(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察用光源と、
該観察用光源から出射された第１の光を被検物体上に集光する対物レンズと、
前記被検物体によって反射され、前記対物レンズを通過した前記第１の光を結像させる観察光学系と、
前記対物レンズの焦点位置からの前記被検物体の位置ずれを検出する焦点検出手段とを備え、
前記焦点検出手段が、第２の光として焦点検出光を出射する焦点検出用光源と、該焦点検出用光源から発せられ、前記対物レンズを介して前記被検物体上に集光され、該被検物体で反射されて、前記対物レンズを通過して戻る前記焦点検出光が極小スポット光として集光されるエリアセンサと、該エリアセンサによって取得される前記焦点検出光の合焦状態を前記エリアセンサの任意の位置に設定可能な領域設定手段とを有し、
該領域設定手段が、前記エリアセンサ面上受光データを格納するメモリを有し、該メモリに格納された前記エリアセンサの受光データを解析演算して、前記スポット光を中心として前記エリアセンサ上での前記スポット光の分割線を求めて少なくとも２つのデータ領域に前記エリアセンサを分割し、前記分割された領域内における前記焦点検出光の輝度に基づいて、合焦状態を判断する自動焦点機構を備えた顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の自動焦点機構を備えた顕微鏡の調整方法において、
前記被検物体を対物レンズの焦点位置に位置決めし、次いで、前記エリアセンサのデータ領域を、前記エリアセンサ上に集光した焦点検出光を中心として少なくとも２つの部分に分割し、以後の自動焦点検出動作の際には、分割された各データ領域内における前記焦点検出光の輝度値に基づいて前記対物レンズの合焦状態を判定し、該判定結果に基づいて前記対物レンズを合焦位置に移動させる自動焦点機構を備えた顕微鏡の調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、細胞スクリーニング装置に用いられる顕微鏡の焦点検出装置に関するもので、さらには、該焦点検出装置の調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として特許文献１には、被検物体上へ一定のパターンを投影し、かつ、このパターンを結像する光束が瞳位置近傍で光軸に対し非対称となるようにし、被検物体と対物レンズの間隔変動をパターン像の横ずれとして検出する、いわゆる横ずれ式と呼ばれる焦点検出方法を搭載した顕微鏡が紹介されている。
【特許文献１】特開平１０−１３３１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１においては、焦点検出光を検出するのに２分割ディテクタを使用し、各々のセンサからの出力を差動検出器を通してその出力が０になったところを焦点位置と判断している。この状態を正しく検出するためには、２分割ディテクタの各々のセンサの分割線上に極小スポットの中心が正確に投影されていなくてはならない。そうでないと、各々のセンサの出力が均等にならないため、誤った位置を合焦点として判断してしまうことになる。そのため、この焦点検出機構を組み立てる際に発生する調整作業は、サブミリオーダーでセンサ位置を動かしながら各々のセンサ出力を確認して２分割ディテクタの位置合わせを行う必要がある。この作業には多大な労力と時間がかかり、製品コスト増大の原因になることがあった。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、自動焦点機構の調整にかかる時間と労力を大幅に軽減することが可能な自動焦点機構を備えた顕微鏡およびその調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の問題を解決するために、本発明では以下のような自動焦点機構を備えた顕微鏡とその調整方法を提供する。
本発明の自動焦点機構を備えた顕微鏡は、観察用光源と、該観察用光源から出射された第１の光を被検物体上に集光する対物レンズと、前記被検物体によって反射され、前記対物レンズを通過した前記第１の光を結像させる観察光学系と、前記対物レンズの焦点位置からの前記被検物体の位置ずれを検出する焦点検出手段とを備え、前記焦点検出手段が、第２の光として焦点検出光を出射する焦点検出用光源と、該焦点検出用光源から発せられ、前記対物レンズを介して前記被検物体上に集光され、該被検物体で反射されて、前記対物レンズを通過して戻る前記焦点検出光が極小スポット光として集光されるエリアセンサと、該エリアセンサによって取得される前記焦点検出光の合焦状態を前記エリアセンサの任意の位置に設定可能な領域設定手段とを有し、該領域設定手段が、前記エリアセンサ面上受光データを格納するメモリを有し、該メモリに格納された前記エリアセンサの受光データを解析演算して、前記スポット光を中心として前記エリアセンサ上での前記スポット光の分割線を求めて少なくとも２つのデータ領域に前記エリアセンサを分割し、前記分割された領域内における前記焦点検出光の輝度に基づいて、合焦状態を判断する。
【０００６】
本発明によれば、焦点検出光の合焦状態を焦点検出光取得手段の任意の位置で判定することが可能となる。したがって、組み立ての際に多大な労力と時間をかけて極小スポットの位置調整を行っていた従来の２分割ディテクタと比較して、容易に調整を行うことができる。
より具体的には、調整の際に前記焦点検出光取得手段に集光する焦点検出光の位置を合焦状態判定可能領域として記憶しておき、自動焦点検出動作の際には、前記記憶した位置において焦点検出光の合焦状態を判定する。
【０００７】
また、前記領域設定手段が、調整の際に、前記エリアセンサに集光する焦点検出光を中心として少なくとも２つのデータ領域に前記エリアセンサを分割し、自動焦点検出動作の際に、該分割されたデータ領域に集光する焦点検出光の輝度に基づいて前記焦点検出光の合焦状態を判定するようにしてもよい。
【０００８】
対物レンズが合焦状態に位置決めした状態では、焦点検出用光源から出射した焦点検出光も被検物体に焦点が合っており、その反射光が焦点検出光取得手段に極小スポットとして集光する。領域設定手段は、このスポットを境界として前記焦点検出光取得手段のデータ領域を少なくとも２つの部分に分割する。該領域設定手段はこの分割されたデータ領域を記憶しておき、実際の使用時に該各データ領域内における前記焦点検出光の輝度値の変化に基づいて前記対物レンズの合焦状態が判定される。
【０００９】
前記焦点検出光取得手段はエリアセンサとすることができる。また、前記被検物体はマイクロタイタープレートとすることができる。
【００１０】
また、本発明は、上記顕微鏡の調整方法において、前記被検物体を対物レンズの焦点位置に位置決めし、次いで、前記エリアセンサのデータ領域を、前記エリアセンサ上に集光した焦点検出光を中心として少なくとも２つの部分に分割し、以後の自動焦点検出動作の際には、分割された各データ領域内における前記焦点検出光の輝度値に基づいて前記対物レンズの合焦状態を判定し、該判定結果に基づいて前記対物レンズを合焦位置に移動させる自動焦点機構を備えた顕微鏡の調整方法を提供する。
【００１１】
自動焦点機構の調整時には、まずユーザが目視によって対物レンズを合焦状態に位置決めする。この状態では焦点検出用光源から出射した焦点検出光も被検物体に焦点が合っており、その反射光が焦点検出光取得手段に極小スポットとして集光する。このスポットを境界として前記焦点検出光取得手段のデータ領域を少なくとも２つの部分に分割する。この分割されたデータ領域を記憶しておくことで、実際の使用時に該各データ領域内における前記焦点検出光の輝度値に基づいて前記対物レンズの合焦状態を判定することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、焦点検出光取得手段の焦点検出光検出領域を任意に設定できる領域設定手段により、焦点検出光取得手段の位置決め調整を容易に行うことができ、調整にかかる時間と労力を大幅に軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
＜第１の実施形態＞
以下、図を用いて本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡について、図１〜図５を参照して説明する。
図１は、本実施の形態の倒立型顕微鏡システム（自動焦点機構を備えた顕微鏡）を表す図である。符号１は倒立型顕微鏡本体である。図１の倒立顕微鏡本体１の光学系は、観察光学系１Ａと、照明光学系１Ｂと、オートフォーカス光学系（焦点検出手段）１Ｃとから構成されている。
【００１４】
観察光学系１Ａは、対物レンズ２と、反射ミラー３と、中間光学系４，５とを備え、さらに中間光学系４，５の先には接眼レンズを含む不図示の結像光学系が設けられている。対物レンズ２と反射ミラー３との間には平行光路が形成されており、この平行光路にはダイクロイックミラー６とハーフミラー７とが該光路の光軸に対して４５°の角度で設置されている。
【００１５】
照明光学系１Ｂは、可視光線（第１の光）を出射する、例えば、メタルハライドランプである照明光源（観察用光源）９とコリメートレンズ１０とを有している。照明光束は、ハーフミラー７によって反射され、対物レンズ２と反射ミラー３の間の平行光路に導かれる。そして、ＸＹ電動ステージ１１上のマイクロタイタープレート（被検物体）１２内部に設置されたサンプル（例えば、細胞）を照射するようになっている。
【００１６】
オートフォーカス光学系１Ｃは、焦点検出光として７８５ｎｍの赤外光を出射するレーザーダイオード（焦点検出用光源）１３、コリメータレンズ１４、遮光板１５、ハーフミラー１６、集光レンズ１７、アレイ状検出器（焦点検出光取得手段）１８、および焦点検出演算部（領域設定手段）１９を有する。なお、本実施形態におけるアレイ状検出部１８は赤外光領域に感度を持つＣＣＤエリアセンサであり、有効画素数が約１５０万画素で、１ピクセルの大きさが４．６５μｍ×４．６５μｍの正方形である。以後、アレイ状検出器１８はＣＣＤ１８と称する。
【００１７】
顕微鏡１には、接続コネクタ２５を介してコントロールボックス２４およびコンピュータ２０が接続されており、オペレータがコンピュータ２０、モニター２１、キーボード２２，およびマウス２３を操作することで顕微鏡１が制御される。コンピュータ２０とコントロールボックス２４はＲＳ−２３２Ｃで接続されており、コンピュータ２０からのコマンドを受けて顕微鏡１の対物レンズ２，照明光源９，ＸＹステージ１１、焦点検出演算部１９を駆動させると同時に、各ユニットの動作状況を把握してコンピュータ２０に送信する役割を担っている。
【００１８】
焦点検出演算部１９は、図２に示すような構造になっている。ＴＧ１９１はタイミングジェネレーターで、ＣＣＤ１８を駆動するための駆動パルスをＣＣＤ１８に出力するようになっている。ＣＣＤ１８から出力された各ピクセルの出力信号は、バッファアンプ１９２を通りサンプルホールド回路１９３でサンプリングされるようになっている。
【００１９】
このサンプルホールド回路１９３のサンプルホールドに必要な信号は、ＴＧ１９１から与えられている。サンプルホールドされたＣＣＤ１８の出力信号はＡ／Ｄ変換器１９４でデジタルデータに変換される。Ａ／Ｄ変換器１９４のデジタルデータ変換にはＴＧ１９１からの変換クロック信号が用いられている。
【００２０】
Ａ／Ｄ変換器１９４から出力されたデジタルデータはＣＣＤ１８の全画素分のデジタルデータを格納することができる容量を有するＲＡＭ１９６に転送される。ＲＡＭ１９６はメモリコントローラ１９５によって書き込みタイミングと書き込みアドレスが指示される。メモリコントローラ１９５はＦＰＧＡ１９７から動作制御信号を受け、それに基づき動作する。ＦＰＧＡ１９７は、ＴＧ１９１にＣＣＤ１８の駆動信号の出力指示をし、メモリコントローラ１９５に動作指示を与え、ＲＡＭ１９６に書き込まれているＣＣＤ１８面の受光データを解析演算し、合焦状態かどうかの判断を行う。
【００２１】
そして、対物レンズ２を上下に動作させるために、Ｉ／Ｆ１９０を通してコントロールボックス２４に指示を出す。また、ＦＰＧＡ１９７はレーザーダイオード１３をＯＮ／ＯＦＦする制御をＬＤドライバー１９９を通じて行う。ＲＯＭ１９８には後ほど詳細を述べる合焦解析演算を行うため、ＣＣＤ１８面上の演算領域を示すアドレスが書き込まれている。ＦＰＧＡ１９７は、ＲＯＭ１９８のデータを読み出し、そのデータを元にＲＡＭ１９６に書き込まれているＣＣＤ１８面上のデータを解析演算する。
【００２２】
以上のように構成される本実施の形態の顕微鏡について、その具体的動作の詳細を説明する。以下、
（１）自動焦点検出動作を行うことができるようにするための調整作業、および、
（２）調整が行われた顕微鏡を用いて被検物体を観察する際に自動焦点検出を行う動作
について説明する。
【００２３】
（１）自動焦点検出動作を行うことができるようにするための調整作業
まず、本実施の形態で用いられている顕微鏡１のＣＣＤ１８で自動焦点検出動作ができるようにするための調整方法について説明する。
調整者は、顕微鏡１、コントロールボックス２４，コンピュータ２０，およびモニター２１の電源を入れ、システムを起動するとともに、調整プログラムをコンピュータ２０上で起動する。次に、ＸＹステージ１１にマイクロタイタープレート１２を設置し、コンピュータ２０を操作してＸＹステージ１１を動作させ、マイクロタイタープレート１２の所望のウエルを対物レンズ２の視野に入れる。マイクロタイタープレート１２の光学像は、接眼レンズもしくはカメラポートに設置されているＣＣＤカメラで観察することができ、現在の焦点状態を目視で確認することができる。
【００２４】
調整者はコンピュータ２０を操作してレーザーダイオード１３および焦点検出演算部１９をＯＮにする。これによりレーザーダイオード１３から赤外光が出射され、マイクロタイタープレート１２で反射してハーフミラー１６，集光レンズ１７を通してＣＣＤ１８上に集光される。ＣＣＤ１８の撮像エリアはモニター２１の画面上に表示されるため、ＣＣＤ１８上における赤外光の状態を確認することができる。
【００２５】
次に、調整者はコンピュータ２０を操作して対物レンズ２を上下（Ｚ方向）に動作させ、接眼レンズ、もしくはＣＣＤ１８により取得された画像を確認しながらマイクロタイタープレート１２の底面の対物レンズ２側の面に焦点を合わせる。このとき、レーザーダイオード１３から出射された赤外光も対物レンズ２によってマイクロタイタープレート１２の底面の対物レンズ２側の面に焦点が合っており、その反射光がダイクロイックミラー６で反射されハーフミラー１６，集光レンズ１７を通してＣＣＤ１８上に極小スポットとして集光される。
【００２６】
その様子を図３の（ａ）に示す。モニター２１上にも同様の画像が表示される。合焦状態の極小スポットがＣＣＤ１８面上の中心よりやや左に寄った場所に集光している。次に調整者はコンピュータ２０から分割線検出指示を出す。すると、焦点検出演算部１９のＦＰＧＡ１９７はＣＣＤ１８面上のどこにスポットが存在するかをＲＡＭ１９６に書き込まれているデータから解析演算処理する。スポットがＦＰＧＡ１９７によって認識されると、ＦＰＧＡ１９７は図３の（ｂ）に示されるようにスポットを矩形で囲み、さらにその矩形の中心を求めＣＣＤ１８面上の縦方向、横方向分割線を算出し、その線のＣＣＤ１８面上のピクセルアドレスをＲＯＭ１９８に記録する。
【００２７】
この処理により、図３の（ｃ），（ｄ）に示すように、ＣＣＤ１８上の領域は、領域Ａと領域Ｂとに分割される。なお、これら一連の処理は、モニター２１上でＧＵＩにて表示される。
また、図４の（ａ），（ｂ）に示すように、マイクロタイタープレート１２の底面が焦点位置より遠くにある場合はＣＣＤ１８面上には（ａ）のように赤外光が照射され、マイクロタイタープレート１２の底面が焦点位置より近くにある場合はＣＣＤ１８面上には（ｂ）のように赤外光が照射される。
【００２８】
このようにしてＣＣＤ１８面上の縦方向横方向の分割線を算出し、以後の自動焦点検出のためにＲＯＭ１９８にその値を書き込むが、縦方向横方向分割線がＣＣＤ１８面上の周縁部に近づきすぎると焦点位置が遠く離れた状態でのＣＣＤ１８面上の赤外光がＣＣＤ１８面外に出てしまい、正しい焦点検出演算が行われない可能性が出てくる。
【００２９】
したがって、調整プログラムは図５に示すように縦方向分割線ｐおよび横方向分割線ｑが予め設定された領域ｒよりも外に出てしまった場合は、モニター２１にＣＣＤ１８の機械的な配置が正しくない旨メッセージを表示し、調整者にＣＣＤ１８の設置をやり直させる。この場合、ＣＣＤ１８の設置がミリ単位でずれている可能性が大きいので、ＣＣＤ１８を固定する部材の加工不良や締付がきちんと行われていなかった可能性がある。正しい部材で正しく設置すればこのようなことが発生することはない。
以上の一連の操作により、調整作業は終了となるので調整者はコンピュータ２０の調整プログラムを終了して作業を終了する。
【００３０】
（２）調整が行われた顕微鏡を用いて被検物体を観察する際に自動焦点検出を行う動作
続いてこのようにして調整された顕微鏡の自動焦点検出動作について説明する。作業者は顕微鏡１、コントロールボックス２４，コンピュータ２０、モニター２１の電源を入れ、コンピュータ２０で顕微鏡１の制御プログラムを起動する。
【００３１】
続いて、作業者はＸＹステージ１１上にマイクロタイタープレート１２をセットする。そして、対物レンズ２上のマイクロタイタープレート１２の所望のウエルを移動させる。続いて作業者はコンピュータ２０からオートフォーカス開始を指示する。コントロールボックス２４は顕微鏡１の各ユニットに対して動作開始指示を出す。
【００３２】
焦点検出演算部１９はレーザーダイオード１３のパワーを制御し、ＦＰＧＡ１９７の指示によりＴＧ１９１が起動してＣＣＤ１８を駆動する。ＣＣＤ１８から出力された信号はＲＡＭ１９６に書き込まれ、ＦＰＧＡ１９７は前述の調整作業によって決定された縦方向分割線ｐを元に、ＲＡＭ１９６のデータ領域を図３（ｃ），（ｄ）および図４の（ａ），（ｂ）のようにＡＢ２つの領域に分け、各々の領域内で規定の値以上の輝度値を持つピクセルの個数を計算しＡ−Ｂの計算をする。
【００３３】
本実施の形態の場合、Ａ／Ｄ変換器１９４は１２ビットのものであり、規定の輝度値は１００とした。この計算を後ピン〜合焦〜前ピン状態にわたって行うと、図９のようなグラフが形成される。ＦＰＧＡ１９７は上記の計算値から現在のフォーカス状態を判断してＩ／Ｆ１９０を通してコントロールボックス２４に対物レンズ２の動作を指示する。コントロールボックス２４はモータードライバ（図示略）を操作して対物レンズ２のモータを動作させる。そして、領域Ａ，Ｂの演算結果が０になったところで対物レンズ２の動作を止めるようにＩ／Ｆ１９０を通してコントロールボックス２４に指示を出す。このようにしてオートフォーカス動作が行われる。
【００３４】
以上のように、調整時においてＣＣＤ１８のデータ領域を極小スポットの位置で分割しておき、自動焦点検出動作時において、分割された各データ領域における焦点検出光の輝度に基づいて合焦状態を判定する。すなわち、ＣＣＤ１８面上の任意の位置で焦点検出光の合焦状態判定が可能となるため、組み立ての際にＣＣＤ１８を極めて正確に位置決めしておく必要がなく、適宜調整を行うことで自動焦点検出を実現することができる。
【００３５】
＜第２の実施形態＞
以下、本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡について説明する。なお、上記第１の実施形態と同じ構成については、同じ符号を付与し、説明を割愛する。
図６に示されるように、本実施形態に係る顕微鏡１は、対物レンズセンサ２６を備え、現在何倍の対物レンズ２が装着されているかを認識するようになっている。この対物レンズセンサ２６からは、４ビットの信号が出力され、焦点検出演算部１９Ａおよびコントロールボックス２４にその信号が伝送されている。符号２７は対物レンズ電動切替機構であり、コンピュータ２０から指示入力されるとコントロールボックス２４による制御によって対物レンズ２を切り替えるようになっている。
【００３６】
焦点検出演算部１９Ａは、図７に示すような構造になっている。本実施形態の焦点検出演算部１９Ａは、ＦＰＧＡ１９７に対物レンズセンサ２６のデータを読み込むＩ／Ｆ１９０Ｂを備えている。
【００３７】
図６において、調整者は、顕微鏡１、コントロールボックス２４、コンピュータ２０、およびモニター２１の電源を入れ、システムを起動すると共に、調整プログラムをコンピュータ２０上で起動する。次にＸＹステージ１１にマイクロタイタープレート１２を設置し、コンピュータ２０を操作してＸＹステージ１１を動作させ、マイクロタイタープレート１２の所望のウエルを対物レンズ２の視野に入れる。マイクロタイタープレート１２の光学像は、接眼レンズもしくはカメラポートに接続されているＣＣＤカメラで観察することができるので、現在の焦点状態を目視で確認することができる。
【００３８】
次に、本実施形態における顕微鏡１について、自動焦点検出動作を行うことができるようにするための調整作業について説明する。なお、調整が行われた顕微鏡を用いて被検物体を観察する際に自動焦点検出を行う動作については第１実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００３９】
まず、調整者はコンピュータ２０を操作してレーザーダイオード１３および焦点検出演算部１９ＡをＯＮにする。これによりレーザーダイオード１３から赤外光が出射され、マイクロタイタープレート１２で反射してハーフミラー１６，集光レンズ１７を通してＣＣＤ１８上に集光される。ＣＣＤ１８の撮像エリアはモニター２１の画面上に表示されるため、ＣＣＤ１８上における赤外光の状態を確認することができる。
【００４０】
次に、調整者はコンピュータ２０を操作して所望の対物レンズ２を対物レンズ電動切替機構２７により光路に入れ、対物レンズ２を上下に動作させ、接眼レンズ、もしくは不図示のＣＣＤカメラの画像を確認しながらマイクロタイタープレート１２の底面、すなわちマイクロタイタープレート底面の対物レンズ２側の面に焦点を合わせる。このとき、レーザーダイオード１３から出射された赤外光も対物レンズ２によってマイクロタイタープレート底面の対物レンズ２側の面に焦点があっており、その反射光がダイクロイックミラー６で反射されハーフミラー１６，集光レンズ１７を通してＣＣＤ１８上に極小スポットとして集光される。
【００４１】
その様子を図８（ａ）に示す。次に調整者はコンピュータ２０から分割線検出指示を出す。すると、焦点検出演算部１９ＡのＦＰＧＡ１９７はＣＣＤ１８面上のどこにスポットが存在するかを、ＲＡＭ１９６に書き込まれているデータから解析演算処理する。スポットがＦＰＧＡ１９７によって認識されると、ＦＰＧＡ１９７は図８（ｂ）に示されているようにスポットを矩形で囲み、さらにその矩形の中心を求めＣＣＤ１８面上の縦方向、横方向分割線を算出する。
【００４２】
この線のＣＣＤ１８面上のピクセルアドレスを、Ｉ／Ｆ１９０Ｂから読み込んだ対物レンズセンサ２６のデータとともにＲＯＭ１９８に記録する。調整者はこの作業を全ての対物レンズに対して行い、対物レンズ毎にＣＣＤ１８面上のピクセルアドレスをＲＯＭ１９８に記録する。以上の一連の操作により、調整作業は終了となるので調整者はコンピュータ２０の調整プログラムを終了して作業を終了する。
【００４３】
以上のような構成にすることにより、第１実施形態の効果に加え、対物レンズの倍率に応じて発生する収差の違いによる赤外光スポットのＣＣＤ１８面上の結像位置ずれを容易に調整することができ、良好なオートフォーカス動作を行うことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡を示す構成図である。
【図２】図１の顕微鏡の焦点検出演算部を示すブロック図である。
【図３】ＣＣＤ上に集光された極小スポットを示した図である。
【図４】ＣＣＤ上に集光された極小スポットを示した図であり、マイクロタイタープレートが対物レンズの焦点位置からずれている場合の図である。
【図５】ＣＣＤ上に集光された極小スポットを示した図であり、極小スポットが位置すべき領域について示した図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡を示す構成図である。
【図７】図６の顕微鏡の焦点検出演算部を示すブロック図である。
【図８】ＣＣＤ上に集光された極小スポットを示した図である。
【図９】フォーカス状態を示すＣＣＤの信号強度を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４５】
１Ａ  観察光学系
１Ｃ  焦点検出手段（オートフォーカス光学系）
２  対物レンズ
９  照明光源（観察用光源）
１２  マイクロタイタープレート（被検物体）
１３  レーザーダイオード（焦点検出用光源）
１８  焦点検出光取得手段（アレイ状検出器、ＣＣＤ）
１９，１９Ａ  焦点検出演算部（領域設定手段）
【図１】
0004790420.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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