(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光伝送媒体を位置決め固定するために基体に設けられる光伝送媒体固定用の溝であって、
溝の一方の壁面に、屈曲形状を有し、両端が前記壁面に固定された双安定ヒンジよりなる押圧ばねが形成され、
その押圧ばねと前記溝の他方の壁面とがなす間隔の最小値が、前記双安定ヒンジの第１の安定状態では前記光伝送媒体の対応する箇所の幅より小とされ、第２の安定状態では前記幅より大とされており、
前記第１の安定状態における前記最小値と前記幅との差は、前記双安定ヒンジが前記第１の安定状態から前記第２の安定状態に向かって移行する変形において、その変形に抗する反力が最初に極大となる点までに前記最小値の位置が変位する距離より小とされていることを特徴とする光伝送媒体固定用の溝。
【請求項２】
光伝送媒体が基体上に固定される構造を有する光デバイスであって、
前記基体に溝が設けられ、
その溝の一方の壁面に、屈曲形状を有し、両端が前記壁面に固定された双安定ヒンジよりなり、その第１の安定状態に近い状態で前記屈曲形状の凸部が前記溝内に設置される前記光伝送媒体の側面を押圧し、第２の安定状態ではその押圧を解除する押圧ばねが形成されており、
前記光伝送媒体は前記押圧ばねと前記溝の他方の壁面とに挟持されて固定されており、
前記光伝送媒体を押圧固定している前記押圧ばねは、前記第１の安定状態と押圧力が最大となる変形状態との間の状態にあることを特徴とする光デバイス。
【請求項３】
請求項２記載の光デバイスにおいて、
前記基体の前記溝が設けられている表面に、前記押圧ばねを反転させる治具を位置決めする位置決め孔が設けられていることを特徴とする光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は例えば光ファイバなどの光伝送媒体を固定する押圧ばね、溝に関し、さらにそのような光伝送媒体が基体上に固定される構造を有する光デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１１はこの種の押圧ばねの従来例として、特許文献１に記載されている構成を示したものであり、図１１Ａは押圧ばねを備えた光スイッチの全体構成を示し、図１１Ｂはその押圧ばねを拡大して示したものである。
この例ではガラス基板１１の表面に接合されたシリコン基板１２に光ファイバを設置する溝１３が４本、十字状をなすように形成されており、これら溝１３の一方の壁面に押圧ばね（ファイバ押え）１４が形成されている。押圧ばね１４は片持ち梁状をなすものとされており、その先端には押し付け部１４ａが形成されている。
【０００３】
各溝１３には光ファイバ１５が設置され、光ファイバ１５は押圧ばね１４により押圧されて溝１３の他方の壁面（押圧ばね１４が形成されていない壁面）に押し付けられて固定されている。図１１Ａ中、１６は４本の溝１３が交差する中心部１３ｃに挿抜されるミラーを示し、１７はそのミラー１６が一端に形成されて、一対のヒンジ１８により変位自在に支持された可動ロッドを示す。また、１９は櫛歯型静電アクチュエータを示す。
【０００４】
一方、図１２は特許文献２に記載されている光ファイバ取り付け部の構成を示したものであり、図１２Ａは光ファイバ取り付け部を備えた光スイッチの外観を示し、図１２Ｂは光ファイバが取り付けられる前の光ファイバ取り付け部の状態を示す。また、図１２Ｃは光ファイバが取り付けられた後の光ファイバ取り付け部の状態を示す。
【０００５】
この例では光スイッチのハウジング２１はガラス基板２２，２３と、それらガラス基板２２，２３によって挟まれたシリコン基板２４とによって構成され、シリコン基板２４に光ファイバ取り付け部２５が形成されている。光ファイバ取り付け部２５は断面凹形状をなし、その左右両側には可動梁部２５ａが設けられている。
【０００６】
光ファイバ取り付け部２５はガラス基板２２の凹部２２ａとガラス基板２３の掘り込み部２３ａとの間に位置しており、掘り込み部２３ａと対向する溝部２５ｂに光ファイバ２６が挿入されると、図１２Ｃに示したように左右の可動梁部２５ａが撓み、光ファイバ２６は溝部２５ｂと掘り込み部２３ａとによって挟持されて位置決め固定されるものとなっている。
【特許文献１】特開２００４−６１９５１号公報
【特許文献２】特開２００４−１０９４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、光ファイバの端部が固定されて光結合される構造を有する光スイッチなどのような光デバイスでは、良好な光結合効率を得るべく、光ファイバの位置決め調整（調芯）が行われ、光ファイバの軸方向位置や軸回りの方位が調整される。そして、この位置決め調整として、光ファイバに実際に光を通して光結合対象への結合光をモニタしながら位置決めをするアクティブアライメントが行われている。
【０００８】
図１３はこのようなアクティブアライメントを行う際に、光ファイバを把持する把持機構の一例を示したものであり、把持機構３１はこの例では図１３Ｄに示したように、Ｖ溝３２が形成された固定台３３と、その固定台３３上にＶ溝３２を挟んで固定された一対の永久磁石３４と、強磁性体よりなる押さえ蓋３５とによって構成されている。光ファイバ３６はＶ溝３２に配置され、その上に押さえ蓋３５が載置され、押さえ蓋３５が永久磁石３４に吸引されることによって光ファイバ３６が挟持されるものとなっている。
【０００９】
光ファイバ３６の位置決め調整（アクティブアライメント）はアクチュエータ（図示せず）により把持機構３１を図１３Ａに矢印で示したように軸方向に変位させ、また図１３Ｃに矢印で示したように軸回りに回転させることによって行われる。なお、図１３中、３７は光スイッチの外形を示す。
【００１０】
上述したような光ファイバの位置決め調整は光ファイバが例えば光スイッチなどの光デバイスに設置された状態で行われ、つまり図１１に示した押圧ばね１４や図１２に示した可動梁部２５ａを有する光ファイバ取り付け部２５のような押圧機構によって押圧された状態で行われる。従って、このような押圧ばね等による光ファイバに対する押圧力は光ファイバの位置決め調整が可能なように、つまり光ファイバが動きうるような大きさの力にしなければならない。
【００１１】
光ファイバを押圧固定する押圧ばねの押圧力はこのような制約により、強くすることはできず、よって押圧力が弱いことに起因して従来においては光ファイバを図１３に示したような把持機構で把持して位置決め調整した後、光ファイバを把持機構より取り外す際に光ファイバが動いてしまい、位置決め調整した位置からの位置ずれが生じてしまうといった問題があった。
【００１２】
この発明の目的はこの問題に鑑み、基体に設けられた溝に設置される光伝送媒体の位置決め調整時（アライメント時）にはその光伝送媒体を溝内で固定するための押圧力を解除することができるようにし、これにより光伝送媒体の押圧固定時には従来より強い力で押圧固定することができるようにして、従来のように位置決め調整後に位置ずれが生じるといった問題が発生せず、確実に光伝送媒体を固定することができるようにした光伝送媒体固定用の溝及び光デバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１の発明によれば、光伝送媒体を位置決め固定するために基体に設けられる光伝送媒体固定用の溝は、溝の一方の壁面に、屈曲形状を有し、両端が壁面に固定された双安定ヒンジよりなる押圧ばねが形成され、その押圧ばねと溝の他方の壁面とがなす間隔の最小値が、双安定ヒンジの第１の安定状態では光伝送媒体の対応する箇所の幅より小とされ、第２の安定状態では前記幅より大とされており、第１の安定状態における前記最小値と前記幅との差は、双安定ヒンジが第１の安定状態から第２の安定状態に向かって移行する変形において、その変形に抗する反力が最初に極大となる点までに前記最小値の位置が変位する距離より小とされる。
【００１６】
請求項２の発明によれば、光伝送媒体が基体上に固定される構造を有する光デバイスは、基体に溝が設けられ、その溝の一方の壁面に、屈曲形状を有し、両端が壁面に固定された双安定ヒンジよりなり、その第１の安定状態に近い状態で屈曲形状の凸部が溝内に設置される光伝送媒体の側面を押圧し、第２の安定状態ではその押圧を解除する押圧ばねが形成されており、光伝送媒体は押圧ばねと溝の他方の壁面とに挟持されて固定されており、光伝送媒体を押圧固定している押圧ばねは、第１の安定状態と押圧力が最大となる変形状態との間の状態にあるものとされる。
【００１７】
請求項３の発明では請求項２の発明において、基体の溝が設けられている表面に、押圧ばねを反転させる治具を位置決めする位置決め孔が設けられているものとされる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、溝内で光伝送媒体を固定する押圧ばねは双安定ヒンジよりなり、光伝送媒体への押圧を解除して溝内で光伝送媒体を解放することができるものとなっており、よって光伝送媒体の位置決め調整はこの解放状態で行うことができ、押圧固定時には従来より強い力で堅固に押圧固定することが可能となる。従って、従来のように位置決め調整後に光伝送媒体に位置ずれが生じるといった問題は発生せず、確実に光伝送媒体を固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
この発明を光スイッチに適用した実施形態を図面を参照して説明する。
図１は２×２光スイッチの平面図であり、板状の基体４１の上面４１ａに光ファイバを設置する４本の溝４２が十字状に形成され、これら溝４２により４分割された１つの領域が駆動体形成部４１’とされる。駆動体形成部４１’にはこれを２分するように４本の溝４２が交差する中心部４２ｃと連通したロッド溝４３が形成され、さらに凹部４４がこのロッド溝４３の他端と連通して形成されている。
【００２０】
ロッド溝４３にはロッド４５が配され、ロッド４５の中心部４２ｃ側の一端にはミラー４６が設けられている。ロッド４５の凹部４４内に位置する延伸方向中間部の両側にはヒンジ４７ａ，４７ｂが連結され、さらに延伸方向他端の両側にもヒンジ４７ｃ，４７ｄが連結され、これらヒンジ４７ａ〜４７ｄにより、ロッド４５はその延伸方向に移動自在に凹部４４を囲むアンカー部４８に支持されている。
【００２１】
ヒンジ４７ａ，４７ｂと４７ｃ，４７ｄとの間において、櫛歯型静電アクチュエータが設けられ、その可動櫛歯電極４９がロッド４５の両側に連結されている。可動櫛歯電極４９はロッド４５の延伸方向両側に櫛歯を有するものとなっている。
可動櫛歯電極４９に対し、ヒンジ４７ｃ，４７ｄ側と４７ａ，４７ｂ側にはそれぞれ可動櫛歯電極４９と組み合わされる第１固定櫛歯電極５１と第２固定櫛歯電極５２とが配置され、これらは凹部４４の底面に固定されている。
４本の溝４２には光ファイバを固定する押圧ばね５３がそれぞれ形成されている。押圧ばね５３は各溝４２の一方の壁面４２ａに形成され、その延伸方向両端が壁面４２ａに固定されている。
【００２２】
図２Ａは押圧ばね５３を拡大して示したものであり、押圧ばね５３はＳ字を組み合わせたような屈曲形状を有するものとされる。図２Ｂはこの押圧ばね５３の延伸方向の基本軸線を直線で示したものであって、各線分の交点（丸印を付した部分）が所定の曲率半径でなめらかに接続されることによって図２Ａに示したような屈曲形状が形成されている。
【００２３】
このような屈曲形状を有する押圧ばね５３は反転動作可能とされ、自己保持可能な２つの安定状態をとることができる双安定ヒンジをなすものとされている。なお、この例では押圧ばね５３は図１に示したように各溝４２にそれぞれ４つ配列形成されており、壁面４２ａの押圧ばね５３形成部分には凹部５４が形成されている。
【００２４】
図３Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ図１におけるＡ−Ａ断面、Ｂ−Ｂ断面、Ｃ−Ｃ断面を示したものであり、基体４１はこの例では単結晶シリコン基板６１上にシリコン酸化膜よりなる絶縁層６２を介して単結晶シリコン層６３が形成されてなるＳＯＩ（Silicon on Insulator）基板とされ、単結晶シリコン基板６１上に、その基板板面と平行に変位するロッド４５、ミラー４６、ヒンジ４７ａ〜４７ｄ、可動櫛歯電極４９及び押圧ばね５３といった可動体が単結晶シリコン層６３によって形成されている。これら可動体の下部に位置する絶縁層６２は除去されている。
【００２５】
また、可動体以外の、第１、第２固定櫛歯電極５１，５２及びアンカー部４８を含め、溝４２を規定する構造体（固定体）が可動体と同様に単結晶シリコン層６３によって形成されており、これら構造体は絶縁層６２を介して単結晶シリコン基板６１上に固定配置されている。
【００２６】
図４は図１に示した構成に対し、４本の溝４２にそれぞれ光ファイバ７１〜７４が設置され、図１の状態から反転した押圧ばね５３によって固定された状態を示したものであり、光ファイバ７１〜７４は反転した押圧ばね５３の屈曲形状中央の凸部５３ａによって側面が押圧され、押圧ばね５３と溝４２の他方の壁面（押圧ばね５３が形成されていない側の壁面）４２ｂとに挟持されて固定されている。なお、押圧ばね５３の反転のさせ方については後述する。
【００２７】
この図４に示した初期状態（第１安定状態）ではミラー４６は中心部４２ｃに位置しており、例えば光ファイバ７１から出射された光はミラー４６によって反射されて光ファイバ７３に入射し、光ファイバ７２から出射された光は同様にミラー４６によって反射されて光ファイバ７４に入射する。
【００２８】
ロッド４５、ヒンジ４７ａ〜４７ｄを介して可動櫛歯電極４９と電気的につながれているアンカー部４８及び第２固定櫛歯電極５２をアースした状態で第１固定櫛歯電極５１に電圧を印加すれば、第１固定櫛歯電極５１と可動櫛歯電極４９との間に静電吸引力が働き、その力が第１安定状態の保持力よりも大きい場合、ヒンジ４７ａ〜４７ｄは第２安定状態へと反転し、電圧の印加を絶ってもその状態で自己保持される。この時、ミラー４６は図５に示したように中心部４２ｃから退避した状態となり、光ファイバ７１，７２からの各出射光は直進し、それぞれ光ファイバ７４，７３に入射される。
【００２９】
一方、アンカー部４８及び第１固定櫛歯電極５１をアースした状態で第２固定櫛歯電極５２に電圧を印加すれば、第２固定櫛歯電極５２と可動櫛歯電極４９との間に静電吸引力が働き、その力が第２安定状態の保持力よりも大きい場合、ヒンジ４７ａ〜４７ｄは再び第１安定状態へと戻り、このようにして光路切り替えが行われるものとなっている。
【００３０】
上記における第１安定状態及び第２安定状態はヒンジ４７ａ〜４７ｄの形状をその延伸方向に適切なＳ字形状とすることで得ることができる。なお、第１又は第２固定櫛歯電極５１又は５２と、可動櫛歯電極４９との間にそれぞれ電圧を印加するには、例えば第１、第２固定櫛歯電極５１，５２にそれぞれボンディングワイヤを接続しておき、それらボンディングワイヤとアンカー部４８との間に電圧を印加するようにすればよい。
【００３１】
次に、具体的数値例をもとに押圧ばね５３の特性及び使用形態について説明する。
図２Ｂに示したように、押圧ばね５３を、その延伸方向において各部に分け、それら各部の寸法をＬ１〜Ｌ５とし、また両端部に対する中央部の突出寸法をＤ１とする。この例ではこれらＬ１〜Ｌ５及びＤ１は、
Ｌ１＝Ｌ５＝５０（μｍ）
Ｌ２＝Ｌ３＝Ｌ４＝１００（μｍ）
Ｄ１＝１５（μｍ）
とされ、丸印を付した部分は曲率半径５００μｍの円弧でなめらかに接続されているものとする。また、幅Ｗ及び高さＨ（＝単結晶シリコン層６３の厚さ）は、
Ｗ＝５（μｍ）
Ｈ＝１００（μｍ）
とする。
【００３２】
図６はこのような寸法を有し、双安定ヒンジとされた押圧ばね５３の力−変位特性を示したものであり、図６中、点Ｐ１は第１の安定状態を示し、点Ｐ２は第２の安定状態（図１及び２に示した状態）を示す。横軸は第１の安定状態を原点とし、その第１の安定状態から押圧ばね５３の延伸方向中央の凸部５３ａ（図４参照）の頂点を溝４２の壁面４２ａに垂直に押し込んでいった時の凸部５３ａの頂点の変位を示し、縦軸はその際に押圧ばね５３が発生する反力を示す。
【００３３】
押圧ばね５３は第１の安定状態から押し込まれることにより点Ｑで反力が極大となり、つまり光ファイバ７１〜７４を押圧する力が最大となる。この例ではこの押圧力が最大となる点Ｑの手前の変位８μｍの状態（点Ｒ）で押圧ばね５３が光ファイバ７１〜７４を押圧するように設定する。
【００３４】
このように光ファイバ７１〜７４を押圧する力が最大となる点Ｑより手前の点Ｒで光ファイバ７１〜７４を押圧する構成とすることにより、光ファイバ７１〜７４を押圧固定した状態から押圧ばね５３を外す方向の、つまり押圧ばね５３を押し込む方向の光ファイバ７１〜７４の動きに対してはさらに強い押圧力（反力）が作用することになり、ひいては押圧ばね５３の最大押圧力が作用することになり、光ファイバ７１〜７４を確実に固定することができるものとなる。
【００３５】
上記のような押圧ばね５３の使用状態は、言い換えれば押圧ばね５３と溝４２の他方の壁面４２ｂとがなす間隔の最小値が、押圧ばね５３の第１の安定状態では光ファイバの外径（幅）より小とされ、第２の安定状態では光ファイバの外径より大とされることであり、第１の安定状態における前記最小値と光ファイバの外径との差は、押圧ばね５３が第１の安定状態から第２の安定状態に向かって移行する変形において、その変形に抗する反力が最初に極大となる点（点Ｑ）までに前記最小値の位置（この例では凸部５３ａの頂点）が変位する距離より小とされる。
【００３６】
押圧ばね５３の点Ｒ（変位８μｍ）での押圧力は図６より１．７５×１０−２Ｎとなり、極めて強い力で光ファイバ７１〜７４を固定することができる。
【００３７】
図７は比較例として、前述の図１１に示した押圧ばね１４と同様、片持ち梁構造とされた押圧ばね８１を示したものであり、この押圧ばね８１の長さＬを１５０μｍとし、幅Ｗ及び高さＨを上述した押圧ばね５３と同様、Ｗ：５μｍ，Ｈ：１００μｍとし、さらに光ファイバ押圧固定時に光ファイバに押され、矢印８２方向へ変位する距離を８μｍとすると、この押圧ばね８１の押圧力（発生する反力）は８．１５×１０−４Ｎとなる。これに対し、この発明による押圧ばね５３の押圧力は上記したように１．７５×１０−２Ｎであって、図７の押圧ばね８１の約２１倍の押圧力を得られるものとなっている。
【００３８】
押圧ばね５３の初期状態（作製状態）は図１に示した状態（第２の安定状態）とされ、この状態で光ファイバ７１〜７４が溝４２に設置されてその位置決め調整（アクティブアライメント）が行われる。位置決め調整は光ファイバを図１３に示したような把持機構３１によって把持することによって行われ、その軸方向位置や軸回りの方位が調整される。
【００３９】
溝４２の幅は光ファイバ７１〜７４の位置決め調整を支障なく行えるよう、光ファイバ７１〜７４の外径よりも若干大とされる。押圧ばね５３は第２の安定状態では凹部５４内に位置し、溝４２内には突出しておらず、光ファイバ７１〜７４は溝４２内で解放されている。この例では光ファイバ７１〜７４の外径は１２５μｍとされ、溝４２の幅は光ファイバ７１〜７４の外径に対し、２μｍ程度大とされている。
【００４０】
光ファイバの位置決め調整が完了したら、押圧ばね５３が反転され、光ファイバが押圧固定される。そして、押圧ばね５３によって光ファイバを固定した後、光ファイバを把持している把持機構３１が取り外される。
【００４１】
押圧ばね５３の反転は治具を使用して行うのが好ましい。図８は光スイッチに治具が対向された状態を図１におけるＤ−Ｄ断面で示したものである。治具９１は金属製とされ、この例では一対の位置決めピン９２と押圧ばね５３を反転させるためのピン９３を具備するものとなっている。なお、光スイッチの基体４１の上面４１ａには治具９１の位置決めピン９２が係合する一対の位置決め孔５５が形成されている。
【００４２】
位置決め孔５５はこの例では逆ピラミッド形状をなすものとされ、位置決めピン９２はその先端が逆ピラミッド形状の位置決め孔５５と係合する四角錐形状をなすものとされている。また、押圧ばね５３を反転させるためのピン９３は先端がテーパ形状（先細形状）をなすものとされている。
【００４３】
治具９１による押圧ばね５３の反転は光スイッチの一対の位置決め孔５５に位置決めピン９２を位置決め挿入することによって行われ、この際ピン９３の先端が第２の安定状態にある押圧ばね５３の溝４２とは反対側にある隙間（凹部５４側の隙間）に挿入され、押圧ばね５３がその裏側（光ファイバと反対側）から押されることによって反転する。
【００４４】
このような治具９１による押圧ばね５３の反転は光スイッチの全ての押圧ばね５３を同時に反転させ、全ての光ファイバ７１〜７４を一括して固定するのが好ましく、よって図８ではピン９３を２本のみ描いているが、治具９１はこの例では光スイッチの１６個の押圧ばね５３に対応して１６本のピン９３を具備するものとなっている。
【００４５】
上述したように治具９１を用いて押圧ばね５３を反転させるようにすれば、確実かつ簡易に押圧ばね５３を一括して反転させることができる。なお、この例のように基体４１の位置決め孔５５を逆ピラミッド形状の孔とし、それに係合する位置決めピン９２の先端を四角錐形状とすることにより、位置決めピン９２の挿入深さが規定され、かつ方位（向き）も規定されるため、極めて正確に治具９１が位置決めされるものとなる。
【００４６】
以上説明したように、この例によれば押圧ばねを双安定ヒンジよりなるものとしたことにより、図１１や図１２に示したような光ファイバを常時押圧する構造とされた押圧ばね等と異なり、光ファイバの位置決め調整時には押圧力を解除することができ、これにより光ファイバの押圧固定時には従来より強い力で押圧固定することができるものとなっている。従って、従来のように光ファイバを位置決め調整後に押圧力の弱さに起因して位置ずれが生じるといった問題は発生せず、確実に光ファイバを固定することができる。
【００４７】
次に、図１に示した光スイッチの作製方法を図９及び１０を参照して工程順（１）〜（７）に説明する。なお、図９は図１のＤ−Ｄ断面を示し、図１０は図１のＡ−Ａ断面を示している。
（１）基体４１として用いるＳＯＩ基板を用意し、その単結晶シリコン層６３の表面にマスク層６４を形成する。マスク層６４はシリコン酸化膜とされる。
（２）単結晶シリコン層６３に形成する治具９１用の位置決め孔５５の形状をフォトリソグラフィによりマスク層６４にパターニングしてマスク６５を形成する。
（３）水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用い、単結晶シリコン層６３を異方性エッチングする。単結晶シリコン層６３に逆ピラミッド形状の位置決め孔５５が形成される。
（４）再度、単結晶シリコン層６３の表面にシリコン酸化膜のマスク層６６を形成する。
（５）単結晶シリコン層６３によって形成する光スイッチの可動体及び固定体の形状を、つまり側壁面を規定するパターンをフォトリソグラフィによりマスク層６６にパターニングしてマスク６７を形成する。
（６）ＩＣＰ（Inductively Coupled Plasma）を用いたガス反応性のドライエッチングにより、マスク６７によってマスクされていない単結晶シリコン層６３を絶縁層６２が露出するまでほぼ垂直にエッチングする。
（７）フッ化水素酸（ＨＦ）溶液に浸し、絶縁層６２を選択的にエッチングする。この時のエッチング時間は可動体の下に位置する絶縁層６２は完全に除去され、固定体の下には絶縁層６２が残る時間とする。この際、マスク６７も同時にエッチング除去される。
最後に、ミラー４６に反射膜を成膜し、光スイッチが完成する。反射膜は例えばＡｕ／Ｐｔ／Ｔｉ多層膜とされる。
【００４８】
以上、光伝送媒体を光ファイバとし、光デバイスとして光スイッチを例に説明したが、この発明はこれに限定されず、例えば柱状レンズやロッド状のスペーサ等の光ファイバ以外の光伝送媒体の固定にも適用することができる。なお、押圧ばねによる光伝送媒体の押圧固定後、さらに接着剤によって接着固定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】この発明による光デバイスの一実施例として光スイッチの構成を示した平面図。
【図２】図１における押圧ばねの詳細を説明するための図。
【図３】Ａは図１のＡ−Ａ断面図、Ｂは図１のＢ−Ｂ断面図、Ｃは図１のＣ−Ｃ断面図。
【図４】図１の光スイッチの動作を説明するための図。
【図５】図１の光スイッチの動作を説明するための図。
【図６】図１における押圧ばねの力−変位特性を示すグラフ。
【図７】押圧ばねの比較例を示す図。
【図８】図１における押圧ばねを反転させるための治具の構成を説明するための図。
【図９】図１に示した光スイッチの作製方法を説明するための図（その１）。
【図１０】図１に示した光スイッチの作製方法を説明するための図（その２）。
【図１１】光ファイバを押圧固定する機構の従来構成の一例を説明するための図。
【図１２】光ファイバを押圧固定する機構の従来構成の他の例を説明するための図。
【図１３】光ファイバを位置決め調整する際に使用する光ファイバの把持機構を説明するための図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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