(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の共振器を含むコンデンサ装置であって、
前記複数の共振器のそれぞれは、
誘電体基体と、第１の内部電極と、第２の内部電極と、第１の外部端子と、第２の外部端子とを含み、
前記第１の内部電極は、筒状であって、前記誘電体基体に埋設されており、
前記第２の内部電極は、柱状であって、その外周面が前記第１の内部電極の内周面と対向するように、前記誘電体基体に埋設されており、
前記第１の内部電極と前記第２の内部電極により挟まれた領域に前記誘電体基体が存在し、前記第１の内部電極と前記第２の内部電極は絶縁されており、
前記第１及び第２の外部端子は、前記誘電体基体の表面に設けられ、前記第１及び第２の内部電極とそれぞれ電気的に接続されており、
前記複数の共振器は、それぞれ、前記第１の内部電極の外周面を互いに対向させて並んでおり、
前記複数の共振器のそれぞれの前記第１の内部電極は、第１の一連の導電路を構成し、前記第１の一連の導電路に沿って、順次、隣り合う一対の上端部同士と下端部同士が代わる代わるに接続されており、
前記複数の共振器のそれぞれの前記第２の内部電極は、第２の一連の導電路を構成し、前記第２の一連の導電路に沿って、順次、隣り合う一対の上端部同士と下端部同士が代わる代わるに接続されており、
前記複数の共振器の隣り合う一対において、前記第１の内部電極と前記第２の内部電極は、該接続された一対の端部が、上下方向において互いに反対側に位置する、
コンデンサ装置。
【請求項２】
共振器の製造方法であって、
誘電体シートにスルーホールを形成する第１の工程と、
前記スルーホールの壁面に、第１の内部電極を形成する第２の工程と、
前記スルーホールを誘電体で埋める第３の工程と、
前記誘電体を貫通するスルーホールを形成する第４の工程と、
前記第４の工程において形成したスルーホールを導電体で埋めることによって、第２の内部電極を形成する第５の工程とを含む、
共振器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振器、フィルタ、コンデンサ装置、及び、共振器の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
共振器は、例えば、携帯電話等の電子機器において、フィルタとして用いられる。例えば、特許文献１では、コンデンサの電極に発生する渦電流を低減するために、インダクタ導体を絶縁シートに対して垂直に、コンデンサ電極を絶縁シートに対して平行に構成したＬＣ共振器が開示されている。
【０００３】
フィルタは、複数の共振器を配置して相互に電磁結合させることによって、所望の周波数特性を得る。しかしながら、上記のＬＣ共振器は、コンデンサ電極が絶縁シートに対して平行に設けられているから、配置するにあたって距離制限があり、フィルタを構成するにあたって、小型化及び低背化に限界があるという問題が存在する。
【０００４】
また、等価直列インダクタンス（ＥＳＬ）を低減した従来のコンデンサ装置についても、例えば特許文献２や特許文献３に開示されているように、積層基板の板面方向に広がった電極が形成されているから、小型化及び低背化に限界があるという問題が存在する。
【特許文献１】特許第３５０１３２７号
【特許文献２】特開２００５−２４３８８９号公報
【特許文献３】特開２００３−２２９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、小型化及び低背化に好適な共振器、フィルタ、及びコンデンサ装置を提供することである。
【０００６】
本発明のもう一つの課題は、上述した共振器に適した製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
１．共振器
上述した課題を解決するため、本発明に係る共振器は、誘電体基体と、第１の内部電極と、第２の内部電極とを含む。前記第１の内部電極は、筒状であって、前記誘電体基体に埋設されている。前記第２の内部電極は、柱状であって、その外周面が前記第１の内部電極の内周面と対向するように、前記誘電体基体に埋設されている。前記第１の内部電極と前記第２の内部電極により挟まれた領域に前記誘電体基体が存在し、前記第１の内部電極と前記第２の内部電極は絶縁されている。
【０００８】
上述したように、第１の内部電極と第２の内部電極は、絶縁されるとともに誘電体基体を挟み込んでいるから、第１の内部電極と第２の内部電極の間には結合容量が発生している。また、第１の内部電極と第２の内部電極は、インダクタ成分を有しているから、本発明に係る共振器は、コンデンサとインダクタの直列回路となる。
【０００９】
さらに、第２の内部電極は柱状であり、一方、第１の内部電極は筒状であって、筒の内側に第２の内部電極が配置されているから、本発明に係る共振器は、細長い形状に形成し得る。したがって、複数の共振器を並べるにあたって、距離制限がないから、複数の共振器を高密度に配置でき、小型化及び低背化に好適である。
【００１０】
２．フィルタ
本発明に係るフィルタは、複数の共振器を含む。本発明に係るフィルタは、例えば、バンドパスフィルタである。前記複数の共振器は、それぞれ、本発明に係る共振器であって、前記第１の内部電極の外周面を互いに対向させて並んでいる。
【００１１】
本発明に係るフィルタは、本発明に係る共振器を用いているので、本発明の共振器の優れた作用効果を享受することができる。
【００１２】
３．コンデンサ装置
本発明に係るコンデンサ装置は、複数の共振器を含む。前記複数の共振器は、それぞれ、請求項１又は２に記載された共振器であって、前記第１の内部電極の外周面を互いに対向させて並んでいる。
【００１３】
前記第１及び第２の内部電極は、隣り合うものの一方の端部同士と他方の端部同士が、順次、交互に接続されていることにより、それぞれ一連の導電路を構成している。前記複数の共振器の隣り合う一対は、互いに接続された前記第１の内部電極の端部が、互いに接続された前記第２の内部電極の端部とは反対側にある。
【００１４】
このように、同一の共振器に含まれる第１の内部電極と第２の内部電極は、互いに反対側の端部が、隣り合う第１及び第２の内部電極と順次に接続されているから、それぞれに流れる電流の方向を互いに反対にすることができる。また、隣り合う第１の内部電極同士、及び、隣り合う第２の内部電極同士についても、接続されている端部が交互になっているから、電流の流れる方向が互いに反対となる。したがって、電流により生ずる磁界も反対向きとなり、共振器同士を適当に近づけて配置することによって、互いに相殺されるから、ＥＳＬを低減することができる。このとき、上述した共振器の結合容量に影響することはない。
【００１５】
さらに、本発明に係るコンデンサ装置は、本発明に係る共振器を用いているので、本発明の共振器の優れた作用効果を享受することができる。
【００１６】
４．共振器の製造方法
本発明に係る共振器の製造方法は、以下の第１〜第５の工程を含む。第１の工程では、誘電体シートにスルーホールを形成する。第２の工程では、前記スルーホールの壁面に、第１の内部電極を形成する。第３の工程では、前記スルーホールを誘電体で埋める。
【００１７】
第４の工程では、前記誘電体を貫通するスルーホールを形成する。第５の工程では、前記第４の工程において形成したスルーホールを導電体で埋めることによって、第２の内部電極を形成する。
【００１８】
上述した本発明に係る共振器の製造方法によれば、誘電体シートに設けたスルーホールを利用して第１及び第２の内部電極を形成しているから、本発明の共振器を容易に得ることができる。この製造方法は、フィルタ等の製造に当たっても適用できる。
【発明の効果】
【００１９】
以上述べたように、本発明によれば、小型化及び低背化に好適な共振器、フィルタ、及びコンデンサ装置を提供することができる。
【００２０】
また、本発明によれば、上述した共振器に適した製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
１．共振器、及びコンデンサ装置
図１は本発明に係るコンデンサ装置を示す斜視図、図２は図１に示したコンデンサ装置のII-II線断面図、図３は図２に示したコンデンサ装置のIII-III線断面図である。コンデンサ装置は、共振器Ｑ１〜Ｑ４を含む。まず、共振器Ｑ１〜Ｑ４について説明する。共振器Ｑ１〜Ｑ４は、同一の構造を有するので、共振器Ｑ１のみについて説明する。
【００２２】
共振器Ｑ１は、誘電体基体Ｄと、第１の内部電極１１と、第２の内部電極１２とを含む。誘電体基体Ｄは、例えばセラミック基板などを積層したものであって、直方体形状をなす。
【００２３】
第１の内部電極１１は、筒状であって、誘電体基体Ｄに埋設されている。第２の内部電極１２は、柱状であって、その外周面が第１の内部電極１１の内周面と対向するように、誘電体基体Ｄに埋設されている。具体的には、第１の内部電極１１は円筒形状であって、その筒の内側に、円柱状の第２の内部電極１２が、同心円状に設けられている。なお、第１の内部電極１１は方形の筒状でもよく、また、第２の内部電極１２も四角柱形状でもよい。
【００２４】
第２の内部電極１２は、上端部Ａ１１と下端部Ａ１２（図１を参照）が、それぞれ第１の内部電極１１の上下の開口面から突出している。第１の内部電極１１と第２の内部電極１２により挟まれた領域Ｅ（図３を参照）には誘電体基体Ｄが存在し、第１の内部電極１１と第２の内部電極１２は絶縁されている。
【００２５】
上述したように、第１の内部電極１１と第２の内部電極１２は、絶縁されるとともに誘電体基体Ｄを挟み込んでいるから、第１の内部電極１１と第２の内部電極１２の間には結合容量Ｃが発生している。また、第１の内部電極１１と第２の内部電極１２は、インダクタ成分Ｌを有しているから、本発明に係る共振器は、図４に示すような、コンデンサＣとインダクタＬの直列回路となる。ここで、インダクタＬの大きさは、第２の内部電極１２の第１の内部電極１１の開口面からの突出分の長さΔＨ１，ΔＨ２（図２を参照）に応じて変化する。
【００２６】
さらに、第２の内部電極１２は柱状であり、一方、第１の内部電極１１は筒状であって、筒の内側に第２の内部電極１２が配置されているから、本発明に係る共振器は、細長い形状に形成し得る。したがって、複数の共振器を並べるにあたって、距離制限がないから、複数の共振器を高密度に配置でき、小型化及び低背化に好適である。
【００２７】
例えば、後述するように、誘電体シートを用いて共振器Ｑ１を製造する場合、第１の内部電極１１の高さＨを８００（μｍ）、直径Ｗ１を２００（μｍ）、厚みＷ２を５（μｍ）とすることができ、一方、第２の内部電極１２の直径Ｗ３を１００（μｍ）とすることができる（図２を参照）。
【００２８】
共振器Ｑ１〜Ｑ４は、第１の内部電極１１，２１，３１，４１の外周面を互いに対向させて並んでいる。具体的には、共振器Ｑ１〜Ｑ４は、高さ方向を誘電体基体Ｄの厚み方向に合わせた状態で、所定の間隔をおいて隣り合い、一列に並んでいる。
【００２９】
第１の内部電極１１，２１，３１，４１、及び第２の内部電極１２，２２，３２，４２は、隣り合うものの一方の端部同士と他方の端部同士が、順次、交互に接続されていることにより、それぞれ一連の導電路を構成している。また、共振器Ｑ１〜Ｑ４の隣り合う一対は、互いに接続された第１の内部電極１１，２１，３１，４１の端部が、互いに接続された第２の内部電極１２，２２，３２，４２の端部とは反対側にある。
【００３０】
共振器Ｑ１〜Ｑ４の接続について、具体的に以下に説明する。共振器Ｑ１と共振器Ｑ２は、第１の内部電極１１，２１の上端部Ｂ１１，Ｂ２１が、平板状の導体５１により互いに接続されている。一方、第２の内部電極１２，２２の下端部Ａ１２，Ａ２２が、平板状の導体５４により互いに接続されている。
【００３１】
共振器Ｑ２と共振器Ｑ３は、第１の内部電極２１，３１の下端部Ｂ２２，Ｂ３２が、平板状の導体５２により互いに接続されている。一方、第２の内部電極２２，３２の上端部Ａ２１，Ａ３１が、平板状の導体５５により互いに接続されている。
【００３２】
共振器Ｑ３と共振器Ｑ４は、第１の内部電極３１，４１の上端部Ｂ３１，Ｂ４１が、平板状の導体５３により互いに接続されている。一方、第２の内部電極３２，４２の下端部Ａ３２，Ａ４２が、平板状の導体５６により互いに接続されている。
【００３３】
このように、共振器Ｑ１〜Ｑ４は、第１及び第２の内部電極１１，２１，３１，４１，１２，２２，３２，４２が同一側の端部同士が接続されており、第１の内部電極１１，２１，３１，４１と第２の内部電極１２，２２，３２，４２は、接続されている端部が互いに反対側となっている。
【００３４】
また、コンデンサ装置には、４つの外部端子Ｔ１１，Ｔ１２，Ｔ２１，Ｔ２２が設けられている。一対の外部端子Ｔ１１，Ｔ１２と、他の一対の外部端子Ｔ２１，Ｔ２２は、共振器Ｑ１〜Ｑ４のなす一列を挟んで対向する２つの誘電体基体Ｄの側面に、それぞれ設けられている。これらの外部端子Ｔ１１，Ｔ１２，Ｔ２１，Ｔ２２の接続について、以下に説明する。
【００３５】
外部端子Ｔ１１は、平板状のリード部Ｕ１１を介して、第２の内部電極１２の上端部Ａ１１と接続されている。外部端子Ｔ１２は、平板状のリード部Ｕ１２を介して、第２の内部電極４２の上端部Ａ４１と接続されている。
【００３６】
一方、外部端子Ｔ２１は、平板状のリード部Ｕ２１を介して、第１の内部電極１１の下端部Ｂ１２と接続されている。外部端子Ｔ２２は、平板状のリード部Ｕ２２を介して、第１の内部電極４１の下端部Ｂ４２と接続されている。
【００３７】
したがって、外部端子Ｔ２１，Ｔ２２と、第１の内部電極１１，２１，３１，４１は、一連の導電路を構成しており、同様に、外部端子Ｔ１１，Ｔ１２、第２の内部電極１２，２２，３２，４２、外部端子Ｔ１２も、一連の導電路を構成している。
【００３８】
これまで述べたように、同一の共振器Ｑ１〜Ｑ４に含まれる第１の内部電極１１，２１，３１，４１と第２の内部電極１２，２２，３２，４２は、互いに反対側の端部が、隣り合う第１及び第２の内部電極１１，２１，３１，４１，１２，２２，３２，４２と順次に接続されているから、それぞれに流れる電流の方向を互いに反対にすることができる。すなわち、本実施形態においては、電流Ｉ１を外部端子Ｔ１１から外部端子Ｔ１２に向かうように流し、電流Ｉ２を外部端子Ｔ２１から外部端子Ｔ２２に向かうように流せばよい（図１の点線の矢印を参照）。
【００３９】
また、隣り合う第１の内部電極同士１１，２１，３１，４１、及び、隣り合う第２の内部電極同士１２，２２，３２，４２についても、接続されている端部が交互になっているから、電流Ｉ１，Ｉ２の流れる方向が互いに反対となる。したがって、電流Ｉ１，Ｉ２により生ずる磁界も反対向きとなり、共振器同士Ｑ１〜Ｑ４を適当に近づけて配置することによって、互いに相殺されるから、ＥＳＬを低減することができる。このとき、上述した共振器Ｑ１〜Ｑ４の結合容量Ｃに影響することはない。
【００４０】
したがって、図１〜図３に示したコンデンサ装置の等価回路図は、図５のように表される。ここで、符号Ｃｑ１は共振器Ｑ１の結合容量を、符号Ｃｑ２は共振器Ｑ２の結合容量を、符号Ｃｑ３は共振器Ｑ３の結合容量を、符号Ｃｑ４は共振器Ｑ４の結合容量を表している。このように、上述した外部端子Ｔ２１から外部端子Ｔ２２に至るまでの導電路と、外部端子Ｔ１１から外部端子Ｔ１２に至るまでの導電路の間には、結合容量Ｃｑ１〜Ｃｑ４（Ｆ）が存在するから、コンデンサ装置全体の容量はＣｑ１＋Ｃｑ２＋Ｃｑ３＋Ｃｑ４（Ｆ）とみなすことができる。
【００４１】
さらに、本発明に係るコンデンサ装置は、本発明に係る共振器を用いているので、本発明の共振器の優れた作用効果を享受することができる。すなわち、上述したように、共振器Ｑ１〜Ｑ４を高密度に配置できるから、生じた磁界を相殺できる程度に近づけて配置することによりＥＳＬを低減できるという効果に加えて、コンデンサ装置の小型化及び低背化を図ることができるという大きな効果も得られる。
【００４２】
なお、本実施形態においては、共振器Ｑ１〜Ｑ４を一列に並べて誘電体基体Ｄに埋設したが、これに限定されるものではない。例えば、共振器Ｑ１，Ｑ２と共振器Ｑ３，Ｑ４とを別々の列に分け、縦横に２×２で配置するのも良い。このとき、共振器Ｑ１〜Ｑ４の接続関係を本実施形態と同一とした場合、隣り合う共振器Ｑ１〜Ｑ４に流れる電流の向きが反対となるように、共振器Ｑ１と共振器Ｑ４、共振器Ｑ２と共振器Ｑ３がそれぞれ隣り合うようにする。
【００４３】
また、本実施形態においては、４個の共振器を誘電体基体Ｄに埋設したが、これに限定されるものではなく、用いる共振器の数は、設計に応じて適宜、決定すればよい。
【００４４】
２．フィルタ
本発明に係るフィルタは、複数の共振器を含む。本発明に係るフィルタは、例えば、バンドパスフィルタである。フィルタに含まれる複数の共振器は、それぞれ、本発明に係る共振器であって、例えば、上述したコンデンサ装置のように、第１の内部電極１１，２１，３１，４１（図１〜図３を参照）の外周面を互いに対向させて並んでいる。
【００４５】
本発明に係るフィルタは、本発明に係る共振器を用いているので、本発明の共振器の優れた作用効果を享受することができる。すなわち、上述したように、共振器Ｑ１〜Ｑ４を高密度に配置できるから、フィルタの小型化及び低背化を図ることができるという効果が得られる。
【００４６】
３．共振器の製造方法
次に、本発明に係る共振器の製造工程を説明する。図６〜図１７は、上述したコンデンサ装置に用いられる共振器Ｑ３を例に挙げ、その製造工程を示しており、図１に示したＩＩ−ＩＩ線断面で見た共振器Ｑ３を示している。
【００４７】
まず、図６のように、表面の一部に導体膜Ｓ１が形成された誘電体シート６０を用意する。誘電体シート６０としては、例えばＬＴＣＣ（Low Temperature Co-fired Ceramics：低温同時焼成セラミックス）基板用のグリーンシートを用いることができる。また、導体膜Ｓは、スパッタ、蒸着などの薄膜形成技術、印刷、めっき又はそれらの組み合わせによって形成できる。
【００４８】
次に、図７のように、誘電体シート６０にスルーホールＴＨ１を形成する。ここで、導体膜Ｓ１の残った部分は、導体５３となる。スルーホールＴＨ１は、例えば、汎用のパンチングマシンを用いて、穴あけを行なうことで得られる。さらに、図８のように、導体５３と接続されるように、スルーホールＴＨ１を導体ペーストＭ１で埋めた後、図９のように、表面の一部に導体膜Ｓ２が形成された誘電体シート６１を、導体ペーストＭ１と導体膜Ｓ２が接続されるように、誘電体シート６０の下に積層する。
【００４９】
次に、図１０のように、導体ペーストＭ１と誘電体シート６１とを貫通するスルーホールＴＨ２を形成する。ここで、導体膜Ｓ２の残った部分は、導体５２となる。これにより、スルーホールＴＨ１の壁面に、導体５２，５３と接続された第１の内部電極３１が形成される。このとき、導体ペーストＭ１の代わりに、スパッタにより導体膜を形成し、第１の内部電極３１を得てもよい。
【００５０】
次に、図１１のように、スルーホールＴＨ１を誘電体ペーストＭ２で埋めた後、図１２のように、誘電体シート６０の上に、他の誘電体シート６２を積層する。
【００５１】
次に、図１３のように、誘電体シート６２と誘電体ペーストＭ２とを貫通するスルーホールＴＨ３を形成する。そして、図１４のように、スルーホールＴＨ３を導電体ペーストで埋めることによって、第２の内部電極３２を形成する。
【００５２】
次に、図１５のように、誘電体シート６１の表面に、第２の内部電極３２と接続されるように導体５５を形成し、図１６のように、その表面に、さらに他の誘電体シート６３を積層する。ここで、導体５５は、スパッタ、蒸着などの薄膜形成技術、印刷、めっき又はそれらの組み合わせによって形成できる。
【００５３】
最後に、表面の一部に導体５６が形成された誘電体シート６４を、導体５６と第２の内部電極３２が接続されるように、誘電体シート６１の下に積層する。
【００５４】
このようにして誘電体シート６０〜６４を積層した後、熱圧着などの手段を適用して一体化し、焼成、端子形成工程などの必要な処理を実行する。これにより、図１〜図３に示したコンデンサ装置に用いられる共振器Ｑ３が得られる。
【００５５】
この共振器の製造方法によれば、誘電体シート６０〜６２に設けたスルーホールＴＨ１〜ＴＨ３を利用して第１及び第２の内部電極３１，３２を形成しているから、本発明の共振器を容易に得ることができる。この製造方法は、フィルタやコンデンサ装置等の製造に当たっても適用できる。なお、フィルタやコンデンサ装置に設けられる他の電極は、スパッタ、蒸着などの薄膜形成技術、印刷、めっき又はそれらの組み合わせによって形成できる。
【００５６】
また、本実施形態において、誘電体シート６１，６２の厚みを適宜選択すれば、図２に示した突出長ΔＨ１，ΔＨ２を変更することができる。したがって、誘電体シート６１，６２の厚みに応じて、インダクタＬの大きさの異なる共振器Ｑ３を好適に製造することができる。
【００５７】
これまで述べたように、本発明によれば、小型化及び低背化に好適な共振器、フィルタ、及びコンデンサ装置を提供することができる。また、上述した共振器の製造に適した製造方法を提供することができる。
【００５８】
以上、好ましい実施例を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の変形態様を採り得ることは自明である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係るコンデンサ装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示したコンデンサ装置のII−II線断面図である。
【図３】図２に示したコンデンサ装置のIII−III線断面図である。
【図４】本発明に係る共振器の等価回路図である。
【図５】図１〜図３に示したコンデンサ装置の等価回路図である。
【図６】本発明に係る共振器の製造工程を示す図である。
【図７】図６の工程の後の製造工程を示す図である。
【図８】図７の工程の後の製造工程を示す図である。
【図９】図８の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１０】図９の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１１】図１０の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１２】図１１の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１３】図１２の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１４】図１３の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１５】図１４の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１６】図１５の工程の後の製造工程を示す図である。
【図１７】図１６の工程の後の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１１，２１，３１，４１                  第１の内部電極
１２，２２，３２，４２                  第２の内部電極
Ｑ１〜Ｑ４                              共振器
Ｂ１１，Ｂ２１，Ｂ３１，Ｂ４１          第１の内部電極の上端部
Ｂ１２，Ｂ２２，Ｂ３２，Ｂ４２          第１の内部電極の下端部
Ａ１１，Ａ２１，Ａ３１，Ａ４１          第２の内部電極の上端部
Ａ１２，Ａ２２，Ａ３２，Ａ４２          第２の内部電極の下端部
Ｄ                                      誘電体基体
Ｔ１１、Ｔ１２，Ｔ２１，Ｔ２２          外部端子
６０〜６４                              誘電体シート
ＴＨ１，ＴＨ２，ＴＨ３                  スルーホール
Ｍ２                                    誘電体ペースト
【図１】
0004771097.tif 000002
【図２】
0004771097.tif 000003
【図３】
0004771097.tif 000004
【図４】
0004771097.tif 000005
【図５】
0004771097.tif 000006
【図６】
0004771097.tif 000007
【図７】
0004771097.tif 000008
【図８】
0004771097.tif 000009
【図９】
0004771097.tif 000010
【図１０】
0004771097.tif 000011
【図１１】
0004771097.tif 000012
【図１２】
0004771097.tif 000013
【図１３】
0004771097.tif 000014
【図１４】
0004771097.tif 000015
【図１５】
0004771097.tif 000016
【図１６】
0004771097.tif 000017
【図１７】
0004771097.tif 000018