(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
不定形ウエハを載せた状態で、真空吸着機構を有する搬送アーム及び検査用載置台を介してウエハ収納テーブルと検査位置との間で搬送されるウエハ搬送具であって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の貫通孔と、裏面に上記検査用載置台の真空吸着部に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有することを特徴とするウエハ搬送具。
【請求項２】
上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送具。
【請求項３】
上記第１の吸着用溝は、上記第２の貫通孔間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハ搬送具。
【請求項４】
上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハ搬送具。
【請求項５】
上記第１の位置決め手段は、上記ウエハ搬送具の表面の、上記ウエハ収納テーブルの表面に設けられた上記第２の位置決め手段に対応する位置に設けられていることを特徴とする請求項４に記載のウエハ搬送具。
【請求項６】
進退動可能なウエハ収納テーブルと、このウエハ収納テーブルに収納し且つ不定形ウエハを載せるウエハ搬送具と、このウエハ搬送具及び上記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して搬送する搬送アームと、この搬送アームとの間で受け渡す上記ウエハ搬送具及び上記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して検査のために搬送する検査用載置台とを備えたウエハ搬送システムであって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の貫通孔と、裏面に上記検査用載置台の真空吸着部に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有することを特徴とするウエハ搬送システム。
【請求項７】
上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴とする請求項６に記載のウエハ搬送システム。
【請求項８】
上記第１の吸着用溝は上記第２の貫通孔間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のウエハ搬送システム。
【請求項９】
上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項６〜請求項８のいずれか１項に記載のウエハ搬送システム
【請求項１０】
上記ウエハ収納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に対応する第２の位置決め手段を設けたことを特徴とする請求項９に記載のウエハ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブ装置等の検査装置に好適に用いられるウエハ搬送具及びウエハ搬送システムに関し、更に詳しくは、割れウエハ等の不定形なウエハを検査する際に用いられるウエハ搬送具及びウエハ搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子をウエハ状態のまま検査する検査装置としてプローブ装置が広く知られている。このプローブ装置は、例えば図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、定形ウエハＷ’を搬送するローダ室１と、ローダ室１から引き渡された定形ウエハＷ’の電気的特性検査を行うプローバ室２とを備えて構成されている。ローダ室１には、定形ウエハＷ’が収納されたカセットＣを載置するカセット収納部３と、定形ウエハＷ’をローダ室１へ搬送する搬送アーム（ピンセット）４と、ピンセット４を介して定形ウエハＷ’を搬送する過程でそのオリフラを基準にしてプリアライメントするサブチャック５とが配設されている。また、プローバ室２には、ピンセット４からプリアライメント後の定形ウエハＷ’を載置し且つＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動する検査用の載置台（メインチャック）６と、メインチャック６上の定形ウエハＷ’を正確に位置合わせする位置合わせ機構（アライメント機構）７と、アライメント機構７による位置合わせ後の定形ウエハＷ’の電極パッドと電気的に接触するプローブ８Ａを有するプローブカード８とが配設されている。プローブカード８はプローバ室２の上面を形成するヘッドプレート２Ａに固定されている。
【０００３】
上記アライメント機構７は、図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、下ＣＣＤカメラ７Ａ及び上ＣＣＤカメラ７Ｂとを備え、制御装置の制御下で駆動する。下ＣＣＤカメラ７Ａはメインチャック６に付設され、プローブカード８のプローブ８Ａを下方から撮像する。上ＣＣＤカメラ７Ｂはアライメントブリッジ７Ｃの中央に配設され、メインチャック６上の定形ウエハＷ’を上方から撮像する。撮像されたプローブ８Ａ及び定形ウエハＷ’は表示装置９のモニタ画面９Ａに表示される。また、アライメントブリッジ７Ｃは、プローブ室２の上方にＹ方向に沿って配設されたガイドレール７Ｄ、７Ｄに従ってプローブ室２の最奥部（図６の（ｂ）の上部）からプローブセンタまで移動する。更に、メインチャック６には下ＣＣＤカメラ７Ａの上方まで進退動可能なターゲット７Ｅが付設され、下ＣＣＤカメラ７Ａでプローブ８Ａの針先を撮像して針先の高さを求めた後、このターゲット７Ｅを介して下ＣＣＤカメラ７Ａと上ＣＣＤカメラ７Ｂの光軸を一致させ、この時のメインチャック６の位置を定形ウエハＷ’とプローブ８Ａ間の位置合わせを行う際の基準位置として使用する。
【０００４】
また、プローバ室２にはテストヘッドＴが旋回可能に配設され、このテストヘッドＴがプローブカード８と図示しないインターフェース部を介して電気的に接続し、テストヘッドＴ及びプローブ８Ａを介してテスタからの信号を定形ウエハＷ’の電極パッドへ送信し、定形ウエハＷ’に形成された複数の半導体素子（チップ）の電気的特性検査を行う。
【０００５】
また、ローダ室１にはウエハ収納テーブル（以下、「アンロードテーブル」と称す。）１０が設けられ、このアンロードテーブル１０はローダ室１の正面において出し入れ操作可能になっている。そして、アンロードテーブル１０は例えばモニタウエハＷ’’を検査する場合に用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、所定口径の定形ウエハの検査を行う場合には、カセット載置部３のカセットＣ内から定形ウエハＷ’を一枚ずつ自動的に取り出して検査しているが、例えば、半導体素子の製造過程で発生した割れウエハは口径が足りずカセットＣ内に収納することができず、ひいては割れウエハの検査を行うことができないため、プローバ室２を開放して手作業で割れウエハをメインチャック６上に載置して検査を行わざるを得なかった。また、検査を行うウエハは例えば円形状等に限定された定形ウエハＷ’であるため、定形ウエハＷ’以外の割れウエハやその他の不定形ウエハの検査を行うことができず、上述のように割れウエハ等の不定形ウエハを手作業でメインチャック６上に載置して検査を行わざるを得なかった。また、従来のプローブ装置を駆動制御するソフトウエアは手作業に対応していないため、メインチャック６から割れウエハ等の不定形ウエハを手作業で回収する際の安全性も必ずしも十分なものではなかった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、割れウエハ等の不定形ウエハであってもウエハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウエハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）との間で不定形ウエハを自動搬送し、安全性に優れたウエハ搬送具及びウエハ搬送システムを提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のウエハ搬送具は、不定形ウエハを載せた状態で、真空吸着機構を有する搬送アーム及び検査用載置台を介してウエハ収納テーブルと検査位置との間で搬送されるウエハ搬送具であって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の貫通孔と、裏面に上記検査用載置台の真空吸着部に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の請求項２に記載のウエハ搬送具は、請求項１に記載の発明において、上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の請求項３に記載のウエハ搬送具は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記第１の吸着用溝は、上記第２の貫通孔間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の請求項４に記載のウエハ搬送具は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項５に記載のウエハ搬送具は、請求項４に記載の発明において、上記第１の位置決め手段は、上記ウエハ搬送具の表面の、上記ウエハ収納テーブルの表面に設けられた上記第２の位置決め手段に対応する位置に設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項６に記載のウエハ搬送システムは、進退動可能なウエハ収納テーブルと、このウエハ収納テーブルに収納し且つ不定形ウエハを載せるウエハ搬送具と、このウエハ搬送具及び上記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して搬送する搬送アームと、この搬送アームとの間で受け渡す上記ウエハ搬送具及び上記不定形ウエハを一緒に吸着、保持して検査のために搬送する検査用載置台とを備えたウエハ搬送システムであって、上記ウエハ搬送具は、表面中央部に形成された第１の吸着用溝と、上記搬送アームの真空吸着部に対応させて形成され且つ上記第１の吸着用溝で開口する第１の貫通孔と、裏面に上記検査用載置台の真空吸着部に対応させて形成された第２の吸着用溝と、上記第１の吸着用溝と上記第２の吸着用溝を連通する第２の貫通孔とを有することを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項７に記載のウエハ搬送システムは、請求項６に記載の発明において、上記第１の吸着用溝は、同心円状に形成された複数の環状溝と、これらの環状溝を連絡する第１の連絡溝とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項８に記載のウエハ搬送システムは、請求項６または請求項７に記載の発明において、上記第１の吸着用溝は上記第２の貫通孔間を連絡する第２の連絡溝を有することを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項９に記載のウエハ搬送システムは、請求項６〜請求項８のいずれか１項に記載の発明において、上記ウエハ搬送具の表面に上記不定形ウエハの向きを決める第１の位置決め手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項１０に記載のウエハ搬送システムは、請求項９に記載の発明において、上記ウエハ収納テーブルの表面に上記第１の位置決め手段に対応する第２の位置決め手段を設けたことを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のウエハ搬送具及びウエハ搬送システムはプローブ装置に好適に用いられる。このプローブ装置自体は基本的には図６に示すプローブ装置に準じて構成されている。そこで、以下では本実施形態のウエハ搬送具及びウエハ搬送システムを中心に図６をも参照しながら説明する。
【００１９】
本実施形態のウエハ搬送具１１は、図１に示すように、例えばセラミック製の平板によって形成されている。このウエハ搬送具１１は、不定形ウエハ（例えば、同図では破線部分が欠如した割れウエハ）Ｗを載せた状態で搬送アーム（以下、「ピンセット」と称す。）４及び検査用載置台（以下、「メインチャック」と称す。）６を介してアンロードテーブル１０とプローブ８Ａと接触する検査位置との間で搬送される。つまり、割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せた状態でアンロードテーブル１０に載置し、ピンセット４を介して割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒にメインチャック６上へ移載する。メインチャック６はＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動してウエハ搬送具１１上の割れウエハＷの検査を行う。検査終了後にはピンセット４を介してメインチャック６からアンロードテーブル１０へ割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に搬送する。割れウエハＷを載せたウエハ搬送具１１を搬送する際にはピンセット４またはメインチャック６はそれぞれの真空吸着機構を介して割れウエハＷとウエハ搬送具１１の双方を一緒に真空吸着する。
【００２０】
また、図５に示すように、上記ピンセット４の上面には複数の開口部４Ａが形成され、これらの開口部４Ａは排気通路（図示せず）を介して排気装置（図示せず）に接続されている。また、メインチャック６の上面には図１に示すように複数の環状の吸着用溝６Ａが形成され、これらの吸着用溝６Ａは排気通路（図示せず）を介して排気装置（図示せず）に接続されている。従って、割れウエハＷをピンセット４上またはメインチャック６上に真空吸着する時には排気装置を介して開口部４Ａまたは吸着用溝６Ａから真空引きする。
【００２１】
上記ウエハ搬送具１１をピンセット４またはメインチャック６上に真空吸着する際には、ウエハ搬送具１１に形成された吸着用溝及び貫通孔が利用される。そこで、ウエハ搬送具１１の吸着用溝及び貫通孔について図１〜図３を参照しながら説明する。ウエハ搬送具１１は割れのないウエハ（破線部分を含む完全なウエハ）よりも大きなウエハ形状にセラミックによって形成されている。
【００２２】
上記ウエハ搬送具１１は、図１、図２に示すように、表面中央部に形成された第１の吸着用溝１１１と、ピンセット４の開口部４Ａに対応させて形成され且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１２と、裏面にメインチャック６の吸着用溝６Ａに対応させて形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１１４とを有している。
【００２３】
即ち、第１の吸着用溝１１１は、同心円状に形成された複数（本実施形態では６個）の環状溝１１１Ａと、外側の４個の環状溝１１１Ａを互いに連絡する４本の第１の連絡溝１１１Ｂとを有し、４個の環状溝１１１Ａは４本の第１の連絡溝１１１Ｂを介して互いに連結されている。これらの環状溝１１１Ａは欠如部分が最も広い最小の割れウエハＷであっても確実に被覆される領域に形成されている。割れウエハＷは最小限の大きさが決められており、その大きさは環状溝１１１Ａを被覆できる大きさである。第１の連絡溝１１１Ｂは、図２の（ａ）に示すように径方向に延ばして形成されていると共に周方向等間隔（９０゜）を空けて形成されている。
【００２４】
上記第１の貫通孔１１２は、例えば図２の（ｂ）に示すように２個ずつ対を成して８個形成され、４対の貫通孔１１２は外側から３番目の環状溝１１１Ａと第１の連絡溝１１１Ｂとの４箇所の交差点を挟むように配置されている。環状溝１１１Ａ、第１の連絡溝１１１Ｂ及び第１の貫通孔１１２の関係を拡大して示したものが図３の（ａ）、（ｂ）である。これらの第１の貫通孔１１２はピンセット４の開口部４Ａに対応して形成され、例えば図５に示すようにピンセット４をアンロードテーブル１０内に挿入した時に第１の貫通孔１１２がピンセット４の開口部４Ａに位置し、第１の貫通孔１１２を介して第１の吸着用溝１１１内を真空引きするようになっている。また、第１の吸着用溝１１１は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、外側５個の環状溝１１１Ａを互いに連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有している。図２の（ａ）に示すように第２の連絡溝１１１Ｃは第１の連絡溝１１１Ｂと重ならない位置に径方向に延ばして２本形成されている。これらの第２の連絡溝１１１Ｃは互いに周方向１８０゜空けて一直線上に位置するように形成されている。
【００２５】
上記第２の吸着用溝１１３は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、第２の連絡溝１１１Ｃの裏側に形成され、図１に示すようにウエハ搬送具１１をメインチャック６上に載置した時にメインチャック６表面の複数の環状の吸着用溝６Ａと交差する長さに形成されている。第２の貫通孔１１４は第２の連絡溝１１１Ｃと外側５個の環状溝１１１Ａとの交差点にそれぞれ形成され、メインチャック６上でウエハ搬送具１１を真空吸着した時に第２の吸着用溝１１３及び第２の貫通孔１１４を介して第１の吸着用溝１１１を真空引きする。
【００２６】
また、図２の（ａ）に示すように上記ウエハ搬送具１１の表面には割れウエハＷの向きを決める位置決めライン１１５が４本形成されている。４本の位置決めライン１１５はそれぞれ環状溝１１１Ａのやや外側から放射状にウエハ搬送具１１の外周まで環状溝１１１Ａの中心で交差する位置関係で延び、そのうちの１本がオリフラ１１６の中心に直交している。従って、位置決めライン１１５と割れウエハＷのオリフラＯが直交するように割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せる。また、割れウエハＷのオリフラＯが欠如している場合には、割れウエハＷのスクラブラインの方向を位置決めライン１１５の方向に合わせて割れウエハＷをウエハ搬送具１１上に載せる。
【００２７】
また、上記ウエハ搬送具１１は上述のようにセラミックによってウエハ形状の即して形成され、その全表面は金または金合金等の導電性に優れた材料によって被覆されている。この被覆処理には例えば金属蒸着処理が用いられる。このようにウエハ搬送具１１をセラミックによって形成することにより、割れウエハＷの高温検査に対応させることができ、また、ウエハ搬送具１１の全表面を導電性材料によって被覆することにより検査時に割れウエハＷのグランド電位を確保することができる。
【００２８】
また、上記アンロードテーブル１０は図４の（ａ）に示すように全体が略矩形状に形成されている。このアンロードテーブル１０の表面にはウエハ搬送具１１の位置決めライン１１５に対応する位置決め用の矢印１０１が位置決め手段として周方向１８０゜隔てた２箇所に刻印されている。従って、サブチャック５（図６参照）を利用しなくてもウエハ搬送具１１の位置決めライン１１５を矢印１０１に位置合わせしてウエハ搬送具１１をアンロードテーブル１０上に載せるだけで、ウエハ搬送具１１の向き、ひいては割れウエハＷの向きをプリアライメントすることができる。この時、ウエハ搬送具１１のオリフラ１１６はアンロードテーブル１０に刻印した「ＦＬＡＴ」の位置と一致する。
【００２９】
上記アンロードテーブル１０の中央部には図４の（ａ）に示すように円盤状のウエハ載置部１０２が形成され、このウエハ載置部１０２には外径を異にするウエハ支持部１０２Ａが同図の（ｂ）に示すように階段状に複数段形成されている。このウエハ載置部１０２に外径を異にするウエハ搬送具１１または複数種の定形ウエハ（割れのないウエハ）を載置した時に、それぞれのウエハ支持部１０２Ａにおいてウエハ搬送具１１または定形ウエハの外周縁部を支持する。また、ウエハ載置部１０２の左右方向中央にはピンセット４が図４の（ａ）、（ｂ）で一点鎖線で示すように出入りするアーム進入部１０２Ｂが前後方向に形成され、このアーム進入部１０２Ｂの底面は最も低いウエハ支持部１０２Ａよりも低くなっている。尚、図４の（ａ）において、ウエハ搬送具１１は斜線で示したウエハ支持部１０２Ａにおいて支持される。
【００３０】
本実施形態のウエハ搬送システムは、ローダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１０と、このアンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを同時に吸着、保持して搬送するピンセット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ検査時に割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に搬送するメインチャック６とを備えている。
【００３１】
次に、上記ウエハ搬送システムを用いて割れウエハＷを搬送する場合について説明する。まず、アンロードテーブル１０をローダ室１正面から引き出し、ウエハ搬送具１１をウエハ載置部１０２のウエハ支持部１０２Ａ上に載置する。この際、ウエハ搬送具１１の位置決めライン１１５をウエハ載置部１０２の矢印１０１に合わせる。次いで、ウエハ搬送具１１上に割れウエハＷを載置する。この際、割れウエハＷのオリフラＯをウエハ搬送具１１の位置決めライン１１５と直交させるか、割れウエハＷのスクラブラインを位置決めライン１１５の向きに合わせて割れウエハＷのプリアライメントを終える。割れウエハＷ及びウエハ搬送具１１のプリアライメントを終えた後、アンロードテーブル１０をローダ室１内に収納する。
【００３２】
次いで、制御装置を介してプローブ装置を駆動させると、ピンセット４はアンロードテーブル１０のアーム進入部１０２Ｂ内に図４の（ａ）、（ｂ）に示すように進入し、やや上昇すると、ウエハ搬送具１１がピンセット４上に載る。この状態でピンセット４の開口部４Ａが例えば図５に示すようにウエハ搬送具１１の第１の貫通孔１１２と一致する。尚、位置決めライン１１５は周方向に９０゜ずつずらして形成されているため、仮に位置決めライン１１５が９０゜（または１８０゜あるいは２７０゜）ずらしてプリアライメントしても図５の一点差線で示すようにピンセット４の開口部４Ａと第１の貫通孔１１２は一致する。引き続き、制御装置の制御下で排気装置が駆動するとピンセット４は開口部４Ａを真空引きし、第１の貫通孔１１２を介して第１の吸着溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１１をピンセット４上に一緒に吸着、固定する。割れウエハＷが真空吸着されると、ピンセット４がアンロードテーブル１０から後退した後、図６に示すようにその向きを９０゜変え、プローバ室２に進出する。この時、プローバ室２内ではメインチャック６が割れウエハＷを受け取る態勢にある。
【００３３】
メインチャック６上にピンセット４が進出すると、メインチャック６の昇降ピン（図示せず）が上昇すると共にピンセット４での真空引きを終了してウエハ搬送具１１をピンセット４から持ち上げた後、ピンセット４がプローバ室２から後退すると共に昇降ピンがメインチャック６内に退没し、ウエハ搬送具１１がメインチャック６上に載り、ウエハ搬送具１１の第２の吸着用溝１１３がメインチャック６の吸着用溝６Ａを交差する。そして、制御装置を介してメインチャック６の排気装置が作動して吸着用溝６Ａを真空引きすると、ウエハ搬送具１１の第２の貫通孔１１４を介して第１の吸着用溝１１１内を減圧して割れウエハＷ及びウエハ搬送具１１をメインチャック６上に一緒に吸着、固定する。
【００３４】
その後、メインチャック６がプローブセンタへ移動すると共にアライメント機構７が作動し、アライメントブリッジ７Ｃがプローブセンタへ進出する。そして、上ＣＣＤカメラ７Ｂで割れウエハＷを撮像し、割れウエハＷ内の半導体素子の配列状態を自動認識し、半導体素子の検査対象を把握した後、メインチャック６が駆動して割れウエハＷ内の半導体素子を１個ずつあるいは複数個ずつ検査する。
【００３５】
割れウエハＷの検査を終えると、メインチャック６は割れウエハＷの引き渡し位置へ移動し、メインチャック６の排気装置が停止すると共に昇降ピンが上昇してウエハ搬送具１１をメインチャック６から持ち上げる。引き続き、ピンセット４がメインチャック６と持ち上げられたウエハ搬送具１１の間に進出する。そして、ピンセット４の排気装置が駆動すると共に昇降ピンが下降してピンセット４で割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に受け取り、検査開始時とは逆の経路を辿って割れウエハＷとウエハ搬送具１１と一緒にアンロードテーブル１０内へ戻し、一連の検査を終了する。
【００３６】
以上説明したように本実施形態によれば、ローダ室１において進退動可能なアンロードテーブル１０と、このアンロードテーブル１０に収納し且つ割れウエハＷを載せるウエハ搬送具１１と、このウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持して搬送するピンセット４と、このピンセット４からのウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを一緒に吸着、保持し且つ割れウエハＷをウエハ搬送具１１と一緒に検査位置まで搬送するメインチャック６とを備え、ウエハ搬送具１１は、表面中央部に形成された第１の吸着用溝１１１と、ピンセット４の真空吸着部に対応させて形成され且つ第１の吸着用溝１１１で開口する第１の貫通孔１１２と、裏面にメインチャック６の真空吸着部に対応させて形成された第２の吸着用溝１１３と、第１の吸着用溝１１１と第２の吸着用溝１１３を連通する第２の貫通孔１１４とを有するため、従来のようにソフトウエアが手作業に対応していなくても、アンロードテーブル１０にウエハ搬送具１１を載せ、このウエハ搬送具１１に割れウエハＷを載せれば、ピンセット４及びメインチャック６を介してアンロードテーブル１０内のウエハ搬送具１１と割れウエハＷを一緒に割れウエハＷの検査位置まで自動的に搬送し、割れウエハＷを検査した後、ピンセット４及びメインチャック６を介してウエハ搬送具１１と割れウエハＷをアンロードテーブル１０内に自動的に戻すことができ、従来のようにプローバ室２を開放して割れウエハＷを手作業でメインチャック６上に載置したり、メインチャック６から割れウエハＷを回収する必要がなく、検査の安全性を確保することができる。
【００３７】
また、本実施形態によれば、第１の吸着用溝１１１は、同心円状に形成された６個の環状溝１１１Ａと、これらの環状溝１１１Ａを連絡する第１の連絡溝１１１Ｂとを有するため、ウエハ搬送アーム１１及び割れウエハＷをピンセット４を介して搬送する際に、ピンセット４を介して第１の貫通孔１１２から真空引きするだけで全ての環状溝１１１Ａ及び第１の連絡溝１１１Ｂを確実に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハＷの双方を確実にピンセット４上に吸着、固定することができる。また、第１の吸着用溝１１１は第２の貫通孔１１４間を連絡する第２の連絡溝１１１Ｃを有するため、ウエハ搬送アーム１１及び割れウエハＷをメインチャック６を介して搬送する際に、メインチャック６を介して第２の貫通孔１１４から真空引きするだけで全ての環状溝１１１Ａ及び第１、第２の連絡溝１１１Ｂを確実に真空引きしてウエハ搬送具１１及び割れウエハＷの双方を確実にメインチャック６上に吸着、固定することができる。更に、ウエハ搬送具１１の表面に割れウエハＷの向きを決める位置決めライン１１５を設けると共にアンロードテーブル１０の表面に位置決めライン１１５に対応する矢印１０１を設けたため、アンロードテーブル１０内にウエハ搬送具１１及び割れウエハＷを載置する時に、これら両者１１、Ｗのプリアライメントを行うことができる。
【００３８】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、第１、第２の吸着用溝１１１、１１３及び第１、第２の貫通孔１１２、１１４は適宜それぞれの形態を変更することができる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明によれば、割れウエハ等の不定形ウエハであってもウエハ収納テーブルに不定形ウエハを収納するだけでウエハ収納テーブルとメインチャック（検査用の載置台）との間で不定形ウエハを自動搬送し、不定形ウエハを確実且つ安全に検査することができるウエハ搬送具及びウエハ搬送システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のウエハ搬送システムの一実施形態の概念を示す斜視図である。
【図２】図１に示すウエハ搬送具を示す図で、（ａ）はその表面を示す平面図、（ｂ）はその裏面を示す平面図である。
【図３】図２に示すウエハ搬送具の環状溝と第１の貫通孔の関係を示す図で、（ａ）はその要部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
【図４】本発明のウエハ搬送システムのアンロードテーブルを示す図で、（ａ）はその表面を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線方向の断面図である。
【図５】図２に示すウエハ搬送具の第１の貫通孔と搬送アームとの関係を示す平面図である。
【図６】プローブ装置の一例を示す図で、（ａ）はその正面の一部を破断して示す正面図、（ｂ）はその内部の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
４ 搬送アーム
６ メインチャック（検査用載置台）
１０ アンロードテーブル（ウエハ収納テーブル）
１１ ウエハ搬送具
１１１ 第１の吸着用溝
１１１Ａ 環状溝
１１１Ｂ 第１の連絡溝
１１１Ｃ 第２の連絡溝
１１２ 第１の貫通孔
１１３ 第２の吸着用溝
１１４ 第２の貫通孔
Ｗ 割れウエハ（不定形ウエハ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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