(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置間においてＬＣＤガラス基板を搬送する搬送システムにおいて：
前記複数の処理装置間において送り方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する往路搬送手段と；
前記往路搬送手段と多段に配設され，前記複数の処理装置間において戻し方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する復路搬送手段と；
前記往路搬送手段と前記復路搬送手段との間において前記ＬＣＤガラス基板を垂直方向に搬送する垂直方向搬送手段と；
を含み，
前記垂直方向搬送手段は，連動して昇降移動する複数の搬送台と，前記載置台上に設けられ、所定の間隔で配設され前記ＬＣＤガラス基板を下方から支持する一連の基板移動手段とを備え；
一の前記搬送台は前記往路搬送手段の一部を成し，他の一の前記搬送台は前記復路搬送手段の一部を成し，他の前記搬送台は前記ＬＣＤガラス基板の待避部を成すとともに，前記基板移動手段は，夫々独立に駆動されることを特徴とする，ＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【請求項２】
さらに，前記垂直搬送手段のＬＣＤガラス基板の退避部を成す前記搬送台と前記処理装置との間で前記ＬＣＤ基板を搬送するための搬送アームを供えたことを特徴とする，請求項１に記載のＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項３】
前記基板移動手段は、ＬＣＤガラス基板を載置する複数の搬送ローラであり，前記ＬＣＤガラス基板と複数の搬送ローラとの間に形成される間隙に前記搬送アームのピックを挿入することにより前記ＬＣＤ基板を搬送することを特徴とする，請求項２に記載のＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項４】
前記往路搬送手段，復路搬送手段および垂直搬送手段は大気系と真空系とに配設される部分をそれぞれ有し，前記大気系と前記真空系との間にある前記往路搬送手段及び前記復路搬送手段はゲートバルブを備えたロードロック室に配設されることを特徴とする，請求項１，２または３のいずれかに記載のＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項５】
複数の処理装置間においてＬＣＤガラス基板を搬送する搬送システムにおいて：
前記複数の処理装置間において送り方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する往路搬送手段と；
前記往路搬送手段と多段に配設され，前記複数の処理装置間において戻し方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する復路搬送手段と；
前記往路搬送手段と前記復路搬送手段との間において前記ＬＣＤガラス基板を垂直方向に搬送する垂直方向搬送手段と；
を含み，
前記垂直方向搬送手段は，前記ＬＣＤガラス基板を下方から支持し，連動して昇降移動する複数の搬送台を備え；
さらに，前記垂直搬送手段のＬＣＤガラス基板の退避部を成す前記搬送台と前記処理装置との間で前記ＬＣＤ基板を搬送するための搬送アームを備え；
一の前記搬送台は前記往路搬送手段の一部を成し，他の一の前記搬送台は前記復路搬送手段の一部を成し，他の前記搬送台は前記ＬＣＤガラス基板の待避部を成すことを特徴とする，ＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項６】
前記搬送台はＬＣＤガラス基板を載置する複数の搬送ローラを備え，前記ＬＣＤガラス基板と複数の搬送ローラとの間に形成される間隙に前記搬送アームのピックを挿入することにより前記ＬＣＤ基板を搬送することを特徴とする，請求項５に記載のＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項７】
前記往路搬送手段，復路搬送手段および垂直搬送手段は大気系と真空系とに配設される部分をそれぞれ有し，前記大気系と前記真空系との間にある前記往路搬送手段及び前記復路搬送手段はゲートバルブを備えたロードロック室に配設されることを特徴とする，請求項５または６に記載のＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項８】
複数の処理装置間においてＬＣＤガラス基板を搬送する搬送システムにおいて：
前記複数の処理装置間において送り方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する往路搬送手段と；
前記往路搬送手段と多段に配設され，前記複数の処理装置間において戻し方向に前記ＬＣＤガラス基板を搬送する復路搬送手段と；
前記往路搬送手段と前記復路搬送手段との間において前記ＬＣＤガラス基板を垂直方向に搬送する垂直方向搬送手段と；
を含み，
前記垂直方向搬送手段は，前記ＬＣＤガラス基板を下方から支持し，連動して昇降移動する複数の搬送台を備え，
一の前記搬送台は前記往路搬送手段の一部を成し，他の一の前記搬送台は前記復路搬送手段の一部を成し，他の前記搬送台は前記ＬＣＤガラス基板の待避部を成し，
さらに，前記往路搬送手段，復路搬送手段および垂直搬送手段は大気系と真空系とに配設される部分をそれぞれ有し，前記大気系と前記真空系との間にある前記往路搬送手段及び前記復路搬送手段はゲートバルブを備えたロードロック室に配設されることを特徴とする，ＬＣＤ基板の搬送システム。
【請求項９】
戻し方向に搬送される前記ＬＣＤガラス基板を送り方向に搬送するための垂直方向搬送手段を備えることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７または８のいずれかに記載のＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【請求項１０】
前記ＬＣＤガラス基板は，前記待避部から前記処理装置に搬入されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８または９のいずれかに記載のＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【請求項１１】
前記ＬＣＤガラス基板は，トレイに収納された状態で搬送されることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９または１０のいずれかに記載のＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【請求項１２】
前記垂直方向搬送手段の待避部には，ＬＣＤガラス基板の除電手段が設けられることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０または１１のいずれかに記載のＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【請求項１３】
前記授受手段の待避部には，ＬＣＤガラス基板に付着した異物を除去するための異物除去手段が設けられることを特徴とする，請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１または１２のいずれかに記載のＬＣＤガラス基板の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は，ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）ガラス基板の搬送システムに関する。
背景技術
一般的なＬＣＤガラス基板の処理システムにおいては，塗布・現像処理装置やエッチング装置といった複数の処理装置が搬送系に対して並設されている。かかるＬＣＤガラス基板の処理システムにおける搬送系には，２０枚前後のＬＣＤガラス基板が収容されたカセットを搭載して処理装置間を渡り歩く，ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ）と称される無人搬送車が用いられている。従来のＬＣＤガラス基板は，３００ｍｍ〜５００ｍｍ四方のものに過ぎず，カセットに複数枚のＬＣＤガラス基板を収納してＡＧＶで搬送することも可能であった。
しかしながら，近年，ＬＣＤガラス基板の大型化が進んでおり，１ｍ四方のものや，それ以上のものも用いられるようになっている。かかるＬＣＤガラス基板をカセットに収容した場合には，ＬＣＤガラス基板が湾曲するという問題が生じるようになっている。このため，大きさの観点からも重量の観点からも，ＬＣＤガラス基板のＡＧＶによるカセット搬送には限界が生じていた。
さらに，ＡＶＧは非常に高価なものであるため，一の処理システムに配されるＡＧＶの数には限界がある。このため，作業の効率化が図れないという問題点があった。
また，プロセス処理時間のばらつきに対応させるために，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能を付加した処理システムがある。かかるバッファ機能の付加には種々の方法が採用されているが，搬送系を一時的に停止させる方法ではスループットの低下につながり，バッファのための専用空間を設ける方法では，上述のＬＣＤガラス基板の大型化の影響もあって，総設置面積（フットプリント）の拡大を招くという問題点があった。
本発明は，従来のＬＣＤガラス基板の搬送系が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の第１の目的は，ＬＣＤガラス基板が大型化した場合でも，ＬＣＤガラス基板を容易に搬送することの可能な，新規かつ改良されたＬＣＤガラス基板の搬送システムを提供することである。
また，本発明の第２の目的は，ＡＧＶのような高価な装置を用いることなく，処理システムの構築コストを削減することの可能な，新規かつ改良されたＬＣＤガラス基板の搬送システムを提供することである。
また，本発明の第３の目的は，スループットやフットプリントに影響を与えることなく，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能を付加することの可能な，新規かつ改良されたＬＣＤガラス基板の搬送システムを提供することである。
発明の開示
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，複数の処理装置間においてＬＣＤガラス基板を搬送する搬送システムにおいて，複数の処理装置間において送り方向にＬＣＤガラス基板を搬送する往路搬送手段と，往路搬送手段と多段に配設され，複数の処理装置間において戻し方向にＬＣＤガラス基板を搬送する復路搬送手段と，往路搬送手段と復路搬送手段との間においてＬＣＤガラス基板を垂直方向に搬送する垂直方向搬送手段とを含み，垂直方向搬送手段は，ＬＣＤガラス基板を下方から支持し，連動して昇降移動する複数の搬送台を備え，一の搬送台は往路搬送手段の一部を成し，他の一の搬送台は復路搬送手段の一部を成し，他の搬送台はＬＣＤガラス基板の待避部を成すことを特徴とするＬＣＤガラス基板の搬送システムが提供される。
かかる構成によれば，処理装置間において，多段に配設された往路搬送手段と復路搬送手段とを用いて，ＬＣＤガラス基板を搬送できる。かかる往路搬送手段／復路搬送手段は，所定の間隔で配設されＬＣＤガラス基板を下方から支持する一連の基板移動手段，例えば，搬送ローラにより構成することができ，ＬＣＤガラス基板の大型化に対しても容易に対応することができる。
また，上記構成からなる往路搬送手段／復路搬送手段は，従来用いられていたＡＧＶと比べて，極めて安価に製造することができる。このため，システムの構築コストを大幅に削減することができる。
また，往路搬送手段／復路搬送手段からＬＣＤガラス基板を待避させる待避部を備えたので，往路搬送手段／復路搬送手段を停止させることなくＬＣＤガラス基板のバッファ機能を付加することができる。このため，スループットを低下させることがない。また，待避部を垂直方向に設けたので，フットプリントの拡大を招くこともない。
さらに，前記垂直搬送手段のＬＣＤガラス基板の退避部を成す搬送台と処理装置との間で前記ＬＣＤ基板を搬送するための搬送アームを設けることができる。かかる構成によれば，退避部にあるＬＣＤ基板を処理装置で処理して戻す間，垂直方向搬送手段の一の搬送台は往路搬送手段の一部を成し，他の搬送台は復路搬送手段の一部を成すので，往路搬送手段／復路搬送手段を停止することなく他のＬＣＤガラス基板を他の処理装置に搬送して他の処理を施すことができる。
また，搬送台はＬＣＤガラス基板を載置する複数の搬送ローラを備え，ＬＣＤガラス基板と複数の搬送ローラとの間に形成される間隙に搬送アームのピックを挿入することによりＬＣＤ基板を搬送するように構成してもよい。
また，往路搬送手段，復路搬送手段および垂直搬送手段は大気系と真空系とに配設される部分をそれぞれ有し，大気系と真空系との間にある往路搬送手段及び復路搬送手段はゲートバルブを備えたロードロック室に配設されるように構成してもよい。かかる構成により大気系および真空系をまたく往路搬送手段／復路搬送手段を実現することができる。
さらに，垂直方向搬送手段は，戻し方向（送り方向）に搬送されるＬＣＤガラス基板を送り方向（戻し方向）に搬送する機能を有するので，同一の処理装置で複数回のＬＣＤガラス基板処理をさせる工程を組むことができる。また，処理工程の変更に対して柔軟に対応することができる。
また，往路搬送手段と復路搬送手段は，夫々，所定の間隔で配設されＬＣＤガラス基板を下方から支持する一連の基板移動手段を備え，基板移動手段は，夫々独立に駆動されるように構成することができる。かかる構成によれば，往路搬送手段または復路搬送手段を搬送中のＬＣＤガラス基板を一時的に停止させることができるので，ＬＣＤガラス基板を往路搬送手段または復路搬送手段から直接取り出して，処理装置に搬入することができる。
また，垂直基板の搬送台についても同様に，所定の間隔で配設されＬＣＤガラス基板を下方から支持する一連の基板移動手段を備え，基板移動手段は，夫々独立に駆動されるように構成することができる。そして，ＬＣＤガラス基板は，待避部から処理装置に搬入することができる。
また，ＬＣＤガラス基板をトレイに収納して搬送することにより，ＬＣＤガラス基板が大型化し自重が増大した場合でも，ＬＣＤガラス基板の湾曲等を防止することができる。
また，ＬＣＤガラス基板は，搬送過程において帯電したり，異物が付着する場合があり，かかる状態を放置することは処理装置における処理に悪影響を与えるおそれがある。そこで，本発明のように，垂直方向搬送手段の待避部に，ＬＣＤガラス基板の除電手段や，ＬＣＤガラス基板に付着した異物を除去するための異物除去手段を設けることが好ましい。かかる異物除去手段としては，ＬＣＤガラス基板にクリーンエアを吹き付ける手段を採用することができる。
また，ＬＣＤガラス基板を垂直方向搬送手段の待避部から処理装置に搬入するようにすれば，他のＬＣＤガラス基板の搬送を妨げることなく，処理装置と搬送システムとの間のＬＣＤガラス基板の授受を行うことができる。
発明を実施するための最良の形態
以下に添付図面を参照しながら，本発明にかかるＬＣＤガラス基板の搬送システムを実施するための最良の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
搬送システム１００は，第１図に示したように，図中の矢印Ａで示した，紙面左方向から右方向（以下，「送り方向」と称する。）にＬＣＤガラス基板Ｌを搬送する往路搬送手段を構成する上側コンベヤ１１０と，図中の矢印Ｂで示した，紙面右方向から左方向（以下，「戻し方向」と称する。）にＬＣＤガラス基板Ｌを搬送する復路搬送手段を構成する下側コンベア１２０と，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との間においてＬＣＤガラス基板Ｌを垂直方向に搬送する垂直コンベア１６１，１６２，１６３，１６４を備えている。
垂直コンベア１６１，１６２，１６３，１６４は，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との間において，搬送経路の切替のためにＬＣＤガラス基板の授受を行う授受手段であるとともに，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能を有する。この点についてはさらに後述する。かかる垂直コンベアは，システムの規模等に応じて，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との間に，任意数配設することが可能である。なお，各垂直コンベア１６１，１６２，１６３，１６４は，実質的に同様の構成から成るため，各垂直コンベア１６１，１６２，１６３，１６４に共通の構成，機能を説明する際には，垂直コンベア１６０と総称し，重複説明を省略する。
第１図に示した例では，被処理体たるＬＣＤガラス基板は，搬送システム１００の外部から搬入部１３０より搬入される。ＬＣＤガラス基板を送り方向に搬送する上側コンベア１１０は，搬入部１３０から水平方向に配設されている。また，処理済みのＬＣＤガラス基板は，搬出部１４０より搬送システム１００の外部に搬出される。ＬＣＤガラス基板を戻し方向に搬送する下側コンベア１２０は，ＬＣＤガラス基板の搬出部１４０から水平方向に配設されている。以下に，上側コンベア１１０，下側コンベア１２０，垂直コンベア１６０の構成について詳細に説明する。
上側コンベヤ１１０は，第１図に示したように，搬入部１３０から所定の間隔で配設され，ＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持する一連の搬送ローラＲを備えている。各搬送ローラＲは，その両端を支持部材１１２，１１４により支持されている。各搬送ローラＲは個別の駆動機構を有しており，個別に回転駆動し，個別に回転駆動を停止することができる。上側コンベア１１０は，一連の搬送ローラＲが同一の回転速度で時計回りに回転駆動することにより，ＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持して，送り方向に搬送する。なお，搬送ローラＲの駆動機構については，本発明の特徴的部分ではなく，既存の技術を採用することができるため，詳細な説明を省略する。
下側コンベヤ１２０は，第１図に示したように，搬出部１４０から所定の間隔で配設され，ＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持する一連の搬送ローラＲを備えている。各搬送ローラＲは，その両端を支持部材１２２，１２４により支持されている。各搬送ローラＲは，上記上側コンベア１１０を構成する搬送ローラＲと同様に，個別の駆動機構を有しており，個別に回転駆動し，個別に回転駆動を停止することができる。下側コンベア１２０は，一連の搬送ローラＲが同一の回転速度で反時計回りに回転駆動することにより，ＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持して，戻し方向に搬送する。
垂直コンベア１６０の機構について，第２図を参照しながら説明する。垂直コンベア１６０は，第２図に示したように，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との間においてＬＣＤガラス基板Ｌを垂直方向に搬送する。第２図に示した一例では，搬送台１８０が４段設けられており，各搬送台１８０ごとに対応してモータ１９０及びボールスクリュー１９５が設けられている。各搬送台１８０は，接続部１８６を介して対応するボールスクリュー１９５に接続されており，モータ１９０の駆動により上下動する。かかる構成によれば，各搬送台１８０を個別に上下動させることができる。なお，各搬送台に共通のモータ及びボールスクリューを１つずつ設けることにより，各搬送台を連動して上下動させる構成を採用することもできる。
垂直コンベヤ１６０のバッファ機能について，第３図を参照しながら説明する。垂直コンベア１６０は，第３図に示したように，ＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持し，連動して昇降移動する複数の搬送台１８０を備えている。第３図では，搬送台１８０ａ，１８０ｂ，・・・，１８０ｈのみを図示している。一の垂直コンベア１６０の搬送台の数は，システム規模等に応じて適宜設計することができる。なお，各搬送台１８０ａ，１８０ｂ，・・・，１８０ｈは実質的に同様の構成から成るため，各搬送台１８０ａ，１８０ｂ，・・・，１８０ｈに共通の構成・機能を説明する際には，搬送台１８０と総称し，重複説明を省略する。
複数の搬送台１８０のうち，一の搬送台は上側コンベア１１０の一部を成し，他の一の搬送台は下側コンベア１２０の一部を成している。第３図に示した例では，搬送台１８０ｃが上側コンベア１１０の一部を成し，搬送台１８０ｆが下側コンベア１２０の一部を成している。他の搬送台１８０ａ，１８０ｂ，１８０ｄ，１８０ｅ，１８０ｇ，１８０ｈは，ＬＣＤガラス基板Ｌの待避部（バッファ）を成す。すなわち，プロセス処理時間のばらつきに対応させるために，ＬＣＤガラス基板を上側コンベア１１０あるいは下側コンベア１２０から一時的に待避させる必要がある場合がある。搬送台１８０ａ，１８０ｂ，１８０ｄ，１８０ｅ，１８０ｇ，１８０ｈは，かかるＬＣＤガラス基板の待避部（バッファ）として機能する。
２枚のＬＣＤガラス基板をバッファリングする場合について，第３図を参照しながら説明する。一のＬＣＤガラス基板が搬送台１８０ｆに載った状態で，上側コンベア１１０及び下側コンベア１２０を停止させる。次に，垂直コンベア１６０を一段だけ上昇させると，搬送台１８０ｄと１８０ｇが夫々上側コンベア１１０と下側コンベア１２０の一部を成す。次に，上側コンベア１１０及び下側コンベア１２０を動作させると，他のＬＣＤガラス基板が搬送台１８０ｇに載る。次に垂直コンベア１６０を一段だけ上昇させると，搬送台１８０ｅ，１８０ｈが夫々上側コンベア１１０と下側コンベア１２０の一部を成す。この状態で，搬送台１８０ｆ，１８０ｇがバッファとして機能する。
その後，搬送台１８０ｆ，１８０ｇ上のＬＣＤガラス基板は，後述の搬送アームにより順次取り出され，処理装置において処理される。処理後のＬＣＤガラス基板は再び搬送台１８０ｆ，１８０ｇ上に戻される。その後，上記と逆の動作により垂直コンベア１６０上のＬＣＤガラス基板は下降移動し，下側コンベア１２０により戻し方向に搬送される。このように，垂直コンベア１６０がバッファとして機能するので，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０は，２枚のＬＣＤガラス基板の処理中も他のＬＣＤガラス基板を搬送することができる。
下側コンベア１２０を搬送されるＬＣＤガラス基板をバッファリングする場合について説明したが，上側コンベア１１０を搬送されるＬＣＤガラス基板についても同様にバッファリングできる。
第４図は，搬送台１８０の構成を示す説明図であり，第４図（Ａ）は斜視図であり，第４図（Ｂ）は側面図である。搬送台１８０は，第４図（Ａ）に示したように，所定の間隔で配設されＬＣＤガラス基板Ｌを下方から支持する一連の搬送ローラＲを備えている。各搬送ローラＲは，その両端を支持部材１８２，１８４により支持されている。各搬送ローラＲは，上述の上側コンベア１１０あるいは下側コンベア１２０を構成する搬送ローラＲと同様に，個別の駆動機構を有しており，個別に回転駆動し，個別に回転駆動を停止することができる。
搬送台１８０は，上側コンベア１１０の一部を成すときには，時計回り（符号ＣＷ方向）に回転して，ＬＣＤガラス基板Ｌを送り方向に搬送する。また，搬送台１８０は，下側コンベア１２０の一部を成すときには，反時計回り（符号ＣＣＷ方向）に回転して，ＬＣＤガラス基板Ｌを戻し方向に搬送する。また，ＬＣＤガラス基板を載置して昇降移動している間は，回転駆動を停止している。
ＬＣＤガラス基板Ｌは，垂直コンベア１６０の搬送台１８０に載置された状態で，搬送システム１００に並設された処理装置に搬入される。垂直コンベア１６０と処理装置との間におけるＬＣＤガラス基板Ｌの授受は，処理装置に対応して備えられた搬送アームにより行われる。この点についてはさらに後述する。
第４図（Ｂ）に示したように，ＬＣＤガラス基板Ｌが搬送台１８０の搬送ローラＲに載置された状態では，ＬＣＤガラス基板Ｌと搬送ローラＲとの間に間隙Ｓが形成されている。処理装置内に配設された搬送アームは，この間隙Ｓにピック（フォーク）Ｐを挿入することにより，ＬＣＤガラス基板Ｌをピック（フォーク）Ｐに載置して処理装置に搬入する。
上述のように，垂直コンベア１６０は，搬送システム１００と処理装置との間でＬＣＤガラス基板Ｌの授受を行うための授受手段として機能する。また，送り方向（戻し方向）に搬送されるＬＣＤガラス基板を戻し方向（送り方向）に搬送する場合のように，ＬＣＤガラス基板の搬送方向を変換する機能を有する。さらに，ＬＣＤガラス基板を上側コンベア１１０／下側コンベア１２０から一時的に待避させるバッファとして機能する。
次いで，上述の搬送システム１００を採用したＬＣＤガラス基板の処理システムの一例を，第５図を参照しながら説明する。第５図に示したＬＣＤガラス基板の処理システムには，大気系に，洗浄装置，塗布・現像装置，露光装置等が配設され，真空系に，エッチング装置，成膜装置，イオン注入装置等が配設される（以下，これらを「処理装置」と総称する。）。かかる処理装置の構成・機能については，本発明の特徴的部分ではなく，既存の処理システムと同様であるため，詳細な説明を省略する。
第５図に示した一例では，搬送システム１００に対して，大気系に処理装置２１０，２２０が並設され，真空系に処理装置２３０が並設されている。大気系と真空系との間には，ゲートバルブＧＶと真空排気系動作の組み合わせで真空系を常に真空に保持するためのロードロック室（真空予備室）２３２，２３４が配設されている。また，搬送システム１００は，上述のように，上側コンベア１１０と，下側コンベア１２０と，垂直コンベア１６１，１６２，１６３，１６４，１６５，１６６と，搬入部１３０と，搬出部１４０とを備えている。また，図示の例では，搬入部１３０，搬出部１４０は，ＬＣＤガラス基板を昇降移動させる搬入／搬出コンベア１５０に連結されている。なお，垂直コンベア１６１〜１６６は簡略化して図示しているが，実際は第２図に示すような構成となっている。
なお，真空処理装置であるエッチング装置等は，一般的にロードロック室を有しているので，真空処理装置を大気系に配設してもよい。
垂直コンベア１６１は，搬入部１３０（搬出部１４０）から最も近い位置に配設されており，ＬＣＤガラス基板の入力バッファあるいは出力バッファの機能として，あるいは，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との搬送経路を切り替える機能を有する。
垂直コンベア１６２は，処理装置２１０に対応する位置に配設されており，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能として，あるいは，処理装置２１０との間のＬＣＤガラス基板Ｌの授受を行う役割を有する。垂直コンベア１６２と処理装置２１０との間のＬＣＤガラス基板の授受は，後述の搬送アーム１７１により行われる。
垂直コンベア１６３は，処理装置２１０と処理装置２２０との間に配設されており，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能として，あるいは，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０との搬送経路を切り替える機能を有する。
垂直コンベア１６４は，処理装置２２０に対応する位置に配設されており，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能として，あるいは，処理装置２２０との間のＬＣＤガラス基板Ｌの授受を行う役割を有する。垂直コンベア１６４と処理装置２２０との間のＬＣＤガラス基板の授受は，後述の搬送アーム１７２により行われる。
垂直コンベア１６５は，処理装置２３０に対応する位置に配設されており，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能として，あるいは，処理装置２３０との間のＬＣＤガラス基板Ｌの授受を行う役割を有する。垂直コンベア１６５と処理装置２３０との間のＬＣＤガラス基板の授受は，後述の搬送アーム１７３により行われる。
垂直コンベア１６６は，上側コンベア１１０の最下流と下側コンベア１２０の最上流とを接続しており，ＬＣＤガラス基板のバッファ機能として，あるいは，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０とを連結させる機能を有する。
処理装置２１０に対応して備えられた搬送アーム１７１は，ＬＣＤガラス基板を載置して搬送するためのピック（フォーク）Ｐを備えており，垂直コンベア１６２の搬送台１８０に載置されたＬＣＤガラス基板を，処理装置２１０に搬入させる。搬送アーム１７１は，垂直方向への駆動機構を有しており，第３図に示した搬送台１８０ｃ，１８０ｄ，１８０ｅ，１８０ｆのいずれの搬送台からもＬＣＤガラス基板を取り出すことができる。なお，搬送アーム１７１が上側コンベア１１０の一部を成す搬送台１８０ｃからＬＣＤガラス基板を取り出す際には，搬送台１８０ｃの各搬送ローラＲは回転駆動を停止している。同様に，搬送アーム１７１が下側コンベア１２０の一部を成す搬送台１８０ｆからＬＣＤガラス基板を取り出す際には，搬送台１８０ｆの各搬送ローラＲは回転駆動を停止している。
処理装置２２０に対応して備えられた搬送アーム１７２，処理装置２３０に対応して備えられた搬送アーム１７３についても，上述の搬送アーム１７１と同様に機能する。
第４図では，搬送アーム１７１，１７２，１７３の前に垂直コンベア１６２，１６４，１６５がある場合について示したが，搬送アームの前に垂直コンベアを設けずに，ＬＣＤガラス基板を上側コンベア１１０または下側コンベア１２０から取り出してもよい。
第６図は，搬送システム１００におけるＬＣＤガラス基板の動作を示す説明図である。以下に，図中符号▲１▼〜▲６▼で示されたＬＣＤガラス基板の動作について説明する。
（１）符号▲１▼（搬送方向の変換機能）
下側コンベア１２０により戻し方向に搬送されていたＬＣＤガラス基板は，搬送路の途中に設けられている垂直コンベア１６１により上昇移動し，上側コンベア１１０により送り方向に搬送される。かかる▲１▼のルートにより，ＬＣＤガラス基板に処理装置で複数回の処理を施すことができる。
（２）符号▲２▼
ＬＣＤガラス基板は，垂直コンベア１６２により下降移動し，符号Ｘ１の地点で，搬送アーム１７１により処理装置２１０へ搬入される。処理終了後，ＬＣＤガラス基板は搬送アーム１７１により垂直コンベア１６２に載せられて上昇移動し，その後上側コンベア１１０により送り方向に搬送される。
（３）符号▲３▼（バッファ機能），▲３▼’（搬送方向の変換機能）
ＬＣＤガラス基板は，垂直コンベア１６４により下降移動し，符号Ｙ１の地点において一時的にバッファリングされる。次いで，垂直コンベア１６４により上昇移動し，上側コンベア１１０により送り方向に搬送される。または，符号▲３▼’に示すように，上側コンベア１１０により搬送されているＬＣＤガラス基板は，搬送路の途中に設けられている垂直コンベア１６３により下降移動し，その後，下側コンベア１２０により戻り方向に搬送される。かかる符号▲３▼’のルートにより，処理装置２２０，２３０における処理をスキップしたり，処理装置２１０により複数回の処理をすることができる。
（４）符号▲４▼（搬送方向の変換機能）
ＬＣＤガラス基板は，垂直コンベア１６６により下降移動し，下側コンベア１２０により戻し方向に搬送される。
（５）符号▲５▼（バッファ機能）
ＬＣＤガラス基板は，垂直コンベア１６５により上昇移動し，符号Ｙ２の地点において一時的にバッファリングされる。次いで，バッファリングされたＬＣＤガラス基板は，搬送アーム１７３により垂直コンベア１６５から順次取り出され，処理装置２３０において処理される。処理されたＬＣＤガラス基板は，垂直コンベア１６５に戻される。その後，垂直コンベア１６５が下降移動し，ＬＣＤガラス基板は下側コンベア１２０により戻し方向に戻される。
（６）符号▲６▼
下側コンベア１２０を搬送されるＬＣＤガラス基板は，符号Ｘ２の地点で搬送が停止される。この際，符号Ｘ２の地点の搬送ローラＲは回転駆動を停止している。そして，ＬＣＤガラス基板２２０は，搬送アーム１７２により処理装置２２０へ搬入される。
以上，添付図面を参照しながら本発明にかかるＬＣＤガラス基板の搬送システムの好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば，上記実施の形態においては，往路搬送手段（上側コンベア１１０）と復路搬送手段（下側コンベア１２０）とがそれぞれ１つずつ配設される場合の一例について説明したが，本発明はこれに限定されず，往路搬送手段を２以上配設してもよく，あるいは，復路搬送手段を２以上配設してもよい。
また，往路搬送手段（上側コンベア１１０）と復路搬送手段（下側コンベア１２０）とが多段に配設される場合の一例につき説明したが，本発明はこれに限定されず，例えば，往路搬送手段と復路搬送手段とを水平位置に並設してもよい。ただし，上記実施の形態の場合のように，往路搬送手段と復路搬送手段とを多段に配設した方がフットプリントの点で有利である。
また，上記実施の形態にかかる搬送システムが適用される処理システムの処理装置の配置は，第５図に示した装置配置に限定されるものではない。さらに，設置された処理装置は，処理工程の変更やメンテナンス時等，必要に応じて移設を行うことも可能である。
また，ＬＣＤガラス基板をトレイに収納して搬送するようにしてもよい。ＬＣＤガラス基板の裏面に搬送ローラからのゴミが付着することを防止でき，また，ＬＣＤガラス基板が一層薄型化した場合に，ＬＣＤガラス基板の湾曲等を防止することができる。
また，垂直コンベア１６０の待避部には，ＬＣＤガラス基板Ｌの除電手段が設けられるようにしてもよい。
また，垂直コンベア１６０の待避部には，ＬＣＤガラス基板Ｌに付着した異物を除去するための異物除去手段，例えば，ＬＣＤガラス基板Ｌにクリーンエアを吹き付ける手段を設けるようにしてもよい。
また，上側コンベア１１０と下側コンベア１２０における基板移動手段の一例として搬送ローラＲを使用する場合について説明したが，本発明はベルトコンベア等の他の方法を使用しても実施できる。かかる場合，ベルトコンベアは，水平方向搬送部と垂直方向搬送部が交差する箇所で分割される。またこの場合，搬送アーム１７１，１７２，１７３のピックＰを挿入する空間を形成するために，ＬＣＤガラス基板は，ベルト上に形成された凸状部の上に載置されて搬送される。
産業上の利用の可能性
本発明は，ＬＣＤガラス基板の搬送システムに利用可能である。特に，本発明は，近年におけるＬＣＤガラス基板の大型化にも対応が可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図は，発明の実施の形態にかかる搬送システムの概略を示す斜視図である。
第２図は，垂直搬送手段の機構を示す図である。
第３図は，発明の実施の形態にかかる搬送システムの概略を示す側面図である。
第４図は，垂直搬送手段の搬送台の詳細を示す説明図であり，（Ａ）は斜視図であり，（Ｂ）は側面図である。
第５図は，発明の形態にかかる搬送システムが適用された処理システムの説明図である。
第６図は，発明の実施の形態にかかる搬送システムにおけるＬＣＤガラス基板の搬送動作を示す説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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