(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素炎イオン化検出器と、水素炎イオン化検出器に試料ガスを供給する試料ガス供給路と、試料ガス供給路に設けられた供給弁と、水素炎イオン化検出器を加温するヒーターと、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したか否かを判別する安定判別演算器とを備え、
ヒーターをオンとした後の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、水素炎イオン化検出器への試料ガス又は校正ガスの供給を開始し、
試料ガスが供給されている際の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、供給弁により試料ガス供給路を遮断して水素炎イオン化検出器への試料ガスの供給を停止することを特徴とする水素炎イオン化形分析計。
【請求項２】
さらに、水素炎イオン化検出器にゼロガスを供給するゼロガス供給路を備え、ゼロガスが供給されている際の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、水素炎イオン化検出器への試料ガス又は校正ガスの供給を開始することを特徴とする請求項１に記載の水素炎イオン化形分析計。
【請求項３】
測定対象が揮発性有機化合物濃度である請求項１又は２に記載の水素炎イオン化形分析計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水素炎イオン化形分析計、特に揮発性有機化合物濃度を測定するのに適した水素炎イオン化形分析計に関する。
【背景技術】
【０００２】
揮発性有機化合物濃度の測定法としては、触媒酸化−非分散型赤外線分析計（以下「ＮＤＩＲ計」という。）を用いる方法、水素炎イオン化形分析計（以下「ＦＩＤ計」という場合がある。）を用いる方法が知られている。
ＦＩＤ計の水素炎イオン化検出器（以下「ＦＩＤ検出器」という。）は、揮発性有機化合物の全体量を一度に検出するものであるが、ＦＩＤ検出器の上流側に分離カラムを配したガスクロマトグラフ装置も知られている（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００３−３０２３７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
平成１８年４月１日施行の大気汚染防止法施行規則第１５条の２及び第１５条の３第１号に規定する揮発性有機化合物濃度は、環境省告示第６１号（以下単に「告示」という。）に従って測定するものとされている。
この告示によれば、揮発性有機化合物濃度は、ＮＤＩＲ計又はＦＩＤ計により測定した有機化合物濃度から所定の除外物質の濃度を差し引いた濃度であるが、その値が規制値を越えていない場合には、ＮＤＩＲ計又はＦＩＤ計により測定した有機化合物濃度そのままの値であるとされている。また、除外物質については、ＦＩＤ検出器を用いるガスクロマトグラフ法（ＧＣ−ＦＩＤ）、電子捕獲検出器を用いるガスクロマトグラフ法（ＧＣ−ＥＣＤ）、質量分析計を用いるガスクロマトグラフ法（ＧＣ−ＭＳ）の何れかによって測定するものと定められている。
【０００４】
また、告示に基づく測定法によれば、測定対象となる試料ガスは捕集バッグに採取しなければならないとされている。そして、告示に基づく採取方法には、０．５〜５Ｌ／分の流量の制御ができる流量調整バルブを用いるように規定されており、かつ、試料採取時間は２０分又は一工程とされている。
したがって、採取される試料ガスの量は１００Ｌより多くなることはない。通常は１Ｌ／分の流量で２０分間採取して２０Ｌの試料ガスが１つの捕集バッグに採取される。
【０００５】
ＦＩＤ計による測定値が一定値を超えた場合には、同一の試料ガスで除外物質の測定を行うことが必要なので、捕集バッグ内の試料ガスをＦＩＤ計による測定で使い切ってしまわずに、できるだけ多く残しておくことが望ましい。
しかし、捕集バッグ内の試料ガスは、上述のように限られた量である。一方、ＦＩＤ計による試料ガスの測定値が安定するまでの時間は一定とは限らない。例えば、試料ガス中に吸着しやすい物質が多く含まれている場合には時間がかかることがわかっている。
したがって、除外物質の測定に必要な試料ガスを残そうとして、一定時間経過後に試料ガスの供給を停止して測定を終了するようにしてしまうと、ＦＩＤ計の測定値が安定する前に測定が打ち切られてしまう場合がある。すなわち試料ガスの正しい測定値が得られないおそれがある。この場合、ＦＩＤ計の測定からやり直ししなければならない事態も予想される。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、ＦＩＤ計の測定値を確実に取得できると共に、できるだけ多くの試料ガスを捕集バッグ中に残し、再度の試料採取を行うことなく、除外物質の測定も行える可能性が高いＦＩＤ計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を達成するために、本発明は、以下の構成を採用した。
［１］水素炎イオン化検出器と、水素炎イオン化検出器に試料ガスを供給する試料ガス供給路と、試料ガス供給路に設けられた供給弁と、水素炎イオン化検出器を加温するヒーターと、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したか否かを判別する安定判別演算器とを備え、ヒーターをオンとした後の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、水素炎イオン化検出器への試料ガス又は校正ガスの供給を開始し、試料ガスが供給されている際の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、供給弁により試料ガス供給路を遮断して水素炎イオン化検出器への試料ガスの供給を停止することを特徴とする水素炎イオン化形分析計。
【０００８】
［２］さらに、水素炎イオン化検出器にゼロガスを供給するゼロガス供給路を備え、ゼロガスが供給されている際の水素炎イオン化検出器の出力値について、安定判別演算器が安定したと判断したときに、水素炎イオン化検出器への試料ガス又は校正ガスの供給を開始することを特徴とする［１］に記載の水素炎イオン化形分析計。
［３］測定対象が揮発性有機化合物濃度である［１］又は［２］に記載の水素炎イオン化形分析計。
【発明の効果】
【０００９】
［１］の発明によれば、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したことを確認してから試料ガスの供給を遮断するので、ＦＩＤ計の測定値を確実に取得することができる。また、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したことを確認したときに試料ガスの供給を遮断するので、可能な限り多くの試料ガスを捕集バッグ中に残すことが可能である。そのため、再度の試料採取を行うことなく、ＧＣ−ＦＩＤ等による除外物質の測定も行える可能性が高い。
また、暖機運転により水素炎イオン化検出器の出力値が安定したことを確認してから試料ガス又は校正ガスの供給を開始するので、試料ガス又は校正ガスを供給したときの出力値が早期に安定し、これらのガスの使用量を最小限に抑えることができる。また、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したことを確認したときに暖機運転を終了して試料ガス等の供給を開始するので、暖機運転を必要充分な時間で終了することができる。
［２］の発明によれば、ゼロガスによって、ＦＩＤ計内のガスを充分にパージした後に試料ガス又は校正ガスの供給を開始するので、試料ガス又は校正ガスを供給したときの出力値が早期に安定し、これらのガスの使用量を最小限に抑えることができる。また、水素炎イオン化検出器の出力値が安定したことを確認したときにパージを終了して試料ガス等の供給を開始するので、パージを必要充分な時間で終了することができる。
［３］の発明によれば、環境省の告示に従って、揮発性有機化合物濃度を適格かつ効率良く測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の一実施形態に係るＦＩＤ計を、図１を参照しつつ説明する。
なお、図１に示した各弁はいずれも電磁弁であり、図中白の三角で示したポートはオフのときのみに開となる常開ポート、図中黒の三角で示したポートはオンのときのみに開となる常閉ポート、図中白と黒の三角で示したポートは、オンオフにかかわらず開となる共通ポートである。
【００１１】
本実施形態のＦＩＤ計は、試料ガス入口１０ａから排出口１０ｂまでの試料ガス供給路１０を備えている。この試料ガス供給路１０には、試料ガス入口１０ａ側から、ポンプＰ１、三方弁ＳＶ１、三方弁ＳＶ２（供給弁）、キャピラリーＣＰ１、ＦＩＤ検出器１が順次設けられている。
【００１２】
三方弁ＳＶ１は、共通ポートと常開ポートを用いて、三方弁ＳＶ２は、共通ポートと常閉ポートを用いて試料ガス供給路１０に設けられている。
三方弁ＳＶ１の常閉ポートには、上流端が校正ガス入口２０ａである校正ガス導入路２０が接続されている。校正ガス導入路２０と、校正ガス導入路２０が合流した地点より下流側の試料ガス供給路１０が、校正ガス供給路となっている。
三方弁ＳＶ２の常開ポートにはゼロガス導入路３１が接続されている。このゼロガス導入路３１は、上流端が空気導入口３０ａである空気導入路３０の下流側に連結している。ゼロガス導入路３１と、ゼロガス導入路３１が合流した地点より下流側の試料ガス供給路１０が、本発明のゼロガス供給路となっている。
また、ＦＩＤ検出器１には、助燃ガス導入路３２が接続されており、助燃ガス導入路３２にはキャピラリーＣＰ２が設けられている。この助燃ガス導入路３２も空気導入路３０の下流側に連結している。
【００１３】
空気導入路３０には、ポンプＰ２と空気中の有機物を取り除くための燃焼炉３３が設けられている。また、上流端が水素ガス入口４０ａである水素ガス導入路４０が、試料ガス供給路１０の三方弁ＳＶ２より下流側であって、ＦＩＤ検出器１より上流側に接続している。水素ガス導入路４０には、常閉弁である二方弁ＳＶ３とキャピラリーＣＰ３が設けられている。
【００１４】
ＦＩＤ検出器１は、ヒーターで内部が加温されるオーブン（図示せず）に収容され、所定温度（通常６０℃±１℃）に加温されるようになっている。また、キャピラリーＣＰ１〜ＣＰ３も同一のオーブン内に収容され、一定温度に加温されるようになっている。
ＦＩＤ計は、ＦＩＤ検出器１に試料ガス、水素ガス及び助燃ガスを一定の割合で供給して燃焼させ、試料ガス中の有機化合物の炭素がイオン化する際に流れる電流を検出するものである。したがって、安定した測定値を得るためには、常に一定量、一定割合の試料ガス、水素ガス、助燃ガスがＦＩＤ検出器１に供給されるようにしなければならない。一方、気体の流量は温度の影響を受けて大きく変動する。そのため、流量を決めるためのキャピラリーＣＰ１〜ＣＰ３とＦＩＤ検出器１とは、一定の温度に保たれるようにすることが必要である。
【００１５】
ＦＩＤ検出器１の点火、オーブンのヒーター、三方弁ＳＶ１と三方弁ＳＶ２、二方弁ＳＶ３、及びポンプＰ１，Ｐ２は、シーケンス駆動回路Ｃ１により、制御されるようになっている。また、ＦＩＤ検出器１の信号は安定判別演算器Ｃ２に供給され、安定判別演算器Ｃ２によって、安定しているか否かの判別ができるようになっている。また、安定判別演算器Ｃ２の判別結果は、シーケンス駆動回路Ｃ１に与えられるようになっている。
【００１６】
本実施形態のＦＩＤ計は、暖機運転を行う暖機ステップ、校正ガスによる校正ステップ、試料ガスを測定する測定ステップ、測定ステップの前後に行うパージステップ、試料ガス測定終了後の終了ステップ等の一連の動作を自動的に行うものである。本実施形態のＦＩＤ計は、これら各ステップの終了時点を、各々安定判別演算器Ｃ２による安定判別の結果に基づき決定するようになっている。
以下、安定判別について説明した後、各ステップについて詳述する。
【００１７】
［安定判別］
安定したか否かの判別（安定判別）は例えば以下のように行う。まず、時刻Ｔ０における出力値Ｄ０と、時刻Ｔ０から判別時間Ｔａを経過した時刻Ｔｘにおける出力値Ｄｘとの差ΔＤが、所定の許容範囲Ｄａ内に収まっていれば安定と判断し、収まっていなければ安定していないと判断する。
また、安定判別は以下のように行うこともできる。まず、時刻Ｔ１から判別時間Ｔｂを経過した時刻Ｔｙまでの間に、ｎ個の出力値Ｄ１〜Ｄｎを取得し、この間の最大出力値Ｄｍａｘと最小出力値Ｄｍｉｎとの差ΔＤ’が、所定の許容範囲Ｄｂ内に収まっていれば安定と判断し、収まっていなければ安定していないと判断する。
なお、安定判別の演算に用いる出力値は、ＦＩＤ検出器１からの出力値である電流値そのものでもよいし、これを電圧値、有機化合物濃度等に変換した値であってもよい。
安定判別演算器Ｃ２は、出力値が安定していないと判断したときは上記安定判別を繰り返し、安定したと判断したときに安定判別を終了すると共にシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出する。
【００１８】
［暖機ステップ］
まず、試料ガス入口１０ａに、試料ガスを採取した捕集バッグ又は捕集バッグが配置されたオートサンプラを接続し、電源ボタンを押す。
電源ボタンを押すと、暖機運転が開始される。すなわち、シーケンス駆動回路Ｃ１により、ヒーターがオン状態になりオーブン内の加温が開始される。オーブン内の温度は設定温度（６０℃±１℃）に保たれるようにコントロールされる。また、三方弁ＳＶ１と三方弁ＳＶ２、及びポンプＰ１がオフ状態のまま、二方弁ＳＶ３とポンプＰ２がオン状態となる。そして、ＦＩＤ検出器１が点火される。
これにより、ＦＩＤ検出器１にゼロガスが流入すると共に、水素ガス及び助燃ガスが供給され、有機化合物濃度ゼロに対応する出力値が得られる。安定判別演算器Ｃ２は、このＦＩＤ検出器１からの出力値を逐次取得し、当該出力値が安定したか否かを判別する。
安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断してシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出すると、安定信号を受けたシーケンス駆動回路Ｃ１により、校正ステップへの移行が行われる。
なお、ヒーターのオン状態とＦＩＤ検出器１の点火状態、及び二方弁ＳＶ３とポンプＰ２のオン状態は、終了ステップに移行しない限り継続されるので、校正ステップ、測定ステップ、パージステップにおけるこれらの状態の説明は省略する。
【００１９】
［校正ステップ］
校正ステップでは、シーケンス駆動回路Ｃ１により、三方弁ＳＶ１及び三方弁ＳＶ２がオン状態となる。
これにより、ＦＩＤ検出器１に校正ガスが流入すると共に、水素ガス及び助燃ガスが供給され、校正ガス中の有機化合物濃度に応じた出力値が得られる。安定判別演算器Ｃ２は、このＦＩＤ検出器１からの出力値を逐次取得し、当該出力値が安定したか否かを判別する。
安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断して安定判別を終了すると、安定判別終了時の出力値に基づいて、校正演算処理が行われる。ここで、校正演算処理とは、ＦＩＤ検出器１からの出力を有機化合物濃度に変換できるよう、ＦＩＤ検出器１からの出力値である電流値又はこれを電圧値等に変換した値と有機化合物濃度との関係を求めて記憶させる処理をいう。
また、安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断してシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出すると、安定信号を受けたシーケンス駆動回路Ｃ１により、パージステップへの移行が行われ、校正ガス供給路が、校正ガス導入路２０が合流した地点より下流側の試料ガス供給路１０において三方弁ＳＶ２により遮断されて、ＦＩＤ検出器１への校正ガスの流入が停止される。
なお、校正ステップは、図示はしていないが校正開始ボタンを押すことによっても開始することができる。
【００２０】
［パージステップ］
パージステップでは、シーケンス駆動回路Ｃ１により、三方弁ＳＶ１及び三方弁ＳＶ２がオフ状態となる。ポンプＰ１のオフ状態はそのまま継続する。
これにより、ゼロガス導入路３１が合流する地点より下流の試料ガス供給路１０内の校正ガスが（後述の測定ステップの後のパージステップでは試料ガスが）ゼロガスによりパージされる。パージが進行するにつれて、ＦＩＤ検出器１からの出力は徐々に低下し、充分にパージされると有機化合物濃度ゼロに対応する出力値が得られるようになる。安定判別演算器Ｃ２は、このＦＩＤ検出器１からの出力値を逐次取得し、当該出力値が安定したか否かを判別する。
安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断してシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出すると、安定信号を受けたシーケンス駆動回路Ｃ１により、次の測定ステップへの移行が行われる。
なお、パージステップは、図示はしていないがパージ開始ボタンを押すことによっても開始することができる。
【００２１】
［測定ステップ］
測定ステップでは、シーケンス駆動回路Ｃ１により、三方弁ＳＶ１がオフ状態、三方弁ＳＶ２とポンプＰ１がオン状態となる。
これにより、ＦＩＤ検出器１に試料ガスが流入すると共に、水素ガス及び助燃ガスが供給され、試料ガス中の有機化合物濃度に応じた出力値が得られる。安定判別演算器Ｃ２は、このＦＩＤ検出器１からの出力値を逐次取得し、当該出力値が安定したか否かを判別する。
安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断して安定判別を終了すると、安定判別終了時の出力値に基づいて、有機化合物濃度が求められる。
また、安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断してシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出すると、安定信号を受けたシーケンス駆動回路Ｃ１により、パージステップ又は終了ステップへの移行が行われ、試料ガス供給路１０が三方弁ＳＶ２により遮断されて、ＦＩＤ検出器１への試料ガスの流入が停止される。
ここで、測定ステップ終了後、さらに測定ステップを行う場合は、パージステップに移行する。完全にＦＩＤ計の動作を終了する場合は、終了ステップに移行する。
なお、測定ステップは、図示はしていないが測定開始ボタンを押すことによっても開始することができる。
【００２２】
測定ステップ終了後、さらに測定ステップを行う場合は、その間に行われるパージステップの間に、試料ガスの切換を行う。試料ガス入口１０ａにオートサンプラを接続した場合には、オートサンプラが、パージステップの間にその都度捕集バッグを切り換える。この場合、最終の捕集バッグについての測定ステップが終了した時点で、シーケンス駆動回路Ｃ１により、終了ステップへの移行が行われる。最終の捕集バッグについての測定ステップが終了したことは、予め捕集バッグの数を、安定判別演算器Ｃ２に記憶させたりＦＩＤ計の操作部から入力したりすることや、新たな捕集バッグがないことを検知したオートサンプラからの測定終了信号を安定判別演算器Ｃ２が受信したりすること等によって判断することができる。
【００２３】
試料ガス入口１０ａに捕集バッグを直接接続した場合には、接続した捕集バッグをオペレーターが手動で交換して、同様に測定を繰り返すことができる。この場合は、次の測定ステップが開始されるまでの間に捕集バッグの交換が確実に行われなければならないため、バッグの交換を促すメッセージを表示、音声（ブザー等含む）、通信（携帯電話や携帯メール）等によりオペレーターに知らせるようにし、捕集バッグの交換が行われた旨の入力がされるまでは、後述のアイドリングステップの状態として、測定ステップに移行しないようにすることが望ましい。
なお、特に指定がない場合、１回の測定が終了したら総ての測定が終了したとみなして、終了ステップに移行するようにしてもよい。
【００２４】
［終了ステップ］
終了ステップでは、シーケンス駆動回路Ｃ１により、パージステップと同様に、三方弁ＳＶ１及び三方弁ＳＶ２、及びポンプＰ１がオフ状態となる。そして、二方弁ＳＶ３とポンプＰ２のオン状態は継続したまま、オーブンのヒーターがオフとされる。
これにより、ゼロガス導入路３１が合流する地点より下流の試料ガス供給路１０内の測定ガスがゼロガスによりパージされる。また、オーブン内の温度が徐々に低下する。パージと温度低下が進行するにつれて、ＦＩＤ検出器１からの出力は徐々に低下し、充分にパージと温度低下が進行すると、一般的に出力値はゼロに近づく。安定判別演算器Ｃ２は、このＦＩＤ検出器１からの出力値を逐次取得し、当該出力値が安定したか否かを判別する。
安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断してシーケンス駆動回路Ｃ１に安定信号を送出すると、安定信号を受けたシーケンス駆動回路Ｃ１により、装置全体の電源がオフされる。または、予め設定された時間が経過した後に電源がオフされる。
これにより、二方弁ＳＶ３とポンプＰ２もオフとなり、ＦＩＤ検出器１は、ゼロガス、水素ガス、助燃ガスの総ての供給が遮断されることにより消火する。
なお、終了ステップは、図示はしていないが終了ボタンを押すことによっても開始することができる。
【００２５】
［アイドリングステップ］
また、本実施形態では、終了ステップに代えて、アイドリングステップに移行することもできる。総ての測定が終了した時点で、終了ステップとアイドリングステップの何れに移行するかは、図示はしていないが操作キーで予め選択することができる。
アイドリングステップでは、シーケンス駆動回路Ｃ１により、パージステップと同様に、三方弁ＳＶ１及び三方弁ＳＶ２、及びポンプＰ１がオフ状態となる。そして、二方弁ＳＶ３とポンプＰ２のオン状態、及びオーブンのヒーターのオン状態が継続される。
これにより、ゼロガス導入路３１が合流する地点より下流の試料ガス供給路１０内がゼロガスでパージされる。その後は、オーブン内の温度が所定温度に保たれたまま、ゼロガス、水素ガス、及び助燃ガスが、点火状態を保ったＦＩＤ検出器１に供給される状態が継続する。
終了ステップに代えてアイドリングステップに移行することにより、測定ステップや校正ステップへ直ちに移行できる状態となる。
【００２６】
試料ガス入口１０ａに捕集バッグを直接接続し、接続した捕集バッグをオペレーターが手動で交換する場合は、パージステップが終了した段階でアイドリングステップに移行することが好ましい。そして、測定開始ボタンを押すまで測定ステップに移行しないようにすれば、捕集バッグの交換が間に合わない状態で測定ステップに移行してしまう事態を回避できる。
また、試料ガス入口１０ａにオートサンプラを接続した場合にも、オートサンプラに新たに捕集バッグをセットし直して測定を継続したい場合や、オートサンプラにセットした捕集バッグ以外の捕集バッグを試料ガス入口１０ａに直接接続して測定を行いたい場合等も、パージステップが終了した段階でアイドリングステップに移行することが好ましい。そして、捕集バッグをセットし直す等の必要な準備ができ次第、測定開始ボタンを押すことにより、直ちに測定ステップに移行して測定を再開できる。
なお、アイドリングステップは、図示はしていないがアイドリング開始ボタンを押すことによっても開始することができる。
【００２７】
本実施形態によれば、出力値が安定したと判断されるまで試料ガスや校正ガスをＦＩＤ検出器１に供給するので、測定や校正を確実に行うことができる。また、安定判別終了後、直ちに試料ガスや校正ガスのＦＩＤ検出器への供給を停止するので、これらのガスを必要以上に使用することがない。
特に、捕集バッグに限られた量（最大２０Ｌ）しか採取できない試料ガスを、捕集バッグ中にできるだけ多く残すことが可能となる。そのため、ＦＩＤ計による有機化合物濃度が規制値を超えた場合、残りの試料ガスを用いてＧＣ−ＦＩＤ等により除外物質の測定も行える可能性が高くなる。
【００２８】
なお、本実施形態において、供給弁として三方弁ＳＶ２を用いたが、供給弁は水素炎イオン化検出器への試料ガスの供給を停止するように試料ガス供給路を遮断できるものであれば特に限定はなく、例えば、二方弁や六方弁等であってもよい。なお、三方弁ＳＶ２に代えて二方弁を供給弁とする場合、ゼロガス導入路３１を供給弁よりも下流側で試料ガス供給路に合流させ、ゼロガス導入路３１にも二方弁を設け、試料ガスとゼロガスの一方のみが、ＦＩＤ検出器に供給されるように構成することが好ましい。
【００２９】
また、本実施形態において、ゼロガス導入路３１と助燃ガス導入路３２とを、いずれも空気導入路３０の下流側に連結したが、空気導入路３０の下流側には助燃ガス導入路３２のみを連結し、ゼロガス導入路３１には、ゼロガスボンベからゼロガスを供給するようにしてもよい。
また、空気導入路３０に、フィルター、除湿器等を追加的に適宜設けてもよいのはもちろんである。
【００３０】
また、本実施形態では、ＦＩＤ検出器１とキャピラリーＣＰ１〜ＣＰ３をオーブンに収容する校正としたが、温度変化がＦＩＤ検出器１の出力に影響を与える可能性がある部分については、できるだけ同一オーブン内に収容することが好ましい。
【００３１】
また、本実施形態は、電源ボタンを押した後、ＦＩＤ検出器１にゼロガスを流入させて安定判別をする暖機ステップを設けたが、電源ボタンを押した後、直ちに校正ステップに移行してもよい。そして、上記と同様に、安定判別演算器Ｃ２が、出力値が安定したと判断して安定判別を終了すると、安定判別終了時の出力値に基づいて、校正演算処理を行う。この場合、校正ガスをＦＩＤ検出器１に流入させつつ暖機を行うことになり、ＦＩＤ検出器１の出力の安定により、校正演算処理ができると共に暖機の完了も確認できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態に係るＦＩＤ計の概略構成図である。
【符号の説明】
【００３３】
１…ＦＩＤ検出器、１０…試料ガス供給路、２０…校正ガス導入路、
３０…空気導入路、３１…ゼロガス導入路、３２…助燃ガス導入路、３３…燃焼炉、
４０…水素ガス導入路、
ＳＶ１…三方弁、ＳＶ２…三方弁、ＳＶ３…二方弁、Ｐ１…ポンプ、Ｐ２…ポンプ、
ＣＰ１…キャピラリー、ＣＰ２…キャピラリー、ＣＰ３…キャピラリー
Ｃ１…シーケンス駆動回路、Ｃ２…安定判別演算器
【図１】
0004790436.tif 000002