(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングと、
前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、
前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、
前記ハウジングの側壁及び前記隔壁に具備され、前記第２空間から前記第１空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートと、を含むことを特徴とするパーティクル排出ユニット。
【請求項２】
前記ハウジングの側壁の上部及び下部に第１ゲート及び第２ゲートがそれぞれヒンジ結合され、前記隔壁の上部及び下部に第３ゲート及び第４ゲートがそれぞれヒンジ結合されることを特徴とする請求項１に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項３】
前記第１及び第２ゲートは、前記ハウジングから外側に開放され、前記第３及び第４ゲートは、前記上部及び下部空間の内側にそれぞれ開放されることを特徴とする請求項２に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項４】
前記開放された第１、第２、第３、及び第４ゲートを閉めるために、前記第１、第２、第３、及び第４ゲートとそれぞれ連結された弾性部材を更に含むことを特徴とする請求項３に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項５】
前記第１及び第３ゲートは、前記圧力発生部材の最大上昇の高さの上に配置され、前記第２及び第４ゲートは、前記圧力発生部材の最大下降の高さの下に配置されることを特徴とする請求項２に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項６】
前記圧力発生ユニットを移動させるための駆動部を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項７】
前記上部空間の圧力及び前記下部空間の圧力によって前記ゲートを開閉するための駆動部を更に含むことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル排出ユニット。
【請求項８】
ハウジングと、
前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、
前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、
前記上部及び下部空間のうち、いずれを限定する前記ハウジングの側壁の一部位及び前記隔壁の一部位に具備され、前記第２空間から前記一つの空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートを含むものの、
前記上部及び下部空間のうち、残りの一つを限定する前記ハウジングの側壁の他の部位には、前記残りの一つの空間と外部空間とを連結する開口が形成されることを特徴とするパーティクル排出ユニット。
【請求項９】
ハウジングと、
前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、
前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及
び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、
前記第２空間内で移動可能に配置され、前記基板を支持して移送するための基板支持部材と、
前記ハウジングの側壁及び前記隔壁に具備され、前記第２空間から前記第１空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートと、を含むことを特徴とする基板移送装置。
【請求項１０】
前記圧力発生部材及び前記基板支持部材を移動させるための駆動部を更に含むことを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【請求項１１】
前記駆動部は、
前記第１空間の上部と下部、及び前記第２空間の上部と下部にそれぞれ配置されるプーリーと、
前記隔壁を通じて前記プーリーを更に連結するベルトと、を含み、
前記圧力発生部材及び前記基板支持部材は、前記ベルトに連結されて前記ベルトの回転によって垂直方向に移動することを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【請求項１２】
前記基板支持部材を移動させるための第１駆動部及び前記圧力発生部材を移動させるための第２駆動部を更に含むことを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【請求項１３】
前記ハウジングの側壁の上部及び下部に第１ゲート及び第２ゲートがそれぞれヒンジ結合され、前記隔壁の上部及び下部に第３ゲート及び第４ゲートがそれぞれヒンジ結合されることを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【請求項１４】
前記第１及び第２ゲートは、前記ハウジングから外側に開放され、前記第３及び第４ゲートは、前記上部及び下部空間の内側に開放されることを特徴とする請求項１３に記載の基板移送装置。
【請求項１５】
前記開放された第１、第２、第３、及び第４ゲートを閉めるために前記第１、第２、第３、及び第４ゲートとそれぞれ連結された弾性部材を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の基板移送装置。
【請求項１６】
前記第１及び第３ゲートは、前記圧力発生部材の最大上昇の高さの上に配置され、前記第２及び第４ゲートは、前記圧力発生部材の最大下降の高さの下に配置されることを特徴とする請求項１３に記載の基板移送装置。
【請求項１７】
前記上部空間の圧力及び前記下部空間の圧力によって前記ゲートを開閉するための複数の駆動部を更に含むことを特徴とする請求項９に記載の基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパーティクル排出ユニット及びこれを含む基板移送装置に係り、基板の汚染を減少するためにパーティクルを外部に排出するパーティクル排出ユニット及びこれを含む基板移送装置を提供する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体素子は、半導体基板上に電気的な回路を形成するファブ（ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ；Ｆａｂ）工程と、前記ファブ工程で形成された半導体素子の電気的特性を検査するＥＤＳ（ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ｄｉｅ  ｓｏｒｔｉｎｇ）工程と、前記半導体素子をそれぞれエポキシ樹脂で密封し個別化するためのパッケージ工程によって製造される。
【０００３】
前記ファブ工程は、多様な単位工程を含み、前記単位工程を行うための装置は、複層に積層することができる。この場合、半導体基板は、基板移送装置によって垂直方向に移送される。
【０００４】
前記基板移送装置は、前記基板を支持する支持部及び前記支持部を垂直方向に移動させる駆動部を含む。前記駆動部は、前記基板を移送するための駆動力を前記支持部に伝達し、前記支持部は、前記駆動力によって垂直方向に移動することができる。一方、前記基板を移送する間、前記駆動部からパーティクルが発生するおそれがあり、前記パーティクルによって前記基板が汚染するおそれがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、パーティクルを排出するユニットとこれを含む基板移送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面によるパーティクル排出ユニットは、ハウジングと、前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、前記ハウジングの側壁及び前記隔壁に具備され、前記第２空間から前記第１空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートと、を含むことができる。
【０００７】
本発明の実施例によると、前記ハウジングの側壁の上部及び下部に第１ゲート及び第２ゲートがそれぞれヒンジ結合され、前記隔壁の上部及び下部に第３ゲート及び第４ゲートがそれぞれヒンジ結合されることが可能である。
【０００８】
本発明の実施例によると、第１及び第２ゲートは、前記ハウジングから外側に開放し、前記第３及び第４ゲートは、前記上部及び下部空間の内側にそれぞれ開放されることが可能である。
【０００９】
本発明の実施例によると、前記パーティクル排出ユニットは、前記開放された第１、第２、第３、及び第４ゲートを閉めるために、前記第１、第２、第３、及び第４ゲートとそれぞれ連結された弾性部材を更に含むことができる。
【００１０】
本発明の実施例によると、前記第１及び第３ゲートは、前記圧力発生部材の最大上昇の高さ（上死点）の上に配置され、前記第２及び第４ゲートは、前記圧力発生部材の最大下降の高さ（下死点）の下に配置されることが可能である。
【００１１】
本発明の実施例によると、前記パーティクル排出ユニットは、  前記圧力発生ユニットを移動させるための駆動部を更に含むことができる。
【００１２】
本発明の実施例によると、前記パーティクル排出ユニットは、  前記上部空間の圧力及び前記下部空間の圧力によって前記ゲートを開閉するための駆動部を更に含むことができる。
【００１３】
本発明の他の側面によると、パーティクル排出ユニットは、ハウジングと、前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、前記上部及び下部空間のうち、いずれを限定する前記ハウジングの側壁の一部位及び前記隔壁の一部位に具備され、前記第２空間から前記一つの空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートを含むものの、前記上部及び下部空間のうち、残りの一つを限定する前記ハウジングの側壁の他の部位には前記残りの一つの空間と外部空間とを連結する開口が形成されることが可能である。
【００１４】
本発明の更に他の側面による基板移送装置は、ハウジングと、  前記ハウジングの内部に垂直方向に配置され、前記ハウジングの内部空間を第１空間及び第２空間に区分する隔壁と、前記第１空間を上部空間及び下部空間に区分し、前記上部空間及び下部空間内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で垂直方向に移動可能な圧力発生部材と、前記第２空間内で移動可能に配置され、前記基板を支持して移送するための基板支持部材と、前記ハウジングの側壁及び前記隔壁に具備され、前記第２空間から前記第１空間を経由して外部空間にパーティクルを排出するために前記正圧及び負圧によって開閉される複数のゲートと、を含むことができる。
【００１５】
本発明の実施例によると、前記基板移送装置は、前記圧力発生部材及び前記基板支持部材を移動させるための駆動部を更に含むことができる。
【００１６】
本発明の実施例によると、前記駆動部は、前記第１空間の上部と下部、及び前記第２空間の上部と下部にそれぞれ配置されるプーリーと、前記隔壁を通じて前記プーリーを更に連結するベルトと、を含み、
前記圧力発生部材及び前記基板支持部材は、前記ベルトに連結されて前記ベルトの回転によって垂直方向に移動することができる。
【００１７】
本発明の実施例によると、前記基板移送装置は、前記基板支持部材を移動させるための第１駆動部及び前記圧力発生部材を移動させるための第２駆動部を更に含むことができる。
【００１８】
本発明の実施例によると、前記ハウジングの側壁の上部及び下部に第１ゲート及び第２ゲートがそれぞれヒンジ結合され、前記隔壁の上部及び下部に第３ゲート及び第４ゲートがそれぞれヒンジ結合されることが可能である。
【００１９】
本発明の実施例によると、前記第１及び第２ゲートは、前記ハウジングから外側に開放
され、前記第３及び第４ゲートは、前記上部及び下部空間の内側に開放されることが可能である。
【００２０】
本発明の実施例によると、前記基板移送装置は、前記開放された第１、第２、第３、及び第４ゲートを閉めるために前記第１、第２、第３、及び第４ゲートとそれぞれ連結された弾性部材を更に含むことができる。
【００２１】
本発明の実施例によると、前記第１及び第３ゲートは、前記圧力発生部材の最大上昇の高さの上に配置され、前記第２及び第４ゲートは、前記圧力発生部材の最大下降の高さの下に配置されることが可能である。
【００２２】
本発明の実施例によると、前記基板移送装置は、前記上部空間の圧力及び前記下部空間の圧力によって前記ゲートを開閉するための複数の駆動部を更に含むことができる。
【発明の効果】
【００２３】
前述したように、本発明の実施例によると、圧力発生部材を上昇または下降させてハウジング内部のパーティクルを外部に排出することができる。よって、前記パーティクルによって前記ハウジング内部の基板が汚染されることを減少させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を添付する図面を参照して更に詳細に説明する。
【００２５】
図１は、本発明の一実施例によるパーティクル排出ユニット１００を説明するための断面図である。
【００２６】
図１を参照すると、前記パーティクル排出ユニット１００は、ハウジング１１０、隔壁１２０、圧力発生部材１３０、及び複数のゲートを含むことができる。特に、前記パーティクル排出ユニット１００は、第１ゲート１４０、第２ゲート１５０、第３ゲート１６０、及び第４ゲート１７０を含むことができる。
【００２７】
前記ハウジング１１０は、内部空間を有し、上下に延長された形態を有する。一例として、前記ハウジング１１０は、中空の直六面体形態または中空のシリンダーの形態を有することができる。
【００２８】
前記隔壁１２０は、前記ハウジング１１０の内部に上下に備えられ、前記ハウジング１１０の内部を第１空間（Ｓ１）及び第２空間（Ｓ２）に区分する。前記第２空間（Ｓ２）は、多様な装置を用いることができる。例えば、前記第２空間（Ｓ２）内にはシリコンウエハのような半導体基板を移送するための機具及びロボットを配置することができる。一方、前記第１空間は前記第２空間内のパーティクルを除去するために具備することができる。よって、前記第１空間（Ｓ１）は、前記第２空間（Ｓ２）より小さくても良い。
【００２９】
前記圧力発生部材１３０は、前記第１空間（Ｓ１）に具備され、前記第１空間（Ｓ１）を上部空間（Ｓａ）と下部空間（Ｓｂ）とに区分する。前記圧力発生部材１３０は、前記第１空間（Ｓ１）内で駆動部（図示せず）によって垂直方向に移動することができる。特に、前記圧力発生部材１３０は、前記上部空間（Ｓａ）及び下部空間（Ｓｂ）内で正圧及び負圧が交互に発生するように前記第１空間内で前記駆動部によって垂直方向に移動することができる。前記駆動部の例としては、油圧シリンダーまたは空気圧シリンダー、モーターとボールスクリュー、及びリニアモーションガイドを含む駆動装置、モーターとプーリー及びベルトを含む駆動装置などを挙げることができる。
【００３０】
前記圧力発生部材１３０の上昇及び下降によって前記第１空間（Ｓ１）の圧力が変化する。即ち、前記圧力発生部材１３０は、前記第１空間（Ｓ１）内でピストンとして機能することができる。前記圧力発生部材１３０が上昇する場合、前記上部空間（Ｓａ）の堆積が減少し、前記下部空間（Ｓｂ）の堆積が増加する。よって、前記上部空間（Ｓａ）では正圧（ｐｏｓｉｔｉｖｅ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ）が発生し、前記下部空間（Ｓｂ）では負圧（ｎｅｇａｔｉｖｅ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ）が発生する。前記圧力発生部材１３０が下降する場合、前記上部空間（Ｓａ）の堆積が増加し、前記下部空間（Ｓｂ）の堆積が減少する。よって、前記上部空間（Ｓａ）では負圧が発生し、前記下部空間（Ｓｂ）では正圧が発生する。
【００３１】
前記第１ゲート１４０は、前記第１空間（Ｓ１）を限定するハウジング１１０の上部の部位に具備される。前記第１ゲート１４０は、前記ハウジング１１０の側壁上部にヒンジ結合され、前記ハウジング１１０の外側方向に向って開放される。前記第１ゲート１４０は、前記上部空間（Ｓａ）を外部空間と連通するかあるいは外部空間から遮断する。一例として、前記第１ゲート１４０は、前記上部空間（Ｓａ）の正圧によって開放することができる。
【００３２】
一方、前記第１ゲート１４０は、前記第１弾性部材（図示せず）によって閉めることができる。即ち、前記第１ゲート１４０は、前記第１弾性部材によって前記ハウジング１１０の側壁上部に連結することができ、前記上部空間（Ｓａ）の圧力が低下すると、第１弾性部材によって閉めることができる。前記第１弾性部材の例としてはスプリングを挙げることができる。他の例として、前記第１ゲート１４０は、第１駆動部（図示せず）によって開閉することができる。前記第１駆動部は、前記上部空間（Ｓａ）の内部圧力によって前記第１ゲート１４０を開閉することができる。
【００３３】
前記第２ゲート１５０は、前記第１空間（Ｓ１）を限定するハウジング１１０の下部部位に具備される。前記第２ゲート１５０は、前記ハウジング１１０の側壁の下部にヒンジ結合され、前記ハウジング１１０の外側に向って開放される。前記第２ゲート１５０は、前記第１下部空間（Ｓｂ）を外部空間と連通させるか、あるいは外部空間から遮断する。一例として、前記第２ゲート１５０は、前記下部空間（Ｓｂ）の正圧によって開放することができる。
【００３４】
一方、前記第２ゲート１５０は、第２弾性部材（図示せず）によって閉めることができる。即ち、前記第２ゲート１５０は、前記第２弾性部材によって前記ハウジング１１０の側壁の下部に連結され、前記下部空間（Ｓｂ）の圧力が低下すると、第２弾性部材によって閉めることができる。前記第２弾性部材の例としてはスプリングを挙げることができる。他の例として、前記第２ゲート１５０は、第２駆動部（図示せず）によって開閉することができる。前記第２駆動部は、前記下部空間（Ｓｂ）の内部圧力によって前記第２ゲート１５０を開閉することができる。
【００３５】
前記第３ゲート１６０は、前記隔壁１２０の上部の部位に具備される。前記第３ゲート１６０は、前記隔壁１２０の上部にヒンジ結合され、前記上部空間（Ｓａ）に向って開放される。前記第３ゲート１６０は、前記上部空間（Ｓａ）を前記第２空間（Ｓ２）と連通させるか、あるいは前記第２空間（Ｓ２）から遮断する。一例として、前記第３ゲート１６０は、前記上部空間（Ｓａ）の負圧によって開放することができる。
【００３６】
一方、前記第３ゲート１６０は、第３弾性部材（図示せず）によって閉めることができる。即ち、前記第３ゲート１６０は、前記第３弾性部材によって前記隔壁１２０の上部に連結することができ、前記上部空間（Ｓａ）の圧力が上昇すると、前記第３弾性部材によって閉めることができる。前記第３弾性部材の例としては、スプリングを挙げることがで
きる。他の例として、前記第３ゲート１６０は、第３駆動部（図示せず）によって開閉することができる。前記第３駆動部は、前記上部空間（Ｓａ）の内部圧力によって開閉することができる。前記第３駆動部は、前記上部空間（Ｓａ）の内部圧力によって前記第３ゲート１６０を開閉することができる。
【００３７】
前記第４ゲート１７０は、前記隔壁１２０の下部部位に具備される。前記第４ゲート１７０は、前記隔壁１２０の下部にヒンジ結合され、前記第１空間の下部空間（Ｓｂ）に向って開放される。前記第４ゲート１７０は、前記下部空間（Ｓｂ）を前記第２空間（Ｓ２）と連通するか、前記第２空間（Ｓ２）から遮断する。一例として、前記第３ゲート１６０は、前記上部空間（Ｓａ）の負圧によって開放することができる。
【００３８】
一方、前記第４ゲート１７０は、第４弾性部材（図示せず）によって閉めることができる。即ち、前記第４ゲート１７０は、前記第４弾性部材によって前記隔壁１２０の下部に連結することができ、前記下部空間（Ｓｂ）の圧力が上昇すると、前記第４弾性部材によって閉めることができる。前記第４弾性部材の例としては、スプリングを挙げることができる。他の例として、前記第４ゲート１７０は、第４駆動部（図示せず）によって開閉することができる。前記第４駆動部は、前記下部空間（Ｓｂ）の内部圧力によって前記第４ゲート１７０を開閉することができる。
【００３９】
本発明の他の実施例によると、前記第１ゲート１４０及び第３ゲート１６０を除去することができる。この場合、前記ハウジング１１０の上部側壁の部位には前記上部空間（Ｓａ）を外部と連通する開口（図示せず）を形成することができる。逆に、前記第２ゲート１５０及び前記第４ゲート１７０が除去するされることが可能する。この場合、前記ハウジング１１０の下部側壁の部位には前記下部空間（Ｓｂ）を外部と連結する開口（図示せず）を形成することができる。
【００４０】
図２及び図３は、図１に示したパーティクル排出ユニット１００を用いてパーティクルを排出する方法を説明するための断面図である。
【００４１】
図２を参照すると、前記圧力発生部材１３０が下降する場合、前記上部空間（Ｓａ）に負圧が発生し、前記下部空間（Ｓｂ）には正圧が発生する。前記上部空間（Ｓａ）の負圧によって前記第３ゲート１６０が開放され、前記上部空間（Ｓａ）の圧力が前記第２空間（Ｓ２）の圧力より低いので、前記第３ゲート１６０を通じて前記第２空間（Ｓ２）で前記上部空間（Ｓａ）に第１気流が発生する。よって、前記第２空間（Ｓ２）内のパーティクルが前記第１気流にしたがって前記上部空間（Ｓａ）に移動する。前記第１気流によって上部空間（Ｓａ）の圧力と前記第２空間（Ｓ２）の圧力とが類似になると前記第３ゲート１６０は、前記第３弾性部材によって遮断される。
【００４２】
前記下部空間（Ｓｂ）の正圧によって前記第２ゲート１５０が開放され、前記下部空間（Ｓｂ）の圧力が前記外部空間の圧力より高いので、前記第２ゲート１５０を通じて前記下部空間（Ｓｂ）から前記外部空間に第２気流が発生する。よって、前記第２気流をよって前記下部空間（Ｓｂ）内のパーティクルが前記外部空間に除去されることが可能である。前記第２気流によって前記下部空間（Ｓｂ）の圧力と前記外部空間の圧力とが類似になると、前記第２ゲート１５０は前記第２弾性部材によって遮断される。
【００４３】
図３を参照すると、前記圧力発生部材１３０が上昇する場合、前記上部空間（Ｓａ）に正圧が発生し、前記下部空間（Ｓｂ）には負圧が発生する。前記上部空間（Ｓａ）の正圧によって前記第１ゲート１４０が開放され、前記上部空間（Ｓａ）の圧力が前記外部空間の圧力より高いので前記第１ゲート１４０を通じて前記上部空間（Ｓａ）から前記外部空間に第３気流が発生する。よって、前記上部空間（Ｓａ）内のパーティクルが前記第３気
流によって前記外部空間に排出される。前記第３気流によって前記上部空間（Ｓａ）の圧力と前記外部空間の圧力とが類似になると、前記第１ゲート１４０は前記第１弾性部材によって遮断される。
【００４４】
前記下部空間（Ｓｂ）の負圧によって前記第４ゲート１７０が開放され、前記下部空間（Ｓｂ）の圧力が前記第２空間（Ｓ２）の圧力より低いので前記第４ゲート１７０を通じて前記第２空間（Ｓ２）空間から前記下部空間（Ｓｂ）に第４気流が発生する。よって、前記第４気流にしたがって前記第２空間（Ｓ２）内のパーティクルが前記下部空間（Ｓｂ）に移動される。前記第４気流によって前記下部空間（Ｓｂ）の圧力と前記第２空間（Ｓ２）の圧力とが類似にあると、前記第４ゲート１７０は第４弾性部材によって遮断される。
【００４５】
前述したように、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは前記圧力発生部材１３０の下降時、前記第３ゲート１６０を通じて前記上部空間（Ｓａ）に移動された後、前記圧力発生部材１３０の上昇時、前記第１ゲート１４０を通じて外部空間に排出される。また、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは前記圧力発生部材１３０の上昇時、前記第４ゲート１７０を通じて前記下部空間（Ｓｂ）に移動された後、前記圧力発生部材１３０の下降時、第２ゲート１５０を通じて前記外部空間に排出される。結果的に、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは、前記第１空間（Ｓ１）を経由して前記外部空間に容易に排出することができる。
【００４６】
一方、前記圧力発生部材１３０は、前記第１及び第２ゲート（１４０、１５０）の間で垂直方向に移動することができ、また、前記第３及び第４ゲート（１６０、１７０）の間で垂直方向に移動することができる。即ち、前記第１及び第３ゲート（１４０、１６０）は、前記圧力発生部材１３０の最大上昇の高さ（上死点）の上に配置することができ、前記第２及び第４ゲート（１５０、１７０）は、前記圧力発生部材１３０の最大下降の高さ（下死点）の下に配置することができる。
【００４７】
図４は、本発明の他の実施例による基板移送装置２００を説明するための断面図である。
【００４８】
図４を参照すると、前記基板移送装置２００は、ハウジング２１０、隔壁２２０、圧力発生部材２３０、第１ゲート２４０、第２ゲート２５０、第３ゲート２６０、第４ゲート２７０、基板支持部材２８０、及び駆動部２９０を含む。
【００４９】
前記ハウジング２１０、隔壁２２０、圧力発生部材２３０、第１ゲート２４０、第２ゲート２５０、第３ゲート２６０、及び第４ゲート２７０についての説明は、図１ないし図３を参照したハウジング１１０、隔壁１２０、圧力発生部材１３０、第１ゲート１４０、第２ゲート１５０、第３ゲート１６０、及び第４ゲート１７０についての説明と実質的に同一である。
【００５０】
前記基板支持部材２８０は平板形態のを有し、前記ハウジング２１０の第２空間（Ｓ２）に具備される。前記基板支持部材２８０は、シリコンウエハまたはガラス基板のような基板（Ｗ）または前記基板（Ｗ）が積載されたカセットを支持する。前記基板支持部材２８０は、前記第２空間（Ｓ２）内で前記基板（Ｗ）を移動するために垂直方向に移動することができる。
【００５１】
前記駆動部２９０は、前記圧力発生部材２３０、及び前記基板支持部材２８０を上下移動させる。前記本発明の更に他の実施例によると、前記基板移送装置２００は、前記圧力発生部材２３０を上下移動させるための第２駆動部（図示せず）を更に含むこともできる
。
【００５２】
前記圧力発生部材２３０と前記基板支持部材８２０は、互いに反対方向に上下移動することができる。図４に示したように、前記駆動部２９０は、複数のプーリー２９２及びベルト２９４を含むことができる。例えば、４つのプーリー２９２が前記上部空間（Ｓａ）の上側、前記下部空間（Ｓｂ）の下側、前記第２空間（Ｓ２）の上側及び下側にそれぞれ具備される。前記プーリー２９２は、前記ベルト２９２によって互いに連結することができる。また、前記駆動部２９０は、前記プーリー２９２のうち、一つと連結されるモーターを更に含むことができる。
【００５３】
前記隔壁２２０は、前記ベルト２９４が通る通路(図示せず)を有する。前記圧力部材２３０及び前記基板支持部材２８０は、前記ベルト２９４に固定される。よって、前記ベルト２９４が反時計方向に回転すると、前記基板支持部材２８０は上昇し、前記圧力発生部材２３０は下降する。前記ベルト２９４が時計方向に回転すると、前記基板支持部材２８０は下降し、前記圧力発生部材２３０は上昇する。
【００５４】
本発明の更に他の実施例によると、前記圧力発生部材２３０は、前記基板支持部材２８０とは関係なく、前記第２駆動部によって異動することもできる。前記第２駆動部の例としては油圧シリンダーまたは空気圧シリンダー、モーターとボールスクリュー、及びリニアモーションガイドを含む駆動装置、モーターとプーリー及びベルトを含む駆動装置などを挙げることができる。
【００５５】
本発明の更に他の実施例によると、前記第１ゲート２４０及び前記第３ゲート２６０を除去することができる。この場合、前記ハウジング２１０の上部側壁の部位には前記上部空間（Ｓａ）を外部と連結する開口（図示せず）を形成することができる。これとは逆に、前記第２ゲート２５０及び前記第４ゲート２７０を除去することができる。この場合、前記ハウジング２１０の下部側壁の部位には前記下部空間（Ｓｂ）を外部と連結する開口（図示せず）を形成することができる。
【００５６】
図５及び図６は、図４に示した基板移送装置２００を用いて基板を移送する方法を説明するための断面図である。
【００５７】
図５を参照すると、前記ベルト２９４を反時計方向に回転させる場合、前記基板（Ｗ）を支持する前記基板支持部材２８０は上昇する。よって、前記基板（Ｗ）を上方に移送することができる。前記基板支持部材２８０が上昇するとき、前記圧力発生部材２３０が下降する。
【００５８】
前記圧力発生部材２３０が下降する場合、前記第３ゲート２６０及び前記第２ゲート２５０が開放される。前記第３ゲート２６０を通じて前記第２空間（Ｓ２）から前記上部空間（Ｓａ）に第１気流が発生する。よって、前記基板支持部材２８０及び駆動部２９０で発生したパーティクルが前記第１気流にしたがって前記上部空間（Ｓａ）に移動する。前記第１気流によって前記上部空間（Ｓａ）の圧力と前記第２空間（Ｓ２）の圧力とが類似になると、前記第３ゲート２６０は第３弾性部材によって遮断される。
【００５９】
前記第２ゲート２５０を通じて前記下部空間（Ｓｂ）で前記外部空間に第２気流が発生する。よって、前記第２気流にしたがって前記下部空間（Ｓｂ）に存在するパーティクルが前記外部空間に排出される。前記第２気流によって前記下部空間（Ｓｂ）の圧力と前記外部空間の圧力とが類似になると前記第２ゲート２５０は第２弾性部材によって遮断される。
【００６０】
図６を参照すると、前記ベルト２９４を時計方向に回転させる場合、前記基板（Ｗ）を支持する前記基板支持部材２８０は下降する。よって、前記基板（Ｗ）を下方に移送することができる。前記基板支持部材２８０が下降するとき、前記圧力部材２３０は上昇する。
【００６１】
前記圧力発生部材２３０が上昇する場合、前記第１ゲート２４０及び前記第４ゲート２７０が開放される。前記第１ゲート２４０を通じて前記上部空間（Ｓａ）から前記外部空間に第３気流が発生する。よって、前記上部空間（Ｓａ）に存在するパーティクルが前記第３気流にしたがって前記外部空間に排出される。前記第３気流によって前記上部空間（Ｓａ）の圧力と前記外部空間の圧力とが類似になると、前記第１ゲート２４０は第１弾性部材によって遮断される。
【００６２】
前記第４ゲート２７０を通じて前記第２空間（Ｓ２）から前記下部空間（Ｓｂ）に第４気流が発生する。よって、前記第４気流にしたがって前記第２空間（Ｓ２）から発生したパーティクルが前記下部空間（Ｓｂ）に排出される。前記第４気流によって前記下部空間（Ｓｂ）の圧力と前記第２空間（Ｓ２）の圧力とが類似になると、前記第４ゲート２７０は弾性発生部材によって第４遮断される。
【００６３】
前記したように、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは前記圧力発生部材２３０の下降時、前記第３ゲート２６０を通じて前記上部空間（Ｓａ）に移動された後、前記圧力発生部材２３０の上昇時、前記第１ゲート２４０を通じて外部空間に排出される。また、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは前記圧力発生部材２３０の上昇時、前記第４ゲート２７０を通じて前記下部空間（Ｓｂ）に移動された後、前記圧力発生部材２３０の下降時、第２ゲート２５０を通じて前記外部空間に排出される。結果的に、前記第２空間（Ｓ２）のパーティクルは、前記第１空間（Ｓ１）を経由して前記外部空間に容易に排出することができ、これによって前記第２空間（Ｓ２）内で前記基板の汚染を減少させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
前述したように、本発明の実施例によると、圧力発生部材を上昇または下降させてハウジングの内部のパーティクルを外部に排出することができる。よって、前記パーティクルによって前記ハウジングの内部基板が汚染されることを減少させることができる。
【００６５】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離脱することなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施例によるパーティクル排出ユニットを説明するための断面図である。
【図２】図１に示したパーティクル排出ユニットを用いてパーティクルを排出する方法を説明するための断面図である。
【図３】図１に示したパーティクル排出ユニットを用いてパーティクルを排出する方法を説明するための断面図である。
【図４】本発明の他の実施例による基板移送装置を説明するための断面図である。
【図５】図４に示した基板移送装置を用いて基板を移送する方法を説明するための断面図である。
【図６】図４に示した基板移送装置を用いて基板を移送する方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１１０、２１０    ハウジング
１２０、２２０    隔壁
１３０、２３０    圧力発生部材
１４０、２４０    第１ゲート
１５０、２５０    第２ゲート
１６０、２６０    第３ゲート
１７０，２７０    第４ゲート
２００    基板移送装置
２８０    基板支持部材
２９０    駆動部
２９４    ベルト
【図１】
0004772095.tif 000002
【図２】
0004772095.tif 000003
【図３】
0004772095.tif 000004
【図４】
0004772095.tif 000005
【図５】
0004772095.tif 000006
【図６】
0004772095.tif 000007