(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リフロー炉の適宜箇所に排出口が設けられており、該排出口と箱状体のフューム除去装置の流入口とがパイプで接続されているとともに、前記フューム除去装置内には複数の結露手段が設置されており、また前記フューム除去装置の流出口はパイプで前記リフロー炉の適宜箇所に接続され、各結露手段でフュームを結露させてフューム含有気体からフュームを除去することを特徴とするリフロー炉において、
前記ヒューム除去装置には、フューム含有気体の流動方向から多管型結露手段、長穴型結露手段、ラビリンス型結露手段、または多管型結露手段、ラビリンス型結露手段、長穴型結露手段が順次設置されていることを特徴とするリフロー炉。
【請求項２】
前記フューム除去装置は、箱状体の底板がフューム流動方向に沿って下方に下がる傾斜が付されており、最下部にドレインが取り付けられていることを特徴とする請求項１記載のリフロー炉。
【請求項３】
前記フューム除去装置は、両側に吸入口が形成されており、中央に流出口が形成されていて、左右対称に複数の結露手段が設置されていることを特徴とする請求項１記載のリフロー炉
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソルダペーストを塗布したプリント基板をはんだ付けしたときに炉内で発生するフラックスフュームを除去するフューム除去装置が設置されたリフロー炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にリフロー炉でプリント基板のはんだ付けを行う場合はソルダペーストを用いる。ソルダペーストを用いたはんだ付けは、先ずソルダペーストをプリント基板のはんだ付け部に印刷装置やディスペンサーで塗布し、該塗布部に電子部品を搭載する。そして電子部品が搭載されたプリント基板をリフロー炉で加熱することによりソルダペーストを溶融してプリント基板と電子部品のはんだ付けを行うものである。
【０００３】
プリント基板のはんだ付けを行うリフロー炉は、予備加熱ゾーン、本加熱ゾーン、冷却ゾーンから構成されており、ソルダペーストが塗布されたプリント基板は、予備加熱ゾーンのヒーターで予備加熱され、本加熱ゾーンのヒーターで本加熱され、冷却ゾーンの冷却機で冷却されることによりはんだ付けがなされる。
【０００４】
ソルダペーストとは、はんだ粉末とフラックスとを混練して粘調性のあるペースト状にしたものである。このソルダペーストに用いるフラックスは、松脂、活性剤、チキソ剤等の固形成分を高沸点の溶剤で溶解してある。従って、ソルダペーストが塗布されたプリント基板をリフロー炉で加熱すると、先ず予備加熱ゾーンのヒーターで１００〜１５０℃に加熱されてソルダペースト中の溶剤が揮散するとともに固形成分が溶融する。溶融した固形成分は、プリント基板に付着していた酸化物を還元除去し、はんだ付け部を清浄化する。次にプリント基板が本加熱ゾーンのヒーターで２００℃以上に加熱されて、はんだ粉末が溶融し、清浄化されたはんだ付け部に濡れ広がる。そして溶融したはんだが充分にはんだ付け部に濡れ広がった後、冷却ゾーンの冷却機で冷却されて溶融はんだが固化することによりはんだ付けが終了する。
【０００５】
ところでプリント基板に塗布されたソルダペーストは、予備加熱ゾーンでは溶剤が揮散してフュームとなり、また予備加熱ゾーンで溶融した固形成分は本加熱ゾーンで高温に曝されると、やはりフュームとなって炉内に浮遊する。これら溶剤や固形成分のフュームは、炉内で比較的温度の低い部分、例えばプリント基板を炉内で搬送するコンベア、熱風を循環させるファン、炉を構成するフレーム、炉の出入口に設置されたラビリンス等に接すると冷やされて結露し、さらに温度が下がると粘着性のある固形物となる。
【０００６】
これらフュームが固形物となったもの（以下、フューム固形物という）がリフロー炉を構成する部材に大量に付着すると問題が生じる。つまりフューム固形物がプリント基板搬送用のコンベアに大量に付着すると、プリント基板がコンベアに粘着して搬出時にプリント基板がコンベアから離れずコンベアのスプロケットに巻き込まれてプリント基板を破損し、熱風を吹き出すファンに大量に付着するとファンの回転が遅くなって熱風の吹き出しが弱くなり、リフロー炉の構造物であるフレームに大量に付着すると堆積したフューム固形物が搬送中のプリント基板上に落下してプリント基板を汚し、出入口の外気流入防止用のラビリンスに大量に付着するとフューム固形物がプリント基板に接触して電子部品を所定の位置から脱落させてしまうようになる。
【０００７】
これらフューム固形物の付着による問題に鑑み、従来より炉内のフュームを除去する方法や装置が多数提案されていた。（特許文献１〜８）
【特許文献１】特開平４−１３４７５号公報
【特許文献２】特開平４−４６６６７号公報
【特許文献３】特開平４−２５１６６１号公報
【特許文献４】特開平７−７７３４６号公報
【特許文献５】特開平７−２１２０２８号公報
【特許文献６】特開平１０−３３５８０７号公報
【特許文献７】実開昭５４−４１４１１号公報
【特許文献８】実開昭６４−２０９６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のフューム除去装置付きのリフロー炉では、フュームの除去が充分でなく、除去装置でフュームが除去された気体が炉内に戻ると炉内の低温部でフュームが結露して、前述のような問題を起こすことがあった。また特許文献４のようにフューム含有気体を濾過するフィルターが用いられた除去装置では、フィルターにフューム固形物が少しでも付着すると、フューム含有気体の通過を妨げてしまい、リフロー炉と除去装置の循環が悪くなってしまう。本発明は、炉内で発生したフュームの大部分を除去できるとともに、結露手段にフューム固形物が多少付着してもリフロー炉とフューム除去装置間の循環に全く影響しないというフューム除去方法およびフューム除去装置付のリフロー炉を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、フューム含有気体を低温となった多数のパイプ間に通過させるとフュームがパイプ表面で結露し、フューム含有気体を細くて長い穴に通過させると長穴内で結露し、またフューム含有気体を板材が上下から立設された板材間に通過させると板材状で結露すること、そしてこれらを組み合わせると結露が促進されること、特に低温パイプ間を通過させた後に他の結露手段に通過させる組み合わせにすると、より結露効果が促進されること、さらに間隔をあけて設置されたパイプにフューム固形物が付着したり、細長い穴内にフューム固形物が付着したり、上下に立設された板材にフュームが付着したりしても気体の流通を妨げないこと、等に着目して本発明を完成させた。
【００１０】
本発明は、リフロー炉内で発生したフューム含有気体からフュームを除去する方法において、炉内で発生したフューム含有気体をリフロー炉の排出口から炉外に排出し、該フューム含有気体を炉外に設置されたフューム除去装置内の複数の結露手段に通過させることにより、各結露手段でフュームを結露させてフューム含有気体からフュームを除去することを特徴とするリフロー炉におけるフューム除去方法である。
【００１１】
本発明は、リフロー炉の適宜箇所に排出口が設けられており、該排出口と箱状体のフューム除去装置の流入口とがパイプで接続されているとともに、フューム除去装置内には複数の結露手段が設置されており、またフューム除去装置の流出口はパイプでリフロー炉の適宜箇所に接続されていることを特徴とするリフロー炉である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、リフロー炉から排出されたフューム含有気体を複数の結露手段に通過させるため、必ずいずれかの結露手段でフュームが結露して、ほとんどのフュームを除去することができる。特に本発明では結露手段にフューム固形物が多少多く付着しても、気体の流動を妨げることがないことから、長期間にわたってフューム固形物の洗浄を行わなくても済むというメンテナンス性にも優れている。従って、本発明は、フューム除去装置を通過して炉内に戻された気体には、フュームがほとんど存在しなくなり、炉内の温度の低い構成部分にフューム固形物が付着せず、フューム固形物による問題が発生しないという従来のリフロー炉にない優れた効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明では、フューム含有気体を複数の結露手段に通過させることにより、結露手段のいずれかでフュームを結露させるものである。本発明に使用する結露手段としては、多管型結露手段、ラビリンス型結露手段、長穴並設型結露手段等である。
【００１４】
多管型結露手段とは、箱型の除去装置に多数のパイプを貫通した状態で設置したものであり、パイプ内に外気を流動させることにより、パイプを冷却し、該パイプ表面に接触したフュームを冷やしてパイプ表面にフュームを結露させる。パイプ表面に多量のフューム固形物が付着し多場合、付着初期にはフューム固形物は液状であるため、パイプに沿って下方に流れ落ちる。しかしながら長期間のうちにフューム固形物がパイプ上に堆積してパイプとの熱伝導が悪くなって結露がしにくくなることがある。その場合は、フューム除去装置から多管型型結露手段を取り外して溶剤で洗浄する。そのために多管型型結露手段は取り外し可能なものにしておくとよい。
【００１５】
ラビリンス型結露手段とは、フューム除去装置内で上下方向から複数の板材を互い違いに立設させたものである。このように複数の板材を互い違いに立設すると、これらの板材を通過する距離が長くなってフューム含有気体が冷やされるため板材上で結露する。板材状で結露した粘度の高い液状のフューム固形物は、板材に沿って下方に流れ落ちる。そして長期間のうちにフューム固形物が堆積して板材との熱伝導が悪くなった場合は、板材を取り出して溶剤で洗浄する。そのために、板材、特に下方から立設した板材は取り外し可能なものにしておくとよい。
【００１６】
長穴並設型結露手段とは、図１０に示すように、縦横方向に多数の板を格子状に組み合わせて矩形の長穴にした構造、図１１に示すように六角形の長穴が隙間なく並べられたハニカム構造、図１２に示すように多数の波板を重ねて穴が波状となったもの、等である。フューム含有気体が細長い穴内を通過するうちに、冷やされて長穴内で結露する。本発明に使用する長穴並設結露手段の材質は、金属、樹脂、紙、等如何なる材料でもよいが、特に金属のアルミニュームが適している。
【００１７】
アルミニューム製の結露手段は、熱伝導が良好であるため、温度の高い気体が接触したときに温度を吸収してそれを長穴並設結露手段設置用の台座や周囲に熱を伝播させて温度を下げる。そのためアルミニューム製の長穴並設型結露手段はフュームを結露させやすい。そしてアルミニューム製の長穴並設結露手段は、フューム固形物が大量に付着したならば、該長穴並設型結露手段を取り出して洗浄液に浸漬しておくだけで固化フュームを洗浄でき、洗浄後に再度長穴並設型結露手段として使用できる。そのため長穴並設型結露手段は、取り外し可能なものにしておくとよい。
【００１８】
樹脂製の長穴並設型結露手段は、熱伝導がアルミニュームよりも劣るが、やはり大量のフューム固形物が付着した場合には、洗浄液に浸漬するだけで除去でき再使用が可能となる。そして紙製の長穴並設型結露手段は、熱伝導がアルミニュームよりも劣るが、安価であり、フューム固形物が大量に付着した場合には、洗浄せず、新しいものと交換するだけで済むという簡便性がある。
【００１９】
また除去装置の底板をフューム含有気体の流動方向に沿って下がるような傾斜を付しておくと、多管型結露手段やラビリンス型結露手段や長穴並設型結露手段で結露し、それらから下方に垂れ落ちた液状のフュームは底板に沿って下方に流れる。そこで底板の最下部にドレインを接続しておけば、該ドレインから液状のフュームを抜き取ることができる。
【００２０】
本発明の除去装置では、箱状体内に複数の結露手段を設置したものであるが、フューム含有気体の流動方向、即ちフューム含有気体の流入口に近いところに多管型結露手段を設置し、次いで他の結露手段を設置すると、それぞれの結露手段での結露効果が促進される。つまり本発明に使用する結露手段とは、フューム含有気体の温度を下げることにより、結露させるものであるが、結露手段の中でも多管型結露手段は冷却効果が著しいため、リフロー炉から排出された高温のフューム含有気体をこの多管型結露手段で温度を下げておくと、その後の結露手段での結露効果が向上する。
【００２１】
そこで本発明のフューム除去装置は、フューム含有気体の流動方向から先ず多管型結露手段を設置し、その後に長穴並設型結露手段を設置したり、多管型結露手段の次にラビリンス型結露手段を設置したり、多管型結露手段の次に長穴並設型結露手段、ラビリンス型結露手段を設置したり、或いは多管型結露手段の次にラビリンス型結露手段、長穴並設型結露手段を設置したりしてもよい。
【００２２】
本発明では、リフロー炉内で発生したフューム含有気体は、リフロー炉内の適当なところで吸い込み、パイプで炉外に排出して、それを除去装置に接続する。そしてフュームが除去された気体は、再度リフロー炉内に導入されるが、フューム除去後の気体を炉内に導入させる箇所は、リフロー炉の構造やヒーターの構造によって、それぞれ異なる。例えば炉内に攪拌装置が設置されていてヒーターが単に熱風を対流させるリフロー炉では、マッフルの適宜な箇所に穴を穿設し、該穴に導入パイプを接続してフューム除去後の気体をここから炉内に導入してもよい。また複数の熱風循環型ヒーターが設置され、該ヒーターの吹き出し口から吹き出された熱風が同じヒーターの吸い込み口から吸い込まれるという構造のヒーターでは、適宜な熱風循環式ヒーターや冷風循環式冷却機に導入パイプを接続してフューム除去後の気体をヒーターや冷却機に直接導入するようにしてもよい。
【００２３】
さらにフューム除去後の気体を炉内に導入させる箇所としては、還流パイプを出入口に近い箇所がよい。つまり出入口に近い箇所からフュームのない雰囲気ガスが流出されれば、カーテン作用で外気が炉内に侵入しにくくなるからである。
【００２４】
以下、図面に基づいて本発明のリフロー炉の説明をする。図１は本発明リフロー炉の第１実施例の正面断面図、図２は同フューム除去装置の部分拡大断面図、図３は図２の前板と天板を除去した斜視図、図４は本発明リフロー炉の第２実施例の正面断面図、図５は同フューム除去装置の部分拡大断面図、図６は図５の前板と天板を除去した斜視図、図７は本発明リフロー炉の第３実施例の正面断面図、図８は同フューム除去装置の部分拡大断面図、図９は図８の前板と天板を除去した斜視図である。
【００２５】
先ず本発明リフロー炉の第１実施例を図１、２、３に基づいて説明する。リフロー炉１は、マッフル２で覆われており、内部にトンネル状の炉３が形成されている。炉３内にはプリント基板Ｐを乗せて矢印Ａ方向に走行するコンベア４が設置されている。また炉３内には、コンベア４を挟んで上下部に予備加熱用のヒーター５u、５ｄ、６u、６d、本加熱用のヒーター７u、７d、冷却機８u、８ｄが設置されている。炉３の上部に設置された予備加熱用のヒーター５uと６u間、および本加熱用ヒーター７uと冷却機８u間は間隙９、９となっており、該間隙にある上部のマッフル２に排出口１０、１０が形成されている。
【００２６】
排出口１０には排出パイプ１１、１１が接続されており、リフロー炉の外部上方には二つのフューム除去装置１２、１２が一体となって設置されていて、排出パイプ１１、１１は、それぞれのフューム除去装置１２、１２の流入口１３、１３と接続されている。フューム除去装置１２は箱状であり、図示しない前板は取り外し可能となっていて、内部の清掃やメンテナンスが容易にできるようになっている。フューム除去装置１２の天板１４は水平となっているが、底板１５は流入口１３からフューム含有気体の流動方向に沿って下がるような傾斜が付されている。天板１４の中央には流出口１６が形成されており、また底板１５の中央にはコック１７を有するドレインパイプ１８が接続されている。
【００２７】
フューム除去装置１２の流出口１６には環流パイプ１９が接続されている。該環流パイプは下方に下がっていて、途中にブロワー２０が設置されており、さらにマッフル２の下方で横方に配管されている。そして横方に配管された環流パイプ１９は、下方のマッフル２から炉内に挿入されて、適宜な箇所、例えば予備加熱の下部ヒーター５ｄと６ｄ間や、下部ヒーター７ｄと下部冷却機８ｄ間から炉内に挿入されている。。
【００２８】
フューム除去装置１２内には、フューム含有気体の流動方向、即ち流入口１３方向から順次、多管型結露手段２１、長穴並設型結露手段２２が設置されている。
【００２９】
多管型結露手段２１は、多数のパイプ２２・・・が上下方向に設置されたものである。パイプ２２・・・の上部は収集箱２３内に固定され、下部は固定板２４に固定されている。収集箱２３の上部には、吸い込みポンプ２５を有しリフロー炉の外部に通じているフレキシブルな排気ダクト２６が接続されている。多管型結露手段２１を設置する部分の天板１４と底板１５には、それぞれ開口２７、２８が形成されており、天板１４の開口２７は収集箱２３よりも小さいが、固定板２４よりも大きく、また底板１５の開口２８は固定板２４よりも小さい。そして底板１５の開口２８の上部には、底板１５に対して水平となる枠２９が固定されている。つまり多管型結露手段２１をフューム除去装置１２に設置するには、天板１５の開口２７から多管型結露手段２１の下部を挿入して、取付板２４を枠２９上に載置するとともに、収集箱２３を天板１５の開口２７の周囲の上に載置する。そして収集箱２３の周囲に形成されたフランジを図示しないクランプで固定することにより、上下の載置部は除去装置と密封状態となる。そしてパイプ２２・・・の表面にフュームが大量に付着して結露効果が乏しくなったならば、クランプを外してから、多管型結露手段２０を上方に引き上げ、溶剤で洗浄する。
【００３０】
長穴並設型結露手段３０は、多数の矩形の長穴３１・・・が流動方向に並設されているものである。長穴並設型結露手段３０は、ブロック状となっており、台座３２上に取り外し容易に設置されている。該長穴並設型結露手段は長穴３１・・・内にフュームが大量に付着した場合は、台座３２から取り外し、溶剤中に浸漬して洗浄する。
【００３１】
次に上記実施例１のリフロー炉での稼働状態について説明する。ソルダペーストが塗布され、該塗布部に電子部品が搭載されたプリント基板Ｐをコンベア４に乗せて矢印Ａ方向に搬送する。先ず、プリント基板は炉３内の上下部に設置された予備加熱用ヒーター５u、５d、６u、６dで１００〜１５０℃に加熱される。このときソルダペースト中の溶剤が揮散されてフュームとなり、またソルダペースト中の固形成分は溶融する。そしてプリント基板は、さらに本加熱用ヒーター７u、７dに移り、ここで２２０〜２５０℃に加熱される。ここではソルダペースト中のはんだ粉末が溶融して、はんだ付け部に濡れ広がると同時に溶融状態となっていた固形成分は高温に曝されるためフュームとなる。前述溶剤のフュームと固形成分のフュームは、炉３内で浮遊する。
【００３２】
このとき既に環流パイプ１９に設置されているブロワー２０を稼働させておく。ブロワー２０の稼動で除去装置１２内の気体は、還流パイプ１９方向に吸引される。従って、フューム除去装置１２内は負圧となり、除去装置１２の流入口１３に接続された排出パイプ１１内の気体が除去装置１２に引かれ、さらに排出パイプ１１に接続された炉３内のフューム含有気体が排出パイプ１１内に引かれる。つまり炉３内で浮遊していたフューム含有気体は実線の矢印で示すようにリフロー炉１の排出口１０から排出パイプ１１を通って除去装置１２内に流入するようになるが、このときフューム含有気体は炉内から直接流入するため高温となっている。
【００３３】
除去装置１２内に流入したフューム含有気体は、先ず多管型結露手段２１を通過する。このとき多管型結露手段２１の上部にある収集箱２３に接続した排気ダクト２６の吸い込みファン２５が点線の矢印のようにパイプ２２・・・の下方から外気を吸い込んでいるため、パイプ２２・・・は外気で冷却されている。従って、多管型結露手段２１を通過する高温のフューム含有気体は、パイプ２２・・・で冷やされて温度が下がるとともに、パイプの表面で結露する。
【００３４】
温度が下がり、或る程度のフュームが除去されたフューム含有気体は、次に長穴並設型結露手段３０の多数の長穴３１・・・内を矢印のように通過する。このときもフューム含有気体は、長い通路を通過中に冷やされて長穴３１の壁面で結露するが、フューム含有気体は先の多管型結露手段２１で温度が下げられているため、ここでも結露しやすい。また長穴並設型結露手段が熱伝導の良好なアルミニューム製であると、フューム含有気体は、長穴並設型結露手段に熱を奪われて温度が下がり、さらに結露しやすくなるものである。
【００３５】
フュームが除去された気体はブロワー２０で引かれてフューム除去装置１２の流出口１６から上方の還流パイプ１９に入り、下方の環流パイプ１９で複数の箇所から炉３内に導入される。還流パイプの一部は下部ヒーター５ｄ、６ｄ間からと、下部ヒーター７ｄと下部冷却機８ｄ間から炉３内に導入される。
【００３６】
次に本発明リフロー炉の第２実施例を図４、５、６に基づいて説明する。実施例１と同一部分は同一符号を付して、その説明は省略する。
【００３７】
フューム除去装置１２内には、フューム含有気体の流動方向、即ち流入口１３方向から順次、多管型結露手段２１、ラビリンス型結露手段３３が設置されている。ラビリンス型結露手段とは、上部から多数の板材３４・・・が吊設されており、また下部から多数の板材３５・・・が立設されていて、上部の板材３４・・・は下端が底板１５から離れており、下部の板材３４・・・の上端は天板１４から離れているというラビリンス構造である。下部の板材３５は、立設板３６上に立設されており、該立設板は、箱状のフューム除去装置１２の底板１５上に取り外し可能に置かれている。従って、下部の板材３５にフューム固形物が大量に付着した場合は、立設板３６を取り出して溶剤で洗浄する。
【００３８】
ここで上記実施例２のリフロー炉での稼動状態について説明する。実施例１と同一内容については説明を省略する。
【００３９】
先の多管型結露手段２１の通過で温度が下がり、或る程度のフュームが除去されたフューム含有気体は、次にラビリンス型結露手段３３の多数の板材３４、３５間を矢印のように通過する。このときもフューム含有気体は、長い通路を通過中に冷やされて板材３４、３５の表面で結露するが、フューム含有気体は先の多管型結露手段２１で温度が下げられているため、ここでも結露しやすい。
【００４０】
そして本発明リフロー炉の第３実施例を図７、８、９に基づいて説明する。実施例１、２と同一部分が同一符号を付して、その説明は省略する。
【００４１】
先の多管型結露手段２１の通過で温度が下がり、或る程度のフュームが除去されたフューム含有気体は、長穴並設型結露手段３０でフュームが除去されるとともに、広範囲に分散される。その後、広範囲に分散されたフューム含有気体は、ラビリンス型結露手段３３の多数の板材３４、３５を通過する。このときもフューム含有気体は、長い板材間の通路を通過中に冷やされて板材の表面で結露するが、フューム含有気体は先の多管型結露手段２１で温度が下げられているため結露しやすい。
【００４２】
本発明に使用する結露手段は、取外し可能となっているため、これらの結露手段にフューム固形物が大量に付着した場合は、図示しない前板を外し、各結露手段を取り出して溶剤で洗浄し、洗浄後に再度所定の位置に設置してフューム含有気体からフューム除去を行う。また各結露手段に付着した液状のフュームは、下方に垂れ落ちて底板１５に達する。このとき底板１５は傾斜しているため、液状のフュームは傾斜した底板１５に沿って傾斜下部に流れる。傾斜下部にはドレイン１８が設置されており、傾斜下部に液状のフュームが溜まったならば、ドレインのコック１７を開いて液状のフュームを外部に流出させて回収する。
【００４３】
なお本発明の実施例では、炉のマッフルに形成した排出口は予備加熱用ヒーター間と、本加熱用ヒーターと冷却機間の二箇所に形成したもので説明したが、排出口はマッフルの適宜箇所に形成してもよい。またフュームが除去された気体を炉内に戻す場合も、実施例のように下部のヒーター間や下部ヒーターと冷却機間に限らずマッフルの適宜箇所に戻すようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、ソルダペーストを用いたリフロー炉に適しているものであるが、ソルダペースト以外にも加熱時にフュームが発生するもの、例えば接着剤、導電ペースト等を用いるときにも利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】は本発明リフロー炉の第１実施例の正面断面図
【図２】同フューム除去装置の部分拡大断面図
【図３】図２の前板と天板を除去した斜視図
【図４】本発明リフロー炉の第２実施例の正面断面図
【図５】同フューム除去装置の部分拡大断面図
【図６】図５の前板と天板を除去した斜視図
【図７】本発明リフロー炉の第３実施例の正面断面図
【図８】同フューム除去装置の部分拡大断面図
【図９】図８の前板と天板を除去した斜視図
【図１０】矩形形状の長穴並設型結露手段
【図１１】ハニカム形状の長穴並設型結露手段
【図１２】波型形状の長穴並設型結露手段
【符号の説明】
【００４６】
１  リフロー炉
２  マッフル
３  炉
４  コンベア
１２  フューム除去装置
２１  フューム除去装置
３０  長穴並設型結露手段
３３  ラビリンス型結露手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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