(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設けた被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、前記上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
【請求項２】
各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設けた被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、前記上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを移動可能に設け、前記プローブガイド孔及びプローブ固定孔を通してワイヤープローブを前記上部プレート部と下部プレート部及び前記固定プレート部に装着させた後、前記固定プレートを上下方向へ移動させて前記ワイヤープローブを前記上部プレート部及び又は前記下部プレート部に固定させることを特徴とする、ワイヤープローブ用治具。
【請求項３】
前記固定プレートを前記上部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項４】
前記固定プレートを前記下部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項５】
前記固定プレートを前記下部プレート部及び又は上部プレート部の互いの対向面側にそれぞれ上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項６】
前記固定プレートを前記上部プレート部及び又は下部プレート部を構成する薄板プレートとしたことを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項７】
前記固定プレートを上下方向へ移動させる場合、当該固定プレートに設けるプローブ固定孔は、このプローブ固定孔と接して固定される下部プレート部のプローブガイド孔に対し、芯をずらせてあることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項８】
前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部は、前記固定プレートに接する下部プレート部及び又は上部プレート部に設けたプローブガイド孔の小径部より同等若しくは大径に形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項９】
前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部は、傾斜して設けられていることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項１０】
前記ワイヤープローブは、前記固定プレートと前記上部プレート部の間に、撓み可能に装着されることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項１１】
前記ワイヤープローブは、前記下部プレート部及び又は下部プレート部に設けたプローブガイド孔に少し傾斜して装着されることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項１２】
前記上部プレート部及び又は下部プレート部にその上面又は下面の側から接する前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の大径部は、前記下部プレート部及び又は上部プレート部に設けるプローブガイド孔の小径部と対向するように構成されていることを特徴とする、請求項１に記載のワイヤープローブ用治具。
【請求項１３】
被検査基板の導通検査や動作特性検査を行うものであって、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のワイヤープローブ用治具を用いることを特徴とする、検査装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路などの被検査基板の検査を行う際に用いて好適なワイヤープローブ用治具並びに検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造された半導体集積回路等の被検査基板は、これを実装する前に、その配線パターンにおける短絡や断線の有無についての導通検査や、その回路構造に対して信号を送ったときの動作特性検査等の電気的特性検査を行う必要がある。近年、とくに半導体集積回路においては高集積化、微細化が進んでいることから、この電気特性検査を行う治具として、多数の弾性を有するごく細のワイヤープローブを用いた縦型垂直プローブ方式が主流となっている。この検査装置は、この多数のワイヤープローブを用いたプローブ用治具を電極基板と被検査基板の間に挟み、各プローブを電極基板と被検査基板の各端子に接触させて電気特性検査を行うように構成されている。
【０００３】
このような構成の検査装置にあっては、多数本のワイヤープローブの各先端が確実に電極基板や被検査基板の接触端子へ接触するように構成することを要する。そのために、上部プレート部と下部プレート部を離間対向させて設け、上部プレート部と下部プレート部に設けた多数のプローブガイド孔を介してワイヤープローブを通した上で、上部プレート部と下部プレート部の位置をずらせることによってワイヤープローブに撓みを持たせてその軸方向に弾力を付与し、各ワイヤープローブの両端が上部プレート部や下部プレート部の端面より僅かに突出するようにしたものが、例えば下記特許文献１によって公知である。このように構成することにより、下記特許文献１に記載されたものは、ワイヤープローブがその両端に接触する電極基板や被検査基板に確実に当接して接触不良とならないように工夫している。
【０００４】
次に、特許文献２には、さらに、上部プレート部と下部プレート部を複数枚のプレートで構成し、この各プレートに設けたプローブガイド孔の径や位置をずらすことにより、これらのプローブガイド孔内を通っているワイヤープローブがプローブガイド孔へ引っかかったり、摩擦抵抗が生ずるようにして、ワイヤープローブがワイヤープローブ用治具の上部プレート部や下部プレート部から抜け落ちたり、不必要に突出してしまわないようにする工夫がされている。
【特許文献１】特開２００１−５０９８２号公報
【特許文献２】特開２００５−３３８０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のように構成したワイヤープローブ用治具を、検査装置にセットしたり外して保管したり、或は電極基板を着脱したりしている間に、振動や揺れ、物に当てた際の衝撃などによって、各ワイヤープローブの両端が、上部プレート部か下部プレート部の端面から突出し過ぎるか、或は引込んでしまうかしてしまい、この状態が逆に上述したプローブ挿通孔との間の摩擦抵抗により促進されそのまま保持されてしまう現象が生じ、使用時に電極基板や被検査基板に対し接触不良を起こしてしまうという問題が生じた。
【０００６】
この発明の目的は、上述した従来技術の問題点を解決しようとするもので、一度治具にセットしたワイヤープローブがセット時の位置から上下方向へずれるのを防止できるワイヤープローブの固定手段を備えたワイヤープローブ用治具並びに検査装置を提供せんとするにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するためにこの発明は、被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設け、上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを上下方向へ移動可能に設けたものである。
【０００８】
さらにこの発明は、被検査基板の導通検査や動作特性検査等を行う際に用いられるワイヤープローブ用治具であって、各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る上部プレート部と、同じく各々にワイヤープローブをガイドする複数のプローブガイド孔を有する複数枚の薄板プレートから成る下部プレート部とを離間対向させて設け、上部プレート部と及び又は下部プレート部との間に複数のプローブ固定孔を有する固定プレートを移動可能に設け、プローブガイド孔及びプローブ固定孔を通してワイヤープローブを上部プレート部と下部プレート部及び固定プレート部に装着させた後、固定プレートを上下方向へ移動させて前記ワイヤープローブを上部プレート部及び又は下部プレート部に固定させることを特徴とする。
【０００９】
その際にこの発明は、固定プレートを上部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたり、固定プレートを下部プレート部の側に上下方向へ移動可能に設けたりすることができる。
【００１０】
この発明はまた、前記固定プレートを前記下部プレート部及び又は上部プレート部の互いの対向面側にそれぞれ上下方向へ移動可能に設けたことを特徴とする。
【００１１】
さらに、この発明は、固定プレートを上部プレート部及び又は下部プレート部を構成する薄板プレートとしたことを特徴とする。
【００１５】
この発明はまた、固定プレートを上下方向へ摺動させてワイヤープローブを固定させる場合、プローブ固定孔と接する下部プレート部のプローブガイド孔に対し、芯をずらせることが好ましい。
【００１６】
さらに、この発明は、前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部は、前記固定プレートに接する下部プレート部及び又は上部プレート部に設けたプローブガイド孔の小径部より同等若しくは大径に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
この発明はまた、前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の小径部を、傾斜して設けることができる。
【００１８】
さらに、この発明は、前記ワイヤープローブは、前記固定プレートと前記上部プレート部の間に、撓み可能に装着されることを特徴とする。
【００１９】
さらに、この発明は、前記ワイヤープローブは、前記下部プレート部及び又は下部プレート部に設けたプローブガイド孔に少し傾斜して装着することができる。
【００２０】
さらに、この発明は、前記下部プレート部及び又は上部プレート部にその上面又は下面の側から接する前記固定プレートに設けるプローブ固定孔の大径部を、前記下部プレート部及び又は上部プレート部に設けるプローブガイド孔の小径部と対向するように設けることができる。
【００２１】
そして、この発明は、被検査基板の導通検査や動作特性検査を行う検査装置を、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のワイヤープローブ用治具を用いることによって構成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、プローブ固定孔を設けた固定プレートを下部プレート部や上部プレート部に対し移動させることによって、ワイヤープローブの固定プレートを介しての軸方向の移動が防止乃至抑制されるので、ワイヤープローブ用治具の使用中、検査装置や電極基板からの脱着作業時、或は使用待機中に治具に加わる衝撃や振動等によって、ワイヤープローブがプローブガイド孔内に引込んでしまったり、不必要に突出してしまったりして、電極基板や被検査基板との間で接触不良を起こす恐れを大幅に改善することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に基づいて本発明を実施するための最良の形態（以下、実施の形態という）について説明する。尚、図面は本発明を概略的に示すものであって、図面によって各部材の厚みや幅が異なる場合のあることに留意すべきである。ワイヤープローブは、実際には多数本のワイヤープローブが密集して装備されているが、図２以外の図面は代表してその１本を表示してある。
【００２４】
図１は、本発明の一実施の形態に係るワイヤープローブ用治具１を用いた検査装置を概略的に示す説明図である。図面によれば、検査装置３０は、機台部３１の上に台部３２を介して下部側のワイヤープローブ用治具１が下部側の電極基板４と共にセットされている。機台部３１より立設したガイド部材３３に上下方向へ移動可能に取り付けられた移動機台部３４の下側には、上部台部３５に取り付けた上部側の電極基板３６と共に上部側のワイヤープローブ用治具２がセットされている。下部側のワイヤープローブ用治具１と上部側のワイヤープローブ用治具２は同じ構成のものであり、下部側のワイヤープローブ用治具１の上部プレート部７と上部側のワイヤープローブ用治具２の上部プレート部３７（つまり、この場合には上部側のワイヤープローブ用治具２の上部プレート部３７は当該ワイヤープローブ用治具２の下側にあるが、下部側のワイヤープローブ用治具１と同じ構成であるので、上部プレート部というように定義する。）との間に被検査基板３をセットした上で、上部側のワイヤープローブ用治具２を下降させて(或は下部側のワイヤープローブ用治具１を上昇させて）被検査基板３を挟み、被検査基板３の図示してない接触端子に両側からワイヤープローブ８、８の各端部が接触するようにして電流を通して、計測機３９によってさまざまな電気的特性について検査するものである。尚、指示記号３８はコネクターである。
【００２５】
図２は本発明に係るワイヤープローブ用治具の斜視図である。上述したように構成が同じであるので、図１に示したように、本来２つあるワイヤープローブ用治具１と２のうち、１方のワイヤープローブ用治具１のみを図示してある。図面によれば、ワイヤープローブ用治具１は電極基板４に取り付けられた、薄板プレート５ａ、５ｂ、５ｃを重ね合わせて成る下部プレート部５と、この下部プレート部５に対し、複数の支柱６を介して離間対向させて設けた、薄板プレート７ａ、７ｂ、７ｃを重ね合わせて成る上部プレート部７と、その両端を下部プレート部５の下面と、図示されたように上部プレート部７の上面に僅かに突出させて成る多数のワイヤープローブ８から成る。図示のもので、電極基板４を含めた全体の高さは約３５ｍｍ程度である。尚、ワイヤープローブ８の突出部分８ａは図面ではワイヤープローブ８の上端側、つまり上部プレート部７の上端部側のみが図示されている。
【００２６】
図３は図２に示したワイヤープローブ用治具１の内部構造を説明するための縦断面図であり、図４はさらに図３の要部の拡大断面図である。いずれの図面も解り易くするために、多数のワイヤープローブのうち１本だけを図示してある。図面によれば、下部プレート部５は上述したように３枚の薄板プレート５ａ、５ｂ、５ｃを重ね合わせることによって構成されている。ちなみに、各薄板プレート５ａ、５ｂ、５ｃの厚さはそれぞれ３ｍｍ、３ｍｍ、及び２ｍｍ程度であるが、１例であってこれらのものに限定されない。各薄板プレート５ａ、５ｂ、５ｃは取付ネジ１５ａによって支柱６に重合固着されている。各薄板プレート５ａ、５ｂ、５ｃには、各々軸芯を共通にすることによって設けた大径部と小径部の組み合わせから成るプローブガイド孔９、１０、１１が設けられ、このプローブガイド孔９、１０、１１を貫通してワイヤープローブ８が装着されている。ちなみに実施の形態では、ワイヤープローブ８の外径が０．１１ｍｍの場合には、各プローブガイド孔９、１０、１１の小径部９ａ、１０ａ、１１ａの内径は０．１５ｍｍであり、大径部９ｂ、１０ｂ、１１ｂの内径は２．０ｍｍであるが、これは1例であってこれらのものに限定されない。また、各プローブガイド孔９、１０、１１の大径部９ｂ、１０ｂ、１１ｂの深さは、それぞれ１．５ｍｍ程度であるが、これもこのものに限定されない。
【００２７】
各プローブガイド孔９、１０、１１の大径部９ｂ、１０ｂ、１１ｂの位置については、プローブガイド孔９、１０の大径部９ｂと１０ｂが対向しており、プローブガイド孔１１の大径部１１ｂはプローブガイド孔１０の小径部１０ａと対向している。図４に示したように、ワイヤープローブ８の上下方向の両端部側は、その絶縁塗料を剥がすことによって、裸となっており、電極基板４側、及び被検査基板３側へ若干（だいたい０．０５〜０．５ｍｍ程度）突出するように構成されている。これは各ワイヤープローブ８の両端部が、図１に示したように、電極基板４の電極ワイヤーや被検査基板３の接触端子に確実に接触するようにするためである。
【００２８】
電極基板４には、電極ワイヤーガイド孔１２が設けられている。この電極ワイヤーガイド孔１２も、多数本ワイヤープローブに合わせた数が設置されているが、図示を１個に省略してある。この電極ワイヤーガイド孔１２も軸芯を共通にした大径部１２ｂと小径部１２ａによって形成されており、電極ワイヤー１３が挿通されている。ちなみに、実施例のもので、電極ワイヤー１３の径は０．１４ｍｍ、電極ワイヤーガイド孔１２の小径部１２ａの内径は０．１８ｍｍ、大径部１２ｂの内径は３．０ｍｍ程度であるが、これらのものに限定されない。電極基板４は、図示してない締付ボルトで下部プレート部５に固定されている。尚、電極ワイヤー１３は電極ワイヤーガイド孔１２の大径部１２ｂに接着剤１４で固着されると共に、電極基板の下側に伸びる自由端側は、図１に示したように、コネクター３８を介して計測機３９へ接続されている。
【００２９】
下部プレート部５の上側には、支柱６を介して上部プレート部７が所定空間を空けて（つまり離間対向させて）取り付けられている。指示記１５ｂのものは、支柱６へ上部プレート部７を取り付ける取付ネジである。
【００３０】
上部プレート部７も３枚の薄板プレート７ａ、７ｂ、７ｃを重ね合わせ固定ネジ２４で重合固着して構成されている。２枚の場合もある。ちなみに、各薄板プレート７ａ、７ｂ、７ｃの厚さはそれぞれ１．５ｍｍ、１．５ｍｍ、及び２．０ｍｍであるが、これらのものに限定されない。薄板プレートも３枚以下の場合や３枚以上の場合もある。さらに、各薄板プレート７ａ、７ｂ、７ｃには、各々芯を共通にして設けた大径部と小径部の組み合わせから成るプローブガイド孔１６、１７、１８が設けられ、このプローブガイド孔１６、１７、１８を貫通して下部プレート部５に保持されたワイヤープローブ８が装着されている。
【００３１】
上部プレート部７の各薄板プレート７ａ、７ｂ、７ｃに設けたプローブガイド孔１６、１７、１８の小径部１６ａ、１７ａ、１８ａの内径は０．１２ｍｍであり、大径部１６ｂ、１７ｂ、１８ｂの内径は２．０ｍｍであるが、これらのものに限定されない。
【００３２】
また、各プローブガイド孔１６、１７、１８の大径部１６ｂ、１７ｂ、１８ｂの深さは、それぞれ１．０ｍｍ程度であるが、これもこれらのものに限定されない。
【００３３】
各プローブガイド孔１６、１７、１８の大径部１６ｂ、１７ｂ、１８ｂの位置については、プローブガイド孔１６の大径部１６ｂとプローブガイド孔１７の大径部１７ｂが対向しており、プローブガイド孔１８の大径部１８ｂはプローブガイド孔１７の小径部１７ａと対向しているが、このものに限定されない。とくに図５に示したように、ワイヤープローブ８の被検査基板３側の端部は、上述したように絶縁塗料を剥がすことによって裸となっており、被検査基板３側へ若干（略０．０５ｍｍ〜０．５ｍｍ程度）突出するようにその寸法が定められている。ちなみに、絶縁塗料を剥がした長さは、被検査基板３側の方が長くなっている。
【００３４】
次に、下部プレート部５の上側に位置して取付ガイド孔２０ａと位置決め孔２０ｂへ支柱６と位置決めピン２１を挿通させて、固定プレート２０が上下方向へ移動可能に取り付けられている。この固定プレート２０は、省略して１つのみ図示してあるが、複数のワイヤープローブ孔と同数の小径部２２ａと大径部２２ｂから成るプローブ固定孔２２が設けられ、ワイヤープローブ８をプローブ固定孔２２へ挿通させている。このプローブ固定孔２２の位置は、下部プレート部５のプローブガイド孔１１の位置より僅かに芯をずらせて設けられている。小径部２２ａの内径は０．１７ｍｍであり、大径部２２ｂの内径は２．０ｍｍであるが、このものに限定されない。材厚は２．０ｍｍであり、プローブ固定孔２２の大径部２２ｂの深さは１．０ｍｍであるが、このものに限定されない。この固定プレート２０の上下方向の移動幅は２ｍｍ程度とすることが好ましいが、このものに限定されない。
【００３５】
固定プレート２０のプローブ固定孔２２の小径部２２ａを、上述するようにこれと対向する下部プレート部５の薄板プレート５ｃに設けたプローブガイド孔１１の小径部１１ａとの間で芯をずらせることが好ましい。そのずらせ幅であるが一応の目安は以下の通りである。上述したように、ワイヤープローブ８の外径は、０．１１ｍｍとした場合、薄板プレート５ｃのプローブガイド孔１１の小径部１１ａの内径を０．１５ｍｍとしており、固定プレート２０のプローブ固定孔２２の小径部２２ａの内径０．１７ｍｍとしていることから、
（０．１５−０．１１）＋（０．１７−０．１５）＝０．０６となり、
ずらせ幅は、０．０６ｍｍということになる。尚、このずらせ幅は、ワイヤープローブ８を薄板プレート５ｃのプローブガイド孔１１の小径部１１ａに対し、完全に固定させるか、或は摩擦抵抗の範囲にとどめるかによって違いが出てくるものであり、以上のずらせ幅に限定されるものではない。本発明は、摩擦抵抗による程度の固定でも、十分に効果があることを確認している。また、小径部１１ａの上側と小径部２２ａの下側のいずれか一方、或は双方に面取り、アール等を施すことは必要に応じて任意に選択できる事項である。
尚、指示記号２５のものは、固定ネジ２３を緩めたり、締め付けたりするためのドライバー用の挿入孔である。この挿入孔２５は、固定ネジを下部プレート部５の下面側から固定ネジ２３を取り付けた場合には不要となる。
【００３６】
次に、作用効果について説明する。下部プレート部５上に固定プレート２０を約２ｍｍ離して保持させた状態で支柱６を介して上部プレート部７を組み付けてある。この組み付けの際に、固定プレート２０が均等に下部プレート部５より離れているようにその４方向の間隔を調節することが望ましい。固定プレート２０はその位置決め孔２０ｂと位置決めピン２１との間で、フリクション摺動するように、その内径、外径寸法が定められている。位置決めピン２１の数は、図面では１本であるが、少なくとも３本以上設けられていることが好ましい。
【００３７】
ワイヤープローブ８のワイヤープローブ用治具１に対する装着時や交換時においては、電極基板４を取り外した状態で、上部プレート部７側を下に向け、下部プレート部５側を上に向けて置き、ワイヤープローブ８の裸になっている両端部のうち長い方を先に向けて下部プレート部５の上側を向いている薄板プレート５ａ側より、各プローブガイド孔９、１０、１１を介して挿入させ、続いて固定プレート２０のプローブ固定孔２２を介して挿通させ、さらに上部プレート部７の各プローブガイド孔１６、１７、１８を介して挿通させると、ワイヤープローブ８の両端部が、とくに図４に示したように、下部プレート部５の薄板プレート５ａと上部プレート部７の薄板プレート７ｃの各外表面に、その先端が０．０５〜０．５程度露出させた状態になる。その際に、上部プレート部７の下面に図示してない０．１ｍｍ厚程度の樹脂シート状のピンブロックを置き、下部プレート部５側より挿入したワイヤープローブ８を軽く押すことによって、多数のワイヤープローブを使用するものであっても平均した突出長さが得られるようになる。
【００３８】
このようにして、全てのワイヤープローブ８をワイヤープローブ用治具１に装着し終わったら、このワイヤープローブ用治具１をもう一度ひっくり返して上部プレート部７側を上に向け、図示してない０．１ｍｍ厚程度の樹脂シート状のピンブロックを置き、下部プレート部５の薄板プレート５ａを置いて、上部プレート部７の薄板プレート７ｃの上面に突出している各ワイヤープローブ８の先端を治具を用いて均等に押した後、固定プレート２０を上下間隔のバランスを取りながら下部プレート部５の薄板プレート５ｃ側へ摺動させ、薄板プレート５ｃに当接した後、固定ネジ２３を用いて固定プレート２０を下部プレート部５の上面に密着固定させる。すると、固定ネジ２３を取り付けた固定プレート２０の雌ネジ孔２０ｃの軸芯と薄板プレート５ｃの雌ネジ孔５ｄの軸芯が若干ずらせてあることから、各ワイヤープローブ８の両端部は丁度よい寸法だけ、下部プレート部５と上部プレート部７より上下方向に突出した状態で固定プレート２０のプローブ固定孔２２の小径部２２ａの芯と下部プレート部５の薄板プレート５ｃのプローブガイド孔１１の小径部１１ａの芯とが僅かにずれることになり、ワイヤープローブ８が小径部２２ａと１１ａとの間で固定され、しかる後、振動や衝撃がワイヤープローブ用治具１に加わっても、ワイヤープローブ８が軸方向へ摺動してしまうことを防止できることから、しかる後、当該ワイヤープローブ８がとくに下部プレート部５の下面や上部プレート部７の上面より突出している幅が変化するのを有効に防止することができるものである。尚、ここのところは、最初から小径部２２ａと１１ａの芯をずらせておいても良く、この場合には、雌ネジ孔２０ｃと５ｄの軸芯をずらす必要はない。また、固定プレート２０を固定ネジ２３で仮締めした後、側面をたたくか力を加えるかして、若干水平方向へずらせた後、固定ネジ２３で本締めするようにしても良い。
【００３９】
さらに、ワイヤープローブ８の固定方法として、他にもプローブ固定孔２２のとくに小径部２２ａを少し傾斜して設けることによって、固定プレートを上下方向へ摺動させると、自然にワイヤープローブ８が下部プレート部５に固定させるという方法によってもよい。
【００４０】
図５乃至図６は、本発明にかかるワイヤープローブ用治具の他の実施の形態を示す。図面において図３乃至図４のものと、指示記号の同じものは、とくにことわらない限り同じ部材を示し、その説明を省略することがある。
【００４１】
この実施の形態のワイヤープローブ用治具４０が、先の実施の形態のワイヤープローブ用治具１と異なる点は、図示のものでは、図３乃至図４に示した固定プレート２０を省略し、本来下部プレート部４１を構成する薄板プレートのうち、上部の薄板プレートを固定プレート４４として垂直方向へ摺動可能に構成した点である。つまり、先の実施の形態のものによると、薄板プレート５ｃとなるものがワイヤープローブ８の固定プレート４４となっている。
【００４２】
この実施の形態のものは、固定プレートを別に設けず、この固定プレートを本来下部プレート部を構成する薄板プレートで代用したもので、このように構成してもこの発明の目的は達成できる。即ち、下部プレート部４１を構成する薄板プレートを４１ａと４１ｂの２枚にしたもので、先の実施例の３番目の薄板プレートに相当するものを、固定プレート４４としたものである。尚、指示記号４３と４５は、プローブ８のプローブガイド孔とプローブ固定孔であり、指示記号４３ａと４５ａがその小径部、指示記号４３ｂと４５ｂがその大径部である。
【００４３】
図７は、この発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示したものである。指示記号の同じものは、先の実施例のものと同じ部材を示しているので、説明を省略する場合がある。図面によれば、この実施の形態にかかるワイヤープローブ用治具５０は、下部プレート部５１を構成する薄板プレート５１ａ、５１ｂ、５１ｃのうち、真中の薄板プレート５１ｂを固定プレートとして用い水平方向へずらしてワイヤープローブ５６を下部プレート部５１へ固定させるものであり、水平方向へずらせる方向としては、前後左右及び斜め方向のいずれの方向であっても良い。
【００４４】
この実施の形態の場合、ワイヤープローブ５６を固定する方法としては、まず、各ワイヤープローブ５６を下部プレート部５１と上部プレート部５２の各プローブガイド孔５３、５５・５８、５９とプローブ固定孔５４へ挿通させた後、上部プレート部５２の上面上に突出した各ワイヤープローブ５６を上から押して下部プレート部５１へ当該ワイヤープローブを（０．１〜０．２）突出させその後、薄板プレート５１ｂ（固定プレート）を水平方向へ若干ずらし、図示していない位置決めピンで薄板プレート５１ａ、５１ｃと共に位置決めをしてその後に固定ネジ５７で増締めを行うことが好ましい。固定方法については先に説明した方法を適宜選択し得る。このことは以下に説明する他の実施例の場合にも当て嵌ることである。
【００４５】
図８はさらに、この発明に係るワイヤープローブ用治具の他の実施の形態を模式的に示すものである。指示記号の同じものは、先の実施例のものと同じ部材を表わしているので、説明を省略する場合がある。図面によれば、この実施の形態にかかるワイヤープローブ用治具６０は、下部プレート部６１を構成する薄板プレート６１ａ、６１ｂ、６１ｃのうち、真中の薄板プレート６１ｂを固定プレートとして用いるものであり、この固定プレート６１ｂを水平方向へずらせる方向としては、前後左右及び斜め方向のいずれの方向であっても良い。
【００４６】
この実施の形態の場合、ワイヤープローブ６６を固定する方法としては、まず、各ワイヤープローブ６６を下部プレート部６１と上部プレート部６２の各プローブガイド孔６３、プローブ固定孔６４、プローブガイド孔６５、６８、６９へ挿通させた後、上部プレート部６２の上面に突出した各ワイヤープローブ６６を上から押して下部プレート部６１へ当該ワイヤープローブを（０．１〜０．２）突出させその後、薄板プレート、即ち固定プレート６１ｂを水平方向へ若干ずらし、図示していない位置決めピンで薄板プレート６１ａ、６１ｃと共に位置決めをしてその後に固定ネジ６７増締めを行うことが好ましい。
【００４７】
図７と図８のものの違いは、ワイヤープローブ５６と６６の傾斜方向と、下部プレート部５１と６１に設けるプローブガイド孔とプローブ固定孔の各位置である。尚、プローブガイド孔とプローブ固定孔は模式的に示してあり、大径部と小径部は同芯である。即ち、ワイヤープローブ用治具５０のものはワイヤープローブ５６が右側に傾斜しており、ワイヤープローブ用治具６０のものはワイヤープローブ６６が左側に傾斜している。また、プローブガイド孔については、ワイヤープローブ用治具５０のものは、プローブガイド孔５３とプローブ固定孔５４の芯は略一致しており、プローブガイド孔５５のものはプローブ固定孔５４とは芯のずれが大きくなっている。また、ワイヤープローブ用治具６０の方は、プローブガイド孔６３とプローブ固定孔６４の互いの芯は大きくずれており、プローブ固定孔６４とプローブガイド孔６５との互いの芯のずれは小さくなっている。互いの上部プレート部５２．６２の薄板プレート５２ａ、５２ｂと６２ａ、６２ｂに設けたプローブガイド孔５８,５９・６８、６９の芯の位置は互いに略一致している。
【００４８】
図９は、この発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示したものである。指示記号の同じものは、先の実施例のものと同じ部材を表わしているので、説明を省略する場合がある。図面によれば、この実施の形態にかかるワイヤープローブ用治具７０は、下部プレート部７１を構成する薄板プレート７１ａ、７１ｂ、７１ｃのうち、最上部の薄板プレート７１ｃを固定プレートとして用い、水平方向へずらしてワイヤープローブ７６を下部プレート部７１へ固定させるものであり、水平方向へずらせる方向としては、前後左右及び斜め方向のいずれの方向であっても良い。
【００４９】
この実施の形態の場合、ワイヤープローブ７６を固定する方法としては、まず、各ワイヤープローブ７６を下部プレート部７１と上部プレート部７２の各プローブガイド孔７３、７５・プローブ固定孔７４及び、プローブガイド孔７８、７９へ挿通させた後、上部プレート部７２の上面上に突出した各ワイヤープローブ７６を上から押して下部プレート部７１へ当該ワイヤープローブを（０．１〜０．２）突出させその後、固定プレートとなる薄板プレート７１ｃを水平方向へ若干ずらし、図示していない位置決めピンで薄板プレート７１ｂ、７１ａと共に位置決めをしてその後に固定ネジ７７で増締めを行うことが好ましい。
【００５０】
図１０はさらに、この発明に係るワイヤープローブ用治具の他の実施の形態を模式的に示すものである。指示記号の同じものは、先の実施例のものと同じ部材を表わしているので、説明を省略する場合がある。図面によれば、この実施の形態にかかるワイヤープローブ用治具８０は、下部プレート部８１を構成する薄板プレート８１ａ、８１ｂ、８１ｃのうち、真ん中の薄板プレート８１ｂ固定プレートとして用いるものであり、この固定プレート８１ｂを水平方向へずらせる方向としては、前後左右及び斜め方向のいずれの方向であっても良い。
【００５１】
この実施の形態の場合、ワイヤープローブ８６を固定する方法としては、まず、各ワイヤープローブ８６を下部プレート部８１と上部プレート部８２の各プローブガイド孔８３、８４、プローブ固定孔８５、プローブガイド孔８８、８９へ挿通させた後、上部プレート部８２の上面上に突出した各ワイヤープローブ８６を上から押して下部プレート部８１へ当該ワイヤープローブを（０．１〜０．２）突出させその後、薄板プレート８１ｃを水平方向へ若干ずらし、図示していない位置決めピンで薄板プレート８１ｂ、８１ａと共に位置決めをしてその後に固定ネジ８７で増締めを行うことが好ましい。
【００５２】
図９と図１０のものの違いは、ワイヤープローブ７６と８６の傾斜方向と、下部プレート部７１と８１に設けるプローブガイド孔とプローブ固定孔の各位置である。尚、プローブガイド孔とプローブ固定孔は模式的に示してあり、大径部と小径部は同芯である。即ち、ワイヤープローブ用治具７０のものはワイヤープローブ７６が右側に傾斜しており、ワイヤープローブ用治具８０のものはワイヤープローブ８６が左側に傾斜している。また、プローブガイド孔については、ワイヤープローブ用治具７０のものは、プローブガイド孔７３、７４とプローブ固定孔７５がジグザグ状態で形成されている。また、ワイヤープローブ用治具８０の方は、プローブガイド孔８３と８４及びプローブ固定孔８５は一方向にずれて設けられている。互いの上部プレート部７２、８２の薄板プレート７２ａ、７２ｂと８２ａ、８２ｂに設けたプローブガイド孔７８,７９・８８、８９の芯の位置は互いに略一致している。
【００５３】
尚、図７乃至図１０のものも、薄板プレートの枚数は図示のものに限定されず、枚数を多くしても良い。
【００５４】
尚、以上いずれの実施例においても、ワイヤープローブを固定プレートによって完全に固定する方式と、フリクション抵抗によって軸方向の摺動を抑止する方式の２つがあるが、どちらでもその要求される条件によって選択できる。本明細書において「固定」と記載した場合にはその両者を含む概念で使用している。
【００５５】
また、固定プレートは下部プレート部の側に設けられることが好ましいが、上部プレート部の側に設けられることを排除するものではない。さまざまな条件により、上部プレート部側に設けられる場合もある。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
以上詳細に説明したように、本発明は簡単な構成で、ワイヤープローブを装着させた後、固定プレートを移動させることにより、しっかりとワイヤープローブを下部プレート部や上部プレート部に固定できるので、検査装置に対し繰り返し着脱を行っても、ワイヤープローブと電極基盤や非検査基盤に対する接触状態が悪くなることを防止できるワイヤープローブ用治具として好適に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明に係るワイヤープローブ用治具を用いる検査装置を概略的に説明する説明図である。
【図２】本発明に係るワイヤープローブ用治具の斜視図である。
【図３】本発明に係るワイヤープローブ用治具の構成を説明する断面図である。
【図４】図３に示したワイヤープローブ用治具を要部を拡大して表示した断面図である。
【図５】本発明に係るワイヤープローブ用治具の他の実施の形態を説明するための断面図である。
【図６】図５に示したワイヤープローブ用治具の要部を拡大して説明する断面図である。
【図７】本発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図８】本発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図９】本発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図１０】本発明に係るワイヤープローブ用治具のさらに他の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００５８】
１、２    ワイヤープローブ用治具
３    被検査基板
４    電極基板
５    下部プレート部
５ｄ  雌ネジ孔
７    上部プレート部
８    ワイヤープローブ
９    プローブガイド孔
１０    プローブガイド孔
１１    プローブガイド孔
１６    プローブガイド孔
１７    プローブガイド孔
１８    プローブガイド孔
２０    固定プレート
２０ａ  取付ガイド孔
２０ｂ  位置決め孔
２０ｃ  雌ネジ孔
２１    位置決めピン
２２    プローブ固定孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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