(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
辺長が３００ｍｍを超えるペリクルを収納するペリクル収納容器であって、  
セパレータの外周部に設けられた複数の貫通孔に挿入され、該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具と、
上記固定具と係合可能であり、ペリクル収納容器トレイ上の上記貫通孔に対応した位置に配置され、マグネットが内部に固定された受け座と、
ペリクル収納容器トレイ上の上記貫通孔に対応した位置に、上記受け座を締結固定する部材とを含むセパレータ固定手段を有することを特徴とするペリクル収納容器。
【請求項２】
ペリクル収納容器へのセパレータの固定具のうち、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられている請求項１に記載のペリクル収納容器。
【請求項３】
セパレータをペリクル収納容器トレイに固定すると共に、ペリクルがペリクルフレームの側面に設けられた複数の非貫通の孔にそれぞれ挿入されたピンによりペリクル収納容器のトレイに固定されている請求項１に記載のペリクル収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス、プリント基板あるいは液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミよけとして使用される、リソグラフィー用ペリクル、特には液晶ディスプレイ製造に用いられる大型のペリクル収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハー或いは液晶用ガラス原板に光を照射してパターンを作製するが、この時に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単にフォトマスクという）にゴミが付着していると、このゴミが光を遮ったり、曲げたりしてしまうために、転写したパターンが損なわれるという問題があった。
このため、これらの作業は通常クリーンルーム内で行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つ事が難しい。そこで、フォトマスク表面にゴミよけとして、ペリクルを貼付する方法が取られている。
【０００３】
この場合、異物はフォトマスクの表面上には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィー時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。このペリクルは、通常光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素系樹脂などからなる透明なペリクル膜をアルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面にペリクル膜の良溶媒を塗布し、風乾して接着する（特許文献１参照）か、エポキシ樹脂（特許文献２、特許文献３参照）やアクリル樹脂等の接着剤で接着し、更に、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００４】
また、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた状態において、ペリクル内部に囲まれた空間と外部との気圧差をなくすことを目的として、ペリクルフレームの一部に気圧調整用の小孔を開け、小孔を通じて移動する空気からの異物侵入を防ぐためのフィルターが設置されることもある。
ペリクルを使用する際にはセパレータ（ライナー）を剥離して粘着層を露出させなければならない。辺長が３００ｍｍを超えるような大型のペリクルの場合、ペリクルを水平にしたまま剥離するのが困難なため、図４（ａ）〜（ｃ）に示すようにペリクルをほぼ垂直に立てた状態で行われることが多い。
【０００５】
通常、セパレータは厚さ１００〜１５０μｍ程度のＰＥＴ等の樹脂フィルムで作られていて剛性がないため、剥離時は極めて不安定な挙動を示す。そのため、図４（ｄ）に示すように、剥離時にペリクル膜に接触して損傷させたり、あるいは付着していた異物が飛び散ってペリクル膜を汚染することがあった。
これを防ぐために、剥離時にひらひらしないよう全面を覆う形状とすることも考えられるが、面積が極めて大きくなるため、全面を清浄に洗浄することが難しくなる。また、重量の増加や中央部の弛み等に由来する取り扱いの問題、セパレータ貼付後にペリクル膜の検査ができないといった問題があり、採用できない。
【０００６】
冶具（例えば、セパレータを数箇所で固定する）を使用する方法では、セパレータへの冶具の取付けがきわめて困難と予想され、また、冶具をペリクルサイズ別に用意する必要があるという問題もある。
以上のように、ペリクルを垂直に立ててセパレータを剥離する方法において、セパレータのペリクル膜への接触やペリクル膜への異物付着を防ぐ有効かつ簡便な手段はない。したがって、ペリクルを水平にした状態でセパレータを剥離するのが良いのだが、上記のように、ペリクルを何かに置いて剥離しようとすると下側にセパレータが来てしまい、剥離させることができない。
【０００７】
そのため、ペリクルを横方向から何らかの冶具で保持して高く持ち上げておいて、その状態で下方向にセパレータを引っ張ってやる必要がある。そのため、これを装置で実現しようとすると、かなり大掛かりなものが必要になり、簡単には実施できない。
通常、ペリクルはペリクル収納容器に水平に収納されている。取り出しは、ペリクル収納容器トレイ上に載置されたペリクルをほぼ水平に保ったまま上方へ持ち上げて行われる。このとき、セパレータが何らかの方法で収納容器トレイ上に固定されていれば、この動作にあわせてセパレータは剥離されて収納容器トレイ上に残るはずである。この方式が実現できれば、特別な冶具や装置を用意しなくとも、目的としたセパレータ剥離時のペリクル膜への接触防止が達成される。
【０００８】
さて、セパレータをペリクル収納容器トレイに固定する公知技術として、たとえば以下のようなものが提案されている（特許文献４、特許文献５参照）。
特許文献４の方法は、目的が本発明とは異なっていて、セパレータの固定ではなくセパレータ（保護フィルム）を利用したペリクルの位置ズレ防止であり、セパレータに突出させた押え代に孔を設け、トレイ上に設置したピンにその孔を挿入して固定するものである。この方法は、上下方向への規制が無いため、セパレータを収納容器トレイに固定する機能は無く、ペリクルを持ち上げた際にセパレータを剥離することはできない。また、輸送時にペリクル収納容器内でペリクルが上下に動き、発塵によりペリクル膜が汚染されるという懸念がある。
【０００９】
特許文献５の方法は、セパレータ（保護フィルム）に突出させた押え代部分をペリクルケースに粘着テープ止めしている。特許文献５の方法は、特許文献６の方法と同様、本発明とは目的が異なっているが、セパレータがペリクル収納容器トレイにテープ固定されているため、ペリクルをゆっくり上方へ引き上げれば、セパレータを剥離することができる可能性はある。しかしながら、セパレータにより間接的にペリクルをペリクル収納容器トレイに固定している点に問題がある。セパレータは軽い剥離力でマスク粘着層から剥離してしまう。そのため、強い衝撃や収納容器を上下逆にした場合などにマスク粘着層がセパレータから剥離し、収納容器内でペリクルが動いて損傷してしまう恐れがある。また、粘着テープの性質上、直接、手で扱わないと貼付・剥がし作業がしにくい。ペリクル膜の近くで手作業を行わなければならないことは、ペリクル膜への異物付着防止の点から非常に問題である。
以上のことから、これまでセパレータを剥離する際にペリクル膜へのセパレータの接触や異物付着が無いペリクルは存在しなかった。
【００１０】
【特許文献１】特開昭５８−２１９０２３号公報
【特許文献２】米国特許第４８６１４０２号明細書
【特許文献３】特公昭６３−２７７０７号公報
【特許文献４】特開２００４−３６１６４８号公報
【特許文献５】特開２００４−３６１６４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上のような事情に鑑みて、本発明は、ペリクルをペリクル収納容器から取り出し際に、ペリクルからセパレートを安全・確実に分離することができるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のペリクル収納容器は、セパレータの外周に複数の貫通孔を有する突出した領域を設け、該貫通孔に該貫通孔よりも大径の部分を有する固定具を挿入してペリクル収納容器トレイにセパレータを固定することを特徴とする。
セパレータをペリクル収納容器トレイに固定すると共に、該セパレータ固定手段とは別の手段によりペリクルをペリクル収納容器トレイに固定することが好ましい。該別の手段は、ペリクルがペリクルフレームの側面に設けられた複数の非貫通の孔にそれぞれ挿入されたピンによりペリクル収納容器のトレイに固定されていることとすることができる。
ペリクル収納容器へのセパレータの固定具が脱着可能であること、セパレータの固定具は磁力によりペリクル収納容器に吸着固定されるものであること、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具のうち、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられていることがそれぞれ好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ペリクルのペリクル収納容器からの取り出しに伴ってセパレータはマスク粘着層から剥離される。剥離終了までセパレータはペリクル収納容器トレイに固定されたままのため、ペリクル膜への接触が防止され、また、異物付着の恐れも小さい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面も参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１に本発明の一実施の形態を示す。図１（ａ）は平面図および側面（ＡＡ断面）の概略図、図１（ｂ）はセパレータ固定手段の断面拡大図、図１（ｃ）はペリクルフレームの固定手段の断面拡大図である。
ペリクルフレーム１０端面のマスク粘着層１２に貼り付けられたセパレータ１４において、４つのコーナー近傍には貫通孔を有するタブ部１４ａが設けられている。このセパレータタブ部１４ａの真下にある収納容器トレイ１８上には受け座１５ｂがボルト１５ｄにより固定され、さらに受け座１５ｂの内部にはマグネット１５ｃが固定されている。
【００１５】
また、外部からの塵埃の侵入を完全に防ぐために、受け座１５ｂのボルト孔周囲には溝が設けられ、Ｏリング１９が装着されている。そして、セパレータタブ部１４ａの貫通孔１４ｂおよび受け座１５ｂに磁性体で製作された固定具１５ａを挿入し、固定具１５ａの先端がマグネット１５ｃに吸着固定されることで、収納容器トレイ１８上にセパレータ１４が固定される。
ここで、固定具１５ａは適度な剛性のある磁性体であれば良いので、メッキ等の表面処理をした炭素鋼や、マルテンサイト系あるいはフェライト系ステンレスが好適である。形状としてはセパレータタブ部１４ａに設けられた貫通孔１４ｂよりも少なくとも１．２倍以上の大径部分があれば良い。また、脱着時にピンセット等で把持しやすいよう、ハンドリング用の溝や孔などを設けても良い。
【００１６】
マグネット１５ｃは、小型で強い磁力が得られるサマリウム−コバルト磁石やネオジム−鉄−ボロン磁石などのいわゆる希土類磁石が特に好適であるが、磁石表面からの発塵防止および防錆の観点から、表面にはニッケルメッキやエポキシ樹脂コーティングなどの適切な表面処理を施すことが望ましい。また、マグネット１５ｃの固定は、図１（ｂ）のように空間に収納し、受け座１５ｂの薄肉部を通して固定具１５ａに磁力が作用するようにするか、あるいは、受け座１５ｂの薄肉部を省略して、発ガスの少ない接着剤で受け座１５ｂの孔内に直接固定しても良い。
磁力を利用することにより、固定具の脱着が容易であることに加え、固定力の経年劣化が無く高い信頼性が得られる。また、化学物質の揮発の恐れやこすれによる発塵の恐れが無いため、収納容器内の清浄性維持の点からもきわめて好適である。
【００１７】
固定具１５ａと受け座１５ｂの隙間は、固定具１５ａの脱着が円滑にできる範囲で、できるだけ狭いことが望ましい。ここで、貫通孔１４ｂ、固定具１５ａおよび受け座１５ｂの孔形状に特に制限は無く、丸孔以外の形状でも目的は達成されるが、加工のし易さやこすれた時の発塵を考慮すれば、丸孔が好適である。
また、セパレータタブ部１４ａに設けられた貫通孔の大きさは、固定具１５ａの挿入部分の太さよりも少なくとも１ｍｍ、特には５ｍｍ程度大きいことが望ましい。固定具１５ａを挿入する際の位置あわせが容易になることに加え、収納容器トレイ１８からペリクルを引き離す際に、固定具１５ａとタブ部１４ａ貫通孔間の遊び分、セパレータが上方へ動いてマスク粘着層１２に対して斜めに引っ張られることになり、剥離が容易になる。
【００１８】
セパレータの固定だけでなく、ペリクルそのものをペリクル収納容器トレイに固定することを併用することもより好ましい実施の形態となる。
ペリクルのペリクル収納容器トレイへの固定としては、以下のような構成により行われることが好適である。
ペリクルフレーム１０の外側面には非貫通の丸孔１０ａが４箇所設けられており、そこには抜き差し可能なピン１６が挿入される。各々のピン１６は収納容器トレイ上に接着等の方法（図示せず）で固定されたブロック１７に保持される構造になっており、ピン１６の挿入によりペリクルフレーム１０は収納容器トレイ１８上に固定される。ピンおよびブロックは、寸法精度、コストの面から、ＰＰＳ、ＡＢＳ等の樹脂を射出成形して製作することが好ましい。また、さらにペリクルフレームとピンとの擦れによる発塵防止として、ピン先端にラバー部品を取り付けることも好適である。
ペリクルをペリクル収納容器トレイへ固定する手段と、セパレータをペリクル収納容器へ固定する手段を別々とすることで、不安定なセパレータを介してペリクルをペリクル収納容器へ固定しないので、輸送中にペリクルが動いて発塵、損傷する恐れが無い。そして、ペリクル固定手段を解除した後にペリクルをペリクル収納容器から引き離せば、セパレータだけをペリクル収納容器トレイ上へ残していくことになり、自動的にこれを剥離することができる。
また、ペリクルを確実に収納容器トレイ上に保持して、輸送中の発塵の恐れが極めて小さいことに加え、ペリクルの固定を解除する際にもピンセットなどで間接的に作業を行うことができるため、人手がペリクルに接近させずに済み、異物付着の恐れが小さいという利点がある。
さらに、ペリクル収納容器へのセパレータの固定具が脱着可能であるようにすることによって、ペリクルの固定手段とともにセパレータの固定手段も解除すれば、セパレータを剥離しないでペリクルをペリクル収納容器から取り出すことができ、検査だけ行って、また収納容器へ戻す場合などに特に有益である。
【００１９】
図２（ａ）〜（ｄ）にペリクル収納容器トレイからペリクルを持ち上げている場面の概略図を示す。ペリクルフレーム２０に挿入してあるピン（図示せず）を抜き取り、次いで、ペリクルフレーム２０をペリクル収納容器トレイ２５とほぼ平行に上方へ持ち上げていく。すると、図２（ｂ）の如く、ペリクルフレーム２０の上昇に伴い、固定具２３とセパレータ２２に設けられた丸孔（図示せず）の間隙分だけセパレータが引っ張られた後、固定具２３に引っかかり、下斜め方向に引き下げられる。さらにペリクルフレーム２０を上方へ持ち上げていくと、図２（ｂ）の如くコーナー部からセパレータ２２の剥離が始まり、図２（ｃ）に示すような経過を辿って、最後には図２（ｄ）のように剥離が完了する。
このとき、固定具はセパレータの貫通孔よりも大径部分を有しているので、貫通孔に挿入および固定された固定具が十分な固定力で保持されていれば、セパレータは固定具から抜けたり、滑ったりする恐れが無い。
【００２０】
図３（ａ）、（ｂ）に本発明の別の実施形態を示す。図３（ａ）はペリクル長辺において、セパレータ３１に孔あきタブ部３２の数を増やし、セパレータ３１が収納容器トレイ（図示せず）に、より密着固定されるようにしたものである。もちろん、このときにはペリクル収納容器トレイの側も孔あきタブ部３２に対応した場所に受け座、固定具他の固定手段が必要である（図示省略）。セパレータ固定箇所の増加は、辺長が１ｍを超えるような特に大型のペリクルに対して、セパレータ剥離時の安定度を向上させる効果がある。
【００２１】
図３（ｂ）は孔あきタブ部を一部だけの突出とせず、セパレータ全周に渡って設けたものである。セパレータ外周部の形状がコーナー部以外は直線だけであるので、製造が容易である。ただし、不要なセパレータの面積が増加するというマイナス要素がある。このように、セパレータタブ部の形状およびセパレータ固定部の数は、セパレータを安定して剥離でき、なおかつ、できるだけシンプルな形状を目指すという観点から決定することが良い。
セパレータに形成するタブ部は、少なくとも1箇所はペリクルフレームのコーナー部から５０ｍｍ以内に設けられていることも好ましい実施の形態となる。そのようにすると、セパレータの剥離がペリクルの収納容器からの引き離しとともに自動的に行われる条件として、コーナー近傍から剥離が開始されることが挙げられるが、この条件が確実に満足される。コーナー部近傍から剥離が始まることで粘着層からの剥離がスムーズになり、剥離力が小さくて済むことに加え、セパレータに大きな力や急激な挙動が加わらないため、発塵の恐れが小さい。
【実施例】
【００２２】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
［実施例］
図１（ａ）に示すような形状のアルミニウム合金製ペリクルフレーム１０を機械加工により製作した。このペリクルフレーム１０の形状は、外寸１１３６×７８３ｍｍ、内寸１１１４×７６３ｍｍ、高さ６ｍｍとした。また、側面にはフレーム固定用孔１０ａを長辺側面のコーナー部から各々３６ｍｍの位置に４箇所配置し、その形状は直径２．５ｍｍ深さ２．５ｍｍの丸孔とした。そして、最後に表面をサンドブラスト処理したうえ、黒色アルマイト処理を施した。
【００２３】
このペリクルフレームを中性洗剤と純水で洗浄、乾燥後、一方の端面にペリクル膜接着層１３としてシリコーン粘着剤、他方の端面にマスク粘着層１２としてシリコーン粘着剤（商品名ＫＲ１２０、信越化学工業（株）製）をトルエンで希釈して塗布し、加熱によりキュアさせた。そして、マスク粘着層端面には、粘着層保護のため、セパレータ１４を貼り付けた。セパレータは厚さ１２５μｍのＰＥＴフィルムを基材とし、表面にはフッ素変性シリコーン離型剤（商品名：Ｘ−７０−２０１、信越化学工業（株）製）を塗布している。なお、このセパレータ１４には、４箇所のコーナー部に直径１０ｍｍの貫通孔をもつタブ部１４ａを設けた。
【００２４】
さらに、フッ素系ポリマー（商品名サイトップ、旭硝子（株）製）をスピンコート法により８５０×１２００×厚さ１０ｍｍの長方形石英基板上に成膜し、溶媒乾燥後、基板外形と同形状の枠体に接着、剥離して得た厚さ約４μｍのペリクル膜をこのペリクルフレームに貼付けた。そして、ペリクルフレーム周囲の不要な膜をカッターにて切断除去してペリクルとした。
また、図１（ａ）に示すような断面形状のＡＢＳ樹脂容器を真空成形法により製作し、ペリクルフレーム１０側面の固定用孔１０ａに対応した位置に固定用のピン１６が挿入されるようブロック１７の位置を調整し、収納容器トレイ１８上に接着剤およびボルト締結（図示しない）にて固定した。
【００２５】
さらに、上記セパレータタブ部１４ａに設けた貫通孔に対応した位置に、受け座１５ｂをボルト１５ｄにて締結固定した。受け座１５ｂ内部の空間にはφ６ｍｍ、高さ６ｍｍのネオジム−鉄−ボロン磁石にニッケルメッキを施したものを挿入した。さらに、ボルト孔周辺にはＯリング１９を配置した。また、固定具１５ａとして、炭素鋼Ｓ４５Ｃを機械加工により受け座１５ｂに嵌合し、直径１６ｍｍの大径部をもつ段付き丸棒状に機械加工した後、ニッケルメッキを施した。受け座１５ｂの孔径は６ｍｍ、固定具１５ａの先端円柱部の外径は５．８ｍｍとし、スムーズに抜き差しできるようにした。最後に、これら部材を全て中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。
【００２６】
上記の方法により完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプで異物検査を行ったのち、注意深く収納容器トレイ１８上に載置して、ピン１６をペリクルフレーム１０側面の丸孔１０ａに挿入した。次いで、セパレータタブ部１４ａの貫通孔および受け座１５ｂに固定具１５ａを挿入、マグネット１５ｃに吸着固定させた。
その後、２人の作業者で４隅を持ってペリクル収納容器トレイ１８を垂直に立て、また、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）固定されたペリクルフレーム１０の挙動を確認したが、ペリクルフレーム１０、セパレータ１４ともに位置ズレは全く見られなかった。さらに、ピンセットを用いてペリクルフレーム１０からピン１６を抜き取った。
【００２７】
次いで、ペリクルフレーム１０を上方へ引き上げてセパレータ１４の剥離具合を次のように確認した。
２人の作業者がニトリルゴム製の手袋を装着後、純水で良く洗浄、乾燥させた。次に、ペリクルフレームの外側、４箇所のコーナー部近傍を持ってほぼ水平を保ったまま、ゆっくりと上方へ引き上げた。５ｍｍほど引き上げたところからセパレータが剥離しはじめ、５ｃｍほど引き上げたところで、マスク粘着層１２から完全にセパレータ１４が脱落した。
その後、専用のホルダ（図示しない）にペリクルフレーム１０を取付け、暗室内にて３０万ルクスのハロゲンランプを照射してペリクル膜１１面を観察した。その結果、ペリクル膜面１１には損傷も異物付着も見られなかった。
そして、同じ試験を１０回繰り返したが、セパレータのペリクル膜面への接触および異物の付着は皆無だった。なお、フレーム機械加工を除く上記の全ての作業はクラス１のクリーンルーム内にて行っている。
【００２８】
［比較例１］
上記実施例と同様の方法でペリクルを製作した。ただし、使用したセパレータはタブ部を１箇所に省略したものとした。
また、図１に示すような断面形状をもつＡＢＳ樹脂ペリクル収納容器を真空成形法により製作し、上記ペリクルフレーム側面の固定用孔に対応した位置に固定用ピン１６が挿入されるようブロック１７の位置を調整し、収納容器トレイ１８に接着剤およびボルト締結（図示しない）にて固定した。その後、この収納容器を中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。
【００２９】
上記のようにして完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプでペリクル膜上の異物検査を行った後、注意深く収納容器トレイ１８上に載置し、ピン１６をペリクルフレーム１０側面の孔１０ａに挿入した。
その後、上記実施例と全く同様にして、２人の作業者でペリクル収納容器トレイ１８を垂直に立て、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）、ペリクルフレーム１０の挙動を確認したが、ペリクルフレーム１０の位置ズレは全く見られなかった。
【００３０】
次に、２人の作業者がニトリルゴム製の手袋を装着後、純水で良く洗浄、乾燥させ、ペリクルフレーム１０の外側、４箇所のコーナー部近傍を持ってほぼ水平を保ったまま、ペリクル収納容器トレイ１８からゆっくりと取り出し、冶具（図示しない）にて図４（ｄ）に示すようにペリクルを垂直に保持した。その後、図４（ａ）〜（ｃ）に示すようにセパレータ４３のタブ部（図示せず）をピンセット４４で掴み、下方向へ引きながら剥離させ、その挙動を確認した。
この試験を１０回繰り返し行ったところ、１０回中２回において、セパレータを剥離していく途中で急激に剥離が進行し、図４（ｄ）に示すような挙動でセパレータ４３がペリクル膜４１に接触し、ペリクル膜を損傷してしまった。
なお、図４中、４０はペリクルフレーム、４２はマスク粘着層である。
【００３１】
［比較例２］
図５に示すような断面形状のＡＢＳ樹脂ペリクル収納容器を真空成形法により製作した。この容器は、上記実施例および比較例１にあるペリクルフレーム固定用ピンおよびブロック（図１中の１６，１７）は省略されている。このペリクル収納容器を中性洗剤と純水にて洗浄し、良く乾燥させた。
次に、上記実施例と同様の方法でペリクルを製作した。図５に示すように、使用したセパレータ５４は上記実施例と同様、タブ部５４ａが４箇所のものとしたが、タブ部の貫通孔は省略した形状とした。そして、完成したペリクルについて、暗室内で光量３０万ルクスのハロゲンランプでペリクル膜面の異物検査を行い、注意深く収納容器トレイ５６上に載置した。その後、タブ部５４ａを幅１／２インチの粘着テープ５５（アルマ社製  商品名：アルマークテープ）にて収納容器トレイ５６上に貼り付け、固定した。
【００３２】
その後、上記実施例、比較例１と全く同様にして、２人の作業者でペリクル収納容器トレイ５６を垂直に立て、上下逆にし、さらには上下逆のまま５回上下に揺すり（速度：約３０ｃｍ／ｓ、上下ストローク：約３０ｃｍ）、ペリクルフレーム５０の挙動を確認した。その結果、上下逆で揺すった際に、マスク粘着層５２がセパレータ５４から剥離し、ペリクルフレーム５０が脱落してしまった。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明は、ますます大型化してくるペリクルの保管・移動やセパレータの分離に非常に安全・確実なペリクル収納容器を提供するものであって、ＩＴ製造産業に貢献する処大である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明によるペリクル収納容器の一実施の形態を示す説明図で、図１（ａ）は平面図および側面（ＡＡ断面）の概略図、図１（ｂ）はセパレータ固定手段の断面拡大図、図１（ｃ）はペリクルフレームの固定手段の断面拡大図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｄ）は、本発明によるセパレータの剥離の工程を順次に示す説明図である。
【図３】本発明によるペリクルに貼付されたセパレータの他の実施の形態を示す説明図で、図３（ａ）はセパレータタブ部が増やされた例（図示例では６個）、図３（ｂ）は、セパレータタブ部がペリクルの全周に設けられた例を示す。
【図４】図４（ａ）〜（ｄ）は、従来の技術によるセパレータの剥離を順次に示す概略説明図である。
【図５】従来の技術によるペリクルおよびペリクル収納容器示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０：ペリクルフレーム
１０ａ：丸孔（ペリクルフレーム固定用孔）
１１：ペリクル膜
１２：マスク粘着層
１３：ペリクル膜接着層
１４：セパレータ（ライナー）
１４ａ：（セパレータ）タブ部
１４ｂ：（セパレータタブ部の）貫通孔
１５ａ：（セパレータ）固定具
１５ｂ：受け座
１５ｃ：マグネット
１５ｄ：ボルト
１６：（フレーム固定用）ピン
１７：（ピン支持）ブロック
１８：（ペリクル）収納容器トレイ
１９：Ｏリング
２０：ペリクルフレーム
２１：マスク粘着層
２２：セパレータ（ライナー）
２３：（セパレータ）固定具
２４：受け座
２５：ペリクル収納容器トレイ
３０：ペリクルフレーム
３１：セパレータ（ライナー）
３２：（セパレータ）タブ部
４０：ペリクルフレーム
４１：ペリクル膜
４２：マスク粘着層
４３：セパレータ（ライナー）
４４：ピンセット
５０：ペリクルフレーム
５１：ペリクル膜
５２：マスク粘着層
５３：膜接着層
５４：セパレータ（ライナー）
５４ａ：（セパレータ）タブ部
５５：粘着テープ
５６：ペリクル収納容器トレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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