(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置において、水平１軸方向に往復移動するガントリと、１基の前記ガントリのトップビームに前記トップビームの両側面に対称に配置されるように設けられ前記水平１軸方向に直交する水平１軸方向に互いに平行に往復移動する同型の２基の加工ヘッドと、前記各加工ヘッドに設けられた各移動体を鉛直方向に往復移動させるリニアモータと、前記各リニアモータを制御して前記各移動体を同期して移動させ前記各移動体に共通に取り付けられた１つの工具電極を被加工物に対して相対移動させる制御装置と、を備えた形彫放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置に関する。特に、同期して移動し得る同型のリニアモータ駆動方式の２基の加工ヘッドを有する形彫放電加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
形彫放電加工において、特許文献１に開示されているように、回転型サーボモータとボールねじとナットの組合せによる駆動方式（以下、回転型サーボモータ駆動方式）の加工ヘッドに比べてリニアモータによる駆動方式（以下、リニアモータ駆動方式）の加工ヘッドが有利であることが知られている。しかしながら、現実的にリニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置を実現するためには、総型の工具電極を懸架して高速・高加速度で往復移動させても耐え得る構造が必要である。実際、特許文献２に開示されるようなリニアモータ駆動方式の加工ヘッドを設けた形彫放電加工装置が発明されたが、リブ溝のような小さい工具電極を使用する加工に限られ、総型の工具電極を使用する加工を実施することは困難であった。そこで、特許文献３等に開示される構造のリニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置が考え出され、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドで標準的な大きさの総型の工具電極を使用する加工が実施できるようになった。
【０００３】
しかしながら、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドでは、工具電極の質量が大きいとその工具電極に見合う推力を得るために可動子が大きくなって移動部位全体の重量が重くなり、特に、移動体を鉛直方向に移動させる場合は下向きに滑り落ちるように重力が作用しているので、リニアモータの推力をより大きくする必要がある。そして、リニアモータの推力を大きくしようとすればするほど可動子が大型化して移動部位全体をさらに重くするという問題がある。そこで、特許文献４に開示される形彫放電加工装置のように、可能な限りリニアモータ駆動方式の加工ヘッドで加工を行ない、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドでは困難な大きさの工具電極を使用する加工では、回転型サーボモータ駆動方式に切り換えて往復移動制御する構成の形彫放電加工装置が考えられている。
【０００４】
ところで、回転型サーボモータ駆動方式かリニアモータ駆動方式かに関わらず、上記特許文献２や特許文献４に開示されるような複数の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置は、従前からよく知られている。例えば、特許文献２のように異なる大きさの加工ヘッドを複数設けた形彫放電加工装置として、特許文献５等が知られている。また、例えば、同型の加工ヘッドを複数設けた形彫放電加工装置として、特許文献６、特許文献７、特許文献８等に開示される形彫放電加工装置が挙げられる。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１０４３３２号公報
【特許文献２】特許第３４２７１７２号公報
【特許文献３】特許第３５４２５０８号公報
【特許文献４】特開２０００−２２５５２７号公報
【特許文献５】米国特許第５，４４４，２０４号公報
【特許文献６】特開昭６２−１５０１５号公報
【特許文献７】特公昭６３−２７９３８号公報
【特許文献８】特開平５−２２８７３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドは、重力の影響を直接受けるので工具電極の質量に見合う推力が要求される。また、放電加工液による正圧や負圧の影響をリニアモータの推力だけで対抗しなければならないので、その圧力に対抗し得る推力、言い換えれば、工具電極の面積に見合う推力が要求される。そして、もともと、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置の利点の１つとして、工具電極をより高加速度で移動させ高速反転させてジャンプさせることができるところにあるから、リニアモータ駆動方式の形彫放電加工装置では、移動部位全体を高加速度で移動させたり、移動方向を高速に反転させたりできる構造を有することは、必須の条件である。
【０００７】
しかしながら、大型の総型の工具電極（質量や面積）に見合う大出力のリニアモータを設けることは、工具電極の大きさに対して可動子があまりにも大きくなりすぎるおそれがある。また、大出力のリニアモータによって工具電極に対して大きくなりすぎた移動部位全体を高速・高加速度で鉛直方向に往復移動させると、機械全体が必要な剛性を得ることができずに要求される機械精度を得ることができなかったり、大きな振動を発生させるなどして、実際に加工することが困難になるおそれがある。端的に言えば、回転型サーボモータ駆動方式の加工ヘッドに代えてリニアモータ駆動方式の加工ヘッドを採用するメリットがないことになる。このようなことから、リニアモータ駆動方式で使用できる工具電極の大きさには限界があり、大型の総型の工具電極を使用する加工では、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを採用することは困難であった。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みて、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置で限界とされてきた大型の総型の工具電極を使用する放電加工を可能にする形彫放電加工装置を提供することを目的とする。本発明の具体的な構成における利点は、実施の形態の説明において詳細に記述される。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
また、本発明の形彫放電加工装置は、複数の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置において、水平１軸方向（Ｙ軸方向）に往復移動するガントリ（７）と、１基のガントリ（７）のトップビーム（７３）に前記トップビーム（７３）の両側面に対称に配置されるように設けられ上記水平１軸方向（Ｙ軸方向）に直交する水平１軸方向（Ｘ軸方向）に互いに平行に往復移動する同型の２基の加工ヘッド（１）と（２）と、各加工ヘッド（１）と（２）に設けられた各移動体を鉛直方向（Ｚ軸方向）に往復移動させるリニアモータ（１１）と（１２）と、各リニアモータ（１１）と（１２）を制御して各移動体を同期して移動させ各移動体に共通に取り付けられた１つの工具電極（３）を被加工物に対して相対移動させる制御装置（４）と、を備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の形彫放電加工装置は、同期して移動する同型のリニアモータ駆動方式の２基の加工ヘッドに共通に１つの工具電極を取り付ける取付部材を備えた構成であるから、計算上、１基の加工ヘッドで懸架できる最大質量の２倍の質量の工具電極を使用して放電加工することができる。その結果、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置ではこれまで不可能であった、例えば、大型液晶ディスプレイの成形金型や自動車のダッシュボードの成形金型の加工のような大型の総型の工具電極による放電加工が可能になり、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備えた形彫放電加工装置の利点が十分に生かされた放電加工が可能になる。
【００１３】
また、工具電極の大きさに対してリニアモータの可動子が大きくなり過ぎない。したがって、特に本機全体における高さが高くならず、また、加工ヘッドを支持する構造体の歪みや振動がより発生しにくくなり、構造体が極端に大きくならない。そのため、より小さなスペースで必要な剛性を確保して機械精度を維持し、大きな被加工物を加工することができる。
【００１４】
また、本発明の形彫放電加工装置は、同型の２基の加工ヘッドと、加工ヘッドの移動体を鉛直方向に往復移動させるリニアモータと、リニアモータを制御して各移動体を同期して移動させ共通に取り付けられる１つの工具電極を相対移動させる制御装置と、を備えるものであるから、工具電極の大きさに対して加工ヘッドが大きくなり過ぎないので、トップビームを移動させるガントリ型の構造を採用しやすい。そして、ガントリ型の構造にすることによって、いわゆるＣ形フレーム型の構造を有する形彫放電加工装置に比べて大型の総型の工具電極を懸架しても複雑な変位が少なく必要な機械精度が得られる。その結果、大型の工具電極を使用する加工であっても優れた加工精度を得ることができる。
【００１５】
そして、本発明の形彫放電加工装置は、同型のリニアモータ駆動方式の２基の加工ヘッドを同期して移動制御し１つの工具電極を相対移動させる構成であるから、軸送り装置の伝達機構が損傷するなどの障害が発生せず、避けがたい２基の加工ヘッドの同期ずれにともなう時間的に生じる僅かな位置の誤差の影響を最小限にすることができる。したがって、実用上問題なく２基の加工ヘッドで１つの工具電極を移動させることができる。さらに、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドであるから、２つの加工ヘッドの移動体の静止位置が多少ずれていても軸送り機構に障害が発生せず、制御装置によって選択的に加工ヘッドの移動体を独立させて移動させることができる。したがって、特別の手段を設けることなく倒れ修正のような工具電極のアライメントを行なうことができる。その結果、大型の工具電極を取り付けることがより容易になり、作業性が向上する。
【００１６】
また、同型の２基の加工ヘッドが１基のガントリのトップビームの両側面に対称に配置される構成にすることで、１つの工具電極を２基の加工ヘッドで支持するときにバランスが取りやすく、曲げ、歪み、振動がより生じにくくなる。その結果、より安定した機械精度を得ることができ、優れた加工精度を得ることができる。
【００１７】
また、加工ヘッドを水平１軸方向に移動できるように構成し、ガントリと加工ヘッドを制御装置で移動制御する構成としたときは、テーブルが固定され被加工物が移動しない構成にできるので、機械精度に被加工物や放電加工液の量が影響せず、優れた加工精度を得ることができる。また、加工槽が移動しない構成であるので、被加工物の大きさに比べてスペースを相対的に小さくすることができる。そして、加工ヘッドをリニアモータで水平１軸方向に移動させることで、全体的に避けがたい同期ずれにともなう時間的に生じる僅かな位置の誤差の影響を最小限にすることができる。したがって、実用上問題なく２基の加工ヘッドを同期して１つの工具電極を移動させることができる。
【００１８】
さらに、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドをリニアモータ駆動方式で水平１軸方向（Ｘ軸）に移動する構成にすることによって、２つの加工ヘッドの静止位置が多少ずれていても軸送り機構の伝達機構が損傷するなどの障害がなく、制御装置によって選択的に加工ヘッドを独立させて移動させることができる。したがって、特別の手段を設けることなく水平出しや倒れ修正のような工具電極のアライメントを行なうことができる。その結果、大型の工具電極を取り付けることがより容易になり、作業性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１ないし図３に、本発明の形彫放電加工装置の好ましい実施の形態の本機の構成が示される。放電加工液を貯留する貯留槽を含む加工液供給装置は、図示省略される。また、図２に示される２基の加工ヘッドのうち、図面右側の加工ヘッドは、上部側面のカバーを外した状態で示される。図４は、好ましい制御装置のブロック構成が示される。以下、図１ないし図４を用いて本発明の形彫放電加工装置を具体的に説明する。
【００２０】
本発明の形彫放電加工装置は、同期して移動する同型のリニアモータ駆動方式の第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２との２基の加工ヘッドを備える。第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２は、移動体の下端に共通に１つの工具電極を取り付ける着脱可能な取付部材１０，２０を有する。取付部材１０と取付部材２０は面板であり、２つの面板で１つの大きな工具電極を取付固定することができるとともに、それぞれ別々に工具電極を取り付けることができる。図３に示されるように、取付部材１０と取付部材２０は、第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２とに橋渡して設けられる１つの大きな取付部材３０に工具電極３を取り付ける構成にすることができる。
【００２１】
第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２は、図４に示されるコンピュータ数値制御装置４１とモータ制御装置４２を含む制御装置４によって同期して移動制御され、取付部材１０，２０、または取付部材３０に共通に取り付けられた１つの工具電極を被加工物に対して相対移動させる。実施の形態の形彫放電加工装置の主軸（主制御軸）は、鉛直方向であって数値制御上ではＺ軸である。第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２の移動体は、リニアモータ１１とリニアモータ２１によって鉛直方向に往復移動される。リニアモータ１１とリニアモータ２１は、コンピュータ数値制御装置４１の指令信号Ｚｒに基づいて出力される制御電流Ｚｉａ，Ｚｉｂによって駆動制御され、第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２との２基の加工ヘッドの移動体をＺ軸方向に同期して移動させる。したがって、数値制御プログラムの中では、Ｚ軸方向には、１つの指令値（Ｚｒ）がプログラムされる。
【００２２】
第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２とに共通に１つの工具電極を取り付けて加工するときは主軸は１つであり、放電加工中は第１の加工ヘッドの移動体であるクイル１２と第１の加工ヘッド２の移動体であるクイル２２とがばらばらに移動することが許されない。したがって、本発明の形彫放電加工装置で実現される２基の加工ヘッドが“同期”して移動することの意味は、制御装置４の同一の指令信号Ｚｒに基づいて、同一の方向に同一の加速度と速度で同一の距離移動するように制御されることを意味する。このとき、本発明の形彫放電加工装置は、同型の２基の加工ヘッドを有するものであるから、２基の加工ヘッドを同期して移動制御することは比較的容易である。しかしながら、全く同一の部品を使用して同一の工程で厳格に管理されて製造された同型の加工ヘッドであってもそれぞれに個性が生じ、また、同スペックのモータであっても各モータに若干の性能の差が生じる。そのため、同一の指令信号Ｚｒに基づいて２基の加工ヘッドを同期して移動制御するようにしても、僅かではあるが、避け難い同期ずれが生じることがある。
【００２３】
したがって、仮に同期して移動制御される同型の回転型サーボモータ駆動方式の２基の加工ヘッドで１つの工具電極を主軸方向に移動させた場合は、２基の加工ヘッドの同期ずれにともなって発生する時間的な主軸方向の位置の違いが僅かであっても、言い換えれば、移動中のある時点で２つの移動体の速度や加速度に違いが生じると、ボールねじとナットが噛んだり、ねじ部のボールのような部材が異常に摩耗するなどして軸送り装置の伝達機構が損傷して加工することができなくなる。仮に、加工を続けることができても、加工ヘッド全体の歪みが生じるなどして機械精度が保証されず、許容できない加工精度の低下を招く。本発明の形彫放電加工装置は、同型の２基の加工ヘッドをリニアモータ駆動方式としたから、伝達機構が存在せず２基の加工ヘッドの避けがたい同期ずれがあっても吸収できるので、実用上問題なく２基の加工ヘッドを同期して１つの工具電極を移動させることができる。
【００２４】
図４で示される制御装置４は、第１の加工ヘッド１の移動体であるクイル１２を移動させるリニアモータ１１と第２の加工ヘッド２の移動体であるクイル２２を移動させるリニアモータ２１のそれぞれに制御電流Ｚｉａ，Ｚｉｂを出力するモータ制御装置４２を有する。したがって、実施の形態の形彫放電加工装置は、同型の２基の加工ヘッドの個性による差を制御によって補正することができるので、同期ずれによって生じる時間的な位置の誤差をより小さくできる。また、制御装置４には、クイル１２とクイル２２との位置をそれぞれ図示しないリニアスケールで測定して、検出されたそれぞれの位置ＺａとＺｂに誤差があるときは、中間値（Ｚａ＋Ｚｂ）／２から現在位置Ｚｄを出力する位置検出器４３が設けられている。したがって、実施の形態の形彫放電加工装置は、同型の２基の加工ヘッドの個性による差をより小さい範囲で速やかに補正することができるので、同期ずれによって生じる時間的な位置の誤差をより小さくする点で有利である。
【００２５】
制御装置４の数値制御装置４１は、少なくとも同時３軸制御を行なうことができる構成である。数値制御装置４１は、水平１軸方向（Ｙ軸方向）とその水平１軸に直交する水平１軸方向（Ｘ軸方向）の各移動体を移動させるモータを主軸と同期させて移動できるように、主軸の指令信号Ｚｒに同期させて各軸の指令信号ＸｒとＹｒを出力する。図４に示される制御装置４は、Ｘ軸方向のモータを制御するモータ制御装置４４とＹ軸方向のモータを制御するモータ制御装置４５をそれぞれ具備する。
【００２６】
以上に説明される実施の形態の形彫放電加工装置は、制御装置４が、選択的に第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２の各移動体を独立させて移動させることができる。したがって、例えば、第２の加工ヘッド２の移動体を停止させた状態で第１の加工ヘッド１の移動体を鉛直方向に移動させることによって工具電極の倒れを修正することができる。また、例えば、第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２の何れか一方に、またはそれぞれ別々に１基の加工ヘッドで懸架することができる比較的小さい大きさの工具電極を取り付けて加工することによって、従来の複数の加工ヘッドを有する形彫放電加工装置の利点を享受することができる。このとき、実施の形態の形彫放電加工装置では、取付部材（面板）１０または取付部材２０に工具電極を取り付けることができるが、取付部材１０（２０）を取り外して、内蔵されている取付部材（チャック）１３もしくは取付部材２３に電極ホルダを介して工具電極を取り付けるようにすることができる。
【００２７】
第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２の何れか一方を移動制御して１つの加工を実施するときは、主制御軸（主軸）は１つである。したがって、制御装置４を簡単に切り換えて使用することができる。図４に示される制御装置４の構成の場合は、例えば、第１の加工ヘッド１で放電加工をするときは第２の加工ヘッド２のモータ制御装置４２に指令信号Ｚｒを出力しないようにする。このとき、位置検出器４３からの検出信号は、Ｚａ＝Ｚｄとする。第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２を独立して同時に移動制御し２つの放電加工を同時に実施するときは、主軸は２つになる。したがって、２基の加工ヘッドを独立して同時に移動制御させることができるようにする場合は、２つの数値制御装置が設けられる。
【００２８】
加工用の電源装置５は、図示しない極間線を通して工具電極と被加工物とに給電する。第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２は、それぞれ工具電極に給電可能に構成される。第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２を独立して同時に移動制御し２つの放電加工を同時に実施するときは、２つの電源装置が設けられる。
【００２９】
実施の形態の形彫放電加工装置は、図１および図２に示されるように、ベッド６に設けられる水平１軸方向（Ｙ軸方向）に往復移動するガントリ７を備える。本発明でガントリ型とは、テーブルを跨いで設けられる構造体が水平１軸方向に移動し、上記構造体に加工ヘッドが設けられる構造をいう。したがって、構造体が移動しない、いわゆる一般的な門型の構造に対して被加工物を載置したテーブルを上記水平１軸方向に移動させる必要がないので、被加工物の大きさに対する設置面積を比較的小さくすることができる。実施の形態の形彫放電加工装置におけるガントリ７は、移動しないテーブル８と加工槽９を挟んで対向配置される第１の支柱７１と第２の支柱７２との２つの門形支柱（コラム）と、第１の支柱７１と第２の支柱７２との間に架設されるトップビーム７３とで構成される。
【００３０】
加工ヘッドは、それぞれ同型のガントリのトップビームにそのガントリが移動するＹ軸方向と直交する水平１軸方向（Ｘ軸方向）に移動可能に設けられる。したがって、第１の加工ヘッドと第２の加工ヘッドは、トップビーム上をＸ軸方向に互いに平行に往復移動する。そのため、実施の形態の形彫放電加工装置は、放電加工液で満たされる加工槽と被加工物を載置したテーブルが移動しない構成であるので、より重量が重く大きい被加工物を載置できるとともに被加工物の大きさに対する設置面積をさらに小さくすることができる。
【００３１】
図１および図２に示される形彫放電加工装置は、第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２の同型の２基の加工ヘッドが１基のガントリ７のトップビーム７３の両側面に対称に配置されている。そのため、１つの工具電極を２基の加工ヘッドで支持するときにバランスが取りやすく、曲げ、歪み、振動がより生じにくくなる。また、ガントリが１基であるので、ガントリどうしの干渉の問題が起こらず、ガントリの移動領域を大きくすることができる利点がある。また、２基の加工ヘッド１および２を同期させて移動制御するとき、ガントリ７が移動する水平１軸方向（Ｙ軸方向）に対して複数のガントリを同期させて移動制御する必要がなく、制御システムを比較的容易に構成できる。
【００３２】
図２に示されるように、実施の形態の形彫放電加工装置では、同型の２基の加工ヘッド１（２）は、それぞれの移動体であるクイル１２（２２）をリニアモータ１１（２１）の２次側可動子１１１（２１１）とする。クイル１２（２２）の両側面には２次側可動子１１１（２１１）の磁石板１１２（２１２）が配設され、クイル１２（２２）の磁石板１１２に所定の間隔をもって対向する位置に各励磁コイルのユニット１１３（２１３）が取り付けられるクイルベースであるリニアモータ１１（２１）の１次側固定子１１４（２１４）を備える。また、上記形彫放電加工装置は、クイル１２（２２）の移動軸と同軸上にカウンタバランスウェイトが作用するようにエアシリンダ１４（２４）を設けた構成としている。上記加工ヘッドの構成は、すでに説明されている特許文献２等に示される形彫放電加工装置の構成と同じ作用効果を有し、その優位な点は、特許文献２の記載が参照される。
【００３３】
また、実施の形態の形彫放電加工装置は、ガントリ７を水平１軸方向（Ｙ軸方向）に往復移動させる２つのリニアモータ６１および６２と、第１の加工ヘッド１をＹ軸方向と直交する水平１軸方向（Ｘ軸方向）に往復移動させるリニアモータ７４と、第２の加工ヘッド２を加工ヘッド１に対して平行にＸ軸方向に往復移動させるリニアモータ７５とを備える。ガントリ７と加工ヘッド１および加工ヘッド２のそれぞれは、リニアモーションガイドで案内される。
【００３４】
図１に示されるように、リニアモータ６１の１次側可動子（励磁コイル）６１１はガントリ７の第１の支柱７１の底部位に取り付けられ、２次側固定子（磁石板）６１２はベッド６に設けられる。同じように、図２に示されるように、リニアモータ６２の１次側可動子６２１はガントリ７の第２の支柱７２の底部位に取り付けられ、２次側固定子（図示せず）はベッド６に設けられる。リニアモータ７４の１次側可動子（励磁コイル）７４１は、第１の加工ヘッド１の後背部に設けられるスライダ７６に取り付けられ、２次側固定子（磁石板）７４２は、ガントリ７のトップビーム７３の側面に沿って設けられる。リニアモータ７５の１次側可動子（励磁コイル）７５１は、第２の加工ヘッド２の後背部に設けられるスライダ７７に取り付けられる。リニアモータ７５の２次側固定子（磁石板）７５２は、ガントリ７のトップビーム７３の側面に沿って設けられ、その側面は、リニアモータ７４の２次側固定子７４２が設けられる側面の反対側の面に当たる。
【００３５】
図４に示されるように、各リニアモータ６１，６２，７４，７５は、制御装置４によって制御される。図１に示される形彫放電加工装置は、第１の加工ヘッド１と第２の加工ヘッド２が共に水平１軸方向（Ｘ軸方向）に移動する構成であるので、主軸（Ｚ軸方向）と同じように、位置検出器４６によって図示しないリニアスケールで測定される第１の加工ヘッド１の位置Ｘａと第２の加工ヘッド２の位置Ｘｂの中間値である現在位置Ｘｄを得て、モータ制御装置４４からそれぞれのリニアモータ７４，７５に制御電流Ｘｉａ，Ｘｉｂが出力されるように構成される。
【００３６】
ガントリ７は１つの移動体が２つのリニアモータで移動される構成である。したがって、ガントリ７を移動させる２つのリニアモータ６１とリニアモータ６２は、１つのリニアスケールで検出されるガントリ７の現在位置Ｙｄでそれぞれフィードバック制御される。
【００３７】
上記実施の形態の形彫放電加工装置の構成は、本発明の技術思想を逸脱しない範囲で適宜変形して応用することが可能である。また、実施の形態の形彫放電加工装置を構成する装置や部材を他の装置や部材と組み合わせたり、同じ機能や性質を有する部材と置き換えることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備える形彫放電加工装置に適用できる。本発明は、リニアモータ駆動方式の加工ヘッドを備える形彫放電加工装置で放電加工することができる工具電極の範囲を広め、形彫放電加工装置の発展に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態の形彫放電加工装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態の形彫放電加工装置の右側面図である。
【図３】本発明の実施の形態の形彫放電加工装置の右側面の一部分を示し１つの大きな工具電極を取り付けた状態を示す右側面図である。
【図４】本発明の実施の形態の形彫放電加工装置の制御装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  第１の加工ヘッド
２  第２の加工ヘッド
４  制御装置
５  電源装置
６  ベッド
７  ガントリ
８  テーブル
９  加工槽
１０，２０  取付部材（面板）
１１，２１  リニアモータ
６１，６２  リニアモータ
７１  第１の支柱
７２  第２の支柱
７３  トップビーム
７４  リニアモータ
７６，７７  スライダ
【図１】
0004722598.tif 000002
【図２】
0004722598.tif 000003
【図３】
0004722598.tif 000004
【図４】
0004722598.tif 000005