(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料の層、前記導電性材料の層の第１の側に接着した難燃性グラスクロスの層および前記導電性材料の層の第２の側に接着した不織保護材料の層を含む機械方向および横方向を有する可撓性電極アンテナであって、
前記アンテナは、試験規格ＡＳＴＭ・Ｄ１００４−９４Ａを用いて、機械方向で３．６３〜５．２６キログラムの範囲内の引裂抵抗値を有し、
前記アンテナは、試験規格ＡＳＴＭ・Ｄ１００４−９４Ａを用いて、横方向で４．４０〜９．３９キログラムの範囲内の引裂抵抗値を有する可撓性電極アンテナ。
【請求項２】
前記導電性材料の層はニッケルの二層間の銅の層を含む請求項１に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項３】
前記銅の層の厚さは２０００〜３０００オングストロームの範囲内である請求項２に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項４】
前記ニッケルの層の厚さは２５０〜６００オングストロームの範囲内である請求項２に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項５】
前記導電性材料の層は１以上の、ニッケルの層、導電性不織材料の層又は導電性織材料の層を含む請求項１に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項６】
前記導電性材料の層は、ポリマー基板の第１の主面上に金属化層を有するポリマー基板を含む請求項１に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項７】
前記ポリマー基板の第１の主面上の前記金属化層はニッケルの層またはニッケルと銅の層を含む請求項６に記載の可撓性電極アンテナ。
【請求項８】
前記保護材料は不織ＰＥＴである請求項１に記載の可撓性電極アンテナ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
背景
本発明は電極アンテナに関し、特に、規定空間内での人間の存在を検出するシステムにおいて検出エレメントとして用いるために十分な信頼性、可撓性および耐久性を有する電極アンテナに関する。
【０００２】
例えば、米国特許第５，９１４，６１０号および第５，９３６，４１２号において論じられたように、規定空間内での人間の位置、向きまたは存在を決定する能力は、医療処置から安全およびセキュリティに至る用途において重要である。規定空間内での人間の位置、向きまたは存在を決定することが重要である用途に関して、規定空間の自動監視を可能にするためにセンサーアレイが開発されてきた。こうしたセンサーアレイおよび規定空間内の存在を分析（ｒｅｚｏｌｖｅ）する方法は、上述した特許において教示されている。
【０００３】
センサーアレイを用いて規定空間内の存在または活動を分析する方法は知られているけれども、センサーアレイを特定の環境に適応させる能力は先行技術において取り組まれていない。詳しくは、センサーアレイを人間の存在または活動を監視または検出するために用いる用途においては、検出対象の個人によるセンサーアレイの受容に大いに影響しうる追加の要素が作用する。例えば、米国特許第５，９１４，６１０号および第５，９３６，４１２号において記載されたようなこれらのセンサーアレイの予期された用途および方法は、エアーバッグの配置を調節する自動車シートに関するものである。いかなる種類の電極も自動車シート内の人間の位置、向きまたは存在を検出するために適切に機能しうる一方で、センサー電極の存在がシート内の人間に不快であるか、あるいは自動車の製造において過度のコストをもたらす場合、こうしたシステムは、自動車の最終購入者およびユーザーによって受け入れられそうない。
【０００４】
自動車シート内のセンサーなどの用途またはセンサーを個人の近傍に置く他の用途において、センサーの可撓性、心地よさおよび耐久性などの要素は、所期の用途におけるセンサーアレイの満足のいく使用および受容にとって決定的に重要である。センサーは、可撓性媒体または弾性媒体（シートクッションなど）に入れられるので可撓性でなければならないし、ユーザーに対して快適（気づかれない）でなければならないし、センサーを入れる物体の寿命の間に取り替える必要がないように耐久性でなければならない。
【０００５】
さらに、センサーが高体積用途において用いられることが予期されるので、センサーの構造は高体積および低コストの製造が同等に可能であることが重要である。
【０００６】
発明の概要
本発明は、可撓性、難燃性、耐腐食性、耐摩耗性、引裂抵抗および電気的信頼性の必要な特性をなお提供しつつ、高体積および低コストで製造されることが可能である可撓性導電性電極アンテナを提供する。本発明は、難燃性材料の層と保護材料の層との間に導電性材料の層を貼合せた貼合せ構造を含む。導電性材料の層は、好ましくは耐腐食性を有する金属化ポリマー基板である。好ましくは、ポリマーは、ニッケルの層間に配置された銅の層で片側に金属化されている。難燃性材料は、好ましくはポリマー基板の非金属化側に貼合されたグラスクロスである。保護材料は、好ましくはポリマー基板の金属化側に貼合された不織材料である。
【０００７】
別の実施形態において、導電性材料の層は、導電性織材料または導電性不織材料を含んでよい。また、難燃性層は難燃性成分を有するエポキシテープを含んでよい。
【０００８】
発明の詳細な説明
当業者は可撓性センサー電極として用いるために多数の独特の構造を作製できることを容易に認めるであろうが、本発明は、主として一つの好ましい構造に関して本明細書に記載する。特に、本発明は、フィルム−布地貼合せ構造（図１Ａおよび１Ｂ参照）を有する可撓性センサー電極として本明細書において記載する。さらに、本明細書に記載された構造に加えて別の構造を本発明の範囲と精神内であるとみなす。
【０００９】
図１Ａおよび１Ｂにおいて図解されたセンサーテープ１０の好ましい実施形態において、センサーテープの導電性層１４を組み立てるためにポリエステル（ＰＥＴ）フィルム１２をキャリア基板として提供する。詳しくは、技術上知られている適するいずれかの手段によってニッケル１６、銅１８および次にニッケル２０の層をポリエステルフィルム１２の表面上に沈着させる。基板１２を金属化する好ましい方法は真空メッキによるが、他の適する方法には、例えば、電気メッキおよび導電性インキ印刷が挙げられる。ポリエステルフィルム１２は、センサーテープ１０の最終用途のために十分な可撓性を提供する一方で、金属沈着プロセスにおいて用いるために十分な剛性も有する。銅層１８のいずれかの側のニッケル層１６、２０は、銅単独よりポリエステルフィルム基板１２に対する良好な粘着力を提供し、銅層１８に関する腐食保護層としても機能する。銅層１８は、構造体がセンサーまたはアンテナとして機能することを可能にするために優れた導電性を提供する。ニッケル層１６、２０の厚さは、好ましくは２５０〜６００オングストロームの範囲内であり、銅層１８の厚さは、２０００〜３０００オングストロームの範囲内である。より好ましくは、ニッケル層１６、２０は約４００オングストロームの厚さであり、銅層１８は約２５００オングストロームの厚さである。材料厚さの好ましい範囲は、導電性および腐食保護のために適切な材料の量を提供しつつ材料の可撓性と信頼性の所望のバランスを可能にする。必要ならば、ポリエステルフィルム上でのすべてのニッケル導電層構造（例えば、銅層なし）も上述したようなニッケル−銅積層体の代わりに使用してよい。
【００１０】
上述したような銅およびニッケルの金属化層と合わせたポリエステル基板１２（本明細書において「ニッケル−銅積層体２２」）を用いて、いくつかの独特のセンサーテープ構造を製造してよい。テープ構造の異なる種類のこれらの例には、エポキシフィルムテープ３２へのニッケル−銅積層体２２の貼合せ（図２）、および固有の難燃性、可撓性および耐破壊性と引裂抵抗を提供するグラスクロス布地３０へのニッケル−銅積層体の貼合せ（図１Ｂ）が挙げられる。特定の用途において、車のシート構造において用いられるものなどのポリエチレンフィルムに接着結合（ａｄｈｅｓｉｖｅ  ｂｏｎｄｉｎｇ）を可能にするためにＡ２５高性能接着剤（スリーエム（３Ｍ）製）などの特殊化接着剤を用いることが望ましいことがある。
【００１１】
Ａ２５高性能接着剤は、米国ミネソタ州セントポールのミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）（３Ｍ）によって製造されている。この接着剤は、高密着強度、高剪断強度、高温度性能および良好なＵＶ抵抗が必要とされる多様な類似材料および非類似材料を接合するために理想的である。Ａ２５高性能接着剤は固い（ｆｉｒｍ）アクリル感圧接着剤系である。
【００１２】
上述したように、好ましい構造は図１Ａおよび１Ｂに示されている。上述したニッケル−銅積層体２２に加えて、電極アンテナは、好ましくは、ニッケル−銅積層体２２上に強化および難燃性層３４と保護層３６を含む。好ましくは、ニッケル−銅積層体２２は、ニッケル−銅積層体２２に与えられる保護を最大にするために、強化および難燃性層３４と保護層３６の間に配置される。
【００１３】
図１Ａおよび１Ｂに見られるように、強化および難燃性層３４は、好ましくはグラスクロス３０の層を含み、グラスクロス３０を構造体の他の部分に接着させるために用いられる接着剤３８（感熱接着剤（ＨＳＡ）または感圧接着剤（ＰＳＡ）のいずれか）を伴う。適するグラスクロス３０は吹込みガラス繊維（ＢＧＦ）クロスである。適する接着剤３８は、ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）から入手できるＡ２５高性能接着剤系である。除去可能且つ使い捨て可能剥離ライナー４０は、センサーテープアセンブリー１０の最終貼合せの前に接着剤３８を保護するために用いてよい。
【００１４】
保護層３６は、好ましくは、ＰＥＴなどの不織材料４２あるいはレーヨンまたはＴｅｆｌｏｎ（登録商標）などの適する他のいずれかの不織材料の層を含む。接着剤層４４は、保護層材料４２をニッケル−銅積層体２２に接着させるために用いられる。不織材料は、こうした材料が可撓性で通気性であるので好ましい。好ましい不織材料はミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）から商品名１１５７Ｒテープで入手できる。１１５７Ｒテープは、多孔質１００％レーヨン不織繊維裏当てテープである。１１５７Ｒは、糸巻きコイル内部への含浸樹脂の完全浸透を可能にするように特に設計されている。アクリル接着剤は、好ましくは、１１５７Ｒ不織材料と合わせて用いられる。好ましい１１５７Ｒテープのもう一つの利点は、その多孔度ゆえ、樹脂を捕らえ、より厚くなる能力であり、硬質湿分（ｈａｒｄ  ｍｏｉｓｔｕｒｅ）および機械的バリアを作る。保護層３６は、好ましくは、ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）から商品名ＲＤ８１４で入手できる接着剤などの水性アクリル接着剤を用いる。別の接着剤には、腐食抑制添加剤を伴ったアクリルイソオクチルアクリレート／アクリル酸（ＩＯＡ／ＡＡ）または２−エチルヘキシルアクリレート／アクリル酸（ＥＨＡ／ＡＡ）が挙げられる。除去可能且つ使い捨て可能剥離ライナー４６は、センサーテープアセンブリー１０の最終貼合せの前に接着剤４４を保護するために用いてよい。
【００１５】
図１Ａおよび１Ｂのテープセンサー構造体を組み立てる好ましい方法は、図３Ａ〜３Ｄにおいて示されている。それぞれ図３Ａ〜３Ｃにおいて図解されているように、保護層３６、ニッケル−銅積層体２２および強化難燃性層３４を個々に形成する。図３Ａにおいて、不織保護材料４２に接着剤４４を被覆し、その後、剥離ライナー４６を貼合せる。貼合せ後に、最終センサー構造中に必要とされる一切の開口を作るためにアセンブリーを穿孔してよい。図３Ｂにおいて、ニッケル−銅積層体２２を作るためにＰＥＴ基板１２を金属化する。図３Ｃにおいて、強化および難燃性グラスクロス３０を接着剤３８の層間に貼合せる。剥離ライナー４０も最終貼合せ工程まで接着剤層３８を保護するために貼合せに含める。
【００１６】
個々の保護層３６、ニッケル−銅積層体２２および強化難燃性層３４を作製した後、これらの別個のエレメント３６、２２、３４を図３Ｄに示されたように合わせて貼合せる。最終的なスリットプロセスまたは打ち抜きプロセスによって個々のセンサーを作製し、それをその後所期の目的のために用いてよい。
【００１７】
本明細書において記載されたセンサー構造は、その所期の用途のために多くの利点を有する。これらの利点をより詳しく以下に記載する。
【００１８】
可撓性
上述したセンサー構造１０の利点は、その固有の可撓性、順応性および耐久性である。本明細書に記載された可撓性電極テープ１０の可撓性を実証するために、個々のセンサーを上述したように作製し、もみ試験を行った。もみ試験では、図４に図解されたようなクリーシングマシンを用いた。クリーシングマシンでは、５０ｍｍのクリーシングストローク、９．８Ｎ（重量キログラム）のプレス荷重および１２０ストローク／分のクリーシング速度を用いた。本明細書に記載された可撓性電極アンテナおよび別の電極アンテナ構造のサンプルを繰り返して折り目を付けるためにクリーシングマシンを用いた。グラスクロス側を折り目の外側にして同じサイズ（サイズ約２インチ×６インチ（約５．１ｃｍ×１５．２ｃｍ））のセンサー材料の二つの試験サンプル５８を置くことにより試験を行った。より短いサンプル寸法を横切って折り目が形成されるようにサンプルを配置した。矢印Ａの方向にプレス荷重を加えることにより掴み部材６０間の距離を徐々に狭め、折返しサンプルがそれ自体と接触するまで二つの試験サンプル５８が折り目を付けるようにした。その後、加えられた試験荷重で、もみ試験を進めた。試験サンプル５８上の最遠点間の電気抵抗を１２０回もみサイクル後に検査した。試験の結果を以下の表１〜２に示している。試験した材料は、１１５７Ｒテープ裏材料を有する上述したアンテナ材料（図１Ｂ）および１１５７Ｒテープ裏材料のない上述したアンテナ材料（図５）を含んでいた。
【００１９】
【表１】
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【００２０】
【表２】
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【００２１】
難燃性
本明細書に記載されたセンサーが自動車および難燃性が望まれるか、あるいは必要とされる他の用途において用いられることが予想されるので、難燃性試験をＦＭ  ＶＳＳＮ３０２試験規格に従って行った。結果を表３に示している。
【００２２】
【表３】
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【００２３】
難燃性裏材料を有するエポキシテープは、ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）から商品名３Ｍ＃１電気テープで入手できる。試験結果から分かるように、グラスクロス布地は固有の難燃性を有し、それによって、構造中にグラスクロスを用いるプロトタイプの全体構造は上述した試験規格下での燃焼性試験に合格するようになる。
【００２４】
耐摩耗性
センサーテープの円形サンプルを作製することにより、センサーテープの導電性表面に関する摩耗試験を行った。各サンプルは、直径４．１インチ（１０．４ｃｍ）であり、サンプルの中央に直径６ｍｍの孔をもっていた。保護層３６を有するサンプルと保護層３６のないサンプルを作製した。保護層３６は、アクリル接着剤が導電性表面に接着された不織材料から成っていた。試験に用いられた不織アクリルテープは、ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー（Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ  Ｍｉｎｉｎｇ  ａｎｄ  Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｃｏｍｐａｎｙ）から入手できる１１５７Ｒテープであった。一方の電気プローブをサンプルの中央の孔付近に、もう一方の電気プローブをサンプルの外周に置くことにより、各サンプルの初期電気抵抗を記録した。以下のやり方でサンプルを摩耗させるために、テーバー摩耗試験機（米国ニューヨーク州ノーストナウォンダのテーバーインダストリーズ（Ｔａｂｅｒ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ）製）を用いた。センサーテープの導電性層を上に向けて試験サンプルを摩耗試験機保持装置上に置いた。ＣＳ１０摩耗ホイール（テーバーインダストリーズ（Ｔａｂｅｒ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ）製）を摩耗試験機上に据え付け、試験荷重をホイールに加えた。摩耗試験機を用いて１０００サイクルを行った。摩耗試験機が停止した後、一方のプローブをサンプルの中心孔の縁に置き、第２のプローブをサンプルの外縁に置くことにより、サンプルの電気抵抗を再び試験した。摩耗試験の結果を表４に示している。
【００２５】
【表４】
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【００２６】
摩耗試験データから分かるように、センサーテープの導電性表面の上にアクリル接着剤を伴った不織保護層を加えると、導電性層が摩耗しないように導電性層に適切な保護をもたらす。摩耗試験において用いられた荷重は、１１５７Ｒ保護層を構造に組み込んでいる時に効力が全くない。保護層３６がなければ、荷重は試験サンプルの最終抵抗に大幅な影響を及ぼす。摩耗試験後に、不織アクリルテープ保護層を用いなかった時にニッケル保護層２０を検出できなかった。ニッケル保護層２０が除去されたなら、銅層１８に関して劣った保護が生じるであろう。従って、室温および湿度にさらされた後、さらされた銅層１８は最終的に完全に腐食し、機能しなくなるであろう。
【００２７】
電気抵抗の信頼性
本明細書において記載された本発明構造の一貫性と信頼性を実証するために、電気抵抗試験を多数のセンサーサンプルについて行った。抵抗試験の結果を表５に示している。
【００２８】
呼称ＬＲ１、ＬＲ２などは異なるセンサー形状を示す。分かるように、センサーごとの抵抗の読みは十分に１Ω未満であり、それは、所期の用途においてセンサーを用いるために重要である。広範な信号処理を必要とするシステムにおいて用いるためにセンサーが適するように、１Ω未満に個々のセンサーに関する抵抗を維持することが好ましい。低い抵抗は電力漏出を最小にもし、高湿度（自動車シートがこぼれた液体によって湿っている時など）の領域内の周囲絶縁材料から高い差をもたらす。抵抗の読みは各センサーにおける最遠点から取った。
【００２９】
【表５】
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【００３０】
引裂抵抗
可撓性電極アンテナの好ましい実施形態は優れた引裂抵抗をもたらし、それも所期の最終用途で重要である。好ましい実施形態のサンプルをプラスチックフィルムおよびシーティングの初期引裂抵抗に関する規格試験方法（ＡＳＴＭ・Ｄ１００４−９４Ａ）に従って試験した。ＡＳＴＭ試験手順の指針に従って、機械方向における８．０〜１１．６ポンド（３．６３〜５．２６キログラム）、および横方向における９．７〜２０．７ポンド（４．４０〜９．３９キログラム）の範囲内の破壊値を得た。試験中、グラスクロス布地は裂けなかった。そうでなく、破壊は金属化フィルム層で発生した。グラスクロス強化がなければ、金属化フィルム層は３．５と５．１ポンドとの間で破壊した。分かるように、グラスクロス強化を加えるとサンプルの引裂抵抗を大幅に改善する。
【００３１】
耐腐食性
銅導電性層は自動車内に一般に存在する水分および熱で容易に腐食するので、ニッケル層によって提供される腐食保護は非常に有益である。ニッケル保護層１６、２０の効果を湿度チャンバ内での試験によって実証した。ニッケル保護層１６、２０を有する銅導電性層１８およびニッケル保護層１６、２０のない銅導電性層１８のサンプルを湿度１００％の５５℃の湿度チャンバ内に入れ、サンプルの抵抗を一週間間隔で測定した。表６から分かるように、ニッケル層１６、２０で保護されたサンプルは良好な耐腐食性を示した（そして従って抵抗の最小増加を経験した）一方で、ニッケル保護層１６、２０のないサンプルは、抵抗が無限に達するまで急激に増加した抵抗をもっていた。重要なことには、ニッケル保護層を用いたサンプルは１Ω未満の抵抗を維持した。それはセンサーの所期の用途のために必要である。
【００３２】
【表６】
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【００３３】
別の実施形態
上述したようなフィルム布地積層体としての導電性テープを形成することの代案として、導電性テープを導電性布地または導電性不織材料として形成することも可能であった。この構造タイプにおいて、上述したニッケル−銅積層体２２は、導電性布地または導電性不織材料によって置き換えられるであろう。布地または不織材料は、導電性材料から形成してよいか、あるいは銅および／またはニッケルなどの導電性材料で被覆されている非導電性材料から形成してよい。布地は、縦と横の両方向において、好ましくは、約６０〜７０ポンド／インチ（１０．７〜１２．５キログラム／センチメートル）の引張強度および約６〜１０ポンド（２．７２〜４．５４キログラム）の引裂強度を有する。平方インチ当たりの０．１０Ωの表面抵抗が望ましい。導電性材料の導電率は、腐食保護のために適切なニッケル厚さを伴って、布地上に銅の湿式沈着または乾式沈着によって助長することができた。耐燃焼性または難燃性を提供するために追加の表面コーティングまたは貼合せによって導電性布地を更に仕上げることができた。フィルム布地貼合せの着想と同様に、接着剤層は、車のシート構造内に用いられているような例えばポリウレタン発泡体に接着するのに十分に活動的（ａｇｇｒｅｓｓｉｖｅ）であるのがよい。
【００３４】
個々のセンサーへの分離
センサーテープを上述したように組み立てた後、例えば、テープからセンサーを打ち抜くことにより、図６Ａ〜６Ｃに示されたような個々のセンサーを形成してよい。センサーテープ１０の好ましいグラスクロス裏材料３０は、心地よさと可撓性が重要な問題である用途においてセンサーテープを用いるのに十分な可撓性をなお維持しつつ、打ち抜きプロセスのために十分な剛性を提供する。
【００３５】
センサーをどのように個々に打ち抜くかに応じて、例えばレーザー融触によって隣接センサーを分離することが必要である場合がある。例えば、センサー中の孔または開口などのセンサー材料の一部のみを除去するために打ち抜きプロセスを用いる場合、導電経路はセンサーテープのロール上の隣接センサー間になお存在してよい。この場合、隣接センサー間の導電性層のレーザー融触を隣接センサーを電気的に分離するために用いてよい。レーザー融触プロセスは周知されており、従って本明細書において詳しくは記載しない。
【００３６】
センサーテープのロール上の隣接センサーを分離するためにレーザー融触を用いることの代案として、導電性フィルムの全表面を覆うために、導電性層に最初に不織保護層を貼合せてよく、その後、保護層を有する導電性フィルムを所望の幅にスリットしてよい。スリットした導電性フィルムと保護層をその後分離し、難燃性グラスクロス裏材料上に貼合せてよく、必要に応じて間隔をとってよい。その後、全体のアセンブリーを合わせて貼合せ、個々のアンテナを個々のセンサーを分離するために打ち抜く。
【００３７】
本明細書に記載されたセンサーテープ構造の有力な利点は、異なるシート設計に適応するなどの多センサー構成への適合性である。センサーテープ材料を容易に打ち抜くことができるので、打ち抜き作業を単に変えることによりセンサーの形状または設計を変更することが非常に容易である。独特のセンサー形状ごとに全く新しいセンサーツーリングを作る必要はない。
【００３８】
本明細書に記載されたセンサーテープをエアバッグ検出システムと合わせて用いる自動車シートにおける用途に関して記載してきたけれども、当業者は他の用途を認めるであろう。例えば、病院のベッドまたは他の医療装置、あるいは規定空間の監視を必要とする他のいかなる場合にも、例えば、この同じセンサータイプを用いてよい。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】  部分的に分解状態および組立状態にある電極アンテナの好ましい構造を概略的に図解している。
【図１Ｂ】  部分的に分解状態および組立状態にある電極アンテナの好ましい構造を概略的に図解している。
【図２】  電極アンテナの別の実施形態を概略的に図解している。
【図３Ａ】  図１Ａおよび図１Ｂの電極アンテナの製造を概略的に図解している。
【図３Ｂ】  図１Ａおよび図１Ｂの電極アンテナの製造を概略的に図解している。
【図３Ｃ】  図１Ａおよび図１Ｂの電極アンテナの製造を概略的に図解している。
【図３Ｄ】  図１Ａおよび図１Ｂの電極アンテナの製造を概略的に図解している。
【図４】  電極アンテナを試験するクリーシングマシン（ｃｒｅａｓｉｎｇ  ｍａｃｈｉｎｅ）を図解している。
【図５】  電極アンテナの別の実施形態を概略的に図解している。
【図６Ａ】  センサーテープ材料から打ち抜かれた後の種々のセンサー形状を示している。
【図６Ｂ】  センサーテープ材料から打ち抜かれた後の種々のセンサー形状を示している。
【図６Ｃ】  センサーテープ材料から打ち抜かれた後の種々のセンサー形状を示している。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図５】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図３ｃ】
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【図３ｄ】
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【図４】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図６ｃ】
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