(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断した後、他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断して複数のシート片を切り離す本切断を行うようにしたシート切断方法において、
シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側において捨て切断を行い、本切断によって切り離されたシート片を持ち上げる際に捨て切断と本切断間の不要シート片が上側へ変形してシート片を持ち上げ易くしたシート切断方法。
【請求項２】
シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにした請求項１に記載のシート切断方法。
【請求項３】
シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断より一辺側において捨て切断を行うようにした請求項１に記載のシート切断方法。
【請求項４】
シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにした請求項３に記載のシート切断方法。
【請求項５】
捨て切断はシートの厚みの一部を残す不完全切断である請求項１〜４のいずれかに記載のシート切断方法。
【請求項６】
捨て切断と本切断の間隔は本切断の間隔より小さくしてある請求項１〜４のいずれかに記載のシート切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートの切断方法に関するものであり、詳しくは、積層チップコンデンサーや積層チップインダクタ等に利用されるセラミックグリーンシートを多数の小形矩形状のチップに切断するためのシート切断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
セラミックグリーンシート等を利用したコンデンサ等の電子部品の製造においては、大型の矩形状のシートが多数の小形矩形状のチップに切断されて利用に供される。かかるシートの切断方法としては、サーボモーターによって切断刃を上下動させる切断機構がシートを設置するためのシート載置台の上方に設けられたシート切断装置を利用して、切断刃を上下動させるとともに、その上下動毎に、ワーク載置台の水平移動を実行し、所定回数だけ一定方向のシートの切断を繰り返した後に、ワーク載置台を９０度回転させて、再度、切断刃の上下動およびワーク載置台の水平移動を繰り返すことによって、大型の矩形状のシートを多数の小形矩形状のチップに切断するものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１１３５２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記したように大型のシートを所定位置で順次切断し、製品となる部分（必要部分）と製品外周の不要部分とに分離する場合には、切削刃に厚みがあるので、切断済みの切断溝（スリット）を押し狭めるようにして次の切断が行われ、切断面同士が密着してしまうことが明らかになった。そのような状態で、吸着手段等を利用して必要部分を持ち上げてシート載置台の加工テーブル上から取り出そうとすると、切断面同士の密着力が必要部分を持ち上げる力に対する抵抗力となってしまうため、必要部分が持ち上げにくくなる事態が発生する。その結果、切断後のシート片を吸着手段等で持ち上げて取り出す際に吸引力が弱いと取り出しミスを起こし易く、吸引力を強くするとシート片を変形させる等の問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、上記従来のシート切断方法の問題点を解消し、切断後のシートの必要部分と不要部分とを容易に分離することができ、吸着手段等を利用して必要部分を無理なく持ち上げて取り出すことが可能なシート切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる本発明の内、請求項１に記載された発明の構成は、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断した後、他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断して複数のシート片を切り離す本切断を行うようにしたシート切断方法において、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側において捨て切断を行い、本切断によって切り離されたシート片を持ち上げる際に捨て切断と本切断間の不要シート片が上側へ変形してシート片を持ち上げ易くしたことにある。なお、本発明のシート切断方法により切断されるシートは、セラミックグリーンシート等の薄板状のシートである。
【０００７】
請求項２に記載された発明の構成は、請求項１に記載の発明において、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたことにある。
【０００８】
請求項３に記載された発明の構成は、請求項１に記載の発明において、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断より一辺側において捨て切断を行うようにしたことにある。
【０００９】
請求項４に記載された発明の構成は、請求項３に記載の発明において、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたことにある。
【００１０】
請求項５に記載された発明の構成は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、捨て切断はシートの厚みの一部を残す不完全切断であることにある。
【００１１】
請求項６に記載された発明の構成は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、捨て切断と本切断の間隔は本切断の間隔より小さくしてあることにある。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１のシート切断方法は、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側において捨て切断を行い、本切断によって切り離されたシート片を持ち上げる際に捨て切断と本切断間の不要シート片が上側へ変形してシート片を持ち上げ易くしたので、本切断によって切り離されたシート片とシート縁部の不要部分が分離し易くなり、シート片を小さい力で確実に取り出すことができ、シート片の品質を維持しながらシート片取出し作業の作業性を向上できる。
【００１３】
請求項２のシート切断方法は、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行う際に、その本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたので、シート片を持ち上げる際に本切断領域の両側において捨て切断と本切断の不要シート片が上側へ変形してシート片を持ち上げ易くなり、シート片を小さい力で確実に取り出すことができてシート片取出し作業の作業性を良くできる。
【００１４】
請求項３のシート切断方法は、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断により一辺側において捨て切断を行うようにしたので、本切断によってシート片が夫々の一辺側のシート縁部へ強く押圧される場合でも、捨て切断と本切断間の不要シート片が上側へ変形してシート片を持ち上げ易くなり、総てのシート片を小さい力で確実に取り出すことができる。
【００１５】
請求項４のシート切断方法は、シートを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後との夫々において、それらの本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたので、本切断によって切り離された総てのシート片の全周においてシート片とシート縁部の不要部分が分離し易くなり、総てのシート片を小さい力で確実に取り出すことができてシート片取出し作業の作業性を良くできる。
【００１６】
請求項５のシート切断方法は、捨て切断をシートの厚みの一部を残す不完全切断にしているので、捨て切断と本切断間の不要シート片をシート縁部に連結しておくことができ、これらの不要シート片がシート屑片になって周辺に飛散して種々のトラブルを起こすのを防止できる。
【００１７】
請求項６のシート切断方法は、捨て切断と本切断の間隔を本切断の間隔より小さくしているので、不要なシート縁部の幅が小さい場合にも実施でき、シートを大きくすることなく捨て切断することができて実用的である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明に係るシート切断方法の一実施形態について、図面にしたがって詳細に説明する。図１，図２は、それぞれ、本発明に係るシート切断方法に用いるシート切断装置の正面図、右側面図であり、シート切断装置１は、シートを切断するためのシート切断機構を設けたシート切断ステーションＳ１、および、切断されたセラミックグリーンシートを取り出すためのシート排出装置を設けたシート片排出ステーションＳ２が設けられている。
【００１９】
シート切断ステーションＳ１には、切断するシート（セラミックグリーンシート）を載置するためのシート載置台１１と、シート載置台１１に載置されたシートを切断するためのシート切断機２１とからなるシート切断機構が設けられている。シート載置台１１は、移動台１２の上方に回転テーブル１３を設置したものであり、基台２に平行に配設されたガイドレール１４，１４上に設置されている。そして、図示しない直線駆動装置によりボールネジが回転することによって、ガイドレール１４，１４に沿って、シート切断ステーションＳ１とシート片排出ステーションＳ２との間を往復動するようになっている。また、図示しない回転駆動装置によって、回転テーブル１３が鉛直軸を中心として９０度以上の角度で回転するようになっている。なお、回転駆動装置としては、たとえば、図１の符号１２の部分を回転駆動モータの本体として構成し、回転駆動装置の上部に回転テーブル１３を設置するようにしても良い。
【００２０】
一方、シート切断機２１は、基台２に立設された支柱（図示せず）に支承されている。そして、カッターホルダ２２内に刃先を下方に向けて装着された切断刃２３を、図示しないボールねじのモータによる回転作動によって、鉛直方向に上下動させることができるようになっている。
【００２１】
また、図２の如く、シート片排出ステーションＳ２においては、ガイドレール１４，１４を跨ぐように、一対の支持フレーム３２，３２が立設されており、それらの支持フレーム３２，３２には、架台３３が懸架されている。また、架台３３には、直線作動機である１本のロッドレスシリンダ３４と１本のガイドレール３８が水平に設置されており、そのガイドレール３８によって案内されている一対の摺動子３８ａに移動体３７の鉛直部３９が固着されている。移動体３７の鉛直部３９には、ロッドレスシリンダ３４の水平移動可能な移動子３５が取付ネジによって一体に連結されている。なお、ロッドレスシリンダ３４とガイドレール３８の代わりにガイド付ロッドレスシリンダを設置し、直線移動されるガイド付ロッドレスシリンダの移動子に移動体を取り付けるようにしても良い。
【００２２】
移動体３７は、平板状の鉛直部３９の下端に平板状の水平部４０が外側へ突出するように連設されている。そして、鉛直部３９と水平部４０に、三角形状の補強板４１が鉛直状に溶接されている。また、水平部４０には、シリンダ４２および２つのブッシュ４３ａ，４３ｂが一列に設置されており、シリンダ４２のピストンロッド４４、および、各ブッシュ４３ａ，４３ｂを貫通した２つのガイドバー４５，４５が、水平部４０の下面から下方に突出した状態になっている。そして、それらのシリンダ４２のピストンロッド４４、および、ガイドバー４５，４５の下端に昇降体３６が取り付けられている。
【００２３】
昇降体３６は、吸着手段（吸着体）４６，４６・・を４×４の格子状に配列させた四角形状の支持板４７と、その支持板４７より上方に位置する四角形状の固着板４８とを、４本の支持ピン４７ａを介して上下に平行に設置したものであり、その固定板４８の上面に、水平部４０の下面から突出したシリンダ４２のピストンロッド４４、およびガイドバー４５，４５が固着されている。加えて、片方の支持フレーム３２のシート切断ステーションＳ１に対して外側の位置には、切断されたシートを載置するためのシート排出台４９が設置されている。
【００２４】
以下、上記の如く構成されたシート切断装置１を用いたシートの切断方法の一例について説明する。切断されるシートＳは、所定の大きさの矩形に切断され、予め、所定のパターンをもって電気的要素を構成する材料膜（たとえば、内部電極）が印刷等により形成されている。また、シートＳの四隅際には、位置決め用のアライメントマーク（図示せず）が印刷されている。そして、かかるシートＳは、矩形状に形成された金枠３上に載置され、金枠３に設けられた固定手段５，５・・（貼付テープ等）によって四隅を固定された状態で、シート載置台１１の回転テーブル１３上まで搬送される（図１参照）。なお、金枠３に対するシートＳの固定は、シートＳの四隅のみではなく、シートＳの４辺全周を貼付テープで貼り付けて固定するようにしても良い。また、図１では、回転テーブル１３上に切断刃２３が当接するのを防ぐための薄いゴムシート１３ａを貼り付けてあるが、そのような薄いゴムシートの貼り付けを省いても良い。金枠３には、予め位置決め孔４，４が穿設されており、それらの位置決め孔４，４に、回転テーブル１３上に突設された位置決めピン（図示せず）を嵌合させて、金枠３を一方向に押し付けることによって、所定の位置に設置される。しかる後、シート切断機２１に設けられたＣＣＤカメラ（図示せず）を用いて、シートＳに付されたアライメントマークを基準として、回転テーブル１３が適宜Ｙ方向への移動、回転を実行することによって、シートＳが正確に位置決めされる。
【００２５】
そのようにシートＳが位置決めされた後には、シート切断機２１の駆動装置（図示せず）によりカッターホルダ２２が上下に復動することによって、切断刃２３によるシートＳの高速切断が行われる。図３は、１枚の矩形状のシートから４×４＝１６個の矩形状チップＴを切り出す際におけるシートの切断の手順を示したものである。シートＳの切断においては、カッターホルダ２２が１回上下動する毎にシート載置台１１を直線駆動装置によって一定の方向に所定のピッチずつ移動させる作動を繰り返す（８回繰り返す）ことによって、図３（ａ）の如く、シートＳに、まず、Ｘ軸方向に沿った複数本のスリットａ〜ｈが順次形成される（本切断）。なお、図４は、スリットａ〜ｈを形成したシートＳの断面を示したものである。図４に示すようにスリットａ〜ｈを形成すると、切断刃２３の厚みによりスリットａ，ｂ間のシート片（チップＴ）がスリットａ側へ押されてスリットａの両側面が圧着され、以下同様にスリットｂ〜ｇの両側面が圧着された状態となる。また、図４および図６では、説明の関係上、スリット幅を大きく表示しているが、実際には接触する程度に小さい幅である。また、スリットａ，ｂ間、スリットｃ，ｄ間、スリットｅ，ｆ間、スリットｇ，ｈ間は、矩形状チップＴとして切り出される部分であり、スリットｂ，ｃ間、スリットｄ，ｅ間、スリットｆ，ｇ間は、矩形状チップを構成しない不要な部分である。
【００２６】
上記したようにＸ軸方向に沿って複数本のスリットａ〜ｈが形成された後には、回転駆動装置（図示せず）によってシート載置台１１の回転テーブル１３が９０度正回転する。そして、上記したスリットａ〜ｈの形成と同様に、カッターホルダ２２が１回上下動する毎にシート載置台１１を一定の方向に所定のピッチずつ移動させる作動を繰り返す（８回繰り返す）ことによって、図３（ｂ）の如く、シートＳに、Ｙ軸方向に沿った複数本のスリット（イ）〜（チ）が形成される（本切断）。スリット（イ）〜（チ）を形成すると、前記スリットａ〜ｇと同様に、切断刃２３の厚みによってスリット（イ）〜（ト）の両側面が圧着された状態になる。かかるＹ軸方向に沿ったスリット（イ）〜（チ）の形成によって、シートＳが、多数の小型矩形状のチップ（シート片とも示す）Ｔ，Ｔ・・に切断される。なお、スリット（イ）、（ロ）間、スリット（ハ）、（ニ）間、スリット（ホ）、（ヘ）間、スリット（ト）、（チ）間は、矩形状チップＴ，Ｔ・・として切り出される部分であり、スリット（ロ）、（ハ）間、スリット（ニ）、（ホ）間、スリット（へ）、（ト）間は、矩形状チップＴ，Ｔ・・を構成しない不要な部分である。
【００２７】
シートＳが、多数の小型矩形状のチップＴ，Ｔ・・に切断された後には、シート載置台１１を所定の位置まで移動させた状態でカッターホルダ２２が上下動することによって、すでに形成されているスリット（イ）の外側、および、スリット（チ）の外側に、それぞれ、スリット（リ）、（ヌ）が形成される（捨て切断）。なお、スリット（リ）、（ヌ）は、シートＳを完全に切断しても良いが、完全に切断することなく、シートＳの厚みの一部を残すように形成すると、捨て切断による不要シート片が飛散するのを防止できて好ましい。なお、図６は、スリット（イ）〜（ヌ）を形成した後のシートＳの断面を示したものである。
【００２８】
その後、回転駆動装置（図示せず）によってシート載置台１１の回転テーブル１３が９０度逆回転する。そして、前記スリット（リ）、（ヌ）の形成と同様に、シート載置台１１を所定の位置まで移動させた状態でカッターホルダ２２が上下動することによって、すでに形成されているスリットａの外側、および、スリットｈの外側に、それぞれ、スリットｉ，ｊが形成される（捨て切断、図５参照）。なお、前記スリットｉ，ｊの形成は、スリット（イ）〜（チ）の形成に先立って、スリットａ〜ｈの形成に引き続いて形成しても良い。また、スリットｉ，ｊは、スリット（リ）、（ヌ）と同様に、シートＳを完全に切断しても良いが、好ましくは完全に切断することなく、シートＳの厚みの一部を残すように形成される。かかるスリット（リ）、（ヌ）の形成によって、シートＳの切断作業を完了する。
【００２９】
そして、シートＳが多数の小型矩形状のチップＴ，Ｔ・・に切断された後には、シート載置台１１が、テーブル移動機構によってシート片排出ステーションＳ２まで搬送される。シート載置台１１が、シート片排出ステーションＳ２まで搬送されると、片側（図３における左側）の上方で待機していた昇降体３６がシリンダー４２の空気圧作動によって下降する。そして、各吸着手段４６，４６・・の下端が切断された小型矩形状のチップに接すると、各吸着手段４６，４６・・が各チップＴ，Ｔ・・を吸引することによって把持する。各吸着手段４６，４６・・が各チップＴ，Ｔ・・を把持すると、昇降体３６が上昇を開始すると同時に、ロッドレスシリンダ３４の空気圧駆動によって、移動体３７が反対側（図３における右側）へ移動する。そして、移動を終了すると同時に、昇降体３６が下降を開始し、各吸着手段４６，４６・・に把持された各チップＴ，Ｔ・・がシート排出台４９の上面と接した時点で下降を停止し、その位置で、吸着手段４６，４６・・が吸引を停止することによって、各チップＴ，Ｔ・・の把持を解除する。かかる吸着手段４６，４６・・による各チップＴ，Ｔ・・の把持の解除によって、切断されたシートＳの排出動作を完了する。
【００３０】
シート切断装置１を用いた上記のシート切断方法は、シートＳを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後、その本切断より一辺側において捨て切断を行い、本切断によって切り離されたシート片Ｔ，Ｔ・・を持ち上げる際に捨て切断と本切断間の不要シート片（図５、図６におけるＷ，Ｗ・・）が上側へ変形して（傾いて）シート片Ｔ，Ｔ・・を持ち上げ易くしたので、本切断によって切り離されたシート片Ｔ，Ｔ・・とシート縁部の不要部分が分離し易くなり、シート片Ｔ，Ｔ・・を小さい力で確実に取り出すことができてシート片取出し作業の作業性を向上できる。また、吸着手段４６により吸着力を弱くできるので、シート片Ｔに対して吸着力が変形させる問題を解消でき、シート片Ｔの品質を維持できる。
【００３１】
また、上記したシート切断方法は、シートＳを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後、その本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたので、シート片Ｔ，Ｔ・・を持ち上げる際に本切断領域の両側において捨て切断と本切断の不要シート片（図５におけるＷ，Ｗ・・）が上側へ変形してシート片Ｔ，Ｔ・・を持ち上げ易くなり、シート片Ｔ，Ｔ・・を小さい力で確実に取り出すことができてシート片取出し作業の作業性を良くできる。なお、前記一辺側における捨て切断、一辺側と他辺側における捨て切断は、本切断を行う際に、その本切断の前または途中に行うようにしても良い。
【００３２】
さらに、上記したシート切断方法は、シートＳを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断との夫々の後に、それらの本切断により一辺側において捨て切断を行うようにしたので、本切断によってシート片Ｔ，Ｔ・・が夫々の一辺側のシート縁部へ強く押圧される場合でも、捨て切断と本切断間の不要シート片（図５におけるＷ，Ｗ・・）が上側へ変形してシート片Ｔ，Ｔ・・を持ち上げ易くなり、総てのシート片Ｔ，Ｔ・・を小さい力で確実に取り出すことができる。
【００３３】
加えて、上記したシート切断方法は、シートＳを一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後と他の一辺側から向かい合う他辺側へ向けて所定位置で順次平行に切断する本切断を行った後との夫々において、それらの本切断より一辺側と他辺側とにおいて夫々捨て切断を行うようにしたので、本切断によって切り離された総てのシート片Ｔ，Ｔ・・の全周においてシート片Ｔ，Ｔ・・とシート縁部の不要部分（図５におけるＷ，Ｗ・・）が分離し易くなり、総てのシート片Ｔ，Ｔ・・を小さい力で確実に取り出すことができてシート片取出し作業の作業性を良くできる。
【００３４】
また、上記したシート切断方法は、捨て切断をシートＳの厚みの一部を残す不完全切断にしているので、捨て切断と本切断間の不要シート片（図５におけるＷ，Ｗ・・）をシート縁部に連結しておくことができ、これらの不要シート片（Ｗ，Ｗ・・）がシート屑片になって周辺に飛散して種々のトラブルを起こすのを防止できる。
【００３５】
さらに、上記したシート切断方法は、捨て切断と本切断の間隔を本切断の間隔より小さくしているので、不要なシート縁部の幅が小さい場合にも実施でき、シートＳを大きくすることなく捨て切断することができて実用的である。
【００３６】
なお、本発明のシート切断方法の構成は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、切断に用いるシート切断装置等の形状・構造、捨て切断の方法や順序、本切断の方法や順序等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、捨て切断の本数は、各１本のみではなく、必要に応じて増やし、２本以上にしても良い。また、本切断は、最も外側の切断のみ完全切断にして他の中間の切断を不完全切断にするようにしても良く、この場合には、スリット間における不要な部分が飛散するのを防止できる。
【００３７】
たとえば、シートの一番外側に形成されるスリット（捨て切断によるスリット、上記実施形態におけるスリットｉ，ｊおよびスリット（リ）、（ヌ））は、シートの厚みの一部を残す不完全切断に限定されず、シートを完全に切断したものとすることも可能である。また、シートの一番外側に形成されるスリット以外のスリットの形成は、シートの片側から順々に行う必要はなく、必要に応じて、適宜順序を変更することができる。なお、本発明のシート切断方法によるシートの切断は、単層のシートの切断に限定されず、複数枚が積層された積層シートの切断でも良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】シート切断装置の正面図である。
【図２】シート切断装置の右側面図である。
【図３】シートを切断する様子を示す説明図である（（ａ）はＸ軸方向に沿ったスリットが形成された状態を示したものであり、（ａ）はＸ軸方向、Ｙ軸方向に沿ったスリットが形成された状態を示したものである）。
【図４】Ｘ軸方向に沿ったスリットが形成された後のシートの断面（図３（ａ）におけるＡ−Ａ断面）を示す説明図である。
【図５】シートが切断された状態を示す説明図である
【図６】切断後のシートの断面（図５におけるＢ−Ｂ断面）を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・シート切断装置、１１・・シート載置台、２１・・シート切断機、２３・・切断刃、４６・・吸着手段、Ｓ・・シート、ａ〜ｊ・・スリット、（イ）〜（ヌ）・・スリット、Ｔ・・矩形状チップ（必要部分）、Ｗ・・シート残部（不要部分）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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