(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱伝導性部材の薄板からなる上板材とその一部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部材の薄板からなる下板材によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、前記発熱素子の位置に対応する前記コンテナ内の位置に配置される熱伝導性ブロックと、前記コンテナ内に収容される作動流体と、を備えた板型ヒートパイプにおいて、
前記熱伝導性ブロックは、前記発熱素子が熱的に接続される一方の板材から他方の板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸した部分球状からなり、前記部分球状の周面を蒸発面としたことを特徴とする板型ヒートパイプ。
【請求項２】
熱伝導性部材の薄板からなる上板材と、発熱素子が熱的に接続されるブロック部を備えた熱伝導性部材の薄板からなる下板材とによって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、前記コンテナ内に収容される作動流体と、を備えた板型ヒートパイプにおいて、
前記ブロック部は、前記下板材から前記上板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸した部分球状からなり、前記部分球状の周面を蒸発面としたことを特徴とする板型ヒートパイプ。
【請求項３】
前記熱伝導性ブロックまたは前記ブロック部が焼結金属からなることを特徴とする請求項１または２に記載の板型ヒートパイプ。
【請求項４】
前記コンテナ内に収容されるウイックを更に備えていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の板型ヒートパイプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子機器の冷却に用いる板型ヒートパイプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
年々増大する電子機器の半導体チップからの発熱を効率よく放熱する手段のひとつにヒートパイプがある。特に、ヒートパイプの中でも、チップ表面に対する受熱面の確保と熱の拡散の点から板型ヒートパイプが着目されている。
【０００３】
ヒートパイプは、内部が中空である容器（コンテナ）からなっており、コンテナ内は減圧され真空状態であり、そこには適量の液体が作動流体として封入されている。容器外部のある箇所から受熱があったときには、受熱があった部分に存在する液体が蒸発して、そこで蒸発潜熱を吸収する。蒸気は圧力差によって容器内に充満し、受熱部以外の箇所の容器の内面において凝縮し、そこで蒸発潜熱を放出する。凝縮した液体は、内部管壁にあらかじめ具備されたメッシュ、ワイヤーなどからなるウィックと呼ばれる液体還流機構によって蒸発部に戻り、再び受熱部で蒸発する。上述した循環を繰り返し、結果的に、容器全体に熱が拡散する効果がある。
【０００４】
板型ヒートパイプの場合において、特に、ヒートパイプと熱的に接続される発熱素子としてのチップの面積が小さいと、ヒートパイプ内における、チップの面積に対応する蒸発部の面積は小さくなり、熱流束が大きくなるため、作動流体が存在しないいわゆるドライアウトが起こる可能性が高くなる。更に、チップそれ自体も、その面の全体にわたって均一に発熱するわけではなく、局所的にドライアウトが起こる可能性は高くなる。このような問題点を解決するために、板型ヒートパイプのチップと接する位置に対応する内面の位置に金属製ブロックを配置することが提案されている。
【０００５】
図５は、金属製ブロックを備えた板型ヒートパイプの断面を示す図である。図５に示すように、板型ヒートパイプ２０は、上板材２１および下板材２２によって形成された密閉されたコンテナを備え、コンテナ内の発熱素子の位置に対応する位置に金属製ブロック２３を備えている。金属製ブロックは、４角柱状からなっており、その上面および下面においてコンテナの上板材および下板材にそれぞれ接合されている。金属製ブロックは、同一の大きさの断面を有している。
【０００６】
金属製ブロック２３を備えている板型ヒートパイプ２０においては、先ず、チップが接続されたコンテナの下板材２２の材質中を伝わった熱が、コンテナの内面に接合された金属製ブロック２３によって受熱されて、そこである程度の均熱化された後、図５に斜線で示す、金属製ブロックの周囲のブロック側面２４と、コンテナの内壁の金属ブロックと接している近傍面２５、２６とによって形成される部分が、総体として蒸発部の機能を果たし、結果的にドライアウトが生じない状態にするように考えられている。
【０００７】
しかしながら、チップの集積度が飛躍的に高まり、それに伴って発熱量がさらに増大し、且つ、板型ヒートパイプの厚みを、周囲の機器の関係から、十分にとれない場合には、一層、ヒートパイプとして厳しい作動条件下におかれることになる。例えば、板型ヒートパイプの内部の厚みが２ｍｍ以下などの場合においては、上述したような金属ブロックをヒートパイプ内に設けても、ブロックの高さが制限されそれと共にブロックの側面の大きさが制限されて、従来のように十分な面積を有する蒸発部を確保することができなくなる。
【０００８】
【発明が解決しょうとする課題】
上述したように、チップの集積度が飛躍的に高まり、それに伴ってチップからの発熱量が増大すると、従来の板型ヒートパイプでは、チップが接続される位置に対応するコンテナ内の部分において、作動流体が存在しないいわゆるドライアウトが生じて、チップを十分に冷却することができない。その問題点を解決するために、上板材および下板材によって形成された密閉されたコンテナを備え、コンテナ内の発熱素子の位置に対応する位置に金属製ブロックを備えている板型ヒートパイプが提案されているが、チップの集積度が飛躍的に高まり、それに伴ってチップからの発熱量が増大し、更に、板型ヒートパイプの厚さが制限されると、金属ブロックをヒートパイプ内に設けても、ブロックの高さおよびそれに伴って側面の大きさが制限されて、十分な面積を有する蒸発部を確保することができないおそれがある。
【０００９】
従って、この発明の目的は、その厚さが制限されても、発熱密度が飛躍的に増大する電子機器の半導体チップ等を効率的に冷却することができる板型ヒートパイプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した従来の問題点を解決するために、発明者等は鋭意研究を重ねた。その結果、板型ヒートパイプの内部に設置される金属製ブロックの底部および上面部における断面積を変化させて、蒸発部を拡大させることにより、例え、ヒートパイプの厚さが制限されても、ドライアウトを生じることなく、半導体チップ等を効率的に冷却することができることを知見した。
【００１１】
この発明は上述した知見等に基づいてなされたものであって、請求項１の発明は、熱伝導性部材の薄板からなる上板材とその一部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部材の薄板からなる下板材によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、前記発熱素子の位置に対応する前記コンテナ内の位置に配置される熱伝導性ブロックと、前記コンテナ内に収容される作動流体と、を備えた板型ヒートパイプにおいて、前記熱伝導性ブロックは、前記発熱素子が熱的に接続される一方の板材から他方の板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸した部分球状からなり、前記部分球状の周面を蒸発面としたことを特徴とする。
【００１２】
請求項２の発明は、熱伝導性部材の薄板からなる上板材と、発熱素子が熱的に接続されるブロック部を備えた熱伝導性部材の薄板からなる下板材とによって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、前記コンテナ内に収容される作動流体と、を備えた板型ヒートパイプにおいて、前記ブロック部は、前記下板材から前記上板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸した部分球状からなり、前記部分球状の周面を蒸発面としたことを特徴とする。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記熱伝導性ブロックまたは前記ブロック部が焼結金属からなることを特徴とする。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の発明において、前記コンテナ内に収容されるウイックを更に備えていることを特徴とする。
【００１８】
この発明の板型ヒートパイプのその他の態様は、前記コンテナ、および、前記金属製ブロックまたは前記ブロックが銅製であり、前記作動流体が水であることを特徴とする、板型ヒートパイプである。
【００１９】
この発明の板型ヒートパイプのその他の態様は、前記金属製ブロックが前記上板材および前記下板材とろう付けにより接合されていることを特徴とする、板型ヒートパイプである。
この発明の板型ヒートパイプのその他の態様は、前記金属製ブロックが前記上板材および前記下板材と機械接合されていることを特徴とする、板型ヒートパイプである。
【００２０】
【発明の実施の形態】
この発明を図面を参照しながら説明する。
この発明の板型ヒートパイプの１つの態様は、（１）熱伝導性部材（例えば、中央部に窪み部分が形成された金属製）の薄板からなる上板材、および、その一部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部材（例えば、平板な金属製）の薄板からなる下板材によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、（２）前記発熱素子の位置に対応する前記コンテナ内の位置に配置される、拡大された蒸発面を有する熱伝導性（例えば、金属製）ブロックと、（３）前記コンテナ内に収容される作動流体とを備えた板型ヒートパイプである。
【００２１】
上述した拡大された蒸発面が、金属製ブロックの受熱部側の断面の面積と、受熱部側と反対側における断面の面積が異なることによって形成されている。更に、上述した拡大された蒸発面が、金属製ブロックが角錐台状または円錐台状であることによって形成されていてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、金属製ブロックが部分球状であることによって形成されていてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、金属製ブロックが焼結金属からなっていることによって形成されていてもよい。なお、上述したコンテナ内にウイックが収容されてもよい。上述したコンテナ、および、金属製ブロックまたは、後述するブロックが銅製であり、作動流体が水であることが好ましい。
【００２２】
これらの態様を、図面を参照しながら更に詳細に説明する。図１は、この発明の板型ヒートパイプの１つの態様の断面を示す図である。図１に示すように、板型ヒートパイプ１０は、中央部に窪み部分が形成された金属製の薄板からなる上板材１および平板な金属製の薄板からなる下板材２によって形成され、密閉減圧された空洞部９を有するコンテナを備えており、上板材１と下板材２の間には、角錐台状の金属製ブロックが、上板材の内壁、下板材の内壁とそれぞれ接合されている。上板材は、例えば、矩形の銅板をプレス加工して、矩形の外周部に対し中央部が窪んだ形状のものを成形する。
【００２３】
角錐台状の金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下端部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。即ち、金属製ブロックの各側面５は所定の角度で傾斜しているので、側面５の面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなっている。従って、金属製ブロックの側面５と、上板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部７と、下板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部６とによって形成される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロックの側面が所定の角度で傾斜しているので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
【００２４】
金属ブロックが、円錐台状である場合においても、金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下端部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。即ち、金属製ブロックの側面５は、下板材から上板材に向かって所定の曲率で緩やかに弧を画いて延伸しているので、側面５の面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなっている。従って、金属製ブロックの側面５と、上板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部７と、下板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部６とによって形成される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロックの側面が所定の曲率で傾斜しているので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
【００２５】
図２は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。図２に示す態様においては、金属ブロックが部分球状からなっている。図２示すように、金属ブロックが、部分球状である場合においても、金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下端部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。なお、部分球状の上端部は必ずしも上板材の内壁と接する必要はない。金属製ブロックの側面８は、下板材から上板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸しているので、側面８の表面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなっている。
【００２６】
従って、金属製ブロックの側面８と、上板材の内壁の金属ブロックの近傍部１１と、下板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部１２とによって形成される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロックの側面が所定の曲率で傾斜しているので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
【００２７】
図３は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。図３に示す態様においては、金属ブロックが焼結金属からなっている。図３示すように、金属ブロックが焼結金属からなっていることによって、金属ブロックの表面積が相対的に拡大する。更に、角錐台状、円錐台状、または、部分球状の焼結金属からなる金属ブロックを使用すると、材質による表面積の増加と共に更に、角錐台状、円錐台状、または、部分球状において述べたように、金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下端部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。金属製ブロックの側面８は、下板材から上板材に向かって所定の角度で傾斜して、または、所定の曲率で円弧を画いて延伸しているので、側面８の表面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなっている。
【００２８】
従って、焼結金属による表面積の増大に加えて、金属製ブロックの側面８と、上板材の内壁の金属ブロックの近傍部１１と、下板材の内壁の金属ブロックと接している近傍部１２とによって形成される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロックの側面が所定の角度、または、曲率で傾斜しているので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。焼結金属からなる金属製ブロックを使用することによって、作動モードによっては他のウイックを用いることなく常に蒸発部を濡れた状態に維持することができる。
【００２９】
更に、この発明の板型ヒートパイプの他の態様は、（１）中央部に窪み部分が形成された金属製の薄板からなる上板材、および、発熱素子が熱的に接続される面と反対側の面に一体的に形成された、拡大された蒸発面を有するブロック部を備えた金属製の薄板からなる下板材によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、（２）前記コンテナ内に収容される作動流体を備えた板型ヒートパイプである。
【００３０】
上述した拡大された蒸発面が、ブロック部の受熱部側の断面の面積と、受熱部側と反対側における断面の面積が異なることによって形成されていてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面が、ブロック部が角錐台状または円錐台状であることによって形成されていてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、ブロック部が部分球状であることによって形成されていてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、ブロック部が焼結金属からなっていることによって形成されていてもよい。
【００３１】
これらの態様を、図面を参照しながら更に詳細に説明する。
図４は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。図４に示すように、板型ヒートパイプ１０は、中央部に窪み部分が形成された金属製の薄板からなる上板材１、および、発熱素子が熱的に接続される面と反対側の面に一体的に形成された、拡大された蒸発面を有するブロック部３を備えた金属製の薄板からなる下板材２によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナを備えており、上板材と下板材との間には、下板材と一体的に形成された部分球状のブロック部が、上板材の内壁と接合されている。
【００３２】
上板材は、例えば、矩形の銅板をプレス加工して、矩形の外周部に対し中央部が窪んだ形状のものを成形する。即ち、この態様においては、下板材２には、発熱素子が熱的に接続される面と反対側の面に、一体的に形成されたブロック部が備えられている。ブロック部は、例えば、下板材を鍛造によって肉を盛り上げて形成する。下板材とブロック部とが一体的に形成されているので、熱抵抗が小さく、熱伝導性に優れている。上述したブロック部は、上板材とろう付けにより接合されていてもよく、または、機械接合されていてもよい。
【００３３】
図４に示す態様においては、下板材と一体的に形成されたブロック部が部分球状からなっている。図４示すように、ブロック部が、部分球状であるので、上述した他の態様と同様に、ブロック部は、下板材の内壁に該当する部分の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。なお、部分球状の上端部は必ずしも上板材の内壁と接する必要はない。ブロック部の側面８は、下板材から上板材に向かって所定の曲率で円弧を画いて延伸しているので、側面８の表面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなっている。
【００３４】
従って、ブロック部の側面８と、上板材の内壁の金属ブロックの近傍部１１と、下板材の内壁のブロック部に隣接する近傍部１２とによって形成される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっても、ブロック部の側面が所定の曲率で傾斜しているので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が下板材と一体的に形成されているブロック部によって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
【００３５】
図示していないが、下板材と一体的に形成されたブロック部が、ブロック部が角錐台状または円錐台状からなっている場合、および、ブロック部が焼結金属からなっている場合においても、上述した他の態様において述べたと同様に、拡大された蒸発部を備えており、何れも、発熱素子から伝わった熱が下板材と一体的に形成されているブロック部によって均熱され、拡大された蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
この態様においても、コンテナ内にウイックが収容されてもよい。上述したコンテナ、および、ブロックが銅製であり、作動流体が水であることが好ましい。
【００３６】
この発明によると、発熱素子において発生した不均一な熱は、金属製ブロックまたはブロック部によって、ある程度均熱化されて、ヒートパイプに伝わる。その際、金属製ブロックまたはブロック部が角錐台、円錐台、半球状等の形状であると、ヒートパイプの蒸発部として機能する面が増大して、安定した作動が確保される。板型ヒートパイプの厚さが制限される場合に、特に、効果がある。
金属製ブロックは、受熱側に関しては、ろう付け等によってヒートパイプのコンテナと接合されて、一体化されていることが重要である。なお、金属製ブロックまたはブロック部の上端部も、ろう付け等によってコンテナと接合されていることが望ましい。
上述したように、この発明によると、より高い熱負荷に対しても安定して熱拡散ができる板型ヒートパイプを得ることができる。上述した金属製の薄板、金属製ブロックは、金属製に限らず、熱伝導性部材からなっておればよい。
更に、実施例によってこの発明を詳細に説明する。
【００３７】
【実施例】
実施例１
本発明の１つに従って、図１に示すように、厚さ１ｍｍ×横６０ｍｍ×縦６０ｍｍの銅板において、外周３ｍｍ幅を残した中央部に、プレス化工によって約２ｍｍの段差の窪みを形成して上板材１を調製した。更に、厚さ１ｍｍ×横６０ｍｍ×縦６０ｍｍの矩形の銅板によって下板材２を調製した。このように調製した上板材１および下板材２を、２ｍｍの間隙の空間が形成されるように組合わせて、その２つの銅板の間に、底面が１０ｍｍ×１０ｍｍ、上面が２ｍｍ×２ｍｍの矩形であり、高さ２ｍｍの角錐台状の銅製ブロック３を、中央部に位置するように挟み込み、２つの銅板および銅製ブロックを銀ろうにより接合して一体化した。
銅製ブロックの他に、コンテナの補強のために複数本の銅柱４を、２枚の銅板の間に挟み込んで、これらも銀ろうによって接合して一体化した。図示しない封止部を用いて、真空注液し、ヒートパイプを調製した。作動流体としては水を用いた。更に、ヒートパイプ空間内には、積層メッシュを充填しておいた。このようにして、外形４ｍｍ×６０ｍｍ×６０ｍｍの板型ヒートパイプを作製した。
【００３８】
上述したこの発明の板型ヒートパイプによると、同一外形形状の４角柱の同一断面積の銅製ブロックをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比較して、熱輸送限界が１００％増加した。
【００３９】
実施例２
本発明の１つにしたがって、図４に示すように、厚さ１ｍｍ×横４０ｍｍ×縦４０ｍｍの銅板において、外周３ｍｍ幅を残した中央部に、プレス化工によって約１．５ｍｍの段差の窪みを形成して上板材１を調製した。更に、厚さ１ｍｍ×横４０ｍｍ×縦４０ｍｍの矩形の銅板に、鍛造加工によって中央部に底面１５φ、高さ１．５ｍｍの部分球状のブロック部（盛り上がり）３を形成して、下板材２を調製した。このとき、銅柱４も同時に形成した。このように調製した上板材１および下板材２を、１．５ｍｍの間隙の空間が形成されるように組合わせて、それらを銀ろうにより接合して一体化した。
図示しない封止部を用いて、真空注液し、ヒートパイプを調製した。作動流体としては水を用いた。更に、ヒートパイプ空間内には、積層メッシュを充填しておいた。このようにして、外形３．５ｍｍ×４０ｍｍ×４０ｍｍの板型ヒートパイプを作製した。
【００４０】
上述したこの発明の板型ヒートパイプによると、同一外形形状の４角柱の同一断面積の銅製ブロックをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比較して、熱輸送限界が１００％増加した。
【００４１】
実施例３
本発明の１つに従って、図３に示すように、厚さ１ｍｍ×横４０ｍｍ×縦４０ｍｍの銅板において、外周３ｍｍ幅を残した中央部に、プレス化工によって約１．５ｍｍの段差の窪みを形成して上板材１を調製した。更に、厚さ１ｍｍ×横４０ｍｍ×縦４０ｍｍの矩形の銅板によって下板材２を調製した。更に、下板材２の中央部に底面１５φ、高さ１．５ｍｍの部分球状の焼結金属のブロック３を接合した。このように調製した上板材１および下板材２を、１．５ｍｍの間隙の空間が形成されるように組合わせて、それらを銀ろうにより接合して一体化した。
図示しない封止部を用いて、真空注液し、ヒートパイプを調製した。作動流体としては水を用いた。作動液の量は、３０〜４０％であった。ヒートパイプ空間内には、ウイックを用いなかった。このようにして、外形３．５ｍｍ×４０ｍｍ×４０ｍｍの板型ヒートパイプを作製した。
【００４２】
上述したこの発明の板型ヒートパイプによると、同一外形形状の４角柱の同一断面積の銅製ブロックをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比較して、熱輸送限界が７０％増加した。
【００４３】
【発明の効果】
この発明によると、板型ヒートパイプのコンテナの厚さが制限されても、発熱密度が飛躍的に増大する電子機器の半導体チップ等を効率的に冷却することができる板型ヒートパイプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の板型ヒートパイプの１つの態様の断面を示す図である。
【図２】図２は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。
【図３】図３は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。
【図４】図４は、この発明の板型ヒートパイプの他の１つの態様の断面を示す図である。
【図５】図５は、従来の金属製ブロックを備えた板型ヒートパイプの断面を示す図である。
【符号の説明】
１上板材
２下板材
３金属製ブロック、ブロック部
４銅柱
５側面
６近傍部
７近傍部
８表面
９空洞部
１０板型ヒートパイプ
１１近傍部
１２近傍部
２０板型ヒートパイプ
２１上板材
２２下板材
２３金属製ブロック
２４側面部
２５近傍部
２６近傍部
【図１】
0004676090.tif 000002
【図２】
0004676090.tif 000003
【図３】
0004676090.tif 000004
【図４】
0004676090.tif 000005
【図５】
0004676090.tif 000006