(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加速度に応じた物理振子の振子運動を測定し、測定結果に基づいて加速度を求める加速度計の物理振子の支持構造において、
前記物理振子に振子運動を与えるとともに、前記物理振子を、加速度の方向に立設した支柱に垂直に支持する弾性手段と、前記物理振子を前記支柱側に付勢して前記物理振子の振子運動の周期を長周期化する付勢手段とを備え、
前記物理振子は、一端にくさび部を有し他端に錘が固定された構成を有し、前記くさび部の先端が、前記支柱に設けられ且つ前記くさび部の角度より大きい角度を有するＶ溝の先端に当接し、その当接部を支点に、前記物理振子の前記錘が加速度の方向に変位して振子運動するものであり、
前記付勢手段は、前記付勢手段と前記支柱との接続位置が前記当接部より奥側に位置するように配置されていることを特徴とする加速度計の物理振子の支持構造。
【請求項２】
加速度に応じた物理振子の振子運動を測定し、測定結果に基づいて加速度を求める加速度計の物理振子の支持構造において、
前記物理振子に振子運動を与えるとともに、前記物理振子を、加速度の方向に立設した支柱に垂直に支持する弾性手段と、前記物理振子の両側に設けられ、前記物理振子を前記支柱側に付勢して前記物理振子の振子運動の周期を長周期化する付勢手段とを備え、
前記物理振子は、一端にくさび部を有し他端に錘が固定された構成を有し、前記くさび部の先端が、前記支柱に設けられ且つ前記くさび部の角度より大きい角度を有するＶ溝の先端に当接し、その当接部を支点に、前記物理振子の前記錘が加速度の方向に変位して振子運動するものであり、
前記付勢手段は、前記付勢手段と前記支柱との接続位置が前記当接部より奥側に位置するように配置されていることを特徴とする加速度計の物理振子の支持構造。
【請求項３】
前記Ｖ溝は、前記支柱の前記くさび部との接続面において、加速度の方向に直交する方向の一方の端面から他方の端面にかけて形成されており、前記支柱には、前記物理振子の前記くさび部が前記Ｖ溝から逸脱するのを防止する規制手段が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の加速度計の物理振子の支持構造。
【請求項４】
前記規制手段は、前記支柱の前記Ｖ溝を含む端面部分を塞ぐ板材で構成されることを特徴とする請求項３記載の加速度計の物理振子の支持構造。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れかの加速度計の物理振子の支持構造を備えたことを特徴とする加速度計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は加速度計における物理振子の支持構造及び加速度計に関するものであり、特に、レーザー干渉計を用いた加速度計において検出精度を高めることが可能な物理振子の支持構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来技術（非特許文献１参照）のレーザー干渉計を用いた加速度計の構成を図７に示す。加速度の方向をＺ軸、Ｚ軸に直交する方向をＸ軸、Ｚ軸及びＸ軸に直交する方向をＹ軸としている。この加速度計１０１は、例えば地震などの揺れの加速度を検出するもので、測定対象物上に取り付けられる基台１０２上に支柱１０３が立設され、その支柱１０３の垂直部１０３ａに物理振子１１１が加速度に応じて振子運動可能なように垂直部１０３ａに直交するように接続されている。
【０００３】
物理振子１１１は、板状の支持部１１２の一端に錘１１３が固定された構成を成し、支持部１１２の他端が支柱１０３の垂直部１０３ａに金属薄板１０４を介して固定接続されている。また、物理振子１１１の支持部１１２の左右両側には、それぞれ物理振子１１１を支柱１０３側に付勢して物理振子１１１の振子運動の周期を長周期化するためのバネ部材１０５が配設されている。また、物理振子１１１の支持部１１２の上面と支柱１０３の水平部１０３ｂとの間には、物理振子１１１に振子運動を与えるとともに、物理振子１１１を支柱１０３に垂直に支持するための弾性手段としての恒弾性バネ１０６が設けられている。
【０００４】
また、物理振子１１１の上面と支柱１０３の水平部１０３ｂの底面との間には、物理振子１１１の振子運動を打ち消す方向に物理振子１１１を移動させる移動機構１２１が設けられている。この移動機構１２１は、物理振子１１１の上面に設けられた電磁石１２２と、支柱１０３の水平部１０３ｂにおいて電磁石１２２と対向する位置に設けられた磁石１２３とで構成され、制御回路１４１から電磁石１２２に制御信号が与えられることにより物理振子１１１の移動量が制御されるようになっている。
【０００５】
また、物理振子１１１と基台１０２との間には、加速度に応じた物理振子１１１の移動位置を検出するレーザー干渉計１３１が設けられている。
【０００６】
制御回路１４１には、レーザー干渉計１３１で測定された物理振子１１１の位置信号が入力され、その位置信号に基づいて物理振子１１１の振子運動を打ち消す（支柱１０３に対し相対的な動きが生じない）のに必要な移動動作を行うための制御信号を電磁石１２２に送信するようになっている。そして、この制御回路１４１から出力される制御信号に基づいて測定対象物の上下方向に加わった加速度を算出する。
【０００７】
このように構成された加速度計１０１においては、測定対象物が上下方向（図７のＺ軸方向）に動いて物理振子１１１が上下方向の加速度を受けると、物理振子１１１が上下方向に振子運動する。この物理振子１１１の動き（変位）をレーザー干渉計１３１で測定して、その測定結果の位置信号を制御回路１４１に送信する。制御回路１４１は、その位置信号に基づいて物理振子１１１の振子運動を打ち消すように電磁石１２２に対し制御信号を与える。そのときの制御信号を解析することにより測定対象物の上下方向に加わった加速度を測定する。
【非特許文献１】地球惑星科学合同大会２００１年度予稿集Ｓｓ−００５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記従来技術の加速度計１０１の構成では、物理振子１１１を金属薄板１０４を介して支柱１０３に固定接続していることから、物理振子１１１の振子運動に金属薄板１０４のバネ性の影響が出やすく、このため、金属薄板のバネ性の影響が出ないように金属薄板１０４には薄い板バネ１０４を用いている。しかしながら、極めて薄くした板バネを用いた場合、今度は機械的な強度が不足し、バネ部材１０５の張力によって金属薄板１０４がＳ字状に変形したり、極端な場合は座屈が生じたりして物理振子１１１の位置安定性が損なわれ、引いてはレーザー干渉計の光軸がずれの許容範囲大きく外れて機能を損なうという問題があった。
【０００９】
また、振動周期を長期化するためのバネ部材１０５を物理振子１１１の左右両側に設けているが、それぞれのバネ部材１０５の張力を全く同一にすることは困難であることから、実際には張力のバラツキにより物理振子１１１にねじれ運動が発生してしまう。レーザー干渉計１３１は極めて高い精度で物理振子１１１の動きを検知することが可能であるが、これらのねじれ運動が発生するとレーザー干渉計１３１の測定結果にそのねじれ運動分の誤差が加わり、加速度を正しく検出出来ないという問題があった。
【００１０】
このようなことから、物理振子のねじれ運動の発生を防止して精度の良い加速度測定が可能な物理振子の支持構造及びその支持構造を用いた加速度計の開発が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る加速度計の物理振子の支持構造は、加速度に応じた物理振子の振子運動を測定し、測定結果に基づいて加速度を求める加速度計の物理振子の支持構造において、物理振子に振子運動を与えるとともに、物理振子を、加速度の方向に立設した支柱に垂直に支持する弾性手段と、物理振子を支柱側に付勢して物理振子の振子運動の周期を長周期化する付勢手段とを備え、物理振子は、一端にくさび部を有し他端に錘が固定された構成を有し、くさび部の先端が、支柱に設けられ且つくさび部の角度より大きい角度を有するＶ溝の先端に当接し、その当接部を支点に、物理振子の錘が加速度の方向に変位して振子運動するものであり、付勢手段は、付勢手段と支柱との接続位置が当接部より奥側に位置するように配置されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
以上に説明したように、本発明によれば、物理振子は、一端にくさび部を有し他端に錘が固定された構成を有し、くさび部の先端が、支柱に設けられ且つくさび部の角度より大きい角度を有するＶ溝の先端に当接し、その当接部を支点に、物理振子の錘が加速度の方向に変位して振子運動するものであり、付勢手段は、付勢手段と支柱との接続位置が当接部より奥側に位置するように配置したので、ねじれ運動を抑制することが可能となり、測定対象物に加わった加速度を正確に検知することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図１において加速度の方向をＺ軸、Ｚ軸に直交する方向をＸ軸、Ｚ軸及びＸ軸に直交する方向をＹ軸としている。
加速度計１は、例えば地震などの揺れの加速度を検出するもので、測定対象物に取り付けられる基台２と、基台２に立設された支柱３と、支柱３によって加速度の方向に変位可能に支持された物理振子１１と、後述の制御回路４１からの制御信号に基づいて物理振子１１の振子運動を打ち消す方向に物理振子１１を移動させる移動機構２１と、物理振子１１の振子運動による変位を測定して位置信号を出力するレーザー干渉計３１と、レーザー干渉計３１の位置信号に基づいて物理振子１１の振子運動を打ち消すように移動機構２１を制御し、その制御内容に基づいて物理振子１１に加わった加速度を測定する制御回路４１とを備えている。
【００１４】
支柱３は、基台２に垂直で加速度方向に延びる垂直部３ａと垂直部３ａから基台２に対して平行に延びる水平部３ｂとから構成されている。
【００１５】
物理振子１１は、一端が中央部から二つに分岐された支持部１２と、その支持部１２の他端に固定された錘１３とで構成されており、分岐された二つの端部１２ａがそれぞれ金属薄板１４を介して支柱３に固定されている。また、その二つの端部１２ａの間の中央部一ヶ所と支柱３との間には、物理振子１１を支柱３側に付勢する付勢手段としてのバネ部材１５が設けられている。このバネ部材１５は、物理振子１１の振子運動の周期を長周期化するために設けられたものである。また、物理振子１１の支持部１２の上面と支柱３の水平部３ｂとの間には、物理振子１１に振子運動を与えるとともに、物理振子１１を支柱３に垂直に支持するための恒弾性バネ１６が設けられている。
【００１６】
また、レーザー干渉計３１は、物理振子１１と基台２との間に設けられている。次の図２に、レーザー干渉計３１の構成を示す。
【００１７】
図２は、レーザー干渉計の説明図である。
レーザー干渉計３１は、本例ではマイケルソン型干渉計で構成されている。レーザ発生装置３２から出た光は、ハーフミラー３３で２方向に分かれ、一方は物理振子１１の下面に設けられた反射鏡（以下、可動鏡）３４で反射してハーフミラー３３に戻り、もう一方は固定鏡３５で反射してハーフミラー３３に戻る。そしてそこで光が重なった後、フォトダイオード３６の方向に進み、フォトダイオード３６で干渉の変化が測定される。その際、物理振子１１が上下振動すると可動鏡３４とハーフミラー３３との間の間隔が変化するため、光路長が変化して干渉のパターンも変化する。この干渉のパターンの変化を測定することにより物理振子１１の変位を測定することができる。
【００１８】
図１の説明に戻る。移動機構２１は、本例では、物理振子１１の上面に設けられた電磁石２２と、支柱３の水平部３ｂにおいて電磁石２２と対向する位置に設けられた磁石２３とで構成され、電磁石２２に制御回路４１から制御信号が与えられることにより物理振子１１の移動量が制御されるようになっている。この移動機構２１は、本例の構成に限られたものではなく、制御回路４１からの制御信号によって物理振子１１を上下方向に移動させることが可能な機構であればよく、例えば静電気力を用いたものであっても良い。
【００１９】
制御回路４１には、レーザー干渉計３１で測定された物理振子１１の位置信号が入力され、その位置信号に基づいて物理振子１１の振子運動を打ち消す（支柱３に対し相対的な動きが生じない）のに必要な移動動作を行うための制御信号を電磁石２２に送信するようになっている。そして、この制御回路４１から出力される制御信号に基づいて測定対象物の上下方向に加わった加速度を算出する。
【００２０】
このように構成された加速度計１において、測定対象物が上下方向（図１のＺ軸方向）に動いて物理振子１１が上下方向の加速度を受けると、物理振子１１が上下方向に振子運動する。この物理振子１１の動き（変位）をレーザー干渉計３１で測定して、その測定結果の位置信号が制御回路４１に送信され、制御回路４１は、その位置信号に基づいて物理振子１１の振子運動を打ち消すように電磁石２２に対し制御信号を送出する。そのときの制御信号を解析することにより測定対象物の上下方向に加わった加速度を測定する。
【００２１】
ここで、本例の物理振子１１の支持構造においては、物理振子１１を支柱３側に付勢するためのバネ部材１５を一本としているため、上記従来の物理振子１１の両側にそれぞれバネ部材１５を設けた場合の張力のばらつきによるねじれ運動の発生を抑制できる。また、物理振子１１の分岐された二つの端部１２ａによって二ヶ所で金属薄板１４を介して支柱３に固定接続するようにしたので、仮に物理振子１１にねじれ運動を引き起こす力が加わったとしても、二枚の金属薄板１４は互いに逆向きのモーメントになり、ねじれ運動を抑制することが可能となる。したがって、レーザー干渉計３１の測定結果には物理振子１１のねじれ運動の誤差が含まれず、測定対象物に加わった加速度を正確に検知することが可能となる。
【００２２】
実施の形態２．
図３は、実施の形態２の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図３において、図１に示した実施の形態１と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図３には、物理振子１１の支持構造部分のみを図示し、その他の構成（加速度を測定するための電気的構成部分等）については図１と同様であり図示省略している。
【００２３】
実施の形態２の物理振子１１の支持構造５１は、図１に示した実施の形態１の物理振子１１の支持構造において、物理振子１１の支持部１２を、先端を二つに分岐せずに全体長方形状とした支持部５２とするとともに、その支持部５２先端をくさび状とし、且つ、支柱３において、物理振子１１のくさび部５２ａとの接続部分にＶ溝５３を設けたものである。なお、Ｖ溝５３の角度は、くさび部５２ａの角度よりも大きく形成されており、物理振子１１のくさび部５２ａの先端が支柱３のＶ溝５３の先端に当接し、その当接部を支点に物理振子１１の錘１３が加速度の方向に変位して振子運動するようになっている。
【００２４】
また、実施の形態１の物理振子１１において分岐された二つの端部１２ａの中央部一ヶ所と支柱３との間に設けられていたバネ部材１５に代えて、このバネ部材１５と同様の機能を発揮するバネ部材５４が物理振子１１の左右両側に配設されている。
【００２５】
ここで、物理振子１１のくさび部５２ａと支柱３のＶ溝５３の材料は互いに異なるものとし、本例では物理振子１１に靭性材料の鋼材、支柱３のＶ溝５３には脆性材料のサファイヤを用いている。このように物理振子１１のくさび部５２ａと支柱３のＶ溝５３部分とで異なる材料を用いる理由について以下に述べる。
【００２６】
まず、物理振子１１のくさび部５２ａと支柱３のＶ溝５３との当接部について注目すると、くさび部５２ａとＶ溝５３との当接部には特別な潤滑層は設けられていなく、乾燥摩擦の状態で互いに接触している。この場合、物理振子１１の運動方向が逆転する地点、すなわち、物理振子１１が上方に振子運動して上死点に到達した後、下方に振子運動を開始する地点で、物理振子１１のくさび部５２ａと支柱３のＶ溝５３との当接部の摩擦が動摩擦から静止摩擦に切り替わり、物理振子１１の運動速度の飛躍が起きる。このように物理振子１１の運動速度が過度に飛躍すると、レーザー干渉計３１の測定結果に不連続点ができるため計測に誤差が生じ、検出される加速度の精度に影響する。したがって、くさび部５２ａとＶ溝５３との当接部における静止摩擦はできる限り減少させる必要がある。
【００２７】
また、当接部での摩擦により、磨耗や損傷による寸法変化が発生し、いずれは振子運動の軌道に変化が生じ、レーザー光の光軸にズレが生じて加速度の検出精度が劣化することが予想される。そこで、本例では、くさび部５２ａを靭性材（鋼）、Ｖ溝５３を脆性材（サファイヤ）として、靭性材料と脆性材料との組み合わせにしているため、同種の材料（靭性材−靭性材あるいは脆性材−脆性材）の場合に比して、当接部の変形や摩耗による寸法変化を防止可能となっている。
【００２８】
すなわち、靭性材料同士の場合には当接部分が変形を起こしやすく、また、脆性材料同士の場合には摩耗が起こりやすいことからレーザー光の光軸のズレが大きくなると思われる。これに対し、本例のように、靭性材−脆性材の組み合わせとした場合にはレーザー光の光軸のズレが小さいことが実験により確認されている。また、靭性材−脆性材の組み合わせの場合もくさび部５２ａの変形が多少生じるが、実際の変形量は光軸精度に対し極めて小さいものであるため、加速度検出精度の劣化は実用上問題にならない。
【００２９】
このように構成された物理振子１１の支持構造５１においては、物理振子１１を、金属薄板等を用いず直接支柱３に接触するようにし、また、材質も鋼を用いているので、バネ部材５４の張力を高めてもＳ字、座屈などの変形は生じず、物理振子１１の位置安定性を確保することができる。また、くさび部５２ａとＶ溝５３とが線状に接触しているため、物理振子１１の両側に設けられたバネ部材５４の張力に差があったとしても、物理振子１１のねじれ運動（図示Ｙ軸まわりのねじれ、図示Ｚ軸まわりのねじれ）に対する逆向きのモーメントが発生するため、ねじれ運動を抑制することが可能となる。したがって、レーザー干渉計３１の測定結果には物理振子１１のねじれ運動の誤差が含まれず、測定対象物に加わった加速度を正確に検知することが可能となる。
【００３０】
なお、ここではくさび部５２ａを鋼（靭性材）、Ｖ溝５３をサファイヤ（脆性材）としたが、靭性、脆性の各材料はこれに限定するものではない。またくさび部５２ａとＶ溝５３の靭脆性関係は逆でも良い。
【００３１】
靭性材としては例えば１０００系・２０００系・３０００系・４０００系・５０００系・６０００系・７０００系アルミニウム、無酸素銅、タフピッチ銅、リン脱酸銅、リン青銅、アルミニウム青銅、シリコン青銅、洋白、ベリリウム銅、クローム銅、黄銅、ネーバル黄銅、高力黄銅、砲金、オーステナイト系・オーステナイトフェライト系・フェライト系・マルテンサイト系・析出硬化系ステンレス、一般構造用圧延鋼、機械構造用炭素鋼、炭素工具鋼、高速度工具鋼、合金工具鋼、ニッケルクロム鋼、ニッケルクロムモリブデン鋼、クロム鋼、クロムモリブデン鋼、マンガン鋼、マンガンクロム鋼、耐熱鋼、鋼炭素クロム軸受け鋼、アルミニウムクロムモリブデン鋼、タングステン等の金属類および合金類、また、完全な靭性材料ではないが類似の性質により実用可能なＡＢＳ、ＡＣＳ、アルキド樹脂、アミノ樹脂、ＡＳＡ、ビスマレイミドトリアジン樹脂、セルロースプラスチック、塩素化ポリエーテル、塩素化ポリエチレン、アリル樹脂、エポキシ樹脂、エチレンαオレフィン共重合体、エチレン酢酸ビニル塩化ビニル共重合体、エチレン塩化ビニル共重合体、ＥＶＡ樹脂、フッ素樹脂、フラン樹脂、アイオノマー、液晶プラスチック、メタクリルスチレン共重合体、ニトリル樹脂、芳香族ポリエステル、オレフィンビニルアルコール共重合体、フェノール樹脂、ポリアセタール、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリアリレート、ポリアリルスルホン、ポリベンゾイミダゾール、ポリブタジエン、ポリブチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルスルホン、ポリチオエーテルスルホン、低密度・高密度ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリケトン、メタクリル樹脂、ポリメチルペンテン、変性ポリオレフィン、透明ポリオレフィン、ポリプロピレン、ポリフェニルエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリスチレン、ＳＡＮ樹脂、スチレン共重合体、ブタジエンスチレン樹脂、ポリウレタン、ポリビニルアセタール、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、アクリル変性ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、シリコーン、不飽和ポリエステル樹脂、ビニルエステル系エポキシ、ポリ酢酸ビニル、キシレン樹脂、硬質ゴム等のプラスチックスおよび繊維類や粒子類の添加による強化プラスチックスが挙げられる。また、金属・合金類は焼きいれ処理などにより結晶構造や組成や硬度を変化させてもよい。
【００３２】
脆性材としては硬度が７以上の鉱物、例えば、ダイヤモンドなどの元素鉱物、セン晶石、鉄セン晶石、マンガンセン晶石、亜鉛セン晶石、金緑石、鋼玉、石英、リンケイ石、玉髄、コース石などの酸化鉱物、方ホウ石などのホウ酸塩鉱物、苦土カンラン石、ザクロ石族、ジルコン、紅柱石、トパズ（黄玉）、十字石、緑柱石、キン青石、電気石、オノ石、ヒスイ輝石、リチア輝石、ダンブリ石などのケイ酸塩鉱物が挙げられる。これらは天然に産出された鉱石を加工し用いても良いが、加工が困難であったり材料単価が高価な場合には、金属、無機材料、プラスチックス等を加工成形した母材表面のみに粉体接着したり人工的に母材表面で膜あるいは粒子を合成したり物理的に被覆する方法を用いても同様の効果が得られる。
【００３３】
実施の形態３．
図４は、実施の形態３の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図４において、図１に示した実施の形態１と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図４には、物理振子１１の支持構造部分のみを図示し、その他の構成（加速度を測定するための電気的構成部分等）については図１と同様であり図示省略している。
【００３４】
実施の形態３の物理振子１１の支持構造６１は、いわば実施の形態１と実施の形態２と組み合わせた構造であり、図１に示した実施の形態１の物理振子１１の支持構造において、支柱３と物理振子１１との接続部分に、実施の形態２の構造を採用したものである。すなわち、実施の形態３においては、物理振子１１において分岐された二つの端部１２ａの先端をくさび状に形成してくさび部６２ａを構成するとともに、支柱３において、二つの端部１２ａとの接続部分にＶ溝６３を設けたものである。なお、Ｖ溝６３は支柱３のＸ軸方向の一方の端面から他方の端面にかけて形成されている。また、Ｖ溝６３のＶ字の角度は、くさび部６２ａの先端角度よりも大きく形成されており、物理振子１１のくさび部６２ａの先端が支柱３のＶ溝６３の先端に当接し、その当接部を支点に物理振子１１の錘１３が加速度の方向に変位して振子運動するようになっている。
【００３５】
また、物理振子１１のくさび部６２ａと支柱３のＶ溝６３の材料を互いに異なるものとした点についても実施の形態２と同様である。
【００３６】
かかる構造とすることにより、実施の形態１及び実施の形態２と同様の作用効果が得られる。
【００３７】
実施の形態４．
図５は、実施の形態４の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。図５において、図４に示した実施の形態３と同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。また、図５には、物理振子１１の支持構造部分のみを図示し、その他の構成（加速度を測定するための電気的構成部分等）については図１と同様であり図示省略している。
【００３８】
実施の形態４の物理振子１１の支持構造７１は、物理振子１１のくさび部６２ａがＶ溝６３の延出方向に移動してＶ溝６３から逸脱するのを防止する規制手段を設けたものである。規制手段としては、本例では、Ｖ溝６３を含む支柱３の端面部分を塞ぐ板材７２で構成されている。物理振子１１が、例えば支柱３に衝撃が加わるなどしてＸ軸方向に動いてしまうと、その動きにより、検出される加速度に誤差が生じてしまう。このため、板材７２を設けてＸ軸方向の移動を規制するようにしている。
【００３９】
このように構成された物理振子１１の支持構造７１によれば、加速度測定時や設置の際に振動や衝撃が加わったとしても、物理振子１１のくさび部６２ａがＸ軸方向に移動するのを板材７２によって防止することができるため、加速度を正確に検出することが可能となる。
【００４０】
なお、規制手段は図示の構成に限られたものではなく、例えばＶ溝６３を支柱３のＸ軸方向の端面から端面に渡って設けるのに代えて、図６に示すように、物理振子１１の分岐された二つの端部１２ａに対向する部分のみにＶ溝６３を設けた構成としてもよく、この場合も同様に物理振子１１のくさび部６２ａがＸ軸方向に移動するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態１の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。
【図２】レーザー干渉計の説明図である。
【図３】実施の形態２の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。
【図４】実施の形態３の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。
【図５】実施の形態４の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。
【図６】規制手段の他の例を示す図である。
【図７】従来の加速度計の物理振子の支持構造を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  加速度計
２  基台
３  支柱
１１  物理振子
１２  支持部
１２ａ  端部
１３  錘
１４  金属薄板
１５  バネ部材（付勢手段）
１６  恒弾性バネ（弾性手段）
３１  レーザー干渉計
４１  制御回路
５１  物理振子の支持構造
５２  支持部
５２ａ  くさび部
５３  Ｖ溝
５４  バネ部材
６１  物理振子の支持構造
６２ａ  くさび部
６３  Ｖ溝
７１  物理振子の支持構造
７２  板材
【図１】
0004807110.tif 000002
【図２】
0004807110.tif 000003
【図３】
0004807110.tif 000004
【図４】
0004807110.tif 000005
【図５】
0004807110.tif 000006
【図６】
0004807110.tif 000007
【図７】
0004807110.tif 000008