(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略同軸上に配置された外側管と内側管を具備し、軸方向の少なくとも一方の端部が互いに溶着されると共に、
エキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されて略円筒状の放電空間を形成する放電容器と、
当該放電空間の内部において
内側管と外側管の一方又は両方の管に対して溶着されて両部材の移動を互いに規制する支持部材と
を具備してなるエキシマランプにおいて、
前記支持部材は、
外側リング部と、該外側リング部の径方向内側に位置する内側リング部と、
前記外側リング部と前記内側リング部とをつなぐ連結部を有してなり
該支持部材の中心を仮想中心点（Ｏ）として、前記外側リング部の外周と前記内側リング部の内周の中間位置に仮想円を形成したとき、
各連結部上の前記仮想円の円弧の周方向の長さがいずれも前記仮想円の全周に対して０．２以下であり、かつ、
連結部上の前記円弧の周方向の長さの総和が当該仮想円の全周に対して０．４以下である
ことを特徴とするエキシマランプ。
【請求項２】
外側リング部の外周及び／又は内側リング部の内周に、外側リング部と内側リング部との間に形成された空間に開口する切欠きが設けられていることを特徴とする請求項１記載のエキシマランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、詳しくは内側管と外側管が略同軸に配置されて端部が中空円板状の端壁面で封止された円筒状の放電空間を形成する発光管を備えたエキシマランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から放電ランプとしては、種々の構成のものが知られており、一部が誘電体により構成された放電容器内に、適宜の放電用ガスが充填され、当該放電容器内において誘電体バリア放電によりエキシマを生成し、該エキシマ光を放出するエキシマランプが知られている。例えば、特開平１−１４４５６０号公報には、少なくとも一部が誘電体である石英ガラスにより構成された中空円筒状の放電容器内に放電用ガスが充填されてなるエキシマランプが記載されている。
【０００３】
このようなエキシマランプにおいては、合成石英ガラスより構成され、略同軸に配置された外側管と内側管とを具備し、その両端部（若しくは片端部）が封止された放電容器を用い、内側管における外表面（管の内周面）側に内側電極を、外側管における外表面（管の外周面）側に光透過性を有する電極をそれぞれ配置して、内側管と外側管のからなる誘電体壁を介在させて半径方向に放電を生起させるものが知られている。
【０００４】
近年、例えば液晶表示パネルのガラス基板の洗浄装置の光源として用いられるエキシマランプにおいては、ガラス基板の大型化に伴って大面積の光放射領域が得られるよう長尺化しており、例えば全長が１ｍ以上のものが求められている。このような長尺のエキシマランプにおいては、振動衝撃が加わると壊れやすいという問題があり、エキシマランプ全体の機械的強度および外側管と内側管との接合強度の観点から、図７に示すように放電容器７１の内部に支持部材８０を設けることにより、内側管７３の重力下方向への変形を規制することで耐衝撃性を補完したものが知られている（特許文献１（図５）参照）。なお、図７は、外側管７２と内側管７３とを具備した放電容器７１を有するエキシマランプ７０の要部を示す（ａ）軸方向断面図および（ｂ）Ａ−Ａ断面図である。同図において、符号７４は外側管７２の外周面上に配置された外側電極、符号７５は内側管７３の内周面に沿って配置された内側電極であり、外側管７２の内周面と内側管７３の外周面との間に放電空間Ｈが形成される。
【０００５】
支持部材８０は例えば、図７（ｂ）で示されるような中空円板状の合成石英ガラスよりなる板体であり、厚みが１〜３ｍｍとされている。図７（ａ）に示すように、支持部材８０の外周縁部８０Ａが外側管７２における内表面７２Ａ（内周面）に溶着されることにより、放電容器７１の軸に対して垂直に配置され、支持体としての役割を果たすものである。
【０００６】
このような支持部材においては従来から様々な形状のものが知られており、例えば図８の平面図で示すように（ａ）小孔８１を設けたもの（特許文献１（図４）参照）や、（ｂ）光出射側において切欠き８２を形成することにより光の取り出し効率を高めものも知られている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００４−１３９８８９号公報
【特許文献２】特開２００６−０１２５５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら上記エキシマランプにおいては、支持部材に溶着された部分において、内側管又は外側管に早期にクラックが入ることがあり、長い使用寿命が得られないという問題がある。
【０００８】
この理由は、図７で示したように中空円板状とされた支持部材８０が、その外周縁部８０Ａの全域にわたって外側管７２の内周面７２Ａに溶着されて固定されているため、図７（ｂ）の矢印で示すようにランプを点灯したときの熱や紫外線の影響で支持部材８０が膨張または収縮した際に、外側管７２及び内側管７３に応力がかかるためと考えられる。
特に、外側管７２における溶着部８１においては、支持部材８０と溶着するために高温に加熱処理された個所であり、歪を取り除く処理を十分にしたとしても他の部位に比較して外部からの応力や衝撃に弱いため、支持部材８０の膨張、収縮によってクラックが発生する。
【０００９】
なお上述では支持部材（８０）の外周縁部（８０Ａ）を外側管（７２）に溶着して用いた例で説明したが、支持部材（８０）を内側管（７３）に溶着して用いる場合においては内側管における溶着部にクラックが入るため、エキシマランプとしては長い使用寿命を得ることができない。また、内側管と外側管の両方に支持部材を溶着した場合は更にクラックの発生が高くなる。また、支持部材の態様として図７に示したもの以外に図８（ａ）のように小孔を有するものや、図８（ｂ）のように略おうぎ形ないしは半円形に形成されたものにおいても、上記と同様、外側管（７２）および／または（７３）内側管の溶着部にクラックが発生する。
【００１０】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、放電容器の長さが１ｍを超えるような長いものであって外側管および内側管による二重管構造のエキシマランプであっても、十分に高い信頼性を有するものとして構成することができ、ランプの搬送時や取り付け時のみならず、点灯、消灯を繰り返した場合でも、破損することを確実に防止することができる、使用寿命が長いエキシマランプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のエキシマランプは、
略同軸上に配置された外側管と内側管を具備し、軸方向の少なくとも一方の端部が互いに溶着されると共に、
エキシマ分子を形成する放電用ガスが封入されて略円筒状の放電空間を形成する放電容器と、
当該放電空間の内部において
内側管と外側管の一方又は両方の管に対して溶着されて両部材の移動を互いに規制する支持部材と
を具備してなるエキシマランプにおいて、
前記支持部材は、
外側リング部と、該外側リング部の径方向内側に位置する内側リング部と、
前記外側リング部と前記内側リング部とをつなぐ連結部を有してなり
該支持部材の中心を仮想中心点（Ｏ）として、前記外側リング部の外周と前記内側リング部の内周の中間位置に仮想円を形成したとき、
各連結部上の前記仮想円の円弧の周方向の長さがいずれも前記仮想円の全周に対して０．２以下であり、かつ、
連結部上の前記円弧の周方向の長さの総和が当該仮想円の全周に対して０．４以下である
ことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明のエキシマランプは、外側リング部の外周及び／又は内側リング部の内周に、外側リング部と内側リング部との間に形成された空間に開口する切欠きが設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のエキシマランプによれば、外側管を支持する環状の外側リング部と内側管を支持する環状の内側リング部が連結部により接続されて構成されてなり、支持部材の中心を中心点（Ｏ）として、外側リング部の外周と内側リング部の内周すなわち、支持部材の外径と内径の中間位置に仮想円を形成したとき、仮想円が各連結部上を通過する円弧の長さがいずれも前記仮想円の全周に対して０．２以下、連結部上の前記円弧の周方向の長さの総和が当該仮想円の全周に対して０．４以下とされていることにより、支持部材自身が伸縮、膨張したときに外側管乃至内側管から受ける反作用を吸収することができるようになるため、結果的に支持部材から外側管又は内側管に対して与える応力が外側管及び／又は内側管のクラック発生が生じない程度に緩和され、溶着部におけるクラックの発生を回避することができ、高い信頼性を有する放電容器とすることができる。エキシマランプの搬送時または取り付け時においても、支持部材自身が破損することがなく、放電容器の耐衝撃性を高く維持することができる。
従って、放電容器全長が長いものであっても耐衝撃性を備えて放電容器が破損することを確実に防止することができると共に、点灯、消灯時の熱膨張や紫外線歪が発生しても放電容器にクラックが入ることを抑制できる、使用寿命が長い高信頼性を有するエキシマランプを提供することができる。
【００１４】
また、本発明のエキシマランプによれば、半径方向外側に位置された外側リング部の外周及び／又は内側リング部の内周に、外側リング部と内側リング部との間に形成された空間に開口する切欠きが設けられていることで、外側管及び／又は内側管に対する応力の発生をいっそう緩和することができ、支持部材の変形や歪みが発生することを抑制し、放電容器が破損することを確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明について図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明のエキシマランプの一実施形態における構成の概略を示す説明用断面図である。
このエキシマランプ１０は、例えば石英ガラスよりなり、円筒状の外側管１２と、この外側管１２内においてその管軸に沿って配置された、当該外側管１２の内径より小さい外径を有する例えば石英ガラスよりなる円筒状の内側管１３とを有し、外側管１２と内側管１３とが両端部において溶融接合されてなる二重管構造の放電容器１１を備えている。
【００１６】
放電容器１１を構成する内側管１３は、例えば両端部が径方向外方に拡がって伸びるよう湾曲されて形成された屈曲部分を有するものであり、当該内側管１３の屈曲部分が外側管１２と接合されることにより当該屈曲部分１３Ａにより端壁１４が構成され、これにより、外側管１２の内周面と内側管１３の外周面との間に、気密に閉塞された環状の放電空間Ｈが形成されている。
【００１７】
放電容器１１を構成する外側管１２には、その外周面に密接して、例えば金網などの導電性材料よりなる網状の一方の電極（以下、「外側電極」という。）１５が設けられており、他方、内側管１３には、その内周面に密接して、例えばアルミニウムよりなる、パイプ状あるいは断面において一部に切り欠きを有する概略Ｃ字状（樋状）の他方の電極（以下、「内側電極」という。）１６が設けられている。そして、外側電極１５および内側電極１６は、例えば高周波電源よりなる電源装置１９に接続されている。
【００１８】
放電空間Ｈ内には、外側電極１５と内側電極１６との間で生ずるエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する、例えばキセノンガスなどの放電用ガスが充填されている。
【００１９】
なお図１において符号１８は放電容器にガスを封入する際使用した排気管の残部である。
【００２０】
このエキシマランプ１０においては、放電容器１１の長さ方向における中腹付近において支持部材２０が、その外周面が外側管１２の内周面に溶着されることにより、外側管１２と内側管１３の間に配置されており、外側管１２と内側管１３が略同軸に安定的に位置されるよう支持されている。
【００２１】
図２は、図１の支持部材２０を取り出して示す斜視図である。支持部材２０の全体形状は、中心に中空が形成された円板状をなしており、材質としては石英ガラスより構成されている。支持部材２０の厚さｔ１は１〜３ｍｍであり、同図に示すように、支持部材２０は外側リング部２１と、該外側リング部２１とほぼ同心に形成され径方向内側に形成された内側リング部２２と、外側リング２１部と内側リング部２２の間において両者を一体に結合する半径方向に伸びる連結部２３１，２３２，２３３，２３４とより構成される。
【００２２】
本願に係る支持部材２０においては、外側リング部２１と内側リング部２２の中心位置がほぼ一致して一体に形成されていると共に、内側リング部２２が全周に亘って形成されているので、エキシマランプが回転しても、全方向において内側管（１３）を支持することができる。
【００２３】
外側リング部２１は半径方向の幅がほぼ一定に成形された環状の板体であり、その外径は放電容器（１１）における外側管（１２）の内径よりわずかに小さいものとなっている。
内側リング部２２もまた上記外側リング部２１と同様、半径方向の幅が一定の環状の板体よりなり、平面図において外側リング部２１と同心に配置される。
【００２４】
外側リング２１部及び内側リング部２２の径方向の幅は、エキシマランプ（１０）の大きさにより適宜設定されるのが好ましいが、外側管１２及び内側管１３を支持する部材として所定の強度を維持するためにも、いずれの部位も１．５ｍｍ以上であるのが望ましい。またかかる幅寸は、外側リング部と内側リング部の各部材が互いに接触しない範囲で大きくすることが可能であるが、好ましくは２．５ｍｍ以下である。
【００２５】
本実施形態において連結部２３１，２３２，２３３，２３４は周方向の幅が一定となるよう構成された帯状体であり、内側リング部２２から放射状に延びて外側リング部２１に連なり、外側管（１２）と内側管（１３）とを支えている。
本例においては４つ形成されており、各々径方向に伸びるよう等間隔に配置されて放射状に形成されている。そして、各連結部においては周方向の幅が一定に構成されることにより、応力が特定部位に集中することが抑制され、支持部材における機械的強度を一段と高くすることができるようになる。なお、連結部と外側リング部及び内側リング部との接続部分においても鋭角部のないよう丸みをもって形成されるのが好ましい。
【００２６】
以上のような形態の支持部材は、板状のガラスをレーザー切断機などの手段により切り出すことにより製作することができる。
【００２７】
かかる支持部材は外周縁部２１Ａの全周が外側管の内周面に溶着されることにより外側管に固定される（図１（ｂ）参照）。
内側リング部２２は内径が内側管１３の外径よりわずかに大きく（具体的には直径で１〜２ｍｍ大きく）、例えば内側リング部２２は内側管１３とは未溶着状態に構成されている。
【００２８】
このように支持部材２０が外側リング部２１と内側リング部２２とを具備していることにより、外側管１２と内側管１３とを概略全周方向に亘って支持することができるため、放電容器１１の管軸が水平となるようにエキシマランプ１０を配置して内側管１３が重力下方に撓んだときにも、内側管が支持部材２０によって支持されるようになるので、放電容器１１の両端部を支点とした両端にかかる撓みが小さくなると共に、内側管１３を支える支点間の距離が短くなるため両端部にかかる応力を小さくすることができるようになる。
【００２９】
以上のエキシマランプについて具体的数値の一例を述べる。
放電容器（１１）を構成する外側管（１２）は外径が４２ｍｍ、内径が３７ｍｍ、内側管の外径が１４ｍｍ、内径１２ｍｍ、放電容器（１１）の管軸方向全長が１４００ｍで、有効発光長が１３００ｍｍである。
外側管（１２）の外周面上に配設された外側電極（１５）は、光透過性電極であり、内側電極（１６）は断面略Ｃ字状の長尺樋状のアルミニウム製板を組合せたものよりなる。電極の管軸方向長さはいずれも１３００ｍｍである。
【００３０】
ここで図３を参照し、本発明に係る支持部材の構成についてより詳細に説明する。なお図３は支持部材を示す説明図である。
同図において、外側リング部２１を構成する円弧の中心を中心点Ｏとして、支持部材２０の外径Ｄ１（外側リングの外径）と内径Ｄ２（内側リングの内径）の中間位置を通過する仮想円Ｋを形成する。仮想円Ｋの直径をＤ３とすると下記式１で定義される。
（式１）Ｄ３＝（Ｄ１＋Ｄ２）／２
【００３１】
かかる仮想円Ｋが連結部２３１，２３２，２３３，２３４上を通過する円弧をそれぞれＴ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４とし、各円弧の周方向の長さをＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４とする。そして、仮想円の円周をＬとすると、本発明に係る支持部材においては、各円弧の長さ（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）がいずれも、前記仮想円の全周（Ｌ）に対して０．２以下とされており、連結部上の前記円弧の周方向の長さの総和（Ｓ１＋Ｓ２＋Ｓ３＋Ｓ４）が当該仮想円の全周（Ｌ）に対して０．４以下とされている。
すなわち、下記式２、式３を満足する。
【００３２】
（式２）Ｓ１／Ｌ≦０．２，Ｓ２／Ｌ≦０．２，Ｓ３／Ｌ≦０．２，Ｓ４／Ｌ≦０．２
（式３）（Ｓ１＋Ｓ２＋ＳＬ＋Ｓ４）／Ｌ≦０．４
【００３３】
ここで本実施形態における支持部材２０の各寸法について一例を示す。
支持部材の外径（外側リング部の外径）Ｄ１は３５ｍｍ、支持部材の内径（内側リングの内径）Ｄ２は１５ｍｍである。外側リング部の径方向の幅ａは２ｍｍ、内側リング部の径方向の幅ｂは２ｍｍであり、円弧Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の周方向の長さＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４はいずれも７ｍｍである。なお、円弧Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４の長さとはすなわち、連結部の周方向の幅の長さと同義である。
【００３４】
この結果、以下の作用が奏される。
すなわち、図１（ｂ）において、外側リング部２１と内側リング部２２とが径方向に分割された構造を有することにより、支持部材２０がランプ点灯時における熱や紫外線の影響で膨張、収縮したとき、外側リング部２１は外側管１２に応力を加えようとするものの、支持部材２０の体積が減少した分、外側管１２にかける応力を小さくすることができる。
【００３５】
この理由は定かではないが、以下のように推察される。支持部材２０が膨張した場合、支持部材２０は径方向外方に押し広げるように外側管１２の内周面に対して応力を与える。同時に、支持部材２０には外側管１２からの反作用により、外側リング部２１の外周から中心方向に圧縮されるような応力がかかる。このとき、外側リング部２１と内側リング部２２との間に空間が形成されているので、外側リング部２１の面方向と内側リング部２２の面方向とが異なる方向に変形させるなど連結部２３１，２３２，２３３，２３４において歪が形成されて、外側リング部２１にかかる応力が吸収され、結果的に外側管１２に対して与える応力を小さくすることができる、と推察される。一方、支持部材２０が収縮した場合には、外側リング部２１の外周面が外側管１２により引っ張られるが、同時に、連結部２３１，２３２，２３３，２３４が伸長して外側管１２に対して与える応力を小さくすることができる、と推察される。
また、支持部材２０に生じる紫外線歪は、点灯時間と共に当該支持部材２０を構成する石英ガラスに蓄積されるものであり、その収縮の大きさは紫外線が照射される支持部材２０の表面積（具体的には支持部材２０を正面方向からみたときの表面積）と略比例関係にある。従って、支持部材２０を外側リング部２１、内側リング部２２及び連結部２３１，２３２，２３３，２３４により面積を実質的に減少させて構成することで伸縮の程度も小さくなり、紫外線歪によって外側管１２に対して与える応力そのものを小さくすることができる、と考えられる。
【００３６】
以上本願の実施形態によれば、同心に配置された外側リング部と内側リング部とが連結部により一体に構成され、支持部材における連結部の周方向幅が特定の仮想円の全周に対して０．２以下の幅に形成され、かつ連結部の周方向の幅の総和が０．４以下に形成されているので、エキシマランプの点灯や消灯に伴って支持部材自体が熱膨張または紫外線歪に由来して膨張や収縮を生じた場合でも、内側リング部と外側リング部との間に空間が形成されているため、外側管に対してかかる応力が小さくなり、当該管（外側管）に生じるクラックの発生を確実に抑制することができるようになる。しかも、支持部材によって外側管と内側管とが互いに支持されていることにより、外側管と内側管との溶着部にかかる撓み量を小さくすることができ、端部にかかる応力を小さく抑えることができて放電容器の破損の発生を著しく抑制することができるという基本的効果を具備したものとなる。
【００３７】
以上、支持部材について一例を示したが形状や構成については適宜変更を加えることができる。
図４（ａ）〜（ｄ）はいずれも本は発明に係る支持部材を示す図である。以下構成に係る支持部材について詳述する。
【００３８】
図４（ａ）は連結部２３１を１つで構成した例である。連結部２３１は外側リング部２１と内側リング部２２を一体に構成するためのものであり、本実施形態のように単一で構成することも可能である。なおこのように単一の連結部とする場合も、所定の仮想円が連結部２３１を通過する円弧の長さの全周に対する割合が０．２以下とされる。
続いて図４（ｂ）は連結部を２つとして構成した例である。連結部２３１，２３２を複数として構成するとより、前図（ａ）のものより機械的強度が増して好適である。
更に図４（ｃ）は連結部を３つとして構成した例である。このように連結部を３つ以上にして構成すると内側管荷重がより連結部２３１，２３２，２３３に分散されるようになり、信頼性、安全性において望ましい。
図４（ｄ）は連結部２３１，２３２，２３３，２３４，２３５，２３６を６つとして構成した例である。このように、連結部の周方向の幅が所定の範囲を満足するものであれば、連結部を多数増やすことができる。
【００３９】
続いて、図５は外側リング部の外周及び／又は内側リング部の内周に、外側リング部と内側リング部との間に形成された空間に開口する切欠きを形成した例である。
図５（ａ）において示す支持部材３０は、内側リング部３２における連結部３３１，３３２の非形成部に切欠き部３２１が２箇所形成されたものである。このような支持部材３０は外側リング部３１が外側管に対して溶着される場合に使用されると好適する。このように内側リング部３２の少なくとも一部に切欠き部３２１を設けることで、支持部材３０が膨張又は伸縮したとき、外側管から受ける反作用の除去がより容易になり、確実に外側管に対して与える応力を低減させることができ、クラックの発生を抑制することができる。なお、溶着される側に切欠き部を設けることも可能であるが、非溶着側のリング部に対して切欠きを設けるのが好ましい。
図５（ｂ）に示す支持部材３０は外側リング部３１に切欠き部３１１が形成された例である。本実施形態に係る支持部材３０においては内側リング部３２が放電容器の内側管に溶着される形態とするのが好ましい。本例においても前述と同様、支持部材の膨張または圧縮が生じたときにも外側リング部３１に切欠き３１１が形成されているので歪を緩衝させることができ、内側管に対して与える応力を緩和することができる。
【００４０】
以上、本願発明について説明したが本願発明は上記内容に限定されず適宜変更が可能であることは言うまでもない。具体的には、以上の実施形態においては連結部の周方向の幅が概略一定としたが一定でなくても構わない。また、複数の連結部がある場合において、各連結部の幅を全て同じとして説明したが本願に規定の範囲内であれば異ならせることも可能である。また連結部を複数形成したものにおいてはこれらを等間隔に配置することも必須ではない。更に、上記実施形態においては外側管と内側管の溶着部が両端部に形成された放電容器を例に挙げて説明したが、片側の端部にのみ溶着部が形成された放電容器に対しても適用可能であることは言うまでもない。
【００４１】
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
〔実験例〕
図６の表に示す形態の実施例１〜７及び比較例１〜４に係る支持部材を作製した。支持部材は全て合成石英ガラスより構成し、外周がφ３５ｍｍ、内周がφ１５ｍｍ、板の厚さは２ｍｍであった。
実施例１〜実施例５においては、連結部の周方向の幅を全て同じにして、数を１〜６の範囲で増やしたものである。実施例６，７は連結部における周方向の幅を実施例１〜５のものに比較して大きく構成すると共に、外側リング部又は内側リング部に切欠き部を設けた例である。
比較例１は外側リング部と内側リング部を具備したものであるが、連結部を８つとして形成したものである。
以上の支持部材については、同表に、支持部材の中心を仮想中心点として支持部材の外周と内周の中間位置に仮想円を形成したときの、各連結部上の仮想円の円弧の周方向の長さ（Ｓｎ）の仮想円の全周（Ｌ）に対する比、及び連結部上の円弧の周方向の長さの総和（Ｓ１＋・・＋Ｓｎ）の仮想円の全周（Ｌ）に対する比をそれぞれ示している。なお、実施例１〜５及び比較例１において、各連結部上の仮想円の円弧の周方向の長さ（Ｓｎ）の仮想円の全周（Ｌ）に対する比は詳しくは０．０６であり、連結部上の円弧の周方向の長さの総和（Ｓ１＋・・＋Ｓｎ）の仮想円の全周（Ｌ）に対する比はこの０．０６を基準に算出した数値である。
比較例２〜４は従来製品に係る支持部材であり、比較例２は支持部材に開口が全く形成されていないもの、比較例３は内径が３ｍｍの小孔を４つ形成したもの、比較例４は支持体の一部に切欠きを設けたものである。
【００４２】
図１に示すエキシマランプ構成に概略従って、上述した各支持部材を用いて実験用エキシマランプを作製した。支持部材は放電容器全長を長さ方向に二等分する個所に、支持部材の外周縁部を外側管に溶着して固定し、配設した。
【００４３】
実験用エキシマランプの具体的な仕様を以下に示す。
放電容器（１１）
外側管（１２） ：材質；合成石英ガラス、外径；４２ｍｍ、全長；１４００ｍｍ、肉厚；２．５ｍｍ
内側管（１３） ：材質；合成石英ガラス、外径；１４ｍｍ、全長；１４００ｍｍ、肉厚；１ｍｍ
外側電極（１４） ：長さ（管軸方向）；１３００ｍｍ、材質；ステンレス
内側電極（１５）：長さ（管軸方向）；１３００ｍｍ、材質；アルミニウム
入力電力 ：電力；１ｋＷ
放電用ガス ：キセノンガス、封入ガス圧；７３ｋＰａ
【００４４】
実施例実施例１〜７及び比較例１〜４に係る実験用エキシマランプを点灯条件を一定に維持した状態で１０００時間点灯して放電容器の破損状態を観察した。なおランプ点灯前の外側管の温度は２０℃、ランプ点灯後１時間経過した後の外側管の温度は３００℃であった。
実験後の結果を図６に示す。
本発明に係る、実施例１〜実施例７のエキシマランプにおいては、点灯、消灯を繰り返しても放電容器にクラックが発生することなく、安定して点灯させることができることが確認された。一方、比較例１〜４に係るエキシマランプでは支持部材と外側管との溶着部にクラックが入って放電容器の気密性が損なわれ、点灯後４００時間以内の段階で不点灯になってしまった。
なお以上説明した実験例においては、支持部材の厚さを一律２ｍｍとしたが、１〜３ｍｍの範囲で変更しても同様の結果が得られることが本発明者らによって確認されている。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明のエキシマランプの一実施形態における構成の概略を示す説明用断面図である。
【図２】図１で示した本発明に係る支持部材を取り出して示す斜視図である。
【図３】図１〜２で示した本発明に係る支持部材を示す説明図である。
【図４】本発明の他の実施形態に係る支持部材を示す平面図。
【図５】本発明の他の実施形態に係る支持部材を示す平面図。
【図６】実験例を説明する表である。
【図７】従来技術に係るエキシマランプ要部を示す断面図である。
【図８】他の従来例に係る支持部材を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０              エキシマランプ
１１              放電容器
１２              外側管
１３              内側管
１３Ａ            屈曲部分
１４              端壁
１５              外側電極
１６              内側電極
１９              電源装置
２０              支持部材
２１              外側リング部
２２              内側リング部
２３１，２３２，２３３，２３４      連結部
２３５，２３６    連結部
３０              支持部材
３１              外側リング部
３２              内側リング部
３３１，３３２    連結部
３１１，３２１    切欠き部
Ｈ                放電空間
【図１】
0004730212.tif 000002
【図２】
0004730212.tif 000003
【図３】
0004730212.tif 000004
【図４】
0004730212.tif 000005
【図５】
0004730212.tif 000006
【図６】
0004730212.tif 000007
【図７】
0004730212.tif 000008
【図８】
0004730212.tif 000009