(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
実装ヘッドにより部品を基板に実装する部品実装装置であって、
前記実装ヘッドは、
並んで順次配置され、部品供給手段から部品を取り出す第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットと、
前記第１実装ユニットと第２実装ユニットとを連結し、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの間の第１ピッチを変更する第１ピッチ変更部材と、
前記第２実装ユニットと第３実装ユニットとを連結し、前記第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間の第２ピッチを変更する第２ピッチ変更部材と、
前記第１ピッチ変更部材及び第２ピッチ変更部材をスライド可能に支持し、前記第１ピッチ変更部材及び前記第２ピッチ変更部材を同時に同量だけ回転させる回転部材と、
前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットの貫通孔内に設けられ、前記回転部材の回転により前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットが回転しないように、前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットを並び方向にスライド可能に支持する第１の支持部材と、
前記実装ヘッドの固定台に取り付けられ、前記回転部材の回転により前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットが回転しないように、前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットを前記並び方向にスライド可能に支持する第２の支持部材と、
前記実装ヘッドの固定台に取り付けられ、前記回転部材を回転させる駆動源とを備える
ことを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記第１ピッチ変更部材は、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの間に配置され、前記第２実装ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第１実装ユニットに挿入可能な部材であり、
前記第２ピッチ変更部材は、前記第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間に配置され、前記第３実装ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第２実装ユニットに挿入可能な部材である
ことを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットのそれぞれには、螺条が形成され、
前記第１ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第２実装ユニットと係合し、他端が前記第１実装ユニットの螺条と螺合可能な第１ネジであり、
前記第２ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第３実装ユニットと係合し、他端が前記第２実装ユニットの螺条と螺合可能な第２ネジである
ことを特徴とする請求項２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記螺条は、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットのそれぞれに設けられた前記並び方向に貫通する貫通孔に形成され、
前記回転部材は、前記第１ネジ及び第２ネジを前記並び方向に貫通して前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの貫通孔内に配設され、かつ前記並び方向に平行な軸を中心とした自転が可能な部材である
ことを特徴とする請求項３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の部品実装装置を用いて部品を基板に実装する方法であって、
前記第１ピッチと前記第２ピッチとを変更するピッチ変更ステップと、
前記第１ピッチ及び第２ピッチが変更された前記実装ヘッドを用いて、前記部品供給手段から部品を取り出す取り出しステップと、
前記実装ヘッドにより取り出された部品を基板に実装する実装ステップとを含む
ことを特徴とする部品実装方法。
【請求項６】
押圧手段により部品を基板に押圧して圧着する圧着装置であって、
前記押圧手段は、
並んで順次配置され、前記基板上の部品を押圧する第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットと、
前記第１押圧ユニットと第２押圧ユニットとを連結し、前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットの間の第１ピッチを変更する第１ピッチ変更部材と、
前記第２押圧ユニットと第３押圧ユニットとを連結し、前記第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間の第２ピッチを変更する第２ピッチ変更部材と、
前記第１ピッチ変更部材及び前記第２ピッチ変更部材をスライド可能に支持し、前記第１ピッチ変更部材及び前記第２ピッチ変更部材を同時に同量だけ回転させる回転部材と、
前記第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの貫通孔内に設けられ、前記回転部材の回転により前記第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットが回転しないように、前記第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットを並び方向にスライド可能に支持する第１の支持部材と、
前記押圧手段の固定台に取り付けられ、前記回転部材の回転により前記第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットが回転しないように、前記第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットを前記並び方向にスライド可能に支持する第２の支持部材と、
前記押圧手段の固定台に取り付けられ、前記回転部材を回転させる駆動源とを備える
ことを特徴とする圧着装置。
【請求項７】
前記第１ピッチ変更部材は、前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットの間に配置され、前記第２押圧ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第１押圧ユニットに挿入可能な部材であり、
前記第２ピッチ変更部材は、前記第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間に配置され、前記第３押圧ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第２押圧ユニットに挿入可能な部材である
ことを特徴とする請求項６に記載の圧着装置。
【請求項８】
前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットのそれぞれには、螺条が形成され、
前記第１ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第２押圧ユニットと係合し、他端が前記第１押圧ユニットの螺条と螺合可能な第１ネジであり、
前記第２ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第３押圧ユニットと係合し、他端が前記第２押圧ユニットの螺条と螺合可能な第２ネジである
ことを特徴とする請求項７に記載の圧着装置。
【請求項９】
前記螺条は、前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットのそれぞれに設けられた前記並び方向に貫通する貫通孔に形成され、
前記回転部材は、前記第１ネジ及び第２ネジを前記並び方向に貫通して前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットの貫通孔内に配設され、かつ前記並び方向に平行な軸を中心とした自転が可能な部材である
ことを特徴とする請求項８に記載の圧着装置。
【請求項１０】
請求項６〜９のいずれか１項に記載の圧着装置を用いて部品を基板に圧着する方法であって、
前記第１ピッチと、前記第２ピッチとを変更するピッチ変更ステップと、
前記第１ピッチ及び第２ピッチが変更された前記押圧手段を用いて部品を押圧する押圧ステップとを含む
ことを特徴とする圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピッチ変更装置に関し、特に電子部品を基板に実装する部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に電子部品（以下、単に「部品」という）を実装する装置として部品実装装置がある。部品実装装置においては、実装ヘッドが部品トレイ及びテープフィーダから部品を取り出して基板に移送搭載する。
【０００３】
このような部品実装装置に対する作業効率向上、つまり実装時間の短縮の要請から、部品実装装置の実装ヘッドとして、複数の吸着ノズルを備えるものが用いられている。これにより、実装ヘッドが部品供給装置と基板との間を往復する１タスクにおいて、複数の部品を取り出して実装することが可能になる。
【０００４】
ところで、複数の吸着ノズルを用いて部品トレイ若しくはテープフィーダから同時に複数の部品を取り出そうとした場合、吸着ノズルのピッチを変更し、部品トレイにおける部品の間隔若しくはテープフィーダの並び間隔に対応させる必要がある。吸着ノズルのピッチを変更する技術としては、例えば特許文献１に記載の部品実装装置がある。この部品実装装置では、吸着ノズル毎に個別の駆動部を設け、これにより吸着ノズルを移動させて吸着ノズルのピッチを変更している。
【０００５】
このとき、吸着ノズルのピッチを変更する技術ではないが、並んで配置された複数の部材のピッチを変更する技術として、例えば特許文献２に記載のトレイ供給装置がある。このトレイ供給装置では、並んで配置された複数の部材としての複数のトレイのピッチを図７に示されるような機構を用いて変更している。すなわち、中央から上下逆向きのネジが形成されたボールネジ２１ａ、２１ｂを設け、一方のボールネジ２１ａの中央（ネジの向きが変わる位置）Ａにトレイ４ａを固定し、更に中央Ａに対して対称な部分にトレイ４ｂ、４ｃを固定し、他方のボールネジ２１ｂの中央（ネジの向きが変わる位置）Ｂに対して対称な部分にトレイ４ｄ、４ｅを固定する機構を用いてトレイのピッチを変更している。この機構においては、２つのボールネジ２１ａ、２１ｂをモータ２４により回転させることで、複数のトレイのピッチが等間隔を保ちながら変更される。
【特許文献１】特開２００２−１７６２９１号公報
【特許文献２】特開平９−２１９４３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の技術を用いて吸着ノズルのピッチを変更する場合には、吸着ノズル毎に個別の駆動部が設けられるため、実装ヘッドの機構が複雑になり、その重量が大きくなる。その結果、実装ヘッドの停止に際して実装ヘッドに大きな慣性力が働くこととなり、部品実装の位置精度が悪くなる。この問題は、実装ヘッドを高速で移動させると特に顕著になる。
【０００７】
また、特許文献２に記載の技術を用いて吸着ノズルのピッチを変更する場合には、実装ヘッド毎に個別の駆動部を設ける必要が無くなる。しかし、この技術は、１つのボールネジにより２つの部材を移動させる構成を採るため、吸着ノズルの数に応じたボールネジが必要となる。その結果、実装ヘッドの機構が複雑になるので、その重量が大きくなり、またコストが増大する。この問題は、多数の吸着ノズルを有する実装ヘッドにおいて特に顕著になる。
【０００８】
そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、簡素な機構を有するピッチ変更装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明のピッチ変更装置は、並んで順次配置された第１部材、第２部材及び第３部材の間の並び方向におけるピッチを変更する装置であって、前記第１部材と第２部材とを連結し、前記第１部材及び第２部材の間のピッチを変更する第１ピッチ変更部材と、前記第２部材と第３部材とを連結し、前記第２部材及び第３部材の間のピッチを変更する第２ピッチ変更部材とを備えることを特徴とする。ここで、前記第１ピッチ変更部材は、前記第１部材及び第２部材の間に配置され、前記第２部材と共に前記並び方向に移動し、前記第１部材に挿入可能な部材であり、前記第２ピッチ変更部材は、前記第２部材及び第３部材の間に配置され、前記第３部材と共に前記並び方向に移動し、前記第２部材に挿入可能な部材であってもよい。ここで、前記第１部材及び第２部材のそれぞれには、螺条が形成され、前記第１ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第２部材と係合し、他端が前記第１部材の螺条と螺合可能な第１ネジであり、前記第２ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第３部材と係合し、他端が前記第２部材の螺条と螺合可能な第２ネジであり、前記ピッチ変更装置は、さらに、前記第１ネジ及び第２ネジをスライド可能に支持し、前記第１ネジ及び第２ネジを同時に同量だけ回転させる回転部材を備えてもよい。また、前記第１ネジ及び第２ネジは、前記回転部材の自転と共に回転し、前記ピッチ変更装置は、さらに、前記回転部材の自転により前記第１部材、第２部材及び第３部材が回転しないように、前記第１部材、第２部材及び第３部材を前記並び方向にスライド可能に支持する支持部材を備えてもよい。また、前記螺条は、前記第１部材及び第２部材のそれぞれに設けられた前記並び方向に貫通する貫通孔に形成され、前記回転部材は、前記第１ネジ及び第２ネジを前記並び方向に貫通して前記第１部材及び第２部材の貫通孔内に配設され、かつ前記並び方向に平行な軸を中心とした自転が可能な部材であってもよい。また、前記第１ピッチ変更部材は、油圧駆動により前記第２部材及び第３部材の間のピッチを変更し、前記第２ピッチ変更部材は、油圧駆動により前記第２部材及び第３部材の間のピッチを変更してもよい。
【００１０】
これによって、１つの回転部材により第１部材、第２部材及び第３部材の間の並び方向におけるピッチが変更される。よって、装置の機構を複雑化することなく複数のピッチを変更することができるので、簡素な構造のピッチ変更装置を実現することができる。すなわち、低コストのピッチ変更装置を実現することができる。
【００１１】
また、本発明は、実装ヘッドにより部品を基板に実装する部品実装装置であって、前記実装ヘッドは、並んで順次配置され、部品供給手段から部品を取り出す第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットと、前記第１実装ユニットと第２実装ユニットとを連結し、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの間の第１ピッチを変更する第１ピッチ変更部材と、前記第２実装ユニットと第３実装ユニットとを連結し、前記第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間の第２ピッチを変更する第２ピッチ変更部材とを備えることを特徴とする部品実装装置とすることもできる。ここで、前記第１ピッチ変更部材は、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの間に配置され、前記第２実装ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第１実装ユニットに挿入可能な部材であり、前記第２ピッチ変更部材は、前記第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間に配置され、前記第３実装ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第２実装ユニットに挿入可能な部材であってもよい。ここで、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットのそれぞれには、螺条が形成され、前記第１ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第２実装ユニットと係合し、他端が前記第１実装ユニットの螺条と螺合可能な第１ネジであり、前記第２ピッチ変更部材は、一端が回転可能な状態で前記第３実装ユニットと係合し、他端が前記第２実装ユニットの螺条と螺合可能な第２ネジであり、前記実装ヘッドは、さらに、前記第１ネジ及び第２ネジをスライド可能に支持し、前記第１ネジ及び第２ネジを同時に同量だけ回転させる回転部材を備えてもよい。また、前記螺条は、前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットのそれぞれに設けられた前記並び方向に貫通する貫通孔に形成され、前記回転部材は、前記第１ネジ及び第２ネジを前記並び方向に貫通して前記第１実装ユニット及び第２実装ユニットの貫通孔内に配設され、かつ前記並び方向に平行な軸を中心とした自転が可能な部材であり、前記第１ネジ及び第２ネジは、前記回転部材の自転と共に回転し、前記部品実装装置は、さらに、前記回転部材の自転により前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットが回転しないように、前記第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットを前記並び方向にスライド可能に支持する支持部材を備えてもよい。また、前記第１ピッチ変更部材は、油圧駆動により前記第１ピッチを変更し、前記第２ピッチ変更部材は、油圧駆動により前記第２ピッチを変更してもよい。
【００１２】
これによって、１つの回転部材により第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間の並び方向におけるピッチが変更される。よって、実装ヘッドの機構を複雑化することなく複数のピッチを変更することができるので、第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間のピッチを変更することが可能な簡素な機構の部品実装装置を実現することができる。すなわち、第１実装ユニット、第２実装ユニット及び第３実装ユニットの間のピッチを簡易に変更でき、かつ部品実装の位置精度が高い低コストの部品実装装置を実現できる。
【００１３】
また、本発明は、押圧手段により部品を基板に押圧して圧着する圧着装置であって、前記押圧手段は、並んで順次配置され、前記基板上の部品を押圧する第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットと、前記第１押圧ユニットと第２押圧ユニットとを連結し、前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットの間の第１ピッチを変更する第１ピッチ変更部材と、前記第２押圧ユニットと第３押圧ユニットとを連結し、前記第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間の第２ピッチを変更する第２ピッチ変更部材とを備えることを特徴とする圧着装置とすることもできる。ここで、前記第１ピッチ変更部材は、前記第１押圧ユニット及び第２押圧ユニットの間に配置され、前記第２押圧ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第１押圧ユニットに挿入可能な部材であり、前記第２ピッチ変更部材は、前記第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間に配置され、前記第３押圧ユニットと共に前記並び方向に移動し、前記第２押圧ユニットに挿入可能な部材であってもよい。
【００１４】
これによって、１つの回転部材により第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間の並び方向におけるピッチが変更される。よって、押圧手段の機構を複雑化することなく複数のピッチを変更することができるので、第第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間のピッチを変更することが可能な簡素な機構の圧着装置を実現することができる。すなわち、第１押圧ユニット、第２押圧ユニット及び第３押圧ユニットの間のピッチを簡易に変更でき、かつ部品圧着の位置精度が高い低コストの圧着装置を実現できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡素な機構を有するピッチ変更装置を実現できる。また、複数の吸着ノズルの間のピッチを簡易に変更でき、かつ部品実装の位置精度が高い低コストの部品実装装置を実現できる。また、複数の押圧ヘッドの間のピッチを簡易に変更でき、かつ部品圧着の位置精度が高い低コストの圧着装置を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態におけるピッチ変更装置について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態の部品実装装置の構成を示す外観図である。
【００１８】
この部品実装装置１０１は、部品１０３ａを基板１０２ａ上に実装する装置であり、搬送路１０２、トレイ１０３、トレイ供給部１０４、実装ヘッド１０５、Ｘ軸移動手段１０６、Ｙ軸移動手段１０７ａ、１０７ｂ及び認識手段１０８を備える。
【００１９】
搬送路１０２は、基板１０２ａを搬送して位置決めする。トレイ供給部１０４は、部品１０３ａが収納されたトレイ１０３を所定位置に自動供給する。実装ヘッド１０５は、トレイ１０３上の部品１０３ａを吸着保持して移動し、基板１０２ａ上に実装する。Ｘ軸移動手段１０６は、実装ヘッド１０５をＸ軸方向に移動させ、Ｙ軸移動手段１０７ａ、１０７ｂは、実装ヘッド１０５をＹ軸方向に移動させる。認識手段１０８は、実装ヘッド１０５に保持された部品１０３ａの保持状態を認識する。なお、トレイ１０３は、本発明の部品供給手段の一例である。
【００２０】
図２は、実装ヘッド１０５の構成を示す外観図である。
実装ヘッド１０５は、固定台１１０と、固定台１１０上に順次並設された同一機能の第１ノズル保持部１０５ａ、第２ノズル保持部１０５ｂ、第３ノズル保持部１０５ｃ及び第４ノズル保持部１０５ｄと、ノズル保持部間の並び方向（図２におけるＸ方向）におけるピッチを変更するピッチ変更装置１２０とを備える。各ノズル保持部は略同一機能の駆動部であるため、以下では第１ノズル保持部１０５ａの構造についてのみ説明する。
【００２１】
第１ノズル保持部１０５ａは、ノズル昇降モータ１１１と、部品を吸着保持する吸着ノズル１１２と、吸着ノズル１１２を回転させるθモータ（図外）とを有する。
【００２２】
上記構造を有する第１ノズル保持部１０５ａにおいて、吸着ノズル１１２は、ノズル昇降モータ１１１による押圧により下方（図２におけるＺ方向）に移動する。また、吸着ノズル１１２に吸着した部品の角度を補正する場合には、θモータ（図外）による回転動により、吸着ノズル１１２は、回転する。
【００２３】
図３は、ピッチ変更装置１２０の詳細な構成を示す外観図である。また、図４は、ピッチ変更装置１２０の詳細な構成を示す断面図（図３のＡ−Ａ’における断面図）である。
【００２４】
ピッチ変更装置１２０は、固定部材１２１、第１支持部材１２２、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ、第４保持部固定部材１２３ｄ、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ、第４ネジ１２４ｄ、モータ１２５、レール１２６及び回転部材１２７を有する。
【００２５】
固定部材１２１は、固定台１１０の側面上に取り付けられた板状の部材である。固定部材１２１には、第１保持部固定部材１２３ａが取り付けられ、固定部材１２１は、第１保持部固定部材１２３ａを並び方向（図３におけるＸ方向）に固定する。
【００２６】
第１保持部固定部材１２３ａの側面には、第１ノズル保持部１０５ａが取り付けられ、第１保持部固定部材１２３ａは、第１ノズル保持部１０５ａと一体化される。同様に、第２保持部固定部材１２３ｂは第２ノズル保持部１０５ｂと、第３保持部固定部材１２３ｃは第３ノズル保持部１０５ｃと、第４保持部固定部材１２３ｄは第４ノズル保持部１０５ｄとそれぞれ一体化される。第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄのそれぞれには、第１支持部材１２２と同じ断面形状（ＹＺ面と平行な面における形状）を有し、並び方向に貫通する貫通孔がその下部に設けられ、さらに並び方向に貫通する貫通孔がその中央部に設けられている。
【００２７】
なお、第１保持部固定部材１２３ａは本発明の第１部材の一例であり、第２保持部固定部材１２３ｂは本発明の第２部材の一例であり、第３保持部固定部材１２３ｃは本発明の第３部材の一例である。また、一体化された第１ノズル保持部１０５ａ及び第１保持部固定部材１２３ａは本発明の第１実装ユニットの一例であり、一体化された第２ノズル保持部１０５ｂ及び第２保持部固定部材１２３ｂは本発明の第２実装ユニットの一例であり、一体化された第３ノズル保持部１０５ｃ及び第３保持部固定部材１２３ｃは本発明の第３実装ユニットの一例である。
【００２８】
第１支持部材１２２は、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの下部の貫通孔内に配設された、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの並び方向の移動をガイドする四角柱状の部材である。すなわち、第１支持部材１２２は、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄを並び方向にスライド可能に支持する部材である。
【００２９】
ここで、第１保持部固定部材１２３ａの中央部の貫通孔１３０ａ内面には第１螺条１３１ａが形成されている。同様に、第２保持部固定部材１２３ｂの中央部の貫通孔１３０ｂ内面には第２螺条１３１ｂが形成されている。また、第３保持部固定部材１２３ｃの中央部の貫通孔１３０ｃ内面には第３螺条１３１ｃが形成されている。さらに、第４保持部固定部材１２３ｄの中央部の貫通孔１３０ｄ内面には第４螺条１３１ｄが形成されている。
【００３０】
第１ネジ１２４ａは、並び方向に貫通する貫通孔１３２ａが設けられた略円筒形状のネジである。第１ネジ１２４ａは、第１保持部固定部材１２３ａ及び第２保持部固定部材１２３ｂの間に位置し、一端（図４（ａ）におけるＡ）が回転可能な状態で第２保持部固定部材１２３ｂと係合し、他端（図４（ａ）におけるＢ）が第１螺条１３１ａと螺合するネジである。すなわち、第１ネジ１２４ａは、第１保持部固定部材１２３ａ及び第２保持部固定部材１２３ｂを連結し、第１保持部固定部材１２３ａ及び第２保持部固定部材１２３ｂの間のピッチを変更するネジである。
【００３１】
第２ネジ１２４ｂは、並び方向に貫通する貫通孔１３２ｂが設けられた略円筒形状のネジである。第２ネジ１２４ｂは、第２保持部固定部材１２３ｂ及び第３保持部固定部材１２３ｃの間に位置し、一端（図４（ａ）におけるＣ）が回転可能な状態で第３保持部固定部材１２３ｃと係合し、他端（図４（ａ）におけるＤ）が第２螺条１３１ｂと螺合するネジである。すなわち、第２ネジ１２４ｂは、第２保持部固定部材１２３ｂ及び第３保持部固定部材１２３ｃを連結し、第２保持部固定部材１２３ｂ及び第３保持部固定部材１２３ｃの間のピッチを変更するネジである。
【００３２】
第３ネジ１２４ｃは、並び方向に貫通する貫通孔１３２ｃが設けられた略円筒形状のネジである。第３ネジ１２４ｃは、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの間に位置し、一端（図４（ａ）におけるＥ）が回転可能な状態で第４保持部固定部材１２３ｄと係合し、他端（図４（ａ）におけるＦ）が第３螺条１３１ｃと螺合するネジである。すなわち、第３ネジ１２４ｃは、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄを連結し、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの間のピッチを変更するネジである。
【００３３】
第４ネジ１２４ｄは、並び方向に貫通する貫通孔１３２ｄが設けられた略円筒形状のネジである。第４ネジ１２４ｄは、第４保持部固定部材１２３ｄ及びモータ１２５の間に位置し、一端（図４（ａ）におけるＧ）が第４螺条１３１ｄと螺合するネジである。
【００３４】
ここで、第１ネジ１２４ａの並び方向における幅は、第１保持部固定部材１２３ａの並び方向における幅よりも小さい。同様に、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄの並び方向における幅は、それぞれ第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの並び方向における幅よりも小さい。
【００３５】
回転部材１２７は、一直線上に並んだ貫通孔１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ、１３２ｄ内に配設されて第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄを並び方向に貫通する四角柱状の部材である。回転部材１２７は、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄをスライド可能に支持し、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄの並び方向への移動をガイドする。
【００３６】
言い換えると、回転部材１２７は、一直線上に並んだ貫通孔１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄ内に配設されて第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄを並び方向に貫通する四角柱状の部材である。回転部材１２７は、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄを介して、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄをスライド可能に支持し、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの並び方向への移動をガイドする四角柱状の部材である。
【００３７】
モータ１２５は、回転部材１２７が並び方向に平行な軸を中心とした自転をするように、回転部材１２７を回転させる。
【００３８】
このとき、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄは、第１支持部材１２２及びレール１２６により支持されているため、回転部材１２７の自転に際して回転部材１２７と共に回転しない。
【００３９】
レール１２６は、実装ヘッド１０５の固定台１１０の側面上に取り付けられる。レール１２６には、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄがスライド可能な状態で取り付けられている。
【００４０】
上記構造を有するピッチ変更装置１２０において、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄは、モータ１２５による回転部材１２７の回転と共に同量だけ同時に回転する。これにより、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄ間の並び方向におけるピッチが同時に変更される。
【００４１】
具体的には、図４（ｂ）に示されるように、回転部材１２７を時計回りに回転させた場合、第１ネジ１２４ａの他端が第１保持部固定部材１２３ａの内部に徐々に挿入されていく。これに伴って、第１ネジ１２４ａの一端と係合した第２保持部固定部材１２３ｂは、並び方向において第１保持部固定部材１２３ａ及び第２保持部固定部材１２３ｂ間の第１ピッチ（図４におけるｄ１）を狭める方向に第１ネジ１２４ａと一体となって第１ネジ１２４ａと共に移動する。その結果、第２保持部固定部材１２３ｂの移動量（第１ネジ１２４ａの第１保持部固定部材１２３ａの内部に入った量）だけ第１ピッチが狭められる。この第１ピッチの縮小と同時に、第２ネジ１２４ｂの他端も第２保持部固定部材１２３ｂの内部に徐々に挿入されていく。これに伴って、第２ネジ１２４ｂの一端と係合した第３保持部固定部材１２３ｃは、並び方向において第２保持部固定部材１２３ｂ及び第３保持部固定部材１２３ｃ間の第２ピッチ（図４におけるｄ２）を狭める方向に第２ネジ１２４ｂと一体となって第２ネジ１２４ｂと共に移動する。その結果、第３保持部固定部材１２３ｃの移動量（第２ネジ１２４ｂの第２保持部固定部材１２３ｂの内部に入った量）だけ第２ピッチが狭められる。また第１ピッチ及び第２ピッチの縮小と同時に、第３ネジ１２４ｃの他端も第３保持部固定部材１２３ｃの内部に徐々に挿入されていく。これに伴って、第３ネジ１２４ｃの一端と係合した第４保持部固定部材１２３ｄは、並び方向において第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄ間の第３ピッチ（図４におけるｄ３）を狭める方向に第３ネジ１２４ｃと一体となって第３ネジ１２４ｃと共に移動する。その結果、第４保持部固定部材１２３ｄの移動量（第３ネジ１２４ｃの第３保持部固定部材１２３ｃの内部に入った量）だけ第３ピッチが狭められる。
【００４２】
一方、回転部材１２７を反時計回りに回転させた場合、第１ネジ１２４ａの他端が第１保持部固定部材１２３ａの内部から徐々に出ていく。これに伴って、第１ネジ１２４ａの一端と係合した第２保持部固定部材１２３ｂは、並び方向において第１保持部固定部材１２３ａ及び第２保持部固定部材１２３ｂ間の第１ピッチを拡げる方向に第１ネジ１２４ａと一体となって第１ネジ１２４ａと共に移動する。その結果、第２保持部固定部材１２３ｂの移動量（第１ネジ１２４ａの第１保持部固定部材１２３ａの内部から出てきた量）だけ第１ピッチが拡げられる。この第１ピッチの拡大と同時に、第２ネジ１２４ｂの他端も第２保持部固定部材１２３ｂの内部から徐々に出ていく。これに伴って、第２ネジ１２４ｂの一端と係合した第３保持部固定部材１２３ｃは、並び方向において第２保持部固定部材１２３ｂ及び第３保持部固定部材１２３ｃ間の第２ピッチを拡げる方向に第２ネジ１２４ｂと一体となって第２ネジ１２４ｂと共に移動する。その結果、第３保持部固定部材１２３ｃの移動量（第２ネジ１２４ｂの第２保持部固定部材１２３ｂの内部から出てきた量）だけ第２ピッチが拡げられる。また第１ピッチ及び第２ピッチの拡大と同時に、第３ネジ１２４ｃの他端も第３保持部固定部材１２３ｃの内部から徐々に出ていく。これに伴って、第３ネジ１２４ｃの一端と係合した第４保持部固定部材１２３ｄは、並び方向において第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄ間の第３ピッチを拡げる方向に第３ネジ１２４ｃと一体となって第３ネジ１２４ｃと共に移動する。その結果、第４保持部固定部材１２３ｄの移動量（第３ネジ１２４ｃの第３保持部固定部材１２３ｃの内部から出てきた量）だけ第３ピッチが拡げられる。
【００４３】
このとき、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄは、同時に同じ量だけ回転し、かつその外面には同じ形態の螺条が形成されている。従って、第１ピッチ、第２ピッチ及び第３ピッチの変更量は、等しくなる。
【００４４】
なお、上記ピッチ変更装置１２０において、第１ネジ１２４ａの一端が第１保持部固定部材１２３ａに回転可能な状態で係合し、第１ネジ１２４ａの他端が第２保持部固定部材１２３ｂに入る、あるいは出てもよい。同様に、第２ネジ１２４ｂの一端が第２保持部固定部材１２３ｂに回転可能な状態で係合し、第２ネジ１２４ｂの他端が第３保持部固定部材１２３ｃに入る、あるいは出てもよい。また、第３ネジ１２４ｃの一端が第３保持部固定部材１２３ｃに回転可能な状態で係合し、第３ネジ１２４ｃの他端が第４保持部固定部材１２３ｄに入る、あるいは出てもよい。
【００４５】
上記構成を有する部品実装装置１０１は、ピッチ変更装置１２０により第１ノズル保持部１０５ａ、第２ノズル保持部１０５ｂ、第３ノズル保持部１０５ｃ及び第４ノズル保持部１０５ｄのピッチ、つまり吸着ノズル１１２間のピッチをトレイ１０３における部品１０３ａの間隔に対応させて変更した後、ピッチが変更された実装ヘッド１０５を用いてトレイ１０３から部品１０３ａを同時に吸着して取り出し、取り出された部品１０３ａを基板１０２ａに実装する。
【００４６】
以上のように本実施の形態の部品実装装置によれば、複数のネジを１本の回転部材１２７で支持し、その回転部材１２７を回転させて第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄを同時に同量だけ回転させることで、ノズル保持部間のピッチを変更する。よって、実装ヘッドの機構を複雑化することなく吸着ノズルのピッチを変更することができるので、吸着ノズルのピッチを変更することが可能な簡素な構造の部品実装装置を実現することができる。すなわち、吸着ノズルのピッチを簡易に変更でき、かつ部品実装の位置精度が高い低コストの部品実装装置を実現することができる。
【００４７】
また、本実施の形態の部品実装装置によれば、第１ネジ１２４ａの並び方向における幅が第１保持部固定部材１２３ａの並び方向における幅よりも小さい。よって、第１ネジ１２４ａを第１保持部固定部材１２３ａとの螺合により貫通孔１３２ａに完全に挿入させることができるので、吸着ノズル１１２間のピッチを極めて小さくすることができる。その結果、高い自由度をもって吸着ノズル間のピッチを設定することが可能な部品実装装置を実現することができる。
【００４８】
また、本実施の形態のピッチ変更装置によれば、吸着ノズル（保持部固定部材）が３個以上に増えても、保持部固定部材を並び方向にネジを介して連結するだけで、これに対応することができる。よって、吸着ノズル（保持部固定部材）が３個以上に増えても、１つのモータで吸着ノズルのピッチを変更することができるので、ピッチ変更装置の機構が複雑にならず、ピッチ変更装置の重量が大きくならない。その結果、ピッチ変更装置を備えたマルチノズルヘッドにおける、位置決め精度の低下を防止することができる。
【００４９】
（第２の実施の形態）
図５は、本実施の形態の圧着装置の構成を示す外観図である。
【００５０】
この圧着装置２００は、異方性導電性テープ（ＡＣＦテープ）等の異方性導電接着剤を介して所定位置に部品が仮圧着されたフラットパネルに対し、部品を押圧して本圧着する本圧着装置である。なお、フラットパネルは、本発明の基板の一例であり、例えばアレイ基板、カラーフィルタ、偏光基板及び保護フィルム等から構成される。
【００５１】
圧着装置２００は、反り矯正ユニット２０１、押圧部２０２、バックアップステージ２０３、パネルステージ２０５、シート供給部２０６及びＸＹステージ２０７等を備える。この圧着装置では、押圧部２０２の押圧ヘッドを用いた加熱処理及び押圧処理により、反り矯正ユニット２０１及びバックアップステージ２０３に載置されたフラットパネル２００ｂの側縁部と部品とを接合する。この接合は、パネルステージ２０５においてフラットパネル２００ｂを回転移動させることで、フラットパネル２００ｂの異なる辺に対して行われる。なお、押圧部２０２は本発明の押圧手段の一例である。
【００５２】
バックアップステージ２０３は、フラットパネル２００ｂの側縁部への部品の押圧時に、部品の押圧を背後からバックアップするためのステージである。パネルステージ２０５は、ＸＹステージ２０７と共に、フラットパネル２００ｂを真空吸着しながら所定方向に回転、移動することによりフラットパネル２００ｂを搬送して位置決めする。
【００５３】
図６は、反り矯正ユニット２０１及び押圧部２０２の詳細な構成を示す外観図である。
反り矯正ユニット２０１は、接合に際してフラットパネル２００ｂの平坦性が保たれるように、フラットパネル２００ｂの側縁部の反りを矯正する。反り矯正ユニット２０１には、複数のジャバラパット２０１ａ及びエア止め栓２０１ｂが設けられており、ジャバラパット２０１ａはバックアップステージ２０３に並設して配置されている。このジャバラパット２０１ａは、反り矯正ユニット２０１内部の中空部を介して、真空源となるバキューム装置（図外）に接続されており、フラットパネル２００ｂを真空吸着する。この吸着により、フラットパネル２００ｂの側縁部の平坦性が保たれる。
【００５４】
押圧部２０２は、固定台２１５と、固定台２１５上に順次並設された同一機能の第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ、第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ、第３押圧ヘッド駆動部２０５ｃ及び第４押圧ヘッド駆動部２０５ｄと、上下軸駆動部２０４と、押圧ヘッド駆動部間の並び方向（図６におけるＸ方向）におけるピッチを変更する、第１の実施の形態のピッチ変更装置と同様の構成及び動作のピッチ変更装置１０２とから構成される。このとき、第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ、第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ、第３押圧ヘッド駆動部２０５ｃ及び第４押圧ヘッド駆動部２０５ｄは、それぞれピッチ変更装置１０２の第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄと一体化される。各押圧ヘッド駆動部は略同一機能の駆動部であるため、以下では第１押圧ヘッド駆動部２０５ａの構造についてのみ説明する。
【００５５】
なお、一体化された第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ及び第１保持部固定部材１２３ａは本発明の第１押圧ユニットの一例であり、一体化された第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ及び第２保持部固定部材１２３ｂは本発明の第２押圧ユニットの一例であり、一体化された第３押圧ヘッド駆動部２０５及び第３保持部固定部材１２３ｃは本発明の第３押圧ユニットの一例である。
【００５６】
第１押圧ヘッド駆動部２０５ａは、押圧ヘッド２１０と、押圧ヘッド２１０を駆動するエアシリンダ２１１とから構成される。エアシリンダ２１１は、空気圧を駆動源とし、バックアップステージ２０３のフラットパネル２００ｂに向けて押圧ヘッド２１０を押圧する。押圧ヘッド２１０は、部品をバックアップステージ２０３上のフラットパネル２００ｂに向けて押圧し、かつ自身が押圧する部品を加熱する。
【００５７】
上下軸駆動部２０４は、モータを駆動源とし、バックアップステージ２０３上のフラットパネル２００ｂに対して第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ、第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ、第３押圧ヘッド駆動部２０５ｃ及び第４押圧ヘッド駆動部２０５ｄを上下動させる。すなわち、複数の押圧ヘッド２１０をフラットパネル２００ｂに対して同時に上下動させる。上下軸駆動部２０４は、サーボモータと、サーボモータを駆動するモータ駆動部と、押圧ヘッド駆動部に設けられたナットと係合し、サーボモータにより回転駆動されるボールねじ等の上下軸とから構成される。このような構成の上下軸駆動部２０４においては、サーボモータの作動により上下軸が回転し、これにより第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ、第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ、第３押圧ヘッド駆動部２０５ｃ及び第４押圧ヘッド駆動部２０５ｄが同時に上下動する。
【００５８】
上記構成を有する圧着装置２００は、ピッチ変更装置１２０により第１押圧ヘッド駆動部２０５ａ、第２押圧ヘッド駆動部２０５ｂ、第３押圧ヘッド駆動部２０５ｃ及び第４押圧ヘッド駆動部２０５ｄのピッチ、つまり押圧ヘッド２１０間のピッチをフラットパネル２００ｂに仮圧着されたフラットパネル２００ｂ上の部品の間隔に対応させて変更した後、ピッチが変更された押圧部２０２を用いて仮圧着された部品を押圧する。続いて、フラットパネル２００ｂの異なる辺に対して部品を押圧する場合には、その異なる辺における部品の間隔に対応させて押圧ヘッド２１０間のピッチを変更し、部品を押圧する。
【００５９】
以上のように本実施の形態の圧着装置によれば、複数のネジを１本の回転部材１２７で支持し、その回転部材１２７を回転させて第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄを同時に同量だけ回転させることで、押圧ヘッド間のピッチを変更する。よって、押圧部の機構を複雑化することなく押圧ヘッドのピッチを変更することができるので、押圧ヘッドのピッチを変更することが可能な簡素な構造の圧着装置を実現することができる。すなわち、押圧ヘッドのピッチを簡易に変更でき、かつ部品圧着の位置精度が高い低コストの圧着装置を実現することができる。
【００６０】
以上、本発明のピッチ変更装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態の限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲内で当業者が思いつく各種変形を施したものも本発明の範囲内に含まれる。
【００６１】
例えば、上記実施の形態において、第１支持部材１２２は、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの貫通孔内に配設されるとした。しかし、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄが回転部材１２７の自転に際して回転部材１２７と共に回転しないようにする部材であればこれに限られず、第１支持部材はレール１２６と同様に第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄをスライド可能に支持する部材であってもよい。また、レール１２６により、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄが回転部材１２７と共に回転しないようにできる目的は達成できるので、同様な機能を有する第１支持部材１２２を省略しても構わない。
【００６２】
また、上記実施の形態において、第１ネジ１２４ａ、第２ネジ１２４ｂ、第３ネジ１２４ｃ及び第４ネジ１２４ｄの並び方向における幅は、それぞれ第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの並び方向における幅よりも小さいとしたが大きくてもよい。この場合には、吸着ノズル１１２又は押圧ヘッド２１０間のピッチを極めて大きくすることができる。
【００６３】
また、上記実施の形態において、モータ１２５による回転駆動によりネジを回転させてピッチを変更するとしたが、第１保持部固定部材１２３ａ、第２保持部固定部材１２３ｂ、第３保持部固定部材１２３ｃ及び第４保持部固定部材１２３ｄの間にそれぞれ油圧駆動源を設け、この油圧駆動源の油圧駆動によりピッチを変更してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明は、ピッチ変更装置に利用でき、特に部品実装装置及び本圧着装置等に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の実施の形態の部品実装装置の構成を示す断面図である。
【図２】同実施の形態の実装ヘッドの構成を示す外観図である。
【図３】同実施の形態のピッチ変更装置の詳細な構成を示す外観図である。
【図４】同実施の形態のピッチ変更装置の詳細な構成を示す断面図（図３のＡ−Ａ’における断面図）である。
【図５】本発明の第２の実施の形態の本圧着装置の構成を示す断面図である。
【図６】同実施の形態の反り矯正ユニット及び押圧部の詳細な構成を示す外観図である。
【図７】特許文献２に記載の従来のトレイ供給装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ    トレイ
２１ａ、２１ｂ    ボールネジ
２４、２６    モータ
１０１    部品実装装置
１０２    搬送路
１０２ａ    基板
１０３    トレイ
１０３ａ    部品
１０４    トレイ供給部
１０５    実装ヘッド
１０５ａ、２０５ａ    第１ノズル保持部
１０５ｂ、２０５ｂ    第２ノズル保持部
１０５ｃ、２０５ｃ    第３ノズル保持部
１０５ｄ、２０５ｄ    第４ノズル保持部
１０６    Ｘ軸移動手段
１０７ａ、１０７ｂ    Ｙ軸移動手段
１０８    認識手段
１１０、２１５    固定台
１１１    ノズル昇降モータ
１１２    吸着ノズル
１２０    ピッチ変更装置
１２１    固定部材
１２２    支持部材
１２３ａ    第１保持部固定部材
１２３ｂ    第２保持部固定部材
１２３ｃ    第３保持部固定部材
１２３ｄ    第４保持部固定部材
１２４ａ    第１ネジ
１２４ｂ    第２ネジ
１２４ｃ    第３ネジ
１２４ｄ    第４ネジ
１２５    モータ
１２６    レール
１２７    回転部材
１３０ａ、１３０ｂ、１３０ｃ、１３０ｄ、１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃ、１３２ｄ    貫通孔
１３１ａ    第１螺条
１３１ｂ    第２螺条
１３１ｃ    第３螺条
１３１ｄ    第４螺条
２００    圧着装置
２００ｂ    フラットパネル
２０１    反り矯正ユニット
２０１ａ    ジャバラパット
２０１ｂ    エア止め栓
２０２    押圧部
２０３    バックアップステージ
２０４    上下軸駆動部
２０５    パネルステージ
２０５ａ    第１押圧ヘッド駆動部
２０５ｂ    第２押圧ヘッド駆動部
２０５ｃ    第３押圧ヘッド駆動部
２０５ｄ    第４押圧ヘッド駆動部
２０６    シート供給部
２０７    ＸＹステージ
２１０    押圧ヘッド
２１１    エアシリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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