(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器(21)(22)(23)と、下段に配された複数のブロック状継手部材(24)とによって形成され、複数のラインが、ベース部材に並列状に配置されている流体制御装置において、少なくとも１つのラインの両側に左右テープヒータ(11)が配されており、これらの左右テープヒータ(11)が複数のクリップ(12)によって対応する継手部材に保持されており、各クリップ(12)は、所定間隔をおいて対向する一対の側壁(13)と、両側壁(13)の上部にこれらを接近させる方向の力が付与された際に各側壁(13)の下部同士が離隔しかつ力が取り除かれた際に両側壁(13)が元に復帰するように各側壁(13)の上下の中間部同士を連結する連結壁(14)とよりなり、各クリップ(12)は、各ラインの所要位置において上方から差し込まれているとともに、各クリップ(12)の連結壁(14)は、ライン方向の長さが各側壁(13)のライン方向の長さよりも短くなされて、流体制御機器(21)(22)(23)と干渉しないように隣り合う流体制御機器(21)(22)(23)の間またはラインの両端部に収められていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
各側壁(13)は、略方形でテープヒータ(11)に当てられるテープヒータ押え部(15)と、テープヒータ押え部(15)の上面中央から上方にのびる上方突出部(16)と、上方突出部(16)の中間部分に設けられた略Ｌ字状の取っ手部(17)とよりなり、各上方突出部(16)の先端部同士が連結壁(14)によって連結されている請求項１の流体制御装置。
【請求項３】
連結壁(14)は、水平にのびる本体部(14a)と、本体部(14a)の両端に設けられた屈曲部(14b)とを有しており、屈曲部(14b)の先端と上方突出部(16)の先端とが結合されている請求項２の流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置に関し、特に、加熱可能な流体制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置に使用される流体制御装置は、種々の流体制御機器が複数列に配置されるとともに、隣り合う列の流体制御機器の流路同士が所定箇所において機器接続手段により接続されることにより構成されているが、近年、この種の流体制御装置では、マスフローコントローラや開閉弁などをチューブを介さずに接続する集積化が進められている（例えば、特開平９−２９９９６号公報参照）。
図４は、その一例を示す平面図であり、この流体制御装置は、バイパス通路無しの５つのライン(P1)(P2)(P3)(P4)(P5)と、バイパス通路有りの３つのライン(Q1)(Q2)(Q3)との計８つのラインを有している。バイパス通路無しライン(P1)(P2)(P3)(P4)(P5)は、マスフローコントローラ(91)と、その入口側にフィルター(93)を介して設けられた開閉弁(92)と、同出口側に設けられた開閉弁(94)とを備えており、バイパス通路有りライン(Q1)(Q2)(Q3)は、マスフローコントローラ(91)と、その入口側にフィルター(93)を介して設けられた２つの開閉弁(95)(96)と、同出口側に設けられた２つの開閉弁(97)(98)と、マスフローコントローラ(91)の入口側接続部と出口側接続部とを接続する開閉弁(99a)付きバイパス配管(99)とを備えている。この流体制御装置は、１枚の基板(100)に、まず、ブロック継手などの継手部材（図には現れず）をねじで取り付け、次いで、これらの継手部材にまたがるようにしてマスフローコントローラ、フィルター、開閉弁などの流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96)(97)(98)を取り付けることにより組み立てられている。
【０００３】
一方、結露防止および常温では液体である流体をガス化して流す際の再液化防止等を目的とし、この種の流体制御装置に設置される加熱装置として、特開平１０−２４６３５６号には、ラインの左右両側の少なくとも一側に配されたテープヒータと、ねじにより基板に固定される底壁およびテープヒータを各流体制御機器に当接させる側壁よりなる複数個のブラケットとよりなり、各ブラケットの底壁にねじ挿通用孔があけられて、各ブラケットが位置調整自在に基板に取り付けられているものが開示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の流体制御装置用加熱装置では、流体制御装置の側面に平面から見て凹凸がある場合でも、テープヒータを各流体制御機器に沿わせることができ、凹凸の影響を受けずに流体制御機器を均一に加熱することができるという利点を有している。しかしながら、ブラケットの底壁を取り付けるための部分が基板に必要となることから、この加熱装置を使用するためには、基板したがって流体制御装置の設置面積を広げる必要がある。一方、流体制御装置の集積化のためには、その設置面積の増加は好ましくなく、加熱装置を設置することによる設置面積の増加は極力抑えるべきという課題がある。また、集積化された流体制御装置では、ラインとラインとの間が狭いため、従来の加熱装置では、ブラケットを位置調整してこれを基板にねじ止めする作業が非常に面倒であるという問題もあった。
【０００５】
本発明の目的は、加熱装置を付加したことに伴う設置面積の増加を抑えることが可能な加熱装置付きの流体制御装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御装置は、１つのラインが、上段に配された複数の流体制御機器と、下段に配された複数のブロック状継手部材とによって形成され、複数のラインが、ベース部材に並列状に配置されている流体制御装置において、少なくとも１つのラインの両側に左右テープヒータが配されており、これらの左右テープヒータが複数のクリップによって対応する継手部材に保持されており、各クリップは、所定間隔をおいて対向する一対の側壁と、両側壁の上部にこれらを接近させる方向の力が付与された際に各側壁の下部同士が離隔しかつ力が取り除かれた際に両側壁が元に復帰するように各側壁の上下の中間部同士を連結する連結壁とよりなり、各クリップは、各ラインの所要位置において上方から差し込まれているとともに、各クリップの連結壁は、ライン方向の長さが各側壁のライン方向の長さよりも短くなされて、流体制御機器と干渉しないように隣り合う流体制御機器の間またはラインの両端部に収められていることを特徴とするものである。
【０００７】
連結壁は、直線状とされていてもよいし、中間部に少なくとも１つの凹凸を有していてもよい。連結壁と側壁とは、連結壁が側壁に対して変形しやすいように結合されるとともに、結合部分の中心が側壁の両面の中心を通る線上に位置させられることが好ましく、これにより、両側壁の上部が接近させられるのに追随して両側壁の下部同士が離隔させられる。
【０００８】
この発明の流体制御装置によると、加熱を必要とするラインの両側にテープヒータを配するとともに、クリップの側壁の上部を手に持ってこれらを接近させる方向の力を付与しながら、各ラインの所要位置において上方からクリップを差し込み、次いで、クリップから手を離して両側壁を元に復帰させることによって、クリップを対応する継手部材に保持させる。こうして、所要のラインの加熱が可能となる。したがって、テープヒータを押えるブラケットをねじで基板に取り付ける必要がないので、作業が非常に簡単であり、しかも、設置面積の増加も非常に少なくて済む。また、操作をラインの上方で行うことができるので、ライン間の間隙が狭い場合であっても加熱装置を容易に設置することができる。
【０００９】
各側壁は、略方形でテープヒータに当てられるテープヒータ押え部と、テープヒータ押え部の上面中央から上方にのびる上方突出部と、上方突出部の中間部分に設けられた略Ｌ字状の取っ手部とよりなり、上方突出部の先端部同士が連結壁によって連結されていることがある。側壁同士は、外力が働かない際に互いに平行となるように連結壁で連結され、また、上方突出部の先端部との連結部分は、相対的に狭い面積となる。これにより、取っ手部を指でつかむと、テープヒータ押え部同士がハ字状に開くとともに、この開いた状態を元に復帰させるための弾性力が生じ、取っ手部を離すと、テープヒータ押え部がテープヒータを継手部材に押し付ける。したがって、取っ手部を流体制御機器に干渉しない位置に容易に収めることができ、クリップの取っ手部を指でつかむことも容易となる。
【００１０】
各クリップは、金属薄板で一体に形成されていることが好ましい。各側壁を上記の構成にすることにより、クリップを１枚の金属薄板から製作することができる。これにより、部品点数を少なくすることができる。
【００１１】
連結壁は、水平にのびる本体部と、本体部の両端に設けられた屈曲部とを有しており、屈曲部の先端と突出部の先端とが結合されていることがある。このようにすると、取っ手部を指でつかんだ際に、テープヒータ押え部同士がハ字状に開きやすく、また、この開いた状態を元に復帰させるための弾性力も生じやすくなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１３】
この発明による流体制御装置は、その一例を図４に示すように、複数のラインが基板に並列状に配置されることにより形成されるもので、複数のラインのうちの少なくとも１つに、図１に示すような加熱装置(10)が設けられている。図１において、(21)はマスフローコントローラを示し、(22)および(23)は、その入口または出口に設けられる開閉弁等を示し、(24)は、マスフローコントローラ、開閉弁、その他の流体制御機器(21)(22)(23)同士を連通させるブロック状継手部材を示している。
【００１４】
加熱装置(10)は、１つのラインの両側に配された左右テープヒータ(11)と、これらの左右テープヒータ(11)を継手部材に保持させるための複数のクリップ(12)とを備えている。
【００１５】
各クリップ(12)は、金属薄板で一体に形成されたもので、所定間隔をおいて対向する一対の側壁(13)と、両側壁(13)の上部にこれらを接近させる方向の力が付与された際に両側壁(13)の下部同士が離隔しかつ力が取り除かれた際に両側壁(13)が元に復帰するように側壁(13)同士を連結する連結手段としての連結壁(14)とよりなる。
【００１６】
各側壁(13)は、略方形でテープヒータ(11)に当てられるテープヒータ押え部(15)と、テープヒータ押え部(15)の上面中央から上方にのびる上方突出部(16)と、上方突出部(16)の中間部分に設けられた略Ｌ字状の取っ手部(17)とよりなる。
【００１７】
図２および図３に拡大して示すように、取っ手部(17)は、上方突出部(16)の中間部分から前後いずれか一方にのびる水平部(17a)と、水平部(17a)の先端部から上方にのびる垂直部(17b)とよりなる。水平部(17a)の長さは、垂直部(17b)がテープヒータ押え部(15)より外に出ないように、また、垂直部(17b)の上端は、上方突出部(16)よりも上方にあるように設定されている。
【００１８】
連結壁(14)は、水平にのびる本体部(14a)と、本体部(14a)の両端に設けられた鋭角の屈曲部(14b)とを有しており、屈曲部(14b)の先端と上方突出部(16)の先端とが結合されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御装置を示す斜視図である。
【図２】クリップの正面図である。
【図３】クリップの側面図である。
【図４】従来の制御装置を示す平面図である。
【符号の説明】
(10)    加熱装置
(11)    テープヒータ
(12)    クリップ
(13)    側壁
(14)    連結壁
(14a)   本体部
(14b)   屈曲部
(15)    テープヒータ押え部
(16)    上方突出部
(17)    取っ手部
【図１】
0004655423.tif 000002
【図２】
0004655423.tif 000003
【図３】
0004655423.tif 000004
【図４】
0004655423.tif 000005