(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界を発生させ、ターボチャージャの運動に伴って前記ターボチャージャのタービンブレード又はコンプレッサブレードの一部が近傍を通過する位置に配置されているコイルと、
被検出部が０．２ｍｍ〜２．０ｍｍの幅である前記タービンブレード又は前記コンプレッサブレードの一部が前記コイル近傍を通過することに伴う前記コイルのインダクタンス変化を検出することにより、前記ターボチャージャの運動を検出する検出手段と、を備え、
前記コイルは、多層プリント基板の互いに異なる層にそれぞれ渦状に形成されている導線と、複数の前記導線を直列に接続しているスルーホールとを有し、
前記コイルのインダクタンスは１μＨ以上であり、
前記導線の最大外径は３ｍｍ〜１０ｍｍであることを特徴とする運動検出装置。
【請求項２】
前記コイルは軸方向の端部を前記ターボチャージャに向けて配置され、
前記コイルの軸方向の厚さは２ｍｍ以下である、請求項１に記載の運動検出装置。
【請求項３】
前記コイルの抵抗値は３Ω以下である、請求項１又は２に記載の運動検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は運動検出装置に関し、特にターボチャージャの回転数、回転速度又は回転加速度を検出する運動検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検出対象の近傍に配置されたコイルのインダクタンス変化から検出対象の運動を検出する運動検出装置が知られている。このような運動検出装置では、検出対象に連動する被検出部がコイル近傍を通過することによるコイルのインダクタンス変化を検出している。例えば、特許文献１、２に開示されている運動検出装置では、被検出部としてのロータの凸部がコイル近傍を通過することによるコイルのインダクタンス変化を検出し、そのインダクタンス変化から検出対象の運動を検出している。
【０００３】
しかしながら、特許文献１、２に開示されている運動検出装置では、ボビン等に巻き線を巻回して形成する巻き線コイルを用いているため、その巻きむらによりコイルのインダクタンスのばらつきが大きくなり、運動検出装置の検出誤差が増大するという問題がある。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−９７９５８号公報
【特許文献２】特開２０００−１２１６５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上述の問題を解決するためになされたものであって、検出誤差が小さい運動検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１から３に記載の発明では、コイルは、多層プリント基板の互いに異なる層に形成されている導線と、それらを直列に接続するスルーホールとから構成されている。これらの導線及びスルーホールはプリント基板の微細加工技術を用いて形成されるため、コイルのインダクタンスのばらつきは小さく、コイルのインダクタンスの規定値からのずれは小さい。したがって、運動検出装置の検出誤差を小さくすることができる。
尚、本発明による運動検出装置がターボチャージャの運動を検出するとは、ターボチャージャの運動速度に相関する物理量を検出することを意味する。具体的にはターボチャージャの運動速度に係る物理量は、ターボチャージャの回転数、回転速度、回転加速度等である。
【００１０】
一般に、被検出部のタービンブレードの回転方向の幅は０．２ｍｍ〜２．０ｍｍである。またコイルとタービンブレードとの間隔は、運動検出装置の製造公差を考慮すると１ｍｍ程度となる。このような条件下において、ターボチャージャの回転運動を正確に検出するためには、被検出部がコイル近傍を通過することに伴うインダクタンスの変化量（以下、コイルのインダクタンス変量という。）は５ｎＨ以上、コイルのＱ値は２０以上であることが望ましい。
【００１１】
請求項１に記載の発明ではコイルのインダクタンスは１μＨ以上である。したがって、コイルのインダクタンスの変化率（以下、コイルのインダクタンス変化率という。）が０．５％以上であれば、コイルのインダクタンス変量は５ｎＨ以上となる。
ところで、請求項１に記載の発明では導線の最大外径は３ｍｍ〜１０ｍｍである。このようなコイル近傍をタービンブレードが通過する場合、コイルのインダクタンス変化率は０．５％以上となる。この結果、コイルのインダクタンス変量が５ｎＨ以上となるため、ターボチャージャの回転数や回転速度や回転加速度を正確に検出することができる。
【００１２】
ここで請求項１に記載の発明に係る運動検出装置では、コイルの導線であってタービンブレードとの間隔が３ｍｍより広い導線による巻数は、コイルのインダクタンス変量に殆ど影響しない。
請求項２に記載の発明では、コイルは軸方向をターボチャージャに向けて配置され、コイルの軸方向の厚さは２ｍｍ以下である。すなわち、コイルとタービンブレードとの間隔とコイルの軸方向の厚さとの和が概ね３ｍｍ以下となるため、コイルを構成している全ての導線によりコイルのインダクタンス変量を増大させることができる。したがって、コイルのインダクタンス変量を低下させることなく、コイルの軸方向の厚さを薄くすることができる。
【００１３】
一般に、コイルは１０ＭＨｚ程度の励磁周波数で検出手段により駆動される。
請求項３に記載の発明では、コイルの抵抗値は３Ω以下でありコイルのインダクタンスは１μＨ以上であるため、コイルを１０ＭＨｚ程度の励磁周波数で駆動したときのコイルのＱ値は２０以上になる。したがって、ターボチャージャの回転運動を正確に検出することができる。
以上、被検出部はタービンブレードであるとして説明したが、被検出部がコンプレッサブレードの場合も同様である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の複数の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態による運動検出装置を説明するための模式図である。本発明の第１実施形態による運動検出装置１は、検出対象としてのターボチャージャ２の回転速度を検出する装置である。
【００１５】
ターボチャージャ２は、内燃機関の排気ガス流によって回転駆動されるタービンホイール１０、タービンホイール１０ともに回転して吸入空気を加圧する図示しないコンプレッサホイール、タービンホイール１０とコンプレッサホイールを連結する回転軸１１、図示しないハウジング等で構成されている。
【００１６】
タービンホイール１０及びコンプレッサホイールには、それぞれフィン状のタービンブレード１２とコンプレッサブレードが設けられている。タービンブレード１２はアルミニウム等の導体であり、ターボチャージャ２の回転方向の幅が狭いフィン状であって、タービンホイール１０の基部１４から突出している。
【００１７】
以下、運動検出装置１の構成、作動、設計方法を順に説明する。
（運動検出装置の構成）
図１（Ａ）に示すように、運動検出装置１はコイル２０及び検出部３０から構成されている。
コイル２０は、軸方向の端部２０ａをタービンブレード１２に向けた姿勢で、ターボチャージャ２の回転運動に伴ってタービンブレード１２の端部１２ａがその近傍を通過するように配置されている。この場合、タービンブレード１２の端部１２ａが請求項に記載の「被検出部」に相当する。
【００１８】
図１（Ｂ）に示すように、コイル２０は多層プリント基板４０の互いに異なる層にそれぞれ形成されている導線２２と、複数の導線２２を直列に接続しているスルーホール２４と、コイル２０と検出部３０とを接続するための外部接続端子２６とで構成されている。具体的には導線２２及び外部接続端子２６は、例えば多層プリント基板４０の接着層４４を間に挟んで積まれている絶縁板４２に形成されている。そしてスルーホール２４は、互いに異なる絶縁板４２に形成されている導線２２又は同一絶縁板４２の互いに異なる面に形成されている導線２２を直列に接続し、直列接続された導線２２の両端と外部接続端子２６とを接続している。
【００１９】
図２は、コイル２０の構成の一例を示す模式図である。図２（Ａ）、（Ｂ）は多層プリント基板４０のタービンブレード１２側の第一層を示し、図２（Ｃ）、（Ｄ）は多層プリント基板４０の第二層を示し、図２（Ｅ）、（Ｆ）は多層プリント基板４０のタービンブレード１２と反対側の第三層を示している。図２（Ａ）〜（Ｆ）は、多層プリント基板４０の各層を構成している絶縁板４２のタービンブレード１２側から見た平面図であり、図２（Ｂ）、（Ｄ）、（Ｆ）では、絶縁板４２のタービンブレード１２と反対側の面に形成されている導線２２を点線で示し、絶縁板４２のタービンブレード１２側の面に形成されている導線２２を省略している。
【００２０】
図２に例示するコイル２０は３層の多層プリント基板４０に設けられている。導線２２１〜導線２２５は多層プリント基板４０を構成する絶縁板４２１〜絶縁基板４２３の外部接続端子２６が形成されている面を除く全ての面に形成され、外部接続端子２６はタービンブレード１２から最も離間した絶縁板４２３のタービンブレード１２と反対側の面４２３ｂ（図１（Ｂ）参照）に形成されている。このようなコイル２０の導線２２の層数は奇数になる。
【００２１】
具体的には、図２（Ａ）に示すように多層プリント基板４０の第一層を構成する絶縁板４２１のタービンブレード１２側の面４２１ａ（図１（Ｂ）参照）には、スルーホール２４１からスルーホール２４２まで渦巻き状に延びる導線２２１が形成されている。そして、図２（Ｂ）に示すように絶縁板４２１のタービンブレード１２と反対側の面４２１ｂ（図１（Ｂ）参照）には、スルーホール２４２からスルーホール２４３まで渦巻き状に延びる導線２２２が形成されている。導線２２１と導線２２２とはスルーホール２４２によって直列に接続されている。導線２２１及び導線２２２は円形の渦巻き状である。
【００２２】
多層プリント基板４０の第一層と同様に、多層プリント基板４０の第二層を構成する絶縁板４２２のタービンブレード１２側の面４２２ａ（図１（Ｂ）参照）には、スルーホール２４３からスルーホール２４４まで渦巻き状に延びる導線２２３が形成され、絶縁板４２２のタービンブレード１２と反対側の面４２２ｂ（図１（Ｂ）参照）にはスルーホール２４４からスルーホール２４５まで渦巻き状に延びる導線２２４が形成されている。導線２２２と導線２２３とはスルーホール２４３によって直列に接続され、導線２２３と導線２２４とはスルーホール２４４によって直列に接続されている。
【００２３】
また、多層プリント基板４０の第三層を構成する絶縁板４２３のタービンブレード１２側の面４２３ａ（図１（Ｂ）参照）には、スルーホール２４５からスルーホール２４６まで渦巻き状に延びる導線２２５が形成され、絶縁板４２２のタービンブレード１２と反対側の面４２３ｂ（図１（Ｂ）参照）には外部接続端子２６が形成されている。そして外部接続端子２６１と外部接続端子２６２とには、直列に接続された導線２２１〜導線２２５の両端がスルーホール２４２又はスルーホール２４６を経由してそれぞれ接続されている。
このように図２に例示するコイル２０は、巻数４の導線２２が５層に積まれているため、コイル２０の巻数は２０になる。
【００２４】
検出手段としての検出部３０は、コイル２０を駆動することでコイル２０により磁界を発生させるとともに、タービンブレード１２の端部１２ａがコイル２０近傍を通過することに伴うコイル２０のインダクタンス変化によりターボチャージャ２の回転運動を検出する。
【００２５】
具体的には検出部３０は、例えば図３に示す検出回路３１と図示しない包絡線検波回路、コンパレータ及び制御装置とで構成されている。
検出回路３１は、発振器３２とコンデンサ３４と抵抗３６とから構成されている。コイル２０とコンデンサ３４は並列共振回路を形成し、抵抗３６は共振回路に直列に接続されている。発振器３２は、交流電流で共振回路と抵抗３６とにより構成された回路を駆動する。共振回路と抵抗３６との接点３８は包絡線検波回路の入力端に接続されている。そして包絡線検波回路の出力端はコンパレータの入力端と接続され、コンパレータの出力端は制御装置に接続されている。例えば、制御装置は内燃機関の電子制御装置（ＥＣＵ）である。
【００２６】
（運動検出装置の作動）
検出部３０の発振器３２がコイル２０を駆動すると、コイル２０により磁界が発生する。そしてターボチャージャ２が回転運動すると、タービンブレード１２がコイル２０近傍を通過する。コイル２０近傍の磁束密度は高いため、タービンブレード１２がコイル２０近傍を通過している通過期間（図４に示すｔ１〜ｔ４参照）は、コイル２０による磁束がタービンブレード１２を貫通することにより、タービンブレード１２に大きな渦電流が生じる。一方、タービンブレード１２の非通過期間は、タービンブレード１２に殆ど渦電流が生じない。
【００２７】
この渦電流はコイル２０による磁界の変化を打ち消す方向に流れるため、コイル２０のインダクタンスに影響を与える。この結果、コイル２０のインピーダンスはタービンブレード１２の通過期間と非通過期間とで大きく変化し、上述した共振回路の共振周波数は両期間で大きく変化する。このように共振回路の共振周波数が変化することで、接点３８の電位振幅が変化する。
【００２８】
具体的には、例えば共振回路の非通過期間における共振周波数近傍で発振器３２を発信させた場合、図５（Ａ）に示すようにタービンブレード１２の通過期間は、共振回路が共振周波数近傍からずれた交流電流で駆動されるため、共振回路のインピーダンスが小さくなる。これにより、通過期間における接点３８の電位振幅は大きくなる。一方、タービンブレード１２の非通過期間は、共振回路が共振周波数近傍の交流電流で駆動されるため、共振回路のインピーダンスが大きくなる。これにより、非通過期間における接点３８の電位振幅は小さくなる。
【００２９】
包絡線検波回路は、図５（Ｂ）に示すように接点３８の電位振動の包絡線を検波する。そしてコンパレータは、図５（Ｃ）に示すように接点３８の電位振動の包絡線を示すアナログ信号を所定の閾値によりディジタル信号（以下、検出信号という。）に変換し、検出信号を上述した制御装置に出力する。制御装置は、コンパレータが出力するディジタル信号に基づいてタービンブレード１２の運動を検出することにより、ターボチャージャ２の回転速度を検出する。具体的には制御装置は、例えばタービンブレード１２が所定の単位時間にコイル２０を通過する回数と、タービンホイール１０に設けられているタービンブレード１２の数とから、ターボチャージャ２の回転速度を検出する。
【００３０】
（運動検出装置の設計方法）
図６は、運動検出装置１の設計方法を説明するための模式図である。
一般にタービンブレード１２の回転方向の幅Ｗは０．２ｍｍ〜２．０ｍｍである。また、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄは、運動検出装置１の製造公差を考慮すると１ｍｍ程度となる。このような条件下においてターボチャージャ２の回転運動を正確に検出するためには、コイル２０のインダクタンス変量は５ｎＨ以上、コイル２０のＱ値は２０以上であることが望ましい。
【００３１】
コイル２０は上述したように多層プリント基板４０に設けられているため、その巻数は巻き線コイルと比較して少なくなる。この結果、コイル２０のインダクタンスを大きくすることは容易ではなく、コイル２０のインダクタンスは１μＨ程度となる。したがって、コイル２０のインダクタンス変量を５ｎＨ以上にするためには、コイル２０のインダクタンス変化率を０．５％以上にする必要がある。
【００３２】
図７は、コイル２０の導線２２の最大外径とコイル２０のインダクタンス変化率との関係を説明するための模式図である。図７に示すグラフ１００は、タービンブレード１２の回転方向の幅Ｗが０．５ｍｍ、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄが１ｍｍの運動検出装置１において、導線２２の最大外径φｅ（図６（Ｂ）参照）を２ｍｍから１２ｍｍまで変化させながら、コイル２０のインダクタンス変化率を測定した実験結果を示している。グラフ１００によると、導線２２の最大外径φｅを３ｍｍ〜１０ｍｍにすればコイル２０のインダクタンス変化率が０．５％以上になることが分かる。
【００３３】
この実験結果は、被検出部であるタービンブレード１２の回転方向の幅Ｗが薄いことによる。すなわち、コイル２０の導線２２の最大外径を大きくすることにより、被検出部を貫通する磁束は多くなるが、タービンブレード１２の回転方向の幅Ｗが薄いため被検出部を貫通しない磁束も多くなる。この結果、コイル２０の導線２２の最大外径がタービンブレード１２の回転方向の幅Ｗに応じた所定範囲のときに、コイル２０のインダクタンス変化率は大きくなる。
【００３４】
このようにコイル２０のインダクタンス変量を５ｎＨ以上にするためには、コイル２０のインダクタンスを１μＨ以上、コイル２０の最大外径φｅを３ｍｍ〜１０ｍｍにすればよい。具体的にはコイル２０の最大外径φｅは、例えば４ｍｍ程度にすればよい。コイル２０の最大外径φｅを４ｍｍ程度にする場合は、コイル２０の最小内径φｉ（図６（Ｂ）参照）を２ｍｍ程度、コイル２０の巻数を２０にすることにより、コイル２０のインダクタンスは１μＨ程度になる。
【００３５】
図８は、コイル２０とタービンブレード１２との間隔とコイル２０のインダクタンス変化率との関係を説明するための模式図である。図８に示すグラフ１０２は、タービンブレード１２の回転方向の幅Ｗが０．５ｍｍ、コイル２０の導線２２の最大外径φｅが４ｍｍの運動検出装置１において、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄを０．２ｍｍから３．０ｍｍまで変化させながら、コイル２０のインダクタンス変化率を測定した実験結果を示している。グラフ１０２によるとコイル２０のインダクタンス変化率は、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄが広がるにつれて小さくなるが、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄが３．０ｍｍ程度まで広がると殆ど変化しないことが分かる。
【００３６】
すなわち、コイル２０のタービンブレード１２との間隔Ｄが３ｍｍより広い導線２２による巻数は、コイル２０のインダクタンス変化率に殆ど影響しない。したがって、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄとコイル２０の軸方向の厚さＴ（図６（Ａ）参照）との和が３ｍｍ以下になるように、コイル２０の軸方向の厚さＴを設計することにより、コイル２０のインダクタンス変化率を低下させることなく、コイル２０の軸方向の厚さＴを薄くすることができる。
【００３７】
上述したようにコイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄは１ｍｍ程度であるため、コイル２０の軸方向の厚さＴは２ｍｍ以下にすればよい。尚、一般に多層プリント基板４０の隣り合う絶縁板４２の間隔は２００μｍ程度であるため、コイル２０の導線２２の層数は１１層以下となる。
【００３８】
一方、コイル２０のＱ値は次式（１）で表される。ここで、上述したようにコイル２０のインダクタンスＬは１μＨ程度であり、また一般にコイル２０の励磁周波数ｆは１０ＭＨｚである。
Ｑ＝２πｆ（Ｌ／Ｒ）  ・・・（１）
【００３９】
したがって、コイル２０のＱ値を２０以上にするためには、コイル２０の抵抗値は３Ω以下にすればよい。具体的には例えば、上述した最大外径φｅが４ｍｍ、最小内径φｉが２ｍｍ、巻数が２０のコイル２０では、導線２２の短手方向の断面積を０．００１５ｍｍ2以上にすることにより、コイル２０の抵抗値を３Ω以下にすることができる。
【００４０】
以上説明した第１実施形態では、コイル２０はプリント基板の微細加工技術を用いて形成されるため、コイル２０のインダクタンスのばらつきは小さい。したがって、運動検出装置１の検出誤差を小さくすることができる。また、このようなコイル２０は大量生産に適しているので、その製造コストは低い。したがって、運動検出装置１の製造コストを低減することができる。
【００４１】
また、上述したように外部接続端子２６は多層プリント基板４０の第三層を構成している絶縁板４２３のタービンブレード１２と反対側の面に形成されている。この結果、コイル２０の外部接続端子２６に検出部３０を接続しても、コイル２０のインダクタンス変量が小さくなることは殆どない。すなわち、コイル２０の外部接続端子２６と検出部３０とを接続することによる運動検出装置１の検出誤差の増大を抑制することができる。
【００４２】
（第２実施形態）
第２実施形態による運動検出装置の構成要素は、コイルが異なることを除き、第１実施形態による運動検出装置１の対応する構成要素と実質的に同一である。第２実施形態において同一の符号が付された構成要素は、その符号が付された第１実施形態の構成要素と対応する。
【００４３】
図９は、第２実施形態に係るコイル２２０を示す模式図である。
コイル２２０の多層プリント基板４０は円盤状である。これによりコイル２０を加工が容易な円柱状の取付穴に取り付けることができる。
【００４４】
コイル２２０の導線２２は多角形の渦巻き状である。そして導線２２の最大外径より外側のスルーホール２４は、導線２２の辺部５０の中央近傍に配置されている。具体的にはコイル２２０の導線２２は、例えば略四角形の渦巻き状である。そして導線２２の最大外径より外側のスルーホール２４２、スルーホール２４４及びスルーホール２４６は、それぞれ導線２２の辺部５０１〜辺５０３の中央近傍に配置されている。
【００４５】
導線２２の辺部５０における最大外径は導線２２の角部５２における最大外径より小さく、導線２２の辺部５０における最大外径はその中央ほど小さくなる。したがって、導線２２の最大外径より外側のスルーホール２４を導線２２の辺部５０の中央近傍に配置することにより、コイル２２０の外径を小さくすることができ、コイル２２０を小型化することができる。
【００４６】
（他の実施形態）
上記第１実施形態及び第２実施形態では、運動検出装置１は、ターボチャージャ２の回転速度を検出すると説明したが、検出対象はターボチャージャ２に限定されない。例えば、検出対象はターボチャージャ２と異なる構成のターボチャージャでもよいし、ターボチャージャ２とは異なる他のタービンでもよいし、回転運動以外の並進運動をするものでもよい。
【００４７】
また、コイル２０は軸方向の端部２０ａをタービンホイール１０に向けて配置されると説明した。しかし、コイル２０は被検出部の近傍に配置すれば、どのような姿勢で配置してもよい。また被検出部は、ターボチャージャ２のタービンブレード１２以外の部分、例えばコンプレッサブレードでもよい。また被検出部は、ターボチャージャ２の回転運動に連動する別部品でもよい。
【００４８】
上記第１実施形態及び第２実施形態では、コイル２０の導線２２は、多層プリント基板４０を構成している絶縁板４２の外部接続端子２６が形成されている面を除く全ての面に形成されると説明した。しかし導線２２は、多層プリント基板４０を構成している絶縁板４２の外部接続端子２６が形成されている面を除く全ての面に形成しなくてもよい。また導線２２は、絶縁板４２の外部接続端子２６が形成されている面にも形成可能である。また導線２２及び外部接続端子２６は、多層プリント基板４０を構成している全ての絶縁板４２の片面だけに形成してもよい。
【００４９】
また、コイル２０は２層の多層プリント基板に設けてもよいし、４層以上の多層プリント基板４０に設けてもよい。
また、多層プリント基板４０はリジット基板でもよいしフレキシブル基板でもよい。また、多層プリント基板４０はビルトアップ基板でもよい。
また、多層プリント基板４０にはコイル２０以外の回路を形成してもよい。
【００５０】
上記第１実施形態ではコイル２０に係る寸法を例示したが、運動検出装置の検出特性が仕様を満たす限り、コイル２０の軸方向の厚さＴ、導線２２の最小内径φｉ、導線２２の最大外径φｅ等の寸法は例示した寸法と異なるものでもよい。また、コイル２０の励磁周波数ｆは１０ＭＨｚより高くてもよいし、１０ＭＨｚより低くてもよい。
【００５１】
上記第１実施形態では、コイル２０のインダクタンスは１μＨ程度であり、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄは１ｍｍ程度である説明した。しかし、技術的な阻害要因がない限り、コイル２０のインダクタンスは１μＨより大きくてもよいし、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄは１ｍｍより狭くてもよい。また、運動検出装置の検出特性が仕様を満たす限り、コイル２０のインダクタンスは１μＨより小さくてもよいし、コイル２０とタービンブレード１２との間隔Ｄは１ｍｍより広くてもよい。
【００５２】
上記第２実施形態では、コイル２２０の導線２２は略四角形の渦巻き状であると説明した。しかし、導線２２は略三角形の渦巻き状でもよいし、五角形以上の渦巻き状でもよい。
このように、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】第１実施形態による運動検出装置を説明するための模式図。
【図２】第１実施形態に係るコイルの構成を示す模式図。
【図３】第１実施形態に係る検出部を説明するための模式図。
【図４】第１実施形態による運動検出装置の作動を説明するための模式図。
【図５】第１実施形態に係る検出部の内部信号を示す模式図。
【図６】第１実施形態による運動検出装置の設計法を説明するための模式図。
【図７】第１実施形態による運動検出装置の設計法を説明するための模式図。
【図８】第１実施形態による運動検出装置の設計法を説明するための模式図。
【図９】第２実施形態に係るコイルの構成を示す模式図。
【符号の説明】
【００５４】
１：運動検出装置、２：ターボチャージャ、１２：タービンブレード、１２ａ：端部、２０、２２０：コイル、２０ａ：端部（コイルの軸方向の端部）、２２：導線、２４：スルーホール、２６：外部接続端子、３０：検出部（検出手段）、３１：検出回路（検出手段）、４０：多層プリント基板、５０：辺部（導線の辺部）。
【図１】
0004846395.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004846395.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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