(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理水を収容する処理槽内に設置され直径が０．０５〜０．５ｍｍの棒状で側面がすべて絶縁体で被覆された高電圧電極と電極間隙を設けて対向配置された接地電極とを対とする少なくとも一対以上の放電電極と、
前記放電電極に高電圧パルスを印加する電源とを備え、
前記高電圧電極の先端部の端面と前記絶縁体の先端部の端面とは同一の面で、
放電により前記被処理水を殺菌し前記高電圧電極の近傍に気泡を発生させる２〜５０ｋＶ，１００〜２０，０００Ｈｚの高電圧パルスを印加し、
前記気泡が前記接地電極側に引き寄せられて生じた水の噴流で前記被処理水を攪拌することを特徴とする殺菌装置。
【請求項２】
被処理水を収容する処理槽内に設置され直径が０．０５〜０．５ｍｍの棒状で側面がすべて絶縁体で被覆された高電圧電極と電極間隙を設けて対向配置された接地電極とを対とする少なくとも一対以上の放電電極と、
前記放電電極に高電圧パルスを印加する電源とを備え、
前記高電圧電極の先端部の端面は前記絶縁体の先端部の端面よりも凹んでおり、
放電により前記被処理水を殺菌し前記高電圧電極の近傍に気泡を発生させる２〜５０ｋＶ，１００〜２０，０００Ｈｚの高電圧パルスを印加し、
前記気泡が前記接地電極側に引き寄せられて生じた水の噴流で前記被処理水を攪拌することを特徴とする殺菌装置。
【請求項３】
電極間隙は、１〜５０ｍｍであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の殺菌装置。
【請求項４】
被処理水を収容する処理槽内に設置され直径が０．０５〜０．５ｍｍの棒状で側面が絶縁体で被覆された高電圧電極と電極間隙を設けて対向配置された接地電極とを対とする少なくとも一対以上の放電電極と、
前記放電電極に高電圧パルスを印加する電源とを備え、
前記電極間隙は１〜２０ｍｍであり、
高電圧電極の先端部は前記高電圧電極を被覆する絶縁体の先端部よりも前記電極間隙に対して０．１以下の比率の範囲で突出し、
放電により前記被処理水を殺菌し前記高電圧電極の近傍に気泡を発生させる２〜５０ｋＶ，１００〜２０，０００Ｈｚの高電圧パルスを印加し、
前記気泡が前記接地電極側に引き寄せられて生じた水の噴流で前記被処理水を攪拌することを特徴とする殺菌装置。
【請求項５】
高電圧電極の先端部を被覆する絶縁体の厚みは、２ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の殺菌装置。
【請求項６】
高電圧電極を被覆する絶縁体と接地電極との間に、前記絶縁体の先端部の側面部を覆い被処理水が所定方向に流れるように前記接地電極との間に間隙を設けて設置された誘電体筒を有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の殺菌装置。
【請求項７】
高電圧電極を被覆する絶縁体と接地電極との間に、前記絶縁体の先端部の側面部を覆う筒状の絶縁性のメッシュ状フィルタを設けたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の殺菌装置。
【請求項８】
絶縁体は、親水性を有する材料で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の殺菌装置。
【請求項９】
絶縁体は、軟化温度又は分解温度のいずれか低い方が３００℃以上である耐熱性を有する材料で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の殺菌装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の殺菌装置を備え、ドレンパン内の水を殺菌する機能を有することを特徴とする空調機。
【請求項１１】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の殺菌装置を備え、ドレンパン内の水を殺菌する機能を有することを特徴とする手乾燥装置。
【請求項１２】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の殺菌装置を備え、加湿水を殺菌し、加湿素子を洗浄する機能を有することを特徴とする加湿器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、汚染水等を処理対象物とする殺菌装置に関するものである。さらに、この殺菌装置を用いた空調機、手乾燥機及び加湿器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高電圧パルス等を利用する排水処理装置およびその処理方法が知られている。水面に対して、また、水中内で高電圧パルスを用いることにより、水分子と浮遊分子の分離／凝集／脱色／殺菌／化学物質分解を行い、排水処理をすることができるという特徴を持つ。従来例として、特許文献１の発明による排水処理装置においては、高電圧パルス印加電極と対向電極間を例えば１〜１０ｃｍに近接配置して、印加電極に１０〜１５ｋＶ／ｃｍ以上の高電圧パルスを例えば５０ｎｓ以上印加すると両電極間に短絡による放電が生じ、放電による衝撃波を利用して分離凝集等の排水処理を行うことが提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００３】
更に、排水の電気分解により、排水中に気泡が発生する。これによりＯＨラジカル等の活性種の生成とともに、気泡相互が電極として作用して電極間短絡現象を促進させて水の蒸散による急激な体積膨脹による衝撃波の発生等が生じ、水分子と浮遊分子の分離／凝集／脱色殺菌／化学物質の分解等を一連の操作にて行うことが可能である。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２５２６６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の高電圧パルス放電を用いた排水処理装置および方法では、電気分解により生じた気泡内でのプラズマ発生を用いた水の蒸散による急激な体積膨張による衝撃波を利用し、排水処理をしている。そのため、水分子と浮遊分子の分離・凝集などは効率よく行えるが、発生したプラズマが微生物に直接作用し、殺菌するわけではないので、殺菌効率は高くないという問題があった。また、従来の方法では、放電が生じる部分のみで局所的に殺菌が進むので、排水が滞留している場合には、排水全体において、十分な殺菌効果が得られないという課題があった。
【０００６】
本発明は、上述のような問題点を解決するためになされたものであり、被処理水中の菌に直接作用して殺菌するため、高い殺菌効率を有し、かつ被処理水が滞留していても十分な殺菌効果を得ることができる殺菌装置とその装置を用いた空調機、手乾燥機及び加湿器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の殺菌装置は、被処理水を収容する処理槽内に設置され直径が０．０５〜０．５ｍｍの棒状で側面がすべて絶縁体で被覆された高電圧電極と電極間隙を設けて対向配置された接地電極とを対とする少なくとも一対以上の放電電極と、放電電極に高電圧パルスを印加する電源とを備え、高電圧電極の先端部の端面と絶縁体の先端部の端面とは同一の面で、放電により被処理水を殺菌し高電圧電極の近傍に気泡を発生させる２〜５０ｋＶ，１００〜２０，０００Ｈｚの高電圧パルスを印加し、気泡が接地電極側に引き寄せられて生じた水の噴流で被処理水を攪拌することを特徴とする。
【０００９】
請求項１０の構成では、殺菌装置を備え、ドレンパン内の水を殺菌する機能を有する空調機であることを特徴とする。
【００１０】
請求項１１の構成では、殺菌装置を備え、ドレンパン内の水を殺菌する機能を有する手
乾燥装置であることを特徴とする。
【００１１】
請求項１２の構成では、殺菌装置を備え、加湿水を殺菌し、加湿素子を洗浄する機能を
有する加湿器であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、高電圧パルスによる放電と同時に発生する被処理水の噴流により、被処理水中に含まれる微生物や菌を直接的に効率よく処理する殺菌装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態に係る殺菌装置の構成と動作について、図を参照しながら説明する。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る殺菌装置を示す概略断面図である。
図１に示すように、殺菌装置１は、棒状の高電圧電極２と板状の接地電極３とを対とする放電電極６で構成されており、高電圧電極２は、先端部２ａの端面を除いて絶縁体４で被覆されて、高電圧電極部５を形成し、また、高電圧電極２の先端部２ａと接地電極３とが所定の電極間隙を設けて、処理槽７内で被処理水８に浸漬された状態で対向配置されており、さらに、高電圧電極２と接地電極３は、高電圧パルスを発生する電源９に接続されている。気泡１０は放電により発生したものであり、噴流１１は気泡１０に伴って生じる水の流れである。
【００１５】
次に、実施の形態１の殺菌装置を用いた殺菌方法の動作原理について、図１を参照して説明する。
処理槽７内に被処理水８を入れた上で、電源９により、高電圧電極２と接地電極３との間に、２〜５０ｋＶ、１００Ｈｚ〜２０，０００Ｈｚの負極性の高電圧パルスを印加し、放電を行う。高電圧電極２の放電により絶縁破壊が生じ、そのエネルギーにより水が蒸発し、衝撃波とともに気化することにより水蒸気の気泡１０ｂが発生する。また、同時に高電圧電極２で電気分解が生じ、反応式（１）による水素（Ｈ２）の気泡１０ｈも発生する。
２Ｈ＋＋２ｅ−→  Ｈ２                  （１）
水のクラスタ構造は水分子（Ｈ２Ｏ）とこれが電離して生じたわずかな量のＨ＋とＯＨ−から構成されている。気泡表面の界面は構造中にＨ＋とＯＨ−が集まりやすい特徴があり、気泡１０周辺の水に比べて、これらのイオン密度が高くなる。特に、集まりやすさは、ＯＨ−の方が強く、界面を負に帯電させる。つまり、これらの気泡１０は、負に帯電する。接地電極３で電気分解により発生する酸素（Ｏ２）の気泡１０ｓは、接地電極３付近
に滞留し、殺菌には寄与しない。
【００１６】
図２に示すように、放電電極６に負極性の高電圧パルスを印加すると、高電圧電極２と接地電極３間に発生する電気力線１２は、先端部２ａが突起ではなく平面であるため、電気力線１２は放射状への拡がりを抑え、高電圧電極２から、接地電極３に向かって垂直な方向に流れる。また、高電圧電極２の側面は絶縁体４ですべて覆われており、高電圧電極２の先端部２ａの端面と、絶縁体４の先端部４ａの端面とが同一の面になっているため、高電圧電極２の先端部２ａが放電に寄与する。
そのため、高電圧電極２近傍で発生したこれらの気泡１０は、放電によって発生した電子などの帯電粒子の蓄積、水蒸発発生時の衝撃波、高電圧電極２と接地電極３との間で形成された電界による電子の移動、かつ気泡１０自体が負に帯電しているため、接地電極３側に引き寄せられる。そのため、高電圧電極２側から接地電極３側に向かう気泡１０による噴流１１が発生する。
【００１７】
通常、気泡は発生したガスが集合し、浮力＞重力なる気泡の大きさ（数ｍｍ）になると浮力により上方に向かって移動する。これに対して、本発明での気泡１０は、高電圧電極２付近で生じるや否や、水蒸気発生時の衝撃波、電界作用による電子の移動や、負の帯電により高電圧電極２から接地電極３に向かって移動する。これは、本発明での気泡１０の大きさは、発生直後の直径が０．１μｍ〜数μｍ、発生後５００ｎｓでも直径１００〜数１００μｍと微細であるがゆえに、水中を急速に上昇して、水面で破裂して消滅することなく、浮力に打ち勝ち水中に長く留まり、噴流１１とともに移動する。
【００１８】
水中を浮遊する微生物や細菌は、放電時、高電圧電極２付近でのプラズマ発生により形成されるＯＨ、Ｈ、Ｏ、Ｏ２−、Ｏ−、Ｈ２Ｏ２などの活性種および放電領域での発熱や、それにより生じる衝撃波により、処理される。衝撃波の及ぶ範囲は狭いため、プラズマ発生直後、その周辺に存在する微生物や細菌を殺菌する。また、これらの活性種も寿命が１０−８秒と著しく短く、プラズマの周辺に存在する微生物や細菌を殺菌する。さらに、活性種は、パルス放電により発生した噴流１１で、水の移動とともに放電領域近傍に、運ばれてきた微生物や細菌を殺菌する。ここでは、微生物、カビ、細菌などを破壊、消滅させることを殺菌と称している。
【００１９】
気泡１０により生じた高電圧電極２を起点とする噴流１１に伴って、被処理水８に含まれる菌や微生物も一緒に高電圧電極２に向かって流れ込み、高電圧電極２の先端部２ａでのプラズマにより、次々と効率よくこれらの微生物や菌が殺菌される。気泡１０による噴流１１に対して放電を行うことにより、滞留した被処理水８であっても被処理水８全体の微生物や菌を殺菌することが可能となる。
【００２０】
ここで、高電圧パルスによる放電を利用する理由は、直流による放電よりも広い領域をプラズマ化できる特長を有しているからである。これは、直流放電の電圧より高い電圧が瞬間的に印加でき、高電界領域を広くできること、また、電圧の立ち上がりが急峻なため空間電荷電界による放電抑制が少ないことなどによるものである。
ガス分子や水分子を電離するのに必要なエネルギーを電離電圧といい、その値は、１０〜１５ｅＶ程度である。電離にまでは至らないが、高いエネルギー状態に励起された各種の活性種（ラジカル）もプラズマ中で多く生成される。通常の化学結合のエネルギーは高々数ｅＶであり、ラジカルなどにより種々の化学反応が引き起こされる。
【００２１】
電子はイオンよりはるかに軽く、電界中での移動距離がイオンの３倍程度大きく、持続時間の短い高電圧パルスが印加されている間に、電子は電界により数十ｅＶのエネルギーに加速されるので、ガス分子や水分子を電離することができる。イオンは重いためほとんど動けず、ガス分子や水分子の電離には寄与しない。このことは、電子が大きな電位差を電界により運ばれており、入力エネルギーの大部分が電子の加速に使われ、イオンに無駄なエネルギーを与えていないことを意味している。このようなプラズマを非平衡プラズマと言い、以上の理由により、パルス放電は、直流による放電よりも、化学反応を誘起するためのエネルギー効率を高めることができる。
【００２２】
次に、高電圧電極部５の作製方法について説明する。高電圧電極２の電極材料に棒状の金属を用いる場合、まず、棒状の金属を固定する高電圧電極部形状の凹みのある金型に、金属棒を固定させる。その後、射出成形、粉末成形、圧縮成形などにより、絶縁体４となる樹脂を流し込み、高電圧電極２である金属棒の周囲が、その垂直断面が円筒状である絶縁体４で覆われるように固める。このようにして作製された高電圧電極部５の構造体の高電圧電極２の放電側となる先端を切断し、その先端部２ａを露出させる。絶縁体４により高電圧電極２の側面全体を覆うことにより、先端部２ａにおいて放電が起こる高電圧電極部の構造とする。また、電極材料を金型中央に固定し、押出成形により、高電圧電極用の構造体を作製し、この構造体をある一定の長さで切断、高電圧電極２としてもよい。切断された一端が、先端部（放電部）２ａとなり、もう一端が高電圧パルスを発生する電源９とつながる導線と接続する箇所となる。絶縁体４の形成方法として、ディッピングなどのように、電極をコーティングする方法であってもよい。
【００２３】
また、高電圧電極２の材料としては、金属棒以外に導電性粉末ペーストから作製された電極を用いることもできる。高電圧電極２を覆う絶縁体形状の一部の金型を作製し、上記と同様の手法で、絶縁体４の一部を作製する。その後、その表層に、電極となる粉末ペーストを塗布、固化させる。その後、固化された粉末ペーストが絶縁体４で覆われるようするために、さらに成形する。これにより、絶縁体４の中に高電圧電極２となる粉末ペーストが埋め込まれた高電圧電極部５が作製され、高電圧電極２の断面に露出するように、２箇所で切断する。ここで、切断された一端が、先端部（放電部）２ａとなり、もう一端が電源９とつながる導線と接続する箇所となる。金属粉末ペーストを用いた高電圧電極２は、金属線を用いるよりも、安価であるという利点がある。
【００２４】
高電圧電極２の寸法としては、例えば、電力を集中させ、プラズマを発生させるためには、その直径は０．５ｍｍ以下であればよい。望ましくは、低周波数（１００Ｈｚ程度）においてもプラズマを発生させることができる直径０．１ｍｍ〜０．０５ｍｍであればよい。高電圧電極２および接地電極３の電極材料は導電体であれば特に制限されるものではない。また、高電圧電極２と接地電極３との電極間隙Ｄは１〜５０ｍｍであればよく、望ましくは５〜２０ｍｍである。
【００２５】
高電圧電極２と対向に配置された接地電極３との間での放電により、発生した放電熱が水だけでなく、被覆された絶縁体４にまで及ぶ。このため、高電圧電極２を被覆する絶縁体４は、高電圧パルスの放電により発生する熱に耐え得るもので、耐熱性を有するものであることが望ましく、特に、高周波（１ｋＨｚ〜３０ｋＨｚ）の場合、高電圧電極２の温度が１０００℃にもなり、絶縁体４は、軟化温度又は分解温度のいずれか低い方が３００℃以上である耐熱性を有する材料であるものが望ましく、吸水率が低く、熱伝導性のよいものが適している。例えば、その条件を満たす材料としては、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、セラミックスやガラスが挙げられる。さらに絶縁体の厚みを２ｍｍ以下とすることにより、放熱性が改善され、絶縁体４に樹脂を使ったものでも変形や劣化を抑制することができる。また、絶縁体４を薄くすることにより、絶縁体４部で発生した気泡１０が樹脂表面に貯まることがなく接地電極３方向への移動が容易になる。また、絶縁体４は、その熱膨張率が、使用する電極材料の熱膨張率に近いものが望ましい。これにより、高電圧電極２の電極材料の金属に絶縁体４を被覆成形する際に、両材料が同じ速度で収縮しながら固化され、金属と絶縁体との密着性を向上させることができ、使用時の温度上昇に伴う応力を低減し、安定した動作を期待することができる。
【００２６】
このように、実施の形態１に係る殺菌装置によれば、放電電極に負極性の高電圧パルスを印加することにより、放電が発生し、そのエネルギーにより水が蒸発し、気化することにより生じた水蒸気の気泡や、水の電気分解により生じた水素の気泡が発生する。これらの気泡表面に、放電によって発生した電子などの帯電粒子が蓄積し、高電圧電極と接地電極との間で形成された電界に沿って、気泡が接地電極側に引き寄せられる。そのため、高電圧電極側から接地電極側に向かって気泡による噴流が発生する。放電電極周辺の被処理水中に、高電圧電極を起点とする水の流れの噴流が生じ、被処理水が噴流により攪拌され、これに伴って被処理水に含まれる微生物も一緒に高電圧電極に向かって流れ、電力集中の起きている高電圧電極の先端部でのプラズマ領域において効率よく殺菌される。
また、滞留した被処理水であっても攪拌および放電の相乗効果により殺菌作用が著しく向上するといった従来の装置にはない顕著な効果を奏するものである。
【００２７】
なお、実施の形態１では、負極性の高電圧パルスを印加する場合について説明したが、正極性の高電圧パルスを印加しても、同様の効果が得られる。正極性の高電圧パルスを印加した場合は、実施の形態１と同様に、高電圧電極２で放電が生じ、そのエネルギーにより水が蒸発し、衝撃波とともに気化することにより水蒸気の気泡１０ｂが発生する。また、同時に高電圧電極２で電気分解が生じ、反応式（２）による酸素（Ｏ２）の気泡１０ｓが発生する。
２Ｈ２Ｏ→  Ｏ２＋４Ｈ＋＋４ｅ−        （２）
気泡１０は、実施の形態１と同様に、負に帯電しているが、水蒸気発生時の衝撃波により、流れが生じる。その結果、実施の形態１と同様に、放電により生じた気泡１０の噴流１１が発生する。この気泡１０の噴流１１により生じた高電圧電極２を起点とする水の流れに伴って、被処理水８に含まれる菌や微生物も一緒に高電圧電極２に向かって流れ込み、高電圧電極２の先端部２ａでのプラズマにより、次々と効率よくこれらの菌や微生物が殺菌される。この場合、接地電極３側での電気分解により、水素（Ｈ２）が発生するが、接地電極付近に滞留するだけで、こちらは殺菌には寄与しない。
【００２８】
また、放電極性を負とすることで、高電圧電極の腐食も抑制することができる。金属のｐＨ-電位図によれば、多くの金属において、負電位では非腐食状態に維持できるためである。
【００２９】
また、実施の形態１では、絶縁体４の垂直断面形状は、円筒形状としたが、円筒形状のみならず、四角筒形状であってもよく、また、必ずしもこれらの形状に限るものではない。高電圧電極部の構造の第２の例として、図３示すように絶縁体４の先端部に段差４ｓを設けてもよく、これにより、気泡１０を伴った噴流１１の流れをスムーズにさせ、殺菌の効率を上げることができる。また、高電圧電極部の構造の第３の例として、図４示すように絶縁体４が絶縁体４１と絶縁体４２との二層構造であってもよく、具体的には高電圧電極２の先端部にセラミックスやポリイミド樹脂等の耐熱性に優れた耐熱性絶縁体４１を、さらにその上に耐熱性の低い非耐熱性絶縁体４２を被覆するものであってもよい。
【００３０】
また、接地電極３の材料としては、タングステン（Ｗ）、白金（Ｐｔ）、チタン（Ｔｉ）などの金属、形状としては、平板の他、円盤状、棒状、線状であってもよく、大きさ、浸漬位置に制限されない。ただし、実際に殺菌が行われるのは、高電圧電極と接地電極との間であるため、高電圧電極２の先端部２ａに対向させて配置する。処理槽７は、絶縁体であることが好ましく、例えばアクリル樹脂、ガラスなどが使用できる。また、処理槽の底部の一部を上記金属で構成し接地電極３としてもよい。
【００３１】
さらに、実施の形態１では、放電電極６として高電圧電極２と接地電極３が一対の場合について説明したが、複数対の場合であってもよく、殺菌処理能力を向上させることができる。また、複数の高電圧電極２と共通の１つの接地電極３との構成としてもよい。また、接地電極３も高電圧電極２と同じ形状を持つものであってもよい。
【００３２】
〔実施例１〕
次に、菌や微生物に対する殺菌効果を確認するために処理槽７に大腸菌を入れ、高電圧パルス放電による大腸菌の残存率の時間変化を調べた。図５に、実施の形態１による実施例１として、実験条件１、実験条件２および比較条件１との実験結果を示す。
実験には、高電圧電極２として、直径０．２ｍｍ、長さ５０ｍｍのタングステン（Ｗ）線を用い、この高電圧電極２の周囲を、絶縁体４として射出成形により、直径１０ｍｍのエポキシ樹脂で被った。また、接地電極３として、チタン製エキスパンドメタル（１インチ平方あたりのメッシュ数８０、線径０．１ｍｍ）に、白金（Ｐｔ）を無電解めっきにより担持密度０．６ｍｇ／ｃｍ２でめっきしたメッシュ状電極（直径５ｃｍ）を用いた。高電圧電極２と接地電極３との電極間隙Ｄは３ｍｍとした。また、処理槽７は、ガラス製のものを用い、この中に大腸菌が１０５ＣＦＵ／ｍｌ添加された被処理水８を５０ｍｌ入れた（ＣＦＵ：Ｃｏｌｏｎｙ  Ｆｏｒｍｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）。
【００３３】
ここで、実験条件１（Ａ）の放電条件としては、電圧−１０ｋＶ、繰り返し周期１００Ｈｚ、パルス幅５０μｓで、負極性の高電圧パルスを印加した。実験条件２（Ｂ）の放電条件としては、電圧１０ｋＶ、繰り返し周期１００Ｈｚ、パルス幅５０μｓの正極性の高電圧パルスを印加した。比較条件１（Ｃ）では、図６に示すように、放電時に噴流が発生しないように高電圧電極２の先端部２ａの長さＬの３ｍｍが絶縁体４で被覆されていないものを用意した。他の構成は実験条件１および実験条件２と同様である。放電条件としては、電圧−１０ｋＶ、繰り返し周期１００Ｈｚ、パルス幅５０μｓで、負極性の高電圧パルスを印加した。
【００３４】
実験条件１、２においては、気泡および噴流が発生した。比較条件１では、全く気泡による噴流は起こらなかった。また、噴流速度は、負極性の高電圧パルスによる放電を用いた実験条件１の方が、正極性の高電圧パルスによる放電を用いた実験条件２よりも２倍以上速かった。この結果、実験条件１（Ａ）の方が、実験条件２（Ｂ）での大腸菌数の減少よりも速く、１ｈｒで１桁以上大腸菌が減少した。比較条件１（Ｃ）では、大腸菌数はあまり変化しなかった。
【００３５】
これらのことから、気泡を伴う噴流の実験条件１および実験条件２の方が、気泡の噴流を伴わない比較条件１よりも、殺菌効果が高いことが分かる。さらに、正極、負極性パルス放電を比較すると、負極性による高電圧パルス殺菌（実験条件１）の方が、正極による高電圧パルス殺菌（実験条件２）よりも、殺菌速度が速いことが分かる。これにより、気泡の噴流を伴う高電圧パルス放電よる殺菌効果が認められることを確認できた。
【００３６】
実施の形態２．
図７は、本発明の実施の形態２に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
図７に示すように、実施の形態２に係る殺菌装置の放電電極部において、放電に寄与する高電圧電極２の先端部２ａが絶縁体４の先端部４ａよりも内側に後退しており、凹となっている点を除けば、実施の形態１の図１と同様であり、他の構成については説明を省略する。
【００３７】
次に、高電圧電極部の作製方法について説明する。実施の形態１の場合と同様であるが、高電圧電極２の電極材料である棒状の金属を固定する高電圧電極部形状の凹みのある金型に、金属棒を固定させる。その後、射出成形、粉末成形、圧縮成形などにより、絶縁体４となる樹脂を流し込み、高電圧電極２である金属棒の周囲が絶縁体４で覆われるように固める。このようにして作製された高電圧電極部５の構造体の高電圧電極２の放電側となる先端部２ａが絶縁体４の先端部４ａよりも少し凹んだ形状となるように切断加工し、絶縁体４により高電圧電極２の側面全体を覆うことにより、先端部２ａにおいて放電が起こる高電圧電極部５の構造とする。切断された一端が、先端部（放電部）２ａとなり、もう一端が高電圧パルスを発生する電源９とつながる導線と接続する箇所となる。
【００３８】
また、実施の形態１の要領で作製した高電圧電極２の先端部２ａに電極材料よりもイオン化傾向の低い、金、銀などを接触させて水に浸漬させて、その電池作用により、高電圧電極２の先端部２ａを溶解させ、絶縁体４の先端部４ａより数十μｍ〜数ｍｍ程度凹ませる方法も利用できる。
【００３９】
図７に示すように、電気力線１２は、実施の形態１の図２に比べて、高電圧電極２の先端部２ａを絶縁体４よりも凹んだ形状にすることにより、更に、直線的、かつ密度が高いものを得ることができる。電気力線が直線的かつ高密度になると、これにより気泡の動きも速くなるため、噴流速度が速くなり、被処理水８中の微生物が高電圧電極２の先端部２ａ付近へ流入する割合も向上し、殺菌効率が上がる。
実施の形態２における殺菌装置を用いた殺菌のメカニズムは、実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。
【００４０】
このように、実施の形態２に係る殺菌装置によれば、実施の形態１の殺菌装置よりも気泡の噴流速度が速くなることから、殺菌効率がさらに向上するといった顕著な効果が期待できる。
【００４１】
なお、実施の形態１では、高電圧電極２の先端部２ａと絶縁体４の先端部４ａとが同一面である場合、また、実施の形態２では、高電圧電極２の先端部２ａが絶縁体４の先端部４ａよりも内側に後退し、凹となっている場合について述べたが、高電圧電極２の先端部２ａが絶縁体４の先端部４ａよりも少し突出していても構わない。図８に電極間隙Ｄに対する高電圧電極２の先端部２ａの突出長さＬとの比（突出比Ｌ／Ｄ）と電界強度および噴流速度との関係を示す。図８から電極間隙Ｄが１から２０ｍｍの範囲では、突出比Ｌ／Ｄが０から０．１の範囲であれば、高電圧電極２付近の電界強度が高く、噴流の速度が大きくなる。しかし、これ以上の突出比では、噴流の速度も小さく、噴流による殺菌効果の向上が認められない。従って、高電圧電極２の先端部２ａが絶縁体４の先端部４ａに対して突出比Ｌ／Ｄが０から０．１の範囲であれば、突出していても、噴流速度を大きくすることができ、これにより、被処理水８中の微生物を高電圧電極２の先端部２ａ付近へ流入させることができ、殺菌効率の向上に寄与することができる。
【００４２】
実施の形態３．
図９は、本発明の実施の形態３に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
図９に示すように、実施の形態３に係る殺菌装置は放電電極部に、絶縁体４と接地電極３との間に噴流の流れを一定方向に誘導する誘電体筒１３を設けている点を除けば、実施の形態１の図１と同様であり、他の構成については説明を省略する。誘電体筒１３は、絶縁体４の先端部４ａの側面部を覆い、絶縁体４との間に間隙１４を設け、また、接地電極３との間に間隙１５を設けた状態で設置されている。
【００４３】
次に、この誘電体筒１３を設けた放電電極部６の動作について説明する。誘電体筒１３は、パルス放電により劣化することが少なく、水への溶解成分の少ない材料、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。同様な性質を持つガラスやセラミックスであってもよい。厚さは噴流１１により変形が生じない強度があればよく、０．５ｍｍから２ｍｍでよい。放電による気泡１０の発生に伴い噴流１１が生じる。処理槽７内に絶縁体４と誘電体筒１３の間隙１４を通り、高圧電極２と接地電極３の間に誘導され、間隙１５を通る被処理水８の一定方向の流れが起こる。これにより、実施の形態１に比べ、さらに強い攪拌作用が起こるため被処理水８中の微生物が高圧電極２の先端部２ａ付近に導入される割合を向上することができ、殺菌効率を上げることができる効果がある。
【００４４】
このように、実施の形態３に係る殺菌装置によれば、放電電極部に、絶縁体と接地電極との間に噴流の流れを一定方向に誘導する誘電体筒を設けることにより、放電による気泡の発生により生じた噴流により、被処理水が一定方向に流れ、実施の形態１に比べ、さらに強い攪拌作用が起こり、微生物等の殺菌効率を向上させることができる効果があるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００４５】
なお、実施の形態３の誘電体筒は、絶縁体４の側面と誘電体筒１３との間に設けられた間隙１４を利用して、噴流１１による被処理水８の流れを作り出しているが、図１０に示すように、絶縁体４の先端部４ａ付近の誘電体筒１３の側面に導入孔１６を形成したものであってもよく、導入孔１６から間隙１５に向かう被処理水８の流れを作ることにより、同様に、攪拌作用が生じ、微生物等の殺菌効率を向上させることができる。また、図１１に示すように、誘電体筒１３の上部に多孔質部１７を設けたものであってもよい。また、図１２に示すように、誘電体筒１３の内径を高電圧電極２の外径とほぼ同等にすることにより、電気力線１２の発散を防ぎ、気泡１０を閉じ込めることにより、さらに強い攪拌作用を生じさせることができるため、効率よく殺菌することができる。
【００４６】
実施の形態４．
図１３は、本発明の実施の形態４における殺菌装置を示す概略断面図である。
図１３に示すように、実施の形態４に係る殺菌装置１は、高電圧電極２を被覆する絶縁体４とメッシュ状接地電極１８との間を、筒状のフィルタ１９を取り付けた点と接地電極がメッシュ状である点を除けば、実施の形態１の図１と同様であり、他の構成については説明を省略する。
【００４７】
絶縁体で作られた筒状のフィルタ１９はメッシュ状がよい。特に、その網目構造は、被処理水の噴流および攪拌に対して効果的に作用し、殺菌性能を向上させる。具体的には、（１〜１０）ｍｍ×（１〜２０）ｍｍの穴が開いたメッシュを用いることが好ましい。材料は絶縁体であればよく、特に制約はない。
【００４８】
接地電極１８も、フィルタ１９同様、メッシュ状を有し、すなわち網目構造を持ち、被処理水８の噴流１１および攪拌に対して効果的に作用し、殺菌性能を向上させる。具体的には、５ｍｍ×（２．５〜５．０）ｍｍの穴が開いたメッシュを用いることが好ましい。接地電極１８の材料としては、電気伝導率が高く、かつ酸化されにくい材質で、白金（Ｐｔ）または、酸化イリジウム（ＩｒＯ２）などが望ましい。あるいは、チタン（Ｔｉ）などの金属材質に白金、または酸化イリジウムをメッキしてもよい。例えば、基材には、チタン（Ｔｉ）金属繊維の焼結体（繊維径２０μｍ、長さ５０〜１００ｍｍの単繊維を織り込んで焼結体としたもの）からなる密度２００ｇ／ｃｍ２の布（半径５０ｍｍ、厚み３００μｍ）や、チタン製の網目構造を持つエキスパンドメタルを用いる。この基材に、白金（Ｐｔ）または、酸化イリジウム（ＩｒＯ２）を０．２５〜２ｍｇ／ｃｍ２の密度でめっきすることにより作製する。なお、実施の形態４における殺菌装置を用いた殺菌のメカニズムは、実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。
【００４９】
放電中の高電圧電極２と接地電極３の間に固形物がくると、短絡し、電極が破損してしまう場合がある。また、高電圧電極２の先端部２ａ付近に有機物が混入すると、放電エネルギーが有機物分解に奪われ、放電エネルギーの殺菌への寄与率が低下する。以上のことから、高電圧電極２と接地電極３の間にほこりなどの微生物以外の固形型有機物が混入すると、殺菌効率が低下する。これに対して、実施の形態４では、図１３に示すように高電圧電極２を被覆する絶縁体４とメッシュ状接地電極１８との間に筒状のフィルタ１９が取り付けられているため、噴流１１の流れを妨げず、高電圧電極２とメッシュ状接地電極１８の間にほこりなどの微生物以外の固形型有機物が混入する恐れがなく、電極間の短絡を防ぐことができ、殺菌効率を低下させずに微生物や細菌などを効率的に処理することができる。
【００５０】
このように、実施の形態４に係る殺菌装置によれば、高電圧電極を被覆する絶縁体とメッシュ状接地電極との間に、筒状のフィルタを取り付けることにより、ほこりなどの微生物以外の固形型有機物が混入する恐れがなく、微生物、カビや細菌、ウイルスなどを効率的に処理することができるため、殺菌効率を低下させずに電極間の短絡を防ぐことができる効果があるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００５１】
実施の形態５．
図１４は、本発明の実施の形態５における殺菌装置を示す概略断面図である。
図１４に示すように、実施の形態５に係る殺菌装置１は、高電圧電極２を被覆する絶縁体を親水性絶縁体２０としたものである。接触角としては、６０°以下、望ましくは３０°以下がよい。親水性絶縁体２０の材料としては、例えば、エポキシ樹脂などがよい。それ以外の構成は実施の形態１の図１と同様であり、説明を省略する。
【００５２】
絶縁体が親水性絶縁体２０であることが望ましい理由は、高電圧電極２が被処理水８と接触しているところで放電が起こるので、高電圧電極２の先端部（放電部）２ａ以外の部分が被処理水８と接触することを防ぐ目的からである。
発生する気泡の一種であるＯ２、Ｈ２の水への溶解度は、１気圧、２０℃で２８．５、１７．５ｍｌ／ｋｇと低い。つまり、Ｏ２やＨ２は、水との親和性が少なく、親水性が低いため、親水性固体表面には付着しにくい。そのため、絶縁体表面の接触角が６０°以下のものを用いると、放電により発生した気泡が表面に着き難く、３０°以下にするとほとんど付着しない。以上のことから、実施の形態５の殺菌装置１によると、実施の形態１と同様、殺菌効果が得られるとともに、高電圧電極２を覆っている親水性絶縁体２０が親水性を有するあるため、発生した気泡１０は、高電圧電極２付近に滞留することなく、スムーズに接地電極３側に向かって移動することにより、水の噴流力が増し、被処理水８の殺菌効率が向上する。例えば、高電圧電極２の電極材料として、タングステン（Ｗ）や白金（Ｐｔ）を用いる場合、その親水性絶縁体２０としては、エポキシ樹脂を用いるのが望ましい。
【００５３】
また、絶縁体が疎水性である場合には表面処理を行い、接触角を６０°以下にしたものを用いることもできる。この表面処理方法の例として、低圧水銀ランプを用いた紫外線処理について説明する。低圧水銀ランプが発する光の波長は、共鳴線と呼ばれる波長１８５ｎｍと２５４ｎｍがエネルギーの約８０％を占める効率の高い短波長ＵＶ光である。１８５ｎｍ線は、オゾン線と呼ばれ、酸素を分解してオゾン（Ｏ３）を生成する（反応式３、４）。このオゾンが、２５４ｎｍの波長の光を吸収し、酸素ラジカルを生成する（反応式５）。
Ｏ２＋（１８５ｎｍ）→  Ｏ＋Ｏ          （３）
Ｏ２＋Ｏ            →  Ｏ３            （４）
Ｏ３＋（２５４ｎｍ）→  Ｏ              （５）
この酸素ラジカル（Ｏ）が絶縁体表面にアタックし、極性のある親水性の高いＯＨ、Ｃ−Ｏ、Ｃ＝Ｏ、ＣＯＯ、Ｃ（Ｏ）ＯＨなどの官能基を形成する。照射距離５ｃｍであれば、照射時間が１分までは、接触角は急激に指数関数的に上昇し、その後も徐々に増加する。そのため、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）やポリフェニレンスルファィド（ＰＰＳ）などの樹脂を用いた場合、５分程度照射すれば、６０°以上であった接触角も３０°以下になり、親水化は著しく向上する。
なお、実施の形態５における殺菌装置を用いた殺菌のメカニズムは、実施の形態１と同様であるので、説明を省略する。
【００５４】
疎水性の絶縁材料を表面処理することにより、親水化する方法としては、紫外線処理の他、プラズマ処理、オゾン理、コロナ処理、電子線処理、レーザー処理、イオン注入、スパッタ処理、鏡面処理する方法などがあり、同様の効果が得られる。ただし、スパッタ処理や鏡面処理以外は、絶縁体とともに高電圧電極２の先端部２ａも酸化するため、先端部２ａを他の樹脂で覆った後、処理しなければならない。
【００５５】
このように、実施の形態５に係る殺菌装置によれば、高電圧電極を覆っている絶縁体に親水性の材料のものを使用することにより、発生した気泡は、高電圧電極付近に滞留することなく、スムーズに接地電極側に向かって移動するため、水の噴流力が増すため、殺菌効果が上がるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００５６】
実施の形態６．
図１５は、本発明の実施の形態６における殺菌装置を示す概略断面図である。
図１５に示すように、実施の形態６に係る殺菌装置１は、添加剤を注入する添加剤注入槽２１を設けたものであり、その点を除けば実施の形態１の図１と同様であり、他の構成については説明を省略する。
【００５７】
実施の形態１では、高電圧電極２付近から発生した気泡１０の直径は、発生直後は０．１μｍ〜数μｍであったものが、５００ｎｓでは直径１０〜数１００μｍと大きくなる。実施の形態６では、被処理水中に添加剤を混入させることにより、発生した気泡１０が数μｍ程度で安定し、微細気泡のまま存在する時間が延びる。このため、気泡自体が軽く、かつ帯電しやすいため、噴流速度が増し、殺菌効率が上がる。
【００５８】
添加剤注入槽２１に供給する添加剤の成分としては、酢酸や、カルボキシル基以外の親水性の残基（−ＯＨ、−ＮＨ２（第１アミン）、−ＮＨ−（第２アミン）、−Ｎ＜（第３アミン）、−Ｃ（Ｏ）ＮＨ−（ペプチド結合）、−Ｃ（Ｏ）ＮＨ２（第１アミド）、（−Ｃ（Ｏ））２ＮＨ（第２アミド）、（−Ｃ（Ｏ））３Ｎ（第３アミド）、−Ｏ−、−ＳＯ３Ｈ、−ＰＯ４Ｈ、−Ｆ、−ＮＯ２、−Ｓ（Ｏ）−、−ＣＮなど）を持つカルボン酸が使用可能である。また、水に対し、残基（カルボキシル基）の濃度が０．００１〜１ｍｏｌ／Ｌとなるように用いると好ましく、０．０１〜０．２ｍｏｌ／Ｌとなるように用いるとさらに好ましい。残基の濃度が０．００１ｍｏｌ／Ｌよりも低い場合、発生する酸素や水素の気泡の径が大きくなってしまう傾向がある。残基の濃度が１ｍｏｌ／Ｌよりも高い場合には、浮上した気泡がなかなか消滅しない傾向がある。なお、ここで残基の濃度とは、分子の濃度に１分子中の残基（この例ではカルボキシル基）の数を乗じた値を意味する。  また、この水のｐＨは、４以下であれば好ましく、３以下であるとさらに好ましい。水のｐＨが４よりも大きい場合、発生する気泡の径が大きくなってしまう傾向がある。一方、無機化合物を添加する場合には、塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウム、硫酸カリウムなどの強電離性の塩を用いるのがよい。塩濃度は０．１重量％以上にするのが望ましい。
【００５９】
被処理水中の添加剤の濃度が上記の濃度となるように、添加剤を添加剤注入槽から添加した上で、実施の形態１と同様の方法で、高電圧パルスを印加して放電を行う。
【００６０】
このように、実施の形態６に係る殺菌装置によれば、被処理水に添加剤を添加することにより、放電により発生した気泡を微細な状態で存在させることにより、水の噴流速度が増し、殺菌効率が向上するといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００６１】
実施の形態７．
図１６は、本発明の実施の形態７における殺菌装置を冷暖房機能を有する空調機に設置した例を示す概略断面図である。空気中の水蒸気は熱交換器２２の表面において冷却され、熱交換器２２の表面で凝縮され凝縮水２３となる（凝縮水のことを以下「ドレン水」と呼ぶ）。熱交換器２２の表面は親水化処理されているため、ある一定以上の凝縮水２３が付着すると自然落下を始めて、ドレン水２３として、ドレンパン２４に回収される。ドレンパンに設置された本発明による殺菌装置１を用い、ドレン水中のカビや細菌などを除去する。
【００６２】
このように、実施の形態７における殺菌装置を設置した空調機によると、殺菌装置によりドレン水中の微生物、カビや細菌を殺菌することにより、ドレンパン表面でのカビや細菌の発生、しいてはスライムの発生を抑制し、ドレンポンプのつまりを抑制することができる効果があるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００６３】
〔実施例２〕
図１７は、本発明の実施の形態７における殺菌装置を設置した空調機の熱交換器に付着させた菌体に対する除菌効果を実施例２による実験結果を示す。以下のような設定条件で試験を実施した。殺菌条件としては、実施の形態１における、高電圧電極２と接地電極３の電極間隙Ｄが１０ｍｍで、−１０ｋＶ、１００Ｈｚで、負極性のパルス放電を行った。また、殺菌装置１を構成する材料としては、実施例１と同様のものを用いた。
【００６４】
空気中の水蒸気は熱交換器２２の表面において冷却され、熱交換器２２の表面で凝縮されて凝縮水２３なる。熱交換器２２の表面は親水化処理されているため、単位面積あたり０．１ｍｇ／ｃｍ２以上の凝縮水２３が付着すると自然落下を始めて、ドレンパン２４に回収される。空調機運転中は、ドレンパン２４上のドレン水２３が８００ｍｌを超えると、ドレンポンプ２５が動き始め、ドレン水２３はドレンポンプ２５から空調機の外へ排出される。空調機の運転が終了すると、ドレンポンプ２５が止まり、ドレンポンプ２５により排出されなかったドレン水２３の５００ｍｌがドレンパン２３に残存する。実験条件３（Ｄ）では、そのドレン水２３中に大腸菌１０５ＣＦＵ／ｍｌを生育させておき、殺菌装置１よる大腸菌の菌体数の変化を測定した。なお、殺菌装置による殺菌効果を比較するため、比較条件２（Ｅ）として、実験条件３（Ｄ）と同条件で放電を行わず放置する試験を行った。
【００６５】
図１７は、ドレンパン２４中のドレン水２３を殺菌装置１で殺菌した場合におけるドレン水中の菌体数の変化を示す。実験条件３（Ｄ）では、当初の１０５ＣＦＵ／ｍｌから、菌対数が減少し、１ｈｒで１桁殺菌できた。一方、比較条件２（Ｅ）では、１０５ＣＦＵ／ｍｌから減少することなく、徐々に増加し、逆に１ｈｒで１桁増加した。このことから、殺菌装置１による殺菌効果が認められる。
【００６６】
また、空調運転１０ｈｒ→殺菌１ｈｒ→放置１３ｈｒを１サイクルとして３０サイクル行った場合のドレン水中のドレン水の菌体数およびスライムの発生状況について述べる。実験条件３として空調運転終了後、殺菌装置１により殺菌を行った空調機では、菌体数は１０５ＣＦＵ／ｍｌから徐々に減少し、１〜１０２ＣＦＵ／ｍｌで推移し、スライムの発生は確認されなかった。一方、比較条件２として殺菌装置１で放電を行わず殺菌をしていなかった空調機では、菌体数は１０５〜１０７ＣＦＵ／ｍｌで推移し、１４日付近からスライムが観察され始めた。
【００６７】
このように、空調機による熱交換器を本発明の殺菌装置にて、ドレン水を殺菌することにより、ドレンパンでのカビや細菌の発生を抑制でき、また、スライム発生も抑制できる効果があることを確認できた。
【００６８】
実施の形態８．
図１３は、実施の形態８における殺菌装置を手乾燥機に設置した例を示すドレンパン部の概略断面図である。濡れた手２６の両面に吹きつけられたジェット風２７により、水滴２８は一気に吹き飛ばされて、ドレン水２３となり、ドレンパン２４に回収される。その後、ドレンパン２４に設置された本発明による殺菌装置１により、ドレン水２３中のカビや細菌などを除去する。
【００６９】
このように、実施の形態８における殺菌装置を設置した手乾燥機によると、ドレンパン中のドレン水の微生物、カビや細菌を殺菌することで、ドレンパンから発生する異臭を抑制することができる効果があるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【００７０】
実施の形態９．
図１９は、実施の形態８における殺菌装置を加湿器に設置した例を示す概略断面図である。図１９に示すように加湿器は、空気を加湿するための水を貯めておく貯水タンク２９、加湿素子３０から水を回収するドレンパン２４、このドレンパン２４から貯水タンク２９にドレン水２３を送る配管３１、貯水タンク２９と加湿素子３０を結ぶ配管３２などから構成されている。
ドレンパン２４に、殺菌装置１を設置し、貯水タンク２９に貯まっている水を定期的に殺菌することにより、水は常時殺菌された状態になり、貯水タンク２９のみならず、加湿素子３０、ドレンパン２４などのカビ発生の抑制にもつながる。
【００７１】
このように、実施の形態９における殺菌装置を設置した加湿器によると、加湿器で水分が蓄積しやすい部分、特に加湿素子、ドレンパンなどはカビが発生しやすいという問題があるが、加湿器で噴霧する殺菌されているため、微生物、カビや細菌の発生を抑制する効果があるといった従来にない顕著な効果を期待することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】実施の形態１に係る殺菌装置を示す概略断面図である。
【図２】実施の形態１に係る殺菌装置の放電電極部における電気力線を示す概略断面図である。
【図３】実施の形態１に係る殺菌装置の放電電極部の第２の例を示す概略断面図である。
【図４】実施の形態１に係る殺菌装置の放電電極部の第３の例を示す概略断面図である。
【図５】実施の形態１に係る実施例１の実験結果を示す図である。
【図６】実施の形態１に係る実施例１の比較条件１に使用した放電電極部を示す概略断面図である。
【図７】実施の形態２に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
【図８】実施の形態１に係る殺菌装置の高圧電極の突出比と噴流速度の実験結果を示す図である。
【図９】実施の形態３に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
【図１０】実施の形態３に係る殺菌装置の放電電極部の他の例を示す概略断面図である。
【図１１】実施の形態３に係る殺菌装置の放電電極部の他の例示す概略断面図である。
【図１２】実施の形態３に係る殺菌装置の放電電極部の他の例示す概略断面図である。
【図１３】実施の形態４に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
【図１４】実施の形態５に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
【図１５】実施の形態６に係る殺菌装置の放電電極部を示す概略断面図である。
【図１６】実施の形態７における殺菌装置を冷暖房機能を有する空調機に設置した例を示す概略断面図である。
【図１７】実施の形態７における殺菌装置を設置した空調機における熱交換器の除菌効果の実験結果を示す図である。
【図１８】実施の形態８における殺菌装置を手乾燥機に設置した例を示す概略断面図である。
【図１９】実施の形態９における殺菌装置を加湿器に設置した例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１  殺菌装置
２  高電圧電極
３  接地電極
４  絶縁体
６  放電電極
７  処理槽
８  被処理水
９  電源
１０，１０ｂ，１０ｈ，１０ｓ  気泡
１１  噴流
１３  誘電体筒
１８  メッシュ状接地電極
１９  フィルタ
２０  親水性絶縁体
２１  添加剤注入槽
２２  熱交換器
２３  凝縮水（ドレン水）
２４  ドレンパン
３０  加湿素子
【図１】
0004784624.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0004784624.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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