(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電画像形成過程において用いるためのプリントヘッドであって、 複数の発生器電極を含む第１の電極層と、
複数の放電電極を含む第２の電極層と、
前記第１の電極層の前記発生器電極と、前記第２の電極層の前記放電電極との間に配置される絶縁層とを備え、
前記複数の放電電極のそれぞれは、その中を貫通して延在する少なくとも１つの放電開口部を含み、
前記少なくとも１つの放電開口部はアンダーカット領域を有し、前記アンダーカット領域は、前記絶縁層の向かい合った表面から前記放電開口部のパッシェン最小値で定まる間隙で離隔されると共に前記表面に対して実質的に平行に配置される放電表面を画定し、
前記放電電極の前記放電表面及び前記絶縁層の前記向かい合った表面は、前記絶縁層の前記向かい合った表面に対して実質的に垂直である電界線を生成するように配置されることを特徴とするプリントヘッド。
【請求項２】
絶縁性スペーサ層によって前記第２の電極層から離隔されているスクリーン電極をさらに備え、前記スクリーン電極は、その中を貫通して延在する開口部を有し、前記スクリーン電極の前記開口部は、前記複数の放電電極の前記放電開口部のうちの対応する放電開口部と位置合わせされることを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項３】
前記放電電極の前記放電表面は、前記パッシェン最小値で定まる約４ミクロンの距離だけ、前記絶縁層の前記向かい合った表面から離隔されていることを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項４】
前記アンダーカット領域は、前記複数の放電電極のそれぞれの前記少なくとも１つの放電開口部の全周囲にわたって延在することを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項５】
前記複数の放電電極のそれぞれの前記少なくとも１つの放電開口部は実質的に円形であることを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項６】
前記複数の放電電極のそれぞれの前記少なくとも１つの放電開口部は、約１５０ミクロン未満の直径を有することを特徴とする請求項５に記載のプリントヘッド。
【請求項７】
前記複数の放電電極のそれぞれの前記少なくとも１つの放電開口部は、前記絶縁層の厚み未満の直径を有することを特徴とする請求項５に記載のプリントヘッド。
【請求項８】
前記アンダーカット領域は、前記放電開口部の周囲にわたって延在する鋭いエッジを画定することを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項９】
前記放電電極と前記絶縁層との間に配置されるスペーサ層をさらに備え、前記スペーサ層は、前記放電開口部よりも大きなスペーサ開口部を有し、前記スペーサ開口部及び前記放電開口部は同軸に位置合わせされ、前記スペーサ開口部は、前記放電開口部とともに前記アンダーカット領域を画定することを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【請求項１０】
前記プリントヘッドは複数の周囲圧のうちの１つにおいて動作するように構成され、前記複数の周囲圧のそれぞれは、前記放電表面と前記絶縁層の前記向かい合った表面との間の前記パッシェン最小値で定まる対応する距離を有し、前記放電表面は、前記複数の周囲圧のうちの１つに対応する前記パッシェン最小値で定まる距離だけ、前記絶縁層の前記向かい合った表面から離隔されていることを特徴とする請求項１に記載のプリントヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は包括的には画像転写技術に関し、より詳細には、画像形成表面上に静電潜像を形成するための装置、及びその装置を利用する画像転写デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
本明細書において用いられるときに、用語「画像転写デバイス」は、静電画像形成過程（たとえば、イオン堆積印刷、電荷堆積印刷、イオノグラフィ、電子ビーム画像形成、及びデジタルリソグラフィとも呼ばれる）において画像を作成及び／又は転写するために用いられる全てのタイプのデバイスを包括的に指している。そのような画像転写デバイスは、たとえば、レーザプリンタ、複写機、ファクシミリ等を含むことがある。
【０００３】
静電画像形成を用いる画像転写デバイスでは、画像形成表面上に荷電粒子のビームを向けることによって、誘電体画像形成表面上に静電潜像が形成される。こうして形成された静電潜像は、静電トナー又は顔料を用いて現像され、可視画像が生成される。画像形成表面及びトナーの相対的な静電荷に応じて、トナーが画像形成表面上の静電潜像に選択的に引き寄せられる。画像形成表面は、正又は負のいずれかに帯電している場合があり、トナーシステムも同様に、負又は正の荷電粒子を含む場合がある。紙のシート又は他の媒体が画像形成表面（それは、たとえば、回転式ドラム又はベルトの形をとることがある）の近くに通されて、それによってトナーが画像形成表面から紙に転写され、ハード画像が形成される。トナーの転写は、シートがトナーの電荷とは反対の電荷を有するときのような、静電転写とすることができるか、若しくは加熱された転写ローラが用いられるときのような、熱転写とすることができるか、又は、静電転写及び熱転写の組み合わせとすることができる。画像形成システムの実施形態によっては、最初に、トナーが、画像形成表面から中間転写媒体に転写され、その後、中間転写媒体から紙のシートに転写されてもよい。
【０００４】
静電画像形成を用いる画像転写デバイス内の荷電粒子ビームの発生源は、電荷堆積プリントヘッド、又は単に「プリントヘッド」と呼ばれる。本発明は、通常絶縁層によって分離される２つ以上の層内に配列される、選択的に制御される電極が、電荷発生器のマトリックスアレイを画定するように配置されており、その電荷発生器からの電荷キャリアが、走査方向に沿ってプリントヘッドを通過する画像形成表面に向けられるタイプの電荷堆積プリントヘッドに関する。そのような電荷堆積プリントヘッドによって、画像形成表面がプリントヘッドを通過するのに応じて、電荷発生器のマトリックスが、画像形成表面上に、任意の長さの画像を高い解像度で形成することができるようになる。
【０００５】
そのような電荷堆積プリントヘッドでは、絶縁層の第１の側にある発生器電極が、数千ボルトまでの振幅を有するＲＦ信号で起動され、一方、絶縁層の反対側にある放電電極（フィンガ電極と呼ばれることもある）には、それよりも低いバイアス又は制御電圧が印加され、発生器と放電電極とが交差する場所に、又はその近くに配置される局所化された電荷源領域が作り出される。具体的には、放電電極は開口部を含み、その開口部において、放電電極と絶縁体との間の空隙の電気絶縁破壊によって電荷キャリアが生成される。電荷キャリアは開口部から流出し、画像形成表面に向かって加速し、画像形成表面に電荷が堆積する。プリントヘッドは、正又は負のいずれかの電荷を堆積するように構成することができ、負の電荷は部分的に又は全体として、イオン又は電子のいずれかから成ることがある。プリントヘッドは、画像形成表面がプリントヘッドを通過するのに応じて、各開口部によって堆積される電荷が画像形成表面上にピクセル又はドット状の電荷潜像を形成するように構成される。こうして、プリントヘッド電極がラスター走査する度に、細い画像ストリップが満たされ、画像ストリップ全体によって１つの画像ページが形成される。
【０００６】
従来技術のプリントヘッド内の電荷粒子発生の開始を観測すると、電荷粒子発生を開始するために必要とされる電圧が開口部部位間で変化することがわかる。この結果として、開口部部位間で不均一な電荷粒子が出力され、それに応じて、画像形成表面上に静電潜像を形成するピクセルも不均一になる。さらに、約１００ミクロンよりも小さな直径では、放電電圧が上昇し、不均一の影響が深刻になる。これらの理由及び他の理由から、従来技術の電荷堆積プリントヘッドは、直径が約１５０ミクロンの放電電極開口部を使用しており、それによって、高い解像度又は明るい色調で印刷する能力が制限される。
【発明の概要】
【０００７】
本明細書において説明する発明は、静電画像形成過程において用いるためのプリントヘッドを提供する。１つの実施の形態では、プリントヘッドは、複数の発生器電極を含む第１の電極層と、複数の放電電極を含む第２の電極層と、第１の電極層の発生器電極と第２の電極層の放電電極との間に配置される絶縁層とを備える。複数の放電電極のそれぞれは、その中を貫通して延在する少なくとも１つの放電開口部を含む。各放電開口部はアンダーカット領域を有し、当該アンダーカット領域は、絶縁層の向かい合った表面から離隔されると共に、当該表面に対して実質的に平行である放電表面を画定する。
【０００８】
本発明の実施形態が図面との関連で説明され、図面では、類似の参照符号は類似の構成要素を表す。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】一実施形態による画像転写デバイスの機能ブロック図である。
【図２】一実施形態による画像転写デバイスの概略図である。
【図３】一実施形態による例示的な電荷堆積プリントヘッドの概略図である。
【図４】従来技術のプリントヘッドの電荷生成部位の概略的な断面図である。
【図５Ａ】本発明によるプリントヘッドの電界生成部位の実施形態の概略的な断面図である。
【図５Ｂ】本発明によるプリントヘッドの電界生成部位の実施形態の概略的な断面図である。
【図５Ｃ】本発明によるプリントヘッドの電界生成部位の実施形態の概略的な断面図である。
【図６】別の実施形態によるプリントヘッドの電界生成部位の概略的な断面図である。
【図７】放電開口部形状がプリントヘッド性能に及ぼす影響を示す出力電流のグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
好ましい実施形態の以下の詳細な説明では、本発明の一部を構成し、本発明が実施され得る具体的な実施形態が例示される添付の図面が参照される。本発明の範囲から逸脱することなく、他の実施形態を利用することができること、及び構造的又は論理的変更を加えることができることは理解されたい。それゆえ、以下の詳細な説明は制限する意味に解釈されるべきではなく、本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって定められる。
【００１１】
図１及び図２を参照すると、一実施形態による、静電画像形成動作を実施するように構成される画像転写デバイス１０の例示的な構成に関する細部が示される。図示される画像転写デバイス１０は、画像形成部材２０と、電荷堆積プリントヘッド３０、１３０と、現像ステーション５０と、画像転写装置６０と、クリーニング装置７０とを備える。プリントヘッド３０、１３０の動作は、印刷制御システム８０によって制御される。それよりも多くの構成要素、少ない構成要素、又は代替的な構成要素を含む他の構成も可能である。
【００１２】
画像形成部材２０は、外側画像形成表面２２を含み、たとえば、軸２８を中心にして回転するドラム２４として具現化することができ、外側表面２２の部分がプリントヘッド３０、１３０、現像ステーション５０、画像転写装置６０及びクリーニング装置７０に隣接して通過する。他の実施形態では、画像形成部材２０の他の構成（たとえば、ベルト又はシート）が可能である。
【００１３】
プリントヘッド３０、１３０は、画像形成部材２０の画像形成表面２２上に静電潜像を与えるように構成される。静電潜像は、図３〜図６を参照しながら後にさらに説明されるように、画像形成表面２２上の荷電粒子の堆積に差があることに起因する。一実施態様では、プリントヘッド３０、１３０は、種々の色、たとえば、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）及びブラック（Ｋ）にそれぞれ対応する静電潜像を画像形成表面２２上に形成する。
【００１４】
現像ステーション５０は、液体構成における液体インク、又は乾式構成における乾式トナーのようなマーキング剤を与えるように構成される。マーキング剤は帯電し、静電潜像に対応する画像形成表面２２の場所に引き寄せられ、それによって、潜像を現像して、画像形成表面２２上に可視トナー画像を形成することができる。一実施形態では、現像ステーション５０は、プリントヘッド３０、１３０によって形成される種々のカラー画像に対応する種々の色のマーキング剤を与える複数の現像ローラ５２を備えることができる。
【００１５】
画像転写装置６０は、画像形成表面２２上に形成された現像済みの画像のマーキング剤を媒体６６に転写するように構成される。一実施形態では、画像転写装置６０は、画像形成表面２２と接触している中間転写ドラム６２と、転写ドラム６２とのロール間隙を画定する定着又は圧ドラム６４とを備える。転写ドラム６２が画像形成表面２２と接触するとき、現像済みの画像のマーキング剤が、表面２２から転写ドラム６２に転写される。紙のシート６８のような媒体６６が、転写ドラム６２と圧ドラム６４との間のニップ内に給送され、画像を画定するマーキング剤が転写ドラム６２から媒体６６に転写される。熱、圧力又はそれらの組み合わせを加えることによって、圧ドラム６４がトナー画像を媒体６６に融着させる。
【００１６】
クリーニング装置７０は、プリントヘッド３０、１３０によって画像形成表面２２を再び帯電させる前に、画像形成部材２０の画像形成表面２２から転写ドラム６２に転写されなかったあらゆるマーキング剤を除去するように構成される。
【００１７】
図３を参照すると、１つの例示的な電荷堆積プリントヘッド３０の一部が示される。プリントヘッド３０は、第１の層内にある複数の発生器電極３２と、第２の層内にある複数の放電電極３４とを備え、発生器電極３２は誘電体絶縁層３６によって、放電電極３４から分離される。１つの例示的な絶縁層３６は、約２５ミクロンの厚みを有する、マイカ、ガラス又はシリコーンフィルムを含む。５の典型的な誘電率の場合、それに相当する絶縁層３６の電気的厚みは約５ミクロンである。オプションのスクリーン電極３８が、スペーサ層４０によって放電電極３４から分離される。放電電極３４は、その中を貫通する放電開口部４２を有し、その開口部はスクリーン電極３８内の開口部４４と実質的に位置合わせされる。放電開口部４２は典型的には円形である。発生器電極３２は放電電極３４と交差し、その交差する場所に放電開口部４２が配置される。発生器電極３２、放電電極３４及び放電開口部４２が交差する各場所は、プリントヘッド３０のための電荷生成部位を形成する。隣接する発生器電極３２間の空間、及び隣接する放電電極３４間の空間は、適当な誘電体材料４６、たとえば、スピン・オン・ガラス（ＳＯＧ）によって満たすことができる。
【００１８】
図４を参照すると、従来技術のプリントヘッド３０の単一の電荷生成部位の断面が示される。放電開口部４２の壁４８は典型的には、放電開口部４２の壁４８と絶縁層３６の表面４９との間に形成される外角が９０度〜１２０度の範囲を有するようにテーパをつけられるが、外角はこの範囲には制限されない。放電開口部壁４８のテーパは、単純な円錐形のテーパであることには限定されず、絶縁層３６からの距離と共に側壁角が変化する、フレア形状又は曲線形状を含む他の形状を有することもできる。
【００１９】
交差する一対の発生器電極３２及び放電電極３４に高い電圧が印加される場合には、関連付けられる放電開口部４２内の空気の電気絶縁破壊が生じる。その電気絶縁破壊によって、帯電したイオン及び電子で満ちている気体プラズマが形成される。画像形成のために用いられる粒子の極性は、接地された画像形成部材２０に対するスクリーン電極３８の電位の極性によって決定され、一方、プリントヘッド３０からの電荷放出のオン／オフの切替は、スクリーン電極３８と放電電極３４との間の電位差によって調整される。
【００２０】
電荷キャリアを生成するための空隙の電気絶縁破壊は、放電電極３４と絶縁体３６との間の空隙フリンジ電界によって開始される。２つの表面間、すなわち、図４に示されるような、放電開口部４２のエッジ４７又は周囲と、絶縁層３６の表面４９との間で破壊が生じる。図４の実施形態では、スペーサ層５１が、エッジ４７と表面４９とを分離する。放電過程の開始事象は、放電電極３４又は絶縁層３６のいずれかからの電子の電界放出を伴う。はるかに低い電界強度であっても、アバランシェ電荷増倍を通じて、放電が継続する。高周波数電界では、マイクロ秒単位の寿命を有するように見える多数のイオンが存在するために、一度の開始事象しか必要とされない。
【００２１】
大気圧における空気中では、空隙破壊のためのパッシェン最小電圧は、約５ミクロンの間隔において約３７５ボルトである（７５ボルト／ミクロン）。間隔が小さくなるほど、帯電した種と空気分子との間の衝突確率が低いことに起因して、破壊電圧が急激に上昇する。間隔が大きくなると、破壊電圧は、たとえば、４０ミクロンにおいて５００ボルト（１２ボルト／ミクロン）、及び２４０ミクロンにおいて１４００ボルト（６ボルト／ミクロン）まで上昇する。
【００２２】
典型的なプリントヘッド３０（先に言及されたように、電気的厚みが約５ミクロンである絶縁層３６を有する）における放電のための開始電界は、パッシェン最小値付近の間隔の場合の７５ボルト／ミクロンに実質的に等しくなることを当業者であれば予想するであろう。しかしながら、従来技術のプリントヘッド３０の場合に観測される放電しきい値は通常、５４０〜６４０ボルトの範囲内にあり、放電の視覚的な開始を観測することによって、放電しきい値電圧が放電開口部４２間で変化することがわかる。観測される放電しきい値電圧は、約１００ボルトの範囲にわたって変化する。放電しきい値電圧が変化する結果として、放電開口部４２間で不均一な荷電粒子が出力される。
【００２３】
ここで、図５Ａ〜図５Ｃを参照すると、本発明の実施形態による、電荷堆積プリントヘッド１３０の単一の電荷生成部位内の放電開口部１４２の断面が示される。明確にするために、スクリーン電極３８及びスペーサ層４０は示されない。放電開口部１４２は実質的に円形であり、円錐形のテーパ（たとえば、図５Ａ及び図５Ｃに示される）を有するか、又は側壁角が絶縁層３６からの距離と共に変化するフレア形状又は曲線形状（たとえば、図５Ｂに示される）を含む他の形状を有することができる。放電開口部は、約１５０ミクロン未満の直径を有する。電荷堆積プリントヘッド１３０の放電開口部１４２は、従来技術のプリントヘッドの欠陥部分（すなわち、小さいドットを印刷できないこと、及び均一性に欠けること）に対処する。具体的には、プリントヘッド１３０は、発生器電極３２と放電電極３４とのそれぞれの間の外部（空中）電界線が、絶縁層３６の表面４９に対して垂直であるか、又は実質的に垂直である領域１４４を設けるように構成される放電開口部１４２の形状を利用する。詳細には、アンダーカット領域１４４が、絶縁層３６の表面４９に対して平行、又は実質的に平行であり、且つその表面４９から離隔して配置される放電電極３４の放電表面１４６を画定する。領域１４４におけるこのアンダーカット形状は、最も高い外部電界強度を与える。アンダーカット領域は、放電開口部の全周囲にわたって延在し、また、放電開口部の周囲にわたって延在する鋭いエッジ（４７）を画定する。
【００２４】
放電電極３４のアンダーカット表面１４６と絶縁層３６の向かい合った表面４９との間の好ましい間隔距離又は間隙ｈは、大気圧において４ミクロンのパッシェン最小値である。プリントヘッド１３０が、大気圧以外の周囲圧において動作する場合には、異なる好ましい距離ｈが存在する。たとえば、高い周囲圧において動作すると、パッシェン最小値は、小さな好ましい間隙に動かされる。こうして、プリントヘッド１３０が動作するように意図される各周囲圧は、アンダーカット放電表面１４６と絶縁層３６の向かい合った表面４９との間の対応する好ましい距離ｈを有する。アンダーカット放電表面１４６と絶縁層３６の表面４９との間の距離ｈは、プリントヘッド１３０が動作することになる、意図される周囲圧に基づいて選択される。
【００２５】
動作圧のために最適な距離よりも短い間隔距離ｈでは、電界放出が生じることはあるが、間隔がアバランシェ連続放電を開始するには不十分である。間隔距離が長くなるほど、高い開始電圧が必要とされる。４ミクロンの間隔距離では、２２ミクロン程度の小さな放電開口部１４２直径、すなわち、絶縁層３６の厚みよりも小さな直径を用いて、５００ボルト程度の低い開始電圧が観測されている。さらに観測によって、全ての放電開口部１４２が約４０ボルトの範囲内で放電を開始することが示される。
【００２６】
一実施形態では、アンダーカット領域１４４の長さｌは、アンダーカット領域１４４の間隔距離ｈに実質的に等しいか、それよりも長い。したがって、アンダーカット領域１４４が４ミクロンの間隔距離ｈを利用する場合には、アンダーカット表面１４６は、絶縁層３６の表面４９に対して実質的に平行に、少なくとも約４ミクロンだけ延在する。さらに長いアンダーカット表面１４６を利用することはできるが、これによって、励起電力が無駄になることがあり、さらに、過熱によってプリントヘッドの寿命が短くなることがある。
【００２７】
図５Ａ〜図５Ｃに示されるような放電開口部１４２のアンダーカット形状は、任意の適当な方法によって与えることができる。たとえば、図５Ａ及び図５Ｂの放電電極１４２のアンダーカットは、プリント回路技術分野において知られている材料及び技法を用いる逐次的な化学エッチングによって果たすことができる。図５Ｃに示されるような別の実施形態では、放電電極３４と絶縁層３６との間にスペーサ層１５０が設けられる。スペーサ層１５０は、放電開口部１４２よりも大きく、且つ同軸に位置合わせされる開口部１５２を含み、放電電極３４と絶縁層３６との間にアンダーカット領域１４４が形成されるようにする。スペーサ層１５０は、たとえば、絶縁体又は金属箔から形成されることがある。一実施形態では、スペーサ層１５０は、エッチングされたフォトレジスト薄膜を含む。プリントヘッド１３０が大気圧において動作する場合、スペーサ層１５０は４ミクロン厚である。
【００２８】
別の実施形態では、図５Ａ及び図５Ｂに示されるような放電開口部１４２のアンダーカット形状は、電鋳される放電電極３４が利用されるときに、段付マンドレルを用いることによって達成される。たとえば、本発明と同じ譲受人に譲渡され、参照によりその全体が本明細書に援用される「Thin Film Mandrel」と題する米国特許第４，７３３，９７１号において記述されるような電鋳工程が、適当な段付マンドレルを選択することによって、領域１４４内のアンダーカット間隔距離ｈを制御する。電鋳によって、好都合には、領域１４４内のアンダーカットの間隔距離ｈが制御されること、及び開口部１４２の全周囲にわたって鋭いエッジ又は角４７が作り出されることに起因して、絶縁破壊を繰り返すことができる形状を有する（直径約１３μｍまでの）小さな放電開口部１４２を製造することができるようになる。開口部１４２の全周囲にわたって鋭いエッジ又は角４７が存在することによって、パッシェン曲線最小電圧に達すると、放電事象が開始される確率が高くなる。
【００２９】
図６は、電鋳された電極を用いて形成されたプリントヘッド１３０を示す。放電電極３４は、アンダーカット領域１４４を有し、間隔距離又は間隙ｈを、プリントヘッド１３０の意図される動作圧の場合にパッシェン最小値になるように指定することができる。荷電粒子ビームをさらに集束するためにスクリーン電極３８が用いられ、スクリーン電極３８は、それぞれ発生器電極３２及び放電電極３４とは異なる電圧にバイアスをかけられる。電鋳工程は、絶縁層３６の表面４９の上方のアンダーカット表面１４６の間隔距離ｈを制御するときの自由度をもたらし、さらに、放電電極３４を貫通して延在する開口部１４２の周囲にわたって鋭い角４７を与え、それによって、意図される動作環境の場合に開口部１４２の形状を最適にすることができる（たとえば、大気圧よりも高い圧力で動作する場合、アンダーカット間隙ｈは小さくなる）。大気圧よりも高い圧力で動作することによって、スクリーン電極３８と画像形成表面２２との間の破壊電圧が高められ、それによって、電荷ビームを細く集束することができるようになるという利点が与えられる。
【００３０】
図７は、放電開口部形状がプリントヘッド性能に大きな影響を及ぼすことを示す。詳細には、図７は、２つの異なる放電電極構成の場合の単層（放電電極だけがあり、スクリーン電極はない）プリントヘッドの場合に測定された出力電流を示す。曲線２００は、図５Ｂに示されるようなアンダーカット放電電極３４を有する構成を示しており、鋭い角及びアンダーカット段差が絶縁層３６に面している。曲線２０２は、電極を上下逆にすることによって図５Ｂの放電電極３４の向きが入れ替えられており、それによって、鋭い角及びアンダーカット段差が絶縁層３６と反対に面している構成を示す。この例では、曲線２００によって示される出力電流は、曲線２０２によって示される出力電流よりも約４倍大きい。
【００３１】
好ましい実施形態を説明するために、本明細書において具体的な実施形態が図示及び説明されてきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、多種多様な代替及び／又は同等の実施態様を、図示及び説明された具体的な実施形態の代わりに用いられることができることは当業者には理解されよう。たとえば、明確にするために、具体的な寸法、電圧、材料及び工程パラメータを有する例示的な実施態様が、本明細書において例示及び説明される。しかしながら、本発明は、本明細書において説明されるのとは異なる寸法、電圧、材料及び工程パラメータを有する実施態様にも当てはまり、有用であるものと理解される。機械、電気機械及び電気技術分野の当業者は、本発明が多種多様な実施形態において実施され得ることを容易に理解されよう。本出願は、本明細書において検討される好ましい実施形態の任意の改変又は変形を包含するように意図される。それゆえ、本発明が特許請求の範囲及びその均等物によってのみ制限されることが明らかに意図されている。
【図１】
0004824113.tif 000002
【図２】
0004824113.tif 000003
【図３】
0004824113.tif 000004
【図４】
0004824113.tif 000005
【図５Ａ】
0004824113.tif 000006
【図５Ｂ】
0004824113.tif 000007
【図５Ｃ】
0004824113.tif 000008
【図６】
0004824113.tif 000009
【図７】
0004824113.tif 000010