(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性を有する平面状の非磁性体材を搬送する搬送手段と、
コ字状に形成された交流電磁石であって、搬送される前記非磁性体材に前記コ字状の開放側が対向して配置され、交流電流が流されることにより前記非磁性体材に交流磁界を発生し、前記非磁性体材を遠ざける力を発生させる交流電磁石と、
前記交流電磁石の前記コ字状を構成する三辺のうち互いに向かい合う二辺間に配置され、前記非磁性体材までの距離を検出する距離検出手段と、
前記距離検出手段の検出結果に基づいて、前記交流電磁石に供給する交流電流を制御する制御手段と
を具備することを特徴とする非磁性体材の搬送装置。
【請求項２】
前記交流電磁石は、搬送される非磁性体材を挟んで対向配置された、前記非磁性体材を各々から遠ざける力を発生させる一対の構成としたものであり、
前記一対の交流電磁石が発生する非磁性体材を遠ざける力を非磁性体材の両側から加えることで、非磁性体材の搬送状態を制御する
ことを特徴とする請求項１に記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項３】
前記距離検出手段は、前記非磁性体材の両側に対向配置されている第１の距離検出手段および第２の距離検出手段とから構成され、
前記制御手段は、前記第１の距離検出手段によって検出された前記非磁性体材の搬送面からの距離と、前記第２の距離検出手段によって検出された搬送面からの距離とに基づき、前記交流電磁石に供給する交流電流を制御することを特徴とする請求項１または２に記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項４】
前記交流電磁石および前記距離検出手段を前記非磁性体材の搬送方向と搬送方向と垂直な方向の両方向、または、搬送方向と搬送方向と垂直な方向のいずれか一方向に、複数設けた
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項５】
前記交流電磁石は、該交流電磁石の磁極間に発生する交流磁界の磁束の向きが、前記非磁性体材の搬送方向と平行または垂直になるように配置されていること
を特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項６】
前記距離検出手段は、前記交流電磁石の側近の位置に離れて配置されている
ことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記距離検出手段によって検出された搬送面からの距離と予め設定された値との偏差がなくなるように前記非磁性体材を遠ざける力の強さを表す力指令値を決定する手段と、前記力指令値に基づき、交流電流を前記交流電磁石に供給する交流電流供給手段とを具備する
ことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置。
【請求項８】
前記交流電流供給手段は、前記非磁性体材に曲げまたは反りが生じた場合に、該曲げまたは反りによって生じる曲げの山または反りの山を矯正する向きに、前記非磁性体材を遠ざける力が加わるように前記交流電流を前記交流電磁石に供給し、曲げの矯正を行う
ことを特徴とする請求項７に記載の非磁性体材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非磁性体板等金属加工材料の生産設備ラインにおいて、搬送状態を制御する非磁性体材の搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１９は従来の非磁性体材（板材等）の搬送装置１００を示した図である。従来の非磁性体材の搬送装置１００は、支持用ローラ１１を有している。また、同図には、非磁性体材１０の表面処理工程も示している。この非磁性体材１０の表面処理工程は、非磁性体材１０上にメッキや塗装を行う工程（第１工程）と、ドライヤで非磁性体材に圧搾空気を吹きかける等して、第１工程で塗布された余分なメッキや塗装の除去と乾燥を行い、所望の厚さのメッキや塗装を行う工程（第２工程）とからなる。さらに図１９には、非磁性体材１０が振動する状態を一点破線で示している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、非磁性体材１０は安定に走行しているわけではない。例えば、図１９においては、非磁性体材１０は、加振力となるドライヤ１２からの圧搾空気により、走行面（搬送面）に沿って振動しながら走行している。このため、例えば、上記ドライヤ１２と非磁性体材１０との距離は変動し、ドライヤ１２からの圧搾空気圧の非磁性体材１０上における揺らぎから、前記第２工程において、メッキや塗装の厚さが不均一となり、品質の劣化を招くという問題があった。
【０００４】
図２０（ａ）は、２つのローラ１１、１１ａを用いて非磁性体材１０を搬送する従来の非磁性体材の搬送装置１００を示す図である。図２０（ｂ）は図２０（ａ）のI−I線における断面図である。図２０（ｃ）は図２０（ａ）のII−II線
における断面図である。
２つのローラ１１、１１ａを用いて、非磁性体材１０を搬送する際に、ローラ１１、１１ａにより非磁性体材１０にテンションが加わることで、例えば、図２０（ｂ）に示すような反りが発生することがある。また、ローラ１１とローラ１１ａとの間隔が長いために、例えば、図２０（ｃ）に示すように非磁性体材１０に曲げが発生することがある。
このような反りや曲げが非磁性体材１０に発生することで、例えば、上記第１工程において、メッキや塗装にむらが生じるといった問題があった。非磁性体材１０に曲げが発生することを防ぐためには、ローラ１１とローラ１１ａとの間隔を短くとる必要がある。しかし、同図に示す表面処理工程直後や、その他圧延の直後等に非磁性体材１０をローラで支持すると、非磁性体材に傷がつき、品質の劣化につながるため、ローラの間隔を短くすることができないといった問題があった。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、非磁性体材の搬送状態を制御できる非磁性体材の搬送装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項１に記載の非磁性体材の搬送装置は、導電性を有する平面状の非磁性体材を搬送する搬送手段と、コ字状に形成された交流電磁石であって、搬送される前記非磁性体材に前記コ字状の開放側が対向して配置され、交流電流が流されることにより前記非磁性体材に交流磁界を発生し、前記非磁性体材を遠ざける力を発生させる交流電磁石と、前記交流電磁石の前記コ字状を構成する三辺のうち互いに向かい合う二辺間に配置され、前記非磁性体材までの距離を検出する距離検出手段と、前記距離検出手段の検出結果に基づいて、前記交流電磁石に供給する交流電流を制御する制御手段とを具備することを特徴としている。
また、請求項２に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１に記載の非磁性体材の搬送装置において、前記交流電磁石は、搬送される非磁性体材を挟んで対向配置された、前記非磁性体材を各々から遠ざける力を発生させる一対の構成としたものであり、前記一対の交流電磁石が発生する非磁性体材を遠ざける力を非磁性体材の両側から加えることで、非磁性体材の搬送状態を制御することを特徴としている。
また、請求項３に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１または２に記載の非磁性体材の搬送装置において、前記距離検出手段は、前記非磁性体材の両側に対向配置されている第１の距離検出手段および第２の距離検出手段とから構成され、前記制御手段は、前記第１の距離検出手段によって検出された前記非磁性体材の搬送面からの距離と、前記第２の距離検出手段によって検出された搬送面からの距離とに基づき、前記交流電磁石に供給する交流電流を制御することを特徴としている。
また、請求項４に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１から３のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置において、前記交流電磁石および前記距離検出手段を前記非磁性体材の搬送方向と搬送方向と垂直な方向の両方向、または、搬送方向と搬送方向と垂直な方向のいずれか一方向に、複数設けたことを特徴としている。
また、請求項５に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１から４のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置において、前記交流電磁石は、該交流電磁石の磁極間に発生する交流磁界の磁束の向きが、前記非磁性体材の搬送方向と平行または垂直になるように配置されていることを特徴としている。
また、請求項６に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１から５のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置において、前記距離検出手段は、前記交流電磁石の側近の位置に離れて配置されていることを特徴としている。
また、請求項７に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項１から６のいずれかに記載の非磁性体材の搬送装置において、前記制御手段は、前記距離検出手段によって検出された搬送面からの距離と予め設定された値との偏差がなくなるように前記非磁性体材を遠ざける力の強さを表す力指令値を決定する手段と、前記力指令値に基づき、交流電流を前記交流電磁石に供給する交流電流供給手段とを具備することを特徴としている。
また、請求項８に記載の非磁性体材の搬送装置は、請求項７に記載の非磁性体材の搬送装置において、前記交流電流供給手段は、前記非磁性体材に曲げまたは反りが生じた場合に、該曲げまたは反りによって生じる曲げの山または反りの山を矯正する向きに、前記非磁性体材を遠ざける力が加わるように前記交流電流を前記交流電磁石に供給し、曲げの矯正を行うことを特徴としている。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の範囲内で任意に変更可能である。
【０００８】
Ａ：第１実施形態
図１は本発明の第１実施形態に係る非磁性体材（板材等）の搬送装置１００の構成を示す正面図である。なお、同図において、図２０に対応する部分については、同一の符号を付けてその説明を省略する。また、同図において、非磁性体材１０が振動により交流電磁石２０が設置されている側に変位したときの状態を一点破線Ａで示し、これとは反対の側に変位したときの状態を一点破線Ｂで示す。さらに、距離センサ２１から非磁性体材１０の理想的な走行面までの距離をｄ0、一点破線で示す非磁性体材１０までの距離をｄとする。同図に示すように、非磁性体材の搬送装置１００は、ローラ１１と、交流電磁石２０と、非磁性体材１０までの距離を検出する手段である距離センサ２１と、電流コントローラ２２を具備している。
ローラ１１は、導電性を有する非磁性体材１０を搬送する搬送手段を構成している。
交流電磁石２０は、非磁性体材１０の片側に、磁極を非磁性体材１０に向けて、非磁性体材１０から離れて設置されている。交流電磁石２０は、交流電流が供給されることで、非磁性体材１０に浸透する交流磁界を発生する。この交流磁界により、非磁性体材１０に渦電流が流れ、この渦電流と交流磁界との作用により非磁性体材１０を交流電磁石２０から遠ざける方向の反発力が生じる。また、この反発力は、交流電磁石２０によって発生する交流磁界の強さを変えることにより調整することができる。
距離センサ２１は、交流電磁石２０の２つの磁極間の中央部分に配置されており、非磁性体材１０までの距離ｄを検出して、電流コントローラ２２に距離検出値として出力する。
電流コントローラ２２は、距離センサ２１から出力された距離検出値ｄに基づいて交流電磁石２０に流す交流電流を制御する手段である。さらに詳述すると、この電流コントローラ２２は、距離センサ２１から出力された距離検出値ｄに基づいて、非磁性体材１０の理想的な走行面からのずれを検出し、このずれをなくす反発力が非磁性体材１０に与えられるように、交流電磁石２０に流す交流電流の制御を行う。
【０００９】
図２は、電流コントローラ２２の構成の概略を示した図である。電流コントローラ２２は、減算器３０、補償器３１、反発力コントローラ３２、駆動装置３３を具備している。
減算器３０は、距離センサ２１の距離検出値ｄを目標値から減算し、減算結果を出力する。ここで、目標値は、距離センサ２１から非磁性体材１０の理想的な走行面までの距離ｄ0である。従って、減算器３０から得られる減算結果は、非磁性体材１０の理想的な走行面からのずれを表している。
補償器３１は、減算器３０によって求められたずれ（以下、偏差という）を受取り、この偏差をなくすために非磁性体材１０に与えるべき反発力を演算し、力指令値Ｆ*として出力する。また、補償器３１は、交流電磁石２０と非磁性体材１０とからなる力学系の応答特性を補償するための補償手段を有している。この補償手段は、Ｐ（比例要素）、Ｉ（積分要素）およびＤ（微分要素）を組み合わせて構成されている。補償器３１は、力指令値Ｆ*として、この補償手段による補償がなされたものを出力する。
反発力コントローラ３２は、補償器３１からの力指令値Ｆ*に対応した反発力を発生させるために、交流電磁石２０に流す交流電流の大きさを演算して、電流指令信号Ｉとして出力する。
駆動装置３３は、電圧アンプで構成されており、反発力コントローラ３２から出力される電流指令信号Ｉによって指定される交流電流を交流電磁石２０に流す。
【００１０】
ここで、反発力コントローラについて、２つの構成例を挙げて詳述する。
ａ．第１の構成例
交流電磁石２０が発生する反発力は、交流電磁石２０に流す交流電流の振幅値の２乗にほぼ比例する。従って、反発力Ｆと、この反発力を発生するために必要な交流電磁石２０に流す交流電流Ｉとの関係は、比例定数をｋとすると、
Ｆ＝ｋＩ2               ▲１▼
となる。よって、反発力Ｆを発生させるために必要な交流電流Ｉは、
Ｉ2＝Ｆ／ｋ             ▲２▼
Ｉ＝√（Ｆ／ｋ）        ▲３▼
と求まる。
【００１１】
図３は、上述した導出方法に基づいて電流値を決定する反発力コントローラ３２の第１の構成例の概略を示したブロック図である。同図に示すように、反発力コントローラ３２は、加算器４０と、クランプ器４１と、比例ブロック４２と、開平器４３と、発振器４４と、乗算器４５とを具備している。
加算器４０は、補償器３１から力指令値Ｆ*を受取り、この力指令値Ｆ*と定常力指令値Ｆ0との加算演算を行い、力指令加算値Ｆ*＋Ｆ0を出力する。なお、定常力指令値Ｆ0については後述する。
クランプ器４１は、加算器４０から出力された力指令加算値Ｆ*＋Ｆ0の絶対値を求め、力指令負クランプ値Ｆ’として出力する。
比例ブロック４２は、上記▲２▼式に示した演算を実行するために設けられている。比例ブロック４２はクランプ器４１から力指令負クランプ値Ｆ’を受取り、この力指令負クランプ値Ｆ’を比例常数ｋで除算して、この演算結果を出力する。
開平器４３は、上記▲３▼式に示した演算を実行するために設けられている。開平器４３は、比例ブロック４２から演算結果を受取り、この演算結果に対して開平演算を実行して、演算結果を電流振幅指令値Ｉ’として出力する。
発振器４４は、直流成分を持たない正弦波信号を出力する。
乗算器４５は、開平器４３からの電流振幅指令値Ｉ’と発振器４４からの正弦波信号との乗算を実行して、乗算結果を電流指令信号Ｉとして駆動装置３３へ出力する。ここで、電流指令信号Ｉは、電流振幅指令値Ｉ’によって指定される振幅値と発振器４４からの正弦波信号からの正弦波信号によって指定される周波数とからなる交流波形信号である。
【００１２】
なお、上述した定常力指令値Ｆ0は、力の大きさを示す値であり、非磁性体材の搬送装置１００における制御系の非線形性が強まり、制御性能を大きくできなくなる問題を回避するために設けられている。具体的には、電流コントローラ２２内に設けた反発力コントローラ３２において、定常的に所定の強さの反発力（以下、定常反発力という）を非磁性体材１０に加えるための定常反発力信号を生成することで、制御系の非線形性の強まりを回避している。
【００１３】
ｂ．第２の構成例
定常反発力を発生させるために必要な交流電流をＩ0、力指令値Ｆ*で指定された反発力を発生させるために必要な交流電流を△Ｉとおく。交流電流Ｉ0＋△Ｉが交流電磁石２０に流れることで発生する反発力Ｆは、
Ｆ＝ｋ（Ｉ0＋△Ｉ）2                 ▲４▼
となる。一方、交流電流をＩ0により定常反発力Ｆ0は、
Ｆ0＝ｋＩ02                          ▲５▼
となる。さらに、前記▲４▼式で表される反発力Ｆから、定常反発力Ｆ0を引いた値、つまり、力指令値Ｆ*で指定される反発力は、
0004660911.tif 000002
となるから、力指令値Ｆ*で指定された反発力を発生させるために必要な交流電流△Ｉは
△Ｉ≒Ｆ*／｛２（Ｆ0／Ｉ）｝         ▲７▼
となる。
【００１４】
図４は、上述した導出方法に基づいて、交流電流△Ｉを決定する反発力コントローラ３２の第２の構成例の概略を示したブロック図である。なお、図３に対応する部分については、同一の符号を付けてその説明を省略する。同図に示すように、反発力コントローラ３２は、比例ブロック４２と、加算器４０と、クランプ器４１と、発振器４４と、乗算器４５とを具備している。
比例ブロック４２は、上記▲７▼式の演算を実行するために設けられている。補償器３１から力指令値Ｆ*を受取り、この力指令値Ｆ*を２（Ｆ0／Ｉ）で除算演算を実行して、この演算結果を変動分交流電流振幅指令値△Ｉとして出力する。
加算器４０は、変動分交流電流振幅指令値△Ｉを受取り、この変動分交流電流振幅指令値△Ｉと定常分交流電流振幅指令値Ｉ0との加算演算を実行して、交流電流振幅指令加算値Ｉ0＋△Ｉとして出力する。ここで、定常分交流電流振幅指令値Ｉ0は、定常的に反発力を発生させるために必要な交流電流値を指定している。
クランプ器４１は、加算器４０から出力された交流電流振幅指令加算値Ｉ0＋△Ｉの絶対値を求め、交流電流振幅指令値Ｉ’として出力する。
同図に示す乗算器４５と発振器４４とは、図３に示す第１の構成における乗算器４５と発振器４４とに対応しており説明を省略する。
【００１５】
なお、本実施形態において、反発力コントローラ３２の構成とし上記第１の構成と第２の構成のどちらかを任意に選択し用いることが可能である。
【００１６】
以上説明した構成によれば、非磁性体材の搬送装置１００は、振動により図１において一点破線Ａで示す状態に変位する場合には、定常反発力に加えて、このずれをなくすような反発力を発生させ、振動により一点破線Ｂで示す状態に変位する場合には、定常反発力のみを発生させる。この一連の動作を非磁性体材１０の振動に合わせ繰り返し行うことで、非磁性体材１０の振動の抑制を行うことができる。
また、図１に示す構成の非磁性体材の搬送装置１００は、交流電磁石２０が設置されている側に曲げの山が位置するような曲げが生じた場合に、反発力を加えることで、この曲げを矯正することができる。
また、交流電磁石２０が設置されている側に反りの山が位置するような反りが生じた場合に、反発力を加えることで、この反りを矯正することができる。
【００１７】
Ｂ：第２実施形態
図５は、本発明の第２実施形態に係る非磁性体材（板材等）の搬送装置１００の構成を示す正面図である。なお、図１および図２０に対応する部分には同一の符号を付けて説明を省略する。また、同図において、非磁性体材１０が振動により交流電磁石２０が設置されている側に変位したときの状態を一点破線Ｃで示し、交流電磁石２０ａが設置されている側に変位したときの状態を一点破線Ｄで示す。同図に示すように、非磁性体材の搬送装置１００は、ローラ１１と、一対の交流電磁石２０、２０ａと、非磁性体材１０まで距離を検出する手段である距離センサ２１と、電流コントローラ２２とを具備している。同図に示すように、非磁性体材１０を挟んで一対の交流電磁石２０、２０ａが対向配置されており、非磁性体材１０の両側から反発力を加える構成となっている。
【００１８】
図６は、電流コントローラ２２の構成の概略を示したブロック図である。なお、図２に示す電流コントローラ２２に対応する部分には同一の符号を付けて説明を省略する。電流コントローラ２２は、減算器３０と、補償器３１と、反発力コントローラ３２と、２つの駆動装置３３、３３ａとを具備しており、距離センサ２１から出力された距離検出値ｄに基づいて交流電磁石２０、２０ａに流す交流電流を制御する。
【００１９】
ここで、反発力コントローラ３２について詳述する。
定常的に反発力を発生させるために必要な交流電流をＩ0、力指令値Ｆ*で指定された反発力を発生させるために必要な交流電流を△Ｉとおく。交流電流Ｉ0＋△Ｉが交流電磁石２０に流れることで発生する反発力Ｆ20と、交流電流Ｉ0−△Ｉが交流電磁石２０ａに流れることで発生する反発力Ｆ20aは、それぞれ
Ｆ20＝ｋ（Ｉ0＋△Ｉ）2
Ｆ20a＝ｋ（Ｉ0−△Ｉ）2
と記述される。さらに反発力Ｆ20と反発力Ｆ20aとの合力の計算から、非磁性体材１０に加わる正味の反発力、つまり、力指令値Ｆ*で指定される反発力は、
0004660911.tif 000003
となるから、力指令値Ｆ*で指定された反発力を発生させるために必要な交流電流△Ｉは
△Ｉ≒Ｆ*／｛４（Ｆ0／Ｉ）｝                     ▲９▼
となる。
【００２０】
図７は、上述した導出方法に基づいて、交流電流△Ｉを決定する反発力コントローラ３２の構成の概略を示したブロック図である。なお、同図において、図３、図４に対応する部分については、同一の符号を付けてその説明を省略する。同図に示すように、反発力コントローラ３２は、比例ブロック４２と、２つの加算器４０と、減算器４０ａと、２つのクランプ器４１、４１ａと、発振器４４と、２つの乗算器４５、４５ａとを具備している。
比例ブロック４２は、上記▲９▼式に示す演算を実行するために設けられている。比例ブロック４２は、補償器３１から力指令値Ｆ*を受取り、この力指令値Ｆ*を４（Ｆ0／Ｉ）で除算演算を実行して、この演算結果を変動分交流電流振幅指令値△Ｉとして出力する。
加算器４０は、比例ブロック４２から変動分交流電流振幅指令値△Ｉを受取り、この変動分交流電流振幅指令値△Ｉと定常分交流電流振幅指令値Ｉ0との加算演算を実行し、交流電流振幅指令加算値Ｉ0＋△Ｉとして出力する。
減算器４０ａは、比例ブロック４２から変動分交流電流振幅指令値△Ｉを受取り、この変動分交流電流振幅指令値△Ｉと定常分交流電流振幅指令値Ｉ0との減算演算を実行し、交流電流振幅指令減算値Ｉ0−△Ｉとして出力する。
クランプ器４１は、加算器４０から出力された交流電流振幅指令加算値Ｉ0＋△Ｉの絶対値を求め、交流電流振幅指令値Ｉ’として出力する。
クランプ器４１ａは、減算器４０ａから出力された交流電流振幅指令減算値Ｉ0−△Ｉの絶対値を求め、交流電流振幅指令値Ｉ’ａとして出力する。
乗算器４５は、クランプ器４１からの電流振幅指令値Ｉ’と発振器４４からの正弦波信号との演算を実行して、演算結果を電流指令信号Ｉとして駆動装置３３へ出力する。
乗算器４５ａは、クランプ器４１ａからの電流振幅指令値Ｉ’ａと発振器４４からの正弦波信号との演算を実行して、演算結果を電流指令信号Ｉａとして駆動装置３３へ出力する。
【００２１】
以上説明した構成によれば、非磁性体材の搬送装置１００は、非磁性体材１０に対して、両側から反発力を加えることができ、一点破線Ｃ、一点破線Ｄで示すような振動または曲げによって生じる理想的な走行面からのずれをなくすことができる。なお、ここでいう反発力は、交流電磁石２０、２０ａがそれそれ発生する反発力の合力を指し、反発力の方向は、合力の方向である。
例えば、非磁性体材１０が振動する場合について説明する。図５に示すように、振動により一点破線Ｃまたは一点破線Ｄで示す状態へ変位する場合に、変位の方向と反対の方向の反発力を加える。この一連の動作を非磁性体材１０の振動に合わせ繰り返し行うことで、非磁性体材１０の振動の抑制を行うことができる。
また、例えば非磁性体材１０に曲げが生じた場合に、この曲げまたは反りによって生じる曲げの山または反りの山を矯正する向きに反発力を加えることで、曲げの矯正を行うことができる。
【００２２】
Ｃ：第３実施形態
図８は、本発明の第３実施形態に係る非磁性体材（板材等）の搬送装置１００の上面図である。なお図１、図５、図２０に対応する部分には同一の符号を付けて説明を省略する。非磁性体材の搬送装置１００は、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍと、距離センサ２１と、電流コントローラ２２と、図示しないローラとを具備している。
交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍは、非磁性体材１０の走行面の片側に非磁性体材１０の走行方向と垂直な方向にｍ個設けられている。さらに、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍの並びの中央部分には、非磁性体材１０までの距離を検出する距離センサ２１が１つ配置されている。
電流コントローラ２２は、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍの各々に、同時に同じ大きさの交流電流を流して、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍの各々に、同時に同じ強さの反発力を発生させる。
【００２３】
同図に示す構成の場合、非磁性体材１０の振動の抑制または曲げ、反りの矯正を行う際に、第１実施形態で説明した非磁性体材の搬送装置１００に比べて、大きな反発力を非磁性体材１０に加えることができる。
【００２４】
なお、図８において、結線が並列で示されているが、直列でもよい。また、第３実施形態の構成は、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍが非磁性体材１０の走行方向に設けられた構成であってもよい。
さらに、非磁性体材の搬送装置１００の構成は、非磁性体材１０の片側に配置した複数の交流電磁石と同等の構成を、非磁性体材１０を挟んだ反対側にも設け、１つの電流コントローラを用いて各交流電磁石に交流電流を流す構成としてもよい。
【００２５】
Ｄ：第４実施形態
図９は、本発明の第４実施形態に係る非磁性体材（板材等）の搬送装置１００の上面図である。なお、図１、図５、図８、図２０に対応する部分には同一の符号を付けて説明を省略する。非磁性体材の搬送装置１００は、複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍと、複数の距離センサ２１−１、・・・、２１−ｍと、複数の電流コントローラ２２−１、・・・、２２−ｍと、図示しないローラとを具備している。
複数の交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍは、非磁性体材１０の走行面の片側に、非磁性体材１０の走行方向とは垂直な方向にｍ個設けられており、また、各交流電磁石には、電流コントローラが１つずつ接続されている。
複数の距離センサ２１−１、・・・、２１−ｍは、非磁性体材１０までの距離を検出する検出手段であり、各交流電磁石２０−１、・・・、２０−ｍの磁極間の中央部分に１つずつ配置されている。
従って、各交流電磁石は、お互いに独立して反発力を発生する構成となっている。
【００２６】
同図に示す構成の場合、距離センサを非磁性体材１０の走行方向と垂直な方向に複数設けることで、非磁性体材１０の走行方向と垂直な方向における搬送状態を詳細に検出することができる。さらに、各交流電磁石をが独立して反発力を発生することで、非磁性体材１０の走行方向と垂直な方向における搬送状態を細かく制御することができる。
【００２７】
なお、複数の交流電磁石、距離センサを非磁性体材１０の走行方向と垂直な方向に設けたが、図１０（ａ）に示すように、走行方向に複数設けてもよい。また、図１０（ｂ）幅方向と走行方向に複数設けてもよい。
さらに、非磁性体材の搬送装置１００の構成は、非磁性体材１０の片側に配置した複数の交流電磁石と、複数の距離センサと、複数の電流コントローラとからなる構成と同等の構成を、非磁性体材１０を挟んだ反対側にも設けた構成としてもよい。
【００２８】
Ｅ：第５実施形態
図１１は、本発明の第５実施形態に係る非磁性体材（線、板材等）の搬送装置１００の断面図である。なお、同図に示す非磁性体材１０の状態は、反りが生じた状態である。同図に示すように、非磁性体材の搬送装置１００は、３つの交流電磁石２０、２０ａ、２０ｂと、３つの電流コントローラ２２、２２ａ、２２ｂと、図示しない３つの距離センサとを具備している。
各交流電磁石の各磁極の中央部には、距離センサが１つ配置されている。また、各交流電磁石には、電流コントローラが１つずつ接続されている。従って、各交流電磁石は、お互いに独立して反発力を発生する構成となっている。
【００２９】
同図に示す構成の場合、３つの交流電磁石２０、２０ａ、２０ｂから反発力を発生させることで反りを矯正することができる。具体的には、反りの剛性が強い場合は、交流電磁石２０が発生する反発力だけでは、非磁性体材１０は、交流電磁石２０から遠ざかる方向に全体的に変位してしまい、反りの矯正を行うことができない。そこで、交流電磁石２０ａ、２０ｂが発生する反発力を、交流電磁石２０と対向する方向から加えることで、非磁性体材１０が全体的に変位することを防ぎ、反りを矯正することができる。
【００３０】
Ｆ：第６実施形態
図１２は、本発明の第６実施形態に係る非磁性体材の搬送装置１００の断面図である。なお、本実施形態において、非磁性体材１０は、パイプや線等の棒状の形状をなしており、これまで説明してきた非磁性体材１０と区別するために、この非磁性体材１０を棒状非磁性体と称し、符号１０’を付ける。また、同図において、便宜上、棒状非磁性体１０’に対してｘ、ｙ軸を定義する。さらに、交流電磁石に対してｘ’、ｙ’軸を定義する。棒状非磁性体１０’は、向かって紙面奥方向に走行している。
同図に示すように、非磁性体材の搬送装置１００は、ｘ’軸上に棒状非磁性体１０’を挟んで対向配置された一対の交流電磁石２０ａ、２０ａ’と、ｙ’軸上に棒状非磁性体１０’を挟んで対向配置された一対の交流電磁石２０ｂ、２０ｂ’と、ｘ’軸上に配置された交流電磁石２０ａ、２０ａ’に交流電流を流す電流コントローラ２２ａと、ｙ’軸上に配置された交流電磁石２０ｂ、２０ｂ’に交流電流を流す電流コントローラ２２ｂと、交流電磁石２０ａの磁極間の中央部分に配置された図示しない距離センサと、交流電磁石２０ｂの磁極間の中央部分に配置された図示しない距離センサとを具備している。
各交流電磁石は、ｘ、ｙ軸交点から各々の交流電磁石２０ａ、２０ａ’、２０ｂ、２０ｂ’までの距離が互いに等しくなる位置に配置されている。
【００３１】
同図に示す構成の場合、例えば、ｙ軸正方向に棒状非磁性体１０’の曲げが生じているとする。この場合、ｘ’軸上の一対の交流電磁石２０ａ、２０ａ’ とｙ’軸上の一対の交流電磁石２０ｂ、２０ｂ’とが棒状非磁性体１０’に加える反発力の合力の方向がｙ軸負方向になるように、４つの交流電磁石２０ａ、２０ａ’、２０ｂ、２０ｂ’に交流電流を供給することで、曲げの矯正を行うことができる。さらに、ｘｙ座標平面内で任意の方向に反発力の合力を加えることができるため、曲げが生じる方向が一定ではないといった場合にも矯正をおこなうことができる。
【００３２】
Ｇ：変形例
以上この発明の実施形態について説明したが、上記実施形態はあくまでも例示であり、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。
【００３３】
〈変形例１〉
本発明の第６実施形態において、複数の交流電磁石をｘ’、ｙ’軸の２軸上に配置したが、２軸以上の軸を設け各々の軸上に交流電磁石を配置してもよい。例えば、図１３に示すように、ｒ１からｒｎまでｎ軸設け、各々の軸上に棒状非磁性体１０’を挟んで、一対の交流電磁石を対向配置する。
同図に示す構成の場合、第６実施形態で説明した構成の非磁性体材の搬送装置１００に比べて、発生する反発力の合力の大きさを大きくすることができる。
【００３４】
Ｈ：第７実施形態
図１４は、本発明の第７実施形態に係る非磁性体材の搬送装置１００の断面図である。なお、便宜上、棒状非磁性体１０’に対してｘ、ｙ軸を定義する。棒状非磁性体１０’は、向かって紙面奥方向に走行している。
同図に示すように、非磁性体材の搬送装置１００は、ｘ軸上に棒状非磁性体１０’を挟んで対向配置された一対の交流電磁石２０ａ、２０ａ’と、ｙ軸上に配置された交流電磁石２０ｂと、ｘ軸上に配置された交流電磁石２０ａ、２０ａ’に交流電流を流す図示しない電流コントローラと、ｙ軸上に配置された交流電磁石２０ｂに交流電流を流す図示しない電流コントローラと、交流電磁石２０ａの磁極間の中央部分に配置された図示しない距離センサと、交流電磁石２０ｂの磁極間の中央部分に配置された図示しない距離センサとを具備している。
ｘ、ｙ軸交点から各々の交流電磁石２０ａ、２０ａ’、２０ｂまでの距離は互いに等しくなっている。
【００３５】
同図に示す構成において、例えば、ｙ軸正方向に定常的に棒状非磁性体１０’の曲げが生じているとする。この場合、ｘ軸上の一対の交流電磁石２０ａ、２０ａ’ とｙ軸上の交流電磁石２０ｂとが棒状非磁性体１０’に加える反発力の合力の方向がｙ軸負方向になるように、３つの交流電磁石２０ａ、２０ａ’、２０ｂに交流電流を供給することで、曲げの矯正を行うことができる。さらに、ｘｙ座標平面内でｘ軸方向は任意でｙ軸負方向にのみ反発力の合力を加えることができる。従って、ｘ軸方向は任意でｙ軸正方向に定常的に曲げが生じる場合には、本実施形態で示したように、第６実施形態で説明した非磁性体材の搬送装置１００よりも少ない交流電磁石の数で棒状非磁性体１０’の曲げの矯正を行うことができる。
【００３６】
〈変形例２〉
本発明の第７実施形態において、複数の交流電磁石をｘ、ｙ軸の２軸上に配置したが、２軸以上の軸を設け各々の軸上に交流電磁石を配置してもよい。例えば、図１５に示すように、ｒ１からｒｎまでｎ軸設け、各々の軸上に棒状非磁性体１０’を挟んで、一対の交流電磁石を対向配置する。
同図に示す構成の場合、第６実施形態で説明した構成の非磁性体材の搬送装置１００に比べて、発生する反発力の合力の大きさを大きくすることができる。
【００３７】
Ｉ：発明のその他の様態
非磁性体材の走行方向に対する交流電磁石の配置の向きには、図１６（ａ），（ｂ）に示すように２通りある。１通りめは図１６（ａ）に示す、交流電磁石２０の磁束が非磁性体材に平行になる向き（以下、縦置きという）と、２通りめは図１６（ｂ）に示す、交流電磁石２０の磁束が非磁性体材に垂直になる向き（以下、横置きという）である。縦置きの場合には、非磁性体材１０の振動の節が走行方向に垂直になる振動の制振が行い易く、また横置きの場合には、非磁性体材１０の振動の節が走行方向に平行となる振動の制振が行い易い。上記実施形態の説明において、縦置きの場合のみについて述べたが、交流電磁石の配置の向きは、上述の縦置きと横置きのどちらを用いてもよい。
【００３８】
また、距離センサの設置位置として、非磁性体材との位置関係から、
（１）非磁性体材の片側のみに距離センサを設置する方法
（２）非磁性体材の両側に一対の同等な距離センサを設置する方法
の２通りある。（２）の方法は、一対の同等な距離センサを用いることで、温度ドリフト等による測定誤差を小さくすることができる。
図１７は、距離センサと交流電磁石との位置関係を示す図である。同図に示すように、該距離センサの設置位置として、
（３）交流電磁石の中央部分に設置する方法
（４）交流電磁石の側近に設置する方法
の２通りある。（３）の方法は、非磁性体材上の反発力の作用点付近に距離センサ２１ａの観測点を置くことができる。また、上記（４）の方法は、（３）の方法に比べて、交流電磁石２０が発生する交流磁界や電界が距離センサ２１ｂへ及ぼす影響を低減することができる。なお、上述した各実施形態において、上記（１）の方法と（３）の方法とを組み合わせた場合のみについて述べたが、例えば、（２）の方法と（４）の方法の組み合わせ等を用いてもよい。
【００３９】
また、上述した実施形態における補償器のその他の構成例として、位相補償器と周波数フィルタとを併用した構成がある。例えば、位相補償器とローパスフィルタ、位相補償器とノッチフィルタ、位相補償器、ローパスフィルタおよびノッチフィルタといった構成がある。また、位相補償器としては、Ｐ補償器の他に、例えば、ＰＤ補償器、ＰＩＤ補償器、位相進み補償器、位相遅れ補償器、位相遅れ進み補償器、またはこれらの位相補償器の幾つかを縦続接続したものがある。上記ローパスフィルタ等の周波数フィルタを設けることで、ハンティング現象を防止することができる。
【００４０】
また、上述した各実施形態において、駆動装置は電圧アンプで構成されているが、図１８に示すように、減算器３０、補償器３１’、電圧アンプ５０、交流電流検出器５１から構成されてもよい。なお、図３、図４および図６、図７に対応する部分には同一の符号を付けて説明を省略する。
この構成の場合、交流電流検出器５１は、交流電磁石２０に供給されている交流電流値を検出し、電流検出値として減算器３０に出力する。さらに、減算器３０では、電流指令信号から電流検出値を減算し、演算結果を補償器３１’に出力する。補償器３１’では、該演算結果に基づいて、電流指令信号と電流検出値とが等しくなるような、交流電磁石２０に印加する交流電圧値を決定し、電圧アンプ５０に電圧指令値として出力する。電圧アンプ５０は、電圧指令値により指定された交流電圧を交流電磁石２０に印加することで、交流電流を供給する。
また、この構成の場合、実際に交流電磁石２０に供給されている交流電流値をフィードバック補償することで、駆動装置３３の応答特性を改善することができる。
【００４１】
また、図２、図４、図６、図７、図１８に示す構成は、一例であり、機能が結果的に等価になる範囲で各構成要素の位置を入れ替えてもよい。また、幾つか、または、全てのブロックを融合して構成されてもよい。さらに等価な機能を持つ幾つかのブロックから構成されてもよい。
【００４２】
また、非磁性体材１０および棒状非磁性体１０’は、導電性を有する非磁性体である。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、非磁性体材に渦電流を誘起し、交流磁界との反発力を発生させることで、非磁性体材の搬送状態を制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図２】  同非磁性体材の搬送装置における電流コントローラの構成を示すブロック図である。
【図３】  同電流コントローラにおける反発力コントローラの第１の構成例を示すブロック図である。
【図４】  同電流コントローラにおける反発力コントローラの第２の構成例を示すブロック図である。
【図５】  本発明の第２実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図６】  同非磁性体材の搬送装置における電流コントローラの構成を示す図である。
【図７】  同電流コントローラにおける反発力コントローラの構成を示すブロック図である。
【図８】  本発明の第３実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図９】  本発明の第４実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る非磁性体材の搬送装置のその他の構成を示す概略図である。
【図１１】本発明の第５実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図１２】本発明の第６実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図１３】本発明の第６実施形態に係る非磁性体材の搬送装置のその他の構成を示す概略図である。
【図１４】本発明の第７実施形態に係る非磁性体材の搬送装置の構成を示す概略図である。
【図１５】本発明の第７実施形態に係る非磁性体材の搬送装置のその他の構成を示す概略図である。
【図１６】非磁性体材の走行方向に対する交流電磁石の配置の向きを示す図である。
【図１７】交流電磁石に対する距離センサの設置位置の関係を示す図である。
【図１８】駆動装置の構成の一例を示す図である。
【図１９】従来の技術を説明するための図である。
【図２０】従来の技術を説明するための図である。
【符号の説明】
１００…非磁性体材の搬送装置、１０…非磁性体材（板材等）、１０’…棒状非磁性体、１１…ローラ、２０…交流電磁石、２０ａ、２０ａ’、２０ｂ、２０ｂ’、…交流電磁石、２０−１〜２０−ｍ…交流電磁石（複数の交流電磁石）、２０−１１〜２０−ｎｍ…交流電磁石（複数の交流電磁石）、２０−１、２０−１’〜２０−ｎ、２０−ｎ’…交流電磁石（複数の交流電磁石）、２１…距離センサ（距離検出手段）、２１ａ、２１ｂ…距離センサ（距離検出手段）、２１−１〜２１−ｍ…距離センサ（複数の距離検出手段）、２１−１１〜２１−ｎｍ…距離センサ（複数の距離検出手段）、２２…電流コントローラ（交流電流制御手段）、３０…減算器、３１…補償器、３２…反発力コントローラ、３３…駆動装置、３３ａ…駆動装置、４０…加算器、４０ａ…加算器、４１…クランプ器、４１ａ…クランプ器、４２…比例ブロック、４３…開平器、４４…発振器、４５…乗算器、４５ａ…乗算器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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