(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
重量比で、
SiO2  0〜14.8 ｗｔ％、
B2O3  30〜60 ｗｔ％、
Al2O3  0〜17.5 ｗｔ％、
Li2O  0〜0.4 ｗｔ％、
Na2O  0〜3 ｗｔ％、
K2O  0〜3 ｗｔ％、
MgO  0〜5 ｗｔ％、
CaO  0〜30 ｗｔ％、
SrO  0〜30 ｗｔ％、
BaO  0〜35 ｗｔ％、
ただしRO (MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35 ｗｔ％、
ZnO  0〜20 ｗｔ％、
La2O3  0〜6.5 ｗｔ％、
Gd2O3  0〜15 ｗｔ％、
Y2O3  0〜15 ｗｔ％、
Ta2O3  0〜10 ｗｔ％、
ZrO2  0〜9.5 ｗｔ％、
As2O3  0〜1 ｗｔ％、
Sb2O3  0〜0.5 ｗｔ％、
の範囲の組成を有し、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下であり、
Al2O3とB2O3とのモル比が0.20より小さい、光学ガラス。
【請求項２】
重量比で、
SiO2  0〜14.8 ｗｔ％、
B2O3  30〜60 ｗｔ％、
Al2O3  5〜17.5 ｗｔ％、
Li2O  0〜0.4 ｗｔ％、
Na2O  0〜1 ｗｔ％、
K2O  0〜1 ｗｔ％、
ただしX2O (Li2O+Na2O+K2O) が0〜1 ｗｔ％、
MgO  0〜5 ｗｔ％、
CaO  0〜30 ｗｔ％、
SrO  0〜30 ｗｔ％、
BaO  0〜35 ｗｔ％、
ただしRO (MgO+CaO+SrO+BaO) が8〜26 ｗｔ％、
ZnO  3〜16 ｗｔ％、
La2O3  0〜6.5 ｗｔ％、
Gd2O3  0〜15 ｗｔ％、
Y2O3  0〜15 ｗｔ％、
Ta2O3  0〜10 ｗｔ％、
ZrO2  0〜9.5 ｗｔ％、
As2O3  0〜1 ｗｔ％、
Sb2O3  0〜0.5 ｗｔ％、
の範囲の組成を有し、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が300nm以下である請求項１に記載の光学ガラス。
【請求項３】
露光光源と、パターン原像の形成されたレチクルと、前記露光光源から出力される光を前記レチクルに照射する照射光学系と、前記レチクルから出力されるパターン像を感光基板上に投影する投影光学系と、前記レチクルと前記感光基板の位置合わせを行うアライメント系と、を有する投影露光装置であって、
前記照射光学系を構成する光学ガラス、前記投影光学系を構成する光学ガラス及び前記レチクルのうち少なくとも一部が、請求項１に記載の光学ガラスからなるものである、投影露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、B2O3−RO（ただし、RはMg、Ca、Sr及びBaを示す。）の基本組成からなり、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下である光学ガラス及びそれを用いた投影露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光学系の用途拡大に伴い、紫外域の波長を使用した光学ガラスの設計がなされる機会が増加してきている。このため、種々の光学恒数を有し、優れた紫外域透過率を有する光学ガラスの開発に対する要求が年々大きくなってきている。
【０００３】
従来から屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61の範囲の光学恒数を持つ光学ガラスは数多く知られており、SiO2−B2O3−Al2O3−BaO系に代表される光学ガラスは既に広く製造されている。
【０００４】
例えば、特開平11-79781号公報には、上記の光学恒数を有する化学的耐久性に優れた光学ガラスとして、SiO2−B2O3−Al2O3−La2O3−CaO−Li2O系の光学ガラスが開示されている。また、特開昭62-87433号公報には、上記の光学恒数を有し高い紫外域透過率を有する光学ガラスとして、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が340nm以下であるSiO2−B2O3−BaO系の光学ガラスが開示されている。更に、特開平03-93644号公報には、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が320nm以下であるSiO2−B2O3−BaO系の光学ガラスが開示されている。なお、本明細書において、「80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）」とは、JOGIS 17-1982「光学ガラスの内部透過率の測定」に基づいて測定される波長である。具体的には、10mm厚の試料に光を照射し、当該試料の反射損失を含まないときの分光透過率を測定し、得られる分光透過率が８０％であるとき（当該試料に照射された全光線中の80%が透過できるとき）の照射光の波長（nm）を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平11-79781号公報
【特許文献２】特開昭62-87433号公報
【特許文献３】特開平03-93644号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の光学ガラス中に当該光学ガラスの化学的耐久性確保等の目的で導入されているSiO2は、ガラスの溶融に必要とされる温度を高くしてしまう。そのため、光学ガラスの製造工程において、るつぼの材料や炉の材料等から光学ガラスへ不純物が混入し易くなるので、得られる光学ガラスの紫外域透過率が低下が問題となっていた。また、上記従来の光学ガラス中に当該光学ガラスの屈折率を高める目的で導入されているLa2O3も、多量に導入すると光学ガラスの紫外域透過率を低下させてしまう。
【０００７】
本発明は、上記従来の光学ガラスの諸問題を鑑みてなされたものであり、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下であり、優れたｉ線透過率を有する光学ガラス及びそれを用いた高い解像度を得ることが可能な投影露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、B2O3−RO（ただし、RはMg、Ca、Sr及びBaを示す。）系の光学ガラスにおいて、構成成分の組成比を特定の範囲に調節することにより、先に述べた所定の光学恒数を有し、高い紫外域透過率を有する光学ガラスが得られることを見いだし、本発明に到達した。
【０００９】
すなわち、本発明の光学ガラスは、重量比で、SiO2  0〜14.8 ｗｔ％、B2O3  30〜60 ｗｔ％、Al2O3  0〜17.5 ｗｔ％、Li2O  0〜0.4 ｗｔ％、Na2O  0〜3 ｗｔ％、K2O  0〜3 ｗｔ％、MgO  0〜5 ｗｔ％、CaO  0〜30 ｗｔ％、SrO  0〜30 ｗｔ％、BaO  0〜35 ｗｔ％、ただしRO (MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35 ｗｔ％、ZnO  0〜20 ｗｔ％、La2O3  0〜6.5 ｗｔ％、Gd2O3  0〜15 ｗｔ％、Y2O3  0〜15 ｗｔ％、Ta2O3  0〜10 ｗｔ％、ZrO2  0〜9.5 ｗｔ％、As2O3  0〜1 ｗｔ％、Sb2O3  0〜0.5 ｗｔ％、の範囲の組成を有し、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下であり、Al2O3とB2O3とのモル比が0.20より小さいことを特徴とする。
【００１０】
このような構成成分の組成を有する光学ガラスは、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下であり、優れたｉ線透過率を有する。
【００１１】
更に、本発明の投影露光装置は、露光光源と、パターン原像の形成されたレチクルと、露光光源から出力される光をレチクルに照射する照射光学系と、レチクルから出力されるパターン像を感光基板上に投影する投影光学系と、レチクルと感光基板の位置合わせを行うアライメント系と、を有する投影露光装置であって、照射光学系を構成する光学ガラス、投影光学系を構成する光学ガラス及びレチクルのうち少なくとも一部が、本発明の光学ガラスからなるものであることを特徴とする。
【００１２】
前述の本発明の光学ガラスにより構成した光学系を備えることにより、本発明の投影露光装置は、優れた解像度を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の投影露光装置の一例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、場合により図面を参照しつつ本発明について詳細に説明する。
【００１５】
先ず、本発明の光学ガラスについて説明する。本発明の光学ガラスは、構成成分の組成比が先に述べた条件を満たしている。
【００１６】
上記の本発明の光学ガラスの各構成成分中、B2O3成分はガラス形成酸化物であり、本発明の光学ガラスの必須成分である。B2O3の含有量が30ｗｔ％以下であると、ガラスの失透性が高まり、一方、B2O3の含有量が60ｗｔ％を超えると、ガラスの化学的耐久性が著しく悪化する。上記の観点から、B2O3の含有量は３５〜６０ｗｔ％であることが好ましく、３５〜５５ｗｔ％であることがより好ましい。
【００１７】
ROは、光学ガラスの屈折率の調整及び失透の抑制効果の向上に有用であり、本発明の光学ガラスの必須成分である。ここで、本明細書おいて、RはMg、Ca、Sr及びBaを示す。従って、ROとは、MgO、CaO、SrO又はBaOを示す。また、「RO (MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35ｗｔ％、」とは、「光学ガラス中のROの含有量が8〜35ｗｔ％であること、すなわち、MgOの含有量［ｗｔ％］と、CaOの含有量［ｗｔ％］と、SrOの含有量［ｗｔ％］と、BaOの含有量［ｗｔ％］との総和が8〜35ｗｔ％」であることを示す。ここで、ROの含有量が8ｗｔ％未満となると所望の屈折率が得られない。一方、ROの含有量が35ｗｔ％を超えると、失透の発生する傾向が増大するとともに、光学ガラスの化学的耐久性も低下する。上記の観点から、ROの含有量は８〜２６ｗｔ％であることが好ましく、１５〜２６ｗｔ％であることがより好ましい。
【００１８】
ただし、RO(MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35ｗｔ％の条件を満たしている場合であっても、ROのひとつであるMgOの含有量が5ｗｔ％を超えると失透の発生する傾向が増大するとともに、光学ガラスの化学的耐久性も低下してしまう。
【００１９】
同様に、RO(MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35ｗｔ％の条件を満たしている場合であっても、CaOの含有量が30ｗｔ％を超えると失透の発生する傾向が増大するとともに、光学ガラスの化学的耐久性も低下する。このような観点から、CaOの含有量は０〜２６ｗｔ％であることが好ましい。
【００２０】
同様に、RO (MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35ｗｔ％の条件を満たしている場合であっても、SrOの含有量が30ｗｔ％を超えると失透の発生する傾向が増大するとともに、光学ガラスの化学的耐久性も低下する。このような観点から、SrOの含有量は０〜２６ｗｔ％であることが好ましい。
【００２１】
同様に、RO (MgO+CaO+SrO+BaO)が8〜35ｗｔ％の条件を満たしている場合であっても、BaOの含有量が35ｗｔ％を超えると失透の発生する傾向が増大するとともに、光学ガラスの化学的耐久性も低下する。このような観点から、BaOの含有量は０〜２６ｗｔ％であることが好ましい。
【００２２】
SiO2はガラス形成酸化物であり、光学ガラスの安定性及び化学的耐久性の向上に効果があるため必要に応じて添加する成分である。しかし、SiO2の含有量が14.8ｗｔ％を超えると、光学ガラスの溶融温度が高くなり、製造工程におけるるつぼや炉の構成材料等から光学ガラスへの不純物の混入量が多くなってしまう。その結果、光学ガラスの紫外域透過率が低下してしまう。上記の観点から、SiO2の含有量は0〜10 ｗｔ％であることが好ましく、0〜5ｗｔ％であることがより好ましい。
【００２３】
Al2O3は光学ガラスの化学的耐久性向上に効果があるため必要に応じて添加する成分である。しかし、Al2O3の含有量が17.5ｗｔ％を超えると、光学ガラスの溶融性が悪化する。光学ガラスの良好な化学的耐久性と溶融性を得る観点から、Al2O3の含有量は5〜17.5ｗｔ％であることが好ましく、9〜17.5ｗｔ％であることがより好ましい。
【００２４】
また、光学ガラスの構成成分としてAl2O3を添加する場合には、光学ガラスをより低温で溶融可能とする観点から、Al2O3とB2O3とのモル比が0.20より小さくなるようにAl2O3を添加する。なお、本明細書において、「Al2O3とB2O3とのモル比」とは、Al2O3の物質量［ｍｏｌ］をB2O3の物質量［ｍｏｌ］で除した値である。Al2O3とB2O3とのモル比が0.20以上になると、化学的耐久性が低下する。
【００２５】
Li2Oは、光学ガラスの溶融性を向上させるために必要に応じて添加する成分である。Li2Oの含有量が0.4ｗｔ％以上であると光学ガラスの化学的耐久性が低下する。また、るつぼの構成材料が侵食される傾向が大きくなり、製造中に不純物が光学ガラスに混入し、その紫外域透過率を低下させてしまう恐れがある。
【００２６】
Na2Oは、光学ガラスの溶融性を向上させるために必要に応じて添加する成分である。Na2Oの含有量が３ｗｔ％以上であると光学ガラスの化学的耐久性が低下する。また、るつぼの構成材料が侵食される傾向が大きくなり、製造中に不純物が光学ガラスに混入し、その紫外域透過率を低下させてしまう恐れがある。このような観点から、Na2Oの含有量は０〜１ｗｔ％であることが好ましく、0〜0.5ｗｔ％であることがより好ましい。
【００２７】
K2Oは、光学ガラスの溶融性を向上させるために必要に応じて添加する成分である。K2Oの含有量が３ｗｔ％以上であると光学ガラスの化学的耐久性が低下する。また、るつぼの構成材料が侵食される傾向が大きくなり、製造中に不純物が光学ガラスに混入し、その紫外域透過率を低下させてしまう恐れがある。このような観点から、K2Oの含有量は０〜１ｗｔ％であることが好ましく、0〜0.5ｗｔ％であることがより好ましい。
【００２８】
ここで、前述のROと同様に、上記のLi2O、Na2O及びK2OをX2O（XはLi、Na及びKを示す。）として表した場合、光学ガラス中のX2Oの含有量（以下、「X2O(Li2O+Na2O+K2O)」とする。）は、0〜1ｗｔ％であることが好ましい。なお、「X2O(Li2O+Na2O+K2O)」とは、「光学ガラス中のLi2Oの含有量［ｗｔ％］と、Na2Oの含有量［ｗｔ％］と、K2Oの含有量［ｗｔ％］との総和を示す。このようにすれば、化学的耐久性を低下させることなく溶融性を向上させることができる。
【００２９】
ZnOは、光学ガラスの溶融温度を低下させる効果を有しており、光学ガラスの屈折率の調整にも有効であるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、ZnOの含有量が２０ｗｔ％を超えると、るつぼの構成材料が侵食される傾向が大きくなり、製造中に不純物が光学ガラスに混入し、その紫外域透過率を低下させてしまう恐れがある。また、光学ガラスの失透の抑制効果が低下してしまう。更に、光学ガラスの化学的耐久性も低下する。このような観点から、ZnOの含有量は３〜１６ｗｔ％であることが好ましく、３〜１２ｗｔ％であることが好ましい。
【００３０】
La2O3は、光学ガラスの屈折率の向上と化学的耐久性の向上に対して効果があるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、La2O3の含有量が6.5ｗｔ％を超えると、La2O3の原料中に含まれる不純物が光学ガラス中に混入し易くなり、その紫外域透過率を低下させてしまう。また、光学ガラスの溶融温度も高くなる。
【００３１】
Gd2O3は、光学ガラスの屈折率の向上と化学的耐久性の向上に対して効果があるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、Gd2O3の含有量が15ｗｔ％を超えると失透の抑制効果が低下する。また、光学ガラスの溶融温度も高くなる。このような観点から、Gd2O3の含有量は0〜12ｗｔ％であることが好ましい。
【００３２】
Y2O3は、光学ガラスの屈折率の向上と化学的耐久性の向上に対して効果があるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、Y2O3の含有量が15ｗｔ％を超えると失透の抑制効果が低下する。また、光学ガラスの溶融温度も高くなる。このような観点から、Y2O3の含有量は０〜１２ｗｔ％であることが好ましい。
【００３３】
Ta2O3は、光学ガラスの屈折率の向上と化学的耐久性の向上に対して効果があるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、Ta2O3の含有量が10ｗｔ％を超えると失透の抑制効果が低下する。また、光学ガラスの溶融温度も高くなる。このような観点から、Ta2O3の含有量は０〜８ｗｔ％であることが好ましく、０〜６ｗｔ％であることが好ましい。
【００３４】
ZrO2は、光学ガラスの屈折率の向上と化学的耐久性の向上に対して効果があるため、必要に応じて添加する成分である。しかし、ZrO2の含有量が9.5 ｗｔ％を超えると失透の抑制効果が低下する。また、光学ガラスの溶融温度も高くなる。このような観点から、ZrO2の含有量は０〜８ｗｔ％であることが好ましく、０〜５ｗｔ％であることが好ましい。
【００３５】
As2O3は、脱泡促進剤として有効であるため、必要に応じて添加する成分である。As2O3の含有量が１ｗｔ％を超えると光学ガラスの紫外域透過率を著しく低下させてしまう。
【００３６】
Sb2O3は、脱泡促進剤として有効であるため、必要に応じて添加する成分である。Sb2O3の含有量が0.5ｗｔ％を超えると光学ガラスの紫外域透過率を著しく低下させてしまう。Sb2O3成分は極微量でも光学ガラスの紫外域透過率を著しく低下させるため、Sb2O3の含有量は０〜０．３ｗｔ％であることが好ましい。
【００３７】
また、本発明の光学ガラスは、前述の構成材料を以下のような組成比で含有していることが好ましい。すなわち、重量比で、SiO2  0〜14.8 ｗｔ％、B2O3  30〜60 ｗｔ％、Al2O3  5〜17.5 ｗｔ％、Li2O  0〜0.4 ｗｔ％、Na2O  0〜1 ｗｔ％、K2O  0〜1 ｗｔ％、ただしX2O (Li2O+Na2O+K2O) が0〜1 ｗｔ％、MgO  0〜5 ｗｔ％、CaO  0〜30 ｗｔ％、SrO  0〜30 ｗｔ％、BaO  0〜35 ｗｔ％、ただしRO (MgO+CaO+SrO+BaO) が8〜26 ｗｔ％、ZnO  3〜16 ｗｔ％、La2O3  0〜6.5 ｗｔ％、Gd2O3  0〜15 ｗｔ％、Y2O3  0〜15 ｗｔ％、Ta2O3  0〜10 ｗｔ％、ZrO2  0〜9.5 ｗｔ％、As2O3  0〜1 ｗｔ％、Sb2O3  0〜0.5 ｗｔ％、の範囲の組成を有していることが好ましい。このような組成の光学ガラスは、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が300nm以下となり、より優れたｉ線透過率を示す。
【００３８】
次に、本発明の光学ガラスの製造方法は特に限定されるものではなく、公知の製造方法により製造することができる。例えば、本発明の光学ガラスは、主としてガラス原料、ガラスカレット、ガラスフリット等を溶融する溶融工程と、溶融したガラスを冷却、固化、成形するガラスバルク成形工程と、そのガラスバルクを熱処理するガラスバルク熱処理工程と、熱処理済みのガラスバルクからガラスの切り出しを行うガラスバルク切断工程と、切り出したガラスの熱処理を行うガラス部材の熱処理とから構成される通常の製造方法により製造することができる。
【００３９】
なお、本発明の光学ガラスの各構成成分の原料について、B2O3、Al2O3、Li2O、Na2O、K2O、MgO、CaO、SrO、BaO以外の成分は同一の化学式（組成式）で表される原料を使用することができる。B2O3についてはH3BO3を使用することができる。Al2O3についてはAl(OH)3を使用することができる。Li2OについてはLi2CO3又はLiNO3を使用することができる。Na2OについてはNa2CO3又はNaNO3を使用することができる。K2OについてはK2CO3又はKNO3を使用することができる。MgOについてはMgCO3を使用することができる。CaOについてはCaCO3を使用することができる。SrOについてはSrCO3を使用することができる。BaOについてはBaCO3又はBa(NO3)2を使用することができる。
【００４０】
図１は、本発明の投影露光装置の一例の概略構成図を示す。図１において、投影光学系７０の光軸に平行な方向をＺ方向、紙面内にあってＺ方向に垂直な方向をＹ方向、紙面及びＺ方向に垂直な方向をＸ方向とする。
【００４１】
図１に示す投影露光装置は、主として露光光源１０と、パターン原像の形成されたレチクルＲと、露光光源１０から出力される光をレチクルＲに照射する照射光学系２０と、レチクルＲから出力されるパターン像をウェハ（感光基板）Ｗ上に投影する投影光学系７０と、レチクルＲとウェハＷの位置合わせを行うアライメント系２２とから構成されている。そして、照射光学系２０を構成する光学ガラス、投影光学系７０を構成する光学ガラス及びレチクルＲのうち少なくとも一部が、本発明の光学ガラスからなる。
【００４２】
ウェハＷは、レベリングステージ（図示せず）上に載置され、このレベリングステージは、駆動モーター８６により投影光学系７０の光軸方向（Ｚ方向）に微動可能なＺステージ８２上に設置されている。Ｚステージ８２は、駆動モーター８８よりステップ・アンド・リピート方式で２次元方向（ＸＹ）方向に移動可能なＸＹステージ８４に載置されている。レチクルＲは水平面内で２次元移動可能なレチクルステージ３０上に載置されている。露光光源１０からの露光光は、照射光学系２０を介してレチクルＲに形成されたパターンを均一に照明し、レチクルＲのパターン像は投影光学系７０によってウェハＷのショット領域に露光転写される。この露光光には、４３６ｎｍ（ｇ線）、３６５ｎｍ（ｉ線）等の波長を有する露光光を用いることができる。
【００４３】
ＸＹステージ８４は、ウェハＷ上の１つのショット領域に対するレチクルＲのパターンの転写露光が終了すると、ウェハＷの次のショット領域が投影光学系７０の露光領域と一致するようにステッピング移動される。ウェハＷが載置されたレベリングステージの２次元的な位置はレベリングステージに固定された移動鏡８９との距離をレーザー干渉計（図示せず）で計測することによって、例えば０．０１μｍ程度の分解能で常時モニターされており、レーザー干渉計の出力はステージコントロール系５０に供給されている。
【００４４】
レチクルＲはレチクルステージ３０上で、レチクルＲ上の転写パターンの中心が投影光学系７０の光軸ＡＸと一致するように位置決めされる。レチクルＲの位置決めは、レチクルＲの外周付近に設けられた複数のレチクルアライメントマーク（レチクルマーク）を用いて行われる。レチクルマークは、Ｘ方向の位置決めを行うためのレチクルマークと、Ｙ方向の位置決めを行うためのレチクルマークの2種類のものが設けられている。アライメント系２２は、露光光源１０から露光光の一部を分岐して取り出した露光光を照明光（アライメント光）として使用する。アライメント系２２は各レチクルアライメントマークの位置に１つずつ設けられている。
【００４５】
照射光学系２０を通過した照明光は、レチクルＲのパターン領域の外側に設けられたレチクルマークに入射する。レチクルマークは、例えば、パターン周囲の不透明部に形成された矩形の透明窓からなる。レチクルマーク部で反射されたアライメント光は、アライメント系２２に再び入射する。一方レチクルマークを通過したアライメント光は、投影光学系７０を通ってウェハＷ上の各ショット領域の周囲に設けられた基板アライメントマーク（ウェハマーク）上に入射する。ウェハマークは各ショット領域の周囲にそれぞれ設けるのではなく、ウェハの所定の位置、例えばウェハの外周部領域にのみ設けてもよい。ウェハマークもレチクルマークに対応してＸ方向の位置決めを行うためのウェハマークと、Ｙ方向の位置決めを行うためのウェハマークの２種類のものが設けられている。ウェハマークからの反射光は入射光と逆の経路を辿り、投影光学系７０、レチクルマーク部を通過してアライメント系２２に再び入射する。
【００４６】
このようにしてアライメント系２２は、レチクルＲとウェハＷとからのアライメント光の反射を入力することにより、レチクルＲとウェハＷとの相対的な位置を検出する。このアライメント系２２の出力は主制御系６０に供給される。そして主制御系６０の出力がレチクル交換系４０とステージコントロール系５０に供給されることにより、レチクルＲとウェハＷとの空間的な位置が調整される。その結果、ウェハＷ上の各ショット領域に形成されているパターンと、これから転写露光するレチクルＲのパターン像との重ね合わせ精度を高精度に維持することができる。照射光学系２０は、被照射物体としてのレチクルＲ上をスリット状に均一照明する。また、投影光学系７０は、レチクルＲの表面Ｐ１と、ウェハＷの表面Ｐ２との間に配置される。
【００４７】
このように本発明の光学ガラス部材により構成された投影光学系７０、照射光学系２０及びレチクルＲを備えることにより透過率が向上するので、解像度の高い投影露光装置を得ることが可能となる。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例を挙げて本発明ついて詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下に示す実施例の光学ガラスの各構成成分の原料について、B2O3、Al2O3、Li2O、Na2O、K2O、MgO、CaO、SrO、BaO以外の成分は同一の化学式（組成式）で表される原料を使用した。B2O3については原料としてH3BO3を使用した。Al2O3については原料としてAl(OH)3を使用した。Li2Oについては原料としてLi2CO3を使用した。Na2Oについては原料としてNa2CO3を使用した。K2Oについては原料として各実施例ごとにK2CO3とKNO3の両方を使用した。MgOについては原料としてMgCO3を使用した。CaOについては原料としてCaCO3を使用した。SrOについては原料としてSrCO3を使用した。BaOについては原料として各実施例ごとにBaCO3とBa(NO3)2の両方を使用した。
【００４９】
［実施例１］
表１に示した成分組成を有する光学ガラス（テストピース；１００ｇ）を以下の手順で製造した。先ず、石英るつぼに表１に示した成分に対応する種類と量の原料を導入し、十分に混合しながら大気中、１１５０〜１３００℃の条件の下で溶融させた。次に、石英るつぼ内の内容物を白金るつぼ内に移し、大気中、１２００〜１３００℃の条件の下で１５分間清澄（refining）させて内容物内の気泡を除去した。次に、白金るつぼ内の内容物を撹拌均質化した。次に、白金るつぼ内の内容物を、予め５００℃の温度に調節された鋳型中に鋳込み、徐冷した。次に、徐冷後のガラスを切断及び研磨し、１００ｇのテストピースを得た。
【００５０】
［実施例２〜実施例１１］
表１又は表２に示した成分組成となるように、各原料の種類と使用量を変更した以外は実施例１と同様にして各光学ガラスのテストピース（100ｇ）を製造した。
【００５１】
＜光学ガラスの評価試験＞
JOGIS 01-1975「光学ガラスの屈折率の測定方法」に基づいて、実施例１〜実施例１１の各光学ガラスの屈折率（ｎｄ）とアッベ数（νｄ）とを測定した。また、実施例１〜実施例１１の各光学ガラスを10mm厚にそれぞれ加工し、JOGIS 17-1982「光学ガラスの内部透過率の測定」に基づいて、各光学ガラスの反射損失を含まないときの分光透過率を測定し、得られる分光透過率が８０％であるときの照射光の波長（nm）を測定した。これらの結果を、表１及び表２に示す。
【００５２】
【表１】
0004839563.tif 000002
【００５３】
【表２】
0004839563.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上説明したように、本発明によれば、屈折率（ｎｄ）が1.52〜1.65、アッベ数（νｄ）が55〜61、80%透過波長（10mm厚、反射損失を含まない）が330nm以下であり、優れた化学的耐久性、優れた失透の抑制効果、優れたｉ線透過率を有する光学ガラス及びそれを用いた高い解像度を得ることが可能な投影露光装置を提供することができる。
【図１】
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