(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に延在するストークと該ストークの上端に連通しキャビティが形成された金型とを有する鋳造機と、
溶湯が貯留される加圧室と、
該加圧室内に気体を供給するための気体供給管と該気体供給管に接続され該気体供給管内に気体を供給するための気体供給装置とを有する加圧手段と、
該加圧室内の溶湯内に開口して不活性ガスを供給するための不活性ガス供給管と該不活性ガス供給管に接続され該不活性ガス供給管内に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給装置とを有する不活性ガス供給手段とを備え、
該ストークの下端は該加圧室内において開口し、該加圧手段によって該加圧室内が加圧されることにより、該加圧室内の溶湯を該ストークの下端から該ストーク内へ流入させ該ストークを介して該キャビティ内へ充填可能な低圧鋳造装置において、
該気体供給管と該不活性ガス供給管とに接続され該気体供給管と該不活性ガス供給管とを連通する連通管が設けられ、該連通管には該気体供給管内と該不活性ガス供給管内との連通／遮断を切替えるための第１の弁が設けられ、
該不活性ガス供給管の一端は該不活性ガス供給装置に接続され他端は該加圧室の溶湯内に開口し、該不活性ガス供給管の一部であって該連通管に接続されている部分よりも該不活性ガス供給装置寄りの部分には第２の弁が設けられ、該第２の弁は、該不活性ガス供給管内の該一端側と該他端側との連通／遮断を切替え可能であることを特徴とする低圧鋳造装置。
【請求項２】
該不活性ガス供給管の一端は該不活性ガス供給装置に接続され他端は該加圧室の溶湯内に開口し、該不活性ガス供給管の一部であって該連通管に接続されている部分よりも該不活性ガス供給管の他端寄りの部分には第３の弁が設けられ、該第３の弁は、該不活性ガス供給管内の該一端側と該他端側との連通／遮断を切替え可能であることを特徴とする請求項１記載の低圧鋳造装置。
【請求項３】
該気体供給管の一端は該気体供給装置に接続され他端は該加圧室内に開口し、該気体供給管の一部であって該連通管に接続されている部分よりも該気体供給装置寄りの部分には、該気体供給管から分岐する分岐管が設けられ、該分岐管には該気体供給管内と大気との連通／遮断を切替え可能な第４の弁が設けられていることを特徴とする請求項１記載の低圧鋳造装置。
【請求項４】
該気体供給管の一端は該気体供給装置に接続され他端は該加圧室内に開口し、該気体供給管の一部であって該連通管に接続されている部分よりも該気体供給管の他端寄りの部分には第５の弁が設けられ、該第５の弁は、該気体供給管内の一端側と他端側との連通／遮断を切替え可能であることを特徴とする請求項１記載の低圧鋳造装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一記載の低圧鋳造装置を用いて低圧鋳造を行うことを特徴とする低圧鋳造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は低圧鋳造装置及び低圧鋳造方法に関し、特に加圧室にストークが配置され、加圧室内の金属溶湯に対して不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備える低圧鋳造装置、及び低圧鋳造措置を用いて行う低圧鋳造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、低圧鋳造装置としては、加圧室において上下方向に延在するストークと、ストークの上端に連通するキャビティが形成された金型と、加圧室内の溶湯に対して不活性ガスを供給するための不活性ガス供給手段とを有する構成のものが知られている。
【０００３】
特開２００１−７１１１６号公報にはこの構成の低圧鋳造装置が記載されている。ストークの下端は加圧室内に開口しており、加圧室内には金属溶湯が保持されている。また、不活性ガス供給管が設けられており、不活性ガス供給管の一端は不活性供給装置に接続され、他端は加圧室内の金属溶湯内において開口している。鋳造の際には、不活性ガス供給管を通して不活性ガスが加圧室内の金属溶湯に対して供給され、金属溶湯の脱ガス処理が行われる。また、加圧室内に気体を供給して加圧室内を加圧することにより当該加圧室内の溶湯をストークの下端からストーク内へ流入させ、ストークを介してキャビティ内へ充填する。
【特許文献１】特開２００１−７１１１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし上述した従来の低圧鋳造装置では、ストークを介して金属溶湯を加圧室からキャビティ内へ充填するために、加圧室内に気体を供給して加圧室内を加圧することにより当該加圧室内の溶湯をストークの下端からストーク内へ流入させていたが、このときに加圧室内の金属溶湯は、ストーク内のみならず不活性ガス供給管内にも流入し、不活性ガス供給管内で溶湯の液面が上昇する。不活性ガス供給管内において液面上昇した金属溶湯は不活性ガス供給管内において冷却され凝固する。このため、凝固した金属溶湯により不活性ガス供給管が詰まってしまい、連続して鋳造を行う場合に、２回目以降の鋳造時に不活性ガスを加圧室内の金属溶湯に対して供給することができないという問題が生ずる。
【０００５】
そこで、本発明は、キャビティ内への金属溶湯の充填時に、加圧室内への加圧により不活性ガス供給管内において金属溶湯の液面が上昇し凝固することを防止することができる低圧鋳造装置、及び当該低圧鋳造装置を用いて行う低圧鋳造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は、上下方向に延在するストーク２１と該ストーク２１の上端に連通しキャビティ２２ａが形成された金型２２とを有する鋳造機２０と、溶湯２が貯留される加圧室１０と、該加圧室１０内に気体を供給するための気体供給管３１と該気体供給管３１に接続され該気体供給管３１内に気体を供給するための気体供給装置３２とを有する加圧手段３０と、該加圧室１０内の溶湯２内に開口して不活性ガスを供給するための不活性ガス供給管４１と該不活性ガス供給管４１に接続され該不活性ガス供給管４１内に不活性ガスを供給するための不活性ガス供給装置４２とを有する不活性ガス供給手段４０とを備え、該ストーク２１の下端は該加圧室１０内において開口し、該加圧手段３０によって該加圧室１０内が加圧されることにより、該加圧室１０内の溶湯２を該ストーク２１の下端から該ストーク２１内へ流入させ該ストーク２１を介して該キャビティ２２ａ内へ充填可能な低圧鋳造装置１において、該気体供給管３１と該不活性ガス供給管４１とに接続され該気体供給管３１と該不活性ガス供給管４１とを連通する連通管３３が設けられ、該連通管３３には該気体供給管３１内と該不活性ガス供給管４１内との連通／遮断を切替えるための第１の弁３４が設けられ、該不活性ガス供給管４１の一端４１Ａは該不活性ガス供給装置４２に接続され他端４１Ｂは該加圧室１０の溶湯２内に開口し、該不活性ガス供給管４１の一部であって該連通管３３に接続されている部分よりも該不活性ガス供給装置４２寄りの部分には第２の弁４３が設けられ、該第２の弁４３は、該不活性ガス供給管４１内の該一端４１Ａ側と該他端４１Ｂ側との連通／遮断を切替え可能である低圧鋳造装置１を提供している。
【０００８】
ここで、該不活性ガス供給管４１の一端４１Ａは該不活性ガス供給装置４２に接続され他端４１Ｂは該加圧室１０の溶湯２内に開口し、該不活性ガス供給管４１の一部であって該連通管３３に接続されている部分よりも該不活性ガス供給管４１の他端４１Ｂ寄りの部分には第３の弁４４が設けられ、該第３の弁４４は、該不活性ガス供給管４１内の該一端４１Ａ側と該他端４１Ｂ側との連通／遮断を切替え可能であることが好ましい。
【０００９】
また、該気体供給管３１の一端３１Ａは該気体供給装置３２に接続され他端３１Ｂは該加圧室１０内に開口し、該気体供給管３１の一部であって該連通管３３に接続されている部分よりも該気体供給装置３２寄りの部分には、該気体供給管３１から分岐する分岐管３５が設けられ、該分岐管３５には該気体供給管３１内と大気との連通／遮断を切替え可能な第４の弁３６が設けられていることが好ましい。
【００１０】
また、該気体供給管３１の一端３１Ａは該気体供給装置３２に接続され他端３１Ｂは該加圧室１０内に開口し、該気体供給管３１の一部であって該連通管３３に接続されている部分よりも該気体供給管３１の他端３１Ｂ寄りの部分には第５の弁３７が設けられ、該第５の弁３７は、該気体供給管３１内の一端３１Ａ側と他端３１Ｂ側との連通／遮断を切替え可能であることが好ましい。
【００１１】
また、本発明は、上記低圧鋳造装置１を用いて低圧鋳造を行う低圧鋳造方法を提供している。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の請求項１記載の低圧鋳造装置、請求項６記載の低圧鋳造方法によれば、気体供給管と不活性ガス供給管とに接続され気体供給管と不活性ガス供給管とを連通する連通管が設けられ、連通管には気体供給管内と不活性ガス供給管内との連通／遮断を切替えるための第１の弁が設けられているため、第１の弁を切換えて気体供給管内と不活性ガス供給管内を連通させた状態とすることで、気体供給装置から気体供給管内に供給された気体を連通管を通して不活性ガス供給管内へ流すことができ、気体供給管と不活性ガス供給管との両方から加圧室内へ気体を供給することができる。このため、加圧室内を加圧することによって不活性ガス供給管内において溶湯の液面が上昇することを防止することができ、液面上昇した溶湯が不活性ガス供給管内において凝固してしまうことを防止することができる。
【００１３】
また、不活性ガス供給管の一部であって連通管に接続されている部分よりも不活性ガス供給装置寄りの部分には第２の弁が設けられているため、第２の弁を切換えて、第２の弁に関して不活性ガス供給管内の一端側と他端側とを連通することにより不活性ガスを第２の弁よりも不活性ガス供給管の他端側へ供給することができる。また、第２の弁を切換えて、第２の弁に関して不活性ガス供給管内の一端側と他端側とを遮断状態とすることにより、第２の弁よりも不活性ガス供給管の他端側への不活性ガスの供給を停止することができる。
【００１４】
本発明の請求項２記載の低圧鋳造装置、請求項５記載の低圧鋳造方法によれば、不活性ガス供給管の一部であって連通管に接続されている部分よりも不活性ガス供給管の他端寄りの部分には第３の弁が設けられているため、第３の弁を切換えて、加圧室内を加圧し始めるまで、第３の弁に関して不活性ガス供給管内の一端側と他端側とを遮断状態とすることができる。
【００１５】
本発明の請求項３記載の低圧鋳造装置、請求項５記載の低圧鋳造方法によれば、気体供給管の一部であって連通管に接続されている部分よりも気体供給装置寄りの部分には、気体供給管から分岐する分岐管が設けられ、分岐管には気体供給管内と大気との連通／遮断を切替え可能な第４の弁が設けられているため、第４の弁を切換えて、気体供給管内及び加圧室内と大気とを連通可能とすることができ、加圧された状態の加圧室内の気体を大気へ排出して加圧室内を大気圧とすることができる。また、第４の弁を切換えて、気体供給管内及び加圧室内と大気とを遮断状態とすることで加圧室内を密閉可能とすることができ、加圧室内に気体を供給することで加圧室内を加圧することができる。
【００１６】
本発明の請求項４記載の低圧鋳造装置、請求項５記載の低圧鋳造方法によれば、気体供給管の一部であって連通管に接続されている部分よりも気体供給管の他端寄りの部分には第５の弁が設けられているため、第５の弁を切換えて、第５の弁に関して気体供給管内の一端側と他端側とを連通することにより気体を第５の弁よりも気体供給管の他端側へ供給し加圧室内へ供給することができる。また、第５の弁を切換えて、第５の弁に関して気体供給管内の一端側と他端側とを遮断状態とすることにより、第５の弁よりも気体供給管の他端側への気体の供給を停止し加圧室内の加圧を停止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態による低圧鋳造装置及び低圧鋳造方法について図１乃至図５を参照しながら説明する。図１に示されるように、低圧鋳造装置１は加圧室１０と、後述のストーク２１及び金型２２を有する鋳造機２０と、加圧手段３０と、不活性ガス供給手段４０と、図示せぬ制御装置とを備えている。加圧室１０は断熱材により構成される壁部１０Ａにより画成され、壁部１０Ａの周囲は鉄板により構成される図示せぬケーシングにより覆われている。加圧室１０内にはアルミニウム合金からなる金属溶湯２が貯留されている。
【００１８】
ストーク２１の上端部分には金型２２が接続されており、金型２２は金型支持部材１１によって支持されている。金型２２は下型２２Ａと上型２２Ｂ（図２等）とからなり、上型２２Ｂは下型２２Ａに対して離接可能である。上型２２Ｂが下型２２Ａに接近してゆき当接することで、上型２２Ｂと下型２２Ａとによりキャビティ２２ａ（図２等）が画成されるように構成されている。ストーク２１の上端は金型２２の下型２２Ａ内に形成された湯道２２ｂに連通しており、図２に示されるように、湯道２２ｂを介してストーク２１はキャビティ２２ａに連通している。ストーク２１の上端部分以外の部分は加圧室１０内に位置しており、ストーク２１の下端は加圧室１０内において開口している。
【００１９】
また、加圧室１０には、加圧手段３０が接続されている。加圧手段３０は、気体供給管３１と気体供給装置３２とを備えており、気体供給管３１の一端３１Ａたる図１に示される気体供給管３１の上端は、気体供給装置３２に接続されており、気体供給装置３２は気体供給管３１内に気体を供給可能である。気体供給管３１の他端３１Ｂたる図１に示される気体供給管３１の下端は加圧室１０の気相内に開口している。
【００２０】
また、加圧室１０には、不活性ガス供給手段４０が接続されている。不活性ガス供給手段４０は、不活性ガス供給管４１と不活性ガス供給装置４２とを備えており、不活性ガス供給管４１の一端４１Ａたる図１に示される不活性ガス供給管４１の上端は、不活性ガス供給装置４２に接続されており、不活性ガス供給装置４２は不活性ガス供給管４１内に気体を供給可能である。不活性ガス供給管４１の他端４１Ｂたる図１に示される不活性ガス供給管４１の下端は、加圧室１０の溶湯２内に開口している。不活性ガス供給装置４２は不活性ガスとしてのアルゴンガスを供給可能である。
【００２１】
気体供給管３１と不活性ガス供給管４１とは連通管３３を介して接続されており、連通管３３を通して互いに連通可能である。連通管３３には、電磁弁からなる第１の弁３４が設けられており、第１の弁３４は連通位置と遮断位置との間で移動可能である。連通位置とすることで、気体供給管３１内と不活性ガス供給管４１内とを連通させることができ、連通位置から遮断位置へと切替えることで気体供給管３１内と不活性ガス供給管４１内とを遮断することができるように構成されている。
【００２２】
不活性ガス供給管４１の一部であって連通管３３に接続されている部分よりも不活性ガス供給装置４２寄りの部分には、電磁弁からなる第２の弁４３が設けられている。第２の弁４３は連通位置と遮断位置との間で移動可能であり、連通位置とすることで、不活性ガス供給管４１内の一端４１Ａ側と他端４１Ｂ側とを連通させることができ、連通位置から遮断位置へと切換えることで、不活性ガス供給管４１内の一端４１Ａ側と他端４１Ｂ側とを遮断することができるように構成されている。このため、第２の弁４３よりも不活性ガス供給管４１の他端４１Ｂ側への不活性ガスの供給を停止することができる。
【００２３】
不活性ガス供給管４１の一部であって連通管３３に接続されている部分よりも不活性ガス供給管４１の他端４１Ｂ寄りの部分には、電磁弁からなる第３の弁４４が設けられている。第３の弁４４は連通位置と遮断位置との間で移動可能であり、連通位置とすることで、不活性ガス供給管４１内の一端４１Ａ側と他端４１Ｂ側とを連通させることができ、連通位置から遮断位置へと切換えることで、不活性ガス供給管４１内の一端４１Ａ側と他端４１Ｂ側とを遮断することができるように構成されている。
【００２４】
気体供給管３１の一部であって連通管３３に接続されている部分よりも気体供給装置３２寄りの部分には、気体供給管３１から分岐した分岐管３５が設けられている。分岐管３５の一端は気体供給管３１に接続されており、他端には、電磁弁からなる第４の弁３６が設けられている。第４の弁３６は連通位置と遮断位置との間で移動可能であり、連通位置とすることで、気体供給管３１内及び分岐管３５内と大気とを連通させることができ、加圧された状態の加圧室１０内の気体を大気中へ排出して加圧室１０内を大気圧とすることができる。また、連通位置から遮断位置へと切換えることで、気体供給管３１内及び分岐管３５内と大気とを遮断することができ、加圧室１０内を密閉可能とすることができ、加圧室１０内に気体を供給することで加圧室１０内を加圧することができる。
【００２５】
気体供給管３１の一部であって連通管３３に接続されている部分よりも気体供給管３１の他端３１Ｂ寄りの部分には、電磁弁からなる第５の弁３７が設けられている。第５の弁３７は連通位置と遮断位置との間で移動可能であり、連通位置とすることで、気体供給管３１内の一端３１Ａ側と他端３１Ｂ側とを連通させることができ、連通位置から遮断位置へと切換えることで、気体供給管３１内の一端３１Ａ側と他端３１Ｂ側とを遮断することができ、第５の弁３７よりも気体供給管３１の他端３１Ｂ側への気体の供給を停止し加圧室１０内の加圧を停止することができる。
【００２６】
また、第１の弁３４、第２の弁４３、第３の弁４４、第４の弁３６、第５の弁３７は、それぞれ図示せぬ制御装置に接続されており、図示せぬ制御装置の制御により切替えが行われるように構成されている。また、第１の弁３４、第２の弁４３、第３の弁４４、第４の弁３６、第５の弁３７は、連通位置にあるときには連通量（弁を開く量）を微調整可能であり、この微調整により加圧室１０内における圧力を微調整可能である。
【００２７】
低圧鋳造方法では、先ず、第１の弁３４を遮断位置とし、第２の弁４３を連通位置とし、第３の弁４４を連通位置とし、第４の弁３６を連通位置とし、第５の弁３７を連通位置とする。この状態で、図１の矢印Ａで示されるように、不活性ガス供給装置４２から不活性ガス供給管４１を通して溶湯２へアルゴンガスを供給し、溶湯２に対していわゆる脱ガス処理を行う。この際、連通管３３の第１の弁３４は遮断位置となっているため、アルゴンガス等が不活性ガス供給管４１内から気体供給管３１内へ流入することは阻止される。
【００２８】
加圧室１０内において脱ガス処理をしたアルゴンガス、及びアルゴンガスによって溶湯２中から排出された水素ガスは、図１の矢印Ｂで示されるように、気体供給管３１の他端３１Ｂから気体供給管３１内へ流入し、分岐管３５を通して大気中へと排出される。この際、連通管３３の第１の弁３４は遮断位置となっているため、アルゴンガス等が気体供給管３１内から不活性ガス供給管４１内へ流入することは阻止される。
【００２９】
次に、金型２２の上型２２Ｂを下型２２Ａに対して移動させてゆき、図２に示されるように、上型２２Ｂを下型２２Ａに当接させて型締めをしてキャビティ２２ａを画成する。また、第１の弁３４を遮断位置とし、第２の弁４３を遮断位置とし、第３の弁４４を遮断位置とし、第４の弁３６を遮断位置とし、第５の弁３７を遮断位置として加圧室１０内に対する加圧の準備をする。
【００３０】
次に、図３に示されるように第１の弁３４を遮断位置とし、第２の弁４３を遮断位置とし、第３の弁４４を遮断位置とし、第４の弁３６を遮断位置とし、第５の弁３７を連通位置とする。この状態で、矢印Ｃで示されるように、気体供給装置３２から気体供給管３１を通して加圧室１０の気相内へエアを供給し始め、加圧室１０内の加圧を開始する。
【００３１】
次に、図４に示されるように第１の弁３４を連通位置とし、第２の弁４３を遮断位置とし、第３の弁４４を連通位置とし、第４の弁３６を遮断位置とし、第５の弁３７を連通位置とする。このことにより、図４の矢印Ｃで示されるように、気体供給装置３２から気体供給管３１を通して加圧室１０の気相内へエアを供給すると共に、図４の矢印Ｄで示されるように、気体供給装置３２から気体供給管３１と、連通管３３及び不活性ガス供給管４１の一部とを通して加圧室１０内へエアを供給し、加圧室１０内を略５〜１０気圧程度に加圧する。この結果、矢印Ｅで示されるように、加圧室１０内の溶湯２はストーク２１内に流入し、ストーク２１、湯道２２ｂを通してキャビティ２２ａ内に充填される。この際上述のように、気体供給装置３２から気体供給管３１内に供給された気体を、連通管３３を通して不活性ガス供給管４１内へ流すことができ、気体供給管３１と不活性ガス供給管４１との両方から加圧室１０内へ気体を供給することができるため、加圧室１０内を加圧することによって不活性ガス供給管４１内において溶湯２の液面が上昇することを防止することができ、液面上昇した溶湯２が不活性ガス供給管４１内において凝固してしまうことを防止することができる。
【００３２】
次に、キャビティ２２ａ内の溶湯２が凝固した後に、図５に示されるように第１の弁３４を連通位置とし、第２の弁４３を遮断位置とし、第３の弁４４を連通位置とし、第４の弁３６を連通位置とし、第５の弁３７を連通位置とする。このことにより、ストーク２１及び加圧室１０内が大気開放状態となり、加圧室１０内を加圧していた加圧室１０内のエアは、図５の矢印Ｆで示されるように、気体供給管３１の一部及び分岐管３５を通して大気中へ排出され、加圧室１０内を加圧していた不活性ガス供給管４１内のエアは、図５の矢印Ｇで示されるように、連通管３３、気体供給管３１の一部、及び分岐管３５を通して大気中へ排出される。これにより、ストーク２１内に位置していた溶湯２は下方へ後退してゆき、湯切りが行われる。
【００３３】
次に、上型２２Ｂを下型２２Ａから離間させるように鉛直上方へ移動させて型開きを行う。このとき、キャビティ２２ａ内で凝固した鋳造品２´（図５）は、上型２２Ｂに付着している。次に、キャビティ２２ａ内で凝固した鋳造品２´を、図示せぬ押し出しピンを下降させることにより上型２２Ｂから取り外す。そして、キャビティ２２ａを画成する上型２２Ｂ、下型２２Ａの部分にエアブローを行い、離型剤を塗布して、次回の鋳造の準備をする。以上が１回の低圧鋳造工程であり、この１回の低圧鋳造工程を繰返すことにより連続して低圧鋳造を行う。
【００３４】
本発明による低圧鋳造装置及び低圧鋳造方法は、上述した実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変形や改良が可能である。例えば、本実施の形態では、第１の弁３４、第２の弁４３、第３の弁４４、第４の弁３６、第５の弁３７の５つの弁が設けられたが、この構成に限定されず、少なくとも第１の弁３４が設けられる構成であればよい。また、溶湯２はアルミニウム合金から構成されていたが、アルミニウム合金に限定されない。また、不活性ガス供給装置４２はアルゴンガスを供給可能であったが、アルゴンガスに限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明の低圧鋳造装置及び低圧鋳造方法は、キャビティ内に充填される溶湯に対して脱ガス処理を行う低圧鋳造の分野において極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態による低圧鋳造装置において脱ガス処理を行っている様子を示す概略図。
【図２】本発明の実施の形態による低圧鋳造装置において加圧室を加圧する準備をしている様子を示す概略図。
【図３】本発明の実施の形態による低圧鋳造装置において加圧室を加圧し始めた状態を示す概略図。
【図４】本発明の実施の形態による低圧鋳造装置において加圧室に対する加圧を終了する直前の状態を示す概略図。
【図５】本発明の実施の形態による低圧鋳造装置において加圧室を大気開放した状態を示す概略図。
【符号の説明】
【００３７】
１          低圧鋳造装置
２          溶湯
１０        加圧室
２１        ストーク
２２        金型
２２ａ      キャビティ
３０        加圧手段
３１        気体供給管
３１Ａ、４１Ａ      一端
３１Ｂ、４１Ｂ      他端
３２        気体供給装置
３３        連通管
３４        第１の弁
３５        分岐管
３６        第４の弁
３７        第５の弁
４０        不活性ガス供給手段
４１        不活性ガス供給管
４２        不活性ガス供給装置
４３        第２の弁
４４        第３の弁
【図１】
0004705651.tif 000002
【図２】
0004705651.tif 000003
【図３】
0004705651.tif 000004
【図４】
0004705651.tif 000005
【図５】
0004705651.tif 000006