(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に荷電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁と、第一基板及び第二基板の前記基板間に配置され前記基板間の距離を決定するスペーサを備えた電気泳動表示媒体の前記隔壁と前記スペーサとを前記第一基板上に形成する形成方法において、
前記第一基板上に第一ネガレジストを配置する第一レジスト配置工程と、
前記第一レジスト配置工程後、前記隔壁のパターン及び前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第一マスクを介して、前記第一ネガレジストを露光する第一露光工程と、
前記第一露光工程後、前記第一ネガレジスト上に第二ネガレジストを配置する第二レジスト配置工程と、
前記第一マスクを除去せずに、更に前記基板上に、前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第二マスクを配置する第二マスク配置工程と、
前記第二レジスト配置工程後、前記第二マスクを介して、前記第二ネガレジストを露光する第二露光工程と、
前記第二露光工程後、前記第一ネガレジスト及び前記第二ネガレジストを現像する現像工程とを備える電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法。
【請求項２】
互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に荷電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁と、第一基板及び第二基板の前記基板間に配置され前記基板間の距離を決定するスペーサを備えた電気泳動表示媒体において、
前記隔壁及び前記スペーサが、
前記第一基板上に第一ネガレジストを配置する第一レジスト配置工程と、
前記第一レジスト配置工程後、前記隔壁のパターン及び前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第一マスクを介して、前記第一ネガレジストを露光する第一露光工程と、
前記第一露光工程後、前記第一ネガレジスト上に第二ネガレジストを配置する第二レジスト配置工程と、
前記第一マスクを除去せずに、更に前記基板上に前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第二マスクを配置する第二マスク配置工程と、
前記第二レジスト配置工程後、前記第二マスクを介して、前記第二ネガレジストを露光する第二露光工程と、
前記第二露光工程後、前記第一ネガレジスト及び前記第二ネガレジストを現像する現像工程とを備える電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法によって形成されたことを特徴とする電気泳動表示媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法、及び、隔壁及びスペーサが電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法によって形成された電気泳動表示媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、対向して設けられた一対の基板の間に、正負どちらかの電荷を有する荷電粒子を分散させた分散媒を封入し、荷電粒子を電界によって基板間を移動させることによって画像の表示を行う電気泳動表示媒体が知られている。
【０００３】
このような電気泳動表示媒体においては、基板間の領域を区画する隔壁と、基板間の外周に配置され基板間の距離を決定するスペーサが備えられている。
【０００４】
特許文献１には、このようなスペーサ及び隔壁が基板間に配置された電気泳動表示媒体が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】実開昭５６-１０８１７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような、隔壁とスペーサを備えた電気泳動表示媒体が製造される際は、基板の外周にスペーサが配置されたあと、外周に配置されたスペーサの内側の領域に隔壁が配置されるか、隔壁が基板の上に配置されたあと、その隔壁を全て囲むように基板の外周にスペーサが配置されることが考えられる。この場合、隔壁と基板とを確実に固定するために、隔壁と基板との間に接着剤が用いられる。また、スペーサと基板とを確実に固定するために、スペーサと基板との間に接着剤が用いられる。
【０００７】
しかしながら、このような電気泳動表示媒体において隔壁の高さをスペーサの高さよりも低くしたい要望があるときに、上述のようにそれぞれ別々に形成された隔壁及びスペーサが基板上に配置されると、隔壁の高さとスペーサの高さの差を精度良く出すことが困難であった。なぜなら、隔壁と基板との間の接着剤の厚みと、スペーサと基板との間の接着剤の厚みを精度良く制御することが困難であるからである。
【０００８】
本願発明は上述の問題を解決するためになされたものであって、基板上に高さの異なる隔壁とスペーサを精度良く形成する形成方法、及び、高さの異なる隔壁とスペーサとが精度良く形成された電気泳動表示媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、請求項１記載の電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に荷電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁と、第一基板及び第二基板の前記基板間に配置され前記基板間の距離を決定するスペーサを備えた電気泳動表示媒体の前記隔壁と前記スペーサとを前記第一基板上に形成する形成方法において、前記第一基板上に第一ネガレジストを配置する第一レジスト配置工程と、前記第一レジスト配置工程後、前記隔壁のパターン及び前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第一マスクを介して、前記第一ネガレジストを露光する第一露光工程と、前記第一露光工程後、前記第一ネガレジスト上に第二ネガレジストを配置する第二レジスト配置工程と、前記第一マスクを除去せずに、更に前記基板上に、前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第二マスクを配置する第二マスク配置工程と、前記第二レジスト配置工程後、前記第二マスクを介して、前記第二ネガレジストを露光する第二露光工程と、前記第二露光工程後、前記第一ネガレジスト及び前記第二ネガレジストを現像する現像工程とを備える。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【００１５】
また、請求項２記載の電気泳動表示媒体は、互いに対向して設けられた第一基板及び第二基板と、前記第一基板と第二基板との基板間に荷電粒子を分散させた分散媒と、前記基板間の領域を区画する隔壁と、第一基板及び第二基板の前記基板間に配置され前記基板間の距離を決定するスペーサを備えた電気泳動表示媒体において、前記隔壁及び前記スペーサが、前記第一基板上に第一ネガレジストを配置する第一レジスト配置工程と、前記第一レジスト配置工程後、前記隔壁のパターン及び前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第一マスクを介して、前記第一ネガレジストを露光する第一露光工程と、前記第一露光工程後、前記第一ネガレジスト上に第二ネガレジストを配置する第二レジスト配置工程と、前記第一マスクを除去せずに、更に前記基板上に前記スペーサのパターンを露光するための開口パターンを有する第二マスクを配置する第二マスク配置工程と、前記第二レジスト配置工程後、前記第二マスクを介して、前記第二ネガレジストを露光する第二露光工程と、前記第二露光工程後、前記第一ネガレジスト及び前記第二ネガレジストを現像する現像工程とを備える電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法によって形成されたことを特徴とする電気泳動表示媒体。
【発明の効果】
【００１６】
【００１７】
【００１８】
また、請求項１記載の発明によれば、隔壁とスペーサを第一基板上にフォトリソグラフィにより一体に形成するので、それぞれ高さの異なる隔壁とスペーサとを精度良く形成することができる。また、第二マスク配置工程において、第一マスクを除去する必要がないので、効率的に隔壁とスペーサとを形成することができる。
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【００２２】
また、請求項２記載の発明によれば、隔壁とスペーサとが第一基板上にフォトリソグラフィにより一体に形成されているため、それぞれ高さの異なる隔壁とスペーサとが精度良く形成されている。また、第二マスク配置工程において、第一マスクを除去する必要がないので、効率的に隔壁とスペーサとを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
先ず、本発明の実施の形態である電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法によって形成された隔壁１３及びスペーサ１４を備えた電気泳動表示媒体１０について説明する。
【００２５】
図１は電気泳動表示媒体１０の外観を示す斜視図である。図１に示すように電気泳動表示媒体１０はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）で矩形に形成された第一基板１１と、同じくポリエチレンテレフタレートで矩形に形成された第二基板１２とが互いに対向して配置される。尚、第二基板１２の上面が画像を表示する表示面であるため、第二基板１２は透明なポリエチレンテレフタレートで形成されている。この電気泳動表示媒体１０では、第二基板１２の上面が表示面であり、第二基板１２における表示面の中央部の表示領域１に画像が表示される。
【００２６】
第一基板１１と第二基板１２との間の外周には、スペーサ１４が形成されており、スペーサ１４により第一基板１１と第二基板１２との基板間の距離が決められる。またスペーサ１４は第一基板１１と第二基板１２との基板間に封入された後述する分散媒１６及び荷電粒子１５が外部に漏れ出さないように封止する役割も担っている。
【００２７】
この電気泳動表示媒体１０の内部の構成を図２を用いて説明する。図２は電気泳動表示媒体１０の内部構成を説明する説明図である。図２に示すように、第一基板１１と第二基板１２との基板間には、負の電荷を有する黒色の荷電粒子１５を分散させた分散媒１６が封入されている。分散媒１６は白色に染色されている。荷電粒子１５の平均粒子径は３μｍである。
【００２８】
第一基板１２上には、本願発明の形成方法で形成された隔壁１３が配置されている。隔壁１３は、荷電粒子１５が水平方向へ移動するのを妨げるように形成されている。このため隔壁１３は、荷電粒子１５が第一基板１１と第二基板１２との基板間で偏在することを防止する。荷電粒子１５が基板間で偏在することが防止されれば、荷電粒子１５が基板間において満遍なく分散されるため、表示画像ににむらが発生することを防止することができる。
【００２９】
図３は隔壁１３及びスペーサ１４の斜視図である。隔壁１３及びスペーサ１４は後述する形成方法により、エポキシ系の樹脂により一体に形成されている。隔壁１３は上方から見た場合、格子状に見えるように形成されている。またスペーサ１４は格子状の隔壁１３を囲むように矩形に形成されている。
【００３０】
後述するように、隔壁１３の高さはスペーサ１４の高さよりも低く形成されているため、隔壁１３の上面が第二基板１２と当接しない。具体的には隔壁１３の高さが２０μｍで、スペーサ１４の高さが２５μｍである。このため、隔壁１３の上面と、第二基板１２の下面との間には５μｍの隙間が存在する。
【００３１】
次に、電気泳動表示媒体１０における表示の切換え動作について説明する。電気泳動表示媒体１０は第一基板１１及び第二基板１２は荷電粒子１５に電界を印加するための電極を直接有していないため表示の切換え動作が行われる場合は、図４に示すように外部に電極２１及び電極２２が配置され、基板間の荷電粒子に電界が印加される。電極２１は第一基板１１側に配置されており、電極２２は第二基板１２側に配置されている。ここでは、説明を簡単にするために、画素ごとに一対の電極２１及び電極２２が配置されるものとする。したがって、この一対の電極２１及び電極２２に印加する電圧が制御されることによって、画素ごとに表示の切り替えが制御される。
【００３２】
図４においては、図１に示した表示領域１全域に黒色が表示された状態が表されている。この場合、全ての電極２１に５０Ｖの電圧が印加され、全ての電極２２に０Ｖの電圧が印加され、負の電荷を有する荷電粒子１５が第二基板１２側に移動される。そして、黒色の荷電粒子１５が第二基板１２に付着する。これにより、表示領域１には黒色が表示される。
【００３３】
尚、荷電粒子１５を移動させるために電極２１及び電極２２に電圧を印加したが、仮にこの電圧が落とされて両方の電圧が０Ｖになっても、荷電粒子１５の第二基板１２に付着した状態が維持される。
【００３４】
図５においては、表示領域１全域に白色が表示されたときの様子が表されている。この場合、全ての電極２１に０Ｖの電圧が印加され、全ての電極２２に５０Ｖの電圧が印加され、負の電荷を有する荷電粒子１５が第一基板１１側に移動される。そして、黒色の荷電粒子１５が第一基板１１に付着する。これにより、第二基板１２側には、白色の分散媒１６のみが残されるので、表示領域１には白色が表示される。
【００３５】
上述したように、隔壁１３の上面と、第二基板１２の下面との間には５μｍの隙間が存在する。また、荷電粒子１５の平均粒子径が３μｍである。このため、図４に示したように、表示領域１に黒色が表示された場合、隔壁１３の上面と第二基板１２の下面との隙間に荷電粒子１５が入り込むことができるため、表示領域１全域にわたって黒色が表示される。
【００３６】
これに対して、図６に示したのように、上面が第二基板１２の下面と当接する隔壁２１３を有する電気泳動表示媒体２００では、隔壁２１３の上面と第二基板１２の下面との間に隙間がないため、表示領域１には黒色を表示することができない領域が必ず発生する。
【００３７】
このように、隔壁１３の高さがスペーサ１４の高さよりも低く形成されることにより、電気泳動表示媒体１０においては、表示領域１が有効に活用される。
【００３８】
次に、本発明の第一実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法について説明する。
【００３９】
図７は本発明の第一実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法における各工程を説明するための説明図である。図７（ａ）は本発明の第一レジスト配置工程を説明する説明図であり、図７（ｂ）は本発明の第一マスク配置工程を説明する説明図であり、図７（ｃ）は本発明の第一露光工程を説明する説明図であり、図７（ｄ）は本発明の第二レジスト配置工程を説明する説明図であり、図７（ｅ）は本発明の第二マスク配置工程を説明する説明図であり、図７（ｆ）は本発明の第二露光工程を説明する説明図であり、図７（ｇ）は本発明の現像工程を説明する説明図である。
【００４０】
まず、図７（ａ）に示すように第一レジスト配置工程において、樹脂と感光剤と溶剤からなるネガ型のレジストである第一ネガレジスト３１が第一基板１１上に塗布される。第一ネガレジスト３１は回転塗布により厚みが２０μｍになるようにして第一基板１１上に塗布される。そして、第一ネガレジスト３１のソフトベークが行なわれ、第一ネガレジスト３１がべたつかなくなるまで第一ネガレジスト内の溶剤が飛ばされる。
【００４１】
次に、図７（ｂ）に示すように第一マスク配置工程において、第一マスク４１を第一ネガレジスト３１から離した状態で、第一基板１１上に第一マスク４１が配置される。
【００４２】
ここで、第一マスク４１について図８を用いて説明する。図８は第一マスク４１の正面図である。第一マスク４１は、図８に示したような格子状の開口パターン４１ａが形成されるように、透明なガラス基板上に遮光剤４１ｂが印刷されている。
【００４３】
次に、図７（ｃ）に示すように第一露光工程において、上述した第一マスク４１を介して第一ネガレジスト３１が露光される。これによって、第一ネガレジストの露光された部分の樹脂が感光剤の作用により固められる。このときの露光量は５００ｍＪ／ｃｍ２である。そして、露光によって固められた部分の側面を滑らかなものにするため、第一ネガレジスト３１についてＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）が行なわれる。隔壁１３と同じ形状の潜像６３が形成される。この潜像６３は溶剤を多く含んでいるが、後述するポストベークによって更に溶剤を飛ばすことによって隔壁１３が完成される。
【００４４】
次に、図７（ｄ）に示すように第二レジスト配置工程において、ネガ型のレジストである第二ネガレジスト３２が第一ネガレジスト３１上に塗布される。第二ネガレジスト３２は回転塗布により厚みが５μｍになるようにして第一ネガレジスト３１上に塗布される。そして、第一ネガレジスト３１上に塗布された第二ネガレジスト３２がべたつかなくなるまで、第二ネガレジスト３２のソフトベークが行なわれる。
【００４５】
次に、図７（ｅ）に示すように第二マスク配置工程において、第一マスク４１が第一基板１１上から除去され、第二マスク４２が第二ネガレジスト３２から離された状態で、第一基板１１上に第二マスク４２が配置される。
【００４６】
ここで、第二マスク４２について図９を用いて説明する。図９は第二マスク４２の正面図である。第二マスク４２には、図９に示したように、透明なガラス基板上に遮光剤４２ｂが塗布された領域と遮光剤４２ｂが塗布されていない領域との境界である大小二つの矩形の境界ではさまれた開口パターン４２ａが形成さている。
【００４７】
次に、図７（ｆ）に示すように第二露光工程において、上述した第二マスク４２を介して第二ネガレジスト３２及び第一ネガレジスト３１が露光される。このときの露光量は７５０ｍＪ／ｃｍ２ある。そして、第二ネガレジスト３２及び第一ネガレジスト３１についてＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）が行われ、スペーサ１４と同じ形状の潜像６４が形成される。
【００４８】
次に、図７（ｇ）に示すように現像工程において、潜像６３及び潜像６４が形成された第一ネガレジスト３１及び第二ネガレジストを、現像液を用いて現像が行なわれ、未硬化部分（未露光部分）が除去されるのである。その後、ポストベークにより、第一基板１１上に残った潜像６３及び潜像６４が焼き固められ、隔壁１３及びスペーサ１４が第一基板１１上に形成される。
【００４９】
第一実施形態によれば、隔壁１３とスペーサ１４とが第一基板１１上にフォトリソグラフィにより一体に形成されるので、それぞれ高さの異なる隔壁１３とスペーサ１４とが精度良く形成される。
【００５０】
また、第一実施形態によれば、第二露光工程での露光量の７５０ｍＪ／ｃｍ２が、第一露光工程における露光量の５００ｍＪ／ｃｍ２よりも多いので、第二ネガレジスト及び第一ネガレジストの層に潜像６４が確実に形成される。具体的には、同一光源を用いて第一露光工程よりも第二露光工程の露光時間が長くされることによって、露光量の調整が行なわれる。ここで、５００ｍＪ／ｃｍ２は厚さ２０μｍのネガレジストを硬化するのに必要な露光量であり、７５０ｍＪ／ｃｍ２は厚さ２５μｍのネガレジストを硬化するのに必要な露光量である。従って、第一露光工程での露光量は５００ｍＪ／ｃｍ２以上であれば良いので、第一露光工程で７５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光し、第二露光工程で７５０ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光しても良い。
【００５１】
次に、本発明の第二実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法について説明する。
【００５２】
図１０は本発明の第二実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法における各工程を説明するための説明図である。図１０（ａ）は本発明の第一レジスト配置工程を説明する説明図であり、図１０（ｂ）は本発明の第一マスク配置工程を説明する説明図であり、図１０（ｃ）は本発明の第一露光工程を説明する説明図であり、図１０（ｄ）は本発明の第二レジスト配置工程を説明する説明図であり、図１０（ｅ）は本発明の第二マスク配置工程を説明する説明図であり、図１０（ｆ）は本発明の第二露光工程を説明する説明図であり、図１０（ｇ）は本発明の現像工程を説明する説明図である。
【００５３】
まず、図１０（ａ）に示すように第一レジスト配置工程において、ネガ型のレジストである第一ネガレジスト３１が第一基板１１上に塗布される。第一ネガレジスト３１は回転塗布により厚みが２０μｍになるようにして第一基板１１上に塗布される。そして、第一基板１１上に塗布された第一ネガレジスト３１がべたつかなくなるまで、第一ネガレジスト３１のソフトベークが行なわれる。
【００５４】
次に、図１０（ｂ）に示すように第一マスク配置工程において、第一マスク７１が第一ネガレジスト３１から離した状態で第一基板１１上に配置される。
【００５５】
ここで、第一マスク７１について図１１を用いて説明する。図１１は第一マスク７１の正面図である。図１１に示すように第一マスク７１には、開口パターン７１ａが形成されるようにガラス基板上に遮光剤４１ｂが印刷されている。開口パターン７１ａは、第一実施形態における第一マスク４１に形成されたような格子状の開口パターン４１ａに、第一実施形態における第二マスク４２に形成された矩形の開口パターン４２ａを組み合わせた形状をしている。
【００５６】
次に、図１０（ｃ）に示すように第一露光工程において、上述した第一マスク７１を介して第一ネガレジスト３１が露光される。このときの露光量は５００ｍＪ／ｃｍ２である。そして、第一ネガレジスト３１についてＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）が行われ、隔壁１３と同じ形状の潜像６３が形成される。このとき、第二実施形態における第一マスク７１の開口パターン７１ａは、上述したように第一実施形態における第一マスク４１に形成された格子状の開口パターン４１ａに、第一実施形態における第二マスク４２に形成された矩形の開口パターン４２ａを組み合わせた形状をしているため、第一ネガレジスト３１には、スペーサと同じ形状の潜像６４の一部である潜像６４ａも形成される。
【００５７】
次に、図１０（ｄ）に示すように第二レジスト配置工程において、ネガ型のレジストである第二ネガレジスト３２が第一ネガレジスト３１上に塗布される。第二ネガレジスト３２は回転塗布により厚みが５μｍになるようにして第一ネガレジスト３１上に塗布される。そして、第一ネガレジスト３１上に塗布された第二ネガレジスト３２がべたつかなくなるまで、第二ネガレジスト３２のソフトベークが行なわれる。
【００５８】
次に、図１０（ｅ）に示すように第二マスク配置工程において、第一マスク７１を第一基板１１上から除去せずに、第二マスク７２を第一マスク７１のさらに上にかぶせるようにして、第一基板１１上に第二マスク７２が配置される。
【００５９】
ここで、第二マスク７２について図１２を用いて説明する。図１２は第二マスク７２の正面図である。第一実施形態の第二マスク４２同様に、第二マスク７２は、図１２に示したような矩形の開口パターン７２ａが形成されるように、ガラス基板上に遮光剤７２ｂが印刷されている。
【００６０】
次に、図１０（ｆ）に示すように第二露光工程において、上述した第二マスク７２及び第一マスク７１を介して第二ネガレジスト３２が露光される。そして、第二ネガレジスト３２についてＰＥＢ（Ｐｏｓｔ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｂａｋｅ）が行なわれ、潜像６４の残りの部分が潜像６４ａの上面に形成される。従って、第一基板１１上には第一実施形態同様に、スペーサ１４と同じ形状の潜像６４が形成される。
【００６１】
次に、図１０（ｇ）に示すように現像工程において、潜像６３及び潜像６４が形成された第一ネガレジスト３１及び第二ネガレジストを、現像液を用いて現像が行なわれる。その後、ポストベークにより、第一基板１１上に残った潜像６３及び潜像６４が焼き固められ、隔壁１３及びスペーサ１４が第一基板１１上に形成される。
【００６２】
この第二実施形態によれば、第二マスク配置工程において、第一マスクを除去する必要がないので、効率的に隔壁とスペーサとが形成される。
【００６３】
尚、本発明の電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法、及び、隔壁及びスペーサが電気泳動表示媒体の隔壁とスペーサとを基板上に形成する形成方法によって形成された電気泳動表示媒体は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００６４】
上述の実施形態では、荷電粒子１５の平均粒子径を３μｍとし、隔壁１３の高さを２０μｍとし、スペーサ１４の高さを２５μｍとして説明したが、特にこの数字に限定するもので無いことは言うまでも無い。
【００６５】
また、上述の実施形態では、電気泳動表示媒体１０の第一基板１１及び第二基板１２が荷電粒子１５に電界を加えるための電極を直接有しないものとして説明したが、第一基板１１及び第二基板１２が直接電極を備えるようにしてもよい。尚、このとき第一基板１１および第二基板１２に形成される電極はＴＦＴ電極や、単純マトリックス駆動電極のように、電気泳動表示媒体において周知の電極を形成できることは言うまでも無い。
【００６６】
また、上述の実施形態では、分散媒１６に黒色の荷電粒子１５が分散されているものとして説明したが、分散媒１６に分散される荷電粒子１５の色は特に黒色に限定するもので無いことは言うまでも無い。
【００６７】
また、上述の実施形態では、分散媒１６に分散されている荷電粒子が黒色の荷電粒子１５が分散されており、分散媒１６が白色に染色されているものとして説明したが、分散媒１６を透明とし、荷電粒子１５とは極性の異なる白色の荷電粒子が分散媒１６に分散されていてもよい。
【００６８】
また、上述の実施形態では、第一基板１１及び第二基板１２の外周のみにスペーサ１４が形成されているものとして説明したが、隔壁の一部が第二基板１２と接するように形成され、第一基板１１と第二基板１２との距離を決めるスペーサとして兼用されるようにしても良い。図１３および図１４は隔壁の一部がスペーサとしても機能するように形成された隔壁３１３の斜視図である。格子状の隔壁が高さの低い隔壁３１３ａと高さが高い隔壁３１３ｂとから形成されている。円柱状の柱３１３ｃが隔壁３１３の上に所定の間隔で複数設けられていても良い。このように隔壁の形状は特に限定されるものではない。
【００６９】
また、上述の第二実施形態では、第二マスク配置工程において第一マスク７１を除去せずに、第二マスク７２が第一マスク７１の更に上から配置されるものとして説明したが、第二マスク配置工程において第一マスク７１を除去したあと、第二マスク７２だけが基板上に配置されてもよい。  また、上述の実施形態では、第二基板１２が透明なポリエチレンテレフタレートで形成され、電気泳動表示媒体１０では、第二基板１２の上面が表示面であるものとして説明したが、第一基板１１を透明なポリエチレンテレフタレートで形成し、第一基板１１の面を表示面としてもよい。
【００７０】
また、上述の実施形態における第一レジスト配置工程及び第二レジスト配置工程では、液状のレジストを塗布するものとして説明したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、ドライフィルム状のレジストを貼り付けるように配置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】電気泳動表示媒体１０の外観を示す斜視図である。
【図２】電気泳動表示媒体１０の内部構成を説明する説明図である。
【図３】隔壁１３及びスペーサ１４の斜視図である。
【図４】表示領域１に黒色が表示されたときの電気泳動表示媒体１０の説明図である。
【図５】表示領域１に白色が表示されたときの電気泳動表示媒体１０の説明図である。
【図６】上面が第二基板１２の下面と当接する隔壁２１３を有する電気泳動表示媒体２００の説明図である。
【図７】本発明の第一実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法における各工程を説明するための説明図である。
【図８】第一マスク４１の正面図である。
【図９】第二マスク４２の正面図である。
【図１０】第二実施形態である電気泳動表示媒体１０の隔壁１３とスペーサ１４とを第一基板１１上に形成する形成方法における各工程を説明するための説明図である。
【図１１】第一マスク７１の正面図である。
【図１２】第二マスク７２の正面図である。
【図１３】隔壁の一部がスペーサとしても機能するように形成された隔壁３１３の一例の斜視図である。
【図１４】隔壁の一部がスペーサとしても機能するように形成された隔壁３１３の一例の斜視図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０  電気泳動表示媒体
１１  第一基板
１２  第二基板
１３  隔壁
１４  スペーサ
１５  荷電粒子
１６  分散媒
３１  第一ネガレジスト
３２  第二ネガレジスト
４１、７１  第一マスク
４１ａ、７１ａ  開口パターン
４１ｂ、７１ｂ  遮光剤
４２、７２  第二マスク
４２ａ、７２ａ  開口パターン
４２ｂ、７２ｂ  遮光剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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