(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、
前記被検光学系を通過した収差測定光を少なくとも２つの第１の光に分割する第１光学系と、
前記少なくとも２つの第１の光のそれぞれをさらに複数の第２の光に分割する第２光学系と、
前記第２の光のそれぞれを受光する受光装置と、
前記受光装置で受光した前記第２の光のそれぞれの位置情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出する収差算出装置とを有することを特徴とする波面収差測定装置。
【請求項２】
前記第１光学系は、前記収差測定光を該測定光の光軸に対して交差する面内で前記少なくとも２つの第１の光に分割するとともに、前記第１の光のそれぞれを互いに異なる方向に偏向する反射光学素子を有することを特徴とする請求項１に記載の波面収差測定装置。
【請求項３】
前記被検光学系の結像位置を焦点位置とする凹面を有する反射鏡を有し、前記反射光学素子は、前記被検光学系の結像位置と前記反射鏡との間に配置され、前記収差測定光を前記反射鏡に向けて透過するとともに、前記反射鏡で反射された前記収差測定光を前記少なくとも２つの第１の光に分割することを特徴とする請求項２に記載の波面収差測定装置。
【請求項４】
前記反射光学素子は、前記少なくとも２つの第１の光のうち、一つの第１の光を第１方向に偏向する第１反射面と、前記少なくとも２つの第１の光のうち、他の一つの第１の光を前記第１方向とは異なる第２方向に偏向する第２反射面と、前記第１反射面で反射された第１の光と前記第２反射面で反射された第１の光とを隔離する隔離部材とを有することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の波面収差測定装置。
【請求項５】
前記受光装置は、前記第１反射面で反射された第１の光が、さらに前記第２光学系で分割された複数の第２の光を受光する第１受光素子と、前記第２反射面で反射された第１の光が、さらに前記第２光学系で分割された複数の第２の光を受光する第２受光素子とを有することを特徴とする請求項４に記載の波面収差測定装置。
【請求項６】
前記第１光学系は、前記収差測定光の入射する入射面と前記収差測定光を射出する射出面との間が、前記被検光学系と前記第１光学系との間の媒質よりも高い屈折率を有する媒質で形成されることを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【請求項７】
前記被検光学系は、マスクに形成されたパターンを基板上に転写する投影光学系であり、前記第１光学系と前記第２光学系と前記受光装置との少なくとも一つは、前記基板を保持するホルダと実質的に同一形状の収容部材内に収容されることを特徴とする請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【請求項８】
前記第２光学系は、前記第１の光の光軸と略直交する面内に、二次元的に配列される複数の光学素子で構成され、前記第１光学系で前記収差測定光が少なくとも２つの第１の光に分割される境界が、前記複数の光学素子の配列の境界に一致することを特徴とする請求項１に記載の波面収差測定装置。
【請求項９】
被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定方法において、
前記被検光学系を通過した収差測定光を、第１光学系により少なくとも２つの第１の光に分割し、
前記少なくとも２つの第１の光のそれぞれを、第２光学系によりさらに複数の第２の光に分割し、
前記第２の光のそれぞれを受光する受光装置により受光し、
前記受光装置で受光した前記第２の光のそれぞれの位置情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出することを特徴とする波面収差測定方法。
【請求項１０】
前記第１光学系を前記被検光学系の光軸の周りに回転させて、その第１光学系の複数の回転位置で前記被検光学系の波面収差情報を測定し、その複数の回転位置での波面収差情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出し直すことを特徴とする請求項９に記載の波面収差測定方法。
【請求項１１】
マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して基板上に転写する露光装置において、
前記投影光学系の物体面に配置され、収差測定光を生成する生成部材と、
前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系を被検光学系として波面収差情報を測定する前記請求項１〜請求項８のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置とを有することを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
前記基板を保持するホルダと、そのホルダを交換可能に載置する基板ステージと、その基板ステージが配置されたステージ室と、そのステージ室の内外の間で前記ホルダを搬送する搬送系とを備え、その搬送系は前記波面収差測定装置の少なくとも一部を前記ステージ室の内外の間で搬送することを特徴とする請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、
前記リソグラフィ工程で請求項１１または請求項１２に記載の露光装置を用いて露光を行うことを特徴とするデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置及び波面収差測定方法、並びに、例えば半導体素子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等のいデバイス、レチクル、フォトマスク等のマスク等の製造プロセスにおけるリソグラフィ工程で使用される露光装置、及び、前記のようなデバイスの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の露光装置としては、例えば次のようなものが知られている。すなわち、レチクル、フォトマスク等のマスク上に形成されたパターンの像を所定の露光光で照明することにより、前記パターンの像を投影光学系を介してフォトレジスト等の感光性材料の塗布されたウエハ、ガラスプレート等の基板上に転写するようになっている。
【０００３】
ここで、特に半導体素子は近年ますます高集積化しており、その回路パターンにおける一層の微細化の要求が高まってきている。この微細化要求に対応するため、より波長の短い遠紫外光、例えばＫｒＦエキシマレーザ光（λ＝２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザ光（λ＝１９３ｎｍ）、Ｆ２  レーザ光（λ＝１５７ｎｍ）等のパルス光を用いた露光装置も開発されてきている。
【０００４】
このような、より高解像度の露光装置に対する要求の高まりに対応して、前記投影光学系に残存する収差をより正確にかつ迅速に測定するため、図１３及び図１４に示すように、例えばＳｈａｃｋ−Ｈａｒｔｍａｎｎ（シャック−ハルトマン）方式により、前記投影光学系の収差を波面収差として測定する収差測定装置３０１が提案されている。この収差測定装置３０１では、測定対象となる投影光学系３０２にテストレチクルＲｔ上のピンホールＰＨからの球面波ＳＷを入射させる。そして、この球面波ＳＷは、収差測定装置３０１の第１面３０３を介して結像させる球面波ＳＷを、リレーレンズ３０４にて平行光ＰＢに変換される。そして、その平行光ＰＢを、多数のマイクロレンズ３０５が２次元的に配列されたマイクロレンズアレイ３０６に入射させる。これにより、前記平行光ＰＢは、各マイクロレンズ３０５毎により、所定位置に配置された撮像素子（ＣＣＤ）３０７上に二次像として結像される。
【０００５】
ここで、図１４（ａ）に示すように、前記投影光学系３０２に収差が存在しない場合には、前記マイクロレンズアレイ３０６に入射する平行光ＰＢは平行な波面ＷＦｐｎを有する。このため、マイクロレンズアレイ３０６の各マイクロレンズ３０５による二次像Ｆｎは、各マイクロレンズ３０５の光軸ＡＸｎ上に結像される。
【０００６】
一方、図１４（ｂ）に示すように、前記投影光学系３０２に収差が存在する場合には、前記マイクロレンズアレイに入射する平行光ＰＢは前記収差に応じて歪んだ波面ＷＦｐａを有する。このため、同平行光ＰＢは、各マイクロレンズ３０５毎にそれぞれ異なる波面ＷＦｐａの傾きＡＸｐを持つことになる。そして、各マイクロレンズ３０５による二次像Ｆａは、各マイクロレンズ３０５毎にその光軸ＡＸｎから前記波面ＷＦｐａの傾き量に応じて横ずれした位置に結像することになる。このように、各マイクロレンズ３０５毎の光束の結像位置の横ずれ量から波面ＷＦｐａの傾きＡＸｐを求めることにより、前記投影光学系３０２の収差を波面収差として測定することができる。
【０００７】
このようにすることで、従来より広く使用されていた、投影光学系により形成される収差測定用のパターンの像を実際に焼き付けた後に現像して、投影光学系の収差を測定する方式に比べて、感光材料の塗布ムラ、現像ムラ等のプロセス誤差を低減することができ、より正確な収差測定が可能になる。また、投影光学系の収差を測定するために現像工程を行う必要がなく、短時間での収差測定が可能となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年の露光装置は、より高精度な露光を実現するために、投影光学系の基板側にあたる基板ステージの周辺には数多くの装置が装着されている。このため、投影光学系の波面収差を測定するための収差測定装置を装着するスペースも限られている。
【０００９】
ところが、前記従来の収差測定装置３０１では、図１３及び図１４に示すように、収差測定光を受光する受光部の構成要素であるリレーレンズ３０４、マイクロレンズアレイ３０６及びＣＣＤ３０７が、いずれも入射する収差測定光と直交するように配置されている。ここで、例えばマイクロレンズアレイ３０６の各マイクロレンズ３０５で分割された各光束をＣＣＤ３０７上に正確に結像させるためには、前記マイクロレンズアレイ３０６とＣＣＤ３０７とを所定の間隔をおいて配置する必要がある。このように、前記各構成要素は、それぞれ所定の間隔をおいて配列する必要がある。このため、前記収差測定装置３０１が、その前記各構成要素の配列方向に大型化して、露光装置への装着に手間がかかるという問題があった。
【００１０】
このような問題を解決するために、前記収差測定装置の小型化を図るべく、例えば図１５に示すような検出部を有する収差測定装置３１１が考えられる。この収差測定装置３１１では、リレーレンズ３０４の射出面側にミラー３１２が設けられており、リレーレンズ３０４から射出された平行光ＰＢがほぼ直角に折り曲げられるようになっている。そして、この折り曲げられた平行光ＰＢに対して直交するようにマイクロレンズアレイ３０６が配置され、さらにそのマイクロレンズアレイ３０６に対向するようにＣＣＤ３０７が設けられている。
【００１１】
従って、前記のようにマイクロレンズアレイ３０６及びＣＣＤ３０７を配置することによって、マイクロレンズアレイ３０６とＣＣＤ３０７との間に所定の間隔を確保することに起因する収差測定装置３１１全体の大型化が抑制される。
【００１２】
しかしながら、この収差測定装置３１１においても、前記マイクロレンズアレイ３０６は、多数のマイクロレンズ３０５が２次元的に配列されている。従って、各マイクロレンズ３０５毎に結像される像を全て同時に撮像するために、ＣＣＤ３０７も、各マイクロレンズ３０５に対応する大きさのものを使用せざるを得ない。このため、収差測定装置３１１は、依然として、露光装置に対して容易に装着できる程度に小型化されていないという問題があった。
【００１３】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的としては、露光装置への装着が容易で、被検光学系の収差を迅速かつ高精度に測定可能な小型の波面収差測定装置を提供することにある。また、被検光学系の収差を迅速かつ高精度に測定可能な波面収差測定方法を提供することにある。さらに、露光精度を向上できて、デバイス等を高精度にかつ生産性よく製造可能な露光装置及びデバイスの製造方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本願請求項１に記載の発明は、被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記被検光学系を通過した収差測定光を少なくとも２つの第１の光に分割する第１光学系と、前記少なくとも２つの第１の光のそれぞれをさらに複数の第２の光に分割する第２光学系と、前記第２の光のそれぞれを受光する受光装置と、前記受光装置で受光した前記第２の光のそれぞれの位置情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出する収差算出装置とを有することを特徴とするものである。
【００１５】
この本願請求項１に記載の発明では、収差測定光が、第１光学系を介して、まず、その光軸とほぼ直交する面内でより小さな断面積の第１の光に分割される。このため、被検光学系の波面収差を測定するために、その各第１の光をさらに複数の第２の光に分割する第２光学系を小型化することが可能となる。また、波面収差測定装置に入射する収差測定光を単一で大型の光学系を用いることなく、被検光学系の波面収差を測定することが可能となる。そして、露光装置に対する波面収差測定装置の取付作業が容易なものとなる。また、波面収差情報を利用することで、被検光学系の収差を迅速にかつ精度よく測定することが可能となる。
【００１６】
また、本願請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の発明において、前記第１光学系は、前記収差測定光を該測定光の光軸に対して交差する面内で前記少なくとも２つの第１の光に分割するとともに、前記第１の光のそれぞれを互いに異なる方向に偏向する反射光学素子を有することを特徴とするものである。
【００１７】
この本願請求項２に記載の発明では、前記請求項１に記載の発明の作用に加えて、例えば被検光学系が露光装置の投影光学系であるような場合、投影光学系の下方に配置され、大きな表面積を有する基板ステージの表面またはその内部を利用して効率よく収差測定光を分割することが可能となる。
【００１８】
また、本願請求項３に記載の発明は、前記請求項２に記載の発明において、前記被検光学系の結像位置を焦点位置とする凹面を有する反射鏡を有し、前記反射光学素子は、前記被検光学系の結像位置と前記反射鏡との間に配置され、前記収差測定光を前記反射鏡に向けて透過するとともに、前記反射鏡で反射された前記収差測定光を前記少なくとも２つの第１の光に分割することを特徴とするものである。
【００１９】
この本願請求項３に記載の発明では、前記請求項２に記載の発明の作用に加えて、収束光として入射し発散光となる収差測定光が、新たな収差成分を加えることなく平行光に変換される。前記のような反射鏡の構成は、簡単である。
【００２０】
また、本願請求項４に記載の発明は、前記請求項２または請求項３に記載の発明において、前記反射光学素子は、前記少なくとも２つの第１の光のうち、一つの第１の光を第１方向に偏向する第１反射面と、前記少なくとも２つの第１の光のうち、他の一つの第１の光を前記第１方向とは異なる第２方向に偏向する第２反射面と、前記第１反射面で反射された第１の光と前記第２反射面で反射された第１の光とを隔離する隔離部材とを有することを特徴とするものである。
【００２１】
この本願請求項４に記載の発明では、前記請求項２または請求項３に記載の発明の作用に加えて、反射鏡で反射された反射光で第１方向に偏向された第１の光が、第２方向に迷光として漏れ込んで第２方向の第１の光の位置情報の検出に影響が出るのが回避される。また、逆に、第２方向に偏向された第１の光が、第１方向に迷光として漏れ込んで第１方向の第１の光の位置情報の検出に影響が出るのが回避される。
【００２２】
また、本願請求項５に記載の発明は、前記請求項４に記載の発明において、前記受光装置は、前記第１反射面で反射された第１の光が、さらに前記第２光学系で分割された複数の第２の光を受光する第１受光素子と、前記第２反射面で反射された第１の光が、さらに前記第２光学系で分割された複数の第２の光を受光する第２受光素子とを有することを特徴とするものである。
【００２３】
この本願請求項５に記載の発明では、前記請求項４に記載の発明の作用に加えて、第１受光素子で検出された第２の光の位置情報と、第２受光素子で検出された第２の光の位置情報とを合成することで、もとの収差測定光の波面収差情報を容易に算出することが可能となる。
【００２４】
また、本願請求項６に記載の発明は、前記請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の発明において、前記第１光学系は、前記収差測定光の入射する入射面と前記収差測定光を射出する射出面との間が、前記被検光学系と前記第１光学系との間の媒質よりも高い屈折率を有する媒質で形成されることを特徴とするものである。
【００２５】
この本願請求項６に記載の発明では、前記請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の発明の作用に加えて、収差測定光が第１光学系に入射すると、その収差測定光の開き角度が小さくなる。このため、反射鏡から射出される平行光の幅が小さくなり、この平行光をさらに少なくとも２つの第１の光に分割することで、第２光学系に入射する第１の光における光軸とほぼ直交する面内での断面積が小さくなる。これにより、第２光学系及び受光装置をさらに小型化することが可能となる。
【００２６】
また、本願請求項７に記載の発明は、前記請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の発明において、前記被検光学系は、マスクに形成されたパターンを基板上に転写する投影光学系であり、前記第１光学系と前記第２光学系と前記受光装置との少なくとも一つは、前記基板を保持するホルダと実質的に同一形状の収容部材内に収容されることを特徴とするものである。
【００２７】
この本願請求項７に記載の発明では、前記請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の発明の作用に加えて、波面収差測定装置を、容易に交換可能な基板を保持するホルダと同様に取り扱うことが可能になる。このため、波面収差測定装置の露光装置に対する装着を、前記ホルダを交換するための装置を用いて行うことができ、その装着作業が極めて容易なものとなる。
【００２８】
また、本願請求項８に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第２光学系は、前記第１の光の光軸と略直交する面内に、二次元的に配列される複数の光学素子で構成され、前記第１光学系で前記収差測定光が少なくとも２つの第１の光に分割される境界が、前記複数の光学素子の配列の境界に一致することを特徴とするものである。
【００２９】
この本願請求項８に記載の発明では、前記請求項１に記載の発明の作用に加えて、第１光学系において、収差測定光がその光軸を含む面で少なくとも２つに分割される。この分割に際して、その分割の境界は、前記収差測定光の直径の位置に対応したものとなる。そして、その第１の光の境界と光学素子の配列の境界を一致させることで、クロストークなどの影響が少なくなり、各第２の光の測定結果から前記第１の光の波面を復元するための計算時に有利である。
【００３０】
また、本願請求項９に記載の発明は、被検光学系の波面収差を測定する波面収差測定方法において、前記被検光学系を通過した収差測定光を、第１光学系により少なくとも２つの第１の光に分割し、前記少なくとも２つの第１の光のそれぞれを、第２光学系によりさらに複数の第２の光に分割し、前記第２の光のそれぞれを受光する受光装置により受光し、前記受光装置で受光した前記第２の光のそれぞれの位置情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出することを特徴とするものである。
【００３１】
この本願請求項９に記載の発明では、前記請求項１に記載の発明とほぼ同様の作用が奏される。
また、本願請求項１０に記載の発明は、前記請求項９に記載の発明において、前記第１光学系を前記被検光学系の光軸の周りに回転させて、その第１光学系の複数の回転位置で前記被検光学系の波面収差情報を測定し、その複数の回転位置での波面収差情報に基づいて前記被検光学系の波面収差情報を算出し直すことを特徴とするものである。
【００３２】
この本願請求項１０に記載の発明では、前記請求項９に記載の発明の作用に加えて、第１光学系における複数の回転位置における被検光学系の波面収差情報に基づいて、被検光学系の収差情報をより正確に把握することが可能となる。
【００３３】
また、本願請求項１１に記載の発明は、マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して基板上に転写する露光装置において、前記投影光学系の物体面に配置され、収差測定光を生成する生成部材と、前記投影光学系の像面側に配置され、前記投影光学系を被検光学系として波面収差情報を測定する前記請求項１〜請求項８のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置とを有することを特徴とするものである。
【００３４】
この本願請求項１１に記載の発明では、投影光学系の収差情報を迅速かつ容易に、しかも精度よく測定することができ、投影光学系の結像特性を精度よく補正することが可能となる。
【００３５】
また、本願請求項１２に記載の発明は、前記請求項１１に記載の発明において、前記基板を保持するホルダと、そのホルダを交換可能に載置する基板ステージと、その基板ステージが配置されたステージ室と、そのステージ室の内外の間で前記ホルダを搬送する搬送系とを備え、その搬送系は前記波面収差測定装置の少なくとも一部を前記ステージ室の内外の間で搬送することを特徴とするものである。
【００３６】
この本願請求項１２に記載の発明では、前記請求項１１に記載の発明の作用に加えて、前記請求項７に記載の発明とほぼ同様の作用が奏される。
また、本願請求項１３に記載の発明は、リソグラフィ工程を含むデバイスの製造方法において、前記リソグラフィ工程で請求項１１または請求項１２に記載の露光装置を用いて露光を行うことを特徴とするものである。
【００３７】
この本願請求項１３に記載の発明では、投影光学系の収差を高精度に測定して、投影光学系の結像特性をより正確に補正でき、マスク上のパターンの像をより高精度に転写することが可能となる。しかも、投影光学系の収差測定のための露光装置の運転停止時間を短縮することが可能となる。
【００３８】
次に、前記各請求項に記載の発明にさらに含まれる技術的思想について、それらの作用とともに以下に記載する。
（１）  前記第１光学系における前記収差測定光の入射面上またはその入射面の近傍に、その入射面またはその入射面の近傍を通過する収差測定光の通過を許容する開口を設け、その開口の外側に前記第１光学系から射出される反射光を遮光する遮光体を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【００３９】
第１光学系内で反射された収差測定光の一部が、迷光として被検光学系側に戻ってくることがある。これに対して、この（１）に記載の構成によれば、前記のような迷光が、収差測定光の通過を許容する開口の外側に設けられた遮光体により遮光される。このため、第１光学側からの反射光による迷光の影響を抑制できて、より正確に被検光学系の波面収差情報を検出することができるという作用及び効果が得られる。
【００４０】
（２）  前記被検光学系の結像位置と前記第１光学系における前記収差測定光の入射面との間に集光光学系を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５、前記（１）のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【００４１】
ここで、例えば収差測定光の光量が少ないような場合には、マスク上の球面波を発生させる開口を拡大して波面収差測定装置に到達する収差測定光の光量を増加させることがある。しかし、このようにマスク上の開口を拡大すると、波面収差測定装置の第１面で、収差測定光が所定の大きさを持った像として結像される。この収差測定光が第１光学系内の凹面鏡で反射させて平行光に変換したときに、その平行光の外側部分に新たに収差を生じるおそれがある。これに対して、この（２）に記載の構成によれば、収差測定光は、集光光学系を介して第１光学系に入射することになるため、前記のような外側部分に生じる収差が補正される。これにより、前記のようにマスク上の開口が拡大されているような場合にも、被検光学系の波面収差情報を迅速かつ高精度に測定することができるという作用及び効果が得られる。
【００４２】
また、収差測定光を集光光学系を通過させることで、第１光学系内における収差測定光の開き角度がさらに小さくなる。このため、反射鏡から射出される平行光の幅が一層小さくなり、この平行光をさらに少なくとも２つの第１の光に分割することで、第２光学系に入射する第１の光における光軸とほぼ直交する面内での断面積が一層小さくなる。これにより、第２光学系及び受光装置をさらに一層小型化することができるという作用及び効果が得られる。
【００４３】
（３）  前記第１光学系における収差測定光の射出面と、前記第２光学系との間にリレー光学系を設けたことを特徴とする請求項１〜請求項５、前記（１）、（２）のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【００４４】
従って、この（３）に記載の構成によれば、第１光学系から射出される第１の光の瞳位置を自由に調整することができて、設計の自由度が向上されるという作用及び効果が得られる。
【００４５】
（４）  前記第１光学系と前記第２光学系との間に、前記第１の光の一部を透過させるとともに他の一部を前記第１光学系の射出面とほぼ同じ高さ位置で反射させる第３光学系と、その第３光学系で反射された反射光を受光する第２受光装置とをさらに備えることを特徴とする請求項１〜請求項６、前記（１）〜（３）のうちいずれか一項に記載の波面収差測定装置。
【００４６】
ここで、波面収差情報を測定するための受光装置に加えて、例えば第１光学系から射出される第１の光の瞳の形状を観察するために、第２受光装置を装備することがある。これに対して、この（４）に記載の構成によれば、受光装置と第２受光装置とが第１光学系の射出面とほぼ同じ高さ位置に配置されるため、その第２受光装置の装備により波面収差測定装置が収差計測光の入射方向に大型化するのを抑制できるという作用及び効果が得られる。
【００４７】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下に、本発明を、半導体素子製造用の、いわゆるステップ・アンド・スキャン方式の走査露光型の露光装置、及び、その投影光学系の波面収差を測定するための波面収差測定装置に具体化した第１実施形態について、図１〜図６に基づいて説明する。
【００４８】
図１には、第１実施形態に係る露光装置３０の概略構成が示されている。この露光装置３０は、ベース盤３１、基板ステージとしてのウエハステージＷＳ、投影光学系ＰＬ、レチクルステージＲＳ、そして照明光学系ＩＬ及び制御系等を備えている。
【００４９】
前記ウエハステージＷＳは、前記投影光学系ＰＬの像面側に配置され、前記ベース盤３１上に不図示の気体軸受けを介して浮上支持されている。そして、前記ウエハステージＷＳは、Ｘ軸方向（図１における紙面左右方向）及びＹ軸方向（図１における紙面直交方向）に独立して２次元移動可能に構成されている。ウエハステージＷＳ上には、基板としてのウエハＷがそれぞれホルダ３４を介して真空吸着されている。前記ウエハステージＷＳは、ウエハステージ駆動系３５により駆動されるとともに、その位置がウエハ干渉計システム３６により検出されるようになっている。このウエハ干渉計システム３６で検出されたウエハステージＷＳの位置情報は、露光装置３０全体の動作を制御する主制御装置ＭＰＵに供給される。
【００５０】
前記投影光学系ＰＬは、前記ウエハステージＷＳの上方に配置される。投影光学系ＰＬは、複数のレンズエレメントの集合体であり、全体として両側テレセントリックで所定の縮小倍率、例えば１／４を有する屈折光学系をなしている。そして、各レンズエレメントは、その姿勢や他のレンズエレメントとの相対位置が変更可能に保持されている。これら各レンズエレメントは、不図示の結像特性調整機構により、その姿勢や相対位置を調整することによって、投影光学系ＰＬに残存する収差が補正されるようになっている。
【００５１】
前記レチクルステージＲＳは、前記投影光学系ＰＬの物体面側に配置される。
このレチクルステージＲＳは、マスクとしてのレチクルＲを主として所定の走査方向、ここではＹ軸方向（図１における紙面直交方向）に駆動可能に保持している。このレチクルステージＲＳは、レチクルステージ駆動系４１により駆動されるとともに、その位置がレチクル干渉計システム４２により検出されるようになっている。このレチクル干渉計システム４２で検出されたレチクルステージＲＳの位置情報は、前記主制御装置ＭＰＵに供給される。
【００５２】
前記照明光学系ＩＬは、前記レチクルＲを上方から照明する照明系をなしている。この照明光学系ＩＬは、図１に示すように、光源部４６、シャッタ４７、及び、ミラー４８、ビームエキスパンダ４９，５０、第１フライアイレンズ５１、レンズ５２、振動ミラー５３、レンズ５４、第２フライアイレンズ５５、レンズ５６、固定ブラインド５７、可動ブラインド５８、リレーレンズ５９，６０等から構成されている。
【００５３】
前記光源部４６は、例えばＡｒＦエキシマレーザを出射する光源と減光システム（減光板、開口絞り等）とを有している。光源部４６から射出されたレーザ光は、シャッタ４７を透過した後、ミラー４８により偏向されて、ビームエキスパンダ４９，５０により適当なビーム径に整形され、第１フライアイレンズ５１に入射される。この第１フライアイレンズ５１に入射された光束は、２次元的に配列されたそのエレメントにより複数の光束に分割され、レンズ５２、振動ミラー５３、レンズ５４により、分割された各光束が異なった角度より第２フライアイレンズ５５に入射される。この第２フライアイレンズ５５より射出された光束は、レンズ５６により、前記レチクルＲと共役な位置に設置された固定ブラインド５７に達し、ここで所定形状にその断面形状が規定される。そして、レチクルＲの共役面から僅かにデフォーカスされた位置に配置された可動ブラインド５８を通過し、リレーレンズ５９，６０を経て均一な露光光ＥＬとして、レチクルＲ上を照明する。ここで、露光光ＥＬは、レチクルＲ上の、前記固定ブラインド５７によって規定された所定形状、ここでは矩形スリット状の照明領域を照明する。
【００５４】
また、前記投影光学系ＰＬには、ウエハＷの合焦状態を調べるためのオートフォーカス／オートレベリング計測機構（以下、「ＡＦ／ＡＬ系」という）６３が設けられている。ここで、スキャン露光によりレチクルＲ上のパターンをウエハＷ上に正確に転写するには、レチクルＲ上のパターン形成面とウエハＷの露光面とが投影光学系ＰＬに関して共役になっている必要がある。そこで、前記ＡＦ／ＡＬ系６３は、ウエハＷの露光面が投影光学系ＰＬの像面に焦点深度の範囲内で合致しているかどうか（合焦しているかどうか）を検出するようになっている。また、このＡＦ／ＡＬ系６３は、ウエハＷの露光面の傾斜が投影光学系ＰＬの像面の傾斜に対してほぼ合致しているかどうかを検出するようになっている。
【００５５】
このＡＦ／ＡＬ系６３は、投射光学系６４と受光光学系６５とを備えた、いわゆる斜入射方式のＡＦ／ＡＬ系となっている。つまり、前記投射光学系６４は、前記ウエハＷの露光面に対して、前記ウエハＷ上に塗布されたフォトレジストを感光させない前記露光光ＥＬとは異なる照明光ＦＬで照明された所定のパターンの像を斜め上方から投射する。前記受光光学系６５は、その露光面上に投射された前記パターンの像の反射光を受光するとともに、受光したパターンの像の位置情報を前記主制御装置ＭＰＵに供給するようになっている。そして、主制御装置ＭＰＵは、供給されたパターンの像の位置情報に基づいてウエハＷの合焦状態及び傾斜を算出し、その露光面が投影光学系ＰＬの像面と合致させるべく、ウエハステージ駆動系３５を介してウエハステージＷＳの姿勢、すなわちウエハＷの姿勢を制御する。
【００５６】
ここで、ステップ・アンド・スキャン方式でレチクルＲ上の回路パターンをウエハＷ上のショット領域に走査露光する場合、前述のように矩形状に整形された照明領域は、レチクルＲ側の走査方向（＋Ｙ方向）に対して直交する方向に長手方向を有するものとなっている。そして、前記主制御装置ＭＰＵの制御のもとで、レチクルステージ駆動系４１を介して、レチクルステージＲＳを走査方向（＋Ｙ方向）に所定の速度Ｖｒで移動させる。これにより、レチクルＲが所定の速度Ｖｒで走査され、前記レチクルＲ上の回路パターンが前記矩形状の照明領域で一端側から他端側に向かって順次照明される。そして、前記照明領域内におけるレチクルＲ上の回路パターンが、前記投影光学系ＰＬを介してウエハＷ上に投影され、投影領域が形成される。
【００５７】
このとき、ウエハＷはレチクルＲとは倒立結像関係にある。このため、前記主制御装置ＭＰＵの制御のもとで、ウエハステージ駆動系３５を介して、ウエハステージＷＳを前記レチクルＲの走査方向とは反対方向（−Ｙ方向）へ、前記レチクルＲの走査に同期して所定の速度Ｖｗで走査させる。これにより、ウエハＷのショット領域の全面が露光可能となる。走査速度の比Ｖｗ／Ｖｒは正確に投影光学系ＰＬの縮小倍率に応じたものになっており、レチクルＲ上の回路パターンがウエハＷ上の各ショット領域上に正確に縮小転写される。
【００５８】
さらに、本実施形態の露光装置３０では、ウエハステージＷＳ上に載置されたウエハＷ及びホルダ３４の交換を行うホルダ搬送系としての搬送システム６８が設けられている。この搬送システム６８は、図２に示すように、ローディングガイド６９、第１及び第２スライダ７０，７１、アンロードアーム７２、ロードアーム７３等を含むウエハローダ７４と、浮上機構（図示略）とから構成されている。
【００５９】
前記ローディングガイド６９はＹ軸方向に延びており、第１及び第２スライダ７０，７１がこのローディングガイド６９に沿って移動可能に取り付けられている。前記第１スライダ７０にはアンロードアーム７２が取り付けられており、前記第２スライダ７１にはロードアーム７３が取り付けられている。
【００６０】
ここで、露光装置３０におけるウエハ交換の動作について、ウエハステージＷＳ上にあるウエハＷ’とウエハローダ７４により搬送されてきたウエハＷとが交換される場合について説明する。
【００６１】
まず、主制御装置ＭＰＵは、ウエハステージＷＳ上のホルダ３４の真空吸着を不図示のスイッチを介してオフし、ウエハＷ’の吸着を解除させる。次に、主制御装置ＭＰＵは、不図示の浮上機構駆動系を介して、同じく不図示の浮上機構を所定量上昇駆動させる。これにより、ウエハＷ’が所定位置まで持ち上げられる。この状態で、主制御装置ＭＰＵは、不図示のウエハローダ制御装置にアンロードアーム７２の移動を指示し、ウエハローダ制御装置により第１スライダ７０が駆動制御される。そして、アンロードアーム７２が、ローディングガイド６９に沿ってウエハステージＷＳ上まで移動されてウエハＷ’の真下に配置される。
【００６２】
この状態で、主制御装置ＭＰＵは、浮上機構を所定位置まで下降駆動させる。
この浮上機構の下降の途中で、ウエハＷ’がアンロードアーム７２に受け渡されるので、主制御装置ＭＰＵはウエハローダ制御装置にアンロードアーム７２の真空吸着開始を指示する。これにより、アンロードアーム７２にウエハＷ’が吸着保持される。
【００６３】
次に、主制御装置ＭＰＵは、ウエハローダ制御装置にアンロードアーム７２の退避とロードアーム７３の移動開始を指示する。これにより、アンロードアーム７２が、図２の−Ｙ方向に第１スライダ７０と一体的に移動が開始される。このアンロードアーム７２の移動開始と同時に、第２スライダ７１がウエハＷを保持したロードアーム７３と一体的に＋Ｙ方向に移動される。そして、ロードアーム７３がウエハステージＷＳの上方に来たとき、ウエハローダ制御装置により、第２スライダ７１が停止されるとともにロードアーム７３の真空吸着が解除される。
【００６４】
この状態で、主制御装置ＭＰＵは浮上機構を上昇駆動させ、浮上機構によりウエハＷを下方から持ち上げさせる。次いで、主制御装置ＭＰＵは、ウエハローダ制御装置にロードアーム７３の退避を指示する。これにより、第２スライダ７１がロードアーム７３と一体的に−Ｙ方向に移動を開始して、ロードアーム７３の退避が行われる。このロードアーム７３の退避開始と同時に、主制御装置ＭＰＵは、浮上機構の下降駆動を開始させる。これにより、ウエハＷをウエハステージＷＳ上のホルダ３４に載置させ、このホルダ３４の真空吸着をオンにし、ウエハ交換の一連のシーケンスが終了する。
【００６５】
なお、ウエハステージＷＳ上に載置された前記ホルダ３４を交換する際にも、このウエハ交換時と同様のシーケンスにより行われる。
次に、以上のように構成された露光装置３０において、その投影光学系ＰＬの収差測定に好適な波面収差測定装置８１について、図３〜図６に基づいて説明する。
【００６６】
図３に示すように、波面収差測定装置８１は、収容部材としての受光筐体８２と波面収差算出部８３とインタフェイス８４とからなっている。前記受光筐体８２は、前記ウエハステージＷＳ上において、前記ホルダ３４に代えて着脱可能に載置されている。また、前記受光筐体８２は、その外形が前記ホルダ３４とほぼ同一形状に形成されており、前記搬送システム６８を利用して、前述のウエハＷの交換方法と同様にしてウエハステージＷＳに対して着脱するようになっている。その受光筐体８２の内部には、前記投影光学系ＰＬを通過した収差測定光ＭＬを受光する受光部８５が収容されている。
【００６７】
なお、この波面収差測定装置８１を使用する際には、前記露光装置３０のレチクルステージＲＳ上に、複数のピンホールＰＨが形成されたテストレチクルＲｔを載置する。そして、前記露光光ＥＬを、そのピンホールＰＨを介して球面波を有する収差測定光ＭＬに変換して前記投影光学系ＰＬに入射させる。この状態で、前記受光筐体８２を、その上面が前記投影光学系ＰＬの像面に位置するように配置する。
【００６８】
前記インタフェイス８４は、前記受光部８５と前記波面収差算出部８３とを接続するものであり、前記受光部８５のワイヤレス送信機８６からの信号を受信するワイヤレス受信機８７を装備している。前記波面収差算出部８３は、前記インタフェイス８４を介して入力された前記受光部８５での前記収差測定光ＭＬの検出情報に基づいて前記投影光学系ＰＬの波面収差情報を算出するものとなっている。この波面収差算出部８３は、前記露光装置３０の主制御装置ＭＰＵに接続されており、算出された投影光学系ＰＬの波面収差情報が前記主制御装置ＭＰＵに供給されるようになっている。
【００６９】
次に、前記受光部８５の概略構成について説明する。
図４〜図６に示すように、前記受光部８５は、第１光学系としての分割素子８８と、一対の第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと、第２光学系としてのマイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂと、受光装置としての一対の収差測定用撮像素子（以下、「収差用ＣＣＤ」という）９１ａ，９１ｂと、一対の瞳計測用撮像素子（以下、「瞳計測用ＣＣＤ」という）９２ａ，９２ｂと、各ＣＣＤ９１ａ，９１ｂ，９２ａ，９２ｂを制御する制御基板９３とを有している。
【００７０】
前記分割素子８８は、略円柱状をなす合成石英、蛍石等の光学材料からなり、その一方の端面には平面状の入射面９６が、他方の端面にはその入射面９６の中心を焦点位置とする放物面状の反射鏡を構成する反射面９７が形成されている。この入射面９６上には、前記投影光学系ＰＬを通過した前記収差測定光ＭＬが結像され、前記ピンホールＰＨの一次像が形成される。前記反射面９７は、前記入射面９６から入射した収差測定光ＭＬの入射光ＩＢを反射するとともに平行光ＰＢ１，ＰＢ２に変換する。そして、この分割素子８８は、前記受光筐体８２に対してその中心部の表面に前記入射面９６が配置されている。
【００７１】
前記分割素子８８には、前記入射面９６より若干内部側に、中央部に前記収差測定光ＭＬの通過を許容する程度の開口９８を有する円環状の遮光体９９が封入されている。この遮光体９９の存在により、前記反射面９７で反射された平行光ＰＢ１，ＰＢ２の一部が前記入射面９６から射出され、迷光として投影光学系ＰＬに入射するのが抑制されるようになっている。
【００７２】
また、この分割素子８８は、その遮光体９９より前記反射面９７側の部分が前記収差測定光ＭＬの光軸を含む境界面１００で図４及び図６において左右に二分されている。そして、その境界面１００に沿うように隔離部材としての隔離体１０１が封入されている。この隔離体１０１の存在により、反射面９７における隔離体１０１の一方側で反射された光が、迷光として隔離体１０１の他方側の光路部分１０２ｂに侵入するのが抑制される。また、同様に、反射面９７における隔離体１０１の他方側で反射された光が、迷光として隔離体１０１の一方側の光路部分１０２ａに侵入するのが抑制される。
【００７３】
前記隔離体１０１で隔離される両側の各光路部分１０２ａ，１０２ｂには、反射光学素子としての第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂが封入されている。これら第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂは、前記入射光ＩＢを前記反射面９７に向けて透過するとともにその反射面９７で反射された前記平行光ＰＢ１，ＰＢ２を反射すべく前記平行光ＰＢ１，ＰＢ２に対して斜めに交差するように配置されている。ここで、第２ハーフミラー１０３ａは、前記隔離体１０１の一方側の第１平行光ＰＢ１を、図４及び図６において左方向の第１方向に偏向する第１反射面をなしている。一方、第２ハーフミラー１０３ｂは、前記隔離体１０１の他方側の第２平行光ＰＢ２を、図４及び図６において右方向の第１方向とは反対の第２方向に偏向する第２反射面をなしている。このように、これら第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂにより、前記反射面９７で反射された収差測定光ＭＬが、互いに方向の異なる第１平行光ＰＢ１と第２平行光ＰＢ２とに分割されるようになっている。なお、この場合、分割された各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の断面形状は、半円形状になっている。
【００７４】
前記分割素子８８の外周面の前記第１及び第２方向における各第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂと対応する位置には、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２を分割素子８８の外部に射出する射出面１０４ａ，１０４ｂが形成されている。そして、この分割素子８８では、前記収差測定光ＭＬが入射する入射面９６から前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２が射出される射出面１０４ａ，１０４ｂに至るまでの間が、全て前記光学材料で充填されている。言い換えると、分割素子８８の入射面９６と射出面１０４ａ，１０４ｂとの間が、前記投影光学系ＰＬと分離素子８８との間の雰囲気媒体に比べて屈折率の高い媒体で形成されていることになる。
【００７５】
前記収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂは、前記分割素子８８の各射出面１０４ａ，１０４ｂに対して所定の間隔をおいて対向するように配置されている。そして、前記分割素子８８の射出面１０４ａと第１受光素子としての第１収差用ＣＣＤ９１ａとの間の第１平行光ＰＢ１の光路内には、第１ハーフミラー８９ａと第１マイクロレンズアレイ９０ａとが介装されている。また、前記分割素子８８の射出面１０４ｂと第２受光素子としての第２収差用ＣＣＤ９１ｂとの間の第２平行光ＰＢ２の光路内には、第１ハーフミラー８９ｂと第２マイクロレンズアレイ９０ｂとが介装されている。
【００７６】
前記各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂは、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２に対して斜めに配置されている。そして、各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂは、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の一部を、透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔとして前記各マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに向かって透過させる。この一方で、各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂは、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の他の一部を、反射平行光ＰＢ１ｒ，ＰＢ２ｒとして反射してほぼ直角に折り曲げる。
【００７７】
この各透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔは、前記各マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに入射する。このマイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂは、多数のマイクロレンズ１０５が前記各透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの光路の断面全体をカバーするように平面略半円形状に配列されている。そして、前記各透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔは、この各マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂを介して、その複数のマイクロレンズ１０５ａ，１０５ｂごとに第２の光としての多数のスポット光ＳＬに分割される。
【００７８】
そして、各スポット光ＳＬは、前記マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに対向するように配置された前記収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂ上に結像される。これにより、前記収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂ上に、前記ピンホールＰＨの形成される。この各収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂは、全てのスポット光ＳＬを受光するのに十分な面積を持ち、前記マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂと対応するように、多数の画素が平面略半円形状に配列されている。そして、この各収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂにより、各スポット光ＳＬの集光点Ｆｐの位置（結像位置）が検出される。
【００７９】
ここで、前記マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂは、前記分割素子８８で分割された透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの光軸と略直交する面内に、二次元的に配列される複数のマイクロレンズ１０５ａ，１０５ｂからなっている。そして、前記マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂは、前記透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの光軸と略直交する面内において、前記複数のマイクロレンズ１０５ａ，１０５ｂの配列の境界、前記透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの分割された境界と一致するように配置されている。言い換えると、マイクロレンズ１０５ａ，１０５ｂの配列の境界が、前記透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの直径に対応する部分と一致するようになっている。このため、クロストークなどの影響を少なくできて、各スポット光ＳＬの測定結果から前記透過平行光ＰＢ１ｔ，ＰＢ２ｔの波面を計算する際に、その波面をより正確に復元することができて有利である。
【００８０】
一方、前記各反射平行光ＰＢ１ｒ，ＰＢ２ｒは、前記各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと所定間隔をおいて反射平行光ＰＢ１ｒ，ＰＢ２ｒと直交するように配置された前記各瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂに入射する。ここで、この瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂは、前記両第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂ、前記両マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂ及び前記両収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂとともに、前記分割素子８８の両射出面１０４ａ，１０４ｂと同じ高さ位置となるように、前記受光筐体８２内に収容されている。
【００８１】
この瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂ上には、前記各第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂで分割された各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の瞳の像が形成される。この各収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂは、前記反射平行光ＰＢ１ｒ，ＰＢ２ｒの断面全体を受光するのに十分な面積を持つように、多数の画素が平面略半円形状に配列されている。そして、この各瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂにより、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の瞳の形状が検出される。このように検出された前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の瞳の形状は計算により合成され、その合成結果から分割素子８８に入射した入射光ＩＢに基づく瞳の形状が求められる。
【００８２】
なお、この瞳の形状を検出する場合には、前記露光光ＥＬを、前記テストレチクルＲｔに一部に形成された瞳計測用開口Ｏｐを介して前記投影光学系ＰＬに入射させる。この状態で、前記受光筐体８２を、その上面が前記投影光学系ＰＬの像面に位置するように配置する。
【００８３】
前記収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂで検出された前記各スポット光ＳＬの集光点Ｆｐの位置情報、及び、瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂで検出された瞳の形状に関する情報は、前記制御基板９３に供給される。そして、それらの情報は、前記制御基板９３に設けられたワイヤレス送信機８６を介して、受光筐体８２の外部のインタフェイス８４のワイヤレス受信機８７に無線通信され、さらに前記波面収差算出部８３に供給される。
【００８４】
このように、前記各スポット光ＳＬの集光点Ｆｐの位置情報及び前記瞳の形状に関する情報の検出を、前記受光筐体８２を所定角度ずつ回転させながら、前記分割素子８８を複数の回転位置に配置して繰り返し行う。そして、前記制御基板９３は、その都度、検出された前記各スポット光ＳＬの集光点Ｆｐの位置情報及び前記瞳の形状に関する情報を前記インタフェイス８４を介して前記波面収差算出部８３に供給するようになっている。
【００８５】
この波面収差算出部８３は、供給された前記複数の回転位置での各スポット光ＳＬの集光点Ｆｐの位置情報及び前記瞳の形状に関する情報に基づいて、前記投影光学系ＰＬの波面収差情報の算出を繰り返す。そして、波面収差算出部８３は、算出された波面収差情報に平均等の統計処理を施して、前記投影光学系ＰＬの波面収差の算出結果を前記露光装置３０の主制御装置ＭＰＵに供給する。そして、この主制御装置ＭＰＵは、供給された波面収差の算出結果に基づいて、前記投影光学系ＰＬの収差を補正すべく、その投影光学系ＰＬ内の各レンズエレメントの姿勢や他のレンズエレメントとの相対位置を結像状態調整機構（図示略）を介して調整するようになっている。
【００８６】
次に、前記分割素子８８の製造方法について、説明する。
前記分割素子８８は、図４及び図６に示すように、５つのエレメントで構成されている。すなわち、この分割素子８８は、前記入射面９６を有する平行平板エレメント１１１、図４及び図６においてその下方に配置される２つの直角プリズムエレメント１１２，１１３、及び、そのさらに下方に配置される２つの下部エレメント１１４，１１５からなっている。この下部エレメント１１４，１１５の上部には、前記直角プリズムエレメント１１２，１１３の斜面１１２ａ，１１３ａに接するような斜面状の一端面１１４ａ，１１５ａが形成されている。
【００８７】
前記分割素子８８を製造するにあたっては、まず、前記平行平板エレメント１１１の入射面９６とは反対側の裏面１１１ａに、前記収差測定光ＭＬを透過しない材料で円環状の前記遮光体９９を形成する。
【００８８】
前記各直角プリズムエレメント１１２，１１３には、その直角部と対向する斜面１１２ａ，１１３ａに前記収差測定光ＭＬの一部を透過し、前記反射面９７で反射した光を反射する前記各第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂを形成する。また、その直角プリズムエレメント１１２，１１３のいずれか一方には、前記斜面１１２ａ，１１３ａが斜め下方を向くように配置したときの垂直面１１２ｂ，１１３ｂの少なくとも一方に、前記収差測定光ＭＬを透過しない材料で前記隔離体１０１の一部を形成する。この垂直面１１２ｂ，１１３ｂは、直角プリズムエレメント１１２，１１３同士を固定する固定面として機能する。
【００８９】
前記各下部エレメント１１４，１１５の前駆体１１４’，１１５’には、その一端面１１４ａ，１１５ａに前記直角プリズムエレメント１１２，１１３の斜面１１２ａ，１１３ａに対応する斜面を形成する。これに対して、その前駆体１１４’，１１５の他端面１１４ｂ、１１５ｂ側は、垂直平面１１４ｃ，１１５ｃと直交するような水平面のままとしておく。さらに、その前駆体１１４’，１１５’のいずれか一方には、前記垂直平面１１４ｃ，１１５ｃに前記収差測定光ＭＬを透過しない材料で前記隔離体１０１の一部を形成する。
【００９０】
そして、前記平行平板エレメント１１１の裏面１１１ａに、前記垂直面１１２ｂ，１１３ｂ同士が貼り合わされた両プリズムエレメント１１２，１１３の両水平面１１２ｃ，１１３ｃを貼り合わせる。次いで、前記両プリズムエレメント１１２，１１３の両斜面１１２ａ，１１３ａに、前記垂直平面１１４ｃ，１１５ｃ同士が貼り合わされた前記前駆体１１４’，１１５’の両一端面１１４ａ，１１５ａを貼り合わせる。このように、各エレメント１１１〜１１３及び前記前駆体１１４’，１１５’が貼り合わされたものは、その両端面が平面状をなす円柱体となっている。
【００９１】
次に、このような円柱体における前記下部エレメント１１４，１１５の前駆体１１４’、１１５’の他端面１１４ｂ，１１５ｂ側に、化学的気化加工法（ＣＶＭ： Chemical Vapor Machining ）により、前記入射面９６の中心を焦点位置とする放物面からなる反射面９７を形成する。そして、その反射面９７上に、例えば金属蒸着、金属めっき等を施して反射鏡を形成することにより、分割素子８８を形成する。
【００９２】
従って、本実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（イ）  この波面収差測定装置８１では、投影光学系ＰＬを通過した収差測定光ＭＬを第１平行光ＰＢ１と第２平行光ＰＢ２とに分割する分割素子８８を有している。また、この波面収差測定装置８１は、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２をさらに複数のスポット光ＳＬに分割する第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂと、その各スポット光ＳＬを受光する第１及び第２収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂとを有している。さらに、この波面収差測定装置８１は、前記各収差用ＣＣＤ９２ａ，９１ｂで受光した前記各スポット光ＳＬの位置情報に基づいて前記投影光学系ＰＬの波面収差情報を算出する波面収差算出部８３を有している。
【００９３】
このため、断面円形状の収差測定光ＭＬが、分割素子８８を介して、その光軸とほぼ直交する面内において断面略半円形状をなし、断面積が半分の第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割される。このため、投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定するために、その各平行光ＰＢ１，ＰＢ２をさらに複数のスポット光ＳＬに分割する第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂを小型化することができる。これにより、波面収差測定装置８１に入射する収差測定光ＭＬを単一で大型のマイクロレンズアレイを用いることなく、投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定することができる。従って、波面収差測定装置８１を小型化することができて、波面収差測定装置８１を露光装置３０に対して容易に取り付けることができる。また、波面収差情報を利用することで、投影光学系ＰＬの収差を迅速にかつ精度よく測定することができる。
【００９４】
（ロ）  この波面収差測定装置８１では、分割素子８８の収差測定光ＭＬをその光軸に対して交差する面内で第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割する。また、前記各第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂは、前記両平行光ＰＢ１，ＰＢ２を互いに異なる方向に偏向するようになっている。
【００９５】
このため、波面収差測定装置８１を投影光学系ＰＬの下方に配置され、大きな表面積を有するウエハステージＷＳに装着することで、そのウエハステージＷＳの表面またはその内部を利用して効率よく収差測定光ＭＬを分割することができる。従って、波面収差測定装置８１の一層の小型化を図ることができる。
【００９６】
（ハ）  この波面収差測定装置８１では、投影光学系ＰＬの結像位置を焦点位置とする凹面をなす反射面９７を有している。そして、第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂが、前記投影光学系ＰＬの結像位置と前記反射面９７との間に配置されている。そして、前記両第２ハーフミラー１０３ａ，１０３ｂは、収差測定光ＭＬを前記反射面９７に向けて透過するとともに、前記反射面９７で反射された前記収差測定光ＭＬを第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割するようになっている。
【００９７】
このため、波面収差測定装置８１に収束光として入射し、そして発散光となる収差測定光ＭＬを、簡単な構成で新たな収差成分が加えられることなく平行光ＰＢ１，ＰＢ２に変換することができる。
【００９８】
（ニ）  この波面収差測定装置８１では、第１平行光ＰＢ１を第１方向に偏向する第２ハーフミラー１０３ａと、第２平行光ＰＢ２を前記第１方向とは異なる第２方向に偏向する第２ハーフミラー１０３ｂとを有している。そして、前記第１平行光ＰＢ１と前記第２平行光ＰＢ２とを隔離する隔離体１０１を有している。
【００９９】
このため、第１平行光ＰＢ１が、第２方向に迷光として漏れ込んで第２方向の第２平行光ＰＢ２の位置情報の検出に影響が出るのが回避される。また、逆に、第２平行光ＰＢ２が、第１方向に迷光として漏れ込んで第１平行光ＰＢ１の位置情報の検出に影響が出るのが回避される。従って、互いに異なる方向に偏向された第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２の一方が、他方に対して迷光として影響するのを抑制できて、より正確に波面収差情報を検出することができる。
【０１００】
（ホ）  この波面収差測定装置８１では、第２ハーフミラー１０３ａで反射された第１平行光ＰＢ１が、第１マイクロレンズアレイ９０ａで複数のスポット光ＳＬに分割され、そのスポット光ＳＬを受光する第１収差用ＣＣＤ９１ａを有している。また、第２ハーフミラー１０３ｂで反射された第２平行光ＰＢ２が、第２マイクロレンズアレイ９０ｂで複数のスポット光ＳＬに分割され、そのスポット光ＳＬを受光する第２収差用ＣＣＤ９１ｂを有している。
【０１０１】
このため、第１収差用ＣＣＤ９１ａで検出された各スポット光ＳＬの位置情報と、第２収差用ＣＣＤ９１ｂで検出された各スポット光ＳＬの位置情報とを合成することで、もとの収差測定光ＭＬの波面収差情報を容易に算出することができる。
【０１０２】
（ヘ）  この波面収差測定装置８１では、分割素子８８において、収差測定光ＭＬの入射する入射面９６とその収差測定光ＭＬの分割された第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２を射出する射出面１０４ａ，１０４ｂとの間が、投影光学系ＰＬと分割素子８８との間の不活性ガスよりも屈折率の高い光学材料で形成されている。
【０１０３】
このため、収差測定光ＭＬが分割素子８８に入射すると、その収差測定光ＭＬの開き角度２θ１から２θ２（ここで、θ１＞θ２、図４参照）へと小さくなる。このため、反射面９７から射出される平行光ＰＢ１，ＰＢ２の幅が小さくなり、この平行光ＰＢ１，ＰＢ２を、さらに第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割することで、第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに入射する前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２における光軸とほぼ直交する面内での断面積がさらに小さくなる。従って、第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂ及び第１及び第２収差用ＣＣＤをさらに小型化することができ、さらに波面収差測定装置８１全体を一層小型化することができる。
【０１０４】
（ト）  この波面収差測定装置８１は、レチクルＲに形成されたパターンの像をウエハＷ上に転写する投影光学系ＰＬの波面収差を測定するものである。そして、この波面収差測定装置８１では、分割素子８８と第１及び第２マイクロレンズアレイ１０３ａ，１０３ｂと第１及び第２収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂとが、ウエハＷを保持するホルダ３４と実質的に同一形状の受光筐体８２内に収容されている。
【０１０５】
このため、波面収差測定装置８１を、容易に交換可能なホルダ３４と同様に取り扱うことが可能になる。従って、波面収差測定装置８１の露光装置３０に対する装着を、ホルダ３４を交換する搬送システム６８を用いて行うことができ、その装着作業を極めて容易に行うことができる。
【０１０６】
（チ）  この波面収差測定装置８１では、分割素子８８を投影光学系ＰＬの光軸ＡＸの周りに回転させて、その分割素子８８の複数の回転位置で投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定する。そして、その複数の回転位置での波面収差情報に基づいて、前記投影光学系ＰＬの波面収差情報を算出し直すようになっている。
【０１０７】
このため、分割素子８８における複数の回転位置における投影光学系ＰＬの波面収差情報に基づいて、投影光学系ＰＬの収差情報をより正確に把握することができる。
【０１０８】
（リ）  この波面収差測定装置８１では、分割素子８８における収差測定光ＭＬの入射面９６の近傍に、その入射面９６の近傍を通過する収差測定光ＭＬの通過を許容する開口９８が設けられている。そして、その開口９８の外側には、前記分割素子８８から投影光学系ＰＬ側に戻ってくる収差測定光ＭＬの一部を遮光する遮光体９９が設けられている。
【０１０９】
このため、分割素子８８内で反射され、迷光として投影光学系ＰＬ側に戻ってくる収差測定光ＭＬの一部が、遮光体９９により遮光される。従って、分割素子８８側からの迷光の影響を抑制できて、より正確に被検光学系ＰＬの波面収差情報を検出することができる。
【０１１０】
（ヌ）  この波面収差測定装置８１では、分割素子８８と前記第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間における、前記分割素子８８の射出面１０４ａ，１０４ｂとほぼ同じ高さ位置に、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂが設けられている。これら各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂは、それぞれ第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２の一部を透過させるとともに、他の一部を反射させてほぼ直角に折り曲げる。そして、その各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂで折り曲げられた平行光ＰＢ１，ＰＢ２の他の一部を受光する第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂが設けられている。
【０１１１】
このため、第１及び第２収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂと、分割素子８８から射出される第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２の瞳の形状を観察するための第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂとを、分割素子８８の射出面１０４ａ，１０４ｂとほぼ同じ高さ位置に配置することが可能となる。従って、前記両収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂに加えて、さらに前記両瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂを装備する構成にも関わらず、波面収差測定装置８１の収差測定光ＭＬの入射方向における大型化を抑制することができる。
【０１１２】
（ル）  この露光装置３０では、収差測定光ＭＬを生成するピンホールＰＨを有するテストレチクルＲｔを、投影光学系ＰＬの物体面側のレチクルステージＲＳに配置する。そして、波面収差測定装置８１を前記投影光学系ＰＬの像面側に配置して、投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定するようになっている。
【０１１３】
このため、投影光学系ＰＬの波面収差情報を迅速かつ容易に、しかも精度よく測定することができ、測定された波面収差情報を利用して投影光学系ＰＬの結像特性を精度よく補正することができる。
【０１１４】
（第２実施形態）
つぎに、本発明の第２実施形態について、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【０１１５】
図７に示すように、この第２実施形態の波面収差測定装置１２１では、前記分割素子８８の入射面９６の投影光学系ＰＬ側に集光光学系としての集光レンズ１２２が設けられている。そして、この波面収差測定装置１２１を用いる場合には、この集光レンズ１２２の上面１２３を投影光学系ＰＬの像面に合わせ込んで、その投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定するようになっている。
【０１１６】
従って、本実施形態によれば、前記第１実施形態における（イ）〜（ル）に記載したのとほぼ同様の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
（ヲ）  ここで、例えば収差測定光ＭＬの光量が少ないような場合には、テストレチクルＲｔ上の球面波を発生させるピンホールＰＨの開口径を拡大して波面収差測定装置１２１に到達する収差測定光ＭＬの光量を増加させることがある。しかし、このようにテストレチクルＲｔ上のピンホールＰＨの開口径を拡大すると、波面収差測定装置１２１の入射面９６で、収差測定光ＭＬが所定の大きさを持った像として結像される。この収差測定光ＭＬを分割素子８８内の反射面９７で反射させて平行光に変換すると、その平行光の外側部分に新たに収差を生じるおそれがある。
【０１１７】
これに対して、この波面収差測定装置１２１では、収差測定光ＭＬは、集光レンズ１２２を介して分割素子８８に入射することになるため、前記のような外側部分に生じる収差が補正される。従って、前記のようにテストレチクルＲｔ上のピンホールＰＨの開口径が拡大されているような場合にも、投影光学系ＰＬの波面収差情報を迅速かつ高精度に測定することができる。
【０１１８】
また、収差測定光ＭＬを集光レンズ１２２を通過させることで、分割素子８８内における収差測定光ＭＬの開き角θ３が、前記第１実施形態の同分割素子８８内での開き角θ２よりさらに小さくなる。このため、反射面９７から射出される平行光ＰＢ１，ＰＢ２の幅が一層小さくなる。これにより、この平行光ＰＢ１，ＰＢ２を、さらに第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割することで、第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに入射する各平行光ＰＢ１，ＰＢ２における光軸とほぼ直交する面内での断面積が一層小さくなる。従って、第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂ及び第１及び第２収差用ＣＣＤ９１ａ，９１ｂを一層小型化することができる。
【０１１９】
（第３実施形態）
つぎに、本発明の第３実施形態について、前記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【０１２０】
図８に示すように、この第３実施形態の波面収差測定装置１３１では、前記第２実施形態の波面収差測定装置１２１において、その分割素子８８の各射出面１０４ａ，１０４ｂの各マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂ側にリレー光学系としてのリレーレンズ１３２が設けられている。なお、このリレーレンズ１３２も、分割された各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の光軸と直交する断面での形状に対応する平面形状、つまり略半円形状をなすように形成されている。
【０１２１】
従って、本実施形態によれば、前記各実施形態における（イ）〜（ヲ）に記載したのとほぼ同様の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
（ワ）  このように、リレーレンズ１３２を介在させることで、分割素子８８から射出される各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の瞳位置を自由に調整することが可能となる。従って、波面収差測定装置１３１の設計の自由度を向上することができる。
【０１２２】
（第４実施形態）
つぎに、本発明の第４実施形態について、前記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【０１２３】
図９に示すように、この第４実施形態の波面収差測定装置１４１では、分割素子の構成が前記各実施形態とは異なっている。すなわち、この波面収差測定装置１４１における第１光学系としての分割素子１４２は、平行平板ガラス１４３とコリメータレンズ１４４と反射光学素子としてのプリズム１４５とからなっている。
【０１２４】
前記平行平板ガラス１４３は、その上面が投影光学系ＰＬを通過した収差測定光ＭＬの入射面９６をなしている。前記投影光学系ＰＬの波面収差情報の測定時には、この平行平板ガラス１４３は、その入射面９６が投影光学系ＰＬの結像面に一致するように配置される。前記コリメータレンズ１４４は、前記平行平板ガラス１４３の下方に配置され、その平行平板ガラス１４３を介して入射し、発散光をなす収差測定光ＭＬを平行光ＰＢに変換する役割を担っている。
【０１２５】
前記プリズム１４５は、断面直角三角形状をなしており、前記コリメータレンズ１４４の下方において稜１４６が前記収差測定光ＭＬの光軸に直交するように配置されている。この稜１４６を挟む一対の斜面は、反射膜が形成された第１及び第２反射面１４７ａ，１４７ｂとなっている。そして、この両反射面１４７ａ，１４７ｂにより前記平行光ＰＢが、第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割されるようになっている。ここで、第１反射面１４７ａは、前記第１平行光ＰＢ１を図９において左方向の第１方向に偏向する。一方、第２反射面１４７ｂは、前記第２平行光ＰＢ２を図９において右方向の第１方向とは反対の第２方向に偏向するようになっている。そして、これら両反射面１４７ａ，１４７ｂは、前記各平行光ＰＢ１，ＰＢ２の射出面を兼ねている。そして、このプリズム１４５で分割され、偏向された第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２が、それぞれ第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに入射するようになっている。
【０１２６】
また、この波面収差測定装置１４１では、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂとが省略されている。
従って、本実施形態によれば、前記第１実施形態における（イ）、（ロ）、（ホ）、（ト）、（チ）及び（ル）に記載したのとほぼ同様の効果に加えて、以下のような効果を得ることができる。
【０１２７】
（カ）  この波面収差測定装置１４１では、入射した収差測定光ＭＬを断面直角三角形状のプリズム１４５で、第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に分割している。このように単純な形状のプリズム１４５でもって、前記収差測定光ＭＬを分割することが可能となり、波面収差測定装置１４１の構成の簡素化を図ることができる。
【０１２８】
（第５実施形態）
つぎに、本発明の第５実施形態について、前記各実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【０１２９】
図１０に示すように、この第５実施形態の波面収差測定装置１５１では、分割素子の構成が前記各実施形態とは異なっている。すなわち、この波面収差測定装置１５１における第１光学系としての分割素子１５２は、反射光学素子としてのプリズム１５３とコリメータレンズ１５４とからなっている。
【０１３０】
前記プリズム１５３は、前記第４実施形態のプリズム１４５とほぼ同様の構成のものである。ただし、この波面収差測定装置１５１のプリズム１５３は、その稜１５５が投影光学系ＰＬの結像位置より投影光学系ＰＬ側で収差測定光ＭＬの光軸に直交するように配置されている。この稜１５５を挟む一対の斜面は、反射膜が形成された第１及び第２反射面１５６ａ，１５６ｂとなっている。そして、この両反射面１５６ａ，１５６ｂにより前記収差測定光ＭＬが、第１の光としての第１及び第２反射光ＲＢ１，ＲＢ２に分割されるようになっている。ここで、第１反射面１５６ａは、前記第１反射光ＲＢ１を図１０において左方向の第１方向に偏向する。一方、第２反射面１５６ｂは、前記第２反射光ＲＢ２を図１０において右方向の第１方向とは反対の第２方向に偏向するようになっている。
【０１３１】
前記各反射面１５６ａ，１５６ｂで反射された前記各反射光ＲＢ１，ＲＢ２は、一旦焦点を結んだ後に、プリズム１５３と第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間に配設された第１及び第２コリメータレンズ１５４ａ，１５４ｂにそれぞれ入射するようになっている。そして、この各コリメータレンズ１５４ａ，１５４ｂにより、前記各反射光ＲＢ１，ＲＢ２がそれぞれ第１及び第２平行光ＰＢ１，ＰＢ２に変換され、その各平行光ＰＢ１，ＰＢ２が前記各マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂに入射するようになっている。
【０１３２】
また、この波面収差測定装置１５１では、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂとが省略されている。
従って、本実施形態によれば、前記第４実施形態に記載したのとほぼ同様の効果を得ることができる。
【０１３３】
（変更例）
なお、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・  前記第１〜第３実施形態において、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂとを省略してもよい。
【０１３４】
・  前記第４実施形態において、プリズム１４５と第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間に、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂを設け、その各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと対応するように第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂを設けてもよい。
【０１３５】
・  前記第５実施形態において、第１及び第２コリメータレンズ１５４ａ，１５４ｂと第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間に、第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂを設け、その各第１ハーフミラー８９ａ，８９ｂと対応するように第１及び第２瞳計測用ＣＣＤ９２ａ，９２ｂを設けてもよい。
【０１３６】
・  前記第４実施形態において、プリズム１４５と第１及び第２ミクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間に、リレーレンズ１３２を設けてもよい。
・  前記第５実施形態において、第１及び第２コリメータレンズ１５４ａ，１５４ｂと第１及び第２マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂとの間に、リレーレンズ１３２を設けてもよい。
【０１３７】
・  前記各実施形態において、収差測定光ＭＬを、例えば３つ以上の平行光に分割し、その分割された平行光のそれぞれに対応するようにマイクロレンズアレイ及び収差用ＣＣＤを設けるようにしてもよい。
【０１３８】
・  前記第各実施形態において、第１平行光ＰＢ１と第２平行光ＰＢ２とを必ずしも正反対の方向に偏向させる必要はなく、また両平行光ＰＢ１，ＰＢ２も、必ずしもほぼ直角に折り曲げる必要もない。要は、受光筐体８２内で、折り曲げられた各平行光ＰＢ１，ＰＢ２がその受光筐体８２の内壁に干渉しない範囲であって、第１平行光ＰＢ１と第２平行光ＰＢ２とが互いに異なる方向に折り曲げられる構成であればよい。
【０１３９】
・  前記各実施形態では、各ＣＣＤ９１ａ，９１ｂ，９２ａ，９２ｂで検出された情報を、ワイヤレス通信で波面収差算出部８３に供給する構成とした。これに対して、例えばウエハステージＷＳ等の波面収差測定装置８１，１２１，１３１，１４１が接する場所に、その波面収差測定装置８１，１２１，１３１，１４１との電気的接点を設け、その電気的接点を介して前記各ＣＣＤ９１ａ，９１ｂ，９２ａ，９２ｂで検出された情報を波面収差算出部８３に供給するようにしてもよい。
【０１４０】
・  前記各実施形態では、分割素子８８，１４２，１５２を複数の回転位置で投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定する構成としたが、前記分割素子８８，１４１，１５２を回転させることなく、例えば代表的な１つの位置で投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定するようにしてもよい。
【０１４１】
・  前記各実施形態では、投影光学系ＰＬに入射する収差測定光ＭＬに球面波を発生させるための生成部材として、ピンホールＰＨが形成されたテストレチクルＲｔを用いる構成について説明した。しかしながら、本発明は、収差測定光ＭＬに球面波ＳＷを発生できるものであれば、この構成に限定されるものではない。例えば、投影光学系ＰＬの波面収差情報を測定するに際しては、テストレチクルＲｔに代えて、レチクルステージＲＳ上に開口部を形成し、この開口部を塞ぐように取り付けられた透明板上に、ピンホールＰＨパターンを形成してもよい。その他に、通常のデバイス用レチクルに、同様のピンホールＰＨパターンを形成してもよい。また、レチクルステージＲＳ自体に、同様のピンホールＰＨパターンを形成してもよい。これらの場合、前記ピンホールＰＨの数は、１つであってもよいし、複数であってもよい。
【０１４２】
・  前記各実施形態において、前記投影光学系ＰＬの照明領域内の複数箇所について波面収差情報を測定し、それらの波面収差情報に基づいて、投影光学系ＰＬの収差情報を求めるようにしてもよい。
【０１４３】
・  前記各実施形態では、露光光ＥＬとしてＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）あるいはＦ２レーザ（１５７ｎｍ）を露光光ＥＬとしたが、露光光ＥＬとして、例えばＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、Ｋｒ２レーザ（１４６ｎｍ）、Ａｒ２レーザ（１２６ｎｍ）等の他、金属蒸気レーザやＹＡＧレーザの高調波、あるいはｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）等の超高圧水銀ランプの輝線等を採用してもよい。
【０１４４】
・  前記各実施形態では、前記露光光ＥＬとは異なる収差測定光ＭＬを投影光学系ＰＬに入射させて波面収差情報の測定を行ってもよい。この場合、収差測定光ＭＬとしては、例えばＤＦＢ半導体レーザまたはファイバレーザから発振される赤外域、または可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（またはエルビウムとイッテルビウムの双方）がドープされたファイバアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換された高調波を用いてもよい。また、収差測定光ＭＬとしては、アルゴンランプ、クリプトンランプ、キセノンランプ等の希ガス放電ランプ、キセノン−水銀ランプ、ハロゲンランプ、蛍光灯、白熱灯、水銀灯、ナトリウムランプ、メタルハライドランプ等から出射される紫外光、可視光または赤外光、またはそれらの光を単波長化した光の高調波、ＹＡＧレーザ光、金属蒸気レーザ光等の高調波等も適用できる。
【０１４５】
・  前記各実施形態では、露光装置３０の投影光学系ＰＬを波面収差情報の測定対象の被検光学系として具体化したが、露光装置３０における照明光学系ＩＬ等その他の光学系、あるいは露光装置とは異なった光学装置における光学系の波面収差測定装置に具体化してもよい。
【０１４６】
・  前記各実施形態では、本発明を半導体素子製造用の露光装置３０に適用している。これに対して、例えば液晶表示素子（ＬＣＤ）などを含むディスプレイの製造に用いられてデバイスパターンをガラスプレート上へ転写する露光装置、薄膜磁気ヘッドの製造に用いられてデバイスパターンをセラミックウエハ上へ転写する露光装置、及びＣＣＤ等の撮像素子の製造に用いられる露光装置等にも、本発明を適用することができる。
【０１４７】
また、半導体素子等のデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるレチクルまたはマスクを製造するために、マザーレチクルからガラス基板やシリコンウエハ等へ回路パターンを転写する露光装置にも本発明を適用できる。ここで、ＤＵＶ（深紫外）やＶＵＶ（真空紫外）光等を用いる露光装置では、一般的に透過型レチクルが用いられ、レチクル基板としては石英ガラス、フッ素がドープされた石英ガラス、蛍石、フッ化マグネシウム、または水晶などが用いられる。また、プロキシミティ方式のＸ線露光装置や電子線露光装置等では、透過型マスク（ステンシルマスク、メンブレンマスク）が用いられ、マスク基板としてはシリコンウエハ等が用いられる。
【０１４８】
・  また、露光装置として、投影光学系ＰＬを用いることなく、マスクと基板とを密接させてマスクのパターンを露光するコンタクト露光装置、マスクと基板とを近接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光装置の光学系にも適用することができる。また、投影光学系としては、全屈折タイプに限らず、反射屈折タイプであってもよい。
【０１４９】
・  さらに、本発明の露光装置は、縮小露光型の露光装置に限定されるものではなく、本発明を、例えば等倍露光型、拡大露光型の露光装置に適用してもよい。また、本発明は、マスクと基板とを相対移動させながらマスクのパターンを基板へ転写し、基板を順次ステップ移動させるスキャニング・ステッパに限らず、マスクと基板とを静止した状態でマスクのパターンを基板へ転写し、基板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の露光装置に適用してもよい。
【０１５０】
・  前記各実施形態におけるレンズエレメント、分割素子８８，１４２、マイクロレンズアレイ９０ａ，９０ｂ等の光学素子としては、蛍石、石英などが主に採用されるが、フッ化リチウム、フッ化マグネシウム、フッ化ストロンチウム、リチウム−カルシウム−アルミニウム−フロオライド、及びリチウム−ストロンチウム−アルミニウム−フロオライド等の結晶や、ジルコニウム−バリウム−ランタン−アルミニウムからなるフッ化ガラスや、フッ素をドープした石英ガラス、フッ素に加えて水素もドープされた石英ガラス、ＯＨ基を含有させた石英ガラス、フッ素に加えてＯＨ基を含有した石英ガラス等の改良石英を用いてもよい。
【０１５１】
なお、複数のレンズから構成される照明光学系ＩＬ、投影光学系ＰＬを露光装置３０の本体に組み込み光学調整するとともに、多数の機械部品からなるレチクルステージＲＳやウエハステージＷＳを露光装置３０の本体に取り付けて配線や配管を接続し、さらに総合調整（電気調整、動作確認等）をすることにより前記実施形態の露光装置３０を製造することができる。露光装置３０の製造は、温度及びクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
【０１５２】
次に、上述した露光装置３０をリソグラフィ工程で使用したデバイスの製造方法の実施形態について説明する。
図１１は、デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子、液晶表示素子、撮像素子（ＣＣＤ等）、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の製造例のフローチャートを示す図である。図１１に示すように、まず、ステップＳ２０１（設計ステップ）において、デバイスの機能・性能設計（例えば、半導体デバイスの回路設計等）を行い、その機能を実現するためのパターン設計を行う。引き続き、ステップＳ２０２（マスク製作ステップ）において、設計した回路パターンを形成したマスク（レクチルＲ等）を製作する。一方、ステップＳ２０３（基板製造ステップ）において、シリコン、ガラスプレート等の材料を用いて基板（シリコン材料を用いた場合にはウエハＷとなる。）を製造する。
【０１５３】
次に、ステップＳ２０４（基板処理ステップ）において、ステップＳ２０１〜Ｓ２０３で用意したマスクと基板を使用して、後述するように、リソグラフィ技術等によって基板上に実際の回路等を形成する。次いで、ステップＳ２０５（デバイス組立ステップ）において、ステップＳ２０４で処理された基板を用いてデバイス組立を行う。このステップＳ２０５には、ダイシング工程、ボンディング工程、及びパッケージング工程（チップ封入等）等の工程が必要に応じて含まれる。
【０１５４】
最後に、ステップＳ２０６（検査ステップ）において、ステップＳ２０５で作製されたデバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経た後にデバイスが完成し、これが出荷される。
【０１５５】
図１２は、半導体デバイスの場合における、図１２のステップＳ２０４の詳細なフローの一例を示す図である。図１２において、ステップＳ２１１（酸化ステップ）では、ウエハＷの表面を酸化させる。ステップＳ２１２（ＣＶＤステップ）では、ウエハＷ表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ２１３（電極形成ステップ）では、ウエハＷ上に電極を蒸着によって形成する。ステップＳ２１４（イオン打込みステップ）では、ウエハＷにイオンを打ち込む。以上のステップＳ２１１〜Ｓ２１４のそれぞれは、ウエハ処理の各段階の前処理工程を構成しており、各段階において必要な処理に応じて選択されて実行される。
【０１５６】
ウエハプロセスの各段階において、上述の前処理工程が終了すると、以下のようにして後処理工程が実行される。この後処理工程では、まず、ステップＳ２１５（レジスト形成ステップ）において、ウエハＷに感光剤を塗布する。引き続き、ステップＳ２１６（露光ステップ）において、先に説明したリソグラフィシステム（露光装置３０）によってマスク（レチクルＲ）の回路パターンをウエハＷ上に転写する。次に、ステップＳ２１７（現像ステップ）では露光されたウエハＷを現像し、ステップＳ２１８（エッチングステップ）において、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去る。そして、ステップＳ２１９（レジスト除去ステップ）において、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
【０１５７】
これらの前処理工程と後処理工程とを繰り返し行うことによって、ウエハＷ上に多重に回路パターンが形成される。
以上説明した本実施形態のデバイス製造方法を用いれば、露光工程（ステップＳ２１６）において上記の露光装置３０が用いられ、真空紫外域の露光光ＥＬにより解像力の向上が可能となり、しかも露光量制御を高精度に行うことができる。さらに、投影光学系ＰＬの収差を高精度に測定して、その投影光学系ＰＬの結像特性をより正確に補正でき、マスク上のパターンの像をより高精度に転写することが可能となる。しかも、投影光学系ＰＬの収差測定のための露光装置３０の運転停止時間を短縮することが可能となる。従って、結果的に最小線幅が０．１μｍ程度の高集積度のデバイスを高精度に歩留まりよく生産することができる。
【０１５８】
【発明の効果】
以上詳述したように、本願請求項１及び請求項９に記載の発明によれば、波面収差測定装置を小型化することができて、露光装置に対する装着が容易となり、被検光学系の収差を迅速かつ高精度に測定することができる。
【０１５９】
また、本願請求項２に記載の発明によれば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、収差測定光を効率よく分割することができて、波面収差測定装置の一層の小型化を図ることができる。
【０１６０】
また、本願請求項３に記載の発明によれば、前記請求項２に記載の発明の効果に加えて、簡単な構成で収差測定光を平行光に変換することができる。
また、本願請求項４に記載の発明によれば、前記請求項２または請求項３に記載の発明の効果に加えて、他の方向に偏向された第１の光による迷光の影響を抑制できて、より正確に波面収差情報を検出することができる。
【０１６１】
また、本願請求項５に記載の発明によれば、前記請求項４に記載の発明の効果に加えて、第１受光素子での検出結果と第２受光素子での検出結果とを合成することで、もとの収差測定光の波面収差情報を容易に算出することができる。
【０１６２】
また、本願請求項６に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、装置全体を一層小型化することができる。
【０１６３】
また、本願請求項７及び請求項１２に記載の発明によれば、前記請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、波面収差測定装置を、露光装置に対して基板を保持するホルダの交換装置を用いて装着でき、その装着作業が極めて容易なものとなる。
【０１６４】
また、本願請求項８に記載の発明によれば、前記請求項１に記載の発明の効果に加えて、各第２の光間でのクロストークなどの影響が少なくなり、各第２の光の測定結果から前記第１の光の波面を復元するための計算時に有利である。
【０１６５】
また、本願請求項１０に記載の発明によれば、前記請求項９に記載の発明の効果に加えて、第１光学系における複数の回転位置における被検光学系の波面収差情報に基づいて、被検光学系の収差情報をより正確に把握することができる。
【０１６６】
また、本願請求項１１に記載の発明によれば、投影光学系の結像特性を精度よく補正することができ、露光精度の向上を図ることができる。
また、本願請求項１３に記載の発明によれば、デバイスを高精度にかつ生産性よく製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  露光装置を示す概略構成図。
【図２】  図１のウエハステージにおけるウエハ交換に関する説明図。
【図３】  第１実施形態の波面収差測定装置を示す概略構成図。
【図４】  図３の受光部を示す断面図。
【図５】  図３の受光部を示す平断面図。
【図６】  図３の分割素子を拡大して示す断面図。
【図７】  第２実施形態の波面収差測定装置の受光部を示す断面図。
【図８】  第３実施形態の波面収差測定装置の受光部を示す断面図。
【図９】  第４実施形態の波面収差測定装置の受光部を示す断面図。
【図１０】  第５実施形態の波面収差測定装置の受光部を示す断面図。
【図１１】  デバイスの製造例のフローチャート。
【図１２】  半導体デバイスの場合における図１１の基板処理に関する詳細なフローチャート。
【図１３】  従来の波面収差測定装置の概略構成図。
【図１４】  （ａ）は投影光学系に収差が存在しない場合の、（ｂ）は投影光学系に収差が存在する場合の波面収差測定装置における波面収差の計測状態に関する説明図。
【図１５】  従来の波面収差測定装置における一改良例の概略構成図。
【符号の説明】
３０…露光装置、３４…ホルダ、６８…搬送系としての搬送システム、８１，１２１，１３１，１４１，１５１…波面収差測定装置、８２…収容部材としての受光筐体、８８，１４２，１５２…第１光学系としての分割素子、８３…収差算出装置としての波面収差算出部、９０ａ…第２光学系として第１マイクロレンズアレイ、９０ｂ…第２光学系として第２マイクロレンズアレイ、９１ａ…受光装置及び第１受光素子としての第１収差測定用撮像素子、９２ａ…受光装置及び第２受光素子としての第２収差測定用撮像素子、９６…入射面、９７…反射鏡を構成する反射面、１０１…隔離部材としての隔離体、１０３ａ…反射光学素子及び第１反射面を構成する第２ハーフミラー、１０３ｂ…反射光学素子及び第２反射面を構成する第２ハーフミラー、１０４ａ，１０４ｂ…射出面、１４５，１５３…反射光学素子としてのプリズム、１４７ａ，１５６ａ…第１反射面、１４７ｂ，１５６ｂ…第２反射面、ＭＬ…収差測定光、ＰＢ１…第１の光としての第１平行光、ＰＢ２…第２の光としての第２平行光、ＰＬ…被検光学系としての投影光学系、Ｒ…マスクとしてのレチクル、ＲＢ１…第１の光としての第１反射光、ＲＢ２…第２の光としての第２反射光、Ｒｔ…生成部材としてのテストレチクル、ＳＬ…第２の光としてのスポット光、Ｗ，Ｗ’…基板としてのウエハ、ＷＳ…基板ステージとしてのウエハステージ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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