(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する一対の振動子と、
前記一対の振動子の一方を駆動する駆動手段と、
前記駆動手段を動作させる計測スタート信号を出力する制御手段と、
他方の前記振動子の出力を受け前記一対振動子間の被測定流体の流速を演算によって求める流量演算手段と、
前記制御手段、前記流量演算手段、及び前記駆動手段のうち少なくとも１つの電源の入切を制御する電源制御手段と、
計測時間間隔を管理するタイマ手段と、
計測を行うために供給する電源電圧を検知する電圧検知手段と、を備え、
前記タイマ手段は、前記電源制御手段に前記制御手段が計測スタート信号の送出する前に、前記電圧検出手段の信号に応じて電源制御手段に信号を送出する時間を調整して電源を投入する信号を送出する流量計測装置。
【請求項２】
前記電源制御手段は外部信号から動作可能とする請求項１に記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に超音波によって気体や液体の流量を測定する流量計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の超音波流速計は、図１２に示すようなものが一般的であった。この装置は流体の流れる測定経路１に設置した超音波センサ２と、超音波センサ２を駆動する駆動回路３と、駆動回路３にスタート信号を出力する制御部４と、超音波の伝播時間を測定するタイマ５と、タイマ５から測定データを受け取る演算部６と、超音波センサ２から送信した超音波を受ける超音波センサ７と、超音波センサ７の出力を利得制御回路８の出力に応じた増幅率で増幅する可変利得アンプ９と、可変利得アンプ９の出力と基準電圧とを比較し大小関係が反転したときにタイマ５を停止させるタイミング検知回路１０と、可変利得アンプ９の出力レベルを検知し利得制御回路８に出力するレベル検知回路１１とを有していた。
【０００３】
そして、上記超音波流速計は、制御部４からスタート信号を受けた駆動回路３が超音波センサ２を一定時間パルス駆動を行うと同時にタイマ５は制御部４からの信号によってに時間計測始める。パルス駆動された超音波センサ２からは超音波が送信される。超音波センサ２から送信した超音波は被測定流体中を伝搬し超音波センサ６で受信される。超音波センサ７の受信出力は、可変利得アンプ９において制御部４が設定した増幅率によって増幅される。そして可変利得アンプ９の出力を受けたタイミング検知回路１０で超音波の受信を判定しタイマ５を停止させる。そして制御部４ではタイマ５から得た時間情報ｔから（式１）によって流速を求める（タイマ５から得た測定時間をｔ、超音波センサ間の流れ方向の有効距離をＬ、音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする）。
【０００４】
ｖ＝（Ｌ／ｔ）−ｃ・・・（式１）
タイミング検知回路１０はコンパレータによって基準電圧と受信信号を比較するようになっていた。
【０００５】
受信信号は、緩やかに立ち上がる波形となっており、超音波センサの温度特や、流速によって受信信号のレベルは変化する。その前記基準電圧と受信信号のレベルが適正でないとタイミング検知回路１０の動作は安定せず測定精度が悪くなる。そこで、可変利得アンプ９の出力を受けているレベル検知回路１１は入力信号のピークレベルを監視しており、ピーク値が小さいあるいは大きい場合に利得制御部８へ出力を行う。利得制御部８は可変利得アンプ９の増幅率をレベル検知回路１１からの信号に対応し可変利得アンプ９の出力がほぼ一定となるように設定する。そして次の受信信号は可変利得アンプ９で目標の信号レベルへと増幅され、タイミング検知回路１０に与えられる。このようにタイミング検知回路１０へ与える信号のピークをほぼ一定とすることによって、受信時間の判定を行うタイミングを安定化していた。
【０００６】
また、他の測定方法としてタイミング検知回路１０の判定結果をタイマ５ではなく、遅延回路で一定時間遅延させた後に駆動回路３に返し、再度送信を行う場合もあった。このような繰り返し動作を決められた回数行い時間を測定し、その測定時間を元に（式２）の計算によって流速を求める方法もあった（遅延回路の遅延時間をＴｄ、繰り返しの回数をｎ、測定時間をｔｓ、超音波センサ間の流れ方向の有効距離をＬ、音速をｃ、被測定流体の流速をｖとする）。
【０００７】
ｖ＝Ｌ／（ｔｓ／ｎ−Ｔｄ）−ｃ・・・（式２）
この方法によれば（式１）の方法に比べ精度よく測定することができる。
【０００８】
また、超音波センサ２と超音波センサ７とを切り替え、被測定流体の上流から下流と下流から上流へのそれぞれの伝搬時間を測定し、（式３）より速度ｖを求める方法もある（上流から下流への測定時間をｔ１、下流から上流への測定時間をｔ２とする）。
【０００９】
ｖ＝Ｌ／２（（１／ｔ１）−（１／ｔ２））・・・（式３）
この方法によれば音速の変化の影響を受けずに流度を測定することが出来るので、流速・流量・距離などの測定に広く利用されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の超音波流量計における、駆動回路や可変利得アンプ等には常時電源を通電しておくことは省電力の点から難しく、また電源を入切りするタイミングを測定系の特性にあわせて行なわないと安定していない時に計測を開始するため測定精度に影響を与えてしまう等の課題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記従来の課題を解決するために、本発明のタイマ手段は計測スタート信号を送出する前に電源制御手段に電源を投入する信号を出し、制御手段の動作前に通電を開始するものである。
【００１２】
これにより、計測時以外では電力供給を停止し、動作前に通電することで省電力動作を行なうものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
第１の発明は、被測定流体の流れる流路に配置され超音波を送受信する一対の振動子と、一対の振動子の一方を駆動する駆動手段と、駆動手段を動作させる計測スタート信号を出力する制御手段と、他方の振動子の出力を受け一対振動子間の被測定流体の流速を演算によって求める流量演算手段と、制御手段、流量演算手段、及び駆動手段のうち少なくとも１つの電源の入切を制御する電源制御手段と、計測時間間隔を管理するタイマ手段と、計測を行うために供給する電源電圧を検知する電圧検知手段と、を備え、タイマ手段は、電源制御手段に制御手段が計測スタート信号の送出する前に、電圧検出手段の信号に応じて電源制御手段に信号を送出する時間を調整して電源を投入する信号を送出する流量計測装置である。
【００１４】
そして、計測時以外では電力供給を停止し、動作前に通電することで省電力動作を行なうことができ、計測スタート信号までの安定時間を電源電圧により変化することで電源入力タイミングを最適な状態に設定することが可能になる。
【００１５】
第２の発明は、特に第１の発明において、電源制御手段を外部信号から動作可能とすることにより、計測系の電源供給を外部信号で制御し最適な電力制御を可能とする。
【００１６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【００１７】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の超音波流量計のブロック図である。また図２は超音波信号の送信波および受信波の動作タイミングを表す図である。図１おいて、本発明の超音波流量計は被測定流体の流れる流路１と、前記流路１に配置された超音波を送受信する第１の振動子１２、第２の振動子１３と、前記第１の振動子１２を駆動する駆動手段１４と、前記駆動手段１４を動作する計測スタート信号を出力する制御手段１５と、前記第２の振動子１３の出力を受け流路１内における被測定流体の流速を演算によって求める流量演算手段１６と、前記制御手段１５から流量演算手段１６までの電源入切を制御する電源制御手段１７と、計測時間間隔を管理するタイマ手段１８とを有するものである。
【００１８】
そして流量演算手段１６は前記第２の振動子１３の受信信号を受け受信タイミングを決定するタイミング検知手段１９と、タイミング検知手段１９の出力を所定の遅延時間遅れて前記駆動手段１４のトリガ信号として出力する遅延手段２０と、超音波の送受信そして遅延手段２０で遅延時間の後に再度超音波の送受信を繰り返すという動作回数を計測し所定の回数で動作を停止する繰り返し手段２１と、少なくとも駆動手段１４による第１の振動子１２の駆動開始から前記繰り返し手段２１の動作停止までの超音波の伝搬時間を測定する計時手段２２と、前記計時手段２２の値から前記一対の振動子間の流速を演算し、それから流量を求める演算手段２３からなっている。
【００１９】
さらに、駆動手段１４と第１の振動子１２、および第２の振動子１３とタイミング検知手段１９の間に切換手段２４を設け、超音波の送受信を第１の振動子１２と第２の振動子１３の間で交互に行うようにしてもよい。このように切換え手段２４で送受信を交互に行うようにすると、従来例にも示した被測定流体の上流から下流と下流から上流へのそれぞれの伝搬時間を測定し、（式３）より速度ｖを求め、流速から流量を求めることができる。この方法によれば音速の変化の影響を受けずに流度を測定することが出来るので広く利用されている。
【００２０】
なお、前記タイマ手段１８は前記電源制御手段１７に前記制御手段１５が計測スタート信号の送出する前に電源を投入する信号を送出するように動作している。
【００２１】
この動作について以下に説明する。本来タイマ手段１８は定期的に電源制御手段１７に信号を送出することにより、図２に示す計測周期Ｔを管理する動作を行っている。これは一定時間で制御手段１５が駆動手段１４を介して第１の振動子１２から超音波信号を送信することである。そして演算手段２３は受信した信号から流速を求め前記タイマ手段１８の時間間隔を基に流量を算出している。
【００２２】
通常、電源制御手段１７にはその上流に電源２５が接続されている。電源制御手段１７がタイマ手段１６によって通電状態になると制御手段１５や流量演算手段１６に電源が供給される。制御手段１５は電源が供給されてから駆動手段１４に計測スタート信号を送出し、計測動作が開始される。
【００２３】
ここで、電源が供給されてからすぐに計測スタート信号を送出すると駆動手段１４や流量演算手段１６の動作がまだ正常になっていない場合がある。このためタイマ手段１８は電源制御手段１７に制御手段１５が計測スタート信号の送出する前に電源を投入する信号を送出する。具体例を示すと本来タイマ手段１８は図２の周期Ｔを管理するため時間間隔Ｔで動作すれば良いが、計測系の安定を図るため図２（ｃ）のように時刻ｔ０よりもＴ‘だけ前に電源制御手段１７に信号を送出し計測系に動作する前から電源供給するようにしている。従って周期はＴでは無く（Ｔ＋Ｔ’）となる。
【００２４】
この動作で電源を入切りすることにより、計測時以外では電力供給を停止し、動作前に通電することで省電力動作を行なうとともに、計測時も事前に計測系に電源を供給し動作初期における不安定な状態を回避し動作が安定してから計測スタート信号を送出するようにできるため正確な流量計測を行なうことが可能になる。
【００２５】
（実施例２）
次に実施例２の流量計測装置について説明する。図３は本実施例の制御手段１５の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、制御手段１５の内部に駆動手段１４に計測スタート信号を送出する主制御手段２６と、電源制御手段１７から通電が開始された後の時間を調べる第２のタイマ手段２７を設け、第２のタイマ手段２７が予め定めた時間になると主制御手段２６に信号を送出し、主制御手段２６はこれを受けて駆動手段１４に計測スタート信号を送出するようにしたものである。
【００２６】
動作について以下に説明する。タイマ手段１８は定期的に電源制御手段１７に信号を送出することで計測周期Ｔを管理する動作を行っている。電源制御手段１７がタイマ手段１６によって通電状態になると制御手段１５や流量演算手段１６に電源が供給される。制御手段１５は電源が供給されてから駆動手段１４に計測スタート信号を送出し、計測動作が開始される。
【００２７】
ここで、電源が供給されてからすぐに計測スタート信号を送出すると駆動手段１４や流量演算手段１６の動作がまだ正常になっていない場合がある。このため制御手段１５の内部にある第２のタイマ手段２７は図４（ａ）の時刻ｔ１で電源制御手段が電源の供給を開始すると図４（ｂ）のように計時動作を開始する。計測系が通電後安定するまでの時間Ｔ１を予め求めて第２のタイマ手段２７に設定しておくと時刻ｔ２でその時間Ｔ１の経過信号を主制御手段２６に送出する。主制御手段２６はこの信号を受け駆動手段１４に計測スタート信号を送出する。そして駆動手段１４を介して第１の振動子から図４（ｃ）のような送信信号が出力される。
【００２８】
このように電源制御手段１７から電力供給を開始後、予め定めた一定時間経過後に計測スタート信号を送出することにより、計測系の動作が確実に安定してから計測を開始することで正確な流量測定を行なうことができるようになる。
【００２９】
（実施例３）
続いて実施例３の流量計測装置について説明する。図５は本実施例の制御手段１５の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、制御手段１５の内部に計測系である駆動手段１４や流量演算手段１６等の動作の安定を確認する安定確認手段２８を設けていることである。
【００３０】
動作について以下に説明する。タイマ手段１８は図２に示すように定期的に電源制御手段１７に信号を送出することで計測周期Ｔを管理する動作を行っている。電源制御手段１７がタイマ手段１６によって通電状態になると制御手段１５や流量演算手段１６に電源が供給される。制御手段１５は電源が供給されてから駆動手段１４に計測スタート信号を送出し、計測動作が開始される。
【００３１】
ここで、計測系によっては電源が供給されてから安定になる時間にばらつきが生じることがある。例えば大きな容量成分のある場合は遅くなるし、単純な回路ではすぐに準備が整う。したがって、各計測系の動作が安定したかを確認する必要がある。
【００３２】
安定確認手段２８は図６（ａ）の時刻ｔ１で電源制御手段１７が電源の供給を開始した後、各計測系の安定動作を監視する。そして各計測系の安定が確認されると図６（ｂ）のように確認信号をオンする。主制御手段２６はこの信号を受け駆動手段１４に計測スタート信号を送出する。そして駆動手段１４を介して第１の振動子から図６（ｃ）のような送信信号が出力される。
【００３３】
ここで安定確認手段２８の安定を確認する動作は各計測系の電圧を監視しても良いし、また別途安定の確認を行なう通信を個別ブロックに対して行なう構成でもよい。また単純に各ブロックへの通電開始からの時間を見てもよい。
【００３４】
このように電源制御手段１７から電力供給を開始後、各計測系の動作が安定したことを安定確認手段２８で確認してから計測スタート信号を送出することにより、計測系の安定が確実となってから計測を開始することでより精度の高い流量測定を行なうことができるようになる。
【００３５】
（実施例４）
実施例４の流量計測装置について説明する。図７は本実施例の制御手段１５の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、制御手段１５の内部にデジタル回路用のクロック信号発生手段２９と前記クロック信号発生手段２９の動作が安定したことを確認するクロック信号検定手段３０を設けていることである。
【００３６】
動作について以下に説明する。タイマ手段１８は図２に示すように定期的に電源制御手段１７に信号を送出することで計測周期Ｔを管理する動作を行っている。電源制御手段１７がタイマ手段１６によって通電状態になると制御手段１５や流量演算手段１６に電源が供給される。制御手段１５は電源が供給されるとデジタル回路を有している場合は通常クロック信号発生手段２９が発振を開始する。
【００３７】
しかし、このクロック信号は立ち上がりが温度や電圧などの外的要因により一定していない。このためクロックが安定に動作するまでの時間も一定ではない。したがって、クロックの安定を確認してから計測を開始しないと正確な流量を求めることができない。クロック信号検定手段３０は図８（ａ）の時刻ｔ１で電源制御手段１７が電源の供給を開始した後、クロック信号発生手段２９の発振動作を監視する。そして図８（ｂ）のようにクロックの源発振が成長してくると、それを検定し十分発振が安定したと確認すると図８（ｃ）のように時刻ｔ２で発振の安定確認信号をオンする。主制御手段２６はこの信号を受け駆動手段１４に計測スタート信号を送出する。そして駆動手段１４を介して第１の振動子から図８（ｄ）のような送信信号が出力される。
【００３８】
このように電源制御手段１７から電力供給を開始後、デジタル回路用のクロック信号発生手段２９の発振クロックが安定したことをクロック信号検定手段３０で確認してから計測スタート信号を送出することにより、デジタル回路が安定してから計測系にあるクロックカウントを行なえるため精度の高い流量測定を行なうことができるようになる。
【００３９】
（実施例５）
実施例５の流量計測装置について説明する。図９は本実施例の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、温度検出手段３１と電圧検出手段３２を設けていることである。
【００４０】
制御手段１５、駆動手段１４、流量演算手段１６はそれぞれ周囲温度によって通電後に安定する時間が異なる。このため温度検知手段３１を設け、前記温度検出手段３１からの信号に応じて通電を開始する信号を送出するタイマ手段１８は前記温度検出手段３１の信号に応じて電源制御手段１７に信号を送出する時間を調整し、通電後に制御手段１５が計測スタート信号を送出する前に安定な状態にしておくことを可能にする。
【００４１】
例えば冬等の低温時は計測系が安定状態になるまで長時間要するし、反対に夏場や日光が直接照射する場所に設置した場合等は安定な温度になるのが短時間もしくはすでに安定状態になっている場合がある。
【００４２】
このように周囲温度により通電後の計測スタート信号までの安定時間を変化することで電源入力タイミングを最適な状態に設定することが可能になり、さらには無駄な電力通電時間を少なくすることができる。
【００４３】
また制御手段１５、駆動手段１４、流量演算手段１６の計測系はそれぞれ供給電圧によっても通電後に安定する時間が異なる場合がある。したがって計測系に供給している電源２５の電圧を監視する電圧検出手段３２を設け、前記電圧検出手段３２からの信号に応じて、通電を開始する信号を送出するタイマ手段１８は前記温度検出手段３１の信号に応じて電源制御手段１７に信号を送出する時間を調整し、通電後に制御手段１５が計測スタート信号を送出する前に安定な状態にしておくことを可能にする。
【００４４】
例えば電池を用いた場合は動作初期に電圧が高いが、使用するにしたがって電圧はだんだんと低下してくる。高電圧の場合は電流も多く流れる可能性が高く計測系の各部品の発熱量も多い。この場合は安定状態に到達するのは早い、反対に低電圧の場合は電流もあまり流れず安定状態に到達するのは時間がかかる。これらの状態を考慮し、電源電圧により通電後の計測スタート信号までの安定時間を変化することで電源入力タイミングを最適な状態に設定することが可能になり、さらには無駄な電力通電時間を少なくすることができる。
【００４５】
また電圧をモニタすることにより省電力動作を行うことが可能である。図中では温度検出手段３１と電圧検出手段３２を併せてもつ構成になっているが、どちらか１つがあれば十分その動作を満足することが可能である。
【００４６】
（実施例６）
実施例６の流量計測装置について説明する。図１０は本実施例の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、第１の記憶手段３３、第２の記憶手段３４を設けていることである。
【００４７】
制御手段１５、駆動手段１４、流量演算手段１６の計測系はそれぞれ動作初期には安定度がよくないが、通電開始後時間が経過するにしたがってだんだんと安定になっていく。供給電圧によっても通電後に安定する時間が異なる場合がある。したがって計測系が通電後に安定するまでの動作時間を予め実験等でつかみ、これを第１の記憶手段３３に記憶しておく。また物間バラツキ等がある場合は検査によりもとめた値を記憶しておく。実際動作する場合は第１の記憶手段３３に記憶している動作時間を基にタイマ手段１８は電源制御手段１７に信号を送出する時間を調整し、計測系の動作を安定な状態にしてから計測スタート信号を送出する。
【００４８】
これにより、計測系固有の情報により動作するため安定な状態を簡単に調整することが可能になり、流量測定装置のバラツキも小さくすることができる。
【００４９】
計測系の安定は安定度が飽和する動作時間やクロックの安定する時間、周囲温度と供給する電源電圧により最適値が変化する場合がある。
【００５０】
低流量の精度を向上するためにはこれらのこのような変化要因を十分盛り込んだ測定系にしておく必要がある。したがって、計測系が概略安定するまでの予め電源投入後の動作時間とクロックの安定する時間と周囲温度と供給する電源電圧との少なくとも２つ以上の組み合わせによる最適な安定時間を予め調べて第２の記憶手段３４に記憶しておく。
【００５１】
さらに計測系の物間バラツキ等がある場合は検査によりもとめた値を記憶しておく。実際動作する場合は第２の記憶手段３４に記憶している動作時間を基にタイマ手段１８は電源制御手段１７に信号を送出する時間を調整し、計測系の動作を安定な状態にしてから計測スタート信号を送出する。
【００５２】
これにより、計測系固有の情報と周囲の状態を考慮した初期動作をするため安定な状態を簡単に調整することが可能になり、流量測定装置のバラツキも小さくすることができる。
【００５３】
また前記第１の記憶手段３３は書き換えを可能とする状態もつようにしておく。例えばマイコンから書き換えたり、外部から信号を入力して書き換えるようにしておく。また半導体記憶手段では半導体そのものを交換することも可能である。
【００５４】
これにより流量計測装置の設置した場所や時期により初期安定時間の最適動作点がずれている場合はその内容を修正できる。また経年変化等が発生した場合も同様に書き換えて対応することが可能である。そして長時間安定な状態を維持することが可能となる。
【００５５】
また前記第２の記憶手段３４は書き換えを可能とする状態もつようにしておく。これにより流量計測装置の設置した場所や時期により計測系の初期安定の最適動作点がずれている場合はその内容を修正する。電池電圧の経年低下や各構成要素の経年変化等が発生してきても場合も同様に書き換えて対応することが可能である。これにより長時間安定な状態を維持することが可能となる。
【００５６】
また、前記第１の記憶手段３３は計測動作中に条件に応じて書き換えを行うようにする。例えば低流量状態が長時間継続した場合等は精度をさらに上げるため制御手段１５等から実際測定の動作を終了している時間帯に制御手段１５から流量演算手段１６までの初期安定度をさらに上げるよう条件を書き換える。反対に流量が多く遅延手段の動作が誤差として十分無視できるような場合は計測系の安定度を一定状態以下に落とすことも可能である。このように測定状態によって計測系の初期動作を変更し測定系として最適な状態を確立することが簡単に実現できる。そしてこれらは最適な電力使用状態をつくりだすことになる。
【００５７】
また、前記第２の記憶手段３４は計測動作中に条件に応じて書き換えを行うようにする。例えば設置場所により温度が急激に変動するような場合等である。このような場合は精度を維持するために制御手段１５等から実際測定の動作を終了している時間帯に制御手段１５から流量演算手段１６の安定度を維持するよう条件を書き換える。このように測定状態によって計測系の初期動作を変更し最適な状態を確立することが簡単に実現できる。また電源電圧との相関を考慮することにより長時間動作を可能にすることが可能である。
【００５８】
図中では第１の記憶手段３３と第２の記憶手段３４を併せてもつ構成になっているが、１つがあれば十分その動作を満足することが可能である。
【００５９】
上記説明では制御手段１５から流量演算手段１６までの計測系における熱平衡について説明したが、計測系の安定は別に熱に限ったことではなく、同じように一定時間動作することで初期の不安定状態を回避することで同様の効果をえられる。
【００６０】
（実施例７）
実施例７の流量計測装置について説明する。図１１は本実施例の構成を示すブロック図である。実施例１と異なるところは、外部接続手段３５を設けていることである。
【００６１】
電源制御手段１７は通常タイマ手段１６の信号を基に一定周期で動作しているが、この周期を変化したり、また長期間計測を停止するような場合が必要なことがある。
【００６２】
このような場合、記憶手段の内容を変更することで対応しても良いが直接外部から操作する方が簡単で、かつ応用範囲が広くなる。電源制御手段１７に外部機器からの信号を入力することが可能な外部接続手段３５をつなげ、例えばマイコン３６などから計測系への電源供給を制御するようにしても良い。
【００６３】
これにより長期間使用しない場合は一定周期動作を停止することができるし、計測周期を任意に変更することが可能となる。
【００６４】
さらには計測系の電源供給を外部信号で制御することでより最適な電力制御を可能になり、電源が電池などの場合は電池寿命（動作寿命）を長くすることができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上の説明から明らかのように本発明の流量計測装置によれば次の効果が得られる。
【００６６】
（１）タイマ手段は電源制御手段に制御手段が計測スタート信号の送出する前に電源を投入する信号を送出するため、計測時以外では電力供給を停止し、動作前に通電することで省電力動作を行なうとともに、計測時も事前に計測系に電源を供給し動作初期における不安定な状態を回避し動作が安定してから計測スタート信号を送出するようにできるため正確な流量計測を行なうことが可能になる。
【００６７】
（２）電源制御手段から電力供給を開始後、予め定めた一定時間経過後に計測スタート信号を送出することにより、計測系の動作が確実に安定してから計測を開始することで正確な流量測定を行なうことができるようになる。
【００６８】
（３）電源制御手段から電力供給を開始後、各計測系の動作が安定したことを安定確認手段で確認してから計測スタート信号を送出することにより、計測系の安定が確実となってから計測を開始することでより精度の高い流量測定を行なうことができるようになる。
【００６９】
（４）電源制御手段から電力供給を開始後、デジタル回路用のクロック信号発生手段の発振クロックが安定したことをクロック信号検定手段で確認してから計測スタート信号を送出することにより、デジタル回路が安定してから計測系にあるクロックカウントを行なえるため精度の高い流量測定を行なうことができるようになる。
【００７０】
（５）周囲温度により通電後の計測スタート信号までの安定時間を変化することで電源入力タイミングを最適な状態に設定することが可能になり、さらには無駄な電力通電時間を少なくすることができる。
【００７１】
（６）電源電圧により通電後の計測スタート信号までの安定時間を変化することで電源入力タイミングを最適な状態に設定することが可能になり、さらには無駄な電力通電時間を少なくすることができる。
【００７２】
（７）計測系が通電後に安定するまでの動作時間を第１の記憶手段に記憶しておき、この動作時間を基にタイマ手段は電源制御手段に信号を送出する時間を調整し、計測系の動作を安定な状態にしてから計測スタート信号を送出するため、計測系固有の情報により動作するため安定な状態を簡単に調整することが可能になり、流量測定装置のバラツキも小さくすることができる。
【００７３】
（８）計測系が概略安定するまでの予め電源投入後の動作時間とクロックの安定する時間と周囲温度と供給する電源電圧との少なくとも２つ以上の組み合わせによる最適な安定時間を第２の記憶手段に記憶しておき、この動作時間を基にタイマ手段は電源制御手段に信号を送出する時間を調整し、計測系の動作を安定な状態にしてから計測スタート信号を送出するため、計測系固有の情報と周囲の状態を考慮した初期動作をするため安定な状態を簡単に調整することが可能になり、流量測定装置のバラツキも小さくすることができる。
【００７４】
（９）第１の記憶手段は書き換えを可能とすることにより、流量計測装置の設置した場所や時期により初期安定時間の最適動作点がずれている場合はその内容を修正できる。また経年変化等が発生した場合も同様に書き換えて対応することが可能である。そして長時間安定な状態を維持することが可能となる。
【００７５】
（１０）記第２の記憶手段は書き換えを可能とすることにより、流量計測装置の設置した場所や時期により計測系の初期安定の最適動作点がずれている場合はその内容を修正できる。また電池電圧の経年低下や各構成要素の経年変化等が発生してきても場合も同様に書き換えて対応することが可能である。これにより長時間安定な状態を維持することが可能となる。
【００７６】
（１１）第１の記憶手段は計測動作中に条件に応じて書き換えを行うことにより、測定状態によって計測系の初期動作を変更し計測系全体として最適な状態を確立することが簡単に実現できる。そしてこれらは最適な電力使用状態をつくりだすことになる。
【００７７】
（１２）第２の記憶手段は計測動作中に条件に応じて書き換えを行うことにより、測定状態によって計測系の初期動作を変更し最適な状態を確立することが簡単に実現できる。そして電源電圧との相関を考慮することにより長時間動作を可能にすることが可能である。
【００７８】
（１３）計測系の電源供給を外部信号で制御することでより最適な電力制御を可能になり、電源が電池などの場合は動作寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施例１における流量計測装置の全体のブロック図
【図２】  同流量計測装置の発振波、受信波及び電源制御手段の動作を示すタイミングチャート
【図３】  本発明の実施例２の流量計測装置における制御手段のブロック図
【図４】  同流量計測装置の電源制御手段、第２の制御手段及び送信波の動作を示すタイミングチャート
【図５】  本発明の実施例３の流量計測装置における制御手段のブロック図
【図６】  同流量計測装置の電源制御手段、安定確認手段及び送信波の動作を示すタイミングチャート
【図７】  本発明の実施例４の流量計測装置における制御手段のブロック図
【図８】  同流量計測装置の電源制御手段、ブロック信号及び送信波の動作を示すタイミングチャート
【図９】  本発明の実施例５における流量計測装置の全体のブロック図
【図１０】  本発明の実施例６における流量計測装置の全体のブロック図
【図１１】  本発明の実施例７における流量計測装置の全体のブロック図
【図１２】  従来の超音波流速計の全体のブロック図
【符号の説明】
１  流路
１２  第１の振動子
１３  第２の振動子
１４  駆動手段
１５  制御手段
１６  流量演算手段
１７  電源制御手段
１８  タイマ手段
２７  第２のタイマ手段
２８  安定確認手段
２９  クロック信号発生手段
３０  クロック検定手段
３１  温度検出手段
３２  電圧検出手段
３３  第１の記憶手段
３４  第２の記憶手段
３５  外部接続手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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