(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられるウェット処理装置において、
前記ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、
前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、
前記振動式膜分離装置によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する再供給路と、
前記ウェット処理槽から供給される前記ウェット処理後の処理液を一旦貯留する複数のタンクと、
前記タンク内の処理液を前記振動式膜分離装置に供給するポンプと、
前記振動式膜分離装置によって処理液と分離された不純物成分を含む濃縮液を前記振動式膜分離装置から前記タンクに導入する導入路と、
複数の前記タンクのうちの何れかのタンクに対し選択的に前記ウェット処理槽からの処理液及び前記振動式膜分離装置からの濃縮液を供給させるとともに、該選択されたタンク内の液体を前記振動式膜分離装置に供給させるための流路切り替え機構と、
複数の前記タンクの各々に貯留された処理液中の不純物濃度を検出する濃度検出センサと、
選択されているタンク内の処理液中の不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記流路切り替え機構を制御することにより選択するタンクを他のタンクに切り換える制御装置と、
を備えることを特徴とするウェット処理装置。
【請求項２】
表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法において、
ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、
前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、
前記振動式膜分離装置により分離された前記不純物成分を含む濃縮液を貯留可能な複数のタンクのうちの何れか選択されたタンクに前記濃縮液を貯留していく過程と、
前記選択されたタンク内に貯留される濃縮液中の不純物濃度を検出する過程と、
前記選択されたタンク内の濃縮液中の前記不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記選択されたタンクを他のタンクに切り換える過程と、
を備えることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェット処理装置及び表示パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と呼ぶ）その他の表示パネルの製造工程には、例えば、電極、リブ、蛍光体層、ブラックマトリックス、ブラックストライプ及びカラーフィルターなどの各種のパターンを基板上に形成する工程が含まれる。
【０００３】
このように基板上にパターンを形成するに際しては、例えば、現像液などの処理液を用いるウェット処理が適用される。
【０００４】
すなわち、例えば、前工程で印刷、シート、コータ方式を用いて基板全面に感光性材料（フォトレジスト）を塗工する。次いで、感光性材料を所定のパターンに露光し、ウェット処理槽において、その基板を現像液に浸漬するか又はその基板に現像液を吐出することにより、基板上の感光性材料の未露光部（又は露光部）を除去し、基板上にパターンを形成する。
【０００５】
このため、ウェット処理後の現像液などの処理液は、基板上に形成されたパターンの材料を含有した状態となる。
【０００６】
ところで、処理液は、通常、複数回のウェット処理に利用される。
【０００７】
また、パターン形成に用いられる材料（以下、「パターン材料」と呼ぶ）には高価なもの（例えば、電極形成に用いられるＡｇ（銀）など）が多いため、これらパターン材料も、処理液中から分離及び回収して再利用することが好ましい。
【０００８】
例えば、特許文献１には、フィルタを用いて処理液中のパターン材料を分離及び回収する一方で、パターン材料を分離した後の処理液をウェット処理に再利用する技術が開示されている（以下、この技術を「フィルタ方式」と呼ぶ）。
【０００９】
また、特許文献２には、現像液中の蛍光体を、（１）静置して沈殿させることにより収集するか、（２）濾過により収集するか、或いは、（３）遠心分離装置を用いて収集し、再利用する技術が開示されている。
【００１０】
また、特許文献３には、デカンタ型の遠心分離装置を用いることによって、現像液中のパターン材料を分離及び回収し、再利用する技術が開示されている（以下、この技術を「遠心分離方式」と呼ぶ）。
【特許文献１】
特開平１０−２４２０４７号公報
【特許文献２】
特開平１１−２２８９５０号公報
【特許文献３】
特許第３１９７７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に開示されているようなフィルタ方式は、フィルタの交換頻度が高くなるという問題を有している。また、交換の度に生産ラインを停止する必要が生じる可能性がある。よって、大量に大型の基板を処理する工程において使用するのには現実的でない。
【００１２】
特許文献２に開示されている「濾過により収集する技術」も同様である。
【００１３】
また、特許文献２に開示されているように、現像液を静置して蛍光体を沈殿させる技術では、分離及び回収に長時間を要するという問題がある。
【００１４】
また、特許文献２及び３に開示されているような遠心分離方式では、現像液に含まれるパターン材料の比重が大きい場合には比較的回収率が高くなるが、比重が小さい場合には回収率が低くなってしまうという問題がある。
【００１５】
具体的には、例えば、ＰＤＰのウェット処理を利用したパターン形成工程において使用される材料の中では比重の大きい銀電極を形成する場合には９０％以上の回収率が得られるものの、比重の小さい顔料系の材料を用いたプロセス（例えば、ブラックマトリックス形成工程）では、回収率が２０％程度に極端に低下してしまう。このように、遠心分離方式では、使用するパターン材料（現像液中の回収すべき不純物）の比重によって回収率が大きくばらついてしまうという欠点がある。
【００１６】
また、パターン材料の分離により再生された現像液を再利用する場合に、パターン材料の回収率が低いために再生後の現像液における不純物の含有量が多いと、現像品質に悪影響を与え、安定したパターン形成ができなくなるという問題もある。
【００１７】
更に、パターン材料の分離により再生された現像液を再利用する場合に、再生後の現像液中の不純物の含有量が多いと、現像液を循環させる配管の詰まりや、現像液を吐出するノズルの詰まりを引き起こしてしまうという問題もある。
［００１８］
このため、遠心分離方式の場合に、安定したパターン形成をしたり、配管やノズルなどの再生された現像液の経路における詰まりを回避したりするためには、現像液を頻繁に交換する必要が生じてしまう。
［００１９］
本発明が解決しようとする課題としては、特許文献１乃至３における上記の問題が一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明に係るウェット処理装置は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられるウェット処理装置において、前記ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、前記振動式膜分離装置によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する再供給路と、前記ウェット処理槽から供給される前記ウェット処理後の処理液を一旦貯留する複数のタンクと、前記タンク内の処理液を前記振動式膜分離装置に供給するポンプと、前記振動式膜分離装置によって処理液と分離された不純物成分を含む濃縮液を前記振動式膜分離装置から前記タンクに導入する導入路と、複数の前記タンクのうちの何れかのタンクに対し選択的に前記ウェット処理槽からの処理液及び前記振動式膜分離装置からの濃縮液を供給させるとともに、該選択されたタンク内の液体を前記振動式膜分離装置に供給させるための流路切り替え機構と、複数の前記タンクの各々に貯留された処理液中の不純物濃度を検出する濃度検出センサと、選択されているタンク内の処理液中の不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記流路切り替え機構を制御することにより選択するタンクを他のタンクに切り換える制御装置と、を備えることを特徴としている。
【００２１】
また、本発明に係る表示パネルの製造方法は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するに際してウェット処理を行う表示パネルの製造方法において、ウェット処理槽において行なわれる前記ウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置を用いて行う分離過程と、前記分離過程によって前記不純物成分が分離された後の処理液を前記ウェット処理槽に再供給する過程と、前記振動式膜分離装置により分離された前記不純物成分を含む濃縮液を貯留可能な複数のタンクのうちの何れか選択されたタンクに前記濃縮液を貯留していく過程と、前記選択されたタンク内に貯留される濃縮液中の不純物濃度を検出する過程と、前記選択されたタンク内の濃縮液中の前記不純物濃度が既定値を超えた場合に、前記選択されたタンクを他のタンクに切り換える過程と、を備えることを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
［００２２］
［図１］本発明の実施例１に係るウェット処理装置の構成を示す模式図である。
［図２］本発明の実施例１に係るウェット処理装置における振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
［図３］図２に示した振動式膜分離装置が備えるフィルタの層構造を示す断面図である。
［図４］図２に示した振動式膜分離装置が備えるフィルタの平面図である。
［図５］図２に示した振動式膜分離装置の動作を説明するための模式図である。
【図６】本発明の実施例２に係るウェット処理装置の構成を示す模式図である。
【図７】本発明の実施例３に係るウェット処理装置の構成を示す模式図である。
【図８】本発明の実施例４に係るウェット処理装置の構成を示す模式図である。
【図９】第１の変形例に係る振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
【図１０】第１の変形例に係る振動式膜分離装置が備えるフィルタの平面図である。
【図１１】第２の変形例に係る振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
【図１２】第２の変形例に係る振動式膜分離装置が備えるフィルタの斜視図である。
【図１３】第３の変形例に係る振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
【図１４】第３の変形例に係る振動式膜分離装置が備えるフィルタの斜視図である。
【図１５】第４の変形例に係る振動式膜分離装置の要部を示す斜視断面図である。
【図１６】第４の変形例に係る振動式膜分離装置が備えるフィルタの斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１００  本発明の実施例１に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）
２００  本発明の実施例２に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）
３００  本発明の実施例３に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）
４００  本発明の実施例４に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）
１      ウェット処理槽
３      振動式膜分離装置
１３    配管（再供給路）
２      液体タンク（タンク、第１のタンク）
４      循環ポンプ（ポンプ、第２のポンプ）
３３１  第１の液体タンク
３３２  第２の液体タンク
３３３  第１のバルブ（流路切り替え機構）
３３８  第２のバルブ（流路切り替え機構）
３３４  配管（流路切り替え機構）
３３５  配管（流路切り替え機構）
３３６  配管（流路切り替え機構）
３３７  配管（流路切り替え機構）
３４１  第１の濃度検出センサ（濃度検出センサ）
３４２  第２の濃度検出センサ（濃度検出センサ）
３５０  制御装置
３５１  第１の変形例に係る振動式膜分離装置
３５２  第２の変形例に係る振動式膜分離装置
３５３  第３の変形例に係る振動式膜分離装置
３５４  第４の変形例に係る振動式膜分離装置
３０１  遠心分離装置
３０３  送液ポンプ（第１のポンプ）
３０６  液体タンク（第２のタンク）
４０２  第２の液体タンク（第２のタンク）
４０１  第２の振動式膜分離装置
【発明を実施するための最良の形態】
［００２４］
次に、本発明に係る実施形態を説明する。
［００２５］
本実施形態に係るウェット処理装置は、表示パネルを構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理に用いられる。
【００２６】
本実施形態に係るウェット処理装置は、ウェット処理を行うためのウェット処理槽と、ウェット処理に用いられた処理液（例えば、現像液）から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置と、振動式膜分離装置によって不純物成分が分離された後の処理液をウェット処理槽に再供給する再供給路と、ウェット処理槽から供給されるウェット処理後の処理液を一旦貯留する複数のタンクと、タンク内の処理液を振動式膜分離装置に供給するポンプと、振動式膜分離装置によって処理液と分離された不純物成分を含む濃縮液を振動式膜分離装置から前記タンクに導入する導入路と、複数のタンクのうちの何れかのタンクに対し選択的にウェット処理槽からの処理液及び振動式膜分離装置からの濃縮液を供給させるとともに、該選択されたタンク内の液体を振動式膜分離装置に供給させるための流路切り替え機構と、複数のタンクの各々に貯留された処理液中の不純物濃度を検出する濃度検出センサと、選択されているタンク内の処理液中の不純物濃度が既定値を超えた場合に、流路切り替え機構を制御することにより選択するタンクを他のタンクに切り換える制御装置と、を備えて構成されている。
［００２７］
［００２８］
［００４４］
［００４６］
以上のような本発明の実施形態によれば、ウェット処理槽におけるウェット処理に用いられた処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行い、この振動式膜分離装置によって不純物成分が分離された後の処理液をウェット処理槽に再供給し、再利用することができる。
［００４７］
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、この振動式膜分離装置が備えるフィルタは目詰まりしにくく、該フィルタの交換頻度を低くすることができる。よって、表示パネルの生産ラインを停止させる頻度を低減することができ、大型の基板を大量に処理する工程における振動式膜分離装置の使用も可能となる。
［００４８］
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、その分離処理を連続的に行うことができる。よって、不純物成分の分離及び回収に長時間を要するということがない。
［００４９］
また、処理液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置により行うので、不純物成分の回収率は、該振動式膜分離装置が備える透過性膜の透過径によってのみ決定される。つまり、不純物成分の比重によって回収率がばらついてしまうということがなく、不純物成分の比重にかかわらず、不純物成分の分離を好適に行うことができる。
［００５０］
このため、安定したパターン形成が可能となる。また、処理液を循環させる配管の詰まりが生じにくくなり、処理液を吐出するノズルを用いる場合に、このノズルの詰まりが生じにくくなることを可能にする。
【実施例１】
【００５１】
図１は本発明の実施例１に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）１００の構成を示す模式図である。
【００５２】
図１に示すように、実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００は、ＰＤＰ（表示パネル）を構成する基板上にパターンを形成するためのウェット処理を行うウェット処理槽１と、このウェット処理槽１におけるウェット処理に用いられた現像液を一旦貯留する液体タンク（タンク）２と、この液体タンク２から送られる現像液（処理液）から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置３と、液体タンク２内の現像液を振動式膜分離装置３へと送る循環ポンプ（ポンプ）４と、を備えて構成されている。
【００５３】
このうちウェット処理槽１では、現像液を用いたウェット処理により、基板上に所定のパターンを形成する。
【００５４】
ここで、ウェット処理槽１において基板上に形成されるパターンとしては、例えば、電極（具体的には、例えば、Ａｇ（銀）電極）、リブ、蛍光体層、ブラックマトリックス、ブラックストライプ、カラーフィルターなどが挙げられる。
【００５５】
ウェット処理槽１におけるパターン形成工程に先立って行なわれる前工程においては、印刷、シートまたはコータ方式を用い、基板全面に塗工された感光性材料を露光によりパターンニングする。
【００５６】
その基板をウェット処理槽１において現像液に浸漬し、或いは、現像液を基板上の感光性材料に吐出することにより、基板上の感光性材料における未露光部（感光性材料がネガ型の場合）を除去する。なお、感光性材料がポジ型の場合には、露光された部分（露光部）が除去される。
【００５７】
これにより、基板上には所望のパターンが形成される。
【００５８】
ウェット処理槽１と液体タンク２とは、配管１１を介して相互に接続されており、ウェット処理槽１における処理に用いられた現像液、すなわち、不純物成分としての感光性材料を含む使用済み現像液は、配管１１を介して液体タンク２内に導かれる。
【００５９】
液体タンク２は、配管１２を介して振動式膜分離装置３の導入口３Ａに対して接続されている。
【００６０】
液体タンク２内の現像液は、配管１２に設けられた循環ポンプ４により圧送されることにより、配管１２を介して振動式膜分離装置３の導入口３Ａへと導かれる。
【００６１】
振動式膜分離装置３内に導入された現像液は、該振動式膜分離装置３内において、清澄な現像液と、不純物成分（残渣）を含む濃縮液と、に分離される（詳細後述）。
【００６２】
このうち、濾過された清澄な現像液は、振動式膜分離装置３の第１の導出口３Ｂから該振動式膜分離装置３外に導出される。
【００６３】
この第１の導出口３Ｂは、配管（再供給路）１３を介してウェット処理槽１に対して接続されている。
【００６４】
第１の導出口３Ｂから導出された清澄な現像液は配管１３を介してウェット処理槽１内に導かれ、該ウェット処理槽１におけるウェット処理に再利用される。
【００６５】
他方、振動式膜分離装置３内において分離された、不純物成分を含む濃縮液は、振動式膜分離装置３の第２の導出口３Ｃから該振動式膜分離装置３外に導出される。
【００６６】
この第２の導出口３Ｃは、配管１４を介して配管１１に対して接続されている。
【００６７】
第２の導出口３Ｃから導出された濃縮液は、配管１４及び配管１１を介して液体タンク２内に導かれ、再び、循環ポンプ４により配管１２を介して振動式膜分離装置３の導入口３Ａへと導かれ、上記と同様に振動式膜分離装置３によって濾過される。すなわち、清澄な現像液と、不純物成分（残渣）を含む濃縮液とに分離される。
【００６８】
図２は振動式膜分離装置３の要部を示す斜視断面図である。
【００６９】
図２に示すように、振動式膜分離装置３は、複数枚のフィルタ３１を上下方向に所定間隔を空けて積層してなるフィルタユニット３２と、このフィルタユニット３２を収容したフィルタ容器３３と、フィルタ容器３３ごとフィルタユニット３２を振動させるための加振機構（図示略）と、を備えている。
【００７０】
図３はフィルタ３１の層構造を示す断面図である。
【００７１】
図３に示すように、各フィルタ３１は、例えば、表裏の透過性膜３１１、３１２と、これら透過性膜３１１、３１２の中間に配された金属板３１３と、この金属板３１３と各透過性膜３１１、３１２との間にそれぞれ配されたドレインクロス３１４、３１５と、を備えて構成されている。ドレインクロス３１４、３１５は、例えば、不織布からなる。
【００７２】
なお、各フィルタ３１は金属板３１３の何れか一方の側にのみ透過性膜及びドレインクロスを有するように構成することも可能である。例えば、各フィルタ３１は、金属板３１３と、透過性膜３１１と、金属板３１３と透過性膜３１１との間に挟まれたドレインクロス３１４と、から構成することも可能である。
【００７３】
図４は各フィルタ３１の平面図である。
【００７４】
図２及び図４に示すように、各フィルタ３１は、例えば、円形の平板状に形成されている。
【００７５】
図４に示すように、各フィルタ３１には、３つの開口部、すなわち、第１の開口部３１６、第２の開口部３１７及び第３の開口部３１８が各々の表裏を貫通した状態に形成されている。第２の開口部３１７はフィルタ３１の中心に形成されており、第１の開口部３１６及び第３の開口部３１８はフィルタ３１の中心を通る一直径上において第１の開口部３１７を中心として左右対称の位置に形成されている。
【００７６】
また、図２に示すように、各フィルタ３１間には、第２の開口部３１７の周縁部に位置して、シール部材としてのＯリング３５が介装されている。シール部材としてのＯリング３５により、上下方向に隣接するフィルタ３１の間に形成される空間と第２の開口部３１７との間はシールされている。
【００７７】
各フィルタ３１の第１の開口部３１６は、振動式膜分離装置３の導入口３Ａよりフィルタユニット３２内に導入された使用済み現像液を、図２に示す経路Ａに従って、順次に通過させる。
【００７８】
図５は透過性膜３１１及び３１２により現像液が濾過される様子を説明するための模式的な断面図である。
【００７９】
図５に示すように、各フィルタ３１の透過性膜３１１には、該透過性膜３１１の表裏を貫通する微少な孔部３１９が多数形成されている。また、図示は省略するが、同様に、各フィルタ３１の透過性膜３１２にも、多数の孔部３１９が形成されている。
【００８０】
透過性膜３１１及び３１２の孔部３１９は、使用済み現像液に含まれる不純物成分３２０は透過させず、清澄な現像液成分のみを透過させるような寸法に設定されている。
【００８１】
孔部３１９の直径（透過径）は、具体的には、例えば、処理の効率や回収率などを考慮し、０．５μｍ以下にすることが望ましい。更に望ましくは、孔部３１９の直径は０．２μｍから０．５μｍに設定するのが良い。
【００８２】
なお、孔部３１９の寸法は、再利用したい成分（つまり透過させたい成分）と除去したい成分（つまり透過させたくない成分）の粒径（分子量）に応じて適宜に選定する。
【００８３】
使用済み現像液は、上記のように循環ポンプ４により圧送されて振動式膜分離装置３内に導入されるため、使用済み現像液に含まれる現像液成分は、各フィルタ３１の透過性膜３１１及び３１２を透過し、各フィルタ３１の外部から内部のドレインクロス３１４及び３１５内へと浸入する。
【００８４】
このように各フィルタ３１の透過性膜３１１及び３１２により濾過され、ドレインクロス３１４及び３１５内へと浸入した清澄な現像液は、ドレインクロス３１４及び３１５内を移動し、第２の開口部３１７の内側へと浸出する。
【００８５】
各フィルタ３１の第２の開口部３１７は、フィルタ３１のドレインクロス３１４及び３１５より浸出した清澄な現像液を、図２に示す経路Ｂに従って順次に通過させて、振動式膜分離装置３の第１の導出口３Ｂへと導く。
【００８６】
他方、フィルタ３１の透過性膜３１１及び３１２を通過できず、従って、ドレインクロス３１４及び３１５内に浸入することができないような不純物成分３２０は、Ｏリング３５により堰き止められているため第２の開口部３１７内には流れ込まず、各フィルタ３１の間で第２の開口部３１７の周囲を回り込むように第３の開口部３１８に向けて移動し、各第３の開口部３１８を図２に示す経路Ｃに従って順次に通過して、振動式膜分離装置３の第２の導出口３Ｃへと導かれる。
【００８７】
なお、図１と図２では、振動式膜分離装置３の配置が左右反転している。
【００８８】
ここで、振動式膜分離装置３の加振機構は、例えば、モータ及び偏心式振動機構を備えて構成され、フィルタユニット３２に対し、継続的に振動を与える。この加振機構は、具体的には、例えば、振幅１乃至２．５ｃｍ、振動周波数４０乃至６０Ｈｚの条件で、各フィルタ３１をそれらの面方向において回転させるような往復振動、あるいは、各フィルタ３１を含む面内において各フィルタ３１を直線的に往復運動させることによる振動を付与する。
【００８９】
フィルタユニット３２にはこのように振動が付与されるため、各フィルタ３１の透過性膜３１１及び３１２の表面近傍において振動により生じるせん断力によって、不純物成分の粒子３２０（図５）は透過性膜３１１及び３１２から離れた所に移送される。これにより、フィルタユニット３２内における濃度分極（濃度の異常に高い部分が生成すること）が抑制され、透過性膜３１１及び３１２への不純物粒子３２０の付着が抑制される。
【００９０】
また、透過性膜３１１及び３１２に付着した不純物粒子３２０は、せん断力により剥がされやすくなる。
【００９１】
こうして、透過性膜３１１及び３１２の目詰まり（フィルタ３１の目詰まり）が防止され、該透過性膜３１１及び３１２の表面を常にクリーンな状態に保つことができる。
【００９２】
よって、透過性膜３１１及び３１２を透過する現像液の透過流束の低下量が少なく、長時間安定した高い流束を維持することができる。
【００９３】
従って、フィルタ３１（フィルタユニット３２）の交換頻度を低く抑えることができるとともに、フィルタ３１（フィルタユニット３２）を交換しなくても液体タンク２中の濃縮液を高濃度まで濃縮することができる。
【００９４】
なお、液体タンク２中の濃縮液の濃度が高くなった場合には、循環式ウェット処理装置１００の操業を停止し、液体タンク２中の固形分（不純物成分が固化したもの）を回収する。
【００９５】
また、上記のようなウェット処理装置１００を用いたウェット処理による基板上へのパターン形成処理を経て、ＰＤＰ（表示パネル）を製造することができる。
【００９６】
以上のような本発明の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００によれば、ウェット処理を行うためのウェット処理槽１と、ウェット処理に用いられた現像液から不純物成分を分離させる処理を行う振動式膜分離装置３と、振動式膜分離装置３によって不純物成分が分離された後の現像液をウェット処理槽１に再供給する再供給路としての配管１３と、を備えるので、ウェット処理槽１におけるウェット処理に用いられた現像液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置３により行い、この振動式膜分離装置３によって不純物成分が分離された後の処理液をウェット処理槽１に再供給し、再利用することが可能になる。
【００９７】
また、現像液から分離及び回収された不純物成分も、パターン材料として再利用することができる。
【００９８】
また、現像液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置３により行うので、この振動式膜分離装置３が備えるフィルタ３１は目詰まりしにくく、該フィルタ３１（フィルタユニット３２）の交換頻度を低くすることができる。よって、ＰＤＰの生産ラインを停止させる頻度を低減させることができ、大型の基板を大量に処理する工程における使用も可能となる。
【００９９】
また、現像液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置３により行うので、その処理を連続的に行うことができる。よって、不純物成分の分離及び回収に長時間を要するということがない。
【０１００】
また、現像液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置３により行うので、従来のフィルタ方式では分離困難な粒径が小さい不純物まで分離することが可能となる。よって、配管１１、１２、１４やノズルの詰まりを生じにくくすることができる。
【０１０１】
また、現像液から不純物成分を分離させる処理を振動式膜分離装置３により行うので、不純物成分の回収率は、該振動式膜分離装置３が備える透過性膜３１１及び３１２の透過径によってのみ決定される。つまり、不純物成分３２０の比重によって回収率がばらついてしまうということがなく、不純物成分３２０の比重にかかわらず、不純物成分３２０の分離を好適に行うことができる。
【０１０２】
具体的には、例えば、透過性膜３１１及び３１２の透過径を０．４μｍに設定し、種々のパターン材料について実験した結果によると、使用するパターン材料に関係なく、９０％以上（ほぼ１００％）の回収率を達成することができた。
【０１０３】
このため、再生された現像液における不純物の含有量を極めて低く抑えることができ、現像液を再利用して行うウェット処理による現像品質を高めることができ、安定したパターン形成が可能となる。また、現像液の交換頻度を低減することができ、現像液の使用量を低減することが可能となる。
【０１０４】
また、上記のように、不純物成分の比重にかかわらず、不純物成分の分離を好適に行うことができるため、現像液を循環させる配管１１、１２、１４の詰まりを生じにくくしたり、ウェット処理槽１において現像液を吐出するノズル（図示略）を用いる場合に、このノズルの詰まりを生じにくくしたりすることができる。
【実施例２】
【０１０５】
本発明の実施例２においては、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００に遠心分離装置を追加的に備える例について説明する。
【０１０６】
図６は実施例２に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）２００の構成を示す模式図である。
【０１０７】
実施例２に係る循環式ウェット処理装置２００は、以下に説明する点においてのみ上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と相違し、その他の点では上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と同様に構成されているため、実施例２に係る循環式ウェット処理装置２００の構成要素のうち、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００における構成要素と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１０８】
図６に示すように、実施例２に係る循環式ウェット処理装置２００は、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００の各構成要素に加えて、使用済み現像液からの不純物成分の分離を連続的に行う遠心分離装置３０１と、この遠心分離装置３０１に対し、液体タンク（第１のタンク）２内の現像液を供給するための配管３０２と、この配管３０２に設けられ液体タンク２内の現像液を遠心分離装置３０１に対し送液する送液ポンプ（第１のポンプ）３０３と、遠心分離装置３０１により分離された不純物成分（固形分）を回収する固形分回収タンク３０４と、遠心分離装置３０１により分離された固形分を該遠心分離装置３０１から固形分回収タンク３０４に送る配管３０５と、遠心分離装置３０１により不純物成分（固形分）と分離された現像液を貯留可能な液体タンク（第２のタンク）３０６と、遠心分離装置３０１により不純物成分と分離された現像液を該遠心分離装置３０１から液体タンク３０６へと供給するための配管３０７と、を更に備えている。
【０１０９】
液体タンク２内には、ウェット処理槽１におけるウェット処理に用いられた使用済み現像液と、振動式膜分離装置３の第２の導出口３Ｃから排出される濃縮液との混液が貯留される。
【０１１０】
この混液は、送液ポンプ３０３により液体タンク２から遠心分離装置３０１に送液される。
【０１１１】
遠心分離装置３０１は、液体タンク２から送られる混液から固形分を遠心分離する。
【０１１２】
これにより、固形分の比重にもよるが、例えば、３０乃至９８％程度まで固形分を連続的に分離することができる。
【０１１３】
分離された固形分の含水率は１０％以下になり、配管３０５を介して固形分回収タンク３０４へ排出される。
【０１１４】
他方、固形分が分離された現像液は、配管３０７を介して液体タンク３０６に回収される。
【０１１５】
なお、実施例２の場合、配管１２は、液体タンク３０６と振動式膜分離装置３の導入口３Ａとを接続しており、循環ポンプ（第２のポンプ）４は、液体タンク３０６内の現像液を、配管１２を介して振動式膜分離装置３内に圧送する。
【０１１６】
液体タンク３０６に回収された現像液は、循環ポンプ４により振動式膜分離装置３に送液され、上記の実施例１と同様に、該振動式膜分離装置３において不純物が分離される。
【０１１７】
以上のような本発明の実施例２によれば、ウェット処理槽１におけるウェット処理に用いられた現像液から不純物成分を分離させる処理を行う遠心分離装置３０１を更に備え、振動式膜分離装置３は、遠心分離装置３０１によって予め不純物成分が分離された後の現像液から、更に、不純物成分を分離させる処理を行うので、上記の実施例１と同様の効果が得られる他に、使用済み現像液と振動式膜分離装置３から排出される濃縮液との混液から固形分を好適に分離・除去することができるという効果が得られる。
【実施例３】
【０１１８】
上記の実施例１においては、液体タンク２が１つである例を説明したが、本発明の実施例３においては、液体タンク２を２つ備え、何れかの液体タンク２を選択的に切り換えて使用する例を説明する。
【０１１９】
図７は本発明の実施例３に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）３００の構成を示す模式図である。
【０１２０】
実施例３に係る循環式ウェット処理装置３００は、以下に説明する点においてのみ上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と相違し、その他の点では上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と同様に構成されているため、実施例３に係る循環式ウェット処理装置３００の構成要素のうち、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００における構成要素と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１２１】
図７に示すように、実施例３に係る循環式ウェット処理装置３００は、ウェット処理槽１、振動式膜分離装置３、循環ポンプ４、配管１１、１２、１３、１４に加えて、ウェット処理槽１におけるウェット処理に用いられた現像液を一旦貯留可能な第１及び第２の液体タンク（タンク）３３１、３３２と、配管１１と第１の液体タンク３３１とを接続する配管３３４と、配管１１と第２の液体タンク３３２とを接続する配管３３５と、配管１１内に導入された混液（使用済み現像液と濃縮液との混液）を第１及び第２の液体タンク３３１、３３２のうちの何れのタンクへと導くかを切り換える第１のバルブ３３３と、第１の液体タンク３３１と配管１２とを接続する配管３３６と、第２の液体タンク３３２と配管１２とを接続する配管３３７と、第１及び第２の液体タンク３３１、３３２のうちの何れのタンクを配管１２に接続するかを切り換える第２のバルブ３３８と、第１の液体タンク３３１内の濃縮液中の不純物濃度を検出する第１の濃度検出センサ３４１と、第２の液体タンク３３２内の濃縮液中の不純物濃度を検出する第２の濃度検出センサ３４２と、第１及び第２の濃度検出センサ３４１、３４２による検出結果に応じて第１及び第２のバルブ３３３、３３８を切り換え制御する制御装置３５０と、を備えて構成されている。
【０１２２】
第１及び第２のバルブ３３３、３３８は、それぞれ電気的に駆動される三方弁である。このうち第１のバルブ３３３は、制御装置３５０の制御下で、配管１１を配管３３４と配管３３５のうち何れか一方に対して接続する。また、第２のバルブ３３８は、制御装置３５０の制御下で、配管１２に対して配管３３６と配管３３７のうち何れか一方を接続する。
【０１２３】
なお、制御装置３５０は、第１及び第２のバルブ３３３、３３８を同期的に制御する。すなわち、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３４に接続させる際には第２のバルブ３３８により配管３３６を配管１２に接続させる一方で、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３５に接続させる際には第２のバルブ３３８により配管３３７を配管１２に接続させる。
【０１２４】
制御装置３５０は、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３４に接続させるとともに第２のバルブ３３８により配管３３６を配管１２に接続させることにより、使用するタンクとして第１の液体タンク３３１を選択し、あるいは、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３５に接続させるとともに第２のバルブ３３８により配管３３７を配管１２に接続させることにより、使用するタンクとして第２の液体タンク３３２を選択する。
【０１２５】
制御装置３５０は、選択されているタンク内の現像液中の不純物濃度が既定値を超えた場合には、選択するタンクを他方のタンクに切り換える。
【０１２６】
すなわち、制御装置３５０は、例えば、第１の液体タンク３３１が選択されているときに、該第１の液体タンク３３１内の現像液中の不純物濃度を検出している第１の濃度検出センサ３４１による検出値が既定値を超えた場合には、第１及び第２のバルブ３３３、３３８を制御して、選択するタンクを第１の液体タンク３３１から第２の液体タンク３３２に切り換える。
【０１２７】
反対に、第２の液体タンク３３２が選択されているときに、該第２の液体タンク３３２内の現像液中の不純物濃度を検出している第２の濃度検出センサ３４２による検出値が既定値を超えた場合には、制御装置３５０は、第１及び第２のバルブ３３３、３３８を制御して、選択するタンクを第２の液体タンク３３２から第１の液体タンク３３１に切り換える。
【０１２８】
以上の構成のうち、第１及び第２のバルブ３３３、３３８、配管３３４、３３５、３３６、３３７により流路切り替え機構が構成されている。
【０１２９】
なお、実施例３の場合、配管１１は第１のバルブ３３３に接続されている。また、配管１２は第２のバルブ３３８と振動式膜分離装置３の導入口３Ａとを接続しており、循環ポンプ４は、第１の液体タンク３３１内の現像液を配管３３６及び配管１２を介して振動式膜分離装置３内に圧送するか、又は、第２の液体タンク３３２内の現像液を配管３３７及び配管１２を介して振動式膜分離装置３内に圧送する。
【０１３０】
循環ポンプ４により振動式膜分離装置３に送液された現像液からは、上記の実施例１と同様に、該振動式膜分離装置３において不純物が分離される。
【０１３１】
次に、実施例３に係る循環式ウェット処理装置３００の動作のうち、第１の液体タンク３３１及び第２の液体タンク３３２の一方を選択する動作を説明する。
【０１３２】
例えば、当初は、制御装置３５０が、使用するタンクとして第１の液体タンク３３１を選択しているものとする。
【０１３３】
すなわち、制御装置３５０が、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３４に接続させるとともに、第２のバルブ３３８により配管３３６を配管１２に接続させているものとする。
【０１３４】
この場合、第１及び第２の液体タンク３３１、３３２のうち、第１の液体タンク３３１に対して選択的にウェット処理槽１からの使用済み現像液及び振動式膜分離装置３からの濃縮液が供給されるとともに、第１の液体タンク３３１内の混液（液体）が振動式膜分離装置３に供給される。
【０１３５】
第１の濃度検出センサ３４１は第１の液体タンク３３１内の混液中の不純物濃度を測定し、測定結果を制御装置３５０に送信している。第１の液体タンク３３１内の混液中の不純物濃度が上昇し、規定値を超えると、制御装置３５０は、第１及び第２のバルブ３３３、３３８を切り換え制御する。
【０１３６】
すなわち、制御装置３５０は、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３５に接続させるとともに、第２のバルブ３３８により配管３３７を配管１２に接続させることにより、使用するタンクとして第２の液体タンク３３２を選択する。
【０１３７】
この結果、第１及び第２の液体タンク３３１、３３２のうち、第２の液体タンク３３２に対して選択的にウェット処理槽１からの使用済み現像液及び振動式膜分離装置３からの濃縮液が供給されるとともに、第２の液体タンク３３２内の混液（液体）が振動式膜分離装置３に供給される。
【０１３８】
この状態で、第１の液体タンク３３１内の混液（濃縮液）中の固形分（不純物成分が固化したもの）を回収する。
【０１３９】
第２の濃度検出センサ３４２は第２の液体タンク３３２内の混液中の不純物濃度を測定し、測定結果を制御装置３５０に送信している。第２の液体タンク３３２内の混液中の不純物濃度が上昇し、規定値を超えると、制御装置３５０は、第１及び第２のバルブ３３３、３３８を切り換え制御する。
【０１４０】
すなわち、第１のバルブ３３３により配管１１を配管３３４に接続させるとともに、第２のバルブ３３８により配管３３６を配管１２に接続させることにより、使用するタンクとして再び第１の液体タンク３３１を選択する。
【０１４１】
この結果、再び、第１の液体タンク３３１に対して選択的にウェット処理槽１からの使用済み現像液及び振動式膜分離装置３からの濃縮液が供給されるとともに、第１の液体タンク３３１内の混液（液体）が振動式膜分離装置３に供給される。
【０１４２】
この状態で、第２の液体タンク３３２内の混液（濃縮液）中の固形分（不純物成分が固化したもの）を回収する。
【０１４３】
こうして、循環式ウェット処理装置３００の操業を停止することなく、連続的に、使用済み現像液からの不純物成分の分離及び回収を実行することができる。
【０１４４】
以上のような実施例３によれば、液体タンク３３１、３３２を複数備え、これら複数の液体タンク３３１、３３２のうちの何れかのタンクに対して選択的にウェット処理槽１からの使用済み現像液及び振動式膜分離装置３からの濃縮液を供給させるとともに、該選択されたタンク内の混液を振動式膜分離装置３に供給させるための流路切り替え機構（第１及び第２のバルブ３３３、３３８、配管３３４、３３５、３３６、３３７）を備えるので、上記の実施例１と同様の効果が得られる他に、循環式ウェット処理装置３００の操業を停止することなく、連続的に、使用済み現像液からの不純物成分の分離及び回収を実行することができるという効果が得られる。
【０１４５】
また、複数の液体タンク３３１、３３２の各々に貯留された混液（現像液）中の不純物濃度を検出する濃度検出センサ３４１、３４２と、選択されているタンク内の混液（現像液）中の不純物濃度が既定値を超えた場合に、流路切り替え機構（特に第１及び第２のバルブ３３３、３３８）を制御することにより、選択するタンクを他方のタンクに切り換える制御装置３５０と、を備えるので、液体タンク３３１、３３２の切り替えを自動的に行うことができる。
【０１４６】
なお、上記の実施例２の場合に、液体タンク２を実施例３と同様に複数ずつ備え、これら複数の液体タンク２を選択的に用いる構成とすることも可能である。
【０１４７】
或いは、上記の実施例２の場合に、液体タンク３０６を実施例３と同様に複数ずつ備え、これら複数の液体タンク３０６を選択的に用いる構成とすることも可能である。
【実施例４】
【０１４８】
本発明の実施例４においては、振動式膜分離装置を複数（例えば、２つ）備える例について説明する。
【０１４９】
図８は本発明の実施例４に係る循環式ウェット処理装置（ウェット処理装置）４００の構成を示す模式図である。
【０１５０】
実施例４に係る循環式ウェット処理装置４００は、以下に説明する点においてのみ上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と相違し、その他の点では上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００と同様に構成されているため、実施例４に係る循環式ウェット処理装置４００の構成要素のうち、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００における構成要素と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１５１】
図８に示すように、実施例４に係る循環式ウェット処理装置４００は、上記の実施例１に係る循環式ウェット処理装置１００の各構成要素に加えて、振動式膜分離装置３によって現像液から分離された不純物成分を含む濃縮液を一旦貯留する第２の液体タンク（第２のタンク）４０２と、第２の液体タンク４０２内から供給される濃縮液から更に不純物成分を分離させる処理を行う第２の振動式膜分離装置４０１と、を備えている。
【０１５２】
第２の振動式膜分離装置４０１は振動式膜分離装置３と同様に構成されている。
【０１５３】
実施例４に係る循環式ウェット処理装置４００は、更に、第２の液体タンク４０２内の濃縮液を第２の振動式膜分離装置４０１の導入口３Ａ内へと供給するための配管４０３と、この配管４０３に設けられ第２の液体タンク４０２内の濃縮液を配管４０３を介して第２の振動式膜分離装置４０１の導入口３Ａ内へと圧送するポンプ４０４と、第２の振動式膜分離装置４０１の第１の導出口３Ｂをウェット処理槽１に対して接続する配管４０５と、第２の振動式膜分離装置４０１の第２の導出口３Ｃを配管１４へと接続する配管４０６と、を備えている。
【０１５４】
なお、実施例４の場合、配管１４は、配管１１ではなく第２の液体タンク４０２に接続されている。
【０１５５】
以上のような実施例４によれば、振動式膜分離装置３によって現像液から分離された不純物成分を含む濃縮液を一旦貯留する第２の液体タンク４０２と、第２のタンク４０２内から供給される濃縮液から更に不純物成分を分離させる処理を行う第２の振動式膜分離装置４０１と、を更に備えるので、上記の実施例１と同様の効果が得られる他に、振動式膜分離装置３のフィルタ３１の交換頻度をより低減させることができる。
【０１５６】
すなわち、実施例４の場合、振動式膜分離装置３により現像液から分離された濃縮液は、液体タンク２には戻されず、第２の液体タンク４０２に供給されるので、液体タンク２内の現像液中の不純物濃度の上昇を抑制し、振動式膜分離装置３のフィルタ３１の交換頻度を低減させることができる。
【０１５７】
なお、実施例４の場合に、第２の液体タンク４０２を上記の実施例３と同様に複数備え、これら複数の第２の液体タンク４０２を選択的に用いる構成とすることも可能である。
【０１５８】
また、実施例４の場合に、第２の液体タンク４０２からの濃縮液を、上記の実施例２と同様に、遠心分離装置３０１により現像液と固形物とに分離させる構成とすることも可能である。
【０１５９】
なお、上記の各実施例においては、処理液として現像液を例示したが、処理液は現像液に限らない。
【０１６０】
また、上記の各実施例においては、循環式ウェット処理装置によるウェット処理が適用される基板として、ＰＤＰを構成する基板を例示したが、これに限らず、例えば、液晶表示パネル或いはその他の表示パネルを構成する基板に対して循環式ウェット処理装置によるウェット処理を適用することも可能である。
【０１６１】
振動式膜分離装置３の構造は上述の構造に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。以下、振動式膜分離装置３の変形例を示す。
（第１の変形例）
図９は振動式膜分離装置３に対する第１の変形例に係る振動式膜分離装置３５１の要部を示す斜視断面図であり、図１０は第１の変形例に係る振動式膜分離装置３５１が備えるフィルタ３１Ａを示す平面図である。
【０１６２】
上記において説明した振動式膜分離装置３の構造（図２）の場合、第１の開口部３１６内を経路Ａに従って通過する使用済み現像液は、上部のフィルタ３１内にはほとんど浸入せず、下部のフィルタ３１に多く浸入する可能性があり、上部のフィルタ３１を効率的に濾過に利用できない可能性がある。
【０１６３】
そこで、第１の変形例に係る振動式膜分離装置３５１が備えるフィルタ３１Ａは、上述の振動式膜分離装置３が備えるフィルタ３１（図４）と比較して、第３の開口部３１８を備えていない構造となっている。すなわち、第１の変形例に係る振動式膜分離装置３５１が備えるフィルタ３１Ａは、図１０に示すように、第１の開口部３１６と第２の開口部３１７のみを備えている。
【０１６４】
フィルタユニット３２においては、図９に示すように、上下方向に隣り合う段のフィルタ３１Ａは、それらの第１の開口部３１６が第２の開口部３１７を中心として互いに反対側に位置するように配置されている。これにより、使用済み現像液は、各段のフィルタ３１Ａにまんべんなく浸入する（各段のフィルタ３１Ａによりまんべんなく濾過される）こととなり、各段のフィルタ３１Ａをより効率的に利用できるようになる。
【０１６５】
なお、図９においては、各フィルタ３１Ａにおける第１の開口部３１６が第２の開口部３１７を中心として互いに反対側に位置するように配置されている例を示したが、各フィルタ３１Ａにおける第１の開口部３１６が相互に整列しないような位置に配置されている限り、第１の開口部３１６が第２の開口部３１７を中心として互いに反対側に位置するように配置されていることは必ずしも必要ではない。
（第２の変形例）
図１１は振動式膜分離装置３に対する第２の変形例に係る振動式膜分離装置３５２の要部を示す斜視断面図であり、図１２は第２の変形例に係る振動式膜分離装置３５２が備えるフィルタ３１Ｂを示す斜視図である。
【０１６６】
第２の変形例に係る振動式膜分離装置３５２は、平板形状のフィルタ３１に代えて逆コーン形状のフィルタ３１Ｂを用いる点において、振動式膜分離装置３と異なり、その他に関しては同様の構造を有している。
【０１６７】
図１２に示すように、第２の変形例に係る振動式膜分離装置３５２においては、平板形状のフィルタ３１に代えて、逆コーン（逆円錐台）形状のフィルタ３１Ｂを用いる。
【０１６８】
各フィルタ３１Ｂの側壁は傾斜しているため、経路Ａを通って第１の開口部３１６から各フィルタ３１Ｂの内部に入る使用済み現像液に対しては重力が作用する。このため、平板形状のフィルタ３１と比較して、重力が作用する分だけ、不純物成分が除去された現像液がドレインクロス３１４内を第２の開口部３１７に向かって進む速度は増加する。
【０１６９】
従って、第２の変形例に係る振動式膜分離装置３５２によれば、使用済み現像液から不純物成分を除去する速度、すなわち、濾過速度を上げることが可能である。
【０１７０】
なお、第１の変形例に係る振動式膜分離装置３５１と同様に、各フィルタ３１Ｂには第１の開口部３１６と第２の開口部３１７とを形成し、第３の開口部３１８を形成しないようにすることも可能である。
（第３の変形例）
図１３は振動式膜分離装置３に対する第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３の要部を示す斜視断面図であり、図１４は第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３が備えるフィルタ３１Ｃを示す斜視図である。
【０１７１】
第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３において用いられるフィルタ３１Ｃは円形の平板形状をなしており、各フィルタ３１Ｃには、図１４に示すように、第１の開口部３１６のみが形成されている。
【０１７２】
振動式膜分離装置３においては、各フィルタ３１は第２の開口部３１７の周縁に沿って配置されたシール部材としてのＯリング３５により相互にシールされているが、第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３においては、図１３に示すように、各フィルタ３１Ｃの外周縁に沿ってシール部材としてのＯリング３５Ａが配置されている。
【０１７３】
さらに、第１の開口部３１６は上下方向に隣接するフィルタ３１Ｃ相互間において整列しないように配置されている。
【０１７４】
不純物成分が除去された現像液はドレインクロス３１４内を通過して、フィルタユニット３２とフィルタ容器３３との間に形成されている空間３７０に滴下する。空間３７０に溜まった現像液は、ポンプその他の適当な手段により、吸い上げられ、第１の導出口３Ｂから配管１３を通ってウェット処理槽１に送られる。
【０１７５】
振動式膜分離装置３においては、第２の開口部３１７が形成されている分だけ各フィルタ３１の面積が減少し、そのため、不純物成分を濾過する濾過効率も減少していた。これに対して、第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３においては、第２の開口部３１７を形成する必要がないため、振動式膜分離装置３と比較して、各フィルタ３１Ｃの面積を大きくすることができ、ひいては、振動式膜分離装置３よりも不純物成分を濾過する濾過効率を上げることが可能である。
【０１７６】
なお、第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３における各フィルタ３１Ｃには、第１の開口部３１６のみならず、第３の開口部３１８を形成することも可能である。
（第４の変形例）
図１５は振動式膜分離装置３に対する第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４の要部を示す縦断面図であり、図１６は第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４が備えるフィルタ３１Ｄを示す斜視図である。
【０１７７】
図１６に示すように、第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４においては、逆コーン（逆円錐台）形状のフィルタ３１Ｄが用いられる。フィルタ３１Ｄには第１の開口部３１６が形成されている。
【０１７８】
第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４においては、第３の変形例に係る振動式膜分離装置３５３と同様に、図１５に示すように、各フィルタ３１Ｄの外周縁に沿ってシール部材としてのＯリング３５Ａが配置されている。
【０１７９】
さらに、第１の開口部３１６は上下方向に隣接するフィルタ３１Ｄ相互間において整列しないように配置されている。
【０１８０】
さらに、第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４は、振動式膜分離装置３における加振機構に代えて、各フィルタ３１Ｄ（すなわち、フィルタユニット３２）を回転させる回転機構を備えている。この回転機構は各フィルタ３１Ｄの中心軸３６０の回りに各フィルタ３１Ｄを回転させる。
【０１８１】
不純物成分が除去された現像液はドレインクロス３１４内を通過して、フィルタユニット３２とフィルタ容器３３との間に形成されている空間３７０に滴下する。空間３７０に溜まった現像液は、ポンプその他の適当な手段により、吸い上げられ、第１の導出口３Ｂから配管１３を通ってウェット処理槽１に送られる。
【０１８２】
第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４においては、各フィルタ３１Ｄは中心軸３６０の回りに回転する。このため、経路Ａを通って第１の開口部３１６から各フィルタ３１Ｄの内部に入る使用済み現像液に対しては遠心力Ｆが作用する。この遠心力Ｆにより、使用済み現像液は各フィルタ３１Ｄの側壁に押し付けられることになり、現像液が透過性膜３１１、３１２を通過してドレインクロス３１４に吸収される速度が早まり、使用済み現像液から不純物成分を除去する濾過速度を上げることができる。ひいては、振動式膜分離装置３と比較して、不純物成分を濾過する濾過効率を上げることが可能である。
【０１８３】
なお、第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５４における各フィルタ３１Ｄには、第１の開口部３１６のみならず、第３の開口部３１８を形成することも可能である。
【０１８４】
また、振動式膜分離装置３のみならず、第２の振動式膜分離装置４０１に代えて、上述の第１乃至第４の変形例に係る振動式膜分離装置３５１、３５２、３５３、３５４を用いることも可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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