(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一連の画像フレームをＩＲ感応カメラから取得する赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィーシステムを用いた熱撮像データフレーム解析方法において、取得した一連の画像フレームの各々は画素アレイを備え、経過時間に対応するフレーム番号が割り当てられており、
合成的に生成された温度−時間基準曲線ＴＳ（ｔ）を用いることによって、画素コントラスト対時間データを求めることを特徴とする、熱撮像データフレーム解析方法。
【請求項２】
前記合成的に生成された温度−時間基準曲線は、次の式
【数１】
0004698907.tif 000005
に基づいて計算され、Ａは、取得されたＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する位置のオブジェクト表面上の実温度に適合させるように選択されたパラメータであって、τは、画像フレームの取得前に前記オブジェクトを加熱する期間であって、ｔは時間である、請求項１の方法。
【請求項３】
一連の画像フレームをＩＲ感応フォーカルプレーアレイカメラから取得する赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィーシステムを用いた、画素に関するコントラスト対時間データを求める方法において、取得された一連の画像フレームの各々は画素アレイを備え、経過時間に対応するフレーム番号が割り当てられており、
（ａ）複数の画像フレームからオブジェクトのＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する画素のＩＲ輝度対時間データを取得する工程と、
（ｂ）次の数学的な関係
【数２】
0004698907.tif 000006
に基づいて計算される合成的温度−時間基準規格値ＴＳ（ｔ）を前記画素輝度データから減算する工程であって、Ａは、取得したＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する位置のオブジェクト表面上の実温度に適合させるために選択されたパラメータであって、τは、画像フレームの取得前に前記オブジェクトを加熱する期間であって、ｔは時間である、当該工程と
を備えることを特徴とする、画素に関するコントラスト対時間データを求める方法。
【請求項４】
画素のＩＲ輝度対時間データは、少なくとも一連のＩＲ画像とそれに割り当てられたフレーム番号に基づく、請求項３のＩＲ過渡サーモグラフィー方法。
【請求項５】
前記選択された解析される画素に対応する前記オブジェクト表面上の表面温度を求める工程をさらに含む、請求項３のＩＲ過渡サーモグラフィー方法。
【請求項６】
前記オブジェクトは、ストロボデバイスを用いて急速に加熱される、請求項３のＩＲ過渡サーモグラフィー方法。
【請求項７】
画素アレイとして視覚化可能な表面を有するオブジェクトの厚さを求める方法であって、
（ａ）オブジェクトの表面を急速に加熱する工程と、
（ｂ）一連のＩＲ画像の画素輝度を記録する工程であって、各画像は、工程（ａ）で前記オブジェクトの表面を加熱してからの経過時間に関する連続するフレーム番号が割り当てられる、当該工程と、
（ｃ）画素輝度と、次の数学的関係
【数３】
0004698907.tif 000007
に基づいて計算される温度−時間基準規格値Ｔs（ｔ）に基づいて、画素コントラストデータを求める工程であって、Ａは、取得したＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する位置のオブジェクト表面上の実温度に適合させるために選択されたパラメータであって、τは画像フレーム取得前に前記オブジェクトを加熱する期間であって、ｔは時間である、当該工程と、
（ｄ）工程（ｃ）で求められた画素コントラストと工程（ｂ）で割り当てられた画像フレーム番号に基づいて、前記オブジェクトの厚さを求める工程を備える方法。
【請求項８】
前記選択された解析される画素に対応する前記オブジェクト表面上の温度を求める工程をさらに含む、請求項７の方法。
【請求項９】
前記オブジェクトは、ストロボデバイスを用いて加熱される、請求項７の方法。
【請求項１０】
オブジェクトの厚さを求める赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィー方法であって、
（ａ）ＩＲ感応フォーカルプレーンアレイカメラを用いて、前記オブジェクトの一連のＩＲ画像フレームから画素輝度データを取得する工程であって、各画像フレームは複数の画素を備え、前記オブジェクト表面を加熱してからの経過時間に関して連続するフレーム番号が割り当てられる、当該工程と、
（ｂ）半無限媒体への代表的な一次元熱流である数学的熱基準モデルから、温度対時間データ規格値Ｔs（ｔ）を求める工程と、
（ｃ）少なくとも一つの画素に関する温度−時間コントラストデータを作成するために、取得した画素輝度データから前記温度対時間データ規格値を減算することによって画素コントラストデータを求める工程と、
（ｄ）  前記コントラストデータを使用して、前記画素に対応する前記オブジェクトの分解要素の実際の厚さを求める工程であって、これは、前記コントラストデータの変曲点と、前記オブジェクトの熱拡散率に依存する熱流の固有時間間の熱流不変の関係に基づいて求められる、当該工程を備える赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィー方法。
【請求項１１】
以下の式
【数４】
0004698907.tif 000008
に基づいて、前記温度対時間基準規格値Ｔs（ｔ）を計算し、Ａは、取得したＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する位置のオブジェクト表面上の実温度に適合させるために選択されたパラメータであって、τは、画像フレームの取得前に前記オブジェクトを加熱する期間であって、ｔは時間である、請求項１０の方法。
【請求項１２】
前記オブジェクトは、ストロボデバイスを用いて急速に加熱される、請求項１０の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本願は、１９９９年７月２１日に出願された米国仮出願６０／１４４，８８６の特典を請求するものであって、その全内容は本願の援用文献である。
【０００２】
【技術分野】
本発明は、オブジェクトの厚さを求めるためのサーモグラフィーに基づく非破壊試験技術に関する。特に、本発明は、金属タービンの回転翼等の肉厚を求める際に合成的熱基準を利用する赤外線過渡サーモグラフィー法に関する。
【０００３】
【背景】
ここ何年もの間、様々な非破壊超音波測定技術を使って、鋳物やその他の固体物の断面厚を測定している。従来は、オブジェクトに超音波を当てて試験を行っており、超音波は、オブジェクトの表層を突き抜け、反対側の内部で反射するか、あるいは表面で反射する。そして、反射波の受信に要した時間をもとに反対側（背面）までの距離を測定し、それをその点におけるオブジェクトの厚さとしている。しかしながら、この種の超音波測定を行って、たいていのオブジェクトの断面厚を検査するには、通常、トランスデューサを使った、煩わしくて時間のかかる全表面の機械的走査が必要になる。さらに、トランスデューサとオブジェクト表面との間を音響的に十分に密着させるには、その表面に液体の接触媒質を途切れなく供給するか、あるいは、オブジェクト全体を接触媒質中に浸す必要がある。しかし、多くの場合、そのようなことは実際的ではないし、多くの構造上かつ素材上の理由から実現さえ不可能である。例えば、幾何学的に入り組んだ部分を走査して、分析できる超音波システムは、一般的には非常に高価であり、複雑である。さらには、トランスデューサによる大型オブジェクトの表面の機械的な走査には、事実上、何時間もかかる。
さらに、ある金属オブジェクトを超音波測定する場合、その金属の内部結晶方向と構造により、望ましくないノイズと方向性効果が発生し、それが原因となって、得られたデータに誤りが生ずる。このような超音波測定に固有の限界が、最新のタービン翼によく使用される結晶金属、あるいは「方向性のある」金属からなる部品の試験を行う際の重大な欠点となる。
【０００４】
これとは対照的に、赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィーは、幾分か用途の広い非破壊試験技術である。この技術は、オブジェクトを介した熱転写の時間的な測定結果をもとに、そのオブジェクトの構造と完全性に関する情報を提供するものである。オブジェクトを介した熱流は、実質的には、そのオブジェクトの素材のミクロ構造や単結晶方向に影響されないため、赤外線過渡サーモグラフィー分析には、本来、超音波測定に対するような制限はない。たいていの超音波技術とは対照的に、過渡赤外線サーモグラフィー分析方法では、被検査オブジェクトの大きさ、外形、あるいは形状によって著しく妨げられることはなく、被検査オブジェクトの表面積が大きければ、従来のほとんどの超音波による方法よりも、１０倍から１００倍も速く試験ができる。
【０００５】
過渡サーモグラフィーについて知られた最近の適用例として、固体非金属合成物中の傷の大きさと、「相対的な」位置（深さ）を測定できるものが、「過渡深度サーモグラフィー非破壊試験」と題する、リンガーマシャー他による米国特許第５，７１１，６０３号で明らかにされており、本願の援用文献でもある。この技術は、基本的にオブジェクトの表面を加熱して、その表面上の非常に狭い領域、すなわち「分解要素」に渡って、時間に対する温度変化を記録するものである。表面温度の変化は、そのオブジェクトを介した熱流についての特有の動的特性に関連しており、それは傷の存在の影響を受ける。従って、傷の「相対的な」深さ（即ち、オブジェクト中の他の傷に対する深さ）を示す大きさおよび値は、そのオブジェクトの表面における各分解要素で起こる温度変化を注意深く分析することで決定できる。上記リンガーマシャーの特許には明確に開示されていないが、既知の深さのところに空隙がある「標準ブロック」、すなわち、オブジェクト上の熱的に厚い（「無限の半空間」）基準領域が、相対的な深さの値との比較のため、サーモグラフィーデータの取得と分析の一部として含まれていなければ、傷の「実際の」深さ（すなわち、オブジェクトの表面から傷までの深さ）を求めることはできない。
【０００６】
過渡サーモグラフィーを使用して正確な熱測定を行うには、オブジェクトの表面を短時間に特定の温度にまで加熱して、そのオブジェクトの他の部分が大幅に加熱されるのを避ける必要がある。被検査オブジェクトの厚さと素材の特性に応じて、従来は、石英灯、あるいは高輝度のストロボを使用して、適度な強さと持続時間を持った熱パルスを発生させている。しかし、オブジェクトの表面を加熱するための具体的なメカニズムとしては、例えば、パルスレーザ光のように、サーモグラフィー観測ができる程度の温度まで表面を瞬時に加熱できるものであれば何でもよい。一旦オブジェクトの表面が加熱されてしまえば、その表面における温度変化をグラフ化して記録し、分析できる。
【０００７】
従来は、赤外線（ＩＲ）ビデオカメラを使用して、加熱後のオブジェクト表面に関する連続した熱画像（フレーム）を記録し、蓄積している。各ビデオ画像は一定数の画素から構成される。この場合、画素とは、撮像するオブジェクト表面の「分解要素」と呼ばれる矩形領域に対応する画像列あるいはフレーム中の小さなピクチャ要素である。各分解要素における温度は、対応する画素の輝度に直接関連しているため、オブジェクト表面の各分解要素における温度変化は、画素のコントラストの変化という観点から分析することができる。既知の時点を示す、特定の画像フレームに対する画素の輝度の平均値を、同じ時点における個々の画素の輝度から減算することによって、格納されたＩＲビデオ画像を使って、画像フレーム内の各画素のコントラストが求められる。
【０００８】
その結果、各画素のコントラストデータのタイムドメイン解析（すなわち、多数の画像フレームに渡る解析）を行って、オブジェクト中の傷の相対的な深さと数学的な関係があるコントラスト曲線データの「変曲点」が発生する時間を特定する。基本的には、一貫した素材からなる厚さＬの典型的な「プレート状の」オブジェクトに適用した場合、オブジェクトに入射する移動性熱流束パルスは、そのオブジェクト中を通って反対側（背面）に達し、撮像している前面部に戻ってくるまで、ある「固有時間」Ｔｃを要する。この固有時間Ｔｃは、オブジェクトの厚さに関係しており、その素材の熱拡散係数を考慮した以下の式１に基づくものである。
【０００９】
【数５】
0004698907.tif 000002
【００１０】
ここで、Ｌはオブジェクトの厚さ（ｃｍ）、αは素材の熱拡散係数（ｃｍ2／秒）である。
経験的観測によれば、熱パルスがプレート状オブジェクトに入射した後での、そのオブジェクトの同じ側（つまり、前面）から観測した表面温度もまた、その素材の厚さと熱拡散係数に依存しながら上昇することが知られている。さらに、表面の時間対温度（Ｔ−ｔ）の履歴グラフから、「変曲点」と呼ばれるＴ−ｔ曲線上の特有な点によって固有時間Ｔｃを決定することができる。この変曲点ｔinflは、Ｔ−ｔ曲線上で最大の傾きを持つ点（すなわち、ピーク傾斜時間）で示され、以下の式２で表される固有時間Ｔｃに関係する。
【００１１】
【数６】
0004698907.tif 000003
【００１２】
変曲点と固有時間との関係は、上記の式２で表されるように、二次元（２−Ｄ）熱流分析のみならず、一次元（１−Ｄ）熱流分析でもほぼ１％になっている。Ｔ−ｔ応答から変曲点ｔinflが決まれば、オブジェクトの相対的な厚さＬは、その素材の既知の熱拡散係数αを用いた上記の式（１）と、式（２）による実際のＴｃの値から決定することができる。
【００１３】
この点に関して、ピーク傾斜時間（変曲点）と上記のごとく規定される「固有時間」との間の熱流の不変な関係は、本願の援用文献である、プレナム出版（ニューヨーク）から１９９８年５月に刊行された「サーマルイメージングのための平底ホール基準に向けて」と題するリンガーマシャー他による論文中の「定量的非破壊評価の向上についての考察」に詳細に論じられている。
【００１４】
残念ながら、上述したリンガーマシャー他による米国特許第５，７１１，６０３号の装置と方法は、単に「相対的な」深さの測定結果しか得られないため、金属オブジェクトの所望地点での実際の厚さの値を得る目的には使用できない。従って、金属オブジェクトの実際の厚さを求めるにはＩＲ過渡サーモグラフィーを実行し、得られたデータを処理するための改良されたより良い方法が必要になる。１９９９年４月４日に出願され、通常譲渡されたリンガーマシャー他による米国特許出願09/292,886（特願2000-612695）に、その方法と装置が開示されている。基本的に、その出願で開示された構成では、ＩＲ画像データを取得するためのフォーカルプレーンアレイカメラと高出力ストロボを用いて、所望の被検査オブジェクトの表面が素早く加熱される。同じ素材から構成されて既知の厚さの部分を有するスラブオブジェクトは同一画像フレーム内の「無限の半空間」の基準規格値として用いることができる（オプションとして、被検査オブジェクトの「熱的に厚い」部分を「無限の半空間」の基準として用いることができる）。ストロボにはスペクトル調整された光学フィルタが取り付けられているので、長波長ＩＲ「残光」の放出量が最小になり、熱測定の精度に影響する背景放射の影響がなくなる。ストロボ点灯後、所定の時間に渡る所定数のＩＲ画像フレームが得られ、記録される。これによってオブジェクト表面の温度−時間（Ｔ−ｔ）履歴（および基準となる規格値）が作成可能になる。その後、画像の各画素のコントラスト対時間データが作成され、画素位置に対応するオブジェクトの位置でのオブジェクトの厚さを測定することができる。
【００１５】
上述の方法では、各画素の温度−時間データからスラブの温度−時間データ基準規格値（即ち、オブジェクトの「深部にある」熱的に厚い基準領域の温度−時間データ）を減算することによって、コントラスト−時間データが作成される。残念なことに、本方法には、表面の均一度が変化するオブジェクトを撮像する際に幾分かの誤差が発生するという欠点がある。さらに、その基準領域が利用可能であると仮定すると、画像にスラブの規格値が存在することが必要である、即ち、オブジェクトの深部の基準領域の温度対時間データを使う必要がある。さらに、普通は、撮像前にオブジェクトの表面（とスラブの規格値）に特定の被膜を施して、光吸収度を高めて、表面の均一性を改善する必要がある。
【００１６】
【発明の開示】
本発明は、高速赤外線（ＩＲ）過渡サーモグラフィーを使用して、オブジェクトの実際の厚さを測定して表示する非破壊試験方法および装置に関する。改良された高速ＩＲ過渡サーモグラフィー分析方法を用いて、オブジェクトの厚さを正確に測定し、そのオブジェクトの所望領域の断面厚を示す色分け表示を、目に見える形で行う。本発明の重要な特徴は、実際の表面温度に基づき、「合成的」、即ち、計算された基準を使って、厚さを求めるために必要なコントラスト対時間データの計算が可能であることである。従って、本発明の少なくとも一つの有益な態様は、個別の基準規格値や被検査オブジェクト上の基準領域を使用しなくてもよいことである。さらに、本発明の過渡サーモグラフィー技術を用いる時には、被検査オブジェクトに特定の被膜を施す必要がない。さらに、本発明の本方法では、表面が不統一の、もしくは表面の放射率が変化するオブジェクトに容易に適応できる。
【００１７】
基本的には、本発明では、望ましくは「フロントサイド」ＩＲカメラによる観測から得られた、急速に加熱されたオブジェクト表面の温度−時間（Ｔ−ｔ）応答曲線を分析する際に、変曲点を用いる。その理由は、変曲点ｔinflがＴ−ｔ応答で比較的早く生じ、また、側面の熱損失メカニズムとは本質的に無関係だからである。（このような配慮は、金属オブジェクトを扱う際に重要である。というのも、金属は熱伝導率が高いので、熱応答が速く、そのため観測時間が短くなるからである。）所定の観測期間のＩＲカメラの一連の画像フレームから得られる熱データから変曲点ｔinflが決定される。理想的には、この観測期間は、評価しているオブジェクトの厚さの推定値をもとに上記の式（１）より得られる予測固有時間よりも、少なくとも幾分長いことが望ましい。
【００１８】
本発明によれば、スラブの規格値や被検査オブジェクト上の適切な領域等の「実際の」基準の代わりに、「合成的」、即ち、計算された熱基準に基づく画素コントラストデータを使って、変曲点ｔinflが決定される。この計算された合成的基準は、一次元の熱が半無限媒体（半空間）へ流れ込む時間の関数としてオブジェクトの表面温度を表し、以下の式３の関係によって与えられる。
【００１９】
【数７】
0004698907.tif 000004
【００２０】
ここで、Ｔs（ｔ）は、時間ｔの関数としての合成的熱基準の表面温度、Ａはパラメータであり、得られたＩＲ画像から選択された解析される画素に対応する位置のオブジェクト表面上の実際の表面温度に適合させるために選択される。τは、画像フレームの取得前にオブジェクトを加熱する期間である。
【００２１】
実質的に、オブジェクト表面上の特定の位置の初期温度Ａに基づいて、式３で求められた基準温度−時間データは「合成的」半空間の熱低下を表す。以下で詳述されるように、式３から得られた「合成的」熱基準データは、まず、撮像されたオブジェクトの各（ｘ、ｙ）画素位置に対して計算され、次にそれを用いて各画素に対する時間の関数としてコントラストを求める。さらに、別の利点としては、合成的熱基準データは、式３のパラメータではなく、特定の素材、もしくは評価される金属の本質、即ち、特性とは無関係に決定される。
【００２２】
図１に示されるように、本発明の装置は、専用の光学フィルタが取り付けられた１個以上の高出力ストロボと、データ取得のためのＩＲ感応フォーカルプレーンアレイカメラと、表示用モニタを含む撮像システムを備える。コンピュータシステムによって、この撮像システムを制御し、ＩＲカメラを介して得た表面温度データを記録、並びに解析し、そして、オブジェクトの厚さに正確に対応する色分け、もしくは、グレイパターン化された画像を表示用モニタに供給する。
【００２３】
ストロボを点灯してオブジェクトに光を当てることによって、表面温度データの取得が開始される。スペクトル調整された光学フィルタを用いて、３〜５ミクロンのＩＲ放射を吸収したり、ストロボに対して反射させる。これによって、一般的にストロボ消灯後にストロボ内の過熱された金属元素から発生する好ましくない長波長のＩＲ「残光」の放出が、オブジェクトやカメラに達するのを防止することができる。このようなフィルタを使うことによって、実際の厚さの１％〜３％の精度の寸法測定値を生み出すための正確な熱評価が可能となる。
【００２４】
そして、ストロボ点灯後の期間で所定数の画像フレームが記録される。記録された画像データを用いて、オブジェクト表面上の注目領域に基本的な領域、即ち、「分解要素」毎の温度−時間（Ｔ−ｔ）履歴を作成する。記録された各画像フレームは、フレームデータを得たときのオブジェクトの表面温度と相関する輝度を持つ所定の（ｎ×ｍ）画素アレイからなり、各画素は、特定の分解要素に対応する画像フレーム内での（ｘ，ｙ）位置が指定されている。
【００２５】
取得した画像フレームの各画素に対するＴ−ｔ履歴の熱流分析を行い、各分解要素の位置のオブジェクトの厚さを求める。従来から、オブジェクトの固体部分を介した過渡的な熱流を分析するには、固有時間Ｔｃを決定する必要があり、それには、熱エネルギーの「パルス」がオブジェクトの最初の表面を通り抜け、反対側の面で反射し、そして、最初の表面に戻ってくる必要がある。この固有時間が、２つの表面間の距離に関係しているため、それを用いて２つの表面間の所望地点でのオブジェクトの厚さを求めることができる。また、記録された画素の輝度対時間履歴から固有時間Ｔｃの値を決定し、画素に関するコントラスト対時間データを求めることができる。というのも、上記の式２によれば、その値が、画素のコントラスト対時間履歴での「変曲点」の発生と時間的な関係があるからである。これは、本発明では、画素の輝度対時間データから「合成的」熱基準Ｔ−ｔデータを減算することによって行われる。
【００２６】
合成的熱基準を用いて、オブジェクト表面の各分解要素に対応する各（ｘ、ｙ）画素位置に対して、コントラスト対時間曲線が決定される。次に、画素のコントラスト曲線データに時間的なガウシアン平滑化を施して、測定結果の信号対ノイズ比を改善する。次に、コントラスト曲線を数学的に微分して、データの変曲点を特定する。例えば、第２のサンプル点の画像フレーム番号の値と比例する第１と第３のサンプル点が離れている３点データサンプリングを利用することによって、この微分演算を実行することが望ましい。そして、この微分演算で得られるコントラスト曲線のデータに関するローカル「ピーク」の全てを特定し、重み関数をフィルタとして用いて各ローカルピークの有効度を調整することによって、オブジェクトの厚さを求めるために使用するＴ−ｔコントラスト曲線データの実際の「変曲点」を特定することができる。最後に、上記の式１と式２に基づいて、各画素に対応する位置でオブジェクトの厚さが定量的に求められる。
【００２７】
特に、添付の図面を参照して以下の好適な実施形態の詳細について注意深く考慮することによって、本発明の目的と本発明によって得られるメリットを理解することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
図１は、オブジェクト、例えば、意図的な空隙４を有する金属タービン翼１の厚さを求めて表示するＩＲ過渡サーモグラフィーシステム１０の一例を示す。以降における議論のため、オブジェクトの「厚さ」とは、中空、もしくは、半中空のオブジェクト（即ち、意図的な空隙を有するオブジェクト）の前面の厚さ、即ち、表面の厚さである。
【００２９】
図１に示されるように、ストロボ熱パルス源１１を用いて測定オブジェクトの表面を素早く加熱する。ストロボ熱パルス源１１に適した装置としては、例えば、各々が約４．８キロジュールの出力が可能であって個別に電源を備える、４個組や８個組の高速／高出力の写真用ストロボ（例えば、イリノイ州シカゴのスピードトロン社で製造されたストロボ）がある。
【００３０】
金属は、非金属よりもはるかに大きな熱伝導率を持つため、金属中の熱流に対する固有時間は、例えば、プラスチックや複合材料のものよりもはるかに短い。従って、通常、非金属に限定される従来のＩＲサーモグラフィー技術を金属に適用しようとすると、加えた熱を急激に遮断する必要がある。これを達成するには、（被膜した）ストロボ１１と注目オブジェクト１との間に３〜５ミクロン用の反射型フィルタ１８を使用して、照射後にストロボが冷えるときにオブジェクトに余熱を当てないようにする。
【００３１】
実際は、１個以上のフィルタ（例えば、各ストロボに１つのフィルタ）を使用する。これらのフィルタの機能は、通常、過熱されたストロボ内の金属元素の「残光」から発生する長波長の直接波放射がストロボに常に残ったり、目標物に衝突したり、あるいは、反射してフォーカルプレーンアレイカメラ１３に戻るのを防ぐことである。早期の熱データ取得時に、このようなストロボ１１からの初期の残光放射が目標物からの長波長の赤外線放射と競合し、また、干渉する可能性があるので、一定の目標から発せられたＩＲ放射を覆い隠して、最終的に画像コントラストと画質を低下させることがある。従って、これらの専用フィルタを使用することで、十分に急峻な熱パルスが生成され、金属内の短い熱移動時間を検出することができる。
【００３２】
図１に示される実施形態の一例のストロボフィルタ１８は、Ｐｙｒｅｘ（商標）、石英ガラスＢＫ７（商標）、あるいは、その他の光学材料からなる。尚、その他の光学材料とは、可視光と紫外線を通し、ストロボの対向側に赤外線反射被膜を有し、３〜５ミクロンの範囲内の全放射をストロボに対して反射する材料である。（光学ガラスと被膜が施されたフィルタは、例えば、コネチカット州のストラトフォードにあるオリールのような、一般の実験用光学材料や光学ガラスの製造業者より入手するか、あるいは特注可能である。）
ＩＲ感応フォーカルプレーンアレイカメラ１３（例えば、カリフォルニア州ゴレタのアンバーエンジニアリング、レイセオン社から入手可能なＲａｄｉａｎｃｅＨＳカメラ）と制御用電子回路１４とフレームデータメモリ１５と制御コンピュータ／画像処理プロセッサ１６と表示用モニタ１７を備える赤外線（ＩＲ）感応撮像システムを使って、熱パルスが当てられたオブジェクト１の表面温度の測定結果を取得することができる。
【００３３】
熱データの取得は、光学的に始動させるか、あるいは、その他の適当な手段によってストロボを点灯したときに開始するのが望ましい。ストロボの点灯は、システムコンピュータ１６上で動作する通常のビデオフレーム取得用ソフトウエアで管理された通常のストロボ用電子回路１４で制御される（例えば、アンバー社のＩｍａｇｅＤｅｓｋ（商標）というフレーム取得システムで提供されているものや、その他の通常のフレーム取得およびストロボ制御用のソフトウエア、例えば、ミシガン州ラスラップビレッジにあるサーマルウエーブイメージング社より市販されているものがある）。
【００３４】
システム制御コンピュータ／画像処理プロセッサ１６は、特別にプログラムされた汎用デジタルコンピュータであって、本発明の方法に係るデジタル画像処理／表示に加えて、周辺機器を制御したり、通信機能を実行することができる。システムコンピュータ１６は、カメラおよびストロボ用電子回路１４とフレームデータメモリ１５を制御して、オブジェクト表面の所定数の連続熱画像フレームを取得する。これらの熱画像フレームは、その後の分析のためにメモリ１５に格納される。
【００３５】
熱撮像処理を始める前に、ここで説明する「全領域」デュアルイメージ較正技術を使用して、最初にＩＲカメラ１３を較正することが望ましい。この較正技術は、基本的に２つの「黒体」（ＢＢ）画像較正レファレンス、すなわち、（１）室温のフラットブラックプレートを使用したＢＢ「低温」源と、（２）加熱したフラットブラックプレートを使用したＢＢ「高温」源とを用いた技術である。例えば、ＢＢ「低温」源の較正画像を得るためには、カメラのレンズに対して４５°に配された室温のフラットブラックプレートを封じ込めたフラットブラック塗装された箱を、そのレンズの真正面に配置する。ＢＢ「高温」源の較正画像を得るためには、フラットブラックプレートを周囲よりも公称約１０°Ｃ高く加熱した後、上記と同じフラットブラック塗装された箱の中にカメラのレンズを置いて、そのカメラが全領域に渡って加熱されたプレートの画像を撮るようにする。上述したデュアルイメージ較正技術が望ましいとは言っても、高コントラストの撮像に対して重要で、かつ、改善された熱精度を得ることのできる画像領域内の均一性を最大化する較正技術であれば何でも使用できる。
【００３６】
撮像処理期間に取得した各画像フレームは、Ｎ×Ｎの画素からなり、各画素はオブジェクト上の分解要素に対応している。ここで、Ｎは、所望の解像度や精度に応じて、一般的には１２８か２５６とする。各画素は、格納メモリの約２バイトを占め、例えば、１２ビット以上の２進数で表される。格納された画像フレームは昇順のフレーム番号値でシーケンシャルに特定され、そのフレーム番号値は、ストロボ１１の熱パルスを当てた後の所定期間でのオブジェクト１の前面の温度対時間（Ｔ−ｔ）特性履歴の記録を提供するように働く。
【００３７】
制御コンピュータ１６によるストロボ１１の点灯後の金属オブジェクトの評価期間に、カメラ１３によって画像データフレームを取得し、その画像の各分解要素のＩＲ強度をデジタル的に記録して、フレームデータ記録部１５に格納する。オブジェクトの素材で推定された少なくとも１つの「固有時間」で意味のあるＴ−ｔ履歴を得るために、シーケンシャルで十分な所定数の画像フレームのデータの取得が続けられる。取得した画像フレームの総数は、所望の精度と画像の解像度によって変わり、毎秒５５０フレーム程度のデータ取得が可能である。
フレームデータ記録部１５は、プロセッサ１６内蔵の従来のデジタルメモリか、あるいは、プロセッサ１６がアクセスできる適当なビデオフレームデータ格納装置でよい。取得された連続する熱画像フレームの各々には、実時間の経過に対応させて、昇順のフレーム番号Ｚが付けられる。結果として生じるデータフレームの「束」は、先にその概要を述べたように、一次元熱流分析法によって分析される。本分析法に基づく本発明の方法は、連続するＩＲ画像フレームの各画素の時間対温度（Ｔ−ｔ）の履歴で示される既知の熱不変特性を利用しており、その特性をもとに、「変曲点」の位置、即ち、ピーク傾斜時間、つまり、Ｔ−ｔデータ曲線上で最大の傾きとなる点の位置を特定する。
【００３８】
ここで、図２を参照すると、本発明の合成的基準熱撮像技術によって過渡ＩＲサーモグラフィーを行う処理工程の一例が示されている。これらの工程は、例えば、既知の従来のプログラム技術を用いてコンピュータ１６（図１）を適切にプログラムすることによって実現できる。
【００３９】
最初に、ブロック２０で示されるように、システムのオペレータが、オブジェクトを検査するための関連パラメータに関する情報、例えば、オブジェクトの熱拡散係数等を選択もしくは入力して、オブジェクト上の注目領域を特定する（即ち、注目領域を捕らえるように、ＩＲカメラの焦点を合わせる）。次に、図２のブロック２０で示されるように、システム制御コンピュータは、ストロボ用電子回路に対してストロボ１１を点灯するよう命令し、フォーカルプレーンアレイＩＲカメラ１３より画像フレームデータの取得を開始する。データ取得は、連続する所定数の画像フレームで続行される。次に２１で示されるように、連続するフレーム番号Ｚによって、取得した画像フレーム各々を特定し、連続する画像をフレームメモリ１５に格納する。
【００４０】
次に、２２で示されるように、オブジェクト表面の注目領域の各分解要素の位置に対応する熱画像の各画素に対する一組のＴ−ｔ曲線データが特定される。また、初期的にＩＲ加熱する「ストロボ」時間とフレーム番号が特定され、第１の未飽和状態のデータフレームを特定して、上記の式（３）に従って、初期的な表面温度パラメータＡとストロボ期間τに基づいて「合成的」半空間熱低下基準Ｔ−ｔデータ曲線（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）が生成される。
【００４１】
式（３）は、τ（ストロボ加熱期間）以上の時間（ｔ）に対して有効である。パラメータＡを選択して、画像から選択された解析される画素で測定された温度の実際の初期値に適合させる。この方法によって生成された合成的熱低下基準の開始温度は、特定の被検査素材の特性を知らなくても、各画素毎に調整可能である。従って、もし様々な画素の開始温度が変化するならば、生成された本発明の合成的基準はそれらの変化に適応することができる。一方、「実際の」スラブ規格の熱基準は、一定の開始温度値に限定されているため、そのような変化に適応できない。
【００４２】
工程２３と工程２４で示されるように、分析のための第１の画素（あるいは、次の画素）を選択し、フレームメモリ１５に格納された画素輝度データの記録からＴ−ｔ曲線データ（ｔｔｃｕｒｖｅ）を求める。この時点において、任意のオフセット、および大きさ（振幅）を調整することができ、これによって、価値を損ねるような影響、例えば、オブジェクト表面の曲率に起因する振幅損失の影響を克服することができる。次に、工程２５で示されるように、画素のＴ−ｔ曲線（ｔｔｃｕｒｖｅ）データから合成的基準Ｔ−ｔ曲線データ（ｒｅｆｃｕｒｖｅ）を減算して、選択された画素に対するコントラスト曲線（ｃｏｎｃｕｒｖｅ）を求める。
【００４３】
次に、工程２６に示されるように、コントラスト曲線データのガウス関数による時間的な平滑化を行う。好適な実施形態のガウス平滑化アルゴリズムで使用する「時間ウインドウ」は、それを画像フレーム番号Ｚに比例させることによって、時間の関数として変化するようになっている。基本的には、この平滑「ウインドウ」は、ガウシアンの半波高全幅値（つまり、「２−σ」幅）を制御する。この可変幅のフレーム番号平滑化処理を用いることは、素材内の深部で熱拡散の影響を補償する傾向にあるため、従来のガウス平滑化を使うよりも効果があると考えられる。この工程では、選択されたデータ点における平滑ウインドウの幅が、その点における画像フレーム番号の平方根に比例するようになっていることが好ましい。この説明された可変幅のフレーム番号の時間的ガウシアン平滑化に加えて、ソフトウエアで実行される多くの「撮像フィルタ」も、この段階のコントラスト曲線データに適用可能である。これには、空間平滑、初期および終期ノイズ抑制、ネガティブコントラスト抑制、および、コントラストの閾値化が含まれる。
【００４４】
次に、工程２７では、変曲点を示すコントラスト曲線の数学的な導関数を求める。従来の３連続点導関数アルゴリズムを使用して、曲線上の最大傾斜点を求めることができることはよく知られている。このアルゴリズムでは、その曲線に沿った３つの等間隔の連続データ点をサンプリングして、使用することで、第２の（中間の）データ点における曲線の傾斜を計算する。本発明でも３点を使ったコントラスト曲線の導関数値を計算しているが、第１および第３のサンプル導関数点が分離している（即ち、導関数の基底間隔の幅）ことは、画像が進行する際の画像フレーム番号を介した実時間につながるものである。具体的には、コントラスト曲線に沿って選択された点での微分の基底間隔の幅も、ＩＲ画像フレーム番号Ｚの平方根に比例するようになっている。
【００４５】
このように、高ノイズレベルの中でも信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）特性は最大になる。このＳ／Ｎ比の改善は、大きな間隔での「サンプリング」の結果であって、従来の固定間隔の３点微分で得られた微分値の変動ではなく、最も大きな信号の変化を検出することができる。サンプル点の分離度が完全なガウシアンの幅に等しいときに最大のＳ／Ｎ比が得られるため、本発明のフレーム番号比例幅法を使用することで、最大のＳ／Ｎ比を常に得ることができる。
【００４６】
次に、工程２８では、導関数曲線中の全てのローカルピークを特定し、有効度／重み付けフィルタを用いて適切なピークを見つけて、変曲点として使用する。この工程では、全てのピーク位置の時間（即ちフレーム番号）と振幅のリストをコンピュータのメモリに保持する。このリストに所定の適切な重み付け関数を適用することで、各ローカルピークの有効度を調整できるため、例えば、データ取得の初期的な時間で発生するノイズの影響を有効に削減することができる。次に、これらのピークは、降順の有効度／重みに従って区分され、最大の（即ち、最も重要な）重み値を持つピークは変曲点を示すものとして選択される。
【００４７】
続く工程２９では、選択されたピークに対応する分解要素の位置でのオブジェクトの厚さが求められる。これは、最重要ピークが発生するフレーム番号、即ち、変曲点ｔinflを特定し、その値を実時間に変換することで行われる。ＩＲ画像フレームの取得は、所定の一定速度で発生するため、フレーム番号を実際の経過時間とみなすことができる。従って、最重要ピークを持つＩＲ画像フレームのフレーム番号が、ｔinflに対する定量的な実時間値を与える。上記の式（１）と式（２）でｔinflに対してこの値を用いて、解析された画素に対応する分解要素の位置でのオブジェクトの実際の厚さを表す厚さ値Ｌを求める。
【００４８】
工程３０では、厚さ値Ｌをメモリに格納し、それを用いて表示もしくは印刷するためにオブジェクト表面上の注目領域のカラーマップ化もしくはグレースケール化した画像を生成する。個々の色もしくはグレーシェードが特定の厚さに対応する。その後、工程２３で示されるように、次の画素が選択されて、ＩＲ画像を構成する各画素に対して上記の工程を繰り返す。
【００４９】
上で概説された工程に加えて、精度と一貫性を得るために、システム制御コンピュータに適切な従来のプログラミングを行って、拡散定数、データ分析の開始点およびその範囲、時間的な平滑ウインドウの大きさの範囲、そして、カラーマッピングの範囲等の様々なパラメータ値の自動的な入力と選択を行う。
【００５０】
本発明に係る上述した装置と共に上述の熱データの取得／分析工程を用いて過渡サーモグラフィー分析を行うことによって、（図１に示されるように）タービンエアフォイルでよく見られる、例えば、肋骨状構造を持つ被検査オブジェクトの一部を構成したり、もしくはそれに接続可能な間隔の狭い後壁構造や内部構造間であっても、その正確な壁厚値を得ることができる。これに対して、接近配置された後壁構造に従来の熱的な方法あるいは超音波による方法を使用すると、通常、不鮮明な画像や間違ったデータが得られる。
【００５１】
最後に、図３は、多層オブジェクトブロックのＩＲ過渡サーモグラフィー表示画像を示す。図３に示すオブジェクトブロック３１は、異なる厚さの６つの正方形の区域を有する。６つの正方形の区域の各々の厚さは、画像の右側に表示されたバースケールの厚さキーの中の類似の色や陰影に対応して生成された画像（本願では、異なるクロスハッチングで示されている）内で様々な色やグレー階調で示される。本例のバースケールには、０．０１３〜０．０５６インチ（０．３３〜１．４２mm）の範囲の厚さを表す印が含まれるが、厚さ値の異なる範囲を備える、表示されたバースケールを使ってもよい。
【００５２】
現状で最も実際的で好適な実施形態と考えられるものに関連して本発明を説明したが、本発明は、開示された実施形態に限定されるものではなく、添付の請求項の精神と範囲内にある様々な修正と等価な構成を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、オブジェクトの実際の厚さを求めて表示する本発明の赤外線過渡サーモグラフィーシステムの構成例を示す模式図である。
【図２】  図２は、本発明に係る図１のシステムで実行される赤外線画像データの取得処理と分析処理を示すフローチャートである。
【図３】  図３は、本発明に係る、ニッケル合金の階段状の基準物の赤外線過渡サーモグラフィー画像表示の印刷例である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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