(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともミラーを有する可動部と、前記可動部を固定部材に対して第１の軸及び前記第１の軸と垂直な第２の軸回りに傾き可能に支持する支持手段と、前記可動部を前記第１の軸回りに駆動する第１の駆動手段と、前記第２の軸回りに駆動する第２の駆動手段を有するガルバノミラーにおいて、
前記可動部の重心は前記第１の軸及び前記第２の軸上に位置し、前記支持手段は前記可動部の前記重心に対して前記第１の軸方向に配置すると共に、前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段は、前記重心に対して前記第２の軸方向に配置されていることを特徴とするガルバノミラー装置。
【請求項２】
前記第１の駆動手段と前記第２の駆動手段は前記可動部または前記固定部に配置されたマグネット、第１のコイル及び第２のコイルを有し、前記マグネットは前記第１のコイル及び前記第２のコイルに対向して配置され、前記第１のコイルには前記第１の軸回りの回転トルクが発生し、前記第２のコイルには前記第２の軸回りの回転トルクが発生することを特徴とする請求項１記載のガルバノミラー装置。
【請求項３】
前記第２のコイルは前記第２の回転軸の両側に配置された少なくとも２つのコイルであることを特徴とする請求項２記載のガルバノミラー装置。
【請求項４】
前記第１のコイルと第２のコイルに兼用使用される兼用コイルを有することを特徴とする請求項２記載のガルバノミラー装置。
【請求項５】
前記兼用コイルは４つのコイルを有し、前記兼用コイルは前記第１の回転軸の両側に２個ずつ配置されていると共に、前記兼用コイルは前記第２の回転軸の両側に２個ずつ配置されていることを特徴とする請求項４記載のガルバノミラー装置。
【請求項６】
前記マグネットは、前記第１の駆動手段及び第２の駆動手段に兼用使用されるマグネットを有することを特徴とする請求項２記載のガルバノミラー装置。
【請求項７】
前記支持手段は、前記第１の軸方向に離間して配置されていることを特徴とする請求項１記載のガルバノミラー装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー、光通信用の光偏向器等の光学装置に使用するガルバノミラー装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光磁気ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキャナー、光通信等の光偏光器等の光学装置においては、例えば、光記録媒体に設けられている所定のデータ記録トラックに光束を高精細に投射させるための光束の傾き調整や、光通信で所定の回線に光通信信号を中継するための光通信光束の切替に、反射ミラーの傾きを調整可能とするガルバノミラー装置が使用される。
【０００３】
前記情報記録再生装置に用いられる光ピックアップから光記録媒体に投射される光束の傾き調整用のガルバノミラー装置は、例えば、特開平５−１２６８６号公報に開示されている。
【０００４】
この特開平５−１２６８６号公報に開示されているガルバノミラー装置を図７を用いて説明する。なお、図７は、ガルバノミラー装置の断面図である。
【０００５】
図７に示すガルバノミラー装置は、円形の反射ミラー７４の裏面にロの字状に巻回された複数のコイルからなる電磁コイル７５が反射ミラー７４の中心Ｄ１に対して対称に設けられ、この電磁コイル７５の短辺は反射ミラー７４の側面に折り曲げ固定されている。前記反射ミラー７４は、ミラー支持部７６の上表面に固定されている。このミラー支持部７６は、該支持部７６の裏面中央に形成された一体型の支持柱７７とベース７８を介して、筒状のハウジング７１に取り付けられ、前記支持柱７７にはヒンジ７７ａが設けられている。前記反射ミラー７４は、前記ヒンジ７７ａで任意の方向に傾き回動可能に支持されている。
【０００６】
前記ハウジング７１には、前記反射ミラー７４の側面と対向するようにリング状のバックヨーク７２が設けられ、このバックヨーク７２の内周面に多極着磁マグネット７３が設けられている。この多極着磁マグネット７３は、その磁極が前記反射ミラー７４の側面の設けた電磁コイル７５の折り曲げ部と１対１に対応させて設けられている。
【０００７】
このようなガルバノミラー装置において、前記電磁コイル７５の所望のコイルに電流を供給して、そのコイルの両側で、該コイルと対応する着磁マグネット７３と逆向きの磁界を発生させると、前記反射ミラー７４は、例えば図中の矢印ＳとＴの方向に左手の法則の電磁作用によって逆向きの力が発生し、中心Ｄ１回りの回転トルクを生じさせる。
【０００８】
このようにして、前記電磁コイル７４の複数のコイルに所定の電流を供給し、その複数のコイルに発生する磁界と、前記着磁マグネット７３との電磁作用によって、前記ヒンジ７７ａを中心に任意の方向に傾き回動させることが可能となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特開平５−１２６８６号公報においては、情報記録再生装置に用いる光ピックアップのガルバノミラー装置は、５つの方向に駆動する為の５個のコイルからなる電磁コイル７５の短辺が反射ミラー７４とこの反射ミラー７４を固定するミラー支持部７６の側面を取り囲む様に配置されている。
【００１０】
さらに、前記電磁コイル７５の短辺の周囲を多極着磁マグネツト７３が取り囲むように設けられている。
【００１１】
このため、ガルバノミラー装置の全体形状が大きくなる。
【００１２】
情報記録再生装置の光ピックアップや光偏光器の小型軽量化が望まれ、かつ、ガルバノミラー装置による高精度の光束の傾き調整が求められているが、前述の従来のガルバノミラー装置は大きさが大きくなる課題がある。
【００１３】
本発明は、上記課題に鑑み、ミラーの駆動特性が良好で、全体形状が小型化可能なガルバノミラー装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明のガルバノミラー装置は、少なくともミラーを有する可動部と、前記可動部を固定部材に対して第１の軸及び前記第１の軸と垂直な第２の軸回りに傾き可能に支持する支持手段と、前記可動部を前記第１の軸回りに駆動する第１の駆動手段と、前記第２の軸回りに駆動する第２の駆動手段を有するガルバノミラーにおいて、前記可動部の重心は前記第１の軸及び前記第２の軸上に位置し、前記支持手段は前記可動部の前記重心に対して前記第１の軸方向に配置すると共に、前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動手段は、前記重心に対して前記第２の軸方向に配置されていることを特徴とする。
【００１５】
本発明によりガルバノミラー装置の小型が実現できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施形態を説明する。図１は本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の構成を説明する分解斜視図で、図２は本発明に係るガルバノミラー装置の使用例を説明する説明図で、図３は本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の組立状態を示す正面図で、図４は本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の組立状態を示す側面図である。
【００１７】
最初に図２を用いて、本発明に係るガルバノミラー装置の使用例を光通信用の光路切替装置に適用した例を用いて説明する。ガルバノミラー装置１１は、一本の光ファイバー１３の端部から出射した光通信信号伝送用の光を平行光レンズ１４で平行光１７に変換して、ガルバノミラー装置１１の反射ミラー１２の反射面に投射させる。この反射ミラー１２は、図中第１の回転軸２０と第２の回転軸２１の軸回りに傾き可能となっている。前記反射ミラー１２で反射された反射光１８は、この反射光１８と略垂直な平面上に３段３列に並べた合計９つの集光レンズ１５ａ〜１５ｉのいずれか一つに前記反射ミラー１２の第１と第２の回転軸２０，２１回りへの傾き調整によって、選択的に入射させる。前記複数の集光レンズ１５ａ〜１５ｉそれぞれには、光ファイバ１６ａ〜１６ｉの端部が接続されている。
【００１８】
つまり、前記光ファイバー１３から出射され平行レンズ１４で変換された平行光１７は、前記反射ミラー１２で入射される。この反射ミラー１２は、第１と第２の回転軸２０，２１回りに回転駆動させて、前記集光レンズ１５ａ〜１５ｉのいずれかに反射光１８を入射させるように選択する。選択された集光レンズ１５ａ〜１５ｉのいずれかに入射された反射光１８は、選択された集光レンズ１５ａ〜１５ｉに接続された光ファイバー１６ａ〜１６ｉへと伝送される。
【００１９】
また、図２に示したガルバノミラー装置１１を情報記録再生装置の光ピックアップに用いたとすると、図示していないが、前記集光レンズ１５ａ〜１５ｉを単一の集光レンズとし、この単一の集光レンズに入射させる光を反射ミラー１２を２方向に傾けることにより光記録媒体上の集光レンズの光スポットをトラッキング方向とタンジェンシャル方向に移動させることができる。この光記録媒体に投射する光が光記録媒体に形成されている情報記録トラックに正確に投射させるために、前記反射ミラー１２の第１回転軸２０と第２回転軸２１回りに傾けて調整する。
【００２０】
このような光通信の光路切替装置及び情報記録再生装置の光ピックアップに用いる本発明のガルバノミラー装置１１の具体的構成について図１、図３，及び図４を用いて説明する。
【００２１】
矩形状の反射ミラー１２は、可動部３０に収納固定される。この可動部３０は、前記矩形状の反射ミラー１２の外周面を収納固定する箱形状のミラー保持部材３１、第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、支持バネ３４ａ〜３４ｄから構成されている。このミラー保持部材３１には、前記反射ミラー１２を内面に図中第１と第２の回転軸２０，２１と平行に収納配置されている。前記ミラー保持部材３１の図中第１の回転軸２０と平行な左右両外側面には、後述する第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂが嵌合される凸部３１ａ，３１ｂ，３１ｄ，３１ｅが設けられ、かつ、前記凸部３１ａ，３１ｂの間には凹部３１ｃ、及び前記凸部３１ｄ，３１ｅの間には凹部３１ｆが設けられている。なお、図１には図の関係から凸部３１ｄ，３１ｅと凹部３１ｆな図示していない。
【００２２】
また、前記ミラー保持部材３１の前記第１の回転軸２０方向の上側面には、形状が略Ｓ字状に成形した一対の支持バネ３４ａ，３４ｂの一端が、下側面には同じ形状の一対の支持バネ３４ｃ，３４ｄの一端が植設固定されている。これら各一対の支持バネ３４ａ、３４ｂと３４ｃ，３４ｄは、弾性部材で形成され、前記可動部３０に収納固定される反射ミラー１２の中心を基準に均等位置に植設固定されている。
【００２３】
前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂは、前記可動部３０の両側面の凸部３１ａ，３１ｂ，３１ｄ，３１ｅの外周に嵌合されるように巻回されたコイルで、このコイルに供給する電流の向きと大きさに応じて、異なる方向と大きさの電磁界を発生する電磁コイルである。第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂにより回転軸２０の回りに回転トルクを生じさせ、そのトルクの中心は回転軸２０上の点Ｄ１にある。
【００２４】
前記第２の電磁コイル３３ａは、前記凸部３１ａと３１ｂの外周にそれぞれ嵌合されるように巻回され、かつ、巻線方向の異なるたコイル３３ｃ，３３ｄからなり、前記第２の電磁コイル３３ｂは、前記凸部３１ｄ，３１ｅの外周にそれぞれ嵌合するように巻回され、かつ、巻線方向の異なるコイル３３ｅ，３３ｆからなっている。前記凹部３１ｃには、前記第２の電磁コイルのコイル３３ｃ，３３ｄが並設され、かつ、コイル３３ｃ，３３ｄは直列接続されている。前記凹部３１ｆには、第２の電磁コイル３３ｂのコイル３３ｅ，３３ｆが並設され、かつ、コイル３３ｅ、３３ｆは直列接続されている。これらコイル３３ｃ〜３３ｆに供給する電流の向きと大きさに応じて、異なる方向と大きさの電磁界を発生する電磁コイルである。第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂにより回転軸２１の回りに回転トルクを生じさせ、そのトルクの中心は回転軸２１上の点Ｄ１にある。
【００２５】
つまり、前記反射ミラー１２を第１の回転軸２０と第２の回転軸２１に対して平行で、かつ反射面が図１に示すように図中垂直となるように前記ミラー保持部材３１に収納固定される。なお、第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ又は第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂの発生するトルクの中心Ｄ１と反射ミラー１２、ミラー保持部材３１，第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂで構成される可動部３０の重心Ｇは一致している。また、前記反射ミラー１２をミラー保持部材３１に収納固定する。この反射ミラー１２が収納固定されたミラー保持部材３１の両側面に前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂを嵌合固定し、さらに、前記第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂを嵌合固定する。
【００２６】
このようにミラー保持部材３１に前記反射ミラー１２、前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，及び前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂが取付固定され、かつ、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄが植設固定された可動部３０は、固定部材３５に前記支持バネ３４ａ〜３４ｄを介して固定される。第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂに必要な４つの給電には、４本の支持バネ３４ａ〜３４ｄを用いて給電する。
【００２７】
前記固定部材３５は、全体形状が略コの字状で、下面部３６と上面部３７との間で前記可動部３０を支持する前記支持バネ３４ａ〜３４ｄの他端がそれぞれ植設固定されるようになっている。前記下面部３６と上面部３７の両側面には、突堤３６ａ，３６ｂ，３７ａ，３７ｂがそれぞれ設けられている。その突堤３６ａと３７ａとの間にはマグネット３８ａとヨーク３９ａが、前記突堤３６ｂと３７ｂの間にはマグネット３８ｂとヨーク３９ｂが嵌合固定されるようになっている。
【００２８】
前記マグネット３８ａ，３８ｂは、図１に示すように磁極面が２極着磁され異極が向かい合い、前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂに対して静磁界を与えるものである。前記ヨーク３９ａ，３９ｂは、前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界を固定部材３５の両側外部への漏洩を防止する閉磁路部材である。
【００２９】
前記固定部材３５に前記支持バネ３４ａ〜３４ｄによって支持固定された前記可動部３０の前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂにある方向の電流を供給すると、この第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂで発生する電磁界と前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との左手の法則の電磁作用によって、図１の図中の矢印で示す方向に力が発生し、前記可動部３０は、支持バネ３４ａ〜３４ｄを変形させて第１の回転軸２０回りの図中反時計方向に傾き、また、前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂへの供給電流の向きを変えると、図中の矢印と逆方向の電磁作用による力が生じて、前記可動部３０は、図中時計方向に傾く。
【００３０】
一方、前記第２の電磁コイル３３ａ、３３ｂにある方向のそれぞれの電流を供給すると、前記第２の電磁コイル３３ａのコイル３３ｃ，３３ｄ及び第２の電磁コイル３３ｂのコイル３３ｅ，３３ｆは、巻線方向がそれぞれ異なるために、異なる向きの電磁界が発生する。これらの第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂのそれぞれのコイル３３ｃ〜３３ｆから生じる電磁界と前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用によって、図中の矢印で示すように異なる方向の力が発生し、前記可動部３０は、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄを変形させて、前記第２の回転軸２１回りに図中時計方向に傾き、前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂの供給電流の向きを前述と異なる方向に代えると図中反時計方向に傾く。
【００３１】
すなわち、前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマグネット３８ａ，３８ｂは、第１の回転軸２０を含む反射ミラー１２の反射面と垂直な平面２０ａに対して対称に配置され、さらに、平面２０ａで区切られた空間の両側で、前記平面２０ａを内部に含まないように配置されている。さらに、前記反射ミラー１２と可動部３０の第２の回転軸２１に平行な方向の両側面（反射ミラー１２の反射面と平行で第１の回転軸２０に垂直な方向）にのみ前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマグネット３８ａ，３８ｂは配置され、この第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂは、第２の回転軸２１を含む反射ミラー１２の反射面に垂直な平面２１ｂに対して対称に配置されているが、前記平面２１ｂを内部に含まないように配置されている。
【００３２】
このように配置された前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂと第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂに供給する電流の向きと大きさによって生じる電磁界と、前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用によって、前記可動部３０が第１の回転軸２０と第２の回転軸２１回りの傾き角度と方向が調整制御可能となり、この可動部３０に収納固定されている反射ミラー１２の反射面の傾き角度と方向が調整制御される。
【００３３】
さらに前記可動部３０は、固定部材３５に対して、可動部３０の第１の回転軸２０方向に配置された支持バネ３４ａ〜３４ｄで支持可能となるため、ガルバノミラー装置１１の全体形状を小型薄型に形成可能となる。
【００３４】
また、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄは、可動部３０に対して第１の回転軸２０と平行方向な側面に配置されているために、第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマグネット３８ａ，３８ｂを第１の回転軸２０と垂直な第２の回転軸２１と平行方向な側面に配置されている。反射ミラー１２の傾き駆動手段である第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマグネット３８ａ，３８ｂと、支持バネ３４ａ〜３４ｄを直交する方向に分けて干渉しないように配置することができる。
【００３５】
このため、可動部３０の重心Ｇを支持バネ３４ａ〜３４ｄの支持中心（可動部３０を傾けた際の回転中心）とを容易に一致させることができる。
【００３６】
また、第１と第２の回転軸２０，２１に対して前記第１と第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂとマグネット３８ａ，３８ｂを完全に対称に配置でき、前記第１と第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂに発生する力によるトルクの中心Ｄ１を第１と第２の回転軸２０，２１の可動部３０の重心Ｇに完全に一致させることができるため、可動部３０の駆動時の共振が発生しない。
【００３７】
さらにまた、前記第１と第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂと支持バネ３４ａ〜３４ｄとを反射ミラー１２の異なる側面に配置できるので、反射ミラー１２の反射面に垂直方向の寸法を小さくできる。
【００３８】
なお、図示していないが、マグネットを可動部にコイルを固定部に配置した、所謂ムービングマグネットにすることもできる。可動部３０は、前記ミラー保持部材３１の両側面に設けた第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂと、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂに代えて、前記固定部材３５に取付固定したマグネット３８ａ，３８ｂを前記ミラー保持部材３１の両側面に取付固定した構成とする。一方、前記固定部材３５の両側面の突堤３６ａ，３６ｂと３７ａ、３７ｂの間に前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂと第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂを配置させる。この固定部材３５の両側面に設けた第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂと第２の電子コイル３３ａ，３３ｂに供給する電流によって生じる電磁界と、前記ミラー保持部材３１の両側面に設けたマグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用によって、前記可動部３０を前記第１の回転軸２０回り、前記第２の回転軸２１回りに傾き制御することも可能である。
【００３９】
次に図５と図６を用いて本発明に係るガルバノミラー装置の他の実施形態を説明する。
図５は、本発明の他の実施形態の全体構成を説明する斜視図で、図６は、本発明の他の実施形態の動作を説明する説明図である。なお、図１乃至図４と同一部分は同一符号を付して詳細説明は省略する。
【００４０】
本発明の他の実施形態の可動部３０’は、前記反射ミラー１２の収納固定の形状及び固定方法は前記可動部３０と同じであるが、この可動部３０’の第１の回転軸２０と平行な反射ミラー１２の反射面と垂直方向の両側面にそれぞれ２個の電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂが配置されている。この電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂが配置された可動部３０’は、前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７に支持バネ５３ａ〜５３ｄで取付支持されている。
【００４１】
この支持バネ５３ａ〜５３ｄは、弾性部材を用いて略Ω形状に形成され、基端は前記可動部３０’に、他端は前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７に植設固定されている。
【００４２】
前記可動部３０’の電磁コイル５１ａ、５１ｂと平行して２極着磁された２つのマグネット５４ａ，５４ｂを接合した静磁界マグネット５４と、電磁コイル５２ａ，５２ｂと平行して２極着磁された２つのマグネット５５ａ，５５ｂを接合した静磁界マグネット５５が、前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７との間に取付固定されている。つまり、前記静磁界マグネット５４，５５は、前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂに静磁界を供給するように配置されている。
【００４３】
前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂには、電磁界発生用電流がそれぞれ個別に供給されるようになっている。
【００４４】
このような構成のガルバノミラー装置の動作について、図６を併用して説明する。前記電磁コイル５１ａ，５１ｂには、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界に対して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６（ａ）の図中Ｎ方向に力が発生する電磁界を生じさせる電流を供給し、前記電磁コイル５２ａ，５２ｂには、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界に対して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６（ａ）の図中Ｌ方向に力が発生する電流を供給すると、前記可動部３０’は第１の回転軸２０を中心として、図中半時計方向に傾き回転する。また、前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ、５２ｂへの供給電流の向きを代えると、前記可動部３０’は、第１の回転軸２０を中心に図中時計方向に傾き回転する。
【００４５】
次に、前記電磁コイル５１ａと５２ａには、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界に対して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６（ｂ）の図中Ｌ方向に力が発生する電磁界を生じさせる電流を供給し、前記電磁コイル５１ｂと５２ｂには、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界に対して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６（ｂ）の図中Ｎ方向に力が発生する電磁界を生じさせる電流を供給すると、前記可動部３０’は第２の回転軸２１を中心として、図中半時計方向に傾き回転する。また、前記電磁コイル５１ａ、５２ａ，及び５１ｂ，５２ｂへの供給電流の向きを代えると、前記可動部３０’は、第２の回転軸２１を中心に図中時計方向に傾き回転する。
【００４６】
つまり、前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂの供給電流の向きと値を制御調整することにより、発生する電磁界の向きと大きさが制御でき、この電磁界と前記静磁界マグネット５４，５５からの静磁界によって、前記可動部３０’を第１の回転軸２０と第２の回転軸２１回りに傾き制御可能となる。
【００４７】
これにより、前述の本発明の一実施形態に比して、前記可動部３０’に設ける電磁コイル数が削減でき、小型軽量化が一層可能となる。
【００４８】
なお、この本発明の他の実施形態において、電磁コイル５１ａ，５１ｄと５２ａ，５２ｂ，５２を可動部３０’に取付固定し、この電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂに対して、固定部材３５に取付固定された静磁界マグネット５４，５５から静磁界を与えている。しかし、図示していないが、前記可動部３０’に前記静磁界マグネット５４，５５を取付固定し、前記固定部材３５に前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂを取付固定して、固定部材３５に取付固定した電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂからの電磁界と可動部３０’に取り付けた静磁界マグネット５４，５５の静磁界との電磁作用で、可動部３０’の傾き制御も可能である。
【００４９】
本発明の実施形態において、４つの電磁コイル５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂへは、それぞれ独立な電流を流す必要がある。合計８本の給電ラインが必要となる。このために４本の支持バネ５３ａ〜５３ｄはベリリウム銅箔とし、その両面にポリイミドの絶縁層と、さらにその上に銅のパターンを形成し合計８本の給電ラインを得ている。前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂの電流供給路は、前記４本の支持バネ５３ａ〜５３ｄの両表面に絶縁層を設け、その絶縁層に前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂのコイル端が接続される１つの導電層を積層形成させて、支持バネ５３ａ〜５３ｄの素材と導電層に前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂのコイル端を接続させる。
【００５０】
具体的には、例えば、前記支持バネ５３ａの導電弾性部材の表面をポリイミド等で絶縁層を形成し、その絶縁層の上に銅箔のメッキ又は印刷で導電層を形成させ、前記支持バネ５３ａの導電弾性部材に電磁コイル５２ａの一端を直接接続し、前記導電層に電磁コイル５２ａの他端を接続する。
【００５１】
これにより、電磁界発生電流供給用線路の削減が可能となる。さらに、前記可動部３０’と固定部材３５をそれぞれ非導電性の絶縁部材で形成することにより、前記支持バネ５３ａ〜５３ｄ相互の接触と絶縁が確保可能となる。また、このような給電は支持バネ３４ａ〜３４ｄにも適用できる。
【００５２】
また、本発明の他の実施形態の説明において、前記支持バネ５３ａ〜５３ｄの形状は、略Ω字状としたが、前述の本発明の一実施形態の支持バネ３４ａ〜３４ｄの用に略Ｓ字状とすることも可能である。すなわち、支持バネ３４ａ〜３４ｄ又は５３ａ〜５３ｄは、前記可動部３０又は３０’を第１の回転軸２０方向で固定部材３５に支持でき、かつ、前記可動部３０又は３０’が第１の回転軸２０と第２の回転軸２１回りに傾き回転した際に、変形復元可能な形状であれば良く、前述の形状に限られるものではない。
【００５３】
【発明の効果】
本発明のガルバノミラー装置は、反射ミラーが取付固定された可動部を２方向に駆動させる駆動手段を反射ミラーの一方の両側に配置したことによりガルバノミラーの小型化が可能となる効果を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の構成を説明する分解斜視図。
【図２】  本発明のガルバノミラー装置の使用例を説明する説明図。
【図３】  本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の組立状態を示す正面図。
【図４】  本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態の組立状態を示す側面図。
【図５】  本発明に係るガルバノミラー装置の他の実施形態の構成を説明する斜視図。
【図６】  本発明に係るガルバノミラー装置の他の実施形態の動作を説明する説明図。
【図７】  従来のガルバノミラー装置を説明する断面図。
【符号の説明】
１１…ガルバノミラー
１２…反射ミラー
２０…第１の軸
２１…第２の軸
３０…可動部
３１…ミラー保持部材
３２…第１の電磁コイル
３３…第２の電磁コイル
３４…支持バネ
３５…固定部材
３６…下面部
３７…上面部
３８…マグネット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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