(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミック基板と、該セラミック基板上に備えられた第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に備えられた凸状の第二グレーズ層とを備え、前記第一グレーズ層および前記第二グレーズ層上に発熱抵抗体層および電極層が形成され、前記第二グレーズ層の頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における表面上の一部が、前記電極層が設けられていない発熱部とされており、前記セラミック基板を傾斜させて、該発熱部をプラテンローラに接触させて印字するサーマルヘッドプリンタ用のグレーズド基板であって、前記第二グレーズ層は、前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径の平均値に対する曲率半径の変化率が±２．５％の範囲内であることを特徴とするサーマルプリンタヘッド用グレーズド基板。
【請求項２】
前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径が１．０ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項1に記載のサーマルプリンタヘッド用グレーズド
基板。
【請求項３】
前記第一グレーズ層および第二グレーズ層は、ＳｉＯ２を４０重量％〜６０重量％以下の範囲で有することを特徴とする請求項１または２に記載のサーマルプリンタヘッド用グレーズド基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワードプロセッサー並びに電子プリンタ等に使用されるサーマルプリンタヘッド用のグレーズド基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
サーマルプリンタヘッド用グレーズド基板は、ワードプロセッサー及びファクシミリ及び多機能やフルカラー記録の可能なプリンタ等に用いられ、近年特に印字の高密度化、高画質化、高速化が求められている。
【０００３】
図４に示すように、グレーズド基板２はセラミック基板１に形成された平坦な第一グレーズ層３と、この第一グレーズ層上に形成された凸状の第二グレーズ層４とを有しており、このグレーズド基板を用いたサーマルプリンタヘッド１４の一般的な構成として、グレーズド基板２における第一グレーズ層３及び第二グレーズ層４上に発熱抵抗体１５、電極１６および保護膜１７を薄膜形成し、電極層１６に備わっている端子上にＩＣ１８を搭載するとともに樹脂で被覆して電流を制御するものである。
【０００４】
前記グレーズド基板２において第二グレーズ層４を設けることにより、その先端部の曲率半径Ｒを小さくできるため、第二グレーズ層４上に形成された発熱抵抗体１５、保護膜１７と被印字媒体との接触圧力が高く印字性が良好となり、高密度、高画質が要求されるビデオプリンタサーマルプリンタヘッド用として主に用いられている。
【０００５】
従来より、第一グレーズ層３上に凸状の第二グレーズ層４を形成する方法として、スクリーン印刷法、ケミカルエッチング処理法、サンドブラスト処理法等が多用されている。
【０００６】
特許文献１では、凸状の第二グレーズ層を熱処理する際の条件として、軟化したガラスの粘度が１０4〜１０5ポイズになる温度で行われる。とあるが、これは一般的な硼珪酸ガラス等の材料に代表されるガラスの作業温度範囲を８００℃〜８５０℃が示されている。
【０００７】
また、特許文献２では、凸状のガラスグレーズ層の形成方法として、ガラス転移点以上での昇温速度が４０℃／分〜６０℃／分、最高温度１０００℃〜１２００℃、最高温度での保持時間が１０分〜２０分であって、最高温度保持後のガラス転移点までの冷却速度が４０℃／分〜６０℃／分とすることが示されているが、凸状のガラスグレーズ層の頂部近傍のみの曲率半径を調整した形成方法である。
【０００８】
さらに、特許文献３では、凸状のガラスグレーズ層の曲率半径について、ガラスグレーズ層と基板との一方の接触点と、ガラスグレーズ層の頂点と基板とのもう一方の接触点との３点で決まる仮想円の半径と定義しており、凸状のある部分のみを特定した形状であることを示している。
【特許文献１】特開平６−０４７９４２号公報
【特許文献２】特開平６−０４７９４１号公報
【特許文献３】特開平５−００４３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図４に示すようなサーマルプリンタヘッド１４におけるＩＣ１８は、第一グレーズ層３上に搭載されているが、このＩＣ１８は紙等の印字媒体を保護膜１７上に押し付けるためのプラテンローラ１９との接触を避ける構造にする必要があり、その手段としてサーマルプリンタヘッド１４を搭載する角度θを調整している。
【００１０】
一般的に第二グレーズ層４の頂部中央に発熱抵抗体１５を形成しているが、前述のように搭載する角度θを調整する場合は、発熱抵抗体１５とプラテンローラ１９とを接触させるため、発熱抵抗体１５を形成する位置が第二グレーズ層４の頂部中央から数百ミクロンの位置にずらして形成することとなる。この場合、発熱抵抗体１５の形成する位置はサーマルプリンタヘッド設計に見合った固有の曲率半径を形成している必要があるが、従来は、特許文献３のように、ガラスグレーズ層と基板との一方の接触点と、ガラスグレーズ層の頂点と、基板とのもう一方の接触点との３点で決まる仮想円の半径と定義しており、凸状のある部分のみで曲率半径を設計し形成しているために、頂部中央から発熱抵抗体１５の位置をずらした場合、曲率半径の差があり最適な曲率半径が得られないという課題を有していた。
【００１１】
そのため、第２グレーズ層の頂部から厚み方向に１０％程度までの曲率半径しか制御できず、この結果、印字圧が強過ぎたり、弱過ぎたりバラツキが生じやすい。印字圧が強すぎると、インクリボンにシワが寄り印字不具合をきたしたり、紙に接触傷を付け、削り粕の蓄積で発熱体を破損したりする。一方、印字圧が弱過ぎると、印字濃度が薄くなり印画品質が損なわれるという不具合を発生させやすい。
【００１２】
これらの課題に対して、本発明では、第二グレーズ層４の凸部の曲率半径は発熱抵抗体１５を形成する位置に対して最適な曲率半径が使用側より希望されている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のサーマルプリンタヘッド用グレーズド基板は、セラミック基板と、該セラミック基板上に備えられた第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に備えられた凸状の第二グレーズ層とを備え、前記第一グレーズ層および前記第二グレーズ層上に発熱抵抗体層および電極層が形成され、前記第二グレーズ層の頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における表面上の一部が、前記電極層が設けられていない発熱部とされており、前記セラミック基板を傾斜させて、該発熱部をプラテンローラに接触させて印字するサーマルヘッドプリンタ用のグレーズド基板であって、前記第二グレーズ層は、前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径の平均値に対する変化率が±２．５％の範囲内であることを特徴とする。
【００１４】
また、前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径が１．０ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲であることを特徴とする。
【００１５】
さらに、前記第一グレーズ層および第二グレーズ層は、ＳｉＯ２を４０重量％以上、６０重量％以下の範囲で有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、セラミック基板と、該セラミック基板上に備えられた第一グレーズ層と、該第一グレーズ層上に備えられた凸状の第二グレーズ層とを備え、前記第一グレーズ層および前記第二グレーズ層上に発熱抵抗体層および電極層が形成され、前記第二グレーズ層の頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における表面上の一部が、前記電極層が設けられていない発熱部とされており、前記セラミック基板を傾斜させて、該発熱部をプラテンローラに接触させて印字するサーマルヘッドプリンタ用のグレーズド基板であって、前記第二グレーズ層は、前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径の平均値に対する変化率が±２．５％の範囲内であることにより、発熱抵抗体を形成する位置に対して最適な設計が可能となり、このグレーズド基板をサーマルプリンタヘッドとして用いた場合、印字媒体である紙とヘッドの接触性が良好で印字濃度ムラを解消し高画質化が可能となる。
【００１７】
また、本発明は、前記頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径が１．０ｍｍ〜４．０ｍｍの範囲であることにより、印字媒体の硬度に対して印字不具合を生じない最適な曲率半径を作製することで最良の印画品質を提供することが可能となる。
【００１８】
さらに、本発明は、前記第一グレーズ層および第二グレーズ層は、ＳｉＯ２を４０重量％以上、６０重量％以下の範囲で有することにより、印画品質に影響を及ぼすガラス結晶化や曲率ばらつきの発生を抑止し、前記のようなプリンタ設計に対し最適な曲率半径が制御可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を説明する。
【００２０】
図１は、本発明のサーマルプリンタヘッド用グレーズド基板（以下、単にグレーズド基板と称す）を示す斜視図であり、図１（ａ）はセラミック基板１の主面全面に第一グレーズ層３を形成しその上に凸状の第二グレーズ層４を備えた場合、図１（ｂ）は第一グレーズ層３がセラミック基板1上に部分的に形成されその上に凸状の第二グレーズ層４を備えたものであり、図１（ｃ）は第二グレーズ層４の頂部を示す拡大断面図である。
【００２１】
本発明のグレーズド基板２は、セラミック基板１と、該セラミック基板１上に備えられた第一グレーズ層３と、該第一グレーズ層３上に備えられた凸状の第二グレーズ層４とを有するものであり、図４に示すようなサーマルプリンタヘッドに搭載されて用いることができる。
【００２２】
前記セラミック基板１は、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素等を主成分とし、グレーズ層を形成する側の主面の表面粗さは算術平均粗さＲａで０．６μｍ以下程度とすることが好ましく、第一グレーズ層３を形成する際に密着性を高いものにでき、また、主成分としてアルミナを用いることが好ましく、安価で機械的強度、加工性の優れたものとすることができる。
【００２３】
また、セラミック基板１上に形成される第一グレーズ層３および第二グレーズ層４は、例えば、酸化珪素を主成分とし、他にアルミニウム、カルシウム、バリウム等の金属酸化物を含有して成り、第一グレーズ層３の表面粗さは算術平均粗さＲａで０．０２０μｍ以下であることが好ましい。
【００２４】
本発明のグレーズド基板２は、図２（ｂ）に示すように、第二グレーズ層４は、頂部４ａから厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径の平均値に対する変化率が±２．５％の範囲内であることが重要である。
【００２５】
これにより、サーマルプリンタヘッドとして用いる際の紙等の印字媒体やインクの種類等の用途に応じて、所望の曲率半径を有したサーマルプリンタヘッドとすることで、頂部から厚み方向に４５％の範囲において、プリンタ設計に応じた位置に発熱抵抗体１５を設置できるため、サーマルプリンタヘッドの発熱抵抗体１５と被印字媒体である紙等との接触圧が良好となり、最適な印画品質を提供できる。
【００２６】
また、第二グレーズ層４の厚みＴを３０μm〜１５０μmとすることが好ましい。本発明のグレーズド基板２を図４に示すようなサーマルプリンタヘッドとして用いる際に、ＩＣ１８が第一グレーズ層３上に搭載されるため、プリンタ設計上のプラテンローラ１９との接触を避ける構造にする必要があるためである。同時に、曲率半径を規定する部分を第二グレーズ層４の頂部４ａから厚み方向に１０〜４５％の範囲としたのは、サーマルプリンタヘッドとして角度θを調整して使用する際に、第二グレーズ層４上に形成した発熱抵抗体１５を第二グレーズ層４の頂部４ａからずらして形成される範囲となる部分を規定したものである。
【００２７】
この範囲での第２グレーズ層４の曲率半径の変化を±２．５％の範囲内とすることで、プラテンローラ１９で押し圧を加えて紙等の印字媒体やインクリボンに発熱抵抗体１５を接触させる際、頂部４ａの中央部に発熱抵抗体１５が形成された場合と異なり、
また、前記頂部４ａから厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径は、前述の様に個々の機種設計において前記発熱体との接触角度を変化させる必要がある場合、この範囲であれば必要な部位に発熱抵抗体１５を形成できるため、発熱抵抗体１５に加わる接触圧が安定し良好な印画濃度を提供することができる。さらには、このバラツキを±１．５％以下とすることが好ましい。
【００２８】
さらに、第二グレーズ層４の曲率半径Ｒは、サーマルプリンタヘッドの用途により異なるが、小さい方が紙等の印字媒体との接触圧力が高く、印画濃度を濃くできるために第二グレーズ層の頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径が１．０ｍｍから４．０ｍｍの範囲であることが好ましい。曲率半径Ｒが１．０ｍｍ未満になると、紙擦れ等のトラブルの原因となりやすく、一方、曲率半径が４．０ｍｍを超えると、第二グレーズ層４の熱放散性が悪くなり、印画の押印等の熱応答性に追従できなくなる問題があるためである。
【００２９】
なお、曲率半径Ｒは、図２に示すように以下の方法により測定できる。図２（ａ）にグレーズド基板２を上から見た平面図、図２（ｂ）に第二グレーズ層４の頂部４ａを示す拡大断面図、図２（ｃ）に第二グレーズ層４の形状を測定するための模式図である。
【００３０】
この第二グレーズ層４の表面を図２（ｂ）に示すように接触式表面粗さ計にて、矢印方向に横断するように表面形状の測定を行う。測定条件は、例えば触針径５μｍ９０°／４ｍＮダイヤモンド、カットオフモードはＲ＋Ｗ、測定スピード０．５ｍｍ／Ｓｅｃ、測定倍率は縦２０００倍で横２００倍である。例えば、図２（ｃ）に示すように、この表面形状１２の測定結果より第２グレーズ層４の頂部４ａの頂点１３から垂線を引きパターン幅ＤをＤ１としその高さをｈとしたとき、曲率半径Ｒは、以下の式により算出することができる。
【００３１】
曲率半径Ｒ＝｛Ｄ１↑２／（８×ｈ）｝＋（ｈ／２）  この測定高さｈを例えば、頂部より５μｍ間隔にて測定する。
【００３２】
次いで、曲率半径Ｒの変化率は、前述のように測定したそれぞれの高さｈにおける曲率半径Ｒの値に基づいて曲率半径Ｒの平均値を求め、この平均値に対して測定したそれぞれの高さｈにおける曲率半径Ｒの最大値、最小値の変化率、即ち、
（（曲率半径Ｒの最大値−曲率半径Ｒの平均値）／曲率半径Ｒの平均値）×１００（％）、（（曲率半径Ｒの最小値−曲率半径Ｒの平均値）／曲率半径Ｒの平均値）×１００（％）を
それぞれ算出することで得られる。
【００３３】
また、前記第一グレーズ層３および第二グレーズ層４は、ＳｉＯ２を４０重量％以上、６０重量％以下の範囲で有することが好ましい。これは、ＳｉＯ２が４０重量％未満となると、第一グレーズ層３および第二グレーズ層４は、組成上安定性に欠け、第一グレーズ層３の形成時の表面状態に欠陥が多く、ＳｉＯ２が６０重量％以上だと第二グレーズ層４の熱処理最適温度付近ではガラスが軟化し辛いために、第二グレーズ層４を熱処理する際の焼成温度を高くする必要があるが、同時に結晶が析出する温度域にまで到達するため、良好な平滑面が得られない問題があった。また、良好な平滑面を得るために析出した結晶が際溶解するまで更に焼成温度を高くすると、ガラスの軟化が進み過ぎてしまい第二グレーズ４層が第一グレーズ層３に溶け込んでしまう問題があるためである。
【００３４】
ここで、図３（ａ）〜（ｈ）に本発明のグレーズド基板２の製造方法を示す。
【００３５】
図３（ａ）に示すように、スクリーン印刷等によりセラミック基板１に全面或いは部分的に第一グレーズ層３を形成する。
【００３６】
次に、図３（ｂ）に示すように第一グレーズ層３を１２００℃〜１３００℃の温度で焼成し、図３（ｃ）に示すように、第一グレーズ層３に感光性のレジスト５を形成しガラスマスク６を用いて凸状の第二グレーズ層４となる部分を紫外線７で感光させる。
【００３７】
次いで、図３（ｄ）に示すように感光した部分以外のレジスト５をアルカリ水溶液９で除去し、第二グレーズ層４となる部分のみにレジスト膜８を形成する。
【００３８】
次に、図３（ｅ）に示すように、レジスト膜８によりパターンニングされた第一グレーズ層３の表面をエッチング液１０を吹き付けて所定の深さ迄加工し、凸状の第二グレーズ層４を形成する。
【００３９】
次に、図３（ｆ）に示すように、第二グレーズ層４の表面に接着しているレジスト膜８を強アルカリ水溶液１１で除去し、図３（ｇ）の状態とする。次にガラス軟化点の約＋５０℃〜＋１５０℃の温度で、その際の昇温速度を３０℃〜３２℃／分で加熱し、最高温度の保持時間１０分〜２０分程度で図３（ｈ）に示すように第二グレーズ層４に曲面を形成する。
【００４０】
以下、各工程について詳述する。
【００４１】
まず図３（ａ）に示す第一グレーズ層３の形成方法は、セラミック基板１の全面または部分的にグレーズ印刷できる６０＃〜２００＃のステンレスメッシュのスクリーン製版を用いて、ペースト状になったグレーズガラスをスキージで圧力を加えセラミック基板１上に押し出し第一グレーズ層３を印刷する。
【００４２】
このとき、サーマルプリンタヘッド１４として用いられた際の蓄熱性並びに単一時間当たりの印字濃度を高くするためには、図３（ｂ）が示すように焼成後の第一グレーズ層３と第二グレーズ層４のトータルの厚みＴの好適範囲は約１００μｍ〜約２００μｍであって、この工程での第一グレーズ層３は次工程の焼成後のグレーズ厚みＴが前記範囲となるように形成することが好ましい。
【００４３】
図３（ｂ）に示すように、乾燥させた第一グレーズ層３を１２００℃〜１３００℃の温度で溶融焼成し非晶質化ガラスの状態にし、次に図３（ｃ）に示すように、第一グレーズ層３の全面に感光性樹脂のレジスト５を形成し、ガラスマスク６を用いて第二グレーズ層４となる部分を紫外線７で感光させる。
【００４４】
このとき露光処理を行うガラスマスク６の寸法精度は、３μｍ以内でなければならない、その理由は図２（ａ）で示す露光後のレジスト膜８のパターン幅Ｄ並びにパターン間寸法Ｐ並びにパターン長さ方向の直線度Ｃの寸法精度を１０μｍ以内に制御するためである。
【００４５】
次に図３（ｄ）に示すように、レジスト５の感光した部分以外をアルカリ水溶液９で除去しレジスト膜８によりマスキングされた第一グレーズ層３の表面を残し、図３（ｅ）に示すように、エッチング液１０を吹き付け、レジスト膜８でマスキングされている部分以外を所定の深さ迄加工し、凸状の第二グレーズ層４を形成する。この加工深さは、サーマルプリンタヘッド１４の用途によっても異なるが通常３０μｍ〜１５０μｍ程度であり、放熱性を重視する場合には、加工深さを深くし第一グレーズ層３の厚みを薄くすることが好ましい。
【００４６】
なお、エッチングの条件は、弗硝酸含有率１０％〜２０％からなる水溶液で、これを約０．１ＫＰａ〜約０．３ＫＰａで吹き付ける。
【００４７】
次に、図３（ｆ）に示すように、第二グレーズ層４の表面に接着しているレジスト膜８を強アルカリ水溶液１１で除去し、図３（ｇ）の状態にする。ガラス軟化点の約＋５０℃〜約＋１５０℃の温度でその際の昇温速度を３０℃〜３２℃／分で加熱し、最高温度の保持時間１０分〜２０分程度で加熱処理することにより、図３（ｈ）に示すように第二グレーズ層４に所望の曲率半径の形状とすることができ、バラツキも抑制できる。本発明では、これら加熱処理の条件により第二グレーズ層４に所望の曲率半径を制御できることを見いだしたものである。
【００４８】
加熱処理の条件は、例えばガラス軟化点が８５０℃の場合には約９００℃〜約１０００℃の範囲が好ましく、これが９００℃未満になるとエッチングで切り立った凸形状に曲率を与えるのに必要な温度が不足するために、凸状の第二グレーズ層４の頂部が曲面とならず、反対に１０００℃を超すと凸状の第二グレーズ層４の曲率が大きくなるか或いは第一グレーズ層３に溶け込んで無くなる場合もある。
【００４９】
このようにして得られたグレーズド基板２は、各種層を形成してサーマルプリンタ用のヘッドとして好適に用いることができる。
【実施例】
【００５０】
次いで、本発明の実施例を示す。
【００５１】
先ず、セラミック基板としてアルミナの含有率９６重量％で、外辺寸法が２９０ｍｍ×７８ｍｍ、厚み１．０ｍｍのセラミック基板１上の全面に２００＃のステンレスメッシュで作製されたスクリーン製版を用いて、ＳｉＯ２４５〜６０重量％、ＢａＯ５〜３０重量％、ＣａＯ１０〜２０重量％、Ａｌ２Ｏ３５〜１０重量％、Ｂ２Ｏ３０〜１０重量％のグレーズガラス（転移点６８５℃、軟化点８４５℃）を、スキージで圧力を加えながら焼成後の厚みＴが２００μｍとなるようにスクリーン印刷をし、乾燥後にトンネル型連続焼成炉で約１２５０℃で焼成し非晶質化した第一グレーズ層３を形成した。
【００５２】
次に、この第一グレーズ層３上全面に感光性樹脂系のレジスト５を形成し、凸状の第二グレーズ層４の形成部分を感光させるためのガラスマスク６を介し露光を行い、感光した部分以外をアルカリ水溶液９で除去し第二グレーズ層４を形成する部分のみレジスト膜８でマスキングした。
【００５３】
このガラスマスク６のパターン寸法精度は３μｍ以内のものを用い、エッチングの条件は、弗硝酸含有率２０％水溶液からなり、これを約０．２ＫＰａで吹き付け第一グレーズ層３を５５μｍ加工し凸状の第二グレーズ層４を形成した。
【００５４】
このエッチング処理後、最高温度約９４０℃で１０分間保持の温度プロファイルで昇温速度を３１℃／分、ＩＮ−ＯＵＴ１時間で加熱処理を施し、上部に所定の曲率を有する第二グレーズ層４を形成した。昇温速度４０℃／分で１０００℃以下であってもグレーズ表面が結晶化することなく曲率が形成できることが確認された。
【００５５】
また比較例として、第二グレーズ層４の加熱処理条件を最高温度約９００℃で１０分間保持の温度プロファイルで昇温速度を２０℃／分、ＩＮ−ＯＵＴ１．５時間とし他は本発明実施例と同条件で凸状の第二グレーズ層４を形成した。
【００５６】
なお、本発明の実施例、比較例とも図２（ａ）に示す第二グレーズ層４の長さＬは１００ｍｍ、幅Ｄは０．６５ｍｍ、第二グレーズ層４同士の間の距離Ｂは２８ｍｍ、高さＴは０．０５５ｍｍである。
【００５７】
そして、本発明実施例及び比較例のグレーズド基板２について試料数３個の第二グレーズ層４の曲率半径値について測定を実施した。その測定条件は下記の通りである。
【００５８】
曲率半径Ｒは、接触式表面粗さ計で第二グレーズ層４の表面を、図２（ｂ）に示す矢印方向のように横断するように表面形状の測定を行う。測定条件は触針径５μｍ９０°／４ｍＮダイヤモンド、カットオフモードはＲ＋Ｗ、測定スピード０．５ｍｍ／Ｓｅｃ、測定倍率は縦２０００倍で横２００倍である。また、図２（ｃ）に示すように、この表面形状１２の測定チャートより頂点１３から垂線を引き当該パターン幅ＤをＤ１としその高さをｈとしたとき、曲率半径Ｒは下記の計算式で求める。
【００５９】
曲率半径Ｒ＝｛Ｄ１↑２／（８×ｈ）｝＋（ｈ／２）
なお、この高さｈは、第二グレーズ層の頂部から厚み方向にそれぞれ１０〜４５％の範囲にある５μｍ、１０μｍ、１５μｍ、２０μｍ、２５μｍの水準を用いる。以上の測定方法により測定したグレーズド基板２の曲率半径Ｒの測定値を表１に示す。そして、各ｈにおける曲率半径Ｒの測定値より、その変化率を実施形態に前述した方法で算出した。
【００６０】
各試料を図４に示すようなサーマルプリンタ用ヘッドとして印字状態を確認し、その評価結果で最良なものを○、印画濃度が薄く濃度ムラがあるものを×とした。
【表１】
0004698440.tif 000002
【００６１】
表１の結果からわかるように、本発明実施例の第二グレーズ層4の頂部から厚み方向に
１０〜４５％の範囲における曲率半径Ｒの変化率が２．４％以下であり、プラテンローラ
との接触圧が安定し濃度ムラもなく印画濃度も最良な結果となった。
【００６２】
これに対し、比較例の第二グレーズ層４の頂部から厚み方向に１０〜４５％の範囲における曲率半径Ｒの変化率が７．２％以上となり、第二グレーズ層４の加熱処理される時間が長く形状が流動したため、曲率半径のばらつき量が大きく、これにより発熱抵抗体が印字媒体である紙およびインクリボンがプラテンローラとの接触圧がばらついたため印画濃度に色ムラが発生した。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明のグレーズド基板の種々の実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明のグレーズド基板の種々の形状寸法を測定する方法を説明する図であり、（ａ）はグレーズド基板２を上から見た平面図、（ｂ）は第二グレーズ層４の頂部を示す拡大断面図、（ｃ）は第二グレーズ層４の形状を測定するための模式図である。
【図３】（ａ）〜（ｈ）は本発明のグレーズド基板の製造方法を示す概略断面図である。
【図４】本発明のグレーズド基板を用いたサーマルプリンタヘッドと、これを用いて印字する様子を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
１：セラミック基板
２：グレーズド基板
３：第一グレーズ層
４：第二グレーズ層
５：レジスト
６：ガラスマスク 
７：紫外線光
８：レジスト膜 
９：アルカリ水溶液 
１０：エッチング液
１１：強アルカリ水溶液 
１２：測定チャートの模式図 
１３：頂点 
１４：サーマルプリンタヘッド 
１５：発熱抵抗体層 
１６：電極層 
１７：保護膜層
１８：ＩＣ
１９：プラテンローラ 
Ｒ：曲率半径
Ｔ：グレーズ厚み
【図１】
0004698440.tif 000003
【図２】
0004698440.tif 000004
【図３】
0004698440.tif 000005
【図４】
0004698440.tif 000006