(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に固定された固定部に形成された固定側電極と、
前記固定部に対して変位可能に配設された振動子に形成された可動側電極と、
前記振動子の前記固定部に対する変位量を規制し、前記固定側電極と前記可動側電極とが接触することを防止するストッパと、
を備え、前記固定側電極に対する可動側電極の変位に応じて物理量を検出する物理量検出装置において、
前記固定部、前記振動子および前記ストッパを、所定間隔でホールが形成されて格子状になった梁で構成し、
前記振動子における前記ストッパと衝突する部分近傍には、前記格子状の梁のうちの前記振動子の変位方向に沿って延びる梁が形成されてなく前記所定間隔で形成されたホールよりも大きいホールが形成されることによって、
前記ストッパが前記振動子の変位量を規制する際の前記ストッパと前記振動子の衝突の衝撃力を緩衝する衝撃緩衝手段が設けられていることを特徴とする物理量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板上に浮かせて設けた振動子の変位により角速度、加速度、圧力等の物理量を検出する物理量検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、自動車等の車両で使用される物理量検出装置には、可動側電極と、固定側電極が接触することを防止するストッパを備えたものがあり、このような物理量検出装置として、例えば、特開平１１−１７３８５１号公報に開示された角速度検出装置がある。この角速度検出装置は、図１０に示すように、基板４０の上面に、固定部４１と、固定部４１に対して変位可能な振動子４２とが設けられて構成されている。そして、固定部４１には、固定側駆動電極４１ａと、固定側検出電極４１ｂとが形成され、振動子４２には、固定側駆動電極４１ａに対応する可動側駆動電極４２ａと、固定側検出電極４１ｂに対応する可動側検出電極４２ｂとが形成されている。
【０００３】
この構成において、図示Ｘ方向の一対の固定側駆動電極４１ａ，４１ａに交流電圧を印加することにより、固定側駆動電極４１ａと可動側駆動電極４２ａとの間に静電引力を発生させて、振動子４２を図示のＸ方向に振動させることができる。その際に、Ｚ軸回りの角速度が基板４０に作用すると、振動子４２は、コリオリ力によってＹ方向に振動する。この振動子４２が振動する際の固定側検出電極４１ｂに対する可動側検出電極４２ｂの変位量による静電容量の変化から角速度を検出するというものである。
【０００４】
また、この角速度検出装置５０には、振動子４２の近傍にストッパ４３が設けられて、可動側検出電極４２ｂが固定側検出電極４１ｂに接触してショートすることを防止している。このストッパ４３と、ストッパ４３に衝突する振動子４２の部分を拡大した状態を図１１に示している。この振動子４２とストッパ４３は、シリコン材料をエッチング処理することにより形成され、所定間隔でエッチングホール４２ａ，４３ａが形成されてそれぞれ格子状になっている。また、ストッパ４３の先端部（振動子４２側）には、平面視三角状の突起４３ｂが２個並設されている。
【０００５】
また、他の例として、図１２（ａ）およびそのＤ−Ｄ‘断面図である図１２（ｂ）に示すような、振動子４５とストッパ４６を備えた角速度検出装置もある。この振動子４５とストッパ４６には、図１１と同様にエッチングホールは形成されているが、図１２では図の簡略化のため、エッチングホールは省略している。ストッパ４６の先端部の突起は、平面視半円状の１個の突起４６ａで構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の角速度検出装置のうちの前者では、振動子４２とストッパ４３が衝突する際の衝撃によって接触点に応力が集中し、ストッパ４３の突起４３ｂまたは、振動子４２におけるストッパ４３との当接部分が破損され易いという問題がある。また、後者では、図１２（ｂ）、（ｃ）のように、振動子４５がストッパ４６に衝突する際、接触点の応力は緩和するが、振動子４５の先端（ストッパ４６側）下部側の角部４５ａが、ストッパ４６における突起４６ａの先端（振動子４５側）上部側の角部４６ｂに衝突し、角部４５ａまたは角部４６ｂが破損するという問題がある。
【０００７】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、振動子がストッパに衝突する際の衝撃を緩和することにより、ストッパや振動子の破損を防止することのできる物理量検出装置を提供することにある。
【０００８】
上記の目的を達成するため、本発明に係る物理量検出装置の特徴は、基板に固定された固定部に形成された固定側電極と、固定部に対して変位可能に配設された振動子に形成された可動側電極と、振動子の固定部に対する変位量を規制し、固定側電極と可動側電極とが接触することを防止するストッパとを備え、固定側電極に対する可動側電極の変位に応じて物理量を検出する物理量検出装置において、固定部、振動子およびストッパを、所定間隔でホールが形成されて格子状になった梁で構成し、振動子におけるストッパと衝突する部分近傍には、格子状の梁のうちの振動子の変位方向に沿って延びる梁が形成されてなく所定間隔で形成されたホールよりも大きいホールが形成されることによって、ストッパが振動子の変位量を規制する際のストッパと振動子の衝突の衝撃力を緩衝する衝撃緩衝手段が設けられていることにある。
【０００９】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、衝撃緩衝手段によって、振動子とストッパの衝撃が緩和され、ストッパや振動子の当接部分の破損が防止される。これによって、物理量検出装置の寿命が長くなる。
【００１０】
また、ホールを大きくすることにより、そのホールの周囲の梁が長くなる。これによって、その部分が柔らかくなって弾性が増し、振動子とストッパの衝撃を緩和するようになる。この結果、ストッパや振動子の破損が少なくなる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の物理量検出装置の一実施形態である角速度検出装置の要部を図面を用いて説明する。図１は、同実施形態に係る角速度検出装置の振動子１０とストッパ１１を示している。この角速度検出装置は、サーフェイスマイクロマシニング技術を用いて製造されており、振動子１０にはエッチングホール１０ａが、ストッパ１１にはエッチングホール１１ａがそれぞれ所定間隔で設けられて、全体が格子状に構成されている。なお、サーフェイスマイクロマシニング技術で、角速度検出装置等の構造体を製造する際には、構造体に多くのエッチングホールを形成して、構造体の下部に形成された酸化膜をフッ化水素酸等を用いてエッチングすることが行われている。
【００１４】
また、ストッパ１１における振動子１０に対向する部分には、平面視三角形の突起１１ｂが三角形の頂部を振動子１０に向けて２個並設されている。そして、振動子１０における突起１１ｂに対向する部分には、格子状を形成する一部の梁が形成されてなくその部分に大きなエッチングホール１０ｂが形成されている。すなわち、このエッチングホール１０ｂは、振動子１０におけるストッパ１１側の最前列の梁１０ｃの後部側に、エッチングホール１０ａを６個（図示における横方向２列縦方向３列）連続させた状態で設けられ、その大きさは、エッチングホール１０ａが６個分と、エッチングホール１０ａの周囲を形成する梁が７個分とを合わせた大きさに設定されている。
【００１５】
したがって、梁１０ｃが後部側を支持する梁を失って弾性を増すようになり、振動子１０が、ストッパ１１の突起１１ｂに衝突する際の衝撃が緩和されるようになる。本実施形態による角速度検出装置のそれ以外の部分の構成については、図１０に示した従来例の角速度検出装置５０と同様である。以上のように構成したため、振動子１０が振動によってストッパ１１に繰り返し衝突しても、その衝撃が緩和されて、ストッパ１１や振動子１０が破損されにくくなる。これによって、角速度検出装置の寿命が長くなる。
【００１６】
図２は、本発明の他の実施形態による角速度検出装置の要部を示している。この角速度検出装置では、振動子１２及びストッパ１３に、図１に示したエッチングホール１０ａ，１１ａと同様のエッチングホール１２ａ，１３ａがそれぞれ形成されている。そして、振動子１２におけるストッパ１３側の梁１２ｂに平面視三角形の突起１２ｃが三角形の頂部をストッパ１３に向けて２個並設され、梁１２ｂの後部側には、梁１２ｂおよび突起１２ｃを強固に支持するための梁が形成されてなく、その部分に大きなエッチングホール１２ｄが形成されている。
【００１７】
エッチングホール１２ｄは、振動子１２のストッパ１３に対する進退方向に沿う方向の長さがエッチングホール１２ａの１個分の長さと等しくなっており、前記方向に直交する方向の長さがエッチングホール１２ａが４個分の長さと梁の幅が３個分の長さを合わせた長さに設定されている。そして、ストッパ１３における振動子１２に対向する部分には、突起が設けられてなく、ストッパ１３の先端部は平面状になっている。このため、振動子１２が振動してストッパ１３側に移動すると、まず、突起１２ｃがストッパ１３の先端部に衝突して、振動子１２のストッパ１３側への移動が規制される。
【００１８】
この際、突起１２ｃおよび梁１２ｂを支持する梁が、梁１２ｂの後方にないため、梁１２ｂが弾性を増すようになり、この弾性作用によって、振動子１２の突起１２ｃとストッパ１３の衝突の際の衝撃力が緩和される。これによって、突起１２ｃおよびストッパ１３が破損することを防止され、角速度検出装置の寿命が長くなる。
【００１９】
図３（ａ），（ｂ）は、本発明のさらに他の実施形態による角速度検出装置の要部を示している。この角速度検出装置では、ストッパ１５における振動子１４側に突設された突起が、振動子１４の移動を最終的に停止させる平面視半円状の小突起１５ａと、小突起１５ａの外周面と所定間隔を保って小突起１５ａを囲むようにして設けられた半円リング状の半環状弾性片１５ｂとで構成されている。
【００２０】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ‘断面を示しており、この図３（ｂ）に示すように、ストッパ１５の本体部分１５ｃおよび小突起１５ａは、Ｓｉ製の基板１６の上面に形成されたＳｉＯ2膜１７に固定されて、基板１６に対して固定されており、振動子１４および半環状弾性片１５ｂは、下面側のＳｉＯ2膜がエッチングによって除去されて、基板１６から離間した状態になっている。また、半環状弾性片１５ｂのばね定数は、小突起１５ａのばね定数よりも小さくなるように設定されている。したがって、振動子１４が振動して、ストッパ１５側に移動すると、振動子１４は、まず、ストッパ１５の半環状弾性片１５ｂに当接し、半環状弾性片１５ｂのばね作用によって、その勢いを低減した状態で、半環状弾性片１５ｂを撓ませて小突起１５ａに当接させる。そして、小突起１５ａによって、振動子１４のストッパ１５側への移動は停止する。
【００２１】
このように、振動子１４の移動の勢いは、半環状弾性片１５ｂと小突起１５ａによって、段階的に抑えられるため、衝撃力を徐々に低減することができる。また、半環状弾性片１５ｂを半円リング状に形成して、振動子１４との衝突の際の応力を半環状弾性片１５ｂ全体に分散できるようにしているとともに、半環状弾性片１５ｂのばね定数を小突起１５ａのばね定数よりも小さく設定して、半環状弾性片１５ｂの破損を防止できるようにしている。また、振動子１４および小突起１５ａへの衝撃力も低減されるため、これらの破損も防止できる。
【００２２】
なお、半環状弾性片１５ｂは、ストッパ１５でなく、振動子１４に設けることもできる。その場合、小突起１５ａと半環状弾性片１５ｂの位置をずらしておいて、半環状弾性片１５ｂがストッパ１５の本体部分１５ｃに衝突したのちに、振動子１４と小突起１５ａが当接するようにすることが好ましい。これによっても、半環状弾性片１５ｂをストッパ１５に設けた場合と同様の効果を奏することができる。また、小突起１５ａおよび半環状弾性片１５ｂの双方を振動子１４に設けることもでき、その場合は、半環状弾性片１５ｂの内部側に小突起１５ａを配設することが好ましい。
【００２３】
図４は、本発明の他の実施形態による角速度検出装置の要部を示している。この角速度検出装置では、ストッパ１８における振動子１９側の面に、平面視半円状の小突起１８ａが突設され、小突起１８ａから所定距離離れたストッパ１８の先端面から、小突起１８ａと振動子１９の間に先端部が位置するようにして、棒状弾性片１８ｂが斜め方向に突設されている。また、図４（ａ）のＢ−Ｂ‘断面を図４（ｂ）に示すように、ストッパ１８の本体部分１８ｄおよび小突起１８ａは、ＳｉＯ2膜１７ａを介して基板１６ａに固定され、棒状弾性片１８ｂおよび振動子１９は、図３の半環状弾性片１５ｂおよび振動子１４と同様、下面側のＳｉＯ2膜が除去されて、基板１６ａと離間した状態になっている。また、棒状弾性片１８ｂの先端部１８ｃは、小突起１８ａと同様の半円状に形成されている。
【００２４】
したがって、振動子１９が振動してストッパ１８側に移動すると、まず、振動子１９は、棒状弾性片１８ｂの先端部１８ｃに当接し、振動子１９の押圧力によって棒状弾性片１８ｂがストッパ１８の小突起１８ａ側に撓むとともに振動子１９の勢いは弱められる。そして、振動子１９と棒状弾性片１８ｂの先端部１８ｃは、さらに小突起１８ａ側に進み、先端部１８ｃと小突起１８ａが当接して振動子１９のストッパ１８側への移動は停止する。この場合も、棒状弾性片１８ｂのばね定数は、小突起１８ａのばね定数よりも小さく設定されて、棒状弾性片１８ｂが破損しにくくなるようにしている。なお、この角速度検出装置においても、小突起１８ａおよび棒状弾性片１８ｂを適宜選択して振動子１９側に配設することができる。
【００２５】
図５は、本発明のさらに他の実施形態による角速度検出装置の要部を示している。この角速度検出装置では、ストッパ２０における振動子２１に対向する面に２段の段差が設けられており、その振動子２１に対して突出した面に平面視半円状の小突起２０ａが設けられ、振動子２１に対して後退した面には、Ｌ形棒状弾性片２０ｂが振動子２１に向かって突設されている。Ｌ形棒状弾性片２０ｂは、ストッパ２０の本体部分２０ｃと連結された幅広の横片２０ｄと、横片２０ｄに対して直交してつながり、振動子２１の前面２１ａと平行する縦片２０ｅと、縦片２０ｅの先端に形成された平面視丸形の先端部２０ｆとで構成されている。
【００２６】
また、Ｌ形棒状弾性片２０ｂに押圧力が付加されてない状態では、先端部２０ｆが、振動子２１に最も近い位置に位置し、つぎに、小突起２０ａが振動子２１に近い位置に位置するように設定されている。図５（ａ）のＣ−Ｃ‘断面を図５（ｂ）に示すように、Ｌ形棒状弾性片２０ｂおよび振動子２１は、下面側のＳｉＯ2膜が除去されて、基板１６ｂと離間した状態になっている。また、ストッパ２０の本体部分２０ｃおよび小突起２０ａは、ＳｉＯ2膜１７ｂを介して、基板１６ｂに固定されている。なお、この場合も、Ｌ形棒状弾性片２０ｂのばね定数は、小突起２０ａのばね定数よりも小さく設定されている。
【００２７】
したがって、振動子２１がストッパ２０に向かって移動すると、まず、振動子２１の前面２１ａは、Ｌ形棒状弾性片２０ｂの先端部２０ｆに衝突する。この先端部２０ｆとの衝突で、振動子２１はその勢いを弱められ、Ｌ形棒状弾性片２０ｂの縦片２０ｅは、ストッパ２０の本体部分２０ｃ側に撓む。そして、さらに、振動子２１が先端部２０ｆとともにストッパ２０の本体部分２０ｃ側に進むと、振動子２１の前面２１ａは、小突起２０ａに当接して完全にストッパ２０側への移動が停止する。このように、このストッパ２０を用いた場合も、振動子２１の移動は段階的に弱められて停止するため、ストッパ２０のＬ形棒状弾性片２０ｂおよび小突起２０ａの破損が防止される。また、振動子２１の破損も防止される。なお、この角速度検出装置においても、小突起２０ａおよびＬ形棒状弾性片２０ｂを適宜選択して振動子２１側に配設することができる。
【００２８】
図６は、本発明の他の実施形態による角速度検出装置の要部を示している。この角速度検出装置では、ストッパ２２および振動子２３のいずれにも衝撃緩衝用の突起や弾性片は設けられてなく、ストッパ２２における振動子２３に対向する面２２ａと、上面２２ｂとの角部が取り除かれて、その部分に、縦断面形状の縁部が下向きの円弧状になる傾斜部２２ｃが形成されている。そして、振動子２３におけるストッパ２２に対向する面２３ａと、上面２３ｂとの角部が取り除かれて、その部分に、縦断面形状の縁部が下向きの円弧状になる傾斜部２３ｃが形成されている。
【００２９】
また、ストッパ２２は、ＳｉＯ2膜１７ｃを介して、基板１６ｃに固定され、振動子２３は基板１６ｃから離間した状態になっている。このため、振動子２３がストッパ２２側に移動して、ストッパ２２に衝突しても、図６（ｂ）に示すように、振動子２３の前端部（面２３ａ側）は、ストッパ２２の傾斜部２２ｃに当接して、傾斜部２２ｃの傾斜に沿って上方に移動するようになる。この結果、振動子２３は、移動の方向を水平方向から上方に変え、勢いを弱められた状態で、徐々に停止するようになり、振動子２３とストッパ２２が衝突した際の衝撃力が緩衝される。これによって、ストッパ２２および振動子２３の破損が防止される。
【００３０】
また、ストッパ２２および振動子２３を備えた角速度検出装置は、図７に示すような工程によって製造される。まず、図７（ａ）に示すように、単結晶シリコンからなる基板１６ｃの上面にＳｉＯ2膜２４を形成し、その上面に単結晶シリコン基板２５を形成する。ついで、図７（ｂ）に示すように、単結晶シリコン基板２５の上面に、所定形状のＰ−ＳｉＯマスク２６を形成する。
【００３１】
つぎに、図７（ｃ）に示すように、等方性エッチングにより、Ｐ−ＳｉＯマスク２６に形成された切欠部２６ａを介して、単結晶シリコン基板２５における切欠部２６ａに対応する部分の上部側部分を除去し、凹部２５ａを形成する。そして、図７（ｄ）に示すように、異方性エッチングにより、単結晶シリコン基板２５に形成された凹部２５ａの底部側を除去し、凹部２５ａの底部を、ＳｉＯ2膜２４に貫通させる。これによって、ストッパ２２と振動子２３が形成される。
【００３２】
さらに、犠牲層エッチングにより、振動子２３の下側に対応するＳｉＯ2膜２４および凹部２５ａの底部に露呈したＳｉＯ2膜２４を除去するとともに、Ｐ−ＳｉＯマスク２６を除去することにより、ストッパ２２および振動子２３が表面に現われ、振動子２３は基板１６ｃから離間する。また、ストッパ２２は、残ったＳｉＯ2膜１７ｃによって基板１６ｃに固定された状態を維持する。これによって、ストッパ２２および振動子２３を備えた角速度検出装置が得られる。
【００３３】
図８は、本発明のさらに他の実施形態による角速度検出装置の要部を示しており、この要部であるストッパ２８と振動子２９は、図６に示したストッパ２２と振動子２３を変形したものである。この角速度検出装置では、ストッパ２８に形成される傾斜部２８ａが、ストッパ２８の前面２８ｂと下面２８ｃの角部を除去して形成されており、その傾斜部２８ａの傾斜は、縦断面形状の縁部が上向き円弧状になるように形成されている。また、振動子２９に形成される傾斜部２９ａは、振動子２９の前面２９ｂと下面２９ｃの角部を除去して形成されており、その傾斜部２９ａの傾斜は、縦断面形状の縁部が上向き円弧状になるように形成されている。
【００３４】
また、ストッパ２８は、ＳｉＯ2膜１７ｄを介して、基板１６ｄに固定され、振動子２９は基板１６ｄから離間した状態になっている。したがって、振動子２９がストッパ２８側に移動して、ストッパ２８に衝突すると、図８（ｂ）に示すように、振動子２９の先端部（前面２９ｂ側）は、ストッパ２８の先端部（前面２８ｂ側）と衝突したのち、ストッパ２８の前面２８ｂを乗り越えるように移動する。
【００３５】
すなわち、振動子２９の先端部は、傾斜部２９ａをストッパ２８の先端部に被わせるようにして、上昇して勢いを弱めてストッパ２８側への移動を停止する。
このように、振動子２９は、ストッパ２８の先端部に傾斜部２９ａを沿わせることによって、移動方向を変えながら徐々に停止するため、ストッパ２８と振動子２９が衝突する際の衝撃が緩和される。これによって、ストッパ２８と振動子２９の破損が防止される。
【００３６】
また、ストッパ２８および振動子２９を備えた角速度検出装置は、図９に示すような工程によって製造される。まず、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、単結晶シリコンからなる基板１６ｄの上面にＳｉＯ2膜３０を形成し、その上面に単結晶シリコン基板３１を形成する。ついで、単結晶シリコン基板３１の上面に、所定形状のＰ−ＳｉＯマスク３２を形成する。
【００３７】
つぎに、図９（ｃ）に示すように、異方性エッチングにより、Ｐ−ＳｉＯマスク３２に形成された切欠部３２ａを介して、単結晶シリコン基板３１における切欠部３２ａに対応する部分を異方性エッチングによりＳｉＯ2膜３０まで貫通させる。
【００３８】
つぎに、図９（ｄ）に示すように、さらに異方性エッチングを継続すると、ＳｉＯ2膜３０は、エッチングガスのイオンにより帯電する。その結果、エッチングガスは、ＳｉＯ2膜３０で反射され、貫通部の下部がエッチングされ、傾斜部２８ａ，２９ａを形成する。
【００３９】
さらに、犠牲層エッチングにより、Ｐ−ＳｉＯマスク３２を除去するとともに、振動子２９から傾斜部２８ａにかかる部分の下側に対応するＳｉＯ2膜３０を除去することにより、ストッパ２８および振動子２９が表面に現われ、振動子２９は基板１６ｄから離間する。また、ストッパ２８は、残ったＳｉＯ2膜１７ｄによって基板１６ｄに固定された状態を維持する。これによって、ストッパ２８および振動子２９を備えた角速度検出装置が得られる。
【００４０】
なお、前記各種実施形態においては、本発明を角速度検出装置に適用した例について説明したが、本発明は振動子１０等の変位に基づいて同振動子１０等に作用する加速度に伴う力、圧力などの物理量を検出する加速度検出素子、圧力検出素子および同検出装置にも適用できるものである。そして、本製造技術により製造されるアクチュエータ（例えば、マイクロモータ、マイクロクリッパ）にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による角速度検出装置の要部を示す平面図である。
【図２】  本発明の他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す平面図である。
【図３】  （ａ）は他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す平面図であり、（ｂ）はそのＡ−Ａ‘断面図である。
【図４】  （ａ）は他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す平面図であり、（ｂ）はそのＢ−Ｂ‘断面図である。
【図５】  （ａ）は他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す平面図であり、（ｂ）はそのＣ−Ｃ‘断面図である。
【図６】  （ａ）は他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す断面図であり、（ｂ）はその振動子がストッパに乗り上がった状態を示す断面図である。
【図７】  （ａ）ないし（ｅ）は図６に示した角速度検出装置の製造方法を説明する断面図である。
【図８】  （ａ）は他の実施形態による角速度検出装置の要部を示す断面図であり、（ｂ）はその振動子がストッパに乗り上がった状態を示す断面図である。
【図９】  （ａ）ないし（ｅ）は図８に示した角速度検出装置の製造方法を説明する断面図である。
【図１０】  従来例による角速度検出装置の平面図である。
【図１１】  図１０に示した角速度検出装置の要部を示す平面図である。
【図１２】  （ａ）は他の従来例による角速度検出装置の要部を示す平面図であり、（ｂ）はそのＤ−Ｄ‘断面図で、（ｃ）はその振動子がストッパに衝突した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０，１２，１４，１９，２１，２３，２９…振動子、１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１２ａ，１２ｄ，１３ａ…エッチングホール、１０ｃ，１２ｂ…梁、１５ａ，１８ａ，２０ａ…小突起、１５ｂ…半環状弾性片、１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ…基板、１８ｂ…棒状弾性片、２２ｃ，２３ｃ，２８ａ，２９ａ…傾斜部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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