(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素含有水に、添加後の残留カルシウム濃度が４００ｍｇ／Ｌになる理論量のカルシウム化合物を作用させ、含有フッ素の１００／３〜１３０／３％をフッ化カルシウムとして不溶化する第一工程と、
第一工程からの排水に、後段より引き抜き、再生処理を施した汚泥を添加して混合する第二の工程と、
第二工程からの排水にアルミニウム塩を添加することにより不溶化物を生成する第三工程と、
生成した不溶化物を含む汚泥を分離して処理水を得るとともに汚泥を排出する第四工程と、
前記汚泥の一部を引き抜き、酸またはアルカリを加えて汚泥に含まれるアルミニウムを溶解させる再生処理を施して前記第二工程に返送する第五工程と、
を有することを特徴とするフッ素含有水の処理方法。
【請求項２】
第二工程のｐＨを８以上とすることを特徴とする、請求項１に記載のフッ素含有水の処理方法。
【請求項３】
第五工程における汚泥を、第二工程に加え第一工程にも返送することを特徴とする、請求項１または２に記載のフッ素含有水の処理方法。
【請求項４】
第一工程と第二工程への汚泥返送量の比率を、１：２〜３０とすることを特徴とする、請求項３に記載のフッ素含有水の処理方法。
【請求項５】
第三工程と第四工程の間に、高分子凝集剤を添加する工程を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のフッ素含有水の処理方法。
【請求項６】
フッ素含有水に、添加後の残留カルシウム濃度が４００ｍｇ／Ｌになる理論量のカルシウム化合物を作用させ、含有フッ素の１００／３〜１３０／３％をフッ化カルシウムとして不溶化するカルシウム反応槽と、
カルシウム反応槽からの排水に、後段より引き抜き、再生処理を施した汚泥を添加して混合する混合槽と、
混合槽からの排水にアルミニウム塩を添加することにより不溶化物を生成する無機凝集剤反応槽と、
生成した不溶化物を含む汚泥を分離して処理水を得るとともに汚泥を排出する固液分離手段と、
固液分離手段から汚泥の一部を引抜き混合槽へ返送する汚泥返送ラインと、
汚泥返送ラインにより返送される汚泥に、酸またはアルカリを加えて汚泥に含まれるアルミニウムを溶解させる再生処理を施す汚泥再生槽と、
を有することを特徴とするフッ素含有水の処理装置。
【請求項７】
混合槽のｐＨを８以上に調整することを特徴とする、請求項６に記載のフッ素含有水の処理装置。
【請求項８】
固液分離手段から汚泥を、混合槽に加えカルシウム反応槽にも返送することを特徴とする、請求項６または７に記載のフッ素含有水の処理装置。
【請求項９】
カルシウム反応槽と混合槽への汚泥返送量の比率を、１：２〜３０とすることを特徴とする、請求項８に記載のフッ素含有水の処理装置。
【請求項１０】
無機凝集剤反応槽と固液分離手段の間に、高分子凝集剤を添加する高分子凝集剤反応槽を有することを特徴とする、請求項６〜９のいずれかに記載のフッ素含有水の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素含有水の処理方法および装置に関し、とくに、カルシウム化合物およびアルミニウム塩を添加するフッ素含有水の処理方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス産業等の廃水から排出されるフッ素含有水の処理方法としては、被処理水に消石灰、塩化カルシウムや炭酸カルシウム等のカルシウム化合物を添加して、フッ化カルシウムを生成し、これらの微細粒子をアルミニウム系または鉄系の無機凝集剤、さらには高分子凝集剤を添加することにより凝集させて、固液分離（例えば、沈殿分離）する方法が一般に採用されている。
【０００３】
上記のうち、主に利用されるアルミニウム系凝集剤としては、一般にＰＡＣ（ポリ塩化アルミニウム）や硫酸バンドなどのアルミニウム塩が挙げられる。これらは、難溶性の水酸化アルミニウムを形成し、カルシウムと反応しきれず残留したフッ素を吸着するとともに、フッ化カルシウムを含めた不溶化物を共沈作用により凝集することによりフッ素を除去するようにしている。この方法によると、例えば、処理水フッ素は１０〜２０ｍｇ／Ｌに低減できる。
【０００４】
ところが、２００１年７月に、フッ素の排出基準値が１５ｍｇ／Ｌから８ｍｇ／Ｌに強化され、フッ素をさらに高度に処理する必要が出てきた。
【０００５】
また、エレクトロニクス産業排水には、リンも含有される場合が多く、また、リンは家庭からの排水中にも含まれている。閉鎖性水域における富栄養化防止の観点などからリン除去を行う必要があり、多くの地域ではリンは上乗せ規制の対象になっている。このリンの除去には、フッ素の場合と同様に、カルシウム塩を添加してリン酸カルシウムとして不溶化し、アルミニウム系や鉄系の無機凝集剤でこれらを凝集させて、リン酸アルミニウムやリン酸鉄として凝集沈殿により除去されている。
【０００６】
上記凝集沈殿法において、フッ素やリンを高度に処理するには、アルミニウム系凝集剤の添加量を２０００〜５０００ｍｇ／Ｌに増やさなくてはならない上、そのような条件で生成した汚泥は脱水性が悪く、汚泥脱水後の脱水ケーキ量が非常に多くなるなどの問題があった。
【０００７】
そこで、脱水ケーキ量を低減する手法として、汚泥循環法と呼ばれる方法が採られる。これは、固液分離後の汚泥の一部を前段カルシウム反応槽や無機凝集剤反応槽へ返送することにより、汚泥濃度を高めて高密度化し、汚泥の凝集性および脱水性を高める（つまり、含水率を低下させる）ようにした方法である（例えば、特許文献１、特許文献２）。
【０００８】
さらには、上記のような汚泥循環法においては、無機凝集剤の添加量を削減するために、返送する汚泥にアルカリまたは酸を加えて処理する汚泥再生処理を施した後、反応槽へ返送する方法が採用されることもある。汚泥中の水酸化アルミニウムが酸またはアルカリ処理されることで溶解し、吸着していたフッ素を放出する。放出されたフッ素は汚泥中のカルシウム、または汚泥再生時にｐＨ調整のために添加された消石灰や塩化カルシウム中のカルシウムと反応し、フッ化カルシウムを形成する。このようにして再生されたアルミニウム塩は、無機凝集剤反応槽内で再利用されることから、凝集剤の添加量を大幅に削減することが可能となる。また、これらの手法において、汚泥循環率は、通常、原水流入量の０．５〜３０％の範囲とされる。少なすぎると汚泥循環の効果を充分に得られず、逆に多すぎる場合には、系内の汚泥濃度が上がりすぎることに伴う弊害（高分子凝集剤の必要添加量の増加、凝集不良、処理水へのＳＳ流出等）が起こるため、この範囲とするのが良い。
【特許文献１】特公平７−３６９１１号公報
【特許文献２】特開２００１−９４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
一般に、上述のような処理系における第一工程のカルシウムとフッ素の反応は、流入フッ素濃度により大きく影響を受け、流入フッ素濃度が低くなるほど反応が進行しにくい。カルシウム反応槽において、フッ化カルシウム形成が不十分であると、後段の無機凝集剤反応槽への負荷が増大するため、結果的に処理水質が悪化する。
【００１０】
しかし、カルシウム反応時にフッ化カルシウム粒子（種晶）が存在すると、粒子表面で晶析反応が起こり、反応が促進される。従って、汚泥循環法においては、流入フッ素濃度が低い場合や、濃度変動が激しく、カルシウムとの反応が不安定になりやすいような場合には、固液分離後の汚泥中に存在するフッ化カルシウム粒子を種晶として利用するために、汚泥の返送先としてカルシウム反応槽が選択されることが多い。
【００１１】
本発明者らは、カルシウム反応槽における、フッ化カルシウム形成能を確認するため、様々な条件におけるカルシウム反応槽中の溶解性フッ素濃度を調査したところ、カルシウム反応槽へ汚泥を返送していても、フッ化カルシウム形成反応が促進されていなかったり、むしろ悪化していることもあるということが分かった。つまり、汚泥中のアルミニウムがフッ化カルシウム形成を阻害していることがあることが分かった。リンについても、リン酸カルシウム形成過程において、同様の問題がある。
【００１２】
また、汚泥循環法においては、返送する汚泥にアルカリまたは酸を加えて処理する汚泥再生処理を施した後、再生汚泥を無機凝集剤反応槽へ返送する方法が選択されることもある。この場合には、高い濃度の汚泥を直接無機凝集剤反応槽に返送しており、再生した汚泥の能力を十分に得られないことがあることも分かった。そのため、再生汚泥を無機凝集剤反応槽へ返送しても、結局無機凝集剤の添加量を大幅に削減することはできず、汚泥循環の効果が十分に得られていない。
【００１３】
そこで本発明の課題は、このような調査結果に基づき、上記のような汚泥循環法による効果を最大限に高めることができ、含有フッ素の除去率をさらに高めることができるとともに、無機凝集剤の添加量を効果的に削減可能なフッ素含有水の処理方法および装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者らは、上記調査結果に鑑み、鋭意検討した結果、無機凝集剤の添加量をより効果的に削減するためには、汚泥を無機凝集剤反応槽に直接返送するよりも、カルシウム反応槽の後段で一度拡散させた後に返送し、かつ、そのときの反応ｐＨを８以上とする方法がより効果的であることを見出し、これによって汚泥循環法による効果を最大限に高めることができることを見出した。
【００１５】
すなわち、本発明に係るフッ素含有水の処理方法は、フッ素含有水に、添加後の残留カルシウム濃度が４００ｍｇ／Ｌになる理論量のカルシウム化合物を作用させ、含有フッ素の１００／３〜１３０／３％をフッ化カルシウムとして不溶化する第一工程と、第一工程からの排水に、後段より引き抜き、再生処理を施した汚泥を添加して混合する第二の工程と、第二工程からの排水にアルミニウム塩を添加することにより不溶化物を生成する第三工程と、生成した不溶化物を含む汚泥を分離して処理水を得るとともに汚泥を排出する第四工程と、前記汚泥の一部を引き抜き、酸またはアルカリを加えて汚泥に含まれるアルミニウムを溶解させる再生処理を施して前記第二工程に返送する第五工程と、を有することを特徴とする処理方法からなる。
【００１６】
このフッ素含有水の処理方法においては、第二工程のｐＨを８以上とすることが好ましい。
【００１７】
フッ素処理について説明するに、汚泥の凝集性と脱水性の向上のために、汚泥を第一工程のカルシウム反応槽に返送することで晶析反応を促進させることができるが、汚泥を大量に戻すと汚泥中に含まれるアルミニウムがフッ化カルシウム形成反応を妨害する。また、無機凝集剤の添加量を削減するために、汚泥に酸またはアルカリを添加する再生処理を行った後に第三工程の無機凝集槽反応槽に汚泥を返送する方法が採られることもあるが、この場合は再生した返送汚泥の拡散が十分ではない。本発明では、第一工程（カルシウム反応槽）の後段、つまり第一工程と第三工程の間に第二工程（混合槽）を設け、この第二工程（混合槽）に汚泥を返送することで、汚泥を一旦拡散させてから第三工程（無機凝集剤反応槽）に返送することで、汚泥の接触効率を上げ、無機凝集剤の添加量をさらに削減することができる。そしてこのとき、第二工程（混合槽）におけるｐＨが中性付近になると、汚泥中のアルミニウムが完全に不溶化して、接触効率が低下してしまうため、ｐＨを８以上とするのが効果的であることが分かった。
【００１８】
また、本発明に係るフッ素含有水の処理方法においては、第五工程における汚泥を、第二工程（混合槽）に加え第一工程（カルシウム反応槽）にも返送することができる。すなわち、混合槽に返送すると同時にカルシウム反応槽にも少量返送し、晶析反応を促進させることができる。このときのカルシウム反応槽（第一工程）と混合槽（第二工程）への汚泥返送量の比率は、１：２〜３０とするのが最も効果的である。１：３０を超えても、それ以上の効果は得られないので、機械的、経済的観点から、第二工程への汚泥返送量の最大比率は、この範囲に抑えるのが好ましい。また、１：２未満になると、優れた処理水質が得られにくくなる。したがって、第一工程と第二工程への汚泥返送量の比率は上記範囲内に設定するのが良い。なお、カルシウム反応槽（第一工程）への返送汚泥は、再生処理は行っても行わなくてもかまわない。
【００１９】
さらに、本発明に係る処理方法においては、第三工程（無機凝集剤添加工程）と第四工程（固液分離工程）の間に、高分子凝集剤を添加する工程を有することが好ましい。この工程は、高分子凝集剤を添加することにより、不溶化物の凝集性を高め、その後段の固液分離工程における分離性能を向上させるための工程である。
【００２０】
なお、本発明に係る処理方法における第四工程（固液分離工程）については、膜分離や加圧浮上分離、沈降分離等の手法を採用できるが、特に限定するものではない。
【００２１】
本発明に係るフッ素含有水の処理装置は、フッ素含有水に、添加後の残留カルシウム濃度が４００ｍｇ／Ｌになる理論量のカルシウム化合物を作用させ、含有フッ素の１００／３〜１３０／３％をフッ化カルシウムとして不溶化するカルシウム反応槽と、カルシウム反応槽からの排水に、後段より引き抜き、再生処理を施した汚泥を添加して混合する混合槽と、混合槽からの排水にアルミニウム塩を添加することにより不溶化物を生成する無機凝集剤反応槽と、生成した不溶化物を含む汚泥を分離して処理水を得るとともに汚泥を排出する固液分離手段と、固液分離手段から汚泥の一部を引抜き混合槽へ返送する汚泥返送ラインと、汚泥返送ラインにより返送される汚泥に、酸またはアルカリを加えて汚泥に含まれるアルミニウムを溶解させる再生処理を施す汚泥再生槽と、を有することを特徴とするものからなる。
【００２２】
上記混合槽のｐＨは８以上に調整することことが好ましい。また、固液分離手段から汚泥を、混合槽に加えカルシウム反応槽にも返送することができる。この場合には、カルシウム反応槽と混合槽への汚泥返送量の比率を、１：２〜３０とすることが好ましい。さらに、無機凝集剤反応槽と固液分離手段の間に、高分子凝集剤を添加する高分子凝集剤反応槽を有する構成とすることもできる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るフッ素含有水の処理方法および装置によれば、第一工程（カルシウム反応槽）と第三工程（無機凝集剤反応槽）の間に、返送されてくる再生処理を施した汚泥を添加して混合する第二工程（混合槽）を設け、返送汚泥を一旦拡散させてから第三工程（無機凝集剤反応槽）へと導入するようにしたので、汚泥の接触効率を上げ、第三工程における無機凝集剤の添加量を大幅に削減することが可能になる。したがって、汚泥循環法による効果を最大限に高めることができるとともに、処理水水質の向上をはかることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、本発明について、従来法と比較しつつ、図面を用いて詳細に説明する。
図１〜図４は、比較のための従来法を、図５〜図７は、本発明の各実施態様に係るフッ素含有水の処理方法および装置を示している。以下に、フッ素含有水の処理例について説明する。
【００２５】
図１に示す処理方法においては、フッ素含有水としてのフッ酸排水１が、第一工程としてのカルシウム反応槽（Ｃａ反応槽）２に送られ、カルシウム化合物として消石灰３や塩化カルシウム（本実施態様では、消石灰３）が添加されて攪拌機４により攪拌され、フッ化カルシウムが生成される。このとき、後述の返送汚泥も添加される。Ｃａ反応槽２における反応ｐＨは、３〜１２、好ましくは４〜１１に維持される。
【００２６】
Ｃａ反応槽２からの排水は、本発明で言う第三工程としての無機凝集剤反応槽５に導入され、アルミニウム系凝集剤（アルミニウム塩）からなる無機凝集剤６が添加され、攪拌機７により攪拌されて不溶化物が生成される。アルミニウム系凝集剤としては、一般にＰＡＣ（ポリ塩化アルミニウム）や硫酸バンド等が用いられ、反応ｐＨは５〜８．５、好ましくは、６〜７．５に維持される。ｐＨ調整のためにはｐＨ調整剤８が添加されることが好ましい。
【００２７】
上記ｐＨ調整に酸、アルカリを用いる場合、種類は特に限定されるものではないが、硫酸、塩酸、硝酸、水酸化ナトリウム等が用いられる。
【００２８】
本態様では、さらに、高分子凝集剤添加工程が設けられ、無機凝集剤反応槽５からの排水が高分子凝集剤反応槽９に導入され、高分子凝集剤１０が添加されて攪拌機１１により攪拌される。この高分子凝集剤１０は、不溶化物の凝集性を高め、その後段の固液分離性を向上させるために添加される。
【００２９】
高分子凝集剤反応槽９からの排水は、本態様では本発明で言う第四工程としての固液分離工程を実施する、緩攪拌機１２を備えた沈殿槽１３に導入され、沈殿処理による上澄液としての処理水１４が所定の行き先に送られるとともに、沈殿分離された汚泥１５の一部は排出され、他の一部は返送汚泥１６としてポンプ１７によりＣａ反応槽２に返送される。この固液分離ついては、膜分離や加圧浮上分離、沈降分離等が挙げられるが、特に限定するものではない。
【００３０】
図２に示す処理においては、図１に示した処理に比べ、返送汚泥１６の返送先が第三工程（無機凝集剤反応槽５）とされており、その他の構成は実質的に図１に示した処理方法と同じである。
【００３１】
このように、固液分離された汚泥の一部が、第一工程または第三工程に返送されるが（図１、図２）、汚泥再生処理を行う場合には、酸またはアルカリを添加して処理を行う。例えば図３、図４に示すように、汚泥返送ラインに攪拌機１８を備えた汚泥再生槽１９を設け、酸またはアルカリを添加して再生処理を行う。図示例では、この汚泥再生槽１９にも消石灰３が添加されている。酸処理の場合はｐＨ４以下、好ましくは３〜４の範囲とし、アルカリ処理の場合はｐＨ９以上、好ましくは１０〜１２の範囲とする。酸、アルカリの添加方法は特に限定するものではなく、図示例のようにライン途中に汚泥再生用の反応槽を設けてもよいし、汚泥返送ラインに直接注入しても構わない。
【００３２】
本発明に係るフッ素含有水の処理方法および装置においては、図５に第１実施態様を示すように、第一工程（Ｃａ反応槽２）と第三工程（無機凝集剤反応槽５）の間に第二工程（混合槽２１）が設けられ、この第二工程（混合槽２１）に、汚泥返送ライン２２に設けられた汚泥再生槽１９からの再生汚泥が添加されて混合され、しかる後に、第二工程（混合槽２１）からの排水が第三工程（無機凝集剤反応槽５）に送られる。この混合槽２１にも攪拌機２３が設けられている。また、この第二工程（混合槽２１）では、前述の如く、ｐＨが８以上になるように調整されることが好ましく、そのためにｐＨ調整剤２４が添加されている。
【００３３】
このように第二工程（混合槽２１）を第一工程（Ｃａ反応槽２）と第三工程（無機凝集剤反応槽５）の間に設け、返送汚泥を一旦拡散させてから第三工程（無機凝集剤反応槽５）へと導入するようにしたので、汚泥の接触効率を上げ、第三工程における無機凝集剤の添加量を大幅に削減することが可能になる。したがって、汚泥循環法による効果を最大限に高めることができるとともに、処理水水質の向上をはかることができる。また、第二工程（混合槽２１）におけるｐＨを８以上とすることにより、この効果を一層高めることが可能となる。
【００３４】
図６に示す本発明の第２実施態様に係る処理方法および装置では、第二工程（混合槽２１）とともに第一工程（Ｃａ反応槽２）へも再生汚泥が返送されている。この場合、第一工程（Ｃａ反応槽２）におけるフッ化カルシウム形成が促進され、その分処理水質も良好になる。
【００３５】
図７に示す本発明の第３実施態様に係る処理方法および装置では、固液分離された返送汚泥１６のうち未再生の汚泥が、汚泥返送ライン２２から分岐された汚泥返送ライン２５を介して第一工程のＣａ反応槽２に返送され、第二工程の（混合槽２１）には、汚泥再生槽１９で再生処理された汚泥が返送される。
【００３６】
図５〜図７に示したいずれの形態においても、処理水質の向上（含有フッ素の除去率向上）、無機凝集剤の添加量低減の少なくともいずれかを達成でき、汚泥循環法による効果を最大限に高めることができる。
【実施例】
【００３７】
図１〜図４に示した処理フロー（比較例）と図５〜図７に示した処理フロー（実施例）とについて、以下の条件で試験した。
通水条件：原水流入量１００Ｌ／ｈ、各反応槽２５Ｌ、汚泥再生槽５Ｌ
被処理水：フッ化ナトリウム合成排水（Ｆ＝３０ｍｇ／Ｌ）
Ｃａ反応槽（ｐＨ１０）：消石灰を処理水残留Ｃａが４００ｍｇ／Ｌになる理論量添加
無機凝集剤反応槽（ｐＨ７）：ＰＡＣを３００〜２０００ｍｇ／Ｌ添加
高分子凝集剤反応槽：”オルフロック”ＯＡ−２３を２ｍｇ／Ｌ添加
汚泥再生槽（ｐＨ１１）：消石灰をｐＨ１１になるまで添加
汚泥返送率：表１に示す率（原水基準）
【００３８】
結果を表１に示す。表１において、比較例１−１〜１−１０は、図１〜図４に示した従来法によるもの、参考例２−１〜２−３、実施例２−４〜２−５は図５〜図７に示した本発明方法によるものである。
【００３９】
【表１】
0004689187.tif 000002
【００４０】
表１に示したように、各比較例、各参考例、各実施例における結果は以下のようになった。
比較例１−１（基本データ）においては、汚泥返送なしであり、ＰＡＣ３００ｍｇ／Ｌでは処理水のＦ（フッ素）は１８ｍｇ／Ｌにしかならなかった。比較例１−２も汚泥返送なしであり、処理水についてＦ＝８ｍｇ／Ｌにするには、ＰＡＣが２０００ｍｇ／Ｌ必要であった。比較例１−３では、Ｃａ反応槽に汚泥を返送したので、Ｃａ反応槽のＦ値が下がっており、その結果処理水質は向上した。汚泥含水率も低下したが、ＰＡＣ添加量に対してはさらなる低下が望まれる値であった。比較例１−４でＣａ反応槽への汚泥返送率を増加したら、却ってＣａ反応槽のＦ値が悪化し、返送汚泥による妨害が若干見られた。ただし、汚泥含水率は低下した。比較例１−５では、汚泥返送先を無機凝集剤反応槽としたが、比較例１−１に比べ、水質改善効果は全くなかった。ただし、汚泥含水率は比較例１−１より低下した。比較例１−６では、汚泥再生後Ｃａ反応槽に返送したところ、水質が向上し、汚泥含水率も低く抑えられた。比較例１−７で再生汚泥の返送率を増加したところ、却ってＣａ反応槽のＦ値が悪化した。比較例１−８、１−９で再生汚泥の返送先を無機凝集剤反応槽としたところ、Ｃａ反応槽においては比較例１−１と同等性能であり、汚泥再生の効果により、処理水質は向上した。比較例１−１０で再生汚泥の返送率を４０％に増加したところ、汚泥濃度が上がりすぎて凝集不良となった。
【００４１】
参考例２−１においては、汚泥再生後、再生汚泥を混合槽に返送したところ、処理水質が向上し、汚泥含水率も低く抑えられた。参考例２−２においては、混合槽でのｐＨを７にしたところ、アルミニウムがフロック化し、処理水質がやや悪化した。汚泥含水率は低いままに抑えられた。参考例２−３においては、比較例１−８に比べ、同じ処理水質を得るのに必要なＰＡＣ注入量を大幅に低減できた。実施例２−４、２−５において、汚泥をＣａ反応槽にも返送したところ、Ｃａ反応槽のＦ値が低下し、その分処理水質も向上した。
【００４２】
なお、上記各比較例、各実施例は、フッ素含有水に関して比較したが、本発明に係る処理方法および装置は、同様に、リン含有水に対しても適用でき、同様の作用、効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明に係るフッ素含有水の処理方法および装置は、フッ素を含有するあらゆる廃水の処理に適用でき、とくにエレクトロニクス産業廃水の処理に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】従来のフッ素含有水の処理方法を示す概略機器系統図である。
【図２】従来の別のフッ素含有水の処理方法を示す概略機器系統図である。
【図３】従来のさらに別のフッ素含有水の処理方法を示す概略機器系統図である。
【図４】従来のさらに別のフッ素含有水の処理方法を示す概略機器系統図である。
【図５】本発明の第１実施態様に係るフッ素含有水の処理方法および装置を示す概略機器系統図である。
【図６】本発明の第２実施態様に係るフッ素含有水の処理方法および装置を示す概略機器系統図である。
【図７】本発明の第３実施態様に係るフッ素含有水の処理方法および装置を示す概略機器系統図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  フッ素含有水としてのフッ酸排水
２  第一工程としてのカルシウム反応槽（Ｃａ反応槽）
３  カルシウム化合物としての消石灰
４、７、１１、１８、２３  攪拌機
５  第三工程としての無機凝集剤反応槽
６  アルミニウム系凝集剤（アルミニウム塩）からなる無機凝集剤
８、２４  ｐＨ調整剤
９  高分子凝集剤反応槽
１０  高分子凝集剤
１２  緩攪拌機
１３  第四工程の固液分離工程としての沈殿槽
１４  処理水
１５  沈殿分離された汚泥
１６  返送汚泥
１７  ポンプ
１９  汚泥再生槽
２１  混合槽
２２、２５  汚泥返送ライン
【図１】
0004689187.tif 000003
【図２】
0004689187.tif 000004
【図３】
0004689187.tif 000005
【図４】
0004689187.tif 000006
【図５】
0004689187.tif 000007
【図６】
0004689187.tif 000008
【図７】
0004689187.tif 000009