(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下方に配置した押上げシリンダにより複数本の連結杆を介して上下動する筒型の摺動枠体を被加工製品を載設する受け台の外周側面に密に上下動自在に嵌合し、上方のプレス用シリンダのロッドには上記摺動枠体が上昇したときに下端面が該枠体上端面に突合密着して該枠体と共に気密な隔室を形成可能な箱蓋型の上治具が取付けられ、上記枠体、受け台又は上治具中には上記隔室形成時に該隔室内に向けて端口が臨むようにした真空引きするための導管が設けられ、上記各連結杆は、中間部が基台上に設置されたテーブルを上下に貫通して、その上端は前記摺動枠体下端に固定され、その下端は前記押上げシリンダのロッドに水平に取付け固定された押上げ板に固定されてなることを特徴とするプレス装置による高真空引き加工装置。
【請求項２】
下方に配置した押上げシリンダにより複数本の連結杆を介して上下動する筒型の摺動枠体を被加工製品を載設する受け台の外周側面に密に上下動自在に嵌合し、上方のプレス用シリンダのロッドには上記摺動枠体が上昇したときに下端面が該枠体上端面に突合密着して該枠体と共に気密な隔室を形成可能な箱蓋型の上治具が取付けられ、上記枠体、受け台又は上治具中には上記隔室形成時に該隔室内に向けて端口が臨むようにした真空引きするための導管が設けられ、上記各連結杆の下端は押上げシリンダのロッド引込み端においては該ロッドに水平に取付け固定された押上げ板に非接触であり、該押上げ板の上昇により該連結杆下端と接して押し上げられるように構成してなることを特徴とするプレス装置による高真空引き加工装置。
【請求項３】
前記各連結杆上端部には圧縮コイルスプリングが巻装されて上側に固定された摺動枠体を上方移動するように賦勢され、かつ該連結杆中間部は基台上に設置されたテーブルを遊貫して、その下端は押上げシリンダのロッドに水平に取付け固定された押上げ板に離脱不能に遊嵌してなる請求項１記載のプレス装置による高真空引き加工装置。
【請求項４】
前記押上げシリンダのロッドには前記各連結杆下端を固定した押上げ板を揺動自在に遊嵌し、該ロッドには圧縮コイルスプリングを巻装して上記押上げ板を該ロッド先端へ向かって押し付けるよう賦勢され、各連結杆中間部は基台上に設置したテーブルを遊貫してなる請求項１記載のプレス装置による高真空引き加工装置。
【請求項５】
上方に配置したプレス用シリンダのロッド下端には押圧用ブロックを下側に取付けた取付板を吊り杆を介して吊持する支持板が取付け固定され、該支持板下面には押下げシリンダが下向きに固定され、上記押圧ブロックの外周面には上記押下げシリンダのロッド下端に取付けた押下げ板に上端を固定されて垂設された複数本の連結杆に吊持されて密に上下摺動自在の筒型の摺動枠体が嵌着されてなり、まず上記押下げシリンダにより摺動枠体だけを降下させ、その下端面を被加工製品を載設する受け台の上面外周部に突合密着させることにより気密な隔室を形成し、次いで上記受け台、枠体又は押圧ブロックに形成した導
管を通じて該隔室内を真空引きし、所定の真空圧に上げてから又は上げながら上記プレス用シリンダの駆動で押圧ブロックを降下させることにより受け台上の被加工製品に対して高真空下で所定の加工を行なうことを特徴とするプレス装置による高真空引き加工方法。
【請求項６】
上方に配置したプレス用シリンダのロッド下端には押圧用ブロックを下側に取付けた取付板を吊り杆を介して吊持する支持板が取付け固定され、該支持板下面には押下げシリンダが下向きに固定され、上記押圧ブロックの外周面には上記押下げシリンダのロッド下端に取付けた押下げ板に上端を固定されて垂設された複数本の連結杆に吊持されて密に上下摺動自在の筒型の摺動枠体が嵌着されてなることを特徴とするプレス装置による高真空引き加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、あらかじめ固定設置された真空隔室を備えた大型の真空設備を必要とせず、プレス装置の作動により隔室を形成して、該隔室内を低真空は勿論のこと、高真空を実現して所定のプレス加工を行なうことができるようにした簡易な高真空引き加工方法とその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、ＩＣカードやプリント回路基板、ＤＶＤディスク、偏光レンズなどの貼り合せをする場合、少しでも気泡が混入すると酸化による腐食や透明度の低下等の問題が生じるため、高真空下で迅速に完全脱気を行なって貼り合せを行なう必要がある。
【０００３】
従来、高真空下でプレス加工を行なう場合には、固定設置した真空隔室にグリス入りシールパッキンを設けた気密な開閉扉を取付け、隔室の天井板に高気密に嵌合するプレス装置のピストンロッドを摺動させるようにしているが、プレス加工用の金型の取付けや治具の微調節、製品の装入・取出しなど全て開閉扉を通じて行なう必要があるため、隔室内に広い空間が必要となり、高真空となるまでの時間がかかると共に、大きな真空ポンプが必要となって、設備も高価となる。また、フィルム基板の貼り着け等のためにヒータを使用する場合には、上下ヒータ間に製品を装入するので、暗い隔室内では危険な作業を伴うことにもなる。
【０００４】
そこで、本出願人は先に特開平９−１８２９９７号公報で、あらかじめ真空隔室を固定設置しておくのではなく、プレス装置のロッド先端に箱型の上治具を取付け、これを降下させることによって加工すべき製品を載設した下治具に被せ、上下両治具の嵌合によって形成される隔室内を真空引きしてから、あるいは真空引きしながら、更にロッドを降下させて所定のプレス加工を行なう方法と装置を提案した。
【０００５】
しかし、この方法は隔室を高真空度、例えば1.333 ×１０-１ｋＰａ（１トール
）以上とすることを想定しておらず、真空隔室の形成方法として、上・下治具の分離状態から上治具の降下によって下治具外周面に上治具内周面を嵌合摺動させるようにしているため、摺動面のパッキンシール溝部分を精密な高圧縮寸法に狭めると、上下治具の嵌合摺動時にシールパッキンの損傷や摩耗変形が生じやすく、シール部分の真空シール用グリスを多量に消費してしまうことともなり、高真空を実現することが非常に困難であり、しかも隔室の形成とプレス加工とをプレス用シリンダ１台のみで行なうため、被加工製品を損傷しないような低圧プレス加工を行なうことも困難となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、本出願人が先に提案した上記方法と装置を改良し、上下治具の結合によって形成される隔室内を容易に高真空とすることができ、プレス加工する前の被加工製品中の完全脱気を迅速に行なうと共に、真空シール用グリスも溝外に逃がすことがなく、シールパッキンの損耗等の問題も解決し、しかも高真空下での低圧プレス加工も可能としたプレス装置による簡易な高真空引き加工方法とその装置を提案するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明では、真空隔室を形成するために上・下治具を結合させるためのシリンダと該隔室内で所定のプレス加工を行なうシリンダとを別のものとし、上下治具の結合は突合せ即ち水平面接合により行ない、その状態で真空引きを行なって高真空下で上治具を降下させることにより、所定のプレス加工を行なうようにしたものである。
【０００８】
即ち、第１に、本発明は、下方に配置した押上げシリンダにより複数本の連結杆を介して上下動する筒型の摺動枠体を被加工製品を載設する受け台の外周側面に密に摺動自在に嵌合し、上方のプレス用シリンダのロッドには箱蓋型の上治具を取付けてなり、まず上記摺動枠体を摺動上昇させてその上端面を上方の上治具下端面に突合密着させることにより気密な隔室を形成し、次いで上記枠体、受け台あるいは上治具に形成した導管を介して上記隔室内を真空引きし、所定の真空圧に上げてから又は上げながら上治具を上記枠体と共に降下させることにより受け台上の被加工製品に対して高真空下で所定の加工を行なうことを特徴とするプレス装置による高真空引き加工方法と装置に関するものである。
【０００９】
この場合、各連結杆はその中間部が基台上に設置されたテーブルを上下に貫通して、その上端は前記摺動枠体下端に固定され、その下端は前記押上げシリンダのロッドに水平に取付け固定された押上げ板に固定する。
【００１０】
あるいは、各連結杆の下端が押上げシリンダのロッド引込み端においては該ロッドに水平に取付け固定された押上げ板に非接触であり、該押上げ板の上昇により該連結杆下端と接して押し上げられるようにしてもよい。
【００１１】
また、各連結杆上端部には圧縮コイルスプリングが巻装されて上側に固定された摺動枠体を上方移動するように賦勢され、かつ該連結杆中間部は基台上に設置されたテーブルを遊貫して、その下端は押上げシリンダのロッドに水平に取付け固定された押上げ板に離脱不能に遊嵌するようにしてもよい。
【００１２】
さらに、押上げシリンダのロッドには各連結杆下端を固定した押上げ板を揺動自在に遊嵌し、該ロッドには圧縮コイルスプリングを巻装して上記押上げ板を該ロッド先端へ向かって押し付けるよう賦勢し、各連結杆中間部は基台上に設置したテーブルを遊貫するように構成することもできる。
【００１３】
また、本発明は第２に、上方に配置したプレス用シリンダのロッド下端には押圧用ブロックを下側に取付けた取付板を吊り杆を介して吊持する支持板が取付け固定され、該支持板下面には押下げシリンダが下向きに固定され、上記押圧ブロックの外周面には上記押下げシリンダのロッド下端に取付けた押下げ板に上端を固定されて垂設された複数本の連結杆に吊持されて密に上下摺動自在の筒型の摺動枠体が嵌着されてなり、まず上記押下げシリンダにより摺動枠体だけを降下させ、その下端面を被加工製品を載設する受け台の上面外周部に突合密着させることにより気密な隔室を形成し、次いで上記受け台、枠体又は押圧ブロックに形成した導管を通じて該隔室内を真空引きし、所定の真空圧に上げてから又は上げながら上記プレス用シリンダの駆動で押圧ブロックを降下させることにより受け台上の被加工製品に対して高真空下で所定の加工を行なうプレス装置による高真空引き加工方法と装置をも提案する。
以下、本発明の方法と装置の実施形態を図により説明する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
図１〜４は、本発明方法を実施するための装置全体の一例を示すもので、１はフレーム２上方に下向きに固定されたプレス装置のシリンダ、３は基台４に上向きに固定された押上げシリンダで、両シリンダ１、３のロッド５、６はその軸心が合致するように互いに対向する。
【００１５】
７はプリント基板やＤＶＤディスク等を構成する熱圧着すべき積層シート等の被加工製品２０を載せる受け台で、該受け台７は基台４上に設置されたテーブル８上に下ヒータ板９を介して固定されている。
【００１６】
この受け台７の外周側面にはその形状にならった円筒形（厚肉ドーナツ型）あるいは角筒形の厚肉な摺動枠体１０が密に上下摺動自在に嵌合している。この枠体１０は後記するように上昇すると真空隔室２１の一部を構成する。１１は下端を上記押上げシリンダ３のロッド６先端に水平に取付け固定された押上げ板１２に固定され、中間部は上記テーブル８を上下に貫通してその上端は上記摺動枠体１０下端に固定してなる複数本（図では２本図示されているが、３本以上が好ましい）の連結杆であり、押上げシリンダ３の駆動により、該連結杆１１を介して摺動枠体１０を受け台７周側面に沿って上昇又は下降させる。
【００１７】
一方、上方のプレスシリンダ１のロッド５下端に水平に取付け固定された取付板１３の下側には上ヒータ板１４を介して周側部が上記摺動枠体１０にならった形状を有する箱蓋型の上治具１５が固定されている。この上治具１５の周側面は上記摺動枠体１０の周側面に合致する外径を有するが、その肉厚は該枠体１０よりも薄く、あるいは同じ肉厚であっても上治具１５の内径の方が枠体１０の内径よりも大として、少なくとも上治具１５下端面と枠体１０上端面とが突合接触したときに、枠体１０上面の内周部側が露呈するようにする。１６は箱蓋型の上治具１５の上底面に固定した押し板である。
【００１８】
１７は上記摺動枠体１０の内周側に寄せて上面に一方の端口を形成した一又は複数の導管で、該導管１７は該枠体１０の肉厚中を通って側面の他方端口に至り、その他方の端口はオイルポンプ等の真空ポンプ（図示せず）に接続されている。
【００１９】
１８、１９は摺動枠体１０の上面及び内周側面に取付けたＯリングのシールパッキンで、このパッキン１８、１９には真空シール用のグリスが充填封入されている。
【００２０】
しかして、受け台７上に載設した例えば熱圧着すべきプリント基板等の積層シートによりなる被加工製品２０を高真空下で熱圧着する場合、まず下方の押上げシリンダ３を作動させて押上げ板１２、連結杆１１を介して受け台７外周面に嵌合する筒型の摺動枠体１０を摺動上昇させて行き（図２参照）、上方の上治具１５下端面に突合させる（図３参照）。なお、枠体１０は受け台７との嵌合から離脱してまで上昇するものではなく、押上げシリンダ３にはそのようなストローク長しか有していない。
【００２１】
上記のようにして枠体１０上端面と上治具１５下端面とが突合して水平面接合すると、受け台７上には摺動枠体１０内周面と上治具１５内面とによって囲まれる気密な隔室２１が形成されることになる（図３参照）。
【００２２】
そこで、枠体１０の一部に開孔した導管１７を通じてオイルポンプ等の真空ポンプにより上記隔室２１内の真空引きを行なう（図３参照）。そして、この隔室２１内の真空度を例えば1.333 ×１０-１ｋＰａ（１トール）以上の高真空度に上げてから、あるいは上げながら、今度は上方のプレスシリンダ１を作動させて上治具１５を降下させて行く（図４参照）。隔室２１内を高真空度に上げると、枠体１０上面と上治具１５下端面とは強固に密着して簡単に分離するようなことはなく、上治具１５の降下の際には、押上げシリンダ３を開放し、又は押上げ用エアを微量排気するようにする。
【００２３】
これにより、隔室２１内は高真空を保持したまま、上治具１５が降下すると共にこれに密着している摺動枠体１０も受け台７外周面を摺動しながら降下して、隔室２１も上下に小さくなって行き、上治具１５上底面の押し板１６が受け台７上の製品２０に圧接する。前記のように、上治具１５及び受け台７はヒータ板１４、９を備えており、該ヒータ板により加熱された上治具１５の押し板１６と受け台７間で加熱加圧された積層シート等の製品２０は高真空下で熱圧着されることにより、気泡を全く残すことなく貼り合せが行なわれることとなる（図４参照）。
【００２４】
このようにして製品２０の貼り合せが完了したら、隔室２１内を大気圧に戻し、しかる後にプレスシリンダ１を逆作動させて上治具１５を上昇させることにより摺動枠体１０との接合を解き、元位置（図２参照）に復帰させて、次の製品の貼り合せのために待機する。
【００２５】
なお、図では隔室２１内を真空引きするための導管１７を摺動枠体１０内に形成しているが、該導管１７はその吸引端口が隔室２１内に臨むものであれば、受け台７あるいは上治具１５内に形成するようにしてもよい。
【００２６】
また、上下のヒータ板１４、９は熱加工する場合に使用するものであるので、熱加工を行なわないときには、該ヒータ板１４、９は不要となる。
【００２７】
図５は、受け台（下治具）７側の機構の他の実施例を示すものである。図１〜４により説明した例では、摺動枠体１０下端に垂設固定した複数本の連結杆１１は、その下端を上下駆動される押上げ板１２に固定するようにして、常に押上げ板１２と共に一体的に上下動させているが、押上げ板１２の主たる目的は、連結杆１１を介して摺動枠体１０を上方摺動させることにより、上方の上治具１５と突合させて真空隔室２１を形成することにある。従って、各連結杆１１下端は押上げ板１２に必ずしも固定する必要はなく、図５に示すように押上げ板１２下降端において連結杆１１下端が押上げ板１２から若干離間していても差支えない。この場合の押上げシリンダ３は摺動枠体１０の上方摺動にのみ使用され、枠体１０の下方移動には何ら寄与せず、枠体１０は真空隔室２１が大気圧に戻ったときに、その自重で自然降下する。
【００２８】
また、図６は更に他の実施例を示すもので、複数本の各連結杆１１の上端部は圧縮コイルスプリング２２が巻装されていて、上側の摺動枠体１０を常に上方移動するように賦勢してある。前記したように、摺動枠体１０を上方移動させて上方にある上治具１５に水平面で突合させることにより隔室２１を形成してから真空引きするのであるが、上記突合に際して、精密かつ正確に水平面で突合しないで、いずれか一方でもわずかな傾きがあると、突合部分に隙間が生じて隔室２１内を真空引きしても、大気を巻き込んで高真空度に上げることもできず、製品２０自体にも悪影響を及ぼすこととなる。
【００２９】
そこで、図６の実施例では、押上げシリンダ３の駆動により摺動枠体１０を摺動上昇させたときに、何らかの理由で該枠体１０上端面にわずかな傾斜が生じても、上治具１５下端面への突合に際しては、即座になじんで均等な押し圧で密着するように、各連結杆１１に枠体１０を押上げる圧縮コイルスプリング２２を設けているのである。これにより、枠体１０と上治具１５が突合したときに、そのシール面の一部にわずかな間隙が生じようとしても、該スプリング２２の押付け力によって即座に密着する。そして、この場合、枠体１０の上治具１５への密着のための補正機能を助けるため、枠体１０下端に固定する連結杆１１の中間部はテーブル８及びその上側の下ヒータ板９に遊び２３をもって貫挿され、また連結杆１１下端は押上げ板１２に強固に固定されることなく、多少ガタを持たせるように離脱不能に遊嵌２４してある。
【００３０】
図７は、図６と同目的のための他の手段を示すもので、この場合には摺動枠体１０を常に上方移動するよう賦勢しておくために、押上げ板１２を押上げシリンダ３のロッド６に固定することなく、遊び２５を持たせて揺動自在にロッド６上端部に嵌合させ、該押上げ板１２の下側のロッド６部分（図７では、ロッド６先端に同軸で細径の短軸２６を一体形成して、該短軸２６に）に圧縮コイルスプリング２７を巻装し、該スプリング２７により押上げ板１３をロッド６（短軸２６）先端に螺合した押上げ板１３の抜け出し防止用ナット２８に向けて常に押し付けるように賦勢してある。
【００３１】
なお、図７の場合、連結杆１１の下端は押上げ板１２に強固に固定するが、その中間部は自由度を持たせる必要があるため、図６の場合と同様にテーブル８や下ヒータ板９中を遊貫して摺動枠体１０下端に固定される（ただし、図７では図示せず）。
【００３２】
以上の実施例では、いずれも摺動枠体１０を下治具側に設け、下方の押上げシリンダの駆動により該枠体１０を上方摺動させて上治具に突合密着させ、真空室となる隔室を形成するようにしたが、この摺動枠体１０を上治具側に取付け、該枠体１０を下方摺動させることにより下治具に突合させて真空隔室を形成するようにしてもよい。
【００３３】
図８は、かかる実施例を示すものである。この場合、下治具側には駆動部は存在しない。図８においては、被加工製品２０を載せる受け台７の肉厚中に真空引きする導管１７が形成されており、その一方端口が受け台７上面に開口してある。
【００３４】
プレスシリンダ１のロッド５下端には、上ヒータ板１４及び上治具としての押圧ブロック２９を下側に固定した取付板１３を吊り杆３０を介して吊持する支持板３１が水平に取付け固定され、該支持板３１の下面中心部には摺動枠体１０駆動用の押下げシリンダ３２がプレスシリンダ１とその軸心を同じくして下向きに取付け固定されている。
【００３５】
摺動枠体１０は上記押圧ブロック２９外周面に密に上下摺動自在に嵌着され、該枠体１０は複数本（少なくとも３本）の連結杆１１に吊持されており、各連結杆１１はその中間部が上ヒータ板１４及びヒータ取付板１３を貫挿して、その上端は押下げシリンダ３２のロッド３３の先端に水平に取付け固定した押下げ板３４に固定してある。
【００３６】
しかして、図８に示す装置によるときは、まず押下げシリンダ３２を駆動して摺動枠体１０を降下させ、その下端面を受け台７の外周部に近い上面に突合密着させて気密な隔室を形成し、次いで該隔室内を受け台７の導管１７を通じて真空引きし、しかる後にプレスシリンダ１を作動させて押圧ブロック２９を受け台７上の製品２０に圧接させるのである。
【００３７】
このように、摺動枠体１０と押圧ブロック２９を上方から別駆動により２段階で降下させることによって、前記と同様に高真空下で気泡等を残すことなく製品に対する貼り合わせ等の加工を行なうことができるのである。３５及び３６は受け台７上面の摺動枠体１０との突合面ならびに摺動枠体１０の押圧ブロック２９外周との摺動面にそれぞれ設けられたＯリングのシールパッキングで、該パッキン３５、３６には真空シール用のグリスが充填封入されていることは前述と同様である。
【００３８】
なお、図８の装置においても、図６に示す場合と同様に（上下逆であるが）、各連結杆１１の摺動枠体１０上側部分に圧縮コイルスプリングを巻装して、該枠体１０を下方移動するよう賦勢しておいたり、図７に示すと同様に（上下逆であるが）、押下げシリンダ３２のロッド３３先端を押下げ板３４軸心部に離脱不能に遊挿して該押下げ板３４が多少揺動できるようにし、かつロッド３３には圧縮コイルスプリングを巻装して押下げ板３４をロッド３３先端方向へ押付けておき、これにより摺動枠体１０下端面が受け台７上面に均等な押し圧で密着し易くなるように構成してもよいことは勿論である。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の方法と装置は上述のようにしてなり、次のような効果を有する。
(1) 従来のような互いに離間した上治具を下治具に被せることにより真空隔室を形成する方法とは異なり、別駆動により移動する摺動枠体と押圧用治具（上治具あるいは押圧ブロック）とを水平面で突合密着させることにより高真空隔室を形成するので、摺動面のパッキンシール溝部分を精密な高圧縮寸法に狭めてもシール用グリスが逃げることがなく、シールパッキンの損耗や変形等を生じることもない。また、上・下治具の圧接により簡単に高気密を実現することができるので、隔室内を迅速に高真空度に上げて製品中の完全脱気を行なうことができる。
(2) 隔室形成前は上・下治具間に広い作業空間が得られるので、上下治具の交換や治具の微調節、被加工製品の装入・取出しが容易となると共に、下治具全てをスライドテーブル等に取り付けて移動させることが可能となるので、被加工製品を保持したまま下治具をこのプレス装置から別の位置に移動させ、他の装置への被加工製品の自動装入や自動取り出しが可能となり、より高能率な全自動化も可能となる。
である。
(3) ＩＣカード、ＤＶＤディスク、プリント回路基板、偏光レンズなど、気泡が全く入らない完全貼り付けが可能となり、またフィルムの成型、ＤＶＤディスク上の微細なエンボス加工、粉体の脱気加圧成型、液体の脱気混合等の高真空プレス加工も可能となる。
(4) 上・下治具の圧接による高真空隔室形成のための圧接用シリンダとプレス加工用シリンダが異なるため、例えばプレス用シリンダを圧接用シリンダより低圧にして、ＩＣカード内に内蔵しているＩＣ等を損傷することなく低圧密着による貼り付けをするような加工も可能となる。
(5) 装置の構造が簡単であり、小型の装置で短時間に高真空隔室が形成でき、高真空を確実に保持したまま種々のプレス加工を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明装置の正面説明図である。
【図２】  図１の装置の作用説明図であり、隔室形成前の状態を示している。
【図３】  図１の装置の作用説明図であり、隔室形成直後の状態を示している。
【図４】  図１の装置の作用説明図であり、真空隔室を形成した状態でプレス加工を行なっている状態を示している。
【図５】  本発明による下治具側の他の実施例を示す正面説明図である。
【図６】  本発明による下治具側の更に他の実施例を示す正面説明図である。
【図７】  本発明による下治具側の更に他の実施例を示す正面説明図である。
【図８】  本発明装置の更に他の実施例を示す正面説明図である。
【符号の説明】
１−プレス用シリンダ
２−フレーム
３−押上げシリンダ
４−基台
５−ロッド
６−ロッド
７−受け台
８−テーブル
９−下ヒータ板
１０−摺動枠体
１１−連結杆
１２−押上げ板
１３−取付板
１４−上ヒータ板
１５−上治具
１６−押し板
１７−導管
１８−シールパッキン
１９−シールパッキン
２０−被加工製品
２１−真空隔室
２２−圧縮コイルスプリング
２３−遊び
２４−遊嵌部
２５−遊び
２６−短軸
２７−圧縮コイルスプリング
２８−ナット
２９−押圧ブロック
３０−吊り杆
３１−支持板
３２−押下げシリンダ
３３−ロッド
３４−押下げ板
３５−シールパッキン
３６−シールパッキン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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