(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着槽と、この蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に設けた移動手段と、該移動手段へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムを載置させた吊持体と、前記移動手段の前記回転軸を通る略垂直中心線上において、前記吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体とを備えさせ、
前記電子ビーム体は、前記蒸発物質が載置された受体を有し、
前記プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、前記移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度であって、前記電子ビーム体による前記蒸着物質の付着が行われる位置において、前記頂角側が前記受体に臨むように前記吊持体に取り付けられたことを特徴とするプリズム面の蒸着装置。
【請求項２】
蒸着槽と、この蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に設けた移動手段と、該移動手段へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムを載置させた吊持体と、前記移動手段の前記回転軸を通る略垂直中心線上において、前記吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体とを備えさせ、
前記プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、前記移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度となるように前記吊持体に取り付けられたプリズム面の蒸着装置にあって、
前記プリズムの二つの等辺における表面に対して、移動手段により該移動手段の頂上部に前記プリズムが位置する工程において、前記垂直中心線に至る手前側の工程で前記プリズムの二つの等辺における前側辺の表面に前記蒸発物質を蒸着させ、前記垂直中心線を越えた後側の工程で前記プリズムの二つの等辺における後側辺の表面に前記蒸発物質を蒸着させたことを特徴とするプリズム面の蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、効率がよくかつ高品質に加工処理を行うことができるプリズム面の蒸着装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光の方向を変更させる等に用いられているプリズムは、その二つの等辺面に対して反射防止コート（ＡＲコート）が真空蒸着法により施されている。
このプリズム面に対する蒸着処理にあっては、プリズム６０における二つの等辺面６１，６２に対して、まず、図１０（ａ）に示すように、一方の等辺面６１を電子ビーム６３に対して平行となるように図示してない治具により取り付けて反射防止コート６４の蒸着を行い、この蒸着が終わった後、更に、図１０（ｂ）に示すように、他方の等辺面６１を電子ビーム６３に対して平行となるように、図示してない治具へ付け替えて、再び、同様に、反射防止コート６４の蒸着を行っていた。
【０００３】
しかしながら、この方法による蒸着では、プリズム６０における二つの等辺面６１，６２に対して、プリズム６０の取り付け，取り外し，蒸着が二工程を必要として作業が複雑となると共に、その作業性が大幅に低下し、しかも、一面ずつの蒸着は、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、蒸着面の側縁部に蒸着物質の回り込み６５を生じて、この不要な蒸着物質を後工程で取り除く作業が必要となり、一層作業効率を低下させるものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記した問題点を解決するためになされたもので、蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に移動手段を設け、該移動手段へ間隔的に吊持体を多数個を取り付けてこの吊持体に一個または複数個のプリズムを載置させ、移動手段の回転軸を通る略垂直中心線上において、吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体を設けてなり、プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度となるように吊持体に取り付けられることにより、プリズム面への蒸着処理を、効率がよくかつ高品質に行うことができるプリズム面の蒸着装置およびその方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するための本発明の手段は、
蒸着槽と、この蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に設けた移動手段と、該移動手段へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムを載置させた吊持体と、前記移動手段の前記回転軸を通る略垂直中心線上において、前記吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体とを備えさせ、
前記電子ビーム体は、前記蒸発物質が載置された受体を有し、
前記プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、前記移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度であって、前記電子ビーム体による前記蒸着物質の付着が行われる位置において、前記頂角側が前記受体に臨むように前記吊持体に取り付けられたプリズム面の蒸着装置の構成にある。
【０００６】
そして、
蒸着槽と、この蒸着槽内へその回転軸を水平方向へ取り付けて回転自在に設けた移動手段と、該移動手段へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムを載置させた吊持体と、前記移動手段の前記回転軸を通る略垂直中心線上において、前記吊持体のプリズム面に対して蒸発物質を付着させる電子ビーム体とを備えさせ、
前記プリズムは、その断面二等辺三角形における二つの等辺側が、前記移動手段における垂直中心線上において、該二つの等辺の頂角を挟んで相対的な略同一角度となるように前記吊持体に取り付けられたプリズム面の蒸着装置にあって、前記プリズムの二つの等辺における表面に対して、移動手段により該移動手段の頂上部に前記プリズムが位置する工程において、前記垂直中心線に至る手前側の工程で前記プリズムの二つの等辺における前側辺の表面に前記蒸発物質を蒸着させ、前記垂直中心線を越えた後側の工程で前記プリズムの二つの等辺における後側辺の表面に前記蒸発物質を蒸着させたプリズム面の蒸着方法にある。
【０００７】
【実施例】
次に本発明に関するプリズム面の蒸着装置およびその方法の一実施例を図面に基づいて説明する。
図１〜図２および図８〜図９においてＡはプリズム面の蒸着装置で、図３に示すように、プリズム面ｂにおける断面二等辺三角形における二つの等辺ｂ１，ｂ２へ反射防止膜ｃ１，ｃ２の蒸着処理を施すものであり、蒸着槽１と、移動手段２と、吊持体３と、電子ビーム体４とにより基本的に構成される。
【０００８】
そして、前記した蒸着槽１は、内部を密封の真空状態に維持させて、その一側部に真空排気口５を設けてある。
【０００９】
前記した移動手段２は、蒸着槽１内へその回転軸６を水平方向へ取り付け、垂直方向へ回転手段ｇにより回転自在に設けてあって、この回転軸６の一端部に回転体７を垂直に固着してある。
更に、この回転体７の外周部に、間隔的に複数本の支持部材８，８…を片持ち状態で、かつ、略水平に突設してある。
【００１０】
前記した吊持体３は、移動手段２における支持部材８へ間隔的に多数個を取り付けて一個または複数個のプリズムｂを載置させてある。
該吊持体３は、支持部材８へ回動自在に取り付けてあるもので、その底部３ａは吊持体３の自重により、移動手段２により円運動しても回動し、常に下部に位置するように設けられることで、載置されたプリズムｂのその載置位置が変化しない。
【００１１】
このプリズムｂの載置にあっては、該プリズムｂは、図４において一部を拡大して示すように、その断面二等辺三角形における二つの等辺ｂ１，ｂ２側が、移動手段２における垂直中心線Ｘ−Ｘ線上において、該二つの等辺ｂ１，ｂ２の頂角（９０゜）θを挟んで相対的な略同一角度α，αとなるように吊持体３に取り付けられている。
【００１２】
この吊持体３は、例えば、図４および図５に示すように、該吊持体３の両側部において、プリズムｂにおける二つの等辺ｂ１，ｂ２の頂角θが係止する９０゜のＶ溝９を、該プリズムｂの幅間隔が納まり得る寸法で複数箇所に刻設してあって、更に、プリズムｂの上部において二つの等辺ｂ１，ｂ２に当接するように、係止体１０，１０を付設してある。
これにより、プリズムｂの頂角θを下にして各Ｖ溝９へ並べて載置し、その最側部プリズムｂ，ｂの等辺ｂ１，ｂ２を係止体１０，１０により支持すれば、複数のプリズムｂは安定的に吊持体３に支持されるもので、該Ｖ溝９および吊持体３のプリズムｂへの当接位置はわずかであるため、蒸発物質１１の蒸着にあって邪魔にならない。
【００１３】
前記した電子ビーム体４は、蒸着槽１内に設けて、移動手段２の回転軸６を通る垂直中心線Ｘ−Ｘ線上またはこの垂直中心線Ｘ−Ｘ線の前後近傍において、吊持体３に載置されたプリズムｂ面に対して蒸発物質１１を付着させるもので、受体１２に設けた金属や誘電体等の蒸発物質１１を載置してあって、その近傍に設けた電子銃１３から照射される電子線により加熱され、この受体１２の蒸発物質１１が蒸発する。
また、受体１２は、回転部材１４により略水平方向に回転自在とすることもできる。
【００１４】
なお、図１および図２において１５は、蒸着槽１の上部に設けて、蒸着されるプリズムｂを加熱するヒータである。
【００１５】
したがって、前記のように構成される本発明実施例のプリズム面の蒸着装置Ａおよびその方法は、以下に述べる作用を奏する。
まず、保持体３へ、プリズムｂの頂角θを下にして該保持体３の各Ｖ溝９へ並べ、その最側部プリズムｂ，ｂの等辺ｂ１，ｂ２を係止体１０，１０により支持すれば、複数のプリズムｂは、図４および図５に示すように、安定的に吊持体３に支持される。
また、この吊持体３を、移動手段２における回転体７の支持部材８へ回動自在に取り付ける。
【００１６】
この状態で、蒸発槽１内を密封して該内部を所定の真空度に維持させた後、移動手段２を回転手段ｇにより駆動して所定速度で連続的または間欠的に回転し、電子ビーム体４を作動させれば、受体１２に設けた蒸発物質１１が、電子銃１３から照射される電子線により加熱され、該受体１２の蒸発物質１１が蒸発して、図１および図２に示すように、上方へ向かって照射される。
【００１７】
そのため、移動手段２により移動して、該移動手段２の頂上部にプリズムｂが位置する工程において、移動手段２の回転軸６を通る垂直中心線Ｘ−Ｘ線に至る手前側の工程で、すなわち、図１および図６において示すｎ区域において、プリズムｂの二つの等辺ｂ１，ｂ２における前側辺ｂ１の表面に蒸発物質１１が照射され、該前側辺ｂ１に対して反射防止膜ｃ１の蒸着処理がなされる。
このとき、プリズムｂの二つの等辺ｂ１，ｂ２における後側辺ｂ２には、照射された蒸発物質１１はほとんど当たらないのであまり蒸着しない。
【００１８】
更に、移動手段２の回転移動に伴って、該移動手段２の頂上部にプリズムｂが位置する工程において、移動手段２の回転軸６を通る垂直中心線Ｘ−Ｘ線を越えた後側の工程では、すなわち、図１および図７において示すｍ区域において、プリズムｂの二つの等辺ｂ１，ｂ２における後側辺ｂ２の表面に蒸発物質１１が照射され、該後側辺ｂ２に対して反射防止膜ｃ２の蒸着処理がなされる。
このとき、プリズムｂの二つの等辺ｂ１，ｂ２における前側辺ｂ１には、照射された蒸発物質１１はほとんど当たらないのであまり蒸着処理はなされない。
【００１９】
したがって、このプリズムｂの前側辺ｂ１および後側辺ｂ２の蒸発物質１１の蒸着処理は、移動手段２の頂上部にプリズムｂが位置する工程において、該プリズムｂを保持体３に対して付け替えを行うことなく連続した操作により行える。
【００２０】
図８および図９において示すプリズム面の蒸着装置Ａは、移動手段２の他の例を示すもので、他の構成は前記した実施例と同様に構成されるものであって、この例にあっては、蒸着槽１内において水平に横架させた回転軸６の内端部に回転体７を垂直に固着し、この回転体７の外周部に、間隔的に複数本の支持部材８，８…を片持ち状態で、かつ、略水平に突設してある。
そして、この支持部材８へプリズムｂの吊持体３を取り付けてある。
【００２１】
また、支持部材８，８…の外端部には蒸着槽１等に対して回転軸６と同心円状に固着した固定鎖車２０へチェーン等の連係部材２１を掛け渡した回動鎖車２２をそれぞれ取り付けてある。
これにより、回転体７の回転に伴って吊持角度が変化する吊持体３の保持状態を常に略水平状態に維持させることができて、この吊持体３に載置したプリズムｂにおける二つの等辺ｂ１，ｂ２面に対して、確実かつ均一に蒸発物質１１を蒸着させることができる。
【００２２】
【発明の効果】
前述のように構成される本発明は、プリズムにおける二つの等辺面に対して、一度の照射工程で両面へ、確実かつ均一に蒸発物質を蒸着させることができるので、その作業性が大幅に向上する。
また、一度の照射工程で両面へ蒸着させるため、従来のように被膜が他の辺の面へ回り込む不都合がなくなって高品質の成膜がなされる。等格別な効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に関するプリズム面の蒸着方法を採用したプリズム面の蒸着装置の一実施例を示す縦断正面図である。
【図２】図１におけるプリズム面の蒸着装置を示す縦断側面図である。
【図３】図１におけるプリズム面の蒸着装置に使用するプリズムを示す斜視図である。
【図４】図１におけるプリズム面の蒸着装置におけるプリズムの載置状態を示す正面図である。
【図５】図４におけるプリズムの載置状態を示す側面図である。
【図６】本発明に関するプリズム面の蒸着方法の実施例を示す垂直中心線に至る手前側工程の説明図である。
【図７】本発明に関するプリズム面の蒸着方法の実施例を示す垂直中心線後側工程の説明図である。
【図８】図１におけるプリズム面の蒸着装置の移動手段の他の例を示す縦断正面図である。
【図９】図８におけるプリズム面の蒸着装置の要部を示す縦断側面図である。
【図１０】従来のプリズム面の蒸着各工程を示す説明図である。
【符号の説明】
ｂ        プリズム
ｂ１，ｂ２  二つの等辺
Ｘ−Ｘ    垂直中心線
θ        頂角
１        蒸着槽
２        移動手段
３        吊持体
４        電子ビーム体
６        回転軸
１１      蒸発物質
【図１】
0004721555.tif 000002
【図２】
0004721555.tif 000003
【図３】
0004721555.tif 000004
【図４】
0004721555.tif 000005
【図５】
0004721555.tif 000006
【図６】
0004721555.tif 000007
【図７】
0004721555.tif 000008
【図８】
0004721555.tif 000009
【図９】
0004721555.tif 000010
【図１０】
0004721555.tif 000011