(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一軸方向に延びるとともに上方に開口する収容部を有するケース部材と、
前記収容部から一部が上方に突出した状態で前記収容部に収容されるとともに、軸方向に移動可能に取り付けられた可動部材と、
前記可動部材を軸方向に移動させる駆動装置と、
前記収容部の上方開口部を上方から塞ぐシャッタ部材と、
を有する単軸ロボットにおいて、
前記ケース部材の上方部における前記可動部材の移動領域を除く両側のうち少なくとも一方側に、一部が前記シャッタ部材よりも上方に突出するとともに前記収容部と連通する空気通路部を備え、この空気通路部は、前記ケース部材の上方部にカバー部材が取り付けられることによって形成され、かつ、前記可動部材が軸方向一端側に移動すると、軸方向一端側の前記収容部の空気がこの空気通路部を通じて軸方向他端側の前記収容部に移動するように構成され、
前記カバー部材は、前記ケース部材に対して着脱自在であることを特徴とする単軸ロボット。
【請求項２】
前記空気通路部の上端の高さ位置は、前記可動部材の上端の高さ位置よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の単軸ロボット。
【請求項３】
前記駆動装置は、前記可動部に設けられたナット部と、このナット部と螺合するボールねじ軸と、このボールねじ軸又は前記ナット部を回転させる駆動源とを有しており、前記駆動源により前記ボールねじ軸又は前記ナット部を軸周りに回転させて、前記可動部材を軸方向に移動させるものであることを特徴とする請求項１または２に記載の単軸ロボット。
【請求項４】
前記駆動装置は、前記可動部材の底面部と、この可動部材の底面部に対面する前記ケース部材の底面壁の表面とのうち、一方側表面にＮ極及びＳ極の磁性を有する磁石を軸方向に交互に配列したマグネット配列部を設けるとともに、他方側表面にコイル部を配置して、前記コイル部の磁性を変化させて可動部材を軸方向に移動させるようにしたリニアモータにより構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の単軸ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダ動作時に収容部内の空気が圧縮されるのを抑制する構造を有する単軸ロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、略直方体形状のケーシング内にスライダが収容され、このスライダが軸方向（長手方向）に移動できるように構成された単軸ロボットが一般に知られている。具体的には、断面略Ｕ字状であって上方に開口する収容部を有するケーシングと、このケーシングの収容部に収容されるスライダとを備えており、前記収容部は上方から平板状のシャッタ部材で塞がれている。そして、前記スライダは、収容部に設置された駆動装置によって駆動されることにより、収容部内を一軸方向に移動できるようになっている。
【０００３】
一般に、単軸ロボットの上記収容部には、特許文献１に示されるように、スライダの構成要素が密に収容されており、収容部の断面領域において余分なスペースがほとんど存在しない。したがって、このような単軸ロボットを軸方向一端側に移動させると、収容部内の軸方向一端側に存在していた空気が逃げ場を失って圧縮され、この圧縮された空気は、ケーシングとシャッタ部材との隙間からケーシング外部に排出されることになる。単軸ロボットの収容部には、塵埃や機械要素のグリス等が存在しており、収容部内の空気が外部に排出されると、この塵埃等が空気と共に外部に飛散してしまい、特にクリーンルームで使用される単軸ロボットでは、この塵埃の飛散がクリーンルームのクリーン度低下の要因となる。また、収容部内の軸方向他端側は圧力が負圧となり、外部から空気を塵埃と一緒に吸い込むと、単軸ロボットの故障の原因となる。
【０００４】
特許文献１では、このような問題を解決するために、ケーシングの底壁や側壁に中空部を設け、この中空部を通じて軸方向一端側に圧縮された空気を軸方向他端側に循環させることによって、単軸ロボットの収容部の空気が外部に漏れたり、収容部内に外部から空気が侵入することをできるだけ防止することが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−１９７３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年では、特に、スペース効率等の問題から単軸ロボットの扁平、小型化が求められ、さらにスライダをロングストロークで高速に移動させることが求められている。
【０００６】
しかし、特許文献１に示されるケーシングの底壁や側壁に中空部を設ける構成では、単軸ロボット全体が大型化してしまう問題がある。すなわち、ケーシングの底壁や側壁に中空部を形成しているため、中空部を設ける分だけ底壁や側壁の肉厚を厚く形成する必要がある。したがって、ケーシングの高さ方向又は幅方向（軸方向と直交する方向）の寸法が大きくなり、全体として単軸ロボットを小型化することが困難になるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、単軸ロボットが大型化することなくスライダ動作時に単軸ロボットの収容部の空気が外部に漏れたり、収容部内に外部から空気が侵入することをできるだけ防止することができる単軸ロボットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の単軸ロボットは、一軸方向に延びるとともに上方に開口する収容部を有するケース部材と、前記収容部から一部が上方に突出した状態で前記収容部に収容されるとともに、軸方向に移動可能に取り付けられた可動部材と、前記可動部材を軸方向に移動させる駆動装置と、前記収容部の上方開口部を上方から塞ぐシャッタ部材と、を有する単軸ロボットにおいて、前記ケース部材の上方部における前記可動部材の移動領域を除く両側のうち少なくとも一方側に、一部が前記シャッタ部材よりも上方に突出するとともに前記収容部と連通する空気通路部を備え、この空気通路部は、前記ケース部材の上方部にカバー部材が取り付けられることによって形成され、かつ、前記可動部材が軸方向一端側に移動すると、軸方向一端側の前記収容部の空気がこの空気通路部を通じて軸方向他端側の前記収容部に移動するように構成され、前記カバー部材は、前記ケース部材に対して着脱自在であることを特徴としている。
【０００９】
この構成によれば、可動部材が軸方向一端側に移動すると、この移動により収容部の軸方向一端側に存在している空気が空気通路部を通じて軸方向他端側に移動可能になるため、当該空気がシャッタ部材とケース部材との隙間から外部に漏れるのを防止することができる。したがって、可動部材の移動に伴う発塵を防止することができる。また、前記可動部材の移動領域を除いた前記ケース部の上方部に空気通路部を設けているため、この空気通路部を設けたことによる単軸ロボットの大型化を抑制することができる。すなわち、上方に突出する可動部材の一部（上端部分）の幅は、ケース部材の幅よりも小さく形成されており、ケース部材の上方部における可動部材移動領域の側方にはスペースが存在している。したがって、このスペースを利用して空気通路部を設けているため、空気通路部を形成するためのスペースをケース部材に設ける必要がない。したがって、従来のように底壁や側壁に中空部を設けるものに比べて、ケース部材を大型化することなく空気通路部を設けることができる。また、空気通路部が開口部より上方となることで、シャッタ部材の側方を覆うことになり、シャッタ部材と開口部の間の隙間から塵埃が収容部内に侵入するのをより効果的に防止することができる。
特に、前記カバー部材が前記ケース部材に対して着脱自在に構成されているため、メンテナンスに優れた空気通路部とすることができる。例えば、空気通路部に汚れが発生した場合であっても、カバー部材を取り外すことによって容易に空気通路部内を清掃することができる。また、カバー部材を取り外した空気通路部から、ノズルで収容部に向けてジェット状に空気を吹き込むことで、収容部内の塵埃を除去することができる。さらに、空気通路部をケース部材のみではなく、別部材であるカバー部材で形成することによって、ケース部材を安価なものとすることができる。
【００１０】
また、前記空気通路部の上端の高さ位置は、前記可動部材の上端の高さ位置よりも低いことが好ましい。
【００１１】
このように構成することにより、可動部材を介して収容部内の各装置に必要な電源又は制御等の配線を空気通路部の上端の高さ位置と、前記可動部材の上端の高さ位置との差によって生じるスペースを使って設置することができる。
【００１４】
また、前記駆動装置は、前記可動部に設けられたナット部と、このナット部と螺合するボールねじ軸と、このボールねじ軸又は前記ナット部を回転させる駆動源とを有しており、前記駆動源により前記ボールねじ軸又は前記ナット部を軸周りに回転させて、前記可動部材を軸方向に移動させるものを使用することができる。
【００１５】
このように単軸ロボットの駆動装置を汎用性のあるボールねじを使用することにより、単軸ロボットを安価に製作することができる。
【００１６】
また、前記可動部材の底面部と、この可動部材の底面部に対面する前記ケース部材の底面壁の表面とのうち、一方側表面にＮ極及びＳ極の磁性を有する磁石を軸方向に交互に配列したマグネット配列部を設けるとともに、他方側表面にコイル部を配置して、前記コイル部の磁性を変化させて可動部材を軸方向に移動させるリニアモータタイプの駆動装置であってもよい。
【００１７】
このように単軸ロボットの駆動装置をリニアモータにすることにより、ボールねじタイプの駆動装置を用いる場合に比べて、単軸ロボットを扁平、小型化することができ、さらに可動部材（スライダ）を静粛かつ高速に移動させることができる単軸ロボットとすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の単軸ロボットによれば、単軸ロボット全体として大型化することなくスライダ動作時における単軸ロボット内の空気が外部に漏れたり、外部の空気が内部に侵入するのをできるだけ防止し、塵埃が外部に飛散したり塵埃が外部から侵入するのをできるだけ防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態にかかる単軸ロボットの平面図、図２は、図１のＡ−Ａにおける断面図、図３は、図１の側面における部分断面図である。
【００２０】
本発明の一実施形態に係る単軸ロボット１は、図１〜３に示すように、ケース部材２と、このケース部材２に一定方向に直線的に移動可能に支持される可動部材３とを備えている。
【００２１】
上記ケース部材２は、フレーム２１と一対の上部カバー２２とを有しており、一軸方向に延びる枠状に形成されている。なお、本明細書では、説明の便宜のためにケース部材２の延びる一軸方向を前後方向とし（図１の上方を後、下方を前とする）、ケース部材２の幅方向（図２の左右方向）を左右方向として説明する。
【００２２】
上記フレーム２１は、所定厚みを有する底壁部２１ａと、この底壁部２１ａの左右両側で底壁部２１ａよりも上方に延びる側壁部２１ｂとからなり、上方に開口する断面略コ字状で前後方向に延びている。このフレーム２１は、例えばアルミニウム合金等の押出し材で構成することが可能である。また、フレーム２１の側壁部２１ｂには、固定孔２３が複数個所設けられている。この固定孔２３は、側壁部２１ｂの一部を切り欠いた切欠部２３ａと、底壁部２１ａを貫通する挿通孔２３ｂとで構成されており、この挿通孔２３ｂにボルトを挿通することによって単軸ロボット１を基台（相手部材）に固定するためのものである。具体的には、単軸ロボット１を基台に固定する場合には、図２の２点鎖線で示すように、ボルトｂを前記切欠部２３ａから挿通孔２３ｂに挿入し、工具を上方から、後述する貫通孔２２ｅ及び工具孔２２ｃを通して操作するか、あるいは、そのまま切欠部２３ａから工具を操作することによって前記ボルトを締結する。
【００２３】
上記一対の上部カバー２２は、それぞれが互いに対象な断面略Ｌ字状をなしており、上面部２２ａと側面部２２ｂとを有している。そして、側面部２２ｂの下端部が上記フレーム２１の側壁部２１ｂの上端部にボルトａで固定されて、側面部２２ｂ及び上面部２２ａが全長にわたって側壁部２１ｂの上方の空間を外側から覆っている。すなわち、フレーム２１の底壁部２１ａと側壁部２１ｂ及び、一対の上部カバー２２の側面部２２ｂと上面部２２ａとにより、収容部２４が形成されている。また、上部カバー２２の両上面部２２ａによって、当該両上面部２２ａの間に開口部２２ａ１が形成されており、両上面部２２ａにおける開口部２２ａ１側端部に形成される平坦面２２ａ２に可撓性部材からなるシャッタ２５が載置可能となっている。
【００２４】
また、上部カバー２２の側面部２２ｂの下端部における固定孔２３に対応する位置には、工具孔２２ｃが設けられており、通常、収容部２４内の空気が工具孔２２ｃから外部に出ることがないように、埋め栓２２ｄで塞がれている。
【００２５】
また、上記ケース部材２内には、フレーム２１の底壁部２１ａの左右両端部上に前後方向に延びる左右一対のガイドレール４１が配置されているとともに、底壁部２１ａのほぼ中央位置には、前後方向に延びるマグネットプレート５が配置されている。
【００２６】
上記マグネットプレート５は、平板状のプレート部材５１上に、複数個の永久磁石５２を軸方向にＮ，Ｓの磁極が交互になるように配列された板状部材（マグネット配列部）である。このマグネットプレート５は、永久磁石５２が上方になるように、プレート部材５１とフレーム２１の底壁部２１ａとがボルトで固定されている。
【００２７】
また、上記フレーム２１の底壁部２１ａの右端部には、上記ガイドレール４１に沿って、細長のプレート状の磁気スケール４２が底壁部２１ａの略全長にわたって設けられている。この磁気スケール４２は、後述のＭＲヘッド４３により読取可能なように磁気的に目盛りを記録したものである。
【００２８】
上記可動部材３は、スライドテーブル３１とこのスライドテーブル３１の下面に連結された可動ブロック３２とを有している。
【００２９】
上記スライドテーブル３１は、上記一対のガイドレール４１に跨る形状に形成され、このスライドテーブル３１の下面の左右両端部には、上記ガイドレール４１に係合する被ガイド部３１ａが取付けられており、これにより当該スライドテーブル３１がガイドレール４１に摺動自在に支持されている。そして、このスライドテーブル３１の下面の中央部に上記可動ブロック３２が連結されている。
【００３０】
上記可動ブロック３２は、前後方向に延び、断面略四角形の角柱形状に形成されており、その底面部３２ａが、上記マグネットプレート５と対面するように配置されている。そして、この可動ブロック３２内には、複数のコイル（不図示）が備えられており、このコイルと上記マグネットプレート５の永久磁石５２とが互いに対面するようになっている。また、コイルは、図示されない基板に接続され、この基板及び当該基板に接続されたケーブルＷを介して図外の電源及び制御回路に電気的に接続されるようになっている。すなわち、このコイルとマグネットプレート５とで構成されているリニアモータが本実施形態における駆動装置である。なお、ケース部材２の側面側には、ケーブルベア６が隣接されており、上記ケーブルＷはこのケーブルベア６に保持されるようになっている。
【００３１】
上記スライドテーブル３１の右側部には、磁気ヘッドとしてのＭＲヘッド４３が設けられている。このＭＲヘッド４３は、上記磁気スケール４２に対向し、可動部材３の移動中に上記磁気スケール４２を読取ることにより可動部材３の位置を検出するものである。
【００３２】
また、スライドテーブル３１の上方には、作業部材支持用のテーブル３３が配設され、このテーブル３３に、用途に応じた各種の作業部材が取付けられるようになっている。このテーブル３３は、上記スライドテーブル３１の上面に載置された状態で、複数箇所においてボルトによりスライドテーブル３１に固定されている。上記テーブル３３の上面複数箇所には、作業部材をボルト止め等で取付けるための取付座３３ａが設けられ、この取付座３３ａを除く部分でテーブル３３がテーブルカバー３３ｂにより覆われている。
【００３３】
また、図３に示すように、上記テーブル３３は、その内部を上記シャッタ２５が通過可能な形状に形成され、適所にはローラ３３ｃが設けられている。上記ローラ３３ｃは、当該テーブル３３が位置する部分ではシャッタ２５を上方に凸となるように案内するとともに、当該テーブル３３の前後方向端部位置ではシャッタ２５を上部カバー２２の上面部２２ａ上に位置させるものである。したがって、図２に示すように、シャッタ２５が上方に凸とされた部分においては、シャッタ２５の端部と平坦面２２ａ２との間に高さ方向の隙間が形成され、この隙間から上方に延びるテーブル３３の一部（四隅）に上記取付座３３ａが形成されている。一方、スライドテーブル３１の一部は、上面部２２ａの上方まで延設され、この延設された部分によって、テーブル３３におけるシャッタ２５の下方に位置する部分とスライドテーブル３１とがボルト３３ｄで連結されている。したがって、シャッタ２５の端部と平坦面２２ａ２とで形成される隙間は、その一部がテーブル３３により塞がれている。すなわち、上面部２２ａと、この上面部２２ａと対向するテーブル３３の下面とでその隙間を小さくすることによって、外部と収容部２４との間の空気の移動を防ぐことにしている。これにより、前記両上面部２２ａ間の開口部２２ａ１をシャッタ２５で塞いだ状態のままで可動部材３を移動させることが可能になっている。そして、上部カバー２２の上面部２２ａ上において、可動部材３（テーブル３３）が移動する領域を本発明では可動部材３の移動領域としている。
【００３４】
また、上記ケース部材２の左右両端部には、空気通路部７が形成されている。この空気通路部７は、上部カバー２２の上面部２２ａから上方に膨出するように形成され、上部カバー２２の上面部２２ａから上方に延びる一対の突出壁７ａと、この突出壁７ａに係合するカバー部材７ｂとを有しており、前後方向に延びるように形成されている。
【００３５】
このカバー部材７ｂは、断面略Ｕ字状に形成されており、その両先端部には上部カバー２２の突出壁７ａと着脱自在に係合する係合部７ｃが形成されている。この係合部７ｃが上部カバー２２の突出壁７ａに係合することによって、前記カバー部材７ｂが上方に凸となる姿勢で嵌め合わされ、上部カバー２２の上面部２２ａ、上記突出壁７ａ及びカバー部材７ｂによって空気通路部７が形成されている。そして、本実施形態では、空気通路部７の上端における高さ位置は、上記テーブル３３の上端における高さ位置よりも低くなるように形成されており、この高さ位置の差によって形成される隙間から上記ケーブルベア６からのケーブルＷを収容部２４内に引き入れるようになっている。なお、本実施形態では、カバー部材７ｂは樹脂で形成されており、カバー部材７ｂを左右方向に撓ませることによって、上部カバー２２の突出壁７ａに対して着脱できるように構成されている。
【００３６】
また、上記空気通路部７を形成する上部カバー２２の上面部２２ａには、貫通孔２２ｅが前後方向に亘って所定個所設けられており、この貫通孔２２ｅを通じて空気通路部７内と、上記収容部２４とが連通するようになっている。したがって、可動部材３を挟んで前後に分かれるケース部材２の収容部２４は、この空気通路部７によって連通しており、収容部２４に存在する空気は、空気通路部７を通じて収容部２４内を前後方向に自由に移動できるようになっている。
【００３７】
このように構成された単軸ロボット１において、可動部材３を例えば前方に移動させた場合について説明する。上記可動ブロック３２内のコイルに電流が流れ、電流と永久磁石５２との相互作用によって生じる推力により、可動部材３が前方に移動すると、ケース部材２の収容部２４における前方部分の空気は、可動部材３によってさらに前方側に移動する。前方側に移動した空気は、上部カバー２２の上面部２２ａの前方側に設けられた貫通孔２２ｅを介して空気通路部７に移動する。そして空気通路部７の空気は、上部カバー２２の上面部２２ａの後方側に設けられた貫通孔２２ｅから収容部２４の後方側に移動する。また、可動部材３が前方に移動する場合と同様に、後方に移動する場合には、収容部２４の後方部分における空気は、上部カバー２２の上面部２２ａの後方側に設けられた貫通孔２２ｅを介して空気通路部７に移動し、さらに上方カバーの上面部２２ａの前方側に設けられた貫通孔２２ｅから収容部２４の前方側に移動する。
【００３８】
このように、可動部材３の移動に付随して、ケース部材２における収容部２４の空気は、空気通路部７を通じて自由に行き来できるため、従来のように可動部材３の移動により収容部２４の空気が圧縮され、この空気が上部カバー２２の上面部２２ａとシャッタ２５との間から外部に排出することを防止することができる。また、空気通路部７を可動部材３の移動領域を除くケース部材２の上面部２２ａ上に設けたため、従来のように空気通路部７の設置を確保するためにケース部材２の肉厚を増加させる必要がない。したがって、単軸ロボット１全体として大型化することなく空気通路部７を形成することができる。
【００３９】
また、上記実施形態では、空気通路部７を上部カバー２２の上面部２２ａから膨出するように設けているため、上部カバー２２の上面部２２ａとシャッタ２５との間からケース部材２の収容部２４内に異物が入るのを抑制することができる。すなわち、図３に示すように、上記実施形態では、シャッタ２５がテーブル３３内を通過するように設けているため、テーブル３３の位置におけるシャッタ２５の高さ位置は、他の部分におけるシャッタ２５の高さ位置よりも高くなる。そのため、側面視で上部カバー２２の上面部２２ａ上面とテーブル３３位置のシャッタ２５との間に隙間が形成されるが、この隙間はその一部がテーブル３３により塞がれるが、テーブル３３の下面と上面部２２ａの上面との間には小さな隙間が形成される。しかし、この隙間を側方から隠すように空気通路部７が形成されているため（図２参照）、空気通路部７が左右方向から異物が侵入するのを抑制することができる。
【００４０】
また、上記実施形態では、空気通路部７のカバー部材７ｂが着脱自在に取り付けられているため、保守作業を容易に行うことができる。すなわち、例えば単軸ロボット１を基台に取付け又は取り外しを行う場合には、まず、前記カバー部材７ｂを取り外すとともに、工具孔２２ｃに取り付けられている埋め栓２２ｄを取り外すことにより、上部カバー２２の貫通孔２２ｅ及び、工具孔２２ｃを通して固定孔２３を臨むことができる。そして、この貫通孔２２ｅ及び工具孔２２ｃに工具を挿通することによって、ボルトｂの締結又は取り外しを行うことができる。したがって、単軸ロボット１を基台に取り付け取り外しに際し、シャッタ２５や上部カバー２２を取り外す必要がなく、作業性が向上する。また、貫通孔２２ｅ及び工具孔２２ｃにより工具が導かれるので、工具を収容部２４内の部品に突き当てて、この部品を損傷することも防止することができる。また、フレーム２１の側壁部２１ｂに設けた切欠部２３ａから工具を用いてボルトｂの締結又は取り外しを行う場合に比べて、工具の作業性を向上させることができる。
【００４１】
また、上記実施形態では、駆動装置について、マグネットプレート５を底壁部２１ａに設置し、コイルを可動ブロック３２に設ける場合について説明したが、底壁部２１ａにコイルを設置し、マグネットプレート５を可動ブロック３２の底面に設置するものであってもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、リニアモータタイプの駆動装置として、マグネットプレート５とコイルとを使用した場合について説明したが、ケース部材２の収容部２４に前後方向に延びるマグネットシャフト（永久磁石５２を軸方向に交互に配列したもの）を設け、このマグネットシャフトの外径側に設置するコイルを介して可動部材３を前記マグネットシャフトに遊嵌させたリニアモータタイプであってもよい。
【００４３】
また、駆動装置としてリニアモータを使用せず、可動部材３にナット部を設け、この可動部材３のナット部と螺合するボールねじ軸と、このボールねじ軸に連結される出力軸を備える駆動源（モータ）とを備え、前記駆動源の出力軸の回転により前記ボールねじ軸を軸周りに回転させて、前記可動部材３を軸方向に移動させるボールねじタイプの駆動装置を用いたものであってもよい。この場合には、リニアモータのように永久磁石が収容部２４内に配置されることがないので、組立時に鉄製のボルト等が磁石に吸引されることがないようにする等の特別な配慮を不要であるというメリットがある。また、駆動装置として汎用性のあるボールねじを使用するため、安価な単軸ロボット１とすることができる。
【００４４】
また、上記実施形態では、空気通路部７のカバー部材７ｂとして、樹脂製のものについて説明したが、金属製のカバー部材７ｂであってもよいし、ケース部材２を形成する部材と同じアルミ合金等で形成したものであってもよい。この場合、カバー部材７ｂを撓ませて着脱することが困難である場合には、前後方向にスライドさせて着脱できるように構成してもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、空気通路部７のカバー部材７ｂを着脱自在であるものについて説明したが、上部カバー２２と一体化されたものであってもよい。この場合には、空気通路部７内の空気が外部に排出するのを完全に防止することができる。
【００４６】
また、上記実施形態では、空気通路部７を上部カバー２２の左右両端部に設けた場合について説明したが、いずれか一方のみに設けたものであってもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、空気通路部７は収容部２４と上面部２２ａによって分離され、この上面部２２ａに複数個所設けられた貫通孔２２ｅを通じて連通する例について説明したが、空気通路部７と収容部２４とが軸方向に亘って連通一体化するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の単軸ロボットの平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ部分における断面図である。
【図３】図１の側面における部分断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  単軸ロボット
２  ケース部材
３  可動部材
７  空気通路部
７ａ  突出壁
７ｂ  カバー部材
２１  フレーム
２２  上部カバー
２２ｅ  貫通孔
２４  収容部
２５  シャッタ
【図１】
0004790392.tif 000002
【図２】
0004790392.tif 000003
【図３】
0004790392.tif 000004