(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容体の下方に貯留層を形成し下部を底板で密封し、該貯留層に連通する流入口と流出口を容体の両側側に離れて設け、該貯留層の上方に内部隔壁を形成し、該内部隔壁を下面側から穿孔して下端が内部隔壁の下面で開口する複数の気筒を内部隔壁に設けた流体脈動緩和装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場その他各種の流体を使用する工場等において、該流体の給送時の脈動を減衰、緩和できるようにした流体脈動緩和装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程で使用される各種薬液、純水その他の処理液に脈動を生じると種々不都合を生じるため、容体内に空気層と流体層を形成して脈動を緩和できるようにした流体脈動緩和装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。このような装置は、空気層の圧力により脈動を緩和することが可能であるが、流体層の上面が激しく動くため上記空気層中の空気が次第に流体層中に溶け込み、空気量が減少して初期の脈動緩和効果を期待できなくなることがあった。
【０００３】
そのため空気層と流体層の間に弾性膜を設けたり、流体層の上面に複数の弾性体を浮上させて流体の上面を覆い空気の溶け込みを防止するようにした脈動吸収装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。しかし、上記の如き弾性膜や弾性体が流体層の上面にあって脈動に伴って上下動していると、微細ダストの発生を避けることができない。そのような微粒子は、特に半導体製造工程においては、製品に多大な悪影響を与え、好ましくない。
【特許文献１】特開２００４−１８３７３０号公報（請求項１、図４）
【特許文献２】実公平４−１７８１６号公報（実用新案登録請求の範囲（１）、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の解決課題は、空気層の作用で流体の脈動を緩和するようにした流体脈動緩和装置において、可動部分をなくしてダストが発生しないようにし、空気の溶け込みを減少させて長期にわたって初期の脈動緩和効果を維持できるようにした流体脈動緩和装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、容体内の上方に空気層を形成し、下方に脈動を伴う流体が流入する流体層を形成し、上記空気層により脈動を緩和するようにした流体脈動緩和装置において、上記容体内に流体の流入口、流出口に通じる貯留層と該貯留層の上方に位置する内部隔壁を形成し、該内部隔壁に下端が内部隔壁の下面に開口し内方に空気層要素を形成した複数の気筒を設けたことを特徴とする流体脈動緩和装置が提供され、上記課題が解決される。
【０００６】
また、本発明によれば、流入口から流入した流体が当接するよう上記貯留層に消波壁を設けた上記流体脈動緩和装置が提供され、該消波壁は上記内部隔壁の下面と容体の底面との間に間隔を存して設けられる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は上記のように構成され、貯留層の上方に内部隔壁を形成し、該内部隔壁に下端が内部隔壁の下面に開口する複数の気筒を形成し、該気筒に空気層要素を形成したので、空気層は複数の気筒内に分散して形成した複数の空気層要素で構成され、各気筒内の空気層要素は流体に接する面積が従来のように１つの空気層を形成した場合に比べて著しく小さくでき、空気が流体中に溶け込む溶解率を低減することができる。このように本発明の装置では従来の装置の如き可動部分を有しないから、ダストの発生はなく、半導体製造工程のように、きわめて微細なダストを問題にするような工程においても安心して使用することができる。
【０００８】
流入口から容体内に流入する脈動を伴った流体は、消波壁に当り、該消波壁の下方の間隙より貯留層内に入り込む。この際、圧力を温存した脈動（波）は、消波壁の内面や内部隔壁の下面に山のように跳ね上り、複雑な脈動（波頭と波尻の圧力が違う）となって容体内に拡散する傾向で流動する。従来の装置では、空気層が１つであるから、流体層の上面に激しい波動が生じるが、本発明では流体は内部隔壁の下面に当ってから上記各気筒内に個々に分散して入り込むので、気筒内の流体の上面の波動はゆるやかとなり、空気の溶け込みが少なく、確実に各空気層要素の圧力により消波されると共に脈動が緩和される。
【０００９】
また、従来の脈動緩和装置は、空気層を形成する容体が１枚の板部材で構成されているから、耐圧性に乏しいが、本発明では内部隔壁に設けた複数の気筒内に空気層要素を形成して空気層を分散したので、加圧と減圧の激しい圧力により生じた脈動に対しても充分な耐圧性を有し、耐久性がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図面は、本発明の一実施例を示し、図１は正面図、図２は図１の縦断面図、図３は図２の縦断面図、図４は底板及び消波壁を省いた容体の底面図である。本発明の容体（１）は、耐薬品性を有するプラスチック材料や金属材料等適用する流体に対応する適宜の材料で作ることができ、全体が略直方体状に形成され、流入口（２）、流出口（３）及びドレイン（４）、排気口（５）等が同一面、図において正面側に設けられている。これらの各開口部は後記するように、流入口（２）から入った流体が脈動の緩和作用を受けた後に流出口（３）から流出するような適宜位置に設けることができ、図１においては、流入口（２）と流出口（３）は正面の両端側に離れて設けられている。
【００１１】
上記容体（１）は、上記流入口（２）及び流出口（３）に連通する貯留層（６）を下方に有し、底板（７）により下面が密封されている。該貯留層（６）の上方には内部隔壁（８）が形成され、底板（７）を固定状態に補強するためのボルト（９）が底板（７）と内部隔壁（８）間に設けられている。なお、上記ドレイン（４）も該貯留層（６）に連通している。
【００１２】
上記貯留層（６）には、上記流入口（２）から入った流体が当接するよう消波壁（１０）が設けられている。該消波壁（１０）は、断面略Ｌ字型に形成され、水平部（１１）の先端が容体（１）の内面に溶接等により固定され、起立部（１２）の下端と底板（７）の間には流体が通過する下方間隙（１３）が形成されている。また、上記水平部（１１）と内部隔壁（８）の下面（１４）の間には上方間隙（１５）が形成されている。
【００１３】
上記内部隔壁（８）には、上記下面（１４）で下端が開口するように複数の気筒（１６）・・・が形成され、該気筒（１６）内に空気層要素（１７）が設けられている。該内部隔壁（８）は、好ましくは容易かつ経済的に得られるよう容体（１）と一体的に形成され、下面側から穿孔することにより複数の気筒（１６）を形成しているが、容体（１）と別体に作り、該容体内に挿入して固定してもよい。また、別体に作る場合、１つのブロック体に複数の孔を穿孔して気筒を設けたり、独立した筒状の気筒を複数個組み合せて内部隔壁を構成してもよい（図示略）。
【００１４】
上記気筒（１６）は、図４に示すように断面円形に形成してあるが、断面多角形状に形成してもよい。上記排気口（５）は該気筒（１６）に連通している。
【００１５】
上記流入口（２）から脈動を伴った流体を流入させると、該流体は消波壁（１０）に当り、下方間隙（１３）を通り消波壁（１０）の内方を通過して上昇し、上方間隙（１５）に入る。そして、内部隔壁（８）の下面（１４）から各気筒（１６）・・・内に分散して入ると、該気筒内の空気は上方に留まって空気層要素（１７）となるから、該空気層要素（１７）の圧力にバランスする高さまで進入し、該空気層要素（１７）の圧力作用で脈動が緩和され、上記流入口から離れた位置に設けられた流出口（３）から流出する。その後、流入口から入ってくる流体も貯留層を上昇して気筒に入るから、気筒内の流体と混入され、脈動が緩和されて流出口から流出する。
【００１６】
上記空気層要素（１７）・・・は、それぞれ独立しており、従来の１つの空気層を設ける場合に比べて流体との接触面積が少なく、かつ気筒内に入る流体の脈動も小さくなっているので、気筒内の流体の上面の動きを穏やかにでき、空気が流体に溶け込む溶解率を少なくすることができ、初期の脈動緩和効果を長期にわたって維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例を示す正面図。
【図２】図１の縦断面図。
【図３】図２の縦断面図。
【図４】底板及び消波壁を省いた容体の底面図。
【符号の説明】
【００１８】
１    容体
２    流入口
３    流出口
６    貯留層
７    底板
８    内部隔壁
１０    消波壁
１３    下方間隙
１５    上方間隙
１６    気筒
１７    空気層要素
【図１】
0004755467.tif 000002
【図２】
0004755467.tif 000003
【図３】
0004755467.tif 000004
【図４】
0004755467.tif 000005