(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置されたＸ線発生装置およびＸ線検出器の間に、試料を保持するステージが配置されているとともに、そのステージに保持された試料に対してＸ線を照射して上記Ｘ線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるＸ線透過データを用いて、試料のＸ線像を構築する画像形成手段を備えたＸ線撮影装置において、
上記ステージを少なくとも上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸方向に移動させるステージ駆動機構と、上記Ｘ線検出器を上記Ｘ線光軸方向に移動させる検出器移動機構を備えるとともに、
上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器、およびステージの上記Ｘ線光軸方向位置が任意の第１の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像と、その第１の状態からステージをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第２の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像の各寸法情報、および上記ステージの既知の移動量とから、第１の状態におけるＸ線源と試料との距離ＳＯＤを算出する一方、上記第１の状態で取り込んだＸ線透視像の寸法情報と、当該第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第３の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像の寸法情報、および上記Ｘ線検出器の既知の移動量とから、第１の状態におけるＸ線源とＸ線検出器との距離ＳＩＤを算出し、そのＳＩＤとＳＯＤとから第１の状態における透視倍率を算出する演算手段を備えていることを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項２】
互いに対向配置されたＸ線発生装置およびＸ線検出器の間に、試料を保持するステージが配置されているとともに、そのステージに保持された試料に対してＸ線を照射して上記Ｘ線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるＸ線透過データを用いて、試料のＸ線像を構築する画像形成手段を備えたＸ線撮影装置において、
上記ステージを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸方向およびそれに直交する方向に移動させるステージ駆動機構と、上記Ｘ線検出器を上記Ｘ線光軸方向に移動させる検出器移動機構を備えるとともに、
上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器、およびステージの上記Ｘ線光軸方向位置が任意の第１の状態でステージをＸ線光軸方向に直交する平面上で所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量と、上記第１の状態からステージをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第２の状態で、ステージをＸ線光軸に直交する平面上で上記と同じ所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量、および上記ステージのＸ線光軸方向への既知の移動量とから、第１の状態におけるＳＯＤを算出する一方、上記第１の状態でＸ線検出器をＸ線光軸に直交する平面上で所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量と、上記第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第３の状態で、Ｘ線検出器をＸ線光軸に直交する平面上で上記と同じ所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量、および上記Ｘ線検出器の既知の移動量とから、第１の状態におけるＳＩＤを算出し、そのＳＩＤとＳＯＤとから第１の状態における透視倍率を算出する演算手段を備えていることを特徴とするＸ線撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は産業用のＸ線撮影装置に関し、具体的には、試料のＸ線透視像を得るためのＸ線透視装置のほか、試料の断層像を得るためのＸ線ＣＴ装置をも含むＸ線撮影装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用のＸ線透視装置においては、一般に、互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器の間に、試料を保持するためのステージが設けられ、このステージに保持された試料に対してＸ線を照射して、その透過Ｘ線をＸ線検出器で検出して試料のＸ線透視像を構築する（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、産業用のＸ線ＣＴ装置においては、互いに対向配置されたＸ線発生装置とＸ線検出器の間に、同じく試料を保持してＸ線光軸に直交する軸の回りに回転を与える回転ステージが設けられ、そのステージに保持された試料に対してＸ線を照射しつつ、所定の微小角度ごとにＸ線検出器からのＸ線透過データを取り込み、３６０°分のＸ線透過データを用いて、試料の回転軸に直交する平面に沿った断層像を再構成する。
【０００４】
このようなＸ線透視装置やＸ線ＣＴ装置においては、得られる透視像ないしは断層像の幾何拡大倍率は、Ｘ線源（焦点）から試料までの距離をＳＯＤ、Ｘ線源からＸ線検出器までの距離をＳＩＤとすると、拡大率Ｍ＝ＳＩＤ／ＳＯＤで求めることができる。
【特許文献１】特開２００４−３６１０９９号公報
【特許文献２】特開／００５−１２７８８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した試料のＸ線像の幾何拡大率を計算するためのＳＯＤおよびＳＩＤは、これらを正確に求めることは容易ではない。すなわち、実際のＸ線源（焦点）はＸ線発生装置の内部に位置し、Ｘ線照射窓からＸ線源までの距離を実測することは一般に難しいことが多い。また、Ｘ線検出器にも同じことが言え、検出器のカバー面から実際の有感面までの距離を実測することは難しいことが多い。更に、試料を保持するステージも剛性の不足などに起因する傾きにより、ステージの位置によってＳＯＤが微妙に異なることがあるうえ、試料に厚さがある場合、観察したい部位によってＳＯＤが異なってしまうという根本的な問題もある。
【０００６】
以上のことから、Ｘ線撮影装置で撮影倍率を求めるには、試料と同じＳＯＤの位置に、長さが既知の基準となる基準片を配置し、試料と同視野でその基準片の透視像を撮影して撮影倍率を求める方法が一般に採用されており、基準片を用意する必要があるばかりでなく、その基準片をステージ上の適宜位置に配置して撮影を行う作業が必要となるという問題があった。
【０００７】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、基準片を用意してそれを撮影することなく、正確に撮影倍率を求めることのできるＸ線撮影装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明のＸ線撮影装置は、互いに対向配置されたＸ線発生装置およびＸ線検出器の間に、試料を保持するステージが配置されているとともに、そのステージに保持された試料に対してＸ線を照射して上記Ｘ線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるＸ線透過データを用いて、試料のＸ線像を構築する画像形成手段を備えたＸ線撮影装置において、上記ステージを少なくとも上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸方向に移動させるステージ駆動機構と、上記Ｘ線検出器を上記Ｘ線光軸方向に移動させる検出器移動機構を備えるとともに、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器、およびステージの上記Ｘ線光軸方向位置が任意の第１の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像と、その第１の状態からステージをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第２の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像の各寸法情報、および上記ステージの既知の移動量とから、第１の状態におけるＸ線源と試料との距離ＳＯＤを算出する一方、上記第１の状態で取り込んだＸ線透視像の寸法情報と、当該第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第３の状態で取り込んだ試料のＸ線透視像の寸法情報、および上記Ｘ線検出器の既知の移動量とから、第１の状態におけるＸ線源とＸ線検出器との距離ＳＩＤを算出し、そのＳＩＤとＳＯＤとから第１の状態における透視倍率を算出する演算手段を備えていることによって特徴づけられる。
【０００９】
また、同じ課題を解決するため、請求項２に係る発明のＸ線撮影装置は、上記と同じく互いに対向配置されたＸ線発生装置およびＸ線検出器の間に、試料を保持するステージが配置されているとともに、そのステージに保持された試料に対してＸ線を照射して上記Ｘ線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるＸ線透過データを用いて、試料のＸ線像を構築する画像形成手段を備えたＸ線撮影装置において、上記ステージを上記Ｘ線発生装置からのＸ線光軸方向およびそれに直交する方向に移動させるステージ駆動機構と、上記Ｘ線検出器を上記Ｘ線光軸方向に移動させる検出器移動機構を備えるとともに、上記Ｘ線発生装置とＸ線検出器、およびステージの上記Ｘ線光軸方向位置が任意の第１の状態でステージをＸ線光軸方向に直交する平面上で所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量と、上記第１の状態からステージをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第２の状態で、ステージをＸ線光軸に直交する平面上で上記と同じ所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量、および上記ステージのＸ線光軸方向への既知の移動量とから、第１の状態におけるＳＯＤを算出する一方、上記第１の状態でステージをＸ線光軸に直交する平面上で所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量と、上記第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第３の状態で、ステージをＸ線光軸に直交する平面上で上記と同じ所定距離だけ移動させたときの試料のＸ線透視像の移動量、および上記Ｘ線検出器の既知の移動量とから、第１の状態におけるＳＩＤを算出し、そのＳＩＤとＳＯＤとから第１の状態における透視倍率を算出する演算手段を備えていることによって特徴づけられる。
【００１０】
本発明は、ステージおよびＸ線検出器に用いられている移動機構の精度の高さを利用し、ステージおよびＸ線検出器をそれぞれ個別にＸ線光軸方向に移動させる前後のＸ線透視像の寸法情報の変化から、それぞれＳＯＤとＳＩＤを算出することによって課題を解決しようとするものである。
【００１１】
すなわち、Ｘ線発生装置、Ｘ線検出器およびステージが任意の位置にある第１の状態から、ステージをＸ線光軸方向に移動させてＳＯＤを変化させた第２の状態としたとき、これらの各状態における試料のＸ線透視像の寸法はステージの移動量に応じて変化する。移動量が既知であれば、その既知の移動量と試料のＸ線透視像の寸法変化量から、後述する（１）式により第１の状態におけるＳＯＤを幾何学的に算出することができる。同様に第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に移動させてＳＩＤを変化させた第３の状態としたとき、これらの第１と第３の状態における試料のＸ線透視像の寸法はＸ線検出器の移動量に応じて変化し、その移動量が既知である場合にはその既知の移動量と試料のＸ線透視像の寸法変化量から、後述する（２）式により第１の状態におけるＳＩＤを幾何学的に算出することができる。このようにして算出されたＳＯＤないしはＳＩＤは、Ｘ線発生装置内のＸ線源（焦点）の位置やＸ線検出器の有感面の位置が不明であっても、これらに影響されることなく正確なものとなる。
【００１２】
また、試料の寸法情報として注目部位の寸法情報を用いることにより、例えば水平のステージ上に試料を保持するとともに、その上下にＸ線発生装置とＸ線検出器を配置した構造の装置において、注目部位とステージ表面とのＸ線光軸方向（鉛直方向）への距離が不明であっても、また、ステージの剛性不足等に起因する傾きがあっても、算出されたＳＯＤは注目部位とＸ線焦点との距離を正確に表す値となる。
【００１３】
試料のＸ線透視像からその寸法情報を得ることのできる場合は、請求項１に係る発明のように、第１と第２の状態、および第１と第３の状態においてそれぞれ得た寸法情報を用いて直ちに上記のようにＳＯＤとＳＩＤを算出することができるのであるが、試料のＸ線透視像からその寸法情報を得ることができない場合、つまり例えばＸ線透視像が試料のエッジ像であるような場合には、その透視像から寸法情報を得ることができない。このような場合に有効なのが請求項２に係る発明である。すなわち、請求項２に係る発明では、上記した第１の状態においてステージをＸ線光軸に直行する平面上で所定距離だけ移動させ、そのときの試料のＸ線透視像の移動量を計測し、ステージをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた第２の状態においてもステージをＸ線光軸に直行する平面上で上記と同じ所定距離だけ移動させ、そのときの試料のＸ線透視像の移動量を計測する。第１と第２の状態においてそれぞれステージのＸ線光軸に直行する平面上での移動距離が同じであれば、第１と第２の状態におけるＸ線透視像の移動量は、前記した請求項１に係る発明における試料のＸ線透視像の寸法情報と同様に取り扱って、（３）によってＳＯＤを算出することができる。ＳＩＤの算出についても、第１と第３の状態においてそれぞれステージをＸ線光軸に直行する平面上で同じ量だけ移動させたときのＸ線透視像の移動量を、前記した請求項２に係る発明における試料のＸ線透視像の寸法情報と同様に取り扱って、（４）式によってＳＩＤを算出することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、従来のように基準片を用いることなく、ＳＯＤおよびＳＩＤを正確に求めることができ、ひいては正確に撮影倍率を求めることができる。
【００１５】
また、Ｘ線透視像からその寸法情報を得ることができない場合であっても、請求項２に係る発明の採用によって、ＳＯＤ，ＳＩＤを正確に求めることができ、基準片を用いることなく正確な撮影倍率を求めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明をＸ線透視装置に適用した実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図を併記して示す図である。
【００１７】
Ｘ線発生装置１はＸ線源（焦点）１ａから鉛直上方に向けてコーンビーム状のＸ線を出力する。このＸ線発生装置１に対向してその鉛直上方には、２次元の有感面を有するＸ線検出器２が配置されている。そして、これらの間に、試料Ｗを保持するための試料ステージ３が配置されている。
【００１８】
試料ステージ３はステージ移動機構４によって、鉛直のＸ線光軸Ｌに沿う方向（ｚ軸方向）と、そのｚ軸方向に直交する水面面上で互いに直交するｘ，ｙ軸方向に移動させることができる。また、Ｘ線検出器２は、検出器移動機構５によってＸ線光軸Ｌに沿うｚ軸方向に移動させることができる。
【００１９】
Ｘ線検出器２の出力は、キャプチャーボード等の画像データ取り込み回路１０を介してパーソナルコンピュータ１１に取り込まれる。パーソナルコンピュータ１１では、このＸ線検出器２からの出力を画素の濃淡情報として用いて、試料ＷのＸ線透視像を構築し、表示器１２に表示する。
【００２０】
パーソナルコンピュータ１１には、キーボードやマウス、更にはジョイスティック等からなる操作部１３が接続されているとともに、前記したステージ移動機構４および検出器移動機構５に対してそれぞれ駆動信号を供給するステージ移動機構駆動回路１４および検出器移動機構駆動回路１５が接続されている。そして、これらの各駆動回路１４，１５はパーソナルコンピュータ１１の制御下に置かれており、オペレータが操作部１３を操作することにより、試料ステージ３をｘ，ｙ，ｚ軸方向任意の向きに移動させ、また、Ｘ線検出器２をｚ軸方向任意の向きに移動させることができる。
【００２１】
さて、パーソナルコンピュータ１１には、以下に示すＳＯＤおよびＳＩＤの算出と、その算出結果に基づく撮影倍率の算出のためのプログラムがインストールされており、以下、そのプログラムの内容について説明する。図２は、その撮影倍率算出プログラムの内容を示すフローチャートである。
【００２２】
まず、例えば試料Ｗを観察するのに適した任意の撮影倍率、つまりＸ線発生装置１、Ｘ線検出器２および試料ステージ３のｚ軸方向への位置が任意の状態（第１の状態）において、試料Ｗを撮影する。そのセッティング状態の例を図３（Ａ）に示し、得られた試料Ｗの透視像ＷA の例を同図（Ｂ）に示す。
【００２３】
次に、試料ステージ３をｚ軸方向にあらかじめ設定されている既知量ΔＺ１だけ自動的に移動させて第２の状態とし、試料Ｗを撮影する。そのセッティング状態の例を図４（Ａ）に示し、得られた試料Ｗの透視像ＷB を同図（Ｂ）に示す。
【００２４】
次いでこれらの各透視像ＷA ，ＷB の寸法情報、例えばｘ軸方向への最大寸法ａ，ｂを画像処理によって求める。そして、これらの試料ステージ３のｚ軸方向への移動前後のＸ線透視像の画像の寸法情報ａ，ｂとそのｚ軸方向への移動量ΔＺ１を用いることにより、下記の（１）式によってＳＯＤを算出することができる。
ＳＯＤ＝（ΔＺ１×ａ）／（ａ−ｂ）  ・・（１）
【００２５】
次に、試料ステージ３を自動的に元の第１の状態に戻した後、Ｘ線検出器２をｚ軸方向にあらかじめ設定されている既知量ΔＺ２だけ自動的に移動させて第３の状態とし、試料Ｗを撮影する。そのセッティング状態の例を図５（Ａ）に示し、得られた試料Ｗの透視像ＷC を同図（Ｂ）に示す。
【００２６】
次いでその透視像ＷC のｘ軸方向への最大寸法ｃを画像処理によって求める。その値ｃと先に求めた第１の状態における透視像ＷA のｘ軸方向への最大寸法ａ、およびＸ線検出器２のｚ軸方向への移動量ΔＺ２を用いることにより、下記の（２）式によってＳＩＤを算出することができる。
ＳＩＤ＝（ΔＺ２×ａ）／（ａ−ｃ）  ・・（２）
【００２７】
そして、これらの算出されたＳＯＤとＳＩＤを用いて、第１の状態における撮影倍率Ｍ＝ＳＩＤ／ＳＯＤを算出する。以上のようにして求められたＳＯＤおよびＳＩＤは、Ｘ線発生装置１内のＸ線源（焦点）１ａの位置とＸ線検出器２の有感面の位置とがそれぞれの内部でどこにあるかが判っていなくても、試料ステージ３またはＸ線検出器２の実際の移動距離と実際の透視像の大きさの変化から幾何学的に求められた値であるため、正確な値となり、これらを用いて算出された撮影倍率Ｍは、従って正確なものとなる。
【００２８】
ここで、以上の例では、透視像ＷA ，ＷB ，ＷC の寸法情報としてｘ軸方向への最大寸法を採用したが、その寸法情報はｙ軸方向への最大寸法であってもよいし、あるいは試料Ｗの透視像中の特定の注目部位の任意方向への寸法情報であってもよく、特に、注目部位の寸法情報を採用することにより、その注目部位の試料ステージ３の表面からの距離が不明であっても、上記のようにして算出された撮影倍率Ｍはその注目部位の像の撮影倍率を正確に表すものとなる。
【００２９】
また、透視像から寸法情報が得られない場合には、以下に示す手法によって上記と同様に正確な撮影倍率を算出することができる。
【００３０】
すなわち、例えば試料Ｗが板状のものであって、その一辺部分のみを透視している状態、例えば図６（Ａ）に示すような設定状態において図７（Ａ）に示すような透視像ＷD が得られている状態では、試料Ｗの透視像ＷD から寸法情報を得ることができない。このような場合、図６（Ａ）に例示するような第１の状態において、同図（Ｂ）に示すように試料ステージ３をＸ線光軸Ｌ（ｚ軸方向）に直行する平面上で任意の方向、例えばｘ軸方向に既知の距離ΔＸだけ移動させる。これにより、透視像はｘ軸方向に移動し、図７（Ａ）のＷD で示す状態から同図（Ｂ）にＷD ′で示す状態となる。そして、そのｘ軸方向への移動前後の透視像のＷD とＷD ′の移動量を、画像処理により例えば図示のように透視像のエッジ位置等において求め、その値ｄを第１の状態における寸法情報とする。
【００３１】
次に、試料ステージ３のｘ軸方向への位置を当初位置に戻した後、先の例と同様に試料ステージ３をｚ軸方向にΔＺ１だけ移動させ、第２の状態とする。そのセッティング状態を図８（Ａ）に示す。その後、同図（Ｂ）に示すように、試料ステージ３をｘ軸方向に上記と同様にΔＸだけ移動させる。これにより、試料Ｗの透視像は図９（Ａ）にＷE で示す状態から、同図（Ｂ）にＷE ′で示すようにｘ軸方向に移動する。その移動量ｅを上記と同様に画像処理によって求め、その値ｅを第２の状態における寸法情報とする。
【００３２】
これらの第１および第２の状態における寸法情報ｄ，ｅと、試料ステージ３のｚ軸方向への位置の移動量ΔＺ１を用いることにより、下記の（３）式からＳＯＤを算出することができる。
ＳＯＤ＝（ΔＺ１×ｄ）／（ｄ−ｅ）  ・・（３）
【００３３】
一方、ＳＩＤの算出に当たっては、試料ステージ３を第１の状態の当初位置に戻した後、Ｘ線検出器２をｚ軸方向に既知量ΔＺ２だけ移動させて図１０（Ａ）に示すように第３の状態とし、図１１（Ａ）に例示するような透視像ＷF を得た後、試料ステージ３をｚ軸方向に上記と同じ距離ΔＸだけ移動させ、同図（Ｂ）に示すような透視像ＷF ′を得る。これらの透視像ＷF とＷF ′の移動量ｆを画像処理によって求め、これを第３の状態における寸法情報として用いる。そして、この第３の状態における寸法情報ｆと、先に求めた第１の状態における寸法情報ｄ、およびＸ線検出器２の移動量ΔＺ２を用いることにより、下記の（４）式からＳＩＤを算出することができる。
ＳＩＤ＝（ΔＺ２×ｄ）／（ｄ−ｆ）  ・・（４）
【００３４】
このようにして算出したＳＯＤ，ＳＩＤを用いて先の例と同様に撮影倍率Ｍを求めることによって、試料Ｗの透視像から直接的に寸法情報が得られない場合でも、正確な撮影倍率を求めることができる。
【００３５】
ここで、以上の実施の形態においては、本発明をＸ線透視装置に適用した例を示したが、本発明はＸ線ＣＴ装置にも等しく適用することができ、その場合、回転テーブルを駆動して試料のＣＴ撮影を行うセッティング状態を上述の第１の状態とし、その状態から回転テーブルをＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた状態を第２の状態、第１の状態からＸ線検出器をＸ線光軸方向に既知量だけ移動させた状態を第３の状態として、先の例と同等の撮影・演算を行うことにより、ＣＴ撮影状態における撮影倍率を正確に求めることができる。
【００３６】
また、Ｘ線発生装置をＸ線光軸方向に移動させることのできる装置にあっては、試料ステージの移動に代えてＸ線発生装置をＸ線光軸方向に移動させることによっても、先の例と同等の演算により同等の作用効果を奏し得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図を併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるパーソナルコンピュータにインストールされている撮影倍率の算出用のプログラムの内容を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施の形態における第１の状態のセッティング状態の例の説明図（Ａ）と、その状態で得られる試料の透視像の例の説明図である。
【図４】本発明の実施の形態における第２の状態のセッティング状態の例の説明図（Ａ）と、その状態で得られる試料の透視像の例の説明図である。
【図５】本発明の実施の形態における第３の状態のセッティング状態の例の説明図（Ａ）と、その状態で得られる試料の透視像の例の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態において透視像から直接的に寸法情報が得られない試料を対象とする場合の撮影倍率の求め方の例の説明図で、（Ａ）は第１の状態の当初のセッティング状態の例の説明図、（Ｂ）は試料ステージをｘ軸方向に移動させた状態の例の説明図である。
【図７】図６（Ａ）の状態で得られる透視像の例（Ａ）と、同図（Ｂ）の状態で得られる透視像の例（Ｂ）をそれぞれ示す図である。
【図８】図６（Ａ）に示す第１の状態から試料ステージをｚ軸方向に移動させた第２の状態の例を示す図（Ａ）と、その状態から試料ステージをｘ軸方向に移動させた状態の例を示す図（Ｂ）である。
【図９】図８（Ａ）の状態で得られる透視像の例（Ａ）と、同図（Ｂ）の状態で得られる透視像の例（Ｂ）をそれぞれ示す図である。
【図１０】図６（Ａ）に示す第１の状態からＸ線検出器をｚ軸方向に移動させた第３の状態の例を示す図（Ａ）と、その状態から試料ステージをｘ軸方向に移動させた状態の例を示す図（Ｂ）である。
【図１１】図１０（Ａ）の状態で得られる透視像の例（Ａ）と、同図（Ｂ）の状態で得られる透視像の例（Ｂ）をそれぞれ示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  Ｘ線発生装置
１ａ  Ｘ線源（焦点）
２  Ｘ線検出器
３  試料ステージ
４  ステージ移動機構
５  検出器移動機構
１０  画像取込回路
１１  パーソナルコンピュータ
１２  表示器
１３  操作部
１４  ステージ移動機構駆動回路
１５  検出器移動機構駆動回路
Ｗ  試料
【図１】
0004636258.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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