(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、異常分析可能なチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。
【請求項２】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、
前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、
一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、異常分析可能なチャートを構成するチャート構成部と、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置。
【請求項３】
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、
前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、
前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備する請求項１または請求項２記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報も含み、
当該点または／および線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または／および線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積部をさらに具備し、
前記指示受付部は、
前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄積出力指示をも受け付け、
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応するチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、
前記出力部は、
前記チャート構成部が構成したチャートを出力する請求項１から請求項３いずれか記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する請求項１、請求項３または請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する請求項１、請求項３または請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成する請求項１、請求項３または請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する請求項２から請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する請求項２から請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記チャート構成部は、
前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成する請求項２から請求項４いずれか記載のサーバ装置。
【請求項１１】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、異常分析可能なチャートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項１２】
コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、
異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、
前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、異常分析可能なチャートを構成するチャート構成ステップと、
前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム。
【請求項１３】
コンピュータに、
前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、
前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、
前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるための請求項１１または請求項１２記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の製造装置と、当該２以上の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム、サーバ装置等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の群管理システムにおいて、測定器から送られてくるデータを自動的に、かつ正確に加工できる半導体製造装置の群管理システムにおける測定データ加工方法を実現する（例えば、特許文献１参照）。本測定データ加工方法において、群管理システムの群管理部の測定器通信部に測定器が送信してくる種々の測定データを受信する。本測定データ加工方法は、前記測定データを加工する計算式を予め登録しておき、前記測定データを受信したとき、前記測定データを測定データ受信バッファに格納するとともに、前記測定データが有するレシピ名称に基づいて、前記登録された計算式の中から前記測定データを加工するのに適する少なくとも一つの同じレシピ名称をもつ計算式を選択して計算式格納バッファに格納し、格納された前記測定データを前記選択された計算式に適用して計算し、計算結果を加工済みデータ格納バッファに記憶するものである。
【０００３】
また、従来の半導体製造装置の群管理システムでは、半導体製造装置で測定された時系列の情報（以下チャートと記載）を表示する機能を有していた。このチャートには、群管理システムが管理する複数の半導体製造装置の情報が表示されていた。そして、従来の群管理システムでは、チャートを用いて、異常検知を行い、その後異常分類を行うＦＤＣ（fault detection and classification）という機能を有していた。
【０００４】
つまり、従来の群管理システムでは、ユーザが設定した検査対象群（期間、装置群、レシピ群および、またはパラメータ群）において異常検知した後、当該検査対象群の全検査データを取り込み、ユーザが異常分析を行っていた。また、異常が発生した場合の異常分析の手法として、SＰＣ（単変量異常検知）チャート、相関（２変量異常検知）チャート、およびＭＤ（多変量異常検知）チャートによる分析手法が存在していた。
【特許文献１】特開平１１−３５４３９５号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の群管理システムにおいては、異常検知した後の異常分析において、当該検査対象群の全検査データを表示するものであったので、どの製造装置がどのような経過で異常となったか、または、どのレシピが異常に関与しているのか等を、直ちに分析して知ることはできなかった。特に、サーバ装置に数十から数百台の製造装置が接続された場合、上記の異常分析は非常に困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本第一の発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置である。
【０００７】
かかる構成により、異常発生時などに、収集した時系列の情報を分析する際、半導体製造装置等の装置毎の測定情報を取り出し、チャートの出力ができる。
【０００８】
また、本第二の発明のサーバ装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置と接続されているサーバ装置を具備し、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する群管理システムを構成するサーバ装置であって、前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成部と、前記チャート構成部が構成したチャートを出力する出力部を具備するサーバ装置である。
【０００９】
かかる構成により、異常発生時などに、収集した時系列の情報を分析する際、半導体製造装置等のレシピ毎の測定情報を取り出し、チャートの出力ができる。
【００１０】
また、本第三の発明のサーバ装置は、第一、第二いずれかの発明に対して、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信部と、前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得部と、前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積する測定情報蓄積部をさらに具備するサーバ装置である。
【００１１】
かかる構成により、サーバ装置が製造装置から元情報を受信するので、確実に時系列の元情報を収集できる。
【００１２】
また、本第四の発明のサーバ装置は、第一から第三いずれかの発明に対して、前記出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報も含み、当該点または／および線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または／および線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積部をさらに具備し、前記指示受付部は、前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄積出力指示をも受け付け、前記チャート構成部は、前記指示受付部が蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応するチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、前記出力部は、前記チャート構成部が構成したチャートを出力するサーバ装置である。
【００１３】
かかる構成により、ユーザが設定した指示であり、チャートの出力のための指示である出力指示を保存し、再利用できる。
【００１４】
また、本第五の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成するサーバ装置である。
【００１５】
かかる構成により、各製造装置のチャートが他の製造装置のチャートと区別して見ることができ、かつ、指定した複数の製造装置のチャートを一度に見ることができる。その結果、複数の装置で異常が発生した場合、特に有効である。または、一の製造装置のチャートのみを見ることができる。その結果、特定の製造装置の経時変化やバラツキの分析を容易に行え、異常分析に非常に有効である。
【００１６】
また、本第六の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成するサーバ装置である。
【００１７】
かかる構成により、異常を検知した後、二変量の相関関係を、製造装置ごとに分析でき、効果的に異常分析ができる。
【００１８】
また、本第七の発明のサーバ装置は、第一、第三、第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成するサーバ装置である。
【００１９】
かかる構成により、異常を検知した後、多変量の相関関係を、製造装置ごとに分析でき、さらに効果的に異常分析ができる。
【００２０】
また、本第八の発明のサーバ装置は、第二から第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成するサーバ装置である。
【００２１】
かかる構成により、レシピごとに、チャートを区別して見ることができ、かつ、指定した複数のレシピのチャートを一度に見ることができる。その結果、複数のレシピを用いた製造で異常が発生した後の異常分析に、特に有効である。または、一のレシピのチャートのみを見ることができる。その結果、特定のレシピを用いた製造で異常が発生した後の異常分析に非常に有効である。
【００２２】
また、本第九の発明のサーバ装置は、第二から第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成するサーバ装置である。
【００２３】
かかる構成により、異常を検知した後、二変量の相関関係を、レシピごとに分析でき、効果的に異常分析ができる。
【００２４】
また、本第十の発明のサーバ装置は、第二から第四いずれかの発明に対して、前記チャート構成部は、前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成するサーバ装置である。
【００２５】
かかる構成により、異常を検知した後、多変量の相関関係を、レシピごとに分析でき、さらに効果的に異常分析ができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明による群管理システムによれば、異常を検知した後、装置毎、またはレシピ毎の測定情報を取り出して表示させることができ、異常分析が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
【００２８】
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、異常検知した後に異常分析を行う機能を有する。さらに、群管理システムは、１以上の製造装置１１（製造装置１１（１）から製造装置１１（ｎ））、サーバ装置１２、およびクライアント装置１３を有する。
【００２９】
製造装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体的には、製造装置１１は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置である。製造装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。製造装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置である。本半導体ウエハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
【００３０】
また、製造装置１１は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて制御する。
【００３１】
また、サーバ装置１２は、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置であり、複数の製造装置１１における各種の測定情報を格納しており、当該測定情報に対して、異常分析を行う機能を有する。また、サーバ装置１２は、通常、異常検知の機能を有する。そして、サーバ装置１２において、通常、異常検知をした後、ユーザに、異常分析の機能を提供する。なお、異常検知の機能は、予め正常な範囲の閾値（例えば、上限閾値および下限閾値）または異常な範囲の閾値を記録媒体（例えば、閾値格納部）に格納しており、当該閾値を用いて、測定情報が正常か異常かを判断する判断部を具備し、当該判断部の判断により異常を検知する。なお、かかる一般的な異常検知の機能は公知技術であるので詳細な説明を省略する。
【００３２】
また、クライアント装置１３は、サーバ装置１２に対して各種の要求を出し、サーバ装置１２における処理結果を受け付ける。
【００３３】
図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。
【００３４】
群管理システムは、1以上の製造装置１１、サーバ装置１２、クライアント装置１３を具備する。
【００３５】
製造装置１１は、レシピ格納部１１０１、処理部１１０２、測定部１１０３、元情報蓄積部１１０４、元情報送信部１１０５を具備する。
【００３６】
サーバ装置１２は、測定情報格納部１２０１、元情報受信部１２０２、測定情報取得部１２０３、測定情報蓄積部１２０４、指示受付部１２０５、チャート構成部１２０６、出力部１２０７、出力指示蓄積部１２０８を具備する。
【００３７】
クライアント装置１３は、指示入力部１３０１、指示送付部１３０２、チャート受付部１３０３、チャート表示部１３０４を具備する。
【００３８】
レシピ格納部１１０１は、製造装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスパラメータの情報の集合を含む。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。通常、レシピは、レシピを識別するレシピ識別子（例えば、レシピ名）と対に格納されている。レシピ格納部１１０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００３９】
処理部１１０２は、レシピ格納部１１０１のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、被処理基板に対する所定のプロセスを行う。処理部１１０２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。処理部１１０２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４０】
測定部１１０３は、製造装置１１内の温度や、ガス流量や、圧力などの一種以上の値を測定し、チャート化される測定情報の元になる情報である元情報を取得する。元情報は、測定した温度などの情報である。元情報は、通常、測定した時刻を示す時刻情報を有する。元情報は、測定部１１０３が温度等の値を測定していた際に処理していたレシピを識別するレシピ識別子と、測定した一種以上の値と、測定した時刻を示す時刻情報を有することはさらに好適である。測定部１１０３は、複数の箇所の複数の温度や、温度とガス流量などの複数の値を測定しても良いことは言うまでもない。測定部１１０３は、1以上の温度センサや1以上の流量センサなどのセンサ等で実現され得る。
【００４１】
元情報蓄積部１１０４は、測定部１１０３が取得した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。元情報蓄積部１１０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。元情報蓄積部１１０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。また、記録媒体は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００４２】
元情報送信部１１０５は、元情報蓄積部１１０４が蓄積した元情報を、サーバ装置１２に送信する。元情報の送信のトリガーは問わない。また、元情報送信部１１０５が送信する元情報は、測定された値、時刻情報、および製造装置１１を識別する製造装置識別子を有することが好適である。さらに、元情報送信部１１０５が送信する元情報は、測定された値、時刻情報、および製造装置１１を識別する製造装置識別子、レシピ識別子を有することが好適である。つまり、元情報蓄積部１１０４が蓄積した元情報と、元情報送信部１１０５が送信する元情報は、その構造や構成が異なっていても良い。また、元情報は、複数の測定された値に対して、一つの製造装置識別子または／および一つのレシピ識別子を有する構成でも良い。さらに、元情報送信部１１０５は、測定された値と時刻情報の組と、製造装置識別子、レシピ識別子などの属性値を異なるタイミングで送信しても良い。元情報送信部１１０５は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４３】
測定情報格納部１２０１は、複数の測定情報を格納し得る。複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された情報についての時系列の情報であり、製造装置１１を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である。また、さらに、複数の測定情報は、複数の製造装置１１で測定された情報についての時系列の情報であり、製造装置１１を識別する装置識別子とレシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報であっても良い。測定情報格納部１２０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。なお、測定情報格納部１２０１の測定情報は、測定情報蓄積部１２０４が蓄積した情報でも良いし、製造装置１１から直接に受信した情報でも良いし、図示しない記録媒体から読み出した情報でも良い。
【００４４】
元情報受信部１２０２は、複数の測定情報の元になる情報である元情報を複数の製造装置１１から受信する。元情報受信部１２０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４５】
測定情報取得部１２０３は、元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する。所定の演算とは、例えば、所定の時間間隔ごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算である。また、所定の演算とは、例えば、レシピ内の所定のステップごとに、複数の元情報が有する複数の値の平均値を算出したり、最大値を取得したり、最小値を取得したり、標準偏差を算出したり、中央値を取得したりする演算でも良い。測定情報取得部１２０３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報取得部１２０３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４６】
測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。なお、測定情報蓄積部１２０４は、測定情報取得部１２０３が取得した複数の測定情報のうち、図示しない判断部が異常であると判断した測定情報およびその測定情報と一定の関係がある測定情報（異常な測定情報と同一製造装置、同一レシピの測定情報）のみを、測定情報格納部１２０１に蓄積することは好適である。測定情報蓄積部１２０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。測定情報蓄積部１２０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４７】
指示受付部１２０５は、指示を受け付ける。この指示は、通常、クライアント装置１３から受信するが、サーバ装置１２に接続されているキーボードやマウス等から受け付けても良い。指示受付部１２０５が受け付ける指示は、例えば、一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示や、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示や、出力指示蓄積部１２０８が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示などである。出力指示は、異常検知した後に異常分析を行うための出力指示である。また、出力指示は、チャートの種類（ＳＰＣチャート、相関チャート、またはＭＤチャートなど）の情報を含んでも良い。また、出力指示は、チャート出力する対象のデータのタイプ（温度や、ガス流量や、圧力などの測定情報）を含んでも良い。また、出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報を含んでも良い。属性情報とは、点の色、点の種類（形状）、線の色、線種などである。さらに、出力指示がレシピ識別子を含む場合、通常、当該レシピ識別子は、複数の装置の同一の識別子を有する複数のレシピを示すものである。指示受付部１２０５は、例えば、無線または有線の受信手段からなる。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示受付部１２０５は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４８】
チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成する。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成する。ここで、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上の装置識別子を含む場合、装置識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）で出力されているチャートや、装置識別子ごとの測定情報が異なる線の色で連結されているチャートなどである。また、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つの装置識別子のみを含む場合、当該一の装置識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が２以上のレシピ識別子を含む場合、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる点の種類（四角と丸の形状、色、大きさ）や、レシピ識別子ごとの測定情報が異なる線の種類（実線と破線など）で連結されているチャートなどである。また、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートとは、出力指示が一つのレシピ識別子のみを含む場合、当該一のレシピ識別子の複数の測定情報からなるチャートをいう。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が受け付けた指示に従って、蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成する。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャート（単変量異常検知チャート）を構成しても良い。ＳＰＣチャートは、単変量を監視して異常検知を行うためのチャートである。ＳＰＣチャートにおいて、監視対象の上下限値（管理値）を設定（チャート構成部１２０６が予め保持）しておき、管理値外の値となった場合、異常を検知し、検知した異常を視覚的に示すことは好適である。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャート（２変量異常検知チャート）を構成しても良い。相関チャートは、２変量の相関関係を監視するチャートである。チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャート（多変量異常検知チャート）を構成しても良い。ＭＤチャートは、多変量を監視して異常検知を行うためのチャートであり、複数のＳＰＣチャートをまとめて扱うチャートである。そして、例えば、チャート構成部１２０６は、マハラノビスの距離を用いて異常判定し、異常であるか正常であるかを視覚的に示すＭＤチャートを出力することは好適である。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成しても良い。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０１が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成しても良い。また、チャート構成部１２０６は、指示受付部１２０５が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成しても良い。チャートの構成は、例えば、時間軸にしたがって、複数の測定情報を線で連結し、チャートを得る処理である。値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、チャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、値と時刻情報を有する測定情報が複数与えられた場合に、ＳＰＣチャートや、相関チャートや、ＭＤチャートを構成する処理は公知技術であるので、詳細な説明は省略する。また、二種類の測定情報とは、一の測定情報の中に、二種類の測定された値（例えば、温度とガス流量）を含む情報も含む。また、三種類以上の測定情報とは、一の測定情報の中に、三種類以上の測定された値（例えば、温度とガス流量と圧力）を含む情報も含む。チャート構成部１２０６は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。チャート構成部１２０６の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４９】
出力部１２０７は、チャート構成部１２０６が構成したチャートを出力する。ここで、出力とは、通常、クライアント装置１３への送信である。ただし、出力部１２０７は、サーバ装置１２に接続されているディスプレイにチャートを表示したり、プリンタへ印字したり、外部の装置へ送信したりしても良い。出力部は１２０７、無線または有線の通信手段で実現され得る。ただし、出力部は１２０７、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現しても良い。
【００５０】
出力指示蓄積部１２０８は、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有するなどの指示である出力指示を蓄積する。出力指示蓄積部１２０８は、例えば、指示受付部１２０５がチャートの設定（色情報を含む）を蓄積する指示である蓄積指示を受け付けた場合に、点または／および線の属性情報と装置識別子、または点または／および線の属性情報とレシピ識別子を有する出力指示を蓄積しても良い。また、出力指示蓄積部１２０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。出力指示蓄積部１２０８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００５１】
指示入力部１３０１は、各種の指示を入力する。各種の指示とは、起動の指示や、チャートの出力指示や、チャートの属性値（線種や線の色や点の種類や点の色など）の変更の指示などである。ここで、チャートの出力指示や、チャートの属性値（線種や線の色や点の種類や点の色など）の変更の指示などは、ユーザが異常の検知を知らされた後に、異常分析を行うために入力する指示である。指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力部１３０１は、テンキーやキーボード等の入力手段と、そのデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００５２】
指示送付部１３０２は、指示入力部１３０１から入力された指示をサーバ装置１２に送付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部１３０２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５３】
チャート受付部１３０３は、サーバ装置１２からチャートの情報を受け付ける。ここでの受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。チャート受付部１３０３は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００５４】
チャート表示部１３０４は、チャート受付部１３０３が受け付けたチャートの情報をディスプレイに表示する。チャート表示部１３０４は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。チャート表示部１３０４は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
【００５５】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、製造装置１１の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。
【００５６】
（ステップＳ４０１）処理部１１０２は、レシピ格納部１１０１のレシピを読み出す。
【００５７】
（ステップＳ４０２）処理部１１０２は、カウンタｉに１を代入する。
【００５８】
（ステップＳ４０３）処理部１１０２は、ステップＳ４０１で読み込んだレシピ中に、ｉ番目の処理ステップが存在するか否かを判断する。ｉ番目の処理ステップが存在すればステップＳ４０４に行き、ｉ番目の処理ステップが存在しなければステップＳ４０９に行く。
【００５９】
（ステップＳ４０４）処理部１１０２は、ｉ番目のステップの処理を実行する。
【００６０】
（ステップＳ４０５）測定部１１０３は、予め決められた測定を行い、元情報（ここでの元情報は、通常、値のみ有する）を取得する。ここでの測定は、二種以上の値（例えば、温度とガス流量と圧力など）でも良い。
【００６１】
（ステップＳ４０６）測定部１１０３は、図示しない時計から時刻情報を取得し、測定した情報（一種以上の値）に時刻情報を付与して、元情報を構成する。また、測定部１１０３は、予め格納している製造装置識別子と、レシピ識別子を読み出し、ここで、元情報に付加しても良い。このレシピ識別子は、処理が実行されているレシピの識別情報である。
【００６２】
（ステップＳ４０７）元情報蓄積部１１０４は、ステップＳ４０６で構成した元情報を、図示しない記録媒体に蓄積する。
【００６３】
（ステップＳ４０８）処理部１１０２は、カウンタｉを１、インクリメントし、ステップＳ４０３に戻る。
【００６４】
（ステップＳ４０９）元情報送信部１１０５は、元情報を送信するタイミングか否かを判断する。元情報送信部１１０５は、元情報を送信するタイミングであればステップＳ４１０に行き、元情報を送信するタイミングでなければ処理を終了する。なお、元情報を送信しなかった場合、通常、別途の手段（例えば、可搬型の記録媒体経由など）で、元情報をサーバ装置１２に読み込ませる。
【００６５】
（ステップＳ４１０）元情報送信部１１０５は、元情報蓄積部１１０４が蓄積した元情報を読み出す。
【００６６】
（ステップＳ４１１）元情報送信部１１０５は、製造装置１１を識別する製造装置識別子とレシピ識別子を読み出し、ステップＳ４１０で読み出した元情報に対して付与し、送信する元情報を構成する。なお、製造装置識別子は、予め製造装置１１が保持している、とする。製造装置識別子とレシピ識別子は、製造装置１１の不揮発性の記録媒体に格納されていることが好適であるが、不揮発性の記録媒体に格納されていても良い。
【００６７】
（ステップＳ４１２）元情報送信部１１０５は、ステップＳ４１１で構成した元情報をサーバ装置１２に送信する。なお、元情報送信部１１０５は、サーバ装置１２と通信するための情報（例えば、サーバ装置１２のＩＰアドレス等）を保持している、とする。
【００６８】
なお、図４のフローチャートにおいて、元情報にレシピ識別子と製造装置識別子を付与し、送信した。しかし、一種以上の値と時刻情報の組と、レシピ識別子および製造装置識別子を分けて、サーバ装置１２に送信しても良い。さらに、かかる場合、一種以上の値と時刻情報の組からなる元情報を一つ取得するごとに、サーバ装置１２に送信しても良い。そして、すべてのレシピのステップの処理が完了した後、レシピ識別子および製造装置識別子をサーバ装置１２に送信しても良い。つまり、元情報の送信のタイミング、元情報の部分（値と時刻情報の組、製造装置識別子など）の各々の送信のタイミングは問わない。
【００６９】
次に、サーバ装置１２の動作について図５のフローチャートを用いて説明する。
【００７０】
（ステップＳ５０１）指示受付部１２０５は、異常検知した後に異常分析を行うために、指示を受け付けたか否かを判断する。指示を受け付ければステップＳ５０２に行き、指示を受け付けなければステップＳ５０７に行く。
【００７１】
（ステップＳ５０２）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０１で受け付けた指示がチャートの出力指示であるか否かを判断する。チャートの出力指示であればステップＳ５０３に行き、チャートの出力指示でなければステップＳ５０８に行く。
【００７２】
（ステップＳ５０３）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が有する一以上の装置識別子、または／および一以上のレシピ識別子を取得する。
【００７３】
（ステップＳ５０４）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０３またはステップＳ５１０で取得した一以上の装置識別子、または／および一以上のレシピ識別子をキーとして、測定情報格納部１２０１を検索し、１以上の測定情報を取得する。なお、測定情報は、少なくとも１種以上の値（温度やガス流量の値など）と時刻情報を有する。ここで、チャート構成部１２０６は、出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する測定情報、または／および出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する測定情報を取得する。
【００７４】
（ステップＳ５０５）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０４で検索した測定情報から、受け付けた出力指示に従ったチャートを構成する。なお、チャートの線の属性値は、ステップＳ５１０で取得した属性値や、指示された属性値や、デフォルトの属性値等であり、チャート構成部１２０６は、かかる属性値を用いて、チャートを構成する。構成するチャートは、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャート、または／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートである。また、構成するチャートは、出力指示が有するチャートの種類の情報（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）に従ったチャートである。
【００７５】
（ステップＳ５０６）出力部１２０７は、ステップＳ５０６で構成したチャートを出力する。ここで、出力とは、クライアント装置１３への送信である。ステップＳ５０１に戻る。
【００７６】
（ステップＳ５０７）元情報受信部１２０２は、元情報を製造装置１１から受信したか否かを判断する。元情報を受信すればステップＳ５１４に行き、元情報を受信しなければステップＳ５０１に戻る。
【００７７】
（ステップＳ５０８）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が蓄積したチャートの出力指示に従ったチャートの出力指示であるか否かを判断する。当該チャートの出力指示であればステップＳ５０９行き、当該チャートの出力指示なければステップＳ５１０に行く。
【００７８】
（ステップＳ５０９）チャート構成部１２０６は、ステップＳ５０１で受け付けた指示に従って、ステップＳ５１２で蓄積した出力指示を読み出し、当該出力指示から装置識別子、または／およびレシピ識別子や、チャートの点や線の属性値（点の色、点の形状、点の大きさ、線の色、線種、線の太さなど）を取得する。
【００７９】
（ステップＳ５１０）出力指示蓄積部１２０８は、ステップＳ５０１で受け付けた指示が蓄積指示であるか否かを判断する。蓄積指示であればステップＳ５１１に行き、蓄積指示でなければステップＳ５０１に戻る。
【００８０】
（ステップＳ５１１）出力指示蓄積部１２０８は、出力したチャートの出力指示の情報を取得する。出力したチャートの出力指示の情報とは、装置識別子、または／およびレシピ識別子、およびチャートの点や線の属性値（点や線の色、点や線の種類、点や線の太さなど）などである。
【００８１】
（ステップＳ５１２）出力指示蓄積部１２０８は、ステップＳ５１２で取得した出力指示の情報を蓄積する。ステップＳ５０１に戻る。
【００８２】
（ステップＳ５１３）測定情報取得部１２０３は、ステップＳ５０７で元情報受信部１２０２が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得する。
【００８３】
（ステップＳ５１４）測定情報蓄積部１２０４は、ステップＳ５１３で取得した1以上の測定情報を測定情報格納部１２０１に蓄積する。ステップＳ５０１に戻る。
【００８４】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００８５】
また、図５のフローチャートにおいて、元情報と測定情報は同じ情報でも良い。かかる場合、ステップＳ５１３において、元情報を読み出す処理を行う。
【００８６】
また、図５のフローチャートにおいて、ユーザがチャートの線種や線の色などのチャートの属性値を入力し、本サーバ装置が当該入力を受け付け、当該入力に従ったチャートを出力しても良い。
【００８７】
また、図５のフローチャートにおいて、サーバ装置１２における異常検知の処理は省略している。上述した異常検知の機能は、公知技術により可能である。
【００８８】
さらに、図５のフローチャートにおいて、元情報を蓄積しておいて、チャート出力を行う際に、複数の元情報に対して所定の演算を行い、1以上の測定情報を取得し、当該1以上の測定情報を用いてチャートを構成し、出力しても良い。つまり、測定情報を構成するタイミングは問わない。
【００８９】
次に、クライアント装置１３の動作について説明する。クライアント装置１３の指示入力受付部１３０１がユーザからチャートの出力指示を受け付けた場合、指示送付部１３０２は、当該出力指示をサーバ装置１２に送付し、サーバ装置１２での処理結果であるチャートの情報をチャート受付部１３０３が受け付け、チャート表示部１３０４がチャートを表示する。
【００９０】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。
【００９１】
本具体例において、複数の製造装置１１が測定した、例えば、製造装置内の温度の情報である元情報を、次々とサーバ装置１２に送信する。元情報の例は、図６である。元情報は、温度、時刻情報、レシピ識別子、装置識別子を有する。時刻情報は、時刻を示す情報であり、時・分・秒までを特定する情報でも良いし、日時、および時だけの情報でも良い。レシピ識別子は、レシピを識別する情報であり、当該温度が測定された際に実行されていたレシピのＩＤである。装置識別子は、温度が測定された製造装置１１を識別する情報である。また、本具体例において、元情報は、１秒ごとに、各製造装置１１で測定されて、取得される、とする。
【００９２】
そして、サーバ装置１２の元情報受信部１２０２は、複数の製造装置１１から元情報を次々受信し、蓄積する。ここで、サーバ装置１２は、まず、元情報をそのまま蓄積する、とする。かかる蓄積された複数の元情報を、図７の元情報管理表に示す。元情報管理表は、複数の製造装置１１の複数のレシピを実行させた時の、測定部１１０３の測定結果を有する複数の元情報を有する。
【００９３】
次に、ユーザは、クライアント装置１３から、異常を検知するための指示を入力する、とする。この指示により、サーバ装置１２の測定情報取得部１２０３は、図７の元情報管理表の各レコードの値に対して、所定の演算を行い、代表値を得る。ここで、所定の演算とは、例えば、レシピを構成する３ステップの実行時間で測定された温度の中で最大の温度を取得する処理である、とする。そして、代表値に対応する時刻情報は、３ステップの実行時間の最初の時刻情報とする。そして、測定情報取得部１２０３は、図８の情報（測定情報管理表）を得て、メモリ上に一時格納する。そして、図示しない判断部は、図８の情報から、異常値を検出し、ユーザに知らしめる。異常のユーザへの提示は、チャートでも良いし、ブザー等でも良いし、異常の一覧表などでも良い。なお、異常値の検知方法は、上述したように公知技術であるので説明を省略する。
【００９４】
次に、ユーザは、クライアント装置１３から、異常検知後に、異常分析をするために、装置識別子「装置Ａ」を有するチャートの出力指示を入力する。そして、指示入力部１３０１は、当該出力指示を受け付ける。そして、指示送付部１３０２は、サーバ装置１２に装置識別子「装置Ａ」を有するチャートの出力指示を送信する。
【００９５】
次に、サーバ装置１２の指示受付部１２０５は、装置識別子「装置Ａ」を有するチャートの出力指示を受信する。次に、チャート構成部１２０６は、図８の測定情報管理表を、「装置Ａ」をキーとして検索する。そして、チャート構成部１２０６は、図９のチャート情報を得る。チャート情報とはチャートを構成する元になる情報である。図９のチャート情報は、図８の測定情報管理表から装置識別子「装置Ａ」を有するレコードをフィルタリングした情報である。
【００９６】
次に、チャート構成部１２０６は、図９の情報を読み出し、チャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値である折れ線グラフである。
【００９７】
次に、出力部１２０７は、チャート構成部１２０６が構成した折れ線グラフをクライアント装置１３に送信する。
【００９８】
次に、クライアント装置１３のチャート受付部１３０３は当該折れ線グラフを受信し、チャート表示部１３０４は、図１０に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。
【００９９】
以上の処理により、ユーザは、異常検知の後、所望の製造装置で測定された値のみに着目して、製造装置の製造の状態を知ることができ、製造装置の異常の分析に極めて有効である。
【０１００】
次に、例えば、ユーザは、クライアント装置１３から、レシピ識別子「レシピＹ」を有するチャートの出力指示を入力する。そして、指示入力部１３０１は、当該出力指示を受け付ける。そして、指示送付部１３０２は、サーバ装置１２にレシピ識別子「レシピＹ」を有するチャートの出力指示を送信する。
【０１０１】
次に、サーバ装置１２の指示受付部１２０５は、レシピ識別子「レシピＹ」を有するチャートの出力指示を受信する。次に、チャート構成部１２０６は、図８の測定情報管理表を、「レシピＹ」をキーとして検索する。そして、チャート構成部１２０６は、図１１のチャート情報を得る。チャート情報とはチャートを構成する元になる情報である。図１１のチャート情報は、図８の測定情報管理表からレシピ識別子「レシピＹ」を有するレコードをフィルタリングした情報である。
【０１０２】
次に、チャート構成部１２０６は、図１１の情報を読み出し、チャートを構成する。本チャートは、横軸が時刻情報の示す時刻、縦軸が値である折れ線グラフである。
【０１０３】
次に、出力部１２０７は、チャート構成部１２０６が構成した折れ線グラフをクライアント装置１３に送信する。
【０１０４】
次に、クライアント装置１３のチャート受付部１３０３は当該折れ線グラフを受信し、チャート表示部１３０４は、図１２に示すように折れ線グラフをディスプレイに表示する。
【０１０５】
以上の処理により、ユーザは、所望のレシピを実行した際に測定された値のみに着目して、レシピの良し悪しを知ることができ、レシピの課題の検出に極めて有効である。
【０１０６】
また、図１０、図１３などのチャートを出力させる際に、ユーザは、線の色や線種などのチャートの属性情報を設定できる。そして、かかる場合、チャート構成部１２０６は、チャートの設定情報に従ったチャートを構成する。
【０１０７】
また、クライアント装置１３のユーザが、出力指示の蓄積指示を入力した場合、出力指示蓄積部１２０８は、ユーザが指定した装置識別子または／およびレシピ識別子と、線の色等のチャートの属性情報を有する出力指示を取り出し、蓄積する。そして、以後、ユーザは、蓄積した出力指示を指定することにより、当該出力指示を呼び出し、当該出力指示に従ったチャートを出力できる。
【０１０８】
以上、本実施の形態によれば、異常検知の後、異常分析のために、装置毎、またはレシピ毎の測定情報を取り出して表示させることができる。その結果、異常の分析が精度高く、容易に行うことができる。
【０１０９】
また、本実施の形態によれば、有用な異常分析のためのチャート出力のための出力指示を蓄積して再利用できる。かかる機能により、現場で蓄積される有効な異常分析方法が、時間が経過しても再利用でき、また、他の現場で再利用でき得る。
【０１１０】
なお、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１３に示すように、異常検知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、または／および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートであっても良い。なお、図１３に示すＳＰＣチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＳＰＣチャートである。また、図１３に示すＳＰＣチャートにおいて、管理値（上限）、および管理値（下限）が出力されている。この管理値の外の値となった場合、異常であることを示している。管理値（上限）、および管理値（下限）は、チャート構成部１２０６または図示しない手段が予め保持している。
【０１１１】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１４に示すように、異常検知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、または／および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を前記測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報（例えば、温度と圧力など）の相関を示すチャートである相関チャートであっても良い。なお、図１４に示す相関チャートは、例えば、一つの装置識別子の、二種類の測定情報から構成されている相関チャートである。また、図１４に示す相関チャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１２】
また、本実施の形態において、出力されるチャートは、図１５に示すように、異常検知の後、異常分析のための出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれか、または／および一以上のレシピ識別子のいずれかを有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとまたは／およびレシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報（例えば、２箇所の温度とガス流量と圧力）の相関を示すチャートであるＭＤチャートであっても良い。なお、図１５に示すＭＤチャートは、例えば、一つの装置識別子の測定情報から構成されているＭＤチャートである。また、図１５に示すＭＤチャートは、例えば、マハラノビスの距離を用いて異常判定しているチャートである。さらに具体的には、図１５に示すＭＤチャートは、正常時のデータをモデル化し、マハラノビスの距離を用いて異常時の度合いを数値で示すチャートである。また、図１５ｔに示すＭＤチャートにおいて、２つの管理値が出力されている。この２つの管理値の範囲外の値となった場合、異常であることを示している。
【０１１３】
また、本実施の形態の具体例において、出力されたチャートは、一の装置識別子または一のレシピの測定情報が表示されたチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報を連結した一の折れ線グラフであった。しかし、出力されるチャートは、図１６に示すように、出力指示が含む３つの装置識別子を有する複数の測定情報を測定情報格納部１２０１から読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、読み出した複数の測定情報をプロットした３つのチャートであっても良い。かかる場合、出力指示は、例えば、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」の３つの装置識別子を含む。そして、チャート構成部１２０６は、「装置Ａ」「装置Ｂ」「装置Ｃ」をそれぞれキーとして、３度測定情報格納部１２０１を検索し、３度、測定情報を取得し、それぞれのキーごとに、異なる点や線の属性値のチャートを別個に構成し、３つのチャートを得る。そして、３つのチャートが出力される。
【０１１４】
本実施の形態において、上記のように３つ以上のチャート（ＳＰＣチャート、相関チャート、ＭＤチャートなど）の表示形態を自由に選択できるので、全数検査の結果に応じた、異常分析が可能となる。
【０１１５】
また、本実施の形態の具体例において、元情報や測定情報は、予めサーバ装置１２が保持していても良い。かかる場合、元情報または測定情報は、図示しない手段により製造装置１１から取得され、記録媒体等を経由してサーバ装置１２に渡される。
【０１１６】
また、本実施の形態の具体例において、装置識別子またはレシピ識別子を指定してチャートを出力したが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を指定してチャートを出力しても良い。ユーザが、１以上の装置識別子および１以上のレシピ識別子を含む出力指定を入力した場合、チャート構成部１２０６は、指定された１以上の各装置識別子および１以上の各レシピ識別子をそれぞれキーとして測定情報（または元情報）を検索し、チャートを構成する。
【０１１７】
また、本実施の形態において、ユーザは着目するチャートの一部を拡大する指示を入力し、当該チャートの一部のスケールを変えて（測定情報の時間間隔やステップの間隔を変えて）チャート出力することは好適である。
【０１１８】
また、本実施の形態において、元情報と測定情報が同じ構成でも良い。かかる場合、測定情報取得部や測定情報蓄積部は不要となる。
【０１１９】
また、本実施の形態において、製造装置とサーバ装置間で元情報を送受信することは必須ではない。元情報は、例えば、記録媒体を経由して、製造装置からサーバ装置に与えられても良い。
【０１２０】
また、本実施の形態において、群管理システムは、クライアント装置１３を有さなくても良い。かかる場合、ユーザは、サーバ装置１２に対して、出力指示などの指示を入力する。
【０１２１】
さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態におけるサーバ装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造装置を識別する装置識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上の装置識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成ステップと、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１２２】
また、サーバ装置を実現するプログラムは、コンピュータに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識別するレシピ識別子と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、異常検知した後に異常分析を行う場合に、一以上のレシピ識別子を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付ステップと、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含むレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートを構成するチャート構成ステップと、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１２３】
また、上記プログラムは、コンピュータに、前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信する元情報受信ステップと、前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行い、複数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラム、である。
【０１２４】
また、上記プログラムにおいて、出力指示は、チャートを構成する点または／および線の属性情報も含み、コンピュータに、当該点または／および線の属性情報と前記装置識別子、または当該点または／および線の属性情報と前記レシピ識別子を有する出力指示を蓄積する出力指示蓄積ステップをさらに実行させ、前記指示受付ステップにおいて、前記出力指示蓄積部が蓄積した出力指示に対応したチャートの出力指示である蓄積出力指示をも受け付け、前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで蓄積出力指示を受け付けた場合、前記蓄積出力指示に対応するチャートの出力指示を読み出し、当該出力指示に従って、チャートを構成し、前記出力ステップにおいて、前記チャート構成ステップで構成したチャートを出力する、ことは好適である。
【０１２５】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する、ことは好適である。
【０１２６】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する、ことは好適である。
【０１２７】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、装置識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成する、ことは好適である。
【０１２８】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットしたチャートであるＳＰＣチャートを構成する、ことは好適である。
【０１２９】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の相関を示すチャートである相関チャートを構成する、ことは好適である。
【０１３０】
また、上記プログラムの前記チャート構成ステップにおいて、前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のうちのいずれかを有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報から、レシピ識別子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情報の相関を示すチャートであるＭＤチャートを構成する、ことは好適である。
【０１３１】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１３２】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０１３３】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１３４】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（指示受付部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０１３５】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
以上のように、本発明にかかる群管理システムは、異常検知した後に異常分析を行う場合に、製造装置毎、またはレシピ毎の時系列の情報を取り出して表示させることができ、その結果、異常分析が非常に効果的に行える、という効果を有し、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の製造装置と、当該２以上の製造装置と接続されるサーバ装置を具備する群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図
【図２】同半導体ウエハ製造装置の例を示す図
【図３】同群管理システムのブロック図
【図４】同製造装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同サーバ装置の動作について説明するフローチャート
【図６】同元情報の例を示す図
【図７】同元情報管理表を示す図
【図８】同測定情報管理表を示す図
【図９】同チャート情報の例を示す図
【図１０】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１１】同チャート情報の例を示す図
【図１２】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１３】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１４】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１５】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【図１６】同クライアント装置でのチャートの出力例を示す図
【符号の説明】
【０１３８】
１１  製造装置
１２  サーバ装置
１３  クライアント装置
１１０１  レシピ格納部
１１０２  処理部
１１０３  測定部
１１０４  元情報蓄積部
１１０５  元情報送信部
１２０１  測定情報格納部
１２０２  元情報受信部
１２０３  測定情報取得部
１２０４  測定情報蓄積部
１２０５  指示受付部
１２０６  チャート構成部
１２０７  出力部
１２０８  出力指示蓄積部
１３０１  指示入力部
１３０２  指示送付部
１３０３  チャート受付部
１３０４  チャート表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１６】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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