(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを加熱するヒータと、上記ヒータに対してガスの上流側に配置された上流側温度センサと、上記ヒータに対してガスの下流側に配置された下流側温度センサと、上記ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された右側温度センサと、上記ヒータをはさんで上記右側温度センサと対向する側に、上記ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された左側温度センサと、上記ヒータ、上記上流側温度センサ、上記下流側温度センサ、上記右側温度センサ及び上記左側温度センサを支持する支持基板とを備えたフローセンサにおいて、
上記ヒータのオフ時に、上記上流側温度センサの検出出力と上記下流側温度センサの検出出力の差分を検出する差分検出手段と、
上記ヒータのオフ時に、上記右側温度センサの検出出力と上記左側温度センサの検出出力の和を検出する加算手段と、
上記差分検出手段の出力が、予め設定された第１の範囲外になった場合は、上記上流側温度センサまたは上記下流側温度センサの断線異常と判定し、上記加算手段で検出された上記和が、予め設定された第２の範囲外になった場合は、上記右側温度センサまたは上記左側温度センサの断線異常と判定する判定手段と
からなるフローセンサの異常判定装置。
【請求項２】
前記差分検出手段および前記加算手段にオフセット電圧を供給するオフセット手段を含むことを特徴とする請求項１記載のフローセンサの異常判定装置。
【請求項３】
前記加算手段は、一方の入力端子に前記右側温度センサが接続されると共に他方の入力端子に前記左側温度センサが接続され、前記和を出力する加算器からなることを特徴とする請求項１記載のフローセンサの異常判定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フローセンサの異常判定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、フローセンサを用いた流量計測装置は、たとえば、特開２００１−１２９８８号公報等に開示されている。
【０００３】
この種の流量計測装置に使用されるフローセンサは、たとえば、ガスを加熱するマイクロヒータと、マイクロヒータに対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する上流側温度センサとして働く上流側サーモパイルと、マイクロヒータに対してガスの下流側に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する下流側温度センサとして働く下流側サーモパイルと、マイクロヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する右側温度センサとして働く右側サーモパイルと、マイクロヒータをはさんで右側サーモパイルと対向する側に、マイクロヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する左側温度センサとして働く左側サーモパイルと、マイクロヒータ、上流側サーモパイル、下流側サーモパイル、右側サーモパイル及び左側サーモパイルを支持する支持基板とを備えたマイクロフローセンサである。
【０００４】
そして、流量計測装置においては、下流側サーモパイル及び上流側サーモパイルからの温度検出信号に基づいて、ガスの流量が算出され、右側サーモパイル及び左側サーモパイルからの温度検出信号に基づいて、ガス種が判定されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のフローセンサを使用した従来の流量計測装置においては、各温度センサすなわち各サーモパイルが断線することがある。このような断線異常の発生時には、ガス流量の算出を正確に行うことができなくなり、流量精度が低下してしまったり、ガス種の判定が正確に行われなくなったりするおそれがあるいう問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記のような問題点に着目し、センサの断線異常を的確に判定できるフローセンサの異常判定装置を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の発明は、ガスを加熱するヒータと、上記ヒータに対してガスの上流側に配置された上流側温度センサと、上記ヒータに対してガスの下流側に配置された下流側温度センサと、上記ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された右側温度センサと、上記ヒータをはさんで上記右側温度センサと対向する側に、上記ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された左側温度センサと、上記ヒータ、上記上流側温度センサ、上記下流側温度センサ、上記右側温度センサ及び上記左側温度センサを支持する支持基板とを備えたフローセンサにおいて、上記ヒータのオフ時に、上記上流側温度センサの検出出力と上記下流側温度センサの検出出力の差分を検出する差分検出手段と、上記ヒータのオフ時に、上記右側温度センサの検出出力と上記左側温度センサの検出出力の和を検出する加算手段と、上記差分検出手段の出力が、予め設定された第１の範囲外になった場合は、上記上流側温度センサまたは上記下流側温度センサの断線異常と判定し、上記加算手段で検出された上記和が、予め設定された第２の範囲外になった場合は、上記右側温度センサまたは上記左側温度センサの断線異常と判定する判定手段とからなるフローセンサの異常判定装置に存する。
【０００８】
請求項１記載の発明によれば、フローセンサの異常判定装置は、ガスを加熱するヒータと、ヒータに対してガスの上流側に配置された上流側温度センサと、ヒータに対してガスの下流側に配置された下流側温度センサと、ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された右側温度センサと、ヒータをはさんで右側温度センサと対向する側に、ヒータに対してガスの流れ方向と略直交方向に配置された左側温度センサと、ヒータ、上流側温度センサ、下流側温度センサ、右側温度センサ及び左側温度センサを支持する支持基板とを備えたフローセンサにおいて、ヒータのオフ時に、上流側温度センサの検出出力と下流側温度センサの検出出力の差分を検出する差分検出手段と、ヒータのオフ時に、右側温度センサの検出出力と左側温度センサの検出出力の和を検出する加算手段と、差分検出手段の出力が、予め設定された第１の範囲外になった場合は、上流側温度センサまたは下流側温度センサの断線異常と判定し、加算手段で検出された和が、予め設定された第２の範囲外になった場合は、右側温度センサまたは左側温度センサの断線異常と判定する判定手段とからなる。
【００１１】
上記課題を解決するためになされた請求項２記載の発明は、前記差分検出手段および前記加算手段にオフセット電圧を供給するオフセット手段を含むことを特徴とする請求項１記載のフローセンサの異常判定装置に存する。
【００１２】
請求項２記載の発明によれば、フローセンサの異常判定装置は、差分検出手段および加算手段にオフセット電圧を供給するオフセット手段を含む。
【００１７】
上記課題を解決するためになされた請求項３記載の発明は、前記加算手段は、一方の入力端子に前記上流側温度センサが接続されると共に他方の入力端子に前記下流側温度センサが接続され、前記和を出力する加算器からなることを特徴とする請求項１記載のフローセンサの異常判定装置に存する。
【００１８】
請求項３記載の発明によれば、加算手段は、一方の入力端子に前記上流側温度センサが接続されると共に他方の入力端子に前記下流側温度センサが接続され、前記和を出力する加算器からなる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２２】
図１は、本発明によるフローセンサの異常判定装置の実施の形態を含む流量計測装置を示す構成図である。図１において、流量計測装置は、フローセンサ１と、差分検出手段としての差分検出回路２１と、加算手段としての加算器２２と、スイッチ２３，２４と、Ａ／Ｄコンバータ２５と、マイクロコンピュータ（以下、マイコンという）２６と、表示部２７と、メモリ２８と、遮断弁２９と、通報部３０と、ヒータ駆動回路３１と、オフセット回路３７とを備えている。
【００２３】
フローセンサ１は、ガスを加熱するマイクロヒータ４と、マイクロヒータ４に対してガスの上流側に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する上流側温度センサとして働く上流側サーモパイル８と、マイクロヒータ４に対してガスの下流側に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する下流側温度センサとして働く下流側サーモパイル５と、マイクロヒータ４に対してガスの流れ方向と略直交方向に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する右側温度センサとして働く右側サーモパイル１１と、マイクロヒータ４をはさんで右側サーモパイル１１と対向する側に、マイクロヒータ４に対してガスの流れ方向と略直交方向に配置され、ガスの温度を検出して温度検出信号を出力する左側温度センサとして働く左側サーモパイル１３とを備えたマイクロフローセンサである。
【００２４】
差分検出回路２１は、非反転入力端子にフローセンサ１の上流側サーモパイル８が接続され、反転入力端子にフローセンサ１の下流側サーモパイル５が接続されたオペアンプからなる差動アンプ３２と、差動アンプ３２の非反転入力端子と反転入力端子の間に直列接続された、バランス調整回路３３とからなる。なお、上流側サーモパイル８と下流側サーモパイル５は、それぞれの起電力の同一極性側が差動アンプ３２の非反転入力端子及び反転入力端子に接続される。
【００２５】
加算器２２は、非反転入力端子にフローセンサ１の右側サーモパイル１１が接続され、反転入力端子にフローセンサ１の左側サーモパイル１３が接続されたオペアンプ３８からなる。なお、右側サーモパイル１１と左側サーモパイル１３は、それぞれの起電力の互いに反対の極性側がオペアンプ３７の非反転入力端子及び反転入力端子に接続される。
【００２６】
スイッチ２３、２４は、リレースイッチや電子スイッチ等からなり、マイコン２６からの制御信号によって、一方がオンの時他方がオフとなるように制御される。
【００２７】
Ａ／Ｄコンバータ２５は、スイッチ２３を介して入力される差分検出回路２１の差動アンプ３２の出力電圧、または、スイッチ２４を介して入力される加算器２２の出力電圧をアナログ／デジタル変換する、たとえば１２ビットのＡ／Ｄコンバータである。
【００２８】
ヒータ駆動回路３１は、そのベースに入力されるマイコン２６からの制御信号でオン、オフ制御されるｐｎｐ型のスイッチングトランジスタ３８からなる。スイッチングトランジスタ３８のエミッタは電源＋Ｖｃｃに接続され、コレクタはフローセンサ１のマイクロヒータ４に接続されている。
【００２９】
バランス調整回路３３は、差動アンプ３２の非反転入力端子と反転入力端子の間に直列接続された抵抗３４、可変抵抗３５及び抵抗３６からなる。可変抵抗３５の摺動子は接地されている。
【００３０】
オフセット回路３７は、マイコン２６からの制御信号により起動、停止され、差動アンプ３２及びオペアンプ３７にオフセット電圧を供給するオフセット手段として働く。
【００３１】
図２及び図３は、図１のフローセンサの構成図及び断面図である。図２において、フローセンサ１は、Ｓｉ基板２と、ダイアフラム３と、ダイアフラム３上に形成された白金等からなるマイクロヒータ４と、マイクロヒータ４の下流側でダイアフラム３上に形成された下流側サーモパイル５と、マイクロヒータ４に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子６Ａ，６Ｂと、マイクロヒータ４の上流側でダイアフラム３上に形成された上流側サーモパイル８と、上流側サーモパイル８から出力される第１温度検出信号を出力する第１出力端子９Ａ，９Ｂ、下流側サーモパイル５から出力される第２温度検出信号を出力する第２出力端子７Ａ，７Ｂ、を備えている。
【００３２】
また、マイクロフローセンサ１は、マイクロヒータ４に対してガスの流れ方向（図３における矢印Ｐから矢印Ｑへの方向）と略直交方向に配置され、ガスの物性値を検出し、右側温度検出信号を出力する右側サーモパイル１１と、この右側サーモパイル１１から出力される右側温度検出信号を出力する第３出力端子１２Ａ，１２Ｂと、マイクロヒータ４に対してガスの流れ方向と略直交方向に配置され、ガスの物性値を検出し、左側温度検出信号を出力する左側サーモパイル１３と、この左側サーモパイル１３から出力される左側温度検出信号を出力する第４出力端子１４Ａ，１４Ｂと、ガス温度を得るための抵抗１５，１６と、この抵抗１５，１６からのガス温度信号を出力する出力端子１７Ａ，１７Ｂとを備える。
【００３３】
上流側サーモパイル８、下流側サーモパイル５、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３は、熱電対から構成されている。この熱電対は、ｐ++−Ｓｉ及びＡｌにより構成され、冷接点と温接点とを有し、熱を検出し、冷接点と温接点との温度差から熱起電力が発生することにより、温度検出信号を出力するようになっている。
【００３４】
また、図３に示すように、Ｓｉ基板２には、ダイアフラム３が形成されており、このダイアフラム３には、マイクロヒータ４、上流側サーモパイル８、下流側サーモパイル５、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３のそれぞれの温接点が形成されている。
【００３５】
上述の構成において、図１に戻ってまず流量計測について説明する。流量計測時、マイコン２６は、ヒータ駆動回路３１のスイッチングトランジスタ３７をオンさせ、マイクロヒータ４に駆動電流を供給し、ヒータオン状態とする。また、マイコン２６は、ヒータオン時に、スイッチ２３をオンかつスイッチ２４をオフとなるように制御し、差動アンプ３２より出力される上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５の温度検出信号の差分をスイッチ２３、Ａ／Ｄコンバータ２５を介してＡ／Ｄ変換したデジタルデータをサンプリングして得たサンプリングデータに基づいて、ガスの流量を算出し、積算する。
【００３６】
また、マイコン２６は、ヒータオン時に、スイッチ２３をオフかつスイッチ２４をオンとなるように制御し、オペアンプ３７より出力される右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３の温度検出信号の和をスイッチ２４、Ａ／Ｄコンバータ２５を介してＡ／Ｄ変換したデジタルデータをサンプリングして得たサンプリングデータに基づいて、ガス種を判別し、上述のガス流量算出時の補正パラメータとして使用する。
【００３７】
そして、マイコン２６は、上述の積算値を、表示部２７に表示させ、メモリ２８に格納すると共に、通報部３０を介して外部（たとえば、ガス管理センター）に通報する。
【００３８】
一方、マイコン２６は、流量計測時に流量異常を検知した場合は、遮断弁２９を遮断させると共に、異常警報を表示部２７に表示させかつ通報部３０を介して外部（たとえば、ガス管理センター）に通報する。
【００３９】
次に、フローセンサの異常判定動作について説明する。まず、流量検出用温度センサとして働く上流側サーモパイル８と下流側サーモパイル５の断線異常の判定方法について述べる。
【００４０】
１）流量検出用温度センサの断線異常判定方法
この場合には、マイコン２６は、スイッチ２３をオンかつスイッチ２４をオフとなるように制御すると共に、ヒータ駆動回路３１のスイッチングトランジスタ３７をオフさせて、マイクロヒータ４をオフとした状態で、差分検出回路２１からの出力電圧データを観測する。
【００４１】
バランス調整回路３３の可変抵抗３４の摺動子の位置は、差動アンプ３２の非反転入力端子に接続された上流側サーモパイル８と差動アンプ３２の反転入力端子に接続された下流側サーモパイル５の固体差に起因する起電力のアンバランスをなくすように予め調整される。したがって、差動アンプ３２の出力側には、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５へ流れ込む差動アンプ３２の入力バイアス電流のバラツキに起因する出力電圧±Ａが発生している。
【００４２】
また、ヒータオフ時のガスの流れによるセンサ出力への影響をなくすために、差動アンプ３２には、マイコン２６からの制御信号で起動されたオフセット回路３７から、流量計測時に各サーモパイルで発生する起電力よりかなり高いオフセット電圧Ｖ（たとえば、１ボルト）が予め供給されている。
【００４３】
したがって、ヒータオフ時には、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５において起電力がほとんど発生しないため、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５が正常に動作している場合は、差分検出回路２１からの出力電圧は、オフセット電圧Ｖ（＝１ボルト）±Ａの範囲内となっている。そして、マイコン２６は、このオフセット電圧Ｖ（＝１ボルト）±Ａを第１の範囲として予め設定し、メモリに格納しておく。
【００４４】
そこで、マイコン２６は、ヒータオフ時の差分検出回路２１からの出力電圧Ｖ１が、予め設定された第１の範囲（Ｖ±Ａ）内となっていれば、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５が正常に動作していると判定する。
【００４５】
一方、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５のどちらかが断線すると、差動アンプ３２の入力側のバランスがくずれ、差分検出回路２１からの出力電圧Ｖ１が、予め設定された第１の範囲Ｖ±ＡからはずれたＶ±Ｂ（Ｂ＞Ａ）に変化する。
【００４６】
そこで、マイコン２６は、差分検出回路２１からの出力電圧Ｖ１が、予め設定された第１の範囲Ｖ±Ａからはずれた値（Ｖ＋ＢまたはＶ−Ｂ）になったことを検知し、上流側サーモパイル８及び下流側サーモパイル５のどちらかの断線異常と判定する。
【００４７】
マイコン２６は、上述のように断線異常と判定した場合、遮断弁２９を遮断させると共に、異常警報を表示部２７に表示させかつ通報部３０を介して外部（たとえば、ガス管理センター）に通報する。
【００４８】
それにより、流量計測装置は、断線異常状態での流量計測を停止して、安全サイドに移行することができる。
【００４９】
次に、ガス種検出用温度センサとして働く右側サーモパイル１１と左側サーモパイル１３の断線異常の判定方法について述べる。
【００５０】
２）ガス種検出用温度センサの断線異常判定方法
この場合には、マイコン２６は、スイッチ２４をオンかつスイッチ２３をオフとなるように制御すると共に、ヒータ駆動回路３１のスイッチングトランジスタ３７をオフさせて、マイクロヒータ４をオフとした状態で、加算器２２からの出力電圧データを観測する。
【００５１】
ヒータオフ時のガスの流れによるセンサ出力への影響をなくすために、オペアンプ３８には、マイコン２６からの制御信号で起動されたオフセット回路３７から、流量計測時に各サーモパイルで発生する起電力よりかなり高いオフセット電圧Ｖ（たとえば、１ボルト）が予め供給されている。
【００５２】
したがって、ヒータオフ時には、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３において起電力がほとんど発生しないため、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３が正常に動作している場合は、加算器２２すなわちオペアンプ３８からの出力電圧は、オフセット電圧Ｖ（＝１ボルト）±Ｃとなっている。ここで、Ｃ＝（右側サーモパイル１１の起電力＋左側サーモパイル１３の起電力）±αである。そして、マイコン２６は、このオフセット電圧Ｖ（＝１ボルト）±Ｃを第２の範囲として予め設定し、メモリに格納しておく。
【００５３】
そこで、マイコン２６は、ヒータオフ時の加算器２２からの出力電圧Ｖ２が、予め設定された第２の範囲（Ｖ±Ｃ）内となっていれば、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３が正常に動作していると判定する。
【００５４】
一方、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３のどちらかが断線すると、オペアンプ３８の入力側のバランスがくずれ、オペアンプ３８すなわち加算器２２からの出力電圧Ｖ２が、予め設定された第２の範囲Ｖ±ＣからＶ±Ｄ（Ｃ＞Ｄ）に変化する。
【００５５】
そこで、マイコン２６は、加算器２２からの出力電圧Ｖ２が、予め設定された第２の範囲Ｖ±Ｃからはずれた値（Ｖ＋ＤまたはＶ−Ｄ）になったことを検知し、右側サーモパイル１１及び左側サーモパイル１３のどちらかの断線異常と判定する。
【００５６】
マイコン２６は、上述のように断線異常と判定した場合、遮断弁２９を遮断させると共に、異常警報を表示部２７に表示させかつ通報部３０を介して外部（たとえば、ガス管理センター）に通報する。
【００５７】
それにより、流量計測装置は、断線異常状態での流量計測を停止して、安全サイドに移行することができる。
【００５８】
次に、上述の流量計測装置の一連の動作を図４に示すフローチャートで説明する。まず、マイコン２６は、流量計測のサンプリング時間になったか否かを判定し（ステップＳ１）、その答がイエスならば、ヒータ４をオフとし、ヒータオフ時の差分検出回路２１の出力データＶ１および加算器２２の出力データＶ２を計測する（ステップＳ２）。次いで、ヒータ４をオンとし、ヒータオン時の差分検出回路２１の出力データＶ１′および加算器２２の出力データＶ２′を計測する（ステップＳ３）。
【００５９】
次いで、マイコン２６は、ヒータオン時の出力データＶ１′およびＶ２′に基づき、流量演算を行なう（ステップＳ４）。次いで、マイコン２６は、ヒータオフ時の差分検出回路２１の出力データＶ１が予め設定された第１の範囲（Ｖ±Ａ）内にある（Ｖ１≦Ｖ±Ａ）か否かを判定する（ステップＳ６）。その答がイエスならば、次いで、マイコン２６は、ヒータオフ時の加算器２２の出力データＶ２が予め設定された第２の範囲（Ｖ±Ｃ）内にある（Ｖ２≦Ｖ±Ｃ）か否かを判定する（ステップＳ７）。その答がイエスならば、マイコン２６は、各温度センサ（すなわち、各サーモパイル５，８，１１，１３）が正常に動作していると判断し（ステップＳ８）、次にステップＳ１に戻り、次のサンプリング時間の到来を待ち受ける。
【００６０】
一方、ステップＳ６の答がノーならば、マイコン２６は、流量検出用温度センサのいずれか、すなわち、上流側サーモパイル８または下流側サーモパイル５のどちらかが断線していると判断する（ステップＳ９）。
【００６１】
また、ステップＳ７の答がノーならば、マイコン２６は、ガス種検出用温度センサのいずれか、すなわち、右側サーモパイル１１または左側サーモパイル１３のどちらかが断線していると判断する（ステップＳ１０）。
【００６２】
ステップＳ９またＳ１０に続いて、マイコン２６は、各温度センサのいずれかの断線発生によりセンサ異常と判断し（ステップＳ１１）、次いで、表示器２７に異常警報を表示させると共に通報部３０を介して外部（たとえば、ガス管理センター）に通報し（ステップＳ１２）、次いで、流量計測を停止し（ステップＳ１３）、次いで、遮断弁３０を遮断させる（ステップＳ１４）。
【００６３】
以上の通り、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限らず、種々の変形、応用が可能である。
【００６４】
たとえば、Ａ／Ｄコンバータ２５は、マイクロコンピュータ２６に内蔵しても良い。
【００６５】
また、センサ異常判定は、各サンプリング毎のデータにて実施しても良くまたは、サンプリング毎ではなく定期的（たとえば、１時間に１回）にマイコン２６でのセンサ異常判断ロジックを動作させて確認しても良い。
【００６６】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、流量検出用の上流側または下流側温度センサの断線等の異常を判断できる。したがって、このようなセンサを用いた流量計測装置において、センサ異常による流量誤計測を防止できると共に、装置を安全サイドに動作させることが可能である。
【００６７】
また、ガス種検出用の右側または左側温度センサの断線等の異常を判断できる。
【００６８】
請求項２記載の発明によれば、ガスの流れによるセンサ出力の影響を削除できる。
【００７１】
請求項３記載の発明によれば、ガス種検出用の右側及び左側温度センサの各検出出力の和を加算器で検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるフローセンサの異常判定装置の実施の形態を含む流量計測装置を示す構成図である。
【図２】図１のフローセンサの構成図である。
【図３】図１のフローセンサの断面図である。
【図４】図１の流量計測装置の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１    フローセンサ
４    マイクロヒータ（ヒータ）
５    下流側サーモパイル（下流側温度センサ）
８    上流側サーモパイル（上流側温度センサ）
１１  右側サーモパイル（右側温度センサ）
１３  左側サーモパイル（左側温度センサ）
２１  差分検出回路（差分検出手段）
２２  加算器（加算手段）
２６  マイコン（判定手段）
２７  表示部
２８  メモリ
２９  遮断弁
３０  通報部
３２  差動アンプ
３３  バランス調整回路（バランス調整手段）
３７  オフセット回路（オフセット手段）
【図１】
0004641359.tif 000002
【図２】
0004641359.tif 000003
【図３】
0004641359.tif 000004
【図４】
0004641359.tif 000005