(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
次の第一〜第四工程からなる懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法。
第一工程：懸垂式昇降搬送台車の把持部に把持されている所定の処理ステーションへの搬入用物品を降下させ、この搬入用物品を、進退自在なスライド板であって、進退方向に沿って２個の物品の載置面を有する懸垂式一時保管棚における一方の載置面に載置する。
第二工程：懸垂式昇降搬送台車の把持部において、前記所定の処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置されている搬出用物品を把持、上昇させ、この搬出用物品を前記一時保管棚における他方の載置面に載置する。
第三工程：前記懸垂式一時保管棚の一方の載置面に載置されている搬入用物品を、懸垂式昇降搬送台車の把持部にて把持、降下させ、前記所定の処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置する
第四工程：前記懸垂式一時保管棚の他方の載置面に載置されている搬出用物品を懸垂式昇降搬送台車の把持部にて把持、上昇させる。
【請求項２】
物品が半導体基板を挿脱自在に収納するＦＯＵＰであり、処理ステーションが懸垂式昇降搬送台車の環状軌道に沿う適所に配置され、前記ＦＯＵＰ内に収納されている半導体基板の処理設備である請求項１に記載の懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法。
【請求項３】
懸垂式昇降搬送台車の走行路に沿う所定の個所に設置される処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置される搬出用物品と、この搬出用物品に対向する上方に位置し、懸垂式昇降搬送台車の物品把持部に把持されている搬入用物品との交換を行うための懸垂式一時保管棚を有し、
該懸垂式一時保管棚は、進退制御を受け、進退方向に沿って一個ずつ物品を載置する２個の物品載置面を有するスライド板を備え、該スライド板の各物品載置面は該スライド板の進退制御により、搬入又は搬出用物品の保管・取出しを行う場合においてのみ、何れか一方の物品載置面が懸垂式昇降搬送台車の昇降機構の物品把持部に対向するように動作し、それ以外の場合には懸垂式昇降搬送台車の昇降動作を許容するように駆動制御されることを特徴とする懸垂式昇降搬送台車における物品の授受装置。
【請求項４】
物品が半導体基板を挿脱自在に収納するＦＯＵＰであり、処理ステーションが懸垂式昇降搬送台車の環状軌道に沿う適所に配置され、前記ＦＯＵＰ内に収納されている半導体基板の処理設備である請求項３に記載の懸垂式昇降搬送台車における物品の授受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、懸垂式昇降搬送台車（以下、ＯＨＴ台車という）の工程内乃至工程間環状軌道に沿う所定個所に設置され、物品（ＦＯＵＰ等）に対し、挿脱自在に収納される基板（ウエハ、液晶等）の各種処理（ＣＶＤ、洗浄ほか）を行うステーション（以下、処理ステーションという）の物品搬入・搬出ポートに載置されている搬出用物品と、この搬出用物品の上方に位置し、ＯＨＴ台車に把持されている前記処理ステーションへの搬入用物品との交換方法並びにその方法を実施するための装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーンルーム内の工程内乃至工程間環状軌道に沿って配置され、ウエハの各種表面処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を行う一連の処理ステーションで必要な処理を行うため、ＯＨＴ台車を用い、前記ウエハを収納したＦＯＵＰを、搬送することが多い。
基板の処理工程は基板が収納されるＦＯＵＰに取り付けられたタグで管理され、タグの内容も基板処理工程の進行に従い逐次更新される。基板処理の工程はＦＯＵＰに付されたタグの情報により特定され、以降の必要な処理はこのタグ情報に基づきコンピュータによって管理される。
【０００３】
この際、各処理ステーションは処理の種類の相違に応じて処理に要する時間が相違するため工程時間の調整が必要となり、ＦＯＵＰを一時待機させるためのストッカーが設けられている。
このストッカーは、多数のＦＯＵＰ載置用棚と、所定の棚へのＦＯＵＰの搬入或いは所定の棚からＦＯＵＰを搬出するスタッカクレーンを備えている。
【０００４】
さて、前記ストッカー及び各種処理を行う処理ステーションは、ＯＨＴ台車の環状軌道に沿って配置される。
そして、この環状軌道は半導体製造装置の規模に応じて複数設けられ、各環状軌道は工程内環状軌道と工程間環状軌道の連係により構成され、ＯＨＴ台車はこれらの軌道において、安定した走行制御を受けるため常時一定方向に走行制御され、ウエハ等の基板を収納したＦＯＵＰを所定のストッカー乃至処理ステーションに搬送する。
なお、クリーンルーム内におけるＦＯＵＰの搬送手段としてＯＨＴ台車が用いられる理由は、当該ＯＨＴ台車の走行路に沿って配置される各種処理を担う多数の処理ステーション、或いはＦＯＵＰの一時待機用ストッカー等の諸設備を地上に配置する場合の自由度が大となることや、安全上の問題による。
【０００５】
さて、ＯＨＴ台車は、前記工程内環状軌道又は工程間環状軌道を、ＦＯＵＰを把持しつつ走行し、当該ＦＯＵＰに挿脱自在に収納した多数枚（例えば、２５枚）のウエハ等の基板に対して、プロセスの段階に応じた必要な処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）のために所定の処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートに対向する位置に停止する。
次いで、把持しているＦＯＵＰを降下させ、前記所定の処理ステーションの搬入・搬出ポートに載置する。
【０００６】
この処理ステーションの搬入・搬出ポートに載置されたＦＯＵＰに収納されている基板は、処理ステーションに備えられているロボットにより１枚ずつ処理ステーション内に導かれ、所定の処理を受ける。
この基板への処理に要する時間は処理の種類によって異なるが、相応の時間を要するためＦＯＵＰを搬送してきたＯＨＴ台車は、ＦＯＵＰ載置後におうて、別の搬送命令を実行するよう搬送システムコントローラから指示され、システム全体の稼動効率の低下を防止している。
【０００７】
ところで、処理ステーションでの処理が終了した後のＦＯＵＰの扱いは、順次（１）〜（５）の通りである。
（１）処理ステーションが搬送システムコントローラに処理済みのＦＯＵＰの引取り要求をする。
（２）システムコントローラは該処理ステーション近傍に待機する空のＯＨＴ台車に引取りの指令を出す。
（３）引取り命令を受けたＯＨＴ台車は該処理ステーションに到達後搬入・搬出ポートに載置されたＦＯＵＰを把持し、システムコントローラより指示された搬送先まで搬送する。
（４）システムコントローラは、該処理ステーションから処理済みＦＯＵＰの回収されたことを確認し、ストッカー等に保管されている新たなＦＯＵＰを該処理ステーションに運ぶよう軌道上に待機する別の空ＯＨＴ台車に指令する。
（５）搬送指令を受けたＯＨＴ台車はストッカー等に保管されている新たなＦＯＵＰを該処理ステーションまで搬送する。
従って、処理ステーションから処理済みのＦＯＵＰを引取るＯＨＴ台車と新たなＦＯＵＰを供給するＯＨＴ台車は別になる。
一方、この処理ステーションへのＦＯＵＰの引取りと供給が１つのＯＨＴ台車で実行できれば、引取りと供給作業の簡便化と搬送時間の短縮化を図れることが期待できる。
しかし、従来技術でこれを実行すると、ストッカー等に保管されていた新たなＦＯＵＰを搬送してきたＯＨＴ台車が処理ステーションの搬入・搬出ポートにＦＯＵＰを降下載置させようとした時、該ポート上で今だ引取りの済まない処理済みＦＯＵＰに衝突し、事故になる。
【０００８】
従って、所定の処理ステーションのＦＯＵＰ搬入・搬出ポートに載置され、この処理ステーションでの処理を終えた基板を収納したＦＯＵＰと、ＯＨＴ台車に把持され、この処理ステーションでの処理を行おうとしている基板を収納したＦＯＵＰとの交換は一つのＯＨＴ台車では実施できない。
【０００９】
しかし、このようなＦＯＵＰの交換を一つのＯＨＴ台車にて実行しようとした先行技術として下記特許文献１がある。
この特許文献１は、所定の処理ステーションのＦＯＵＰ搬入・搬出ポートに載置され、内部に保有している各基板の当該処理ステーションにおける処理が完了しているＦＯＵＰと、当該所定の処理ステーションにてこれから処理を受けようとする基板を収納しているＦＯＵＰＵの交換を行う技術を開示している。
具体的には、ＦＯＵＰ把持用の一対のフィンガ機構を有するＯＨＴ台車を主体とした５つの実施の形態が挙げられている。以下、これらの実施の形態について概要を述べる。
【００１０】
実施の形態１：
図３に示される通り、ＯＨＴ台車１は、その走行方向に沿ってＦＯＵＰ把持用一対のフィンガ機構１８ａ、１８ｂを備えており、２個のキャリア（ＦＯＵＰ）２０ａ、２０ｂを夫々個別に把持、開放制御できるように構成されている。
そして、処理装置２には、キャリア搬入・搬出ポート８が備えられ、当該キャリア搬入・搬出ポート８上には、ＯＨＴ台車１の走行方向に進退可能に移動可能であって、キャリア内の基板を一枚ずつ所定の処理を行うロードポート２１に位置決めできる荷受テーブル４６が備えられる。
【００１１】
以上の構成により、先ず、ＯＨＴ台車１の走行路に沿って設置されているストッカー或いは他の処理装置から図３における処理装置２にて処理を予定している基板を収納したキャリア２０ｂをフィンガ機構１８ｂにより把持した状態でＯＨＴ搬送台車１がキャリア搬入・搬出ポート８の上方位置に達する。
次に、昇降ベルト１６の繰出しに伴い、グリッパ機構１７が降下し、処理装置２にて処理済みの基板を収納し、荷受テーブル４６上に載置されているキャリア２０ａをフィンガ機構１８ａにより把持する。
【００１２】
この状態で、グリッパ機構１７を若干上昇させ、荷受テーブル４６とキャリア２０ａとの間に空隙を形成し、荷受テーブル４６を前記キャリア２０ｂの下方部に移動させ、グリッパ機構を降下させ、キャリア２０ｂを荷受テーブル４６上に載置し、フィンガ機構１８ｂによるキャリア２０ｂの把持状態を解除する。
以上の動作で、荷受テーブル４６上にあり、処理装置２にて処理済みの基板を収納したキャリア２０ａと、処理装置２にて処理を予定している基板を収納したキャリア２０ｂとを交換させることができる。
【００１３】
実施の形態２：
実施の形態１の図３に開示の荷受テーブル４６を省略し、図６に開示のように構成の簡素化を図っている。
通常、ＯＨＴ台車の逆方向の走行は台車衝突の危険を著しく増大させ、しかも搬送効率を低下させるため、禁止するのが常識である。この実施の形態２においては、図６の「Ｂ」の位置におけるフィンガ機構にて処理を予定している基板を収納したキャリア２０ｂを把持することが必要であり、異なる処理装置２においてキャリアの把持と載置との交換作業は１回毎にストッカーに戻る等の工程が加わり連続的に実施することはできない。
【００１４】
実施の形態３：
図７に示されるように、実施の形態１の構成において、「Ａ」、「Ｂ」の位置にあるフィンガ機構１８ａ、１８ｂが夫々独立の昇降ベルト１６ａ、１６ｂにて独立に昇降制御を可能に構成されている。
このように構成することによって、装置としての自由度が高くなり、複数個の積載手段を他の積載手段の昇降に影響されないで、自在に動作させることができ、その結果、位置合せが容易となり、ＯＨＴ台車の搬送効率が向上する。
【００１５】
実施の形態４：
図８に示されるように、前記実施の形態２と基本構成を共通にし、前記実施の形態３と同様「Ａ」、「Ｂ」の位置にあるフィンガ機構１８ａ、１８ｂが夫々独立の昇降ベルト１６ａ、１６ｂにて独立に昇降制御を可能に構成されている。
【００１６】
実施の形態５：
図１０に示す構成により、ＯＨＴ台車１にキャリア１８を格納している状況においてキャリアの位置を「Ａ」の位置から「Ｂ」の位置に移動できる構成としている。
この構成の付加によって、前記実施の形態２、４に開示の構成（実施の形態１、３に開示のＯＨＴ搬送台車１の走行方向及びその反対方向に沿って移動自在の荷受テーブルを有しない構成）においても一旦、ストッカーに戻ることなく、連続的に異なる処理装置２において処理済みの基板を収納したキャリア２０ａと、処理を予定している基板を収納したキャリア２０ｂの交換を可能とする。
【特許文献１】特開２００５−２２５３９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
前記のように工程内環状軌道に沿って配置され、ＦＯＵＰ内の基板に対してＣＶＤ、洗浄ほか多くの種類の中から特定される処理を施す各処理ステーションは、ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートを有している。
このＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートには、対応処理ステーションにおける処理を予定している基板を収納したＦＯＵＰがＯＨＴ台車によって搬入される。
次いで、ＦＯＵＰ内に収納されている基板に一枚ずつ所定の処理を行い、全ての基板が所定の処理を完了し、ＦＯＵＰ内に戻されると、当該ＦＯＵＰはＯＨＴ台車によってストッカー乃至次の処理のために別の所定の処理ステーションに搬送される。
【００１８】
ところで、処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートにおけるＯＨＴ台車によるＦＯＵＰの搬入・搬出操作において、当該処理ステーションにて処理を受けようとする基板を収納したＦＯＵＰを把持したＯＨＴ台車は、この把持しているＦＯＵＰと、当該処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートに載置され、既に当該処理ステーションにおいて処理済みの基板を収納したＦＯＵＰとの交換は困難である。
ついては、一つの処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートにおいて、処理済の基板を収納するＦＯＵＰの搬出と、未処理の基板を収納するＦＯＵＰの搬入とは、夫々別個のＯＨＴ台車にて行う必要がある。
【００１９】
従って、一つの処理ステーションにて全ての基板が所定の処理を終え、これらの基板を収納し、処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置されたＦＯＵＰは、工程内環状軌道を走行中であって、ＦＯＵＰを把持していない空ＯＨＴ台車によって搬出される。
その後、当該処理ステーションにて処理を予定する基板を収納するＦＯＵＰが、工程内環状軌道を走行中の別のＯＨＴ台車によって当該処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートに搬入される。
この結果、処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートにおけるＦＯＵＰの搬入、搬出にかなりの時間のロスを招き、ＦＯＵＰに収納される基板の処理効率を低下させる傾向があった。
【００２０】
このような問題点を解決することを主眼とする技術として前記特許文献１がある。
この特許文献１に開示の技術は、所定の処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートに載置され、内部に収納されている基板が全数当該処理ステーションにて処理済の基板であるＦＯＵＰの搬出と、当該処理ステーションにて処理を受けようとする基板を収納したＦＯＵＰの前記ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートへの搬入を同時に行うことができることを特徴としている。
【００２１】
これを実現するために、ＯＨＴ台車は、特許文献１の図３、図６、図７、図８に示されるように、ＯＨＴ台車の進行方向に沿って２個のＦＯＵＰ把持用のクリッパ装置を備えた特殊仕様のＯＨＴ台車を使用している。
更に、一旦ストッカーに戻ることなく連続的に異なる処理を受ける処理ステーションに移行するためには、特許文献１の図３、図７に開示され、ＯＨＴ台車１の走行方向に移動自在の荷受テーブル４５を設けるか或いは図１０に示すようなＯＨＴ搬送台車に把持された状態にて把持状態のＦＯＵＰを移動させる構成を必要とする。
【００２２】
前記のように、特許文献１に開示の技術は、所定の処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置され、所定の処理を終えた基板を収納したＦＯＵＰと、所定の処理を受けようとしている基板を収納したＦＯＵＰとの交換作業を唯一台のＯＨＴ台車にて行うことができる。
しかし、このためには、前記したように汎用性の高いＯＨＴ搬送台車は使用できず、ＯＨＴ搬送台車のコストが増し、併せてＦＯＵＰの移動に極めて複雑な機構を付加する必要がある。
【００２３】
そこで、本発明の目的は、１台にて１個のＦＯＵＰの昇降・搬送を担う汎用のＯＨＴ台車を用いて、工程内乃至工程間環状軌道に沿って配置され、ＦＯＵＰ内に収納される基板に必要な処理を行う処理ステーションのＦＯＵＰ用搬入・搬出ポートに載置され、当該処理ステーションにて処理済の基板を収納したＦＯＵＰと、当該ＯＨＴ台車に把持され、当該処理ステーションにて処理を受けようとする基板を収納したＦＯＵＰとを交換可能ならしめる方法並びにその方法を実施するための装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００２４】
前記課題を解決するため、請求項１に記載のＯＨＴ台車における物品の授受方法は、次の第一〜第四工程によって実現する。
第一工程：ＯＨＴ台車の把持部に把持されている所定の処理ステーションへの搬入用物品を降下させ、この搬入用物品を、進退自在なスライド板であって、進退方向に沿って２個の物品の載置面を有する懸垂式一時保管棚（以下、ＯＨＢという）における一方の載置面に載置する。
第二工程：ＯＨＴ台車の把持部において、前記所定の処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置されている搬出用物品を把持、上昇させ、この搬出用物品を前記ＯＨＢにおける他方の載置面に載置する。
第三工程：前記ＯＨＢの一方の載置面に載置されている搬入用物品を、ＯＨＴ台車の把持部にて把持、降下させ、前記所定の処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置する
第四工程：前記ＯＨＢの他方の載置面に載置されている搬出用物品をＯＨＴ台車の把持部にて把持、上昇させる。
【００２５】
この請求項１に係る発明によれば、工程内環状軌道及び当該工程内環状軌道と連係する工程間環状軌道に沿って所定の方向に走行制御を受けるＯＨＴ台車に把持され、所定の処理ステーションにおける処理を受けようとしている物品と、前記所定の処理ステーションにおける物品搬出・搬入ポート上に載置され、所定の処理ステーションにおける処理を既に完了した物品との交換を、懸垂式一時保管棚におけるスライド板の進退機能を併用させることで前記ＯＨＴ台車一台だけの昇降制御のみによって実施できる。
従って、所定の処理ステーションにおける物品搬入・搬出ポートへの物品搬入用ＯＨＴ台車と、当該物品搬入・搬出ポートからの物品搬出用ＯＨＴ台車と、を共通にすることができ、かつ、ＯＨＴ台車は一台にて一個の物品を把持し、昇降・搬送する汎用のものでよく、特別仕様のＯＨＴ台車を製作する必要がなく、かつ、処理ステーションにおける物品搬入・搬出ポート上への未処理物品の搬入及び処理済の物品搬出を効率よく行うことができる。
【００２６】
請求項２に記載のＯＨＴ搬送台車における物品の授受方法は、請求項１に記載のＯＨＴ搬送台車における物品の授受方法において、物品が半導体基板を挿脱自在に収納するＦＯＵＰであり、処理ステーションがＯＨＴ搬送台車の環状軌道に沿う適所に配置され、前記ＦＯＵＰ内に収納されている半導体基板の処理設備であることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、所定の処理ステーションにおけるＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置され、当該処理ステーションにて処理済の基板を収納したＦＯＵＰが搬出されると、遅滞なくその後、当該処理ステーションにて処理を受けようとする基板を収納したＦＯＵＰが前記ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート上に載置される。
従って、ＦＯＵＰ内に収納されている基板に対して種々の処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を効率よく行うことができる。
【００２７】
請求項３に記載のＯＨＴ搬送台車における物品の授受装置は、ＯＨＴ台車の走行路に沿う所定の個所に設置される処理ステーションの物品搬入・搬出ポートに載置される搬出用物品と、この搬出用物品に対向する上方に位置し、ＯＨＴ台車の物品把持部に把持されている搬入用物品との交換を行うためのＯＨＢを有し、該ＯＨＢは、進退制御を受け、進退方向に沿って一個ずつ物品を載置する２個の物品載置面を有するスライド板を備え、該スライド板の各物品載置面は該スライド板の進退制御により、搬入又は搬出用物品の保管・取出しを行う場合においてのみ、何れか一方の物品載置面がＯＨＴ台車の昇降機構の物品把持部に対向するように動作し、それ以外の場合にはＯＨＴ台車の昇降動作を許容するように駆動制御されることを特徴とする。
この請求項３に係る発明は、請求項１に係る発明を実施するための装置に係り、発明の効果としては、前記請求項１に係る発明の効果と均等であり、その説明の重複を避ける。
【００２８】
請求項４に記載のＯＨＴ搬送台車における物品の授受装置は、請求項３に記載のＯＨＴ搬送台車における物品の授受装置において、物品が半導体基板を挿脱自在に収納するＦＯＵＰであり、処理ステーションがＯＨＴ搬送台車の環状軌道に沿う適所に配置され、前記ＦＯＵＰ内に収納されている半導体基板の処理設備であることを特徴とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用先の請求項３に係る発明の効果は元より、請求項２と均等な効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本発明の適用システムを示す平面図、図２、図３は夫々本発明を実施するための正面図及び側面図、図４は本発明に係るＯＨＢの要部構成図、図５は本発明の方法を説明するためのＯＨＢにおけるＦＯＵＰの載置状況を示す模式図である。
【００３０】
次に、本発明を適用するシステム全体の構成について図１を参照して説明する。
図１において、１はベイで、連続した複数領域に併設され、各ベイ１には後述のＯＨＴ台車を走行案内する工程内環状軌道２が敷設され、各工程内環状軌道２は分岐軌道３を介して工程間環状軌道４によって連係を保ち、ＯＨＴ搬送台車は所定の方向に規制されて走行できるように構成されている。
【００３１】
５は処理ステーションで、工程内環状軌道２に沿って配置され、薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等の何れかの処理を、ＦＯＵＰに収納されたウエハ等の半導体基板に施すために、各ベイ１の敷設された工程内環状軌道２に沿って、可能の限り処理の順番に適合させるように配置され、夫々ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａを備えている。このＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａは、ＯＨＴ台車によって所定の処理を予定している基板を収納したＦＯＵＰを搬入し、所定の処理を完了した基板を収納したＦＯＵＰの搬出を担う。
【００３２】
６はストッカーで、工程内環状軌道２における適所に配置され、全ての処理を完了済みの基板を収納したＦＯＵＰの保管、或いは、所定の処理を予定している基板を収納したＦＯＵＰの待機にてＦＯＵＰの保管を行い、ＦＯＵＰ用搬入ポート６ａ、搬出ポート６ｂを備えている。
７はＯＨＴ台車で、前記工程内環状軌道２、分岐軌道３及び工程間環状軌道４を所定の方向への駆動機能と、把持状態のＦＯＵＰの昇降・把持機能を有している。８はシステムコントローラでＯＨＴ搬送台車７の走行ルートの指示や衝突防防止制御などＯＨＴ搬送台車の走行制御を司る。２０は後述するＯＨＢを制御するためのコントローラである。
【００３３】
さて、本願発明の要部構成を示す図２〜図４を参照して実施の形態の具体例を説明する。図２及び図３において、９ａ、９ｂはＦＯＵＰで、ＦＯＵＰ９ａは処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置されている。
そして、このＦＯＵＰ９ａの内部に収納されている当該処理ステーション５における所定の処理がなされていない基板は、図示しないロボット作用によって一枚ずつ処理され、全ての基板が所定の処理が終了し、次に予定しているの所定の処理を行う別の処理ステーション５或いはストッカー６（図１参照）への搬送に対する待機状態にある。
【００３４】
前記ＯＨＴ台車７は、工程内環状軌道２、分岐軌道３、工程間環状軌道４の何れか（図２の状態は工程内環状軌道２を表示）と係合する駆動・走行機構７ａ、台車位置調整機構７ｂ、昇降機構７ｃ、昇降ベルト７ｄ、グリップ機構７ｅ及びフィンガ機構７ｆから構成される。
なお、前記駆動・走行機構７ａは、特許文献１に具体的に示されるように、非接触給電による電力を受け、リニアモータの原理で推進力を得、システムコントローラ８（図１を参照）による走行制御によって走行方向が規制される。
【００３５】
前記ＦＯＵＰ９ｂには、所定の処理ステーション５にて処理を受ける予定の基板が収納されている。そして、このＦＯＵＰ９ｂは、処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａに対応する位置にある。この際、ＦＯＵＰ９ｂはＯＨＴ搬送台車７のフィンガ機構７ｆにて当該ＦＯＵＰ９ｂのフランジ部が把持されることによりＯＨＴ台車７に保持されている。
【００３６】
１０はＯＨＢで、工程内環状軌道２に保持され、下方に延びるラック枠１０ａと、当該ラック枠１０ａの開放状態にある下端部に対して水平状態を保って支持される棚部材１０ｂと、から構成される。
そして、前記ラック枠１０ａと棚部材１０ｂとで囲まれる空間は昇降ベルト７ｄを巻上げ、ＦＯＵＰを把持したＯＨＴ台車７が通過できるに足る大きさを有している。
また、前記棚部材１０ｂは固定板１０ｂｘ及びスライド板１０ｂｙからなり、更なる詳細な構成について図４を参照して説明する。
【００３７】
図４において、スライド板１０ｂｙは、ＯＨＢコントローラ２０（図１を参照）によって固定板１０ｂｘとの相対位置が２段階の制御を受けて進退制御を受ける。
このスライド板１０ｂｙの進退制御は、当該スライド板１０ｂｙの固定板１０ｂｘとの相対位置の変位を来す。
これによって、当該スライド板１０ｂｙにおけるＦＯＵＰ載置面としての先端領域（以下、領域Ｚ１  という）及び基端領域（以下、領域Ｚ２  という）は、両者とも固定板１０ｂｘに対向した退避状態にあるか、領域Ｚ１  及び領域Ｚ２  の何れかが、所定の処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａに対応した位置に停止しているＯＨＴ台車が把持するＦＯＵＰに対向する。
【００３８】
次に、スライド板１０ｂｙに関する進退機構、ＦＯＵＰ用位置決め機構などについて、説明する。
即ち、図４において、１０ｄｘ、１０ｄｙはキネマティックピンで、夫々スライド板１０ｂｙ上にＦＯＵＰ９ａ、９ｂが正規に載置された際のみ、当該ＦＯＵＰ９ａ、９ｂの底面に形成されている図示しない孔に嵌合する。このキネマティックピン１０ｄｘ、１０ｄｙとＦＯＵＰ底面に形成された孔の正規の嵌合状態はスライド板１０ｂｙの表面に配置されているセンサ１０ｅｘ、１０ｅｙにおいて検知する。
【００３９】
１０ｆはギアで、固定板１０ｂｘ側の適所に設置され、図示しない減速機付モータにて回転速度及び回転方向がＯＨＢコントローラ２０（図１を参照）によって制御される。
１０ｇはリニアギアで、スライド板１０ｂｙの底面部において当該スライド板１０ｂｙの進退方向であって、前記ギア１０ｆと噛合う位置に設けられている。
なお、固定板１０ｂｘに対するスライド板１０ｂｙの案内機構の詳細は省略するが、適宜の周知手段において設けられる。
【００４０】
上記構成において、図１の全体構成における一つのベイ１に敷設された工程内環状軌道３に沿って走行するＯＨＴ台車７が、把持しているＦＯＵＰ９ｂに収納され、基板の処理を予定している処理ステーション５に到達し、図２、図３に示すように、既に処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａに当該処理ステーション５において処理を完了した基板を収納したＦＯＵＰ９ａが載置されている場合について、前記ＦＯＵＰ９ａとＦＯＵＰ９ｂとの配置交換動作を図５を参照して説明する。
【００４１】
動作１：図５（Ａ）に示される初期状態（搬入用ＦＯＵＰ９ｂは、そのフランジ部がＯＨＴ台車７のフィンガ機構７ｆに把持され、搬出用ＦＯＵＰ９ａは前記搬入用ＦＯＵＰ９ｂと垂直方向において対向し、ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａに載置されている状態）からＯＨＢ１０の棚部材１０ｂのスライド板１０ｂｙにおける領域Ｚ１
、Ｚ２  （図４参照、以下同様）が図３の点線の位置（領域Ｚ２
がＦＯＵＰ９ｂの底面に対向する状態）まで伸長する。
動作２：ＯＨＴ台車７の昇降ベルト７ｄが繰出され、ＦＯＵＰ９ｂが前記棚部材１０ｂ上のスライド板１０ｂｙにおける領域Ｚ２  
に載置される。このときのＯＨＢ１０は図５（Ｂ）の状態となる。
動作３：図４に示されるキネマティックピン１０ｄｙがＦＯＵＰ９ｂの底面と適正に係合したことがセンサ１０ｅｙによって確認され、ＯＨＴ台車７のフィンガ機構７ｆがＦＯＵＰ９ｂのフランジとの係合を解き、フィンガ機構７ｆが若干上昇するように昇降ベルト７ｄを巻取る。
動作４：前記スライド板１０ｂｙを、図４に示されるギア１０ｆの駆動によって固定板１０ｂｘと重なる方向にスライドさせる。このときのＯＨＢ１０は図５（Ｃ）の状態となる。
【００４２】
動作５：ＯＨＴ台車７の昇降ベルト７ｄが繰出され、フィンガ機構７ｆが降下し、処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置されているＦＯＵＰ９ａのフランジ部に至り、フィンガ機構７ｆによってＦＯＵＰ９ａが把持後上昇する。このときのＯＨＴ台車７昇降機構の状態は図５（Ｃ）に示す通りである。
動作６：ＯＨＴ台車７の昇降ベルト７ｄが巻取られ、ＦＯＵＰ９ａは、少なくともＦＯＵＰ９ａの底面位置が棚部材１０ｃのスライド板１０ｃｙの平面位置より上位になるまで上昇する。
動作７：この状態でＯＨＢ１０の棚部材１０ｂのスライド板１０ｂｙが領域Ｚ１
とＦＯＵＰ９ａとが対向するように伸長させる。
【００４３】
動作８：ＯＨＴ台車７の昇降ベルト７ｄが繰出され、ＦＯＵＰ９ａが前記棚部材１０ｂ上のスライド板１０ｂｙにおける領域Ｚ１ に載置され、図４に示されるキネマティックピン１０ｄｘがＦＯＵＰ９ａの底面と適正に係合することがセンサ１０ｅによって確認されると、ＯＨＴ台車７のフィンガ機構７ｆがＦＯＵＰ９ａのフランジとの係合を解き、フィンガ機構７ｆが若干の上昇するように昇降ベルト７ｄを巻取る。このときＯＨＴ台車７の昇降機構の状態は図５（Ｄ）に示す通りである。
動作９：前記スライド板１０ｂｙが図４に示されるギア１０ｆの駆動によって前記スライド板１０ｂｙを、その領域Ｚ２  がＯＨＴ台車フィンガ機構７ｆに対向するように伸長させる。このときのＯＨＢ１０の状態は図５（Ｅ）にて示される。
【００４４】
動作１０：昇降ベルト７ｄを巻取り、ＦＯＵＰ９ｂをフィンガ機構７ｆによって上昇させる。この際、図５（Ｅ）に示されるようにＦＯＵＰ９ａの最上位面がＦＯＵＰ９ｂの最下位面より下位に位置するように規制される。
動作１１：ＯＨＢ１０の棚部材１０ｂのスライド板１０ｂｙがその領域Ｚ１  にＦＯＵＰ９ａを載置した状態で図５（Ｆ）位置まで縮退する。
動作１２：ＯＨＴ搬送台車７の昇降ベルト７ｄが繰出され、フィンガ機構７ｆが降下し、ＦＯＵＰ９ｂを処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置する。この状態は図５（Ｆ）に示す通りである。
【００４５】
動作１３：昇降ベルト７ｄを巻取り、フィンガ機構７ｆを、ＦＯＵＰ９ａの最上位レベル以上に上昇させた後、スライド板１０ｂｙがその領域Ｚ１  にＦＯＵＰ９ａを載置した状態で図５（Ｇ）の位置（ＦＯＵＰ９ａがＯＨＴ台車７によって昇降制御を受けることができる位置）まで伸長する。
【００４６】
動作１４：昇降ベルト７ｄを繰出し、フィンガ機構７ｆがＦＯＵＰ９ａを把持して後、昇降ベルト７ｄを巻取り、ＦＯＵＰ９ａと、スライド板１０ｂｙの領域Ｚ１  に設けられているキネマティックピン１０ｄｘとの係合が解除されたことをセンサ１０ｅｘが感知することに連動してスライド板１０ｂｙは固定板１０ｂｘと対向する方向に縮退する。
動作１５：昇降ベルト７ｄを更に巻取り、ＯＨＴ台車７によるＦＯＵＰ９ａの次工程に備えて搬送態勢が整う。この状態を図５（Ｈ）に示す。
【００４７】
前記各動作１〜１５は、ＯＨＢコントローラ２０からの信号にて順次連続的に行われるため処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａ上に載置され、内部に当該処理ステーション５にて所定の処理を完了した基板を収納したＦＯＵＰ９ａと、これから処理ステーション５にて処理を受けようとしている基板を収納したＦＯＵＰ９ｂとの交換は効率よく迅速になされる。
なお、前記実施の形態においては、ＯＨＴ台車７にて把持されている搬入用ＦＯＵＰ９ｂ及び処理ステーション５のＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート５ａに載置されているＦＯＵＰ９ａ
は、夫々スライド板１０ｂｙの領域Ｚ２  及び領域Ｚ１  に載置されることで説明したが、夫々領域Ｚ１  及び領域Ｚ２  に載置するようにしてもよい。
【００４８】
以上、クリーンルームのスペース活用面の視点において、本発明の好ましい実施形態について述べたが、本発明は前記実施形態に限定されず様々な実施形態があり得る。
例えば、ＯＨＢ１０の配置に関し、ＯＨＢ１０のラック枠１０ａの固定個所を環状軌道２の近傍に位置する天井から懸垂させる構成とすることもできる。
但し、この構成においては、スライド板１０ｂｙの進退方向は前記実施の形態に比べ９０度方向を異にする構成とすることが望ましい。
また、ＯＨＢコントローラ２０は図１では複数のＯＨＢを１つのＯＨＢコントローラで制御しているが、個々のＯＨＢに個別に配置し、各ＯＨＢ毎に独立して制御を行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の適用システムを示す平面図である。
【図２】本発明を実施するための要部正面図である。
【図３】本発明を実施するための要部側面図である。
【図４】本発明に係る懸垂式棚の棚板の概念を示す構成図である。
【図５】本発明の方法を説明するためのＯＨＢにおけるＦＯＵＰの載置状況を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５０】
２・・・・・・・・・・・・・・・・・・工程内環状軌道
５・・・・・・・・・・・・・・・・・・処理ステーション
５ａ・・・・・・・・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ用搬入・搬出ポート
７・・・・・・・・・・・・・・・・・・懸垂式昇降搬送（ＯＨＴ）台車
７ｄ・・・・・・・・・・・・・・・・・昇降ベルト
７ｆ・・・・・・・・・・・・・・・・・フィンガ機構
９ａ、９ｂ・・・・・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ
１０・・・・・・・・・・・・・・・・・懸垂式一時保管棚（ＯＨＢ）
１０ｂ・・・・・・・・・・・・・・・・棚部材
１０ｂｘ・・・・・・・・・・・・・・・固定板
１０ｂｙ・・・・・・・・・・・・・・・スライド板
２０・・・・・・・・・・・・・・・・・ＯＨＢコントローラ
Ｚ１、Ｚ２・・・・・・・・・・・・・・スライド板のＦＯＵＰ載置面を表示する領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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