(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状のケース（１）と、
このケース（１）内に変位可能に封着されてケース（１）内に環状の導圧室（Ｓ）を画成する環状のダイアフラム（２）と、
該ダイアフラム（２）の導圧室（Ｓ）側の面に配置された環状のリテーナ（３）と、
前記ダイアフラム（２）の前記導圧室（Ｓ）と反対側の面に配置され、前記リテーナ（３）と共に前記ダイアフラム（２）に連結された環状の出力プレート（４）と、
前記導圧室（Ｓ）内であって前記ケース（１）と前記リテーナ（３）の間に配置され、前記ダイアフラム（２）を前記導圧室（Ｓ）への流体圧力の導入による変位方向と反対側へ付勢する帯板状ばね材（５）とを備え、
前記ケース（１）は、前記導圧室（Ｓ）に空気圧を供給する通気管（１４）を有する環状のアッパーケース（１１）と、前記アッパーケース（１１）の内周縁部（１１ａ）に前記ダイアフラム（２）の内周縁部（２２）と共に固定された環状の内周側ロアケース（１２）と、前記アッパーケース（１１）の外周縁部（１１ｂ）に前記ダイアフラム（２）の外周縁部（２３）と共に固定された環状の外周側ロアケース（１３）とからなる、ダイアフラムアクチュエータであって、
前記出力プレート（４）の内周筒状部（４ａ）には、その下端フランジ部（４ｃ）からその可動方向である上方へ延びる係合切欠（４１）が円周方向所定間隔で形成され、
前記内周側ロアケース（１２）には、前記各係合切欠（４１）内へ遊嵌されるように外周側へ延びる係合突起（１２１）が円周方向所定間隔で形成され、
該各係合切欠（４１）が該各係合突起（１２１）とそれぞれ上下方向移動自在に係合することによって、前記出力プレート（４）の可動方向を上下方向のみに規定し、
前記各係合切欠（４１）の上下方向の長さは、前記出力プレート（４）が下方変位したときに、該係合切欠（４１）の上端が前記係合突起（１２１）と当接した時点で、前記帯板状ばね材（５）の付勢力による前記出力プレート（４）の下方変位の終端とする長さに設定されていることを特徴とするダイアフラムアクチュエータ。
【請求項２】
環状のケース（１）と、
このケース（１）内に変位可能に封着されてケース（１）内に環状の導圧室（Ｓ）を画成する環状のダイアフラム（２）と、
該ダイアフラム（２）の導圧室（Ｓ）側の面に配置された環状のリテーナ（３）と、
前記ダイアフラム（２）の前記導圧室（Ｓ）と反対側の面に配置され、前記リテーナ（３）と共に前記ダイアフラム（２）に連結された環状の出力プレート（４）と、
前記導圧室（Ｓ）内であって前記ケース（１）と前記リテーナ（３）の間に配置され、前記ダイアフラム（２）を前記導圧室（Ｓ）への流体圧力の導入による変位方向と反対側へ付勢する帯板状ばね材（５）とを備え、
前記ケース（１）は、前記導圧室（Ｓ）に空気圧を供給する通気管（１４）を有する環状のアッパーケース（１１）と、前記アッパーケース（１１）の内周縁部（１１ａ）に前記ダイアフラム（２）の内周縁部（２２）と共に固定された環状の内周側ロアケース（１２）と、前記アッパーケース（１１）の外周縁部（１１ｂ）に前記ダイアフラム（２）の外周縁部（２３）と共に固定された環状の外周側ロアケース（１３）とからなる、ダイアフラムアクチュエータであって、
前記ケース（１）における内周側ロアケース（１２）は、その外周部に、下方へ延びる円筒部（１２ａ）を有し、この円筒部（１２ａ）には、該円筒部（１２ａ）の下端に開放された部分（１２２ａ）と、その上端から円周方向へ延びる部分（１２２ｂ）と、更にその延長端部から下方へ所要長さだけ延びる係合部分（１２２ｃ）とからなる係合切欠（１２２）が鉤状に形成され、
前記出力プレート（４）における内周筒状部（４ａ）には、その下端フランジ部（４ｃ）から前記係合切欠（１２２）における係合部分（１２２ｃ）内へ遊嵌されるように内周側へ延びる係合突起（４２）が形成され、
前記出力プレート（４）が上下に変位したときに前記係合突起（４２）が前記係合部分（１２２ｃ）内を上下に変位し、前記出力プレート（４）の回転を規制すると共に、前記出力プレート（４）が所定ストロークだけ下方変位したときに前記係合部分（１２２ｃ）の下端が前記係合突起（４２）と当接する高さに設定されていることによって、該出力プレート（４）の下方変位を所要の長さに制限することを特徴とするダイアフラムアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気圧等の流体圧力の導入によって駆動するダイアフラムアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来の技術によるダイアフラムアクチュエータの形態を、その軸心を通る平面で切断して示す断面図で、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態である。この図７に示されるダイアフラムアクチュエータ１００は、例えば自動車のデファレンシャルのクラッチを動作させる手段として用いられるものであって、上端が閉じ下端が開いた断面形状を有する環状のケース１０１と、外周縁及び内周縁がケース１０１に封着されてこのケース１０１との間に導圧室１０２を形成する環状のダイアフラム１０３と、このダイアフラム１０３の上面に固定された環状のリテーナ１０４及び下面に固定された環状の出力プレート１０５と、ケース１０１とリテーナ１０４の間に円周方向複数配置されたコイルスプリング１０６と、導圧室１０２に外部から大気圧より低圧の空気圧（以下、負圧という）を導入するための通気管とを備える。
【０００３】
このダイアフラムアクチュエータ１００は、通気管を通じて導圧室１０２に負圧が導入されると、ダイアフラム１０３が、図７における左半分に示されるように、コイルスプリング１０６を圧縮しながら上方へ変位し、クラッチ等を動作させる出力プレート１０５も上方へ変位する。また、導圧室１０２内が大気開放されると、図７における右半分に示されるように、コイルスプリング１０６によってダイアフラム１０３が下方へリターン動作し、これによって出力プレート１０５も下方へ変位する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の技術によるダイアフラムアクチュエータ１００においては、リターン用のコイルスプリング１０６が円周方向に複数配置された構造であるため、組立工数が多くなり、また、各コイルスプリング１０６の配置間隔が円周方向に均等でないと、出力プレート１０５のストロークがばらつくおそれがある。しかも、このコイルスプリング１０６は、断面が円形の金属線を巻いたものであるため、圧縮した時の密着長が長くなり、したがってダイアフラムアクチュエータ１００の上下方向厚さ寸法が大きくなってしまう問題も指摘される。
【０００５】
ダイアフラムアクチュエータ１００を、その出力プレート１０５を相手側回転部材に押し付けてその回転を止める手段として用いられる場合は、出力プレート１０５が相手側回転部材と共に回転してしまうことのないように、回り止め手段を設ける必要がある。また、このダイアフラムアクチュエータ１００は、機器への未装着状態では、コイルスプリング１０６の伸長力によりダイアフラム１０３が下方へ最大に引き伸ばされた状態となってしまうため、これを防止するには、コイルスプリング１０６の伸長力による出力プレート１０５のストロークを制限するストロークストッパを設ける必要がある。しかし、このような回り止め手段やストロークストッパを別設すると、部品数が増え、構造が複雑になるといった問題がある。
【０００６】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたもので、その技術的課題は、ダイアフラムアクチュエータの小型化及び組立工数の低減を図ることにある。
【０００７】
また、他の技術的課題は、出力プレートの回り止め手段と、ダイアフラムの変形を制限するストロークストッパを別設することを不要にして、構造を簡素化することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述した技術的課題は、本発明によって有効に解決することができる。
すなわち請求項１の発明に係るダイアフラムアクチュエータは、環状のケースと、このケース内に変位可能に封着されてケース内に環状の導圧室を画成する環状のダイアフラムと、該ダイアフラムの導圧室側の面に配置された環状のリテーナと、前記ダイアフラムの前記導圧室と反対側の面に配置され、前記リテーナと共に前記ダイアフラムに連結された環状の出力プレートと、前記導圧室内であって前記ケースと前記リテーナの間に配置され、前記ダイアフラムを前記導圧室への流体圧力の導入による変位方向と反対側へ付勢する帯板状ばね材とを備え、
前記ケースは、前記導圧室に空気圧を供給する通気管を有する環状のアッパーケースと、前記アッパーケースの内周縁部に前記ダイアフラムの内周縁部と共に固定された環状の内周側ロアケースと、前記アッパーケースの外周縁部に前記ダイアフラムの外周縁部と共に固定された環状の外周側ロアケースとからなる、ダイアフラムアクチュエータであって、
前記出力プレートの内周筒状部には、その下端フランジ部からその可動方向である上方へ延びる係合切欠が円周方向所定間隔で形成され、
前記内周側ロアケースには、前記各係合切欠内へ遊嵌されるように外周側へ延びる係合突起が円周方向所定間隔で形成され、
該各係合切欠が該各係合突起とそれぞれ上下方向移動自在に係合することによって、前記出力プレートの可動方向を上下方向のみに規定し、
前記各係合切欠の上下方向の長さは、前記出力プレートが下方変位したときに、該係合切欠の上端が前記係合突起と当接した時点で、前記帯板状ばね材の付勢力による前記出力プレートの下方変位の終端とする長さに設定されているものである。
【０００９】
また、請求項２の発明に係るダイアフラムアクチュエータは、環状のケースと、このケース内に変位可能に封着されてケース内に環状の導圧室を画成する環状のダイアフラムと、該ダイアフラムの導圧室側の面に配置された環状のリテーナと、前記ダイアフラムの前記導圧室と反対側の面に配置され、前記リテーナと共に前記ダイアフラムに連結された環状の出力プレートと、前記導圧室内であって前記ケースと前記リテーナの間に配置され、前記ダイアフラムを前記導圧室への流体圧力の導入による変位方向と反対側へ付勢する帯板状ばね材とを備え、
前記ケースは、前記導圧室に空気圧を供給する通気管を有する環状のアッパーケースと、前記アッパーケースの内周縁部に前記ダイアフラムの内周縁部と共に固定された環状の内周側ロアケースと、前記アッパーケースの外周縁部に前記ダイアフラムの外周縁部と共に固定された環状の外周側ロアケースとからなる、ダイアフラムアクチュエータであって、
前記ケースにおける内周側ロアケースは、その外周部に、下方へ延びる円筒部を有し、この円筒部には、該円筒部の下端に開放された部分と、その上端から円周方向へ延びる部分と、更にその延長端部から下方へ所要長さだけ延びる係合部分とからなる係合切欠が鉤状に形成され、
前記出力プレートにおける内周筒状部には、その下端フランジ部から前記係合切欠における係合部分内へ遊嵌されるように内周側へ延びる係合突起が形成され、
前記出力プレートが上下に変位したときに前記係合突起が前記係合部分内を上下に変位し、前記出力プレートの回転を規制すると共に、前記出力プレートが所定ストロークだけ下方変位したときに前記係合部分の下端が前記係合突起と当接する高さに設定されていることによって、該出力プレートの下方変位を所要の長さに制限するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
次に、図１乃至図４を参照して、本発明に係るダイアフラムアクチュエータの第一の実施の形態を説明する。図１は、本形態のダイアフラムアクチュエータを軸心を通る平面で切断して示す断面図であって、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態を示している。また、図２はこのダイアフラムアクチュエータの平面図、図３は同じく底面図である。
【００１２】
なお、以下の説明において、「上側」「上方」又は「下側」「下方」とは、図１での上側、上方あるいは下側、下方をいい、絶対的な上側、上方あるいは下側、下方をさすものではない。
【００１３】
本形態によるダイアフラムアクチュエータは、図１〜３に示されるように、環状のケース１と、このケース１内に変位可能に封着されて導圧室Ｓを画成する環状のダイアフラム２と、ダイアフラム２の導圧室Ｓ側の面に配置された環状のリテーナ３と、ダイアフラム２の導圧室Ｓと反対側の面に配置されリテーナ３と共にダイアフラム２に連結された出力プレート４と、導圧室Ｓ内であってケース１とリテーナ３の間に配置された帯板状ばね材５とを備える。
【００１４】
ケース１は、環状であって上側が閉じ下側が開いた断面形状を呈するアッパーケース１１と、このアッパーケース１１の内周縁部１１ａにダイアフラム２の内周縁部２２と共にカシメ固定された環状の内周側ロアケース１２と、アッパーケース１１の外周縁部１１ｂにダイアフラム２の外周縁部２３と共にカシメ固定された環状の外周側ロアケース１３とからなる。これらアッパーケース１１、内周側ロアケース１２及び外周側ロアケース１３は、共に金属板をプレス加工して製作されたものである。
【００１５】
ダイアフラム２は、ゴム状弾性材料からなるものであって、上側へ凸形状に湾曲した断面形状を呈する内周山部及び外周山部が円周方向に連続して形成された膜状本体２１と、この膜状本体２１の内周側及び外周側に円周方向に連続して形成され膜状本体２１よりも厚肉の内周縁部２２及び外周縁部２３とを有する。ダイアフラム２の内周縁部２２は、アッパーケース１１の内周縁部１１ａと内周側ロアケース１２との間に気密的に挟着され、外周縁部２３は、アッパーケース１１の外周縁部１１ｂと外周側ロアケース１３との間に気密的に挟着されている。
【００１６】
リテーナ３及び出力プレート４は、共に金属板をプレス加工して製作されたものである。このうちリテーナ３は、アッパーケース１１の天板部１１ｃ側すなわち上側へ開いた近似Ｕ字形の断面形状を呈し、下端が軸心と直角な平面をなすと共にその内周及び外周から上方へ延びる筒状部３ａ，３ｂが同心的に形成されている。また、出力プレート４は、リテーナ３と反対側すなわち下側へ開いた近似Ω字形の断面形状を呈し、上端が軸心と直角な平面をなし、その内周及び外周から下方へ延びる筒状部４ａ，４ｂが同心的に形成されている。そしてリテーナ３の下端と出力プレート４の上端が、ダイアフラム２の膜状本体２１における内周山部と外周山部の間の部分を上下から挟み込んだ状態で、円周方向複数のリベット６を介して互いに結合されている。
【００１７】
アッパーケース１１には、導圧室Ｓに大気圧よりも低圧の空気圧（以下、負圧という）を供給するための通気管１４と、デファレンシャル等に取り付けるためのブラケット１５が一体的に設けられている。
【００１８】
図４は、帯板状ばね材５を示す斜視図である。この帯板状ばね材５は、その平面と垂直な軸心を中心とする円周方向へコイル状に巻き、更に円周方向一定のピッチで厚さ方向へ波状に反復屈曲することによって山状屈曲部５ａと谷状屈曲部５ｂを交互に形成したもので、各層の山状屈曲部５ａと谷状屈曲部５ｂが互いに厚さ方向に重なった部分と、互いに厚さ方向に離れた部分が、交互に形成されている。
【００１９】
また、この帯板状ばね材５は、導圧室Ｓ内をその円周方向に延びるものであって、リテーナ３の内周筒状部４ａより大径かつ外周筒状部４ｂより小径に形成されており、すなわちこの内周筒状部４ａと外周筒状部４ｂの間に配置されている。そして、ケース１におけるアッパーケース１１の天板部１１ｃとリテーナ３との間で上下方向（軸方向）への圧縮荷重が負荷されると、波状の傾斜部分が水平に変位する方向に撓むことによって、反発力を生じるようになっている。
【００２０】
また、この帯板状ばね材５は、その平面と垂直な軸心を中心とする円周方向へ一周のみ巻き、更に円周方向一定のピッチで厚さ方向へ波状に反復屈曲して山状屈曲部５ａと谷状屈曲部５ｂを交互に形成したものであっても良く、山状屈曲部５ａと谷状屈曲部５ｂが交互に形成された有効ばね部分の両端に、帯板状ばね材５１が円周方向へ平坦に延びる部分（図示省略）を有するものであっても良い。
【００２１】
出力プレート４の内周筒状部４ａには、その下端フランジ部４ｃから上方、言い換えれば出力プレート４の可動方向へ延びる係合切欠４１が、円周方向１２０°間隔で形成されている。一方、ケース１における内周側ロアケース１２には、前記各係合切欠４１内へ遊嵌されるように外周側へ延びる係合突起１２１が、円周方向１２０°間隔で形成されている。
【００２２】
係合切欠４１の上下方向の長さは、図１における左半分に示されるように、リテーナ３の筒状部３ａ，３ｂがケース１におけるアッパーケース１１の天板部１１ｃと当接するまで出力プレート４が上方変位した場合に、係合突起１２１が係合切欠４１の下方へ外れることがなく、また図１における右半分に示されるように、出力プレート４が所定ストロークだけ下方変位した時に、係合切欠４１の上端が係合突起１２１と当接する長さに設定されている。
【００２３】
以上のように構成された本形態によるダイアフラムアクチュエータは、図示されていない負圧源から通気管１４を介してケース１内の導圧室Ｓに負圧が導入されると、ケース１内のダイアフラム２がケース１におけるアッパーケース１１の天板部１１ｃとリテーナ３との間で帯板状ばね材５を圧縮しながら、図１における左半分に示されるように上方へ変位し、これと共に、ダイアフラム２に接続された出力プレート４も、図１における上方へ変位し、クラッチ等を作動させる。
【００２４】
また、このときの上方変位動作は、リテーナ３の筒状部３ａ，３ｂがアッパーケース１１の天板部１１ｃと当接した時点で停止する。すなわち、リテーナ３は、帯板状ばね材５の保持手段と、ダイアフラム２及び出力プレート４の上方変位量を規制するストッパ手段としての機能を兼備するものである。
【００２５】
次に、導圧室Ｓ内を大気開放して、負圧を解除すると、帯板状ばね材５の山状屈曲部５ａと谷状屈曲部５ｂ（図４参照）の復元力によって、図１における右半分に示されるようにダイアフラム２及び出力プレート４が下方へ変位し、クラッチ等をリターン動作させる。
【００２６】
帯板状ばね材５は、円周方向複数個配置されているのではなく、単一のものであるため、部品数が減少して組立工数が減少するばかりでなく、従来のように、円周方向配置間隔のずれなどによって荷重が円周方向で不均一になるようなこともないので、ストロークを周方向で均一にし、動作を安定させることができる。また、帯板状ばね材５は、帯板状ばね材５１からなるため、断面が円形のコイルスプリングに比較すると、同一荷重であれば、圧縮した時の軸方向密着長が短くなる。したがって、リテーナ３の筒状部３ａ，３ｂの突出高さを短くし、ひいては当該ダイアフラムアクチュエータの軸方向（上下方向）の厚さを薄くすることができる。
【００２７】
上述の動作においては、出力プレート４に形成された各係合切欠４１が、ケース１における内周側ロアケース１２に形成された各係合突起１２１とそれぞれ上下方向移動自在に係合していることによって、出力プレート４の可動方向を上下方向にのみ規定し、ケース１に対する出力プレート４の相対回転を防止する。また、各係合切欠４１は、その上端が係合突起１２１と当接した時点で、帯板状ばね材５の付勢力による出力プレート４の下方変位の終端となる。したがって、当該ダイアフラムアクチュエータが機器へ未装着の状態であっても、係合切欠４１の上端と係合突起１２１との当接によって出力プレート４の下方変位が制限されるため、帯板状ばね材５の伸長力によりダイアフラム２が下方へ大きく引き伸ばされた状態となってしまうようなことがない。
【００２８】
また、本形態の構成によれば、上述のように、出力プレート４と、ケース１における内周側ロアケース１２が、出力プレート４に対する回り止め機能と、出力プレート４の下方変位量を制限するストロークストッパ機能を兼備するため、回転ストッパ及びストロークストッパを別設する必要がなく、したがって部品数及び組立工数が増大せず、構造が簡素である。
【００２９】
出力プレート４と、ケース１における内周側ロアケース１２とによる出力プレート４の回り止め機能及びストロークストッパ機能は、係合切欠と係合突起との関係を上述した第一の実施の形態と逆にしても、同様に達成することができる。図５及び図６は、その一例として、本発明に係るダイアフラムアクチュエータの第二の実施の形態を示すもので、このうち図５は、本形態のダイアフラムアクチュエータを、その軸心を通る平面で切断して示す断面図であって、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態を示しており、図６はこのダイアフラムアクチュエータの底面図である。
【００３０】
本形態によるダイアフラムアクチュエータは、図５及び図６に示されるように、ケース１における内周側ロアケース１２は、その外周部に、下方へ延びる円筒部１２ａを有し、この円筒部１２ａには、その下端から鉤状に延びる係合切欠１２２が形成されている。すなわち、この係合切欠１２２は、円筒部１２ａの下端に開放された部分１２２ａと、その上端から円周方向へ延びる部分１２２ｂと、更にその延長端部から下方へ所要長さだけ延びる係合部分１２２ｃとからなる。一方、出力プレート４における内周筒状部４ａには、その下端フランジ部４ｃから前記各係合切欠１２２における係合部分１２２ｃ内へ遊嵌されるように内周側へ延びる係合突起４２が、円周方向１２０°間隔で形成されている。
【００３１】
したがって、このダイアフラムアクチュエータの組立に際しては、出力プレート４の係合突起４２を、内周側ロアケース１２における係合切欠１２２の開放された部分１２２ａから挿入してから、出力プレート４と内周側ロアケース１２とを円周方向へ相対回転させることによって、前記係合突起４２を円周方向へ延びる部分１２２ｂを介して係合部分１２２ｃへ移動させ、この状態でアッパーケース１１、ダイアフラム２、内周側ロアケース１２及び外周側ロアケース１３の内外周のカシメを行う。
【００３２】
係合切欠１２２における係合部分１２２ｃの上端は、出力プレート４の上方変位に際して、図５における左半分に示されるように、リテーナ３の筒状部３ａ，３ｂがケース１におけるアッパーケース１１の天板部１１ｃと当接する前に、係合突起４２が当接することのない高さにあり、また、係合切欠１２２における係合部分１２２ｃの下端は、図５における右半分に示されるように、出力プレート４が所定ストロークだけ下方変位した時に係合突起４２が当接する高さに設定されている。
【００３３】
その他の部分の構成は、基本的には先に説明した第一の実施の形態と同様の構造となっている。
【００３４】
以上の構成によれば、第一の実施の形態と同様、出力プレート４と、ケース１における内周側ロアケース１２が、係合突起４２と係合切欠１２２における係合部分１２２ｃとの係合によって、出力プレート４に対する回り止め機能と、出力プレート４の下方変位量を制限するストロークストッパ機能を奏するものである。すなわち、導圧室Ｓへの負圧の導入又は解除によって、出力プレート４が上下に変位すると、これに伴って、係合突起４２が係合部分１２２ｃ内を上下に変位し、出力プレート４の回転を規制すると共に、係合部分１２２ｃの下端と係合突起４２との当接によって出力プレート４の下方変位を制限して、帯板状ばね材５の伸長力によるダイアフラム２の過大変形を防止する。
【００３５】
【発明の効果】
本願の請求項１および２に係る発明は、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係るダイアフラムアクチュエータによれば、ダイアフラムを導圧室への流体圧力の導入による変位方向と反対側へ付勢する手段として帯板状ばね材を用いたため、円周方向複数個のコイルスプリングを配置する場合に比較して部品数が減少し、その組立工数も減少させることができる。しかも、荷重を円周方向で均一にして、ストロークを安定させることができる。また、断面が円形のコイルスプリングを用いた場合に比較して、圧縮した時の軸方向密着長を短くすることができるので、ダイアフラムアクチュエータの厚さを薄くすることができる。
【００３６】
また、本発明に係るダイアフラムアクチュエータによれば、出力プレートとケースに、出力プレートに対する回り止め機能と、出力プレートの下方変位量を制限するストロークストッパ機能を兼備させたため、回転ストッパ及びストロークストッパを別設する必要がなく、したがって部品数が増大せず、構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一の実施の形態に係るダイアフラムアクチュエータを、その軸心を通る平面で切断して示す断面図で、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態を示すものである。
【図２】上記第一の実施の形態に係るダイアフラムアクチュエータの平面図である。
【図３】上記第一の実施の形態に係るダイアフラムアクチュエータの底面図である。
【図４】上記第一の実施の形態において用いられるスプリングの斜視図である。
【図５】本発明の第二の実施の形態に係るダイアフラムアクチュエータを、その軸心を通る平面で切断して示す断面図で、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態を示すものである。
【図６】上記第二の実施の形態に係るダイアフラムアクチュエータの底面図である。
【図７】従来の技術に係るダイアフラムアクチュエータを、その軸心を通る平面で切断して示す断面図で、左半分が負圧導入状態、右半分が負圧解除状態を示すものである。
【符号の説明】
１  ケース
１１  アッパーケース
１２  内周側ロアケース
１２１，４２  係合突起
１２２，４１  係合切欠
１２２ａ  係合部分
１３  外周側ロアケース
１４  通気管
１５  ブラケット
２  ダイアフラム
３  リテーナ
３ａ，３ｂ，４ａ，４ｂ  筒状部
４  出力プレート
５  帯板状ばね材
５ａ  山状屈曲部
５ｂ  谷状屈曲部
６  リベット
Ｓ  導圧室
【図１】
0004669154.tif 000002
【図２】
0004669154.tif 000003
【図３】
0004669154.tif 000004
【図４】
0004669154.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004669154.tif 000007
【図７】
0004669154.tif 000008