(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域内に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ装置において、
前記貼り合わされた２つの基板面を部分的に押圧する押圧装置、
該押圧装置の作動を制御して、前記基板面のうち前記液晶が多く溜まっている液溜まり部を他の部分より余計に押圧する制御装置と、を備えたことを特徴とする基板貼り合せ装置。
【請求項２】
２つの基板のうちの一方の基板を保持する上ステージと他方の基板を保持する下ステージを有し、
少なくともいずれか一方のステージに前記押圧装置を設けた請求項１に記載の基板貼り合せ装置。
【請求項３】
前記シール剤によって囲まれる領域の中央部に対応するように前記押圧装置を設け、該中央部をその周囲よりも余計に押圧することを特徴とする請求項１又は２に記載の基板貼り合せ装置。
【請求項４】
前記押圧装置は、前記中央部に加え、その周囲の四隅部を押圧可能とする請求項３に記載の基板貼り合せ装置。
【請求項５】
前記押圧装置を複数有する請求項１又は２に記載の基板貼り合せ装置。
【請求項６】
前記液溜まり部を検出する検出装置と、
該検出された液溜まり部を他の部分より余計に押圧するように前記押圧装置の作動を制御する制御装置と、を備える請求項１又は２又は５に記載の基板貼り合せ装置。
【請求項７】
２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ方法において、
前記貼り合わされた２つの基板面のうち前記液晶が多く溜まっている液溜まり部を他の部分より余計に押圧することを特徴とする基板貼り合せ方法。
【請求項８】
前記シール剤によって囲まれた領域の中央部をその周囲よりも余計に押圧する請求項７に記載の基板貼り合せ方法。
【請求項９】
前記中央部に加え、その周囲の四隅部を余計に押圧する請求項７に記載の基板貼り合せ方法。
【請求項１０】
前記液溜まり部を検出し、該検出された液溜まり部を他の部分より余計に押圧する請求項７に記載の基板貼り合せ方法。
【請求項１１】
２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域内に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ装置において、
上記一方の基板を保持する下ステージと、
該下ステージに対向して配置され他方の基板を保持する上ステージと、
該上ステージと下ステージとを上下方向において相対的に移動させる移動装置と、
上記いずれか一方の基板における前記シール剤によって囲まれる領域内の少なくとも中央部に対向するように該上ステージと下ステージとの少なくともいずれか一方に配置され、該２つの基板を部分的に押圧する押圧装置と、
を備えたことを特徴とする基板貼り合せ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板貼り合せ装置及び基板貼り合せ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、上下２枚の基板のうち、下基板にシール剤を描画や印刷で塗布し、シール剤を塗布した下基板に液晶を滴下し、次に、上下の基板を貼り合せる基板貼り合せ装置が開示されている。
【０００３】
基板貼り合せ装置は、真空槽内に上下一対の定盤を持つプレス装置で、定盤の少なくとも一方が変位可能に設けられ、上方の定盤には静電チャックが設けられている。
【０００４】
そして、液晶を滴下した下基板を下方の定盤に載せ、上基板を上方の定盤に吸着させる。そして、真空槽内を所定の圧力にした後、基板の位置整合をし、次に、上下の定盤を機械的に加圧して、上下の基板を貼り合せ、真空槽内を大気圧に戻す。その後、シール剤を硬化させ、２枚の基板の間に液晶を封入した液晶表示パネルを製造している。
【特許文献１】特開2000-66163
【０００５】
このように、上下の定盤を機械的に加圧することにより、上下の基板の間の液晶が均一に広がるようにしているが、液晶が均一に広がらずに、基板面の中央部に液晶が溜まって、中央部にその周囲よりも厚みが大きい液溜まりが発生することがある。また、基板面の中央部以外にも他の部分よりも厚みが大きい液溜まりが発生することがある。
【０００６】
このような液溜まりの原因としては、主に、（Ａ）液晶の粘度に起因する場合（広がりむら）と、（Ｂ）基板を保持する定盤に起因する場合（ギャップむら）がある。
【０００７】
（Ａ）については、貼り合せを行なうときの真空槽内の雰囲気温度が理想的な温度よりも低く、液晶の粘度が高くなってしまう場合や、粘度が比較的高い品種の液晶を使用した場合に生じる。液晶の滴下パターンは、通常、シール剤で囲まれた領域と相似形（矩形）に設定されるので、液溜まりが液晶の粘度に起因する場合には、液溜まりは基板面の中央部付近に生じる。
【０００８】
（Ｂ）については、基板を保持する上下の定盤の平坦度のばらつきが原因となるもので、上方の定盤を下方の定盤に向けて下降させて上基板を下基板に押し付けたときに、基板全体が均一に加圧されずに加圧が強い部分と弱い部分が生じ、加圧が弱い部分に液晶が溜まってしまう。
【０００９】
この液溜まりは、真空槽内を大気圧に戻した後の基板内外の圧力差による加圧力により解消されることもあるが、定盤間のばらつきの大きさによっては残ってしまうことがある。
【００１０】
このような液溜まりは、定盤に起因するものなので、基板の同じ部分に毎回生じる。
このような液溜まりが２枚の基板間に発生すると、液晶表示パネルの表示品質を低下させる原因となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
液晶を滴下した一方の基板と他方の基板を押圧して貼り合せる際に、２つの基板間に広がりむらやギャップむら等の液溜まりが発生することを防止し、２つの基板を品質良く貼り合せることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域内に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ装置において、前記貼り合わされた２つの基板面を部分的に押圧する押圧装置、該押圧装置の作動を制御して、前記基板面のうち前記液晶が多く溜まっている液溜まり部を他の部分より余計に押圧する制御装置と、を備えたものである。
【００１３】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、２つの基板のうちの一方の基板を保持する上ステージと他方の基板を保持する下ステージを有し、少なくともいずれか一方のステージに前記押圧装置を設けたものである。
【００１４】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記シール剤によって囲まれる領域の中央部に対応するように前記押圧装置を設け、該中央部をその周囲よりも余計に押圧するものである。
【００１５】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記押圧装置は、前記中央部に加え、その周囲の四隅部を押圧可能とするものである。
【００１６】
請求項５の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記押圧装置を複数有するものである。
【００１７】
請求項６の発明は、請求項１又は２又は５の発明において更に、前記液溜まり部を検出する検出装置と、該検出された液溜まり部を他の部分より余計に押圧するように押圧装置の作動を制御する制御装置とを備えるものである。
【００１８】
請求項７の発明は、２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ方法において、前記貼り合わされた２つの基板面のうち前記液晶が多く溜まっている液溜まり部を他の部分より余計に押圧するものである。
【００１９】
請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、前記シール剤によって囲まれた領域の中央部をその周囲よりも余計に押圧するものである。
【００２０】
請求項９の発明は、請求項７の発明において更に、前記中央部に加え、その周囲の四隅部を余計に押圧するものである。
【００２１】
請求項１０の発明は、請求項７の発明において更に、前記液溜まり部を検出し、該検出された液溜まり部を他の部分より余計に押圧するものである。
【００２２】
請求項１１の発明は、２つの基板のうちいずれか一方の基板にシール剤を枠状に塗布し、いずれか一方の基板におけるシール剤によって囲まれる領域内に液晶を滴下し、２つの基板をシール剤と液晶を介して押圧して貼り合せる基板貼り合せ装置において、上記一方の基板を保持する下ステージと、該下ステージに対向して配置され他方の基板を保持する上ステージと、該上ステージと下ステージとを上下方向において相対的に移動させる移動装置と、上記いずれか一方の基板における前記シール剤によって囲まれる領域内の少なくとも中央部に対向するように該上ステージと下ステージとの少なくともいずれか一方に配置され、該２つの基板を部分的に押圧する押圧装置と、を備えたものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、２つの基板間における液溜まり部を部分的に押圧することができるので、液溜まりが解消して２つの基板の間に液晶が均一に広がる。これにより、２つの基板を品質良く貼り合せることができる。特に、液晶表示パネルの製造に用いた場合には、液晶表示パネルの表示品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
図１は基板貼り合せ装置の概略の側断面図、図２は図１のII−II線に沿う下ステージの下面を示す模式図、図３は図１の基板貼り合せ装置の加圧時の概略の側断面図、図４は検出装置を示す構成図、図５は基板受け機構を示す斜視図、図６は撮像画像を示す模式図、図７は第２の押圧装置の各変形例（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を示す模式図、図８は第２の押圧装置の他の変形例を示し、（Ａ）は底面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う側面図である。
【実施例】
【００２５】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施例を説明する。
（実施例１）
２つの基板１、２は矩形をしたガラス基板からなり、概略以下の工程を経て貼り合わされる。
【００２６】
工程（１）にて、２つの基板１、２のうち下基板２の周縁部に、枠状にシール剤３を塗布した後、工程（２）にて、下基板２のシール剤３の内側の領域に所定のパターンで液状物質としての液晶Ｌを滴下する。尚、シール剤３を上基板１に塗布して、シール剤３の内側の領域に対向する下基板２の領域に液晶を滴下しても良い。次に、工程（３）にて、下基板２の上に上基板１を、図１、図２に示すような真空チャンバ６内で貼り合せる。このとき、真空チャンバ６は減圧雰囲気とされ、この雰囲気下で、上基板１と下基板２とが位置合せされ、上基板１が下基板２に向けて機械的に押圧される。工程（４）にて、真空チャンバ６内を大気圧に戻して２つの基板１、２の内外の圧力差（２つの基板１、２とシール剤３とによって囲まれる空間内の圧力と真空チャンバ６内の圧力との差）を利用して２つの基板１、２を押圧して、上基板１と下基板２の間隔が所定の値になるように貼り合せる。その後、工程（５）にて、シール剤３に紫外線を照射して硬化させて、２つの基板１、２とシール剤３の内側に液晶Ｌを封入した液晶表示パネル４を製造する。
【００２７】
図１に示す基板貼り合せ装置１０は、上記の工程（３）、（４）の上下の基板１、２を貼り合せるために使用されるものである。基板貼り合せ装置１０は箱形の真空チャンバ６を有する。真空チャンバ６の底部には、下ステージ１２が、図１中、左右のＸ軸方向と前後のＹ軸方向に移動可能で、更に、Ｚ軸まわりに回転可能に設けられる。また、真空チャンバ６は、不図示の横扉を有し、この横扉を開けることで、上基板１と下基板２とを真空チャンバ６内に搬入し、貼り合わされた上下の基板１、２（以下「貼り合せ基板１、２」）を真空チャンバ６内から搬出することができるようになっている。
【００２８】
基板貼り合せ装置１０は、第１の押圧装置１３を備える。第１の押圧装置１３は、真空チャンバ６の上壁部６Ａに穿設された４つの孔６Ｂを貫通する４つの支持柱７と、４つの支持柱７の下端部に固定された上ステージ１１と、移動装置としての図示しないエアシリンダ等の駆動手段を有する。４つの支持柱７と真空チャンバ６の上壁部６Ａの間は、真空チャンバ６の上壁部６Ａに固定した環状ケース６Ｃの内周のＯリングにて密封される。
尚、上ステージ１１を４つの支持柱７で支持する例で説明したが、支持柱７の数や形状、大きさはこれに限られるものではなく、種々選択することが可能である。
【００２９】
上下のステージ１１、１２はそれぞれ矩形をなし、図示しない真空吸着機構や静電チャックからなる吸着機構を備え、下ステージ１２の上面に下基板２を保持し、上ステージ１１の下面に上基板１を保持する。
【００３０】
基板貼り合せ装置１０は、更に第２の押圧装置１４を備える。この第２の押圧装置１４は、上基板１の上面を下基板２に向けて部分的に押圧する押圧装置として機能する。即ち、第１の押圧装置１３の上ステージ１１に、図２に示す如く、縦横に３行３列からなる合計９個の第２の押圧装置１４がマトリクス状に配置される。中央の行は上ステージ１１のＸ軸方向に沿う中心線上に位置し、中央の列は上ステージ１１のＹ軸方向に沿う中心線上に位置する。
【００３１】
第２の押圧装置１４は、上ステージ１１の上面に固定されたシリンダ１４Ａとシリンダ１４Ａ内を上下に伸長又は縮小するロッド１４Ｂと、ロッド１４Ｂの先端部に固定された円形状の押圧プレート１４Ｃと図示しない駆動手段からなる。上ステージ１１の下面には、天井部を有するシリンダ孔１１Ａが形成され、シリンダ孔１１Ａの天井部に小径の孔１１Ｂが形成される。シリンダ孔１１Ａ内に押圧プレート１４Ｃが嵌合し、小径の孔１１Ｂ内にロッド１４Ｂが挿通する。シリンダ孔１１Ａの深さと押圧プレート１４Ｃの厚みは同一に形成され、押圧プレート１４Ｃの底面と上ステージ１１の下面は面一である。シリンダ孔１１Ａの天井部は、押圧プレート１４Ｃの下面に下方から押圧力が作用したときのストッパ部を形成している。複数の第２の押圧装置１４は基板貼り合せ装置１０の上下のステージ１１、１２に保持された上下の各基板１、２の基板面を設定された押圧力で部分的に押圧する。
【００３２】
尚、第２の押圧装置１４の形態は特に限定されない。例えば、シリンダ１４Ａは、エアシリンダや油圧シリンダ等の流体圧で作動するシリンダを用いることができる。また、シリンダ１４Ａに代えて、駆動手段としてサーボモータを備え、サーボモータを回転させることによりロッド１４Ｂが上下に移動するものを用いることができる。また、第２の押圧装置１４は下ステージ１２に設けても良い。
【００３３】
真空チャンバ６には、真空ポンプ８に接続されるバルブ８ａと大気に連通するバルブ９とがそれぞれ接続される。そこで、バルブ９を閉じ、バルブ８ａを開いて真空チャンバ６を真空ポンブ８に連通させることで、真空チャンバ６内を真空引きすることができる。また、バルブ８ａを閉じ、バルブ９を開いて真空チャンバ６を大気に連通することで、真空引きされた真空チャンバ６内を大気圧に戻すことができる。尚、バルブ9は、大気に連通させる代わりに、窒素ガス等のガス供給手段に連通させても良い。
【００３４】
また、２つの基板１、２の間に封入された液晶の広がり状態を検出するために、基板貼り合せ装置１０は検出装置２０を備える（図４、図５）。
検出装置２０は基板貼り合せ装置１０とは別体のものからなり、前後一対のガイドレール２１、２２と、ガイドレール２１、２２上をこのガイドレール２１、２２に沿って移動する基板受け機構２３と、ガイドレール２１、２２の上方に水平状態に固定された第１の偏光板２４とを有する。
【００３５】
基板受け機構２３は、箱状体２３Ａと箱状体２３Ａの上部開口面を覆う透明で厚いガラス板２３Ｂとで構成され、ガラス板２３Ｂの上面に貼り合せ基板１、２を載せる。ガラス板２３Ｂの下側に近接してガラス板２３Ｂと平行に第２の偏光板２５が収納され、第２の偏光板２５の背後に光源２６が設けられる。
【００３６】
第１の偏光板２４と第２の偏光板２５は、いずれも光を直線偏向に変えるものであり、偏向軸に沿う方向に振動する光だけを通過させるものである。
【００３７】
また、第１の偏光板２４は、図示しない回転駆動機構によって該第１の偏光板２４の偏光軸と第２の偏光板２５の偏光軸とが平行する状態から直交する状態までの少なくとも90°の範囲で水平回転可能に設けられ、第２の偏光板２５の偏光軸に対して第１の偏光板２４の偏光軸の回転角度を調整可能としている。そして、図示しない回転駆動機構によって第１の偏光板２４の偏光軸と第２の偏光板２５の偏光軸との間の回転角度を調整することで、貼り合せ基板１、２の間に、後述する図６の撮像画像３２に示すように、液晶が多く溜まって他の部分Ｌ１より厚みが大きい液溜まり部Ｌ２とそうでない他の部分Ｌ１との間の濃淡の差が、より顕著に現れるように調整することが可能である。尚、本実施例では、第１の偏光板２４の偏光軸と第２の偏光板２５の偏光軸とを平行に調整した例で説明する。
【００３８】
貼り合せ基板１、２を載せた基板受け機構２３は、ガイドレール２１、２２上をＸ方向に搬送され、貼り合せ基板１、２が第１の偏光板２４に対向した位置で、第２の偏光板２５及びガラス板２３Ｂを介した光源２６からの光に照射される。尚、光源２６は、貼り合せ基板１、２におけるシール剤３の内側の表示領域内をほぼ均一な明るさで照射する面光源から構成されるのが望ましい。
【００３９】
第１の偏光板２４の上方には、ＣＣＤカメラ等の撮像機器 (撮像手段) ２７が配置され、撮像機器２７は、光源２６からの光に照射された貼り合せ基板１、２のシール剤３で囲まれた内側の表示領域を、第１の偏光板２４を介して撮像し、図６に示すように、その撮像画像３２（映像）信号を制御装置３１に供給する。
【００４０】
撮像機器２７の撮像画像３２を見ると、液晶が多く溜まっていない他の部分Ｌ１は、例えば、やや青みがかった灰色の背景を示しているが、液晶が多く溜まっている液溜まり部Ｌ２は背景よりも暗く（黒く）写し出され、液晶の多く溜まっている部分Ｌ２とそうでない他の部分Ｌ１との明度の差からなる明度情報が得られる。
【００４１】
このような明度の差は貼り合せ基板１、２を通過する際における光の振動方向の捩れ具合や光の屈折の度合いの違いによって生ずると考えられる。即ち、液晶が多く溜まっていない他の部分Ｌ１では、第２の偏光板２５で偏光された光は、液晶に入射するときに捩れや屈折を生じ、撮像機器２７の撮像画像３２上で灰色に映る。一方、液溜まり部Ｌ２のように、液晶の厚みが大きい部分では、液晶が多く溜まっていない他の部分Ｌ１とは光の捩れや屈折の度合いが異なる。本実施例では、これによって液溜まり部Ｌ２が、他の部分Ｌ１に比べて、黒く映った例である。尚、撮像画像３２上における液晶が多く溜まっていない他の部分Ｌ１は、灰色に限らず、茶色や黄色等の白と黒の間に位置する明度に映し出されることもある。
【００４２】
撮像画像３２の明度情報は制御装置３１に供給される。また、制御装置３１は、撮像画像３２から明度情報だけでなく、液溜まり部Ｌ２の位置情報も取得する。この位置情報は、撮像画像３２中において明度が予め設定された閾値よりも低い部分が何処にあるかを探すことで取得することができる。
【００４３】
尚、検出装置２０としては、以上述べたものに限らない。液溜まり部Ｌ２は、液晶の厚みが他の部分Ｌ１より厚いので、２つの基板間１、２の間隔も他の部分Ｌ１よりも厚くなっている。そこで、貼り合せ基板１、２を定盤上に吸着固定した状態で、ダイヤルゲージ等の接触式測定器を用いて、この貼り合せ基板１、２上の複数箇所において、その厚みを測定することが可能である。例えば、測定器を貼り合せ基板１、２の上方に設定された待機位置から測定器の接触子が定盤上面に当接可能な位置に定められた測定位置まで下降させ、この測定位置での測定器の測定値を読み取るという動作を、貼り合せ基板１、２上に設定された複数箇所において行なう。そして、各測定値を、測定位置において接触子を定盤上面に接触させたときの測定値(以下「基準測定値」)と比較する。そして、各測定値と基準測定値との差を求めることで、貼り合せ基板１、２における各箇所での厚みを求める。
【００４４】
厚みを求めたならば、厚みが許容値以上であるか否かを判定し、許容値以上であった箇所を液溜まり部Ｌ２として検出する。
【００４５】
上述の構成からなる基板貼り合せ装置１０による貼り合せ工程は下記（Ａ）〜（Ｆ）の如く行なわれる。
【００４６】
まず、工程（Ａ）で、図１に示すように、真空チャンバ６の横扉を開けて、シール剤３が枠状に塗布されてそのシール剤３で囲まれた領域内に液晶が滴下された下基板２を下ステージ１２上に供給し、下ステージ１２上に図示しない吸着機構で下基板２を保持する。また、上基板１を上ステージ１１の下面に供給し、図示しない吸着機構で上ステージ１１に保持する。次いで、横扉を閉じて、バルブ９を閉じた状態でバルブ８ａを開き、真空ポンプ８で真空チャンバ６内を真空引きする。
【００４７】
工程（Ｂ）で、図示しない認識用カメラを用いて、上下の基板１、２に付された位置合せマークを検出し、その位置情報に基づいて下基板２を水平面内で移動させ、上下基板２の位置合せを行う。次に、図３に示すように、第１の押圧装置１３を作動させて上ステージ１１を下降させる。第１の押圧装置１３は機械的に上基板１を押圧（第１の予備加圧）する。この第１の予備加圧では、上下の基板面の中央部及びその周囲の四隅部を含む基板面の全体が均一に加圧されるように押圧される。しかしながら、従来の技術で述べたように、上下のステージ１１、１２は、平坦度のばらつきを有することがあるので、基板面の全体が均一に加圧されずに、貼り合せ基板１、２に液溜まり部Ｌ２が生じることがある。そこで、この実施例では、以下のようにして、この液溜まり部Ｌ２の解消を図る。
【００４８】
工程（Ｃ）で、上ステージ１１による上基板１の保持を解除し、上ステージ１１を上昇させる。そして、バルブ８ａを閉じ、バルブ９を開放して真空チャンバ６内を大気圧に戻し、２つの基板１、２の内外の圧力差で２つの基板１、２を更に押圧（本加圧）して、２つの基板１、２の間のギャップを所定の間隔にする。このようにして２つの基板１、２が貼り合わされて、２つの基板１、２とシール剤３とで囲まれる空間内に液晶が封入される。
【００４９】
工程（Ｄ）で、２つの基板１、２の間に封入された液晶の広がり状態を検出するために、貼り合せ基板１、２は検出装置２０に搬送される。
【００５０】
工程（Ｅ）で、検出装置２０の撮像機器２７が、図４に示すように、光源２６からの光に照射された貼り合せ基板１、２のシール剤３の内側の表示領域を、第１の偏光板２４を介して撮像し、その撮像画像３２（映像）信号を制御装置３１に供給する。制御装置３１は、検出装置２０の撮像画像３２から液溜まり部Ｌ２の明度情報と位置情報を取得する。
【００５１】
工程（Ｆ）で、後続して生産される次の基板１、２が基板貼り合せ装置１０に供給され、図３に示すように、第１の押圧装置１３が基板１、２を押圧する。引き続き、制御装置３１は、前の基板の貼り合せ時に取得した液溜まり部Ｌ２の位置情報に基づいて、基板１、２の液溜まり部Ｌ２に対向する第２の押圧装置１４或いはそこに一番近い第２の押圧装置１４を作動させる。このとき、一度に２つ以上の第２の押圧装置１４を作動させても良い。
【００５２】
即ち、液溜まりが液晶の粘度に起因する場合や上下のステージ１１、１２の平坦度に起因する場合には、液晶Ｌは、毎回、基板１、２間においてほぼ同じ位置に溜まる場合が多いので、後続の基板１、２の貼り合せ時に、検出装置２０の結果を適用することができる。
【００５３】
また、制御装置３１は、明度情報から、液溜まり部Ｌ２が検出されなかった場合には、液晶Ｌは基板１、２の間でほぼ均一に拡がっていると判定し、次の基板１、２を貼り合せるときに、第２の押圧装置１４を作動させないように制御する。
【００５４】
図３に示すように、第１の押圧装置１３が作動して上下の基板１、２を押圧している状態で、更に第２の押圧装置１４が作動して、上ステージ１１のシリンダ孔１１Ａから押圧プレート１４Ｃを押し出して基板１の表面における液溜まり部Ｌ２に対応する部分を加圧する。その結果、第１の押圧装置１３の押圧力に加え、第２の押圧装置１４の押圧力が加算されて、上下の基板１、２の間の液溜まり部Ｌ２が他の部分Ｌ１より余計に押圧され（第２の予備加圧）、２つの基板１、２の間の液溜まり部Ｌ２が周囲に拡散して液晶が均一に広がる。
【００５５】
尚、検出装置２０で液溜まり部Ｌ２が検出された貼り合せ基板１、２は、次工程に搬送されてシール剤３が硬化される。しかしながら、次工程に搬送する前に、再び基板貼り合せ装置１０の下ステージ１２に戻して、液溜まり部Ｌ２を第２の押圧装置１４で押圧するようにしても良い。この場合には大気圧による本加圧を経た後の再加圧となり、押圧も大気圧下で行なわれる。
【００５６】
また、液溜まり部Ｌ２の明度に応じて第２の押圧装置１４による押圧力の大きさを変えるようにしても良い。液晶の厚みが厚くなるに従って、撮像画像３２における明度が低下する。そこで、明度とそのときの液溜まりを解消するに必要な押圧力（第２の押圧装置１４による押圧力）との関係を実験により予め求めておく。そして、検出装置２０にて取得した液溜まり部Ｌ２の明度から、制御装置３１が上記の関係に基づいて適正な押圧力を選択して第２の押圧装置１４の作動を制御する。
【００５７】
以上の如くして、液晶表示パネル４が製造される。
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)２つの基板１、２を押圧して貼り合せた後、貼り合わされた基板面１、２間において液晶が多く溜まっている厚みの厚い液溜まり部Ｌ２に対応する部分を他の部分Ｌ１より部分的に余計に押圧するので、液溜まりが解消して２つの基板１、２の間に液晶が均一に広がる。従って、液晶表示パネルの表示品質を向上させることができる。
【００５８】
(b)基板貼り合せ装置１０の上ステージ１１と下ステージ１２のうちの一方のステージに第２の押圧装置１４を設けたので、第１の押圧装置１３で上下の基板１、２を押圧して貼り合せた後、更に第２の押圧装置１４で貼り合わされた基板１、２における液溜まり部Ｌ２に対応する部分を押圧することができる。
【００５９】
第２の押圧装置１４をステージ１１又は１２に設けることにより、第２の押圧装置１３を基板貼り合せ装置１０と別体に設けた場合に比べ、基板１、２の間の液溜まりを解消するための作業を同じ装置内で行なうことができ、作業効率を向上させることができる。
【００６０】
(c) 基板貼り合せ装置１０は、第２の押圧装置１４を複数有するので、ステージ１１、１２と基板１、２の相対位置を変えることなく、液溜まり部Ｌ２に対向する第２の押圧装置１４、或いはそこに一番近い箇所の第２の押圧装置１４を作動させて、液溜まり部Ｌ２を解消させることができる。その結果、液溜まり部Ｌ２の解消のための作業を効率良く行なうことができる。
【００６１】
(d)基板貼り合せ装置１０は、液溜まり部Ｌ２を検出する検出装置２０と、検出された液溜まり部Ｌ２を他の部分Ｌ１より余計に押圧するように第２の押圧装置１４の作動を制御する制御装置３１を備える。
【００６２】
即ち、液溜まりが液晶の粘度に起因する場合やステージ１１、１２の平坦度に起因する場合には、毎回液晶は基板１、２のほぼ同じ位置に溜まる場合が多いので、検出装置２０の検出結果を制御装置３１で取得して、作動させるべき第２の押圧装置１４の選択や、第２の押圧装置１４の押し出し量等を調整して、後続して生産される次の基板１、２の貼り合せを最適な液晶の広がり状態とすることができる。
【００６３】
(e)第１の押圧装置１３が基板１、２を押圧した後、引き続いて第２の押圧装置１４が基板１、２の液溜まり部Ｌ２に対応する部分を押圧するようにした。そのため、基板１、２が第２の押圧装置１４により部分的に押圧されるときには、第１の押圧装置１３による全体的な押圧により、液晶Ｌが基板１、２間である程度押し潰されて広げられている。従って、液溜まり部Ｌ２の解消のために、第２の押圧装置１４が基板１、２を押圧する時間を、第１の押圧装置１３と第２の押圧装置１４とが同時に基板１、２を押圧するようにした場含に比べて、短くすることができる。よって、第２の押圧装置１４による押圧を効率良く行なうことができる。
【００６４】
また、上記により、基板１、２が第２の押圧装置１４によって部分的に押圧される時間を短くできるので、特に、上基板１が部分的な押圧に対して脆弱な場合であっても、上基板１が第２の押圧装置１４の押圧によって損傷することを極力防止することができる。従って、品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
【００６５】
（実施例２）
実施例２は、図７に示すように、第２の押圧装置１４を上ステージ１１の中央部に１つ設けたものである。
【００６６】
また、液晶Ｌは、シール剤３で囲まれた矩形領域内に、矩形領域と相似形のパターンで矩形領域の中央部付近にまとめて滴下されている。
【００６７】
そして、図７（Ａ）〜（Ｃ）は、いずれも単一の押圧プレート１４Ｃを上ステージ１１の中央部に設けた例である。図７（Ａ）は、押圧プレート１４Ｃを、液晶Lの滴下パターンにおける長手方向の長さとほぼ同じ直径を有する円形状に形成したものである。また、図７（Ｂ）は、押圧プレート１４Ｃを、液晶Lの滴下パターンと相似形の矩形状で、滴下パターンの外形とほぼ同じ大きさに形成したものである。更に、図７（Ｃ）は、図７（Ｂ）に示した押圧プレート１４Ｃの四隅部に突起部１４Ｄを設けたものである。
【００６８】
図７に示すような、液晶Lの滴下パターンの場合、液晶は、貼り合わされた基板１、２間において前記矩形領域の中央部に多く溜まる傾向がある。そのため、上述のような押圧プレート１４Ｃを用いた場含、貼り合わされた基板１、２における矩形領域の中央部に対応する部分を他の部分より余計に押圧することができるので、中央部に溜まった液晶Ｌがその周囲に拡散されて、基板１、２間に液晶Ｌを均一に広げることができる。従って、上記実施例１の作用効果(a)、(b)、(d)を得ることができる。
【００６９】
また、図７（Ｃ）に示した押圧プレート１４Ｃにおいては、更に、以下の作用効果を奏する。
【００７０】
(f)液晶をシール剤３で囲まれた矩形領域と相似形の滴下パターンで滴下した場合、２つの基板１、２の間で押し広げられた液晶は、楕円形（図７（Ｃ）に２点鎖線Ｄで示す）に近い形状で広がる傾向にある。このような場合、液晶がシール剤３で囲まれた領域の四隅部まで均一に広がり難くなる。
【００７１】
そこで、液晶Ｌが第１の押圧装置３１による押圧によって２点鎖線Ｄで示す状態に広がるタイミングに合せて、第２の押圧装置１４の押圧プレート１４Ｃで基板１、２を部分的に押圧する。このようにすると、貼り合わされた基板１、２におけるシール剤３で囲まれた領域の中央部とその周囲の四隅部に対応する部分が他の部分よりも余計に押圧されるので、楕円形に広がった液晶Ｌの四隅部に対応する部分がその押圧により四隅部に向かって広がる。そのため、図７（Ｃ）に２点鎖線Ｅで示すように、液晶Ｌを四隅部まで均一に広げることができる。従って、製造される液晶表示パネルの表示晶質を向上させることができる。
【００７２】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、１枚の基板に１つの表示領域を有する基板を貼り合せるものに限らず、１枚の基板に複数の表示領域を有する多面取りの基板を貼り合せるものにも適用できる。
【００７３】
また、上記実施例にあっては、第２の押圧装置１４の押圧力を制御する例で説明したが、押圧プレート１４Ｃによる押圧時間や押圧プレート１４Ｃの押し込み量を制御するようにしても良い。
【００７４】
また、上記実施例にあっては、第２の押圧装置１４の押圧プレート１４Ｃが円形状の例で説明したが、これに限らず、他の形状、例えば、矩形状であっても良い。
【００７５】
また、上記実施例にあっては、第２の押圧装置１４の押圧プレート１４Ｃを、実施例１では上ステージ１１に３行３列で配置した例で、また、実施例２では上ステージ１１の中央に１つ配置した例で説明したが、これに限らず、図８に示すように、上ステージ１１に桝目状に敷き詰めるように配置しても良い。
【００７６】
図８（Ａ）は、上ステージ１１の底面図、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。なお、図８（Ｂ）では、説明の便宜上、下ステージ１２及び上下の基板１、２を図に示している。
【００７７】
図８（Ａ）の例では、押圧プレート１４Ｃを、上ステージ１１に縦横に４行５列の桝目状に敷き詰めるように配置する。それぞれの押圧プレート１４Ｃには、第１の実施例と同様に、シリンダ１４Ａのロッド１４Ｂを連結し、それぞれ独立して押圧力を作用させることができるようになっている。また、各押圧プレート１４Ｃは、それぞれ静電チャック等の吸着機構を備える。
【００７８】
このような第２の押圧装置１４を用いて基板１、２の貼り合せを行なう場合、実施例１における工程（Ｆ）が以下のようになる。
【００７９】
即ち、図８（Ｂ）に示すように、上下の基板１、２を近接させた状態において上下の基板１、２の位置合せが完了したならば、全てのシリンダ１４Ａを作動させて上基板１を下基板２に向けて同時に下降させる。このとき、全てのシリンダ１４Ａによる押圧力は、同じ押圧力となるように設定する。全てのシリンダ１４Ａを作動させてから設定時間経過した時点で、図５に示す検出装置２０等からの液溜まり部Ｌ２の位置情報に基づいて、液溜まり部２に対向する位置に配置されている第２の押圧装置１４のシリンダ１４Ａを制御して、押圧プレート１４Ｃに付与する押圧力を予め設定された量だけ高める。これにより、基板１、２間における液溜まり部Ｌ２は、他の部分Ｌ１よりも余計に押圧されて、溜まっていた液晶Ｌが周囲に広げられる。
【００８０】
このようにすることによっても、実施例１と同様の効果を得ることができる。
尚、この例において、上基板１を下基板２に向けて下降させる際、全てのシリンダ１４Ａを作動させるのに代えて、上ステージ１１を下降させるようにしても良い。
【００８１】
また、上記実施例１、２において、第２の押圧装置１４を上ステージ１１に設けた例で説明したが、基板貼り合せ装置１０とは別体に設けた装置、例えば、検出装置２０に設けても良い。
【００８２】
また、上記実施例にあっては、第１の押圧装置１３で上下の基板１、２を押圧した後、第２の押圧装置１４で基板における液溜まり部Ｌ２に対応する部分を部分的に押圧する例で説明したが、第１の押圧装置１３による押圧と同時に第２の押圧装置１４による押圧を行なっても良く、或いは、第１の押圧装置１３による押圧を行なうことなく第２の押圧装置１４による押圧のみを行なうようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】図１は基板貼り合せ装置の概略の側断面図である。
【図２】図２は図１のII−II線に沿う下ステージの下面を示す模式図である。
【図３】図３は図１の基板貼り合せ装置の加圧時の概略の側断面図である。
【図４】図４は検出装置を示す構成図である。
【図５】図５は基板受け機構を示す斜視図である。
【図６】図６は撮像画像を示す模式図である。
【図７】図７は第２の押圧装置の各変形例（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）を示す模式図である。
【図８】図８は第２の押圧装置の他の変形例を示し、（Ａ）は底面図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿う側断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  上基板
２  下基板
３  シール剤
１０  基板貼り合せ装置
１１  上ステージ
１２  下ステージ
１３  第１の押圧装置
１４  第２の押圧装置
２０  検出装置
２６  光源
２７  撮像手段
３１  制御装置
Ｌ  液晶
Ｌ２  液溜まり部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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