(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光強度可変部の光強度可変状態を前記光強度可変部に制御値を与えることで前記光強度可変部より出力される信号光の光強度を設計光強度に近づける制御をする光強度可変器の制御方法において、
制御の開始時点より第１時間間隔後の時点まで、前記光強度可変部に初期制御値を与え続け、
前記制御の開始時点より第１時間間隔後の時点で、前記初期制御値を与えて前記光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、前記設計光強度との差に比例する第１制御変更値を求め、
前記第１制御変更値を前記初期制御値に加えた第１制御値を求め、
前記第１時間間隔後の時点より、前記第１時間間隔とは異なる第２時間間隔後まで、前記光強度可変部に前記第１制御値を与え続け、
前記第２時間間隔後の時点で、前記第１制御値を与えて前記光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、前記設計光強度との差に比例する第２制御変更値を求め、
前記第２制御変更値を前記第１制御値に加えた第２制御値を求め、
前記第２時間間隔後の時点より、前記光強度可変部に前記第２制御値を与え、
前記第１時間間隔は、前記第２時間間隔よりも長くされている
ことを特徴とする光強度可変器の制御方法。
【請求項２】
請求項１記載の光強度可変器の制御方法において、
前記第１時間間隔は、前記光強度可変部の時定数の６倍から８倍の範囲とされていることを特徴とする光強度可変器の制御方法。
【請求項３】
請求項２記載の光強度可変器の制御方法において、
前記光強度可変部は、熱光学効果によるマッハツェンダー型光減衰器であることを特徴とする光強度可変器の制御方法。
【請求項４】
与えられた制御値により入力した信号光の光強度を変更して出力する光強度可変部と、
前記光強度可変部から出力された信号光の光強度を測定する光強度測定手段と、
前記光強度可変部に前記制御値を与えて前記光強度可変部より出力される信号光の光強度を設計光強度に近づける制御をする制御部とを備え、
前記制御部は、
制御の開始時点より第１時間間隔後の時点まで、前記光強度可変部に初期制御値を与え続け、
前記制御の開始時点より第１時間間隔後の時点で、前記初期制御値を与えて前記光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、前記設計光強度との差に比例する第１制御変更値を求め、
前記第１制御変更値を前記初期制御値に加えた第１制御値を求め、
前記第１時間間隔後の時点より、前記第１時間間隔とは異なる第２時間間隔後まで、前記光強度可変部に前記第１制御値を与え続け、
前記第２時間間隔後の時点で、前記第１制御値を与えて前記光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、前記設計光強度との差に比例する第２制御変更値を求め、
前記第２制御変更値を前記第１制御値に加えた第２制御値を求め、
前記第２時間間隔後の時点より、前記光強度可変部に前記第２制御値を与え、
前記第１時間間隔は、前記第２時間間隔よりも長くされている
ことを特徴とする光強度可変器。
【請求項５】
請求項４記載の光強度可変器において、
前記第１時間間隔は、前記光強度可変部の時定数の６倍から８倍の範囲とされていることを特徴とする光強度可変器。
【請求項６】
請求項５記載の光強度可変器において、
前記光強度可変部は、熱光学効果によるマッハツェンダー型光減衰器である、
ことを特徴とする光強度可変器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信及び光情報処理などに用いられる光強度可変器及びその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信分野では、伝送容量の増加のための有効な技術として、複数の波長の信号光を１つの光ファイバで伝送する波長多重伝送システムが実用化されている。波長多重伝送システムの中の、特に長距離伝送や各波長の信号光のアド・ドロップを行うシステム（ＯＤＡＭ：Optical Add Drop Multiplexing）において、減衰した信号光を増幅するための光ファイバ増幅器が必要となる。
【０００３】
光ファイバ増幅器の利得は、波長に対して常に一定なものではなく、増幅器ごとに固有の波長特性を有している。このため、光ファイバ増幅器を用いる場合、光増幅器の多段接続を必要とする多中継伝送やＯＡＤＭにおいては、信号光の波長によって光強度が生じ、極端な場合には、特定の波長の信号光が消滅する場合が発生する。この問題を解消するためには、送信単局、あるいは、複数のネットワークノードにおいて、各波長チャンネルの信号光レベルを光ファイバ増幅器の利得特性に応じて調整する必要がある（特許文献１，２，３，４，５参照）。
【０００４】
各波長チャンネルの信号光レベルを光ファイバ増幅器に応じて調整するデバイスとして、可変光減衰器（ＶＯＡ：Variable Optical Attenuator）や、波長フィルターを組み合わせたＶＭＵＸ（ＶＯＡ−ＭＵＸ）などが検討されている。例えば、ＶＭＵＸの一例として、図７に示すアレイ導波路回折格子形波長合分波器（ＡＷＧ：Array Waveguide Grating）と複数の光可変減衰器を組み合わせたものが提案されている（特許文献６参照）。
【０００５】
上記ＶＭＵＸは、２つのスラブ導波路５１４，５１２と、これらを光接続するアレイ導波路５１５とからなるＡＷＧと、熱光学効果を利用した複数のマッハツェンダー干渉型光減衰器５１６，及び光強度モニタ用のモニタ導波路５１７が、同一の基板５２０の上に形成されたものである。基板５２０の一端から入社された各波長の信号光は、図示しない光ファイバ増幅器の利得特性波長に応じて最適な伝送特性が得られるように、光減衰器５１６により光強度の調整が行われる。光減衰器５１６による光強度調整は、モニタ導波路５１７を導波した信号光の強度により図示しない制御装置により制御される。この制御では、例えば、デジタルあるいはアナログのＰＩＤ制御が用いられる。
【０００６】
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
【特許文献１】特開平１０−０２０３４８号公報
【特許文献２】特開２０００−０１９４７１号公報
【特許文献３】特開２０００−１８０８０３号公報
【特許文献４】特開２０００３５２６９９号公報
【特許文献５】特開２００１−３３９３６６号公報
【特許文献６】特開２００２−０６２４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、近年の光ネットワーク通信システムでは、上述した光か変減衰器の制御において、応答時間５０ｍｓ程度で光強度バラツキが±０．１ｄＢ程度の高速高精度の動作が要求されている。しかしながら、この要求を満たす制御方式が、熱光学効果を利用したマッハツェンダー干渉型光減衰器では提案されていない。
【０００８】
熱光学効果を利用したマッハツェンダー干渉型光減衰器では、ヒータの温度制御が必要となり、一般には、ＰＩあるいはＰＩＤ制御が用いられている。しかしながら、この制御では、制御因子の決定が経験的で煩雑であり、また、必ずしも高速性を満足するものではない。また、熱光学効果を利用したマッハツェンダー干渉型光減衰器の応答速度（時定数）のバラツキに対し、トレランスのある制御方法が明らかになっておらず、実用化を困難なものとしている。
【０００９】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、制御パラメータが少ないなど取り扱いが容易な状態で、応答速度のバラツキに対してトレランスがあり、高速・高精度な光強度制御を可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る光強度可変器の制御方法は、光強度可変部の光強度可変状態を光強度可変部に制御値を与えることで光強度可変部より出力される信号光の光強度を設計光強度に近づける制御をする光強度可変器の制御方法において、制御の開始時点より第１時間間隔後の時点まで、光強度可変部に初期制御値を与え続け、制御の開始時点より第１時間間隔後の時点で、初期制御値を与えて光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、設計光強度との差に比例する第１制御変更値を求め、第１制御変更値を初期制御値に加えた第１制御値を求め、第１時間間隔後の時点より、第１時間間隔とは異なる第２時間間隔後まで、光強度可変部に第１制御値を与え続け、第２時間間隔後の時点で、第１制御値を与えて光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、設計光強度との差に比例する第２制御変更値を求め、第２制御変更値を第１制御値に加えた第２制御値を求め、第２時間間隔後の時点より、光強度可変部に第２制御値を与え、第１時間間隔は、第２時間間隔よりも長くされているようにしたものである。
【００１１】
上記光強度可変器の制御方法において、第１時間間隔は、光強度可変部の時定数の６倍から８倍の範囲とされているようにしてもよい。
【００１２】
本発明に係る光強度可変器は、与えられた制御値により入力した信号光の光強度を変更して出力する光強度可変部と、光強度可変部から出力された信号光の光強度を測定する光強度測定手段と、光強度可変部に制御値を与えて光強度可変部より出力される信号光の光強度を設計光強度に近づける制御をする制御部とを備え、制御部は、制御の開始時点より第１時間間隔後の時点まで、光強度可変部に初期制御値を与え続け、制御の開始時点より第１時間間隔後の時点で、初期制御値を与えて光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、設計光強度との差に比例する第１制御変更値を求め、第１制御変更値を初期制御値に加えた第１制御値を求め、第１時間間隔後の時点より、第１時間間隔とは異なる第２時間間隔後まで、光強度可変部に第１制御値を与え続け、第２時間間隔後の時点で、第１制御値を与えて光強度可変部から出力させた出力信号光の光強度と、設計光強度との差に比例する第２制御変更値を求め、第２制御変更値を第１制御値に加えた第２制御値を求め、第２時間間隔後の時点より、光強度可変部に第２制御値を与え、第１時間間隔は、第２時間間隔よりも長くされているようにしたものである。
【００１３】
上記光強度可変器において、第１時間間隔は、光強度可変部の時定数の６倍から８倍の範囲とされているようにしてもよい。また、光強度可変部には、熱光学効果によるマッハツェンダー型光減衰器を用いることができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、制御パラメータが比例定数だけでよくなり、応答速度のバラツキに対してトレランスがあり、高速・高精度な光強度制御が可能になるという優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態における光強度可変器の構成例を模式的に示す構成図である。なお、以降では、光強度可変部としてマッハツェンダー干渉型光減衰器を用いる場合を例にするが、これに限るものではなく、本発明は、他の光強度可変器であっても適用できる。
【００１６】
図１の光強度可変器は、石英基板１０１の上に形成されたマッハツェンダー干渉型光導波路１０２と、マッハツェンダー干渉型光導波路１０２の出力側の導波路に設けられた方向性結合器１０３と、マッハツェンダー干渉型光導波路１０２の分岐している一方の導波路に設けられたヒータ１０４と、ヒータ１０４の動作を制御するヒータ制御部１０５と、方向性結合器１０３で分岐された信号光を受光する受光部（光強度測定手段）１０６とを備えている。
【００１７】
ヒータ制御部１０５は、方向性結合器１０３で分岐された信号光を受光した受光部１０６より出力される信号を元に、例えば投入電力を決定するなどによりヒータ１０４の駆動制御を行う。このように駆動制御されたヒータ１０４の加熱により、マッハツェンダー干渉型光導波路１０２より出力される信号光の強度が減衰される。従って、図１に示す光強度可変器は、マッハツェンダー干渉型光導波路１０２より出力される信号光の強度により、マッハツェンダー干渉型光導波路１０２による信号光の減衰がフィードバック制御されるものである。
【００１８】
次に、図１に示す光強度可変器の制御動作、すなわちヒータ制御部１０５における制御動作について、図２（ａ）のフローチャートを用いて説明する。
まず、信号光出力の目標値となる設計出力値Ｐ0と、設計出力値Ｐ0に対する許容偏差Δｅ0とが、ヒータ制御部１０５に対して設定された状態とする（ステップＳ２０１）。例えば、ヒータ制御部１０５の図示しない入力部より上述した各値を入力することで、初期データの入力が行える。
【００１９】
次に、ヒータ制御部１０５は、まず、受光部１０６より出力される光電変換信号を入力する（ステップＳ２０２）。ついで、ヒータ制御部１０５は、入力した光電変換信号を元に、光電変換信号が出力された時刻ｔ０における出力光強度値Ｐ（ｔ０）を算出し、あらかじめ用意されている制御関数を元に制御値ｔ０を決定する（ステップＳ２０３）。
【００２０】
例えば、ヒータ制御部１０５は、ヒータ１０４に対する投入電力とヒータ１０４が設けられている部分の導波路の光透過率との関係を、図２（ｂ）に示すようなヒータ投入電力と光強度透過率との関係を示す制御関数として備えている。ヒータ制御部１０５は、上記制御関数を元に、初期の制御値ｔ０を決定する。
【００２１】
初期の制御値ｔ０を決定したヒータ制御部１０５は、決定された制御値ｔ０を元にヒータ１０４の駆動を制御する（ステップＳ２０４）。例えば、制御値はヒータ１０４に対して投入すべき電力であり、ヒータ制御部１０５は、ヒータ１０４に対し、決定された初期投入電力値の電力の投入を所定時間Δｔだけ継続する。
【００２２】
次に、ヒータ制御部１０５は、制御の継続を判断し（ステップＳ２０５）、継続する場合、前回のヒータ１０４に対する制御が行われた時刻（電力投入開始時刻）より所定時間Δｔが経過した後（ステップＳ２０６）、まず、受光部１０６より出力される光電変換信号を入力する（ステップＳ２０７）。ついで、ヒータ制御部１０５は、入力した光電変換信号を元に、光電変換信号を入力した時刻ｔ１における出力光強度値Ｐ（ｔ１）を算出し、設計出力値Ｐ0に対する出力光強度値Ｐ（ｔ１）の偏差と、前回の制御値ｔ０とを元に、新たな制御値ｔ１を算出する（ステップＳ２０８）。
【００２３】
制御値ｔ１を算出した後、ヒータ制御部１０５は、時刻ｔ０において決定した制御値ｔ０を新たな制御値ｔ１に変更し（ステップＳ２０９）、変更した新たな制御値ｔ１によりヒータ１０４を駆動制御する（ステップＳ２０４）。すなわち、ヒータ制御部１０５は、決定された新たな投入電力値の電力の投入を所定時間Δｔだけ継続する。
【００２４】
ヒータ制御部１０５は、ステップＳ２０５における制御の継続判断で、制御を停止すると判断するまで、上述した一連の動作を継続する。従って、ヒータ１０４は、Δｔで示される時間ごとに、新たな制御値（投入電力）により駆動される。なお、上記偏差が実質的に０の場合、当然ではあるが、ヒータ１０４に投入される電力に変化はない。
【００２５】
次に、ステップＳ２０８における、ヒータ制御部１０５の制御値の算出についてより詳細に説明する。以下では、制御値が、ヒータ１０４への投入電力であるとする。すなわち、制御値ｔ０は、投入電力ｗ０であるとする。
ヒータ制御部１０５は、まず、偏差ｅ＝（設計出力値Ｐ0−出力光強度値Ｐ（ｔ１））を算出し、偏差ｅに所定の比例定数ｋｐを乗じて差分電力値Δｗとし、算出した差分電力値Δｗを  初期の投入電力ｗ０に加算して新たな投入電力ｗ１、すなわち制御値ｔ１とする。
【００２６】
ヒータ制御部１０５は、上述したステップＳ２０４〜ステップＳ２０９までを繰り返し、時間Δｔごとに新たな制御値ｔｍ（ｍ＝１，２，３，・・）を算出し、図１に示す光強度可変器より出力される信号光の光強度が、設計された値に近づくように制御する。
ここで、比例定数ｋｐと制御間隔の時間であるΔｔとをパラメータとして上述の制御による応答時間を計算すると、図３に示すように、同一の応答時間となる領域が分布する。
【００２７】
図３では、ヒータ１０４への電力投入時点を基準とした時定数（ＲＣ）を、横軸の単位としている。また、図３の中には、制御後の光強度が、光強度の設計値に対して±０．１ｄＢの範囲内になるまでに要する制御の応答時間（秒）を数値で示しており、同一の応答時間が得られる各領域を各々異なる濃度（グレースケール）で示し、応答時間が短い領域ほど濃い色で示している。図３に示すように、制御応答時間が０．０５秒以下となる比例定数ｋｐと制御間隔Δｔとの組み合わせが、もっとも濃い黒の領域で示されている。
【００２８】
次に、図２（ａ）のステップＳ２０３で決定された初期投入電力値の電力が投入される時間を間隔Δｔ１とし、ステップＳ２０９で変更された投入電力値の電力が投入される時間を間隔Δｔ２とし、Δｔ１とΔｔ２とを異なる値とした場合の応答時間について、ｋｐとΔｔ２をパラメータとした制御応答時間の計算例を図４に示す。図４（ａ）は、Δｔ１を上記時定数ＲＣの２倍とした場合、図４（ｂ）は、Δｔ１を上記時定数ＲＣの４倍とした場合、図４（ｃ）は、Δｔ１を上記時定数ＲＣの５倍とした場合、図４（ｄ）は、Δｔ１を上記時定数ＲＣの６倍とした場合である。
【００２９】
図４においても、上記時定数（ＲＣ）を、横軸の単位とし、制御後の光強度が、光強度の設計値に対して±０．１ｄＢの範囲内になるまでに要する制御の応答時間（秒）を図中に数値で示し、同一の応答時間が得られる各領域を各々異なる濃度（グレースケール）で示し、応答時間が短い領域ほど濃い色で示している。
【００３０】
図中に数値で示す制御応答時間が０．０５秒以下の領域に注目すると、Δｔ１が大きいほど広くなっている。例えば、Δｔ１を時定数の６倍にした場合を示す図４（ｄ）の０．０５秒以下の領域（もっとも黒に近い領域）は、図３に示した場合に比較して大幅に拡大している。これは、高速応答に対する各制御パラメータ及び時定数へのトレランスが、拡大していることを示している。
【００３１】
図５は、制御応答時間が０．０５秒以下となるパラメータ領域の占める割合と、Δｔ１との関係を示す特性図であり、Δｔ１を時定数ＲＣの６倍から８倍とすることで、割合が著しく大きくなっている。これは、時定数を有するヒータ型ＶＯＡに対して一般的に当てはまる現象である。従って、Δｔ１は、時定数ＲＣの６倍から８倍の範囲で設定すればよい。このように、上述した制御によれば、比例定数ｋｐと制御間隔Δｔを適宜設定することで、０．０５秒以下の短い応答時間で制御が行える。
【００３２】
ここで、時刻ｔ＋１における制御値ｔｍ＋１は、時刻ｔ＋１よりΔｔだけ前の時点の制御値ｔｍ（ｍ＝０，１，２，・・）を用い、「制御値ｔｍ＋１＝制御値ｔｍ＋ｋｐ×ｅｍ」と示すことができる。これは、「制御値ｔｍ＋１＝制御値ｔ０＋ｋｐ×（ｅ０＋ｅ１＋ｅ２＋ｅ３＋・・・ｅｍ）」と示してもよい。
【００３３】
上記制御方法では、制御値の初期値である制御値ｔ０として、定常状態において出力目標値Ｐ0を与える値に設定しており、十分に大きなｍの値に対して、「ｅ０＋ｅ１＋ｅ２＋ｅ３＋・・・ｅｍ」は０に漸近し、「制御値ｔｍ＋１＝制御値ｔ０」となる。
また、初期の制御値ｔ０により光強度可変器を制御してから、次の制御を行うまでの時間間隔Δｔと、これ以降の時間間隔Δｔの値を変えることにより、光強度可変器の時定数がばらついても、光出力目標値により短時間で漸近させることを可能にしている。
【００３４】
以下、上述した本実施の形態の制御方法と従来よりあるデジタルＰＩＤ制御とを比較する。
一般に、デジタルＰＩＤ制御において、制御値は偏差に対して「制御値＝偏差比例成分＋偏差積分成分＋偏差微分成分」と表される。
制御により出力が安定した場合には、偏差はゼロに漸近するため、上記式において偏差比例成分と偏差微分成分がゼロに漸近し、偏差積分成分のみがある有限の値に漸近することになる。
【００３５】
上記偏差積分成分の漸近値が、出力目標値を得るための制御値の値に相当するので、この成分がなければ高精度に出力目標値を得ることができない。従って、従来よりあるデジタルＰＩＤ制御では、少なくとも偏差比例成分と偏差積分成分が必要であり、制御パラメータが最低でも２つは必要となる。
【００３６】
これらのことに対し、前述した本実施の形態における制御方法では、「制御値ｔｍ＋１＝制御値ｔ０＋ｋｐ×（ｅ０＋ｅ１＋ｅ２＋ｅ３＋・・・ｅｍ）」と示すことができることから明らかなように、偏差がゼロに漸近しても制御値を有限値に漸近させることができ、比例定数ｋｐのみで高精度な制御を実現できる。
【００３７】
上述では、図１に示したように、１つの光強度可変器から構成されている場合について説明したが、これに限るものではなく、図６に示すように、本発明は、複数の光強度可変器からなる光強度可変器アレイの制御にも適用できる。図６は、モジュールボックス６０１の内部に、複数のマッハツェンダー型光減衰器を備えた光減衰器アレイ６０２と、制御板６０３とを備えた光強度可変器アレイの構成例を示す構成図である。
【００３８】
入力される信号光は、入力用光ファイバアレイ６０６により、モジュールボックス６０１の内部に配置された光減衰器アレイ６０２の各マッハツェンダー干渉型光導波路に入力される。一方、各マッハツェンダー干渉型光導波路から出力される信号光は、出力用光ファイバアレイ６０７より、モジュールボックス６０１の外部に出力される。
【００３９】
モジュールボックス６０１内に設けられた制御板６０３は、受光部６３１とヒータ駆動部６３２と演算処理部６３３とインタフェース６３４とを備える。ヒータ駆動部６３２により、光減衰器アレイ６０２の各マッハツェンダー干渉型光導波路に設けられた各ヒータ６２１に電力が供給される。電力は、配線アレイ６０５により供給される。光減衰器アレイ６０２の各マッハツェンダー干渉型光導波路の出力側の導波路には、方向性結合器６２２が設けられ、出力される信号光の一部が取り出し可能とされている。
【００４０】
各方向性結合器６２２で分岐された各信号光は、検出用光ファイバアレイ６０４を介して受光部１０６に受光される。受光された各信号光は、受光部１０６で光電変換され、光電変換された信号は、演算処理部６３３に出力される。光電変換された信号を入力した演算処理部６３３は、入力した光電変換信号を元に、各ヒータ６２１に対する制御値を算出し、算出した制御値をヒータ駆動部６３２に出力する。
【００４１】
演算処理部６３３は、インタフェース部６３２より入力された信号光出力の目標値となる設計出力値Ｐ0とこの許容偏差Δｅ0とを元に、図２のフローチャートに示したようにすることで、各制御値を生成する。
演算処理部６３３で生成された各制御値を入力したヒータ駆動部６３２は、入力した制御値に従って、各ヒータ６２１に対して電力を投入する。
【００４２】
図６に示すように、複数の光減衰器を備える場合であっても、前述したように、比例定数ｋｐと制御間隔Δｔを適宜設定することで、０．０５秒以下の短い応答時間で制御が行える。
なお、各光減衰器の信号光が出力される部分に、ＡＷＧフィルターなどの合分波器を接続することで、ＶＭＵＸモジュールを実現することができる。これは、波長多重通信システムにおいて有用なモジュールである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施の形態における光強度可変器の構成例を模式的に示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における制御動作例について説明するフローチャートである。
【図３】比例定数ｋｐと制御間隔の時間であるΔｔとをパラメータとして図１に示す光強度可変器の制御による応答時間を計算した結果を示す特性図である。
【図４】比例定数ｋｐと制御間隔の時間であるΔｔとをパラメータとして図１に示す光強度可変器の制御による応答時間を計算した結果を示す特性図である。
【図５】制御応答時間が０．０５秒以下となるパラメータ領域の占める割合と、Δｔ１との関係を示す特性図である。
【図６】本発明の他の実施の形態における複数の光強度可変器からなる光強度可変器アレイの構成例を模式的に示す構成図である。
【図７】アレイ導波路回折格子形波長合分波器の構成を示す構成図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０１…石英基板、１０２…マッハツェンダー干渉型光導波路、１０３…方向性結合器、１０４…ヒータ、１０５…ヒータ制御部、１０６…受光部（光強度測定手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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