(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビーム（１）のスペクトル領域のスペクトル選択・検出装置であって、
光ビームをスペクトル分解する手段（３）と、
あるスペクトル領域をそのまま絞込射出しかつ絞込射出されないスペクトル領域の少なくとも一部を反射する手段（６、１１）（以下「絞込射出・反射手段」という。）と
を含む選択装置（２）、及び
絞込射出されるスペクトル領域のビーム路と反射されるスペクトル領域のビーム路に配される、異なる検出特性ないし検出方法を有する異なる構造の複数の検出器（８）を含む検出装置
を含んで構成されるスペクトル選択・検出装置において、
その都度絞込射出又は反射されるスペクトル領域が検出され、かつその都度反射又は絞込射出されるスペクトル領域が更に絞込射出又は反射されて検出されるよう、前記絞込射出・反射手段（６、１１）及び前記異なる構造の複数の検出器（８、１３）からなるカスケード段がカスケード状に複数配置されること、
前記絞込射出・反射手段は、複数のカスケード段のうちいずれのものを選択して活性化するかを変更することができること、及び
前記絞込射出・反射手段によって選択されて活性化された個々のカスケード段（４、１２）毎に、少なくとも３つのスペクトル領域を選択的に活性化しかつ検出可能とすること、
を特徴とする装置。
【請求項２】
スペクトル領域全体を、予め設定可能な所定の割合に分割すること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
スペクトル領域を、ニュートラルフィルタによって、ニュートラルなスペクトル分割という意味で分割すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
スペクトル領域を、偏光依存的に分割すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項５】
前記選択装置（２）及び前記検出装置は、１つのモジュールに統合されていること
を特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の装置。
【請求項６】
少なくとも１つの光電子増倍管を検出器（８、１３）として有すること
を特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の装置。
【請求項７】
複数のフォトダイオードを含む少なくとも１つのユニットを検出器（８、１３）として有すること
を特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の装置。
【請求項８】
複数のＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）を含む少なくとも１つのユニットを検出器（８、１３）として有すること
を特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の装置。
【請求項９】
複数のＡＰＤが、第１のカスケード段（４）に配されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記絞込射出・反射手段（６、１１）は、ただ１つのカスケード段（４又は１２）のみが常時活性化できるように構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記絞込射出・反射手段（６、１１）は、少なくとも２つのカスケード段（４、１２）が同時に活性化できるように構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
前記絞込射出・反射手段（６、１１）は、前記光ビーム（５）を予め設定可能な比率でスペクトル的に分割すること
を特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の装置。
【請求項１３】
前記絞込射出・反射手段（６、１１）は、完全に又は部分的にのみ開放可能な摺動ミラー装置として構成されること
を特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の装置。
【請求項１４】
複数の前記カスケード段（４、１２）は、平面的に配されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
複数の前記カスケード段（４、１２）は、立体的に配されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１６】
前記カスケード段（４、１２）の間には、それぞれの結像を適合化するための光学手段（９）が配されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１７】
前記光学手段（９）は、前記絞込射出・反射手段により分割された焦点線をそれぞれ次段のカスケード段へ結像するよう作用すること
を特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記光学手段（９）は、複数のレンズないしレンズユニットを含むこと
を特徴とする請求項１６又は１７に記載の装置。
【請求項１９】
個々の検出器（８、１３）の直前に、前記絞込射出・反射手段により分割されたスペクトルを復元させるための光学要素（７、１４）を有すること
を特徴とする請求項１〜１８の何れか一項に記載の装置。
【請求項２０】
光学要素（７、１４）として、プリズムを有すること
を特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記検出器（８、１３）の前方のビーム路に、検出のために開放されるシャッタが配されること
を特徴とする請求項１〜２０の何れか一項に記載の装置。
【請求項２２】
前記シャッタは、検出中に過剰の光が検出器に入射したとき自動的に閉鎖されるように構成されていること
を特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記検出器（８、１３）は、冷却可能に構成されること
を特徴とする請求項１〜２２の何れか一項に記載の装置。
【請求項２４】
前記検出器（８、１３）には、それぞれの検出態様に適合された電子工学系が後置されること
を特徴とする請求項１〜２３の何れか一項に記載の装置。
【請求項２５】
個々の検出器（８、１３）の配線は、配線長さ、抵抗、インピーダンスに関し、それぞれの検出態様に対し調整されていること
を特徴とする請求項１〜２４の何れか一項に記載の装置。
【請求項２６】
請求項１〜２５の何れか一項に記載の装置を有することを特徴とする走査顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームの（複数の）スペクトル領域のスペクトル選択・検出装置であって、光ビームをスペクトル分解する手段と、あるスペクトル領域を絞込射出（Ausblenden）しかつ絞込射出されないスペクトル領域の少なくとも一部を反射する手段とを含む選択装置、及び絞込射出されるスペクトル領域のビーム路と反射されるスペクトル領域のビーム路に配される検出器（複数）を含む検出装置を含んで構成されるスペクトル選択・検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ビームの複数のスペクトル領域をスペクトル選択・検出するためのこの種の装置は既知である（後掲特許文献１参照）。この既知の装置を用いて、異なるスペクトル領域の選択・検出を同時かつ高効率で実行しようと試みられた。この特許文献１の請求項５によれば、複数のスペクトル領域を絞込射出・反射する手段と複数の検出器とが互いにカスケード状に配置されることにより、絞込射出されたスペクトル領域はその都度検出され、反射されたスペクトル領域は場合によって更に絞込射出されて同様にその都度検出される。
【特許文献１】ＤＥ４３３０３４７Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この既知の装置は、当業界ではマルチバンドディテクタと称しているが、つねに極めて特殊な応用例にしか適しないという欠点がある。というのは、そのような応用例では、構造が同じ検出器（複数）のみを含むからである。従って、応用事例に適用されかつそれに適した検出を可能とするために、個々具体的な応用例に応じて特別な検出器タイプを有する構造群を選び出すことが必要とされる。これに応じて、従来は、異なる複数のこの種の検出モジュールが構築され、そして、必要に応じて、装置の内部又は際に、通常は走査顕微鏡の内部又は際の、適切な位置に配されていた。
【０００４】
本発明の課題は、個々具体的に必要とされる検出方法の如何に関わらず汎用的に使用可能であるように光ビームのスペクトル領域（複数）のスペクトル選択・検出装置を形成・発展させることである。この場合、構造が単純でかつ異なる複数のスペクトル領域の選択・検出の信頼性が大きいことが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の光ビームのスペクトル領域（複数）のスペクトル選択・検出装置は、上記の課題を請求項１の（特徴部に記載の）特徴によって解決する。即ち、本発明の装置は、（互いに）異なる検出特性ないし検出方法を有する（互いに）異なる構造の検出器（複数）を有することを特徴とする。このため、その都度の検出要求（目的）に応じて、個々具体的な応用例に応じて必要とされる検出可能性（検出手段）をまさに有する検出器（複数）を、その都度（ないしそれぞれ）絞込射出(ausblenden)ないし反射されるビーム路を介して活性化することが可能となる。換言すれば、選択分岐路（Selektionszweigen）の各々に、その都度必要とされるスペクトル領域によって制御ないし照射可能（beaufschlagbar）に構成された互いに異なる構造を有する検出器（複数）が配される。
即ち、本発明の一視点において、光ビームのスペクトル領域のスペクトル選択・検出装置は、
光ビームをスペクトル分解する手段と、
あるスペクトル領域をそのまま絞込射出しかつ絞込射出されないスペクトル領域の少なくとも一部を反射する手段（以下「絞込射出・反射手段」という。）と
を含む選択装置、及び
絞込射出されるスペクトル領域のビーム路と反射されるスペクトル領域のビーム路に配される、異なる検出特性ないし検出方法を有する異なる構造の複数の検出器を含む検出装置
を含んで構成されるスペクトル選択・検出装置において、
その都度絞込射出又は反射されるスペクトル領域が検出され、かつその都度反射又は絞込射出されるスペクトル領域が更に絞込射出又は反射されて検出されるよう、前記絞込射出・反射手段及び前記異なる構造の複数の検出器からなるカスケード段がカスケード状に複数配置されること、
前記絞込射出・反射手段は、複数のカスケード段のうちいずれのものを選択して活性化するかを変更することができること、及び
前記絞込射出・反射手段によって選択されて活性化された個々のカスケード段毎に、少なくとも３つのスペクトル領域を選択的に活性化しかつ検出可能とすること、を特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
とりわけ有利な一形態では、その都度絞込射出又は反射されたスペクトル領域が検出され、かつ（その際）その都度反射又は絞込射出されたスペクトル領域が更に絞込射出又は反射された後検出されるように、複数のスペクトル領域を絞込射出・反射する手段（複数）及び検出器（複数）がカスケード状に（kaskadiert）配置される。異なるカスケードには互いに異なる構造を有する検出器（複数）が配されるため、個々の検出器を制御することにより種々の検出要求が充足される。何れにせよ本質的なことは、本発明の装置には、互いに異なる構造を有する検出器（複数）が統合（一纏めに）されていることである。このような検出器としては、適切な任意の検出器を使用することができる。
【０００７】
また、異なるカスケードに、同じ構造を有するが互いに異なるスペクトル領域を検出可能なように構成された検出器（複数）を配することも可能である。例えば、同じ検出器のグループ（複数）をカスケード状に統合することができるが、この場合、検出器はカスケード毎に互いに異なる（異なるカスケードには異なる検出器が配される）。更に、同じ（１つの）カスケードに異なる検出器（複数）が配された「混合型」も構成可能である。
【０００８】
カスケード毎に、少なくとも２つのスペクトル領域が選択可能かつ検出可能に構成することができる。有利な一形態では、光ビームのスペクトル分解手段とスペクトル領域（複数）の絞込射出手段とを含んで構成される相応の装置によって、３又は４以上のスペクトル領域が選択され、それに応じて検出されるように構成することができる。この構成によって、本発明の装置の可変性を著しく増大することができる。
【０００９】
とりわけ重要な一形態は、選択装置（複数）及び検出装置（複数）のモジュール統合化、即ち装置の内部又は際の適切な位置に配設可能に構成された準（quasi）モノリシックな（一体構造型の）モジュールへの統合化である。このモノリシック構造のために、選択装置（複数）及び検出装置（複数）に関する個々の調整作業を不要とすることができる。というのは、そのような構造では、個々の光学的構成要素の互いに対する固定的な（光学的）位置関係が予め調整されているからである。
【００１０】
蛍光検出の目的のために、例えば、光電子増倍管が検出器として使用される。迅速な測定が必要とされる場合、（上記の）モジュールは、複数のフォトダイオードを含む装置を検出器として備える。とりわけ微弱信号の場合は、複数のＡＰＤ（アバランシェ（Avalanche）フォトダイオード）を含む装置を検出器として提供される。原理的には、カスケード（複数）には、個々の検出要求においておよそ考えられる限り全ての応用例に対し適切な検出器であればおよそ考えられる任意のものを配することが可能である。
【００１１】
ＡＰＤが使用される場合、ＡＰＤをそれぞれ第１のカスケードに配するととりわけ有利である。というのは、ＡＰＤは、現在の技術水準によれば、装置全体の中で最も感度の大きい検出器であり、また結像特性は次段以降のカスケードでは段を経る毎に一層悪化するからである。その他の特徴として、ＡＰＤは検出面積が小さい。上述したように、異なるカスケードに、互いに異なるタイプの検出器を使用することも可能である。
【００１２】
通常は、常にただ１つのカスケードのみが、当該カスケードに配された検出器（複数）とともに、活性（アクティブ）であるように、絞込射出・反射手段（Mittel zum Ausblenden und Reflektieren）は構成される。尤も、異なる複数のカスケードを同じ時点で（gleichzeitig）−同時に（simultan）−活性（アクティブ）にすることも可能であり、その場合、絞込射出・反射手段も相応に構成することができる。とりわけ有利な一形態では、この絞込射出・反射手段は、光ビームを予め設定可能な割合（比率）で、好ましくは可変的に、スペクトル的に分割（スペクトル分割）することができる。
【００１３】
スペクトル全体を所定の割合、例えば１０％対９０％のスペクトル成分に分割することも可能である。また、（この）分割は、ニュートラルスプリッタによる分割として行うことも可能である。相応に考察すれば、このことは、例えば全スペクトル成分の１０％が「ＦＬＩＭカスケード（ＦＬＩＭ＝Fluorescence Lifetime Imaging Microscopy：蛍光寿命イメージング顕微鏡法）」に供給されかつ（全）スペクトル成分の９０％が「イメージングカスケード（Imaging-Kaskade）」に供給されることを意味し得る。また、偏光スプリッタ（Polarisationsteiler）によるスペクトル領域の偏光依存性分割も可能である。この場合、例えば、スペクトルの全Ｓ成分が所定の検出カスケードに供給されかつ全Ｐ成分が他の検出カスケードに供給されるように構成することも可能である。このために使用可能な（複数の）摺動ミラー装置（Spiegelschieber）は、適切に構成・配置される必要がある。
【００１４】
スペクトル領域を絞込射出・反射するための選択装置は、完全に又は部分的にのみ開放可能な摺動ミラー装置（複数）を有することができる。既に例示的に説明したように、１つの検出器カスケードのみが使用される場合、これは即ち第２のカスケードが使用されるべき場合であるが、摺動ミラー装置（複数）は、第１の検出分岐路（Detektionszweig）においては完全に開放される。複数のカスケードを同時に使用する場合、摺動ミラー装置（複数）は部分的に開放され得るが、これは所望の分割（比）に応じて実行される。
【００１５】
摺動ミラー装置（複数）を使用する場合のとりわけ有利な点は、摺動ミラー装置（複数）のうちの１つのみ又は２以上が摺動されることにより、個々のカスケード間での切り替えを迅速に実行できるということである。このことは、短時間で共焦点的（共焦点法による）概観画像を撮像し、次いで光電子増倍管以外の検出器が使用される試料上の所定の位置においてＦＣＳ測定又は寿命測定が実行されるべき場合にとりわけ重要である。
【００１６】
構造上の観点から、それぞれ選択装置及び検出装置を有するカスケード（複数）を平面的に配することも可能である。また、立体的な（３次元的な）配置も可能であるが、この場合、そのようにして形成された立体的（３次元的）モジュールを可及的にコンパクトに構成することも可能である。また、個々の検出分岐路又はカスケードを−相応の接続手段を介して−拡張することも可能であり、このため、例えばより多くの数の光電子増倍管を使用することを追加的に（後から）行うことも可能となる。何れにせよ、原理的には、モジュールを−モジュール式に−更なる検出可能性（手段）の分だけ拡張することができるが、拡張性は、更なるカスケードの補充（追加形成）によるもののほか、個々のカスケードに検出分岐路（Detektionsaesten）を補充（追加形成）することによっても実行することができる。
【００１７】
カスケードと検出分岐路との間には、それぞれの結像を適合化（調整）するための光学手段（複数）が配される。これらの光学手段は、例えば、スペクトル的に分割された焦点線（Fokuslinien）をそれぞれ次段のカスケードへ結像するよう作用する。１つの具体例では、これらの光学手段は、レンズ（複数）ないしレンズ装置を含んで構成される。検出器の直前に、とりわけＡＰＤ（複数）の直前に、スペクトル分割を復元させる（もとにもどす）（Rueckgaengigmachen）ための光学手段（複数）を配することも可能であるが、これはＡＰＤの場合は検出面が非常に小さいので一層都合がよい。その限りにおいて、光学手段として、プリズム等を使用することができる。
【００１８】
更に、検出器の前方のビーム路に−どの構造の場合でも全く同様であるが−必要のある場合にのみ開放する即ち検出のためのシャッタを配すると有利である。この場合、シャッタは、検出中に検出器に過剰な光が入射すると自動的に閉鎖するよう構成することができる。この措置によって、検出器が検出に使用されない場合や過剰な光が検出器に入射し得る場合、何れにせよ、検出器には光が入射されないという限りにおいて、検出器は保護される。
【００１９】
検出器自体に関していえば、検出器が冷却可能に構成されていると有利である。冷却は、どのような検出器に対しても有利であるが、特殊な構造を有する検出器の場合には必須のものでもあり得る。
【００２０】
更に、異なる複数の検出器タイプのため、個々の検出器に適合化された電子（制御）装置を検出器（複数）に後置すると有利である。例えば、高速応答フォトダイオードでは、５０Ω−接続（回路抵抗）（Anschluss）を必要とする。更に、配線（Verkabelung）もまた重要な役割を有するが、そのため、個々の検出器の配線を配線長、抵抗、インピーダンス等に関し個々の検出器タイプに適合化することも有利である。
【００２１】
更に、本発明の装置には極めて多様な使用可能性があることに注意すべきである。とりわけ有利なのは走査顕微鏡に使用することであるが、走査顕微鏡としては、共焦点レーザ走査顕微鏡が有利であり得る。
【００２２】
更に、本発明の教示を有利な態様で具現化・発展させる種々多様な可能性が存在する。このため、一方では請求項１に従属する請求項を、他方では後述する図面を用いた本発明の実施例に関する説明を参照すべきである。図面を用いた本発明の有利な実施例の説明との関連において、本発明の教示の好ましい実施態様・発展形態については、一般的にも説明する。なお、ここに、本発明の好ましい実施の形態をまとめて示す：
（形態１）  上記の課題を解決するための本発明の一視点における光ビームのスペクトル領域のスペクトル選択・検出装置は、
光ビームをスペクトル分解する手段と、
あるスペクトル領域を絞込射出しかつ絞込射出されないスペクトル領域の少なくとも一部を反射する手段（以下「絞込射出・反射手段」という。）と
を含む選択装置、及び
絞込射出されるスペクトル領域のビーム路と反射されるスペクトル領域のビーム路に配される複数の検出器を含む検出装置
を含んで構成され、
異なる検出特性ないし検出方法を有する異なる構造の複数の検出器が配設されることを特徴とする（基本構成）。
（形態２）  上記形態１の装置において、その都度絞込射出又は反射されるスペクトル領域が検出され、かつその都度反射又は絞込射出されるスペクトル領域が更に絞込射出又は反射されて検出されるよう、絞込射出・反射手段及び検出器がカスケード状に配置されること、及び
異なるカスケード段には、それぞれ、異なる構造の検出器が配されることが好ましい。
（形態３）  上記形態２の装置において、前記異なるカスケード段には、同じ構造の検出器が配されることが好ましい。
（形態４）  上記形態２又は３の装置は、個々のカスケード段毎に、少なくとも３つのスペクトル領域を選択及び検出することが好ましい。
（形態５）  上記形態１〜４の何れかの装置は、スペクトル領域全体を、予め設定可能な所定の割合に分割することが好ましい。
（形態６）  上記形態１〜４の何れかの装置は、スペクトル領域を、ニュートラルフィルタによって、ニュートラルなスペクトル分割という意味で分割することが好ましい。
（形態７）  上記形態１〜４の何れかの装置は、スペクトル領域を、偏光依存的に分割することが好ましい。
（形態８）  上記形態１〜７の何れかの装置において、前記選択装置及び前記検出装置は、１つのモジュールに統合されていることが好ましい。
（形態９）  上記形態１〜８の何れかの装置は、とりわけ蛍光検出の目的で、少なくとも１つの光電子増倍管を検出器として有することが好ましい。
（形態１０）  上記形態１〜９の何れかの装置は、とりわけ敏速測定の目的で、複数のフォトダイオードを含む少なくとも１つのユニットを検出器として有することが好ましい。
（形態１１）  上記形態１〜１０の何れかの装置は、とりわけ微弱信号の場合、複数のＡＰＤ（アバランシェフォトダイオード）を含む少なくとも１つのユニットを検出器として有することが好ましい。
（形態１２）  上記形態２〜４の何れかの装置において、複数のＡＰＤが、第１のカスケード段に配されることが好ましい。
（形態１３）  上記形態２〜４の何れかの装置において、前記絞込射出・反射手段は、ただ１つのカスケード段のみが常時活性化できるように構成されていることが好ましい。
（形態１４）  上記形態２〜４の何れかの装置において、前記絞込射出・反射手段は、少なくとも２つのカスケード段が同時に活性化できるように構成されていることが好ましい。
（形態１５）  上記形態１〜１４の何れかの装置において、前記絞込射出・反射手段は、前記光ビームを予め設定可能な比率で、好ましくは可変的に、スペクトル的に分割することが好ましい。
（形態１６）  上記形態１〜１５の何れかの装置において、前記絞込射出・反射手段は、完全に又は部分的にのみ開放可能な摺動ミラー装置として構成されることが好ましい。
（形態１７）  上記形態２〜４の何れかの装置において、複数の前記カスケード段は、平面的に配されることが好ましい。
（形態１８）  上記形態２〜４の何れかの装置において、複数の前記カスケード段は、立体的に配されることが好ましい。
（形態１９）  上記形態２〜４の何れかの装置において、前記カスケード段の間には、それぞれの結像を適合化するための光学手段が配されることが好ましい。
（形態２０）  上記形態１９の装置において、前記光学手段は、前記絞込射出・反射手段により分割された焦点線をそれぞれ次段のカスケード段へ結像するよう作用することが好ましい。
（形態２１）  上記形態１９又は２０の装置において、前記光学手段は、複数のレンズないしレンズユニットを含むことが好ましい。
（形態２２）  上記形態１〜２１の何れかの装置は、個々の検出器の直前に、とりわけＡＰＤの直前に、前記絞込射出・反射手段により分割されたスペクトルを復元させるための光学要素を有することが好ましい。
（形態２３）  上記形態２２の装置は、光学要素として、プリズムを有することが好ましい。
（形態２４）  上記形態１〜２３の何れかの装置において、前記検出器の前方のビーム路に、検出のために開放されるシャッタが配されることが好ましい。
（形態２５）  上記形態２４の装置において、前記シャッタは、検出中に過剰の光が検出器に入射したとき自動的に閉鎖されるように構成されていることが好ましい。
（形態２６）  上記形態１〜２５の何れかの装置において、前記検出器は、冷却可能に構成されることが好ましい。
（形態２７）  上記形態１〜２６の何れかの装置において、前記検出器には、それぞれの検出態様に適合された電子工学系が後置されることが好ましい。
（形態２８）  上記形態１〜２７の何れかの装置において、個々の検出器の配線は、配線長さ、抵抗、インピーダンス等に関し、それぞれの検出態様に対し調整されていることが好ましい。
（形態２９）  上記形態１〜２８の何れかの装置を有するとりわけ共焦点レーザ走査顕微鏡等の走査顕微鏡も本発明の課題の解決に有利に使用することができる。
【実施例】
【００２３】
図１は、本発明の装置の一例の基本構造の模式的ブロック状光回路図を示す。スペクトル的に分解されかつその後検出されるべき光ビームは、単に模式的に図示された選択装置２に取り込まれる。選択装置２は、光ビーム１のスペクトル分解手段３を有する。第１のカスケード４では、スペクトル的に分解された光（ビーム）５は、一組の摺動ミラー装置６に入射する。一組の摺動ミラー装置６は、簡単のために、以下では単に摺動ミラー装置６という。摺動ミラー装置６から出た光（ビーム）５は、各光学手段７を介して、第１のカスケード４の全部で３つの検出器８に到達し得るが、この場合、摺動ミラー装置６の位置ないし状態に応じてそれぞれ対応する検出器８に到達し得る。
【００２４】
摺動ミラー装置６において絞込阻止（反射ないし偏向）されなかった光（ビーム）（残りの透過光）は、更なる光学手段９、１０を介して、第２のカスケード１２の第２の一組の摺動ミラー装置１１に到達する。この一組の摺動ミラー装置１１についても、以下では簡単のために単に摺動ミラー装置１１という。摺動ミラー装置１１から出た光（ビーム）５は、第２のカスケード１２の全部で４つの検出器１３に向かって絞込（分岐）射出（反射）ないし偏向される。このカスケード１２にも、とりわけスペクトル分割を個々の検出器の前方で復元するために、個々の結像を適合化（調整）するよう作用する光学手段１４が配される。
【００２５】
図２に示した（本発明の装置の第２実施例の）模式図では、第１のカスケード４に特殊な検出器即ち（複数の）ＡＤＰ１５が配されている。図２には、単なる一例に過ぎないが、一組の摺動ミラー装置１６によって絞込（分岐）射出（反射ないし偏向）された光（ビーム）を受光する２つのＡＤＰ１５が示されている。更なる一組の摺動ミラー装置１７によって、スペクトル分割された光（ビーム）５は２つの更なるカスケード１８、１９に到達する。この実施例では、カスケード１８はＰＭＴ２０を、カスケード１９は高速応答フォトダイオード２１を検出器として有する。即ち、これら更なるカスケードは図１の構造に類似している。
【００２６】
上記模式的に図示して説明した実施例は、保護が要求された本発明の教示の理解の容易化に資するものに過ぎず、従って、当該教示を上記実施例に限定すべきではない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ブロック状光回路（Blockschaltbild）の意義においてカスケード化された検出分岐路（複数）を有する本発明の装置の一例の模式図。
【図２】第１のカスケードの検出器（複数）がＡＤＰとして構成されている本発明の装置の第２実施例の模式図。
【符号の説明】
【００２８】
１    光ビーム
２    選択装置
３    スペクトル分解手段
４    （第１の）カスケード
５    光ビーム
６    絞込射出及び反射する手段（摺動ミラー装置）
７    光学手段
８    検出器
９    光学手段
１０  光学手段
１１  摺動ミラー装置
１２  （第２の）カスケード
１３  検出器
１４  光学手段
１５  ＡＤＰ（検出器）
１６  摺動ミラー装置
１７  摺動ミラー装置
１８  （更なる）カスケード
１９  （更なる）カスケード
２０  ＰＭＴ（検出器）
２１  フォトダイオード（検出器）
【図１】
0004676956.tif 000002
【図２】
0004676956.tif 000003