(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内壁と、
前記内壁を貫通する円柱形態の第１回転軸と、
前記内壁と締結され、前記第１回転軸が通過する空間が形成された第１中空円筒部を有する第１中空円筒形締結部と、
第１回転軸の第１の位置に位置し、一方が前記第１回転軸と一体化されて閉鎖されかつ他方が閉鎖されていない部分で構成され、前記第１中空円筒部の外径よりさらに大きい内径を有する第１中空円筒形液除けと、
本体部に位置する第１ブラシを含む第１ロールブラシと、
円柱形態の第２回転軸と、
前記第２回転軸が通過する空間が形成された第２中空円筒部を有する第２中空円筒形締結部と、
第２回転軸の第２位置に位置し、一方が前記第２回転軸と一体化されて閉鎖されかつ他方が閉鎖されていない部分で構成され、前記第２中空円筒部の外径よりさらに大きい内径を有する第２中空円筒形液除けと、
本体部に位置する第２ブラシを含む第２ロールブラシと、を含み、
前記第１中空円筒部は、前記内壁側から前記第１ロールブラシ側へ延在し、
前記第２中空円筒部は、前記内壁側から前記第２ロールブラシ側へ延在し、
前記第１中空円筒形液除けは、前記第１中空円筒部の少なくとも一部が前記第１中空円筒形液除けの閉鎖されていない部分から内部に挿入され、少なくとも前記第１中空円筒部の一部を覆うように形成され、
前記第２中空円筒形液除けは、前記第２中空円筒部の少なくとも一部が前記第２中空円筒形液除けの閉鎖されていない部分から内部に挿入され、少なくとも前記第２中空円筒部の一部を覆うように形成され、
前記第１ロールブラシの本体部から前記第１中空円筒形液除けの終端部までの距離が前記第２ロールブラシの本体部から前記第２中空円筒形液除けの開始端部までの距離より短い平板パネル洗浄装置。
【請求項２】
前記第１中空円筒形液除け及び前記第２中空円筒形液除けの外部にファンをさらに含む請求項１に記載の平板パネル洗浄装置。
【請求項３】
前記ファンは複数のハネを含み、前記ファンは前記第１中空円筒形液除け及び前記第２中空円筒形液除けに対し脱着し得る請求項２に記載の平板パネル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板パネル(flat panel display)洗浄装置及びそれに使用されるロールブラシに関するもので、より詳細には内部のミスト(mist)が外部に漏れ出ることを防止する平板パネル洗浄装置及びそれに使用されるロールブラシに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
洗浄工程は半導体製造工程をはじめとして微細な加工を必要とする電子装備に非常に重要な工程である。特に本発明の技術分野である平板パネル洗浄工程は平板パネルが上下２個のロールブラシの間で移動し、移動する間に上から洗浄液等を、ノズル(未図示)を介して噴射し、ロールブラシが平板パネルをブラッシング又はスクラビング（ＳＣＲＵＢＢＩＮＧ）して進行される。
【０００３】
従来技術による平板パネル洗浄装置及びロールブラシを、図面を参照して説明する。
【０００４】
図１は従来技術による平板パネル洗浄装置１００とロールブラシ１５０を図示した図面である。
【０００５】
図１を参照すれば、従来技術による平板パネル洗浄装置１００は洗浄装置の内壁１００に位置し、回転運動をする液除け１２０、液除け１２０と一体型であり、回転運動をする回転軸１３０、回転軸の本体部分に形成されたブラシ１４０で構成される。
【０００６】
また、従来技術による平板パネル洗浄装置１００のロールブラシ１５０は上下に移動する。そのため内壁１１０の液除け１２０が互いに交わるように成されており、内壁１１０にはロールブラシ１５０の回転軸１３０及び液除け１２０の移動にともなう隙間空間１０５が必要である。
【０００７】
このような従来技術による平板パネル洗浄装置１００とロールブラシ１５０は上下移動のための隙間空間１０５が必須的に内壁１１０に形成されなければならない。そのため平板パネル洗浄工程で発生したミストがこの隙間空間１０５を通して外部に漏出される。
【０００８】
外部に漏出したミストは、小さくは平板パネル洗浄装置１００のベアリングから装備、大きくは周辺の他の工程装備にまで影響を与え、特に金属材質を腐食させる。また、空気中に混ざり浮遊しつつ化学的に安定しなければならない製造ライン内部、その他の工程に影響を与える。
【０００９】
洗浄液は平板パネル表面に形成された埃粒子又は有機残留物などを除去する工程であるため、酸性またはアルカリ性を帯びることがあり、種類によっては高い反応性を示し得る。特に極性が高い場合、工程装備だけでなく人体にも害を及ぼすため、ミストが発生し製造ライン内部から漏出することを抑制しなければならない。
【００１０】
しかし、従来技術による平板パネル洗浄装置１００は隙間空間１０５が必須的であるため、このような装備腐食及び空気汚染を防止することができない。
【特許文献１】韓国特許公開２００６−００００３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明が解決しようとする技術的課題は、隙間空間がなく洗浄工程中に噴射された液体によるミストが洗浄装置の外部に漏出し汚染及び腐食作用をおこすことを防止する洗浄装置を提供することにある。
【００１２】
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、隙間空間がなく洗浄工程中に噴射された液体によるミストを洗浄装置の外部に漏出することを防止するロールブラシを提供することにある。
【００１３】
本発明の目的は以上で言及された目的に制限されず、言及されていない他の目的は下記の記載から当業者に明確に理解し得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の他の実施形態による平板パネル洗浄装置は、内壁と、前記内壁を貫通する円柱形態の第１回転軸と、前記内壁と締結され、第１回転軸が通過する空間が形成された第１中空円筒部を有する第１中空円筒形締結部と、第１回転軸の第１位置に位置し、一方が第１回転軸と一体化されて閉鎖されかつ他方が閉鎖されていない部分で構成され、第１中空円筒部の外径よりさらに大きい内径を有する第１中空円筒形液除けと、本体部に位置する第１ブラシを含む第１ロールブラシと、円柱形態の第２回転軸と、第２回転軸が通過する空間が形成された第２中空円筒部を有する第２中空円筒形締結部と、第２回転軸の第２位置に位置し、一方が第２回転軸と一体化されて閉鎖されかつ他方が閉鎖されていない部分で構成され、第２中空円筒部の外径よりさらに大きい内径を有する第２中空円筒形液除けと、本体部に位置する第２ブラシを含む第２ロールブラシと、を含み、前記第１中空円筒部は、前記内壁側から前記第１ロールブラシ側へ延在し、前記第２中空円筒部は、前記内壁側から前記第２ロールブラシ側へ延在し、第１中空円筒形液除けは、第１中空円筒部の少なくとも一部が第１中空円筒形液除けの閉鎖されていない部分から内部に挿入され、少なくとも第１中空円筒部の一部を覆うように形成され、第２中空円筒形液除けは、第２中空円筒部の少なくとも一部が第２中空円筒形液除けの閉鎖されていない部分から内部に挿入され、少なくとも第２中空円筒部の一部を覆うように形成され、前記第１ロールブラシの本体部から前記第１中空円筒形液除けの終端部までの距離が前記第２ロールブラシの本体部から前記第２中空円筒形液除けの開始端部までの距離より短い。
【００１７】
その他実施形態の具体的な事項は詳細な説明及び図面に含まれている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の実施形態による平板パネル洗浄装置及びロールブラシを利用し、平板パネル洗浄工程を行う場合、平板パネル洗浄装置の内壁に隙間がなく、平板パネル洗浄装置内部から発生されるミストが外部に漏出しないため、ベアリング及びその他の部分にミストが影響をあたえず装備及び部品の寿命が延長される。
【００１９】
本発明の効果は以上で言及した効果に制限されず、言及されていないまた他の効果は請求範囲の記載から当業者に明確に理解し得るものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを達成する方法は添付した図面と共に詳細に後述されている実施例を参照すれば明確になるものである。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され得、単に本実施形態は本発明の開示が完全になるようにし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。明細書全体にかけて同一参照符号は同一構成要素を指し示す。
【００２１】
以下、本発明の好ましい実施形態に対して添付した図面を参照し、より詳細に説明する。
【００２２】
図２は本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００を概略的に図示した斜視図である。図３Ａないし図５をさらに参照し、本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００をより詳細に理解し得る。
【００２３】
図２を参照すれば、本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００は、内壁２１０，内壁２１０と締結され、内部に空間を有する中空円筒形締結部２１５ａ・２１５ｂ、及び締結部２１５ａ・２１５ｂを通過する回転軸２３０ａ・２３０ｂ、回転軸２３０ａ・２３０ｂと一体型であり、締結部２１５ａ・２１５ｂの中空円筒部の外径(Ｄｏｕｔ)よりさらに大きい内径（Ｄｉｎ）を有する中空円筒形液除け２２０ａ・２２０ｂ、及び本体部（Ｂ）にブラシ２４０ａ・２４０ｂを備えるロールブラシ２５０ａ・２５０ｂを含む。ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂは複数備えることができ、特に上下に２個のロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが対を成して備え得る。
【００２４】
内壁２１０に締結部２１５ａ・２１５ｂが締結され得る。締結部２１５ａ・２１５ｂは回転軸２３０ａ・２３０ｂが通過することができ、内が空いた中空円筒部２１７を含み得る。締結部２１５ａ・２１５ｂが内壁２１０に固定されるための平板部（図３Ａの２１６）をさらに備え得る。
【００２５】
パンネル部２１６は内壁２１０と相接し、ネジ、リベット、くぎ等を含む締結手段で固定され得、接着剤等を利用したり、溶接等の方法で固定し得る。中空円筒部２１７の長さは後述するロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの液除け２２０ａ・２２０ｂと相関し調節され得、具体的に限定される必要はない。締結部２１５ａ・２１５ｂに対するより詳細な理解は図３Ａを参照し得る。
【００２６】
ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂは回転軸２３０ａ・２３０ｂ、液除け２２０ａ・２２０ｂ及びブラシ２４０ａ・２４０ｂを含む。ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂは回転軸２３０ａ・２３０ｂ及び液除け２２０ａ・２２０ｂが露出して見える外端部（Ａ）とブラシ２４０ａ・２４０ｂが形成され本体部（Ｂ）に分けて考慮し得る。
【００２７】
ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの回転軸２３０ａ・２３０ｂは内壁２１０及び締結部２１５ａ・２１５ｂの中空円筒部２１７の内部を通過する円柱形態であり、平板パネル洗浄装置２００内に水平状態で位置する。
【００２８】
ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂは上下、すなわち地面に垂直な方向に移動が可能である。地面に垂直な方向に上下移動が可能な理由は一対のロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの間に平板パネルを通過させなければならないため、最大移動距離は各ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが洗浄する平板パネルの厚さ分、下に移動し得る。平板パネルの厚さは各製品によって非常に多様であるため、各ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが移動可能な距離は平板パネルにともない多様である。
【００２９】
また、整列上の誤差を少なくするため一対のロールブラシ２５０ａ・２５０ｂのうち片方は固定型で運用され得る。例えば、下部ロールブラシ２５０ｂを固定し、移動しないようにして上部ロールブラシ２５０ａだけ上下に移動されるようにし得る。また、その反対に上部ロールブラシ２５０ａを固定し、下部ロールブラシ２５０ｂだけ上下に移動されるように運用し得る。
【００３０】
平板パネルの厚さによって多様に移動されるようにするため弾性復元力を有するようにし得る。すなわち平板パネルがロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの間を通過しない場合の初期位置は二つのロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが互いに接触した状態であったり、微細な間隔で離隔させることができ、平板パネルがロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの間を通過する場合、平板パネルの厚さによって互いに離隔させることができ、平板パネルがロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの間を通過した以降にはスプリング等の弾性体によって初期位置に復元させ得る。下部ロールブラシ２５０ｂを固定型で運用する場合、上部ロールブラシ２５０ａは弾性体を備えずに平板パネルにより上昇し、重力により下降され得る。
【００３１】
締結部２１５ａ・２１５ｂと回転軸２３０ａ・２３０ｂの間にベアリング（図４及び図５の２７０）がさらに含まれ得る。具体的に締結部２１５ａ・２１５ｂの中空円筒部２１７と回転軸２３０ａ・２３０ｂの間であり得る。ベアリングに対する詳細な理解は図４及び図５を参照し得る。
【００３２】
ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの外端部（Ａ）に液除け２２０ａ・２２０ｂが含まれ得る。
【００３３】
液除け２２０ａ・２２０ｂは水平方向に位置する中空円筒形であり得る。特に回転軸２３０ａ・２３０ｂに固定されたり、一体型であり得、一方向が閉鎖された構造であり得る。円筒形の閉鎖されていない部分は締結部２１５ａ・２１５ｂまたは締結部２１７を覆うように形成され得る。
【００３４】
すなわち、閉鎖されていない部分の内径（Ｄｉｎ）が締結部（２１５ａ・２１５ｂまたは締結部の中空円筒部２１７）の外径（Ｄｏｕｔ）より大きいように形成され締結部（２１５ａ・２１５ｂまたは締結部の中空円筒部２１７）が液除け２２０ａ・２２０ｂの内部に挿入される構造であり得る。
【００３５】
このとき液除け２２０ａ・２２０ｂと締結部２１５ａ・２１５ｂは物理的に接触せず間隔を置いて離隔され得る。この間隔は好ましくは数ミリメートルであり得、水平方向間隔と垂直方向間隔は互いに独立的である。例えば液除け２２０ａ・２２０ｂと締結部２１５ａ・２１５ｂの水平間隔は２ないし４ミリメートルであり、垂直方向間隔は４ないし８ミリメートルであり得る。また、液除け２２０ａ・２２０ｂの内径と締結部２１５ａ・２１５ｂの外径の垂直方向間隔はロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの上下移動距離と同じであり得る。
【００３６】
液除け２２０ａ・２２０ｂの中空円筒部の水平方向長さは具体的に限定される必要はないが、許容される限り長くするのが本発明の目的を達成するのにより有利であり得る。
【００３７】
回転軸２３０ａ・２３０ｂの一端に駆動部２６０がさらに含まれ得る。内壁２１０の外部に延長された回転軸２３０ａ・２３０ｂの一端に駆動ベルト（ｂ）等を使用し回転力を伝達する駆動部２６０がさらに含まれ得る。例えば駆動部２６０は内壁２１０の外部に位置し得、回転力を発生するモータ（Ｍ）が備えられ得る。外部に駆動部２６０をさらに含む場合、内壁２１０に回転軸２３０ａ・２３０ｂが整列されるよう貫通口（ｈ、図５参照）が形成され得る。貫通口（ｈ）及び駆動部２６０に対するより詳細な理解は図４を参照し得る。
【００３８】
ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの液除け２２０ａ・２２０ｂは各々本体部（Ｂ）から互いに異なる距離に位置し前記ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが上昇及び下降するとき液除け２２０ａ・２２０ｂが互いに衝突せず、互い交わるように構成し得る。より詳細に各ロールブラシ２５０ａ・２５０ｂの本体部（Ｂ）の長さは同じになり得、ロールブラシ対２５０ａ・２５０ｂのうち、上部ロールブラシ２５０ａ本体部から液除け２２０ａの水平方向終端部までの長さ（Ｌ１）が、下部ロールブラシ２５０ｂの本体部（Ｂ）から液除け２２０ｂの水平方向開始部までの長さ（Ｌ２）より短くなり得る。
【００３９】
またその反対に下部ロールブラシ２５０ｂの本体部（Ｂ）から液除け２２０ｂの水平方向終端部までの長さが上部ロールブラシ２５０ａ本体部から液除け２２０ａの水平方向開始部までの長さより短くなり得る。液除け２２０ａ・２２０ｂの構造に対するより詳細な理解は図３Ｂを参照し得る。
【００４０】
各構成要素はサス（ＳＵＳ）等の金属で製作され得る。
【００４１】
図３Ａは本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００とロールブラシ２５０ａ・２５０ｂに使用される締結部２１５を簡略に図示した斜視図である。
【００４２】
図３Ａを参照すれば、本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００とロールブラシ２５０ａ・２５０ｂに使用される締結部２１５は、平板部２１６及び中空円筒部２１７を含む。平板部２１６は図２を参照した説明で言及したように、内壁２１０と固定されるための部分である。ネジ、リベット、くぎ等の締結手段を利用して固定され得ることを意味するため図面に穴２１８を図示した。しかしこれは例示的なもので、締結手段を使用せず接着剤等で固定したり、内壁２１０と一体型を製作し得る。内壁２１０に貫通口（ｈ）が形成される場合中空円筒部２１７と貫通口（ｈ）が整列される。
【００４３】
図３Ｂは本発明の一実施形態によるロールブラシ２５０ａ・２５０ｂを簡略に図示した斜視図である。
【００４４】
図３Ｂを参照すれば、本発明の一実施形態によるロールブラシ２５０ａは、円柱形態の回転軸２３０ａ、外端部（Ａ）に位置し、回転軸２３０ａと一体化され締結部２１５ａ・２１５ｂの中空円筒部２１７の外径より大きな内径を有する中空円筒形液除け２２０ａ、及び本体部（Ｂ）に位置するブラシ２４０ａを含む。
【００４５】
液除け２２０ａは回転軸２３０ａに固定されたり一体型であり、一方向は閉鎖された構造である。具体的に本体部（Ｂ）方向に閉鎖されており、外端部（Ａ）方向にオープンされている。
【００４６】
液除け２２０ａの内径は締結部２１５ａ・２１５ｂの外径よりさらに大きい。
【００４７】
回転軸２３０ａは内壁２１０に貫通口（ｈ）が形成されている場合、貫通口を貫通し得る。また貫通口（ｈ）を貫通し外部の駆動部２６０と機械的に連結され回転運動をし得る。駆動部２６０に関するより詳細な説明は図４を参照し、後述する。
【００４８】
図３Ｃは本発明の他の実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【００４９】
図３Ｃを参照すれば、本発明の他の実施形態によるロールブラシ２５０は、円柱形態の回転軸２３０、外端部（Ａ）に位置し、回転軸２３０と一体化され、締結部２１５の中空円筒部２１７の外径より大きな内径を有する中空円筒形液除け２２０、本体部（Ｂ）に位置するブラシ２４０及び液除け２２０の外部に位置するファン２５５ａを含む。本実施形態で、ファン２５５ａはハネ形で形成され得る。
【００５０】
ファン２５５ａはロールブラシ２５０と共に回転し平板パネル洗浄装置２００の内壁２１０方向から内部方向に気流を起こし得る。ファン２５５ａが起こす気流は平板パネル洗浄装置２００内部で発生するミストが内壁２１０方向に行かないようにし得る。そのため、ミストが内壁２１０とロールブラシ２５０の隙間、詳細に言えば回転軸２３０と締結部２１５の間の隙間に漏出され得る余地がより防止され得る。
【００５１】
ファン２５５ａが含むハネの個数及び形は特別に限定する必要はないが、隣接した他のロールブラシのファンと衝突しない範囲内になるよう広い平面積を有するように製作されるのがミストの漏出を防止するのにより効果的であり得る。すなわち、内壁２１０面にミストまたは液体がはねることを防ぎ得るためである。
【００５２】
また、ロールブラシ２５０は平板パネルの上下で回転し得るため、ファン２５５ａの方向が反対になり得る。より詳細に、図３Ｃはロールブラシ２５０が時計方向に回転する場合を例示した。ロールブラシ２５０が反時計方向に回転する場合にはファン２５５ａの方向が反対であり得る。
【００５３】
ファン２５５ａは液除け２２０と一体型で製作され得るが、液除け２２０と脱着し得るように製作され得る。例えば、ネジ等で固定されるように製作され得、液除け２２０の外部に穴を形成し、ファンが付けられた後固定されるよう製作され得る。ファン２５５ａを液除け２２０の外部に装着する多様な方法は本明細書でこれ以上詳細に言及しなくとも発明を実施しようとする当業者が多様に実施し得るものである。
【００５４】
図３Ｄは本発明のまた他の実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【００５５】
図３Ｄを参照すれば、本発明のまた他の実施形態によるロールブラシ２５０は円柱形態の回転軸２３０、中空円筒形液除け２２０、ブラシ２４０及びひれ形ファン２５５ｂを含む。
【００５６】
ひれ形ファン２５５ｂは図面で４角形の形態であるが、これに限定されず多様な形で形成され得る。また、ひれ形ファン２５５ｂはハネ形ファン２５５ａより大きさが小さく製造及び維持補修が容易である。
【００５７】
図４は本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００のロールブラシ２５０ａを概略的に図示した総断面図である。本発明を利用しやすいようにするため１個のロールブラシ２５０ａだけを図示したものであり、本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置２００の内壁２１０と結合する状態を共に図示した。特に内壁２１０は貫通口（ｈ）を含む。
【００５８】
図４を参照すれば、本発明の平板パネル洗浄装置２００のロールブラシ２５０ａは、円柱形態の回転軸２３０ａが通過する空間を有する中空円筒形締結部２１５ａ、外端部（Ａ）に位置し、回転軸２３０ａと一体化され締結部２１５ａの外径より大きな内径を有する中空円筒形液除け２２０ａ、及び本体部（Ｂ）に位置するブラシ２４０ａを含む。
【００５９】
回転軸２３０ａは平板パネル洗浄装置２００の外部に延長され駆動部２６０から駆動され得る。
【００６０】
駆動部２６０は回転力を発生するモータ（Ｍ）を備えることができ、駆動ベルト（ｂ）などを利用し回転力を回転軸２３０ａに伝達し、駆動し得る。
【００６１】
液除け２２０ａはロールブラシ２５０ａに固定されたり、閉鎖された構造であり得る。円筒形の閉鎖されていない部分は締結部２１５ａの中空円筒部２１７を覆うように形成され得る。すなわち、閉鎖されていない部分の内径が締結部２１５ａの中空円筒部２１７の外径よりさらに大きいように形成され締結部２１５ａが液除け２２０ａの内部に挿入される構造であり得る。このとき液除け２２０ａと締結部２１５ａは物理的に接触せず、間隔をおいて離隔され得る。
【００６２】
締結部２１５ａの外径と液除け２２０ａの内径の間隔はロールブラシ２５０ａの上下移動距離と同じであり得る。
【００６３】
締結部２１５ａと回転軸２３０ａ間にベアリング２７０をさらに含み得る。図面にはボールベアリングの断面図を図示したが、これに限定されずローラーベアリングを適用し得る。
【００６４】
図５は本発明の他の実施形態によるロールブラシ対２５０ａ・２５０ｂを概略的に図示した総断面図である。
【００６５】
図５を参照すれば、本発明の他の実施形態によるロールブラシ対２５０ａ・２５０ｂは、上部ロールブラシ２５０ａと下部ロールブラシ２５０ｂで構成され、上部ロールブラシ２５０ａの本体部（Ｂ）から液除け２２０ａの終端までの距離（Ｌ１）より下部ロールブラシ２５０ｂの本体部（Ｂ）から液除け２２０ｂの開始端までの距離（Ｌ２）がより長い。図５にも内壁２１０が貫通口（ｈ）を含むことを図示してあり、図面が複雑になることを防止するため駆動部２６０を省略した。その他他の構成要素に対する説明は図４を参照し得る。
【００６６】
図５にも図示されたロールブラシ対２５０ａ・２５０ｂは平板パネルを洗浄するうち、どちらか一方のロールブラシ２５０ａ・２５０ｂが上昇または下降をしても液除け２２０ａ・２２０ｂが互いに衝突しない。
【００６７】
以上添付した図面を参照し本発明の実施形態を説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は本発明の技術的思想や、必須的な特徴を外れない範囲内で多様に置換、変形及び変更が可能であるため他の具体的な形態で実施し得るということを理解し得るであろう。そのため以上で記述した実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的でないことを理解しなければならない。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明の実施形態による平板パネル洗浄装置及びロールブラシは移送しつつ洗浄工程を進行する半導体及び平板パネルディスプレイを製造する製造装置に広く利用し得る。ただし、本実施形態による平板パネル洗浄装置及びロールブラシは例示的なものに過ぎない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】従来技術による平板パネル洗浄装置およびロールブラシを図示した図である。
【図２】本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置を概略的に図示した斜視図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置とロールブラシに使用される締結部を概略的に図示した斜視図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【図３Ｃ】本発明の他の実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【図３Ｄ】本発明の他の実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態による平板パネル洗浄装置のロールブラシを概略的に図示した総断面図である。
【図５】本発明の他の実施形態によるロールブラシを概略的に図示した斜視図である。
【符号の説明】
【００７０】
２００  平板パネル洗浄装置
２１０  内壁
２１５  締結部
２１６  平板部
２１７  中空円筒部
２２０  液除け
２４０  ブラシ
２５０  ロールブラシ
２５５ａ  ファン
２５５ｂ  ファン
２６０  駆動部
２７０  ベアリング
Ｍ  モータ
Ｂ  駆動ベルト
【図１】
0004722869.tif 000002
【図２】
0004722869.tif 000003
【図３Ａ】
0004722869.tif 000004
【図３Ｂ】
0004722869.tif 000005
【図３Ｃ】
0004722869.tif 000006
【図３Ｄ】
0004722869.tif 000007
【図４】
0004722869.tif 000008
【図５】
0004722869.tif 000009