(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象板の検査に使用されるプローブユニットであって、
全体を支持する固定ブロックと、当該固定ブロックに支持される取付ブロックと、当該取付ブロックに一体的に取り付けられた支持ブロックと、当該支持ブロックに挿入して支持されるプローブ組立体と、前記支持ブロックの内側面に支持されて前記プローブ組立体に電気的に接続される接続ケーブル部とを備えて構成され、
前記支持ブロックに前記取付ブロックの幅よりも拡大した拡大部を設け、前記支持ブロックに前記接続ケーブル部を固定するためのネジを前記拡大部に装置本体の外側から着脱させるためのネジ穴を設けたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のプローブユニットにおいて、
前記接続ケーブル部が、前記支持ブロックに直接固定される第１接続ブロックと、装置本体側のフレームに固定される第２接続ブロックと、前記第１接続ブロックと第２接続ブロックとに掛け渡して設けられたフラットケーブルとを備えて構成され、
前記第２接続ブロックが、その外側に位置する固定ブロック、取付ブロック又は支持ブロックの幅よりも長く形成され、
前記第２接続ブロックを前記装置本体側のフレームに固定するためのネジを外側から着脱するためのネジ穴を前記第２接続ブロックの両端部に設けたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項３】
請求項２に記載のプローブユニットにおいて、
前記支持ブロック又は前記第１接続ブロックのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第１接続ブロックとの位置合わせを行うことを特徴とするプローブユニット。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のプローブユニットにおいて、
前記第２接続ブロック又は前記フレームのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第２接続ブロックと前記フレームとの位置合わせを行うことを特徴とするプローブユニット。
【請求項５】
プローブユニットの接触子が検査対象板に接触して検査を行う検査装置であって、
前記プローブユニットが、全体を支持する固定ブロックと、当該固定ブロックに支持される取付ブロックと、当該取付ブロックに一体的に取り付けられた支持ブロックと、当該支持ブロックに挿入して支持されるプローブ組立体と、前記支持ブロックの内側面に支持されて前記プローブ組立体に電気的に接続される接続ケーブル部とを備えて構成され、
前記固定ブロックが装置本体側のベースに取り付けられると共に、前記接続ケーブル部が前記支持ブロックと装置本体側のフレームとにそれぞれ取り付けられ、
前記支持ブロックに前記取付ブロックの幅よりも拡大した拡大部を設け、前記支持ブロックに前記接続ケーブル部を固定するためのネジを前記拡大部に外側から着脱するためのネジ穴を設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項５に記載の検査装置において、
前記接続ケーブル部が、前記支持ブロックに直接固定される第１接続ブロックと、装置本体側のフレームに固定される第２接続ブロックと、前記第１接続ブロックと第２接続ブロックとに掛け渡して設けられたフラットケーブルとを備えて構成され、
装置本体側のフレームが前記ベースの中心側へ延出して形成され、
前記第２接続ブロックが、その外側に位置する固定ブロック又は支持ブロックの幅よりも長く形成され、
前記第２接続ブロックを前記装置本体側のフレームに固定するためのネジを外側から着脱するためのネジ穴を前記第２接続ブロックの両端部に設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の検査装置において、
前記支持ブロック又は前記第１接続ブロックのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第１接続ブロックとの位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の検査装置において、
前記第２接続ブロック又は前記フレームのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第２接続ブロックと前記フレームとの位置合わせを行うことを特徴とする検査装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブユニットの下面に備えられたケーブル及びその周辺部品の脱着を容易にして、保守・点検時の作業性を向上させたプローブユニット及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工程において、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路を作り込んだガラス基板や、ガラス基板から取り出され、液晶が封入された液晶パネル等の検査対象板について、仕様書通りの性能を有するか否かの検査（試験）が行われる。これらの検査には、一般に、複数のプローブ（接触子）を有するプローブユニットを備えた検査装置が用いられる。この場合、検査装置の各プローブを液晶パネル等の検査対象板の電極に押圧した状態で、所定の電極に所定の電気信号を供給することにより行われる。
【０００３】
このような検査装置の一例を図２、３に示す。図示する検査装置１は主に、パネルセット部２と、測定部３とから構成されている。
【０００４】
パネルセット部２は、外部から挿入された液晶パネルやガラス基板等の検査対象板５を測定部３へ搬送し、検査終了後の検査対象板５を外部へ搬送するための装置である。パネルセット部２は、開口部６の奥にパネルセットステージ７を有し、このパネルセットステージ７で検査対象板５を支持して、測定部３へ搬送する。また、パネルセットステージ７は、測定部３で検査終了後の検査対象板５を受け取って外部へ搬送する。
【０００５】
測定部３は、パネルセット部２から渡された検査対象板５を支持して試験するための装置である。測定部３は、チャックトップ８やプローバ９等を備えて構成されている。
【０００６】
チャックトップ８は、検査対象板５を支持するための部材である。このチャックトップ８は、ＸＹＺθステージ(図示せず)に支持されて、ＸＹＺ軸方向への移動及び回転が制御されて、検査対象板５の位置が調整される。プローバ９は主に、ベースプレート１０、プローブユニット１１、支持部１２を備えて構成されている。プローブユニット１１は水平面に対して傾斜して設けられている。このプローブユニット１１は、ベースプレート１０の開口１０Ａに臨ませた状態でベースプレート１０に支持されて、支持部１２を支持している。
【０００７】
さらに、プローブユニット１１は、メンテナンスのために、前方へ倒れるように設定されている（図３参照）。メンテナンス時には、プローブユニット１１を前方へ倒して、プローブユニット１１の内側（プローブユニット１１を前方へ倒した状態での上側面）から支持部１２を取り外して、交換等が行われる。
【０００８】
プローブユニット１１は、ガラス基板の場合と液晶パネルの場合とで、多少構成が異なる、
図４はガラス基板の検査装置の平面図、図５はガラス基板の検査装置の正面図である。この検査装置１４は主に、フレーム部１５と、プローブユニット１６と、支持部１７と、可動フレーム１８と、ガイドレール１９と、フレーム２０と、ガイド２１と、位置決めピン２２と、プローブ固定板２３と、位置決め治具２４と、チャックトップ２５とを備えて構成されている。そして、前記チャックトップ２５にガラス基板２６が支持される。
【０００９】
このような検査装置を用いたガラス基板２６の検査では、ＴＦＴ回路の電気的特性を試験するため、ガラス基板２６に設けられた電極に、プローブユニット１６に備えられたプローブ針(図示せず)を接触させて、プローブユニット１６に接続した外部のテスタにより電気信号を流して電気的に試験をする。
【００１０】
液晶パネルの検査では、検査用電源からの電気的信号により液晶基板を全面点灯させ、テストパターンを映し出す。作業者は、液晶パネルのテストパターンを自分の目で確認して、液晶パネルの良品、不良品を判断する。
【００１１】
従来、前記ガラス基板２６や液晶パネル等の検査対象板は小型であった。このため、検査装置に備えられたプローブユニットも小型・軽量であった。このため、プローブユニットの背面に備えられた部品の保守・点検時の脱着においては、プローブユニット全体を脱着する等が可能であった。即ち、ガラス基板の検査装置では、プローブユニット全体を取り外すことができた。また、液晶パネルの検査装置では、図３のように、プローブユニット全体を前倒させるこができた。
【００１２】
これにより、プローブユニットの内側面を作業者の目前に位置させることが可能となり、プローブユニットの内側面に取り付けられているねじを取り外すことで、プローブユニットの内側面に備えられている部品を取り外すことができ、保守・点検を容易に行うことができた。
【００１３】
しかし、近年のガラス基板や液晶パネル等の検査対象板の大型化に伴い、これらを検査するプローブユニットも大型・重量化している。これにより、スペース、重量面の問題から保守・点検時にプローブユニットを前倒したり、取り外したりすることが困難になって、メンテナンス時の作業性が悪くなっていた。
【００１４】
このような、検査装置の大型化に伴う課題を解決するものとして、プローブユニットを本体に取り外し可能に配置した検査装置が、特許文献１に提案されている。
【００１５】
ところで、前記特許文献１の発明では、矩形状載置台の一辺単位で分割されて、プローブユニット背面に備えられた部品の保守・点検時は、分割された単位ごとに検査装置本体から取り外されていた。
【００１６】
また、特許文献２には、フラットケーブルの取り付け作業性を改良したプローブ組立体に係る発明が記載されている。このプローブ組立体では、図６に示すように、フラットケーブル２７の先端に接続ブロック２７Ａが設けられ、この接続ブロック２７Ａの先端に位置決めピン２７Ｂが下方へ向けて設けられている。電気絶縁性ブロック２８の基端には、前記位置決めピン２７Ｂが嵌合する位置決め穴２８Ａが設けられている。そして、接続ブロック２７Ａの位置決めピン２７Ｂを、電気絶縁性ブロック２８の位置決め穴２８Ａに嵌合して、ネジ２９で互いに固定することで、フラットケーブル２７を電気絶縁性ブロック２８のプローブ３０に電気的に接続している。
【００１７】
これにより、フラットケーブル２７とプローブ３０とを、装置の外側から容易に接続することができるようになっている。
【特許文献１】特許第３５４６５５号公報
【特許文献２】特開２００５−２７４４８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかし、近年ますますガラス基板や液晶パネル等が大型・重量化する状況においては、プローブユニットもますます大型・重量化し、分割されたプローブユニット一個分でもサイズが大きく、重量も重いため、特許文献１の発明では、液晶パネル等の大型・重量化に十分に対応することができず、取り外しが容易でなく、保守・点検が容易でない。
【００１９】
例えば、液晶パネルにおいては６０インチのパネルが開発されているが、この場合、長辺の一辺は１２００ｍｍとなって大型になる。また、重量は３０〜４０ｋｇとなって重くなる。これにより、プローブユニットも大型・重量化するため、特許文献１の発明では、十分に対応することが難しくなる。
【００２０】
また、プローブユニットの大型化に伴い、分割されたプローブユニットを取り外して載置する保守点検用の作業台等の設置スペースも必要となるが、検査装置の周囲に保守・点検を行う作業スペースを確保できるか否かも問題となる。
【００２１】
更に、プローブユニットの取り外し時における部品の損傷の可能性がある。さらに、部品の損傷を防ぐためにプローブユニットの取り外し及び取り付けを慎重に行う必要があるため、この面でも作業性が悪くなるという問題がある。
【００２２】
また、特許文献２の発明では、プローブユニットが大型・重量化しても、各ブロックを取り外さずにフラットケーブル２７を着脱することが可能となり、作業性が向上するが、フラットケーブル２７の直上にベース３２や支持部３３（図１、７、８、９参照）が位置する構造のプローブユニットの場合は、特許文献２の発明を適用することはできない。
【００２３】
さらに、特許文献２の発明では、接続ブロック２７Ａの先端部分がネジ２９で電気絶縁性ブロック２８に取り付けられているため、片持ち梁状の部材でプローブ３０の押し圧を受けることとなるが、この構造の場合、プローブ３０のフラットケーブル２７に対する押し圧を確実に受けて吸収するのが容易でない。
【００２４】
このため、種々のプローブユニットに対して、装置の外側から脱着作業ができ、かつプローブをフラットケーブルへ強固にコンタクトできるように改良した検査装置が望まれている。
【００２５】
本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、プローブユニットを前倒、若しくは取り外すことなく、プローブユニットの内側面に備えられた部品を、外側から脱着可能としてメンテナンス時の作業性を改良し、プローブをフラットケーブルへ強固にコンタクトできるプローブユニット及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
本発明に係るプローブユニットは、このような課題を解決するためになされたもので、検査対象板の検査に使用されるプローブユニットであって、全体を支持する固定ブロックと、当該固定ブロックに支持される取付ブロックと、当該取付ブロックに一体的に取り付けられた支持ブロックと、当該支持ブロックに挿入して支持されるプローブ組立体と、前記支持ブロックの内側面に支持されて前記プローブ組立体に電気的に接続される接続ケーブル部とを備えて構成され、前記支持ブロックに前記取付ブロックの幅よりも拡大した拡大部を設け、前記支持ブロックに前記接続ケーブル部を固定するためのネジを前記拡大部に装置本体の外側から着脱させるためのネジ穴を設けたことを特徴とする。
【００２７】
前記構成により、前記支持ブロックの前記拡大部のネジ穴に外側からネジを挿入して前記接続ケーブル部を固定しているため、当該接続ケーブル部を取り外すときは、外側から前記ネジを弛める。他の部分も外側から前記ネジを弛めて取り外す。
【００２８】
前記接続ケーブル部が、前記支持ブロックに直接固定される第１接続ブロックと、装置本体側のフレームに固定される第２接続ブロックと、前記第１接続ブロックと第２接続ブロックとに掛け渡して設けられたフラットケーブルとを備えて構成され、前記第２接続ブロックが、その外側に位置する固定ブロック、取付ブロック又は支持ブロックの幅よりも長く形成され、前記第２接続ブロックを前記装置本体側のフレームに固定するためのネジを外側から着脱するためのネジ穴を前記第２接続ブロックの両端部に設けることが望ましい。
【００２９】
前記構成により、前記第２接続ブロックの両端部に設けたネジ穴に外側からネジを締めたり弛めたりして、前記固定ブロック及び支持ブロックの内側に位置する前記第２接続ブロックを、前記装置本体側のフレームに固定し、固定解除する。
【００３０】
前記支持ブロック又は前記第１接続ブロックのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第１接続ブロックとの位置合わせを行うことが望ましい。
【００３１】
前記構成により、前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第１接続ブロックとを位置合わせして、当該第１接続ブロックを前記支持ブロックに取り付ける。
【００３２】
前記第２接続ブロック又は前記フレームのいずれか一方にガイドピンが、他方にガイド穴がそれぞれ設けられ、これらガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第２接続ブロックと前記フレームとの位置合わせを行うことが望ましい。
【００３３】
前記構成により、前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第２接続ブロックと前記フレームとを位置合わせして、当該第２接続ブロックを前記フレームに取り付ける。
【００３６】
また、前記プローブユニットを備えた検査装置の場合も同様である。
【発明の効果】
【００３７】
以上のように、本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００３８】
前記支持ブロックの前記拡大部のネジ穴に外側からネジを挿入して前記接続ケーブル部を固定して、当該接続ケーブル部を外側から着脱するため、大型の部品を取り外す必要が無くなると共に外側から作業することができ、メンテナンス時の作業性が向上する。
【００３９】
前記第２接続ブロックの両端部に設けたネジ穴に外側からネジを締めたり弛めたりして、前記固定ブロック及び支持ブロックの内側に位置する前記第２接続ブロックを、前記装置本体側のフレームに固定し、固定解除するため、外側から作業することができ、メンテナンス時の作業性が向上する。
【００４０】
前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記支持ブロックと前記第１接続ブロックとを位置合わせして、当該第１接続ブロックを前記支持ブロックに取り付けるため、前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して外側からネジを締めることで接続ケーブル部を容易に取り付けることができる。また、第１接続ブロックを前記支持ブロックにネジで固定するため、プローブ針のフラットケーブルに対する押し圧を確実に受けて吸収することができ、強固なコンタクトが可能になる。
【００４１】
前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して前記第２接続ブロックと前記フレームとを位置合わせして、前記第２接続ブロックを前記フレームに取り付けるため、前記ガイドピンとガイド穴とが互いに嵌合して外側からネジを締めることで接続ケーブル部を容易に取り付けることができる。
【００４３】
また、保守・点検においてプローブユニットを前倒、若しくは取り外す必要がないため、プローブユニットを前倒、若しくは取り外す作業スペースが不要となるとともに、プローブユニットに備えられた部品の脱着時における損傷の可能性も減少する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明の実施形態に係るプローブユニット及び検査装置について、添付図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態に係る検査装置の全体構成は、前記従来の検査装置とほぼ同様であるため、ここでは、プローブユニットの部分を中心に説明する。また、本実施形態のプローブユニットおよび当該プローブユニットを備えた検査装置は、長方形の形状を呈する液晶パネルの電気的検査に用いられる装置として説明する。
【００４５】
また、以下の説明では、液晶パネルの短辺の方向をＸ方向といい、長辺の方向をＹ方向といい、厚さ方向をＺ方向という。さらに、検査装置の内部側を内側と、外部側を外側という。
【００４６】
プローブユニット３１は、図１、７、８に示すように、ベース３２と、支持部３３と、この支持部３３に支持されたプローブ組立体３４と、前記支持部３３の内側面（Ｚ軸方向の前記検査装置の内部側に位置する面）に支持されて前記プローブ組立体３４に電気的に接続される接続ケーブル部３５とを備えて構成されている。
【００４７】
前記ベース３２は、図７、８に示すように、矩形の開口を有して構成され、装置本体側（図示せず）に取り付けられた状態で、チャックトップに面する位置に設けられている。これにより、前記ベース３２は、その矩形の開口が、チャックトップ（図示せず）に支持された液晶パネル３７の周囲を囲んだ状態で配設されている。このベース３２は、前述した従来技術のプローブユニット１１のように回動することはなく、装置本体側のフレームに固定されている。
【００４８】
前記支持部３３は、図１、９〜１３に示すように、その基端側が前記ベース３２に支持された状態で、その先端側で前記プローブ組立体３４を支持するための部材である。この支持部３３は、前記ベース３２に直接取り付けられて全体を支持する固定ブロック４０と、この固定ブロック４０の先端部に支持される取付ブロック４１と、この取付ブロック４１の内側面（図１中の下側面）に一体的に取り付けられた支持ブロック４２とを備えて構成されている。
【００４９】
前記固定ブロック４０は、長方体状に形成され、その先端部を、前記ベース３２の矩形の開口の内縁部から当該ベース３２の中心側に延出させた状態で、当該ベース３２に固定されている。前記固定ブロック４０には、２つのネジ穴４４が設けられ、各ネジ穴４４に通されたネジ４５で前記ベース３２に固定されている。ここでは、Ｘ軸方向に３つの固定ブロック４０が、Ｙ軸方向に４つの固定ブロック４０が、前記ベース３２にそれぞれ固定されている。
【００５０】
前記固定ブロック４０の先端部の内側には、前記取付ブロック４１が嵌合するための切り欠き４７が設けられている。この切り欠き４７には、リニアガイド４８と、圧縮コイル受け穴４９と、調整ネジ穴５０とが設けられている。
【００５１】
リニアガイド４８は、前記固定ブロック４０に対して前記取付ブロック４１をスライド可能に支持するための部材である。圧縮コイル受け穴４９は、圧縮コイル５１が嵌合されるための穴である。この圧縮コイル受け穴４９に嵌合された圧縮コイル５１が、前記取付ブロック４１を内側（図１中の下側）へ付勢している。調整ネジ穴５０は、調整ネジ５２がスライド可能に嵌合されるための穴である。調整ネジ５２は、その先端側が前記取付ブロック４１にねじ込まれた状態で、その基端側が前記調整ネジ穴５０にスライド可能に嵌合されている。そして、前記調整ネジ５２のねじ込み量を変えることで、前記リニアガイド４８に支持されて調整ネジ５２で吊り下げられた前記取付ブロック４１が前記固定ブロック４０に対してスライドして当該取付ブロック４１の位置を調整する。これにより、後述するプローブ針７５が液晶パネル３７の電極に接触する際にかかる荷重を吸収するようになっている。なお、前記圧縮コイル５１の代わりに、ゴム等の弾性体を用いてもよい。また、前記取付ブロック４１、リニアガイド４８、圧縮コイル５１及び調整ネジ５２でサスペンション機構を構成している。
【００５２】
取付ブロック４１は、その基端部が前記固定ブロック４０の切り欠き４７に嵌合、支持された状態で、先端部で前記支持ブロック４２を支持するための部材である。この取付ブロック４１は、基端ブロック部５５と、先端ブロック部５６とを有して、全体をＬ字型に構成されている。基端ブロック部５５は、ほぼ立方体状に形成され、前記リニアガイド４８を介して前記固定ブロック４０にスライド可能に支持されている。この基端ブロック部５５には、前記圧縮コイル５１が嵌合してこの圧縮コイル５１を支持する圧縮コイル受け穴４９と、前記調整ネジ５２がねじ込まれる調整ネジ穴５０とが設けられている。前記先端ブロック部５６は、前記基端ブロック部５５の内側端部（図９中の下端部）から延出された肉厚板状に形成されている。この先端ブロック部５６には、固定ネジ６０が嵌合される固定ネジ嵌合凹部５９が設けられている。
【００５３】
支持ブロック４２は、前記プローブ組立体３４と、前記接続ケーブル部３５の後述する第１接続ブロック８５とを支持するための部材である。この支持ブロック４２は、肉厚の板状に形成され、前記取付ブロック４１の先端ブロック部５６の内側（図１中の下側）に固定されている。支持ブロック４２の内側面には、固定ブロック４０や取付ブロック４１の長手方向に沿ってガイド溝６２が設けられている。このガイド溝６２は、後述するプローブ組立体３４のスライド棒部７７がスライド可能に嵌合するための溝である。ガイド溝６２には、前記取付ブロック４１の固定ネジ嵌合凹部５９まで貫通した挿入穴６３が設けられている。この挿入穴６３には、その下側からホールドシャフト６４が挿入され、上側の固定ネジ嵌合凹部５９側から固定ネジ６０が挿入される。ホールドシャフト６４は、内部に前記固定ネジ６０がねじ込まれるネジ穴６５が設けられて前記挿入穴６３に挿入される軸部６６と、フランジ状でかつ肉厚円盤状に形成されて前記プローブ組立体３４のスライド棒部７７内に挿入される頭部６７とから構成されている。そして、前記頭部６７が前記スライド棒部７７内に挿入された状態で前記固定ネジ６０を締めることで、前記プローブ組立体３４を支持ブロック４２側に固定するようになっている。
【００５４】
前記支持ブロック４２には、前記取付ブロック４１の先端ブロック部５６の両側に、この先端ブロック部５６の幅よりも拡大して形成された拡大部７０が設けられている。この拡大部７０にはネジ穴７１が設けられている。このネジ穴７１は、前記支持ブロック４２に前記接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５を固定するためのネジ７２を前記拡大部７０に外側から着脱させるためのネジ穴である。
【００５５】
前記支持ブロック４２の内側面には、前記接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５に設けられた後述するガイド穴９０に嵌合するガイドピン７３が前記ガイド溝６２を挟んで両側に設けられている。そして、前記ガイド穴９０に前記ガイドピン７３を嵌合させることで、前記支持ブロック４２に前記接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５を位置合わせするようになっている。これにより、前記ベース３２を前倒ししなくても、外側から前記接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５を容易に着脱できるようになっている。なお、前記の場合と逆に、前記支持ブロック４２にガイド穴を、前記接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５にガイドピンを設けてもよい。
【００５６】
前記プローブ組立体３４は、その先端部にプローブ針７５を支持して液晶パネル３７の各端子(図示せず)に接触させるための部材である。このプローブ組立体３４は図１、９〜１４に示すように主に、支持板部７６と、スライド棒部７７とから構成されている。
【００５７】
支持板部７６は、その内側面（図９中の下側面）に、プローブ針７５、ガイドシャフト７８、サイドカバー７９を支持するための部材である。この支持板部７６は、電気絶縁体で構成されている。プローブ針７５は、スリットバー７５Ａを介して支持板部７６に取り付けられている。
【００５８】
各プローブ針７５は、その中央領域が帯状をしたブレードタイプの接触子である。各プローブ針７５の先端部及び基端部は、前記中央領域より小さい幅寸法を有しており、またそれぞれ、中央領域の先端部及び基端部から先方及び後方に突出している。各プローブ針７５の先端針先及び後端針先は、それぞれ、先端部及び基端部から内側及び外側に突出している。プローブ針７５の基端部は、図１７に示すように、外側（図１７中の上側）へ曲げて突出した状態で、後述する接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５の駆動用集積回路９２にガイドフィルム９３を介して接触されている。
【００５９】
前記スライド棒部７７は、前記支持板部７６を支持した状態で前記支持ブロック４２にスライド可能に支持されるための部材である。このスライド棒部７７は、四角形筒状に形成され、前記支持ブロック４２のガイド溝６２に嵌合してスライド可能に支持される。スライド棒部７７の外側面（図１の上側面）には、その全長に亘ってスリット８１が設けられている。このスリット８１に前記ホールドシャフト６４の軸部６６が挿入され、スライド棒部７７の内部に前記ホールドシャフト６４の頭部６７が挿入されて、プローブ組立体３４が支持ブロック４２に支持している。前記スライド棒部７７は、電気絶縁体で構成されている。前記スライド棒部７７の基端にはストッパ８２が設けられ、このストッパ８２が前記支持ブロック４２に当接することで、前記プローブ組立体３４の位置合わせが行われて、各プローブ針７５が液晶パネル３７の各電極に整合される。
【００６０】
前記接続ケーブル部３５は、前記プローブ針７５と外部のテスタ(図示せず)とを電気的に接続するための部材である。この接続ケーブル部３５は、前記支持ブロック４２の内側面とフレーム９５とにそれぞれに支持されて、前記プローブ組立体３４と装置本体側とを電気的に接続する。この接続ケーブル部３５は具体的には、図１、９、１０、１２、１５〜１７に示すように、第１接続ブロック８５と、第２接続ブロック８６と、フラットケーブル８７とから構成されている。
【００６１】
第１接続ブロック８５は、前記支持ブロック４２に直接固定される部材である。第１接続ブロック８５は、肉厚の平板状に形成され、前記支持ブロック４２のネジ穴７１に整合する位置にネジ穴８９が２つ設けられている。さらに、前記支持ブロック４２のガイドピン７３に整合する位置にガイド穴９０が２つ設けられている。これらネジ穴８９とガイド穴９０は、第１接続ブロック８５を貫通せずに袋穴状に形成されている。第１接続ブロック８５の内側面には、フラットケーブル８７が配設されると共に、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）のような駆動用集積回路９２が設けられ、プローブ針７５と接続ケーブル部３５とを電気的に接続している。この駆動用集積回路９２は、液晶パネル３７の電気的検査において、液晶パネル３７の電極を通じて各画素に供給される電圧を制御する役割を果たす。駆動用集積回路９２の出力側電極には、電気絶縁性のガイドフィルム９３が接着されている。このガイドフィルム９３は、プローブ針７５の後端針先を受け入れる駆動用集積回路９２の出力側電極の幅方向に間隔をおいた複数のガイド穴(図示せず)を有している。これにより、駆動用集積回路９２の出力側電極の接触面とプローブ針７５の後端針先の接触面とが正確に位置合わせされるようになっている。駆動用集積回路９２の出力側電極の接触面とプローブ針７５の後端針先の接続は熱圧着により行われる。
【００６２】
第２接続ブロック８６は、装置本体側のフレーム９５に固定される部材である。第２接続ブロック８６は、肉厚の平板状に形成され、フラットケーブル８７の幅よりも長く形成されている。さらに、前記第２接続ブロック８６は、その外側に位置する固定ブロック４０、取付ブロック４１又は支持ブロック４２の幅よりも長く形成されている。これにより、第２接続ブロック８６は、固定ブロック４０、取付ブロック４１及び支持ブロック４２（少なくとも直上に位置する部材）の両側に延出して設けられている。第２接続ブロック８６の両端部には、第２接続ブロック８６をフレーム９５に固定するためのネジ穴９７が２つ設けられている。この2つのネジ穴９７は、前記固定ブロック４０の両側にはみ出しているため、ネジ９８を外側から着脱することができ、第２接続ブロック８６を装置の外部から固定し、固定解除することができるようになっている。
【００６３】
第２接続ブロック８６の内側面（図９の下側面）には、ガイドピン９９が設けられている。このガイドピン９９がフレーム９５側のガイド穴１０１に嵌合することで、第２接続ブロック８６の位置合わせが行われる。フラットケーブル８７は、第２接続ブロック８６に巻かれ、第２接続ブロック８６がフレーム９５側に取り付けられることで、フラットケーブル８７とフレーム９５側のプリント基板１０３とが電気的に接続される。プリント基板１０３には駆動用集積回路９２を制御するコントローラや、その他の電子部品などが組み込まれている。
【００６４】
フラットケーブル８７は、第２接続ブロック８６に巻かれた状態で、接着剤で固定されている。第２接続ブロック８６の内側面では、必要に応じて円形棒状の弾性体１０５（図１６参照）が設けられ、この弾性体１０５でフラットケーブル８７をプリント基板１０３に弾性的に押圧するようになっている。弾性体１０５は、シリコンゴム等で構成され、フラットケーブル８７をプリント基板１０３に弾性的に押圧して、損傷を防止している。
【００６５】
フラットケーブル８７は、前記第１接続ブロック８５と第２接続ブロック８６とに掛け渡して設けられ、各プローブ針７５とフレーム９５側の配線とを電気的に接続するための部材である。このフラットケーブル８７は、その全長を短く形成されている。フラットケーブル８７は、プローブ組立体３４の各プローブ針７５の本数に対応した本数の信号線１０６をフィルム１０７（図１７参照）の表面に並べて薄板状に形成されている。このフラットケーブル８７を構成するフィルム１０７は、柔軟性を有する材料で構成され、自由に撓みうるようになっている。
【００６６】
前記フレーム９５は、前記プローブ針７５と外部のテスタとを電気的に接続するための電気配線を備えた、検査装置本体側の一部をなす板材である。このフレーム９５は、前記ベース３２の内側の、一定間隔を空けた位置に設けられている。フレーム９５の外側面（図９中の上側面）には、プリント基板１０３、ガイド１０９、プレート１１０等が設けられている。プレート１１０には、第２接続ブロック８６のネジ穴９７及びガイドピン９９に整合する位置に、ネジ穴１１１及びガイド穴１０１が設けられている。なお、ここでは、第２接続ブロック８６にガイドピン９９を、プレート１１０にガイド穴１０１を設けたが、これと逆に、第２接続ブロック８６にガイド穴１０１を、プレート１１０にガイドピン９９を設けてもよい。
【００６７】
これにより、第２接続ブロック８６のガイドピン９９がプレート１１０のガイド穴１０１に嵌合して、第２接続ブロック８６がプレート１１０に対して位置合わせされ、各ネジ穴９７，１１１にネジ９８がねじ込まれて、第２接続ブロック８６がフレーム９５に固定されるようになっている。これにより、接続ケーブル部３５の第２接続ブロック８６と、フレーム９５の外側面の配線とが電気的に接続される。
【００６８】
このフレーム９５は、前記ベース３２の矩形の開口の内側縁部３２Ａよりも中心側（前記プローブ組立体３４側）へ、前記プレート１１０の分（第２接続ブロック８６の幅Ａ（図１０参照）とほぼ同じ分）だけ延出して形成されている。これにより、フレーム９５の縁部（前記プレート１１０の部分）が、前記ベース３２の縁部よりも中心に側へ延出して設けられている。これにより、フレーム９５の内側縁の前記プレート１１０が検査装置の外側から見えるようになっており、前記第２接続ブロック８６を前記プレート１１０に検査装置の外側から着脱できるようになっている。
【００６９】
［作用］
以上のように構成されたプローブユニット３１を備えた検査装置では、次のようにしてメンテナンスが行われる。
【００７０】
プローブ針７５の交換等のために、支持部３３やプローブ組立体３４を取り外す場合は、プローブ針７５とフレーム９５のプリント基板１０３とを電気的に接続している接続ケーブル部３５を取り外す必要がある。
【００７１】
この場合は、検査装置の外側からネジを弛めて取り外す。具体的には、図３の検査装置のプローブユニット１１と同様に、垂直から僅かに傾斜させた状態のプローブユニット３１の外側から、ネジ６０を弛めて、プローブ組立体３４をベース３２の中心側へずらしてプローブ針７５を駆動用集積回路９２から切り離す。次いで、ネジ７２、９８を弛めて、接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５を支持ブロック４２から取り外し、第２接続ブロック８６をフレーム９５から取り外す。
【００７２】
次いで、固定ブロック４０を固定しているネジ４５を弛めて、固定ブロック４０をベース３２から取り外して、プローブ組立体３４の交換等を行う。
【００７３】
メンテナンスが終了したら、前記工程を逆に辿って、検査装置の外側から支持部３３をベース３２に取り付ける。さらに、接続ケーブル部３５の第１接続ブロック８５のガイド穴９０に支持ブロック４２のガイドピン７３を嵌合させて第１接続ブロック８５を支持ブロック４２に対して位置合わせする。また、第２接続ブロック８６のガイドピン９９をフレーム９５側のガイド穴１０１に嵌合させて第２接続ブロック８６をフレーム９５に対して位置合わせする。次いで、ネジ７２、９８を取り付けてねじ込む。
【００７４】
［効果］
第２接続ブロック８６とフレーム９５とを固定するネジ９８の取り付け位置は、プローブユニット３１外側から目視できる位置に設定されており、第２接続ブロック８６とフレーム９５とを固定するネジ９８を取り付けるネジ穴９７をプローブユニット３１の外側に設けている。これにより、第２接続ブロック８６とフレーム９５を固定するねじの取扱いが、プローブユニット３１を検査装置に取り付けた状態で行うことが可能となり、第２接続ブロック８６の脱着が容易なものとなる。第１接続ブロック８５も同様に、ネジ７２を検査装置の外側から弛めたり締めたりすることができるため、第１接続ブロック８５の着脱が容易となる。
【００７５】
保守・点検においてプローブユニット３１を前倒、若しくは取り外す必要がないため、プローブユニット３１を前倒、若しくは取り外す作業スペースが不要となるとともに、プローブユニット３１に備えられた部品の脱着時における損傷の可能性が減少する。
【００７６】
第２接続ブロック８６とフレーム９５とを固定するねじの取り付け位置は、該ねじをプローブユニット３１外部から取り扱えるようにプローブユニット３１の外側から目視できる程度の位置に設定されていることにより、第１接続ブロック８５と第２接続ブロック８６を接続するフラットケーブル８７の長さを短くできるため、伝送信号の乱れやノイズの影響を少なくすることができる。
【００７７】
また、第１接続ブロック８５を前記支持ブロック４２にネジ７２で固定するため、プローブ針７５の基端部のフラットケーブル８７に対する押し圧を確実に受けて吸収することができ、プローブ針７５の先端部の、液晶パネル３７の各電極への強固なコンタクトが可能になる。
【００７８】
［変形例］
本実施形態に係るプローブユニット３１は、液晶パネル３７の検査装置に適用したが、ガラス基板の検査装置にも適用でき、上記と同様の作用、効果を奏することができる。
【００７９】
前記実施形態のプローブユニット３１は、このプローブユニット３１が取り付け可能な検査装置の全てに適用することができる。この場合も、上記と同様の作用、効果を奏することができる。
【００８０】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す概略分解斜視図である。
【図２】従来の検査装置を示す側面図である。
【図３】従来の検査装置を示す正面図である。
【図４】従来のガラス基板の検査装置の平面図である。
【図５】従来のガラス基板の検査装置の正面図である。
【図６】従来のプローブ組立体を示す側面断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係るプローブユニットを示す正面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るプローブユニットの要部を示す一部破断側面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るプローブユニットの要部を示す側面断面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るプローブユニットの要部を示す正面図である。
【図１２】本発明の実施形態に係るプローブユニットの要部を示す平面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係るプローブユニットの支持部を示す斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態に係るプローブユニットのプローブ組立体を示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施形態に係るプローブユニットの接続ケーブル部を示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施形態に係るプローブユニットの第２接続ブロックの部分を示す断面図である。
【図１７】本発明の実施形態に係るプローブユニットの第１接続ブロックの部分を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８２】
３１：プローブユニット、３２：ベース、３３：支持部、３４：プローブ組立体、３５：接続ケーブル部、３７：液晶パネル、４０：固定ブロック、４１：取付ブロック、４２：支持ブロック、４４：ネジ穴、４５：ネジ、４７：切り欠き、４８：リニアガイド４８、４９：圧縮コイル受け穴４９、５０：調整ネジ穴５０、５１：圧縮コイル、５２：調整ネジ、５５：基端ブロック部、５６：先端ブロック部、７０：拡大部、７１ネジ穴、７６：支持板部、７７：スライド棒部、８１：スリット、８５：第１接続ブロック、８６：第２接続ブロック、８７：フラットケーブル、９７：ネジ穴、９８：ネジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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