(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを有する波動歯車装置において、
前記内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅合金からなり、
前記外歯歯車は構造用鋼からなり、
前記内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処理により形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表面をＤＬＣコーティング処理することにより形成されたＤＬＣ皮膜が積層されており、
前記外歯歯車の歯面には、低温処理ＤＬＣコーティングによるＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項２】
円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを有する波動歯車装置において、
前記外歯歯車は構造用鋼からなり、
前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体とを備えており、
前記波動発生器の前記外輪はＳＵＪ２からなり、
前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した酸化皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が形成されており、
前記外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記波動発生器の前記外輪はＳＵＪ２からなり、
前記波動発生器の前記転動体は、セラミックあるいはＳＵＪ２からなり、
前記波動発生器の内輪は、ＳＵＪ２あるいはセラミックからなり、
前記外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記外輪の内周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記内輪の外周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記転動体の表面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金からなることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項５】
円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを有する波動歯車装置において、
前記内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅合金からなり、
前記外歯歯車は構造用鋼からなり、
前記内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処理により形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表面をＤＬＣコーティング処理することにより形成されたＤＬＣ皮膜が積層されており、
前記外歯歯車の歯面には、低温処理ＤＬＣコーティングによるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体とを備えており、
前記波動発生器の前記外輪はＳＵＪ２からなり、
前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した酸化皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が形成されており、
前記外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記波動発生器の前記転動体は、セラミックあるいはＳＵＪ２からなり、
前記波動発生器の内輪は、ＳＵＪ２あるいはセラミックからなり、
前記外輪の内周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記内輪の外周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記転動体の表面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金からなることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記波動発生器は、剛性のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体とを備えており、
前記波動発生器の前記外輪はＳＵＪ２からなり、
前記波動発生器の前記転動体は、セラミックあるいはＳＵＪ２からなり、
前記波動発生器の内輪は、ＳＵＪ２あるいはセラミックからなり、
前記外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記外輪の内周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記内輪の外周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、
前記転動体の表面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴とする波動歯車装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金からなることを特徴とする波動歯車装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、無潤滑型の波動歯車装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
典型的な波動歯車装置は、円環状をした剛性の内歯歯車と、この内側に配置されている円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車の内側に嵌め込まれた波動発生器から構成されている。波動発生器は、楕円形輪郭をした剛性のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周に嵌めたウェーブベアリングから構成されており、外歯歯車を楕円形に撓めて、その長軸方向の両端に位置している外歯部分を剛性内歯歯車の内歯部分に噛み合わせている。波動発生器をモータ等によって回転すると、両歯車の噛合位置が円周方向に移動する。この結果、両歯車の歯数差に起因して両歯車に相対回転が発生する。一般には両歯車の歯数差は２枚とされ、内歯歯車が装置ハウジング等に固定されているので、歯数差に基づき大幅に減速された回転出力が外歯歯車から取出される。
【０００３】
この構成の波動歯車装置では、両歯車の歯部噛合い部分、外歯歯車と波動発生器の間の摩擦摺動部分、波動発生器のウェーブベアリングにおける摩擦摺動部分に、潤滑剤を供給するようにしている。例えば、特開平９−２５０６０９号公報、同９−２５０６１０号公報、同９−２５０６１１号公報等には、これらの部分への潤滑機構が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、波動歯車装置の使用場所によっては潤滑剤を使用できない場合がある。
【０００５】
また、例えば、クリーンルーム等にように環境汚染を回避する必要のある場合や真空中での使用の場合には潤滑剤が外部に漏れ出ないようにシール機構を取り付ける等の対策が必要になる。
【０００６】
更に、波動歯車装置の運転条件が厳しい場合には、特に、外歯歯車と波動発生器の間の接触面に対する潤滑が不充分になり易い。この接触面の潤滑が不充分になると、この接触面に作用する大きなスラスト力に起因して発熱および摩耗が増加し、焼き付き等の弊害が発生する。
【０００７】
更にまた、外歯歯車と波動発生器を相対回転自在とするために波動発生器の外周に取り付けられているウェーブベアリングにおける摩擦摺動部分では、この部分を潤滑している潤滑剤の攪拌抵抗が大きく、これが波動歯車装置の動力損失の大きな割合を占めている。
【０００８】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、潤滑剤の使用が好ましくない環境下で用いるのに適した波動歯車装置を提案することにある。
【０００９】
また、本発明の課題は、外歯歯車と波動発生器の間の摩擦面に対する潤滑を充分に行なうことのできる波動歯車装置を提案することにある。
【００１０】
さらに、本発明の課題は、波動発生器のウェーブベアリングを潤滑している潤滑剤の攪拌抵抗による動力損失を回避可能な波動歯車装置を提案することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、円環状をした剛性の内歯歯車と、円環状をした可撓性の外歯歯車と、この外歯歯車を半径方向に撓めて前記内歯歯車に対して部分的に噛み合わせると共に両歯車の噛合い位置を円周方向に移動させる波動発生器とを有する波動歯車装置において：前記内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅合金からなり；前記外歯歯車は構造用鋼からなり；前記内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処理により形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表面をＤＬＣコーティング処理することにより形成されたＤＬＣ皮膜が積層されており；前記外歯歯車の歯面には、低温処理ＤＬＣコーティングによるＤＬＣ皮膜が形成されていることを特徴としている。
【００１２】
ここで、前記波動発生器は、一般に、剛性のウェーブプラグと、このウェーブプラグの外周面および前記外歯歯車の内周面の間に嵌め込まれているウェーブベアリングとを備え、このウェーブベアリングは、外周面が前記外歯歯車の内周面に接触している可撓性の外輪と、内周面が前記ウェーブプラグの外周面に接触している内輪と、これら外輪および内輪の間に転動自在に挿入されている複数個の転動体とを備えている。
【００１３】
この場合には、前記波動発生器の前記外輪はＳＵＪ２からなり、前記外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した酸化皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が形成されており、前記外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されていることが望ましい。
【００１４】
また、前記波動発生器の前記転動体は、セラミックあるいはＳＵＪ２からなり、前記波動発生器の内輪は、ＳＵＪ２あるいはセラミックからなり、前記外輪の内周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、前記内輪の外周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、前記転動体の表面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されていることが望ましい。
【００１５】
さらに、前記ウェーブプラグはアルミニウム合金あるいは銅合金からなることが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した無潤滑型の波動歯車装置を説明する。
【００２０】
図１および図２は、本発明を適用可能なコップ型の波動歯車装置の一例を示す縦断面図および正面図である。これらの図に示すように、コップ型の波動歯車装置１は、円環状をした剛性の内歯歯車２と、この内側に配置されているコップ状の可撓性の外歯歯車３と、この外歯歯車３の内側に嵌め込まれた楕円形輪郭の波動発生器４から構成されている。
【００２１】
コップ状の外歯歯車３は、円筒状胴部３１と、この胴部３１の一端開口縁から半径方向の内方に伸びている円環状のダイヤフラム３２と、このダイヤフラム３２の内周縁に一体形成された円環状のボス３３と、胴部３１の他端側開口の外周部分に形成された外歯３４を備えている。外歯３４は、内歯歯車２の内歯２１に噛合い可能となっている。
【００２２】
波動発生器４は、楕円形輪郭をした剛性のウェーブプラグ４１と、このウェーブプラグ５の外周に嵌めたウェーブベアリング４２から構成されている。ウェーブベアリング４２は、ウェーブプラグ４１の外周面に嵌めた内輪４３と、外歯歯車３の胴部内周面３５に嵌め込まれた外輪４４と、これらの間に転動自在の状態で挿入されているボール４５を備えている。更に詳しくは、外輪４４の外周面４６は外歯歯車３の胴部内周面３５に摩擦接触している。また、内輪４３の外周面には円弧状断面のボール転動面４７が形成され、外輪４４の内周面にも円弧状のボール転動面４８が形成されている。
【００２３】
波動発生器４は、外歯歯車３の外歯形成部分を楕円形に撓めて、その長軸方向の両端に位置している外歯３４の部分を内歯歯車２の内歯２１の部分に噛み合わせている。波動発生器をモータ等によって回転すると、両歯車２、３の噛合位置が円周方向に移動する。この結果、両歯車２、３の歯数差に起因して両歯車に相対回転が発生する。一般には両歯車の歯数差は２枚とされ、内歯歯車２が装置ハウジング等に固定されているので、歯数差に基づき大幅に減速された回転出力が外歯歯車３から取出される。
【００２４】
（第１の実施例）
上記構成のコップ型の波動歯車装置１において、次のようにして、発熱源である両歯車２、３の歯面部分、外歯歯車３と波動発生器４の摩擦接触部分、波動発生器４の摩擦接触部分を、油潤滑の場合と同程度の摩擦係数（μ＝０．１）に抑えた。また、これらの部分から発生した熱を、熱伝導性の良い材質からなる内歯歯車２およびウェーブプラグ４１を介して効率良く放出可能とした。この結果、実用的な無潤滑型の波動歯車装置を得ることができた。
【００２５】
図３を参照して説明すると、本例では、内歯歯車２を高強度アルミニウム合金あるいは銅合金から形成し、その表面に硬質無電解メッキ処理によるメッキ皮膜１０１を形成した。また、内歯歯車２の内歯２１の表面（歯面部分）にはメッキ皮膜１０１の上からＤＬＣコーティング処理を施して、ＤＬＣ皮膜１０２を形成した。
【００２６】
また、外歯歯車３を構造用鋼またはステンレス鋼から形成し、その外歯３４の表面（歯面部分）には低温処理ＤＬＣコーティングによるＤＬＣ皮膜１０３を形成した。外歯歯車３の胴部内周面３５のうち、ウェーブベアリング外輪４４に接触する内周面部分１０４には、水蒸気処理による酸化皮膜、浸硫処理による硫化鉄皮膜、あるいはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜を形成した。
【００２７】
さらに、波動発生器４のウェーブベアリングの外輪４４をＳＵＪ２、ステンレス鋼あるいはベリリウム銅から形成し、その内周面（ボール転動面）４８および外周面４６にＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜１０５、１０６を形成した。内輪４３もＳＵＪ２、ステンレス鋼、あるいはベリリウム銅から形成し、その外周面（ボール転動面）４７にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜１０７を形成した。ボール４５をセラミック（Ｓｉ3Ｎ4）から形成した。また、ウェーブプラグ４１を低線膨張係数のアルミニウム合金あるいは、銅合金から形成した。
【００２８】
（第２の実施例）
波動歯車装置１において、特に潤滑性が要求される外歯歯車の胴部内周面と波動発生器外周面（ウェーブベアリング外輪の外周面）との摩擦接触部分の発熱、摩耗を抑制するために次のようにした。この結果、油潤滑時の摩擦係数（μ＝０．１）と同様な状態が得られ、実用的な無潤滑型の波動歯車装置が得られた。
【００２９】
本例では、外歯歯車３の胴部内周面３５におけるウェーブベアリング外輪４４と接触する部分に、水蒸気処理を施すことにより自己潤滑性の高い酸化鉄皮膜２０１を形成した。また、ウェーブベアリング外輪４４の外周面４６には、ＤＬＣコーティングを施すことによりＤＬＣ皮膜２０２を形成した。この結果、外歯歯車３とウェーブベアリング外輪４４との間には低摩擦係数の皮膜が介在し、金属同士の直接接触状態を回避できる。よって、この摩擦接触部分の発熱、摩耗を、油潤滑と同様に抑制できる。
【００３０】
ここで、高強度素材からなる外歯歯車３の場合には、その胴部内周面３５に、窒化処理（軟窒化処理、あるいは酸窒化処理）を施した後に、水蒸気処理を施して酸化的皮膜を形成することが望ましい。
【００３１】
また、水蒸気処理の代わりに、低温浸硫処理による硫化皮膜を形成しても、同様の作用効果が得られる。
【００３２】
なお、外歯歯車３およびウェーブベアリング外輪４４の材料としては、第１の実施例で述べたものを用いることができる。
【００３３】
（第３の実施例）
波動歯車装置１において、波動発生器４のウェーブベアリング４２の摩擦接触部分、およびウェーブベアリング外輪４４と外歯歯車３の摩擦接触部分の無潤滑化を次のようにして実現した。
【００３４】
ウェーブベアリング４２の外輪４４を、ＳＵＪ２あるいはステンレス鋼から形成し、内輪４３をＳＵＪ２、ステンレス鋼あるいはセラミック（Ｓｉ3Ｎ4）から形成し、ボール４５も内輪４３と同様にＳＵＪ２、ステンレス鋼あるいはセラミック（Ｓｉ3Ｎ4）から形成した。また、ウェーブプラグ４１を、ウェーブベアリング転動面４７、４８の発熱を効率良く放出できるようにするために、熱伝導性の良い銅系、あるいはアルミニウム系の材料から形成した。
【００３５】
外輪４４の外周面４６および内周面（ボール転動面）４８には、それぞれＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜３０１、３０２を形成した。内輪４３の外周面（ボール転動面）４７にもＤＣＬコーティング処理によるＤＬＣ皮膜３０３を形成した。また、ボール４５の外周面にもＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜３０４を形成した。
【００３６】
ここで、ＳＵＪ２を用いる場合には、その焼き戻し温度が低いので、ＤＬＣコーティング処理温度を摂氏１００度以下とすることが望ましい。また、通常のＤＬＣ皮膜は、硬度がＨｖ１０００ないし１５００程度のものが多い。これ以上の硬度、例えば、Ｈｖ２０００ないし８０００程度のＤＬＣ皮膜を形成する場合には、コーティング対象の部材の表面を軟窒化処理することにより、その表層部分を硬度的に傾斜材としておくことが望ましい。
【００３７】
このように、ウェーブベアリング４２の外輪内外周面４６、４８、ボール４５、内輪外周面４７に低摩擦係数のＤＬＣコーティングを施してあるので、ウェーブベアリング４２の部分の無潤滑化、およびウェーブベアリング外輪４４と外歯歯車内周面３５の接触部分の無潤滑化を実現できる。また、ボール４５および内輪４３をセラミックから形成した場合には特に良好な結果が得られる。
【００３８】
（第４の実施例）
ここで、本発明者らの実験によれば、波動歯車装置の各部分に要求される特性は次の通りである。
【００３９】
すなわち、剛性内歯歯車全体としては、所定の剛性、熱伝導性、加工精度および締結強度が要求され、剛性内歯歯車の内歯部分には、所定の耐摩耗性が要求されると共に低摩擦係数を有することが要求され、また、密着性も備えていることが望ましい。
【００４０】
可撓性外歯歯車全体としては、所定の疲労強度、加工精度、耐摩耗性および締結強度が要求され、可撓性外歯歯車の外歯部分には、所定の耐摩耗性が要求されると共に低摩擦係数であることが要求され、また、密着性も備えていることが望ましい。さらに、可撓性内歯歯車の内周面は、低摩擦係数であること、耐摩耗性があることが要求され、密着性も備えていることが望ましい。
【００４１】
波動発生器としては、低発熱性であること、転動疲労強度が大きく、耐摩耗性があることが要求される。
【００４２】
かかる観点から、次のような条件で無潤滑型波動歯車装置を製造したところ、良好な結果が得られた。
【００４３】
剛性内歯歯車をアルミニウム合金製とし、全面に１０μｍの無電解めっき皮膜を形成し、内歯部分の表面には１μｍ以下のＤＬＣ皮膜を形成した。このＤＬＣ皮膜は、めっき皮膜との密着性、硬度の傾斜を考慮して、処理温度を３５０ないし４５０℃として形成した。
【００４４】
可撓性外歯歯車をステンレス鋼から製造し、その外歯部分の表面に１μｍ以下のＤＬＣ皮膜を形成し、その内周面を拡散焼きなましにより均質化した。ＤＬＣ皮膜は、残留応力低下を目的として、１００℃以下の処理温度により形成した。
【００４５】
波動発生器はアルミニウム合金製とし、そのウェーブベアリングの外輪はステンレス鋼とし、その外周面と内周の軌道面部分に１μｍ以下のＤＬＣ皮膜を形成した。ボールはセラミック製とした。また、内輪をステンレス鋼とし、その軌道面部分に１μｍ以下のＤＬＣ皮膜を形成した。外輪外周面と、外輪および内輪の軌道面部分に形成したＤＬＣ皮膜は、材料の戻し温度以下である２００℃以下の処理温度で形成した。
【００４６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の波動歯車装置では、内歯歯車は高強度アルミニウム合金または銅合金からなり、外歯歯車は構造用鋼あるいはステンレス鋼からなり、内歯歯車の歯面には、硬質無電解メッキ処理により形成されたメッキ皮膜と、このメッキ皮膜の表面をＤＬＣコーティング処理することにより形成されたＤＬＣ皮膜が積層されており、外歯歯車の歯面には、低温処理ＤＬＣコーティングによるＤＬＣ皮膜が形成されている。本発明によれば、内歯歯車と外歯歯車の歯面噛合い部分の無潤滑化を実現できる。
【００４７】
また、本発明の波動歯車装置では、その波動発生器の外輪は、ＳＵＪ２、ステンレス鋼あるいはベリリウム銅からなり、外歯歯車の内周面には、水蒸気処理により形成した酸化皮膜、ＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜、浸硫処理により形成した硫化鉄皮膜、あるいは窒化処理および水蒸気処理により形成した酸化鉄皮膜が形成されており、外輪の外周面にはＤＬＣコーティング処理により形成したＤＬＣ皮膜が形成されている。この構成によれば、外歯歯車と波動発生器の摩擦接触部分の無潤滑化を実現できる。
【００４８】
さらに、本発明の波動歯車装置では、その波動発生器のウェーブベアリングの転動体は、セラミック、ステンレス鋼あるいはＳＵＪ２からなり、その内輪は、ＳＵＪ２、ステンレス鋼、ベリリウム銅、あるいはセラミックからなり、その外輪の内周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、内輪の外周面に形成されている転動面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されており、転動体の表面にはＤＬＣコーティング処理によるＤＬＣ皮膜が形成されている。この構成によれば、ウェーブベアリングの無潤滑化を実現できる。また、このウェーブベアリングの部分を油潤滑する場合には、潤滑剤の攪拌抵抗が波動歯車装置の動力損失率の大半を占めることになるので、この部分を無潤滑化すれば、損失率を大幅に低減できるという利点が得られる。
【００４９】
また、ウェーブプラグを熱伝導性の良いアルミニウム合金あるいは銅合金から形成すれば、ウェーブベアリング転動面での発熱を効率良く外部に放出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用可能なカップ型の波動歯車装置を示す縦断面図である。
【図２】図１の波動歯車装置の正面図である。
【図３】第１の実施例における無潤滑化のための構成を説明するための説明図である。
【図４】第２の実施例における無潤滑化のための構成を説明するための説明図である。
【図５】第３の実施例における無潤滑化のための構成を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１    波動歯車装置
２    内歯歯車
２１  内歯
３    外歯歯車
３１  胴部
３２  ダイヤフラム
３３  ボス
３４  外歯
３５  胴部内周面
４    波動発生器
４１  ウェーブプラグ
４２  ウェーブベアリング
４３  内輪
４４  外輪
４５  ボール
４６  外輪外周面
４７  内輪外周面のボール転動面
４８  外輪内周面のボール転動面
１０１  メッキ皮膜
１０２  ＤＬＣ皮膜
１０３  ＤＬＣ皮膜
１０４  皮膜が形成された内周面部分
１０５  ＤＬＣ皮膜
２０１  酸化鉄皮膜
２０２  ＤＬＣ皮膜
３０１、３０２、３０３、３０４  ＤＬＣ皮膜
【図１】
0004807689.tif 000002
【図２】
0004807689.tif 000003
【図３】
0004807689.tif 000004
【図４】
0004807689.tif 000005
【図５】
0004807689.tif 000006