(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上に形成された第１の半導体層と、
前記第１の半導体層の上に形成され、前記第１の半導体層と比べてバンドギャップが大きい第２の半導体層と、
前記第２の半導体層の上に形成され、ｐ型の不純物を含むコントロール層と、
前記コントロール層と前記第２の半導体層との間に形成された第３の半導体層と、
前記コントロール層の少なくとも一部と接して設けられたゲート電極と、
前記コントロール層の両側方に設けられたソース電極及びドレイン電極とを備え、
前記第３の半導体層は、前記コントロール層と比べてエッチングレートが小さい材料からなり、
前記第３の半導体層はｐ型の不純物を含んでおり、
前記第２の半導体層と前記第３の半導体層とは、Ａｌ組成が互いに等しいＡｌＧａＮからなることを特徴とするトランジスタ。
【請求項２】
前記第１の半導体層及び前記コントロール層は、窒化物半導体からなることを特徴とする請求項１に記載のトランジスタ。
【請求項３】
前記コントロール層は、ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦１）からなり、
前記第３の半導体層は、ＡｌｙＧａ１−ｙＮ（０≦ｙ≦１且つｘ＜ｙ）からなることを特徴とする請求項２に記載のトランジスタ。
【請求項４】
前記コントロール層は、ＡｌｘＧａ１−ｘＮ（０≦ｘ≦０．１）からなり、
前記第３の半導体は、ＡｌｙＧａ１−ｙＮ（ｘ＋０．１≦ｙ≦１）からなることを特徴とする請求項３に記載のトランジスタ。
【請求項５】
前記第３の半導体層が少なくともIｎを含む窒化物半導体からなることを特徴とする請求項１又は２に記載のトランジスタ。
【請求項６】
前記基板と前記第１の半導体層との間に形成され、前記第１の半導体層と比べてバンドギャップが大きい第４の半導体層をさらに備えていることを特徴とする請求項１から５のうちいずれか１項に記載のトランジスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はトランジスタに関し、特に、窒化物半導体等を用いたパワートランジスタ等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高周波大電力デバイスとして窒化ガリウム（ＧａＮ）等のIII−Ｖ族窒化物系化合物半導体材料を用いた電界効果トランジスタ（Field Effect Transistor、以下ＦＥＴと表記する）の研究が活発に行われている。窒化ガリウム（ＧａＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）及び窒化インジウム（ＩｎＮ）等の窒化物系の半導体材料は、様々な混晶を作ることができ、従来のガリウム砒素（ＧａＡｓ）等の砒素系の半導体材料と同様にヘテロ接合を作ることができる。特に、窒化物系半導体材料のヘテロ接合は、その界面に自発分極又はピエゾ分極によって生じる高濃度のキャリアがドーピングなしの状態でも発生するという特徴を有している。このため、ＦＥＴを形成した場合にはデプレッション型（ノーマリーオン型）になり易く、エンハンスメント型（ノーマリーオフ型）の特性を得ることは難しい。
【０００３】
一方、現在パワーエレクトロニクス市場で使用されているデバイスのほとんどは、ノーマリーオフ型であり、窒化物系半導体材料を用いたデバイスにおいてもノーマリーオフ型のデバイスが強く求められている。
【０００４】
ノーマリーオフ型のトランジスタとして、図８に示すようなＧａＮからなるチャネル層１０２と、チャネル層１０２の上に形成されたＡｌＧａＮからなるバリア層１０４と、バリア層１０４の上に選択的に形成されたｐ型のＧａＮからなるコントロール層１０６とを備えたトランジスタが提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００５】
この構成においては、ＧａＮからなるチャネル層１０２とＡｌＧａＮからなるバリア層１０４とのヘテロ界面に発生するピエゾ分極は、ＡｌＧａＮからなるバリア層１０４とＧａＮからなるコントロール層１０６とのヘテロ界面に発生するピエゾ分極によって打ち消される。これにより、ＧａＮからなるコントロール層１０６の下の２次元電子ガス濃度が選択的に小さくなり、ノーマリーオフ特性が実現できる。
【特許文献１】特開２００５−２４４０７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記従来例に係るトランジスタは、パワー用トランジスタの重要な電気的パラメータである最大電流（Ｉmax）の低下及びオン抵抗（Ｒon）の上昇等の電気的特性の劣化が生じるという問題を有している。
【０００７】
コントロール層１０６は、バリア層１０４の上にｐ型ＡｌＧａＮ層を形成した後、塩素ガス等を用いたドライエッチングによりｐ型ＡｌＧａＮ層のみをエッチングして形成する。しかし、バリア層１０４はドープした不純物は異なるがコントロール層１０６となるｐ型ＡｌＧａＮ層とＡｌ組成比が等しいＡｌＧａＮからなる。従って、バリア層１０４をエッチングすることなくｐ型のＡｌＧａＮ層のみを完全にエッチングにより除去することは不可能である。その結果、バリア層１０４が削られるオーバーエッチング又はバリア層１０４の上にｐ型ＡｌＧａＮ層が残存するアンダーエッチングが発生する。
【０００８】
オーバーエッチングが生じると、バリア層１０４が薄くなり、分極によって発生する２次元電子ガスの濃度が下がるため、Ｉmaxが低下してしまう。また、同様の理由でソース電極及びドレイン電極のコンタクト抵抗、ゲートソース間抵抗及びゲートドレイン間抵抗が大きくなるため、Ｒonが増大するという問題が生じる。
【０００９】
逆に、アンダーエッチングが生じた場合には、エッチングの際に残存したｐ型ＡｌＧａＮ層の上に、ｎ型のオーミック電極であるソース電極及びドレイン電極が形成されるため、コンタクト抵抗が上昇するという問題が生じる。また、ゲートドレイン間やゲートソース間に逆バイアスが印加された場合に、エッチングの際に残存したｐ型ＡｌＧａＮ層を通るリーク電流が発生するという問題も生じる。
【００１０】
本発明は、前記従来の問題を解決し、最大電流の低下及びオン抵抗の上昇等の電気的特性の劣化が小さいノーマリーオフ型のトランジスタを実現できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記の目的を達成するため、本発明はトランジスタを、アンドープＡｌＧａＮ層とコントロール層との間に形成された半導体層を備えている構成とする。
【００１２】
具体的に本発明に係るトランジスタは、基板の上に形成されたチャネル層を含む第１の半導体層と、第１の半導体層の上に形成され、第１の半導体層のチャネル層の部分と比べてバンドギャップが大きい第２の半導体層と、第２の半導体層の上に形成され、ｐ型の不純物を含むコントロール層と、コントロール層と第２の半導体層との間に形成された第３の半導体層と、コントロール層の少なくとも一部と接して設けられたゲート電極と、コントロール層の両側方に設けられたソース電極及びドレイン電極とを備え、第３の半導体層は、コントロール層と比べてエッチングレートが小さい材料からなることを特徴とする。
【００１３】
本発明のトランジスタは、コントロール層と第２の半導体層との間に形成され、コントロール層と比べてエッチングレートが小さい材料からなる第３の半導体層を備えているため、コントロール層を形成する際にオーバーエッチングとなる条件でエッチングを行ったとしても、第３の半導体層のみがエッチングされ、第２の半導体層の膜厚が薄くなることがない。従って、第２の半導体層の上にｐ型の半導体層が残存することがなく且つ第２の半導体層の膜厚が薄くなることがない。その結果、Ｉmaxの低下及びＲonの上昇等のトランジスタの電気的特性が劣化することがないノーマリオフ型のトランジスタが実現できる。
【００１４】
本発明のトランジスタにおいて、第１の半導体層、第２の半導体層及びコントロール層は、窒素を含む化合物半導体からなることが好ましい。
【００１５】
第１のトランジスタにおいて、コントロール層は、ＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦１）からなり、第３の半導体層は、ＡｌyＧａ1-yＮ（０≦ｙ≦１且つｘ＜ｙ）からなることが好ましい。さらに、コントロール層は、ＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦０．１）からなり、第３の半導体は、ＡｌyＧａ1-yＮ（ｘ＋０．１≦ｙ≦１）からなることが好ましい。このような構成とすることにより、コントロール層のエッチング速度と第３の半導体層のエッチング速度とを大きく変えることが可能となる。
【００１６】
本発明のトランジスタにおいて、第３の半導体層は、第２の半導体層側からコントロール層側へ向かってＡｌの組成が減少する組成傾斜を有していることが好ましい。このような構成とすることにより、コントロール層と第３の半導体層との界面において価電子帯の不連続性が小さくなり、正孔のチャネルへの注入がスムーズに行える。
【００１７】
本発明のトランジスタにおいて、第３の半導体層はｐ型の不純物を含んでいることが好ましい。このような構成とすることにより、トランジスタの動作上、第３の半導体層をコントロール層の一部とすることができる。この場合において、第２の半導体層と第３の半導体層とは、Ａｌ組成が互いに等しいＡｌＧａＮからなることが好ましい。このような構成とすることにより、第２の半導体層と第３の半導体層とが同一のＡｌ組成であるため、成長を中断することなく連続してエピタキシャル成長することができる。従って、良好なｐｎ接合が得られる。
【００１８】
本発明のトランジスタにおいて、第３の半導体層が少なくともIｎを含む化合物半導体からなることが好ましい。Ｉｎを加えることにより第３の半導体層のドライエッチング速度が低下するため、ノーマリーオフ型トランジスタが安定に実現できる。
【００１９】
本発明のトランジスタにおいて、第３の半導体層はＩｎＧａＰからなり、第２の半導体層は、ＡｌＧａＡｓからなることが好ましい。ＩｎＧａＰとＡｌＧａＡｓとはウエットエッチングを用いることにより完全な選択エッチングが実現できるため、十分に薄いＩｎＧａＰを第３の半導体層として用いることができる。
【００２０】
本発明のトランジスタは、基板と第１の半導体層との間に形成され、第１の半導体層と比べてバンドギャップが大きい第４の半導体層をさらに備えていることが好ましい。このような構成とすることにより、コントロール層からチャネル層に注入された正孔が、基板側に流れるのを防ぐダブルへテロ構造が形成できる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係るトランジスタによれば、最大電流の低下及びオン抵抗の上昇等の電気的特性の劣化が小さいノーマリーオフ型のトランジスタを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態について図面を参照して説明する。図１は第１の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図１に示すように本実施形態のトランジスタは、面方位が（０００１）の面を主面とするサファイアからなる基板１１の上に順次形成された、厚さが１００ｎｍのＡｌＮからなるバッファ層１２と、チャネル層である厚さが２μｍのアンドープのＧａＮからなる第１の半導体層１３と、バリア層である厚さが２５ｎｍアンドープのＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎからなる第２の半導体層１４と、厚さが８ｎｍのアンドープＡｌ0．5Ｇａ0．5Ｎからなる第３の半導体層２１とを備えている。
【００２３】
第３の半導体層２１の上には、厚さが１００ｎｍのｐ型不純物を含むＡｌ0．2Ｇａ0．2Ｎからなるｐ型のコントロール層１５が選択的に形成されている。コントロール層１５にはでマグネシウム（Ｍｇ）が約１×１０19ｃｍ-3のドーズ量でドープされており、コントロール層１５中のキャリア濃度は約１×１０18ｃｍ-3である。
【００２４】
コントロール層１５の上には、厚さが５ｎｍで、コントロール層１５と比べて高濃度のｐ型不純物を含むＧａＮからなるｐ型コンタクト層１６が形成されている。ｐ型コンタクト層１６にはでＭｇが約１×１０20ｃｍ-3のドーズ量でドープされており、ｐ型コンタクト層１６中のキャリア濃度は約１×１０19ｃｍ-3である。
【００２５】
ｐ型コンタクト層１６の上には、ニッケル（Ｎｉ）からなり、ｐ型コンタクト層１６にオーミック接触したゲート電極２０が形成されている。第３の半導体層２１の上におけるゲート電極１１０を両側から挟む位置には、Ｔｉ層及びＡｌ層からなるソース電極１８及びドレイン電極１９がそれぞれ形成されている。また、電極が形成された部分を除いて、第３の半導体層２１等の表面はＳｉＮからなるパッシベーション膜１７に覆われている。
【００２６】
コントロール層１５及びｐ型コンタクト層１６は、基板１１の上面から見た場合に幅が１．５μｍのストライプ状に形成されており、ｐ型コンタクト層１６の上に設けられたゲート電極２０の幅は１μｍである。ゲート電極２０に電圧が印加されていない場合に、前述したピエゾ分極を打ち消す効果とｐｎ接合によって発生するビルトイン電圧の効果により、コントロール層１５の下のチャネル層において２次元電子ガスが消滅するので、本実施形態のトランジスタはノーマリーオフ型の動作をする。
【００２７】
また、図１に示すゲート長方向の断面におけるコントロール層１５の下端部とドレイン電極１９の端部との距離は５μｍ以上確保されており、ドレイン耐圧は十分に高くなっている。なお、ゲート電極２０の材料はＮｉに限られず、パラジウム（Ｐｄ）等のｐ型コンタクト層１６とオーミック接合を形成できる材料であればよい。
【００２８】
以下に、本実施形態のトランジスタにおいて最大電流（Ｉmax）の低下及びオン抵抗（Ｒon）の上昇を抑えることができる理由を説明する。
【００２９】
図２はコントロール層１５の残存及び第２の半導体層１４のオーバーエッチングがパワー用トランジスタの重要な電気的特性であるＩmax及びＲonに及ぼす影響を示している。図２においてエッチング量が−の場合には、第２の半導体層１４の上にコントロール層１５が残存していることを示し、エッチング量が＋の場合には、オーバーエッチングが生じ第２の半導体層１４が削られていることを示している。
【００３０】
図２に示すようにオーバーエッチングが生じて第２の半導体層１４の膜厚が薄くなると、分極によって発生する２次元電子ガスの濃度が低下するため、Ｉmaxが低下してしまう。また、同様の理由でソース電極１８及びドレイン電極１９のコンタクト抵抗、ゲートソース間抵抗及びゲートドレイン間抵抗が大きくなるため、Ｒonが増大する。
【００３１】
逆に、アンダーエッチングの場合には、第２の半導体層１４の上にコントロール層１５が残存し、残存したコントロール層１５の上にｎ型のオーミック電極であるソース電極１８及びドレイン電極１９を形成することになるためＲonが上昇する。
【００３２】
従って、Ｉmaxの低下及びＲonの上昇を防ぐためには、第２の半導体層１４を削ることなくコントロール層１５を完全に除去すればよい。しかし、コントロール層１５をエッチングする際には、エッチング量が±１０％程度ばらついてしまう。従って、確率的にアンダーエッチング及びオーバーエッチングを避けることができない。
【００３３】
本実施形態のトランジスタにおいては、コントロール層１５と第２の半導体層１４との間に膜厚が薄い第３の半導体層２１を設けている。これにより、コントロール層１５をエッチングする際に必ずオーバーエッチングが生じるようにして、コントロール層が残存することを防止し且つ第２の半導体層１４が削られることを防止することを可能とした。
【００３４】
Ｉmaxの低下及びＲonの上昇を防ぐために、第３の半導体層２１の組成及び膜厚は以下のように設定すればよい。コントロール層１５をエッチングする際には、アンダーエッチングとなることを防ぐため、ジャストエッチから１０％のオーバーエッチを目標にドライエッチを行う。これにより、最もオーバーエッチが加わる場合には、コントロール層１５がエッチングされた後、コントロール層１５の下側の層が２０％オーバーエッチされることになる。この場合に、コントロール層の厚さをｔとし、第３の半導体層２１のエッチング速度を１としたときのコントロール層１５のエッチング速度をｒとすると、コントロール層１５の下にある第３の半導体層２１の厚さが０．２ｔ／ｒ以上あれば、第３の半導体層２１がなくなることはないために、第２の半導体層１４がエッチングされることがない。
【００３５】
一方、第３の半導体層２１の膜厚があまりに厚くなると、正孔がコントロール層１５から第２の半導体層１４へ注入される際に、第３の半導体層２１が障壁となる。また、第３の半導体層の上に形成されたソース電極１８及びドレイン電極１９のコンタクト抵抗が上昇してしまう。このため、第３の半導体層２１の膜厚は１０ｎｍ以下とすることが好ましい。一般的なコントロール層１５の膜厚は１００ｎｍ程度であることから、ｒの値は２以上とすることが好ましい。
【００３６】
図３はＩＣＰエッチングにおけるＡｌxＧａ1-xＮのアルミニウム組成とエッチングレートとの相関を示している。図３において横軸はＡｌxＧａ1-xＮのアルミニウム組成ｘを示し、縦軸はＧａＮのエッチングレートを１として規格化したエッチングレートの逆数を示している。ＩＣＰエッチングは、塩素ガスを１５ｍｌ／ｍｉｎ（大気圧、０℃：ｓｃｃｍ）の流量で供給し、ＳＦ6ガスを５ｓｃｃｍの流量で供給してチャンバの真空度を２．０Ｐａに調整し、高周波電力が２００Ｗでバイアスが２０Ｗの条件で行った。
【００３７】
図３に示すようにコントロール層１５のアルミニウム組成ｘを０≦ｘ≦０．１とし、第３の半導体層２１のＡｌ組成をｘ＋０．１以上とすれば、第３の半導体層２１のエッチング速度を１としたときにコントロール層１５のエッチング速度ｒを２以上とすることができる。
【００３８】
本実施形態のトランジスタでは、コントロール層１５をＡｌ組成が２０％であるＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎとし、第３の半導体層２１をＡｌ組成が５０％であるＡｌ0．5Ｇａ0．5Ｎとしている。従って、図３に示すようにｒの値は約２．７となる。また、コントロール層１５の膜厚が１００ｎｍ、第３の半導体層２１が８ｎｍであるため、コントロール層１５をエッチングする際に２０％のオーバーエッチングが生じたとしても、第３の半導体層２１の下側に形成された第２の半導体層１４がエッチングされることはない。また、第３の半導体層２１の膜厚が非常に薄いため、正孔がコントロール層１５から第２の半導体層１４へ注入される際に、第３の半導体層２１をトンネリングすることができる。このため、トランジスタの電気特性が劣化することはない。また、ソース電極１８及びドレイン電極１９を第３の半導体層２１の上に形成することになるが、電子も正孔と同様にトンネリングにより第３の半導体層２１を通過できるため、コンタクト抵抗の増大はわずかである。その結果、ノーマリーオフ型のトランジスタにおいて最大電流（Ｉmax）の低下及びオン抵抗（Ｒon）の上昇を抑えることが可能となる。
【００３９】
以下に、本実施形態のトランジスタの製造方法を説明する。まず、サファイアからなる基板１１の（０００１）面上に有機金属気相成長（ＭＯＣＶＤ）法により、バッファ層１２、第１の半導体層１３、第２の半導体層１４、第３の半導体層２１、コントロール層１５となるＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎ層及びｐ型コンタクト層１６となるＧａＮ層を順次に成長する。この際に、ｐ型Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ｎ層及びＧａＮ層にはあらかじめＭｇを導入しておいてもよく、堆積後にＭｇをイオン注入してもよい。
【００４０】
次に、例えば塩素ガスとＳＦ6ガスを用いた誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）を用いたドライエッチング等により、ｐ型Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ｎ層及びＧａＮ層をコントロール層及びｐ型コンタクト層となる部分を除いて選択的に除去する。ドライエッチングは例えば、塩素ガス及びＳＦ6ガスを１５ｓｃｃｍ及び５ｓｃｃｍの流量で供給し、チャンバの真空度を２．０Ｐａとして、高周波電力が２００Ｗでバイアスが２０Ｗの条件で行えばよい。
【００４１】
先に述べたように、ドライエッチングのオーバーエッチングとなる条件で行うことにより、コントロール層以外の部分にｐ型Ａｌ0.2Ｇａ0.8Ｎ層が残存しないようにする。同時に、第３の半導体層２１が第２の半導体層１４の上に残存し、第２の半導体層１４の膜厚が薄くならないように第３の半導体層２１の組成及び膜厚を調整する。
【００４２】
次に、シランガス（ＳｉＨ4）、アンモニアガス（ＮＨ3）及び窒素ガス（Ｎ2）を用いたＣＶＤ法により、基板上全体にＳｉＮからなるパッシベーション膜１７を形成する。
【００４３】
次に、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等によりパッシベーション膜１７のコントロール層１５の両側方の部分に開口部を形成し、形成した開口部にＴｉ層及びＡｌ層からなるソース電極１８及びドレイン電極１９を形成し、Ｎ2雰囲気において６５０℃で熱処理を行う。
【００４４】
次に、ＲＩＥ等によりパッシベーション膜１７を選択的に除去してｐ型コンタクト層１６を露出する開口部を形成する。続いて、パッシベーション膜１０７の開口部にＮｉからなるゲート電極２０を形成する。
【００４５】
なお、以上の説明では基板として面方位の（０００１）面を主面とするサファイア基板を用いる例を示したが、例えば炭化硅素（ＳｉＣ）基板や窒化ガリウム（ＧａＮ）基板又はシリコン（Ｓｉ）基板等のどのような基板を用いてもよい。また、良好な結晶性を有する半導体層を成長させることができればどのような面方位の基板を用いてもよい。
【００４６】
本実施形態においては、ＧａＮからなる第１の半導体層１３とＡｌＧａＮからなる第２の半導体層１４が積層され、ＧａＮからなる層の上側にのみＡｌＧａＮからなる層が形成された構成とした。しかし、図４に示すように第１の半導体層１３を厚さが５０ｎｍ程度のＧａＮからなる層とし、第１の半導体層１３と基板１１との間にＡｌＧａＮからなる第４の半導体層２４を形成して、ＧａＮからなる層を挟んで両側にＧａＮと比べてバンドギャップが大きいＡｌＧａＮからなる層が形成された構成としてもよい。これにより、ゲート電極に正バイアスをかけた際にコントロール層からチャネル層に注入された正孔が、基板側に流れるのを防ぐダブルへテロ構造が形成できる。その結果、電荷中性条件を保つために電子が発生するため、Ｉmaxを向上させることができる。この構成は、導電性を有する基板を用いる場合に特に有効である。
【００４７】
なお、本実施形態ではコントロール層１５としてＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎ層を用いたが、ＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦０．１）を用いてもよい。コントロール層１５にＡｌ組成が２０％のＡｌ0.2Ｇａ0.8Ｎを用いた場合は、ＧａＮからなるチャネル層とのバンドギャップの差を利用して、順バイアス時に電子がチャネル層からコントロール層１５に注入されるのを抑制する効果がある。それに対し、コントロール層１５をＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦０．１）とすることにより、ゲート電流の増加はあるが、コントロール層１５と第３の半導体層２１とのエッチング選択比をさらに大きくすることができるため、ノーマリーオフ型トランジスタを安定的に実現できる。
【００４８】
また、コントロール層１５にＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦０．１）を用いることにより、第３の半導体層２１のＡｌ組成を低くすることが可能となる。例えば、第３の半導体層２１をＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎとすることにより、第２の半導体層１４と第３の半導体層２１とが同一のＡｌ組成となるため、成長を中断することなく第２の半導体層１４と連続してＭＯＣＶＤ法により成長することができる。このことにより、良好な成長界面が得られ、トランジスタ特性も良好となる。
【００４９】
さらに、Ａｌ組成が１０％以下のＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦０．１）は、結晶成長技術の点において、良好な結晶を得やすい。従って、Ａｌ組成が高いＡｌＧａＮをコントロール層に用いた場合に結晶欠陥が発生して、ゲートリーク電流が増加するという課題を解決するという効果も得られる。
【００５０】
また、第３の半導体層２１を第２の半導体層１４の側からコントロール層１５の側に向かってＡｌ組成が次第に低くなる組成傾斜を有する半導体層としてもよい。コントロール層１５と第３の半導体層２１との界面において価電子帯の不連続性が小さくなり、正孔のチャネルへの注入がスムーズに行える。
【００５１】
なお、本実施形態ではソース電極１８とドレイン電極１９とをアンドープのＡｌ0．5Ｇａ0．5Ｎ層である第３の半導体層２１の上に形成したが、ソース電極１８とドレイン電極１９とを形成する領域において第３の半導体層２１をエッチングにより除去して、第２の半導体層１４の上に形成しても構わない。
【００５２】
なお、本実施形態では第３の半導体層２１としてアンドープＡｌ0．5Ｇａ0．5Ｎ層を用いているが、３族元素としてＩｎを加えたアンドープＩｎＡｌＧａＮを用いても構わない。Ｉｎを加えることにより、ｐ型のＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎからなるコントロール層１５に対して、第３の半導体層２１のドライエッチング速度が低下するために、ノーマリーオフ型トランジスタが安定に実現できる。
【００５３】
また、第３の半導体層２１としてアンドープの半導体層を用いているが、図５に示すようにソース電極１８及びドレイン電極１９を、第３の半導体層２１の開口部から露出した第２の半導体層１４と接して形成すれば、第３の半導体層２１がｐ型にドープされていても構わない。
【００５４】
この構成において、例えば、コントロール層１５をｐ型ＧａＮとし、第３の半導体層２１をｐ型Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ｎとし、第２の半導体層１４をアンドープＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎとすれば、第２の半導体層１４と第３の半導体層２１とが同一のＡｌ組成となるため、成長を中断することなく連続してエピタキシャル成長することができる。従って、第２の半導体層１４と第３の半導体層２１との界面において良好なｐｎ接合が得られる。また、ｐ型ＧａＮからなるコントロール層１５とｐ型Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ｎからなる第３の半導体層２１との選択比は、図３に示すように約５．５となるため、高歩留まりで安定してノーマリーオフ型トランジスタが得られる。なお、この場合トランジスタの動作上は、第３の半導体層２１をコントロール層１５の一部と見ることができる。また、ソース電極１８とドレイン電極１９とは、第３の半導体層２１をエッチングして形成した開口部に、第２の半導体層１４と接して形成されている。従って、ソース電極１８及びドレイン電極１９のコンタクト抵抗は低減されている。
【００５５】
（第２の実施形態）
以下に、本発明の第２の実施形態について図面を参照して説明する。図６は第２の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図６に示すように本実施形態のトランジスタは、面方位の（１１１）面を主面とするｎ型のＳｉからなる基板３１と、基板３１の（１１１）面上に順次形成された厚さが４０ｎｍのＡｌＮからなるバッファ層３２と、厚さが１μｍのアンドープＧａＮからなる第１の半導体層３３と、厚さが２５ｎｍのアンドープＡｌ0．2Ｇａ0．8Ｎからなる第２の半導体層３４と、厚さが８ｎｍのアンドープＡｌ0．5Ｇａ0．5Ｎからなる第３の半導体層４１とを備えている。
【００５６】
第３の半導体層４１の上には、厚さが１００ｎｍのｐ型不純物を含むＡｌ0．2Ｇａ0．2Ｎからなるコントロール層３５が選択的に形成されている。コントロール層３５にはでマグネシウム（Ｍｇ）が約１×１０19ｃｍ-3のドーズ量でドープされており、コントロール層３５中のキャリア濃度は約１×１０18ｃｍ-3である。
【００５７】
コントロール層３５の上には、厚さが５ｎｍで、コントロール層３５と比べて高濃度のｐ型不純物を含むＧａＮからなるｐ型コンタクト層３６が形成されている。ｐ型コンタクト層３６にはでＭｇが約１×１０20ｃｍ-3のドーズ量でドープされており、ｐ型コンタクト層３６中のキャリア濃度は約１×１０19ｃｍ-3である。
【００５８】
ｐ型コンタクト層３６の上には、ニッケル（Ｎｉ）からなり、ｐ型コンタクト層３６にオーミック接触したゲート電極２０が形成されている。第３の半導体層４１の上におけるゲート電極４０を両側から挟む位置には、Ｔｉ層及びＡｌ層からなるソース電極３８及びドレイン電極３９がそれぞれ形成されている。また、電極が形成された部分を除いて、第３の半導体層４１等の表面はＳｉＮからなるパッシベーション膜３７に覆われている。本実施形態のトランジスタは、電極に接続される配線の抵抗を低減するため、一例として、ソース電極３８を、第３の半導体層４１と第２の半導体層３４と第１の半導体層３３とバッファ層３２とを貫通するビア４２を介在して基板３１と電気的に接続している。また、ドレイン電極３９を、メタル配線４３と電気的に接続している。
【００５９】
なお、本実施形態のトランジスタは、第２の半導体層３４及びコントロール層３５を共にＡｌ組成比が２０％のＡｌＧａＮとしたが、各層のＡｌ組成が異なっていてもよい。
【００６０】
（第３の実施形態）
以下に、本発明の第３の実施形態について図面を参照して説明する。図７は第３の実施形態に係るトランジスタの断面構成を示している。図７に示すように本実施形態のトランジスタは、半絶縁性のガリウムヒ素（ＧａＡｓ）からなる基板５１と、基板５１の上に順次形成されたＧａＡｓとアルミニウムガリウムヒ素（ＡｌＧａＡｓ）とが交互に積層された超格子からなるバッファ層５２と、アンドープのＧａＡｓからなる第１の半導体層５３と、ｎ型にドープされたＡｌ0．2Ｇａ0．8Ａｓ層５４と、アンドープのインジウムガリウムリン（ＩｎＧａＰ）からなる第３の半導体層６１とを備えている。
【００６１】
第３の半導体層６１の上には、ｐ型不純物を含むＡｌ0．2Ｇａ0．8Ａｓからなるコントロール層５５が選択的に形成されている。コントロール層５５の上には、コントロール層５５と比べて高濃度のｐ型不純物を含むＧａＡｓからなるｐ型コンタクト層５６が形成されている。
【００６２】
ｐ型コンタクト層５６の上には、チタン（Ｔｉ）と白金（Ｐｔ）と金（Ａｕ）とからなり、ｐ型コンタクト層５６にオーミック接触したゲート電極６０が形成されている。第３の半導体層６１の上におけるゲート電極６０を両側から挟む位置には、金ゲルマニウム合金（ＡｕＧｅ）とニッケル（Ｎｉ）と金（Ａｕ）とからなるソース電極５８及びドレイン電極５９がそれぞれ形成されている。また、電極が形成された部分を除いて、第３の半導体層６１等の表面はＳｉＮからなるパッシベーション膜５７に覆われている。
【００６３】
本実施形態において、Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ａｓからなるコントロール層５５は、燐酸と過酸化水素水と水との混合液を用いることにより、アンドープＩｎＧａＰからなる第３の半導体層６１に対して完全な選択エッチングが可能となる。その結果、ノーマリーオフ型トランジスタが安定に実現可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明に係るトランジスタは、最大電流の低下及びオン抵抗の上昇等の電気的特性の劣化が小さいノーマリーオフ型のトランジスタを実現でき、窒化物半導体等を用いたパワートランジスタ等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るトランジスタを示す断面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るトランジスタの特性に、コントロール層の残存及び第２の半導体層のオーバーエッチングが及ぼす影響を示すグラフである。
【図３】半導体層のアルミニウム組成比とエッチングレートとの相関を示すグラフである。
【図４】本発明の第１の実施形態の第１変形例に係るトランジスタを示す断面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態の第２変形例に係るトランジスタを示す断面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るトランジスタを示す断面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るトランジスタを示す断面図である。
【図８】従来例に係るトランジスタを示す断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１１    基板
１２    バッファ層
１３    第１の半導体層
１４    第２の半導体
１４    第２の半導体層
１５    コントロール層
１５ａ  ｐ型Ａｌ0．2Ｇａ0．8Ｎ層
１６    ｐ型コンタクト層
１６    第２の半導体層
１６ａ  ｐ型ＧａＮ層
１７    パッシベーション膜
１８    ソース電極
１９    ドレイン電極
２０    ゲート電極
２１    第３の半導体層
２４    第４の半導体層
３１    基板
３２    バッファ層
３３    第１の半導体層
３４    第２の半導体層
３５    コントロール層
３６    ｐ型コンタクト層
３７    パッシベーション膜
３８    ソース電極
３９    ドレイン電極
４０    ゲート電極
４１    第３の半導体層
４２    ビア
４３    メタル配線
５１    基板
５２    バッファ層
５３    第１の半導体層
５５    コントロール層
５６    ｐ型コンタクト層
５７    パッシベーション膜
５８    ソース電極
５９    ドレイン電極
６０    ゲート電極
６１    第３の半導体層
【図１】
0004705482.tif 000002
【図２】
0004705482.tif 000003
【図３】
0004705482.tif 000004
【図４】
0004705482.tif 000005
【図５】
0004705482.tif 000006
【図６】
0004705482.tif 000007
【図７】
0004705482.tif 000008
【図８】
0004705482.tif 000009