(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面が開放されディスクを収納するディスクカセットからディスクを出して出した前記ディスクを検査位置に移送し、前記ディスクに光ビームを照射して前記ディスクの表面欠陥を検査するディスクの表面欠陥検査方法において、
前記検査位置を前記ディスクカセットの前面外側に設け、
前記ディスクカセットの底面側から前記ディスクカセットに収納された前記ディスクを前記ディスクカセットの前方に押出し、
前方に押出された前記ディスクを前記検査位置にまで保持して移動し、
前記検査位置において、保持された前記ディスクを前記押出した方向で前後移動させて前記光ビームにより前記ディスクを走査させるものであり、
前記ディスクの外周に係合して前記ディスクを前記ディスクカセットに対して垂直な方向に押出すためのディスク押出アームとこのディスク押出アームに対向して前記ディスクカセットの前面外側に設けられたディスク受けアームとを有し、前方に押出された前記ディスクが前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとの間で保持されて前記検査位置に移送され、前記検査位置において前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとが前記垂直な方向において前後に移動することで保持した前記ディスクを前記前後移動させるものであって、
前記ディスク受けアームには、前記ディスクの外周に係合するローラが設けられ、前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとが共通の上下移動機構に結合されて前記ディスクを前方に押出して前記ローラが前記ディスクの外周と係合することで前記ディスクが保持され、この保持されたディスクが前記検査位置にまで移動し、さらに前記押出した方向での前記ディスクの前後移動が前記上下移動機構により行われるディスクの表面欠陥検査方法。
【請求項２】
前記ディスクカセットは、検査テーブル上に水平方向に載置され、前記ディスク押出アームは、垂直方向に上下動し、前記ディスク受けアームは、自重により前記ディスクと係合して前記ディスク押出アームの上下移動に応じて前記ディスクを介して上下移動する請求項１記載のディスクの表面欠陥検査方法。
【請求項３】
前面が開放されディスクを収納するディスクカセットからディスクを出して出した前記ディスクを検査位置に移送し、前記ディスクに光ビームを照射して前記ディスクの表面欠陥を検査するディスクの表面欠陥検査装置において、
前記検査位置を前記ディスクカセットの前面外側として前記ディスクカセットの底面側から前記ディスクカセットに収納された前記ディスクを前記ディスクカセットの前方に押出して押出された前記ディスクを前記検査位置にまで保持して移動するディスク押出機構を有し、
前記検査位置において、保持された前記ディスクを前記押出した方向で前後移動させて前記光ビームにより前記ディスクを走査させるものであり、
前記ディスク押出機構は、前記ディスクの外周に係合して前記ディスクを前記ディスクカセットに対して垂直な方向に押出すためのディスク押出アームとこのディスク押出アームに対向して前記ディスクカセットの前面外側に設けられたディスク受けアームとこれらディスク押出アームとディスク受けアームとを移動させる移動機構とを有し、前記ディスクカセットから押出した前記ディスクを前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとの間で保持して前記検査位置に移送し、前記ディスク押出機構の前記移動機構を制御して前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとを前後に移動させて前記ディスクを前記前後移動するディスク前後移動機構を有し、
前記ディスク受けアームには、前記ディスクの外周に係合するローラが設けられ、前記ディスク押出アームと前記ディスク受けアームとが共通の上下移動機構に結合されて前記ディスクを前方に押出して前記ローラが前記ディスクの外周と係合することで前記ディスクが保持され、この保持されたディスクが前記検査位置にまで移動し、さらに前記押出した方向での前記ディスクの前後移動が前記上下移動機構により行われるディスクの表面欠陥検査装置。
【請求項４】
前記ディスクカセットは、検査テーブル上に水平方向に載置され、前記ディスク押出アームは、垂直方向に上下動し、前記ディスク受けアームは、自重により前記ディスクと係合して前記ディスク押出アームの上下移動に応じて前記ディスクを介して上下移動する請求項３記載のディスクの表面欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ディスクの表面欠陥検査方法および検査装置に関し、詳しくは、磁気ディスクあるいはそのサブストレートの表面の凹凸欠陥あるいは付着異物の検査において、ディスクのハンドリング時間を短縮して、ディスク検査のスループットを向上させることができるようなディスクの表面欠陥検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ等の情報記録媒体として用いられる磁気ディスクは、近年益々高記憶密度化が要求され、かつ、小型化されてきている。
ガラスディスク基板等を用いる磁気ディスクの製造工程の―例としては、まず、ガラスディスクをラッピング装置で磨き上げ（ラッピング加工工程）、次にガラス基板の両面をポリッシング加工して、表面粗さ平均１ｎｍ程度に鏡面加工する（ポリッシング加工工程）。その後、ガラス基板を洗浄し（第１洗浄工程）、表面欠陥検査および周面欠陥検査が行われる（第１表面検査工程）。そして合格したガラス基板を洗浄し（第２洗浄工程）、スパッタ法等によりクロム、銅、ＮｉＡｌ等からなる厚さ５０〜２０００Å程度の金属下地層を形成し（金属下地層形成工程）、続いてスパッタ法等によりコバルト系強磁性合金薄膜等からなる厚さ１００〜１０００Å程度の磁性層を形成し（磁性層形成工程）、さらに例えばカーボン膜、水素化カーボン膜、窒素化カーボン膜等からなる厚さ１０〜１５０Å程度の保護膜を形成する（保護膜形成工程）。このような製造工程で保護膜を形成した後、成膜工程で発生した小突起の除去及び表面の清浄化のため、研磨装置により磁気ディスクの表面のテープクリーニング等が行われる（バーニッシュとワイピング工程）、そして最後に再び表面検査が行われる（第２表面検査工程）。
【０００３】
ところで、表示パネル等の検査では、ＸＹ検査ステージ上にパネルを載置したＸＹ走査により欠陥検査が行われている。しかし、ディスクは円板形状をしているので、通常、第１表面検査工程や第２表面検査工程におけるディスクは、スピンドルに装着されてレーザビームによりディスクをスパイラルスキャンすることで欠陥検査が行われる（特許文献１，２）。
ハードディスクは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、２．５インチから１．８インチに、さらには０．８５インチというように１．０インチ以下のハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）が使用されてきており、ＨＤＤ自体が小さくなってきている。
【特許文献１】特開平５−１２０６７７号公報
【特許文献２】特開２００３−０５０２０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＨＤＤの家電産業での使用や自動車などのへの搭載が急速に進むことに伴ってＨＤＤの生産が急増し、それに合わせたディスクの検査は、それに追いつかなくなってきている。しかも、磁気ディスクやその基板（サブストレート）表面の突起検査あるいは凹凸欠陥検査では、高記録密度の要求からますます低い突起や凹欠陥の検出が要求され、その分検査時間がかかるようになってきている。そのため、検査装置の台数を増加させて並列に検査することなどが行われているが、それは、ＨＤＤの製造原価を高くする問題がある。  このような点から前記したスパイラルスキャン方式でのディスクの検査は、本来の検査時間に対してディスクをスピンドルに装着し、これから取外すハンドリング処理の時間が検査時間全体に対して占める割合が相対的に高くなり、ディスク検査の効率を低下させている。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスクの表面の凹凸欠陥あるいは付着異物の検査において、ディスクのハンドリング時間を短縮して、ディスク検査のスループットを向上させることができるようなディスクの表面欠陥検査方法および検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明のディスクの表面欠陥検査方法および検査装置の構成は、検査位置をディスクカセットの前面外側に設け、ディスクカセットの底面側からディスクカセットに収納されたディスクをディスクカセットの前方に押出し、前方に押出された前記ディスクを前記検査位置にまで保持して移動し、検査位置において、保持されたディスクを押出した方向で前後移動させて光ビームによりディスクを走査させるものであり、
ディスクの外周に係合してディスクをディスクカセットに対して垂直な方向に押出すためのディスク押出アームとこのディスク押出アームに対向してディスクカセットの前面外側に設けられたディスク受けアームとを有し、前方に押出されたディスクがディスク押出アームとディスク受けアームとの間で保持されて検査位置に移送され、検査位置においてディスク押出アームとディスク受けアームとが垂直な方向において前後に移動することで保持したディスクを前後移動させるものであって、
ディスク受けアームには、ディスクの外周に係合するローラが設けられ、前記ディスク押出アームとディスク受けアームとが共通の上下移動機構に結合されてディスクを前方に押出してローラがディスクの外周と係合することでディスクが保持され、この保持されたディスクが検査位置にまで移動し、さらに押出した方向でのディスクの前後移動が上下移動機構により行われるものである。
【発明の効果】
【０００６】
この発明にあっては、ディスクカセットの底面側からディスクカセットに収納されたディスクをディスクカセットの前方に押出してディスクカセットに隣接するこれの外側の検査位置にまでディスクを移動させかつ検査位置に設定されたディスクをディスクカセットに対してそのまま前後移動させて光ビームによりディスクを走査してディスクの欠陥検査をする。
この発明では検査位置がディスクカセットの前面外側となっていて、検査対象となるディスクを押出すだけで検査位置に設定されるので、特別な検査ステージやディスクを装着するスピンドルが不要となり、ディスク検査から検査終了までにおけるディスクハンドリング処理時間を短縮することができる。
その結果、ディスク検査全体における検査のスループットを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１は、この発明のディスクの表面欠陥検査方法を適用した欠陥検査装置の光学系を中心とする一実施例の説明図、図２は、ディスク保持カセットからディスクを押上げて検査位置に設定するディスク押上機構の説明図、図３は、ディスク押上機構の押上動作の説明図、そして図４は、ディスクカセットと押出上下動アームとの関係の説明図である。
図１において、１０は、欠陥検査装置であり、１は、その検査対象となるディスク（磁気ディスクあるいはそのサブストレート、以下ディスク）であって、２は、欠陥検査装置１０の欠陥検出光学系である。
ディスク１は、図４に示すディスクカセット３からワーク上下動機構４（図２参照）の押出上下動アーム４１により押上られて検査位置７（検査開始位置）に保持されて設定され、ここでレーザビームによりＸＺ走査がなされる。
【０００８】
欠陥検出光学系２は、ディスク１の検査面側に投光系５と受光系６とを備えている。
投光系５は、半導体レーザ素子（ＬＤ）によるレーザビームＬを発生するレーザ光源５１と、その出力調整用のモニタ機構５２とを有している。
レーザ光源５１から発生するレーザビームは、補正レンズ５３を経て４５゜に配置された出力調整用のモニタ機構５２のミラー５２ａを経て、これを透過したビームがコリメートレンズ５４、照明用の蒲鉾型レンズ５５を通り、ポリゴンミラー５６、蒲鉾型レンズ５７、そしてレンズ５８を経て凹面鏡５９に照射され、その反射光がディスク１の検査面に照射される。
なお、モニタ機構５２のミラー５２ａで反射した一部がモニタ側に送られてレーザ光源５１の出力が光照射制御回路１１を介して調整される。
ポリゴンミラー５６の回転の制御により、ディスク１に照射されるレーザビームＬは、Ｘ方向にディスク１の外径Ｄの幅をカバーする範囲で一方向（左から右）に振られてディスク１を走査する。
ディスク１からの反射光は、受光系６で受光される。受光系６は、Ｘ軸方向に一列に配列されたオプチカルファイバ６１のバンドル（束部）６２により集光され、集光された光がその受光素子６３に与えられる。受光素子６３としては、ＰＭＴ（フォトマルチプライヤ）やＡＰＤ（アバランシェ・ホト・ダイオード）等の光電変換素子が使用される。
【０００９】
ディスク１は、ワーク上下動機構４によりディスクカセット３から前方に押出され、さらに検査位置７に設定されてそこでさらにＺ方向に上下動する。
この実施例では、押出上下動アーム４１を有するワーク上下動機構４がこの発明の押上機構とディスク上下移動機構とを兼ねている。
ポリゴンミラー５６の回転により光ビームは、Ｘ軸方向にディスク１を走査し、ワーク上下動機構４は、ディスク１をＺ方向に移動させる。これにより、ＸＺ方向でディスク１の全面走査が行われる。
このＸＺ走査により得られるそれぞれのレーザビーム照射時のディスク１の表面からの反射光は、ディスク１の表面に対して６０°〜７０゜前後の受光角度（仰角）をなす受光系６により受光される。そして、そのオプチカルファイバ６１のバンドル６２により集光され、集光された光がその受光素子６３に与えられる。これにより受光された光は電気信号に変換される。
【００１０】
その結果、受光素子６３から受光量に応じた検出信号が出力される。この検出信号の電圧を光照射制御回路１１のレーザ光源の駆動制御のタイミングに応じて検出電圧としてプリアンプ６４、閾値Ｖthに応じてノイズを除去した検出信号をアンプ６５が発生する。こ
の検出信号は、Ａ／Ｄ変換回路（Ａ／Ｄ）６６によりサンプリングされる。Ａ／Ｄ６６のサンプルタイミングは、クロック発生回路６７からのクロックＣＬＫを受けて行われる。Ａ／Ｄ６６の出力は、データ処理装置２０においてワーク上下動機構４によるディスク１のＺ方向の走査位置座標が加えられてデータ処理され、欠陥検出が行われる。
なお、Ａ／Ｄ６６は、ディスク１上に設定される検出する領域（検出セル）に対応して光照射制御回路１１と同様にデータ処理装置２０により制御される。
また、ワーク上下動機構４は、上下動駆動回路１２を介してデータ処理装置２０によりその上下移動が制御される。
【００１１】
図２は、ワーク上下動機構４の説明図であって、ディスク１を多数整列収納するディスクカセット３が検査テーブル８のロード・アンロード位置に設定された状態である。ワーク上下動機構４の押出上下動アーム４１の頭部は、このとき検査テーブル８の裏面直下に位置している。
ディスクカセット３が検査テーブル８の上にロードされたときにはディスクカセット３に収納された先頭端部のディスク１が押出上下動アーム４１の上部のリフト位置に位置付けられるようにハンドリングロボット（図示せず）によりディスクカセット３が位置決めされる。
ディスクカセット３は、検査テーブル８の上に水平に載置され、検査テーブル８が図面に垂直な方向に移動する。
【００１２】
押出上下動アーム４１は、検査テーブル８の開口部８１を経てディスクカセット３の底部開口３１（図４参照）から上部に貫通する（図３（ａ），（ｂ）参照）。押出上下動アーム４１の下側の根本は、水平方向に伸びたリフトロッド４２の先端部に固定されている。
リフトロッド４２は、水平方向に突き出し、２本の平行に設けられた円筒のガイドレール４３，４３にスライド軸受４２ａ，４２ａを介して上下動可能に反対側の根本端部が結合されていて、ガイドレール４３，４３に片側支持状態で支持されている。
ガイドレール４３，４３は、リフトロッド４２の上部で途中に設けられたブラケット４３ａを介してベースフレーム４７にそれぞれ固定されている。
スライド軸受４２ａ，４２ａの間のリフトロッド４２の部分がボールねじ機構４４のナット部４４ａとなっていて、ボールねじ機構４４のねじ部４４ｂがモータ４４ｃの駆動により回転してそれによりリフトロッド４２が上下に移動する。そこで、押出上下動アーム４１が上下動することになる。
モータ４４ｃの手前下側とナット部４４ａの上部と下部には、それぞれねじ４４ｂをベースフレーム４７に回転可能に固定する３個のブラケット４４ｄ，４４ｄ，４４ｄが設けられている。もちろん、モータ４４ｃは、ベースフレーム４７に固定されている。
【００１３】
ガイドレール４３，４３をベースフレーム４７に固定するブラケット４３ａの上部には、リフトロッド４２に平行になるように水平方向に突き出したディスク受けアーム４５がリフトロッド４２に対向するように設けられている。
ディスク受けアーム４５は、ガイドレール４３，４３にスライド軸受４５ａ，４５ａを介して上下動可能に根本端部が結合されて片側支持となっている。
ディスク受けアーム４５の先端側にはチャックローラ４５ｂ，４５ｂが所定間隔離れてディスクカセット３の開放された前面に対応して設けられている。チャックローラ４５ｂ，４５ｂの間には、ディスク１の外形に対応して湾曲した切欠部４５ｃが設けられ、ディスク１の外周が接触する逃げを与えている。
ブラケット４３ａとディスク受けアーム４５の間には、ばね４６，４６とその上に設けられた座金４６ａ，４６ａとがガイドレール４３，４３に挿嵌されている。これらばね４６，４６と座金４６ａ，４６ａとによりディスク受けアーム４５を支持することで、ディスク受けアーム４５の初期高さを一定値にして、チャックローラ４５ｂ，４５ｂのディスク１との係合位置がディスクカセット３の上部から一定の距離Ｈ（例えば３〜８ｍｍ程度）だけ離れた位置に設定されるようになっている。チャックローラ４５ｂ，４５ｂの先端とディスク１の外周の頂点との高さは実質的に一致している。言い換えれば、ディスク１（その頂点）は、ディスクカセット３の上部から少し出て収納されている。
以上のガイドレール４３，４３、ボールねじ機構４４等の構成においてここではリフトロッド４２の上下移動機構が形成されている。この上下移動機構が押出上下動アーム４１とディスク受けアーム４５に共通の移動機構とされ、これがこの発明のディスク押出機構とディスク前後移動機構の上下移動機構を兼ねる。
【００１４】
次に、図３を参照してディスク押出動作とディスク前後移動動作について説明する。
図３（ａ）は、ワーク上下動機構４を駆動してディスクカセット３のリフト位置にあるディスク１を押上げる状態の説明図であり、 図３（ｂ）は、ワーク上下動機構４を駆動して検査位置７にディスク１を設定した状態であり、ディスク上下移動（前後移動に相当するＺ方向での移動）がこの検査位置７で行われる。
まず、上下動駆動回路１２によりモータ４４ｃの回転が制御されて駆動される。モータ４４ｃが駆動されてリフトロッド４２が上昇すると、距離Ｈだけ上昇した時点でチャックローラ４５ｂ，４５ｂにディスク１の外周が接触して押出上下動アーム４１との間で３点チャックの状態となり押出されたディスク１が保持される。この状態を示すのが図３（ａ）である。
さらにリフトロッド４２が上昇すると、ディスク受けアーム４５がリフトロッド４２の上昇とともにディスク１を介してディスク１を保持して上昇して、所定量（ディスクの径にもよるが、例えば７０〜９０ｍｍ程度）、リフトロッド４２が上昇した時点で、図３（ｂ）に示すように、ディスク１が検査位置７に設定される。
なお、ここでは、ディスク受けアーム４５のディスク１の外周のチャック力は、重力を利用したディスク受けアーム４５の自重により行われる。この状態で検査位置７において保持されたディスク１の状態を示すのが、図１である。
【００１５】
この検査位置７において、上下駆動回路１２によりモータ４４ｃを駆動してディスク１の直径Ｄ＋α分、さらに上に所定の速度でリフトロッド４２が駆動されてディスク１の直径Ｄ＋α分Ｚ方向にディスク１を移動させる。これによりディスク１は、ポリゴンミラー５６の回転による光ビームによりＸ方向に加えてＺ方向に走査される。
次に、上下動駆動回路１２がモータ４４ｃをディスク押出アーム逆転させると、リフトロッド４２が降下し、ディスク受けアーム４５の重力に応じてディスク受けアーム４５がそれに追従してディスク１がこれらの間で保持されたまま降下する。そこで、ディスク１の直径Ｄ＋α分下に下げて元の検査位置７に所定の速度でリフトロッド４２を戻す。これによりディスク１は、前記とは逆方向のＺ方向に加えてポリゴンミラー５６の回転による光ビームによりＸ方向に走査される。
この繰り返しでこのようなディスク１のＸＺ方向の走査が行われ、ここでのＺ方向の往復移動がディスク前後移動機構となる。
なお、データ処理装置２０は、プロセッサとメモリ、インタフェース等を有し、以上のディスク押出動作とディスク前後移動動作についての制御プログラムがメモリに格納され、プロセッサにより実行されて以上のディスク１の押出と上下移動動作がなされる。
【００１６】
ディスク１の全面検査が終了すると、リフトロッド４２が降下して図３（ａ）の状態に戻り、さらにリフトロッド４２が降下して図２の状態となり、押出上下動アーム４１の先端は、ディスクカセット３の底面より下側に位置する。ここで、検査テーブル８が図面手前にディスクの配列間隔分だけシフトして次のディスクが押出上下動アーム４１の上部のリフト位置に設定される。
次に、ディスク１は、図２の状態から図３（ａ）の状態となり、これを経て図３（ｂ）の状態で検査に入り、検査終了後に図３（ａ）の状態を経て図２の状態に戻り、以下、同様な処理が繰り返されてディスクカセット３に収納されたディスク１の検査が順次繰り返されていく。
ディスクカセット３に収納された全ディスク、例えば、２４枚のディスクの検査が終了すると、図２のディスクカセット３がハンドリングロボット（図示せず）によりアンロードされて次のディスクカセット３が図２に示す状態に設定される。
【００１７】
図４は、ディスクカセットとワーク上下動機構４の押出上下動アーム４１との関係の説明図である。
ディスクカセット３は、図４（ａ）の断面図に示すように、底部開口３１を有し、上部が開放され、ディスク１を整列収納して保持する。
押出上下動アーム４１は、検査テーブル８の開口部８１を通して底部開口３１に侵入してディスク１に下側外周に係合する。
押出上下動アーム４１の先端によるディスク１の押上保持は、図４（ｂ）の断面図に示すように、押出上下動アーム４１の先端に設けられた浅いＶ溝４１ａにディスク１の外周が係合することで行われる。
これにより、押出上下動アーム４１が距離Ｈ分上昇すると押出上下動アーム４１の先端とディスク受けアーム４５のチャックローラ４５ｂ，４５ｂとの間でディスク１が保持される。
なお、Ｖ溝４１ａが浅いものであっても、ディスク１は、その上昇過程でディスクカセット３の側壁面に設けられた整列ガイド溝（図示せず）に係合しているので倒れることはなく、垂直に距離Ｈ分は上昇可能である。もしも、倒れるようなディスクカセット３の場合には距離Ｈを小さくするか、ディスク受けアーム４５側をディスク１の方向に降下させるようにすればよい。
押出上下動アーム４１の先端に設けられたＶ溝４１ａを浅くするのは、ディスクの未検査領域を小さくするためである。したがって、ディスク受けアーム４５側をディスク１の方向に降下させる場合にはＶ溝４１ａは凹部として溝にまですでる必要はない。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
以上説明してきたが、実施例では、上下移動機構が押出上下動アーム４１とディスク受けアーム４５の共通の移動機構とされているが、ディスク押出機構とディスク前後移動機構とにそれぞれ上下移動機構が設けられ、ディスク押出機構で保持されたディスクがディスク前後移動機構に受け渡される構成であってもよいことはもちろんである。
また、実施例では、受光系として光ファイバを用いた受光器を設けているが、これは、光ファイバを用いた受光器に限定されるものではなく、イメージセンサ等の各種の受光素子、受光器を用いることができる。
さらに、実施例では、レーザ光源によりレーザスポットをディスクの検査領域に照射しているが、この発明は、このようなレーザスによるポットに限定されるものではなく、光ビーム一般を用いてもよいことはもちろんである。
なお、この明細書での欠陥という言葉は、付着異物、シミ、欠損や欠落のみならずディスクにおける疵一般に対する広義の概念として使用するものであって、これについては特許請求の範囲における語も同様である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、この発明のディスクの表面欠陥検査方法を適用した欠陥検査装置の光学系を中心とする一実施例の説明図である。
【図２】図２は、ディスク保持カセットからディスクを押上げて検査位置７に設定するディスク押上機構の説明図である。
【図３】図３は、ディスク押上機構の押上動作の説明図である。
【図４】図４は、ディスクカセットと押出上下動アームとの関係の説明図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…ディスク、２…欠陥検出光学系、
３…ディスクカセット、４…ワーク上下動機構、
５…投光系、６…受光系、７…検査位置、
１０…欠陥検査装置、１１…光照射制御回路、
１２…上下動駆動回路、２０…データ処理装置、
３１…底部開口、４１…押出上下動アーム、４２…リフトロッド、
４２ａ，４２ａ，４５ａ，４５ａ…スライド軸受、
４３…ガイドレール、４３ａ…ブラケット、
４４…ボールねじ機構、４５ｂ，４５ｂ…チャックローラ、
４６…ばね、４７…ベースフレーム、
５１…レーザ光源、５２…モニタ機構、
５２ａ…ミラー、５３…補正レンズ、
５４…コリメートレンズ、５５，５７…蒲鉾型レンズ、
５６…ポリゴンミラー、５８…レンズ、
５９…凹面鏡、６１…オプチカルファイバ、
６２…バンドル、６３…受光素子、６４…プリアンプ、
６５…アンプ、６６…Ａ／Ｄ変換回路（Ａ／Ｄ）。
【図１】
0004769105.tif 000002
【図２】
0004769105.tif 000003
【図３】
0004769105.tif 000004
【図４】
0004769105.tif 000005