(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、
前記フレームに配設される駆動源と、
前記駆動源の駆動力を送りねじ軸の回転駆動とし、当該送りねじ軸に螺合する送りナットの直線運動に変換することで、伝達する駆動力伝達機構と、
前記送りナットの直線運動に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び／又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、を備えたアクチュエータにおいて、
前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とからなり、
前記複数の樹脂製摺動体は、前記スライダに形成された一組の第１装着溝に装着され底壁部の第１摺動溝に沿って摺動する一組の第１樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第２装着溝に装着され側壁部の第２摺動溝に沿って摺動する一組の第２樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第３装着溝に装着され側壁部の第３摺動溝に沿って摺動する一組の第３樹脂製摺動体とを含み、
前記第１〜第３樹脂製摺動体は、前記送りねじ軸の軸心を中心とし前記第１〜第３樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円が同一円周上に位置するように配置されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
フレームと、
前記フレームに配設される駆動源と、
前記駆動源の駆動力を送りねじ軸の回転駆動とし、当該送りねじ軸に螺合する送りナットの直線運動に変換することで、伝達する駆動力伝達機構と、
前記送りナットの直線運動に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び／又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、を備えたアクチュエータにおいて、
前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とからなり、
前記複数の樹脂製摺動体は、前記スライダに形成された一組の第１装着溝に装着され底壁部の第１摺動溝に沿って摺動する一組の第１樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第２装着溝に装着され側壁部の第２摺動溝に沿って摺動する一組の第２樹脂製摺動体と、前記スライダに形成された一組の第３装着溝に装着され側壁部の第３摺動溝に沿って摺動する一組の第３樹脂製摺動体とを含み、
前記第１樹脂製摺動体は、その軸心が、前記送りねじ軸の軸心を中心とし前記第２及び第３樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円の内側に所定長だけ偏位した仮想円上に位置し、前記スライダとの接触面積が増大するように配置されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のアクチュエータにおいて、
前記樹脂製摺動体は、スライダの軸線方向に沿った両端面にそれぞれ装着される一組のプレートによって固定されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１又は２記載のアクチュエータにおいて、
前記フレームは、底壁部と、前記底壁部を間にして相互に対向する一組の側壁部とによって形成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１又は２記載のアクチュエータにおいて、
前記駆動源は、回転駆動源からなることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１又は２記載のアクチュエータにおいて、
前記複数の樹脂製摺動体は、固定側のフレームに保持された固定側樹脂製摺動体と、可動側のスライダに保持された可動側樹脂製摺動体とからなることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１又は２記載のアクチュエータにおいて、
前記スライダは、前記一組の第２樹脂製摺動体が当該スライダの往復方向の側面に対して一対装着されるとともに、前記一組の第３樹脂製摺動体が当該スライダの往復方向の側面に対して一対装着され、
前記スライダの一方の側面に装着された第２樹脂製摺動体の軸心位置と、前記スライダの他方の側面に装着された第３樹脂製摺動体の軸心位置と、が前記送りねじ軸の軸心に対して軸心対称となっていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動源の駆動作用下にフレームに沿ってスライダを直線状に往復動作させることが可能なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、ワークを搬送するためにアクチュエータ等の搬送手段が用いられ、特許文献１には、この種の従来技術に係るアクチュエータが開示されている。
【０００３】
このアクチュエータは、図１４に示されるように、アウタレール１の内部に軸線方向に沿って変位自在なインナブロック２が設けられ、前記インナブロック２の略中央部にはボールねじ軸３が軸線方向に沿って延在するように設けられている。
【０００４】
また、アウタレール１におけるインナブロック２と対向する一対の内壁面１ａ、１ｂには、一対の第１ボール転走溝４が軸線方向に沿って形成されると共に、この第１ボール転走溝４と対向するインナブロック２の両側面には、同様に第２ボール転走溝が形成されている。そして、インナブロック２の内部には複数のボール６が循環する戻り通路７が形成され、前記ボール６が、戻り通路７、第１ボール転走溝４と第２ボール転走溝との間を循環することによりインナブロック２がアウタレール１に沿って変位自在にガイドされている。
【０００５】
そして、図示しない電動モータ等の駆動源に一体的に連結されたボールねじ軸３が回転し、前記ボールねじ軸３の回転作用下に該ボールねじ軸３に螺合されたインナブロック２がアウタレール１の軸線方向に沿って直線的に変位する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−７４５５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記の特許文献１に開示されたアクチュエータでは、インナブロック２をアウタレール１の軸線方向に沿って案内するガイド機構として無限循環軌道に沿って転動する複数のボール６が必要となると共に、前記ボール６が転動するための第１ボール転送溝４、第２ボール転送溝、及び戻り通路７等の高精度な加工作業が必要となり、製造コストが高騰するという問題がある。
【０００８】
本発明は、前記の問題を考慮してなされたものであり、フレームに沿ってスライダを案内するガイド機構を簡素な構造とすることにより製造コストを低減することが可能なアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明は、フレームと、
前記フレームに配設される駆動源と、
前記駆動源の駆動力を伝達する駆動力伝達機構と、
前記駆動力伝達機構を介して伝達される駆動力に基づいて、前記フレームの軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
前記フレームの内壁面に対向する該スライダの外壁面と該フレームの内壁面との間に介装され該フレーム及び／又はスライダに固定された複数の樹脂製摺動体を含み、前記スライダが該フレームに沿って変位するときに該スライダを案内するガイド機構と、
を備えることを特徴とする。
【００１０】
この場合、前記樹脂製摺動体を柱体状に形成し、スライダの側面に形成された装着溝に保持されるように設けるとよい。
【００１１】
また、前記樹脂製摺動体は、樹脂製材料によって形成された中空の円筒体と、金属製材料によって形成され前記円筒体の内部に挿入される芯材とによって構成されるとよい。なお、スライダの軸線方向に沿った両端面にそれぞれ装着される一組のプレートによって前記樹脂製摺動体を固定するとよい。
【００１２】
さらに、前記複数の樹脂製摺動体を、スライダに形成された一組の第１装着溝に装着され底壁部の第１摺動溝に沿って摺動する一組の第１樹脂製摺動体と、スライダに形成された一組の第２装着溝に装着され側壁部の第２摺動溝に沿って摺動する一組の第２樹脂製摺動体と、スライダに形成された一組の第３装着溝に装着され側壁部の第３摺動溝に沿って摺動する一組の第３樹脂製摺動体とによって構成してもよい。
【００１３】
さらに、送りねじ軸の軸心を中心とし前記第１〜第３樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円が同一円周上に位置するように配置されるとよい。前記第１樹脂製摺動体は、その軸心が、第２及び第３樹脂製摺動体の軸心を結んだ仮想円の内側に所定長だけ偏位した仮想円上に位置するように配置されるとよい。
【００１４】
さらにまた、前記フレームが、底壁部と、前記底壁部を間にして相互に対向する一組の側壁部とによって形成されるとよい。
【００１５】
またさらに、
前記駆動源として、回転駆動源によって構成し、あるいは、内部にピストンが収装されたシリンダチューブと、前記ピストンと一体的に変位するピストンロッドを有する流体圧シリンダによって構成するとよい。
【００１６】
なお、前記複数の樹脂製摺動体は、固定側のフレームに保持された固定側樹脂製摺動体と、可動側のスライダに保持された可動側樹脂製摺動体とによって構成されるとよい。
【００１７】
本発明によれば、駆動力伝達機構を介して駆動源の駆動力がスライダに伝達され、前記スライダは、ガイド機構の案内作用下にフレームの軸線方向に沿って変位する。
【００１８】
前記スライダがフレームに沿って変位する際、スライダに保持され、前記フレームの内壁面に対向する該スライダの側面と該フレームの内壁面との間に介装され複数の樹脂製摺動体が該フレームの内壁面に沿って摺動することにより、該スライダがフレームの内壁面に沿って円滑に案内される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２０】
すなわち、スライダの側面に複数の樹脂製摺動体を保持することにより、従来技術において用いられていたボール及びリターン部材等が不要となると共に、ボールを循環させる戻り通路等をスライダに形成する加工作業が不要となる。従って、複数の樹脂製摺動体をガイド機構とする簡素な構造により製造コストを低減し、廉価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明に係るアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２２】
図１において、参照数字１０は、本発明の実施の形態に係るアクチュエータを示す。
【００２３】
このアクチュエータ１０は、縦断面略Ｕ字状を呈し長尺に形成されたフレーム１２と、前記フレーム１２の一端部側に設けられた回転駆動源１４と、前記回転駆動源１４の回転駆動力を直線運動に変換して伝達する駆動力伝達機構１６と、前記駆動力伝達機構１６を介して伝達される直線運動によって前記フレーム１２の内壁面に沿った軸線方向に往復動作するスライダ１８と、前記スライダ１８をフレーム１２の軸線方向に沿って直線状に案内するガイド機構２０とを有する。
【００２４】
なお、前記フレーム１２およびスライダ１８を、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金、又はステンレススチール等の金属製材料によって形成し、前記フレーム１２を、押し出し成形、引き抜き成形等によって一体的に形成すると好適である。
【００２５】
前記フレーム１２の軸線方向に沿った他端部には、一組のねじ部材２２ａ、２２ｂを介してエンドプレート２４が連結される（図１及び図２参照）。
【００２６】
前記フレーム１２は、軸線方向に沿って所定間隔離間する複数の取付孔２６（図２参照）が形成された底壁部２８と、前記底壁部２８から略直交する方向に所定長だけ立ち上がり相互に対向する一組の側壁部３０ａ、３０ｂとから構成され、前記底壁部２８と一組の側壁部３０ａ、３０ｂとはそれぞれ一体的に形成される（図４参照）。
【００２７】
図４に示されるように、底壁部２８の内壁面の中央部には、フレーム１２の軸線方向に沿って延在する凹部３２が形成され、また、側壁部３０ａ、３０ｂの内壁面全体は曲率半径が大きな縦断面円弧状に形成される。さらに、側壁部３０ａ、３０ｂに近接する底壁部２８の内壁面には、後述する樹脂製摺動体３４を摺動させるための縦断面円弧状の一組の第１摺動溝３６ａ、３６ｂが形成される。前記一組の第１摺動溝３６ａ、３６ｂは、フレーム１２の軸線方向に沿って一端部から他端部まで略平行に延在するように配置される。
【００２８】
前記一組の側壁部３０ａ、３０ｂの内壁面には、後述する樹脂製摺動体３４を摺動させるための縦断面円弧状の一組の第２摺動溝３８ａ、３８ｂ及び第３摺動溝４０ａ、４０ｂがそれぞれ対向して形成される。前記一組の第２摺動溝３８ａ、３８ｂ及び第３摺動溝４０ａ、４０ｂは、それぞれ、側壁部３０ａ、３０ｂの内壁面の略上下方向に位置すると共に、フレーム１２の軸線方向に沿って略平行に延在するように形成される。
【００２９】
駆動力伝達機構１６は、回転駆動源１４の駆動軸に同軸に連結された送りねじ軸４２と、前記送りねじ軸４２に螺合するねじ部４３が形成された略円筒状の送りナット４４とを有する。前記送りナット４４は、スライダ１８の上面に形成された横断面矩形状の開口部４６を介して該スライダ１８の孔部内に装着される（図３参照）。なお、前記送りねじ軸４２に代替して図示しないボールねじ軸、滑りねじ軸等を用いてもよい。
【００３０】
前記フレーム１２の一組の側壁部３０ａ、３０ｂに対向するスライダ１８の側面は、該側壁部３０ａ、３０ｂの内壁面に対応して曲率半径が大きな縦断面円弧状にそれぞれ形成される。
【００３１】
さらに、スライダ１８の側面には、図４に示されるように、底壁部２８の第１摺動溝３６ａ、３６ｂに対向し後述する第１樹脂製摺動体３４ａ、３４ｂが装着される縦断面円弧状の一組の第１装着溝４８ａ、４８ｂと、側壁部３０ａ、３０ｂの第２摺動溝３８ａ、３８ｂに対向し後述する第２樹脂製摺動体３４ｃ、３４ｄが装着される縦断面円弧状の一組の第２装着溝５０ａ、５０ｂと、側壁部３０ａ、３０ｂの第３摺動溝４０ａ、４０ｂに対向し後述する第３樹脂製摺動体３４ｅ、３４ｆが装着される縦断面円弧状の一組の第３装着溝５２ａ、５２ｂとが形成される。
【００３２】
なお、樹脂製摺動体を総称して「樹脂製摺動体３４」とし、個々の樹脂製摺動体を示す場合、「第１樹脂製摺動体３４ａ、３４ｂ」、「第２樹脂製摺動体３４ｃ、３４ｄ」、「第３樹脂製摺動体３４ｅ、３４ｆ」として説明する。
【００３３】
前記一組の第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂは、それぞれ、送りねじ軸４２の軸線方向に沿って略平行に延在するように配置される。
【００３４】
また、スライダ１８の中央部には送りねじ軸４２を貫通させる貫通孔５４が形成され、該スライダ１８の上面には、他の部材を取り付けるための４つの取付用孔部５６ａ〜５６ｄが形成される。スライダ１８の上面及び下面には、それぞれ凹部５８ａ、５８ｂが形成される（図４参照）。
【００３５】
さらに、スライダ１８の軸線方向に沿った両端面には一組のプレート６０ａ、６０ｂが図示しないねじ部材を介して固定され、前記一組のプレート６０ａ、６０ｂの中央部には送りねじ軸４２を挿通させるための円形状の孔部６２が形成される（図３参照）。
【００３６】
この場合、前記一組のプレート６０ａ、６０ｂによって複数の樹脂製摺動体３４の両端部がそれぞれ把持されることにより、スライダ１８に装着された前記複数の樹脂製摺動体３４の軸線方向に沿った変位が規制され、前記複数の樹脂製摺動体３４が該スライダ１８に保持（固定）される。従って、前記複数の樹脂製摺動体３４は、前記一組のプレート６０ａ、６０ｂスライダ１８の側面に形成された一組の第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂ内における周方向の回転動作が阻止される。
【００３７】
なお、前記一組のプレート６０ａ、６０ｂを設けることがなく、スライダ１８を一組のプレート６０ａ、６０ｂを含んだ形状に鋳造等によって一体成形してもよい。前記プレート６０ａ、６０ｂに代替して、前記第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂに係止された図示しないピン等の固定部材を設け、あるいは、接着剤等の接着部材を介して、前記複数の樹脂製摺動体３４を前記第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂに固定してもよい。
【００３８】
ガイド機構２０は、図３及び図４に示されるように、スライダ１８の側面に形成された一組の第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂにそれぞれ装着され、フレーム１２の内壁面に形成された一組の第１〜第３摺動溝３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂに沿ってそれぞれ摺動する６本の第１〜第３樹脂製摺動体３４ａ〜３４ｆを含む。前記第１〜第３樹脂製摺動体３４ａ〜３４ｆは、それぞれ同一構成からなり、例えば、超高分子ポリエチレン等によって形成された中空の円筒体と、前記円筒体の内部に挿入され、例えば、ＳＵＳ又は鋼鉄の円柱体によって形成された芯材６４とによって構成される。
【００３９】
なお、前記樹脂製摺動体３４の形状は、円柱体に限定されるものではなく、角柱体等を含む柱体であればよい。また、樹脂製材料からなる円筒体に金属製の芯材６４を挿入して樹脂製摺動体３４を構成することにより剛性を確保することができる。
【００４０】
この場合、所定の直径を有する前記芯材６４を円筒体の内部に圧入して樹脂製材料からなる該円筒体を拡径させることにより、樹脂製摺動体３４の外径を所定径に調節することが可能となる。従って、前記樹脂製摺動体３４が装着される第１〜第３装着溝４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂとの間の隙間調整、及び前記樹脂製摺動体３４が摺動する第１〜第３摺動溝３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂとの間の隙間調整を容易に行うことができる。
【００４１】
本発明の実施の形態に係るアクチュエータ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４２】
図示しない電源を付勢することにより回転駆動源１４の駆動軸に連結された送りねじ軸４２が回転駆動し、送りナット４４のねじ部４３との螺合作用下に回転運動がスライダ１８の直線運動に変換される。従って、スライダ１８は、ガイド機構２０の案内作用下にフレーム１２の軸線方向に沿って変位する。なお、図示しないコントローラの制御作用下に、回転駆動源１４に流される電流の極性を正逆逆転させることにより、前記スライダ１８をフレーム１２の軸線方向に沿って往復動作させることができる。
【００４３】
スライダ１８がフレーム１２の軸線方向に沿って往復動作する際、一組のプレート６０ａ、６０ｂを介して該スライダ１８の側面に保持された複数の樹脂製摺動体３４がフレーム１２の第１〜第３摺動溝３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂに沿って摺動することにより、フレーム１２の内壁面に沿ってスライダ１８を直線状に円滑に変位させることができる。
【００４４】
次に、複数の樹脂製摺動体３４によって吸収される荷重について説明する。なお、図５及び図６では、網線の範囲（面積）によって荷重が支持される量を簡略化して図示している。
【００４５】
図５に示されるように、スライダ１８に対して鉛直下方向（矢印Ａ方向）の荷重（垂直荷重）が付与されたとき、最も下部側に配置され底壁部２８の第１摺動溝３６ａ、３６ｂに係合する一組の第１樹脂製摺動体３４ａ、３４ｂによって主として支持されると共に、側壁部３０ａ、３０ｂの第２及び第３摺動溝３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂに係合する４本の第２樹脂製摺動体３４ｃ、３４ｄ及び第３樹脂製摺動体３４ｅ、３４ｆによって従として支持される。
【００４６】
一方、図６に示されるように、スライダ１８に対して前記垂直荷重を除いた偏荷重（例えば、矢印Ｂ方向の荷重）が付与されたとき、側壁部３０ａ、３０ｂ及び底壁部２８に配置された６本の樹脂製摺動体３４が前記偏荷重を略均等に分散させて好適に支持することができる。
【００４７】
本実施の形態では、スライダ１８の両側面に複数の樹脂製摺動体３４を保持することにより、従来技術において用いられていたボール及びリターン部材等が不要となると共に、ボールを循環させる戻り通路等をスライダに形成する加工作業が不要となる。従って、本実施の形態では、複数の樹脂製摺動体３４をガイド機構２０とする簡素な構造により製造コストを低減し、廉価に製造することができる。
【００４８】
さらに、本実施の形態では、フレーム１２を、押し出し成形、引き抜き成形等によって一体成形する際、前記フレーム１２を構成する底壁部２８及び側壁部３０ａ、３０ｂに対して第１〜第３摺動溝３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂを同時に成形することにより、より一層製造コストを低減することができる。この場合、前記第１〜第３摺動溝３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂに対する仕上げ加工等の後加工は不要である。
【００４９】
次に、スライダ１８の側面とフレーム１２の内壁面との間に介装される複数の樹脂製摺動体３４の配置関係について説明する。
【００５０】
図７に示されるように、スライダ１８に装着される複数の樹脂製摺動体３４は、送りねじ軸４２の軸心Ｏを中心とし複数の第１〜第３樹脂製摺動体３４ａ（３４ｂ）、３４ｃ（３４ｄ）、３４ｅ（３４ｆ）の軸心Ｌ、Ｍ、Ｎを結んだ仮想円Ｐが同一円周上に位置するように配置される。換言すると、送りねじ軸４２の軸心Ｏから複数の第１〜第３樹脂製摺動体３４ａ（３４ｂ）、３４ｃ（３４ｄ）、３４ｅ（３４ｆ）の軸心Ｌ、Ｍ、Ｎまでの離間距離が等距離にあることにより、スライダ１８に対する偏荷重（図６の矢印Ｂ方向の偏荷重参照）を好適に支持することができる。
【００５１】
また、図８に示されるように、スライダ１８に装着される複数の樹脂製摺動体３４の中、最も下側に配置され底壁部２８によって支持される第１樹脂製摺動体３４ａ（３４ｂ）を側壁部３０ａ（３０ｂ）によって支持される他の第２及び第３樹脂製摺動体３４ｃ（３４ｄ）、３４ｅ（３４ｆ）の軸心Ｍ、Ｎを結んだ仮想円Ｐの内側にΔＤだけ偏位した仮想円Ｑ上に配置することにより、第１樹脂製摺動体３４ａ（３４ｂ）に対するスライダ１８の接触面の接触面積（斜線部分参照）を増大させることができる。
【００５２】
その際、複数の樹脂製摺動体３４の本数は、６本に限定されるものではなく、複数本用いてスライダ１８の側面とフレーム１２の内壁面との間の所望の位置に配置することにより、ユーザの要望に沿った所望の効果が得られる。
【００５３】
なお、本実施の形態では、駆動源として、例えば、モータ等の回転駆動源１４を用いて説明しているが、これに限定されるものではなく、前記回転駆動源１４に代替して、図９に示されるように、流体圧シリンダ７０を駆動源としてもよい。
【００５４】
前記流体圧シリンダ７０の図示しないシリンダ室に圧力流体が供給されることによりピストンロッド７２が進退動作し、前記ピストンロッド７２の先端に連結されたエンドプレート７４を介してスライダ１８をフレーム１２の軸線方向に沿って往復動作させることができる。なお、図９中において、参照数字７６ａ、７６ｂは、スライダ１８の変位終端位置における衝撃を吸収するショックアブソーバを示す。
【００５５】
さらに、フレーム１２の側面に図示しないセンサを装着し、スライダ１８に連結され該スライダ１８と一体的に変位する図示しない被検出部材を検出することにより、原点位置を検出することができる。
【００５６】
次に、駆動源として流体圧シリンダを用いたさらに他の実施の形態に係るアクチュエータ８０、１１０を図１０〜図１３に示す。
【００５７】
図１０及び図１１に示されるアクチュエータ８０では、圧力流体出入ポート８２ａ、８２ｂを有するロッドカバー８４及びヘッドカバー８６と、前記ロッドカバー８４及びヘッドカバー８６によって閉塞された図示しないシリンダ室にピストンが収装されたシリンダチューブ８８とを備え、前記シリンダチューブ８８がフレーム１２及びスライダ９０の凹部に沿って固定されている。前記シリンダチューブ８８の端部から外部に向かって伸縮動作するピストンロッド９２の先端部には、断面Ｕ字状を呈しフレーム１２の軸線方向に沿って延在するスライダ９０が連結ブロック９４を介して連結される。
【００５８】
この場合、固定側であるフレーム１２と可動側であるスライダ９０との間には、複数の固定側樹脂製摺動体９６と複数の可動側樹脂製摺動体９８とがそれぞれ軸線方向に沿って所定距離離間して設けられる。すなわち、固定側のフレーム１２の内壁面に形成された複数の長溝１００の端部には、片側が３本ずつで両側で合計６本の固定側樹脂製摺動体９６がそれぞれ固定され、可動側のスライダ９０の外壁面に形成された複数の長溝１０２の端部には、片側が３本ずつで両側で合計６本の可動側樹脂製摺動体９８がそれぞれ固定される。
【００５９】
従って、流体シリンダの付勢作用下にピストンロッド９２とスライダ９０が一体的に進退動作する際、前記スライダ９０に付与される荷重（垂直荷重及び偏荷重を含む）は、前記固定側のフレーム１２の内壁に保持された複数の固定側樹脂製摺動体９６と、前記可動側のスライダ９０の外壁に保持された複数の可動側樹脂製摺動体９８とによって好適に支持される。
【００６０】
なお、前記複数の固定側樹脂製摺動体９６と前記複数の可動側樹脂製摺動体９８とは、水平線上において同一の長溝１００に沿って固定されているが、フレーム１２に沿ってスライダ９０が変位した場合であっても、ピストンのストローク量を所定量に設定し、あるいはスライダ９０の変位量を規制する図示しないストッパを設けることにより、前記複数の固定側樹脂製摺動体９６と前記複数の可動側樹脂製摺動体９８とが当接することがないように設けられている。
【００６１】
図１２及び図１３に示されるアクチュエータ１１０は、一組の圧力流体出入ポート１１１ａ、１１１ｂを有し内部に図示しないシリンダ室が形成されたベースブロック１１２と、前記シリンダ室に沿って変位するピストン（図示せず）に連結されたピストンロッド１１４と、前記ピストンロッド１１４の先端部に連結されて該ピストンロッドと一体的に変位するスライダ１１６とを備える。
【００６２】
なお、前記ベースブロック１１２は、フレームとして機能するものであり、複数の取付用孔部１１７が形成された薄肉の一組の側端部１１２ａ、１１２ｂと、前記一組の側端部１１２ａ、１１２ｂの間に上方に向かって膨出形成された中央膨出部１１２ｃとによって一体的に構成される。
【００６３】
固定側であるベースブロック１１２と可動側であるスライダ１１６との間には、複数の固定側樹脂製摺動体１１８と複数の可動側樹脂製摺動体１２０とがそれぞれ軸線方向に沿って所定距離離間して設けられる。すなわち、固定側のベースブロック１１２の内壁面（上面及び両側面）に形成された複数の長溝１２２の端部には、上面が２本で両側面が２本の合計４本の固定側樹脂製摺動体１１８がそれぞれ固定され、可動側のスライダ１１６の外壁面（上面及び両側面）に形成された複数の長溝１２４の端部には、上面が２本で両側面が２本の合計４本の可動側樹脂製摺動体１２０がそれぞれ固定される。
【００６４】
前記複数の固定側樹脂製摺動体１１８と前記複数の可動側樹脂製摺動体１２０とが当接しないように設けられている点は、前記アクチュエータ８０と同一である。
【００６５】
なお、図１０〜図１３にそれぞれ設けられた固定側樹脂製摺動体９６、１１８及び可動側樹脂製摺動体９８、１２０は、それぞれ、図３に示す樹脂製摺動体３４と同一の構成乃至作用効果を有するため、その詳細な説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
【図２】前記アクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示す前記アクチュエータを構成するスライダ及びガイド機構の分解斜視図である。
【図４】図１に示すアクチュエータの軸線方向と直交する縦断面図である。
【図５】図３に示すスライダに対して垂直荷重が付与された状態を示す側面図である。
【図６】図３に示すスライダに対して偏荷重が付与された状態を示す側面図である。
【図７】複数の樹脂製摺動体を同一円周上に配置した状態を示す部分拡大側面図である。
【図８】複数の樹脂製摺動体を異なる円周上に配置した状態を示す部分拡大側面図である。
【図９】本発明の他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った縦断面図である。
【図１２】本発明のさらにまた他の実施の形態に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
【図１３】図１２の矢印Ｃ方向からみた矢視図である。
【図１４】従来技術に係るアクチュエータの一部切り欠き斜視図である。
【符号の説明】
【００６７】
１０、１０ａ、８０、１１０…アクチュエータ
１２…フレーム                          １４…回転駆動源
１６…駆動力伝達機構                    １８、９０、１１６…スライダ
２０…ガイド機構                        ２４、７４…エンドプレート
２８…底壁部                            ３０ａ、３０ｂ…側壁部
３４、３４ａ〜３４ｆ…樹脂製摺動体
３６ａ、３６ｂ、３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂ…摺動溝
４２…送りねじ軸                        ４４…送りナット
４６…開口部
４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ、５２ａ、５２ｂ…装着溝
６０ａ、６０ｂ…プレート                ６４…芯材
７０…流体圧シリンダ                    ８８…シリンダチューブ
７２、９２、１１４…ピストンロッド      ９４…連結ブロック
９６、１１８…固定側樹脂製摺動体        ９８、１２０…可動側樹脂製摺動体
１００、１０２、１２２、１２４…長溝    １１２…ベースブロック
【図１】
0004682302.tif 000002
【図２】
0004682302.tif 000003
【図３】
0004682302.tif 000004
【図４】
0004682302.tif 000005
【図５】
0004682302.tif 000006
【図６】
0004682302.tif 000007
【図７】
0004682302.tif 000008
【図８】
0004682302.tif 000009
【図９】
0004682302.tif 000010
【図１０】
0004682302.tif 000011
【図１１】
0004682302.tif 000012
【図１２】
0004682302.tif 000013
【図１３】
0004682302.tif 000014
【図１４】
0004682302.tif 000015