(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒形状をなす回転部と前記回転部を回転可能に保持する固定部とを有する架台と、
前記回転部の回転に応じて周期的に変化する回転検出信号であって、前記回転部の回転加速期又は減速期における第１の回転検出信号と、前記回転部の定速回転期における第２の回転検出信号とを発生する回転検出手段と、
前記第１の回転検出信号のゼロクロス点間の時間に基づいて第１のパルス信号を生成する第１の生成手段と、
前記第２の回転検出信号のゼロクロス点間の時間を基本クロックを利用してカウントし、前記カウントされた時間に応じたカウント信号に基づいて第２のパルス信号を生成する第２の生成手段と、
前記第１のパルス信号に基づいて前記回転加速期又は減速期における前記回転部の回転位置と回転速度との少なくとも一方を算出し、前記第２のパルス信号に基づいて前記定速回転期における前記回転部の回転位置と回転速度との少なくとも一方を算出する演算制御手段と、
を具備することを特徴とするＸ線ＣＴ装置。
【請求項２】
前記回転部と前記固定部とのいずれか一方に設けられ、前記回転部と同軸の円の周方向に沿って周期的な磁束変化を与える被検出部をさらに備え、
前記回転検出手段は、前記回転部と固定部とのいずれか他方に設けられ、前記回転部の回転に伴う前記被検出部の回転に応じた磁束変化を検出し、前記検出された磁束変化に応じた前記回転検出信号を発生する、
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項３】
前記回転検出手段は、
磁束を発する磁束発生手段と、
前記被検出部の回転により作用を受けた前記磁束の変化に応じた抵抗変化を示す前記回転検出信号を出力する磁気抵抗素子と、を含む、
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項４】
前記被検出部と前記回転検出手段とのギャップを一定に保つように、前記ギャップに関する制御量に従って前記被検出部に対し前記回転検出手段を接近又は離反させる移動手段と、
前記回転検出信号に基づいて前記回転位置毎の前記制御量を決定する制御量決定手段と、
をさらに備える請求項２記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項５】
前記制御量決定手段は、前記回転部が予備的に回転動作される間に前記回転検出手段から発生された前記回転検出信号に基づいて前記制御量を決定することを特徴とする請求項４記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項６】
前記制御量決定手段は、前記被検出部の局所部分の形状に応じて変動する前記回転検出信号の精度を前記回転検出信号に基づいて計算し、前記計算された精度に基づいて前記制御量を決定することを特徴とする請求項４記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項７】
前記被検出部は歯車により構成されることを特徴とする請求項２記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項８】
前記歯車の歯先は先鋭形状を有することを特徴とする請求項７に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項９】
前記被検出部は周期的なスリットパターンが形成されたリング状の円板により構成されることを特徴とする請求項２記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１０】
前記回転部と前記固定部との一方に設けられ、周期的なスリットパターンが形成されたリング状の円板をさらに備え、
前記回転検出手段は、前記回転部と前記固定部とのいずれか他方に設けられ、前記回転部の回転に伴い前記スリットパターンを通過した光線を検出し、前記検出された光線に応じた前記回転検出信号を発生する、
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１１】
前記回転検出手段は、透過型のフォトインタラプタであることを特徴とする請求項９又は１０のいずれか一項に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１２】
前記スリットパターンに付着した埃を除去する手段をさらに備えることを特徴とする請求項９又は１０のいずれか一項に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１３】
前記回転部に固定され、前記回転部と共に回転され、回転方向に沿って複数のセクションに分けられた回転板と、
前記複数のセクション間の繋ぎ目に関する回転検出信号を補正するための補正値を算出し、前記算出された補正値で前記繋ぎ目の位置に関する回転検出信号を補正する信号補正手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１４】
前記回転部の基準位置を検出して基準位置検出信号を発生する基準位置検出手段をさらに備え、
前記演算制御手段は、前記基準位置検出信号と前記回転部の回転速度とに基づいて前記回転部の回転位置を算出する、
ことを特徴とする請求項１から１３までのいずれか一項に記載のＸ線ＣＴ装置。
【請求項１５】
前記回転部に設けられた磁石と、
前記固定部に設けられた巻線と、
前記回転部と前記固定部とを無接触で回転させるために、前記巻線に電流を供給する回転駆動手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載のＸ線ＣＴ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線コンピュータ断層撮影（ＣＴ）装置に関し、特に、Ｘ線コンピュータ断層撮影（ＣＴ）装置における架台の回転部の回転を検出のための機構及びその制御に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、Ｘ線ＣＴ装置は、高機能化され、また、その機能が多様化されている。その機能の多様化の一つに、機械的振動をできる限り排除して静な動作環境で被検体を撮影する静音イメージングがある。架台の固定部に設けられたモータからの回転駆動力を歯車及びベルト等を介して伝達させて架台の回転部を駆動する方式では、ベルトの摺動などによる大きな作動音（騒音）が発生し、被検体やＸ線技師に不安感や不快感を与える。従って、最近では、このような騒音を防止するためＸ線ＣＴ装置の回転駆動機構には、静音化技術が適用されている。
【０００３】
静音イメージングへの流れに沿って登場した技術の一つに、架台の回転機構にダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式を適用したＸ線ＣＴ装置がある。ダイレクトドライブモータ駆動方式では、架台の回転部に多数の磁石が設けられ、一方、架台の固定部に巻線が設けられ、この巻線に電流を供給することにより架台の回転部がモータの回転子として直接的に回転駆動される。ダイレクトドライブモータ駆動方式では、ベルトや歯車等からなる回転力を伝達する機構がないことから静音化を図ることができる。
【０００４】
このようなダイレクトドライブモータ駆動方式が採用されたＸ線ＣＴ装置には、架台回転部の回転を検出し、その回転位置及び回転スピードを制御するために、レゾルバ機構が備えられる。
【０００５】
図１は、従来のレゾルバ機構を概念的に示している。この図１に示されるようにＸ線ＣＴ装置における架台回転部及び架台固定部に、レゾルバ３００、トランス３０１、及びダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ３０２が設けられる。これらは、それぞれ、架台回転部側の構造体及び架台固定部側の構造体に設けられている。例えば、トランス３０１の１次側巻線及びレゾルバに相当する２次側巻線が架台回転部及び架台固定部に設けられている。
【０００６】
Ｘ線ＣＴ装置に適用されたレゾルバ３００は、架台回転部の回転位置の検出、又は、回転速度の検出に用いられ、架台回転部の形状に応じて比較的大口径のリング形状を有している。架台回転部内に実装されるレゾルバ用リファレンス信号発生器３０５からは、サイン（Ｓｉｎ）波からなるリファレンス信号が生成され、レゾルバ３００に入力される。これに応じてレゾルバ３００から出力されるｓｉｎ信号及びｃｏｓ信号が架台固定部に設けられたコントローラ３０６に入力される。コントローラ３０６は、これらｓｉｎ信号及びｃｏｓ信号並びにトランス３０１を介して回路３０５から出力されたリファレンス信号は、Ｒ／Ｄ回路によりデジタル信号に変換され、基本パルスが生成される。このデジタル信号は、分周されて回転部の位置検出に利用される。即ち、この基本パルスは、Ｘ線ＣＴ装置の制御部に供給され、回転位置検出や回転速度検出等に基づく各種制御に利用され、Ｘ線の曝射、データ収集及びＸ線管のトリガが制御される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このようなレゾルバによる回転検出機構には、次のような問題がある。
【０００８】
レゾルバは、大口径の構造物であり、これを量産するためには大規模な自動化設備が必要になるので、Ｘ線ＣＴ装置がコスト高となる問題がある。また、レゾルバ機構が組み込まれた従来の架台回転部では、ＬＥＤやフォトダイオードを利用して架台固定部と回転部と間でデータを光通信するデータ伝送ユニットのさらに奥まった位置に、大きなレゾルバ構造物等が配置されるので、メンテナンス時等におけるレゾルバ機構へのアクセス性が悪く、点検整備や交換作業等に多大な労力を要するという問題がある。また、レゾルバ機構のコイルから信号取り出す為にこのレゾルバ機構のコイルから直接的に信号伝達線を引き出している。従って、断線等の障害が生じた場合にこの断線等の障害に柔軟に対応できず、レゾルバ一式の交換を余儀なくされる問題がある。
【０００９】
また、リファレンス信号を発生するリファレンス信号発生器は、上記のように架台回転部に設けられ、スリップリングを介して架台回転部及び架台固定部の全体に電力を供給しない限り、回転検出の機能を実行することができない点も、メンテナンス時の効率、及び安全性などの観点から好ましくない。そこで、このようなレゾルバによる回転検出機構の問題を解消する新たな改良が求められている。
【００１０】
この発明は、上記のような事情に鑑みなされたものであって、その目的は、構造が簡素且つ低コストでメンテナンス性が高く、高精度な回転検出もしくは回転制御が可能なＸ線ＣＴ装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明によれば、
略円筒形状をなす回転部と前記回転部を回転可能に保持する固定部とを有する架台と、
前記回転部の回転に応じて周期的に変化する回転検出信号であって、前記回転部の回転加速期又は減速期における第１の回転検出信号と、前記回転部の定速回転期における第２の回転検出信号とを発生する回転検出手段と、
前記第１の回転検出信号のゼロクロス点間の時間に基づいて第１のパルス信号を生成する第１の生成手段と、
前記第２の回転検出信号のゼロクロス点間の時間を基本クロックを利用してカウントし、前記カウントされた時間に応じたカウント信号に基づいて第２のパルス信号を生成する第２の生成手段と、
前記第１のパルス信号に基づいて前記回転加速期又は減速期における前記回転部の回転位置と回転速度との少なくとも一方を算出し、前記第２のパルス信号に基づいて前記定速回転期における前記回転部の回転位置と回転速度との少なくとも一方を算出する演算制御手段と、
を具備するＸ線ＣＴ装置が提供される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施形態に係るＸ線ＣＴ装置を説明する。
【００１８】
図２は、この発明の第１実施形態に係るＸ線ＣＴ装置の概略構成を示している。
【００１９】
図２において、１は、架台の回転部及び４は、架台の固定部を示している。円筒形状の架台回転部１には、被検体にＸ線を曝射するＸ線管２及び被検体を透過したＸ線を検出するためのＸ線検出器３が設けられ、Ｘ線管２及びＸ線検出器３は、円筒状をなす被検体が挿入される空間Ｓを介して対向されている。また、架台回転部１には、検出器３から出力される検出信号を処理する信号処理回路（図示せず）の基板を収容する実装ユニット等が取り付けられている。このような架台回転部１は、架台固定部４によりベアリングを介して回転可能に保持される。
【００２０】
架台固定部に設けられるモータからの回転駆動力が歯車及びベルト等を介して伝達されて架台回転部が駆動される方式では、ベルトの摺動等に基づく大きな作動音、即ち、機械的な騒音が発生され、被検体やＸ線技師に不安感や不快感を与える。従って、最近のＸ線ＣＴ装置では、このような騒音を防止する為に下記に説明されるような静音化技術が適用されている回転駆動機構が組み込まれている。
【００２１】
この発明の実施形態に係るＸ線ＣＴ装置には、静音型の回転駆動方式としてダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式が採用されている。即ち、架台回転部１には、巻線１１が設けられ、一方、架台固定部４には、磁石１２が設けられている。巻線１１に電流が供給されることにより磁石１２からの磁束と巻き線１１から発生される磁束とが反撥され、架台回転部１がモータの回転子として直接的に、無接触で回転駆動される。なお、ここで、静音型の回転駆動方式としてダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式を説明しているが、この発明のＸ線ＣＴ装置では、ダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式限らず、他の駆動機構がされても良く、特定の回転駆動方式に限定されないことは明細書の記述から明らかである。
【００２２】
本実施形態のＸ線ＣＴ装置では、次のような架台回転部１の回転を無接触で検出する機構が採用されている。即ち、図２に示すように、固定部４に対向する架台回転部１の円筒外周面には、回転検出の対象部としてインボリュート歯車１０が設けられている。このインボリュート歯車１０は、架台回転部１と同軸の円の周方向に沿って回転され、この回転に伴い固定部４及び回転部１との間のギャップに周期的な磁束変化を与えている。インボリュート歯車１０は、安価且つ容易に製作が可能で、その加工精度も高いという利点がある。なお、架台回転部１の磁性部分に削り出し加工等を施すことでインボリュート歯車１０が磁性部分に一体的に成型されて設けられてもよい。
【００２３】
一方、架台固定部４には、架台回転部１のインボリュート歯車１０に近接して磁気抵抗センサ５が設けられている。磁気抵抗センサ５とインボリュート歯車１０との間のギャップは、所定長、例えば、１ｍｍ程度に定められている。この磁気抵抗センサ５は、架台回転部１と共にインボリュート歯車１０が回転することに伴い磁束の変化に依存した波形を有する検出信号が発生され、信号処理されてこの検出信号に応じたパルス信号が出力される。
【００２４】
磁気抵抗センサ５により得られたパルス信号は、信号処理ユニット６を経てサーボアンプ８及びＣＴ主制御部９等に供給される。信号処理ユニット６には、スイッチ及び補正回路７が設けられている。この信号処理ユニット６については、後述する。サーボアンプ８からの出力は、ＤＣモーターの巻き線１１に駆動信号を供給するＤＣモーター駆動回路１４に供給される。
【００２５】
このＤＣモーター駆動回路１４は、サーボアンプ８からの出力に従って駆動信号を発生し、回転部１をＣＴ主制御部９で設定した回転速度で回転させる。ＣＴ主制御部９は、ＤＣモーター駆動回路１４に回転の開始或いは停止の指示、或いは、回転速度の指示含む回転モードの設定指令を与えている。架台の固定部４には、基準位置センサ１６が設けられ、回転部１のある基準位置がこの基準位置センサ１６で検出されて基準位置センサ１６から基準位置信号がＣＴ主制御部９に発生される。従って、基準位置信号を受けたＣＴ主制御部９は、この基準位置信号を受けたタイミングからの時間及び回転部１の回転速度から回転部１の回転位置を演算により求め、位置信号を発生することができる。即ち、サーボアンプ８は、磁気抵抗センサ５からのパルス信号を受け、このパルス信号に基づいてダイレクトドライブモータを制御して架台回転部１の回転駆動を制御している。また、ＣＴ主制御部９は、磁気抵抗センサ５からのパルス信号を同様に受け、このパルス信号に基づいて架台回転部１の回転位置及び回転速度を算出してＸ線ＣＴ装置全体の動作を制御している。なお、現実的な実装では、サーボアンプ８よりもＣＴ主制御部９の方が、より磁気抵抗センサ５から出力されるパルス信号に対する要求精度が高いとされる。
【００２６】
図３（ａ）から（ｄ）を参照して、磁気抵抗センサ及びインボリュート歯車の組み合わせで回転部１の回転を検出する原理を以下に説明する。この図３（ａ）に示すように、磁気抵抗センサ５は、磁束を発生するマグネット５１と、このマグネット５１の回転部１に対向する面には、２つの磁気抵抗素子５２，５３が設けられている。ここで、マグネット５１に代えてコイル等からなる電磁石が用いられても良いことは、明らかである。
【００２７】
図３（ａ）から理解されるように、インボリュート歯車１０は、歯の形状或いはその位置に応じてマグネット５１から発せられる磁束の集中作用が変化される。そして、インボリュート歯車１０が架台回転部１と共に回転すると、この回転に応じて周期的な磁束変化が磁気抵抗センサ周囲に生じる。磁気抵抗（ＭＲ）素子５２，５３は、このようにインボリュート歯車１０の回転により作用を受けた磁束の変化に応じた抵抗変化を呈し、この抵抗変化に応じて電気信号が出力される。
【００２８】
図３（ｂ）には、磁気抵抗素子５２から出力される正弦信号ＳＡ（Ａ相）及び磁気抵抗素子５３により得られた余弦信号ＳＢ（Ｂ相）が示されている。また、図３（ｃ）には、図３（ｂ）に示されるＡ相の正弦信号ＳＡに基づき生成されるパルス信号ＰＡが示され、図３（ｄ）には、図３（ｂ）に示されるＢ相余弦信号ＳＢに基づき生成されるパルス信号ＰＢが示されている。図３（ｃ）及び図３（ｄ）に示されるパルス信号ＰＡ及びＰＢは、夫々Ａ相の正弦信号ＳＡ及びＢ相余弦信号ＳＢのゼロクロスを検知してそのゼロクロス点で立ち上がり、また、立ち下がるゼロクロス検出回路（図示せず）で生成される。上述したＣＴ主制御部９では、Ａ相のパルス信号ＳＡとＢ相のパルス信号ＳＢとの位相差に基づいて回転位置及び回転速度を算出している。
【００２９】
現実的な実装においては、インボリュート歯車１０の歯数を例えば、４３２とし、４３２個の正弦波（Ａ相）ＳＡ及び余弦波（Ｂ相）ＳＢが発生され、これがＡ／Ｄ変換されて例えば２５逓倍回路に入力され、インボリュート歯車１０の１周につき１０８００のＡ相パルス信号及びＢ相パルス信号が生成される。
【００３０】
本実施形態は以上述べたような回路構成において磁気抵抗センサ５からの出力信号波形に歪みが生ずることに関し、以下に説明する幾つかの対策を講じている。
【００３１】
Ｘ線ＣＴ装置では、架台回転部１の位置検出及び回転制御を高精度で実施するために、磁気抵抗センサ５からの出力信号についても高い精度が要求される。具体的には、Ａ相及びＢ相のパルス信号の誤差範囲は、所定範囲、例えば、±３％以内の精度である。Ａ／Ｄ変換以前の信号波形に歪みが含まれていると、これを２５逓倍したパルス信号の精度は、誤差範囲±１５％を超えてしまう。
【００３２】
そこで、本実施形態では、磁気抵抗センサ５の検出対象であるインボリュート歯車１０の形状に第１、第２の最適化手法を適用している。
【００３３】
図４（ａ）及び図４（ｂ）並びに図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１の形状最適化を説明するための図であって、形状最適化前及び形状最適化後におけるインボリュート歯車の歯先、及びこの歯先から作用を受けた磁束の変化を検出した磁気抵抗センサ５からの出力信号波形を示している。図４（ａ）は、形状最適化前におけるインボリュート歯車の歯先の形状を示し、歯先２０のエッジ部分は、インボリュート歯車に固有の形状として若干の丸みを帯びている。このようにインボリュート歯車が丸みを有することによって図４（ｂ）に示すように出力信号波形Ｓ２０が歪むこととなる。
【００３４】
図５（ａ）は、インボリュート歯車の形状最適化後の形状を示しており、歯先２１のエッジ部分Ｅ１及びＥ２が先鋭に形成されている。歯先２０のエッジ部分がＥ１及びＥ２が先鋭に形成されることにより磁束の収束の仕方が変わり、出力信号波形Ｓ２１は、図５Ｂに示すように歪みが抑えられて良好な波形に改善される。
【００３５】
ところで、インボリュート歯車１０の形状を最適化しても、依然として所要の精度が達成されない場合がある。それは、磁気抵抗センサ５を構成するマグネット５１の形状、磁気抵抗素子５２，５３の形状、及びこれらの配置等に起因して磁束密度が均一にならず、依然として出力信号波形に歪が生じてしまう場合がある。
【００３６】
そこで、図２に示した補正回路７により磁気抵抗センサ５からの出力信号に補正を加えることで出力パルス信号に必要な精度を与えている。
【００３７】
図６は、磁気抵抗センサ５からの出力信号を補正する方法の一例を説明するための図である。
【００３８】
補正回路７には、磁気抵抗センサ５からの補正前の原出力信号が入力され、この補正回路７では、出力信号に基づき磁束の時間変化が計測される。より具体的には、出力信号波形のゼロクロス点間の時間が基本クロックを利用してカウントされる。カウントされた時間は、波形の歪みによる影響を受けにくく、例えば、誤差範囲±０．０１％の高い精度のカウント信号にすることができる。
【００３９】
次に、計測した時間、即ち、カウント信号が１／１００倍され、上述した２５逓倍パルスの１／４パルス長の補正パルスが生成され、計算終了後のパルスから順次に出力される。即ち、この補正パルスは、ゼロクロス点間の１／１００の時間間隔で出力される。
【００４０】
補正回路７における信号補正は、時間計測に基づく計算を前提している。しかしながら、この計算は、架台回転部１の停止中、回転加速期、及び回転減速期において計算処理能力の制約、即ち、補正回路７に大規模なバッファを設けることができないなどの制約から、その補正の為の計算を実施できない虞がある。そこで、図７に示すように架台回転部１の回転を加速或いは減速する加速期間又は減速期を除く、架台回転部１が定速（最高速を含む）で回転される間に補正動作が実行される。即ち、ＣＴ主制御部９は、図２に示すように補正回路７による補正動作のＯＮ／ＯＦＦを制御している。このように補正動作の制御をＣＴ主制御部９側が担うことで、必要なときだけ補正を施したパルス信号を得ることができる。
【００４１】
尚、信号処理ユニット６は、サーボアンプ８に供給する信号については補正回路７による補正を実施しないで補正されていない原信号が供給される。また、架台回転部１の回転加速期及び減速期について、ＣＴ主制御部９に対しては同様に補正が施されていない原信号が供給される。これは、ＣＴ主制御部９が位置検出等のために常に安定した数のパルス信号を必要とするからである。
【００４２】
以上説明したように、第１実施形態によれば、架台回転部１の回転検出のために磁気抵抗センサ５及びインボリュート歯車１０による機構を適用しているので、従来のレゾルバ方式に比べ、構成の大幅な小型化、簡素化、省スペース化を図ることができる。例えば、レゾルバ機構は、８０〜１００キログラム程度の重量を有するが、磁気抵抗センサ５及び歯車１０の重量は、高々数キログラムである。また、この回転検出機構の製造コストは、レゾルバ機構の約半分となる。回転検出機構の小型化によれば、架台回転部１全体の構成がシンプルとなり、組立性、メンテナンス性、安全性ともに向上される。
【００４３】
レゾルバ機構が適用された従来の架台回転部では、ＬＥＤやフォトダイオードを利用して架台固定部と回転部と間でデータを光通信するデータ伝送ユニットのさらに奥まった位置に、大型のレゾルバ構造物等が配置されるので、メンテナンス時等におけるアクセス性が悪く、点検整備や交換作業等に多大な労力を要している、しかしながら、この実施形態に係る回転検出機構では、磁気抵抗センサ５やインボリュート歯車１０に対し簡単にアクセスできるようになり、例えば、設置現場における交換作業も可能となる。また、架台回転部１への通電をしないで、モータシステム及び架台固定部４に通電するのみで架台回転部１の回転機構に関する機能検証が可能であることもメンテナンス効率の向上に寄与する。
【００４４】
また、この実施形態に係る回転検出機構は、既存の磁気抵抗センサを適用することによる精度の問題も解決することができる。
【００４５】
磁気抵抗素子５２，５３等から構成される磁気抵抗センサ５からの出力パルス信号の安定化を図るべくインボリュート歯車１０の形状を最適化し、また、磁気抵抗センサ５からのパルス信号を補正回路７により補正するようにしているので、Ｘ線ＣＴ装置として要求される高い精度を実現することができる。
【００４６】
より具体的には、電圧変動（４．０〜６．０Ｖ）、及び歯車乃至磁気センサ間のギャップ変動（１．５〜０．５ｍｍ）を見込んだ上でのパルス精度として、１２０ｒｐｍ回転で最悪条件下にあるとき、従来で±１〜２％のパルス精度を±０．００９３％に向上できる。
【００４７】
したがって、本実施形態によれば、構成が簡素であり低コストでメンテナンス性が高く、高精度な回転検出もしくは回転制御が可能なＸ線ＣＴ装置を提供することができる。
【００４８】
（第１実施形態の変形例）
なお、連続回転する架台回転部１と固定部４との間において磁気抵抗センサ５からの検出信号の適切な伝達が図られることを前提に、磁気抵抗センサと歯車との配置を逆にしてもよい。すなわち、磁気抵抗センサ５を架台回転部１に配置し、一方、インボリュート歯車１０を架台固定部４に設けてもよい。
【００４９】
また、インボリュート歯車１０は、一例であって、平歯車などの他の歯車が用いられても良い。この場合、上述したインボリュート歯車１０の形状最適化を、その歯車の形状や特性に応じて適宜変更することが好ましい。要するに、磁気抵抗センサ近傍における磁束変化を与える歯車自体の形状や配置による出力信号波形の歪が抑えられればよい。
【００５０】
また、架台回転部の駆動機構がダイレクトドライブ（ＤＤ）駆動方式ではないＸ線ＣＴ装置、例えば、モータからの回転駆動力を歯車及びベルト等を介して伝達させて架台回転部を駆動する機構を備えたＸ線ＣＴ装置にも本発明を適用可能であることは言うまでもない。この場合、静音効果が若干低下するものの、回転検出はあくまで非接触であり、上記した本発明の有利な効果を得ることができる。
【００５１】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態は、磁気抵抗センサが回転部１に対する近接離反制御することによってパルス精度を向上させている。本実施形態は上述した第１実施形態と組みあせて実施可能であるし、単独でも実施可能である。
【００５２】
図８は、図２に示される磁気抵抗センサ５にこれを近接離反する制御機構が固定部４に設けた実施例を示している。この機構は、インボリュート歯車１０と磁気抵抗センサ５とのギャップを伸長又は短縮すべく該磁気抵抗センサ５を該歯車１０に近接させ、又は離反させる機構である。図８に一例として示すように、磁気抵抗センサ５は、架台固定部４に対して、インボリュート歯車１０に向けてスライド移動可能に取り付けられても良い。また、磁気抵抗センサ５には、ピニオンギア７０が設けられ、架台固定部４には、ピニオンギア７０と噛み合うラック７１が設けられても良い。ピニオンギア７０の回転により磁気抵抗センサ５がインボリュート歯車１０に対して近づいたり、離れたりさせてその位置を調整することができる。
【００５３】
第１実施形態のようにＸ線ＣＴ装置の架台回転部１にインボリュート歯車１０を設けてその回転を磁気抵抗センサ５により検出する機構が採用された場合、インボリュート歯車１０は、比較的大径となる。このため、インボリュート歯車１０を真円に等しい理想的な部品として製造することが困難な場合がある。
【００５４】
インボリュート歯車１０の形状に歪み、へこみ、たわみ等があると、磁気抵抗センサ５とのギャップが変動し、歯車１０の形状が磁気抵抗センサ５からの検出信号の精度に影響を及ぼすこととなる。また、インボリュート歯車１０の加工精度のみならず、架台回転部１への取り付け精度も同様である。
【００５５】
この実施形態では、インボリュート歯車１０と磁気抵抗センサ５との間を一定に維持すべく磁気抵抗センサ５を近接離反させる制御を実現することができる。このような制御のための制御量を得るべく、架台回転部１が予備的に回転動作され、この回転動作によって制御量が定められる。より詳しくは、架台回転部１が少なくとも１回転され、磁気抵抗センサ５から少なくとも１周分のパルス信号が出力され、この信号から回転角度（位置）毎のパルス精度が計算される。例えば、インボリュート歯車１０のある部分にへこみが発生している場合、この位置に対応する磁気抵抗センサ５からのパルス信号は、へこみ、即ち、欠陥に応じて変動し、このへこみに関しての欠陥データが制御量として予備的な回転により得られ、この欠陥が予め認識される。かかる認識処理（パルス精度の計測）は、例えばＣＴ主制御部９により実行され、その内のメモリに欠陥データとして格納される。
【００５６】
次に、上記認識処理により得られた欠陥データに基づき磁気抵抗センサ５が移動される制御量が算出され、各回転角度ごとにおいて磁気抵抗センサ５とインボリュート歯車１０との間のギャップが一定となるように、図８に示した機構が作動して近接及び離反制御が実行される。これにより、磁気抵抗センサからの検出信号に基づいて、一定のパルス精度を有するパルス信号を得ることができる。
【００５７】
このようなパルス精度の計測を伴う近接離反制御は、Ｘ線ＣＴ装置の各種動作状態に応じて適宜に実行することによって、更なる精度向上及び安定化を実現できる。
【００５８】
一例としては、上記した予備的な回転動作によるパルス精度の計測及び近接離反制御が架台回転部１の回転スピードごとに実施され、その制御データが用意されることが好ましい。
【００５９】
他の例としては、スキャノグラム撮影への応用がある。スキャノグラム撮影では、架台回転部１、即ち、Ｘ線管が所要の回転位置に移動され、その回転位置が維持されたまま被検体が載せられた天板が移動される。このようなスキャノグラム撮影では、インボリュート歯車１０と磁気抵抗センサ５とのギャップの不均一性から、上記所定の回転位置までＸ線管の移動を高精度にすることができない虞がある。そこで、上記した予備的な回転動作をスキャノグラム撮影に先行して実施し、架台回転部１を少なくとも１回転だけ予備回転させてパルス精度を計測し、近接離反制御を実施することでＸ線管の上記回転位置までの移動を高精度で実現することができる。
【００６０】
図９に、近接離反制御に係る上記２つの制御例をＸ線ＣＴ装置において実施する場合におけるＣＴ主制御側の制御フローが示されている。図９に示されるようにステップＳ２０において、回転部１の回転が開始されてパルス精度を向上させる為のデータ収集が開始される。ステップＳ２１に示すように架台が連続的に回転される断層撮影モードでは、ステップＳ２２に移行され、架台が所定位置で停止されるスキャノグラフモードでは、ステップＳ２３に移行される。即ち、断層撮影モードでは、ステップ２１で架台が連続的に回転され、ステップＳ２２において架台の回転が設定可能な所定速度（ＣＯＮＳＴ．）のある１つに達すると、ステップＳ２３においてその速度に架台が維持された状態で架台が１回転する間に補正回路６に出力される回転検出パルスがモニターされ、ステップＳ２４に示すようにそのパルスの精度が検出される。ステップＳ２４に示すようにパルス精度が所定範囲にない位置についての情報が収集され、ステップＳ２４その位置で磁気抵抗センサ５がインボリュート歯車１０に近接或いは離間させた場合のパルス精度が検出される。この検出に基づいて各回転位置での磁気抵抗センサ５とインボリュート歯車１０との間の間隙距離に関する制御量が決定され、この制御量に従って磁気抵抗センサ５とインボリュート歯車１０との間が一定に維持され、何れの回転位置でもパルス精度が所定範囲にあるように磁気抵抗センサ５の駆動機構が制御される。ある所定回転速度についての回転位置と制御量との関係は、ステップＳ２６で収集され、ＣＴ主制御部９の記憶装置（図示せず）に格納されてステップＳ２７に示すようにデータの収集が完了される。収集された制御量に関するデータは、回転速度が決定された際に取り出され、その回転速度に応じて磁気抵抗センサ５の駆動機構が制御される。また、各回転速度毎の制御量は、記憶装置（図示せず）に格納されるが、この制御量は、装置の運転状態に応じて定期的に更新されることが好ましい。
【００６１】
スキャノグラフモードでは、ステップＳ２３に示されるように架台が１回転されて回転位置毎のパルス精度が検出される。この検出されたパルス精度を基にステップＳ２８に示すように各回転位置毎の磁気抵抗センサ５とインボリュート歯車１０との間の間隙距離に関する制御量が決定され、ステップＳ２５に示すように何れの位置にＸ線管が位置されてもパルス精度が所定範囲にあるようにこの制御量に基づいて磁気抵抗センサ５の駆動機構が制御される。位置と制御量の関係がステップＳ２６に示すように収集され、ＣＴ主制御部９の記憶装置（図示せず）に格納されてステップＳ２７に示すように一連の動作が完了される。
【００６２】
以上説明した第２実施形態に係るＸ線ＣＴ装置よれば、上記第１実施形態と同様の作用効果が得られる上、回転検出の精度をより向上し、安定化させることができる。
【００６３】
（第３実施形態）
この発明の第３実施形態に係るＸ線ＣＴ装置においては、図１０（ａ）に示すようにインボリュート歯車１０に代えて回転部１には、スリット円板９１が設けられている。このスリット円板９１には、周期的なスリットのパターン９２が予め形成されている。そして、このスリット円板９１のスリットを利用して無接触で回転部１の回転を検出するため光学的センサとして図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）に示されるように透過型フォトインタラプタ９０或いは磁気抵抗センサ５が固定部４に設けられている。
【００６４】
Ｘ線ＣＴ装置の架台は、上述した第１又は第２実施形態と同様にダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式の構造を有する。なお、ＤＤモータ駆動方式によらずベルト等を介して間接的に駆動する方式を採ってもよい。
【００６５】
図１０（ａ）に示すＸ線ＣＴ装置では、第１実施形態と同様にゼロクロス方式で透過型フォトインタラプタ９０或いは磁気抵抗センサ５からの出力信号を補正する補正回路７が設けられている。図１０（ａ）に示される各部で図２に示される符号と同一の符号を付した箇所の説明は、便宜上省略する。詳細な説明は、図２を参照されたい。
【００６６】
図１０（ｂ）は、この透過型フォトセンサ９０及びスリット円板９１を横側からみた際の断面図である。図１０（ｂ）に示すように透過型フォトインタラプタ９０は、その横側から見て間隙９３を有しており、この空隙９３を介して光発生部、即ち、フォトダイオード９４及び光検出部、即ち、透過型フォトセンサ９５、９６が互いに対向されている。この透過型フォトインタラプタ９０は、図１０（ｂ）に示すように架台回転部１の外周に取り付けられたスリット円板９１が非接触で透過型フォトインタラプタ９０の間隙９３に配置されている。透過型フォトセンサ９５、９６は、スリット円板９１の各スリット９２が次々に透過型フォトセンサ９５、９６上を横切るように回転部１の回転方向に沿って配置されている。２つの透過型フォトセンサ９５、９６からは、図３Ｂに示すようにＡ相の正弦信号ＳＡ及びＢ相余弦信号ＳＢが発生され、このＡ相の正弦信号ＳＡ及びＢ相余弦信号ＳＢのゼロクロス点が補正回路７内のゼロクロス回路で検出されて図３（ｃ）及び図３（ｄ）に示すようなパルス信号が生成される。
【００６７】
磁気抵抗センサ５は、図３（ａ）に示されると同様にスリット円板９１の各スリット９２が磁気抵抗素子５２，５３を次々に横切るようにスリット円板９１に対向して磁気抵抗センサ５が設けられても良く、或いは、図１０（ｃ）に示されるように図１０（ｂ）に示したフォトインタラプタ９０と同様な構造を有する磁気抵抗センサであっても良い。但し、磁気抵抗センサと組み合わされるスリット円板９１は、透磁性を有する磁性体で作られている。図１０（ｃ）に示す磁気抵抗センサ５では、空隙９３を介してマグネット５１及び磁気抵抗素子５２，５３が互いに対向されている。この磁気抵抗センサ５では、図１０（ｃ）に示すように架台回転部１の外周に取り付けられたスリット円板９１が非接触で磁気抵抗センサ５の間隙９３に配置されている。ここで、スリット円板９１の各スリット９２が次々に磁気抵抗素子５２，５３上を横切るように磁気抵抗素子５２，５３は、回転部１の回転方向に沿って配置されている。この磁気抵抗素子５２，５３からも同様に、図３（ｂ）に示すようにＡ相の正弦信号ＳＡ及びＢ相余弦信号ＳＢが発生され、このＡ相の正弦信号ＳＡ及びＢ相余弦信号ＳＢのゼロクロス点が補正回路７内のゼロクロス回路で検出されて図３（ｃ）及び図３（ｄ）に示すようなパルス信号が生成される。
【００６８】
透過型フォトセンサ９０及びスリット円板９１の組み合わせにおいては、架台回転部１の回転に伴ってスリット円板９１が回転されると、光発生部９４から発せられた光線の光路上をスリットパターン９２が横切る間、光線がこれを通過して検出部９５に入射される。従って、検出部９５からは、１つのスリットの通過に対応してパルスが出力される。一例として、スリット円板９１に５４００個のスリットが設けられる例では、１回転で５４００のパルス信号が発生され、このパルス信号が図示しない逓倍回路により２逓倍されることで１０８００のパルス信号が得られる。このパルス信号は、架台回転部１の回転に依存し、これがサーボアンプ８及びＣＴ主制御部９等に供給され、第１実施形態と同様に架台回転部１の回転位置検出、回転速度検出等に利用される。
【００６９】
尚、Ｘ線ＣＴ装置の架台がダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式で駆動される場合には、検出部９５から発生される検出パルスは、架台回転部１の回転をエンコードした信号として後の回路で処理されることとなる。
【００７０】
同様に磁気抵抗センサ５とスリット円板９１との組み合わせでは、スリット円板９１のスリット９２がマグネット５１と磁気抵抗素子５２，５３間に配置される際には、マグネット５１からの磁束が磁気抵抗素子５２，５３に導かれ、この素子の抵抗が増加され、スリット９２間のブリッジがマグネット５１と磁気抵抗素子５２，５３間に配置される際には、マグネット５１からの磁束がスリット９２間のブリッジで阻止されて磁気抵抗素子５２，５３に導かれず、この素子の抵抗が減少される。従って、スリット円板９１のスリット９２が磁気抵抗センサ５を次々に通過するに従って磁気抵抗素子５２，５３からは、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照して説明したように周期的に変動される検出信号が発生される。
【００７１】
図１０（ａ）に示すスリット円板９１は、架台回転部１の外周に設けられることから、そのサイズが大きく、１枚の金属板で作ることが困難であるとされている。そこで、スリット円板９１は、複数のセグメントに分けられて作られ、各セグメントが架台回転部１に固定されて１つのスリット円板９１に形成される。このように複数のスリットセグメントを組み合わせて１つのスリット円板に組み立てる場合には、その製造が比較的容易になる反面、そのスリットセグメントの繋ぎ目で精度が低下し、その結果、磁気抵抗センサ５或いは透過型フォトセンサ９０から出力される出力信号に基づいて生成されるパルス信号のパルス精度を所定許容範囲、例えば、±３％以下（逓倍後のパルス精度で±１５％以内）に保つことができない虞がある。
【００７２】
そこで、図１１に示すように補正データが収集されて磁気抵抗センサ５或いは透過型フォトセンサ９０からの出力信号が補正される。即ち、ステップＳ３１に示すようにＣＴ主制御部９に含まれる架台回転部１を制御する架台制御セクションから回転部１を回転させる回転支持が架台回転機構に与えられて架台回転部１の回転が開始される。ステップＳ３２において、基準位置センサ１６からの基準位置信号が架台制御セクションに入力されて架台回転部１の回転位置が架台制御セクションで認識される。例えば、Ｘ線管２が図１０（ａ）に示されるように最上部位置に位置されたことが架台制御セクションで認識され、この最上部位置を通過した時点からの定速回転されるＸ線管２の移動時間からＸ線管２の位置が認識される。予めスリット円板９１がいくつのセグメントに分割され、そのセグメントの繋ぎ目位置が判明していることから、繋ぎ目が磁気抵抗センサ５或いは透過型フォトセンサ９０を通過した際のパルスＰＡが補正回路６で測定される。また、繋ぎ目以外のセグメントが磁気抵抗センサ５或いは透過型フォトセンサ９０を通過している間のパルスＰＢが同様にその位置の関係で測定される。この繋ぎ目位置でのパルスＰＡからそのパルス精度Ａｎが求められる。nは、繋ぎ目の数であって、４つのセグメントでは、繋ぎ目毎の４つのパルス精度Ａ1〜Ａ4が求められる。これらパルス精度Ａｎは、図示しない記憶装置に記憶される。また、繋ぎ目間の位置からのパルスＰＢからそのパルス精度が求められ、繋ぎ目間の位置に依存するパルスＰＢのパルス精度の平均ＢがステップＳ３４で求められ、これらパルス精度Ｂは、図示しない記憶装置に記憶される。次に、スリット分割位置毎におけるパルス精度を向上させる補正値Ｃn（Ｃn＝Ｂ−Ａn）が求められる。こ０の補正値Ｃnが求められると、ステップＳ３５において対応する繋ぎ目が検出されてその繋ぎ目に対応するパルスが出力される度にそのパルス精度Ａnに補正値Ｃnが加算されて出力パルスが補正される。ステップＳ３６において、補正が完了されると、次の撮影の為のスキャン動作を待機する状態となる。
【００７３】
尚、図１０（ｂ）に示す光方式の回転検出では、スリット円板９１のスリットパターン９２に埃等が付着し、これが透過型フォトインタラプタ９０からの発光を遮ることでパルス精度を低下させる可能性がある。そこで、より好ましい実施形態として図１２に示すような吸引ダクト２００が設けられ、装置にスリットを清掃する清掃機能を設けることが好ましい。この吸引ダクト２００は、スリット円板９１を挟む位置に配置され、スリット円板９１（架台回転部１）の回転に並行して動作し、スリットパターン９２の全周にわたって付着した埃を吸引する。
【００７４】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態は簡易エンコーダを用いた接触式の回転検出に関する。
【００７５】
Ｘ線ＣＴ装置の架台構成は、上述した第１〜第３実施形態と同様にダイレクトドライブ（ＤＤ）モータ駆動方式とする。なお、ＤＤモータ駆動方式によらずベルト等を介して間接的に駆動する方式を採ってもよい。
【００７６】
図１３乃至図１５は本実施形態に係る簡易エンコーダを用いた接触式の回転検出に係る３つの構成例について、それぞれの架台内部構造を示す断面図である。
【００７７】
まず、図１３に示すように、架台回転部３と架台固定部４との間に、回転子（ローター）及び固定子（ステータ）から構成されるＤＤモータ１が配置されている。架台回転部３はベアリング５を介し架台固定部４に対して回転可能に支持されている。図１３に示すように、架台回転部３の端部にネジを介して回転部歯車１０が取り付けられている。この回転部歯車１０は、円筒形状の架台回転部３と同軸となっていて、ネジを抜くことで架台回転部３から容易に取り外すことができる。架台回転部３の前側にはＸ線管やＸ線検出器等を含む実装ユニット７が取り付けられている。安全確保のため、これら架台の回転部３及び固定部４の構造物を覆うカバー６が取り付けられている。
【００７８】
架台固定部４は、架台回転部３の凹部分に具合良く嵌めこまれるように略Ｓ字形状をなす突出部分を有し、該突出部分にベアリング５やＤＤモータ１が設けられている。架台固定部の他の構造部分は、図示省略されている。また、架台固定部４の端部の外側（回転部とは反対側の面）には、回転検出のための簡易エンコーダ８が取り付けられている。レゾルバよりも小型の簡易エンコーダ８は、汎用的で信頼性が高く、かつ安価なものを用いている。この簡易エンコーダ８は、回転軸を有し、この回転軸には回転部歯車１０と噛み合う従動歯車９が取り付けられている。なお従動歯車９の材質を回転部歯車１０よりも若干軟質なものとすれば、比較的大型の回転部歯車１０ではなく比較的小型の従動歯車９の方が先に磨耗し、主に従動歯車９の交換だけで済むようになるので好ましい。
【００７９】
架台回転部３の回転に伴い、従動歯車９が回転し、この従動歯車９と同軸である簡易エンコーダ８の回転軸が回転される。これにより簡易エンコーダ８は、回転軸の回転に応じたパルス信号を出力する。このパルス信号は、上述した第１及び第２実施形態と同様に、架台回転部３の回転位置の検出や回転速度の検出に用いられる。
【００８０】
図１４に示す構成例は外輪回転構成、つまり架台回転部３が架台固定部４よりも外周を回転する構成を採った場合を示している。図１４に示すように簡易エンコーダ８は架台回転部３と架台固定部４との接触部分とは離れた端部に設けられており、容易に取り外して交換可能である。
【００８１】
図１５に示す構成例は架台回転部に対し別体構成の回転部歯車を取り付けるのではなく、製造加工において架台回転部に歯車を形成した場合を示している。図１５に示すように架台回転部１１の端部であって、簡易エンコーダ８の従動歯車９と対峙する位置に、この従動歯車９と噛み合う回転部歯車１１ｇが例えば削り出し等により形成されている。
【００８２】
上記説明した第４実施形態によれば、簡易エンコーダ８を用いているのでレゾルバ式よりもコスト的に有利である。また、万が一簡易エンコーダ８が破損したような際でも、カバー６を取り外して容易にこれを交換可能でありメンテナンス性も高い。
【００８３】
なお、本発明は上述した第１乃至第４実施形態に限定されず種々変形して実施可能である。
【００８４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、構成が簡素であり低コストでメンテナンス性が高く、高精度な回転検出もしくは回転制御が行えるＸ線ＣＴ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のレゾルバ機構及びその周辺回路を概略的に示すブロック図である。
【図２】この発明の第１実施形態に係るＸ線ＣＴ装置を概略的に示すブロック図である。
【図３】（ａ）は、図２に示した磁気抵抗センサ及びインボリュート歯車の組み合わせを概略的に示すブロック図であり、（ｂ）は、（ａ）に示した磁気抵抗センサから出力される検出信号を示す波形図であり、（ｃ）及び（ｄ）は、（ｂ）に示した検出信号を処理して出力されるパルスを示す波形図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、図２に示したインボリュート歯車の形状を最適化する前におけるインボリュート歯車の歯先形状を概略的に示す側面図及びこの歯先から作用を受けた磁束の変化を検出した磁気抵抗センサから出力される出力信号を示す波形図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、図２に示したインボリュート歯車の形状を最適化した後におけるインボリュート歯車の歯先形状を概略的に示す側面図及びこの歯先から作用を受けた磁束の変化を検出した磁気抵抗センサから出力される出力信号を示す波形図である。
【図６】図２に示される磁気抵抗センサからの出力信号を補正する方法の一例を説明するための波形図である。
【図７】図２に示した補正回路において架台回転部の回転速度に応じて定められる磁気抵抗センサからの出力信号を補正する補正期間を示すグラフである。
【図８】図２に示したＸ線ＣＴ装置に設けることができる磁気抵抗センサをインボリュート歯車に向けて近接させ、離反させる制御を実現する機構を概略的に示す一部破断側面図である。
【図９】図２に示したＣＴ主制御部における図８に示した機構を制御する為のフローチャートである。
【図１０】（ａ）は、この発明の他の実施形態に係るＸ線ＣＴ装置を示すブロック図であり、（ｂ）及び（ｃ）は、（ａ）に示したセンサの構造を概略的に示す断面図である。
【図１１】図１１は、図１０（ａ）に示したＣＴ主制御部で実行される図１０（ｂ）及び図１０（ｃ）からの出力信号を補正する手順を示すフローチャートである。
【図１２】図１０（ａ）に示したＸ線ＣＴ装置の磁気スリットに設けることができる吸引ダクトを概略的に示す斜視図である。
【図１３】図１０（ａ）に示したＸ線ＣＴ装置に設けることができる簡易エンコーダを用いた接触式の回転検出に係る第１の構成例について、架台内部構造を概略的に示す断面図である。
【図１４】図１０（ａ）に示したＸ線ＣＴ装置に設けることができる簡易エンコーダを用いた接触式の回転検出に係る第２の構成例について、架台内部構造を概略的に示す断面図である。
【図１５】図１０（ａ）に示したＸ線ＣＴ装置に設けることができる簡易エンコーダを用いた接触式の回転検出に係る第３の構成例について、架台内部構造を概略的に示す断面図である。
【符号の説明】
１…架台回転部
２…Ｘ線管
３…Ｘ線検出器
４…架台固定部
５…磁気抵抗センサ
６…信号処理ユニット
７…補正回路
８…サーボアンプ
９…ＣＴ主制御部
１４…ＤＣモータ駆動回路
１６…基準位置センサ
【図１】
0004686061.tif 000002
【図２】
0004686061.tif 000003
【図３】
0004686061.tif 000004
【図４】
0004686061.tif 000005
【図５】
0004686061.tif 000006
【図６】
0004686061.tif 000007
【図７】
0004686061.tif 000008
【図８】
0004686061.tif 000009
【図９】
0004686061.tif 000010
【図１０】
0004686061.tif 000011
【図１１】
0004686061.tif 000012
【図１２】
0004686061.tif 000013
【図１３】
0004686061.tif 000014
【図１４】
0004686061.tif 000015
【図１５】
0004686061.tif 000016