(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つ以上の材料が複数種類存在し、該材料を搬送する搬送手段により該材料が金型に搬送されて封止作業が行われる樹脂封止装置であって、
当該樹脂封止装置内の前記材料が搬送される複数の所定の位置における該材料の存在を確認可能なモニタ画面と、
当該樹脂封止装置側で、該材料の種類を認識したうえで、該モニタ画面の前記複数の所定の位置に対応するそれぞれの箇所の表示態様を、予め前記材料の種類に応じて行った該表示態様の対応付けに従い、該複数の所定の位置に存在している該材料の種類に応じて変える手段と、を備える
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記材料が、リードフレーム、基板、樹脂、半導体チップのいずれかである
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記表示態様が、形状、模様、色彩のいずれかまたはこれらの組み合わせである
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記材料が搬送される工程にて前記材料の種類を実際に判別可能な判別手段を備え、
該判別手段の判別結果に基づいて前記材料の種類を認識する
ことを特徴とする樹脂封止装置。
【請求項５】
樹脂封止装置の運転状況を表示するモニタ画面の表示方法であって、
少なくとも１つ以上の材料が複数種類存在し、該材料を使用して封止作業が行われ、
前記樹脂封止装置内における前記材料が搬送される複数の所定の位置に該材料が位置する場合に、前記モニタ画面内の該複数の所定の位置に対応するそれぞれの部分の表示態様を、前記材料の種類を認識したうえで、予め該材料の種類に応じて行った該表示態様の対応付けに従い、該材料の種類に応じて変える
ことを特徴とするモニタ画面の表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップが搭載されたワークを樹脂にて封止する樹脂封止の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂封止装置は、半導体チップが搭載されたリードフレームや基板、樹脂などの材料を使用して金型にてプレスが行われ、製品（成形品）が製造される。例えば特許文献１に記載の樹脂封止装置では、樹脂封止前の被成形品、樹脂、更には樹脂封止後の成形品などのワークをローダ、アンローダ等の搬送機構によって所定の位置から所定の位置へと搬送しつつ樹脂封止が行われている。
【０００３】
また、特許文献２では、装置（ここでは射出成形機）の稼働状況をディスプレイ画面（モニタ画面）に表示して当該装置の稼働状況がリアルタイムに視覚的に把握容易とされている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３００９７５号公報
【特許文献２】特開２００３−１６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
発明者は、樹脂封止装置においても当該樹脂封止装置の運転状況をリアルタイムで確認するべく、モニタ画面を設け当該モニタ画面に装置内でのワークの動きを表示するという着想を得た。しかしながら近年、１つの装置内で多種にわたる製品を生産することが求められている。即ち、材料となるべきリードフレームや基板、更には封止材料としての樹脂などの所謂「材料」の少なくとも１つが複数種類用意され、これらの材料を使用して多品種生産が行われる状況にある。
【０００６】
このような形で生産が行われる樹脂封止装置の場合には、単に所定の位置におけるワークの有無だけをモニタ画面に表示しても情報として不十分な場合があった。例えば、何らかのトラブル発生により装置が停止したような場合には、どの種類のワークがトラブルとなっているのかが画面から把握することができないため、復旧措置に手間取ることがあった。復旧措置に手間取れば、例えば樹脂のポットライフが無駄に経過してしまったり、ワークが必要以上に加熱（例えば金型やプレヒータでの加熱）された結果、当該ワークの破棄を余儀なくされてしまうという状況が発生し得る。
【０００７】
本発明は、このような問題点を解決するべくなされたものであって、少なくとも１つの材料が複数種類使用される場合においても、モニタ画面にてその種類を把握できるようにすることをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、少なくとも１つ以上の材料（例えばリードフレーム、基板、樹脂、半導体チップ等）が複数種類存在し、該材料を搬送する搬送手段により該材料が金型に搬送されて封止作業が行われる樹脂封止装置であって、当該樹脂封止装置内の前記材料が搬送される複数の所定の位置における該材料の存在を確認可能なモニタ画面と、当該樹脂封止装置側で、該材料の種類を認識したうえで、該モニタ画面の前記複数の所定の位置に対応するそれぞれの箇所の表示態様を、予め前記材料の種類に応じて行った該表示態様の対応付けに従い、該複数の所定の位置に存在している該材料の種類に応じて変える手段と、を備えることで上記課題を解決することが可能となる。
【０００９】
このようにモニタ画面を表示させることで、装置内のどの位置にどの種類のワーク（材料）が位置しているのかをモニタ画面にて視覚的に把握することができる。例えば、当該モニタ画面における「装置内の前記材料が搬送される複数の所定の位置」に対応するそれぞれの箇所の表示態様の形状、模様、色彩のいずれかまたはこれらの組み合わせを、「予め前記材料の種類に応じて行った該表示態様の対応付けに従い」、変えることにより実現する。特に色を変えるようにすれば、作業者が直感的にワークの種類を把握することができる。
【００１０】
また、前記材料が搬送される工程にて前記材料の種類を実際に判別可能な判別手段を備え、該判別手段の判別結果に基づいて前記材料の種類を認識すれば、現実に搬送されている材料の種類とモニタ画面表示上の材料の種類との間の不一致を排除することが可能となる。
【００１１】
なお本発明は見方を変えると、樹脂封止装置の運転状況を表示するモニタ画面の表示方法であって、少なくとも１つ以上の材料が複数種類存在し、該材料を使用して封止作業が行われ、前記樹脂封止装置内における前記材料が搬送される複数の所定の位置に該材料が位置する場合に、前記モニタ画面内の該複数の所定の位置に対応するそれぞれの部分の表示態様を、前記材料の種類を認識したうえで、予め該材料の種類に応じて行った該表示態様の対応付けに従い、該材料の種類に応じて変えることを特徴とするモニタ画面の表示方法としても捉えることが可能である。
【００１２】
なおここで言う「材料」とは、樹脂封止が行われる以前のリードフレームや基板、半導体チップ更には樹脂を含むことは勿論であるが、樹脂封止が行われ「製品（成形品）」と化した材料をも含む概念である。即ち「ワーク」として広く捉えることも可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明を適用することにより、樹脂封止装置の運転状況が材料の種類と共にモニタ画面上にて把握することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態の一例である樹脂封止装置１００の概略構成図である。図２は、モニタ画面１９０の画像図である。
【００１６】
なお説明の都合上、図１における左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、これらＸ方向及びＹ方向のいずれにも直交する方向をＺ方向（高さ方向）として説明する。
【００１７】
<樹脂封止装置の構成>
樹脂封止装置１００は、当該装置の基台となるベース部１０１上に、樹脂封止前のリードフレーム（ワーク）が収容される基板供給部１０２と、樹脂封止後のリードフレームが収納される成形品収納部１０４と、これら基板供給部１０２及び成形品収納部１０４との間に並んで配置される４つの金型１０６とが一列に配置されている。この４つの金型１０６はそれぞれが異なる製品を生産する。そのため図面上は必ずしも明らかでないが、キャビティの形状等がそれぞれ異なっている。基板供給部１０２は、リードフレームが複数収容されたマガジンが複数配列された構成とされており、マガジン毎に異なる種類のリードフレームが収容されている。更に基板供給部１０２の近傍には、基板供給部１０２から搬送ハンド（図示していない）によって取り出されたリードフレームを旋回させて向きを整える旋回テーブル１０３が配置されている。また、旋回テーブル１０３によって向きが整えられた後にリードフレームを所定の温度にまで加熱し保温するプレヒータ部１０５が配置されている。更にこれら旋廻テーブル１０３およびプレヒータ部１０５と並んで、封止材料としての樹脂タブレットが供給される樹脂タブレット供給部１０９が配置されている。一方、成形品収納部１０４の近傍には、樹脂封止後のリードフレームが冷却される冷却ステージ（冷却部）１０７、冷却ステージ１０７にて冷却されたリードフレームの不要部分（カル部）が取り出されるゲートブレーク部１０８が配置されている。
【００１８】
また、ベース部１０１には基板供給部１０２、成形品収納部１０４、金型１０６の並びと平行して、Ｘ方向ガイド１２０が設置されている。このＸ方向ガイド１２０上には、ローダ１３０及びアンローダ１４０が当該ガイドに沿って自由に移動することが可能に配置されている。これらローダ１３０及びアンローダ１４０は、複数配置された金型１０６に対する搬送機構として機能する。即ち、ローダ１３０は、基板供給部１０２から供給されるリードフレームを所定のタイミングで金型１０６へと搬入する。一方、アンローダ１４０は、それぞれの金型１０６にて樹脂封止されたリードフレームを搬出し成形品収納部１０４へと収納する機能を有している。
【００１９】
なお、本実施形態においては、前述したように金型１０６が４つ配置されているが、必ずしも４つに限定されるものではなく、１乃至３、更には５つ以上の金型が配置されていてもよい。更に、基板供給部１０２と成形品収納部１０４とが同じ側に配置されていたり、更にローダ１３０及びアンローダ１４０が単一の搬送機構によって実現されていても良い。
【００２０】
また、上記各部は全てケーシング（図示しない）内に収容されており、当該ケーシングの側面に当該樹脂封止装置１００の運転状況を表示することができるモニタ画面が配置されている。
【００２１】
<モニタ画面の表示内容>
本実施形態におけるモニタ画面は、例えば図２のような表示がなされている。
【００２２】
モニタ画面１９０における画像表示は、図１で示した樹脂封止装置の構成に従った表示とされている。即ち、樹脂封止装置１００の実際の配置構成を模式化した表示とされており、画面と装置との対応関係が一見して把握可能とされている。なお、この「装置を模式化した表示」そのものに関しては、モニタの画像として表示してもよいし、例えばモニタ画面の表面に物理的に図を描く等の手法を用いてもよい。
【００２３】
具体的には、旋廻テーブル１０３に対応する旋廻テーブル表示２０３、プレヒータ部１０５に対応するプレヒータ部表示２０５、樹脂タブレット供給部１０９に対応する樹脂タブレット供給部表示２０９、金型１０６に対応する金型表示２０６、ローダ１３０に対応するローダ表示２３０、アンローダ１４０に対応するアンローダ表示２４０、冷却ステージ１０７に対応する冷却ステージ表示２０７、ゲートブレーク部１０８に対応するゲートブレーク部表示２０８、成形品収納部１０４に対応する成形品収納部表示２０４がされている。なお、これらはあくまで例示であり、これら以外の部分の表示を設けることは自由である。また、それぞれの表示にはリードフレームに相当する表示として縦長の長方形をした表示（リードフレーム表示部ＬＦ）が２つ表示されている（図３（Ａ）参照）。これは２枚のリードフレームが同時に搬送されて樹脂封止されるためである。また、当該縦長の表示の間に、樹脂に相当する表示として３つの丸い表示（樹脂表示部ＲＣ）が表示されている（図３（Ａ）参照）。ここで、旋廻テーブル表示２０３及びプレヒータ部表示２０５にこの丸い表示がされていないのはこの過程では樹脂が供給されないからである。また、アンローダ表示２４０、冷却ステージ表示２０７及びゲートブレーク表示２０８においては樹脂が「桁」のように表示されているが、これは封止工程を経た後の「カル部」の樹脂を表示しているためである（図３（Ｂ）参照）。更に、成形品収納部表示２０４に樹脂の表示がされていないのは、ゲートブレーク部１０８にて当該「カル部」の樹脂がゲートブレークされ破棄されるためである。
【００２４】
また、それぞれの位置にリードフレームや樹脂が存在していないときには各部の表示は黒で表示される。各位置にリードフレームや樹脂などが存在する場合には、その種類に応じて色が変化する（予め種類に応じて対応付けられた色：例えば青、赤、黄、緑など）構成とされている。
【００２５】
なお、ここでは表示態様として「色の変化」を用いているが、その他にも、「模様の変化」、「形状の変化」更には「これらの組み合わせ」を採用することも可能である。また、「色の変化」には変化前後の色を相互に繰り返すような所謂「点滅」のような態様も含まれる概念である。なお、本実施形態では、リードフレームや樹脂が存在しないときにもその部分を積極的に「黒」で表示しているが、「何も表示しない」ということで存在しないことを表示してもよい。
【００２６】
<樹脂封止装置全体の作用>
続いて樹脂封止装置１００の作用について説明する。
【００２７】
最初に、基板供給部１０２から樹脂封止前の一枚のワーク（基板やリードフレーム）が旋廻テーブル１０３へと搬送される。この搬送は搬送ハンドによって行われる。この搬送によって、旋廻テーブル表示２０３のうち片方のリードフレーム表示部ＬＦの色が例えば「赤」に変化する。旋廻テーブル１０３に一枚のワークが搬送されると旋廻テーブル１０３が回転する。これにより旋廻テーブル表示２０３のリードフレーム表示部ＬＦの「赤」が他方側へと移動する。その後もう１枚のワークが搬送ハンドによって旋廻テーブル１０３へと搬送され、計２枚のワークが旋廻テーブル１０３上に配置される。これにより旋廻テーブル表示２０３の両方のリードフレーム表示部ＬＦが「赤」で表示される。その後ローダ１３０によって２枚のワークが同時にプレヒータ１０５部に搬送される。ここでワークが所定の温度にまで加熱され保温される。プレヒータ１０５部は本実施形態では２つ設けられており、そのうちのいずれか（空いている側）に搬送される。この搬送により、旋廻テーブル表示２０３のリードフレーム表示部ＬＦが「黒」となり、プレヒータ部表示２０５のリードフレーム表示部ＬＦが「赤」となる。一方、樹脂タブレット供給部１０９からは、封止材料としての樹脂タブレットが供給される。これに伴い樹脂タブレット供給部表示２０９の３つの丸い部分（樹脂タブレット表示部ＲＣ）が、例えば「赤」で表示される。その後、プレヒータ部１０５にて保温されているワークおよび樹脂タブレットが、ローダ１３０によって、金型１０６へと搬送される。これに伴い、プレヒータ表示２０５および樹脂タブレット供給部表示２０９が「黒」に変化し、同時にローダ表示２３０の樹脂タブレット表示部ＲＣが全て「赤」となる。
【００２８】
その後所定の金型１０６へと搬送され、当該金型１０６において樹脂封止（プレス作業）が完了すると、今後はアンローダ１４０によって樹脂封止後のワークが冷却ステージ１０７へと搬送される。冷却ステージ１０７では、樹脂封止後のワークが所定の温度にまで冷却される。その後再びアンローダ１４０によって、ワークが冷却ステージ１０７からゲートブレーク部１０８へと搬送される。ここではワークの不要部分、即ち、カル部に相当する樹脂がゲートブレークされて取り除かれる。不要部分は破棄され、残ったワークが製品収納部１０４へとアンローダ１４０によって搬送される。ここでも順次、モニタ画面１９０のそれぞれの位置に対応する部分の表示の色が順次「赤」に変化する。このような手順が繰り返されることによって樹脂封止が連続して行われる。
【００２９】
また、旋廻テーブル１０３が空いた時点を見計らって、次のリードフレームが基板供給部１０２から旋廻テーブル１０３へと搬送される。ここで搬送されるリードフレームは先のリードフレームとは異なる種類のものであるため、旋廻テーブル表示２０３のリードフレーム表示部ＬＦの色は例えば「青」で表示される。その後は前述と同じ工程を経て作業が進んでいく。同様に更に他の種類のリードフレームの場合は「黄」や「緑」の表示がなされる。
【００３０】
このように、樹脂封止装置１００においては、モニタ画面１９０の画像によって、「どの種類のワークがどの位置に存在しているのか」が視覚的に把握可能とされている。このように表示することによって、例えば、何らかのトラブル発生により装置が停止したような場合には、どの種類のワークがどの位置にてトラブルとなっているのかがモニタ画面上にて即時把握することができるため、素早く復旧措置に移ることが可能となる。その結果、樹脂のポットライフが無駄に経過してしまったり、ワークが必要以上に加熱（例えば金型やプレヒータでの加熱）された結果、当該ワークの破棄を余儀なくされてしまうという状況の発生を防止することが可能となっている。
【００３１】
なお、モニタ画面上にて材料の種類に応じてその表示態様を変えるに当たっては、各所定の場所に位置している材料の種類を装置側にて認識しておく必要がある。この認識は、例えば、予め特定マガジンに収容されている材料が特定の種類の材料であることを前提にして当該情報を利用してもよい。ただしその場合は、特定のマガジンに収容されているべき材料自体に誤りがある場合には、モニタ画面の表示と現実に装置内で搬送されている材料の種類との不一致が生じることとなる。そこで例えば、材料の搬送過程にカメラ等の判別手段を別途設け、当該判別手段の判別結果にも基づいて表示を行うように構成してもよい。このように構成すれば、現実に搬送されている材料の種類とモニタ画面表示上の材料の種類との間の不一致を排除することが可能となる。
【００３２】
また、上記では「トランスファ成形」を行う樹脂封止装置を例に説明しているが、これに限定される趣旨のものではない。その他にも「圧縮成形」など広く樹脂封止方式に関らず適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
特に、複数の金型を有する所謂「マルチプレス」タイプの樹脂封止装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の実施形態の一例である樹脂封止装置１００の概略構成図
【図２】モニタ画面の画像図
【図３】モニタ画面における表示例
【符号の説明】
【００３５】
１００…樹脂封止装置
１０１…ベース部
１０２…基板供給部
１０３…旋回テーブル
１０４…成形品収納部
１０５…プレヒータ
１０６…金型
１０７…冷却ステージ
１０８…ゲートブレーク
１０９…樹脂タブレット供給部
１２０…Ｘ方向ガイド
１３０…ローダ
１４０…アンローダ
１８０…リードフレーム
１９０…モニタ画面
２０３…旋廻テーブル表示
２０４…成形品収納表示
２０５…プレヒータ部表示
２０６…金型表示
２０７…冷却ステージ表示
２０８…ゲートブレーク表示
２０９…樹脂タブレット供給部表示
２３０…ローダ表示
２４０…アンローダ表示
【図１】
0004724693.tif 000002
【図２】
0004724693.tif 000003
【図３】
0004724693.tif 000004