(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一、第二の押圧板と、
前記第一、第二の押圧板上に配置された第一、第二の押圧ゴムとを有する圧着装置の、
前記第一、第二の押圧ゴムの間に、電気部品が基板の表面と裏面にそれぞれ配置された圧着対象物を配置し、
前記第一、第二の押圧ゴムで前記電気部品を押圧し、前記各電気部品を前記基板に固定する電気部品の実装方法であって、
前記電気部品は、前記基板表面と前記基板の裏面に配置された異方導電性フィルムの接着力によって配置し、
前記第一、第二の押圧ゴムで前記電気部品を押圧する前に、前記第一の押圧ゴムと前記圧着対象物の間と、前記第二の押圧ゴムと前記圧着対象物の間に、前記異方導電性フィルムから剥離可能な保護フィルムを配置しておき、
前記異方導電性フィルムを加熱して流動性を高めた後、
前記第一、第二の押圧ゴムの周囲の表面よりも高い位置にダム部材を位置させた状態で前記圧着対象物を前記第一、第二の押圧ゴムで押圧し、
前記押圧により変形する前記第一、第二の押圧ゴムの側面を前記ダム部材で堰き止める実装方法。
【請求項２】
前記第二の押圧ゴムの側面を摺動板で覆い、前記摺動板と前記ダム部材とを接触させる請求項１記載の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気部品を基板に実装させる実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体素子のような電気部品を基板に接続する実装工程には、押圧ヘッドで電気部品を基板に押圧しながら加熱する圧着装置が用いられている。
図１４（ａ）の符号１０１は従来技術の圧着装置を示しており、圧着装置１０１は台座１２６と押圧ヘッド１２０とを有している。
【０００３】
押圧ヘッド１２０は、金属枠に押圧ゴムをはめ込んだもの、金属プレートに押圧ゴムを接着剤で貼り付けたもの、金属枠に液状のゴムを流し込み、ゴムを金属枠内で硬化させたものなどがある。
【０００４】
金属枠からなるヘッド本体１２１に押圧ゴム１２２をはめ込まれたものについて説明すると、押圧ゴム１２２の表面はヘッド本体１２１の表面と面一にされているか、ヘッド本体１２１の表面よりも下方に突き出されており、台座１２６上の圧着対象物１１０に押圧ヘッド１２０を押し付けると、押圧ゴム１２２の表面が圧着対象物１１０に接触する。
【０００５】
圧着対象物１１０は、基板１１１と、基板１１１上に配置された厚みの異なる電気部品１１６、１１８とを有しており、電気部品１１６、１１８の厚みの差によって基板１１１上には段差が形成されている。
【０００６】
押圧ゴム１２２は力が加わると変形する弾性材料で構成されており、押圧ゴム１２２は先ず最も厚い電気部品１１６に接触するが、押圧ゴム１２２は変形して厚い電気部品１１６から薄い電気部品１１８まで順番に接触し、結局全ての電気部品１１６、１１８が押圧ゴム１２２で押圧される。
【０００７】
圧着装置１０１で電気部品１１６、１１８を押圧する前には、電気部品１１６、１１８と基板１１１の位置合わせが行われ、電気部品１１６、１１８の端子が接着剤１１５を挟んで基板１１１の端子の真上に位置している。
【０００８】
台座１２６の表面は略水平にされ、基板１１１はその表面に水平配置されており、圧着対象物１１０を加熱しながら、押圧ヘッド１２０を鉛直下方に移動させて電気部品１１６、１１８を押圧すれば、電気部品１１６、１１８は接着剤１１５を押し退け真下に移動するので、電気部品１１６、１１８の端子と基板１１１の端子が接触して、電気部品１１６、１１８と基板１１１が電気的に接続される（図１４（ｂ））。このように、従来の圧着装置１０１は、高さの異なる電気部品を１枚の基板に同時に接続可能である。
【０００９】
ところで、押圧ゴム１２２は、電気部品１１６、１１８を押圧する時に凹むと、その反動でその周囲の部分が膨らむ性質を有しており、押圧ゴム１２２の膨らんだ部分はヘッド本体１２１の枠を乗り越え、押圧ゴム１２２の表面が水平方向に広がってしまう。
【００１０】
図１５は押圧ゴム１２２の表面が水平方向に広がる様子を示す平面図であり、押圧ゴム１２２はその平面形状の中心Ｃを中心として放射方向に流れる。押圧ゴム１２２の中心Ｃ近傍に比べ、端部で移動量が多いので、押圧ゴム１２２の端部が押し付けられた電気部品１１６、１１８は、押圧ゴム１２２の広がりと共に水平方向に移動し、電気部品１１６、１１８の端子が、基板１１１の端子の真上位置からずれてしまう。
【００１１】
電気部品１１６、１１８の位置ずれが起こると、電気部品１１６、１１８端子と基板１１１の端子とが接触しなくなり、電気部品１１６、１１８と基板１１１の接続信頼性が低下する。
【００１２】
また、基板１１１の片面だけでなく、両面に電気部品１１６、１１８を実装する場合には、片面ずつ、２回に分けて電気部品１１６、１１８の実装を行う必要があり、実装に要する時間が長くなる。
【００１３】
しかも、片面に電気部品１１６、１１８を実装してから、もう一方の面に電気部品１１６、１１８を実装する時には、既に電気部品１１６、１１８が実装される面が台座１２６と対面するため、実装済みの電気部品１１６、１１８が押圧による損傷を受け難いように、台座１２６に電気部品１１６、１１８の形状に応じた凹凸を形成する必要がある。
【００１４】
しかし、この方法では電気部品１１６、１１８と基板１１１の種類や、電気部品１１６、１１８の接続場所が変る毎に台座１２６を作り直す必要がある。
また、片面に実装済みの電気部品１１６、１１８は、もう一方の面に電気部品１１６、１１８を接続するときに再度加熱押圧されることになり、加熱押圧が繰り返されることで電気部品１１６、１１８が損傷することがあった。
【特許文献１】特開２００２−３５９２６４号公報
【特許文献２】特開２００５−３２９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は電気部品と基板とを確実に接続可能な実装方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、第一、第二の押圧板と、前記第一、第二の押圧板上に配置された第一、第二の押圧ゴムとを有する圧着装置の、前記第一、第二の押圧ゴムの間に、電気部品が基板の表面と裏面にそれぞれ配置された圧着対象物を配置し、前記第一、第二の押圧ゴムで前記電気部品を押圧し、前記各電気部品を前記基板に固定する電気部品の実装方法であって、前記電気部品は、前記基板表面と前記基板の裏面に配置された異方導電性フィルムの接着力によって配置し、前記第一、第二の押圧ゴムで前記電気部品を押圧する前に、前記第一の押圧ゴムと前記圧着対象物の間と、前記第二の押圧ゴムと前記圧着対象物の間に、前記異方導電性フィルムから剥離可能な保護フィルムを配置しておき、前記異方導電性フィルムを加熱して流動性を高めた後、前記第一、第二の押圧ゴムの周囲の表面よりも高い位置にダム部材を位置させた状態で前記圧着対象物を前記第一、第二の押圧ゴムで押圧し、前記押圧により変形する前記第一、第二の押圧ゴムの側面を前記ダム部材で堰き止める実装方法である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の実装方法であって、前記第二の押圧ゴムの側面を摺動板で覆い、前記摺動板と前記ダム部材とを接触させる実装方法である。
【００１７】
本発明は上記のように構成されており、第一、第二の押圧ゴム表面を電気部品に押し当てて、第一、第二の押圧ゴムを変形させるときには、第一、第二の押圧ゴムの表面部分と、第一、第二の押圧ゴムの表面上の空間はそれぞれダム部材で取り囲まれている。
【００１８】
第一、第二の押圧ゴムの側面が膨らむように変形しても、第一、第二の押圧ゴムの表面部分は、直接又は保護フィルムを介してダム部材に接触して、それ以上は膨らまず、また、第一、第二の押圧ゴムの表面が盛り上がっても、その盛り上がった部分はダム部材を乗り越えないので、押圧の際に電気部品が移動せず、位置ずれが防止される。
【００１９】
第一、第二の押圧ゴムの周囲をそれぞれ別々のダム部材で取り囲んでもよいし、先端が第一の押圧ゴムの表面から突き出るように、第一の押圧ゴムの周囲だけをダム部材で取り囲んでから、ダム部材の先端と第一の押圧ゴムの表面との間の空間に第二の押圧ゴムを挿入して、第二の押圧ゴムの周囲を第一の押圧ゴムと同じダム部材で取り囲んでもよい。更に、１つのダム部材で第一、第二の押圧ゴムの周囲を同時に取り囲んでもよい。
【００２０】
ダム部材で第一、第二の押圧ゴムを取り囲むのは、第一、第二の押圧ゴムが変形する前であれば、第一、第二の押圧ゴムを電気部品に接触させる前でもよいし、電気部品に接触させた後でもよい。
【発明の効果】
【００２１】
基板の表面と裏面に電気部品を同時に接続することができるので、実装工程に要する時間が短くなり、加熱押圧による電気部品のダメージも少なくなる。第一、第二の押圧ゴムの表面部分は水平方向に移動しないので、基板の表面上でも裏面上でも電気部品の位置ずれが起こらない。また、第一、第二の押圧ゴムが水平方向に広がらないと、第一、第二の押圧ゴムが変形する力の殆どが圧着対象物を押圧する力となるので、押圧の時のプレス圧力の無駄が無くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１の符号１は本発明に用いる圧着装置の第一例を示しており、この圧着装置１は第一、第二の押圧ヘッド１０、２０と、作業台９と、駆動装置２とを有している。第一の押圧ヘッド１０は金属製のヘッド本体１１と、該ヘッド本体１１に形成された有底の孔１９と、孔１９内に配置された第一の押圧ゴム１５とを有している。
【００２３】
第一の押圧ゴム１５は水平方向に切断した時の断面形状が、第一のダム部材１６で囲まれた領域の断面形状と略等しい柱状であって、底面が孔１９の底面に密着して固定され、側面が孔１９の側壁に接触している。
【００２４】
第一の押圧ゴム１５の底面から表面までの高さは、孔１９の深さよりも低くされ、第一の押圧ゴム１５の周囲は孔１９の側壁で構成される第一のダム部材１６で囲まれた状態になっており、第一の押圧ゴム１５表面と第一のダム部材１６の先端１３との間に、第一の押圧ゴム１５表面を底面とし、第一のダム部材１６を側面とする凹部１７が形成されている。
【００２５】
第一の押圧ヘッド１０は凹部１７の開口１８を下側に向け、第一の押圧ゴム１５の表面が略水平になるよう配置されている。
第一のヘッド本体１１のうち、第一の押圧ゴム１５の底面と密着した部分は第一の押圧板１２であり、第一の押圧板１２は軸３によって駆動装置２に取り付けられ、駆動装置２を動作させ、軸３を伸縮させると、第一の押圧ゴム１５の表面を略水平に向けたまま、第一の押圧板１２が第一の押圧ゴム１５や第一のダム部材１６と一緒に鉛直方向に上下移動するように構成されている。
【００２６】
第一の押圧ヘッド１０の真下位置には作業台９が配置されており、第二の押圧ヘッド２０は作業台９上に配置されている。
第二の押圧ヘッド２０は金属製の押圧板からなる第二のヘッド本体２１（第二の押圧板）と、第二のヘッド本体２１の表面に配置された第二の押圧ゴム２５とを有しており、第二の押圧ヘッド２０は第二のヘッド本体２１側の面が作業台９と密着し、第二の押圧ゴム２５側の面が上側に向けられている。従って、第二の押圧ヘッド２０の上側の面には第二の押圧ゴム２５の表面が露出している。
【００２７】
ここでは、第二の押圧ゴム２５の周囲には何も配置されておらず、第二の押圧ゴム２５の平面形状は、上述した凹部１７の開口１８と同じか、それよりも小さい相似形にされており（図２）、第二の押圧ヘッド２０は少なくとも第二の押圧ゴム２５の上端が凹部１７に挿入可能になっている。
【００２８】
次に、この圧着装置１で圧着可能な圧着対象物と、その圧着対象物３０を圧着する工程について説明する。
図４（ａ）の符号３０は圧着対象物を示しており、圧着対象物３０は基板３１と、異方導電性フィルム３５と、電気部品３２、３３とを有している。
【００２９】
基板３１の表面と裏面にはそれぞれ端子３７が形成されており、異方導電性フィルム３５は基板３１表面の端子３７上と、基板３１裏面の端子３７上にそれぞれ配置されている。
【００３０】
電気部品３２、３３はバンプやランド等の端子３８、３９を有しており、各電気部品３２、３３は端子３８、３９が基板３１の端子３７上に位置するように位置合わせされた後、不図示の搭載ヘッドで異方導電性フィルム３５上に個別に乗せられ、比較的低温で加熱されながら、搭載ヘッドによって小さい圧力で押圧されており、異方導電性フィルム３５が発現する接着力によって基板３１の表面及び裏面に仮に接着されている（仮圧着）。
【００３１】
しかし、この接着力は弱く、電気部品３２、３３は物理的衝撃によって基板３１上から脱落しやすく、また、基板３１の端子３７と電気部品３２、３３の端子３８、３９は物理的にも機械的にも接触されておらず、その端子３７、３８、３９の間には異方導電性フィルム３５がある。
【００３２】
異方導電性フィルム３５は電気部品３２、３３の平面形状よりも大きく形成され、一部が電気部品３２、３３からはみ出し、電気部品３２、３３間に露出している。また、電気部品３２、３３から異方導電性フィルム３５が露出していない場合であっても、後述する押圧の時には異方導電性フィルム３５は押圧によって電気部品３２、３３の外周から一部がはみ出る。
【００３３】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は異方導電性フィルム３５に接着可能な材料で構成されており、第二の押圧ゴム２５が異方導電性フィルム３５に接触しないように、異方導電性フィルム３５に対して接着性の低い保護フィルム５を第二の押圧ゴム２５の表面に配置してから、圧着対象物３０を、基板３１の表面が上、裏面が下に向けられた状態で、第二の押圧ゴム２５上に配置する（図３（ａ））。
【００３４】
ここでは、第二の押圧ゴム２５の表面は水平にされ、保護フィルム５の膜厚は均一になっている。従って、保護フィルム５表面の第二の押圧ゴム２５上に位置する部分は略水平になっている。
【００３５】
基板３１の裏面には厚さの異なる電気部品３２、３３が接着されているが、基板３１の裏面には最も厚い電気部品３２が複数個離間して配置されるか、そうでない場合は、第二の押圧ゴム２５上に基板３１を支える補助部品が配置され、電気部品３２や補助部品で保持されることで、基板３１は略水平になる。
【００３６】
次に、第一の押圧ゴム１５が異方導電性フィルム３５に接触しないように、圧着対象物３０の上にも保護フィルム５を配置し、圧着対象物３０の表面と裏面をそれぞれ保護フィルム５で覆う。
【００３７】
保護フィルム５が第二の押圧ゴム２５の平面形状よりも広く、第二の押圧ゴム２５上の保護フィルム５や、圧着対象物３０上の保護フィルム５が、第二の押圧ゴム２５の側面に垂れ下がった場合には、第二の押圧ゴム２５の平面形状は凹部１７の開口１８よりも小さくされ、垂れ下がった保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形が開口１８の大きさと略等しくなっている。
【００３８】
圧着対象物３０の平面形状は第二の押圧ゴム２５平面形状と同じか、それよりも小さく、圧着対象物３０は外周が第二の押圧ゴム２５からはみ出さないように位置しており、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の向きを位置合わせし、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外周と、開口１８とを一致させてから、第一の押圧ヘッド１０を下降させると、圧着対象物３０が第一の押圧ヘッド１０の凹部１７内に挿入される。
【００３９】
基板３１表面上で最も厚い電気部品３２の厚さと、基板３１の裏面上で最も厚い電気部品３２の厚さと、基板３１の厚さとの合計を圧着対象物３０の厚さとすると、凹部１７の深さ、即ち、第一のダム部材１６の先端１３の第一の押圧ゴム１５表面からの高さは、圧着対象物３０の厚さと、その表面及び裏面を覆う保護フィルム５の厚さとの合計と同じか、それ以上になっており、圧着対象物３０は表面から裏面まで全て凹部１７内に収容される。
【００４０】
凹部１７の深さが、圧着対象物３０の厚さと保護フィルム５の厚さの合計よりも大きい場合には、圧着対象物３０が凹部１７に収容されてからも、第一の押圧ヘッド１０が下降するが、上述したように、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形は、開口１８の大きさと略等しくなるようになっているから、第一のダム部材１６の先端１３は第二の押圧ゴム２５の表面に押し当てられず、第一の押圧ヘッド１０の下降が停止しない。
【００４１】
尚、保護フィルム５は圧縮変形可能な材料で構成されており、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形が開口１８よりもわずかに大きい場合であっても、保護フィルム５が圧縮変形して第二の押圧ゴム２５と第一のダム部材１６の隙間に入り込むから、第一の押圧ヘッド１０の下降は停止しない。
第一の押圧ヘッド１０の下降を続けると、圧着対象物３０と第一の押圧ゴム１５とが相対的に近づく。
【００４２】
基板３１の表面に厚みの異なる複数種類の電気部品３２、３３が接着された場合には、その厚みの差により基板３１表面上に段差が形成されている。ここでは、第一の押圧ゴム１５の表面は略水平にされており、第一の押圧ヘッド１０は鉛直方向に沿って下降するので、第一の押圧ヘッド１０の下降を続けると、基板３１表面に接着された電気部品３２、３３のうち、最も厚い電気部品３２に第一の押圧ゴム１５の表面が保護フィルム５を介して接触する。
【００４３】
図３（ｂ）は第一の押圧ゴム１５が、基板３１表面上の各電気部品３２、３３を押圧する前であって、最も厚い電気部品３２だけに接触した状態を示しており、凹部１７の深さは保護フィルム５を含む圧着対象物３０の厚みと同じかそれ以上であるから、最も厚い電気部品３２に第一の押圧ゴム１５が接触した状態では、第一のダム部材１６の先端１３は第二の押圧ゴム２５の表面が位置する平面Ｈと同じか、それよりも下方に位置する。
【００４４】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は力が加わると変形し、力を除去した時に元の形に戻るような弾性材料（例えばエラストマー）で構成されており、第一の押圧ゴム１５の側面は孔１９の内壁に接触しているが、該内壁に固定されておらず、また、第二の押圧ゴム２５は周囲に何も配置されていないので、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は中央部分だけでなく、縁部分も変形可能になっている。
【００４５】
従って、図３（ｂ）に示した状態から、第一の押圧ヘッド１０を下降させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５で圧着対象物３０を押圧すると、縁部分、中央部分にかかわらず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の電気部品３２と接触した部分が凹む。
【００４６】
更に第一の押圧ヘッド１０を下降させ、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的により近づけると、厚みの厚い電気部品３２から厚みの薄い電気部品３３に向かって、順次第一、第二の押圧ゴム１５、２５に押し付けられ、結局、全ての電気部品３２、３３が基板３１に向かって押し付けられる。
【００４７】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は内部均一な弾性材料のように、力が加わった部分が凹むと、他の部分が膨らむような材料で構成されており、第一の押圧ゴム１５の、電気部品３２、３３と接触しない部分は下方に膨らみ、第二の押圧ゴム２５の電気部品３２、３３と接触しない部分は上方に膨らむ（図３（ｃ））。
【００４８】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は変形する前よりも相対的に近づいているから、変形する前の第二の押圧ゴム２５の表面と、第一のダム部材１６の先端１３とが面一な場合であっても、変形後は第二の押圧ゴム２５の少なくとも表面部分が凹部１７内に収容され、凹部１７に収容された部分の側面は第一のダム部材１６で囲まれている。
【００４９】
その側面は、第一のダム部材１６と密着しているか、該側面と第一のダム部材１６との間に隙間があるとしても、その隙間は下方に膨らんだ第一の押圧ゴム１５が流出しない程狭い。
【００５０】
従って、第一の押圧ゴム１５の下方に膨らんだ部分は第一のダム部材１６でせき止められて水平方向には広がらず、第二の押圧ゴム２５の側面のうち、凹部１７に収容された部分は第一のダム部材１６で堰き止められてそれ以上膨らまない。
【００５１】
第二の押圧ゴム２５側面と、第一のダム部材１６との間の隙間は狭いから、第二の押圧ゴム２５側面の凹部１７に収容された部分の膨らみは、無視できる程小さい。
【００５２】
このように、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は電気部品３２、３３の間のくぼみを充填するように膨らんでも、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面部分が、水平方向、即ち押圧方向と直交する方向には膨らまない。
【００５３】
従って、電気部品３２、３３には、押圧方向と直交する方向の力が加わらず、電気部品３２、３３の位置ずれが起こらないので、電気部品３２、３３は仮圧着の時と同じ場所で異方導電性フィルム３５に押し付けられる。
ここでは、第二のヘッド本体２１にヒータ８が内蔵されており、ヒータ８に通電することで圧着対象物３０が所定温度に加熱され、加熱によって異方導電性フィルム３５の流動性が高くなっている。
【００５４】
従って、電気部品３２、３３が異方導電性フィルム３５に押し付けられると、異方導電性フィルム３５が押し退けられ、電気部品３２、３３の端子が異方導電性フィルム３５にのめり込む（図４（ｂ））。
【００５５】
異方導電性フィルム３５中には導電性粒子３４が分散されており、異方導電性フィルム３５が押し退けられると、電気部品３２、３３の端子３８、３９が導電性粒子３４を挟んで基板３１の端子３７に接触し、電気部品３２、３３と基板３１が電気的に接続される。
【００５６】
異方導電性フィルム３５が熱硬化性樹脂を含有する場合は加熱によって異方導電性フィルム３５が硬化し、また、異方導電性フィルム３５が熱可塑性樹脂を有する場合は、加熱終了後に温度が下がると異方導電性フィルム３５が固化する。
従って、電気部品３２、３３は基板３１に硬化又は固化した異方導電性フィルム３５を介して機械的に固定され、電気装置３０ａが得られる。
【００５７】
電気部品３２、３３を押圧する時に位置ずれが起こると、電気部品３２、３３の端子３８、３９が基板３１の端子３７と接触しなくなるため、電気装置３０ａの信頼性が低下するが、本発明の圧着装置１を用いれば、上述するように電気部品３２、３３の位置ずれは起こらないので、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。
【００５８】
第一の押圧ゴム１５と圧着対象物３０の間と、第二の押圧ゴム２５と圧着対象物３０の間には保護フィルム５が位置するため、電気部品３２、３３を押圧する時に電気部品３２、３３の外周から異方導電性フィルム３５がはみ出ても、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は異方導電性フィルム３５と直接接触しない。
【００５９】
従って、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は異方導電性フィルム３５に接着されておらず、第一の押圧ヘッド１０を上方に移動させると、第一の押圧ゴム１５は電気装置３０ａから分離され、次いで電気装置３０ａを持ち上げると、電気装置３０ａが第二の押圧ゴム２５から分離され、電気装置３０ａを圧着装置１から取り出すことができる。
【００６０】
以上は、第二の押圧ヘッド２０に予め形成された凹部１７に圧着対象物３０を収容してから、第一の押圧ゴム１５を圧着対象物３０に接触させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００６１】
図５（ａ）の符号４は本発明に用いる圧着装置の第二例を示しており、この圧着装置４は、第一の押圧ゴム１５と第一の押圧板１２の間に第一の圧縮部材４６が配置された以外は、第一例の圧着装置１と同じ構成を有しており、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の配置も同じになっている。
【００６２】
第一の押圧ゴム１５が上述した内部均一な弾性材料で構成されているのに対し、第一の圧縮部材４６はスポンジ状のゴムのように内部に空隙を有し、力が加わるとその空隙が押しつぶされて体積が減少するようもので構成されている。
【００６３】
第一の押圧ゴム１５と第一の圧縮部材４６の間には可動板４７が配置されており、第一の圧縮部材４６は上端が第一の押圧板１２の表面に、下端が可動板４７の表面に取り付けられ、第一の押圧ゴム１５は上端が可動板４７の裏面に取り付けられている。従って、第一の圧縮部材４６と、可動板４７と、第一の押圧ゴム１５は、第一の押圧板１２から、鉛直下方に向かって記載した順番に並べられている。
【００６４】
第一の圧縮部材４６は、第一の押圧ゴム１５と同様に、水平方向に切断した時の断面形状が、第一のダム部材１６で囲まれた領域の断面形状と同じ柱状にされており、第一の圧縮部材４６は側面が第一のダム部材１６に接触している。
【００６５】
しかし、第一の圧縮部材４６は側面が第一のダム部材１６に固定されておらず、また、第一の押圧ゴム１５も可動板４７も第一のダム部材１６には固定されていない。従って、第一の押圧ゴム１５と可動板４７は、第一の圧縮部材４６の厚みが変わると、第一のダム部材１６で囲まれた領域内で移動可能に構成されている。
【００６６】
この圧着装置４を用いて電気装置を製造するには、第一例の圧着装置１を用いた場合と同様に、圧着対象物３０を第二の押圧ゴム２５上に配置し、第一の押圧ゴム１５を保護フィルム５を介して最も厚い電気部品３２に接触させる。
【００６７】
第一の圧縮部材４６を変形させるのに要する力は、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を変形させるのに要する力よりも小さく、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させて、第一の押圧板１２を第一の圧縮部材４６に押し付けると、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が変形する前に、第一の圧縮部材４６が圧縮してその厚みが小さくなる。
【００６８】
上述したように、第一の押圧ゴム１５は第一のダム部材１６で囲まれた領域内で移動可能に構成されているから、第一の圧縮部材４６の厚みが小さくなると、第一の押圧ゴム１５は上方に移動し、第一の圧縮部材４６が圧縮する前にはなかった凹部が出現し、圧着対象物３０はその凹部内に収容される。第一の圧縮部材４６の変形量は限度があるので、第一の圧縮部材４６がある程度変形すると圧縮が止まる。
【００６９】
図５（ｂ）は第一の圧縮部材４６の圧縮が止まった状態であって、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が変形する前の状態を示しており、この状態では、第一の押圧ゴム１５が上方に移動した分だけ、第一のダム部材１６の先端１３が第一の押圧ゴム１５表面よりも下方に突き出され、その先端１３は、第二の押圧ゴム２５表面が位置する平面Ｈと同じか、それよりも下方に突き出されている。
【００７０】
第一の圧縮部材４６の変形が止まってからも、更に第一の押圧ヘッド１０を下降させると、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は電気部品３２、３３に押し付けられて凹み、電気部品３２、３３と接触しない部分は膨らむが、第一例の圧着装置１の場合と同様に、第一の押圧ゴム１５と、第二の押圧ゴム２５の表面部分は第一のダム部材１６で取り囲まれ、また、第二の押圧ゴム２５と第一のダム部材１６の間の隙間は小さいので、第一の押圧ゴム１５の表面は水平方向に広がらない。
【００７１】
また、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の変形によって、第二の押圧ゴム２５は少なくとも表面部分が凹部１７内に収容されるため、第二の押圧ゴム２５は表面が上方に膨らんでも、水平方向には広がらず、従って、この圧着装置４においても電気部品３２、３３は水平方向に移動せず、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。
【００７２】
第一の圧縮部材４６は押圧によって体積が減少するものであれば特に限定されず、図６に示したように、圧縮部材をバネ４８で構成してもよく、第一の押圧板１２で押圧することでバネ４８を縮ませると、第一の押圧ゴム１５の表面が押し上げられ、凹部が出現する。また、第一の押圧ゴム１５に加わる力が第一の圧縮部材４６に伝達可能であれば特に可動板４７を設ける必要もない。
【００７３】
以上は、第一の押圧板１２を駆動装置２の軸３に取り付け、第一の押圧ヘッド１０を移動させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的に近づけたが、本発明はこれに限定されるものではなく、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が相対的に移動可能であれば、第一の押圧ヘッド１０を静止させた状態で、第二の押圧ヘッド２０を移動させてもよいし、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の両方を移動させてもいい。
【００７４】
以上は、第二の押圧ゴム２５の表面に圧着対象物３０を配置してから、第一の押圧ヘッド１０を下降させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
第二の押圧ヘッド２０の第二の押圧ゴム２５が配置された側の面を下側に向けて配置し、第一の押圧ヘッド１０を、第二の押圧ヘッド２０の下方位置で凹部１７が形成された面を上側に向けて配置し、凹部１７の底面、即ち第一の押圧ゴム１５の表面に圧着対象物３０を配置してから、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０のいずれか一方又は両方を移動させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的に近づけ、第二の押圧ゴム２５の表面を圧着対象物３０に押し付けてもよい。
【００７５】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面の向きは水平な場合に限定されず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面が略垂直になるように第一、第二の押圧ヘッド１０、２０を配置してもよい。
【００７６】
第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の移動方向も特に限定されないが、電気部品３２、３３の位置ずれを防止するためには、基板３１の表面及び裏面に対して略垂直に移動することが好ましく、従って、基板３１が第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面と平行な場合は、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の移動方向は第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面に対して略垂直になる。
【００７７】
以上は、第二の押圧ゴム２５の周囲に何も無く、その側面が露出する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第二の押圧ゴム２５が第一のダム部材１６で擦れないように、第二の押圧ゴム２５の側面を薄板（摺動板）で覆ってもよい。
【００７８】
摺動板で第二の押圧ゴム２５側面が覆われた場合、その第二の押圧ヘッド２０を凹部１７に収容したときには、摺動板が第一のダム部材１６と密着するか、また、摺動板と第一のダム部材１６との間に隙間があるとしても、その隙間は膨らんだ第一の押圧ゴム１５が流出しない程狭くされているので、第一の押圧ゴム１５は水平方向に広がらない。
【００７９】
摺動板は膜厚が小さく、第二の押圧ゴム２５と一緒に変形しても、第一のダム部材１６に接触してその変形が止まる。変形する前の第一のダム部材１６と摺動板の隙間が小さいから、その変形量は小さく、従って、第二の押圧ゴム２５の水平方向の広がりは無視できる程小さい。
【００８０】
また、第二の押圧ゴム２５の表面縁部分が膨らんで摺動板を乗り越えたとしても、摺動板の膜厚が小さく、上述したように摺動板と第一のダム部材１６の隙間も小さいから、摺動板を乗り越えた部分の水平方向の広がり量は小さい。
このように、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は水平方向には広がらず、広がったとしてもその広がり量は無視できる程小さいから、電気部品３２、３３の位置ずれが起こり難い。
【００８１】
第一、第二例の圧着装置１、４で、第一のダム部材１６と第二の押圧ゴム２５との間の隙間が大きい場合には、保護フィルム５で第二の押圧ゴム２５の側面を覆えば、その隙間が保護フィルム５で埋められる。
【００８２】
従って、第一、第二のダム部材１６を金型等を用いずに安価なコストで製造し、その成形精度の悪い場合であっても、保護フィルム５の膜厚を適宜選択することで、第一のダム部材１６と第二の押圧ゴム２５の間の隙間が埋められ、第一の押圧ゴム１５が隙間から流出しなくなる。
【００８３】
以上は第一の押圧ヘッド１０だけにダム部材が設けられた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図７の符号６は本発明に用いる圧着装置の第三例を示しており、この圧着装置６は第一、第二の押圧ヘッド１０、６０を有している。第一、第二の押圧ヘッド１０、６０は、第一、第二のヘッド本体１１、６１と、第一、第二の押圧ゴム１５、６５とを有している。
【００８４】
第一、第二のヘッド本体１１、６１には、第一例の圧着装置１の第一の押圧ヘッド１０と同様に、有底の孔（第一、第二の孔）１９、６９がそれぞれ形成されている。
【００８５】
第一、第二の押圧ゴム１５、６５の配置も、第一例の圧着装置１の第一の押圧ゴム１５と同じであって、第一、第二の押圧ゴム１５、６５は、第一、第二の孔１９、６９の側壁で構成される第一、第二のダム部材１６、６６で取り囲まれ、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の表面を底面とし、第一、第二のダム部材１６、６６を側面とする第一、第二の凹部１７，６７が形成されている。
【００８６】
第一、第二の孔１９、６９の開口１８、６８の形状は略等しく、開口１８、６８の縁が一致するよう位置合わせして第一、第二の押圧ヘッド１０、６０を互いに押し付けると、第一、第二のダム部材１６、６６の先端同士が互いに接触するようになっている。
【００８７】
ここでは、第一の押圧ヘッド１０の配置と駆動装置２への接続は、第一例の圧着装置１の第一の押圧ヘッド１０と同じであり、第一の押圧ヘッド１０は第一の押圧ゴム１５の表面を略水平に向けたまま、駆動装置２によって作業台９を鉛直方向に上下移動可能になっている。
【００８８】
第二の押圧ヘッド６０は第二の凹部６７の開口６８を上側に向けて作業台９上に配置されており、第二の凹部６７の底面を構成する第二の押圧ゴム６５の表面は略水平にされ、その表面が圧着対象物３０を乗せる載置面となる。
【００８９】
この圧着装置６を用いて上述した圧着対象物３０を接続する場合について説明すると、第一、第二の押圧ゴム１５、６５と異方導電性フィルム３５との接触を避けるために、第二の押圧ゴム６５の表面に保護フィルム５を配置してから、圧着対象物３０を基板３１の表面を上、裏面を下に向けて第二の押圧ゴム６５上に配置し、更に圧着対象物３０表面にも保護フィルム５を配置する（図８（ａ））。
【００９０】
第一、第二の凹部１７、６７の深さの合計、即ち、第一の押圧ゴム１５の表面から第一のダム部材１６先端までの高さと、第二の押圧ゴム６５の表面から第二のダム部材６６の先端までの高さの合計は、圧着対象物３０の厚さと、その表面裏面を覆う保護フィルム５の厚さの合計よりも小さくされている。
【００９１】
従って、圧着対象物３０を載置面上の保護フィルム５に乗せ、開口１８、６８の縁を一致させてから第一の押圧ヘッド１０を下降させると、第一、第二のダム部材１６、６６の先端が接触する前に、第一の押圧ゴム１５の表面が保護フィルム５を介して圧着対象物３０に接触する。
【００９２】
図８（ｂ）は第一の押圧ゴム１５が保護フィルム５を介して圧着対象物３０の表面と接触した状態であって、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が圧着対象物３０を押圧する前の状態を示しており、第一のダム部材１６の先端と、第二のダム部材６６の先端の間には隙間がある。
【００９３】
第一、第二のヘッド本体１１、６１のうち、第一、第二の押圧ゴム１５、６５底面が密着する部分を第一、第二の押圧板１２、６２とすると、第一、第二の押圧ゴム１５、６５はそれぞれ底面が第一、第二の押圧板１２、６２に固定されているが、側面は第一、第二のダム部材１６、６６に固定されておらず、第一、第二の押圧ゴム１５、６５は中央部分も縁部分も変形可能に構成されている。
【００９４】
従って、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的に近づけると、第一例の圧着装置１の場合と同様に、厚みの厚い電気部品３２から厚みの薄い電気部品３３に向かって、順次第一、第二の押圧ゴム１５、６５が押し付けられ、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２、３３と接触しない部分が膨らみ、圧着対象物３０が押圧される。
圧着対象物３０を押圧するときの圧力は、異方導電性フィルム３５や電気部品３２、３３の厚さや、異方導電性フィルム３５の加熱温度によって設定されている。
【００９５】
上述した第一、第二の凹部１７、６７の深さの合計は、設定された圧力で圧着対象物３０を押圧する時に、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が変形しても、第一、第二のダム部材１６、６６の先端同士が直接接触しない深さにされており、第一の押圧ヘッド１０は第一、第二の押圧ゴム１５、６５の変形が続く限り下降し、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の変形が止まった後は、第一の押圧ヘッド１０を下降させる力は圧着対象物３０を押圧する力となる（図８（ｃ））。
【００９６】
尚、保護フィルム５の縁部分が開口１８、６８からはみ出し、第一、第二のダム部材１６、６６の先端同士が、はみ出した保護フィルム５を挟んで接触する場合であっても、保護フィルム５が上述したように圧縮変形可能な材料で構成されていれば、保護フィルム５が圧縮変形することで圧着対象物３０への押圧が維持される。
【００９７】
圧着対象物３０を押圧する時には、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の表面が膨らむが、第一、第二の押圧ゴム１５、６５は、先端がその表面から突き出された第一、第二のダム部材１６、６６で取り囲まれているので、第一、第二の押圧ゴム１５、６５表面の膨らんだ部分は第一、第二のダム部材１６、６６で堰き止められる。従って、この圧着装置６においても第一、第二の押圧ゴム１５、６５表面が水平方向に広がらず、電気部品３２、３３の位置ずれが起こらない。
【００９８】
第一、第二の押圧ヘッド１０、６０のいずれか一方又は両方に加熱手段が設けられており、第一例の圧着装置１と同様に、圧着対象物３０を加熱しながら押圧することで、電気部品３２、３３が基板３１に電気的にも機械的にも接続されて電気装置３０ａが得られる。
【００９９】
以上は、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が圧着対象物３０に接触する前に第一、第二の凹部１７、６７が形成された場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではない。
【０１００】
図９（ａ）の符号７は本発明に用いる圧着装置の第四例を示している。この圧着装置７は、第一、第二の押圧板１２、６２と第一、第二の押圧ゴム１５、６５の間に、第一、第二の圧縮部材４６、７６が配置された以外は上記第三例の圧着装置６と同じ構造を有しており、第一、第二の押圧ヘッド１０、６０の配置も、上記第三例の圧着装置６と同じになっている。
【０１０１】
第一、第二の圧縮部材４６、７６の構成と配置は、上述した第二例の圧着装置４の第一の圧縮部材４６と同じであって、第一、第二の押圧ゴム１５、６５で圧着対象物３０を挟み込むと、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が変形する前に、第一、第二の圧縮部材４６，７６が圧縮されて膜厚が減少し、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が第一、第二の押圧板１２、６２に押し付けられて、可動板４７、７７と一緒に孔１９、６９内を移動する。
【０１０２】
図９（ｂ）は、第一、第二の圧縮部材４６、７６の膜厚が減少した状態であって、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が変形する前の状態を示しており、圧着対象物３０を挟み込む前に凹部が形成されていなくても、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が第一、第二の押圧板１２、６２に近づくことで、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の表面を底面とし、第一、第二のダム部材１６、６６を側壁とする凹部がそれぞれ形成される。
【０１０３】
このときの凹部の深さの合計、即ち、第一、第二の圧縮部材４６、７６が圧縮された時の、第一の押圧ゴム１５表面から第一のダム部材１６先端までの高さと、第二の押圧ゴム６５表面から第二のダム部材６６先端までの高さの合計は、第二の押圧ゴム６５表面の保護フィルム５と、圧着対象物３０表面の保護フィルム５を含む圧着対象物３０の厚さよりも小さくされている。
【０１０４】
第一、第二の圧縮部材４６、７６が圧縮された時には、第一、第二のダム部材１６、６６の先端は接触せず、第一の押圧ヘッド１０の下降を妨げるものがないので、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させると、第一、第二の押圧ゴム１５、６５が近づき、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２に接触した部分が凹んで、結局全ての電気部品３２、３３が第一、第二の押圧ゴム１５、６５で押圧される。
【０１０５】
上述した凹部の深さの合計は、電気部品３２、３３を基板３１に押し付ける時にも、第一、第二のダム部材１６、６６の先端が接触せず、圧着対象物３０に所定の圧力がかかるように設定されているので、圧着対象物３０を加熱しながら押圧を続ければ、上記第一例の圧着装置１を用いた場合と同様に、電気部品３２、３３が基板３１に接続されて電気装置３０ａが得られる。
【０１０６】
第一、第二の押圧ゴム１５、６５で電気部品３２、３３を押圧する時には、第一、第二の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２、３３と接触していない部分が膨らむが、第一、第二の電気部品３２、３３を押圧する時には凹部が形成されているので、上述した第三例の圧着装置６の場合と同様に、第一、第二の押圧ゴム１５、６５は第一、第二のダム部材１６、６６で堰き止められて、水平方向には広がらない。従って、この圧着装置７を用いた場合も、電気部品３２、３３の位置ずれが起こらず、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。
【０１０７】
以上は、第一、第二の押圧ゴム１５、２５のいずれか一方又は両方が、予めダム部材で取り囲まれた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１０（ａ）の符号８は本発明に用いる圧着装置の第五例を示しており、この圧着装置８は第一、第二の押圧ヘッド８０、９０と、ダム部材８６とを有している。
【０１０８】
第一、第二の押圧ヘッド８０、９０は金属製の第一、第二の押圧板８２、９２と、第一、第二の押圧板８２、９２の表面上に配置された第一、第二の押圧ゴム８５、９５とを有しており、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の周囲には何も配置されておらず、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の側面は露出している。第一、第二の押圧ゴム８５、９５の表面の平面形状は同じか、相似形にされている。
【０１０９】
図１１に示すように、ダム部材８６は筒状であって、筒の両端の開口の形状は、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の表面の形状と同じか、それよりも大きい相似形にされている。従って、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の少なくとも表面部分は、ダム部材８６の開口にそれぞれ挿入可能になっている。
【０１１０】
ここでは、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の側面は、その表面に対して略垂直にされ、第一、第二の押圧ゴム８５、９５は、表面に対して平行方向に切断した時の平面形状が、表面から裏面まで略等しくなっている。
【０１１１】
ダム部材８６は両端の開口に対して内壁面が略垂直にされ、該開口に対して平行に切断した時の断面形状は、一端から他端まで略等しくなっており、第一、第二の押圧ゴム８５、９５は表面部分だけでなく、その側面もダム部材８６に挿入可能になっている。
【０１１２】
第一の押圧ヘッド８０は第一の押圧ゴム８５が配置された側の面を下側に向けて配置されている。第一の押圧ヘッド８０の下方には作業台９が配置され、第二の押圧ヘッド９０は第二の押圧ゴム９５が配置された側の面を上側に向けて作業台９上に配置されている。
【０１１３】
不図示の搬送手段により、第一の押圧ゴム８５をダム部材８６の一端から筒の内部に挿入させ、第一の押圧板８２にダム部材８６を取り付ける。この状態では、第一の押圧ゴム８５の周囲はダム部材８６で囲まれ、ダム部材８６の他端は、第一の押圧ゴム８５の表面より下方に突き出されている。
【０１１４】
第二の押圧ゴム９５の表面に保護フィルム５を配置してから、その保護フィルム５上に圧着対象物３０を配置し、更に圧着対象物３０の表面に保護フィルム５を配置する。
【０１１５】
第二の押圧ゴム９５が、ダム部材８６の下端の開口の内側に位置するよう位置合わせ後、第一の押圧ヘッド８０と一緒にダム部材８６を下降させると、圧着対象物３０がダム部材８６の内部に挿入され、第一の押圧ゴム８５が保護フィルム５を介して圧着対象物３０に接触する。
【０１１６】
ダム部材８６の筒の長さは、第一の押圧ゴム８５が圧着対象物３０に接触した時であって、第一、第二の押圧ゴム８５、９５が変形する前の状態では、その下端が第二の押圧ゴム９５の表面と面一か、それよりも下方に突き出されるようになっており、上述した第一例の圧着装置１の場合と同様に、圧着対象物３０を押圧するときに、第一、第二の押圧ゴム８５，９５は水平方向に広がらないので、電気部品３２、３３の位置ずれが起こり難い。
【０１１７】
以上は、ダム部材８６が筒状に一体成形された場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。図１２の符号９６はダム部材の他の例を示している。このダム部材９６は複数の板状の壁材９９を有しており、不図示の移動手段により、各壁材９９は表面を鉛直方向に向けた状態で第一の押圧ゴム８５の側面に沿って並べられて第一の押圧板８２に取り付けられ、第一の押圧ゴム８５の周囲を取り囲む１つの筒が形成される。
【０１１８】
その状態では、各壁材９９の下端は第一の押圧ゴム８５の表面よりも下方に突き出されており、従って第一の押圧ゴム８５の周囲を取り囲む筒の下端は第一の押圧ゴム８５の表面よりも下方に突き出され、その下方に突き出された部分に、圧着対象物３０と、第二の押圧ゴム９５が挿入可能になる。
【０１１９】
以上は、ダム部材８６、９６で第一の押圧ゴム８５を取り囲んでから、その下端に第二の押圧ゴム９５を挿入する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１２０】
先ず、第二の押圧ゴム９５の周囲を取り囲み、先端が第二の押圧ゴム９５の表面よりも上方に突き出るように、ダム部材８６、９６を第二の押圧ヘッド９０に取り付け、第一の押圧ゴム８５をダム部材８６、９６の上方に突き出た開口から、ダム部材８６、９６の内部に挿入してもよい。
【０１２１】
以上は、ダム部材８６、９６を第一、第二の押圧ヘッド８０、９０のいずれか一方の取り付ける場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、ダム部材８６、９６を第一、第二の押圧ヘッド８０、９０のいずれにも取り付けず、第一、第二の押圧ゴム８５、９５を圧着対象物３０に接触させてから、圧着対象物３０の押圧を開始するまでに、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の周囲をダム部材８６、９６で取り囲んでもよい。
【０１２２】
更に、ダム部材８６、９６を第一、第二の押圧ヘッド８０、９０にそれぞれ取り付けて、第一、第二の押圧ゴム８５、９５周囲とダム部材８６、９６で取り囲んでから、圧着対象物３０の押圧を行っても良い。この場合、ダム部材８６、９６が取り付けられた状態の第一、第二の押圧ヘッド８０、９０は、構成と配置が、上記第三例の圧着装置６の第一、第二の押圧ヘッド１０、６０と同じになるのが好ましい。
【０１２３】
ダム部材８６、９６の筒の長さや、ダム部材８６、９６の配置も特に限定されず、圧着対象物３０を押圧するときに、少なくとも第一、第二の押圧ゴム８５、９５の表面部分を取り囲んでいるのであれば、第一、第二の押圧ゴム８５、９５の表面から裏面まで全部を取り囲んでもよいし、第一、第二の押圧ゴム８５、９５だけでなく、第一、第二の押圧板８２、９２を取り囲んでも良い。
【０１２４】
また、上記第五例の圧着装置８においても、第一、第二の押圧ゴム８５、９５を第一、第二の押圧板８２、９２に直接取り付けてもよいし、第四例の圧着装置７のように、第一、第二の押圧板８２、９２と第一、第二の押圧ゴム８５、９５の間に圧縮部材を設けてもよい。
【０１２５】
保護フィルム５は、第一、第二のダム部材８６、９６で第一、第二の押圧ゴム８５、９５周囲を取り囲む前に、第一、第二の押圧ゴム８５、９５表面に配置してもよいし、第一、第二のダム部材８６、９６で第一、第二の押圧ゴム８５、９５周囲を取り囲んだ後に第一、第二の押圧ゴム８５、９５表面に配置してもよい。
【０１２６】
以上は、第一、第二のダム部材１６、６６、８６、９６で第一、第二の押圧ゴム１５、６５、８５、９５の全周を取り囲む場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の水平方向の広がりを防止可能であれば、図１３に示すように、第一、第二のダム部材１６、６６、８６、９６のいずれか一方又は両方に、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の側面の一部が露出するような切込み９８を形成してもよい。
【０１２７】
保護フィルム５の形状や大きさも特に限定されるものではなく、異方導電性フィルム３５と第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５との接触を回避できるのであれば、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５表面からはみ出さない大きさの保護フィルム５を用いてもよいし、圧着対象物３０の一部表面だけを覆う保護フィルム５を用いてもよい。
【０１２８】
使用する異方導電性フィルム３５と第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５との接着性が低い場合には、保護フィルム５を用いず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５を直接圧着対象物３０に接触させてもよい。
【０１２９】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５と異方導電性フィルム３５との接着性を低くする方法としては、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の構成材料を異方導電性フィルム３５と接着性の低いものに変えたり、第一、第二の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の表面に異方導電性フィルム３５に対して離型性を有する離型層を設ける方法がある。
【０１３０】
加熱手段を設ける場所は特に限定されず、加熱手段は第一、第二の押圧ヘッドのいずれか一方又は両方に設けてもよいし、熱伝導可能であれば作業台９に設けてもよい。本発明に用いる基板３１の種類も特に限定されず、リジッド基板、フレキシブル基板等種々のものを用いることができる。
【０１３１】
熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂はいずれか一方だけを異方導電性フィルム３５に含有させてもよいし、両方を含有させてもよい。
熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂の種類は特に限定されないが、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂等を１種類以上用いることができ、熱可塑性樹脂としては例えばフェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール等を１種類以上用いることができる。
【０１３２】
導電性粒子の種類も特に限定されず、金属粒子の他に、樹脂粒子の表面に金属層を設けたものを用いることができる。また、異方導電性フィルム３５の代わりに、ペースト状の異方導電性接着剤を基板３１表面に塗布してから、その異方導電性接着剤に電気部品を接着させて圧着対象物３０としてもよい。
【０１３３】
また、電気部品３２、３３の実装条件によっては、異方導電性フィルム３５や、異方導電性接着剤の変わりに、導電性粒子を含有しない接着剤を用いることもできる。
【０１３４】
保護フィルムの種類は特に限定されないが、上述した異方導電性フィルム３５に対して剥離性を有するものが好ましく、例えば、ポリテトラフルオロエチレンをフィルム状に成形したもの、シリコーンゴムをフィルム状に成形したものを用いることができる。
【０１３５】
第一、第二の押圧ゴムを構成する弾性材料は特に限定されないが、一例を述べるとゴム硬度（ＪＩＳ  Ｓ  ６０５０に準拠）が４０、８０のエラストマーが使用可能であった。尚、ゴム硬度がそれぞれ４０、６０、８０のエラストマーについて、測定温度３０℃〜２４０℃の範囲で３０℃毎にゴム硬度を測定したところ、ゴム硬度の変化は±２であった。この値は測定誤差範囲と言えるので、ゴム硬度は温度変化による影響を受けない値であることがわかった。
【０１３６】
第一、第二の押圧ゴムに用いるエラストマーとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれも用いることができるが、耐熱性、耐圧性の観点からはシリコーンゴムを用いることが好ましい。第一、第二の押圧ゴムは同じ材料で構成してそのゴム硬度を同じにしてもいいし、第一、第二の押圧ゴムを別々の材料で構成して、そのゴム硬度を違えてもよい。
【０１３７】
基板３１に接続する電気部品３２、３３の種類は特に限定されず、具体的には半導体素子、抵抗素子、他の基板等がある。
【０１３８】
基板３１の表面及び裏面に電気部品３２、３３を接続する前、基板３１の表面に電気部品３２、３３を接続してから裏面への電気部品３２、３３の接続を開始する間、又は、基板３１の表面と裏面の両方に電気部品３２、３３を接続した後に、基板３１の表面と裏面のいずれか一方又は両方に、ＣＲ部品のような他の電気部品を接続してもよい。
【０１３９】
以上は、基板３１の表面と裏面にそれぞれ厚みの異なる複数種類の電気部品３２、３３を接続する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、基板３１の表面と裏面に、同じ厚みの電気部品を接続する場合や、基板３１の表面又は裏面のいずれか一方に電気部品を接続する場合も本発明には含まれる。
【図面の簡単な説明】
【０１４０】
【図１】第一例の圧着装置を説明する断面図
【図２】押圧ヘッドと台座の形状を説明する平面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）：電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図４】（ａ）、（ｂ）：電気部品が基板に接続される工程を説明する拡大断面図
【図５】（ａ）〜（ｃ）：第二例の圧着装置を用いて電気部品を実装する工程を説明する断面図
【図６】圧縮部材の他の例を説明する断面図
【図７】第三例の圧着装置を説明する断面図
【図８】（ａ）〜（ｃ）：電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図９】（ａ）〜（ｃ）：第四例の圧着装置を用いて電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図１０】（ａ）：第一、第二のダム部材が第一、第二の押圧ゴムから分離した状態を示す断面図、（ｂ）：第一、第二のダム部材が第一、第二の押圧ゴムを取り囲む状態を示す断面図
【図１１】ダム部材の一例を説明する平面図
【図１２】ダム部材の他の例を説明する平面図
【図１３】ダム部材に切り込みを設けた状態を説明する側面図
【図１４】（ａ）、（ｂ）：従来技術の実装方法を説明する断面図
【図１５】押圧ゴムの広がりを説明する平面図
【符号の説明】
【０１４１】
１、４、６〜８……圧着装置    ５……保護フィルム    １２……第一の押圧板    １５……第一の押圧ゴム    １６……第一のダム部材    ２２……第二の押圧板    ２５……第二の押圧ゴム    ６６……第二のダム部材    ３０……圧着対象物    ３１……基板    ３５……異方導電性フィルム    ３２、３３……電気部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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