(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基本発振信号の基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査装置において、
前記拡散発振信号が入力され、帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定通過帯域を有するバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタから出力される所定帯域通過信号を受け、信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出器とを備え、
基本周波数が変化する前記基本発振信号に応じて帯域分布がシフトして所定帯域通過信号との位置が変化することにより、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査装置。
【請求項２】
前記信号強度検出器は、帯域通過信号の信号振幅を増幅する振幅増幅器を備えることを特徴とする請求項１に記載の帯域分布検査装置。
【請求項３】
前記信号強度検出器は、帯域通過信号あるいは前記振幅増幅器からの出力信号を、前記拡散発振信号の発振周波数帯域において平滑する第１平滑器を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の帯域分布検査装置。
【請求項４】
前記信号強度検出器からの出力信号は、周波数計数器、または／および周波数解析器に入力されることを特徴とする請求項３に記載の帯域分布検査装置。
【請求項５】
前記信号強度検出器は、帯域通過信号、前記振幅増幅器からの出力信号、あるいは前記第１平滑器からの出力信号を、前記拡散発振信号の周波数変動の周期において平滑する第２平滑器を備えることを特徴とする請求項１乃至３の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置。
【請求項６】
基本発振信号の基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査方法であって、
前記基本発振信号の基本周波数を順次変化させる周波数設定ステップを有し、
設定された基本周波数ごとに、
前記拡散発振信号のうち、所定帯域位置にあって帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定帯域信号を選択する所定帯域選択ステップと、
選択された所定帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出ステップとを有して、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号における周波数分布を測定する帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法に関するものであり、特に、周波数変動の帯域分布を短時間で判定する帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータやプリンタ等の電子機器は高機能化の一途をたどり、機器における高速化動作や高密度実装が進展してきている。このため、電子機器に供給されるクロック信号の発振周波数が高周波数化され、発振周波数とその高調波での電磁波輻射（以下、ＥＭＩと記す。）の放出が増大してきていることに加え、隣接部品・隣接機器へのＥＭＩの影響も無視することができないものとなってきている。
【０００３】
ＥＭＩ強度を低減するための対策として、近年はスペクトラム拡散技術が注目されてきている。スペクトラム拡散技術をクロック信号の発振周波数に適用してやれば、クロック信号の発振周波数を基本周波数から周期的に変動させることができる。これにより、スペクトラム拡散されたクロック信号から、または拡散されたクロック信号により駆動される電子機器から、あるいはこの両者から放出されるＥＭＩは周波数ごとに分散される。特定周波数においてＥＭＩ強度が大きくなることはなく、高調波成分のＥＭＩ強度も低減させることが可能となる。
【０００４】
ここで、ＥＭＩ強度のピークは、基本周波数から周波数変動されて拡散される周波数帯域に応じて低減する。拡散割合が大きな程、ＥＭＩ強度のピークは低減されることとなる。広い周波数帯域に拡散させれば、個々の周波数において放出されるＥＭＩ強度は低減するからである。電子機器の使用環境や許容されるＥＭＩ強度に応じてスペクトラム拡散による帯域分布を調整してやれば、電子機器の動作仕様上クロック信号に許容される発振周波数の範囲内でＥＭＩ強度の低減を図ることができる。
【０００５】
スペクトラム拡散技術を適用したデバイスあるいは機器については、設定に応じて帯域分布が調整可能であることを検査する必要がある。デバイスあるいは機器の出荷検査である。拡散されたクロック信号における発振周波数の帯域分布は、スペクトラムアナライザによる測定や、デジタイザにより取得されたデータの解析等の方法により行われる。
【０００６】
尚、本出願に係る発明に関連する先行技術は、従来より当業者であれば一般的に採用する技術常識に属するものであり、先行技術調査において抽出された刊行物等、出願人において本出願前に発表した論文等、および出願人において本出願に先立ち出願した先行特許出願等には、本出願において特許を受けようとする発明に関連する先行技術情報は見出されない。よって、本出願において記載すべき先行技術文献情報はない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
スペクトラムアナライザやデジタイザによる測定では、スペクトラム拡散されたクロック信号について、測定周波数範囲の全域に渡って周波数成分ごとの占有割合を精度よく取得することができるものではある。
【０００８】
しかしながら、従来の測定方法は、開発中あるいは不良解析等の段階で詳細なデータ解析が必要な場合には有効な方法ではあるものの、デバイス等の出荷検査において良否判定に不要なデータも合わせて取得することとなる。不要なデータの取得時間や取得したデータの処理時間に長大な時間が必要となり、出荷検査において長大な検査時間を要することとなり問題である。
【０００９】
また、高速クロック信号に対応するために、スペクトラムアナライザやデジタイザには高速・高精度な機能が必要となる。これらの機能を備えた検査装置は高価な装置となり、または汎用検査装置とは別体にこれらの機能を備える場合には検査設備が複雑となるおそれがある。出荷検査における検査コストの増大を招来することとなり問題である。
【００１０】
スペクトラムアナライザを使用する場合には、高速クロック信号に対応するために汎用検査装置とは別体にスペクトラムアナライザを備えることが考えられる。この場合、アナライザと検査装置とはＧＰＩＢ等のインターフェースで接続されることとなる。アナライザによる測定が完了してもインターフェースにおけるコマンドやデータの受け渡しに長大な時間を要する場合があり、検査時間が増大してしまうおそれがある。
【００１１】
デジタイザにより所定の時間間隔でクロック信号サンプリングする場合、クロック信号はスペクトラム拡散されて周期的に発振周波数が揺らいでいるので、所定の時間間隔ごとに連続してサンプリングを行う必要がある。いわゆるＴＩＡ（Ｔｉｍｅ  Ｉｎｔｅｒｖａｌ  Ａｎａｌｙｚｅ）方式である。１周期単位でサンプリングを行いながらサンプリングのタイミングを徐々にずらしてデータを補完していく方法では周波数変動を捕捉できないからである。
【００１２】
高速のクロック信号においては、微小な時間間隔ごとに連続したサンプリングが要求されるため、高速・高精度のデジタイザが必要となる。高速・高精度のデジタイジング機能を備えた検査装置が必要となり、設備が高価なものとなってしまうおそれがある。
【００１３】
また、周波数間でサンプリング誤差のない滑らかなデータを取得するためには、サンプリングを基本周波数の周期において複数周期繰り返した上で、取得したデータを平均化する必要がある。取得すべき分解能にも依存するが、例えば、１２ｋＨｚの周波数変動がある場合に、６００００ポイントのサンプリングを必要とする場合がある。サンプリング動作に必要とされる総時間は数秒の単位にまで及ぶこととなる。デジタイザでのデータサンプリングに長大な時間を必要とする場合がある。
【００１４】
更に、時間軸においてデジタル値にＡＤ変換され取得されたデータを、周波数軸においてその出現頻度に変換する、いわゆるＦＦＴ処理に長大な処理時間を必要とする場合がある。
【００１５】
本発明は前記従来技術の課題の少なくとも一つを解消するためになされたものであり、基本周波数を基本として基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号が、所定の帯域分布を有するか否かの検査を、迅速、簡略、かつ安価に行うことが可能な帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記目的を達成するために、請求項１に係る帯域分布検査装置は、基本発振信号の基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する際、拡散発振信号が入力され、帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定通過帯域を有するバンドパスフィルタと、バンドパスフィルタから出力される所定帯域通過信号を受け、信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出器とを備え、基本周波数が変化する基本発振信号に応じて帯域分布がシフトして所定帯域通過信号との位置が変化することにより、帯域分布が検査されることを特徴とする。
【００１７】
請求項１の帯域分布検査装置では、基本発振信号の基本周波数を変化させることにより、基本発振信号に基づいて出力される拡散発振信号の基本周波数も変化する。拡散発振信号が入力されるバンドパスフィルタは、帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定通過帯域を有しており、所定通過帯域に固定された所定帯域通過信号を出力する。所定帯域通過信号は信号強度検出器に入力され、信号振幅に応じた帯域強度信号が出力される。拡散発振信号の基本周波数が変化するところ、バンドパスフィルタの所定通過帯域が固定であるため、拡散発振信号の帯域分布における所定通過帯域の相対位置がシフトする。
【００１８】
また、請求項６に係る帯域分布検査方法は、基本発振信号の基本周波数を順次変化させる周波数設定ステップを有し、設定された基本周波数ごとに、拡散発振信号のうち、所定帯域位置にあって帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定帯域信号を選択する所定帯域選択ステップと、選択された所定帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出ステップとを有して、帯域分布が検査されることを特徴とする。
【００１９】
請求項６の帯域分布検査方法では、周波数設定ステップにより、基本発振信号の基本周波数を順次変化させて拡散発振信号の基本周波数を順次変化させる。設定された基本周波数ごとに、所定帯域選択ステップにより、固定された所定帯域位置にあって帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定帯域信号を選択する。信号強度検出ステップでは、選択された所定帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する。
【００２０】
これにより、拡散発振信号において、基本周波数からの帯域分布の広がり特性が維持されたまま基本周波数が変化するので、固定された所定通過帯域または固定された所定帯域位置に対する、拡散発振信号の帯域分布の相対位置が変化する。所定通過帯域の所定帯域通過信号または所定帯域位置の所定帯域信号の信号振幅に応じて信号強度が検出され、拡散発振信号の帯域分布における、所定通過帯域または所定帯域位置の信号強度を検出することができる。基本周波数を変化させる際の周波数ステップを調整することにより、帯域分布において周波数ステップごとの信号分布を検出することができる。
【００２１】
ここで、拡散発振信号とは、ＥＭＩ対策として有効なスペクトラム拡散技術を使用して発振周波数を周期的に変動させたクロック信号等や、ジッタ等の周波数変動を含んだクロック信号やその他の発振信号であり、所定の帯域に発振周波数が拡散した発振信号をいう。
【００２２】
拡散発振信号の帯域分布を検査する際、スペクトラムアナライザやデジタイザ等を使用する際に必要となる詳細なデータ収集やデータ解析は必要なく、周波数ステップごとに所定帯域通過信号または所定帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度を検出すればよく、検査時間を短縮することができる。
【００２３】
拡散発振信号の基本周波数が高周波数である場合に必要となる、高速・高精度のスペクトラムアナライザやデジタイザ等は必要ではなく、基本発振信号を高周波数の基本周波数で発振させれば、他に高速・高精度な機能回路は不要である。汎用の検査装置を利用することができ、高周波数の基本周波数を実現するための追加機能を別体として備える場合がある他は、追加装置または追加ステップは必要なく、追加機能については検査装置との間での複雑な信号の授受は必要ではない。検査設備が簡略になると共に検査コストを抑制することができる。
【００２４】
【００２５】
【００２６】
【００２７】
【００２８】
【００２９】
【００３０】
【００３１】
【００３２】
【００３３】
【００３４】
【００３５】
また、請求項２に係る帯域分布検査装置は、請求項１に記載の帯域分布検査装置において、信号強度検出器は、帯域通過信号の信号振幅を増幅する振幅増幅器を備えることを特徴とする。
【００３６】
請求項２の帯域分布検査装置では、振幅増幅器により、バンドパスフィルタからの帯域通過信号の信号振幅を増幅する。これにより、バンドパスフィルタから出力される帯域通過信号の信号振幅から精度よく信号強度を検出することができる。
【００３７】
また、請求項３に係る帯域分布検査装置は、請求項１または２に記載の帯域分布検査装置において、信号強度検出器は、帯域通過信号あるいは振幅増幅器からの出力信号を、拡散発振信号の発振周波数帯域において平滑する第１平滑器を備えることを特徴とする。
【００３８】
請求項３の帯域分布検査装置では、信号強度検出器に備えられている第１平滑器により、帯域通過信号あるいは振幅増幅器からの出力信号が、拡散発振信号の発振周波数帯域において平滑される。これにより、基本周波数からの周波数変動を含んで発振する帯域通過信号あるいは帯域通過信号の振幅信号が平滑され、帯域強度を簡単に検出することができる。
【００３９】
ここで、平滑とは、発振信号を平均化することを指し、実効値やその他の平均値を求めることである。
【００４０】
また、請求項４に係る帯域分布検査装置は、請求項３に記載の帯域分布検査装置において、信号強度検出器からの出力信号は、周波数計数器、または／および周波数解析器に入力されることを特徴とする。
【００４１】
請求項４の帯域分布検査装置では、信号強度検出器からの出力信号は、拡散発振信号における基本周波数からの周波数変動に応じて信号強度が変化する。この出力信号を周波数計数器、または／および周波数解析器に入力すれば、信号強度の変化を検出することができる。
【００４２】
これにより、周波数係数器を備えれば、計数された信号強度検出器からの出力信号の周波数により、拡散発振信号における周波数変動の周期や、周期の対称性等を検出することができる。また、周波数解析器を備えれば、解析された信号強度検出器からの出力信号の信号波形により、拡散発振信号における周波数変動の特性を検出することができる。周波数変動する拡散発振信号の周期や周期の対称性、周波数変動する際の波形歪みなどが、周波数ごとの信号強度として検出されるからである。
【００４３】
また、請求項５に係る帯域分布検査装置は、請求項１乃至３の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置において、信号強度検出器は、帯域通過信号、振幅増幅器からの出力信号、あるいは第１平滑器からの出力信号を、拡散発振信号の周波数変動の周期において平滑する第２平滑器を備えることを特徴とする。
【００４４】
請求項５の帯域分布検査装置では、信号強度検出器に備えられている第２平滑器により、帯域通過信号、振幅増幅器からの出力信号、あるいは第１平滑器からの出力信号が、拡散発振信号の周波数変動の周期において平滑される。これにより、周波数変動による信号振幅のうねりを含めて平均化された信号強度を検出することができる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明によれば、基本周波数を基本として基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号が所定の帯域分布を有するか否かの検査を、詳細なデータ収集やデータ解析を要することなく、短い検査時間で行うことができる。また、検査に当っては、複雑な追加装置を備える必要がなく汎用の検査装置を使用することができ、検査設備の簡略化と検査コストの低減を図ることができる。ＥＭＩ対策として有効なスペクトラム拡散技術を使用して発振周波数を周期的に変動させたクロック信号における周波数の拡散割合の検査や、発振信号に付加されるジッタ等の周波数変動の検査を迅速、簡略、かつ安価に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
以下、本発明の帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法について具体化した実施形態を図１乃至図８に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００４７】
図１は、第１実施形態の帯域分布検査装置の回路ブロック図である。（ＩＮ）端子に入力される基本周波数ｆ0の基本発振信号Ｓ0に対して、スペクトラム拡散技術により発振周波数が拡散された拡散発振信号ＳSSを（ＯＵＴ）端子から出力する、いわゆるスペクトラム拡散クロックジェネレータ（以下、ＳＳＣＧと記す。）デバイス１１の検査装置を示す。
【００４８】
デバイス１１の（ＯＵＴ）端子は、リレー１３を介して、汎用検査装置２１あるいは帯域分布検出部２２の何れかに接続される。汎用検査装置２１への接続は、（ＯＵＴ）端子における入出力電圧・電流等のＤＣ測定が行われる際の接続である。帯域分布検出部２２に接続される場合は、（ＯＵＴ）端子から出力される拡散発振信号ＳSSの発振周波数の帯域分布を検査する際の接続である。帯域分布検出部２２は、帯域分布検査装置において、拡散発振信号ＳSSのうち所定通過帯域における信号強度を検出する部分である。
【００４９】
帯域分布検出部２２において、リレー１３から入力される拡散発振信号ＳSSの信号径路には、信号経路上のインピーダンス整合が必要な場合に備えられる整合部１５、拡散発振信号ＳSSの帯域分布内で所定狭帯域幅の所定通過帯域を有するバンドパスフィルタ１７、バンドパスフィルタ１７からの所定帯域通過信号ＳBPを、拡散発振信号ＳSSの発振周波数帯域において平滑する平滑器１９、更に平滑器１９からの出力信号を拡散発振信号ＳSSの周波数変動の周期において平滑するコンデンサＣ１を備えている。
【００５０】
バンドパスフィルタ１７からの所定帯域通過信号ＳBPは、平滑器１９により平滑されて、発振信号である所定帯域通過信号ＳBPの信号振幅に応じて平均化された電圧値に変換される。ここで、平滑器１９の具体例としては、発振信号の実効値を求めるＲＭＳ−ＤＣ回路等が考えられる。このとき必要に応じて、所定帯域通過信号ＳBPの信号振幅を増幅することが好ましい。また、得られる実効値の範囲が広い場合にはログアンプにより対数化する。ＲＭＳ−ＤＣ回路の具体例としては、アナログデバイセス社のＡＤ５３６、ＡＤ６３７等、リニアテクノロジー社のＬＴＣ−１９６６等のＩＣ製品を適用することができる。また、ログアンプについては、例えば、アナログデバイセス社のＡＤ８３０６、ＡＤ８３０７等のＩＣ製品を適用することができる。
【００５１】
デバイス１１から出力される拡散発振信号ＳSSは、スペクトラム拡散されて周期的に周波数が変動された発振信号であるところ、その信号振幅は、最大振幅を有する発振周波数を中心として、その両側の周波数において振幅が減少していく周波数分布を有することが一般的である。バンドパスフィルタ１７において固定された所定通過帯域を横切って拡散発振信号ＳSSの発振周波数が変動することにより、発振周波数の変動周期で所定帯域通過信号ＳBPの信号振幅が変化する結果、平滑器１９により実効値として平滑された信号に発振周波数の変動周期に一致した実効値のうねりが生ずることとなる。
【００５２】
また、拡散発振信号ＳSSにおいて周波数変動が乱れて変動速度が一定でない場合や、拡散発振信号ＳSSに鈍りや歪みのある場合には、拡散発振信号ＳSSの振幅分布は、最大振幅を有する発振周波数を中心として、その両側の周波数において振幅が減少していく周波数分布からずれた分布となる場合がある。この場合には、実効値のうねりにおいて、周期的な電圧変化の対称性や周期性が崩れて、うねりの中心電圧に比して電圧値が高い時間割合（以下、うねりのデューティと記す。）が５０％からずれてしまうことや、うねりの周期が所定周期からずれてしまうことも考えられる。また、波形鈍りや波形歪みにより特異な周波数で発振する時間割合が増減することから、信号強度が強くなりあるいは弱くなる周波数の特異点が発生することも考えられる。
【００５３】
コンデンサＣ１は、上記に説明した実効値のうねり、うねりの対称性・周期性のずれ、うねりにおける特異点等を平均化するためのものである。
【００５４】
これにより、実効値のうねりが平均化されてＤＣ信号ＳAVが得られる。バンドパスフィルタ１７の所定通過帯域に対する拡散発振信号ＳSSの周波数変動の相対位置がＤＣ値として求められる。すなわち、周波数変動により拡散発振信号ＳSSの発振周波数が所定通過帯域を横切る関係にあれば、平滑器１９は最大振幅の発振信号を検出し、大きなＤＣ信号ＳAVが得られる。拡散発振信号ＳSSの発振周波数が所定通過帯域を横切らない関係にあれば、平滑器１９では小振幅の発振信号のみを検出し、小さなＤＣ信号ＳAVが得られる。
【００５５】
ＤＣ信号ＳAVは、汎用検査装置２１における比較器２５に送出され、比較器２５において所定電圧値ＶXと比較される。比較結果は、判定部２７により良否の判定をされた上で判定信号Ｊとして検査結果が出力される。ここで、所定電圧値ＶXとは、拡散発振信号ＳSSの周波数変動におけるスペクトラム拡散の拡散割合を定義する閾値電圧である。ＤＣ信号ＳAVの電圧レベルは、バンドパスフィルタ１７の所定通過帯域に対する拡散発振信号ＳSSの周波数変動の位置を示す尺度を提供すると共に、所定通過帯域において拡散発振信号ＳSSが発振する時間割合を示す尺度を提供するものである。所定電圧値ＶXを調整することにより、拡散発振信号ＳSSの帯域分布における端部周波数の検査と共に、帯域内または／および帯域外における周波数変動の乱れや波形鈍り・歪みを検査することができる。
【００５６】
この場合、判定部２７における判定内容に応じて、所定電圧値ＶXを制御する構成とすれば、ＤＣ信号ＳAVとして得られる検出結果に対して多段の検査を行うことができる。例えば、第１の検査として、ＤＣ信号ＳAVを帯域の境界を示す所定電圧値ＶXと比較して、そのときの拡散発振信号ＳSSが帯域内の信号か帯域外の信号かの判定を行い、帯域内の信号である場合に、第２の検査として、ＤＣ信号ＳAVを、特異点を示す所定電圧値ＶXと比較して、そのときの拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の対称性や周期性、鈍り・歪みの程度を判定する。
【００５７】
汎用検査装置２１に備えられる発振部２３、あるいは別途備えられる発振器３１からは、基本発振信号Ｓ0が出力される。発振部２３または発振器３１には、汎用検査装置２１からの制御信号ＣＴＬが入力されている。
【００５８】
後述するように、第１実施形態の帯域分布検査装置では、固定の所定通過帯域を有するバンドパスフィルタ１７を備えており、デバイス１１から出力される拡散発振信号ＳSSの帯域分布の検査を行う際、デバイス１１に入力される基本発振信号Ｓ0の基本周波数をｆ0から順次変化させ、拡散発振信号ＳSSの帯域分布をシフトさせることにより、所定通過帯域の相対位置を変化させて検査を行う。基本周波数の変化は制御信号ＣＴＬにより制御される。判定部２７による判定完了に応じて制御信号ＣＴＬを出力する構成とすることにより、基本発振信号Ｓ0の基本周波数を順次変化させながら検査を行うことができる。
【００５９】
ここで、汎用検査装置２１に要求される動作性能は、デバイス１１が扱うことができる基本周波数の動作速度までの高速性は必ずしも必要ではない。汎用検査装置２１は、平滑器１９およびコンデンサＣ１で平均化されたＤＣ信号ＳAVが判定できればよく、拡散発振信号ＳSSの発振周波数を直接に検出する必要はないからである。基本発振信号Ｓ0は、汎用検査装置２１の発振部２３から供給することができる。また、基本周波数が発振部２３の動作性能を越える場合には、別途備えられる発振器３１から供給することができる。発振器３１を使用する場合にも検出すべき信号はＤＣ信号ＳAVである。デバイス１１の動作性能に応じた高速動作仕様の発振器３１を備えてやれば、高速性能を有していない汎用検査装置２１であっても検査を行うことができる。
【００６０】
図２には、ＳＳＣＧデバイス１１の具体例を示す。ＥＭＩ対策として集積回路（ＬＳＩ）の動作クロック信号をスペクトラム拡散された発振信号とするには、水晶振動子からの基本クロック信号をスペクトラム拡散する専用のＳＳＣＧデバイス１１Ａを使用して、拡散発振信号ＳSSを集積回路（ＬＳＩ）の外部より供給する場合（図２中（Ａ）の場合）、または、基本クロック信号をスペクトラム拡散するＳＳＣＧ部を集積回路（ＬＳＩ）１１Ｂに備える場合（図２中（Ｂ）の場合）がある。ここで、集積回路（ＬＳＩ）１１Ｂには拡散発振信号ＳSSを出力する（ＯＵＴ）端子が備えられているものとする。第１実施形態（図１）において、ＳＳＣＧデバイス１１に代えて、ＳＳＣＧデバイス１１Ａまたは集積回路（ＬＳＩ）１１Ｂを備えて、拡散発振信号ＳSSの帯域分布の検査を行うことができる。
【００６１】
図３には、第１実施形態の帯域分布検査装置（図１）において拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検査する検査方法の一例を示す。以下の説明では、適宜、図１の帯域分布検査装置を参照しながら行う。
【００６２】
バンドパスフィルタ１７の所定通過帯域は、基本周波数ｆ0を中心に所定狭帯域幅Δｆを有して一意に設定されている。これに対して、基本発振信号Ｓ0は、制御信号ＣＴＬに応じて発振部２３または発振器３１から供給されるが、図３の検査方法においては、ＤＣ信号ＳAVの判定ごとに周波数ステップｆSで基本周波数が増加する。基本発振信号Ｓ0は、デバイス１１に入力されることによりスペクトラム拡散され、基本周波数を中心として変動幅ΔｆSSの帯域を有して周波数変動する拡散発振信号ＳSSが出力される。ここで、ｆS＝（１／４）ΔｆSSの関係があるものとする。図３のグラフは、横軸に発振周波数をとり縦軸に信号振幅をとったものである。図３では、簡単のために周波数変動の乱れはないものとして説明する。
【００６３】
ここで、バンドパスフィルタ１７の所定通過帯域である所定狭帯域幅Δｆは、必要となる検査分解能に応じて調整される。帯域幅を狭くしてやれば細かい周波数ステップｆSでの検査が可能となる。バンドパスフィルタとしては、例えば、水晶フィルタを使用することが考えられる。水晶フィルタを使用すれば、所定狭帯域幅Δｆとして十数ｋＨｚを実現することができ、充分な狭帯域幅での検査を行うことができる。
【００６４】
ステップ１（Ｓ１）では、基本発振信号Ｓ0の基本周波数はｆ0である。拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の中心周波数ｆSS0は基本周波数ｆ0であり（ｆSS0＝ｆ0）、変動幅ΔｆSSで周波数変動する。バンドパスフィルタ１７の所定通過帯域は基本周波数ｆ0であり、拡散発振信号ＳSSが周波数変動する帯域内にある。従って、周波数変動の１周期ごとに、拡散発振信号ＳSSの発振周波数と所定通過帯域とが合致し、最大振幅を検出することができる。ＤＣ信号ＳAVは最大電圧値ＶＡとなる。
【００６５】
ステップ２、３（Ｓ２、Ｓ３）においては、基本発振信号Ｓ0の基本周波数がｆ0＋ｆS、ｆ0＋２ｆSである。拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の中心周波数ｆSS0は基本周波数ｆ0＋ｆS、ｆ0＋２ｆSとなる（ｆSS0＝ｆ0＋ｆS、ｆSS0＝ｆ0＋２ｆS）。これらの場合にも、所定通過帯域（基本周波数ｆ0）は、拡散発振信号ＳSSが周波数変動する帯域内にある。従って、周波数変動の１周期ごとに、拡散発振信号ＳSSの発振周波数と所定通過帯域とが合致し、最大振幅を検出することができる。ＤＣ信号ＳAVは最大電圧値ＶＡとなる。尚、ｆSS0＝ｆ0＋２ｆSの場合、所定通過帯域（基本周波数ｆ0）は拡散発振信号ＳSSの帯域の下限に位置する周波数となる。
【００６６】
ステップ４（Ｓ４）においては、基本発振信号Ｓ0の基本周波数はｆ0＋３ｆSである。拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の中心周波数ｆSS0は基本周波数ｆ0＋３ｆSとなる（ｆSS0＝ｆ0＋３ｆS）。この場合には、所定通過帯域（基本周波数ｆ0）は、拡散発振信号ＳSSの帯域下限位置を下回った帯域外に位置することとなる。従って、周波数変動において、拡散発振信号ＳSSの発振周波数は所定通過帯域より高周波数側に常に位置することとなり、最大振幅は検出できない。ＤＣ信号ＳAVは電圧値ＶＢ（＜ＶＡ）となる。
【００６７】
更に、ステップ５（Ｓ５）においては、基本発振信号Ｓ0の基本周波数はｆ0＋４ｆSである。拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の中心周波数ｆSS0は基本周波数ｆ0＋４ｆSとなる（ｆSS0＝ｆ0＋４ｆS）。この場合には、所定通過帯域（基本周波数ｆ0）は、拡散発振信号ＳSSの帯域下限位置を更に下回った帯域外に位置することとなる。従って、ＤＣ信号ＳAVは電圧値ＶＣ（＜ＶＢ＜ＶＡ）となる。
【００６８】
ステップ１（Ｓ１）乃至ステップ５（Ｓ５）において検出されたＤＣ信号ＳAVを拡散発振信号ＳSSの発振周波数に対してプロットすると、帯域分布を求めることができる。この場合、横軸の周波数値は、基本発振信号Ｓ0の帯域分布と所定通過帯域との相対的な位置関係から、基本発振信号Ｓ0においてシフトされる基本周波数とは周波数ｆ0を挟んで反対側の周波数となることに注意する。比較器２５の所定電圧値ＶXを調整してやれば、帯域分布における端部周波数を検出することができる。図３では、下限周波数として周波数ｆ0−２ｆSを求めることができる。
【００６９】
ここで、図示はしていないが、所定電圧値ＶXを最大電圧値ＶＡから所定の電圧幅の範囲内に調整してやれば、帯域内におけるＤＣ信号ＳAVの平坦性を確認することができる。拡散発振信号ＳSSの周波数変動における波形の乱れの有無を検査することができる。
【００７０】
尚、図３においては基本周波数ｆ0から低周波数側のみ示しているが、高周波数側については、基本発振信号Ｓ0の発振周波数を順次減じてやれば得られることは言うまでもない。
【００７１】
図４に示す第２実施形態の帯域分布検査装置の回路ブロック図では、第１実施形態（図１）におけるバンドパスフィルタ１７に代えて、通過帯域が周波数ステップｆSづつ異なる複数のバンドパスフィルタ（・・・、１７Ａ乃至１７Ｅ、・・・）が備えられ、各バンドパスフィルタの両端には、制御信号ＣＴＬにより制御される切替スイッチ（・・・、１２Ａ乃至１２Ｅ、・・・）、（・・・、１４Ａ乃至１４Ｅ、・・・）が備えられる。また、第１実施形態（図１）とは異なり、発振部２３または発振器３１への制御信号ＣＴＬによる制御はなく、出力される基本発振信号Ｓ0の基本周波数ｆ0は固定である。
【００７２】
図５に第２実施形態の帯域分布検査装置（図４）において拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検査する検査方法の一例を示す。以下の説明では、適宜、図４の帯域分布検査装置を参照しながら行う。
【００７３】
第２実施形態では、基本発振信号Ｓ0の基本周波数はｆ0に固定されるため、拡散発振信号ＳSSは、基本周波数ｆ0を中心として変動幅ΔｆSSの帯域を有して周波数変動する。従って、複数の切替スイッチ（・・・、１２Ａ乃至１２Ｅ、・・・）、（・・・、１４Ａ乃至１４Ｅ、・・・）のうち１組のスイッチのみが導通し、以下、順次切り替えられて、複数のバンドパスフィルタ（・・・、１７Ａ乃至１７Ｅ、・・・）のうちの１のフィルタのみが順次選択されることにより、拡散発振信号ＳSSの帯域内において通過帯域を順次シフトしながら検出が行われる。
【００７４】
ステップ１１（Ｓ１１）では、切替スイッチ１２Ａおよび１４Ａが導通する。バンドパスフィルタ１７Ａが選択されて基本周波数ｆ0を中心とする通過帯域で信号検出が行われる。この通過帯域は、拡散発振信号ＳSSが周波数変動する帯域内にあり、周波数変動の１周期ごとに拡散発振信号ＳSSの発振周波数と通過帯域とが合致し、最大振幅を検出することができる。ＤＣ信号ＳAVは最大電圧値ＶＡとなる。
【００７５】
ステップ１２、１３（Ｓ１２、Ｓ１３）では、切替スイッチ１２Ｂおよび１４Ｂ、１２Ｃおよび１４Ｃが順次導通する。バンドパスフィルタ１７Ｂ、１７Ｃが順次選択されて基本周波数ｆ0−ｆS、ｆ0−２ｆSを中心とする通過帯域で順次信号検出が行われる。この通過帯域も拡散発振信号ＳSSが周波数変動する帯域内にあり、周波数変動の１周期ごとに拡散発振信号ＳSSの発振周波数と通過帯域とが合致し、最大振幅を検出することができる。ＤＣ信号ＳAVは最大電圧値ＶＡとなる。尚、基本周波数ｆ0−２ｆSは、拡散発振信号ＳSSの帯域の下限に位置する周波数である。
【００７６】
ステップ１４（Ｓ１４）では、切替スイッチ１２Ｄおよび１４Ｄが導通する。バンドパスフィルタ１７Ｄが選択されて基本周波数ｆ0−３ｆ0を中心とする通過帯域で信号検出が行われる。この通過帯域は、拡散発振信号ＳSSの帯域下限位置を下回った帯域外に位置する。従って、周波数変動において拡散発振信号ＳSSの発振周波数は通過帯域より高周波数側に常に位置することとなり、最大振幅は検出できない。ＤＣ信号ＳAVは電圧値ＶＢ（＜ＶＡ）となる。
【００７７】
更に、ステップ１５（Ｓ１５）では、切替スイッチ１２Ｅおよび１４Ｅが導通する。バンドパスフィルタ１７Ｅが選択されて基本周波数ｆ0−４ｆ0を中心とする通過帯域で信号検出が行われる。この通過帯域は、拡散発振信号ＳSSの帯域下限位置を更に下回った帯域外に位置する。従って、ＤＣ信号ＳAVは電圧値ＶＣ（＜ＶＢ＜ＶＡ）となる。
【００７８】
ステップ１１（Ｓ１１）乃至ステップ１５（Ｓ１５）において検出されたＤＣ信号ＳAVを拡散発振信号ＳSSの発振周波数に対してプロットすると、第１実施形態（図３）と同様の帯域分布を求めることができる。比較器２５の所定電圧値ＶXを調整することによる帯域分布の端部周波数の検出、所定電圧値ＶXを最大電圧値ＶＡから所定の電圧幅の範囲内に調整することによるＤＣ信号ＳAVの平坦性の確認等についても第１実施形態（図３）の場合と同様である。
【００７９】
尚、図５においては、図３の場合と同様に基本周波数ｆ0から低周波数側のみ示しているが、高周波数側については、基本発振信号Ｓ0の発振周波数を順次減じてやれば得られることは言うまでもない。
【００８０】
図６には、第２実施形態の帯域分布検査装置についての変形例を示す。図４の第２実施形態における切替スイッチ（・・・、１２Ａ乃至１２Ｅ、・・・）、（・・・、１４Ａ乃至１４Ｅ、・・・）に代えて、バンドパスフィルタ１７Ａ乃至１７Ｅごとに平滑器１９Ａ乃至１９Ｅとその出力径路にコンデンサとを備える場合である。
【００８１】
ここで、バンドパスフィルタ１７Ｂは、バンドパスフィルタ１７Ｃの通過帯域（基本周波数ｆ0）に比して０．９％高い周波数帯域を通過帯域とし、バンドパスフィルタ１７Ａは、バンドパスフィルタ１７Ｃに比して１．１％高い周波数帯域を通過帯域として設定する。逆に、バンドパスフィルタ１７Ｄは、バンドパスフィルタ１７Ｃの通過帯域（基本周波数ｆ0）に比して０．９％低い周波数帯域を通過帯域とし、バンドパスフィルタ１７Ｅは、バンドパスフィルタ１７Ｃに比して１．１％低い周波数帯域を通過帯域として設定する。これにより、±１．０％を帯域幅を有する拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検出することができる。
【００８２】
第２実施形態（図４）においては、切替スイッチを順次切り替えて導通することにより通過帯域の異なるバンドパスフィルタを順次選択する場合を説明したが、変形例（図６）においては、バンドパスフィルタごとに平滑器とコンデンサとを備えることにより、通過帯域ごとの信号検出を並列処理により行う場合を示している。並列に出力されるＤＣ信号を比較する比較器２５Ａ乃至２５Ｅも並列に備えてやれば、所定電圧値ＶXとの比較処理を並列処理により行うことができる。
【００８３】
図７は、第３実施形態の帯域分布検査装置の要部回路ブロック図である。図７中（Ａ）の場合は、第１実施形態の帯域分布検査装置（図１）に備えられているコンデンサＣ１をなくし、比較器４１と周波数カウンタ４２とを備える。周波数カウンタ４２からの出力信号を判定部４３で判定することにより、平滑器１９からの実効値出力の周期を検出する。
また、図７中（Ｂ）の場合は、第１実施形態の帯域分布検査装置（図１）に備えられているコンデンサＣ１をなくし、デジタイザ５１を備える。デジタイザ５１からの出力信号を判定部５２で判定することにより、平滑器１９からの実効値出力のデューティを検出する。
【００８４】
前述したように平滑器１９からの実効値出力は、拡散発振信号ＳSSが周期的に周波数変動を行う場合、変動の周期に応じた周期的な振幅のうねりを含んだ波形となる。また周期的な波形における対称性や周期性のずれ、更に波形の鈍りや歪み等により、うねりの周期が乱される場合がある。
【００８５】
（Ａ）の場合、比較器４１の参照電圧ＶＲＦを実効値出力のうねりの中心電圧とすることにより、実効値出力に現われるうねりの周波数や周波数の乱れ等を検出することができる。拡散発振信号ＳSSがその帯域内において周波数変動する際の変動周期を検査することができると共に、拡散発振信号ＳSS自身の波形の乱れを検査することができる。
【００８６】
また、（Ｂ）の場合、デジタイザ５１により、うねりを含んだ実効値出力の波形解析を精度よく行うことができる。うねりの周波数や周波数の乱れ、更に拡散発振信号ＳSSにおける個々の発振周波数の時間割合等を検出することができる。拡散発振信号ＳSSがその帯域内において周波数変動する際の変動周期を検査することができると共に、拡散発振信号ＳSS自身の波形の乱れを検査することができる。
【００８７】
この場合、デジタイザ５１は、解析すべき分解能に応じて所定のサンプリング時間間隔でデータの取得を行う必要がある。実効値出力のうねり周波数は、拡散発振信号ＳSSの周波数変動に対応した周波数であり、拡散発振信号ＳSSの発振周波数に比してゆっくりとした周波数である。このため、サンプリング時間間隔は、拡散発振信号ＳSSをサンプリングする場合に比して長くすることができる。デジタイザ５１に高速動作性能が要求されることはなく、高速性能を有した高機能機器を使用する必要はない。
【００８８】
図８は、第１実施形態の帯域分布検査装置（図１）における帯域分布検出部２２を、モジュール基板６１として汎用検査装置２１とは別体に構成する場合の基板構成例を示す図である。
【００８９】
モジュール基板６１には、各々通過帯域が異なるバンドパスフィルタ１７−１乃至１７−３が備えられている。各バンドパスフィルタは、リレー６２−１乃至６２−３、および６４−１乃至６４−３のうちいずれか１組のリレーを選択して導通することにより、選択される。拡散発振信号ＳSSの発振周波数帯域に応じて選択する構成である。モジュール基板６１では、通過帯域が、２０ＭＨｚ、５０ＭＨｚ、１００ＭＨｚの３つのフィルタが備えられており、同周波数帯域の拡散発振信号ＳSSにおいて選択される。
【００９０】
モジュール基板６１は、（ＩＮ）端子から拡散発振信号ＳSSが入力され、（ＯＵＴ）端子からＤＣ信号ＳAVが出力される。（ＲＬ０）乃至（ＲＬ４）端子はリレーの制御端子である。このうち、（ＲＬ２）乃至（ＲＬ４）端子は、リレー６２−１乃至６２−３、および６４−１乃至６４−３の制御用端子である。（ＲＬ０）端子は、リレー６３の制御用端子である。リレー６３は、（ＭＯＮ）端子と信号の入力径路との間に備えられる。モジュール基板６１を含む検査装置を校正する際、検査デバイス１１（図１）が接続される（ＩＮ）端子からの信号径路に代えて（ＭＯＮ）端子から信号を入力することにより、デバイス１１を介さない校正信号の入力を可能とする構成である。（ＲＬ１）端子は、リレー６５の制御用端子である。信号径路は、リレー６５を介して（Ｔ．ｃｈ）端子に接続される。（Ｔ．ｃｈ）端子を検査装置のＤＣ測定の系に接続することにより、(ＩＮ)端子に接続されるデバイス１１のＤＣ測定を可能とするリレーである。
【００９１】
また、（５Ｖ）端子より、モジュール基板６１上の各種デバイスに電源が供給される。なお、モジュール基板６１には、整合部１５の実装領域を備えていてもよい。これにより、整合部１５が不要な場合には、実装部分の入出力端子間を短絡することにより、インピーダンス整合の要・不要に応じて適宜に対応することができるからである。
【００９２】
汎用検査装置２１（図１）にモジュール基板６１を接続することにより、第１実施形態の帯域分布検査装置を簡単に構成することができる。
【００９３】
尚、バンドバスフィルタからの信号振幅を適宜に増幅する必要がある場合には、前述のＲＭＳ−ＤＣ回路やログアンプに振幅増幅機能を有していればよい。また、図示しない振幅増幅器をバンドパスフィルタの出力側に備え、振幅増幅器の出力を平滑器１９に入力する構成とすることも可能である。
【００９４】
以上詳細に説明したとおり、第１実施形態に係る帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法によれば、拡散発振信号ＳSSにおいて、基本周波数ｆSS0から変動幅ΔｆSSを有する帯域分布の広がり特性が維持されたまま、基本周波数ｆSS0がｆ0からｆ0＋ｆS、ｆ0＋２ｆS、ｆ0＋３ｆS、ｆ0＋４ｆSと変化するので、バンドパスフィルタ１７による、固定された所定通過帯域または固定された所定帯域位置に対する拡散発振信号ＳSSの帯域分布の相対位置が変化する。所定通過帯域の帯域通過信号または所定帯域位置の所定帯域信号の信号振幅に応じて信号強度が検出され、拡散発振信号ＳSSの帯域分布における所定通過帯域または所定帯域位置の信号強度を検出することができる。基本周波数を変化させる際の周波数ステップを調整することにより、帯域分布において周波数ステップｆS間の信号強度を検出することができる。
【００９５】
また、第２実施形態に係る帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法によれば、拡散発振信号ＳSSにおいて、基本周波数ｆ0からの帯域分布における帯域位置ごとに、バンドパスフィルタ（・・・、１７Ａ乃至１７Ｅ、・・・）を順次選択して、帯域通過信号または帯域信号の信号振幅に応じて信号強度が検出され、拡散発振信号ＳSSの帯域分布における信号強度を検出することができる。バンドパスフィルタ間の帯域位置の間隔や帯域選択ステップにおける帯域位置の間隔である、周波数ステップｆSを調整することにより、帯域分布において周波数ステップｆS間の信号分布を検出することができる。ここで、バンドパスフィルタの順次選択は、切替スイッチ（・・・、１２Ａ乃至１２Ｅ、・・・）、（・・・、１４Ａ乃至１４Ｅ、・・・）の選択により行われる。これらの切替スイッチが切替部の一例である。
【００９６】
また、第２実施形態の変形例に係る帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法によれば、拡散発振信号ＳSSにおいて、基本周波数ｆ0からの帯域分布における帯域位置ごとに備えられるバンドパスフィルタ１７Ａ乃至１７Ｅを同時に選択して、信号強度の検出を並列処理することができる。
【００９７】
本実施形態によれば、拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検査する際、スペクトラムアナライザやデジタイザ等を使用する際に必要となる詳細なデータ収集やデータ解析は必要なく、周波数ステップごとに帯域通過信号または帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度を検出すればよく、検査時間を短縮することができる。
【００９８】
また、第１、第２実施形態、およびその変形例によれば、平滑器１９、１９Ａ乃至１９Ｅの出力にコンデンサを備えることにより、拡散発振信号ＳSSの実効値がＤＣ信号ＳAVに変換されて平均化され、後段の汎用検査装置２１において帯域強度を簡単に検出することができる。ここで、平滑器１９、１９Ａ乃至１９Ｅ、およびその出力に備えられているコンデンサが信号強度検出器の一例であり、平滑器１９、１９Ａ乃至１９Ｅが第１平滑器の一例であり、コンデンサが第２平滑器の一例である。
【００９９】
また、第３実施形態に係る帯域分布検査装置、および帯域分布検査方法によれば、周波数係数器の一例である周波数カウンタ４２を備えれば、平滑器１９からの出力信号である実効値出力のうねりの周波数により、拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の周期を検出することができる。また、周波数解析器の一例であるデジタイザ５１を備えれば、実効値出力の信号変化が解析されて、拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の特性を検出することができる。周波数変動する拡散発振信号ＳSSにおける周波数変動の周期や変動の対称性、変動する際の波形歪みなどが、周波数ごとの信号強度として検出されるからである。
【０１００】
第１、第２実施形態ではスペクトラムアナライザやデジタイザ等は必要ではなく、第３実施形態で必要となるデジタイザ５１については比較的低速動作でよいことと相俟って、拡散発振信号ＳSSの基本周波数が高周波数である場合に必要となる、高速・高精度のスペクトラムアナライザやデジタイザ等は必要ではなく、基本発振信号Ｓ0を高周波数の基本周波数ｆ0で発振させる発振部２３または発振器３１があれば、他に高速・高精度な機能回路は不要である。汎用の検査装置２１を利用することができ、高周波数の基本周波数ｆ0を実現するために検査装置２１とは別体として発振器３１を備える場合がある他は、追加装置も必要なく、追加される発振器３１については検査装置２１との間での複雑な信号の授受は必要ではない。検査設備が簡略になると共に検査コストを抑制することができる。
【０１０１】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは言うまでもない。
例えば、本実施形態においては、デバイス１１から出力されるスペクトラム拡散されて周期的に周波数変動する拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検査する場合を例にとり説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発振信号に付加されるジッタ等の不定期な周波数変動についても同様に検査することができることは言うまでもない。
また、本実施形態では、バンドパスフィルタの出力を平滑することにより、平均化された信号について検査を行い、周波数変動の周期や周波数変動における波形の乱れ等を検査する場合を説明した。本発明はこれに限定されるものではなく、バンドパスフィルタの出力にピークホールド回路を備えてやれば、バンドパスフィルタを介して出力される通過帯域での信号における信号振幅の最大値を検出することができる。これにより、拡散発振信号ＳSSの帯域分布を検査することも可能である。
【０１０２】
ここで、本発明の技術思想により、従来技術における課題を解決するための手段を以下に列記する。
（付記１）  基本発振信号の基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査装置において、
前記拡散発振信号が入力され、帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定通過帯域を有するバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタから出力される所定帯域通過信号を受け、信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出器とを備え、
基本周波数が変化する前記基本発振信号に応じて帯域分布がシフトして所定帯域通過信号との位置が変化することにより、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査装置。
（付記２）  前記基本発振信号の基本周波数を調整可能に設定する発振部を備えることを特徴とする付記１に記載の帯域分布検査装置。
（付記３）  基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査装置において、
帯域分布における帯域位置ごとに所定狭帯域幅の通過帯域を有して備えられ、前記拡散発振信号が入力される、複数のバンドパスフィルタと、
前記バンドパスフィルタから出力される帯域通過信号を受け、信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出器とを備え、
個々の前記バンドパスフィルタからの帯域通過信号に応じて、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査装置。
（付記４）  前記複数のバンドパスフィルタから一つのバンドパスフィルタを選択し、前記拡散発振信号に対して選択された通過帯域の帯域通過信号を前記信号強度検出器に送出する切替部を備えることを特徴とする付記３に記載の帯域分布検査装置。
（付記５）  前記信号強度検出器は前記バンドパスフィルタごとに備えられ、通過帯域の異なる帯域通過信号ごとに帯域強度信号が並列出力されることを特徴とする付記３に記載の帯域分布検査装置。
（付記６）  前記信号強度検出器は、帯域通過信号の信号振幅を増幅する振幅増幅器を備えることを特徴とする付記１乃至５の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置。（付記７）  前記信号強度検出器は、帯域通過信号あるいは前記振幅増幅器からの出力信号を、前記拡散発振信号の発振周波数帯域において平滑する第１平滑器を備えることを特徴とする付記１乃至６の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置。
（付記８）  前記信号強度検出器からの出力信号は、周波数計数器、または／および周波数解析器に入力されることを特徴とする付記７に記載の帯域分布検査装置。
（付記９）  前記信号強度検出器は、帯域通過信号、前記振幅増幅器からの出力信号、あるいは前記第１平滑器からの出力信号を、前記拡散発振信号の周波数変動の周期において平滑する第２平滑器を備えることを特徴とする付記１乃至８の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置。
（付記１０）  前記信号強度検出器は、帯域通過信号のピーク値または前記振幅増幅器からの出力信号のピーク値を保持するピーク値保持回路を備えることを特徴とする付記１乃至６の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査装置。
（付記１１）  基本発振信号の基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査方法であって、
前記基本発振信号の基本周波数を順次変化させる周波数設定ステップを有し、
設定された基本周波数ごとに、
前記拡散発振信号のうち、所定帯域位置にあって帯域分布に比して所定狭帯域幅の所定帯域信号を選択する所定帯域選択ステップと、
選択された所定帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出ステップとを有して、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査方法。
（付記１２）  基本周波数を基本とし基本周波数からの周波数変動を含んで発振する拡散発振信号に関し、帯域分布を検査する帯域分布検査方法であって、
前記拡散発振信号のうち、帯域分布に比して所定狭帯域幅の帯域信号を、帯域位置ごとに選択する帯域選択ステップと、
選択された帯域信号ごとに、帯域信号の信号振幅に応じた帯域強度信号を出力する信号強度検出ステップとを有して、帯域分布が検査されることを特徴とする帯域分布検査方法。
（付記１３）  前記帯域選択ステップでは、帯域位置ごとの選択が順次行われ、
前記信号強度検出ステップが、選択された帯域信号ごとに順次行われることを特徴とする付記１２に記載の帯域分布検査方法。
（付記１４）  前記帯域選択ステップでは、帯域位置ごとの選択が並列して行われ、
前記信号強度検出ステップでは、選択された帯域信号が並列に処理されることを特徴とする付記１２に記載の帯域分布検査方法。
（付記１５）  前記信号強度検出ステップでは、帯域信号が前記拡散発振信号の発振周波数帯域において平滑された第１平滑信号に応じて、帯域強度信号が出力されることを特徴とする付記１１乃至１４の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査方法。
（付記１６）  帯域強度信号の発振周期または／および発振デューティを計測する周波数変動特性検査ステップを有することを特徴とする付記１５に記載の帯域分布検査方法。
（付記１７）  前記信号強度検出ステップでは、帯域信号、または第１平滑信号が前記拡散発振信号の周波数変動の周期において平滑された第２平滑信号に応じて、帯域強度信号が出力されることを特徴とする付記１１乃至１６の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査方法。
（付記１８）  前記信号強度検出ステップでは、帯域信号のピーク値を保持するピーク値保持ステップを有することを特徴とする付記１１乃至１４の少なくとも何れか１項に記載の帯域分布検査方法。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】第１実施形態の回路ブロック図である。
【図２】スペクトラム拡散を行う際のデバイス構成を示す模式図である。
【図３】第１実施形態の検査方法を示す説明図である。
【図４】第２実施形態の回路ブロック図である。
【図５】第２実施形態の検査方法を示す説明図である。
【図６】第２実施形態の変形例の回路ブロック図である。
【図７】第３実施形態の要部回路ブロック図である。
【図８】第１実施形態を実現するモジュール基板の実装例を示す図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１１              スペクトラム拡散クロックジェネレータ（ＳＳＣＧ）デバイス
１２Ａ乃至１２Ｅ、１４Ａ乃至１４Ｅ
切替スイッチ
１３、６２−１乃至６２−３、６３、６４−１乃至６４−３
リレー
１５              整合部
１７、１７Ａ乃至１７Ｅ、１７−１乃至１７−３
バンドパスフィルタ
１９              平滑器
２１              汎用検査装置
２２              帯域分布検出部
２３              発振部
２５、４１        比較器
２７、４３、５２  判定部
３１              発振器
４２              周波数カウンタ
５１              デジタイザ
６１              モジュール基板
Ｃ１              コンデンサ
ＣＴＬ            制御信号
Δｆ              所定狭帯域幅
ｆS              周波数ステップ
ΔｆSS          変動幅
Ｊ                判定信号
Ｓ0              基本発振信号
ＳAV            ＤＣ信号
ＳBP            所定帯域通過信号
ＳSS            拡散発振信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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