(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板材を保持して収納カセットに進退動作するアームの先に、前記アームの進退動作方向に延設され、その先端面に第１の電極が露出した可動電極部と、
前記収納カセットを挟んで前記アームと対向する側に固設され、前記アームの前記収納カセットへの進入動作の終点で、前記第１の電極と接触可能な第２の電極が、前記アームと対向する表面に露出した固定電極部と、
前記第１，第２の電極と、それぞれ電気的接続され、前記第１，第２の電極間が前記アームの進入動作の終点で導通状態か非導通状態かを電気的に検知する検知部とを備えた薄板材の搬送装置。
【請求項２】
前記固定電極部の第２の電極は、前記収納カセットの左右の側壁の内側に前記薄板材を支持するために所定ピッチで設けられた多数対の溝のそれぞれと１対１に対応する位置に配列された電極群である請求項１に記載の薄板材の搬送装置。
【請求項３】
前記可動電極部の厚さは、前記アームの厚さと同じか、または、前記アームの厚さよりも薄い厚さである請求項１または２に記載の薄板材の搬送装置。
【請求項４】
前記可動電極部は、前記アームと一体形成された請求項１から３のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
【請求項５】
２個の前記可動電極部が、前記アームの左右両端に離間して延設され、それぞれの前記可動電極部に対応して前記固定電極部および前記検知部が配置され、２系統の検知回路が形成された請求項１から４のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
【請求項６】
前記第１，第２の電極のそれぞれの大きさと相互位置関係は、前記収納カセットに対して、前記アームが所定範囲内の高さで進入した場合、前記アームの進入動作の終点で前記第１の電極が前記第２の電極に当接して導通状態となり、前記アームが所定範囲外の高さで進入した場合、前記第１の電極が前記第２の電極に当接せず非導通状態となるように設定された請求項１から５のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
【請求項７】
前記固定電極部は、前記第１の電極と前記第２の電極の接触時の衝撃を緩和する弾性材からなるクッション部を備えた請求項１から６のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
【請求項８】
前記検知部は、前記アームを駆動する駆動手段に電気的接続された請求項１から７のいずれかに記載の薄板材の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板材の搬送装置に関し、特に、半導体ウェーハや液晶ガラス基板などの薄板材を収納カセットに１枚ずつ収納したり、取り出したりする薄板材の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の薄板材の搬送装置の一例として、半導体ウェーハを搬送する第１の搬送装置を図５に示す。図５（ａ）は従来の第１の搬送装置の概略構成を示す斜視図、図５（ｂ）は要部拡大図である。
【０００３】
図５において、２０は従来の第１の搬送装置、２１は収納カセット、２２は収納カセット２１の側壁に形成された溝、２３はウェーハ、２４はアーム、２３ａはアーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの上側の溝に収納されたウェーハ、２３ｂはアーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの下側の溝に収納されたウェーハ、２５はアーム２４の駆動手段、２６はエレベータ部、Ａは２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂ間の間隔、Ｂはアーム２４の厚さ寸法、Ｃはアーム２４と２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂとのそれぞれの隙間寸法である。
【０００４】
図５（ａ）に示すように、従来の第１の搬送装置２０は、その上面にウェーハ２３を保持して収納カセット２１に進退動作するアーム２４と、アーム２４を上下前後左右に移動させる駆動手段２５と、収納カセット２１を上下に移動させるエレベータ部２６とを備え、収納カセット２１を上下移動させて、所定の溝２２にウェーハ２３を１枚ずつ、収納したり、取り出したりできるようになっている。
【０００５】
尚、収納カセット２１は、ウェーハ２３の出し入れなどのために前後面の所要部分が開放されており、左右の側壁の内側には、ウェーハ２３を１枚ずつ水平支持するための溝２２が所定ピッチで多数対、形成されている。
【０００６】
従来の第１の搬送装置２０によるウェーハ２３の収納動作は、先ず、その上面にウェーハ２３を保持したアーム２４を、そのウェーハ２３を収納する予定の溝２２に対して所定の高さで、収納カセット２１内に水平に進入させる。
【０００７】
このとき、アーム２４の進入高さは、通常、上下のウェーハ２３に対して、均等な隙間ができるような高さに設定されている。
【０００８】
次に、アーム２４が所定の進入動作の終点まで進入したら、アーム２４の動作を停止し、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１を所定距離だけ上昇させる。この動作により、ウェーハ２３はアーム２４の上面から離間し、溝２２に支持される。
【０００９】
そして、空のアーム２４を収納カセット２１から引き出して収納動作は完了する。
【００１０】
その後、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１の高さを次のウェーハ２３を収納するための所定の高さに変更する。
【００１１】
尚、上記では、収納カセット２１を上昇させてアーム２４とウェーハ２３とを離間させることで説明したが、駆動手段２５でアーム２４を下降させて離間させるようにしてもよい。
【００１２】
次に、ウェーハ２３の取り出し動作は、収納動作の反対の順序で行われる。
【００１３】
即ち、先ず、空のアーム２４を、これから取り出す予定のウェーハ２３を支持する溝２２に対して所定の高さで、収納カセット２１内に水平に進入させる。
【００１４】
次に、アーム２４が所定の進入動作の終点まで進入したら、アーム２４の動作を停止し、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１を所定距離だけ下降させる。この動作により、ウェーハ２３はアーム２４の上面に保持される。
【００１５】
そして、ウェーハ２３を保持したアーム２４を収納カセット２１から引き出して取り出し動作は完了する。
【００１６】
その後、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１の高さを次のウェーハ２３を取り出すための所定の高さに変更する。
【００１７】
尚、上記では、収納カセット２１を下降させてアーム２４にウェーハ２３を保持させることで説明したが、駆動手段２５でアーム２４を上昇させて保持させるようにしてもよい。
【００１８】
ここで、図５（ｂ）に示すように、例えば、２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂ間の間隔Ａは、６ｍｍ程度であり、アーム２４の厚さ寸法Ｂは、２〜３ｍｍ程度である。
【００１９】
したがって、アーム２４を収納カセット２１に進退動作させる際の直上／直下のウェーハ２３ａ，２３ｂとのそれぞれの隙間Ｃは、１．５〜２ｍｍ程度（Ｃ＝（Ａ−Ｂ）／２）と狭かった。
【００２０】
このため、エレベータ部２６の部品の経時的な磨耗などにより、徐々に上下動作のばらつきが大きくなると、それに伴って、収納カセット２１へのアーム２４の進入高さのばらつきも増大し、上記の隙間分Ｃを越えて進入した場合、アーム２４でウェーハ２３ａ，２３ｂ表面（下面あるいは上面）を損傷させることになった。
【００２１】
これに対して、以下の従来の第２，第３の搬送装置が提案されている。
【００２２】
先ず、従来の第２の搬送装置について、図６を参照して説明する。図６は、従来の第２の搬送装置の概略構成を示す側断面図である。尚、図５と同一部分には同一符号を付す。また、ウェーハの収納動作／取り出し動作は、従来の第１の搬送装置２０と同様であるため詳細説明は省略する。
【００２３】
図６において、４０は従来の第２の搬送装置、４１はアーム、４２は感知器、４３は接触式の感知部、４４は金属層、４５は弾性層、４６は増幅部、４７は制御部、４８はアーム４１の昇降機構部、４９はアーム４１の駆動手段である。
【００２４】
図６（ａ）に示すように、従来の第２の搬送装置４０は、ウェーハ２３ａをその上面に保持する金属製のアーム４１と、アーム４１を前後左右に移動させる駆動手段４９と、アーム４１を上下に移動させる昇降機構部４８と、アーム４１の下面とウェーハ２３ｂの上面との接触を感知する感知器４２とを備えている。
【００２５】
感知器４２は、接触式の感知部４３と、その感知部４３により発生する電気的信号を増幅する増幅部４６と、その増幅された信号を受信して昇降機構部４８を制御する制御部４７とを備えている。
【００２６】
また、感知部４３は、金属層４４がアーム４１の下面にシリコンゴムでなる弾性層４５を介して取り付けられて構成される。
【００２７】
そして、図６（ｂ）に示すように、アーム４１の下面がウェーハ２３ｂの上面に接触すると金属層４４が押し上げられて、アーム４１の下面とショートし、電気的信号を発生する。
【００２８】
そして、制御部４７は、増幅部４６を介して、この電気的信号を受けた場合、アーム４１を停止させた後、昇降機構部４８で収納カセット（図示せず）を下降させて、アーム４１とウェーハ２３ｂとを離間させるようになっている。（例えば、特許文献１参照）。
【００２９】
次に、従来の第３の搬送装置について、図７を参照して説明する。図７は、従来の第３の搬送装置の概略構成を示す側断面図である。尚、図５と同一部分には同一符号を付す。また、ウェーハの収納動作／取り出し動作は、従来の第１の搬送装置２０と同様であるため詳細説明は省略する。
【００３０】
図７において、５０は従来の第３の搬送装置、５１はアーム、５２は距離センサ、５３はコントローラ、５４は補正制御部、５５はマニピュレータ、５５ａはリンク、５５ｂはジョイント、５６は付け根部である。
【００３１】
図７に示すように、従来の第３の搬送装置５０は、ウェーハ２３ａをその上面に保持するアーム５１と、アーム５１を上下前後左右に移動させるロボットハンド型のマニピュレータ５５と、このマニピュレータ５５を制御するコントローラ５３とを備えている。
【００３２】
また、マニピュレータ５５は、駆動制御可能なリンク５５ａおよびジョイント５５ｂと、このリンク５５ａの先端に取り付けられたアーム５１とを含み、付け根部５６を床部に固定設置され、アーム５１を任意の位置に移動可能となっている。
【００３３】
また、コントローラ５３は、このマニピュレータ５５を駆動して、アーム５１の軌跡を制御する。
【００３４】
また、アーム５１の先端の上面には、ウェーハ２３ａの底面との距離を計測する光学的な非接触式の距離センサ５２が配置されている。
【００３５】
そして、この距離センサ５２は、コントローラ５３に内蔵された補正制御部５４と接続され、アーム５１をウェーハ２３ａ，２３ｂ間に進入した直後から、進入動作の終点に至るまでリアルタイムに距離計測を行い、その距離情報に基づいて、補正制御部５４でアーム５１の移動経路を補正する。（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２−９１２６号公報  図５，図６
【特許文献２】特開２００２−１３６２８０号公報  図１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３６】
しかしながら、上記の従来の第２，第３の搬送装置４０，５０は、いずれもアーム４１，５１にその厚み方向に突出する感知部４３や距離センサ５２を取り付ける構成であるため、アーム４１，５１とウェーハ２３ａ，２３ｂとの間のもともと狭い隙間をさらに減少させる方向となり、スペース面で困難であった。また、感知部４３や距離センサ５２の取り付けのために、アーム４１，５１の厚さを薄くするとアーム４１，５１の機械的強度の低下を招いた。
【００３７】
また、従来の第２の搬送装置４０では、金属層４４がアーム４１の下面に接触するところまで変形してはじめて、アーム４１とウェーハ２３ｂの接触を検知するため、金属層４４の変形量が少ない場合、接触していても検知できなかった。
【００３８】
また、接触を検知したときには、すでに当該のウェーハ２３ｂを損傷させてしまっており、ウェーハ２３ｂの損傷を未然防止することはできなかった。
【００３９】
また、従来の第３の搬送装置５０では、距離センサ５２からの距離情報に基づいて位置補正量を算出し、それをマニピュレータ５５にフィードバックしながらアーム５１を動かすようにするため、どうしてもアーム５１の動作スピードが遅くなることが予想された。
【００４０】
本発明の主な課題は、アームにその厚さ方向の突出物を配置したり、アームの動作スピードを遅くさせたりすることなく、アームが所定範囲内の高さで収納カセットに進入したかどうかを確実に検知でき、かつ、アームで薄板材を損傷することを未然防止できる薄板材の搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００４１】
本発明の薄板材の搬送装置は、
薄板材を保持して収納カセットに進退動作するアームの先に、アームの進退動作方向に延設され、その先端面に第１の電極が露出した可動電極部と、
収納カセットを挟んでアームと対向する側に固設され、アームの収納カセットへの進入動作の終点で、第１の電極と接触可能な第２の電極が、アームと対向する表面に露出した固定電極部と、
第１，第２の電極と、それぞれ電気的接続され、第１，第２の電極間がアームの進入動作の終点で導通状態か非導通状態かを電気的に検知する検知部とを備えた薄板材の搬送装置である。
【発明の効果】
【００４２】
本発明の薄板材の搬送装置によれば、アームにその厚さ方向の突出物を配置したり、アームの動作スピードを遅くさせたりすることなく、アームが所定範囲内の高さで収納カセットに進入したかどうかを確実に検知でき、かつ、アームで薄板材を損傷することを未然防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
本発明の薄板材の搬送装置の一例として、半導体ウェーハの搬送装置を図１に示す。図１は、本発明の搬送装置の概略構成を示す側断面図である。また、図５と同一部分には同一符号を付す。
【００４４】
図１において、１００は本発明の搬送装置、２１は収納カセット、２３はウェーハ、２４はアーム、２３ａはアーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの上側の溝に収納されたウェーハ、２３ｂはアーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの下側の溝に収納されたウェーハ、２５はアーム２４の駆動手段、２６はエレベータ部、１０２は可動電極部、１０２ａは可動電極部１０２の先端面に露出した第１の電極、１０３は固定電極部、１０３ａは固定電極部１０３の表面に露出した第２の電極、１０３ｂは第１の絶縁基板、１０３ｃは第２の絶縁基板、１０３ｄはクッション部である。
【００４５】
図１に示すように、本発明の搬送装置１００は、その上面にウェーハ２３を保持して収納カセット２１に進退動作するアーム２４と、アーム２４の先にアーム２４の進退動作方向に延設され、その先端面に可動電極としての第１の電極１０２ａが露出した可動電極部１０２と、アーム２４の収納カセット２１への進入動作の終点で、第１の電極１０２ａと接触可能な第２の電極１０３ａが、アーム２４と対向する表面に多数、縦配列して露出した固定電極部１０３と、アーム２４及び可動電極部１０２を上下前後左右に移動させる駆動手段２５と、収納カセット２１と固定電極部１０３をいっしょに上下移動させるエレベータ部２６と、第１の電極１０２ａと第２の電極１０３ａに、それぞれ電気的接続され、アーム２４の進入動作の終点において、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が導通状態か、非導通状態かを電気的に検知する検知部１０４とを備え、収納カセット２１を上下移動させて、所定の溝（図示せず）にウェーハ２３を１枚ずつ収納したり、取り出したりできるようになっている。
【００４６】
尚、収納カセット２１は、ウェーハ２３の出し入れなどのために前後面の所要部分が開放されており、左右の側壁の内側には、ウェーハ２３を１枚ずつ水平支持するための溝（図示せず）が所定ピッチで多数対、形成されている。
【００４７】
また、アーム２４の先端に一体形成された可動電極部１０２の厚さは、アーム２４の厚さと同じか、それよりも若干、薄い厚さとする。
【００４８】
また、アーム２４および可動電極部１０２は、セラミックなどの絶縁物から成り、それらの内部に埋め込まれて形成された内部配線を通して、第１の電極１０２ａは、検知部１０４に電気的接続されている。
【００４９】
また、固定電極部１０３は、クッション部１０３ｄを挟んで、表面に第２の電極１０３ａが露出した第１の絶縁基板１０３ｂと、支持体としての第２の絶縁基板１０３ｃとが貼り合わされた積層構造となっている。
【００５０】
尚、クッション部１０３ｄは、例えば、シリコンゴムなどからなる弾性層、あるいは、クッションバネであってもよく、第１の電極１０２ａが、第２の電極１０３ａに当接する際のストレスを緩和させる役目をするものなら何でもよい。
【００５１】
第２の電極１０３ａは、収納カセット２１の溝の個数と同じ個数で、溝ピッチと同じピッチで縦配列された電極群であり、その電極群の個々の電極は、第１の絶縁基板１０３ｂの内部に埋め込まれて形成された内部配線を通して検知部１０４に電気的接続されている。
【００５２】
そして、固定電極部１０３は、その電極群の個々の電極が、各溝と１対１に対応するような高さ方向位置、かつ、アーム２４の進入動作の終点で、第１の電極１０２ａと第２の電極１０３ａとが接触可能な前後方向位置に固定され、エレベータ部２６により、収納カセット２１と共に上下動作するようになっている。
【００５３】
また、検知部１０４は、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間に所定の微弱な電圧を付加し、アーム２４の進入動作の終点において、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が接触し導通状態となったか、接触せず非導通状態であるかを電流の大きさで検知可能となっている。
【００５４】
また、検知部１０４は、アーム２４の駆動手段２５と接続され、上記の検知結果に基づいて、駆動手段２５を作動し、アーム２４の動作を制御できるようになっている。
【００５５】
次に、アーム２４の進入高さと第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａとの関係の一例を図２、図３を参照して説明する。図２、図３は要部拡大図である。
【００５６】
例えば、図２に示すように、第１の電極１０２ａと第２の電極１０３ａの縦寸法（Ｌ）を同じ寸法とし、第１の電極１０２ａと第２の電極１０３ａのセンタを一致させ、アーム２４が丁度、２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂ間のセンタ（片側の隙間寸法が共にＣ）を狙って進入するように設定する。
【００５７】
そして、縦寸法Ｌ<隙間寸法Ｃとなるように、縦寸法Ｌを設定すると、図３（ａ）に示すように、収納カセット２１に対して、アーム２４が所定範囲内（進入高さのばらつき<縦寸法Ｌ）の高さで進入した場合、第１の電極１０２ａはアーム２４の進入動作の終点で第２の電極１０３ａに当接して、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間は導通状態となる。
【００５８】
これに対して、図３（ｂ）に示すように、アーム２４が所定範囲外（進入高さのばらつき>縦寸法Ｌ）の高さで進入した場合、第１の電極１０２ａは第２の電極１０３ａに当接せず、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間は非導通状態となる。
【００５９】
すなわち、隙間Ｃに対して縦寸法Ｌを小さくすればするほど、アーム２４の進入高さのばらつきに対する検知感度が向上する。
【００６０】
このように、隙間Ｃに対する電極１０２ａ，１０３ａの縦寸法Ｌを任意に選択することで、アーム２４の進入高さのばらつきが、ウェーハ２３ａ，２３ｂを損傷させてしまうレベルにまで増大する前に未然に検知できる。
【００６１】
ここで、縦寸法Ｌの決め方は、２つの電極１０２ａ，１０３ａが互いに寸法Ｌだけずれると接触しなくなるので、アーム２４のずれの許容範囲の最大値を目安にして決定すればよい。
【００６２】
一例としては、アーム２４のずれの許容範囲の最大値を縦寸法Ｌと設定すればよい。
【００６３】
また、上記では、２つの電極１０２ａ，１０３ａの縦寸法Ｌを同じ寸法とすることで説明したが、必ずしも同じ寸法でなくてもよく、その場合は、２つの縦寸法のうち、大きい方の寸法を、アーム２４のずれの許容範囲の最大値を目安にして決定すればよい。
【００６４】
本発明の搬送装置１００によるウェーハ２３の収納動作は、先ず、上面にウェーハ２３ａを保持したアーム２４を、そのウェーハ２３ａを収納する予定の溝（図示せず）に対して所定の高さで、収納カセット２１内に水平に進入させる。
【００６５】
次に、アーム２４が所定の進入動作の終点まで進入したら、アーム２４の動作を停止する。
【００６６】
このとき、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が導通状態になったか非導通状態かを検知部１０４で検知する。
【００６７】
もし、検知部１０４が、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間の導通状態を検知し、アーム２４が所定範囲内の高さで進入したことが確認できたら、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１を所定距離だけ上昇させる。この動作により、ウェーハ２３ａはアーム２４の上面から離間し、溝（図示せず）に支持される。
【００６８】
次に、空のアーム２４を収納カセット２１から引き出して収納動作は完了する。
【００６９】
その後、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１の高さを次のウェーハ２３を収納するための所定の高さに変更する。
【００７０】
もし、万一、検知部１０４が、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が非導通状態であることを検知したら、その信号を駆動手段２５に送信し、アーム２４の動作を停止し、即座に、警報を鳴らすなどして作業者に異常を知らせる
【００７１】
作業者は、異常警報の原因を調査して、磨耗部品を交換するなどの処置をする。
【００７２】
尚、上記では、収納カセット２１を上昇させてアーム２４とウェーハ２３とを離間させることで説明したが、駆動手段２５でアーム２４を下降させて離間させるようにしてもよい。
【００７３】
次に、ウェーハ２３ａの取り出し動作は、収納動作の反対の順序で行われる。
【００７４】
即ち、先ず、空のアーム２４を、これから取り出す予定のウェーハ２３ａを支持する溝（図示せず）に対して、所定の高さで収納カセット２１内に水平に進入させる。
【００７５】
次に、アーム２４が所定の進入動作の終点まで進入したら、アーム２４の動作を停止する。
【００７６】
このとき、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が導通状態になったか非導通状態かを検知部１０４で検知する。
【００７７】
もし、検知部１０４が、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間の導通状態を検知し、アーム２４が所定範囲内の高さで進入したことが確認できたら、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１を所定距離だけ下降させる。この動作により、ウェーハ２３ａはアーム２４の上面に保持される。
【００７８】
そして、ウェーハ２３を保持したアーム２４を収納カセット２１から引き出して取り出し動作は完了する。
【００７９】
その後、エレベータ部２６を作動し、収納カセット２１の高さを次のウェーハ２３を取り出すための所定の高さに変更する。
【００８０】
もし、万一、検知部１０４が、第１，第２の電極１０２ａ，１０３ａ間が非導通状態であることを検知したら、その信号を駆動手段２５に送信し、アーム２４の動作を停止し、即座に、警報を鳴らすなどして作業者に異常を知らせる。
【００８１】
作業者は、異常警報の原因を調査して、磨耗部品を交換するなどの処置をする。
【００８２】
尚、上記では、収納カセット２１を下降させてアーム２４にウェーハ２３を保持させることで説明したが、駆動手段２５でアーム２４を上昇させて保持させるようにしてもよい。
【００８３】
尚、上記の例では、可動電極部１０２をアーム２４の一箇所に設け、それに対応する固定電極部１０３および検知部１０４を配置して１系統の検知回路を形成することで説明したが、本発明の他の例として、図７に示すように、２個の可動電極部１０２をアーム２４の左右両端（二箇所）に離間して設け、それぞれに対応する固定電極部１０３および検知部１０４を配置し、２系統の検知回路を独立して形成するようにしてもよい。
【００８４】
このようにすると、アーム２４の水平度のばらつきについても検知でき好適である。
【００８５】
また、上記の例では、半導体ウェーハの搬送装置の例で説明したが、本発明はその他、液晶ガラス基板などの薄板材の搬送装置に用いることができる。
【００８６】
また、上記の例では、収納カセットに薄板材を水平方向に収納する例で説明したが、とくに水平方向に限るわけではなく、垂直方向や斜め方向に収納するような構成の場合にも応用できる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明は、アームにその厚さ方向の突出物を配置したり、アームの動作スピードを遅くさせたりすることなく、アームが所定範囲内の高さで収納カセットに進入したかどうかを確実に検知でき、かつ、アームで薄板材を損傷することを未然防止できる薄板材の搬送装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の搬送装置の概略構成を示す側断面図
【図２】本発明の搬送装置の要部拡大図
【図３】本発明の搬送装置の要部拡大図
【図４】本発明の搬送装置の他の例の概略構成図
【図５】従来の第１の搬送装置の概略構成を示す斜視図および要部拡大図
【図６】従来の第２の搬送装置の概略構成を示す側断面図
【図７】従来の第３の搬送装置の概略構成を示す側断面図
【符号の説明】
【００８９】
２０    従来の第１の搬送装置
２１    収納カセット
２２    収納カセット２１の側壁に形成された溝
２３    ウェーハ
２４，４１，５１    アーム
アーム
２３ａ    アーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの上側の溝に収納されたウェーハ
２３ｂ    アーム２４を挟んで隣り合う２つの溝のうちの下側の溝に収納されたウェーハ
２５    アーム２４の駆動手段
２６    エレベータ部
４０    従来の第２の搬送装置
４２    感知器
４３    接触式の感知部
４４    金属層
４５    弾性層
４６    増幅部
４７    制御部
４８    昇降機構部
４９    アーム４１の駆動手段
５０    従来の第３の搬送装置
５２    距離センサ
５３    コントローラ
５４    補正制御部
５５    マニピュレータ
５５ａ    リンク
５５ｂ    ジョイント
５６    付け根部
１００    本発明の半導体ウェーハの搬送装置
１０２    可動電極部
１０２ａ    第１の電極
１０３    電極部
１０３ａ    第２の電極
１０３ｂ    第１の絶縁基板
１０３ｃ    第２の絶縁基板
１０３ｄ    クッション部
Ａ    ２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂ間の間隔
Ｂ    アーム２４の厚さ寸法
Ｃ    アーム２４と２枚のウェーハ２３ａ，２３ｂとのそれぞれの隙間寸法
Ｌ    第１,第２の極１０２ａ，１０３ａの縦寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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