヤ送給装置によれば、スプールとワイヤガイドの間でワイヤが自重で弛んだテンションレス状態を維持して、ワイヤガイドから真下の送りローラへと送給されて送りが掛けられるため、ワイヤが極細ワイヤで送りローラによるグリップ力が低下しても、スリップすること無く安定したワイヤ送りができるという優れた効果を奏し得る。
【００２０】
また、スプールを支持するモータとワイヤガイドとワイヤ位置センサを固定された第一支持体に設置し、この第一支持体と別体で独自に可動する第二支持体に送りローラを設置することで、スプールとワイヤガイドの間のテンションレス状態のワイヤの姿勢が第二支持体の動きに影響されることなく安定した状態に保持されて、より安定したワイヤ供給ができる。さらに、スプールとワイヤガイドとの間に配置したストッパーにより、ワイヤ位置センサの高さ以上に上昇しない上限位置にワイヤの上昇変位を規制するので、ワイヤが非接触式のワイヤ位置センサの高さ以上に変位せず、ワイヤの上限位置（弛み量の下限値）を非接触式のワイヤ位置センサで確実に検出することができる。しかも、ワイヤは上限位置において、ストッパーのガイド穴内で回転するガイドローラによってガイドされるので、ワイヤの供給動作も安定して行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図５を参照して説明する。
【００２２】
図１および図２に示されるワイヤ送給装置４０は、図６装置と同様なリードフレーム１に半田ワイヤ２を定量的に供給する。ワイヤ送給装置４０は、固定された第一支持体４１にスプール５２を回転させるモータ例えばパルスモータ５３とワイヤガイド５４を設置したワイヤ送りユニット４０ａと、リードフレーム１に対して相対移動する第二支持体４２に送りローラ６１を設置したワイヤ供給ユニット４０ｂを有する。
【００２３】
ワイヤ供給ユニット４０ｂを先に説明する。第二支持体４２は、水平なＸ方向とＹ方向に移動可能なＸＹテーブルで、側面に上下動可能に連接した作業ヘッド６２に送りローラ６１を設置する。作業ヘッド６２の構造は図６装置と同様でよく、送りローラ６１は金属ローラ６１ａとゴムローラ６１ｂの一対を備え、両ローラ６１ａ、６１ｂで半田ワイヤ２が挟持されて下方に送りが掛けられる。両ローラ６１ａ、６１ｂの間の上方と下方に鉛直なノズル６３、６４が作業ヘッド６２に固定されて配置される。上部のノズル６３の上端開口にワイヤ送りユニット４０ａから下方に送給される半田ワイヤ２が挿通される。半田ワイヤ２はノズル６３を下方に貫通して送りローラ６１に達し、送りローラ６１で送りが掛けられて下部のノズル６４に挿通される。下部のノズル６４はリードフレーム１に半田ワイヤ２を直接的に供給する半田供給ノズルで、１回の半田供給毎に送りローラ６１が駆動して半田ワイヤ２を定量ずつ送り出す。
【００２４】
ワイヤ供給ユニット４０ｂに半田ワイヤ２を送り出すワイヤ送りユニット４０ａは、ワイヤ供給ユニット４０ｂの作業ヘッド６２の上方に固定された第一支持体４１を備える。第一支持体４１に調整ねじ４４でＸ方向移動調整可能に連結された支持板４３の先端部にパルスモータ５３が固定され、パルスモータ５３の回転軸にスプール５２が同軸に固定される。第一支持体４１のスプール取付端部と反対の端部にワイヤガイド５４が固定される。スプール５２とワイヤガイド５４は同程度の高さにあり、スプール５２から繰り出された半田ワイヤ２はスプール５２の側方に延びてワイヤガイド５４に達する。スプール５２とワイヤガイド５４の間で半田ワイヤ２は、自重で弛んだテンションレス状態に保持される。
【００２５】
スプール５２とワイヤガイド５４の間の第一支持体４１の側面に、図１に示すワイヤ位置センサ５５と一対のワイヤエンドセンサ５６、５７とストッパー５８が設置される。各センサ５５〜５７は、第一支持体４１の側面の定位置に高さ調整可能に設置された光学センサで、各々が直前に来た半田ワイヤ２を検出する。ワイヤ位置センサ５５は、スプール５２とワイヤガイド５４の間で弛んだ半田ワイヤ２の弛みで最下位の位置にある略中央部が弛みを減少する上方に上限位置まで変位したときに、この半田ワイヤ２の略中央部を検出して、検出信号を図２に示すワイヤ送り制御回路５９に出力する。ワイヤ送り制御回路５９は、ワイヤ位置センサ５５と一対のワイヤエンドセンサ５６、５７からのワイヤ検出信号に基づいてパルスモータ５３の駆動を後述のように制御する。
【００２６】
一方のワイヤエンドセンサ５６は、ワイヤ位置センサ５５の真下の定位置に設置されて、図４に示すように半田ワイヤ２の終端部２ｅがスプール５２から離れて垂れ下がるときに、この終端部を検出する。他方のワイヤエンドセンサ５７は、第一支持体４１の側面のワイヤ位置センサ５５と同程度の高さで、ワイヤ位置センサ５５よりスプール５２に近い定位置に設置される。ワイヤエンドセンサ５７は、図５に示すようにエンドロックタイプの半田ワイヤ２の終端部２ｅを検出する。このワイヤエンドセンサ５７とワイヤ位置センサ５５の間にストッパー５８が設置される。
【００２７】
ストッパー５８は、スプール５２とワイヤガイド５４の間で半田ワイヤ２が一直線状に張設された状態になる少し事前に半田ワイヤ２に当接して、半田ワイヤ２が弛みが無くなる事前の状態を維持する。図１に示すストッパー５８は、スプール５２とワイヤガイド５４の間で弛む半田ワイヤ２の略中央部上に乗り、半田ワイヤ２の上下動に追従して上下動する極く軽量なガイドローラ５８ａと、ガイドローラ５８ａを回転可能および上下動可能に保持するガイド穴５８ｂを備える。ガイド穴５８ｂは第一支持体４１の側面に形成された上下に長い穴で、ガイド穴５８ｂの天井面にガイドローラ５８ａが当接したときに、ガイドローラ５８ａが半田ワイヤ２の上方変位を規制するストッパー機能を発揮する。
【００２８】
次に、上記した実施の形態によるリードフレーム１への定量的なワイヤ供給動作を説明する。
【００２９】
図１に示すワイヤ供給ユニット４０ｂの作業ヘッド６２は、図６装置と同様にしてリードフレーム１のアイランド上方でＸＹ方向に間欠移動し、上下動して、ノズル６４の下端から半田ワイヤ２を定量ずつアイランド上の複数箇所に順に供給する。１回の定量供給毎に送りローラ６１が半田ワイヤ２を定量送りし、この定量送りされた長さだけワイヤガイド５４からノズル６３に半田ワイヤ２が送給される。ワイヤガイド５４の下端とノズル６３の上端の間の空間を半田ワイヤ２が下降してノズル６３に挿通される。リードフレーム１のアイランド上方での作業ヘッド６２の例えばＸ方向での最大移動ストロークは、図１の左右の鎖線で示すように小さく、この移動ストロークでノズル６３がＸ方向に左右移動しても、ワイヤガイド５４から下降する半田ワイヤ２はノズル６３にスムーズに挿通して行く。
【００３０】
図１は、スプール５２とワイヤガイド５４の間で半田ワイヤ２が適量で弛んだ状態が示される。このときの半田ワイヤ２は自重とガイドローラ５８ａの軽微な重みで弛み、ほとんどテンションレスの状態になっている。この状態で送りローラ６１を作動させてワイヤ定量送りすると、テンションレスのために送りローラ６１に対してスリップする虞なくワイヤ定量送りが行われる。半田ワイヤ２が線径０．２５ｍｍの極細ワイヤであって、送りローラ１６によるグリップ力が小さく低下した場合であっても、送りローラ６１に対してスリップせずに安定したワイヤ定量送りができる。また、１回のワイヤ定量送り毎に第二支持体４２がリードフレーム１に対して駆動するが、第一支持体４１が動かず、従って、スプール５２とワイヤガイド５４の間でテンションレスの状態にある半田ワイヤ２に第二支持体４２の移動による振動が伝わらず、半田ワイヤ２のテンションレス状態が安定に維持される。
【００３１】
送りローラ６１によるワイヤ送りでスプール５２とワイヤガイド５４の間の半田ワイヤ２がワイヤ送り方向に引っ張られ、半田ワイヤ２の略中央部が上昇変位して弛みが減少する。図３に示すように、半田ワイヤ２の略中央部がワイヤ位置センサ５５の高さまで変位すると、ワイヤ位置センサ５５がワイヤ検出を行って、ワイヤ送り制御回路５９にモータ駆動指令信号としての検出信号を出力する。ワイヤ送り制御回路５９はワイヤ位置センサ５５からの検出信号の入力で、パルスモータ５３を所定のパルス数で駆動させ、スプール５２を定ピッチ回転させて、半田ワイヤ２を繰り出す。この１回のワイヤ繰り出し量は、スプール５２に巻回された半田ワイヤ２の巻径に比例する。スプール５２の定ピッチ回転を何回か繰り返し行うことで、半田ワイヤ２の略中央部がワイヤ位置センサ５５から下方に外れ、半田ワイヤ２が適量な弛み量になると、パルスモータ５３によるスプール５２の回転を停止させる。
【００３２】
図３の状態で半田ワイヤ２の略中央部がワイヤ位置センサ５５の高さを超えるところまで変位しようとすると、半田ワイヤ２の略中央部に乗るガイドローラ５８ａがガイド穴５８ｂの天井面に当接して、半田ワイヤ２の上昇変位を規制する。これにより半田ワイヤ２の略中央部はワイヤ位置センサ５５の高さ以上に変位せず、確実にワイヤ位置センサ５５で検出される。また、図３の状態における半田ワイヤ２の上下変位は、一対のワイヤエンドセンサ５６、５７の間の空間で行われて、ワイヤエンドセンサ５６，５７はワイヤ検出を行わない。
【００３３】
スプール５２に巻回された半田ワイヤ２の残量が少なくなると、図４または図５に示すようにワイヤ終端部検出が行われる。図４はスプール５２にワイヤ終端を係止していないエンドフリータイプの半田ワイヤ２の場合で、スプール５２の回転で半田ワイヤ２が繰り出され、終端部２ｅがスプール５２から外れると自重で垂れ下がる。この終端部２ｅが垂れ下がる途中でワイヤエンドセンサ５６の直前を下降し、ワイヤエンドセンサ５６が終端部２ｅを検出する。このワイヤエンドセンサ５６のワイヤ検出信号がワイヤ送り制御回路５９に出力されると、ワイヤ送り制御回路５９はワイヤ送り停止となる時点が近いと判定して、ワイヤ送給装置４０の運転を停止させる。この運転停止により、リードフレーム１にワイヤ供給不良に伴うＮＧ品の発生が未然に防止される。また、図４に示すスプール５２から外れて垂れ下がったワイヤ終端部２ｅが不必要にワイヤガイド５４やノズル６３に送られて絡むといったトラブルが未然に防止できる。
【００３４】
図５はスプール５２にワイヤ終端を係止したエンドロックタイプの半田ワイヤ２の場合である。スプール５２の回転で半田ワイヤ２が繰り出され、終端部２ｅがスプール５２から繰り出される。この場合、半田ワイヤ２の終端がスプール５２に係止されているので、このワイヤ係止点がスプール５２の回転でガイドローラ５８ａの側に近付き、そして、遠ざかるといった円弧移動をする。ワイヤ係止点がガイドローラ５８ａの側に近付く移動時には終端部２ｅが繰り出され、ガイドローラ５８ａから遠ざかる移動時には終端部２ｅがスプール５２に巻き取られる動きとなる。図５の鎖線で示す終端部２ｅは、スプール５２に巻き取られるときのもので、スプール５２の回転力で終端部２ｅがガイドローラ５８ａを押し上げ、ガイドローラ５８ａがガイド穴５８ｂの天井面に当接したときに終端部２ｅが張設され、このときに終端部２ｅから少し前方のワイヤがワイヤ位置センサ５５で検出され、終端部２ｅがワイヤエンドセンサ５７の直前に位置してワイヤエンドセンサ５７で検出される。この二つのセンサ５５，５７のワイヤ検出信号がワイヤ送り制御回路５９に出力されると、ワイヤ送り制御回路５９がワイヤ送り停止となる時点が近いと判定して、ワイヤ送給装置４０の運転を停止させる。この運転停止により、リードフレーム１にワイヤ供給不良に伴うＮＧ品の発生が防止される。
【００３５】
なお、本発明のワイヤ送給装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係るワイヤ送給装置の実施の形態を示す要部の側面図である。
【図２】図１装置の部分平面図である。
【図３】図１装置のワイヤ送りユニットのワイヤ送り動作時の側面図である。
【図４】図１装置のワイヤ送りユニットのワイヤエンド検知時の側面図である。
【図５】図１装置のワイヤ送りユニットの他のワイヤエンド検知時の側面図である。
【図６】本発明の前提となるワイヤ送給装置の要部の側面図である。
【図７】図６装置の部分平面図である。
【図８】図６装置における送りローラの拡大平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    ワイヤ供給対象物、リードフレーム
２    ワイヤ、半田ワイヤ
２ｅ    ワイヤ終端部
１０    ワイヤ送給装置
４０    ワイヤ送給装置
４０ａ    ワイヤ送りユニット
４０ｂ    ワイヤ供給ユニット
４１    第一支持体
４２    第二支持体
５２    スプール
５３    モータ、パルスモータ
５４    ワイヤガイド
５５    ワイヤ位置センサ
５６    ワイヤエンドセンサ
５７    ワイヤエンドセンサ
５８    ストッパー
５８ａ    ガイドローラ
５８ｂ    ガイド穴
５９    ワイヤ送り制御回路
６１    送りローラ
６１ａ    金属ローラ
６１ｂ    ゴムローラ
６２    作業ヘッド
【図１】
0004781788.tif 000002
【図２】
0004781788.tif 000003
【図３】
0004781788.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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