(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープの周縁に引っ掛けて、保護テープの周縁部分の少なくとも一部を剥離する第１剥離過程と、
前記保護テープの周縁部分を剥離した前記ニードルを退避させた後に、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項２】
半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープの周縁部分に突き刺して、保護テープの周縁部分の一部を剥離する第１剥離過程と、
前記保護テープの端部を剥離した前記ニードルを退避させた後に、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の保護テープ剥離方法において、
前記貼付け過程は、前記第１剥離過程で剥離された保護テープの周縁部分への剥離用接着テープ類の貼り付け押圧力を、保護テープの他の貼付け部分より弱くして貼り付ける
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の保護テープ剥離方法において、
前記貼付け過程と前記第２剥離過程とを同時に行なわせる
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の保護テープ剥離方法において、
前記第１剥離過程は、半導体ウエハとニードルとを保護テープの面方向に沿って逆向きに相対移動させ、
前記第２剥離過程は、前記剥離部位を起点に半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープの面方向に沿って逆向きに相対移動させる
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項６】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の保護テープ剥離方法において、
前記貼付け部材は、先端が先鋭なエッジ部材である
ことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項７】
半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープに突き刺して、保護テープの周縁部分の少なくとも一部を剥離する第１剥離過程と、
前記半導体ウエハの周縁外方から前記保護テープの剥離部位端部に向けて前記ニードルの先端を近接させる過程と、
前記保護テープの剥離部位側から剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
前記剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離方法。
【請求項８】
半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離装置であって、
前記保護テープ付きの半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
先鋭な先端が前記半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに向けられた剥離部材であるニードルと、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに貼り付けられた保護テープの周縁近傍または半導体ウエハの周縁部分に先端が突き刺さる作用位置と、その上方の待機位置とにわたってニードルを保持手段に対して相対上下動させる第１昇降駆動手段と、
前記貼付け部材に帯状の剥離用接着テープ類を巻き掛け供給する剥離用接着テープ類供給手段と、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに貼り付けられた保護テープの表面に前記剥離用接着テープ類を貼り付ける作用位置と、その上方の待機位置とにわたって貼付け部材を前記保持手段に対して相対上下動させる第２昇降駆動手段と、
前記保持手段と前記ニードル、および保持手段と前記貼付け部材をそれぞれ相対的に逆向きに水平移動させる水平駆動手段と、
水平駆動手段により作用位置にある前記ニードルと保持手段とを逆向きに相対移動させて保護テープの周縁部分の一部を剥離させ、第１昇降駆動手段によりニードルを待機位置に退避させた後に、第２昇降駆動手段により前記貼付け部材を作用位置に移動させ、水平駆動手段により貼付け部材と保持手段とを逆向きに相対移動させて前記剥離用接着テープ類を保護テープに貼付けながら同時に剥離するように各駆動手段を制御する制御手段と、
剥離した前記剥離用接着テープ類と一体になった保護テープを回収するテープ回収手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ剥離装置。
【請求項９】
請求項８に記載の保護テープ剥離装置において、
前記制御手段は、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼り付ける過程で、前記ニードルにより剥離された保護テープの周縁部分における保持手段と貼付け部材との距離を、保護テープ未剥離の部分における保持手段と貼付け部材との距離よりも長くなるように前記第２昇降駆動手段を駆動制御する
ことを特徴とする保護テープ剥離装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の保護テープ剥離装置において、
前記貼付け部材は、先端が先鋭なエッジ部材で構成した
ことを特徴とする保護テープ剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープの表面に、剥離用接着テープ類の非接着面を貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）を薄型加工する手段として、研削や研磨などの機械的方法、またはエッチングを利用した化学的方法などがある。また、これらの方法を利用してウエハを加工する際、配線パターンの形成されたウエハ表面を保護するために、その表面に保護テープが貼り付けられる。保護テープが貼り付けられて研磨処理されたウエハは、リング状フレームに支持粘着テープを介して裏面から接着保持される。その後、リング状フレームに保持されたウエハの表面から保護テープを剥離除去する。
【０００３】
この保護テープを剥離除去する方法としては、保護テープの表面にローラあるいはエッジ部材などの貼付け部材を介して剥離用接着テープ類を貼り付け、その剥離用接着テープ類を剥離することでウエハ表面から保護テープと一体にして剥離除去して巻き取ってゆくものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−６３０７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の保護テープ剥離方法では次のような問題がある。
【０００５】
ウエハに対する保護テープの密着性が高い場合には、剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けても、ウエハの周縁部分に保護テープの剥離のきっかけとなる折り返し部位を形成するのが困難な状況にあり、保護テープを剥離することができないといった問題がある。
【０００６】
また、保護テープ切断過程で切断された保護テープの切断面が、保護テープの表面からウエハの密着面にかけて幅広となる傾斜した面（台形状）になっている。そのため、保護テープの周縁に剥離用接着テープ類を密着させづらくなるので、剥離時の剥離応力がかかりづらく、精度よく剥離させることができないといった問題がある。
【０００７】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに剥離用接着テープ類を貼り付け、この剥離用接着テープ類を剥離することで保護テープを一体にして半導体ウエハから精度よく剥離することのできる保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。
【０００９】
第１の発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープの周縁に引っ掛けて、保護テープの周縁部分の少なくとも一部を剥離する第１剥離過程と、
前記保護テープの周縁部分を剥離した前記ニードルを退避させた後に、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
（作用・効果）  この方法によると、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）の表面に貼り付けられた保護テープの周縁部分に、先端が先鋭なニードルが引っ掛けられ、保護テープの周縁部分の一部が剥離される。その後、保護テープの表面に貼り付けられた剥離用接着テープ類を、前の過程で剥離された保護テープの剥離部位を起点にして剥離してゆく。すなわち、剥離部位は、ウエハとの接着強度が低下しているので、その部位に剥離応力を集中させれば保護テープの剥離のきっかけができ、保護テープを確実に剥離してゆくことができる。
【００１１】
第２の発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープの周縁部分に突き刺して、保護テープの周縁部分の一部を剥離する第１剥離過程と、
前記保護テープの端部を剥離した前記ニードルを退避させた後に、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
（作用・効果）  この方法によると、ウエハの表面に貼り付けられた保護テープの周縁部分に先端が先鋭なニードルが突き刺され、保護テープの周縁部分の一部が剥離される。その後、保護テープの表面に貼り付けられた剥離用接着テープ類を、前の過程で剥離された保護テープの剥離部位を起点にして剥離してゆく。すなわち、剥離部位は、ウエハとの接着強度が低下しているので、その部位に剥離応力を集中させれば、保護テープの剥離のきっかけができ、保護テープを確実に剥離してゆくことができる。
【００１３】
第３の発明は、上記第１および第２の発明方法において、
前記貼付け過程は、前記第１剥離過程で剥離された保護テープの周縁部分への剥離用接着テープ類の貼り付け押圧力を、保護テープの他の貼付け部分より弱くして貼り付けることを特徴とする。
【００１４】
（作用・効果）  この方法によると、剥離用接着テープ類を保護テープの表面に貼り付けたとき、一旦剥離した保護テープの剥離部位が、再びウエハ表面に密着して接着するのを回避することができる。したがって、剥離部位を起点にして保護テープを精度よく剥離することができる。
【００１５】
第４の発明は、上記第１ないし第３のいずれかの発明方法において、
前記貼付け過程と前記第２剥離過程とを同時に行なわせることを特徴とする。
【００１６】
（作用・効果）  この方法によると、貼付け部材に巻き掛けられた剥離用接着テープ類は保護テープの端縁に押圧接触される。その後、ウエハと貼付け部材との保護テープ面方向に沿う相対移動に伴って、その接触箇所で剥離用接着テープ類の貼付けと剥離が同時に進行し、保護テープは剥離用接着テープ類が貼付け開始された端縁から順次剥離されてゆく。
【００１７】
第５の発明は、上記第１ないし第４のいずれかの発明方法において、
前記第１剥離過程は、半導体ウエハとニードルとを保護テープの面方向に沿って逆向きに相対移動させ、
前記第２剥離過程は、前記剥離部位を起点に半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープの面方向に沿って逆向きに相対移動させることを特徴とする。
【００１８】
（作用・効果）  この方法によると、上記第１から第２の方法を好適に実施することができる。
【００１９】
第６の発明は、上記第１ないし第３のいずれかの発明方法において、
前記貼付け部材は、先端が先鋭なエッジ部材であることを特徴とする。
【００２０】
（作用・効果）  この方法によると、保護テープ周縁の一点にニードル先端を引っ掛け、剥離応力を集中させることができる。また、保護テープの周縁部分にニードルを突き刺しても、その部位に剥離応力を集中させることができる。つまり、保護テープの周縁の一部を確実に剥離することができる。また、剥離用接着テープ類の貼り付けにエッジ部材を利用することにより、保護テープに対して剥離用接着テープ類は幅の小さい線状に接触することになり、貼付け位置が確定しやすくなる。
【００２１】
第７の発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼付け部材により押圧しながら貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離方法において、
先端が先鋭な剥離部材であるニードルを前記保護テープに突き刺して、保護テープの周縁部分の少なくとも一部を剥離する第１剥離過程と、
前記半導体ウエハの周縁外方から前記保護テープの剥離部位端部に向けて前記ニードルの先端を近接させる過程と、
前記保護テープの剥離部位側から剥離用接着テープ類を貼付け部材で押圧しながら半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープに貼り付けてゆく貼付け過程と、
前記剥離部位を起点に、前記半導体ウエハと貼付け部材とを保護テープ面方向に沿って相対移動させて剥離用接着テープ類を保護テープと一体にして半導体ウエハ表面から剥離する第２剥離過程と、
を備えたことを特徴とする。
【００２２】
（作用・効果）  この方法によると、ウエハの表面に貼り付けられた保護テープの周縁部分に、先端が先鋭なニードルが突き刺され、保護テープの周縁部分の一部が剥離される。周縁部の剥離が終わると、ウエハの周縁外方から保護テープの剥離部位端部に向けて剥離部材の先端が近接させられる。その後、保護テープの剥離部位側から剥離用接着テープ類が貼り付けられてゆく。
【００２３】
このとき、ニードルの先端が保護テープの剥離開始端に向けて近接しているので、保護テープに貼り付ける剥離用接着テープが撓むなどしてウエハ外周がはみ出ることにより、ウエハの保持面に向けて剥離用接着テープが落下するような場合、ニードルの先端が、落下する剥離用接着テープを受け止める。剥離用接着テープの貼付けが終わると、剥離部位を起点にして剥離用接着テープを剥離してゆく。すなわち、剥離部位の保護テープは、ウエハとの接着強度が低下しているので、その部位に剥離応力を集中させれば保護テープの剥離のきっかけができ、保護テープを剥離用接着テープと一緒に確実に剥離してゆくことができる。
【００２４】
また、剥離用接着テープがウエハ外周からはみ出て落下するような場合、ニードルの先端によって剥離用接着テープが受け止められるので、剥離用接着テープの粘着面が、ウエハを保持する部材の保持面などに貼り付くのを回避できる。例えば、粘着テープを介してリングフレームの中央に保持されたマウントフレーム上のウエハ表面に貼り付けられた保護テープを剥離用接着テープによって剥離するような場合、粘着テープと剥離用接着テープの両粘着面同士が貼り付くのを防止することができ、ひいては保護テープ剥離時に余計な剥離応力がウエハに加わらないので、ウエハの破損を防止することができる。
【００２５】
第８の発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに、剥離用接着テープ類をその非接着面側から貼り付け、該剥離用接着テープ類を剥離することで半導体ウエハの表面から保護テープを剥離用接着テープ類と一体にして剥離する保護テープ剥離装置であって、
前記保護テープ付きの半導体ウエハを載置保持する保持手段と、
先鋭な先端が前記半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープに向けられた剥離部材であるニードルと、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに貼り付けられた保護テープの周縁近傍または半導体ウエハの周縁部分に先端が突き刺さる作用位置と、その上方の待機位置とにわたってニードルを保持手段に対して相対上下動させる第１昇降駆動手段と、
前記貼付け部材に帯状の剥離用接着テープ類を巻き掛け供給する剥離用接着テープ類供給手段と、
前記保持手段に保持された半導体ウエハに貼り付けられた保護テープの表面に前記剥離用接着テープ類を貼り付ける作用位置と、その上方の待機位置とにわたって貼付け部材を前記保持手段に対して相対上下動させる第２昇降駆動手段と、
前記保持手段と前記ニードル、および保持手段と前記貼付け部材をそれぞれ相対的に逆向きに水平移動させる水平駆動手段と、
水平駆動手段により作用位置にある前記ニードルと保持手段とを逆向きに相対移動させて保護テープの周縁部分の一部を剥離させ、第１昇降駆動手段によりニードルを待機位置に退避させた後に、第２昇降駆動手段により前記貼付け部材を作用位置に移動させ、水平駆動手段により貼付け部材と保持手段とを逆向きに相対移動させて前記剥離用接着テープ類を保護テープに貼付けながら同時に剥離するように各駆動手段を制御する制御手段と、
剥離した前記剥離用接着テープ類と一体になった保護テープを回収するテープ回収手段とを備えたことを特徴とする。
【００２６】
（作用・効果）  この構成によれば、作用位置にあるニードルと保持手段とを逆向きに相対移動させることにより、保護テープの周縁部分の一部を剥離することができる。また、その後に保護テープの表面に貼り付けた剥離用接着テープ類を、剥離部位を起点にして剥離することにより、上記第１および第２の方法発明を好適に実現することができる。
【００２７】
第９の発明は、上記第８の発明装置において、
前記制御手段は、前記保護テープに剥離用接着テープ類を貼り付ける過程で、前記ニードルにより剥離された保護テープの周縁部分における保持手段と貼付け部材との距離を、保護テープ未剥離の部分における保持手段と貼付け部材との距離よりも長くなるように前記第２昇降駆動手段を駆動制御することを特徴とする。
【００２８】
（作用・効果）  この構成によれば、保護テープの剥離部位に剥離用接着テープ類を貼り付けるときの押圧力を弱くすることができる。したがって、一旦剥離した保護テープの周縁部分が、ウエハの表面に再び密着するのを回避することができる。すなわち、第３の方法発明を好適に実現することができる。
【００２９】
なお、上記第７または第９の発明装置において、貼付け部材には、先端が先鋭なエッジ部材で構成することが好ましい。
【発明の効果】
【００３０】
この発明に係る保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置によれば、半導体ウエハの端部から保護テープと剥離用接着テープ類を一体にして確実に剥離することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の保護テープ剥離装置を備えた半導体ウエハマウント装置の実施例を説明する。
【００３２】
図１は、この発明の第１の実施形態に係り、半導体ウエハマウント装置の全体構成を示した破断斜視図である。
【００３３】
本実施例の半導体ウエハマウント装置１は、バックグラインド処理を施したウエハＷを多段に収納するカセットＣが装填されるウエハ供給部２と、ロボットアーム４と押圧機構５とを備えたウエハ搬送機構３と、ウエハＷの位置合わせをするアライメントステージ７と、アライメントステージ７に載置されたウエハＷに向けて紫外線を照射する紫外線照射ユニット１４と、ウエハＷを吸着保持するチャックテーブル１５と、リングフレームｆが多段に収納されたリングフレーム供給部１６と、リングフレームｆをダイシング用テープである支持粘着テープＤＴに移載するリングフレーム搬送機構１７と、支持粘着テープＤＴをリングフレームｆの裏面から貼り付けるテープ処理部１８と、支持粘着テープＤＴが貼り付けられたリングフレームｆを昇降移動させるリングフレーム昇降機構２６と、支持粘着テープＤＴが貼り付けられたリングフレームｆにウエハＷを貼り合わせて一体化したマウントフレームＭＦを作製するマウントフレーム作製部２７と、作製されたマウントフレームＭＦを搬送する第１マウントフレーム搬送機構２９と、ウエハＷの表面に貼り付けられた保護テープＰＴを剥離する剥離機構３０と、剥離機構３０で保護テープＰＴが剥離されたマウントフレームＭＦを搬送する第２マウントフレーム搬送機構３５と、マウントフレームＭＦの方向転換および搬送を行なうターンテーブル３６と、マウントフレームＭＦを多段に収納するマウントフレーム回収部３７とから構成されている。
【００３４】
ウエハ供給部２には図示しないカセット台が備えられており、このカセット台に保護テープＰＴがパターン面（以下、適宜に「表面」という）に貼り付けられたウエハＷを多段に収納したカセットＣが載置されるようになっている。このとき、ウエハＷはパターン面を上向きにした水平姿勢を保っている。
【００３５】
ウエハ搬送機構３は、図示しない駆動機構によって旋回および昇降移動するように構成されている。つまり、後述するロボットアーム４のウエハ保持部や、押圧機構５に備わった押圧プレート６の位置調整を行なうとともに、ウエハＷをカセットＣからアライメントステージ７に搬送するようになっている。
【００３６】
ウエハ搬送機構３のロボットアーム４は、その先端に図示しない馬蹄形をしたウエハ保持部を備えている。また、ロボットアーム４は、カセットＣに多段に収納されたウエハＷ同士の間隙をウエハ保持部が進退可能に構成されている。なお、ロボットアーム先端のウエハ保持部には吸着孔が設けられており、ウエハＷを裏面から真空吸着して保持するようになっている。
【００３７】
ウエハ搬送機構３の押圧機構５は、その先端にウエハＷと略同形状をした円形の押圧プレート６を備えており、この押圧プレート６がアライメントステージ７に載置されたウエハＷの上方に移動するように、アーム部分が進退可能に構成されている。なお、押圧プレート６の形状は、円形に限定されるものではなく、ウエハＷに発生している反りを矯正できる形状であればよい。例えば、ウエハＷの反り部分に棒状物などの先端を押圧するようにしてもよい。
【００３８】
また、押圧機構５は、後述するアライメントステージ７の保持テーブルにウエハＷが載置されたときに、吸着不良が発生した場合に作動するようになっている。具体的には、ウエハＷに反りが発生してウエハＷを吸着保持できないとき、押圧プレート６がウエハＷの表面を押圧し、反りを矯正して平面状態にする。この状態で保持テーブルがウエハＷを裏面から真空吸着するようになっている。
【００３９】
アライメントステージ７は、載置されたウエハＷをその周縁に備えられたオリエンテーションフラットやノッチなどに基づいて位置合わせを行なうとともに、ウエハＷの裏面全体を覆って真空吸着する保持テーブルを備えている。
【００４０】
また、アライメントステージ７は、ウエハＷを真空吸着したときの圧力値を検出し、正常動作時（ウエハＷが保持テーブルに正常に吸着されたとき）の圧力値に関連して予め定められた基準値とを比較する。圧力値が基準値よりも高い（すなわち、吸気管内の圧力が十分に低下していない）場合は、ウエハＷに反りがあって保持テーブルに吸着されていないものと判断する。そして、押圧プレート６を作動させてウエハＷを押圧し、反りを矯正することによって、ウエハＷが保持テーブルに吸着されるようになっている。
【００４１】
アライメントステージ７は、ウエハＷを載置して位置合わせを行なう初期位置と、後述するテープ処理部１８の上方に多段に配備されたチャックテーブル１５とリングフレーム昇降機構２６との中間位置とにわたってウエハＷを吸着保持した状態で搬送移動できるように構成されている。つまり、アライメントステージ７は、ウエハＷの反りを矯正して平面状態に保持したまま次の工程まで搬送する。
【００４２】
紫外線照射ユニット１４は、初期位置にあるアライメントステージ７の上方に位置している。紫外線照射ユニット１４は、ウエハＷの表面に貼り付けられた紫外線硬化型粘着テープである保護テープＰＴに向けて紫外線を照射する。つまり、紫外線の照射によって保護テープＰＴの接着力を低下させるようになっている。
【００４３】
チャックテーブル１５は、ウエハＷの表面を覆って真空吸着できるようにウエハＷと略同一形状の円形をしており、図示しない駆動機構によって、テープ処理部１８の上方の待機位置からウエハＷをリングフレームｆに貼り合わせる位置にわたって昇降移動するようになっている。
【００４４】
つまり、チャックテーブル１５は、保持テーブルによって反りを矯正されて平面状態に保持されたウエハＷと当接し、吸着保持するようになっている。
【００４５】
また、チャックテーブル１５は、後述する支持粘着テープＤＴが裏面から貼り付けられたリングフレームｆを吸着保持するリングフレーム昇降機構２６の開口部に収まってウエハＷがリングフレームｆの中央の支持粘着テープＤＴに近接する位置まで降下するようになっている。
【００４６】
このとき、チャックテーブル１５とリングフレーム昇降機構２６とは、図示しない保持機構によって保持されている。
【００４７】
リングフレーム供給部１６は底部に滑車が設けられたワゴン状のものであって、装置本体内に装填されるようになっている。また、その上部が開口して内部に多段に収納されているリングフレームｆをスライド上昇させて送り出すようになっている。
【００４８】
リングフレーム搬送機構１７は、リングフレーム供給部１６に収納されているリングフレームｆを上側から１枚ずつ順番に真空吸着し、図示しないアライメントステージと、支持粘着テープＤＴを貼り付ける位置とにリングフレームｆを順番に搬送するようになっている。また、リングフレーム搬送機構１７は、支持粘着テープＤＴの貼付の際、支持粘着テープＤＴの貼付位置でリングフレームｆを保持する保持機構としても作用している。
【００４９】
テープ処理部１８は、支持粘着テープＤＴを供給するテープ供給部１９、支持粘着テープＤＴにテンションをかける引張機構２０、支持粘着テープＤＴをリングフレームｆに貼り付ける貼付ユニット２１、リングフレームｆに貼り付けられた支持粘着テープＤＴを裁断するカッター機構２４、カッター機構２４によって裁断された後の不要なテープをリングフレームｆから剥離する剥離ユニット２３、および裁断後の不要な残存テープを回収するテープ回収部２５とを備えている。
【００５０】
引張機構２０は、支持粘着テープＤＴを幅方向の両端から挟み込んで、テープ幅方向にテンションをかけるようになっている。つまり、柔らかい支持粘着テープＤＴを用いると、テープ供給方向に加わるテンションによって、その供給方向に沿って支持粘着テープＤＴの表面に縦皺が発生してしまう。この縦皺を回避してリングフレームｆに支持粘着テープＤＴを均一に貼り付けるために、テープ幅方向側からテンションをかけている。
【００５１】
貼付ユニット２１は、支持粘着テープＤＴの上方に保持されたリングフレームｆの斜め下方（図１では左斜め下）の待機位置に配備されている。この貼付ユニット２１に設けられた貼付ローラ２２は、支持粘着テープＤＴの貼付位置にリングフレーム搬送機構１７によってリングフレームｆが搬送および保持され、テープ供給部１９からの支持粘着テープＤＴの供給が開始されると同時に、テープ供給方向の右側の貼付開始位置に移動する。
【００５２】
貼付開始位置に到達した貼付ローラ２２は、上昇して支持粘着テープＤＴをリングフレームｆに押圧して貼り付け、貼付開始位置から待機位置方向に転動して支持粘着テープＤＴを押圧しながらリングフレームｆに貼り付けるようになっている。
【００５３】
剥離ユニット２３は、後述するカッター機構２４によって裁断された支持粘着テープＤＴの不要な部分をリングフレームｆから剥離するようになっている。具体的には、リングフレームｆへの支持粘着テープＤＴの貼り付けおよび裁断が終了すると、引張機構２０による支持粘着テープＤＴの保持が開放される。次いで、剥離ユニット２３が、リングフレームｆ上をテープ供給部１９側に向かって移動し、裁断後の不要な支持粘着テープＤＴを剥離する。
【００５４】
カッター機構２４は、リングフレームｆが載置された支持粘着テープＤＴの下方に配備されている。支持粘着テープＤＴが貼付ユニット２１によってリングフレームｆに貼り付けられると、引張機構２０による支持粘着テープＤＴの保持が開放され、このカッター機構２４が上昇する。上昇したカッター機構２４は、リングフレームｆに沿って支持粘着テープＤＴを裁断する。
【００５５】
リングフレーム昇降機構２６は、リングフレームｆに支持粘着テープＤＴを貼り付ける位置の上方の待機位置にある。このリングフレーム昇降機構２６は、リングフレームｆに支持粘着テープＤＴの貼付処理が終了すると降下し、リングフレームｆを吸着保持する。このとき、リングフレームｆを保持していたリングフレーム搬送機構１８は、リングフレーム供給部１６の上方の初期位置に戻る。
【００５６】
また、リングフレーム昇降機構２６はリングフレームｆを吸着保持すると、ウエハＷとの貼り合わせ位置へと上昇する。このとき、ウエハＷを吸着保持したチャックテーブル１５もウエハＷの貼り合わせ位置まで降下する。
【００５７】
マウントフレーム作製部２７は、周面が弾性変形可能な貼付ローラ２８を備えている。貼付ローラ２８は、リングフレームｆの裏面に貼り付けられている支持粘着テープＤＴの非接着面を押圧しながら転動するようになっている。
【００５８】
第１マウントフレーム搬送機構２９は、リングフレームｆとウエハＷとが一体形成されたマウントフレームＭＦを真空吸着して剥離機構３０の図示しない剥離テーブルに移載するようになっている。
【００５９】
剥離機構３０は、図２に示すように、ウエハＷを載置して移動させる剥離テーブル３８、剥離用接着テープ類（以下、単に「剥離テープ」という）Ｔｓを供給するテープ供給部３１、保護テープＰＴの周縁の一部の剥離を行なう第１剥離ユニット３２、剥離テープＴｓの貼り付けおよび剥離を行なう第２剥離ユニット３３、および剥離された剥離テープＴｓと保護テープＰＴを回収するテープ回収部３４とから構成されている。ここで、剥離機構３０のうち剥離テーブル３８を除く構成は、装置本体に位置固定状態に装備されている。
【００６０】
なお、剥離テーブル３８は、本発明の保持手段に、テープ供給部３１は剥離用接着テープ類供給手段に、第剥離テープＴｓは剥離用接着テープ類にそれぞれ相当する。また、剥離用接着テープ類としては、例えば、熱硬化性を有する熱硬化型の接着テープ、熱や紫外線などにより硬化する感圧型の接着テープ、熱可塑性の接着テープなどが挙げられる。さらに、これら接着テープを粘着テープに置き換えても適用できる。
【００６１】
剥離テーブル３８は、マウントフレームＭＦを裏面側から真空吸着するよう構成されており、前後水平に配備された左右一対のレール４１に沿って前後にスライド移動可能に支持された可動台４２に支持されている。そして、可動台４２は、パルスモータ４３で正逆駆動されるネジ軸４４によってネジ送り駆動されるようになっている。なお、レール４１、可動台４２、パルスモータ４３、ネジ軸４４などは、本発明の水平駆動手段を構成する。
【００６２】
テープ供給部３１は、原反ローラから導出した剥離テープＴｓをガイドローラ４５を介して第１および第２剥離ユニット３２、３３の下端部に案内供給するようになっている。
【００６３】
テープ回収部３４は、両剥離ユニット３２、３３の下端部から送り出された剥離テープＴｓをモータ駆動される送りローラ４６およびガイドローラ５１を介して上方に導いて巻き取り回収するようになっている。
【００６４】
第１剥離ユニット３２は、平行に昇降可能な可動ブロック４７とこれをネジ送り昇降させるパルスモータ４８が備えられるとともに、可動ブロック４７の下端に、剥離テープＴｓの剥離部材として先端が先鋭なニードル４９とが備えられている。なお、可動ブロック４７の下端から突き出たニードル４９は、その長さが保護テープＰＴの厚みより短く設定されている。つまり、可動ブロック４７の底面が保護テープＰＴの表面に当接したとき、ニードル４９の先端がウエハＷの表面に到達しない長さに設定されている。なお、可動ロック４７およびパルスモータ４８などは、本発明の第１昇降駆動手段を構成する。
【００６５】
第２剥離ユニット３３には、平行に昇降可能な可動ブロック５２とこれをネジ送り昇降させるパルスモータ５３が備えられるとともに、可動ブロック５２の下端に、剥離テープＴｓの貼付け部材および剥離部材として先端が先鋭なエッジ部材５４と、供給されてきた剥離テープＴｓをエッジ部材５４の先端部に導く受入れガイドローラ５５と、エッジ部材５４の先端部で折り返された剥離テープＴｓをテープ回収部３４に向けて案内する送り出しガイドローラ５６とが備えられている。なお、エッジ部材５４はウエハ直径より幅広の板材で構成され、先下がり傾斜姿勢で取り付け固定されている。なお、可動ブロック５２およびパルスモータ５３などは、本発明の第２昇降駆動手段を構成する。
【００６６】
また、第１剥離ユニット３２には、ニードル４９の剥離テープ貼付け方向前方箇所において保護テープＰＴの端縁を非接触で検出する検出手段として反射式の光センサ５７が装備されている。この光センサ５７は、ニードル４９の先端から所定距離Ｌ１だけ前方に離れた位置において保護テープＰＴの表面に向けて所定波長のレーザ光ビームを投光し、その反射光を受光するものが利用され、この光センサ５７からの検知情報が剥離テーブル３８を前後に移動駆動するパルスモータ４３、ニードル４９およびエッジ部材５４を昇降駆動するパルスモータ４８、５３の作動を司る制御装置５８に伝達されるようになっている。なお、投光するレーザ光ビームの波長や出力は、使用する保護テープＰＴの種類や厚みなどによって異なるが、本実施例の場合、例えば、０．６〜１μｍの単波長が利用される。なお、制御装置５８は、本発明の制御手段に相当する。
【００６７】
第２マウントフレーム搬送機構３５は、剥離機構３０から払い出されたマウントフレームＭＦを真空吸着してターンテーブル３６に移載するようになっている。
【００６８】
ターンテーブル３６は、マウントフレームＭＦの位置合わせおよびマウントフレーム回収部３７への収納を行なうように構成されている。つまり、第２マウントフレーム搬送機構３５によってターンテーブル３６上にマウントフレームＭＦが載置されると、ウエハＷのオリエンテーションフラットや、リングフレームｆの位置決め形状などに基づいて位置合わせを行なう。またマウントフレーム回収部３７へのマウントフレームＭＦの収納方向を変更するために、ターンテーブル３６は旋回するようになっている。また、ターンテーブル３６は、収納方向が定まるとマウントフレームＭＦを図示しないプッシャーによって押出してマウントフレーム回収部３７にマウントフレームＭＦを収納するようになっている。
【００６９】
マウントフレーム回収部３７は、図示しない昇降可能な載置テーブルに載置されている。つまり、載置テーブルが昇降移動することによって、プッシャーによって押出されたマウントフレームＭＦをマウントフレーム回収部３７の任意の段に収納できるようになっている。
【００７０】
次に、上述の実施例装置について一巡の動作を図１から図１３を参照しながら説明する。
【００７１】
ロボットアーム４のウエハ保持部がカセットＣの隙間に挿入される。ウエハＷは下方から吸着保持されて１枚ずつ取り出される。取り出されたウエハＷは、アライメントステージ７に搬送される。
【００７２】
ロボットアーム４によってウエハＷが保持テーブルに載置され、裏面から吸着保持される。このとき、図示しない圧力計によってウエハＷの吸着レベルが検出され、正常動作時の圧力値に関連して予め定められた基準値とを比較される。
【００７３】
吸着異常が検知された場合は、押圧プレート６によりウエハＷが表面から押圧され、反りの矯正された平面状態でウエハＷが吸着保持される。また、ウエハＷは、オリエンテーションフラットやノッチに基づいて位置合わせが行なわれる。
【００７４】
アライメントステージ７上で位置合わせが終了すると、紫外線照射ユニット１４によってウエハＷの表面に紫外線が照射される。
【００７５】
ウエハＷは、紫外線の照射処理が施されると、保持テーブルに吸着保持されたままアライメントステージ７ごと次のマウントフレーム作製部２７へと搬送される。つまり、アライメントステージ７は、チャックテーブル１５とリングフレーム昇降機構２６との中間位置に移動する。
【００７６】
アライメントステージ７が所定の位置で待機すると、上方に位置するチャックテーブル１５が降下し、チャックテーブル１５の底面がウエハＷに当接して真空吸着を開始する。チャックテーブル１５の真空吸着が開始すると、保持テーブル側の吸着保持が開放され、ウエハＷはチャックテーブル１５に反りを矯正して平面保持した状態のまま受け取られる。ウエハＷを受け渡したアライメントステージ７は、初期位置へと戻る。
【００７７】
次に、リングフレーム供給部１６に多段に収納されたリングフレームｆが、リングフレーム搬送機構１７によって上方から１枚ずつ真空吸着されて取り出される。取り出されたリングフレームｆは、図示しないアライメントステージで位置合わせが行なわれたのち、支持用粘着テープＤＴの上方の支持用粘着テープ貼り付け位置に搬送される。
【００７８】
リングフレームｆがリングフレーム搬送機構１７によって保持されて支持用粘着テープＤＴの貼付位置にあると、テープ供給部１９から支持用粘着テープＤＴの供給が開始される。同時に貼付ローラ２２が貼付開始位置に移動する。
【００７９】
貼付開始位置に貼付ローラ２２が到達すると、支持用粘着テープＤＴの幅方向の両端を引張機構２０が保持し、テープ幅方向にテンションをかける。
【００８０】
次いで貼付ローラ２２が上昇し、支持用粘着テープＤＴをリングフレームｆの端部に押圧して貼り付ける。リングフレームｆの端部に支持用粘着テープＤＴを貼り付けると、貼付ローラ２２は待機位置であるテープ供給部１９側に向かって転動する。このとき、貼付ローラ２２は、支持用粘着テープＤＴを非接着面から押圧しながら転動し、リングフレームｆに支持用粘着テープＤＴを貼り付けてゆく。貼付ローラ２２が貼付位置の終端に到達すると、引張機構２０による支持用粘着テープＤＴの保持が開放される。
【００８１】
同時にカッター機構２４が上昇し、リングフレームｆに沿って支持用粘着テープＤＴを裁断する。支持用粘着テープＤＴの裁断が終了すると、剥離ユニット２３がテープ供給部１９側に向かって移動し、不要な支持用粘着テープＤＴを剥離する。
【００８２】
次いでテープ供給部１９が作動して支持用粘着テープＤＴを繰り出すとともに、裁断された不要部分のテープは、テープ回収部２５へと送り出される。ことのとき、貼付ローラ２２は、次のリングフレームｆに支持用粘着テープＤＴを貼り付けるように、貼付開始位置に移動する。
【００８３】
支持用粘着テープＤＴが貼り付けられたリングフレームｆは、リングフレーム昇降機構２６によってフレーム部が吸着保持されて上方へ移動する。このとき、チャックテーブル１５も降下する。つまり、チャックテーブル１５とリングフレーム昇降機構２６とは、互いにウエハＷを貼り合わせる位置まで移動する。
【００８４】
各機構１５、２６が所定位置に到達すると、それぞれが図示しない保持機構によって保持される。次いで、貼付ローラ２８が、支持用粘着テープＤＴの貼付開始位置に移動し、リングフレームｆ底面に貼り付けられている支持用粘着テープＤＴの非接着面を押圧しながら転動し、支持用粘着テープＤＴをウエハＷに貼り付けてゆく。その結果、リングフレームｆとウエハＷとが一体化されたマウントフレームＭＦが作製される。
【００８５】
マウントフレームＭＦが作製されると、チャックテーブル１５とリングフレーム昇降機構２６とは、上方に移動する。このとき、図示しない保持テーブルがマウントフレームＭＦの下方に移動し、マウントフレームＭＦがこの保持テーブルに載置される。載置されたマウントフレームＭＦは、第１マウントフレーム搬送機構２９によって吸着保持され、剥離テーブル３８に移載される。
【００８６】
マウントフレームＭＦが載置された剥離テーブル３８は、図２に示すように、第１剥離ユニット３２の下方に向かって前進移動する。この過程において、光センサ５７から垂直下方に投光されたレーザ光ビームが反射して戻るときの反射光の光強度の変化、または戻り時間の時間差から、保護テープＰＴの表面高さと、リングフレームｆとウエハＷの間で露出した支持粘着テープＤＴの粘着面との判別がなされ保護テープＰＴの前端縁が検知される。
【００８７】
この時の剥離テーブル３８の位置は、光センサ５７からニードル４９の先端位置までの距離Ｌ１としてパルスモータ４３の駆動条件から制御装置５８が判っている。さらに、制御装置５８は、この距離Ｌに基づいて可動ブロック４７を降下させる作用位置Ｐ１および作用位置Ｐ１から保護テープＰＴの周縁部分の一部を剥離する所定距離Ｌ２を判っている。
ここで、距離Ｌ２は、保護テープＰＴの種類や厚みなどよって適宜に設定変更される。
【００８８】
制御装置５８は、各距離情報Ｌ１，Ｌ２に基づいて剥離テーブル３８が前記検知位置から前進移動するようにパルスモータ４３を作動制御し、図８に示すように、作用位置Ｐ１に到達した時点で剥離テーブル３８の前進移動を一端停止させ、次に、図３および図４に示すように、パルスモータ４８を作動させて可動ブロック４７を所定高さまで降下させる。
【００８９】
制御装置５８は、可動ブロック４７が所定高さに到達するとパルスモータ４８の作動を停止させる。つまり、可動ブロック４７の底面の一部（図中左側）が保護テープＰＴの表面に当接し、ニードル４９の先端が保護テープＰＴの厚みを超えない高さで停止する。
【００９０】
そして、制御装置５８は、図５および図６に示すように、再び剥離テーブル３８が所定距離Ｌ２だけ移動するようにパルスモータ４３を作動制御する。このとき、ニードル４９の先端が保護テープＰＴの周縁に引っ掛かり、保護テープＰＴの周縁部分の一部を剥離してゆく。剥離テーブル３８が距離Ｌ２の終端位置に到達すると、制御装置５８は、パルスモータ４３の作動を一旦停止するととも、パルスモータ４８を作動させ、図７に示すように、可動ブロック４７待機位置に上昇させる。つまり、第１剥離ユニット３２が、待機位置に戻る。
【００９１】
可動ブロック４７が退避位置に到達すると、制御装置５８は、パルスモータ４８を停止させるとともに、パルスモータ４３を作動させ、図９に示すように、剥離テーブル３８を前進移動させる。このとき、制御装置５８は、先に光センサ５７によって検知した剥離テーブル３８の位置情報から、現在剥離テーブル３８からエッジ部材５４の先端位置までの距離を判っている。したがって、制御装置５８は、剥離テーブル３８が前進移動するようにパルスモータ４３が作動制御し、検知位置で剥離テーブル３８の前進移動が一端停止させる。つまり、保護テープＰＴの前端縁がエッジ部材５４の先端の直下位置に到達すると前進移動が自動的に一旦停止される。
【００９２】
剥離テーブル３８が一旦停止されると、図１０に示すように、パルスモータ５３が作動制御されて可動ブロック５２が下降される。その後、エッジ部材５４がテープ供給部３１から供給される剥離テープＴｓを巻き掛けた状態で降下され、図１２に示すように、先にニードル４９によって剥離された保護テープＰＴの位置にエッジ部材５４の先端で剥離テープＴｓが所定の押圧力で押し付けられて貼り付ける。
【００９３】
保護テープＰＴの前端への保護テープＰＴの貼付けが完了すると、図１１および図１３に示すように、剥離テーブル３８は、エッジ部材５４で剥離テープＴｓを保護テープＰＴに押圧した状態で再び前進移動を開始するとともに、この移動速度と同調した速度で剥離テープＴｓがテープ回収部３４に向けて巻き取られてゆく。この動作によって、エッジ部材５４がウエハＷの表面の保護テープＰＴに剥離テープＴｓを押圧しながら貼り付けてゆくとともに、同時に貼り付けた剥離テープＴｓを剥離しながら保護テープＰＴを一緒にウエハＷの表面から剥離してゆく。
【００９４】
エッジ部材５４が下降作動した剥離テープ貼付け開始位置からウエハ直径に相当する距離だけ前進するようパルスモータ４３が作動制御された時点、換言すると、エッジ部材５４が保護テープＰＴの後端縁に到達して保護テープＰＴが完全にウエハの表面から剥離された時点でエッジ部材５４が上昇制御されて、第２剥離ユニット３３は初期状態に復帰する。
【００９５】
保護テープＰＴの剥離処理が終了したマウントフレームＭＦは、剥離テーブル３８によって第２マウントフレーム搬送機構３５の待機位置まで移動する。
【００９６】
そして、剥離機構３０から払い出されたマウントフレームＭＦは、第２マウントフレーム搬送機構３５によってターンテーブル３６に移載される。移載されたマウントフレームＭＦは、オリエンテーションフラットやノッチによって位置合わせが行なわれるとともに、収納方向の調節が行なわれる。位置合わせおよび収納方向が定まるとマウントフレームＭＦは、プッシャーによって押出されてマウントフレーム回収部３７に収納される。
【００９７】
以上のように、ニードル４９の先端によって保護テープＰＴの周縁部分の一部を剥離して剥離部位を形成した後に、この剥離部位から保護テープＰＴの表面に剥離テープＴｓを貼り付けるとともに、剥離部位を起点にして剥離テープＴｓを剥離することにより、剥離テープＴｓと一体にして保護テープＰＴを端部から確実に剥離することができる。
【００９８】
次に、この発明の第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態は、上記第１の実施形態においてニードル４９の構成を変更しているので、他の同一構成部分については同じ符号を付すに留め、異なる構成部分について具体的に説明する。
【００９９】
第１剥離ユニット３２Ａは、図１５および図１６に示すように、装置本体の縦壁６０に外フレーム６１を介して取り付け固定されており、外フレーム６１の上方に取り付けられたモータ６２の正逆駆動によってネジ送り昇降される内フレーム６３の内部に備わっている。
【０１００】
内フレーム６３の水平方向前方（図中右側）には、前後水平に配備されたガイドレール６４が備わっており、このガイドレール６４に沿って前後にスライド移動可能に支持された可動台６５にホルダ５０を介してネジ固定されたニードル４９Ａと光センサ５７が取り付けられている。そして、可動台６５は、パルスモータ６６で正逆駆動されるネジ軸６７によってネジ送り駆動されるようになっている。
【０１０１】
ニードル４９Ａは、複数本のニードルを束ねた櫛形状をしている。また、ニードル４９Ａの表面には、非粘着コーティングが施されている。なお、ニードル４９Ａの幅は、剥離テープＴｓの粘着面を受け止め保持できる幅が好ましく、本実施例では、剥離テープＴｓの幅よりも広いものが利用される。
【０１０２】
次に、本実施例装置の第１剥離ユニット３１Ａと第２剥離ユニット３３によって保護テープＰＴを剥離する動作を図１６から図２４を参照しながら説明する。
【０１０３】
先ず、マウントフレームＭＦが載置された剥離テーブル３８は、第１剥離ユニット３２Ａの下方に向かって前進移動する。この過程において、光センサ５７から垂直下方に投光されたレーザ光ビームが反射して戻るときの反射光の光強度の変化、または戻り時間の時間差から、保護テープＰＴの表面高さと、リングフレームｆとウエハＷの間で露出した支持粘着テープＤＴの粘着面との判別がなされ保護テープＰＴの前端縁が検知される。
【０１０４】
制御装置５８は、検知結果に基づいてパルスモータ６６を作動制御し、図１６に示すように、検知位置からニードル４９Ａの先端が保護テープＰＴの周縁に近接する作用位置上方に到達するように可動台６５を移動させる。作用位置上方に到達すると、制御装置５８は、モータ６２を作動制御して、内フレーム６３を降下させる。つまり、制御装置５８は、図１７に示すように、ニードル先端が突き刺さる作用位置である保護テープＰＴとウエハＷの接着界面に近接する高さまでニードル４９Ａを降下させる。なお、ニードル４９Ａの先端を突き刺す位置は、接着界面に限られず、保護テープＰＴの粘着層であってもよい。したがって、内フレーム６３を降下させる高さは、ニードル４９Ａを保護テープＰＴに突き刺す位置によって適時に変更される。
【０１０５】
ニードル４９Ａの先端が作用位置に到達すると、制御装置５８は、パルスモータ６６およびモータ６２を作動制御して、図１８に示すように、可動台６５を前進させてニードル４９Ａの先端を接着界面に突き刺しながら、図中右斜め上方にニードル４９Ａを移動させながら保護テープＰＴの周縁部分の一部を剥離してゆき剥離部位を形成する。
【０１０６】
剥離部位の形成が終了すると、制御装置５８は、パルスモータ６６を逆転駆動制御し、可動台６５を後退させる。つまり、ニードル４９Ａの先端が、ウエハ外周に近接する位置まで後退する。そして、制御装置５８は、モータ６２を作動制御して内フレーム６３を微小距離降下させ、図１９に示すように、ウエハＷと支持用粘着テープＤＴとの接着界面からウエハＷの表面高さまでの範囲にニードル４９Ａの先端が位置するよう停止させる。
【０１０７】
その後、制御装置５８は、図２０に示すように、テープ供給部３１から供給される剥離テープＴｓを巻き掛けた状態のエッジ部材５４を、ウエハ外周よりも内側の位置に降下させる。そして、図２１に示すように、剥離テーブル３８を一端後退させて、先に保護テープＰＴの剥離部位にエッジ部材５４の先端で剥離テープＴｓを所定の押圧力で押圧しながら貼り付ける。
【０１０８】
このとき、エッジ部材５４の先端側に膨れて撓む剥離テープＴｓがウエハ外周からはみ出て下方の支持用粘着テープＤＴに向けて落下するような場合、ウエハＷの外周に向けて近接しているニードル４９Ａの先端が、その剥離テープＴｓを受け止める。また、ニードル４９Ａは、その表面に非粘着コーティングが施されているので、剥離テープＴｓが貼り付かない。
【０１０９】
剥離部位への剥離テープＴｓの貼付けが完了すると、図２２から図２４に示すように、剥離テーブル３８は、エッジ部材５４で剥離テープＴｓを保護テープＰＴに押圧した状態で再び前進移動（図中右側）を開始するとともに、この移動速度と同調した速度で剥離テープＴｓがテープ回収部３４に向けて巻き取られてゆく。この動作によって、エッジ部材５４がウエハＷの表面の保護テープＰＴに剥離テープＴｓを押圧しながら貼り付けてゆくとともに、同時に貼り付けた剥離テープＴｓを剥離しながら保護テープＰＴを一緒にウエハＷの表面から剥離してゆく。
【０１１０】
エッジ部材５４が下降作動した剥離テープ貼付け開始位置からウエハ直径に相当する距離だけ前進するようパルスモータ４３が作動制御された時点、換言すると、エッジ部材５４が保護テープＰＴの後端縁に到達して保護テープＰＴが完全にウエハの表面から剥離された時点でエッジ部材５４が上昇制御されて、第２剥離ユニット３３は初期状態に復帰する。以上で、保護テープＰＴの剥離動作が終了する。
【０１１１】
以上のように、ニードル４９Ａの先端によって保護テープＰＴの周縁部分の一部を剥離して剥離部位を形成した後に、この剥離部位から保護テープＰＴの表面に剥離テープＴｓを貼り付けるとともに、剥離部位を起点にして剥離テープＴｓを剥離することにより、剥離テープＴｓと一体にして保護テープＰＴを端部から確実に剥離することができる。
【０１１２】
さらに、ニードル４９Ａによって保護テープＰＴに剥離部位を形成した後に、ウエハ外方から剥離の起点となる剥離部位の端部に向けてニードル４９Ａの先端を近接させておくことにより、剥離テープＴｓの貼付け時に剥離テープＴｓが撓んだりしてウエハ外周からはみ出て落下するような場合、その落下する剥離テープＴｓを受け止めることができる。すなわち、支持用粘着テープＤＴと剥離テープＴｓの両粘着面同士が貼り付くのを防止することができ、ひいては保護テープ剥離時に余計な剥離応力がウエハＷに加わらないので、ウエハＷの破損を防止することができる。
【０１１３】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１１４】
（１）上記第１の実施形態では、可動ブロック４７を作用位置に降下させたとき、ニードル４９の先端が保護テープＰＴの周縁近傍に位置していたが、保護テープＰＴの周縁部分にニードル４９を直接に突き刺してもよい。この場合にも、ニードル４９の先端が保護テープＰＴを貫通してウエハＷの表面に到達しないように、その長さが設定される。なお、上記実施例および該変形例ともに一本のニードル４９に限定されるものではなく、複数本のニードル４９を組み合せたものであってもよい。
【０１１５】
また、ニードル４９は、その先端が保護テープＰＴの表面に対して垂直となるように可動ブロック４７の下端に備えられているが、剥離テーブル３８の進行方向前側に向かって斜め傾斜で取り付けた構成であってもよい。
【０１１６】
なお、第２の実施形態の装置においても、ニードル４９Ａの先端が保護テープＰＴを貫通してウエハＷの表面に到達しない程度に、保護テープＰＴの表面側からニードル４９Ａを突き刺してもよい。
【０１１７】
（２）上記第1の実施形態では、ニードル４９によって保護テープＰＴの剥離部位を形成した後に、剥離テープＴｓを一定の押圧力で保護テープＰＴの前面に貼り付けていたが、剥離部位への押圧力を他の部分よりも弱くすることが好ましい。
【０１１８】
この場合、制御装置５８によって、パルスモータ４３、５３を作動制御し、保持テーブル３８の移動とエッジ部材５４の高さとを段階的に制御する。つまり、図６に示す剥離部位の距離Ｌ２だけ保持テーブル３８を移動させるとき、エッジ部材５４の高さを剥離部位以外の保護テープＰＴの部分よりも高くし、押圧力を弱くする。そして、剥離部位の終端位置に到達すると、一旦保持テーブル３８の移動を停止または減速させ、エッジ部材５４の高さをさらに低くして押圧力を強めて剥離テープＴｓを保護テープＰＴに貼り付けてゆく。このように構成することで、剥離部位がウエハＷに再び密着するのを回避することができる。
【０１１９】
なお、第２の実施形態においても剥離部位への押圧力を他の部分よりも弱くしてもよい。
【０１２０】
（３）上記各実施形態では、剥離テープＴｓの貼り付け部材としてエッジ部材５４を利用していたが、ローラを利用してもよい。この場合、ローラは周面が硬質のものが好ましく、またローラ径もできるだけ小さいものが好ましい。
【０１２１】
（４）保護テープＰＴの周縁にニードル４９を引っ掛けた状態で剥離テーブル３８を水平移動させていたが、ニードル４９が保護テープＰＴに引っ掛かった時点から第１剥離ユニット３２を微小高さ上昇させながら保護テープＰＴの外周部分を剥離させてもよい。このように構成することで、保護テープの周縁部分を持ち上げて、より確実に剥離することができる。
【０１２２】
（５）保護テープＰＴの端縁を非接触で検知する手段としては、上記各実施形態のように光センサ５７を用いる他に、ＣＣＤカメラなどで取得した撮影画像の解析によって行なうことも可能である。
【０１２３】
（６）上記各実施形態において、マウントフレームＭＦを位置固定して、第１および第２剥離ユニット３２、３３を水平移動させる形態で実施することもできる。
【０１２４】
（７）上記第１の実施形態では、ニードル４９およびエッジ部材５４を下降制御しているが逆に、昇降作動しないニードル４９およびエッジ部材５４に対してマウントフレームＭＦを昇降させる形態で実施することもできる。
【０１２５】
また、第２の実施形態の装置においても、ニードル４９Ａおよびエッジ部材５４を固定し、マウントフレームＭＦを保持した剥離テーブル３８のみ作動制御して実施してもよい。
【０１２６】
（８）上記各実施形態では、保護テープＰＴを剥離する剥離テープＴｓとして、ロール巻きした帯状のものを繰り出して用いているが、寸法切りされた枚葉の接着または粘着テープや接着または粘着シートを利用することもできる。
【０１２７】
（９）上記各実施形態では、マウントフレームＭＦに裏打ち支持されたウエハＷの表面から保護テープＰＴを剥離する構成であったが、マウントフレームＭＦのないウエハＷ単体から保護テープを剥離する場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】半導体ウエハマウント装置の全体を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る剥離機構の側面図である。
【図３】第１の実施の形態の剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図４】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図５】第１剥離ユニットの剥離動作を示す要部の拡大側面図である。
【図６】第１剥離ユニットの剥離動作を示す要部の拡大側面図である。
【図７】第１剥離ユニットの剥離動作を示す要部の拡大側面図である。
【図８】剥離機構の動作過程を示す斜視図である。
【図９】剥離機構の全体構成を示す斜視図である。
【図１０】剥離機構の動作過程を示す斜視図である。
【図１１】剥離機構の動作過程を示す斜視図である。
【図１２】第２剥離ユニットの貼付け作動および剥離作動を示す要部の拡大側面図である。
【図１３】第２剥離ユニットの貼付け作動および剥離作動を示す要部の拡大側面図である。
【図１４】第２の実施形態に係る剥離機構の側面図である。
【図１５】第２の実施形態に係る剥離機構の平面図である。
【図１６】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図１７】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図１８】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図１９】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図２０】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図２１】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図２２】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図２３】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【図２４】剥離機構の動作過程を示す側面図である。
【符号の説明】
【０１２９】
３２  …  第１剥離ユニット
３３  …  第２剥離ユニット
３８  …  剥離テーブル
４７  …  可動ブロック
４８  …  パルスモータ
４９  …  ニードル
５４  …  エッジ部材
５８  …  制御装置
ｆ  …  リングフレーム
ＤＴ  …  支持用粘着テープ
ＰＴ  …  保護テープ
Ｔｓ  …  剥離テープ
ＭＦ  …  マウントフレーム
Ｗ  …  半導体ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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