(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リードフレームにめっきマスクを押し当て、めっき液をめっきマスクの開口を指向して噴射し部分めっきするめっき装置において、
前記めっきマスクは枠状に形成されるマスク支持体と該マスク支持体の枠内に装着される開口したマスク単位体とを備え、
前記マスク支持体の内周壁にマスク支持体係合部を形成し、該マスク支持体係合部と対向する前記マスク単位体の外周壁にマスク単位体係合部を形成し、前記マスク支持体係合部と前記マスク単位体係合部とを着脱自在にすることで前記マスク支持体に対して前記マスク単位体を着脱自在にすることを特徴とするリードフレームのめっき装置。
【請求項２】
前記めっきマスクはマスク支持体に、開口した前記マスク単位体を間隔をあけて着脱自在に係合設置していることを特徴とする請求項１記載のリードフレームのめっき装置。
【請求項３】
リードフレームにめっきマスクを押し当て、めっき液を前記めっきマスクの開口を指向して噴射し部分めっきするめっき装置において、マスク支持体に、開口したマスク単位体を該マスク単位体の前後に設けた係合凸部又は係合凹部を介して複数連結したマスク単位体を、着脱自在に係合設置していることを特徴とするリードフレームのめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はリードフレームのめっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リードフレームは例えば半導体チップを搭載するパッド、及び半導体チップの端子とボンディングワイヤーを介して接続するインナーリードの先端部にＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の貴金属がめっきされ、ボンディング作業性や信頼性等を高めている。
【０００３】
リードフレームの部分めっきは特定箇所に位置精度よく行うことが、貴金属の無駄を避けるため、コストの低減を図るため、及び信頼性を確保するため等から重要である。
【０００４】
めっきマスクはリードフレームのめっき必要箇所に対応した形状に開口して作製される。該めっきマスクの開口形状はリードフレームの大きさや形状が変わる毎に変化したものが必要になる。
【０００５】
【この発明が解決しようとする課題】
リードフレームを部分めっきする際には当該リードフレームに適した開口形状のめっきマスクを使用せねばならない。従って、リードフレームの形状や大きさが変わる度にめっきマスクを交換せねばならず、時間と労力を要し、さらに、生産性が低下する。
【０００６】
また、リードフレームの部分めっきでは、複数例えば１０ピース或いは２０ピース等のリードフレームを連続して形成したリードフレーム材に対して前記複数ピースを一度になされることがある。この際、リードフレーム材の各ピースはマスク支持板に形成しためっきマスクが押し当てられてめっきされるが、その中の例えば一つのめっきマスクが不良になると、それだけを取り替えられないことから他のすべてのめっきマスクが使用できなくなる。
【０００７】
本発明はリードフレームの形状や大きさが変わってもめっきマスクの交換が短時間で容易にでき、また、めっきマスクの位置精度がすぐれ信頼性高くめっきでき、さらに、マスク支持体に形成しためっきマスクの何れか不良になった場合にはそれだけを容易に取り替えできるめっきマスクを目的とする。
【０００８】
【課題を達成するための手段】
本発明の要旨は、リードフレームにめっきマスクを押し当て、めっき液をめっきマスクの開口を指向して噴射し部分めっきするめっき装置において、前記めっきマスクは枠状に形成されるマスク支持体と該マスク支持体の枠内に装着される開口したマスク単位体とを備え、前記マスク支持体の内周壁にマスク支持体係合部を形成し、該マスク支持体係合部と対向する前記マスク単位体の外周壁にマスク単位体係合部を形成し、前記マスク支持体係合部と前記マスク単位体係合部とを着脱自在にすることで前記マスク支持体に対して前記マスク単位体を着脱自在にするリードフレームのめっき装置にある。
【０００９】
他の要旨は、前記めっきマスクはマスク支持体に、開口した前記マスク単位体を間隔をあけて着脱自在に係合設置しているリードフレームのめっき装置にある。
【００１０】
他の要旨は、リードフレームにめっきマスクを押し当て、めっき液を前記めっきマスクの開口を指向して噴射し部分めっきするめっき装置において、前記めっきマスクはマスク支持体に、開口したマスク単位体を該マスク単位体の前後に設けた係合凸部又は係合凹部を介して複数連結したマスク単位体を、着脱自在に係合設置しているリードフレームのめっき装置にある。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に本発明の１実施例について図面を参照して説明する。
図１は被部分めっきリードフレームに本発明によるめっきマスクを押し当てた図である。リードフレーム１はインナーリード２の先端部とパッド３に貴金属、例えばＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ等がめっきされる。なお、４は前記インナーリード２に連続して形成されたアウターリード、５は前記パッド３を支持しているサポートバー、６はガイドレール、７はセクションバーである。この実施例では前記インナーリード２の先端部とパッド３以外はめっきマスク７が押し当てられ、めっき液がかからないようにされる。
【００１２】
めっきマスク７はマスク支持体９と、該マスク支持体９内に着脱自在なマスク単位体１１から構成されている。この構成を詳述すると、マスク支持体９はマスク単位体１１を装着するため枠１０状に形成され、該枠１０の対向した内辺の一部に係合凹部１２が形成されている。マスク単位体１１は部分めっきするための開口１３が形成され、外周辺には前記係合凹部１２に係合する係合凸部１４が形成されている。而して、マスク支持体９にマスク単位体１１を前記係合凹部１２と係合凸部１４の係合により一体化し、めっきマスク８となる。
【００１３】
この実施例ではマスク支持体９の枠１０内辺に係合凹部１２を形成したが、係合凸部としてもよい。この際はマスク単位体１１には係合凹部を形成することになる。また、この実施例では前記係合凹部１２、係合凸部１４を２辺に設けたが、１辺、３辺、或いは４辺に設けてもよい。
【００１４】
部分めっきするリードフレーム１のサイズやめっき位置が変わった場合には、それに適した開口１３を有するマスク単位体１１に装着変えする。この装着変えはマスク支持体９から今まで装着していたマスク単位体１１を取り外し、新たなマスク単位体１１に換えることで、容易に、且つ、係合凹部１２と係合凸部１４により精度よく位置決めした状態になされる。
【００１５】
次に他の実施例について図２を参照して述べる。
リードフレームの部分めっきを間隔おいて分けてする場合がある。この際はマスク支持体９にマスク単位体１１を装着する箇所を間隔をおいて形成し、この実施例２では図示のように３箇所形成し、該それぞれの箇所にマスク単位体１１を前記実施例と同様に係合凹部１２と係合凸部１４を介して装着する。これにより作成しためっきマスク８をリードフレーム（図示せず）に押し当て、めっき液をかけめっきされる。
【００１６】
この部分めっきの途中で何らかの理由により例えば１箇所のめっきマスク８が不良になった場合には、それだけを正常のマスク単位体１１に取り替えることで対処できる。
【００１７】
また、部分めっきを連なったリードフレームに行う場合には、図３に示すようにマスク支持体８にマスク単位体１１を係合凹部１２と係合凸部１４を介して装着し、前記マスク単位体１０の後辺に形成した係合凹部１１に次ぎのマスク単位体１１を前記同様にして係合し、これを続けて所定個数のマスク単位体１１を連結する。該連結しためっきマスク８をリードフレーム（図示しない）に押し当て部分めっきにする。
【００１８】
該部分めっきにおいても、リードフレームのサイズやめっき位置が変わった場合は、それに対応したマスク単位体１１に容易に取り替えができ、また、一部のマスク単位体１１が不良になった場合はそれだけを容易に良品に取り替えることができ、めっきの生産性を確保できる。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によれば、めっきマスクはマスク支持体に、開口したマスク単位体を該マスク単位体の周辺に設けた係合凸部や係合凹部を介して着脱自在に設置しているので、めっきするリードフレームの形状やサイズ、或いはめっき位置が変わった場合はめっきマスクの交換が容易に短時間に出来、少量多品種の生産に迅速的確に対応できる。また、めっきマスクはマスク支持体に係合凸部、係合凹部を介して設置されるので、位置精度がすぐれる。
また、本発明によれば、めっきマスクはマスク支持体に、開口を形成したマスク単位体を該マスク単位体の前後に設けた係合凸部又は係合凹部を介して複数連結し、この連結したマスク単位体を係合凸部と係合凹部を介して着脱自在に設置しているので、何れかのめっきマスクが不良になった場合、直に取り替えができる等の作用効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例におけるめっきマスクを示す図。
【図２】本発明の他の実施例におけるめっきマスクを示す図。
【図３】本発明の他の実施例における連結しためっきマスクを示す図。
【符号の説明】
１  リードフレーム
２  インナーリード
３  パッド
４  アウターリード
５  サポートバー
６  ガイドレール
７  セクションバー
８  めっきマスク
９  マスク支持体
１０  枠
１１  マスク単位体
１２  係合凹部
１３  開口
１４  係合凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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