(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって認識処理と並行して行われるウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
その後前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第３制御手段と
を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御し、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
前記ウエハテーブル上から前記吸着ノズルによりダイの吸着取出しができなかった場合にはカウンタにより前記ダイの吸着取出しができなかった回数を計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定する判定手段と、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする第３制御手段と
を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項３】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御し、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
前記認識結果が基準範囲内にあるか否かを判定する第１判定手段と、
前記基準範囲内にないと判定された場合には判定された回数をカウンタにより計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定する第２判定手段と、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする第３制御手段と
を設けたことを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項４】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行し、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、
前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
その後前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出す
ことを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項５】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出し、
前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
前記ウエハテーブル上から前記吸着ノズルによりダイの吸着取出しができなかった場合にはカウンタにより前記ダイの吸着取出しができなかった回数を計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定し、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする
ことを特徴とするダイピックアップ方法。
【請求項６】
部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出し、
認識処理と並行して行われるウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
前記認識結果が基準範囲内にあるか否かを判定し、
前記基準範囲内にないと判定された場合には判定された回数をカウンタにより計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定し、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする
ことを特徴とするダイピックアップ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識するダイピックアップ装置及びダイピックアップ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のダイピックアップ装置は、例えば特開２００２−１１１２８９号公報などに開示されているように、ウエハテーブル上のダイを部品認識カメラで撮像し、ピックアップする前にダイの位置を認識処理装置で認識する技術が知られている。そして、この認識制御において、１サイクルシーケンスは、回転盤のインデックスがスタートして、ウエハテーブルの移動がスタートし、このウエハテーブルの移動が停止した後にダイの先行認識処理をし、前記回転盤のインデックスの停止確認をした後ピッアップをスタートするという一連のシーケンスであった。
【特許文献１】特開２００２−１１１２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、インデックス動作中にウエハテーブルを移動させると共に先行認識処理を行うため、スループットに大きく影響していた。
【０００４】
そこで本発明は、前回の先行認識処理結果を使用してウエハテーブルを動作させることで、このウエハテーブル移動のスタート前にチップ部品の画像取り込みを行い、スループットの向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このため第１の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって認識処理と並行して行われるウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
その後前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第３制御手段と
を設けたことを特徴とする。
【０００６】
第２の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御し、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
前記ウエハテーブル上から前記吸着ノズルによりダイの吸着取出しができなかった場合にはカウンタにより前記ダイの吸着取出しができなかった回数を計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定する判定手段と、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする第３制御手段と
を設けたことを特徴とする。
【０００７】
第３の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ装置において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させるように制御し、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すように制御する第１制御手段と、
第１制御手段によって前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動を、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行する第２制御手段と、
前記認識結果が基準範囲内にあるか否かを判定する第１判定手段と、
前記基準範囲内にないと判定された場合には判定された回数をカウンタにより計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定する第２判定手段と、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする第３制御手段と
を設けたことを特徴とする。
【０００８】
第４の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行し、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、
前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
その後前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出す
ことを特徴とする。
【０００９】
第５の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出し、
前記認識処理と並行して行われる前記ウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
前記ウエハテーブル上から前記吸着ノズルによりダイの吸着取出しができなかった場合にはカウンタにより前記ダイの吸着取出しができなかった回数を計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定し、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする
ことを特徴とする。
【００１０】
第６の発明は、部品認識カメラにより撮像されたピックアップされるべきダイの画像に基づき吸着ノズルによりピックアップする前にウエハテーブル上のダイの位置を認識処理装置で認識処理し、認識処理結果に基づいて前記ウエハテーブルを移動させ前記ダイをピックアップするサイクルタイムを繰り返すダイピックアップ方法において、
周縁部に所定間隔を存して複数の吸着ノズルを備えた回転盤の間欠回転中に前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記部品認識カメラで撮像して前記認識処理装置で認識処理を実行させると共に、前記認識処理と並行して前記ウエハテーブルを移動させ、前記回転盤の間欠回転停止及び前記ウエハテーブルの移動停止後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して取出し、
認識処理と並行して行われるウエハテーブルの移動は、この今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前回のサイクルタイムで取出されたダイについての認識処理結果に基づいてその補正量分前記ウエハテーブルを移動させることで実行され、
前記認識結果が基準範囲内にあるか否かを判定し、
前記基準範囲内にないと判定された場合には判定された回数をカウンタにより計数し、計数値が設定値に達したか否かを判定し、
設定値に達したと判定された場合には前記ウエハテーブル上の今回のサイクルタイムで取出すべきダイを移動してくる前記吸着ノズルの直下方位置に位置するよう前記ウエハテーブルを１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの前記ウエハテーブルの移動後に今回のサイクルタイムで取出すべきダイが撮像され認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させた後最初に取出すべきダイを前記吸着ノズルが吸着して前記吸着ノズルが吸着して取出すようにする
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、前回のサイクルタイムでの先行認識処理結果を使用してウエハテーブルを動作させると共に、このウエハテーブル移動のスタート前にチップ部品の画像取り込みを行い、チップ部品の認識処理を前記ウエハテーブルの移動と並行して行うことで、スループットの向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明のテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図１のテーピング装置の平面図、図２の同じく正面図、図３の右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。１はテーピング装置本体で、この本体１の側壁部に立設されたピン２にキャリアテープ供給リール３が回転可能に係止され、当該テープ供給リール３に巻装されたテープ本体（キャリアテープとも称される。）４Ａの先端が当該テープ本体４Ａに適度なテンションを与えるためのプーリ５、送りプーリ６、７及びテープ本体４Ａなどの搬送路を有する搬送レール８を介して巻取り収納リール９に固定されている。
【００１３】
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取り収納リール９の回転に合わせて順次テープ本体４Ａが所定量搬送されて（巻取り収納リール９に巻取られて）いく間で、テープ本体４Ａの収納溝（（図示せず）内にチップ部品Ａが挿入され、更に所定位置まで搬送されて収納溝上面の開口部をカバーテープ供給リール１０から供給されるカバーテープ４Ｃで被覆した後、前記巻取り収納リール９に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納溝が設けられたテープ本体４Ａと、その上面に圧着されるカバーテープ（トップテープ）４Ｃとで収納テープ４が形成されるが、前記テープ本体４Ａはボトムテープと間隔子とで形成される。
【００１４】
尚、前記送りプーリ６、７、搬送レール８及びカバーテープ供給リール１０などは、取付板１１に設けられている。そして、テーピング装置本体１に固定された固定板１２上にはＹ軸駆動モータ１３により駆動されてガイド１４に案内されてＹ方向に移動するＹテーブル１５が設けられ、このＹテーブル１５上にはＸ軸駆動モータ１６により駆動されてガイド１７に案内されてＸ方向に移動するＸテーブル１８が設けられ、このＸテーブル１８に前記取付板１１が固定されている。従って、Ｘ軸駆動モータ１６及びＹ軸駆動モータ１３の駆動によりＸテーブル１８及びＹテーブル１５が移動することにより、取付板１１を介して前記搬送レール８及びこの搬送レール８に沿って移動するテープ本体４ＡなどがＸＹ方向に移動できる。
【００１５】
また、テーピング装置本体１の上にはＹ軸駆動モータ２０によりＹ方向に移動可能なＹテーブル２１が設けられ、更に該Ｙテーブル２１の上にはＸ軸駆動モータ２２によりＸ方向に移動可能なＸ移動体２３を介してチップ部品供給テーブル２４が設けられる。該供給テーブル２４上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ（以下、「チップ部品Ａ」という）に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とした状態で固定されており、このチップ部品Ａは裏面より突き上げピン（図示せず）により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル２６で吸着されて取出されるものである。
【００１６】
前記テーピング装置本体１に固定された上取付板２５には、チップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを取出す吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されてインデキシングカムユニット３０により間欠回転する第１の回転盤２７と、前記収納溝にチップ部品Ａを装填する吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して周縁部に、例えば８本配設されてインデキシングカムユニット３１により間欠回転する第２の回転盤２９とが設けられる。
【００１７】
しかも、図４に示すように、前記第１及び第２の回転盤２７、２９を同期間欠回転させるための同期間欠回転装置が設けられる。即ち、駆動モータ１９の駆動によりカップリング３２及び駆動軸１９Ａを介してインデキシングカムユニット３１により第２の回転盤２９を間欠回転させると共に、前記駆動軸１９Ａの端部に設けられたプーリ３３Ａと他のプーリ３３Ｂとの間にタイミングベルト３３Ｃが張架されているので、前記駆動軸１９Ａの駆動がタイミングベルト３３Ｃを介して従動軸３４に伝動して、従動軸３４を介してインデキシングカムユニット３０により第１の回転盤２７を同期間欠回転させる。即ち、駆動モータ１９の駆動により割出し数が同数である第１及び第２の回転盤２７、２９を同期間欠回転させることができるから、回転がずれない。従って、２つの回転盤２７、２９の各ノズル２６、２８を確実に対応させることができるから、チップ部品Ａを確実に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度（分解能）を同一にすることができる。更に、駆動モータ１９を第１及び第２の回転盤２７、２９双方の間欠回転に兼用することができ、同期間欠回転装置の機構又は回転制御の簡素化を図ることもできる。
【００１８】
次に、部品取出機構３５について、図５に基づき詳述する。前記第１の回転盤２７の周縁部には吸着取出ノズル２６が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各反転装置３６により各吸着取出ノズル２６は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ３７の駆動によりカップリング３８を介して駆動軸３９が回転すると、駆動軸３９に固定された取付体４０も回転し、前記取出ノズル２６は上下反転される。また、前記取付体４０に設けられたガイド４１に沿ってガイド４２が上下動可能であるため、このガイド４２に固定されたノズル取付体４３に取付けられた取出ノズル２６は上下動可能となるが、前記取付体４０の上辺４０Ａとノズル取付体４３の下辺４３Ａとの間に張架されたスプリング４４により常時上方に付勢されているが、ストッパ４５が前記取付体４０の上辺４０Ａに係止されることにより上限は規制される。
【００１９】
また、前記吸着取出ノズル２６は、Ｚ軸駆動モータ４６の駆動によりガイド４７により上下動可能な作動体４８の作動部４８Ａがノズル取付体４３の頭部を押圧することにより下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル２４上のチップ部品Ａを取出すことができる。
【００２０】
次に、部品装填機構５０について、図６に基づき詳述する。前記第２の回転盤２９の周縁部には吸着装填ノズル２８が所定間隔を存して、例えば８本配設されており、各回転装置５１により吸着装填ノズル２８が軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ５２の駆動軸に設けられたプーリ５３と吸着装填ノズル２８の周囲に設けられたプーリ５４との間に伝達ベルト５５が張架され、吸着装填ノズル２８及び後述する中空円筒体６２はベアリング５６を介して前記第２の回転盤２９に回動可能に設けられる。また、前記吸着装填ノズル２８は、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動によりガイド５８により上下動可能な作動体５９の作動部５９Ａがノズル取付体６０の突部６０Ａに押圧することによりガイド６１に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Ａを搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納溝内に装填することができる。即ち、吸着装填ノズル２８はその周囲に中空円筒体６２内で上下に移動可能であり、且つ中空円筒体６２と共にθ回転可能である。
【００２１】
ここで、図１０に基づき、本テーピング装置の制御ブロック図について説明すると、９１はテーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する制御手段や判定手段としてのマイクロコンピュータのＣＰＵ、９２はチップ部品Ａの種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル２６毎の高さレベルデータ等を格納するＲＡＭ（ランダム・アクセス・メモリ）及び９３はＲＯＭ（リ−ド・オンリー・メモリ）である。そして、ＣＰＵ９１は前記ＲＡＭ９２に記憶されたデータに基づき、前記ＲＯＭ９３に格納されたプログラムに従い、テーピング装置のチップ部品Ａの装填に係る動作を統括制御する。即ち、ＣＰＵ９１は、駆動回路９４及びインターフェース９５を介して各駆動モータの駆動を制御している。
【００２２】
また、９６はインターフェース９５を介して前記ＣＰＵ９１に接続される認識処理装置で、各認識カメラにより撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置９６にて行われ、ＣＰＵ９１に処理結果が送出される。即ち、ＣＰＵ９１は、各認識カメラに撮像された画像を認識処理（位置ずれ量の算出など）するように指示を認識処理装置９６に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置９６から受取るものである。
【００２３】
次に、図７及び図８において、第１の回転盤２７の１２時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル２４から吸着取出ノズル２６がチップ部品Ａを吸着して取出す吸着取出ステーションであり、第１の回転盤２７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３が撮像して当該次に取出すべきチップ部品Ａの位置を前記認識処理装置９６で認識処理する。
【００２４】
そして、駆動モータ１９の駆動によりインデキシングカムユニット３１により第２の回転盤２９が時計方向に間欠回転すると共にインデキシングカムユニット３０により第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させるが、最初に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置３６により吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションで、その次はこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ６５により撮像して認識処理装置９６で認識処理する認識ステーションである。
【００２５】
次は、反転装置３６により反転されて印字面を上面とし端子を有する面を下面としたチップ部品Ａ上に印字装置６６により印字する印字ステーションで、以下印字装置６６について図９に基づき説明する。取付板６７に固定されたＸ軸駆動モータ６８によりガイド６９を介してＸ方向に移動可能なＸテーブル７０が設けられ、更に該Ｘテーブル７０の上にはＹ軸駆動モータ７１によりガイド７２を介してＹ方向に移動可能なＹテーブル７３が設けられている。そして、Ｚ軸駆動モータ７４によりＹテーブル７３下面の固定板７５に設けられたガイド７６を介してＺ方向に移動するＺ移動体７７にインクジェット方式の印字ユニット７８が設けられる。
【００２６】
即ち、印字ユニット７８はＸＹ方向及びＺ方向に移動可能であり、前記認識ステーションでの認識処理装置９６によるチップ部品Ａの位置認識結果に基づき、ＣＰＵ９１がＸ軸駆動モータ６８及びＹ軸駆動モータ７１を制御して、前記認識ステーションからの前記第１の回転盤２７の旋回移動中にＸＹ方向の補正をした状態で、次の印字ステーションでＺ軸駆動モータ７４により下降した印字ユニット７８によりチップ部品Ａにシリアル番号等が印字される。従って、位置補正された状態のチップ部品Ａ上に印字するものであるから印字精度の向上が図れると共に、ＲＡＭ９２に格納されたチップ部品の種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル２６毎の高さレベルデータを使用してそのデータに応じてＺ軸駆動モータ７４による印字ユニットの移動ストロークをＣＰＵ９１により制御すれば印字の際の吸着されたチップ部品と印字ユニット７８との間隔が一定間隔に調整され、印字精度の向上を図ることができる。尚、このストロークの制御は、前記厚さデータ又は高さレベルデータの基づき、或いは両データに基づき行うようにしてもよい。
【００２７】
このように、チップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを吸着取出ノズル２６が吸着して取出した後、反転装置３６により上下反転させ、チップ面を上に向けた状態で印字ユニット７８により印字を行うものであるから、シート張替えの工数等の低減を図ることができる。
【００２８】
次のキュアステーション７９は、前記印字ユニット７８により印字されたインクを温風装置（図示せず）による温風により乾燥させるステーションである。
【００２９】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置３６により上下反転された吸着取出ノズル２６のチップ部品Ａを第２の回転盤２９の吸着装填ノズル２８に受け渡す。言い換えると、第２の回転盤２９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤２９が回転して装着ステーション及びリカバリ装填ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目と７番目）において吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように両回転盤２７、２９が配設される。
【００３０】
即ち、２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように第２の回転盤２９を配設すると、両回転盤２７、２９は８分割間欠回転するので、前記装着ステーションにおける第２の回転盤２９の中心と吸着装填ノズル２８と結んだラインとテープ４の走行ラインとで作る角度は６７．５となり、第１の回転盤２７の受渡しステーションと第２の回転盤２９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤２７、２９が配設されることとなる。
【００３１】
この第２の回転盤２９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置８１によりチップ部品の特性を検査する第１検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がＲＡＭ９２に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査される。ここで、所定範囲内になければ、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、後述する専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００３２】
この第１検査ステーションの次のステーションが、特性検査装置８２によりチップ部品の特性を検査する第２検査ステーションで、例えばチップ部品に電流が流れるかの導通検査をするステーションである。ここで、特性検査装置８２により電流が流れないものと検査されると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３３】
次の認識ステーションには装填部品認識カメラ８３が配設され、吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ８３で撮像して認識処理装置９６により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００３４】
次の装填ステーションには、搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納溝の位置認識のための装填位置認識カメラ８４が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中に装填されるべき前記収納溝を撮像し、認識処理装置９６で位置認識する。
【００３５】
従って、装填部品認識カメラ８３によりチップ部品Ａを、また装填位置認識カメラ８４により収納溝を撮像した後に、認識処理装置９６により前記吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａの位置の認識処理及び当該収納溝の位置の認識処理をし、その結果に基づいて、ＣＰＵ９１がＸＹ方向については前記Ｙ軸駆動モータ１３及びＸ軸駆動モータ１６を補正制御し、またθ方向、即ち平面方向における角度についてはθ軸駆動モータ５２を補正制御する。このため、収納溝内の適正位置に、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により下降する吸着装填ノズル２８によりチップ部品Ａを装填することができることとなる。従って、テープ本体４Ａ側でＸＹ方向の補正動作を行い、吸着装填ノズル２８側でθ補正動作を行うから、全てを吸着装填ノズル２８側で行う構造に比べて、可動部が軽量化でき、高速化及び多機能化に対応できる。
【００３６】
更に、次のリカバリ装填ステーションには印字検査カメラ８５が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝内のチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置９６で認識処理してテープ４に装填されたチップ部品Ａの印字の有無及び印字の向きを検査する。
【００３７】
そして、認識処理装置９６による認識結果によりＣＰＵ９１が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル２８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納溝よりチップ部品Ａを取出すと共にこのとき前記装填ステーションで装填しようとしていた吸着装填ノズル２８は装填せずに待機するように制御される。そして、この状態でＣＰＵ９１はテープ本体４Ａを移動させずに、第２の回転盤２９を間欠回転させて、前述の如く取出されて空となった収納溝に次の吸着装填ノズル２８が保持していたチップ部品Ａを装填するように制御し、その次のステーションで不良チップ部品は図示しないＸＹ移動可能な専用トレイ内に収納される。
【００３８】
そして、部品装填機構５０によるテープ本体４Ａの収納溝内へチップ部品Ａが挿入された後、そしてテープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとが圧着され、巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００３９】
以上の構成により、特に図１１乃至図１４に基づき以下動作について説明する。先ず、Ａ方式を示す図１１において、間欠回転をスタートさせるべく、駆動モータ１９を駆動させ、インデキシングカムユニット３１により第２の回転盤２９を時計方向に間欠回転させると共にインデキシングカムユニット３０により第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させる。
【００４０】
この第１の回転盤２７の旋回移動中に、チップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａの吸着取出しのために最初に取出すべきチップ部品（今回のサイクルタイムで取出すべきダイ）Ａの先行認識結果を使用すべく、当該最初に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３で撮像し、その撮像が終了したならば、図１２の時刻Ｔ１にて当該最初に取出すべきチップ部品Ａの位置を認識処理装置９６で先行認識処理を開始すると共に、ＣＰＵ９１が最初に取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル２６の直下方位置に位置するよう前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させてチップ部品供給テーブル２４の移動を開始させる。
【００４１】
この場合、この最初に取出すべきチップ部品Ａを移動してくる吸着取出ノズル２６の直下方位置に位置するよう、ＣＰＵ９１が前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させてチップ部品供給テーブル２４を１ピッチ分移動させると共に前回のときにこの最初に取出すべきチップ部品Ａの前のチップ部品Ａについての先行認識処理結果に基づいてその補正量分移動させた後、第１回転盤２７及び第２回転盤２９の間欠回転が停止したならば、この吸着取出ステーションにおいてチップ部品供給テーブル２４上の最初に取出すべきチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ４６の駆動により前記吸着取出ノズル２６が下降して吸着して取出す。即ち、吸着取出しすべきチップ部品Ａの認識処理と同時にチップ部品供給テーブル２４の移動を開始して、吸着取出しすべきチップ部品Ａの取出しのためにその前のチップ部品Ａの先行認識処理結果を使用することにより、吸着取出しのためのサイクルタイムを短縮することができる。なお、今回のサイクルタイム中で、最初に取出すべきチップ部品Ａの先行認識処理した結果は、次に取出すべきチップ部品Ａの補正に使用されることとなる。
【００４２】
次に、駆動モータ１９の駆動によりインデキシングカムユニット３１により第２の回転盤２９が時計方向に間欠回転すると共にインデキシングカムユニット３０により第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させる。この第１の回転盤２７の反時計方向に１間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置３６により吸着取出ノズル２６に保持されたチップ部品Ａを上下反転させる反転ステーションであり、その次はこの反転されたチップ部品Ａの位置を部品認識カメラ６５により撮像して認識処理装置９６で認識処理する認識ステーションである。
【００４３】
次は、反転装置３６により反転されて印字面を上面とし端子を有する面を下面としたチップ部品Ａ上に印字装置６６により印字する印字ステーションで、以下印字装置６６について図９に基づき説明する。取付板６７に固定されたＸ軸駆動モータ６８によりガイド６９を介してＸ方向に移動可能なＸテーブル７０が設けられ、更に該Ｘテーブル７０の上にはＹ軸駆動モータ７１によりガイド７２を介してＹ方向に移動可能なＹテーブル７３が設けられている。そして、Ｚ軸駆動モータ７４によりＹテーブル７３下面の固定板７５に設けられたガイド７６を介してＺ方向に移動するＺ移動体７７にインクジェット方式の印字ユニット７８が設けられる。
【００４４】
即ち、印字ユニット７８はＸＹ方向及びＺ方向に移動可能であり、前記認識ステーションでの認識処理装置９６によるチップ部品Ａの位置認識結果に基づき、ＣＰＵ９１がＸ軸駆動モータ６８及びＹ軸駆動モータ７１を制御して、前記認識ステーションからの前記第１の回転盤２７の旋回移動中にＸＹ方向の補正をした状態で、次の印字ステーションでＺ軸駆動モータ７４により下降した印字ユニット７８によりチップ部品Ａにシリアル番号等が印字される。従って、位置補正された状態のチップ部品Ａ上に印字するものであるから印字精度の向上が図れると共に、ＲＡＭ９２に格納されたチップ部品の種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル２６毎の高さレベルデータを使用してそのデータに応じてＺ軸駆動モータ７４による印字ユニットの移動ストロークをＣＰＵ９１により制御すれば印字の際の吸着されたチップ部品と印字ユニット７８との間隔が一定間隔に調整され、印字精度の向上を図ることができる。尚、このストロークの制御は、前記厚さデータ又は高さレベルデータの基づき、或いは両データに基づき行うようにしてもよい。
【００４５】
このように、チップ部品供給テーブル２４からチップ部品Ａを吸着取出ノズル２６が吸着して取出した後、反転装置３６により上下反転させ、チップ面を上に向けた状態で印字ユニット７８により印字を行うものであるから、シート張替えの工数等の低減を図ることができる。
【００４６】
次のキュアステーション７９は、前記印字ユニット７８により印字されたインクを温風装置（図示せず）による温風により乾燥させるステーションである。
【００４７】
前記吸着取出ステーションを１番目として反時計方向に回転した６番目が受渡しステーションであり、前記反転装置３６により上下反転された吸着取出ノズル２６のチップ部品Ａを第２の回転盤２９の吸着装填ノズル２８に受け渡す。言い換えると、第２の回転盤２９の受継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第２の回転盤２９が回転して装着ステーション及びリカバリ装填ステーション（受継ぎステーションを１番目として６番目と７番目）において吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように両回転盤２７、２９が配設される。
【００４８】
即ち、２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ４のテープ本体４Ａ上方に位置するように第２の回転盤２９を配設すると、両回転盤２７、２９は８分割間欠回転するので、前記装着ステーションにおける第２の回転盤２９の中心と吸着装填ノズル２８と結んだラインとテープ４の走行ラインとで作る角度は６７．５となり、第１の回転盤２７の受渡しステーションと第２の回転盤２９の受継ぎステーションとは２２．５度ずれて受継ぐように両回転盤２７、２９が配設されることとなる。
【００４９】
この第２の回転盤２９の受継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置８１によりチップ部品の特性を検査する第１検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がＲＡＭ９２に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、後述する専用トレイ（図示せず）内に収納するように制御する。
【００５０】
この第１検査ステーションの次のステーションが、特性検査装置８２によりチップ部品の特性を検査する第２検査ステーションで、例えばチップ部品に電流が流れるかの導通検査をするステーションである。ここで、特性検査装置８２により電流が流れないものと検査されると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００５１】
次の認識ステーションには装填部品認識カメラ８３が配設され、吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａをこの装填部品認識カメラ８３で撮像して認識処理装置９６により当該チップ部品Ａのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査（バンプが所定数あるか等）がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、ＣＰＵ９１はテープ本体４Ａに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように制御する。
【００５２】
次の装填ステーションには、搬送レール８上のテープ本体４Ａの収納溝の位置認識のための装填位置認識カメラ８４が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中に装填されるべき前記収納溝を撮像し、認識処理装置９６で位置認識する。
【００５３】
従って、装填部品認識カメラ８３によりチップ部品Ａを、また装填位置認識カメラ８４により収納溝を撮像した後に、認識処理装置９６により前記吸着装填ノズル２８に吸着保持されたチップ部品Ａの位置の認識処理及び当該収納溝の位置の認識処理をし、その結果に基づいて、ＣＰＵ９１がＸＹ方向については前記Ｙ軸駆動モータ１３及びＸ軸駆動モータ１６を補正制御し、またθ方向、即ち平面方向における角度についてはθ軸駆動モータ５２を補正制御する。このため、収納溝内の適正位置に、Ｚ軸駆動モータ５７の駆動により下降する吸着装填ノズル２８によりチップ部品Ａを装填することができることとなる。従って、テープ本体４Ａ側でＸＹ方向の補正動作を行い、吸着装填ノズル２８側でθ補正動作を行うから、全てを吸着装填ノズル２８側で行う構造に比べて、可動部が軽量化でき、高速化及び多機能化に対応できる。
【００５４】
更に、次のリカバリ装填ステーションには印字検査カメラ８５が設けられ、第２の回転盤２９の旋回移動中にこのステーションに位置する収納溝内のチップ部品Ａを撮像し、認識処理装置９６で認識処理してテープ４に装填されたチップ部品Ａの印字の有無及び印字の向きを検査する。
【００５５】
そして、認識処理装置９６による認識結果によりＣＰＵ９１が不良と判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル２８がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納溝よりチップ部品Ａを取出すと共にこのとき前記装填ステーションで装填しようとしていた吸着装填ノズル２８は装填せずに待機するように制御される。そして、この状態でＣＰＵ９１はテープ本体４Ａを移動させずに、第２の回転盤２９を間欠回転させて、前述の如く取出されて空となった収納溝に次の吸着装填ノズル２８が保持していたチップ部品Ａを装填するように制御し、その次のステーションで不良チップ部品は図示しないＸＹ移動可能な専用トレイ内に収納される。
【００５６】
以上のように、この第２の回転盤２９が間欠回転して停止したときに２本の吸着装填ノズル２８が前記テープ本体４Ａ上方に位置することができるから、一方を装填ステーションとして、他方をリカバリ装填ステーションとすることができ、作業者の手を煩わすことなく、自動的に且つテープ本体４Ａの収納溝を装填位置に戻すことなくリカバリ装填することができる。
【００５７】
そして、部品装填機構５０によるテープ本体４Ａの収納溝内へチップ部品Ａが挿入された後、そしてテープ圧着機構８６によりテープ本体４Ａとカバーテープ４Ｃとが圧着され、巻取り収納リール９に巻き取られることとなる。
【００５８】
以上のように、一連のチップ部品Ａの取出し及び装填動作が順次行われることとなるが、図１３の判定フローチャートに示すように、チップ部品供給テーブル２４上から吸着取出ノズル２６によりチップ部品Ａの吸着取出しができなかった場合には、ＣＰＵ９１は図示しない第１カウンタを１インクリメントとし、そのカウント値が設定値であるＮ１に達したか否かが判定される。
【００５９】
そして、設定値Ｎ１に達した場合には、ＣＰＵ９１は後述するようなＢ方式に切替えて制御することとなる。また、吸着取出しができたり、吸着取出しができなかったが設定値Ｎ１に達しない場合には、先行認識結果にバラツキがあるか否かがＣＰＵ９１により判定される。先行認識によりチップ部品Ａの位置がＲＡＭ９２に格納された基準範囲データ内にあればそのままＡ方式が維持され、基準範囲外、即ちバラツキがあれば第２カウンタ（図示せず）を１インクリメントとし、そのカウント値が設定値であるＮ２に達したか否かが判定され、達してなければそのままＡ方式が維持され、達した場合にはＣＰＵ９１はＢ方式に切替えて制御することとなる。
【００６０】
次に、前述したＢ方式について、図１２及び図１４に基づき説明する。先ず間欠回転をスタートさせるべく、駆動モータ１９を駆動させ、インデキシングカムユニット３１により第２の回転盤２９を時計方向に間欠回転させると共にインデキシングカムユニット３０により第１の回転盤２７を反時計方向に同期間欠回転させ、また部品供給テーブル２４を前記Ｙ軸駆動モータ２０及びＸ軸駆動モータ２２を駆動させて１ピッチ分移動させると共に及び前回のサイクルタイムのときにこの最初に取出すべきチップ部品Ａについて認識処理された結果に基づいてその補正量分移動させて停止させる。
【００６１】
そして、この部品供給テーブル２４が停止した後、図１２の時刻Ｔ２にて前記第１の回転盤２７の旋回移動中にチップ部品供給テーブル２４上の次に取出すべきチップ部品Ａの先行認識を開始する。即ち、次に取出すべきチップ部品Ａを部品認識カメラ６３で撮像し、その撮像が終了したならば、このチップ部品Ａの位置を認識処理装置９６で先行認識処理を実行し、第１回転盤２７及び第２回転盤２９の間欠回転が停止したならば、この吸着取出ステーションにおいてチップ部品供給テーブル２４上の最初に取出すべきチップ部品ＡをＺ軸駆動モータ４６の駆動により前記吸着取出ノズル２６が下降して吸着して取出す。
【００６２】
即ち、前回のサイクルタイムのときの最初に取出すべきチップ部品Ａについて認識処理された結果に基づいて、その補正量分も含めてチップ部品供給テーブル２４を移動させて、当該最初に取出すべきチップ部品Ａを吸着して取出すが、このサイクル中での先行認識処理は次に取出すべきチップ部品Ａについてのものである。
【００６３】
そして、この吸着して取出した後の動作は、Ａ方式と同様であるのでここでの説明は省略する。
【００６４】
以上のように、本実施形態によれば、Ｂ方式によれば、前回のサイクルタイムのときの最初に取出すべきチップ部品Ａの認識処理結果に基づいて、その補正量分も含めてチップ部品供給テーブル２４を移動させて当該最初に取出すべきチップ部品Ａを吸着して取出し、この吸着取出しサイクル中で次に取出すべきチップ部品Ａの先行認識処理を実行し、次に取出すべきチップ部品Ａの認識処理結果を次に取出すべきチップ部品Ａの吸着取出し動作に使用するものである点で、取出すための位置決めが正確に行えるが、サイクルタイムが長くなる。
【００６５】
しかし、Ａ方式にあっては、第１の回転盤２７の旋回移動中に、最初に吸着して取出すべきチップ部品Ａの撮像及び先行認識処理をし、また部品供給テーブル２４を１ピッチ分移動させると共に前回のサイクルタイムのときの最初に取出すべきチップ部品Ａの前のチップ部品Ａの認識処理結果に基づいてその補正量分移動させて停止させた後、最初に吸着して取出すべきチップ部品Ａを吸着して取出すものであり、部品供給テーブル２４の移動中に先行認識処理を行うものであるから、Ｂ方式に比してサイクルタイムが短縮され生産効率が向上する。
【００６６】
このＡ方式は、前回のチップ部品Ａの認識結果に基づいて今回のチップ部品Ａの取出しのために部品供給テーブル２４を移動させるが、吸着取出しに影響を与えない程度なので問題は無い。そして、認識結果にバラツキが発生した場合や吸着取出し率が低下した場合には、Ｂ方式に切替え制御するものであるから、この点からも問題が無い。
【００６７】
従って、通常はＡ方式で処理をし、認識結果にバラツキが発生した場合や吸着取出し率が低下した場合には、Ｂ方式に切替え制御するものであるから、スループットの向上が図れると共に確実に吸着取出しができるものである。
【００６８】
また、第１カウンタのカウント値と第２カウンタのカウント値とを加算し、加算値が設定値であるＮ３に達したか否かを判定し、各カウンタのカウント値がＮ１、Ｎ２に達する前に、前記加算値がＮ３に達した場合にはＣＰＵ９１によってＡ方式からＢ方式に切替えて制御してもよく、このように制御することによってＡ方式からＢ方式への切替えを早め、チップ部品の吸着取出しを安定させることが可能となる。即ち、Ｎ１が例えば４、Ｎ２が例えば８の場合には、Ｎ３はＮ１より僅かに大きい例えば５に設定される。また、Ｎ１、Ｎ２が設定されていなく、加算値がＮ３（この場合は、少なくともＮ２が設定されている場合の上記「８」より小さい数に設定することが好ましい。）に達した場合には、Ａ方式からＢ方式に切替え制御してもよい。
【００６９】
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】テーピング装置の平面図である。
【図２】テーピング装置の正面図である。
【図３】テーピング装置の右側面図である。
【図４】第１及び第２の回転盤の同期回転を説明するための平面図である。
【図５】部品取出し機構を説明するための図である。
【図６】部品装填機構を説明するための図である。
【図７】第１及び第２の回転盤の停止状態の平面図である。
【図８】第１及び第２の回転盤の旋回移動中の平面図である。
【図９】印字機構の側面図である。
【図１０】制御ブロック図である。
【図１１】Ａ方式の先行認識フローチャートを示す図である。
【図１２】Ａ方式及びＢ方式の先行認識タイミング表を示す図である。
【図１３】Ａ方式かＢ方式かの判定フローチャートを示す図である。
【図１４】Ｂ方式のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１              テーピング装置本体
２４            部品供給テーブル（ウエハテーブル）
２６            吸着取出ノズル
２７            第１の回転盤
６３            部品認識カメラ
９１            ＣＰＵ
９２            ＲＡＭ
９６            認識処理装置
【図１】
0004628661.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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