(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、
前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な１方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを１以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、
前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、
前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、
前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されており、
前記コンテナをいずれかの前記コンテナ搬送装置の載置台上に一時留置きし、別の前記コンテナを別の前記コンテナ搬送装置を用いて搬送させることで、コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されている、
ことを特徴とするコンテナ搬送システム。
【請求項２】
内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、
前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な１方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを１以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、
前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、
前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、
前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されており、
前記載置台上に前記コンテナが１以上載置された前記コンテナ搬送装置の前記搬送ロボットを用いて、別の前記コンテナを上昇及び直線移動させて前記コンテナを飛び越えさせることで、前記コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とするコンテナ搬送システム。
【請求項３】
前記搬送ロボットは、前記載置台上に前記コンテナを２以上積み重ね可能な高さまで上昇できる昇降手段を具備していることを特徴とする請求項１または２に記載のコンテナ搬送システム。
【発明の詳細な説明】
技術分野
［０００１］
本発明は、高清浄な環境下で搬送され処理される基板等を収納するコンテナの搬送システムに関するものである。
背景技術
［０００２］
一般に、ＬＣＤや半導体ウエハ等の基板は塵埃を嫌うため、その製造は高清浄な環境、いわゆるクリーンルームで行われる。このような製造工場では、薄膜形成前洗浄工程、薄膜形成工程、レジスト工程等の各種処理を行う複数の処理装置間で基板を運搬する必要があり、その搬送手段としてＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）とよばれるコンテナが用いられている。このコンテナは、内部の棚段上に２５枚の基板を収納することができ、工場内を走行する自動搬送車（ＡＧＶ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｇｕｉｄｅｄ  Ｖｅｈｉｃｌｅ））、若しくは、工場の天井に敷設されたレールにつり下げられてモノレールのように走行するＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ）で運搬される。
［０００３］
各処理装置にはコンテナ載置台が備えられており、このコンテナ載置台と例えばＡＧＶとの間でのコンテナの受け渡しは、処理装置若しくはＡＧＶに備えられたロボット（ローダ・アンローダ）により行われている。また、コンテナ載置台上のコンテナから各処理装置への基板の搬送は、公知のスカラ型ロボットを用いて基板一枚毎に行われている。
［０００４］
従来のコンテナ搬送装置の一例として、例えば特許文献１に記載のものがある。特許文献１に開示されているコンテナ搬送装置を、図１１を参照して以下に説明する。このコンテナ搬送装置は、基板を収納したコンテナ１１０をロードするコンテナローダＡ１と、処理完了基板を収納するコンテナ１１０をアンロードするコンテナアンローダＡ２との間において、コンテナローダＡ１で空になったコンテナ１１０を移動、及び昇降動作させるコンテナ横行搬送ベース１１１を備えることで、複数のコンテナ１１０をロード／アンロードすることができ、コンテナ受け渡しのためにＡＧＶを待たせることなく走行させることができる。
【０００５】
近年は、必要なだけの少数の基板をコンテナ内に収納して生産ラインに流すことで、在庫を減らすことが望まれるようになってきている。この場合には、処理装置による処理時間が短くなるため、処理装置の前面にコンテナを載置しておけるようにコンテナ搬送装置を構成することで、待ち時間を発生させることなく処理装置に基板を供給することができる。これに対し、処理時間の長い処理装置の場合には、ＡＧＶから複数のコンテナを受け取って一時的に貯蔵できるようにコンテナ搬送装置を構成しておくことで、ＡＧＶを効率的に稼動させることができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平８−１６７６４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のコンテナ搬送装置では、コンテナローダＡ１とコンテナアンローダＡ２との間に基板ロード用スタンドＳ１、バッファスタンドＳＢ、及び基板アンロード用スタンドＳ２が1列に配設されており、所定の処理装置は基板ロード用スタンドＳ１と基板アンロード用スタンドＳ２の後方に配置される必要がある。そのため、隣接する処理装置間の間隔を大きくする必要がある等の、各装置の配置に大きな制約があるといった課題がある。
【０００８】
また、コンテナをコンテナローダＡ１まで搬送したり、コンテナアンローダＡ２からコンテナを回収したりするのにＡＧＶを用いる場合には、工場内を自由に走行可能なＡＧＶとコンテナ搬送装置とを同期して動作させる必要があるため、コンテナ搬送に係わるすべての装置を一括して制御しなければならないといった課題がある。さらにＡＧＶは、コンテナローダＡ１あるいはコンテナアンローダＡ２にコンテナを搬送したり回収したりするだけでなく、コンテナローダＡ１とコンテナアンローダＡ２との間でも移動する必要があり、ＡＧＶの移動範囲が広範囲となって、作業者の安全領域を確保するのが困難になる。
【０００９】
一方、コンテナの運搬にＯＨＴを用いる場合には、ＯＨＴが工場の天井部に取り付けられるため、その取り付け作業やメンテナンス作業等が困難になる。また、ＯＨＴの駆動部分と走行用のレールを処理装置等の上方に備えるため、上方から塵埃が降ってきてクリーンルームの清浄度が低下してしまうといった不具合も生じている。さらに、走行用のレールが工場内を循環するように配置されていることから、工場内のレイアウト変更や増設等の場合には、レールを敷き直すことが極めて困難となる。
［００１０］
さらに、従来のコンテナ搬送装置では、その配置や構成が上記の通り大きく制約されることから、処理時間の短い処理装置に待ち時間が発生したり、処理時間の長い処理装置の前でＡＧＶが長時間待たされたりするといった事態が発生しており、生産工程の遅延が生じるといった課題もあった。
［００１１］
そこで、本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
【００１２】
本発明のコンテナ搬送システムの第１の態様は、内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、
前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な１方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを１以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、 前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、 前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されており、前記コンテナをいずれかの前記コンテナ搬送装置の載置台上に一時留置きし、別の前記コンテナを別の前記コンテナ搬送装置を用いて搬送させることで、コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されている、ことを特徴とする。
【００１４】
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、内部に基板を収納するコンテナを所定の受渡し位置と基板処理装置との間で搬送するコンテナ搬送システムであって、前記コンテナを垂直方向に昇降させる昇降手段と水平な１方向に移動させる直線移動手段とを具備した搬送ロボットと、前記コンテナを１以上載置可能な載置台と、を備えたコンテナ搬送装置を一構成単位とし、  前記コンテナ搬送装置を縦方向又は横方向に隣接させて複数配列し、 前記搬送ロボットのそれぞれが、少なくとも隣接する前記コンテナ搬送装置の前記載置台まで前記コンテナを搬送することができ、 前記複数のコンテナ搬送装置を同期させて隣接する前記コンテナ搬送装置間で前記コンテナを順次搬送することで、前記受渡し位置と前記基板処理装置との間で前記コンテナを搬送可能に構成されており、前記載置台上に前記コンテナが１以上載置された前記コンテナ搬送装置の前記搬送ロボットを用いて、別の前記コンテナを上昇及び直線移動させて前記コンテナを飛び越えさせることで、前記コンテナの搬送順序を入れ替え可能に構成されていることを特徴とする。
［００１５］
本発明のコンテナ搬送システムの他の態様は、前記搬送ロボットは、前記載置台上に前記コンテナを２以上積み重ね可能な高さまで上昇できる昇降手段を具備していることを特徴とする。
［００１６］
［００１７］
［００１８］
［００１９］
［００２０］
［００２１］
［００２２］
［００２３］
発明の効果
［００２４］
本発明によれば、処理装置の処理速度や配置構成等に応じてコンテナを好適に搬送できるコンテナ搬送システムを提供することができる。本発  明のコンテナ搬送システムは、垂直方向と水平方向にコンテナを搬送可能な搬送ロボッ  トを備えることから、隣接する装置の載置台にコンテナを容易に搬送させることが可能となる。
［００２５］
また、本発明のコンテナ搬送システムによれば、処理装置の配置構成や処理速度等に対応してコンテナ搬送装置を柔軟に組み合わせることで、処理装置の効率を大幅に高めることが可能となる。また、生産ラインのレイアウト変更や増設にも  容易に対応することができる。
【図面の簡単な説明】
［００２６］
［図１］本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す斜視図である。
［図２］搬送ロボットの一実施例を示す断面図である。
［図３］搬送ロボットの別の実施例を示す斜視図である。
［図４］搬送ロボットの別の実施例の回動伝達手段を示す断面図である。
［図５］搬送ロボットの保持手段を示す側面図である。
［図６］本発明のコンテナ搬送システムの一実施例を示す平面図である。
［図７］本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を示す平面図である。
［図８］搬送ロボットの動作を示す側面図である。
［図９］積み重ねられたコンテナが搬送ロボットにより搬送される状態を示す側面図である。
［図１０］本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施例を示す平面図である。
［図１１］従来のコンテナ搬送装置を示す側面図である。
符号の説明
［００２７］
１  コンテナ搬送装置
２  搬送ロボット
３  コンテナ
４  載置台
５  基板搬送装置
７  処理装置
８  ロードポート
９  ステージ
１０  昇降手段
１１  筐体
１２  直動案内手段
１３  ネジ軸
１４  モータ
１５  可動部材
１６  第一アーム
１７  第二アーム
１８  アーム体
１９  プーリ
２０  軸受け
２１  ベルト
２２  回動軸
２３  コンテナ保持手段
２４  第一連結部材
２５  第二連結部材
２６  回動伝達手段
２８  筐体
２９  第三連結部材
３０  第四連結部材
３１  回転支軸
３２  歯車
３３  保持手段の筐体
３４  ロータリーアクチュエータ
３５  回動支軸
３６  連結部材
３７  保持部材
４０  ＡＧＶ
１００  コンテナ搬送システム
１１０  コンテナ
１１１  コンテナ横行搬送ベース
発明を実施するための最良の形態
［００２８］
本発明のコンテナ搬送システムは、高い清浄環境下（クリー  ンルーム等）で物品を移動・処理する工程に適用可能であり、以下では電子部品で  あるＬＣＤの基板を搬送する例を用いて本発明のコンテナ搬  送システムを説明する。
［００２９］
図１は、本発明の好ましい実施の形態におけるコンテナ搬送システムを示す斜視図である。本実施形態のコンテナ搬送システム１００は、８台のコンテナ搬送装置１（１ａ〜１ｈ）を組み合わせて構成されている。各コンテナ搬送装置１は、搬送ロボット２（２ａ〜２ｈ）とコンテナ３を載置するための載置台４（４ａ〜４ｈ）を備えている。
［００３０］
コンテナ搬送システム１００の後方には、コンテナ３内に収納された基板を各種処理装置７に搬送するための基板搬送装置５（５ａ、５ｂ）が配設されている。基板搬送装置５には、搬送ロボット２で運搬されたコンテナ３を載置するためのステージ９と、コンテナ３の蓋を開錠する（図示しない）機構とを有するロードポート８（８ａ、８ｂ）が備えられている。本実施形態のコンテナ搬送システム１００では、基板搬送装置５ａの前方にコンテナ搬送装置１ｃ〜１ｅが、また基板搬送装置５ｂの前方にコンテナ搬送装置１ｆ〜１ｈが、それぞれ縦向き（基板搬送装置５の正面に対し直角の向き）に並列して置かれており、さらにコンテナ搬送装置１ｃ〜１ｅの前方にコンテナ搬送装置１ａが、またコンテナ搬送装置１ｆ〜１ｈの前方にコンテナ搬送装置１ｂが、それぞれ横向きに縦列して置かれている。
［００３１］
コンテナ搬送装置１ａ〜１ｈを上記のように配設することにより、搬送ロボット２ａ、２ｂはコンテナ３を載置台４ａ、４ｂの横方向（長手方向）に移動させることができ、搬送ロボット２ｃ〜２ｈはコンテナ３を載置台４ａ、４ｂと基板搬送装置５との間で移動させることができる。搬送ロボット２ａは、並列する搬送ロボット２ｂ〜２ｅが保持できる位置までコンテナ３を移動させることができ、同様に搬送ロボット２ｂは、並列する搬送ロボット２ｆ〜ｈが保持できる位置までコンテナ３を移動させることができる。
【００３２】
さらに、搬送ロボット２ａ、２ｂは、例えばそれぞれの載置台４ａ、４ｂの端部付近に停止したＡＧＶからコンテナ３を搬送するのに用いることも可能である。従って、ＡＧＶに搬送ロボットを備える必要がなくなるため、ＡＧＶの載置台を広くしてより多くのコンテナを搬送できるようにすることが可能となる。
【００３３】
つぎに、搬送ロボット２の内部構造の一実施例を、図２に示す断面図を用いて説明する。搬送ロボット２は、載置台４の横に設置された昇降手段１０とアーム体１８とから構成されている。昇降手段１０は、コンテナ搬送装置１の筐体１１に取り付けられた直動案内手段１２と、筐体１１の下部に取り付けられたモータ１４ａと、モータ１４ａに連結されたネジ軸１３と、ネジ軸１３の回動によって昇降動作する可動部材１５とから構成されている。モータ１４ａの回動によってネジ軸１３が回動し、これにより可動部材１５が昇降する構造となっている。
【００３４】
また、アーム体１８は、第一アーム１６と第二アーム１７とを有しており、第一アーム１６の一方端が可動部材１５に固定されたモータ１４ｂに連結されている。また、モータ１４と同心状に可動部材１５に固定されたプーリ１９ａを備えている。第一アーム１６の他方端付近には、軸受け２０を介して回動可能にプーリ１９ｂが備えられており、プーリ１９ａとプーリ１９ｂとの間にベルト２１ａが掛けられている。第二アーム１７の一方端はプーリ１９ｂの回動軸２２（連結部）に固定されており、第二アーム１７の内部には、第一アーム１６と同様にプーリ１９ｃ、１９ｄとベルト２１ｂが備えられている。プーリ１９ｃは回動可能に第二アーム１７に取り付けられており、第二アーム１９の他方端付近に回動可能に取り付けられたプーリ１９ｄは、保持手段２３に固定されている。保持手段２３は、プーリ１９ｄの回動に従って軸受け２０を介して第二アーム１７に対して回動可能となっている。
【００３５】
上記構成のアーム体１８では、モータ１４ｂの回動によって第一アーム１６が回転し、それとともにベルト２１ａがプーリ１９ａを逆方向に移動し、これによりプーリ１９ｂがモータ１４ｂの回転とは逆方向に回転する。プーリ１９ｂの径はプーリ１９ａの径の半分に設定されており、プーリ１９ｂはモータ１４ｂの回転の２倍だけ逆方向に回転する。これにより、第二アーム１７は、第一アーム１６とは逆方向に２倍回転することになる。同様の構成でプーリ１９ｃ、１９ｄ、及びベルト２１ｂが連結されることで、コンテナ保持手段２３を水平に維持することが可能となる。
【００３６】
搬送ロボット２に備えられたアーム体１８の別の実施例を、図３に示す斜視図を用いて以下に説明する。可動部材１５には、第一連結部材２４と第二連結部材２５の各一方端が、それぞれ回動可能に取り付けられている。また、第一連結部材２４と第二連結部材２５の他方端には回動伝達手段２６（連結部）が取り付けられている。連結部材２４、２５、可動部材１５、及び回動伝達手段２６の筐体２８とでリンク機構が形成されており、可動部材１５に取り付けられたモータ１４の作動により第一連結部材２４が回動し、これに連動して他の部材も回動する。同様にして、第三連結部材２９、第四連結部材３０、回動伝達手段２６、及びカセット保持手段２３とでリンク機構が形成されており、第一連結部材２４に連動して回動するように構成されている。
【００３７】
図４は、図３に示した回動伝達手段２６の構造を示す断面図である。連結部材２４、２５、２９、３０の回動支軸３１ａ〜３１ｄは、軸受け２０を介して回動可能に回動伝達手段２６に取り付けられている。回動支軸３１ａと３１ｄの先端には歯車３２ａ、３２ｂが備えられており、両者が互いに嵌合することで、第一連結部材２４の回動が第四連結部材３０に逆回転方向の同じ速度で伝達される。これにより、モータ１４を回動させることで連結部材２４、２５と連結部材２９、３０とを相対的に逆方向に回動させることができ、これに伴ってカセット保持手段２３を、図３の図面上左右に移動させることができる。
【００３８】
上記の通り、搬送ロボット２は、鉛直面内で回動可能なアーム体１８を備えることで、コンテナ３を直線状に移動させるようにすることができることから、作業者がアーム体１８の移動範囲を回避して作業することが容易となり、作業の安全領域を容易に確保することができる。
【００３９】
搬送ロボット２に備えられたコンテナ保持手段２３の一実施例を、図５を用いて以下に説明する。例えば第二アーム１７の先端に取り付けられたコンテナ保持手段２３は、その筐体３３上にロータリーアクチュエータ３４（本実施例では、エアシリンダにより支軸が回動可能となるエアアクチュエータ）が取り付けられており、その回動支軸３５には連結部材３６の中央部が固設されている。連結部材３６は、２枚の部材が回動可能に連結されて構成されており、その両端には保持部材３７ａ、３７ｂの一方端が回動可能に連結されている。この保持部材３７ａ、３７ｂは、筐体３３に回動可能に取り付けられおり、ロータリーアクチュエータ３４の作動により、筐体３３に固定された部分を支点に回動することができる。これにより、保持部材３７ａ、３７ｂの他方端同士が接近したり離れたりすることで、コンテナ３を保持することが可能となる。
［００４０］
つぎに、コンテナ搬送装置を複数配設して構成される本発明のコンテナ搬送システムについて、コンテナ搬送装置が好適に配置された実施例を図面を用いて以下に説明する。
［００４１］
図６は、コンテナ搬送装置１の配置を図１に示したコンテナ搬送システム１００と同様の構成とした実施例の平面図である。すなわち、前面に縦列して配置されたコンテナ搬送装置１ａ、１ｂ等で、コンテナ３を横方向（図上上下方向）に移動させることが可能となり、コンテナ搬送装置１ａ、１ｂと基板搬送装置５との間に縦方向に配置されたコンテナ搬送装置１で、コンテナ３をコンテナ搬送装置１ａ、１ｂと基板搬送装置５との間で移動させることが可能となる。
［００４２］
本発明のコンテナ搬送システムの別の実施例を図７に示す。図７に示すコンテナ搬送システムでは、図６に示したコンテナ搬送装置１の載置台４  がすべて２つ以上のコンテナ３を載置できるのに対して、本実施例では１つのみ載置できるコンテナ搬送装置１ｋを備えている。また、コンテナ搬送装置１ｃに隣接して配  設されたコンテナ搬送装置１ｉ、１ｊの端部付近には、ＡＧＶ４０が停止しており、ＡＧＶ  上に載置されているコンテナ３ｘを保持して載置台４ｉ、４ｊへと搬送することができる。
［００４３］
本実施例のコンテナ搬送装置１ｊには３台の搬送ロボット２が備えられており、またＡＧＶ４０も複数のコンテナ３を載置できる載置台を有している。これにより、３台の搬送ロボット２を用いて、ＡＧＶ４０とコンテナ搬送装置１ｉ、１ｊとの間で、複数のコンテナ３を同時に受け渡しすることが可能となる。コンテナ搬送装置１が搬送ロボット２を備えていることから、ＡＧＶ４０が搬送ロボットを備える必要がなくなり、ＡＧＶ４０に複数のコンテナ３を載置できる載置台を備えるようにすることができる。なお、コンテナ搬送措置１の載置台４を一時貯蔵できるように内部をミニエンバイロメント（より高清浄な環境）とすることもできる。
［００４４］
コンテナ搬送装置１は、昇降手段と直線移動手段を有する搬送ロボット２  を備えていることから、載置台４上に複数のコンテナ３が載置されている場合でも、並んだ順にコンテナ３を搬送させる必要は必ずしもなく、例えば図８に示すように、コンテナ３の搬送する順番を変更することも可能である。図８に示す側面図では、載置台４上に２つのコンテナ３ａと３ｂが載置されており、ロードポート８側のコンテナ３ａよりコンテナ３ｂが優先してロードポートへ搬送される場合の手順を示している。
［００４５］
図８（ａ）は、搬送ロボット２がコンテナ３ｂの上部を保持した状態を示している。図８（ｂ）は、昇降手段１０を作動させてコンテナ３ｂを持ちあげた状態を示している。図８（ｃ）は、アーム体１８を作動させて、ロードポート８のステージ９の上方にコンテナ３ｂを移動した状態を示している。図８（ｄ）は、昇降手段１０を作動させてコンテナ３ｂを降下し、ステージ９上に載置した状態を示している。
［００４６］
上記のように、コンテナ３の搬送する順番を変更することが可能となることから、基板の製造工程において、後から製造ラインに投入されたコンテナ３を、先に投入されたコンテナ３を追い越して先に処理させることが可能となることから、各種処理を迅速に行えるようにすることが可能となる。
［００４７］
また、コンテナ搬送装置１によれば、昇降手段と直線移動手段を用いることで、例えば図９に示すように、複数のコンテナ３を載置台４上に積み重ねて載置させることも可能である。あるいは、積み重ねて載置された複数のコンテナ３を、上部のコンテナ３から順に搬送させることも可能である。
［００４８］
本発明のコンテナ搬送システムのさらに別の実施形態を図１０に示す。本実施形態のコンテナ搬送システムは、搬送ロボット２と、搬送ロボット２を挟んで両側に２台の載置台４を備えている。本実施例の搬送ロボット２は、昇降手段と直線移動手段に加えて、さらにコンテナ３を水平方向に回転可能な回動手段を備えている。
［００４９］
図１０に示す実施例では、コンテナ搬送システムを挟んで両側に３台ずつの基板搬送装置５が配設されている。２台の載置台４はそれぞれ、３台ずつの基板搬送装置５と対向してコンテナ３を受け渡しできるだけの長さを有している。本発明のコンテナ搬送システムを図１０のように構成することにより、１台の搬送ロボット２で、６台の基板搬送装置５と載置台４との間でコンテナ３を搬送させることが可能となる。
［００５０］
上記説明のように、本発明のコンテナ搬送システムは、載置台と少なくとも１つの搬送ロボットとからなるコンテナ搬送装置を、クリーンルームの床上に複数併設することで生産ラインのレイアウト変更や増設に容易に対応でき、メンテナンス作業も容易に行うことができる。また、コンテナ内に少量の基板を収容して多量のコンテナを生産ラインに流した場合でも、ＡＧＶを待たせることなく各種処理装置にコンテナを搬送させることができる。
［００５１］
なお、本発明のコンテナ搬送システムでは、可動部分をシールすることで、塵埃の発生を低減させることは容易に可能である。
［００５２］
なお、本実施の形態における記述は、本発明に係るコンテ  ナ搬送システムの一例を示すものであり、これに限定されるものではない。本実施の形態におけるコンテナ搬送システムの細部構成及び詳細な  動作等に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
［００５３］
本明細書は、２００５年７月１日出願の特願２００５−１９３８０４に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
産業上の利用可能性
［００５４］
この発明は、移動及び処理が高い清浄環境の下で実施される必要がある物品のいずれにも容易に適用できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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