(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、
上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、
前記エア噴出手段の前記上面から突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設け、
前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着パッドであり、
前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とするワーク収納装置。
【請求項２】
前記吸着パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。
【請求項３】
前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。
【請求項４】
前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、
更に、
前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、
前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、
前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することを特徴とする請求項３に記載のワーク収納装置。
【請求項５】
浮遊状態にある前記ワークの端縁を水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットに収納するワーク収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納カセット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから移載装置によりワークが一枚ずつ取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのワークは移載装置により再び収納カセットへ搬入される。このような設備では、収納カセットと移載装置間でワークの受渡しを行なう装置が必要となる。【０００３】
この種の装置として、例えば、特開２００５−７５６４３号公報には収納カセットの下方にエア噴出装置とローラコンベアとを配設し、収納カセットの下段側から順次ワークを収納カセット外へ搬出する装置が開示されている。この装置では収納カセットを降下し、エア噴出装置からエアを噴出することで、収納カセット内のワークを各段の載置部から浮遊させ、ワークの端縁を押圧してその位置決めが行なわれる。ワークの位置決めの後、エア噴出装置が降下することでワークがローラコンベア上に載置され、ローラコンベアによりワークが収納カセット外へ搬出される。
【発明の開示】
【０００４】
しかし、浮遊状態のワークは不安定な状態であるため、ワークに外力が作用するとワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。例えば、特開２００５−７５６４３号公報に記載の装置のようにワークが浮遊状態でその位置決めを行なおうとすると、位置決め装置によりワークの端縁が押圧された時にワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。また、特開２００５−７５６４３号公報には記載されていないが、浮遊状態にあるワークの端部を移載装置が保持して収納カセット外へ排出する構成を採用した場合においても、移載装置がワークの端部を保持する際に、ワークの滑りが生じる虞がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、ワークをエアにより浮遊状態とする際、ワークをより安定して浮遊させることにある。
【０００６】
本発明によれば、エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、前記エア噴出手段の前記上面から突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設け、前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着パッドであり、前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とするワーク収納装置が提供される。
【０００７】
このワーク収納装置では前記パッドが浮遊状態にあるワークの急激な移動に抵抗する。従って、浮遊状態にあるワークに対して外力が作用しても、ワークの滑りを低減し、ワークをより安定して浮遊させることができる。また、前記吸着パッドによりワークが支持されるので、ワークの滑りをより一層低減し、ワークをより安定して浮遊させることができる。更に、前記移動手段による前記吸着パッドの移動により、ワークを前記収納カセットから一定量搬出することができ、移載装置へのワークの受渡しが円滑に行なえる。
【０００８】
本発明においては、前記吸着パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けることもできる。ワークが搬出される際、前記パッドを降下させることでワークの下面にパッドが擦れてワークを傷付けることを防止できる。
【００１１】
また、本発明においては、前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けることもできる。ワークをより安定して一定量搬出することができる。
【００１２】
また、本発明においては、前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、更に、前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することもできる。前記吸着パッドと前記補助ローラとがワークの搬出方向に離間して設けられることで、ワークを更に安定して一定量搬出することができる。また、前記吸着パッドと前記補助ローラとを同期的に昇降することで、前記補助ローラを必要な時にのみ、前記突出位置へ位置させることができる。
【００１３】
また、本発明においては、浮遊状態にある前記ワークの端縁を水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えることが望ましい。本発明では前記パッドを設けたことにより、ワークの端縁を押圧してもワークの滑りを低減し、ワークを損傷することなくその位置決めが行なえる。
【００１４】
本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク収納装置Ａを用いた、ワーク処理設備１００のレイアイトを示す平面図である。
【図２】移載装置Ｃの外観斜視図である。
【図３】ワーク収納装置Ａの外観斜視図である。
【図４】収納カセット２０の外観斜視図である。
【図５】１段分の載置部を示す図である。
【図６】昇降装置３０の外観斜視図である。
【図７】昇降ユニット３１の分解斜視図である。
【図８】エア噴出装置１０の外観斜視図である。
【図９】図９は位置決め装置４０の外観斜視図である。
【図１０】ワーク収納装置Ａの制御部５０の構成を示すブロック図である。
【図１１】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１２】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１３】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１４】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１５】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１６】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１７】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１８】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図１９】ワーク収納装置Ａの動作説明図である。
【図２０】収納カセット２０’の外観斜視図である。
【図２１】搬入出口２４側の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。
【図２２】搬入出口２４側の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を適用した基板搬出入装置の実施の形態を図を参照して説明する。【００１７】
＜設備の全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係るワーク収納装置Ａを用いた、ワーク処理設備１００のレイアイトを示す平面図である。なお、各図においてＸ、Ｙは相互に直交する水平方向、Ｚは鉛直方向を示す。ワーク処理設備１００はワークとして方形板状のガラス基板を処理する設備であって、ワーク収納装置Ａと、処理装置Ｂと、移載装置Ｃと、を備える。【００１８】
移載装置ＣはＹ方向に延びるレール１上を移動可能である。また、移載装置Ｃは、図１において矢印で示すように、ワーク収納装置Ａ及び処理装置Ｂに対してＸ方向にガラス基板を搬入出可能である。図１では複数の処理装置Ｂが図示されているが、各処理装置Ｂの処理内容は異なる内容としてもよいし、同じ内容であってもよい。係る構成からなるワーク処理設備１００では、未処理のガラス基板がワーク収納装置Ａから移載装置Ｃを介して処理装置Ｂへ搬送され、また、処理済のガラス基板が処理装置Ｂから移載装置Ｃを介してワーク収納装置Ａへ戻されることになる。【００１９】
＜移載装置Ｃの構成＞
図２は本実施形態における移載装置Ｃの外観斜視図である。図２に示す移載装置Ｃは一例であり、ワーク収納装置Ａと共に用いられる移載装置Ｃとしては種々のものが採用可能である。移載装置Ｃは、支持テーブル２と、支持テーブル２の左右の側部にそれぞれ設けられた一対のリニアガイド３と、リニアガイド３に沿って移動する一対のハンドユニット４と、支持テーブル２を支持すると共に移載装置Ｃ全体をレール１に沿ってＹ方向に往復移動させる走行ユニット５と、を備える。【００２０】
支持テーブル２の上面には、エアの噴出を行なう複数の噴出口２ａが形成されており、不図示のエア供給装置（例えばコンプレッサ）から供給されるエアーを噴出する。リニアガイド３はリニアモータ形式でハンドユニット４をＸ方向に往復移動させる。ハンドユニット４は、その先端部の上面にエアの吸引口４ａが形成されており、不図示のエア吸引装置（例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。走行ユニット５は移載装置Ｃ全体をレール１に沿って移動させる駆動輪５ａ並びに当該駆動輪を回転させるモータ等の駆動手段を備える。【００２１】
係る構成からなる移載装置Ｃの動作について説明する。まず、ワーク収納装置Ａからガラス基板を受け取り、処理装置Ｂへ搬送する場合には、走行ユニット５により移載装置Ｃをワーク収納装置Ａと向かい合う位置に移動する。続いてハンドユニット４を＋Ｘ方向の端部に移動させ、吸引口４ａからエアを吸引し、ワーク収納装置Ａに収納されたガラス基板の端部を保持する。次に噴出口２ａからエアを噴出させ、ガラス基板を保持したハンドユニット４を−Ｘ方向に移動し、支持テーブル２上にガラス基板を移動させる。噴出口２ａからのエアの噴出により、ガラス基板は支持テーブル２上で浮遊状態にある。【００２２】
次に、走行ユニット５により移載装置Ｃをガラス基板の搬送先の処理装置Ｂと向かい合う位置に移動する。続いてハンドユニット４を＋Ｘ方向の端部に再び移動させ、ガラス基板を処理装置Ｂへ受け渡す。そして、噴出口２ａからのエアの噴出、吸引口４ａからのエアの吸引を停止し、一単位の処理が終了する。処理装置Ｂからガラス基板を受け取り、ワーク収納装置Ａへ搬送する場合にはこの逆の手順となる。【００２３】
＜ワーク収納装置Ａの構成＞
図３はワーク収納装置Ａの外観斜視図である。ワーク収納装置Ａは、エア噴出装置１０と、エア噴出装置１０の上方に配設される収納カセット２０と、昇降装置３０と、位置決め装置４０と、を備える。【００２４】
＜収納カセット＞
図４は収納カセット２０の外観斜視図である。収納カセット２０はガラス基板を上下方向（Ｚ方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図３及び図４はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット２０は複数の柱部材２１ａ、２１ｂと、梁部材２２ａ乃至２２ｇと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。【００２５】
柱部材２１ｂは、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数配設され、Ｙ方向の各柱部材２１ｂ間及び各柱部材２１ａ間には上下方向（Ｚ方向）に所定のピッチで複数のワイヤ２３が張設されている。このワイヤ２３によりガラス基板が略水平姿勢で載置される載置部が上下方向に複数段形成される。図５は１段分の載置部を示す図である。各段の載置部は、同じ高さにてＸ方向に離間して複数配設されたワイヤ２３により形成され、ガラス基板Ｗはワイヤ２３上に載置される。各ワイヤ２３間と、Ｘ方向両端のワイヤ２３の外方とは、それぞれ後述するエア噴出装置１０が通過可能な開口部２３ａを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット２００の収納効率を高めることができる。【００２６】
図４に戻り、収納カセット２０の互いに対向するＸ方向の両側部は、それぞれ張り部材２２ａと柱部材２１ａとにより門型に開放しており、−Ｘ方向の側部はガラス基板の搬入出口２４を形成している。収納カセット２０の底部は、一対の梁部材２２ｄ、複数の梁部材２２ｂ及び一つの梁部材２２ｆにより構成されており、これらの間や梁部材２２ｄの両端部近傍が後述するエア噴出装置１０が通過可能な進入口２５を形成している。【００２７】
＜昇降装置＞
図６は昇降装置３０の外観斜視図、図７は昇降ユニット３１の分解斜視図である。昇降装置３０は収納カセット２０とエア噴出装置１０とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態ではエア噴出装置１０を固定とし、収納カセット２０を昇降させるが、収納カセット２０を固定とし、エア噴出装置１０を昇降させる構成も採用できる。【００２８】
本実施形態の場合、昇降装置３０は収納カセット２０を挟むように収納カセット２０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット２０を片持ち支持する一対の昇降ユニット３１から構成される。この構成によれば、昇降ユニット３１をより薄型化でき、ワーク収納装置Ａ全体の設置スペースをより小さくできる。また、ガラス基板の搬入出口、エア噴出装置１０のスペースをより広く確保できる。【００２９】
昇降ユニット３１は、収納カセット２０の底部の梁部材２２ｄが載置されるビーム部材３１１を備える。各昇降ユニット３１の各ビーム部材３１１が同期的に上下方向（Ｚ方向）に移動することで収納カセット２０が昇降される。昇降ユニット３１は上下方向に延びる支柱３１２を備え、支柱３１２の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材３１３及びラック３１４が固定されている。各昇降ユニット３１間には、支柱３１２の上端に梁部材３２が架設されている。【００３０】
ビーム部材３１１は支持板３１５の一側面にブラケット３１５ａを介して固定されて支持される。支持板３１５の他側面にはレール部材３１３に沿って移動可能な４つのスライド部材３１６が固定され、ビーム部材３１１及び支持板３１５はレール部材３１３の案内により上下に移動する。駆動ユニット３１７はモータ３１７ａと減速機３１７ｂとから構成されており、支持板３１８の一側面に固定されて支持されている。減速機３１７ｂの出力軸は支持板３１８を貫通して支持板３１８の他側面に配設されたピニオン３１９ａに接続されている。【００３１】
支持板３１５と支持板３１８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板３１５と支持板３１８との空隙にはピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄが配設されている。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは支持板３１５と支持板３１８との間で回転可能に軸支され、ピニオン３１９ｂ及びピニオン３１９ｄは、ピニオン３１９ａの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｃはピニオン３１９ｂの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン３１９ｃ及び３１９ｄは各ラック３１４と噛み合っている。【００３２】
しかして、駆動ユニット３１７を駆動するとピニオン３１９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット３１７、支持板３１５及び３１８、スライド部材３１６、及び、ビーム部材３１１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材３１１上に載置された収納カセット２０を昇降することができる。各昇降ユニット３１には、互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれを検出するセンサ３１１ａがビーム部材３１１の端部に設けられている。【００３３】
センサ３１１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図６に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ３１１ａで検出されると、モータ３１７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ３１１ａを設けてビーム部材３１１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット２０が傾くことを防止し、収納カセット２０をより安定して昇降することができる。【００３４】
なお、各ビーム部材３１１に設けられる２つのセンサ３１１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。【００３５】
＜エア噴出装置＞
図８はエア噴出装置１０の外観斜視図である。本実施形態の場合、エア噴出装置１０は複数のエア噴出ユニット１１から構成されており、各エア噴出ユニット１１は収納カセット２０の昇降時に収納カセット２０と干渉しないよう、進入口２５、開口部２３ａを通過可能な大きさ、位置に設定されている。各エア噴出ユニット１１は、エアの噴出口１１１ａが複数形成された略水平の上面１１１を有する。各エア噴出ユニット１１の各上面１１１は略同一水平面上に位置している。噴出口１１１ａは不図示のエア供給装置（例えばコンプレッサ）から供給されるエアーを噴出し、収納カセット２０に収納されているガラス基板を略水平姿勢で上面１１１上で浮遊させる。【００３６】
各エア噴出ユニット１１のうち、−Ｘ方向側の最端部に位置する２つのエア噴出ユニット１１の各底部内方側にはリニアガイド１２が設けられている。各リニアガイド１２はリニアモータ形式で、エア噴出ユニット１１の側部に配設されたエアアクチュエータ１３をＸ方向に往復させる。エアアクチュエータ１３はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Ｚ方向）に伸縮するアクチュエータであり、そのロッド部には吸着パッド１４が取り付けられている。吸着パッド１４の上面にはエアの吸引口１４ａが複数設けられており不図示のエア吸引装置（例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。【００３７】
吸着パッド１４はその上面がエア噴出ユニット１１の上面１１１から突出した突出位置と、その上面が上面１１１と略面一か或いは上面１１１よりも低い非突出位置との間で、エアアクチュエータ１３により昇降される。突出位置における吸着パッド１４の上面の、上面１１１からの突出量はガラス基板の上面１１１からの浮遊量と略同じに設定され、吸着パッド１４が突出位置に位置する場合、吸着パッド１４の上面がエア噴出ユニット１１の上面１１１上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。【００３８】
なお、吸着パッド１４を昇降する手段としては、エアアクチュエータ１３に限られず、他の昇降手段も採用可能である。また、リニアガイド１２は吸着パッド１４をガラス基板の搬送方向（−Ｘ方向）に移動させる移動手段として機能するが、このような移動手段としてはリニアガイド１２以外の手段も採用可能である。【００３９】
次に、各エア噴出ユニット１１のうち、＋Ｘ方向側の最端部から２番目に位置する２つのエア噴出ユニット１１の各底部内方側にはブラケット１５がそれぞれ設けられ、各ブラケット１５にはエアアクチュエータ１６が取り付けられている。エアアクチュエータ１６はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Ｚ方向）に伸縮するアクチュエータであり、そのロッド部には補助ローラ１７が取り付けられている。補助ローラ１７は駆動力を持たないフリーローラである。本実施形態では、吸着パッド１４と補助ローラ１７とは、ガラス基板の搬出方向に離間した位置にそれぞれ位置している。【００４０】
補助ローラ１７はその上端がエア噴出ユニット１１の上面１１１から突出した突出位置と、その上端が上面１１１と略面一か或いは上面１１１よりも低い非突出位置との間で、エアアクチュエータ１６により昇降される。突出位置における補助ローラ１７の上端の、上面１１１からの突出量はガラス基板の上面１１１からの浮遊量と略同じに設定され、補助ローラ１７が突出位置に位置する場合、補助ローラ１７の上端がエア噴出ユニット１１の上面１１１上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。本実施形態の場合、補助ローラ１７は吸着パッド１４の昇降と同期的に昇降する。なお、補助ローラ１７を昇降する手段としては、エアアクチュエータ１６に限られず、他の昇降手段も採用可能である。【００４１】
＜位置決め装置＞
図９は位置決め装置４０の外観斜視図である。本実施形態の場合、位置決め装置４０は４基配設されている。４基の位置決め装置４０は、それぞれ２つが１組となる。１組の位置決め装置４０は互いに向かい合うようにＹ方向に離間して配設されている。そして、２組の位置決め装置４０はＸ方向に離間して配設されている。【００４２】
各位置決め装置４０はガラス基板の端縁（本実施形態の場合、Ｙ方向の両端辺）を略水平方向に押圧する円形のローラ４１と、ローラ４１をＹ方向に往復移動させるプッシャ４２と、を備える。プッシャ４２はここではＹ方向に伸縮するエアアクチュエータである。ローラ４１はプッシャ４２の先端部分に回転自在に軸支されている。【００４３】
＜制御部＞
図１０はワーク収納装置Ａの制御部５０の構成を示すブロック図である。制御部５０はワーク収納装置Ａの全体の制御を司るＣＰＵ５１と、ＣＰＵ５１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ５２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ５３と、を備える。ＲＡＭ５２、ＲＯＭ５３は他の記憶手段を採用可能である。【００４４】
入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５４は、ＣＰＵ５１とセンサ３１１ａとのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ５４を介してＣＰＵ５１はセンサ３１１ａの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５５は、ＣＰＵ５１とモータ３１７ａ、リニアガイド１２及び制御弁とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ５５を介してＣＰＵ４１はモータ３１７ａ、リニアガイド１２及び制御弁を制御する。制御弁は、各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからのエアの噴出の有無、吸着パッド１４の吸引口１４ａのエアの吸引の有無、エアアクチュエータ１３及び１６の作動、プッシャ４２の作動を切替える制御弁である。【００４５】
通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）５６はワーク処理設備１００全体を制御するホストコンピュータ６とＣＰＵ５１とのインターフェースであり、ＣＰＵ５１はホストコンピュータ６からの指令に応じてワーク収納装置Ａを制御することになる。【００４６】
＜ワーク収納装置Ａの動作＞
ワーク収納装置Ａにおけるガラス基板の搬出時の動作について説明する。図１１乃至図１９はワーク収納装置Ａの動作説明図である。図１１及び図１５はエア噴出装置１０及び収納カセット２０の平面視図であり、図１２乃至図１４及び図１６乃至１９は図１１の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。各図においては要部のみ図示し、ワイヤ２３等は省略されている。【００４７】
本実施形態では昇降装置３０による昇降動作によってエア噴出装置１０を収納カセット２０内に進入させ、エア噴出装置１０により載置部上（つまり、各段のワイヤ２３上）のガラス基板を載置部から浮遊させる。そして、移載装置Ｃのハンドユニット４が浮遊状態にあるガラス基板を抜き取るようにして収納カセット２０外へ搬出する。【００４８】
図１２は収納カセット２０がエア噴出装置１０の上方を位置しており、未だエア噴出装置１０が収納カセット２０内に進入していない状態を示す。図１２に示す収納カセット２０の各段にはガラス基板Ｗが載置されている。ガラス基板Ｗは、より下段のものから搬出される。図１２のように収納カセット２０にガラス基板Ｗが満杯の状態の場合、最下段のガラス基板Ｗが最初に搬出される。【００４９】
まず、図１３に示すように各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからエアを噴出する。また、エアアクチュエータ１３及び１６により、＋Ｘ方向の端部にある吸着パッド１４及び補助ローラ１７をそれぞれ突出位置へ上昇させ、吸引口１４ａからのエアの吸引を行なう。図１３において線Ｌ１は各エア噴出ユニット１１の各上面１１１のＺ方向の位置（高さ）を示し、線Ｌ２は吸着パッド１４の上面及び補助ローラ１７の上端のＺ方向の位置（高さ）を示している。【００５０】
次に、昇降装置３０により収納カセット２０を図１４に示すように降下させてエア噴出装置１０を収納カセット２０内に進入させ、各エア噴出ユニット１１の上面１１１が最下段の載置部と略同じ高さに位置するようにする。すると、噴出口１１１ａからのエアの噴出により最下段の載置部に載置されていたガラス基板Ｗが浮遊し、浮遊状態になる。同時に、吸着パッド１４の上面がガラス基板Ｗの下面に当接し、吸引口１４ａからのエアの吸引によりガラス基板Ｗは吸着パッド１４に吸着する。吸着パッド１４はガラス基板Ｗの極一部を吸着するものであるため、ガラス基板Ｗを固定してしまうほどのものではない。また、補助ローラ１７の上端がガラス基板Ｗの下面に当接する。【００５１】
次に、図１５に示すように位置決め装置４０のプッシャ４２を駆動して、ローラ４１を収納カセット２０に向けてＹ方向に移動させる。ローラ４１のＺ方向の高さは各エア噴出ユニット１１の上面１１１の高さよりも僅かに上方に設定されており、ローラ４１が収納カセット２０内に入り込んで浮遊状態にあるガラス基板Ｗの端縁を押圧する。これにより、浮遊状態にあるガラス基板Ｗの位置決めがなされる。位置決め後、ローラ４１は元の位置へ戻る。【００５２】
ローラ４１がガラス基板Ｗを押圧するとガラス基板Ｗへ各ローラ４１の当り方次第で急激にガラス基板Ｗを移動させ、ガラス基板Ｗが滑る虞がある。しかし、本実施形態ではガラス基板Ｗが吸着パッド１４に吸着されているので、吸着パッド１４によりガラス基板Ｗが支持され、ガラス基板Ｗの急激な移動に抵抗する。従って、ガラス基板Ｗの滑りを低減し、ガラス基板Ｗをより安定して浮遊させることができる。【００５３】
ガラス基板Ｗの位置決めが終了すると、図１６に示すようにリニアガイド１３を駆動し、吸着パッド１４を−Ｘ方向（ガラス基板Ｗの排出方向）に移動させる。ガラス基板１４は吸着パッド１４に吸着され、かつ、各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからエアが噴出されて浮遊状態にあるので、ガラス基板１４は吸着パッド１４の移動に従って、−Ｘ方向に移動する。この結果、図１６に示すようにガラス基板１４の一部が収納カセット２０から飛び出した状態となる。ガラス基板Ｗが移動する際、吸着パッド１４に対して搬出方向に離間して設けられた補助ローラ１７がガラス基板Ｗの移動方向の後方部分を支持するので、ガラス基板Ｗをより安定して移動させることができる。【００５４】
次に、図１７に示すように移載装置Ｃのハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取りに来る。ハンドユニット４はその吸引口４ａからエアを吸引することでガラス基板Ｗの端部の下面を吸着保持する。ガラス基板Ｗが吸着パッド１４に吸着されているので、ハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取りに来る際、ガラス基板Ｗが滑ることが防止される。ハンドユニット４がガラス基板Ｗの端部を保持すると、吸着パッド１４の吸引口１４ａからのエアの吸引を停止し、吸着パッド１４によるガラス基板Ｗの吸着を解除する。更に、エアアクチュエータ１３及び１６を作動して吸着パッド１４及び補助ローラ１６をそれぞれ非突出位置に移動する。各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからのエアの噴出は継続する。【００５５】
続いて図１８に示すように移載装置Ｃのハンドユニット４を−Ｘ方向に移動して、収納カセット２０からガラス基板Ｗを抜き取るようにして搬出する。また、リニアガイド１２を作動して吸着パッド１４を＋Ｘ方向に移動し、元の位置へ戻す。このようにして１枚のガラス基板Ｗの搬出が終了する。【００５６】
ハンドユニット４がガラス基板Ｗを抜き取る際、吸着パッド１４は非突出位置にあるので、ガラス基板Ｗの下面に吸着パッド１４が擦れてガラス基板Ｗを傷つけることが防止されると共に、吸着パッド１４を早期に元の位置に戻して次のガラス基板Ｗの搬出の準備を行うことができる。【００５７】
また、ガラス基板Ｗを収納カセット２０から移載装置Ｃへ受け渡す際、ガラス基板Ｗが図１７に示したように収納カセット２０一定量搬出された状態で、ハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取ることができるので、ハンドユニット４が収納カセット２０内に入り込む必要がなく、移載装置Ｃへのワークの受渡しが円滑に行なえる。つまり、本実施形態の吸着パッド１４は、吸着パッド１４が移動することで、ガラス基板Ｗの滑り防止だけではなく、ガラス基板Ｗの一定量の搬出による移載装置Ｃへのワークの受渡しの円滑化をもなし得る。【００５８】
更に、吸着パッド１４と補助ローラ１７の昇降を同期的に行なうことで、補助ローラ１７はガラス基板Ｗの補助的な支持が必要な時にのみ、エア噴出ユニット１１の上面１１１から突出させることができる。【００５９】
以後、収納カセット２０を順次降下させ、同様の手順を繰り返すことによりガラス基板Ｗが順次搬出されることになる。図１９は中段の載置部までガラス基板Ｗの搬出が終了した状態を示す図であり、収納カセット２０が降下することに従って、エア噴出装置１０が収納カセット２０内へより進入していくことになる。また、移載装置Ｃから収納カセット２０へガラス基板Ｗを搬入する場合は、上述した搬出時と概ね逆の動作にて行なうことができ、収納カセット２０を順次上昇させて上段の載置部から順にガラス基板Ｗを搬入していくことになる。【００６０】
＜収納カセットの他の例＞
収納カセット２０はフォークリフト等に搭載されて搬送され、昇降装置３０のビーム部材３１１上に載置される。収納カセット２０を搬送する際、振動により収納カセット２０内に収納されたガラス基板が搬出入口２４から飛び出してしまう場合がある。図２０はこのような問題を解決する収納カセット２０’の外観斜視図である。図２０において、上述した収納カセット２０と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。【００６１】
収納カセット２０’は、収納カセット２０の梁部材２２ｄ及び２２ｅがそれぞれ±Ｘ方向に延長された梁部材２２ｄ’及び２２ｅ’を備えており、これらの両端部にはそれぞれ規制部材２６が設けられている。規制部材２６は、例えば、可撓性を有する樹脂等からなり、方形枠状の本体部分からＹ方向に突出した複数の櫛歯２６ａを有する。櫛歯２６ａは上下方向（Ｚ方向）に、収納カセット２０’の各載置部の配設ピッチと同ピッチで配設され、そのＺ方向の幅はガラス基板Ｗの厚さと略同じである。【００６２】
図２１及び図２２は、−Ｘ側の規制部材２６の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。図２１はガラス基板Ｗが収納カセット２０’内で載置部上に載置状態にある場合を示している。同図に示すように、ガラス基板Ｗの−Ｘ方向には櫛歯２６ａが存在しており、ガラス基板Ｗが−Ｘ方向に移動して排出されようとすると櫛歯２６ａに干渉する。これにより、ガラス基板Ｗが収納カセット２０’の搬送時の振動等により搬出方向（−Ｘ方向）に移動することが規制される。なお、図２０の＋Ｘ側の規制部材２６も同様に、ガラス基板Ｗが収納カセット２０’の搬送時の振動等により＋Ｘ方向に移動することを規制する。【００６３】
次に、図２２はガラス基板Ｗのうちの一つが収納カセット２０’内で載置部上で浮遊している場合を示している。つまり、同図の最下段のガラス基板Ｗは搬出されようとしている状態である。ガラス基板Ｗが浮遊することにより、ガラス基板Ｗは櫛歯２６ａ間の隙間を通過できることになり、規制部材２６は浮遊状態にあるガラス基板Ｗが搬出方向（−Ｘ方向）に移動することは規制しない。【００６４】
なお、上述した移載装置Ｃのハンドユニット４のように、ガラス基板の端部を保持して排出する方式の場合、従来ではハンドユニットが収納カセット内に少し入り込んでガラス基板を保持する必要があったが、本実施形態のように規制部材２６を設けた構成ではハンドユニットと規制部材２６とが干渉してハンドユニッ４が収納カセット２０’内に入り込めない。【００６５】
しかしながら、本実施形態では吸着パッド１４の移動により、ガラス基板Ｗを収納カセット２０’から一定量飛び出させることができ、ハンドユニッ４が収納カセット２０’内に入り込む必要がない。従って、規制部材２６を設けた収納カセット２０’にも対応できる。【００６６】
＜他の実施形態＞
上記実施形態では吸着機能を持つ吸着パッド１４を採用したが、ガラス基板の滑り防止には必ずしも吸着機能を有するパッドである必要はなく、ガラス基板Ｗの急激な移動（滑り）に抵抗するパッドであればよい。例えば、上面にゴムやフェルト布等を有するパッドであってもよい。尤も、吸着パッド１４のように吸着機能を有するパッドの方が、ガラス基板の滑り防止に効果的であることは言うまでも無い。【００６７】
本願発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、また本願発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更や修正が可能であるため、本願発明の範囲は以下の請求の範囲によって規定されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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