(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路内に配置され、その流体通路を流れる流体流量に関する情報を検出する流量検出部と、
この流量検出部で検出された流体情報に基づき、流体流量に応じた電圧信号を生成する信号生成回路と、
この信号生成回路にて生成された電圧信号を所定の比率で増幅するゲインと所定の値を加算するオフセットを与えて増幅する増幅回路とを備えた流量測定装置であって、
前記増幅回路は、ゲインを設定するゲイン設定回路と、オフセットを設定するオフセット設定回路とを有し、
このオフセット設定回路は、設定されるオフセット値が流体温度に応じて変化する第１のオフセット設定領域と、設定されるオフセット値が流体温度に応じて変化しない第２のオフセット設定領域とを有し、前記第１のオフセット設定領域で設定された第１のオフセット値と前記第２のオフセット設定領域で設定された第２のオフセット値とを加算して全体のオフセット値が決定され、且つ前記第１のオフセット設定領域と前記第２のオフセット設定領域との割合を外部からの電気信号によって調整可能に設けられていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載した流量測定装置において、
前記オフセット設定回路は、流体温度に応じて抵抗値が変化する第３の抵抗体を有し、この第３の抵抗体により前記第１のオフセット値が設定されることを特徴とする流量測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載した流量測定装置において、
前記第３の抵抗体は、前記流量検出部と共に同一の基板上に設けられていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載した流量測定装置において、
前記第３の抵抗体は、前記流量検出部から熱的及び電気的に影響を受けない位置に配置されていることを特徴とする流量測定装置。
【請求項５】
請求項１〜４に記載した何れかの流量測定装置において、
前記増幅回路は、前記ゲイン設定回路及びオフセット設定回路に電気信号を伝送するための調整端子を有し、この調整端子に外部からの電気信号を入力してゲイン調整及びオフセット調整が行われることを特徴とする流量測定装置。
【請求項６】
請求項１〜５に記載した何れかの流量測定装置において、
前記流量検出部は、流体流れに配置される第１の流量検出部と、この第１の流量検出部より下流側に配置される第２の流量検出部とで構成され、
前記信号生成回路は、前記第１の流量検出部で検出された流体情報と前記第２の流量検出部で検出された流体情報とに基づき、流体流量に応じた信号を生成することを特徴とする流量測定装置。
【請求項７】
請求項１〜５に記載した何れかの流量測定装置において、
前記流量検出部は、流体温度を検出するための流体温度検出用抵抗と、この流体温度検出用抵抗で検出される流体温度より所定温度だけ高温に制御される発熱抵抗体とを有し、
前記信号生成回路は、流体流れの一方向に対し前記発熱抵抗体の上流側近傍、あるいは前記発熱抵抗体の上流側近傍と下流側近傍との双方に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温抵抗体を有し、この測温抵抗体を介して流体流量に応じた電圧を出力することを特徴とする流量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体流量を測定する流量測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来技術として、特許文献１（従来技術Ａ）及び特許文献２（従来技術Ｂ）に開示された流量測定装置がある。
従来技術Ａは、流体流量及び流体の流れ方向により温度が変化する測温抵抗体を発熱抵抗体の上流側に配置し、この測温抵抗体で検出した温度により流体流量及び流体の流れ方向を検出している。
従来技術Ｂは、発熱抵抗体の上流側に第１測温抵抗体を配置し、更に発熱抵抗体と第１測温抵抗体との間に第２測温抵抗体を配置して、第１測温抵抗体と第２測温抵抗体との差分から流体流量を検出している。
【０００３】
【特許文献１】
特開2000-193505 号公報
【特許文献２】
特開平9-243423号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記の従来技術Ａでは、測温抵抗体の温度変化が小さいため、出力電圧を増幅する時の増幅率を大きくする必要がある。この場合、例えば製品毎のばらつきを抑えるために増幅率を調整する際に、僅かな調整によって出力が大きく変動する（調整精度が悪い）ため、出力調整が非常に困難であった。
また、従来技術Ｂでも、従来技術Ａと同様に、第１測温抵抗体と第２測温抵抗体との温度差変化が小さいため、増幅率が非常に大きくなり、組み付け時の調整精度が悪くなるという問題があった。
【０００５】
更に、増幅率を調整する方法として、通常では高価なレーザトリミング装置を使用するため、製品単価が高くなってしまう。また、完成品の状態でトリミングすることができない、つまり増幅率を調整するためには、チップ上の抵抗膜に対し直接レーザ光を照射する必要があるため、ハウジング等にセンサチップが収納された完成品の状態ではトリミングすることができない。このため、トリミングした後にカバー等を被せて密閉した時に出力特性がずれる可能性がある。
なお、トリミングを電気的に行う電気トリムが公知であるが、この電気トリムは、流体温度が一定の状態であれば有効であるが、流体温度が変化すると出力が変化するため、例えば自動車の吸気量を検出するエアフロメータ等の様に、流体温度が変化する場合には、正確な流量検出ができないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記事情に基づいて成されたもので、第１の目的は、増幅回路の増幅率を小さくして出力調整を容易にできること。第２の目的は、外部からの電気信号によって増幅率の調整を行うことができ、且つ流体温度による出力特性の変化を低減できる流量測定装置を提供することにある。
【００１４】
（請求項１の発明）
本発明の流量測定装置は、信号生成回路にて生成された電圧信号を所定の比率で増幅するゲインと所定の値を加算するオフセットを与えて増幅する増幅回路（ゲイン設定回路とオフセット設定回路）を備える。オフセット設定回路は、設定されるオフセット値が流体温度に応じて変化する第１のオフセット設定領域と、設定されるオフセット値が流体温度に応じて変化しない第２のオフセット設定領域とを有し、第１のオフセット設定領域で設定された第１のオフセット値と第２のオフセット設定領域で設定された第２のオフセット値とを加算して全体のオフセット値が決定され、且つ第１のオフセット設定領域と第２のオフセット設定領域との割合を外部からの電気信号によって調整可能に設けられていることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、増幅回路の増幅率（ゲインとオフセット）を外部からの電気信号によって調整できるので、高価なレーザトリミング装置を使用する必要がなく、回路調整を安価に且つ容易に実施できる。
また、オフセット設定回路では、流体温度に応じて変化する第１のオフセット値と流体温度に応じて変化しない第２のオフセット値との割合を調整できるので、流体温度に応じたオフセット調整が可能である。これにより、流体温度の変化に係わらず、安定した出力特性を得ることができる。また、製品毎による出力特性のバラツキも補正できる。
【００１６】
（請求項２の発明）
請求項１に記載した流量測定装置において、オフセット設定回路は、流体温度に応じて抵抗値が変化する第３の抵抗体を有し、この第３の抵抗体により第１のオフセット値が設定されることを特徴とする。この場合、第３の抵抗体によって流体温度を検出することにより、実際の流体温度に応じて第１のオフセット値を設定できるので、流体温度に応じたオフセット調整を精度良く行うことができる。
【００１７】
（請求項３の発明）
請求項２に記載した流量測定装置において、
第３の抵抗体は、流量検出部と共に同一の基板上に設けられていることを特徴とする。この場合、流量検出部から離れた位置の流体温度ではなく、流量検出部を通過する流体の温度を検出できるので、流体温度が過渡的に変化している場合でも、オフセット調整を精度良く行うことができる。
【００１８】
（請求項４の発明）
請求項３に記載した流量測定装置において、
第３の抵抗体は、流量検出部から熱的及び電気的に影響を受けない位置に配置されていることを特徴とする。これにより、流体温度を精度良く検出できる。
【００１９】
（請求項５の発明）
請求項１〜４に記載した何れかの流量測定装置において、
増幅回路は、ゲイン設定回路及びオフセット設定回路に電気信号を伝送するための調整端子を有し、この調整端子に外部からの電気信号を入力してゲイン調整及びオフセット調整が行われることを特徴とする。これにより、増幅率（ゲインとオフセット）の調整を外部からの電気信号により容易に行うことができる。
【００２０】
（請求項６の発明）
請求項１〜５に記載した何れかの流量測定装置において、
流量検出部は、流体流れに配置される第１の流量検出部と、この第１の流量検出部より下流側に配置される第２の流量検出部とで構成され、信号生成回路は、第１の流量検出部で検出された流体情報と第２の流量検出部で検出された流体情報とに基づき、流体流量に応じた電圧信号を生成することを特徴とする。
【００２１】
（請求項７の発明）
請求項１〜５に記載した何れかの流量測定装置において、
流量検出部は、流体温度を検出するための流体温度検出用抵抗と、この流体温度検出用抵抗で検出される流体温度より所定温度だけ高温に制御される発熱抵抗体とを有し、信号生成回路は、流体流れの一方向に対し発熱抵抗体の上流側近傍、あるいは発熱抵抗体の上流側近傍と下流側近傍との双方に配置され、温度に応じて抵抗値が変化する測温抵抗体を有し、この測温抵抗体を介して流体流量に応じた電圧を出力することを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１参考例）
本発明の流量測定装置を内燃機関の吸気量を計測するエアフロメータ１に用いた参考例を説明する。図１はエアフロメータ１の制御回路図、図２はエアフロメータ１に使用される吸気量センサ２の平面図である。
【００２３】
エアフロメータ１は、図３に示す様に、内燃機関の吸気管３に取り付けられるセンサボディ４と、このセンサボディ４に保持される吸気量センサ２、及び吸気量センサ２と信号線（例えばプリント配線）によって電気的に接続された回路ユニット５より構成される。
センサボディ４は、吸気管３の内部に突き出た状態で取り付けられ、吸気の一部が通過できる略Ｕ字状のバイパス通路４ａ（流体通路）を形成している。
【００２４】
吸気量センサ２は、基板６（図４参照）上に複数の抵抗体（下述する）を形成した１枚のセンサチップ（図２参照）によって構成され、バイパス通路４ａに配置されて吸気流れに晒されている。
基板６上に形成される抵抗体は、図２に示す様に、吸気温度を検出するための吸気温検出抵抗体７、この吸気温検出抵抗体７で検出される吸気温度より所定温度だけ高温に維持される発熱抵抗体８、及び温度に応じて抵抗値が変化する２個の測温抵抗体９（第１の測温抵抗体９ａと第２の測温抵抗体９ｂ）であり、吸気の流れ方向（順流）に対し、発熱抵抗体８より上流に吸気温検出抵抗体７が配置され、発熱抵抗体８の上流側近傍に２個の測温抵抗体９が配置されている。
【００２５】
但し、吸気温検出抵抗体７は、発熱抵抗体８の熱が温度検出に影響を及ぼさない様に、発熱抵抗体８から所定距離だけ離れた位置に配置される。
また、第１の測温抵抗体９ａと第２測温抵抗体９ｂは、発熱抵抗体８からの熱影響を同等に受ける位置（発熱抵抗体８から略等距離の位置）に配置され、且つ発熱抵抗体８の温度変化に対し略同一の抵抗値変化を示す様に、互いの表面積が略同一に設けられている。
【００２６】
ここで、吸気量センサ２の製造工程を図４に基づいて説明する。
第１工程…Si基板６の表面に下部膜１０を形成する。
この下部膜１０は、例えばSi3N4 膜とSiO2膜とを組み合わせた２層膜である。
この２層膜を用いたのは、圧縮応力膜と引っ張り応力膜とを組み合わせて下部膜１０に生じる応力を緩和させるためである。なお、Si基板６の裏面には、Si3N4 膜１１が形成される。
【００２７】
第２工程…抵抗体（吸気温検出抵抗体７、発熱抵抗体８、測温抵抗体９）を形成する目的として、下部膜１０の上に接着層（例えば50ÅのＴｉ層）を介してPt膜１２を200 ℃で真空蒸着機により2000Å堆積させる（図４(a) 参照）。なお、抵抗体の材料としては、ポリシリコン、NiCr、TaN 、SiC 、W 、Ti等、抵抗体として働くものであれば何でも良い。
【００２８】
第３工程…下部膜１０の上に形成されたPt膜１２に対し、吸気温検出抵抗体７、発熱抵抗体８、及び測温抵抗体９がそれぞれ所定の形状となるように、エッチング処理により不要な部分を除去する（図４(b) 参照）。
第４工程…各抵抗体の上部に保護膜１３を形成する（図４(c) 参照）。この保護膜１３は、下部膜１０と同様に、Si3N4 膜とSiO2膜とを組み合わせた２層膜とする。但し、保護膜１３として作用するものであれば、TiO2、Al2O3 、Ta2O5 、MgO 膜等の単一膜あるいは多層膜でも何でも良い。
【００２９】
第５工程…Si基板６に空洞部１４を形成する（図４(d) 参照）。この空洞部１４は、発熱抵抗体８と測温抵抗体９とが配置される部分（図２に示す破線部分）に設けられる。具体的には、Si基板６の裏面に堆積させたSi3N4 膜１１を部分的にエッチングして基板裏面を露出させた後、TMAH溶液によってSi基板６の裏面側から異方性エッチングを行って空洞部１４を形成する。この時のエッチングは、TMAH溶液による異方性エッチングだけでなく、空洞部１４が形成できれば何でも良い。
【００３０】
回路ユニット５は、図１に示す様に、吸気温検出抵抗体７で検出される吸気温度に対し、発熱抵抗体８の温度を所定温度（例えば200 ℃) だけ高い設定温度に制御するための発熱体制御回路Ａと、吸気量に応じた電圧を出力する出力回路Ｂと、この出力回路Ｂの出力電圧を増幅する増幅回路Ｃとを有している。
【００３１】
発熱体制御回路Ａは、４個の抵抗体を接続して形成されるブリッジ回路（第２のブリッジ回路）と、このブリッジ回路の中点に接続されるオペアンプ１５、及びオペアンプ１５の出力に基づいてON/OFFするトランジスタ１６より構成される。ブリッジ回路は、発熱抵抗体８と吸気温検出抵抗体７にそれぞれ固定値を有する第１及び第２の抵抗体１７、１８が直列に接続され、発熱抵抗体８と吸気温検出抵抗体７との接続点がトランジスタ１６を介して電源端子に接続され、第１及び第２の抵抗体１７、１８の接続点がアース接続されている。
【００３２】
この発熱体制御回路Ａは、発熱抵抗体８の温度が設定温度より低くなると、発熱抵抗体８の抵抗値が低下してブリッジ回路の中点間に電位差が生じるため、オペアンプ１５の出力によりトランジスタ１６がONして発熱抵抗体８に電流が流れることにより、発熱抵抗体８の温度が上昇する。その後、発熱抵抗体８の温度が設定温度まで上昇して抵抗値が大きくなり、中点間の電位差が無くなると、オペアンプ１５の出力によりトランジスタ１６がOFF して発熱抵抗体８への電流供給が遮断される。これにより、発熱抵抗体８は、吸気温検出抵抗体７で検出される吸気温度より所定温度だけ高い設定温度に制御される。
【００３３】
出力回路Ｂは、２個の測温抵抗体９と固定値を有する２個の抵抗体１９、２０とで形成されるブリッジ回路（第１のブリッジ回路）を構成している。このブリッジ回路は、第１の測温抵抗体９ａと第２の測温抵抗体９ｂとをブリッジ回路の対角に配置して形成される。従って、２個の抵抗体１９、２０は、一方の抵抗体１９が第１の測温抵抗体９ａの低電位側に接続され、他方の抵抗体２０が第２の測温抵抗体９ｂの高電位側に接続される。なお、２個の抵抗体１９、２０は抵抗値が同一である。
【００３４】
ここで、測温抵抗体９の検出温度と吸気流れとの関係について、図５及び図６を基に説明する。
吸気管３に吸気流れが生じると、発熱抵抗体８に温度分布が生じる。つまり、発熱抵抗体８は、吸気温度より所定温度だけ高い設定温度に制御されるため、吸気流れにより発熱抵抗体８の上流部側が冷却されて温度が低下すると、その分だけ下流部側の温度が上昇して、図５に示す様な温度分布を生じる。この温度分布は、吸気量が多くなる程、温度勾配が大きくなる。なお、図中の実線グラフは、吸気がエンジンに向かって流れる時（順流と呼ぶ）の温度分布を示し、破線グラフは、吸気管３を吸気が逆流する時（逆流と呼ぶ）の温度分布を示している。
【００３５】
測温抵抗体９は、吸気流れが順流の時に、発熱抵抗体８の上流側近傍に配置されているので、発熱抵抗体８の上流部と同様の温度変化を示す。つまり、測温抵抗体９の検出温度は、図６に示す様に、無風時（吸気量＝０）の検出温度を基準温度と呼ぶ時に、順流の時に基準温度より低くなり、逆流の時に基準温度より高くなる。また、吸気の流れ方向に係わらず、吸気量が多くなる程、測温抵抗体９の検出温度と基準温度との温度差が大きくなる。
【００３６】
増幅回路Ｃは、ブリッジ回路の中点間に生じる電位差を増幅（ゲインとオフセット）してＥＣＵ（図示しない）に出力する。
ＥＣＵは、例えば電圧と吸気量との相関マップを有しており、回路ユニット５（増幅回路Ｃ）から出力された電圧に基づいて吸気量を検出する。
【００３７】
次に、第１参考例の作用及び効果を説明する。本参考例のエアフロメータ１は、発熱抵抗体８の上流側近傍に第１の測温抵抗体９ａと第２の測温抵抗体９ｂとを配置し、その第１及び第２の測温抵抗体９ａ、９ｂをブリッジ回路（出力回路Ｂ）の対角に配置している。この構成によれば、ブリッジ回路における一方の中点の電位が高くなると、他方の中点の電位が低くなり、一方の中点の電位が低くなると、他方の中点の電位が高くなる。従って、増幅回路Ｃにて両中点の電位を差動増幅することにより、従来の流量測定装置より大きな出力を得ることができる。
【００３８】
特に、本参考例では、発熱抵抗体８の温度変化に応じて第１及び第２の測温抵抗体９ａ、９ｂが略同一の抵抗値を示すと共に、２個の抵抗体１９、２０の抵抗値が同一であることから、従来の流量測定装置と比較して略２倍の出力を得ることができる。その結果、増幅回路Ｃの増幅率（ゲイン）を小さくできるので（図７参照）、温度特性の影響を受け難く、吸気温度が変化しても出力が大きく変化することはなく、正確な流量検出が可能である。
【００３９】
また、増幅回路Ｃでは、ブリッジ回路における中点間の電位差を増幅しているので、吸気流れが生じていない時の出力電圧を略０Ｖに近づけることができる。その結果、所定の増幅率（オフセット）を得るために必要な調整精度を低くできる（ラフにできる）ので、回路調整が容易である（図８参照）。
【００４０】
（第２参考例）
図９はエアフロメータ１の制御回路図、図１０はエアフロメータ１に使用される吸気量センサ２の平面図である。本参考例は、第１及び第２の測温抵抗体９ａ、９ｂと共にブリッジ回路を形成する２個の抵抗体２１、２２を、吸気温度に応じて抵抗値が変化するものとした一例である。
【００４１】
出力回路Ｂを構成するブリッジ回路（図９参照）に使用される第１及び第２の測温抵抗体９ａ、９ｂは、第１参考例で説明した様に、温度に応じて抵抗値が変化するため、発熱抵抗体８からの熱影響だけでなく、吸気温度の影響も受ける。従って、吸気温度に応じて抵抗値が変化する２個の抵抗体２１、２２をブリッジ回路に使用することで温度特性のずれを補償することができ、吸気温度が変化しても安定した出力を得ることができる。また、図１０に示す様に、２個の抵抗体２１、２２を他の抵抗体（吸気温検出抵抗体７、発熱抵抗体８、測温抵抗体９）と共に同一の基板６上に設けることにより、抵抗値のばらつきを極力小さくできる。
【００４２】
（第３参考例）
図１１はエアフロメータ１の制御回路図、図１２はエアフロメータ１に使用される吸気量センサ２の平面図である。本参考例は、発熱体制御回路Ａに使用されるブリッジ回路（図１１参照）を形成する全ての抵抗体（吸気温検出抵抗体７、発熱抵抗体８、第１及び第２の抵抗体１７、１８）を同一の基板６上に形成した場合の一例である。
【００４３】
基板６上に設けられる抵抗体の抵抗値がばらつく要因は、膜厚（第１参考例ではＰｔ膜の厚さ）のばらつきに因るところが大きい。従って、第１及び第２の抵抗体１７、１８が吸気温検出抵抗体７及び発熱抵抗体８と共に同一の基板６上に形成されていないと、製品毎に抵抗値のばらつきを調整する必要が生じる。これに対し、同一の基板６上であれば膜厚が安定しているため、ブリッジ回路を形成する全ての抵抗体を１つの基板６上に形成する（図１２参照）ことにより、抵抗値のばらつきを極力小さくできるため、レーザトリミング等による回路調整（抵抗値の調整）を廃止できる。
【００４４】
（第１実施例）
図１３はエアフロメータ１の制御回路図、図１４はエアフロメータ１に使用される吸気量センサ２の平面図である。本実施例は、増幅回路Ｃの増幅率（ゲインとオフセット）を電気トリムにて調整する場合の一例である。この電気トリムとは、増幅回路Ｃに設けられた電気トリム端子２３（本発明の調整端子：図１３参照）に、製品の外部から電気信号（例えば、シリアルのデジタル信号やアナログ信号）を入力して、増幅回路Ｃに内蔵された不揮発性メモリ等に所定の増幅率と成るようにデータを書き込み、その書き込まれたデータに基づいて出力調整することを言う。
【００４５】
増幅回路Ｃは、測温抵抗体９に印加される電圧（ゲイン電圧）を変化させてゲイン調整を行うゲイン設定回路（図示しない）と、オフセット電圧を変化させてオフセット調整を行うオフセット設定回路（図示しない）とを有し、上記のメモリに書き込まれたデータに基づいてゲイン電圧及びオフセット電圧を変化させることにより、所定の増幅率に調整する。
この電気トリム調整では、増幅回路Ｃの増幅率を外部からの電気信号によって調整するので、高価なレーザトリミング装置を使用する必要がなく、回路調整を安価に且つ容易に実施できる。
【００４６】
但し、電気トリム調整では、ゲイン調整時に測温抵抗体９の印加電圧を変化させるため、ゲイン調整を行うことによって温度特性が変化し、吸気温度に応じて出力が変化するという問題が生じる。
これに対し、本実施例の増幅回路Ｃは、図１３に示す様に、吸気温度に応じて抵抗値が変化する第３の抵抗体２４を有し、この第３の抵抗体２４により電圧降下する第１のオフセット電圧と、吸気温度が変化しても電圧値が変化しない第２のオフセット電圧とでオフセット電圧を構成している。なお、第３の抵抗体２４は、図１４に示す様に、他の抵抗体と共に同一の基板６上に形成されている。
【００４７】
これにより、第１のオフセット電圧が吸気温度に応じて変化するので、温度特性が変化するオフセット調整を行うことができ、ゲイン調整によって生じた温度特性の変化分をキャンセルできる。その結果、電気トリムによって増幅率を調整した場合でも、吸気温度に応じて出力が変化することはなく、正確な流量検出が可能となる。なお、この第１実施例は、第１〜第３参考例の構成（第１の測温抵抗体９ａと第２の測温抵抗体９ｂを対角に配置したブリッジ回路を有する）に適用できるだけでなく、従来の流量測定装置（測温抵抗体を発熱抵抗体の上流側近傍と下流側近傍との双方に配置し、この双方の測温抵抗体をブリッジ回路の対角に配置するのではなく、ブリッジ回路の隣り合う位置に配置したもの）にも適用できる。
【００４８】
（第２実施例）
図１５はエアフロメータ１の制御回路図である。本実施例のエアフロメータ１は、第１参考例と同様に、略Ｕ字状のバイパス通路４ａ（流体通路）を形成するセンサボディ４と、バイパス通路４ａに配置されて吸気流れに晒される吸気量センサ２、及び吸気量センサ２と信号線（例えばプリント配線）によって電気的に接続された回路ユニット５より構成される（図３参照）。
【００４９】
吸気量センサ２は、吸気量及び吸気の流れ方向に関する情報を検出するもので、図１６に示す様に、１枚の半導体基板６（Si基板）を有し、この半導体基板６に、第１の流量検出部を構成する上流側ヒータ２６と上流側温度計２５、第２の流量検出部を構成する下流側ヒータ２８と下流側温度計２７、補正用温度計２９（後述する）、及びリード部L1〜L8が設けられ、このリード部L1〜L8に、回路ユニット５との接続端子となるパッドP1〜P8が形成されている。
【００５０】
上流側ヒータ２６と下流側ヒータ２８は、それぞれ電流の供給を受けて発熱する抵抗体であると共に、その抵抗温度係数の変化に基づいて自身の温度を感知する感温体としても機能する。
上流側温度計２５と下流側温度計２７は、吸気温度を検出するための抵抗体であり、それぞれ上流側ヒータ２６及び下流側ヒータ２８の熱が温度検出に影響を及ぼさない様に、上流側温度計２５及び下流側温度計２７から所定距離だけ離れた位置に設けられる。
【００５１】
ここで、吸気量センサ２の製造工程を図１７に基づいて説明する。
第１工程…半導体基板６の表面に下部膜１０を形成する。この下部膜１０は、例えばSi3N4 膜とSiO2膜とを組み合わせた２層膜である。この２層膜を用いたのは、圧縮応力膜と引っ張り応力膜とを組み合わせて下部膜１０に生じる応力を緩和させるためである。なお、半導体基板６の裏面には、Si3N4 膜１１が形成される。
【００５２】
第２工程…下部膜１０上に抵抗体（上流側ヒータ２６、下流側ヒータ２８、上流側温度計２５、下流側温度計２７、補正用温度計２９、リード部L1〜L8）を形成する目的として、下部膜１０の上に接着層（例えば50ÅのＴｉ層）を介してPt膜１２を200 ℃で真空蒸着機により2000Å堆積させる（図１７(a) 参照）。なお、抵抗体の材料としては、ポリシリコン、NiCr、TaN 、SiC 、W 、Ti等、抵抗体として働くものであれば何でも良い。
【００５３】
第３工程…下部膜１０の上に形成されたPt膜１２に対し、上流側ヒータ２６、下流側ヒータ２８、上流側温度計２５、下流側温度計２７、補正用温度計２９、リード部L1〜L8が、それぞれ所定の形状となるように、エッチング処理により不要な部分を除去する（図１７(b) 参照）。
第４工程…各抵抗体の上部に保護膜１３を形成する（図１７(c) 参照）。この保護膜１３は、下部膜１０と同様に、Si3N4 膜とSiO2膜とを組み合わせた２層膜とする。但し、保護膜１３として作用するものであれば、TiO2、Al2O3 、Ta2O5 、MgO 膜等の単一膜あるいは多層膜でも何でも良い。
【００５４】
第５工程…半導体基板６に空洞部１４を形成して薄膜部MBを設ける（図１７(d) 参照）。空洞部１４は、半導体基板６の裏面側から表面側へ向かって開口面積が次第に減少する矩形状に形成される。具体的には、半導体基板６の裏面に堆積させたSi3N4 膜１１を部分的にエッチングして基板裏面を露出させた後、TMAH溶液によって半導体基板６の裏面側から異方性エッチングを行って形成される。この時のエッチングは、TMAH溶液による異方性エッチングだけでなく、空洞部１４が形成できれば何でも良い。
【００５５】
薄膜部MBは、上流側ヒータ２６と下流側ヒータ２８とが形成される位置に設けられ、吸気量センサ２の他の箇所と比べて、その膜厚が薄く形成されるため、熱容量が低く抑えられ、且つ吸気量センサ２の他の箇所との熱的な絶縁が図られている。これにより、薄膜部MBに設けられる上流側ヒータ２６と下流側ヒータ２８は、半導体基板６の温度に影響されることなく、吸気量の変化に感度良く応答することができる。
【００５６】
回路ユニット５は、図１５に示す様に、吸気量センサ２にて検出された情報に基づいて、吸気量及び吸気の流れ方向に応じた電気信号（電圧信号）を生成する信号生成回路SGと、この信号生成回路SGにて生成された電気信号を増幅する増幅回路ACとを備え、この増幅回路ACで増幅された電気信号が、吸気量及び吸気の流れ方向を示す検出結果として、出力端子３０より図示しないＥＣＵ（エンジン制御装置）に出力される。
信号生成回路SGは、上流側ホイーストンブリッジ回路（上流側ブリッジ回路UHB と略す）と、下流側ホイーストンブリッジ回路（下流側ブリッジ回路DHB と略す）、及び差動増幅回路COP 等で構成される。
【００５７】
上流側ブリッジ回路UHB は、上流側ヒータ２６と上流側温度計２５、及び上流側ヒータ２６に直列接続される抵抗体３２と上流側温度計２５に直列接続される抵抗体３１とで形成され、上流側ヒータ２６と上流側温度計２５との接続点Paがトランジスタ３３を介して電源端子に接続され、抵抗体３１と抵抗体３２との接続点UGがアース接続されている。また、ブリッジ回路UHB の２つの中間点Ua、Ubにはオペアンプ３４が接続されている。このオペアンプ３４は、上流側ヒータ２６での電圧降下によって生じる中間点Ubの電位と、上流側温度計２５での電圧降下によって生じる中間点Uaの電位とが取り込まれ、上流側ヒータ２６での電圧降下と上流側温度計２５での電圧降下とが等しくなる様に、言い換えると、ブリッジ回路UHB の平衡条件を成立させるべく、取り込まれた電位差に応じてトランジスタ３３を制御する。
【００５８】
上記のブリッジ回路UHB は、平衡条件が成立した時に、上流側ヒータ２６の温度が上流側温度計２５で計測される吸気温度より所定値（例えば200 ℃）だけ高くなる様に設定されている。なお、環境温度に係わらず、上流側ヒータ２６の温度が上流側温度計２５で計測される吸気温度より所定値だけ高くなる時に上記平衡条件が成立するために、上流側ヒータ２６と上流側温度計２５とは、抵抗温度係数が互いに等しく設定されている。
【００５９】
下流側ブリッジ回路DHB は、下流側ヒータ２８と下流側温度計２７、及び下流側ヒータ２８に直列接続される抵抗体３６と下流側温度計２７に直列接続される抵抗体３５とで形成され、下流側ヒータ２８と下流側温度計２７との接続点Pbがトランジスタ３７を介して電源端子に接続され、抵抗体３５と抵抗体３６との接続点DGがアース接続されている。また、ブリッジ回路DHB の２つの中間点Da、Dbにはオペアンプ３８が接続されている。このオペアンプ３８の働き、及びブリッジ回路DHB の機能は、上流側と同じであり、その説明は省略する。
【００６０】
差動増幅回路COP は、上流側ブリッジ回路UHB から取り出される電位（中間点Ubの電位）と、下流側ブリッジ回路DHB から取り出される電位（中間点Dbの電位）とを取り込んで、両方の電位差に応じた信号を生成する。
増幅回路ACは、差動増幅回路COP にて生成される信号が小さく（図１８(a) 参照）、そのままの信号ではＥＣＵ内のＡ／Ｄ変換（0-5V）に対して変化が小さい（ビット誤差が生じる）ので、図１８(b) に示す様に、差動増幅回路COP にて生成された信号を増幅（ゲイン：一定割合変化、オフセット：一定値変化）して出力する。
【００６１】
但し、製品毎に増幅率が異なるため、各々のばらつきを補正するために増幅率を調整する必要がある。この増幅率の調整は、外部からの電気信号によって行われる。具体的には、増幅回路ACに接続された調整端子３９（図１５参照）に外部から電気信号を入力して、増幅回路ACに内蔵された不揮発性メモリ等に所定の増幅率が得られるようにデータを書き込んで行われる。この方法によれば、高価なレーザトリミング装置を使用する必要がなく、製品組立後に増幅率の調整を行うことができる。
【００６２】
また、上記のエアフロメータ１は、図１９に示す様に、吸気量に対する出力特性が吸気温度に応じて変化するため、その変化分を補正する必要がある。更に、図中製品No.1〜3 に示す様に、温度特性が製品によっても異なるため、製品毎のばらつきを補正する必要がある。なお、図１９は、吸気温度が20℃の時の出力特性を基準として、吸気温度が80℃の時の出力特性を比較したものであり、図中製品No.1〜3 は、製品によるばらつきを示している。
【００６３】
これに対し、本実施例では、増幅回路ACにて設定されるオフセット値に温度補正分を含ませると共に、その温度補正分の割合を調整して全体のオフセット値が決定される。つまり、図２０に示す様に、温度補正分として設定される第１のオフセット値と、温度補正分以外に設定される第２のオフセット値とを加算して全体のオフセット値が求められ、且つ図２１に示す様に、第１のオフセット値と第２のオフセット値との割合を調整することにより、全体のオフセット値が決定される。
【００６４】
ここで、温度補正分として設定される第１のオフセット値は、補正用温度計２９（図１５参照）で得られた温度情報（吸気温度）に応じて抵抗値が変化する可変抵抗体（本発明の第１のオフセット設定領域：図示せず）により設定され、第２のオフセット値は、補正用温度計２９で得られた温度情報によって抵抗値が変化しない固定抵抗体（本発明の第２のオフセット設定領域：図示せず）によって設定される。
また、第１のオフセット値と第２のオフセット値との割合は、外部からの電気信号を調整端子３９に入力して、可変抵抗体と固定抵抗体との割合を変更することにより調整できる。
【００６５】
本実施例の構成によれば、増幅回路ACで決定される増幅率に温度依存性を持たせることができるので、図２２に示す様に、吸気温度が変化した場合でも、吸気量に関係なく、流量特性の変化率を略０％に抑えることが可能である。また、製品によって温度特性が異なる場合でも、製品毎に増幅率の温度依存率を調整（第１のオフセット値と第２のオフセット値との割合を調整）できるので、製品毎のばらつきを非常に小さくできる。
【００６６】
なお、製品毎に増幅率の温度依存率を調整しなかった場合（つまり、図１９に示す製品No.2、No.3に対して、製品No.1と同じ増幅率を与えた場合）には、製品No.1と製品No.2及びNo.3とで温度特性が異なっているため、製品No.2、No.3のばらつきを抑えることができず、正確な流量検出ができない（図２３参照）。
また、補正用温度計２９を吸気量センサ２に設けている（図１６参照）ので、吸気温度が過渡的に変化している場合でも、正確に補正することができる。
【００６７】
（変形例）
本発明の流量測定装置は、上記の実施例に示したエアフロメータ１以外に、例えば、ガスメータのガス流量計、給湯器の燃焼空気量を計測する空気量計測器等にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  エアフロメータの制御回路図である（第１参考例）。
【図２】  吸気量センサの平面図である（第１参考例）。
【図３】  エアフロメータを吸気管に取り付けた状態を示す断面図である。
【図４】  吸気量センサの製造工程図である。
【図５】  吸気流れに対する発熱抵抗体の温度分布を示す説明図である。
【図６】  吸気量と測温抵抗体の検出温度との関係を示す特性図である。
【図７】  第１参考例の効果（回路の増幅率）を示す説明図である。
【図８】  第１参考例の効果（調整時に必要な精度）を示す説明図である。
【図９】  エアフロメータの制御回路図である（第２参考例）。
【図１０】  吸気量センサの平面図である（第２参考例）。
【図１１】  エアフロメータの制御回路図である（第３参考例）。
【図１２】  吸気量センサの平面図である（第３参考例）。
【図１３】  エアフロメータの制御回路図である（第１実施例）。
【図１４】  吸気量センサの平面図である（第１実施例）。
【図１５】  エアフロメータの制御回路図である（第２実施例）。
【図１６】  吸気量センサの平面図である（第２実施例）。
【図１７】  吸気量センサの製造工程図である（第２実施例）。
【図１８】  差動増幅回路にて生成される信号と、増幅回路で増幅された信号とを比較した出力線図である。
【図１９】  製品毎の温度特性のばらつきを示す出力特性図である。
【図２０】  オフセットの内容を示す出力線図である。
【図２１】  吸気温度とオフセット値（第１のオフセットと第２のオフセット値）との相関図である。
【図２２】  製品毎に温度特性のばらつきを調整した場合の出力特性図である。
【図２３】  温度特性のばらつきを一定値で補正した場合の出力特性図である。
【符号の説明】
１  エアフロメータ（流量測定装置）
４ａ  バイパス通路（流体通路）
６  半導体基板
７  吸気温検出抵抗体（流体温度検出用抵抗）
８  発熱抵抗体
９ａ  第１の測温抵抗体（測温抵抗体９）
９ｂ  第２の測温抵抗体（測温抵抗体９）
１９  出力回路に使用される第１の抵抗体（第１参考例）
２０  出力回路に使用される第２の抵抗体（第１参考例）
２１  出力回路に使用される第１の抵抗体（第２〜第３参考例、第１実施例）
２２  出力回路に使用される第２の抵抗体（第２〜第３参考例、第１実施例）
２４  第３の抵抗体（第１実施例）
２９  補正用温度計（第３の抵抗体：第２実施例）
３９  調整端子
Ａ  発熱体制御回路（第２のブリッジ回路）
Ｂ  出力回路（第１のブリッジ回路）
Ｃ  増幅回路（第１〜第３参考例、第１実施例）
ＡＣ  増幅回路（第２実施例）
ＳＧ  信号生成回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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