(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、該弁機構体を作動させるアクチュエータ部と、該アクチュエータ部と駆動源とを接続する配線を通す配線挿通部とを備えたバルブ内における、前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出するガスをパージする方法であって、
前記アクチュエータ部内外を連通する気体流通部を設け、
前記配線挿通部よりパージ用気体をアクチュエータ部内に送り、そのパージ用気体を前記気体流通部から排出する
ことを特徴とするバルブにおけるガスパージ方法。
【請求項２】
被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本体と、
被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、
前記弁機構体を作動させるアクチュエータ部と、
前記アクチュエータ部と駆動源とを接続する配線を通す配線挿通部と、
前記アクチュエータ部内外を連通するように設けられた気体流通部と、
前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出するガスをパージするためのパージ用気体を供給するための気体供給部とを備えるバルブにおいて、
前記気体供給部からのパージ用気体を前記配線挿通部よりアクチュエータ部内に送り、該パージ用気体を前記気体流通部から排出するように構成された
ことを特徴とするバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項３】
弁機構体がダイヤフラム部を有するものからなり、前記ボディ本体側から前記ダイヤフラム部の膜部を介してアクチュエータ部側へ透過又は漏出したガスをパージ用気体によりパージする請求項２に記載のバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項４】
アクチュエータ部が電磁アクチュエータにより構成されている請求項２又は３に記載のバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項５】
アクチュエータ部内外を連通する気体流通部が複数設けられた請求項２ないし４の何れか一項に記載のバルブにおけるガスパージ構造。
【請求項６】
バルブがサックバック機構を備えた開閉弁である請求項２ないし５の何れか一項に記載のバルブにおけるガスパージ構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の制御に使用されるバルブにおけるガスパージ方法及び構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、腐食性流体，有機溶剤，オゾン水，電解水，ガス等、各種の流体を所定状態に制御（調節又は切り替えを含む。以下、同じ。）するために使用される減圧弁，背圧弁，安全弁，開度調節弁，混合比率調節弁，開閉弁等のバルブとしては、被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、該弁機構体を作動させるアクチュエータ部とを備えたものがある。前記弁機構体を作動させるアクチュエータ部として、電磁力を利用する電磁アクチュエータを用いることがあり、その場合にはアクチュエータ部と駆動源とを接続する導線やハーネス等の配線を通す配線挿通部が設けられる。なお、調圧気体（主に加圧気体）を利用するエアオペレイト方式を採用して、弁機構体を作動させることもあるが、その場合には調圧気体の圧縮性等に起因して応答性が悪いといった不利な面がある。
【０００３】
ところで、上記電磁アクチュエータ等のアクチュエータ部を備えるバルブにおいては、ボディ本体のチャンバ内を流通する被制御流体（気体の場合）或いは該被制御流体中のガスがアクチュエータ部側へ透過又は漏出する現象が生じることがある。その場合、前記ガスが原因でアクチュエータ部や駆動源の構成部品（主に電気部品）や配線等が腐食する等の不都合が生じるおそれがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はこのような状況に鑑みなされたもので、ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出するガスをパージ（除去）してアクチュエータ部や駆動源の構成部品や配線等を保護することができるバルブにおけるガスパージ方法及び構造を提供する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
すなわち、請求項１の発明は、被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、該弁機構体を作動させるアクチュエータ部と、該アクチュエータ部と駆動源とを接続する配線を通す配線挿通部とを備えたバルブ内における、前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出するガスをパージする方法であって、前記アクチュエータ部内外を連通する気体流通部を設け、前記配線挿通部よりパージ用気体をアクチュエータ部内に送り、そのパージ用気体を前記気体流通部から排出することを特徴とするバルブにおけるガスパージ方法に係る。
【０００６】
請求項２の発明は、被制御流体が流通するチャンバを有するボディ本体と、被制御流体の制御のために前記ボディ本体内で作動する弁機構体と、前記弁機構体を作動させるアクチュエータ部と、前記アクチュエータ部と駆動源とを接続する配線を通す配線挿通部と、前記アクチュエータ部内外を連通するように設けられた気体流通部と、前記ボディ本体側からアクチュエータ部側へ透過又は漏出するガスをパージするためのパージ用気体を供給するための気体供給部とを備えるバルブにおいて、前記気体供給部からのパージ用気体を前記配線挿通部よりアクチュエータ部内に送り、該パージ用気体を前記気体流通部から排出するように構成されたことを特徴とするバルブにおけるガスパージ構造に係る。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項２において、弁機構体がダイヤフラム部を有するものからなり、前記ボディ本体側から前記ダイヤフラム部の膜部を介してアクチュエータ部側へ透過又は漏出したガスをパージ用気体によりパージするバルブにおけるガスパージ構造に係る。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項２又は３において、アクチュエータ部が電磁アクチュエータにより構成されているバルブにおけるガスパージ構造に係る。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項２ないし４の何れか一項において、アクチュエータ部内外を連通する気体流通部が複数設けられたバルブにおけるガスパージ構造に係る。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項２ないし５の何れか一項において、バルブがサックバック機構を備えた開閉弁であるバルブにおけるガスパージ構造に係る。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下添付の図面に従って本発明を詳細に説明する。図１は本発明の一実施例に係るバルブを示す断面図、図２は他の実施例に係るバルブを示す断面図、図３はさらに他の実施例に係るバルブを示す断面図、図４はさらに他の実施例に係るバルブを示す断面図である。
【００１２】
図１に示すバルブ１０は、本発明の一実施例に係るもので、一次側の流体の圧力変動に対応して二次側の流体の圧力を所定状態に制御するための、圧力制御弁（減圧弁）として使用されるものである。このバルブ１０は、ボディ本体１１と、弁機構体２０と、アクチュエータ部６０と、配線挿通部８０と、気体流通部９０，９１と、気体供給部９５とを備えている。なお、当該バルブ１０により制御される被制御流体としては、純水，腐食性流体，有機溶剤，オゾン水，電解水，ガス等、各種の流体が挙げられる。
【００１３】
ボディ本体１１は、本実施例ではフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成され、被制御流体のための流入部１３を有する第一チャンバ１２と、被制御流体のための流出部１５を有する第二チャンバ１４と、前記第一チャンバ１２及び第二チャンバ１４に連通しかつ弁座１８が形成された連通流路１７を有している。この連通流路１７において、後述する弁機構体２０の作動によって、該弁機構体２０の弁部２２と弁座１８との間の開口量が変化して、一次側（流入部１３側）から二次側（流出部１５側）へ流通する被制御流体の流量（二次側圧力）が制御される。本実施例のボディ本体１１は、第一ブロック１１ａ，第二ブロック１１ｂに分割され、これらと後述するアクチュエータ部６０のカバーケース６１とをボルト等の適宜の固定部材により一体に組み付けて構成されている。また、前記流入部１３には流入用配管が、前記流出部１５には流出用配管がそれぞれ接続される。
【００１４】
弁機構体２０は、ボディ本体１１と同様に、本実施例ではフッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成される。実施例の弁機構体２０は、請求項３の発明に規定したように、前記連通流路１７内に進退自在に挿通されるロッド部２１と、前記第一チャンバ１２内（流入部１３側）に配される第一ダイヤフラム部３０と、前記第二チャンバ１４内（流出部１５側）に配される第二ダイヤフラム部４０とを含んでいる。
【００１５】
ロッド部２１は、前記弁座１８を開閉する弁部２２を有している。本実施例では、前記弁部２２は、第一チャンバ１２側に位置するようにロッド部２１外周面に突出して形成されている。また、本実施例では、前記弁部２２の表面はテーパ面にて形成されている。また、第一ダイヤフラム部３０は、前記ロッド部２１の第一チャンバ側端部に設けられ、ダイヤフラム面である薄肉の膜部（可動部）３１と、その外周側の外周シール部３２を有している。さらに、第二ダイヤフラム部４０は、前記ロッド部２１の第二チャンバ側端部に設けられ、ダイヤフラム面である薄肉の膜部（可動部）４１と、その外周側の外周シール部４２を有している。本実施例では、前記第一ダイヤフラム部３０の膜部３１の外径（ダイヤフラム有効径）は、第二ダイヤフラム部４０の膜部４１の外径（ダイヤフラム有効径）よりも小さくされている。
【００１６】
前記第一ダイヤフラム部３０及び第二ダイヤフラム部４０は、それらの外周シール部３２及び４２がボディ本体１１に固定されて、前記第一チャンバ１２内又は第二チャンバ１４内にそれぞれ配されている。実施例では、図示のように、第一ダイヤフラム部３０は、その外周シール部３２がボディ本体１１の第一ブロック１１ａと第二ブロック１１ｂ間に挟着されて固定されている。これに対して、第二ダイヤフラム部４０は、その外周シール部４２がボディ本体１１の第二ブロック１１ｂとアクチュエータ部６０のカバーケース６１間に挟着されて固定されている。
【００１７】
前記第一ダイヤフラム部３０によって、前記第一チャンバ１２は、第一ダイヤフラム部３０内側の弁座１８より上流側で、前記流入部１３を含む第一弁室５１と、第一ダイヤフラム部３０外側の第一調圧室５２とに区分される。また、前記第二ダイヤフラム部４０によって、前記第二チャンバ１４は、第二ダイヤフラム部４０内側の弁座１８より下流側で、前記流出部１５を含む第二弁室５５と、第二ダイヤフラム部４０外側の第二調圧室５６とに区分される。
【００１８】
ここで、前記第二ダイヤフラム部４０の膜部４１を介して、前記第二弁室５５内を流通する被制御流体（気体の場合）或いは該被制御流体中のガスがアクチュエータ部６０側（第二調圧室５６側）へ漏出又は透過するおそれがある。
【００１９】
また、本実施例においては、前記弁機構体２０のロッド部２１が第二ダイヤフラム部４０に一体に設けられ、前記ロッド部２１に第一ダイヤフラム部３０が螺着固定されている。なお、この例とは逆にロッド部２１が第一ダイヤフラム部３０に一体に設けられ、前記ロッド部２１に第二ダイヤフラム部４０が螺着固定されるようにしても良いし、各部がそれぞれ螺着固定されるようにしても良いし、さらには各部が一体形成されても良い。また、特開２０００−１９３１０６号記載のバルブの如く、前記ロッド部２１を互いに分離及び遊嵌結合可能な二つの部材で構成するようにしても良い。
【００２０】
さらに、本実施例では、前記第二ダイヤフラム部４０の外側（図では上側）に、後述のアクチュエータ部６０の作動部材６４に連結される連結軸部４５が立設されている。
【００２１】
前記弁機構体２０を作動（図では上下移動）させるアクチュエータ部６０は、前記ボディ本体１１の第二ブロック１１ｂの外側（上側）に設けられる。本実施例におけるアクチュエータ部６０は、請求項４の発明に規定したように、電磁力を利用する電磁アクチュエータにより構成されている。図示の符号６１は前記ボディ本体１１の第二ブロック１１ｂの上側に組み付けられるカバーケース、６２は金属カバー、６３はコイル、６４はコイル６３に電流を流すことによって発生する電磁力によって進退し前記弁機構体２０の連結軸部４５に連結結合（螺着）される作動部材、６５は駆動源（駆動出力電源）、Ｌはコイル６３と駆動源６５とを接続する導線（電線，コード等）やハーネス等の配線、６１ｏは配線Ｌを挿通するためにカバーケース６１に形成された挿通穴、６１ｒはカバーケース６１内と第二調圧室５６とを連通し後述のパージ用気体を通すための連通穴、６２ｏは配線Ｌを挿通するために金属カバー６２に形成された挿通穴である。なお、アクチュエータ部６０は、ムービングコイル，ノーマルクローズ（ＮＣ），ノーマルオープン（ＮＯ）を問わない。また、コイル（ソレノイド）と磁性体（磁石）を併用する構成としても良い。さらには、アクチュエータ部６０は電磁アクチュエータに限定されるものではない。
【００２２】
前記アクチュエータ部６０によって、前記第二ダイヤフラム部４０は所定方向に所定圧力で調圧（主に内向き（図では下向き）に加圧）されるようになっている。また、この実施例では、前記第一ダイヤフラム部３０の外側の第一調圧室５２内には、前記第一ダイヤフラム部３０を外側（下側）から押圧する進退自在な押圧部材７１と、該押圧部材７１を第一ダイヤフラム部方向（図では上方）へ付勢する所定バネ定数のスプリング等の付勢部材７２とが配設され、当該押圧部材７１及び付勢部材７２によって、第一ダイヤフラム部３０が調圧される、ここでは常時一定の調圧圧力が第一ダイヤフラム部３０に加わるように構成されている。図示の例では、前記押圧部材７１は前記第一ダイヤフラム部３０に係着されていると共に、前記付勢部材７２は第一調圧室５２内壁と押圧部材６１との間に装着されている。前記第一ダイヤフラム部３０を調圧する構成は、上記例示のものに限定されず、加圧気体を採用したり、ソレノイド（電磁石）等を採用してもよい。図中の符号７３は第一調圧室５２内の空気の出入りを行う呼吸路を表す。
【００２３】
配線挿通部８０は、前記アクチュエータ部６０のコイル６３と駆動源６５とを接続する配線Ｌを通すためのものであって、本実施例の配線挿通部８０は、配線Ｌが挿通される保護チューブ８１と継ぎ手本体８３と袋ナット８４とを備え、前記保護チューブ８１の拡径端部８２を継ぎ手本体８３に装着し袋ナット８４で圧締することによって、アクチュエータ部６０のカバーケース６１に取り付けられている。勿論、配線挿通部８０を取り付ける構造は、上記継ぎ手構造に限定されない。
【００２４】
気体流通部９０，９１は、アクチュエータ部６０内（前記第二ダイヤフラム部４０外側の第二調圧室５６を含む。以下、同じ。）へのパージ用気体（エア）を供給するため或いはアクチュエータ部６０内に供給されたパージ用気体を排出するためのものであって、前記アクチュエータ部６０内外を連通するように、アクチュエータ部６０のカバーケース６１又はボディ本体１１に設けられる。なお、前記気体流通部９０，９１の配設位置は、上記例に限らない。
【００２５】
本実施例においては、請求項５の発明に規定したように、前記気体流通部９０，９１は２つ設けられている。具体的には、前記アクチュエータ部６０のカバーケース６１のボディ本体１１近傍に、前記第二調圧室５６内とバルブ外部とを連通する第一気体流通部９０が設けられていると共に、前記カバーケース６１の外側端（前記配線挿通部８０が配設された端、図では上端）にカバーケース６１内とバルブ外部とを連通する第二気体流通部９１が設けられている。
【００２６】
気体供給部９５は、前記ボディ本体１１側からアクチュエータ部６０側へ透過又は漏出するガスをパージするパージ用気体（空気やＮ2ガス等）を供給するためのもので、コンプレッサ等で構成される。なお、気体供給部９５はバルブ（ボディ本体１１或いはアクチュエータ部６０）と一体的に設けても良いし、別々に設けても良い。
【００２７】
上記構造のバルブ１０においては、前記アクチュエータ部６０及び押圧部材７１，付勢部材７２によって、弁機構体２０に対して、その第一ダイヤフラム部３０及び第二ダイヤフラム部４０を介して、常時内向きの調圧圧力が加えられている。そして、通常の制御状態（通水状態）では、前記内向きの調圧圧力は、被制御流体が所定圧力（所定流量）のとき釣り合いを保つように構成されていて、弁機構体２０の弁部２２と弁座１８との間の開口量は一定間隔に保たれている。これによって、流入部１３側（一次側）から第一弁室５１を経て第二弁室５５内に流入した被制御流体は所定の流量だけ流出部１５側（二次側）へ流出される。
【００２８】
流入部１３側（一次側）において被制御流体に何らかの変化があると、その変化は一次側の圧力変動として現れ、前記第二設定圧力が加えられている弁機構体２０の第二ダイヤフラム部４０に対する背圧（外向きの圧力）変動として現れる。この一次側の外向きの変動圧力と前記アクチュエータ部６０及び押圧部材７１，付勢部材７２による内向きの調圧圧力とが釣り合いを保とうとして、弁機構体２０が変動し、それに伴って弁部２２が位置移動し、弁部２２と弁座１８間の開口量が変化して、被制御流体の圧力（流量）が制御される。
【００２９】
これに対して、二次側の圧力が高くなった場合、背圧すなわち弁機構体２０の各ダイヤフラム部３０，４０に作用する外向きの圧力は、通常制御状態に比して高くなる。その結果、第二ダイヤフラム部４０は外向きに移動し、それに伴って弁部２２及び第一ダイヤフラム部３０は第二ダイヤフラム部４０側に移動し、弁座１８に弁部２２が当接して連通流路１７が閉じられる。
【００３０】
次に、上記構成のバルブ１０におけるガスパージ方法の一例について説明する。この例では、前記気体供給部９５からのパージ用気体Ａｐを前記配線挿通部８０の保護チューブ８１の先端口８１ａ、及び第一気体流通部９０を介してアクチュエータ部６０内（前記第二ダイヤフラム部４０外側の第二調圧室５６を含む。）に送り、そのパージ用気体Ａｐをアクチュエータ部６０内で循環させ、その循環させたパージ用気体Ａｐを第二気体流通部９１から排出することによって、前記ボディ本体１１側からアクチュエータ部６０側へ漏出又は透過するガスをパージする。
【００３１】
このようにガスパージを行うようにすれば、アクチュエータ部６０内、特には金属カバー６２内（コイル６３付近）にもパージ用気体Ａｐを効率的に循環させることができ、アクチュエータ部６０内に漏出又は透過したガスを確実にパージすることができ、アクチュエータ部６０の構成部品や駆動源６５の構成部品（主に電気部品）や配線等を保護することができる。その結果、強酸，強アルカリ，高濃度オゾン等の性質を有する流体を制御する場合に好適である。
【００３２】
なお、前記パージ用気体Ａｐを排出する第二気体流通部９１と、作業場（工場等）内に設置された不要流体排出路（作業場内雰囲気とは隔離された排出路）等とを配管を介して接続すれば、前記アクチュエータ部６０側へ漏出又は透過したガスが作業場内の雰囲気に影響を及ぼすのを防ぐことができる。
【００３３】
ここで、上記実施例ではアクチュエータ部６０内外を連通する気体流通部９０，９１は２つ設けられているが、これに限らず、３つ以上設けられるようにしても良いし、或いは図２に示すように気体流通部９０を１つだけ設けるようにしても良い。図２に示すバルブ１０Ａでは、前記気体供給部９５からのパージ用気体Ａｐを前記配線挿通部８０の保護チューブ８１の先端口８１ａを介してアクチュエータ部６０内に送り、そのパージ用気体Ａｐをアクチュエータ部６０内で循環させ、その循環させたパージ用気体Ａｐを気体流通部９０から排出することによって、前記ボディ本体１１側からアクチュエータ部６０側へ漏出又は透過するガスがパージされる。このようにすれば、ガスパージ効果を得ることができ、しかも、構造が簡単になる（コンパクト化）と共に、コストを低減できる利点がある。
【００３４】
なお、本発明は、上記二つの実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の一部を適宜に変更して実施することができる。例えば、上記各実施例では、２つのダイヤフラム部が設けられた弁機構体を有しているが、これに限らず、弁機構体に１つ或いは３つ以上のダイヤフラム部が設けられたバルブについても、本発明を適用することができる。また、ダイヤフラム部を有しないバルブにも本発明を適用することができる。
【００３５】
また、上記実施例のバルブは、二次側の流体を所定の圧力状態に制御するために使用される圧力制御弁とされているが、この圧力制御弁に限らず、本発明は一次側の流体を所定の圧力状態に制御する圧力制御弁（背圧弁や安全弁とも称される。）や、開閉弁，開度調節弁，混合比率調節弁等、各種のバルブに広く適用することができる。
【００３６】
図３に示す開閉弁１０Ｂは、本発明を適用した開閉弁（バルブ）であって、請求項６の発明に規定したように、サックバック機構を備えている。なお、この開閉弁１０Ｂは、ボディ本体１００，弁機構体１１０を除き、上記実施例のバルブ１０，１０Ａと概ね同じ構成とされているため、該バルブ１０，１０Ａと同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。図のボディ本体１００に関する符号１０１は第一チャンバ（流入側チャンバ）、１０２は被制御流体のための流入部、１０３は第二チャンバ（流出側チャンバ）、１０４は被制御流体のための流出部、１０５は前記第一チャンバ１０１及び第二チャンバ１０３に連通する連通流路、１０６は弁座、１０７は第二チャンバ１０３（厳密に言えば、第二ダイヤフラム部外側空間）内の空気の出入りを行う呼吸路である。
【００３７】
また、図の弁機構体１１０に関する符号１１１は前記連通流路１０５内に進退自在に挿通されるロッド部、１２０は前記第一チャンバ１０１内に配される第一ダイヤフラム部、１２１は第一ダイヤフラム部１２０の膜部、１２２は同じく外周シール部、１２３は同じく前記弁座１０６に当接及び離間して連通流路１０５を開閉する開閉部、１２４は前記第一ダイヤフラム部１２０の外側（図では上側）に立設されアクチュエータ部６０の作動部材６４に連結される連結軸部、１３０は前記第二チャンバ１０３内に配される第二ダイヤフラム部、１３１は第二ダイヤフラム部１３０の膜部、１３２は同じく外周シール部である。
【００３８】
この開閉弁１０Ｂでは、アクチュエータ部６０の作用により弁機構体１１０を作動させ、連通流路１０５を閉じて流出部１０４からの被制御流体の流出を止める時に、流出側である第二チャンバ１０３における第二ダイヤフラム部１３０内側の空間の容積が大きくなり、前記空間内の圧力が下がり、前記流出部１０４と接続される流出用配管内の液体を開閉弁１０Ｂ内へ引き戻し、いわゆる液だれを防ぐことができる（サックバック機構）。なお、この開閉弁１０Ｂにおける第一ダイヤフラム部１２０を介してアクチュエータ部６０側へ透過又は漏出するガスのパージは上記実施例と同様に行われる。
【００３９】
図４に示す開閉弁１０Ｃも、前記図３の開閉弁１０Ｂと同様に、本発明を適用したサックバック機構を備えた開閉弁（バルブ）である。なお、この開閉弁１０Ｃは、ボディ本体２００，弁機構体２１０，アクチュエータ部２３０を除き、上記実施例のバルブ１０，１０Ａ，１０Ｂと概ね同じ構成とされているため、該バルブ１０，１０Ａ，１０Ｂと同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。図のボディ本体２００に関する符号２０１は第一チャンバ（流入側チャンバ）、２０２は被制御流体のための流入部、２０３は第二チャンバ（流出側チャンバ）、２０４は被制御流体のための流出部、２０５は前記第一チャンバ２０１と第二チャンバ２０３とを連通する連通流路、２０６は弁座である。
【００４０】
また、図の弁機構体２１０に関する符号２１１は前記連通流路２０５内に進退自在に挿通されるロッド部、２１２は前記ロッド部２１１の先端側外周面に装着され前記弁座２０６に当接及び離間して連通流路２０５を開閉する弁用シール部材、２１３はロッド部２１１のアクチュエータ部側（図では上側）に設けられたピストン部（大径部）である。さらに、図のアクチュエータ部２３０に関する符号２３１は前記ボディ本体２００の上側に組み付けられるカバーケース、２３２は金属カバー、２３３はコイル、２３４はコイル２３３に電流を流すことによって発生する電磁力によって進退し前記弁機構体２１０に連結結合（螺着）される作動部材、２３５は前記弁機構体２１０のピストン部２１３を進退可能に収容するためのシリンダ部、２３６は前記シリンダ部２３５とボディ本体２００の第一チャンバ２０１とを連通するように形成され前記ロッド部２１１が摺動可能に挿通される挿通部、２３７は前記挿通部２３６壁面とロッド部２１１外面間に介在されるシール部材、２３８は前記シリンダ部２３５内外を連通する気体流通部（ここではパージ用気体をバルブ外へ排出するための気体排出部）、２３９は前記シリンダ部２３５とカバーケース２３１内上部（金属カバー２３２等が配設される空間）とを連通する連通穴である。
【００４１】
この開閉弁１０Ｃでは、アクチュエータ部２３０の作用により弁機構体２１０を作動させ、連通流路２０５を閉じて流出部２０４からの被制御流体の流出を止める時に、流出側である第二チャンバ２０３の弁機構体２１０のロッド部２１１を除いた空間の容積（被制御流体収容可能容積）が大きくなり、第二チャンバ２０３内の圧力が下がり、前記流出部２０４と接続される流出用配管内の液体を開閉弁１０Ｃ内へ引き戻し、いわゆる液だれを防ぐことができる（サックバック機構）。
【００４２】
また、この例の開閉弁１０Ｃにおいては、前記アクチュエータ部２３０と駆動源６５とを接続する配線Ｌの途中に電気抵抗体Ｒが設けられている。なお、この開閉弁１０Ｃにおける前記挿通部２３６壁面とロッド部２１１外面間を介してアクチュエータ部２３０内へ透過又は漏出するガスのパージは上記実施例と同様に行われる。
【００４３】
【発明の効果】
以上図示し説明したように、本発明のバルブにおけるガスパージ方法及び構造によれば、アクチュエータ部内に漏出又は透過したガスをパージ用気体によりパージすることができ、アクチュエータ部の構成部品や駆動源の構成部品や配線等を保護することができる。その結果、バルブを強酸，強アルカリ，高濃度オゾン等の性質を有する流体の制御に好適に使用することができる。
【００４４】
また、請求項３の構造発明の如く、弁機構体がダイヤフラム部を有するものからなり、前記ボディ本体側から前記ダイヤフラム部の膜部を介してアクチュエータ部側へ透過又は漏出したガスをパージ用気体によりパージするように構成すれば、現在広く利用されているダイヤフラム部を用いたバルブにおける透過又は漏出ガスの問題を解消することができる。
【００４５】
さらに、請求項４の発明のように、アクチュエータ部を電磁アクチュエータにより構成すれば、弁機構体の作動時における応答性が優れたものとなる。
【００４６】
また、請求項５の発明のように、アクチュエータ部内外を連通する気体流通部が複数設けるようにすれば、前記複数の気体流通部の少なくとも一つを配線挿通部と共にパージ用気体の供給用として用い、残りの気体流通部をパージ用気体の排出用として用いることができ、それによって、アクチュエータ部内に漏出又は透過したガスのパージの精度が向上する。
【００４７】
さらに、請求項６の発明の如く、バルブを、サックバック機構を備えた開閉弁とすれば、流出部からの被制御流体の流出を止める時に、前記流出部と接続される流出用配管内の流体を開閉弁内へ引き戻すことができ、いわゆる液だれを防止することができ、流体制御の精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施例に係るバルブを示す断面図である。
【図２】  他の実施例に係るバルブを示す断面図である。
【図３】  さらに他の実施例に係るバルブを示す断面図である。
【図４】  さらに他の実施例に係るバルブを示す断面図である。
【符号の説明】
１０  バルブ
１１  ボディ本体
１２  第一チャンバ
１３  流入部
１４  第二チャンバ
１５  流出部
２０  弁機構体
３０  第一ダイヤフラム部
４０  第二ダイヤフラム部
６０  アクチュエータ部
６５  駆動源
８０  配線挿通部
９０，９１  気体流通部
９５  気体供給部
Ａｐ  パージ用気体
Ｌ  配線
【図１】
0004763936.tif 000002
【図２】
0004763936.tif 000003
【図３】
0004763936.tif 000004
【図４】
0004763936.tif 000005