(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が水平になった基台と、
前記基台の上方に配置され上面に被処理物を固定する固定部と、
前記固定部を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向に移動させる移動機構と、
前記固定部に固定される前記被処理物に所定の処理を施す処理部と
を備えた処理装置で使用される被処理物の支持装置であって、
前記基台上に所定間隔を保って略平行に配置される複数の同径のシャフトからなる支持シャフトと、
前記固定部の下面における両側に、前記支持シャフトと交差するよう位置決めされた一対の同径のシャフトからなる位置合わせシャフトとを備え、
前記固定部が、前記位置合わせシャフトを前記支持シャフトに接触させて同一面上で移動するようにしたことを特徴とする被処理物の支持装置。
【請求項２】
前記位置合わせシャフトと前記支持シャフトとが４か所で接触するようにした請求項１に記載の被処理物の支持装置。
【請求項３】
前記固定部が、前記移動機構側に取り付けられるＸＹテーブルと、前記ＸＹテーブルに支持され前記被処理物を固定する固定テーブルとを備え、前記固定テーブルが、前記ＸＹテーブルに対して上下に移動可能になっている請求項１または２に記載の被処理物の支持装置。
【請求項４】
前記支持シャフトの水平レベルが調節可能になっている請求項１ないし３のいずれか一つに記載の被処理物の支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基台上に、被処理物を固定する固定テーブルを配置してその被処理物に所定の処理を施す処理装置で使用される被処理物の支持装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、被検査物や被加工物等の被処理物を処理装置で処理する場合、支持装置によって支持された被処理物を移動機構の駆動によって水平面上もしくは上下方向に移動させて、検査装置や加工具等の処理部の位置に位置決めし、その処理位置で被処理物の検査や加工の処理が行われている。
【０００３】
この場合、被処理物の支持装置として、例えば、移動機構側に、一部に設けられた取付部を支持されて移動可能になった固定テーブルを備えたものがある。この支持装置では、固定テーブルの上面に被処理物を固定するようになっており、固定テーブルは、移動機構側に支持された取付部以外の部分が宙に浮いた状態になっていたり、処理装置の台部側に設けられた基台上に載せられた状態になっていたりしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、固定テーブルが一部の取付部だけで支持される場合には、支持された部分以外の部分が自重で下がってしまい、固定テーブルの上下方向の位置を正確に位置決めすることができないという問題がある。このような支持装置を備えた処理装置を用いて、精度のよい処理を行うためには、被処理物を適正な状態で処理位置に固定することが要求され、特に、被処理面を水平な状態にすることが要求される。しかしながら、この支持装置では、この要件を満たすことができず、処理装置で精度のよい処理を行うことができない。一方、基台上に固定テーブルを載せると、固定テーブルの下面全体が基台と接触するようになって接触抵抗が大きくなり、基台や固定テーブルが消耗しやすくなるという問題がある。
【０００５】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、被処理物を水平な状態で取り付けることができ、さらに、移動時の接触抵抗も小さくなる被処理物の支持装置を提供することである。
【０００６】
上記の目的を達成するため、本発明に係る被処理物の支持装置の特徴は、上面が水平になった基台と、基台の上方に配置され上面に被処理物を固定する固定部と、固定部を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向に移動させる移動機構と、固定部に固定される被処理物に所定の処理を施す処理部とを備えた処理装置で使用される被処理物の支持装置であって、基台上に所定間隔を保って略平行に配置される複数の同径のシャフトからなる支持シャフトと、固定部の下面における両側に、支持シャフトと交差するよう位置決めされた一対の同径のシャフトからなる位置合わせシャフトとを備え、固定部が、位置合わせシャフトを支持シャフトに接触させて同一面上で移動するようにしたことにある。
【０００７】
この場合、位置合わせシャフトと支持シャフトとが４か所で接触させることが好ましい。
【０００８】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、水平な基台の上面に同径の支持シャフトを載せ、この支持シャフトと交差する一対の位置合わせシャフトを固定部の下面に位置決めするため、固定部を簡単に水平状態で保持することができるようになる。すなわち、支持シャフトおよび位置合わせシャフトを交差させて重ねると、支持シャフトおよび位置合わせシャフトは点接触よって接触する。
【０００９】
したがって、例えば、使用する支持シャフトおよび位置合わせシャフトがともに、二本一組のシャフトの場合であれば、接触点は四箇所であり、各組におけるシャフト同士は同径であるため、この四つの接触点は同一平面上に位置する。そして、二本の支持シャフトの下端が位置する平面および二本の位置決めシャフトの上端が位置する平面はそれぞれ、上記同一平面と平行する平面になる。このため、基台と支持シャフトおよび固定部と位置決めシャフトが、それぞれ接触する線状の部分の平面度（直線性）を良好にしておけば、固定部は精度のよい水平状態で支持される。また、その際、支持シャフトと位置合わせシャフトの交差の角度を直角にすると、固定部の安定性が良くなる。
【００１０】
また、本発明の他の構成上の特徴は、固定部が、移動機構側に取り付けられるＸＹテーブルと、このＸＹテーブルに支持され被処理物を固定する固定テーブルとを備え、固定テーブルを、ＸＹテーブルに対して上下に移動可能にしていることにある。これによると、被処理物を固定する固定テーブルの位置決めがさらに精度よく行え、被処理物の適正な支持ができるようになる。
【００１１】
また、本発明の他の構成上の特徴は、支持シャフトの水平レベルを調節可能にしたことにある。これによると、支持シャフトの上端が位置する面を精度よく水平状態にすることができ、被処理物の適正な支持ができるようになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る被処理物の支持装置を備えた処理装置の中央部分の概略を示す正面図であり、図２ないし図４はその各部分を示す平面図である。この処理装置中央部分１０は、四角板状の平面部１１ａと脚部１１ｂからなる台部１１の上面に、ＣＣＤカメラ１２と、ＣＣＤカメラ１２を移動させるＸ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４が設けられて構成されている。
【００１３】
ＣＣＤカメラ１２は平面部１１ａと平行する水平面内で移動可能に組付けられており、Ｘ軸移動機構１３によって、Ｘ軸方向（図１ないし図４における台部１１の長手方向に沿う方向）に移動可能で、Ｙ軸移動機構１４によって、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向（図２ないし図４における台部１１の長手方向に直交する方向）に移動可能になっている。
【００１４】
Ｘ軸移動機構１３は、平面部１１ａの上面に配設されたモータ１５と、このモータ１５の回転軸１５ａに連結されＸ軸方向に延びるボールねじ１６と、縦断面形状が凹形のレール部１７と、レール部１７に沿って移動する移動部材１８とで構成されている。レール部１７は、支持部材１９ａ，１９ｂを介して平面部１１ａの上面にＸ軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材１８が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材１８にはねじ穴（図示せず）が設けられて、このねじ穴にボールねじ１６が螺合している。
【００１５】
前記レール部１７の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部１７ａ，１７ｂが取り付けられており、壁部１７ａの穴部には、モータ１５の回転軸１５ａが挿通し、壁部１７ｂの穴部にはボールねじ１６の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ１５の駆動により、回転軸１５ａが回転すると、回転軸１５ａとともにボールねじ１６が回転し、それによって、移動部材１８がレール部１７に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１６】
Ｙ軸移動機構１４は、移動部材１８の上面に取り付けられたレール部２０と、レール部２０の一端に固定されたモータ２１と、モータ２１の回転軸２１ａに連結されたボールねじ２２と、レール部２０に沿って移動する移動部材（図５（ｂ）参照）２３とで構成されている。レール部２０はＸ軸移動機構１３のレール部１７と同形に形成されており、レール部１７と直交するＹ軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材２３が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材２３にはねじ穴２３ａが設けられて、このねじ穴２３ａにボールねじ２２が螺合している。
【００１７】
さらに、前記レール部１７と同様、レール部２０の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部２０ａ，２０ｂが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部２０ａの穴部には、モータ２１の回転軸２１ａが挿通し、壁部２０ｂの穴部にはボールねじ２２の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ２１を駆動させると、回転軸２１ａおよびボールねじ２２が回転し、それによって、移動部材２３がレール部２０に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００１８】
また、移動部材２３の上面には、図５（ａ），（ｂ）に示すような板状のキャリッジベース２４が取り付けられ、そのキャリッジベース２４の一端にＣＣＤカメラ１２の高さを調節する上下調節部２５を介してＣＣＤカメラ１２が取り付けられている。キャリッジベース２４の一端には、断面Ｌ形の取り付け片２６が固定されており、その水平部２６ｂの上面にリング状の照明装置２７が取り付けられている。なお、水平部２６ｂには、ＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部１２ａは、この挿通穴および照明装置２７の中心穴を挿通して、その上端を上方に露呈させている。
【００１９】
また、キャリッジベース２４の他端には、水平状の取り付け片２８が固定され、その取り付け片２８の上面に、内部がケーブル２９を収容する空洞３０ａになったキャタピラー状のケーブルガイド３０の先端部が固定されている。なお、レール部２０の先端部にも同様のケーブルガイド３１の先端部が固定されている。
【００２０】
また、台部１１の上面におけるＸ軸移動機構１３の周囲に対応する部分には、それぞれＹ軸方向の幅が長くなった断面形状がＬ字状の支柱３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄがボルト３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄによって固定されている。そして、その支柱３２ａ，３２ｂの上面および支柱３２ｃ，３２ｄの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基板３４ａおよび基板３４ｂが掛け渡されている。
【００２１】
さらに、台部１１の上面における支柱３２ａ，３２ｂおよび支柱３２ｃ，３２ｄを挟む両外側部分には、基板３４ａ，３４ｂの上面と略高さの等しい平板状の支持板３５ａ，３５ｂがボルト３６ａ，３６ｂの固定により立設されている。前記台部１１、支柱３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ、基板３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂで本発明の基台が構成されている。そして、図３に示すように、基板３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂの上面に架け渡された状態で、支持シャフトを構成する５本のシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅが互いに一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅは、撓んだり変形したりしない鋼等の材料で構成されており、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒に形成されている。
【００２２】
また、基板３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂの上面における各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの間およびシャフト３７ｅの前方側部分（シャフト３７ｅ側を前方側とし、シャフト３７ａ側を後方側とする。）には、図４に示すように、それぞれ、水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆが、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めして取り付けられている。
【００２３】
なお、水平板３８ｂ，３８ｃは、他の水平板３８ａ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆよりも短く設定されて、シャフト３７ｂ，３７ｃ間に、互いの間隔を保って設置されている。そして、水平板３８ｂと３８ｃの間には、ＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａおよび照明装置２７を上方に露呈するための隙間となる窓部３８ｇが設けられている。また、水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆの厚みは、シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの直径よりも小さく設定されて、水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆの上面の高さよりも、シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの上端部の高さが高くなっている。
【００２４】
台部１１の上面におけるＸ軸方向に沿う両側の後方側（シャフト３７ａの両端側）には、それぞれ柱３９ａ，３９ｂが立設され、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅおよび水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆの周囲には枠状台４０が設けられている。そして、枠状台４０の前方側には、操作パネル４１が設けられている。
【００２５】
また、台部１１の後方には、移動機構としてのＸＹテーブル駆動装置（一部しか図示していない）４２が設置されている。このＸＹテーブル駆動装置４２には、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構（ともに平面部１１ａの下方に設置されている）およびθ軸移動機構４３が備わっている。そして、このＸＹ駆動装置４２は、図６に示したＸＹテーブル４４を台部１１の上方に位置させた状態で支持するとともに、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向（水平面上で回転する方向）に移動させる。
【００２６】
ＸＹテーブル４４は、平面視略台形状の被固定部４４ａと四角枠状の取付け部４４ｂとで構成され、被固定部４４ａの係合穴４４ｃをθ軸移動機構４３のモータ４３ａに連結された係合軸４３ｂ（図７参照）に係合させて、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸＹテーブル取付部４２ａに固定されている。そして、モータ４３ａを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４は、θ軸方向に回転する。
【００２７】
また、平面部１１ａの下方に設置されたＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構は、Ｘ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機構１４と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４をθ軸移動機構４３とともに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
【００２８】
ＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂの下面には、枠状のベース４５が取り付けられ、ベース４５の上面に、図８に示した透明アクリル板からなる固定テーブル４６が取り付けられている。ベース４５の下面両側には、図７および図９に示すように、位置合わせシャフトを構成する一対の細径シャフト４７が、シャフト支持部４７ａによって取り付けられている。この一対の細径シャフト４７は、シャフト３７ｂ，３７ｃ等と直交した状態で点接触して配設されており、これによってベース４５および固定テーブル４６の水平度が良好に保たれる。なお、この細径シャフト４７も撓んだり変形したりしない鋼等で構成されている。
【００２９】
また、ベース４５の上面における両側中央部には、図６および図１０に示すようなガイドピン４８ａ，４８ｂが立設されており、このガイドピン４８ａ，４８ｂに対応するＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂの部分には挿通穴４４ｃが設けられている。そして、挿通穴４４ｃ内におけるガイドピン４８ａ，４８ｂの周囲には小径の球体４９が複数個配設されている。このため、ベース４５は、ＸＹテーブル４４に対して上下に摺動できるようになっている。
【００３０】
さらに、ベース４５の上面における両側前後部の四箇所に、頭部が大径に形成された連結ピン５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄが取り付けられ、この連結ピン５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄに対応するＸＹテーブル４４の部分に挿通穴（図示せず）が設けられている。連結ピン５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄはこの挿通穴を挿通して、その頭部でベース４５がＸＹテーブル４４から外れることを防止している。また、ベース４５とＸＹテーブル４４の間における連結ピン５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの外周には、ベース４５とＸＹテーブル４４を反発させるコイルばね（図示せず）が挿通して取り付けられている。
【００３１】
ベース４５および固定テーブル４６をシャフト３７ｂ，３７ｃ等の上に載せた状態では、ベース４５および固定テーブル４６は、各コイルばねの弾性力に抗して、自重で、細径シャフト４７をシャフト３７ｂ，３７ｃ等に圧接させる。この場合、シャフト３７ｂ，３７ｃの二本のシャフトがメインシャフトとして、一対の細径シャフト４７と接触して、固定テーブル４６を水平に保つようになっており、他のシャフト３７ａ，３７ｄ，３７ｅは補助シャフトとして、ベース４５および固定テーブル４６を支受する。
【００３２】
すなわち、このメインシャフトとしてのシャフト３７ｂ，３７ｃおよび補助シャフトとしてのシャフト３７ａ，３７ｄ，３７ｅによって、ベース４５および固定テーブル４６のどの部分を窓部３８ｇに位置決めしても、ベース４５および固定テーブル４６の各部分は、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅのいずれかに支持されて全体が水平状態に維持される。
【００３３】
固定テーブル４６は、複数の電極パターンがプリントされたシート状の基板（図９参照）５１を固定するためのもので、図８に示すように、上面に格子状のエア抜き用線状溝４６ａおよび幅広の浅い溝４６ｂが設けられている。また、この固定テーブル４６には、エア抜き用の吸引装置（図示せず）がホース５２ａおよび継手５２ｂ等を介して接続されており、固定テーブル４６上にシート状の基板５１を設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル４６の上面に基板５１が吸引固定される。なお、前記ＸＹテーブル４４、ベース４５および固定テーブル４６で、本発明の固定部が構成される。
【００３４】
また、柱３９ａ，３９ｂの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部（図示せず）が架け渡されており、この支持部に、基板５１に所定の処理を施す処理部としてのプローブヘッド５３およびこのプローブヘッド５３をそれぞれＺ軸方向（上下方向）に移動させるためのＺ軸移動機構が設けられている。
【００３５】
プローブヘッド５３は、処理部として、基板５１の電極パターン（図示せず）が適正に導通しているかどうかを検査するものであり、下面に、先端に細線状のプローブ５４が突出したプローブ基板５４ａが固定具５５によって固定されている。この取り付け構造は、図１１および図１２に示すように構成されている。すなわち、プローブ基板５４ａの上に異方性導電ゴムからなるシート５４ｂが積層され、そのシート５４ｂの上面に、フレキシブル基板５４ｃが積層されて接合部が形成されている。そして、そのフレキシブル基板５４ｃの上面を、弾性ゴム５４ｄを介して固定具５５で押圧した状態で、その固定具５５をボルト５５ａでプローブヘッド５３の下面に固定している。
【００３６】
このプローブ５４は、フレキシブル基板５４ｃを介して、プローブヘッド５３の本体に設けられたコネクタ５６に接続され、さらに、フラットケーブル５６ａを介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、このプローブ５４の先端部の平面上における形状は、基板５１の電極パターンにおける電極部と同形になるように設定され、その電極部にプローブ５４の先端部を接触させることにより導通検査が行えるようになっている。
【００３７】
なお、この処理装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、ＣＣＤカメラ１２が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、基板５１の電極部とプローブ５４との二つの位置データの差を補正データとしてＸ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機構１４、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構およびθ軸移動機構４３に出力する機能を有する。
【００３８】
また、支持シャフトを構成するシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅには、シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの水平面におけるレベルを調節する調節機構が備わっている。このレベル調節機構は、基板３４ａまたは基板３４ｂを上下移動させる機構と、基板３４ａおよび基板３４ｂの長手方向に沿う一方の端部側を上下移動させる機構で構成することができる。
【００３９】
また、基板３４ａ，３４ｂと、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅとの間に、薄板からなるスペーサを差し込むことにより、レベル調整を行うようにしてもよい。さらに、細径シャフト４７とシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの接触状態を電気的に検出できる検出装置を設けることもできる。これによって、固定テーブル４６が水平になっているかどうかの確認ができるようになる。また、前記レベル調整を行う場合には、公知のレベル計を用いることが好ましい。
【００４０】
このような構成において、基板５１に設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、ＣＣＤカメラ１２でプローブヘッド５３を撮影しながら、Ｘ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４を駆動してＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａがプローブヘッド５３のプローブ５４の真下に位置するようにする。
【００４１】
そして、ＸＹテーブル４４に取り付けられた固定テーブル４６の上面に基板５１を載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル４６上面と基５１の間を吸気することにより、基板５１を固定テーブル４６上に固定する。ついで、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、基板５１の電極パターンの位置が窓部３８ｇの上方になるように、固定テーブル４６を移動させる。つぎに、θ軸移動機構４３を駆動して、電極パターンの縦横の並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃うように、固定テーブル４６を回転させる。
【００４２】
この際、固定テーブル４６を支持するベース４５の下面に取り付けられた細径シャフト４７は、基台のシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅと直交して接触しており、固定テーブル４６とベース４５は自重によって、細径シャフト４７をシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅに圧接させる。
【００４３】
また、ベース４５は、ガイドピン４８ａ，４８ｂとＸＹテーブル４４の挿通穴４４ｃによって、Ｚ軸方向に移動可能であるため、シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの上端に追従して、水平状態を保ったまま、高さを変更したり、水平方向に移動したりすることができる。この場合、細径シャフト４７とシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅは、点接触しているため抵抗が少なくなる。
【００４４】
そして、電極パターンの並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃った状態で、ＣＣＤカメラ１２によって基板５１の電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、その電極パターンの電極部位置とプローブヘッド５３のプローブ５４の位置を合わせて一致させる。
【００４５】
そして、プローブヘッド５３を上下移動させるＺ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５３を下降させて、プローブ５４と電極パターンの電極部を接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５３を上昇させ、その状態で、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構またはＹ軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド５３の位置を合わせる。
【００４６】
そして、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５３を下降させて、プローブ５４を位置合わせした電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。
【００４７】
上記の操作を繰り返すことにより、基板５１のすべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。このように、この支持装置では、水平に配置された基台３４ａ，３４ｂの上面に、シャフト３７ｂ，３７ｃ等を一定間隔で並設して、このシャフト３７ｂ，３７ｃ等の上面に、シャフト３７ｂ，３７ｃ等と直交する一対の細径シャフト４７が下面に取り付けられたベース４５を載置している。そして、そのベース４５の上面に、固定テーブル４６が配設されるため、基板５１の水平度が良好になる。
【００４８】
すなわち、基台３４ａ，３４ｂとシャフト３７ｂ，３７ｃ等との接触、および細径シャフト４７とベース４５との接触は線接触になり、シャフト３７ｂ，３７ｃ等と細径シャフト４７との接触は点接触になる。平面同士を水平度を保ったまま接触させることは精度を要求されることからコストアップにつながり設計上難しいが、線接触や点接触の状態で互いを水平に保つことは比較的容易にできる。この結果、上記の構成をとることにより基板５１を水平に固定でき、さらに検査の確実性が増すようになる。
【００４９】
また、ＣＣＤカメラ１２と、基板５１およびプローブヘッド５３との間に配設された固定テーブル４６が透明体で構成されているため、ＣＣＤカメラ１２、基板５１およびプローブヘッド５３を一直線上に位置させることができる。このため、ＣＣＤカメラ１２の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、基板５１の精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【００５０】
なお、前記実施形態では、細径シャフト４７とシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅが直交するとしているが、ＣＣＤカメラ１２で撮影するための窓部３８ｇさえ確保していれば、シャフト３７ｂ，３７ｃは多少斜めに配置されていてもよいし、他のシャフト３７ａ，３７ｄ，３７ｅは、さらに斜めになっていてもよい。要は、細径シャフト４７とシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅで固定テーブル４６を水平にできればよい。また、この発明にかかる支持装置は、被処理物を水平状態で固定する必要のある処理装置であれば、どのような装置でも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による支持装置を備えた処理装置の中央部分を示す概略正面図である。
【図２】  図１の平面図である。
【図３】  処理装置の基台に支持シャフトを並設した状態を示す平面図である。
【図４】  図３におけるシャフト間に水平板を配設した状態を示す平面図である。
【図５】  （ａ）はＣＣＤカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図６】  ＸＹテーブルの平面図である。
【図７】  ＸＹテーブルがＸＹテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図８】  （ａ）は固定テーブルの平面図であり、（ｂ）はその一部を切り欠いた正面図である。
【図９】  細径シャフトと固定テーブルの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図１０】  ＸＹテーブルとベースの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図１１】  プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図１２】  プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１１…台部、３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄ…支柱、３４ａ，３４ｂ…基板、３５ａ，３５ｂ…支持板、３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅ…シャフト、４２…ＸＹテーブル駆動装置、４３…θ軸移動機構、４４…ＸＹテーブル、４５…ベース、４６…固定テーブル、４７…細径シャフト、４８ａ，４８ｂ…ガイドピン、４４ｃ…挿通穴、４９…球体、５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ…連結ピン、５１…基板、５３…プローブ。
【図１】
0004794065.tif 000002
【図２】
0004794065.tif 000003
【図３】
0004794065.tif 000004
【図４】
0004794065.tif 000005
【図５】
0004794065.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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