(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブ装置のプローブカードを搬送するためのプローブカード搬送機構と、このプローブカード搬送機構が設けられた駆体と、この駆体のプローブ装置との対峙側の少なくとも３箇所に設けられ且つ上記プローブ装置の少なくとも３箇所の被連結具と連結する連結機構とを備えたプローブカード搬送装置であって、プローブカード搬送機構は、上記プローブカードをプローブ室に移送する移送機構と、この移送機構を昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とするプローブカード搬送装置。
【請求項２】
上記連結機構は、上記被連結具と係合する係合具と、これら両者を連結する連結具とを有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード搬送装置。
【請求項３】
上記連結具を上記被連結具から解除する手段を上記駆体に設けたことを特徴とする請求項２に記載のプローブカード搬送装置。
【請求項４】
上記プローブカードの存否を確認するセンサを上記駆体に設けたことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブカード搬送装置。
【請求項５】
プローブカード搬送装置とプローブ装置を連結する工程と、上記プローブカード搬送装置のプローブカード搬送機構を上記プローブ装置内の所定位置まで挿入する工程と、上記プローブカード搬送機構を上記所定位置からプローブカードの着脱位置まで上昇させる工程と、上記プローブカード搬送機構を介して上記プローブ装置内でプローブカードを着脱する工程と、上記プローブカード搬送機構を上記着脱位置から上記所定位置まで下降させる工程と、上記上記プローブカード搬送機構を上記プローブ装置から退避させる工程と、上記プローブカード搬送装置とプローブ装置の連結を解除する工程とを備えたことを特徴とするプローブカード搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法に関し、更に詳しくは、プローブ装置のフットプリントを削減することができると共に大型化したプローブカードの搬送操作の安全性を高めることができるプローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プローブ装置は被検査体（例えば、ウエハ）の電気的特性検査を行う装置である。プローブ装置は、通常、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置されたプローブカードとを備え、検査時にはウエハを載置した載置台をＸ、Ｙ及びＺ方向に移動させてウエハとプローブカードとを接触させてウエハの電気的特性検査を行っている。また、プローブカードはプローブ装置内に配置されたクランプ機構に対して着脱するようになっている。
【０００３】
従来のプローブ装置はプローブカードの交換装置を有している。そして、プローブカードをプローブ装置に着脱する時には、プローブ装置の一面（例えば、正面のカバー）を開放し、プローブカード交換装置をプローブ装置の正面から引き出した後、プローブカード交換装置上にプローブカードを設置する。引き続き、プローブカード交換装置を操作してプローブ装置内のクランプ機構との間でプローブカードを着脱する。プローブカードの着脱後には、プローブカード交換装置をプローブ装置内に納め、カバーを閉じる。
【０００４】
また、プローブカードを搬送する時には、オペレータが保管棚等からプローブカードを取り出し、保管棚等からプローブ装置まで持ち運び、プローブカード交換装置に設置する。また、オペレータは交換後のプローブカードをプローブカード交換装置から取り外し、保管棚等まで持ち運んで収納する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プローブカードの交換はそう頻繁に行われるわけではなく、交換頻度は多くても一日に２回程度に過ぎないため、プローブカード交換装置の稼働率が低いという課題があった。また、ウエハ等の被検査体の大型化、高集積化に伴ってプローブカードの大型化、重量化が進み、プローブカード交換装置が大型化するため、プローブ装置内のプローブカード交換装置の収納空間が大きくなってクリーンルーム内でのプローブ装置のフットプリントが大きくなり、コスト高を招くという課題があった。しかも、プローブカードの大型化、重量化によりプローブカードが２０ｋｇ近くにまで達し、オペレータによるプローブカードの持ち運びが難しくなるという課題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、プローブカードを搬送することができるプローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に記載のプローブカード搬送装置は、プローブ装置のプローブカードを搬送するためのプローブカード搬送機構と、このプローブカード搬送機構が設けられた駆体と、この駆体のプローブ装置との対峙側の少なくとも３箇所に設けられ且つ上記プローブ装置の少なくとも３箇所の被連結具と連結する連結機構とを備えたプローブカード搬送装置であって、プローブカード搬送機構は、上記プローブカードをプローブ室に移送する移送機構と、この移送機構を昇降させる昇降機構とを備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
本発明の請求項２に記載のプローブカード搬送装置は、請求項１に記載の発明において、上記連結機構は、上記被連結具と係合する係合具と、これら両者を連結する連結具とを有することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明の請求項３に記載のプローブカード搬送装置は、請求項２に記載の発明において、上記連結具を上記被連結具から解除する手段を上記駆体に設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載のプローブカード搬送装置は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の発明において、上記プローブカードの存否を確認するセンサを上記駆体に設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載のプローブカード搬送方法は、プローブカード搬送装置とプローブ装置を連結する工程と、上記プローブカード搬送装置のプローブカード搬送機構を上記プローブ装置内の所定位置まで挿入する工程と、上記プローブカード搬送機構を上記所定位置からプローブカードの着脱位置まで上昇させる工程と、上記プローブカード搬送機構を介して上記プローブ装置内でプローブカードを着脱する工程と、上記プローブカード搬送機構を上記着脱位置から上記所定位置まで下降させる工程と、上記上記プローブカード搬送機構を上記プローブ装置から退避させる工程と、上記プローブカード搬送装置とプローブ装置の連結を解除する工程とを備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明に実施の形態】
以下、図１〜図５に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のプローブカード搬送装置１０は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブ装置２０にプローブカード２１（例えば外径６００ｍｍ、重量２０ｋｇ）を搬送するためのプローブカード搬送機構１１と、このプローブカード搬送機構１１が設けられた駆体１２と、この駆体１２のプローブ装置２０との対向側の４箇所に同一面を形成するように設けられ且つプローブ装置２０の上下左右４箇所の被連結具２２とそれぞれ連結する上下左右４箇所の連結機構１３と、プローブカード搬送機構１１を駆動するバッテリ（図示せず）とを備え、プローブカード搬送機構１１上に設置されたプローブカード２１をプローブ装置２０へ搬送するように構成されている。４箇所の連結機構１３は、同図に示すように、プローブカード２１を搬送する際に、プローブ装置２０の正面に設けられた４箇所の被連結具２２と連結し、もってプローブカード搬送装置１０とプローブ装置２０が連結するように構成されている。また、プローブカード搬送装置１０とプローブ装置２０は互いの対向位置に例えば赤外線通信手段１４、２３を備え、赤外線通信によりプローブカード搬送機構１１及びプローブ装置２０内のクランプ機構（図示せず）が駆動する。
【００１３】
また、上記プローブカード搬送装置１０は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、駆体１２の下端四隅に取り付けられたキャスタ１５と、駆体１２の上部後端に取り付けられたハンドル１６とを備えている。従って、プローブカード２１を交換する場合には、オペレータはプローブカード搬送装置１０にプローブカード２１を設置した後、ハンドル１６を握ってプローブカード搬送装置１０を目標のプローブ装置２０まで移動させることができるため、プローブカード２１が大型化、重量化しても従来のようにオペレータはプローブカード２１を直接持ち運ぶ必要がない。また、このハンドル１６は後述の移送機構を操作する時のハンドルを兼ねている。
【００１４】
而して、上記プローブカード搬送機構１１は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブカード２１を駆体１２の上部で前後方向（Ｙ方向）（同図では左右方向）に二段階で移送する移送機構１７と、この移送機構１７を駆体１２の上面において上下方向（Ｚ方向）に昇降させる昇降機構１８とを備えている。
【００１５】
上記移送機構１７は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、昇降機構１８の左右に前後して固定されたガイド部材１７Ａと、左右のガイド部材１７Ａに従ってＹ方向に一体的に移動可能に係合する左右一対のガイドレール１７Ｂと、左右一対のガイドレール１７Ｂに従ってＹ方向に移動可能に係合部材１７Ｃを介して係合するアーム１７Ｄと、このアーム１７Ｄにナット部材（図示せず）を介して連結されたＹ方向ボールネジ（図示せず）と、このＹ方向ボールネジを駆動させるモータ（図示せず）と、このモータを操作するようにハンドル１６近傍に付設されたスイッチ（図示せず）とを備えている。係合部材１７Ｃはアーム１７Ｄ裏面の後端部の左右に前後して固定されている。従って、移送機構１７は、図１の（ｂ）に白抜きの矢印で示すように、アーム１７Ｄが駆体１２上からその前方へ二段階で進出してプローブカード２１をプローブ装置内へ移送するようになっている。即ち、第一段階ではハンドル１６の操作により左右一対のガイドレール１７Ｂが駆体１２上から前方へ進出し、第二段階ではスイッチ操作により駆動するモータ及びＹ方向ボールネジを介してアーム１７Ｄがガイドレール１７Ｂ上からその前方へ進出する。アーム１７Ｄの進出端はセンサ（図示せず）によって検出する。アーム１７Ｄはセンサの検出信号に基づいて進出端で停止する。この進出端におけるアーム１７Ｄ上のプローブカード２１の中心はそのクランプ機構（図示せず）の中心と一致するようになっている。また、左右一対のガイドレール１７Ｂには後退端位置及び進出端位置でロックするロック機構（図示せず）が設けられていると共に、駆体１２にはロック機構を操作するスイッチ（図示せず）が設けられている。このスイッチはハンドル１６を握った状態で操作できるようになっている。従って、スイッチ操作によりロック機構を解除した後、ガイドレール１７Ｂをプローブ装置２０内へ挿入し、進出端ではロックを掛けてガイドレール１７Ｂを固定する。また、アーム１７Ｄ上にはプローブカード２１の位置決め部材（図示せず）が設けられ、この位置決め部材を介してアーム１７Ｄ上でプローブカード２１を位置決めする。更に、移送機構１７にはアーム１７Ｄ上のプローブカード２１の存否を確認するセンサ（図示せず）が設けられている。
【００１６】
上記昇降機構１８は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、駆体１２の前面の左右にＺ方向に向けて固定された一対のガイドレール１８Ａと、左右一対のガイドレール１８Ａに従って上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に係合部材１８Ｂを介して係合する昇降体１８Ｃと、この昇降体１８Ｃにナット部材（図示せず）を介して連結されたＺ方向ボールネジ（図示せず）と、このＺ方向ボールネジを駆動させるモータ（図示せず）と、このモータを駆動操作するようにハンドル１６近傍に付設されたスイッチ（図示せず）とを備えている。この係合部材１８Ｂは昇降体１８Ｃ外面の左右に上下して固定されている。従って、昇降機構１８は、スイッチ操作により移送機構１７の進出端においてアーム１７Ｄが下降端位置（ダウン位置）からクランプ機構によるクランプ位置（アップ位置）まで上昇するようになっている。ダウン位置及びアップ位置はそれぞれセンサ（図示せず）によって検出され、これらのセンサの検出信号に基づいてアーム１７Ｄはダウン位置及びアップ位置で停止する。この昇降距離は同一種のプローブ装置２０では常に一定であるため、オペレータが制御装置に対して昇降距離をソフト的に設定することができる。
【００１７】
また、上記連結機構１３は、図２に示すように、マスター治具３０を用いてプローブカード搬送装置１０に取り付ける。このマスター治具３０は、枠体からなる矩形状の治具本体３１と、この治具本体３１に固定された左右上下４箇所の被連結具３２と、プローブ装置２０のクランプ機構の中心相当位置に配置された基準ピン３３とを備え、各被連結具３２と基準ピン３３はプローブ装置２０の被連結具２２とクランプ機構の中心位置が一致する関係にある。
【００１８】
即ち、上記連結機構１３は、図３の（ａ）、（ｂ）に拡大して示すように、係合具１３Ａ及び連結具１３Ｂを有し、位置調整のために駆体１２に対して例えばＸ、Ｙ、Ｚ方向にそれぞれ所定寸法だけ移動可能に取り付けられている。また、被連結具３２は、治具本体３１から水平に突出する平面形状が矩形の水平突出部３２Ａと、この水平突出部３２Ａのやや前方で幅方向中央から垂直上方に突出する柱状の垂直突出部３２Ｂから形成されている。水平突出部３２Ａの先端上面及び垂直突出部３２Ｂの上端外周にはそれぞれテーパ面が形成され、連結機構１３との連結が円滑に行われるようになっている。
【００１９】
ここで、上記連結機構１３について更に詳述する。この連結機構１３の係合具１３Ａは、駆体１２から水平に突出する平面形状が矩形の部材からなり、その先端下面にはテーパ面が形成されていると共にその先端の幅方向中央には切欠部１３Ｃが形成されている。切欠部１３Ｃは、同図の（ａ）に示すように、被連結具３２の垂直突出部３２Ｂと係合する矩形状の係合部と、この係合部から前端に向けて徐々に幅広になるガイド部によって形成されている。また、連結具１３Ｂは、同図の（ｂ）に示すように、平面形状が矩形の厚肉状に形成され、その基端部が回転軸１３Ｅを介して係合具１３Ａの基端部のやや上で軸支されている。従って、連結具１３Ｂは回転軸１３Ｅを中心に上下に揺動自在になっている。この連結具１３Ｂの先端下面にはテーパ面が形成され、テーパ面の下端からやや基端部寄りに被連結具３２の垂直突出部３２Ｂが嵌入する孔１３Ｄが形成されている。また、回転軸１３Ｅには例えばペダル（図示せず）が連結され、ペダル操作により連結具１３Ｂを反時計方向へ回転させて被連結具３２との連結を解除できるようにしてある。
【００２０】
そして、プローブカード搬送装置１０の駆体１２に連結機構１３を取り付ける場合には、予め連結機構１３を駆体１２の前面にＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可能に取り付けておく。そして、図３の（ａ）、（ｂ）に示すようにプローブカード搬送装置１０をマスター治具３０に押し付け、４箇所の連結機構１３をそれぞれＸ、Ｙ及びＺ方向に移動させ、これらと対応する４箇所の被連結具３２と位置合わせを行う。位置合わせ後、図４の（ａ）、（ｂ）に示すようにプローブカード搬送装置１０をマスター治具３０に向けて更に押し付けると、各連結機構１３の係合具１３Ａがテーパ面を介して被連結具３２の水平突出部３２Ａ上に乗り上げると共に、連結具１３Ｂが垂直突出部３２Ｂを乗り上げ、最終的には図５の（ａ）、（ｂ）に示すように垂直突出部３２Ｂが係合具１３Ａの係合部１３Ｃと係合すると共に連結具１３Ｂの孔１３Ｄ内に嵌入して両者１３、３２が連結し、ひいてはプローブカード搬送装置１０がマスター治具３０と連結する。次いで、移送機構１７をマスター治具本体３１内へ挿入し更にアーム１７Ｄが進出端まで挿入した後、プローブカード搬送装置１０をＸ、Ｙ方向に微移動させながら基準ピン３３がアーム１７Ｄ上面にある基準穴に入るように４箇所の連結機構１３を駆体１２においてＸ、Ｙ方向に微移動させて調整する。基準ピン３３がアーム１７Ｄの基準穴に円滑に入るようになった時点で連結機構１３を駆体１２に固定する。この一連の操作によって連結機構１３の位置が決まる。連結機構１３を固定した後、ペダル操作により連結機構１３と被連結具３２間の連結を解除し、プローブカード搬送装置１０をマスター治具３０から切り離す。
【００２１】
プローブカード搬送装置１０の連結機構１３を固定した後、出荷前のプローブ装置２０の正面４箇所に被連結具２２をＸ、Ｙ及びＺ方向に移動可能に取り付ける。そして、プローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０に近づけ、図６の（ａ）、（ｂ）の矢印で示すように被連結具２２を微移動させてプローブカード搬送装置１０の連結機構１３に対する位置合わせを行う。引き続き、プローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０に押し付け、各連結機構１３と対応する被連結具２２とを連結させた後、例えばプローブカード２１の基準穴がプローブカード着脱機構の基準ピンに入るように調整する。位置合わせ終了後にプローブ装置２０の各被連結具２２を固定する。この一連の操作によって被連結具２２を固定うる。このプローブ装置２０を納入すれば、後は納入先においてプローブ装置２０にプローブカード２１を着脱する場合には、プローブカード搬送装置１０を用いて簡単にプローブカード２１を着脱することができる。尚、プローブ装置２０の被連結具２２はマスター治具３０の被連結具３２に準じて形成されている。
【００２２】
次いで、上記プローブカード搬送装置１０を用いてプローブ装置２０にプローブカード２１を装着する方法について図１の（ａ）、（ｂ）及び図３〜図５を参照しながら説明する。まず、オペレータがプローブ装置１０のオペレーションパネル２４をタッチ操作して使用するプローブカード２１を選択する。この操作によりプローブ装置２０内の載置台２５が同図の（ａ）に示すクランプ機構の下方から同図の（ｂ）に示す位置まで退避する。そして、オペレーションパネル２４にはプローブカード２１を装着するまでの手順及び確認ボタンが表示される。更に、オペレータが例えば使用すべきプローブカード２１を保管棚から取り出し、プローブカード搬送装置１０のアーム１７Ｄ上にそのプローブカード２１を設置した後、図１の（ａ）に示すようにプローブカード搬送装置１０を押してプローブカード２１を目標のプローブ装置２０まで搬送する。
【００２３】
然る後、オペレーションパネル２４の手順に従ってプローブカード２１の装着を行う。即ち、オペレータがプローブ装置２０の正面扉を開放した後、ハンドル１６を介してプローブカード搬送装置１０を押し、図１の（ａ）及び図３の（ａ）、（ｂ）に示すように連結機構１３とプローブ装置２０の被連結具２２の位置合わせを行う。引き続き、オペレータがプローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０に押し付けると、連結機構１３の係合具１３Ａが被連結具２２の水平突出部２２Ａ上に乗り上げると共に連結機構１３の連結具１３Ｂが垂直突出部２２Ｂ上に乗り上げる。更にオペレータがプローブカード搬送装置１０を押すと、図１の（ｂ）及び図５の（ａ）、（ｂ）に示すように係合具１３Ａと垂直突出部２２Ｂが係合すると共に連結具１３Ｂの孔１３Ｄに垂直突出部２２Ｂが嵌入して連結機構１３と被連結具２２が連結される。これら一連の操作でプローブカード搬送装置１０とプローブ装置２０を連結することができる。
【００２４】
次いで、オペレータがプローブカード搬送機構１１を操作する。即ち、スイッチ操作により移送機構１７のガイドレール１７Ｂのロックを解除した後、オペレータがハンドル１６を押して一対のガイドレール１７Ｂをプローブ装置２０内へ挿入し、その進出端でスイッチ操作によりロックを掛けてガイドレール１７Ｂを進出端で固定する。引き続き、スイッチ操作によりモータ及びボールネジを駆動させアーム１７Ｄを一対のガイドレール１７Ｂに従って進出端まで進める（図１の（ｂ）参照）。アーム１７Ｄが進出端に達するとセンサが働き、停止する。更に、オペレータがスイッチ操作を行うと昇降機構１８のモータ及びボールネジを駆動し昇降体１８Ｃを介してアーム１７Ｄがダウン位置から上昇すると、センサが働いてアーム１７Ｂがアップ位置で停止する。この時、オペレーションパネル２４の確認ボタンをタッチすると、アップ位置ではプローブ装置２０内のセンサ（図示せず）がプローブカード２１を検出し、この検出信号に基づいてクランプ機構が駆動してプローブカード２１を挟持し固定する。
【００２５】
プローブカード２１を固定すると、オペレーションパネル２４にはプローブカード搬送装置１０をプローブカードから切り離し、プローブ装置２０の扉を閉めるまでの手順及び確認ボタンが表示される。更に、プローブ装置２０とプローブカード搬送装置１０間の赤外線通信により昇降機構１８が駆動してアーム１７Ｄが下降し、ダウン位置に達するとセンサが働き昇降機構１８が停止する。引き続き、アーム１７Ｄがモータ及びボールネジを介して一対のガイドレール１７Ｂ上に後退する。更に、オペレータがハンドル１６を操作して一対のガイドレール１７Ｂをプローブ装置２０内から引き出す。そして、オペレータのペダル操作により連結機構１３と被連結具２２の連結を解除した後、プローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０から切り離し、プローブ装置２０の扉を閉める。その後、オペレーションパネル２４の確認ボタンをタッチすると、プローブカード２１の装着を終了する。
【００２６】
また、プローブカード２１を次のプローブカード２１と交換する時には、オペレーションパネル２４の表示中からプローブカード交換を選択すると、載置台２５が図１の（ａ）に示す位置から同図の（ｂ）に示す位置まで退避する。そして、オペレーションパネル２４にはアーム１７Ｄをプローブ装置２０内のアップ位置に達するまでの手順及び確認ボタンが表示される。次いで、空のプローブカード搬送装置１０を上述の要領でプローブ装置２０に連結し、赤外線通信を介してプローブカード搬送装置１０からプローブ装置１０へプローブカード２１の交換を通知する。そして、オペレータが移送機構１７のアーム１７Ｄをプローブ装置２０内の進出端位置まで挿入した後、スイッチ操作により昇降機構１８を介してアーム１７Ｄをダウン位置からアップ位置まで上昇させる。その後確認ボタンをタッチすると、クランプ機構が解除されてプローブカード２１をクランプ機構から開放し、移送機構１７のアーム１７Ｄ上にプローブカード２１を引き渡す。プローブカード搬送装置１０ではセンサを介してアーム１７Ｄ上にプローブカード２１が載ったか否かを確認し、プローブカード２１の確認を終えると、オペレーションパネル２４には次のプローブカード２１をアーム１７Ｄ上に載せてアップ位置に運ぶまでの手順及び確認ボタンが表示される。引き続き、上述した要領でアーム１７Ｄがアップ位置からダウン位置に下降した後、プローブ装置２０内からプローブ装置２０外へ退避する。更に、プローブカード搬送装置１０を保管棚まで搬送し、アーム１７Ｄ上のプローブカード２１を次のプローブカード２１と交換した後、このプローブカード２１をプローブ装置２０まで搬送する。後は、上述した要領でプローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０に連結し、アーム１７Ｄ上のプローブカード２１をプローブ装置２０内のクランプ機構に装着した後、アーム１７Ｄをプローブ装置２０外へ退避させ、プローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０から切り離す。そして、確認ボタンをタッチして一連の交換作業を終える。
【００２７】
以上説明したように本実施形態によれば、プローブカード搬送装置１０は、プローブカード搬送機構１１と、このプローブカード搬送機構１１が設けられた駆体１２と、この駆体１２のプローブ装置２０との対峙側の４箇所に設けられ且つプローブ装置２０の４箇所の被連結具２２と連結する連結機構１３とを備え、且つ、プローブカード搬送機構１１は、プローブカード２１をＹ方向に移送する移送機構１７と、この移送機構１７を昇降させる昇降機構１８とを有し、プローブカード２１を搬送するようにしてあるため、プローブカード交換装置を持たないプローブ装置に対して、プローブカード搬送装置１０の連結機構１３とプローブ装置２０の被連結具２２とを連結した後、プローブカード搬送装置１０の移送機構１７をプローブ装置２０内のダウン位置まで移動させ、更にプローブカード搬送装置１０の昇降機構１８を介して移送機構１７のアーム１７Ｄをダウン位置からアップ位置まで上昇させ、この位置でプローブカードを着脱した後、プローブカード搬送装置１０の昇降機構１８を介して移送機構１７のアーム１７Ｄをアップ位置からダウン位置まで下降させ、更に上記プローブカード搬送装置１０の移送機構１７をプローブ装置２０から退避させた後、連結機構１３と被連結具２２の連結を解除するだけで、プローブカード２１を半自動的に交換することができ、しかもプローブカード２１が大型化、重量化してもオペレータに負担を掛けることなくプローブカード搬送装置１０を介して目標のプローブ装置２０まで安全且つ簡単に搬送することができる。また、プローブカード搬送装置１０が複数のプローブ装置１０において共用できるプローブカード搬送機構１１を具備しているため、従来のプローブ装置２０に装備されたプローブカード搬送機構を省略してクリーンルームにおけるフットプリントを削減することができ、ひいてはプローブ装置２０自体のコスト低減を図ることができる。
【００２８】
また、本実施形態によれば、連結機構１３は、プローブ装置２０の被連結具２２と係合する係合具１３Ａと、これら両者２２、１３Ａを連結する連結具１３Ｂとを有するため、プローブカード２１の着脱時にプローブカード搬送装置１０とプローブ装置２０とを常に一定の位置関係を持って連結することができ、プローブカード２１を確実に行うことができる。また、連結具１３Ｂを被連結具２２から解除するペダルを駆体１２に設けたため、ペダル操作をするだけでプローブカード搬送装置１０をプローブ装置２０から簡単に切り離すことができる。更に、プローブカード２１の存否を確認するセンサを駆体１２に設けたため、プローブカード２１の着脱ミスを確実に防止することができる。
【００２９】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではない。例えば、プローブカード搬送機構１１は必要に応じて半自動から更に自動化あるいは手動化を進めることができる。また、上記実施形態のプローブカード搬送装置１０に設けられた複数のセンサについては図示してないが、これらのセンサとしては例えば従来公知の光学センサを用いることができる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明の請求項１〜請求項５に記載の発明によれば、プローブカードを搬送することができるプローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプローブカード搬送装置の一実施形態を示す図で、（ａ）はプローブカード搬送装置とプローブ装置が連結する直前の状態を示す動作説明図、（ｂ）はプローブカード搬送装置のプローブカード搬送機構をプローブ装置内へ挿入した状態を示す動作説明図である。
【図２】図１に示すプローブカード搬送装置の連結機構をマスター治具に倣って取り付け調整する状態を示す側面図である。
【図３】図１に示すプローブカード搬送装置を用いてプローブ装置の被連結具の位置調整を説明するための動作説明図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図４】プローブ装置の被連結具をプローブカード搬送装置の連結機構に倣って位置調整した後、連結機構を被連結具に連結する直前の状態を示す図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
その側面図である。
【図５】プローブ装置の被連結具とプローブカード搬送装置の連結機構が連結した状態を示す図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図６】プローブカード搬送装置の連結機構を用いてプローブ装置の被連結具の取付位置を調整する状態を示す動作説明図で、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【符号の説明】
１０ プローブカード搬送装置
１１ プローブカード搬送機構
１２ 駆体
１３ 連結機構
１３Ａ 係合具
１３Ｂ 連結具
１７ 移送機構
１８ 昇降機構
２０ プローブ装置
２１ プローブカード
２２ 被連結具
【図１】
0004798595.tif 000002
【図２】
0004798595.tif 000003
【図３】
0004798595.tif 000004
【図４】
0004798595.tif 000005
【図５】
0004798595.tif 000006
【図６】
0004798595.tif 000007