(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、該基板の表面に形成された電極層とを備え、電気分解により次亜塩素酸を生成する電気分解用電極において、
前記電極層は、触媒としてのイリジウムが含有された窒化チタンをターゲットとするレーザーアブレーション法により形成されて成ることを特徴とする電気分解用電極。
【請求項２】
電気分解により次亜塩素酸を生成する電気分解用電極を製造する方法において、
レーザーアブレーション法により基板の表面に触媒としてのイリジウムが含有された窒化チタンを蒸着させて電極を形成することを特徴とする電気分解用電極の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気分解用電極及びその製造方法に関し、より詳細には、食塩水電解や水電解等において、次亜塩素酸（有効塩素）を生成する電気分解用電極及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、食塩水電解や水電解での電気分解用電極としては、金属チタン板（基板）の表面を、琺瑯層等の下地層を介在させた態様で、導電性の酸化イリジウム及び白金が主成分となる電極層で被覆して成る電極が用いられていた（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１９２８７０号公報
【特許文献２】特開平９−１５７８７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上述した電気分解用電極では、通常、基板である金属チタン板の表面に下地層を形成した後、酸化イリジウム及び白金の錯体溶液を塗布し、乾燥、焼き付けを繰り返して電極層を形成していた。そのため、電極層を形成する電極材としては、錯体等で溶液化できるものに限られてしまうという問題があった。また、そのような電極材を用いて金属チタン板に必要量の電極層を形成するためには、塗布、乾燥、焼き付けを何度も繰り返す必要があり、製造作業が煩雑であった。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて、電極材を溶液化する必要がなく、製造作業が容易かつ短時間で行うことができる電気分解用電極およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係る電気分解用電極は、基板と、該基板の表面に形成された電極層とを備え、電気分解により次亜塩素酸を生成する電気分解用電極において、前記電極層は、触媒としてのイリジウムが含有された窒化チタンをターゲットとするレーザーアブレーション法により形成されて成ることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の請求項２に係る電気分解用電極の製造方法は、電気分解により次亜塩素酸を生成する電気分解用電極を製造する方法において、レーザーアブレーション法により基板の表面に触媒としてのイリジウムが含有された窒化チタンを蒸着させて電極を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の電気分解用電極によれば、電極層が、電極材をターゲットとするレーザーアブレーション法により形成されて成るので、電極材を溶液化する必要がなく、製造作業が容易かつ短時間で行うことができるという効果を奏する。
【００１１】
本発明の電気分解用電極の製造方法によれば、レーザーアブレーション法により基板の表面に電極材を蒸着させて電極を形成するので、電極材を溶液化する必要がなく、製造作業が容易かつ短時間で行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る電気分解用電極及びその製造方法の好適な実施例について詳細に説明する。
【実施例】
【００１３】
本発明の実施例における電気分解用電極は、図１に示すように、基板１０と、電極層１１とから構成されている。
【００１４】
基板１０は、例えばチタン、ニッケルから成る板状体ある。本実施例では、チタンから成るものを用いている。電極層１１は、基板１０の表面に形成してある。この電極層１１は、詳細は後述するが、電極材をレーザーアブレーション法により蒸着させて形成したものである。ここに、電極材は、パラジウム、ルビジウム、ロジウム、イリジウム、白金、ニッケル、スズ、チタン、ジルコニウムのいずれか１種又はこれらを主成分とする合金若しくは酸化物から成るものである。本発明の実施例における電極層１１は、触媒としてのイリジウムが含有された窒化チタン（以下、イリジウム含有窒化チタンもいう）を電極材として形成してあり、イリジウム粒子１２が局所的に存在している。
【００１５】
上記電気分解用電極の製造方法（本発明の製造方法）では、チタンから成る基板１０に対してイリジウム含有窒化チタンの蒸着処理を施す。基板１０にイリジウム含有窒化チタンを蒸着させるためには、レーザーアブレーション法を適用する。より詳細には、図２に示すように、真空チャンバー３の内部に、基板１０となる金属チタン板１及びターゲット（イリジウム含有窒化チタン）２を対向配置し、集光レンズを介してレーザー光（例えばナノ秒パルスレーザー光）を照射させることにより、金属チタン板１の表面にイリジウム含有窒化チタンを蒸着させる。
【００１６】
ここで、レーザーアブレーション法の具体例を述べる。真空チャンバー３の内部にターゲット２としてイリジウム含有窒化チタンを固定配置する一方、このイリジウム含有窒化チタンに対向する態様で金属チタン板１（基板１０）を固定配置する。ここに、ターゲット２を構成する窒化チタンとイリジウムとの混合比率は、重量比で１７：４である。このとき、ターゲット２と金属チタン板１との距離は３ｃｍである。レーザー光としては、パルスＮｄ：ＹＡＧレーザーの４倍波（波長＝２６６ｎｍ）を用いた。真空チャンバー３の内部は、例えばロータリポンプ及びターボ分子ポンプ等を用いて１×１０-6Torr以下に真空排気した後、窒素ガスを導入し、１×１０-2Torr又は１×１０-1Torrに調整してある。そして、金属チタン板１が室温となる状況下で繰り返し行った。繰り返し周波数は１０Ｈｚであり、レーザー光の照射時間は１時間である。
【００１７】
図３は、レーザーアブレーション法によって形成された電極層の構造を示したものである。電極層１１の構造は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察した。図３中の（ａ）及び（ｂ）は、真空チャンバー３の内部圧力が１×１０-2Torr、図３中の（ｃ）及び（ｄ）は、真空チャンバー３の内部圧力が１×１０-1Torrの場合である。図３から、イリジウム含有窒化チタンターゲット２からは確認されなかった数百ｎｍ〜２μｍ程度の大きな粒子が電極層１１中に確認された。
【００１８】
図４は、レーザーアブレーション法によって形成された電極層のＸ線回折測定の結果を示したものである。図４から、チタンとイリジウムとの合金の結晶相は確認されず、イリジウムと窒化チタンのそれぞれの結晶相が確認された。
【００１９】
図６及び図７は、それぞれエネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ）による分析結果を示したものであり、図６は、図５に示した走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて観察した電極層の構造のうち、約１μｍから２μｍの粒子４点が存在する個所の分析結果であり、図７は、粒子が存在しない個所の分析結果を示したものである。図６及び図７から、チタンとイリジウムとは合金を作っておらず、それぞれ独立して存在していることが確認された。また、イリジウムは、数百ｎｍ〜２μｍの大きな粒子状で局部的に存在していることが確認された。
【００２０】
以上により、イリジウム含有窒化チタンをターゲット２としてレーザーアブレーション法により所定条件下で金属チタン板１の表面に蒸着させることにより、図１に示すような、イリジウム粒子１２が局在する電極層１１が形成された電気分解用電極を製造することができる。
【００２１】
そのような電気分解用電極を陽極とし、チタン金属から成る電極を陰極として電気分解実験に用いた模式図を図８に示す。かかる電気分解は、電流値を０．１６Ａ、極間距離４．４ｍｍ、陽極と溶液との接触面積を２３ｍｍ×１７ｍｍとし、溶液は塩化カリウム（ＫＣｌ）：１０ｍｇ／Ｌで１分間に２０ｍＬフローさせ撹拌しながら行った。図９は、図８に示した実験から得られた塩素発生効率の時間変化を示すものである。塩素発生効率は、電気分解により生成した次亜塩素酸の濃度をＤＰＤ法により測定して求めた。この図９から明らかなように、塩素発生効率が約３％で飽和した。
【００２２】
図１０は、従来用いられている焼き付けにより作成した電極（焼付け電極）、めっきにより作成した電極（めっき電極）のそれぞれの塩素発生効率の濃度変化を示すものである。この図１０から、これらの電極を用いた場合であっても、本実施例における濃度ｌｏｇＣ＝−３．８７（Ｃ：ＫＣｌ濃度）のときの塩素発生効率は数％であることが理解されるため、これにより、本実施例における電気分解用電極が、従来の焼付け電極やめっき電極と略同等の基本特性を有していることは明らかである。
【００２３】
以上説明したように、本実施例の電気分解用電極によれば、電極層１１が、イリジウム含有窒化チタンをターゲット２とするレーザーアブレーション法によりイリジウム粒子１２が局在して形成されて成るので、イリジウム含有窒化チタンを溶液化する必要がない。また、レーザーアブレーション法によって形成されるため、何度も焼き付け等を繰り返す必要なく、製造作業が容易かつ短時間で行うことができる。
【００２４】
本実施例の電気分解用電極の製造方法によれば、レーザーアブレーション法により基板１０の表面にイリジウム含有窒化チタンを蒸着させてイリジウム粒子１２が局在して成る電極層１１を形成するので、イリジウム含有窒化チタンを溶液化する必要がなく、製造作業が容易かつ短時間で行うことができる。
【００２５】
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、種々の変更を行うことができる。例えば、上述した実施例では、電極材の一例として、イリジウム含有窒化チタンを用い、イリジウム粒子１２が局在する電極層１１が形成されることを示したが、本発明では、パラジウム等を電極材として用いても構わない。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
以上のように、本発明に係る電気分解用電極及びその製造方法は、例えば食塩水電解や水電解等において、次亜塩素酸（有効塩素）を生成するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施例における電気分解用電極の構造を示す概念図である。
【図２】レーザーアブレーション法を模式的に示した概念図である。
【図３】電極層の顕微鏡写真に基づく図である。
【図４】電極層のＸ線回折測定の結果を示した図である。
【図５】電極層の顕微鏡写真に基づく図である。
【図６】電極層のエネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ）による分析結果を示した図である。
【図７】電極層のエネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ）による分析結果を示した図である。
【図８】本実施例の電気分解用電極を陽極として用いた電気分解実験の模式図である。
【図９】電気分解実験から得られた塩素発生効率の時間変化を示した図である。
【図１０】従来用いられている焼付け電極、めっき電極のそれぞれの塩素発生効率の濃度変化を示した図である。
【符号の説明】
【００２８】
１      金属チタン板
２      ターゲット
３      真空チャンバー
１０    基板
１１    電極層
１２    イリジウム粒子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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