(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
数平均分子量が５００〜３，０００であり、アクリロイル基およびカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ）、数平均分子量が３，０００を超え１００，０００以下であり、カルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ｅ）、多官能アクリレートモノマー（Ｂ）並びに光重合開始剤（Ｃ）を含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物であって、全てのアクリロイル基の濃度が感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて６．０ｍｍｏｌ／ｇ以上、かつ該親水性ポリマー（Ａ）中のアクリロイル基の濃度が該（Ａ）の重量に基づき１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であり、さらに、酸価が該（Ａ）の重量に基づき１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇである感光性樹脂組成物。
【請求項２】
親水性ポリマー（Ａ）が、エポキシ樹脂（Ａ２0）のエポキシ基をアクリル酸で開環反応
させたのちに、生成した水酸基と多価カルボン酸もしくはその無水物（ｅ）とを反応させて得られるポリマー（Ａ２）である請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づき、無機微粒子（Ｄ１）を０〜５０重量％含んでなる請求項１または２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
無機微粒子（Ｄ１）の体積平均粒子径が１〜２００ｎｍである請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか記載の感光性樹脂組成物からなるプリント配線板用フォトソルダーレジスト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は感光性樹脂組成物に関する。詳しくはプリント配線基板用のフォトソルダーレジストに関する。
【背景技術】
【０００２】
感光性樹脂組成物は各種の用途に幅広く使用されている。プリント配線基板では、回路の永久保護被膜として感光性樹脂組成物がフォトソルダーレジストとして広く用いられている。フォトソルダーレジストとは回路導体のはんだ付けする部分を除いた全面に被膜が形成されるもので、プリント配線基板に電子部品を配線する際、はんだが不必要な部分に付着するのを防ぐとともに、回路が直接空気に暴露されるのを防止する保護被膜として使用されるものである。現在プリント配線基板用のフォトソルダーレジストとしては高精度化、高密度化、及び環境問題対応の点から、液状のフォトソルダーレジストが広く使用されている。
【０００３】
この液状のフォトソルダーレジストインクとしては、例えば特許文献−１及び特許文献−２に、ノボラック型エポキシ樹脂のアクリル酸との部分反応物を主成分とするソルダーレジストインク組成物が提案されている。しかしながらこれらのインク組成物は、露光後の硬化性が十分でなく、塗膜形成後にべたつき（タック）が残る等の問題があった。
【０００４】
また特許文献−３にはノボラック型エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸との付加物と多塩基酸無水物との反応生成物を主成分とする感光性樹脂組成物が提案されており、フォトソルダーレジストとしても使用できることが開示されている。しかしながら、この感光性樹脂組成物は、長時間インクを放置すると未露光部に現像むらが発生したり、塗膜形成後に粘着性があってパターン用フィルムが剥離できなくなったり、レジストの一部がフィルムに付着し正しいパターンが得られなかったりする等の問題があった。
【０００５】
更に特許文献−４にはノボラック型エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物に鎖延長剤を反応させて高分子量化した光重合性樹脂が提案され、フォトソルダーレジストとしても使用できることが開示されている。しかしながら、この光重合性樹脂でも塗膜形成後のタック性が残り、十分ではなかった。上述の通り、現像性、硬化性 及びタック性がすべて良好なフォトソルダーレジストは、まだ得られてはいなかった。
【特許文献−１】特開昭６０−２０８３３７号公報
【特許文献−２】特開昭６１−５９４４７号公報
【特許文献−３】特公平１−５４３９０号公報
【特許文献−４】特開平６−１６６８４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、現像性、硬化性 及びタック性に優れた感光性樹脂組成物、特にプリント配線板用フォトソルダーレジストを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明に到達した。
すなわち本発明は、数平均分子量が５００〜３，０００であり、アクリロイル基およびカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ）、数平均分子量が３，０００を超え１００，０００以下であり、カルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ｅ）、多官能アクリレートモノマー（Ｂ）並びに光重合開始剤（Ｃ）を含有するアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物であって、全てのアクリロイル基の濃度が感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて６．０ｍｍｏｌ／ｇ以上、かつ該親水性ポリマー（Ａ）中のアクリロイル基の濃度が該（Ａ）の重量に基づき１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であり、さらに、酸価が該（Ａ）の重量に基づき１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇである感光性樹脂組成物；及び該感光性樹脂組成物からなるフォトソルダーレジストである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の感光性樹脂組成物は、以下の効果を奏する。
・現像性に優れる。
・硬化性に優れる。
・タック性に優れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の感光性樹脂組成物は、数平均分子量が５００〜３，０００であり、アクリロイル基およびカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ）、数平均分子量が３，０００を超え１００，０００以下であり、カルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ｅ）、多官能アクリレートモノマー（Ｂ）並びに光重合開始剤（Ｃ）を含有することを特徴とするものである。そして、全てのアクリロイル基の濃度が感光性樹脂組成物の固形分の重量に基づいて６．０ｍｍｏｌ／ｇ以上、かつ該親水性ポリマー（Ａ）中のアクリロイル基の濃度が（Ａ）の重量に基づき１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上である。さらに、酸価が該（Ａ）の重量に基づき１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇである感光性樹脂組成物である。
【００１０】
本発明における親水性ポリマー（Ａ）（以下、単に（Ａ）と表記する場合がある）は、親水性であって、後述のように（Ａ）を含む感光性樹脂組成物（Ｑ）（以下、単に（Ｑ）と表記する場合がある）のアクリロイル基濃度の一部に寄与するポリマーであり、分子内に少なくとも１個のアクリロイル基と少なくとも１個のカルボキシル基を有する。
アクリロイル基に類似の二重結合を有する官能基としては、ビニル基、メタアクリロイル基、ビニルオキシ基、ビニルオキシカルボニル基、（メタ）アリルオキシ基、および（メタ）アリルオキシカルボニル基等が例示されるが、これらの二重結合の場合は光照射時の反応性が乏しく、得られる硬化物の硬度が不十分であり、本発明の目的とする物性が発現できない。
【００１１】
（Ａ）の親水性の指標はＨＬＢにより規定され、一般にこの数値が大きいほど親水性が高いことを示す。
（Ａ）のＨＬＢ値は、（Ａ）の樹脂骨格によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは４〜１９、さらに好ましくは５〜１８、特に好ましくは６〜１７である。４以上であればフォトソルダーレジストの現像を行う際に、現像性がさらに良好であり、１９以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好である。なお、本発明におけるＨＬＢは、小田法によるＨＬＢ値であり、親水性−疎水性バランス値のことであり、有機化合物の有機性の値と無機性の値との比率から計算することができる。
ＨＬＢ≒１０×無機性／有機性
また、無機性の値及び有機性の値は、文献「界面活性剤の合成とその応用」（槇書店発行、小田、寺村著）の５０１頁；または、「新・界面活性剤入門」（藤本武彦著、三洋化成工業株式会社発行）の１９８頁に詳しく記載されている。
また、（Ａ）の溶解度パラメーター（以下、ＳＰ値という。）は、好ましくは７〜１４、さら好ましくは８〜１３、特に好ましくは１１〜１３である。７以上であるとさらに現像性が良好に発揮でき、１４以下であると硬化物の耐水性がさらに良好である。
【００１２】
本発明におけるＳＰ値は、Ｆｅｄｏｒｓらが提案した下記の文献に記載の方法によって計算されるものである。
「ＰＯＬＹＭＥＲ  ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ  ＡＮＤ  ＦＥＢＲＵＡＲＹ，１９７４，Ｖｏｌ．１４，Ｎｏ．２，ＲＯＢＥＲＴ  Ｆ．ＦＥＤＯＲＳ．（１５１〜１５３頁）」
ＳＰ値が近いもの同士はお互いに混ざりやすく（分散性が高い）、この数値が離れているものは混ざりにくいことを表す指標である。
【００１３】
（Ａ）は、該（Ａ）の重量に基づくアクリロイル基の濃度が、硬化物の硬度の観点から好ましくは１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上、さらに好ましくは１．１〜１０．０ｍｍｏｌ／ｇ、特に好ましくは１．２〜９．０ｍｍｏｌ／ｇであり、かつ、（Ａ）の酸価は、好ましくは１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇ、さらに好ましくは３０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇ、特に好ましくは５０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇである。
アクリロイル基濃度が１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であると硬度向上の効果がさらに良好に発現し、また、１０．０ｍｍｏｌ／ｇ以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。
（Ａ）の酸価は、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であると、現像性がさらに良好に発揮されやすく、５００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば硬化物の耐水性がさらに良好に発揮できる。
【００１４】
本発明におけるアクリロイル基の濃度は、二重結合へのアミンの付加反応（マイケル付加）を利用した滴定法により測定できる。方法は以下の通りである。
（ｉ）試料約１ｇを精秤して三角フラスコに入れ、続いてアセトン約１０ｍｌを加え溶解する。
(ii)モルホリン標準液［モルホリンとメタノールを１：４（容量比）で混合したもの］１０ｍｌを加え、さらに５０％酢酸標準液［酢酸とイオン交換水を１：１（容量比）で混合したもの］１．５ｍｌを加えてよく振とうした後、室温で１５分間放置する。
(iii)アセトニトリル１５ｍｌ及び無水酢酸１０ｍｌを上記三角フラスコに加えよく振とうする。
(iv)記録式自動滴定装置を用いて、０．５ｍｏｌ／Ｌの塩酸・メタノール滴定用溶液を用いて滴定する。(v)同時に空試験を実施し、下式にて決定する。
二重結合濃度（ｍｍｏｌ／ｇ）  ＝  ｆ  ×  （Ａ−Ｂ）  ／  ２Ｓ
ただし、Ａ：試料の滴定に要した０．５ｍｏｌ／L塩酸・メタノール滴定用溶液のｍ              Ｌ数。
Ｂ：空試験に要した０．５ｍｏｌ／Ｌ塩酸・メタノール滴定用溶液のｍＬ数。
ｆ：０．５ｍｏｌ／Ｌ塩酸・メタノール滴定用溶液の力価。
Ｓ：試料採取量（ｇ）
【００１５】
本発明における酸価はアルカリ性滴定溶液を用いた指示薬滴定法により測定できる。
方法は以下の通りである。
（ｉ）試料約１ｇを精秤して三角フラスコに入れ、続いて中性メタノール・アセトン溶液［アセトンとメタノールを１：１（容量比）で混合したもの］を加え溶解する。
（ｉｉ）フェノールフタレイン指示薬数滴を加え、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム滴定用溶液で滴定する。指示薬の微紅色が３０ｓｅｃ続いたときを中和の終点とする。
（ｉｉｉ）次式を用いて決定する。
酸価（ＫＯＨｍｇ／ｇ）＝（Ａ×ｆ×５．６１）／Ｓ
ただし、Ａ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム滴定用溶液のｍＬ数。
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウム滴定用溶液の力価
Ｓ：試料採取（ｇ）
【００１６】
（Ａ）としては、ビニル系ポリマー（Ａ１）（以下、単に（Ａ１）と表記する場合がある）、エポキシ系ポリマー（Ａ２）（以下、単に（Ａ２）と表記する場合がある）、ポリエステル、ポリアミド、ポリカーボネートおよびポリウレタンなどが挙げられる。（Ａ）は１種で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらのうち、得られる硬化物の硬度の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは（Ａ１）および（Ａ２）である。
【００１７】
（Ａ１）としては、アクリロイル基およびカルボキシル基を、ビニルポリマー分子の側鎖および／または末端に有するものが挙げられるが、硬化物の硬度の観点から、少なくとも側鎖にアクリロイル基を２個以上有するものが好ましく、また、親水性を発揮するためには少なくとも側鎖にカルボキシル基を２個以上有するものが好ましい。
【００１８】
（Ａ１）の好ましい製造方法は、カルボキシル基含有ビニルモノマー（ａ）（以下、単に（ａ）と表記する場合がある）と、水酸基または１級もしくは２級アミノ基等の反応性官能基を有するビニルモノマー（ｂ）（以下、単に（ｂ）と表記する場合がある）をビニル重合して、予め、前駆体ポリマー（Ａ１0）（以下、単に（Ａ１0）と表記する場合がある）を製造し、該（Ａ１0）と、該（Ａ１0）中の反応性官能基と反応可能な官能基（例えばイソシアネート基など）およびアクリロイル基を有する化合物（ｄ）（以下、単に（ｄ）と表記する場合がある）とを反応させる方法である。
【００１９】
カルボキシル基含有ビニルモノマー（ａ）としては、不飽和モノカルボン酸［（メタ）アクリル酸、クロトン酸および桂皮酸など］、不飽和多価（２〜４価）カルボン酸［（無水）マレイン酸、イタコン酸、フマル酸およびシトラコン酸など］、不飽和多価カルボン酸アルキル（炭素数１〜１０のアルキル基）エステル［マレイン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステルおよびシトラコン酸モノアルキルエステルなど］、並びにこれらの塩［アルカリ金属塩（ナトリウム塩およびカリウム塩等）、アルカリ土類金属塩（カルシウム塩およびマグネシウム塩等）、アミン塩およびアンモニウム塩等］が挙げられる。
（ａ）のうち好ましいのは親水性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは（メタ）アクリル酸である。
【００２０】
水酸基または１級もしくは２級アミノ基等の反応性官能基を有するビニルモノマー（ｂ）としては、以下のビニルモノマーが挙げられる。
（ｂ１）水酸基含有ビニルモノマー；
ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート［２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートなど］、ポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート［ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレートなど］、アルキロール（メタ）アクリルアミド［Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミドなど］、ヒドロキシスチレンおよび２−ヒドロキシエチルプロペニルエーテルなどが挙げられる。
（ｂ２）１級もしくは２級アミノ基含有ビニルモノマー；
１級アミノ基含有ビニルモノマー［アミノエチル（メタ）アクリレートおよびアリルアミンなど］および２級アミノ基含有ビニルモノマー［モノメチルアミノエチル（メタ）アクリレートおよびモノエチルアミノエチル（メタ）アクリレートなど］が挙げられる。
（ｂ）のうち好ましいのは親水性の観点から（ｂ１）、さらに好ましいのヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、特に２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートである。
【００２１】
前駆体ポリマー（Ａ１0）には、（ａ）および（ｂ）以外に、その他のビニルモノマー（ｃ）を構成モノマーとしてもよい。
その他のビニルモノマー（ｃ）としては、以下の非イオン性のモノマー（ｃ１）〜（ｃ６）、アニオン性のモノマー（ｃ７）およびカチオン性のモノマー（ｃ８）が挙げられる。
【００２２】
非イオン性のモノマー：
（ｃ１）（メタ）アクリル酸エステル；
アルキル基の炭素数１〜２０のアルキル（メタ）アクリレート［例えばメチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレートおよび２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートなど］；脂環基含有（メタ）アクリレート［ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、シジクロペンテニル（メタ）アクリレートおよびイソボルニル（メタ）アクリレートなど］；アルコキシポリアルキレングリコールモノ（メタ）アクリレート［メトキシポリエチレングリコール（重合度２〜４０）モノ（メタ）アクリレートおよびメトキシポリプロピレングリコール（重合度２〜３０）モノ（メタ）アクリレートなど］；および
３級アミノ基含有（メタ）アクリレート［ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレートおよびジエチルアミノエチル（メタ）アクリレートなどのジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート］；などが挙げられる。
【００２３】
（ｃ２）芳香族炭化水素系モノマー；
スチレン骨格を有する炭化水素系モノマー［例えばスチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン、２，４−ジメチルスチレン、エチルスチレン、イソプロピルスチレン、ブチルスチレン、フェニルスチレン、シクロヘキシルスチレンおよびベンジルスチレン］およびビニルナフタレンなどが挙げられる。
（ｃ３）カルボン酸ビニルエステル；
炭素数４〜５０のもの、例えば酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルおよび酪酸ビニルなどが挙げられる。
（ｃ４）ビニルエーテル系モノマー；
炭素数３〜５０（好ましくは６〜２０）のもの、例えば、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルプロピルエーテル、ビニルブチルエーテルなどが挙げられる。
（ｃ５）ビニルケトン系モノマー；
炭素数４〜５０のもの、例えば、ビニルメチルケトン、ビニルエチルケトンおよびビニルフェニルケトンなどが挙げられる。
（ｃ６）ハロゲン原子含有モノマー；
炭素数２〜５０（好ましくは２〜２０）のもの、例えば、塩化ビニル、臭化ビニル、塩化ビニリデン、クロルスチレンおよびブロムスチレンなどが挙げられる。
【００２４】
アニオン性のモノマー：
（ｃ７）スルホン酸基含有ビニルモノマー；
例えば、ビニルスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、スチレンスルホン酸、α−メチルスチレンスルホン酸、２−（メタ）アクリロイルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸およびこれらの塩が挙げられる。塩としてはアルカリ金属（ナトリウムおよびカリウム等）塩、アルカリ土類金属（カルシウムおよびマグネシウム等）塩、第１〜３級アミン塩、アンモニウム塩および第４級アンモニウム塩などが挙げられる。
【００２５】
カチオン性のモノマー：
（ｃ８）第４級アンモニウム塩基含有ビニルモノマー；
炭素数６〜５０（好ましくは８〜２０）の第３級アミノ基含有ビニルモノマーの４級化物［例えば、メチルクロライド、ジメチル硫酸、ベンジルクロライドおよびジメチルカーボネート等の４級化剤を用いて４級化したもの、例えば、トリメチルアミノエチル（メタ）アクリレートの４級物、トリエチルアミノエチル（メタ）アクリレートの４級化物などが挙げられる。
【００２６】
（ｃ）のうち好ましいのは、硬化性の観点から（ｃ１）、さらに好ましいのは脂環基含有（メタ）アクリレートである。
【００２７】
（Ａ１0）における、（ａ）／（ｂ）／（ｃ）の仕込みモノマーモル比は、得られる（Ａ１0）をさらに反応させて（Ａ１）に変換し、（Ａ１）のアクリロイル基の濃度が好ましくは１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上となるような（ｂ）の仕込みモル比であって、（Ａ１）の酸価が、好ましくは１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇとなるような（ａ）の仕込みモル比である。
（ａ）／（ｂ）／（ｃ）の仕込みモル比は上記の観点から、好ましくは１０〜８０／２０〜９０／０〜７０、さらに好ましくは１５〜７５／２５〜８５／０〜６０である。
（Ａ１0）の数平均分子量（以下、Ｍｎと略記。ゲルパーミュエーションクロマトグラフィーによる測定値）は、硬化物となったときの硬度と現像性の観点から、通常５００〜３，０００、好ましくは１，０００〜２，８００、特に好ましくは１，５００〜２，５００である。Ｍｗが５００以上であると樹脂硬度が充分に発揮でき、また、Ｍｗが３，０００以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。
【００２８】
（Ａ１0）は、モノマーを必要により溶剤（Ｄ４）（以下、単に（Ｄ４）と表記する場合がある）で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることが出来る。溶剤（Ｄ４）としては、グリコールエーテル類（エチレングリコールモノアルキルエーテルおよびプロピレングリコールモノアルキルエーテルなど）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソフ゛チルケトンおよびシクロヘキサノンなど）、およびエステル類（ブチルアセテート、エチレングリコールアルキルエーテルアセテートおよびプロピレングリコールアルキルエーテルアセテートなど）が挙げられる。（Ｄ４）のうち好ましいのはケトン類およびエステル類である。
（Ｄ４）を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて通常、１〜４００重量％、好ましくは５〜３００％（以下において、％は特に限定しない限り重量％を表す）、特に好ましくは１０〜２００％である。
重合開始剤としては、過酸化物及びアゾ化合物が挙げられる。
過酸化物としては、無機過酸化物（例えば、過酸化水素、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウムなど）、および有機過酸化物（例えば、過酸化ベンゾイル、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、クメンヒドロパーオキサイド、ラウリルパーオキシドなど）などが挙げられる。アゾ化合物としては、アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、アゾビスシアノ吉草酸およびその塩（例えば塩酸塩など）、およびアゾビス（２−アミジノプロパン）ハイドロクロライドなどが挙げられる。好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、０．０００１〜２０％が好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１５％、特に好ましくは０．００５〜１０％である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
【００２９】
（Ａ１0）における（ｂ）に由来する水酸基などの反応性官能基と反応可能な官能基及びアクリロイル基を有する化合物（ｄ）としては、イソシアネート基含有アクリレート（ｄ１）およびエポキシ基含有アクリレート（ｄ２）が挙げられる。
なお、（Ａ１0）に存在するカルボキシル基を反応性官能基とし、それと反応可能な官能基としての水酸基およびアクリロイル基を有する化合物、例えば、前述の（ｂ１）なども（ｄ）として使用できる。
（ｄ）のうち好ましいのは、（Ａ１0）との反応速度の速さの観点から（ｄ１）および（ｄ２）、特に（ｄ１）である。
（ｄ１）としては、２−イソシアナートアルキルアクリレート（例えば、２−イソシアナートエチルアクリレートおよび３−イソシアナートプロピルアクリレートなど）が挙げられる。
（ｄ２）としては、グリシジルアクリレートなどが挙げられる。
【００３０】
（Ａ１）のＭｎは、硬化物の硬度と現像性の観点から、通常５００〜３，０００、好ましくは１，０００〜２，８００、特に好ましくは１，５００〜２，５００である。Ｍｎが５００以上であると樹脂硬度が充分に発揮でき、また、Ｍｗが３，０００以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。Ｍｎが５００以上であると樹脂硬度が充分に発揮でき、また、Ｍｎが３００，０００以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。
また、アクリロイル基１個あたりのＭｎは、硬化性の観点から好ましくは１００〜１，０００、さらに好ましくは２００〜９００である。
前述のように（Ａ）の親水性の指標はＨＬＢにより規定されるが、このうちの（Ａ１）のＨＬＢ値は、好ましくは９〜１９、さらに好ましくは１０〜１８、特に好ましくは１１〜１７である。（Ａ１）のＨＬＢが９以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。
【００３１】
（Ａ１0）と（ｄ）の反応は、通常、（Ａ１0）中の（ｂ）の当量と同当量以下の（ｄ）を用いて、（ｄ１）を用いた場合は、６０℃で２〜１０時間、（ｄ２）を用いた場合は８０℃で４〜２４時間、必要により触媒［アミン系触媒、スズ系触媒（ジブチルスズラウレートなど）またはチタン系触媒など］およびラジカル重合禁止剤（ヒドロキノン、ｐ−メトキシフェノールなど）を用いて反応することができる。
【００３２】
本発明における（Ａ）のうちのエポキシ系ポリマー（Ａ２）（以下、単に（Ａ２）と表記する場合がある）は、エポキシ樹脂骨格を有するポリマー中に、アクリロイル基およびカルボキシル基を有するものである。
【００３３】
（Ａ２）の好ましい製造法は、エポキシ樹脂（Ａ２0）（以下、単に（Ａ２0）と表記する場合がある）中のエポキシ基に、アクリロイル基含有モノカルボン酸を反応させてエポキシ基を開環させて水酸基を生成させ、該水酸基に多価カルボン酸もしくはその多価カルボン酸無水物（ｅ）（以下、単に（ｅ）と表記する場合がある）を反応させる方法である。
【００３４】
（Ａ２0）としては、脂肪族エポキシ樹脂［例えばエポトートＹＨ−３００、ＰＧ−２０２、ＰＧ−２０７（いずれも東都化成社製）など］や脂環式エポキシ樹脂［例えばＣＹ−１７９、ＣＹ−１７７、ＣＹ−１７５（いずれも旭化成エポキシ社製）など］や芳香族エポキシ樹脂［例えば、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、ビフェニール型エポキシ樹脂おおびグリシジル変性ポリビニルフェノールなど］が挙げられる。
（Ａ２0）のうち好ましいのは硬化性の観点から芳香族エポキシ樹脂である。
アクリロイル基含有モノカルボン酸としては、アクリル酸が挙げられる。
多価カルボン酸および多価カルボン酸無水物（ｅ）としては、前述の（ａ）のうちの不飽和多価カルボン酸およびそれらの無水物、並びに飽和多価（２〜６価）カルボン酸（例えばシュウ酸、コハク酸、フタル酸、アジピン酸、ドデカン二酸、ドデセニルコハク酸、ペンタデセニルコハク酸およびオクタデセニルコハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸；テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸およびナフタレンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸）およびそれらの無水物（例えば、無水コハク酸、ドデセニル無水コハク酸、ペンタデセニル無水コハク酸およびオクタデセニル無水コハク酸などの脂肪族飽和多価カルボン酸無水物；無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸無水物およびナフタレンテトラカルボン  酸  無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物）が挙げられる。好ましいのは、反応性及び現像性の観点から飽和多価カルボン酸無水物である。
【００３５】
（Ａ２）の製造における、アクリル酸／（Ａ２0）の仕込み重量比は、好ましいのは（Ａ２）のアクリロイル基の濃度が１．０ｍｍｏｌ／ｇ以上となるようなアクリル酸の仕込み重量比である。アクリル酸／（Ａ２0）の重量比は上記の観点から、好ましくは０．０７２以上／１、さらに好ましくは０．０７９〜０．７２／１である。
（Ａ２0）とアクリル酸の反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは７０〜１１０℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは５〜３０時間である。また、必要により触媒（例えば、トリフェニルホスフィンなど）およびラジカル重合禁止剤（ヒドロキノン、ｐ−メトキシフェノールなど）を用いてもよい。
また、（Ａ２0）のアクリル酸付加物の重量に対する、（ｅ）の仕込み当量は、（Ａ２）の酸価が、好ましくは１０〜５００ｍｇＫＯＨ／ｇとなるような（ｅ）の仕込み当量であり、例えば、（ｅ）が２価カルボン酸もしくはその無水物である場合、（ｅ）の仕込み当量／（Ａ２0）のアクリル酸付加物の重量は、上記の観点から、好ましくは０．１８〜８．９ミリ当量／ｇ、さらに好ましくは０．５３〜７．１ミリ当量／ｇである。
（Ａ２0）のアクリル酸付加物と（ｅ）との反応における反応温度は、特に限定されないが、好ましくは７０〜１１０℃である。また、反応時間は、特に限定されないが、好ましくは３〜１０時間である。
【００３６】
（Ａ２）のＭｎは、硬化物となったときの硬度と現像性の観点から、通常５００〜３，０００、好ましくは１，０００〜２，８００、特に好ましくは１，５００〜２，５００である。Ｍｎが５００以上である。
また、アクリロイル基１個あたりのＭｎは、硬化性の観点から好ましくは１００〜１，０００、さらに好ましくは２００〜９００である。
（Ａ２）のＨＬＢ値は、好ましくは４〜１４、さらに好ましくは５〜１３、特に好ましくは６〜１２である。（Ａ２）のＨＬＢが４以上であれば、現像性がさらに良好に発揮できる。
【００３７】
本発明の感光性樹脂組成物（Ｑ）は、（Ｑ）の固形分に基づいて、（Ａ）を好ましくは１０〜５０％、さらに好ましくは１５〜４５％、特に好ましくは２０〜４０％含有する。
１０％以上であればさらに良好に現像性を発揮でき、５０％以下であれば硬化物の硬度がさらに良好になる。
なお、本明細書において「固形分」とは当該組成物から溶剤を除いた成分を意味する。
【００３８】
本発明における親水性ポリマー（Ｅ）（以下、単に（Ｅ）と表記する場合がある）は、親水性であって、少なくとも１個のカルボキシル基を有する。
【００３９】
（Ｅ）のＨＬＢ値は、（Ｅ）の樹脂骨格によって好ましい範囲が異なるが、好ましくは４〜１９、さらに好ましくは５〜１８、特に好ましくは６〜１７である。４以上であれば感光性樹脂組成物の現像を行う際に、現像性が悪くなることが少なく、１９以下であれば硬化物が吸水して樹脂硬度が下がることが少ない。
また、（Ｅ）のＳＰ値は、好ましくは７〜１４、さら好ましくは８〜１３、特に好ましくは１１〜１３である。７以上であるとさらに現像性が良好に発揮できる傾向があり、１４以下であると硬化物の吸水による樹脂硬度の低下が起こりにくい。
【００４０】
（Ｅ）としては、ビニル系ポリマー（Ｅ１）（以下、単に（Ｅ１）と表記する場合がある）、エポキシ系ポリマー、ポリエステル、ポリアミド、ポリカーボネートおよびポリウレタンなどが挙げられる。（Ｅ）は１種で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらのうち、得られる硬化物の硬度の観点と、製造のし易さの観点から、好ましいのは（Ｅ１）である。
【００４１】
ビニル系ポリマー（Ｅ１）としては、先に例示した（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を共重合したものが挙げられる。（ａ）のうち好ましいのは親水性の観点から不飽和モノカルボン酸、さらに好ましいのは（メタ）アクリル酸である。（ｂ）のうち好ましいのは親水性の観点から（ｂ１）、さらに好ましいのヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、特に２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートである。（ｃ）のうち好ましいのは、硬化性の観点から（ｃ１）、さらに好ましいのは脂環基含有（メタ）アクリレートである。
【００４２】
（Ｅ１）における、（ａ）／（ｂ）／（ｃ）のモル比は現像性の観点から、好ましくは１０〜８０／２０〜９０／０〜７０、さらに好ましくは１５〜７５／２５〜８５／０〜６０である。
（Ｅ１）のＭｎは、硬化物となったときの硬度と現像性の観点から、通常３，０００を超え１００，０００以下、好ましくは３，５００〜８０，０００、さらに好ましくは４，０００〜５０，０００である。Ｍｎが３，０００を超えると樹脂硬度が充分に発揮でき、また、Ｍｎが１００，０００以下であれば現像性が良好に発揮できる。
【００４３】
（Ｅ１）は、モノマーを必要により（Ｄ４）で希釈した後、ラジカル重合開始剤によって重合を行う事で得ることが出来る。
（Ｄ４）を使用する場合、その使用量は特に限定されないが、モノマーの合計重量に基づいて通常、１〜４００重量％、好ましくは５〜３００％（以下において、％は特に限定しない限り重量％を表す）、特に好ましくは１０〜２００％である。
重合開始剤としては、前述と同様の過酸化物及びアゾ化合物が挙げられ、好ましいものとしては、アゾ化合物である。重合開始剤の使用量としては、モノマーの合計重量に基づいて、通常、０．０００１〜２０％が好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１５％、特に好ましくは０．００５〜１０％である。反応温度および反応時間は、ラジカル重合開始剤の種類により適宜決定される。
（Ｅ）の含有量は、（Ｑ）の固形分の重量に基づいて現像速度の観点から、好ましくは０．１〜２０％、さらに好ましくは３〜１０％である。
【００４４】
本発明において、（Ｑ）中の１つの成分として用いられる多官能アクリレートモノマー（Ｂ）（以下、単に（Ｂ）と表記する場合がある）としては、公知の多官能アクリレートモノマーであれば、とくに限定されずに用いられ、２官能アクリレート（Ｂ１）、３官能アクリレート（Ｂ２）および４〜６官能アクリレート（Ｂ３）が挙げられる。（Ｂ）は１種で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００４５】
２官能アクリレート（Ｂ１）としては、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、グリセリンジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレート、１，１０−デカンジオールジアクリレート、３−メチル−１，５−ペンタンジオールジアクリレート、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオールジアクリレート、ジメチロール−トリシクロデカンジアクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物のジアクリレート、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド付加物のジアクリレート、トリメチロールプロパンアクリル酸安息香酸エステル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルアクリル酸付加物、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、２−アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート等が例示される。
【００４６】
３官能アクリレート（Ｂ２）としては、グリセリントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド付加物のトリアクリレート等が例示される。
【００４７】
４〜６官能アクリレート（Ｂ３）としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が例示される。
【００４８】
これらのうち好ましいものは、（Ｂ２）及び（Ｂ３）、最も好ましいものは、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートである。市場から容易に入手できる（Ｂ）としては、例えば、アロニックスＭ−１０１、Ｍ−２０８、Ｍ−２４０、Ｍ−３０５、Ｍ−４００（以上、東亞合成製）等が挙げられる。
【００４９】
また、本発明における（Ｂ）には、その一部に感光性アクリルオリゴマー（Ｂ４）を含んでいてもよい。（Ｂ４）としては、Ｍｎが１，０００以下であって、カルボキシル基を含有せず、１分子中に２個以上のアクリロイル基を有するウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレートおよびポリエーテルアクリレートなどが挙げられる。
（Ｂ）中の（Ｂ４）の含有量は好ましくは５０％以下、さらに好ましくは３０％以下である。
【００５０】
（Ｑ）の固形分の重量に基づく（Ｂ）の含有量は、１０〜６０％が好ましく、さらに好ましくは２０〜５５％、特に好ましくは２５〜５０％である。１０％以上であれば、硬化物の硬度がさらに好ましくなり、６０％以下であれば、さらに現像性が良好になる。
【００５１】
（Ｑ）中の１つの成分として用いられる光重合開始剤（Ｃ）（以下、単に（Ｃ）と表記する場合がある）としては、光ラジカル重合開始剤が用いられる。例えば、ベンジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンゾフェノン、メチルベンゾイルフォーメート、イソプロピルチオキサントン、４，４−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、３，３−ジメチル−４−メトキシ−ベンゾフェノン、アントラキノン、２−メチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、アセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、４−イソプロピル−２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−メチル−１−（４−（メチルチオ）フェニル）−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−クロロチオキサントン、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジイソプロピルチオキサントン、ミヒラーズケトン、ベンジル−２，４，６−（トリハロメチル）トリアジン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９ーアクリジニル）ヘプタン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパン、ジメチルベンジルケタール、トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、トリブロモメチルフェニルスルホン及び２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等が挙げられる。（Ｃ）は１種で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５２】
（Ｃ）は、市販のものが容易に入手することができ、例えばイルガキュア９０７、イルガキュア３６９（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）等が挙げられる。
【００５３】
（Ｑ）の固形分の重量に基づく（Ｃ）の含有量は、０．０００１〜２０％が好ましく、さらに好ましくは０．００１〜１５％、特に好ましくは０．００５〜１０％である。０．０００１％以上であれば硬化物の硬度がさらに良好に発揮でき、２０％以下であれば現像性がさらに良好に発揮できる。
【００５４】
（Ｑ）は、必要によりさらにその他の成分（Ｄ）を含有していてもよい。
（Ｄ）としては、無機微粒子（Ｄ１）、増感剤（Ｄ２）、重合禁止剤（Ｄ３）、溶剤（Ｄ４）、顔料（Ｄ５）並びにその他の添加剤（Ｄ６）（例えば、化学めっき抑制剤、シランカップリング剤、レベリング剤、染料、蛍光増白剤、黄変防止剤、酸化防止剤、消泡剤、消臭剤、芳香剤、殺菌剤、防菌剤及び防かび剤等）が挙げられる。
【００５５】
無機微粒子（Ｄ１）としては、金属酸化物（Ｄ１１）および金属塩（Ｄ１２）が使用できる。
（Ｄ１１）としては、公知のもの、例えば、酸化チタン、酸化ケイ素および酸化アルミニウム等が挙げられる。
（Ｄ１２）としては、公知のもの、例えば、炭酸カルシウムおよび硫酸バリウム等が挙げられる。
これらのうちで、耐熱性および耐薬品性の観点から、（Ｄ１１）が好ましく、さらに好ましくは、酸化ケイ素および酸化チタン、特に酸化ケイ素が好ましい。
（Ｄ１）は、体積平均粒子径が好ましくは１〜５，０００ｎｍ、さらに好ましくは１０〜３０，０００ｎｍ、特に好ましくは１００〜２，０００ｎｍのものである。
体積平均粒子径の測定は、例えばトルエンを溶媒にしてレーザー散乱式粒度分布測定装置ＬＡ−９２０（堀場製作所（株）製）で行うことができる。
【００５６】
（Ｑ）の固形分の重量に基づく（Ｄ１）の含有量は、通常０〜５０％、好ましくは１〜４５％、特に好ましくは２〜４０％である。５０％以下であれば柔軟性がさらに良好に発揮でき、２〜４０％であれば、特に硬化物の硬度が優れる。
【００５７】
増感剤（Ｄ２）としては、ニトロ化合物（例えば、アントラキノン、１，２−ナフトキノン、１，４−ナフトキノン，ベンズアントロン、ｐ，ｐ’−テトラメチルジアミノベンゾフェノン、クロラニル等のカルボニル化合物、ニトロベンゼン、ｐ−ジニトロベンゼン及び２−ニトロフルオレン等）、芳香族炭化水素（例えば、アントラセン及びクリセン等）、硫黄化合物（例えば、ジフェニルジスルフィド等）及び窒素化合物（例えば、ニトロアニリン、２−クロロ−４−ニトロアニリン、５−ニトロ−２−アミノトルエン及びテトラシアノエチレン等）等が用いられる。
【００５８】
光重合開始剤（Ｃ）の重量に基づく増感剤（Ｄ２）の含有量は、通常０．１〜１００％、好ましくは０．５〜８０％、特に好ましくは１〜７０％である。
【００５９】
重合禁止剤（Ｄ３）としては、特に限定はなく、通常の反応に使用するものが用いられる。具体的には、ジフェニルヒドラジル、トリ−ｐ−ニトルフェニルメチル、Ｎ−（３−Ｎ−オキシアニリノ−１，３−ジメチルブチリデン）アニリンオキシド、ｐ−ベンゾキノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、ニトロベンゼン、ピクリン酸、ジチオベンゾイルジスルフィド及び塩化銅（ＩＩ）等が挙げられる。
【００６０】
（Ｑ）の固形分の重量に基づく重合禁止剤（Ｄ３）の含有量は、０〜１．０％が好ましく、さらに好ましくは０．０１〜０．５％、特に好ましくは０．０２〜０．１％である。
【００６１】
溶剤としては、上述の（Ａ１）の製造に使用される溶剤（Ｄ４）と同様のものを使用できる。溶剤を使用する場合、溶剤の配合量は、特に限定されないが、（Ｑ）の固形分の重量に基づいて、通常５０〜１，０００％が好ましく、さらに好ましくは７０〜９００％、特に好ましくは８０〜８００％である。
【００６２】
顔料（Ｄ５）としては通常のものが使用可能であり、例えば、体質顔料；炭酸カルシウム、マイカ、カオリン、タルク、ケイ酸アルミ、硫酸バリウム、微粉末シリカ、クレーなど、着色用顔料；フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、酸化チタン、カーボンブラックなどが挙げられ、これらを単独または混合して用いることができる。。これらのうち好ましくは硫酸バリウム、タルク、微粉末シリカ、フタロシアニングリーンであり、特に好ましくはタルク、微粉末シリカ、フタロシアニングリーンである。
【００６３】
各顔料成分の感光性樹脂組成物に対する使用量は、体質顔料の場合通常 ０．５〜５０ｗｔ％、好ましくは１〜４０ｗｔ％である。着色用顔料は通常０．１〜５ｗｔ％、好ましくは０．５〜３ｗｔ％である。
【００６４】
化学めっき抑制剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、アジミドトルエン、チオ尿素、メルカプトベンゾチアゾールなどが挙げられる。レベリング剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、モンサント社製モダフロー等が使用できる。消泡剤としては通常のものが使用可能であり、例えば、シリコーンオイル系消泡剤が挙げられる。
【００６５】
（Ｄ）の含有量の合計は、（Ｑ）の固形分の重量に基づいて、通常１，０００％以下、好ましくは８０〜８００％である。
【００６６】
本発明の感光性樹脂組成物（Ｑ）は、例えば、プラネタリーミキサーなどの公知の混合装置により、上記の各成分を混合等することにより得ることができる。
上記のようにして得られる本発明の感光性樹脂組成物（Ｑ）は、（Ｑ）の固形分の重量に基づくアクリロイル基濃度が、硬度の観点から６．０ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、さらに好ましくは６．０〜１０．０ｍｍｏｌ／ｇ、特に好ましくは７．３〜９．０ｍｍｏｌ／ｇである。
また（Ｑ）は、通常、室温で液状であり、その粘度は、２５℃で０．１ｍＰａ・ｓ〜１０，０００ｍＰａ・ｓ、好ましくは１ｍＰａ・ｓ〜８，０００ｍＰａ・ｓである。なお、当該粘度は、ＢＬ型粘度計で測定することができる。
【００６７】
本発明における他の実施態様であるフォトソルダーレジストは、上記の感光性樹脂組成物（Ｑ）からなるプリント配線板用フォトソルダーレジストである。
本発明のフォトソルダーレジストは、種々のプリント配線板用銅張り積層板、アルミ板等の金属板及び銅箔のないプラスティック板、（紙基材フェノール樹脂積層板、ガラス布基材ポリエステル樹脂積層板、ガラス布基材エポキシ樹脂積層板、ポリサルフォン樹脂積層板、ポリエーテルサルフォン樹脂積層板、ポリエーテルイミド樹脂積層板、ガラス布基材テフロン樹脂積層板、ポリイミド樹脂積層板等）に適用可能である。
【００６８】
フォトソルダーレジストの膜厚としては、通常０．５〜５００μｍ、好ましくは５〜１００μｍである。
【００６９】
フォトソルダーレジストの適用方法としては、スクリーン印刷機、ロールコーター、カーテンコーターなどで塗布  する方法、スプレー、刷毛、ヘラ等で塗る方法、及び浸漬する方法が挙げられる。
【００７０】
現像液としては通常の工業用水、上水、イオン交換水、通常の界面活性剤の水溶液、無機酸、有機酸の水溶液、アルコール系有機溶剤及びその水溶液が挙げられ、これらは単独または併用してもよい。
【００７１】
界面活性剤としては通常のカチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤が使用可能である。
界面活性剤は通常０．０１〜２%、好ましくは０．０５〜１%の濃度で使用される。
無機酸としてはほう酸、燐酸、塩酸、硫酸等、有機酸としては酢酸、蟻酸、酒石酸、ヒドロキシ酢酸等が挙げられる。
無機酸、有機酸は通常０．１〜１０%、好ましくは０．５〜５%の濃度で使用される。
【００７２】
アルコール系有機溶剤としては、脂肪族アルコールとしてメタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、i-プロパノール、ｎ−ブタノール等）、セロソルブとしてメチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等、カービトールとしてメチルカービトール、エチルカービトール等が挙げられる。
アルコール系有機溶剤は通常１０〜１００%、好ましくは２０〜５０%の濃度で使用される。
【００７３】
現像方法としてはシャワー、スプレー、浸漬等の方法が挙げられる。これらのうち好ましくは、スプレーである。
【００７４】
硬化方法は、通常、光照射による方法及び熱硬化による方法が使用できるが、それぞれ単独の硬化方法でもよいし、両者を併用してもよい。好ましくは光照射により硬化したのちに熱硬化するという二つの方法の併用がよい。
【００７５】
光による硬化には、次のような照射光源が適当である。例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電子線照射装置、Ｘ線照射装置、レーザー（アルゴンレーザー、色素レーザー、窒素レーザー、ヘリウムカドミウムレーザー等）等がある。これらのうち、好ましくは高圧水銀灯及び超高圧水銀灯である。
【００７６】
加熱装置としては、通常の循風乾燥器、電気炉、ガス炉、遠赤外炉等が使用できる。
【００７７】
加熱硬化温度は通常１２０℃以上、好ましくは１３５℃〜２００℃である。硬化時間は、１０分〜１２０分、好ましくは２０分〜６０分である。
本発明の感光性樹脂組成物は、フォトソルダーレジスト以外に、液晶ディスプレイ基板用フォトレジスト、プリント配線基板用エッチングレジスト、プリント配線基板用メッキレジストなどの用途にも使用できる。
【００７８】
［実施例］
以下、実施例を以て本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。以下、部は重量部を意味する。
[親水性ポリマーの調製]
＜製造例１＞
加熱冷却・撹拌装置、環流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたガラス製コルベンに、イソボルニルメタクリレート３０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５０部、メタクリル酸２０部、およびシクロヘキサノン１５０部を仕込み、８０℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル（Ｖ−６０：和光純薬製、以下ＡＩＢＮと称す）３０部をシクロヘキサノン５０部に溶解した溶液５５部を、８０℃のコルベン中に１０分間で滴下し、さらに同温度で３時間反応させた。その後、シクロヘキサノンで樹脂濃度が２５重量％となるように希釈し、６０℃に温調した。このポリマー溶液に、イソシアナトエチルアクリレート（昭和電工■製、以下AＯＩと称す）２２．５部、シクロヘキサノン７０部、ジブチルスズジラウレ
ート１．１部、およびヒドロキノン１．１部を仕込み、６０℃で２時間反応させ、アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ−１：Ｍｎ：２,３００、ＳＰ値：１１．８６、ＨＬＢ値：１１．９８、酸価：１０２ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリロイル基濃度：１．２５ｍｍｏｌ／ｇ）のシクロヘキサノン溶液を得た（固形分含量は２５％）。
なお、ＭｎはＧＰＣ測定機器（ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ、東ソー（株）製）、カラム（ＴＳＫｇｅｌ  ＧＭＨＸＬ２本＋ＴＳＫｇｅｌ  Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ  ＨＸＬ−Ｍ、東ソー（株）製）を用い、ＧＰＣ法により測定されるポリスチレン換算の値として求めた。また、ＳＰ値、ＨＬＢ値、酸価、アクリロイル基濃度は、前述のようにして求めた。以下の製造例および比較例についても同様の測定法である。
【００７９】
＜製造例２＞
製造例１と同様のコルベンに、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂ＥＯＣＮ―１０２０（日本化薬製  エポキシ当量２００）２００部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２４５部を仕込み、１１０℃まで加熱して均一に溶解させた。続いて、アクリル酸７６部、トリフェニルホスフィン２部、およびｐ−メトキシフェノール  ０．２部を仕込み、１１０℃にて１０時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸９１部を仕込み、さらに９０℃５時間反応させ、アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ−２：Ｍｎ：２,２００、ＳＰ値：１１．２６、ＨＬＢ値：６．４２、酸価：９１ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリロイル基濃度：２．８６ｍｍｏｌ／ｇ）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た（固形分含量は６０％）。
【００８０】
＜製造例３＞
製造例１と同様のコルベンに、フェノールノボラック型エポキシ樹脂ＥＰＰＮ―２０１（日本化薬製  エポキシ当量１９０）１９０部とプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２３８部を仕込み、１１０℃まで加熱して均一溶解させた。続いて、アクリル酸７６部、トリフェニルホスフィン２部、およびｐ−メトキシフェノール０．２部を仕込み、１１０℃にて１０時間反応させた。反応物にさらにテトラヒドロ無水フタル酸９１部を仕込み、さらに９０℃５時間反応させ、アクリロイル基とカルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ａ−３：Ｍｎ：２,３００、ＳＰ値：１１．９１、ＨＬＢ値：６．８１、酸価：９４ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリロイル基濃度：２．９４ｍｍｏｌ／ｇ）のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液を得た（固形分含量は６０％）。
【００８１】
＜製造例４＞
製造例１と同様のコルベンに、イソボルニルメタクリレート３０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５０部、メタクリル酸２０部、およびシクロヘキサノン１５０部を仕込み、８０℃まで加熱した。系内の気相部分を窒素で置換したのち、あらかじめ作成しておいたアゾビスイソブチロニトリル（Ｖ−６０：和光純薬製、以下ＡＩＢＮと称す）５部をシクロヘキサノン５０部に溶解した溶液５５部を、８０℃のコルベン中に１０分間で滴下し、さらに同温度で３時間反応させた。その後、シクロヘキサノンで樹脂濃度が２５重量％となるように希釈し、６０℃に温調し、カルボキシル基を有する親水性ポリマー（Ｅ−１：Ｍｎ：２１,０００、ＳＰ値：１２．２４、ＨＬＢ値：１２．３８、酸価：１３８ｍｇＫＯＨ／ｇ）のシクロヘキサノン溶液を得た（固形分含量は２５％）。
【００８２】
＜比較製造例１＞
製造例１のイソシアナトエチルアクリレートをイソシアナトエチルメタクリレートに置き換えた以外は同様にして、比較のための親水性ポリマー（Ａ’−１：Ｍｎ：２,３００、ＳＰ値：１１．８２、ＨＬＢ値：１１．８７、酸価：１０２ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリロイル基濃度：０ｍｍｏｌ／ｇ）のシクロヘキサノン溶液を得た（固形分含量は２５％）。
【００８３】
＜比較製造例２＞
製造例１のイソボルニルメタクリレートの仕込み量を３０部から５０部へ変更し、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５０部、メタクリル酸の使用量を０部にした以外は同様にして、比較のための親水性ポリマー（Ａ’−２：Ｍｎ：２,１００、ＳＰ値：１１．２４、ＨＬＢ値：８．０３、酸価：０ｍｇＫＯＨ／ｇ、アクリロイル基濃度：０ｍｍｏｌ／ｇ）のシクロヘキサノン溶液を得た（固形分含量は２５％）。
【００８４】
＜実施例１〜４および比較例１〜３＞
［フォトソルダーレジストの調製］
表１に示した配合部数に従い、ガラス製の容器に（Ａ−１）の溶液〜（Ａ−３）の溶液、（Ａ'−１）の溶液および（Ａ'−２）の溶液から選ばれる１種を仕込み、さらに（Ｂ−１）と（Ｃ−１）、並びに（Ｅ−１）の溶液を仕込み、均一になるまで攪拌し、さらに添加剤を添加して三本ロールミルにより混練してフォトソルダーレジストを調製した。
なお、（Ｑ）のアクリロイル基濃度は表１に示す。当該濃度は前述のようにして求めた。また、表１中の各記号は以下のものを示す。
【００８５】
Ｂ−１（多官能アクリレートモノマー）
：ネオマーDA-600（ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトー    ルヘキサアクリレートの混合物  ：三洋化成工業（株）製）
Ｃ−１（光重合開始剤）
：イルガキュア907（2-メチル-1-[4-（メチルチオ）フェニル]-2-モルフォリノプロパ  ン-1-オン：チバ・スペシャルティ・ケミカルズ（株）製）
Ｄ１−１（無機微粒子）
：硫酸バリウム
Ｄ４−１（溶剤）
：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
【００８６】
【表１】
0004611134.tif 000002
【００８７】
実施例１〜４および比較例１〜３で得られたフォトソルダーレジストを以下の評価方法で評価した。
（１）現像性 ・・・フォトソルダーレジストを、パターン形成された銅箔基板上に全面塗布し、８０℃で９０分間、塗膜の乾燥を行い、１％炭酸ナトリウム水溶液でのスプレー現像による現像性を評価した。
◎：目視により残留物無し。
○：目視により残留物わずかにあり。
△：目視により残留物が多い。
×：目視によりパターン形成できていない。
【００８８】
（２）タック性・・・フォトソルダーレジストを、パターン形成された銅箔基板上に全面塗布し、８０℃で２０分間乾燥した。次いで、この基板にネガフィルムを密着させ、露光後、ネガフィルムの張り付きあとの状態を評価した。
◎：塗膜表面にフィルム張り付き痕がない。
○：わずかに塗膜表面にフィルム張り付き痕がある。
△：全面にフィルム張り付き痕がある。
×：フィルムに塗膜が転写している。
【００８９】
（３）塗膜性能・・・フォトソルダーレジストをパターン形成された銅箔基板上に全面塗布し、８０℃で２０分間乾燥した。次いで、この基板にネガフィルムを密着させ、露光後、１％炭酸ナトリウム水溶液で現像処理してパターンを形成した。次に、この基板を１５０℃で６０分間熱硬化 して、硬化塗膜を有する評価基板を作製し、塗膜性能を評価した。
【００９０】
（Ａ）硬度・・ＪＩＳ Ｋ−５４００ ６．１４に準拠して測定した。
（Ｂ）はんだ耐熱性・・硬化塗膜を有する評価基板をＪＩＳ Ｃ ６４８１の試験方法に従って、２６０℃の半田漕に３０秒浸漬後セロハンテープによるピーリング試験を１サイクルとし、計１〜３サイクルを行った後の塗膜状態を観察し、耐熱性を評価した。
◎：３サイクル後も塗膜に変化がない。
○：３サイクル後に僅かに変化している。
△：２サイクル後に変化している。
×：１サイクル後に剥離を生じている。
【００９１】
（Ｃ）耐酸性・・硬化塗膜を有する評価基板を１０％の硫酸水溶液に常温で３０分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の剥がれ、変色について観察し、耐酸性を評価した。
◎：全く変化が認められない。
○：ほんの僅かに変化した。
△：顕著に変化した。
×：塗膜が膨潤して剥離した。
【００９２】
（Ｄ）耐溶剤性・・硬化塗膜を有する評価基板を常温の塩化メチレンに３０分間浸漬したのち、水洗後、セロハン粘着テープによるピーリング試験を行い、レジスト層の剥がれ、変色について観察し、耐溶剤性を評価した。
◎：全く変化が認められない。
○：ほんの僅かに変化した。
△：顕著に変化した。
×：塗膜が膨潤して剥離した。
【００９３】
【表２】
0004611134.tif 000003
【００９４】
表２から判るように、本発明のフォトソルダーレジストを用いることにより、現像性が良好でありかつタック性、及び硬化性（硬度、耐熱性等）に優れたソルダーレジスト皮膜を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明によれば、紫外線露光及び希アルカリ水溶液による現像で画像形成可能であって、現像性に優れ、かつタック性が良好、さら硬度、耐熱性硬化等の硬化性が優れたパターンを与えることができる感光性樹脂組成物を提供できるので、プリント配線板製造用ソルダーレジスト、液晶ディスプレイ基板用フォトレジスト、プリント配線基板用エッチングレジスト、プリント配線基板用メッキレジストとして利用することができる。