(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離シートから貼付用シートを剥離して板状部材に貼付するシート貼付装置において、
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含み、この切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに外力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられ、
前記板状部材は略円形の半導体ウエハであり、前記切断刃は、前記原反の繰出方向に沿う直径が前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さく設定されていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
剥離シートから貼付用シートを剥離して板状部材に貼付するシート貼付装置において、
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、ローラ軸及び当該ローラ軸の外周に設けられ、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含むダイカットローラと、これに併設されたプラテンローラとからなり、前記切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに外力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられ、
前記切断刃は、板状部材のサイズに応じて交換可能に設けられ、前記繰出装置の原反繰出速度及びダイカットローラの回転速度は、それぞれ独立して制御されることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記貼付ユニットは、前記貼付用シートに熱を加えながら押圧力を付与する貼付ローラを含んで構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付されることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項５】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して略円形の半導体ウエハである板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなり、前記原反の繰出方向に沿う直径が、前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さい略楕円形状の軌跡に沿って形成されるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付されることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項６】
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で、ダイカットローラを含むカット装置により前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記ダイカットローラの回転速度と前記原反の繰出速度とを独立して制御することにより、原反繰出方向における貼付用シートの大きさを調整し、前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付されることを特徴とするシート貼付方法。
【請求項７】
前記切り込みによって形成される貼付用シートのサイズは、板状部材の大きさに応じて変更可能に設けられていることを特徴とする請求項４、５又は６記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、特に、半導体ウエハ等の板状部材に感熱接着性の接着シートを貼付する際に、板状部材の形状に合わせて貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回路面が形成された半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）をチップに個片化した後、各チップをピックアップしてリードフレームに接着（ダイボンディング）する際、そのウエハ処理工程において、ダイボンディング用感熱接着性の接着シートをウエハ裏面に予め貼付することが行われている。
【０００３】
前述した接着シートをウエハに貼付する装置としては、例えば、特許文献１に開示されるように、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから剥離される接着シートをウエハに貼付した後にウエハ外周に沿ってカットする構成が知られている。また、特許文献２に開示されるように、予めウエハ外形に対応する平面形状に設けられたシート状の接着シートを剥離シートから剥離してウエハに貼付する構成も知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【特許文献２】特開平７−１９５５２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の構成にあっては、接着シート貼付後の外周カットは、ウエハ外周に沿ってカッター刃を移動させる構成であるため、カッター刃の移動を高精度に管理しなければならない、という制約がある他、切断位置をウエハ外周に一致させるために、ウエハの外周を損傷させ易い、という不都合がある。
【０００６】
この一方、予めウエハ形状に対応して形成されたシート状の接着シートをウエハに貼付する場合には、特に、接着シートが感熱接着性である場合には、貼付ローラがウエハ上を回転しながら相対移動するときに、その移動方向に沿って接着シートの延びが生じ、当該移動方向に沿う接着シートの直径が拡大してウエハ外周からシートの部分的なはみ出しを生じる、という不都合がある。これは、接着シートが加熱されることや、貼付ローラによる押圧、更に、貼付するために張力が付与されることが相互に作用して接着シートに延伸力を付与してしまうことに起因する。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを繰り出す途中で貼付用シートを形成する構成とし、貼付時に貼付用シートに延伸力が付与されても部分的なはみ出しを生ずることがないように貼付用シートを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するため、本発明は、剥離シートから貼付用シートを剥離して板状部材に貼付するシート貼付装置において、
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含み、この切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに外力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられ、
前記板状部材は略円形の半導体ウエハであり、前記切断刃は、前記原反の繰出方向に沿う直径が前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さく設定される、という構成を採っている。
【０００９】
また、本発明は、剥離シートから貼付用シートを剥離して板状部材に貼付するシート貼付装置において、
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、ローラ軸及び当該ローラ軸の外周に設けられ、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含むダイカットローラと、これに併設されたプラテンローラとからなり、前記切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに外力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられ、
前記切断刃は、板状部材のサイズに応じて交換可能に設けられ、前記繰出装置の原反繰出速度及びダイカットローラの回転速度は、それぞれ独立して制御される、という構成を採っている。
【００１１】
更に、前記貼付ユニットは、前記貼付用シートに熱を加えながら押圧力を付与する貼付ローラを含む構成とすることができる。
【００１３】
更に、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付される、という方法を採っている。
【００１４】
また、本発明は、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して略円形の半導体ウエハである板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなり、前記原反の繰出方向に沿う直径が、前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さい略楕円形状の軌跡に沿って形成されるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付される、という方法を採っている。
更に、剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で、ダイカットローラを含むカット装置により前記接着シートに閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記ダイカットローラの回転速度と前記原反の繰出速度とを独立して制御することにより、原反繰出方向における貼付用シートの大きさを調整し、前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに一致して貼付される、という方法を採っている。
【００１５】
また、前記切り込みによって形成される貼付用シートのサイズは、板状部材の大きさに応じて変更可能に設けられる、という方法を採るとよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、前記貼付用シートを板状部材に押圧して貼付する際の延びを予め見込んで小さいサイズとなるように切り込みを形成するものであるため、熱や押圧力、張力といった外力の付与によって延びが発生しても板状部材の外側にはみ出すおそれを防止することができる。特に、感熱接着性のシートのように加熱された貼付ローラを用いて押圧力を付与する場合の効果は一層高いものとなる。
【００１８】
また、閉ループ状となる切断刃はローラ軸の外周に設けられているものであるが、平面に展開した状態で説明すると、繰出方向に沿う切断刃の直径が、半導体ウエハの繰出方向に沿う直径よりも小さく設定されている構成となるため、前記繰出方向に沿って切断刃の直径を調整できれば、シートの特性に応じて見込まれる延び量が変化しても、板状部材の大きさに一致させた状態で貼付用シートを貼付することが可能となる。
【００１９】
更に、切断刃が板状部材のサイズに応じて交換可能であるため、種々異なるサイズとなる板状部材に適用することができ、汎用性を備えたシート貼付装置を提供することが可能となる。
【００２０】
また、繰出装置の原反繰出速度とダイカットローラの回転速度が独立制御可能であるため、原反の繰出速度を変化させることで貼付用シートの大きさを調整することが可能となる。すなわち、切断刃は、繰出方向に沿う直径が、半導体ウエハの繰出方向に沿う直径よりも小さく設定されているため、原反の繰出速度をダイカットローラの回転速度よりも速くする度合いを大きくした場合には、繰出方向に沿う貼付用シートの長さすなわち直径を大きくすることができる一方、度合いを小さくした場合には、前記繰出方向に沿う貼付用シートの直径を小さくすることができる。従って、これら速度調整と、切断刃の形状とを相互に作用せしめることで、繰出方向に沿う貼付用シートの長さを微調整でき、伸び率が異なる接着シートや、貼付温度の異なる接着シートを採用しても対応可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、板状部材としての略円形のウエハＷを貼付対象とし、剥離シートＰＳに仮着された感熱接着性の接着用シートＬＳに切り込みを設けて形成される貼付用シートＳをウエハＷの裏面側（図１中上面側）に貼付する装置として構成されている。このシート貼付装置１０は、ウエハＷを略水平に支持するテーブル１２と、ウエハＷの上面側に前記貼付用シートＳを貼付する貼付ユニット１３とを備えて構成されている。
【００２３】
前記テーブル１２は昇降装置１４を介して昇降可能に設けられている。このテーブル１２は上面が吸着面とされており、ウエハＷの回路面側（下面側）を吸着して当該ウエハＷを支持するように設けられている。なお、ここでは図示省略しているが、ウエハＷは、回路面側に保護テープを貼付した状態で支持されて当該回路面の傷付き等が防止されるようになっている。また、テーブル１２は、ウエハＷを一定温度に加熱するためのヒータを内蔵して構成されているとともに、図示しない駆動装置を介して図２に示されるＹ軸方向に移動可能に設けられ、これにより、ウエハＷのＹ軸方向位置が調整可能となっている。
【００２４】
前記テーブル１２は、移動装置１５を介して図１中Ｘ軸方向に往復移動可能に設けられている。この移動装置１５は、前記テーブル１２を支持するスライドプレート１６と、このスライドプレート１６を前記Ｘ軸方向に移動可能に案内する一対のレール１７と、スライドプレート１６に固定されたナット１９に螺合する状態で貫通するボールねじ軸２０と、当該ボールねじ軸２０を回転駆動するモータＭ１とを備えて構成されている。ボールねじ軸２０において、モータＭ１の反対側端部は軸受２２に回転可能に支持され、これにより、モータＭ１が正逆回転駆動したときに、テーブル１２がレール１７に沿ってＸ軸方向に往復移動することとなる。なお、テーブル１２は、図１中左側に位置するときに、図示しない移載アーム等を介してウエハＷを受け取り、同図中右側に移動した位置で、前記貼付ユニット１３を介してウエハＷに貼付用シートＳが貼付されるようになっている。
【００２５】
前記貼付ユニット１３は、板状のフレームＦ内に支持されたシート繰出部２５と、これに併設された貼付ヘッド２６により構成されている。シート繰出部２５は、帯状の剥離シートＰＳに帯状の接着シートＬＳが仮着されたロール状の原反Ｌを繰出可能に支持する支持ローラ２７と、ウエハＷの外形に近似した外形となるように接着シートＬＳに閉ループ状の切り込みＣ（図２参照）を形成して貼付用シートＳを形成するカット装置２８と、貼付用シートＳを形成した後の接着シートＬＳの外周側を不要接着シートＳ１として巻取回収する回収ローラ３０と、この回収ローラ３０に併設されてバッファ領域を確保するダンサローラ３２と、当該ダンサローラ３２位置を通過した後の原反Ｌの繰出経路上に配置されて貼付用シートＳの位置を検出する検出手段３５と、前記貼付ヘッド２６を介して貼付用シートＳをウエハＷに貼付した後の剥離シートＰＳを所定の張力で巻き取る巻取ローラ３６とを備えて構成されている。
【００２６】
前記カット装置２８は、ローラ軸３７と、このローラ軸３７の外周に設けられた閉ループ状の切断刃３８とからなるダイカットローラ３９と、このダイカットローラ３９に併設された駆動ローラとして作用するプラテンローラ４０とにより構成されている。ダイカットローラ３９は、ローラ軸３７の外周面に巻装可能な金属板の面をエッチング処理することにより切断刃３８が形成されものであり、前記金属板をローラ軸３７から取り外すことで、切断刃３８を交換できるようになっている。従って、ウエハＷのサイズが変更された場合には、これに対応する切り込みを形成できる切断刃を備えたものに付け替えられることとなる。この切断刃３８は、平面に展開した図４に示されるように、原反Ｌの繰出方向に沿う直径Ｄ１が、これに直交する方向（同図中上下方向）に沿う直径Ｄ２よりも小さくなる略楕円形状の軌跡に沿って閉ループ状に設けられている。ここで、直径Ｄ１は、ウエハＷの直径よりも小さく、直径Ｄ２は、ウエハＷの直径に略一致する寸法に設定され、Ｄ２とＤ１との差は、貼付用シートＳをウエハＷに貼付する際の延伸量を見込んで設定され、これにより、貼付用シートＳをウエハＷに貼付したときに、当該貼付用シートＳがウエハＷからはみ出すことなくウエハＷのサイズに略一致して貼付されることとなる。因みに、図５に示されるように、前記切断刃３８で接着シートＬＳに切り込みＣを形成した状態は、二点鎖線で示される仮想円に対して楕円形状に表れることとなる。
【００２７】
前記支持ローラ２７とプラテンローラ４０との間には、第１の駆動ローラ４２及びこれに接するピンチローラ４３と、ガイドローラ４４が設けられている。第１の駆動ローラ４２とプラテンローラ４０は、前記フレームＦの背面側に配置されるモータＭ２，Ｍ３の出力軸に支持されている。また、プラテンローラ４０と前記回収ローラ３０との間には、ガイドローラ４５と、モータＭ４の出力軸に支持された第２の駆動ローラ４６及びこれに接するピンチローラ４７と、モータＭ５の出力軸に支持された第３の駆動ローラ５０と、当該第３の駆動ローラ５０及び前記回収ローラ３０間に介装されたピンチローラ５２が配置されている。
【００２８】
また、前記ダンサローラ３２の下流側には、モータＭ６の出力軸に支持された第４の駆動ローラ５３及びピンチローラ５５と、ガイドローラ５６が配置されているとともに、前記巻取ローラ３６の上流側には、モータＭ７によって駆動される第５の駆動ローラ５８及びこれに接するピンチローラ５９が配置されている。なお、巻取ローラ３６は、モータＭ８により回転駆動される。ここで、前記第１の駆動ローラ４２、駆動ローラとして作用するプラテンローラ４０、第２の駆動ローラ４６及びこれらを回転駆動させるモータＭ２，Ｍ３，Ｍ４により原反Ｌの繰出装置６０が構成され、また、第１の駆動ローラ４２、プラテンローラ４０、第２の駆動ローラ４６は、それぞれ独立して回転速度が制御されるように設けられている。従って、各ローラの回転速度を適宜調整することにより、前記切断刃３８の前記直径Ｄ１に対して拡大、縮小する方向に切り込みＣを形成して微調整を行うことができる。
【００２９】
前記貼付ヘッド２６は、Ｘ軸方向に延びる単軸ロボット７０に支持されてＹ軸方向に延びる移動アーム７１と、この移動アーム７１の反単軸ロボット７０端側を支持するようにＸ軸方向に延びるレール７３と、前記移動アーム７１の上面二箇所に設けられた一対の上下動シリンダ７５と、移動アーム７１の下面側に配置されて上下動シリンダ７５のピストンロッド７６（図３参照）の進退により昇降可能に設けられた門型フレーム７８と、当該門型フレーム７８に回転可能に支持された貼付ローラ８０により構成され、前記単軸ロボット７０が作動して移動アーム７１がＸ軸方向に移動することで、貼付ローラ８０の外周を回行する貼付用シートＳがウエハＷに押圧されて貼付される。ここで、貼付ローラ８０は、ヒータ内蔵型として構成されており、当該貼付ローラ８０によって貼付用シートＳが加熱されながらウエハＷに貼付される。
【００３０】
前記門型フレーム７８の両側には、略鉛直面内に向けられた板状をなすブラケット８２が固定されており、当該ブラケット８２の図１中右側の上下にガイドローラ８３，８４が支持されている。また、ガイドローラ８３の回転中心軸回りには、略Ｌ型のリンク８５が揺動可能に装着されており、その一端側にテンションローラ８７が支持されている一方、他端側には、前記移動アーム７１の上面に固定されたエアシリンダ８８のピストンロッド８９が連結されている。従って、ピストンロッド８９が進退することにより、テンションローラ８７は、ガイドローラ８３の回転中心軸を回転中心として回転可能に設けられ、これにより、ガイドローラ８３及び貼付ローラ６１間における原反Ｌに所定の張力を付与するようになっている。
【００３１】
前記検出手段３５は、フレームＦの面から突出する棒状の支持部材９０と、この支持部材９０の長手方向二箇所に取り付けられた一対のセンサ９１，９２とにより構成されている。これらセンサ９１，９２、原反Ｌの繰出方向に沿う基準中心線に対して左右等間隔位置に配置され、前記基準中心線に沿う貼付用シートＳの弦長さを検出して当該貼付用シートＳが左右何れかにずれているか否かを検出し、ずれが検出されたときに、前記テーブル１２をＹ軸方向に移動して当該Ｙ軸方向におけるウエハＷと貼付用シートとの相対位置ずれを防止するように構成されている。なお、この構成は、本出願人によって既に提案された特願２００５−２１８５４３号に開示されたものであり、従って、ここでの詳細な説明は省略する。
【００３２】
次に、本実施形態における貼付用シートＳの貼付動作について説明する。
【００３３】
ウエハＷが加熱状態にあるテーブル１２に移載され、当該テーブル１２が貼付ヘッド２６の下方に移動した状態で、貼付用シートＳがウエハＷに貼付されることとなる。
【００３４】
貼付ユニット１３では、原反Ｌの繰り出しが行われる。この繰り出しに際し、第１の駆動ローラ４２と第２の駆動ローラ４６による原反Ｌの繰出速度は、プラテンローラ４０により回転駆動されるダイカットローラ３９の回転速度よりも早く設定されている。これにより接着シートＬＳに切り込みＣで囲まれる領域が貼付用シートＳとして形成される（図５参照）。
【００３５】
前記切り込みＣによって生ずる不要接着シートＳ１は、回収ローラ３０によって順次巻き取り回収され、第３の駆動ローラ５０より繰出方向下流側は剥離シートＰＳに貼付用シートＳが仮着された状態の原反が順次繰り出されることとなる。ここで、検出手段３５が貼付用シートＳの横方向の位置ずれを検出し、そのずれ量に応じてテーブル１２が図２に示されるＹ軸方向に移動するようになっている。
【００３６】
貼付用シートＳは、貼付ローラ８０による加熱と押圧力を受けつつ、テンションローラ８７によって所定の張力を付与されてウエハＷに貼付される。すなわち、図６（Ａ）〜（Ｄ）に示されるように、貼付用シートＳのリード端ＳＥがウエハＷの図中右端に一致する位置まで繰り出される（図６（Ａ）参照）。そして、この状態で、貼付ローラ８０が上下動シリンダ７５を介して下降してリード端ＳＥをウエハＷの右端に当接させる（図６（Ｂ）参照）。次いで、移動アーム７１がウエハＷの径方向反対側に向かって移動することで貼付用シートＳを繰り出しながら、貼付ローラ８０が貼付用シートＳをウエハＷに押圧して貼付することとなる（図６（Ｄ）参照）。この際、前述したように、貼付用シートＳの繰出方向に沿う直径Ｄ１は、ウエハ直径よりも小さいため、貼付用シートＳの繰出方向に沿う延伸がないとした場合の長さは短くなってウエハ端部に未貼付領域を生じることになるが、貼付用シートＳが貼付ローラ８０による加熱と押圧力を受けつつ、所定の張力を付与されて繰出方向に若干延伸することとなる。従って、この延伸分を見込んで前記直径Ｄ１となるように切り込みＣを形成しているので、貼付完了状態で、貼付用シートＳは、ウエハＷの大きさに合う状態で貼付されることとなる。ここで、貼付用シートＳの延伸が足りない場合は、更に第１、第２の駆動ローラ４２、４６の原反繰出速度を、ダイカットローラ３９の回転速度よりも早くする度合いを大きくすればよく、延伸が大き過ぎる場合にはその度合いを小さくすればよい。
【００３７】
従って、このような実施形態によれば、貼付用シートＳが加熱や押圧力、張力といった外力によって繰出方向に延伸しても、ウエハＷの外周にはみ出るようなことはなく、当該ウエハＷの大きさに合う状態で貼付することができ、これにより、貼付用シートＳがダイボンディング用の感熱接着性のシートの場合には、ボンディング不良等を生ずるおそれを防止することが可能となる。
【００３８】
また、貼付用シートＳは、剥離シートＰＳを介して押圧力を受けて貼付されるので、貼付ローラ８０が直接接触することに起因した傷つき等を防止することもできる。
【００３９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４０】
例えば、前記実施形態では、感熱接着性を有するダイボンディング用の貼付用シートＳをウエハＷに貼付する装置として図示、説明したが、他のシート、例えば、感圧接着性を有する接着シートであってもよい。また、ドライレジストフィルムや、保護膜形成用のシート等をウエハＷに貼付する場合にも適用することができる。要するに、本発明は、熱や押圧力、張力といった外力が付与されることにより、貼付用シートが延びてしまう場合の対応装置として利用することができる。
【００４１】
また、前記実施形態では、ウエハＷに貼付用シートＳを貼付する構成について説明したが、ウエハＷ以外の板状部材にシート、フィルムを貼付する構成にも適用することができる。
【００４２】
更に、貼付用シートＳは、ピールプレートを介して剥離しつつウエハＷと相対移動可能な貼付ローラで押圧する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の全体構成を示す概略正面図。
【図２】貼付用シートをウエハに貼付する前の状態を示すシート貼付装置の概略斜視図。
【図３】貼付用シートをウエハに貼付している状態を示すシート貼付装置の概略斜視図。
【図４】ダイカットローラの展開平面図。
【図５】接着シートに切り込みＣを形成した状態を示す平面図。
【図６】貼付用シートの貼付動作を示す作用説明図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  シート貼付装置
１３  貼付ユニット
２８  カット装置
３７  ローラ軸
３８  切断刃
６０  繰出装置
Ｌ  原反
Ｓ  貼付用シート
ＰＳ  剥離シート
ＬＳ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（板状部材）
【図１】
0004637057.tif 000002
【図２】
0004637057.tif 000003
【図３】
0004637057.tif 000004
【図４】
0004637057.tif 000005
【図５】
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【図６】
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