(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に固定された可動子と、
前記可動子の外側に配置されて前記可動子との間に前記可動子を前記軸線方向に移動させる推力を発生させる固定子と、
前記可動子を前記軸線方向に移動可能に支持する可動子支持構造と、
前記可動子が前記直動軸を中心にして回動するのを阻止する１以上の回り止め構造と、
前記可動子の位置を検出するリニアレゾルバとを具備し、
前記リニアレゾルバが、位置検出信号を出力する検出コイルユニット及び前記可動子と一緒に変位して前記検出コイルユニットと鎖交する磁束を変化させる磁束変化発生部を備えており、
前記１以上の回り止め構造が、前記直動軸または前記可動子に対して固定されて、前記直動軸の軸線と平行に延びる仮想平行線に沿って前記直動軸または前記可動子と一緒に直線移動する直線移動部材と、前記固定子と一緒に固定状態に置かれて前記直線移動部材の前記仮想平行線に沿う方向の移動を許容し前記直線移動部材の前記直動軸を中心とする回転動作を阻止するように前記直線移動部材を受け入れる直線移動部材受入部とを備えているシリンダ型リニア同期モータであって、
前記リニアレゾルバの前記磁束変化発生部が、前記直線移動部材と平行に配置されて前記直線移動部材の移動範囲内で前記直線移動部材と一緒に移動するように前記直動軸または前記可動子に対して固定され、前記リニアレゾルバの前記検出コイルユニットが前記固定子と一緒に固定状態に置かれていることを特徴とするシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項２】
前記固定子の前記軸線方向の両側には前記直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットが配置されており、
一方の前記エンドブラケットから外部に突出する前記直動軸の一方の端部にはプレート部材が固定されており、
前記磁束変化発生部及び前記直線移動部材が前記プレート部材に固定されており、
前記直線移動部材受入部及び前記検出コイルユニットが前記一方のエンドブラケットに固定されている請求項１に記載のシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項３】
軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に固定された可動子と、
前記可動子の外側に配置されて前記可動子との間に前記可動子を前記軸線方向に移動させる推力を発生させる固定子と、
前記可動子を前記軸線方向に移動可能に支持する可動子支持構造と、
前記可動子が前記直動軸を中心にして回動するのを阻止する１以上の回り止め構造と、
前記可動子の位置を検出するリニアレゾルバとを具備し、
前記リニアレゾルバが、位置検出信号を出力する検出コイルユニット及び前記可動子と一緒に変位して前記検出コイルユニットと鎖交する磁束を変化させる磁束変化発生部を備えており、
前記１以上の回り止め構造が、前記直動軸または前記可動子に対して固定されて、前記直動軸の軸線と平行に延びる仮想平行線に沿って前記直動軸または前記可動子と一緒に直線移動する直線移動部材と、前記固定子と一緒に固定状態に置かれて前記直線移動部材の前記仮想平行線に沿う方向の移動を許容し前記直線移動部材の前記直動軸を中心とする回転動作を阻止するように前記直線移動部材を受け入れる直線移動部材受入部とを備えているシリンダ型リニア同期モータであって、
前記リニアレゾルバの前記磁束変化発生部が前記直線移動部材側に設けられ、前記リニアレゾルバの前記検出コイルユニットが前記直線移動部材受入部側に設けられていることを特徴とするシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項４】
前記直線移動部材は一端が前記直線移動部材受入部側に開口する空洞部を有するパイプからなり、前記直線移動部材受入部は前記パイプを受け入れるシリンダからなり、
前記磁束変化発生部は前記パイプの前記空洞部内に配置されたロッド形状を有しており、
前記検出コイルユニットは、前記シリンダの中心部に位置し、前記パイプの前記空洞部内に入り且つ前記ロッド形状の磁束変化発生部を受け入れる筒状コイル構造体として構成されている請求項３に記載のシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項５】
前記固定子の前記軸線方向の両側には前記直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットが配置されており、
一方の前記エンドブラケットから外部に突出する前記直動軸の一方の端部にはプレート部材が固定されており、
前記パイプが前記プレート部材に固定され、
前記シリンダが前記一方のエンドブラケットに固定されている請求項４に記載のシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項６】
前記固定子の前記軸線方向の両側には前記直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットが配置されており、
前記可動子にはパイプ固定部材が固定され、
前記パイプ固定部材に前記パイプが固定され、
前記シリンダが前記一方のエンドブラケットに固定されている請求項４に記載のシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項７】
軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に固定された可動子と、
前記可動子の外側に配置されて前記可動子との間に前記可動子を前記軸線方向に移動させる推力を発生させる固定子と、
前記可動子を前記軸線方向に移動可能に支持する可動子支持構造と、
前記固定子の前記軸線方向の両側に配置されて前記直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットと、
前記可動子が前記直動軸を中心にして回動するのを阻止するために前記一対のエンドブラケットの一方側に設けられた回り止め構造と、
前記可動子の位置を検出するリニアレゾルバとを具備し、
前記リニアレゾルバが、位置検出信号を出力する検出コイルユニット及び前記可動子と一緒に変位して前記検出コイルユニットと鎖交する磁束を変化させる磁束変化発生部を備えたシリンダ型リニア同期モータであって、
前記一対のエンドブラケットの他方に前記検出コイルユニットが固定され、
前記検出コイルユニットは前記他方のエンドブラケットに固定された前記軸受部の外側に同心的に配置され、
前記直動軸または前記可動子に前記リニアレゾルバの前記磁束変化発生部が固定されていることを特徴とするシリンダ型リニア同期モータ。
【請求項８】
軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に固定された可動子と、
前記可動子の外側に配置されて前記可動子との間に前記可動子を前記軸線方向に移動させる推力を発生させる固定子と、
前記可動子を前記軸線方向に移動可能に支持する可動子支持構造と、
前記固定子の前記軸線方向の両側に配置されて前記直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットと、
前記可動子が前記直動軸を中心にして回動するのを阻止するために前記一対のエンドブラケットの一方側に設けられた回り止め構造と、
前記可動子の位置を検出するリニアレゾルバとを具備し、
前記リニアレゾルバが、位置検出信号を出力する検出コイルユニット及び前記可動子と一緒に変位して前記検出コイルユニットと鎖交する磁束を変化させる磁束変化発生部を備えたシリンダ型リニア同期モータであって、
前記回り止め構造を覆うように前記一方のエンドブラケットに固定されたカバー部材を備え、
前記カバー部材に前記リニアレゾルバの前記検出コイルユニットが固定され、前記カバー部材内に位置する前記直動軸の一端に前記リニアレゾルバの前記磁束変化発生部が固定されていることを特徴とするシリンダ型リニア同期モータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動子が直線運動をするシリンダ形リニア同期モータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特開平１１−３３２２１１号公報及び特開２０００−２６２０３４号公報等には、出願人が提案した従来のシリンダ形リニア同期モータの構造が開示されている。従来のシリンダ形リニア同期モータでは、可動子の位置を光学的に検出するリニアスケールと呼ばれる高価な位置検出器を用いている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら光学的な位置検出器は価格が高く、シリンダ形リニア同期モータの価格を低減化することの障害になっていた。一般的なリニアモータでは、例えば特開２００１−８６７２９号公報等に示されるように、リニアレゾルバと呼ばれる可動子の直線移動を検出するレゾルバが使用されている。しかしながら出願人が知る限りにおいて、シリンダ形リニア同期モータでは、リニアレゾルバは採用されていない。これはもしシリンダ形リニア同期モータに、リニアレゾルバを採用すると、モータの軸線方向の寸法を長くしなければならないと考えられていたためである。
【０００４】
本発明の目的は、モータの軸線方向の寸法を長くすることなく、可動子の位置検出にリニアレゾルバを用いることができるシリンダ形リニア同期モータを提供することにある。
【０００５】
本発明の他の目的は、既存のモータよりも軸線方向寸法を短くすることができる、リニアレゾルバを備えたシリンダ形リニア同期モータを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明が改良の対象とするシリンダ型リニア同期モータは、軸線方向に往復移動する直動軸及び前記直動軸に固定された可動子と、この可動子の外側に配置されて可動子との間に可動子を軸線方向に移動させる推力を発生させる固定子と、可動子を軸線方向に移動可能に支持する可動子支持構造と、可動子が直動軸を中心にして回動するのを阻止する１以上の回り止め構造と、可動子の位置を検出するリニアレゾルバとを具備している。
【０００７】
可動子として、例えば軸線方向に往復移動する直動軸と、この直動軸に固定された磁石取付部と、磁石取付部に固定され直動軸の軸線方向に並ぶ複数の永久磁石からなる１以上の永久磁石列とを備えたものを用いることができる。なおこの場合、１つの永久磁石列を構成する複数の永久磁石は、物理的に組合せた複数の永久磁石であってもよいし、物理的に１つの磁性体が長手方向に交互にＮ極とＳ極とに着磁されて構成された複数の永久磁石でもよい。永久磁石列が複数列ある場合には、複数列の永久磁石列は周方向にほぼ等しい間隔をあけて配置するのが好ましい。但し、径方向の外面にＮ極またはＳ極が現れるように着磁された円環状永久磁石を用いて、永久磁石列の集合体を構成してもよい。
【０００８】
また固定子は、例えば、巻線導体が環状に巻かれて形成され、軸線方向に所定の間隔をあけて配置され且つ可動子の周囲を囲むように配置された複数の環状巻線を備えたものを用いることができる。この場合、固定子は、可動子の永久磁石列と所定の間隙を介して対向する複数の磁極部及びこれら複数の磁極部を磁気的に連結するヨークを有し且つ隣接する２つの磁極部間に対応する環状巻線の少なくとも一部を受け入れるスロットを形成するように複数の磁極部が軸線方向に間隔をあけて配置されてなる固定子コアユニットを備えている。ここでスロットは、可動子に向かって開口する開口部と環状巻線の少なくとも一部を受け入れる巻線受け入れ部とを有している。
【０００９】
リニアレゾルバは、位置検出信号を出力する検出コイルユニット及び可動子と一緒に変位して検出コイルユニットと鎖交する磁束を変化させる磁束変化発生部を備えている。検出コイルユニットは、位相が９０°異なる検出信号を出力する２以上のコイルから構成することができる。また磁束変化発生部は、例えば検出コイルユニットの各コイルを流れる磁束の磁路の一部を構成する導磁性材料から構成することができる。
【００１０】
１以上の回り止め構造は、直動軸または可動子に対して固定されて、直動軸の軸線と平行に延びる仮想平行線に沿って直動軸または可動子と一緒に直線移動する直線移動部材と、固定子と一緒に固定状態に置かれて直線移動部材の仮想平行線に沿う方向の移動を許容し直線移動部材の直動軸を中心とする回転動作を阻止するように直線移動部材を受け入れる直線移動部材受入部とを備えている。
【００１１】
第１の発明においては、リニアレゾルバの磁束変化発生部を、直線移動部材と平行に配置した上で直線移動部材の移動範囲内で直線移動部材と一緒に移動するように直動軸または可動子に対して固定し、リニアレゾルバの検出コイルユニットを固定子と一緒に固定状態に置いている。このようにすると、直動軸と、回り止め機構の直線移動部材とレゾルバセンサの磁束変化発生部とが、それぞれ平行状態に配置されることになる。その結果、モータの軸線方向の寸法を長くすることなく、直動軸の移動範囲内に、リニアレゾルバを配置することができる。
【００１２】
なお、固定子の軸線方向の両側に直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットが配置されている場合には、次のように構成すればよい。すなわち一方のエンドブラケットから外部に突出する直動軸の一方の端部にプレート部材を固定し、このプレート部材に磁束変化発生部及び直線移動部材を固定する。また直線移動部材受入部及び検出コイルユニットを一方のエンドブラケットに固定する。このようにすると簡単な構造で、回り止め機構とリニアレゾルバとを直動軸と平行な状態に配置することができる。
【００１３】
上記では、直動軸の一方の端部にプレート部材を設けてこのプレート部材にリニアレゾルバ及び回り止め機構の可動部材を固定したが、可動子にこれらの可動子を固定するようにしてもよい。この場合には、モータの内側から外側に向かってリニアレゾルバの磁束変化発生部と回り止め機構の直線移動部材が突き出す構造となる。このような構造にすると、直動軸の一端をフリーな状態にすることができるので、直動軸と負荷との接続が容易になる。
【００１４】
回り止め構造とは別にリニアレゾルバを設ける場合には、基本前提として、モータは固定子の軸線方向の両側に配置されて直動軸を支持する一対の軸受部をそれぞれ備えた一対のエンドブラケットを備えているものとする。そして回り止め構造は、可動子が直動軸を中心にして回動するのを阻止するために一対のエンドブラケットの一方側に設けられているものとする。このような場合においては、一対のエンドブラケットの他方に検出コイルユニットを固定する。
【００１５】
上記第１の発明では、回り止め機構とリニアレゾルバとを別々のものとして設けているが、リニアレゾルバが回り止め機構の機能を果たすように構成することもできる。その場合には、リニアレゾルバの磁束変化発生部を回り止め構造の直線移動部材側に設け、リニアレゾルバの検出コイルユニットを回り止め構造の直線移動部材受入部側に設ける。例えば、磁束変化発生部を剛性のロッドとしてこのロッドで直線移動部材を構成してもよい。また具体的には、直線移動部材を一端が直線移動部材受入部側に開口する空洞部を有するパイプから構成し、直線移動部材受入部をこのパイプを受け入れるシリンダから構成することができる。そして磁束変化発生部は、パイプの空洞部内に配置されたロッド形状とし、検出コイルユニットをシリンダの中心部に位置し、パイプの空洞部内に入り且つロッド形状の磁束変化発生部を受け入れる筒状コイル構造体として構成することができる。このような構造を採用すると、１つの回り止め機構の内部に、シリンダレゾルバを配置することができる。
【００１６】
また検出コイルユニットを他方のエンドブラケットに固定された軸受部の外側に同心的に配置することができる。この場合には、直動軸または可動子にリニアレゾルバの磁束変化発生部を固定する。検出コイルユニットを軸受部と同心的に配置すれば、検出コイルユニットを設けるために、直動軸を長くする必要がなくなる。そのため回り止め構造を利用しない場合でも、モータの軸線方向寸法を長くすることなく、リニアレゾルをモータに装着することができる。この場合には、回り止め機構を他方のエンドブラケットを利用して設けることができる。しかしレゾルバそのものは、回転方向の運動を許容できるので、検出コイルユニットを軸受部と同心的に配置する場合には、必ずしも回り止め機構を必要としない。
【００１７】
回り止め構造を覆うように一方のエンドブラケットにカバー部材が設けられる場合には、次のようにしてリニアレゾルバを配置すると、モータの軸線方向寸法を長くする必要がなくなる。まずカバー部材にリニアレゾルバの検出コイルユニットを固定する。そしてカバー部材内に位置する直動軸の一端にリニアレゾルバの磁束変化発生部を固定する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。図１は、本発明の実施の形態の一例を説明するために用いる本発明の前提となる出願人が先に提案したシリンダ形リニア三相同期モータ１の一部破断断面図である。なおこの図は、理解を容易にするために、図３のＩ−Ｉ線に沿って切断して展開した断面図である。図２は図１のモータの平面図であり、図３は図１のモータの左側面図である。これらの図において、このシリンダ形リニア三相同期モータ１のケース３は、非磁性材料（例えばアルミニューム）製のシリンダ形のフレーム５とアルミニューム製の一対のエンドブラケット７及び９とから構成されている。
【００１９】
一対のリニア軸受１１及び１３には、直線往復運動可能に鉄製の直動軸１５が支持されている。図１に示した状態は、直動軸１５の負荷が接続される出力軸部１５ａが最も外側に突出した状態である。ケース３の内部に位置する直動軸１５の部分には、磁性材料である鉄製の磁石取付体１７が直動軸１５と同心になるように固定されている。磁石取付体１７が固定される直動軸１５の部分には、軸線方向に延びる突条部が一体に形成されており、磁石取付体１７の内周部には突条部が嵌合されるキー溝が形成されている。磁石取付体１７は、基本的には円筒形または角筒形を成している。磁石取付け体１７の外周面が、磁石取付部１９を構成している。磁石取付部１９は、直動軸１５の軸線方向に延びるほぼ円筒形状を有しており、その外周には８個の円環状永久磁石２１…が直動軸１５に沿って直線状に並んで構成される６本の永久磁石列２３が固定されている。この例では、直動軸１５と、磁石取付体１７と永久磁石列２３とによって可動子２５が構成されている。
【００２０】
フレーム５の内周部には、固定子コアユニット２７…が固定されている。固定子コアユニット２７…は、フレーム５の内周側に固定された基部すなわちヨーク２７ａ及び直動軸１５の径方向において磁極面２７が永久磁石２１…によって形成される永久磁石列２３と対向し且つ直動軸１５の軸線方向に所定の間隔をあけて配置された複数の磁極部２７ｂ…を有している。なお固定子コアユニット２７の構造については、公知であるので説明は省略する。各固定子コアユニット２７の隣接する２つの磁極部２７ｂ間に形成されるスロットには、巻線導体を環状に巻回してなる励磁巻線を構成する環状巻線２９…の一部がそれぞれ嵌合されている。なおこの例では、固定子コアユニット２７…と環状巻線２９…とにより固定子３１が構成されている。
【００２１】
固定子３１の軸線方向の一方側に位置するエンドブラケット７には、直動軸１５の軸線と平行に延びる２本の仮想平行線を中心としてエンドブラケット７を厚み方向（軸線方向）に貫通する２本の貫通孔３３及び３５が形成されている。図１では、２つの貫通孔３３及び３５が１８０°離れた位置に形成されているように示されているが、図３から分かるように、２つの貫通孔３３及び３５は、数十度の角度間隔をあけて並んでいる。一方の貫通孔３３内には、リニアレゾルバ３７の一部を構成する有底の筒体またはシリンダ３９が嵌合されている。シリンダ３９は、エンドブラケット７の外側に向かって開口しており、その底部（固定子３１側に位置する壁部）に設けられた貫通孔には、検出コイルユニット４１のコネクタ部４３が嵌合されている。コネクタ部４３から延びる複数の引出し線４５は、フレーム５の外側に設けられた基板ケース４７内に配置された回路基板４９上の回路パターン中の電極に接続されている。この回路基板４９上には、リニアレゾルバ３７の信号処理回路を構成する電気部品が実装されている。基板ケース４７には、外部接続用のコネクタが接続されている。
【００２２】
検出コイルユニット４１は、９０°位相の異なる２つの位置検出信号を出力するように配線されて直線状に並べられた４つの環状のコイルを含む筒状コイル構造体５１を備えている。リニアレゾルバ３７は、検出コイルユニット４１の筒状コイル構造体４５の内部を軸線方向と平行な方向に変位するロッド形状の磁束変化発生部５３を備えている。この磁束変化発生部５３は、可動子２５または直動軸１５と一緒に変位して検出コイルユニット４１のコイルと鎖交する磁束を変化させるように磁性体と非磁性体とが交互に並んだ構造を有している。磁束変化発生部５３の基部は、固定キャップ５５に固定されている。固定キャップ５５及び磁束変化発生部５３の主要部は、金属製のパイプ５７の内部に収納されている。そしてこのパイプ５７は、直動軸１５の端部１５ａに固定されたプレート部材１６に固定されている。パイプ５７は、シリンダ３９と筒状コイル構造体５１との間に形成された円筒状の空間の内部を軸線方向と平行な方向に移動し得るように、その空間内に嵌合されている。
【００２３】
なおこの実施の形態で用いたリニアレゾルバ２７は、株式会社アミテックがインダクトスケール（商標）の名称で販売しているものである。
【００２４】
エンドブラケット７の貫通孔３５の内部には、回り止め構造を構成する一対の筒状のベアリング５９が嵌合されている。そして一対のベアリング５９には、一端がプレート部材１６に固定されたロッド部材６１が軸線方向と平行な別の仮想平行線に沿って直線移動し得るように支持されている。この回り止め構造では、ベアリング５９が直線移動部材受入部を構成しており、ロッド部材６１が直線移動部材を構成している。
【００２５】
プレート部材１６は、直動軸１５の一端１５ａにボルト６３によって固定されている。プレート部材１６には、負荷を接続するための４つのねじ孔６５が形成されている。
【００２６】
上記の例において、リニアレゾルバ２７の機械的に強度を十分なものとして構成すれば、リニアレゾルバ２７を回り止め構造として兼用することもできる。すなわちリニアレゾルバ２７のみを用いて回り止めを図ることもできる。その場合には、上記例において、パイプ５７が、直動軸１５の軸線と平行に延びる仮想平行線に沿って直動軸１５または可動子２５と一緒に直線移動する直線移動部材を構成し、シリンダ３９が固定子３１と一緒に固定状態に置かれて、直線移動部材としてパイプ５７の仮想平行線に沿う方向の移動を許容し、パイプ５７の直動軸１５を中心とする回転動作を阻止するようにパイプ５７を受け入れる直線移動部材受入部を構成することになる。
【００２７】
図４は、本発明の第２の実施の形態の断面図である。なお図１に示した実施の形体を構成する部分または部品と同じ部分または部品には、図１に付した符号の数に１００を加えた数の符号を付してある。この実施の形態では、回り止め構造としてリニアレゾルバ１３７が兼用されている。具体的には、リニアレゾルバの磁束変化発生部を回り止め構造の直線移動部材になるように構成し、回り止め機構の直線移動部材受入部側にリニアレゾルバ１３７の検出コイルユニットが配置されている。この例では、リニアレゾルバ１３７のパイプ１５７を、モータ１０１の可動子１２５の磁石取付体１１７にパイプ固定部材１１８を用いて固定している。１４０は、リニアレゾルバ１３７をエンドブラケット１０７に取付ける取付け具である。この例によれば、エンドブラケット１０７から外部に突出する直動軸１１５をフリーな状態にすることができるので、直動軸１１５と負荷との接続が自由になる利点がある。
【００２８】
図５は、本発明の第３の実施の形態の断面図である。なお図１に示した実施の形態を構成する部分または部品と同じ部分または部品には、図１に付した符号の数に２００を加えた数の符号を付してある。この実施の形態では、図１乃至図４に示した実施の形態で用いたリニアレゾルバとは異なって、大型のリニアレゾルバを用いている。この例では、エンドブラケット２０７に検出コイルユニット２５１を固定している。検出コイルユニット２５１は、エンドブラケット２０７に固定された軸受部２１１の外側に同心的に配置されている。エンドブラケット２０７には、検出コイルユニット２５１の内側に筒状の空洞２０８が形成されている。この空洞２０８には、直動軸２１５に固定されるプレート部材２１６に固定されたリニアレゾルバの磁束変化発生部２５３が軸線方向に移動可能に配置されている。検出コイルユニット２５１を軸受部２１１と同心的に配置すれば、検出コイルユニット２５１を設けるために、直動軸２１５を長くする必要がなくなる。なおこの例では、直動軸２１５が回動することを許容しているため、回り止め構造を特に設けていない。
【００２９】
図６は、本発明の第４の実施の形態の断面図である。なお図１乃至図５に示した実施の形態を構成する部分または部品と同じ部分または部品には、図１乃至図５に付した符号の数に３００を加えた数の符号を付してある。この実施の形態では、一方のエンドブラケット３０７に回り止め構造が設けられている。そして他方のエンドブラケット３０９にリニアレゾルバ３３７を構成する検出コイルユニット３５１が設けられており、また磁束変化発生部を構成する筒体３５３が可動子に配置されている。
【００３０】
図７は、本発明の第５の実施の形態の断面図である。なお図１乃至図５に示した実施の形態を構成する部分または部品と同じ部分または部品には、図１乃至図５に付した符号の数に４００を加えた数の符号を付してある。この実施の形態では、回り止め構造を覆うように一方のエンドブラケット４０７にカバー部材４０２が設けられている。そしてカバー部材４０２にリニアレゾルバ４３７の検出コイルユニット４５１を固定している。そしてカバー部材４０２内に位置する直動軸４１５の一端にリニアレゾルバの磁束変化発生部４５１を固定している。
【００３１】
【発明の効果】
本発明では、リニアレゾルバの磁束変化発生部を回り止め構造の直線移動部材側に設け、リニアレゾルバの検出コイルユニットを回り止め構造の直線移動部材受入部側に設けたので、直動軸を従来よりも長くすることなく、回り止め構造の構成を利用して、リニアレゾルバを配置することができる。したがって本発明によれば、モータの軸線方向寸法を長くすることなく、しかもモータの基本構造を大幅に変更することなく、リニアレゾルバを設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を説明するために用いる本発明の前提となる出願人が先に提案したシリンダ形リニア三相同期モータの一部破断断面図である。
【図２】図１のモータの平面図である。
【図３】図１のモータの左側面図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態の断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態の断面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態の断面図である。
【図７】本発明の第５の実施の形態の断面図である。
【符号の説明】
１  シリンダ形リニア三相同期モータ
１５  直動軸
１７  磁石取付体
２１  円環状永久磁石
２５  可動子
３１  固定子
３７  リニアレゾルバ
３９  直線移動部材受入部
４１  検出コイルユニット
５３  磁束変化発生部
５７  直線移動部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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