(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
進行方向に沿って単位区分に区分けされた搬送装置と、前記搬送装置の１以上の単位区分に対応する長さの処理ステージに区分けされた処理装置とを備え、前記搬送装置が、前記単位区分内に配置された処理品保持具に処理品を保持して、前記処理装置の中を順次間歇的にタクト送りするタクト送り方式のめっき装置であって、
前記各処理ステージに備えられた、処理のための電流を流す電源と、
前記めっき装置の入口側に配置され、前記めっき装置に送り込まれる処理品の数を検出する処理品数検出手段と、
前記処理品の投入順序に対応して、前記単位区分ごとの処理品に付されたシリーズ番号を特定するシリーズ番号特定手段と、
予め入力された、前記処理ステージに関する情報と、前記処理品の種類およびその種類におけるめっき面積に関する情報と、を記憶する記憶手段と、
前記検出された処理品の数と、前記特定されたシリーズ番号の処理品が属する処理品の種類およびその種類のめっき面積と、処理ステージに関する情報と、に基いて前記処理ステージにおけるめっき面積を算出し、前記処理ステージにおけるめっき電流を算出する演算手段と、
前記算出された電流を自動的に設定して前記電源にその電流を流させる、電流自動設定手段とを備える、めっき装置。
【請求項２】
前記単位区分には、複数の前記処理品保持具が並列配置され、各処理品保持具は、１つの処理品を保持することができる、請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記単位区分には、１つの前記処理品保持具が配置され、各処理品保持具は、１つの処理品を保持することができる、請求項１に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記処理品数検出手段は、前記配置された処理品保持具が進行方向に沿う列ごとに配置され、その列の処理品保持具に処理品が保持されているか否かを検出する、請求項１〜３のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項５】
前記シリーズ番号特定手段が、前記めっき装置稼動の基準時から前記タクト送り数をカウントするカウンタである、請求項１〜４に記載のめっき装置。
【請求項６】
前記処理品数検出手段によって処理品数を検出した時点から所定のタクト送り数の経過後に、前記電流を前記処理ステージの電源に流し始めるタイマー手段を備える、請求項１〜５のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項７】
前記処理品の同一種類から構成されるロットの最後尾を検出するロットエンド検出手段をさらに備え、前記電流自動設定手段は、当該ロットエンド検出手段からのロットエンド検出信号に基き、所定の微弱電流を前記電源に流させる、請求項１〜６のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項８】
前記めっき装置の出口に、当該めっき装置から送り出される処理品の数を検出する完了処理品数検出手段をさらに備える、請求項１〜７のいずれかに記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理品をめっき処理するめっき装置に関し、より具体的には、半導体チップを搭載し樹脂封止されたリードフレーム等の半導体装置にめっき処理を施すめっき装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体チップが搭載され樹脂封止されたリードフレーム集合体等の処理品にめっき処理を施す場合、いかにしてめっき膜厚を所望の厚さに制御するかということが問題となる。上記リードフレーム集合体へのめっき処理においては、めっき膜厚が所定範囲に入らないと、コンセント孔に挿入できなかったり、また挿入が緩すぎて脱落するおそれが生じる。このような、めっき膜厚の目標範囲外発生を避けるために、処理品のめっき面積を割り出して、めっき浴に流す電流の総量を制御したり、めっき時間を加減する方法が提案された（特開平4-74897号公報、特開平3-148162号公報）。これらの方法によれば、めっき面積に対応して電流やめっき時間を加減するので、比較的安定して目標範囲内のめっき膜厚を得ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の方法では、給電ステージが複数、連続してめっき浴に設けられるものの、電源はめっき浴に対して１つ備えられるだけなので、各給電ステージごとにきめこまかい電流設定をすることができない。このため、途中に処理品がない投入部分があった場合、めっき電流は平均的な数の処理品があるものとして流されるので、その前後のロットエンドやロットの先頭等の処理品のめっき膜厚が過大になり、目標範囲内に膜厚を入れることができなかった。このため、処理品がない投入部分の前後の所定範囲にダミーのグループを投入して、めっき膜厚の偏倚を防止することが行われていた。しかし、このようなダミーのグループ投入は無駄なめっきを行うことになるので、避けることが望ましい。
【０００４】
このため、めっき装置を進行方向に関して複数のステージに分け、各ステージに電源を設けるめっき装置が提案された（特公平7-74479号）。このめっき装置によれば、めっき装置の各ステージごとに処理品の種類やめっき面積に応じて電流を流すことができ、めっき膜厚を正確に制御することができるようになった。また、１つのグループに処理品がまったく無い場合にも、ダミーの処理品を流すことなくその前後に位置する処理品の膜厚が厚くなりすぎる事態を避けることができるようになった。
【０００５】
しかしながら、上記タクト送り方式のめっき装置においては、処理品がめっき装置の通電部に到着したことを検知するのは、タイマーや搬送装置の搬送タクトタイムによって行われていた。このため、装置の停止などの突発事態が発生した場合には、処理品の位置把握が難しく、電流印加タイミングがずれたり、または電流印加することができないという問題が生じることがあった。また、めっき前処理工程において、処理品が搬送装置から脱落することもあり、このような場合、脱落がないとして設定しためっき電流は過大となり、めっき膜厚が厚くなりすぎる問題があった。このため、めっき装置の通電部に到達した処理品の数を確実に把握した上で、めっき電流を設定するめっき装置の開発が要求されるようになった。
【０００６】
本発明は、めっき装置に到着した処理品数を確実に把握したうえで、電流印加のタイミングのずれを生じることなく所定のめっき膜厚形成のために適切な電流を流すことができるめっき装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のめっき装置は、進行方向に沿って単位区分に区分けされた搬送装置と、搬送装置の１以上の単位区分に対応する長さの処理ステージに区分けされた処理装置とを備え、搬送装置が、単位区分内に配置された処理品保持具に処理品を保持して、処理装置の中を順次間歇的にタクト送りするタクト送り方式のめっき装置である。このめっき装置は、各処理ステージに備えられた、処理のための電流を流す電源と、めっき装置の入口側に配置され、めっき装置に送り込まれる処理品の数を検出する処理品数検出手段と、処理品の投入順序に対応して、単位区分ごとの処理品に付されたシリーズ番号を特定するシリーズ番号特定手段と、予め入力された、処理ステージに関する情報と、処理品の種類およびその種類におけるめっき面積に関する情報を記憶する記憶手段と、検出された処理品の数と、特定されたシリーズ番号の処理品が属する処理品の種類およびその種類のめっき面積と、処理ステージに関する情報と、に基いて処理ステージにおけるめっき面積を算出し、処理ステージにおけるめっき電流を算出する演算手段と、算出された電流を自動的に設定して前記電源にその電流を流させる、電流自動設定手段とを備える（請求項１）。
【０００８】
上記の本発明のめっき装置の処理装置は、１単位区分の整数倍を１処理ステージとして、区分けされている。すなわち、処理ステージは、１単位区分、２単位区分、３単位区分、. . . .等となる。たとえば、各単位区分に４つの処理品保持具が並列配置されている場合、各単位区分の全ての処理品保持具に処理品が保持されていると、１単位区分の処理ステージでは４個の処理品を処理することになる。また、２単位区分の処理ステージでは８個、３単位区分の処理ステージでは１２個の処理品を処理することになる。上記の単位区分に配置される処理品保持具は、複数とは限らず、１つの場合もある。
【０００９】
上記において、「処理ステージに関する情報」とは、いくつの数の単位区分に対応する長さを有するか、その処理ステージはめっき装置の入口から何タクト送りの位置にあるか、の情報である。なお、「タクト送り」は、搬送装置が処理品を間歇的に移動させる動作をさすが、通常、この１タクト送りで搬送する距離が１単位区分の長さに相当するので、「１タクト送り」によって１単位区分の進行方向長さを表わす場合もある。
【００１０】
上記の構成により、めっき装置の入口で１単位区分を構成する処理品の数、さらには処理ステージを構成する処理品の数を検出することができる。このため、搬送装置が突発的に停止して再起動した場合にも、めっき装置に適切なタイミングで電流を流すことができる。また、めっき装置に入る正確な処理品数に基いてめっき面積を算出できるので、適切なめっき電流を設定することができる。さらに、端数を生じるロットのロットエンドなどのように、１単位区分の処理品保持具のすべてに処理品を保持させることができない処理品数からなる処理品に対しても、適切な電流を流すことができる。また、処理品の一部脱落等の事故が発生した場合でも、所望範囲のめっき膜厚を得ることができる。当然のことであるが、処理品のすべてが脱落した場合には、めっき電流ゼロが算出され、めっき電流は流されない。
【００１１】
以後の説明において、「めっき装置」は、めっき装置全体と考えてもよいし、めっき装置の部分である、めっき浴装置、めっき前処理装置、またはめっき後処理装置と考えてもよい。さらに、めっき前処理装置のように１００タクト送り数以上の処理長さを有する装置では、その中の特定の部分前処理装置であってもよい。ここで、処理品保持具に保持される処理品は、たとえば、樹脂封止されたリードフレームの場合、１個のリードフレームではなく、枠の中に多数設けられたリードフレーム集合体である。
【００１２】
また、上記本発明のめっき装置では、同一の単位区分長さに対応する複数の処理ステージによって区分けされて構成されていてもよい。たとえば、めっき浴が上記めっき装置に該当する場合には、めっき浴の入口から出口まで同一の数の単位区分数に対応する処理ステージに区分けされている場合が多い。
【００１３】
上記本発明のめっき装置では、単位区分には、たとえば、複数の処理品保持具が並列配置されてもよく、各処理品保持具は、１つの処理品を保持することができる（請求項２）。
【００１４】
上記のように１つの処理品保持具につき１つの処理品を保持することにより、めっき処理を処理品１つごとに正確に行うことができる。また、上記したように、たとえば、１単位区分に４つの処理品保持具を並列配置することにより、処理を能率よく行うことができる。
【００１５】
また、上記本発明のめっき装置では、単位区分には、たとえば、１つの処理品保持具が配置されてもよく、各処理品保持具は、１つの処理品を保持することができる（請求項３）。
【００１６】
上記構成により、すべての処理品に対して同様な電極の配置で処理をすることができる。すなわち、複数列の並列配置の場合のように、端の列の位置と、列間に挟まれる列の位置と、の相違は生じない。
【００１７】
上記本発明のめっき装置では、処理品数検出手段は、たとえば、配置された処理品保持具が進行方向に沿う列ごとに配置され、その列の処理品保持具に処理品が保持されているか否かを検出する（請求項４）。
【００１８】
この構成により、各処理品保持具の列ごとに上記入口付近に１つの処理品検出手段を設けることにより、各単位区分における処理品数を検出することができる。また、処理品保持具に処理品を保持しているか否か検出すればよいので、非接触センサー、接触センサーまたはＣＣＤ(Charge Coupling Device)カメラ等の簡便な光学装置を用いて、処理品数検出手段を構成することができる。
【００１９】
上記本発明のめっき装置では、シリーズ番号特定手段が、たとえば、めっき装置稼動の基準時からタクト送り数をカウントするカウンタとすることができる（請求項５）。
【００２０】
ステップ駆動方式のめっき装置は、一般に、めっき浴の前に１５０〜２００処理ステージの前処理工程を有する。めっき浴を対象とする場合、または前処理工程の所定の工程を対象とする場合、同一種類の処理品から構成されるロットの先頭がこのめっき装置の所定の基準処理ステージを通過した段階からタクト送り数をカウントすれば、処理品検出手段によって検出される処理グループのシリーズ番号を特定することができる。そして、そのシリーズ番号の処理品が属するロットが分り、したがって、そのシリーズ番号の処理品の種類が判明する。
【００２１】
上記本発明のめっき装置では、処理品数検出手段によって処理品数を検出した時点から所定のタクト送り数の経過後に、電流を電源に流し始めるタイマー手段を備える（請求項６）。
【００２２】
めっき前処理工程のように、１００〜２００タクト送りの工程があり、装置のレイアウト等の事情から処理品数検出手段を対象とする前処理工程から相当隔たった前方に設ける場合等がある。このような場合、所定のタクト送り数の経過後に対象工程の各ステージに算出されためっき電流を流すことが望ましい。この結果、装置のレイアウトに制約を受けず、柔軟に本めっき装置の効果を発揮させることが可能となる。
【００２３】
上記本発明のめっき装置では、処理品のロットの最後尾を検出するロットエンド検出手段をさらに備え、電流自動設定手段は、当該ロットエンド検出手段からのロットエンド検出信号に基き、所定の微弱電流を電源に流させる（請求項７）。
【００２４】
上記のロットエンド検出手段は、上記の処理品数検出手段、シリーズ番号特定手段等のデータを基にロットエンドを検出する。処理品数検出手段のみでロットエンド検出手段を構成してもよい。電流自動設定手段は、ロットエンド通過後のめっき浴の各ステージに微弱電流を流すことにより、めっき装置の陽極または陰極への金、銀、銅などの貴な金属の置換を防止することができる。この結果、めっき装置の耐久性をたかめ、めっき装置の連続運転時間を長くすることが可能になり、処理品のめっき処理能率を向上することができる。この微弱電流は、パソコン等の記憶装置において、任意に設定することができる。
【００２５】
上記本発明のめっき装置では、めっき装置の出口に、当該めっき装置から送り出される処理品の数を検出する完了処理品数検出手段をさらに備えている（請求項８）。
【００２６】
上記の構成により、処理に投入した処理品の数だけでなく処理が完了した払い出し数の管理も行うことができ、めっき装置内に残留している処理品の摘出や、処理品の管理を簡便に行うことができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
次に、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【００２８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるめっき装置のレイアウトの概要を示す平面図である。処理の対象となる処理品は、樹脂封止されたリードフレーム（以後、フレームと記す）である。同一種類のフレームから構成されるロットは、インローダ２から投入され、搬送装置（図示せず）によって、間歇的に順次左方向にタクト送りされる。このタクト送りの間隔は、たとえば１３秒とする。フレーム（図示せず）は、前処理部３で下地処理を施されて、めっき処理部１０に送りこまれる。めっき処理部１０の入口側には、ＣＣＤカメラからなる監視カメラ１１が配置され、フレーム数が検出される。図１に示す図面では、めっき処理部１０に本発明を適用する構成を示しているが、前処理部３または後処理部４に適用してもよい。めっき処理部は、処理ステージ１３に区分けされ、各処理ステージに電源１２が配置されている。めっき処理部１０でめっき処理を施されたフレームは、後処理部４に送りこまれ、洗浄処理を施された後、アウトローダ５によってめっき装置１から送り出される。
【００２９】
図２は、搬送装置と処理装置と処理品との関係を示す図である。処理装置は、進行方向に関して単位区分２５に区分けされ、各単位区分２５には、４個のフレーム保持具２１が配置されている。これらのフレーム保持具２１には、１つまたはゼロのフレーム１５が保持されている。各単位区分に並列配置されるフレーム保持具の数は、４個に限られず、たとえば、５個でも８個でもよいことは言うまでもない。
【００３０】
図２において、処理装置は、便宜上、搬送装置の右に記載されているが、実際は、処理装置と搬送装置とは重なって配置されていることはいうまでもない。処理装置は、処理ステージ１３に区分けされており、各処理ステージは、搬送装置の１単位区分、２単位区分、３単位区分、. . . 等に対応する長さを有している。各処理ステージには、電源１２が配置されている。
【００３１】
図２を参照して、Ａロットのエンドは、そのロット内で９８番のシリーズ番号に該当する。このロットエンドのロット内シリーズ番号９８番のフレームグループは２個のフレームから構成されている。上記配置によれば、監視カメラ１１を用いることにより、信頼性の高いフレーム数を得ることができる。このロットエンドを処理している処理ステージｌは、２単位区分分のフレームを処理する。したがって、シリーズ番号９７のフレーム４個と９８番のフレーム２個の合計６個分のめっき電流を流さなければならない。さらに、図２に示す段階から、１タクトだけ送られた段階では、処理ステージｌでは、フレーム２個分の電流を流さなければならない。この後、さらにもう１タクトだけ送られた段階では、処理ステージｌにフレームはなくなるので、微弱電流を流すことになる。
【００３２】
図２に示すシリーズ番号は、次のように用いられる。ロットをインローダに投入する時点で、そのロットの処理品数、したがって総シリーズ番号を手入力で記憶装置部に入力する。インローダからフレーム監視カメラ１１までのタクト送り数は分っているので、タクト送りカウンタによってカウントすることによって、フレーム監視カメラに監視された処理品の種類（パッケージ名）を知ることができる。すなわち、その処理フレームが処理する処理品が属するロットを知り、その処理フレームのめっき面積等を知ることが可能となる。
【００３３】
図３は、本発明のめっき装置をめっき浴に適用した場合のブロック図である。
インローダ２にロットを投入する際に、キーボード等の手入力部３５から、パソコン等の記憶部３４にロットを構成する同一種類のフレーム数を入力する。その同一種類（パッケージ名）のフレームのめっきされる面積等は予めすでに全パッケージを網羅したデータベースが記憶されている。
【００３４】
フレームは、インローダ２から前処理部３に進み、めっき浴（めっき処理部）１０の入口にさしかかり、フレーム監視カメラ等の処理品数検出部１１によって１単位区分に保持されているフレーム数を検出される。このフレーム監視カメラ１１は、図２に示すように、フレーム保持具の各列に１台設置することが望ましい。このときまでに、そのロットが投入されてからめっき浴入口に到達するまでのタクト送り数がカウントされている。したがって、その処理品の種類（パッケージ名）は、記憶部３４から割り出すことができる。演算部３２は記憶部３４のデータと、フレーム監視カメラ１１からのデータとから、処理ステージ１３の電源（整流器）１２が流すべき電流を算出して、電流自動設定部３３に送り電源１２にその電流を流させることができる。たとえば、図２に示すロットＡのロットエンドが処理ステージｌから処理ステージｍ、また処理ステージｎへと送られる場合、各処理ステージに滞留するフレーム数を算出して、適切な値の電流を流すことができる。これらの電流設定は、演算部３２と、タクト送りカウンタ３１と、タイマー機構（図示せず）とが協働して、行うことができる。
【００３５】
図４は、記憶部におけるデータベースには、各パッケージ名ごとに各処理ステージにおいて流すべき電流密度が記憶されている。このデータベースは、本発明をめっき浴だけでなく前処理部や後処理部にも適用できるように、全処理ステージにおける電流密度がパッケージ名ごとに記入されている。このデータベースには、各処理ステージが対応する単位区分数が併記されており、その単位区分に対応するフレームの数を、フレーム監視カメラからのデータ等に基いて算出し、適切な処理フレームにおける電流を算出することができる。
【００３６】
上記の構成により、搬送停止等の事態が生じても、各単位区分におけるフレーム数を正確に把握して、正確なタイミングで各処理ステージに電流を流すことができる。また、その電流値も実際に存在するフレームの数によって算出するので、めっき膜厚がばらつくことなく所望の膜厚範囲に正確に入れることが可能となる。このため、めっき処理を適用した製品の信頼性を向上させることが可能となる。また、ロットエンドを検出した後、微弱電流を流すことにより、整流器の電極が貴な金属によって置換されることがなくなるので、電極の耐久性が増し、長期間連続運転することができるので、生産性の向上に資することができる。
【００３７】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２におけるめっき装置の動作の概要を説明する図である。本実施の形態では、前処理部２、めっき処理部（めっき浴）１０、後処理部４のおのおのの入口にフレーム監視カメラ１１が取り付けられており、各フレーム監視カメラからの信号に応じて、実施の形態１に示した手順で各々の処理部の処理ステージに流すべき電流値を算出して、シーケンサ３３にその電流値を送信し、シーケンサ３３から各処理ステージの整流器１２にその電流値を指示することができる。
【００３８】
前処理部３のように、処理ステージ数の多い部分では、タイマー機構（図示せず）を用いて、ロット先頭のフレームを処理する電流を流すことが望ましい。
【００３９】
上記の構成により、めっき装置全体に本発明を適用することができ、適切なタイミングで適切な値の電流を流すことができ、高い品質のめっき処理を安定して行うことができるので、歩留り向上、生産性向上に貢献することができる。
【００４０】
（実施の形態３）
図６は、本発明の実施の形態３におけるめっき装置を示す図である。図６においては、各単位区分に１つのフレーム保持具２１が配置されている。フレーム検出カメラ１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、それぞれ、前処理部３、めっき処理部１０、後処理部４、の入口側に配置されている。前処理部３の最初の前処理ステージ１３ａでは、３単位区分の長さを有している。この前処理ステージ１３ａをロット最後尾が通過し、後に空きが続く場合、フレーム検出カメラ１１ａの検出結果に基き、最後尾のフレーム保持具２１が前処理ステージ１３ａに入った時点では、電源１３ａは、３つのフレーム分の電流を流すよう指示される。この後、１タクトの送りがあると、前処理ステージ１３ａでは、１つ空のフレーム保持具が入ってくるので、２つのフレーム分の電流を流すよう指示される。さらに続いて次のタクト送りがあると、１つのフレーム分の電流を流し、次のタクト送りでは、電流オフまたは微弱電流の指示が出される。
【００４１】
めっき処理部１０および後処理部においても、前処理部と同様に、各処理ステージに滞留するフレーム数を正確に把握して、適切な電流設定をすることができる。
【００４２】
また、フレーム検出カメラと、対象とする処理ステージとの距離が遠く、間にいくつもの処理ステージがある場合には、タイマー手段を用いて、所定のタクト送りの経過後に、その処理ステージにそこに滞留するフレーム数に対応する電流を流すようにする。
【００４３】
上記の構成によって、めっき装置が一時停止して再開する場合等でも、正しいタイミングで電流を流すことができ、しかもその電流値はその処理ステージに滞留しているフレーム数に対応した適切な電流値とすることができる。また、途中でフレームが脱落した場合にも、その処理ステージにおいて滞留するフレーム数を正確に把握して適切な電流値とすることができる。
【００４４】
（実施の形態４）
図７は、前処理部の入口と出口とにフレーム監視センサを配置した場合の指示の出し方を示す図である。（ａ）は入口に配置したセンサの場合であり、（ｂ）は出口に配置したセンサの場合である。センサがフレームの通過を検出するとシーケンサに信号を送り電源である整流器に電流出力の指示を出す。また、センサがフレームなしを検出した場合には、オフ信号、または微弱電流出力の信号を送り、処理ステージでは、処理が行われない。
【００４５】
また、出口センサがフレームなしを検出した場合には、シーケンサに停止指示信号を出させて、整流器をオフにするか微弱電流出力にする。出口センサがフレームの通過を検出している間は、整流器をオン状態にして電流継続を指示する。
【００４６】
上記のように、出口センサのみでロットエンドを検出しないで、出口に配置したフレーム検出センサによってロットエンドを検知して、オフ信号または微弱電流信号を整流器に指示するようにしてもよい。
【００４７】
上記の構成により、タイミングよく適切な電流を各処理ステージに流すことができるだけでなく、処理品数の払い出し数等の管理を確実に行うことが可能となる。
【００４８】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【００４９】
【発明の効果】
本発明のめっき装置を用いることにより、めっき装置の入口へ到着した処理品数を確実に把握したうえで、電流印加のタイミングのずれを生じることなく所定のめっき膜厚形成のために適切な電流を流すことができる。また、ロットエンドを的確に検出して、めっき処理を行わない場合に微弱電流を流して電極が貴な金属に置換されることを防止して装置の耐久性を向上させることができる。さらに出口側から送り出される処理品数を実際に把握することにより、めっき処理の管理をより確実なものにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の実施の形態１におけるめっき装置のレイアウトの概要を示す図である。
【図２】  実施の形態１における搬送装置と、処理装置と、処理品であるフレームとの関係を示す図である。
【図３】  実施の形態１における各構成要素の関係を示すブロック図である。
【図４】  記憶部に記憶されているデータベースを示す図である。
【図５】  本発明の実施の形態２におけるめっき装置の動作の概要を示す図である。
【図６】  本発明の実施の形態３におけるめっき装置のレイアウトの概要を示す図である。
【図７】  本発明の実施の形態４におけるめっき装置の動作の概要を示す図であり、（ａ）は入口センサの動作を示し、また（ｂ）は出口センサの動作を示す。
【符号の説明】
１  めっき装置、２  インローダ、３  前処理部、４  後処理部、５  アウトローダ、１０  めっき処理部（めっき浴）、１１  フレーム数監視カメラ、１２，１２ａ  電源（整流器）、１３,１３ａ，１３ｂ  処理ステージ、１５  処理品（フレーム）、２０  搬送装置、２１  処理品保持具（フレーム保持具）、２５  単位区分、３１  タクト送りカウンタ（シリーズ番号特定部）、３２  演算部、３３  電流自動設定部、３４  記憶部、３５  手入力部。
【図１】
0004627862.tif 000002
【図２】
0004627862.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004627862.tif 000008