(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒型の基体管の表面に、所定間隔をもって横縞状に機能膜が複数形成されてなる円筒横縞型燃料電池であって、
電解質膜を介装してなる二種の異なる機能膜が積層されて基端部側からオフセットしつつ横縞状に複数形成されてなると共に、
最外層の機能膜と、最内層の機能膜とを電気的に接続するインタコネクタとから縞状のセル一単位を構成してなり、且つ
前記機能膜の各セルの有効発電部（Ｘ）と、異なる二つの機能膜のオフセットされた素子間部（Ｌ）とが、
Ｘ／Ｌ＝１〜２
の関係であると共に、
基体管の全体セル長さ／セル長＝４０セル以上であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池。
【請求項２】
請求項１において、
最内層の機能膜が燃料極であり、最外層の機能膜が空気極であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池。
【請求項３】
請求項１において、
最内層の機能膜が空気極であり、最外層の機能膜が燃料極であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池。
【請求項４】
円筒型の基体管の表面に所定間隔をもって横縞状に形成されてなる燃料極と、
前記燃料極の表面に、前記基体管の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に形成されると共に、前記燃料極の終端部側を被覆して端部が基体管に接触してなる電解質と、
前記横縞状の電解質同士を連結しつつ横縞状の燃料極の基端部側を覆うインタコネクタと、
前記電解質の表面に、前記基体管の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に形成されると共に、インタコネクタの一部を覆う空気極と
からなる横縞状のセルを軸方向に亙って複数形成してなり、
且つ、
前記空気極の各セルの有効発電部（Ｘ）と、燃料極と電解質膜とのオフセットされた素子間部（Ｌ）とが、
Ｘ／Ｌ＝１〜２
の関係であると共に、
基体管の全体セル長さ／セル長＝４０セル以上である
ことを特徴とする円筒横縞型燃料電池。
【請求項５】
請求項２において、
有効発電部（Ｘ）が、
前記第１のセルの空気極の基端部から、該空気極と電解質とが接触している長さであり、
前記素子間部（Ｌ）が、
前記第２のセルの第２の燃料極の基端部と、前記第２の電解質の基端部との間の長さであることを特徴とする円筒横縞型燃料電池。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒横縞型固体電解質燃料電池（ＳＯＦＣ）の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
円筒横縞型固体電解質燃料電池（ＳＯＦＣ、以下「円筒横縞型燃料電池」ともいう）は、円筒の基体管の表面に、機能膜からなる発電単素子を縞状に形成し、その発電単素子を複数（Ｎ個）配置してなるものである。
【０００３】
図１８に溶射型の固体電解質型燃料電池の基体管の概略を示す。図１８に示すように、溶射型の固体電解質型燃料電池（ＳＯＦＣ）は、カルシア安定化ジルコニア（ＣＳＺ）多孔質円筒管の基体管１に、燃料極２としてＮｉとイットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）とのサーメットをプラズマ溶射で成膜する。次いでこの上に電解質膜３として酸素イオン伝導性のＹＳＺをプラズマ溶射で成膜する。その後、この上に空気極４としてＬａＣｏＯ3 をアセチレンフレーム溶射で成膜して燃料電池を構成する。最後に、ＮｉＡｌとアルミナのサーメットで成膜した導電性接続材（インタコネクタ）５で上記燃料極２と空気極４とを直列に接続している。なお、符号６は中心軸を図示している（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１０６１９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、円筒横縞型燃料電池を用いてなる発電装置は、前記円筒横縞型燃料電池を複数本（１００〜２００本）から構成されているが、その装置の小型化及び低コスト化が求められている。
そのため、セルチューブ１本の出力の増加が切望されている。
【０００６】
ところで、セルチューブ１本の出力を増加させるには、材料自身の抵抗や電気化学反応抵抗を低下させること、およびセル構造（サイズ）の最適化（素子数Ｎの最適化と素子長さの最適化）による抵抗低減が必要となるが、未だ好適な燃料電池は出現されていないのが現状である。
【０００７】
本発明は、前記問題に鑑み、セルチューブ１本の出力の増加を図ることができる円筒横縞型燃料電池を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するための本発明の第１の発明は、円筒型の基体管の表面に、所定間隔をもって横縞状に機能膜が複数形成されてなる円筒横縞型燃料電池であって、電解質膜を介装してなる二種の異なる機能膜が積層されて基端部側からオフセットしつつ横縞状に複数形成されてなると共に、最外層の機能膜と、最内層の機能膜とを電気的に接続するインタコネクタとから縞状のセル一単位を構成してなり、且つ前記機能膜の各セルの有効発電部（Ｘ）と、異なる二つの機能膜のオフセットされた素子間部（Ｌ）とが、Ｘ／Ｌ＝１〜２の関係であると共に、基体管の全体セル長さ／セル長＝４０セル以上であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池にある。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、最内層の機能膜が燃料極であり、最外層の機能膜が空気極であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池にある。
【００１０】
第３の発明は、第１の発明において、最内層の機能膜が空気極であり、最外層の機能膜が燃料極であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池にある。
【００１１】
第４の発明は、円筒型の基体管の表面に所定間隔をもって横縞状に形成されてなる燃料極と、前記燃料極の表面に、前記基体管の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に形成されると共に、前記燃料極の終端部側を被覆して端部が基体管に接触してなる電解質と、前記横縞状の電解質同士を連結しつつ横縞状の燃料極の基端部側を覆うインタコネクタと、前記電解質の表面に、前記基体管１の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に形成されると共に、インタコネクタの一部を覆う空気極とからなる横縞状のセルを軸方向に亙って複数形成してなり、且つ、前記空気極の各セルの有効発電部（Ｘ）と、燃料極と電解質膜とのオフセットされた素子間部（Ｌ）とが、Ｘ／Ｌ＝１〜２の関係であると共に、基体管の全体セル長さ／セル長＝４０セル以上であることを特徴とする円筒横縞型燃料電池にある。
【００１２】
第５の発明は、第２の発明において、有効発電部（Ｘ）が、前記第１のセルの空気極の基端部から、該空気極と電解質とが接触している長さであり、前記素子間部（Ｌ）が、前記第２のセルの第２の燃料極の基端部と、前記第２の電解質の基端部との間の長さであることを特徴とする円筒横縞型燃料電池にある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、セルチューブ１本の出力の増加を図ることができ、発電装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。
【実施例１】
【００１５】
本発明による実施例１に係る円筒横縞型燃料電池について、図面を参照して説明する。
図１は、実施例１に係る円筒横縞型燃料電池を示す概念図である。
図１に示すように、本実施例に係る円筒横縞型燃料電池１０は、円筒型の基体管１１の表面に所定間隔をもって横縞状に形成されてなる燃料極１２−１、１２−２・・・（なお、以下符号「１２」と記す場合もある。）と、前記燃料極１２−１、１２−２・・・の各表面に、前記基体管１１の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に各々形成されると共に、前記各燃料極１２−１、１２−２・・・の終端部側を被覆しつつ、その端部１３ｅが基体管１１に接触してなる電解質１３−１、１３−２・・・（なお、以下符号「１３」と記す場合もある。）と、前記横縞状の電解質１３−１、１３−２同士を連結しつつ横縞状の燃料極１２−１、１２−２の基端部側を覆うインタコネクタ１５−１、１５−２・・・（なお、以下符号「１５」と記す場合もある。）と、前記電解質１３−１、１３−２・・・の各表面に、前記基体管１１の基端部側から軸方向に終端部に向かってオフセットしつつ横縞状に各々形成されると共に、その終端部側で各インタコネクタ１５−１、１５−２の一部を各々覆う空気極１４−１、１４−２・・・（なお、以下符号「１４」と記す場合もある。）とからなる横縞状のセル１６−１、１６−２・・・を各々軸方向に亙って複数形成してなり、且つ、各セルの有効発電部Ｘと、各セルのオフセットされた素子間部Ｌとが、Ｘ／Ｌ＝０．５〜５の関係であるものである。
【００１６】
ここで、本実施例においては、円筒横縞型燃料電池の基端部部分を図示したものであり、前述した図１７に示すように、終端部側に亙ってセルが複数縞状に形成されてなるものであるが、図示は省略する。ここで、複数設けたセルの数を数える場合には、第１のセル１６−１、第２のセル１６−２・・・と表現しておいる。また、後述するようにセル長とは第１のセルと第２のセルとの間の電気が流れる部分を表現する。
【００１７】
また、本発明で有効発電部Ｘとは、前記第１のセル１６−１においては、前記空気極１４−１の基端部１４−１ａから、該空気極１４−１と電解質１３−１とが全面で接触している長さである。
【００１８】
また、本発明で前記素子間部Ｌとは、第１のセル１６−１においては、第１の燃料極１２−１の基端部１２−１ａと、前記第１の電解質１３−１の基端部１３−１ａとの間のオフセットされた長さである。
【００１９】
また、本発明でセル長さＹとは、第１のセル１６−１の第１の空気極１４−１の基端部１４−１ａと、第２のセル１６−２の第２の電解質１３−２の基端部１３−２ａとの間の長さである。
【００２０】
ここで、前記基体管１１は、例えばカルシア安定化ジルコニア（ＣＳＺ）からなり、外径が１０ｍｍ〜３０ｍｍであり、その肉厚を０．５〜４ｍｍ、より好ましくは０．５〜３ｍｍとしている。
【００２１】
また、前記燃料極１２は、例えばＮｉとイットリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）との混合物からなるものであり、その厚さを２０〜３００μｍ、より好ましくは５０〜２００μｍとしている。
【００２２】
また、電解質１３は、例えばＹＳＺ等からなり、その厚さは５〜８０μｍ、より好ましくは１０〜５０μｍとしている。
【００２３】
また空気極１４は、例えばＬａＭｎＯ3、ＬａＣｏＯ3、ＬａＣａＭｎＯ3等からなり、その厚さは１０００〜２０００μｍとしている。
【００２４】
またインタコネクタ１５は、例えばＳｒＴｉＯ3等のペロブスカイト型酸化物、ＬａＣｒＯ3等からなり、その厚さは５〜５０μｍとしている。
【００２５】
そして、前記例えば１０００ｍｍの基体管１１に、セル長さＹの単位セルを直列に配置する。なお、基体管１１の長さは１０００ｍｍの場合に限定されるものではない。
【００２６】
［試験例１〜試験例３］
以下、１０００ｍｍの基体管１１を用いて、セルを搭載する場合において、有効発電部Ｘと素子間部Ｌと、出力（Ｗ）／本との関係を示す。
図１は、空気極１４としてＬａＭｎＯ3を用い、インタコネクタ１５としてＳｒＴｉＯ3を用い、燃料極１２−１・・・は、例えばＮｉとイットリウム安定化ジルコニア（ＹＳＺ）との混合物を用いた場合において、セルの数を２０セル（Ｙ＝５）、３０セル（Ｙ＝３．３）、４０セル（Ｙ＝２．５）、５０セル（Ｙ＝２）、６０セル（Ｙ＝１．７）、７０セル（Ｙ＝１．５）とした場合の１本当りの出力を測定した。
【００２７】
表１にその導電率を示す。試験の結果を図２に示す。
図２に示すように、従来のセルは約１００Ｗであるので、３０セルの場合には、０．５≦Ｘ／Ｌ＜３の場合には、１００Ｗ／本を超えることが判明した。また、３０セル以上の場合には、０．５≦Ｘ／Ｌ≦５の場合には、１００Ｗ／本を超えることが判明した。
また、試験例２及び試験例３のように、材料を変化させた場合には、３０セル以上の場合には全てにおいて、従来の１００Ｗ／本よりもさらに出力が向上することが判明した。
【００２８】
【表１】
0004781823.tif 000002
【００２９】
図５にセル数と最大出力との関係を、図６にセル長さＹと最大出力との関係を示す。
これらの図面の結果より、セル数は５０〜６０セル、セル長さＹも１．７位が最大であることが判明し、あまりセル数を多く（セル長が短く）しても最大出力が増大しないことが判明した。
【００３０】
この結果、図２〜図４に示すように、３０セル（Ｙ＝２．５）以上で、Ｘ／Ｌが０．５〜５、より好ましくはＸ／Ｌが０．５〜３の範囲で１本当りの出力が１００Ｗ以上となり、高出力化を図ることができた。
また、空気極として高導電性の空気極やインタコネクタを用いると更に、出力が向上することを確認した。
【００３１】
また、６０素子以上にして、セル長さＹを短くしても出力が向上しないことが判明した。
よって、１０００ｍｍの場合では、６０素子が最大であり、大量生産する場合には５０素子以下とするのが好ましい。
【００３２】
いずれの試験例からも最大出力は（有効発電部Ｘ／素子間部Ｌ）が約１〜２付近とするのがより好ましいことが判明した。
【００３３】
次に、本発明に係る円筒横縞型燃料電池の製造方法の一例を説明する。
先ず、良く磨り潰されたセラミックスの基体管用粉末原料に有機系の溶剤（添加剤を含む）を混合し、均一なスラリを形成する。
次に、前記スラリを押出し成形器に投入し、押し出しによりチューブ状のセラミックス成形体を作製する。例えば、チューブ長さについては、全体で２０％の収縮が見込まれる場合、焼結体の長さ（目標長さ）を１０００ｍｍとすると、１２５０ｍｍのセラミックス成形体を作製する。基体管となるセラミックス成形体は、乾燥炉で、例えば５０〜２００℃で乾燥される。
【００３４】
続いて、未燒結のセラミックス成形体上に、スクリーン印刷により、ペースト状の燃料極材料を塗布し、乾燥炉で例えば５０〜２００℃で乾燥する。燃料極材料は、セラミックス成形体の外周上に、その長手方向に一定の幅毎に縞状に印刷し、燃料極とする。
この際、有効発電部Ｘ／素子間部Ｌが約１〜２付近となるようにオフセット印刷するようにしている。
次に、その上にペースト状の電解質材料を重ねて塗布（スクリーン印刷）し、乾燥炉で例えば５０〜２００℃で乾燥し、電解質とする。ここで、電解質は所定の長さ燃料極にオフセットして、縞状に印刷するようにしている。
続いて、所定間隔で印刷された前記電解質１３−１、１３−２・・・の上に、第１の電解質と、第２の燃料極とを第１のインタコネクタで接続するように、ペースト状のインタコネクタ材料（ランタンクロマイト）を重ねて塗布（スクリーン印刷）し、乾燥炉で約５０〜２００℃で乾燥してインタコネクタとする。
【００３５】
その後、塗布及び乾燥が終了したセラミックス成形体を、焼成するために、焼成炉内にセットする。所定の昇温速度で、保持温度（１２００〜１４００℃）まで昇温する。そして、保持温度になったら然るべき時間、その温度を保持する。
【００３６】
次に、所定間隔で印刷された電解質１３の上に空気極材料を重ねて塗布（スクリーン印刷）し、乾燥炉で例えば５０〜２００℃で乾燥し、空気極とする。ここで、空気極は所定の長さ電解質にオフセットして、縞状に印刷するようにしている。
【００３７】
その後、空気極の塗布及び乾燥が終了したセラミックス成形体を、焼成するために、焼成炉内にセットする。所定の昇温速度で、保持温度（１２００〜１７００℃）まで昇温する。そして、保持温度になったら然るべき時間、その温度を保持して、所定時間セラミックス成形体を焼結し、除冷して円筒横縞型燃料電池を得る。
【００３８】
なお、前述した製造方法は二段焼成方法であるが、本発明はこれに限定されるものではなく、一段焼成方法としてもよい。
【００３９】
［参考例１］
次に、本発明の参考例１について説明する。図７は本参考例の円筒横縞型燃料電池の概略図である。
本参考例では、図７に示すように、空気極１４を粗粒３０と微粒３１との二種異なる粒径の混合物として、従来のような粗粒３０単独の場合よりも空隙率を減少させて、インタコネクタとの密着性を向上させるようにしている。
【００４０】
先ず、空気極の微粒３１として平均粒径５μｍのものを用い、粗粒３０として１０μｍ粒子、２０μｍ粒子、４０μｍ粒子、５０μｍ粒子、６０μｍ粒子のものを用いて、スラリを調整し、１３００℃、３時間空気中で焼成した。
この結果を図８に示す。図８の結果より、２０μｍ粒子以上の粗粒と微粒との組合せにおいて、混合率が０．２〜０．８の場合に、空隙率が良好であることが判明した。
【００４１】
また、空気極の微粒３１として平均粒径１μｍのものを用い、粗粒３０として１０μｍ粒子、２０μｍ粒子、４０μｍ粒子、５０μｍ粒子、６０μｍ粒子のものを用いて、スラリを調整し、１３００℃、３時間空気中で焼成した。
この結果を図９に示す。図９の結果より、１０μｍ粒子以上の粗粒と微粒との組合せにおいて、混合率が０．２〜０．８の場合に、空隙率が０．２以下と極めて良好であることが判明した。
【００４２】
また、平均粒径５０μｍと平均粒径５μｍとの組合せの空隙率が約０．２のもの（試験例４）と、平均粒径１０μｍと平均粒径５μｍとの組合せの空隙率が約０．３のもの（比較例１）とのインタコネクタ１５と空気極１４との間の電圧を測定した。
その結果を図１０に示す。
図１０に示すように、インタコネクタ１５と空気極１４との間の電圧は、低ければ低いほどより、約１０％以上のセル出力の向上効果を奏することが期待される。
【００４３】
また、空隙率による緻密化の向上は、二種類の材料の組合せに限定されるものではなく、粗粒と微粒、並びに粗粒と微粒とからなる中間粒との三種の異なる粒径の混合物としてもよい。これにより細密充填構造が強固になり、インタコネクタと空気極との接触面積（接触点数）がさらに増加するようになる。
【００４４】
図１１は５０μｍ、５μｍ、１μｍの粒子を混合したものであり、５０μｍの粗粒を５０容量％、６０容量％及び７０容量％と固定として、それぞれにおいて１μｍと５μｍとの粒子混合比率を変化させた。
この結果を図１１に示す。図１１に示すように、粗粒の５０μｍを７０容量％としてなる三成分系のものが空隙率が小さくなり、良好な結果を示した。特に、５０μｍが７０容量％、５μｍが５容量％及び１μｍが２５容量％のものが空隙率が０．０９となることが判明した。
【００４５】
［参考例２］
次に、本発明の参考例２について説明する。図１２は本参考例の円筒横縞型燃料電池の概略図である。
本参考例では、図１２に示すように、空気極１４とインタコネクタ１５との間に、拡散防止層２１を介装してなるものであり、この拡散防止層２１により、インタコネクタ１５への空気極１４材料の拡散を防止するようにしている。
特に空気極１４としてＣａ成分を含むＬａＣａＭｎＯ3の場合には、Ｃａ成分の拡散を防止するＣａ成分を含まないＬａＳｒＭｎＯ３等の拡散防止層２１を設けるようにしている。
【００４６】
また、前記拡散防止層２１の厚みは２０〜３０μｍとすればよい。
この結果、空気極１４に含まれるＣａ成分がインタコネクタ１５に拡散することが防止され、長時間に亙って安定して発電することができる。
【００４７】
［参考例３］
次に、本発明の参考例３について説明する。図１３は本参考例の円筒横縞型燃料電池の概略図である。
本参考例では、図１３に示すように、電解質１３と燃料極１２との間に、中間層２２を設けるようにしている。
この中間層２２は、例えばＣｅＯ3、ＴｉＯ3等の酸化物とすればよい。
前記ＣｅＯ3、ＴｉＯ3等の酸化物から中間層２２を構成しているので、還元雰囲気になると酸素イオン伝導性に加えて、電子伝導性も生じることとなり、いわゆる混合導電性が発現する。
【００４８】
そして、燃料極（電子導電性）１２と電解質（酸素イオン導電性）１３の間に、中間層２２を設置することにより、燃料極１２と電解質１３での電子や酸素イオンの授受がより効果的に行われる。この結果、燃料極１２と電解質１３の界面の接触抵抗が低減することとなる。
【００４９】
また、電解質において、その表面に電解質と同じ材料からなる２μｍ〜５μｍの突起を設けたり、又は電解質を凹凸構造としたりするようにしてもよい。
【００５０】
図１４はペレット試験として、水素と水蒸気雰囲気で電流電圧特性を評価した。ＹＳＺのペレットの表面にＮｉとＹＳＺからなる燃料極を構成し、その間にＣｅＯ3の酸化物からなる中間層２２を介装して試験をした。
図１４に示すように中間層２２を介装した試験例５は介装しない比較例２に較べて、接触抵抗が低減することが判明した。
【００５１】
［参考例４］
次に、本発明の参考例４について説明する。図１５は本参考例の円筒横縞型燃料電池の概略図である。
本参考例では、図１５に示すように、電解質１３の表面に電解質の突起２３を形成してなり、この突起２３の上に空気極１４を構成している。
なお、突起２３に限定されず、凹凸としてもよい。
【００５２】
この突起２３等を形成する場合には、所定厚さの電解質１３を成膜した後、電解質１３と同じ材料の２μｍ〜５μｍのセラミックスを含有するスラリを更に印刷し、焼成させて、突起２３を設けるようにしている。
【００５３】
図１６に突部を形成した場合（試験例６）と形成しない場合（比較例３）の素子部の電圧降下を示す。突部２３を形成することで、接触面積が増大するので、電圧効果に寄与することが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上のように、本発明に係る円筒横縞型燃料電池は、セルチューブ１本の出力の増加を図ることができ、燃料電池のセル出力向上を図ることに用いて適している。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１に係る円筒横縞型燃料電池の概略図である。
【図２】試験例１の素子長／素子長さと出力との関係を示す図である。
【図３】試験例２の素子長／素子長さと出力との関係を示す図である。
【図４】試験例３の素子長／素子長さと出力との関係を示す図である。
【図５】試験例１〜３のセル数と出力との関係を示す図である。
【図６】試験例１〜３のセル長と出力との関係を示す図である。
【図７】参考例１に係る円筒横縞型燃料電池の概略図である。
【図８】参考例１に係る二成分（粗粒と微粒（平均粒径５μｍ））との混合率と空隙率との関係を示す図である。
【図９】参考例１に係る粗粒と微粒（平均粒径５μｍ）との混合率と空隙率との関係を示す図である。
【図１０】試験例４と比較例１に係る空気極とインタコネクタ間の電圧の関係を示す図である。
【図１１】参考例１に係る三成分（粗粒と微粒（平均粒径１μｍ、５μｍ））との混合割合と空隙率との関係を示す図である。
【図１２】参考例２に係る円筒横縞型燃料電池の概略図である。
【図１３】参考例３に係る円筒横縞型燃料電池の概略図である。
【図１４】試験例５と比較例２に係る空気極とインタコネクタ間の電圧の関係を示す図である。
【図１５】参考例４に係る円筒横縞型燃料電池の概略図である。
【図１６】試験例６と比較例３に係る空気極とインタコネクタ間の電圧の関係を示す図である。
【図１７】円筒管型燃料電池の概略図である。
【図１８】燃料電池の構成概略図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１  基体管
１２  燃料極
１３  電解質
１４  空気極
１５  インタコネクタ
Ｘ  有効発電部
Ｌ  素子間部
Ｙ  セル長さ
【図１】
0004781823.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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