(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体制御器本体(5)と、これに対して９０度回動させられることによって全開・全閉を切り換える流路開閉ハンドル(8)と、流体制御器本体(5)に固定されたストッパ支持体(22)と、ストッパ支持体(22)に回動不可能にかつ上下移動可能に設けられて上方移動時に流路開閉ハンドル(8)に係合してその回動を阻止するストッパ(26)とを備えている流体制御器において、ストッパ(26)に、全開位置の流路開閉ハンドル(8)の回動を阻止する全開時回動阻止部(32)と、全閉位置の流路開閉ハンドル(8)の回動を阻止する全閉時回動阻止部(31)とが設けられており、流路開閉ハンドル(8)が、平面から見て略楕円状となされ、ストッパ支持体(22)は、第１および第２部材(24)(25)が結合されることにより略方形の板状に形成され、各部材(24)(25)に、両部材(24)(25)が結合されたさいに本体嵌入用貫通孔(23)となる凹所(33)(34)およびストッパ嵌入用貫通孔(28)となる凹所(35)(36)が形成されており、ストッパ(26)が、ストッパ嵌入用貫通孔(28)に摺動自在に嵌め入れられかつ錠取付け孔(43)が設けられた垂直部(29)と、この上端に位置する水平部(30)とよりなり、ストッパ(26)の水平部(30)に、流路開閉ハンドル(8)が全開および全閉のいずれか一方の位置にあるときにその一側面に当接する全閉時回動阻止部としての凹面(31)が形成され、この凹面(31)の中央部に、流路開閉ハンドル(8)が全開位置にあるときにその一端部を収める全開時回動阻止部としての凹所(32)が設けられており、全閉時回動阻止部としての凹面(31)は、その各端部に流路開閉ハンドル(8)の両端部近傍の一側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動を阻止し、全開時回動阻止部としての凹所(32)は、その各側面に流路開閉ハンドル(8)の一端部の両側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動を阻止することを特徴とする流体制御器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置などに使用される開閉弁等の流体制御器に関し、特に、流路開閉ハンドルを所定位置でロックする装置を有している流体制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置で使用される流体制御器には、流路開閉ハンドルを手動で回動して流路を全開または全閉とされるものがあるが、このような流体制御器では、装置の稼働中に流路開閉ハンドルの位置が変わってしまい、正しく流体が流れなくなって製品に悪影響を与えるなどの事故につながるという問題があったことから、全開および全閉のうちいずれか一方の位置で流路開閉ハンドルを固定しておく流路開閉ハンドルのロック装置が提案されている（特開平１１−６５８１号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の流路開閉ハンドルのロック装置は、全開および全閉のうちいずれか一方でしか流路開閉ハンドルを固定しないため、誤操作防止という従来の問題を完全に解消することはできなかった。
【０００４】
この発明の目的は、流路開閉に関連する誤操作を完全に無くすことができる流体制御器を提供することにある。
【０００５】
また、この発明の他の目的は、上記流路開閉ハンドルのロック機能を有しており、しかも、平面から見たスペースを増加させない流体制御器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御器は、流体制御器本体と、これに対して９０度回動させられることによって全開・全閉を切り換える流路開閉ハンドルと、流体制御器本体に固定されたストッパ支持体と、ストッパ支持体に回動不可能にかつ上下移動可能に設けられて上方移動時に流路開閉ハンドルに係合してその回動を阻止するストッパとを備えている流体制御器において、ストッパに、全開位置の流路開閉ハンドルの回動を阻止する全開時回動阻止部と、全閉位置の流路開閉ハンドルの回動を阻止する全閉時回動阻止部とが設けられており、流路開閉ハンドルが、平面から見て略楕円状となされ、ストッパ支持体は、第１および第２部材が結合されることにより略方形の板状に形成され、各部材に、両部材が結合されたさいに本体嵌入用貫通孔となる凹所およびストッパ嵌入用貫通孔となる凹所が形成されており、ストッパが、ストッパ嵌入用貫通孔に摺動自在に嵌め入れられかつ錠取付け孔が設けられた垂直部と、この上端に位置する水平部とよりなり、ストッパの水平部に、流路開閉ハンドルが全開および全閉のいずれか一方の位置にあるときにその一側面に当接する全閉時回動阻止部としての凹面が形成され、この凹面の中央部に、流路開閉ハンドルが全開位置にあるときにその一端部を収める全開時回動阻止部としての凹所が設けられており、全閉時回動阻止部としての凹面は、その各端部に流路開閉ハンドルの両端部近傍の一側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動を阻止し、全開時回動阻止部としての凹所は、その各側面に流路開閉ハンドルの一端部の両側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動を阻止することを特徴とするものである。
【０００７】
流体制御器本体とは、流体制御器のうちの回動する流路開閉ハンドルに対して固定されている部分を意味し、例えば流体制御器が、流路が設けられている弁箱（ボディ）とこれに被せられて固定されている弁蓋（ボンネット）とを有している場合には、両者を合わせたものを流体制御器本体というものとする。
【０００８】
この発明の流体制御器によると、流路開閉ハンドルに係合してその回動を阻止するストッパが、流体制御器本体に固定されたストッパ支持体に対して回動不可能であるから、流路開閉ハンドルが全開・全閉どちらの位置にあっても、不注意によってその位置が変わってしまうことがなくなり、正しく流体が流れなくなって製品に悪影響を与えるなどの事故が防止される。
【０００９】
流路開閉ハンドルが、平面から見て略楕円状となされ、ストッパ支持体は、第１および第２部材が結合されることにより略方形の板状に形成され、各部材に、両部材が結合されたさいに本体嵌入用貫通孔となる凹所およびストッパ嵌入用貫通孔となる凹所が形成されており、ストッパが、ストッパ嵌入用貫通孔に摺動自在に嵌め入れられかつ錠取付け孔が設けられた垂直部と、この上端に位置する水平部とよりなり、ストッパの水平部に、流路開閉ハンドルが全開および全閉のいずれか一方の位置にあるときにその一側面に当接する全開時回動阻止部としての凹面が形成され、この凹面の中央部に、流路開閉ハンドルが同他方の位置にあるときにその一端部を収める全閉時回動阻止部としての凹所が設けられていることにより、平面から見て、ロック装置が流体制御器本体よりもはみ出す部分を少なくすることができ、この流体制御器に隣り合う機器に干渉することなく、ロック機構付き流体制御器を設置することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左右を左右といい、図２の下を前、上を後というものとする。
【００１１】
この発明の流体制御器(1)は、公知のダイヤフラム弁に流路開閉ハンドルのロック装置(21)が付加されたものであり、入口管継手部(3)および出口管継手部(4)が設けられたボディ(2)と、ボディ(2)上部に嵌め被せられた略円筒状のボンネット(5)と、ボンネット(5)をボディ(2)に固定するボンネットナット(6)と、ボンネット(5)に嵌め被せられたパネルナット(7)と、時計回りまたは反時計回りに回動させられる流路開閉ハンドル(8)と、流路開閉ハンドルのロック装置(21)と、流路開閉ハンドル(8)の回動に伴って上下動する弁棒およびこれの上下動に伴ってボディ(2)内の入口通路と出口通路との連通を遮断または開放するダイヤフラム（図示略）とを備えている。
【００１２】
入口管継手部(3)はボディ(2)より左方に突出し、出口管継手部(4)はボディ(2)より右方に突出している。流路開閉ハンドル(8)は、平面から見て略楕円状とされており、全閉時には、図１および図２に示すように、その長手方向が前後方向に向けられて入口管継手部(3)と出口管継手部(4)とをつなぐ方向と直交させられ、全開時には、図３および図４に示すように、その長手方向が左右方向に向けられて入口管継手部(3)と出口管継手部(4)とをつなぐ方向と一致させられる。
【００１３】
ハンドルロック装置(21)は、全閉位置および全開位置にある流路開閉ハンドル(8)をその位置で固定するもので、流体制御器本体(5)に固定されたストッパ支持体(22)と、ストッパ支持体(22)に回動不可能にかつ上下移動可能に設けられ、流路開閉ハンドル(8)に係合してその回動を阻止するストッパ(26)と、ストッパ(26)の係合を解除できる者を鍵所持者に限定する錠(27)とを備えている。
【００１４】
ボンネット(5)は略円筒状であるが、図２および図４に示すように、流路開閉ハンドル(8)のすぐ下方の露出部分の外周面の前後部分が削られることにより、ボンネット(5)には、互いに平行な前側および後側の平坦面(5a)(5b)が形成されている。
【００１５】
ストッパ支持体(22)は、全体として方形板状であり、ボンネット(5)の互いに平行な前後平坦面(5a)(5b)と高さが等しい右半部(22a)と、これより高さが低くストッパ(26)を受けている左半部(22b)とを備えている。ストッパ支持体(22)の右部には、本体嵌入用貫通孔(23)が、その一部が左半部(22b)にかかるようにして設けられており、ストッパ支持体(22)の左半部(22b)には、本体嵌入用貫通孔(23)より前後幅が狭く左右に長い方形のストッパ嵌入用貫通孔(28)が設けられている。
【００１６】
図６および図７に詳しく示すように、ストッパ支持体(22)は、同一形状の前側の半体（第１部材）(24)と後側の半体第２部材(25)とが互いに突き合わされて結合されることにより形成されている。第１および第２部材(24)(25)の突き合わせ部には、両部材(24)(25)が結合されたさいに本体嵌入用貫通孔(23)となる水平断面長方形の凹所(33)(34)およびストッパ嵌入用貫通孔(28)となる水平断面長方形の凹所(35)(36)が形成されている。また、その凹所(33)(34)と凹所(35)(36)の間にある突き合わせ面には、前後にのびるピン挿通孔(37)(38)がそれぞれ設けられ、また、第１部材(24)の右端部には、ボルト挿通孔(39)が、第２部材(25)の右端部には、ねじ孔(40)がそれぞれ設けられている。そして、各部材(24)(25)に設けられたピン挿通孔(37)(38)に連結ピン(41)がきつく挿入されるとともに、第２部材(25)のねじ孔(40)に、第１部材(24)のボルト挿通孔(39)に通された平小ねじ(42)がねじ込まれることにより、両部材(24)(25)が結合されている。
【００１７】
なお、本体嵌入用貫通孔(23)となる各部材(24)(25)の凹所(33)(34)の下端部は、ボンネット(5)の互いに平行な前後平坦面が形成されていない露出部分と干渉しないようにそれより上の部分に比べて大きく形成されている。また、図示省略したが、第１および第２部材(24)(25)を結合する平小ねじ(42)の頭を隠すピンが、ボルト挿通孔(39)に強制嵌入される。
【００１８】
ストッパ(26)は、ストッパ嵌入用貫通孔(23)に上下移動自在に嵌め入れられ垂直部(29)と、これの上端に設けられかつストッパ支持体よりも上方に突出させられている水平部(30)とよりなる。
【００１９】
水平部(30)の右面には、図２に示すように、流路開閉ハンドル(8)が全閉位置にあるときにその左側面に当接する全閉時回動阻止部としての凹面(31)が形成され、この凹面(31)の中央部に、流路開閉ハンドル(8)が全開位置にあるときにその一端部を収める全開時回動阻止部としての凹所(32)が設けられている。図２に示す全閉時において、全閉時回動阻止部としての凹面(31)の前後端部に流路開閉ハンドル(8)の前後端部近傍の左側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動が阻止されている。この図２の状態から、一旦ストッパ(26)を下方に移動させた後、流路開閉ハンドル(8)を９０°回動させ、再び、ストッパを上方に移動させると、図４に示すように、流路開閉ハンドル(8)の一端部が凹所(32)にちょうど嵌まり合う。この図４に示す全開時においては、全開時回動阻止部としての凹所(32)の前後各側面に流路開閉ハンドル(8)の一端部の前後側面がそれぞれ当接することで、時計方向および反時計方向の両方の回動が阻止されている。こうして、流路開閉ハンドル(8)は、全開・全閉いずれの位置でもロックされ、その際、時計方向および反時計方向の両方の回動が阻止される。
【００２０】
水平部(30)の前後長さは、ストッパ支持体(22)の前後幅に等しくなされており、凹面(31)の形状は、流路開閉ハンドル(8)の左側面形状に対応させられている。水平部(30)の水平断面積は、ストッパ嵌入用貫通孔(28)よりも大きくなされており、水平部(30)は、ストッパ嵌入用貫通孔(28)の縁部で受けられている。垂直部(29)には、これを前後方向に貫通する錠取付け孔(43)が設けられている。また、垂直部(29)の下端には、図５に示す鎖線位置までストッパ(26)を持ち上げたときに、ストッパ嵌入用貫通孔(28)の縁部に係合することによりストッパ(26)の上方への抜けを阻止する前方突出縁部(44)が設けられている。
【００２１】
図８および図９に詳しく示すように、垂直部(29)と水平部(30)とは別部材とされており、水平部(30)下面に設けられた溝に垂直部(29)の上端部が嵌め入れられている。
【００２２】
錠(27)は、例えば市販の南京錠でよい。図５に実線で示すように、錠(27)をかけていない状態では、水平部(30)の上面は、ストッパ支持体(22)の右半部(22a)の上面と面一であり、ストッパ(26)は、流路開閉ハンドル(8)に係合しないようになされている。そして、この状態からストッパ(26)を持ち上げると、同図に鎖線で示すように、ストッパ(26)は、その前方突出縁部(44)がストッパ嵌入用貫通孔(28)の縁部に係合したところで停止し、この状態で、ストッパ支持体(22)の左半部(22b)より上方に露出した錠取付け孔(43)に錠(27)の足(27a)を通すことにより、錠(27)の足(27a)の厚み分だけストッパ(26)がストッパ支持体(22)の右半部(22a)の上面より上方に突出し、図２および図４に示すロック状態が得られ、鍵を用いて錠(27)を外さない限り、流路開閉ハンドル(8)を回動させることは不可能となる。錠(27)を外すと、ストッパ(26)は、自重で図５の実線位置まで降下してアンロック状態になり、ロック・アンロックの切換え作業が楽になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  流路開閉ハンドルが全閉位置にあるときの流体制御器を示す正面図である。
【図２】  同平面図である。
【図３】  流路開閉ハンドルが全開位置にあるときの流体制御器を示す正面図である。
【図４】  同平面図である。
【図５】  ハンドルロック装置の錠をかけないときの流体制御器を示す正面図である。
【図６】  ハンドルロック装置の要部の分解斜視図である。
【図７】  同組立て後の分解斜視図である。
【図８】  流路開閉ハンドルが全開位置にありかつハンドルロック装置の錠をかけないときの流体制御器を示す正面図である。
【図９】  図８のIX-IX 線に沿う断面図である。
【符号の説明】
(1)     流体制御器
(8)     流路開閉ハンドル
(21)    ハンドルロック装置
(22)    ストッパ支持体
(23)    本体嵌入用貫通孔
(24)    第１部材
(25)    第２部材
(26)    ストッパ
(28)    ストッパ嵌入用貫通孔
(29)    垂直部
(30)    水平部
(31)    凹面（全閉時回動阻止部）
(32)    凹所（全開時回動阻止部）
(33)    本体嵌入用貫通孔形成凹所
(34)    本体嵌入用貫通孔形成凹所
(35)    ストッパ嵌入用貫通孔形成凹所
(36)    ストッパ嵌入用貫通孔形成凹所
(43)    錠取付け孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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