(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を、搬送機構により保持して検査位置まで搬送した後に、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査するための検査機構であって、
光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板と、この透光板に当接して設けられ、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする所定厚みのゲル体と、を有する透光介在板と、
この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構と、
を備えることを特徴とする検査機構。
【請求項２】
前記透光介在板移動機構は、前記ゲル体が前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間するように前記透光介在板を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、この上下方向移動機構による前記透光介在板の上下の移動のいずれか一方向の移動に伴って、前記透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に当該透光介在板を所定角度ごとに間欠的に回転させる回転方向移動機構と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の検査機構。
【請求項３】
前記検査位置において、前記被検査物の透明体と反対側から当該被検査物に当接および離間する接触部を作動させる接触部作動機構を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する被検査物搬送検査装置であって、
光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板と、この透光板に当接して設けられ、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする所定厚みのゲル体と、を有する透光介在板と、
この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に、前記被検査物を保持して搬送する搬送機構と、
この搬送機構で保持した前記被検査物を前記検査位置に搬送したときに、前記ゲル体を前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構と、を備え、
前記透光介在板移動機構は、前記透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に当該透光介在板を所定角度ごとに間欠的に回転させる回転方向移動機構と、この回転方向移動機構を保持して前記ゲル体が前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間するように前記透光介在板を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、を備えることを特徴とする被検査物搬送検査装置。
【請求項５】
レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する検査方法であって、
前記被検査物を保持して検査位置に搬送する搬送ステップと、
前記検査位置に搬送された被検査物における透明体のレンズ作用面に、光を透過して前記撮像カメラからの撮影を可能とするゲル体を当接する当接ステップと、
前記ゲル体に前記被検査物における透明体のレンズ作用面を当接した状態で前記撮像カメラにより撮像する撮影ステップと、を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項６】
前記撮像ステップにより撮像した後に、前記被検査物から前記ゲル体を離間させるとともに、前記ゲル体を支持する支軸周り方向に所定角度ごとに間欠的に回転させる回転ステップを含むことを特徴とする請求項５に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ作用面を有する透明体を備える、例えば、ＬＥＤ等の被検査物を、検査するための検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＬＥＤ等の素子（以下ワークという）は、形成された回路を検査装置により検査されて製品として出荷される。この検査装置は、例えば、図７に示す構成のものが提案されている（特許文献１）。図７（ａ）は、従来の検査装置の一部断面にして模式的に示す側面図、（ｂ）は検査位置を拡大して模式的に示す側面図、（ｃ）はワークの搬送機構を示す平面図である。図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、検査装置７０は、パーツフィーダ７３およびピックアップ装置７２を介してピップアップしたワークＷを、回転体７１の保持部７１ａに吸着保持し、回転体７１の間欠的な回転により測定エリアＥＲにワークを搬送する。
検査装置７０は、ワークＷが測定エリアＥＲに搬送されると、プローブ７５が上昇するとともに、サファイアガラス７６を支持する支持機構７４が降下することで、ワークＷを挟み込んだ状態とし、ワークＷを点灯させて撮像カメラ７７により撮影した画像を解析してワークＷの状態を検査している。
【０００３】
【特許文献１】特許第３７０９５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の検査装置では、以下に示す問題点が存在していた。
従来の検査装置では、ワークの構成が回路等を形成してレンズ等の透明体を設置する前の段階であるため、当該ワークを適切に検査することができる。しかし、従来の検査装置では、最終製品に近い状態であるレンズ等の透明体が設置された後に、当該ワークの検査を行うと、透明体がレンズ作用をもたらすため、透明体に気泡等が混入した状態であることや、また、透明体に対面する位置における構成、例えば、回路等が撮像カメラで明確に撮像できない。
また、撮像カメラ側に硬度が高いサファイアガラスを配置しているため、ワークに透明体が設置された状態では、当該透明体にサファイアガラスが当接することで傷つく場合があり、製品としての価値を低下させてしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、前記した問題点に鑑み創案されたものであり、レンズ作用を有する透明体が設置されたワークであっても、透明体および透明体に対面する位置の回路等の内部が鮮明に撮像でき、また、透明体に傷をつけることなく検査することができる検査機構および被検査物搬送検査装置ならびに検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る検査装置は、前記した課題を解決するために、以下のような構成とした。すなわち、レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を、搬送機構により保持して検査位置まで搬送した後に、当該検査位置の被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査するための検査機構であって、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板と、この透光板に当接して設けられ、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする所定厚みのゲル体と、を有する透光介在板と、この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に前記被検査物が保持されて前記搬送機構により搬送されたときに、前記ゲル体を前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構と、を備える構成とした。
【０００７】
このように構成した検査機構は、撮像カメラが設置されている透光介在板と対面する検査位置に、被検査物が搬送機構により搬送されると、透光介在板移動機構により透光介在板を下方に移動させる。そして、検査機構は、透光介在板を下方に移動させたことにより、ゲル体が被検査物における透明体のレンズ作用面に当接すると、ゲル体がレンズ作用面に倣うように弾性変形した状態となる。そのため、ゲル体が透明体に対して接触面が広く、かつ、透明体による光の屈折を抑えてレンズ作用を無くすため、検査機構では、被検査物の透明体および透明体に対面する内部の構造（例えば回路等）が撮像カメラで鮮明に撮像できる。
【０００８】
また、前記検査機構において、前記透光介在板移動機構は、前記ゲル体が前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間するように、前記透光介在板を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、この上下方向移動機構による前記透光介在板の上下の移動のいずれか一方向の移動に伴って、前記透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に当該透光介在板を所定角度ごとに間欠的に回転させる回転方向移動機構と、を備える構成とした。
【０００９】
このように構成した検査機構は、上下方向移動機構により透光介在板が移動させられ、ゲル体を被検査物における透明体のレンズ作用面に当接して撮像カメラにより撮像した後、当該透明体からゲル体が離間する方向に透光介在板を移動させると、回転方向移動機構が透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に、当該透光介在板を所定角度ごとで間欠的に回転（移動）させる。そして、つぎの被検査物が検査位置に搬送機構により保持されて搬送されると、上下方向移動機構により透光介在体のゲル体が透明体のレンズ作用面に当接する方向（下方）に移動させられる。そのため、ゲル体の常に新しい部分が透明体のレンズ作用面に当接することになる。
【００１０】
さらに、前記検査機構の検査位置において、前記被検査物の透明体と反対側から当該被検査物に当接および離間する接触部を作動させる接触部作動機構を有する構成とした。
このように構成した検査機構は、透光介在板移動機構により透光介在板のゲル体を被検査物の透明体に当接させるときに、タイミングを合わせて接触部を透明体の反対側から被検査物に接触させるように接触部作動機構により作動させて、被検査物をゲル体と接触部とで挟み込む状態とする。
【００１１】
また、本発明に係る被検査物搬送検査装置は、以下のような構成とした。すなわち、レンズ作用面を有する透明体が設けられた被検査物を撮像カメラにより撮像して画像を解析して検査する被検査物搬送検査装置であって、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする透光板と、この透光板に当接して設けられ、光を透過して前記撮像カメラからの前記被検査物の撮像を可能とする所定厚みのゲル体と、を有する透光介在板と、この透光介在板のゲル体に対面する前記検査位置に、前記被検査物を保持して搬送する搬送機構と、この搬送機構で保持した前記被検査物を前記検査位置に搬送したときに、前記ゲル体を前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間させるように前記透光介在板を移動させる透光介在板移動機構と、を備えている。さらに、被検査物搬送検査装置は、前記透光介在板移動機構が、前記透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に当該透光介在板を所定角度ごとに間欠的に回転させる回転方向移動機構と、この回転方向移動機構を保持して前記ゲル体が前記被検査物における透明体のレンズ作用面に当接および離間するように前記透光介在板を上下方向に移動させる上下方向移動機構と、を備える構成とした。
【００１２】
このように構成した被検査物搬送検査装置は、被検査物を搬送機構が保持して検査位置に搬送すると、透光介在板移動機構の上下方向移動機構により透光介在板を下方に移動することで、ゲル体が被検査物における透明体のレンズ作用面に当接する。さらに、被検査物搬送検査装置は、撮像カメラにより透光介在板を介して透明体に対面する被検査物の内部にある回路等の画像を撮像して、上下方向移動機構により上方に透光介在板を移動させ被検査物からゲル体を離間させる。被検査物搬送検査装置は、被検査物からゲル体を離間させるときに、回転方向移動機構により透光介在板を支持する支軸の軸周り方向に当該透光介在板を所定角度ごとに間欠的に回転させている。そのため、次の被検査物の透明体をゲル体に当接させる場合に、前回当接させたゲル体の部分とは異なる新たな部分に当接させることになる。
【００１３】
さらに、本発明に係る検査方法は、つぎの手順を含むものとした。すなわち、検査方法は、被検査物を搬送する搬送ステップと、ゲル体を被検査物における透明体のレンズ作用面に当接する当接ステップと、ゲル体を介して被検査物を撮影する撮影ステップと、を含むこととした。
このような手順によれば、検査方法は、はじめに、被検査物を保持して検査位置に搬送機構を介して搬送し、検査位置に搬送された被検査物における透明体のレンズ作用面に、ゲル体を当接させる。そして、ゲル体を介して撮像カメラからの透明体に対面する被検査物の内部に形成された回路等の構造を撮影することで、被検査物の検査を行うことができる。
【００１４】
また、前記検査方法は、前記撮像ステップにより撮像した後に、前記被検査物から前記ゲル体を離間させるとともに、前記ゲル体を支持する支軸周り方向に所定角度ごとに間欠的に回転させる回転ステップを含むこととした。
このような手順とした検査方法は、つぎの被検査物を撮影するときに、常に新しいゲル体の部分に被検査物の透明体を当接することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、以下に示すような優れた効果を奏するものである。
被検査物搬送検査装置および検査機構は、ゲル体に被検査物の透明体のレンズ作用面を当接した状態とすることで、透明体による光の屈折を抑えてレンズ作用を解消させ、被検査物の内部が明確に撮像カメラで撮像することが可能となり、製品に近い状態での被検査物の検査を正確に迅速に行うことが可能となる。なお、被検査物搬送検査装置および検査機構は、透明体に気泡、異物の混入等の不具合がある場合でも検出することが可能となる（請求項１、４）。
【００１６】
被検査物搬送検査装置および検査機構は、被検査物の透明体に当接させるものがゲル体であるため、透明体が当接するときにゲル体が弾性変形することで被検査物の透明体に接触する接触面積を大きくとれ、撮影カメラで撮像する範囲が大きくなることで、被検査物内における広い範囲のエリアを検査することができる。さらに、被検査物搬送検査装置および検査機構は、被検査物の透明体に当接するゲル体が柔らかいため、透明体に接触しても傷つけることが全くなく、検査中における製品の劣化を生じない（請求項１、４）。
【００１７】
被検査物搬送検査装置および検査機構は、撮像カメラにより撮像した後にゲル体を透明体から離間させるときに、ゲル体を有する透光介在板が支軸回り方向に所定角度ごとに間欠的に回転する。そのため、被検査物の透明体の撮像を常に新しいゲル体の当接面として、塵埃の付着等による検査判断の誤りを最小限にすることができる（請求項２、４）。
【００１８】
検査機構は、被検査物の透明体がゲル体に当接したときに、被検査物の透明体とは反対側から接触機構により当該被検査物に接触部を接触させることで、被検査物が搬送機構から離脱することが無く安定した状態で撮像カメラにより撮像することができる（請求項３）。
【００１９】
検査方法は、ゲル体に当接した状態で撮像手段により撮像するため、被検査物をレンズ作用の影響を受けることなく透明体に対面する位置に配置された被検査物の内部の構造を検査することが可能となる（請求項５）。
また、検査方法は、ゲル体が透明体に当接および離間する動作をするたびに、支軸周り方向において所定角度ごとに間欠的な回転を行うため、常に新しいゲル体の面で透明体に当接することで、検査の正確性をさらに向上させることができる（請求項６）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る被検査物搬送検査装置、検査機構および検査方法の最良の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は被検査物搬送検査装置の検査機構および搬送機構の一部を切り欠いて示す側面図、図２は被検査物搬送検査装置の搬送機構の一部を省略して模式的に示す平面図、図３（ａ）〜（ｆ）は、被検査物搬送検査装置の回転方向移動機構の一部を切欠いて模式的に示す平面図および背面図である。
【００２１】
図１に示すように、被検査物搬送検査装置１は、ＬＥＤ等の被検査物（以下、「ワーク」という）Ｗを搬送機構１０により検査位置Ｔまで搬送して、検査機構２０により検査できる状態に設置し、撮像カメラ３を介してワークＷの画像を撮像し、撮像した画像を解析することでワークＷの検査を行うものである。この被検査物搬送検査装置１は、ワークＷを搬送する搬送機構１０と、ワークＷを検査するための検査機構２０と、撮像カメラ３を含む解析手段（図示せず）とを備え、検査機構２０が透光介在板３０と、透光介在板移動機構２０ＡＢとを有している。
【００２２】
図２に示すように、搬送機構１０は、図示しない整列機構により整列されたワークＷの一つを保持して検査位置Ｔまで搬送するとともに、検査したワークＷを次工程に搬出するものである。この搬送機構１０は、円盤状に形成された回転テーブル１５と、この回転テーブル１５を図示しない駆動機構により回動自在に移動できるように支持するテーブル支持柱１６と、回転テーブル１５に設けた複数の保持部１１と、を備えている。
【００２３】
保持部１１は、回転テーブル１５の中心から放射状に当該回転テーブル１５の周縁に配置されており、ワークＷを挟持する保持爪１２，１２と、この保持爪１２、１２をそれぞれ支持する爪支持部１３，１３と、この爪支持部１３，１３を開閉するためのバネ等を有する開閉駆動手段１４とを備えている。保持爪１２，１２は、ここでは、ワークＷの外観形状に対応して同じ姿勢で保持できるように構成されており、この保持爪１２，１２を爪支持部１３，１３から着脱自在に取り替えることで他の種類のワークにも対応できように構成されている。開閉駆動手段１４は、保持爪１２，１２が開閉してワークＷを挟持および離脱させることができるものであれば、特に限定されるものではない。
【００２４】
この搬送機構１０により、ワークＷを保持部１１が保持して回転テーブル１５の間欠的な回転により検査位置Ｔに搬送して、ワークＷの検査が始められる。搬送機構１０がワークＷを搬送する検査位置Ｔは、搬送機構１０の保持部１１が保持するワークＷの移動軌跡における円周上で、かつ、透光介在板３０に対面する位置に設定されている。この検査位置Ｔの上方には撮像カメラ３がフレーム体２に支持されて設置されている。
なお、撮像カメラ３には、図示しない画像の解析手段が接続されており、解析した結果を搬送機構１０側に送り、良品と不良品とを搬送機構１０の検査位置以降の所定位置において、当該搬送機構１０が振り分けて搬出できるように構成されている。
【００２５】
図１に示すように、検査機構２０は、検査位置Ｔに搬送されたワークＷを撮像カメラ３により撮像して検査できるようにするためのものである。この検査機構２０は、検査位置Ｔに対面して配置される透光介在板３０と、この透光介在板３０をワークＷに当接および離間させるように移動させる透光介在板移動機構２０ＡＢとを備えている
【００２６】
透光介在板移動機構２０ＡＢは、固定支持フレーム２１に取り付けられており、ここでは、上下方向移動機構２０Ａと、回転方向移動機構２０Ｂとを備えており、上下方向移動機構２０Aが回転方向移動機構２０Ｂを保持している。
上下方向移動機構２０Ａは、固定支持フレーム２１に第１スライド機構２２を介して設けられた移動支持フレーム２４と、この移動支持フレーム２４に回動自在となるように回転方向移動機構２０Ｂを介して設けられた支軸（透光介在板３０の支軸）２５と、を備えている。この上下方向移動機構２０Ａの移動支持フレーム２４には、ここでは、検査位置ＴにおいてワークＷの画像を認識しやすいように、撮像用照明機構５が取り付けられている。
【００２７】
固定支持フレーム２１は、搬送機構１０側となる正面側に後記する接触部作動機構４０を、第２スライド機構４４を介して上下動自在に設置するとともに、搬送機構１０とは反対側となる背面側に上下方向移動機構２０Ａを、第１スライド機構２２を介して上下動自在に設置している。そして、この固定支持フレーム２１には、後記する回転方向移動機構２０Ｂに用いられる固定軸２６ａ，２７ａが固定されている。なお、撮像カメラ３を支持するフレーム体２は、固定支持フレーム２１を支持するように配置することや、また、固定支持フレーム２１とは別体として隣接して配置すること等、検査位置Ｔにおいて、撮像カメラ３を設置することができる状態であれば、その形状、配置、構成等を限定されるものではない。
【００２８】
第１スライド機構２２は、第１押動部２３による押動動作により移動支持フレーム２４を上下方向に移動させるものであり、所定距離の範囲で直線的に移動支持フレーム２４をスライドさせることができるものであれば、その構成を限定されるものではない。
【００２９】
移動支持フレーム２４は、固定支持フレーム２１の背面側から搬送機構１０側に突出するように断面が逆Ｌ字形状に形成された第１移動フレーム２４ａと、この第１移動フレームの背面端面に取り付けた第２移動フレーム２４ｂとを備えている。そして、第１移動フレーム２４ａは、搬送機構１０側に透光介在板３０の支軸２５を、後記する回転方向移動機構２０Ｂにおける所定の機構（軸受２８、一方向クラッチ第１ユニット２６、一方向クラッチ第２ユニット２７）を介して支持している。また、第２移動フレーム２４ｂは、下端を第１押動部２３で押動できる厚みあるいは段差を有しており、その上端に、照明用支持アーム４を取り付けるための取り付け部分を有している。
【００３０】
第１押動部２３は、予め設定されたタイミングおよび上下移動範囲において移動支持フレーム２４を上下に移動させるためのクランク、送りねじ、あるいはピストン等の駆動手段であり、特にその構成を限定されるものではない。
【００３１】
撮像用照明機構５は、照明用支持アーム４の先端に設けられており、円環状の照明用取付フレーム６と、この照明用取付フレーム６に設置されたＬＥＤ等の照明用ランプ７とを備えている。そして、この撮像用照明機構５は、照明用取付フレーム６の円環中央が検査位置Ｔに合致するように配置されるとともに、撮像カメラ３の光軸に対しても合致する位置に配置されている。
【００３２】
図１および図３に示すように、回転方向移動機構２０Ｂは、透光介在板３０を支持する支軸２５の軸周り方向において、当該透光介在板３０を一方向に所定角度ごとに間欠的に回転させるものである。この回転方向移動機構２０Ｂは、ここでは、一方向クラッチ第１ユニット２６と、一方向クラッチ第２ユニット２７と、軸受２８とを当該支軸２５の軸方向に配置している。
【００３３】
一方向クラッチ第１ユニット２６は、支軸２５を一方向のみに間欠的に回転させることで透光介在板３０を支軸２５周り方向に所定角度ごとに間欠的に回転させるためのものである。この一方向クラッチ第１ユニット２６は、固定支持フレーム２１に固定された固定軸２６ａと、この固定軸２６ａに沿って移動するための傾斜溝２６ｂと、この傾斜溝２６ｂを形成したアウターリング２６ｃと、このアウターリング２６ｃの内周面に沿って形成されたクラッチ溝２６ｄと、このクラッチ溝２６ｄに沿って移動するベアリングボール２６ｅと、このベアリングボール２６ｅを回動自在に支持するボール支持環２６ｆと、を備えている。
【００３４】
一方向クラッチ第１ユニット２６のクラッチ溝２６ｄは、支軸２５の外周面と、アウターリング２６ｃの内周面との間で、ベアリングボール２６ｅが、回転自在になる広い溝幅と、回転できない狭い溝幅とを交互に所定間隔おきに形成されている。そのため、一方向クラッチ第１ユニット２６は、図３（ａ）、（ｂ）の状態から、上下方向移動機構２０Ａにより、固定軸２６ａに沿って傾斜溝２６ｂが移動しアウターリング２６ｃを、図３（ｃ）、（ｄ）に示すように、所定角度で回転させる。
【００３５】
このとき、ベアリングボール２６ｅの回転できる溝幅のクラッチ溝２６ｄにおいて、アウターリング２６ｃは、支軸２５の周り方向に回転してアウターリング２６ｃを移動させ、さらに、ベアリングボール２６ｅが回転できないクラッチ溝２６ｄの溝幅に楔状に噛み込むことで、アウターリング２６ｃの回転とともに支軸２５を矢印（図３（ｃ）参照）の方向に所定角度において回転させている。
【００３６】
また、一方向クラッチ第１ユニット２６は、図３（ｅ）、（ｆ）に示すように、上下方向移動機構２０Ａにより、再び固定軸２６ａに沿って傾斜溝２６ｂ移動しアウターリング２６ｃを、前記とは反対方向に所定角度で回転させる。このとき、アウターリング２６ｃは、ベアリングボール２６ｅがクラッチ溝２６ｄと支軸２５との楔状の噛み込みを解消する回転方向に移動する。そのため、支軸２５は、回転することなくアウターリング２６ｃのみが矢印（図３（ｅ）参照）の回転方向に移動することになる。そのため、一方向クラッチ第１ユニット２６は、支軸２５を所定角度ごとに間欠的に回転させることができる。
【００３７】
なお、図３に示すように、一方向クラッチ第２ユニット２７は、一方向クラッチ第１ユニット２６の傾斜溝２６ｂが垂直溝２７ｂになっている他は、一方向クラッチ第１ユニット２６と同じ構成を備えている。また、軸受２８は、ボールベアリング等の支軸２５を回動自在に支持するものであれば、その構成を限定されるものではない。そして、一方向クラッチ第２ユニット２７および軸受２８は、一方向クラッチ第１ユニット２６の動作に連動して従動するものである。
【００３８】
透光介在板３０は、レンズ作用面を有する透明体Ｗ１（図５参照）を設けたワークＷにおいて、当該透明体Ｗ１の光の屈折を解消して検査するためのものである。そして、この透光介在板３０は、光を透過して撮像カメラ３からのワークＷの撮影を可能とする透光板３１およびゲル体３２とを備えている。この透光介在板３０は、ここでは円盤状に形成されており、中心に支軸２５を貫通させる貫通穴が形成され、保持具により支軸２５に固定されている。
【００３９】
透光板３１は、プラスチック板あるいはガラス板等の水平に支持したときに水平を維持できる強度を備えている。この透光板３１は、無色透明であることが好ましいが、撮像できるように光を透過すれば着色されていても構わない。
【００４０】
ゲル体３２は、所定厚みを有しており、透光板３１に当該ゲル体３２の粘性により空間をあけることなく当接させることで接着して設けられている。このゲル体３２は、ワークＷの透明体Ｗ１が当接することで容易に弾性変形する柔らかなものであり、図５（ｂ）に示すように、透光板３１に設けて釣り下がる状態となっても、その平面状態が変わらない程度の柔らかさを備えている。このゲル体３２は、例えば、寒天、ゼラチン、シリカゲル、シリコーン、ウレタン等の光を透過して撮像カメラ３によりワークＷ内部を撮像可能なものであれば、その透明度、組成について限定されるものではない。また、ゲル体３２の厚みは、当該ゲル体３２に透明体１を当接させたときに、その透明体Ｗ１が透明板３１に当接しない程度の厚みを備えていれば構わない。さらに、シリコーンをゲル体３２として用いると、シリコーンが油性をはじくことや、水洗いすることで付着した塵埃を、前記した他の素材と比較して簡単に洗い落とすことができるため、リサイクル性にすぐれる。
【００４１】
図１に示すように、ワークＷが検査位置Ｔに搬送されたときに、そのワークＷの下方から当該ワークＷに接触部４１を接触させるための接触部作動機構４０は、固定支持フレーム２１の搬送機構１０側に上下方向に移動自在に設けられている。
【００４２】
そして、接触部作動機構４０は、本体部４３と、この本体部４３の上端側に設けた接触部４１と、本体部４３を上下方向に移動させるための第２スライド機構４４と、この第２スライド機構４４を介して本体部４３を上下方向に移動させる第２押動部４２とを備えている。この接触部作動機構４０は、ここでは、ＬＥＤの端子に接続して通電して点灯させるプローブを例えば接触部４１として備えているが、透明体Ｗ１を設けたワークＷの検査を行うときには、点灯させることなく、撮像カメラ３により撮像されて検査される。
【００４３】
なお、ここで検査されるワークＷは、その一端または全体にレンズ作用面を有する透明体Ｗ１を設けたものであり、ここではＬＥＤを一例としており、透明体Ｗ１に対面するワークＷの基部Ｗ３における上面Ｗ２（図５（ａ）参照）に回路等が形成されているものを検査対象としている。ワークＷの透明体Ｗ１は、球面の一部を有することでレンズ作用面とするものや、フレネルレンズ状に形成されることでレンズ作用面とするもの等、レンズの働きを有するものであれば、その形状を限定されるものではない。
【００４４】
つぎに、図３ないし図６を参照して被検査物搬送検査装置１の動作および手順について説明する。
図４（ａ）〜（ｃ）は、被検査物搬送検査装置の検査機構の一部を切欠いて模式的に示す側面図、図５（ａ）〜（ｃ）は、被検査物搬送検査装置の透光介在板を使用して検査を行う状態を模式的に示す斜視図、断面図、平面図、図６は、検査方法における手順を示すフローチャート図である。
【００４５】
はじめに、被検査物搬送検査装置１は、図示しない整列機構によりワークを一列に整列させ、搬送機構１０の保持部１１によりワークＷを一個ずつ保持して検査位置に搬送する（搬送ステップＳ１）（図６）。
ワークＷが検査位置Ｔに搬送されると、図４（ｂ）から（ｃ）の状態となるように、上下方向移動機構２０Ａにより透光介在板３０が待機位置から下方に移動させられゲル体３２をワークＷの透明体Ｗ１に当接させる（当接ステップＳ２：図６）とともに、接触部作動機構４０により接触部４１をワークＷの基部Ｗ３の下端に接触させる状態とする。
【００４６】
上下方向移動機構２０Ａは、第１スライド機構２２に移動支持フレーム２４がスライド自在に支持されているため、第１押動部２３を降下させることで、第１スライド機構２２に沿って移動支持フレーム２４を降下させ、透光介在板３０のゲル体３２をワークＷの透明体Ｗ１に当接させるように下方に移動させている。また、接触部４１をワークＷの基部Ｗ３の下端に接触させることで、ワークＷが透光介在板３０の押圧力により保持部１１から抜け落ちることを確実に防止している。
【００４７】
ゲル体３２がワークＷの透明体Ｗ１に当接した状態では、図５（ｂ）に示すように、ゲル体３２は、弾性変形して透明体Ｗ１のレンズ作用面である曲面（球面の一部）に倣って接触することになる。そして、ゲル体３２が透明体Ｗ１のレンズ作用面に当接すると、図５（ｃ）に示すように、本来、透明体Ｗ１が備えるレンズ作用をもたらす光の屈折を抑制して、透明体Ｗ１の内部状態および透明体Ｗ１に対面する基部Ｗ３の上面Ｗ２に形成されている回路等を鮮明に認識できる状態とする。
【００４８】
そのため、透光介在板３０を介して撮像カメラ３によりワークＷを撮像する（撮影ステップＳ３：図６）と、ワークＷの透明体Ｗ１に気泡あるいは異物の混入がないか、および透明体Ｗ１の基部Ｗ３に形成された回路等の画像を鮮明な状態で取得できるため、撮像した画像を解析することでワークＷの良否の検査を正確に行うことができる。
【００４９】
撮像カメラ３による撮像が終了すると、透光介在板３０は、図４（ａ）から（ｂ）の状態になるように、上下方向移動機構２０Ａにより透明体Ｗ１から離間するように上方に移動させられる。そして、同じタイミングで接触部４１は、接触部作動機構４０によりワークＷから離間するように下方に移動させられる。透光介在板３０および接触部４１が離間すると、検査されたワークＷは、搬送機構１０により搬出側に搬送されるとともに、新たなワークＷが検査位置Ｔに搬送される。
【００５０】
ここで、上下方向移動機構２０Ａにより透光介在板３０が上昇するときに、回転方向移動機構２０Ｂにより透光介在板３０は、支軸２５とともに所定角度ごとに間欠的に回転する。すなわち、図３（ａ）、（ｂ）および図４（ａ）に示すように、透明体Ｗ１にゲル体３２を当接させた状態から、図３（ｃ）、（ｄ）および図４（ｂ）に示すように、透光介在板３０が上下方向移動機構２０Ａにより上方に移動させられると、回転方向移動機構２０Ｂの一方向クラッチ第１ユニット２６の動作により、支軸２５が所定角度で回転することに伴って、透光介在板３０は、所定角度θの範囲で回転する。
【００５１】
つまり、支軸２５が上下方向移動機構２０Ａを介して上方に移動することで、一方向クラッチ第１ユニット２６により、固定軸２６ａが傾斜溝２６ｂに沿ってスライドして、アウターリング２６ｃを所定角度において図３（ｃ）の矢印の方向に所定角度で回転させることになる。そして、一方向クラッチ第１ユニット２６では、ベアリングボール２６ｅがクラッチ溝２６ｄの幅の狭い部分で、アウターリング２６ｃおよび支軸２５の外周に楔状に噛み込み、アウターリング２６ｃがさらに回転することで、支軸２５を所定角度において回転させる。そのため、一方向クラッチ第１ユニット２６では、その支軸２５に設けた透光介在板３０を所定角度θで回転させることができる（回転ステップＳ４：図６）
【００５２】
そして、図３（ｅ）、（ｆ）および図４（ｃ）に示すうように、再び、新たなワークＷが検査位置Ｔに搬送されると、上下方向移動機構２０Ａにより、透光介在板３０が下方に移動させられる。このとき、固定軸２６ａに対して傾斜溝２６ｂに沿った状態でアウターリング２６ｃが図３（ｅ）で示す矢印の方向に移動するが、ベアリングボール２６ｅは、クラッチ溝２６ｄで空回りする状態となることから、支軸２５は回転することなく、アウターリング２６ｃのみが回転する。
【００５３】
したがって、支軸２５は、一方向にのみ所定角度θごとに間欠的に回転することとなり、透光介在板３０を上下方向に移動することに伴って、回転方向移動機構２０Ｂが透光介在板３０を所定角度θごとに間欠的に回転させている。
【００５４】
透光介在板３０が、上下方向移動機構２０Ａにより上下に移動することに伴って回転方向移動機構２０Ｂにより一方向に所定角度θごとに間欠的に回転するため、検査機構２０では、ワークＷの透明体Ｗ１に当接するごとに新たなゲル体３２の部分となり、ゲル体３２が粘着性を有していて塵埃が付着しやすい状態であっても、検査する画像に悪影響を与えることがない。
【００５５】
なお、透光介在板３０の回転角度θは、一方向クラッチ第１ユニット２６において、傾斜溝２６ｂの傾斜角度によりアウターリング２６ｃの回転する角度と、クラッチ溝２６ｄを移動できるベアリングボール２６ｅの距離とにより、支軸２５を回転させる角度を設定することができるものである。
【００５６】
以上のような手順および動作において、ワークＷの検査を順次行い、搬送機構１０の保持部１１がワークＷを、図示しない整列機構から保持している間は、図示しない制御機構が検査を行う動作を連続し（ステップＳ５のＮｏ：図６）、また、図示しない整列機構から保持部１１がワークＷを保持しない状態が一度、あるいは２度連続すると、その保持しない保持部１１が検査位置Ｔに移動したことを検知して同一種のワークＷの検査を終了したと、図示しない制御機構側が判断して被検査物搬送検査装置１の動作を停止する（ステップＳ５のＹｅｓ：図６）。なお、この検査を終了させる判断は、前記した手順に特に限定されるものではなく、公知のものであっても構わない。
【００５７】
以上、説明したように、被検査物搬送検査装置１は、ワークＷにレンズ作用面を有する透明体Ｗ１が取り付けられて完成品に近い状態、あるいは、完成品となっているものであっても、透明体Ｗ１のレンズ作用面による光の屈折を抑えた状態として、内部の回路等を鮮明に撮像することができる。そして、被検査物搬送検査装置１では、ゲル体３２が弾性変形して透明体Ｗ１に当接するため、ワークＷにおいて撮像できる内部の範囲が広く、かつ、透明体Ｗ１を傷つけることがまったくない状態で、検査することが可能となる。
【００５８】
なお、被検査物搬送検査装置１で説明した回転方向移動機構２０Ｂは、支軸２５を一方向に所定角度で回転させることができるものであれば、一方向クラッチ第１ユニット２６だけの構成であることや、その回転させる構成自体がラチェット機構としても構わない。また、センサおよびサーボモータ、ステッピンクモータ等の駆動モータにより透光介在板３０が上方に移動するときに、センサにより検知して当該駆動モータにより透光介在板３０を所定角度において回転させる構成としても構わない。
【００５９】
さらに、被検査物搬送検査装置１では、透光介在板３０が上方に移動したときに間欠的に所定角度で回転させる構成として説明したが、下方に移動して透明体Ｗ１と当接する前に間欠的に所定角度で回転させるように構成することや、また、上下するときにそれぞれ所定角度ごとに間欠的に回転する構成としても構わない。そして、被検査物搬送検査装置１では、ＬＥＤを一例として説明したが、レンズ作用を有する透明体Ｗ１を有するワークＷであれば、それ以外のものであっても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る被検査物搬送検査装置の検査機構および搬送機構の一部を切欠いて模式的に示す側面図である。
【図２】本発明に係る被検査物搬送検査装置の搬送機構の一部を省略して模式的に示す平面図である。
【図３】（ａ）〜（ｆ）本発明に係る被検査物搬送検査装置の回転方向移動機構の一部を模式的に示す平面図および背面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）本発明に係る被検査物搬送検査装置の検査機構の一部を切欠いて模式的に示す側面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明に係る被検査物搬送検査装置の透光介在板を使用して検査を行う状態を模式的に示す斜視図、断面図、平面図である。
【図６】本発明に係る検査方法における手順を示すフローチャート図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、従来の検査装置を一部断面にして模式的に示す全体の側面図、検査位置を拡大した側面図、ワークの搬送機構を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１        被検査物搬送検査装置
２        フレーム体
３        撮像カメラ
４        照明用支持アーム
５        撮像用照明機構
６        照明用取付フレーム
７        照明用ランプ（ＬＥＤ）
１０      搬送機構
１１      保持部
１２      保持爪
１３      爪支持部
１４      開閉駆動手段
１５      回転テーブル
１６      テーブル支持柱
２０      検査機構
２０ＡＢ  透光介在板移動機構
２０Ａ    上下方向移動機構
２０Ｂ    回転方向移動機構
２１      固定支持フレーム
２２      第１スライド機構
２３      第１押動部
２４      移動支持フレーム
２５      支軸
２６      一方向クラッチ第１ユニット
２６ａ    固定軸
２６ｂ    傾斜溝
２６ｃ    アウターリング
２６ｄ    クラッチ溝
２６ｅ    ベアリングボール
２６ｆ    ボール支持環
２７      一方向クラッチ第２ユニット
２８      軸受
３０      透光介在板
３１      透光板
３２      ゲル体
４０      接触部作動機構
４１      接触部（プローブ）
４２      第２押動部
４３      本体部
４４      第２スライド機構
【図１】
0004660359.tif 000002
【図２】
0004660359.tif 000003
【図３】
0004660359.tif 000004
【図４】
0004660359.tif 000005
【図５】
0004660359.tif 000006
【図６】
0004660359.tif 000007
【図７】
0004660359.tif 000008