(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に形成される液晶封入間隙を一定に保つための粒状のスペーサを分散させたインクを、前記一対の基板のうちの一方の基板上の複数のスペーサ形成位置にインクジェット法により滴下することで前記スペーサ形成位置に前記スペーサを形成するスペーサ形成方法において、
前記スペーサ形成位置の一箇所ごとに、複数滴の前記インクを滴下することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項２】
前記インクを、各画素を囲む格子状の非画素領域の交差部に滴下することを特徴とする請求項１に記載のスペーサ形成方法。
【請求項３】
複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のスペーサ形成位置に前記インクの滴下を行い、かつ一箇所のスペーサ形成位置が同じノズルによって前記複数滴のインクの滴下を受けないように前記各ノズルと前記各スペーサ形成位置との対応位置関係を変えながら前記複数滴のインクの滴下を行うことを特徴とする請求項１に記載のスペーサ形成方法。
【請求項４】
複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて、前記複数のスペーサ形成位置に前記インクの滴下を行い、かつ一箇所のスペーサ形成位置が前記複数のノズルによって前記インクの滴下を受けるように前記各ノズルと前記各スペーサ形成位置との対応位置関係を変えながら前記複数滴のインクの滴下を行うことを特徴とする請求項１に記載のスペーサ形成方法。
【請求項５】
前記複数のスペーサ形成位置に、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて前記インクの滴下が行われ、
前記インクを前記スペーサ形成位置に吐出する前に、吐出異常の有無を確認するための試し吐出を行うステップと、
前記試し吐出で吐出異常のノズルがあった場合、この吐出異常のノズルからの前記インクの吐出は行わずに、正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させるステップと、
前記各スペーサ形成位置に対する前記各ノズルの対応位置をずらして、先のステップで吐出異常のノズルに対応していたスペーサ形成位置に正常ノズルを対応させて、この正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させるステップと、
を有することを特徴とする請求項１に記載のスペーサ形成方法。
【請求項６】
前記吐出異常の有無を、前記ノズルからの前記インクの吐出速度によって判定する請求項５に記載のスペーサ形成方法。
【請求項７】
前記吐出異常の有無を、前記インクの着弾位置のずれ量によって判定する請求項５に記載のスペーサ形成方法。
【請求項８】
前記ノズルの中心とこのノズルに対応するスペーサ形成位置の中心とを結ぶ直線の長さをＤ、前記インクの飛翔軌跡の前記直線からの傾き角度をθとすると、前記着弾位置のずれ量はＤ×tanθで表される請求項７に記載のスペーサ形成方法。
【請求項９】
前記ノズルの中心とこのノズルに対応するスペーサ形成位置の中心とを結ぶ直線の長さをＤ、前記インクジェットヘッドと前記基板との相対移動速度をＶｓ、前記ノズルからの前記インクの吐出速度をＶｄとすると、前記着弾位置の前記相対移動の方向に沿ったずれ量はＶｓ×Ｄ／Ｖｄで表される請求項７に記載のスペーサ形成方法。
【請求項１０】
一対の基板間に形成される液晶封入間隙を一定に保つための粒状のスペーサを溶媒中に分散させたスペーサ含有インクを、インクジェットヘッドの複数のノズルから吐出させて一方の基板上の複数のスペーサ形成位置に滴下させるスペーサ形成方法であって、
前記インクを前記スペーサ形成位置に吐出する前に、吐出異常の有無を確認するための試し吐出を行うステップと、
前記試し吐出で吐出異常のノズルがあった場合、この吐出異常のノズルからの前記インクの吐出は行わずに、正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させるステップと、
前記各スペーサ形成位置に対する前記各ノズルの対応位置をずらして、先のステップで吐出異常のノズルに対応していたスペーサ形成位置に正常ノズルを対応させて、この正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させるステップと、
を有し、
前記スペーサ形成位置の一箇所ごとに複数滴の前記インクを滴下することを特徴とするスペーサ形成方法。
【請求項１１】
一対の基板間に形成される液晶封入間隙を一定に保つための粒状のスペーサを溶媒中に分散させたスペーサ含有インクを、インクジェットヘッドの複数のノズルから吐出させて一方の基板上の複数のスペーサ形成位置に滴下させて前記スペーサ形成位置に前記スペーサを形成するスペーサ形成装置であって、
前記ノズルからの前記インクの吐出を観測する吐出観測手段と、
前記吐出観測手段の観測結果に基づいて吐出異常を判定する吐出異常判定部と、
前記吐出異常と判定されたノズルからの前記インクの吐出は行わずに、正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させた後、前記インクジェットヘッドと前記基板とを相対移動させて前記各スペーサ形成位置に対する前記各ノズルの対応位置をずらして、先の吐出時に前記吐出異常のノズルに対応していたスペーサ形成位置に正常ノズルを対応させて、この正常ノズルから前記インクを吐出させて前記スペーサ形成位置に滴下させる制御部と、を備え、
前記制御部は、前記スペーサ形成位置の一箇所ごとに複数滴の前記インクが滴下されるように制御することを特徴とするスペーサ形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルに用いられる一対の基板間の液晶封入間隙を一定に保つためのスペーサの形成方法に関し、詳しくは、スペーサを溶媒中に分散させたインクを基板上のスペーサ形成位置に滴下するインクジェット法（液滴吐出法）を用いたスペーサ形成方法及びスペーサ形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルに要求される応答特性、コントラスト、視野角は、液晶層の厚みに依存するところが大きい。このため、液晶が封入される一対の基板間の間隙にスペーサを介在させて液晶層の厚みを一定に保つよう制御している。スペーサの形成方法としては、一方の基板に柱状に形成する方法、ボール状のスペーサを散布する方法等が知られている。【０００３】
スペーサを柱状に形成する方法は、フォトリソグラフィによる膜の形成およびエッチング等の工程が必要となり、工程数が多くコストと手間がかかる。また、ボール状のスペーサを基板上に散布する方法としては、スプレー噴霧する湿式散布法と、圧搾ドライ窒素などの気流で粉体状スペーサを基板上に直接散布する乾式散布法とがあるが、何れも画素領域にもスペーサが散布され、輝度の低下や輝度のむらが発生したり、基板上におけるスペーサ分布が不均一になり、基板間ギャップが不均一になる場合がある。【０００４】
そこで、例えば特許文献１には、非画素領域であるカラーフィルタのブラックマトリックスに局所的にインクジェット法で簡便にスペーサを形成する技術が提案されている。この方法は、溶媒にボール状のスペーサを分散させたスペーサ含有インクを、ノズルからブラックマトリックス上に滴下して、溶媒を蒸発させることにより、ブラックマトリックス上にスペーサを残存させる。【０００５】
また、このインクジェット法において、ノズルの詰まりや、ノズルを開口として形成したノズルプレートに生じる傷などにより吐出異常が発生すると、基板上にスペーサが存在しない部分（スペーサの抜け）や、スペーサ形成位置のずれが生じ、液晶層の厚さにばらつきが生じて表示画質を低下させる可能性がある。例えば、図１７において、一列に並んだ３２個のノズルのうち８番目と１７番目のノズルに異常が生じた場合には、その異常ノズルに対応する基板１上における８列目と１７列目のスペーサ形成位置に線状のスペーサ不良部が生じる。【０００６】
吐出異常によるスペーサ形成不良を防止する方法として、特許文献２では、ノズルから吐出されるインクをカメラや画像処理装置にて観測し、その飛翔インクの吐出速度と吐出方向を測定する。そして、その測定値が設定範囲外であれば吐出異常と判定してノズルクリーニングを行っている。  【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２４０８３号公報
【特許文献２】特開平１１−３１６３８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
インクジェット法では１回の滴下量が多くなると、滴下後の液滴の広がりが大きくなり、滴下位置が少しずれただけでも（一般に、インクジェット法では、数μｍ〜十数μｍ程度、吐出位置の誤差が生じる場合がある）、ブラックマトリックスからはみ出してしまい画素におよんでしまう可能性が高くなり、画素にもスペーサが形成されるか、溶媒の影響が及び、表示画質の低下をきたす可能性がある。このように、滴下後の液滴の広がりを考慮すると滴下量が少ない方がスペーサを所定の範囲内に収めるには好ましいが、あまり滴下量を少なくしてしまうと滴下後の液滴中にスペーサが１個も含まれないことが起こり得る。【０００９】
なお、少ない滴下量でかつ確実にスペーサを形成するために溶媒中のスペーサ分散密度を大きくすることが考えられるが、これはインクの流動性を変化させたり、インク中でスペーサ粒子間の凝集が起こり、ノズルからの吐出性能に影響を与える可能性があるため、インク自体の特性を変えてしまうことは好ましくない。【００１０】
一方、ノズル異常を解消するクリーニングを行うことは生産性を低下させる。例えば１つや２つの異常ノズルのために生産を一時停止してクリーニングを行うことは非常に効率が悪い。また、目詰まりのひどいノズルや、ノズルプレートに生じた傷によりインク吐出方向に異常が生じたノズルは通常のクリーニングによって正常な状態に戻すのは困難である。【００１１】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、その目的とするところは、所定の範囲内に確実にスペーサを形成することができるスペーサ形成方法を提供することにある。【００１２】
また、本発明の他の目的とするところは、吐出異常のノズルが生じた場合にクリーニングを行わなくても、すべてのスペーサ形成位置に対して正常ノズルからスペーサ含有インクを滴下することができるスペーサ形成方法及びスペーサ形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は前記課題を解決するため以下の構成を採用した。
すなわち、本発明のスペーサ形成方法は、一対の基板間に形成される液晶封入間隙を一定に保つための粒状のスペーサを分散させたインクを、一方の基板上の複数のスペーサ形成位置の一箇所ごとに複数滴を滴下することで各スペーサ形成位置にスペーサを形成することを特徴としている。【００１４】
本発明では、スペーサ形成位置の一箇所ごとに必要なインク量を一度にまとめて滴下するのではなく、複数滴に分けて滴下するので、１滴あたりの滴下量を少なくでき、滴下後の広がりを抑えて所望の狭い範囲に確実に滴下することが可能となる。さらに、１滴当たりの滴下量が少なくなることで１回の滴下で滴下されたインク中にスペーサが含まれない場合が生じても、複数滴滴下することによりスペーサが１個も含まれないということを防ぐことができる。【００１５】
また、スペーサが画素領域に存在していると、液晶の配向不良や光抜け等を引き起こし、表示画質を大きく低下させる原因となるため、表示に直接寄与しない非画素領域に形成することが好ましい。特に、各画素を囲む格子状の非画素領域の交差部にインクを滴下すれば、その交差部は非画素領域の中でも比較的面積が大きく、滴下されたインクがその交差部からはみ出して画素におよびにくい。【００１６】
また、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて、複数のスペーサ形成位置にインクの滴下を行えば、同時に複数の位置にスペーサを形成でき生産性が良い。さらに、一箇所のスペーサ形成位置が同じノズルによって複数滴のインクの滴下を受けないように各ノズルと各スペーサ形成位置との対応位置関係を変えながら複数滴のインクの滴下を行えば、一部のノズルが閉塞した場合でも、スペーサ含有インクが１滴も滴下されないスペーサ形成位置が生じることを防ぎ、各スペーサ形成位置に確実にスペーサを形成することができる。【００１７】
一方、本発明のスペーサ形成方法は、スペーサ含有インクを基板上のスペーサ形成位置に吐出する前に、吐出異常の有無を確認するための試し吐出を行うステップと、この試し吐出で吐出異常のノズルがあった場合、この吐出異常のノズルからのスペーサ含有インクの吐出は行わずに、正常ノズルからスペーサ含有インクを吐出させてスペーサ形成位置に滴下させるステップと、各スペーサ形成位置に対する各ノズルの対応位置をずらして、先のステップで吐出異常のノズルに対応していたスペーサ形成位置に正常ノズルを対応させて、この正常ノズルからスペーサ含有インクを吐出させてスペーサ形成位置に滴下させるステップとを有する。【００１８】
また、本発明のスペーサ形成装置は、ノズルからのスペーサ含有インクの吐出を観測する吐出観測手段と、この吐出観測手段の観測結果に基づいて吐出異常を判定する吐出異常判定部と、吐出異常と判定されたノズルからのスペーサ含有インクの吐出は行わずに、正常ノズルからスペーサ含有インクを吐出させて基板上のスペーサ形成位置に滴下させた後、インクジェットヘッドと基板とを相対移動させて各スペーサ形成位置に対する各ノズルの対応位置をずらして、先の吐出時に吐出異常のノズルに対応していたスペーサ形成位置に正常ノズルを対応させて、この正常ノズルからスペーサ含有インクを吐出させてスペーサ形成位置に滴下させる制御部とを備える。【００１９】
上記インクジェットヘッドに異常ノズルが発生した場合には、その異常ノズルと基板上のスペーサ形成位置との対応位置をずらしながら複数回のインク吐出を基板に対して行うので、各スペーサ形成位置は少なくとも１回は正常ノズルからのインク滴下を受け、スペーサ形成不良部が異常ノズル位置に対応してライン状に形成されてしまうことを防げる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のスペーサ形成方法によれば、複数のスペーサ形成位置の一箇所ごとに複数滴のスペーサ含有インクを滴下するので、スペーサを、画素に及ばない範囲内に収めて、かつ必要個数のスペーサを確実に形成できる。この結果、液晶層の厚さを一定に保持できることに加えて、スペーサ自体による表示画質への影響も抑えて、液晶パネルの品質の向上が図れる。【００２１】
また、本発明によれば、異常ノズルと基板上のスペーサ形成位置との対応位置をずらしながら複数回のインク吐出を基板に対して行うので、クリーニングの実施による生産効率の低下をまねくことなく、スペーサの形成不良を回避でき、所望の液晶封入間隙を安定して保持できる。この結果、液晶層の厚みを一定に保て、良好な表示品質が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態における基板上へのスペーサ含有インクの滴下位置（スペーサ形成位置）を示す平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの各ノズルから基板上へのインクの滴下を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態におけるスペーサ形成方法を示す模式平面図である。
【図４】インクを１回（１滴）、２回（２滴）、３回（３滴）と滴下した場合に、滴下後の液滴にｎ個のスペーサが含まれる確率を示すグラフである。
【図５】本発明の第３の実施形態の吐出パターン例を示す模式平面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態の吐出パターン例を示す模式平面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態の吐出パターン例を示す模式平面図である。
【図８】本発明の第６の実施形態の吐出パターン例を示す模式平面図である。
【図９】本発明の第７の実施形態に係るスペーサ形成装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】本発明の第７の実施形態に係るスペーサ形成方法の流れを示すフローチャートである。
【図１１】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その１）を示す図である。
【図１２】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その２）を示す図である。
【図１３】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その３）を示す図である。
【図１４】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その４）を示す図である。
【図１５】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その５）を示す図である。
【図１６】本発明の第７の実施形態に係る吐出パターン例（その６）を示す図である。
【図１７】従来例の吐出パターン例を示す模式平面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１      基板
３      インクジェットヘッド
５      ブラックマトリックス
７      スペーサ含有インク
１０    処理装置
１１    制御部
１２    吐出パターン作成部
１３    吐出異常判定部
１４    記憶装置
１５    吐出観測手段
ｎ１〜ｎ９    ノズル
Ｒ      赤色画素
Ｇ      緑色画素
Ｂ      青色部画素
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を適用した具体的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。【００２５】
［第１の実施形態］
液晶パネルは、一対の基板の間に形成された数μｍほどの間隙に液晶を封入して構成される。一対の基板のうち一方は、ガラス基板に、偏光板、カラーフィルタ、対向電極、配向膜などが形成されて構成される。他方は、ガラス基板に、偏光板、画素電極、駆動トランジスタ、配向膜などが形成されて構成される。【００２６】
両基板は互いの配向膜どうしを対向させて貼り合わせられる。両基板を一体に貼り合わせるためのシール材が一方の基板に塗布され、シール材が塗布されていない他方の基板にスペーサが形成される。【００２７】
通常、スペーサはカラーフィルタを有するカラーフィルタ側基板に形成される。カラーフィルタは、図１に示すように、格子状のブラックマトリックス５と、この格子の目のそれぞれに形成された赤色画素Ｒ、緑色画素Ｇ、青色画素Ｂとを有する。ブラックマトリックス５は、ＲＧＢの各画素の周りを黒く縁取るように囲み、液晶セルへの印加電圧のオン／オフに関係なく常時バックライトからの光を遮光する非画素領域である。【００２８】
スペーサはインクに含有され、そのスペーサ含有インク７はインクジェット法により、格子状のブラックマトリックス５における複数の交差部（スペーサ形成位置）に滴下される。なお、スペーサ含有インク７はブラックマトリックス５上に直接滴下されるわけではなく、スペーサが形成される基板１が他方の基板と対向する部分（配向膜）におけるブラックマトリックス５の交差部に対応する位置（重なる位置）に滴下される。【００２９】
スペーサ含有インク７は、水やアルコール系などの溶媒と、この溶媒に分散されたスペーサを含む。スペーサは、両基板間のギャップ（液晶封入間隙）に相当する直径（例えば４〜５μｍ）をもつ球状のプラスチック、ガラス、シリカなどである。スペーサ含有インク７における、粘度、流動性、揮発性、溶媒中のスペーサ分散密度などはインクジェット法による滴下に適するように調整されている。【００３０】
スペーサ含有インク７は、図２に示すように、複数（この例では９個）のノズルｎ１〜ｎ９を有するインクジェットヘッド３を用いて基板１上の複数のスペーサ形成位置に滴下される。図２の例では、例えば９箇所のスペーサ形成位置に同時にスペーサ含有インク７を滴下してスペーサを形成することができる。【００３１】
スペーサ含有インク７がスペーサ形成位置に滴下すると、溶媒は自然蒸発又は加熱蒸発し、スペーサ形成位置にはスペーサが残存する。このとき、スペーサ形成位置に滴下された液滴の周縁部から徐々に溶媒が蒸発して液滴の中心部が小さくなっていくのに伴ってスペーサも中心部に集まることによって液滴の中心部近傍にスペーサが配置される。【００３２】
本実施形態では、スペーサ形成位置の一箇所ごとに、所望の個数のスペーサを形成するのに必要な量のインク７を一度にまとめて滴下するのではなく、複数滴に分けて滴下する。すなわち、スペーサ形成位置の一箇所あたり複数回のインク７の滴下が行われる。これによって、従来に比べて１滴あたりの滴下量を少なくでき、その分、滴下されたインク７の広がりを抑えることができ、スペーサを所定の範囲内（ブラックマトリックス５の領域内）に確実に収まるように形成できる。この結果、表示に寄与する光の透過部であるＲＧＢの各画素にスペーサが形成されることを防げ、表示画質の低下を防げる。【００３３】
なお、一箇所のスペーサ形成位置についての複数滴のインク７の滴下は、インク７の揮発性や１滴ごとの滴下の時間間隔、周囲環境などによって、先に滴下したインク７の液滴が乾く（溶媒が蒸発する）前に、次の液滴が滴下される場合もあるし、先の液滴が乾いた後に次の液滴が滴下される場合もある。【００３４】
また、インク７を、ブラックマトリックス５の交差部以外のライン状部分に滴下してもよい。しかし、一般に、ブラックマトリックス５のライン状部分の幅に比べ、そのブラックマトリックス５の格子の交差部は、液晶シャッターを動作させるためのＴＦＴ（Thin Film Transistor）が形成されることもあり、平面寸法は一般に大きくなる。したがって、ブラックマトリックス５の領域中でも比較的範囲が広い交差部にスペーサ含有インク７を滴下すればスペーサが画素に広がりにくい。【００３５】
なお、基板面方向に関して均一な安定した基板間ギャップを保持できるのであれば、ブラックマトリックス５のすべての交差部にスペーサを形成する必要はない。また、基板全体でのスペーサの必要個数は基板平面寸法の大きさによって異なってくる。【００３６】
また、本実施形態では、例えば、インク７の１回の滴下量（１滴の量）は平均５.５ｐｌであり、また、１回の滴下（１滴）あたり平均１.３個のスペーサが含まれる。インク７及びスペーサをブラックマトリックス５の領域内に収めて画素に広がらないようにするためには、１回の滴下量（１滴の量）が１０ｐｌ以下であることが好ましい。しかし、あまり１滴の量を少なくすると、その１滴の中にスペーサが１つも含まれない可能性が出てくるため、１回の滴下量（１滴の量）は５ｐｌ以上であることが好ましい。【００３７】
図４のグラフは、スペーサ含有インク７を同じ箇所に１回（１滴）、２回（２滴）、３回（３滴）と滴下した場合に、ｎ個のスペーサが形成される確率を示すグラフである。すなわち、滴下後のインク７中に、横軸に示される個数のスペーサが含まれる確率を百分率（パーセンテージ）で縦軸に示している。１回（１滴）あたりの滴下量は約５.５ｐｌとした。【００３８】
このグラフによれば、１回だけの滴下では、スペーサ個数が０、すなわち滴下後の液滴にスペーサが１個もない場合が約２９％の確率で発生する。しかし、２回滴下した場合には、スペーサが０個の場合の確率が１０％以下となり、さらに３回滴下した場合には、スペーサが０個の場合の確率が２％以下となっている。【００３９】
従来と同じインク７を使った場合に、本実施形態では滴下後の広がりを抑えるために１滴の量を従来より少なくしているので、１回（１滴）の滴下だけではスペーサが１個も含まれない可能性が高くなるが、図４の結果からわかるように、１回の滴下量を少なくしても２回、３回と同じスペーサ形成位置に滴下することで、滴下後の液滴中にスペーサが含まれない確率を大きく下げることができ、よって各スペーサ形成位置に確実にスペーサを形成することができる。【００４０】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。【００４１】
インクジェット法では、非常に狭い領域を狙ってスペーサ含有インク７を滴下するため、ノズルの口径も非常に小さくインク７が詰まって閉塞することも起こり得る。閉塞してしまったノズルからはスペーサ含有インク７が滴下されないため、あるスペーサ形成位置が１回目も、２回目も、・・・ｎ回目も、毎回同じノズルからインク７の滴下を受ける構成であるとそのスペーサ形成位置に対応するノズルが閉塞してしまった場合にはそのスペーサ形成位置には１滴もインク７が滴下されず、よってそのスペーサ形成位置にはスペーサが形成されなくなってしまう。【００４２】
そこで、本実施形態では、一箇所のスペーサ形成位置に同じノズルから複数回のインク７の滴下が行われないように、１回の滴下ごとに、図３に示すように、インクジェットヘッド３の各ノズルｎ１〜ｎ９と、基板１上の各スペーサ形成位置との対応位置関係を変えている。【００４３】
具体的には、先ず、ノズルｎ７、ｎ８、ｎ９が、それぞれ、１列目のスペーサ形成位置、２列目のスペーサ形成位置、３列目のスペーサ形成位置に対応されて位置決めされ、スペーサ形成位置の行方向（図において横方向）に沿って配置された、開始位置（１回目位置）にあるインクジェットヘッド３を矢印で示すインクジェットヘッド走査方向に移動させる。これにより、ノズルｎ７からは１列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ８からは２列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ９からは３列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下される。【００４４】
なお、ノズルの個数、スペーサ形成位置の行数、列数は、一例であって図３に示す数に限ることはない。また、インクジェットヘッド３と基板１とは相対移動できる構成であればよく、インクジェットヘッド３を矢印方向に移動させるのではなく、基板１を矢印の逆方向に移動させてもよい。【００４５】
次に、インクジェットヘッド３を、開始位置から、例えば、行方向（図において右方向）にノズル３つ分ずらして、ノズルｎ４、ｎ５、ｎ６、ｎ７、ｎ８、ｎ９が、それぞれ、１列目のスペーサ形成位置、２列目のスペーサ形成位置、３列目のスペーサ形成位置、４列目のスペーサ形成位置、５列目のスペーサ形成位置、６列目のスペーサ形成位置に対応されて位置決めされた２回目位置にセットして、そのインクジェットヘッド３を矢印で示すインクジェットヘッド走査方向に移動させる。これにより、ノズルｎ４からは１列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ５からは２列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ６からは３列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ７からは４列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ８からは５列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ９からは６列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下される。１〜３列目のスペーサ形成位置は２回目のインク滴下を受けるが、それぞれ先に滴下を受けたノズルとは異なるノズルからインク滴下を受ける。【００４６】
次に、インクジェットヘッドを、２回目位置から、例えば、行方向（図において右方向）にノズル３つ分ずらして、ノズルｎ１、ｎ２、ｎ３、ｎ４、ｎ５、ｎ６、ｎ７、ｎ８、ｎ９が、それぞれ、１列目のスペーサ形成位置、２列目のスペーサ形成位置、３列目のスペーサ形成位置、４列目のスペーサ形成位置、５列目のスペーサ形成位置、６列目のスペーサ形成位置、７列目のスペーサ形成位置、８列目のスペーサ形成位置、９列目のスペーサ形成位置に対応されて位置決めされた３回目位置にセットして、そのインクジェットヘッド３を矢印で示すインクジェットヘッド走査方向に移動させる。これにより、ノズルｎ１からは１列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ２からは２列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ３からは３列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ４からは４列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ５からは５列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ６からは６列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ７からは７列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ８からは８列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下され、ノズルｎ９からは９列目のスペーサ形成位置にスペーサ含有インク７が滴下される。１〜３列目のスペーサ形成位置は３回目のインク滴下を受けるが、それぞれ、１回目、２回目に滴下を受けたノズルとは異なるノズルからインク滴下を受ける。また、４〜６列目のスペーサ形成位置については２回目のインク滴下を受けるが、それぞれ１回目に滴下を受けたノズルとは異なるノズルからインク滴下を受ける。以下同様に、基板１上のすべてのスペーサ形成位置に対し、同数のインク滴下を行う。【００４７】
以上のことにより、一箇所のスペーサ形成位置に対して異なるノズルからインク７を複数回（複数滴）滴下することができ、あるノズルが閉塞しても、１滴もインク７が滴下されないスペーサ形成位置は生じない。よって、スペーサが１個も形成されないスペーサ形成位置が生じる可能性を低減できる。【００４８】
なお、各ノズルｎ１〜ｎ９と、各スペーサ形成位置との対応位置関係を変える方法は上記に限定されず、インクジェットヘッド３をスペーサ形成位置の列方向に沿って配置させて行方向に走査し、このとき１回の滴下ごとに列方向にノズルをずらすようにしてもよい。もしくは、列方向に走査して滴下した後、インクジェットヘッド３の向きを９０゜変えて行方向に走査して滴下するようにしてもよい。【００４９】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。【００５０】
スペーサ含有インク７は、図２に示したように、一列に並んだ複数のノズルｎ１〜ｎ９を有するラインヘッド型のインクジェットヘッド３を用いて基板１上の複数のスペーサ形成位置に滴下される。ノズルｎ１〜ｎ９の並んだ方向に沿った複数箇所のスペーサ形成位置に同時にスペーサ含有インク７を滴下してスペーサを形成することができる。【００５１】
本実施の形態では、インクジェットヘッド３と基板１とがノズル並列方向に直交する方向に相対移動されながら各ノズルｎ１〜ｎ９からスペーサ含有インク７が滴下されていく。例えば、静止しているインクジェットヘッド３に対して、ノズル並列方向に直交する方向に基板１が移動される。あるいは、静止している基板１に対してインクジェットヘッド３を移動させてもよいし、両者を移動させてもよい。【００５２】
次に、具体的なスペーサ形成手順について説明する。【００５３】
まず、製品となる基板に対してスペーサ含有インクの吐出を行う前に、各ノズルについてインクの吐出異常の有無を確認するための試し吐出をダミー基板に対して行う。このとき、吐出観測手段により各ノズルからのインクの吐出を観測する。【００５４】
吐出観測手段は、レーザ光学系とカメラと画像処理装置などからなる。吐出観測手段をヘッドメンテナンス位置に設け、ヘッドを吐出観測位置に移動させノズルから吐出されるインク液滴を、所定時間間隔でレーザ光を点滅させつつカメラで撮影することでインクの飛翔軌跡が静止画像として得られる。この画像を画像処理装置で処理して、インクの吐出速度や吐出角度を算出し、これらの値に基づいて吐出異常かどうかを判定する。また、所定の位置に移動ないしは設置されたヘッドの観測位置に吐出観測手段を移動し、ノズルから吐出されダミー基板上に着弾するインクを観測し、吐出異常かどうかを判定してもよい。なお、ノズルが完全に詰まってインクがまったく吐出されない場合にはインクの飛翔軌跡の画像が得られない。もちろんこの場合も吐出異常である。また、ノズルからインクが吐出される様子を動画として撮影して、この動画データから吐出速度や吐出角度を算出してもよい。【００５５】
吐出異常の判定に際して、例えば、ノズルからのインクの吐出速度Ｖｄのしきい値を５.０ｍ／秒±５％、吐出角度θのしきい値を±０.５゜と設定した場合に、表１の結果が得られたとすると、ノズルNo.８と１７が吐出異常ノズルとして判定される。ノズルNo.１７のノズルからはインクがまったく吐出されず吐出速度及び吐出角度が観測不能。また、上記吐出角度θは、ノズルの中心とこのノズルに対応するスペーサ形成位置の中心とを結ぶ直線（ノズルから基板に下ろした垂線）からのインク飛翔軌跡の傾き角度に相当する。【００５６】
【表１】
0004771426.tif 000002
【００５７】
また、吐出異常を、インク着弾位置の基準位置（ノズルから真下に着弾した位置）からのずれ量によって判定してもよい。【００５８】
例えば、インクジェットヘッドと基板との相対移動方向に平行な方向から各列のノズルをカメラで撮影した場合において、その相対移動方向に直交する方向の着弾位置ずれ量はＤ×tanθで表される。ここで、Ｄはノズル−基板間の鉛直方向に沿った最短距離（ノズルの中心とこのノズルに対応するスペーサ形成位置の中心とを結ぶ直線の長さ）であり、例えば０.５ｍｍである。θはノズルの中心とこのノズルに対応するスペーサ形成位置の中心とを結ぶ直線からのインク飛翔軌跡の傾き角度である。【００５９】
また、インクジェットヘッドと基板との相対移動方向に直交する方向から飛翔インクをカメラで撮影した場合において、その相対移動方向に沿った方向の着弾位置ずれ量はＶｓ×Ｄ／Ｖｄで表される。ここで、Ｖｓは静止しているインクジェットヘッドに対する基板の移動速度であり、例えば２００ｍｍ／秒である。Ｄ、Ｖｄ上述のとおりである。【００６０】
さらには、Ｄ×tanθ＋Ｖｓ×Ｄ／Ｖｄの値によって吐出異常を判定してもよい。【００６１】
吐出異常のノズルがあった場合には、この吐出異常ノズルからのインクの吐出は行わずに、正常ノズルからのインク吐出だけを基板（実際に製品となるべき基板）に対して行う。異常ノズルに対応するインク圧力室内の圧力変動を生じさせる圧電素子への電圧印加を行わなければ異常ノズルからインクは吐出されない。あるいはサーマル式のインクジェットヘッドの場合には、インク貯留室への熱供給を行わなければよい。【００６２】
例えば、図５において、３２個あるノズルのうちノズルNo.８と１７の２つのノズルが吐出異常ノズルとされた場合には、先ず、ノズルNo.８と１７のノズルからのインクの吐出は行わずに、その他の正常ノズル（ノズルNo.１〜７、９〜１６、１８〜３２）からのインク吐出だけを基板１に対して行う。この例では、静止しているインクジェットヘッド３に対して、基板１が図示の矢印方向（ノズル並列方向に直交する方向）へ移動されながら各ノズルからインクが吐出され基板１上のスペーサ形成位置に滴下されていく。この１回目の吐出が終わった段階では、異常ノズルに対応して位置する８列目と１７列目のスペーサ形成位置にはインク及びこれに含まれるスペーサが滴下されていない状態である。【００６３】
そこで、次に、インクジェットヘッド３を図５において右に１ノズル分移動させて、８列目のスペーサ形成位置にノズルNo.７の正常ノズルを、１７列目のスペーサ形成位置にノズルNo.１６の正常ノズルをそれぞれ対応させる。ノズルと基板１とは、ノズル並列方向に沿って相対的に位置がずれればよく、インクジェットヘッド３と基板１のどちらを移動させてもよい。【００６４】
上記のようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、１回目と同様にして２回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.７と１６のノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わせない。【００６５】
この結果、すべてのスペーサ形成位置に対して、１回（１滴）ずつのインク滴下が行われる。なお、図５においてノズルの●はインク吐出が行われるノズルを、○はインク吐出が行われないノズルを示す。基板１上の●はスペーサ形成位置を表し、上述したように各スペーサ形成位置はそれぞれ１回ずつのインク滴下を受ける。これにより、スペーサの形成されない部分が異常ノズル位置に対応してライン状に形成されてしまうことを防ぎ、所望の液晶封入間隙安定して保持できる。【００６６】
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態について図６参照して説明する。なお、上記第１の実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。図６おいて、●は正常ノズルを、○は異常ノズルを示す。基板１上の数字は、各スペーサ形成位置に何回（何滴）のインク滴下が行われたかを示す。【００６７】
図６おいて、３２個あるノズルのうちノズルNo.８と１７の２つのノズルが吐出異常ノズルとされた場合には、先ず、ノズルNo.８と１７のノズルからのインクの吐出は行わずに、ノズルNo.６〜７、９〜１６、１８〜３２の正常ノズルからのインク吐出だけを基板１に対して行う。この例では、静止しているインクジェットヘッド３に対して、基板１が図示の矢印方向（ノズル並列方向に直交する方向）へ移動されながらノズルNo.６〜７、９〜１６、１８〜３２の正常ノズルからインクが吐出され基板１上のスペーサ形成位置に滴下されていく。この１回目の吐出が終わった段階では、異常ノズルに対応して位置する３列目と１２列目のスペーサ形成位置にはインク及びこれに含まれるスペーサが滴下されていない状態である。【００６８】
そこで、次に、インクジェットヘッド３を図６において右に５ノズル分移動させて、異常ノズルに対応するスペーサ形成位置を１回目とはずらす。このようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、上記１回目と同様にして２回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.１〜７、９〜１６、１８〜２７の正常ノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わせない。【００６９】
この結果、１回目と２回目の吐出時に共に正常ノズルに対応していたスペーサ形成位置にはインク滴下が２回行われ（２滴のインク滴下が行われ）、１回目と２回目のどちらかが異常ノズルに対応していたスペーサ形成位置にはインク滴下が１回行われる（１滴のインク滴下が行われる）。１回目と２回目共に異常ノズルに対応してしまうスペーサ形成位置はないので、スペーサの形成されない部分が異常ノズル位置に対応してライン状に形成されてしまうことを防ぎ、所望の液晶封入間隙安定して保持できる。【００７０】
また、２滴のインクが滴下されるスペーサ形成位置については、所望の個数のスペーサを形成するのに必要な量のインクを一度にまとめて（１滴で）滴下するのではなく、２滴に分けて滴下されるので、１滴あたりの滴下量を少なくでき、その分、滴下されたインクの広がりを抑えることができ、スペーサを所定の範囲内（ブラックマトリクス５の領域内）に確実に収まるように形成できる。この結果、表示に寄与する光透過部であるＲＧＢの各画素にスペーサが形成されることを防ぎ、表示画質の低下を防げる。【００７１】
１箇所のスペーサ形成位置あたり３〜７個程度のスペーサを一定の範囲に形成するのが好ましい。１滴あたりのスペーサ数は、インク中におけるスペーサ濃度、液滴サイズ等により変化するが、１滴だけの滴下だとスペーサをまったく含まない、あるいは所望の個数が含まれない場合があるので、これを防ぐ観点からも、１箇所のスペーサ形成位置につき複数滴のインクを滴下することが好ましい。【００７２】
［第５の実施形態］
次に、本発明の第５の実施形態について図７を参照して説明する。なお、上記各実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。図７において、●は正常ノズルを、○は異常ノズルを示す。基板１上の数字は、各スペーサ形成位置に何回（何滴）のインク滴下が行われたかを示す。【００７３】
図７において、３２個あるノズルのうちノズルNo.８と１７の２つのノズルが吐出異常ノズルとされた場合には、先ず、ノズルNo.８と１７のノズルからのインクの吐出は行わずに、ノズルNo.７、９〜１６、１８〜３２の正常ノズルからのインク吐出だけを基板１に対して行う。【００７４】
そして、次に、インクジェットヘッド３を図７において右に３ノズル分移動させて、異常ノズルに対応するスペーサ形成位置を１回目とはずらす。このようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、上記１回目と同様にして２回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.４〜７、９〜１６、１８〜２９の正常ノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わない。【００７５】
さらに、インクジェットヘッド３を、２回目から図７において右に３ノズル分移動させて、異常ノズルに対応するスペーサ形成位置を１回目及び２回目とはずらす。このようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、上記１回目、２回目と同様にして３回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.１〜７、９〜１６、１８〜２６の正常ノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わない。【００７６】
以上の結果、１〜３回目の吐出時に共に正常ノズルに対応していたスペーサ形成位置にはインク滴下が３回行われ（３滴のインク滴下が行われ）、１〜３回目のうち何れか１回が異常ノズルに対応していたスペーサ形成位置にはインク滴下が２回行われる（２滴のインク滴下が行われる）。本実施形態においても、異常ノズルとスペーサ形成位置との対応位置をずらしながら複数回の吐出を行うので、スペーサの形成されない部分が異常ノズル位置に対応してライン状に形成されてしまうことを防ぎ、所望の液晶封入間隙安定して保持できる。【００７７】
また、すべてのスペーサ形成位置が複数滴のインク滴下を受けるので、滴下されたインクの広がりを抑えることができ、スペーサを所定の範囲内（ブラックマトリクス５の領域内）に確実に収まるように形成できる。さらに、スペーサ個数が０または所望の個数に満たない確率も減らせる。【００７８】
［第６の実施形態］
次に、本発明の第６の実施形態について図８を参照して説明する。なお、上記各実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。図８において、１回目ヘッド位置と２回目ヘッド位置における●は正常ノズルを、○は異常ノズルを示し、３回目ヘッド位置における●はインク吐出が行われる正常ノズルを、○はインク非吐出ノズル（異常ノズルを含む）を示す。基板１上の数字は、各スペーサ形成位置に何回（何滴）のインク滴下が行われたかを示す。【００７９】
図８において、３２個あるノズルのうちノズルNo.８と１７の２つのノズルが吐出異常ノズルとされた場合には、先ず、ノズルNo.８と１７のノズルからのインクの吐出は行わずに、ノズルNo.７、９〜１６、１８〜３２の正常ノズルからのインク吐出だけを基板１に対して行う。【００８０】
そして、次に、インクジェットヘッド３を図８において右に３ノズル分移動させて、異常ノズルに対応するスペーサ形成位置を１回目とはずらす。このようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、上記１回目と同様にして２回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.４〜７、９〜１６、１８〜２９の正常ノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わない。【００８１】
さらに、インクジェットヘッド３を、２回目から図８において右に３ノズル分移動させて、異常ノズルに対応するスペーサ形成位置を１回目及び２回目とはずらす。このようなノズルとスペーサ形成位置との対応関係にした状態で、上記１回目、２回目と同様にして３回目のインク吐出を基板１に対して行う。このとき、ノズルNo.２、５、１１、１４の正常ノズルのみインク吐出を行わせ、他のノズルからのインク吐出は行わない。【００８２】
以上の結果、すべてのスペーサ形成位置についてインク滴下回数を２回に揃えることができ、基板面内におけるスペーサ個数分布のばらつきを抑制でき。これにより、より安定した液晶封入間隙を確保できる。【００８３】
また、本実施形態においても、すべてのスペーサ形成位置が複数滴のインク滴下を受けるので、滴下されたインクの広がりを抑えることができ、スペーサを所定の範囲内（ブラックマトリクス５の領域内）に確実に収まるように形成できる。さらに、スペーサ個数が０または所望の個数に満たない確率も減らせる。【００８４】
［第７の実施形態］
次に、本発明の第７の実施形態について説明する。なお、上記各実施形態と同じ構成部分には同一の符号を付しその詳細な説明は省略する。【００８５】
図９は、本実施形態に係るスペーサ形成装置の構成を示すブロック図である。このスペーサ形成装置は、一列に並んだ複数のノズルを有するインクジェットヘッド３（図２参照）と、このインクジェットヘッド３を移動させるヘッド移動手段１７と、基板移動手段１８と、吐出観測手段１９と、クリーニング手段２０と、記憶装置１４と、表示装置１５と、これらが接続された処理装置１０を備える。【００８６】
ヘッド移動手段１７は、例えばステップモータや圧電モータを駆動源とし、インクジェットヘッド３をノズル並列方向に平行な方向に移動させる。基板移動手段１８は、基板１を支持するステージをノズル並列方向に直交する方向（走査方向）に移動させる。吐出観測手段１９は、上述したように、ノズルからのインクの吐出の様子を観測するレーザ光学系、カメラ、画像処理装置等である。記憶装置１４は、異常ノズル位置を記憶する例えば半導体メモリ、磁気ディスク等である。処理装置１０は、制御部１１、演算部（吐出パターン作成部１２、吐出異常判定部１３）を有する。【００８７】
また、上述した各実施形態にも言えるが、基板移動手段１８としては、直交する２方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動可能なＸ−Ｙステージを用いることができる。あるいは、基板を固定させておき、ヘッド移動手段１７として直交する２方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動可能なＸ−Ｙステージを用いてもよい。【００８８】
次に、図１０のフローチャートを参照して本実施形態に係るスペーサ形成方法について説明する。【００８９】
先ず、ステップＳ１でフローが開始され、次のステップＳ２で試し吐出が行われる。この試し吐出を吐出観測手段１９で観測する（ステップＳ３）。この観測データ（吐出速度や吐出角度など）は処理装置１０に送信され、処理装置１０の吐出異常判定部１３が観測データに基づいて吐出異常の判定を行う。【００９０】
この判定の結果、吐出異常のノズルが１つもない場合には、ステップＳ４にて”ＮＯ”となり、各列のスペーサ形成位置に対応するすべてのノズルからインク吐出が行われて（ステップＳ１３）、フローは終了する（ステップＳ１７）。各スペーサ形成位置には１滴ずつの吐出でもよいし、複数滴ずつの吐出でもよい。【００９１】
吐出異常のノズルがある場合には、ステップＳ４にて”ＹＥＳ”となり、次のステップＳ５にて、その異常ノズルの個数が許容値以下かどうか判定される。ここで、異常ノズルの数があまりにも多すぎるとステップＳ５にて”ＮＯ”となり、表示装置１５にエラー表示を行い（ステップＳ１４）、自動または手動でクリーニングモードが選択され（ステップＳ１５）、クリーニング手段２０によってノズルのクリーニングが実施される（ステップＳ１６）。【００９２】
異常ノズル数が許容値以下である場合には、ステップＳ５にて”ＹＥＳ”となり、その異常ノズルの位置が記憶装置１４に記憶される（ステップＳ６）。例えば、上述した各実施形態ではノズルNo.８と１７のノズルが異常ノズルとして記憶される。【００９３】
その異常ノズル位置と各種設定値（スキャン数、吐出目標回数、最低吐出回数、最低吐出ラインの間隔）に基づいて、吐出パターン作成部１２が吐出パターンを作成する（ステップＳ７）。吐出パターンの例を、図１１〜図１６に示す。スキャン数は、ノズル並列方向に直交する方向にインクジェットヘッドと基板を相対移動させる回数である。吐出目標回数は、１箇所のスペーサ形成位置に何回（何滴）インクを滴下させるかの目標数である。最低吐出回数は、異常ノズルの存在のために吐出目標回数のインク滴下を受けることができないスペーサ形成位置について、最低この回数だけのインク滴下は確保したい数を示す。最低吐出ラインの間隔は、吐出目標回数に至らない回数の滴下を受けたスペーサ形成位置の列（ライン）間の間隔としてどれだけ確保したいかを示し、隣り合う場合には０となる。なお、その他に、吐出目標回数に至らない回数の滴下を受けたスペーサ形成位置の列（ライン）の数を設定値として設定してもよい。【００９４】
図１１〜図１６において、○はインク吐出が行われない正常ノズルを、◎はインク吐出が行われる正常ノズルを、●はインク吐出が行われない異常ノズルを示す。また、各図には、基板上のスペーサ形成位置をノズル並列方向に沿った１行分だけ、インク滴下を受ける回数と共に示している。【００９５】
ステップＳ７で作成された吐出パターンについて、上記設定値の条件を満たすかどうかが、ステップＳ８〜Ｓ１１で判定される。ステップＳ８〜Ｓ１０において各設定値の条件を満たさない場合には、ステップＳ７にて吐出パターンが作り直される。なお、スキャン数の設定条件を満足できない場合には、スキャン数の増加は生産効率の悪化につながるので、ステップＳ１１において”ＮＯ”となり、表示装置１５にエラー表示を行い（ステップＳ１４）、自動または手動でクリーニングモードが選択され（ステップＳ１５）、クリーニング手段２０によってノズルのクリーニングが実施される（ステップＳ１６）。【００９６】
ステップＳ７で作成された吐出パターンがステップＳ８〜ステップＳ１１の条件をすべて満足すると、その吐出パターンに基づいて、制御部１１が、インクジェットヘッド３や基板をどのように動かすかを制御し、且つどのノズルからインク吐出を行わせるかを制御して、基板上のスペーサ形成位置にインク滴下が行われ（ステップＳ１２）、フローは終了する（ステップＳ１７）。【００９７】
図１１の吐出パターン例は、１滴しかインクが滴下されない列の数が最小になるように且つその列間の間隔が最大になるような吐出パターン例である。【００９８】
図１２の吐出パターン例は、１滴しかインクが滴下されない列の間隔を広げることよりも、その列の数が少なくなることを優先した吐出パターン例である。【００９９】
図１３の吐出パターン例では、基板上における１１列目のスペーサ形成位置について、最低吐出回数の設定値「２」に至らない１回（１滴）の滴下となり、エラーとなっている。この場合、上記ステップＳ７で吐出パターンの作り直しが行われる。図１３の吐出パターン例とは２回目以降のインクジェットヘッドの移動量（ノズル位置のずらし量）及び吐出ノズルの選択を変えた図１４の吐出パターン例にすればエラーを生じずに設定値を満たす。【０１００】
図１５の吐出パターン例では、最低吐出回数「２」の列（ライン）が隣り合ってしまうエラーが複数生じ、最低吐出ラインの間隔の設定値「１」以上を満たさない。この場合、上記ステップＳ７で吐出パターンの作り直しが行われる。図１５の吐出パターン例とは２回目以降のインクジェットヘッドの移動量（ノズル位置のずらし量）及び吐出ノズルの選択を変えた図１６の吐出パターン例にすればエラーを生じずに設定値を満たす。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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