(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
改質原料を改質するための改質装置に用いられる加熱装置において、改質原料の存する第一の内部空間と、前記第一の内部空間を加熱する加熱手段が前記第一の内部空間との間に介在された状態で、多ハロゲン化誘導体のガス、空気若しくは炭酸ガスが充填された又は常圧より減圧された真空状態とされた第二の内部空間とを有する本体を備え、
前記本体は、前記第一の内部空間の設けられた第一基板と、前記第一基板との間に前記加熱手段が介在された状態で前記第一基板に接合された第二基板と、を有し、
前記第二基板が前記第一基板に接合されることにより、前記第二基板のうち前記第一基板に対向する面に設けられた第一の凹部と前記第一基板との間に、前記第二の内部空間が、該第二の内部空間と前記第一基板との間に前記加熱手段が介在された状態で形成され、
前記第二基板は、前記第一基板よりも熱伝導率が小さいことを特徴とする加熱装置。
【請求項２】
請求項１記載の加熱装置において、前記本体は、空気、炭酸ガス又はガス状のフレオンが充填された若しくは真空封止された第三の内部空間をさらに有し、
前記第一基板のうち前記第二基板が接合された側とは反対側に接合されることにより、前記第一基板に対向する面に設けられた第二の凹部と前記第一基板との間に、前記第三の内部空間が、前記第一の内部空間に対応する領域に形成される第三基板を、前記本体はさらに有し、
前記第三基板は、前記第一基板よりも熱伝導率が小さいことを特徴とする加熱装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の加熱装置において、前記第二の内部空間を形成する内面に鏡面が形成されていることを特徴とする加熱装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の加熱装置において、液状の改質原料を前記第一の内部空間に供給する供給手段を備え、供給された改質原料を前記加熱手段によって加熱することにより前記第一の内部空間で蒸発させることを特徴とする加熱装置。
【請求項５】
請求項４記載の加熱装置と、前記第一の内部空間に設けられる改質触媒と、を備え、蒸発した改質原料を前記改質触媒によって前記第一の内部空間で改質することで水素を生成することを特徴とする改質装置。
【請求項６】
請求項１から３のいずれかに記載の加熱装置と、液状の改質原料を蒸発させるとともに前記第一の内部空間に通ずる蒸発部と、前記第一の内部空間内に設けられる改質触媒と、を備え、前記蒸発部において蒸発した改質原料を前記改質触媒によって前記第一の内部空間内で改質することで水素を生成することを特徴とする改質装置。
【請求項７】
請求項５又は６記載の改質装置と、酸素と前記改質装置によって生成された水素とを反応させて発電を行う燃料電池と、を備える燃料電池システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、改質原料を加熱する加熱装置、この加熱装置を具備する改質装置及び燃料電池システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、民生用或いは産業用のあらゆる分野において、様々な化学電池が使用されている。例えば、アルカリ乾電池又はマンガン乾電池等の一次電池は、時計、カメラ、玩具又は携帯型の音響機器等に多用されており、我が国に限らず、世界的な観点からも最も生産数量が多く、安価かつ入手が容易という特徴を有している。
【０００３】
一方、ニッケル・カドミウム蓄電池、ニッケル・水素蓄電池又はリチウムイオン電池等の二次電池は、近年普及が著しい携帯電話、携帯情報端末（例えば、ＰＤＡ等）、デジタルビデオカメラ或いはデジタルスチルカメラ等の携帯機器に多用されており、繰り返し充放電ができることから経済性に優れた特徴を有している。また、二次電池のうち、鉛蓄電池は、車両若しくは船舶の起動用電源、又は、産業設備若しくは医療設備における非常用電源等として利用されている。
【０００４】
ところで、近年、環境問題或いはエネルギー問題への関心の高まりに伴い、上述したような化学電池の使用後の廃棄に関する問題及びエネルギー変換効率の問題がクローズアップされている。
とくに、一次電池においては、上述したように、製品価格が安価で入手が容易なうえ、電源として利用する機器も多く、しかも、基本的に一度放電されると電池容量が回復することができない、一回限りの利用（いわゆる、使い捨て）しかできないため、年間の排気量が数百万トンに上っている。ここで、化学電池全体では、リサイクルにより回収される比率は、概ね２０％程度に過ぎず、残りの８０％程度が自然界に投棄され、又は埋め立て処理されているとする統計資料もあり、このような未回収の電池に含まれる水銀或いはインジウム等の重金属による環境破壊、及び自然環境の美観の悪化が懸念されている。
【０００５】
また、エネルギー資源の利用効率の観点から上記化学電池を検証すると、一次電池においては、放電可能エネルギーの概ね３００倍のエネルギーを使用して生産されているため、エネルギー利用効率が１％にも満たない。これに対して、繰り返し充放電が可能で経済性に優れた二次電池であっても、家庭用電源（例えば、コンセント）等から充電を行う場合、発電所における発電効率及び送電損失等により、エネルギー利用効率が概ね１２％程度にまで低下してしまうため、必ずしもエネルギー資源の有効利用が図られているとは言えなかった。
【０００６】
そこで、近年、環境への影響が少なく、かつ、３０〜４０％程度の極めて高いエネルギー利用効率を実現することができる、いわゆる、燃料電池が注目され、車両用の駆動電源又は家庭用のコジェネレーションシステム等への適用を目的として、あるいは、上述したような化学電池の代替えを目的として、実用化のための研究、開発が盛んに行われている。
【０００７】
固体高分子型の燃料電池は、アノード及びカソードで高分子電解質膜を挟んでなるもので、アノードに水素が、カソードに酸素がそれぞれ供給されて電気化学反応を起こして発電するようになっている。また、燃料電池の水素供給源としては、燃料改質装置が用いられている。この燃料改質装置は、アルコール系或いはガソリン等の液体燃料と水を加熱して蒸発させる蒸発器と、液体燃料の蒸気及び水蒸気を加熱することで及び改質触媒を用いて反応を促進することで、水素を含む改質ガスへ改質して生成する改質器とを備えている。このような燃料電池と燃料改質装置により、燃料電池システムが構成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、今後、エネルギー利用効率が高い燃料電池を用いた燃料電池システムを小型軽量化して、可搬型又は携帯型のポータブル電源、例えば、上述したような化学電池の代替えとして適用するためには、様々な問題を解決する必要がある。即ち、液体燃料並びに水、又は液体燃料の蒸気並びに水蒸気に対しての加熱以外に熱エネルギーが消費され、エネルギーが熱損失となる。そのため、燃料電池システム全体として、エネルギー利用効率が悪化する場合がある。
【０００９】
本発明の課題は、エネルギー利用効率を向上させることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するために、請求項１記載の発明は、改質原料を改質するための改質装置に用いられる加熱装置において、改質原料の存する第一の内部空間と、前記第一の内部空間を加熱する加熱手段が前記第一の内部空間との間に介在された状態で、多ハロゲン化誘導体のガス、空気若しくは炭酸ガスが充填された又は常圧より減圧された真空状態とされた第二の内部空間とを有する本体を備え、前記本体は、前記第一の内部空間の設けられた第一基板と、前記第一基板との間に前記加熱手段が介在された状態で前記第一基板に接合された第二基板と、を有し、前記第二基板が前記第一基板に接合されることにより、前記第二基板のうち前記第一基板に対向する面に設けられた第一の凹部と前記第一基板との間に、前記第二の内部空間が、該第二の内部空間と前記第一基板との間に前記加熱手段が介在された状態で形成され、前記第二基板は、前記第一基板よりも熱伝導率が小さいことを特徴としている。
【００１１】
以上の請求項１記載の発明では、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、改質原料及び本体も加熱される。第二の内部空間が第一の内部空間との間に加熱手段が介在された状態で設けられているが、熱は第一の内部空間から第二の内部空間を通過して伝導し難い。従って、加熱手段から生じる熱エネルギーは改質原料の加熱に効率よく用いられる。そのため、本発明に係る加熱装置では、エネルギーの熱損失が抑制されるとともに、エネルギーの利用効率が向上する。なお、改質原料は、液体であっても良いし、気体であっても良い。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の加熱装置において、前記本体は、空気、炭酸ガス又はガス状のフレオンが充填された若しくは真空封止された第三の内部空間をさらに有し、前記第一基板のうち前記第二基板が接合された側とは反対側に接合されることにより、前記第一基板に対向する面に設けられた第二の凹部と前記第一基板との間に、前記第三の内部空間が、前記第一の内部空間に対応する領域に形成される第三基板を、前記本体はさらに有し、前記第三基板は、前記第一基板よりも熱伝導率が小さいことを特徴としている。
【００１３】
以上の請求項２記載の発明では、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、改質原料及び第一基板も加熱される。そして、第三基板が第一基板に接合することで第二の凹部による第三の内部空間が第一の内部空間に対応する領域に形成されるが、この第三の内部空間が存するため、第一基板の熱が第三の内部空間を通過して第三基板へと伝導し難い。そのため、加熱手段から生じる熱エネルギーは第一の内部空間及び第一基板への加熱、結局のところ改質原料への加熱に効率よく用いられる。そのため、本発明に係る加熱装置では、エネルギーの利用効率が向上する。
【００２０】
請求項３記載の発明は、例えば図７に示すように、請求項１または２に記載の加熱装置において、前記第二の内部空間を形成する内面に鏡面（例えば、蒸着膜７５）が形成されていることを特徴としている。
【００２１】
以上の請求項３記載の発明では、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、改質原料及び本体も加熱される。第一の内部空間を囲む部分における本体の熱は、電磁波として第二の内部空間を通過して熱放射してしまうが、第二の内部空間の内面に鏡面が形成されているため、第一の内部空間を囲む部分における本体へと電磁波が反射する。そのため、熱放射が抑えられ、加熱手段から生じる熱エネルギーは改質原料の加熱に効率よく用いられる。
【００２２】
請求項４記載の発明は、例えば図５、図１２又は図１３に示すように、請求項１から３のいずれかに記載の加熱装置（例えば、マイクロ蒸発器５０、マイクロ回分反応器１５１又はマイクロ連続槽反応器２５１）において、液状の改質原料を前記第一の内部空間に供給する供給手段（例えば、燃料供給手段５９、第一マイクロバルブ１５５又は燃料供給手段２５５）を備え、供給された改質原料を前記加熱手段によって加熱することにより前記第一の内部空間で蒸発させることを特徴としている。
【００２３】
以上の請求項４記載の発明では、供給手段により液状の改質原料が第一の内部空間に供給されるが、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、液状の改質原料も加熱されて、第一の内部空間内で改質原料が蒸発する。第一の内部空間の近傍に第二の内部空間が設けられているから、加熱手段から生じる熱エネルギーは改質原料の加熱に効率よく用いられる。従って、液状の改質原料が効率よく蒸発する。
【００２４】
請求項５記載の発明に係る改質装置は、例えば図１２又は図１３に示すように、請求項４記載の加熱装置と、前記内部空間に設けられる改質触媒（例えば、改質触媒１６７又は２６７）と、を備え、蒸発した改質原料を前記改質触媒によって前記内部空間で改質することで水素を生成することを特徴としている。
【００２５】
以上の請求項５記載の発明では、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、蒸発した改質原料も加熱される。また、蒸発した改質原料は、改質触媒に促進されて水素に改質される。第一の内部空間の近傍に第二の内部空間が設けられているから、加熱手段から生じる熱エネルギーは蒸発した改質原料の加熱に効率よく用いられる。従って、改質に係る反応速度が向上する。
【００２６】
請求項６記載の発明に係る改質装置は、例えば図４及び図７若しくは図９に示すように、請求項１から３のいずれかに記載の加熱装置と、液状の改質原料を蒸発させるとともに前記第一の内部空間に通ずる蒸発部（例えば、マイク蒸発器５０）と、前記第一の内部空間内に設けられる改質触媒（例えば、改質触媒７９又は改質触媒９６）と、を備え、前記蒸発部において蒸発した改質原料を前記改質触媒によって前記第一の内部空間内で改質することで水素を生成することを特徴としている。
【００２７】
以上の請求項６記載の発明では、蒸発部と第一の内部空間が通じているから、蒸発部において改質原料が蒸発すると、蒸発した改質原料が第一の内部空間へと流れる。また、加熱手段によって第一の内部空間が加熱されることで、蒸発した改質原料も加熱される。また、蒸発した改質原料は、改質触媒に促進されて水素に改質される。第一の内部空間の近傍に第二の内部空間が設けられているから、加熱手段から生じる熱エネルギーは蒸発した改質原料の加熱に効率よく用いられる。従って、改質に係る反応速度が向上する。
【００２８】
請求項７記載の発明に係る燃料電池システムは、例えば図２に示すように、請求項５又は６記載の改質装置（例えば、マイクロリアクタ５）と、酸素と前記改質装置によって生成された水素とを反応させて発電を行う燃料電池（例えば、主発電部６）と、を備える。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る加熱装置、改質装置及び燃料電池システムについて、図面を用いて具体的な態様を説明する。ただし、発明の範囲を図示例に限定するものではない。
【００３０】
〔第一の実施の形態〕
図１（ａ），（ｂ）には、本発明に係る燃料電池システムを円筒電池に適用した場合の外観の一例が示されており、図１（ｃ）には、化学電池を汎用円筒電池に適用した場合の外観が示されている。また、図２には、本発明に係る燃料電池システムの基本構成を示す機能ブロック図が示されている。
【００３１】
図１（ａ），（ｂ）及び図２に示すように、燃料電池システム１は、大別して、燃料を含有する混合液（即ち、改質原料）が封入された燃料パック２と、燃料パック２から供給される混合液に基づいて発電を行うための発電モジュール３とを備えており、外部の負荷３４に電力を供給するものであり、基本的には負荷３４に対して着脱自在である。
【００３２】
燃料パック２は、密閉性の高い燃料貯蔵容器であり、発電モジュール３に対して着脱自在に結合された構成となっている。なお、燃料パック２は、発電モジュール３に対して一体的に結合された構成であっても良い。
【００３３】
この例では、燃料パック２に負極２ａが設けられているとともに発電モジュール３に正極３ａが設けられているが、逆に、燃料パック２に負極が設けられるとともに発電モジュール３に正極が設けられていても良い。
【００３４】
そして、燃料パック２が発電モジュール３に結合された状態における外形寸法（例えば、長さＬａ、直径Ｄａ）が、日本工業規格（JIS）で規格化された汎用の化学電池１００（例えば単三型）の外形寸法（例えば、長さＬｐ、直径Ｄｐ）と略同等になっている。
【００３５】
まず、燃料パック２について詳細に説明する。燃料パック２に対して人為的な過熱・焼却処理或いは薬品・化学処理等が行われた場合であっても、有機塩素化合物（例えば、ダイオキシン類；ポリ塩化ジベンゾパラジオキシン、ポリ塩化ジベンゾフラン）、塩化水素ガス若しくは重金属等の有害物質及び環境汚染物質の発生が少ない材料により燃料パック２が構成されている。例えば、燃料パック２は、生分解性或いは光分解性のプラスチックにより構成されており、具体的には、石油系原料から合成される脂肪族系の有機化合物を含む高分子材料、又はトウモロコシ若しくはサトウキビ等の植物系原料から抽出されるでんぷん若しくはポリ乳酸からなる高分子材料等により構成されている。
【００３６】
また、燃料電池システム１に用いられる燃料は、その燃料を含有する混合液の封入された燃料パック２が自然界に投棄又は埋め立て処理されてその混合液が大気中、土壌中或いは水中に漏れ出した場合であっても、自然環境に対して汚染物質とならないような燃料である。更に、燃料電池システム１に用いられる燃料は、発電モジュールにおいて高いエネルギー変換効率で電気エネルギーを生成できることができる燃料である。具体的には、燃料は、メタノール（ＣＨ3ＯＨ）若しくはエタノール（Ｃ2Ｈ5ＯＨ）等のアルコール類又はガソリン等の液体燃料である。本実施の形態では、燃料パック２に封入された混合液は、メタノール及び水（Ｈ2Ｏ）の場合、互いに等しいモル比で均一に混合されたものである方が望ましいが、メタノールのモル比が高くてもよい。燃料パック２内には、封入された混合液を毛細管現象により副発電部４及びマイクロリアクタ５に自動的に送出する送出管（図示せず）及び後述する主発電部６で生成される副生成物のうちの水を回収する回収管（図示せず）が設けられている。
【００３７】
このような構成を有する燃料パック２及び混合液によれば、燃料パック２を含む燃料電池システム１が自然界に投棄され、埋め立て処理され、焼却処分され、又は薬品処理された場合等であっても、自然環境に対して大気、土壌又は水質の汚染等の悪影響を自然に対して及ぼすことを、汎用の化学電池に比較して大幅に抑制することができる。更に、環境ホルモンの生成等の悪影響を人体に対して及ぼすことも大幅に抑制することができる。
【００３８】
また、燃料パック２が発電モジュール３に対して着脱可能であることによって、封入された混合液の残量がなくなった、又は減った場合には、燃料パック２への混合液の補充、又は新たな燃料パックへの交換を行うことができる。そのため、燃料パック２及び発電モジュール３の廃棄量を大幅に削減することができるとともに、仮に、使用済みの燃料パック２が投棄された場合であっても、自然環境への悪影響が大幅に削減される。
【００３９】
次に、発電モジュール３について説明する。図２に示すように、発電モジュール３は、発電モジュール３の各構成の動作電源となる電気エネルギーを発生するための副発電部４と、燃料パック２から供給される混合液を改質するためのマイクロリアクタ５と、マイクロリアクタ５により改質された燃料を用いて駆動電力となる電気エネルギーを発生し、外部の負荷３４に対して電力を供給するための主発電部６と、主発電部６を起動させることを検知するための起動検知部７と、主発電部６により発生された電力を検知するための電力検知部８と、発電モジュール３の各構成を制御するための制御部９とを備える。
【００４０】
副発電部４は、燃料パック２から供給される混合液を用いて電気化学反応によって電気エネルギーを発生し、発電モジュール３の他の構成（例えば、制御部９及びマイクロリアクタ５等）に電力を供給するとともにメイン機能がオフ時の負荷３４に待機電力を供給するものである。
【００４１】
図３には、副発電部４の一例が示されている。この副発電部４は、燃料直接供給方式を採用した固体高分子型の燃料電池である。即ち、副発電部４は、所定の触媒微粒子が付着された炭素電極からなる燃料極４１と、所定の触媒が付着された炭素電極からなる空気極４２と、燃料極４１と空気極４２との間に介装されたイオン導電膜４３とを有して構成されている。燃料パック２に封入された混合液が直接供給され、空気極４２には大気中の酸素ガス（Ｏ2）が供給される。
【００４２】
具体的には、混合液に含まれるメタノール（ＣＨ3ＯＨ）及び水（Ｈ2Ｏ）が燃料極４１に直接供給されると、次の化学反応式（１）に示すように、触媒反応により電子（ｅ-）が分離して、水素イオン（プロトン；Ｈ+）が発生する。そして、水素イオンがイオン導電膜４３を介して空気極４２側に通過するとともに、燃料極４１を構成する炭素電極により電子（ｅ-）が取り出されて、制御部９及びマイクロリアクタ５等に電子が供給される。
ＣＨ3ＯＨ＋Ｈ2Ｏ→６Ｈ+＋６ｅ-＋ＣＯ2  …（１）
【００４３】
一方、空気極４２に空気が供給されることにより、次の化学反応式（２）に示すように、触媒により制御部９及びマイクロリアクタ５等を経由した電子（ｅ-）とイオン導電膜４３を通過した水素イオン（Ｈ+）と空気中の酸素（Ｏ2）とが反応して水（Ｈ2Ｏ）が生成される。
６Ｈ+＋３／２Ｏ2＋６ｅ-→３Ｈ2Ｏ  …（２）
生成された水は、回収管を介し燃料パック２内の所定の回収手段に回収される。
【００４４】
このような一連の電気化学反応（（１）式及び（２）式）は、概ね室温程度の比較的低温度の環境下で進行する。
したがって副発電部４はヒータ等の加熱手段がなくても化学反応が進行するので、装着された燃料パック２内に蓄積された燃料が完全に消費されるまで或いは燃料パック２を発電モジュール３から取り外すまで、主発電部６の駆動の有無にかかわらず毛細管現象により燃料が供給され続け、その間常時発電しているように設定されている。
【００４５】
次に、マイクロリアクタ５について説明する。図４に示すように、マイクロリアクタ５は、混合液（即ち、メタノール及び水）を加熱して蒸発させるマイクロ蒸発器５０と、メタノールガス及び水蒸気を加熱して水素ガス（Ｈ2）と二酸化炭素ガス（ＣＯ2）に改質するためのマイクロ改質反応器５１と、マイクロ改質反応器５１で微量に発生した一酸化炭素（ＣＯ）の濃度を水性シフト反応により低濃度にするための水性シフト反応器５２と、マイクロ改質反応器５１で微量に発生した一酸化炭素を選択酸化反応により無害な物質に化学変化するための選択酸化反応器５３と、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３の各反応により生じる熱を放熱するための放熱フィン５４とを備えている。
【００４６】
マイクロ蒸発器５０は、以下のように構成されている。図５には、マイクロ蒸発器５０の断面が示されている。図５に示すように、マイクロ蒸発器５０は、基本構成として、上基板５５と、中基板５６と、下基板５７と、薄膜ヒータ５８と、燃料供給手段５９とを備えている。上基板５５、中基板５６及び下基板５７は、重なって接合された積層構造となり、マイクロ蒸発器５０の本体をなっている。
【００４７】
下基板５７はガラスで形成された基板であり、その熱伝導率は概ね１．３〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕である。下基板５７の上面には、空洞６０を構成するための凹部５７ａが、半導体製造技術（例えば、エッチング）を適用して形成されている。凹部５７ａの表面にはアルミ或いは銀などの膜６５が蒸着によって形成されており、膜６５によって凹部５７ａの表面が鏡面となっている。この凹部５７ａを覆うようにして、薄膜ヒータ５８が下基板５７の上面に設けられている。そして、下基板５７及び薄膜ヒータ５８に囲まれた内部空間となる空洞６０が形成され、熱を伝搬する媒体が少ない空洞６０での下基板５７への熱伝搬の抑制に加え、薄膜ヒータ５８からの輻射熱を膜６５で反射することにより下基板５７への熱拡散を抑制し、より効率よく中基板５６及び蒸発室６３内の空間を加熱して水素生成を促進する構造となっている。薄膜ヒータ５８は電気的な抵抗体（例えば、ＴａＳｉＯxＮ又はＴａＳｉＯxＮＨ）で構成され、薄膜ヒータ５８には副発電部４にて発電された電力が配線６１を介して供給されており、薄膜ヒータ５８は電力により発熱するものである。更に、薄膜ヒータ５８及び配線６１上に、酸化シリコン（ＳｉＯx）又は窒化シリコン（ＳｉxＮy）で形成された絶縁膜６２が被膜されている。
【００４８】
中基板５６は、単結晶シリコンで形成された基板であり、その熱伝導率は概ね１０５〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕であり、少なくとも下基板５７及び後述する上基板５５よりも熱伝導率の高い部材で構成される。中基板５６の下面には、蒸発室６３を構成するための凹部５６ａがサンドブラスト法によって形成されている。凹部５６ａが薄膜ヒータ５８及び空洞６０に対向するようにして、中基板５６が絶縁膜６２を介して下基板５７に接合されている。これにより、中基板５６及び絶縁膜６２に囲まれた内部空間となる蒸発室６３が形成される。
【００４９】
上基板５５はガラスで形成された基板であり、その熱伝導率は概ね１．３〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕である。上基板５５の下面には、空洞６４を構成するための凹部５５ａが、半導体製造技術を適用して形成されている。凹部５７ａの表面にはアルミ或いは銀等の蒸着膜６６が形成されており、蒸着膜６６によって凹部５７ａの表面が鏡面となっている。凹部５７ａが蒸発室６３に対向するようにして、上基板５５が中基板５６に接合されている。これにより、上基板５５及び中基板５６に囲まれた内部空間となる空洞６４が形成されている。
【００５０】
空洞６０及び空洞６４には、空気（熱伝導率０．０３６〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕）或いは炭酸ガス（ＣＯ2、熱伝導率０．０１７〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕）等の気体が充填されている。なお、空気又は炭酸ガスに代えて、ガス状のフレオン（デュポン社製）が空洞６０及び空洞６４に充填されていても良い。フレオンとは、フッ素を含むメタン若しくはエタンの多ハロゲン化誘導体であって、例えば、ジクロロジフルオロメタン（ＣＣｌ2Ｆ2、フレオン１２、熱伝導率０．０１０〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕）クロロジフルオロメタン（ＣＨＣｌＦ2、フレオン２２、熱伝導率０．０１１〔Ｗ／ｍ・Ｋ〕）等である。また、空洞６０及び空洞６４は、常圧より減圧された真空状態であっても良い。
【００５１】
更に、中基板５６には、燃料パック２に封入された混合液を蒸発室６３内に供給するための燃料供給手段５９が設けられている。この燃料供給手段５９は、サーマルジェット方式の液滴噴射装置（例えば、いわゆるプリンタのインクジェットヘッドを適用したものである。）であり、燃料パック２からの混合液が供給されるノズルと、ノズル内の混合液を加熱する発熱体とを基本構成としている。このように構成される燃料供給手段５９では、副発電部４にて発電された電力が発熱体に供給されると、ノズル内の混合液が発熱体によって加熱されて、ノズル内の混合液に気泡が発生する。これにより、ノズル内の圧力が上昇し、ノズルの先端に形成されたノズル孔から混合液の液滴が薄膜ヒータ５８に向けて噴射される。
【００５２】
更に、上記中基板５６及び上基板５５には、蒸発室６３からマイクロ改質反応器５１へと通ずる排出路６７が形成されている。
【００５３】
以上のように構成されるマイクロ蒸発器５０では、燃料供給手段５９が蒸気室６３の下の壁部に向けて、混合液の液滴を噴射する。そして、薄膜ヒータ５８が絶縁膜６２及び混合液の液滴を加熱すると、混合液が蒸発する（即ち、気化する）。混合液が気化することによって蒸発室６３の圧力が上昇し、混合液の気化したガス（メタノールガス及び水蒸気が混合したガス、以下原料ガスと述べる。）が圧力によって蒸発室６３から排出路６７へと流れる。
【００５４】
以上のように、中基板５６が、上基板５５及び下基板５７より熱伝導率の高いシリコンで形成されているため、薄膜ヒータ５８にて生じた熱エネルギーは、中基板５６へと熱伝導する傾向となる。従って、薄膜ヒータ５８にて生じた熱エネルギーは、中基板５６、蒸発室６３及び蒸発室６３内の混合液を加熱するために主に用いられる。更に、中基板５６に隣接して、空洞６０及び空洞６４が形成されているため、中基板５６に伝導した熱エネルギーは上基板５５及び下基板５７に熱伝導し難くなる。特に、空洞６０及び空洞６４に充填される気体が、空気、炭酸ガス或いはフレオンである場合、その気体の熱伝導率は中基板５６と比較しても小さい。一方、空洞６０及び空洞６４が真空封止されているなら、熱伝搬を行う媒体である空気等の単位体積当たりの量が少ないので、空洞６０及び空洞６４での熱伝導性は気体や中基板５６に比較しても非常に小さい。そのため、薄膜ヒータ５８にて生じた熱エネルギーは、空洞６０及び空洞６４にほとんど伝導せず、中基板５６を加熱すること及び蒸発室６３内の混合液を加熱して蒸発させることに消費される。
【００５５】
また、熱エネルギーによる電磁波が、薄膜ヒータ５８或いは中基板５６から空洞６０を介して下基板５７へと熱放射するようになるが、空洞６０の表面に鏡面の膜６５が形成されているため、電磁波が膜６５にて反射する。これにより、中基板５６から下基板５７への熱放射が抑えられる。同様に、空洞６４の表面に鏡面の蒸着膜６６が形成されているため、中基板５６から上基板５５への熱放射が抑えられる。
【００５６】
従って、薄膜ヒータ５８にて生じた熱エネルギーは、中基板５６を加熱すること、結局のところ蒸発室６３内の混合液を加熱して蒸発させることに主に用いられるようになる。このように、蒸発室６３の近傍に空洞６０及び空洞６４が形成されているため、薄膜ヒータ５８の熱エネルギーの損失を抑えることができる。薄膜ヒータ５８の熱エネルギー損失が抑えられることで、薄膜ヒータ５８が発熱するための電力の消費量、言い換えれば、副発電部４にて消費される混合液の消費量を抑えることができる。
【００５７】
なお、上記マイクロ蒸発器５０では、三枚の基板に蒸発室６３、空洞６０及び空洞６４が設けられているが、一枚の基板に蒸発室６３、空洞６０及び空洞６４が設けられているとともに、空洞６０或いは空洞６４と蒸発室６３との間に薄膜ヒータ５８が設けられている場合でも同様に、薄膜ヒータ５８の熱エネルギーの損失を抑えることができる。
【００５８】
次に、マイクロ改質反応器５１について、図６を参照して説明する。図６に示すように、マイクロ改質反応器５１には、葛折りとなったマイクロ流路６８が設けられている。図７には、図６のＡ−Ａ断面が示されている。図７に示すように、マイクロ改質反応器５１は、上基板６９と、中基板７０と、下基板７１とを備えている。上基板６９、中基板７０及び下基板７１は、重なって接合された積層構造となり、マイクロ改質反応器５１の本体となっている。下基板７１はガラスで形成された基板である。下基板７１の上面には、空洞７４を構成するための凹部７１ａが形成されている。凹部７１ａの表面にはアルミ或いは銀などの蒸着膜７５が蒸着によって形成されており、蒸着膜７５によって凹部７１ａの表面が鏡面となっている。この凹部７１ａを覆うようにして、薄膜ヒータ７６が下基板７１の上面に設けられている。これにより、下基板７１及び薄膜ヒータ７６に囲まれた空間となる空洞７４が形成される。薄膜ヒータ７６は電気的な抵抗（例えば、ＴａＳｉＯxＮ又はＴａＳｉＯxＮＨ）で構成され、薄膜ヒータ７６には副発電部４にて発電された電力が配線７７を介して供給されており、薄膜ヒータ７６は電力により発熱するものである。更に、薄膜ヒータ７６及び配線７７上に、酸化シリコン又は窒化シリコンで形成された絶縁膜７８が被膜されている。
【００５９】
中基板７０は、単結晶シリコンで形成された基板であり、少なくとも上基板６９及び下基板７１よりも熱伝導率の高い部材で構成される。中基板７０の下面には、マイクロ流路６８を構成するための溝７０ａがフォトレジストマスクを用いたサンドブラスト法によって形成されており、溝７０ａは葛折りとなって形成されている。溝７０ａの表面には、改質触媒７９が形成されている。改質触媒７９は、メタノール及び水に対して化学反応を促進する作用を有し、メタノール及び水から水素及び二酸化炭素を生成する機能を有するものである。
【００６０】
溝７０ａが薄膜ヒータ７６及び空洞７４に対向するようにして、中基板７０が絶縁膜７８を介して下基板７１に接合されている。これにより、溝７０ａによるマイクロ流路６８が形成される。このマイクロ流路６８は、中基板７０及び絶縁膜７８に囲まれた空間である。また、マイクロ流路６８の一端部は、マイクロ蒸発器５０の排出路６７に通じており、マイクロ流路６８の他端部は、水性シフト反応器５２に通じている。マイクロ流路６８（即ち、溝７０ａ）の断面幅Ｗは、改質触媒７９が被膜された状態で１００〔μｍ〕以下であるのが望ましく、マイクロ流路６８の断面深さＤは、改質触媒７９が被膜された状態で５００〔μｍ〕以下であるのが望ましい。このマイクロ流路６８は、薄膜ヒータ７６が発熱することによって加熱される。
【００６１】
上基板６９はガラスで形成された基板である。上基板６９の下面には、空洞７２を構成するための凹部６９ａが形成されている。凹部６９ａの表面にはアルミ或いは銀等の蒸着膜７３が形成されており、蒸着膜７３によって凹部６９ａの表面が鏡面となっている。凹部６９ａがマイクロ流路６８に対向するようにして、上基板６９が中基板７０に接合されている。これにより、上基板６９及び中基板７０に囲まれた空間となる空洞７２が形成されている。
【００６２】
空洞７２及び空洞７４には、空気或いは炭酸ガス等の気体が充填されている。なお、空気或いは炭酸ガスに代えて、ガス状のフレオンが空洞７２及び空洞７４に充填されていても良い。また、空洞７２及び空洞７４は、真空封止されていても良い。
【００６３】
以上のように構成されるマイクロ改質反応器５１では、マイクロ蒸発器５０において気化した原料ガス（即ち、メタノールガス及び水蒸気）が排出路６７（図５に図示）を流れて、マイクロ流路６８へと流れてくる。そして、原料ガスがマイクロ流路６８を流れている間に、原料ガスは次の化学反応式（３）に示すような水蒸気改質反応をして、水素ガス及び二酸化炭素ガスがマイクロ流路６８にて生成される。
【００６４】
ＣＨ3ＯＨ＋Ｈ2Ｏ→３Ｈ2＋ＣＯ2  …（３）
上記水蒸気改質反応は吸熱反応であり、原料ガスが薄膜ヒータ７６により加熱されることによって、また、改質触媒７９によって促進される。
【００６５】
なお、すべての原料ガスが上述の反応をするのではなく、微量の原料ガスが次の化学反応式（４）に示すような反応をし、微量ながら一酸化炭素ガスが生成される。
２ＣＨ3ＯＨ＋Ｈ2Ｏ→５Ｈ2＋ＣＯ＋ＣＯ2  …（４）
【００６６】
生成されたガス（即ち、水素ガス、二酸化炭素及び一酸化炭素等）は水性シフト反応器５２へと排出される。
【００６７】
以上のように、中基板７０が、上基板６９及び下基板７１より熱伝導率の高いシリコンで形成されているため、薄膜ヒータ７６にて生じた熱エネルギーは、中基板７０へと熱伝導する傾向となる。従って、薄膜ヒータ７６にて生じた熱エネルギーは、中基板７０、マイクロ流路６８及びマイクロ流路６８内の原料ガスを加熱するために用いられる。更に、中基板７０に隣接して、空洞７２及び空洞７４が形成されているため、中基板７０に伝導した熱エネルギーは上基板６９及び下基板７１に熱伝導し難くなる。従って、薄膜ヒータ７６にて生じた熱エネルギーは、中基板７０を加熱すること、即ちマイクロ流路６８内の原料ガスを加熱して改質することに主に用いられるようになる。そのため、改質に係る反応速度が向上するとともに、薄膜ヒータ７６の熱エネルギーの損失が抑えることができる。
【００６８】
また、薄膜ヒータ７６或いは中基板７０から発せられる電磁波が空洞７４に向けて発せられるが、電磁波が蒸着膜６６にて反射する。そのため、薄膜ヒータ７６或いは中基板７０から下基板７１への熱放射が抑えられる。同様に、空洞６４の表面に鏡面の蒸着膜６６が形成されているため、中基板７０から上基板６９への熱放射が抑えられる。従って、薄膜ヒータ７６にて生じた熱エネルギーは、中基板７０を加熱すること、即ちマイクロ流路６８内の原料ガスを加熱して改質することに主に消費される。このため、薄膜ヒータ７６の熱エネルギーの損失が抑えることができる。
【００６９】
なお、図７に示すようなマイクロ改質反応器５１に代えて、図８に示すようなマイクロ改質反応器９０であっても良く、このマイクロ改質反応器９０においてもマイクロ改質反応器５１と同様の効果を奏する。
【００７０】
図８に示すように、マイクロ改質反応器９０は、上基板９１と、中基板９２と、下基板９３とを備える。上基板９１、中基板９２及び下基板９３は、重なって接合された積層構造となり、マイクロ改質反応器９０の本体となっている。下基板９３はガラスで形成された基板である。下基板９３の上面には、空洞９４を構成するための凹部９３ａが形成されている。
【００７１】
中基板９２は、単結晶シリコンで形成された基板であり、少なくとも上基板９１及び下基板９３よりも熱伝導率の高い部材で構成される。中基板９２には、葛折りとなったマイクロ流路９５を構成するための溝９２ｃが形成されている。溝９２ｃは中基板９２を上下に貫通している。中基板９２の下面には薄膜ヒータ９７が設けられている。薄膜ヒータ９７は、溝９２ｃに沿って設けられており、溝９２ｃの下部を塞いでいる。そして、溝９２ｃの内面及び薄膜ヒータ９７の上面に改質触媒９６が形成されている。改質触媒９６は、メタノール及び水に対して化学反応を促進する作用を有し、メタノール及び水から水素ガス及び二酸化炭素ガスを生成する機能を有するものである。マイクロ流路９５の断面幅は、改質触媒９６が被膜された状態で１００〔μｍ〕以下であるのが望ましく、マイクロ流路９５の断面深さは、改質触媒９６が被膜された状態で５００〔μｍ〕以下であるのが望ましい。
【００７２】
溝９２ｃの両脇には、溝９２ｃに沿って凹部９２ａ，９２ｂが中基板９２の下面に形成されている。そして、薄膜ヒータ９７が下基板９３の凹部９３ａの底面に対向するようにして、また薄膜ヒータ９７が凹部９３ａに沿うようにして、中基板９２が下基板９３に接合されている。これにより、断面視してコ字状の空洞９４が、溝９２ｃに沿うようにして、かつ、溝９２ｃを囲むようにして、中基板９２及び下基板９３に形成される。
【００７３】
空洞９４の面（主に、溝９２ｃに向いた面）には、蒸着膜９８が形成されており、蒸着膜９８によって空洞９４の面が鏡面となっている。空洞９４には、空気或いは炭酸ガス等の気体が充填されている。なお、空気或いは炭酸ガスに代えて、ガス状のフレオンが空洞９４に充填されていても良い。また、空洞９４は、真空封止されていても良い。
【００７４】
上基板９１はガラスで形成された基板である。そして、上基板９１が中基板９２に接合することにより、溝９２ｃの上部が上基板９１によって塞がれる。これにより、溝９２ｃによるマイクロ流路９５が形成される。なお、マイクロ流路９５内は、薄膜ヒータ９７が発熱することによって加熱される。
【００７５】
断面視してコ字状の空洞９４がマイクロ流路９５を囲むようにして形成されるため、薄膜ヒータ９７で発生された熱エネルギーは、マイクロ流路９５以外に伝導し難くなる。そのため、薄膜ヒータ９７の熱エネルギーの損失が更に抑えられる。
【００７６】
以上のように構成されるマイクロ改質反応器９０では、マイクロ蒸発器５０において気化した原料ガス（即ち、メタノールガス及び水蒸気）が排出路６７（図５に図示）を流れて、マイクロ流路９５へと流れてくる。そして、原料ガスがマイクロ流路９５を流れている間に、原料ガスは薄膜ヒータ９７によって加熱されることで、また改質触媒９６に促進されて、上記化学反応式（３）及び上記化学反応式（４）に示すような反応をする。これにより、原料ガスは、水素ガス、二酸化炭素ガスに改質され、加えて微量の一酸化炭素ガスになる。
【００７７】
次に、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３について、図９に示される断面図を参照して説明する。水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３には、葛折りとなったマイクロ流路８０が設けられている。また、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３は一体となっており、具体的には以下のように構成されている。
【００７８】
即ち、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３は、上基板８１と下基板８２とを重ねて接合した積層構造となっている。上基板８１には、マイクロ流路８０を構成するための溝８１ａが形成されている。上基板８１に下基板８２が接合されることによって、溝８１ａによるマイクロ流路８０が形成される。また、水性シフト反応器５２側のマイクロ流路８０の端部が、マイクロ改質反応器５１のマイクロ流路６８の他端部に通じている。そして、マイクロ改質反応器５１にて生成されたガス（即ち、水素、一酸化炭素及び二酸化炭素等）は、マイクロ流路８０へと流れるようになっている。また、マイクロ流路８０の他方の端部は、後述する主発電部６の燃料極３１（図１０に図示）に通じており、マイクロ改質反応器５１にて生成されたガスがマイクロ流路８０を流れて、燃料極３１へと流れるようになっている。更に、上基板８１に放熱フィン５４が設けられており、マイクロ流路８０で一酸化炭素の化学反応に伴い発生する熱が放熱フィン５４によって放熱されるようになっている。
【００７９】
水性シフト反応器５２の溝８１ａには、水性シフト反応用触媒８３が形成されており、選択酸化反応器５３の溝８１ａには、選択酸化反応用触媒８４が形成されている。水性シフト反応用触媒８３は、一酸化炭素及び水に対して化学反応を促進する作用を有し、一酸化炭素及び水から水素及び二酸化炭素を生成する機能を有するものである。選択酸化反応用触媒８４は、水素過剰条件において、水素より一酸化炭素を優先して酸化させる作用を有するものである。マイクロ流路８０（即ち、溝８１ａ）の断面幅ｗは、水性シフト反応用触媒８３及び選択参加反応用触媒８４が被膜された状態で１００〔μｍ〕以下であるのが望ましく、マイクロ流路８０の断面深さｄは、水性シフト反応用触媒８３及び選択酸化反応用触媒８４が被膜された状態で５００〔μｍ〕以下であるのが望ましい。
【００８０】
以上のように構成される水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３の作用を説明する。
マイクロ改質反応器５１で生成されたガスがマイクロ流路８０を通過している間に、水性シフト反応器５２において、一酸化炭素が水性シフト反応用触媒８３によって促進されて、次の化学反応式（５）に示すような水性シフト反応をする。
ＣＯ＋Ｈ2Ｏ→ＣＯ2＋Ｈ2  …（５）
なお、マイクロ改質反応器５１において未反応だった水が、水性シフト反応における水として用いられることになる。
【００８１】
選択酸化反応器５３においては、マイクロ流路８０を通過するガスに含まれる一酸化炭素が選択酸化反応用触媒８４によって選択されて、一酸化炭素が次の化学反応式（６）に示すような選択酸化反応をする。また、マイクロ流路８０に選択酸化反応用触媒８４が形成されているため、ガスに含まれる水素はほとんど酸化しない。
２ＣＯ＋Ｏ2→２ＣＯ2  …（６）
なお、大気中の酸素が、選択酸化反応における酸素として用いられる。
【００８２】
以上のように、マイクロ蒸発器５０、マイクロ改質反応器５１、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３から構成されるマイクロリアクタ５によれば、マイクロ改質反応器５１において微量ながら一酸化炭素が生成されるが、水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３において一酸化炭素が水素及び二酸化炭素に変換されるため、一酸化炭素がほとんど生成されない。水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３のそれぞれの一方の流路を互いに直列に繋げたが、この際水性シフト反応器５２及び選択酸化反応器５３のそれぞれの一方の流路のいずれをマイクロ改質反応器５１の出口側の流路に繋げてもよく、またマイクロ改質反応器５１の出口側の流路に対し水性シフト反応器５２の一方の流路及び選択酸化反応器５３の一方の流路を並列に繋げてもよい。
【００８３】
次に、主発電部６について図１０を参照して説明する。主発電部６は、燃料改質方式を採用した固体高分子型の燃料電池である。即ち、主発電部６は、白金或いは白金・ルテニウム等の触媒微粒子が付着した炭素電極からなる燃料極（即ち、カソード）３１と、白金等の触媒微粒子が付着した炭素電極からなる空気極（即ち、アノード）３２と、燃料極３１と空気極３２との間に介装されたフィルム状のイオン導電膜（即ち、交換膜）３３とを有して構成されている。燃料極３１が、図１に示す負極２ａに接続されているとともに、空気極３２が、図１に示す正極３ａに接続されている。
【００８４】
ここで、燃料極３１には、上記マイクロリアクタ５において生成された水素ガスが供給され、一方、空気極３２には、大気中の酸素ガス（Ｏ2）が供給されることにより、主発電部６において電気化学反応により所定の電気エネルギーが生成（即ち、発電）され、負荷３４に対しての駆動電力（即ち、電圧、電流及び電気エネルギー）が生成される。
【００８５】
具体的には、燃料極３１に水素ガスが供給されると、次の化学反応式（７）に示すように、燃料極３１に付着した触媒により電子の分離した水素イオンが発生し、イオン導電膜３３を介して空気極３２側に水素イオンが通過するとともに、燃料極３１を構成する炭素電極により電子が取り出されて負荷３４に供給される。
３Ｈ2→６Ｈ+＋６ｅ-  …（７）
【００８６】
一方、空気極３２に酸素ガスが供給されると、上記化学反応式（２）に示すように、触媒により負荷３４を経由した電子とイオン導電膜３３を通過した水素イオンと空気中の酸素ガスとが反応して生成された水は、回収管を介し燃料パック２内の所定の回収手段に回収される。
【００８７】
主発電部６における電気化学反応は概ね６０〜８０℃の比較的低温の温度条件で進行するため、燃料極３１に僅かな一酸化炭素が供給された場合でも燃料極３１に吸着被毒して活性が低下し易いが、マイクロリアクタ５において生成されるガスには一酸化炭素がほとんど含まれていないから燃料極３１に吸着被毒しない。従って、長時間燃料電池システム１が使用された場合でも、主発電部６により発生する駆動電力の低下を招かない。
【００８８】
次に、起動検知部７、電力検知部８及び制御部９について説明する。
起動検知部７、電力検知部８及び制御部９は、既存の半導体製造技術を適用することにより、数ミクロンオーダーにマイクロチップ化されたものである。
【００８９】
起動検知部７は、主発電部６を起動させる旨を検知するものであり、具体的には、主発電部６に負荷３４が接続されたことを検知するセンサ（例えば、燃料電池システム１に対する負荷３４の位置を検知する位置センサ等）又は、使用者等が負荷３４の操作ボタン等を押下した時の負荷の容量変化に伴う電位の変化を検知するセンサである。そして、起動検知部７は、検知した場合に、検知した旨の信号を制御部９に出力するようになっている。
【００９０】
電力検知部８は、主発電部６において発生された駆動電力の値を検知するものであり、具体的には、主発電部６から負荷３４に流れる電流の値を検知する電流計、又は、主発電部６から負荷３４に負荷される電圧の値を検知する電圧計等である。そして、電力検知部８は、主発電部６において発生された駆動電力の値を示す信号を制御部９に出力するようになっている。
【００９１】
制御部９は、専用の論理回路或いは、ＣＰＵ（central processing unit）等を有する演算処理装置であり、負荷３４が待機状態からメイン機能の起動する状態へのシフトにともない変位する電位を燃料パック２の正極３ａ及び負極２ａを介して検知した起動検知部７から入力される信号に基づいて主発電部６を起動させることを判定し、主発電部６を起動させると判定した場合に、マイクロリアクタ５に作動を指示する信号を出力するようになっている。具体的には、制御部９は、マイクロリアクタ５に設けられる燃料供給手段５９に対して作動を指示する作動信号を出力するようになっている。これにより、燃料供給手段５９が混合液を噴射（即ち、供給）しはじめ、マイクロリアクタ５において水素ガスが生成されはじめ、主発電部６が起動して、主発電部６から駆動電力が発電される。一方、制御部９は、メイン機能が駆動している状態から待機状態へのシフトにともない変位する電位を燃料パック２の正極３ａ及び負極２ａを介して検知した起動検知部７から入力される信号に基づいて主発電部６を停止すると判定した場合に、マイクロリアクタ５に停止を指示する停止信号を出力するようになっている。具体的には、制御部９は、マイクロリアクタ５に設けられる燃料供給手段５９に対して停止を指示する停止信号を出力するようになっている。これにより、燃料供給手段５９が混合液を噴射（即ち、供給）することを停止し、マイクロリアクタ５において水素ガスが発生されないため、主発電部６が停止し、主発電部６から駆動電力が発電されない。
【００９２】
更に、主発電部６が起動している場合に、制御部９は、電力検知部８から入力される信号に基づいて、主発電部６の駆動電力の値を判定し、判定した駆動電力の値に基づいてマイクロリアクタ５を制御するようになっている。これにより、マイクロリアクタ５から生成される水素ガスの生成量が調節される。即ち、制御部９は、マイクロリアクタ５に設けられる燃料供給手段５９を制御する。これにより、燃料供給手段５９から噴射される混合液の供給量（即ち、単位時間当たりの噴射量、例えば、燃料供給手段５９が燃料を噴射するインターバル）が制御部９によって制御され、マイクロリアクタ５から生成される水素ガスの生成量が調整され、結果として主発電部６から発電される駆動電力（即ち、電圧、電位及び電気エネルギー）が調整される。具体的には、燃料供給手段５９が一回混合液を噴射した後に次回に再び混合液を噴射するまでの時間的間隔を、制御部９が制御することによって、水素ガスの生成量が調整される。更に、制御部９は、電力検知部８から入力される信号に基づいて、主発電部６から発電される駆動電力等が一定になるように（例えば、負荷３４に印加される電圧が一定の１．５〔Ｖ〕となるように）、燃料供給手段５９を制御するようになっている。
【００９３】
即ち、以上の燃料電池システム１では、燃料供給手段５９が設けられており、この燃料供給手段５９から噴射される混合液の供給量が制御部９によって調整されることによって、水素ガスの生成量が容易に制御することができる。また、起動検知部７が検知した場合のみに、燃料供給手段５９から混合液が噴射され、主発電部６から電力が発電されるため、電力を必要としないとき（例えば、負荷３４が燃料電池システム１に接続されていないとき）には混合液が噴射されない。
従って、主発電部６による混合液の浪費が抑えられる。
【００９４】
次に、上記燃料電池システム１の使用方法及び作用について説明する。
まず、混合液が充填された燃料パック２を発電モジュール３に取り付ける。次に、燃料パック２が取り付けられた状態の燃料電池システム１を負荷３４に接続する。そして、起動検知部７において負荷３４の起動状態を検知した場合に、マイクロリアクタ５で水素ガスが生成されて、主発電部６において駆動電力が発電される。これにより、駆動電力が負荷３４に対して供給される。この際、制御部９が、マイクロリアクタ５から発生される水素ガスの量を調節することにより、主発電部６において発電される電力が調整される。
【００９５】
以上のような燃料電池システム１では、マイクロ蒸発器５０及びマイクロ改質反応器５１において熱エネルギーの損失が抑えられるため、混合液を蒸発させるため及び改質させるための消費熱エネルギーを抑えられる。そのため、燃料電池システム１全体では、電気エネルギーへのエネルギー変換効率が非常に良く、エネルギー利用効率の高い燃料電池システム１が提供される。
【００９６】
〔第二の実施の形態〕
第二の実施の形態における燃料電池システムは、上記第一の実施の形態における燃料電池システム１とほぼ同一の構成をしているが、マイクロリアクタの構成が異なっている。従って、第二の実施の形態における燃料電池システムの構成については、第一の実施の形態における燃料電池システム１と異なる構成について主に説明する。
【００９７】
第二の実施の形態において、図１１に示すように、第二の実施の形態におけるマイクロリアクタ５は、マイクロ蒸発器５０及びマイクロ改質反応器５１（図４等に図示）に代えて、混合液を加熱して蒸発させるととも、メタノールガス及び水蒸気を水素ガス（Ｈ2）及び二酸化炭素ガス（ＣＯ2）に改質するためのマイクロ回分反応器１５１を備えている。
【００９８】
マイクロ回分反応器１５１は、本発明に係る燃料加熱装置及び燃料改質装置が適用されたものである。図１２に示すように、マイクロ回分反応器１５１は、基本構成として、上基板１５２と、中基板１５３と、下基板１５４と、第一マイクロバルブ１５５と、第二マイクロバルブ１５６と、薄膜ヒータ１５７とを有して構成されている。上基板１５２、中基板１５３及び下基板１５４は、重なって接合された積層構造となり、マイクロ回分反応器１５１の本体となっている。
【００９９】
下基板１５４はガラスで形成された基板である。下基板１５４の上面には、空洞１６２を構成するための凹部１５４ａが形成されており、下基板１５４が凹部１５４ａの壁部となる。凹部１５４ａの表面にはアルミ或いは銀等の蒸着膜１６０が形成されており、蒸着膜１６０によって凹部１５４ａの表面が鏡面となっている。凹部１５４ａを覆うようにして、薄膜ヒータ１５７が下基板１５４の上面に設けられている。これにより、下基板１５４及び薄膜ヒータ１５７で囲まれた空間となる空洞１６２が形成される。薄膜ヒータ１５７は、電気的な抵抗で構成され、薄膜ヒータ１５７には副発電部４にて発電された電力が配線１５８を介して供給されており、薄膜ヒータ１５７は電力によって発熱するものである。更に、薄膜ヒータ１５７及び配線１５８上に、酸化シリコン又は窒化シリコンで形成された絶縁膜１５９が被膜されている。
【０１００】
中基板１５３は、単結晶シリコンで形成された基板であり、少なくとも上基板１５２及び下基板１５４よりも熱伝導率の高い部材で構成される。中基板１５３の下面には、反応室１６４を構成するための凹部１５３ａが形成されている。凹部１５３ａの表面には、改質触媒１６７が形成されている。改質触媒１６７は、メタノール及び水に対して化学反応を促進する作用を有し、メタノール及び水から水素ガス及び二酸化炭素ガスを生成する機能を有するものである。
【０１０１】
凹部１５３ａが薄膜ヒータ１５７及び空洞１６２に対向するようにして、中基板５６が絶縁膜１５９を介して下基板１５４に接合されている。これにより、中基板１５３及び絶縁膜１５９に囲まれた空間となる反応室１６４が形成される。
【０１０２】
上基板１５２はガラスで形成された基板である。上基板１５２の下面には、空洞１６３を構成するための凹部１５２ａが形成されている。凹部１５２ａの表面にはアルミ或いは銀等の蒸着膜１６１が形成されており、蒸着膜１６１によって凹部１５２ａの表面が鏡面となっている。凹部１５２ａが反応室１６４に対向するようにして、上基板１５２が中基板１５３に接合されている。これにより、上基板１５２及び中基板１５３に囲まれた空間となる空洞１６３が形成されている。
【０１０３】
空洞１６２及び空洞１６３には、空気、炭酸ガス、ガス状のフレオン等の気体が充填されていても良い。また、空洞１６２及び空洞は、真空封止されていても良い。
【０１０４】
また、中基板１５３には、燃料パック２から反応室１６４まで通ずる吸入路１６５が設けられている。また、中基板１５３及び上基板１５２には、反応室１６４から水性シフト反応器５２のマイクロ流路８０まで通じる排出路１６６が設けられている。吸入路１６５には第一マイクロバルブ１５５が設けられており、排出路１６６には第二マイクロバルブ１５６が設けられている。第一マイクロバルブ１５５は吸入路１６５を開閉するものであり、第二マイクロバルブ１５６は排出路１６６を開閉するものである。第一マイクロバルブ１５５及び第二マイクロバルブ１５６は、副発電部４で発電された電力によって開閉動作するようになっており、制御部９によって開閉動作を制御されるようになっている。
【０１０５】
次に、マイクロ回分反応器１５１の作用について説明する。
まず、制御部９が第二マイクロバルブ１５６を制御することによって、第二マイクロバルブ１５６が閉動作して、排出路１６６が塞がれる。そして、制御部９が第一マイクロバルブ１５５を制御することによって、第一マイクロバルブ１５５が開動作する。第一マイクロバルブ１５５が開動作することによって、混合液が燃料パック２から反応室１６４内に供給される。所定量の混合液が反応室１６４内に供給されたら（或いは、所定時間経過したら）、制御部９が第一マイクロバルブ１５５を制御することによって、第一マイクロバルブ１５５が閉動作する。
【０１０６】
そして、発熱している薄膜ヒータ１５７が、絶縁膜１５９及び反応室１６４に供給された混合液を加熱すると、混合液が気化してガス状になる。そして、原料ガス（即ち、メタノールガス及び水蒸気）が薄膜ヒータ１５７によって加熱されることで、また改質触媒１６７に促進されることで、原料ガスは上記化学反応式（３）及び上記化学反応式（４）に示すような反応する。こうして、原料ガスが改質されて、水素ガス、二酸化炭素ガス及び微量の一酸化炭素ガスが生成される。また、混合液が気化したり、原料ガスから水素ガス、二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガスが生成されることによって、反応室１６４内の圧力が上昇する。
【０１０７】
そして、第一マイクロバルブ１５５が閉動作してから所定時間経過後、制御部９が第二マイクロバルブ１５６を制御することによって、第二マイクロバルブ１５６が開動作する。第二マイクロバルブ１５６が開くと、生成されたガスは反応室１６４内の圧力によって排出路１６６へと流れて、水性シフト反応器５２のマイクロ流路８０へと流れる。
【０１０８】
その後同様に、第一マイクロバルブ１５５及び第二マイクロバルブ１５６が開閉動作を繰り返すことによって、断続的に生成ガスが水性シフト反応器５２のマイクロ流路８０へと流れる。
【０１０９】
以上のマイクロ回分反応器１５１では、中基板１５３が、上基板１５２及び下基板１５４より熱伝導率の高いシリコンで形成されているため、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板１５３へと熱伝導する傾向となる。更に、中基板１５３に隣接して、空洞１６３及び空洞１６２が形成されているため、中基板１５３に伝導した熱エネルギーは上基板１５２及び下基板１５４に熱伝導し難くなる。従って、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板１５３を加熱すること、即ち反応室１６４内の混合液を加熱して蒸発させること及び原料ガスを加熱して改質することに主に用いられるようになる。そのため、薄膜ヒータ１５７の熱エネルギーの損失が抑えることができる。薄膜ヒータ１５７の熱エネルギー損失が抑えられることで、薄膜ヒータ１５７が発熱するための電力の消費量、言い換えれば、副発電部４にて消費される混合液の消費量を抑えることができる。
【０１１０】
また、薄膜ヒータ１５７或いは中基板１５３から発せられる電磁波が空洞１６２に向けて発せられるが、電磁波が蒸着膜１６０にて反射する。そのため、薄膜ヒータ１５７或いは中基板１５３から下基板１５４への熱放射が抑えられる。同様に、空洞１６３の表面に鏡面の蒸着膜１６１が形成されているため、中基板１５３から上基板１５２への熱放射が抑えられる。従って、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板７０を加熱すること、反応室１６４内の混合液を加熱して蒸発させること及び反応室１６４の原料ガスを加熱して改質することに消費される。そのため、薄膜ヒータ１５７の熱エネルギーの損失が抑えられ、副発電部４にて消費される混合液の消費量を抑えることができる。
【０１１１】
〔第三の実施の形態〕
第三の実施の形態における燃料電池システムは、上記第一或いは第二の実施の形態における燃料電池システム１とほぼ同一の構成をしているが、マイクロリアクタの構成が異なっている。従って、第三の実施の形態における燃料電池システムの構成については、第一或いは第二の実施の形態における燃料電池システム１と異なる構成について主に説明する。
【０１１２】
第三の実施の形態において、マイクロリアクタ５は、図１２に示すマイクロ回分反応器１５１に代えて、図１３に示すようなマイクロ連続槽反応器２５１を備えている。マイクロ連続槽反応器２５１は、混合液を加熱して蒸発させるととも、メタノールガス及び水蒸気を水素ガス（Ｈ2）と二酸化炭素ガス（ＣＯ2）に改質するものである。なお、以下では、マイクロ連続槽反応器２５１については、マイクロ回分反応器１５１と同様の構成要素に同様の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【０１１３】
マイクロ連続槽反応器２５１は、本発明に係る燃料加熱装置及び燃料改質装置が適用されたものであり、基本構成として、上基板１５２と、中基板２５３と、下基板１５４と、薄膜ヒータ１５７と、燃料供給手段２５５とを有して構成されている。
【０１１４】
下基板１５４はガラスで形成された基板である。第二の実施の形態の場合と同様に、この下基板１５４の上面に薄膜ヒータ１５７が設けられることで、空洞１６２が形成される。
【０１１５】
中基板２５３は、単結晶シリコンで形成された基板であり、少なくとも上基板１５２及び下基板１５４よりも熱伝導率の高い部材で構成される。中基板２５３の下面には、反応室２６４を構成するための凹部２５３ａが形成されている。凹部２５３ａの表面には、改質触媒２６７が形成されている。改質触媒２６７は、メタノール及び水に対して化学反応を促進する作用を有し、メタノール及び水から水素ガス及び二酸化炭素ガスを生成する機能を有するものである。
【０１１６】
凹部２５３ａが薄膜ヒータ１５７及び空洞１６２に対向するようにして、中基板２５３が絶縁膜１５９を介して下基板１５４に接合されている。これにより、中基板２５３及び下基板１５４に囲まれる空間となる反応室２６４が形成される。
【０１１７】
上基板１５２はガラスで形成された基板である。第二の実施の形態の場合と同様に、上基板１５２が中基板２５３に接合されていることで、凹部１５２ａによる空洞１６３が形成されている。空洞１６２及び空洞１６３には、空気、炭酸ガス、ガス状のフレオン等の気体が充填されていても良い。また、空洞１６２及び空洞は、真空封止されていても良い。
【０１１８】
また、中基板２５３には、燃料パック２に封入された混合液を反応室２６４内に供給するための燃料供給手段２５５が設けられている。この燃料供給手段２５５は、サーマルジェット方式の液滴噴射装置（例えば、いわゆるプリンタのインクジェットヘッドを適用したものである。）であり、燃料パック２からの混合液が供給されるノズルと、ノズル内の混合液を加熱する発熱体とを基本構成としている。このように構成される燃料供給手段２５５では、副発電部４にて発電された電力が発熱体に供給されると、ノズル内の混合液が発熱体によって加熱されて、ノズル内の混合液に気泡が発生する。これにより、ノズル内の圧力が上昇し、ノズルの先端に形成されたノズル孔から混合液の液滴が薄膜ヒータ１５７に向けて噴射される。
【０１１９】
更に、上基板１５２及び中基板２５３には、反応室２６４から水性シフト反応器５２のマイクロ流路８０まで通じる排出路２６６が設けられている。
【０１２０】
次に、マイクロ連続槽反応器２５１の作用について説明する。まず、燃料供給手段２５５が反応室２６４の下の壁に向けて、混合液の液滴を噴射する。そして、発熱している薄膜ヒータ１５７が混合液の液滴を加熱すると、混合液が気化してガス状になる。原料ガス（即ち、メタノールガス及び水蒸気）が薄膜ヒータ１５７によって加熱されることで、また改質触媒２６７に促進されることで、上記化学反応式（３）及び上記化学反応式（４）に示すような反応する。こうして、原料ガスが改質されて、水素ガス、二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガスが生成される。生成されたガス（即ち、水素ガス、二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガス）は、物質拡散及び対流によって排出路２６６へと拡散する。また、混合液が気化したり、原料ガスが水素ガス、二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガスに改質されたりすることによって、反応室２６４内の圧力が上昇する。これにより、生成されたガスは、反応室２６４内の気圧によって排出路２６６を通じて水性シフト反応器５２へと排出される。
【０１２１】
以上のように、中基板２５３が、上基板１５２及び下基板１５４より熱伝導率の高いシリコンで形成されているため、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板２５３へと熱伝導する傾向となる。従って、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板２５３、反応室２６４及び反応室２６４内の混合液並びに原料ガスを加熱するために主に消費される。
【０１２２】
また、中基板２５３に隣接して、空洞１６２及び空洞１６３が形成されているため、中基板２５３に伝導した熱エネルギーは上基板１５２及び下基板１５４に熱伝導し難い。即ち、空洞１６２及び空洞１６３には空気、フレオン若しくは炭酸ガスが充填されているため、又は空洞１６２及び空洞１６３が真空充填されているため、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギー又は中基板２５３に伝導した熱エネルギーは、空洞１６２或いは空洞１６３に伝導し難い上、空洞１６２又は空洞１６３を介して上基板１５２又は下基板１５４に伝導し難い。従って、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板２５３、反応室２６４及び反応室２６４内の混合液並びに原料ガスを加熱するために主に消費される。
【０１２３】
また、薄膜ヒータ１５７或いは中基板２５３から発せられる電磁波が空洞１６２に向けて発せられるが、電磁波が蒸着膜１６０にて反射する。そのため、薄膜ヒータ１５７或いは中基板２５３から下基板１５４への熱放射が抑えられる。同様に、空洞１６３の表面に鏡面の蒸着膜１６１が形成されているため、中基板２５３から上基板１５２への熱放射が抑えられる。従って、薄膜ヒータ１５７にて生じた熱エネルギーは、中基板２５３（即ち、反応室２６４）を加熱すること、結局のところ反応室２６４内の混合液を加熱して蒸発させること及び原料ガスを加熱して改質することに主に消費される。
【０１２４】
従って、薄膜ヒータ１５７の熱エネルギーの損失が抑えることができる。そのため、薄膜ヒータ１５７が加熱するために電力の消費量、言い換えれば、副発電部４にて消費される混合液の消費量を抑えることができる。
【０１２５】
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改良並びに設計の変更を行っても良い。
【０１２６】
例えば、上記各実施の形態において、燃料電池システム１の外形は図１に示すような円筒形状に限らず、例えば、ボタン型或いはコイン型等の円形型であっても良いし、特殊形状型、角形或いは平型等の非円形型であっても良い。
【０１２７】
また、第一或いは第三の実施の形態において、燃料供給手段５９及び燃料供給手段２５５は、サーマルジェット方式のものとしたが、ピエゾ式の液滴噴射装置（いわゆる、ピエゾ式のインクジェットヘッドを適用したもの。）或いは静電式の液滴噴射装置（いわゆる、静電式のインクジェットヘッドを適用したもの。）が適用されても良い。ピエゾ式のインクジェットヘッドは、燃料パック２から混合液が供給されるノズルと、電圧が印加されると変形するピエゾ素子とを備えている。そして、副発電部４にて発電された電力によってピエゾ素子に電圧が印加されると、ノズルの先端に形成されたノズル孔から混合液の液滴が噴射され、これにより混合液が供給される。
【０１２８】
また、静電式のインクジェットヘッドとは、ノズルと、ノズルの一部である振動板と、前記振動板に対向配置された対向電極とを備えている。そして、静電式のインクジェットでは、振動板と対向電極との間に電圧が印加されると、クーロン力によって振動板が対向電極に向けて撓む。その後、振動板と対向電極との間の電圧が消去すると、振動板が復元する。これにより、ノズルの先端に形成されたノズル孔から混合液の液滴が噴射され、これにより混合液が供給される。
【０１２９】
また、薄膜ヒータ５８、７６、９７或いは１５７に代えて、例えば、熱流体等の熱を発して加熱する加熱手段としても良い。
【０１３０】
また、上記各実施の形態では、蒸発室６３、マイクロ流路６８、反応室１６４或いは反応室２６４の上方及び下方に空洞が形成されていたが、更に、蒸発室６３、マイクロ流路６８、反応室１６４或いは反応室２６４の前方、後方、左方又は右方に空洞が形成されていても良い。
なお上記各実施の形態では、中基板として反応を促進するために熱伝導率の高い単結晶シリコンを用いたが、上基板及び／又は下基板よりも熱伝導率が高く、加工性に優れている材料であればこれに限らず、例えばアルミニウムやその合金でもよい。また十分な封止が可能である場合に限り、空洞のある上基板及び中基板の二層構造や中基板及び空洞のある下基板の二層構造であってもよい。
また上記各実施の形態では、燃料としてメタノールを用いたが、吸熱反応により水素を発生させるものであればその他の液化燃料でもよく、ブタン等の常温、常圧下で気化する燃料であればより好ましい。
なお、上記各実施の形態では、燃料電池の各要素のヒータに関する断熱構造について説明したが、これに限らず、ＤＮＡ等の遺伝子の同定、合成のように所定の物質を化学反応させる超小型反応プラントに上述した断熱構造を応用することも可能である。
【０１３１】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、エネルギーの利用効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る燃料電池システム及び従来の化学電池の外形が示されている斜視図である。
【図２】上記燃料電池システムの機能ブロック図が示されている図面である。
【図３】上記燃料電池システムに設けられる燃料電池の構成例が概略的に示されている図面である。
【図４】上記燃料電池システムに設けられるマイクロリアクタの構成例が示されている図面である。
【図５】上記マイクロリアクタに設けられるマイクロ蒸発器が示されている断面図である。
【図６】上記マイクロリアクタに設けられるマイクロ改質反応器が示されている斜視図である。
【図７】上記マイクロ改質反応器が示されている断面図である。
【図８】上記マイクロ改質反応器とは別の例のマイクロ改質反応器が示されている断面図である。
【図９】上記マイクロリアクタに設けられる水性シフト反応器及び選択酸化反応器が示されている断面図である。
【図１０】上記燃料電池システムに設けられる燃料電池の構成が概略的に示されている図面である。
【図１１】上記マイクロリアクタとは別の例のマイクロリアクタの構成例が示されている図面である。
【図１２】上記別の例のマイクロリアクタに設けられるマイクロ回分反応器が示されている断面図である。
【図１３】上記マイクロ回分反応器に代えて、上記別の例のマイクロリアクタに設けられるマイクロ連続槽反応器が示されている断面図である。
【符号の説明】
１      燃料電池システム
５      マイクロリアクタ（改質装置）
６      主発電部（燃料電池）
５０      マイクロ蒸発器（加熱装置、蒸発部）
５１      マイクロ改質反応器（加熱装置）
５５      上基板（本体、第三基板）
５５ａ      第二の凹部
５６      中基板（本体、第一基板）
５７      下基板（本体、第二基板）
５７ａ      第一の凹部
５８      薄膜ヒータ（加熱手段）
５９      燃料供給手段（供給手段）
６０      空洞（第二の内部空間）
６３      蒸発室（第一の内部空間）
６４      空洞（第三の内部空間）
６５      膜（鏡面）
６６      蒸着膜（鏡面）
６８      マイクロ流路（第一の内部空間）
６９      上基板（本体、第三基板）
６９ａ      第二の凹部
７０      中基板（本体、第一基板）
７１      下基板（本体、第二基板）
７１ａ      第一の凹部
７２      空洞（第三の内部空間）
７３      蒸着膜（鏡面）
７４      空洞（第二の内部空間）
７５      蒸着膜（鏡面）
７６      薄膜ヒータ（加熱手段）
９０      マイクロ改質反応器（加熱装置、改質装置）
９１      上基板（本体）
９２      中基板（本体）
９３      下基板（本体）
９４      空洞（第二の内部空間）
９５      マイクロ流路（第一の内部空間）
９６      改質触媒
９７      薄膜ヒータ（加熱手段）
９８      蒸着膜（鏡面）
１５１      マイクロ回分反応器（加熱装置、改質装置）
１５２      上基板（本体、第三基板）
１５２ａ      第二の凹部
１５３      中基板（本体、第一基板）
１５４      下基板（本体、第二基板）
１５４ａ      第一の凹部
１５５      第一マイクロバルブ（供給手段）
１５７      薄膜ヒータ（加熱手段）
１６０      蒸着膜（鏡面）
１６１      蒸着膜（鏡面）
１６２      空洞（第二の内部空間）
１６３      空洞（第三の内部空間）
１６４      反応室（第一の内部空間）
１６７      改質触媒
２５１      マイクロ連続槽反応器（加熱装置、改質装置）
２５３      中基板（本体、第一基板）
２５５      燃料供給手段（供給手段）
２６４      反応室（第一の内部空間）
２６７      改質触媒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004682476.tif 000010
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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