(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
オリフィス部を内蔵する筒形状の固定構造物と、前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィス部を封止する可動構造体と、
前記固定構造物と可動構造体のいずれか又は両方に保持される通電用の電極となる第１電極及び第２電極と、
前記第１電極と第２電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤと、
前記ワイヤにバイアスの引張り応力を付与するバイアス弾性体と、
前記形状記憶合金を加熱時の前記可動構造体への応力負荷を低減する過負荷低減弾性体とを有し、
前記第１電極と前記第２電極とに通電して前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィス部を封止する小型バルブであって、
前記可動構造体は、前記固定構造物に内接する主円筒部と、該主円筒部から前記オリフィス部側に伸延する円柱部と、を備え、
前記ワイヤは、前記可動構造体の主円筒部内に配設され、
前記オリフィス部を前記固定構造物と分離して可動する可動体とし、
前記バイアス弾性体を前記固定構造物内の前記オリフィス部と前記可動構造体の間に配設し、
前記過負荷低減弾性体を前記オリフィス部と前記固定構造物のオリフィス部の封止側とは反対側の端部との間に配設したことを特徴とする小型バルブ。
【請求項２】
オリフィス部を内蔵する筒形状の固定構造物と、前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィス部を封止する可動構造体と、
前記固定構造物と可動構造体のいずれか又は両方に保持される通電用の電極となる第１電極及び第２電極と、
前記第１電極と第２電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤと、
前記ワイヤにバイアスの引張り応力を付与するバイアス弾性体と、
前記形状記憶合金を加熱時の前記可動構造体への応力負荷を低減する過負荷低減弾性体とを有し、
前記第１電極と前記第２電極とに通電して前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィス部を封止する小型バルブであって、
前記可動構造体は、前記固定構造物に内接する主円筒部と、該主円筒部から前記オリフィス部側に伸延する円柱部と、を備え、
前記ワイヤは、前記可動構造体の主円筒部内に配設され、
前記第２電極は板バネ構造を有し、前記バイアス弾性体と一体化し、
前記第１電極は板バネ構造を有し、前記過負荷低減弾性体と一体化したことを特徴とする小型バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状記憶合金を使用した気体や液体など各種流体を制御する小型バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流体調整を行う小型バルブとして、例えば、特許文献１に示されるように、オリフィスを開閉する弁体のアクチュエータを形状記憶合金で形成し、このアクチュエータに通電することにより、弁体を変位させる常閉型及び常開型のバルブが知られている。この特許文献１で示されるようなバルブの制御弁においては、オリフィスの密閉性を良くするために、オリフィスへの押圧を強くする必要性から、形状記憶合金のアクチュエータは、閉弁時、オリフィスに接触後も、さらにオリフィスを加圧している。しかしながら、この加圧によってオリフィスが圧接されることにより、逆に、アクチュエータは、バルブ本体に固定されているオリフィスから負荷を受けることになる。この負荷は、アクチュエータからオリフィスへの押圧が強いほど大きくなり、形状記憶合金に過負荷を与えることになる。
【０００３】
ところで、通電加熱型の形状記憶合金では、通常、常温では全長が伸びる伸長形状となり、直流又は交流電圧が印加されて通電されると自己発熱し、その温度がある温度以上の高温になると予め記憶された収縮形状となる。そして、いずれの形状においても、温度を初期の状態に戻せば、元の形状に回復し、形状記憶合金の性質である回復形状の再現性を示す。しかしながら、形状記憶合金は、加熱状態で過剰な圧力を加えられると、その形状記憶の回復形状の再現性が損なわれ、元の形状状態に完全に復帰しないという傾向を持っている。
【０００４】
このため、上記特許文献１に示されるバルブにおいても、オリフィスへの過剰な押圧により、アクチュエータの形状記憶合金が加熱状態で過負荷を受け、これが繰り返されることにより経時劣化し、初期設定した回復形状状態が変形されてしまい、元の形状状態に復帰しなくなる。これにより、形状記憶合金の回復形状の再現性が劣化し、バルブの弁制御性能を低下させる虞があった。
【０００５】
なお、他の従来例として、特許文献２に示されるように、形状記憶合金で形成されたコイルバネが一定温度以上になると伸長し、バイアスバネのバイアス力に打ち勝って開弁状態にある弁体を押圧して、強制的に閉弁させる小型バルブがある。しかし、このバルブは、コイルバネ形状であるため、外形が大きくなり、小型化が困難であった。また、一定の力を出すために形状記憶合金のコイルバネの線形を太くすると、コイルバネの熱容量が増えるため、放熱時の応答性が悪くなる虞があった。さらに、他の従来例として、特許文献３に示されるように、形状記憶合金製のワイヤを用いて、常開型のバルブの閉動作を実現する小型バルブが知られている。しかし、ワイヤの折り返し部で温度分布が生じるため、熱応力による耐久性の劣化をもたらす虞があった。また、ワイヤが動作限まで動いた後は、形状記憶合金に過負荷を掛けるため、前述と同様に、形状記憶合金に経時劣化を発生させる問題があった。
【特許文献１】特開平０５−９９３６９号公報
【特許文献２】特開平０９−３１３３６３号公報
【特許文献３】特開平１１−１５３２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、筒形状でオリフィスを内蔵する固定構造物と、固定構造物に内接してオリフィスを封止する封止体を備える可動自在な可動構造体を備え、形状記憶合金のワイヤを加熱して変形することにより、オリフィスを封止する小型バルブにおいて、過負荷低減弾性体を設けることにより、ワイヤの加熱時の応力負荷を過負荷低減弾性体の弾性変形により低減し、形状記憶合金の再現性を劣化させず耐久性を維持し、信頼性の高い小型バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、オリフィス部を内蔵する筒形状の固定構造物と、前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィス部を封止する可動構造体と、前記固定構造物と可動構造体のいずれか又は両方に保持される通電用の電極となる第１電極及び第２電極と、前記第１電極と第２電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤと、前記ワイヤにバイアスの引張り応力を付与するバイアス弾性体と、前記形状記憶合金を加熱時の前記可動構造体への応力負荷を低減する過負荷低減弾性体とを有し、前記第１電極と前記第２電極とに通電して前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィス部を封止する小型バルブであって、前記可動構造体は、前記固定構造物に内接する主円筒部と、該主円筒部から前記オリフィス部側に伸延する円柱部と、を備え、前記ワイヤは、前記可動構造体の主円筒部内に配設され、前記オリフィス部を前記固定構造物と分離して可動する可動体とし、前記バイアス弾性体を前記固定構造物内の前記オリフィス部と前記可動構造体の間に配設し、前記過負荷低減弾性体を前記オリフィス部と前記固定構造物のオリフィス部の封止側とは反対側の端部との間に配設したものである。
【０００８】
請求項２の発明は、オリフィス部を内蔵する筒形状の固定構造物と、前記固定構造物に内接して可動自在に前記オリフィス部を封止する可動構造体と、前記固定構造物と可動構造体のいずれか又は両方に保持される通電用の電極となる第１電極及び第２電極と、前記第１電極と第２電極とによって保持される形状記憶合金のワイヤと、前記ワイヤにバイアスの引張り応力を付与するバイアス弾性体と、前記形状記憶合金を加熱時の前記可動構造体への応力負荷を低減する過負荷低減弾性体とを有し、前記第１電極と前記第２電極とに通電して前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィス部を封止する小型バルブであって、前記可動構造体は、前記固定構造物に内接する主円筒部と、該主円筒部から前記オリフィス部側に伸延する円柱部と、を備え、前記ワイヤは、前記可動構造体の主円筒部内に配設され、前記第２電極は板バネ構造を有し、前記バイアス弾性体と一体化し、前記第１電極は板バネ構造を有し、前記過負荷低減弾性体と一体化したものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、過負荷低減弾性体の弾性変形によるクッション効果により、加熱時のバルブ閉弁時の形状記憶合金への過負荷を低減することができる。これにより、形状記憶合金の形状記憶の再現性を劣化させず、耐久性が維持され、小型バルブの信頼性を高めることができる。また、オリフィス部が固定構造物から独立して構成できるので、オリフィスの加工が容易となり、その加工精度も向上する。また、ワイヤを可動構造体に並行して配置できるので、ワイヤと可動構造体とを直列に配置する場合に比較して、小型化できる。
【００１０】
第１電極の板バネに過負荷低減弾性体を一体化し、第２電極の板バネにバイアス弾性体を一体化することにより、構成部品点数を低減することができるので、生産性を向上することができる。また、ワイヤを可動構造体に並行して配置できるので、ワイヤと可動構造体とを直列に配置する場合に比較して、小型化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の第１の実施形態に係る小型バルブについて、図１、図２（ａ）、（ｂ）及び図３を参照して説明する。これらの図において、小型バルブ１０は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ１（固定構造物）と、ガイドパイプ１に内接され独立して移動可能なオリフィスを有する金属製又は樹脂製のオリフィス部２と、ガイドパイプ１に内接し可動自在にオリフィス部２を封止する可動弁体３（可動構造体）と、ガイドパイプ１に内接し可動弁体３とオリフィス部２との間に設けられたバイアス用バネのバイアスコイル６（バイアス弾性体）と、ガイドパイプ１のオリフィス部２側の端部１ａとオリフィス部２間に設けられた加熱時の形状記憶合金への応力負荷を低減するコイルバネ５（過負荷低減弾性体）と、ガイドパイプ１に固定された固定電極７（第１電極）と、可動弁体３の端末に設置された可動電極８（第２電極）と、固定電極７と可動電極８とによって保持される形状記憶合金（または形状記憶樹脂、形状記憶ゴム等）のワイヤ９とを備える。ここでの形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電発熱型（例えば、Ｔｉ―Ｎｉ系形状記憶合金）のものが用いられる。
【００１２】
可動弁体３は、ガイドパイプ１に内接する主円筒部３１と主円筒部３１からオリフィス部２側に伸延する小径の円柱部３２を備え、円柱部３２の先端には、オリフィス部２を封止する樹脂又はゴム製の封止部４（封止体）が設けられている。形状記憶合金は、ある温度以上になると収縮する通電加熱型のものを用いているので、直流電圧を印加して通電されると、自己発熱して温度が上昇し、ある温度以上になると予め記憶された収縮形状に回復する。この形状回復力は、バイアスコイル６及びコイルバネ５の弾発力に比べて著しく大きなものである。また、コイルバネ５の弾性係数ｋ２は、後述するように、バイアスコイル６の弾性係数ｋ１より大きく設定されており、バイアスコイル６により、常温時は、オリフィス部２と封止部４の間に間隔が空けられ、オリフィス部２は開弁されている（常開型：ノーマリオープン）。
【００１３】
上記構成において、固定電極７と可動電極８間に通電されると、ワイヤ９が加熱され、ある温度以上になると形状記憶合金より成るワイヤ９が収縮して記憶形状に変形する。この時、ワイヤ９の一端は、ガイドパイプ１に固定の固定電極７に接合されて移動しないため、可動弁体３に配置された可動電極８に接続されるワイヤ９の他端は、引っ張られて可動弁体３と伴に移動する。従って、ワイヤ９の収縮により可動弁体３がオリフィス部２側に移動し、この移動によりバイアスコイル６が圧迫されて縮小し、バイアスコイル６をオリフィス部２側に押し付ける。そして、可動弁体３の先端の封止部４が、オリフィス部２に接触し、オリフィスを封止した状態で止まる。これにより、図２（ｂ）に示すように、オリフィス部２が閉弁される。このとき、コイルバネ５の弾性係数ｋ２は、バイアスコイル６の弾性係数ｋ１より大きく設定されているので、バイアスコイル６が圧縮されオリフィス部２が封止部４で封止されるまでは、コイルバネ５は殆ど縮小されない。
【００１４】
一方、固定電極７と可動電極８間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ９の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ９が伸長し、前記と逆の作用により、図２（ａ）に示すように、可動弁体３が元の位置に戻り、封止部４がオリフィス部２から離れ、オリフィス部２が開放される。
【００１５】
上記の構成において、オリフィス部２が封止部４により接触されて封止された後、より強く密閉するために、さらにワイヤ９が収縮して封止部４がオリフィス部２を圧接すると、バイアスコイル６は、ガイドパイプ１のオリフィス部２と可動弁体３の間に押さえつけられて、それ以上収縮できない状態になる。この時点から、バイアスコイル６に代わり、コイルバネ５が収縮を始める。
【００１６】
ここで、ワイヤ９の収縮力をＦとし、バネの収縮長さをｘとし、弾性係数をｋとし、外部圧力のない状態の長さをＬとすると、収縮されたバネの長さＬは、
Ｌ＝−ｘ＋Ｌ０（Ｌ０は収縮前の長さ）
で表される。バイアスコイル６とコイルバネ５の各収縮後の長さＬ１及びＬ２とし、収縮前の長さをＬａ、Ｌｂとし、それぞれのバネの弾性係数をｋ１、ｋ２とすると、
Ｆ＝−ｋｘの関係より、
Ｌ１＝−ｘ＋Ｌａ＝―Ｆ／ｋ１＋Ｌａ
Ｌ２＝−ｘ＋Ｌｂ＝−Ｆ／ｋ２＋Ｌｂ
となる。このＬ１、Ｌ２と収縮力Ｆの関係を図３に示す。ここで、バイアスコイル６の弾性係数ｋ１は、コイルバネ５の弾性係数ｋ２より小さくしている。これにより、バイアスコイル６は、コイルバネ５より先に収縮し、コイルバネ５は、封止部４がオリフィス部２に接触するまでの収縮力Ｆｒまでは殆ど収縮せず、接触後、さらにオリフィス部２に収縮力Ｆが加わると収縮を始める。
【００１７】
このコイルバネ５の収縮は、ワイヤ９に直接に過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ９への過剰な負荷を低減することができる。このため、形状記憶合金への過負荷を避けることができるので、ワイヤ９の高温時に設定された記憶形状を変形させることを防止することができ、形状記憶合金は、常に元の記憶された形状に復帰することができて、当初の記憶形状の変形を防ぐことができる。そして、過負荷の繰り返しによる記憶形状の経時変化を無くし、耐久性を高め、ワイヤ９の通電によるオリフィス部２の開閉を精度良く行うことができる。
【００１８】
このように、ガイドパイプ１の中に独立して移動可能なオリフィス部２と、オリフィス部２と可動弁体３の間に設けたバイアスコイル６と、ガイドパイプ１の端部１ａとオリフィス部２の間に設けた過負荷低減用のコイルバネ５とを直列状に配設し、バイアスコイル６の弾性係数ｋ１をコイルバネ５の弾性係数ｋ２より小さくしたことにより、オリフィス部２の閉弁時のワイヤ９への過負荷に対し、過負荷低減用のコイルバネ５を弾性変形させることができる。これにより、導通時のワイヤ９の形状記憶合金への収縮応力の過負荷を低減することができ、この形状記憶合金の記憶形状の再現性の劣化を防いで耐久性を向上し、小型バルブ１０の信頼性を高めることができる。さらに、オリフィス部２をガイドパイプ１と一体化せず独立に設けたことにより、ガイドパイプ１内の部品の配置の自由度が増すと共に、微細な加工を必要とするオリフィス部２の加工が容易となり、精度も向上することができる。また、ワイヤ９を太いバネ状でなく細い直線状で形成できるので、スペースを取らず小型化できると共に、形状記憶合金の放熱の応答性を速くすることができる。
【００１９】
次に、本発明の第２の実施形態に係る小型バルブについて、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を参照して説明する。本実施形態の小型バルブ１０は、第１半固定電極１１（第１電極）が板バネ構造を有して過負荷低減弾性体１１ｂを一体化し、第２半固定電極１２（第２電極）が板バネ構造を有してバイアス弾性体１２ｂを一体化した点で前記実施形態と異なる。
【００２０】
これらの図において、小型バルブ１０は、金属製又は樹脂製の筒形状のガイドパイプ１（固定構造物）と、ガイドパイプ１に内蔵された金属製又は樹脂製のオリフィス部２と、ガイドパイプ１に内接して可動自在にオリフィス部２を封止する可動弁体３と、ガイドパイプ１に一端が固定される板バネ構造の第１半固定電極１１（第１電極）と、ガイドパイプ１に一端が固定され他端が可動弁体３と接触して連動する板バネ構造の第２半固定電極１２（第２電極）と、第１半固定電極１１と第２半固定電極１２とによって保持される形状記憶合金のワイヤ９とを備える。この形状記憶合金は、前述と同様の通電発熱型のものが用いられる。可動弁体３のオリフィス部２側の先端には、オリフィス部２を封止する樹脂又はゴム製の封止部４が設けられている。
【００２１】
第１半固定電極１１は、Ｌ字型の板バネからなり、ガイドパイプ１に固定される固定端部１１ａと、固定端部１１ａから直角に折り曲がって可動弁体３に挿入されるバネ部１１ｂとから成る。バネ部１１ｂは、ガイドパイプ１内の可動弁体３の主円筒部３１内のオリフィス部２側の端部３５に接近して、略平行になるように配設される。第２半固定電極１２は、Ｌ字型の板バネからなり、ガイドパイプ１に固定される固定端部１２ａと、固定端部１２ａから直角に折り曲がって可動弁体３に挿入されるバネ部１２ｂとから成る。バネ部１２ｂは、ガイドパイプ１内の可動弁体３の主円筒部３１内のオリフィス部２と反対側の端部３３に略平行に接触するように配設される。第１半固定電極１１のバネ部１１ｂの弾性係数ｋ２は、第２半固定電極１２のバネ部１２ｂの弾性係数ｋ１より大きく設定されている。そして、バネ部１１ｂとバネ部１２ｂは、形状記憶合金から成るワイヤ９の両端とそれぞれ接続されている。バネ部１１ｂとバネ部１２ｂの間隔は、常温では、可動弁体３の主円筒部の両端の端部３５と端部３３の長さに略等しくし、常温時に可動弁体３の移動する遊びを抑えている。
【００２２】
可動弁体３は、樹脂材やゴム材等の弾性体材料で構成され、ガイドパイプ１に内接する主円筒部３１と、主円筒部３１のオリフィス部２側の端部３５からオリフィス部２側に伸びる円柱部３２と、オリフィス部２と反対側の端部３３と、バネ部１２ｂからの応力を可動弁体３に伝えるためにバネ部１２ｂをストップするストッパ部３４と、ストッパ部３４と端部３３で囲まれたバネ部１２ｂを挿入する空間のバネ挿入部３６とを備えている。また、円柱部３２の先端には、オリフィス部２を封止する封止部４が設けられている。
【００２３】
図４（ａ）は、第１半固定電極１１と第２半固定電極１２に通電が無い状態を示し、この場合、第２半固定電極１２のバネ部１２ｂは、端部３３に接して、可動弁体３をオリフィス部２とは反対の方向に押す形に押圧するようになっている。この押圧により、可動弁体３の先端の封止部４が、オリフィス部２から完全に離れ、常温ではオリフィス部２を開弁状態にする。このように、第２半固定電極１２は、オリフィス部２のバイアス用のバイアス弾性体となり、通電用電極である第２半固定電極１２にバイアス弾性体が一体化されている。
【００２４】
上記構成において、第１半固定電極１１と第２半固定電極１２に通電してワイヤ９を加熱すると、温度上昇により、通電発熱型の形状記憶合金から成るワイヤ９が変形し、ワイヤ９の長さが収縮する。この時、ワイヤ９の一方が接続されている第１半固定電極１１のバネ部１１ｂは、その弾性係数ｋ２が第２半固定電極１２のバネ部１２ｂの弾性係数ｋ１より大きいので、殆ど曲がらず、主としてバネ部１２ｂが湾曲して、オリフィス部２側へ引っ張られる。このバネ部１２ｂのオリフィス部２側への湾曲により、バネ挿入部３６の中のバネ部１２ｂは、可動弁体３のストッパ部３４を押圧し、可動弁体３をオリフィス部２側に移動させる。そして、図４（ｂ）に示すように、可動弁体３の先端の封止部４がオリフィス部２に接触すると、可動弁体３の移動はほぼ停止しオリフィス部２が閉弁される。
【００２５】
一方、第１半固定電極１１と第２半固定電極１２間の通電を止めると、形状記憶合金のワイヤ９の温度が低下し、元の温度に戻るとワイヤ９が伸長し、前記と逆の作用により、弾性体の可動弁体３が元の位置に戻り、封止部４がオリフィス部２から離れ、オリフィス部２が開弁される。
【００２６】
前述と同様に、バイアス弾性体であるバネ部１２ｂの弾性係数ｋ３は、過負荷低減弾性体であるバネ部１１ｂの弾性係数ｋ４より小さくしている。これにより、バネ部１２ｂは、バネ部１１ｂより先に収縮し、封止部４がオリフィス部２に接触するまでは、バネ部１１ｂは殆んど収縮しない。
【００２７】
そして、オリフィス部２が封止部４により接触されて圧接された後、より強く密閉するために、ワイヤ９がさらに収縮して封止部４がオリフィス部２を圧迫されると、バネ部１２ｂとストッパ部３４は、既に接触しているので、バネ部１２ｂは、それ以上湾曲できない。このとき、ワイヤ９からの収縮の圧力を受けて、弾性体であるバネ部１１ｂが収縮を始め、図４（ｃ）に示すように、バネ部１１ｂは、ワイヤ９に引っ張られてバネ部１２ｂ側に湾曲される。このバネ部１１ｂの変形により、ワイヤ９の収縮によるオリフィス部２への過剰な圧力に伴うオリフィス部２からワイヤ９自身への過負荷を低減することができる。ここで、第１半固定電極１１は、ワイヤ９の形状記憶合金の過負荷低減弾性体となり、通電用電極である第１半固定電極１１に過負荷低減弾性体が一体化されている。
【００２８】
このように、第１半固定電極１１を弾性係数の小さなバネ構造とし、第２半固定電極１２を弾性係数の大きなバネ構造としたことにより、過剰な負荷に対して第１半固定電極１１を湾曲することができるので、第１半固定電極１１は、ワイヤ９に直接過負荷が掛かるのを緩和するクッション効果の役目を果し、ワイヤ９への過剰な負荷を低減することができる。さらに、第１半固定電極１２を板バネ構造として過負荷低減弾性体と一体化し、第２半固定電極１１を板バネ構造としてバイアス弾性体と一体化したことにより、小型バルブ１０の構成部品点数を低減でき、生産性を向上することができる。
【００２９】
上述した各種実施形態に係る小型バルブ１０によれば、ガイドパイプ１内に独立して可動自由なオリフィス部２と、ガイドパイプ１に内接して可動自在にオリフィス部２を封止する可動弁体３を設け、ガイドパイプ１に配置される固定電極７と可動弁体３に配置された可動電極８とによって形状記憶合金のワイヤ９を保持し、ガイドパイプ１の端部１ａとオリフィス部２の間にコイルバネ５を配設し、オリフィス部２と可動弁体３の間にバイアスコイル６を配設し、コイルバネ５の弾性係数ｋ２をバイアスコイル６の弾性係数ｋ１より大きくしたことにより、閉弁時のワイヤ９の過剰収縮によるオリフィス部２からの過負荷を、コイルバネ５の弾性変形により吸収することができる。すなわち、コイルバネ５は、ワイヤ９の過剰収縮に対し、過負荷低減弾性体としてのクッション効果を持ち、加熱によるバルブ閉鎖時の形状記憶合金への過負荷を低減することができる。これにより、バルブ閉弁時の形状記憶合金への過剰な加圧を防止することができるので、形状記憶合金の形状記憶の再現性を劣化させることなく、また、繰り返しの過負荷による経時劣化を無くすことができ、耐久性を向上させ、小型バルブの信頼性を高めることができる。さらに、オリフィス部２をガイドパイプ１と一体化せず独立に設けたことにより、ガイドパイプ１内の部品の配置の自由度が増すと共に、微細な加工を必要とするオリフィス部２の加工が容易となり、加工精度も向上することができる。
【００３０】
また、通電用の電極である第１半固定電極と第２半固定電極をそれぞれ弾性を持った板バネ構造とし、第１半固定電極を過負荷低減弾性体と一体化し、第２半固定電極をバイアス弾性体と一体化することにより構成部品点数を低減でき、生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１の実施形態による小型バルブの断面図。
【図２】（ａ）、（ｂ）は上記バルブのそれぞれバルブ開弁時及び閉弁時の断面図。
【図３】上記バルブのコイルバネとバイアスコイルの収縮特性図。
【図４】（ａ）は本発明の第２の実施形態による小型バルブの開弁時の断面図、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ同バルブの閉弁時及び過負荷閉弁時の断面図。
【符号の説明】
【００３２】
１  ガイドパイプ（固定構造物）
２  オリフィス部（可動体）
３  可動弁体（可動構造体）
４  封止部（封止体）
５  コイルバネ（過負荷低減弾性体）
６  バイアスコイル（バイアス弾性体）
７  固定電極（第１電極）
８  可動電極（第２電極）
９  ワイヤ（形状記憶合金）
１０  小型バルブ
１１  第１半固定電極（第１電極、過負荷低減弾性体）
１２  第２半固定電極（第２電極、バイアス弾性体）
【図１】
0004730011.tif 000002
【図２】
0004730011.tif 000003
【図３】
0004730011.tif 000004
【図４】
0004730011.tif 000005