(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ状のワークを鉛直方向に設けた処理部上に搬送して処理するための搬送機構であって、
前記ワークを送り出す供給リールを回転させる供給リール回転部と、
この供給リール回転部が回転して前記供給リールから送り出された前記ワークをガイドする供給側第１ガイドローラおよび供給側第２ガイドローラと、
この供給側第１ガイドローラおよび供給側第２ガイドローラ間の前記ワークにテンションを与える供給側弛緩吸収手段と、
前記供給側第２ガイドローラからの前記ワークを前記処理部に沿って搬送させ当該処理部の上方および下方に配置される第１搬送ローラおよび第２搬送ローラと、
この第２搬送ローラからの前記ワークをガイドする巻取側第１ガイドローラおよび巻取側第２ガイドローラと、
この巻取側第１ガイドローラおよび巻取側第２ガイドローラ間の前記ワークにテンションを与える巻取側弛緩吸収手段と、
前記巻取側第２ガイドローラからの前記ワークを巻き取る巻取リールを回転させる巻取リール回転部と、を備え、
前記供給リール回転部は、前記供給側第１ガイドローラより高い位置に配置され、
前記供給側第２ガイドローラは、前記供給側第１ガイドローラと同等又は低い位置に配置されると共に、前記第１搬送ローラより高い位置に配置され、
前記巻取リール回転部は、前記巻取側第２ガイドローラより高い位置に配置され、
前記巻取側第２ガイドローラは、前記巻取側第１ガイドローラと同等又は高い位置に配置されると共に、前記巻取リール回転部より低い位置に配置されることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記処理部上の前記ワークの位置ずれ量に応じて、前記供給側第２ガイドローラおよび前記巻取側第１ガイドローラは、前記供給側第２ガイドローラおよび前記巻取側第１ガイドローラの軸方向に前記ワークを移動させるワーク位置調整手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラは、ローラ本体が合成樹脂で成形されていることを特徴する請求項１又は請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記供給リールと前記供給側第１ガイドローラとの間に、前記処理部によって処理中のワークの最後尾と、次の新しいワークの最先端部とを接続するためのワーク接続手段を設置および除去自在に備えることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記搬送装置によって１コマずつ搬送されるワークに、マスクのパターンを露光するための露光ステージであることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値以下である場合に、前記露光ステージ上に静止する前記ワークの１コマと前記マスクとの位置ずれ量を、前記マスクが移動してほぼゼロにし、
前記処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値より大きい場合に、前記露光ステージ上に静止する前記ワークの１コマの次のコマが前記露光ステージ上の所定位置に移動するように、前記供給側第２ガイドローラおよび前記巻取側第１ガイドローラが軸方向に移動することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値以下である場合に、前記露光ステージ上に静止する前記ワークの１コマと前記マスクとの位置ずれ量を、前記マスクが移動してほぼゼロにし、
前記処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値より大きい場合に、前記露光ステージ上に静止する前記ワークの１コマの次のコマが前記露光ステージ上の所定位置に移動するように、前記第１搬送ローラおよび第２搬送ローラによるワークの送り量を設定することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記第１搬送ローラおよび前記第２搬送ローラは、前記ワークをローラ表面に吸着させる吸着孔を有すると共に、前記吸着孔を介して前記ワークを吸着するための吸着手段が接続されていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記供給側第１ガイドローラ、供給側第２ガイドローラ、および、前記巻取側第１ガイドローラ、前記巻取側第２ガイドローラは、前記ワークをローラ表面に吸着させる吸着孔を有すると共に、前記吸着孔を介して前記ワークを吸着するための吸着手段が接続されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給側からフイルム状テープのワークを処理部に搬送し、当該処理部で処理されたワークを巻取側に搬送するための搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、携帯電話、モバイル機器等の各種の小型電気機器に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）の電気回路ベース素材は、機体が軽薄短小であるので、その製造工程において、厚板状の材料で取り扱うことが難しいため、薄く高精度のフイルム状テープ（以下、「ワーク」という）で取り扱わざるを得なくなっている。
【０００３】
このようなワークにおいて、実際に使用されている素材は、従来、その厚みが０．１ｍｍ程度であったが、ここ数年で０．０６ｍｍと薄型化の傾向になっている。さらに、最近では、厚みが０．０５ｍｍ以下で、幅が１００〜２５０ｍｍと薄く幅広なテープ状のワークが要望されている。
【０００４】
このようなテープ状のワークから電子回路基板を製造する場合には、ワークが、搬送の途中に弛んで左右の縁が反る等の問題点が発生している。その問題点を解消する搬送機構としては、確実にワークをハンドリングできるようにして、ワークを水平な状態で搬送する水平搬送式の搬送機構が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この搬送機構は、電子回路基板を製造するためにテープ状のワークを搬送する装置であり、露光装置に組み込まれた状態で使用され、１コマずつ間欠的に搬送されるワークを、露光ステージにおいて、マスクのパターンに露光できるように構成されている。
【０００６】
露光ステージに向けて送り出されるワークは、水平に搬送される箇所では自重によって弛んだ状態となる。この弛みを防止するために搬送機構には、ワークを押えローラで挟持して弛みを調整する保持機構が配設されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
そして、搬送機構において、搬送方向を変える箇所には、ワークに負荷がかからないようにすることが必要とされている。搬送機構では、露光ステージにワークを余分なテンションをかけずに送って静定するために、ワークのテンションを調整するいわゆるエアダンサ（特許文献１の箱体４１，５１）が設けられている。
【０００８】
このような露光装置では、特許文献１に開示されているように、ワークを水平に搬送しながら露光光を照射する水平搬送垂直露光方式がほとんどであった。なお、空中の塵埃等がワークやマスクに付着するのを防止して解像度を上げるために、露光ステージを鉛直にしてワークを垂直方向に搬送させる搬送機構も知られている（例えば、特許文献２〜特許文献４参照）。
【０００９】
特許文献２〜特許文献４に開示されたような搬送機構では、搬送されて来たワークを露光ステージに供給するようなローラが用いられている。
なお、ワークの搬送方向を処理部に適切に送るため、搬送方向を転換させる方向転換装置も知られている。この方向転換装置は、固定軸の表面の薄板に穿設した気体噴出孔からエアを吹き出して空気圧によりワークを浮上させ、ワークの搬送方向を転換させるものである（例えば、特許文献５参照）。
【特許文献１】特許第２８３６７８７号公報（特許請求の範囲、図１、図２）
【特許文献２】特開２００５−３２６５５０号公報（特許請求の範囲、図１）
【特許文献３】特開２００５−９１９０３号公報（請求項１、図１）
【特許文献４】特許第２７９８１５８号公報（特許請求の範囲、図１）
【特許文献５】特許第２７８８２０７号公報（段落００１１〜００１２、図１〜図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来の搬送機構では、以下のような問題が存在していた。
特許文献１のような搬送機構では、供給リールから送り出されるワークが、自重によって弛んで過剰なテンションがかかることを、エアダンサで減少させている。
しかしながらこのような搬送機構では、ワークが露光ステージにおいて水平状態であることと併せて、マスクとワークとが接触するため、ワークが薄く幅広なものになるのに従って、自重が増加して弛み易くなり、弛みを解消することができないという問題点がある。
なお、このような搬送機構においては、マスクとワークが密着又は密接するので、塵埃等が静電気によってマスクおよびワークに付着して転写される場合もあるため、露光後のパターンの解像度が低下するという問題点がある。
【００１１】
また、特許文献２〜特許文献４の搬送機構では、露光ステージの前後の位置で、ワークの両面を挟持する押えローラで保持して、マスクと光学系とワークとがスムーズに一致できるようにしているが、ワークの両面を挟持することで、ワークに必要以上の負荷がかかるという問題点がある。
【００１２】
また、ワークを１コマずつ間欠的にさせて搬送させながら処理する露光装置では、搬送経路で生じているワークの弛みを解消する必要がある。また、ワークに塵埃等が転写されないようにした上で、高解像度のマスクパターンを露光できるようにするために、ワークに負荷をかけないように、安定した状態で搬送することが望まれている。
【００１３】
そこで、本発明は、問題点に鑑み創案されたものであり、テープ状のワークに負荷をかけることなく安定した状態で搬送することが可能な搬送機構を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
課題を解決するための手段として、第１の観点による搬送装置は、テープ状のワークを鉛直方向に設けた処理部上に搬送して処理するための搬送装置であって、ワークを送り出す供給リールを回転させる供給リール回転部と、この供給リール回転部が回転して供給リールから送り出されたワークをガイドする供給側第１ガイドローラおよび供給側第２ガイドローラと、この供給側第１ガイドローラおよび供給側第２ガイドローラ間のワークにテンションを与える供給側弛緩吸収手段と、供給側第２ガイドローラからのワークを処理部に沿って搬送させ当該処理部の上方および下方に配置される第１搬送ローラおよび第２搬送ローラと、この第２搬送ローラからのワークをガイドする巻取側第１ガイドローラおよび巻取側第２ガイドローラと、この巻取側第１ガイドローラおよび巻取側第２ガイドローラ間のワークにテンションを与える巻取側弛緩吸収手段と、巻取側第２ガイドローラからのワークを巻き取る巻取リールを回転させる巻取リール回転部と、を備える。そして、供給リール回転部は、供給側第１ガイドローラより高い位置に配置され、供給側第２ガイドローラは、供給側第１ガイドローラと同等又は低い位置に配置されると共に、第１搬送ローラより高い位置に配置され、巻取リール回転部は、巻取側第２ガイドローラより高い位置に配置され、巻取側第２ガイドローラは、巻取側第１ガイドローラと同等又は高い位置に配置されると共に、巻取リール回転部より低い位置に配置される構成とした。
【００１５】
かかる構成によれば、搬送装置は、供給リールに巻回されたテープ状のワークが、巻取リール回転部および供給側第１ガイドローラにより供給側弛緩吸収手段側に送られ、さらに、供給側第２ガイドローラ、第１搬送ローラ、第２搬送ローラおよび巻取側第１ガイドローラによって処理部へ向けて送り出される。また、搬送装置は、巻取側弛緩吸収手段の位置のワークを巻取側第２ガイドローラおよび巻取リール回転部により巻取リールに巻き取っている。第１搬送ローラおよび第２搬送ローラは、ワークを処理部で処理する所定のピッチに合わせて間欠的に搬送させるときに、ワークを、吸着孔を介してローラ表面に吸着させながら鉛直方向に搬送している。
なお、搬送経路中において、供給側弛緩吸収手段および巻取側弛緩吸収手段を境に連続するワークの搬送を連動させることなく送ることができる。
また、供給リール回転部から第１搬送ローラまでの位置関係により、ワークが斜め下方向に搬送されるため、ワークの自重で弛むことが解消される。さらに、第２搬送ローラから巻取リール回転部までの位置関係により、ワークが斜め上方向に搬送されるため、ワークの自重で弛むことが解消される。
【００１６】
第２の観点による搬送装置は、供給側第２ガイドローラおよび巻取側第１ガイドローラには、処理部上のワークの位置ずれ量に応じて、供給側第２ガイドローラおよび巻取側第１ガイドローラの軸方向に移動させるワーク位置調整手段が備えられている構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、供給側第２ガイドローラおよび巻取側第１ガイドローラをワーク位置調整手段により、軸方向に移動させることで、処理部上のワークの軸方向の位置および傾きを調整して、ワークのより精度の高い位置決めを行うことができる。
【００１７】
第３の観点による搬送装置の発明は、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラは、ローラ本体が合成樹脂で成形されている構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラのローラ本体が合成樹脂で成形されていることにより、搬送されるワークの微細な振動が樹脂製のローラ本体によって吸収される。
【００１８】
第４の観点による搬送装置の発明は、供給リールと供給側第１ガイドローラとの間に、搬送装置には、処理部によって処理中のワークの最後尾と、次の新しいワークの最先端部とを接続するためのワーク接続手段を設置および除去自在に備える構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、ワーク接続手段を備えたことにより、処理部で処理中のテープ状のワークの最後尾と、次に使用される新しいテープ状のワークの最先端部とを搬送経路状で接続して繋ぐことが可能となる。
【００１９】
第５の観点による搬送装置の発明は、処理部が、搬送装置によって１コマずつ搬送されるワークに、マスクのパターンを露光するための露光ステージである構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、処理部が露光ステージである場合、テープ状のワークを露光装置の処理に合わせて１コマずつ安定した状態で搬送して、ワークにマスクのパターンを露光させることができる。
【００２０】
第６の観点による搬送装置の発明は、第５の観点において、処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値以下である場合に、露光ステージ上に静止するワークの１コマとマスクとの位置ずれ量を、マスクが移動してほぼゼロにし、処理部上のワークの位置ずれ量がしきい値より大きい場合に、露光ステージ上に静止するワークの１コマの次のコマが露光ステージ上の所定位置に移動するように、供給側第２ガイドローラおよび巻取側第１ガイドローラが軸方向に移動する。
かかる構成によれば、供給側第２ガイドローラおよび巻取側第１ガイドローラが軸方向に移動することにより、次に送られてくるワークの１コマの姿勢（傾き）が露光ステージの所定位置に合致するようになる。このため、露光ステージ上に送られてくる次の１コマとマスクとの位置ずれ量が小さくなり、マスクとワークとの位置合わせ時間が短縮される。
【００２１】
第７の観点による搬送装置の発明は、第５の観点において、処理部上の前記ワークの位置ずれ量がしきい値以下である場合に、露光ステージ上に静止するワークの１コマとマスクとの位置ずれ量を、マスクが移動してほぼゼロにし、処理部上のワークの位置ずれ量がしきい値より大きい場合に、露光ステージ上に静止するワークの１コマの次のコマが露光ステージ上の所定位置に移動するように、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラによるワークの送り量を設定する。
かかる構成によれば、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラがワークの送り量を露光ステージに静止する１コマで設定する。そのため、次に送られてくるワークの１コマが露光ステージの所定位置に合致するようになる。このため、露光ステージ上に送られてくる次の１コマとマスクとの位置ずれ量が小さくなり、マスクとワークとの位置合わせ時間が短縮される。
【００２２】
第８の観点による搬送装置の発明は、第１搬送ローラおよび第２搬送ローラは、ワークをローラ表面に吸着させる吸着孔を有すると共に、吸着孔を介してワークを吸着するための吸着手段が接続される構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、ワークが処理部に送られる際に吸着されながら搬送されるので、ワークがローラ表面においてすべることがなく、１コマ分の送り量を正確に送ることができる。
【００２３】
第９の観点による搬送装置の発明は、供給側第１ガイドローラ、供給側第２ガイドローラ、および、巻取側第１ガイドローラ、間取側第２ガイドローラは、ワークをローラ表面に吸着させる吸着孔を有すると共に、吸着孔を介してワークを吸着するための吸着手段が接続される構成とした。
かかる構成によれば、搬送装置は、ワークが供給側第１ガイドローラ、供給側第２ガイドローラ、巻取側第１ガイドローラ、巻取側第２ガイドローラにおいて吸着されながら搬送されるので、ワークがローラ表面においてすべることがなく、ワークが供給リールからスムーズに送り出されると共に、ワークが巻取リールへスムーズに巻き取られるようにできる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る搬送装置は、ワークを挟持することなく、かつ、弛緩させることなく供給リールから処理部、処理部から巻取リールにおいて搬送することができるため、ワークに過剰な負荷がかからないように安定した状態でワークを搬送でき、さらに、処理部において正確な位置に搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、図１〜図７に基づき本発明の実施形態に係る搬送機構の一例を説明する。
まず、本発明の実施形態の搬送機構Ａを説明するのに先立って、搬送機構Ａによって搬送されるテープ状のワーク（以下、「テープ」という）Ｔについて説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る搬送機構を示すブロック図である。図２は、本発明の実施形態に係る搬送機構を示す概略斜視図である。
【００２６】
≪テープ（ワーク）の構成≫
図１および図２に示すように、テープＴは、電子回路基板として使用されるフレキシブル基板や、樹脂成形品をフープ成形するときに使用されるフープ材等のフイルム状テープの素材からなる。このテープＴは、例えば、テープ幅が１６０ｍｍ、テープ全長が２００ｍの薄く幅広な部材からなり、供給リール回転部１に巻回されている。このテープＴの左右両縁部側には、パーフォレイションホール（図示せず）が形成されているものや、パーフォレイションホールがないものがある。
【００２７】
なお、本発明に係る搬送機構Ａは、テープＴを搬送させるものであり、以下、本発明の実施形態の一例として、フレキシブル基板の素材として使用されるテープ（フイルム状テープ）Ｔを搬送する場合を例に挙げて説明する。
【００２８】
≪搬送機構の構成≫
搬送機構Ａは、テープＴを鉛直方向に設けた露光ステージ５１ａ（処理部５１）へ、露光装置５で処理される単位として１ブロック毎の処理に合わせて１コマずつ間欠的に搬送する装置である。この搬送機構Ａは、テープＴが巻回された供給リールＢ１の中央のリール穴に装着して供給リールＢ１を回転させる供給リール回転部１と、搬送されるテープＴをガイドする供給側第１ガイドローラ２と、供給側第２ガイドローラ３とを備えている。また、搬送機構Ａは、処理部５１の上下位置に配置されテープＴを搬送するための第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６と、巻取側第１ガイドローラ７および巻取側第２ガイドローラ８と、テープＴを巻き取る巻取リールＢ２を回転させる巻取リール回転部９と、を備えている。さらに、搬送機構Ａは、搬送中のテープＴの弛みを吸収する供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２を備えている。
【００２９】
＜供給リール回転部の構成＞
供給リール回転部１は、電子回路基板の素材であるテープＴが巻回されたボビン状の供給リールＢ１を軸支してテープＴを送り出すための部材であり、供給リールＢ１の軸筒部が装着される軸部を中心として回転自在に装置筐体（図示せず）に配設され、図示しない駆動モータにより回転する。
なお、供給リールＢ１は、例えば、巻回部分の直径が７５０ｍｍのものからなり、左右の縁にフランジ部（図示せず）を有する。この供給リールＢ１に巻回されたテープＴは、第１搬送ローラ４によって引っ張られることにより、供給リール回転部１と共に回転して、供給側第１ガイドローラ２に送り出される。
【００３０】
＜供給側第１ガイドローラの構成＞
図１および図２に示すように、供給側第１ガイドローラ２は、供給リールＢ１に巻回されたテープＴが供給側弛緩吸収手段Ｄ１に向けて送り出されるように巻き掛けられる補助ローラであり、軸部を中心として回転自在に配設されている。この供給側第１ガイドローラ２は、供給リール回転部１より下方に配置されて、供給リール回転部１から斜め下方に送られて来たテープＴが、自重で供給側第１ガイドローラ２から略鉛直下方向に垂れ下がるように配設されている。
【００３１】
図３は、本発明の実施形態に係る搬送機構における供給側第１ガイドローラ２を示す拡大断面図である。
図３に示すように、供給側第１ガイドローラ２は、テープＴが巻き掛けられて面接触するローラ本体２１と、ローラ本体２１を回転自在に軸支する支軸２２と、この支軸２２に回転自在に設けられてベアリング２３と、このベアリング２３を保持する装置筐体２４と、を備えている。
なお、後記する巻取側第２ガイドローラ８（図２参照）は、例えば、この供給側第１ガイドローラ２と同一構造をしている。
【００３２】
＜供給側弛緩吸収手段の構成＞
再び図１および図２に戻り、供給側弛緩吸収手段Ｄ１は、供給リール回転部１と供給側第２ガイドローラ３との間のテープＴを収納する位置に配置され、供給リール回転部１から供給されたテープＴにテンションを与えて弛みを吸収する装置である。さらに、詳述すると、この供給側弛緩吸収手段Ｄ１は、供給リール回転部１から送り出されたテープＴが、供給リール回転部１と供給側第１ガイドローラ２との間、および供給側第２ガイドローラ３と第１搬送ローラ４との間を搬送されるときに、過度の負荷や弛みが発生しないように、箱体内において自重でＵ字状に弛むようにさせテンションを与える装置である。
【００３３】
この供給側弛緩吸収手段Ｄ１は、上側に形成された開口部上を通過するテープＴが、自重によってＵ字状に垂れ下がることができる搬送空間を有する筒状の箱体Ｄ１ａを備えてなる。この箱体Ｄ１ａ内では、上側に形成された開口部上を通過するテープＴが、テープＴの搬送方向の上流から下側に向けて送り込まれて自重によって垂れ下がり、第１搬送ローラ４に引っ張られてテープＴの搬送方向の下流へ上側に向けて送り出されるようになっている。箱体Ｄ１ａは、例えば、上下に開口部を有する四角形の有底筒状体からなる。
【００３４】
＜供給側第２ガイドローラの構成＞
図４は、本発明の実施形態に係る搬送機構における供給側第２ガイドローラを示す拡大断面図である。
図４に示す供給側第２ガイドローラ３は、テープＴを供給側弛緩吸収手段Ｄ１から第１搬送ローラ４に向けて送ると共に（図１および図２参照）、テープＴを矢印ｂの幅方向（矢印ａの軸方向）に移動させることができるワーク位置調整手段３２を備えたローラである。この供給側第２ガイドローラ３は、モータＭ１と、このモータＭ１を保持する装置筐体３３と、モータ軸Ｍ１ａに固定されたボールねじ３４とを備えている。また、供給側第２ガイドローラ３は、テープＴを搬送するための回転自在なローラ本体３１と、ボールねじ３４の回転によって軸方向に移動するナット３５と、このナット３５と一体に動くスプライン軸３６と、このスプライン軸３６と一体に動く支軸３７と、この支軸３７とローラ本体３１との間に介在されたベアリング３８と、を備えている。
【００３５】
ワーク位置調整手段３２は、ローラ本体３１の位置を軸方向（テープＴの幅方向）に移動させて、処理部５１におけるテープＴの位置を調整するための装置である。このワーク位置調整手段３２は、例えば、モータＭ１と、ボールねじ３４と、ナット３５と、スプライン軸３６と、支軸３７と、ローラ本体３１とを備えてなる。
【００３６】
図４に示すモータＭ１は、ローラ本体３１を回転させながら矢印ａの軸方向（テープＴの幅方向）に移動させ、制御装置１０の信号によって正転および反転してローラ本体３１に巻き掛けられたテープＴを矢印ｂの幅方向に移動させる。供給側第２ガイドローラ３は、装置筐体３３の所定の位置に保持されている。
【００３７】
ボールねじ３４は、モータＭ１のモータ軸Ｍ１ａに連結されて一体に回転する。なお、このボールねじ３４とモータ軸Ｍ１ａとの間には、減速歯車機構を介在してもよい。ナット３５は、ボールねじ３４に螺合して、スプライン溝が形成されたスプライン軸３６内に装着される。このボールねじ３４の回転でナット３５は矢印ａの軸方向に移動する。
【００３８】
スプライン軸３６は、ナット３５と一体に回転すると共に、矢印ａの軸方向に移動する。支軸３７は、スプライン軸３６の底面部に固着されてスプライン軸３６と共に軸方向に移動しながら回転し、両端部がベアリング３８で軸支されている。
【００３９】
ベアリング３８は、支軸３７に回転自在に取り付けられると共に、支軸３７と一体に軸方向（矢印ａ方向）に移動するように組み付けられている。ローラ本体３１は、ベアリング３８と共に矢印ａの軸方向に移動し、テープＴが巻き掛けられるローラであり、例えば、両端部にフランジ部を有するボビン形状をしている。このローラ本体３１は、少なくともローラ表面３１ａが合成樹脂によって形成されて、微振動を吸収する。この場合、ローラ表面３１ａを形成する合成樹脂は、緩衝性を有した軟質樹脂が望ましく、また、ローラ表面３１ａに被着させたものであっても構わない。
【００４０】
以上のように構成された供給側第２ガイドローラ３は、モータＭ１を回転させることによって、ボールねじ３４とスプライン軸３６と支軸３７とベアリング３８とからなる介在部材を回転および直進運動させることによって、ローラ本体３１を軸方向に移動させ、テープＴの位置を調整できる。このように軸方向に移動可能なローラ本体３１を備えた供給側第２ガイドローラ３は、ローラ本体３１の位置を軸方向に移動させて適宜な位置に調整することにより、処理部５１におけるテープＴの位置決めにおける所望位置に正確に合わせることができる。
【００４１】
なお、図４に示す供給側第２ガイドローラ３は、モータＭ１で直接支軸３７を回転させるだけのものとし、供給側第２ガイドローラ３全体を、別のモータ又はリニアスライド機構等（図示せず）によって軸方向に移動させる構造にしてもよい。
また、後記する巻取側第１ガイドローラ７（図２参照）は、例えば、この供給側第２ガイドローラ３と同一構造をしている。
【００４２】
＜第１搬送ローラの構成＞
図５は、本発明の実施形態に係る搬送機構における第１搬送ローラを示す拡大断面図である。
図５に示す第１搬送ローラ４は、テープＴを供給側第２ガイドローラ３から露光ステージ５１ａ（処理部５１）に向けて搬送させるローラであり（図１および図２参照）、この第１搬送ローラ４をモータＭ２によって間欠的に回転駆動させてテープＴを１コマずつ搬送させる。この第１搬送ローラ４には、テープＴをローラ本体４１のローラ表面４１ａに吸着させる吸着孔４１ｂを有すると共に、吸着孔４１ｂを介してテープＴを吸着するための吸着手段４２が接続されている。このため、第１搬送ローラ４は、この第１搬送ローラ４の回転で搬送されるテープＴが空回りしないようになっている。
【００４３】
その他に、第１搬送ローラ４は、ローラ本体４１を回転させるためのモータＭ２と、このモータＭ２およびモータ軸Ｍ２ａを支持する装置筐体４３と、モータ軸Ｍ２ａに連結されて吸着手段４２の吸気路４４ａを有する回転軸４４と、吸気路４４ａに連通して吸引ポンプ（図示せず）に接続された排気部４５と、を備えている。
【００４４】
そして、図１に示すように、この第１搬送ローラ４は、供給側弛緩吸収手段Ｄ１の搬送方向の下流側に配置されると共に、テープＴが露光ステージ５１ａの中央に位置するように露光ステージ５１ａの表面に平行になるように、露光ステージ５１ａの真上に配置されている。
【００４５】
図５に示すローラ本体４１は、モータＭ２によって回転する回転軸４４に固定されてテープＴを搬送させる中空状の回転体であり、軸方向の両端にフランジ部を有するボビン形状をしている。ローラ本体４１は、少なくともテープＴが巻き掛けられるローラ表面４１ａが、テープＴの微振動を吸収し易くするために、緩衝性を有する軟質樹脂等の合成樹脂によって成形されている。
そのローラ表面４１ａには、多数の吸着孔４１ｂが穿設されている。このため、テープＴは、巻き掛けられたローラ表面４１ａの吸着孔４１ｂを空気が流れることによって、ローラ表面４１ａを冷却できる。
なお、ローラ表面４１ａは、ステンレス、又はステンレスの細線を密に巻回したものであっても構わない。
【００４６】
吸着手段４２は、ローラ本体４１のローラ表面４１ａに巻き掛けられたテープＴを吸引ポンプ（図示せず）の吸引力によって吸引してローラ表面４１ａに密着させるための装置である。この吸着手段４２は、テープＴを吸引してローラ表面４１ａに密着させるためのエアを吸い込む吸着孔４１ｂと、この吸着孔４１ｂから吸引されたエアが送り込まれるローラ内空間４１ｃと、このローラ内空間４１ｃに連通した吸気路４４ａと、排気部４５と、吸引ポンプとを備えている。
第１搬送ローラ４は、このように樹脂製のローラ本体４１と吸着手段４２とを備えて、テープＴをエアの負圧でローラ表面４１ａに吸着させながら円滑に搬送できるように構成されている。
【００４７】
図５に示すモータＭ２は、ローラ本体４１に巻き掛けたテープＴを間欠的に搬送させるために、ローラ本体４１を回転させるものである。モータＭ２は、制御装置１０に電気的に接続されて、回転が制御される（図１参照）。
装置筐体４３は、モータＭ２およびモータ軸Ｍ２ａを所定の位置に支持するための部材であり、この装置筐体４３によって、第１搬送ローラ４が所定の高さに配設されている（図１参照）。
【００４８】
回転軸４４は、モータＭ２の回転をローラ本体４１に伝達してローラ本体４１を回転させる軸の役目と、ローラ本体４１内のエアを吸引ポンプ（図示せず）に送るための配管の役目とを果たす部材である。回転軸４４は、一端にモータ軸Ｍ２ａが接続され、他端部に吸着手段４２の排気部４５が設けられている。回転軸４４は、中央部に、ローラ本体４１内のエアを吸引する吸引口４４ｂが穿設され、吸気路４４ａの端部に、排気部４５にエアを排出するための吐出口４４ｃが設けられて、吸引口４４ｂから吐出口４４ｃにかけて中空状になっている。
【００４９】
なお、図示しない吸引ポンプ（真空ポンプ）は、配管およびリーク弁を介在して排気部４５に接続されて、吸気路４４ａおよび吸着孔４１ｂを介してローラ表面４１ａのエアを吸入すると共に、ローラ表面４１ａに巻き掛けられたテープＴを負圧によって吸引するための負圧発生装置である。
なお、後記する第２搬送ローラ６は、例えば、この第１搬送ローラ４と同一構造をしている。
【００５０】
＜処理部の構成＞
ここで、図２に示す処理部５１を説明する。処理部５１は、第１搬送ローラ４の真下に配置されて、この第１搬送ローラ４から供給されたテープＴに対して所定の処理を行う装置である。この処理部５１は、第１搬送ローラ４と、第２搬送ローラ６との間のテープＴが鉛直下方向に搬送される箇所に処理面を沿って配設されている。なお、本実施形態では、処理部５１を後記の露光装置５の露光処理を行う露光ステージ５１ａとする。なお、露光ステージ５１ａは、図示しないテープＴを吸着する吸着孔が形成されていて、１コマずつテープＴを吸着して保持する。
【００５１】
＜第２搬送ローラの構成＞
第２搬送ローラ６は、露光ステージ５１ａの搬送方向の下流側に配置されて、この露光ステージ５１ａで処理したテープＴを巻き取る側に搬送させるローラであり、第１搬送ローラ４および露光ステージ５１ａ（処理部５１）の真下に配置されている。この第２搬送ローラ６は、図５に示す第１搬送ローラ４と同一構造をしており、図２に示すように、テープＴをローラ本体６１のローラ表面６１ａに吸着させる吸着手段６２と、ローラ本体６１を回転させるモータＭ３と、を備えている。
【００５２】
＜巻取側第１ガイドローラの構成＞
巻取側第１ガイドローラ７は、第２搬送ローラ６の搬送方向の下流側に配置されてテープＴを巻取側弛緩吸収手段Ｄ２に送るローラである。巻取側第１ガイドローラ７は、図４に示す供給側第２ガイドローラ３と同一構造をしており、図２に示すように、テープＴの位置を幅方向（軸方向）に移動させて調整するワーク位置調整手段７２と、このワーク位置調整手段７２の動力源となるモータＭ４等を備えている。
【００５３】
＜巻取側弛緩吸収手段の構成＞
巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、巻取側第１ガイドローラ７と巻取側第２ガイドローラ８との間のテープＴを収納できる位置に配置される。巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、第２搬送ローラ６と巻取側第１ガイドローラ７との間のテープＴの弛みと、巻取側第２ガイドローラ８と巻取リールＢ２との間のテープＴの弛みを吸収する装置である。巻取側弛緩吸収手段Ｄ２の搬送方向の上流側には、巻取側第１ガイドローラ７が配置され、巻取側弛緩吸収手段Ｄ２の搬送方向の下流側には、巻取側第２ガイドローラ８が配置されている。この巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、例えば、供給側弛緩吸収手段Ｄ１と同じ構成からなり、すなわち、箱体Ｄ２ａを備えている。
巻取側弛緩吸収手段Ｄ２を通過するテープＴは、巻取側第１ガイドローラ７から送り込まれて、テープＴの自重によって箱体Ｄ２ａ内でＵ字状に垂れ下がり、上方の巻取側第２ガイドローラ８に向けて搬送される。
【００５４】
＜巻取側第２ガイドローラの構成＞
図２に示すように、巻取側第２ガイドローラ８は、巻取リールＢ２に巻回されるテープＴをその巻取リールＢ２に向けて搬送されるように案内するための補助ローラであり、図３に示す供給側第１ガイドローラ２と同一構造をしている。この巻取側第２ガイドローラ８は、不図示の装置筐体によって所定の位置に、軸部を中心として回転自在に配設されている。巻取側第２ガイドローラ８は、巻取側弛緩吸収手段Ｄ２から搬送されて来たテープＴが、この巻取側第２ガイドローラ８から斜め上方に向けて送られるように配設されている。
【００５５】
＜巻取リール回転部の構成＞
図２に示すように、巻取リール回転部９は、処理部５１（露光装置５）で処理したテープＴを巻き取る巻取リールＢ２を軸支するものであり、巻取リールＢ２の軸筒部が装着される軸部を中心として回転自在に配設され駆動モータ（図示せず）により駆動する。
【００５６】
≪露光装置の構成≫
図１に戻り、露光装置５は、搬送機構Ａによって１コマずつ搬送されるテープＴに、マスクＭのパターンを１ブロックずつ露光する装置である。この露光装置５は、光源５２と、反射鏡５３と、フライアイレンズＬと、マスクＭを支持する支持手段５４と、投影光学系（例えば、ダイソン光学系又は縮小投影光学系）５５と、撮像装置５６と、露光ステージ５１ａとを備えている。また、露光装置５は、カメラデータ入力装置５７と、画像処理装置５８と、記憶装置５９と、制御装置１０と、スイッチ装置１２とを備えている。
【００５７】
光源５２は、所定波長の紫外線を含む光を照射するものであり、ランプ５２ａと、このランプ５２ａの後面を覆うように配置された楕円ミラー５２ｂと、を備えてなる。反射鏡５３は、光源５２から照射された光をマスクＭに向けて反射する平面鏡からなる。フライアイレンズＬは、反射鏡５３からの光の照度分布を調整するためのレンズである。
【００５８】
図１に示すマスクＭは、支持手段５４に支持され、投影光学系５５に正対するように設置されている。この支持手段５４は、投影光学系５５の光軸に垂直な平面内で移動できるように駆動機構（図示せず）を具備する。
【００５９】
投影光学系５５は、ここでは入射光軸および出射光軸が装置の設置面と平行な水平に設置され、その前面側に露光ステージ５１ａが正対するように配置されている。この投影光学系５５は、不図示の複数のレンズ、ミラー等を組み合わせて構成されている。
【００６０】
図１に示す撮像装置５６は、投影光学系５５と露光ステージ５１ａとの間に三次元方向に移動可能な駆動系を配備して、ＣＣＤカメラが複数配置されている。ＣＣＤカメラは、露光ステージ５１ａに静止したテープＴの１コマに形成されたアライメントマークとマスクＭに形成されたアライメントマークとを撮像する。なお、露光ステージ５１ａは、すでに説明したように、図示しない吸着孔を介してテープＴを吸着するために真空排気するように排気系と、圧縮空気を送風するように圧縮空気系が配管されている。
【００６１】
カメラデータ入力装置５７は、撮像装置５６で撮像したテープＴの１コマのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークとを取り込む。画像処理装置５８は、アライメントマークを露光装置５の制御用に演算する。この画像処理装置５８では、カメラデータ入力装置５７から受けたアライメントマークを、露光装置５を制御するための位置データに変換し、その結果を制御装置１０と記憶装置５９に送っている。記憶装置５９は、撮像装置５６で撮像した位置データを記憶させておく。
【００６２】
制御装置１０は、搬送機構Ａの制御と、露光装置５全体を制御するものであり、ＣＰＵからなる。この制御装置１０は、画像処理機構５８の位置データに基づいてテープＴの１コマのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークの位置を整合させる。露光ステージ５１ａに吸着されたテープＴに整合するように支持手段５４の駆動機構（図示せず）によってマスクＭを移動させてテープＴとマスクＭとを整合させる。但し、テープＴのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークとが大きくずれていると、１コマ毎の位置の整合において、マスクを動かす距離が大きくなる。そこで、しきい値δ以上にテープＴのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークとがずれている場合には、供給側第２ガイドローラ３と、第１搬送ローラ４と、第２搬送ローラ６と、巻取側第１ガイドローラ７とを制御する。そして、露光ステージ５１ａ上のテープＴのアライメントマークの位置をしきい値δ以内に入るようにする。
また、制御装置１０は、供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２におけるテープＴの位置の監視と、露光ステージ５１ａにおけるテープＴの着脱と、撮像装置５６の移動と、光源５２の点滅および遮光の制御と、それらすべての監視等とを制御する。なお、スイッチ装置１２は、搬送機構ＡのモータＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４や、吸引ポンプ（図示せず）や、露光装置５等をＯＮ，ＯＦＦするためのコントローラである。
【００６３】
＜各部材の位置関係の説明＞
次に、図６を参照して搬送機構Ａの各部材の位置関係を説明する。
図６は、本発明の実施形態に係る搬送機構を示す概略構成図である。
図６に示すように、供給リール回転部１と、供給側第１ガイドローラ２と、供給側第２ガイドローラ３と、第１搬送ローラ４と、第２搬送ローラ６と、巻取側第１ガイドローラ７と、巻取側第２ガイドローラ８と、巻取リール回転部９とは、それぞれ同一面に配置され、正面視して上下方向に略同一直線上にそれぞれ配置されている。
【００６４】
供給リール回転部１から第１搬送ローラ４の間において、テープＴは、側面視して全体的に略斜め下方向に搬送されるようになっている。第１搬送ローラ４から第２搬送ローラ６の間において、テープＴは、鉛直下方向に搬送されるようになっている。第２搬送ローラ６から巻取リールＢ２の間において、テープＴは、側面視して全体的に略斜め上方向に搬送されるようになっている。
【００６５】
供給リール回転部１は、搬送方向の下流側の供給側第１ガイドローラ２より高さＨ１高い位置に配置されている。供給側第１ガイドローラ２は、供給リール回転部１の斜め下方に配置され、供給側第２ガイドローラ３と同等の高さ、又は、高い位置に配置され、かつ、供給側弛緩吸収手段Ｄ１の箱体Ｄ１ａの開口部より上方に配置されている。
供給側弛緩吸収手段Ｄ１は、供給側第１ガイドローラ２とこの供給側第１ガイドローラ２と同等の高さの位置に配設された供給側第２ガイドローラ３との間で垂れ下がるテープＴを収納できる位置に設けられている。
【００６６】
供給側第２ガイドローラ３は、供給側第１ガイドローラ２と同等又は低い位置に配置されると共に、第１搬送ローラ４より高さＨ２高い位置に配設されている。
第１搬送ローラ４と、露光ステージ５１ａ（処理部５１）と第２搬送ローラ６とは、鉛直方向に略一直線に配置されている。第１搬送ローラ４を通過するテープＴは、供給側第２ガイドローラ３から斜め下方向に向かって搬送されて来たのを、第１搬送ローラ４に巻き掛けられて、鉛直方向の露光ステージ５１ａに向けて方向転換される。
【００６７】
露光ステージ５１ａ（処理部５１）は、第１搬送ローラ４と巻取側第１ガイドローラ７との間に中間位置に配置されている。第２搬送ローラ６は、その露光ステージ５１ａの真下に配置されている。第２搬送ローラ６を通過するテープＴは、鉛直下方向に向かって搬送されて来たのを、斜め上方向に方向転換されるように第２搬送ローラ６に巻き掛けられている。
【００６８】
巻取側第１ガイドローラ７は、第２搬送ローラ６の搬送方向の下流側に配置されると共に、第２搬送ローラ６より高さＨ３高い位置に配置されている。この巻取側第１ガイドローラ７は、巻取側弛緩吸収手段Ｄ２の開口部より高い位置に配置されると共に、巻取リール回転部９より高さＨ４低い位置に配置されている。
【００６９】
巻取側第２ガイドローラ８は、巻取側第１ガイドローラ７と同等又は高い位置に配置されると共に、巻取リール回転部９より高さＨ４低い位置に配置され、巻取側弛緩吸収手段Ｄ２の箱体Ｄ２ａより上方に配置されている。巻取リール回転部９は、巻取側第２ガイドローラ８の斜め上方向に配置されている。
【００７０】
≪搬送機構の作用≫
次に、図７を主に、各図を参照しながら搬送機構Ａの作用を説明する。
図７は、本発明の実施形態に係る搬送機構の作動を示すフローチャートである。
まず、加工前の新しい素材であるテープＴを図１および図２に示すように、搬送機構Ａにセットして搬送可能な状態にする。すなわち、新しいテープＴが巻回された供給リールＢ１を供給リール回転部１にセットして、テープＴの先端部を引き出しながら供給側第１ガイドローラ２、供給側第２ガイドローラ３、第１搬送ローラ４にそれぞれ巻き掛け、露光ステージ５１ａと撮像装置５６との間を挿通させる。さらに、テープＴを第２搬送ローラ６、巻取側第１ガイドローラ７、巻取側第２ガイドローラ８に巻き掛けて、テープＴの先端部を巻取リール回転部９に装着した巻取リールＢ２に係止させる。そして、供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２上のテープＴは、箱体Ｄ１ａ，Ｄ２ａ内にＵ字状に弛ませる。
【００７１】
次に、図１に示すスイッチ装置１２の電源スイッチ（図示せず）をＯＮして露光装置５および搬送機構Ａを起動させる（ステップＳ１）。すると、露光装置５のランプ５２ａが点灯する（ステップＳ２）。このとき、図示しないシャッタ機構によりランプ５２ａからの光は、遮断された状態になっている。
そして、図２に示す第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６に配置された搬送駆動用のモータＭ２，Ｍ３が駆動すると共に、吸引ポンプ（図示せず）も駆動してテープＴをローラ表面４１ａ，６１ａに吸着させながら一ブロック送る動作を行う。
【００７２】
図２に示すように、供給リール回転部１の供給リールＢ１は、モータＭ２，Ｍ３の駆動で第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６が回転することにより、テープＴが引っ張られて搬送されるため、回転してテープＴが送り出される（ステップＳ３）。
【００７３】
そのテープＴは、供給リール回転部１から斜め下方に送られて、自重がかかった状態で供給側第１ガイドローラ２に巻き掛けるように受けられ、自重によって供給側弛緩吸収手段Ｄ１の箱体Ｄ１ａ内に送られる（ステップＳ４）。
【００７４】
供給側第１ガイドローラ２と供給側第２ガイドローラ３との間の供給側弛緩吸収手段Ｄ１では、テープＴが、テープＴの自重によって、地面方向にＵ字状に垂れ下がった状態となる。テープＴは、供給側弛緩吸収手段Ｄ１によって、供給リール回転部１から第１搬送ローラ４間の弛みが調整されテンションが与えられた状態で、供給側第２ガイドローラ３へ搬送される（ステップＳ５）。
【００７５】
すなわち、供給側弛緩吸収手段Ｄ１において、供給側第１ガイドローラ２から箱体Ｄ１ａ内に入り込んだテープＴは、図６に示すように、テープＴの自重によって搬送方向（矢印ｄ方向）と同じ矢印ｅ方向に引っ張られて、供給リール回転部１から供給側第１ガイドローラ２の間での弛みがなくなる。さらに、第１搬送ローラ４に引っ張られて箱体Ｄ１ａ内から供給側第２ガイドローラ３の方向（矢印ｄ方向）に送られるテープＴは、テープＴの自重によって搬送方向の逆方向（矢印ｆ方向）に引っ張り合いながら（テンションが与えられた状態）箱体Ｄ１ａから供給側第２ガイドローラ３および第１搬送ローラ４に搬送されるので、弛みがなくなる。
【００７６】
また、テープＴは、供給リール回転部１と供給側第１ガイドローラ２との間と、供給側第２ガイドローラ３と第１搬送ローラ４との間とにおいて、それぞれ斜め下方向に送られるため、弛み難い状態に配置されている。
第１搬送ローラ４は、吸着手段４２によってテープＴをローラ表面４１ａに吸着させた状態で、モータＭ２が回転することによって、テープＴの１コマを鉛直下方向に方向転換して搬送させる。このとき、第１搬送ローラ４は、合成樹脂によって形成されているため、テープＴの振動を吸収する。
【００７７】
搬送機構Ａにより搬送された１コマ分のテープＴは、露光ステージ５１ａで吸着され、露光ステージ５１ａにテープＴの１コマが静止する。そして、投影光学系５５と露光ステージ５１ａとの間に移動した撮像装置５６がテープＴの露光部分に表示されたアライメントマーク（図示せず）とマスクＭのアライメントマーク（図示せず）とを撮像する（ステップＳ６）。
その撮像装置５６で撮像した両マーク画像からテープＴとマスクＭとの位置ずれ量及び姿勢のずれ量を演算し、制御装置１０に伝達する（ステップＳ７）。
ステップＳ８では、制御装置１０からの位置ずれ量に基づき、支持手段５４の駆動機構によりマスクＭを移動させ、マスクＭとテープＴとを整合させる。
次に、露光ステージ５１ａ上でマスクＭと整合できたテープＴは、投影光学系５５（図１参照）と相対する位置にある露光ステージ５１ａの表面で一次的に固定されて、図示しないシャッタ機構を開放することで、投影光学系５５から露光光を照射してマスクＭのパターンが転写される（ステップＳ９）。
【００７８】
次にステップＳ１０では、制御装置１０は、テープＴのアライメントマークとマスクＭのアライメントマークとの位置ずれ量がしきい値δ以下であったか否かを判断する。位置ずれ量がしきい値δ以下であればステップＳ１３に進み、位置ずれ量がしきい値δより大きければステップＳ１１に進む。すなわち、位置ずれ量が大きい場合、テープＴが露光ステージ５１ａに１コマ毎、真っ直ぐに送られてきていないことに起因することが多い。このためテープＴの送り量と姿勢を制御すれば、露光ステージ５１ａに静止したテープＴの１コマの次の１コマは、正確に露光ステージ５１ａに送られることになる。正確にテープＴが搬送されれば、マスクＭを支持する支持手段５４の駆動機構でマスクＭを移動させる量が少なく又はゼロとなり、スループットを向上させることができる。そこで、ステップＳ１０では、位置ずれ量がしきい値δ以下か否かを判断して、位置ずれ量がしきい値δより大きい場合にはステップＳ１１およびステップＳ１２に移行して、テープＴの位置ずれ量が小さくなるようにガイドローラを制御する。
【００７９】
ステップＳ１１では、制御装置１０は、モータＭ１およびモータＭ４へ駆動信号を送り、供給側第２ガイドローラ３と巻取側第１ガイドローラ７とをそれぞれテープＴの幅方向に移動させてテープＴを傾け、テープＴの姿勢を調整する。
制御装置１０が、例えば、図２に示すように、供給側第２ガイドローラ３および巻取側第１ガイドローラ７のモータＭ１，Ｍ４を回転させて、ローラ本体３１，７１が矢印ａの軸方向に移動すると、テープＴは、矢印ｂの幅方向に移動する。供給側第２ガイドローラ３と第１搬送ローラ４と第２搬送ローラ６と巻取側第１ガイドローラ７とは、それぞれ平行に配置されていることにより、供給側第２ガイドローラ３および巻取側第１ガイドローラ７を矢印ａの軸方向に移動させると、第１搬送ローラ４と第２搬送ローラ６との間（露光ステージ５１ａ）を搬送されるテープＴが矢印ｃの幅方向に移動させてテープＴの幅方向位置および傾き（姿勢）が調整される。
【００８０】
さらに、ステップＳ１２では、制御装置１０は、第１搬送ローラ４のモータＭ２と第２搬送ローラ６のモータＭ３の回転数を制御して、マスクＭのアライメントマークとテープＴのアライメントマークとが整合するように送り量を調整して搬送させ上下方向の位置を調整する。第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６は、吸着手段４２を有しているので、ローラ表面ですべりがなく、正確に１コマ搬送することができる。
このようにして、搬送機構Ａは、テープＴの幅方向と送り量とを調整して露光ステージ５１ａに正確に搬送させることができる。
【００８１】
露光ステージ５１ａを通過したテープＴは、第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６の駆動とともに第２搬送ローラ６の吸着手段６２によってローラ表面６１ａに吸着され、鉛直下方向に引かれながら略水平方向に搬送方向が変換されて、巻取側第１ガイドローラ７を介して巻取側弛緩吸収手段Ｄ２に送られる（ステップＳ１３）。
【００８２】
巻取側弛緩吸収手段Ｄ２で供給側弛緩吸収手段Ｄ１と同様にテンションを調整したテープＴは、巻取側弛緩吸収手段Ｄ２から巻取側第２ガイドローラ８でテープＴを受け、巻取リール回転部９に装着された巻取リールＢ２が回転することで巻き取られる（ステップＳ１４）。
【００８３】
このように搬送機構Ａは、第１搬送ローラ４および第２搬送ローラ６により、露光ステージ５１ａにおけるテープＴの上下方向の送り量を調整し、かつ、供給側第２ガイドローラ３および巻取側第１ガイドローラ７により、露光ステージ５１ａにおけるテープＴの傾斜方向の調整を行っている。このため、しきい値δより位置ずれ量が大きい場合にマスクＭを移動させる量が少なくなりスループットを向上させることができるとともに、精度の高いマスクとの整合を行うことが可能となる。また、露光ステージ搬送経路において、テープＴが略水平方向（斜め下方向、斜め上方向）に搬送される部位で、テープＴの自重で搬送方向の逆方向に引張力（テンション）を与えて弛みを吸収している。その結果、搬送機構Ａは、テープＴを安定した状態で露光装置５に搬送して、所定の回路パターンに正確に転写できるように送ると共に、露光装置５で処理したテープＴを巻取リール回転部９の巻取リールＢ２にスムーズに巻き取らせることができる。
【００８４】
なお、本発明は、実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造および変更が可能であり、本発明はこれら改造および変更された発明にも及ぶことは勿論である。
【００８５】
≪変形例≫
次に、図８を参照して、本発明の実施形態に係る搬送機構の変形例を説明する。
なお、変形例において、図１〜図７に示した実施形態に係る搬送機構Ａと同一機能を有する部材の説明は省略する。
図８は、本発明の実施形態に係る搬送機構の変形例を示す図であり、ワーク接続手段の設置状態を示す要部拡大概略図である。
【００８６】
実施形態の搬送機構Ａ（図１および図２参照）は、図８に示す変形例の搬送機構Ａ１のように、供給リール回転部１と供給側第１ガイドローラ２との間に、ワーク接続手段１１を設置できるように介在させてもよい。
この場合、ワーク接続手段１１は、供給側弛緩吸収手段Ｄ１の搬送方向の上流側の供給側弛緩吸収手段Ｄ１より高い位置に配置される。
ワーク接続手段１１は、図８に示すように、露光ステージ５１ａ（図１参照）で処理中のテープＴ２の最後尾Ｔ２ａと、次の新しいテープＴ１の最先端部Ｔ１ａとを接続するための接続装置である。ワーク接続手段１１は、例えば、表面をテフロン（登録商標）でコーティングしたステージ１１ａと、このステージ１１ａ上に配置されてテープＴ１を保持する保持部１１ｃと、テープＴ１とテープＴ２とを熱圧着する圧着部１１ｂとを備えている。
【００８７】
次に、テープＴ１，Ｔ２の接続について説明する。
テープＴ２が一連の処理工程で最終端近くになったら、搬送機構Ａの動作を停止して、供給リール回転部１に巻回されていたテープＴ２の最後尾Ｔ２ａを供給側弛緩吸収手段Ｄ１の上方のステージ１１ａ上に載せる。ステージ１１ａが配置されている供給側弛緩吸収手段Ｄ１の上方の位置は、現在まで処理されていたテープＴ２が供給側第１ガイドローラ２に巻き掛けられる直近の位置にあり、テープＴ１，Ｔ２の接続作業が行い易い。
【００８８】
このテープＴ２の最後尾Ｔ２ａをステージ１１ａの中央に載置し、このテープＴ２を保持部１１ｃで押さえる。そして、処理中のテープＴ２の最後尾Ｔ２ａに新しいテープＴ１の最先端部Ｔ１ａを重ね合わせて、テープＴ１，Ｔ２に押し付けて熱圧着して接合させる。
このように搬送機構Ａ１は、搬送経路中にワーク接続手段１１を備えているので、短時間でテープＴ１，Ｔ２を接続できるため、作業効率を向上させることができる。
【００８９】
≪その他の変形例≫
図１および図２に示す供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、搬送経路中のテープＴの弛みを吸収したり、テープＴにテンションを与えるものであればよい。例えば、供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、テープＴが送り込まれる箱体Ｄ１ａと、この箱体Ｄ１ａの開口部に向けてエアを吹き付けて開口部上を通過するテープＴをＵ字状に垂れ下がった状態にするファンとを備えたエアダンサでもよい。
【００９０】
また、供給側弛緩吸収手段Ｄ１および巻取側弛緩吸収手段Ｄ２は、上下動および回転自在なローラをテープＴの上に載置して、このローラの重さを利用してテープＴを搬送方向および搬送方向と逆の方向に引っ張ってテープＴをＵ字状に垂れ下がった状態にすることにより、テープＴの弛みを吸収するローラダンサでもよい。
【００９１】
また、実施形態では、テープＴを搬送させるためのモータＭ２，Ｍ３を第１搬送ローラ４と第２搬送ローラ６に設置した場合を例に挙げて説明したが、他の全てのローラおよびリールにも搬送用のモータを設置してもよい。すなわち、供給リール回転部１、供給側第１ガイドローラ２、供給側第２ガイドローラ３、巻取側第１ガイドローラ７、巻取側第２ガイドローラ８、および巻取リール回転部９にも、搬送用のモータを設置してもよい。
このようにすれば、供給リール回転部１からテープＴをさらにスムーズに送り出し、また、巻取リール回転部９では、テープＴをさらにスムーズに巻き取ることができるようになる。
【００９２】
実施形態では、第１および第２搬送ローラ４，６に吸着孔４１ｂ，６１ｂや吸着手段４２，６２を設置した場合を例に挙げて説明したが、供給側第１および第２ガイドローラ２，３ならびに巻取側第１および第２ガイドローラ７，８にも同様に吸着孔や吸着手段を設置してもよい。このようにすれば、テープＴをさらにスムーズに搬送させることができる。
【００９３】
さらに、処理部５１は、露光装置５に限定されるものではなく、例えば、テープＴの検査装置や、フープ成形装置や、その他の機械であってもよい。
なお、処理部５１をフープ成形装置として使用する場合には、巻取リール回転部９を各部ブロック毎に切断する切断装置にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施形態に係る搬送機構を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に係る搬送機構を示す概略斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る搬送機構における供給側第１ガイドローラを示す拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る搬送機構における供給側第２ガイドローラを示す拡大断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る搬送機構における第１搬送ローラを示す拡大断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る搬送機構を示す概略構成図である。
【図７】本発明の実施形態に係る搬送機構の作動を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施形態に係る搬送機構の変形例を示す図であり、ワーク接続手段の設置状態を示す要部拡大概略図である。
【符号の説明】
【００９５】
１        供給リール回転部
２        供給側第１ガイドローラ
３        供給側第２ガイドローラ
４        第１搬送ローラ
５        露光装置
６        第２搬送ローラ
７        巻取側第１ガイドローラ
８        巻取側第２ガイドローラ
９        巻取リール回転部
１１      ワーク接続手段
３２      ワーク位置調整手段
４１，６１  ローラ本体
４１ａ，６１ａ  ローラ表面
４１ｂ    吸着孔
４２，６２  吸着手段
５１      処理部
５１ａ    露出ステージ
Ａ，Ａ１  搬送機構
Ｂ１      供給リール
Ｂ２      巻取リール  
Ｄ１      供給側弛緩吸収手段
Ｄ２      巻取側弛緩吸収手段
Ｍ      マスク
Ｔ        テープ（ワーク）
Ｔ１      新しいテープ（新しいワーク）
Ｔ１ａ    最先端部
Ｔ２      処理中のテープ（処理中のワーク）
Ｔ２ａ    最後尾
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１】
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【図７】
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