(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台上を移動可能に構成されたベースと、
前記ベースを前記載置台に対して真空吸着させる真空吸着手段と、
前記真空吸着手段による吸着状態および吸着解除状態を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【請求項２】
請求項１に記載の真空吸着ツールスタンドにおいて、
前記真空吸着手段は、前記ベースの前記載置台と対向する面に内部に向かって形成されたキャビティと、前記キャビティから空気を吸引するための空気吸引孔と、前記空気吸引孔から前記キャビティ内の空気を吸引する吸引手段とを備えていることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【請求項３】
請求項２に記載の真空吸着ツールスタンドにおいて、
前記ベースには、大気開放孔が形成され、
前記制御手段は、前記キャビティと前記空気吸引孔および大気開放孔とを連通する通路に変位可能に設けられ前記キャビティと前記空気吸引孔および大気開放孔との連通を遮断する弁体と、前記弁体に形成され前記弁体が前記キャビティと前記空気吸引孔および前記大気開放孔との連通を遮断した状態からある位置に変位された際に前記キャビティと前記空気吸引孔とを連通する第１の連通部と、前記弁体に形成され前記弁体が前記の位置とは異なる他の位置に変位された際に前記キャビティと前記大気開放孔とを連通する第２の連通部とを備えることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【請求項４】
請求項３に記載の真空吸着ツールスタンドにおいて、
前記弁体は、略円柱形状で前記ベースに回動自在に設けられ、かつ一部が前記ベースから突出した操作部を備えており、
前記操作部には、つまみが設けられていることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の真空吸着ツールスタンドにおいて、
前記弁体は、前記ベースの側面に設けられ、
前記ベースは、磁性体で形成されていることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【請求項６】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の真空吸着ツールスタンドにおいて、
前記ベースの前記載置台と対向する面から前記載置台に向けて圧縮空気を噴出する圧縮空気噴出手段と、前記真空吸着手段によって前記ベースが載置台に対して吸着される真空吸着力と、前記圧縮空気噴出手段によって前記ベースが前記載置台から離反する方向へ押し上げられる空気噴出力とが一定となるように制御するバランス制御手段とを備えていることを特徴とする真空吸着ツールスタンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空吸着ツールスタンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイヤルゲージなどの測定器を保持するものとして、マグネチックスタンドが知られている（例えば、特許文献１参照）。
マグネチックスタンドは、磁力によって吸着力を発生する磁力吸着手段を備えたベースと、このベースの上面に設けられた支柱と、この支柱にそって上下動自在に設けられ測定器等を取付けるためのブラケットとを備えた構成である。
ブラケットに測定器（ダイヤルゲージ等）を固定し、ベースを工作機械、治具、載置台等に対して磁力によって吸着固定させ、この状態においてワーク等の測定作業を行う。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１４２３１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のマグネチックスタンドは、磁力を利用して固定するものであるため、固定しようとする対象物が磁性体に限られるという課題がある。
例えば、旋盤にワークをチャッキングする際、中心を出す必要がある。ダイヤルゲージをマグネチックスタンドに取付て、ワークの外周面に当てる場合、昔の旋盤は、おおむね磁性体（鉄等）で形成されていたのでマグネチックスタンドはどこにでも取付ることが可能であるが、現在の精密旋盤は、ベットなどが石定盤のものなどがあり、マグネットによる吸着方式では都合が悪い場合がある。
【０００５】
本発明の目的は、固定しようとする対象物の材質に左右されずに工具を保持できる真空吸着ツールスタンドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の真空吸着ツールスタンドは、載置台上を移動可能に構成されたベースと、前記ベースを前記載置台に対して真空吸着させる真空吸着手段と、前記真空吸着手段による吸着状態および吸着解除状態を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする。
本発明の真空吸着ツールスタンドは、載置台上において、ダイヤルゲージ等の測定工具や、罫書き作業等を行う加工工具などの工具を、ワークに対して移動させながら、又は固定した状態で作業を行う際に用いられる。また、スタンドとは、台座となる部分と、これに設置された支柱とを備える構成に限られるものではなく、本発明の目的を達成できるものであれば形状、形態はどのようなものでもよい。
【０００７】
この発明によれば、工具を取付手段に取り付け、ベースを載置台に対して移動させ、所定位置において固定して測定を行う場合、真空吸着手段を作動させると、ベースが載置台に対して真空吸着される。また、真空吸着状態を解除すると、ベースを載置台の上を自由に移動させることができる。従って、載置台の材質を選ぶことなく工具を載置台上の任意の位置で固定させることができ、かつ、必要に応じて、真空吸着を解除して載置台上を自由に移動させることもできる。
【０００８】
本発明の真空吸着ツールスタンドでは、前記真空吸着手段は、前記ベースの前記載置台と対向する面に内部に向かって形成されたキャビティと、前記キャビティから空気を吸引するための空気吸引孔と、前記空気吸引孔から前記キャビティ内の空気を吸引する吸引手段とを備えている構成が好ましい。
この発明では、ベースの載置台と対向する面にキャビティを備え、空気吸引孔から吸引手段（例えば吸引ポンプ）を用いてキャビティ内の空気を吸引し、載置台に対して真空吸着させるように構成されているから、ベースの底面に大きく設けられたキャビティが載置台に対して均一に安定して真空吸着し、測定中のがたつきや傾きを防止することができる。
【０００９】
本発明の真空吸着ツールスタンドでは、前記ベースには、大気開放孔が形成され、前記制御手段は、前記キャビティと前記空気吸引孔および大気開放孔とを連通する通路に変位可能に設けられ前記キャビティと前記空気吸引孔および大気開放孔との連通を遮断する弁体と、前記弁体に形成され前記弁体が前記キャビティと前記空気吸引孔および前記大気開放孔との連通を遮断した状態からある位置に変位された際に前記キャビティと前記空気吸引孔とを連通する第１の連通部と、前記弁体に形成され前記弁体が前記の位置とは異なる他の位置に変位された際に前記キャビティと前記大気開放孔とを連通する第２の連通部とを備える構成が好ましい。
この発明では、弁体の操作により、弁体がキャビティと空気吸引孔および大気開放孔との連通を遮断した状態からある位置に変位されると、第１の連通部を通じてキャビティと空気吸引孔とが連通される。これによって、キャビティ内の空気が外部に排出されて、載置台に対してベースが真空吸着される。このとき、キャビティと大気開放孔とは遮断された状態となっている。また、弁体の操作により、弁体が前述のある位置とは異なる他の位置に変位されると、第２の連通部を通じてキャビティと大気開放孔とが連通される。これによって、キャビティ内に空気が供給され、真空吸着状態が解除される。このとき、空気吸引孔とキャビティとは遮断された状態となっている。従って、弁体の位置をある位置、または他の位置に変位させるだけで、ベースを載置台に対して真空吸着状態（固定状態）、または、真空吸着解除状態（移動可能状態）に切り換えることができる。
【００１０】
本発明の真空吸着ツールスタンドでは、前記弁体は、略円柱形状で前記ベースに回動自在に設けられ、かつ一部が前記ベースから突出した操作部を備えており、前記操作部には、つまみが設けられている構成が好ましい。
この発明では、弁体は回動可能に設けられ、ベースから突出した操作部にはつまみが設けられている構成にしたので、つまみを掴んで回動操作を行うだけで、弁体をある位置または他の位置に容易に変位させることができる。
【００１１】
本発明の真空吸着ツールスタンドでは、前記弁体は、前記ベースの側面に設けられ、前記ベースは、磁性体で形成されている構成が好ましい。
この発明では、弁体をベースの側面に設けたので、ベースの上面に余計な突起物が出ることを避け、作業の妨げとなることを防止することができる。また、ベース自体を磁性体で構成したので、このベースに既存のマグネチックスタンドを吸着させることができる。従って、磁性体でない載置台に対しても現行のマグネチックスタンドを使用することができるようになる。その際、前述のようにベースの上面に余計な突起物が出ないように構成したので、ベースの上面の平らな部分にマグネチックスタンドを取り付けることができるので、マグネチックスタンドを安定して従来と同じ姿勢で使用できる。
【００１２】
本発明の真空吸着ツールスタンドでは、前記真空吸着ツールスタンドは、前記ベースの前記載置台と対向する面から前記載置台に向けて圧縮空気を噴出する圧縮空気噴出手段と、前記真空吸着手段によって前記ベースが載置台に対して吸着される真空吸着力と、前記圧縮空気噴出手段によって前記ベースが前記載置台から離反する方向へ押し上げられる空気噴出力とが一定となるように制御するバランス制御手段とを備えている構成が好ましい。
この発明では、ベースの底面から載置台に向けて圧縮空気を噴出する圧縮空気噴出手段を備えたので、ベースの底面と載置台との間に空気膜を形成することができ、ベースを載置台に対して一定の力で吸引した状態のまま、載置台上をスムーズに動かすことができる。また、バランス制御手段を設け、真空吸着手段による真空吸着力と、圧縮空気噴出手段による圧縮空気の噴出力とをコントロールすることで、ベースの底面と載置台との間に常に一定のギャップを保つように構成したので、載置台上を移動させている最中もベースの高さ位置が一定に保持される結果、測定等において高い作業精度を保障することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
［第１実施形態］
図１は第１実施形態の全体を示す斜視図である。
図２は、真空吸着ツールスタンド１の正面図、平面図および底面図である。
図３は、図２におけるIII−III線断面図である。
本発明の真空吸着ツールスタンド１は、載置台２上において、測定器３を、ワーク４に対して移動させながら、または固定した状態で作業を行う際に用いられる。
真空吸着ツールスタンド１は、載置台２上を移動可能に構成されたベース１１と、このベース１１に設けられ工具としての測定器３を固定するための工具取付手段１２と、ベース１１を載置台２に対して真空吸着させる真空吸着手段１３と、真空吸着手段１３による吸着状態および吸着解除状態を制御する制御手段１４とを備えている。
【００１４】
ベース１１は、略直方体形状に形成され、その上面には工具取付手段１２を備えている。下面には、載置台２と隙間無く接触するとともに真空吸着ツールスタンド１を支える摺動面１１１が形成されている。
【００１５】
工具取付手段１２は、ベース１１の上面から突出した略円柱形状の支柱１２１と、支柱１２１に対して上下動可能かつ任意の位置で固定可能に設けられたブラケット１２２と、ブラケット１２２の先端部分に設けられ測定器３を固定するためのクランプ部１２３とを備える。ブラケット１２２は、支柱１２１に対してブラケット１２２自体を支えるための固定調節ねじ１２２ａを備えている。クランプ部１２３は、測定器３の保持を調節するための固定調節ねじ１２３ａを備えている。
【００１６】
真空吸着手段１３は、ベース１１の載置台２と対向する面、つまり摺動面１１１に、外周縁を残して内部に向かって略直方体形状に形成されたキャビティ１３１と、ベース１１の正面に形成されキャビティ１３１から空気を吸引するための空気吸引孔１３２と、空気吸引孔１３２からキャビティ１３１内の空気を吸引する吸引手段としての吸引ポンプ（図示省略）とを備えている。
【００１７】
制御手段１４は、ベース１１の正面で、空気吸引孔１３２の下側に形成された大気開放孔１５と、キャビティ１３１と空気吸引孔１３２およびキャビティ１３１と大気開放孔１５とを連通する通路１４１に変位可能に設けられ、キャビティ１３１と空気吸引孔１３２および大気開放孔１５との連通、遮断を行う弁体１６とを備える。通路１４１は、キャビティ１３１の上面から上方に向かって形成された縦穴１４１ａと、この縦穴１４１ａと空気吸引孔１３２および大気開放孔１５とを連通させる横穴１４１ｂ、１４１ｃと、これらの横穴１４１ｂ、１４１ｃと交差してかつ縦穴１４１ａと平行に形成され弁体１６を収納した弁体収納穴１４１ｄとから構成されている。
【００１８】
弁体１６は、図４に示すように、略円柱形状に形成されるとともに弁体収納穴１４１ｄに回動自在に設けられた弁本体１６１と、弁本体１６１の端部、つまりベース１１の上面から突出した端部に設けられた操作部１６２とを備えている。操作部１６２の側面には、弁体１６を回動操作するつまみ１６３が設けられている。弁本体１６１には、弁体１６がキャビティ１３１と空気吸引孔１３２および大気開放穴１５との連通を遮断した状態からある位置に変位された際にキャビティ１３１と空気吸引孔１３２とを連通する第１の連通部１６４と、弁体１６が前述のある位置とは異なる他の位置に変位された際にキャビティ１３１と大気開放孔１５とを連通する第２の連通部１６５とが形成されている。第１の連通部１６４と第２の連通部１６５とは、孔の向きが互いに直交するように形成されている。
【００１９】
このように構成された本実施形態では、まず、ベース１１を載置台２に対して吸着させる場合、弁体１６をある位置、つまり図２（Ａ）に示すように、弁体１６のつまみ１６３が正面からみて右側にくるように回動させる。すると、空気吸引孔１３２、第１の連通部１６４、横穴１４１ｂ、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１が連通される。この状態において、空気吸引孔１３２から吸引ポンプ（図示省略）を用いてキャビティ１３１内の空気を吸引し、キャビティ１３１内を真空状態に近づける。この際、第２の連通部１６５が大気開放孔１５と一致していないため、大気開放孔１５とキャビティ１３１とは遮断された状態となる。この状態で、真空吸着ツールスタンド１は載置台２に対して真空吸着され、しっかりと固定されるので、測定時に真空吸着ツールスタンド１のがたつきによる測定不備等がおこらない。
【００２０】
真空吸着ツールスタンド１の吸着を解除する場合は、弁体１６を前述のある位置とは異なる他の位置、つまり、図２（Ａ）の状態から弁体１６のつまみ１６３を９０度時計方向に回動させる。すると、大気開放孔１５、第２の連通部１６５、横穴１４１ｃ、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１が連通され、同時に、空気吸引孔１３２とキャビティ１３１との連通が遮断される。これによって、略真空状態となっているキャビティ１３１内に空気が供給され、真空吸着状態が解除されるから、真空吸着ツールスタンド１を載置台２上の任意の位置に移動させることができる。
【００２１】
前述のような実施形態（第１実施形態）によれば、次のような効果を奏することができる。
（１）真空吸着手段１３によって、載置台２に対してベース１１を真空吸着状態とすることで、真空吸着ツールスタンド１を載置台２にしっかりと固定することができ、精度の高い測定等の作業を行うことができる。
（２）載置台２への固定方法に真空吸着を用いることで、載置台２の材質を選ぶことなく真空吸着ツールスタンド１を載置台２に対して固定することができる。
【００２２】
（３）ベース１１の底面に大きく設けられたキャビティ１３１が載置台２に対して均一に安定して真空吸着するので、測定中のがたつきや傾きを防止することができる
【００２３】
（４）弁体１６の操作により、弁体１６の位置をある位置、または他の位置に変位させるだけで、真空吸着ツールスタンド１の載置台２への真空吸着状態、または真空吸着状態に切り換えることができる。
【００２４】
（５）操作部１６２にはつまみ１６３が設けられた構成にしたので、つまみ１６３を掴んで回動操作を行うことで容易に弁体１６をある位置または前述のある位置とは異なる他の位置に変位させることができる。
【００２５】
［第２実施形態］
図５は、第２実施形態の平面図および側面図である。なお、第２実施形態を説明するにあたって、第１実施形態で説明した部分又は部材と同様な部材等については、同一符号を付して、その説明を省略する。
【００２６】
本実施形態の真空吸着ツールスタンド１は、磁性体によって略扁平直方体形状に形成されたベース１１ａと、このベース１１ａの上面に平坦に形成され既存のマグネチックスタンドなどを載置可能な工具取付手段１２ａと、ベース１１ａの底面から側面にかけて形成された真空吸着手段１３と、真空吸着手段１３による真空吸着状態および真空吸着解除状態を制御する制御手段１４とから構成されている。
【００２７】
真空吸着手段１３は、第１実施形態と同様に、ベース１１ａの底面に形成されたキャビティ１３１と、ベース１１ａの側面に形成された空気吸引孔１３２と、空気吸引孔１３２から空気を吸引する吸引ポンプ（図示省略）から構成されている。
【００２８】
制御手段１４は、ベース１１ａの側面に形成された大気開放孔１５と、キャビティ１３１と空気吸引孔１３２および大気開放孔１５とを連通する通路１４１に変位可能に設けられ、キャビティ１３１と空気吸引孔１３２および大気開放孔１５との連通、遮断を行う弁体１６とを備える。通路１４１は、第１実施形態と同様に、縦穴１４１ａ、横穴１４１ｂ、１４１ｃおよび弁体収納穴１４１ｄを備えているが、横穴１４１ｂ、１４１ｃがベース１１ａの側面前後位置に同じ高さレベルに設けられている点、弁体収納穴１４１ｄがベース１１ａの正面から背面へ向かって水平に形成されている点が第１実施形態と異なる。
【００２９】
弁体１６は、図６に示すように、弁本体１６１と、操作部１６２とを備える。弁本体１６１は、略中央部分に円周に沿って弁本体１６１よりわずかに小さい径で形成された中央溝部１６６と、中央溝部１６６から操作部１６２の方向へ形成され、空気吸引孔１３２、横穴１４１ｂ、中央溝部１４７、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１を連通させる第１の溝部１６７と、中央溝部１６６から操作部１６２と反対の方向へ向かって、かつ第１の溝部１６７と９０度ずれた位置に形成され、大気開放孔１５、横穴１４１ｃ、中央溝部１６６、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１を連通させる第２の溝部１６８とを備えている。
【００３０】
このように構成された本実施形態では、ベース１１ａを載置台２に対して吸着させる場合、弁体１６をある位置、つまり図５（Ｂ）に示すように、弁体１６をつまみ１６３の先端部が正面から見て右側にくるように回動させる。すると、空気吸引孔１３２、横穴１４１ｂ、第１の溝部１６７、中央溝部１６６、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１が連通される。この状態において、空気吸引孔１３２から吸気ポンプ（図示省略）を用いてキャビティ１３１内の空気を吸引し、キャビティ１３１内を真空状態に近づける。この際、大気開放孔１５は、第２の溝部１６８がベース１１ａの上面方向を向いていることで遮断された状態となっている。この状態で、真空吸着ツールスタンド１は、載置台２に対して真空吸着される。
【００３１】
真空吸着ツールスタンド１の吸着を解除する場合は、弁体１６を前述のある位置とは異なる他の位置、つまり、図５（Ｂ）の状態から弁体１６のつまみ１６３を９０度時計方向に回動させる。すると、大気開放孔１５、横穴１４１ｃ、第２の溝部１６８、中央溝部１６６、縦穴１４１ａおよびキャビティ１３１が連通され、同時に、空気吸引孔１３２からキャビティ１３１までの連通が遮断される。これによって、略真空状態となっているキャビティ１３１内に空気が供給され、真空吸着状態が解除されるから、真空吸着ツールスタンド１を載置台２上の任意の位置に移動させることができる。
【００３２】
前述のような実施形態（第２実施形態）によれば、次のような効果を奏することができる。
（６）ベース１１ａの側面に弁体１６を設けたので、工具取付手段１２ａに余計な突起物が出ることを避け、作業の妨げとなることを防止することができる。
（７）ベース１１ａを磁性体で形成し、工具取付手段１２ａを平坦に形成したので、磁性体でない載置台２に対しても既存のマグネチックスタンドを従来の姿勢で吸着させることできる。
【００３３】
［第３実施形態］
図７は、第３実施形態の正面図および底面図である。なお、第３実施形態を説明するにあたって、第１実施形態で説明した部分又は部材と同様な部材等については、同一符号を付して、その説明を省略する。第３実施形態は、第１実施形態に圧縮空気噴出手段１７と、バランス制御手段１８とが付加されている。
【００３４】
圧縮空気噴出手段１７は、ベース１１の上面に設けられた圧縮空気供給孔１７１と、ベース１１の下面で載置台２と対向する面で、かつ摺動面１１１の面上に設けられ、圧縮空気供給孔１７１から供給された圧縮空気を載置台２に向けて噴出する２つの空気噴出孔１７２と、一方の空気噴出孔１７２から他方の空気噴出孔１７２まで一周回るように摺動面１１１の表面に形成された絞り溝１７３と、圧縮空気供給孔１７１から空気噴出孔１７２までの圧縮空気の移動経路となる圧縮空気通路１７４と、圧縮空気供給孔１７１から圧縮空気を供給するエアコンプレッサ１７５とを備える。
【００３５】
バランス制御手段１８は、エアコンプレッサ１７５から供給される圧縮空気の量を調整するためのバルブ１８１と、そのバルブ１８１の動作を制御して圧縮空気の供給量を調整するバルブ制御装置１８２とを備えている。
【００３６】
このように構成された本実施形態では、ベース１１が載置台２に対して真空吸着される力と、ベース１１が載置台２から離反する方向へ押し上げられる空気噴出力とが一定となるようにバランス制御手段１８によって圧縮空気の量を調整されている。具体的には、吸引ポンプ（図示省略）のキャビティ１３１内の空気吸引力は一定であるので、バルブ制御装置１８２によってバルブ１８１の開閉制御を行い、空気噴出孔１７２からの空気噴出力を調節する。その結果、摺動面１１１と載置台２との間に一定のギャップが確保され、作業内容に応じて載置台２上を滑らかに移動させることができる。
【００３７】
前述のような実施形態（第３実施形態）によれば、次のような効果を奏することができる。
（８）ベース１１の底面から、載置台２に向けて圧縮空気を噴出する空気噴出孔１７２を備えたので、ベース１１の底面と、載置台２との間に空気膜を形成することができ、ベース１１を載置台２に対して一定の力で吸引した状態のまま、載置台２上をスムーズに動かすことができる。
（９）バランス制御手段１８を設けたので、作業内容に応じて、真空吸着力を空気噴出力より強くしてベース１１の底面と、載置台２との間に形成された空気膜を無くして、載置台２に対して強く固定することができる。
（１０）同様に、バランス制御手段１８を設けたので、空気噴出孔１７２による圧縮空気の噴出力をコントロールすることで、ベース１１の底面と載置台２との間に常に一定のギャップを保つことができ、載置台２上を移動させている最中もベース１１の高さ位置が一定に保持される結果、測定等において高い作業精度を保障することができる。
【００３８】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
前記実施形態では、弁体１６は、回動させることで空気吸引孔１３２からキャビティ１３１までの連通および遮断、または大気開放孔１５からキャビティ１３１までの連通および遮断を制御していたが、略円柱形状で回動によって操作するのではなく、例えば、略角柱形状で、弁体１６の縦方向にスライドさせることで連通および遮断を制御する方法でもかまわない。
【００３９】
また、前記実施形態では、工具取付手段１２には測定器３を取り付けているが、これに限らず、例えば、罫書き作業等を行う加工工具を取り付けて使用してもかまわない。
また、前記実施形態では、空気噴出孔１７２は２つ設けられていたが、これに限らず、例えば、４つ、６つ等バランスよく複数を配置する構成でもかまわない。
さらに、前記実施形態では、絞り溝１７３は、摺動面１１１を一周するように形成されているが、これに限らず、バランスよく摺動面１１１と載置台２との間に空気の膜を形成することができれば、例えば、二周、三周、と複数周、または一周しない程度に形成してもかまわない。
【００４０】
また、前記実施形態では、バランス制御手段１８として、エアコンプレッサ１７５にバルブ１８１およびバルブ制御装置１８２を設けているが、これに限らず、吸引ポンプ側のみにバルブおよびバルブ制御装置を設けても、また、エアコンプレッサ１７５、吸引ポンプの両方にバランス制御手段１８を設けてもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、ハイトゲージのベースに利用できる他、回転運動評価用ＪＩＧ（ダイアルゲージ）の固定台、直線運動評価用ＪＩＧ（真直度測定用変位センサ）の固定台およびレンズ等の光学部品の支持台にも利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施形態にかかる全体像を示す斜視図。
【図２】本発明の真空吸着ツールスタンドの正面図、平面図および底面図。
【図３】図２におけるIII−III断面図。
【図４】第１実施形態における弁体１６の斜視図。
【図５】本発明の真空吸着ツールスタンドの第２実施形態における平面図および側面図。
【図６】本発明の第２実施形態における弁体１６の斜視図。
【図７】本発明の真空吸着ツールスタンドの第３実施形態における正面図、平面図および底面図。
【符号の説明】
【００４３】
１…真空吸着ツールスタンド、２…載置台、３…測定器、１１…ベース、１３…真空吸着手段、１４…制御手段、１５…大気開放孔、１６…弁体、１７…圧縮空気噴出手段、１８…バランス制御手段、１１１…摺動面、１３１…キャビティ、１３２…空気吸引孔、１４１…通路、１６１…弁本体、１６３…つまみ、１６４…第１の連通部、１６５…第２の連通部、１６６…中央溝部、１６７第１の溝部、１６８…第２の溝部、１７１…圧縮空気供給孔、１７２…空気噴出孔、１７５…エアコンプレッサ、１８１…バルブ、１８２…バルブ制御手段
【図１】
0004616563.tif 000002
【図２】
0004616563.tif 000003
【図３】
0004616563.tif 000004
【図４】
0004616563.tif 000005
【図５】
0004616563.tif 000006
【図６】
0004616563.tif 000007
【図７】
0004616563.tif 000008