(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、
基台部と、
ワーク吸着部と、
前記基台部と前記ワーク吸着部とを連結する倣い機構部と
を備え、
これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、それらの全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っており、
前記基台部は、前記ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、
前記ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介して前記ワーク吸着面に開口する負圧室とを有し、
前記倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、３次元空間内で適宜撓んで、前記ワーク吸着面を前記ワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものであり、
前記弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したバネ脚片を備えており、これら複数本の湾曲したバネ脚片が、前記基台部と前記ワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、前記ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、前記ワーク吸着面を同じように変位させるようにされている
ことを特徴とするワーク吸着ヘッド。
【請求項２】
前記負圧室には、ワーク押圧子が収容されており、
前記ワーク押圧子は、前記吸気孔に挿通され、前記ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のワーク吸着ヘッド。
【請求項３】
前記基台部と前記ワーク吸着部とは、それぞれ平面視矩形状に形成されていて、
複数本の前記湾曲したバネ脚片は、これら基台部とワーク吸着部との各４つの角部の対応する角部同士を連結している
ことを特徴とする請求項２に記載のワーク吸着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、ワーク吸着ヘッドに関し、特に軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用される、構造が簡単で、操作性及び信頼性に優れたワーク吸着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
数百μｍから数ｍｍまでのようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークを正確、確実に吸着したり、吸着したワークを確実に離脱させて、これをワーク載置面に正確、確実に載置したりすることは容易ではない。このようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークになると、重力のほかに、静電気力や界面エネルギーの影響が無視できなくなり、単に把持力や真空吸着力を加えたり解いたりするだけの通常の方法では、ワークを載置面に対して脱着することが容易でなくなるし、ワークの寸法に合わせて吸着部を製作し、これをワークの位置、姿勢に合わせて精密にセッティングすることが容易でなくなるからである。
【０００３】
従来、このような軽量で微細なワークの吸着や脱着、載置面への載置を目的としたワーク吸着ヘッドあるいはワーク吸着装置として、特開平５−２３５５９４号公報や特開２００３−１６５０８３号公報に記載されたものがある。
【０００４】
前者のものは、電子部品のリリース（離脱）を確実にするために、吸着ヘッドの負圧室の内部に押圧子を備えている。この押圧子は、負圧室の負圧解除時に、その下端の押圧部がヘッドの吸引口から進出して、吸着面に吸着されたワークを押すことにより、ワークが吸着面から離脱するのを助けるようになっている。しかしながら、このものは、吸着面をワーク載置面に倣わせる倣い機構を備えていない。
【０００５】
また、後者のものは、吸着ノズルを薄くて微小な電子部品等のワークに押し付けて、これを吸着したり、吸着したワークを基板に装着したりする際の衝撃荷重を小さくし、ワークの割れや欠けを防止することを目的として、吸着ノズル本体と該吸着ノズル本体が収容・装着されるホルダ部との間にコイルバネ（第１緩衝機構）を配設するとともに、吸着ノズル本体の内部に肉薄部（第２緩衝機構）を設けている。この肉薄部（第２緩衝機構）は、吸着ノズル本体の先端部のノズルチップと根元部のノズル中間部と呼ばれる部分との間を特別に薄肉構造にしたもので、これにより、ノズルチップをワークに押し付けて、これを吸着したり、吸着したワークを基板に装着したりする際には、先ず、肉薄部（第２緩衝機構）が撓み、次いで、押付け力の大きさに応じ、コイルバネ（第１緩衝機構）が撓むので、前記のような衝撃荷重の発生や、ワークの割れ、欠けを緩和もしくは防止できるようになっている。
【０００６】
しかしながら、この後者のものは、吸着したワークをノズルチップから確実に離脱させるための手段を備えないし、また、その肉薄部（第２緩衝機構）は、吸着ノズルがワークに押し付けられる際の衝撃荷重を小さくしたり、ワークの割れ、欠けを防止するために、ノズルチップの軸方向に撓むことはできるが、ノズルチップの先端面に形成されたワーク吸着面の面積が元々小さいことからして、ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせる倣い機能を発揮するものとしては当初から期待されていないものである。
【０００７】
ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせる倣い機能を備えたワーク吸着装置としては、実公昭５０−１４０７０号公報に記載されたものがある。しかしながら、このものは、前記した、数百μｍから数ｍｍまでのようなオーダーの大きさの軽量で微細なワークを吸着、装着の対象物としたものではなく、そのための工夫が特に施されたものとはなっていない。
【特許文献１】特開平５−２３５５９４号公報
【特許文献２】特開２００３−１６５０８３号公報
【特許文献３】実公昭５０−１４０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願の発明は、従来のワーク吸着ヘッドやワーク吸着装置が有する前記のような問題点を解決して、軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着したり、吸着したワークを確実に離脱させて、これをワーク載置面に正確、確実に載置したりすることができ、ワークに損傷を与えることがなく、しかも、構造が簡単で、操作性及び信頼性に優れたワーク吸着ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記のような課題は、本願の各請求項に記載された次のような発明により解決される。  すなわち、その請求項１に記載された発明は、軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、基台部と、ワーク吸着部と、前記基台部と前記ワーク吸着部とを連結する倣い機構部とを備え、これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、それらの全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っており、前記基台部は、前記ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、前記ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介して前記ワーク吸着面に開口する負圧室とを有し、前記倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、３次元空間内で適宜撓んで、前記ワーク吸着面を前記ワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものであり、 前記弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したバネ脚片を備えており、これら複数本の湾曲したバネ脚片が、前記基台部と前記ワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、前記ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、前記ワーク吸着面を同じように変位させるようにされていることを特徴とするワーク吸着ヘッドである。
【００１０】
そのワーク吸着ヘッドは、前記のように構成されているので、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着することができ、また、ワークをワーク載置面に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面に対するワークの正確、確実な着脱が可能になり、しかも、ワークに過大な応力が加わらないので、ワークを損傷することもない。
【００１１】
また、そのワーク吸着ヘッドは、全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っているので、構造が簡単であり、その操作も、倣い機構部の作動により、回動操作が不要で、直線的で単純になり、操作性及び信頼性に優れている。  
【００１２】
さらに、その倣い機構部の弾性変形が容易な構造が、複数本の湾曲したバネ脚片を備えており、これら複数本の湾曲したバネ脚片が、基台部とワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされているので、倣い機構部の弾性変形が容易な構造を、きわめて簡単な構成により得ることができる。また、倣い機構部の制御が簡単になる。
【００１３】
好ましい実施形態によれば、そのワーク吸着ヘッドの負圧室には、ワーク押圧子が収容されており、該ワーク押圧子は、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有している。
【００１４】
この構成により、例えば、吸着したワークをワーク載置面に載置するに際して、負圧室の負圧が解除されると、ワーク押圧子のピン部が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力でワーク吸着面を越えて突出してワークを押すので、ワークを確実にワーク吸着面から離脱させることができる。したがって、このワーク吸着ヘッドは、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワークをピン部が押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面にさらに正確、確実に載置することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。また、ワークを吸着するに際しても、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、ワークをピン部が押しつつ、これをワーク吸着面にさらに正確、確実に吸着することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。
【００１５】
別の好ましい実施形態によれば、そのワーク吸着ヘッドの基台部とワーク吸着部とは、それぞれ平面視矩形状に形成されていて、複数本の湾曲したバネ脚片は、これら基台部とワーク吸着部との各４つの角部の対応する角部同士を連結している。
【００１６】
この構成により、倣い機構部の弾性変形が容易な構造を、さらに簡単な構成により得ることができる。
【発明の効果】
【００１７】
前記のとおり、本願の発明のワーク吸着ヘッドによれば、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、ワークを正確、確実に吸着することができ、また、ワークをワーク載置面に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面に対するワークの正確、確実な着脱が可能になり、しかも、ワークに過大な応力が加わらないので、ワークを損傷することもない。さらに、そのワーク吸着ヘッドは、全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っているので、構造が簡単であり、倣い機構部の作動により操作も簡単になり、操作性及び信頼性にも優れている。
【００１８】
また、その負圧室にワーク押圧子が収容され、このワーク押圧子が、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有するものとされる場合には、例えば、吸着したワークをワーク載置面に載置するに際して、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワークをピン部が押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面にさらに正確、確実に載置することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。また、ワークを吸着するに際しても、ワーク載置面の傾斜に倣いつつ、且つ、ワークをピン部が押しつつ、これをワーク吸着面にさらに正確、確実に吸着することができ、ワークの位置ずれを生ずることがない。
【００１９】
また、その倣い機構部の弾性変形が容易な構造が、複数本の湾曲したバネ脚片から成り、これら複数本の湾曲したバネ脚片が、基台部とワーク吸着部とを複数個所でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされる場合には、倣い機構部の弾性変形が容易な構造を、きわめて簡単な構成により得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本願の発明の一実施例のワーク吸着ヘッドの正面図である。
【図２】同ワーク吸着ヘッド本体部の斜め上方から見た斜視図である。
【図３】同ワーク吸着ヘッド本体部の異なる斜め上方から見た斜視図である。
【図４】同ワーク吸着ヘッド本体部の斜め下方から見た斜視図である。
【図５】同ワーク吸着ヘッド本体部の平面図である。
【図６】同ワーク吸着ヘッド本体部の側面図である。
【図７】同ワーク吸着ヘッドを使用して、ワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりする方法を説明するための第１の図である。
【図８】同第２の図である。
【図９】同第３の図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これをワーク載置面に載置したりするために使用されるワーク吸着ヘッドが、基台部と、ワーク吸着部と、これらを連結する倣い機構部とを備えている。これら基台部とワーク吸着部と倣い機構部とは、それらの全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っており、基台部は、ワーク吸着ヘッド自体をヘッド駆動機構に取り付けるための取付け面を有し、ワーク吸着部は、ワークを吸着するためのワーク吸着面と、その内部に設けられ、吸気孔を介してワーク吸着面に開口する負圧室とを有している。また、倣い機構部は、弾性変形が容易な構造にされていて、３次元空間内で適宜撓んで、ワーク吸着面をワーク載置面の傾斜に倣わせるように作用するものとされている。負圧室には、吸気孔に挿通され、ワーク吸着面を越えて出没するピン部を有するワーク押圧子が収容されている。
【００２２】
前記倣い機構部の弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したバネ脚片から成り、これら複数本の湾曲したバネ脚片が、平面視矩形状に形成された基台部とワーク吸着部とを、それらの各４つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面を同じように変位させるようにされている。
【実施例】
【００２３】
次に、本願の発明の一実施例について説明する。
本実施例のワーク吸着ヘッドは、電子部品等の軽量で微細なワークを吸着したり、吸着したワークを離脱させて、これを基板表面等のワーク載置面に載置したりするために使用される。その構造は、あらまし、図２ないし図６に図示されるワーク吸着ヘッド本体部２に、図１に図示されるように、真空源への連通管３が接続されることにより構成されている。本実施例のワーク吸着ヘッド１は、実際には、ロボットハンド先端のヘッド部４に取り付けられて用いられるが、これに限られず、電子部品組立装置等において、ＸＹＺ方向に移動可能な走行体に取り付けられて用いられる場合もある。
【００２４】
ワーク吸着ヘッド本体部２は、次のように構成されている。
ワーク吸着ヘッド本体部２は、基台部５と、ワーク吸着部６と、これらを連結する倣い機構部７とを備えている。これら基台部５とワーク吸着部６と倣い機構部７とは、それらの全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成っている。その寸法は、大体、ワークＷ（図７参照）の大きさに見合う小型のものである。基台部５とワーク吸着部６とは、平面視矩形状に形成された板状ブロック体から成り、ワーク吸着部６は、その中央部に後述する負圧室１０を収容する膨出部６ａを有している。
【００２５】
基台部５は、ワーク吸着ヘッド２自体をロボットハンド先端のヘッド部４に取り付けるための取付け面１１を有している。この取付け面１１には、図１に図示されるように、ヘッド部４の取付け板１２が接着又はネジにより締着されている。取付け面１１の中央部には、連通管３を挿通させるための孔１４が開口している。
【００２６】
ワーク吸着部６は、ワークＷを吸着するためのワーク吸着面８と、負圧室１０とを有している。負圧室１０は、ワーク吸着部６の中央膨出部６ａの内部に設けられており、吸気孔９を介してワーク吸着面８に開口している。また、この負圧室１０には、基台部５と倣い機構部７とを貫通する孔１４に挿通された連通管３の一端が接続されており、負圧室１０は、この連通管３を介して図示されない負圧源に連通している。連通管３は、ロボットハンドの内部空間を通って、この負圧源に接続されている。
【００２７】
負圧室１０には、ワーク押圧子１５が収容されている。このワーク押圧子１５の下方部分は、ピン部１５ａとなっており、このピン部１５ａは、吸気孔９に挿通されていて、ワーク吸着面８を越えて出没することができる。例えば、負圧室１０の負圧状態が解除された時、ワーク押圧子１５が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力で落下して、そのピン部１５ａは、ワーク吸着面８を越えて突出する。そして、ワーク吸着面８に吸着されたワークＷを押して、ワークＷが確実にワーク吸着面８から離脱するように作用する（図９参照）。
【００２８】
倣い機構部７は、弾性変形が容易な構造にされていて、３次元空間内で適宜撓んで、ワーク吸着面８をワーク載置面１６（図７参照）の傾斜に倣わせるように作用するものである。この倣い機構部７の弾性変形が容易な構造は、具体的には、複数本（本実施例の場合、４本）の湾曲したバネ脚片１７を備えており、これら複数本の湾曲したバネ脚片１７が、平面視矩形状に形成された基台部５とワーク吸着部６とを、それらの各４つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、これにより、ワーク吸着面８に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面８を同じように変位させるようになっている。
【００２９】
これら複数本の湾曲したバネ脚片１７は、実際には、倣い機構部７を構成する平面視矩形状の上板部材１８と下板部材１９とを、それらの各４つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、これら上板部材１８、下板部材１９が基台部５、ワーク吸着部６とそれぞれ一体構造物として形成されることにより、結果として、基台部５とワーク吸着部６とを、それらの各４つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結することになっているのである。なお、ワーク吸着部６の中央膨出部６ａは、下板部材１９の中央部を貫通して内方に突出していて、この内方突出部は、負圧室１０の図１において上方部分の囲壁をなしている。この内方突出部は、機能上、下板部材１９に属すると見られるべきものではない（図１、図３、図６参照）。
【００３０】
次に、本実施例のワーク吸着ヘッド１を使用して、ワークＷを吸着したり、吸着したワークＷを離脱させて、これをワーク載置面１６に載置したりする方法について説明する。  先ず、吸着したワークＷを離脱させて、これをワーク載置面１６に載置する方法について、図７〜図９を参照しつつ、説明する。ワークＷを吸着するには、この逆の手順で行えば良い。
【００３１】
先ず、ワーク吸着部６のワーク吸着面８にワークＷを吸着したワーク吸着ヘッド１が、ワーク載置面１６に向けて下降する。このワーク載置面１６は、図７に図示されるように、水平に対して角度αだけ傾いている。そして、ワークＷの一端（図７においては右端）がワーク載置面１６に接触して、なおワーク吸着ヘッド１が下降を続けると、ワーク吸着部６及びワークＷは、ワーク載置面１６と平行になるようにワークＷの一端を支点として回動して、その姿勢を角度αだけ傾ける。ロボットハンド先端のヘッド部４の姿勢は不変であるから、ワーク吸着部６及びワークＷの前記傾き姿勢を可能にするためには、結局、倣い機構部７の図７において右側２本のバネ脚片１７がその曲率を大きくして、上板部材１８の右端と下板部材１９の右端との間の距離が縮小されざるを得ない（図７、図８参照）。
【００３２】
なお、図１、図７〜図９において、Ｌは、ワーク吸着ヘッド１の中心軸線であって、この中心軸線Ｌは、負圧室１０及び孔１４の中心を通っており、ワーク吸着ヘッド１が自然状態にある時、ワーク吸着面８の中心を通るワーク吸着面８に立てた垂線Ｌ’（図８参照）と一致している。上記のようにして、ワーク吸着部６及びワークＷが、その姿勢を角度αだけ傾ける時、これら中心軸線Ｌと垂線Ｌ’とは、角度αだけ乖離する。
【００３３】
次いで、この状態において、負圧室１０の負圧状態を解除すると、ワークＷのワーク吸着面８への吸着が解除され、そこからの離脱が可能な状態になるが、ワークＷは、静電気力や界面張力等重力以外の力の影響を受けて、容易にはワーク吸着面８から離脱しようとしない。そこで、ワーク吸着ヘッド１をわずかに上昇させると、負圧室１０内のワーク押圧子１５が重力又は負圧の解除と同時に正圧への切替えによる圧力で落下して、そのピン部１５ａがワーク吸着面８を越えて突出する。そして、ワーク吸着面８に吸着されていたワークＷを押して、これをワーク吸着面８から確実に離脱させる（図９参照）。
【００３４】
以後、ワーク吸着ヘッド１を引き続き上昇させると、しばらくの間は、ピン部１５ａがワークＷを押し続けるが、やがて、ピン部１５ａがワークＷから完全に分かれて、ワーク吸着ヘッド１は、ワークを吸着していない自由な状態になって、ワーク載置面１６から離れることができる。ピン部１５ａがワークＷを押し続ける「しばらくの間」は、ピン部１５ａがワーク吸着面８を越えて突出することが可能な長さだけ完全に突出し終えるまでの間である。この間、ピン部１５ａがワークＷを押し続けるので、ワーク吸着ヘッド１がワーク載置面１６から離れるに際して、ワーク載置面１６に正しく載置されていたワークＷの位置が位置ずれを生ずる虞がない。
【００３５】
ワーク吸着ヘッド１がワーク載置面１６に載置されたワークＷを吸着するのには、以上の逆の手順で行えば良い。
この場合、ワーク吸着ヘッド１は、そのワーク押圧子１５のピン部１５ａがワークＷを押した状態で、ワークＷに接近し（図９参照）、倣い機構部７の作用でワークＷと同じ姿勢に傾きながら、やがてこれに接触し、負圧の導通により、これを吸着することができる（図８参照）。したがって、ワーク吸着ヘッド１がワークＷを吸着するに際して、ワークＷが位置ずれを生ずる虞がない。
【００３６】
本実施例のワーク吸着ヘッド１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
ワーク吸着ヘッド１は、ワーク載置面１６の傾斜に倣いつつ、ワークＷを正確、確実に吸着することができ、また、ワークＷをワーク載置面１６に正確、確実に載置することができる。これらにより、ワーク載置面１６に対するワークＷの正確、確実な着脱が可能になり、しかも、倣い機構部７が、複数本の湾曲したバネ脚片１７の採用により弾性変形が容易な構造にされていて、３次元空間内で適宜撓むことにより、ワークＷに過大な応力が加わらないので、ワークＷを損傷することもない。
【００３７】
また、ワーク吸着ヘッド１は、全体がバネ性のある金属材料を素材とした一体構造物から成るので、構造が簡単であり、その操作も、倣い機構部７の作動により、回動操作が不要で、直線的で単純になり、操作性及び信頼性に優れている。
【００３８】
また、負圧室１０にはワーク押圧子１５が収容されており、このワーク押圧子１５は、吸気孔９に挿通され、ワーク吸着面８を越えて出没することができるピン部１５ａを有しているので、例えば、吸着したワークＷをワーク載置面１６に載置するに際して、負圧室の負圧が解除されると、ワーク押圧子１５のピン部１５ａが重力によりワーク吸着面８を越えて突出してワークＷを押すので、ワークＷを確実にワーク吸着面８から離脱させることができる。したがって、このワーク吸着ヘッド１は、ワーク載置面１６の傾斜に倣いつつ、且つ、吸着したワークＷをピン部１５ａが押して確実に離脱させつつ、これをワーク載置面１６にさらに正確、確実に載置することができ、ワークＷの位置ずれを生ずることがない。また、ワークＷを吸着するに際しても、ワーク載置面１６の傾斜に倣いつつ、且つ、ワークＷをピン部１５ａが押しつつ、これをワーク吸着面８にさらに正確、確実に吸着することができ、ワークＷの位置ずれを生ずることがない。
【００３９】
さらに、倣い機構部７の弾性変形が容易な構造は、複数本の湾曲したバネ脚片１７を備えており、これら複数本の湾曲したバネ脚片１７が、平面視矩形状に形成された基台部５とワーク吸着部６とを、それらの各４つの角部の対応する角部同士でそれぞれ連結していて、ワーク吸着面８に作用する全方位の外力に対し、ワーク吸着面８を同じように変位させるようにされているので、倣い機構部７の弾性変形が容易な構造をきわめて簡単な構成により得ることができるとともに、倣い機構部７の制御が簡単になる（一定の傾斜に対しては、一定の力で倣わせることができる）。
【００４０】
なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１…ワーク吸着ヘッド、２…ワーク吸着ヘッド本体部、３…連通管、４…ヘッド部、５…基台部、６…ワーク吸着部、６ａ…膨出部、７…倣い機構部、８…ワーク吸着面、９…吸気孔、１０…負圧室、１１…取付け面、１２…取付け板、１３…ボルト、１４…孔、１５…ワーク押圧子、１５ａ…ピン部、１６…ワーク載置面、１７…バネ脚片、１８…上板部材、１９…下板部材、Ｌ…軸線、Ｌ’…垂線、Ｗ…ワーク、
【図１】
0004698674.tif 000002
【図２】
0004698674.tif 000003
【図３】
0004698674.tif 000004
【図４】
0004698674.tif 000005
【図５】
0004698674.tif 000006
【図６】
0004698674.tif 000007
【図７】
0004698674.tif 000008
【図８】
0004698674.tif 000009
【図９】
0004698674.tif 000010