(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を試料台上の所定位置に載置する試料位置決め装置であって、駆動源からの駆動により水平方向に往復運動する駆動部と、鉛直方向に昇降し、試料台上より試料を持ち上げるための昇降部と、前記駆動部および前記昇降部と連動して水平方向に往復運動する伝達部と、試料を径方向に移動させて所定位置で抑止する抑止体、および前記駆動部と連動して水平方向に往復運動するととともに前記抑止体の運動を誘導する誘導体を有する位置決め部と、を備え、前記伝達部は、クランク機構を有することを特徴とする試料位置決め装置。
【請求項２】
前記駆動部は、回転方向に往復運動することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記昇降部は、傾斜通路を備えるとともに前記伝達部の往復運動に連動する可動体と、前記可動体の往復運動により傾斜通路の変位に沿って鉛直方向に昇降する昇降体と、を有することを特徴とする請求項１または２に記載の試料位置決め装置。
【請求項４】
前記位置決め部は、さらに前記誘導体に沿って摺動する摺動体と、前記抑止体の運動に連動して抑止体を水平方向に往復運動させる支持体と、を有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の試料位置決め装置。
【請求項５】
前記位置決め部と試料台とが弾性体を介して連結されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の試料位置決め装置。
【請求項６】
前記駆動源は、超音波モータであることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の試料位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体製造に用いられる半導体ウエハや液晶製造に用いられる液晶プレートの製造工程で、それらが搬送される試料チャッキング装置の試料位置決め技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体市場は厳しいコスト競争に直面しており、製造／検査装置のスループット向上や構造簡略化が要求されている。このような状況下でウエハやマスク等の試料を位置決めする際のパーティクル発生阻止や試料位置決め装置の高精度化、軽量化や簡略化も須く市場の要求となってくる。これは液晶ディスプレイ等の製造／検査プロセスにおいても同様である。
【０００３】
例えば、電子線顕微鏡測長器のＸＹステージ上に設置された試料台上にウエハやマスクの試料を配置して、試料上に描かれたパターンを検査する場合、試料は試料台上に位置再現性良く位置決めされることは、電子線のアライメント時間を削減し、装置全体のスループットの向上を可能にする。また同様に、位置決め装置の軽量化や簡略化により、位置決め時間を短縮し、装置全体のスループットの向上、ＸＹステージの高精度化を可能にする。
【０００４】
以上、例示した様に加工／検査対象であるウエハやマスク等の製造／検査装置への搬送時の位置決め再現性や位置決め装置の軽量化や簡略化は、装置のスループット及び精度を左右する重要な要素である。
【０００５】
これらの課題に対し、従来用いられている試料位置決め装置は、単一の駆動源により一方向に移動する移動ブロックに連結された２本のシャフトを用い、１本のシャフトでは曲がりテコを利用し駆動力方向を変更させて試料を試料台から脱着させる動作を、もう１本のシャフトは試料を位置決めする位置決めピン（請求項の場合と異なるためピン）を連結して移動ブロックの動きに合わせて試料を位置決めする動作を同時に行うことにより、試料位置決め装置の簡略化を実施してきた。（特許文献１参照）
【特許文献１】実開平５−４１１４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、最近の半導体や液晶の製造／検査装置業界では、上述の様なスループット向上への要求に加え、半導体の高密度化や集積化に伴い、半導体製造プロセスにおけるウエハやマスク等の試料を加工／検査する際、試料にパーティクルが付着するという問題がある。このパーティクルは、完成した半導体素子の性能を著しく損ねるため、パーティクルの削減は大きな課題となっている。パーティクルは、試料を試料位置決め装置に搭載された試料台上に位置決めする際に試料と試料台の摺動により多く発生しやすい。そのため、パーティクルの発生を抑制するには、試料が試料台との摺動する量を減らすために試料が試料台に接触すると同時に位置決めを完了することが望ましいので、試料を押圧して位置決めする位置決めピンの動作を制御する必要が出てくる。
【０００７】
ところが、上記特許文献に記載の技術では、駆動源と位置決めピンが連結している為に位置決めピンの位置を制御する為には、駆動源にて動作する移動ブロックの位置を制御する必要があり、位置検出器及び位置制御系が必要となる等、位置決め装置の簡略化が困難となるという課題があった。
【０００８】
また、試料を加工／検査する際、試料台はＸＹステージ等の移動装置上に載置されているため、試料台の重心高さや重量及び大きさが移動装置に与える影響、すなわち、振動周波数、振動振幅等も十分考慮して試料位置決め装置の機構を決定する必要があるが、特許文献１の試料位置決め装置では、曲がりテコを利用し駆動力方向を鉛直方向に変更させて試料を試料台から脱着させる動作であるため、テコの回転領域を確保するため、重心が高くなり、また、２本のシャフトの移動領域および移動ブロックを試料台の下部に配置するために、駆動源を試料位置決め装置の外に配置することになるため、試料サイズよりも試料位置決め装置が大きくなる。その結果、試料移動装置の振動振幅が大きくなり、試料の加工／検査における精度を悪化させるという問題を有していた。さらに、試料台の重心が高くなれば、その試料台を搭載したＸＹステージ等の移動装置の固有振動数が低くなり、移動装置が停止後の振動が収まるまでの時間が長く、試料を加工／検査する装置のスループットを悪化させるという課題があった。
【０００９】
またさらに、電子線を用いた描画装置や検査装置において駆動源として電磁式モータを使用した場合、移動装置の移動に伴う磁場変動で電子線が影響を受け、影響が無視できる程度に駆動源を離載する必要があるため、さらに試料位置決め装置が大型化するという課題も有していた。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために本発明に係る試料位置決め装置は、以下の構成を有する。
【００１１】
本発明に係る試料位置決め装置は、試料を試料台上の所定位置に載置する試料位置決め装置であって、駆動源からの駆動により水平方向に往復運動する駆動部と、鉛直方向に昇降し、試料台上より試料を持ち上げるための昇降部と前記駆動部および前記昇降部と連動して水平方向に往復運動する伝達部と、試料を径方向に移動させて所定位置で抑止する抑止体、および前記駆動部と連動して水平方向に往復運動するととともに前記抑止体の運動を誘導する誘導体を有する位置決め部と、を備え、前記伝達部は、クランク機構を有することを特徴とする。
【００１２】
また、好ましくは、前記駆動部は、回転方向に往復運動することを特徴とする。
【００１３】
さらに、好ましくは、前記昇降部は、傾斜通路を備えるとともに前記伝達部の往復運動に連動する可動体と、前記可動体の往復運動により傾斜通路の変位に沿って鉛直方向に昇降する昇降体と、を有することを特徴とする。
【００１４】
さらにまた、好ましくは、前記位置決め部は、前記誘導体に沿って摺動する摺動体と、前記抑止体を備えるとともに、前記摺動体の運動に連動して抑止体を水平方向に往復運動させる支持体とを有することを特徴とする。
【００１５】
また、好ましくは、前記位置決め部と試料台とが弾性体を介して連結されていることを特徴とする。
【００１６】
さらに、好ましくは、前記駆動源は、超音波モータであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の構成によれば、ウエハやマスク等の試料を位置決めする際の試料と試料台との滑り量を小さくすることが容易に実現できるので、パーティクルが低減できる。
【００１８】
さらに、試料位置決め装置が試料サイズと同程度の大きさとすることが可能なので、試料位置決め装置の軽量化、小型化が可能となり、試料移動装置に与える振動等の影響も低減できる。
【００１９】
またさらに、駆動部を水平方向での回転案内移動とすることで、本発明の試料位置決め装置を試料と同程度の大きさに小型化出来る上、駆動源に超音波モータを使用する際の課題、すなわち、電磁モータと比較したトルクの低さや超音波モータに必要不可欠な摩擦部材の移動スペースの増加抑制等、を解決することが出来、試料位置決め装置移動時の磁場変動を嫌う電子線描画器や電子線顕微鏡の要求である非磁性化を可能とすることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
一般的にウエハやマスク等の試料は、所定の加工や検査をするために、装置の試料室内にあるＸＹステージ等の試料の移動装置上に載置された試料位置決め装置の試料台上の所定位置に載置される。
【００２１】
本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の試料位置決め装置１００を示し、（ａ）は試料位置決め装置１００の試料台の上方から見た平面図を示し、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線におけるＡ−Ａ断面図を示し、（ｃ）は同図（ｂ）のＢ−Ｂ線におけるＢ−Ｂ断面図を示す。
【００２３】
本発明の試料位置決め装置１００は、駆動源１からの駆動により水平方向に往復運動する駆動部１０と、鉛直方向に昇降し、試料台６２上より試料を持ち上げるための昇降部３０と、前記駆動部１０および前記昇降部３０と連動して水平方向に往復運動する伝達部２０と、試料を径方向に移動させて所定位置で抑止する抑止体４３、および前記駆動部１０と連動して水平方向に往復運動するととともに前記抑止体４３の運動を誘導する誘導体４４とを有する位置決め部４０とから成り、駆動源１により駆動部１０が水平方向に往復運動することにより、駆動部１０に連結されている伝達部２０が水平方向に移動し、さらに伝達部２０の移動と連動して昇降部３０が鉛直方向に移動することにより試料の昇降が可能となる。さらに、試料を径方向に移動させて所定位置で抑止する抑止体４３、および駆動部１０と連動して水平方向に往復運動するとともに抑止体４３の運動を誘導させる誘導体４４が配置されている。
【００２４】
なお、本発明における水平方向とは、試料を載置する試料台の載置面を水平面としており、これに略平行な方向を示し、鉛直方向とは、この試料台に対して略垂直な方向を示す。
【００２５】
前記駆動部１０は、駆動源１より受けた駆動力によって水平方向（図中Ｘ−Ｘ’方向）に往復運動するものであり、この往復運動は直線、曲線運動どちらでも構わない。特に、駆動部１０の水平方向の往復運動は、回転方向であることが好ましい。本発明の試料位置決め装置１００を半導体装置に搭載された場合、試料台に載置される試料は、８インチ、１２インチの円板状が多用される。駆動部１０をこれら試料の形状とほぼ同一にすることにより、接地面積の小さい試料位置決め装置１００とすることができる上、駆動源１を超音波モータとした際に必要な摩擦部材の案内を駆動部１０と共用して移動スペースを節約することができる。
【００２６】
また、駆動部１０は、駆動部固定体１２とともに、ボールやローラ及びリテーナ等で構成される転がり軸受けや双方に嵌め合いのＶ溝等を有する滑り軸受けである駆動部案内部１１から構成されることが好ましい。これにより、駆動部案内部１１は、駆動部１０の回転方向への案内を円滑にすることができ、駆動源１の出力が小さくても駆動部１０を容易に案内させることが可能となる。
【００２７】
昇降部３０は、ベース６１上に配置されており、鉛直方向に昇降し、試料台６２上より試料を持ち上げるものであり、駆動部１０の水平方向への往復運動に連動して昇降を繰り返すものである。
【００２８】
詳細には、図１（ｃ）に示すように、駆動部１０には、Ｐ部において伝達部２０であるクランク機構の一方端が連結されており、さらに、昇降部３０には、Ｑ部において伝達部２０であるクランク機構の他方端が連結されている。さらに、伝達部２０のＥ部は、ベース６１に転がり軸受け２０ａで回転自由に連結されており、伝達部２０は、Ｅ部を中心として水平方向に回転運動することができる。したがって、駆動部１０が水平方向に往復運動することにより、Ｐ部で連結されている伝達部２０がＥ部を中心に水平方向に往復運動し、その往復運動をＱ部で受けることによって昇降部３０が昇降することが可能となる。ここで、伝達部２０がクランク機構であると駆動部１０の移動を容易に昇降部３０の鉛直方向への移動に連動させることができるために装置の簡略化および小型化を図ることが可能となる。
【００２９】
ここで、図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の試料位置決め装置１００に用いられる昇降部３０を示す部分断面図を示したものである。
【００３０】
図２（ａ）に示すように、昇降部３０は、傾斜通路３１ａを備えるとともに伝達部２０の往復運動に連動する可動体３１と、可動体３１の往復運動により傾斜通路３１ａの変位に沿って鉛直方向に昇降する昇降体３３を有することが好ましい。これにより、伝達部２０の移動に伴って可動体３１が水平方向（図中Ｙ−Ｙ’）方向に往復運動することによって、昇降体３３の移動を鉛直方向のみにすることが可能となる。さらに、可動体３１を昇降体案内部６４にて案内するようにすると昇降体３３は鉛直方向のみの移動を確実にするため、昇降体３３の先端部と試料の摺動により発生するパーティクルを抑制することが可能となる。
【００３１】
また、昇降部３０の他の例として、図２（ｂ）に示すように、可動体３１上に設けられたリンク３１ｂによって、伝達部２０の水平方向への移動に連動して昇降体３３を昇降可能とさせてもよく、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、昇降体３３は、例えばピンにより形成され、また、試料台６２には昇降体３３が挿通される貫通孔６５が形成される。
【００３２】
図２（ａ）の昇降部３０において、可動体３１上の傾斜通路３１ａと昇降ベースの下面に形成された接触部３４は、回転軸受け等を用いることにより、可動体３１との摺動によるパーティクルの発生を抑制し、接触部３４の摩耗を低減することができるため、長期間にわたり安定した昇降精度を保つことができる。
【００３３】
さらに、可動体３１とベース６１の間には、可動体案内部６３として、ボールやローラ及びリテーナから構成されるクロスローラガイド等のリニアガイドを設けることにより、可動体３１の滑らかな移動を可能とし、昇降体３３が試料に接触している間に試料に対して過剰の衝撃を与えることがない。また、駆動源１に対する高負荷を与えることができるとともに、小さい出力の駆動源１を用いても、試料の昇降を可能とすることができる。
【００３４】
また、昇降体３３には、昇降体案内部６４を配置し、ベース６１に昇降体案内部６４が挿通される案内孔６４ａが配置されることが好ましく、昇降部３０が鉛直方向に安定して昇降することから、試料に対して昇降体３３が過度の摺動を起こすことを有効に防止することができる。さらに、昇降体案内部６４と案内孔６４ａの間には、ボールやローラ及びリテーナから構成されるリニアベアリングを挿入することで、昇降体３３の移動真直性を向上させ、試料と抑止体４３間の摺動量を抑制できる。
【００３５】
次いで、試料の位置決めを行う位置決め部４０について、図３（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。
【００３６】
位置決め部４０は、図３に示すように、主に試料を径方向に移動させて所定位置で抑止するピン等から成る抑止体４３と、前記駆動部１０と連動して水平方向に往復運動するととともに前記抑止体４３の運動を誘導する誘導体４４を有するものであり、さらに、前記誘導体４４に沿って摺動する回転ローラ等から成る摺動体４１と、前記抑止体４３を備えるとともに前記摺動体４１の運動に連動して抑止体４３を水平方向に往復運動させるスライダー等から成る支持体４２と、を有するものであり、抑止体４３の側面が試料に当接することにより試料台６２上のほぼ中央部に位置決めするものであり、精度よく位置決めするためには抑止体４３は少なくとも２つ好ましくは３つ配置されることが好ましい。また、スペース等の問題で抑止体４３が一つしか配置できない場合は、他の適当な箇所にストッパを設けておいてもよい。この際、試料は、昇降体３３上または試料台６２上を回転摺動しながら位置決めされることとなるが、試料台６２上での位置決めは、試料との接触面積が大きいため、当然パーティクルの発生量が多くなる。そこで、昇降体３３上で試料を摺動させながら位置決めすることが望ましいが、抑止体４３が試料を挟持してしまい、試料と試料台６２との間に隙間が生じるという問題が発生する。そのため、試料が試料台６２上面に接触する直前まで、昇降体３３上を摺動させ、位置決め直前に試料台６２上面に接触し、位置決めが完了することが望まれる。さらに、抑止体４３が試料に接触するまでは素早く移動し、接触時や位置決め時は衝撃を与えないようにゆっくりと移動することが望まれる。
【００３７】
本発明の試料位置決め装置１００では、昇降部３０の鉛直方向の運動および位置決め部４０による誘導体４４を介した水平方向の往復運動を駆動部１０の往復運動に連動して制御するものである。
【００３８】
詳細には、駆動源１に一定の速度指令電圧を与え、駆動部１０を定速にて往復運動動させるだけで、前記抑止体４３と昇降体３３が運動するものである。つまり、図１（ｂ）に示すように誘導体４４の側面に曲線部４４ａを設けることにより、曲線部４４ａに沿って抑止体４３が移動し、試料を所定位置に抑止させるため、試料の載置されるタイミングに合わせて位置決め部４０の位置および移動速度を任意に設定することができる。
【００３９】
また、位置決め部４０は、弾性体６６を介して試料台６２と連結されていることが好ましく、位置決め部４０は試料台６２の径方向に対して付勢されるように配置されるために、誘導体４４の曲線部４４ａに沿ってより安定して運動することができる。また、位置決め部４０の摺動体４１に対してバックアップローラを設けるなど別途付勢手段を必要とせず、試料位置決め装置１００全体の小型化、簡略化を図ることが可能となる。
【００４０】
さらに、図１（ａ）に示すように、位置決め部４０の支持体４２は、試料台６２の一部に係合するように形成し、支持体４２と試料台６２の係合部にガイド６７を配置することが好ましい。このことにより、支持体４２が鉛直方向に振動することを抑え、抑止体４３と試料が当接したとき、もしくは抑止体４３で試料を挟持するときの摩擦によるパーティクルの発生を防止することができる。
【００４１】
以上のような構成にすることにより、本発明の試料位置決め装置１００は、駆動部１０の水平方向の往復運動を基に昇降部３０と位置決め部４０を同時に駆動させることが可能となり、いずれの駆動も同一の駆動源１でまかなうことができるために、装置全体の小型化、簡略化を図ることが可能となっている。
【００４２】
また、駆動源１は、超音波モータであることが好ましく、昇降部３０の上昇時の位置保持性に優れ、試料が昇降部３０に載置された際の振動によるパーティクルの発生を抑制する上、試料位置決め装置移動時の磁場変動を嫌う電子線描画器や電子線顕微鏡の要求である非磁性化を可能とすることができる。
【００４３】
次に本発明の試料位置決め装置１００の各構成部品の移動および位相について説明をする。
【００４４】
図４（ａ）は、試料が昇降体３３に受け渡しされる時点の状態を示した平面図であり、（ｂ）は、同図（ａ）のＣ−Ｃ断面図を示す。また、図５（ａ）は、試料が試料台６２に位置決めされ、昇降体３３が下がりきった時点の状態を示す平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＤ−Ｄ断面図を示す。
【００４５】
まず、図４を用いて昇降体３３に試料が載置される状態について説明する。
【００４６】
例えば、試料をハンドリングアームなどで昇降体３３上に搬送した後に、駆動源１である超音波モータを駆動させて、駆動部１０を左回り（図中Ｘ方向）に定速回転運動させる。この時、駆動部１０の運動を受けた伝達部２０は、水平方向の運動により昇降部３０を左方向（図中Ｙ方向）に運動させる。昇降部３０の可動体３１の運動に伴い、昇降ベース３２は可動体３１の傾斜通路３１ａを摺動して傾斜通路３１ａの最上部に位置すると同時に昇降ベース３２と昇降体３３は鉛直方向に最上昇した状態となり、この状態で昇降体３３上に試料が載置される。
【００４７】
一方、位置決め部４０の摺動体４１は、駆動部１０に配置された誘導体４４の側面にそって移動し、支持体４２および抑止体４３が試料から最も離れた位置に配置することになる。
【００４８】
次に図５を用いて試料を位置決めする状態を説明する。
【００４９】
図４の状態において、試料を昇降体３３上に配置した後に、超音波モータの駆動により駆動部１０を右回り（図中Ｘ’方向）に定速回転運動させ、伝達部２０の水平方向の運動にともなって可動体３１を右方向（図中Ｙ方向）に移動させる。昇降ベース３２および試料が載置された昇降体３３は下降させられ、試料は試料台６２上に載置される。一方、昇降体３３の下降と同時に、位置決め部４０の摺動体４１は、誘導体４４の側面にそって図３に対して誘導体４４とは相対的な逆方向に移動する。同時に各抑止体４３は、試料の中心方向に移動して、試料と当接することにより試料を試料台６２の中心方向に移動させ位置決めすることができる。
【００５０】
この時、可動体３１の傾斜通路３１ａの角度は、昇降体３３が一定速にて下降するように一定とすることが好ましい。また、抑止体４３の移動は、下降開始当初は早く、試料と接触してからはゆっくりと移動するように駆動部１０の外周部に取り付けられた誘導体４４の摺動体４１を誘導する側面の曲率を上記接触前後で小さくして、この曲率を滑らかに繋ぐ曲線を有することが好ましい。
【００５１】
そして、昇降体３３の先端部が試料台６２上面に到達すると同時に抑止体４３が試料の位置決めを完了するように誘導体４４の曲線部４４ａを形成すれば、試料と試料台６２の位置決め時の摺動が最も少なく、摺動に起因するパーティクルの発生が抑制できることとなる。
【００５２】
以上、説明したように、本発明の試料位置決め装置１００では、駆動源１を定速で駆動させるだけで、パーティクルの発生量を抑制することが可能な抑止体４３と昇降体３３の運動、位相を達成できるので、装置の簡素化や軽量化を可能とし、さらに、試料に水平な面で駆動部１０などの各構成要素を移動させることで試料位置決め装置１００全体の高さを抑える可能とすることで、ＸＹステージなどの試料移動装置の振動を抑制し、試料の加工、検査の精度の向上寄与できる。
【００５３】
また、昇降体３３の先端部を球面状にするなどして試料との接触面積を小さくする、先端部をラッピング加工することにより鏡面にするなど、昇降体３３上の摺動によるパーティクルの発生をさらに抑制できるので好ましい。
【００５４】
また、クランク３２回転中心部及び可動体３１や駆動部１０との連結部、さらに、昇降ベース３２と可動体３１と傾斜通路３１ａでの摺動部に回転軸受けを配備することで、摺動の抵抗が低減できて、各要素の動きが滑らかになり、所定の各要素間の位相の確保が確実になる上、長期的な信頼性も得ることができる。
【実施例】
【００５５】
以下本発明の実施例を示す。
【００５６】
図４に記載の構成にて本発明の試料位置決め装置の試料台上に静電チャックを載置した評価機を製作した。また、試料として半導体製造工程で使用される３００ｍｍウエハを用いて、抑止体と昇降体の運動、位相を種々変更し、試料搬送時のパーティクルの発生量を比較する実験を行った。各構成部品の材質として、静電チャックは窒化アルミニウム質焼結体、試料台及びベースはアルミナ質焼結体、昇降体、抑止体は非磁性超硬合金にて、その他の部品をリン青銅またはアルミ合金とした。
【００５７】
また、抑止体と昇降体の運動、位相を変えるために、駆動体に取り付ける誘導体を２種類（α、β）準備し、試料が試料台上にて位置決めされる際の摺動量をそれぞれ０．２ｍｍと０．４ｍｍとした。この際の試料移送手段による試料を昇降体上に載置する試料中心の位置と試料台中心位置の誤差は２ｍｍ程度とした。
【００５８】
次に、図６に２種類の誘導体による抑止体の移動軌跡を示す。横軸に昇降体の位置、縦軸に抑止体の位置を表す。抑止体の位置座標は、試料であるウエハを位置決め完了する位置を原点（０）とし、試料から離間する方向を＋座標として表示、昇降体は、昇降体と試料台上面の高さが等しくなる位置を原点（０）とし、上昇する方向を＋座標として表示した。
【００５９】
そして、上述の２種類の誘導体を評価機に取付け、試料各５枚を搬送して静電チャックにて吸着し、搬出した後の試料吸着面に付着したパーティクル数を比較した。なお、静電チャックの吸着力は３０ｋＰａとし、吸着時間は１０分間とした。また、パーティクルは、粒径０．２μｍ以上のものをレーザを用いたパーティクル測定機にて計測した。結果を表１に示す。
【表１】
0004637756.tif 000002
【００６０】
表１に示すように、摺動量が０．２ｍｍの誘導体αの場合と０．４ｍｍの誘導体βの場合を比較すると、誘導体αの場合は、誘導体βと比較して試料吸着面に付着したパーティクル数量は約半分に減少し、試料台上の摺動量を減らすことでパーティクル発生量が抑制できることが確認できた。
【００６１】
また、この評価機の底面から試料台にある静電チャック上面までの高さは、３０ｍｍと非常に薄型で、重量も約５ｋｇｆと軽量であった。その上、試料位置決めに必要な駆動源は超音波モータ１個に速度指令を与えるだけという簡易な駆動制御系で、各５枚の試料を位置決めした際の位置誤差は１０μｍ以下と、電子線顕微鏡等の装置で十分実用に耐えうる精度であった。
【００６２】
以上の結果は、例えば、試料である３００ｍｍウエハの大きさが製造メーカにより多少異なる場合でも、誘導体の輪郭を変更するだけで、パーティクルが少なく、小型軽量でかつ試料位置決め精度のよい試料位置決め装置が得られることを示す。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の試料位置決め装置の一実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線の断面図、（ｃ）は同図（ｂ）のＢ−Ｂ線の断面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、本発明の試料位置決め装置に用いられる昇降部の種々の実施形態を示す部分断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、本発明の試料位置決め装置に用いられる昇降部の可動状態の概略を示す部分断面図である。
【図４】本発明の試料位置決め装置の動作を説明するための図であり、（ａ）は昇降体に試料が受け渡しされる時点の状態を示した平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線の断面図である。
【図５】本発明の試料位置決め装置の動作を説明するための図であり、（ａ）は試料台に試料が位置決めされ、昇降体が下がりきった時点の状態を示した平面図であり、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線の断面図である。
【図６】実施例にて製作した２種類の誘導体による抑止体の移動軌跡を示し、横軸に昇降体の位置、縦軸に抑止体の位置を示す。
【符号の説明】
【００６４】
１００：試料位置決め装置
１：駆動源
１０：駆動部
１１：駆動部案内部
１２：駆動部固定体
２０：伝達部
２０ａ：転がり軸受け
３０：昇降部
３１：可動体
３１ａ：傾斜通路
３１ｂ：リンク
３３：昇降体
３４：接触部
４０：位置決め部
４１：摺動体
４２：支持体
４３：抑止体
４４：誘導体
４４ａ：曲線部
６１：ベース
６２：試料台
６３：可動体案内部
６４：昇降体案内部
６４ａ：案内孔
６５：貫通孔
６６：弾性体
６７：ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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