(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークをはんだ融点より低い温度で全体的に予加熱する第１加熱手段と、
予加熱されたワークの複数の局所に溶融はんだを供給して部分的にはんだ付けする局所はんだ付け手段と、
ワークの局所はんだ付けまでの時間差により温度降下した局所をはんだ融点より低い温度で補助的に加熱する第２加熱手段と、
はんだ付けされたワークを全体的に冷却するワーク冷却位置に設けられた冷却手段と、
上記第１加熱手段からこの第１加熱手段の延長上に設けられたワークピックアップ位置にワークをタクト送りするとともに上記ワーク冷却位置からワークをタクト送りで排出するワーク送り機構と、
ワークを上記ワークピックアップ位置でピックアップして上記局所はんだ付け手段に移送するとともに上記局所はんだ付け手段から上記ワーク冷却位置に移送するワーク移送ロボットと
を具備したことを特徴とする局所はんだ付け装置。
【請求項２】
ワークを第１加熱手段、局所はんだ付け手段、第２加熱手段および冷却手段に移送する移送手段
を具備したことを特徴とする請求項１記載の局所はんだ付け装置。
【請求項３】
局所はんだ付け手段は、
溶融はんだを収容したはんだ槽と、
このはんだ槽内に上下動自在に設けられ溶融はんだを部分的に噴流する複数の局所ノズルと、
これらの局所ノズルに溶融はんだを供給するポンプと、
複数の局所ノズルをそれぞれ上下動するノズル上下動手段と
を具備したことを特徴とする請求項１または２記載の局所はんだ付け装置。
【請求項４】
第２加熱手段は、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風によりワークを補助的に加熱する
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の局所はんだ付け装置。
【請求項５】
ワーク移送ロボットは、
少なくとも２次元的に移動可能のロボットハンド
を具備したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の局所はんだ付け装置。
【請求項６】
第２加熱手段は、ロボットハンドに設けられた
ことを特徴とする請求項５記載の局所はんだ付け装置。
【請求項７】
第２加熱手段は、はんだ槽に設けられた
ことを特徴とする請求項２乃至５のいずれかに記載の局所はんだ付け装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの複数の局所を部分的にはんだ付けする局所はんだ付け装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の局所はんだ付け装置は、ワークをはんだ融点より低い温度で全体的に予加熱するプリヒータと、予加熱されたワークの複数の局所に局所ノズルより溶融はんだを供給して部分的にはんだ付けする局所はんだ付け槽と、はんだ付けされたワークを全体的に冷却する冷却ファンと、ワークをプリヒータ上、局所はんだ付け槽上および冷却ファン上に移送する移送手段とを具備している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前記プリヒータは、ワークを全体的に予加熱し、また、冷却ファンは、はんだ付けされたワークを全体的に冷却するが、局所はんだ付け槽では、予加熱されたワークの多数の局所に、対応する数の局所ノズルより溶融はんだを一度に供給してはんだ付けすることは困難である
このため、ワークの複数の局所を時間差をおいて局所はんだ付けするので、複数の局所は、はんだ付けされる際の予加熱温度や、冷却ファンにより冷却される際のワーク温度が、場所によって異なり、予加熱効果や冷却効果が、複数の局所で異なる問題が生じている。
【０００４】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、複数の局所で均一な予加熱効果や冷却効果が得られる局所はんだ付け装置を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載された発明は、ワークをはんだ融点より低い温度で全体的に予加熱する第１加熱手段と、予加熱されたワークの複数の局所に溶融はんだを供給して部分的にはんだ付けする局所はんだ付け手段と、ワークの局所はんだ付けまでの時間差により温度降下した局所をはんだ融点より低い温度で補助的に加熱する第２加熱手段と、はんだ付けされたワークを全体的に冷却するワーク冷却位置に設けられた冷却手段と、上記第１加熱手段からこの第１加熱手段の延長上に設けられたワークピックアップ位置にワークをタクト送りするとともに上記ワーク冷却位置からワークをタクト送りで排出するワーク送り機構と、ワークを上記ワークピックアップ位置でピックアップして上記局所はんだ付け手段に移送するとともに上記局所はんだ付け手段から上記ワーク冷却位置に移送するワーク移送ロボットとを具備した局所はんだ付け装置であり、そして、第１加熱手段により予加熱された後、局所はんだ付けまでの時間差により温度降下したワークを第２加熱手段によりさらに予加熱して、予加熱温度を回復させることにより、局所はんだ付けするに当ってワークの全体で均一な予加熱効果が得られ、また、局所はんだ付け手段により時間差をおいて複数回はんだ付けされたワークを第２加熱手段により加熱することにより、冷却手段によりワークを冷却するに当ってワーク全体で均一な冷却効果が得られる。
【０００６】
請求項２に記載された発明は、請求項１記載の局所はんだ付け装置において、ワークを第１加熱手段、局所はんだ付け手段、第２加熱手段および冷却手段に移送する移送手段を具備したものであり、この移送手段により各手段間でワークを効率良く移動させる。
【０００７】
請求項３に記載された発明は、請求項１または２記載の局所はんだ付け手段が、溶融はんだを収容したはんだ槽と、このはんだ槽内に上下動自在に設けられ溶融はんだを部分的に噴流する複数の局所ノズルと、これらの局所ノズルに溶融はんだを供給するポンプと、複数の局所ノズルをそれぞれ上下動するノズル上下動手段とを具備した局所はんだ付け装置であり、そして、局所はんだ付けしようとする局所に対応する局所ノズルのみをノズル上下動手段により上昇させて、ポンプから局所ノズルに供給された溶融はんだをその局所へはんだ付けする。
【０００８】
請求項４に記載された発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の第２加熱手段が、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風によりワークを補助的に加熱する局所はんだ付け装置であり、そして、第１加熱手段により予加熱された後、局所はんだ付けまでの時間差により温度降下したワークに対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けて、予加熱温度を回復させることにより、局所はんだ付けするに当ってワークの全体で均一な予加熱効果が得られ、また、局所はんだ付け手段により時間差をおいて複数回はんだ付けされたワークに対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けることにより、冷却手段によりワークを冷却するに当ってワークの全体で均一な冷却効果が得られる。
【０００９】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のワーク移送ロボットは、少なくとも２次元的に移動可能のロボットハンドを具備した局所はんだ付け装置であり、そして、ロボットハンドにより、ワークを少なくとも２次元的に移動して、局所はんだ付け手段、第２加熱手段または冷却手段などに移送するとともに位置決めする。
【００１０】
請求項６に記載された発明は、請求項５記載の第２加熱手段が、ロボットハンドに設けられた局所はんだ付け装置であり、そして、ロボットハンドによりワークを移送している間も、一体に移動する第２加熱手段によりワークを加熱する。
【００１１】
請求項７に記載された発明は、請求項２乃至５のいずれかに記載の第２加熱手段が、はんだ槽に設けられた局所はんだ付け装置であり、そして、はんだ槽の局所ノズルにて一の局所をはんだ付けしている間も、第２加熱手段により他の局所を加熱する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図１乃至図４を参照しながら、また、他の実施の形態を図５乃至図８を参照しながら説明する。
【００１３】
図１および図２に示されるように、チャンバ11の内部に、ワークＷをはんだ融点より低い温度で全体的に予加熱する第１加熱手段12と、予加熱されたワークＷの複数の局所に溶融はんだを供給して部分的にはんだ付けする局所はんだ付け手段13と、ワークＷをはんだ融点より低い温度で補助的に加熱する第２加熱手段14と、はんだ付けされたワークＷを全体的に冷却する冷却手段15と、ワークＷを第１加熱手段12、局所はんだ付け手段13、第２加熱手段14および冷却手段15に移送する移送手段16とが設置されている。
【００１４】
前記チャンバ11は、図１に示されるように溶融はんだの酸化を防止するための窒素ガスなどの不活性ガスをチャンバ11内に供給するための不活性ガス供給ユニット17と、各部の動作を設定された条件通りに制御するコントローラ18とを備えている。
【００１５】
前記第１加熱手段12は、図１に示されるようにチャンバ11の入口21の内側に配置され、図２に示されるように移送手段16の下側に赤外線ヒータなどのプリヒータ22が配置され、上側に反射板23が配置され、ワークＷ（このワークＷはチップ部品などを搭載した基板である）の下面をプリヒータ22から輻射された熱線により直接加熱するとともに、ワークＷの上面を反射板23で反射された熱線により加熱する。
【００１６】
図３に示されるように、前記局所はんだ付け手段13は、溶融はんだ24を収容したはんだ槽25と、このはんだ槽25内に蛇腹状筒体26を介して上下動自在に設けられ溶融はんだ24を部分的に噴流する複数の局所ノズル27と、これらの局所ノズル27に溶融はんだ24を供給するポンプとしての電磁誘導ポンプ28と、複数の局所ノズル27をそれぞれ上下動するノズル上下動手段としての流体圧シリンダ29とを具備している。
【００１７】
はんだ槽25は、下部に比較的細長く形成されたポンプ槽部31と、上部に比較的幅広に形成された噴流槽部32とを具備しており、ポンプ槽部31には、はんだ溶融用のヒータ33が内蔵され、また、ポンプ槽部31と噴流槽部32との間の中仕切板34に前記蛇腹状筒体26が設置されている。
【００１８】
この蛇腹状筒体26の上端開口縁に取付けられた局所ノズル27は筒形であり、その断面形状は、ワークＷのはんだ付けされる局所の形状に合わせて設けられている。
【００１９】
これらのはんだ槽25、蛇腹状筒体26および局所ノズル27は、耐食性および耐熱性を有する非磁性材料のステンレス鋼などにより形成されている。
【００２０】
前記電磁誘導ポンプ28は、はんだ槽25の複数の側面にそれぞれ設けられ、ポンプ槽部31の外面に、１次鉄心およびコイルからなるコイルユニット35が設置され、２次鉄心すなわちバックアイアン36が、ポンプ槽部31の内部に溶融はんだ上昇通路37を介して設置されている。この溶融はんだ上昇通路37の下端部にはんだ吸込口38が設けられ、溶融はんだ上昇通路37の上端部に前記蛇腹状筒体26内に開口したはんだ吐出口39が設けられている。
【００２１】
そして、コイルユニット35に３相交流電流を供給することにより、溶融はんだ上昇通路37に沿って移動磁界が発生し、リニアモータと同様に、溶融はんだ上昇通路37内の溶融はんだに上向きの推力が生じ、ポンプ槽部31内の溶融はんだ24が、はんだ吸込口38より溶融はんだ上昇通路37内に吸込まれ、この通路37内を上昇して、はんだ吐出口39より蛇腹状筒体26内に吐出され、さらに局所ノズル27内を上昇して、局所ノズル27から噴流された溶融はんだ24aは、ノズル上方に位置するワークＷのはんだ付け局所に供給され、残りの溶融はんだは、噴流槽部32内に落ち、さらに中仕切板34に開口された戻り口40によりポンプ槽部31内に戻される。
【００２２】
前記流体圧シリンダ29は、そのシリンダ本体41が噴流槽部32に取付けられ、シリンダ本体41から突出されたピストンロッド42の先端が、局所ノズル27に取付けられたノズル上下動板43に連結されている。
【００２３】
そして、この局所はんだ付け手段13は、空圧または油圧などにより流体圧シリンダ29を駆動して、局所はんだ付けしようとするワーク局所に対応する局所ノズル27のみを上昇させるとともに、電磁誘導ポンプ28からその上昇された局所ノズル27に溶融はんだ24を供給して、そのワーク局所にはんだ付けする。溶融はんだ24は、錫−鉛はんだでも良いが、環境問題を配慮して、錫−銀はんだ、錫−亜鉛はんだなどの鉛フリーはんだが好ましい。
【００２４】
また、図１および図２に戻って、前記第２加熱手段14は、前記第１加熱手段12による予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度まで昇温させた熱風を発生させる熱風発生部51と、その熱風をワークＷの局所に吹付けることによりワークＷの局所を部分的に加熱する熱風ノズル52とを具備したポイント式ヒータである。これらの熱風発生部51または熱風ノズル52は、図示されない上下動機構により上下動され、局所を部分的に加熱するときのみ熱風ノズル52が上昇される。熱風は、空気でも良いが、窒素ガスなどの不活性ガスを加熱して作ることが、チャンバ11内の不活性雰囲気を低酸素濃度に保つ上で望ましい。
【００２５】
前記冷却手段15は、図１に示されるようにチャンバ11の出口53の内側に配置され、図２に示されるように移送手段16の下側にて上向きに配置された冷却ファン54を備えている。
【００２６】
前記移送手段16は、チャンバ11の入口21および出口53を貫通して配設されたワーク送り機構55と、このワーク送り機構55上から前記局所はんだ付け手段13および前記第２加熱手段14にわたって少なくとも２次元的に移動可能のロボットハンドを有するワーク移送ロボット56とを具備している。
【００２７】
ワーク送り機構55は、ワーク送り案内用の固定側レール57に対し、移動側レール58がワーク幅に応じて間隔調整可能に設けられ、これらのレール57，58に沿ってワーク送り用の流体圧シリンダ（図示せず）が設けられ、この流体圧シリンダによりワークＷをワーク供給位置Ａからワークプリヒート位置Ｂを経てワークピックアップ位置Ｃへ、また、ワーク冷却位置Ｄからワーク取出位置Ｅへタクト送りする。
【００２８】
次に、この実施の形態の作用を説明する。
【００２９】
ワーク供給位置Ａに供給されたワークＷは、流体圧シリンダのタクト送りによりワークプリヒート位置Ｂに供給され、このワークプリヒート位置Ｂで第１加熱手段12によりプリヒートされる。
【００３０】
ワークプリヒート位置Ｂで温度上昇されたワークＷは、流体圧シリンダによりワークピックアップ位置Ｃにタクト送りされ、このワークピックアップ位置Ｃで、ワーク移送ロボット56のロボットハンドによりピックアップされ、局所はんだ付け手段13上に移送され、その局所ノズル27上にワークＷのはんだ付けしようとする局所が位置決めされ、局所はんだ付けがなされる。
【００３１】
この間に温度降下したワークＷの他の局所は、局所はんだ付け手段13の脇に配置された第２加熱手段14により加熱されて温度上昇され、または温度降下を防止される。
【００３２】
図４により、この第２加熱手段14の働きを説明すると、第１加熱手段12により予加熱され（ｇ）、その後、局所はんだ付けまでの時間差により温度降下した（ｈ）局所に対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けてさらに予加熱し、予加熱温度を回復させることにより（ｉ）、局所はんだ付けするに当って全ての局所で均一な予加熱効果が得られ、また、局所はんだ付け手段13により先にはんだ付けされた局所に対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けて加熱することで、はんだ付け後のワーク温度の降下を抑えることにより（ｊ）、次の冷却手段15によりワークＷを冷却するに当って全ての局所で均一な冷却効果が得られる。
【００３３】
局所はんだ付けが完了したワークＷは、ワーク移送ロボット56によりワーク送り機構55のワーク冷却位置Ｄに移載され、このワーク冷却位置Ｄに設置されている冷却手段15により冷却される。所定温度まで冷却されたワークＷは、流体圧シリンダのタクト送りによりワーク冷却位置Ｄからワーク取出位置Ｅヘ排出される。
【００３４】
次に、図５乃至図８は他の実施の形態を示す。なお、図１乃至図３に示された実施の形態と同様の部分には、同一符号を付して、その説明を省略する。
【００３５】
図５および図６に示されるように、チャンバ11の内部に、ワークＷをはんだ融点より低い温度で全体的に予加熱する第１加熱手段12と、予加熱されたワークＷの複数の局所に局所ノズル27より溶融はんだを供給して部分的にはんだ付けする局所はんだ付け手段13と、はんだ付けされたワークＷを全体的に冷却する冷却手段15と、ワークＷを少なくとも第１加熱手段12、局所はんだ付け手段13および冷却手段15に移送する移送手段16とが設置されている。
【００３６】
この移送手段16は、チャンバ11の入口21および出口53を経てそれぞれ配設されたワーク送り機構55と、これらのワーク送り機構55上から前記局所はんだ付け手段13にわたって少なくとも２次元的に移動可能のロボットハンドを有するワーク移送ロボット56とを具備している。
【００３７】
前記ワーク送り機構55は、固定側レール57に対し、移動側レール58がワーク幅に応じて間隔調整可能に設けられ、これらのレール57，58に沿ってワーク送り用の流体圧シリンダ（図示せず）が設けられ、この流体圧シリンダによりワークＷをワーク供給位置Ａからワークプリヒート位置Ｂを経てワークピックアップ位置Ｃへ、また、ワーク冷却位置Ｄからワーク取出位置Ｅへタクト送りする。
【００３８】
前記ワーク移送ロボット56は、チャンバ11内の一側に設けられた梁部材送り機構部61と、他側に設けられた梁部材ガイドレール62との間に、梁部材送り機構部61の例えばボールねじの回転によりＹ方向に移動される梁部材63が移動自在に跨設され、この梁部材63に、例えばボールねじの回転によりＸ方向に移動されるスライダ64が摺動自在に設けられ、このスライダ64に上下動機構65を介して、図７に示されるロボットハンド66が取付けられている。
【００３９】
このワーク移送ロボット56のロボットハンド66は、フレーム67に、複数のワーク係止爪68が固定的または開閉可能に取付けられ、さらに、このロボットハンド66のフレーム67に、ワークＷをはんだ融点より低い温度で補助的に加熱する第２加熱手段14が設けられている。
【００４０】
この第２加熱手段14は、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を熱風発生元から導く導管71がフレーム67に固定され、その導管71に、上記熱風をワークＷの局所に吹付けることによりワークＷの局所を部分的に加熱する複数の熱風ノズル72が取付けられたポイント式ヒータである。
【００４１】
ワーク移送ロボット56は、ロボットハンド66によりワークピックアップ位置ＣにあるワークＷを把持し、持上げた後、２次元的に移動して、ワークピックアップ位置Ｃから局所はんだ付け手段13の局所ノズル27上へワークＷを移送するとともに、ワークＷのはんだ付けしようとする局所を、対応する局所ノズル27上に位置決めする。または、局所はんだ付け手段13上からワーク冷却位置Ｄの冷却手段15上へワークＷを移送するとともに位置決めする。
【００４２】
図７に示された第２加熱手段14は、ロボットハンド66によりワークＷを移送している間も、一体に移動する第２加熱手段14によりワークＷを加熱する。
【００４３】
この第２加熱手段14は、ロボットハンド66以外に取付けるようにしても良く、例えば、図８に示されるように、はんだ槽25に第２加熱手段14を一体的に設けても良い。
【００４４】
この図８に示される実施の形態では、移送手段16のロボットハンド66によりワークＷを移動して、ワークＷの加熱しようとする局所と第２加熱手段14の熱風ノズル72とを位置決めする。
【００４５】
その際、はんだ槽25の局所ノズル27にて一の局所をはんだ付けしている間に、第２加熱手段14の熱風ノズル72から吹出す熱風により他の局所を加熱するように設定することもできる。
【００４６】
そして、図５において、ワーク供給位置Ａに供給されたワークＷは、流体圧シリンダのタクト送りによりワークプリヒート位置Ｂに供給され、このワークプリヒート位置Ｂで第１加熱手段12のプリヒータなどによりプリヒートされる。
【００４７】
ワークプリヒート位置Ｂで温度上昇されたワークＷは、流体圧シリンダによりワークピックアップ位置Ｃにタクト送りされ、このワークピックアップ位置Ｃで、ワーク移送ロボット56のロボットハンド66によりピックアップされ、局所はんだ付け手段13上に移送され、その局所ノズル27上にワークＷのはんだ付けしようとする局所が位置決めされ、局所はんだ付けがなされる。
【００４８】
この間に温度降下したワークＷの他の局所は、前記第２加熱手段14により加熱されて温度上昇される。この第２加熱手段14の働きは、既に図４に基づき説明したので、ここでは説明を省略する。
【００４９】
局所はんだ付けが完了したワークＷは、ワーク移送ロボット56によりワーク送り機構55のワーク冷却位置Ｄに移載され、このワーク冷却位置Ｄに設置されている冷却手段15により冷却される。所定温度まで冷却されたワークＷは、流体圧シリンダのタクト送りによりワーク冷却位置Ｄからワーク取出位置Ｅヘ排出される。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、第１加熱手段により予加熱された後、局所はんだ付けまでの時間差により温度降下したワークを第２加熱手段によりさらに予加熱して、予加熱温度を回復させることにより、局所はんだ付けするに当ってワークの全体で均一な予加熱効果を得られ、これにより各局所にて均一なはんだ付け特性を得られ、また、局所はんだ付け手段により時間差をおいて複数回はんだ付けされたワークを第２加熱手段により加熱することにより、冷却手段によりワークを冷却するに当ってワークの全体で均一な冷却効果を得られ、これにより、各局所にて均一なはんだ付け強度を得られる。
【００５１】
請求項２記載の発明によれば、移送手段により、第１加熱手段、局所はんだ付け手段、第２加熱手段および冷却手段の各手段間でワークを効率良く移動できる。
【００５２】
請求項３記載の発明によれば、局所はんだ付けしようとする局所に対応する局所ノズルのみをノズル上下動手段により上昇させて、ポンプから局所ノズルに供給された溶融はんだをその局所へはんだ付けするから、ワークと他の局所のズルとの干渉を防止できる。
【００５３】
請求項４記載の発明によれば、第１加熱手段により予加熱された後、局所はんだ付けまでの時間差により温度降下したワークに対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けて、予加熱温度を迅速に回復させることにより、局所はんだ付けするに当ってワークの全体で均一な予加熱効果を得られ、また、局所はんだ付け手段により時間差をおいて複数回はんだ付けされたワークに対し、予加熱温度以上かつはんだ融点未満の温度を有する熱風を吹付けることにより、冷却手段によりワークを冷却するに当ってワークの全体で均一な冷却効果を得られる。
【００５４】
請求項５記載の発明によれば、ロボットハンドにより、ワークを少なくとも２次元的に移動して、局所はんだ付け手段、第２加熱手段または冷却手段などに移送できるとともに位置決めもできる。
【００５５】
請求項６記載の発明によれば、ロボットハンドによりワークを移送している間も、一体に移動する第２加熱手段によりワークを効率良く加熱できる。
【００５６】
請求項７記載の発明によれば、はんだ槽の局所ノズルにて一の局所をはんだ付けしている間も、第２加熱手段により他の局所を効率良く加熱できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る局所はんだ付け装置の一実施の形態を示す平面図である。
【図２】同上はんだ付け装置の正面図である。
【図３】同上はんだ付け装置におけるはんだ槽を示す断面図である。
【図４】同上はんだ付け装置で加熱されたワークの温度プロファイルを示す特性図である。
【図５】本発明に係る局所はんだ付け装置の他の実施の形態を示す平面図である。
【図６】同上はんだ付け装置の正面図である。
【図７】同上はんだ付け装置におけるロボットハンドに第２加熱手段を取付けた例を示す斜視図である。
【図８】同上はんだ付け装置におけるはんだ槽に第２加熱手段を取付けた例を示す斜視図である。
【符号の説明】
Ｗ    ワーク
12    第１加熱手段
13    局所はんだ付け手段
14    第２加熱手段
15    冷却手段
16    移送手段
24    溶融はんだ
25    はんだ槽
27    局所ノズル
28    ポンプとしての電磁誘導ポンプ
29    ノズル上下動手段としての流体圧シリンダ
66    ロボットハンド
【図１】
0004634571.tif 000002
【図２】
0004634571.tif 000003
【図３】
0004634571.tif 000004
【図４】
0004634571.tif 000005
【図５】
0004634571.tif 000006
【図６】
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【図７】
0004634571.tif 000008
【図８】
0004634571.tif 000009