(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を固定するための固定テーブルと、
前記固定テーブルの上方に設けられ、前記固定テーブルに対して、近接・離間方向に移動して前記被処理物に所定の処理を施す処理部と、
前記被処理物および前記処理部の位置を認識する画像撮影装置と
を備えた位置認識可能な処理装置であって、
前記固定テーブルを透明体で構成し、
前記画像撮影装置を前記固定テーブルの下方に配設するとともに、
前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を設け、
前記被処理物を、電極パターンが設けられたシート状のワークで構成して、前記処理部をプローブを備えた導通検査装置で構成し、
前記画像撮影装置が前記プローブと前記電極パターンとを撮影するようにしたことを特徴とする位置認識可能な処理装置。
【請求項２】
前記移動機構を、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して平面内で直交する２方向に移動させるもので構成した請求項１に記載の位置認識可能な処理装置。
【請求項３】
前記処理部に、下方に向けて発光装置が取り付けられている請求項１または２に記載の位置認識可能な処理装置。
【請求項４】
被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、前記被処理物に所定の処理を施す処理部と、前記固定テーブルの下方に配設され、前記被処理物および前記処理部の位置を認識する画像撮影装置と、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、前記被処理物および前記処理部の位置を位置決めしたのち処理する処理方法において、
前記画像撮影装置で前記処理部を撮影し、前記画像撮影装置を前記処理部の真下に位置させる工程と、
前記被処理物を前記固定テーブルと前記処理部との間における前記固定テーブル上に固定する固定工程と、
前記画像撮影装置で、前記被処理物の被処理位置を撮影し、前記被処理位置を前記処理部の位置に合わせて一致させる位置合わせ工程と、
前記位置合わせ後に、前記処理部で前記被処理物を処理する処理工程と
で構成した処理方法。
【請求項５】
電極パターンが設けられたシート状のワークからなる被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、プローブを備えた導通検査装置からなり前記被処理物の導通検査を行う処理部と、前記固定テーブルの下方に配設され、前記プローブおよび前記電極パターンを撮影する画像撮影装置と、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、前記被処理物および前記処理部を位置決めしたのちに前記被処理物を導通検査する処理方法において、
前記被処理物を前記固定テーブルと前記処理部との間における前記固定テーブル上に固定する固定工程と、
前記画像撮影装置が撮影する画像に応じて、前記被処理物における被処理位置と前記処理部の位置を位置合わせする位置合わせ工程と、
前記位置合わせ後に、前記処理部で前記被処理物を導通検査する処理工程と
で構成した処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被処理物と、その被処理物に所定の処理を施す処理部を、位置認識手段を用いて位置決めしたのち被処理物の処理を行う位置認識可能な処理装置および処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、被検査物や被加工物等の被処理物を処理装置で処理する場合、精度のよい処理が行えるようにするために、被処理物の位置と検査装置や加工装置等の処理部の位置を正確に合わせることが要求されている。このため、例えば、特開２０００−２４９７３８号公報に開示されているように、処理装置に画像撮影装置を設けて、この画像撮影装置による撮影画像にもとづいて、被処理物と処理部の位置を合わせたのち、処理部で被処理物を処理することが行われている。
【０００３】
そして、従来の処理装置では、処理部の位置から所定距離離れた位置に画像撮影装置を固定して、画像撮影装置の直下に配置された被処理物を撮影し被処理物の位置を認識したのち、その位置から処理を行う位置までの距離分、被処理物を移動させることにより、処理部が処理を行う位置に被処理物が位置するようにすることが行われている。また、他の処理装置では、処理部近傍の位置に画像撮影装置を配設して、斜めの方向から処理位置における被処理物を撮影することにより、その撮影画像にもとづいて被処理物を位置決めすることが行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の処理装置では、実際に被処理物を処理する位置と異なる位置で被処理物の位置を認識するため、位置認識後に、被処理物を処理位置に移動させる必要がある。このように、位置決め時と処理時とで被処理物の位置が異なるため処理時の位置が必ずしも一定にならず、誤差が生じ易いという問題がある。また、画像撮影装置で被処理物の位置認識をしたのち、被処理物を移動させる位置決め動作が行われるため、位置認識から被処理物の処理までの時間が長くなるという問題もある。
【０００５】
また、後者の処理装置では、処理位置で被処理物の位置認識ができるが、画像撮影装置の取り付け場所が被処理物と処理部を結ぶ軸上から離れた位置に限られ、画像撮影装置の撮影方向は、被処理物に対して斜めの方向になるという制限がある。この結果、位置認識に最適な位置に画像撮影装置を配設することができず、被処理物の精度のよい位置認識が難しいという問題がある。また、この処理装置では、処理部の撮影ができないため、処理部の位置にずれが生じている場合には、適正な処理が行えないという問題もある。
【０００６】
【発明の概要】
本発明は、上記した問題に対処するためになされたもので、その目的は、画像撮影装置の取り付け位置を位置認識のための最適な位置にするとともに、被処理物と処理部の位置認識が同時にできるようにすることにより、高精度な位置決めおよび適正な処理が可能になる位置認識可能な処理装置および同装置を用いた処理方法を提供することである。
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明に係る位置認識可能な処理装置の特徴は、被処理物を固定するための固定テーブルと、固定テーブルの上方に設けられ、固定テーブルに対して、近接・離間方向に移動して被処理物に所定の処理を施す処理部と、被処理物および処理部の位置を認識する画像撮影装置とを備えた位置認識可能な処理装置であって、固定テーブルを透明体で構成し、画像撮影装置を固定テーブルの下方に配設するとともに、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を設け、被処理物を、電極パターンが設けられたシート状のワークで構成して、処理部をプローブを備えた導通検査装置で構成し、画像撮影装置がプローブと電極パターンとを撮影するようにしたことにある。
【０００８】
この場合、前記移動機構を、前記画像撮影装置を前記固定テーブルに対して平面内で直交する２方向に移動させるもので構成することが好ましい。
【０００９】
前記のように構成した本発明の特徴によれば、画像撮影装置は、透明の固定テーブルを通して被処理物および処理部を撮影できるため、固定テーブルの下方における位置認識に好適な位置に設置することができ、その位置から被処理物と処理部の双方の位置を同時に認識することができる。これによって、精度のよい位置認識および位置決めが可能になる。
【００１０】
さらに、移動機構を、画像撮影装置を移動させるもので構成することにより、位置認識に最適な位置に画像撮影装置を移動させ被処理物と処理部の位置認識を行うことができる。また、被処理物が複数並んでいる場合には、画像撮影装置を移動させて複数箇所で位置認識が行えるようになる。これによって、処理の効率が向上する。
【００１１】
また、本発明の他の構成上の特徴は、処理部に、下方に向いた発光装置を取り付けたことにある。これによると、発光装置からの透過光を利用して撮影することができ、ハレーションがなくなって良好な画像を得ることができる。
【００１２】
また、本発明の他の構成上の特徴は、被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、被処理物に所定の処理を施す処理部と、固定テーブルの下方に配設され、被処理物および処理部の位置を認識する画像撮影装置と、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、被処理物および処理部の位置を位置決めしたのち処理する処理方法において、画像撮影装置で処理部を撮影し、画像撮影装置を処理部の真下に位置させる工程と、被処理物を固定テーブルと処理部との間における固定テーブル上に固定する固定工程と、画像撮影装置で、被処理物の被処理位置を撮影し、被処理位置を処理部の位置に合わせて一致させる位置合わせ工程と、位置合わせ後に、処理部で被処理物を処理する処理工程とで構成したことにある。
【００１３】
また、本発明の他の特徴は、電極パターンが設けられたシート状のワークからなる被処理物を固定するための透明の固定テーブルと、プローブを備えた導通検査装置からなり被処理物の導通検査を行う処理部と、固定テーブルの下方に配設され、プローブおよび電極パターンを撮影する画像撮影装置と、画像撮影装置を固定テーブルに対して相対的に移動させる移動機構を備えた位置認識可能な処理装置を用いて、被処理物および処理部を位置決めしたのちに被処理物を導通検査する処理方法において、被処理物を固定テーブルと処理部との間における固定テーブル上に固定する固定工程と、画像撮影装置が撮影する画像に応じて、被処理物における被処理位置と処理部の位置を位置合わせする位置合わせ工程と、位置合わせ後に、処理部で被処理物を導通検査する処理工程とで構成したことにある。
【００１４】
この処理方法では、位置合わせ工程において、画像撮影装置と、被処理物および処理部とで透明の固定テーブルを上下に挟んだ状態で、画像撮影装置で、被処理物および処理部の位置認識を行える。例えば、画像撮影装置、被処理物および処理部が垂直線上に位置するような位置認識に好ましい位置に画像撮影装置を置いて、その撮影画像によって、被処理物および処理部の位置認識が行える。これによると、画像撮影装置の撮影角度に傾斜がなくなり、精度のよい位置認識ができるとともに、被処理物と処理部の位置認識が同時にできるため、時間の短縮が図れる。その結果、この発明によれば、被処理物と処理部の位置決めを精度よく行うことができ、処理工程において、被処理物の処理を正確に行えるようになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る位置認識可能な処理装置の画像撮影装置および画像撮影装置を移動させる移動機構を含む中央部分の概略を示す正面図であり、図２ないし図４はその各部分を示す平面図である。この処理装置中央部分１０は、四角板状の平面部１１ａと脚部１１ｂからなる台部１１の上面に、画像撮影装置としてのＣＣＤカメラ１２と、そのＣＣＤカメラ１２を移動させる移動機構としてのＸ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４が設けられて構成されている。
【００１６】
ＣＣＤカメラ１２は平面部１１ａと平行する水平面内で移動可能に組付けられており、Ｘ軸移動機構１３によって、Ｘ軸方向（図１ないし図４における台部１１の長手方向に沿う方向）に移動可能で、Ｙ軸移動機構１４によって、Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向（図２ないし図４における台部１１の長手方向に直交する方向）に移動可能になっている。
【００１７】
Ｘ軸移動機構１３は、平面部１１ａの上面に配設されたモータ１５と、このモータ１５の回転軸１５ａに連結されＸ軸方向に延びるボールねじ１６と、縦断面形状が凹形のレール部１７と、レール部１７に沿って移動する移動部材１８とで構成されている。レール部１７は、支持部材１９ａ，１９ｂを介して平面部１１ａの上面にＸ軸方向に沿って取り付けられており、その凹部内に移動部材１８が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材１８にはねじ穴（図示せず）が設けられて、このねじ穴にボールねじ１６が螺合している。
【００１８】
前記レール部１７の凹部両端には、それぞれ図示せぬ穴部が設けられた壁部１７ａ，１７ｂが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部１７ａの穴部には、モータ１５の回転軸１５ａが挿通し、壁部１７ｂの穴部にはボールねじ１６の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ１５の駆動により、回転軸１５ａが回転すると、回転軸１５ａとともにボールねじ１６が回転し、それによって、移動部材１８がレール部１７に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１９】
Ｙ軸移動機構１４は、移動部材１８の上面に取り付けられたレール部２０と、このレール部２０の一端に固定されたモータ２１と、このモータ２１の回転軸２１ａに連結されたボールねじ２２と、レール部２０に沿って移動する移動部材（図５（ｂ）参照）２３とで構成されている。レール部２０はＸ軸移動機構１３のレール部１７と同形に形成されており、レール部１７と直交するＹ軸方向に沿って配設され、その凹部内に移動部材２３が摺動可能に取り付けられている。また、移動部材２３の略中央にはねじ穴２３ａが設けられて、このねじ穴２３ａにボールねじ２２が螺合している。
【００２０】
そして、移動部材２３の下部側の長手方向に沿う両側面には、突条２３ｂ，２３ｃが突設され、この突条２３ｂ，２３ｃに対応するレール２０の両内側面には突条２３ｂ，２３ｃと摺接する溝部がそれぞれ設けられている。これによって、移動部材２３は、レール部２０から浮き上がったり、がたついたりすることなく、レール部２０に沿ってスムーズに移動できる。なお、この突条と溝部は、移動部材１８とレール部１７のそれぞれ対応する部分にも形成されており、それによって、移動部材１８は、レール部１７に沿ってスムーズに移動できるようになっている。
【００２１】
さらに、前記レール部１７と同様、レール部２０の両端にも、それぞれ穴部が設けられた壁部２０ａ，２０ｂが、その上部側を凹部から上方に突出させた状態で取り付けられており、壁部２０ａの穴部には、モータ２１の回転軸２１ａが挿通し、壁部２０ｂの穴部にはボールねじ２２の先端部が回転自在に支持されている。したがって、モータ２１を駆動させると、回転軸２１ａおよびボールねじ２２が回転し、それによって、移動部材２３がレール部２０に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２２】
また、移動部材２３の上面には、図５（ａ），（ｂ）に示すような板状のキャリッジベース２４が取り付けられ、そのキャリッジベース２４の一端に上下調節部２５を介してＣＣＤカメラ１２が取り付けられている。上下調節部２５の下面には、ＣＣＤカメラ１２の高さを調節する調節ねじ２５ａが設けられ、前側面には、調節ねじ２５ａによって調節された高さにＣＣＤカメラ１２を固定するための固定ねじ２５ｂが設けられている。また、キャリッジベース２４の一端には、上方に延びたのち水平方向に延びる断面Ｌ形の取り付け片２６がボルト２６ａで固定され、その水平部２６ｂの上面にリング状の照明装置２７が取り付けられている。なお、水平部２６ｂには、ＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａが挿通する挿通穴が設けられており、レンズ部１２ａは、この挿通穴および照明装置２７の中心穴を挿通して、その上端が上方に露呈している。
【００２３】
また、キャリッジベース２４の他端には、水平状の取り付け片２８がボルト２８ａで固定され、その取り付け片２８の上面にケーブルガイド２９の先端部が固定されている。このケーブルガイド２９は、内部が空洞２９ａになったキャタピラー状に形成されており、空洞２９ａ内にＣＣＤカメラ１２や照明装置２７に接続された各種のケーブル３０が収容されている。このケーブルガイド２９の先端部は、キャリッジベース２４の移動に追従して移動し、ケーブル３０がキャリッジベース２４の移動によって互いに絡んだり、装置の他の部分に引っかかったりすることを防止する。なお、レール部２０の先端部にも同様のケーブルガイド３１の先端部が固定されて、モータ１５の駆動によって、レール部２０が移動する際に、ケーブルが絡まないようになっている。
【００２４】
また、台部１１の上面におけるＸ軸移動機構１３の周囲に対応する部分には、Ｙ軸方向の幅が長くなった支柱３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３２ｄがそれぞれボルト３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄによって固定されている。そして、その支柱３２ａ，３２ｂの上面および支柱３２ｃ，３２ｄの上面にそれぞれ、上面が水平面に形成された細板状の基台３４ａおよび３４ｂが掛け渡されている。
【００２５】
さらに、台部１１の上面における支柱３２ａ，３２ｂおよび支柱３２ｃ，３２ｄを囲む両外側部分には、基台３４ａ，３４ｂの上面と略高さの等しい平板状の支持板３５ａ，３５ｂがボルト３６ａ，３６ｂの固定により立設されている。そして、図３のように、基台３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂの上面にそれぞれ架け渡された状態で、５本のシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅが一定間隔を保って載置されている。これらのシャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅは、すべて同径同長で真っ直ぐの丸棒で形成されている。
【００２６】
また、基台３４ａ，３４ｂおよび支持板３５ａ，３５ｂの上面における各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅの間およびシャフト３７ｅの前方側部分（シャフト３７ｅ側を前方側とし、シャフト３７ａ側を後方側とする。）には、図４に示すように、それぞれ、水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆが、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅを、多少の自由度を持たせた状態で位置決めするように取り付けられている。
【００２７】
なお、水平板３８ｂ，３８ｃは、他の水平板３８ａ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆよりも短く設定されて、シャフト３７ｂ，３７ｃ間に設置されている。そして、水平板３８ｂと３８ｃの間には、ＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａおよび照明装置２７を上方に露呈するための窓部となる隙間が設けられ、その隙間に透明のアクリル板からなる透かし部３８ｇが取り付けられている。
【００２８】
台部１１の上面におけるＸ軸方向に沿う両側の後方側（シャフト３７ａの両端側）には、それぞれ柱３９ａ，３９ｂが立設され、各シャフト３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅおよび水平板３８ａ，３８ｂ，３８ｃ，３８ｄ，３８ｅ，３８ｆの周囲には枠状台４０が設けられている。そして、枠状台４０の前方側には、操作パネル４１が設けられている。
【００２９】
また、台部１１の後方には、Ｘ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４に代わって、または、Ｘ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４とともに、本発明の移動機構となり得るＸＹテーブル駆動装置（一部しか図示していない）４２が設置されている。このＸＹテーブル駆動装置４２には、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構（ともに平面部１１ａの下方に設置されている）およびθ軸移動機構４３が備わっている。
【００３０】
そして、このＸＹ駆動装置４２は、図６および図７に示したＸＹテーブル４４を支持するとともに、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ軸方向（水平面上で回転する方向）に移動させる。ＸＹテーブル４４は、平面視略台形状の被固定部４４ａと四角枠状の取付け部４４ｂとで構成され、被固定部４４ａの係合穴４４ｃをθ軸移動機構４３のモータ４３ａに連結された係合軸４３ｂに係合させて、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸＹテーブル取付部４２ａに固定されている。そして、モータ４３ａを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４は、θ軸方向に回転する。
【００３１】
また、平面部１１ａの下方に設置されたＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構は、Ｘ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機構１４と同様に構成され、それぞれ備わったモータを駆動させることにより、ＸＹテーブル４４をθ軸移動機構４３とともに、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させる。
【００３２】
ＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂの下面には、透明アクリル板からなるベース４５が取り付けられ、ベース４５の上面に、図８に示した透明アクリル板からなる固定テーブル４６が取り付けられている。ベース４５の下面両側には、図９に示すような細径のシャフト４７が、シャフト支持部４７ａによって取り付けられている。この一対のシャフト４７は、シャフト３７ｂ，３７ｃ等と直交して点接触できる状態で配設されており、これによってベース４５および固定テーブル４６の水平度が良好に保たれる。
【００３３】
また、ベース４５の上面における両側中央部には、図１０に示すようなガイドピン４８ａ，４８ｂが立設されており、このガイドピン４８ａ，４８ｂに対応するＸＹテーブル４４における取付け部４４ｂの部分には挿通穴４４ｃが設けられている。そして、挿通穴４４ｃ内におけるガイドピン４８ａ，４８ｂの周囲には小径の球体４９が複数個配設されている。このため、ベース４５は、ＸＹテーブル４４に対して上下に摺動できるようになっている。
【００３４】
さらに、ベース４５の上面における両側前後部の四箇所と、その四ヶ所に対応するＸＹテーブル４４の部分の間に、取り付けピンを介して、ばね５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄが取り付けられている。ベース４５および固定テーブル４６がシャフト３７ｂ，３７ｃ等の上に載っている通常の状態では、ベース４５および固定テーブル４６は、ばね５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄの弾性力に抗して、自重で、シャフト４７をシャフト３７ｂ，３７ｃ等に圧接させる。この場合、シャフト３７ｂ，３７ｃの二本のシャフトがメインシャフトとして、一対のシャフト４７と接触して、固定テーブル４６を水平に保つようになっており、他のシャフト３７ａ，３７ｄ，３７ｅは補助シャフトとして、ベース４５および固定テーブル４６を支受する。
【００３５】
固定テーブル４６は、複数の電極パターンがプリントされたシート状のワーク（図９参照）４６ｃを固定するためのもので、上面に格子状のエア抜き用線状溝４６ａおよび幅広の浅い溝４６ｂが設けられている。また、この固定テーブル４６には、エア抜き用の吸引装置（図示せず）がホース５１ａおよび継手５１ｂ等を介して接続されており、固定テーブル４６上にシート状のワーク４６ｃを設置した状態で、吸引装置を駆動させると、固定テーブル４６の上面にワーク４６ｃが吸引固定される。
【００３６】
また、柱３９ａ，３９ｂの上端を結ぶ部分にはレール部を備えた支持部（図示せず）が架け渡されており、この支持部に、ワーク４６ｃに所定の処理を施す処理部としての一対のプローブヘッド５２ａ，５２ｂ（以下、プローブヘッド５２と記す）およびこのプローブヘッド５２をそれぞれＺ軸方向（上下方向）に移動させるためのＺ軸移動機構が設けられている。
【００３７】
プローブヘッド５２は、シート状ワーク４６ｃの電極パターン（図示せず）が適正に導通しているかどうかを検査するものであり、図１１および図１２に示すように構成されている。すなわち、このプローブヘッド５２は、所定側面に窓部が設けられた四角箱状の収容部５２ｃと、その収容部５２ｃの側面に連なって取り付けられた２個の枠状の収容部５２ｄ，５２ｅと、収容部５２ｃの下方に取り付けられた略四角錐のプローブ固定部５２ｆとからなる基台部分を備えている。そして、プローブ固定部５２ｆの内部には、収容凹部５２ｇが設けられて、その収容凹部５２ｇ内に、ＬＥＤからなる発光体５３が収容されている。収容凹部５２ｇの底面には、外部に通じる通光路５２ｈが設けられて、発光体５３から発光される光が下方に透光するようになっている。
【００３８】
また、プローブ固定部５２ｆの下面四箇所には、先端にプローブ５４が突出したフレキシブル基板５４ａが固定具５５ａ，５５ｂによって固定されている。この取り付け部分は、図１３および図１４に示すように構成されている。すなわち、細線状のプローブ５４の上に異方性導電ゴムからなるシート５４ｂが積層され、そのシート５４ｂの上面に、フレキシブル基板５４ａが積層されてこれらが一体化している。そして、そのフレキシブル基板５４ａの上面を、弾性ゴム５４ｃを介して固定具５５ａで押圧した状態で、その固定具５５ａをボルト５５ｃでプローブ固定部５２ｆの下面に固定している。
【００３９】
プローブ５４は、図１１で示したプローブ固定部５２ｆの両側二面には、内側と外側にそれぞれ２個（実際には、複数個のプローブ５４が１個のフレキシブル基板５４ａに組み付けられているが、この一組を１個としている。）取り付けられ、図１２で示したプローブ固定部５２ｆの両側二面にはそれぞれ１個だけ取り付けられている。図１１に示した内側のプローブ５４は、幅広の固定具５５ｂによってシート５４ｂ、フレキシブル基板５４ａとともに、プローブ固定部５２ｆに固定され、その固定具５５ｂの下面に外側のプローブ５４が固定具５５ａによって、シート５４ｂ、フレキシブル基板５４ａとともに固定されている。
【００４０】
このプローブ５４は、フレキシブル基板５４ａを介して、収容部５２ｃ，５２ｄ，５２ｅに設けられたコネクタ５６に接続され、さらに、フラットケーブル５６ａを介して図示せぬ検査装置に接続されている。また、この六個のプローブ５４の先端部の平面上における形状は、ワーク４６ｃの電極パターンにおける電極部と同形になるように設定され、その電極部にプローブ５４の先端部を接触させることにより導通検査が行えるようになっている。
【００４１】
なお、この処理装置には、前述した各装置等の他に、画像処理装置や位置制御用のマイクロコンピュータが設けられており、ＣＣＤカメラ１２が捉える画像を画像処理して位置データに変換するとともに、ワーク４６ｃの電極部とプローブ５４との二つの位置データの差を補正データとしてＸ軸移動機構１３、Ｙ軸移動機構１４、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構およびθ軸移動機構４３に出力する機能を有する。
【００４２】
このような構成において、ワーク４６ｃに設けられた複数の電極パターンに沿って、その各電極パターンの導通検査を行う際には、ＣＣＤカメラ１２でプローブヘッド５２を撮影しながら、Ｘ軸移動機構１３およびＹ軸移動機構１４を駆動してＣＣＤカメラ１２のレンズ部１２ａがプローブヘッド５２のプローブ５４の真下に位置するようにする。
【００４３】
そして、ＸＹテーブル４４に取り付けられた固定テーブル４６の上面にワーク４６ｃを載置するとともに、エア抜き用の吸引装置を作動させて、固定テーブル４６上面とワーク４６ｃの間を吸気することにより、ワーク４６ｃを固定テーブル４６上に固定する。ついで、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、ワーク４６ｃの電極パターンの位置が透かし部３８ｇの上方になるように、固定テーブル４６を移動させる。つぎに、θ軸移動機構４３を駆動して、電極パターンの縦横の並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃うように、固定テーブル４６を回転させる。
【００４４】
そして、電極パターンの並びがＹ軸方向およびＸ軸方向に揃った状態で、ＣＣＤカメラ１２によってワーク４６ｃの電極パターンのうちの最初に導通検査をする電極パターンを撮影しながら、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構およびＹ軸移動機構を駆動して、その電極パターンの電極部位置とプローブヘッド５２のプローブ５４の位置を合わせて一致させる。
【００４５】
そして、プローブヘッド５２を上下移動させるＺ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５２を下降させて、プローブ５４と電極パターンの電極部を接触させる。これによって、電極パターンが導通しているかどうかの検査ができ、その結果が、検査装置に表示される。ついで、次の電極パターンの検査を行う場合には、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５２を上昇させ、その状態で、ＸＹテーブル駆動装置４２のＸ軸移動機構またはＹ軸移動機構を駆動して、次の電極パターンの位置とプローブヘッド５２の位置を合わせる。
【００４６】
そして、Ｚ軸移動機構を駆動させることにより、プローブヘッド５２を下降させて、プローブ５４を位置合わせした電極パターンの電極部に接触させる。これによって、この電極パターンが導通しているかどうかの検査ができる。なお、この処理装置には、２個のプローブヘッド５２が設けられているため、最初の検査終了後、他のプローブヘッド５２の位置にＣＣＤカメラ１２を移動させ、そのプローブヘッド５２と、その下方の電極パターンの位置認識および位置決めを行うことができる。このため、二箇所で順次操作を進めることができる。
【００４７】
上記の操作を繰り返すことにより、ワーク４６ｃのすべての電極パターンについて導通検査を行うことができる。このように、この処理装置では、ＣＣＤカメラ１２と、ワーク４６ｃおよびプローブヘッド５２との間に配設された透かし部３８ｇ、ベース４５およびテーブル４６が透明体で構成されているため、ＣＣＤカメラ１２、ワーク４６ｃおよびプローブヘッド５２を一直線上に位置させることができる。このため、ＣＣＤカメラ１２の撮影角度にいわゆるオフセットがなくなって、ワーク４６ｃの精度のよい位置決めができ、その結果、適正な導通検査ができるようになる。
【００４８】
また、ＣＣＤカメラ１２でワーク４６ｃやプローブヘッド５２を撮影する際、ＣＣＤカメラ１２側に取り付けられた照明装置２７で被撮影物側を照射して、鮮明な画像が得られるようにしているとともに、プローブヘッド５２に設けた発光体５３を発光させることにより、ハレーションの発生を防止し、良好な画像が得られるようにしている。
【００４９】
さらに、水平に配置された基台３４ａ，３４ｂの上面に、シャフト３７ｂ，３７ｃ等を一定間隔で並設して、このシャフト３７ｂ，３７ｃ等の上面に、シャフト３７ｂ，３７ｃ等と直交する一対の細径のシャフト４７が下面に取り付けられたベース４５を載置している。そして、そのベース４５の上面に、固定テーブル４６が配設されるため、ワーク４６ｃの水平度が良好になる。
【００５０】
すなわち、基台３４ａ，３４ｂとシャフト３７ｂ，３７ｃ等との接触、およびシャフト４７とベース４５との接触は線接触になり、シャフト３７ｂ，３７ｃ等とシャフト４７との接触は点接触になる。平面同士を水平度を保ったまま接触させることは精度を要求されることからコストアップにつながり設計上難しいが、線接触や点接触の状態で互いを水平に保つことは比較的容易にできる。この結果、上記の構成をとることによりワーク４６ｃを水平に固定でき、さらに検査の確実性が増すようになる。
【００５１】
なお、前記実施形態では、透かし部３８ｇおよびベース４５を透明の板で構成しているが、透かし部３８ｇは何もない単なる窓で構成してもよいし、ベース４５は枠体で構成することもできる。
【００５２】
また、他の実施形態として、この処理装置を、ワークに設けられたパターンを、その形状に合わせて打ち抜くパンチング装置に利用することもできる。この場合、ワークを固定する固定テーブル側に金型が必要であれば、その金型位置以外の部分に、画像撮影装置を配設する。また、これ以外でも、被処理物と処理部の位置を認識したのち位置決めし、処理を行う装置であればどのような装置でも本発明は利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の一実施形態による処理装置の中央部分を示す概略正面図である。
【図２】  図１の平面図である。
【図３】  処理装置の基台にシャフトを並設した状態を示す平面図である。
【図４】  図３におけるシャフト間に水平板を配設した状態を示す平面図である。
【図５】  （ａ）はＣＣＤカメラが取り付けられたキャリッジベースの平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図６】  ＸＹテーブルの平面図である。
【図７】  ＸＹテーブルがＸＹテーブル駆動装置に取り付けられた状態を示す正面図である。
【図８】  （ａ）は固定テーブルの平面図であり、（ｂ）はその一部を切り欠いた正面図である。
【図９】  シャフトと固定テーブルの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図１０】  ＸＹテーブルとベースの組み付け状態を示す部分拡大図である。
【図１１】  （ａ）はプローブヘッドの縦断面図であり、（ｂ）はその下面における一面を説明する図である。
【図１２】  （ａ）は、図１１の縦断面と直交する断面におけるプローブヘッドの縦断面図であり、（ｂ）はその下面における一面を説明する図である。
【図１３】  プローブの固定状態を示す斜視図である。
【図１４】  プローブの固定状態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
１２…ＣＣＤカメラ、１３…Ｘ軸移動機構、１４…Ｙ軸移動機構、１５，２１…モータ、１６，２２…ボールねじ、１７，２０…レール部、１８，２３…移動部材、３８ｇ…透かし部、４２…ＸＹテーブル駆動装置、４３…θ軸移動機構、４４…ＸＹテーブル、４５…ベース、４６…固定テーブル、４６ａ…エア抜き用線状溝、４６ｂ…溝、４６ｃ…ワーク、５２ａ，５２ｂ…プローブヘッド、５３…発光体、５４…プローブ。
【図１】
0004798571.tif 000002
【図２】
0004798571.tif 000003
【図３】
0004798571.tif 000004
【図４】
0004798571.tif 000005
【図５】
0004798571.tif 000006
【図６】
0004798571.tif 000007
【図７】
0004798571.tif 000008
【図８】
0004798571.tif 000009
【図９】
0004798571.tif 000010
【図１０】
0004798571.tif 000011
【図１１】
0004798571.tif 000012
【図１２】
0004798571.tif 000013
【図１３】
0004798571.tif 000014
【図１４】
0004798571.tif 000015