(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させた状態で前記剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置において、
複数の駆動脚をそれらが前方に突出するように支持する共通の支持ブロックと、
前記支持ブロックを表面上において固着している面方向の変形がほぼ無視し得る０．０５〜１．０ｍｍの範囲内の板厚の金属板から成る薄板と、
前方に開放された凹部が形成され、該凹部に前記薄板を介して前記支持ブロックが取付けられている取付け台と、
前記取付け台によって受けられかつ前記薄板の開口を通して前記支持ブロックの背面側から前方に延びるように形成された円形の凹部の底部を押圧する押圧ばねと、
を具備し、前記薄板が前記取付け台に対して面方向の張力をもって取付けられ、前記押圧ばねによって前記薄板の厚さ方向であって前方に押圧して前記駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させることを特徴とする送り装置。
【請求項２】
前記押圧ばねを受けるばね受けにボルトが連設されており、該ボルトが取付け台の雌ねじ孔に螺合されてばねの押圧力が調整されることを特徴とする請求項１に記載の送り装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は送り装置に係り、とくに伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、このような駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部の変形を利用して可動子を送るようにした送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特公平３−８１１１９号公報には、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置が開示されている。
【０００３】
このような送り装置は、人間の足による歩行の原理と類似の方法によって可動子を送るものであって、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側と接触させて剪断変形を起させると、駆動脚の先端部と可動子または固定側との間に発生する摩擦力によって可動子が送られるものである。従って駆動脚が可動子または固定側との間に所定の摩擦力を発生するように、重力あるいはばねの押圧力によって駆動脚の先端部が可動子または固定側に接触するようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
このような送り装置を用いてステージ装置の移動ステージに取付けられている可動子を送る場合に、駆動脚が剪断変形して可動子を送り方向に送ると、駆動脚が可動子から反力を受けて送り方向と逆方向に移動しようとする。このような反力は、駆動脚を可動子に押付けるばねの押圧力に対して直角方向のモーメントを発生させ、これによって駆動脚を備える駆動ユニットが横方向に振動して上記の押圧方向とは直角方向のブレにつながり、円滑で正確な駆動を妨げることになる。
【０００５】
また駆動脚によって可動子を送る場合には、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側に接触せた状態で剪断変形を起させることになる。ここで剪断変形を起させるために圧電素子から成る剪断変形部に対してステップ状の駆動電圧を印加すると、応答速度が速い圧電素子によって先端側の剪断変形部は急激に剪断変形を起す。このような急激な剪断変形動作が、駆動脚スリップにつながり、可動子の円滑な送りを妨げることになる。とくに駆動周波数を上げると剪断変形の際におけるスリップが著しくなり、円滑で正確な駆動が妨げられることになる。
【０００６】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであって、とくに先端部を可動子あるいは固定側に接触させた状態で剪断変形を起させたときに生ずる反力による押付け方向とは直角方向のブレを確実に抑えることが可能であって、駆動脚の先端部を可動子あるいは固定側に接触させた状態で剪断変形を起させたときに発生するスリップを確実に抑えることが可能な送り装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本願の主要な発明は、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させた状態で前記剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置において、
複数の駆動脚をそれらが前方に突出するように支持する共通の支持ブロックと、
前記支持ブロックを表面上において固着している面方向の変形がほぼ無視し得る０．０５〜１．０ｍｍの範囲内の板厚の金属板から成る薄板と、
前方に開放された凹部が形成され、該凹部に前記薄板を介して前記支持ブロックが取付けられている取付け台と、
前記取付け台によって受けられかつ前記薄板の開口を通して前記支持ブロックの背面側から前方に延びるように形成された円形の凹部の底部を押圧する押圧ばねと、
を具備し、前記薄板が前記取付け台に対して面方向の張力をもって取付けられ、前記押圧ばねによって前記薄板の厚さ方向であって前方に押圧して前記駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させることを特徴とする送り装置に関するものである。
【０００８】
ここで前記押圧ばねを受けるばね受けにボルトが連設されており、該ボルトが取付け台の雌ねじ孔に螺合されてばねの押圧力が調整されてよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図示の一実施の形態によって説明する。本実施の形態は、精密送りのためのＸ−Ｙステージ装置に関するものである。このステージ装置は図１に示すようにＸ軸ベース８と、Ｘ軸ステージ９と、Ｙ軸ベース１０と、Ｙ軸ステージ１１とから構成されている。Ｘ軸ステージ９はＸ軸ベース８上においてＸ軸方向に移動可能に支持されている。そしてＸ軸ステージ９上にＹ軸ベース１０が固定されている。そしてＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０にＹ軸方向に移動可能に支持されている。このような構成によって、２軸ステージ、すなわちＸ−Ｙステージを可能にしている。
【００１２】
図２〜図５はＸ軸ベース８とＸ軸ステージ９との組合わせ、すなわちＸ軸ベース８上においてＸ軸ステージ９をＸ軸方向に移動するための機構を示している。これに対して図６〜図９はＹ軸ステージ１１をＹ軸ベース１０に対してＹ軸方向に移動可能に支持する機構を示している。これらＸ軸方向の送り機構およびＹ軸方向の送り機構は同様の構造をなしているので、ここでは図６〜図９に示すＹ軸ステージ１１の移動機構について説明する。
【００１３】
Ｙ軸ベース１０上には、その両側に一対のレール１２が設けられている。これに対してＹ軸ステージ１１の下面にはとくに図８および図９に示すように、その両側にレール１３が設けられている。ベース１０側のレール１２とステージ１１側のレール１３とはとくに図９に示すように、その側面が互いに対向するように位置し、しかもこれらのレール１２、１３間に転動子１４が介装されるようになっている。そしてレール１２、１３、および転動子１４によっていわゆるクロスローラが構成されるようになっており、このようなクロスローラによってＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０上をレール１２、１３の長さ方向すなわちＹ軸方向に摺動可能に支持される。
【００１４】
ベース１０上には図６および図９に示すように、互いに対向するように一対の駆動ユニット１８が配される。これらの駆動ユニット１８はその両側の部分を押え板１９によってベース１０に固定される。そしてこれら一対の駆動ユニット１８は駆動脚２１、２２を有している。なおこれらの駆動脚２１、２２はそれぞれ図１０に示すように、伸縮変形部２３と剪断変形部２４とを備えている。伸縮変形部２３はその伸縮方向、すなわち長さ方向に分極され、これに対して剪断変形部２４は横方向に分極されている。
【００１５】
両側の駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によって挟着されるように、ステージ１１の下面には図６および図９に示す角柱状をなすセラミック板から成る可動子２７が取付けられている。従ってこのような可動子２７を駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によって送ることにより、可動子２７が取付けられているステージ１１がレール１２、１３に案内されながら可動子２７の長さ方向すなわちＹ軸方向に移動するようになる。
【００１６】
このようなステージ１１あるいは可動子２７の移動を図７〜図９に示すリニアスケール２８で検出するようにしている。リニアスケール２８は上記可動子２７の下面に固着されている。そしてこのようなリニアスケール２８を検出する検出ヘッド２９がベース１０上に取付けられている。すなわち検出ヘッド２９はヘッドベース３０に保持されるとともに、このヘッドベース３０がベース１０の開口３１に臨むように取付けられている。
【００１７】
次にこのようなステージ１１のストロークを検出する検出装置について説明する。ベース１０上には図６に示すように、レール１２に近接する位置にリミットセンサ３５が設けられている。そしてこのリミットセンサ３５は図９に示すように、ステージ１１の下面にブラケット３６を介して取付けられている被検出板３７を光学的に検出するようになっている。
【００１８】
上述の如く図２〜図５に示すＸ軸ステージ９の移動機構もＹ軸ステージ１１の上述の移動機構とほぼ同一の構成になっている。なおここでとくにＸ軸ステージ９上にはＹ軸ベース１０とＹ軸ステーシ１１とが載置されるために送りの際の負荷が増大する。このような負荷の増大に対応して、図２に示すように、可動子２７を駆動するために、その両側にそれぞれ一対ずつの駆動ユニット１８を設けるようにしている。それ以外の構成は上記Ｙ軸ステージ１１の駆動機構と同様である。
【００１９】
次に上記駆動ユニット１８の駆動回路の構成を図１０によって説明する。駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２は制御回路４１および対応する駆動回路４２、４３を介して駆動されるようになっている。制御回路４１を介して駆動回路４２、４３により駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４にそれぞれ所定の電圧をパルス状に加えることによって、駆動脚２１、２２が駆動力を発生し、このような駆動力に基いて可動子２７が送り方向に駆動され、この可動子２７が取付けられているステージ１１が送り方向に移動される。そしてこのときの移動量がリニアスケール２８および検出ヘッド２９によって検出され、検出回路７３を通して制御回路４１にフィードバックされる。従って制御回路４１はステージ１１の移動量をフィードバック制御しながら所定の位置へ送るようになる。
【００２０】
次に図１０に示す制御回路４１の構成について説明すると、制御回路４１は図１１に示すように、所定の周波数で発振を行なう発振器６７と、周波数制御信号が加えられるカウンタ６８と、方向切換えおよび振幅制御を行なう順序回路６９と、波形整形回路７０とを備えている。
【００２１】
とくにこの制御回路４１の大きな特徴は、波形整形回路７０を備えていることである。波形整形回路７０はとくに駆動脚２１、２２の先端側の剪断変形部２４の剪断変形開始の際における変形動作を緩衝するようにしている。すなわち図１２Ａに示すように、波形整形回路７０の入力側に加えられる波形は方形波であるのに対し、波形整形回路７０の出力側の波形は図１２Ｂに示すようにその立上り部分が緩衝されてほぼＳ字形に歪んだ波形になっている。図１２Ｂに示すような波形整形回路７０の出力を増幅器４３を通して剪断変形部を構成する圧電素子２４へ加えることによって、変形開始動作が緩衝される。このような変形開始動作の緩衝によって、駆動脚２１、２２が可動子２７に対してスリップすることが防止される。
【００２２】
次に駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の取付け構造について図１３〜図１７によって説明する。駆動ユニット１８をベース１０上に取付けるための取付け台４６が設けられている。取付け台４６はその左右にそれぞれ２本ずつのボルト挿通孔４７を備え、このようなボルト挿通孔４７を挿通するボルトによってベース１０上に固定されるようになっている。また取付け台４６の前面側には凹部４８が形成されており、この凹部４８の部分に駆動脚２１、２２が配置されるようになっている。
【００２３】
凹部４８の表面であって前面側の部分には、例えば厚さが０．２ｍｍのステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４）４９が張設されている。そしてこのようなステンレス鋼板４９上に支持ブロック５０が固着されており、この支持ブロック５０上に４本の駆動脚２１と同じく４本の駆動脚２２とが２列に配列されて取付けられている（図１３および図１４参照）。
【００２４】
支持ブロック５０の背面側であってステンレス鋼板４９が接合される部分には４つの円形の凹部５４が形成され、これらの円形の凹部５４にはそれぞれコイルばねから成る押圧ばね５５が挿入されている。そしてこのような押圧ばね５５は上記ステンレス鋼板４９に形成された円形の開口５６を挿通するようになっている。
【００２５】
押圧ばね５５の背面側の端部はばね受け５７によって受けられるようになっている。ばね受け５７は背面側へ突出するようにボルト５８を備え、このボルト５８が取付け台４６に形成されている雌ねじ孔５９に螺合されている。従って雌ねじ孔５９に螺合するボルト５８のねじ込み量を調整することによって、ばね受け５７の軸線方向の位置が調整されるようになり、押圧ばね５５による支持ブロック５０の押圧力を任意に調整できるようになる。
【００２６】
次に以上のような構成のステージ装置のＹ軸ベース１０上のＹ軸ステージ１１の送り動作について説明する。図１０はベース１０上に設けられている駆動ユニット１８によってステージ１１を駆動する機構を原理的に示している。ここで駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４は互いに逆相でかつ交互に作動されるようになっており、これら一対の駆動脚２１、２２の先端部がステージ１１の可動子２７を蹴るようにしてステージ１１をＹ軸方向に送るようにしている。
【００２７】
ここで駆動脚２１の伸縮変形部２３に電圧が加えられると伸長し、この駆動脚２１の先端側の部分が可動子２７に接触する。そしてこの状態において剪断変形部２４を剪断変形させることによって、駆動脚２１の先端部が送り方向に可動子２７に駆動力を与える。なおこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２３が収縮しているために、駆動脚２２はその先端部が可動子２７から離間している。そしてこのように先端部が可動子２７から離間している駆動脚２２の剪断変形部２４は、次の駆動に備えて逆方向に剪断変形を行なっている。
【００２８】
このような動作が２本の駆動脚２１、２２に交互にかつ順次繰返されることによって、可動板２７を有するＹ軸ステージ１１が図１０において矢印で示すＹ軸方向に移動される。なおこのときにレール１２および転動子１４によってステージ１１の案内が行なわれる。
【００２９】
このような駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２による可動子２７の駆動によって、可動子２７が取付けられているＹ軸ステージ１１が図６〜図８において横方向、すなわちＹ軸方向に移動される。そしてこのようなステージ１１の移動は、可動子２７の底部に取付けられているリニアスケール２８の目盛をベース１０の開口３１の部分にヘッドベース３０を介して取付けている検出ヘッド２９によって読取られるようになる。
【００３０】
従ってこのことから、駆動ユニット１８によって移動されるステージ１１の位置がリニアスケール２８および検出ヘッド２９によって検出される。またこのときのステージ１１の最大ストロークは、ベース１０側に設けられている一対のリミットセンサ３５によって検出される位置で規制される。Ｙ軸方向にステージ１１が大きく移動すると、被検出板３７がリミットセンサ３５を検出し、その位置でステージ１１の駆動が停止する。従ってこれにより、クロスローラを構成する一対のレール１２、１３間に配されている転動子１４が脱落することがない。
【００３１】
以上の動作はＹ軸ステージ１１の駆動動作であるが、図２〜図５に示すＸ軸ステージ９も同様に駆動される。すなわちベース８上に設けられている左右一対ずつであって合計４個の駆動脚１８（図２参照）によってＸ軸ステージ９をＸ軸方向に駆動することによって、Ｘ軸ステージ９がＸ軸方向に駆動されるようになる。従ってこのようなＸ軸ステージ９のＸ軸方向の駆動とＹ軸ステージ１１のＹ軸方向の駆動とによって、Ｘ−Ｙステージが構成され、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の任意の位置決めが行なわれる。
【００３２】
このようにしてステージ１１の可動子２７を送る駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２は図１３〜図１７に示す支持装置によってベース１０側に取付けられている。ここでとくに駆動脚２１、２２が支持ブロック５０の前面側に固着されるとともに、支持ブロック５０が取付け台４６上に張設されたステンレス鋼板４９に取付けられており、しかも背面側から押圧ばね５５によって支持ブロック５０が前面側に押圧されるようになっている。
【００３３】
従ってこのような支持構造を有する駆動ユニット１８によれば、とくにステンレス鋼板４９の厚さ方向の微小な変形によって、駆動脚２１、２２と可動子２７との間のギャップを任意に調整することが可能になり、駆動脚２１、２２が常に正しく可動子２７の表面に接触することになる。従って駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３が伸長した状態で剪断変形部２４が剪断変形を行なったときに、駆動脚２１、２２の先端部と可動子２７との間の摩擦力によって可動子２７を確実に送り方向に正しく送ることが可能になる。
【００３４】
またこのように駆動脚２１、２２の剪断変形部２４が剪断変形を起したときに駆動脚２１、２２が受ける反力は支持ブロック５０を介してステンレス鋼板４９で受けられる。ステンレス鋼板４９は取付け台４６の凹部４８の前面側に張設されており、所定の張力をもって取付け台４６上に取付けられている。従って駆動脚２１、２２に剪断変形部２４の変形に伴う反力が発生しても、このような反力がステンレス鋼板４９によって拘束される。
【００３５】
従って押圧ばね５５による押圧力とは直角方向の慣性モーメントをステンレス鋼板４９の剛性によって受けることが可能になり、このために押圧ばね５５の押圧方向と直角方向のブレを抑制し、これによって不要な振動の発生を抑えることが可能になる。従って駆動ユニット１８によって可動子２７を介してステージ１１を円滑に送ることが可能になり、円滑でかつ正確な送り動作が達成されるステージ装置が提供される。
【００３６】
なおこのように横方向のブレを防止するステンレス鋼板４９は、その面方向の剛性によって横ブレを防止するものであるから、０．０５〜１．０ｍｍの範囲内の板厚であることが好ましい。板厚があまり薄いとステンレス鋼板４９が横方向の力によって変形し、あるいはまた破壊される可能性がある。また１．０ｍｍ以上のステンレス鋼板の場合には、その厚さ方向の変形が困難になり、これによって駆動脚２１、２２の先端部を可動子２７に正しく接触することができない可能性がある。従って上記の範囲内の板厚のステンレス鋼板等の金属板を用いることが好ましい。
【００３７】
このようなＹ軸ステージ１１あるいはＸ軸ステージ９の駆動のための駆動脚２１、２２の駆動の際に、とくに図１１および図１２に示すように、駆動脚２１、２２の剪断変形部２４はその剪断変形開始動作が波形整形回路７０によって緩衝されるようになっている。すなわち図１２Ｂに示すように剪断変形部２４に加えられる駆動電圧のとくに立上り部分がＳ字形に緩衝されている。従って剪断変形部２４が変形開始するときに緩衝動作がゆっくり行なわれる。従って駆動脚２１、２２の先端側の部分が可動子２７に対してスリップを起すことなく、円滑な駆動が可能になる。このことはＹ軸ステージ１１あるいはＸ軸ステージ９の円滑な移動動作を可能にするものである。
【００３８】
なお図１２Ｂに示すような波形整形回路７０による剪断変形部２４に加えられる駆動電圧の立上り部分の緩衝動作は、緩衝の度合を駆動脚２１、２２に加えられる駆動周波数に応じて変更することが可能であって、駆動周波数が低い場合には波形整形回路５０による波形整形の度合を弱めるようにしてもよい。
【００３９】
また上記実施の形態においては、駆動脚２１、２２の剪断変形部２４に加えられる駆動電圧の変形開始部分の緩衝動作を行なうために図１１に示すように、ＲＯＭから成る波形整形回路７０を用いるようにしているが、ＲＯＭから成る波形整形回路７０に代えて積分回路を用いるようにしてもよい。このときに積分回路の時定数を調整することによって、緩衝の度合を調整することが可能になる。
【００４０】
またこのステージ装置は、とくに図２および図６に示すように、ステージ９、１１の下面に取付けられている可動子２７をその両側から一対の駆動ユニット１８によって挟着するようにして送るようにしている。可動子２７に対して片側にのみ駆動ユニット１８を取付けた場合には、駆動の際にレール１２、１３と転動子１４とから成るクロスローラの部分のガタによって可動子２７およびステージ１１のガタに伴う振動が発生し、これによってスリップの原因となる可能性がある。
【００４１】
ところが可動子２７を両側から挟着するようにして一対の駆動ユニット１８で駆動する場合には、両側からの可動子２７に加わる駆動力のとくに互いに対向する方向の成分が相殺されるために、レール１２、１３および転動子１４から成るクロスローラ、すなわちステージ１１の送り機構のガタがあっても横振動を発生しなくなり、これによってステージ１１の移動をより円滑に行なうことが可能になる。従ってステージ１１がベース１０上を円滑に送り方向に移動することになる。
【００４２】
【発明の効果】
本願の主要な発明は、伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置において、複数の駆動脚をそれらが前方に突出するように支持する共通の支持ブロックと、支持ブロックを表面上において固着している面方向の変形がほぼ無視し得る０．０５〜１．０ｍｍの範囲内の板厚の金属板から成る薄板と、前方に開放された凹部が形成され、該凹部に薄板を介して支持ブロックが取付けられている取付け台と、取付け台によって受けられかつ薄板の開口を通して支持ブロックの背面側から前方に延びるように形成された円形の凹部の底部を押圧する押圧ばねと、を具備し、薄板が取付け台に対して面方向の張力をもって取付けられ、押圧ばねによって薄板の厚さ方向であって前方に押圧して駆動脚の先端部を可動子または固定側に接触させるようにしたものである。
【００４３】
従ってこのような構成によれば、駆動脚の伸縮変形部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させ、この状態で剪断変形部を剪断変形させ、可動子の送り方向の駆動力を発生させた場合に、駆動脚が受ける反力による力を駆動脚を取付けている薄板によって抑えることが可能になり、とくに押圧手段による押圧方向とは直角方向の慣性モーメントによるブレを防止して安定な送り動作を達成することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｘ−Ｙステージの分解斜視図である
【図２】Ｘ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図３】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】Ｘ軸ステージの底面図である。
【図５】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】Ｙ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図７】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】Ｙ軸ステージの底面図である。
【図９】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＤ−Ｄ線断面図である。
【図１０】駆動ユニットを駆動する駆動回路のブロック図である。
【図１１】制御回路の構成を示すブロック図である。
【図１２】駆動脚に加えられる駆動電圧を示す波形図である。
【図１３】駆動ユニットの外観斜視図である。
【図１４】同駆動ユニットの正面図である。
【図１５】図１４におけるＥ〜Ｅ線断面図である。
【図１６】図１４におけるＦ〜Ｆ線断面図である。
【図１７】駆動ユニットの分解斜視図である。
【符号の説明】
８  ベース（Ｘ軸）
９  ステージ（Ｘ軸）
１０  ベース（Ｙ軸）
１１  ステージ（Ｙ軸）
１２  レール（ベース側）
１３  レール（ステージ側）
１４  転動子
１８  駆動ユニット
１９  押え板
２１、２２  駆動脚
２３  伸縮変形部
２４  剪断変形部
２７  可動子（セラミック板）
２８  リニアスケール
２９  検出ヘッド
３０  ヘッドベース
３１  開口
３５  リミットセンサ
３６  ブラケット
３７  被検出板
４１  制御回路
４２  駆動回路
４６  取付け台
４７  ボルト挿通孔
４８  凹部
４９  ステンレス鋼板
５０  支持ブロック
５４  円形の凹部
５５  押圧ばね
５６  開口
５７  ばね受け
５８  ボルト
５９  雌ねじ孔
６７  発振器
６８  カウンタ
６９  順序回路
７０  波形整形回路
７３  検出回路
【図１】
0004771603.tif 000002
【図２】
0004771603.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004771603.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0004771603.tif 000012
【図１２】
0004771603.tif 000013
【図１３】
0004771603.tif 000014
【図１４】
0004771603.tif 000015
【図１５】
0004771603.tif 000016
【図１６】
0004771603.tif 000017
【図１７】
0004771603.tif 000018