(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
歯車とほぼ同形状に加工された台金に固着されたダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素にて成る砥粒をツルーイングするドレスギアの製造装置であって、
上記砥粒が固着された台金を回転駆動させる回転駆動部と、
レーザ光を発するレーザ光照射手段と、
上記レーザ光と上記回転駆動部とを相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に駆動する駆動手段と、
上記台金の歯車歯面における歯頂から歯底に向かう歯形方向で、かつ、上記台金の歯面の接線方向に上記レーザ光を常に照射し、かつ、上記台金の歯車歯面の全面にわたって上記レーザ光を走査するように上記駆動手段及び回転駆動部を制御する制御ユニットと、
を備えることを特徴とするドレスギアの製造装置。
【請求項２】
上記Ｘ軸方向またはＹ軸方向のいずれか一方を上記走査のための移動軸とし、上記回転駆動部の回転軸が上記移動軸と平行または直交であり、上記制御ユニットは、上記Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の制御と上記回転駆動部の回転位置の制御とを行うことにより、上記レーザ光の照射が上記台金の歯車歯面の接線方向となるように制御し、上記移動軸の駆動制御と上記回転駆動部の回転制御とにより上記レーザ光を走査し、上記Ｘ軸方向またはＹ軸方向のうちの上記走査のための移動軸でない軸方向の位置制御と上記回転駆動部の回転制御により上記走査の位置を一定ピッチで移動させることを特徴とする請求項１記載のドレスギアの製造装置。
【請求項３】
上記回転駆動部の回転軸が上記移動軸と平行であり、上記制御ユニットは、上記移動軸の移動制御と上記回転駆動部の回転位置の回転制御とを行うことにより、上記レーザ光を走査することを特徴とする請求項２記載のドレスギアの製造装置。
【請求項４】
上記回転駆動部の回転軸が上記移動軸と直交し、上記制御ユニットは、上記移動軸の駆動制御と上記回転駆動部の回転位置の回転制御とを行うことにより、上記レーザ光を走査することを特徴とする請求項２記載のドレスギアの製造装置。
【請求項５】
上記移動軸の駆動制御と上記回転駆動部の回転位置の回転制御とともに、上記Ｘ軸方向またはＹ軸方向の中の上記移動軸でない軸方向の位置制御を行うことにより、上記レーザ光を走査することを特徴とする請求項３または４記載のドレスギアの製造装置。
【請求項６】
上記レーザ光の照射角度を変えて上記レーザ光の焦点の位置を制御する機能を有することを特徴とする請求項１記載のドレスギアの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歯車の高精度仕上げ加工に使用する歯車型砥石の目立て、整形を行うドレスギアの製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のドレスギアは、表面粗さの要求精度を満足させるため、砥粒を台金に電着した後、ダイヤモンド砥粒層を有するツルーイング工具で修正加工を行う（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００３】
また、ドレスギアの反転型に仮固定する反転電着によって製作している（例えば、特許文献３参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平０９−２０１７２１号公報（第４−５頁、図６）
【特許文献２】特開平０６−１０６４８１号公報（第２−３頁、図３）
【特許文献３】特開平０６−１０６４８１号公報（図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような従来のドレスギアは、ドレスギアに使用される砥粒自体がダイヤモンドや立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）が使用されるため、ダイヤモンド砥粒層を有するツルーイング工具で機械的なツルーイングを行うと、ツルーイング工具のダイヤモンドの摩耗及びツルーイング時の加工負荷により、理想的な形状精度を得るのが困難であり、かつ、ツルーイング時間も長時間かかるという問題点があった。
【０００６】
さらに、ツルーイングする加工機は高精度で多軸のＮＣ制御機となるため設備費が高くなり、したがって、加工費用が高くなるという問題点があった。
【０００７】
また、反転電着法によるドレスギア製作も反転型の製作に長時間を要しコスト高となる問題点がある。
【０００８】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、大粒で高硬度のダイヤモンド砥粒を高精度に、かつ短時間にツルーイングできる技術を提供し、長寿命のドレスギアの製造装置を得ることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るドレスギアの製造装置は、歯車とほぼ同形状に加工された台金に固着されたダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素にて成る砥粒をツルーイングするドレスギアの製造装置であって、
上記砥粒が固着された台金を回転駆動させる回転駆動部と、
レーザ光を発するレーザ光照射手段と、
上記レーザ光と上記回転駆動部とを相対的にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に駆動する駆動手段と、
上記台金の歯車歯面における歯頂から歯底に向かう歯形方向で、かつ、上記台金の歯面の接線方向に上記レーザ光を常に照射し、かつ、上記台金の歯車歯面の全面にわたって上記レーザ光を走査するように上記駆動手段及び回転駆動部を制御する制御ユニットと、
を備えるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るドレスギアの製造装置によれば、大粒のダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素にて成る砥粒を固着した台金を、レーザ光を用いて高精度に、かつ、短時間で加工でき、また、ダイヤモンドまたは立方晶窒化硼素にて成る砥粒を用いることができるので、ドレスギアの長寿命化を図ることができる。
【００１１】
また、レーザ光で最終仕上げするため、台金の形状創成には歯面研削を高精度に施す必要はなく、また消耗品であるツルーイング工具も不要なため、安価なドレスギアを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
実施の形態１．
本発明の実施の形態を、歯車歯面部の研削（ホーニング）を行う砥石のドレッシング工具、すなわち、ドレスギアの製造に適用した場合について説明する。図１は、本発明の実施の形態１における台金を示す斜視図であり、図２は、本発明の実施の形態１における最終仕上前のドレスギアを示す斜視図であり、図３は、本発明の実施の形態１におけるドレスギアの最終仕上げの方法を示す斜視図である。
【００１３】
まず、図１に示したように、ホーニングで最終製品として仕上られる歯車とほぼ同一形状に台金１を加工する。この時、熱処理を行った後、熱処理により生じた歪を歯面研削で除去する工程を追加してもよいし、熱処理のみを追加してもよい。
【００１４】
次に、図２に示したように、主として台金１の歯車歯面２ａにダイヤモンドや立方晶窒化硼素（ｃＢＮ）等の高硬度砥粒３を、例えば電着等により固着させる。
【００１５】
さらに、図３に示したように、歯形方向８で、かつ、ドレスギア４の砥粒付歯車歯面２ｂの接線方向からレンズ５を通過したレーザ光６を照射し、歯筋方向７に走査して、ツルーイングを行い、さらに、レーザ光６を歯形方向８に一定ピッチで送り、レーザ光６の照射方向が、砥粒付歯車歯面２ｂの接線方向となるようにして、レーザ光６を歯筋方向７に走査する操作を歯形方向８に一定ピッチ送りで繰り返すことにより、砥粒付歯車歯面２ｂの全面をレーザ光６で走査してツルーイングすることにより、砥粒付歯車歯面２ｂの高硬度砥粒３の高さが均一な目標の歯車歯面形状が得られる。
【００１６】
本実施の形態１のドレスギア４によれば、大粒のダイヤモンドやｃＢＮ砥粒等の高硬度砥粒３を使用しても、レーザ光６を使用して、歯筋方向７に走査する操作を歯形方向８に一定ピッチ送りで繰り返すことにより、高硬度砥粒３の高さを揃えることができるので、ツルーイング後の砥粒付歯車歯面２ｂの表面粗さを短時間で高精度にすることができる。また、砥粒の径を大きくできるので、ドレスギアが目詰まりしにくくなり、また、摩滅体積も大きくなり、ドレスギア４の寿命が長くなる。
【００１７】
また、レーザ光６で高硬度砥粒３の高さを揃えるため、台金１の形状創成を歯面研削で高精度に仕上る必要がなく、また、消耗品であるダイヤモンドのツルーイング工具も不要になるため、安価なドレスギア４を提供できる。
【００１８】
実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２におけるドレスギアの製造方法を示す斜視図である。上記実施の形態１では、レーザ光６を歯筋方向７に走査する操作を歯形方向８に一定ピッチ送りで繰り返したが、本実施の形態２では、図４に示したように、レーザ光６を歯形方向８に走査し歯筋方向７に一定ピッチ送りを繰り返して、砥粒付歯車歯面２ｂ全面を走査して高硬度砥粒３の高さが均一な目標の歯車歯面形状を創成するものである。
【００１９】
図５は、本発明の実施の形態２におけるドレスギアの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。図５（ａ）は、レーザ光を照射する前のダイヤモンド砥粒面９のＳＥＭ写真であり、図５（ｂ）は、レーザ光を照射してツルーイングした後の砥粒面９のＳＥＭ写真である。
【００２０】
図５（ａ）では、ダイヤモンド砥粒面９の先端が突起になっており、その突起の高さは不均一であるが、図５（ｂ）では、レーザ光が走査され、ダイヤモンド砥粒面９にレーザ光６を走査した方向の平行な筋状の溝１０（写真の横方向の溝）が形成され、ダイヤモンド砥粒面９の高さが均一化されている。
【００２１】
本実施の形態２のドレスギア４によれば、大粒のダイヤモンドやｃＢＮ砥粒等の高硬度砥粒３を使用しても、レーザ光６を使用して、レーザ光６を歯形方向８に走査する操作を歯筋方向７に一定ピッチ送りで繰り返すことにより、高硬度砥粒３の高さを揃えることができるので、ドレス後の砥粒付歯車歯面２ｂの表面粗さを短時間で高精度にすることができる。また、高硬度砥粒３の径を大きくできるので、ドレスギアが目詰まりしにくくなり、また、摩滅体積も大きくなり、ドレスギア４の寿命が長くなる。
【００２２】
また、レーザ光６で高硬度砥粒３の高さを揃えるため、台金１の形状創成を歯面研削で高精度に仕上る必要がなく、また、消耗品であるダイヤモンドのツルーイング工具も不要になるため、安価なドレスギア４を提供できる。
【００２３】
また、レーザ光６の走査方向を歯形方向８とするため、歯形方向８の形状精度を得るのが容易となる。
【００２４】
実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態３におけるドレスギアの製造装置を示す斜視図であり、ドレスギアの最終仕上げであるツルーイングを行う製造装置を示している。
【００２５】
図６に示したように、本実施の形態３のドレスギアの製造装置は、一軸方向に移動するＸ軸ステージ１１の上にＸ軸ステージ１１と直交方向に移動するＹ軸ステージ１２が搭載されており、さらに、Ｙ軸ステージ１２には、Ｘ軸ステージ１１及びＹ軸ステージ１２の移動方向と直交する方向に駆動されるＺ軸ステージ１３が搭載されており、さらに、Ｚ軸ステージ１３にはＸ軸ステージ１１の移動軸と平行な回転軸を有し、最終仕上げ前のドレスギア４を回転する回転駆動部１４が搭載されている。また、このドレスギアの製造装置にはレーザを発するレーザ光照射手段１８が搭載されている。
【００２６】
レーザ光照射手段１８は、ＹＡＧレーザ等のレーザ発振機１７、ビームエキスパンダー１６、ベンディングミラー１５、レンズ６で構成され、レーザ光６はレーザ発振機１７から照射され、ビームエキスパンダー１６で拡大され、ベンディングミラー１５で加工点に曲げられ、レンズ６で集光されて加工点で焦点を結ぶ。さらに、レーザ光６のオン／オフの制御と、レーザ光６を常に歯車歯面の接線方向となるよう制御する制御ユニット１９が備えられている。
【００２７】
次に、動作について説明する。
制御ユニット１９は、Ｘ軸ステージ１１、Ｙ軸ステージ１２、Ｚ軸ステージ１３及び回転駆動部１４を制御して、歯形方向の所定位置でレーザ光６をドレスギア４（高硬度砥粒を固着した台金）の歯形方向で、かつ、歯車歯面の接線方向に照射する。Ｘ軸ステージ１１の直線駆動と回転駆動部１４の回転駆動を一定速度で行うことで、ドレスギア４をねじれ角一定のはすば歯車形状である歯筋方向に駆動することにより、レーザ光６を歯筋方向に走査して歯筋方向の高硬度砥粒のツルーイングを行う。
【００２８】
次に、制御ユニット１９は、Ｙ軸ステージ１２及び回転駆動部１４を駆動して、歯形方向に一定ピッチ送りでドレスギア４を送るとともに、レーザ光６をドレスギア４の歯面の接線方向に照射し、Ｘ軸ステージ１１の直線駆動と回転駆動部１４の回転駆動を一定速度で行うことにより、ドレスギア４をねじれ角一定のはすば歯車形状である歯筋方向に移動することにより、レーザ光６を歯筋方向に走査して歯筋方向の高硬度砥粒のツルーイングを行う。
【００２９】
歯形方向への一定ピッチ送り及び歯筋方向へのドレスギア４の移動によるレーザ光６の走査を繰り返し、歯車歯面全面を走査することによって、最終仕上げのツルーイングが行われる。
【００３０】
本実施の形態３における、上記ドレスギアの製造装置の構成により、大きな砥粒径のダイヤモンドやｃＢＮ砥粒を使用しても、レーザ光６を使用して、ドレス後の砥粒付歯車歯面２ｂの表面粗さを短時間で高精度にすることができる。また、高硬度砥粒の径を大きくできるので、最終仕上げしたドレスギア４が目詰まりしにくくなり、また、摩滅体積も大きくなり、ドレスギア４の寿命が長くなる。
【００３１】
また、レーザ光で最終仕上げするため、台金１の形状創成には歯面研削を高精度に施す必要はなく、また、消耗品であるダイヤモンドのツルーイング工具も不要になるため、安価なドレスギアを得ることができる。
【００３２】
なお、本実施の形態３での軸構成は、Ｘ軸ステージ１１にＹ軸ステージ１２、Ｙ軸ステージ１２にＺ軸ステージ１３、Ｚ軸ステージ１３に回転駆動部１４が取り付けられているが、その取付順序は種々変更することができ、レーザ光照射手段１８が発するレーザ光６とドレスギア４とのＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の相対的な移動が行われるようにすればよい。
【００３３】
実施の形態４．
図７は、本発明の実施の形態４におけるドレスギアの製造装置を示す斜視図であり、ドレスギアの最終仕上げであるツルーイングを行う製造装置を示している。図８は、本発明の実施の形態４におけるドレスギアの製造装置の操作状態を示す模式図である。
【００３４】
上記実施の形態３では、ドレスギア４を回転する回転駆動部１４をＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に駆動制御するようにしたが、本実施の形態４では、レーザ光照射手段１８をＸ，Ｙ，Ｚ軸方向に駆動制御するようにしている。
【００３５】
図７に示したように、一軸方向に移動するＸ軸ステージ１１の上にＸ軸ステージ１１と直交する方向に移動するＹ軸ステージ１２が搭載されており、さらに、Ｘ軸ステージ１１及びＹ軸ステージ１２の移動軸と直交する方向に移動するＺ軸ステージ１３が搭載されており、さらに、Ｚ軸ステージ１３にレーザ光照射手段１８が搭載されている。さらに、Ｘ軸ステージ１１の移動軸と平行な回転軸を有する固定された回転駆動部１４があり、回転駆動部１４にはドレスギア４が取り付けられる。さらに、レーザ光６のオン／オフの制御と、レーザ光６を常に歯車歯面の接線方向となるように制御する制御ユニット１９が備えられている。
【００３６】
次に、動作について説明する。
制御ユニット１９は、Ｘ軸ステージ１１を駆動し、所定のＸ軸方向位置において、Ｙ軸ステージ１２、Ｚ軸ステージ１３及び回転駆動部１４を制御して、レーザ光６を、歯形方向で、かつ、歯車歯面の接線方向に照射し、Ｙ軸ステージ１２と回転駆動部１４を同期駆動させてレーザ光６を常に歯車歯面の接線方向となるように制御する。
【００３７】
図８に示したように、砥粒付歯車歯面２ｂはインボリュート曲線であるため、基礎円２０の高さにおいて常に砥粒付歯車歯面２ｂとＺ軸は接線の位置関係となる。従って、Ｙ軸方向の直線移動２１と回転駆動部の回転移動２２を一定速度で動かすことでインボリュート曲線を走査することができる。この時、レーザ光６には集光角２３が数度（〜１０度）存在するため、レーザ光６が高硬度砥粒によって遮断されないように、刃先から歯底に向けて移動させる。但し、この場合は基礎円２０からレーザ照射位置までの距離によって走査速度が１次関数で比例し基礎円２０上で速度０となる。インボリュート曲線上の走査速度を一定にするためには、回転速度を伸開角の逆数に比例する値で変化させればよい。
【００３８】
また、レーザ光６には集光角２３が数度（〜１０度）存在するため、基礎円２０が大きくインボリュート曲線の局率半径が大きい場合には、レーザ光６の中心線を接線より０〜１０度大きい角度にして照射すると、レーザ光６が焦点位置から離れた高硬度砥粒に遮断されずにツルーイングできる。
【００３９】
本実施の形態４によれば、上記ドレスギアの製造装置の構成により、大粒ダイヤモンド砥粒等の高硬度砥粒を固着したドレスギアを短時間で高精度に加工できる。また、大粒の高硬度砥粒を用いることができるので、ドレスギアが目詰まりしにくくなり、また、長寿命のドレスギアが得られる。
【００４０】
また、レーザ光で最終仕上げするため、台金の形状創成には歯面研削を高精度に施す必要はなく、また、消耗品であるダイヤモンドのツルーイング工具も不要なため、安価なドレスギアを得ることができる。
【００４１】
さらに、Ｙ軸ステージ１２と回転駆動部１４とを同期駆動することにより、インボリュート曲線を走査することができるので、歯形方向の形状が高精度に加工できる。
【００４２】
本実施の形態４における軸構成は、Ｘ軸ステージ１１にＹ軸ステージ１２、Ｙ軸ステージ１２にＺ軸ステージ１３が取り付けられているが、その取付順序は種々変更することができ、レーザ光照射手段１８が発するレーザ光６とドレスギア４とのＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の相対的な移動が行われるようにすればよい。
【００４３】
例えば、各軸ステージを分解して、回転駆動部１４をＸ軸ステージ１１に取り付け、残りの軸ステージにレーザ光照射手段１８を搭載する等、種々の組み合わせができる。
【００４４】
実施の形態５．
図９は、本発明の実施の形態５におけるドレスギアの製造方法を示す斜視図であり、ドレスギアの最終仕上げであるツルーイングを行う製造装置を示している。
【００４５】
本実施の形態５では、一軸方向に移動するＸ軸ステージ１１の上にＸ軸ステージ１１と直交する方向に移動するＹ軸ステージ１２が搭載されており、さらに、Ｙ軸ステージ１２の上にＸ軸ステージ１１の移動軸と平行な回転軸を有する回転駆動部１４が搭載されており、回転駆動部１４にはドレスギア４が取り付けられている。さらに、Ｘ軸ステージ１１及びＹ軸ステージ１２の移動軸と直交する方向に移動するＸ軸ステージ１１及びＹ軸ステージ１２とは別体のＺ軸ステージ１３にレーザ光照射手段１８が搭載されている。
【００４６】
レーザ光照射手段１８は、レーザ発振機１７、ビームエキスパンダー１６、ベンディングミラー１５、ベンデキングミラー１５を回転駆動し、レーザ光６の照射角度を変える機能を有するモータ２４、レンズ６で構成され、レーザ光６はレーザ発振機１７から照射されてビームエキスパンダー１６で拡大され、ベンディングミラー１５で加工点に曲げられ、レンズ６で集光されて加工点で焦点を結ぶ。モータ２４を駆動してレーザ光６の照射角度を変えることにより、レーザ光６の集点をＸ軸ステージ１１と平行に移動させる。さらに、レーザ光６のオン／オフを制御し、Ｙ軸ステージ１２と回転駆動部１４とモータ２４の３軸を同期駆動させて、レーザ光６の照射が常に歯車歯面の接線方向であり、かつ、レーザ光６の焦点の移動が常にＸ軸ステージ１１の移動軸と平行になるように制御する制御ユニット１９が備えられている。
【００４７】
次に、動作について説明する。
制御ユニット１９は、Ｘ軸ステージ１１を駆動し、所定のＸ軸方向位置において、Ｙ軸ステージ１２、Ｚ軸ステージ１３及び回転駆動部１４を制御して、レーザ光６を歯形方向で、かつ、歯車歯面の接線方向に照射し、Ｙ軸ステージ１２と回転駆動部１４とモータ２４とを同期駆動させてレーザ光６を常に歯面の接線方向となるように制御する。モータ２４を駆動してレーザ光６の集点をＸ軸ステージ１１と平行に移動させ、回転駆動部１４の回転移動を一定速度で動かすことで、ドレスギア４を、ねじれ角一定のはすば歯車形状である歯筋方向に移動し、レーザ光６を走査することにより、レーザ光６による歯筋方向の高硬度砥粒のツルーイングを行う。
【００４８】
次に、制御ユニット１９は、Ｙ軸ステージ１２及び回転駆動部１４を駆動して、歯形方向に一定ピッチ送りで送るとともに、レーザ光６を歯車歯面の接線方向に照射し、モータ２４の駆動によるレーザ光６のＸ軸ステージ１１に平行な直線駆動と回転駆動部１４の回転駆動により、ドレスギア４を、ねじれ角一定のはすば歯車形状である歯筋方向に移動してレーザ光６を走査することにより、レーザ光６による歯筋方向の高硬度砥粒のツルーイングを行う。
【００４９】
歯形方向への一定ピッチ送り及び歯筋方向へのドレスギア４の移動によるレーザ光６の走査を繰り返し、歯車歯面の全面をレーザ光６で走査することにより、最終仕上げのツルーイングが行われる。
【００５０】
本実施の形態５の装置構成により、大粒ダイヤモンド砥粒等の高硬度砥粒を固着したドレスギアを短時間で高精度に加工できる。また、大粒の高硬度砥粒を用いることができるため、長寿命のドレスギアが得られる。
【００５１】
また、レーザ光で最終仕上げするため、台金の形状創成には歯面研削を高精度に施す必要はなく、また消耗品であるダイヤモンドのツルーイング工具も不要なため、安価なドレスギアを得ることができる。
【００５２】
さらに、Ｙ軸ステージ１２と回転駆動部１４とモータ２５の３軸を同時駆動させてレーザ光６の照射方向を制御するので、歯形方向だけでなく歯筋方向の形状も高精度に加工できる。
【００５３】
なお、本実施の形態５における軸構成は、Ｘ軸ステージ１１にＹ軸ステージ１２が取り付けられているが、その取付順序を変更しても同様の効果が得られる。さらに、各軸を分解して、回転駆動部１４とレーザ光照射手段１８それぞれに、各軸を分配してもよい。
【００５４】
また、Ｘ軸ステージ１１とＹ軸ステージ１２と回転駆動部１４の３軸を同時駆動させることにより、本実施の形態５と同様、歯形方向だけでなく歯筋方向の形状も高精度に加工できる。
【００５５】
なお、上記実施の形態１ないし５では、ドレスギアを対象に説明したが、歯車形状をした台金にダイヤモンドやｃＢＮ等の高硬度砥粒を固着した砥石を対象にしても、表面粗さの高精度化が行える等、本発明のドレスギアと同等の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明に係るドレスギア並びにその製造方法及び製造装置は、歯車の高精度仕上げ加工に使用する歯車型砥石を長寿命化するとともに、歯車型砥石による目立て、整形を高精度にするのに有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の実施の形態１における台金を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１による最終仕上前のドレスギアを示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１におけるドレスギアの製造方法を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２におけるドレスギアの製造方法を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２におけるドレスギアのＳＥＭ写真である。
【図６】本発明の実施の形態３におけるドレスギアの製造装置を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態４におけるドレスギアの製造装置を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態４におけるドレスギアの製造方法の操作状態を示す模式図である。
【図９】本発明の実施の形態５におけるドレスギアの製造方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  台金、２ａ  歯車歯面、２ｂ  砥粒付歯車歯面、３  高硬度砥粒、
４  ドレスギア、５  レンズ、６  レーザ光、７  歯筋方向、８  歯形方向、
９  ダイヤモンド砥粒面、１０  溝、１１  Ｘ軸ステージ、１２  Ｙ軸ステージ、
１３  Ｚ軸ステージ、１４  回転駆動部、１５  ベンディングミラー、
１６  ビームイクスパンダー、１７  レーザ発信機、１８  レーザ光照射手段、
１９  制御ユニット、２０  基礎円、２１  Ｙ軸方向の直線移動、
２２  回転駆動部の回転移動、２３  集光角、２４  モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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