(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置であって、
筒状の上部タンクと下部タンクとを有し、前記下部タンクが前記上部タンクの下方に一体的に設けられその内径が前記上部タンクの内径より小さく且つ内部が前記上部タンクと連通してなる調合タンクと、
前記調合タンクにスラリー原液を供給するスラリー供給手段と、
前記調合タンクに純水を供給する純水供給手段と、
前記調合タンクへのスラリー原液及び純水の供給を制御する制御手段と、
前記上部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる上部タンク液面検出手段と、前記下部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる下部タンク液面検出手段と、
前記上部タンク内に設置され、前記スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、前記純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、前記スラリー供給管と前記純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、前記合流管路部の吐出口を前記下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材と、
を備え、
前記制御手段は、
前記スラリー供給手段で前記下部タンクにスラリー原液を供給し、前記下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、前記純粋供給手段から前記下部タンクに純水を供給することで、前記下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が前記下部タンクを溢れて前記上部タンクに流入することで、前記上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止する
ことを特徴とするスラリー希釈装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスラリー希釈装置において、
前記上部タンクの底部には、その外周端部から中央の開口部に向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板が取り付けられており、
前記下部タンクの底部には、混合後の前記スラリー溶液を排出するための開口部が設けられていることを特徴とするスラリー希釈装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置等に用いられる基板研摩装置に供給するスラリー溶液を作るためのスラリー希釈装置に関し、特に、量の少ないスラリー原液を純水で稀釈し、高精度に濃度調整できるスラリー希釈装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数種類の液を混合するにあたって、液混合装置を用いて混合することが行われていた。ここでは、液の混合の例として、半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置を説明する。
【０００３】
従来、スラリー原液を純水で希釈して、その濃度が調整されたスラリー溶液を製造するには、例えば内径が上下方向に同一な筒状の容器内に、原液供給手段からスラリー原液を所定量供給し、その後該容器内に、純水供給手段から所定量の純水を供給して、該容器内でスラリー原液と純水とを混合して、所定濃度のスラリー溶液を得る。このとき、このスラリー原液及び純水の計量は、容器の壁面等に取り付けた液面計で液位を測定することで行なっている。
【０００４】
ところが、上記した方法では、希釈されるスラリー原液に対して純水の量が多い場合は、内径が上下方向に同一の容器を用いているため、少量のスラリー原液による液位変化は大量の純水による液位変化に比較して小さく、スラリー原液の量を精度良く計量することが困難となり、精度良く濃度調整されたスラリー溶液が得にくいという問題があった。
【０００５】
さらに、スラリー溶液を作る別の方法として、スラリー原液及び純水の量を予め計量しておき、この計量されたスラリー原液と純水とを容器内に供給し混合する方法もあるが、この方法では、予めスラリー原液の液量の計量を行う作業と純水の液量の計量を行なう作業とがそれぞれ必要なため、スラリー溶液を作る手順が煩雑になる上に、スラリー原液の液量を計量する装置と、純水の液量を計量する装置とをそれぞれ別個に設ける必要があるため、装置の構成が複雑になり、装置が大型化してしまうという問題があった。
【０００６】
また、従来の混合方法は、内径が上下方向に同一の容器内に、少量のスラリー原液と多量の純水とを供給し、両者を攪拌機等で攪拌して混合するものであるが、スラリー原液を純水中に均一に混合させるには時間がかかるという問題もあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、簡素な構成で、混合する各液の液量を正確に測定でき、精度の良い濃度の混合液を作ることができると共に、短時間で各液が均一に混合できるスラリー希釈装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願請求項１に記載の発明は、半導体基板等の基板を研摩する基板研摩装置に供給するスラリー溶液を製造するための、スラリー原液と純水を混合させるスラリー希釈装置であって、筒状の上部タンクと下部タンクとを有し、前記下部タンクが前記上部タンクの下方に一体的に設けられその内径が前記上部タンクの内径より小さく且つ内部が前記上部タンクと連通してなる調合タンクと、前記調合タンクにスラリー原液を供給するスラリー供給手段と、前記調合タンクに純水を供給する純水供給手段と、前記調合タンクへのスラリー原液及び純水の供給を制御する制御手段と、前記上部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる上部タンク液面検出手段と、前記下部タンクの外側面に取り付けた静電容量型の液面レベルセンサーからなる下部タンク液面検出手段と、前記上部タンク内に設置され、前記スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、前記純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、前記スラリー供給管と前記純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、前記合流管路部の吐出口を前記下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材と、を備え、前記制御手段は、前記スラリー供給手段で前記下部タンクにスラリー原液を供給し、前記下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、前記純粋供給手段から前記下部タンクに純水を供給することで、前記下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が前記下部タンクを溢れて前記上部タンクに流入することで、前記上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止することを特徴とするスラリー希釈装置にある。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスラリー希釈装置において、前記上部タンクの底部には、その外周端部から中央の開口部に向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板が取り付けられており、前記下部タンクの底部には、混合後の前記スラリー溶液を排出するための開口部が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、調合タンクを内径が大きい上部タンクと、内径が小さい下部タンクで構成し、スラリー供給手段で下部タンクにスラリー原液を供給し、下部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該スラリー原液の供給を停止し、純粋供給手段から下部タンクに純水を供給することで、下部タンク内でスラリー原液と純水との混合を行い、該混合で生成したスラリー溶液が下部タンクを溢れて上部タンクに流入することで、上部タンク液面検出手段が所定の液位を検出したら、該純水の供給を停止するように構成したので、内径の小さい下部タンク内で異なる液が混合攪拌されながら、上部タンクに流入することになり、短時間で高精度に調整された濃度のスラリー溶液を作ることができる。
【００１１】
また、下部タンクの内径が小さいから、該下部タンクに供給されるスラリー原液は少量でも下部タンク液面検出手段で精度良く計量できると共に、該少量のスラリー原液が希釈されたスラリー溶液も上部タンク液面検出手段で精度良く検出できるから、簡単な構成で、精度の良くスラリー溶液の濃度調整ができる。
【００１２】
さらに、上部タンク液面検出手段と下部タンク液面検出手段とは、共に液面レベルセンサーであるので、正確に容器内の液面を検出することができる。このため、各液の液量を正確に計量することができ、高精度に調整された濃度の混合液を作ることができる。また、液面レベルセンサーをタンクの外側面に取り付けたので、その取り付けが簡単であると共にメンテナンスが容易になる。
【００１３】
さらに、スラリー供給手段から供給されるスラリー原液が通るスラリー供給管と、純水供給手段から供給される純水が通る純水供給管と、スラリー供給管と純水供給管の吐出側の端部が合流する合流管路部とを有し、合流管路部の吐出口を下部タンクの入口に向けて配置してなる配管部材を備えたので、合流管路部を通った液は下部タンク内に流れ込み、液の混合が効率良く行われると共に、最後に液を純水とすることにより、合流管路部の内部が洗浄されることになり、装置のメンテンナンスを行う回数が少なくて済む。
【００１４】
さらに、配管部材の合流管路部をスラリー原液と純水とが通るので、該合流管路部の内壁にスラリー原液に含まれる固形物が付着して堆積しても、これが純水によって洗い流される効果があるため、装置のメンテンナンスを行う回数が少なくて済む。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、上部タンクの底部に傾斜板を取り付けたことで、上部タンク内のスラリー溶液が残らず下部タンクに移行するようになり、かつ、下部タンクの底部に開口部を設けたことで、当該開口部から調合タンク内のスラリー希釈液が外部に確実に排出されるようになるので、混合後に調合タンク内のスラリー溶液の全量を確実に他に移すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態であるスラリー希釈装置１の分解斜視図であり、図２は組み立てられたスラリー希釈装置１を示す図で、同図（ａ）はその上側から見た図であり、同図（ｂ）はその概略側断面図である。スラリー希釈装置１は、半導体製造装置等に用いられる基板研摩装置に供給するシリカ（ＳｉＯ２）等のスラリー溶液を作るもので、スラリーの原液を純水と混合して所望の濃度のスラリー溶液を作るものである。
【００１７】
スラリー希釈装置１は、その内部でスラリー原液を希釈する容器である調合タンク１０を具備し、該調合タンク１０は内径寸法βの大きい上部タンク１１と、該上部タンク１１に連通する内径寸法αの小さい（β＞α）下部タンク１５から構成されている。調合タンク１０には、図示しない原液貯蔵タンクからスラリー原液を供給するスラリー供給管２０と、図示しない純水貯蔵タンクから純水を供給する純水供給管３０と、上部タンク１１内に設置された、スラリー原液と純水とがその内部を通る配管部材４０と、上部タンク１１の開口部に被せて取り付けられた蓋部材５０と、下部タンク１５の壁面に取り付けられた液面レベルセンサー６０と、上部タンク１１の壁面に取り付けられた液面レベルセンサー７０とを具備して構成されている。以下、このスラリー希釈装置１の構成について詳細に説明する。
【００１８】
上部タンク１０及び下部タンク１５は、例えば、ＰＶＣ（塩化ビニル樹脂）や、ＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル樹脂）やガラス等の材料で形成された薬液収納用の容器である。上部タンク１１は、その上端に開口部１１ａを設けると共に、開口部１１ａの周囲には、蓋部材５０を取り付けるための取付穴１１ｂが複数個（図では４個）設けられている。また、図２に示すように、底部１２には、その外周端部から中央の開口部１２ａに向かって次第にその高さが低くなるように傾斜した傾斜板１３が取り付けられている。
【００１９】
一方、下部タンク１５の底部１６には、開口部１６ａが設けられて、この開口部１６ａにバルブ１８が取り付けられている。バルブ１８は、これを開くことで調合タンク１０内で希釈されたスラリー溶液を、開口部１６ａを経由させて外部に取り出すことができる。なお、バルブ１８はいわゆる表面設置型のバルブで、その下端の吐出口１８ａを貯蔵タンク８０の上部に設けた開口部８１に係合させて、調合タンク１０を貯蔵タンク８０の上部に載置することができる。
【００２０】
上記のように、下部タンク１５の内径寸法αが、上部タンク１１の内径寸法βよりも小さい寸法となるように構成されている。そして、下部タンク１５は、一度に作られるスラリー溶液に必要なスラリー原液をその内部に収容することができる容積を備えている。また、上部タンク１１は下部タンク１５よりもその容積が大きく構成されている。そして、上部タンク１１と下部タンク１５とを合わせた容積は、一度に作られるスラリー溶液をその内部に収容できる容積を備えて構成されている。
【００２１】
次に、スラリー供給管２０には、原液バルブ２２が取り付けられており、この原液バルブ２２が、蓋部材５０の上面に取り付けられたバルブブラケット２３と蓋部材５０の下面側でバルブブラケット２３に接続された継手２４とを介して、下記する配管部材４０の原液管路４１に接続されている。従って、原液タンクから吸引されたスラリー原液は、スラリー供給管２０から原液バルブ２２を通って配管部材４０の原液管路４１に導かれる。なお、原液バルブ２２は、調合タンク１０内の気圧に対応してスラリー原液の流路を開閉するよう構成されたバルブである。
【００２２】
また、純水供給管３０は、継手３２と接続管３３及び継手３４を介して、下記する配管部材４０の純水管路４２に接続されて構成されている。従って、純水タンクから供給される純水は、純水供給管３０と接続管３３を通って、純水管路４２に導かれる。また、純水供給管３０の途中には、純水バルブ３１が設けられ、この純水バルブ３１を開閉することによって、純水を供給・停止することができるよう構成されている。
【００２３】
配管部材４０は、ＰＦＡ等のフッ素樹脂で形成され、図３に示すように、スラリー供給管２０と接続された略直線状の原液管路４１と、純水供給管３０と接続され、その途中に略直角方向に屈曲した屈曲部４２ａを設けた純水管路４２とを設けると共に、原液管路４１の吐出側端部と純水管路４２の吐出側端部とが合流部４３で合流して、略直線状に形成された合流管路４４として形成されている。なお、純水管路４２は、原液管路４１及びこれと直線状に一体に構成された合流管路４４とに、合流部４３で、溶接による継手接続によって取り付けられている。この配管部材４０は、図２に示すように、調合タンク１０の上部タンク１１内に設置されたとき、その下端の吐出口４５が下部タンク１５の開口である開口部１２ａに向かって開口し、スラリー及び純水をこの下部タンク１５内に供給することができる長さ及び形状に形成されている。
【００２４】
蓋部材５０は、ＰＶＣ（塩化ビニル樹脂）や、ＰＦＡ（パーフルオロアルキルビニルエーテル樹脂）やガラス等の材料で形成された平板状の部材で、調合タンク１０の開口部１１ａに取り付けることでこれを覆うように、開口部１１ａの外形と略同一の形状に形成されている。図１に示すように、蓋部材５０には、その上面５０ａに、バルブブラケット２３の軸部２３ａが挿通される取付穴５１と、接続管３３がその内部に挿通されて取り付けられる取付穴５２と、図示しない真空吸引装置に接続された真空吸引管５３が取り付けられる取付穴５４とが設けられている。また、チェックバルブ５５とフロートスイッチ５６が設けられている。さらに、蓋部材５０の外周部には、取付穴５７が複数個（図では４個）設けられ、蓋部材５０は、この取付穴５７と調合タンク１０の取付穴１１ｂとに挿通されるビス５８によって、調合タンク１０に取り付けられ、開口部１１ａを密閉した状態で塞いでいる。
【００２５】
次に，下部タンク液面検出手段である液面レベルセンサー６０と上部タンク液面検出手段である液面レベルセンサー７０は、共に下部タンク１５及び上部タンク１１の外側から、その内部に溜められた液体の液面を検出することができるもので、ここではレベルセンサー（液面レベルセンサー）を用いる。このレベルセンサーとして、静電容量型レベルセンサーを用いると好適である。静電容量型レベルセンサーは、液面等の位置の検出にあたり、その電気的な出力の変化をコンデンサーの静電容量の変化として検知するものである。なお、ここでは、静電容量型レベルセンサーを用いた場合を例に説明するが、液面レベルセンサー６０及び液面レベルセンサー７０は、静電容量型のレベルセンサーに限られず、液面にレーザー光を照射する光学型や、超音波を発射する超音波型のレベルセンサー等を用いることも可能である。
【００２６】
図２に示すように、液面レベルセンサー６０は、センサーブラケット６５によって、その検知面６１を調合タンク１０の下部タンク１５内に向けた状態で、下部タンク１５の外側面１５ｃに取り付けられている。図４は、液面レベルセンサー６０とセンサーブラケット６５とを示す図で、同図（ａ）はこれらを上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット６５をその側方から見た図である。図４に示すように、液面レベルセンサー６０は、検知面６１を備えた矩形の略平板形状であり、検知面６１が平面形状であるため、そのままでは湾曲している下部タンク１５の外側面１５ｃに取り付けることが出来ないため、センサーブラケット６５の一方の側面６７を、外側面１５ｃの湾曲に合わせた形状に形成し、このセンサーブラケット６５によって外側面１５ｃに取り付けられている。センサーブラケット６５は、同図（ｂ）に示すように、その側方から見た形状が略コ字状に形成され、内側に検知面６１を収納する収納部６６を設けている。なお、６２は液面レベルセンサー６０をセンサーブラケット６５に取り付けるビスである。
【００２７】
この液面レベルセンサー６０は、下部タンク１５の外側面１５ｃのうち、下部タンク１５内にスラリー原液を溜めた際に、その液面が位置する高さに合わせた位置に取り付けておき、供給されるスラリー原液の液量が所望の液量になったら、液面レベルセンサー６０でこれを検出できるように構成しておく。液面レベルセンサー６０を取り付けたセンサーブラケット６５は、下部タンク１５の外側面１５ｃに、接着により固定するかあるいは粘着テープなどで貼り付けて固定する。また、希釈するスラリー溶液の量やその濃度を切り換えて使用する場合には、液面レベルセンサー６０は、下部タンク１５内に供給するスラリー原液の液量に合わせて下部タンク１５の外側面１５ｃにおけるその取付位置を上下に移動することができるように、例えばガイドレール等によって、半固定の状態で取り付けても良い。
【００２８】
原液バルブ２２は液面レベルセンサー６０の出力信号により開閉制御されるようになっており、液面レベルセンサー６０によって下部タンク１５内の液面が検出されると、その検出信号により原液バルブ２２が閉じられ、スラリー原液の供給が停止されるように構成されている。
【００２９】
一方、図５は、液面レベルセンサー７０とセンサーブラケット７５とを示す図で、同図（ａ）はこれらを上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット７５のみをその側方から見た図である。液面レベルセンサー７０も、液面レベルセンサー６０と同様に、センサーブラケット７５によって、その検知面７１を上部タンク１１内に向けた状態で、上部タンク１１の外側面１１ｃに取り付けられている。センサーブラケット７５は、その一方の側面７７が、上部タンク１１の外側面１１ｃの湾曲に合わせた形状に形成されている。また、同図（ｂ）に示すように、その側方から見た形状が略コ字状に形成され、内側に検知面７１を収納する収納部７６を設けている。
【００３０】
液面レベルセンサー７０は、上部タンク１１の外側面１１ｃのうち、調合タンク１０内に希釈したスラリー溶液を溜めた際に、その液面が位置する高さに合わせて取り付けておき、供給される純水の液量が所望の液量になったら、液面レベルセンサー７０でこれを検出できるように構成しておく。液面レベルセンサー７０をビス７２で固定したセンサーブラケット７５は、上部タンク１１の外側面１１ｃに接着により固定するか、あるいは粘着テープなどで貼り付けて固定する。また、スラリー溶液の量やその濃度を切り換えて使用する場合には、液面レベルセンサー７０は、スラリー溶液の液量に合わせて、上部タンク１１の外側面１１ｃにおけるその取付位置を上下に移動できるように、半固定の状態で取り付けても良い。
【００３１】
純水バルブ３１は液面レベルセンサー７０の出力信号により開閉制御されるようになっており、液面レベルセンサー７０によって上部タンク１１内の液面が検出されると、その検出信号により純水バルブ３１が閉じられ、純水の供給が停止されるように構成されている。
【００３２】
これら液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とは、下部タンク１５と上部タンク１１とにそれぞれ１個ずつ取り付けた場合を示したが、どちらも２個以上取り付けることも可能である。
【００３３】
次に、上記構成のスラリー希釈装置１を用いて、スラリー溶液を作る手順を説明する。図２に示すように、調合タンク１０は、スラリー溶液を貯蔵する貯蔵タンク８０の上部に載置されており、バルブ１８の吐出口１８ａを貯蔵タンク８０の開口部８１に接続している。この状態ではバルブ１８は閉じられている。そして、図示しない真空吸引装置を作動させて調合タンク１０内の気体を吸引し、調合タンク１０内を真空の状態にする。ここで、調合タンク１０内の気体が一定のレベルまで吸引されると、原液バルブ２２にかかる気圧が変化することで、原液バルブ２２が開かれる。原液タンクからスラリーの原液が吸引されて、スラリー供給管２０及び原液バルブ２２を通って、配管部材４０の原液管路４１に導かれ、原液管路４１から合流管路４４を通って下部タンク１５内に流下する。流下したスラリー原液は、下部タンク１５内に溜まり、次第にその液面レベルが上昇する。液面レベルが予め設定されたレベルに到達すると、液面レベルセンサー７０がこの液面を検出し、原液バルブ２２が閉じられて、スラリー原液の供給が停止する。
【００３４】
続いて、純水バルブ３１を開けることで、純水タンクから純水が吸引され、該純水は純水供給管３０、純水管路４２及び合流部４３を通って合流管路４４に導かれ、下部タンク１５内に流下する。下部タンク１５内に流下した純水は、下部タンク１５内で、先に溜められたスラリー原液と混合攪拌し、この混合されたスラリー溶液（スラリー原液の純水による希釈液）は下部タンク１５内に溜まり、その液位が上昇して、やがて下部タンク１５から溢れ出て、上部タンク１１へ流れ込む。そして、上部タンク１１内の液面が、液面レベルセンサー７０で検出されると、純水バルブ３１が閉じられて純水の供給が停止される。こうして所望の濃度に希釈されたスラリー溶液が作られる。
【００３５】
上記したスラリー溶液を作る方法では、下部タンク１５内の液面が所定の高さに達したことを検出することで、供給するスラリー原液の液量を計量しているが、下部タンク１５の内径寸法αは、上部タンク１１の内径寸法βよりも小さい内径寸法に形成されているため、少ない量のスラリー原液の液量を高い精度で計量することができる。また、純水で稀釈されたスラリー溶液は多量であるため、内径寸法βが大きい上部タンク１１でも精度良く計量できる。そのため、スラリー溶液の濃度を、目的とする濃度に精度良く調整できる。
【００３６】
また、下部タンク１５内に溜まったスラリー原液の液面や、上部タンク１１内に溜まったスラリー溶液の液面の検出は、静電容量型の液面レベルセンサー６０や液面レベルセンサー７０を用いて行われるので、これら液面の検出が正確に行われる。また、液面レベルセンサー６０や液面レベルセンサー７０を用いることで、従来の希釈装置と比較して、低いコストで、計量機能を備えたスラリー希釈装置１を構成することが可能となる。さらに、液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とを調合タンク１０の外側面に取り付けたので、その調整やメンテナンスが行い易く、スラリー希釈装置１の取扱いが容易になる。なお、液面レベルセンサー６０と液面レベルセンサー７０とを、その取り付け高さが変更可能な状態で取り付けておけば、スラリー溶液の濃度や液量の変更にも容易に対応することが可能となる。
【００３７】
また、配管部材４０の合流管路４４の部分は、原液タンクから供給されたスラリー原液が通過すると共に、純水タンクから供給された純水も通過する。よって、合流管路４４の部分をスラリー原液が通ることでその内壁に固形物が付着して堆積しても、純水が通ることによって定期的にこの堆積物が洗い落とされるため、合流管路４４が詰まることを防げ、清掃等のメンテナンスの回数を減らすことができる。
【００３８】
また、スラリー原液と純水との混合は、容積の小さい下部タンク１５でスラリー原液に純水を混合攪拌するように行われるため、両者は良く混合し、混合した状態で下部タンク１５から溢れ、上部タンク１１に流れ込むので、格別な攪拌手段を備えることなく、濃度が均一で質の高いスラリー溶液が作られることとなる。
【００３９】
以上のようにして、調合タンク１０内で目的とする濃度のスラリー溶液が作られたら、バルブ１８を開いて、調合タンク１０内のスラリー溶液を貯蔵タンク８０内へ自然落下させて移送する。なお、バルブ１８を調合タンク１０の下端に取り付けて、自然落下により内部のスラリー溶液を移すよう構成したので、調合タンク１０内のスラリー溶液の全量を残さず移送することができる。また、スラリー溶液を移送するためのポンプ等の設備が不要になるため、設備のコンパクト化を図ることができる。なお、調合タンク１０内に傾斜板１３を取り付けたので、上部タンク１１内のスラリー溶液が、この傾斜板１３により残らず排出されるので、調合タンク１０内のスラリー溶液の全量を貯蔵タンク８０に移すことができる。
【００４０】
上記したスラリー溶液を作る作業とスラリー溶液を移送する作業からなる一連の作業を何回か繰り返して行うことで、貯蔵タンク８０内に必要な量のスラリー溶液を溜めることができる。なお、繰り返し作業を行うにあたっても、調合タンク１０の設置場所を変えたり、スラリー溶液をポンプで（別の場所に）移送する作業等は不要であるため、非常に効率が良い。
【００４１】
なお、調合タンク１０の形状は、上記実施形態に記載した形状に限られるものではない。また、本願発明は、異なる複数種類の液を混合する液混合装置にかかるものであり、液はスラリー原液に限られず、他の液でもよいし、液であるスラリー原液を溶媒である純水で希釈する場合に限られず、液と他の液とを混合するものであってもよい。また、混合する液は２種類に限らず、３種類以上を混合するものでもあってもよい。例えば、下部タンク１５に複数種類の液を順に所定量ずつ供給し、該複数種類の液に純水等の一種類の液、又は複数の液を所定量ずつ順次供給するようにしてもよい。また、下部タンク１５も１個に限定されるものではなく、内径が順に小さくなる下部タンクを複数段設けてもよい。
【００４２】
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載のない何れの形状・構造・材質・方法であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態であるスラリー希釈装置１の分解斜視図である。
【図２】スラリー希釈装置１を示す図で、同図（ａ）はスラリー希釈装置１をその上側から見た図で、同図（ｂ）はスラリー希釈装置１の概略側断面図である。
【図３】配管部材４０を示す図である。
【図４】液面レベルセンサー６０を示す図で、同図（ａ）は、液面レベルセンサー６０とセンサーブラケット６５とをその上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット６５をその側方から見た図である。
【図５】液面レベルセンサー７０を示す図で、同図（ａ）は、液面レベルセンサー７０とセンサーブラケット７５とをその上側から見た図であり、同図（ｂ）はセンサーブラケット７５をその側方から見た図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  スラリー希釈装置
１０  調合タンク
１１  上部タンク
１２  底部
１３  傾斜板
１５  下部タンク
１６  底部
１８  バルブ
２０  スラリー供給管
２２  原液バルブ
２３  バルブブラケット
３０  純水供給管
３１  純水バルブ
４０  配管部材
４１  原液管路
４２  純水管路
４４  合流管路
４５  吐出口
５０  蓋部材
５３  真空吸引管
６０  液面レベルセンサー
６１  検知面
６５  センサーブラケット
７０  液面レベルセンサー
７１  検知面
７５  センサーブラケット
８０  貯蔵タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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