(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部スタンプに置かれた被加圧対象物を加圧する上部スタンプが駆動されるようにする加圧シートと、
圧力発生装置から発生した圧力を前記加圧シートに伝達する加圧プレートと、
前記圧力発生装置と前記加圧プレートの間に備えられ、前記被加圧対象物と前記上部スタンプの間の平行度の偏差に従い前記加圧プレートと前記加圧シートの間の平行度の偏差を補償し均一な圧力伝達が行われるようにするボールジョイントと、
前記加圧プレートと前記圧力発生装置を連結し、前記加圧プレートの動きを弾性的に支持するバネ部材を含む圧力伝達装置。
【請求項２】
前記ボールジョイントは、
前記圧力発生装置及び前記加圧プレートのうちいずれかに連結され前記加圧プレートの動きにより所定の角度回転する球面部材と、
前記圧力発生装置及び前記加圧プレートのうち他の一つに連結され前記球面部材を受容して支持し、前記球面部材が回転することを案内する支持ガイドを含むことを特徴とする請求項１に記載の圧力伝達装置。
【請求項３】
前記球面部材及び前記支持ガイドのうち少なくとも一つに備えられ前記球面部材の回転を容易にする潤滑部をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の圧力伝達装置。
【請求項４】
前記加圧プレートと前記加圧シートの間に備えられ前記加圧プレートと前記加圧シートの相対運動による平行度の偏差を補正する点接触手段をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の圧力伝達装置。
【請求項５】
前記点接触手段は、
前記加圧プレートと前記加圧シートに対して夫々点接触し前記加圧シートの動きにより回転し前記加圧プレートが前記加圧シートに対して実質的に均一に圧力を伝達するようにするボール部材を含むことを特徴とする請求項４に記載の圧力伝達装置。
【請求項６】
前記点接触手段は、
前記加圧プレートと前記加圧シートに対して夫々点接触し、前記加圧プレートの重心を基準に実質的に同じ角度で配置され前記加圧プレートが前記加圧シートに対して実質的に均一に圧力を伝達するようにする複数のボール部材を含むことを特徴とする請求項４に記載の圧力伝達装置。
【請求項７】
前記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより前記加圧シートを上向移動させるように支持する支持手段をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の圧力伝達装置。
【請求項８】
前記支持手段は、
前記加圧プレートと一体にまたは結合し備えられ、前記加圧シートの下端を支持するように備えられるシート支持部を含むことを特徴とする請求項７に記載の圧力伝達装置。
【請求項９】
前記加圧シートは、その側面に設けられる溝部を含み、
前記支持手段は、前記加圧プレートと一体に、または結合し備えられ前記溝部に挿入され前記加圧シートを支持するシート支持部を含むことを特徴とする請求項７に記載の圧力伝達装置。
【請求項１０】
前記シート支持部は、前記上部スタンプと前記被加圧対象物が分離されるときの衝撃を緩和するようにする緩衝部材を含むことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の圧力伝達装置。
【請求項１１】
前記支持手段は、
前記シート支持部と前記加圧シートの下端を連結し前記シート支持部が前記加圧シートを弾性支持するようにする弾性部材をさらに含むことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の圧力伝達装置。
【請求項１２】
前記支持手段は、
前記シート支持部と前記加圧シートの間に備えられ前記シート支持部と前記加圧シートの間に発生する平行度の偏差を補償するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする請求項８または請求項９に記載の圧力伝達装置。
【請求項１３】
前記加圧プレートと連結される複数のサブボールジョイントと、
前記各サブボールジョイントと夫々連結され、前記各サブボールジョイントを通じ伝達を受けた圧力を前記加圧シートに伝達するサブ加圧プレートをさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の圧力伝達装置。
【請求項１４】
前記各サブ加圧プレートと前記加圧シートに対して夫々点接触し、前記サブ加圧プレートと前記加圧シートの相対運動による平行度の偏差を補正する複数のボール部材をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の圧力伝達装置。
【請求項１５】
前記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより前記加圧シートを上向移動させるように支持する支持手段をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の圧力伝達装置。
【請求項１６】
前記支持手段は、
前記加圧プレートまたは前記サブ加圧プレートと一体に、または結合し備えられ前記加圧シートを支持するように備えられるシート支持部を含むことを特徴とする請求項１５に記載の圧力伝達装置。
【請求項１７】
前記シート支持部は、
前記上部スタンプと前記被加圧対象物が分離されるときの衝撃を緩和するようにする緩衝部材を含むことを特徴とする請求項１６に記載の圧力伝達装置。
【請求項１８】
前記支持手段は、
前記シート支持部と前記加圧シートの下端の間に備えられ前記上部スタンプと前記被加圧対象物が分離されるとき前記シート支持部と前記加圧シートの間に発生する平行度の偏差を補正するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の圧力伝達装置。
【請求項１９】
圧力を発生させる圧力発生装置と、
被加圧対象物が置かれる下部スタンプ及び前記被加圧対象物に密着して圧力を伝達する上部スタンプと、
前記上部スタンプが駆動されるようにする加圧シートと、前記圧力発生装置から発生した圧力を前記加圧シートに伝達する加圧プレートと、前記圧力発生装置と前記加圧プレートの間に備えられ、前記被加圧対象物と前記上部スタンプの間の平行度の偏差に従い前記加圧プレートと前記加圧シートの間の平行度の偏差を補償し均一な圧力伝達が行われるようにするボールジョイントを含む圧力伝達装置と、
前記加圧プレートと前記圧力発生装置を連結し、前記加圧プレートの動きを弾性的に支持するバネ部材を含む薄型部品の製造装置。
【請求項２０】
前記圧力伝達装置は、
前記加圧プレートと前記加圧シートの間に備えられ前記加圧プレートと前記加圧シートの相対運動による平行度の偏差を補正するボール部材をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２１】
前記圧力伝達装置は、
前記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより前記加圧シートを上向移動させるように支持するシート支持部をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２２】
前記圧力伝達装置は、
前記シート支持部と前記加圧シートを連結し前記シート支持部が前記加圧シートを弾性支持するようにする弾性部材をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２３】
前記圧力伝達装置は、
前記シート支持部と前記加圧シートの間に備えられ前記シート支持部と前記加圧シートの間に発生する平行度の偏差を補償するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２４】
前記圧力発生装置は、
圧力発生部と、
前記圧力発生部を支持する支持部材と、
前記支持部材に連結され、前記圧力発生部と前記支持部材の上下方向の動きをガイドするガイド部を含むことを特徴とする請求項１９乃至請求項２３のいずれかに記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２５】
前記加圧シートと前記上部スタンプを連結し前記加圧シートに伝達される圧力を前記上部スタンプに伝達するシャフトと、
前記シャフトの移動をガイドし前記上部スタンプの前記被加圧対象物に対する位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする請求項１９乃至請求項２３のいずれかに記載の薄型部品の製造装置。
【請求項２６】
前記位置調節部を支持する支持シートと、
前記位置調節部と前記支持シートに夫々点接触され前記シャフトの動きにより前記位置調節部の動きを調節する位置調節ボールをさらに含むことを特徴とする請求項２５に記載の薄型部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力伝達装置及びこれを備える薄型部品の製造装置に関するもので、より詳細にはレンズやウェーハレンズまたはレンズモジュールやその他の各種薄型部品を製造するための圧力伝達装置及びこれを備える薄型部品の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、各種電子製品が小型化、薄型化されてその電子製品に用いられる部品の大きさも非常に小さく製造され薄型化されている傾向である。
【０００３】
このような薄型部品、特に複数のレンズアレイからなるウェーハレンズを製造、またはウェーハ単位ではない個別的にレンズを製造する場合に、レンズウェーハにレンズの製造のための素材を投入しこれを加圧治具を用いて加圧する。
【０００４】
また、移動通信端末機等に用いられる小型カメラモジュール等のための薄型レンズモジュール等を製造する場合、薄型レンズに接着剤を塗布しチップを載せ加圧治具を用いて加圧する。
【０００５】
しかし、このような加圧過程において被加圧対象物、即ち、上記例においてレンズウェーハやレンズモジュール等に均一に圧力が伝達されず圧力がいずれかに偏るという問題点があった。
【０００６】
即ち、加圧治具の圧力を非常に高めて被加圧対象物を加圧しても加圧過程において被加圧対象物の構造が変形されることもあり、または初めから被加圧対象物の表面の傾きが加圧治具と異なる場合、加圧過程において加圧治具が伝達する圧力が被加圧対象物の全体に均一に伝達されず被加圧対象物のいずれかに圧力が集中するようになり製品の不良を齎すという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、被加圧対象物の形状や加圧過程において発生する被加圧対象物の構造変形等に関わらず、被加圧対象物の全体に実質的に均一に圧力が伝達するようにする圧力伝達装置とこのような圧力伝達装置を用いて被加圧対象物を加圧し薄型部品を製造する装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による圧力伝達装置は、下部スタンプに置かれた被加圧対象物を加圧する上部スタンプが駆動されるようにする加圧シートと、圧力発生装置から発生した圧力を上記加圧シートに伝達する加圧プレートと、上記圧力発生装置と上記加圧プレートの間に備えられ、上記被加圧対象物と上記上部スタンプの間の偏差に従い上記加圧プレートと上記加圧シートの間の偏差を補償し均一な圧力伝達が行われるようボールジョイントを含む。
【０００９】
また、上記ボールジョイントは、上記圧力発生部及び上記加圧プレートのうちいずれかに連結され上記加圧プレートの動きにより所定の角度回転する球面部材と、上記圧力発生部及び上記加圧プレートのうち他の一つに連結され上記球面部材を受容して支持し、上記球面部材が回転することを案内する支持ガイドを含むことを特徴とする。
【００１０】
また、上記球面部材及び上記支持ガイドのうち少なくとも一つに備えられ上記球面部材の回転を容易にする潤滑部をさらに含むことを特徴とする。
【００１１】
また、上記加圧プレートと上記加圧シートの間に備えられ上記加圧プレートと上記加圧シートの相対運動による偏差を補正する点接触手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
また、上記点接触手段は、上記加圧プレートと上記加圧シートに対して夫々点接触し上記加圧シートの動きにより回転し上記加圧プレートが上記加圧シートに対して実質的に均一に圧力を伝達するようにするボール部材を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、上記点接触手段は、上記加圧プレートと上記加圧シートに対して夫々点接触し、上記加圧プレートの重心を基準に実質的に同じ角度で配置され上記加圧プレートが上記加圧シートに対して実質的に均一に圧力を伝達するようにする複数のボール部材を含むことを特徴とする。
【００１４】
また、上記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより上記加圧シートを上向移動させるように支持する支持手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１５】
また、上記支持手段は、上記加圧プレートと一体に、または結合し備えられ、上記加圧シートの下端を支持するように備えられるシート支持部を含むことを特徴とする。
【００１６】
また、上記加圧シートは、その側面に設けられる溝部を含み、上記支持手段は上記加圧プレートと一体に、または結合し備えられ上記溝部に挿入され上記加圧シートを支持するシート支持部を含むことを特徴とする。
【００１７】
また、上記シート支持部は、上記上部スタンプと上記被加圧対象物が分離されるときの衝撃を緩和するようにする緩衝部材を含むことを特徴とする。
【００１８】
また、上記支持手段は、上記シート支持部と上記加圧シートの下端を連結し上記シート支持部が上記加圧シートを弾性支持するようにする弾性部材をさらに含むことを特徴とする。
【００１９】
また、上記支持手段は、上記シート支持部と上記加圧シートの間に備えられ上記シート支持部と上記加圧シートの間に発生する偏差を補償するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする。
【００２０】
また、上記加圧プレートと上記圧力発生装置を連結し上記加圧プレートの動きを弾性的に支持するバネ部材をさらに含むことを特徴とする。
【００２１】
また、上記加圧プレートと連結される複数のサブボールジョイントと、上記各サブボールジョイントと夫々連結され、上記各サブボールジョイントを通じ伝達された圧力を上記加圧シートに伝達するサブ加圧プレートをさらに含むことを特徴とする。
【００２２】
また、上記各サブ加圧プレートと上記加圧シートに対して夫々点接触し、上記サブ加圧プレートと上記加圧シートの相対運動による偏差を補正する複数のボール部材をさらに含むことを特徴とする。
【００２３】
また、上記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより上記加圧シートを上向移動させるように支持する支持手段をさらに含むことを特徴とする。
【００２４】
また、上記支持手段は、上記加圧プレートまたは上記サブ加圧プレートと一体にまたは結合し備えられ上記加圧シートを支持するように備えられるシート支持部を含むことを特徴とする。
【００２５】
また、上記シート支持部は、上記上部スタンプと上記被加圧対象物が分離されるときの衝撃を緩和するようにする緩衝部材を含むことを特徴とする。
【００２６】
また、上記支持手段は、上記シート支持部と上記加圧シートの下端の間に備えられ上記上部スタンプと上記被加圧対象物が分離されるとき上記シート支持部と上記加圧シートの間に発生する偏差を補正するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする。
【００２７】
一方、本発明による薄型部品の製造装置は、圧力を発生させる圧力発生装置と、被加圧対象物が置かれる下部スタンプ及び上記被加圧対象物に密着して圧力を伝達する上部スタンプと、上記上部スタンプが駆動されるようにする加圧シートと、上記圧力発生装置から発生した圧力を上記加圧シートに伝達する加圧プレートと、上記圧力発生装置と上記加圧プレートの間に備えられ、上記被加圧対象物の厚さ偏差による上記上部スタンプと上記加圧シートの傾きにより上記加圧プレートが傾くようにし上記加圧シートに均一な圧力が伝達されるようにするボールジョイントを含む圧力伝達装置を含む。
【００２８】
また、上記圧力伝達装置は、上記加圧プレートと上記加圧シートの間に備えられ上記加圧プレートと上記加圧シートの相対運動による偏差を補正するボール部材をさらに含むことを特徴とする。
【００２９】
また、上記圧力伝達装置は、上記圧力発生装置において逆方向の圧力が発生することにより上記加圧シートを上向移動させるように支持するシート支持部をさらに含むことを特徴とする。
【００３０】
また、上記圧力伝達装置は、上記シート支持部と上記加圧シートを連結し上記シート支持部が上記加圧シートを弾性支持するようにする弾性部材をさらに含むことを特徴とする。
【００３１】
また、上記圧力伝達装置は、上記シート支持部と上記加圧シートの間に備えられ上記シート支持部と上記加圧シートの間に発生する偏差を補償するボールポイント部をさらに含むことを特徴とする。
【００３２】
また、上記圧力発生装置は、圧力発生部と、上記圧力発生部を支持する支持部材と、上記支持部材に連結され、上記圧力発生部と上記支持部材の上下方向の動きをガイドするガイド部を含むことを特徴とする。
【００３３】
また、上記加圧シートと上記上部スタンプを連結し上記加圧シートに伝達される圧力を上記上部スタンプに伝達するシャフトと、上記シャフトの移動をガイドし上記上部スタンプの上記被加圧対象物に対する位置を調節する位置調節部をさらに含むことを特徴とする。
【００３４】
また、上記位置調節部を支持する支持シートと、上記位置調節部と上記支持シートに夫々点接触され上記シャフトの動きにより上記位置調節部の動きを調節する位置調節ボールをさらに含むことを特徴とする。
【００３５】
また、上記加圧シートから伝達される圧力を上記上部スタンプに伝達し、上記被加圧対象物の密着面の傾きに従い上記上部スタンプが傾けられるようにし上記被加圧対象物の全体に実質的に均一に圧力が分配されるようにする圧力分配装置をさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明による圧力伝達装置及びこれを備える薄型部品の製造装置は、被加圧対象物の形状や加圧過程において発生する被加圧対象物の構造変形等に関わらず、被加圧対象物の全体に実質的に均一に圧力が伝達されるようにし薄型部品の生産性を向上させ良質の部品生産ができるようにする効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
本発明による圧力伝達装置及びこれを備える薄型部品の製造装置に関する実施例を図面を参照してより具体的に説明する。
【００３８】
先ず図１及び図２を参照して本発明の一実施例による圧力伝達装置が備えられた薄型部品の製造装置に関して説明する。ここで、図１は本発明の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面で、図２は図１のＩ−Ｉ断面に関し示した図面である。
【００３９】
図１に図示されたように、本発明の一実施例による薄型部品の製造装置は、圧力発生装置２０、圧力伝達装置３０、上部スタンプ７０及び下部スタンプ９０等を含んでなる。
【００４０】
ここで上記下部スタンプ９０には被加圧対象物、例えば、ウェーハレンズを製造するためのレンズウェーハが置かれるか、又はレンズモジュールを製造するためにチップを取り付けるレンズが置かれる。または、チップが下部スタンプ９０に置かれ、レンズが上記チップに取り付けられるようにすることも可能である。
【００４１】
一方、図１に図示されたように、本発明の一実施例による薄型部品の製造装置は、圧力伝達装置３０と上部スタンプ７０を連結するシャフト５０と、上記シャフト５０の位置を調節する位置調節装置４０等をさらに含むことができる。
【００４２】
そして、被加圧対象物に所定の素材を投入、又は接着剤や密封剤等を投入するために素材投入装置１２０が備えられることもでき、素材を硬化させるようにする素材硬化装置１００が備えられることもできる。
【００４３】
また、図１に図示されたように、上記各構成部品を受容するように胴体部１０が備えられることができ、上記胴体部１０の内部に支持部１１を備え位置調節装置４０を支持し、作業台１２を備え下部スタンプ９０を固定させるようにすることも可能である。
【００４４】
以下、上記の夫々の構成部品の構造と機能等に関してより具体的に説明する。
【００４５】
図１に図示されたように、圧力発生装置２０は、所定の圧力を発生させる圧力発生部２１と、上記圧力発生部２１において発生した圧力が下方向に正確に伝達されるように案内する圧力ガイド２２とガイドバー２３、そして上記圧力伝達装置３０を圧力発生装置２０と連結させ支持する支持部材２４を含む。
【００４６】
上記圧力発生部２１は、所定の荷重を負荷する装置で、そのときガイドバー２３は上記圧力発生部２１と共に上向または下向に移動する。そして上記ガイドバー２３の移動が正確に行われるように上記圧力ガイド２２が案内する。
【００４７】
一方、上記圧力伝達装置３０は、上記支持部材２４と連結されるボールジョイント３００と、加圧プレート３３、加圧シート５４、そしてシート支持部３５を含んでなる。
【００４８】
上記ボールジョイント３００は、支持部材２４及び加圧プレート３３のうちいずれかに備えられる球面部材３１と、支持部材２４及び加圧プレート３３のうち他の一つに備えられ上記球面部材３１を受容して支持する支持ガイド３２を含む。
【００４９】
上記球面部材３１は、上記支持ガイド３２に受容され上下方向と左右方向に事由に回転することができ、このような球面部材３１の回転を上記支持ガイド３２が案内する。
【００５０】
即ち、上記球面部材３１は、回転しながら上記支持ガイド３２に対してスライディングし、上記支持ガイド３２はこのような球面部材３１のスライディングを案内する。上記球面部材３１と上記支持ガイド３２の間には、スライディングが容易に行われるように潤滑剤等が介在されるようにすることが好ましい。
【００５１】
一方、上記ボールジョイントの作用を説明する前に、上部スタンプ７０と被加圧対象物８０の間の作用について先ず説明する。
【００５２】
被加圧対象物８０は、その表面の平行度が上部スタンプ７０の平行度と正確に一致することもできるが、ある程度偏差があることもできる。また平行度が正確に一致しても上部スタンプ７０により被加圧対象物８０が加圧される過程において被加圧対象物８０の構造変更等により平行度が一致しなくなることがある。
【００５３】
このように、上部スタンプ７０と被加圧対象物８０の間の平行度において偏差が発生する場合、上記上部スタンプ７０は、このような偏差を補償するためにその偏差に相当するほど傾き、被加圧対象物８０の全体に上部スタンプ７０が実質的に均一に圧力を加えることができるようになる。
【００５４】
この時、上部スタンプ７０が所定の角度傾き、上記圧力発生装置２０において発生した圧力が上記上部スタンプ７０に偏差なく伝達されるようにするのが上記圧力伝達装置３０である。
【００５５】
即ち、圧力伝達装置３０のボールジョイント３００は、被加圧対象物８０により上部スタンプ７０が傾き、加圧シート５４が傾くことを補償して加圧プレート３３も実質的に同一の偏差ほど傾くようにし、上記圧力発生部２１において発生した圧力が加圧シート５４に均一に伝達されるようにし、上記加圧シート５４に伝達される圧力は上記上部スタンプ７０に均一に伝達されるようにし、上記上部スタンプ７０が被加圧対象物８０を均一に加圧することができるようにする。
【００５６】
一方、上記圧力伝達装置３０の加圧プレート３３と加圧シート５４の間には点接触手段が備えられるようにすることが好ましい。
【００５７】
上記点接触手段は、上記上部スタンプ７０の傾きによる上記加圧シート５４と加圧プレート３３の相対的な運動を補償し互いに偏差が生じないようにし均一な圧力伝達が行われるようにする。
【００５８】
具体的に上記点接触手段は、上記加圧プレート３３と上記加圧シート５４の間に複数備えられるボール部材３４を含むようにすることが好ましい。
【００５９】
図１のＩ−Ｉ断面に関し図２で図示しているが、図２に図示されたように加圧シート５４の重心と加圧プレート３３の重心を実質的に一致させてその重心から同じ角度で３個のボール部材３４を夫々配置することにより加圧プレート３３が加圧シート５４を均一に加圧できるようにすることができる。
【００６０】
図２に図示された実施例ではボール部材３４が３個備えられる場合に関して示しているが、必ずこれに限らず加圧プレート３３が加圧シート５４を均一に加圧できるように支持する構造であれば全て含む。
【００６１】
例えば、加圧プレート３３の重心を基準にボール部材３４が４個備え、正方形の形に配置することもでき、ボール部材３４を５個備え正五角形の形に配置することもできる。
【００６２】
一方、上記加圧プレート３３が加圧シート５４を加圧し下方向に移動させ上部スタンプ７０が被加圧対象物８０を加圧した後、被加圧対象物８０から上部スタンプ７０を分離する場合がある。
【００６３】
このとき、圧力発生装置２０は、逆方向の圧力を発生させ加圧シート５４を上方向に移動させ上部スタンプ７０が被加圧対象物８０から分離されるようにする。
【００６４】
上記加圧シート５４を上方向に移動させるための構造物として上記圧力伝達装置３０は支持手段を備える。
【００６５】
図１に図示された実施例では、上記の支持手段としてシート支持部３５に関し開示している。
【００６６】
上記シート支持部３５は、加圧プレート３３に結合または加圧プレート３３と一体に形成され、加圧シート５４の下端を支持するように構成される。
【００６７】
従って、圧力発生装置２０において逆方向の圧力が発生する場合、上記シート支持部３５が加圧シート５４を支持している状態で上方向に移動することにより上記加圧シート５４も上方向に移動されるようにする。
【００６８】
このとき、上記シート支持部３５は、上記上部スタンプ７０と上記被加圧対象物８０が分離されるときの衝撃を緩和するように所定の緩衝部材、例えば、弾性体からなるようにすることが好ましい。
【００６９】
一方、図１に図示された実施例においては、上記加圧シート５４と圧力分配装置６０がシャフト５０により連結されている場合に関し図示している。ここで、シャフト５０は圧力を伝達する部材で、その形状や構造はいかなるものも含む。
【００７０】
以下図１に図示された実施例による薄型部品の製造装置の作動に関し説明する。
【００７１】
先ず、下部スタンプ９０に被加圧対象物８０が置かれる。このとき、被加圧対象物８０はウェーハレンズを製造するための複数のレンズ製造ホールがアレイされ設けられるレンズウェーハである場合を一例として説明する。
【００７２】
被加圧対象物８０であるレンズウェーハに素材投入装置１２０からレンズ製造のための素材が投入される。
【００７３】
そして圧力発生装置２０の圧力発生部２１が下方向に移動しながら圧力を発生させるが、このとき、ガイドバー２３が圧力ガイド２２によりガイドされ圧力発生部２１が一定に下方向に移動する。
【００７４】
そして、上記圧力発生装置２０により発生した圧力は、圧力伝達装置３０とシャフト５０、そして圧力分配装置６０を通じて上部スタンプ７０に伝達され、上記上部スタンプ７０が下方向に移動しながら被加圧対象物８０を加圧する。
【００７５】
このとき、上部スタンプ７０と被加圧対象物８０の間に平行度の偏差が発生すると、上記圧力分配装置６０により上記上部スタンプ７０が上記被加圧対象物８０との偏差に相当するほど傾くようになり、上記上部スタンプ７０とシャフト５０により連結された加圧シート５４も実質的に同じ偏差で傾くようになる。
【００７６】
そして加圧シート５４と共に加圧プレート３３が傾くようになるが、このときボールジョイント３００は、上記加圧プレート３３が傾くように所定の角度回転する。
【００７７】
上記加圧プレート３３と加圧シート５４の間には、ボール部材３４が備えられ上記加圧プレート３３と上記加圧シート５４の間の相対運動を補償するように回転することにより上記加圧プレート３３が加圧シート５４を均一に加圧することができるようにする。
【００７８】
一方、被加圧対象物８０から上部スタンプ７０を分離する場合、圧力発生装置２０の圧力発生部２１が上方向に移動しながら逆方向の圧力を発生させる。
【００７９】
このとき、加圧プレート３３が持ち上がるようになり、シート支持部３５は加圧シート５４を弾力支持し加圧シート５４を上に持ち上げる。
【００８０】
上記上部スタンプ７０が被加圧対象物８０に密着された状態で分離されるため、分離されるとき瞬間的に衝撃が発生することがあるが、上記シート支持部３５がこのような衝撃を緩和させる。
【００８１】
一方、被加圧対象物、即ち、レンズ素材が充填されたレンズウェーハに対し素材硬化装置１００が所定の光を照射し素材を硬化させレンズを作る。
【００８２】
このとき、素材硬化装置１００は、紫外線等を照射するランプ装置で具現され、上記下部スタンプ９０は上記ランプ装置から照射する光が通過できるように透明な材質からなることが好ましい。
【００８３】
上記のような過程を経てレンズ全体の平行度が一定の良質のレンズを製造することができるようになる。
【００８４】
一方、上記位置調節装置４０は、圧力発生装置２０において発生する圧力の方向に従いシャフト５０が上、または下へ移動することをガイドし、上部スタンプ７０が正確な位置で被加圧対象物８０を加圧するように位置を調節する。
【００８５】
上記位置調節装置４０は、シャフト５０をガイドし側面側に延長され形成される位置調節部４１と、胴体部１０の支持部１１の上に設けられる支持シート４３と上記位置調節部４１の間に備えられる位置調節ボール４２を含んでなる。
【００８６】
上記位置調節ボール４２は、上記位置調節部４１がｘｙ平面（シャフト５０がｚ軸方向に備えられるとすると）方向に自由に移動することができるようにしシャフト５０及び上部スタンプ７０が位置を調節することができるように支持する。
【００８７】
そして、上記位置調節ボール４２は、上部スタンプ７０が被加圧対象物８０を加圧するとき発生する偏差によりシャフト５０が圧力伝達に容易な方向に動くことができるように上記位置調節部４１が移動できるようにする。
【００８８】
一方、図３を参照し本発明の他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し説明する。
【００８９】
図３に図示された本発明の他の一実施例による薄型部品の製造装置は、基本的に図１に図示された実施例による薄型部品の製造装置と同一で、圧力発生装置２０において差異がある。
【００９０】
従って、差異のある部分に関する説明を具体的にし、図１に図示された実施例と同一で、重なる部分に関する説明は省略する。
【００９１】
図３に図示されたように、本発明の他の一実施例による薄型部品の製造装置の圧力発生装置２０は、圧力発生部２１と、これを支持する支持部材２４、そして上記支持部材２４と連結され上記圧力発生部２１の圧力方向を一定に維持させる圧力ガイド２２を含んでなる。
【００９２】
上記圧力ガイド２２は、胴体部１０の支持部１１と胴体部１０の上部を連結して備えられる。
【００９３】
従って、圧力発生部２１から下に移動する場合、支持部材２４は圧力ガイド２２に従って一定の方向に下に移動することができるようにし、圧力発生部２１が上に移動する場合にも圧力ガイド２２に従って支持部材２４が一定に上に移動することができるようにする。
【００９４】
一方、図４を参照して本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し説明する。
【００９５】
図４に図示された実施例による薄型部品の製造装置は、圧力発生装置２０、圧力伝達装置３０、シャフト５０、上部スタンプ７０及び下部スタンプ９０、そして素材硬化装置１００等を含む。素材投入装置に関する構成は省略した。
【００９６】
本実施例による圧力発生装置２０に関しては図２に図示された実施例による圧力発生装置と実質的に同一であるため、具体的な説明を省略する。
【００９７】
上記圧力伝達装置３０も基本的にボールジョイント３００と加圧プレート３３、加圧シート、ボール部材３４、そしてシート支持部３５を含んでなる。
【００９８】
そして、圧力発生装置２０の支持部材２４と圧力伝達装置３０の加圧プレート３３がバネ部材３６により連結され上記加圧プレート３３が弾力支持される構成である。
【００９９】
そして本実施例において加圧シートとして加圧シート部材５５が備えられる。
【０１００】
上記加圧シート部材５５は、その側面に溝部５６が設けられることが特徴である。従って、上記シート支持部３５は上記加圧シート部材５５の溝部５６に挿入され固定されることができる。
【０１０１】
本実施例でも上記シート支持部３５は、所定の弾性体からなることが好ましい。
【０１０２】
一方、本実施例による薄型部品の製造装置の作動に関し説明する。
【０１０３】
圧力発生装置２０において圧力が発生し上部スタンプ７０が被加圧対象物８０に密着されながら平行度の偏差が発生する場合、上記上部スタンプ７０がそのような偏差を補償するように傾くことができるようにボールジョイント３００が回転し加圧プレート３３を所定の角度傾くようにする。
【０１０４】
そして、これにより加圧シート部材５５が傾くが、このときボール部材３４が回転しながら上記加圧プレート３３と加圧シート部材５５の間の相対運動による偏差が補正されることができる。
【０１０５】
そして、上記のような作動により上部スタンプ７０は被加圧対象物８０との偏差ほど傾くようになることができ、被加圧対象物８０の全体に均一に圧力を加えることができる。
【０１０６】
上部スタンプ７０を被加圧対象物８０から分離する場合、圧力発生装置２０において逆方向の圧力を発生させると、加圧プレート３３が上に持ち上がりながらシート支持部３５が加圧シート５４を弾力支持しながら上に持ち上げ、上部スタンプ７０も共に上に移動する。
【０１０７】
上記のように、加圧が全て行われた後には、素材硬化装置１００から光を照射し被加圧対象物８０に投入された素材を硬化させる。このとき下部スタンプ９０は透明な材質からなることが好ましい。
【０１０８】
一方、図５を参照し本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し説明する。
【０１０９】
図５に図示された実施例による薄型部品の製造装置は、基本的に図４に図示された実施例による薄型部品の製造装置と同一である。但し、圧力伝達装置３０の構成において差異がある。
【０１１０】
従って、本実施例による薄型部品の製造装置に関し、図４に図示された実施例と実質的に同一であるため、重なる部分に関する説明は省略する。
【０１１１】
図４に図示された実施例に備えられるバネ部材３６は、本実施例において備えることも、除外させることも可能である。
【０１１２】
図５に図示されたように、圧力伝達装置３０は、加圧シート５４とシート支持部３５の間にボールポイント部３７をさらに含むことを特徴とする。
【０１１３】
上記ボールポイント部３７は、シート支持部３５と加圧シート５４の間に発生する偏差を補償し上記シート支持部３５と加圧シート５４の相対運動に従い回転する。
【０１１４】
上記ボールポイント部３７は、ボール部材３４が加圧プレート３３と加圧シート５４の間の偏差を補償することをより容易にできるようにシート支持部３５と加圧シート５４の間の偏差を補償する。
【０１１５】
その他には、図４に図示された実施例の場合と実質的に同一で、作動も実質的に同一であるため、具体的に説明は省略する。
【０１１６】
一方、図６を参照して本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し説明する。
【０１１７】
図６に図示された実施例による薄型部品の製造装置は、基本的に図５に図示された実施例による薄型部品の製造装置と同一である。但し、圧力伝達装置３０の構成において差異がある。
【０１１８】
従って、本実施例による薄型部品の製造装置に関し図５に図示された実施例と実質的に同一であるため、重なる部分に関する説明は省略する。
【０１１９】
図６に図示されたように、圧力伝達装置３０は、加圧シート５４とシート支持部３５の間に弾性部材３８をさらに含むことを特徴とする。
【０１２０】
上記弾性部材３８は、上記加圧シート５４が持ち上がりながら上部スタンプ７０が被加圧対象物８０に衝撃を与えないように緩衝作用をする。
【０１２１】
一方、図７を参照して本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し説明する。
【０１２２】
図７に図示された実施例による薄型部品の製造装置は、基本的に図５及び図６に図示された実施例による薄型部品の製造装置と同一である。但し、圧力伝達装置３０の構成において差異がある。
【０１２３】
従って、本実施例による薄型部品の製造装置に関し図５及び図６に図示された実施例と実質的に同一であるため、重なる部分に関する説明は省略し圧力伝達装置３０に関して具体的に説明する。
【０１２４】
図７に図示されたように、本実施例による薄型部品の製造装置の圧力伝達装置３０は階層的構造のボールジョイントと加圧プレートの構造である。
【０１２５】
即ち、ボールジョイント３００が加圧プレート３３と連結され、上記加圧プレート３３は、第１サブボールジョイント３１ａ、３２ａと第２サブボールジョイント３１ｂ、３２ｂと連結される。
【０１２６】
上記第１サブボールジョイント３１a、３２ａは、第１サブ加圧プレート３３ａと連結され、上記第２サブボールジョイント３１ｂ、３２ｂは第２サブ加圧プレート３３ｂと連結される。
【０１２７】
上記第１サブ加圧プレート３３ａと加圧シート５４の間にはボール部材３４ａが介在され、上記第２サブ加圧プレート３３ｂと加圧シート４の間にはさらに他のボール部材３４ｂが介在される。
【０１２８】
従って、加圧シート５４の面積が大きい場合、上記のような階層的構造を通じ圧力が伝達されるようにし、効果的に、均一な圧力伝達ができるようにすることができる。
【０１２９】
一方、図７に図示されたように、第１サブ加圧プレート３３ａには加圧シート５４の一側を支持する第１シート支持部３５ａが結合、または一体に備えられ第２サブ加圧プレート３３ｂには、加圧シート５４の他側を支持する第２シート支持部３５ｂが結合、または一体に備えられる。
【０１３０】
上記第１シート支持部３５ａと加圧シート５４の一側の下端の間に、そして上記第２シート支持部３５ｂと加圧シート５４の他側の下端の間には夫々ボールポイント部や弾性部材が備えられることが可能である。
【０１３１】
上記各実施例で具体的に説明したように、本発明による薄型部品の製造装置は、上部スタンプが被加圧対象物を加圧するとき発生する偏差を、圧力伝達装置のボールジョイント、加圧プレートと加圧シートの間のボール部材、そしてシート支持部と加圧シートの間のボールポイント部等の構成により容易に補償することができるようにし被加圧対象物に対する圧力伝達が実質的に均一に行われることができるようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】本発明の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図２】図１のＩ−Ｉの断面を示した図面である。
【図３】本発明の他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図４】本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図５】本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図６】本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図７】本発明のさらに他の一実施例による薄型部品の製造装置に関し概略的に示した図面である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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