(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板搬送装置の保持部材に基板を保持し、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送する第１の搬送工程と、
前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記保持部材に基板を保持し、前記第１の搬送速度より大きな第２の搬送速度により前記搬送経路と同じ経路で基板を搬送する第２の搬送工程と、
前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えた基板保持能力の判定方法。
【請求項２】
基板の位置を測定する位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えた基板保持能力の判定方法。
【請求項３】
前記判定工程では、前記第２の変位量が前記第１の変位量より大きく、その差分が、予め設定された基準値以下である場合に基板保持能力有りと判定し、前記基準値を超えた場合に基板保持能力不足と判定することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項４】
前記第１の搬送工程および前記第２の搬送工程の途中では、基板の受け渡しを行わないことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項５】
前記第１の変位量および前記第２の変位量は、前記位置測定装置により測定される基板の偏心量および基板の回転量のうちの一つ以上により決定されることを特徴とする請求項２に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項６】
前記偏心量は、基板の偏心方向を含まない偏心量の絶対値であり、前記回転量は基板の回転方向を含まない回転量の絶対値であることを特徴とする請求項５に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項７】
前記第１の搬送工程および前記第２の搬送工程では、位置測定された基板を、前記保持部材の正規の保持位置に位置合わせして受け取ることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項８】
前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記保持部材の部品交換を行なう工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項９】
前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記保持部材のクリーニングを行なう工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項１０】
前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記基板搬送装置の搬送速度を前記第１の搬送速度よりも小さな第３の搬送速度に設定変更する工程を、さらに備えたことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の基板保持能力の判定方法。
【請求項１１】
保持部材において基板を保持しつつ搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置で搬送される基板の位置を測定する位置測定装置と、
前記保持部材による基板の保持能力を判定する基板保持能力の判定方法が行われるように制御する制御部と
を備えた基板搬送システムであって、
前記判定方法は、
前記位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えたものであること、を特徴とする基板搬送システム。
【請求項１２】
保持部材において基板を保持しつつ基板を搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により、第１の搬送速度で所定の搬送経路について基板を搬送する間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出するとともに、前記第１の搬送速度より大きな第２の搬送速度で同じ搬送経路について基板を搬送する間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する変位量検出手段と、
前記第１の変位量と前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項１３】
基板に対し所定の処理を行う一つ以上の処理装置と、
前記処理装置へ基板の移送を行なう、請求項１１または請求項１２に記載された基板搬送システムと、
を備えたことを特徴とする基板処理システム。
【請求項１４】
コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、
保持部材において基板を保持しつつ搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、前記基板搬送装置で搬送される基板の位置を測定する位置測定装置と、を備えた基板搬送システムにおいて、前記保持部材による基板の保持能力を判定する基板保持能力の判定方法が行われるように前記基板搬送システムを制御するものであり、
前記基板保持能力の判定方法は、
前記位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えたものであること、を特徴とするコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハなどの基板を搬送する基板搬送装置の保持部材による基板保持能力を判定する基板保持能力の判定方法、該判定方法を実施可能な基板搬送システム、基板処理システムおよびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造過程では、半導体ウエハなどの基板に対し、成膜やエッチングなどの種々の処理が繰り返し行われる。これらの処理を行う半導体製造装置には、異なる内容の処理を行う処理装置が組み合わされた基板処理システムが使用されている。このような基板処理システムには、複数の処理装置間を含むシステム内の基板の搬送および他の基板処理システムとの間で基板の受け渡しなどを行うために、一つないし複数の基板搬送装置を備えた基板搬送システムが設けられている。
【０００３】
基板搬送装置は、例えば伸縮、屈伸、旋回、昇降などの動作を行えるように構成された搬送アームを有している。そして、基板搬送装置は、搬送アームの先端に設けられた保持部材によって基板を保持することにより基板の搬送を行うようになっている。保持部材による基板の保持は、基板と保持部材との摩擦力を利用するものと、保持部材に吸着機構を設けて吸引力を利用するものが知られている。いずれの場合も、保持部材には、所定の搬送経路を搬送する間に基板を安定的に保持できる能力（基板保持能力）が要求される。
【０００４】
しかし、種々の要因により保持部材の基板保持能力が低下すると、搬送途中で保持部材に対する基板のスリップが発生しやすくなる。現状の搬送システムでは、搬送過程で基板と保持部材との間に生じるスリップ量が例えば５０μｍ以内に収まるように搬送することが求められている。保持部材に保持された基板に許容範囲を超えるスリップが発生すると、基板処理システム内での基板の移送例えば処理装置と基板搬送装置との間での基板の受け渡しや、他の基板処理システムとの間での基板の受け渡しが正確に行われなくなる。その結果、成膜やエッチングなどの処理の精度が低下して歩留まりの悪化を招く原因になる。また、保持部材の基板保持能力がさらに低下すると、スリップの量が大きくなって搬送途中で搬送経路上の部材に基板が接触して破損したり、基板が保持部材から落下したりするといった事故を引き起こす場合もある。
【０００５】
前記のように基板搬送装置の搬送アームは、基板を保持部材に保持した状態で、伸縮、屈伸、旋回、昇降など加速・減速を伴う搬送動作を行うことから、搬送途中で基板にスリップが発生する可能性をゼロにすることは困難である。また、搬送途中の基板にスリップが生じる原因としては、基板と直接接触する支持部品に磨耗や劣化、付着物が生じるといった保持部材側の要因だけでなく、基板の材質や基板に成膜された膜種により基板と保持部材との摩擦係数が変化するという基板側の要因も存在する。このため、スリップの発生予測は困難であり、同じ経路を同じ搬送速度で搬送する動作を繰り返すうちに、ある時突然に基板がすべり出すという現象が生じる。このことが、保持部材に対する定期クリーニングや定期メンテナンス（部品交換）の頻度を増加させる一因となっていた。
【０００６】
搬送途中での保持部材と基板との位置のずれに対処する技術として、特許文献１には、真空ロボットの回転時に基板の遮光角度を検出するθ軸センサと、真空ロボットの伸縮時に基板の遮光距離を検出するＲ軸センサとの出力に基づき、基板の真空ロボットに対する位置補正量を求め、この位置補正量が所定の規格値を外れた場合に、基板の位置ロボットに対する位置データの変更を行う方法が開示されている。また、この特許文献１には、前記θ軸センサとＲ軸センサとの出力に基づいて基板の真空ロボットに対する距離データを求め、この距離データが所定の許容値を超えた場合に、位置ずれエラーとして動作停止を行う方法も開示されている。
【０００７】
特許文献１に記載された技術のように、専用のセンサを設けて搬送途中の位置精度を把握しようとすると、センサを設置する場所や費用が必要になって、フットプリントの増大やコストの増加を招くことになる。また、すべての基板を搬送する過程でセンサによる計測を行なって位置補正を行うと、制御系統に大きな負担が加わることになり、スループットを低下させる一因となる。
【０００８】
前記のとおり、基板搬送途中でのスリップの発生は、保持部材側の要因だけでなく、基板側の要因も関与しており、このことがスリップの発生予測を困難にしている。しかし、ある基板が保持部材上でスリップしやすいか否かの度合い（別の側面から言えば、ある基板に対する保持部材の保持能力）を簡易に判定できる方法があれば、従来技術のように専用のセンサによる計測と位置補正を行う必要はない。すなわち、搬送対象となる基板に対する保持部材の保持能力をある程度評価できれば、その結果に応じてスリップを防止するための手段（例えばクリーニングや部品交換、搬送速度の調節など）を講ずることが可能になり、基板搬送毎に位置ずれの検出や補正を行わずとも搬送動作の信頼性を確保できるはずである。
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−１２３５５６号公報（特許請求の範囲など）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、搬送対象の基板に対する基板搬送装置の保持部材による基板保持能力を簡単に判定する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点による基板保持能力の判定方法は、基板搬送装置の保持部材に基板を保持し、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送する第１の搬送工程と、
前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記保持部材に基板を保持し、前記第１の搬送速度より大きな第２の搬送速度により前記搬送経路と同じ経路で基板を搬送する第２の搬送工程と、
前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えている。
【００１２】
また、本発明の第２の観点の基板保持能力の判定方法は、
基板の位置を測定する位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えている。
【００１３】
上記第１の観点および第２の観点において、前記判定工程では、前記第２の変位量が前記第１の変位量より大きく、その差分が、予め設定された基準値以下である場合に基板保持能力有りと判定し、前記基準値を超えた場合に基板保持能力不足と判定してもよい。
【００１４】
また、上記第１の観点および第２の観点において、前記第１の搬送工程および前記第２の搬送工程の途中では、基板の受け渡しを行わなくてもよい。
【００１５】
また、上記第２の観点において、前記第１の変位量および前記第２の変位量は、前記位置測定装置により測定される基板の偏心量および基板の回転量のうちの一つ以上により決定されるものであってもよい。この場合、前記偏心量は、基板の偏心方向を含まない偏心量の絶対値であり、前記回転量は基板の回転方向を含まない回転量の絶対値であってもよい。さらに、前記第１の搬送工程および前記第２の搬送工程では、位置測定された基板を、前記保持部材の正規の保持位置に位置合わせして受け取ってもよい。
【００１６】
また、上記第１の観点および第２の観点は、前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記保持部材の部品交換を行なう工程を、さらに備えていてもよい。
【００１７】
また、上記第１の観点および第２の観点は、前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記保持部材のクリーニングを行なう工程を、さらに備えていてもよい。
【００１８】
また、上記第１の観点および第２の観点は、前記判定工程において基板保持能力不足と判定された場合に、前記基板搬送装置の搬送速度を前記第１の搬送速度よりも小さな第３の搬送速度に設定変更する工程を、さらに備えていてもよい。
【００１９】
本発明の第３の観点の基板搬送システムは、
保持部材において基板を保持しつつ搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置で搬送される基板の位置を測定する位置測定装置と、
前記保持部材による基板の保持能力を判定する基板保持能力の判定方法が行われるように制御する制御部と
を備えた基板搬送システムであって、
前記判定方法は、
前記位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えたものである。
【００２０】
本発明の第４の観点の基板搬送システムは、保持部材において基板を保持しつつ基板を搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により、第１の搬送速度で所定の搬送経路について基板を搬送する間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出するとともに、前記第１の搬送速度より大きな第２の搬送速度で同じ搬送経路について基板を搬送する間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する変位量検出手段と、
前記第１の変位量と前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定手段と、
を備えている。
【００２１】
本発明の第５の観点の基板処理システムは、基板に対し所定の処理を行う一つ以上の処理装置と、
前記処理装置へ基板の移送を行なう、上記第３の観点または第４の観点の基板搬送システムと、
を備えている。
【００２２】
本発明の第６の観点のコンピュータ読み取り可能な記憶媒体は、
コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、
保持部材において基板を保持しつつ搬送する１つまたは複数の基板搬送装置と、前記基板搬送装置で搬送される基板の位置を測定する位置測定装置と、を備えた基板搬送システムにおいて、前記保持部材による基板の保持能力を判定する基板保持能力の判定方法が行われるように前記基板搬送システムを制御するものであり、
前記基板保持能力の判定方法は、
前記位置測定装置により基板の位置測定を行う工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、第１の搬送速度により所定の搬送経路で基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第１の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第１の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第１の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第１の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第１の変位量として検出する工程と、
前記位置測定装置から前記基板搬送装置の保持部材によって基板を受け取り、前記搬送経路と同じ経路で、その一部または全部において搬送速度を前記第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に変更して基板を搬送した後、前記位置測定装置に受け渡す第２の搬送工程と、
前記位置測定装置により前記第２の搬送工程後の基板の位置測定を行う工程と、
前記第２の搬送工程後の位置測定の結果に基づき、前記第２の搬送工程の間に前記保持部材上で生じた基板の位置のずれを第２の変位量として検出する工程と、
前記第１の変位量と、前記第２の変位量とを比較することにより、前記保持部材による基板の保持能力を判定する判定工程と、
を備えたものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、保持部材によって基板を保持しつつ、所定の搬送経路について、第１の搬送速度と、第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度で搬送し、それぞれの搬送速度によって発生した位置のずれを位置測定装置で測定して比較することにより、保持部材によって基板を保持する能力（基板保持能力）を判定する構成とした。このように、従来は予測が不可能であった、ある基板に対する保持部材の基板保持能力を判定できることによって、搬送途中での基板のスリップの発生を極力予防し、信頼性の高い搬送動作を実現できるという効果を奏する。
【００２４】
また、本発明では、基板搬送システムに通常配備されている位置測定装置を利用して基板保持能力を判定できるため、センサなどの専用装置を導入する必要がなく、フットプリントの増大やコストの増加、スループットの低下を極力抑えながら、簡易に基板保持能力を判定できる、という効果を奏する。さらに、基板搬送の信頼性が高まることにより、基板に対して行われる各種の処理の精度を向上させ、歩留まりの低下を改善できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。まず、図１を参照して本発明の実施の形態に係る基板搬送システムを備えた基板処理システムについて説明を行う。図１は、例えば基板としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と記す）Ｗに対し、例えば成膜処理、エッチング処理等の各種の処理を行なうように構成された基板処理システム１００を示す概略構成図である。この基板処理システム１００は、マルチチャンバ構造のクラスタツールとして構成されている。
【００２６】
基板処理システム１００は、主要な構成として、ウエハＷに対して各種の処理を行う４つの処理チャンバ１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄと、これらの処理チャンバ１ａ〜１ｄに対してゲートバルブＧ１を介して接続された真空側搬送室３と、この真空側搬送室３にゲートバルブＧ２を介して接続された２つのロードロック室５ａ，５ｂと、これら２つのロードロック室５ａ，５ｂに対してゲートバルブＧ３を介して接続されたローダーユニット７とを備えている。
【００２７】
４つの処理チャンバ１ａ〜１ｄは、ウエハＷに対して例えばプラズマＣＶＤ処理、プラズマエッチング処理、プラズマアッシング処理などの処理を行う処理装置である。処理チャンバ１ａ〜１ｄは、ウエハＷに対して同じ内容の処理を行うものであってもよいし、あるいはそれぞれ異なる内容の処理を行うものであってもよい。各処理チャンバ１ａ〜１ｄ内には、それぞれウエハＷを載置するための載置台２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが配備されている。なお、各処理チャンバ１ａ〜１ｄにおける詳細な構造については説明を省略する。
【００２８】
真空引き可能に構成された真空側搬送室３には、処理チャンバ１ａ〜１ｄやロードロック室５ａ，５ｂに対してウエハＷの受け渡しを行う第１の基板搬送装置としての搬送装置９が設けられている。この搬送装置９は、互いに対向するように配置された一対の搬送アーム部１１，１１を有している。各搬送アーム部１１，１１は同一の回転軸を中心として、屈伸及び旋回可能に構成されている。また、各搬送アーム部１１，１１の先端には、それぞれウエハＷを載置して保持するためのフォーク１３，１３が設けられている。搬送装置９は、これらのフォーク１３，１３上にウエハＷを載置した状態で、処理チャンバ１ａ〜１ｄ間、あるいは処理チャンバ１ａ〜１ｄとロードロック室５ａ，５ｂとの間でウエハＷの搬送を行う。
【００２９】
ロードロック室５ａ，５ｂ内には、それぞれウエハＷを載置する載置台６ａ，６ｂが設けられている。ロードロック室５ａ，５ｂは、真空状態と大気開放状態を切り替えられるように構成されている。このロードロック室５ａ，５ｂの載置台６ａ，６ｂを介して、真空側搬送室３と大気側搬送室１９（後述）との間でウエハＷの受け渡しが行われる。
【００３０】
ローダーユニット７は、ウエハＷの搬送を行う第２の基板搬送装置としての搬送装置１７が設けられた大気側搬送室１９と、この大気側搬送室１９に隣接配備された３つのロードポートＬＰと、大気側搬送室１９の他の側面に隣接配備され、ウエハＷの位置測定を行なう位置測定装置としてのオリエンタ２１とを有している。
【００３１】
大気側搬送室１９は、例えば窒素ガスや清浄空気などの循環設備（図示省略）を備えた平面視矩形形状をなしており、その長手方向に沿ってガイドレール２３が設けられている。このガイドレール２３に搬送装置１７がスライド移動可能に支持されている。つまり、搬送装置１７は図示しない駆動機構により、ガイドレール２３に沿ってＸ方向へ移動可能に構成されている。この搬送装置１７は、上下２段に配置された一対の搬送アーム部２５，２５を有している。各搬送アーム部２５，２５は屈伸及び旋回可能に構成されている。各搬送アーム部２５，２５の先端には、それぞれウエハＷを載置して保持する保持部材としてのフォーク２７，２７が設けられている。搬送装置１７は、これらのフォーク２７，２７上にウエハＷを載置した状態で、ロードポートＬＰのウエハカセットＣＲと、ロードロック室５ａ，５ｂと、オリエンタ２１との間でウエハＷの搬送を行う。
【００３２】
図２に、搬送装置１７のフォーク２７を拡大して示した。フォーク２７は、搬送アーム部２５に連結された単一の基端部側から２つの先端側へ向けて二股に分岐した形状をなしている。フォーク２７のウエハＷを支持する側の面には、例えばバイトン(登録商標；デュポン株式会社製)などのフッ素系ゴムや、合成樹脂などの弾性材料からなる環状の支持突起２９が複数個所（例えば４箇所）に装着されている。これらの支持突起２９は、ウエハＷの裏面に当接し、搬送時には摩擦力によってウエハＷを保持する。フォーク２７の支持突起２９とウエハＷの裏面との間の摩擦係数が十分に大きければ、フォーク２７上でのウエハＷの位置は常に一定となり、高い信頼性で搬送を行うことが可能である。なお、搬送装置９におけるフォーク１３も、搬送装置１７のフォーク２７と同様の構成である。
【００３３】
ロードポートＬＰは、ウエハカセットＣＲを載置できるようになっている。ウエハカセットＣＲは、複数枚のウエハＷを同じ間隔で多段に載置して収容できるように構成されている。
【００３４】
オリエンタ２１は、例えば図３に示したように、駆動モータ３１によって回転される回転板３３と、この回転板３３の外周位置に設けられ、ウエハＷの周縁部を検出するための光学センサ３５とを備えている。光学センサ３５は、回転板３３の半径方向に沿って細長く配置された光源部３７と、この光源部３７に対向して配備された受光部３９と、受光部３９における検知結果をもとにウエハＷの偏心量、偏心方向および回転量を算出する演算部４１とを備えている。このオリエンタ２１は、後述する手順に従い、搬送の間にフォーク２７上で発生したウエハＷの位置ずれを変位量として検出する変位量検出手段としても機能する。
【００３５】
光学センサ３５は、ウエハＷを載置した状態で回転板３３を回転させながら、光源部３７からウエハＷ周縁部に向けて帯状のレーザー光を照射する。そして、ウエハＷによって部分的に遮られるレーザー光を受光部３９で検知する。このレーザー光の検知結果をもとに、演算部４１で、回転板３３に対するウエハＷの偏心量Ｅと偏心方向を計算する。例えば、図４に示した例では、回転板３３の中心（回転中心）Ｏと、回転板３３に載置されたウエハＷの中心ＯＷとの間の距離が、ウエハＷの偏心量Ｅに相当する。この偏心量Ｅは、受光部３９での検知結果に基づき出力された波形データ（図示省略）の振幅として求めることができる。また、偏心の方向は、前記波形データの振幅が最小となる方位である。また、光学センサ３５は、回転するウエハＷに形成されている切り欠き部分６０（ノッチあるいはオリエンテーションフラット）を認識するため、前記波形データには切り欠き部分６０を示す信号が現れる。この信号を、オリエンタ２１において予め定められた基準方位と比較することにより、切り欠き部分６０の周方向の位置（方位）が求められる。これによってウエハＷの回転量Ｒを検出できるように構成されている。
【００３６】
搬送装置１７のフォーク２７を用いてオリエンタ２１の回転板３３からウエハＷを搬出する際には、オリエンタ２１での測定結果に基づき、フォーク２７上の正規の保持位置でウエハＷを受け取ることができるようにプログラムされている。つまり、搬送工程前にオリエンタ２１でウエハＷの位置測定をしておくことにより、ウエハＷの偏心と回転が補正され、切り欠き部６０が所定の方向に位置決めされた状態で、フォーク２７によりウエハＷを受け取ることができる。従って、搬送動作の開始時点では、フォーク２７に対するウエハＷの相対位置は常に同じになる。また、一旦フォーク２７の正規の保持位置に保持されたウエハＷは、搬送過程でスリップなどによる変位が生じない限り、オリエンタ２１に戻した場合に、回転板３３に対して偏心がなく、切り欠き部６０の方位が基準方位に対して一定な正規の載置位置に載置される。
【００３７】
基板処理システム１００の各構成部は、制御部５０に接続されて制御される構成となっている。制御部５０は、例えば図５に示すように、ＣＰＵを備えたコントローラ５１と、このコントローラ５１に接続されたユーザーインターフェース５２および記憶部５３を備えている。コントローラ５１は、基板処理システム１００において、例えば処理チャンバ１ａ〜１ｄ、搬送装置９、搬送装置１７などを統括して制御する。また、制御部５０のコントローラ５１は、オリエンタ２１の各構成部とも接続されている。そして、光学センサ３５で計測されたウエハＷの偏心量Ｅ、偏心方向、回転量Ｒなどの位置情報を解析したり、該位置情報に基づき、搬送装置９や搬送装置１７に制御信号を送出したりする。また、コントローラ５１は、後述するように、光学センサ３５の演算部４１で算出された位置情報をもとにウエハＷの変位量を求め、搬送装置１７のフォーク２７によるウエハＷの保持能力を判定する。つまり、コントローラ５１はウエハ保持能力の判定手段としても機能する。
【００３８】
ユーザーインターフェース５２は、工程管理者が基板処理システム１００を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、基板処理システム１００の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等を有している。記憶部５３には、基板処理システム１００で実行される各種処理をコントローラ５１の制御にて実現するための制御プログラム（ソフトウエア）や処理条件データ等が記録されたレシピが保存されている。そして、必要に応じて、ユーザーインターフェース５２からの指示等にて任意のレシピを記憶部５３から呼び出してコントローラ５１に実行させることで、コントローラ５１の制御下、基板処理システム１００の処理チャンバ１ａ〜１ｄ内で所望の処理や、基板処理システム１００での所定の搬送動作などが行われる。なお、前記制御プログラムや処理条件データ等のレシピは、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体５４に格納された状態のものを利用することができる。コンピュータ読み取り可能な記憶媒体５４としては、例えばＣＤ−ＲＯＭ、ハードディスク、フレキシブルディスク、フラッシュメモリ、ＤＶＤなどを使用することができる。また、前記レシピは、他の装置から、例えば専用回線を介して随時伝送させてオンラインで利用したりすることも可能である。
【００３９】
以上のような構成を有する基板処理システム１００において、少なくとも一つの基板搬送装置（搬送装置９および／または搬送装置１７）、オリエンタ２１および制御部５０により、基板搬送システムが構成されている。
【００４０】
次に、上記基板搬送システムにおいてウエハＷを搬送する際に発生するスリップについて、搬送装置１７のフォーク２７を例に挙げて説明する。ウエハＷのスリップは、ウエハＷを搬送する過程で、搬送アーム部２５による旋回、屈伸など動作に伴って加速や減速をする際に発生する。スリップは、フォーク２７の支持突起２９とウエハＷとの摩擦係数低下などの要因により発生する。スリップを起こすことにより、フォーク２７に保持されたウエハＷが、例えば図６に二点鎖線で示した正規の保持位置から、実線で示した位置まで変位したと仮定する。スリップによって、ウエハＷの中心Ｏｗは、正規の保持位置から偏心変位量ＤＥだけ偏心した状態になる。また、ウエハＷの切り欠き部分６０は、正規の保持位置に比べて回転変位量ＤＲだけ周方向に回転した位置になる。
【００４１】
このようにフォーク２７上でスリップが生じた後で、再びウエハＷをオリエンタ２１に搬入し、スリップによる変位量（偏心変位量ＤＥおよび回転変位量ＤＲ）を保ったまま回転板３３に受け渡す。そして、ウエハＷの偏心および切り欠き部６０の方位を測定する。この測定結果を、回転板３３での正規の載置位置および基準方位と比較することにより、スリップによって生じた偏心変位量ＤＥは回転板３３での偏心量Ｅとして検出され、回転変位量ＤＲは回転量Ｒとして検出される。
【００４２】
次に、基板処理システム１００において実施される本発明の第１の実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法について説明する。まず、図７は、本実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法の手順の概略を示すフローチャートである。また、図８は、本実施の形態のウエハ保持能力の判定方法におけるウエハＷの搬送経路を示す説明図である。なお、図８では、搬送経路を示す目的から基板処理システム１００の構成を部分的に省略し、簡略化して図示した。
【００４３】
まず、図７のステップＳ１では、オリエンタ２１へウエハＷを搬入し、回転板３３に載置してウエハＷの位置測定を行う。オリエンタ２１へのウエハＷの最初の搬入は、搬送装置１７を利用しても行ってもよいし、あるいは手動で行ってもよい。本実施の形態のウエハ保持能力の判定方法では、基板処理システム１００で処理予定の通常のウエハＷを用いることが好ましいが、位置測定用のウエハＷを用いることもできる。オリエンタ２１における位置測定は、例えばウエハＷの偏心量Ｅ、偏心方向および回転量Ｒについて行う（以下、ステップＳ３、ステップＳ６において同様である）。
【００４４】
次に、ステップＳ２では、搬送装置１７を用いてウエハＷをオリエンタ２１から搬出し、フォーク２７上にウエハＷを載置した状態で、図８に示した区間ａ，ｂ，ｃの順に搬送する（第１の搬送工程）。すなわち、搬送装置１７のフォーク２７により、オリエンタ２１の回転板３３から正規の保持位置となるようにウエハＷを受け取り、片方のロードロック室５ｂへ搬送し（区間ａ）、次にロードロック室５ｂからウエハカセットＣＲに搬送し（区間ｂ）、さらにウエハカセットＣＲからオリエンタ２１へ搬送し、回転板３３に載置する（区間ｃ）。区間ａ，ｂ，ｃは、搬送装置１７による一般的な搬送手順に準じた経路であり、搬送装置１７の搬送アーム部２５の屈伸動作や旋回動作、その際に発生する加速度を、現実の搬送に模して行うことができる。
【００４５】
ステップＳ２の第１の搬送工程で区間ａ〜ｃを含む経路を搬送させる場合の搬送速度は、通常の処理における搬送速度（第１の搬送速度）に設定する。なお、「搬送速度」には、搬送装置１７がガイドレール２３に沿ってＸ方向へ移動する際のフォーク２７の速度と、搬送アーム部２５が屈伸、旋回等の動作を行う際のフォーク２７の速度との両方が含まれる。また、「搬送速度」には、定速過程の速度と加速・減速過程の加速度とが含まれる。なお、「加速度」の語は、減速時の負の加速度を含む意味で用いる（以下同様である）。
【００４６】
この第１の搬送工程においては、フォーク２７にウエハＷを載置したまま、区間ａ，ｂ，ｃを順に通過させる。つまり、オリエンタ２１の回転板３３からフォーク２７がウエハＷを受け取り、フォーク２７から再びオリエンタ２１の回転板３３にウエハＷを受け渡すまでの間、フォーク２７にウエハＷを載置したまま受け渡しを行わずに擬似的な搬送が行われる。搬送途中に、フォーク２７と他の部材（例えばウエハカセットＣＲやロードロック室５ｂの載置台６ｂ）との間でのウエハＷの受け渡しを行うと、受け渡しに伴うウエハＷの「位置ずれ」が生じる可能性がある。これに対し、搬送途中に受け渡し動作を含めないことにより、受け渡しに伴う「位置ずれ」が生じる余地が無くなるので好ましい。
【００４７】
次に、ステップＳ３では、オリエンタ２１の回転板３３に再び戻されたウエハＷの位置測定を行う。そして、ステップＳ４では、ステップＳ３の位置測定の結果に基づき、第１の搬送工程におけるウエハＷのスリップによる変位量Ｄ１を算出する。第１の搬送工程（ステップＳ２）の開始時には、搬送装置１７のフォーク２７が正規の保持位置でウエハＷを受け取っているから、第１の搬送工程の間にスリップが生じなければ、変位量Ｄ１はゼロ（許容マージン以下の場合を含む）になるはずである。しかし、第１の搬送工程の間にフォーク２７上でウエハＷにスリップが発生した場合には、変位量Ｄ１は、ステップＳ３の測定結果においてオリエンタ２１における正規の載置位置に対する偏心量Ｅおよび／または基準方位に対する回転量Ｒとして計測される。計測された変位量Ｄ１は制御部５０の記憶部５３に保存される。
【００４８】
次に、ステップＳ５では、搬送装置１７を用い、ステップＳ２の第１の搬送工程と同じ経路での搬送を行う（第２の搬送工程）。すなわち、ステップＳ３のウエハ位置測定の結果に基づき、オリエンタ２１の回転板３３から搬送装置１７のフォーク２７に、正規の保持位置でウエハＷを受け取った後、フォーク２７上にウエハＷを載置した状態で、区間ａ，ｂ，ｃの順に搬送し、再びオリエンタ２１へ戻す。ただし、ステップＳ５の第２の搬送工程の搬送速度は、第１の搬送速度（通常の処理における搬送速度）よりも大きな第２の搬送速度（例えば１２０％の搬送速度）に設定する。この第２の搬送工程は、搬送速度を大きく設定した点以外は、ステップＳ２の第１の搬送工程と全く同様に行う。通常の搬送速度である第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度でウエハＷを搬送した場合に大きなスリップが発生しなければ、通常搬送時にスリップが発生する確率は低く、フォーク２７は十分なウエハ保持能力を持つと考えられる。つまり、本実施の形態のウエハ保持能力の判定方法では、スリップの起こりやすさが搬送速度によって異なる点に着目し、搬送速度を変化させた擬似的な搬送においてスリップを検出することにより、ウエハ保持能力を判定している。
【００４９】
第２の搬送速度を第１の搬送速度よりも大きく設定する場合、例えば図９に示したように加速・減速過程の加速度と定速過程の速度の両方を第１の搬送速度より大きく設定してもよいし、図１０に示したように、加速度のみを第１の搬送速度より大きく設定し、定速過程の速度は第１の搬送速度と同じ速度に設定してもよい。フォーク２７上でのウエハＷのスリップは、加速度が加わるときに発生しやすいので、加速度だけを変化させることによっても十分にウエハ保持能力を評価できる。また、図１１に示したように、第２の搬送速度の加速度は第１の搬送速度と同じに設定し、定速過程の速度のみを第１の搬送速度より大きく設定してもよい。
【００５０】
また、第２の搬送工程では、区間ａ，ｂ，ｃの全区間の搬送速度を第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度に設定することが好ましいが、区間ａ，ｂ，ｃのいずれかの区間のみを第２の搬送速度に設定し、他の区間は第１の搬送速度と同じに設定してもよい。さらに、例えば搬送装置１７の搬送アーム部２５の屈伸動作のみ、あるいは旋回動作のみというように、特定の動作についてのみ搬送速度を大きくして第２の搬送速度に設定してもよい。
【００５１】
また、第１の搬送速度と第２の搬送速度の設定を容易にするため、ウエハＷの総移動距離を、静止状態を除く搬送時間（定速過程と加速・減速過程を含む）で除した平均速度に基づいて、第１の搬送速度に対して第２の搬送速度が所定量大きくなるように設定してもよい。
【００５２】
第２の搬送速度の設定は、ウエハ保持能力を適性に評価できる範囲に設定する必要がある。このような観点から、例えば通常の搬送速度である第１の搬送速度に対して、加速度および／または定速過程の平均速度を１１０〜１３０％の範囲内で大きくすることが好ましく、１１５〜１２５％の範囲内で大きくすることがより好ましい。
【００５３】
次に、ステップＳ６では、オリエンタ２１の回転板３３に再び戻されたウエハＷの位置測定を行う。そして、ステップＳ７では、ステップＳ６の位置測定の結果に基づき、第２の搬送工程におけるウエハＷのスリップによる変位量Ｄ２を算出する。第２の搬送工程（ステップＳ５）の開始時には、搬送装置１７のフォーク２７が正規の保持位置でウエハＷを受け取っているから、第２の搬送工程の間にスリップが生じなければ、変位量Ｄ２はゼロ（許容マージン以下の場合を含む）になるはずである。しかし、第２の搬送工程の間にフォーク２７上でウエハＷにスリップが発生した場合には、変位量Ｄ２は、ステップＳ５の測定結果においてオリエンタ２１における正規の載置位置に対する偏心量Ｅおよび／または基準方位に対する回転量Ｒとして計測される。計測された変位量Ｄ２は制御部５０の記憶部５３に保存される。
【００５４】
上記ステップＳ４およびステップＳ７において、ウエハＷの偏心量Ｅを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を求めてもよいし、ウエハＷの回転量Ｒを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を求めてもよい。もちろん、偏心量Ｅと回転量Ｒの両方についてそれぞれ変位量Ｄ１，Ｄ２を算出してもよい。
【００５５】
次に、ステップＳ８では、上記のステップＳ４で得られた変位量Ｄ１と、ステップＳ７で得られた変位量Ｄ２とを比較することにより、搬送装置１７のフォーク２７によるウエハ保持能力を判定する。この判定は、例えば制御部５０のコントローラ５１によって行われる。変位量Ｄ１とＤ２を比較する方法として、以下の二つの方法を例示することができる。まず、第１の方法として、変位量Ｄ１と変位量Ｄ２との大きさを比較し、Ｄ１＝Ｄ２なら十分なウエハ保持能力が有ると判定し、Ｄ１＜Ｄ２ならウエハ保持能力不足と判定する方法が挙げられる。
【００５６】
Ｄ１＝Ｄ２であるということは、通常搬送速度である第１の搬送速度よりも大きな第２の搬送速度で搬送を行った第２の搬送工程においても、ウエハＷのスリップが発生していないことを意味している。つまり、フォーク２７とウエハＷとの間の摩擦力に余裕（マージン）があり、スリップが発生しにくい状態と判断できる。従って、フォーク２７は、基板処理システム１００の搬送装置１７を用いて信頼性の高い搬送動作を行う上で、測定対象のウエハＷに対して十分なウエハ保持能力を有していると考えられる。
【００５７】
一方、Ｄ１＜Ｄ２である場合には、第２の搬送工程でウエハＷのスリップが発生していることを意味している。このことから、搬送装置１７のフォーク２７とウエハＷとの間の摩擦係数が何等かの要因によって相対的に低下し、フォーク２７とウエハＷとの間の摩擦力に余裕（マージン）が少ないため、ウエハＷがスリップを起こしやすい状態になっていると判断できる。従って、第１の搬送速度（通常搬送速度）でもスリップが発生する確率が高い状態にあると考えられる。
【００５８】
また、変異量Ｄ１とＤ２を比較する第２の方法として、変位量Ｄ２と変位量Ｄ１との差分（Ｄ２−Ｄ１）を求め、この差分（Ｄ２−Ｄ１）が、予め定められた基準値より大きいかどうかを比較する方法が挙げられる。第２の方法は、変位量の差分（Ｄ２−Ｄ１）を基準値と比較することにより、スリップ量に許容範囲を設定できるので、より現実の搬送に即した判断が可能になる好ましい方法である。差分Ｄ２−Ｄ１と基準値との比較は、コントローラ５１が記憶部５３に保存された基準値を読み出すことにより行われる。
【００５９】
上記第２の方法において、ウエハ保持能力の判定に用いる基準値は、基板処理システム１００におけるスリップ量の許容限度に基づき実験的に決定できる。この場合、例えば、ウエハＷへの処理内容、ウエハＷの大きさ、設定搬送速度などを勘案して基準値を決めることができる。例えば、３００ｍｍ径のウエハＷについて、偏心量Ｅを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を算出する場合には、基準値を０．５ｍｍに設定できる。この場合、差分Ｄ２−Ｄ１が０．５ｍｍ以下であれば、ステップＳ８においてウエハ保持能力は十分にある、と判定される。また、例えば３００ｍｍ径のウエハＷについて、回転量Ｒを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を算出する場合には、基準値を１．０°に設定できる。この場合も、差分Ｄ２−Ｄ１が１．０°以下の場合には、ステップＳ８においてウエハ保持能力は十分にある、と判定される。
【００６０】
差分Ｄ２−Ｄ１が基準値以下であるということは、通常搬送速度よりも大きな第２の搬送速度で搬送を行った第２の搬送工程においても、ウエハＷに許容範囲を超える大きなスリップが発生していないことを意味している。つまり、フォーク２７とウエハＷとの間の摩擦力に余裕（マージン）があり、許容範囲を超える大きなスリップは発生しにくい状態と判断できる。従って、フォーク２７は、基板処理システム１００の搬送装置１７を用いて信頼性の高い搬送動作を行う上で、測定対象のウエハＷに対して十分なウエハ保持能力を有していると考えられる。
【００６１】
一方、偏心量Ｅを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を算出する場合に、差分Ｄ２−Ｄ１が０．５ｍｍより大きければ、ステップＳ８においてウエハ保持能力が低下している、と判定される。また、回転量Ｒを基準に変位量Ｄ１，Ｄ２を算出する場合に、差分Ｄ２−Ｄ１が１．０°より大きければ、ステップＳ８においてウエハ保持能力が低下している、と判定される。差分Ｄ２−Ｄ１が基準値より大きいということは、第２の搬送工程で許容限度を超えるウエハＷのスリップが発生していることを意味している。このことから、搬送装置１７のフォーク２７とウエハＷとの間の摩擦係数が何等かの要因によって相対的に低下し、フォーク２７とウエハＷとの間の摩擦力に余裕（マージン）が少ないため、フォーク２７上でウエハＷがスリップを起こしやすい状態になっていると判断できる。従って、第１の搬送速度（通常搬送速度）でもウエハＷのスリップが発生する確率が高い状態であると考えられる。
【００６２】
ステップＳ１〜ステップＳ８の手順において、変位量Ｄ１，Ｄ２が、Ｄ２＜Ｄ１の関係になることは通常起こりえない。もし、Ｄ２＜Ｄ１となった場合には、スリップ以外の何らかの搬送異常が生じたものと考えられる。従って、Ｄ２＜Ｄ１となった場合には、上記第１の方法および第２の方法では、判定エラーとしてステップＳ８の判定を中止する。この場合は、第２の搬送装置１７の動作や搬送速度の設定などを点検した後、再度ステップＳ１〜ステップＳ８までの処理をやり直すことが好ましい。
【００６３】
また、ステップＳ４およびステップＳ７で算出された変位量Ｄ１，Ｄ２がともに一定の大きさ以上の値である場合には、Ｄ１とＤ２との比較や、差分（Ｄ２−Ｄ１）と基準値との比較だけではウエハ保持能力を正確に判定することが困難な場合がある。そのため、ステップＳ８では、まず変位量Ｄ１，Ｄ２を、予め設定された許容値（前記「基準値」と同じでもよいし異なっていてもよい）と比較する処理を行うことが好ましい。変位量Ｄ１，Ｄ２と許容値との比較は、コントローラ５１が記憶部５３に保存されたレシピから許容値を読み出すことにより行うことができる。そして、変位量Ｄ１，Ｄ２がともに当該許容値を超えた場合は、通常搬送速度（１００％の搬送速度）および１２０％の搬送速度（第２の搬送速度）のいずれにおいても大きなスリップが発生していることを意味するから、直ちにウエハ保持能力不足と判定するようにしてもよい。この段階でウエハ保持能力不足と判定された場合には、以後の処理（つまりＤ１とＤ２との比較や、差分（Ｄ２−Ｄ１）と基準値との比較）は行わなくてもよい。一方、変位量Ｄ１，Ｄ２の少なくとも一方が許容値より大きくない場合には、上記第１の方法または第２の方法に従って、Ｄ１とＤ２との比較や、差分（Ｄ２−Ｄ１）と基準値との比較を行ってウエハ保持能力を判定することができる。
【００６４】
本実施の形態では、前記のように、偏心量Ｅと回転量Ｒの両方について、それぞれ変位量Ｄ１，Ｄ２を算出してもよい。そして、偏心量Ｅについての変位量Ｄ１，Ｄ２と、回転量Ｒについての変位量Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ別々に比較したり、あるいは差分（Ｄ２−Ｄ１）を求めてもよい。この場合、偏心量Ｅと回転量Ｒのどちらか片方について、Ｄ２＞Ｄ１になるか、あるいは差分（Ｄ２−Ｄ１）が基準値を超えた場合には、ウエハ保持能力不足と判定することができる。また、偏心量Ｅと回転量Ｒのどちらか片方が上記許容値を超えた場合も同様にウエハ保持能力不足と判定することができる。
【００６５】
ステップＳ８の判定結果は、例えば制御部５０のユーザーインターフェース５２のディスプレイに表示することができる。ウエハ保持能力が不十分であるとの判定が出された場合にのみ、警告表示をするようにしてもよい。また、ウエハ保持能力が不十分であるとの判定が出された場合には、例えばアラームによる警報を鳴らして注意喚起を行うようにしてもよい。
【００６６】
なお、本実施の形態では、第１の搬送工程後のウエハ位置測定の結果（ステップＳ３）を利用することによって、第２の搬送工程（ステップＳ５）開始時のウエハ位置測定の工程を省略した。しかし、第２の搬送工程（ステップＳ５）の前に、あらためて位置測定を行う工程を設けることも可能である。
【００６７】
また、第１の搬送工程（ステップＳ２）および第２の搬送工程（ステップＳ５）では、それぞれ区間ａ，ｂ，ｃの経路の搬送を２回以上繰り返し実施してもよい。この場合、区間ａ，ｂ，ｃの経路での搬送を繰り返す途中では、オリエンタ２１にウエハＷを受け渡さず、最終回の搬送終了時にのみオリエンタ２１にウエハＷを受け渡すようにすればよい。
【００６８】
本実施の形態によるウエハ保持能力の判定は、すべてのウエハＷに対して行ってもよいし、例えば同一内容の処理を行うロット単位の第１枚目のウエハＷに対してのみ行ってもよい。
【００６９】
次に、ステップＳ８でウエハ保持能力が不十分であると判定された場合の対処方法について説明する。
ウエハ保持能力の低下原因としては、フォーク２７側に起因するものとして、例えばフォーク２７の支持突起２９（図２参照）の部品が磨耗したり、劣化したりしている場合や、あるいは支持突起２９に汚れなどが付着して、ウエハＷとの間の摩擦係数が低下している場合が考えられる。前者の場合には、例えば支持突起２９の部品交換などフォーク２７のメンテナンス（クリーニングは含まない意味で用いる）を行うことがウエハ保持能力の回復に有効であり、後者の場合には、例えば支持突起２９を含むフォーク２７を、薬液を含む布で払拭するなどのクリーニングを行うことがウエハ保持能力の回復に有効である。
【００７０】
また、ウエハＷ側に起因するウエハ保持能力の低下原因としては、例えばウエハＷ自体の材質や、ウエハＷの裏面に回り込んで成膜された膜の材質によって、ウエハＷとフォーク２７の支持突起２９との間の摩擦係数が小さくなっている場合が挙げられる。このような場合には、例えばウエハＷの搬送速度を通常の搬送速度より低い搬送速度（第３の搬送速度）に設定変更し、搬送過程でスリップが発生しにくい搬送条件にすることが有効である。
【００７１】
図１２から図１４は、本実施の形態のウエハ保持能力の判定方法で、ウエハ保持能力が不十分であると判定された場合の搬送速度の制御例を説明する図面である。ここでは、通常搬送速度に対して第３の搬送速度を８０％の搬送速度に設定した。搬送装置１７によるウエハＷの搬送速度を下げる場合、図１２に示したように、加速度と定速過程の速度の両方を通常搬送速度より小さく設定してもよいし、図１３に示したように、加速度のみを通常搬送速度より小さく設定し、定速過程の速度は通常搬送速度と同じに設定してもよい。フォーク２７上でのウエハＷのスリップは、加速度が加わるときに発生しやすいので、加速度を小さくするだけでもスリップの発生確率を大幅に低減できる。また、図１４に示したように、第３の搬送速度における加速度は通常搬送速度と同じに設定し、定速過程の速度を通常搬送速度より小さく設定してもよい。搬送工程のスループットを大きく損なわず、ウエハ保持能力を適性に維持するために、減速の程度は、例えば通常搬送速度に対して、加速度および／または定速過程の速度を７０〜９０％の範囲内に設定することが好ましく、７５〜８５％の範囲内に設定することがより好ましい。
【００７２】
次に、本発明の効果を確認した実験結果について説明する。図１に示したものと同様の構成の基板処理システム１００において、図７のステップＳ１からステップＳ８の手順で部品交換前後におけるフォーク２７のウエハ保持能力を判定した。第１の搬送工程（ステップＳ２）では静止状態を除く平均搬送速度を通常搬送速度に設定して区間ａ，ｂ，ｃの経路を搬送した。第２の搬送工程（ステップＳ５）では、第１の搬送工程よりも平均搬送速度を１２０％高く設定して区間ａ，ｂ，ｃの経路を搬送した。その結果、部品交換前は、偏心量Ｅに基づく変位量Ｄ１，Ｄ２の差分Ｄ２−Ｄ１が１．０ｍｍ−０．１ｍｍ＝０．９ｍｍであり、基準値の０．５ｍｍを超えていたことから、ウエハ保持能力不足と判定された。同じフォーク２７について、支持突起２９を新品に交換した後、再度ウエハ保持能力を判定したところ、偏心量Ｅに基づく変位量Ｄ１，Ｄ２の差分Ｄ２−Ｄ１が０．３ｍｍ−０．１ｍｍ＝０．２ｍｍであり、基準値の０．５ｍｍを下回ったことから、十分なウエハ保持能力を有する状態に改善された。以上の結果から、ステップＳ１からステップＳ８の手順に従い、ウエハ保持能力を簡単に判定できることが確認された。
【００７３】
［第１の実施の形態の応用例］
第１の実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法は、搬送装置１７のフォーク２７の部品交換要否判定や、フォーク２７のクリーニング要否判定、さらには、ウエハＷの種類や膜種に応じた搬送装置１７による搬送速度の制御に応用できる。これらの判定や制御は、制御部５０のコントローラ５１により行うことができる。
【００７４】
図１５は、ウエハ保持能力の判定方法を利用したフォーク２７の部品交換要否判定方法の概要を示している。まず、ステップＳ１１では、フォーク２７のウエハ保持能力を判定する。このステップＳ１１は、図７のステップＳ１からステップＳ８までと同様の手順で実施できるので説明を省略する。次に、ステップＳ１２では、ウエハ保持能力が十分か否かを確認する。そして、ステップＳ１２でウエハ保持能力が十分であると確認された場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ１３で例えば部品交換は不要である旨をユーザーインターフェース５２のディスプレイに表示したり、あるいは直接搬送装置１７に対し、通常搬送速度での搬送を指令する制御信号を送出する。一方、ステップＳ１２でウエハ保持能力が十分でない（Ｎｏ）と確認された場合には、ステップＳ１４でフォーク２７の支持突起２９の交換を注意喚起する警告メッセージを例えばユーザーインターフェース５２のディスプレイ画面に表示する。このように、ウエハ保持能力の判定方法は、フォーク２７の部品交換要否判定方法として応用できる。
【００７５】
図１６は、ウエハ保持能力の判定方法を利用したフォーク２７のクリーニング要否判定方法の概要を示している。まず、ステップＳ２１では、フォーク２７のウエハ保持能力を判定する。このステップＳ２１は、図７のステップＳ１からステップＳ８までと同様の手順で実施できるので説明を省略する。次に、ステップＳ２２では、ウエハ保持能力が十分か否かを確認する。そして、ステップＳ２２でウエハ保持能力が十分であると確認された場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ２３で例えばクリーニングは不要である旨をユーザーインターフェース５２のディスプレイに表示したり、あるいは直接搬送装置１７に対し、通常搬送速度での搬送を指令する制御信号を送出する。一方、ステップＳ２２でウエハ保持能力が十分でない（Ｎｏ）と確認された場合には、ステップＳ２４でフォーク２７の支持突起２９のクリーニングを実施するように注意喚起のメッセージを例えばユーザーインターフェース５２のディスプレイ画面に表示する。このように、ウエハ保持能力の判定方法は、フォーク２７のクリーニング要否判定方法として応用できる。
【００７６】
図１７は、ウエハ保持能力の判定方法を利用した搬送速度の制御方法の概要を示している。まず、ステップＳ３１では、フォーク２７のウエハ保持能力を判定する。このステップＳ３１は、図７のステップＳ１からステップＳ８までと同様の手順で実施できるので説明を省略する。次に、ステップＳ３２では、ウエハ保持能力が十分か否かを確認する。そして、ステップＳ３２でウエハ保持能力が十分と確認された場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ３３で例えば通常搬送速度での搬送を許可する旨をユーザーインターフェース５２のディスプレイに表示したり、あるいは直接搬送装置１７に対し、通常搬送速度での搬送を指令する制御信号を送出する。一方、ステップＳ３２でウエハ保持能力が十分でない（Ｎｏ）と確認された場合には、ステップＳ３４で例えば通常搬送速度よりも搬送速度を減速するように注意喚起の警告メッセージをユーザーインターフェース５２のディスプレイ画面に表示するか、あるいは、コントローラ５１から搬送装置１７に対して通常搬送速度より遅い搬送速度（第３の搬送速度）での搬送を行うように制御信号を送出する。このように、ウエハ保持能力の判定方法は、搬送装置１７による搬送速度の制御方法として応用できる。
【００７７】
次に、第１の実施の形態のウエハ保持能力の判定方法のさらなる応用例について説明を行う。図１８は、ウエハ保持能力の判定結果に基づき、フォーク２７の部品交換警告、フォーク２７のクリーニング警告、通常搬送速度での搬送許可または減速した搬送速度（第３の搬送速度）での搬送指令を自動的に行う場合の手順の一例を示すフローチャートである。図１８に示したように、まず、ステップＳ４１では、フォーク２７のウエハ保持能力を判定する。このステップＳ４１は、図７のステップＳ１からステップＳ８までと同様の手順で実施できるので説明を省略する。
【００７８】
次に、ステップＳ４２では、ウエハ保持能力が十分か否かを確認する。ステップＳ４２で、ウエハ保持能力が十分であると確認された場合（Ｙｅｓ）には、ステップＳ４３で、コントローラ５１から搬送装置１７に対してレシピに規定された通常搬送速度での搬送を行うように制御信号が送出される。
【００７９】
一方、ステップＳ４２でウエハ保持能力が十分でない（Ｎｏ）と確認された場合には、そのまま搬送を行ってもフォーク２７上で大幅なスリップや、フォーク２７からのウエハＷの落下などの事故が発生する可能性がある。つまり、フォーク２７側の部品交換やクリーニング、あるいはウエハＷの膜種などに応じた搬送速度の調節が必要な状態であると考えられる。そこで、本実施形態では、ステップＳ４２でウエハ保持能力が十分でない（Ｎｏ）と確認された場合には、さらにステップＳ４４で直前（例えば、基板処理システム１００の前回の使用後今回の使用までの間）に、フォーク２７の部品交換を実施した否かを判断する。なお、本実施の形態で「部品交換」とは、フォーク２７の支持突起２９を新品に交換することを意味するものとする。ステップＳ４４の判断は、例えば制御部の記憶部５３に、フォーク２７の部品交換回数、部品交換日時、その内容などの部品交換履歴情報を保存しておき、コントローラ５１がこの部品交換履歴情報を読み出すことにより可能となる。
【００８０】
ステップＳ４４で、直前に部品交換を実施した（Ｙｅｓ）と判断された場合には、ステップＳ４５で、搬送速度の減速指令が出される。例えば、コントローラ５１から搬送装置１７に対してレシピに規定された第３の搬送速度（通常搬送速度の８０％の搬送速度）での搬送を行うように制御信号が送出される。ステップＳ４４で、直前に部品交換を実施した（Ｙｅｓ）と判断された場合には、フォーク２７の支持突起２９が新品の状態にあるため、フォーク２７側には問題はない。従って、ステップＳ４２でウエハ保持能力は十分でない（Ｎｏ）と判断された原因であるスリップの発生はウエハＷ側の要因か、設定された搬送速度が大き過ぎたことによるものと考えられる。従って、信頼性の高い搬送動作を行うためには、搬送速度を下げることが有効である。
【００８１】
一方、ステップＳ４４で直前にフォーク２７の部品交換を実施していない（Ｎｏ）と判断された場合には、さらにステップＳ４６で直前（前記と同様の意味を有する）にフォーク２７のクリーニングを実施した否かが判断される。ステップＳ４６の判断は、例えば制御部５０の記憶部５３に、フォーク２７のクリーニング回数、クリーニング日時、その内容などのクリーニング履歴情報を保存しておき、コントローラ５１がこのクリーニング履歴情報を読み出すことにより可能となる。
【００８２】
ステップＳ４６で直前にクリーニングを実施していない（Ｎｏ）と判断された場合は、ステップＳ４７でフォーク２７の支持突起２９のクリーニングまたは部品交換を実施するように注意喚起の警告メッセージを例えばユーザーインターフェース５２のディスプレイ画面に表示する。直前にクリーニングがされておらず（ステップＳ４６でＮｏ）、さらに直前に部品交換も実施されていない（ステップＳ４４でＮｏ）ことを考えると、クリーニングまたは部品交換によってウエハ保持能力を回復できる蓋然性が高いからである。
【００８３】
一方、ステップＳ４６で直前にクリーニングを実施した（Ｙｅｓ）と判断された場合は、ステップＳ４８で、部品交換警告のメッセージおよび搬送装置１７による搬送速度の減速警告のメッセージを、例えばユーザーインターフェース５２のディスプレイ画面に表示する。部品交換と搬送速度の減速のどちらかを選択するかは、基板処理システム１００の工程管理者が決定することができる。このステップＳ４８で部品交換警告の表示および搬送速度の減速警告の表示を行う理由は以下のとおりである。直前にフォーク２７のクリーニングを実施している場合は、ウエハ保持能力が十分でないことの原因として、フォーク２７に汚れ等が付着していることは考えにくい。そのため、ウエハ保持能力が十分でない原因の一つとしては、前回の部品交換から時間があいてフォーク２７の支持突起２９が磨耗、損傷などしていることが考えられる。この場合は、部品交換によりウエハ保持能力を回復できる可能性が高い。しかし、直前にクリーニングを実施している場合にウエハ保持能力が十分でないことの別の原因として、フォーク２７側には問題がなく、スリップがウエハＷ側の要因か、設定搬送速度が大きすぎることを要因として発生していることも考えられる。このような場合には、信頼性の高い搬送動作を行うためには、搬送速度を下げることが有効であると考えられる。
【００８４】
以上説明したとおり、本実施の形態では、ウエハ保持能力の判定結果を基礎にして、部品交換履歴情報とクリーニング履歴情報を判断材料にして部品交換の要否およびクリーニングの要否ならびに搬送速度減速の要否を判断するようにした。このように、ウエハ保持能力の判定方法は、フォーク２７の部品交換およびクリーニングの要否判定処理、ならびに、搬送装置１７による搬送速度の制御処理に関する一連の手順にも応用できる。なお、図１８に示した手順に限らず、様々な変形が可能であることは言うまでもない。また、上記部品交換要否判定、クリーニングの要否判定および搬送速度の減速の要否判定（図１５から図１８）は、すべてのウエハＷに対して行ってもよいし、同一内容の処理を行うロット単位の第１枚目のウエハＷに対してのみ行ってもよい。
【００８５】
［第２の実施の形態］
まず、図１９は、第２の実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法の手順の概略を示すフローチャートである。また、図２０は、基板処理システム１００における搬送経路を示す説明図である。なお、基板処理システム１００の構成は、第１の実施の形態で説明したもの（図１）と同様であるが、図２０では搬送経路を示す目的から基板処理システム１００の構成を部分的に省略し、簡略化して図示した。
【００８６】
第１の実施の形態では、搬送装置１７のフォーク２７についてウエハ保持能力を判定したが、本実施の形態では、真空側搬送室３に配備された搬送装置９のフォーク１３（図１参照）についてウエハ保持能力を判定する。なお、以下に説明するステップＳ５１〜ステップＳ５８は、搬送経路が異なる点以外は第１の実施の形態と同様であるため、異なる部分を中心に説明し、同一内容については説明を省略する。
【００８７】
まず、ステップＳ５１では、オリエンタ２１へウエハＷを搬入し、回転板３３に載置してウエハＷの位置測定を行う。オリエンタ２１における位置測定は、例えばウエハＷの偏心量Ｅ、偏心方向および回転量Ｒについて行う（以下、ステップＳ５３、ステップＳ５６において同様である）。
【００８８】
次に、ステップＳ５２では、ウエハＷをオリエンタ２１から搬出し、図２０に示した区間ｄ，ｅ，ｆ，ｇの順に搬送する（第１の搬送工程）。まず、搬送装置１７のフォーク２７により、オリエンタ２１の回転板３３から正規の保持位置となるようにウエハＷを受け取り、片方のロードロック室５ａへ搬送し、載置台６ａに受け渡す（経路ｄ）。次に、搬送装置９のフォーク１３によってロードロック室５ａからウエハＷを取り出し、処理チャンバ１ｂへ搬送する（経路ｅ）。本実施の形態では、処理チャンバ１ｂ内でフォーク１３から載置台２ｂへのウエハＷの受け渡しは行わないが、載置台２ｂにウエハＷを受け渡してもよい。次に、搬送装置９のフォーク１３にウエハＷを保持した状態で片方のロードロック室５ａまで搬送し、載置台６ａにウエハＷを受け渡す（経路ｆ）。次に、搬送装置１７を用いてウエハＷをロードロック室５ａの載置台６ａから受け取り、オリエンタ２１へ搬送し、回転板３３に載置する（経路ｇ）。区間ｄ，ｅ，ｆ，ｇは、基板処理システム１００においてウエハＷの処理を行う場合の一般的な搬送手順に準じた経路であり、搬送装置９の搬送アーム部１１や搬送装置１７の搬送アーム部２５の屈伸動作や旋回動作、その際に発生する加速度を、現実の搬送に模して行うことができる。
【００８９】
本ステップＳ５２で、搬送装置９および搬送装置１７を用いて経路ｄ〜ｇを搬送させるときの搬送速度は、加速度も含めて通常の処理における搬送速度（第１の搬送速度）に設定する。なお、「搬送速度」には、搬送装置１７がガイドレール２３に沿ってＸ方向へ移動する際のフォーク２７の速度と、搬送装置９の搬送アーム部１１や、搬送装置１７の搬送アーム部２５が屈伸、旋回等の動作を行う際のフォーク１３，２７の速度との両方が含まれる。
【００９０】
本実施の形態では、第１の搬送工程において、オリエンタ２１の回転板３３からウエハＷを受け取った後、再びオリエンタ２１の回転板３３にウエハＷを受け渡すまでの間に、搬送装置１７のフォーク２７からロードロック室５ａの載置台６ａへの受け渡し、この載置台６ａから搬送装置９のフォーク１３への受け渡し、このフォーク１３からロードロック室５ａの載置台６ａへの受け渡し、および、この載置台６ａから搬送装置１７のフォーク２７への受け渡し、の４回の受け渡し動作を含んでいる。
【００９１】
次に、ステップＳ５３では、オリエンタ２１の回転板３３に再び戻されたウエハＷの位置測定を行う。そして、ステップＳ５４では、ステップＳ５３の位置測定の結果に基づき、第１の搬送工程におけるウエハＷの位置ずれによる変位量Ｄ３を算出する。第１の搬送工程（ステップＳ５２）の開始時には、搬送装置１７のフォーク２７が正規の保持位置でウエハＷを受け取っているから、第１の搬送工程の間にスリップや受け渡し時の位置ずれが生じなければ、変位量Ｄ３はゼロ（許容マージン以下である場合を含む）になるはずである。しかし、第１の搬送工程の間にフォーク１３上でウエハＷにスリップが発生したり、受け渡し時に位置ずれが発生した場合には、その際の変位量Ｄ３は、ステップＳ５３の測定結果においてオリエンタ２１における正規の載置位置に対する偏心量Ｅおよび／または基準方位に対する回転量Ｒとして計測される。計測された変位量Ｄ３は制御部５０の記憶部５３に保存される。
【００９２】
次に、ステップＳ５５では、搬送装置９および搬送装置１７を用い、ステップＳ５２と同じ経路での搬送を再び行う（第２の搬送工程）。すなわち、オリエンタ２１の回転板３３から搬送装置１７のフォーク２７に、正規の保持位置でウエハＷを受け取り、フォーク２７上にウエハＷを載置した状態で、経路ｄ，ｅ，ｆ，ｇの順に搬送し、再びオリエンタ２１へ戻す。ただし、ステップＳ５５において、搬送装置９を用いて経路ｅと経路ｆを搬送させるときの搬送速度は、第１の搬送速度（通常の処理における搬送速度）よりも大きな第２の搬送速度（例えば１２０％の搬送速度）に設定する。搬送装置１７を用いて経路ｄと経路ｇを搬送させるときの搬送速度は、ステップＳ５２と同じ（第１の搬送速度）に設定する。
【００９３】
この第２の搬送工程は、搬送装置９による搬送速度を大きく設定した点以外は、ステップＳ５２の第１の搬送工程と全く同様に行う。第２の搬送工程では、第１の実施の形態と同様に、加速・減速過程の加速度と定速過程の速度の両方を第１の搬送速度より大きく設定してもよいし、加速度のみを第１の搬送速度より大きく設定し、定速過程の速度は第１の搬送速度と同じ速度に設定してもよく、さらに定速過程の速度を第１の搬送速度より大きく設定し、加速度は第１の搬送速度と同じに設定してもよい（図９から図１１参照）。また、第２の搬送工程では、区間ｅ，ｆの両方を第２の搬送速度に設定してもよいし、区間ｅ，ｆのいずれか片方の区間のみを第２の搬送速度に設定し、他方の区間は第１の搬送速度と同じに設定してもよい。さらに、例えば搬送装置９の搬送アーム部１１の屈伸動作のみ、あるいは旋回動作のみというように、特定の動作についてのみ第２の搬送速度に設定してもよい。また、第１の搬送速度と第２の搬送速度の設定を容易にするため、区間ｅ，ｆにおけるウエハＷの総移動距離を、静止状態を除く搬送時間（定速過程と加速・減速過程を含む）で除した平均速度に基づいて、第１の搬送速度に対して第２の搬送速度が大きくなるように設定してもよい。第２の搬送速度の大きさは、第１の実施の形態と同様に定めることができる（図９から図１１参照）。
【００９４】
次に、ステップＳ５６では、オリエンタ２１の回転板３３に再び戻されたウエハＷの位置測定を行う。そして、ステップＳ５７では、ステップＳ５６の位置測定の結果と、オリエンタ２１における正規の載置位置とを照合して、変位量Ｄ４を算出する。第２の搬送工程（ステップＳ５５）の開始時には、搬送装置１７のフォーク２７が正規の保持位置でウエハＷを受け取っているから、第２の搬送工程の間にスリップや受け渡し時の位置ずれが生じなければ、変位量Ｄ４はゼロ（許容マージン以下である場合を含む）になるはずである。しかし、第２の搬送工程の間に、例えばフォーク１３上でウエハＷにスリップが発生したり、受け渡し時に位置ずれが発生した場合には、変位量Ｄ４は、ステップＳ５５の測定結果においてオリエンタ２１における正規の載置位置に対する偏心量Ｅおよび／または回転量Ｒとして計測される。計測された変位量Ｄ４は制御部５０の記憶部５３に保存される。
【００９５】
次に、ステップＳ５８では、上記のステップＳ５４で得られた変位量Ｄ３と、ステップＳ５７で得られた変位量Ｄ４とを比較することにより、搬送装置９のフォーク１３によるウエハ保持能力を判定する。この判定は、制御部５０のコントローラ５１によって行われる。変位量Ｄ３とＤ４を比較する方法は、第１の実施の形態と同様であり、例えば上記第１の方法および第２の方法により比較できる。ただし、本実施の形態では、以下の理由から、第２の方法によることが好ましい。
【００９６】
本実施の形態では、搬送装置９による経路ｅ、ｆの搬送速度のみを第１の搬送工程と第２の搬送工程で変化させたことにより、搬送装置９のフォーク１３でのスリップを検出し、フォーク１３のウエハ保持能力を判定することができる。第１の搬送工程と第２の搬送工程との間で、搬送装置１７による搬送動作および搬送速度は同一であるから、仮に区間ｄ，ｇにおいて搬送装置１７のフォーク２７上でスリップが発生したとしても、第１の搬送工程と第２の搬送工程との同じ場所で、同じ量のスリップが生じる蓋然性が高い。従って、変位量Ｄ４とＤ３との差分Ｄ４−Ｄ３を求めることにより、区間ｄ，ｇにおいて搬送装置１７のフォーク２７上で発生したスリップは相殺できる可能性が高いものと考えられる。
【００９７】
また、本実施の形態では、経路ｄ〜ｇの途中でウエハＷの受け渡しを計４回含んでおり、受け渡しの際に誤差としての「位置ずれ」が発生する可能性がある。しかし、第１の搬送工程と第２の搬送工程では、同じ受け渡し動作が同じ回数含まれるので、仮に受け渡し時に位置ずれが生じたとしても、第１の搬送工程と第２の搬送工程の同じ受け渡し場所で同じずれ量で位置ずれが生じる蓋然性が高い。従って、変位量Ｄ４とＤ３との差分Ｄ４−Ｄ３を求めることにより、ウエハＷを受け渡す際に発生した位置ずれは相殺できる可能性が高いものと考えられる。
【００９８】
以上のことから、本実施の形態では、ステップＳ５１からステップＳ５８までの工程を実施することにより、第１の搬送工程と第２の搬送工程との間で条件を変えて搬送を行った搬送装置９による経路ｅ，ｆの搬送過程でのフォーク１３によるウエハ保持能力を簡単に判定することができる。
【００９９】
なお、基板処理システム１００において、真空側搬送室３の内部または真空側搬送室３に隣接するようにオリエンタ２１と同様の位置測定装置を設けてもよい。この場合は、搬送装置１７を介さず、搬送装置９のみを使用してフォーク１３のウエハ保持能力を判定することができる。
【０１００】
本実施の形態におけるその他の構成、作用および効果は、第１の実施の形態と同様である。また、第１の実施の形態と同様に、本実施の形態のウエハ保持能力の判定方法は、フォーク１３の部品交換の要否判定方法や、フォーク１３のクリーニングの要否判定方法、さらには、搬送装置９による搬送速度の制御方法として応用できる（図１５〜図１８参照）。また、本実施の形態によるウエハ保持能力の判定は、すべてのウエハＷに対して行ってもよいし、例えば同一内容の処理を行うロット単位の第１枚目のウエハＷに対してのみ行ってもよい。
【０１０１】
以上、本発明の実施形態を述べたが、本発明は上記実施形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、フォークの支持突起にウエハＷを載置し、摩擦力で保持する形式の保持部材を例に挙げたが、例えばフォークに吸引機構を備え、吸引力によりウエハＷを保持する形式の保持部材に対しても、本発明の基板保持能力の判定方法を適用できる。また、搬送装置のアーム部の形状や動作機構が異なる場合でも本発明の基板保持能力の判定方法を適用できる。
【０１０２】
また、上記実施の形態では、真空側搬送室に隣接した４つの処理チャンバを備えた基板処理システムを例に挙げて説明したが、本発明の基板保持能力の判定方法は、異なる構成のクラスタツールや、単一の処理装置を備えた基板処理システムにも適用可能である。
【０１０３】
また、本発明の基板保持能力の判定方法は、例えば液晶表示装置、有機ＥＬディスプレイ等に用いられる大型のガラス基板等を搬送する基板搬送装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】基板処理システムの概略構成図である。
【図２】フォークの概略構成を示す斜視図である。
【図３】オリエンタの概略構成を示す説明図である
【図４】オリエンタでのウエハの偏心と回転の状態を示す説明図である。
【図５】基板処理システムにおける制御系統の概略構成を示すブロック図である。
【図６】フォーク上でのウエハの位置ずれの状態を示す説明図である。
【図７】第１の実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法の手順を示すフロー図である。
【図８】第１の実施の形態のウエハ保持能力の判定方法におけるウエハの搬送経路を示す説明図である。
【図９】第２の搬送速度の設定例を示す説明図である。
【図１０】第２の搬送速度の別の設定例を示す説明図である。
【図１１】第２の搬送速度のさらに別の設定例を示す説明図である。
【図１２】第３の搬送速度の設定例を示す説明図である。
【図１３】第３の搬送速度の別の設定例を示す説明図である。
【図１４】第３の搬送速度のさらに別の設定例を示す説明図である。
【図１５】ウエハ保持能力の判定方法を部品交換要否の判定に適用した場合の手順の一例を示すフロー図である。
【図１６】ウエハ保持能力の判定方法をクリーニング要否の判定に適用した場合の手順の一例を示すフロー図である。
【図１７】ウエハ保持能力の判定方法を搬送速度の制御に適用した場合の手順の一例を示すフロー図である。
【図１８】ウエハ保持能力の判定方法を利用した、部品交換およびクリーニングの要否ならびに搬送速度制御の決定手順の一例を示すフロー図である。
【図１９】第２の実施の形態に係るウエハ保持能力の判定方法の手順を示すフロー図である。
【図２０】第２の実施の形態のウエハ保持能力の判定方法におけるウエハの搬送経路を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…処理チャンバ、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ…載置台、３…真空側搬送室、５ａ，５ｂ…ロードロック室、６ａ，６ｂ…載置台、７…ローダーユニット、９…搬送装置、１１…搬送アーム部、１３…フォーク、１７…搬送装置、１９…大気側搬送室、２１…オリエンタ、２３…ガイドレール、２５…搬送アーム部、２７…フォーク、２９…支持突起、３１…駆動モータ、３３…回転板、３５…光学センサ、３７…光源部、３９…受光部、４１…演算部、５０…制御部、５１…コントローラ、５２…ユーザーインターフェース、５３…記憶部、６０…切り欠き部分、１００…基板処理システム、ＣＲ…ウエハカセット、Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３…ゲートバルブ、ＬＰ…ロードポート、Ｗ…半導体ウエハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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