(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，
エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，
一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，
出入口が開放され，
各ノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口と出口に向かって流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設けることにより，出入口の少なくとも一方には，内部雰囲気の漏出を防ぐためのエアーカーテンを形成したことを特徴とする，エアシャワー装置。
【請求項２】
入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，
エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，
一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，
出入口が開放され，
エアシャワー装置内部の両側面に沿って流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設け，
入口の内方両側もしくは出口の内方両側には，湾曲した形状のガイドベーンが複数枚ずつ起立して配置され，前記複数枚のガイドベーンはそれぞれ並列に配置されており，前述のノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口もしくは出口に向かって流れる気流は，各ガイドベーンの間を通ることにより，面状の気流に方向変換させられることを特徴とする，エアシャワー装置。
【請求項３】
エアシャワー装置内部にエアーガンを備えることを特徴とする，請求項1又は２に記載のエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項１，２又は３の何れかに記載のエアシャワー装置と，清浄空気の平行流が形成された清浄空間を隣接して配置したことを特徴とする，清浄装置の配置構造。
【請求項５】
前記清浄空間よりも清浄度の高い高度清浄空間を，前記清浄空間に隣接して配置したことを特徴とする，請求項４に記載の清浄装置の配置構造。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の清浄装置の運転方法であって，エアシャワー装置内を通過する時間を測定し，その測定値に基づいて前記清浄空間又は前記高度清浄空間への入場の可否を決定することを特徴とする，清浄装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，清浄装置などに入る際に，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置に関し，更に，エアシャワー装置を利用した清浄装置の配置構造と運転方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば集積回路などを生産する半導体製造分野やバイオテクノロジーなどの分野において，清浄な雰囲気や無菌状態を保つためにクリーンルームなどの清浄装置が利用されている。この場合，清浄装置の内部を清浄に保つだけでなく，清浄装置に隣接してエアシャワー装置を設置し，清浄装置に入室する人等に対して，予めエアシャワー装置の通過を義務付け，清浄装置への異物の侵入を防いでいる。エアシャワー装置では，フィルターでろ過した清浄な空気をノズルから人体や防塵衣等に向かって吐出し，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除去する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，一般にはエアシャワー装置の出入口には開閉扉が設けられているので，清浄装置へ入場しようとする者は，エアシャワー装置に入るときと出るときの両方に開閉扉を開け閉めしなければならず，煩雑である。特に，清浄装置へ工具等を持ち込む場合は，それらを携えてエアシャワー装置に入出しなければならず，相当に面倒である。
【０００４】
本発明の目的は，通過が容易なエアシャワー装置を提供し，更に，そのようなエアシャワー装置を利用した清浄装置の配置構造と運転方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決する手段】
この目的を達成するために，本発明にあっては，入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，出入口が開放され，各ノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口と出口に向かって流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設けることにより，出入口の少なくとも一方には，内部雰囲気の漏出を防ぐためのエアーカーテンを形成したことを特徴とする，エアシャワー装置が提供される。
また，本発明によれば，入口と出口の間に形成された通路の両側面に，清浄空気を内部に吐出するノズルを設け，入口から出口に向かって通路を通過する人等にノズルから清浄空気を吹き付けることにより，人等に付着した異物を除去するエアシャワー装置であって，エアシャワー装置内部の両側面には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズルが複数箇所に配置され，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルを互いに位置をずらして配置することにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，もしくは，一方の側面と他方の側面において，互いのノズルが対向する位置関係となるように配置するが，各ノズルの吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面の各ノズルからの吐出気流がぶつかり合わないように構成され，出入口が開放され，エアシャワー装置内部の両側面に沿って流れる空気流をガイドし，出入口の少なくとも一方に対して面状に空気を供給するガイドベーンを設け，入口の内方両側もしくは出口の内方両側には，湾曲した形状のガイドベーンが複数枚ずつ起立して配置され，前記複数枚のガイドベーンはそれぞれ並列に配置されており，前述のノズルから吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果によりエアシャワー装置内部の両側面に沿いながら入口もしくは出口に向かって流れる気流は，各ガイドベーンの間を通ることにより，面状の気流に方向変換させられることを特徴とする，エアシャワー装置が提供される。
【０００６】
高度清浄空間に入室しようとする人等は，先ず，エアシャワー装置に入り，エアシャワー装置の入口と出口の間に形成された通路を通る。そして，このようにエアシャワー装置内の通路を通過する間に，通路の両側面に設けられたノズルから清浄空気が人等に向かって吐出され，人等に付着した異物が吹き飛ばされて除去される。
【０００７】
また，高度清浄装置へ工具等を持ち込もうとする場合は，人等はそれら工具等を携えてエアシャワー装置内の通路を通過することになる。この場合，エアシャワー装置内に備えられたエアーガンを用いて，工具等に圧縮空気を吹き付け，エアシャワー装置内において，工具等に付着した異物を除去することができる。
【０００８】
こうして，エアシャワー装置内を通過することにより異物を除去した後，人等は，次の清浄空間に入ることになる。この場合，エアシャワー装置の出口にエアーカーテンを形成しておくことにより，エアシャワー装置の内部雰囲気が清浄空間に漏出することを防ぐことができる。
【０００９】
そして，清浄空間では，清浄空気の平行流が形成されている。この場合，清浄空間で形成される清浄空気の平行流は，例えば下向きの垂直層流である。そして，エアシャワー装置において異物を除去された人等は，清浄な状態を保ったまま清浄空間を通過し，次の高度清浄空間に入ることができる。
【００１０】
ここで，以上のようにエアシャワー装置及び清浄空間を通過して，高度清浄空間に人等が入るに際しては，エアシャワー装置内を人等が通過する時間を測定し，その測定値に基づいて高度清浄空間への入場の可否が決定される。即ち，エアシャワー装置内を通過する時間が所定の時間を経過している場合は，エアシャワー装置内において人等に付着した異物が充分に除去されたものと判断し，高度清浄空間への入場が許可される。一方，エアシャワー装置内を通過する時間が所定の時間を経過していない場合は，エアシャワー装置内において人等に付着した異物が充分に除去されていないものと判断し，高度清浄空間への入場を否認する。これにより，高度清浄空間への異物の持込を有効に防止でき，高度清浄空間内を清浄度の高い雰囲気に保つことができるようになる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態を図面を参照にして説明する。図１は，本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置１を備えた清浄装置２の斜視図である。この清浄装置２は，エアシャワー装置１，清浄空間３及び高度清浄空間４を隣接して配置した構成になっている。
【００１２】
高度清浄空間４の内部は，例えば半導体製造分野やバイオテクノロジーなどの分野に好適な，クラス１０００〜１００，０００程度の清浄な雰囲気に保たれている。この高度清浄空間４の正面に，高度清浄空間４に出入りする人等が通るための出入口１０が設けられている。出入口１０は，開閉扉１１によって開閉されるようになっている。そして，この出入口１０に隣接して清浄空間３が配置されている。高度清浄空間４に入室する人等は，予めエアシャワー装置１を，その入口１３から出口１４に向かって通過することにより塵埃を除去し，清浄な状態を保ちながら清浄空間３を通り，出入口１０を経て高度清浄空間４に入室するようになっている。
【００１３】
図示の例では，エアシャワー装置１は，高度清浄空間４の外壁面から離れた位置に配置されており，エアシャワー装置１と高度清浄空間４の出入口１０との間に，清浄空間３が形成されている。
【００１４】
図２は，エアシャワー装置１の斜視図である。図３は，エアシャワー装置１の横断面図であり，エアシャワー装置１の内部を上から見た状態を示している。エアシャワー装置１の両側には入口１３と出口１４が開放された状態で形成されており，入口１３からエアシャワー装置１内に入った人等は，出口１４に向かって一方通行的にエアシャワー装置１内の通路１６を通るようになっている。入口１３と出口１４には，扉，カーテン等が取り付けられず，エアシャワー装置１の内部が外部に対して開放された状態になっている。エアシャワー装置１内部の両側面１７には，清浄な空気を内部に向かって吐出するノズル１８が複数箇所に配置されている。そして，入口１３から出口１４に向かってエアシャワー装置１内の通路１５を通る人等に，これらノズル１５から清浄な空気を吐出することにより，人体や防塵衣等に付着した異物を吹き飛ばして除去するようになっている。
【００１５】
エアシャワー装置１内部の両側面１７に設けられるノズル１８は，例えばパンカールーバなどで構成される。エアシャワー装置１内部の両側面１７にこれらノズル１８を設けるに際しては，例えば一方の側面１７と他方の側面１７において，互いのノズル１８が千鳥の位置関係となるように，互いに位置をずらして配置することにより，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流がぶつかり合わないようにしても良いし，一方の側面１７と他方の側面１７において，互いのノズル１８が対向する位置関係となるように配置するが，各ノズル１８の吐出方向をそれぞれ傾かせることにより，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流がぶつかり合わないようにしても良い。いずれにしても，両側面１７の各ノズル１８からの吐出気流が互いに干渉し合うことなく，各ノズル１８からの吐出気流が，対向する側面（内壁面）１７まで高速を維持したまま円滑に到達できるように構成すると良い。そうすれば，各ノズル１８からの吐出気流が周囲の空気（エアシャワー装置１内部の空気）を誘引して，対向する側面１７まで勢いよくぶつかるようになる。
【００１６】
エアシャワー装置１内部の両側面１７の背部は，いずれも清浄空気のチャンバ１９に構成されている。図４に示すように，このチャンバ１９の内部を上下に仕切るようにして斜めに蓋板２０が設けてある。チャンバ１９の内部を仕切る手段として，この蓋板２０のほか，蓋板２０の一部にＨＥＰＡフィルタ２１が適当な箇所にはめ込んである。即ち，チャンバ１９の内部を仕切るように入口１３と出口１４の近傍に対称となるようにＨＥＰＡフィルタ２１をそれぞれ配置し，それらＨＥＰＡフィルタ２１の周りを蓋板２０で塞ぐことにより，仕切り面を構成し，チャンバ１９の内部を空気が下から上に通過する全部の空気が，ＨＥＰＡフィルタ２１を通って濾過されるようになっている。ＨＥＰＡフィルタ２１の吐出面と蓋板２０は面一に配置されている。また，このように蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１によって仕切られたチャンバ１９の下部にファン２２が配置してある。
【００１７】
前述のようにエアシャワー装置１内部の両側面１７に配置された複数のノズル１８は，このように蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１によって仕切られたチャンバ１９の上方において，通路１５に向けて開口している。一方，エアシャワー装置１内部の両側面１７の下方には，吸い込み口２３が開口している。吸い込み口２３は，前述した蓋板２０とＨＥＰＡフィルタ２１による仕切り面よりも下方に位置している。そして，チャンバ１９の下部に配置されたファン２２の稼動により，エアシャワー装置１内部の空気を，吸い込み口２３を経てチャンバ１９の下部に吸い込み，その空気をチャンバ１９内において上方に吹き出すことにより，ＨＥＰＡフィルタ２１を強制的に通過させて濾過し，清浄な空気にして，ノズル１８からエアシャワー装置１内の通路１５に向かって吐出する構成になっている。こうして，エアシャワー装置１内の通路１５を通る人等に付着した異物を吹き飛ばして除去し，その後，エアシャワー装置１内部の空気は，吸い込み口２３を経て再びチャンバ１９の下部に吸い込まれるようになっている。これにより，エアシャワー装置１内において人等から吹き飛ばされた異物は，ＨＥＰＡフィルタ２１で除去されるようになっている。
【００１８】
図５に示すように，エアシャワー装置１内の四隅（入口１３の内方両側と出口１４の内方両側）には，ほぼ９０°に湾曲した形状のガイドベーン（翼板）２５が複数枚ずつ起立して配置されている。エアシャワー装置１内の各四隅において，複数枚のガイドベーン２５はそれぞれ並列に配置されており，前述のノズル１８から吐出され，対向する内壁面に衝突した後，コアンダ効果により図３に示すようにエアシャワー装置１内部の両側面１７に沿いながら入口１３と出口１４に向かって流れる気流２６は，各ガイドベーン２５の間を通ることにより，面状の気流２７に方向変換させられている。このように入口１３と出口１４に向かって流れ出ようとする気流２６を，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方において面状の気流２７に方向変換することにより，入口１３と出口１４の内方両側から面状の気流２７を供給する，いわゆるエアーカーテンが入口１３と出口１４にそれぞれ形成されている。こうして，エアシャワー装置１の内部から外部へ雰囲気が漏出することを防いでいる。
【００１９】
エアシャワー装置１の内部において通路１５の上方には，図６に示すごときエアーガン３０が装置されている。エアシャワー装置１の入口１３と出口１４との間に延びるレール３１が，エアシャワー装置１の天井から吊り下げられて設置されている。このレール３１は，出口１４側よりも入口１３側が低くなるように傾斜している。レール３１の上には，複数の滑車３２が装着してあり，これら滑車３２は，レール３１上を円滑に転動できるようになっている。また，各滑車３２にはフック３３がそれぞれ取り付けてあり，これら各フック３３に，圧縮空気の供給ホース３４が十分な余裕を持った状態で，ほぼ一定間隔に吊り下げられている。また，供給ホース３４の先端には，エアーガン本体３５が取り付けてある。このように構成されたエアーガン３０は，エアーガン本体３５を掴んで操作することにより，エアシャワー装置１の内部において，所望の箇所に圧縮空気を吹き付けることができる。また，作業者等がエアーガン本体３５を手から離せば，レール３１上を各滑車３２が走行して入口１３側に集まり，供給ホース３４とエアーガン本体３５は，エアシャワー装置１の内部において入口１３側に垂れ下がった状態となる。
【００２０】
図１に示すように，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０の間に形成された清浄空間３の上方には，ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）４０が複数台設置してある。各ＦＦＵ４０は，内蔵されたファン（図示せず）の稼動により，フィルタ（図示せず）で濾過した清浄空気の平行流を下向きの垂直層流の状態で供給するようになっている。これにより，清浄空間３は常に清浄な状態に保たれている。
【００２１】
図示の形態では，清浄空間３は，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０を結ぶ動線と交差する方向には開放された構成になっており，高度清浄空間４の外壁面に沿って移動する人等は，エアシャワー装置１の出口１４と高度清浄空間４の出入口１０の間において清浄空間３を自由に通過できるようになっている。
【００２２】
高度清浄空間４の出入口１０の外部両側には，エアーカーテンの供給ノズル４５がそれぞれ設けてある。これら供給ノズル４５の内方には，出入口１０の両側から対向して面状の気流４６を供給する吐出口４７がそれぞれ設けてある。供給ノズル４５には，ファン４８で吸引され，ＨＥＰＡフィルタ４９で濾過された清浄な空気が供給されるようになっており，これにより，面状の清浄な空気流を，各吐出口４７から出入口１０の外側に沿って供給できるようになっている。前述の開閉扉１１が開かれる場合には，予めファン４８が稼動し，高度清浄空間４の外部において，これら供給ノズル４５によって出入口１０の両側から面状の気流４６が供給されて，いわゆるエアーカーテンが形成され，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むのを防ぐ状態となる。
【００２３】
図示の例では，供給ノズル４５の各吐出口４７から面状に吐出される空気流が，角度θだけ高度清浄空間４の出入口１０から離れる方向に向くように設定されている。これにより，高度清浄空間４の外部（清浄空間３）から高度清浄空間４の内部に流れ込もうとする気流を，高度清浄空間４の外部に向かって押し戻すようになっている。なお，供給ノズル４５の最下部に設けられた吐出口４７から面状に吐出される空気流の角度θ’は，他の吐出口４７から面状に吐出される空気流の角度θよりもやや大きく（θ’＞θに）設定されている。これにより，清浄空間３において床上に沿って流れながら高度清浄空間４内に入り込もうとする外部の気流を防いでいる。なお，各吐出口４７から吐出される空気流の方向（角度θおよびθ’）の調整は，例えば絹糸等を用いて気流方向を確認することにより行われる。
【００２４】
エアシャワー装置１の入口１３の側方には，センサ５０が設置してある。このセンサ５０により，入口１３からエアシャワー装置１の内部に入る人等が検出されるようになっている。このセンサ５０は，エアシャワー装置１の入口１３を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２５】
同様に，エアシャワー装置１の出口１４の側方には，センサ５１が設置してある。このセンサ５１により，入口１４を通ってエアシャワー装置１内から清浄空間３に入る人等が検出されるようになっている。このセンサ５１も同様に，エアシャワー装置１の出口１４を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２６】
また，高度清浄空間４の出入口１０の外部側方には，前述のエアーカーテンを構成する供給ノズル４５の手前（出入口１０の外側）の位置に，センサ５２が設置してある。このセンサ５２により，高度清浄空間４の出入口１０の前に人等が来たことが検出されるようになっている。このセンサ５２も同様に，高度清浄空間４の出入口１０を門型に囲むように配置されるゲートセンサで構成してもよい。
【００２７】
さて，以上のように構成された本発明の実施の形態にかかる清浄装置２において，高度清浄空間４に入室しようとする人等は，先ず，エアシャワー装置１に入口１３から入り，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の間に形成された通路１５を通る。なお，このように入口１３からエアシャワー装置１の中に人等が入ったことは，センサ５０によって検出される。そして，エアシャワー装置１内の通路１５を通過する間に，通路１５の両側面１７に設けられたノズル１８から清浄空気が人等に向かって吐出され，人等に付着した異物が吹き飛ばされて除去される。そして，吹き飛ばされた異物は，エアシャワー装置１内部の両側面１７下部に開口している吸い込み口２３を経てチャンバ１９に吸い込まれ，ＨＥＰＡフィルタ２１で除去される。
【００２８】
また，高度清浄空間４へ工具等を持ち込もうとする場合は，人等はそれら工具等を携えてエアシャワー装置１内の通路１５を通過することになる。この場合，図７に示すように，エアシャワー装置１内に備えられたエアーガン３０のエアーガン本体３５を掴んで操作することにより，人等ａは工具等ｂに圧縮空気を吹き付け，エアシャワー装置１内において，工具等ｂに付着した異物も除去することができる。この場合，エアーガン３０に供給する圧縮空気は，一般の工場施設などに敷設されている生産用の圧縮空気管から分岐させて得ることができる。また，エアーガン３０を使用することによってエアシャワー装置１内に供給される圧縮空気の余剰分は，例えばエアカーテンが形成されるエアシャワー装置１の入口１３と出口１４の上部に排気口を設け，適宜排気ダクトなどで適所に逃がせば良い。そして，このようにエアーガン３０を使用して工具等ｂに付着した異物を除去した後，人等ａがエアーガン本体３５を離せば，供給ホース３４とエアーガン本体３５は，図６に示すように，エアシャワー装置１の内部において入口１３側にまとまって垂れ下がった状態となる。
【００２９】
こうして，エアシャワー装置１内を通過することにより異物を除去した後，人等は，出口１４を通ってエアシャワー装置１内から退出し，次の清浄空間３に入ることになる。なお，このように出口１４を通ってエアシャワー装置１内から人等が退出したことは，センサ５１によって検出される。
【００３０】
そして，先に図３等で説明したように，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方には，ガイドベーン２５によって方向変換させられた面状の気流２７が供給されることにより，いわゆるエアーカーテンが形成されている。このため，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４には特別な遮蔽手段（例えば扉，カーテンなど）を設けなくても，エアシャワー装置１の内部雰囲気が外部や清浄空間３に漏出することを防ぐことができる。このように，扉やカーテンなどといった遮蔽手段を省略して入口１３と出口１４を開放すれば，人等ａはエアシャワー装置１内を容易に通過できるので，工具などの物資の運搬等がしやすい。なお，このようにエアシャワー装置１の入口１３と出口１４の内方に形成されたエアーカーテンの空気の流れは，入口１３と出口１４のほぼ中央で衝突し，エアシャワー装置１内部の両側面１７下部に開口している吸い込み口２３を経てチャンバ１９に吸い込まれ，再循環に供せられることになる。
【００３１】
また，清浄空間３では，清浄空気の下向きの垂直層流が形成されているので，エアシャワー装置１において異物を除去された人等は，清浄な状態を保ったまま清浄空間３を通過し，出入口１０を通って次の高度清浄空間４に入ることができる。なお，このように出入口１０を通って高度清浄空間４に人等が入ろうとする場合には，センサ５２によって，高度清浄空間４の出入口１０の前に人等が来たことが予め検出される。
【００３２】
こうして人等が高度清浄空間４内に入る場合は，開閉扉１１が開く以前に，高度清浄空間４の出入口１０の外部両側から，供給ノズル４５によって面状の気流３１が供給され，いわゆるエアーカーテンが形成される。これにより，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むのを防ぐことができる。
【００３３】
ここで，以上のようにエアシャワー装置１及び清浄空間３を通過して，高度清浄空間４に人等が入るに際しては，エアシャワー装置１内を通過する時間に基づいて高度清浄空間４への入場の可否が決定される。即ち，先ず図８に示すように，人等が入口１３からエアシャワー装置１内に入場すると（Ｓ１），センサ５０に入場が検出され，ファン２２の稼動が開始して，ノズル１８の清浄空気の吐出が開始される（Ｓ２）。
【００３４】
次に，エアシャワー装置１内においてエアーガン３０が使用されるか否かが判断される（Ｓ３）。この判断は，例えばエアーガン３０のスイッチの操作の有無によってなされる。そして，エアーガン３０が使用されない場合は，清浄空気の吐出をファン２２の稼動開始から所定時間行った後，ファン２２の稼動が停止し（Ｓ４），エアシャワー装置１内における清浄空気の吐出が終了する。一方，エアシャワー装置１内においてエアーガン３０が使用された場合は，エアーガン３０の使用終了から更に清浄空気の吐出を所定時間行った後，ファン２２の稼動が停止し（Ｓ５），エアシャワー装置１内における清浄空気の吐出が終了する。
【００３５】
そして，エアシャワー装置１内を通過した人等が，出口１４を通ってエアシャワー装置１内から退出する（Ｓ６）。この場合，エアシャワー装置１内から人等が退出したことは，センサ５１によって検出される。
【００３６】
次に，こうしてエアシャワー装置１にて異物を除去した人等が，清浄空間３を通過し，次の高度清浄空間４に入ろうとして出入口１０の前に来ると，センサ５２によって，それが検出される。すると先ず，図９に示すように，高度清浄空間４に入ろうとしている人等が，エアシャワー装置１内を所定の時間かけて通過したか否かが判断される。即ち，この実施の形態では，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期が，エアシャワー装置１内にて清浄空気が吐出される所定時間の終了前（所定時間の清浄空気吐出の終了前）である場合は，エアシャワー装置１内において人等に付着した異物が充分に除去されていないものと判断し，高度清浄空間４への入場を否認する。この場合は，警報等を発して人等に入場拒否の旨を知らしめ（Ｓ１１），高度清浄空間４の開閉扉１１は開かない。
【００３７】
一方，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期が，エアシャワー装置１内にて清浄空気が吐出される所定時間の終了後（所定時間の清浄空気吐出の終了後）である場合は，エアシャワー装置１内において人等に付着した異物が充分に除去されたと判断する。この場合は，次に，エアシャワー装置１内を退出してから高度清浄空間４に入ろうとするまでの時間が，所定の時間経過していないかどうかが判断される（Ｓ１２）。
【００３８】
即ち，この実施の形態では，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期から，センサ５２によって検出された高度清浄空間４の出入口１０の前に来た時期までの時間が，所定の時間を経過した後である場合は，異常と判断し，高度清浄空間４への入場を否認する。この場合は，警報等を発して人等に入場拒否の旨を知らしめ（Ｓ１３），高度清浄空間４の開閉扉１１は開かない。
【００３９】
一方，センサ５１によって検出されたエアシャワー装置１内からの退出時期から，センサ５２によって検出された高度清浄空間４の出入口１０の前に来た時期までの時間が，所定の時間を経過していない場合は，正常と判断し，初めて人等は高度清浄空間４への入場が許可されることになる。
【００４０】
そして，このように高度清浄空間４への入場が許可された場合は，先ずファン４８が稼動を開始し，高度清浄空間４の出入口１０の外部両側から，供給ノズル４５によって面状の気流３１が供給され，いわゆるエアーカーテンが形成される（Ｓ１４）。
【００４１】
その後，開閉扉１１が開かれる（Ｓ１５）。そして，人等が高度清浄空間４に入場すると（Ｓ１６），再び開閉扉１１が閉じられる（Ｓ１７）。その後，ファン４８が稼動が停止し（Ｓ１８），高度清浄空間４の出入口１０の外部に形成されていたエアーカーテンが解除される。
【００４２】
しかして，この清浄装置２にあっては，エアシャワー装置１の入口１３と出口１４が開放された状態で形成されているので，工具，図面，材料などといった物品を携えて高度清浄空間４に入場するような場合でも，容易にエアシャワー装置１を通過することができる。また，エアシャワー装置１と高度清浄空間４の出入口１０との間に形成された清浄空間３は，高度清浄空間４の外側に沿って移動する人等がそのまま通過することも可能である。
【００４３】
また，高度清浄空間４内から退出する人等は，出入口１０から清浄空間３を通って，そのまま外に出ればよく，退出の際には，エアシャワー装置１を通る必要がない。なお，このように人等が高度清浄空間４内から退出する場合も，開閉扉１１が開く以前に，高度清浄空間４の出入口１０の外側にエアーカーテンを形成すれば，高度清浄空間４の内部に外部雰囲気が入り込むことを防ぐことができる。
【００４４】
また，この清浄装置２によれば，エアシャワー装置１を通過する際に，人等を清浄な状態にすることに加え，高度清浄空間４に入場する人等に対して，自ら発塵させる行動を慎ませる効果がある。即ち，高度清浄空間４に入場する人等に対しては，自らの発塵や動作に伴う発塵を極力なくすことが求められ，そのための規則・作業標準が各工場等で制定されている。エアシャワー装置１は，高度清浄空間４への入室の準備空間，事前確認空間でもある。この清浄装置２によれば，先に図８，９で説明したように，エアシャワー装置１内を所定の時間かけて通過することを高度清浄空間４に入場する人等に課することになるから，そのような規則・作業標準を遵守させることにもなる。また，エアシャワー装置１は扉がないため入室し直すことも面倒でなく，視界もよいため後続する人等にも内部の様子がわかり易い。このため，外部から清掃の規則の遵守状況も確認できる。
【００４５】
以上，本発明の好ましい実施の形態を例示したが，本発明は，ここに説明した形態に限定されない。例えば図１０に示すように，高度清浄空間４の外側に沿ってエアシャワー装置１と清浄空間３を配置してもよい。また，高度清浄空間４は，電子部品製造などに利用されるいわゆる工業用クリーンルームのほか，動物飼育室，食品工場，手術室など菌を防除する施設でも良い。
【００４６】
また，例えば図１１に示すように，更衣室５，エアシャワー装置１，清浄空間３の順に通過する清浄装置２も提案できる。この場合，清浄空間３自体が生産・試験・実験などをする最終的な局所清浄空間であってもよい。このように無塵衣への更衣室５とエアシャワー装置１，清浄空間３を隣接させると，生産等のためのスペースを集約できる。
【００４７】
その他，図６で説明したエアーガン３０において，図１２に示すように，レール３１上を転動する各滑車３２にワイヤー６０をそれぞれ取り付け，これら各ワイヤー６０を，カウンターウェイト６１によって回転トルクが加えられた多段プーリー６２に巻き付けることにより，エアーガン本体３５を小さい力で移動できるように構成することも可能である。即ち，図１２に示す例では，入口１３側よりも出口１４側が低くなるように，レール３１を水平から傾斜させている。そして，入口１３側から遠い滑車３２ほど多段プーリー６２において回転半径の大きい位置に巻き付けている。この図１２に示す構成によれば，各滑車３２に対して，レール３１上を傾斜にしたがって出口１４側に移動させようとする力と，ワイヤー６０による引っ張り力が加わるので，両方の力を相殺させることによって，各滑車３２を，レール３１上の任意の位置に停止させることができるようになる。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば，通過が容易なエアシャワー装置を提供することができ，特に工具等の物品を携えているような場合でも，清浄空間や高度清浄空間に容易に入場できる。また，本発明の清浄装置は，エアシャワー装置を通過する際に，人等を清浄な状態にすることに加え，人等に対して，自ら発塵させる行動を慎ませる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置を備えた清浄装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるエアシャワー装置の斜視図である。
【図３】エアシャワー装置の横断面図であり，エアシャワー装置の内部を上から見た状態を示している。
【図４】チャンバの縦断面図である。
【図５】ガイドベーンの斜視図である。
【図６】エアーガンの斜視図である。
【図７】エアーガンを使用して工具等に付着した異物を除去している状態の説明図である。
【図８】エアシャワー装置内を通過する際の制御工程を示すフローチャートである。
【図９】高度清浄空間への入場の可否を決定する際の制御工程を示すフローチャートである。
【図１０】高度清浄空間の外側に沿ってエアシャワー装置と清浄空間を配置した清浄装置の平面図である。
【図１１】更衣室，エアシャワー装置，清浄空間の順に通過する構成の清浄装置の平面図である。
【図１２】図６と異なる形態のエアーガンの斜視図である。
【符号の説明】
ａ    人等
１    エアシャワー装置
２    清浄装置
３    清浄空間
４    高度清浄空間
１３  入口
１４  出口
１５  通路
１７  両側面
１８  ノズル
２５  ガイドベーン
３０  エアーガン
４０  ＦＦＵ
５０，５１，５２  センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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