(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
スルーホール及び／又は凹みを有する回路板（LP）を処理するための装置であって、処理液を上記回路板（LP）と接触するための設備並びに回路板（LP）を水平搬送経路上を搬送面（２）で搬送するための回転可能な搬送手段（１３，１４）を備えている上記装置において、
機械的、電気的若しくは空気圧的な作用によって機械的パルスを発生する手段（２１，３１，４０，５０）を設け、このパルス発生手段が回路板（LP）を、上記回転可能な搬送手段（１３，１４）及び／又は上記処理液を介して、回路板（LP）の表面に作用する上記機械的パルスによって刺激することを特徴とする、装置。
【請求項２】
上記パルス発生手段（２１，３１，４０，５０）は、パルスが回路板表面に対し垂直に作用するパルス成分を用いて発生させられるように配置及び構成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
上記搬送手段（１３，１４）は、回路板（LP）が実質的に水平な搬送面（２）で運ばれることが可能なように配置及び構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
上記搬送手段は、少なくとも部分的にそれぞれ一つの実質的に円筒形の空洞（２０）を備えた搬送ローラー（１４）であり、それらの実質的に円筒形の内壁に、それぞれ少なくとも一つの突出部（２２）が軸方向に延び、及びその空洞（２０）内にはパルス発生手段としてそれぞれ少なくとも一つの本体（２１）が含まれていて、その本体は搬送ローラー（１４）の回転に際し、上記突出部（２２）により伴われ、さらに回転すると突出部（２２）を飛び越え、さらに下に向かって搬送ローラー（１４）の内壁に当たる結果、パルスが、搬送ローラー（１４）に、さらに搬送ローラー（１４）から回路板（LP）に伝えられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
上記本体（２１）は実質的に円筒形に形成され、可能なかぎり重い重量を有することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
上記搬送手段（１３，１４）が、それぞれ少なくとも一つの突出部（３６）を周囲に具備しているそれぞれ少なくとも一つのホイール（３０）と少なくとも部分的に接続され、及び上記少なくとも一つのホイール（３０）とともに共通の軸で回転可能に支承され、並びにパルス発生手段としてそれぞれ一つの弾力のあるノッカー又は弾力的に収容されたノッカー（３１）が、少なくとも一つのホイール（３０）の周囲に接して配置されているため、突出部（３６）を乗り越える際に上記ノッカー（３１）により機械的なパルスが少なくとも一つのホイール（３０）に、それにより少なくとも一つのホイール（３０）と接続された搬送手段（１３，１４）に、さらにその搬送手段（１３，１４）から回路板（LP）に伝えられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
上記搬送手段（１３，１４）が、少なくとも部分的にそれぞれ一つの磁石コア（２３）を装備していて、またそれぞれ少なくとも一つの電磁石（４０）がパルス発生手段として磁石コア（２３）を装備した搬送手段（１３，１４）に割り当てられ、それにより上記少なくとも一つの電磁石（４０）にパルス状の電流を供給することで、力が磁石コア（２３）を装備した搬送手段（１３，１４）に作用して、搬送手段（１３，１４）を介して機械的パルスが回路板（LP）で生じることになることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
上記搬送手段（１３，１４）に上記回路板（LP）に向けられた別の力が作用し、また上記搬送手段（１３，１４）が回路板（LP）から少なくとも一つの電磁石（４０）により及ぼされる力で持ち上げられ、少なくとも一つの電磁石（４０）のスイッチを切ると、この別の力によって再び回路板（LP）に戻ることが可能で、そしてこのようにして機械的なパルスが回路板（LP）に伝えられることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
上記搬送手段（１３，１４）に作用し且つ回路板（LP）に向けられた別の力は、重力及び／又は弾力及び／又は磁力であることを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
上記処理液中に搬送面（２）に配列されたパルス発生手段（５０）が設けられ、それを用いてパルスが処理液を介して搬送面（２）にて運ばれる回路板（LP）に伝えられ、その際、上記パルスは、パルス発生手段（５０）にて電気機械的に及び／又は圧縮空気の推進力で発生し、そして少なくとも一つの伝達手段（５６）を介して処理液に、そして処理液から回路板（LP）に伝えられることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
スルーホール及び／又は凹みを有する回路板を処理する方法において、
ａ．回転可能な搬送手段（１３，１４）を用いて上記回路板（LP）を、水平搬送経路上を搬送面（２）内にて運ぶステップと、
ｂ．上記回路板（LP）を処理液と接触するステップと、
ｃ．その際、機械的、電気的若しくは空気圧的な作用によって機械的パルスを発生する手段（２１，３１，４０，５０）を用いて、機械的パルスを、上記回転可能な搬送手段（１３，１４）を介して及び／又は上記処理液を介して、上記回路板（LP）の表面に伝えるステップとを有する、
方法。
【請求項１２】
パルス発生手段（２１，３１，４０，５０）により、パルスが回路板表面に対し垂直に作用するパルス成分を有して発生させられることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
回転する搬送手段（１３，１４）が用いられ、上記パルスが搬送手段（１３，１４）の回転により発生及び／又は制御されることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
上記回路板（LP）が実質的に水平な搬送面（２）内で搬送されることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
ａ．搬送手段として，少なくとも部分的に、実質的に円筒形の内壁を有するそれぞれ一つの実質的に円筒形の空洞（２０）を備えた搬送ローラー（１４）が使用され、
ｂ．パルス発生手段としてそれぞれ少なくとも一つの本体（２１）が、上記空洞（２０）内で搬送ローラー（１４）の回転に際し内壁に沿って回転し、
ｃ．その際、内壁で軸線方向に延びる突出部（２２）を飛び越え、
ｄ．その結果、少なくとも一つの本体（２１）の落下及び搬送ローラー・内壁への衝突の際に、パルスが搬送ローラー（１４）に、さらに搬送ローラー（１４）から回路板（LP）に伝えられることを特徴とする請求項１１〜１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
上記本体（２１）が実質的に円筒形に形成されていることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
ａ．上記搬送手段（１３，１４）が、それぞれ少なくとも一つのホイール（３０）と少なくとも部分的に接続され、上記ホイール（３０）とともに共通の軸で回転可能に支承され、
ｂ．その際、少なくとも一つのホイール（３０）は周囲にそれぞれ少なくとも一つの突出部（３６）を具備しており、
ｃ．パルス発生手段としてそれぞれ一つの弾力のあるノッカー又は弾力的に収容されたノッカー（３１）が、少なくとも一つのホイール（３０）の周囲に接し、少なくとも一つのホイール（３０）の回転の際に少なくとも一つの突出部（３６）を越えて滑り、
ｄ．突出部（３６）を乗り越えた際にノッカー（３１）によって機械的なパルスが、少なくとも一つのホイール（３０）に、それ故に少なくとも一つのホイール（３０）と接続された搬送手段（１３，１４）に、さらにその搬送手段（１３，１４）から回路板（LP）に伝えられる
ことを特徴とする請求項１１〜１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
ａ．搬送手段（１３，１４）が少なくとも部分的にそれぞれ一つの磁石コア（２３）を装備していて、
ｂ．それぞれ少なくとも一つの電磁石（４０）がパルス発生手段として、磁石コア（２３）を装備した搬送手段（１３，１４）に割り当てられ、それにより少なくとも一つの電磁石（４０）にパルス状の電流を供給して、磁石コア（２３）を装備した搬送手段（１３，１４）に力が及ぼされて、搬送手段（１３，１４）を介して機械的パルスが回路板（LP）で生じること
を特徴とする請求項１１〜１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
ａ．回路板（LP）に向けられた別の力が、上記搬送手段（１３，１４）に影響を与えること、
ｂ．搬送手段（１３，１４）が、少なくとも一つの電磁石（４０）により作用される力で回路板（LP）から持ち上げられ、少なくとも一つの電磁石（４０）を遮断する際にこの別の力によって再び回路板（LP）に戻ること、及び
ｃ．このようにして機械的なパルスが回路板（LP）に伝えられること
を特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
重力及び／又は弾力及び／又は磁力が上記回路板（LP）に作用することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
ａ．パルス発生手段（５０）が処理液中にて搬送面（２）に配置され、
ｂ．パルスが上記パルス発生手段（５０）から処理液を介して、搬送面（２）内を運ばれる回路板（LP）に伝えられ、
ｃ．その際、上記パルスは、パルス発生手段（５０）で電気機械的に及び／又は圧縮空気の推進力で発生させられ、少なくとも一つの伝達手段（５６）を介して処理液に、そして処理液から回路板（LP）に伝えられる
ことを特徴とする請求項１１〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
回路板としてのプリント配線板（LP）のスルーホール及び／又は凹みの湿潤を促進するため、それらからの気泡の除去のため及び／又はそれらでの物質交換の向上のため、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の装置を利用する方法。
【請求項２３】
回路板としてのプリント配線板（LP）のスルーホール及び／又は凹みの湿潤を促進するため、それらからの気泡の除去のため及び／又はそれらでの物質交換の向上するため、請求項１１〜２１のいずれか一項に記載の方法を使用する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スルーホール及び／又は凹みを有する回路担体（回路板）を処理するための方法並びに装置に関する。上記方法並びに装置は、特にプリント配線板内のスルーボア及び／又はポケットホール（盲孔）の濡れを促進するため、それらからの気泡の除去のため及び／又はそれらでの物質交換を増加するため使用可能である。
【０００２】
【従来の技術】
プリント配線板、プリント配線箔及び他の回路板、例えばチップ担体及びマルチチップモジュールを製造するのに、これらの配線板、箔及び担体の外面上にコンダクタトラック（回路部分）を作るため並びに複数の導体面（回路面）を電気的に接続する導体性皮膜を孔壁に形成するために、電気めっき方法が使用される。その際、とりわけ前処理方法、後処理方法並びに金属化方法が使用される。前処理方法には、なかでも洗浄（クリーニング）法、エッチング法及び活性化法が含まれ、また後処理方法には、エッチング法、不動態化法及び保護皮膜を作るための他の方法が含まれる。金属化法として、特に電気分解法、化学還元（無電解）及びセメンテーション法（結合法）が用いられる。
【０００３】
回路板内の実装密度が高くなると、孔（ボア）は常に小さい直径が求められる。処理流体（以下、処理液ともいう）は、この種の狭い孔内にもはや簡単には浸入することができない。また乾燥時での最終的な流体除去ももはや簡単にはできない。孔の直径が小さくまた同時に板（担体）が非常に厚いと、処理浴と孔内部との間の物質交換は、極めてわずかとなる。板厚の孔径に対する比率（アスペクト比）は、物質交換に対する目安である。板を貫通する孔では上記孔がアスペクト比６：１及びそれ以上であると、物質交換を促進するための追加的な措置をとらないと、電気めっき処理において問題が生じる可能性がある。特に片面からのみ板材料内に達する所謂ポケットホールは、処理流体を用いて処理することが困難である。１：１のアスペクト比は、部分的に非常に小さいこれらの孔（直径例えば１００μm）では、すでに深刻な問題を引き起こす可能性がある。
【０００４】
これらの困難さを取り除くため、すでに多くの提案がなされていている。例えば少なくともスルーホールの貫流を達成するために、浸漬浴で処理されるプリント配線板が配線板表面に対して垂直にゆっくりと行ったり来たり動かされる。補足的にまた部分的に処理浴に空気を導入し、それにより上記浴内に強い対流を作る。もっともこれらの措置は、直径０．５mm乃至それ以下の非常に小さな孔を効果的に貫流するには、十分でないことはすぐに判明した。
【０００５】
上記問題を除去するため、DE 30 11 061 A1では、プリント配線板の孔のためのすすぎ-及び洗浄プロセスを強化する方法が記載されている。このためにプリント配線板は、水平搬送経路上で且つ水平作動状態（稼動位置）で処理装置を通って運ばれ、その際に所謂すすぎ剤サージ（フラッシング剤でのはねかけ処理）ラインを通って案内され、そこから液状すすぎ剤がスリット管を通ってプリント配線板の下側に送られる。それで上記すすぎ剤はまた下向きに開いている孔内へも達する。それによりラッカー及び液状エッチング剤をプリント配線板内の孔や他の開口から効果的に洗い流すことができる。
【０００６】
水平に案内されるプリント配線板内の穿孔（ボアホール）を洗浄、活性化（アクチベーション）及び／又は金属化（金属被覆）するための類似の装置配置が、EP 0 212 253 B1に提示されている。この場合でも水平作動状態で案内されるプリント配線板は、搬送バンドの下方で及び搬送方向に垂直に配置されたノズルを備えた装置に沿って通り過ぎる。ノズルとして、液状の処理剤が配線板の向けて垂直に送られるスプラッシュノズル（はねかけノズル）が使用される。
【０００７】
EP 0 329 807 B1によれば、更なる改良は、スプラッシュノズルに加えて、水平方向で又水平作動状態で案内される配線板の一方の表面に（沿って）配置された吸引器具が、スプラッシュノズルの反対側の配線板の面上に設けられる点である。その際、補足的な利点として、洗い流される夾雑物がプリント配線板表面上に沈積しないように顧慮される。
【０００８】
DE 40 40 119 C2では、水平な作動状態及び搬送方向で運ばれるプリント配線板の孔を貫流する方法が提示されている。処理流体の搬送のためローラーが設けられ、それらは互いに対峙してプリント配線板のいずれかの面に接している。作動中、処理流体（処理液）は空洞を介して一方のローラー（ノズルシリンダ）に供給され、ノズルシリンダと配線板との間に接触して開かれているその流出口と通って噴出し、配線板の孔を通過し、そして同様に中空の逆圧ローラーに流入口を通って達する。ノズルシリンダの噴出口には、弁（バルブ）が設けられ、それらは流体透過性ケースとしっかり結合されている。上記弁は弁座から持ち上げられると、流体は開放された環状スリットを通って流出し、それから孔に達する。
【０００９】
EP 0 752 807 A1では、プリント配線板を処理するための別の装置が記述されている。プリント配線板は水平な作動状態及び搬送方向において、それぞれスリット管及び当該管内に配置された搬送ローラーからなる装置を通り過ぎる。管のスリットは搬送面に開いている。搬送ローラーは、プリント配線板を伴うために、スリットから一部突き出ている。スリットの境界部とローラーとの間に細い隙間が設けられ、そこから管の中に圧力で運ばれた処理流体が噴出し、プリント配線板へ、また配線板の孔にくまなく達することができる。
【００１０】
孔での物質交換を強化するための別の可能性として、振動装置を用いて孔内での流体の貫流を改良達成する方法がある。
EP 0 586 770 A1では、このためにめっき技術で困難な処理されるべきホールを有した個所を固定するための支持枠が記述され、それでは少なくとも一つの振動器が、被処理物を固定するための支持レールに、タンク縁に支持レールを支える個所から間隔を置いて取り付けられる。この場合、ホール内の必要な流体循環は、振動器で支持枠上に及びそれと共にそれに固定された個所に伝えられる振動によって生じる。
【００１１】
EP 0 446 552 A1に類似の装置が記述され、それはプリント配線板の無電解銅めっきに供されるべきものである。この装置には、無電解析出浴を収容するタンク、析出浴内に浸漬されるプリント配線板を固定する支持枠及びプリント配線板内に振動の揺れを作るための振動器がある。振動器は、プリント配線板が積み重ねられ収められるバスケットを保持する支持棒に固定されている。
【００１２】
プリント配線板の孔から不純物（孔くず）を除去するための装置が、Patent Abstracts of Japan JP-A-1258488（特開平1-258488要約）に開示されていて、それではプリント配線板は水平方向及び水平作動状態において処理流体を通って案内され、そこでプリント配線板の搬送面に近隣して超音波領域における振動の揺れが処理流体に伝えられる結果、超音波発生器の傍らを通り過ぎるプリント配線板はこれら揺れにさらされることになる。
【００１３】
水平方向及び水平作動状態で案内されるプリント配線板において、振動の揺れを発生するための装置配置が、WO 96/21341 A1及びDE 43 22 378 A1において記述されている。この場合、プリント配線板は、カウンターバランス振動器で好適には約１Hzより高い周波数で上記配線板に発生する振動の揺れ並びに前方への滑動運動によって成るコンビネーション運動で移動させられる。振動の揺れ運動は、好適には円形又は円形に近い形状で、それで円の面をプリント配線板に又はそれに対して垂直に配することができる。上記運動は直線的である可能性もある。それらは好適にはサインカーブに従う。プリント配線板をこのようなコンビネーション運動で動かすこと、その際に例えばめっき電流を伝えることは、極めて費用がかかる。
【００１４】
WO 92/01088 A1には、電気めっきの際、孔を有するプリント配線板を振動する方法並びに装置が開示されている。この場合、プリント配線板は、支持ラックに固定され、そして垂直状態でめっき液中に浸漬される。上記で記載された方法は、好適には、少なくとも８：１のアスペクト比である孔を有したプリント配線板において用いられる。孔内の残渣を除去するために、配線板は少なくとも４〜５Hzの周波数で揺り動かされ、その際プリント配線板に生じる揺れは少なくとも部分的に孔の長軸の方向に及び、その際、揺れ動きはプリント配線板の支持ラック上のみ又は少なくとも主に支持ラックに起こる。揺れ発生器は、プリント配線板のための搬送及び／又は支え部分に取り付けられている。上記文献には、上記方法及び装置を用いると化学的乃至電気化学的プロセスにおいて生じる気泡も孔から除去され得るということが指摘される。さらに揺れの間、気泡をなくしやすくするため、プリント配線板に打撃あるいは打撃のような衝撃を加えることも提案されている。
【００１５】
DE 90 11675 U1では、プリント配線板の表面処理及び電気めっきのための装置が記述されている。プリント配線板は、電気めっき処理のため処理液体中に垂直状態で浸漬される。このために配線板は支持ラックに固定され、その枠は処理液体中にプリント配線板とともにゆっくり前後に動かされる。処理液体との最初の接触で、特に大きいアスペクト比を有した孔から除去することが難しい気泡が、孔中に残留することが指摘される。ハンマー又はノッカーを用い手で叩くことによって配線板を振動する周知の方法は、高価でまた孔壁における境界皮膜（バリアー層）での物質交換の継続的改善に及ぼす影響がほんの僅かであると言われている。その上、気泡が存在する可能性のある直径０．３mmの３０，０００個までの孔を有する多層回路における成果は、不確かである。これらの問題を解決するために、上記文献では、プリント配線板とこれを固定している支持ラックの緩やかな運動に、処理流体とその中にある材料との間の比較的速い相対運動を重ねることが提案されている。速い相対運動の周波数は、超低周波音領域又は音領域にある。揺れ運動を生じるために、機械的な振動装置として機械的振動子（オシレーター）又は揺れ装置（ヴァイブレーター）が使われる。
【００１６】
しかしながら公知の方法及び装置は、非常に微細な孔、特にポケットホールからとりわけ気泡を、水平搬送設備でも確実に追い出すのに適さず、費用（労力）がかかりすぎ複雑過ぎる。その上、公知の方法及び装置を用いてポケットホールで物質交換することに対し満足な解決が今までなされていない。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
それゆえ、本発明の基礎をなす課題は、公知の方法並びに装置の欠点を回避し、また回路板内にあり、特に非常に大きなアスペクト比、例えば１５：１かそれ以上を有する回路担体におけるスルーホール（貫通孔）から及び非常に小さな直径、例えば０．２mm以下で相当大きなアスペクト比、例えば少なくとも０．８：１を有するポケットホールから、気泡を確実に除去することのできる装置並びに方法を見出すことにある。さらに上記方法は簡単に実行され、また装置が相当な設備費もかからずに実現可能であるはずである。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
この課題は、請求項１に係る装置、請求項１１に係る方法、請求項２２に係る装置の利用法並びに請求項２３に係る方法の使用法により解決される。本発明の好ましい実施の形態は従属請求項に記載されている。
【００１９】
本発明に係る装置は、スルーホール及び／又は凹みを有する回路板（回路担体）を処理するのに供される。特に上記装置は、プリント配線板のスルーホール及び／又は凹みに当たるポケットホールの湿潤性を促進するため、それらからの気泡を除去するため及び／又はそれらでの物質交換を高めるために適し、その際とりわけアスペクト比１５：１かそれ以上を有するスルーホール、またアスペクト比０．８：１かそれ以上を有するポケットホールを確実に処理することができる。特に本発明に係る装置並びに方法は、プリント配線板を製造するための電気めっき技術の方法ステップにおいて、例えば洗浄、前処理及び金属化（金属めっき）並びに他の方法様式において使用することができる。本発明は、回路板の孔の最初の湿潤時の気泡除去に、洗浄時に孔からの不純物除去の際に、及び新しい処理流体を被処理表面に搬送するため（例えば金属化の際）孔内の物質交換をする際に、好適に使用される。
【００２０】
本発明に係る装置は、処理流体を回路板と接触するための設備で、例えばサージノズル、スプラッシュノズル、インジェクションノズル及びスプレーノズルのようなノズルを有している。上記装置はまた、被処理回路板が処理流体のせき止められた浴の中を通り過ぎるようにも構成されてもよい。この場合、処理流体を回路板と接触するための装置には、例えば回路板が案内される空間への流体用供給管、並びに押圧ローラー（プレスローラー）及び／又は容器壁のようなせき止め手段が含まれる。
【００２１】
その上、本発明に係る装置には、回路板のための搬送手段及び場合によっては別の固定手段が存在し、それらを用いて回路板は水平搬送経路上を搬送面において運ばれることが可能である。搬送手段は、さらに回路板のための保持・案内手段としても形成されることができ、並びに電流供給に供される。保持・搬送・案内手段として、側面をつかんでいるクランプ又はグリッパー、ローラー、ホイール及びシリンダのような回転手段、並びに例えばクランプの形をした牽引又は押し装置が用いられる。
【００２２】
さらにパルス発生手段が設けられ、それにより回路板が直接搬送手段及び／又は処理流体を介して機械的に衝撃状（脈動するよう乃至パルス状）に刺激される。脈動刺激は、例えばサイン（正弦曲線）状の揺れと異なり、回路板での唐突な動きの変化を引き起こすような揺れの形であると理解される。例えばそれらは、打撃乃至突きの刺激又は叩き刺激と理解される。また絶えず繰り返される刺激は、脈動刺激と見なされ、例えば実質的に矩形又はさらに鋸歯形を有する揺れで、つまり揺れが上述の意味において回路板で唐突な動きの変化を引き起こす場合に、高周波数のハーモニックな揺れの大部分を占めるような揺れである。脈動刺激の繰り返し率は、超低周波音域（可聴下音域）又は可聴音域内にあり得る。パルスの幅は、本発明に係るやり方において、できるだけ効果的な気泡除去及びできるだけ効果的な物質交換が可能であるように選択されるべきである。典型的には少なくとも５０msecのパルス幅を有する打撃乃至矩形パルスが用いられる。
【００２３】
上記パルス発生手段は、それゆえ例えばシェーカーやバイブレーターのように単に振動を回路板で発生するような手段とは理解されない。処理流体と接触する高周波音源を用いても、本発明に係るパルス発生手段とは見なさない。その理由は、これらが同様にサイン様の揺れを生じるからで、またこれらの音源により生じる高周波の揺れは、この目的のためには大きすぎるため、回路板を刺激することができないからである。
【００２４】
実際、打撃、突き又は叩きによる刺激だけが本発明に係る効果を引き出すのに適することが、明らかになった。
とりわけ、プリント配線板のスルーホール及び／又はポケットホールの湿潤性を促進するため、それらからの気泡の除去のため及び／又はそれらでの物質交換の向上のために、回路板は搬送手段の助けにより水平搬送経路上及び搬送面内において運ばれ、その際に処理流体と接触する。パルス発生手段によって機械的パルスが直接、搬送手段及び／又は処理流体を介して回路板に伝えられる。本発明に係る装置は、すでに現存する処理設備において単純な部品の増備（追加装備）によっても、比較的単純な手段により及び低コストで実現化可能である。回路板表面を処理流体で確実に湿潤するために、本発明に係る装置を回路板の処理域内の流入口にのみ取り付けるだけでしばしば十分である。
【００２５】
パルス発生手段は、特にパルスが回路板表面に対し垂直に作用するパルス成分で発生されるように配置され及び構成されることができる。この場合、実質的に回路板表面に垂直に作用するパルスが発生される。場合によっては、パルスはつまりまた水平なパルス成分を有する場合もある。回路板表面に垂直に作用するパルス成分を有するパルスは特に好適で、それはこの場合、回路板の刺激が、実質的に回路板表面に平行に作用するパルスの使用の場合より、より十分効果的だからである。そしてそれは、回路板内にパルスを効果的に取り込むため、回路板表面でパルス発生手段の十分な大きさの牽引がもたらされなければならないからである。その上、孔の軸が、一般的に同様に回路板表面に垂直の位置にあり、その結果、実質的に表面に垂直に作用するパルスはまた、実質的に表面に平行に作用するパルスよりまた効果的に物質交換又は気泡の除去に寄与することができる。実質的に垂直に作用するパルスは簡単に、表面上に置かれたパルス発生手段により取り込まれることができる。垂直に作用するパルスは、回路板に対し下からも上からも及ぼされることができる。
【００２６】
回路板が実質的に水平搬送経路上を運ばれる場合、小さなスルーホール及びポケットホールのとりわけ効果的な処理が達成される。それにより回路板は、わずかな間隔でノズルのそばを通り過ぎるため、処理流体は激しい流れで回路板表面に及び孔内に運ばれることができる。特に表面全領域に対する流れの不変な状況は、表面からのノズル開口部の間隔が一定に維持され得ることによって達成される。実践的なテストでは、公知の方法がこの場合に役に立たなかったのに対し、本発明に係る装置及び方法を使って、極めてわずかな厚みのプリント配線箔も処理することができることが判明した。
【００２７】
好適には回転する搬送手段が用いられる。この場合、パルス発生手段は、上記パルスが搬送手段の回転により発生可能及び／又は制御可能であるように、配置され構成されることができる。パルスが回転によって発生され及び／又は制御される好適な実施の形態は、以下に例示的に示される。
【００２８】
本発明の第一の好適な実施の形態では、搬送手段として少なくとも部分的に搬送ローラーが用いられる。これら搬送ローラー又は少なくともこれらローラーの幾つかには、それぞれ実質的に円筒形の空洞がある。上記空洞の実質的に円筒形の内壁にそれぞれ少なくとも一つの突出部が軸方向に延び、それは場合によっては中断させられることができる。その上、空洞内にはパルス発生手段としてそれぞれ少なくとも一つの本体（主要部分）が含まれ、それは搬送ローラーの回転に際し内壁に沿って回転し、上記突出部により伴われ、さらに回転すると突出部を飛び越え、突出部から下に落ち、さらに下に向かって搬送ローラーの内壁に当たる。それにより（生じた）パルスは、搬送ローラーに、さらに搬送ローラーから回路板に伝えられる。空洞内には、またそれぞれ軸方向に延びる複数の突出部が設けられることができ、その際これらの突出部は、規則的又は不規則的な間隔で内壁周りに沿って互いに間を置かれている。この種の搬送手段は、以下ではノック式ローラーと呼ぶ。
【００２９】
軸の方向に延びる突出部として、例えば連続つまずき材(Stolperleisten, stumble strips)であるが、しかしまた不連続つまずき材もあり、並びに軸方向に延びる線上に配置され、個々のこぶ状の突起からなる突出部も考えられる。空洞内に突き出る突出部の高さは、空洞内に固定されていない本体が、搬送ローラーが回転している際に搬送ローラーの回転で、例えば約９０°での回転で、少なくとも部分的に伴われるように、測って決められている。その際、本体の大きさは、突出部の高さと直接関係する：より小さい本体が用いられると、突出部もより小さくなり、また逆に本体が大きければ突出部も大きい。本体の大きさ及びそれに見合った少なくとも一つの突出部の大きさは、本体が、突出部を越えて、また次いでローラー内壁の下部に当たった時に顕著なパルスがローラー上に生じ、回路板上に伝えられるほどの大きさでなければならない。
【００３０】
上記本体は、好適には実質的に円筒形の形状をなし、ローラー内壁に当たった時にできるだけ強力なパルスを生じるために、できるだけ重い重量を有し、その際に落下経路も考慮されるべきである：落下経路がより長く及び／又は重量がより大きいと、落下経路がより短く及び／又は重量がより小さい場合よりより大きなパルスを生じる。例えば本体は、空洞と実質的に同じ長さであるスチール棒であってもよい。それによって、空洞内での本体の大きな軸方向の遊びが回避される。とりわけパルスがより強力に発生されればされるほど、搬送ローラーの直径は大きくなる。それはこの場合、落下経路が本体に対してより長いからである。
【００３１】
代替の実施の形態では、搬送ローラーの空洞は円筒形ではない。もっと正確に言うと上記空洞には、実質的に軸方向に延びる内部の稜を有する。空洞の断面は、この場合好ましくは正方形である。パルス発生手段として空洞内にある本体は、搬送ローラーが回転して動き出すと、空洞の側面に沿って回転する。その際、本体は、空洞の内部の稜から次の稜に落ちるため、パルスは本体からローラーに、またローラーから回路板に伝えられる。
【００３２】
回路板は好適には水平搬送面において処理設備を通って案内される。叩きローラー（ノック式ローラー）は、搬送面の上方側又は下方側、又は両側に、例えば搬送面の上方側及び下方側に交互に配置されてもよい。ノック式ローラーによって生じるパルスは、回路板に繰り返し伝えられ、その際、パルスの周波数は、ローラーの回転速度に依存し、及びそれでその直径及び回路板の送り速度に依存する。
【００３３】
代わりにパルスはまたハンマーのような装置によって回路板に伝えられてもよい。例えばハンマーは搬送面の上側又は下側に配置され、回路板が通過する際にその表面を叩く。上記ハンマーは搬送手段の回転によって駆動乃至制御されることができる。
【００３４】
本発明に係る別の実施の形態では、搬送手段が、それぞれ少なくとも一つの突出部を周囲に備えているそれぞれ少なくとも一つのホイールと少なくとも部分的につながれ、また上記少なくとも一つのホイールとともに共通の軸で回転可能に支承され、並びにパルス発生手段としてそれぞれ弾力のある又は弾力的に支承されたノッカーが少なくとも一つのホイールの周囲に接して配置されるので、ノッカーが突出部上を滑動する際に機械的なパルスが、少なくとも一つのホイールとそれ故に少なくとも一つのホイールと好適には固定接合された搬送手段に、さらにその搬送手段から回路板に伝えられる。
【００３５】
例えば一つのホイール又は複数のホイールは一つの搬送ローラーとともに又は複数のローラー（ころ）乃至ホイールとともに一つの共通軸に固定され得、上記一つのホイール又は複数のホイールは、上記搬送ローラー、上記複数のローラー又はホイールにより連れ回りされる。
【００３６】
上記ホイールは、例えば一つの突出部又は間隔を置かれた複数の突出部を周囲に有する。複数の突出部が設けられる場合には、これらはホイールの周囲に互いに規則的又は不規則的間隔で配置されることができる。特に好適な実施の形態ではホイールは爪車（ラチェット）のような形状をなし、つまりホイールにはノコギリ歯のような周囲を有する。
【００３７】
上記一つのホイール又は複数のホイールの周囲に接するノッカーは、例えばばねによって予圧され周囲に向かって押されたレバーとして構成される。別の実施の形態ではノッカーはまた、例えば機械的なばねによって又は空気作用手段を用いて周囲上に実質的に接線方向（正接に）又はさらに放射方向（ラジアル）に弾力的に押されるピンとしても構成される。
【００３８】
搬送ローラー、ホイール又はローラーの回転によって、突出部を有するホイールは同様に回転し、その結果、ノッカーは少なくとも一つの突出部上を滑動し、少なくとも一つの突出部を滑り落ちるとその度に弾力（ばねの力）により強くホイール周囲に向かって打ちつけられ、その結果、機械的なパルスが、上記ホイール及び上記ホイールと接続した搬送ローラー乃至複数のホイールやローラーに、またこれらから同様に回路板に伝えられる。弾力（ばねの力）及びノッカーの大きさは、ノッカーがホイールの周囲に対して打ちつけられる際に十分な強い機械的パルスが発生するように算定される必要がある。
【００３９】
この実施の形態のパルス発生手段は、水平方向に向けられた搬送面でもまた垂直方向に向けられた搬送面でも使用可能であり、また回路板を水平搬送面に案内する場合には搬送面の上方でもまた下方でも配置することができる。特に繰り返しパルスが回路板に及ぼされる。パルスの周波数は、搬送手段の回転速度次第であり、それで搬送手段の直径にも回路板の送り速度にも依存する。
【００４０】
別の本発明に係る実施の形態では、搬送手段が少なくとも部分的にそれぞれ一つの磁石コアを備えている。搬送手段として好適には搬送ローラーが考慮の対象となる。それぞれ少なくとも一つの電磁石が、パルス発生手段として磁石コアを備えた搬送手段に割り当てられ、それにより上記電磁石にパルス状に電流を供給することで、力が磁石コアを備えた搬送手段に及ぼされ、それで搬送手段を介して打撃的な機械パルスが回路板で発生されることになる。
【００４１】
例えば磁石コアは、強磁性材料、例えば鋼鉄から成っていてもよく、そのため電流を電磁石に供給すると、電磁石と強磁性コアとの間に引き合う力が働いて、搬送手段は回路板から離れる（持ち上げられる）ことになる。
【００４２】
搬送手段は、また磁化材料（永久磁石）を備えることができる。搬送手段が回転することによって永久磁石も回転して動く。搬送手段内の永久磁石が、上記磁石の極が放射状に方向付けられているとすると、時々磁石の一方の極が、又時々他方の極が電磁石の方を指し示す。電磁石の磁場の方向が経時的に変わらないとすると、永久磁石の回転位置に応じて反発作用又は引き付け作用を搬送手段に及ぼすことができる。電磁石の磁場の一連のパルスをシンクロナイズすることによって、搬送手段はそれで電磁石によりパルス状に引き付けられたり、あるいはそれにより反発したりする。さらに引き合ったり、反発したりする交互作用は、電磁石にパルス電流を適切に供給することにより達成される。この実施の形態は、これによって方向を交互に変えられた機械的なパルスが回路板に及ぼされ、その結果、小さな孔に存在する気泡が簡単に除去されることができるので、非常に優れている。他方で、搬送手段に反発する作用が起こる場合に、パルス電流が、例えば絶えず電磁石に供給されることによって、機械的な衝撃パルスだけが搬送手段に、及びそれで回路板に伝えられることができる。
【００４３】
好適にはまた回路板に向けられる別の（付加的な）力も、例えば重力及び／又は（ばねの）弾力及び／又は磁力も、搬送手段に影響を与えることができる。この場合、搬送手段にある永久磁石の利用の際に搬送手段の回転と電流パルスとのシンクロナイズにより又は強磁性コアの利用により、この別の（付加的な）力に対し作用する力が上記搬送手段に及ぼすことが可能で、その結果、搬送手段が回路板から持ち上げられる。電磁石のスイッチを切ると、搬送手段はこの別の（付加的な）力によって再び回路板に戻され、その結果、このようにして搬送手段が回路板表面に当たる際に機械的なパルスが回路板に伝えられる。当然のことながら上記別の力は電磁石により及ぼされる力より小さいことが前提である。別の力として重力だけが用いられるとすると、搬送手段、例えば搬送ローラーは、水平に延びた搬送面の上方に配置され得る。繰り返しパルスが回路板に加えられるであろう場合には、パルスの周波数は、搬送手段が電磁石により持ち上げられた後、回路板に逆戻りする時間次第である。
【００４４】
搬送手段で永久磁石が使用されると、この別の実施の形態によるパルス発生手段は、水平に向けられた搬送面でも垂直に向けられた搬送面でも使用でき、回路板が水平搬送面で案内される場合、それは搬送面の上方にも下方にも配置されることができる。上記パルスは、反復して使用され、その際パルス周波数は実施のバリエーションに依存する：搬送手段の回転により反復率が制御されるバリエーションが選択されると、パルスの周波数は直径及び回路板の送り速度及びそれゆえに搬送手段の回転頻度に依存する。他の場合では任意のパルス周波数が使われることができ、その際ただし全システムの質量の慣性(Massentraegheit，inertia of masses)により上限が与えられている。
【００４５】
本発明に係るもう一つの別の実施形態では、処理流体中において搬送面に位置したパルス発生手段が設けられ、それを用いてパルスが処理流体を介して、搬送面内で運ばれる回路板上に伝えられる。上記パルスは、パルス発生手段内で好適には電気機械的に及び／又は圧縮空気の駆動で発生され、そして少なくとも一つの伝達手段、例えば膜又は振動子を介して処理流体に、そして処理流体から回路板に伝えられる。このために例えば超低周波音波又は音波を生じるパルス発生手段が用いられ、その際パルス形状は上のように与えられている。パルス状の波を処理流体に送る伝達手段は、機械的パルスが特に効果的に回路板に伝えられるようにするために、回路板のための搬送面に対してできるだけ近くに配列される。好適にはパルス発生装置は、伝達手段が搬送面に平行になるように配置される。
【００４６】
この実施の形態のパルス発生手段で、同様にパルスを連続的に発生させることができる。パルス周波数は、このシステムの質量慣性に合わせて自由に調節可能である。好適には周波数は超低周波音領域に調節される。超音波源は、（前に示したように）回路板をパルス状に刺激するには適さない。
【００４７】
処理流体を回路板の表面に向かって急激に運ぶノズルにおいてパルスを発生するというまた別の可能性もある。この場合では、上記流体はパルス状に回路板に運ばれ、そのためパルスは上記表面に影響を及ぼすことになる。
【００４８】
上記流体が極めて微細なノズル開口部を通って回路板表面に向かって運ばれる所謂フラットスプレーノズル（スロットノズル、ファンノズル）は、例えば圧縮空気で作動する断続ノッカーと結合され、その結果、パルスはノズル本体内に取り込まれる。パルスを発生するための別の方法も用いられ得る。例えば流体の流れ全体が又はその一部が、絶えず急激に中断され、その結果、中断中に供給領域において流体が高圧になり、流体の供給が再開されると急激に減圧し、その結果、流体はノズルから断続的突発的に吹き出る。ノズル本体におけるパルスは、ノズルから吹き出る処理流体に伝えられ、その結果、パルス状の流体噴射となり、それが表面に運ばれる。ノズル本体へのパルス伝達は、その上極めて微細なノズルの開口部の詰まりを防ぐ。
【００４９】
本発明に係る上記に挙げた実施の形態は、（そこで記述したように）単独で実施される。しかし一方で複数のパルス発生手段を互いに横に並べて一つの処理設備内で作動させるため、また他方でパルス発生のため別の組み合わせ解決を実現するため、それぞれの実施の形態を組み合わせて用いることも可能である。例えばパルスが、爪車状のパルス発生手段によっても間接的に処理流体を介して被処理物に伝えられてもよい。あるいは電磁石によって発生したパルスは、電磁石の力が作用するローラーが、パルス発生のため金属棒が空洞中に存在するノック式ローラー（叩きローラー）として形状されていることにより、補助的により強められる。
【００５０】
【発明の実施の形態】
本発明に係る装置並びに方法を、図を参照して以下に詳細に説明する。
図１には、プリント配線板LP（PCB）を水平搬送面２にて搬送方向３に導く処理室１を備えた処理装置の側面図が示されている。上記処理室１は、入口壁４及び出口壁５、側壁６、室の床７及び蓋８から成立している。処理流体（処理液）は、好適には処理室１の下方にある不図示の容器内にある。上記処理液は、管路９を通ってノズル１０に運ばれる。当該ノズル１０は、スプラッシュノズルとして構成されている。このためにこれらノズルは、例えば搬送面２に向けられたスリットを有したノズル室（ジェット室）を備えている。上記ノズル１０から噴出する処理液は、プリント配線板LPのホール内まで、また場合によってはこれらを通り抜けて運ばれる。上記液は、プリント配線板LPと接触した後、再び液容器へ不図示の開口部を通って流れ込む。
【００５１】
プリント配線板LPは、上記搬送方向３において入口壁４にある入口スリット１１を通って上記処理室１へ運ばれる。それら配線板は、上記処理室１を通り抜けて、出口壁５にある出口スリット１２を通って上記処理室１から再び外に運び出される。
【００５２】
上記処理室１内部には、搬送ローラー１３及び１４が設けられ、搬送ローラー１３は搬送面２の下方に、及び搬送ローラー１４は上方に配置されている。上記搬送ローラー１３，１４は、上記処理室１内でプリント配線板LPの案内及び搬送に供される。これらローラーは、プリント配線板LP表面の損傷を回避するため及び上記ローラー１３，１４とプリント配線板LPとの間でできるだけ大きな牽引能を達成するために、外側に少なくとも部分的に弾性材料からなっている。
【００５３】
搬送面２の上方及び下方に配置された搬送ローラー１３及び１４には、本発明に係るパルス発生手段２１，３１（図２〜７）が具備可能である。さらにまたパルス発生手段４０も設けられ得る（図８）。特別な実施の形態においても搬送面２の上方及び／又は下方に配置されたパルス発生手段５０が搬送ローラー１４の間に設けられることができる（図９〜１２）。場合によっては、このために、パルス発生手段５０に生じた機械的パルスを液を介してプリント配線板LPに入れることができるように、搬送面２の上方にも処理液が存在する必要がある。このために処理液の処理室１から液容器内への流出は調整され、処理室１は搬送面２の上方のレベル６０まで満たされる。入口スリット１１に配置されたローラー１３’及び１４’並びに出口スリット１２に配置されたローラー１３”及び１４”は、処理液をとどめるための圧搾ローラーとしても供され、また処理室１からの液の噴出を阻止又は少なくとも妨害する。
【００５４】
図２は、パルス発生手段として、空洞２０及び当該空洞２０内にある金属棒２１を有する搬送ローラー１４の実施の形態を断面で示す。上記空洞２０の内壁にはつまずき材（スタンブル片）２２が取り付けられている。上記金属棒２１は空洞２０内で固定されていない。上記金属棒２１の長さは、空洞２０の軸方向長さより多少短い。それにより金属棒２１が軸方向でほんのわずかな遊びをもつことが保証される。
【００５５】
図３は、空洞２０及び当該空洞２０内にある金属棒２１を有する搬送ローラー１４の別のバリエーション（変形例）を断面で示す。この場合、四ヶ所それぞれ９０°ごとに互いにずらして置かれたつまずき材２２が取り付けられている。この場合でも金属棒２１は空洞内に固定されていない。
【００５６】
図４は、空洞２０及びつまずき材２２を具備した搬送ローラー１３，１４の機能の様を異なる回転段階で示している。この場合、他の状況では金属製でない搬送ローラー１４の内側には補足的に金属シリンダー２３が取り付けられ、それにより搬送ローラー１４に必要な安定性が付与される。上記ローラー１４は、図示の回転方向２４に回転する。
【００５７】
図４のＡでは、つまずき材２２が一番下の地点に位置するローラー１４が図示されている。この状態では、つまずき材２２は金属棒２１を一番低い位置からすでに少し持ち上げている。図４のＢに従いさらに回転すると、つまずき材２２はすでに約３０°ほどさらに回転して、そして金属棒２１は同じくそれによりこの分だけ伴われる。図４のＣでは、ローラー１４がさらに３０°回転している。金属棒２１を伴ったつまずき材２２は、同じくさらに３０°回転する。ローラー１４がさらに回転すると金属棒２１はつまずき材２２を飛び越えて、内壁の最下点に落ちる。その際、機械的なパルスがローラー１４に伝えられ、それから上記パルスは上記ローラー１４と接触しているプリント配線板LPに伝えられる（図１）。引き続きローラー１４が回転すると、金属棒２１はまず空洞２０の内壁に接して（沿って）さらに回転し、つまずき材２２が棒２１を後ろから押すことができる限り、またつまずき棒２２によって伴われる。
【００５８】
図５は、ノック式ローラー１４の別のバリエーションを図示する。この場合、ローラー１４内の空洞２０は、正方形の断面を有している。このため、上記ローラー１４の内側には正方形断面を有する四角形管２３がはめ込まれている。金属棒２１はこの場合、ローラー１４の回転で一つの角（コーナー、内側の縁）２５から次の角に落ち、その結果、この過程でパルスがローラー１４に、そしてそこからプリント配線板LPに及ぼされることになる。
【００５９】
図６は、両方の端面にそれぞれ固定された爪車（ラチェット）３０を有する搬送ローラー１３，１４の平面図を表している。上記爪車３０は、ローラー１３，１４と同じ軸上にあり、またそれらにしっかり結合されている。
【００６０】
爪車３０の周囲に、それぞれノッカー３１がばねの弾力を受けながら接し、それらは軸受内ではずれる（それる）ことが可能なように配置されている。
この配列は詳細に図７Aで端面から見て図示されている。この場合、ローラー１３，１４は爪車３０で覆い隠されている。爪車３０は本体及び上記本体３８から脇へ突き出た歯３６からなっている。レバーとして形成されたノッカー３１は、軸受３２ではずれることが可能なように配置されている。上記軸受３２は、処理室１の取付部３５に固定された個所３４に配置されている。ノッカー３１は、ばね３３を介して爪車３０の周りに押される。
【００６１】
爪車３０は、ローラー１３，１４により方向２４に回転させられる。それによりノッカー３１は、歯３６からばねの力に逆らってはずれる。一つの歯３６を飛び越える場合、ノッカー３１は歯３６の間にある間隙３７に跳ね（急に動き）、そしてその際、パルスを爪車３０に、そしてそれによりローラー１３，１４に及ぼす。ローラー１３，１４に伝えられるパルスは、プリント配線板LPに伝えられる。
【００６２】
ノッカー３１に対する代替バリエーションが、図７Bに図示されている。このノッカー３１は図７Aで示されたものと形状の点で異なっている。
ノッカー３１に対する別のバリエーションが、図７Cに図示されている。このノッカー３１は、図７Aで図示されたものに比べて、ばねの力を伝達するやり方で特徴付けられている。
【００６３】
ノッカー３１に対する別のバリエーションが、図７Dに図示されている。このノッカー３１にはレバーがない代わりに、撃鉄（撃針）として構成され、それはばね３３により予圧されている（力が加えられている）。ばねは処理室１の取付部３５に収められている。
【００６４】
ローラー１３，１４が爪車３０を伴うことによって、本体（外身）３８、歯３６並びに歯間の間隙３７を備えた爪車３０は、方向２４に回転される。撃鉄３１は、ばね３３の力に逆らって歯３６によってはずされ（そらされ）、歯３６を乗り越えた後に間隙３７にその都度打ちあたり、その際、パルスが爪車３０に、それによりローラー１３，1４に、そして最後にそこからプリント配線板LPに伝えられる。
【００６５】
図８は、本発明の別の実施の形態を示す。上部ローラー１４は、ここでは中空ローラー１４内の棒磁石２３の形状をした、強磁性コア（心部）を有して構成されている。空洞２０の内部には軸２６が設けられ、その上でローラー１４が動く。さらに軸２６の上方にストッパー４３がローラー本体１４の外側で配置される。磁極片４５が適切な構成であると、上記ストッパー４３はさらに不要となる。下部ローラー１３の軸２７の下方に、弾性の支え台４２が支承挿入体（インサート）として設けられ、軸受の磨耗を減らす一方で、パルス伝達の際より大きな衝撃振幅を達成する。
【００６６】
上部ローラー１４のすぐ近くに、さらに電磁石４０がパルス発生手段として配置され、それにはコイル４１及び電気リード線４４が備えられている。パルス形の電流を電磁石４０のコイル４１に供給することによって、電磁石４０の磁極片４５に磁場が生じ、その結果、上部ローラー１４内の棒磁石２３は電磁石４０に引かれる。それにより、ローラー１４は持ち上げられる。パルスが終わると、上部ローラー１４は再び元の状態に落ち、それによりパルスが直にローラー１３と１４の間を搬送されているプリント配線板LP（図示せず）に及ぶ。
【００６７】
本発明の別の実施の形態が図９に示される。処理室１内部で、ローラー１３と１４の間でプリント配線板LPが搬送される。処理室１は実質的には適切な措置により処理液で完全に満たされている。上部ローラー１４間には、圧縮空気間欠ノッカー５０が、プリント配線板LPを案内する搬送面２のすぐ近くに配置されている。上記圧縮空気間欠ノッカー５０により機械的なパルス５７がノッカー端面５６を介して処理液によりプリント配線板LPに伝えられる。適切な配置では、圧縮空気間欠ノッカー５０のパルスはまたローラー１３，１４を介してプリント配線板LPに伝えられ得る。
【００６８】
図１０には、一つの処理室１内に二つの圧縮空気間欠ノッカー５０を備えた配置が図示されている。圧縮空気間欠ノッカー５０は、ローラー１３乃至ローラー１４の間にあるプリント配線板LPのための搬送面２の上方もしくは下方に配置されている。圧縮空気間欠ノッカー５０では、パルス状の揺れ（振動）５７が生じ、それは振動子５６を介してプリント配線板LPに伝えられる。搬送面２でのパルスの作用を強化するために、反射手段５８、例えばブリキ（シート金属）が圧縮空気間欠ノッカー５０に対向する搬送面２の側に配置されている。
【００６９】
図１１には、不図示の二つの上部ローラー１４の間に取り付けられた圧縮空気間欠ノッカー５０のための可能な実施形態が図示されている。図１１は搬送方向に対し垂直な設備の断面を示している。プリント配線板LPは、搬送面２にて案内される。圧縮空気間欠ノッカー５０は、調整可能なバルブを備えたピストン５１、圧縮空気供給管５２及び圧縮空気排出管５３からなっている。調整可能なバルブを備えたピストン５１は、伝達手段として振動子５６に固定されている。圧縮空気間欠ノッカー５０は、搬送面２に対しすぐ近くに配置され、また装置５４にばね５５によって吊るされている。
【００７０】
処理液のレベル６０は、搬送面２及び振動子５６の上方にあるため、プリント配線板LP及び圧縮空気間欠ノッカー５０の振動子５６は、完全に処理液体中に浸漬している。
【００７１】
バルブを介してピストン内に流入する圧縮空気は、好適には重いピストンを矢印方向５７に下方へ加速し、振動子５６にぶつかって機械的なパルス５７が振動子５６に発生し、そのパルスが処理液を介して搬送面２内にあるプリント配線板LPに伝えられる。
【００７２】
図１２には、本発明の別の実施の形態が図示されている：搬送面２で処理室１を通って案内されるプリント配線板LPは、ノズル開口７２を備えたノズル室７１を有し搬送ローラー１３，１４間にあるフラットスプレーノズル（ファンノズル）を通り過ぎる。圧縮空気間欠ノッカー５０は、パルス５７をノズル７０に伝える振動子５６を介して、ノズル室７１と接触していて、その結果、ノズル７０を通ってプリント配線板LP表面に送られる処理液は、パルス化された噴射で衝突することになる。ノズル７０は、ノズル開口７２が処理室１の液レベル６０の下にあるように配置されている。上記装置は、その他の点では図１１で図示されたものに対応するため、そこでの説明を参照されたい。
【００７３】
図１３では、本発明の別の実施形態が示され、その際、この実施の形態は図１２で図示された配置の別の構成を描写している。さらにこの実施の形態では既に図７及び図７A〜７Dに示したパルス発生のための原理を具体化している。図７及び図７A〜７Dで同じように示された装置構成要素及びそれに属する参照番号に関しては、そこで図説明を参照されたい。
【００７４】
この場合、プリント配線板LPは、搬送面２からほんの数ミリ（例えば１〜３mm）離れて配置され好適には堅牢な金属板７３を通過する。当該金属板を介してパルスがプリント配線板LP上に処理液を通って伝えられる。このために金属板７３は、鉄敷７５とともに処理液に配置されている。金属板７３は、鉄敷７５と好適には溶接されている。鉄敷７５は、少なくとも部分的に処理液から突き出ているべきである。両要素は通常停止していて、処理装置と不図示のやり方で接続されている。金属板７３は、搬送経路の全幅にわたって広がり、それによりパルスが搬送経路の全幅でプリント配線板LPに伝えられることができる。
【００７５】
パルスは、爪車状のパルス発生手段３０により生じ、当該パルス発生手段は図７及び図７A〜７Dでのパルス発生手段と同様に構成され、又同じ機能を果たすものである。レバー３１及び当該レバー３１に接続されたハンマー７４を介して衝撃が鉄敷７５及び金属板７３に伝えられ、その結果、パルスがプリント配線板LPに生じ得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】  連続送り設備（連続処理設備）の図式的断面である。
【図２】  つまずき材を備えたノック式ローラーの断面図である。
【図３】  四つのつまずき材を備えたノック式ローラーの断面図である。
【図４】  ノック式ローラーによる異なる回転段階での断面図である。
【図５】  正方形の内部断面を備えたノック式ローラーの断面図である。
【図６】  爪車として形成されたパルス発生手段の平面図である。
【図７Ａ】  爪車として形成されたパルス発生手段の前方から見た端面図である。
【図７Ｂ】  爪車として形成されたパルス発生手段の前方から見た端面図である。
【図７Ｃ】  爪車として形成されたパルス発生手段の詳細図である。
【図７Ｄ】  爪車として形成されたパルス発生手段の前方から見た端面図である。
【図８】  電磁石を備えたパルス発生手段の側面図（部分断片）である。
【図９】  処理設備内における圧縮空気間欠ノッカーの側面図である。
【図１０】  二つの圧縮空気間欠ノッカーを備えた設備の側面断面図である。
【図１１】  圧縮空気間欠ノッカーの正面図である。
【図１２】  圧縮空気間欠ノッカーを備えたフラットスプレーノズルの側面図である。
【図１３】  爪車として形成されたパルス発生手段を備えた図１２と同様の図である。
【符号の説明】
１      処理室
２      搬送面
３      搬送方向
４      処理室１での入口壁
５      処理室１での出口壁
６      処理室１の側壁
７      処理室１の床
８      処理室１の天井
９      ノズル１０への管路
１０    ノズル
１１    入口スリット
１２    出口スリット
１３    下部搬送手段／ローラー
１３’  入口スリット１１での下部搬送手段／ローラー
１３”  出口スリット１２での下部搬送手段／ローラー
１４    上部搬送手段／ローラー
１４’  入口スリット１１での上部搬送手段／ローラー
１４”  出口スリット１２での上部搬送手段／ローラー
２０    ローラー１３，１４内にある空洞
２１    パルス発生手段、本体、金属棒
２２    突出部、つまずき材
２３    内張り、強磁性コア、鋼鉄円柱、ローラー１３，１４内の四角管、棒磁石
２４    ローラー１３，１４の回転方向
２５    四角管２３内の内部角
２６    上部ローラー１４の軸
２７    下部ローラー１３の軸
３０    突出部を備えた歯、爪車
３１    パルス発生手段、ノッカー、撃鉄
３２    ノッカー３１のための軸受
３３    ノッカー３１におけるバネ
３４    ノッカー３１のための固定部
３５    ノッカー３１を固定するための取付部
３６    突出部、ノッカー３１における歯（車）
３７    歯（車）間の間隙
３８    歯（車）の、爪車３０の本体
４０    パルス発生手段、電磁石
４１    電磁石４０のコイル
４２    下部ローラー１３の軸受構造のための弾性支え台
４３    上部ローラー１４のためのストッパー
４４    電磁石４０のための電気リード線
４５    電磁石４０の磁極片
５０    パルス発生手段、圧縮空気間隔ノッカー
５１    調整可能なバルブを備えたピストン
５２    圧縮空気間隔ノッカー５０への圧縮空気供給管
５３    圧縮空気間隔ノッカー５０からの圧縮空気排出管
５４    圧縮空気間隔ノッカー５０のための吊るす装置
５５    吊るす装置５４におけるバネ
５６    パルス伝達手段、圧縮空気間欠ノッカー５０における振動子
５７    パルス
５８    反射手段
６０    処理液のレベル
７０    フラットスプレーノズル（ファンノズル）
７１    フラットスプレーノズル７０（ファンノズル）の室
７２    フラットスプレーノズル７０内（ファンノズル）のノズル開口
７３    金属板
７４    ハンマー
７５    金敷
【図１】
0004669647.tif 000002
【図２】
0004669647.tif 000003
【図３】
0004669647.tif 000004
【図４】
0004669647.tif 000005
【図５】
0004669647.tif 000006
【図６】
0004669647.tif 000007
【図７Ａ】
0004669647.tif 000008
【図７Ｂ−Ｃ】
0004669647.tif 000009
【図７Ｄ】
0004669647.tif 000010
【図８】
0004669647.tif 000011
【図９】
0004669647.tif 000012
【図１０】
0004669647.tif 000013
【図１１】
0004669647.tif 000014
【図１２】
0004669647.tif 000015
【図１３】
0004669647.tif 000016