(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性部材を用いて、一方の端が開口とされ、当該開口に対向する他方の端が短絡端とされてなる空胴を有し、
前記空胴内部においては、当該空胴内を伝搬可能とするマイクロ波の磁界面に平行する前記空胴の二つの壁面の一方に突設されてなる平面回路取付部に、発振回路が形成されてなる平面回路基板が載置され、前記平面回路取付部と前記平面回路基板は、前記空胴の長手軸方向における長さが同一とされてなり、前記平面回路基板の前記平面回路取付部と接合される面には、アース面が形成され、
前記平面回路基板には前記発振回路の出力段に接続された中心導体が、前記空胴の長手軸方向に配設され、当該中心導体は、二つの端部を有し、当該二つの端部は、前記空胴の長手軸方向における前記平面回路取付部の端部に対応する前記平面回路基板のそれぞれの端部に位置せしめられ、
前記中心導体の二つの端部からは、開放スタブが、前記開口側と前記短絡端側へそれぞれ前記平面回路取付部から突出するよう延設されてなると共に、前記平面回路基板のそれぞれの端部も前記二つの開放スタブの支持のため、前記それぞれの開放スタブの長さ分だけ、前記平面回路取付部から突出するように形成された部位を有し、
前記発振回路は、前記開口側に位置する開放スタブを介して、前記開口側に位置する開放スタブと前記開口との間の空間と電磁的に結合可能とされると共に、前記短絡端側に位置する開放スタブを介して、前記短絡端側に位置する開放スタブと前記短絡端との間の空間と電磁的に結合可能とされてなることを特徴とするマイクロ波発振器。
【請求項２】
前記空胴は、前記中心導体の前記開口側に位置する端部から前記空胴の開口へ至る部位が、マイクロ波出力周波数が基本モードで伝送される導波管形状とされる一方、前記中心導体の前記短絡端側に位置する端部から前記空胴の短絡端へ至る部位が、前記マイクロ波出力周波数の概略ｎ分の１で共振する形状とされてなり、前記ｎは、任意の２以上の整数であることを特徴とする請求項１記載のマイクロ波発振器。
【請求項３】
前記平面回路基板には、前記発振回路へ電源供給する電源供給線路が配設され、当該電源供給線路は、チョーク構造を有してなることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のマイクロ波発振器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロ波発振器に係り、特に、空胴共振器を用いるものであって、構成の簡素化、発振周波数の安定化等を図ったものに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、マイクロ波発振器において、その発振周波数を決定するために用いられる共振器としては、空胴共振器、誘電体共振器、平面回路によるスタブ共振器、集中定数回路を用いた共振器等が公知・周知となっているが、これらの中でＱ値が最も大きくなるものは、空胴共振器である。マイクロ波発振器において、Ｑ値を大きくすることは、発振周波数の安定化、位相雑音の低減等を意味し、マイクロ波発振器の良否を決定する重要なファクターである。
空胴共振器を用いたマイクロ波発振器としては、例えば、図５に示された構成を有してなるものが公知・周知となっており、以下、同図を参照しつつ、このマイクロ波発振器について説明することとする。
このマイクロ波発振器は、まず、一端が短絡され、他端に出力スリット５１が形成された方形導波管による方形空胴共振器５２が用いられており、その内部から外部へ突出するように金属製のポスト５３が電界方向に沿って設けられている。そして、方形空胴共振器５２の内部側に位置するポスト５２の先端には、いわゆるピル型パッケージのガンダイオード５４が取り付けられており、ポスト５３を介してガンダイオード５４に電源電圧が供給される構造となっている。
【０００３】
ポスト５３は、方形空胴共振器５２と直流的には浮いており、高周波的には短絡状態となることが必要なため、方形空胴共振器５２から突出する部分の周囲は、チョーク構造が形成されたチョーク構造部５５の複雑な構造となっている。
かかる構成において、その発振周波数は、方形空胴共振器５２の共振周波数でほぼ決定されるものとなっている。そして、このマイクロ波発振器においては、一般的に矩形空胴のＴＥ101モードが利用される場合が多く、ガンダイオード５４は、ＴＥ101モードの高周波電界が最大の位置、すなわち、方形空胴共振器５２のほぼ中央に位置するものとなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述のような構成にあっては、高いＱ値のマイクロ波発振器が実現できる反面、ガンダイオードへの電源供給のためのポストの取り付け構造が複雑であると共に、ピル型パッケージの組立コストが高く、さらには、組立の自動化が容易ではないため、コスト低減が困難であるという問題があった。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、比較的簡易な構成で、低コストで、かつ、周波数安定性の良好なマイクロ波発振回路を提供することにある。
本発明の他の目的は、比較的簡易な構成で、高いＱ値を有するマイクロ波発振器を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記本発明の目的を達成するため、本発明に係るマイクロ波発振器は、
導電性部材を用いて、一方の端が開口とされ、当該開口に対向する他方の端が短絡端とされてなる空胴を有し、
前記空胴内部においては、当該空胴内を伝搬可能とするマイクロ波の磁界面に平行する前記空胴の二つの壁面の一方に突設されてなる平面回路取付部に、発振回路が形成されてなる平面回路基板が載置され、前記平面回路取付部と前記平面回路基板は、前記空胴の長手軸方向における長さが同一とされてなり、前記平面回路基板の前記平面回路取付部と接合される面には、アース面が形成され、
前記平面回路基板には前記発振回路の出力段に接続された中心導体が、前記空胴の長手軸方向に配設され、当該中心導体は、二つの端部を有し、当該二つの端部は、前記空胴の長手軸方向における前記平面回路取付部の端部に対応する前記平面回路基板のそれぞれの端部に位置せしめられ、
前記中心導体の二つの端部からは、開放スタブが、前記開口側と前記短絡端側へそれぞれ前記平面回路取付部から突出するよう延設されてなると共に、前記平面回路基板のそれぞれの端部も前記二つの開放スタブの支持のため、前記それぞれの開放スタブの長さ分だけ、前記平面回路取付部から突出するように形成された部位を有し、
前記発振回路は、前記開口側に位置する開放スタブを介して、前記開口側に位置する開放スタブと前記開口との間の空間と電磁的に結合可能とされると共に、前記短絡端側に位置する開放スタブを介して、前記短絡端側に位置する開放スタブと前記短絡端との間の空間と電磁的に結合可能とされてなるものである。
【０００６】
かかる構成においては、平面回路基板の中心導体の一方の端部から延設された一方の開放スタブと空胴の短絡端との間が空胴共振器となり開放スタブを介して空胴共振器と発振回路とが電磁的に結合され、発振回路の発振周波数が空胴共振器によって決定される一方、その発振信号は、他方の開放スタブを介して開口へと伝搬されて開口から出力されるようになっているもので、従来と異なり、比較的簡易な構成で、しかも、組立性の容易な平面回路基板を用いて構成されるため、低コストで高いＱ値を有するマイクロ波発振器が提供されることとなるものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図１乃至図４を参照しつつ説明する。
なお、以下に説明する部材、配置等は本発明を限定するものではなく、本発明の趣旨の範囲内で種々改変することができるものである。なお、図１乃至図４においては、図を見易くするため導波管部分の厚みを省略したものとしている。
最初に、本発明の実施の形態における第１の構成例について、図１及び図２を参照しつつ説明する。
この第１の構成例におけるマイクロ波発振器Ｓ１は、方形導波管を用いてなる空胴１を有し、その内部に、マイクロ波発振回路が形成された平面回路基板２が収納されて、後述するように空胴１の開口３から基本周波数のマイクロ波出力が得られるようになっているものである。
まず、空胴１は、方形導波管からなり、その一方の端部に開口３が形成され、他方の端部は、短絡されて短絡端４となっているものである（図２参照）。なお、本発明の実施の形態においては、後述するように開口３側へはＴＥ10モードでマイクロ波が伝搬するようになっており、図１においては、開口３部分に電界（Ｅ）方向を実線矢印で、磁界（Ｈ）方向を点線矢印で、それぞれ示してある。
【０００８】
この空胴１の内部においては、磁界面に平行する二つの壁面５ａ，５ｂの内、一方の壁面５ｂの適宜な位置には、平面回路取付部６が、この壁面５ｂに垂直に突設されている。この平面回路取付部６は、空胴１の長手軸方向における長さが、次述する平面回路基板２の中心導体１１の端部１１ａ，１１ｂが位置する部位までの長さと同一に設定されたものとなっている（図１及び図２参照）。また、空胴１の長辺方向における平面回路基板２及び平面回路取付部６の長さはほぼ同一で、かつ、空胴１の長辺の内寸とほぼ同一とするのが好適である。
そして、この平面回路取付部６には、平面回路基板２が載置され、固着されたものとなっている。なお、平面回路取付部６は、空胴１と一体成形されたものでも、別体に形成されて空胴１内に固着されたものであってもいずれでも良いものである。
本発明の実施の形態においては、これら平面回路取付部６及び平面回路基板２は、空胴１の長手軸方向において、これら平面回路取付部６及び平面回路基板２と開口３との間、及びこれら平面回路取付部６及び平面回路基板２と空胴１の短絡端４との間には、それぞれ適宜な空間７ａ，７ｂが生ずるように配設されたものとなっている（図２参照）。そして、空胴１の寸法は、空間７ａにおいては、ＴＥ10モードでマイクロ波が伝搬し、他方の空間７ｂはＴＥ10１モードで共振するように設定されたものとなっており、空胴１の空間７ｂを含む部位は、方形空胴共振器２０となっている。
【０００９】
平面回路基板２は、絶縁基板を用いてなり、その表面には、表面実装型のガンダイオード８及びバラクタダイオード９が実装されており、これらの半導体素子を中心として公知・周知の構成を有してなる電圧制御型ガン発振回路（マイクロ波発振回路）１０が形成されている。この電圧制御型ガン発振回路１０は、後述するように方形空胴共振器によって、その出力周波数がほぼ決定されるものとなっている。
また、平面回路基板２には、先の電圧制御型ガン発振回路１０の出力段に接続されて、空胴１の長手軸方向において、平面回路基板２のそれぞれの端部（１１ａ，１１ｂ）まで形成されたマイクロストリップ線を用いてなる中心導体１１が配設されている。この平面回路基板２の裏面、すなわち、先の平面回路取付部６と接合される面は、導体性部材を用いてなるアース面（図示せず）が形成されたものとなっている。そして、空胴１の長手軸方向におけるこの平面回路基板２の本来の長さ、すなわち、後述する開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３を除いた状態における長さは、先の平面回路取付部６のそれと同一となっている。
【００１０】
中心導体１１は、二つの端部１１ａ，１１ｂを有し、この二つの端部１１ａ，１１ｂは、空胴１の長手軸方向における平面回路取付部６の端部に対応する平面回路基板２のそれぞれの端部に位置するものとなっている（図２参照）。そして、この中心導体１１のそれぞれの端部１１ａ，１１ｂは、さらに、空胴１の長手軸方向において、一方は、開口３側へ、他方は、空胴１の短絡端４側へそれぞれ延設されて開口側開放スタブ１２、短絡側開放スタブ１３が形成されており、この開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３の形成に伴い、平面回路基板２のそれぞれの端部も開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３の長さ分だけ、平面回路取付部６から突出するように形成されたものとなっている（図２参照）。換言すれば、開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３は、空胴１内に生ずる高周波電界と直交する方向で、かつ、マイクロ波の進行方向に平行して形成されたものとなっている。
なお、この開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３の支持のために突出形成された平面回路基板２の部位１４ａ，１４ｂは、平面回路取付部６に接合する部位と異なり、その裏面側は導電性部材によるアース面は形成されていないものとなっている。
【００１１】
さらに、平面回路基板２には、先の中心導体１１に直交する方向においてマイクロストリップ線を用いてなる電源供給線路１５，１６が設けられている。
すなわち、この電源供給線路１５，１６は、いずれも基本的構成は同一のもので、以下、一方の電源供給線路１５の構成の説明を以て、他方の電源供給線路１６の構成の説明に代えることとする。なお、一方の電源供給線路１５の構成要素の後には、括弧書きで他方の電源供給線路１６の構成要素を示すこととする。
まず、この電源供給線路１５，１６は、電圧制御型ガン発振回路１０の出力信号が、この電源供給線路１５，１６を介して外部へ漏洩されることを防止するために、いわゆるチョーク構造に形成されたものとなっている。
すなわち、電源供給線路１５，１６は、中心導体１１と直角をなすように接続された第１の線路１５ａ（１６ａ）と、この第１の線路１５ａ（１６ａ）に接続された第２の線路１５ｂ（１６ｂ）と、さらに、この第２の線路１５ｂ（１６ｂ）に接続された第３の線路１５ｃ（１６ｃ）とから構成されたものとなっており、中心導体１１から空胴１の一方の側壁１７ａへ向かって配設されたものとなっている。
【００１２】
これら第１乃至第３の線路１５ａ〜１５ｃ（１６ａ〜１６ｃ）は、中心導体１１における伝搬波長を仮にλsとすれば、中心導体１１と直交する方向における平面回路基板２上での長さが、いずれもほぼλs／４の長さに設定されたものとなっている。しかも、空胴１の長手軸方向における第１及び第３の線路１５ａ，１５ｃ（１６ａ，１６ｃ）の幅（換言すれば、電源電流の流れる方向に直交する方向の幅）は、例えば、空胴１の長手軸方向に平行する方向における中心導体１１の幅に比して充分に小さなものに設定されているのに対して、第２の線路１５ｂ（１６ｂ）の同方向の幅は、中心導体１１の上述の幅よりも大に設定されたものとなっている。このように、第１乃至第３の線路１５ａ〜１５ｃ（１６ａ〜１６ｃ）のλs／４の長さに設定された方向と直交する方向の幅を変えることでそれぞれの線路インピーダンスを変化させ、電源供給線路１５（１６）全体としてマイクロ波に対してその伝搬を抑圧するチョーク構造が形成されたものとなっている。
【００１３】
本発明の実施の形態においては、第３の線路１５ｃ（１６ｃ）の一部が、側壁１７ａに穿設されたスリット１８ａ（１８ｂ）から外部へ突出されるようになっており、第３の線路１５ｃ（１６ｃ）が配設された平面回路基板２の対応する部位も同様にスリット１８ａ（１８ｂ）から突出されるように設けられたものとなっている（図１参照）。なお、スリット１８ａ，１８ｂの大きさ、すなわち、スリット１８ａ，１８ｂをその正面から見た場合の横及び縦のそれぞれの長さは、この部分から外部へのマイクロ波の漏洩を防止する観点から、空胴１内部におけるマイクロ波の自由空間波長をλとすると、λ／２以下に設定することが好ましい。
そして、第３の線路１５ｃ（１６ｃ）の端部には、導電性部材を用いて矩形状に形成されてなる電源印加用バッド１９ａ（１９ｂ）が、平面回路基板２上に配設されたものとなっている。この電源印加用パッド１９ａ，１９ｂには、先の電圧制御型ガン発振回路１０の動作に必要な電源電圧が印加され、電源供給線路１５，１６を介して電圧制御型ガン発振回路１０へ電源電圧が供給されるようになっている。
なお、上述のような電源供給線路１５，１６及び電源印加用パッド１９ａ，１９ｂは、中心導体１１等を形成すると同様に薄膜作成技術、厚膜作成技術等によって形成するのが好適である。
【００１４】
次に、上記構成における第１の構成例のマイクロ波発振器Ｓ１の動作について説明する。
まず、電圧制御型ガン発振回路１０を構成するガンダイオード８は、開口側開放スタブ１２を介して空間７ａと、また、短絡側開放スタブ１３を介して方形空胴共振器２０と電磁的に結合できるようになっており、そのため、電圧制御型ガン発振回路１０の発振周波数は、方形空胴共振器２０の共振周波数付近に設定されるものとなっている。なお、電圧制御型ガン発振回路１０は、バラクタダイオード９に印加する電圧を変化することで、発振周波数をある程度変えることができるものとなっている。
開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３のそれぞれの空間７ａ，７ｂとの結合の程度は、これらスタブの位置、長さ等を適宜設定することで任意の大きさとすることが可能であり、この結合度の大きさの設定によってこのマイクロ波発振器Ｓ１のＱ値を所望の値に選定することが可能である。
【００１５】
上述のようにして電圧制御型ガン発振回路１０において発振されたマイクロ波は、中心導体１１を伝搬して開口側開放スタブ１２へ至り、開口側開放スタブ１２により開口３側の空間７ａでの伝搬モードへ変換されて、ＴＥ10モードで開口３側へ伝搬してゆく結果、開口３からマイクロ波出力を得ることができることとなる。
そして、電源供給線路１５，１６から外部へのマイクロ波の漏れは、電源供給線路１５，１６がチョーク構造に形成されたものとなっているため、電源供給線路１５，１６を伝搬してゆくマイクロ波は、スリット１８ａ，１８ｂまでの間に充分減衰され、スリット１８ａ，１８ｂから外部へ漏洩することが殆どないものとなっている。
【００１６】
なお、平面回路取付部６は、平面回路基板２が接合されることで、動作時にガンダイオード８で発生する熱を逃がすヒートシンクとして機能するものとなっている。このため、特に、空胴１と別体に平面回路取付部６を設ける場合には、熱伝導性の良好な部材で形成すると好適である。
従来、導波管内に平面回路基板を取り付ける方法としては、例えば、図６に示されたように、半導体素子５７が実装された基板５６が、導波管５８の内部において、その端面を導波管面に接合するフィンライン構造が殆どであった。しかし、このようなフィンライン構造では、基板５６が導波管面と接合される面積が小さいために、放熱効率が充分とは言い難かった。
これに対して、本発明の実施の形態における平面回路基板２は、その平面部分が平面回路取付部６に接合されているため、平面回路取付部６に対する放熱面積が充分に確保されたものとなっている。そのため、従来に比して放熱効率が格段に向上し、半導体素子の温度上昇に伴う特性劣化が小さいものとなっている。
なお、上述の第１の構成例においては、開口側開放スタブ１２及び短絡側開放スタブ１３を設けるために、中心導体１１の端部１１ａ，１１ｂが位置する平面回路基板２のそれぞれの端部を全体的に突出するようにしたが、開口側開放スタブ１２、短絡側開放スタブ１３が設けられる部分だけを突出するようにしても良いものである。
【００１７】
次に、第２の構成例について、図３を参照しつつ説明する。なお、図１に示された構成例と同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略し、以下、異なる点を中心に説明することとする。
この第２の構成例におけるマイクロ波発振器Ｓ２は、電源供給線路１５，１６の近傍に複数のＶＩＡホール３１を設けた点が、先の図１に示された構成のマイクロ波発振器Ｓ１と異なるものである。
すなわち、複数のＶＩＡホール３１は、平面回路基板２の裏面に形成されたアース面（図示せず）に電気的に導通したものとなっている公知・周知のもので、しかも、その相互の間隔は、平面回路基板２におけるマイクロ波の伝搬波長をλgとすれば、λg／２以下に設定されたものとなっている。このような電源供給線路１５，１６の周囲に複数設けられたＶＩＡホール３１と、電源供給線路１５，１６のチョーク構造とで、電源供給線路１５，１６を介して空胴１の外部へマイクロ波が漏洩するのが抑圧されるようになっていると共に、図１に示された構成のマイクロ波発振器Ｓ１の場合と異なり、電源印加端子引出口３２の開口部分の縦、横の寸法を、図１のスリット１８ａ，１８ｂの場合のようにλg／２以下とするような必要がないものとなっている。すなわち、電源印加端子引出口３２からは、この電源印加端子引出口３２側の平面回路基板２の端部全体が突出するような構成となっている。
なお、他の構成部分及び動作については、図１に示されたマイクロ波発振器Ｓ１と同一であるので、ここでの詳細な説明は省略することとする。
【００１８】
次に、第３の構成例について図４を参照しつつ説明する。なお、図１に示された構成例と同一の構成要素については、同一の符号を付してその詳細な説明を省略し、以下、異なる点を中心に説明することとする。
この第３の構成例におけるマイクロ波発振器Ｓ３は、空胴１Ａが大きさの異なる第１の空胴部４１と第２の空胴部４２から構成されて、高次モードの出力を可能としたものである。
すなわち、第１の空胴部４１は、このマイクロ波発振器Ｓ３の出力周波数が伝搬可能な導波管からなるもので、本発明の実施例においては、図１の構成例と同様にＴＥ10モードでの伝搬可能な方形導波管を用いたものとなっている。一方、第２の空胴部４２は、第１の空胴部４１の開口３側とは反対側に連接されてなり、第１の空胴部４１の開口３からの出力周波数を仮にｆoとすれば、ｆo／ｎの周波数で共振するよう形成されてなり、方形空胴共振器２０Ａとなっている。ここで、ｎは、２以上の整数である。なお、第１の空胴部４１が連接される側と反対側の第２の空胴部４２の端部は、短絡されているのは勿論のことである。
【００１９】
ここで、第１及び第２の空胴部４１，４２のより具体的な例を挙げれば、例えば、このマイクロ波発振器Ｓ３の出力周波数を７６ＧＨｚとすれば、第１の空胴部４１の開口３の寸法は、７６ＧＨz帯が伝送可能な導波管の規格であるＷＲ１２と同一のものとなり、３.１mm×１.５５mmとなる。これに対して、第２の空胴部４２は、開口３に平行する断面の大きさは、５mm×２mmとなり、３８ＧＨzに共振することとなる。
なお、図４においては、電圧制御型ガン発振回路１０へ対する電源供給部分は図示を省略してあるが、この部分は、図１に示されたような電源供給線路１５，１６とするか、図３に示されたように周囲にＶＩＡホール３１が穿設された電源供給線路１５，１６とするかいずれでも良いものである。
【００２０】
かかる構成においては、第２の空胴部４２の共振周波数付近で電圧制御型ガン発振回路１０が発振し、ｆo／ｎの発振周波数が得られることとなる。例えば、上述の例で言えば、３８ＧＨzの発振が得られることとなる。なお、このとき、ガン発振回路は、その高調波である７９ＧＨzも発生させている。
そして、このｆo／ｎの発振信号は、開口側開放スタブ１２を介して第１の空胴部４１の伝搬モードに変換されるが、第１の空胴部４１は、ｆoを通過可能とし、ｆo／ｎに対してはフィルタとして作用して通過阻止するため、結局、開口３からはｆoが出力されることとなり、ｆo／ｎ＝３８ＧＨzの場合には、第２の空胴部４２の共振周波数の２倍の７６ＧＨzの出力が得られることとなる。これは、いわゆるガン発振回路の高調波発振である。
【００２１】
なお、上述したいずれの構成例においても、マイクロ波発振回路として電圧制御型ガン発振回路１０を用いるものとしたが、勿論これに限定される必要はなく、バラクタダイオード９を用いずに、固定周波数で発振するよう構成された他の発振回路であっても良いものである。
【００２２】
【発明の効果】
以上、述べたように、本発明によれば、平面回路基板を方形空胴共振器内に配設してマイクロ波発振器が実現できるような構成としたことにより、従来と異なり、比較的簡易な構成で組み立てが容易となり、そのため、低コストで高いＱ値を有するマイクロ波発振器を提供することができるという効果を奏するものである。
また、開口側の空胴部分に対して、短絡側の空胴部分を開口からの出力周波数のほぼ１／ｎに共振するような大きさとすることにより、高次モード動作のマイクロ波発振器を容易に得ることができるという効果を奏するものである。
さらに、平面回路基板の発振回路を構成する半導体素子への電源供給を、その平面回路基板に配設した電源供給線路によって行うようにし、しかも、その電源供給線路をチョーク構造とすることで、空胴共振器内に設けられたピル型パッケージのガンダイオードに金属製ポストを介して電源供給するよう構成された従来のマイクロ波発振器と異なり、複雑な形状の従来の立体的なチョーク構造を形成することなく、電源供給部分からのマイクロ波の外部への漏洩を確実に抑圧し、しかも、低コスト化を図ることができるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の第１の構成例におけるマイクロ波発振器の構成例を示す一部断面を含む全体斜視図である。
【図２】図１に示されたマイクロ発振器の縦断面図である。
【図３】本発明の実施の形態の第２の構成例におけるマイクロ波発振器の構成例を示す一部断面を含む全体斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態の第３の構成例におけるマイクロ波発振器の構成例を示す一部断面を含む全体斜視図である。
【図５】従来のマイクロ波発振器の一構成例を示す縦断面図である。
【図６】従来のマイクロ波発振器におけるフィンライン構造を示す一部断面を含む全体斜視図である。
【符号の説明】
１…空胴
２…平面回路基板
３…開口
６…平面回路取付部
７ａ，７ｂ…空間
１１…中心導体
１２…開口側開放スタブ
１３…短絡側開放スタブ
１５，１６…電源供給線路
３１…ＶＩＡホール
４１…第１の空胴部
４２…第２の空胴部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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