(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを搬入出するための搬入出口（１２）が側面に設けられたボックスと、前記搬入出口（１２）に向かって延設されたビームと、前記ビームの延設方向に移動自在な塗布ヘッド（５）と、スライドベースおよびスライドベース上を移動自在に配設されるスライダーとを有して構成され、前記ビームを平行移動させるビーム移動手段と、前記塗布ヘッドに対向して設けられたワークを載置するためのテーブルと、それらの作動を制御する制御部と、を備え、
前記ボックス内において、前記塗布ヘッドと前記テーブルとを相対的に移動させて前記ワーク表面の所望する位置に液材を塗布する液材塗布装置であって、
前記搬入出口（１２）は、前記スライドベースより高い位置に設けられていること、および、
前記ビームは、前記ビーム移動手段により前記ワークの搬入出時に干渉しない位置に移動自在であることを特徴とする液材塗布装置。
【請求項２】
前記塗布ヘッド（５）は、ノズル先端から吐出された液材を前記ワークに付着させて塗布する吐出装置（２２）、および／または、ノズル先端から液材を離間させた後に前記ワーク表面に塗布する飛滴装置（２３）、および／または、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置（２４）、から構成されることを特徴とする請求項１の液材塗布装置。
【請求項３】
前記ボックスは、前記ボックスの搬入出口（１２）の設けられた側面と隣接する左右の側面に設けられた塗布ヘッド（５）をメンテナンスするための開閉口を有すること、および、
前記ビームは、前記ビーム移動手段により前記開閉口の近傍に移動自在であることを特徴とする請求項１または２の液材塗布装置。
【請求項４】
前記ビームは単数であり、前記塗布ヘッド（５）は、当該ビームの長手方向の左右両側面に配設されることを特徴とする請求項１、２または３の液材塗布装置。
【請求項５】
前記ビームの長手方向の一側面に前記飛滴装置（２３）を配設し、他の側面に吐出装置（２２）を配設することを特徴とする請求項４の液材塗布装置。
【請求項６】
前記ビームは両側面にそれぞれ複数の塗布ヘッド（５）を備えることを特徴とする請求項４または５の液材塗布装置。
【請求項７】
前記ボックスは、前記搬入出口（１２）の設けられた側面と隣接する左右の側面に夫々開閉口を有し、
前記ビームは、平行に配設された第一のビームと第二のビームとから構成され、前記塗布ヘッド（５）は、各ビームの長手方向の側面であって、前記開閉口に近い方の側面にそれぞれ配設されることを特徴とする請求項３の液材塗布装置。
【請求項８】
前記第一または第二のビームに前記飛滴装置（２３）を配設し、他のビームに前記吐出装置（２２）を配設することを特徴とする請求項７の液材塗布装置。
【請求項９】
前記ビームは、同一側面にそれぞれ複数の塗布ヘッド（５）を備えることを特徴とする請求項７または８の液材塗布装置。
【請求項１０】
前記第一および第二のビームは、内側面にそれぞれ検査装置（２４）を一つ備えることを特徴とする請求項７、８または９の液材塗布装置。
【請求項１１】
前記第一および第二のビームは、前記ビーム移動手段によりそれぞれ可動自在であることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかの液材塗布装置。
【請求項１２】
前記ビーム移動手段は、ワークテーブルを挟んで平行に配設される一対のスライドベースと、当該スライドベース上を移動自在に配設されており、前記ビームを支持するスライダーとを有して構成されることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかの液材塗布装置。
【請求項１３】
前記ボックスには操作パネルが着脱可能に配設されており、無線ネットワークを介して取り外した操作パネルから前記制御部を操作可能であることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかの液材塗布装置。
【請求項１４】
前記ボックスは通信用ソケットが配設されており、有線および／または無線ネットワークを介して外部端末から前記制御部を操作可能であることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれかの液材塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水、アルコールといった低粘性物質から、接着剤、ペースト状もしくはクリーム状の工業用材料といった高粘稠流体に至るまでの液材を、ワークに所望位置に所望形状に塗布・滴下する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ディスプレイの大型化の需要の高まりにより、ガラス基板サイズも１ｍ×１ｍを越えるようになり、それに伴い塗布装置も大型化が進んでいる。従来は、基板を搭載するテーブルをＸＹ方向に移動することでノズルとテーブルとの相対的位置関係を変化して塗布するタイプの液材塗布装置が主流であったが、テーブルの重量増加に伴い、テーブルの制御が難しくなり、また動作時の振動の影響が大きくなるという問題があったため、門型構造が好んで採用されるようになってきた。
【０００３】
門型構造の液材塗布装置としては、例えば、ペーストパターンが形成される基板を保持する基板保持機構が一方方向にのみ移動可能に保持され、基板上にペーストを塗布する塗布ヘッドをそれぞれ備え、前記塗布ヘッドを前記基板の移動方向に対して直角方向にここに移動可能に構成したヘッド支持機構を２組設け、一方のヘッド支持機構は架台に固定し、他方のヘッド支持機構は前記基板の移動方向に移動可能に構成する装置が、特許文献１に開示されている。なお、他方のヘッド支持機構はペーストパターンを基板上に描画しているときは基板に同方向には移動させないように構成してあることも開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、テーブル上に搭載した基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画するペースト塗布機において、テーブルに搭載された基板のペーストパターンが塗布描画される面に平行な面内で一方向に移動可能で、かつこの一方向とは異なる方向に伸延するフレームと、フレームに配列されて、フレームの伸延方向に移動可能にリニアモータが設けられ、かつペースト収納筒とこのペースト収納筒に充填されたペーストを吐出するペースト吐出口を有するノズルとが設けられた複数の塗布ヘッドと、ペースト吐出口がテーブルに搭載された基板に対向する範囲内で、テーブルに対してフレームを移動させるとともに、フレームに対して複数の塗布ヘッドを移動させながら、複数の塗布ヘッドのペースト吐出口からペーストを吐出させる制御をする制御手段とを備え、複数の塗布ヘッドによって基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画する構成の装置が開示されている。
【特許文献１】
特開２００２−３４６４５２号
【特許文献２】
特開２００３−２２５６０６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の液材塗布装置は、図１０に示すように、搬送ラインの側面に配置され、ロボット等の自動搬送機によりテーブル上にワークが載置される。ここで、フレーム１９が搬入出口１２と平行して設けられていると、ワークを搬入出口１２からテーブルに載置する際に、すべてのフレーム１９を自動搬送機と干渉しない位置まで上昇させるか、或いは、自動搬送機による搬入出の邪魔にならないように、塗布ヘッド５をフレーム１９の端部に移動させなくてはならなかった。
しかしながら、フレーム１９を上昇させるためには、自動搬送機の大きさを考慮して本来の塗布作業に必要な高さ以上にフレーム１９の配設位置を高く構成し、塗布作業に必要な上下変位よりも大きく変位させる構成としなくてはならないという問題があった。また、塗布ヘッド５を自動搬送機と干渉しない位置までフレーム１９に沿って左右方向に水平移動させるためには、塗布作業に必要な水平変位よりも大きく変位させる構成としなくてはならないという問題があった。しかも、フレーム１９に載置される塗布ヘッド５の数が増えるに伴い、塗布ヘッド５を退避させるためのスペースも増加するため、装置が不要にサイズアップするという問題もある。
【０００６】
更には、近年の装置の大型化に伴い、メンテナンス性の問題が大きくなってきている。特許文献１，２のように、塗布ヘッドを対向するフレームの内側に配設する構成においては、塗布ヘッドのメンテナンスに際して作業者が上半身を乗り入れて（場合によっては、ボックス内に入り込んで）メンテナンスを行う必要があるが、作業性が悪く、クリーンな環境を要する装置内にほこりやゴミといったパーティクルや人体から生じる発塵物を持ち込むため好ましくなく、また、メンテナンス作業中に工具等の接触や落下によりワークテーブル等を破損させるという問題もあった。
メンテナンス時の作業性を向上させるために装置内の空間を広く確保することも考えられるが、機械的な強度低下の問題や、所定の塗布精度が得られないという問題がある。
［０００７］
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、装置の空間利用効率が高く、メンテナンス性が良好な液材塗布装置を提供することにある。
課題を解決するための手段
［０００８］
上記課題を解決するために、第１の発明は、ワークを搬入出するための搬入出口（１２）が側面に設けられたボックスと、前記搬入出口（１２）に向かって延設されたビームと、前記ビームの延設方向に移動自在な塗布ヘッド（５）と、スライドベースおよびスライドベース上を移動自在に配設されるスライダーとを有して構成され、前記ビームを平行移動させるビーム移動手段と、前記塗布ヘッドに対向して設けられたワークを載置するためのテーブルと、それらの作動を制御する制御部と、を備え、前記ボックス内において、前記塗布ヘッドと前記テーブルとを相対的に移動させて前記ワーク表面の所望する位置に液材を塗布する液材塗布装置であって、前記搬入出口（１２）は、前記スライドベースより高い位置に設けられていること、および、前記ビームは、前記ビーム移動手段により前記ワークの搬入出時に干渉しない位置に移動自在であることを特徴とする液材塗布装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記塗布ヘッド（５）は、ノズル先端から吐出された液材を前記ワークに付着させて塗布する吐出装置（２２）、および／または、ノズル先端から液材を離間させた後に前記ワーク表面に塗布する飛滴装置（２３）、および／または、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置（２４）、から構成されることを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記ボックスは、前記ボックスの搬入出口（１２）の設けられた側面と隣接する左右の側面に設けられた塗布ヘッド（５）をメンテナンスするための開閉口を有すること、および、前記ビームは、前記ビーム移動手段により前記開閉口の近傍に移動自在であることを特徴とする。
第４の発明は、第１、２または３の発明において、前記ビームは単数であり、前記塗布ヘッド（５）は、当該ビームの長手方向の左右両側面に配設されることを特徴とする。
第５の発明は、第４の発明において、前記ビームの長手方向の一側面に前記飛滴装置（２３）を配設し、他の側面に吐出装置（２２）を配設することを特徴とする。
第６の発明は、第４または５の発明において、前記ビームは両側面にそれぞれ複数の塗布ヘッド（５）を備えることを特徴とする。
第７の発明は、第３の発明において、前記ボックスは、前記搬入出口（１２）の設けられた側面と隣接する左右の側面に夫々開閉口を有し、前記ビームは、平行に配設された第一のビームと第二のビームとから構成され、前記塗布ヘッド（５）は、各ビームの長手方向の側面であって、前記開閉口に近い方の側面にそれぞれ配設されることを特徴とする。
第８の発明は、第７の発明において、前記第一または第二のビームに前記飛滴装置（２３）を配設し、他のビームに前記吐出装置（２２）を配設することを特徴とする。
第９の発明は、第７または８の発明において、前記ビームは、同一側面にそれぞれ複数の塗布ヘッド（５）を備えることを特徴とする。
第１０の発明は、第７、８または９の発明において、前記第一および第二のビームは、内側面にそれぞれ検査装置（２４）を一つ備えることを特徴とする。
第１１の発明は、第７ないし１０のいずれかの発明において、前記第一および第二のビームは、前記ビーム移動手段によりそれぞれ可動自在であることを特徴とする。
第１２の発明は、第１ないし１１のいずれかの発明において、前記ビーム移動手段は、ワークテーブルを挟んで平行に配設される一対のスライドベースと、当該スライドベース上を移動自在に配設されており、前記ビームを支持するスライダーとを有して構成されることを特徴とする。
第１３の発明は、第１ないし１２のいずれかの発明において、前記ボックスには操作パネルが着脱可能に配設されており、無線ネットワークを介して取り外した操作パネルから前記制御部を操作可能であることを特徴とする。
第１４の発明は、第１ないし１３のいずれかの発明において、前記ボックスは通信用ソケットが配設されており、有線および／または無線ネットワークを介して外部端末から前記制御部を操作可能であることを特徴とする。
発明の効果
［０００９］
本発明によれば、上記構成を有するため、装置内の空間を有効に利用したコンパクトな装置を提供することができる。
また、上記構成を有するため、装置のメンテナンス性を向上させることができ、しかもメンテナンス作業に際してのゴミやほこりの混入を削減し、よりクリーンな環境を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施例１に係る塗布装置の外観斜視図である。
【図２】実施例１に係る塗布装置の（ａ）正面図および（ｂ）背面図である。
【図３】実施例１に係る塗布装置の（ａ）上方より内部示す平面図および（ｂ）側面図である。
【図４】実施例１に係る塗布装置の右側面パネルを開放した外観斜視図である。
【図５】ワーク搬送機によるワーク搬送を説明するための概要平面図である。
【図６】実施例１に係る液材塗布装置の主制御部の簡略構成図である。
【図７】塗布ヘッドの（ａ）単数ビームにおける構成例と（ｂ）複数ビームにおける構成例の説明平面図である。
【図８】複数ビームにおけるメンテナンス時のビーム位置の説明平面図である。
【図９】実施例２に係る液材吐出装置の外観斜視図である。
【図１０】液材塗布装置の配置態様の一例の説明平面図である。
【符号の説明】
【００１１】
１    テーブル
２    Ｘ軸スライドベース
３    Ｘ軸スライダー
４    ビーム（Ｙ軸スライドベース）
５    塗布ヘッド
６    Ｙ軸スライダー
１０  ボックス
１１  操作パネル
１２  搬入出口
１３  右側面パネル
１４  左側面パネル
１５  正面パネル
１７  ワーク搬送機
１９  フレーム
２０  通信用ソケット
２１  主制御部
２２  吐出装置
２３  飛滴装置
２４  検査装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下では、本発明を実施するための最良の形態を、実施例により説明する。ただし、本発明は何ら実施例に限定されるものではない。
【実施例１】
【００１３】
≪構成≫
本実施例の液材塗布装置は、図１〜３に示すように、方形状のボックス１０内に、ワークが載置されるテーブル１と、テーブル１を挟んでＸ軸方向に平行に延設される一対のＸ軸スライドベース２と、Ｘ軸スライダー３に支持され、Ｙ方向に延設されるビーム４（Ｙ軸スライドベース４ａ、４ｂ）を備える。
【００１４】
テーブル１は、ワークをθ軸方向に移動させて所定の角度に位置決めするためのθ回転手段を備える。テーブル１は、テーブル１の下方に設けられたθ回転手段に直接支持させる構成としてもよいし、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に移動する移動手段に載置して、Ｘ軸スライダー／Ｙ軸スライダーによる相対移動作動を補助させる構成としてもよい。
【００１５】
一対のＸ軸スライドベース２上には、Ｘ軸スライドベースの長手方向に移動可能なＸ軸スライダー３をそれぞれ２つ配設され、Ｘ軸スライダー３はビーム４の両端部を支持し、Ｘ軸スライダー３がＸ軸スライドベース２上を移動することにより、ビーム４がテーブル１の上方でＸ方向に移動自在とすることを可能としている。
Ｘ軸スライドベース２は、ビーム４が端部に位置する際に、搬入出口１２が塞がれることが無い程度に、搬入出口１２より充分に幅広に構成されている。これにより、ビーム４や塗布ヘッド５がワーク搬入時に干渉することを防ぐことができる。
【００１６】
ビーム４は、一対のＹ軸スライドベース４ａ、４ｂにより構成される。一対のＹ軸スライドベース４ａ、４ｂの外方側面には、Ｙ軸スライダー６がそれぞれ２つ配設され、各Ｙ軸スライダー６には液材を吐出する塗布ヘッド５がＺ方向に移動可能に配設される。
【００１７】
Ｘ軸およびＹ軸のスライドベースは、リニアモータ用マグネットおよび直動ガイドを備え、スライダーはリニアモータを備える構成が例示される。但し、スライドベースとスライダーとの組み合わせは、この構成に限定されず、例えば、スライドベースにモータとモータに連動して回転するボールねじを備え、スライダーにボールねじの回転に連動して直進移動するナットを備える構成としてもよい。
【００１８】
ボックス１０は、ゴミやほこりが基板に付着するのを防ぐための閉空間であり、背面パネルにワークが搬入／搬出される搬入出口１２が、左右の側面パネルにメンテナンス時のスライド用取っ手が、正面パネル１５に観音扉の取っ手が設けられている。また、ボックス１０の正面パネル１５には、図示しない主制御部２１を操作するための操作パネル１１が設けられている。
ボックス１０内では、上部から下部に向かってクリーンなエアーが常流させ、これによりほこり等の不要物が残留せず、クリーンな環境下で塗布作業が行えるように構成することができる。この際、空気清浄機を併用してもよい。
また、ボックス１０の好ましい態様としては、ＳＵＳやアルミフレーム等による金属枠に金属製の壁または透過性の樹脂等の壁で構成されるものが例示される。樹脂製の壁は、クリア（無色透明）、黄、濃茶、赤、ダークグレー、スモーク（灰色）の場合など様々であるが、使用する液材の用途（例えば、紫外線を嫌う場合等）に応じて最適なものを選択して利用することができる。
【００１９】
ボックス１０の下方部には、通信用ソケット２０が設けられており、ネットワークケーブルを介してＰＣ等の外部端末と接続することにより、装置の遠隔操作を可能としている。ボックス１０に配設された操作パネル１１より操作を行うこともできるが、正面または側面のパネルを開いてのメンテナンス作業中に、操作パネル１１を操作することは困難であるため、遠隔操作が効果的である。好ましい操作パネル１１の態様としては、ボックス１０に着脱可能に配設されており、ボックス１１から外されたときは、無線ＬＡＮ等の通信手段により遠隔操作が可能であるものが開示される。
図６に図示するように、通信用ソケット２０は、主制御部２１と電気的に接続されており、操作パネル１１を介さずに主制御部２１の操作が可能であるため、オンラインでの装置のメンテナンス作業をより円滑に行うことができる。通信用ソケット２０の設置箇所は、装置の正面側に限定されるものではなく、左右の側面に複数設置することも可能である。携帯型の専用端末をネットワーク接続して遠隔操作を行ってもよいし、無線ＬＡＮ等の通信手段を搭載して無線により遠隔操作できるようにしてもよい。
【００２０】
≪動作≫
ワーク搬入時は、主制御部２１はＸ軸スライダー３を可動して、右側のビーム４ａをＸ軸スライドベース２の右端に移動させ、左側のビーム４ｂをＸ軸スライドベース２の左端に移動させ、テーブル１上にビーム４が被さらないようにする。ビーム４の移動完了後、搬入出口１２よりワーク搬送機１７がワークを搬入する（図５参照）。テーブル１上へのワーク載置が完了すると、主制御部２１はＸ軸スライダー３およびＹ軸スライダー６を可動して、塗布ヘッド５をワークの所望位置に配置し、塗布ヘッド５が備えるＺ軸移動手段により塗布ヘッド５を下降させ、ワークへの液材を塗布を行う。この際、Ｘ軸スライダー３およびＹ軸スライダー６を適宜移動させて所望する形状に描画することができる。
【００２１】
塗布作業終了後、主制御部２１はＸ軸スライダー３を可動して、右側のビーム４ａをＸ軸スライドベース２の右端に移動させ、左側のビーム４ｂをＸ軸スライドベース２の左端に移動させ、テーブル１上にビーム４が被さらないようにする。ビーム４の移動完了後、搬入出口１２よりワーク搬送機１７がワークを搬出する（図５参照）。
なお、図５ではフォーク形の搬送機を示しているが、エアータイプの搬送機でも同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００２２】
≪メンテナンス≫
塗布ヘッド５に対するメンテナンス作業は、ビーム４ａ、４ｂを右端および／または左端に移動し、ボックス１０の左右の側面を開放して行う。
右側のビーム４ａに配設される塗布ヘッド５ａ、５ｂをメンテナンスする場合には、Ｘ軸スライダー３を可動して、右側ビーム４ａをＸ軸スライドベース２の右端に移動させた後、右側面パネル１３を下方にスライドして装置右側面を開放して、必要とするメンテナンス作業を行なう（図４参照）。このとき、右側ビーム４ａはＸ軸スライドベース２の右端に寄っており、開放された装置右側面から塗布ヘッド５ａおよび５ｂが容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
【００２３】
同様に、左側のビーム４ｂに配設される塗布ヘッド５ｃ、５ｄをメンテナンスする場合には、Ｘ軸スライダー３を可動して、左側ビーム４ｂをＸ軸スライドベース２の左端に移動させた後、左側面パネル１４を下方にスライドして装置左側面を開放して、必要とするメンテナンス作業を行なう。ここでも、左側ビーム４ｂはＸ軸スライドベース２の左端に寄っており、開放された装置左側面から塗布ヘッド５ｃおよび５ｄが容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能である。
なお、左右側面パネルを開放するための構成は、スライド扉に限定されず、例えば観音扉を設ける構成としてもよい。
【００２４】
このように、本実施例の装置では、メンテナンス時のビーム４の動作は、ワーク搬入時のビーム４の動作と同じである。従って、ワーク搬入時にビーム４がスライドベース２の両端に位置する間に、右側面パネル１３または左側面パネル１４を開放することにより、オンラインでの作業を停止することなく、簡単なメンテナンス作業が行うことが可能である。例えば、インラインで可動する装置においては、塗布ヘッド５の微調整やシリンジ交換等の液材充填などの簡単なメンテナンス作業をラインを停止することなく行うことができるため、生産性を大幅に向上させることができる。
また、ビーム４はワーク搬入時に操作者に対する保護カバーとして機能するため、操作者への安全性を確保できる。
【００２５】
本実施例で、ビーム４に配設する塗布ヘッド５は、エアー圧力によって貯留容器に貯留された液材を加圧してノズル先端から吐出された液材をワークに付着させて塗布する吐出装置２２、貯留容器に貯留された液材の上方に貯留容器の内壁面に密着して摺動するプランジャーを急速に移動停止させることにより、ノズル先端から液材を離間させた後にワーク表面に塗布する飛滴装置２３、ワーク表面に点状または線状に描画された描画形状の少なくとも高さ、幅、断面積、欠損のいずれかを検査する検査装置２４、などから構成することができる。
例えば、図７ａに示すように、右側に配置されたビーム４ａの右側面に吐出装置２２を配設し、左側に配置されたビーム４ｂの左側面に飛滴装置２２を備えることにより、塗布ヘッド５の構成を異なるものとすることもできる。
【００２６】
ところで、ビーム４ａ、４ｂの相向かう面（内側面）、すなわち、右側に配置されたビーム４ａの左側面と左側面に配置されたビーム４ｂの右側面にスライド等の可動手段を配設し、それぞれ一つ塗布ヘッド５を付加した構成とすることもできる（図８ａ参照）。内側面に設けられた塗布ヘッド５であっても、一つであれば、正面パネルの観音扉を開放してメンテナンスを行うことができるため、メンテナンス性は損なわれないからである（図８ｂ参照）。ここで、ビーム４ａの右側面に複数の吐出装置２２を配置するとともに左側面に吐出装置用の一の検査装置２４を配設し、ビーム４ｂの左側面に飛滴装置２３を配設するとともに右側面に飛滴装置用の一の検査装置２４を配設する構成が好ましい態様として例示される。検査装置２４は、一台で線幅、線高さ、断面積、点径、点高さ、欠損、断線等をチェックすることが一般的であり、ビーム４の内側面に一台設ける構成でも充分な効果が期待できるからである。検査装置２４を設けることにより、一連の塗布描画作業後にビーム４を移動して検査すること、或いは塗布描画直後に検査することが可能となる。
【実施例２】
【００２７】
本実施例の装置は、図９に示すように、ビーム４が単数であり、ビーム４の左右両側面に塗布ヘッド５を備えるものである。
【００２８】
≪動作≫
ワーク搬入時は、主制御部２１はＸ軸スライダー３を可動して、ビーム４をＸ軸スライドベース２の右端または左端に移動させ、テーブル１上にビーム４が被さらないようにする。ビーム４の移動完了後、搬入出口１２からワーク搬送機１７によりワークが搬入される。テーブル１上へのワーク載置が完了すると、主制御部２１はＸ軸スライダー３およびＹ軸スライダー６を可動して、塗布ヘッド５をワークの所望位置に配置し、塗布ヘッド５が備えるＺ軸移動手段により塗布ヘッド５を下降させ、ワークへの液材塗布を行う。この際、Ｘ軸スライダー３および前記Ｙ軸スライダー６を適宜移動させて所望する形状に描画する。
塗布作業終了後、主制御部２１はＸ軸スライダー３を可動して、ビーム４をＸ軸スライドベース２の右端または左端に移動させ、テーブル１上にビーム４が被さらないようにする。ビーム４の移動完了後、搬入出口１２よりワーク搬送機１７がワークを搬出する。
【００２９】
≪メンテナンス≫
塗布ヘッド５に対するメンテナンス作業は、ビーム4を右端または左端に移動し、ボックス１０の左右の側面を開放して行う。
右側面に配設される塗布ヘッド５ｅ、５ｆをメンテナンスする場合には、Ｘ軸スライダー３を可動して、ビーム４をＸ軸スライドベース２の右端に移動させた後、右側面パネル１３を下方にスライドして装置右側面を開放して、必要とするメンテナンス作業を行なう。このとき、右側ビーム４はＸ軸スライドベース２の右端に寄っており、開放された装置右側面から塗布ヘッド５ｅおよび５ｆが容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能となる。
【００３０】
同様に、ビーム４のうち左側面に配設される塗布ヘッド５ｇ、５ｈをメンテナンスする場合には、Ｘ軸スライダー３を可動して、ビーム４をＸ軸スライドベース２の左端に移動させた後、左側面パネル１４を下方にスライドして装置左側面を開放して、必要とするメンテナンス作業を行なう。ここでも、ビーム４はＸ軸スライドベース２の左端に寄っており、開放された装置左側面からは、塗布ヘッド５ｇおよび５ｈが容易に届く範囲に位置されるため、消耗品交換等のメンテナンス作業を容易に行なうことが可能である。
【００３１】
このように、ワーク搬入時のビーム４の動作とメンテナンス時のビーム４の動作は、Ｘ軸スライドベース２の右端または左端にビーム４を配置する点で共通しているので、ワーク搬入時にメンテナンスが必要な塗布ヘッドの位置に応じて、ビーム４をスライドベース２の右端または左端に位置させて、ワーク搬送待機中に右側面パネル１３または左側面パネル１４を開放することにより、簡単なメンテナンス作業が行うことが可能である。
インラインで可動する装置においては、例えば塗布ヘッド５への微調整、シリンジ交換等の液材充填などの簡単なメンテナンス作業を、ラインを停止することなく行うことで生産性を向上させることができるという画期的な効果は、実施例１と同様である。
【００３２】
本実施例の装置においても、ビーム４に配設する塗布ヘッド５を、吐出装置２２、飛滴装置２３、検査装置２４、などから構成することができる。
例えば、図７ｂに示すように、ビーム４の右側面に吐出装置２２を配設し、左側面に飛滴装置２３を配設させるなど、塗布ヘッド５の構成を異なるものとすることもできる。
また、吐出装置２２および飛滴装置２３の位置に検査装置２４を配してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の用途は幅広いが、平板状のワークへの適用が可能であり、また、ワークサイズが大型になるほど本発明の効果が顕著に表れる。例えば、フラットパネルディスプレイ製造工程への利用が可能であり、特に、ワークへの特に液晶ディスプレイ製造工程、プラズマディスプレイ製造工程への応用が可能である。
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図９】
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