(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の撮像画素をマトリクス状に配設した撮像画素部と、
前記撮像画素部の各撮像画素の信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直ＣＣＤレジスタと、
前記垂直ＣＣＤレジスタからの信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣＤレジスタと、
前記撮像画素部の全ての画素に蓄積された信号電荷を読み出す多画素モードと、
前記撮像画素部の各撮像画素を垂直ＣＣＤレジスタによって垂直方向に選択して読み出し、信号電荷を間引いて出力する間引きモードと、
前記水平ＣＣＤレジスタの隣接部に、前記間引きモードにおいて前記垂直ＣＣＤレジスタから水平ＣＣＤレジスタに転送される非選択画素のノイズ成分を排出するドレイン部とを有し、
前記ドレイン部は、
スミア排出ドレインと信号電荷の流れを制限するスミアドレインバリアを有し、
前記スミアドレインバリアに印加するバイアス電圧のレベルを所定のタイミングによって切り換え制御することにより前記非選択画素のノイズ成分を排出する動作を実行する
ことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
前記間引きモードにおける垂直ＣＣＤレジスタから水平ＣＣＤレジスタへの電荷転送時に、前記非選択画素のノイズ成分を含む空パケットを有効な信号電荷のパケットより先に転送し、この転送タイミングで前記バイアスの切り換え制御によってドレイン部を機能させ、前記空パケットのノイズ成分を排出し、その後、有効な信号電荷のパケットを水平ＣＣＤレジスタへ転送することを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子。
【請求項３】
前記多画素モードは高精細な静止画モードであり、前記間引きモードは高フレームレートに対応する簡易動画モードであることを特徴とする請求項１又は２記載の固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多画素化によって高精細な画像を撮像できる固体撮像素子に関し、特に信号を読み出す画素を間引くことにより、高フレームレートで画像出力するモードを有する撮像装置に利用して有効な固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、民生用デジタルスチルカメラにおいても多画素化が急速に進み、高精細な静止画を撮像可能な製品が各種提供されている。
そして、このような多画素化したスチルカメラにおいて、ＴＶモニタやＬＣＤモニタに対して高フレームレートで動画出力を行なうために、信号を読み出す画素を間引いて出力するようにしたものが提案されている。
例えば、垂直方向８ラインに２ラインだけを選択的にフォトセンサから読み出すことにより、容易に動画用のフレームレートを得るものである。
このような簡易式の動画モードは、例えばモニタリングモードと呼ばれており、単にＡＥ（自動露出）やＡＦ（自動焦点）といった制御だけでなく、構図決めや簡単ムービーとしても使われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のような従来の固体撮像素子において、スミア（偽信号）等の画質劣化の原因となるノイズ電荷成分は、垂直ＣＣＤレジスタでも発生する。
一方、上述したモニタリングモードでは、垂直方向にラインを間引いて信号電荷を読み出すため、垂直ＣＣＤレジスタでは、選択されたラインの信号電荷パケットと選択されないラインのノイズ電荷パケットが順番に同一水平ブランキング期間中に水平ＣＣＤレジスタに転送されることになる。
このため、読み出されないフォトセンサのスミア等のノイズ電荷まで、水平ＣＣＤレジスタへの転送電荷に加算されてしまい、画質劣化を引き起こすという問題が生じる。
【０００４】
以下、このような従来の問題点について図面を用いて説明する。
図６は、従来のＣＣＤ固体撮像素子におけるモニタリングモードでの垂直、水平の各レジスタにおける信号電荷の転送動作を示す説明図である。
このＣＣＤ固体撮像素子では、マトリクス状に配置された多数の撮像画素（フォトセンサ）１０を有し、この撮像画素１０の垂直転送方向に沿って多数の垂直ＣＣＤレジスタ２０（図では２列だけ示す）が設けられている。
なお、各撮像画素１０における「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」は、各撮像画素１０に蓄積される信号電荷の色を示している。
また、各垂直ＣＣＤレジスタ２０の端部には、水平転送方向に沿って水平ＣＣＤレジスタ３０が設けられ、各垂直ＣＣＤレジスタ２０から転送された信号電荷を水平方向に転送し、信号電荷を電圧出力に変換する出力部３１に転送する。
【０００５】
このようなＣＣＤ固体撮像素子において、高精細な静止画を出力する場合は、全ての撮像画素１０に蓄積された信号電荷を各垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出して順次水平ＣＣＤレジスタ３０側に転送し、これを出力部３１に出力する。
また、モニタリングモードで動画を出力する場合には、撮像画素１０を垂直方向に間引いて転送する。例えば図示の例では、水平方向の８ライン中の２ラインを選択して垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出し、水平ＣＣＤレジスタ３０に転送するようにしている。なお、図中の斜線を付した撮像画素１０がモニタリングモードでは読み出されない非選択画素である。
このように撮像画素を選択して出力することにより、通常の静止画モードでは垂直ＣＣＤレジスタ２０で１画素分転送する毎に、水平ＣＣＤレジスタ３０による水平１ライン分の出力が必要になるのに比べ、垂直ＣＣＤレジスタ２０で８画素分転送する間に水平ＣＣＤレジスタ３０で水平２ライン分の出力を行なえばよいことになり、高フレームレートに対応することが可能となる。
【０００６】
図７は、このようなモニタリングモードにおける信号電荷の転送動作の具体例を示すタイミングチャートである。
本例の垂直ＣＣＤレジスタは、４相のクロックφＶ１、φＶ２、φＶ３、φＶ４によって信号電荷の垂直転送を行なうものであり、各クロックφＶ１、φＶ２、φＶ３、φＶ４によって８本分のラインＶ１Ａ、Ｖ１Ｂ、Ｖ２Ａ、Ｖ２Ｂ、Ｖ３Ａ、Ｖ３Ｂ、Ｖ４Ａ、Ｖ４Ｂを１組みとして信号電荷の読み出しと垂直転送動作を制御する。
なお、ここで説明するモニタリングモードでは、Ｖ２ＡとＶ２Ｂの２ライン、ならびにＶ４ＡとＶ４Ｂの２ラインは、それぞれ同じ動作となるので、単にＶ２、Ｖ４で表している。
【０００７】
図７に示すように、このＣＣＤ固体撮像素子における信号転送動作は、Ｖブランキング期間とＨブランキング期間と信号出力期間とで構成されている。
Ｖブランキング期間は、各撮像画素１０から垂直ＣＣＤレジスタ２０に信号電荷を読み出す動作等を行なう期間であり、図７に示すモニタリングモードにおいては、Ｖ１Ａ及びＶ３Ａの２つのラインに与えられる垂直転送クロックだけに読み出しパルスを付加し、この２ラインだけの信号電荷を垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出すものである。
また、Ｈブランキング期間は、垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出した信号電荷を垂直方向に転送して水平ＣＣＤレジスタ３０に出力する期間である。
図７に示すモニタリングモードでは、８ラインを２ラインに間引いているため、選択されたラインの信号電荷が水平ＣＣＤレジスタ３０に到達し、水平ＣＣＤレジスタ３０側に読み取られるまでの数クロック分の転送動作を行なう。
【０００８】
また、信号出力期間は、水平ＣＣＤレジスタ３０に到達した信号電荷を水平方向に転送する期間である。高速な水平転送クロックによって１水平ライン分の信号電荷を出力部３１に転送し、撮像信号に変換して出力する。
そして、このようなＨブランキング期間と信号出力期間とを１フレーム期間内で繰り返すことにより、必要なフレームレートで１フレーム分の画像を出力し、その後、Ｖブランキング期間に戻って次のフレームの出力を行なう。
【０００９】
図８は、以上のようなモニタリングモードにおける各ラインの信号電荷パケットの転送動作を示すタイミングチャートである。
図中、下線を付した２つのラインＶ１Ａ及びＶ３Ａが信号電荷を読み出すのに選択されたラインであり、また、垂直転送クロックに乗せられている信号電荷パケットａが有効な信号電荷を示しており、信号電荷パケットｂがノイズ電荷を示している。
図示のように、Ｖブランキング期間では、時間Ｔ２においてラインＶ１Ａから信号電荷が垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出される。また、時間Ｔ４においてラインＶ３Ａから信号電荷が垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出される。
【００１０】
そして、Ｈブランキング期間で垂直ＣＣＤレジスタ２０の転送動作を行ない、順次水平ＣＣＤレジスタ３０に転送していく。
ここで、１水平ブランキング期間に選択ラインの画素の信号電荷パケットａを水平ＣＣＤレジスタ３０に転送した直後に、非選択ラインの画素のノイズ電荷パケットｂを水平ＣＣＤレジスタ３０に転送している。このため、必要な選択ラインの画素の信号電荷と不必要な非選択ラインの画素のノイズ電荷ｂを水平ＣＣＤレジスタ３０で加算し、水平ＣＣＤレジスタ３０により出力部３１に転送して信号として出力することになり、画質劣化を招いてしまう。
【００１１】
そこで本発明の目的は、上述した垂直方向にラインを選択して転送出力する間引きモードにおいて非選択ラインのノイズ電荷を有効に除去し、画質の向上を図ることが可能な固体撮像素子を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するため、多数の撮像画素をマトリクス状に配設した撮像画素部と、前記撮像画素部の各撮像画素の信号電荷を垂直方向に転送する複数の垂直ＣＣＤレジスタと、前記垂直ＣＣＤレジスタからの信号電荷を水平方向に転送する水平ＣＣＤレジスタと、前記撮像画素部の全ての画素に蓄積された信号電荷を読み出す多画素モードと、前記撮像画素部の各撮像画素を垂直ＣＣＤレジスタによって垂直方向に選択して読み出し、信号電荷を間引いて出力する間引きモードと、前記水平ＣＣＤレジスタの隣接部に、前記間引きモードにおいて前記垂直ＣＣＤレジスタから水平ＣＣＤレジスタに転送される非選択画素のノイズ成分を排出するドレイン部とを有する。前記ドレイン部は、スミア排出ドレインと信号電荷の流れを制限するスミアドレインバリアを有し、前記スミアドレインバリアに印加するバイアス電圧のレベルを所定のタイミングによって切り換え制御することにより前記非選択画素のノイズ成分を排出する動作を実行する。
【００１３】
本発明の固体撮像素子において、間引きモードでは、撮像画素部の各撮像画素を垂直ＣＣＤレジスタによって垂直方向に選択して読み出し、信号電荷を間引いて水平ＣＣＤレジスタに転送する。
この際、水平ＣＣＤレジスタの隣接部に設けたドレイン部を所定のタイミングで作動し、水平ＣＣＤレジスタに転送される非選択画素のノイズ成分を排出し、選択画素の信号電荷だけを水平ＣＣＤレジスタに蓄積させ、この有効な信号電荷を出力部に転送する。
これにより、非選択ラインの垂直ＣＣＤレジスタに蓄積されたスミア等のノイズ電荷を有効に除去し、撮像信号に含まれるノイズ成分を低減でき、間引きモードにおける画質の向上を図ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による固体撮像素子の実施の形態について説明する。
なお、以下に説明する実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において、特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限定されないものとする。
【００１５】
図１は、本実施の形態によるＣＣＤ固体撮像素子における簡易動画モード（本例ではモニタリングモードという）での垂直、水平の各レジスタにおける信号電荷の転送動作を示す説明図である。
このＣＣＤ固体撮像素子では、マトリクス状に配置された多数の撮像画素（フォトセンサ）１１０を有し、この撮像画素１１０の垂直転送方向に沿って多数の垂直ＣＣＤレジスタ１２０（図では２列だけ示す）が設けられている。
なお、各撮像画素１１０における「Ｒ」「Ｇ」「Ｂ」は、各撮像画素１１０に蓄積される信号電荷の色を示している。
また、各垂直ＣＣＤレジスタ１２０の端部には、水平転送方向に沿って水平ＣＣＤレジスタ１３０が設けられ、各垂直ＣＣＤレジスタ１２０から転送された信号電荷を水平方向に転送し、信号電荷を電圧出力に変換する出力部１３１に転送する。
そして、本例のＣＣＤ固体撮像素子では、水平ＣＣＤレジスタ１３０の隣接部に、モニタリングモードにおいて垂直ＣＣＤレジスタ１２０から水平ＣＣＤレジスタ１３０に転送される非選択画素のノイズ成分を排出するためのドレイン部１４０が設けられている。
このドレイン部１４０としては、例えば以下に説明する２つの構造のいずれかを採用することができる。
【００１６】
図２は、ドレイン部１４０の参考例を示す部分平面図である。水平ＣＣＤレジスタ１３０は、２層電極２相駆動型のものであり、２相の水平転送クロック（Ｈ１、Ｈ２）を互いに異なるポテンシャルに形成された２層１組みの転送ゲート部１３２Ａ、１３２Ｂに印加することで、信号電荷を水平方向に転送する。また、ドレイン部１４０は、水平ＣＣＤレジスタ１３０に読み出されたスミア等のノイズ電荷を排出するＤＣバイアス電圧１４１が印加されたスミア排出ドレイン１４２と、このスミア排出ドレイン１４２に水平ＣＣＤレジスタ１３０の信号電荷を排出するタイミングを制御するスミアドレインゲート１４４とを有する。スミア排出ドレイン１４２は、水平ＣＣＤレジスタ１３０に沿ってライン状に設けられており、スミアドレインゲート１４４は、スミア排出ドレイン１４２と水平ＣＣＤレジスタ１３０との間に設けられ、外部からのクロック信号（スミア排出ゲートパルス）によって所定のタイミングでゲートを開き、水平ＣＣＤレジスタ１３０に蓄積されている信号電荷をスミア排出ドレイン１４２に排出する動作を行なう。
【００１７】
図３は、ドレイン部１４０の実施の形態例を示す部分平面図である。水平ＣＣＤレジスタ１３０は、図２に示すものと同様に、２層電極２相駆動型のものであり、２相の水平転送クロック（Ｈ１、Ｈ２）を互いに異なるポテンシャルに形成された２層１組みの転送ゲート部１３２Ａ、１３２Ｂに印加することで、信号電荷を水平方向に転送する。また、ドレイン部１４０は、水平ＣＣＤレジスタ１３０に読み出されたスミア等のノイズ電荷を排出するＤＣバイアス電圧１４１が印加されたスミア排出ドレイン１４６と、水平ＣＣＤレジスタ１３０からスミア排出ドレイン１４６への信号電荷の流れを制限するポテンシャルバリアとしてのスミアドレインバリア１４８を有する。スミア排出ドレイン１４６は、水平ＣＣＤレジスタ１３０に沿ってライン状に設けられており、スミアドレインバリア１４８は、スミア排出ドレイン１４６と水平ＣＣＤレジスタ１３０との間に設けられ、ポテンシャルバリアによって水平ＣＣＤレジスタ１３０からスミア排出ドレイン１４６への信号電荷の流れを制限している。
【００１８】
そして、本例のドレイン部１４０では、スミアドレインバリア１４８のバイアス電圧を所定のタイミングで切り換えることにより、ポテンシャルバリアを一時的に低くすることにより、水平ＣＣＤレジスタ１３０に蓄積されている信号電荷をスミア排出ドレイン１４２に排出する動作を行なう。
このようなドレイン部１４０の機能により、モニタリングモードにおける非選択ラインの転送タイミングで水平ＣＣＤレジスタ１３０に読み出されるノイズ（スミア）成分を、そのタイミングでドレイン部１４０からグランド側に排出し、選択ラインの有効な信号電荷だけを水平ＣＣＤレジスタ１３０に蓄積して転送する。
【００１９】
図４は、本例のモニタリングモードにおける信号電荷の転送動作の具体例を示すタイミングチャートであり、図４（Ａ）及び（Ｂ）は図２に示すドレイン部１４０を用いた場合の動作を示し、図４（Ａ）及び（Ｃ）は図３に示すドレイン部１４０を用いた場合の動作を示している。
なお、上述した図２、図３に示す２つのドレイン部１４０は、いずれを用いた場合にも基本的には同様の動作となるが、ここでは図４（Ａ）及び（Ｂ）に沿って主に図２に示すドレイン部１４０を用いた場合について説明する。
本例の垂直ＣＣＤレジスタ１２０は、図７に示す従来例と同様に、４相のクロックφＶ１、φＶ２、φＶ３、φＶ４によって信号電荷の垂直転送を行なうものであり、各クロックφＶ１、φＶ２、φＶ３、φＶ４によって８本分のラインＶ１Ａ、Ｖ１Ｂ、Ｖ２Ａ、Ｖ２Ｂ、Ｖ３Ａ、Ｖ３Ｂ、Ｖ４Ａ、Ｖ４Ｂを１組みとして信号電荷の読み出しと垂直転送動作を制御する。
なお、ここで説明するモニタリングモードでは、Ｖ２ＡとＶ２Ｂの２ライン、ならびにＶ４ＡとＶ４Ｂの２ラインは、それぞれ同じ動作となるので、単にＶ２、Ｖ４で表している。
【００２０】
図４（Ａ）に示すように、本例のＣＣＤ固体撮像素子における信号転送動作は、Ｖブランキング期間とＨブランキング期間と信号出力期間とで構成されている。
Ｖブランキング期間は、各撮像画素１１０から垂直ＣＣＤレジスタ１２０に信号電荷を読み出す動作等を行なう期間であり、図４に示すモニタリングモードにおいては、Ｖ１Ａ及びＶ３Ａの２つのラインに与えられる垂直転送クロックだけに読み出しパルスを付加し、この２ラインだけの信号電荷を垂直ＣＣＤレジスタ１２０に読み出すものである。
また、Ｈブランキング期間は、垂直ＣＣＤレジスタ１２０に読み出した信号電荷を垂直方向に転送して水平ＣＣＤレジスタ１３０に出力する期間である。
【００２１】
また、信号出力期間は、水平ＣＣＤレジスタ１３０に到達した信号電荷を水平方向に転送する期間である。高速な水平転送クロックによって１水平ライン分の信号電荷を出力部１３１に転送し、撮像信号に変換して出力する。
そして、このようなＨブランキング期間と信号出力期間とを１フレーム期間内で繰り返すことにより、必要なフレームレートで１フレーム分の画像を出力し、その後、Ｖブランキング期間に戻って次のフレームの出力を行なう。
【００２２】
以上の動作は図７で説明した従来例と同様の動作であるが、本例では垂直転送クロックφＶ４がローレベルになったタイミング（すなわち、選択ラインＶ１Ａ及びＶ３Ａの信号電荷パケットが水平ＣＣＤレジスタ１３０に読み出される直前のタイミング）で、スミアドレインゲート１４４に対するスミア排出ゲートパルスＧＰをオンする。
これにより、スミアドレインゲート１４４を一時的に開き、そのタイミングで水平ＣＣＤレジスタ１３０の信号電荷（すなわち、ノイズ（スミア）成分）をスミア排出ドレイン１４２に排出する。
【００２３】
したがって、この後、水平ＣＣＤレジスタ１３０には選択ラインＶ１ＡまたはＶ３Ａの信号電荷が読み出され、非選択ラインのノイズ成分を除去した状態で、有効な選択ラインの信号電荷の転送を行なうことが可能となる。
本例のように８ライン中の２ラインを選択して読み出すモニタリングモードにおいては、スミアを従来比で１／２に抑制することができる。
なお、図４（Ｂ）の動作では、図２に示すスミアドレインゲート１４４に対するスミア排出ゲートパルスＧＰをオンするが、図４（Ｃ）の動作では、同様のタイミングで図３に示すスミアドレインバリア１４８のバイアス電圧を切り換え、ポテンシャルを制御することにより、同様の効果を得ることが可能である。
【００２４】
図５は、本例のモニタリングモードにおける各ラインの信号電荷パケットの転送動作を示すタイミングチャートである。
図中、下線を付した２つのラインＶ１Ａ及びＶ３Ａが信号電荷を読み出すのに選択されたラインであり、また、垂直転送クロックに乗せられている信号電荷パケットａが有効な信号電荷を示しており、信号電荷パケットｂがノイズ電荷を示している。
図示のように、Ｖブランキング期間では、時間Ｔ２においてラインＶ１Ａから信号電荷が垂直ＣＣＤレジスタ２０に読み出される。また、時間Ｔ４においてラインＶ３Ａから信号電荷が垂直ＣＣＤレジスタ１２０に読み出される。
そして、Ｈブランキング期間で垂直ＣＣＤレジスタ１２０の転送動作を行ない、順次水平ＣＣＤレジスタ１３０に転送していく。
【００２５】
また、本例では、１水平ブランキング期間に選択ラインの有効な信号電荷パケットａを水平ＣＣＤレジスタ１３０に転送するよりも先に、非選択ラインのノイズ電荷パケットｂを水平ＣＣＤレジスタ１３０に転送し、有効な信号電荷パケットａが水平ＣＣＤレジスタ３０に読み出される直前のタイミング（図５に示すＴＧＰ）で、上述したドレイン部１４０のノイズ電荷排出動作を行ない、有効な信号電荷パケットａの前に水平ＣＣＤレジスタ１３０に読み出されているノイズ電荷を排出し、水平ＣＣＤレジスタ１３０の内部をリセットする。
以上のようにして、従来のモニタリングモード時の画素劣化を招いていたスミアを１／２に低減でき、良好な画質のモニタリングを実現できる。
このため、ＡＥやＡＦ等のカメラ制御が精度良く行える。また、ＴＶモニタやＬＣＤモニタに出力した場合にも、スミアが抑制された良好な画像を得ることができる。さらに、簡易ムービーとして記録をした場合も、従来よりスミアを抑制した良好な画像で記録できる。
【００２６】
以上、本発明の具体的な実施例について説明したが、本発明は以上の具体例に限定されるものではない。
例えば、上述の実施例では、８ライン中の２ラインを選択する構成について説明したが、本発明は他の簡易動画モードを有するものについても同様に適用し得るものである。
また、上述の実施例では、多画素モードと間引きモードとして静止画モードと簡易動画モードとを組み合わせた構成について説明したが、多画素モードと間引きモードとの組み合わせとしては、例えば解像度の異なる静止画を選択する構成や、解像度とフレームレートの異なる動画を選択できるような場合などにも本発明を適用することが可能である。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の固体撮像素子では、撮像画素部の全ての画素に蓄積された信号電荷を読み出す多画素モードと、撮像画素部の各撮像画素を垂直ＣＣＤレジスタによって垂直方向に選択して読み出し、信号電荷を間引いて出力する間引きモードとを有する固体撮像素子において、水平ＣＣＤレジスタの隣接部に、間引きモードにおいて垂直ＣＣＤレジスタから水平ＣＣＤレジスタに転送される非選択画素のノイズ成分を排出するドレイン部を設けた。
このため、間引きモードにおける非選択ラインの垂直ＣＣＤレジスタに蓄積されたスミア等のノイズ電荷を有効に除去し、撮像信号に含まれるノイズ成分を低減できることから、間引きモードにおける画質の向上を図ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態によるＣＣＤ固体撮像素子におけるモニタリングモードの転送動作を示す説明図である。
【図２】図１に示すＣＣＤ固体撮像素子におけるドレイン部の参考例を示す部分平面図である。
【図３】図１に示すＣＣＤ固体撮像素子におけるドレイン部の実施の形態例を示す部分平面図である。
【図４】図１に示すＣＣＤ固体撮像素子のモニタリングモードにおける信号電荷の転送動作の具体例を示すタイミングチャートである。
【図５】図１に示すＣＣＤ固体撮像素子のモニタリングモードにおける各ラインの信号電荷パケットの転送動作を示すタイミングチャートである。
【図６】従来のＣＣＤ固体撮像素子におけるモニタリングモードの転送動作例を示す説明図である。
【図７】図６に示すＣＣＤ固体撮像素子のモニタリングモードにおける信号電荷の転送動作の具体例を示すタイミングチャートである。
【図８】図６に示すＣＣＤ固体撮像素子のモニタリングモードにおける各ラインの信号電荷パケットの転送動作を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
１１０……撮像画素、１２０……垂直ＣＣＤレジスタ、１３０……水平ＣＣＤレジスタ、１４０……トレイン部、１４２、１４６……スミア排出ドレイン、１４４……スミアドレインゲート、１４８……スミアドレインバリア。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0004649751.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004649751.tif 000009