(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の吸着テーブル本体と、
全面が光透過性を有すると共に通気性を有する円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第１の段部の上に周縁部が載置されて、上面が前記吸着テーブル本体の上面と同一面になるように配置される吸着板と、
前記吸着テーブル本体の底部に配置される底板と、
前記底板に取り付けられて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記吸着板の全領域に光を照射する面発光体と、
複数の導通孔を有する透明な円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第２の段部に周縁部が載置されて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記底板との間で空気室を形成するサポート板と、
帯状板を渦巻状に成形して構成され、前記サポート板の上に載置されて、前記吸着板を前記吸着テーブル本体の内部で支える中間支持部材と、
前記吸着テーブル本体に接続され、前記空気室の内部の空気を吸引するバキュームポンプと、
前記吸着テーブル本体の上方に設置され、前記吸着板に吸着保持されたワークの全体を撮影可能なカメラと、
を備えたことを特徴とする面発光式吸着テーブル。
【請求項２】
筒状の吸着テーブル本体と、
全面が光透過性を有すると共に通気性を有する円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第１の段部の上に周縁部が載置されて、上面が前記吸着テーブル本体の上面と同一面になるように配置される吸着板と、
前記吸着テーブル本体の底部に配置される底板と、
前記底板に取り付けられて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記吸着板の全領域に光を照射する面発光体と、
複数の導通孔を有する透明な円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第２の段部に周縁部が載置されて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記底板との間で空気室を形成するサポート板と、
前記サポート板の上に設けられて、前記吸着板を前記吸着テーブル本体の内部で支えるハニカム状の中間支持部材と、
前記吸着テーブル本体に接続され、前記空気室の内部の空気を吸引するバキュームポンプと、
前記吸着テーブル本体の上方に設置され、前記吸着板に吸着保持されたワークの全体を撮影可能なカメラと、
を備えたことを特徴とする面発光式吸着テーブル。
【請求項３】
ダイシング装置に適用されることを特徴とする請求項１又は２に記載の面発光式吸着テーブル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はワークを吸着する吸着テーブルに関し、 特に面発光式吸着テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ダイシング装置等でワークを吸着載置する吸着テーブルは、セラミックスの焼結体からなる吸着板を上面に組み込んだポーラステーブルが一般的であった。ダイシング装置では、このポーラステーブルに半導体ウエーハ等の前記ワークの裏面を吸着載置して、該ワークの表面に形成された回路パターン若しくはアライメントマークをＣＣＤカメラで撮像し、パターンマッチング手法によってアライメントをおこなっている。アライメントされたワークは、次に高速で回転するブレードで個々のチップに切断される。ところが、例えば加速度センサのパターンが形成されたウエーハのように、ダイシング時の切削水を表面にかけたくない、あるいは切り屑等を付着させたくない等、加工するワークの表面を保護する目的でワークの裏面側から加工しなければならないワークが存在する。
【０００３】
このようなワークの場合、該ワークの表面側を吸着テーブルに吸着載置して、該ワークの裏面から加工することになる。この時の該ワークのアライメントは、ワークの表面側（吸着テーブル側）から光を照射して、透過光から得られる画像をワークの裏面側上方に配置したＣＣＤカメラで撮像して行われる。このため、このようなワークの場合には、面発光式の吸着テーブルが用いられる。ここで用いられる照射光は、ワークが非常に薄い場合は可視光でも構わないが、ワークに厚みがあって透過しない場合には赤外光が用いられる。
【０００４】
従来の面発光式吸着テーブルを図６に示す。図６（ａ）は平面図、図６（ｂ）は側断面図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、従来の面発光式吸着テーブルは、吸着テーブル本体１１の上面に吸着板１２、底板１３、空気室１７、及び赤外線ランプ１６Ａ、１６Ａ、…とからなっている。吸着板１２は円盤状のポーラス部１２Ｐの面内に数個の透明体１２Ｑ、１２Ｑ、…が混在している。ポーラス部１２Ｐに存在する無数の空洞部は、吸着テーブル本体１１に設けられた連通孔１１Ｐを経由して空気室１７につながり、チューブ１８Ａを介してバキュームポンプと接続されている。これにより吸着テーブルに搭載されたワークは吸着載置される。また透明体１２Ｑ、１２Ｑ、…の下方には夫々赤外線ランプ１６Ａが配置され、発光された赤外線は吸着テーブル本体１１に設けられた窓１１Ｑ、１１Ｑ、…から各透明体１２Ｑを通してワークに照射される。
【０００５】
このように構成された従来の面発光式吸着テーブルにおいては、吸着載置されたワークは、吸着板１２の面内に複数個配置された透明体１２Ｑ、１２Ｑ、…を介して光を照射され、ワークを透過した光によるパターン画像が撮像されてアライメントされる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この従来の面発光式吸着テーブルにおいては、透明体１２Ｑの位置が固定されているので、ワークのパターンの撮像位置が限られ、アライメントに最適なパターンの撮像位置を選択できない。またワークに専用のアライメントマークが設けられている場合は、前記透明体１２Ｑを専用のアライメントマーク位置に合わせて配置した吸着テーブルを各ワーク毎に夫々用意しなければならなかった。更にワークが割れウエーハの場合、そのウエーハ全体を撮像してウエーハの外形形状を認識し、その外形形状に適応したアライメント画像の撮像位置を設定したり、その外形形状に適応した加工範囲を設定することが必要であるが、この従来の面発光式吸着テーブルではウエーハ全体を撮像することができず、このようなウエーハには対応することができなかった。また、従来の面発光式吸着テーブルは、透明体１２Ｑ部分ではワークを吸引していないので、この部分ではワークの吸着力が無く、ダイシングのような切断加工の場合にはこの部分のみにチッピングが生じる等、加工品質が低下するという問題もあった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、吸着載置するワークの全面を吸着でき、更にワーク全体又は任意の領域を撮像できる透過光を照射できる面発光式吸着テーブルを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記目的を達成するために、筒状の吸着テーブル本体と、全面が光透過性を有すると共に通気性を有する円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第１の段部の上に周縁部が載置されて、上面が前記吸着テーブル本体の上面と同一面になるように配置される吸着板と、前記吸着テーブル本体の底部に配置される底板と、前記底板に取り付けられて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記吸着板の全領域に光を照射する面発光体と、複数の導通孔を有する透明な円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第２の段部に周縁部が載置されて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記底板との間で空気室を形成するサポート板と、帯状板を渦巻状に成形して構成され、前記サポート板の上に載置されて、前記吸着板を前記吸着テーブル本体の内部で支える中間支持部材と、前記吸着テーブル本体に接続され、前記空気室の内部の空気を吸引するバキュームポンプと、前記吸着テーブル本体の上方に設置され、前記吸着板に吸着保持されたワークの全体を撮影可能なカメラと、を備えたことを特徴としている。
また、本発明は、前記目的を達成するために、筒状の吸着テーブル本体と、全面が光透過性を有すると共に通気性を有する円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第１の段部の上に周縁部が載置されて、上面が前記吸着テーブル本体の上面と同一面になるように配置される吸着板と、前記吸着テーブル本体の底部に配置される底板と、前記底板に取り付けられて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記吸着板の全領域に光を照射する面発光体と、複数の導通孔を有する透明な円盤状に形成され、前記吸着テーブル本体の内側面に形成された第２の段部に周縁部が載置されて、前記吸着テーブル本体の内部に設けられ、前記底板との間で空気室を形成するサポート板と、前記サポート板の上に設けられて、前記吸着板を前記吸着テーブル本体の内部で支えるハニカム状の中間支持部材と、前記吸着テーブル本体に接続され、前記空気室の内部の空気を吸引するバキュームポンプと、前記吸着テーブル本体の上方に設置され、前記吸着板に吸着保持されたワークの全体を撮影可能なカメラと、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る面発光式吸着テーブルは前述のように構成されているので、吸着載置するワークの全面を吸着することができると共に、ワークの吸着面全面に光を照射することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るダイシング装置の好ましい実施の形態について詳説する。尚各図において、同一の部材については同一の番号又は記号を付している。
【００１１】
図１は本発明に係る面発光式吸着テーブルの平面図で、図２は図１におけるＸ−Ｘ断面を示す側断面図である。
【００１２】
図１及び図２に示すように、面発光式吸着テーブル１０は、円筒上の吸着テーブル本体１１の上部に、後述する吸着板１２が吸着板１２の上面と吸着テーブル本体１１の上面とが同一面になるように接着剤で固定されると共に、中間支持部材１５を介してサポート板１４で支持されている。前記吸着テーブル本体１１の底部には底板１３があり、底板１３と前記サポート板１４及び前記吸着テーブル本体１１の内側面とで囲われた空間が空気室を形成している。この空気室はニップル１８に連結されたチューブ１８Ａにて図示しないバキュームポンプに接続されている。また前記底板１３には面発光体１６が取付けられ、この面発光体１６に接続されているリード線１９Ａ、１９Ａはシール１９を経由して吸着テーブル本体１１の外部に取り出されている。
【００１３】
吸着板１２は、図１に示すように、上面と下面とが平行な透明円柱体１２Ａを多数並列に並べて、互いの接触部分を接着剤で接着して板状に形成されたものである。この透明円柱体１２Ａ同士を接着する方法は、先ず個々の透明円柱体１２Ａの円柱側面にガラス接着剤を薄く塗布して乾燥させる。ガラス接着剤が乾燥した後、透明円柱体１２Ａを円柱の軸心を夫々平行にして多数並べて円盤状となし、この円盤状の外周を剥離剤の付いたテープで仮留めする。この状態でこの円盤を炉に入れて前記ガラス接着剤の溶融点まで昇温する。炉から出した前期円盤が室温になった状態で先に仮留めしたテープを外周から剥離する。このようにして得られた円盤は、多数の前記透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…の互いに接触する部分が前記ガラス接着剤で溶着されて一体となり、また並列に並べた時に夫々３本又は４本の隣り合う間にできる微小隙間は通気孔１２Ｂを形成している。これで光透過性と通気性とを併せ持った吸着板１２が得られる。
【００１４】
中間支持部材１５を介して前記吸着板１２を支持するサポート板１４は、透明ガラス板でできており、上面と下面とを連通する導通孔１４Ａ、１４Ａ、…を有している。この導通孔１４Ａ、１４Ａ、…はサポート板１４の上方と空気室１７とを連通している。
【００１５】
図３は図２上のＡ−Ａ矢視図であって、中間支持部材１５の形状を表している。中間支持部材１５は、ワークＷを吸着板１２上に載置して真空吸着した時に、吸着板１２の中央部が吸引力によって下方に撓むのを防止するために設けられているものである。この中間支持部材１５は、適度の間隔で前記吸着板１２を支えると共に、前記面発光体１６から照射される赤外光の遮蔽をできるだけ少なくし、また前記吸着板１２とサポート板１４間の通気性もできるだけ損なわないような形状が求められる。本実施の形態の場合は、図３に示すように、０．０１ｍｍ程度の薄い帯状鋼板を渦巻状に成形したものが用いられている。
【００１６】
図４は同じく図２上のＡ−Ａ矢視図であって、中間支持部材１５の別の実施形態を表している。
【００１７】
この中間支持部材１５の別の実施形態は、図４に示すように、平面形状がハニカム状に形成された鋼材で、六角形を形成する壁はやはり０．０１ｍｍ程度の薄いものである。
【００１８】
尚、この中間支持部材１５の形状は前記渦巻状及びハニカム状に限らず、種々の形状が可能であり、また吸着板１２とサポート板の形状によっては不要とすることもできる。
【００１９】
図５は面発光式吸着テーブル１０の吸着板１２の別の実施形態を表している。
図５に示す吸着板１２は、透明なガラス板でできており、上下を貫通する無数の微小孔からなる通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…が形成されている。この微小孔の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…は直径０．０１ｍｍ程度で、レーザー加工機によって孔加工されている。この微小な通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…によって、ワークＷの全面を吸着するようになっている。
【００２０】
以上のように構成された本発明に係る面発光式吸着テーブル１０の作用を説明する。  先ず、ワークＷがパターンの形成された表面を下にして面発光式吸着テーブル１０の吸着板１２に載置される。次に図示しないバキュームポンプが作動し、吸着テーブル本体１１に設けられたニップル１８に接続されたチューブ１８Ａから空気室１７内の空気を吸込み、空気室１７内部は負圧となる。空気室１７内部はサポート板１４に設けられている導通孔１４Ａ、１４Ａ、…を介して吸着板１２の無数の通気孔１２Ｂ、１２Ｂ、…と連通しているので、吸着板１２に載置されたワークＷは負圧により吸引されて吸着保持される。一方、図示しない電源にリード線１９Ａ、１９Ａで接続された面発光体１６がその上面全体で発光する。尚、リード線１９Ａ、１９Ａは吸着テーブル本体１１に設けられたシール１９を経由して外部に出ているので、空気室１７の密閉度が損なわれることはない。面発光体１６から発光された可視光又は赤外光は、透明ガラス板でできたサポート板１４、及び吸着板１２を構成する透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…を透過すると共に、透明円柱体１２Ａ、１２Ａ、…間の微小隙間でできた通気孔１２Ｂを通過してワークＷの表面（吸着面）に照射される。ワークＷの外形形状を撮像する場合や特定部分のパターンを撮像する場合は、ワークＷの吸着面に照射されワークＷを透過した光をワークＷの上方に設置されたＣＣＤカメラで撮影する。このようにしてワークＷの裏面から撮影した画像からワークＷの外形形状を認識し、加工範囲を設定したり、あるいは撮影して得られたパターン画像を基にワークＷのアライメントを行う。
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、載置されたワークＷの全面にわたって吸着することができると共に、吸着面全領域に光を照射することができる。
【００２２】
尚、前記した吸着板１２は、本実施の形態で説明した２つの例に限らず、光透過性と通気性とを併せ持った材質及び構造であれば面発光式吸着テーブル１０の吸着板１２として適用できる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係る面発光式吸着テーブルよれば、吸着載置するワークの全面を吸着でき、更にワーク全体又は任意の領域を撮像できる透過光を照射できる。従って本発明に係る面発光式吸着テーブルをダイシング装置等に適用した場合、加工するワークの表面を保護する目的でワークの裏面から加工するために、ワークの表面側を吸着テーブルに載置した時に、ワークの裏面側からであってもワークのアライメントに最適なパターンの撮像位置を選択できる。またワークに専用のアライメントマークが設けられている時でも、専用の吸着テーブルを各ワーク毎に夫々用意する必要がない。更にワークが割れウエーハの場合、そのウエーハ全体を撮像してウエーハの外形形状を認識し、その外形形状に適応したアライメント画像の撮像位置を設定したり、その外形形状に適応した加工範囲を設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブルの平面図
【図２】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブルの側断面図
【図３】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブルの中間支持部材を説明する矢視図
【図４】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブルの中間支持部材の他の実施形態を説明する矢視図
【図５】本発明の実施の形態に係る面発光式吸着テーブルの吸着板の他の実施形態を説明する平面図
【図６】従来の面発光式吸着テーブルの平面図及び側断面図
【符号の説明】
Ｗ…ワーク、１０…面発光式吸着テーブル、１１…吸着テーブル本体、１２…吸着板、１２Ａ…透明円柱体、１６…面発光体、１７…空気室
【図１】
0004655406.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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