(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通電によって伸長する略柱状の圧電素子と、該圧電素子の外周を覆いつつ、その一方の端部において固定する略筒状の筐体と、該筐体の他方の端部に弾性部材を介して設けた可動子とを有し、上記圧電素子と上記可動子との間に間隙を設けた圧電アクチュエータの該間隙を測定する圧電アクチュエータの検査方法であって、
上記可動子を押圧しつつ、該可動子の変位量を測定するとともに、上記圧電素子に接続した一対の通電線を利用し、上記可動子が上記圧電素子を押圧した時の圧電効果による発生電圧又は、発生電流を測定し、検出された圧電効果と閾値との比較によって、上記圧電素子と上記可動子との接触状態を判断し、第１の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との最短距離を計測することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。
【請求項２】
上記可動子を押圧しつつ、該可動子の変位量を測定するとともに、上記可動子に作用する押圧荷重を測定し、検出された上記押圧荷重と閾値との比較によって、上記圧電素子と上記可動子との密着状態を判断し、第２の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との中心間距離を計測することを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータの検査方法。
【請求項３】
上記第１の間隙をＡとし、上記第２の間隙をＢとした時、下記式１によって、上記圧電素子と上記可動子との間の相対傾きΔＧｒａｄを算出する請求項２記載の圧電アクチュエータの検査方法。
ΔＧｒａｄ＝２・（Ｂ−Ａ）  ・・・  式１
【請求項４】
通電によって伸長する略柱状の圧電素子と、該圧電素子の外周を覆いつつ、その一方の端部において固定する略筒状の筐体と、該筐体の他方の端部に弾性部材を介して設けた可動子とを有し、上記圧電素子と上記可動子との間に間隙を設けた圧電アクチュエータの該間隙を測定する圧電アクチュエータの検査装置であって、
上記可動子を押圧して上記可動子を変位せしめる可動子押圧手段と、該可動子押圧手段によって変位した上記可動子の変位量を計測する変位量計測手段と、上記可動子に作用する荷重を計測する荷重計測手段と、上記圧電素子に発生する圧電効果を検出する圧電効果検出手段とを具備し、
検出された圧電効果と閾値との比較によって、圧電素子と可動子との接触状態を判断し、第１の間隙として、圧電素子と可動子との最短距離を計測することを特徴とする圧電アクチュエータの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関の燃焼室内に高圧燃料を噴射する燃料噴射装置の駆動に用いられる圧電アクチュエータの検査方法及び検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、燃費向上、燃焼排気中の有害物質の低減等の観点から、自動車用エンジン等の内燃機関には、圧電アクチュエータを駆動源として用いた燃料噴射弁の開発が進められている。このような圧電アクチュエータは、燃料噴射弁内に組み込まれ、厳しい環境下において使用されるため、よりコンパクトな構造と高い耐久性とが要求されている。
【０００３】
このような圧電アクチュエータとして、特許文献１には、圧電式のアクチュエータモジュールであって、少なくとも圧電素子とアクチュエータフットとアクチュエータヘッドとを有しており、該アクチュエータヘッドが前記圧電素子によって操作しようとする構成部品と協働するようになっており、前記アクチュエータモジュールが軸方向に延びるスリーブによって包囲されているものにおいて、アクチュエータヘッドに続いてダイヤフラムが設けられており、このダイヤフラムが略半径方向に延びて、前記スリーブに接続されており、種々の異なる曲率半径を有する横断面を備えていることを特徴としている圧電式のアクチュエータモジュールが開示されている。
【０００４】
ところが、特許文献１にあるような圧電アクチュエータでは、アクチュエータヘッドと圧電素子とが接触している状態で組み付けられており、圧電素子が伸長する際に、ダイヤフラムに圧縮応力が作用するため、圧電素子の応答性が低下する虞がある。
【０００５】
そこで、図１に示すような圧電アクチュエータ２では、筒状の筐体２００と、その内側に収納される圧電素子２１０と、弾性材料からなるダイヤフラム２７０を介して筐体２００に弾性的に固定した軸方向に稼働するピストン２６０とによって構成し、圧電素子２１０は、筐体２００の基端側を筐体２００の基端側に設けた封止部２５０に固定し、圧電素子２１０とピストン２６０との間には、間隙ＧＰを設けて、組み付け前の状態において、圧電素子２１０にもダイヤフラム２７０にも荷重が作用していない状態としている。
【０００６】
さらに、このような構成とした圧電アクチュエータ２を、図２に示すように、高圧燃料の噴射と停止を行うインジェクタＩの駆動源として組み付けた時に、ピストン受部２８０によってピストン２６０を基端側に向かって押圧し、圧電素子２１０の保護層２２０の下端面とピストン２６０の上端面とを密接させ、圧電素子２１０の収縮時において、ダイヤフラム２７０のバネ荷重が反圧電素子方向に作用した状態としている。
圧電素子２１０とピストン２６０との間に間隙ＧＰを設けた圧電アクチュエータ２をインジェクタＩ内にダイヤフラムに引張応力印加状態で組み付けることにより、ダイヤフラムの疲労寿命の向上を図ることができると期待されている。
【０００７】
なお、圧電アクチュエータ２には、圧電素子２１０は、ＰＺＴ等の圧電セラミック材料を平板状に形成した圧電セラミック層２１０の表面に内部電極２１１ａ、２１１ｂを形成し、これらの分極方向を交互に変えて数百層積層し、内部電極層２１１ａ、２１１ｂを側面方向に左右交互に引き出し、さらに内部電極層２１１ａ、２１１ｂを、伸縮可能なエキスパンダメタル等によって形成した側面電極２１２ａ、２１２ｂに接続し、さらに、外部電源に接続すべく一対の導通線２１４ａ、２１４ｂに接続し、側面電極２１２ａ、２１２ｂをエポキシ樹脂等の絶縁部材２１３ａ、２１３ｂによって覆うとともに、上端部と下端部とには、絶縁体からなる保護層２２０、２３０を形成し、略長軸状に形成した積層型の圧電素子２１０が用いられている。
【特許文献１】特表２００５−５３３９６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、図１に示すような圧電アクチュエータ２の構成では、圧電素子２１０は筐体２００の基端側で封止部材２５０に固定されている。圧電素子２１０は軸方向の上下端面の研磨工程において完全に平行な平面で加工し難い為、両端面間で微小な傾きを生じる虞がある。また、ダイヤフラム２７０に対しピストン２６０が傾いた状態で組付けが行われた場合、ダイヤフラム２６０の下端面とピストン２７０の上面間で微小な傾きを生じる虞がある。そのため圧電アクチュエータ２には圧電素子２１０の下端部より連なる絶縁体からなる保護層２２０の下端面とピストン２６０の上面に相対的な傾きが生じる虞がある。
【０００９】
このような状態で圧電アクチュエータ２をインジェクタＩ内に組み付けると、圧電素子２１０の下端部の一部がピストン２６０の上端面によって局所的に押圧された状態となる。このような組み付け状態では、駆動時において、圧電素子２１０に偏荷重がかかり、長時間の使用によって、ダイヤフラム２７０に疲労き裂の発生を招く虞がある。
【００１０】
このような圧電素子と可動子との間に間隙を設けた圧電アクチュエータの更なる信頼性の向上、応答性の向上を図るためには、圧電アクチュエータをインジェクタに組み付けする前の状態において、圧電素子と可動子との間に設けた間隙を正確に測定し、許容範囲を超えた傾きの生じたものを確実に排除する必要がある。しかし、筺体内を視認するにはＸ線等の特殊技術を要する為、筐体内での圧電素子の状態を安価な方法で、かつ、正確に把握することは困難であった。
【００１１】
そこで、本願発明は、視認性の悪い圧電アクチュエータにおいても圧電素子と圧電素子の変位を伝達する可動子との間に設けた間隙を簡易な方法で、かつ、正確に測定できる圧電アクチュエータの検査方法及び検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明では、通電によって伸長する略柱状の圧電素子と、該圧電素子を内部に収納しつつ該圧電素子をその一方の端部において固定する略筒状の筐体と、該筐体の他方の端部に弾性部材を介して設けた可動子とを有し、上記圧電素子と上記可動子との間に間隙を設けた圧電アクチュエータの該間隙を測定する圧電アクチュエータの検査方法であって、上記可動子を押圧しつつ、該可動子の変位量を測定するとともに、上記圧電素子に接続した一対の通電線を利用し、上記可動子が上記圧電素子を押圧した時の圧電効果による発生電圧又は、発生電流を測定し、検出された圧電効果と閾値との比較によって、上記圧電素子と上記可動子との接触状態を判断し、第１の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との最短距離を計測する。
【００１３】
上記圧電素子の下端面と上記可動子の上端面とが平行でなく、上記圧電素子と上記可動子との間隙に傾きが生じている場合には、上記可動子が上記圧電素子と接触するまで押圧されると、上記圧電素子の接触部位が上記可動子によって局所的に圧縮され、上記圧電素子に、圧電効果によりピエゾ電圧が発生する。
上記圧電素子への通電のために接続された一対の通電線を利用して、上記圧電素子に発生した電圧又は電流を測定し、この発生電圧又は発生電流と所定の閾値との比較によって、上記圧電素子と上記可動子とが接触した状態であるか否かを判断することができる。
したがって、請求項１の発明によれば、上記圧電効果が閾値以上となった時の上記可動子の変位量を上記圧電素子と上記可動子との最短距離、即ち、第１の間隙として正確に知ることができる。
【００１４】
請求項２の発明では、上記可動子を押圧しつつ、該可動子の変位量を測定するとともに、上記可動子に作用する押圧荷重を測定し、検出された上記押圧荷重と閾値との比較によって、上記圧電素子と上記可動子との密着状態を判断し、第２の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との中心間距離を計測する。
【００１５】
上記可動子が上記圧電素子に接触するまでは、上記可動子に作用する押圧荷重は、上記弾性部材から受けるバネ荷重のみが作用し、上記可動子の変位量に応じて徐々に増加する。さらに上記可動子を押圧すると、上記可動子と上記圧電素子の一部とが接触状態となり、さらに上記可動子を押圧すると、上記可動子と上記圧電素子との接触点を支点として上記可動子が傾きながら上記圧電素子の下端面に当接する。この時、上記可動子の変位量に対する上記可動子に作用する荷重の変化率が上昇するが、その増加率は僅かであるので、この変化を検出して第１の間隙を検知することは困難である。上記可動子の変位が上記圧電アクチュエータの軸中心における上記圧電素子の下端面と上記可動子の上端面との距離に達すると、上記圧電素子の下端面と上記可動子の上端面とが全面に渡って当接した状態となる。このとき、上記可動子を押圧すると、上記可動子に作用する荷重は、上記圧電素子を押圧する荷重となるので、上記可動子の変位量に対する上記可動子に作用する荷重の変化率が急激に上昇し、容易に上記圧電素子と上記可動子とが密着状態となったことを検知できる。
請求項２の発明によれば、上記可動子の変位量に対する押圧荷重の変化率が急激に変化した点を上記圧電素子と上記可動子とが密着状態となったと判断でき、この時の変位量を、第２の間隙として正確に測定することができる。
【００１６】
請求項３の発明では、上記第１の間隙をＡとし、上記第２の間隙をＢとした時、下記式１によって、上記圧電素子と上記可動子との間の相対傾きΔＧｒａｄを算出する。
ΔＧｒａｄ＝２・（Ｂ−Ａ）  ・・・  式１
【００１７】
請求項３の発明によれば、容易に上記圧電素子の上記可動子に対する相対的な傾きを正確に測定することができる。
【００１８】
請求項４の発明では、通電によって伸長する略柱状の圧電素子と、該圧電素子の外周を覆いつつ、その一方の端部において固定する略筒状の筐体と、該筐体の他方の端部に弾性部材を介して設けた可動子とを有し、上記圧電素子と上記可動子との間に間隙を設けた圧電アクチュエータの該間隙を測定する圧電アクチュエータの検査装置であって、
上記可動子を押圧して上記可動子を変位せしめる可動子押圧手段と、該可動子押圧手段によって変位した上記可動子の変位量を計測する変位量計測手段と、上記可動子に作用する荷重を計測する荷重計測手段と、上記圧電素子に発生する圧電効果を検出する圧電効果検出手段とを具備し、
検出された圧電効果と閾値との比較によって、圧電素子と可動子との接触状態を判断し、第１の間隙として、圧電素子と可動子との最短距離を計測する。
【００１９】
請求項４の発明によれば、上記押圧手段によって、上記可動子を押圧し、上記圧電素子の下端面と上記可動子の上端面とが接触し、上記圧電素子が上記可動子によって押圧された瞬間に上記圧電効果検出手段によって上記圧電素子に発生した圧電効果が検知され、上記圧電素子と上記可動子とが接触状態であることが検知され、この時の上記可動子の変位量を上記変位量計測手段によって知ることができる。したがって、第１の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との間に形成された間隙の最短距離の正確な測定が実現可能となる。
さらに、上記押圧手段によって、上記可動子を押圧し、上記圧電素子と上記可動子とが密着状態となると、上記可動子に作用する荷重が急激に上昇するため、上記荷重計測手段の計測結果によって、上記圧電素子と上記可動子とが密着状態となったことを容易に検知でき、この時の上記可動子の変位量を上記変位量計測手段によって知ることができる。したがって、第２の間隙として、上記圧電素子と上記可動子との間に形成された間隙の中心間距離の正確な測定が実現可能となる。
また、上記第１の間隙の計測結果と上記第２の間隙の計測結果とから、上記可動子の上端面に対する上記圧電アクチュエータの下端面の相対的な傾きの正確な測定が実現可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の第１の実施形態における圧電アクチュエータの検査方法について、図を参照して説明する。図３は、本実施形態における検査方法によって、圧電アクチュエータ２を測定する場合の検査装置の概要を示す構成図である。
図３に示すように、本実施形態においては、圧電アクチュエータ２の下方には、押圧手段として、例えば、サーボモータ、油圧プレス等の押圧装置７０が軸方向に昇降することによって、可動子２６０を軸方向への押圧が可能となっている。
押圧装置７０には、変位計測手段として、例えば、レーザ変位計、静電容量型変位計、ロータリエンコーダ等の変位計測装置７１が設けられ、可動子２６０の変位量が計測可能となっている。
さらに、押圧装置７０には、可動子２６０を押圧した時の荷重を計測する荷重計測手段として、例えば、ロードセル等の荷重計測装置７２が設けられている。
また、圧電アクチュエータ２を駆動するための一対の通電線２１４ａ、２１４ｂには、圧電効果検出手段として、圧電素子２１０が押圧された時に、圧電効果によって発生するピエゾ電圧ＶＰ又はピエゾ電流ＩＰを測定する電圧計８又は電流計９が接続されている。
【００２１】
図４、５、６を参照し、圧電アクチュエータ２において、圧電素子２１０の下端に設けられた保護層２２０の下端面と可動子２６０の上端面とが平行となっていない場合について、本実施形態における圧電アクチュエータ２に設けられた間隙ＧＰの検査方法について説明する。
図４（ａ）に示すように、圧電素子２１０と可動子２６０との間に設けられた間隙ＧＰにおいて、最も狭い部分を第１の間隙Ａとし、圧電素子２１０の中心軸上における圧電素子２１０と可動子２６０との間を第２の間隙Ｂとし、圧電素子２１０の可動子２６０に対する相対的な傾きをΔＧｒａｄとする。
【００２２】
変位計７１によって可動子２６０の変位量を計測しつつ、押圧装置７０によって、可動子２６０を軸方向に圧電素子２１０に向かって押圧する。このとき、可動子２６０には、ダイヤフラム２７０のバネ荷重が作用しており、変位の上昇に伴い可動子２６０に作用する荷重Ｆも徐々に上昇する。また、圧電素子２１０の下端面と可動子２６０の上端面とが接触するまでは、圧電素子２１０には圧電効果が発生せず、電圧計８でピエゾ電圧ＶＰは検出されない。
【００２３】
押圧装置７０によって、可動子２６０が第１の間隙Ａだけ押圧されると圧電素子２１０の下端面の一部に当接し、圧電素子２１０の一部が可動子２６０によって押圧される。この時、圧電素子２１０には圧電効果によってピエゾ電圧ＶＰが発生する。なお、本実施形態において、圧電素子２１０は、１μｍの圧縮によって５ｍＶのピエゾ電圧を発生する圧電特性を有している。
【００２４】
可動子２６０が圧電素子２１０の下端面の一部と接触するまで押圧されると、圧電素子２１０の接触部位が可動子２６０によって局所的に圧縮され、圧電素子２１０に、圧電効果によりピエゾ電圧ＶＰが発生する。
圧電素子２１０に発生したピエゾ電圧ＶＰを電圧計８によって測定し、この電圧と所定の閾値との比較によって、圧電素子２１０と可動子２６０とが接触した状態であるか否かを判断することができる。
本実施形態においては、外乱を考慮して、ピエゾ電圧ＶＰの閾値として１０ｍＶ以上即ち、圧電素子２１０が２μｍ以上押圧された時に圧電素子２１０と可動子２６０とが接触状態となったと判断し、この時の変位量Ｘを第１の間隙Ａとして正確に知ることができる。
【００２５】
押圧装置７０による可動子２６０の押圧開始から圧電素子２１０の下端面に接触するまでの電圧計８、変位計測装置７１、荷重計測装置７２によって検出された、ピエゾ電圧ＶＰ（ｍＶ）の経時変化、変位Ｘ（μｍ）に対する荷重Ｆ（Ｎ）の変化を図５に示す。
図５（ａ）に示すように、可動子２６０と圧電素子２１０とが接触状態となり、２μｍ以上押圧されると、１０ｍＶ以上のピエゾ電圧ＶＰが検出され、図５（ｂ）に示すように、この時の変位Ｘを第１の間隙Ａとして正確に検出する事ができる。
一方、荷重Ｆ（Ｎ）は、変位Ｘ（μｍ）によって徐々に増加し、圧電素子２１０と可動子２６０とが接触した後は、荷重Ｆ（Ｎ）の増加率が変化するが、増加率の変化は僅かであり、荷重Ｆ（Ｎ）のみの計測によって第１の間隙Ａを正確に測定することは困難である。圧電効果によって発生するピエゾ電圧ＶＰは、ごく僅かでも容易に検出が可能で、本発明の圧電効果の測定と変位量の測定とを同時に行うことによって正確に第１の間隙Ａを知ることができる。
【００２６】
さらに、押圧装置７０によって、可動子２６０の押圧を続けると、図５（ｃ）に示すように圧電素子２１０の下端面と可動子２６０の上端面とが全面に渡って当接した状態となる。
このとき、可動子２６０は圧電素子２１０の下端面の傾きに沿って傾いた状態となるので、実際の可動子２６０の変位は圧電素子２１０の中心軸上における圧電素子２１０の下端面と可動子２６０の上端面との距離、即ち、第２の間隙Ｂとなる。
この時、図７に示すように、可動子２６０に作用する荷重Ｆ（Ｎ）は、圧電素子２１０を押圧する荷重となるので、ダイヤフラム２７０から受ける弾性的な荷重に比べて、遙かに大きくなる。したがって、可動子２６０の変位量Ｘ（μｍ）に対する押圧荷重Ｆ（Ｎ）の変化率が急激に変化した点を圧電素子２１０と可動子２６０とが密着状態となったと判断でき、この時の変位量Ｘ（μｍ）を、第２の間隙Ｂとして正確に測定することができる。また、荷重Ｆ（Ｎ）の増加率の変化を検出するのではなく、荷重Ｆ（Ｎ）所定の閾値ＦＬ（Ｎ）以上(例えば、２００Ｎ以上）となった時を圧電素子２１０と可動子２６０とが密着状態となったと判断しても良い。
【００２７】
さらに、第１の間隙Ａと第２の間隙Ｂとから可動子２６０の圧電素子２１０に対する相対的な傾きΔＧｒａｄを下記式１によって算出できる。
ΔＧｒａｄ＝２・（Ｂ−Ａ）・・・式１
【００２８】
以上をまとめると、本発明の圧電素子の検査方法は、図７に示すフローチャートとして示すことができる。図７（ａ）は、第１の間隙Ａの検査方法の概要を示すフローチャート、図７（ｂ）は、第２の間隙Ｂの検査方法の概要を示すフローチャート、図７（ｃ）は、第１の間隙Ａと第２の間隙Ｂとから相対傾きΔＧｒａｄを算出する方法を示すフローチャートである。
【００２９】
図７（ａ）に示すように、圧電アクチュエータ２の第１の間隙Ａは、可動子２６０を押圧しつつ、可動子２６０の変位量Ｘを測定するとともに、圧電効果による発生電圧ＶＰ又は、発生電流ＩＰを測定し、検出された圧電効果ＶＰ又は、ＩＰと、閾値ＶＰＣ、又は、閾値ＩＰＣとの比較によって、圧電素子２１０と可動子２６０との接触状態を判断し、第１の間隙Ａとして、圧電素子２１０と可動子２６０との最短距離を計測する。圧電効果ＶＰ、ＩＰが閾値ＶＰＣ、ＩＰＣ以下の場合には、圧電素子２１０と可動子２６０とが接しておらず、圧電効果ＶＰ、ＩＰが閾値ＶＰＣ、ＩＰＣを超え、圧電素子２１０と可動子２６０とが接触状態と判断されるまで可動子２６０の押圧が継続される。
【００３０】
図７（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ２の第２の間隙Ｂは、可動子２６０を押圧しつつ、可動子２６０の変位量Ｘを測定するとともに、可動子２１０に作用する押圧荷重Ｆを測定し、検出された押圧荷重Ｆと閾値ＦＬとの比較によって、圧電素子２１０と可動子２６０との密着状態を判断し、第２の間隙Ｂとして、圧電素子２１０と可動子２６０との中心間距離を計測する。
【００３１】
図７（ｃ）に示すように、第１の間隙Ａの計測結果と第２の間隙Ｂの計測結果とから、可動子２６０の圧電素子２１０に対する相対傾きΔＧｒａｄが算出できる。
【００３２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定するものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態において、圧電アクチュエータ検査装置１は、圧電アクチュエータ２の下方に設けた押圧装置７０によって可動子２６０を押圧する構成としたが、圧電アクチュエータ２の下方に荷重計測装置７２のみを配設し、圧電アクチュエータ２を下方に変位させる押圧手段を用いた構成であっても良い。
また、本発明の圧電アクチュエータ検査装置を圧電アクチュエータの製造工程に組み込んで自動的に圧電アクチュエータの良否判定を行いながら製造する圧電アクチュエータの製造方法の一部としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】は、本発明の検査方法が適用できる圧電アクチュエータの概要を示す断面図。
【図２】は、本発明の検査方法が適用される圧電アクチュエータを組み付けたインジェクタの概要を示す構成図。
【図３】は、本発明の第１の実施形態における圧電アクチュエータ検査装置の概要を示す構成図。
【図４】（ａ）は、本発明の第１の検査方法の検査対象部位を示す要部断面図、本図（ｂ）は、第１の間隙Ａの測定状況を示す要部断面図、本図（ｃ）は、第２の間隙Ｂの測定状況を示す要部断面図。
【図５】は、本発明の第１実施形態における検査方法の第１の間隙Ａの測定例を示し、本図（ａ）は、ピエゾ電圧の変化を示す特性図、本図（ｂ）は、荷重の変化を示す特性図。
【図６】は、本発明の第１の実施形態における検査方法の第２の間隙Ｂの測定例を示す特性図。
【図７】は、本発明の検査方法の概要を示し、本図（ａ）は、第１の間隙Ａの計測方法を示すフローチャート、本図（ｂ）は、第２の間隙Ｂの計測方法を示すフローチャート、本図（ｃ）は、相対傾きΔＧｒａｄの算出方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００３４】
１  圧電アクチュエータ検査装置
２  圧電アクチュエータ
２１０  圧電素子
２６０  可動子
７０  可動子押圧手段
７１  変位量計測手段
７２  荷重計測手段
ＶＰ、IＰ  圧電効果（ピエゾ電圧、ピエゾ電流）
８、９  圧電効果検出手段（ピエゾ電圧計、ピエゾ電流計）
ＧＰ  間隙
Ｘ  変位量
Ａ  第１の間隙（最狭間隙）
Ｂ  第２の間隙（最広間隙）
ΔＧＲＡＤ  相対傾き
【図１】
0004715864.tif 000002
【図２】
0004715864.tif 000003
【図３】
0004715864.tif 000004
【図４】
0004715864.tif 000005
【図５】
0004715864.tif 000006
【図６】
0004715864.tif 000007
【図７】
0004715864.tif 000008