(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯蔵容器（３）を上部に載置する少なくとも一つのロードセル（６）を有してなる、貯蔵容器（３）内部に残存する物質の重量を計量する装置であって、
該貯蔵容器（３）が、
（ａ）キャビネット（１）内に配置され、
（ｂ）該キャビネット（１）内のバルブ保持板（１４）に剛性の高い接続ライン（１３）によって連結され、及び
（ｃ）消費装置に到る剛性の高い接続ライン（１６）を有する
ものとした該計量装置において、
（ｄ）該貯蔵容器（３）を上部に載置することが出来る該ロードセル（６）が、スタンド（５）に固締されたプラットフォーム（４）に配設されること、
（ｅ）該スタンド（５）が、キャビネット床面（１２）に設置されること、及び
（ｆ）該バルブ保持板（１４）が、該スタンド（５）に固締されること
を特徴とする計量装置。
【請求項２】
該スタンド（５）が、該キャビネット（１）の該床面（１２）において少なくとも三点で支持されることを特徴とする、請求項１記載の計量装置。
【請求項３】
該スタンド（５）が、ロッド（７）で形成されることを特徴とする、請求項１記載の計量装置。
【請求項４】
該ロッド（７）が、該キャビネット床面（１２）において少なくとも三点で支持するための二本のアーム（２０、２１）を有することを特徴とする、請求項３記載の計量装置。
【請求項５】
該スタンド（５）が、該キャビネット床面（１２）において少なくとも一点で支持され且つその上端部領域で該キャビネット（１）を構成する壁面（１０）に可動に固締されることを特徴とする、請求項１記載の計量装置。
【請求項６】
貯蔵容器（３）を上部に載置する少なくとも一つのロードセル（６）を有してなる、該貯蔵容器（３）内部に残存する物質の重量を計量する装置であって、
該貯蔵容器（３）が、
（ａ）キャビネット（１）内に配置され、
（ｂ）該キャビネット（１）内のバルブ保持板（１４）に剛性の高い接続ライン（１３）によって連結され、及び
（ｃ）消費装置に到る剛性の高い接続ライン（１６）を有する
ものとした該計量装置において、
（ｄ）該貯蔵容器（３）を上部に載置することが出来る該ロードセル（６）が、スタンド（５）に固締されたプラットフォーム（４）に配設されること、
（ｅ）該スタンド（５）が、キャビネット壁面（１０）に懸架されること、及び
（ｆ）該バルブ保持板（１４）が、該スタンド（５）に固締されること
を特徴とする計量装置。
【請求項７】
該スタンド（５）が、該キャビネット壁面（１０）上において少なくとも一点で懸架されることを特徴とする、請求項６記載の計量装置。
【請求項８】
該スタンド（５）が、ロッド（７）で形成されることを特徴とする、請求項６記載の計量装置。
【請求項９】
該ロッド（７）がその上端部領域において、該キャビネット壁面（１０）に固締するための交差材（８）を一つ有することを特徴とする、請求項８記載の計量装置。
【請求項１０】
該スタンド（５）、該プラットフォーム（４）、該バルブ保持板（１４）及び該接続ライン（１３）が、熱膨張係数が同一である材料から製作されることを特徴とする、請求項１又は６記載の計量装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特許請求の範囲における請求項１の前文において記載した、貯蔵容器内の物質の残量を計量する装置に係わる。
【０００２】
かかる装置は、例えば化学蒸着（ＣＶＤ）による半導体チップ及び類似した電子装置の製造に使用される。このような目的のために貯蔵容器は、消費装置としてのＣＶＤ反応装置に供給される液体物質を収納するものである。このようなプロセスには超高純度の物質を使用する必要があるため、高品位スチール製の剛性の高い接続ラインが用いられている。かかる液体物質は、一般的は有機の金属化合物及びメタロイド化合物であって、通常は空気と湿気に対して極めて反応性が高く、往往にして爆発性である。このような貯蔵容器は、例えば不活性ガスでフラッシュされたキャビネットに収納する必要がある。
【背景技術】
【０００３】
請求項１の前文において記載した装置の一種は、ＤＥ６９６０３６２９７２に基づいて公知となっている。この場合のロードセルは、天秤・計量器で構成される。貯蔵容器中の残留量を測定するために、かかる公知の装置においては貯蔵容器は、キャビネットの床面の天秤・計量器の上に位置する。この貯蔵容器は、バルブ保持板及び剛性の高い接続ラインと共にキャビネットに固締された高剛性のシステムを構成する。温度の変動及び機械的な影響によって、キャビネットの歪曲、従ってキャビネット床の歪曲が不可避である。このような場合、貯蔵容器がキャビネット床、従って天秤・計量器に対して押圧される際の圧力は、最早や貯蔵容器の重量に相応することは無くなり、その結果かかる公知の装置は、貯蔵容器内の液体の残留量を測定する際の測定精度に関して改善の余地があることになる。
【特許文献１】ドイツ公開特許第６９６０３６２９７２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、かかる貯蔵容器内の物質の残留量を精確に測定することが出来る、簡単な構成・構造の装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このことは本発明に従えば、請求項１において特徴づけられた装置によって実現・達成されるのである。本発明に従った装置の有利な実施態様は、従属請求項において記載されている。
【０００６】
本発明に従えば、貯蔵容器を載置するプラットフォームを備えたスタンド、即ち保持装置が設けられるのである。かかる貯蔵容器を計量するために、少なくとも一つのロードセルが、プラットフォームに設置される。スタンドは同時にまた、バルブ保持板が固締されており、このバルブ保持板は、一方では剛性の高い接続ラインを介して貯蔵容器に接続され、また他方では剛性の高い接続ラインを介して消費装置に接続される。このスタンドは唯単に、例えばキャビネットの床面上に、好ましくは少なくとも三つの点で設置されるに過ぎない。
【発明の効果】
【０００７】
貯蔵容器、プラットフォームとバルブ保持板を備えたスタンド、及び剛性の高い接続ラインとから成る高剛性のシステムは例えば、キャビネット床を歪曲させてキャビネットを基準として上方向又は下方向に動かすと、ロードセルも同様にプラットフォーム上を上方向又は下方向に移動することになり、即ちロードセルに掛けられる貯蔵容器の圧力は、キャビネット床の動きとの結合・関連性が解除される。スタンドをキャビネット内に懸架させた場合についても、同じことが言える。ロードセルに掛けられる圧力はかくして、キャビネットの歪曲や類似した動きによっては最早や影響を受けることはなくなり、その結果貯蔵容器中の物質の残留量が精確に測定されることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
既述したように、このスタンドは、キャビネット床面上に三点で支持することが出来る。又はその代りに、スタンドをキャビネット床面上で僅かに一点又は二点で支持することもまた可能であって、この場合スタンドは、可動状態でキャビネット壁面に例えば相当するガイドで固締され、その結果倒伏することはなく、即ち垂直位置に保持されるのである。
【０００９】
このスタンドは、好ましくは、垂直ロッド、具体的には例えばボックス型の異型ロッドによって形成され、必要な剛性が得られる。
【００１０】
キャビネットの歪曲抵抗性は、そのコーナー領域で最大となるので、かかるスタンドは、本発明に従ってキャビネットの壁面に懸架する場合は、好ましくはキャビネットの上部コーナー領域において固締するのである。
【００１１】
振動・震動を吸収するために、かかるスタンドには、キャビネットフロアー上で支持される箇所において例えばゴム弾性材料製の緩衝装置を備える。スタンドが懸架される場合は、このような緩衝装置は、キャビネット壁面に面する側面、例えばスタンドの下部領域に配設することが出来る。
【００１２】
ロードセルは一つだけプラットフォームに配設するのが好ましく、かくしてシグナル処理を簡素化することが出来る。
【００１３】
該スタンド、プラットフォーム、バルブ保持板及び接続ラインは好ましくは、熱膨張係数が同一である材料から製作され、その結果温度変化があった場合でも、測定結果を不正確にする歪曲は一切生起することはない。
【実施例１】
【００１４】
本発明を以下において図面に言及して実施例としてより詳細に説明する。
【００１５】
図１に従えば、液体物質の貯蔵容器３は、キャビネット1内にドアー２と共に配置される。
【００１６】
この貯蔵容器３は、プラットフォーム４上の保持装置、即ちスタンド５に設置されるが、なおプラットフォーム４は、その中央部にロードセル６（図２）が配設される。スタンド５は、垂直ロッドからなるが、この垂直ロッドはその上端部に、スタンド５をキャビネット壁面１０に上部キャビネットコーナー１１の領域において固締するための交差材８を備える。かくしてスタンド５は、キャビネット壁面１０に懸架される：即ち、ロッド７の下端部は、キャビネット床面１２の上方に一定距離をおいて配置されることになる。
【００１７】
かかる貯蔵容器３は、剛性の高い接続ライン１３を介してバルブ保持板１４に接続され、バルブ保持板は、貯蔵容器３の上方のスタンド５に固締される。
【００１８】
図２に従えば、ロッド７は、ボックス型の異型材で構成される。プラットフォーム４は、ホルダー１５によってロッド７に固締される。このプラットフォーム４は、図２においてはディスクとして示してある。しかしながら、プラットフォーム４は、貯蔵容器３を収容するため異なった形状に形成されてもいいことは明白である。
【００１９】
これらスタンド５、プラットフォーム４、バルブ保持板１４及び接続ライン１３は、高品質鋼材から構成される。
【００２０】
例えばＣＶＤ反応装置などの消費装置（図示していない）に到る接続ラインは、継手部材１６を介してバルブ保持板１４に接続可能である。
【００２１】
このバルブ保持板１４は一方では、ロッド７に固締され、また他方では交差材８にも固締されるが、この交差材８は、内側方向に折り曲げられて、例えばねじによってキャビネット壁面１０に固締される端部１７を有するロッド７を包含する助帯板として形成される。１８において、緩衝装置が、ロッド７に配設され、かくしてスタンド５の下端部をキャビネット壁面で支持する。
【００２２】
図３に従った実施態様は、図１及び２に従った実施態様とは異なるが、その相異点は、スタンド７が、キャビネットの床面１２に支持されているに過ぎないということである。かかる目的のために、スタンド７は、その下端おいて二つのアーム２０，２１を有して、三点支持を形成する。
【００２３】
これらのアーム２０，２１は、この場合でも省略可能であり、その結果ロッド７は、その下端部のみでキャビネット床面１２において支持される。しかしながらこのような場合には、ロッド７を垂直位置に保持するためにキャビネット壁面１０において、スタンド５のガイド２２が必要となるのである。なお、かかるガイドは、図３においてはロッド７のスロット２３をキャビネット壁面を貫通突出したボルト２４を用いてキャビネット壁面に固締したものとして図示してあり、該ボルトは、キャビネット壁面１０から反対側に向いてスロット２３を越えてロッド７の側面に係合する取付け台２５が配設されてなる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明に従った、貯蔵容器内部に残存する物質の重量を計量する装置は、貯蔵容器（３）を計量・載置するためのロードセル（６）を、システムを収納するキャビネットの床面に少なくとも一点で設置する及び/又はその壁面に懸架されたスタンドに固締したプラットフォームに設置する構造としたので、貯蔵容器をキャビネットの床面に直接設置した天秤・計量器に載置する構造の従来公知の装置とは異なり、温度の変動及び機械的な影響により不可避に惹起されるキャビネットの歪曲、従ってキャビネット床の歪曲とは常に無関係に貯蔵容器を正確に秤量・計量出来るので、ＣＶＤによる真空薄膜製造に使用される可燃性、爆発性で危険性の高い有機金属化合物の貯蔵容器内での残量を安全且つ正確に計量することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に従った装置の第一の実施態様に従ったキャビネットを透視図として概略示すものであり、一つのキャビネット壁面とキャビネットの上部側面の保持板は省略してある。
【図２】図１に従ったスタンド及びバルブ保持板を示す。
【図３】本発明に従った装置の別の実施態様に従ったキャビネットを透視図として概略示すものであり、一つのキャビネット壁面とキャビネットの上部保持板は省略してある。
【符号の説明】
【００２６】
１：キャビネット
２：キャビネット壁
３：貯蔵容器
４：プラットフォーム
５：スタンド
６：ロードセル
７：ロッド
８：交差材
１０：キャビネット壁
１１：上部キャビネットコーナー
１２：キャビネット床
１３：接続ライン
１４：バルブ保持板
１５：ホルダー
１６：継手部材
１７：内側方向に折り曲げた端部
１８：スタンド下端部
２０、２１：アーム
２２：ガイド
２３：スロット
２４：ボルト
２５：取付け台
【図１】
0004721670.tif 000002
【図２】
0004721670.tif 000003
【図３】
0004721670.tif 000004