(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバ蓋組立体の処理チャンバ蓋（１００）に固定されて電流を提供するために使用され、前後方向を定める長手方向軸線（Ｌ）を有する処理チャンバ電気コネクタ（２００）であって、
前面（２４２）及び後面（２４６）を有する電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）と、
前記長手方向軸線（Ｌ）に沿って延び、前記コネクタハウジング（２４０）の前記後面（２４６）から突出する電気絶縁性スリーブ（２５０）と、
前記長手方向軸線（Ｌ）に沿って延び、前記コネクタハウジング（２４０）の前記前面（２４２）から突出する電気絶縁性リリーフハウジング（２１０）と、
前記スリーブ（２５０）内に位置し、前記コネクタハウジング（２４０）の前記後面（２４６）の上方を終点とする前端部（２７０Ａ）と、少なくとも一つの電気接点パッド（２７４）を設けた後端部（２７０Ｂ）とを有する電気伝導性接点シャフト（２７０）と、
前記電気伝導性接点シャフト（２７０）と前記電気絶縁性スリーブ（２５０）との間の中空スリーブ空洞（２５５）の一部に位置し、前記接点シャフト（２７０）を後方向へ付勢するバネ（２６０）と、
を備える電気コネクタ。
【請求項２】
請求項１記載の電気コネクタであって、更に、
前記接点シャフト（２７０）の前記前端部（２７０Ａ）との電気接続を形成し、前記リリーフハウジング（２１０）内へ突出する電気接点パッド（２２０）を備える、電気コネクタ。
【請求項３】
請求項２記載の電気コネクタであって、
前記接点シャフト（２７０）の前記前端部（２７０Ａ）は、前記電気接点パッド（２２０）にねじ込んで結合される、電気コネクタ。
【請求項４】
請求項２記載の電気コネクタであって、更に、
前記コネクタハウジング（２４０）の前記前面（２４２）に形成された中央空洞（２４３）に位置し、中央アパーチャ（２３２）を有すると共に、前記リリーフハウジング（２１０）により前記中央空洞（２４３）内に保持される分離ブッシング（２３０）を備える、電気コネクタ。
【請求項５】
請求項４記載の電気コネクタであって、
前記電気接点パッド（２２０）は、前記分離ブッシング（２３０）の前記中央アパーチャ（２３２）内に滑動させて収容される、電気コネクタ。
【請求項６】
請求項５記載の電気コネクタであって、
前記電気絶縁性スリーブ（２５０）は、前記電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）の底部側にねじ込んで結合され、前記スリーブ（２５０）は、前記コネクタハウジング（２４０）より小さな断面幅を有し、
前記電気絶縁性リリーフハウジング（２１０）は、前記電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）の上部側にねじ込んで結合され、前記リリーフハウジング（２１０）は、前記コネクタハウジング（２４０）より小さな断面幅を有する、電気コネクタ。
【請求項７】
請求項６記載の電気コネクタであって、
前記接点シャフト（２７０）の前記後端部（２７０Ｂ）は、金属接点バネ（２７８）を備える、電気コネクタ。
【請求項８】
請求項１記載の電気コネクタであって、
前記接点シャフト（２７０）の前記前端部（２７０Ａ）は、前記電気接点パッド（２２０）にねじ込んで結合される、電気コネクタ。
【請求項９】
請求項１記載の電気コネクタであって、
前記接点シャフト（２７０）の前記後端部（２７０Ｂ）は、圧縮金属接点バネ（２７８）を備える、電気コネクタ。
【請求項１０】
請求項１記載の電気コネクタであって、更に、
前記コネクタハウジング（２４０）の前記前面（２４２）に形成された中央空洞（２４３）に位置し、中央アパーチャ（２３２）を有すると共に、前記リリーフハウジング（２１０）により前記中央空洞（２４３）内に保持される分離ブッシング（２３０）を備える、電気コネクタ。
【請求項１１】
請求項１記載の電気コネクタであって、
前記電気絶縁性スリーブ（２５０）は、前記電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）の底部側にねじ込んで結合され、前記スリーブ（２５０）は、前記コネクタハウジング（２４０）より小さな断面幅を有し、
前記電気絶縁性リリーフハウジング（２１０）は、前記電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）の上部側にねじ込んで結合され、前記リリーフハウジング（２１０）は、前記コネクタハウジング（２４０）より小さな断面幅を有する、電気コネクタ。
【請求項１２】
請求項１記載の電気コネクタであって、
前記電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）及び前記電気絶縁性スリーブ（２５０）は、一体構造を有する、電気コネクタ。
【請求項１３】
請求項１記載の電気コネクタであって、
前記接点シャフト（２７０）の前記後端部（２７０Ｂ）は、圧縮金属接点バネ（２７８）を備える、電気コネクタ。
【請求項１４】
処理チャンバ蓋組立体（１０２）であって、
上面（１０２）及び下面（１３４）と、前記下面（１３４）に設けられ、少なくとも一個のヒータ（１５０）を含む上部電極モジュール（１３０）とを有する処理チャンバ蓋（１００）と、処理チャンバ蓋組立体
前記チャンバ蓋（１００）に固定された複数の処理チャンバ電気コネクタ（２００）と、を備え、
各電気コネクタは、
前後方向を定める長手方向軸線（Ｌ）を有し、
前面（２４２）及び後面（２４６）を有する電気絶縁性コネクタハウジング（２４０）と、
前記長手方向軸線（Ｌ）に沿って延び、前記コネクタハウジング（２４０）の前記後面（２４６）から突出する電気絶縁性スリーブ（２５０）と、
前記長手方向軸線（Ｌ）に沿って延び、前記コネクタハウジング（２４０）の前記前面（２４２）から突出する電気絶縁性リリーフハウジング（２１０）と、
前記スリーブ（２５０）内に位置し、前記コネクタハウジング（２４０）の前記後面（２４６）の上方を終点とする前端部（２７０Ａ）と、少なくとも一つの電気接点パッド（２７４）とを設けた後端部（２７０Ｂ）を有する電気伝導性接点シャフト（２７０）と、
前記電気伝導性接点シャフト（２７０）と前記電気絶縁性スリーブ（２５０）との間の環状空間に位置し、前記接点シャフト（２７０）を後方向へ付勢するバネ（２６０）と、
を含み、
各電気コネクタ（２００）の少なくとも一つの電気接点（２７４）は、前記ヒータ（１５０）と接触する、処理チャンバ蓋組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒータへ電流を伝えることが可能な電気コネクタに関する。コネクタは、水処理チャンバのチャンバ蓋に見られる種類の薄膜積層ヒータへ電流を送給することに特に適している。
【発明の概要】
【０００２】
本発明は、概して、水処理チャンバと共に使用される蓋等の処理チャンバ蓋を介して電流を提供するために使用される種類の電気コネクタを対象とする。
【０００３】
一態様において、本発明は、前後方向を定める長手方向軸線を有する処理チャンバ電気コネクタを対象とする。こうした電気コネクタは、前面及び後面を有する電気絶縁性コネクタハウジングと、長手方向軸線に沿って延び、コネクタハウジングの後面から突出する電気絶縁性スリーブと、長手方向軸線に沿って延び、コネクタハウジングの前面から突出する電気絶縁性リリーフハウジングと、スリーブ内に位置し、コネクタハウジングの後面の上方を終点とする前端部と少なくとも一つの電気接点パッドを設けた後端部とを有する電気伝導性接点シャフトと、電気伝導性接点シャフトと電気絶縁性スリーブとの間の中空スリーブ空洞の一部に位置し、接点シャフトを後方向へ付勢するバネと、を備える。
【０００４】
別の態様において、本発明は、上面及び下面を有し、少なくとも一個のヒータを含む上部電極モジュールを下面上に設けた処理チャンバ蓋を備える処理チャンバ蓋組立体を対象とする。上述した複数の電気コネクタは、各電気コネクタの少なくとも一つの電気接点が少なくとも一個のヒータ（１５０）と接触した状態でチャンバ蓋内に固定される。
【図面の簡単な説明】
【０００５】
本発明の一つ以上の好適な実施形態が以下の図面を用いて説明される。
【０００６】
【図１】本発明によるチャンバ蓋の上方斜視図である。
【図２】本発明によるチャンバ組立体の上方斜視図である。
【図３】線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿った図２のチャンバ蓋組立体１２０の側断面図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態による電気コネクタの上面図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態による電気コネクタの側面図である。
【図５】電気コネクタの分解図である。
【図６】図４Ａの線ＶＩ−ＶＩに沿った電気コネクタの長さに沿った第一の断面図である。
【図７】図４Ａの線ＶＩＩ−ＶＩＩに沿った電気コネクタの長さに沿った第二の断面図である。
【図８】チャンバ蓋内の電気コネクタの断面図である。
【図９Ａ】ヒータの上面の斜視図である。
【図９Ｂ】ヒータの一部の拡大図である。
【図１０Ａ】電気コネクタの後端部の斜視図である。
【図１０Ｂ】電気ヒータの接点パッドと接触する電気コネクタの電気接点を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
図１は、全般的に正方形の上面１０２と四つの側面１０４を有する処理チャンバ蓋１００の斜視図である。一実施形態において、チャンバ蓋１００は、半導体処理を実施するように構成されたチャンバ等の水処理チャンバに対して、上部開口部を密封するように構成される。チャンバ蓋１００には、一つ以上の気体、化学物質、真空等を全て公知の方法で供給するための様々な導管、装置、付属品に対応する、全般的に１１０として図示した複数の開口部が設けられる。チャンバ蓋１００には、それぞれが本発明の一実施形態による複数の電気コネクタ２００が固定される。
【０００８】
図１の実施形態に見られるように、電気コネクタ２００は、合計三個設けられ、これらは互いに間隔を空けている。一実施形態において、三個の電気コネクタは、チャンバ蓋の中央を中心とした三角形を形成するように間隔を空ける。三個の電気コネクタが形成する三角形は、正三角形にしてよい。三個のコネクタは、以下に更に説明したように、加熱素子に三相電力を供給するために使用し得る。
【０００９】
図２は、図１のチャンバ蓋１００を備えたチャンバ蓋組立体１２０（ここではカバーを取り外して図示）を、上面１０２に装着されたプリント回路基板、バルブ等を含む、多数の他の電気及び機械構成要素と共に示している。
【００１０】
図３は、図３において２００Ａと指定された一電気コネクタを通過する図２の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿ったチャンバ蓋組立体１２０の側断面図である。図３において確認されるように、チャンバ蓋組立体１２０は、上述したチャンバ蓋１００を、上部電極モジュール１３０と組み合わせて備える。上部電極モジュール１３０は、チャンバ蓋１００の下面１３４に形成された陥凹部１３２に固定され、チャンバ蓋１００の内向きの側に設定される。そのため、上部電極モジュール１３０は、チャンバ蓋１００よりも小さな面積を有する。
【００１１】
上部電極モジュール１３０は、層状構造を備える。一実施形態において、最下層（反応チャンバに対して露出される）は、シリコン電極１４０である。シリコン電極１４０は、一般に、非平坦であり、当業者に公知であるように、一つ以上の陥凹部１４２又は他の形成部が設けられる。シリコン電極１４０は、グラファイト、ケイ素炭化物、又はこうした目的のために一般に使用される他の材料により形成し得る下裏当て板１４４に固定される。下裏当て板１４４は、次に、ガス分配板（例えば、シャワーヘッド）１４６に固定される。ガス分配板１４６は、内部に形成された一本以上の横方向に延びるチャネル１４８を有し、チャンバ蓋１００を介して導入されたガスは、電極の面全体においてほぼ均一な状態で現れ、下方の反応チャンバ内へ向かう。ガス分配板１４６もグラファイト又はケイ素炭化物により形成し得る。内部ヒータ１５０は、ガス分配板１４６と上部板１５２との間に挟まれ、後者は一般に、アルミニウム又は他の金属により形成される。
【００１２】
図９Ａ及び９Ｂは、本発明において使用されるヒータ１５０の実施形態を示す。ヒータ１５０の目的は、反応チャンバ内の反応ガスの温度を約１５０℃乃至２００℃の範囲に上昇させることである。この種のヒータは、当業者に公知である。しかしながら、好適な実施形態において、ヒータ１５０は、一枚以上の全般的に平坦な金属シートを備える円盤形三相薄膜ヒータである。ヒータ１５０は、電気絶縁性だが熱伝導性であるフィルムの層間に挟まれた導線１５０Ｃの一箇所以上の平坦な蛇行区間を含む。この目的に適した膜の例は、ＫＡＰＴＯＮ(R)等のポリイミドフィルムを含む。図９Ａに示した実施形態において、三枚のヒータ接点パッド１５０Ａは、電気ヒータ１５０の上面１５０Ｂ上に円周方向に均一に間隔を空けており、ヒータ１５０に電気的に接続するためのアクセスを提供する。ヒータ１５０には、更に、様々な流体導管に対応するために多数の貫通孔が設けられる。各接点パッド１５０Ａは、電気絶縁部１５０Ｅに囲まれた円形の金メッキ中央接点部１５０Ｄを含む。金メッキ接点が好適だが、しかしながら、接点パッドは他の形状にしてもよく、他の材料により形成してもよいと理解される。
【００１３】
図３に図示され２００Ａと指定された電気コネクタは、コネクタノブハウジング２４０内に形成されてチャンバ蓋１００の上面１０２に入るネジ穴４４を通過するネジ２４４Ａによりチャンバ蓋１００内に保持される（図８参照）。電気コネクタ２００Ａは、チャンバ蓋１００を通過し、上部板１５２を通過する。図８、図１０Ａ、及び図１０Ｂにおいて最も良く確認されるように、電気コネクタ２００の底端部２７６は、ヒータ１５０のヒータ接点パッド１５０Ａ（図８参照）を押し付け、ヒータ１５０へ電力を送給する。図１０Ｂにおいて最も良く確認されるように、中央接点部１５０Ｄは、コネクタの電気接点２７４の直径より僅かに大きいため、中央接点部１５０Ｄに対するコネクタの電気接点２７４の僅かな横方向の動きが存在しても、ヒータ１５０への電気的連続性が維持される。一実施形態では、三枚の接点パッド１５０Ａに接触する三個全ての電気コネクタを介して７．５ＫＷ程度の電力がヒータ１５０へ送給される
【００１４】
ガス分配板１４６及び上部板１５２は、異なる材料から形成されるため、異なる熱膨張係数を有する。具体的には、グラファイト又はセラミックにより形成されたガス分配板は、アルミニウムにより形成された上部板よりも低い熱膨張係数を有する。したがって、ヒータ１５０に電力を印加して温度を上昇させた時、ガス分配板１４６及び上部板１５２は、特に横方向において、異なる割合で膨張する。こうした熱膨張のため、ヒータ１５０の第一の点（ガス分配板１４６に取り付けられて共に移動する）は、上部板の対向点と相対的に移動し得る。こうした横方向の移動にもかかわらず、電気コネクタ２００Ａの底端部２７６がヒータ１５０との接触を維持する状態を確保するために、電気コネクタ２０Ａには、次に説明するバネ荷重の仕組みが設けられる。
【００１５】
図５は、本発明の一実施形態による電気コネクタ２００の分解図である。電気コネクタ２００は、ストレインリリーフハウジング２１０と、電気接点パッド２２０と、分離ブッシング２３０と、コネクタノブハウジング２４０と、スリーブ２５０と、バネ２６０と、接点シャフト２７０とを備える。こうした全ての構成要素は、前後方向を定める共通の長手方向軸線Ｌに沿って配置され、ストレインリリーフハウジング２１０がコネクタ２００の前端に位置する。
【００１６】
ストレインリリーフハウジング２１０は、一実施形態において、リリーフ空洞２１９へ続く中央開口部２１８を有する実質的に環状の本体２１０と、後ろ向き下側リム２１７とを備えた管状部材である。ストレインリリーフハウジングの外部表面の下部には、一対の対向する割出面２１４（平坦面として図示）を有するフランジ２１２が設けられる。フランジ２１２の下方には、コネクタノブハウジングの大直径部２４７の内ネジ部２４７Ａと結合する外ネジ部２１３が存在する。第一の割出面２１４は、基本的には長手方向軸線Ｌを横断する方向に延びる。組立済みの電気コネクタにおいて、フランジ２１２の下面２１５は、コネクタノブハウジング２４０（図６及び７参照）の前面に隣接して載った状態となる。ストレインリリーフハウジング２１０は、硬質プラスチック等の非伝導材料により形成される。
【００１７】
電気接点パッド２２０は、一実施形態において、導線２９０を別の方法で固定することを容易にするネジ開口部２２６が内部に形成された上方突出舌部２２４と共に形成された金属プラグ本体２２２を備える（図６及び図７参照）。導線２９０が開口部２２６に緩く挿入された状態で図示されているが、実際に実施した際には、導線は、一般に、クリンプリング・ラグ（”crimped ring lug” 図示せず）を用いて固定されると理解される。ナット、ボルト、及び／又は他の固定器具を使用してもよい。プラグ本体は、基本的に長手方向軸線Ｌに沿って延びる少なくとも一つの割出面２２８（平坦面として図示）を有する。電気接点パッド２２０の底部２２７には、雌ネジ部２２９が設けられている（図６及び図７参照）。
【００１８】
分離ブッシング２３０は、一実施形態において、中央アパーチャ２３２を有する管状部材である。中央アパーチャ２３２には、割出面２３４が設けられる。少なくとも一つの割出面２３４を有する中央アパーチャ２３２は、電気接点パッド２２０（図６及び図７参照）のプラグ本体２２２を収容するように構成され寸法が定められており、この際、分離ブッシング２３０上の一つ以上の相補的な割出面２３４とプラグ本体２２２の一つ以上の割出面２２８とが向かい合うように構成されている。ブッシング２３０の下部２３５には、上向きの階段状肩部２３６が設けられる。分離ブッシング２３０の下部２３５には、更に、一つ以上の割出面２３９と、後ろ向きのリム２３７とが設けられる。組み立てた電気コネクタ２００において、ストレインリリーフハウジング２１０の後ろ向きリム２１７は、上向きの階段状肩部２３６の上に載り、一つ以上の下方割出面２３９により、分離ブッシングをコネクタノブハウジング２４０（図６及び図７参照）の中直径部２４８内へ、正しい回転配向で収容することが可能となる。分離ブッシング２３０は、硬質プラスチック等の非伝導材料により形成される。
【００１９】
コネクタノブハウジング２４０は、一実施形態において、前面２４２と後面２４６との間を通る一対の貫通孔２４４を備える。電気コネクタ２００は、完全に組み立てた後、コネクタノブハウジング２４０の後面２４６が上面１０２の隣接部に接するまで、チャンバ蓋１００の上面１０２にある適切な開口部へ挿入される。その後、図８に示したように、一対のネジ２４４Ａを前面２４２の貫通孔２４４の拡張開口部を介して挿入し、電気コネクタ２００をチャンバ蓋１００に固定する。コネクタハウジング２４０は、階段状内部側壁を備える中央空洞２４３を有する。階段状側壁は、前面２４２に隣接した内ネジ付きの大直径部２４７と、空洞２４３の中間部にある中直径部２４８と、底面２４６に最も近い内ネジ付きの小直径部２４９とを有する。中直径部２４８の底部には、上向きレッジ２４５が形成される。組み立てた電気コネクタでは、ストレインリリーフハウジング２１０の後ろ向き下側リム２１７が上向きレッジ２４５の上に載る。コネクタノブ２４０は、硬質プラスチック等の非伝導材料により形成される。
【００２０】
スリーブ２５０は、一実施形態において、第一のスリーブ直径を有する外ネジ付きスリーブヘッド部２５１と、ヘッド部２５１の第一のスリーブ直径より大きな第二のスリーブ直径を有する細長いスリーブ本体部２５２と、上記二部を接続するスリーブネック部２５３とを備える、スリーブネック部は、第一又は第二のスリーブ直径の何れよりも小さな第三のスリーブ直径を有する。ヘッド上部隣接面２８７は、ヘッドの前端に形成される。スリーブネック２５３とスリーブ本体２５２との間において、スリーブ２５０には、上向きスリーブ肩部２５４が設けられる。スリーブ２５０は、更に、拡張スリーブリリーフ空洞２５７内のスリーブ基部２５６を終点とする細長い中空スリーブ空洞２５５を有する。スリーブヘッド部２５１とスリーブ基部２５６との間において、細長い中空スリーブ空洞２５５は階段状となる。空洞２５５は、スリーブヘッド部２５１から後ろ向きの第一の空洞肩部２５８までの小さなスリーブ空洞断面と、後ろ向きの第一の空洞肩部２５８から、拡張スリーブリリーフ空洞２５７に位置する後ろ向きの第二の空洞肩部２５９までの大きなスリーブ空洞断面とを有する。組み立てた電気コネクタ２００において、外ネジ付きスリーブヘッド部２５１は、コネクタノブハウジング２４０の小直径の内ネジ部２４９内にねじ込んで収容される。二つのネジ部を互いに結合させると、スリーブヘッド部２５１の一部は、上向きレッジ２４５を過ぎて、中直径部２４８内へ突き出す。最終的に、スリーブ肩部２５４は、コネクタノブハウジング２４０の後面２４６に接して、それ以上スリーブヘッド部２５１が中直径部２４８へ挿入されることを防止する。スリーブ２５０は、硬質プラスチック等の非伝導材料により形成される。
【００２１】
バネ２６０は、一実施形態において、バネ上端部２６２とバネ下端部２６４とを有する圧縮バネ２６０である。バネ２６０は、好ましくは、金属により形成され、通常動作中にたわんだ場合、５〜９lbsのバネ力を及ぼすことが可能である。様々な制約に応じて、他の材料により形成され、他のバネ力を及ぼすバネを代わりに使用してもよいと理解される。
【００２２】
接点シャフト２７０は、その一方の端部がヒータ１５０と接触するため、良好な電気伝導性と、低い熱伝導性とを有するべきである。接点シャフト２７０は、金属等の電気伝導性材料により形成され、好ましくは一体構造を有し、単一片から機械加工又は型打ちする。接点シャフト２７０は、好ましくは、多数の形成部を有するように機械加工された細長い部材である。接点シャフト２７０は、図示した実施形態において雄ネジ部２８１を設けた前端部２７０Ａと、後端部２７０Ｂとを有する。その後端部２７０Ｂに隣接して、接点シャフトには、第一のシャフト直径と第一の上向きシャフト肩部２７３とを有するシャフト下方ボス２７２が上に存在する拡張基部２７１が設けられる。第二のシャフト直径を有する同軸バネマウント２７７は、シャフト下方ボス２７２から上方へ延び、第二の上向きシャフト肩部２７５において終了する。第三のシャフト直径を有する狭小シャフト部２７９は、同軸バネマウント２７７から上方へ延び、シャフト上方ボス２８０において終了する。シャフト上方ボス２８０を越えて、その前端部では、接点シャフト２７０が雄ネジ付きシャフト部２８１において終了する。狭小シャフト部２７９は、シャフト２７０の熱伝導性を低減するのに役立つ。
【００２３】
接点シャフト２７０の後端部２７０Ｂは、電気コネクタ２００がヒータ１５０に物理的に接触して電流を提供する電気接点２７４を備える。一実施形態において、良好な電気的接触の促進を助けるため、電気接点２７４は、一本以上の圧縮金属接点バネ２７８により囲まれた平坦面２７６を備え得る。この目的の金属接点バネの例には、トロイダルコイル構造を有し、良好な電気接触を確保するために軸線方向に圧縮可能なバルシールエンジニアリング社のＢＡＬＣＯＮＴＡＣＴ(R)バネが含まれる。一実施形態において、圧縮金属接点バネ２７８は、平坦面２７６の付加的な寄与なしでも、ヒータ１５０の全ての電流要件に対応可能となるように選択及び構成される。
【００２４】
その前端部において、接点シャフトの雄ネジ部２８１は、電気接点パッド２２０の底部に形成された相補的な雌ネジ部２２９と係合する。したがって、接点シャフト２７０及び電気接点パッド２２０は、ストレインリリーフハウジング２１０と、コネクタノブハウジング２４０と、スリーブ２５０とにより形成された非伝導性コネクタハウジング３００（図４Ｂ参照）内において、長手方向軸線Ｌに沿って移動可能な伝導性組立体を共に形成する。接点シャフト２７０及び電気接点パッド２２０を備えるこの伝導性組立体の何れかの方向への移動は、バネ２６０を圧縮し、復元力をもたらす。接点シャフト２７０及び電気接点パッド２２０の上向き方向への移動は、接点シャフト基部２７１の上面と後ろ向きの第二の空洞肩部２５９との間にある拡張スリーブリリーフ空洞２５７内の空間により限定される。接点シャフト２７０及び電気接点パッド２２０の下向き方向への移動は、電気接点パッド２２０の底部２２７とヘッド上部隣接面２８７との間の空間２８９により限定される。一方、分離ブッシング２３０は、ストレインリリーフハウジング２１０のリリーフ空洞２１９内において、電気接点パッド２２０が長手方向軸線Ｌに沿って直線運動で滑動し得るガイドを提供する。
【００２５】
接点シャフト２７０及び電気接点パッド２２０は長手方向軸線に沿って共に移動可能だが、ストレインリリーフハウジング２１０と、コネクタノブハウジング２４０と、スリーブ２５０とは、組み立て済み電気コネクタ２００において、互いに対して固定された状態を維持する。これは、スリーブ２５０をコネクタノブハウジング２４０の小直径部２４９へねじ込んで契合させ、ストレインリリーフハウジング２１０をコネクタノブハウジング２４０の大直径部２４７の内ネジ２４７Ａへねじ込んで結合させ、コネクタノブハウジング２４０の空洞２４３内において、分離ブッシング２３０に対して、上方からストレインリリーフハウジング２１０の後ろ向き下側リム２１７を接触させ、下方から上向きレッジ２４５を接触させるためである。
【００２６】
組み立て済み電気コネクタ２００において、電気絶縁性スリーブ２５０は、長手方向軸線Ｌに沿って延びてコネクタハウジング２４０の後面２４６から突出し、一方、電気絶縁性リリーフハウジング２１０は、長手方向軸線Ｌに沿って延びてコネクタハウジング２４０の前面２４２から突出する。電気伝導性接点シャフト２７０は、スリーブ２５０に位置し、その前端部２７０Ａは、コネクタハウジング２４０の後面２４６の上方を終点とし、その後端部２７０Ｂには少なくとも一つの電気接点パッド２７４が設けられる。圧縮バネ２６０は、電気伝導性接点シャフト２７０と電気絶縁性スリーブ２５０との間の中空スリーブ空洞２５５の一部に位置する。バネ２６０は、接点シャフト２７０を後方向へ付勢する。
【００２７】
更に組み立て済み電気コネクタにおいて、電気接点パッド２２０は、接点シャフト２７０の前端部２７０Ａとの電気的接続を形成し、リリーフハウジング２１０内へ突出する。特に、接点シャフト２７０の前端部２７０Ａは、電気接点パッド２２０にねじ込んで係合する。一方、分離ブッシング２３０は、コネクタハウジング２４０の前面２４２に形成された中央空洞２４３に位置する。分離ブッシング２３０は、中央アパーチャ２３２を有し、リリーフハウジング２１０の後ろ向きの下側リム２１７との隣接により、中央空洞２４３内に保持される。電気接点パッド２２０は、接点シャフト２７０に接続した状態で、分離ブッシング２３０の中央アパーチャ内に滑動させて収容される。
【００２８】
図示した実施形態において、スリーブ２５０は、電気絶縁性コネクタハウジング２４０の後方を向いた側にねじ込んで係合させ、リリーフハウジング２１０は、コネクタハウジング２４０の前方を向いた側にねじ込んで係合させる。図６において最も良く確認されるように、スリーブ２５０は、コネクタハウジング２４０より小さな断面幅を有し、リリーフハウジング２１０も、コネクタハウジング２４０より小さな断面幅を有する。電気絶縁性のコネクタハウジング２４０及び電気絶縁性のスリーブ２５０は、別個の構成要素として形成した後、互いにねじ込んで結合させることが好ましいが、これら二構成要素は、一体的なワンピース構造を有することも同様に可能である。
【００２９】
図６において最も良く確認されるように、接点シャフト２７０は、接点シャフトの同軸スプリングマウント２７７に同軸に装着されたバネ２６０と共に、細長い中空スリーブ空洞２５５に位置する。バネ上端部２６２は、後ろ向きの第一の空洞肩部２５８に接し、バネ下端部２６４は、第一の上向きシャフト肩部２７３に接する。組み立てた状態において、バネ２６０は、僅かに圧縮され、見掛けのバネ高さＳ（図６参照）を有する。この圧縮により、バネ２６０は、上向きシャフト肩部２７３に下向きの力を及ぼし、これにより、接点シャフト２７０を後方向へ付勢する。電気コネクタ２００がチャンバ蓋組立体１２０に存在する時、バネ２６０が及ぼす下向きの力は、接点シャフト２７０の後端部２７０Ｂに設けられた電気接点２７４との組み合わせにおいて、ヒータ１５０に対する良好な電気接続の促進を助ける（図８参照）。
【００３０】
図３において確認されるように、組み立て済み処理チャンバ蓋組立体１２０は、上面１０２及び下面１３４を有する処理チャンバ蓋１００を備え、下面１３４には上部電極モジュール１３０が設けられ、上部電極モジュール１３０は、少なくとも一個のヒータ１５０を含む。上述した複数の電気コネクタ２００は、各電気コネクタ２００の少なくとも一つの電気接点２７４が少なくとも一個のヒータ１５０と接触した状態でチャンバ蓋１００内に固定される。
【００３１】
以上、本発明をある程度詳細に説明してきたが、添付特許請求の範囲に記載の本発明の範囲から逸脱することなく、様々な変更及び修正を為し得ることを理解されたい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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