(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子と、該固定子に沿って直線的に往復移動する可動子と、該可動子の位置を検出可能な磁気センサとを有するリニアモータが、複数個設けられるリニアモータユニットであって、
隣り合う前記磁気センサを、互いに、それぞれの前記可動子の移動方向に平行な方向にずらして配置することで前記磁気センサの配置位置の異なる複数種類のリニアモータが、前記移動方向にずれることなく当該移動方向と交差する一方向に並んで配置されていることを特徴とするリニアモータユニット。
【請求項２】
前記リニアモータユニットは、前記可動子に固定され、前記可動子の位置を特定する情報が記録されているリニアスケールを有し、該リニアスケールには、所定の位置に、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記原点信号情報が、少なくとも２箇所に、所定の間隔を空けて記録されている請求項１記載のリニアモータユニット。
【請求項３】
前記リニアモータユニットは、前記可動子に固定され、前記可動子の位置を特定する情報が記録されているリニアスケールを有し、該リニアスケールには、所定の位置に、基準点を示す原点信号情報が１つ記録され、
隣り合う前記リニアモータ同士で、互いに、前記磁気センサの位置に応じて前記原点信号情報の記録位置が異なる請求項１記載のリニアモータユニット。
【請求項４】
請求項１記載のリニアモータユニットにおいて、
前記リニアモータは、当該磁気センサの取付位置が複数種類に分類されるものであり、各種類のリニアモータが予め定められた順序で交互に配置されている
ことを特徴とするリニアモータユニット。
【請求項５】
請求項４記載のリニアモータユニットにおいて、
前記可動子に固定され、当該複数種類のリニアモータの何れも一つだけ基準点を認識するように間隔を隔てて記録される複数の原点信号情報を保持するリニアスケールを備えている
ことを特徴とするリニアモータユニット。
【請求項６】
供給された電子部品を保持して、所定の位置まで移動し、前記所定の位置に前記電子部品を載置する電子部品移載装置であって、
固定子と、該固定子に沿って直線的に往復移動する可動子と、該可動子の位置を検出可能な磁気センサとを有するリニアモータが、複数個設けられるリニアモータユニットであって、隣り合う前記磁気センサを、互いに、それぞれの前記可動子の移動方向に平行な方向にずらして配置することで前記磁気センサの配置位置の異なる複数種類のリニアモータが、前記移動方向にずれることなく当該移動方向と交差する一方向に並んで配置されているリニアモータユニットと、
該リニアモータユニットの各前記リニアモータの前記可動子に一体に取り付けられ、該可動子の移動とともに昇降して、前記電子部品を保持するノズル部材とを有することを特徴とする電子部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のリニアモータを設けた状態で使用されるリニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面実装機や部品検査装置には、供給された電子部品を保持して、所定の位置まで移動し、所定の位置に電子部品を載置する電子部品移載装置（以下、ヘッドユニットという）が備えられている。ヘッドユニットは、基台上に設けられた部品搬送ユニットによって支持された状態で、水平方向に移動可能に設けられている。このような表面実装機において、特許文献１に示されるように、ヘッドユニットに、複数のリニアモータが並列に設けられたリニアモータユニットと、リニアモータユニットの各リニアモータによって昇降駆動されるノズル部材とが備えられており、複数の磁気センサにより、可動子の移動位置を検出するものが知られている。
【特許文献１】特開２００６−６７７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の技術では、センサとして磁気式のセンサが具備されたリニアモータが複数並べられ、一体にされたリニアモータユニットとして使用されると、隣り合うリニアモータ同士で、磁気センサ同士の干渉が生じ、可動子の位置の誤検出を招くという問題がある。
【０００４】
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、隣り合う磁気センサ同士の干渉を回避することができるリニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のリニアモータユニットは、固定子と、該固定子に沿って直線的に往復移動する可動子と、該可動子の位置を検出可能な磁気センサとを有するリニアモータが、複数個設けられるリニアモータユニットであって、隣り合う前記磁気センサを、互いに、それぞれの前記可動子の移動方向に平行な方向にずらして配置することで前記磁気センサの配置位置の異なる複数種類のリニアモータが、前記移動方向にずれることなく当該移動方向と交差する一方向に並んで配置されていることを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、隣り合う磁気センサは、互いに、それぞれの前記可動子の移動方向に対して異なる位置になるように設けられる。したがって、隣り合う磁気センサ同士の干渉を回避することができ、磁気の干渉による可動子の位置検出の誤検知を防ぐことができる。
【０００７】
また、本発明のリニアモータユニットは、前記可動子に固定され、前記可動子の位置を特定する情報が記録されているリニアスケールを有し、前記リニアスケールには、所定の位置に、基準点を示す原点信号情報が記録され、前記原点信号情報が、少なくとも２箇所に、所定の間隔を空けて記録されていることが好ましい。
【０００８】
この発明によれば、リニアスケールに少なくとも２つの原点信号情報が所定の間隔を空けて記録されているので、隣り合うリニアモータ同士で、磁気センサの配置位置が異なり、互いの磁気センサのリニアスケールに記録された情報の読み取り範囲が異なっていたとしても、各磁気センサは、各リニアスケールに記録された２つの原点信号情報のうちのいずれか１つを読み取ることができる。しかも、リニアモータユニット全体で、各リニアモータに備えられるリニアスケールの共通化を図ることができ、部品の管理が容易になり、各リニアモータの組立を効率よく行うことができる。
【０００９】
また、本発明のリニアモータユニットは、前記可動子に固定され、前記可動子の位置を特定する情報が記録されているリニアスケールを有し、前記リニアスケールには、所定の位置に、基準点を示す原点信号情報が１つ記録され、隣り合う前記リニアモータ同士で、互いに、前記磁気センサの位置に応じて前記原点信号情報の記録位置が異なるリニアスケールが具備されている。
【００１０】
この発明によれば、隣り合うリニアモータ同士で、互いに、原点信号情報の記録位置が異なるリニアスケールが具備されている。つまり、隣り合うリニアモータ同士で、磁気センサの配置位置によって、固定子に取り付けられるリニアスケールの種類が異なっている。したがって、隣り合うリニアモータ同士で、磁気センサの配置位置が異なり、互いの磁気センサのリニアスケールに記録された情報の読み取り範囲が異なっていたとしても、原点信号情報が１つしか記録されていないリニアスケールを用いて、原点信号情報を読み取ることができる。
【００１１】
本発明の電子部品移載装置は、供給された電子部品を保持して、所定の位置まで移動し、前記所定の位置に前記電子部品を載置する電子部品移載装置であって、固定子と、該固定子に沿って直線的に往復移動する可動子と、該可動子の位置を検出可能な磁気センサとを有するリニアモータが、複数個設けられるリニアモータユニットであって、隣り合う前記磁気センサを、互いに、それぞれの前記可動子の移動方向に平行な方向にずらして配置することで前記磁気センサの配置位置の異なる複数種類のリニアモータが、前記移動方向にずれることなく当該移動方向と交差する一方向に並んで配置されているリニアモータユニットと、該リニアモータユニットの各前記リニアモータの前記可動子に一体に取り付けられ、該可動子の移動とともに昇降して、前記電子部品を保持するノズル部材とを有することを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、上記のリニアモータユニットを電子部品移載装置に備えていることにより、隣り合う磁気センサ同士の干渉を回避することができ、可動子の位置検出の誤検知を防ぐことができる。したがって、実装効率を向上させるために複数のノズル部材が近接して設けられる電子部品移載装置においても、隣り合う磁気センサが干渉することなく可動子の位置を正確に検出することが可能であり、可動子に取り付けられたノズル部材で、電子部品を保持または載置する際に、過度に電子部品を押圧することによる電子部品の損傷を回避することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数のリニアモータを有するリニアモータユニットで隣り合う磁気センサ同士の干渉を回避し、可動子の位置を正確に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
実施の形態１および実施の形態２のリニアモータユニットは、磁気センサの配置位置の異なる複数種のリニアモータを用いたもので、隣り合うリニアモータが互いに異なる種類のリニアモータになるように配置することで、隣り合う磁気センサの配置位置が異なるようにされているものである。
【００１５】
以下で、実施の形態１および実施の形態２のリニアモータユニットおよび該リニアモータユニットを備えた電子部品移載装置について、図面を用いて詳細に説明する。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は、表面実装機１００を平面視で概略的に説明するための図である。
【００１７】
表面実装機１００には、図１に示されるように、基台２０と、基台２０上に搬入されたプリント基板Ｐを基台２０上の所定の位置まで搬送する基板搬送用コンベア２１と、基板搬送用コンベア２１によって所定の位置まで搬送されたプリント基板Ｐを上方に持ち上げるように支持する基板支持装置２５と、所定の電子部品を基台２０上の所定の位置に供給する部品供給部２３と、部品供給部２３から供給された電子部品を保持するヘッドユニット１（電子部品移載装置）と、ヘッドユニット１を水平方向に移動可能に支持する部品搬送ユニット２２と、ヘッドユニット１によって保持された電子部品を撮像する部品撮像部２４とが備えられている。
【００１８】
基板搬送用コンベア２１は、基台２０上を横切るように１対設けられている。基板搬送用コンベア２１はレールとレールによって支持された環状のベルトとを含む。プリント基板Ｐが基台２０上に搬入されると、プリント基板Ｐは、基板搬送用コンベア２１のベルトの上に載置され、ベルトが循環することによって、プリント基板Ｐが基台２０上の所定の位置まで移送される。以下では、プリント基板Ｐの搬送方向に平行な方向をＸ方向、Ｘ方向に対して垂直な方向であって、水平な方向をＹ方向、Ｘ−Ｙ平面に対して垂直な方向をＺ方向として説明する。
【００１９】
基板支持装置２５は、１対の基板搬送用コンベア２１の間に設けられている。基板支持装置２５は、昇降装置と、昇降装置の上端に設けられた板状のバックアッププレートと、バックアッププレートによって直立した状態に支持された複数のバックアップピンとを含む。昇降装置が駆動すると、バックアッププレートおよびバックアップピンは上方に移動し、バックアップピンの先端がプリント基板Ｐの下面に当接し、そのままバックアップピンの先端でプリント基板Ｐを押し上げ、プリント基板Ｐの撓みを矯正した状態でプリント基板Ｐを所定の高さに支持する。
【００２０】
部品供給部２３は、１対の基板搬送用コンベア２１の外側に、部品供給位置を基板搬送用コンベア２１の側へ向けて設けられている。部品供給部２３は、複数のテープフィーダ２３ａを含む。テープフィーダ２３ａは、テープフィーダ本体と、テープとを含む。テープフィーダ本体は、テープが巻き付けられたリールを保持するリール保持部と、テープを繰り出す繰り出し手段とを有する。テープには、凹状の空間が、その長手方向に沿って所定の間隔を空けて複数形成されており、各空間に電子部品が収容されている。テープは、リールに巻き付けられた状態でテープフィーダ本体に組み込まれている。各テープフィーダ２３ａは、テープの長手方向をプリント基板Ｐの搬送方向に直交するように、かつ、部品供給位置をプリント基板Ｐの側へ向けて基台２０上に取り付けられている。電子部品は、テープが繰り出し手段によって間歇的に長手方向に送り出されることで、部品供給位置に順次供給される。
【００２１】
部品搬送ユニット２２は、ヘッドユニット１をＸ方向に移動可能に支持するＸ方向支持部２２ｂと、ヘッドユニット１を支持しているＸ方向支持部２２ｂをＹ方向に移動可能に支持するＹ方向支持部２２ａとを含む。
【００２２】
ヘッドユニット１が、部品供給部２３の部品供給位置で電子部品を吸着すると、Ｙ方向支持部２２ａのモータ２２ａ１が駆動し、モータ２２ａ１の駆動力を受けてボールねじ軸２２ａ２が回転を始める。Ｘ方向支持部２２ｂは、ボールねじ軸２２ａ２にボールナット（図示しない）を介して連結されている。したがって、ボールナットおよびボールナットに連結されたＸ方向支持部２２ｂは、ボールねじ軸２２ａ２の回転を受けて、ボールねじ軸２２ａ２の長手方向すなわちＹ方向に移動する。そして、Ｘ方向支持部２２ｂが、Ｙ方向の所定の位置に辿り着くと、Ｘ方向支持部２２ｂのモータ２２ｂ１が駆動し、モータ２２ｂ１の駆動力を受けてボールねじ軸２２ｂ２が回転を始める。ヘッドユニット１は、ボールねじ軸２２ｂ２にボールナット（図示しない）を介して連結されている。したがって、ボールナットおよびボールナットに連結されたヘッドユニット１は、ボールねじ軸２２ｂ２の回転を受けて、ボールねじ軸２２ｂ２の長手方向すなわちＸ方向に移動する。このように、ヘッドユニット１は、Ｘ方向支持部２２ｂおよびＹ方向支持部２２ａによって、水平方向に移動可能に支持されている。
【００２３】
部品撮像部２４は、ヘッドユニット１によって保持された電子部品を撮像する。具体的には、部品撮像部２４は、エリアカメラ、照明装置などを含み、基台２０上に上向きの姿勢で固定されている。ヘッドユニット１によって保持された電子部品は、まず、部品供給部２３の部品吸着位置から部品撮像部２４の上方まで移送される。そして、部品撮像部２４は、ヘッドユニット１によって保持された状態の電子部品を下方から撮像する。
【００２４】
つぎに、本実施の形態のヘッドユニット１およびヘッドユニット１に備えられたリニアモータユニット１ｂについて、詳しく説明する。
【００２５】
図２は、ヘッドユニット１を説明するための正面図である。ヘッドユニット１は、図２に示されるように、後に詳述するリニアモータユニット１ｂと、供給された電子部品をその先端で吸着して保持する複数のノズル部材１ｃと、プリント基板Ｐの上面を撮像する基板撮像ユニット１ａとを含む。
【００２６】
図３（ａ）および図３（ｂ）は、後述の第１のリニアモータＡに取り付けられたノズル部材１ｃを説明するための図であり、図３（ａ）はノズル部材１ｃが最上端に位置している状態を示し、図３（ｂ）はノズル部材１ｃが最下端に位置している状態を示す。図４（ａ）および図４（ｂ）は、後述の第２のリニアモータＢに取り付けられたノズル部材１ｃを説明するための図であり、図４（ａ）はノズル部材１ｃが最上端に位置している状態を示し、図４（ｂ）はノズル部材１ｃが最下端に位置している状態を示す。
【００２７】
ノズル部材１ｃは、リニアモータユニット１ｂの各リニアモータによって昇降駆動され、また、回転駆動機構によって、ノズル中心軸回りに回転駆動される。ノズル部材１ｃは、図３（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）および図４（ｂ）に示されるように、駆動シャフト１ｃ１と、駆動シャフト１ｃ１の下端に着脱可能に設けられた吸着ノズル１ｃ２とを有する。ノズル部材１ｃは、駆動シャフト１ｃ１の内部通路および切換弁などを介して負圧発生装置（図示しない）に接続されており、電子部品吸着時には、負圧発生装置によって負圧を生じさせ、吸着ノズル１ｃ２の先端で電子部品を吸着・保持する。
【００２８】
１つのリニアモータに１つのノズル部材１ｃが取り付けられた状態のものは、いわゆるヘッドと呼ばれている。ヘッドユニット１には、複数のヘッドが一体にされた状態で取り付けられており、ヘッドユニット１は、一度の往復で複数の電子部品を移送する。本実施の形態では、１０個のヘッドを一体にしてヘッドユニットに取り付けている。
【００２９】
基板撮像ユニット１ａは、ＣＣＤなどの撮像素子をもつエリアカメラと、照明装置とを含む。基板撮像ユニット１ａは下向きの姿勢でヘッドユニット１に取り付けられている。そして、基板撮像ユニット１ａは、プリント基板Ｐの表面に表示された各種マークを撮像する。
【００３０】
図５は、リニアモータユニット１ｂおよびノズル部材１ｃを概略的に説明するための図である。
【００３１】
リニアモータユニット１ｂは、２種類のリニアモータ（以下、第１のリニアモータＡ、第２のリニアモータＢという）を含む。第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢは、交互に並べられた状態で一体にされ、リニアモータユニット１ｂとして用いられる。
【００３２】
第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢには、それぞれ、制御部１９（図６（ａ）、図６（ｂ）、図７（ａ）、図７（ｂ）参照）と、フレーム部材１０と、固定子１３と、固定子１３に沿って直線的に往復移動する可動子１２と、可動子１２に固定され、可動子１２の位置を特定する情報が記録されているリニアスケール１４と、リニアスケールに記録された情報を読み取り可能な磁気センサ１５と、リターンスプリング１６（形状省略）とが備えられている。
【００３３】
制御部１９は、電流制御部（図示しない）と、位置信号情報検出部（図示しない）と、原点信号情報検出部（図示しない）とを備えている。電流制御部は、後述の固定子１３の電磁石に供給する電流を、固定子１３の電磁石と可動子１２の永久磁石との位置関係に応じて制御する。位置信号情報検出部は、可動子１２の移動量を計測する。原点信号情報検出部は、可動子１２の移動量を計測するための原点位置を検出する。
【００３４】
フレーム部材１０は、固定子１３、可動子１２、リニアスケール１４、磁気センサ１５およびリターンスプリング１６を一体に収容、保持する部材である。フレーム部材１０には、可動子１２、リニアスケール１４、固定子１３などを収容する空間と、ノズル部材１ｃ１を可動子１２に一体に取り付けた状態で上下方向に移動させるための開口とが形成されている。フレーム部材１０には、可動子１２を案内するためのリニアガイド１７が上下方向に延びるように取り付けられ、さらに、リニアガイド１７の両端側には、可動子１２の移動を止める１対のストッパ１１が取り付けられている。また、フレーム部材１０には、磁気センサ１５を固定するためのセンサ固定部１０ａが設けられている。センサ固定部１０ａは、磁気センサ１５を、可動子１２の移動方向に平行な方向にずらして配置し、固定することが可能なように構成されている。
【００３５】
固定子１３は、櫛形のコアと、リニアモータの駆動時に固定子両端の磁束の形成を補う１対のサブティースと、コアに巻き付けられたコイルとを含む。リニアモータの駆動時には、各コイルに、互いに位相が異なるｕ相、ｖ相、ｗ相のうちのいずれかの相の電流が供給される。これにより、固定子１３を電磁石として機能させ、各コイルの周りに所定の磁束を発生させる。
【００３６】
可動子１２は、可動子本体１２ｂと、可動子本体１２ｂに固定された永久磁石１２ａとを含む。可動子本体１２ｂは、断面略コ字形の縦長枠状に形成されたものである。永久磁石１２ａは、可動子本体１２ｂの、固定子１３と対向する位置に、Ｓ極とＮ極が交互に表れるように固定されている。また、可動子１２の下端部側面には、取付アーム１８を介してノズル部材１ｃが取り付けられている。
【００３７】
固定子１３のコイルに所定の電流が供給されると、固定子１３が電磁石として機能し、電磁石の磁束と、可動子１２の永久磁石１２ａとの磁束とが相互に作用して、推進力が発生し、可動子１２は固定子１３に対して相対移動する。可動子１３は、図３（ａ）および図３（ｂ）、ならびに、図４（ａ）および図４（ｂ）に示されるように、一対のストッパ１１の間を、固定子１３に沿って上下方向に往復移動する。そして、可動子１２の駆動により、可動子１２に取り付けられているノズル部材１ｃを昇降させる。
【００３８】
リニアスケール１４は、位置情報を磁気的に記録した磁気スケールである。具体的には、微小な一定間隔毎の位置を示す情報と、基準点を示す原点信号情報とが記録されている。リニアスケール１４は、可動子１２に対して、後述の磁気センサ１５と対向する位置に固定される。本実施の形態では、２つの原点信号情報が所定の間隔を空けて記録されているリニアスケール１４を用いている。
【００３９】
磁気センサ１５は、リニアスケール１４の磁気を検出する検出素子１５ｂと、検出素子１５ｂの磁化過程に生じるノイズを抑制するためのバイアスマグネット(磁石)１５ａとを備えており、検出素子１５ｂとしては、磁気の影響を受けると電気抵抗が変化するパーマロイ合金などを用いることができる。検出素子１５ｂは、リニアスケール１４に対向するように配置される。そして、検出素子１５ｂに一定の電流を流し、電圧の変化を測定することで、検出素子１５ｂの位置における磁界の変化を検出する。これにより、間接的に可動子１２の位置を特定する。また、バイアスマグネット１５ａは、略帯状を呈しており、検出素子１５ｂを間に挟んでリニアスケール１４と対向する位置に配置されている。
【００４０】
リターンスプリング１６は、フレーム部材１０の上部と可動子１２の下部に設けられた取付アーム１８との間に取り付けられたスプリングを含む。リターンスプリング１６は、可動子１２を上方へ付勢する。可動子１２が下方へ移動する場合には、リターンスプリング１６の付勢力に逆らってノズル部材１ｃが下降し、可動子１２が上方へ移動する場合には、リターンスプリング１６の付勢力を受けてノズル部材１ｃが上昇する。
【００４１】
ここで、第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとの相違点について説明する。
【００４２】
第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとの違いは、磁気センサ１５の配置位置にある。すなわち、図５に示されるように、第１のリニアモータＡは、磁気センサ１５が第１の領域Ｉ内に配置されているのに対し、第２のリニアモータＢは、磁気センサ１５が第２の領域ＩＩ内に配置されている。第１の領域Ｉおよび第２の領域ＩＩは、それぞれの領域に磁気センサ１５が配置された場合に、互いに磁気センサ１５内のバイアスマグネット１５ａが移動方向に対して重なり合わないように設定されている領域である。第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとが代わる代わる並べられて一体にされると、図５に示されるように、隣り合うリニアモータＡ、Ｂ同士の磁気センサ１５の位置は、互いに、可動子１２の移動方向、すなわち高さ方向に異なる。したがって、第１のリニアモータＡの磁気センサ１５内に含まれるバイアスマグネット１５ａと、第１のリニアモータＡに隣接して配置された第２のリニアモータＢの磁気センサ１５内に含まれるバイアスマグネット１５ａとが、対向しない。それゆえ、隣り合う磁気センサ１５に含まれるバイアスマグネット１５ａの磁気が、互いに、作用し合うことを回避することができる。
【００４３】
第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢの違いについて、さらに説明する。図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施の形態１の第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢを説明するための概念図であり、図６（ａ）は第１のリニアモータＡの可動子１２が可動範囲の上端に位置している状態を示し、図６（ｂ）は第２のリニアモータＢの可動子１２が可動範囲の上端に位置している状態を示す。図７（ａ）および図７（ｂ）は、実施の形態１の第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢを説明するための概念図であり、図７（ａ）は第１のリニアモータＡの可動子１２が可動範囲の下端に位置している状態を示し、図７（ｂ）は第２のリニアモータＢの可動子１２が可動範囲の下端に位置している状態を示す。図８は、リニアスケール１４に記録された２つの原点信号情報の間隔を説明するための図である。
【００４４】
本実施の形態の第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢには、図６（ａ）、図６（ｂ）、図７（ａ）および図７（ｂ）に示されるように、磁気センサ１５の配置位置に関わらず、それぞれに同一のリニアスケール１４が具備されている。具体的には、リニアスケール１４には、第１の領域Ｉに設置された磁気センサ１５によってのみ読み取り可能な第１の原点信号情報１４ａと、第２の領域ＩＩに設置された磁気センサ１５によってのみ読み取り可能な第２の原点信号情報１４ｂとが記録されている。また、図８に示されるように、第１の原点信号情報１４ａと第２の原点信号情報１４ｂとの間隔ｄｉｓ２は、可動子１２のストローク距離ｄｉｓ１より大きく、第１の原点信号情報１４ａから、隣接する第２のリニアモータＢの磁気センサ１５（図８、破線で表示）の検出素子１５ｂの位置（すなわち読み取り位置）までの距離ｄｉｓ３より小さく設定される。このような、ｄｉｓ１＜ｄｉｓ２＜ｄｉｓ３という関係を成り立たせることで、第１の原点信号情報１４ａは、第１の領域Ｉに設置された磁気センサ１５でのみ読み取られ、第２の原点信号情報１４ｂは、第２の領域ＩＩに設置された磁気センサ１５でのみ読み取られるようになる。
【００４５】
したがって、第１のリニアモータＡでは、図６（ａ）および図７（ａ）に示されるように、第１の領域Ｉに設置された磁気センサ１５で、第１の原点信号情報１４ａを読み取って、第１のリニアモータＡの駆動を制御する。また、第２のリニアモータＢでは、図６（ｂ）および図７（ｂ）に示されるように、第２の領域ＩＩに設置された磁気センサ１５で、第２の原点信号情報１４ｂを読み取って、第２のリニアモータＢの駆動を制御する。
【００４６】
このように、リニアスケール１４に２つの原点信号情報が所定の間隔を空けて記録されているので、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、磁気センサ１５の配置位置が異なり、互いの磁気センサ１５の読み取り範囲が異なっていたとしても、各磁気センサ１５は、各リニアスケール１４に記録された２つの原点信号情報のうちのいずれか１つを読み取ることができる。しかも、リニアモータユニット１ｂ全体で、各リニアモータに備えられるリニアスケール１４の共通化を図ることができ、部品の管理が容易になり、各リニアモータＡ、Ｂの組立を効率よく行うことができる。
【００４７】
（実施の形態２）
実施の形態１のリニアモータユニット１ｂは、磁気センサ１５の位置のみが異なる第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとを代わる代わる配置したものである。これに対し、実施の形態２のリニアモータユニット１ｂは、磁気センサ１５の位置に加えて、リニアスケールの種類が異なる第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとを代わる代わる配置したものである。
【００４８】
図９（ａ）および図９（ｂ）は、実施の形態２の第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢを説明するための概念図であり、図９（ａ）は第１のリニアモータＡを示し、図９（ｂ）は第２のリニアモータＢを示す。図９（ａ）および図９（ｂ）に示されるように、実施の形態２の第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢには、ともに、原点信号情報が１つだけ記録されたリニアスケールが備えられている。しかしながら、原点信号情報の記録位置は、第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとで異なる位置に記録されている。具体的には、第１のリニアモータＡのリニアスケール１４には、第１の領域Ｉ内に設けられた磁気センサ１５によってのみ読み取り可能な第１の原点信号情報１４ａが１つだけ記録され、第２のリニアモータＢのリニアスケール１４’には、第２の領域ＩＩ内に設けられた磁気センサ１５によってのみ読み取り可能な第２の原点信号情報１４ｂが１つだけ記録されている。
【００４９】
したがって、第１のリニアモータＡでは、第１の領域Ｉに設置された磁気センサ１５で、リニアスケール１４の第１の原点信号情報１４ａを読み取って、第１のリニアモータＡの駆動を制御する。また、第２のリニアモータＢでは、第２の領域ＩＩに設置された磁気センサ１５で、リニアスケール１４’の第２の原点信号情報１４ｂを読み取って、第２のリニアモータＢの駆動を制御する。
【００５０】
このように、実施の形態２のリニアモータユニット１ｂでは、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、互いに、磁気センサ１５の位置に応じて原点信号情報の記録位置が異なるリニアスケール１４、１４’が具備されている。つまり、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、磁気センサ１５の配置位置によって、固定子１２に取り付けられるリニアスケールの種類が異なっている。したがって、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、磁気センサ１５の配置位置が異なり、互いの磁気センサ１５読み取り範囲が異なっていたとしても、原点信号情報が１つしか記録されていないリニアスケール１４、１４’を用いて、原点信号情報を読み取ることができる。
【００５１】
以上の実施の形態によれば、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、それぞれの磁気センサ１５は、互いに、それぞれの可動子１２の移動方向の異なる位置になるように設けられる。つまり、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢにおいて、各磁気センサ１５に含まれたバイアスマグネット１５ａが対向しないように配置されている。したがって、隣り合う第１のリニアモータＡおよび第２のリニアモータＢ同士で、磁気センサ１５に仕込まれたバイアスマグネット１５ａによる磁気の干渉を回避することができ、磁気の干渉による可動子１２の位置検出の誤検知を防ぐことができる。これにより、可動子１２の位置を正確に検出することで、可動子１２に取り付けられたノズル部材１ｃで、電子部品を保持または載置する際に、過度に電子部品を押圧することによる電子部品の損傷を回避することができる。また、可動子１２の移動距離が不足して、ノズル部材ｃ１の先端が所定の高さに至らない状態で電子部品を吸着するなどの不具合を回避することができる。
【００５２】
なお、上記実施の形態では、リニアモータユニットを部品移載装置として機能する表面実装機に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、部品検査装置などの部品移載装置に対しても適用することができる。また、ディスペンサなどに搭載してもよい。
【００５３】
また、上記実施の形態２では、原点信号情報が１つしか記録されていないリニアスケールを用いる場合に、隣り合うリニアモータ同士で原点信号情報の記録位置が異なるリニアスケール１４、１４’を用いることによって、原点信号情報を読み取る形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１０は、第１のリニアモータおよび第２のリニアモータの他の形態を説明するための概念図であり、（ａ）は第１のリニアモータＡを示し、（ｂ）は第２のリニアモータＢを示す。たとえば、図１０に示されるように、第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとで、リニアスケール１４を可動子１２に対してずらして貼り付けて、磁気センサ１５で第１の原点信号情報１４ａを読み取る形態であってもよい。
【００５４】
また、上記実施の形態では、磁気センサ１５の位置が異なる２種のリニアモータ、すなわち第１のリニアモータＡと第２のリニアモータＢとを代わる代わる配置したリニアモータユニット１ｂについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１１は、リニアモータユニット１ｂの他の形態を説明するための概念図である。図１１に示されるように、リニアモータユニット１ｂとして、磁気センサ１５の位置が異なる３種以上のリニアモータ（図１１では、第１のリニアモータＡ、第２のリニアモータＢ、第３のリニアモータＣ）を用いて、同じ種類のリニアモータが隣り合わないように配置されたものを用いてもよい。図１１の場合、磁気センサ１５による原点信号情報の読み取りは、原点信号情報が所定の間隔を空けて３箇所に記録されたリニアスケール、または、原点信号情報が磁気センサ１５の配置位置に応じて１箇所に記録されたリニアスケールを用いて行われる。
【００５５】
また、本実施の形態では、磁気センサが１５は１個のリニアモータに対して１個配置されている場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。１個のリニアモータに複数の磁気センサが配置されているリニアモータユニットの場合にも用いられる。この場合には、リニアモータユニット内のそれぞれの隣り合う磁気センサを可動子の移動方向に対して重なり合わないように配置すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】表面実装機を平面視で概略的に説明するための図である。
【図２】ヘッドユニットを説明するための正面図である。
【図３】第１のリニアモータおよび第１のリニアモータに取り付けられたノズル部材を説明するための図であり、（ａ）はノズル部材が最上端に位置している状態を示し、（ｂ）はノズル部材が最下端に位置している状態を示す。
【図４】第２のリニアモータおよび第２のリニアモータに取り付けられたノズル部材を説明するための図であり、（ａ）はノズル部材が最上端に位置している状態を示し、（ｂ）はノズル部材が最下端に位置している状態を示す。
【図５】リニアモータユニットおよびノズル部材を概略的に説明するための図である。
【図６】実施の形態１の第１のリニアモータおよび第２のリニアモータを説明するための概念図であり、（ａ）は第１のリニアモータの可動子が可動範囲の上端に位置している状態を示し、（ｂ）は第２のリニアモータの可動子が可動範囲の上端に位置している状態を示す。
【図７】実施の形態１の第１のリニアモータおよび第２のリニアモータを説明するための概念図であり、（ａ）は第１のリニアモータの可動子が可動範囲の下端に位置している状態を示し、（ｂ）は第２のリニアモータの可動子が可動範囲の下端に位置している状態を示す。
【図８】リニアスケールに記録された２つの原点信号情報の間隔を説明するための図である。
【図９】実施の形態２の第１のリニアモータおよび第２のリニアモータを説明するための概念図であり、（ａ）は第１のリニアモータを示し、（ｂ）は第２のリニアモータを示す。
【図１０】第１のリニアモータおよび第２のリニアモータの他の形態を説明するための概念図であり、（ａ）は第１のリニアモータを示し、（ｂ）は第２のリニアモータを示す。
【図１１】リニアモータユニットの他の形態を説明するための概念図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  ヘッドユニット（電子部品移載装置）
１ｂ  リニアモータユニット
１ｃ  ノズル部材
１２  可動子
１３  固定子
１４、１４’  リニアスケール
１４ａ  第１の原点信号情報
１４ｂ  第２の原点信号情報
１５  磁気センサ
１５ａ  バイアスマグネット（磁石）
Ａ  第１のリニアモータ（リニアモータ）
Ｂ  第２のリニアモータ（リニアモータ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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