(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬入された感光性の基板上に露光用の原版を密着させて該基板を露光する露光装置において、
搬入された基板が載置される載置台と、
前記原版を前記載置台の上方に保持し、該原版を水平方向に移動させて該原版を前記載置台上の基板に対して位置決めするとともに、該原版を上下方向に移動させて該原版を前記載置台上の基板に対し密着および離間させる原版移動部と、
前記載置台に載置された基板の位置、および該基板に密着した状態の原版の位置を測定するセンサと、
前記原版移動部を制御することにより、前記載置台に載置された基板上に前記原版を密着させ、該原版の該基板に対する位置ずれが第１の閾値を超えていたときに該原版を該基板から一旦離間させ位置調整の上再度密着させる原版移動制御部と、
前記載置台に載置された基板に前記原版を一回目に密着させたときの該基板の位置と該原版を該基板から一旦離間させて該基板に該原版を再度密着させたときの該基板の位置との差分が第２の閾値を超えたときに警告を出力する警告部と、
前記基板に前記原版を密着させた状態で該基板に光を照射し該基板を該原版の透過光で露光する露光部とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記基板は、該基板表面に位置検出用のマークが付されたものであり、前記原版は、前記基板上のマークを上方から覗く位置に光透過窓が形成されたものであって、
前記センサは、上方から、前記光透過窓の輪郭および前記マークを認識し、該輪郭の位置および該マークの位置により、それぞれ前記原版の位置および前記基板の位置を測定するものであることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬入された感光性の基板上に露光用の原版を密着させて該基板を露光する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータをはじめとする電子機器に関する技術が急速に進んでおり、小型で高性能な多種多様の電子機器が市場に出回るようになってきている。多くの電子機器には、集積回路、コンデンサ、ダイオード等といった、電子回路を構成する様々な電気素子が搭載されたプリント基板が内蔵されており、プリント基板上で構成される電子回路の働きが、電子機器の性能を左右する１つの要素となる。
【０００３】
プリント基板は、樹脂材などの絶縁性の基板の上に、電気伝導材が塗られてなるパターンがプリントされたものが多く、このパターンが、プリント基板上の電子回路における素子の配置や電流の流路を決定する。電子回路を構成する素子の分野では、年々、素子の高性能化・小型化が進展しており、この進展に対応して、狭い範囲に複雑な形状のパターンがプリントされたプリント基板が数多く現れるようになり、プリント基板上に高度に精密な電子回路が構成されるようになってきている。
【０００４】
プリント基板におけるパターンの作成にあたっては、まず、所望のパターン形状を持つ光透過性領域を有するフィルム原版を、感光材料が塗布された基板の上に密着させて、光をフィルム原版側から照射してフィルム原版の透過光で基板を露光することで所望の露光パターンを基板上に形成する処理が行われる。そして、その露光パターンが電気伝導材のパターンとなるように露光パターンを現像する処理が行われる。これらの処理のうち、特に露光パターンを形成する処理においては、精密な電子回路を構成するため、フィルム原版の光透過性領域が基板上の所定のパターン位置にうまく重なるように、高い精度でフィルム原版と基板とを位置合わせすることが要求され、最近では、基板上に露光パターンの形成を行う露光装置が数多く現れるようになってきている。また、密着時のフィルム原版と基板との間の相対的な位置ずれを精度よく検出する機構を備えた露光装置（例えば、特許文献１参照）や、フィルム原版や基板の歪みや曲がりに伴う相対的な位置ずれの発生を抑えるために、フィルム原版と基板とが収容される気密室を密着前に一旦加圧する過程を踏む露光装置（例えば、特許文献２参照）のように、露光パターン形成の際の精度向上が図られた露光装置も提案されている。
【特許文献１】特開２００６−３５０１９２号公報
【特許文献２】特開２０００−２５０２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１や特許文献２記載の露光装置のように、露光パターン形成の際の精度向上が図られている露光装置の多くは、密着時のフィルム原版と基板との間の相対的な位置ずれを補正する機構を備えており、相対的な位置ずれが検出されると、フィルム原版を基板から一旦離間させ、検出された位置ずれが補正されるようにフィルム原版と基板との相対的な位置関係を調整した上で再度フィルム原版と基板との密着が行われる。しかしながら、フィルム原版を基板から離間させる際にはずみで基板が少し移動してしまい、この結果、基板の移動前の位置ずれに基づいて補正を行っても、基板が移動したことで新たに生じた位置ずれのために、フィルム原版と基板とを精度よく位置合わせすることができないことがある。こうした基板の移動は、周囲の環境に起因してフィルム原版と基板とが貼り付きやすくなったときに発生し、ある１つの基板についての露光パターン形成作業時に基板の移動が起きる状況では、その後に続く他の基板についての露光パターン形成作業時にも基板の移動が起きることが多い。フィルム原版と精度よく位置合わせすることができない基板は不良基板として搬出されることとなるが、不良基板が発生した原因が基板の移動によるものであることに気がつかないユーザも多く、原因を特定して適切な対応策を講じるまでに時間がかかってしまい露光パターン形成作業の生産性が低下してしまうことがある。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、露光パターン形成作業の生産性の低下を抑えた露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための本発明の露光装置は、
搬入された感光性の基板上に露光用の原版を密着させて該基板を露光する露光装置において、
搬入された基板が載置される載置台と、
前記原版を前記載置台の上方に保持し、該原版を水平方向に移動させて該原版を前記載置台上の基板に対して位置決めするとともに、該原版を上下方向に移動させて該原版を前記載置台上の基板に対し密着および離間させる原版移動部と、
前記載置台に載置された基板の位置、および該基板に密着した状態の原版の位置を測定するセンサと、
上記原版移動部を制御することにより、前記載置台に載置された基板上に前記原版を密着させ、該原版の該基板に対する位置ずれが第１の閾値を超えていたときに該原版を該基板から一旦離間させ位置調整の上再度密着させる原版移動制御部と、
前記載置台に載置された基板に前記原版を一回目に密着させたときの該基板の位置と該原版を該基板から一旦離間させて該基板に該原版を再度密着させたときの該基板の位置との差分が第２の閾値を超えたときに警告を出力する警告部と、
前記基板に前記原版を密着させた状態で該基板に光を照射し該基板を該原版の透過光で露光する露光部とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の露光装置は、基板に原版を一回目に密着させたときの該基板の位置と、原版を基板から一旦離間させて後に再度密着させたときの基板の位置との差分が、第２の閾値を超えると警告を出力するため、原版を基板から離間させる際にはずみで基板が移動する事態が生じても、ユーザは、こうした事態の発生をすぐに認識することができる。
【０００９】
基板の移動は、周囲の環境に起因して原版と基板とが貼り付きやすくなったときに発生し、特に、原版や基板に静電気や水蒸気が付着しやすい環境下で起こりやすい。そこで、基板の移動が生じていることが早めに把握されることで、ユーザは、原版や基板周辺の拭き取りや除電の実行、露光装置の設置環境の湿度低減といった、原版と基板との貼り付きを防止する措置を早めに講じることができ、この結果、その後の露光パターン形成作業において、生産性が低下することが抑えられることとなる。
【００１０】
また、本発明の露光装置において、「前記基板は、該基板表面に位置検出用のマークが付されたものであり、前記原版は、前記基板上のマークを上方から覗く位置に光透過窓が形成されたものであって、前記センサは、上方から、前記光透過窓の輪郭および前記マークを認識し、該輪郭の位置および該マークの位置により、それぞれ前記原版の位置および前記基板の位置を測定するものである」という形態は好ましい形態である。
【００１１】
このような形態によれば、センサが、原版の光透過窓を通して基板表面のマークを認識することで、原版と基板との相対的な位置関係が簡単に把握されることとなる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、露光パターン形成作業の生産性の低下が抑えられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態に相当する露光装置を側方から見た図である。
【００１５】
図１の露光装置１０００は、図の左側の矢印Ａの方向から送り込まれた感光性の基板２０Ｂの上に露光パターンの形成を行い、露光パターンが形成された基板２０Ｂを図の右側の矢印Ｃの方向に送り出す露光装置である。この露光装置１０００の内部は、図に示すように大きく分けて３つの部屋に分かれている。
【００１６】
露光装置１０００内部の左側の部屋には、矢印Ａの方向から差し込まれた基板２０Ｂを、複数のローラを用いて露光装置１０００内部に搬入して右方向に搬送して中央の部屋に送り込む搬入装置２００が設けられている。
【００１７】
露光装置１０００内部の中央の部屋には、搬入装置２００によって搬送されてきた基板２０Ｂに対して、露光パターンを形成するための露光パターン形成装置が備えられている。この露光パターン形成装置は、所望のパターンの形状の光透過性領域を有するフィルム原版１０Ｆを有しフィルム原版１０Ｆ上に形成されている紫外光透過領域が基板２０Ｂ上の所定のパターン位置に一致するようにフィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとを密着させる整合処理を行う整合装置１００と、整合処理後の基板２０Ｂに紫外光を照射して基板２０Ｂをフィルム原版１０Ｆの透過光で露光して露光パターンを基板２０Ｂ上に形成する露光部１５０とで構成されている。整合装置１００では、フィルム原版１０Ｆは、この図では不図示の原版支持板移動部により図の垂直方向（中央の部屋の両矢印Ｂ方向）、およびこの方向に垂直な面に沿った水平方向（中央の部屋の両矢印Ｅで示す方向、および図面に直交する方向）に移動可能な、透光性の高いアクリル製の原版支持板１０に透明テープで貼り付けられている。なお、以下ではアクリル製の原版支持板１０が用いられるものとして話を進めるが、アクリル製の原版支持板１０に替えて、透明なガラス製の原版支持板が用いられてもよい。この整合装置１００では、搬入装置２００によって搬送されてきた基板２０Ｂは、載置台２０の上に載置される。上記の整合処理は、原版支持板１０が図の下方向に移動してフィルム支持板１０上のフィルム原版１０Ｆを載置台２０上の基板２０Ｂに押し付けることにより実行される。後述するように、整合装置１００において適切な整合処理が施されない基板２０Ｂが現れることがあり、こうした基板２０Ｂは、不良基板として露光部１５０による露光の対象からはずされる。
【００１８】
露光装置１０００内部の右側の部屋には、基板２０Ｂを、複数のローラを用いて中央の部屋から右側の部屋に引き入れ、右方向に搬送して第１搬出口３０１から露光装置１０００外部に送り出す搬出装置３００が備えられている。この搬出装置３００は、右側の部屋内の両矢印Ｄ方向に移動可能であり、露光部１５０による露光の対象からはずされた基板２０Ｂは、搬出装置３００に図の上方向に運ばれた後、第２搬出口３０２から露光装置１０００外部の不良基板回収トレイ（不図示）に向けて送り出される。
【００１９】
また、露光装置１０００の上部には、ユーザが、露光装置１０００の運転操作を行うための操作盤１１０が備えられており、操作の際の操作項目は操作盤１１０に設けられた表示部１１０ａ上に表示される。後述するように、整合処理のおいて異常が生じていることを知らせる警告メッセージも、この表示部１１０ａ上に表示される。
【００２０】
次に、整合装置１００について説明する。
【００２１】
図２は、整合装置１００の構成を表した模式図である。
【００２２】
整合装置１００には、上述した、フィルム原版１０Ｆ、原版支持板１０、載置台２０に加え、整合処理の際に、フィルム原版１０Ｆおよび基板２０Ｂの位置を測定するＣＣＤカメラ４０、原版支持板１０を保持した状態で図の垂直方向および水平方向に移動する支持板移動部２３、載置台２０上に基板２０Ｂを吸着する吸着部２２、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとの密着性を高めるため、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂの周囲に形成される気密室の減圧を行う減圧部２４、これら各部の制御を行う制御部５０が備えられている。
【００２３】
また、載置台２０の中央付近には、吸着部２２に通じる複数の吸着管２２ａが設けられており、吸着部２２が空気を吸引することにより、基板２０Ｂは、載置台２０上に空いた、これらの吸着管２２ａの入り口に吸着される。図では、載置台２０の断面の中に図の垂直方向に延びた５本の吸着管が示されており、載置台２０に上に載置された基板２０Ｂが、載置台２０上に空いた、それぞれの吸着管２２ａの入り口に吸着されている様子が示されている。さらに、載置台２０には、これらの吸着管２２ａの両側に、減圧部２４に通じる減圧管２４ａも設けられており、この減圧管２４ａは、減圧部２４による減圧の際に空気の通り道となる。図では、載置台２０の断面の中に減圧部２４に通じる２本の減圧管２４ａが示されている。
【００２４】
この図では、原版支持板１０に貼り付けられたフィルム原版１０Ｆが載置台２０上の基板２０Ｂに密着している様子が示されており、この状態は、原版支持板移動部２３が原版支持板１０とともに図の下方向に移動することにより実現する。原版支持板１０の周囲にはパッキン２６が備えられており、図では、原版支持板１０の両端部においてパッキン２６の一部が図示されている。図に示すように基板２０Ｂにフィルム原版１０Ｆが密着する密着状態では、パッキン２６も載置台２０と接触し、このパッキン２６と、原版支持板１０と、載置台２０とで囲まれた、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂの周囲の空間は、整合装置１００外部と空気の流通のない気密室となり、この状態で減圧部２４が、気密室の空気を吸引し、この気密室の減圧を行う。
【００２５】
また、制御部５０内には、原版支持板移動部２３の制御を行うことで、フィルム原版１０Ｆの水平方向についての位置調整や、フィルム原版１０Ｆの基板２０Ｂへの密着を行わせる支持板移動制御部５６、ＣＣＤカメラ４０によって測定されたフィルム原版１０Ｆおよび基板２０Ｂの位置を取得する位置取得部５１、吸着部２２の制御を行う吸着制御部５３、減圧部２４の制御を行う減圧制御部５４、位置取得部５１に取得された基板２０Ｂの位置の情報に基づき、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとの相対的な位置ずれが許容範囲内のずれであるか否かの判定や、後述する基板２０Ｂの移動が生じた際に移動量が所定の閾値を超えたか否かかの判定を行う判定部５５が備えられている。この判定部５５が、基板２０Ｂの移動が所定の閾値を超えたと判定すると、判定部５５の指示に基づき、表示部１１０ａ（図１にも図示）に警告メッセージが表示される。また、この判定部５５は、搬出装置３００（図１にも図示）に、フィルム原版１０Ｆとの相対的な位置ずれが解消されない基板２０Ｂを不良基板回収トレイ（不図示）に向けて送り出すように指示を与える役割も果たしている。
【００２６】
ここで、原版支持板１０と、原版支持板移動部２３と、支持板移動制御部５６とを合わせたものが、本発明にいう原版移動部の一例に相当し、支持板移動制御部５６と、位置取得部５１と、判定部５５とを合わせたものが、本発明にいう原版移動制御部の一例に相当する。また、ＣＣＤカメラ４０が、本発明にいう原版移動部に一例に相当し、位置取得部５１と、判定部５５と、表示部１１０ａとを合わせたものが、本発明にいう警告部の一例に相当する。
【００２７】
以上説明した露光装置各部の働きは、以下に説明する露光装置１０００の動作の説明において合わせて詳述する。
【００２８】
図３は、基板に、フィルム原版を密着させて露光を行う際の露光装置の動作の流れを表したフローチャートである。
【００２９】
図１の搬入装置によって図１の中央の整合装置１００まで運ばれたきた基板２０Ｂは、図１や図２では不図示の配置手段により載置台２０の上に配置される。この配置手段としては、例えば公開特許公報「特開２００２−１６２７４９」に開示されているものが採用され得る。この配置手段による配置で、載置台２０のほぼ中央に基板２０Ｂは配置され、さらに図２の吸着制御部５３の制御の下で、吸着部２２が吸着管を介して基板２０Ｂを載置台２０上に吸着させる。また、基板２０Ｂが、整合装置１００の所に運びこまれてくる際には、フィルム原版２０Ｆが載置台２０中央部の上方に位置するように、支持板移動制御部５６の制御の下で原版支持板移動部２３が原版支持板１０とともに移動している。そして、吸着部２２により基板２０Ｂが載置台２０上に吸着されると、支持板移動制御部５６は、原版支持板移動部２３に指示を出し原版支持板１０を下方に向けて移動させ、図２に示すように、原版支持板１０に貼り付けられたフィルム原版１０Ｆを基板２０Ｂに密着させる（ステップＳ１）。次に、図２のＣＣＤカメラ４０が、この密着状態のフィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂの位置を測定し、その測定値が位置取得部５１に取得されて記憶される（ステップＳ２）。ここで、この位置の測定について具体的に説明する。
【００３０】
図４は、基板の位置の測定のために基板に設けられている位置検出用のマークを表した図、図５は、フィルム原版の位置の測定のためにフィルム原版に設けられている、円形で透明な光透過窓を表した図である。
【００３１】
図４に示すように、基板２０Ｂの２つの端（図では上下端）に黒点のマーク２０１，２０２が付されており、これらのマーク２０１，２０２の位置が、図２に示す２つのＣＣＤカメラ４０にそれぞれ測定される。これらマーク２０１，２０２の位置が基板２０Ｂの位置を表す指標となり、これらの位置が、位置取得部５１に記憶される。
【００３２】
また、図５に示すように、フィルム原版１０Ｆの２つの端（図では上下端）には同じ大きさの円形の光透過窓１０１，１０２が形成されており、これら光透過窓１０１，１０２の輪郭の位置が、図２の２つのＣＣＤカメラ４０によりそれぞれ測定される。これら光透過窓１０１，１０２の輪郭の位置がフィルム原版１０Ｆの位置を表す指標となり、これら位置が、位置取得部５１に記憶される。
【００３３】
ここで、上述したように、フィルム原版１０Ｆには、所望のパターンの形状を有する紫外光透過領域が設けられており、一方、基板２０Ｂ上には、このパターンがプリントされるべき領域としてパターン位置があらかじめ定められている。このパターン位置に、フィルム原版１０Ｆの光透過性領域がぴったり重なる状態が、フィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の中心に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置する状態である。
【００３４】
図６は、基板のパターン位置に、フィルム原版の光透過性領域がぴったり重なっている状態を、図２のＣＣＤカメラの側から見たときの、フィルム原版１０Ｆの光透過窓と基板２０Ｂのマークとを表した図である。
【００３５】
基板２０Ｂのパターン位置に、フィルム原版１０Ｆの光透過性領域がぴったり重なっている状態では、図６に示すように、フィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の中心に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置する。逆に、基板２０Ｂのパターン位置と、フィルム原版１０Ｆの光透過性領域とが相対的にずれているほど、フィルム原版１０Ｆの上側の光透過窓１０１の中心位置と基板２０Ｂの上側のマーク２０１の位置との差や、フィルム原版１０Ｆの下側の光透過窓１０２の中心位置と基板２０Ｂの下側のマーク２０２の位置との差は大きくなる。この差の大きさがいずれも、フィルム原版１０Ｆの円径の２つの光透過窓１０１，１０２内の、図５および図６に点線で示す所定の同心円１０１’，１０２’の半径以下である場合、すなわち、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２が、それぞれ所定の同心円１０１’，１０２’の内側に収まっている場合には、基板２０Ｂのパターン位置と、フィルム原版１０Ｆの光透過性領域との間の相対的なずれは、電子回路を構成する上で問題とはならず、許容範囲内のずれであるということができる。ステップＳ１で基板２０Ｂとフィルム原版１０Ｆとの密着が行われた時点でも、上述した配置手段により基板２０Ｂが載置台２０上の所定位置にほぼ正確に配置されこの所定位置に合わせてフィルム原版１０Ｆが基板２０Ｂに密着することで、フィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の内側に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置する状態とはなっている。しかし、必ずしもフィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の中心に十分に近い位置に基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置する状態になっているわけではない。そこで、図２の判定部５５は、位置取得部５１に記憶されている、光透過窓１０１，１０２の輪郭の位置の情報および基板２０Ｂのマーク２０１，２０２の位置の情報に基づき、光透過窓１０１，１０２内の所定の同心円１０１’，１０２’の内側に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置しているか否かの判定を行う（図３のステップＳ３）。ここで、所定の同心円１０１’，１０２’の半径が、本発明にいう第１の閾値の一例に相当する。
【００３６】
上記の同心円１０１’，１０２’の内側に基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置している場合（ステップＳ３；Ｙｅｓ）には、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとが密着した状態のまま、図２の減圧制御部５４の制御の下で減圧部２４が、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂの周囲の気密室の空気を吸引してこの気密室の減圧を行う。この減圧により、原版支持板１０は強く載置台２０に向かって押し付けられることとなり、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとがより強く密着する。このようにフィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとがより強く密着した状態で、図１の露光部１５０が紫外線を照射し、基板２０Ｂ上のパターン位置に露光パターンが形成される。そして、図２の減圧制御部５４の制御の下で減圧部２４が減圧を解除することで気密室内部の圧力が通常気圧（露光装置１０００が置かれている部屋の圧力）に戻り、さらに、支持板移動制御部５６の制御の下で原版支持板移動部２３が原版支持板１０とともに図２の上方向に移動してフィルム原版１０Ｆが基板２０Ｂから離間する。そして、露光パターンが形成された基板２０Ｂが、図１の搬出装置３００によって図１の下側の第１搬出口３０１から搬出される（ステップＳ１０）。
【００３７】
一方、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２のいずれか一方、あるいは両方が、上記の同心円１０１’，１０２’の内側に存在しない場合（ステップＳ３；Ｎｏ）には、基板２０Ｂとフィルム原版１０Ｆとの相対的な位置ずれを補正する必要がある。そこで、判定部５５は、まず、支持板移動制御部５６に指示を与えて原版支持板１０を図２の上方向に移動させ、フィルム原版１０Ｆを一旦基板２０Ｂから離間させる。次に、判定部５５は、フィルム原版１０Ｆの上側の光透過窓１０１の中心位置と基板２０Ｂの上側のマーク２０１の位置との差、および、フィルム原版１０Ｆの下側の光透過窓１０２の中心位置と基板２０Ｂの下側のマーク２０２の位置との差が解消するように、載置台２０に平行な平面内（図１および図２の水平方向に広がった面内）においてフィルム原版１０Ｆを動かすべき方向と動かす距離を求める。そして、判定部５５は、支持板移動制御部５６に指示を与え、原版支持板移動部２３に、判定部５５が求めた方向と距離に従って原版支持板１０を移動させる。このように水平方向に原版支持板１０を動かすことで、上述した、基板２０Ｂとフィルム原版１０Ｆとの相対的な位置ずれが補正される位置に、フィルム原版１０Ｆが位置決めされることとなる。そして、原版支持板移動部２３は、このように位置決めされたフィルム原版１０Ｆを、再度図１および図２の下方に向かって移動させて基板２０Ｂと再度密着させる（ステップＳ４）。そして、図２のＣＣＤカメラ４０が、フィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の輪郭の位置と、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２の位置とを測定し、測定値が位置取得部５１に取得されて記憶される（ステップＳ５）。このとき、位置取得部５１に記憶される位置の情報は、一回目の密着の際にステップＳ２で測定された位置の情報に上書きされるわけではなく、一回目の密着の際の位置の情報とは別個に記憶される。
【００３８】
このステップＳ５の時点では、本来ならば、上述のフィルム原版１０Ｆの位置決めにより、図６のように、フィルム原版１０Ｆの光透過窓１０１，１０２の中心に基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置するようになっているはずである。しかし、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとの一回目の密着後にフィルム原版１０Ｆが基板２０Ｂから離間する際に、はずみで基板２０Ｂが少し移動してしまうことがあり、このような基板２０Ｂの移動が生じている状態では、上記のように、基板２０Ｂの移動前の位置の情報に基づいてフィルム原版１０Ｆの位置決めを行っても、基板２０Ｂが移動したことで新たに生じた位置ずれのために、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとを精度よく位置合わせすることができないことがある。
【００３９】
そこで、判定部５５は、ステップＳ２およびステップＳ５で位置取得部５１に記憶された位置の情報に基づき、一回目の密着の際の基板２０Ｂのマーク２０１，２０２の位置と、再度の密着の際の基板２０Ｂのマーク２０１，２０２の位置との差分を、上側のマーク２０１および下側のマーク２０２それぞれについて求める。そして、この差分の大きさが、上側および下側の両方のマークについて所定の閾値以下となっているか否かを判定する（ステップＳ６）。上側および下側の両方あるいは一方のマークについての差分の大きさが、上記の所定の閾値を超えている場合（ステップＳ６；Ｎｏ）は、図２の判定部５５は、図１および図２の表示部１１０ａに、基板２０Ｂの移動が生じていることをユーザに知らせる警告メッセージを表示させる（ステップＳ７）。
【００４０】
一般に、上記のような基板の移動は、周囲の環境に起因して原版と基板とが貼り付きやすくなったときに発生し、特に、原版や基板に静電気や水蒸気の付着しやすい環境の下で起こりやすい。そこで、上記のように警告メッセージが表示されることにより、露光装置１０００のユーザは、基板２０Ｂの移動が生じていることを早めに把握することができ、フィルム原版１０Ｆや基板２０Ｂ周辺の拭き取りや除電の実行、露光装置の設置環境の湿度低減といった、原版２０Ｂと基板１０Ｆとの貼り付きを防止する措置を早めに講じることができる。この結果、露光装置１０００では、その後の露光パターン形成作業において、生産性が低下することが抑えられることとなる。
【００４１】
ここで、上記の所定の閾値が、本発明にいう第２の閾値の一例に相当する。
【００４２】
警告メッセージの表示の後、判定部５５は、ステップＳ５で位置取得部５１に記憶された、光透過窓１０１，１０２の輪郭の位置の情報および基板２０Ｂのマーク２０１，２０２の位置の情報に基づき、光透過窓１０１，１０２内の、上述した所定の同心円１０１’，１０２’の内側に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置しているか否かの判定を行う（ステップＳ８）。なお、上側および下側の両方のマークについての差分の大きさが、上記の所定の閾値以下である場合（ステップＳ６；Ｙｅｓ）は、警告メッセージが表示されることなく、そのままステップＳ８に進み、光透過窓１０１，１０２内の所定の同心円１０１’，１０２’の内側に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置しているか否かの判定が行われる。
【００４３】
再度の密着の際に、光透過窓１０１，１０２内の所定の同心円１０１’，１０２’の内側に、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２がそれぞれ位置している場合（ステップＳ８；Ｙｅｓ）には、フィルム原版１０Ｆと基板２０Ｂとが密着した状態のまま、減圧部２４による気密室の減圧が行われ、さらに、図１の露光部１５０による露光が行われる。露光後、減圧の解除と、基板２０Ｂからのフィルム原版１０Ｆの離間とが実行されて、露光パターンが形成された基板２０Ｂが、図１の搬出装置３００によって下側の第１搬出口３０１から搬出される（ステップＳ１０）。
【００４４】
一方、再度の密着の際においても、基板２０Ｂのマーク２０１，２０２のいずれか一方、あるいは両方が、光透過窓１０１，１０２内の所定の同心円１０１’，１０２’の内側に存在しない場合（ステップＳ８；Ｎｏ）には、露光が行われることなく減圧の解除と、基板２０Ｂからのフィルム原版１０Ｆの離間とが実行される。そして、判定部５５が、図１および図２の搬出装置３００に指示を出し、露光パターンが形成されていない基板２０Ｂを、不良基板として上側の第２搬出口３０２から搬出させる（ステップＳ９）。
【００４５】
以上が本発明の実施形態の説明である。
【００４６】
本実施形態の露光装置は、搬入装置２００と搬出装置３００とを備え、次々と流れてくる基板上に露光パターンを形成するのに適した、いわゆる自動露光装置であったが、本発明は、搬入装置と搬出装置とを備えておらず、ユーザが手動で基板を露光装置にセットする手動式の露光装置であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に相当する露光装置を側方から見た図である。
【図２】整合装置１００の構成を表した模式図である。
【図３】基板に、フィルム原版を密着させて露光を行う際の露光装置の動作の流れを表したフローチャートである。
【図４】基板の位置の測定のために基板に設けられている位置検出用のマークを表した図である。
【図５】フィルム原版の位置の測定のためにフィルム原版に設けられている、円形で透明な光透過窓を表した図である。
【図６】基板のパターン位置に、フィルム原版の光透過性領域がぴったり重なっている状態を、図２のＣＣＤカメラの側から見たときの、フィルム原版１０Ｆの光透過窓と基板２０Ｂのマークとを表した図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０００  露光装置
１００  整合装置
１０  フィルム支持板
１０Ｆ  フィルム原版
１０１，１０２  光透過窓
１０１’，１０２’  同心円
２０  載置台
２０Ｂ  基板
２０１，２０２  マーク
２２  吸着部
２２ａ  吸着管
２３  支持板移動部
２４  減圧部
２４ａ  減圧管
２６  パッキン
４０  ＣＣＤカメラ
５０  制御部
５１  位置取得部
５３  吸着制御部
５４  減圧制御部
５５  判定部
５６  支持板移動制御部
１１０  操作盤
１１０ａ  表示部
１５０  露光部
２００  搬入装置
３００  搬出装置
３０１  第１搬出口
３０２  第２搬出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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