(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静止部材に対する可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向に三つの受け部を円周等配位置に設け、前記可動部材の各受け部に球面部材を半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、前記球面部材中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、前記球面部材を軸方向に摺動可能に静止部材に設け、前記球面部材と静止部材間あるいは球面部材と可動部材間のいずれか一方に、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を設けたことを特徴とするリンク作動装置。
【請求項２】
前記受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、前記球面部材は、外周面が球面状で内径に円筒状孔を有する球面リングであり、前記静止部材にその円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置に固定されて相互に平行配置された三本の軸に、球面リングを介して可動部材を軸方向に移動可能に装設し、前記可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を、前記可動部材に設けられたストッパねじとした請求項１に記載のリンク作動装置。
【請求項３】
前記受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、前記球面部材は、外周面が球面状で内径に円筒状孔を有する球面リングであり、前記静止部材にその円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置に固定されて相互に平行配置された三本の軸に、球面リングを介して可動部材を軸方向に移動可能に装設し、前記軸をボールねじ軸とすると共にそのボールねじ軸に螺合するナット部材を前記球面リングに内装し、前記可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を、ボールねじ軸の軸端に連結されたモータとした請求項１に記載のリンク作動装置。
【請求項４】
前記受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた球面保持ブロックであり、前記球面部材は、球面部およびその球面部から延びるロッド部からなり、前記可動部材の各球面保持ブロックに球面ロッドの球面部を受ける球面受けホルダを半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、前記球面ロッドの球面部中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、前記球面ロッドのロッド部を軸方向に摺動可能に静止部材に装設し、前記可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を、ロッド部の端部に連結された直動アクチュエータとした請求項１に記載のリンク作動装置。
【請求項５】
前記受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、前記球面部材は、球面部およびその球面部から延びるロッド部を有する球面ロッドであり、前記球面ロッドのロッド部を静止部材に軸方向に摺動可能に装設し、前記可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を、球面ロッドのロッド部に設けられたラック部とギヤで結合されたモータとした請求項１に記載のリンク作動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元空間における複雑な加工や物品の取り回し等の作業を高速かつ精密に実行するパラレルリンク機構やロボット関節などのリンク機構に利用されるリンク作動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、三次元空間における複雑な加工や物品の取り回し等の作業を高速かつ精密に実行するパラレルリンク機構を具備した作業装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この作業装置は、ベースプレートとトラベリングプレートとの間を接続する複数のリンクを協調させて伸縮させることでベースプレートに対するトラベリングプレートの位置および姿勢を変化させるパラレルリンク機構を具備する。このパラレルリンク機構のトラベリングプレートにツールを取り付け、ワークを保持するテーブルを回転可能に配設することにより、テーブル上のワークに対するツールの位置および姿勢を自由に変えられるようにして、ツールによる三次元空間内での複雑な加工や物品の取り回しを可能にしている。
【０００４】
前記パラレルリンク機構では、可動部分の質量を軽減することができ、また、各リンクの位置決め誤差がその先端部で平均化されるなど、三次元空間における複雑な加工や物品の取り回し等の作業を高速かつ精密に実行する上で大きな特徴を具備している。
【特許文献１】特開２０００−９４２４５号公報
【特許文献２】特開２００４−９２７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述したパラレルリンク機構では、各リンクの作動角が小さいため、トラベリングプレートの作動範囲を大きく設定しようとすると、リンク長が長くなることにより、機構全体の寸法が大きくなって装置の大型化を招来するという問題があった。また、機構全体の剛性が低く、トラベリングプレートに搭載されるツールの重量、つまり、トラベリングプレートにおける可搬重量も小さいものに制限されるという問題もあった。
【０００６】
この問題点を解消するため、本出願人は、剛性が高く、しかも可搬重量が大きいリンク機構を具備したリンク作動装置を先に提案している（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
このリンク作動装置は、入力部材と出力部材のそれぞれに設けたリンクハブに対して回転可能に端部リンク部材を連結し、入力側と出力側のそれぞれの端部リンク部材を中央リンク部材に対して回転可能に連結したリンク機構を三組以上有し、各リンク機構の中央部における横断面に関して入力側と出力側を幾何学的に同一とし、前記入力部材と連結された各リンク機構の回転対偶のうち、二組以上のリンク機構について各組一箇所以上の回転対偶の回転部に、出力部材を任意の位置で静止させるための静止機構を設けたものである。
【０００８】
しかしながら、このリンク作動装置では、リンク機構を構成する部材が多く、リンク機構の干渉により装置全体のコンパクト化が困難で、また、リンク機構の回転対偶の回転部を剛性の高い軸受構造としていることから、装置全体が高価なものとなる。
【０００９】
そこで、本発明は前記問題点に鑑みて提案されたもので、その目的とするところは、構造が簡単で、軽量コンパクトなリンク作動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前述の目的を達成するための技術的手段として、本発明は、静止部材に対する可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向に三つの受け部を円周等配位置に設け、可動部材の各円筒溝に球面部材を半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、球面部材中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、球面部材を軸方向に摺動可能に静止部材に設け、球面部材と静止部材間あるいは球面部材と可動部材間のいずれか一方に、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を設けたことを特徴とする。ここで、「球面部材中心の静止部材への投影位置」とは、静止部材と可動部材が角度をとっていない時における球面部材の軸線に対して垂直な平面上の位置を意味する。
【００１１】
このリンク作動装置では、静止部材に対する可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向に三つの受け部を円周等配位置に設け、可動部材の各受け部に球面部材を半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、球面部材中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、球面部材を軸方向に摺動可能に静止部材に設け、球面部材と静止部材間あるいは球面部材と可動部材間のいずれか一方に、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を設けたことにより、構造が簡単で軽量コンパクトなリンク作動装置を実現することができ、可動部材を静止部材に対して、所定の姿勢、つまり、静止部材から任意の距離だけ離間した位置で任意の傾き状態で固定させることができる。
【００１２】
前述したリンク作動装置のおける受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、球面部材は、外周面が球面状で内径に円筒状孔を有する球面リングであり、静止部材にその円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置に固定されて相互に平行配置された三本の軸に、球面リングを介して可動部材を軸方向に移動可能に装設し、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を可動部材に設けられたストッパねじとした構造が可能である。
【００１４】
前述したリンク作動装置のおける受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、球面部材は、外周面が球面状で内径に円筒状孔を有する球面リングであり、静止部材にその円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置に固定されて相互に平行配置された三本の軸に、球面リングを介して可動部材を軸方向に移動可能に装設し、軸をボールねじ軸とすると共にそのボールねじ軸に螺合するナット部材を球面リングに内装し、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構をボールねじ軸の軸端に連結されたモータとした構造が可能である。
【００１５】
また、前述したリンク作動装置のおける受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた球面保持ブロックであり、球面部材は、球面部およびその球面部から延びるロッド部からなり、可動部材の各球面保持ブロックに球面ロッドの球面部を受ける球面受けホルダを半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、球面ロッドの球面部中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、球面ロッドのロッド部を軸方向に摺動可能に静止部材に装設し、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構をロッド部の端部に連結された直動アクチュエータとした構造が可能である。
【００１６】
さらに、前述したリンク作動装置のおける受け部は、可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向で円周等配位置に設けられた円筒溝であり、球面部材は、球面部およびその球面部から延びるロッド部を有する球面ロッドであり、球面ロッドのロッド部を静止部材に軸方向に摺動可能に装設し、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を、球面ロッドのロッド部に設けられたラック部とギヤで結合されたモータとした構造が可能である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、静止部材に対する可動部材に、その軸線に対して垂直な平面内で軸中心から半径方向に三つの受け部を円周等配位置に設け、可動部材の各受け部に球面部材を半径方向に摺動可能にそれぞれ配置し、球面部材中心の静止部材への投影位置が円周等配位置でそれぞれのＰＣＲ位置を保持するように、球面部材を軸方向に摺動可能に静止部材に設け、球面部材と静止部材間あるいは球面部材と可動部材間のいずれか一方に、可動部材を静止部材に対して所定の姿勢で静止させる機構を設けたことにより、構造が簡単で軽量コンパクトなリンク作動装置を実現することができ、可動部材を静止部材に対して、所定の姿勢、つまり、静止部材から任意の距離だけ離間した位置で任意の傾き状態で固定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明に係るリンク作動装置の各実施形態を以下に詳述する。図１〜図４は第一の実施形態、図５および図６は第二の実施形態、図７〜図９は第三の実施形態、図１０〜図１４は第四の実施形態をそれぞれ説明するためのものである。
【００１９】
［第一の実施形態］
【００２０】
図１〜図３に示す第一の実施形態におけるリンク作動装置は、静止部材としての円形の静止台１上に三本の軸２を円周等配位置で同一のＰＣＲ位置に垂設し、それら各軸２の上端部を補強リング３で連結一体化した構造を具備する。この静止台１上の三本の軸２はそれぞれ平行に配置されている。ここで、ＰＣＲ位置とは、静止台１の中心から軸２の中心までの距離（ピッチ円半径）を意味する。また、各軸２の上端部を補強リング３で連結一体化することにより、三本の軸２の平行度を確保して剛性アップを図っている。
【００２１】
前述の静止台１の上方には可動部材としての可動台４が配置され、球面部材としての球面リング５を介して静止台１上に垂設された各軸２と連結されている。可動台４は、円盤状のボス部４ａとそのボス部４ａの外周の円周等配位置から半径方向に一体的に突設した連結部４ｂとを有する。この可動台４の連結部４ｂには、可動台４の円周等配位置で半径方向に延びる受け部である円筒溝６が形成されている。この円筒溝６は、可動台４の半径方向に平行な断面がストレート状で、かつ、その半径方向に垂直な断面が円弧状の溝面を有する。
【００２２】
球面リング５は、外径が球面状をなし、内径の円筒状孔に軸２が挿通されている。この球面リング５は、連結部４ｂの円筒溝６に半径方向に摺動可能に配置されている。従って、この球面リング５の外径は、円筒溝６の半径方向での摺動が可能なように円筒溝６の内径とほぼ一致させている。この球面リング５の静止台１への投影位置が可動台４の円周等配位置でそれぞれ同一のＰＣＲ位置を保持するように、球面リング５は、静止台１の台面に対して垂直方向に摺動可能に軸２に支持された構造となっている。
【００２３】
このリンク作動装置では、静止台１に対して可動台４を傾き方向で２自由度（Ｘ軸方向とＹ軸方向）と垂直方向で１自由度（Ｚ軸方向）に可動させることができる。その可動台４の姿勢を保持するため、可動台４の静止機構としてのストッパねじ７を球面リング５に可動台４の半径方向外側から螺合させ、そのストッパねじ７の先端を球面リング５の内径の軸２に押し当て可能としている。
【００２４】
従って、静止台１に対して可動台４をＸＹ軸方向に傾け、かつ、Ｚ軸方向（上下方向）に移動させ、所定の姿勢になった時点で前述の三つのストッパねじ７を球面リング５に対してねじ込むことにより、球面リング５を軸２に固定すれば、可動台４を静止台１に対して所定の姿勢で静止させることが可能となる。
【００２５】
なお、ストッパねじ７は、球面リング５と共に軸回りに回転しないようにその軸２に平行な溝８を設け（図２参照）、ストッパねじ７のねじ込み時にその先端が軸２の溝８に入り込むことにより、ストッパねじ７と球面リング５の両者の回り止めを実現している。
【００２６】
このストッパねじ７からなる静止機構は、球面リング５と軸２との間に設けているが、その他、可動台４と球面リング５との間などに設けることも可能である。また、球面リング５と軸２との間および可動台４と球面リング５との間の二箇所、あるいはそれら二箇所以上に静止機構を設けるようにすれば、可動台４の静止時の支持剛性を高くすることが容易となる。
【００２７】
また、図４は静止機構の他の構造例を示すもので、球面リング５’はその円周方向一部に切り欠き部５ａ’を有し、可動台４’の連結部４ｂ’の先端二股状部分に半径方向と直交する方向でストッパねじ７’を螺合させた構造を具備する。なお、球面リング５’と軸２との間には、球面リング５’が軸回りに回転しないように回り止め８’が設けられている。
【００２８】
この静止機構では、ストッパねじ７’を可動台４’の連結部４ｂ’にねじ込むことにより、その連結部４ｂ’の先端二股状部分の間隔を狭めることで球面リング５’を縮径するように変形させ、球面リング５’を軸２に固定すれば、可動台４’を静止台１に対して所定の姿勢で強固に静止させることができる。
【００２９】
［第二の実施形態］
【００３０】
図５および図６に示す第二の実施形態におけるリンク作動装置は、前述した第一の実施形態と同様、静止部材としての円形の静止台１１上に三本の軸１２を円周等配位置で同一のＰＣＲ位置に垂設し、それら各軸１２の上端部を補強リング１３で連結一体化した構造を具備する。この静止台１１上の三本の軸１２はそれぞれ平行に配置されている。静止台１１の上方には可動部材としての可動台１４が配置され、球面部材としての球面リング１５を介して静止台１１上に垂設された各軸１２と連結されている。可動台１４は、円盤状のボス部１４ａとそのボス部１４ａの外周の円周等配位置から半径方向に一体的に突設した連結部１４ｂとを有する。この可動台１４の連結部１４ｂには、可動台１４の円周等配位置で半径方向に延びる受け部としての円筒溝１６が形成されている。この円筒溝１６は、可動台１４の半径方向に平行な断面がストレート状で、かつ、その半径方向に垂直な断面が円弧状の溝面を有する。
【００３１】
球面リング１５は、外径が球面状をなし、連結部１４ｂの円筒溝１６に半径方向に摺動可能に配置されている。従って、この球面リング１５の外径は、円筒溝１６の半径方向での摺動が可能なように円筒溝１６の内径とほぼ一致させている。この球面リング１５の静止台１１への投影位置が可動台１４の円周等配位置でそれぞれ同一のＰＣＲ位置を保持するように、球面リング１５は、静止台１１の台面に対して垂直方向に移動可能に軸１２に支持された構造となっている。なお、球面リング１５と可動台１４との間には、その球面リング１５が軸回りに回転しないように回り止め１８が設けられている。
【００３２】
前述した軸１２は、外周面にねじが刻設されたボールねじ軸（以下、ボールねじ軸１２とする）であり、球面リング１５は、その内径にボールねじ軸１２と螺合するナット部材１９が同軸的に内装されている。このボールねじ軸１２は、静止台１１及び補強リング１３に転がり軸受１７ａ，１７ｂを介して支持することにより回転自在となっている。ボールねじ軸１２の下端部には、カップリング２０ａを介して駆動源としてのモータ２０の出力軸が同軸的に取り付けられている。
【００３３】
このリンク作動装置では、静止台１１に対して可動台１４を傾き方向で２自由度（Ｘ軸方向とＹ軸方向）と垂直方向で１自由度（Ｚ軸方向）に可動させることができる。この静止台１１に対する可動台１４の可動は、各ボールねじ軸１２に設けられたモータ２０を駆動制御することにより、各ボールねじ軸１２にナット部材１９を螺合させた球面リング１５を介して、静止台１１に対して可動台１４をＸＹ軸方向に傾け、Ｚ軸方向（上下方向）に移動させ、所定の姿勢が得られる。
【００３４】
［第三の実施形態］
【００３５】
図７〜図９に示す第三の実施形態におけるリンク作動装置は、静止部材としての静止台２１に球面部材としての三本の球面ロッド２５のロッド部２５ｂを円周等配位置で同一のＰＣＲ位置に垂設し、可動部材としての円盤状の可動台２４の下面にその円周等配位置で同一のＰＣＲ位置に三つの球面保持ブロック２２を固設し、静止台２１から延びる球面ロッド２５の球面部２５ａを可動台２４の球面保持ブロック２２の受け部としての球面受けホルダ２３に連結した構造を具備する。
【００３６】
球面ロッド２５の球面部２５ａの静止台２１への投影位置が可動台２４の円周等配位置でそれぞれ同一のＰＣＲ位置を保持するように、球面部２５ａは、静止台２１に対して垂直方向にスライド可能に支持された構造となっている。球面ロッド２５のロッド部２５ｂは、静止台２１に直動軸受２７を介して垂直方向にスライド自在に支持されており、三本のロッド部２５ｂはそれぞれ平行に配置されている。各ロッド部２５ｂの下端部には、駆動源としての直動アクチュエータ３０が連結されて静止台２１の内部空間に配置されている。一方、球面ロッド２５の球面部２５ａを球面受けホルダ２３で受け、その球面受けホルダ２３を転動体２８を介して球面保持ブロック２２に半径方向に沿って摺動可能に保持している。これら三つの球面保持ブロック２２は、球面受けホルダ２３の摺動方向が円周等配位置で半径方向と一致する位置で可動台２４に固定されている。
【００３７】
このリンク作動装置では、静止台２１に対して可動台２４を傾き方向で２自由度（Ｘ軸方向とＹ軸方向）と垂直方向で１自由度（Ｚ軸方向）に可動させることができる。この静止台２１に対する可動台２４の可動は、球面ロッド２５のロッド部２５ｂに設けられた直動アクチュエータ３０を駆動制御することにより、各球面ロッド２５を静止台２１に対して垂直方向にスライドさせることで、球面ロッド２５の球面部２５ａと球面受けホルダ２３間での相対回転、球面受けホルダ２３の半径方向でのスライドにより、静止台２１に対して可動台２４をＸＹ軸方向に傾け、Ｚ軸方向（上下方向）に移動させ、所定の姿勢が得られる。
【００３８】
なお、静止台２１と球面ロッド２５のロッド部２５ｂとの間に直動軸受２７を介在させ、また、球面受けホルダ２３と球面保持ブロック２２との間に転動体２８を介在させていることから、球面ロッド２５および球面受けホルダ２３の滑らかな可動が可能となっている。また、球面ロッド２５の球面部２５ａと球面受けホルダ２３との間では、球対球で受ける構造となっていることから、両者での支持剛性を向上させることができる。
【００３９】
［第四の実施形態］
【００４０】
図１０〜図１４に示す第四の実施形態におけるリンク作動装置は、静止部材としての静止台３１上に球面部材としての三本の球面ロッド３５，３５’を円周等配位置で垂設し、それら球面ロッド３５，３５’上に可動部材としての可動台３４を配置した構造を具備する。可動台３４の下面にはその円周等配位置で半径方向に沿って受け部としての円筒溝３６，３６’が形成されている。三本の球面ロッド３５，３５’は、可動台３４の直下に位置する球面部３５ａ，３５ａ’とその球面部３５ａ，３５ａ’から垂直方向に延びるロッド部３５ｂ，３５ｂ’とからなり、各球面部３５ａ，３５ａ’は可動台３４の円筒溝３６，３６’に摺動可能に配置され、各ロッド部３５ｂ，３５ｂ’はそれぞれ平行に配置されている。これら三本の球面ロッド３５，３５’のうち、一本の球面ロッド３５’は、静止台３１に固定されており、残り二本の球面ロッド３５は、そのロッド部３５ｂが直動軸受３７を介して静止台３１に垂直方向にスライド可能に設けられている。球面ロッド３５の球面部３５ａの静止台３１への投影位置が可動台３４の円周等配位置でそれぞれＰＣＲ位置を保持するように、球面部３５ａは、静止台３１に対して垂直方向にスライド可能に支持された構造となっている。
【００４１】
静止台３１にスライド可能に設けられた二本の球面ロッド３５のロッド部３５ｂの軸方向略中央部位にはラック部３２が形成されており、静止台３１の内部空間に配置された駆動源としてのモータ４０の出力に同軸的に設けられたギヤ３３を前述のラック部３２に噛合させている。
【００４２】
このリンク作動装置では、一本の球面ロッド３５’が静止台３１に固定され、残り二本の球面ロッド３５が静止台３１にスライド可能に取り付けられていることから、静止台３１に対して可動台３４を傾き方向で２自由度（Ｘ軸方向とＹ軸方向）で可動させることができる。この静止台３１に対する可動台３４の可動は、二本の球面ロッド３５のロッド部３５ｂにラック部３２およびギヤ３３を介して連結されたモータ４０を駆動制御することにより、各球面ロッド３５の球面部３５ａを介して静止台３１に対して可動台３４をＸＹ軸方向に傾け、所定の姿勢が得られる。
【００４３】
三本の球面ロッド３５，３５’の軸中心の半径方向位置、つまりＰＣＲ位置は同一でなくてもよく、図示例では、固定された一本の球面ロッド３５’の球面部３５ａ’の外径を他の二本の球面ロッド３５の球面部３５ａの外径よりも小さくし、かつ、ＰＣＲも小さくしている。従って、可動台３４の円筒溝３６，３６’についても、球面ロッド３５’の球面部３５ａ’が収容された円筒溝３６’の溝内径が他の二本の球面ロッド３５の球面部３５ａが収容された円筒溝３６の溝内径よりも小さくなっている。このようにすることにより、装置全体のコンパクト化を図っている。逆に、二本の球面ロッド３５の球面部３５ａの外径を大きくすることにより、可動台３４との接触部を大きくして保持力を向上させ、ＰＣＲを大きくすることにより、可動台３４の可動角度量に対する球面ロッド３５のスライド量が大きく取れることになって角度精度の向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るリンク作動装置の第一の実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のリンク作動装置を示す正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】図３のリンク作動装置の変形例を示す要部拡大断面図である。
【図５】本発明の第二の実施形態を示す一部省略部分を含む平面図である。
【図６】図５のリンク作動装置を示す一部断面部分を含む正面図である。
【図７】本発明の第三の実施形態を示す平面図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図１０】本発明の第四の実施形態を示す平面図である。
【図１１】図１０のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図１２】図１１のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図１３】図１１のＦ−Ｆ線に沿う断面図である。
【図１４】第四の実施形態のリンク作動装置の動作状態を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  静止部材（静止台）
２  軸
４  可動部材（可動台）
５  球面部材（球面リング）
６  受け部（円筒溝）
７  静止機構（ストッパねじ）
１１  静止部材（静止台）
１２  軸（ボールねじ軸）
１４  可動部材（可動台）
１５  球面部材（球面リング）
１６  受け部（円筒溝）
２０  駆動源（モータ）
２１  静止部材（静止台）
２２  球面保持ブロック
２３  球面受けホルダ
２４  可動部材（可動台）
２５  球面部材（球面ロッド）
２５ａ  球面部
２５ｂ  ロッド部
３０  駆動源（直動アクチュエータ）
３１  静止部材（静止台）
３２  ラック部
３３  ギヤ
３４  可動部材（可動台）
３５，３５’  球面部材（球面ロッド）
３５ａ，３５ａ’  球面部
３５ｂ，３５ｂ’  ロッド部
３６，３６’  受け部（円筒溝）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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