(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板をマクロ的に撮像してマクロ欠陥を含む検査対象全面のマクロ検査画像データを取得する工程と、
前記被検査基板をミクロ的に撮像してミクロ欠陥を含む検査対象全面のミクロ検査画像データを取得する工程と、
前記ミクロ検査画像データからミクロ欠陥を検出し、前記ミクロ欠陥部分に関する情報からなるミクロ欠陥マップデータを作成する工程と、
前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせて重ね合わせ画像データを作成する工程と、
前記重ね合わせ画像データを表示する工程と、
を有することを特徴とする検査画面の表示方法。
【請求項２】
被検査基板をマクロ的に撮像してマクロ欠陥を含む検査対象全面のマクロ検査画像データを取得するマクロ検査部と、
前記被検査基板をミクロ的に撮像してミクロ欠陥を含む検査対象全面のミクロ検査画像データを取得するミクロ検査部と、
前記ミクロ検査画像データからミクロ欠陥を検出し、前記ミクロ欠陥部分に関する情報からなるミクロ欠陥マップデータを作成するミクロ欠陥マップデータ作成部と、
前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせて重ね合わせ画像データを作成する重ね合わせ画像作成部と、
前記重ね合わせ画像データを表示する表示部と、
を具備したことを特徴とする基板検査システム。
【請求項３】
前記画像処理部は、前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとの座標の対応を行なって重ね合わせ処理を行なうことを特徴とする請求項２記載の基板検査システム。
【請求項４】
前記ミクロ欠陥マップデータは、少なくとも前記欠陥部分の座標、サイズからなることを特徴とする請求項２記載の基板検査システム。
【請求項５】
前記表示手段は、ディスプレイ画面上に前記マクロ検査画像データを表示し、かつ当該マクロ検査画像の表示に重ね合わせて、前記ミクロ欠陥マップデータにおける前記欠陥部分の前記座標に対応する前記ディスプレイ画面上の部分にポイント表示を行なうことを特徴とする請求項２記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板やカラーフィルタ、半導体ウエハなどの被検査基板に対するマクロ検査とミクロ検査とを行なうときに用いる検査画面の表示方法及び基板検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えばＬＣＤパネルの製造工程では、そのガラス基板に対する欠陥検査が行なわれており、この検査には、マクロ検査とミクロ検査とが行われている。マクロ検査は、ガラス基板に対して照明光を照射し、検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等の欠陥部分を検出したり、又はガラス基板に対して照明光を照射したときの反射光を撮像し、そのモニター画像を検査員が目視により観察してガラス基板上の上記欠陥部分を検出することが行われている。
【０００３】
ミクロ検査は、マクロ検査で検出された欠陥部分を顕微鏡を用いて拡大して観察したり、その顕微鏡の拡大画像をモニター表示することによって欠陥部分を検査することが行なわれている。
【０００４】
このようなマクロ検査とミクロ検査では、それぞれ別々のマクロ検査装置とミクロ検査装置とが用いられており、それぞれのモニター表示画像も別々の表示用ディスプレイ装置において表示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
マクロ検査で検出された欠陥部分（以下、マクロ欠陥部分と称する）とミクロ検査で検出された欠陥部分（以下、ミクロ欠陥部分と称する）とは、それぞれ関係がないものでなく、マクロ欠陥部分は、ミクロ欠陥部分を核として発生することが多い。
【０００６】
しかしながら、マクロ検査装置とミクロ検査装置とが別々の単体の装置として検査動作し、これらのマクロ検査結果とミクロ検査結果とが別々のものとして取り扱われている。
【０００７】
このため、マクロ欠陥部分とミクロ欠陥部分との関連状況をチェックすることができず、ガラス基板に対する検査効率が低下し、ＬＣＤパネルの製造工程において不良のガラス基板が多くなり、生産効率が低下していた。
【０００８】
そこで本発明は、マクロ検査画像とミクロ検査結果とを重ね合わせてマクロ欠陥部分とミクロ欠陥部分との関連状況をチェックでき、ガラス基板に対する検査効率を向上できる検査画面の表示方法及び基板検査システムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載による本発明は、被検査基板をマクロ的に撮像してマクロ欠陥を含む検査対象全面のマクロ検査画像データを取得する工程と、前記被検査基板をミクロ的に撮像してミクロ欠陥を含む検査対象全面のミクロ検査画像データを取得する工程と、前記ミクロ検査画像データからミクロ欠陥を検出し、前記ミクロ欠陥部分に関する情報からなるミクロ欠陥マップデータを作成する工程と、前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせて重ね合わせ画像データを作成する工程と、前記重ね合わせ画像データを表示する工程とを有することを特徴とする検査画面の表示方法である。
【００１０】
請求項２記載による本発明は、被検査基板をマクロ的に撮像してマクロ欠陥を含む検査対象全面のマクロ検査画像データを取得するマクロ検査部と、前記被検査基板をミクロ的に撮像してミクロ欠陥を含む検査対象全面のミクロ検査画像データを取得するミクロ検査部と、前記ミクロ検査画像データからミクロ欠陥を検出し、前記ミクロ欠陥部分に関する情報からなるミクロ欠陥マップデータを作成するミクロ欠陥マップデータ作成部と、前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせて重ね合わせ画像データを作成する重ね合わせ画像作成部と、前記重ね合わせ画像データを表示する表示部とを具備したことを特徴とする基板検査システムである。
【００１１】
請求項３記載による本発明は、請求項２記載の基板検査システムにおいて、前記画像処理部は、前記マクロ検査画像データと前記ミクロ欠陥マップデータとの座標の対応を行なって重ね合わせ処理を行なうことを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載による本発明は、請求項２記載の基板検査システムにおいて、前記ミクロ欠陥マップデータは、少なくとも前記欠陥部分の座標、サイズからなることを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載による本発明は、請求項２記載の基板検査システムにおいて、前記表示手段は、ディスプレイ画面上に前記マクロ検査画像データを表示し、かつ当該マクロ検査画像の表示に重ね合わせて、前記ミクロ欠陥マップデータにおける前記欠陥部分の前記座標に対応する前記ディスプレイ画面上の部分にポイント表示を行なうことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は基板検査システムの構成図である。マクロ検査装置１は、例えばＬＣＤパネルなどのフラットパネルディスプレイのガラス基板やカラーフィルタ、半導体ウエハなどの被検査基板２に対するマクロ検査を行なうもので、移動ステージ３上に被検査基板２が載置されている。この移動ステージ３は、装置制御ユニット４による制御によって矢印イ方向に所定の速度で移動可能となっている。
【００１６】
ライン照明装置５は、移動ステージ３の上方に配置され、ライン照明光６を被検査基板２の面上に対して斜め方向から照射するものである。
【００１７】
ラインセンサカメラ７は、被検査基板２の面上からの反射光８を入射し、その画像信号を１ライン毎に出力するものである。
【００１８】
画像処理ユニット９は、ラインセンサカメラ７から出力される１ライン毎に画像信号を逐次入力し、これら画像信号をディジタル変換すると共に１ライン毎に合成して被検査基板２の１枚全面分の画像データ（以下、マクロ検査画像データと称する）を作成する機能を有している。
【００１９】
装置制御・結果表示パーソナルコンピュータ（以下、パーソナルコンピュータと省略する）１０は、画像処理ユニット９により作成されたマクロ検査画像データを受け取り、このマクロ検査画像データを表示用ディスプレイ装置１１に表示する機能を有している。又、このパーソナルコンピュータ１０は、ラインセンサカメラ７により被検査基板２の画像を取り込むときに、装置制御ユニット４に対して所定の速度で移動させる指令を発する機能を有している。なお、このパーソナルコンピュータ１０は、キーボード１２からの操作入力を受けてその操作指示に従って動作する機能を有している。
【００２０】
一方、ミクロ検査装置２０は、上記被検査基板２に対するミクロ検査を行なうもので、移動ステージ２１上に被検査基板２が載置されている。この移動ステージ２１は、装置制御ユニット２２による制御によって矢印イ方向に所定の速度で移動可能となっている。
【００２１】
ライン照明装置２３は、ライン照明光２４を出力するもので、その光路上にはハーフミラー２５が配置されている。このハーフミラー２５は、ライン照明装置２３から出力されたライン照明光２４を反射して被検査基板２の面上に対して略垂直方向に照射し、この被検査基板２の面上からの反射光を透過する作用を有している。
【００２２】
ラインセンサカメラ２７は、ハーフミラー２５の透過光路上に配置され、被検査基板２の面上からの反射光２６を入射し、その画像信号を１ライン毎に出力するものである。なお、ラインセンサカメラ２７は、被検査基板２の面上を拡大光学系等を通して撮像してもよい。
【００２３】
画像処理ユニット２８は、ラインセンサカメラ２７から出力される１ライン毎に画像信号を逐次入力し、これら画像信号をディジタル変換すると共に１ライン毎に合成して被検査基板２の１枚全面分の画像データ（以下、ミクロ検査画像データと称する）を作成する機能を有している。
【００２４】
装置制御・結果表示パーソナルコンピュータ（以下、パーソナルコンピュータと省略する）２９は、画像処理ユニット２８により作成されたミクロ検査画像データを受け取り、このミクロ検査画像データから被検査基板２の面上のミクロ欠陥部分を検出し、この欠陥部分に関する情報例えば少なくとも欠陥部分の座標（Ｘ，Ｙ）、サイズからなるミクロ欠陥マップデータを作成する機能を有している。又、このパーソナルコンピュータ２９は、作成したミクロ欠陥マップデータにおける欠陥部分の座標を読み取ってその欠陥部分を表示用ディスプレイ装置３０にポイント表示する、すなわち表示用ディスプレイ装置３０にミクロ欠陥マップを表示する機能を有している。又、このパーソナルコンピュータ２９は、ラインセンサカメラ２７により被検査基板２の画像を取り込むときに、装置制御ユニット２２に対して所定の速度で移動させる指令を発する機能を有している。なお、このパーソナルコンピュータ２９は、キーボード３１からの操作入力を受けてその操作指示に従って動作する機能を有している。
【００２５】
検査結果サーバ及び画像重ね合わせ処理パーソナルコンピュータ（以下、画像重ね合わせパーソナルコンピュータと省略する）３２は、マクロ検査装置１のパーソナルコンピュータ１０からマクロ検査画像データを受け取って保持すると共に、ミクロ検査装置２０のパーソナルコンピュータ２９からミクロ欠陥マップデータを受け取って保持し、かつこれらマクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせてその重ね合わせ画像データを作成して保持する機能を有している。この画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２は、マクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせるとき、マクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとの座標の対応を行なって重ね合わせ処理するものとなっている。
【００２６】
重ね合わせ画像表示端末３３は、画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２により作成された重ね合わせ画像データを受け取り、この重ね合わせ画像データから表示用ディスプレイ装置３４のディスプレイ画面上に、マクロ画像を表示すると共に、このマクロ画像の表示に重ね合わせて、ミクロ欠陥マップデータにおける欠陥部分の座標に対応するディスプレイ画面上の部分にポイント表示を行なう機能を有している。
【００２７】
この重ね合わせ画像表示端末３３は、記憶媒体として例えばフロッピーディスク３５がセットされると、このフロッピーディスク３５に重ね合わせ画像データをレビュー検査用ファイルとして記憶する機能を有している。
【００２８】
次に、上記の如く構成された装置の作用についてソフトウエア構成を参照しながら説明する。
【００２９】
マクロ検査装置１においてハードウエア画像取込部＃１によりマクロ画像データが取得される。すなわち、例えばＬＣＤパネルなどのフラットパネルディスプレイのガラス基板やカラーフィルタ、半導体ウエハなどの被検査基板２が移動ステージ３上に載置されると、この移動ステージ３は、装置制御ユニット４による制御によって矢印イ方向に所定の速度で移動する。
【００３０】
これと共にライン照明装置５は、所定の速度で移動する被検査基板２の面上に対してライン照明光６を斜め方向から照射する。ラインセンサカメラ７は、被検査基板２の面上からの反射光８を入射し、その画像信号を１ライン毎に逐次出力する。
【００３１】
画像処理ユニット９は、ラインセンサカメラ７から出力される１ライン毎の画像信号を逐次入力し、これら画像信号をディジタル変換すると共に１ライン毎に合成して被検査基板２の１枚全面分のマクロ検査画像データを作成し、このマクロ検査画像データを画像メモリ＃２に保存する。
【００３２】
これと共にパーソナルコンピュータ１０は、画像処理ユニット９により作成されたマクロ検査画像データを受け取り、このマクロ検査画像データを画像処理＃３して表示用ディスプレイ装置１１に表示する（＃４）。
【００３３】
図３は表示用ディスプレイ装置１１に表示されたマクロ検査画像の一例を示す図である。このマクロ検査画像は、被検査基板２として例えば６面取りのＬＣＤパネルのガラス基板を撮像して取得したもので、この１枚の大型のガラス基板４０から６枚のＬＣＤパネル用の各ガラス基板４０−１〜４０−６が抜き取られるものである。このガラス基板４０には、１つのコーナ部分にオリフラ４１が形成されている。このマクロ検査画像からは、ガラス基板４０上にダスト・粒子の付着や汚れ、傷、欠け等のマクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８が存在することが観察される。
【００３４】
そして、画像処理ユニット９は、被検査基板２の１枚全面分のマクロ検査画像データを画像保存検索部＃５を通してマクロ画像ファイルとしてマクロ画像ファイル記憶装置＃６に記憶する。
【００３５】
なお、複数枚の被検査基板２に対する各マクロ検査画像データを取得してこれらマクロ検査画像データをマクロ画像ファイル記憶装置＃６に記憶する場合には、それぞれの被検査基板２に対して例えば管理用バーコードを付し、これら管理用バーコードを各マクロ検査画像データにそれぞれ対応させてマクロ画像ファイル記憶装置＃６に記憶する。
【００３６】
次に、マクロ検査が終了すると、被検査基板２は、ミクロ検査装置２０における移動ステージ２１上に載置される。
【００３７】
このミクロ検査装置２０においてハードウエア画像処理部＃１０によりミクロ画像データが取得される。すなわち、被検査基板２が載置された移動ステージ２１は、装置制御ユニット２２による制御によって矢印イ方向に所定の速度で移動する。
【００３８】
これと共にライン照明装置２３は、ライン照明光２４を出力する。このライン照明光２４は、ハーフミラー２５で反射して被検査基板２の面上に対して略垂直方向に照射され、この被検査基板２の面上からの反射光がハーフミラー２５を透過してラインセンサカメラ２７に入射する。このラインセンサカメラ２７は、被検査基板２の面上からの反射光２６を入射し、その画像信号を１ライン毎に出力する。
【００３９】
画像処理ユニット２８は、ラインセンサカメラ２７から出力される１ライン毎に画像信号を逐次入力し、これら画像信号をディジタル変換すると共に１ライン毎に合成して被検査基板２の１枚全面分のミクロ検査画像データを作成する。
【００４０】
次に、パーソナルコンピュータ２９は、画像処理ユニット２８により作成されたミクロ検査画像データを受け取り、このミクロ検査画像データから被検査基板２の面上のミクロ欠陥部分Ｓを検出する。このミクロ欠陥部分Ｓの検出は、例えば隣接する画素同士を順次比較することにより、輝度レベルの異なる画素を検出すると、その画素部分をミクロ欠陥部分Ｓとして検出する。
【００４１】
そして、パーソナルコンピュータ２９は、検出したミクロ欠陥部分Ｓに関する情報、例えば図４に示すような少なくともミクロ欠陥部分Ｓの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズからなるミクロ欠陥マップデータを作成する（＃１１、＃１２）。
【００４２】
図４はミクロ欠陥マップデータの一例を示す模式図である。このミクロ欠陥マップデータは、上記図３に示す６面取りのＬＣＤパネルのガラス基板４０におけるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎに対するもので、これらミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズが記憶されている。このうちミクロ欠陥部分Ｓの座標（Ｘ，Ｙ）は、例えばガラス基板４０のオリフラ４１を座標基準（０，０）として求めたり、又はガラス基板４０の中心位置を座標基準（０，０）として求めている。
【００４３】
そして、パーソナルコンピュータ２９は、ミクロ欠陥マップデータにおけるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎの座標（Ｘ，Ｙ）を読み取ってそのミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎを表示用ディスプレイ装置３０にポイント表示する（＃１３）。
【００４４】
図５は上記６面取りのＬＣＤパネルのガラス基板４０におけるミクロ欠陥マップの表示例を示す図である。このミクロ欠陥マップでは、ガラス基板４０の面上にミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎが存在することが観察され、特に１枚のガラス基板４０−６の面上には、複数のミクロ欠陥部分Ｓ９〜Ｓｎが存在することが観察される。
【００４５】
又、パーソナルコンピュータ２９は、ミクロ欠陥マップデータをマップデータ保存検索部＃１４を通してミクロ欠陥マップデータ記憶装置＃１５に記憶する。なお、複数枚の被検査基板２に対する各ミクロ欠陥マップデータを取得してこれらミクロ欠陥マップデータを同記憶装置＃１５に記憶する場合には、上記同様に、それぞれの被検査基板２に対して例えば管理用バーコードを付し、これら管理用バーコードを各ミクロ欠陥マップデータにそれぞれ対応させてミクロ欠陥マップデータ記憶装置＃１５に記憶する。
【００４６】
次に、画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２は、マクロ検査装置１のパーソナルコンピュータ１０からマクロ検査画像データを受け取って保持すると共に、ミクロ検査装置２０のパーソナルコンピュータ２９からミクロ欠陥マップデータを受け取って保持する（＃１６）。
【００４７】
次に、画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２は、これらマクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせてその重ね合わせ画像データを作成して保持する（＃１７）。このとき画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２は、マクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせるとき、マクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとの座標の対応を行なうと共に、マクロ画像データとミクロ欠陥マップデータとの各原点を合せて重ね合わせ処理する。
【００４８】
次に、重ね合わせ画像表示端末３３に対して重ね合わせ画像データの表示指示が操作入力されると、この重ね合わせ画像表示端末３３は、画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２に対して表示トリガー信号を発し、画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２から重ね合わせ画像データを受け取り、この重ね合わせ画像データを表示用ディスプレイ装置３４のディスプレイ画面上に表示する（＃１８、＃１９）。
【００４９】
図６は表示用ディスプレイ装置３４に表示された重ね合わせ画像を示す図である。この重ね合わせ画像は、複数のマクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８を有するマクロ画像上に、ミクロ欠陥マップデータにおけるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎの座標（Ｘ，Ｙ）に対応するディスプレイ画面上の部分にポイント表示を重ね合わせたものである。
【００５０】
なお、この重ね合わせ画像表示端末３３は、記憶媒体として例えばフロッピーディスク３５がセットされると、このフロッピーディスク３５に重ね合わせ画像データをレビュー検査用ファイルとして記憶する。
【００５１】
このように上記一実施の形態においては、複数のマクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８を有するマクロ画像と、ミクロ欠陥マップデータにおけるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎの座標（Ｘ，Ｙ）に対応するディスプレイ画面上の部分にポイント表示とを重ね合わせて表示するので、ガラス基板４０面上におけるマクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８とミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎとの関連状況が１台の表示用ディスプレイ装置３４で一目で観察でき、マクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８がミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎを核として発生することが多いことから、マクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８の発生原因となるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎを素早く検査することができ、マクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８に与えるミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎの関わりを検査できる。これにより、新規に欠陥部分が検出されることもある。
【００５２】
そして、マクロ画像とミクロ欠陥マップデータとの重ね合わせ画像は、目視による被検査基板２の検査にも利用できる。例えば、マニュアルマクロ検査装置の横にモニター装置を設置し、このモニター装置に重ね合わせ画像を表示させることにより、作業者は、同モニター装置の重ね合わせ画像を観察しながら被検査基板２を目視観察することができる。この場合、例えば６面取りのＬＣＤパネルのガラス基板４０のような基板サイズが大きくなるほど目視観察に限界が発生するので、モニター装置に重ね合わせ画像を表示することは目視検査に有効である。
【００５３】
又、作業者は、疲労してくると欠陥部分を見落としがちになるが、モニター装置上の画像では欠陥部分を確実に表示できる。
【００５４】
又、モニター装置上の重ね合わせ画像には、目視では見えないミクロ欠陥部分が表示されているので、目視観察の参考になる。
【００５５】
さらに、モニター装置上の重ね合わせ画像におけるマクロ画像を見ながら重要と思われるミクロ欠陥部分のみをレビュー検査できる。
【００５６】
このようなことからマクロ欠陥部分Ｇ１〜Ｇ８とミクロ欠陥部分Ｓ１〜Ｓｎとの関連状況がチェックできることから、ガラス基板４０などの被検査基板２に対する検査効率を向上でき、ＬＣＤパネルの製造工程において不良のガラス基板４０を少なくでき、生産効率を向上でき、さらに検査工数の削減、検査費用の削減ができる。
【００５７】
又、マクロ画像とミクロ欠陥マップデータとの重ね合わせ画像は、画像データとして画像重ね合わせパーソナルコンピュータ３２のメモリやフロッピーディスク３５に蓄積できるので、その後の検査用のサンプルデータとして残しておくことができる。又、マクロ画像とミクロ欠陥マップデータとを別々のメモリに保存する必要がなく、データ蓄積のためのメモリ容量を少なくできる。
【００５８】
なお、本発明は、上記一実施の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。
【００５９】
さらに、上記実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【００６０】
例えば、上記一実施の形態では、ラインセンサカメラで取り込まれたミクロ画像データからミロク欠陥部分を自動的に検出しているが、高倍の対物レンズを備えた顕微鏡を用いてミクロ欠陥部を検出することができる。
【００６１】
又、上記一実施の形態では、被検査体の全面のマクロ画像に対してミクロ欠陥マップデータを合成表示させたが、複数の面取りの被検査体に対して各面毎又はｎ等分された分割面ごとにマクロ画像を表示部に表示し、この分割表示されたマクロ画像に対してミクロ欠陥マップデータを合成表示させることもできる。
【００６２】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、被検査基板をマクロ的に撮像してマクロ欠陥を含む検査対象全面のマクロ検査画像データを取得し、被検査基板をミクロ的に撮像してミクロ欠陥を含む検査対象全面のミクロ検査画像データを取得し、このミクロ検査画像データからミクロ欠陥を検出し、このミクロ欠陥部分に関する情報からなるミクロ欠陥マップデータを作成し、マクロ検査画像データとミクロ欠陥マップデータとを重ね合わせて重ね合わせ画像データを作成し、前記重ね合わせ画像データを表示するので、マクロ欠陥部分とミクロ欠陥部分との干渉状況をチェックでき、ガラス基板に対する検査効率を向上できる検査画面の表示方法及び基板検査システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態におけるハードウエア構成を示す図。
【図２】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態におけるソフトウエア構成を示す図。
【図３】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態におけるマクロ検査画像の表示例を示す図。
【図４】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態におけるミクロ欠陥マップデータを示す模式図。
【図５】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態におけるミクロ欠陥マップの表示例を示す図。
【図６】本発明に係わる基板検査システムの一実施の形態における重ね合わせ画像を示す図。
【符号の説明】
１：マクロ検査装置
２：被検査基板
３，２１：移動ステージ
４，２２：装置制御ユニット
５，２３：ライン照明装置
７，２７：ラインセンサカメラ
９，２８：画像処理ユニット
１０，２９：装置制御・結果表示パーソナルコンピュータ
１１，３０：表示用ディスプレイ装置
１２，３１：キーボード
２０：ミクロ検査装置
２５：ハーフミラー
３２：検査結果サーバ及び画像重ね合わせ処理パーソナルコンピュータ
３３：重ね合わせ画像表示端末
３４：表示用ディスプレイ装置
３５：フロッピーディスク
【図１】
0004649051.tif 000002
【図２】
0004649051.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004649051.tif 000005
【図５】
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【図６】
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