(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の円筒形状を有する磁性体からなるコアおよび非磁性体からなるスペーサをそれぞれ複数個と、両端にタップを設けたロッドと、を準備し、前記コアおよびスペーサを交互にロッドに通して串刺し状とした後、隣接する前記コアおよびスペーサが密接した状態で前記ロッドの両端のタップにそれぞれナットを係合させることによって、前記コアおよびスペーサの積重体の両端部を前記ロッドに固定してコア・スペーサ組立体を形成し、前記コア・スペーサ組立体を非磁性体からなるパイプに挿入して磁気スケール仮組立体を形成し、前記磁気スケール仮組立体の動作試験を行った後、前記コア・スペーサ組立体を前記パイプから取り出すとともに、前記コア・スペーサ組立体の外周面に接着剤を塗布して、前記パイプ内に再度挿入し、前記コア・スペーサ組立体の外周面と前記パイプの内周面を接合することにより磁気スケールを製造することを特徴とする電磁誘導式変位検出器用磁気スケールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁誘導式変位検出器において使用される磁気スケールを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の電磁誘導式変位検出器として、例えば、巻線部と、この巻線部に対して相対的に変位可能に設けられ、巻線部に対する相対変位に応じて、巻線部との間の磁気結合に変化を与える磁気スケール（可変磁気結合部）とを備えたものがある（特許文献１参照）。巻線部は、１相交流励磁される１次巻線、および直線変位方向に関して異なる位置に配置された複数の２次巻線を含んでいる。また、磁気スケール（可変磁気結合部）は、直線変位方向に沿って所定のピッチで複数繰り返して配置された磁気応答部材を有し、検出対象の直線位置に応じて振幅変調された誘導出力交流信号を、各２次巻線の配置のずれに応じて異なる振幅関数特性で、各２次巻線に誘起させる（特許文献１参照）。
【０００３】
磁気スケールは、ワイヤ線と、このワイヤ線を挿入するための軸孔をそれぞれ有し、軸孔を介してワイヤ線に差し込むことにより交互に繰り返して配置される所定サイズの磁気応答性物体および非磁気応答性物体とから構成され、あるいは、磁気スケールは、非磁気応答性物体からなる筒部と、この筒部の内部に交互に繰り返して配置された所定サイズの磁気応答性物体および非磁気応答性物体とから構成されている。
【０００４】
しかしながら、従来の磁気スケールにおいては、磁気応答性物体および非磁気応答性物体の繰り返しパターンのピッチ長がμｍ単位で変動していた。
ところで、磁気スケールにおける磁気応答性物体および非磁気応答性物体の繰り返しパターンのピッチ長が変動すると、被測定物の変位、よって磁気スケールの変位に応じて巻線部の２次巻線に誘起される誘導出力交流信号の振幅関数特性に影響が及ぼされ、変位と出力との間のリニアリティが維持されなくなる。そして、電磁誘導式変位検出器によってμｍ単位で測定物の変位を測定しようとする場合には、これは大きな測定誤差を生じる原因となる。その結果、スケールの補正が必要となるが、この補正作業は非常に面倒であった。
【特許文献１】特開平１０−１５３４０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の課題は、電磁誘導式変位検出器の磁気スケールにおいて、磁気応答性物体と非磁気応答性物体の繰り返しパターンが正確に一定のピッチで形成されるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、同一の円筒形状を有する磁性体からなるコアおよび非磁性体からなるスペーサをそれぞれ複数個と、両端にタップを設けたロッドと、を準備し、前記コアおよびスペーサを交互にロッドに通して串刺し状とした後、隣接する前記コアおよびスペーサが密接した状態で前記ロッドの両端のタップにそれぞれナットを係合させることによって、前記コアおよびスペーサの積重体の両端部を前記ロッドに固定してコア・スペーサ組立体を形成し、前記コア・スペーサ組立体を非磁性体からなるパイプに挿入して磁気スケール仮組立体を形成し、前記磁気スケール仮組立体の動作試験を行った後、前記コア・スペーサ組立体を前記パイプから取り出すとともに、前記コア・スペーサ組立体の外周面に接着剤を塗布して、前記パイプ内に再度挿入し、前記コア・スペーサ組立体の外周面と前記パイプの内周面を接合することにより磁気スケールを製造することを特徴とする電磁誘導式変位検出器用磁気スケールの製造方法を構成したものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、同一の円筒形状を有するコア（磁性体）およびスペーサ（非磁性体）をロッドに通して串刺し状とし、隣接するコアおよびスペーサが密接した状態でロッドの両端のタップにそれぞれナットを係合させることによって、コアおよびスペーサの積重体の両端をロッドに固定するようにしたので、コアおよびスペーサの繰り返しパターンを極めて正確なピッチで形成することができ、μｍ単位での変位の測定においても非常に高精度で測定結果を得ることができる。
さらに、こうして形成したコア・スペーサ組立体を非磁性体のパイプ内に挿入して磁気スケール仮組立体を形成し、その動作試験を行った後、正常に動作するもののみについて、コア・スペーサ組立体とパイプとを接着剤で接合し、製品とするようにしたので、磁気スケールの製造工程に無駄の生じることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照委して本発明の好ましい実施例について説明する。図１は、本発明の１実施例による電磁誘導式変位検出器用磁気スケールの製造方法の一連の工程を説明する図である。
まず最初、図１（Ａ）を参照して、本発明の方法によれば、まず最初、同一の円筒形状を有する磁性体からなるコア１および非磁性体からなるスペーサ２がそれぞれ複数個準備される。
次に、図１（Ｂ）に示されるように、コア１およびスペーサ２が交互にロッド３に通されて串刺し状とされる。ロッド３の両端には、タップ４が設けられている。
【００１０】
そして、図１（Ｃ）に示されるように、隣接するコア１およびスペーサ２が互いに密接した状態で、各タップ４にナット５がねじ込まれて、積重体の両端部がロッド３に締付け固定され、コア・スペーサ組立体６が形成される。
さらに、図１（Ｄ）に示されるように、コア・スペーサ組立体６が、非磁性体からなるパイプ７に挿入されて磁気スケール仮組立体８が形成される。図１（Ｅ）は、図１（Ｄ）の縦断面図である。図１（Ｅ）を参照して、パイプ７の両端部には、その内周面にネジ溝９が形成される一方、パイプ７の両端開口は円柱状の固定栓１０によって封閉可能となっている。固定栓１０は、外周面に、パイプ７の両端開口部のネジ溝９に係合し得るネジ山１１を備えている。こうして、パイプ７の一端開口が固定栓１０によって封閉され、他端開口側からコア・スペーサ組立体６がパイプ７内に挿入された後、他端開口が固定栓１０によって封閉されることによって、磁気スケール仮組立体８が形成されるようになっている。このとき、パイプ７の両端の固定栓１０の間に、コア・スペーサ組立体６が挟持されてパイプ７内に固定される。なお、パイプ７の内周面と、コア・スペーサ組立体６の外周面との間には、わずかな遊びが形成され、後の、コア・スペーサ組立体６とパイプ７との接着剤による接合が確実になされるようになっている。
【００１１】
その後、磁気スケール仮組立体の動作試験が行われる。そして、正常に動作するもののみについて、コア・スペーサ組立体６がパイプ７から一旦取り出されるとともに、コア・スペーサ組立体６の外周面に接着剤が塗布され、パイプ７内に再度挿入され、コア・スペーサ組立体６の外周面とパイプ７の内周面が接合され、磁気スケールが完成する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の１実施例による電磁誘導式変位検出器用磁気スケールの製造方法の一連の工程を説明する図である。
【符号の説明】
【００１３】
１  コア
２  スペーサ
３  ロッド
４  タップ
５  ナット
６  コア・スペーサ組立体
７  パイプ
８  磁気スケール仮組立体
９  ネジ溝
１０  固定栓
１１  ネジ山
【図１】
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