(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ピグ挿入管（１９）から塗料供給配管（７）内に挿入されたピグ（１ｄ）を、前記塗料供給配管（７）に接続されたポンプ（９）によって圧送される塗料により押進して当該塗料を塗工部（５）へ供給する塗料供給方法であって、
前記塗料によって前記ピグ（１ｄ）を押進するに先立って、前記塗料供給配管（７）内に発生した当該塗料の先頭部側の気泡を、前記ピグ挿入管（１９）から外部へ排出した後、前記塗料により前記ピグ（１ｄ）を前記塗工部（５）へ押進する、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【請求項２】
請求項１に記載の塗料供給方法において、
前記ピグ挿入管（１９）は、前記ポンプ（９）より下流側において前記塗料供給配管（７）に接続しており、
前記塗料供給配管（７）と前記ピグ挿入管（１９）の接続位置と前記ピグ（１ｄ）の後端部（１ｄＥ）とがほぼ一致した位置となるように、前記ピグ（１ｄ）が挿入される、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の塗料供給方法において、
前記ピグ挿入管（１９）は前記塗料供給配管（７）に対して斜めに接続している、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の塗料供給方法において、
前記ピグ（１ｄ）は、押し込み具（２７）を用いて、前記ピグ挿入管（１９）から前記塗料供給配管（７）内に挿入される、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【請求項５】
請求項４に記載の塗料供給方法において、
前記押し込み具（２７）は金属棒である、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の塗料供給方法において、
第１の塗料（Ａ）を供給した後に、ピグ（１ｄ）を挿入し、
続いて第２の塗料（Ｂ）を前記塗料供給配管（７）に供給し、
前記塗料供給配管（７）内に発生した第２の塗料（Ｂ）の先頭部側の気泡を、前記ピグ挿入管（１９）から外部へ排出し、
その後、前記ピグ挿入管（１９）を閉じて第２の塗料（Ｂ）の供給を続けることにより、前記塗料供給配管（７）内において前記ピグ（１ｄ）の下流側には第１の塗料（Ａ）が満たされ、前記ピグ（１ｄ）の上流側には第２の塗料（Ｂ）が満たされて、塗料の切替がなされる、
ことを特徴とする塗料供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体材料の原板等に塗工を施す塗工手段に対して塗料を供給する方法に係り、さらに詳細には、塗料を圧送するための塗料供給配管内にピグを挿入し、このピグを供給すべき塗料によって押進するとき、この塗料の先頭部側への気泡の混入を防止することのできる塗料供給方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
塗料などの各種の液状体を、配管を利用して移送するとき、前記配管内へピグを挿入し、移送すべき塗料（液状体）によって上記ピグを押進するように液状体の圧送が行われている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２０５０２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記特許文献１には、図３（ａ）〜（ｈ）に示すような各種形状のピグ１ａ〜１ｈの所望のピグを配管内に挿入した後、プロセス液にて前記ピグを押進し、上記プロセス液を圧送することが開示されている。上述のごとく配管内へピグを挿入した後、圧送すべきプロセス液を配管内に供給すると、空気の混入を生じ易いという問題がある。この場合、例えばコンマコータ，リップコータ等の塗工部へ塗料を供給して塗工を施すとき、塗料に気泡が混入した状態で塗工を行うこととなり、被塗工部に対する均一な塗工が難しくなることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、上述のごとき問題に鑑みてなされたもので、ピグ挿入管から塗料供給配管内に挿入されたピグを、前記塗料供給配管に接続されたポンプによって圧送される塗料により押進して当該塗料を塗工部へ供給する塗料供給方法であって、前記塗料によって前記ピグを押進するに先立って、前記塗料供給配管内に発生した当該塗料の先頭部側の気泡を、前記ピグ挿入管から外部へ排出した後、前記塗料により前記ピグを前記塗工部へ押進することを特徴とするものである。
【０００５】
また、前記塗料供給方法において、前記ピグ挿入管は、前記ポンプより下流側において前記塗料供給配管に接続しており、前記塗料供給配管と前記ピグ挿入管の接続位置と前記ピグの後端部とがほぼ一致した位置となるように、前記ピグが挿入されることを特徴とするものである。
【０００６】
また、前記塗料供給方法において、前記ピグ挿入管は前記塗料供給配管に対して斜めに接続していることを特徴とするものである。
【０００７】
また、前記塗料供給方法において、前記ピグは、押し込み具を用いて、前記ピグ挿入管から前記塗料供給配管内に挿入されることを特徴とするものである。
【０００８】
また、前記塗料供給方法において、前記押し込み具は金属棒であることを特徴とするものである。
【０００９】
また、前記塗料供給方法において、第１の塗料を供給した後に、ピグを挿入し、続いて第２の塗料を前記塗料供給配管に供給し、前記塗料供給配管内に発生した第２の塗料の先頭部側の気泡を、前記ピグ挿入管から外部へ排出し、その後、前記ピグ挿入管を閉じて第２の塗料の供給を続けることにより、前記塗料供給配管内において前記ピグの下流側には第１の塗料が満たされ、前記ピグの上流側には第２の塗料が満たされて、塗料の切替がなされることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、塗料によってピグを押進する前に、塗料供給管に対してピグを挿入した際の空気がピグ挿入口から排出されるので、塗料供給管内を圧送する塗料内に気泡が混入するようなことがないものである。また、本発明によれば、塗料の切替時間を最小限に抑えることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施形態に係る塗料供給装置３の全体的構成を、図２に概念的、概略的に示すように、塗料供給装置３は、塗工部５へ塗料を供給する塗料供給配管７を備えており、この塗料供給配管７の上流側には、例えばタンク（図示省略）内の塗料を圧送するためのポンプ９が接続してあり、このポンプ９の下流側には、例えばダイヤフラム弁等よりなる塗料開閉弁１１が接続してある。そして、前記ポンプ９と塗料開閉弁１１との間には、複数種の塗料を供給するための複数の供給配管（図示省略）が分岐接続してあってもよく、その複数の供給配管にはそれぞれポンプが接続してあってもよい。
【００１８】
前記塗工部５は、例えばリップコータ型塗装装置（図示省略）へ供給する塗料を前記塗料供給配管７から受ける塗料受け容器１３を備えた構成であって、この塗料受け容器１３には、前記塗料供給配管７の出口１５から排出されるピグを受けるピグ受け容器１７が備えられている。このピグ受け容器は、塗料の流下を許容する小孔を底部に備えた構成であることが好ましい。
【００１９】
本発明において用いられるピグとしては、例えば前記ピグ１ａ〜１ｈのような各種形状のピグが挙げられるが、なかでもピグ１ｄが好ましい。
【００２０】
前記塗料開閉弁１１の下流側で当該塗料開閉弁１１に近接した位置には、前記ピグ１ａ〜１ｈの適宜のピグ１ｄを前記塗料供給配管７内へ挿入するために使用するピグ挿入管１９が接続してある。このピグ挿入管１９の内径は前記塗料供給配管７の内径とほぼ同径であることが好ましい。そして、前記ピグ挿入管１９には、前記ピグ１ｄを挿通可能な挿通孔２１(図１参照)を備えて上記ピグ挿入管１９を連通遮断自在な開閉弁２３が備えられている。さらに、前記ピグ挿入管１９には開閉蓋２５が着脱自在に備えられている。
【００２１】
前記ピグ挿入管１９は前記塗料供給配管７に斜めに接続されること、すなわち、前記塗料供給配管７の下流側を指向するように傾斜してあることが好ましい。前記塗料供給配管７と前記ピグ挿入管１９とのなす傾斜角θは、塗料供給配管７に対してピグ１ｄの挿入が容易であるように、約２６°〜６０°の範囲に設定されることがより好ましい。前記傾斜角θが約２６°未満になると、塗料供給配管７とピグ挿入管１９との接続部分の長さが長くなり、ピグ挿入管１９から塗料供給配管７内へピグ１ｄを、棒状の押し込み具２７によって押し込む距離が長くなる。また、前記傾斜角θが約６０°を超えると、ピグ挿入管１９から塗料供給配管７内へピグ１ｄを挿入するとき、所定長さのピグ１ｄの挿入が難しくなるので、傾斜角θは約６０°以下であることが望ましいものである。
【００２２】
前記押し込み具２７は棒状をなすものが好ましく、金属棒であることがより好ましい。押し込み具２７の長さ、すなわち把手部２７Ａから先端部までの長さは、前記ピグ挿入管１９の先端部からピグ挿入管１９と塗料供給配管７との接続部までの長さにほぼ等しく設定してあること好ましい。そのような長さに設定した場合、ピグ挿入管１９の開口端からピグ１ｄを押し込み具２７によって押し込み挿入すると、塗料供給配管７に対するピグ１ｄの挿入位置が常にほぼ一定の位置となり、挿入位置が安定するものである。
【００２３】
以上のごとき構成において、前記ピグ挿入管１９からピグ１ｄを挿入して、前記塗料供給配管７へ供給する塗料の切替えを行う場合、ポンプ９を停止しかつ塗料開閉弁１１を閉状態に保持し、ピグ挿入管１９から開閉蓋２５を取り外すと共に開閉弁２３を開状態にする（図１（１），（２）参照）。そして、ピグ挿入管１９の開口端部のピグ挿入口からピグ１ｄを挿入し、押し込み具２７により前記開閉弁２３の挿通孔２１を通過してピグ１ｄを塗料供給配管７内へ挿入する（図１（２）参照）。
【００２４】
この際、ピグ挿入管１９の内径と塗料供給配管７の内径とがほぼ同径であるので、ピグ１ｄの挿入が円滑に行なわれる。また、押し込み具２７の長さとピグ挿入管１９との長さがほぼ等しいので、ピグ１ｄの後端部１ｄＥは、前記塗料供給配管７とピグ挿入管１９との接続部におけるピグ挿入管１９の下流端縁１９Ｅとがほぼ一致した位置となる。この状態で、塗料開閉弁１１を開き前記塗料供給配管７へ供給する新たな塗料に切り替えて供給すると、ピグ１ｄの位置に達した新しい塗料は、ピグ挿入管１９の開口端から流出し、開口端に対応して配置した回収容器２９に回収される。なお、前述のごとく新しい塗料を塗料供給配管７内へ供給して、上記塗料開閉弁１１の下流側に残留していた塗料をピグ挿入管１９から排出するとき、ピグ挿入管１９は塗料開閉弁１１に近接して設けられているので、排出される塗料を少量に抑制することができるものである。
【００２５】
そして、ピグ１ｄを挿入するときに塗料供給配管７内に入った空気が同時に排出されるので、新たな切替え塗料の先頭部側の気泡を外部へ排出することができる（図１（３）参照）。この際、ピグ１ｄの後端部１ｄＥがピグ挿入管１９の下流端縁１９Ｅとがほぼ一致した位置にあるので、ピグ１ｄの前側へ新しい塗料が回り込むようなことがないと共に、空気溜り等を生じることがなく、新しい塗料の先頭部側から気泡を確実に排除することができるものである。
【００２６】
上述のように、ピグ挿入管１９から空気の排出を行った後、開閉弁２３を閉じてピグ挿入管１９の連通状態を遮断することにより、ピグ１ｄは新しく切替えた塗料によって押進されて出口１５から排出されることになる。すなわち、塗料供給配管７を介して塗料の供給を行うとき、塗料の切替え時に気泡を混入することなく塗料の供給を行うことができると共に塗料の切替えを迅速に行うことができるものである。
【００２７】
以上のごとき説明より理解されるように、塗料供給配管７内へピグ１ｄを挿入して、当該塗料供給配管７内を圧送して供給される新しい塗料に切替えを行うとき、塗料に対する気泡の混入を防止することができると共に塗料の迅速な切替えが可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態に係る塗料供給装置の主要部分の作用説明図である。
【図２】本発明の実施形態に係る塗料供給装置の全体的構成を概略的，概念的に示した説明図である。
【図３】ピグの説明図である。
【符号の説明】
【００２９】
１    ピグ
３    塗料供給装置
５    塗工部
７    塗料供給配管
９    ポンプ
１１    塗料開閉弁
１３    塗料受け容器
１５    出口
１７    ピグ受け容器
１９    ピグ挿入管
２１    挿通孔
２３    開閉弁
２５    開閉蓋
２７    押し込み具
【図１】
0004677835.tif 000002
【図２】
0004677835.tif 000003
【図３】
0004677835.tif 000004