(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面から他方の面に向かって径が縮小するテーパ状で、他方の面側に形成される最小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
第１に、前記ノズルプレートの前記他方の面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、
第２に、前記他方の面にプレス加工により突起部を形成する工程を行い、
第３に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項２】
一方の面から他方の面に向かって径が縮小するテーパ状で、他方の面側に形成される最
小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、
第１に、前記ノズルプレートの前記一方の面からプレス加工により突起部を形成する工程を行い、
第２に、前記突起部が形成された面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、
第３に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とするノズルプレートの製造方法。
【請求項３】
前記研磨仕上げ加工後の前記突起部の先端面の表面粗さは平均高低差が０．０１μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のノズルプレートの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のノズルプレートの製造方法で製造されたことを特徴とするノズルプレート。
【請求項５】
請求項４に記載のノズルプレートを備えることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
従来、インクジェットヘッドに用いられるオリフィスプレートは、電鋳法により、プレートの外形及びインク滴吐出用の開口穴を設けて製作していた。しかし、電鋳品はニッケルで製作されているため、インク液に浸されると腐食するという問題があった。これを解決するため、ノズル形状をしたパンチでプレートを打ち抜いてノズルを形成する方法が開示されている。
【０００２】
例えば、ノズル径がノズル先端側に向かって小さくなるテーパ部と、このテーパ部のノズル先端側に設けられたストレート部からなるプレートの製造方法が記載されている（例えば、特許文献１参照）。インクジェット等に用いられるノズルの先端部は、その開口部にバリ等が生じていたりキズが存在していたのでは、インク滴が安定して吐出しなくなるため、高い加工精度が要求される。
【０００３】
特許文献１は、テーパ状をしたパンチにて反対側に山なりに張り出した突起を作製し、突起部全体を研磨してフラット面にした後に、ストレート部のノズル開口を打ち抜く方法である。この方法では、最初の研磨仕上げ加工時に、脱粒した微粒子研磨材等を巻き込み、研磨加工面にスクラッチを発生させてしまう。そして、この状態で第２の開口穴を打ち抜いても、その円周稜線部にはスクラッチによるキズが残存したままとなってしまう。
【０００４】
特許文献１の上記課題を解決するために、ノズル形状をしたパンチでプレートを押し出した後にノズル開口の先端部が突出した状態で残るように研磨し、微粒子研磨材などの巻き込みを防止し、ノズルを形成する方法が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、撥水膜を完全な状態で形成した後に穴あけを行うとバリが残るとして、中途半端な状態で形成し、穴あけ後に再度の熱処理によって完全な正規の撥水処理膜を形成する方法もある（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
さらに、ノズル加工時等のノズル近傍の撥インク膜の保護として、保護シートをつけた製造方法も開示されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１１３５２９公報
【０００８】
【特許文献２】特開２００３−１６５２２６公報
【０００９】
【特許文献３】特開平７−１０８６８３号公報
【００１０】
【特許文献４】特開平７−１５６４１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献２に記載の製造方法は、ノズル周りの精度向上には非常に有効な手段である。しかし、この後の工程となる撥水処理において、次のような課題がある。
【００１２】
ノズル開口は、直径が２０〜４０μｍと非常に小さい穴である。且つ、インク滴を長時間安定して吐出させるために、ノズルプレート表面（大気に晒される面）に撥水処理が施される。ノズルプレートへの撥水処理方法は、ノズルプレートの裏面であるテーパ穴を有する面より感光性樹脂フィルムを圧接させて、温度により粘度を制御しながらノズルのテーパ内に入り込ませ、硬化させた後にプレート表面より撥水処理を実施する方法や、開口穴をあけたプレート全体に撥水処理を施した後に、プレート表面を上記同様な方法でマスキングを実施し、酸素プラズマ等により裏面の撥水膜を剥離する方法がある。
【００１３】
しかしながら、上記いずれの方法においてもマスキング部材を綺麗に除去しなければならない。僅かにでも除去しきれないものが残存すると、インク滴の直進性が損なわれるという課題があった。
【００１４】
また、特許文献２のように、突起したノズルプレートの場合、突起のすその付近において、マスキング部材とに僅かな隙間が発生し易い。そのため、撥水膜の剥離時のプラズマ作業は真空内で行うために前記隙間が膨張し、ノズル近傍のマスキング材が離脱し、ノズル周りの撥水処理膜に不均一になるという課題を抱えていた。
【００１５】
また、特許文献３または４のように、保護シートを使用したり、撥水膜を再溶融させるといったことは、作業工程数の増加となり、製造時間およびコストがかかるという課題がある。
【００１６】
本発明の目的は、ノズルプレートに開けられたノズル内の異物残存やノズル開口近傍の撥水膜の不均一性を改善し、安定した吐出を実現するノズルプレートと該ノズルプレートを備えたインクジェットヘッドを、従来より安価に製造するという点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明は、一方の面から他方の面に向かって径が縮小する
テーパ状で、他方の面側に形成される最小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成
された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、第１に、前記ノズルプレートの前記他方の面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、第２に、前記他方の面にプレス加工により突起部を形成する工程を行い、第３に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とする。
【００１８】
また、一方の面から他方の面に向かって径が縮小するテーパ状で、他方の面側に形成される最小径の先端部が前記他方の面よりも突出して形成された複数のノズル貫通孔を有するノズルプレートの製造方法であって、第１に、前記ノズルプレートの前記一方の面からプレス加工により突起部を形成する工程を行い、第２に、前記突起部が形成された面の全面に撥水膜を形成する工程を行い、第３に、前記突起部先端の前記撥水膜を除去すると共に、前記突起部の一部が残るように研磨仕上げ加工を施して前記ノズル貫通孔を形成する工程を行うことを特徴とする。
【００１９】
また、前記研磨仕上げ加工後の前記突起部の先端面の表面粗さは平均高低差が０．０１μｍ以下であることを特徴とする。
【００２０】
さらに、ノズルプレートが前記記載の製造方法により製造されること、およびインクジェットヘッドが該ノズルプレートを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明におけるノズルプレート製造方法によれば、ノズルプレートの表面に撥水処理を施した後にノズル穴を開けるようにしたので、ノズル内部への異物の付着を防止することができ、製造歩留まりの向上及び品質保証の向上が図れる。
【００２２】
また、本発明におけるノズルプレート製造方法によれば、ノズル穴を形成する形状を貫通穴とならない程度にパンチによって形成した後に、その凸面のノズルプレートの表面側のみに撥水処理を施し、その後にノズル穴を開けるようにしたので、撥インク膜を形成する際にノズル内部への異物の付着を防止することができ、製造歩留まりの向上及び品質保証の向上が図れる。
【００２３】
また、前記開口穴の先端面が僅かに突出するように加工するので、微小穴周辺のスクラッチ等による微小キズを無くすことが可能である。
【００２４】
また、突起部先端面の表面粗さの平均高低差を０．０１μｍ以下とすることで、より均一なインク濡れ面を確保でき、安定したインク滴の吐出が確保できる。
【００２５】
また、撥水処理膜には、密着性の良い非晶質弗素重合体を用いることで、撥水膜を形成した後にプレス加工をしても突起部周りのすその面の撥水性が十分保持され、突起先端面からのインクの溢れ出しを防ぐこととが可能となる。
【００２６】
上記した効果によれば、長期に安定した吐出が得られ、信頼性の高いインクジェットヘッドを提供することが可能となる。
【００２７】
また、最初から撥水膜を完全な状態とした後に穴あけ加工を行うため、製造工程を大幅に削減可能とする。
【００２８】
また、穴あけ作業において、ノズル周辺は逃げ構造をしていることで、従来技術に記載された様な保護シートを不要とし、材料費、加工工数を低減させる。
【００２９】
さらに、上記の製造方法により製造したノズルプレートを使用したインクジェットヘッドは、ノズルから吐出されるインク滴が直進性に優れ、長期間、安定した吐出信頼性を可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
オリフィスプレートに開けられたノズル内の異物残存やノズル開口穴近傍の撥水膜の不均一性を改善し、安定した吐出を実現するという目的を、第１にオリフィスプレートへの撥水処理を行い、第２にプレスによる押し出し成形を実施し、第３に突起部が残るように先端を研磨するという工程でオリフィスプレートを加工するか、または、第１にプレスによる押し出し成形を実施し、第２にオリフィスプレートへの撥水処理を行い、第３に突起部が残るように先端を研磨するという工程でオリフィスプレートを加工することで実現した。
【００３１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００３２】
図１は、本発明によるインクジェット式記録ヘッドの流路構成を示す断面図である。インク流路を分かりやすくするため、破断部のみを示す図としてある。
【００３３】
インク流路基板１０は、オリフィスプレート１と、チャンバープレート２と、ダイアフラムプレート３からなる。ノズルプレート１は複数のノズル開口１１を有する。また、チャンバープレート２は、ノズル開口１１に連通する連通穴１２、圧力室１３、共通のインク室１５からのインクを供給する細長い流路のリストリクタ１４を有する。また、ダイアフラムプレート３は、共通インク室１５内となる位置に異物除去用のフィルター１７と、圧力室１３とリストリクタ１４の一部を封止する振動板１６とを備える。
【００３４】
図２に、リストリクタ１４のＡ−Ａ（図１）断面図を示す。
【００３５】
図２に示すように、リストリクタ１４は、複数本（本例では２本）の流路を持ち、圧力室１３の流路幅に比べて１／３〜１／４程度と狭く形成されている。なお、これはリストリクタ数が、１〜２本の時の寸法幅で、それ以上の本数（例えば、Ｎ本）を有する場合は、１／（Ｎ＋１）〜１／（Ｎ＋２）以下であれば良い。また、これはあくまで一例であって、これに限定する必要はない。そして、ダイアフラムプレート３の振動板１６には、振動板１６に垂直な方向（長軸方向）に伸縮する圧電素子４が配置される。この圧電素子４の伸縮によって圧力室１３の容積が変化し、発生する圧力波によってインクが連通穴１２を経由してノズル開口１１からインク滴として吐出される。
【００３６】
なお、上記インク流路基板１０を構成する各プレートに用いられる材料の例を挙げると、オリフィスプレート１には、ステンレスやＦｅ−４２Ｎｉなど、プレス加工が可能な材料が使われる。また、チャンバープレート２には、ステンレス、シリコン、セラミックなど、インクに含まれる溶剤に侵され難い材料が用いられる。そして、ダイアフラムプレートに３は、振動板１６となる薄板部が必要とされるので、１０μｍ前後のステンレスプレートやポリイミドにステンレスプレートを積層密着したものなどを使用する。
【００３７】
図３は、インク滴の吐出を示した説明図である。まず、ヘッド内のインク流路へのインクの充填は、インクタンク（図示せず）から流路基板固定部材２５に配設された供給路（図示せず）及び共通インク室１５を通り、更にチャンバープレート２に形成された共通インク室１５にインクが充填され、各ノズル開口１１に連通するリストリクタ１４を経由し、圧力室１３にインクが充填される。その充填方法は、インクタンクから圧力を加える加圧充填方法や、インクジェットヘッドのノズル開口１１から吸引する負圧吸引法などがある。
【００３８】
図４は、ノズル開口１１より液滴を吐出するために用いられる駆動パルスの一例を示す図である。図４に示したような所定の電位差を持った電圧パルスが圧電素子４に印加される。圧電素子４が収縮する方向に電圧を印加する（図４（１））と圧力室１３内の容積が膨張し、リストリクタ１４を介して共通インク室１５よりインクが流れ込むと同時にノズル開口１１部に位置する空気とインクの界面であるメニスカスも圧力室１３側に引き込まれる（図３（ｂ））。
【００３９】
そのまま電圧をホールドする（図４（２））と、メニスカスの引き込みが終了し、再度ノズル開口１１側へ戻ろうとする。その時点で次に、圧電素子４が伸長する方向（図４（３））に前記収縮時より短時間で電圧を印加する。
【００４０】
そうすると、前記膨張によって圧力室内１３に溜まったインクが圧縮され、圧力室１３内は高圧となる（図３（ｃ））。その際に、圧電素子４周りのダイアフラムプレート３である振動板１６は、図３（ｃ）に示されるように一旦膨れるような形状を示し、時間の経過と共に徐々にインクに圧力が加えられ、そのエネルギーを利用してノズル開口１１より液滴となってインク滴５０が吐出される（図３（ｄ））。
【００４１】
図５は、ノズル先端面が平坦な場合のノズル開口１１よりインク滴が飛翔していく様子をフロー３Ｄ（フローサイエンス社製）なる解析ソフトを用いてシミュレーションをした一例を示す。
【００４２】
圧力室１３の容積が膨張するように電圧が印加されると、ノズル先端部のインク表面であるメニスカス５がノズル内部へと引き込まれていく。そして、膨張した圧力室１３の容積を、急激に小さくする方向に電圧が印加されると、メニスカス５は、再びノズル開口１１へと向かい、ノズル先端よりインクが飛び出して行く。飛翔するインク滴７は、粘性の影響によって尻尾は細長くなり、外気とインクに働く表面張力によって、尻尾が切れ飛翔して行く。インク滴７となって分離した後もノズル内部のインク６は、ノズル開口１１内部へと引き込まれることなく、ノズル先端部に溢れるような状態を示す（図５のＡ部）。
【００４３】
ヘッド内のインク６の動きには、大きく大別して二つの振動モードがある。
【００４４】
一つは、リストリクタ１４入口からノズル開口１１出口迄のインク流路の形状によって支配される振動モードで、ヘルムホルツ振動モードとも言われている。このヘルムホルツ振動モードは、インク滴７を安定して吐出させるために重要な振動であり、一般的に５０ｋＨｚ以上の値をとることが多い。
【００４５】
もう一つは、リストリクタ１４からノズル開口１１へのインク流れとなって現れる振動モードで、ここではインク供給振動モードと呼ぶ。このインク供給振動モードによるインク６の流れが、前記したノズル開口１１先端部でのインク溢れ出しのような現象として考えてよい。従って、振動現象である以上、ノズル外部へと溢れ出したインク６は、いずれ元の静止状態の位置に落ち着くため、ノズル開口１１内部へと引き込まれることになる。しかし、この周期は、一般的に３〜８ｋＨｚ程度であるため、それ以上の繰返し周波数でインク滴を吐出させようとすると、溢れ出たインクはノズル内部へと戻る時間がなく、ノズル開口１１先端部に溜まった状態でインク滴が吐出されることになる。このため、ノズル開口１１先端部は、インクに対して非常に均一な濡れ性、或いは撥インク性が保たれなければならないこととなる。
【実施例１】
【００４６】
図６は、本発明となるオリフィスプレートの製造方法を示す図である。
【００４７】
まず初めに、外形抜きされたオリフィスプレート１の表面（インク滴７が飛翔していく側の面）に撥水処理３０を施す（図６（ａ））。その方法は、処理不要な面をマスクした後に必要な面の全面に撥水処理膜をコーティングするか、或いは両面に全面コーティングした後に不要の面の剥離を行うかは、工程上に大きな差が無いのでどちらを採用しても問題はない。また、本撥水処理に用いられる材料は、非晶質含弗素重合体からなる材料（例えば、サイトップ（旭硝子（株）の登録商標）やＤＳＸ（ダイキン工業（株）製）等）を用いるのが好ましい。これらの非晶質含弗素重合体は、選択的に弗素系有機溶剤に溶解することから、溶媒に任意の濃度で溶解してコーティングすることにより、紛体状または分散媒の形態でしか塗布できないポリテトラフルオロエチレンやポリクロロトリフルオロエチレンなどに比べ、形成されたコーティング層のプレートとの密着性が高く、かつ均一なコーティングが可能となり、プレス加工による塑性変形部に対しても剥がれにくいためである。
【００４８】
次に、予めノズル開口部の形状をしたパンチ５０を用いてのプレスによる加工である（図６（ｂ））。プレス加工では、プレス機内にある高剛性を有する受台４０があり、オリフィスプレート位置決め用ピン（図示せず）が設置してある。位置決めされたオリフィスプレート１は図示しない手段より固定され、インク吐出用微小穴成形を連続で加工する。
【００４９】
パンチ５０によって押し出されたオリフィスプレート１は、パンチ５０のプレス方向に山なりに張り出した突起ができる（図６（ｃ））。ここで用いられるプレス加工用パンチ径は数十μｍ と微小であるため、受台４０には予め突起用逃げ穴４２が加工されている。パンチ押し込み量は、プレート上面を基準とすると、次工程での研磨作業にて突起部を残すためには、プレート厚みプラス数十μｍの押し込み量となる。
【００５０】
連続加工したプレートは、受台４０から外され、図７で示されるように、研磨仕上げ加工される。研磨仕上げ加工機内には受台４５があり、プレート位置決め用ピン（図示せず）が設置してある。位置決めされたプレートは図示していない手段により固定され、前工程のプレス加工により山なりに張り出した突起部に、ラッピングフィルムシート５５を押し当てながらラッピングフィルムシート５５を巻き取り揺動させ（図７（ａ））、インク滴吐出用のインク開口１１が開くまで削り、微小穴を設ける（図７（ｂ））。
【００５１】
このとき、プレス加工でパンチ５０押し込み量をプレート厚みプラス数十μｍと深く押し込み、研磨仕上げ加工では、加工時間またはストッパで加工量を制御することで、張り出した突起部を全て削りとらずに、僅かに突起部を残した状態とすることができる。この残量は、目的に応じて如何様でも変化させることが可能となる。これにより、オリフィスプレート１の突起先端のみが研磨されることになるので、研磨面積及び研磨量が少量で済み、ラッピングフィルムシート５５からの微粒子研磨材の脱粒を抑制可能となる。また、プレート表面とラッピングフィルムシート５５との間に隙間ができ、その隙間から脱粒した微粒子研磨材やゴミが排出されるので、突起先端面のノズル開口１１穴近傍へのスクラッチの発生を防止できる。
【００５２】
ラッピングフィルムシート５５は加工面を超精密仕上げするため、超微粒子研磨材が定着されていて、それによる仕上げ精度は、平均高低差で０．０１μｍ以下とほぼ鏡面に近い仕上げとすることが可能となる。これにより、突起先端面のインクの濡れ性の均一化が図れる。筆者らは、前記仕上げ精度は平均高低差で０．０１５μｍ以下であれば、ある程度高い表面張力を持つインクの場合は濡れ性の均一化が図れるが、一方で、インクが低表面張力を有する、例えば２５ｍＮ／ｍ（ミリニュートン/メータ）以下のようなインクを使用する場合、より安定した均一性を確保するためには、０．０１μｍ以下とすることが良いことを実験的に確認した。
【００５３】
さらに、突起先端の平坦部外周縁でのインク表面張力によるインク漏れの保持及び突起裾野にコーティングされた撥水膜が、さらにインクの保持力を高めることになる。また、本確認実験で用いたヘッドの凸部先端の平坦部外径Ｄとノズル開口穴径ｄとの比率（Ｄ／ｄ）は、２と５であったので、その径比率は２〜５の範囲内であれば良いといえる。従って、溢れたインクがノズル内に戻る前に繰返し吐出が実行されても十分インクを保持することが可能となり、長期間にわたり安定した吐出性能を維持できる。
【００５４】
なお、ここでいう平均高低差とは、ノズル開口１１先端の平坦部の表面粗さである。
【００５５】
ここで、撥水膜（撥インク膜）の厚みは、特に制限されるものではないが、数１０ｎｍ〜数μｍ程度が良い。また、ノズル１１の、オリフィスプレート１の平面からの突起高さは、筆者らの実験から、５〜２０μｍがインク吐出に関して好適な範囲であることが分かった。
【００５６】
また、インク滴吐出用の微小穴の加工前に撥水処理を実施しているので、処理液で微小
穴を塞いでしまうようなこともなく、さらには、処理膜を剥離する場合や非コーティング
面用の微小穴まで入り込んだマスク材を除去する時の残存に対する心配もなくなり、オリフィスプレート１の歩留まり向上や品質保証面での向上が図れる。
【実施例２】
【００５７】
次に、他の実施例として、オリフィスプレートの製造方法を示す。
【００５８】
図８は、オリフィスプレート１の製造方法を示す図であり、図８（ａ）はオリフィスプレート１である。まず、はじめに、予めノズル開口部の形状をしたパンチ５０を用いてのプレスによる加工を行う（図８（ｂ））。プレス加工では、プレス機内にある高剛性を有する受台４０があり、オリフィスプレート位置決め用ピン（図示せず）が設置してある。位置決めされたオリフィスプレート１は図示しない手段より固定され、インク吐出用微小穴成形を連続で加工する。パンチ５０によって押し出されたオリフィスプレート１は、パンチ５０のプレス方向に山なりに張り出した突起ができる（図８（ｃ））。ここで用いられるプレス加工用パンチ径は数十μｍと微小であるため、受台４０には予め突起用逃げ穴４２が加工されている。パンチ押し込み量は、プレート上面を基準にすると、次工程での研磨作業にて突起部を残すためには、プレート厚みプラス数十μｍの押し込み量となる。
【００５９】
次に、図９に示すように、外形抜きされたプレートの表面（インク滴７が飛翔していく側の面）に撥水処理３０を施す。その方法は、処理不要な面をマスキング剤３１などにてマスクした後に、必要な面の全面に撥水処理膜をコーティングする。また、本撥水処理に用いられる材料は、サイトップ（旭硝子（株）の登録商標）やＤＳＸ（ダイキン工業（株）製）などの非晶質含弗素重合体からなる材料を用いた方が良い。これらの非晶質含弗素重合体は選択的に弗素系有機溶剤に溶解することから、溶媒に任意の濃度で溶解してコーティングすることにより、紛体状または分散媒の形態でしか塗布できないポリテトラフルオロエチレンやポリクロロトリフルオロエチレンなどに比べて、形成されたコーティング層のプレートとの密着性が高く、且つ均一なコーティングが形成される。
【００６０】
撥水処理されたプレートは、実施例１と同様、図７で示されるように研磨仕上げ加工される。研磨仕上げ加工機内には受台４５があり、プレート位置決め用ピンが設置してある。位置決めされたプレートは図示していない手段により固定され、プレス加工により山なりに張り出した突起部にラッピングフィルムシート５５を押し当てながらラッピングフィルムシート５５を巻き取り揺動させ（図７（ａ））、インク滴吐出用の開口穴１１が開くまで削り、微小穴を設ける（図７（ｂ））。このとき、プレス加工でパンチ５０押し込み量をプレート厚みプラス数十μｍと深く押し込み、研磨仕上げ加工では、加工時間またはストッパで加工量を制御することで、張り出した突起部を全て削りとらずに、僅かに突起部を残した状態とすることができる。この残量は、目的に応じて如何様でも変化させることが可能となる。これにより、オリフィスプレート１の突起先端のみが研磨されることになるので、研磨面積及び研磨量が少量で済み、ラッピングフィルムシート５５からの微粒子研磨材の脱粒を抑制可能となる。また、プレート表面とラッピングフィルムシート５５との間に隙間ができ、その隙間から脱粒した微粒子研磨材やゴミが排出されるので、突起先端面のノズル開口１１穴近傍へのスクラッチの発生を防止できる。
【００６１】
ラッピングフィルムシート５５は加工面を超精密仕上げするため、超微粒子研磨材が定着されていて、それによる仕上げ精度は、平均高低差で０．０１μｍ以下とほぼ鏡面に近い仕上げとすることができる。これにより、突起先端面のインクの濡れ性の均一化が図れる。さらに突起先端の平坦部外周縁でのインク表面張力によるインク漏れの保持及び突起すそのにコーティングされた撥水膜がさらにインクの保持力を高めることになる。従って、溢れたインクがノズル内に戻る前に繰返し吐出が実行されても十分インクを保持することが可能となり、長期間にわたり安定した吐出性能を維持できる。
【００６２】
また、インク滴吐出用の微小穴の加工前に撥水処理を実施しているので、撥水処理液等
でノズルの微小穴を塞いでしまうようなこともなく、さらには、処理膜を剥離する場合や
非コーティング面用の微小穴まで入り込んだマスク材を除去する時の残存に対する心配も
なくなり、オリフィスプレート１ の歩留まり向上や品質保証面での向上が図れる。
【００６３】
上記実施例１、２の製造方法は、ステンレス材に限らずＦｅ−４２Ｎｉなどの合金や他の金属の材質のプレートに適用可能である。
【００６４】
また、本例でのノズル開口穴断面形状は、テーパ部とストレート部を有する形状をしているが、ストレートのみ或いはテーパのみの断面形状であっても適用可能である。
【００６５】
さらに、テーパ部を押し出し、先端部を平坦研磨した後にストレート部を打ち抜き加工しても同様な効果は得られる。
【００６６】
なお、本発明におけるインク滴の吐出のための手段として圧電素子の歪を利用したピエゾ方式について説明したが、その構成は薄膜素子であっても圧電材料と電極を複数層積層したのピエゾ素子であっても良い。また、静電方式を用いた駆動方式、或いはヒータ気化熱を利用したバブルジェット（登録商標）方式であっても本発明にとっては全く同様の効果が得られることは当然のことである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの実施方法を示した説明図である。
【図２】図１に示す断面Ａ−Ａ図である。
【図３】インクジェットヘッドのインク滴吐出の状態図を示す図である。
【図４】インクジェットヘッドの駆動波形の一実施例である。
【図５】インクジェットヘッドの吐出シミュレーション図である。
【図６】本発明のオリフィスプレートのプレス加工工程を示した説明図である。（実施例１）
【図７】本発明のオリフィスプレートの研磨仕上げ工程を示した説明図である。
【図８】本発明のオリフィスプレートのプレス加工工程を示した説明図である。（実施例２）
【図９】本発明のオリフィスプレートの撥水処理後の図である。（実施例２）
【符号の説明】
【００６８】
１はオリフィスプレート（ノズルプレート）、２はチャンバープレート、３はダイアフラムプレート、４は圧電素子、６はインク、７はインク滴、１０は流路プレート、１１はノズル、１２は連通穴、１３は圧力室、１４はリストリクタ、１５は共通インク室、１６は振動板、１７はフィルター、３０は撥水処理膜、４０，４５は受台、４２は逃げ穴、５０はパンチ、５５はラッピングフィルムシートである。
【図１】
0004661208.tif 000002
【図２】
0004661208.tif 000003
【図３】
0004661208.tif 000004
【図４】
0004661208.tif 000005
【図５】
0004661208.tif 000006
【図６】
0004661208.tif 000007
【図７】
0004661208.tif 000008
【図８】
0004661208.tif 000009
【図９】
0004661208.tif 000010