(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段（３）を備えた撮像ヘッド（１）と、
該撮像手段（３）に対向するように配置され且つその対向方向に略直交する面内において直線方向に第１位置（ａ）から第２位置（ｂ）を経て第３位置（ｃ）までの範囲で移動可能とされたテーブル（１１）と、
該テーブル（１１）に取付けられて被検査物（Ｗ）を位置決め状態で支持する被検査物支持台（１４）と、
上記テーブル（１１）の上記第３位置（ｃ）への接離動に伴う移動力を受けて作動し、上記被検査物支持台（１４）に支持された上記被検査物（Ｗ）の固定及び固定解除を行なう固定手段（Ｙ）を備えたことを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１において、
上記被検査物（Ｗ）が基板であることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、例えば、トランジスタ等の各種部品が実装された基板の外観を撮像し画像処理によって実装状態の適否を検査する外観検査装置に関し、さらに詳しくは検査時における被検査物の固定構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板の外観を検査する外観検査装置としては、例えば、特許文献１及び特許文献２に示されるように、従来から種々の構造が提案されている。このような外観検査装置においては、検査作業に際して、被検査物たる基板を所定の撮像位置に位置決めし、且つこれを固定する必要があり、この固定構造としては、上掲各特許文献１、２にそれぞれ示されるように、基板側に位置決め孔を設ける一方、検査装置側には専用のアクチュエータによって駆動される位置決めピンを設け、上記基板を所定の支持台上に載置し、該基板の位置決め孔に上記位置決めピンを嵌入させることで、該基板の位置決めと固定を同時に行なうようにするのが通例であった。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１２９９９３号公報
【特許文献２】特開平１１−１４６９０号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、このようなピン挿し手法による被検査物たる基板の固定構造では、
（イ）  位置決めピンの駆動に専用のアクチュエータが必要であることから、その分だけ装置のイニシャルコストが高くなるとともに、構造の複雑化と大型化を招来する、
（ロ）  固定時及び固定解除時の双方においてアクチュエータの作動が必要であることから、作業タクトが長くなり、作業能率が阻害される、
等の問題があった。
【０００５】
そこで本願発明では、イニシャルコストが低く、構造が簡単でコンパクトで、しかも作業能率の向上が図れる外観検査装置を提供することを目的としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明ではかかる課題を解決するための具体的手段として次のような構成を採用している。
【０００７】
本願の第１の発明では、撮像手段３を備えた撮像ヘッド１と、該撮像手段３に対向するように配置され且つその対向方向に略直交する面内において直線方向に第１位置ａから第２位置ｂを経て第３位置ｃまでの範囲で移動可能とされたテーブル１１と、該テーブル１１に取付けられて被検査物Ｗを位置決め状態で支持する被検査物支持台１４と、上記テーブル１１の上記第３位置ｃへの接離動に伴う移動力を受けて作動し、上記被検査物支持台１４に支持された上記被検査物Ｗの固定及び固定解除を行なう固定手段Ｙを備えたことを特徴としている。
【０００８】
ここで、上記テーブル１１の移動位置のうち、上記第１位置ａと第２位置ｂは検査時における上記テーブル１１の移動範囲であって、該テーブル１１がこの第１位置ａと第２位置ｂの移動範囲内での移動する間に、上記被検査物Ｗの表面が上記撮像ヘッド１によって撮像され、所要の外観検査が行なわれるものである。また、上記第３位置ｃは検査時の移動範囲の一端である上記第２位置ｂよりさらに範囲外に設定された待機位置であって、この第３位置ｃでは基板支持台１４への被検査物Ｗの着脱が行なわれるものである。
【０００９】
そして、この第１の発明では、上記テーブル１１が上記第３位置ｃ、即ち、待機位置に接離するときに、該テーブル１１の移動力によって（即ち、専用の駆動手段を用いることなく）、固定手段Ｙを作動させて上記被検査物Ｗの固定及び固定解除を行なうものである。
【００１０】
本願の第２の発明では、上記第１の発明に係る外観検査装置において、上記被検査物Ｗが基板であることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本願発明では次のような効果が得られる。
【００１２】
（ａ）本願の第１の発明に係る外観検査装置によれば、上記被検査物支持台１４に支持された上記被検査物Ｗの固定及び固定解除を行なう固定手段Ｙが、上記テーブル１１の上記第３位置ｃへの接離動に伴う移動力を受けて作動し、上記被検査物支持台１４に支持された上記被検査物Ｗの固定及び固定解除を行なう構成であって、上記テーブル１１を駆動する駆動手段が上記固定手段Ｙを駆動する駆動手段としても機能するものであることから、例えば、従来の外観検査装置のようにテーブルの駆動と位置決めピンの駆動を別個の駆動手段によって駆動する場合に比して、構造の簡略化とイニシャルコストの低下が図られる。
【００１３】
また、上記テーブル１１が上記第３位置ｃに設定された状態では、自動的に上記被検査物Ｗの固定が解除された状態にあって、この固定解除状態においてはいつでも上記被検査物Ｗの着脱が可能であり、しかも固定解除状態から上記被検査物Ｗを固定して検査を行なう場合には、単に上記テーブル１１を第３位置ｃから第１位置ａ側へ移動させることで自動的に上記被検査物Ｗの固定が行なわれ、従来のようにアクチュエータを作動させて位置決めピンを作動させる等の作業が不要であり、これらの相乗効果として、検査作業における作業タクトが短縮され作業効率が向上し、延いては検査コストの低廉化が図れることになる。
（ｂ）本願の第２の発明に係る外観検査装置によれば、上記（ａ）に記載の効果に加えて以下のような特有の効果が得られる。即ち、この発明の外観検査装置では、上記被検査物Ｗを基板とし、該基板の外観の検査を行なうものであるところ、該基板はその形状が比較的小さく且つ多量生産されるのが常であることから、作業タクトの短縮による効果が顕著であり、基板の外観検査装置として極めて好適なものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本願発明を好適な実施形態に基づいて具体的に説明する。
【００１５】
図１には、本願発明の実施形態に係る外観検査装置Ｚが示されている。この外観検査装置Ｚは、基板を被検査物とし、被検査基板に取り付けられた抵抗、コンデンサ、トランジスタ等の実装部品の欠品（取付無し）、異部品（部品違い）、位置ズレ等の外観から判断し得る不良の有無を、撮像に基づく画像処理によって検査するものであって、ベース材９上に前後スライドレール１０を取付けるとともに、該前後スライドレール１０には前後一対のスライダー１２を介してテーブル１１を前後方向（矢印Ｆ−Ｒ方向）へ移動自在に取付ける一方、上記ベース材９の後端寄り位置には、演算処理装置等の検査用機材を内蔵した本体部５と、ＣＣＤカメラで構成される撮像手段３及び照明手段４で構成される撮像ヘッド１を備えた検査ユニットＸを固定して構成されている。
【００１６】
尚、上記撮像ヘッド１は、本体側レール７とヘッド側レール８からなる横スライドレール６を介して、上記本体部５の前端部に対して、上記テーブル１１の移動方向に略直交する方向（左右方向）へ移動自在に取付けられている。
【００１７】
上記テーブル１１には、次述の基板支持台１４（特許請求の範囲中の「被検査物支持台」に該当する）が取付けられている。この基板支持台１４は、被検査基板Ｗの検査に際して、これを位置決めし且つ固定保持するためのものであって、上記テーブル１１の前後方向の一端部１１ａ側に配置された第１支持部１５と、他端部１１ｂ側に配置された第２支持部１６を備えて構成される。
【００１８】
上記第１支持部１５は、図１及び図２に示すように、上記前後スライドレール１０に架設されたスライダー１３に固定された支柱材２０の上端部に、板材を取付けてこれを受部２１とするとともに、該受部２１上にさらに略角棒状の受材２２を固定して構成される。この場合、上記受材２２の内側の下端隅部を面取り状に切り欠いて傾斜面とし、この傾斜面を受面２２ａとしている。従って、この第１受材２２側の上記受面２２ａとその下側に隣接する上記受板２１の間には楔状断面をもつ嵌入空間が形成される。
【００１９】
さらに、上記第１支持部１５は、上記支柱材２０を上記テーブル１１に対して、適宜の締結部材（図示省略）によって締結・締結解除自在に固定しており、該締結部材を緩めることで上記第１支持部１５は上記テーブル１１に対して該テーブル１１の移動方向（矢印Ｆ−Ｒ方向）へ移動可能とされる一方、該締結部材を締め込むことでその時点における移動位置で固定され該テーブル１１と一体化される。即ち、後述するように、被検査基板Ｗの一端Ｗａの支持位置が上記テーブル１１の移動方向に変更可能とされている。
【００２０】
一方、上記第２支持部１６は、図１及び図２に示すように、上記テーブル１１の他端１１ｂに固定された支柱材３０上に略棒状の受材３１を取付けて構成される。この場合、上記受材３１は、その内側の上端隅部に段差状の切り欠きを設け、該切り欠きの底面を受面３１ａ、縦面を規制部３１ｂとしている。
【００２１】
上記基板支持台１４の上記第１支持部１５と第２支持部１６の間に被検査基板Ｗが載置される。この場合、先ず、被検査基板Ｗの寸法に応じて上記第１支持部１５の位置調整をする。そして、被検査基板Ｗのセットに際しては、上記被検査基板Ｗをその一端Ｗａを前方へ向けた状態で、上記第２支持部１６側から、該一端Ｗａを上記第１支持部１５の上記受板２１と受面２２ａの間の嵌入隙間に差し入れて、該受部２１によって下方から支持させるとともに、上記受面２２ａに上記一端Ｗａの上縁部を当接させ、該受面２２ａとの係合によって上記一端Ｗａの上記嵌入隙間の奥行き方向（水平方向）の位置決めを行なうと同時に、該一端Ｗａの上方への移動を規制する。しかる後、手元の他端Ｗｂ側を下方へ下げてこれを上記第２支持部１６の受面３１ａと規制部３１ｂで構成される段差部分に落とし込み、該受面３１ａによってこれを下方から支持させるとともに、上記受面３１ａによって上記他端Ｗｂの段差奥行き方向（水平方向）における位置決めを行なう。尚、上記被検査基板Ｗの上記基板支持台１４側からの取り出しは、上記手順と逆手順によって行なわれる。
【００２２】
このようにして上記被検査基板Ｗを上記基板支持台１４にセットした状態では、上述のように上記被検査基板Ｗの一端Ｗａ側においては水平方向と上方向の双方への移動が規制されているが、上記他端Ｗｂ側においては水平方向の移動のみが規制され、上方向への移動は規制されておらず、このままでは上記被検査基板Ｗが検査中に位置ズレを生じるおそれがある。このような位置ズレを防止するために、この実施形態では本願発明を適用して、後述の固定手段Ｙを上記第２支持部１６側に取付けている。
【００２３】
上記基板支持台１４を備えた上記テーブル１１は、図１に示すように、上記第１支持部１５が設けられた他端部１１ｂが上記撮像ヘッド１の直下位置から所定寸法だけ矢印Ｆ方向寄りに位置した第１位置ａと、上記他端部１１ｂが上記第１位置ａよりさらに矢印Ｆ方向へ移動し上記第１支持部１５が上記撮像ヘッド１の直下位置から所定寸法だけ矢印Ｒ方向よりに位置した第２位置ｂと、上記他端部１１ｂが上記第２位置ｂよりさらに矢印Ｆ方向へ移動して上記前後スライドレール１０の端部近傍に位置した第３位置ｃの三位置間で移動可能とされている。そして、上記第１位置ａと第２位置ｂの移動範囲が検査時の移動範囲であり、上記第３位置ｃは検査時の移動範囲から外れた待機位置であって、この第３位置ｃにおいて上記被検査基板Ｗの上記基板支持台１４側へのセット及び取り出し作業が行なわれるものである。尚、上記テーブル１１の移動は、図示しない駆動モータによって行なわれるが、この駆動モータの駆動力、即ち、上記テーブル１１の移動力は後述する固定手段Ｙの駆動原としても利用される。
【００２４】
上記固定手段Ｙは、上記第２支持部１６に支持された被検査基板Ｗの他端Ｗｂ部分を、検査時には上方から押さえてその上方動を規制してこれを固定する一方、上記被検査基板Ｗの取り出し時には上記他端Ｗｂに対する固定作用を解除して該他端Ｗｂの持ち上げを可能とするものであって、しかもこの固定・固定解除の動作を上記テーブル１１の移動に連動して行なわせるようにしたものである。
【００２５】
即ち、上記固定手段Ｙは、板材を略Ｌ形に折曲させてその一端側を押圧端３２ａ、他端側を係合端３２ｂとした押さえ材３２を、支軸３３によって上記第２支持部１６側の上記支柱材３０に対して略鉛直面内で矢印Ｌ−Ｒ方向に回動自在とするとともに、上記支軸３３に取付けた捩りバネ３４（特許請求の範囲中の「付勢手段」に該当する）の一端３４ａを上記支柱材３０側のバネ受３５に、他端３４ｂを上記押さえ材３２の係合端３２ｂにそれぞれ掛止させて構成される。そして、上記押さえ材３２に上記捩りバネ３４の付勢力以外の外力が作用していない状態では、上記捩りバネ３４の付勢力によって、上記押さえ材３２を矢印Ｒ方向へ回動させ、該押さえ材３２の押圧端３２ａを、上記第２支持部１６の受面３１ａ上に載置された上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂに上方から当接させてこれを押圧することで該他端Ｗｂを固定することができるようになっている。
【００２６】
一方、上記押さえ材３２による上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂに対する固定作用を解除するためには、上記捩りバネ３４の付勢力に抗して上記押さえ材３２を矢印Ｌ方向に回動させてその押圧端３２ａを上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂから上方へ離間させれば良い。係る固定解除動作を実現するために、上記前後スライドレール１０の端部外側にストッパー１７を取付けている。このストッパー１７は、その先端の当接部１７ａが上記テーブル１１に対向するように、上記前後スライドレール１０側へ跳ね出し状態で取付けられるが、その場合、上記当接部の跳ね出し寸法及び高さ位置は、図３に示すように、上記テーブル１１が第３位置ｃに設定された状態において、上記当接部１７ａが上記押さえ材３２の係合端３２ｂに当接し、上記押さえ材３２を上記捩りバネ３４の付勢力に抗して矢印Ｌ方向へ回動させ、上記押圧端３２ａを上記第２支持部１６の受材３１から上方へ離間させることができるように、上記押さえ材３２に対して相対的に設定されている。
【００２７】
続いて、上記外観検査装置Ｚを用いて被検査基板Ｗの外観検査を行なう場合における上記固定手段Ｙの作動等を説明する。
【００２８】
被検査基板Ｗの外観検査を行なうに際しては、先ず、該被検査基板Ｗの平面寸法に応じて、上記基板支持台１４の第１支持部１５の位置調整を行なう。尚、この第１支持部１５の位置調整は、検査対象である被検査基板Ｗの種類毎に行なわれ、同一種類の被検査基板Ｗの検査中は一定位置に固定される。
【００２９】
ここでは、上記基板支持台１４に上記被検査基板Ｗをセットし、上記前後スライドレール１０を上記第１位置ａと第２位置ｂの間で前後移動させると共に、上記撮像ヘッド１を上記横スライドレール６に沿って左右方向へ移動させながら、上記撮像ヘッド１の撮像手段３により撮像した後、上記テーブル１１を第２位置ｂから第３位置ｃ側へ移動させる時点から、説明する。
【００３０】
上記テーブル１１が図２に示す第２位置ｂ側から図３に示す第３位置ｃに移動される場合、該テーブル１１が第３位置ｃの近傍に達するまでは上記テーブル１１側の上記押さえ材３２は上記ストッパー１７との非当接状態が維持されるため、該押さえ材３２は上記捩りバネ３４の付勢力によって矢印Ｒ方向へ回動付勢され、その押圧端３２ａで上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂを上方から押圧してこれを固定している。
【００３１】
上記テーブル１１がさらに第３位置ｃに近づくと、図３に示すように、上記押さえ材３２の係合端３２ｂが上記ストッパー１７の当接部１７ａに当接する。そして、さらに上記テーブル１１が第３位置ｃ側へ移動するに伴って、上記押さえ材３２は上記ストッパー１７側からの反力を受けて、上記捩りバネ３４の付勢力に抗して矢印Ｌ方向へ回動され、該テーブル１１が第３位置ｃに達した時点では上記押さえ材３２の押圧端３２ａは完全に上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂから離間してその上方へ跳ね上げられる。これによって、上記押さえ材３２による上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂに対する押圧作用（固定作用）が解除される。
【００３２】
従って、このように上記テーブル１１を第３位置ｃに設定した状態のまま、上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂを掴んで持ち上げて上記第２支持部１６の受材３１側から離脱させ、さらに上記被検査基板Ｗを手前に引き出すことで該被検査基板Ｗは上記基板支持台１４側から取り出される。
【００３３】
検査の完了した被検査基板Ｗを取り出した後、これに代わって、次回の検査対象となる被検査基板Ｗを上記基板支持台１４側にセットする（このセット手順は既述したので、ここでは説明を省略する）。上記被検査基板Ｗの上記基板支持台１４へのセットが完了すると、これを検査領域（上記第１位置ａと第２位置ｂの間の領域）へ移動させて検査を行なうべく上記テーブル１１を矢印Ｒ方向へ移動させる。
【００３４】
この場合、上記テーブル１１が第３位置ｃから第２位置ｂ側へ移動するに伴って上記ストッパー１７と上記押さえ材３２の当接度合いが減少変化し、該押さえ材３２は上記捩りバネ３４の付勢力を受けて次第に矢印Ｒ方向へ回動し、該押さえ材３２の押圧端３２ａが上記ストッパー１７の当接部１７ａから離間した時点で、該押さえ材３２の押圧端３２ａが上記第２支持部１６の受材３１に支持された上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂにその上方から当接して押圧し、これを固定する。後は、上記テーブル１１を上記第１位置ａと第２位置ｂの間で前後移動させると共に、上記撮像ヘッド１を上記横スライドレール６に沿って左右方向へ移動させながら、上記撮像ヘッド１の撮像手段３により撮像して、該被検査基板Ｗの外観検査を行なう。
【００３５】
図４及び図５には、他の実施形態に係る外観検査装置における上記固定手段Ｙを示している。この固定手段Ｙは、上記実施形態における固定手段Ｙと基本構造を同じにするものであって、これと異なる点は、上記実施形態における固定手段Ｙでは上記押さえ材３２を上記テーブル１１側の支柱材３０に対して回動自在に支承し、該押さえ材３２の回動によって上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂの固定と固定解除を行なうように構成していたのに対して、この実施形態の外観検査装置では、上記押さえ材３２を直線移動させて上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂの固定と固定解除を行なうように構成した点である。
【００３６】
即ち、上記押さえ材３２は、板材を略直角に折曲するとともに、その一端側の先端部をさらに略直角に折曲させてこれを押圧端３２ａとする一方、その他端側をその中間部位から略４５度に折曲させて傾斜面としこれを係合端３２ｂとしている。そして、この押さえ材３２を上記支柱材３０に対して上下方向（矢印Ｕ−Ｄ方向）に摺動可能に取付けられたガイドピン３９の上端に固定するとともに、該押さえ材３２をコイルバネ３８（特許請求の範囲における「付勢手段」に該当する）によって常時下動方向へ付勢して構成される。
【００３７】
そして、この固定手段Ｙでは、図４に示すように、上記テーブル１１が第３位置ｃよりも所定以上離間した状態では、上記ストッパー１７が上記押さえ材３２の係合端３２ｂに対して離間しており、上記押さえ材３２は上記コイルバネ３８の付勢力によって下方に引き下げられ、その押圧端３２ａが上記基板支持台１４の第２支持部１６に支持された上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂに上方から当接して押圧し、これを固定する。
【００３８】
これに対して、図５に示すように、上記テーブル１１が第３位置ｃに所定以上接近すると、上記ストッパー１７の当接部１７ａが上記押さえ材３２の係合端３２ｂに当接し、さらに上記テーブル１１が第３位置ｃ側へ移動すると、上記押さえ材３２はその係合端３２ｂが上記ストッパー１７の当接部１７ａ上を滑って矢印Ｕ方向へ移動し、第３位置ｃに達した時点で上記押さえ材３２の押圧端３２ａが上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂから上方へ完全に離間し、該押圧端３２ａによる上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂに対する固定作用が解除される。
【００３９】
このように、この実施形態の固定手段Ｙは、上記テーブル１１の移動に伴う上記ストッパー１７からの反力によって上記押さえ材３２を上下方向へ移動させることで、上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂを固定と固定解除を行なうものであり、先の実施形態における固定手段Ｙとは上記押さえ材３２の移動形態、移動方向が異なるのみで、これ以外の構成は全て同じである。
【００４０】
以上のように構成された外観検査装置Ｚにおいては、上記基板支持台１４に支持された上記被検査基板Ｗの固定及び固定解除を行なう固定手段Ｙが、上記テーブル１１の上記第３位置ｃへの接離動に伴う移動力を受けて作動し、上記基板支持台１４に支持された上記被検査基板Ｗの固定及び固定解除を行なう構成であって、上記テーブル１１を駆動する駆動手段が上記固定手段Ｙを駆動する駆動手段として機能するものであることから、例えば、従来の外観検査装置のようにテーブルの駆動と位置決めピンの駆動を別個の駆動手段によって駆動する場合に比して、構造の簡略化とイニシャルコストの低下が図られる。
【００４１】
また、上記テーブル１１が上記第３位置ｃに設定された状態では、自動的に上記被検査基板Ｗの固定が解除された状態にあって、この固定解除状態においてはいつでも上記被検査基板Ｗの着脱が可能であり、しかも固定解除状態から上記被検査基板Ｗを固定して検査を行なう場合には、単に上記テーブル１１を第３位置ｃから第１位置ａ側へ移動させることで自動的に上記被検査基板Ｗの固定が行なわれ、従来のようにアクチュエータを作動させて位置決めピンを作動させる等の作業が不要であり、これらの相乗効果として、検査作業における作業タクトが短縮され作業効率が向上し、延いては検査コストの低廉化が図れることになる。
【００４２】
さらに、この外観検査装置Ｚでは、上記固定手段Ｙが、上記押さえ材３２と、上記捩りバネ３４あるいはコイルバネ３８と、上記ストッパー１７から成る簡単で且つ安価な構造であることから、該外観検査装置Ｚのコンパクト化及び低コスト化が促進される。
【００４３】
また、上記基板支持台１４側においては、該基板支持台１４の第１支持部１５はその規制部２２ａによって上記被検査基板Ｗの一端Ｗａを水平移動と上方移動の二方向において規制して位置決めする機能をもち、また上記第２支持部１６はその規制部３１ｂによって上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂの水平移動を規制する機能をもち、上記固定手段Ｙの固定解除状態では上記被検査基板Ｗの他端Ｗｂの上方移動は規制されていないので、上記基板支持台１４への上記被検査基板Ｗの着脱が容易であり、作業タクトの短縮化に寄与できる。
【００４４】
さらに、上記第１支持部１５は上記テーブル１１の移動方向に位置調整可能に構成されているので、該第１支持部１５の位置を変更設定して該第１支持部１５と上記第２支持部１６との間隔を増減変更することで、平面寸法の異なる複数種類の被検査基板Ｗの検査に適用することができ、外観検査装置の汎用性が向上し、延いては該外観検査装置の商品価値が向上することになる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本願発明の実施形態に係る外観検査装置の全体図である。
【図２】図１に示した外観検査装置における被検査基板固定状態における要部拡大図である。
【図３】図１に示した外観検査装置における被検査基板固定解除状態における要部拡大図である。
【図４】本願発明の他の実施の形態に係る外観検査装置における被検査基板固定状態における要部拡大図である。
【図５】図４に示した外観検査装置における被検査基板固定解除状態における要部拡大図である。
【符号の説明】
【００４６】
１      ・・撮像ヘッド
２      ・・基台
３      ・・撮像手段
４      ・・照明手段
５      ・・本体部
６      ・・横スライドレール
７      ・・本体側レール
８      ・・ヘッド側レール
９      ・・ベース材
１０    ・・前後スライドレール
１１    ・・テーブル
１２    ・・スライダー
１３    ・・スライダー
１４    ・・基板支持台
１５    ・・第１支持部
１６    ・・第２支持部
１７    ・・ストッパー
２０    ・・支柱材
２１    ・・受部
２２    ・・受材
３０    ・・支柱材
３１    ・・受材
３２    ・・押さえ材
３３    ・・支軸
３４    ・・捩りバネ（付勢手段）
３８    ・・コイルバネ（付勢手段）
３９    ・・ガイドピン
４０    ・・ストッパー
Ｙ    ・・固定手段
Ｘ    ・・検査ユニット
Ｚ    ・・外観検査装置
【図１】
0004677335.tif 000002
【図２】
0004677335.tif 000003
【図３】
0004677335.tif 000004
【図４】
0004677335.tif 000005
【図５】
0004677335.tif 000006