(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トップフランジと、当該トップフランジを覆う保護カバーとを備え、
前記トップフランジがほぼ四角形平板状のフランジ部を有し、
前記保護カバーが、前記フランジ部全体を覆う四角形皿状に形成されると共に、前記フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをする一対の当接部と、当該各当接部と直交する前記フランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止する一対の係止爪とを備えて構成され、
前記保護カバーの周縁の端部から前記係止爪の両側の位置まで２つのスリットを設けて当該係止爪を撓みやすくすると共に、前記２つのスリットで仕切られた保護カバーの周縁部と前記係止爪との間に当該係止爪を開閉させる取っ手部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板収納容器において、
前記保護カバーの外側面形状が、なだらかな傾斜を描くように形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄板収納容器において、
前記トップフランジのフランジ部の４つの辺に嵌合部を設けると共に、
前記一対の当接部又は一対の係止爪のいずれか一方の２箇所又は両方の４箇所に被嵌合部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハなどの薄板を収納して、搬送及び保管する薄板収納容器に関し、特にトップフランジの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の薄板を複数枚収納して搬送、保管等する薄板収納容器は、例えば特許文献１に記載されている。このような薄板収納容器には、薄板収納容器自体を搬送装置で搬送するためのトップフランジを備えている。このトップフランジは、薄板収納容器から出っ張った状態で設けられている。
【特許文献１】特開２００４−２１４２６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記薄板収納容器は、搬送時に内部の清浄性を保つために、真空包装されることがある。ところが、前記トップフランジはエッジ部分が存在するため、真空包装したときそのエッジ部分で袋が破れてしまうおそれがあるという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、トップフランジと、当該トップフランジを覆う保護カバーとを備え、前記トップフランジがほぼ四角形平板状のフランジ部を有し、前記保護カバーが、前記フランジ部全体を覆う四角形皿状に形成されると共に、前記フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをする一対の当接部と、当該各当接部と直交する前記フランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止する一対の係止爪とを備えて構成され、前記保護カバーの周縁の端部から前記係止爪の両側の位置まで２つのスリットを設けて当該係止爪を撓みやすくすると共に、前記２つのスリットで仕切られた保護カバーの周縁部と前記係止爪との間に当該係止爪を開閉させる取っ手部を設けたことを特徴とする。
【０００５】
前記構成により、薄板収納容器を真空包装して搬送する場合は、前記トップフランジに前記保護カバーを被せて固定する。このとき、前記保護カバーの一対の当接部が、前記フランジ部の対向する２つの辺に当接して一方向の位置決めをした状態で、一対の係止爪が、前記各当接部と直交する前記フランジ部の２つの辺に当接して他方向の位置決めをする。さらに、一対の係止爪が前記フランジ部に係止して、前記保護カバーを前記フランジ部に、その全体を覆った状態で固定する。また、２つのスリットで撓みやすくなった係止爪が容易に撓んで、前記フランジ部に係止する。さらに、作業者は、取っ手部に手を入れてこの取っ手部を開閉させるだけで、各係止爪を容易に開閉させることができる。
【０００８】
前記保護カバーの外側面形状を、なだらかな傾斜を描くように形成することが望ましい。
【０００９】
前記構成により、薄板収納容器を真空包装する場合は、トップフランジを保護カバーで覆うため、真空包装用の袋がトップフランジに直接的に接触することが無くなり、なだらかな傾斜の保護カバーの外側から真空包装用の袋が覆われる。
【００１０】
前記トップフランジのフランジ部の４つの辺に嵌合部を設けると共に、前記一対の当接部又は一対の係止爪のいずれか一方の２箇所又は両方の４箇所に被嵌合部を設けることが望ましい。
【００１１】
前記構成により、前記トップフランジのフランジ部の嵌合部に、一対の当接部又は一対の係止爪の被嵌合部が嵌合して、前記保護カバーを前記トップフランジに対して位置決めする。
【発明の効果】
【００１２】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【００１３】
前記保護カバーの一対の当接部と一対の係止爪が、前記フランジ部の各辺に当接して位置決めをした状態で、さらに、一対の係止爪が前記フランジ部に係止して、前記保護カバーを前記フランジ部に固定するため、前記保護カバーを前記フランジ部に容易に取り付けることができ、真空包装の際に袋が前記トップフランジのエッジ部に接触して破損するのを防止することができる。
【００１４】
作業者は、取っ手部に手を入れてこの取っ手部を開閉させるだけで、各係止爪を容易に開閉させることができるため、係止爪が容易に撓んで前記フランジ部に係止し、係止解除することができ、前記保護カバーを前記フランジ部に容易に取り付けることができる。
【００１５】
薄板収納容器を真空包装する場合、トップフランジを保護カバーで覆うと共にこの保護カバーの外側面形状をなだらかな傾斜を描くように形成したため、真空包装用の袋がトップフランジに直接的に接触することが無くなり、なだらかな傾斜の保護カバーの外側から真空包装用の袋が覆われて、袋の破損を防止することができる。
【００１６】
前記トップフランジのフランジ部の嵌合部に、一対の当接部又は一対の係止爪の被嵌合部が嵌合して、前記保護カバーを前記トップフランジに対して位置決めするため、前記保護カバーを前記トップフランジに対して容易に取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納、保管、輸送及び製造工程で使用する容器に用いて好適な容器である。なお、本発明は特に薄板収納容器のトップフランジカバーに関するものであり、トップフランジを備えた薄板収納容器全てに適用することができる。このため、本実施形態では、薄板収納容器の一例を概説し、トップフランジ及びトップフランジカバーを中心に説明する。
【００１８】
本実施形態に係る薄板収納容器１は、図２〜９に示すように、内部に半導体ウエハ(図示せず)を複数枚収納する容器本体２と、この容器本体２内の対向する側壁にそれぞれ設けられ、内部に収納された複数枚の半導体ウエハを両側から支持する２つの溝板(図示せず)と、容器本体２の開口を塞ぐ蓋体(図示せず)と、搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ５と、作業者が手で薄板収納容器１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル(図示せず)とから構成されている。
【００１９】
容器本体２は、図２，３に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体２は縦置き状態（半導体ウエハが縦になる状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄと底板部２Ｅとから構成され、その上部に開口２Ｆが設けられている。各側壁部には、補強用リブ９等が設けられている。この容器本体２は、半導体ウエハの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、載置台上に正確に位置決めされて横置き（半導体ウエハが水平になる状態）にされる。この横置き状態で底部となる側壁部２Ｄの外側には、薄板収納容器１の本体位置決め手段(図示せず)が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部２Ｂの外側にはトップフランジ５が後述する着脱機構１２によって着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる２つの側壁部２Ａ，２Ｃの外側には持ち運び用ハンドルが着脱自在に取り付けられる。
【００２０】
トップフランジ５は、図６，７に示すように、フランジ部２５と、本体部２６とから構成されている。フランジ部２５は、搬送装置の腕部（図示せず）で把持されるための部材である。フランジ部２５は、ほぼ四角形平板状に形成されている。このトップフランジ５のフランジ部２５は、工場内等において、搬送装置の腕部で掴まれて、薄板収納容器１が搬送される。本体部２６は、フランジ部２５を支持して容器本体２に取り付けるための部材である。本体部２６の裏面には、後述する着脱機構１２の一方の部材が設けられている。
【００２１】
容器本体２の側壁部２Ｂの中央部には、トップフランジ５を着脱自在に取り付けるための着脱機構１２の他方の部材が設けられている。着脱機構１２は、図４，５に示すように構成されている。具体的には、摺動支持手段２７と、係止手段２８と、案内レール２９とから構成されている。
【００２２】
摺動支持手段２７は、容器本体２とトップフランジ５とを互いに摺動可能に支持するための部材である。摺動支持手段２７は、容器本体２側に設けられた支持部３０と、トップフランジ５側に設けられて支持部３０に手前側から奥部（図４中の右側から左側の端部）まで挿入される摺動部３１とから構成されている。支持部３０は、容器本体２の側壁部２Ｂの外側表面に、並列に２つ設けられたレール部材によって構成されている。このレール部材には、外側方向（２つのレール部材の互いを背にする方向）に開放した溝が設けられている。摺動部３１は、トップフランジ５の本体部２６のうち、上記支持部３０に対応する位置にそれぞれ設けられたレール部材によって構成されている。このレール部材には、内側方向に開放した溝が設けられている。これら支持部３０及び摺動部３１は、手前側（図４中の右側）におけるこれらの間隔を狭く、奥側を広くして、ハの字状に設定されている。これにより、摺動部３１が、支持部３０に容易に嵌合できるようになっている。
【００２３】
係止手段２８は、摺動支持手段２７で摺動可能に支持された容器本体２とトップフランジ５とを互いにずれないように係止するための部材である。係止手段２８は、容器本体２側に設けられた係止用突起３３と、トップフランジ５側に設けられた係止用爪３４とから構成されている。係止用突起３３は側壁部２Ｂに２つ設けられている。各係止用突起３３は、２つの支持部３０の各両端部の間の中央にそれぞれ設けられている。各係止用突起３３は、奥側（図４中の左側）に向いた面が垂直な当接面となって、係止用爪３４を手前側（図４中の右側）へずれないように支持する。
【００２４】
係止用爪３４は、係止用突起３３に係止してトップフランジ５が抜け落ちないようにするための部材である。係止用爪３４は、トップフランジ５の本体部２６に２つ設けられている。具体的には、奥側係止用爪３４Ａと、手前側係止用爪３４Ｂとが設けられている。奥側係止用爪３４Ａは、奥側の係止用突起３３に当接する当接部３６と、この当接部３６を支持する支持棒部３７とから構成されている。当接部３６は、手前側に向いた面が垂直な当接面となって係止用突起３３に当接し、トップフランジ５を手前側へずれないように支持する。支持棒部３７は容器本体２側へ、かつ奥側へ向けて延出させて形成されている。
【００２５】
手前側係止用爪３４Ｂは、手前側の係止用突起３３に当接する当接部３８と、この当接部３８を支持する支持棒部３９とから構成されている。当接部３８は、手前側に向いた面が垂直な当接面となって係止用突起３３に当接し、係止用爪３４Ｂを手前側へずれないように支持する。支持棒部３９は、容器本体２側へ、かつ手前側へ向けて延出させて形成されている。この支持棒部３９によって、当接部３８が、支持棒部３９の基端部より容器本体２側に設けられている。これにより、トップフランジ５に対して抜け落ちる方向に力が加わった場合に、当接部３８が係止用突起３３に深く食い込む方向に押圧されることになる。これにより、衝撃等により強い力が加わっても、当接部３８が係止用突起３３から外れるのを確実に防止している。これにより、支持棒部３９が突っ張ってトップフランジ５の抜けを抑える（図８，９参照）。
【００２６】
案内レール２９は、摺動支持手段２７で容器本体２に支持されたトップフランジ５の摺動を案内して、摺動方向と直交する方向の位置決めをするための部材である。この案内レール２９は、嵌合レール部２９Ａと、被嵌合レール２９Ｂとから構成されている。嵌合レール部２９Ａは、１つのレール部材で構成され、容器本体２の側壁部２Ｂのうち２つの支持部３０の内側に２つ設けられている。被嵌合レール２９Ｂは、嵌合レール部２９Ａを両側から挟む２つのレール部材で構成され、嵌合レール部２９Ａに対向するトップフランジ５側に設けられている。嵌合レール部２９Ａ及び被嵌合レール２９Ｂは、平行に設けられている。これにより、嵌合レール部２９Ａが被嵌合レール２９Ｂに嵌合して、トップフランジ５の手前側から奥側への摺動、奥側から手前側への摺動を支持して、トップフランジ５を容器本体２に対して容易に着脱させることができるようになっている。
【００２７】
トップフランジ５には、図１〜３，１０〜１６に示すように、保護カバー４１が着脱自在に取り付けられる。保護カバー４１は、トップフランジ５全体を覆って、真空包装された袋を保護するための部材である。保護カバー４１は、四角形平板状に張り出したフランジ部２５全体を覆う四角形皿状に形成されている。保護カバー４１は、その中央部が高く、周縁に向けてなだらかな傾斜を描くように形成されている。これにより、鋭いエッジ部を作らないようにしている。
【００２８】
保護カバー４１の下側面には、当接部４２と、係止爪４３と、取っ手部４４とが設けられている。
【００２９】
当接部４２は、トップフランジ５のフランジ部２５の対向する２つの辺にそれぞれ当接して、保護カバー４１の一方向の位置決めをするための部材である。当接部４２は、保護カバー４１の下側面の対向する２箇所の位置に、トップフランジ５のフランジ部２５の寸法と同じ間隔だけ隔ててそれぞれ設けられている。当接部４２は、弾性を有する平板片として構成されている。これにより、保護カバー４１がトップフランジ５のフランジ部２５に取り付けられると、２つの当接部４２が撓みながらフランジ部２５を挟んでその両側から支持して、保護カバー４１のフランジ部２５に対する位置決めをするようになっている。
【００３０】
係止爪４３は、当接部４２と直交する前記フランジ部２５の２つの辺に当接して他方向の位置決めをすると共に当該２つの辺に係止するための部材である。係止爪４３は、保護カバー４１の下側面の対向する２箇所の位置に、トップフランジ５のフランジ部２５の寸法と同じ間隔だけ隔ててそれぞれ設けられている。係止爪４３は、弾性を有する平板片として構成されている。これにより、保護カバー４１がトップフランジ５のフランジ部２５に取り付けられると、２つの係止爪４３が撓みながらフランジ部２５を挟んでその両側から支持して、保護カバー４１のフランジ部２５に対する位置決めをするようになっている。さらに、係止爪４３の先端部には爪部４３Ａが形成されている。この爪部４３Ａがフランジ部２５の裏面に回り込んでフランジ部２５に係止するようになっている。
【００３１】
保護カバー４１のうち、その周縁の端部から係止爪４３の両側の位置まで２つのスリット４５が設けられている。このスリット４５によって、係止爪４３を撓みやすくしている。
【００３２】
取っ手部４４は、作業者が手で持って開閉させることで、係止爪４３を開閉させるための部分である。取っ手部４４は、前記２つのスリット４５で仕切られた保護カバー４１の周縁部と係止爪４３との間に設けられている。取っ手部４４は、保護カバー４１の周縁部と係止爪４３とで手が入る程度の空間を有して構成されている。作業者は、この２つの取っ手部４４に両手をそれぞれ入れて係止爪４３を開閉させるようになっている。
【００３３】
［動作］
以上のように構成された薄板収納容器１は、次のようにして使用される。
【００３４】
容器本体２内に半導体ウエハが多数枚挿入されて蓋体が取り付けられた状態で、半導体製造工場等へ搬送される。そしてこのとき、薄板収納容器１を真空包装して搬送する場合がある。
【００３５】
この場合は、トップフランジ５のフランジ部２５に保護カバー４１を被せて固定する。このとき、保護カバー４１の当接部４２と係止爪４３とがフランジ部２５の各辺にそれぞれ当接して、保護カバー４１がフランジ部２５に対して正確に位置決めされる。
【００３６】
この状態で、保護カバー４１をフランジ部２５に対して押し込むか、取っ手部４４を手で持って開きながら保護カバー４１をフランジ部２５に対して押し込む。
【００３７】
これにより、係止爪４３がフランジ部２５の縁に係止して、保護カバー４１がトップフランジ５に固定される。
【００３８】
この状態で、薄板収納容器１に袋を被せてその内部を真空引きして、薄板収納容器１を真空包装する。そして、薄板収納容器１が搬送される。
【００３９】
搬送後は、袋を破って真空包装を除去し、保護カバー４１の取っ手部４４を手で持って開きながら取り出す。
【００４０】
その後、トップフランジ５が搬送装置の腕部で把持されて薄板収納容器１が製造ライン等に搬送される。
【００４１】
［効果］
保護カバー４１の一対の当接部４２と一対の係止爪４３が、フランジ部２５の各辺に当接して保護カバー４１をトップフランジ５に対して位置決めをした状態で、さらに、一対の係止爪４３がフランジ部２５に係止して、保護カバー４１をトップフランジ５に固定するため、保護カバー４１をトップフランジ５のフランジ部２５に容易に取り付けることができ、真空包装の際に袋がトップフランジ５のエッジ部に接触して破損するのを確実に防止することができる。
【００４２】
このとき、保護カバー４１はトップフランジ５に対して容易に着脱できるので、真空包装時の作業性も向上する。
【００４３】
作業者は、取っ手部４４に手を入れてこの取っ手部を開閉させるだけで、各係止爪４３を容易に開閉させることができるため、係止爪４３が容易に撓んでフランジ部２５に係止し、係止解除することができ、保護カバー４１をフランジ部２５に対して容易に着脱することができる。
【００４４】
薄板収納容器１を真空包装する場合、トップフランジ５を保護カバー４１で覆うと共にこの保護カバー４１の外側面形状をなだらかな傾斜を描くように形成したため、真空包装用の袋がトップフランジ５に直接的に接触することが無くなり、なだらかな傾斜の保護カバー４１の外側から真空包装用の袋が覆われて、袋の破損を確実に防止することができる。この結果、輸送中の薄板収納容器１内の清浄性を確実に保つことができるようになる。
【００４５】
［変形例］
（１）  上記実施形態では、当接部４２及び係止爪４３を平坦板状に形成したが、これら当接部４２及び係止爪４３とフランジ部２５との間に、嵌合部及び被嵌合部を設けてもよい。この場合、トップフランジ５のフランジ部２５に、嵌合部としてのＶ溝２５Ａ（図６，７参照）を設ける。このＶ溝２５Ａは、フランジ部２５の各辺の中央位置をＶ字型に切り欠いて形成されている。保護カバー４１の当接部４２及び係止爪４３には、前記Ｖ溝２５Ａに嵌合する被嵌合部としてＶ型突起片(図示せず)を設ける。
【００４６】
これにより、フランジ部２５に保護カバー４１の当接部４２及び係止爪４３が取り付けられると、Ｖ型突起片がＶ溝２５Ａにそれぞれ嵌合して保護カバー４１がフランジ部２５に容易に位置決めされる。この結果、保護カバー４１をフランジ部２５に容易に取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係る保護カバーをトップフランジに取り付けられた状態でその底面側から示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す背面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る薄板収納容器をその蓋体とトップフランジを取り外した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係るトップフランジをその裏面から示す要部拡大斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係るトップフランジを示す斜視図である。
【図７】本発明の実施形態に係るトップフランジをその裏面から示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係るトップフランジが薄板収納容器に取り付けられた状態を示す要部断面斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係るトップフランジが薄板収納容器に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るトップフランジに取り付けられた保護カバーを示す側面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るトップフランジに取り付けられた保護カバーをその裏面から示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る保護カバーを示す平面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る保護カバーを示す底面図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る保護カバーを示す側面図である。
【図１５】図１２のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図１６】図１２のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１：薄板収納容器、２：容器本体、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ：側壁部、２Ｅ：底板部、２Ｆ：開口、５：トップフランジ、９：補強用リブ、２５：フランジ部、２５Ａ：Ｖ溝、２６：本体部、２７：摺動支持手段、２８：係止手段、２９：案内レール、３０：支持部、３１：摺動部、３３：係止用突起、３４：係止用爪、３４Ａ：奥側係止用爪、３４Ｂ：手前側係止用爪、３６：当接部、３７：支持棒部、３８：当接部、３９：支持棒部、４１：保護カバー、４２：当接部、４３：係止爪、４３Ａ：爪部、４４：取っ手部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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