(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品収納部を備える物品収納棚と、
前記物品収納棚の前方の搬送車移動空間における床部を走行する走行台車とその走行台車に昇降自在に支持した物品移載装置とを備える物品搬送車と、
浄化空気を前記物品収納部の背部側から前記搬送車移動空間に向けて前記物品収納部を通過するように流動させ且つ前記搬送車移動空間内を下方に流動させたのち排気部より排気するように流動させる浄化空気通風手段と、
前記物品収納棚における前記物品収納部とは空気流動不能な状態に区画され且つ前記搬送車移動空間とは空気流動可能な状態に連通する形態で、前記物品収納部の下方に前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘って形成される空気流動空間と、
前記物品搬送車の走行方向視にて、前記走行台車における車両横幅方向の端部側部分の上部の高さと同じ高さ又はそれよりも上方に位置し且つ前記空気流動空間の上端側における前記搬送車移動空間側の端部から前記搬送車移動空間内に突出する状態で、前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘る状態に形成された空気案内体とが設けられた物品収納設備であって、
前記物品収納棚が、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で、且つ、前記搬送車移動空間を形成するために間隔を隔てる状態で、前記搬送車移動空間の車輌横幅方向両方側の前記床部上に対を成すように設けられており、
前記空気案内体が、一対の前記物品収納棚の夫々に対応して、棚前後幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられており、
前記空気案内体が、前記物品搬送車の走行方向視にて、前記走行台車における棚前後幅方向の端部側部分の上部に重複する状態に設けられており、
前記走行台車が一対の走行輪を備え、
前記走行台車の車両走行方向の両端部において空気の出入可能に開口し且つその両端の開口部の間を空気の流動可能に連通する空気流通路が、
前記走行台車の底部に、下向きに開口する凹溝状に、
前記空気案内体より低い位置で、前記物品搬送車の走行方向視にて前記一対の走行輪の間の車両横幅方向中央側に形成されている物品収納設備。
【請求項２】
前記空気流通路内に、上下方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板が設けられている請求項１記載の物品収納設備。
【請求項３】
前記走行台車における車両走行方向の両端側部分の夫々が、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に、且つ、上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成されている請求項１又は２記載の物品収納設備。
【請求項４】
前記搬送車移動空間を外部と仕切る仕切り壁が、前記搬送車移動空間の棚横幅方向端部に設けられ、
前記空気案内体における棚横幅方向の端部側部分が、その他の部分よりも前記搬送車移動空間内に向けて大きく突出する状態に形成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の物品収納設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品収納部を備える物品収納棚と、前記物品収納棚の前方の搬送車移動空間における床部を走行する走行台車とその走行台車に昇降自在に支持した物品移載装置とを備える物品搬送車と、浄化空気を前記物品収納部の背部側から前記搬送車移動空間に向けて前記物品収納部を通過するように流動させ且つ前記搬送車移動空間内を下方に流動させたのち排気部より排気するように流動させる浄化空気通風手段と、前記物品収納棚における前記物品収納部とは空気流動不能な状態に区画され且つ前記搬送車移動空間とは空気流動可能な状態に連通する形態で、前記物品収納部の下方に前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘って形成される空気流動空間と、前記物品搬送車の走行方向視にて、前記走行台車における車両横幅方向の端部側部分の上部の高さと同じ高さ又はそれよりも上方に位置し且つ前記空気流動空間の上端側における前記搬送車移動空間側の端部から前記搬送車移動空間内に突出する状態で、前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘る状態に形成された空気案内体とが設けられた物品収納設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品収納設備は、物品搬送車を物品収納棚の棚横幅方向に沿って走行させ且つ物品移載装置を上下方向に昇降させて、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等を積層状態で収納する容器を物品として物品収納部とガラス基板に対して処理を施す物品処理装置との間で搬送するものである。
そして、浄化空気通風手段を設けて、浄化空気を物品収納部の背部側から搬送車移動空間に向けて物品収納部を通過するように流動させ且つ搬送車移動空間内を下方に流動させたのち排気部より排気するように流動させることにより、搬送車移動空間にて物品搬送車が走行することにより床部側から巻き上がった塵埃が搬送車移動空間から物品収納部側に逆流し難いようにして、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持するように構成されている。
また、空気流動空間を設けることにより、物品搬送車が走行する際に走行台車の走行方向前方側で圧縮状態となった浄化空気が走行台車の横側方側の空気流動空間に流動し易くして、浄化空気が走行台車の上方側を流動することに起因する走行台車の前方側で塵埃が巻き上がることを抑制し、且つ、空気案内体を設けることにより、床部側から空気案内体の上方側に浄化空気が流動し難いようにして、物品搬送車の走行により空気流動空間に流動した浄化空気の気流が乱れることに起因する走行台車の横方側や後方側で塵埃が巻き上がることを抑制して、浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力が小さくても、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持することができるように構成されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１６５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年では、ガラス基板の大型化に伴って物品収納設備も大型になり、大型の物品収納設備では物品搬送車の走行距離が伸びるため、物品の搬送効率の向上のために物品搬送車の高速走行化が望まれているが、上記従来の物品収納設備では、走行台車が走行方向視で下面及び上面が水平で左右横側面が垂直の矩形状に形成されて車輪が下面から下方に伸びるように設けられており、車両走行方向前方側で圧縮状態となる浄化空気の量が多量となるため、物品搬送車が高速走行した場合は、物品搬送車の上方や横側方を流動する浄化空気の量が多量になり、塵埃が巻き上がり易い傾向にあるので、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し難く、物品収納部を塵埃の少ない環境に維持するために浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力を大きくする必要があった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力が小さくても物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し易い物品収納設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明にかかる物品収納設備は、物品収納部を備える物品収納棚と、前記物品収納棚の前方の搬送車移動空間における床部を走行する走行台車とその走行台車に昇降自在に支持した物品移載装置とを備える物品搬送車と、浄化空気を前記物品収納部の背部側から前記搬送車移動空間に向けて前記物品収納部を通過するように流動させ且つ前記搬送車移動空間内を下方に流動させたのち排気部より排気するように流動させる浄化空気通風手段と、前記物品収納棚における前記物品収納部とは空気流動不能な状態に区画され且つ前記搬送車移動空間とは空気流動可能な状態に連通する形態で、前記物品収納部の下方に前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘って形成される空気流動空間と、前記物品搬送車の走行方向視にて、前記走行台車における車両横幅方向の端部側部分の上部の高さと同じ高さ又はそれよりも上方に位置し且つ前記空気流動空間の上端側における前記搬送車移動空間側の端部から前記搬送車移動空間内に突出する状態で、前記物品収納棚の棚横幅方向の全長又は略全長に亘る状態に形成された空気案内体とが設けられたものであって、その第１特徴構成は、
前記物品収納棚が、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で、且つ、前記搬送車移動空間を形成するために間隔を隔てる状態で、前記搬送車移動空間の車輌横幅方向両方側の前記床部上に対を成すように設けられており、前記空気案内体が、一対の前記物品収納棚の夫々に対応して、棚前後幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられており、前記空気案内体が、前記物品搬送車の走行方向視にて、前記走行台車における棚前後幅方向の端部側部分の上部に重複する状態に設けられており、前記走行台車が一対の走行輪を備え、前記走行台車の車両走行方向の両端部において空気の出入可能に開口し且つその両端の開口部の間を空気の流動可能に連通する空気流通路が、前記走行台車の底部に、下向きに開口する凹溝状に、前記空気案内体より低い位置で、前記物品搬送車の走行方向視にて前記一対の走行輪の間の車両横幅方向中央側に形成されている点にある。
【０００７】
すなわち、走行台車に空気流通路が形成されているから、走行台車の車両走行方向前方側の浄化空気の一部を空気流通路を通して走行台車の車両走行方向後方側に通流させることができるため、物品搬送車が走行する際に走行台車の車両走行方向前方側で圧縮状態となる浄化空気の量が少なく、走行台車の上方や横側方を流動する浄化空気の量を少なくすることができる。
よって、物品流動空間を設けることにより、浄化空気が走行台車の上方側を流動することに起因する走行台車の前方側で塵埃が巻き上がることを抑制し、空気案内体を設けることにより、空気流動空間に流動した浄化空気の気流が物品搬送車の走行により乱れることに起因する走行台車の横方側や後方側で塵埃が巻き上がることも抑制することに加えて、走行台車に空気流通路を形成することにより、車両走行方向前方側で圧縮状態となる浄化空気の量が少なく、走行台車の上方側を流動する浄化空気の量や空気流動空間に流動する浄化空気の量を少なくすることができるため、浄化空気が走行台車の上方側を流動することや空気流動空間に流動した浄化空気の気流が物品搬送車の走行により乱れることに起因する塵埃が巻き上がりをさらに抑制することができるので、浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力が小さくても物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し易いものとなり、もって、浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力が小さくても物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し易い物品収納設備を提供することができるに至った。
【０００９】
また、空気案内体を、物品搬送車の走行方向視にて、走行台車における車両横幅方向の端部側部分の上部に重複する状態に設けられているから、物品搬送車の走行により空気流動空間に流動した浄化空気の気流が乱れることによって走行台車の横方側や後方側で塵埃が巻き上がることをさらに抑制することができるので、浄化空気通風手段にて流動さ
れる浄化空気の風力が小さくても物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し易いものとなり、もって、浄化空気通風手段にて流動される浄化空気の風力が小さくても物品収納部を塵埃の少ない環境に維持し易い物品収納設備を提供することができるに至った。
【００１１】
さらに、空気流通路が走行台車の底部に下向きに開口する凹溝状に形成されているから、空気流通路は走行台車の底部に下向きに開口する凹溝を形成するだけでよく、また、この空気流通路は、空気流通路内を通流する浄化空気が上方側に拡散することがないものであるため、浄化空気が上方に拡散し難い空気流通路が形成された走行台車の構成の簡素化を図ることができるものであり、もって、浄化空気が上方に拡散し難い空気流通路が形成された走行台車の構成の簡素化を図ることができる物品収納設備を提供することができるに至った。
【００１２】
本発明にかかる物品収納設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記空気流通路内に、上下方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板が設けられている点にある。
【００１３】
すなわち、空気流通路内に上下方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板が設けられているから、空気流通路内を流動する浄化空気を車両横幅方向に並ぶ層流状に整流することができるため、空気流通路から排出される浄化空気によって床部側から塵埃が巻き上がることを抑制することができ、もって、空気流通路から排出される浄化空気によって床部側から塵埃が巻き上がることを抑制することができる物品収納設備を提供することができるに至った。
【００１４】
本発明にかかる物品収納設備の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記走行台車における車両走行方向の両端側部分の夫々が、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に、且つ、上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成されている点にある。
【００１５】
すなわち、物品搬送車が搬送車移動空間を走行した際に、走行台車の車両走行方向前方側で圧縮状態となっている浄化空気は、物品搬送車が減速又は停止するに伴って車両走行方向前方側に膨張し、膨張した浄化空気の一部が仕切り壁等の他物にて上方に案内され、これに伴って、床部側の塵埃が巻き上げられてしまうものであるが、走行台車における車両走行方向の両端側部分の夫々が、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に、且つ、上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成されているから、走行台車の車両走行方向前方側の浄化空気は、走行台車の下側部分では走行台車の上方を流動することが規制されながらも走行台車の上側部分では走行台車の上方に案内されるため、走行台車の車両走行方向前方側で浄化空気が圧縮状態となり難くなるため、走行台車が減速又は停止したときに床部側の塵埃が巻き上げられることを抑えることができ、もって、物品搬送車が減速又は停止するに伴って床部側の塵埃が巻き上げられることを抑えることができる物品収納設備を提供することができるに至った。
【００１６】
本発明にかかる物品収納設備の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記搬送車移動空間を外部と仕切る仕切り壁が、前記搬送車移動空間の棚横幅方向端部に設けられ、前記空気案内体における棚横幅方向の端部側部分が、その他の部分よりも前記搬送車移動空間内に向けて大きく突出する状態に形成されている点にある。
【００１７】
すなわち、上述した第３特徴構成でも述べたように、物品搬送車が搬送車移動空間を走行した際に、走行台車の車両走行方向前方側で圧縮状態となっている浄化空気は、物品搬送車が減速又は停止するに伴って車両走行方向前方側に膨張し、膨張した浄化空気の一部が仕切り壁にて上方に案内され、これに伴って、床部側の塵埃が巻き上げられてしまうものであるが、空気案内体における棚横幅部分の端部側部分が、その他の部分よりも搬送車移動空間内に向けて大きく突出する状態に形成されているから、その搬送車移動空間の棚横幅方向端部において床部側の塵埃が巻き上げられることを抑えることができ、もって、搬送車移動空間の棚横幅方向端部において床部側の塵埃が巻き上げられることを抑えることができる物品収納設備を提供することができるに至った。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。
図１ないし図３に示すように、本発明に係る物品収納設備Ｗは、清浄化された浄化空気が天井側から床側に向けて下向きに通流するダウンフロー式のクリーンルーム１内に設けて、例えば、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等を積層状態で収納する容器Ｃを塵埃の少ない環境にて保管するようになっている。ちなみに、この実施形態では、容器Ｃを物品として搬送及び保管するように構成してある。
尚、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視図であり、図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【００１９】
ダウンフロー式のクリーンルーム１について説明を加えると、図３に示すように、クリーンルーム１の側壁１８の床部近くに側壁吸引部２を形成し、クリーンルーム１の天井に天井吹出部３を形成して、側壁吸引部２を通して吸引した吸引空気を天井吹出部３から吹き出す形態で、浄化空気をクリーンルーム１に循環させるクリーンルーム用循環通風手段Ｆを設けてある。尚、クリーンルーム１の床部は無孔状のコンクリートにて構成してある。
【００２０】
クリーンルーム用循環通風手段Ｆは、側壁吸引部２に側壁用ファンフィルタユニット４を設け、天井吹出部３にＨＥＰＡフィルタ等からなるエアーフィルタ５を並設し、その天井吹出部３の上方側に空気チャンバ室６を設けて、クリーンルーム１の下部と空気チャンバ室６とを接続流路７にて連通接続してある。
又、接続流路７に、循環用送風機８をクリーンルーム１に吸引作用するように設け、更に、接続流路７における循環用送風機８の空気吐出側の部分にプレフィルタ９を設けてある。
【００２１】
そして、側壁用ファンフィルタユニット４及び循環用送風機８の通風作用により、クリーンルーム１内の空気が接続流路７に吸引され、その吸引された空気が接続流路７を流動しプレフィルタ９を通過して清浄化された後、空気チャンバ室６に流入し、更に、エアーフィルタ５を通過して清浄化された後、天井吹出部３からクリーンルーム１内に向けて下向きに吹き出されるように構成してある。
従って、クリーンルーム１内の空気が、側壁用ファンフィルタユニット４、プレフィルタ９及びエアーフィルタ５を通過しながら上述の経路を通して循環されることにより、常に浄化空気が天井吹出部３から下方に吹き出される状態でクリーンルーム１に供給されて、クリーンルーム１内が清浄度の高い状態に維持される構成となっている。
【００２２】
更に、接続流路７における循環用送風機８の吸い込み側の部分に、外気取入流路１０を接続すると共に、その外気取入流路１０に外気取入量調節用ダンパ１１を設け、前記接続流路７における前記循環用送風機８の吐出側の部分に、排気流路１２を接続すると共に、その排気流路１２に排気量調節用ダンパ１３を設けてある。
そして、外気取入量調節用ダンパ１１及び排気量調節用ダンパ１３夫々の開度を調節することにより、前記クリーンルーム用循環通風手段Ｆにて循環されるクリーンルーム１内の浄化空気のうちの所定量を新鮮な空気と交換するように構成してある。
【００２３】
次に、図１ないし図４に基づいて、物品収納設備Ｗについて説明する。
前記物品収納設備Ｗは、物品収納部１４を備える物品収納棚Ｓと、前記物品収納棚Ｓの前方の搬送車移動空間１５における床部を走行する走行台車４４とその走行台車４４に昇降自在に支持した物品移載装置４６とを備えるスタッカークレーン（物品搬送車に相当する）Ｖと、浄化空気を前記物品収納部１４の背部側から前記搬送車移動空間１５に向けて前記物品収納部１４を通過するように流動させ且つ前記搬送車移動空間１５内を下方に流動させたのち排気部３４より排気するように流動させる浄化空気通風手段Ｂと、前記物品収納棚Ｓにおける前記物品収納部１４とは空気流動不能な状態に区画され且つ前記搬送車移動空間１５とは空気流動可能な状態に連通する形態で、前記物品収納部１４の下方に前記物品収納棚Ｓの棚横幅方向の全長又は略全長に亘って形成される空気流動空間３１と、前記スタッカークレーンＶの走行方向視にて、前記走行台車４４における棚横幅方向の端部側部分の上部の高さと同じ高さ又はそれよりも上方に位置し且つ前記空気流動空間３１の上端側における前記搬送車移動空間１５側の端部から前記搬送車移動空間１５内に突出する状態で、前記物品収納棚Ｓの棚横幅方向の全長又は略全長に亘る状態に形成された空気案内体３７とを備えて構成し、その物品収納設備Ｗをクリーンルーム１内に設けてある。
【００２４】
この実施形態では、前記物品収納棚Ｓを、夫々の前方側を互いに向かい合わせた状態で且つ互いの間に前記搬送車移動空間１５を形成すべく間隔を隔てる状態で、前記搬送車移動空間１５の車両横幅方向（棚前後幅方向と同じ方向）両方側の床部上に設けており、これらの物品収納棚Ｓの夫々には、物品としての容器Ｃを収納する物品収納部１４を棚横幅方向及び棚上下方向に複数並べて備えてある。
【００２５】
そして、このように設けた一対の物品収納棚Ｓを、その側周囲が上下方向の両端部が開口する矩形筒状の周壁２５にて囲んであり、周壁２５の下端部の開口を床部にて閉塞し、周壁２５の上端部の開口を複数の収納棚用ファンフィルタユニット３３にて閉塞してある。
【００２６】
また、周壁２５にて、各物品収納棚Ｓの棚横幅方向両端部から搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔ及び格納空間１６を形成すべく間隔を隔てた状態で且つ各物品収納棚Ｓの棚前後幅方向の後端部とは流動用空間１９を形成すべく間隔を隔てた状態で、一対の物品収納棚Ｓの側周囲を囲んである。
つまり、搬送車移動空間１５を物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する形態で設け、物品収納棚Ｓの棚横幅方向外方側に物品収納棚Ｓと棚横幅方向に並ぶように格納空間１６を設けてある。また、各物品収納棚Ｓの後部に、前記クリーンルーム１の天井吹出部３から吹き出された浄化空気を物品収納部１４に案内するための流動用空間１９を設けてある。
尚、周壁２５が、搬送車移動空間１５の棚横幅方向端部に設けられて搬送車移動空間１５を外部と仕切る仕切り壁に相当する。
【００２７】
図１及び図４に示すように、搬送車移動空間１５における物品収納棚Ｓよりも棚横幅方向外方に突出する外方突出部１５ｔと格納空間１６とを空気流動不能に前隔壁体２９にて仕切ってあり、この前隔壁体２９は、前記物品収納棚Ｓの各横側部における前端縁部と前記周壁２５との間の棚横幅方向に開口する開口部分を空気流動不能な状態で閉じるように設けてある。また、前隔壁体２９は、棚横幅方向と平行な姿勢で設けてある。
そして、各物品収納棚Ｓの物品収納部１４と格納空間１６とを空気流動不能に横隔壁体１７にて仕切ってあり、この横隔壁体１７は、各物品収納棚Ｓの棚横幅方向両端部を空気流動不能な状態で閉じるように設けてある。また、横隔壁体１７は、棚前後幅方向と平行な姿勢で設けてある。
ちなみに、前隔壁体２９及び横隔壁体１７は、後述する空気案内用板状体３２よりも上方に設けてある。
【００２８】
図１に示すように、前記周壁２５における各格納空間１６に対応する部分には、その格納空間１６に出入りするための開口部を開閉する排気空間用扉２６を設け、前記周壁２５における搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔに対応する部分には、搬送車移動空間１５に出入りするための開口部を開閉する移動空間用扉２７を設けてある。
尚、図示は省略するが、前記格納空間１６には、物品保管設備の運転を制御する制御装置や分電盤等を設けてある。
【００２９】
前記空気流動空間３１は、最下段の物品収納部１４よりも下方に水平な姿勢で空気案内用板状体３２を設けることによって、この空気案内用板状体３２と床部との間に形成してある。
そして、浄化空気通風手段Ｂの排気部３４が空気流動空間３１の棚前後幅方向の搬送車移動空間１５が位置する側とは反対側の奥側、並びに、空気流動空間３１及び搬送車移動空間１５の棚横幅方向両側に位置するように、排気部３４を周壁２５における空気流動空間３１及び搬送車移動空間１５に対応する箇所に形成しており、この排気部３４には、周壁用ファンフィルタユニット３５を設けてある。
【００３０】
前記空気案内用板状体３２は、通気不能な無孔板にて構成しており、棚横幅方向の両端部並びに棚前後幅方向の搬送車移動空間１５から離れる側の端部を周壁２５に接触した状態で設け、且つ、一対の物品収納棚Ｓの夫々に対応して棚前後幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けてある。
そして、一対の空気案内用板状体３２の夫々は、搬送車移動空間１５側の端部が走行台車４４における車両横幅方向の端部側部分と上下方向に重複するように搬送車移動空間１５内に突出しており、この突出部分にて空気案内体３７を形成してある。
つまり、空気案内体３７は、前記スタッカークレーンＶの走行方向視にて、前記走行台車４４における棚前後幅方向の端部側部分の上方に重複する状態に設けてある。
【００３１】
また、空気案内体３７における棚横幅方向の端部側部分３７ａが、その他の部分よりも前記搬送車移動空間１５内に向けて大きく突出する状態に形成されている。
説明を加えると、空気案内体３７における端部側部分３７ａは、搬送車移動空間１５の棚横幅方向端部に位置する前記走行台車４４よりも棚横幅方向中央部側及びその近くに形成しており、スタッカークレーンＶと棚横幅方向に重複するように、搬送車移動空間１５内に向けて大きく突出する状態に形成してある。
ちなみに、空気案内体３７におけるその他の部分は、スタッカークレーンＶと棚横幅方向に重複しないように、搬送車移動空間１５内に向けて小さく突出する状態に形成してある。
【００３２】
図５及び図１０に示すように、前記空気流動空間３１に、上下方向に沿う姿勢で棚前後幅方向に伸びる整流用部材３６を、棚横幅方向に並べた状態で複数設けてあり、この整流用部材３６は、前記空気流動空間３１における前記搬送車移動空間１５の棚横幅方向端部に位置する前記走行台車４４よりも棚横幅方向中央部側に設けてある。
そして、前記複数の整流用部材３６のうちの棚横幅方向の端部側に位置する端部側整流用部材３６ａを、通風可能な多孔状に形成し、且つ、前記複数の整流用部材３６のうちの前記端部側整流用部材３６ａよりも棚横幅方向において中央側に位置する中央側整流用部材３６ｂを、通気不能な無孔状に形成してある。
また、前記端部側整流用部材３６ａは、前記空気流動空間３１の棚前後幅方向の長さと同じ長さに形成され、前記中央側整流用部材３６ｂが、前記端部側整流用部材３６ａよりも棚前後幅方向に短く形成され且つ前記空気流動空間３１内における棚前後幅方向の前記搬送車移動空間１５が位置する側とは反対側に偏らせた状態で設けられている。
【００３３】
説明を加えると、端部側整流用部材３６ａは、上下方向の長さが空気流動空間３１の上下方向の長さと同じ長さで且つ棚前後幅方向の長さが空気流動空間３１の棚前後幅方向の長さと同じ長さに形成した多孔状板部材にて構成しており、搬送車移動空間１５に突出しない状態に設けて棚横幅方向視において空気流動空間３１の全範囲を覆っている。
そして、端部側整流用部材３６ａは、前記搬送車移動空間１５の棚横幅方向端部に位置する前記走行台車４４よりも棚横幅方向中央部側に位置し、且つ、空気流動空間３１における棚横幅方向の一端部と他端部とに位置するように、空気流動空間３１の夫々に一対設けてある。
また、中央側整流用部材３６ｂは、上下方向の長さが空気流動空間３１の上下方向の長さと同じ長さで且つ棚前後幅方向の長さが空気流動空間３１の棚前後幅方向の長さの半分程度の長さに形成した無孔状板部材にて構成しており、空気流動空間３１の搬送車移動空間１５が位置する側とは反対側の後側に偏らせた状態に設けて棚横幅方向視において空気流動空間３１の後側半分の範囲を覆っている。
そして、中央側整流用部材３６ｂは、一対の端部側整流用部材３６ａの間に位置するように、空気流動空間３１の夫々に棚横幅方向に等間隔に並べた状態で複数設けてある。
【００３４】
図４及び図５に示すように、空気流動空間３１における整流用部材３６を設けた箇所より端部側箇所に、上下方向に沿う姿勢で棚前後幅方向に伸びる収納棚側多孔状板状体３８と、上下方向に沿う姿勢で棚横幅方向に伸びる移動空間側多孔状板状体３９とを設けてある。
説明を加えると、収納棚側多孔状板状体３８は、物品収納棚Ｓの下方に位置する空気流動空間３１の棚横幅方向中央部と格納空間１６の下方に位置する空気流動空間３１の棚横幅方向端部とを空気流動可能に仕切る状態で設けてあり、移動空間側多孔状板状体３９は、空気流動空間３１における前記棚横幅方向端部と搬送車移動空間１５の外方突出部１５ｔとを空気流動可能に仕切る状態で設けてある。
また、収納棚側多孔状板状体３８は、空気流動空間３１の後側に偏らせた状態で棚前後幅方向と平行な姿勢で設けてあり、移動空間側多孔状板状体３９は、棚横幅方向中央部側ほど後方側（搬送車移動空間１５から離れる側）に位置するように棚横幅方向に対して傾斜した姿勢で設けてある。
そして、収納棚側多孔状板状体３８と移動空間側多孔状板状体３９とは、収納棚側多孔状板状体３８の一端部及び移動空間側多孔状板状体３９の一端部を周壁２５に接触させ、且つ、収納棚側多孔状板状体３８の他端と移動空間側多孔状板状体３９の他端とを接触させた状態で設けてある。
ちなみに、収納棚側多孔状板状体３８及び移動空間側多孔状板状体３９は、空気案内用板状体３２よりも下方に設けてある。また、収納棚側多孔状板状体３８及び移動空間側多孔状板状体３９の開口率は３０％に設定してある。
【００３５】
前記浄化空気通風手段Ｂを、収納棚用ファンフィルタユニット３３の通風作用により、クリーンルーム１内の浄化空気を物品収納設備Ｗ内に下方に吹き出して、その吹き出した浄化空気を、流動用空間１９にて案内して物品収納部１４に供給し、物品収納部１４を背部側から通過させて搬送車移動空間１５に流動させ、さらに、搬送車移動空間１５を下方に流動させて一対の空気案内体３７の間を通過させて空気流動空間３１に流動させ、その空気流動空間３１の浄化空気を排気部３４を通して物品収納設備Ｗ外に排気する形態で、浄化空気を流動させるように構成してある。
つまり、前記浄化空気通風手段Ｂを、収納棚用ファンフィルタユニット３３、空気流動空間３１、空気案内用板状体３２（空気案内体３７）及び排気部３４等を備えて構成してある。
【００３６】
次に、前記スタッカークレーンＶについて説明を加える。
図６〜図８に示すように、スタッカークレーンＶは、床部上を棚横幅方向に沿って走行する走行台車４４に、物品移載用の前記物品移載装置４６の車両走行方向（棚横幅方向と同じ方向）での両端部夫々を各別に昇降自在に案内支持する前後一対の支柱としての中央支柱体４５を立設してあり、この走行台車４４に立設された中央支柱体４５にて物品移載装置４６が昇降自在に案内支持されるように構成してある。
そして、前後一対の中央支柱体４５の夫々は、車両走行方向の両側の面を車両走行方向に膨出させた曲形状に形成してあり、前後一対の中央支柱体４５の上端部同士を上部フレーム４７にて連結してある。
【００３７】
前記走行台車４４を、車両走行方向の両端部に位置して車両横幅方向（棚前後幅方向と同じ方向）に沿う姿勢の前後一対の支持用部分４４ａと、車両横幅方向の両端部に位置して車両走行方向に沿う姿勢の左右一対の基台用部分４４ｂとを備えて構成して、平面視形状をロ字状に形成してあり、支持用部分４４ａと基台用部分４４ｂとは、支持用部分４４ａの車両走行方向の端部が基台用端部４４ｂの車両横幅方向の端部の上方に積み重ねた形態で設けてある。
そして、左右一対の基台用部分４４ｂの夫々に、車両横幅方向に並ぶ状態で床部上に設置された左右一対の走行レール４２に対して車両走行方向に一対の走行輪４１を備えており、走行台車４４は、図外の走行用モータにて走行輪４１を回転駆動させることにより、走行レール４２に沿って走行移動するように構成してある。
【００３８】
走行台車４４に、前記走行台車４４の車両走行方向の両端部において空気の出入可能に開口し且つその両端の開口部５２ｂの間を空気の流動可能に連通する空気流通路５２を形成してあり、この空気流通路５２は、前記走行台車４４の底部に、下向きに開口する凹溝状に形成してある。
つまり、上述の如く走行台車４４が形成されることにより、走行台車４４における左右一対の基台用部分４４ｂの間で且つ前後一対の支持用部分４４ａの下方の夫々に凹溝５２ａを形成しており、この前後一対の凹溝５２ａにて空気流通路５２を形成してある。
そして、空気流通路５２を、前後一対の凹溝５２ａ夫々の車両走行方向の外方側端部を開口部５２ｂとして、途中、一対の支持用部分４４ａの間の空間を通過する形態で、両端の開口部５２ｂの間を空気が流動可能に連通してある。
【００３９】
図７及び図１０（ａ）に示すように、前記空気流通路５２内に、上下方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板５３を設けてある。
この整流板５３は、車両横幅方向に並べた状態で複数設けてあり、前後一対の凹溝５２ａ夫々に支持用部分４４ａの下面に連結した状態で設けてある。
【００４０】
図６及び図１０（ｂ）に示すように、前記走行台車４４における車両走行方向の両端側部分（一対の支持用端部４４ａ夫々の外方側部分）の夫々を、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に、且つ、上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成してある。
説明を加えると、前後一対の支持用部分４４ａの夫々は左右一対の基台用部分４４ｂに対して車両走行方向の外方側に突出する状態に設けられており、これによって、走行台車４４における車両走行方向の両端側部分の夫々を、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に形成してある。
また、前後一対の支持用部分４４ａの夫々における左右一対の基台用部分４４ｂよりも車両走行方向の外方側に突出する部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成してあり、これによって、走行台車４４における車両走行方向の両端側部分の夫々を、その上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状とする状態に形成してある。
【００４１】
図７に示すように、支持用部分４４ａが、その車両横幅方向の両方側の端部側部分がその間に位置する中央部分よりも下方に凹入させた状態に形成してあり、走行台車４４全体としても、その車両横幅方向の両方側の端部側部分がその間に位置する中央部分よりも下方に凹入させた状態に形成してある。
そして、このように走行台車４４を形成することにより、図１１に示すように、空気案内体３７が走行台車４４の端部側部分と上下方向に重複しながらも車両横幅方向の中央部分の上面より下方に位置し、且つ、空気案内体３７の搬送車移動空間１５に大きく突出する端部側部分３７ａが走行台車４４の中央部分と車両走行方向に重複するように構成してある。
ちなみに、基台用部分４４ｂ夫々の車両走行方向両端部は平面視で先細り形状となるように形成してある。
【００４２】
図８及び図１２に示すように、車両走行方向に沿う形状で且つ上下方向の長さが前記中央支柱体４５と同じ又は略同じ長さの整流板としての補助支柱体４９を、前記中央支柱体４５から車両横幅方向における前記物品収納棚Ｓが存在する側に離れた箇所に、前記中央支柱体４５が位置する側とは反対側に向く外面が平面視において車両横幅方向に膨出させた曲形状に形成された状態で設けてある。
説明を加えると、補助支柱体４９は、走行台車４４における支持用部分４４ａの車両横幅方向の中央部に立設した中央支柱体４５から車両横幅方向における前記物品収納棚Ｓが存在する側に離れた箇所に設けられるように、走行台車４４における支持用部分４４ａの車両横幅方向の両端部に立設してある。
また、補助支柱体４９は、内面を車両走行方向及び上下方向に沿う平坦面に形成し、外面を平面視において車両横幅方向の物品収納棚Ｓが位置する側に円弧状に膨出させた曲形状に形成して、平面視で車両走行方向の端部側ほど漸次細くなる先細り形状で且つ車両走行方向及び上下方向に沿う偏平状の形成してある。
【００４３】
前記中央支柱体４５を、前記物品移載装置４６の車両走行方向での両端部を各別に昇降自在に案内支持するように前後一対設けてある。
また、前記補助支柱体４９を、中央支柱体４５から車両横幅方向に離れた両側箇所の夫々設け、その左右両側の前記補助支柱体４９の夫々を、前記前後一対の中央支柱体４５の夫々に対応して前後一対設けてある。
そして、中央支柱体４５と左右両側の補助支柱体４９とを複数の棒状の連結体５０にて接続してあり、中央支柱体４５と左右両側の補助支柱体４９と複数の連結体５０とで案内支柱を構成してある。
ちなみに、補助支柱体４９を中央支柱体４５よりも車両走行方向に長く形成しており、補助支柱体４９の車両走行方向の内方側端部が中央支柱体４５の車両走行方向の内方側端部よりも車両走行方向の内方側に位置し、補助支柱体４９の車両走行方向の外方側端部が中央支柱体４５の車両走行方向の外方側端部よりも車両走行方向の外方側に位置するように設けられている。
【００４４】
図９に示すように、物品移載装置４６は、物品収納部１４と自己との間で容器Ｃを移載可能に構成してあり、中央支柱体４５にて案内支持される昇降台５５、上下軸心周りに旋回自在な旋回台５６、及び、その旋回台５６上に設けられた載置体５７を出退移動自在に支持するリンク機構５８からフォーク式に移載装置に構成してある。
そして、物品移載装置４６は、旋回台５６の旋回により載置体５７を旋回移動可能で、且つ、リンク機構５８の伸縮により載置体５７を昇降台５５上に引退させた状態（図９（ａ）参照）や載置体５７を物品収納部１４側に突出させた状態（図９（ｂ）参照）に切り換え可能に構成してある。
ちなみに、図１及び図２に示すように、載置体５７の出退移動方向を車両走行方向にした状態では、載置体５７の出退移動方向を車両横幅方向にした状態に比べて、物品移載装置４６（特に、リンク機構５８や載置体５７）の車両横幅方向に向く面が小さいため、物品移載装置４６を載置体５７の出退移動方向が車両走行方向に沿う状態とした状態でスタッカークレーンＶが走行させるように構成してある。
【００４７】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、空気流通路５２内に上下方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板５３を設けたが、空気流通路５２内に車両横幅方向に沿う姿勢で車両走行方向に伸びる整流板５３を設けてもよく、また、空気流通路５２内に整流板５３を設けなくてもよい。
【００４８】
（２）  上記実施の形態では、搬送車移動空間１５を外部と仕切る仕切り壁２５を、搬送車移動空間１５の棚横幅方向端部に設けたが、仕切り壁２５を設けなくてもよい。
【００４９】
（３）  上記実施の形態では、走行台車４４における車両走行方向の両端側部分の夫々を、その下側部分を上側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に形成したが、この下側部分の下面を車両内方側に位置するほど低くなる傾斜状とする等、形状を適宜変更してもよい。
また、上記実施の形態では、走行台車４４における車両走行方向の両端側部分の夫々を、上側部分の上面を車両内方側に位置するほど高くなる傾斜状としたが、上側部分を下側部分よりも車両内方側に凹入させた状態に形成する等、形状を適宜変更してもよい。
【００５０】
（４）  上記実施の形態では、走行台車４４に左右一対の走行レール４２の夫々に対して前後一対の走行輪４１を設けて走行台車４４に設ける走行輪４１を４輪としたが、左右一対の走行レール４２の夫々に対して３輪以上の走行輪４１を設けてもよく、たとえば、走行台車４４に左右一対の走行レール４２の夫々に対して車両前後方向に並べた４つの走行輪４１を設けて走行台車４４に設ける走行輪４１を８輪としてもよい。
【００５１】
（５）  上記実施の形態では、浄化空気通風手段の排気部を周壁における空気流動空間及び搬送車移動空間に対応する箇所に設け、排気部を空気流動空間や搬送車移動空間の側方に形成したが、床部から上方に間隔隔てた箇所に設けた多孔状のグレーチング板上に物品収納棚と物品搬送車とを設け、浄化空気通風手段の排気部をグレーチング板にて構成し、排気部を空気流動空間や搬送車移動空間の下方に形成してもよい。尚、この場合、周壁における空気流動空間及び搬送車移動空間に対応する箇所にも浄化空気通風手段の排気部を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】クリーンルーム用の物品保管設備を示す平面図
【図２】図１におけるＩＩ−ＩＩ矢視図
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図
【図４】物品保管設備の要部を示す斜視図
【図５】空気流動空間を示す横断平面図
【図６】スタッカークレーンを示す側面図
【図７】スタッカークレーンを示す正面図
【図８】スタッカークレーンを示す平面図
【図９】スタッカークレーンの作用図
【図１０】浄化空気の流動を示す図
【図１１】浄化空気の流れを示す図
【図１２】浄化空気の流れを示す図
【符号の説明】
【００５３】
１４    物品収納部
１５    搬送車移動空間
２５    仕切り壁
３１    空気流動空間
３４    排気部
３７    空気案内体
３７ａ  端部側部分
４４    走行台車
４６    物品移載装置
５２    空気流通路
５２ｂ  開口部
５３    整流板
Ｂ    浄化空気通風手段
Ｓ    物品収納棚
Ｖ    物品搬送車
【図１】
0004688000.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0004688000.tif 000009
【図９】
0004688000.tif 000010
【図１０】
0004688000.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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