(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段を具備し、
前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着部の内周に間隙を設けたことを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
を具備し、
前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、
前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、
前記吸着プレートの吸着部は、ローラ位置に応じて、吸着用部材の吸着位置を任意に変更可能であることを特徴とするラミネート装置。
【請求項３】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
を具備し、
前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、
前記空気除去手段は、前記吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とするラミネート装置。
【請求項４】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
を具備し、
前記移動手段は、
前記シートを吸着する吸着手段と、
前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
を備え、
前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、
前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する１対の吸着パッドを有し、各吸着パッドの長さが、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に沿って、伸縮可能であることを特徴とするラミネート装置。
【請求項５】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
を具備し、
前記移動手段は、
前記シートを吸着する吸着手段と、
前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
を備え、
前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、
前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する１対の吸着パッドを有し、
前記移動手段は、前記吸着手段の前記１対の吸着パッドの一方を、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に伸長することにより、前記シートの一辺を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置。
【請求項６】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、
前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
を具備し、
前記移動手段は、
前記シートを吸着する吸着手段と、
前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
を備え、
前記移動手段は、前記シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの保持を開放し全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置。
【請求項７】
吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、
所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、
前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、
を具備し、
前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも１つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧し、
２つの前記押圧ローラを前記ラミネートローラの長さ方向と直角の方向に並列に並べて設置し、同一の押圧力発生機構によりラミネートローラを押圧することを特徴とするラミネート装置。
【請求項８】
前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段を更に具備することを特徴とする請求項１、４乃至６のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項９】
前記所定の長さのシートを巻き取りから取り出す取出手段を更に具備することを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１０】
前記シートの取り出し時にシートの張力を調整する張力調整手段を更に具備することを特徴とする請求項９記載のラミネート装置。
【請求項１１】
取り出された前記所定長さのシートを切断する切断手段を更に具備することを特徴とする請求項９又は１０に記載のラミネート装置。
【請求項１２】
前記取出手段は、
前記シートをチャックするチャック機構と、
前記チャック機構を移動させる移動機構と、
を具備することを特徴とする請求項９、１０、１１のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１３】
前記切断手段は、
前記シートをチャック台上に押圧して仮固定する押圧部と、
前記シートを切断するカッタと、
前記カッタが走行するカッタ溝と、
を具備することを特徴とする請求項１１記載のラミネート装置。
【請求項１４】
前記カッタ溝に、前記シート切断時の塵吸引用の吸塵部を具備することを特徴とする請求項１３記載のラミネート装置。
【請求項１５】
所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段を備え、
前記移動手段は、
前記シートを吸着する吸着手段と、
前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、
を具備することを特徴とする請求項１、２、３、７のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１６】
前記シートは非粘着性であることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１７】
前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備えることを特徴とする請求項４乃至７のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１８】
前記押圧手段は、ラミネートローラ、重りの少なくとも一つであることを特徴とする請求項３、８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項１９】
前記ラミネートローラは、移動速度が可変であることを特徴とする請求項２、７、１８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２０】
前記押圧手段は、押圧力が可変であることを特徴とする請求項２、７、１８、１９のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２１】
前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも１つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧することを特徴とする請求項２、１８、１９、２０のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２２】
前記押圧手段が、前記シート上に載置する風船と、前記風船を押圧する押圧板であることを特徴とする請求項３、８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２３】
前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段を更に具備し、
前記押圧手段が、重りとしての板材であることを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項２４】
前記押圧手段が、エアブローであることを特徴とする請求項３、８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２５】
前記空気除去手段は、前記吸着プレートの前記間隙および前記吸着用部材を通して、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項２６】
前記空気除去手段は、前記押圧手段により、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とする請求項２、３、７、８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２７】
前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、
前記ラミネートローラを除電するための除電装置を具備することを特徴とする請求項２、３、７、８のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項２８】
前記巻き取り状のシート及び前記巻き取りから取り出されたシートの除電を行う除電バーを、更に備えることを特徴とする請求項９に記載のラミネート装置。
【請求項２９】
前記押圧ローラの長さは、前記ラミネートローラの長さと同一であることを特徴とする請求項７、２１のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項３０】
前記押圧ローラの長さは、前記ラミネートローラの長さより短く、ラミネートローラの一部を押圧することを特徴とする請求項７、２１のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項３１】
前記ラミネートローラの長さよりも短い押圧ローラをラミネートローラの長さ方向に直列に複数個並べて設置し、前記複数の押圧ローラにより前記ラミネートローラを押圧することを特徴とする請求項７、２１のいずれかに記載のラミネート装置。
【請求項３２】
前記板材は、透明であることを特徴とする請求項２３記載のラミネート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートを用いたラミネート装置に関するものである。より詳しく言えば、非粘着性の転写シート等のシートをガラス基板に載置するラミネート装置(ラミネータ)に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタはフォトリソ工程で製造される他、ガラス基板に転写シートを載置し、レーザ光を照射してガラス基板上にブラックマトリックス等のパターンを形成して得られる方法がある。
レーザ転写を行う方法を記載した文献として例えば特許文献１がある。
【０００３】
【特許文献１】特開平３−１３８１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来の転写装置は、巻き取り状の転写シートを取り出して、吸着部に吸着させるので、転写シートにしわが発生したり、転写シートと吸着部の間の空気が抜き取りにくいという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、転写シートの取り扱いが容易で、転写シートにしわの発生等がなく、転写シートと吸着部の間の空気を容易に除去できるラミネート装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために第１の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段を具備し、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着部の内周に間隙を設けたことを特徴とするラミネート装置である。
第２の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記押圧手段は、ラミネートローラを含み、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記吸着プレートの吸着部は、ローラ位置に応じて、吸着用部材の吸着位置を任意に変更可能であることを特徴とするラミネート装置である。
第３の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材による吸着部を備え、前記空気除去手段は、前記吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、シートと基板の間に残留する空気を排出することを特徴とするラミネート装置である。
第４の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する１対の吸着パッドを有し、各吸着パッドの長さが、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に沿って、伸縮可能であることを特徴とするラミネート装置である。
第５の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記吸着手段は、枠体の下部に設けられ、前記吸着手段は、前記シートの長さ方向の両端を吸着する１対の吸着パッドを有し、前記移動手段は、前記吸着手段の前記１対の吸着パッドの一方を、前記枠体に対して、前記枠体から下方向に伸長することにより、前記シートの一辺を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置である。
第６の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートを前記吸着プレート上に移動させる移動手段と、前記所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、を具備し、前記移動手段は、前記シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を備え、前記移動手段は、前記シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記シートの保持を開放し全体を前記吸着プレートに載置することを特徴とするラミネート装置である。
第７の発明は、吸着プレート上に載置された基板にシートをラミネートするラミネート装置であって、所定の長さのシートと前記基板との間に残留する空気を除去する空気除去手段と、前記吸着プレートに吸着された前記シートを基板に押圧する押圧手段と、を具備し、前記押圧手段は、ラミネートローラに加えて、ラミネートローラのシートと相対する側で接触する少なくとも１つの押圧ローラを設け、前記ラミネートローラを押圧し、２つの前記押圧ローラを前記ラミネートローラの長さ方向と直角の方向に並列に並べて設置し、同一の押圧力発生機構によりラミネートローラを押圧することを特徴とするラミネート装置である。
【０００８】
ラミネート装置は、吸着プレートに吸着された前記転写シートを押圧する押圧手段、前記所定の長さのシートを巻き取りから取り出す取出手段、取り出された前記所定長さのシートを切断する切断手段を更に具備する。前記取出手段は、前記転写シートをチャックするチャック機構と、前記チャック機構を移動させる移動機構と、を具備する。
前記切断手段は、前記転写シートをチャック台上に押圧して仮固定する押圧部と、前記転写シートを切断するカッタと、を具備する。
【０００９】
前記移動手段は、前記転写シートを吸着する吸着手段と、前記吸着手段を昇降させる昇降手段と、を具備する。前記転写シートは非粘着性である。前記吸着プレートは、周囲に吸着用部材を備える。
前記移動手段は、前記吸着プレート上に、切断された複数枚の転写シートを載置し、載置された複数枚の転写シートの合わせ部を接合するテープの如き接合手段を更に具備するようにしてもよい。
【００１０】
前記押圧手段は、ラミネートローラまたは重りであり、このローラは、移動速度が可変であり、押圧力も可変である。前記押圧手段は、ローラとバックアップローラ、風船と押圧板、透明板状部材、エアブローなどでもよい。前記吸着プレートは、表面が凸形状に形成されてもよい。
【００１１】
前記空気除去手段は、前記吸着用部材の内周部に設けた間隙および給着用部材を通して、転写シートと基板の間に残留する空気を排出する。また、前記空気除去手段は、前記押圧手段により、転写シートを押圧することにより、転写シートと基板の間の空気を排出する。また、吸着プレートの表面を凸形状に形成することにより、転写シートと基板の間の空気を排出するようにしてもよい。
【００１２】
さらに、ラミネートローラのよる押圧時に、吸着プレートの吸着部をローラの位置に応じて任意に変化させるようにすることにより、前記空気除去手段は、転写シートと基板の間に残留する空気を適切に排出することが可能になる。
【００１３】
ラミネート装置は、前記巻き取り状の転写シート及び前記巻き取りから取り出された転写シートの除電を行う除電バーを、更に備える。前記移動手段は、前記転写シートの片側を前記吸着プレートに載置した後、前記転写シートの全体を前記吸着プレートに載置するかあるいは、前記転写シートの中央部を前記吸着プレートに載置した後、前記転写シートの全体を前記吸着プレートに載置する。
【００１４】
前記吸着手段は、前記転写シートを吸着するための1対の吸着パッドを備え、各吸着パッドの長さは伸縮可能であることが好ましい。これにより、まず、前記転写シートの片側を前記吸着プレートに載置してから全体を吸着プレートに載置したり、転写シートの中央部をまず吸着プレートに載置することが可能になる。
【００１５】
さらに、前記押圧手段としてのラミネートローラは、さらに、ラミネートローラを押圧する押圧ローラを備えるようにしてもよい。押圧ローラは、その長さを、ラミネートローラと同一、あるいは短くしてもよく、また、複数の短い押圧ローラを直列に設置してもよい。また、２つの押圧ローラを並列に設置してもよい。
このように、押圧ローラを設置することにより、ラミネートローラを介して転写シートを押圧することにより、転写シートと基板の間に残留する空気を適切に排出することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、転写シートの取り扱いが容易で、転写シートにしわの発生等がなく、転写シートと吸着部の間の空気を容易に除去できるラミネート装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を詳細に説明する。まず、本発明の概要を説明する。図１は、本発明に用いられる転写シート１の断面図であり、図２は、転写シート１の平面図である。図１は図２のＡ１−Ａ１断面を示す。
【００１８】
図１に示されるように、転写シート１は基材３上に剥離層５、樹脂層７が積層されてなる。基材３は、透明樹脂フィルムからなり、剥離層５は、ＵＶ硬化型アクリル樹脂からなり、樹脂層７は、熱硬化型アクリル樹脂からなる。
この転写シート１にレーザ光を照射すると、樹脂層７の樹脂がガラス基板１１に転写され、所定のパターンが形成される。
【００１９】
図２に示すように、基材３の幅よりも剥離層５、樹脂層７の幅を狭くし、基材３上に剥離層５、樹脂層７の形成されていない側部９を形成する。
後述するラミネータ２０１等のチャック装置等で転写シート１をチャックする場合、側部９をチャックする。側部９を設けることにより樹脂層７等の塗布量を削減でき、コスト低減を図ることができる。
【００２０】
図３は、本発明の加工装置の概要を示すもので、図３（ａ）はラミネータ、図３（ｂ）は描画部、図３（ｃ）はピーラを示す。
【００２１】
図３（ａ）に示すように、巻き取り状の転写シート２０７から転写シート１を引き出し、所定の長さで切断してガラス基板１１上に載置する。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、ガラス基板１１上に載置された転写シート１上に照射部６３からレーザ光を照射することにより転写シート１上の樹脂成分等がガラス基板１１に転写され、ブラックマトリックス等のパターンがガラス基板１１上に形成される。
【００２３】
図３（ｃ）に示すように、ガラス基板１１から転写シート１を剥ぎ取る。このようにして、ガラス基板１１上にブラックマトリックスのパターンが形成される。
【００２４】
（ラミネータ２０１）
図４に示されるように、ラミネータ（ラミネート装置）２０１は巻取り状の転写シート２０７、ガイドローラ２０９、ラミネートローラ２１１等からなる。巻取り状の転写シート２０７は、転写シート１が巻かれたものである。ステージ５７上に直方体形状の１対の支持板２０３が対向して設けられ、またステージ５７に直方体形状の１対の支持板２１３が設けられる。支持板２０３、２０３の間に転写シート１が巻かれたローラ２０７とガイドローラ２０９が回転可能に設けられる。支持板２１３、２１３の間にラミネートローラ２１１が設けられる。また、後述するようにチャック機構、カッタ、吸着パッド等が備えられる。
【００２５】
ガラス基板１１を搭載した吸着プレート７３がラミネート開始位置まで移動すると、巻取り状の転写シート２０７がチャック機構により引き出され、所定の長さでカッタにより切断され、切断された転写シート１が吸着パッドに吸着されつつガラス基板１１上に載置され、吸着プレート７３の吸着用部材９５で転写シート１が吸着される。その後、ラミネートローラ２１１で転写シート１を押圧し転写シート１とガラス基板１１との間のエアー等を除去しラミネートする。
【００２６】
吸着プレート７３は平板状の定盤９１の上面の周囲に吸着用部材９５を設けたものである。
図５に示すように、吸着用部材９５は定盤９１の上面の周囲に口の字型に設けられる。吸着用部材９５は多数の孔を有する。
【００２７】
図６に示すように、図示しない真空ポンプで吸引すると、吸着用部材９５に転写シート１が吸着される。吸着用部材９５と定盤９１との間には間隙９６が設けられているので、転写シート１とガラス基板１１との間にエアー等が存在しても間隙９６、吸着用部材９５を介してそのエアーが吸収される。
【００２８】
図５に示されるように、吸着用部材９５は部分ごとに吸着が可能であり、例えば図５に示す下辺の吸着用部材９５aでは吸着範囲９９ａ、９９ｂ、９９ｃ、９９ｄが設定され、この部分が独立して吸着を行う。また、右辺の吸着用部材９５ｂでは、吸着範囲９９ｅ、……、９９ｈが設定され、この部分が独立して吸着を行う。
【００２９】
吸着用部材９５を部分ごとに独立して吸着できるようにすることにより、転写シート１とガラス基板１１の間に残留している空気を、転写シート１の一端から、あるいは中央部から順に排出しながら、転写シート１を吸着プレート７３に吸着することが可能になる。
【００３０】
ガラス基板１１を定盤９１上に載置する。そして、押圧ピン等によりガラス基板の位置決めが行われる。
【００３１】
図７は、ラミネータ２０１の概略構成図である。
ラミネータ２０１は巻き取り状の転写シート２０７、ガイドローラ２０９、チャック２３１、チャック台２３３、押圧部２３５、カッタ２３７、枠体２３９等からなる。
【００３２】
巻き取り状の転写シート２０７は、チャック２３１及び図示しない他のチャックにより取り出される。チャック２３１は当初は点線で示す位置にあり、転写シート１を挟むとＹ１方向に移動し、枠体２３９の下方まで転写シート１を移動させる。
【００３３】
転写シート１が図７に示されるように所定の長さだけ引き出されると、押圧部２３５が下降し、チャック台２３３と押圧部２３５により転写シート１が挟まれる。この状態でカッタ２３７が下降し、転写シート１を切断する。カッタ２３７は溝２３４の一辺に沿って紙面に垂直方向に移動し、転写シート１を切断する
【００３４】
枠体２３９の下部には吸着パッド２４３a、２４３ｂが設けられ、上部には昇降機構２４１が設けられる。枠体２３９は昇降機構２４１により昇降可能である。吸着パッド２４３a、２４３ｂは枠体２３９に対して伸縮自在に設けられる。
【００３５】
巻き取り状の転写シート２０７の上部には除電バー２４５ａが設けられ、転写シート１が取り出される部分にも除電バー２４５ｂが設けられる。除電バー２４５ａ、２４５ｂは転写シート１に発生する静電気等を取り除く。除電バー２４５ａ、２４５ｂ以外に他の除電バーを取り付けてもよい。
【００３６】
除電バー２４５は、このほか、例えば、ラミネートローラ２１１の上部にも設けてもよい。除電バー２４５により、転写シート１に発生する静電気を除去し、塵等が転写シート１やラミネート装置２０１に付くのを抑えることが可能である。
【００３７】
次に、このラミネータ２０１の概略動作について説明する。図７に示すように、チャック２３１により転写シート１を挟み、チャック２３１がＹ１方向に移動することにより転写シート１が枠体２３９の下方まで引き出される。
【００３８】
次に、図８に示すように、押圧部２３５が下降し、転写シート１がチャック台と押圧部２３５との間で固定される。カッタ２３７が下降し、転写シート１を切断し、溝２３４の一辺に沿って紙面垂直方向に移動することにより転写シート１が所定の長さ分切断される。吸塵部２３６は、チャック台２３３を介して溝２３４に到る。溝２３４に設けられた吸塵部２３６から、転写シート１の切断時に発生した塵を吸入して回収する。
【００３９】
次に、図９に示すように、吸着パッド２４３a、２４３ｂが下降し、転写シート１を吸着するとともにチャック２３１は転写シート１を開放し、押圧部２３５、カッタ２３７も上昇する。この状態で転写シート１は吸着パッド２４３a、２４３ｂにより吸着される。
【００４０】
次に、図１０に示すように、昇降機構２４１により枠体２３９が下降し、吸着プレート７３のガラス基板１１と転写シート１との間隔が所定の距離になると枠体２３９が停止する。
【００４１】
次に、図１１に示すように、吸着パッド２４３aが下降し、吸着を停止することにより、転写シート１の一端が吸着プレート７３上に載置される。そして、転写シート１が載置された部分の吸着用部材９５が部分的に吸着を行う。その後、吸着プレート２４３ｂも吸着を停止することにより、転写シート１が吸着プレート７３上に落下し、吸着用部材９５の他の部分も吸着を開始するので転写シート１が吸着プレート７３に吸着される。
【００４２】
また、図１２に示すように、転写シート１は多少撓ませた状態で吸着パッド２４３a、２４３ｂで転写シート１を吸着し、枠体２３９を下降させてもよい。転写シート１の中央部が吸着プレート７３上のガラス基板１１に接触する時点で枠体２３９を停止させ、吸着パッド２４３による吸着も停止させる。転写シート１は吸着プレート７３上に落下し、吸着プレート９１の吸着用部材９５が転写シート１を吸着する。
【００４３】
転写シート１を撓ませた状態で吸着プレート７３に接触させることにより、転写シート１と吸着プレート７３との間のずれを生ずることがなく、また転写シート１のしわも防ぐことができる。
【００４４】
その後、図１３に示すように、吸着プレート７３上に転写シート１が吸着された状態で、ラミネートローラ２１１が吸着プレート７３上を加圧を行いながら回転移動し、転写シート１とガラス基板１１との間のエアーを抜き出す。ラミネートローラ２１１の移動速度及び加圧力は変更可能である。
またこのとき、分割された吸着用部材の吸引箇所をラミネートローラの走行位置と合わせることによってエア残りを少なくする。
【００４５】
このように、ラミネータ２０１では、巻き取り状の転写シート２０７を取り出し、所定の長さに切断して吸着プレート７３に吸着させるので、吸着プレート７３に吸着される状態では転写シート１がシート状であり、取り扱いが容易である。また、ラミネートローラ２１１により吸着プレート７３上の転写シート１に加圧を行うことにより、ガラス基板１１と転写シート１との間のエアー抜きを行うことができる。
【００４６】
なお、ラミネータ２０１は種々の変形が可能である。例えば、図１４に示すように、吸着プレート７３上に２枚の転写シートを吸着させ、合わせ目をテープ２５１で貼り付けてもよい。
【００４７】
また、転写シート１とガラス基板１１との間のエアーを除去する構成として以下のようなものがある。
図１５は、風船２７３を用いた例であり、吸着プレート７３上に転写シート１を吸着させ、風船２７３を転写シート１上に載置し、風船２７３を押圧板２７１で押圧することにより転写シート１を加圧し、転写シート１とガラス基板１１との間のエアー抜きを行う。
図１６に示されるように、透明なガラス板２７５を転写シート１上に載置し、ガラス板２７５で転写シート１を押圧することによりエアー抜きを行ってもよい。透明なガラス板２７５をを用いることによって、レーザ照射を行う場合、ガラス板２７５を載置したままガラス板２７５の上からレーザ光を照射することができる。
【００４８】
風船２７および押圧板２７１、あるいは、ガラス板２７５による転写シート１の押圧は、ラミネート装置２０１の構成が簡単である。
【００４９】
図１７は、定盤９１上に凸形状の凸部２７７を形成し、吸着用部材９５も凸形状とする。凸部２７７上にガラス基板１１を載置し、その上に転写シート１を載せ、吸着用部材９５により転写シート１の吸着を行う。
【００５０】
凸部２７７を設けることにより、転写シート１をガラス基板１１上に載置する際、まず、凸部に転写シート１の中央部が載置され、順に両側が載置されていくので、転写シート１とガラス基板１１の間に残留する空気が排出されやすい。
また、描画部で描画を行うとき、転写シート１にレーザ光が照射される部分にエアーブローを行い、転写シート１とガラス基板１１との間のエアー抜きを行うようにしてもよい。
【００５１】
図１８は、転写シート１の押圧をラミネートローラ２１１およびバックアップローラ（押圧ローラ）２１２を使用する場合のラミネート装置２０１の構成図である。
ラミネートローラ２１１の上側部分に接するように、バックアップローラ２１２が設置され、バックアップローラ２１２は、下方への押圧力を発生する押圧力発生機構２９１に接続されている。押圧力発生機構２９１は、例えば、エアシリンダあるいは重り等である。
【００５２】
バックアップローラ２１２を、押圧力発生機構２９１による押圧力でラミネートローラ２１１を押圧しながら、ラミネートローラ２１１の移動と同期して移動させることにより、ラミネートローラ２１１による転写シート１の押圧力が増し、転写シート１とガラス基板１１の間の空気をより的確に排出することが可能になる。
【００５３】
図１９は、バックアップローラ２１２の配置方法を示す図で、図１８のラミネート装置２０１をＡ方向から見た平面図である。バックアップローラ２１２は、図１９（ａ）に示すように、ラミネートローラ２１１よりも短くしてもよいし、同図（ｂ）に示すように、ラミネートローラ２１１と同じ長さにしてもよい。すなわち、バックアップローラ２１２により、ラミネートローラ２１１の全体を押圧する場合には、図１９（ａ）のように長さをラミネートローラ２１１と同一にすればよく、また、中心部の押圧力が足りない場合には、ラミネートローラ２１１よりも短いバックアップローラを設置して、ラミネートローラ２１１の中央部を押圧するようにする。
また、図１９（ｃ）に示すように、短い押圧ローラ２１２を複数個、ラミネートローラ２１１の上部に直列に設置するようにしてもよい。
【００５４】
一方、図２０は、バックアップローラ２１２の更なる配置方法の例である。
同図に示すように、２つのバックアップローラ２１２ａおよび２１２ｂを並列にラミネートローラ２１１の上部に配置し、これらのバックアップローラ２１２を一つの押圧力発生装置２９１により押圧しながら、ラミネートローラ２１１と同一の速度で移動させる。
図１８に示したようなラミネートローラ２１１の上部に１つのバックアップローラ２１２を配置する方法は、バックアップローラ２１２が1本で構成が簡単だが、バックアップローラ２１２の中心と、ラミネートローラ２１１の中心が垂直の位置になるように制御する必要がある。
一方、図２０に示したような2本の並列なバックアップローラ２１２ａおよび２１２ｂを用いると、ローラ２１２の数が２つになるが、中心位置を合わせる制御が簡単になるという利点がある。
【００５５】
2本の並列のバックアップローラ２１２ａおよび２１２ｂを用いる場合、図１９に示したバックアップローラ２１２の配置の例と同様に、ラミネートローラ２１１よりも短い2本のバックアップローラ２１２ａおよび２１２ｂを並列に配置してもよいし、また、ラミネートローラ２１１の長さと同じ長さのバックアップローラ２１２ａおよび２１２ｂを並列に並べて配置してもよい。また、短いバックアップローラ２１２を複数個直列に並べたものを2組並列に並べて配置してもよい。
【００５６】
尚、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の改変が可能であり、それらも、本発明の技術範囲に含まれる。例えば、本実施の形態では転写シートをガラス基板にラミネートするラミネート装置およびラミネート方法について開示したが、これは転写シートに限定されるものではなく、ロール状にまきつけたシートならばどんなものでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】転写シート１の断面図
【図２】転写シート１の平面図
【図３】加工装置５１の処理の概要を示す図
【図４】ステージ５１、吸着プレート７３、描画部６０、ラミネータ２０１に着目した加工装置５１の斜視図
【図５】吸着プレート７３の平面図
【図６】吸着プレート７３の端部の構成図
【図７】ラミネータ２０１の構成を示す図
【図８】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図９】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図１０】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図１１】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図１２】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図１３】ラミネータ２０１の動作を示す図
【図１４】吸着プレート７３上に２枚の転写シートを載置する場合の説明図
【図１５】ラミネータ２０１の転圧装置の他の実施の形態を示す図
【図１６】ラミネータ２０１の転圧装置の他の実施の形態を示す図
【図１７】吸着プレート７３の他の実施の形態を示す図
【図１８】バックアップローラ２１２を使用する場合のラミネート装置２０１の構成図
【図１９（ａ）】バックアップローラ２１２の配置例
【図１９（ｂ）】バックアップローラ２１２の配置例
【図１９（ｃ）】バックアップローラ２１２の配置例
【図２０】バックアップローラ２１２のもう一つの配置例
【符号の説明】
【００５８】
１………転写シート
１１………ガラス基板
７３………吸着プレート
９５………吸着用部材
２０１………ラミネータ
２０７………ローラ
２３１………チャック
２３３………チャック台
２３５………押圧部
２３７………カッタ
２３９………枠体
２４１………昇降機構
２４３………吸着パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９（ａ）】
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【図１９（ｂ）】
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【図１９（ｃ）】
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【図２０】
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