(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
清浄環境下に管理される被収容物を収容する密閉容器であって、
前記被収容物を収容可能な内部空間と、前記内部空間を外部空間と連通可能とする開口と、を有した本体と、
前記開口を密閉可能な蓋と、
前記内部空間内の環境を示すパラメータの少なくとも一つを測定可能な環境パラメータ測定装置と、
前記環境パラメータ測定装置により得られる測定結果に応じたデータを送信する送信手段と、
前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段の動作を制御するコントローラと、
前記環境パラメータ測定装置、前記送信手段及び前記コントローラの動作源となるバッテリと、
モード切換機構と、
前記密閉容器外部から前記コントローラに送られる動作指示信号、及び前記モード切換機構に送られるモード切換指示信号、を受信する密閉容器側無線通信モジュールと、を有し、
前記コントローラは、前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段を一定周期にて動作させて前記データを送信させるスリープモードと、前記密閉容器外部から送られた動作指示信号に応じて前記環境パラメータ測定装置を動作させ且つ得られた前記データを前記送信手段により送信させるアクティブモードとを有し、
前記モード切換機構は、前記密閉容器外部からの前記モード切換指示信号に応じて、前記コントローラに対して前記スリープモード及び前記アクティブモードの何れのモードを行なわせるかを指示することを特徴とする密閉容器。
【請求項２】
減圧状態の清浄環境下に管理される被収容物を収容する密閉容器であって、
前記被収容物を収容可能な内部空間と、前記内部空間を外部空間と連通可能とする開口と、を有した本体と、
前記開口を密閉可能な蓋と、
前記内部空間内の環境を示すパラメータの少なくとも一つを測定可能な環境パラメータ測定装置と、
前記環境パラメータ測定装置により得られる測定結果に応じたデータを送信する送信手段と、
前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段の動作を制御するコントローラと、
前記環境パラメータ測定装置、前記送信手段及び前記コントローラの動作源となるバッテリと、
モード切換機構と、
前記密閉容器外部から前記コントローラに送られる動作指示信号を受信する密閉容器側無線通信モジュールと、を有し、
前記コントローラは、前記環境パラメータ測定装置及び前記送信手段を一定周期にて動作させて前記データを送信させるスリープモードと、前記密閉容器外部から送られた動作指示信号に応じて前記環境パラメータ測定装置を動作させ且つ得られた前記データを前記送信手段により送信させるアクティブモードとを有し、
前記モード切換機構は、切換スイッチの操作に応じて、前記コントローラに対して前記スリープモード及び前記アクティブモードの何れのモードを行なわせるかを指示することを特徴とする密閉容器。
【請求項３】
前記送信手段は光線によってデータ送信を行うことを特徴とする請求項１或いは２の何れか一項に記載の密閉容器。
【請求項４】
請求項１に記載の密閉容器の前記内部空間の環境を管理する密閉容器の管理システムであって、
請求項１に記載の密閉容器と、
受信ユニットであって、前記送信手段から送られる前記データを受信する受信ユニット側受信手段と、前記密閉容器側無線通信モジュールに対して前記モード切換指示信号或いは前記動作指示信号を送信する受信ユニット側送信手段と、受信された前記データを外部に伝達する有線通信モジュールと、を有する受信ユニットと、を有することを特徴とする密閉容器の管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程等で用いられる所謂フォトマスクに代表される物品を収容する密閉容器、及び複数の当該密閉容器を同時管理可能な管理システムに関する。より詳細には、酸素、水分、所謂パーティクルと称呼される微粒子等による汚染を防止するために物品収容空間をある程度以上の減圧状態に維持する所謂真空ポッド、及び当該ポッドにおける減圧状態を知ることを可能とし且つ所定の減圧状態の維持を容易なものとするための容器管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造工程或いはフラットパネルディスプレイにおけるパネル製造工程には、ウエハ、ガラス基板上に所謂MOS，TFT等の微細半導体素子等を形成する工程が含まれる。当該工程では、レチクルと呼ばれるフォトマスクを用いてこれら基板上に金属、半導体、或いは絶縁体からなる微細薄膜パターンを形成する。該フォトマスクは、例えば特殊なガラス基板と、当該基板上に配置されるクロム等の金属薄膜からなるパターンとから構成される。当該金属薄膜からなるパターンは、所謂露光装置によってウエハ等の製品となる基板上に塗布された感光性のレジストに対して正確に転写され、更に現像、エッチング或いはミリング等の処理を経て、前述した微細薄膜パターンを得ている。
【０００３】
レチクルは、幾枚もの基板に対するパターンの転写工程に用いられ、且つ常に所望のパターンをレジストに対して転写可能としておくことが求められる。このため、レチクル上の金属薄膜を劣化させる恐れのある酸素、水分等の酸化性の物質の吸着、露光処理時にパターンの一部として転写される恐れのある微小粒子の付着、等を極力防止することが必要となる。レチクル使用時においては、該レチクルを用いる露光装置自体が酸化性の気体或いは微粒子に極力注意が払われた空間に配置される。しかしながら、製造対象物に応じてレチクルは交換されることを要し、用いないレチクルは特定の容器に収容して長期保存しておかねばならない。また、当該収容容器内部は、上述した理由から酸化性気体及び微小粒子を極力排除する必要があり、例えば特許文献１に示されるように、通常は当該容器内部の収容空間を所謂真空と呼ばれる減圧状態に維持することとされている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３５６４７８号公報
【特許文献２】特開２００１−２７４２２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
個別に所謂排気系を有さない密閉容器内部を減圧にして放置した場合、通常は蓋と容器本体との間のシール面、或いは容器壁を構成する部材を介して外気が当該容器内部に侵入し、真空度を低下させてしまう。このような真空度の低下はレチクルの保存環境の劣化をもたらす。従って、本来は、真空レベルが所定の状態よりも劣った段階で、再度容器内部の真空度を高める操作を行わねばならない。しかしながら、当該容器内部の真空度を高めるだけの装置の設置等は、コスト、設置面積等種々の要因から実際に配置されることはほとんど無い。このため、当該容器内部は、実際には当該容器にレチクルを収めた段階で得られる状態のまま放置され、真空度の低下はそのままにしておかれることが多い。
【０００６】
また、このように真空度が低下した密閉容器を半導体製造装置等に提供して内部の収容物を取り出そうとした場合、該密閉容器内部の圧力と半導体製造装置内部の圧力との相違によって個々の内圧を乱し合い、後の処理工程に不具合を与える可能性も指摘されている。特許文献２では、このような事態への対処として、密閉容器を半導体製造装置等に固定した状態において当該装置のシステムを用いて該密閉容器内部の圧力を確認し、且つ必要な場合には当該密閉容器内部の排気を行って圧力調整をする方法が開示されている。しかしながら、当該方法では、密閉容器の内部圧力等については、当該容器を半導体製造装置等に固定した際にしか確認することができない。このため、放置された密閉容器内部の圧力等の条件については、当該容器を密閉したときからの経過時間によって間接的に判断することしかできなかった。即ち、保管中の密閉容器の内圧等を適切に監視することが困難であった。
【０００７】
本発明は上記状況に対処するために案出されたものであって、密閉容器内の圧力等環境を適切なタイミングで知ることを可能とする密閉容器、及びこれら密閉容器複数個を同時に管理する密閉容器管理システムの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器は、清浄環境下に管理される被収容物を収容する密閉容器であって、被収容物を収容可能な内部空間と、内部空間を外部空間と連通可能とする開口と、を有した本体と、該開口を密閉可能な蓋と、内部空間内の環境を示すパラメータの少なくとも一つを測定可能な環境パラメータ測定装置と、環境パラメータ測定装置により得られる測定結果に応じたデータを送信する送信手段と、環境パラメータ測定装置及び送信手段の動作を制御するコントローラと、環境パラメータ測定装置、送信手段及びコントローラの動作源となるバッテリと、を有し、コントローラは、送信手段を一定周期にて動作させてデータを送信させるスリープモードと、外部からの指示に応じてデータを送信させるアクティブモードとを有することを特徴としている。
【０００９】
なお、上述した密閉容器においては、該送信手段は光線によってデータ送信を行うことが好ましい。
【００１０】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る密閉容器の管理システムは、上述した各構成を有する密閉容器の内部空間の環境を管理する密閉容器の管理システムであって、該密閉容器であって更にコントローラに外部からの指示を伝えるために、指示信号を受信する受信手段を有する密閉容器と、受信ユニットであって、送信手段から送られるデータを受信する受信ユニット側受信手段と、受信手段に指示信号を送信する受信ユニット側送信手段と、受信されたデータを外部に伝達する有線通信モジュールと、を有する受信ユニットと、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、保管状態に在る密閉容器各々の内圧等を管理することが可能となり、適切なタイミングにて内部の排気等を行って所定の内圧状態等に維持することが可能となる。また、複数の密閉容器の状態を同時に把握することが可能となり、容器毎の内圧変化が異なる場合であっても、適宜状況に応じた容器各々に応じた対応が可能となる。また、複数の容器各々の状況を把握することが可能であることから、複数の容器に対して内圧調整作業を行うに際しても、内圧変化に応じた効率の良い作業を実施することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について、以下図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る密閉容器たるポッドと、該密閉容器の蓋を開閉して密閉容器内部のレチクル等被収容物を挿脱するための蓋開閉装置たる所謂ロードポートの一部と、を模式的に示している。また、図２は、本発明に係るポッドにおける各構成、及び当該ポッドに対応して用いられるホスト制御装置の各構成をブロック図として示している。本発明に係るポッド１は、ポッド本体１ａ、及び真空センサユニット２を有する。真空センサユニット２は、圧力センサ３、無線通信モジュール５、コントローラ７、バッテリ９、及びモード切換機構１１を備えている。ポッド本体１ａは、レチクル等被収容物を収容可能な内部空間を有し、該内部空間は蓋１ｂにより密閉可能な開口を有している。コントローラ７は、圧力センサ３、無線通信モジュール５及びバッテリ９の動作等の制御及びこれらから得られる信号の変換等を行う。圧力センサ３は、圧力センサの圧力検知方式に応じて、常時或いはコントローラ７からの指令に基づいてポッド本体１ａの内部空間内の圧力を測定する。無線通信モジュール５は、コントローラ7によって通信様式の信号とされた圧力センサ３による測定結果を、後述する受信ユニット側無線通信モジュール４１或いはロードポート側無線通信モジュール２１に対して送信する。
【００１３】
コントローラ７は、スリープモードとアクティブモードの二種類の動作モードを有する。モード切換機構１１は、コントローラ７に対してこれら動作モードの何れを実行させるかを実際に指示する。スリープモードでは、予めコントローラ７において設定された一定期間の周期毎に圧力センサ３を自発的に動作させ、無線通信モジュール５を介して得られた圧力データを受信ユニット側無線通信モジュール４１或いはロードポート側無線通信モジュール２１に送信している。当該周期は、比較的長い時間間隔を有する所謂長周期であって、長時間放置状態に置かれる密閉容器内の圧力を長期間当該状態のままで測定し続けても、バッテリ寿命が十分に対応可能となる周期とされている。しかしながら、実際に当該ポッドからレチクル等を取り出す操作は、このような長周期の測定タイミングとは関係なく実行される。また、実際にレチクル取り出しの際に問題となるのは取り出し時のポッド１の内圧或いは直近の内圧推移であることが殆どである。このような場合の対策としてアクティブモードが存在する。アクティブモードでは、例えば受信ユニット側無線通信モジュール４１或いはロードポート側無線通信モジュール２１からの動作指示信号の受信等、外部からの何らかの指示に応じて圧力センサ３を動作させ、無線通信モジュール５を介して得られた圧力データを受信ユニット側無線通信モジュール４１或いはロードポート側無線通信モジュール２１に送信している。モード切換機構１１は、受信ユニット側無線通信モジュール４１或いはロードポート側無線通信モジュール２１からの切換指示信号の受信、或いは当該機構に付随した不図示の切換スイッチの操作等によって動作する。即ち、ポッド１からのレチクル取り出し操作が行われる状況にあることが何らかの方法によってポッドに感知された場合に、アクティブモードでの圧力測定等が実行されることとなる。
【００１４】
本発明の如く、ポッド１各々に対して真空センサユニット２を個別に配し、且つ当該真空センサユニット２が各々専用バッテリ９を有する構成とすることにより、ポッド１を他の電源系と接続させること無く単体にて存在させ、且つ長時間放置することが可能となる。また、モードの使い分けによって、ポッド１内の圧力等諸状態を迅速に確認したい場合であるレチクル搬出時以外であって、当該搬出時の確認時間と比較して圧倒的に長い時間となるレチクル保管時間での真空センサユニット２の動作を極力少なくすることができる。これにより、圧力センサ３及び無線通信モジュール５の動作時間を減らしてバッテリ９の使用を極力制限することが可能となる。その結果、バッテリ９の使用可能期間の大幅な延長或いはバッテリ９の小型化を図ることが可能となる。また、コントローラ７にメモリを付随させた場合、所定回数の圧力センサ３による圧力測定結果を一旦当該メモリに格納し、ある程度測定結果が蓄積された段階でこれらをまとめて送信することが可能となる。これにより、無線通信モジュール５の動作間隔を更に伸ばし、動作時間を減少させることが可能となる。また、コントローラ７に、更に、圧力測定結果と、メモリに格納された一般的な経過時間に伴う圧力上昇データと、を比較する比較手段、及び比較結果に応じて必要な場合にアラーム等を報知する報知手段を配することとしても良い。これら構成を配することによって、ポッド単体を管理者が目視するだけであっても、レチクルの管理状態をある程度把握することが可能となる。
【００１５】
図２に示されるように、ホスト制御装置の受信ユニット４０は、受信ユニット側無線通信モジュール４１、無線通信側コントローラ４３、受信ユニット用個別電源４５、及び有線通信モジュール４７を有する。受信ユニット側無線通信モジュール４１は、受信ユニット側コントローラ４３によってポッド１の無線通信モジュール５から得られた信号を有線通信モジュール４７に転送する。当該無線通信モジュール４１は同時に、有線通信モジュール４７から得られる例えば圧力センサの動作モードの切換に関する信号をポッド１側の無線通信モジュール５に送信する。また、当該動作を司る受信ユニット側コントローラ４３は、個々の受信ユニット４０毎に配置される受信ユニット用個別電源４５からの電源供給によって動作する。また、有線通信モジュール４７は、後述する有線ネットワークによって管理システムホスト制御装置に接続される。なお、本実施形態においては、無線通信モジュール同士の信号の授受に赤外線に代表される光学的信通信方法、即ち光線を信号伝達の手段として用いることとしている。通常これらポッドは、高電圧を印加して動作させる電磁気ノイズが多く発生し得る装置が周囲に存在する領域にて維持管理される頻度が高い。本発明の如く光学的な信号通信方法を用いることによって、これら電磁気ノイズの影響を排除することが可能となる。また、同時に管理されるポッドの数が非常に多くなった場合であっても、個々のポッドと対応する受信ユニットとの間での配置を適正になすことによって、通信不良等の発生を無くすることが可能となる。
【００１６】
図３に本発明におけるポッドを含めて構築されるホスト管理システム５０のブロック図を示す。個々のポッド１は各々ポッド本体１ａと真空センサユニット２とを有し、ポッド１は各々対応する受信ユニット４０を有すると共に、複数の該受信ユニット４０は有線ネットワーク５３によって全てホスト制御装置５１に接続される。上述したように、これらポッドは、高電圧を印加して動作させる電磁気ノイズが多く発生し得る装置が周囲に存在する領域にて維持管理される頻度が高い。ホスト制御装置５１と各受信ユニット４０とを適当なノイズ除去シールドを有した有線ネットワーク５３にて接続することによって、電磁気ノイズからの影響を極力排除しつつ、複数の受信ユニット４０とホスト制御装置５との間を容易且つ簡便に接続することが可能となる。また、ホスト制御装置５が所謂マルチプレクサ等を用いることによって、多数の周波数からなる信号伝達等を用いた場合に考慮されるべき電波管理法等からの制限も排除して、多数のポッドを同時平行的に管理することが可能となる。即ち、前述した無線通信方法と当該有線通信方法とを混在させることにより、電磁気ノイズからの影響の削減と同時に、多数のポッドの同時平行管理化が可能となる効果が得られる。
【００１７】
また、各受信ユニットが個別の電源を有する構成とすることにより、当該電源が前述した電磁気ノイズから影響を受ける可能性も低減することができる。更に、当該受信ユニット４０の有する受信ユニット側コントローラ４３について、前述した真空センサユニット２側のコントローラ７に付随させた構成を当該コントローラ４３に付随させることとし、該コントローラ７にて実行させて諸動作をこれに行わせることとしても良い。これにより、ポッド側の構成を簡略化し、バッテリの使用量を抑制することができる。更にこの場合、ポッド側の構成を前述した構成どおりとすると共に、報知すべきアラームに関するデータ、特定周期毎に得られるデータ等、特定のデータのみを当該コントローラ４３が抽出し、これら被抽出データのみをホスト制御装置５１に送る構成としても良い。これによりホスト制御装置５１による一元管理が容易となる。また、ホスト制御装置５１から受信ユニット用個別電源４５に通電が行われた際にのみ受信ユニット４０が動作する構成としても良い。この場合、当該電源４５はノイズ等の影響を受ける可能性がある関係上、供給電圧を安定化させる構成を有することが好ましい。当該構成の採用により、管理システム全体としての使用電気量の抑制という効果が得られる。
【００１８】
次に、本発明に係るポッド１がロード（固定され、内部から或いは内部へのレチクルの挿脱を行うことが可能となるように該ロードポート上の所定位置に当該ポッド１を載置する操作）される構成であり、実際にレチクルの挿脱等を行うロードポート２０について述べる。図１に示すように、当該ロードポート２０は、外壁２０ａによって外部空間と分離された微小空間２０ｂ、ロードポート側コントローラ２３、圧力調整機構２７、外壁２０ａに形成された開口部２０ｃを閉鎖するドア２５及び当該ドア２５を駆動する機構２５ａを有している。圧力調整機構２７は、微小空間２０ｂ内部の圧力を調整するために、給気バルブ２９ａを介して給気系２９に、又排気バルブ３１ａを介して排気系３１に接続される。また、微小空間２０ｂ内部には圧力調整機構２７によって調整される当該空間内部の圧力を測定するロードポート側圧力センサ３３が配置される。ロードポート側コントローラ２３は、ロードポート側圧力センサ３３、圧力調整機構２７及びドア駆動機構２５ａと信号の授受等を行い、これらの動作等を制御する。また、ドア２５は、微小空間開口部２０ｃを閉鎖すると共に、当該開口部を開放する際にはポッド１の蓋１ｂを保持し、当該開口部を開放すると同時にポッド１の内部空間と微小空間内部とを連通させる働きも有する。また、ロードポート側コントローラ２３はロードポート側無線通信モジュール２１を有しており、該モジュール２１は当該コントローラ２３からポッド１に対する各種指示に関する信号の送信及び該ポッド１からの圧力情報等に関する信号の受信等を行う。
【００１９】
ここで、例えばレチクルを対象とする構成の場合、微小空間２０ｂ内部が所謂高真空状態とされていることが一般的である。これに対し、ポッド１の内部は、例えばリーク等によって内部の所謂真空状態が劣化し、前述の高真空状態に対し低真空状態と称呼されるべき状態（大気圧では無い）にあることが多い。また、ポッド１とドア２５ｃとに挟まれることとなる閉鎖空間には大気が封入されることとなるため、当該空間は蓋１ｂの開放時には一旦排気されてある程度以上の真空状態とされている。従って、ポッド１の蓋１ｂの開放時においては、ポッド１内部、ポッド蓋１ｂとドア２５ｃとに挟持されて構成される空間、及び微小空間２０ｂという異なる圧力条件下の空間三つを連通させることとなる。しかしながら、ポッド１をロードポート２０に対してロードする際には、通常微小空間２０ｂ内部の圧力を圧力調整機構２７によってポッド１の内部空間の内圧とほぼ同等の圧力（絶対圧力）とし、当該状態にてドア２５によるポッドの蓋１ｂの開閉及び開口部２０ｃの開放の操作が行われる。従って、従来はポッド１内部の圧力等のレチクル保持環境がどのようであるかまたどのように推移してきたかについては何ら確認し得なかった。しかし、本発明によれば、かなりの長期間レチクルを保持した状態でポッドが放置されていた場合であっても、現状のレチクル保持環境及び当該環境にいたる推移等を知った上でポッド１の開放操作を行うことが可能となる。具体的には、蓋１ｂ取り外し操作時のポッド内圧と微小空間２０ｂの圧力を、ロード前に予め略一致させて蓋開放操作を行う等することが可能であり、蓋開放に要する時間を減少させる等の効果が得られる。また、保持環境の推移によって環境劣化が著しい場合には、直接ロードポート２０にロードする以前に事前にレチクルにある種処理を行うべき場合があることも考えられる。本発明によれば、ロード時にこれを確認することが可能であり、直接ロードに適さないポッドをロードする不具合を完全に無くすることが可能となる。
【００２０】
また、ポッド１内を排気して当該空間の圧力（絶対圧力）を下げる操作は、レチクルをポッド１内部に搬入し、ポッド１をレチクル保管状態としてアンロード（上述したロードとは逆の操作）する際にのみ従来は行われている。当該操作では、微小空間２０ｂ内部とポッド１の内部空間とを連通させた状態にて、微小空間２０ｂ内部の圧力を圧力調整機構２７により調整し、その後蓋１ｂによるポッド１の密閉を行っている。通常、このような蓋１ｂの開閉操作は、ポッド１に収容されたレチクルの使用時にしか行われない。また、このような操作はレチクルの搬出搬入操作の実行フローに基づいて予め定められたプログラムどおりに実行される。これに対し、本発明では、実際にポッド１内部の圧力が所定の圧力よりも上昇し、減圧操作を行わなければレチクルを好適に保持することが困難となった状態を確認することが可能であり、適宜ポッド１内の真空化操作を行うことができる。なお、従来であれば、このようなポッド１内部の真空化操作のみを行う場合は考慮する必要がなかったが、本発明の構成であれば当該真空化操作のみに特化した構成、或いはこれに特化した所定のプログラムを作成しこれに沿って当該真空化操作を行うことが好適と考えられる。
【００２１】
以上の構成からなるポッド１をロードポート２０に対してロードし、ポッド１内部に収容されたレチクルをロードポート２０内部の不図示の搬送ロボット等によって取り出す際には、以下の手順に沿って当該操作が行われることが好ましい。即ち、ポッド１の蓋１ｂとロードポート２０のドアを当接させて該蓋１ｂを取り外す際には、当該取り外し動作を行う旨の信号がコントローラ７に送られ、モード切換機構１１により、圧力センサ３の動作についてアクティブモードによる動作を実施する状態とさせる。続いて、ポッド１内部の圧力を得、無線通信モジュール５及びロードポート側無線通信モジュール２１を介して、当該圧力を示す信号をロードポート側コントローラ２３に送る。ロードポート側コントローラ２３は、ロードポート側圧力センサ３３により得られる微小空間２０ｂ内圧力がポッド１内圧力とほぼ一致する圧力となるように圧力調整機構２７を動作させる。圧力調整機構２７により微小空間２０ｂ内部の圧力が、ポッド１内部の圧力とほぼ等しくなった後に、ドア２５によるポッドの蓋１ｂの開閉及び開口部２０ｃの開放の操作が行われる。これにより、蓋開放時にポッド１内の圧力と微小空間２０ｂ内の圧力との差がなくなることから、ドア駆動機構２５ａの負荷の減少化が図れるため、当該機構の簡略化等が進められる。また、圧力差の減少によって、蓋開放時にこれら空間間での気体の流れの発生が生じなくなり、このような流れ発生による微粒子の飛散等環境の劣化を抑制することが可能となる。
【００２２】
なお、上述した実施形態においては、密閉容器に収容される対象物としてレチクルを例示している。しかしながら、本発明の適用対象である密閉容器はこれに限定されず、半導体用のシリコンウエハ、ＬＣＤパネル用ガラス基板、光ディスク等の基板等、所謂清浄環境にて保持管理されるべき物品を収容する密閉容器が該当する。また、上述した実施形態においては、測定パラメータとしてポッド内圧を対象として述べている。しかしながら、本発明の適用対象可能なパラメータはこれに限定されず。酸素分圧、湿度、或いは特定のガス分圧等、上記物品においてこれを管理する際に留意すべきパラメータがこれに該当する。従って、上記実施形態における圧力センサは、本発明において密閉容器の内部空間の環境構成する圧力、酸素分圧、等各種パラメータの内の少なくとも一つを測定する環境パラメータ測定装置として把握されることが好ましい。また、上記実施形態においては、ポッド側の無線通信モジュール及び受信ユニット側の無線通信モジュールとして通信手段を各々例示しているが、必要最小限の構成として、ポッド内の圧力データを送信する送信手段と、当該送信手段がデータ送信する際の送信モードをコントローラにより制御する様式が満たされれば良い。この場合、必要に応じて、通信手段における信号を受信する構成を付加してゆくことが好ましい。また、本実施形態では測定通信のモードが二種類とし且つこれをポッド側で切り替えることとしている。このため、ホスト制御装置側では得られた環境推移に関するデータのみを集積処理するだけで良いため、ホスト制御装置側の負担が軽減される。しかし、モードを更に増やす、或いはモード切換等の指示をホスト制御装置側で行うこととし、ポッド側の負担を軽減する構成としても良い。
【００２３】
上述した本発明に係る密閉容器たるポッドの使用、及び当該ポッド複数を同時に管理可能な管理システムを用いることにより、保管状態にあるポッドの状態を同時並行的に管理し、且つポッドの状態に応じて適切な対処を適宜施すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る密閉容器たるポッド、及び当該ポッドから被収容物たるレチクルを取り出すロードポートの一部、を模式的に示す概略構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るポッド及びポッドからの信号を受信する受信ユニットの構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る容器管理システムの構成を模式的に示すブロック図である。
【符号の説明】
【００２５】
１：ポッド、  ２：真空センサユニット、  ３：圧力センサ、  ５：無線通信モジュール、  ７：コントローラ、  ９：バッテリ、  １１：モード切換機構、  ２０：ロードポート、  ２１：ロードポート側無線通信モジュール、  ２３：ロードポート側コントローラ、  ２５：ドア、  ２７：圧力調整機構、  ２９：給気系、  ３１：排気系、  ４０：受信ユニット、  ４１：受信ユニット側無線通信モジュール、  ４３：受信ユニット側コントローラ、  ４５：受信ユニット用個別電源、  ４７：有線通信モジュール、  ５０：容器管理システム、  ５１：ホスト制御装置、  ５３：有線ネットワーク
【図１】
0004730384.tif 000002
【図２】
0004730384.tif 000003
【図３】
0004730384.tif 000004