(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを噴射する複数のノズル穴、前記複数のノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備え、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットが、上面に凹部として前記圧力室が形成される上側プレート部材と、前記マニホールドが形成される下側プレート部材と、それらの間に設けられる中間プレート部材とを含む複数のプレート部材を積層して構成され、
前記上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記複数の圧力室と前記マニホールドとをそれぞれ連通する複数の連通路が形成され、
前記複数の連通路は、一端が前記圧力室に連通するとともに他端が前記上側プレート部材の下面に貫通する第１の貫通路と、前記第１の貫通路に一端が連通する中間通路とをそれぞれ有し、
前記複数の圧力室毎に接続する前記ノズル穴と前記第１の貫通路とは、前記上面に直交する方向から見て第１の方向に並んで配置されており、
前記中間通路は、前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において前記第１の貫通路から前記ノズル穴に向かって延在している、
ことを特徴とするインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項２】
前記複数の連通路は、さらに、一端が前記中間通路に連通し他端が前記中間プレート部材の下面に貫通して前記マニホールドに連通する第２の貫通路をそれぞれ有し、
前記第２の貫通路は、
前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において、前記ノズル穴と前記第１の貫通路の間に配置されている、
ことを特徴とする請求項１記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項３】
前記第１の貫通路は、前記上側プレート部材に形成され、
前記中間通路は、前記上側プレートの下面に凹部として形成される下面凹部通路と、前記中間プレート部材の上面に凹部として形成され下流端部が前記第１の貫通路と連通し、その上流端部が前記下面凹部通路の下流端部と連通する上面凹部通路とをそれぞれ含み、
前記第２の貫通路は、前記下面凹部通路の上流端部に連通することを特徴とする請求項２記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項４】
インクを噴射する複数のノズル穴、前記複数のノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備え、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、
前記キャビティユニットが、上面に凹部として前記圧力室が形成される上側プレート部材と、前記マニホールドが形成される下側プレート部材と、それらの間に設けられる中間プレート部材とを含む複数のプレート部材を積層して構成され、
前記上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記複数の圧力室と前記マニホールドとをそれぞれ連通する複数の連通路が形成され、
前記複数の連通路は、前記上側プレート部材の下面に凹部として形成されるとともにその下流端部が前記圧力室に連通する中間通路と、前記中間プレート部材に形成され前記中間通路の上流端部に連通するとともに下面に貫通して前記マニホールドに連通する貫通路とをそれぞれ有し、
前記複数の圧力室毎に接続する前記ノズル穴と前記貫通路とは、前記上面に直交する方向から見て第１の方向に並んで配置されており、
前記中間通路は、前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において前記圧力室への連通部分から前記ノズル穴に向かって延在している、
ことを特徴とするインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項５】
前記複数の圧力室は、前記上面に直交する方向から見て，前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って並んで配置されており、
前記中間通路が、隣り合う前記圧力室の間に配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【請求項６】
前記中間通路は、前記上面に直交する方向から見て、Ｌ字形状を有することを特徴とする請求項５に記載のインクジェットプリンタ用ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタ用ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクを噴射する複数のノズル穴、前記複数のノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備え、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタは知られている。
【０００３】
従来より、マニホールドから圧力室を経てノズル穴までインクの通路（流路）を構成するキャビティユニットは、複数のプレート部材を積層してなる積層構造体である（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
この特許文献１に記載のキャビティユニットは、９枚のプレート部材（キャビティプレート、ベースプレート、アパチャープレート、サプライプレート、３枚のマニホールドプレート、カバープレート、ノズルプレート）からなる積層構造体で構成されている。
【０００５】
また、インクジェットプリンタにおいては、近年、高速印字、画質向上の要求から、ヘッドの小型化、軽量化が図られている。
【特許文献１】特開２００３−１６５２１２号公報（段落００２４〜００２６及び図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そのために、部品点数を減らすこと、つまりキャビティユニットを構成するプレート部材の枚数を減らすことが求められる。また、キャビティユニットのプレート部材の枚数を減らして、圧力室からノズル穴までの通路長さ（ディセンダ長）を短くして、ディセンダ内のインク体積を減らして、圧力伝播の減衰を押さえることが、駆動電圧の低下、安定噴射につながるので、この点からも、プレート部材の枚数を減少させたいという要求がある。
【０００７】
本発明は、キャビティユニットを構成するプレート部材の枚数を低減したインクジェットプリンタ用ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、インクを噴射する複数のノズル穴、前記複数のノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備え、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記キャビティユニットが、上面に凹部として前記圧力室が形成される上側プレート部材と、前記マニホールドが形成される下側プレート部材と、それらの間に設けられる中間プレート部材とを含む複数のプレート部材を積層して構成され、前記上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記複数の圧力室と前記マニホールドとをそれぞれ連通する複数の連通路が形成され、前記複数の連通路は、一端が前記圧力室に連通するとともに他端が前記上側プレート部材の下面に貫通する第１の貫通路と、前記第１の貫通路に一端が連通する中間通路とをそれぞれ有し、前記複数の圧力室毎に接続する前記ノズル穴と前記第１の貫通路とは、前記上面に直交する方向から見て第１の方向に並んで配置されており、前記中間通路は、前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において前記第１の貫通路から前記ノズル穴に向かって延在している、ことを特徴とする。ここで、「前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段」には、圧電方式のほか、圧力室内のインクを加熱して膨張させることでインクを噴射するバブルジェット（登録商標）方式も含まれる。
【０００９】
このようにすれば、上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記圧力室と前記マニホールドとを連通する連通路が形成されるので、圧力室を形成する上側プレート部材と、マニホールドを形成するマニホールドプレートとの間に、中間プレート部材という１枚のプレート部材を設けるだけでよくなり、キャビティユニットを構成するプレート部材の枚数を低減を図る上で有利となる。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記複数の連通路は、さらに、一端が前記中間通路に連通し他端が前記中間プレート部材の下面に貫通して前記マニホールドに連通する第２の貫通路をそれぞれ有し、前記第２の貫通路は、前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において、前記ノズル穴と前記第１の貫通路の間に配置されている、ことを特徴とする。
【００１１】
このようにすれば、上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、上側プレート部材側の第１の貫通路と、中間通路と、中間プレート側の第２の貫通路との組み合わせにより、連通路を簡単に形成することができる。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記第１の貫通路は、前記上側プレート部材に形成され、前記中間通路は、前記上側プレートの下面に凹部として形成される下面凹部通路と、前記中間プレート部材の上面に凹部として形成され下流端部が前記第１の貫通路と連通し、その上流端部が前記下面凹部通路の下流端部と連通する上面凹部通路とをそれぞれ含み、前記第２の貫通路は、前記下面凹部通路の上流端部に連通することを特徴とする。
【００１３】
このようにすれば、上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、上側プレート部材側の第１の貫通路及び下面凹部通路と中間プレート部材側の上面凹部通路及び第２の貫通路との組み合わせにより、連通路を形成することができる。
【００１４】
請求項４の発明は、インクを噴射する複数のノズル穴、前記複数のノズル穴毎に連通した複数の圧力室及び前記圧力室に供給するインクを一時的に貯留するマニホールドを含むキャビティユニットと、前記圧力室内のインクに噴射エネルギーを付与するエネルギー付与手段とを備え、記録媒体に前記インクを噴射して記録するインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記キャビティユニットが、上面に凹部として前記圧力室が形成される上側プレート部材と、前記マニホールドが形成される下側プレート部材と、それらの間に設けられる中間プレート部材とを含む複数のプレート部材を積層して構成され、前記上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記圧力室と前記マニホールドとを連通する連通路が形成され、前記上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、前記複数の圧力室と前記マニホールドとをそれぞれ連通する複数の連通路が形成され、前記複数の連通路は、前記上側プレート部材の下面に凹部として形成されるとともにその下流端部が前記圧力室に連通する中間通路と、前記中間プレート部材に形成され前記中間通路の上流端部に連通するとともに下面に貫通して前記マニホールドに連通する貫通路とをそれぞれ有し、前記複数の圧力室毎に接続する前記ノズル穴と前記貫通路とは、前記上面に直交する方向から見て第１の方向に並んで配置されており、前記中間通路は、前記上面に直交する方向から見て、前記第１の方向において前記圧力室への連通部分から前記ノズル穴に向かって延在している、ことを特徴とする。
【００１５】
このようにすれば、圧力室が形成される上側プレート部材を有効に利用して、連通路（中間通路）を形成することができる。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかのインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記複数の圧力室は、前記上面に直交する方向から見て，前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って並んで配置されており、前記中間通路が、隣り合う前記圧力室の間に配置されていることを特徴とする。
【００１７】
このようにすれば、隣り合う圧力室の間の部分を有効に利用して、前記中間通路を配置することができる。
請求項６の発明は、請求項５のインクジェットプリンタ用ヘッドにおいて、前記中間通路が、前記上面に直交する方向から見て、Ｌ字形状を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように構成したから、本発明は、上側プレート部材と中間プレート部材とにまたがって、圧力室とマニホールドとを連通する連通路を形成するので、圧力室を形成する上側プレート部材と、マニホールドを形成するマニホールドプレートとの間に、中間プレート部材という１枚のプレート部材を設けるだけで、連通路を形成することができる。よって、キャビティユニットを構成するプレート部材の枚数を低減を図る上で有利となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
【００２０】
図１（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタの概略構成を示す概略構成図、図１（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、アクチュエータユニットおよびフレキシブルケーブルの関係を示す説明図である。
【００２１】
本発明に係るインクジェットプリンタ１は、図１（ａ）に示すように、インクカートリッジ（図示せず）が搭載されるキャリッジ２の下面に、記録用紙Ｐ（記録媒体）に記録するためのインクジェットプリンタ用ヘッド３（以下、単にプリンタ用ヘッドという）が設けられている。キャリッジ２は、プリンタフレーム４内に設けられるキャリッジ軸５とガイド板（図示せず）とによって支持され、記録用紙Ｐの搬送方向Ａと直交する方向Ｂに往復移動させる構成とされている。
【００２２】
図示しない給紙部からＡ方向に搬送される記録用紙Ｐは、プラテンローラ（図示せず）とプリンタ用ヘッド３との間に導入されて、プリンタ用ヘッド３から記録用紙Ｐに向けて噴射されるインクにより所定の記録がなされ、その後、排紙ローラ６にて排紙される。
【００２３】
また、図１（ｂ）及び図２に示すように、プリンタ用ヘッド３は、キャビティユニット１１と、アクチュエータユニット１２とを下側から順に備え、アクチュエータユニット１２の上面の個別表面電極に駆動信号を供給するフレキシブルケーブル１３（信号線）の接続端子部が、例えばハンダ付けなどにより電気的に接続されている。
【００２４】
キャビティユニット１１は、図２及び図３に示すように、複数枚のプレートからなる積層構造体１４を含む。その積層構造体１４の上側には、後述するトッププレート１５が設けられる一方、下側には、ノズル穴１６ａを有するノズルプレート１６及びノズル穴１６ａに対応する貫通穴１７ａが形成されたスペーサプレート１７を貼り合わせてなるプレートアッセンブリ１８が一体に貼り付けられている。トッププレート１４の上側に、アクチュエータユニット１２が設けられている。また、キャビティユニット１１の開口１１ａには、インク内に含有される塵埃などを捕獲するためのフィルタ１９が設けられる。ノズルプレート１６は、（積層構造体１４を構成する）後述のキャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、１つのノズル穴１６ａがそれぞれ設けられた合成樹脂プレート（例えばポリイミド）である。なお、前記ノズルプレート１６は金属プレートとしてもよい。
【００２５】
この積層構造体１４は、図３に示すように、上側から順にキャビティプレート１４Ａ、アパチャープレート１４Ｂ、２枚のマニホールドプレート１４Ｃ，１４Ｄ、及びダンパープレート１４Ｅがそれぞれ重ねられて金属拡散接合されたものである。これら６枚のプレート１４Ａ〜１４Ｅは、各ノズル穴１６ａ毎に個別にインク流路が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。ここで、キャビティプレート１４Ａは、上面に圧力室１４Ａａとして機能する凹部が規則的に整列されて多数設けられた金属プレートである。このキャビティプレート１４Ａには、圧力室１４Ａａのほか、圧力室１４Ａａの上流端部に連通するとともに下面に貫通する第１の貫通路１４Ａｂと、圧力室１４Ａａをノズル穴１６ａに連通するための連絡穴１４Ａｃ（貫通穴）とを有する（図５参照）。
【００２６】
アパチャープレート１４Ｂは、上面に凹部として形成されるとともにその下流端部が前記第１の貫通路１４Ａｂと連通する上面凹部通路１４Ｂａ（中間通路）と、その上面凹部通路１４Ｂａの上流端部に連通するとともに下面に貫通してマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａに連通する第２の貫通路１４Ｂｂとを有する金属プレートである。また、圧力室１４Ａａ（連絡穴１４Ａｃ）をノズル穴１６ａに連通するための連絡穴１４Ｂｃも貫通穴として設けられている（図５参照）。
【００２７】
マニホールドプレート１４Ｃ，１４Ｄは、マニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａに加えて、キャビティプレート１４Ａの１つの圧力室１４Ａａについて、圧力室１４Ａａからノズル穴１６ａへの連絡穴１４Ｃｂ，１４Ｄｂがそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００２８】
ダンパープレート１４Ｅは、ダンパー室１４Ｅａのほか、圧力室１４Ａａをノズル穴１６ａに連通する連通穴１４Ｅｂが設けられた金属プレートである。
【００２９】
なお、圧力室１４Ａａとなる凹部をハーフエッチングで形成しているので、例えば従来プレートの厚さが５０μｍであれば、この実施の形態では厚さ１００μｍのプレートを用いることで、従来と同様の圧力室の容積が確保される。
【００３０】
アクチュエータユニット１２は、各圧力室１４Ａａに対応してトッププレート１５上に形成された内部共通電極と、内部共通電極の上に形成された圧電シートと、この圧電シートの上側に形成された表面電極（個別表面電極）とが設けられている。トッププレート１５は、振動板として機能し、圧電シートの変形に伴って圧力室１４Ａａに向かって凸となるように変形する。圧電シートは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなり、その厚み方向に分極している。表面電極は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものであり、駆動信号が供給されるフレキシブルケーブル１３の信号線により、図示しないドライバＩＣに接続されている。他方、内部共通電極は常にグランド電位に保たれている。したがって、表面電極の電位をグランド電位より高い電位とすることで、圧電シートに対してその分極方向に電界が印加される。電界が印加された圧電シートは、活性層として、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、トッププレート１５は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シートと下層のトッププレート１５との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、トッププレート１５がキャビティプレート１４Ａに固定されていることと相俟って、圧電シート及びトッププレート１５は圧力室１４Ａａ側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１４Ａａの容積が減少して、圧力室１４Ａａ内のインクの圧力が上昇し、ノズル穴１６ａからインクが噴射される。その後、表面電極を内部共通電極と同じ電位に戻すと、圧電シート及びトッププレート１５は元の形状になって圧力室１４Ａａの容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド１４Ｄａ，１４Ｅａから吸い込み、同様にしてインク噴射動作が繰り返し行われる。
【００３１】
上述したように、本実施の形態では、振動板としてのトッププレート１５をキャビティユニット１１の上側に設けているので、ユニモルフ変形による優れた噴射効率を実現することができる。
【００３２】
このように、キャビティユニット１１は、複数のノズル穴１６ａ、前記複数のノズル穴１６ａの各々に連通する複数の圧力室１４Ａａ及びこの圧力室１４Ａａに供給するインクを一時的に貯留するマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａを含む構成とされている。一方、アクチュエータユニット１２は、圧力室１４Ａａに対応する個別表面電極を有しこの個別表面電極に駆動信号が供給されることで圧力室１４Ａａの容積を変化させて前記ノズル穴からインクを噴射させる構成とされる。
【００３３】
続いて、圧力室１４Ａａとマニーホールド１４Ｃａ，１４Ｄａとを連通する連通路２１の構成を、キャビティユニットの構成とともに、図４〜図７に沿って説明する。
【００３４】
キャビティユニット１１は、積層構造体１４の上側部分として、前述のように、上面に凹部として圧力室１４Ａａが形成されるキャビティプレート１４Ａ（上側プレート部材）と、マニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａが形成されるマニホールドプレート１４Ｃ，１４Ｄ（下側プレート部材）と、それらの間に設けられるアパチャープレート１４Ｂ（中間プレート部材）とを有する。
【００３５】
そして、連通路２１は、キャビティプレート１４Ａの第１の貫通路１４Ａｂと、アパチャープレート１４Ｂの上面凹部通路１４Ｂａ及び第２の貫通路１４Ｂｂとによって構成される。つまり、キャビティプレート１４Ａ及びアパチャープレート１４Ｂという上下に位置する２枚のプレート部材を用いるだけで、連通路２１が形成されている。
【００３６】
また、各プレート１４Ａ〜１４Ｆ，１５の平面に対して直交する方向から見た平面視では、各圧力室１４Ａａが特定方向に細長く平行に形成されおり、隣り合う圧力室１４Ａａの間に、連通路２１の上流側部分及び第２の貫通路１４Ｂｂが配置される位置関係となっている。
【００３７】
これにより、連通路２１は、図７に示すように、それの下流端部分が第１の貫通路１４Ａｂを通じて圧力室１４Ａａに連通し、中間通路部分が圧力室１４Ａａの長手方向に沿って第１の貫通路１４Ａｂから離れる方向に延びる上面凹部通路１４Ｂａとされ、上流端部分が第２の貫通路１４Ｂｂを通じてマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａに連通する構成とされている。
【００３８】
このように、キャビティプレート１４Ａに形成される第１の貫通路１４Ａａと、アパチャプレート１４Ｂに形成される第２の貫通路１４Ｂｂ及び上面凹部通路１４Ｂａとの組み合わせによって、キャビティプレート１４Ａとアパチャープレート１４Ｂとにまたがって圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａとを連通する連通路２１が形成されることになる。
【００３９】
よって、前記特許文献１に記載のものでは、キャビティプレートとマニホールドプレートとの間に３枚のプレート部材（ベースプレート、アパチャープレート、サプライプレート）を設け、それら３枚のプレート部材を利用して前述したような連通路を形成しているが、この実施の形態では、キャビティプレート１４Ａ（上側プレート部材）とマニホールドプレート１４Ｃとの間には、１枚のプレート部材（アパチャープレート１４Ｂ）を設けているだけである。よって、このような構成とすることにより、キャビティユニット１１（積層構造体１４）を構成するプレート部材の枚数を、前記特許文献１に記載のものに比べて２枚低減することができる。
【００４０】
また、図８〜図１１に示すように、連通路２１’を構成することも可能である。この場合には、キャビティプレート１４Ａ’が、圧力室１４Ａａの上流端部に連通するとともに下面に貫通して開口する第１の貫通路１４Ａｂと、下面に凹部として形成される下面凹部通路１４Ａｄ（中間通路）とを有する。アパチャープレート１４Ｂ’は、上面に凹部として形成されるとともにその下流端部が第１の貫通路１４Ａｂと連通し、その上流端部が下面凹部通路１４Ａｄの下流端部と連通する上面凹部通路１４Ｂａ’（中間通路）と、下面凹部通路１４Ａｄの上流端部に連通するとともに下面に貫通してマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａに連通する第２の貫通路１４Ｂｂとを有する。
【００４１】
よって、圧力室１４Ａａとマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａとを連通する連通路２１’は、キャビティプレート１４Ａ’に形成される第１の貫通路１４Ａｂ及び下面凹部通路１４Ａｄと、アパチャープレート１４Ｂ’に形成される上面凹部通路１４Ｂａ’及び第２の貫通路１４Ｂｂとの組み合わせによって構成される。
【００４２】
さらに、図１２〜図１４に示すように、連通路２１”を構成することも可能である。この場合には、キャビティプレート１４Ａ”が、下面に凹部として、下流端部が圧力室１４Ａａに連通する下面凹部通路１４Ａｅ（中間通路）を有する。アパチャープレート１４Ｂ”が、下面凹部通路１４Ａｅに連通するとともに下面に貫通してマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａに連通する貫通路１４Ｂｂを有する。
【００４３】
よって、キャビティプレート１４Ａ”側の圧力室１４Ａａとアパチャプレート１４Ｂ”側のマニホールド１４Ｃａ，１４Ｄａとを連通する連通路２１”は、下面凹部通路１４Ａｅと貫通路１４Ｂｂとの組み合わせによって形成され、この実施の形態の場合は前述したもの比べてより一層単純な構造となる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は本発明にかかるインクジェットプリンタの概略構成を示す概略構成図、（ｂ）は本発明にかかるキャビティユニット、アクチュエータユニットおよびフレキシブルケーブルの関係を示す説明図である。
【図２】キャビティユニットの上側に、アクチュエータユニットを貼り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】キャビティユニットを、構成要素である各プレートに分解し、それらをトッププレートとともに示す図である。
【図４】要部平面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線における断面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ線における断面図である。
【図７】連通路を模式的に示す斜視図である。
【図８】他の実施の形態についての図４と同様の要部平面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線における断面図である。
【図１０】図９のＤ−Ｄ線における断面図である。
【図１１】連通路を模式的に示す斜視図である。
【図１２】別の実施の形態についての図４と同様の要部平面図である。
【図１３】図１２のＥ−Ｅ線における断面図である。
【図１４】図１２のＦ−Ｆ線における断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    インクジェットプリンタ
１１    キャビティユニット
１２    アクチュエータユニット
１３    フレキシブルケーブル
１４Ａ，１４Ａ’，１４Ａ”    キャビティプレート
１４Ａａ    圧力室
１４Ａｂ    第１の貫通路
１４Ａｄ，１４Ａｅ    下面凹部通路
１４Ｂ，１４Ｂ’，１４Ｂ”    アパチャープレート
１４Ｂａ，１４Ｂａ’    上面凹部通路
１４Ｂｂ    第２の貫通路
１４Ｃ，１４Ｄ    マニホールドプレート
１４Ｃａ，１４Ｄａ    マニホールド
２１，２１’、２１”    連通路
【図１】
0004760192.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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