(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第１開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第１通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第１通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第１通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第２通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第２通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブと、
物品の空孔に連通している第２開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第２開口部に空気を通すための第３通気管と、その第３通気管に配設してある第３バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第２開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを用いて、
空孔を有する物品の空孔内における欠陥を検出する空孔検査方法であって、
上記空孔検査方法は、ワークステージの通気孔に物品の第１開口部が合う状態で物品を装着する工程と、
貫通検査の工程においては、上記パッキンで第２開口部を塞ぎ、上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブを閉じ、上記貫通検査系統における圧縮空気供給手段から空孔内部に向けて圧縮空気を送り込み、上記送り込んだ空気が空孔内から漏れ出さないように上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブを閉め、所定時間内における物品空孔内の減圧状態に基づいて貫通の有無を判定する貫通検査の工程と、
異物等検査の工程においては、上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブを閉め、上記第２開口部に通じる第３通気管の第３バルブを開き、
上記異物等検査系統における真空手段で空孔内の空気を引き出し、引き出されることによって第２開口部から空孔内に導入される風の状態を上記センサーで計測し、計測された風の状態に基づいて上記空孔の異物等の有無を判定する異物等検査の工程とを含み、
上記貫通検査の工程又は異物等検査の工程のいずれか一方の工程を行った後、物品をワークステージにセットした状態で、残る他方の工程を行うことを特徴とする物品の空孔の検査方法。
【請求項２】
表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第１開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第１通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第１通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第１通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第２通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第２通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブと、
物品の空孔に連通している第２開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第２開口部に空気を通すための第３通気管と、その第３通気管に配設してある第３バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第２開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを備え、
上記ワークステージの通気孔に連通させる貫通検査系統と異物等検査系統とを選択的に切り換えて、空孔を有する物品をワークステージにセットした状態で、その空孔内部における貫通と異物等の両欠陥の検査ができるようにしたことを特徴とする物品の空孔の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品の空孔の検査方法および検査装置に関し、さらに詳しくは、例えばタービンハウジングのように内部に空孔を有する物品の空孔の検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、空孔を有する物品、例えばタービンハウジングにおける空孔と外部との貫通の有無を検査する貫通検査を行う場合は、次のようにしている。
まず、タービンハウジング内の空孔が外部に対して気密状態になるようにタービンハウジングの開口部を密閉する。次に、上記空孔内に圧縮空気を送り込む。
空孔内が所定の気圧になった後は、送り込んだ圧縮空気が空孔内から開口部を通して漏れ出さないようにする。圧力計で物品の空孔内の減圧状態をみる。減圧が無い場合は貫通無し、減圧がある場合は貫通有りと判定する。
このようにして、空孔と物品外部の貫通の有無を検査していた。
【０００３】
次に、物品における空孔内部の欠陥（空孔内部のバリ、異物）の有無を検査する異物等の検査をする場合は次のようにしている。
手法１：針金などを挿入して、バリや異物による閉塞・狭窄状況を調べる。
手法２：内視鏡と光ファイバ光源、又はボアスコープ等を挿入して目視で調べる。
手法３：１つの開口部から超音波を放射し、他の開口部での音量を検知することによりバリや異物による閉塞、狭窄状態を判定する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３３８０９０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この従来の異物等検査においては、上記手法１や手法２によると、大変な手間を要するとともに、精度も低く異物等を見逃すことも多いという問題点がある。
さらに、物品における空孔の形状が複雑である場合には、多大な手間を要し、精度もさらに低くなる恐れがある。
さらに、物品における空孔の形状が複雑である場合には、上記手法３によっても、超音波の伝達途中の損失およびノイズ混入の度合いが大きくなり、正確な判定が困難であるといった問題点もあった。
【０００６】
本件出願の目的は、物品の空孔の貫通検査をする場合は、物品における空孔と外部との貫通の有無が検査できる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、物品の空孔の異物等検査する場合は、空孔内部のバリ、異物等の有無を検査することができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、上記物品の空孔の異物等検査において、物品の空孔の形状が複雑である場合であっても、短時間でかつ、精度良く検査することができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的は、物品について空孔の貫通検査と異物等検査の両方の検査をする場合、貫通検査と異物等検査の検査の両方を速やかにすることができる検査方法および検査装置を提供しようとするものである。
他の目的及び利点は図面及びそれに関連した以下の説明により容易に明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願発明における物品の空孔の検査方法は、表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第１開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第１通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第１通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第１通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第２通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第２通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブと、
物品の空孔に連通している第２開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第２開口部に空気を通すための第３通気管と、その第３通気管に配設してある第３バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第２開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを用いて、
空孔を有する物品の空孔内における欠陥を検出する空孔検査方法であって、
上記空孔検査方法は、ワークステージの通気孔に物品の第１開口部が合う状態で物品を装着する工程と、
貫通検査の工程においては、上記パッキンで第２開口部を塞ぎ、上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブを閉じ、上記貫通検査系統における圧縮空気供給手段から空孔内部に向けて圧縮空気を送り込み、上記送り込んだ空気が空孔内から漏れ出さないように上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブを閉め、所定時間内における物品空孔内の減圧状態に基づいて貫通の有無を判定する貫通検査の工程と、
異物等検査の工程においては、上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブを閉め、上記第２開口部に通じる第３通気管の第３バルブを開き、
上記異物等検査系統における真空手段で空孔内の空気を引き出し、引き出されることによって第２開口部から空孔内に導入される風の状態を上記センサーで計測し、計測された風の状態に基づいて上記空孔の異物等の有無を判定する異物等検査の工程とを含み、
上記貫通検査の工程又は異物等検査の工程のいずれか一方の工程を行った後、物品をワークステージにセットした状態で、残る他方の工程を行うしたものである。
【０００８】
また好ましくは、表面に物品を装着する設置域を備え、かつ上記設置域内において、設置される物品の空孔に連通している第１開口部に通じさせる為の通気孔を備えるワークステージと、
上記ワークステージにおける上記通気孔に連通させる第１通気管を備える貫通検査系統であって、
上記貫通検査系統は、上記第１通気管と通気孔を通して物品の空孔内へ圧縮空気を送る為の圧縮空気供給手段と、
上記空孔内に送った空気が上記第１通気管を通じて漏れ出すのを防止する為に上記貫通検査系統における第１通気管に配設してある第１バルブと、
空孔内の減圧状態を計測する為の圧力計測手段とを備える貫通検査系統と、
上記ワークステージにおける通気孔に連通させる第２通気管を備える異物等検査系統であって、
上記異物等検査系統は、上記通気孔と第２通気管を通して空孔内の空気を引き出す為の真空手段と、
上記空孔内の空気が漏れ出すのを防止する為に上記異物等検査系統における第２通気管に配設してある第２バルブと、
物品の空孔に連通している第２開口部に対して気密的な着脱を自在にしてあるパッキンと、第２開口部に空気を通すための第３通気管と、その第３通気管に配設してある第３バルブと、
上記空孔内の空気が真空手段によって引き出されることによって、物品の空孔に連通している第２開口部から空孔内に導入される風の状態を測定するセンサーと、
上記センサーで測定した値に基づいて空孔内の異物等の有無を判定する判定手段とを備える異物等検査系統とを備え、
上記ワークステージの通気孔に連通させる貫通検査系統と異物等検査系統とを選択的に切り換えて、空孔を有する物品をワークステージにセットした状態で、その空孔内部における貫通と異物等の両欠陥の検査ができるようにしたものであればよい。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本願発明は、物品の空孔の貫通検査をする場合、空孔内に圧縮空気を送り込んだ後、気密状態にして空孔内の圧が減圧するか否かをみて、減圧した場合は貫通有り、減圧しない場合は貫通無しと判定するので、物品における空孔と外部との貫通の有無が正確に検査でき、良質な物品を提供できる特長がある。
【００１０】
さらに本願発明は、物品の空孔の異物等検査をする場合、空孔内に通過させる風の状態をセンサーで測定し、その測定された風の状態に基づいて異物等の有無を判定する。
よって、従来の検査のような大変な手間を要することなく、空孔内部のバリ、異物等の有無を短時間で正しく検査することができる作業上の効果がある。
さらに、このことは、空孔の形状が複雑な物品について検査する場合であっても、短時間で検査することができる作業上の効果がある。
【００１１】
さらに本願発明は、物品の空孔の貫通検査と異物等検査の両方の検査をする場合、物品をワークステージにセットした後は、貫通検査又は異物等検査のいずれか一方の検査をし、その後、残る他方の検査に用いる系統の通気管をワークステージの通気孔に連通するように切り換えて、他方の検査を行うようにするものなので、一方の検査に引き続いて他方の検査をすることができ、迅速に貫通検査と異物等検査の２つの検査をすることができる作業上の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本願発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図１乃至図６において、Ｗは検査対象の空孔４ａを有するワーク（物品ともいう）を示し、例えば周知のタービンハウジングを示す。４ｂは空孔４ａに通じる第１開口部、４ｃは空孔４ａに通じる第２開口部を示す。
【００１３】
次に、Ａは上記ワークＷの空孔４ａ内部における貫通と異物等の欠陥を検出する為の検査装置を示す。
１は上記検査装置Ａにおけるワークステージを示し、６は固設されている硬質材製の基台を示す。６ａは基台６の表面に設けられたワークＷを装着する為の設置域を示す。設置域６ａは気密材で形成され、気密材としては、ワークＷを装着した状態で設置域６ａと第１開口部４ｂとが気密的になればよく、例えばゴム材で形成してあってもよい。７は設置域６ａ内において開口させた基台６を貫通する通気孔を示す。８は図２に示されるように、基台６の表面に対して、必要に応じて備えられる周知のクランプを示し、ワークＷをワークステージ１に装着固定する為のものである。９は通気孔７に連通する共用管を示す。
【００１４】
次に、２は貫通検査系統を示し、上記ワークＷの空孔４ａにおける貫通の欠陥を検査する為に用いられるものである。貫通検査系統２について説明する。
15は共用管９、通気孔７に連通する第１通気管を示す。10は、図１、図４に示されるように通気管15、共用管９、通気孔７を介してワークＷの空孔４ａ内へ圧縮空気を送り込む為の圧縮空気供給手段を示す。圧縮空気供給手段10としては、貫通検査するときに空孔４ａ内の気圧を所定の気圧、例えば空孔４ａ内を1.0〜１０気圧にすることのできる機能を有するものであればよく、例えば周知のエアコンプレッサーを用いてもよい。11は通気管15に配設された第１バルブを示し、例えば周知の手動バルブでも良いが、周知の電磁バルブを用いてもよい。12は通気管15に配設された圧力計測手段を示し、ワークの空孔内４ａの気圧の状態を測定できるものであればよく、周知の圧力計を用いてもよい。13は通気管15に配設される周知の圧力調整弁を示し、上記圧縮空気供給手段10から通気管15を介して送り出される圧縮空気の圧力を調節することができる、例えば空孔４ａ内を1.0〜１０気圧に調整できるようにしてある。14は周知の逆止弁を示し、空気を通気孔７方向へ通し、その反対方向へは逆流させないようにしてある。
なお、上記共用管９にバルブを介設してもよい。その場合には、貫通検査において空孔４ａ内を一定圧に加圧した後、共用管９に介設したバルブを閉じて減圧検査をしてもよい。その場合はその共用管９に介設したバルブよりも空孔４ａ側に圧力計を配置するとよい。
さらに、図１における符号９ａで示す三叉路位置に、共用管９に対して通気管15又は通気管24を選択的に切換連通させる為の任意の電磁切換弁を配設し、単独で、又はバルブ11（又はバルブ21、23）と連動させる等、必要に応じて制御部36により開閉制御すればよい。
【００１５】
次に、３は異物等検査系統を示し、上記ワークＷの空孔４ａ内部におけるバリ、異物の欠陥を検査する為に用いられるものである。異物等検査系統３は、ワークＷの空孔内から空気を引込むための引込系統Ｂと、ワークＷの空孔内へ空気を供給する為の供給系統Ｓと、ワークＷの空孔内部におけるバリ、異物の有無を判定する為の判定系統Ｊとを備える。
まず、引込系統Ｂについて説明する。
24は共用管９、通気孔７に連通する通気管を示す。20は通気管24を介してワークＷの空孔４ａ内の空気を引き出す為の真空手段を示す。真空手段20として、例えば周知のコンバム（エジェクター式真空発生装置）を用いてもよい。コンバム20は広く知られているように、圧縮空気を駆動源として真空を発生するようになっている。コンバム20に供給する圧縮空気は、上記した貫通検査系統２における圧縮空気供給装置10を利用して供給するとよい。
21は第２通気管24の圧縮空気供給手段10寄りに配設されたバルブを示し、23は第２通気管24の通気孔７寄りに配設された第２バルブを示し、例えば周知の手動又は電磁バルブを用いてもよい。22は通気管24に配設された周知の流量計／調整弁を示し、広く知られているように、通気管24を流れる空気の流量を計測・調節し、所定流量の空気が一定して通気管24を通過するようにしてある。
【００１６】
次に、供給系統Ｓについて説明する。
26は後述するエアタンク27を設置する為の設置部材を示し、図示のようにワークＷの第２開口部４ｃ側に固設してある。27は設置部材26上に対して矢印43ａ、43ｂ方向への進退を自在に載置された周知のエアタンクを示し、その載置は設置部材において横方向（図２の奥行き方向）へ移動することのないようにされている。エアタンク27の容量は、ワークＷの空孔４ａ内に導入する空気のバッファとして機能するように充分に大きな容量にしてある。28はエアタンク27に備える周知のフィルターを示し、外部からエアタンク27内に流入する外気に含まれる粉塵、オイルミストを除去する為のものである。42は、図２に表れる矢印43ａ、43ｂ方向に進退自在に動作する周知のエアシリンダ（図示省略）のロッドを示す。このロッド42は、パッキン30をワークＷにおける第２開口部４ｃに対して気密的にしたい場合に用いるもので、図示のように先部に備える二股状に突出した当接部42ａをエアタンク27の後端部側に当接させ、矢印43ａ方向に押圧動作させるとよい。なお、フィルター28に対しては両側から空気が導入される。30はパッキンを示し、図１、図２に示されるようなワークＷが装着された状態で、ワークの第２開口部４ｃに対して気密的な着脱を自在に装着するようにしたもので、周知の弾性材、例えばゴム材で形成してある。31は第３通気管を示し、図２によく表れるように一端をエアタンク27の開口部27ａに対して連通させ、他端はパッキン30に接続させ、ワークＷが装着された状態にあっては、空孔４ａと連通するようになっている。29は第３通気管31に配設された第３バルブを示し、例えば周知の電磁バルブを用いるとよい。
【００１７】
次に、判定系統Ｊについて説明する。
34は空孔４ａを通過する空気（風）の状態を測定する為のセンサーを示す。センサー34は、空孔４ａ内の空気が真空手段20によって引き出されることによって、ワークＷの第２開口部４ｃから空孔４ａ内に導入される風の状態を測定するものである。センサー34は、図２によく表れるようにエアタンク27内の開口部27ａ付近に配置され、かつ、層流の測定が可能な位置に配置してある。センサー34は、ワークＷの第２開口部４ｃの近く（空孔４ａ内を流れる風の風上側）で測定するものなので、風速を精度良く測定できる。
センサー34としては、例えば周知のＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）式風速センサを用いるとよい。また、センサー34として周知のサーミスタ式風速計を用いてもよい。
さらに、センサー34としては、通気管31を通過する空気（風）の状態を測定できるものであればよく、例えば風量計を用いて上記風の状態を測定するものであってもよい。
また、センサー34の設置位置としては上記のように空孔４ａを通過する空気の流れを測定できればよいので、第１開口部４ｂ近く、例えば共用管９の通路に配置してもよい。
【００１８】
次に、35は、センサー34で測定した値に基づいて空孔４ａ内のバリや異物の有無を判定する為の判定手段を示す。この判定手段35には、上記貫通検査系統２を用いる空孔の貫通の有無の判定を含む。判定手段35についてよく表れる図３を用いて説明する。
36は判定手段35における制御部を示し、上記した貫通検査系統２における圧縮空気供給手段10、バルブ11、圧力計測手段12、圧力調整弁13等の動作を制御するように構成されている。さらに、上記した異物等検査系統３における真空手段20、バルブ21、23、流量計／調整弁22、バルブ29、センサー34等の動作を制御するように構成されている。
次に、37は判定手段35における判定部を示し、センサー34の計測結果に基づいて欠陥の有無を判定する為のものである。判定部37は、センサー34で計測された値と、判定部37に予め記憶されている基準値とを比較して、空孔４ａの内部における欠陥の有無を判断するよう構成されている。基準値は、検査対象となるワークＷと同一形状で、空孔内部に欠陥のない良品を用いて実際に計測した値である。
なお、判定は、センサー34による計測値（風速又は風量）が基準値と比較して所定の閾値以上の差があるときに不良品（欠陥品）と判定するようにすれば良く、例えば閾値を５％として判定しても良い。なお、貫通検査系統２において圧力計測手段12の数値が予定値よりも降下した場合（欠陥品の場合）は、それも判定部37で判定させるようにしてもよい。
【００１９】
次に、38は、判定手段35による判定結果を外部に通知するための報知部を示し、警報ブザーや警報灯を備え、判定手段35により欠陥があると判定された場合は、警報ブザーを鳴らしたり、警報灯を点滅する。
なお、異物等検査系統３における通気管24、31等の配設にあっては、曲部24ａが鋭角にならないようなだらかな鈍角に構成するとよい。さらに、使用する通気管の内径の大きさはすべて同一になるように構成するとよい。このように通気管を構成すると、空気の流れが層流となり、センサー34で計測する値をばらつきなく精度良く測定することができる。
【００２０】
次に、40はワークＷの第３開口部４ｄに対して着脱自在に装着する盲蓋を示す。
41は、図２によく表れる盲蓋40に連結されている周知のエアシリンダ（図示省略）のロッドを示し、矢印41ａ、41ｂ方向に進退自在に動作する。
なお、盲蓋40に連結されているエアシリンダが盲蓋40を押圧することにより、ワークＷの第１開口部４ｂとワークステージ１の設置域６ａとが気密的に圧接され、しかもワークＷが固着状態になる場合は、上記したクランプ８は備えなくてもよい。
さらに、図２に示される盲蓋40においては、ワークＷにおける第１開口部４ｂの反対側の位置に第３開口部４ｄが存在することを前提に説明したが、第１開口部４ｂ及び第２開口部４ｃの他に１又は複数の開口部が存在する場合は、それらの開口部は予め任意手段により盲蓋で塞いでおいてもよいし、ワークＷを設置域６ａに設置した後、任意手段によって盲蓋を装着するようにしてもよい。その場合、ロッド41の押圧方向はワークＷの第１開口部４ｂとワークステージ１の設置域６ａとを気密的に圧接するように設定しておけばよい。
【００２１】
次に、上記構成のものを用いてワークＷの空孔４ａにおける貫通検査をする作業について説明する。
まず、設置域６ａの上にワークＷの第１開口部４ｂを乗載する。
次に、ロッド４１を下降させて、盲蓋４０を第３開口部４ｄに図示のように対応合着させる。これにより、設置域６ａと第１開口部４ｂの周囲との密着及び第３開口部４ｄに対する密閉が行われる。次に、ロッド42を矢印43ａ方向へ押圧することにより、パッキン30を第２開口部４ｃの周囲に密着させる。一方、制御部36により制御された（又は手動により操作された）バルブ11の開放、バルブ21、23、29の閉塞を確認する。
次に圧縮空気供給手段10を作動させ、図４（Ａ）の矢印で示されるように圧縮空気を送り、ワークＷにおける空孔４ａ内の気圧を高める（例えば1.1〜１０気圧）。その後、バルブ11を閉ざし、所定時間経過後、圧力計測手段12の圧力計の指示を見る。その結果減圧している場合は欠陥有り、減圧していない場合は、欠陥なし（良品）として検査を完了する。
上記貫通検査において、不良品が生じた場合、ワークＷをワークステージ１から取り除き、不良品として処理し、検査を終了する。
上記貫通検査において欠陥なし（良品）の場合は、ワークステージ１に対するワークＷをそのままにして、引き続いて異物等検査を行う。
【００２２】
次に異物等検査を行う場合について説明する。この異物等検査を行う場合、上記貫通検査において既に、ワークＷが設置域６ａの上に乗載されているので、ワークＷを設置域６ａの上に設置する手間なくして直ちに異物等検査に入ることができる。
従って、直ちにバルブ21、23、29を開放し、バルブ11の閉塞を確認し、通気管24とエアタンク27とが連通するように切換え操作をする。
次に、周知のように圧縮空気供給手段10を動作させて真空手段（コンバム）20を動作させる。これにより、ワークＷの空孔4a内の空気は引かれ、フィルター28からエアタンク27、空孔4a、通気管24を経由してコンバム20に至る空気路（風路）が形成される（図４（Ｂ）における太い矢印参照）。 なお、空孔４ａ内を流れる風の流量は、流量計／調整弁22により適量に設定する（例えば流量計／調整弁22において流量0.1〜２リットル／min位）。
このような状態においては、エアタンク27からワークＷの空孔4a内に至る空気流の状態がセンサー34によって測定され、そのデータは判定部37に送られる。
次に、判定部37においては、前述したようにセンサー34で計測された風速値と、判定部37に予め記憶されている基準値とを比較する。その結果、その差が５％未満のときは、欠陥なし（良品）、５％以上のときは欠陥有り（不良品）と判定し、異物等検査を完了する。
【００２３】
以上で、貫通検査及び異物等検査の両方の検査終了する。検査終了後は、ロッド41を矢印41ｂ方向へ、ロッド42を矢印43ｂ方向へ夫々動作させ、ワークＷをワークステージ１から取り外す。
さらに、必要に応じて引き続き次のワークＷの検査をする場合、上記と同様の検査作業を繰り返してすればよい。
なお、上記ワークＷの空孔４ａにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業の説明において、貫通検査をした後、異物等検査をする場合について説明したが、検査の順序はどちらを先にしても良く、異物等検査をした後、貫通検査をしても良い。
【００２４】
以上のように、上記の方法によれば前段の検査においてワークステージにセットした物品は、そのままセット替えをすることなく後段の検査において活用することができる省力的効果がある。また、ワークＷをワークステージ１に装着後、貫通検査した後は、通気孔７に連通する通気管15を、通気管24に切換えるだけで、異物等検査を行うことができるので、貫通検査と異物等検査の２つの検査を迅速に行うことができる。
さらに、ワークＷの空孔４ａ内の風の状態を測定するセンサー34は、図２によく表れているように、ワークＷの第２開口部４ｃの近く（空孔４ａ内を流れる風の風上側）で測定するものなので、風速を精度良く測定できる。
【００２５】
次に、図５について説明する。図５は、図４における異物等検査系統３における真空手段としてのコンバム20に代えて周知の真空ポンプ20を用いる点において異なる例を説明する為のものである。
なお、図５の説明に当たって、図５の空孔検査装置Ａの構成については、多くのものが前述した図１、図４に対応する構成、機能の点において同一視し得ると考えられるので、それらの構成については図１、図４に用いた符号と同一の符号を付して図１、図４とは重複する説明を省略する。
また図５の空孔検査装置Ａの構成を用いてのワークＷの空孔４ａにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業については、真空手段として、単純にコンバム20が真空ポンプ20に変更されたのみで、前述した図４の構成を用いてのワークＷの空孔４ａにおける貫通と異物等の両欠陥を検査する作業と実質的には同様のため重複する説明は省略する。
なお図４においては、コンバム20の駆動源として圧縮空気供給手段10を用いたが、図５においては真空ポンプ20を用いる関係から圧縮空気供給手段10は不要となる。
従って圧縮空気供給手段10とコンバム20とを連通させる配管24も不要となり、さらには、真空ポンプ20の容量も、コンバム20の駆動源としての過剰な能力が不要となる経済性が生まれる。なお上記真空ポンプ20としてはオイルフリーのものを用いるのが好ましい。
【００２６】
次に、図２のＭＥＭＳ式風速センサー34が付設されているエアタンク27を示す図６について説明する。空孔検査装置Ａに対して、内部にＭＥＭＳ式風速センサー34を備えるエアタンク27を付設して用いた後、その空孔検査装置Ａを一時的に使用しなくなったときには、周囲の環境の温度や湿度によるセンサー34への影響（例えばセンサー内部に生じる結露）から、センサー34を保護する必要性が生じる。そこでその保護方法について以下説明する。
一つの手段としては、常時センサー34に通電すると、センサー34の内部ヒータによりセンサー34は加温され、自体の結露は防止される。
他の手段としては、図６に示されるように、任意小型の除湿器46を付設して結露を防止する。例えば、図６に示される構成にする。図６において44はエアタンク27に装着するためにＬ字型に形成してある任意の硬質材で形成されている装着材、44ａは装着材44における貫通孔を示す。49は、装着材44を金属製のエアタンク27に装着する為に装着材44の内側に備えさせた装着用磁石を示す。
45は後述する除湿器46を装着材44に対して固定するための除湿器固定材を示し、図示のように装着材44の表面に備えられている。46は周知の除湿器、例えばペルチェ方式熱交換型の除湿素子を示す。47は装着材44に備えられる周知の環状のパッキンを示し、図示の装着状態においてはエアタンクの開口部27ａと装着材の貫通孔44ａとが気密的に連通するように介設してある。48は装着材44の着脱により除湿器46の運転をオンオフする為の周知のマイクロスイッチを示す。50は、必要に応じてフィルター28に代えて装着した調湿用のファンを示し、エアタンク内に空気送り込み、又は吸い出しができる。
【００２７】
次に上記構成のものの装着作業及び動作を説明する。
まず、図２に示されるエアタンク27を通気管31から外す。次にエアタンク27に対して装着材44を図６に示されるように装着用磁石49の磁力を利用して装着する。
装着と同時にマイクロスイッチ48がオン状態となり、除湿器46が自動的に運転を開始する。
除湿器46の作動により、センサー34の周辺部が除湿される。また必要に応じて調湿用のファンを作動させ、エアタンク内の風を流通させる。
以上のように、センサー34周辺部が除湿され、センサ内部の結露を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ワークと空孔検査装置との関係を説明する為の概略ブロック図。
【図２】図１を部分拡大した一部破断図で、ワーク空孔とエアタンクとセンサーとの関係を説明するための図。
【図３】判定手段を説明するためのブロック図。
【図４】検査作業を説明する為の概略ブロック図で（Ａ）は貫通検査を説明するための概略図、（Ｂ）は異物等検査を説明するための概略図。
【図５】図１、図４とは異なる例を説明する為の概略ブロック図。
【図６】除湿器が付設される例を説明する為の概略図。
【符号の説明】
【００２９】
Ａ・・・空孔検査装置、１・・・ワークステージ、２・・・貫通検査系統、３・・・異物等検査系統、、Ｗ・・・ワーク、4a・・・空孔、4b・・・第１開口部、4c・・・第２開口部、６・・・基台、７・・・通気孔、８・・・クランプ、９・・・共用管、10・・・圧縮空気供給手段、11・・・バルブ、12・・・圧力計測手段、13・・・圧力調整弁、14・・・逆止弁、15・・・通気管、20・・・真空手段、21・・・バルブ、22・・・流量計／調整弁、23・・・バルブ、24・・・通気管、26・・・設置部材、27・・・エアタンク、28・・・フィルター、29・・・バルブ、30・・・パッキン、31・・・通気管、34・・・センサー、35・・・判定手段、36・・・制御部、37・・・判定部、38・・・報知部、40・・・盲蓋、46・・・除湿器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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