(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材に液体を噴射して該板材を起立状態に維持しておき、起立した該板材を該板材の面が該板材を搬送する搬送ベルトの搬送方向に沿うように配置するとともに、前記板材の下端面を前記搬送ベルトの搬送方向に沿って刻設した溝で下支えしながら前記板材を移動させる板材搬送方法。
【請求項２】
請求項１の板材搬送方法において、前記板材の表面，裏面のいずれかの一面に向けて液体を噴射し、該板材を液体の噴射側にわずかに傾斜した起立状態に維持することを特徴とする板材搬送方法。
【請求項３】
請求項１の板材搬送方法において、前記板材の表面，裏面の両面に均等な噴射圧力で液体を噴射し、該板材を垂直の起立状態に維持することを特徴とする板材搬送方法。
【請求項４】
前記搬送ベルトの下側に配置されたガイドにより該搬送ベルトの撓みを防止することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の板材搬送方法。
【請求項５】
搬送方向に沿って配置され搬送される板材に液体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる搬送ベルトを有する移動機構とを備え、
前記板材は該板材の面が前記搬送ベルトの搬送方向に沿うように前記搬送ベルトに配置され、前記搬送ベルトには前記板材の下端面を下支えする溝が前記搬送ベルトの搬送方向に沿って刻設されてなる板材搬送装置。
【請求項６】
請求項５の板材搬送装置において、流体噴射機構は前記板材の一面側にのみ配置され該板材を液体の噴射側にわずかに傾斜して起立させることを特徴とする板材搬送装置。
【請求項７】
請求項５の板材搬送装置において、流体噴射機構は前記板材の両面側に配置され両面側からの液体の均等な噴射圧力で該板材を垂直に起立させることを特徴とする板材搬送装置。
【請求項８】
前記搬送ベルトの下側には、前記搬送ベルトの撓みを防止するガイドが設けられていることを特徴とする請求項５から７いずれか１項記載の板材搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板等の脆弱性の板材の工場内等での搬送に係る技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
従来、板材の搬送技術としては、例えば、特許文献１に記載のものが知られている。
【０００３】
この従来の板材の搬送技術は、浮上装置によって下方から空気を噴射して板材を定位置で水平状態に浮上させておき、板材を浮上させた浮上装置をレールに沿って搬送方向へ移動させるものである。
【０００４】
この従来の板材の搬送技術によると、板材が周囲部材と非接触となるため、搬送途中での板材の損傷，破損が防止されるという利点がある。
【特許文献１】特開２０００−６２９５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述の従来の板材の搬送技術では、板材を水平に浮上させる浮上装置の設置床面積が広く必要になるため、板材が大型化すると設置が困難になるという問題点がある。また、浮上装置の複数方向の多数箇所から噴射される空気の噴射圧力を精密に調整しないと、浮上した板材が撓んだり水平方向へ滑動してしまうため、板材の大きさに対応する運転調整が面倒であるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、このような問題点を考慮してなされたもので、設置床面積を広く必要とせず板材の大きさに対応する運転調整が容易である板材搬送方法と、この板材搬送方法を実施するに好適な板材搬送装置とを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述の課題を解決するため、本発明に係る板材搬送方法は、次のような手段を採用する。
【０００８】
即ち、請求項１に記載のように、板材に液体を噴射して板材を起立状態に維持しておき、起立した板材を下端面で下支えしながら移動させる。
【０００９】
この手段では、板材を起立状態で搬送することで設置床面積を狭くし、起立した板材の荷重を下支えし板材の転倒を液体の噴射圧力で阻止することで板材の撓み，滑動を防止する。
【００１０】
また、請求項２に記載のように、請求項１の板材搬送方法において、液体は板材の表面，裏面のいずれかの一面に噴射され、板材は液体の噴射側にわずかに傾斜した起立状態に維持されることを特徴とする。
【００１１】
この手段では、板材の起立状態がわずかに傾斜する。
【００１２】
また、請求項３に記載のように、請求項１の板材搬送方法において、液体は板材の表面，裏面の両面に均等な噴射圧力で噴射され、板材は垂直の起立状態に維持されることを特徴とする。
【００１３】
この手段では、板材の起立状態が垂直になる。
【００１４】
さらに、前述の課題を解決するため、本発明に係る板材搬送装置は、次のような手段を採用する。
【００１５】
即ち、請求項４に記載のように、搬送方向に沿って配置され搬送される板材に液体を噴射して板材を起立させる流体噴射機構と、流体噴射機構の下方に配置され板材を下端面で下支えしながら搬送方向へ移動させる移動機構とを備えてなる。
【００１６】
この手段では、上方に配置された流体噴射機構から板材に液体が噴射され、下方に配置された移動機構で板材が下支えされて移動される。
【００１７】
また、請求項５に記載のように、請求項４の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の一面側にのみ配置され板材を液体の噴射側にわずかに傾倒して起立させることを特徴とする。
【００１８】
この手段では、流体噴射機構が板材の一面側から液体を噴射する。
【００１９】
また、請求項６に記載のように、請求項４の板材搬送装置において、流体噴射機構は板材の両面側に配置され両面側からの液体の均等な噴射圧力で板材を垂直に起立させることを特徴とする。
【００２０】
この手段では、流体噴射機構が板材の両面側から液体を噴射する。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置は、板材を起立状態で搬送するため、設置床面積が狭くなる効果がある。また、この効果により、板材が大型化しても設置が困難になることがない効果が生ずる。
【００２２】
また、起立した板材の荷重を下支えし板材の転倒を液体の噴射圧力で阻止するため、搬送される板材の撓み，滑動が防止される効果がある。また、この効果により、板材の大きさに対応する運転調整が容易になる効果が生ずる。
【００２３】
さらに、請求項２，請求項５として、板材の起立状態がわずかに傾斜して板材の表面，裏面の一方側が開放されるため、板材の供給側，回収側との受渡機構や付属機器類の設備が容易になる効果がある。
【００２４】
さらに、請求項３，請求項６として、板材の表面，裏面の両面側に液体の噴射圧力が掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材がクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずることがない効果がある。更に、垂直に立てることにより、より幅の狭い搬送装置となる。
【００２５】
さらに、請求項７として、全体がユニット化されるため、搬送距離の長い搬送ラインを容易に構成することができる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２７】
図１〜図７は、本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置の実施の形態（１）を示すものである。
【００２８】
まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の形態を説明する。
【００２９】
この実施の形態では、液晶ガラス基板からなる板材Ｐをクリーンルームの内部で搬送するものを示してある。
【００３０】
この実施の形態は、図１，図２に示すように、板材Ｐの裏面に空気からなる流体Ａをほぼ直交する角度ａで噴射して、板材Ｐを流体Ａの噴射側にわずかな角度ｂで傾斜した起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐを下端面で下支えしながら移動させるものである。
【００３１】
起立した板材Ｐの傾斜の角度ｂについては、約５度が選択される。起立した板材Ｐを下支えする面については、水平面に対してわずかな角度ｃ（角度ｂと同一角度）で傾斜されて板材Ｐの下端面に当接される。
【００３２】
この実施の形態によると、板材Ｐを起立状態で搬送するため、前述の従来例に比して設置床面積を狭くすることができる。従って、板材Ｐが大型化しても、設置が困難になることはない。搬送される板材Ｐは、下端面で荷重の大部分が下支えされ裏面で流体Ａの噴射圧力で荷重の一部分（転倒力）が側支えされるため、板材Ｐの撓み，転倒が防止される。従って、前述の従来例のように流体Ａの噴射圧力を精密に調整しなくても、流体Ａの噴射圧力を単に板材Ｐの転倒が阻止されるように調整するだけでよいため、板材の大きさに対応する運転調整が容易になる。
【００３３】
なお、板材Ｐが下端面を支持する周囲部材以外と非接触となるため、前述の従来例と同様に、搬送途中での板材Ｐの損傷，破損が防止される。
【００３４】
また、板材Ｐの表面側が開放されているため、板材Ｐの供給側，回収側との受渡機構や付属機器類（例えば、板材Ｐの検査機構）の設備が容易になる。
【００３５】
次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施の形態を説明する。
【００３６】
この実施の形態は、図３〜図７に示すように、流体Ａを板材Ｐに噴射する流体噴射機構１と、板材Ｐの下端面を下支えして板材Ｐを移動させる移動機構２とを主要部として構成されている。
【００３７】
流体噴射機構１は、加圧された流体Ａが流通する角筒形の本体部１ａの１つの面に一定間隔を介して流体Ａが噴射される流体噴射孔（０．５ｍｍ〜１．０ｍｍ）１ｂが複数列に多数設けられている。本体部１ａには、ホース１ｃを介して流体Ａの供給源であるエアブロアー１ｄが接続されている。
【００３８】
この流体噴射機構１は、方形のフレーム部材３の上下のほぼ中央部に取付ブラケット４で取付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材３から突出して配置されている。フレーム部材３は、設置床面Ｆに設置されるフレーム構造の架台５に前述の角度ｂを形成して支持されている。なお、流体噴射機構１のエアブロアー１ｄは、架台５に設置されている。
【００３９】
移動機構２は、モータ２ａによって回転駆動される駆動プーリ２ｂと駆動プーリ２ｂから離れた従動プーリ２ｃとの間に搬送ベルト２ｄがエンドレスに掛渡されている。搬送ベルト２ｄの表面の長さ方向には、板材Ｐの下端面の滑落を阻止するための溝２ｅが刻設されている。駆動プーリ２ｂ，従動プーリ２ｃ，搬送ベルト２ｄの間には、搬送ベルト２ｄの撓みを防止するガイド２ｆが設けられている。
【００４０】
この移動機構２は、前述のフレーム部材３の下端部付近に取付ブラケット６で取付けられ、搬送方向（横方向）に沿って一部がフレーム部材３から突出（流体噴射機構１とほぼ同長）して配置されている。
【００４１】
これ等のユニット化された流体噴射機構１，移動機構２，フレーム部材３，架台５は、図７に示すように、架台５の間に連結ブラケット７を取付けて搬送方向に複数台が連結され、板材Ｐを長距離搬送することのできる搬送ラインが構成される。
【００４２】
この実施の形態によると、全体がフレーム構造等からなるため、安価，軽量に製造することができる。
【００４３】
この実施の形態の運転使用では、移動機構２の搬送ベルト２ｄに載せられた板材Ｐが流体噴射機構１のノズル１ｂから噴射される流体Ａによって転倒を阻止されながら搬送されることになる。
【００４４】
この実施の形態の作用，効果は、前述の本発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【００４５】
図８，図９は、本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置の実施の形態（２）を示すものである。
【００４６】
まず、本発明に係る板材搬送方法の実施の形態を説明する。
【００４７】
この実施の形態は、図８に示すように、板材Ｐの表面，裏面の両面に流体Ａをほぼ直交する角度ａで噴射して、板材Ｐを垂直の起立状態に維持しておき、起立した板材Ｐを下端面で下支えしながら移動させるものである。
【００４８】
この実施の形態によると、板材Ｐの表面側の開放が消失する以外、前述の本発明に係る板材搬送方法の実施の形態（１）と同様の作用，効果奏される。
【００４９】
さらに、この実施の形態によると、板材Ｐの表面，裏面の両面側に流体Ａの噴射圧力が掛かって垂直の起立状態が強力に維持されるため、搬送中の板材Ｐがクリーンルームの空調の気流等によってぶれ等を生ずることがない。
【００５０】
次ぎに、本発明に係る板材搬送装置の実施の形態を説明する。
【００５１】
この実施の形態は、図９に示すように、流体噴射機構１，フレーム部材３を水平方向へ相対して配置した構成になっている。なお、移動機構２は、一方のフレーム部材３に取付けられている。
【００５２】
この実施の形態の作用，効果は、前述の本発明に係る板材搬送方法の実施の形態と同様である。
【００５３】
以上、図示した実施の形態の外に、液晶ガラス基板以外の材質からなる板材Ｐの搬送に適用することも可能である。
【００５４】
さらに、板材Ｐの材質に対応して噴射される流体Ａを不活性ガス等の他の気体や水等の液体とすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置の実施の形態（１）を示す基本原理の斜視図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図２の詳細図である。
【図４】図３の要部の拡大図である。
【図５】図３の他の要部の拡大断面図である。
【図６】図３の正面図である。
【図７】図６による搬送ラインの構成図である。
【図８】本発明に係る板材搬送方法および板材搬送装置の実施の形態（２）を示す基本原理の側面図である。
【図９】図８の詳細図である。
【符号の説明】
【００５６】
１    流体噴射機構
２    移動機構
３    フレーム部材
Ａ    流体
Ｐ    板材
【図１】
0004790279.tif 000002
【図２】
0004790279.tif 000003
【図３】
0004790279.tif 000004
【図４】
0004790279.tif 000005
【図５】
0004790279.tif 000006
【図６】
0004790279.tif 000007
【図７】
0004790279.tif 000008
【図８】
0004790279.tif 000009
【図９】
0004790279.tif 000010