(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に設置され磁化方向が設置面と並行する直方体の主永久磁石とを具え、該主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させる磁気回路であって、前記主永久磁石の磁極を結ぶ方向に少なくとも一個の副永久磁石を前記主永久磁石と隣接させて設け、前記副永久磁石の磁化方向を前記主永久磁石の磁化方向と逆にしたことを特徴とする永久磁石の磁気回路。
【請求項２】
前記副永久磁石に隣接させて他の副永久磁石を設け、該他の副永久磁石の磁化方向が前記副永久磁石の磁化方向と逆になるようにしたことを特徴とする請求項１記載の永久磁石の磁気回路。
【請求項３】
強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に距離をおいて設置した１対の直方体の主永久磁石とを具え、該１対の直方体の主永久磁石の磁化方向は設置面と略直角でかつ逆方向であり、これらの主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させる磁気回路であって、前記１対の主永久磁石の内の少なくとも一方に隣接して副永久磁石を設け、該副永久磁石の磁化方向を隣接した主永久磁石と並行でかつ逆方向としたことを特徴とする永久磁石の磁気回路。
【請求項４】
前記副永久磁石の磁化方向と並行でかつ逆の磁化方向を有する他の副永久磁石を前記副永久磁石に隣接して設けたことを特徴とする請求項３記載の永久磁石の磁気回路。
【請求項５】
強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に距離をおいて設置した１対の直方体の主永久磁石とを具え、該１対の直方体の主永久磁石の磁化方向は設置面と略直角でかつ逆方向であり、これらの主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させる磁気回路であって、前記１対の主永久磁石の内の少なくとも一方の主永久磁石の磁極を結ぶ方向に該一方の主永久磁石と隣接させて副永久磁石を設け、この副永久磁石の磁化方向を前記一方の主永久磁石の磁化方向と逆にしたことを特徴とする永久磁石の磁気回路。
【請求項６】
前記副永久磁石の磁化方向と逆の磁化方向を有する他の副永久磁石を前記副永久磁石に隣接して設けたことを特徴とする請求項５記載の永久磁石の磁気回路。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、永久磁石を使用した磁気回路に関し、特に、磁気回路により発生した磁場の内、磁場を必要としない領域での磁場強度を小さくする永久磁石の磁気回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
永久磁石を用いた磁気回路により発生する磁場を利用する技術は種々知られている。例えば、半導体製造での薄膜形成工程或いはエッチング工程において、プラズマの発生及び制御のために永久磁石による磁界を用いることはよく知られている。このような半導体製造装置では、磁場を必要とする領域以外の領域での磁界をできるだけ小さくすることが、半導体基板及び周辺装置への漏洩磁場による影響を軽減するために極めて望ましい。
【０００３】
本発明の実施の形態を述べる前に、図５（ａ）及び（ｂ）を参照して単体及び1対の永久磁石により形成される磁場（磁界）を説明する。図５（ａ）に示すように、板状の強磁性体からなる磁石設置台１０の上に単体の永久磁石１２を設ける。この永久磁石１２のＮ極から出てＳ極に入る磁力線及びその方向は夫々破線及び矢印で示されている。図５（ａ）に示す例では、永久磁石１２の上方の領域１４のみが必要とされる磁場領域とすると、これ以外の領域、例えば永久磁石１２の斜め上方の領域Ｒ１及びＲ２では磁界強度をできるだけ小さくすることが望ましい。一方、図５（ｂ）に示す場合は、板状の強磁性体からなる磁石設置台１０の上に１対の永久磁石１５ａ及び１５ｂを磁化方向が逆になるように設ける。図５（ｂ）に示す例では、永久磁石１５ａ及び１５ｂの上方の領域１４のみが必要とされる磁場領域とすると、これ以外の領域、例えば永久磁石１５ａ及び１５ｂの斜め上方の領域Ｒ１及びＲ２では磁界強度をできるだけ小さくするのが望ましい。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来、永久磁石の磁気回路の構成を工夫し、必要とされる領域以外の磁場強度を小さくする提案は存在しない。
【０００５】
【発明の目的】
従って、本発明は、永久磁石を使用した磁気回路で形成される磁場の内、必要としない領域での磁場強度を小さくする磁気回路を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、主永久磁石と副永久磁石とを有し、前記主永久磁石の磁化方向と逆となるように前記副永久磁石を前記主永久磁石に隣接して設けたことを特徴とする永久磁石の磁気回路である。
【０００７】
本発明は、強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に設置され磁化方向が設置面と並行する直方体の主永久磁石とを具え、該主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させるために、前記主永久磁石の磁極を結ぶ方向に少なくとも一個の副永久磁石を前記主永久磁石と隣接させて設け、前記副永久磁石の磁化方向を前記主永久磁石の磁化方向と逆にしたことを特徴とする永久磁石の磁気回路である。尚、前記副永久磁石に隣接させて他の副永久磁石を設け、該他の副永久磁石の磁化方向が前記副永久磁石の磁化方向と逆になるようにしてもよい。
【０００８】
更に、本発明は、強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に距離をおいて設置した１対の直方体の主永久磁石とを具え、該１対の直方体の主永久磁石の磁化方向は設置面と略直角でかつ逆方向であり、これらの主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させる磁気回路であって、前記１対の主永久磁石の内の少なくとも一方に隣接して副永久磁石を設け、該副永久磁石の磁化方向を隣接した主永久磁石と並行でかつ逆方向としたことを特徴とする。尚、前記副永久磁石の磁化方向と並行でかつ逆の磁化方向を有する他の副永久磁石を前記副永久磁石に隣接して設けるようにしてもよい。
【０００９】
更に又、本発明は、強磁性体の磁石設置台と、該磁石設置台に距離をおいて設置した１対の直方体の主永久磁石とを具え、該１対の直方体の主永久磁石の磁化方向は設置面と略直角でかつ逆方向であり、これらの主永久磁石による磁場の所定領域の磁場強度を低下させる磁気回路であって、前記１対の主永久磁石の内の少なくとも一方の主永久磁石の磁極を結ぶ方向に該一方の主永久磁石と隣接させて副永久磁石を設け、この副永久磁石の磁化方向を前記一方の主永久磁石の磁化方向と逆にしたことを特徴とする。前記副永久磁石の磁化方向と逆の磁化方向を有する他の副永久磁石を前記副永久磁石に隣接して設けてもよい。
【００１０】
【実施の形態】
本発明の第１の実施の形態を図１（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。尚、図５で示した構成部品（要素）と同一部品については同一の参照番号を付してある。
【００１１】
図５（ａ）に示した“希望する磁場領域１４”以外の領域Ｒ１及びＲ２での磁界強度を小さくするために、図１（ａ）に示すように、永久磁石１２の磁極（Ｎ極及びＳ極）を結ぶ方向に永久磁石１２と隣接させて、第１及び第２の副永久磁石２０ａ及び２０ｂを、それらの磁化方向が夫々永久磁石１２の磁化方向と逆となるように配置する。尚、本実施の形態では永久磁石１２を主永久磁石と呼ぶ。このように、主永久磁石１２に対して１対の副永久磁石２０ａ及び２０ｂを配置することにより、これらの永久磁石からなる磁気回路の磁力線は図１（ａ）の示すようになり、“希望する磁場領域１４”以外の領域Ｒ１及びＲ２での磁場強度を低くすることが可能となる。
【００１２】
領域Ｒ１及びＲ２の磁場強度を更に小さくしたい場合には、図１（ｂ）に示すように、第１及び第２の副永久磁石２０ａ及び２０ｂの夫々の外側に、磁化方向が副永久磁石２０ａ及び２０ｂの磁化方向と夫々逆方向となるように第３及び第４の副永久磁石２２ａ及び２２ｂを配置する。このように、第３及び第４の副永久磁石２２ａ及び２２ｂを配置することにより、領域Ｒ１及びＲ２での磁場強度は、図１（ａ）の場合に比べて更に小さくすることができる。
【００１３】
尚、領域Ｒ１及びＲ２の磁場強度を、図１（ｂ）の場合よりも更に小さくしたいときには、上記第３及び第４の副永久磁石の外側に更に１対或いは複数対の副永久磁石を配置することも可能である。図１（ｃ）に示すように、主永久磁石１２を０番目の磁石、左右の副永久磁石を図示のように１，２，…ｎ番目の磁石とし、主永久磁石及び副永久磁石の断面積（磁化方向に直角の断面積）が夫々等しい場合、第ｎ番目の副永久磁石の磁化方向の長さ（Ｌｎ）（幅）は、例えば、次の式（１）で与えられる。
Ｌｎ＝ａｎＬ０  （ｎ＝１，２，…）                      （１）
ここで、Ｌ０は主永久磁石の長さ（又は幅）、ａは０<ａ<１を満足する任意の有理数である。但し、この式（１）は、主永久磁石１２の長さ（幅）が約２００ｍｍ以内、主永久磁石及び副永久磁石の断面積（磁化方向に直角の断面積）の夫々が約１００００ｍｍ２以内、左右夫々の副永久磁石の数が３個程度（即ち副永久磁石が３対）までの場合によく当てはまる。
【００１４】
例えば、主永久磁石１２の長さ（幅）Ｌ０＝１００ｍｍ、ａ＝０．３とした場合、式（１）によれば、副永久磁石２０ａ及び２０ｂ夫々の長さ（幅）Ｌ１は３０ｍｍ、副永久磁石２２ａ及び２２ｂ夫々の長さ（幅）Ｌ２は９ｍｍとなる。
【００１５】
図２は、図１（ａ）の主永久磁石１２のみの場合の領域１４及び領域Ｒ１，Ｒ２での磁場強度と、この磁石１２の両側に副永久磁石２０ａ及び２０ｂを配置した場合の領域１４及び領域Ｒ１，Ｒ２での磁場強度との具体例を説明する図である。
【００１６】
図２に示すように、主永久磁石１２及び副永久磁石２０ａ，２０ｂ（夫々の磁石の最大エネルギー積（ＢＨmax）は２７０ｋＪ／ｍ３（＝３６ＭＧＯｅ）とする）の中央点の８０ｍｍ真上を評価点（磁場強度測定点）１〜３とし、主永久磁石の幅、奥行、厚さを夫々１００ｍｍ、５０ｍｍ、２０ｍｍ、副永久磁石２０ａ及び２０ｂ夫々の幅、奥行、厚さを３０ｍｍ、５０ｍｍ、２０ｍｍとした場合、評価点１〜３での磁場強度（磁束密度）は次のようであった（評価点１での磁場強度（Ｔ）をＡ、評価点２，３での磁場強度（Ｔ）をＢとする）
0004627921.tif 000002
このように、副永久磁石２０ａ及び２０ｂを付加することによって、評価点２，３での磁場強度を約４０％低下させることができた。
【００１７】
上述の説明では、副永久磁石を複数個使用している。しかし、例えば、領域Ｒ１の磁場強度だけを減少させたい場合には、副永久磁石２０ａのみ、或いは、副永久磁石２０ａと２２ａのみとすることもできるし、更に、新たな副永久磁石を２２ａの外側に隣接させてもよい。主永久磁石１２は、単一（即ち一体）の磁石に限定されるものではなく、複数の永久磁石を磁化方向が同一となるように直列接続したものであってもよい。図１（ｂ）に示すように、複数の副永久磁石を隣接させる場合には、外側の副永久磁石の体積を内側の副永久磁石の体積よりも小さくした方がよい。
【００１８】
本発明の第２の実施の形態を図３を参照して説明する。図３（ａ）に示すように、本実施の形態では、強磁性体からなる磁石設置台１０の上に、夫々の磁化方向が逆方向で且つ磁石設置台１０に対して垂直となるように１対の永久磁石１５ａ及び１５ｂからなる主永久磁石を置き（ここまでは図５（ｂ）と同様）、図５（ｂ）に示した領域Ｒ１及びＲ２の磁場強度を小さくするために、その外側に２対の副永久磁石３０ａ−３０ｂ及び３２ａ−３２ｂを、隣接する磁石と磁化方向が逆となるように設置する。このように、１対の主永久磁石１５ａ及び１５ｂに対して２対の副永久磁石３０ａ−３０ｂ及び３２ａ−３２ｂを配置することにより、これらの永久磁石からなる磁気回路の磁力線は図３（ａ）に示すようになり、領域Ｒ１及びＲ２での磁場強度を低くすることが可能となる。尚、副永久磁石３２ａ，３２ｂの外側に更に１対或いは複数対の副永久磁石を追加してもよい。
【００１９】
図３（ｂ）に示すように、１対の永久磁石１５ａ及び１５ｂの夫々を０番目の磁石、左右の副永久磁石を図示のように１，２，…ｎ番目の磁石とし（但し３番目以降は省略してある）、これらの副永久磁石１，２，…ｎ番目の磁化方向に平行な面の断面積が夫々等しい場合、第ｎ番目の副永久磁石の磁化方向と直角の方向の長さ（Ｌｎ）は、例えば、次の式（２）で与えられる。
Ｌｎ＝ａＬ０  （ｎ＝１，２，…）                      （２）
ここで、Ｌ０は主永久磁石の長さ、ａは０<ａ<１を満足する任意の有理数である。
【００２０】
上述の第２の実施の形態の説明では、２対の副永久磁石３０ａ−３０ｂ及び３２ａ−３２ｂを使用している。しかし、これに限らず、１対の副永久磁石３０ａ−３０ｂのみを使用するようにしてもよい。更に、例えば、領域Ｒ１の磁場強度のみを減少させたい場合には、副永久磁石３０ａのみ或いは３０ａと３２ａを使用するようにしてもよい。更に又、図３（ａ）に示すように、複数の副永久磁石を隣接して使用する場合には、外側の副永久磁石の体積は内側の副永久磁石の体積よりも小さくした方がよい。
【００２１】
本発明の第３の実施の形態を図４を参照して説明する。図４（ａ）に示すように、本実施の形態では、強磁性体からなる磁石設置台１０の上に、夫々の磁化方向が逆方向で且つ磁石設置台１０に垂直となるように１対の永久磁石４０ａ及び４０ｂからなる主永久磁石を置き（ここまでは図５（ｂ）と略同様）、図５（ｂ）に示した領域Ｒ１及びＲ２の磁場強度を小さくするために、磁石４０ａ及び４０ｂの上部に２対の副永久磁石４２ａ-４２ｂ及び４４ａ-４４ｂを、隣接する磁石と磁化方向が逆となるように設置する。このように、１対の主永久磁石４０ａ及び４０ｂに対して２対の副永久磁石４２ａ-４２ｂ及び４４ａ-４４ｂを配置することにより、これらの永久磁石からなる磁気回路の磁力線は図４（ａ）に示すようになり、領域Ｒ１及びＲ２での磁場強度を低くすることができる。尚、副永久磁石４４ａ，４４ｂの外側（上側）に更に１対或いは複数対の副永久磁石を追加してもよい。
【００２２】
図４（ｂ）に示すように、１対の永久磁石４０ａ及び４０ｂ（主永久磁石）を夫々０番目の磁石、左右の副永久磁石を夫々図示のように１，２，…ｎ番目の磁石とする（但し３番目以降は省略してある）。主永久磁石を構成する磁石４０ａ及び４０ｂ夫々の体積をＶ０とすれば、ｎ番目の副永久磁石の体積Ｖｎ（ｎ＝１，２，…ｎ）は、例えば、
Ｖｎ＝ＡｎＶ０＝ａｎＬ０１＊ｂｎＬ０２＊ａｎＬ０３      （３）
の関係式で与えられる。ここで、ａ，ｂ，ｃは０<ａ，ｂ，ｃ<１を満足する任意の有理数、Ｌ０１，Ｌ０２，Ｌ０３は夫々主永久磁石を構成する一方の磁石（４０ａ或いは４０ｂ）の３辺の長さをしめす。
【００２３】
図４（ａ）に示した磁気回路において、（１）主永久磁石４０ａ及び４０ｂのみを使用した場合、（２）主永久磁石４０ａ，４０ｂに副永久磁石４２ａ，４２ｂを加えた場合、（３）主永久磁石４０ａ，４０ｂに副永久磁石４２ａ，４２ｂ及び４４ａ，４４ｂを加えた場合について、磁場領域１４及び磁場領域Ｒ１での磁場強度を測定した。その結果は、
0004627921.tif 000003
であった。
【００２４】
上述の第３の実施の形態の説明では、２対の副永久磁石４２ａ−４２ｂ及び４４ａ−４４ｂを使用している。しかし、これに限らず、１対の副永久磁石４２ａ−４２ｂのみを使用するようにしてもよい。更に、例えば、領域Ｒ１の磁場強度だけを減少させたい場合には、副永久磁石４２ａのみ、或いは、４２ａと４４ａだけを使用するようにしてもよい。更に又、図４（ａ）に示すように、複数の副永久磁石を隣接する場合には、外側の副永久磁石の体積を内側の副永久磁石の体積よりも小さくした方がよい。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように、主永久磁石に対して１個或いは複数の副永久磁石を、その磁化方向が主永久磁石の磁化方向と逆となるように、主永久磁石に隣接して設けることにより、磁場を必要とする領域以外の領域での磁界をできるだけ小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明する図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の具体例を説明する図。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明する図。
【図４】本発明の第３の実施の形態を説明する図。
【図５】従来の永久磁石からなる磁気回路で発生する磁場を説明する図。
【符号の説明】
１０：永久磁石設置台
１２：主永久磁石
２０ａ，２０ｂ，２２ａ，２２ｂ：副永久磁石
１５ａ，１５ｂ：主永久磁石
３０ａ，３０ｂ，３２ａ，３２ｂ：副永久磁石
４０ａ，４０ｂ：主永久磁石
４２ａ，４２ｂ，４４ａ，４４ｂ：副永久磁石
【図１】
0004627921.tif 000004
【図２】
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【図３】
0004627921.tif 000006
【図４】
0004627921.tif 000007
【図５】
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