(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板が連結された検査対象の回路基板における基板面領域を当該各基板に対応させて分割した互いに重なることのない複数のエリア毎に当該各エリア内の複数の検査ポイントについての所定情報を表示するために、予め得られた前記各検査ポイントについての検査ポイント位置情報および前記各エリアについてのエリア位置情報に基づいて、前記各検査ポイントがいずれのエリアに属するかを示すポジションデータを生成するポジションデータの生成方法であって、
同一の前記エリアに属する各検査ポイントのそれぞれについての前記検査ポイント位置情報に基づいて当該各検査ポイントを代表する代表ポイントの位置情報を求め、当該求めた代表ポイントの位置情報と前記エリア位置情報とに基づいて当該代表ポイントが属する前記エリアを特定し、当該特定したエリアを前記代表ポイントに代表される前記各検査ポイントが属するエリアとして前記ポジションデータを生成することを特徴とするポジションデータの生成方法。
【請求項２】
前記同一のエリアに属する前記各検査ポイントのそれぞれについての前記検査ポイント位置情報としての座標データにおけるＸ軸成分の総和およびＹ軸成分の総和を当該各検査ポイントの数でそれぞれ除することによって当該各検査ポイントの中心部に位置する中心座標を求め、当該求めた中心座標を前記代表ポイントとして用いることを特徴とする請求項１記載のポジションデータの生成方法。
【請求項３】
前記同一のエリアに属する各検査ポイントのいずれかに不良が存在するときに当該エリアに不良が存在する旨の検査結果を前記所定情報として表示するための前記ポジションデータを生成することを特徴とする請求項１または２記載のポジションデータの生成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の回路基板における基板面領域を分割した複数のエリア毎に、その各エリア内の複数の検査ポイントについての検査結果や検査完了の有無などの所定情報を表示するためのポジションデータの生成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種のポジションデータを利用して検査結果を表示する回路基板検査装置として、図２に示す回路基板検査装置３１が従来から知られている。この回路基板検査装置３１では、基板検査部２が、検査対象の基板Ｐについて予め設定された複数の検査ポイントに対してプロービングを行い、所定の電気的検査を実行すると共に、制御部３５が、その検査結果を表示部４に表示させる。この場合、図３に示すように、検査対象の基板Ｐは、いわゆる割り基板または多数枚取り基板と呼称されるプリント基板であって、モジュールＭA1〜ＭD4（以下、区別しないときには「モジュールＭ」ともいう：「基板」の一例）が横方向に４枚（Ａ〜Ｄ）、縦方向に４枚（１〜４）連結されている。この場合、各モジュールＭは、回路基板検査装置３１による検査が完了した後に、基板Ｐにおける同図に示す破線部位で分割されて最終製品として製造される。したがって、図４に示すように、回路基板検査装置３１では、各検査ポイントについての検査結果に応じて、後述するように、最終製品としてのモジュールＭA1〜ＭD4のそれぞれに対応するエリアＡA1〜ＡD4（以下、区別しないときには「エリアＡ」ともいう））を色分け表示することにより、個々のモジュールＭについての良否を表示部４に表示する。
【０００３】
この回路基板検査装置３１による基板Ｐの検査に際しては、まず、各検査ポイントのプロービング座標を示すプロービングデータＤｐを、例えば図外のパーソナルコンピュータを用いて生成する。このプロービングデータＤｐは、図５に示すように、基板検査部２によるプロービング（検査ステップ）の順序を示したステップ番号（Ｓ  Ｎｏ．）、その検査ステップのステップ名、その検査ステップがいずれのエリアＡ（モジュールＭ）についての検査ステップであるかを示すポジションデータ（ＰＳ）、その検査ステップにおいてプロービングすべきモジュールＭ上のプロービング座標、および基板Ｐにおける各モジュールＭの配置情報（そのモジュールＭの例えば左上隅位置の基板Ｐ上の基準座標からのずれ量、すなわちオフセット値）などが記録される。この場合、パーソナルコンピュータ上でプロービングデータＤｐを生成する際には、基板Ｐ全体を通して検査すべきポイントをリストアップして各検査ステップを順に記述するため、この際には、各検査ステップがいずれのモジュールＭに属するかは記録されない。したがって、図６に示すように、生成されたプロービングデータＤｐでは、ポジションデータ（ＰＳ）が未記録となっている。なお、この際には、同図におけるステップ番号１〜１００についてもポジションデータ（ＰＳ）が未記録となっている。
【０００４】
次に、プロービングデータＤｐをパーソナルコンピュータから回路基板検査装置３１に転送した後、未記録となっている各検査ステップ毎のポジションデータ（ＰＳ）が回路基板検査装置３１によって記録される。以下、このポジションデータの記録処理を「オートロケーション処理」ともいう。このオートロケーション処理に際しては、まず、制御部３５が、基板Ｐの設計段階において生成されたＣＡＤデータなどに基づいて、基板Ｐの外形サイズを取得する。次に、制御部３５は、取得した基板Ｐの外形サイズと、基板Ｐの分割数（この場合、横方向に４枚、縦方向に４枚）とに基づいて各モジュールＭ毎の外形サイズを演算する。この場合、図３に示すように、一例として、基板Ｐの左上を原点（Ｘ０，Ｙ０）とし、各モジュールＭの横方向（Ｘ方向）および縦方向（Ｙ）方向の長さをそれぞれ値１００とする。次いで、制御部３５は、基板Ｐの外形サイズと各モジュールＭ毎の外形サイズとに基づいて、各モジュールＭの基板Ｐ上の位置を特定する。
【０００５】
続いて、制御部３５は、各検査ステップ毎のプロービング座標がいずれのエリアＡに属するかを判別し、その判別結果をプロービングデータＤｐのポジションデータとして記録する。具体的には、図６に示すように、例えば検査ステップ１は、プロービング座標が（Ｘ２１，Ｙ２２）でＸ方向およびＹ方向のオフセット値が共に「０」であるため、制御部３５は、エリアＡA1内（この場合、（Ｘ０，Ｙ０）〜（Ｘ１００，Ｙ１００）の範囲）に属するものとして、検査ステップ１のポジションデータをＡ１と記録する。この処理をすべての検査ステップに対して順に実行することにより、図５に示すように、プロービングデータＤｐにおけるポジションデータの部位に各検査ステップの属するエリアが記録され、オートロケーション処理が終了する。この後、基板検査部２が、生成されたプロービングデータＤｐにおける各検査ステップ毎のプロービング座標（検査ポイント）に対してプロービングを順次実行し、基板Ｐの各モジュールＭについての電気的検査を実行する。
【０００６】
次に、制御部３５は、基板検査部２による基板Ｐに対する電気的検査が完了した後、図４に示すように、検査結果表示用画面１１を表示部４に表示させる。この検査結果表示用画面１１では、実際の基板Ｐにおける基板面領域のすべてのモジュールＭA1〜ＭD4についての検査結果が、表示部４に表示させた基板Ｐ上の対応するエリアＡA1〜ＡD4にそれぞれ表示される。例えば検査結果表示用画面１１上のエリアＡA1には、基板Ｐ上の対応するモジュールＭA1についての検査ステップの検査結果が表示される。具体的には、そのモジュールＭについてのすべての検査ステップにおいて絶縁不良や導通不良など（以下、単に「不良」ともいう）の発生が認められなかったときには、そのモジュールＭに対応する検査結果表示用画面１１上のエリアＡを例えば白色で表示する。一方、そのモジュールＭについての検査ステップのいずれかにおいて不良の発生が認められたときには、そのモジュールＭに対応する検査結果表示用画面１１上のエリアＡを例えば赤色（同図では「斜線」で示す）で表示する。これにより、オペレータは、表示部４に表示された検査結果表示用画面１１を参照するだけで、検査対象の基板Ｐにおける不良の有無、および不良が存在するモジュールＭを直感的に特定することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の回路基板検査装置３１には、以下の問題点がある。すなわち、従来の回路基板検査装置３１では、各モジュールＭ毎の検査結果を検査結果表示用画面１１上に表示させるためには、まず、各検査ステップのプロービング座標やオフセット値に基づいてポジションデータをそれぞれ特定する必要がある。一方、基板Ｐの各モジュールＭには、２００００以上の検査ポイントが存在することもある。このため、各検査ステップ毎に、その検査ポイントがいずれのエリアＡ（モジュールＭ）に属するかを判別している従来の回路基板検査装置３１には、ポジションデータの生成に膨大な時間を要するという問題点がある。
【０００８】
また、従来の回路基板検査装置３１では、各検査ステップ毎のプロービング座標やオフセット値、およびモジュールＭの外形サイズと基板Ｐ上での位置とに基づいて、その検査ステップがいずれのエリアＡ（モジュールＭ）についての検査ステップであるかを判別する必要がある。しかし、各種サイズおよび形状が異なる異種のモジュールが連結された基板Ｐについては、基板Ｐの外形サイズとモジュールＭの分割数とに基づいて各モジュールＭ毎の外形サイズを特定するのが困難となる。このため、このような基板Ｐについては、例えばＣＡＤデータから各モジュールＭ毎のサイズ情報を取得し、取得したサイズ情報に基づいて外形サイズを特定する必要がある。しかし、この方法には、取得したサイズ情報と、実際の基板ＰにおけるモジュールＭ毎のサイズとの間に若干の誤差が生じることがあるため、例えば隣り合うモジュールＭ，Ｍの境界部近傍にプロービングする検査ステップについて、本来属するべきモジュールＭの隣のモジュールＭについての検査ステップと誤って判別することがある。したがって、誤って判別された検査ステップにおいて不良が生じていると判別した際には、不良が存在するモジュールＭの隣のモジュールＭに対応するエリアＡが赤色に誤表示されるという問題がある。
【０００９】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、ポジションデータを短時間で生成可能なポジションデータの生成方法を提供することを主目的とする。また、正確なポジションデータを生成可能なポジションデータの生成方法を提供することを他の目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載のポジションデータの生成方法は、複数枚の基板が連結された検査対象の回路基板における基板面領域を当該各基板に対応させて分割した互いに重なることのない複数のエリア毎に当該各エリア内の複数の検査ポイントについての所定情報を表示するために、予め得られた前記各検査ポイントについての検査ポイント位置情報および前記各エリアについてのエリア位置情報に基づいて、前記各検査ポイントがいずれのエリアに属するかを示すポジションデータを生成するポジションデータの生成方法であって、同一の前記エリアに属する各検査ポイントのそれぞれについての前記検査ポイント位置情報に基づいて当該各検査ポイントを代表する代表ポイントの位置情報を求め、当該求めた代表ポイントの位置情報と前記エリア位置情報とに基づいて当該代表ポイントが属する前記エリアを特定し、当該特定したエリアを前記代表ポイントに代表される前記各検査ポイントが属するエリアとして前記ポジションデータを生成することを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載のポジションデータの生成方法は、請求項１記載のポジションデータの生成方法において、前記同一のエリアに属する前記各検査ポイントのそれぞれについての前記検査ポイント位置情報としての座標データにおけるＸ軸成分の総和およびＹ軸成分の総和を当該各検査ポイントの数でそれぞれ除することによって当該各検査ポイントの中心部に位置する中心座標を求め、当該求めた中心座標を前記代表ポイントとして用いることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載のポジションデータの生成方法は、請求項１または２記載のポジションデータの生成方法において、前記同一のエリアに属する各検査ポイントのいずれかに不良が存在するときに当該エリアに不良が存在する旨の検査結果を前記所定情報として表示するための前記ポジションデータを生成することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るポジションデータの生成方法の好適な実施の形態について説明する。
【００１４】
最初に、本発明に係るポジションデータの生成方法に従ってプロービングデータＤｐを生成する回路基板検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。なお、従来の回路基板検査装置３１と同一の構成要素については、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１５】
回路基板検査装置１は、いわゆるフライングテスタであって、図２に示すように、基板検査部２、操作部３、表示部４、制御部５、ＲＡＭ６およびＲＯＭ７を備えている。基板検査部２は、基板Ｐに接触して電気的検査を実行するための一対の接触型のプローブ２ａ，２ａと、制御部５の制御下で両プローブ２ａ，２ａを任意のＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させるＸ−Ｙ−Ｚ移動機構（図示せず）とを備え、基板Ｐの各検査ポイントについての断線や短絡などの不良の有無を電気的に検査する。操作部３は、回路基板検査装置１の動作条件を設定するための各種キーを備えている。表示部４は、特に限定されないが、例えばカラー表示可能なＬＣＤパネルで構成されている。この表示部４は、制御部５の制御下で、図４に示す検査結果表示用画面１１などを表示する。制御部５は、基板検査部２の動作制御や表示部４の表示制御を実行する。ＲＡＭ６は、基板Ｐについての検査手順が記録されたプロービングデータＤｐや制御部５の演算結果などを一時的に記憶し、ＲＯＭ７は、制御部５の動作プログラムを記憶する。なお、検査対象の基板Ｐについては、回路基板検査装置３１の検査対象と同一であるものとし、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１６】
次に、回路基板検査装置１による基板Ｐの検査方法について、図面を参照して説明する。
【００１７】
基板Ｐの検査に際しては、まず、各検査ポイントのプロービング座標を示すプロービングデータＤｐを例えば図外のパーソナルコンピュータ上で生成する。このプロービングデータＤｐ（図５参照）は、前述したように、ステップ番号、ステップ名、ポジションデータ、モジュールＭ上のプロービング座標、および各モジュールＭのオフセット値などで構成され、同一のモジュールＭに関する検査ステップが１００ステップずつ連続して記録される。この場合、プロービング座標およびオフセット値で本発明における予め得られた検査ポイント位置情報が構成される。なお、生成直後のプロービングデータＤｐでは、前述したようにポジションデータが未記録となっている。また、例えば検査ステップ１〜１００までの１００ステップについては、同一のモジュールＭに関する検査ステップであることは特定できるものの、ポジションデータが未記録の状態では、これら１００ステップずつの検査ステップがいずれのモジュールＭに関する検査ステップであるかは特定不能となっている。
【００１８】
次に、プロービングデータＤｐをパーソナルコンピュータから回路基板検査装置１に転送する。次いで、制御部５が、プロービングデータＤｐにおける未記録のポジションデータ（ＰＳ）を記録するために、図１に示すオートロケーション処理２０を実行する。この処理では、まず、制御部５が、例えば基板Ｐの設計段階で既に生成されているＣＡＤデータに基づいて、基板Ｐの外形サイズと基板Ｐの分割数（モジュールＭの配列数）とを取得する（ステップ２１）。次に、制御部５は、取得した基板Ｐの外形サイズと、基板Ｐの分割数（この場合、横方向に４枚、縦方向に４枚）とに基づいて各モジュールＭ毎の外形サイズを演算する（ステップ２２）。次いで、制御部５は、基板Ｐの外形サイズと、各モジュールＭ毎の外形サイズと、各モジュールＭの基板Ｐ上における原点（Ｘ０，Ｙ０）からのオフセット値とに基づいて、各モジュールＭの基板Ｐ上での位置を特定する（ステップ２３）。この際には、例えばモジュールＭA1の基板Ｐ上における座標が（Ｘ０，Ｙ０）〜（Ｘ１００，Ｙ１００）の範囲で、モジュールＭD4の基板Ｐ上における座標が（Ｘ３００，Ｙ３００）〜（Ｘ４００，Ｙ４００）の範囲であることを示す範囲情報（本発明における予め得られたエリア位置情報に相当する）が作成される。
【００１９】
続いて、制御部５は、１つのモジュールＭに関するすべての検査ステップ、すなわち検査ステップ１〜１００，１０１〜２００・・１５０１〜１６００の各１００ステップ毎の代表座標を決定する（ステップ２４）。具体的には、制御部５は、例えば検査ステップ１〜１００のそれぞれのプロービング座標（座標とオフセット値との合計値）に基づいて、各検査ステップで実行するプロービング座標の中心座標を演算する。この際に、例えば、各検査ステップにおけるプロービング座標のＸ軸成分（座標のＸ軸成分の値とオフセット値のＸ軸成分の値との合計値）を合計して検査ステップ数（この場合、１００）で除すことにより、中心座標のＸ軸成分を演算する。同様にして、各検査ステップにおけるプロービング座標のＹ軸成分（座標のＹ軸成分の値とオフセット値のＹ軸成分の値との合計値）を合計して検査ステップ数で除すことにより、中心座標のＹ軸成分を演算する。これにより、同一のモジュールＭに対する１００ステップについての中心座標Ｚ（図３参照）が求められる。この場合、各検査ステップ毎のプロービング座標がモジュールＭA1の全域に散りばめられて規定されているため、これらのプロービング座標から演算した中心座標Ｚは、同図に示すように、モジュールＭA1の中心部またはほぼ中心部の座標と等しくなる。この後、この中心座標Ｚを代表座標（本発明における代表ポイントに相当する）として以下のステップを順に実行する。
【００２０】
次に、制御部５は、決定した代表座標と、ステップ２３で作成した各モジュールＭの範囲情報とに基づいて、その代表座標がいずれのモジュールＭに属するかを判別する。次いで、制御部５は、判別したモジュールＭに対応するエリアＡを、ステップ２４で代表座標を決定した１００ステップ分のすべての検査ステップが属すべきエリアＡとして決定する（ステップ２５）。続いて、図６に示すように、制御部５は、決定したエリアＡに関する情報をプロービングデータＤｐにおけるステップ１〜１００の検査ステップについてのポジションデータとして一括記録する（ステップ２６）。この後、制御部５は、検査ステップ１０１〜２００，２０１〜３００・・１５０１〜１６００についてもステップ２４〜２６を実行する。これにより、図５に示すように、プロービングデータＤｐにおけるすべての検査ステップについてのポジションデータが記録され、オートロケーション処理２０が完了する。
【００２１】
次に、基板検査部２が、制御部５の制御下で、プロービングデータＤｐに基づく基板Ｐについての電気的検査を実行する。この際に、基板検査部２は、基板Ｐ上の所定の一対のプロービング座標にそれぞれ対応する一対の検査ポイントにプローブ２ａ，２ａを接触させ、一方のプローブ２ａから検査信号を出力しつつ他方のプローブ２ａを介して検査信号を入力する。次に、一対の検査ポイント間の例えば抵抗値を測定し、その抵抗値に基づいて、両検査ポイント間の短絡または絶縁を検査し、その検査結果を制御部５に出力する。これに応じて、制御部５は、入力した検査結果をＲＡＭ６に記憶させる。このようにして基板検査部２による各検査ポイントについての電気的検査、および制御部５によるＲＡＭ６への各検査結果の記憶処理を順次実行することにより、基板Ｐ上のすべての検査ポイントについての検査結果がＲＡＭ６に記憶される。
【００２２】
次に、すべての検査ポイントについての電気的検査が完了した後に、制御部５は、その検査結果を表示部４に表示させる。この場合、図４に示すように、制御部５は、基板Ｐを構成する１６枚のモジュールＭA1〜ＭD4のそれぞれに対応する１６区画のエリアＡA1〜ＡD4の各々を検査結果表示単位として検査結果表示用画面１１を表示部４に表示させ、各エリアＡ（モジュールＭ）に属する検査ポイントについての検査結果を例えば白赤の表示色で色分け表示する。具体的には、制御部５は、ＲＡＭ６に記憶されている検査結果に基づいて、各エリアＡに属する検査ポイントのいずれかに不良が発生しているときには、対応するエリアＡを赤色で表示する。また、各エリアＡに属する検査ポイントに不良が発生していないときには、対応するエリアＡを白色で表示する。これにより、例えば、すべての検査ポイントに不良が発生していないモジュールＭA1，ＭB1，ＭD4などについては、検査結果表示用画面１１上の対応するエリアＡA1，ＡB1，ＡD4が白色で表示され、いずれかの検査ポイントに不良が発生しているモジュールＭC1については、対応するエリアＡC1が赤色で表示される。これにより、オペレータは、検査結果表示用画面１１を参照することで、基板Ｐについての不良の有無、および基板Ｐ上で不良が発生しているモジュールＭA1〜ＭD4の位置を正確かつ直感的に特定することができる。
【００２３】
このように、この回路基板検査装置１によれば、同一のモジュールＭについての１００ステップ分の検査ステップについて求めた代表座標に基づいて、各検査ステップが属するエリアＡを特定してポジションデータとして一括して記録することにより、各検査ステップ毎に該当するエリアＡを個別的に特定する従来のポジションデータの生成方法と比較して、オートロケーション処理に要する時間を大幅に短縮することができる。この場合、本発明の実施の形態では、本発明についての理解を容易とするために、１つのモジュールＭ当り１００ステップのプロービングを実行する例を説明したが、実際に基板Ｐを検査する際には、１つのモジュールＭ当り２００００ステップ以上のプロービングを実行する。このため、従来のポジションデータの生成方法と比較した場合、オートロケーション処理に要する時間をほぼ１／２００００に短縮することができる。
【００２４】
また、この回路基板検査装置１によれば、同一のモジュールＭに関する１００ステップについての中心座標Ｚを代表座標として用いることにより、前述したように、この中心座標がモジュールＭの中心部近傍に位置するため、例えば隣接する他のエリアＡに近い座標に基づく該当エリアの判別方法とは異なり、本来属すべきエリアＡを正確に特定することができる。これにより、正確なポジションデータを生成することができると共に、各モジュールＭについての検査結果を、その検査ポイントが属すべきエリアＡに正確に表示することができる。
【００２５】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に限定されず、適宜変更が可能である。例えば、本発明の実施の形態では、本発明における代表座標として中心座標を用いた例を説明したが、本発明における代表座標はこれに限定されず、同一モジュールＭに対する複数の検査ステップから任意に選択した検査ステップのプロビーング座標を代表座標としてもよい。また、本発明の実施の形態では、検査に際して接触型のプローブ２ａを所定の検査ポイントに接触させるためプロービング座標を用いて代表座標を求めた例を説明したが、非接触型のプローブを使用する回路基板検査装置では、検査時に非接触型のプローブを配置すべき検査座標を用いて代表座標を求めることができる。
【００２６】
また、本発明の実施の形態では、本発明における所定情報として各モジュールＭ毎の検査結果を表示させる例を説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、各検査時点における検査ポイントが属するモジュールＭに対応するエリアＡを表示させたり、検査を完了したモジュールＭに対応するエリアＡを表示させることもできる。この場合、表示方法についても本発明の実施の形態に例示した色分け表示に限定されず、例えば不良が存在するエリアＡを特定可能な文字情報を表示させてもよい。さらに、最終製品としてのモジュールＭA1〜ＭD4が連結された基板Ｐ（割り基板）を検査対象とした例を説明したが、１枚の回路基板を複数の基板面領域に分割して、各基板面領域毎の検査結果を表示させる際にも、本発明におけるポジションデータの生成方法を有効に適用することができる。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載のポジションデータの生成方法によれば、同一のエリアに属する各検査ポイントを代表する代表ポイントの位置情報を求め、その代表ポイントの位置情報とエリア位置情報とに基づいて代表ポイントが属するエリアを特定して、そのエリアを代表ポイントに代表される各検査ポイントが属するエリアとしてポジションデータを生成することにより、各検査ポイント毎にその検査ポイントが属するエリアを特定してポジションデータを生成する従来方法と比較して、同一のエリアに属する各検査ポイントについてのポジションデータを一括して生成できるため、短時間でポジションデータを生成することができる。
【００２８】
また、請求項２記載のポジションデータの生成方法によれば、同一のエリアに属する各検査ポイントのそれぞれについての検査ポイント位置情報としての座標データにおけるＸ軸成分の総和およびＹ軸成分の総和を各検査ポイントの数でそれぞれ除することによって求めた中心座標を代表ポイントとして用いることにより、中心座標が各エリアの中心部に位置するため、隣接する他のエリアに属するといった誤った特定を防止できる結果、各検査ポイントが属するエリアを正確に特定してポジションデータを生成することができる。
【００２９】
さらに、請求項３記載のポジションデータの生成方法によれば、生成したポジションデータに基づいて検査結果を表示する際に、不良が存在するエリアおよび正常なエリアを正確に表示させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】回路基板検査装置１によって実行されるオートロケーション処理２０のフローチャートである。
【図２】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置１および従来の回路基板検査装置３１のそれぞれの構成を示すブロック図である。
【図３】回路基板検査装置１，３１の検査対象である基板Ｐの基板面領域におけるモジュールＭA1〜ＭD4の概念を説明する説明図である。
【図４】基板Ｐについての検査結果を一覧表示する検査結果表示用画面１１の表示画面図である。
【図５】基板Ｐについての検査手順を示すプロービングデータＤｐの内容を説明するための説明図である。
【図６】検査ステップ１〜１００にポジションデータを記録した状態のプロービングデータＤｐの内容を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１  回路基板検査装置
２  基板検査部
３  操作部
４  表示部
５  制御部
６  ＲＡＭ
７  ＲＯＭ
１１  検査結果表示用画面
２０  オートロケーション処理
ＡA1〜ＡD4  エリア
Ｄｐ  プロービングデータ
ＭA1〜ＭD4  モジュール
Ｐ  基板
【図１】
0004723124.tif 000002
【図２】
0004723124.tif 000003
【図３】
0004723124.tif 000004
【図４】
0004723124.tif 000005
【図５】
0004723124.tif 000006
【図６】
0004723124.tif 000007