(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器内に気体を封入し、前記容器内部に配置された一対の電極間の放電によって前記電極間の気体から出力される発光を前記容器の頂部に位置する光出射窓部を介して外部に出力する放電管を備え、
前記光出射窓部の周辺領域の表面に放熱体を接触させ、
前記放熱体は、前記容器の前記頂部に位置する前記周辺領域の表面に接触する放熱ブロックを有し、
前記放熱ブロックは、この放電管の管軸に平行に延びた貫通孔を備え、
前記放熱ブロックの前記貫通孔の周囲の開口端面は、この開口を介して前記光出射窓部からの光が出射されるように、前記光出射窓部の前記周辺領域に接触している、
ことを特徴とする光源。
【請求項２】
前記放熱体は、前記周辺領域が少なくとも前記容器の頂部に位置するように前記容器に接触していることを特徴とする請求項１に記載の光源。
【請求項３】
前記放熱体は、前記周辺領域が前記容器の側壁にも位置するように前記容器に接触していることを特徴とする請求項２に記載の光源。
【請求項４】
前記放電管は、前記容器の底部を構成するステムを有し、前記ステムと前記放熱体とは管軸に平行に延びた複数のボルトを介して固定されていることを特徴とする請求項２に記載の光源。
【請求項５】
前記電極の一方がフィラメントからなる陰極であり、前記電極の他方が前記フィラメントに通電することによって発生した熱電子を収集する陽極であり、前記容器内に封入される気体が重水素を含むことを特徴とする請求項１に記載の光源。
【請求項６】
前記放電管は重水素ランプであり、
前記放電管及び前記放熱ブロックを収容し、その内面が前記放熱ブロックに固定された放熱箱と、
前記放熱箱を収納する外側箱と、
前記放熱箱の外表面と前記外側箱との間に空気を流通させる空冷ファンと、
前記外側箱の側壁に形成された通気口と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の光源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、重水素ランプやキセノンフラッシュランプ等の放電管を有するランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
マイクロ波を利用したランプは特開平７−１８２９１０号公報に記載されている。同公報に記載のランプは容器内に気体を封入し、当該気体にマイクロ波を照射することにより、気体を励起させて発光を生ぜしめる。前記気体はフッ素系ガスを含んでおり、このフッ素系ガスが石英ガラス容器内面をエッチングし、エッチングによって発生したＳｉ不純物が容器の内面に付着する。そこで、同公報に記載のランプにおいては、容器内に冷却管を貫通させ、フッ素ガスによるエッチングによって発生した不純物を吸着させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
一方、従来から電極間のアーク放電を利用した放電管が知られている。このような放電管は公知である。ヘッドオン型の放電管としては、重水素ランプやキセノンフラッシュランプ等が知られている。ヘッドオン型の放電管は筒状側壁を有する容器内に重水素やキセノン等の気体を封入し、この容器内部に配置された一対の電極間の放電によって電極間の気体から出力される発光を容器の頂部に位置する光出射窓部を介して外部に出力する。
【０００４】
このようなタイプの放電管は、電極間の放電を利用するため、フッ素系ガスを利用する必要はなく、したがって、容器のエッチングは生じず、容器内面に不純物が付着するものとは考えられなかった。
【０００５】
しかしながら、重水素ランプやキセノンフラッシュランプ等の放電管においても、長時間の使用によって出力光強度が低下する。これは当初、陰極が劣化することによるものと考えられた。もちろん、長時間の使用によって陰極は劣化するが、本願発明者らは、光出力の低下の主要な原因は陰極の劣化ではないことを発見した。すなわち、光出力の低下は、放電管における電極間放電に伴って陰極等がスパッタ等されることにより容器中に放出された物質が容器の光出射窓部に付着することに起因するとの知見を得た。本発明はかかる知見に基づくものであり、放電管の寿命を長期化可能な光源を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、本発明に係る光源は、容器内に気体を封入し、容器内部に配置された一対の電極間の放電によって電極間の気体から出力される発光を容器の頂部に位置する光出射窓部を介して外部に出力する放電管を備え、光出射窓部の周辺領域の表面に放熱体を接触させ、前記放熱体は、前記容器の前記頂部に位置する前記周辺領域の表面に接触する放熱ブロックを有し、前記放熱ブロックは、この放電管の管軸に平行に延びた貫通孔を備え、前記放熱ブロックの前記貫通孔の周囲の開口端面は、この開口を介して前記光出射窓部からの光が出射されるように、前記光出射窓部の前記周辺領域に接触していることを特徴とする。
また、本発明の光源において、前記放電管は重水素ランプであり、前記放電管及び前記放熱ブロックを収容し、その内面が前記放熱ブロックに固定された放熱箱と、前記放熱箱を収納する外側箱と、前記放熱箱の外表面と前記外側箱との間に空気を流通させる空冷ファンと、前記外側箱の側壁に形成された通気口と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本光源によれば、光出射窓部を介して発光が外部に出力されるが、この光出射窓部の周辺領域の表面に接触した放熱体によって、当該周辺領域は冷却される。したがって、陰極又は陽極を構成する一対の電極のスパッタ等によって発生した物質は、この周辺領域に多く付着し、光出射窓部に付着する物質量が低下する。
【０００８】
放熱体は、周辺領域が少なくとも容器の頂部に位置するように容器に接触していることが好ましい。この場合、光出射窓部及び周辺領域が共に容器の頂部に位置することとなるので、光出射窓部への物質の付着を効率的に抑制することができる。
【０００９】
放熱体は、周辺領域が容器の側壁にも位置するように容器に接触していることが好ましい。この場合、側壁部も冷却されるので、光出射窓部への物質の付着を更に効率的に抑制することができる。また、放熱体が一体として頂部及び側壁にも接触している場合には、容器の頂部に放熱体を被せることができ、放熱体の側壁との接触面によって、放電管の管軸に垂直な方向の放熱体の移動を規制することができる。
【００１０】
放電管は、容器の底部を構成するステムを有し、ステムと放熱体とは管軸に平行に延びた複数のボルトを介して固定されていることを特徴とする。この場合、放熱体の固定にステムを利用するので、固定に要する部品点数の増加を抑制することができる。
【００１１】
放熱体は、周辺領域が放電管の管軸を取り囲むように放電管の側壁表面上に設定される場合には、側壁を取り囲むように冷却することができ、また、放熱体が一体として側壁を囲んでいる場合には、放熱体の管軸に垂直な方向の移動を規制することができる。
【００１２】
電極の一方がフィラメントからなる陰極であり、電極の他方がフィラメントに通電することによって発生した熱電子を収集する陽極であり、容器内に封入される気体が重水素を含む場合には、前記放電管は重水素ランプとして機能する。重水素ランプは、高圧のキセノンを封入したキセノンランプと異なり、ランプ表面の温度上昇が低い。このようなランプにおいては、放熱体による冷却領域と非冷却領域との間の温度差がキセノンランプと比較して小さくなるので、温度差に起因する容器の劣化を抑制することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態に係る光源について説明する。なお、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
（第１実施形態）
図１は第１実施形態に係る光源の縦断面図、図２は図１に示した光源のＩＩ−ＩＩ矢印断面図、図３は図１に示した光源の主要部の斜視図である。
【００１４】
本実施形態の光源は、外側箱１００、外側箱１００内に収納された内側箱（放熱箱）１０１ｂｘ、内側箱１０１ｂｘ内に配置された放電管１０を備えている。また、放電管１０は内側箱１０１ｂｘの底板に固定されたソケットＳＣに取付けられており、内側箱１０１ｂｘの外表面は外側箱１００の側壁に設けられた空冷ファン１０２によって冷却されている。空冷ファン１０２から取り込まれた空気は、外側箱１００の側壁に形成された通気口１００ｂｌｄを介して外部に流れる。
【００１５】
重水素ランプは外気温の揺らぎにより光出力の安定性が低下するが、この実施例のように内側箱１０１ｂｘと外側箱１００の間に空気を流通させて直接重水素ランプに流通している空気を当てないので、出力の安定性を損なわない。
【００１６】
放電管１０は、筒状側壁１ｗを有する気密性の容器（ガラスバルブ）１を備えている。容器１内には紫外線を出力光として出射するように重水素等の気体が封入されており、容器１内部に配置された一対の電極２ｃ，２ａ間の放電によって電極２ｃ，２ａ間の気体から出力される発光は容器１の頂部に位置する光出射窓部１ｗｗを介して外部に出力する。
【００１７】
光出射窓部１ｗｗの周辺領域１ｗｓの表面には、放熱ブロック１０１ｂｌ、１０１ｂｌ’及び放熱用バネ部材１０１ｓｐからなる放熱体が接触している。放電管１０は安定発光のため放熱箱１０１ｂｘ及び外側箱１００内に配置されているが、放熱箱１０１ｂｘと放熱体１０１ｂｌ’，１０１ｓｐ，１０１ｂｌとは熱的に接続されているので、放熱箱１０１ｂｘが放熱体１０１ｂｌ’，１０１ｓｐ，１０１ｂｌを介して放電管１０から吸収した熱を効率的に外部へ放射し、周辺領域１ｗｓの冷却効率は高くなっている。
【００１８】
放電管１０と直接接触する放熱ブロック１０１ｂｌ’は、放電管１０の容器１の頂部に被さる形状とされている。容器１の頂部の外表面は、円形表面及び円形表面の外周に連続し、円形表面に垂直な方向に管長の２０％以下程度延びた円筒形の側面からなる。この円形表面の中心から所定半径の領域には、放熱ブロック１０１ｂｌ’は接触しておらず、この領域は光出射窓部１ｗｗとして機能する。すなわち、円環状の放熱ブロック１０１ｂｌ’の中心部は、管軸に平行に延びた貫通孔１０１ｂｌｏ’を構成しており、放熱ブロック１０１ｂｌ’の内側に位置する貫通孔１０１ｂｌｏ’の放電管側の端部は、上記円形表面の上記周辺領域に当接し、その径が該当接位置から容器の直径まで拡大し、管軸に平行に延びている。
【００１９】
放熱用バネ部材１０１ｓｐについて詳説すれば、バネ部材１０１ｓｐは放熱ブロック１０１ｂｌ’の開口端面に当接する平坦部と、この平坦部の幅方向両端から放熱ブロック１０１ｂｌ側へ幅狭となるように立設して折れ曲がった転位部と、転位部の放熱ブロック１０１ｂｌとの当接位置において幅広となるように折れ曲がった固定部とからなる。バネ部材１０１ｓｐの固定部はボルトＢ１，Ｂ２によって放熱ブロック１０１ｂｌに固定されており、放熱ブロック１０１ｂｌはボルトＢ１１，Ｂ１２，Ｂ１３によって放熱箱１０１ｂｘの内面に固定されている。
【００２０】
バネ部材１０１ｓｐは無負荷状態では管軸に平行な方向に若干伸びており、管軸に沿ってバネ部材１０１ｓｐを放熱ブロック１０１ｂｌ’に押し当てることにより、バネ部材１０１ｓｐは弾性変形して圧縮され、放熱ブロック１０１ｂｌ’を付勢する。したがって、バネ部材１０１ｓｐと放熱ブロック１０１ｂｌ’の密着度は向上している。また、バネ部材１０１ｓｐは放電管１０からの出射光が通過する開口１０１ｓｐｏを有している。
【００２１】
放熱ブロック１０１ｂｌは対向する平行２平面を有し、これら２平面に形成された開口１０１ｂｌｏ間を連通させるように、当該ブロック１０１ｂｌを貫通する光通過用の貫通孔１０１ｂｌｔを有する。したがって、放熱ブロック１０１ｂｌは、この貫通孔１０１ｂｌｔを囲むような環状を呈している。更に、内側箱１０１ｂｘは壁面に光出射用の開口１０１ｂｘｏを有している。
【００２２】
バネ部材１０１ｓｐと環状の放熱ブロック１０１ｂｌとは、それぞれの開口１０１ｓｐｏ，１０１ｂｌｏが重なるように固定されている。また、放熱ブロック１０１ｂｌと内側箱１０１ｂｘの側壁内面とは、それぞれの開口１０１ｂｌｏ，１０１ｂｘｏが重なるように、ボルトＢ１１，Ｂ１２，Ｂ１３によって固定されている。なお、これらの開口１０１ｂｌｏ，１０１ｂｘｏは外側箱１００の側壁に設けられた開口１００ｏｐに重なっている。
【００２３】
本光源によれば、光出射窓部１ｗｗを介して発光が放電管外部に出力され、上記開口１０１ｂｌｏ’，１０１ｓｐｏ，１０１ｂｌｏ，１０１ｂｘｏ，１００ｏｐを介して、放電管１０内の発光が外側箱１００の外部へ出力される。放熱体は光出射窓部１ｗｗの周辺領域１ｗｓの表面に接触しているので、周辺領域１ｗｓは冷却される。したがって、陰極用の電極２ｃ又は陽極用の電極２ａのスパッタ等によって発生した物質は、周辺領域１ｗｓに多く付着し、光出射窓部１ｗｗに付着する物質量が低下する。すなわち、光出射窓部１ｗｗが長期間汚れないので、放電管の寿命を長期化することができる。
【００２４】
放電管１０は従来から知られるものであるが、これについて簡単に説明しておく。容器１内には、上述のように２つの電極２ｃ，２ａが配置されており、電極の一方がフィラメントからなる陰極２ｃであり、電極の他方がフィラメント２ｃに通電することによって発生した熱電子を収集する陽極２ａである。フィラメント２ｃは、これを囲む金属性のシールド体３内に配置されており、フィラメント２ｃで発生した熱電子は、収束電極４方向に出射し、シールド体３及び収束電極４によって軌道を曲げられて陽極２ａに入射する。
【００２５】
容器１内に封入される気体が重水素を含む場合には、放電管１０は重水素ランプとして機能する。重水素ランプは、高圧のキセノンを封入したキセノンランプと異なり、ランプ表面の温度上昇が低い。このようなランプにおいては、放熱体による冷却領域１ｗｓと非冷却領域１ｗｗとの間の温度差がキセノンランプと比較して小さくなるので、温度差に起因する容器１の劣化は抑制される。
【００２６】
なお、本発明は容器１内にキセノンを封入したキセノンフラッシュランプや水銀キセノンランプにも適用でき、電極２ｃはフィラメントでなくてもよい。
【００２７】
以上、説明したように、陰極用の電極２ｃ又は陽極用の電極２ａのスパッタ等によって発生した物質は、周辺領域１ｗｓに多く付着するので、光出射窓部１ｗｗが長期間汚れず、放電管の寿命を長期化することができる。
【００２８】
なお、上記放電管は縦置型として開示したが、これは横置型として利用してもよい。すなわち。放電管１０の管軸は鉛直方向に平行であってもよいし、水平方向に平行であってもよい。また、貫通孔１０１ｂｌｔ，１０１ｂｌｏ’は放電管１０から離れるにしたがって、その径を拡大させることとしてもよく、もちろん一定であってもよい。これらは以下の実施形態でも同様である。
【００２９】
放熱ブロックを設けた上記光源（実施例）と、これを取り外した光源（比較例）について、相対光出力の経時変化を測定した。
【００３０】
図４は、これらの光源の動作時間（hour）と相対光出力（測定波長：２５０ｎｍ）との関係を示すグラフである。これらのグラフから分かるように、放熱ブロックを設けたもの相対光出力の低下率は、相対光出力が１００時間を越えても５％以下であり、これを取り外したものよりも著しく長寿命化が達成されている。
なお、この数値データを以下の表１に示す。
【００３１】
【表１】
0004627351.tif 000002
（第２実施形態）
図５は第２実施形態に係る光源の縦断面図、図６は図５に示した光源のＶＩ−ＶＩ矢印断面図、図７は図５に示した光源のＶＩＩ−ＶＩＩ矢印断面図、図８は図５に示した光源の主要部の斜視図である。
【００３２】
本実施形態の光源は、第１実施形態のものと比較して、バネ部材１０１ｓｐが放電管１０の側壁を取り囲んでいる点と、これに熱的に接続されるブロック１０１ｂｌが放熱箱１０１ｂｘの頂部ではなく側壁に取付けられる点が異なる。
【００３３】
まず、バネ部材１０１ｓｐについて説明する。バネ部材１０１ｓｐは概略円筒形の内面を有し、この内面は円筒形放電管容器１の側壁に接触している。このバネ部材の周方向端部は接続されておらず、管軸に垂直な断面がΩ形状となるように屈曲するとともに、バネ部材１０１ｓｐに設けられた２つのバカ穴ＢＡに差込まれたボルトＢ１，Ｂ１によって放熱ブロック１０１ｂｌに固定されている。なお、無負荷状態においては、バネ部材１０１ｓｐの円筒形内面の直径は、容器１の直径よりも僅かに小さく、この内面が容器側壁に設定された周辺領域１ｗｓを付勢し、バネ部材１０１ｓｐと周辺領域１ｗｓの密着度は向上している。
【００３４】
また、放熱ブロック１０１ｂｌは、放熱箱１０１ｂｘの側壁内面にボルトＢ１１，Ｂ１２，Ｂ１３，Ｂ１４によって固定されている。
【００３５】
放電管１０の頂部に位置する光出射窓部１ｗｗは露出しており、ここから出射される光線は放熱箱１０１ｂｘの開口１０１ｂｘｏ、外側箱１００の開口１００ｏｐを介して外部に出射される。
【００３６】
本実施形態の光源は、本構成を採用したため、前述の放熱ブロック１０１ｂｌ’は省略されることとなるが、上記以外の構成は第１実施形態のものと同一である。本実施形態の光源によれば、放熱体のバネ部材１０１ｓｐは、周辺領域１ｗｓが放電管１０の管軸を取り囲むように放電管１９の側壁１ｗ表面上に設定されているので、側壁１ｗを取り囲むように冷却することができ、また、放熱体が一体として側壁１ｗを囲んでいるので、放熱体１０の管軸に垂直な方向の移動を規制することができる。
（第３実施形態）
図９は第３実施形態に係る光源本体の縦断面図、図１０は図９に示した光源本体の平面図、図１１は図９に示した光源本体を放熱箱内に組込んでなる光源の縦断面図、図１２は図１１に示した光源の主要部の斜視図である。
【００３７】
まず、光源本体について説明する。光源本体の放電管１０は、その頂部を構成する円形領域１ｗｔの外周から管軸に沿って延びた円筒形側壁１ｗｓを有する容器１を有しており、容器１の底部は鍔部を有するステム１５によって封止されている。容器１の内部には重水素等の気体が封入されている。
【００３８】
カソード電極を構成するフィラメント２ｃに通電すると、フィラメント２ｃから放出された熱電子がガイド体３に設けられた開口３ａから出射し、収束電極４方向に軌道を変えて進行し、その開口４ａを通過してアノード電極２ａに入射する。この放電現象によって、収束電極開口４ａの近傍の気体が発光し、放電管頂部に位置する光出射窓部１ｗｗを介して矢印Ａの方向に当該光が出射される。
【００３９】
収束電極４とアノード電極２ａとは絶縁部材７，５を介して絶縁されており、カソード電極２ｃ、アノード電極２ａ、収束電極４には、ステム１５側に設けられたリードピン１０ａ，１０ｂ等を介して所定電位が与えられる。なお、ステム１５には容器内部と連通したガラス管１３が設けられており、これの終端は閉塞している。なお、ガラス管１３は、製造時において容器１内に気体を導入するために用いられる。
【００４０】
ステム１５は、円柱状のガラスブロック１５ｃと、ガラスブロック１５ｃの側壁円筒面に密着して固定された円筒面をその内側に有する筒体１５ａ及び筒体１５ａの下側開口端面から外側に折れ曲がった鍔部１５ｂからなるベース部と、ベース部と容器側壁１ｗｓの内面との間に介在するシール部材１５ｄとからなる。ベース部及びシール部材１５ｄはＳＵＳやコバール等の金属からなり、鍔部１５ｂには管軸に平行な孔２１が複数設けられており、本例ではシール部材１５ｄが鍔部１５ｂまで延びているので、孔２１はシール部材１５ｄも貫通している。
【００４１】
容器頂部を構成する円形領域１ｗｔには放熱ブロック１０１ｂｌが当接している。換言すれば、放熱ブロックの開口１０１ｂｌｏは管軸に平行に延びた貫通孔１０１ｂｌｔを備えており、その開口端面が光出射窓部１ｗｗの周辺領域１ｗｓに接触し、この開口を介して光出射窓部１ｗｗからの光が出射される。
【００４２】
放熱ブロック１０１ｂｌの周辺部には、管軸に平行な固定用の孔２１’が設けられており、この孔２１’とステムの孔２１とはボルトＢ１，Ｂ２によって接続固定されている。詳説すれば、ステム１５の鍔部１５ｄにはネジ溝が形成されており、ボルトＢ１，Ｂ２のネジ山が当該ネジ溝に螺合することによって、放熱ブロック１０１ｂｌはステム１５に固定される。なお、ボルトＢ１，Ｂ２の長手方向は管軸に一致する。放熱ブロック１０１ｂｌの孔２１’の直径は２段階に設定されており、ステム１５から遠い方の直径が近い方よりも大きい。孔２１’の直径の大きい部分には螺旋形のバネ部材１０１ｓｐが配置されており、ボルトＢ１，Ｂ２を締めると、バネ部材１０１ｓｐの復元力によって放熱ブロック１０１ｂｌが周辺領域１ｗｓ方向に押され、周辺領域１ｗｓは放熱ブロック１０１ｂｌによって付勢される。したがって、周辺領域１ｗｓと放熱ブロック１０１ｂｌの密着度は向上している。
【００４３】
なお、図１１に示すように、光源本体を放熱箱に組込む場合には、放熱箱１０１ｂｘの頂部に位置する壁と放熱ブロック１０１ｂｌとの間にバネ部材１０１ｓｐが介在し、ボルトＢ１，Ｂ２は放熱箱１０１ｂｘの外側から差込まれる。なお、放熱ブロック１０１ｂｌと放熱箱１０１ｂｘの内面とはボルトＢ１１，Ｂ１２，Ｂ１３によって固定されている。
【００４４】
放電管１０の光出射窓部１ｗｗから出射された光は、放熱ブロックの貫通孔１０１ｂｌｔ、放熱箱の貫通孔１０１ｂｘｏ、外側箱１００の貫通孔１００ｏｐを介して外部に出射される。なお、外側箱１００には前述の実施形態と同様に空冷ファン１０２が取付けられており、空冷ファン１０２によって内部に導入された空気は内側箱１０１ｂｘを冷却してから通気口１０１ｂｌｄを介して外部に流れる。内側箱１０１ｂｘを冷却することで、放熱ブロック１０１ｂｌに接触した周辺領域１ｗｓが冷却される。
【００４５】
本例では、前述の実施形態のものと同様に光出射窓部１ｗｗへの物質の付着を効率的に抑制することができるが、放電管１０が容器１の底部を構成するステム１５を有し、ステム１５と放熱体１０１ｂｘ，１０１ｂｌ，１０１ｓｐとは管軸に平行に延びた複数のボルト（ネジ）Ｂ１，Ｂ２を介して固定されている。放熱体の固定にはステム１５が利用されているので、固定に要する部品点数の増加を抑制することができる。
（第４実施形態）
図１３は第４実施形態に係る光源本体の縦断面図、図１４は図１３に示した光源本体の平面図、図１５は図１３に示した光源本体を放熱箱内に組込んでなる光源の縦断面図、図１６は図１３に示した光源の主要部の斜視図である。
【００４６】
本実施形態の光源は、第３実施形態のものと比較して放熱ブロック１０１ｂｌの形状のみが異なり、他の構成は同一である。すなわち、放熱ブロック１０１ｂｌは、放電管１０の頂部を構成する円形領域１ｗｔばかりでなく、側面１ｗｓにも接触している。
【００４７】
詳説すれば、放電管１０と直接接触する放熱ブロック１０１ｂｌは、放電管１０の容器１の頂部に被さる形状とされている。容器１の頂部の外表面は、円形表面１ｗｔ及び円形表面１ｗｔの外周に連続し、円形表面に垂直な方向に管長の２０％以下程度延びた円筒形１ｗｓの側面からなる。この円形表面１ｗｔの中心から所定半径の領域には、放熱ブロック１０１ｂｌは接触しておらず、この領域は光出射窓部１ｗｗとして機能する。すなわち、円環状の放熱ブロック１０１ｂｌの中心部は、管軸に平行に延びた貫通孔１０１ｂｌｔを構成しており、放熱ブロック１０１ｂｌの内側に位置する貫通孔１０１ｂｌｔの放電管側の端部は、上記円形表面１ｗｔの周辺領域１ｗｓに当接し、その径が該当接位置から容器１の直径まで拡大し、管軸に平行に延びている。
【００４８】
以上、説明したように、上記いずれの実施形態に係る光源も、容器１内に重水素等の気体を封入し、容器内部に配置された一対の電極２ａ，２ｃ間の放電によって電極２ａ，２ｃ間の気体から出力される発光を容器１の頂部に位置する光出射窓部１ｗｗを介して外部に出力する放電管１０を備え、光出射窓部１ｗｗの周辺領域１ｗｓの表面に放熱体を接触させている。これらの光源によれば、光出射窓部１ｗｗを介して発光が外部に出力されるが、この光出射窓部１ｗｗの周辺領域１ｗｓの表面に接触した放熱体によって、周辺領域１ｗｓは冷却される。したがって、陰極又は陽極を構成する一対の電極２ｃ，２ａのスパッタ等によって発生した物質は、この周辺領域１ｗｓに多く付着し、光出射窓部１ｗｗに付着する物質量が低下する。
【００４９】
【発明の効果】
本発明の光源によれば、その放電管の寿命を長期化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態に係る光源の縦断面図である。
【図２】図１に示した光源のＩＩ−ＩＩ矢印断面図である。
【図３】図１に示した光源の主要部の斜視図である。
【図４】光源の動作時間（hour）と相対光出力（測定波長：２５０ｎｍ）との関係を示すグラフである。
【図５】第２実施形態に係る光源の縦断面図である。
【図６】図５に示した光源のＶＩ−ＶＩ矢印断面図である。
【図７】図５に示した光源のＶＩＩ−ＶＩＩ矢印断面図である。
【図８】図５に示した光源の主要部の斜視図である。
【図９】第３実施形態に係る光源本体の縦断面図である。
【図１０】図９に示した光源本体の平面図である。
【図１１】図９に示した光源本体を放熱箱内に組込んでなる光源の縦断面図である。
【図１２】図１１に示した光源の主要部の斜視図である。
【図１３】第４実施形態に係る光源本体の縦断面図である。
【図１４】図１３に示した光源本体の平面図である。
【図１５】図１３に示した光源本体を放熱箱内に組込んでなる光源の縦断面図である。
【図１６】図１３に示した光源の主要部の斜視図である。
【符号の説明】
１０…放電管、１０１ｂｌ’，１０１ｓｐ，１０１ｂｌ…放熱体、１０１ｂｘ…放熱箱、１ｗ…側壁、１ｗｗ…光出射窓部、１ｗｓ…周辺領域。
【図１】
0004627351.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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