(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられていることを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項２】
キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前記仮想支点を中心として前方部及び後方部に円弧部が形成され、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの円弧部に対応した部分に前方及び後方カムが支軸によって揺動自在に設けられ、前方及び後方カムは前記支軸を中心として前記ホーンホルダの円弧部に接するように円弧部が形成されていることを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項３】
前記ホーンホルダの前方部及び後方部の円弧部と、前記前方及び後方カムの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする請求項２記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項４】
キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前記仮想支点を中心として前方部及び後方部に円弧部が形成され、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記円弧部より一定距離離れて円弧部が形成され、前記円弧部間には円柱が配設され、ホーンホルダの円弧部と円柱及び円柱とボンディングヘッドの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項５】
キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前方部及び後方部に支軸を中心とした円弧部が形成された前方及び後方カムが前記支軸によって揺動自在に設けられ、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記前方及び後方カムの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記前方及び後方カムに接するように円弧部が形成されていることを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項６】
前記前方及び後方カムの円弧部と前記ボンディングヘッドの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする請求項５記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項７】
キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記仮想支点の上部にボンディングヘッドのカム支持部が設けられ、このカム支持部には、支軸を介して該支軸を中心とした円弧部が形成された前方及び後方カムが前記支軸によって揺動自在に設けられ、前記ホーンホルダには、前記前方及び後方カムの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記前方及び後方カムに接するように円弧部が形成され、前記支軸の上部に前記ホーンホルダを配設したことを特徴とするホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項８】
前記前方及び後方カムの円弧部と前記ホーンホルダの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする請求項７記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項９】
前記駆動手段は、モータ固定子と可動子間に吸引力を持つモータであり、一方が前記ホーンホルダ又は該ホーンホルダと共に揺動する部材に固定され、他方がＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドに固定されていることを特徴とする請求項２、４及び５記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項１０】
前記駆動手段は、モータ固定子と可動子間に吸引力を持たないモータであり、一方が前記ホーンホルダに固定され、他方がＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドに固定されていることを特徴とする請求項７記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【請求項１１】
前記モータ固定子と可動子の対向面は、それぞれ仮想中心を中心とした円弧状に形成されていることを特徴とする請求項９及び１０記載のホーンホルダ揺動型ボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボンディング時におけるホーンホルダの仮想支点がボンディング面上に固定可能であるホーンホルダ揺動型ボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、ボンディングヘッドをワーク平面よりも高い位置に維持できるようにして、ボンディングエリアが広い場合にも超音波ホーン及びホーンホルダを長くしなくて済むようにし、以て超音波ホーン及びホーンホルダのイナーシャの増大を抑制して高速化動作を可能としたものとして、例えば特許文献１及び２が挙げられる。
【特許文献１】特開２００３−３４７３４９号公報
【特許文献２】特開２００５−２３６１０４号公報
【０００３】
特許文献１は、先端部にキャピラリが取付けられた超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持するホーンホルダと、このホーンホルダを駆動させるために該ホーンホルダの後端部に設けられた駆動モータと、前記ホーンホルダの両側に設けられた支持部を支持する円弧状の窓構造を形成したボンディングヘッドとを備えている。前記窓の円弧の中心は、ボンディング面の平面上に設けられており、ホーンホルダの支持部は、ボンディングヘッドの円弧状の窓に円弧形状に沿って移動する。
【０００４】
特許文献２は、ホーンホルダの回転中心を中心として回転する円弧状の回転モータの回転軸部をホーンホルダの両側にそれぞれ固定し、前記回転中心を中心として回転する円弧状の軸受の回転軸部を回転モータの回転軸部と一体的に回転モータの外側に回転可能に設けられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１は、超音波ホーン及びホーンホルダの長さを短くできるので、慣性モーメントを小さくできる特徴を有する。しかし、ホーンホルダの回転中心から離れた該ホーンホルダの後端部に駆動モータが設けられているので、慣性モーメントの低減化には限度があった。
【０００６】
特許文献２は、回転モータがホーンホルダの両側に設けられているので、慣性モーメントの更なる低減化が図れる。しかし、ホーンホルダの両側に回転モータを有し、またその外側に軸受を有するので、大型化する。
【０００７】
また特許文献１及び２は、ホーンホルダの軸心方向と直角な水平方向（以下、Ｘ軸方向という）における加速に対する剛性に関しては何ら配慮されていない。
【０００８】
本発明の第１の課題は、慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れるホーンホルダ揺動型ボンディング装置を提供することにある。
【０００９】
本発明の第２の課題は、Ｘ軸方向加速に対する剛性を有するホーンホルダ揺動型ボンディング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項１は、キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項２は、キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前記仮想支点を中心として前方部及び後方部に円弧部が形成され、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの円弧部に対応した部分に前方及び後方カムが支軸によって揺動自在に設けられ、前方及び後方カムは前記支軸を中心として前記ホーンホルダの円弧部に接するように円弧部が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項３は、上記請求項２において、前記ホーンホルダの前方部及び後方部の円弧部と、前記前方及び後方カムの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする。
【００１３】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項４は、キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前記仮想支点を中心として前方部及び後方部に円弧部が形成され、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記ホーンホルダの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記円弧部より一定距離離れて円弧部が形成され、前記円弧部間には円柱が配設され、ホーンホルダの円弧部と円柱及び円柱とボンディングヘッドの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする。
【００１４】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項５は、キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記ホーンホルダには、前方部及び後方部に支軸を中心とした円弧部が形成された前方及び後方カムが前記支軸によって揺動自在に設けられ、ＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドには、前記前方及び後方カムの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記前方及び後方カムに接するように円弧部が形成されていることを特徴とする。
【００１５】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項６は、上記請求項５において、前記前方及び後方カムの円弧部と前記ボンディングヘッドの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする。
【００１６】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項７は、キャピラリを一端に保持した超音波ホーンと、この超音波ホーンを保持したホーンホルダと、このホーンホルダを揺動駆動させる駆動手段とを備え、前記ホーンホルダがボンディング面上に固定した仮想支点を中心として揺動するホーンホルダ揺動型ボンディング装置において、前記駆動手段は、前記ホーンホルダのほぼ中央上方部又は前記ホーンホルダの後方側の上方部に設けられ、前記仮想支点の上部にボンディングヘッドのカム支持部が設けられ、このカム支持部には、支軸を介して該支軸を中心とした円弧部が形成された前方及び後方カムが前記支軸によって揺動自在に設けられ、前記ホーンホルダには、前記前方及び後方カムの円弧部に対応した部分に前記仮想支点を中心として前記前方及び後方カムに接するように円弧部が形成され、前記支軸の上部に前記ホーンホルダを配設したことを特徴とする。
【００１７】
上記第１及び第２の課題を解決するための本発明の請求項８は、上記請求項７において、前記前方及び後方カムの円弧部と前記ホーンホルダの円弧部とは、クロス板ばねで連結されていることを特徴とする。
【００１８】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項９は、上記請求項２、４及び５において、前記駆動手段は、モータ固定子と可動子間に吸引力を持つモータであり、一方が前記ホーンホルダ又は該ホーンホルダと共に揺動する部材に固定され、他方がＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドに固定されていることを特徴とする。
【００１９】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項１０は、上記請求項７において、前記駆動手段は、モータ固定子と可動子間に吸引力を持たないモータであり、一方が前記ホーンホルダに固定され、他方がＸＹ軸方向に駆動されるボンディングヘッドに固定されていることを特徴とする。
【００２０】
上記第１の課題を解決するための本発明の請求項１１は、上記請求項９及び１０において、前記モータ固定子と可動子の対向面は、それぞれ仮想中心を中心とした円弧状に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１によれば、モータはホーンホルダのほぼ中央上方部又はホーンホルダの後方側の上方部に設けられているので、キャピラリの上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。請求項３によれば、ホーンホルダと前方及び後方カムとは、クロス板ばねによって結合されている。従って、クロス板ばねによりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。請求項４、６及び８によっても同様の効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第１の実施の形態を図１により説明する。超音波ホーン１の端部にはキャピラリ２が固定されており、キャピラリ２には図示しないワイヤスプールに巻回されたワイヤ３が挿通されている。超音波ホーン１はホーンホルダ４に保持されており、ホーンホルダ４には、ボンディング面５上の固定の仮想支点６を中心として前方部及び後方部に円弧部４ａ、４ｂが形成されている。ここで、キャピラリ２がボンディング面５に接触した時には、キャピラリ２の中心軸は垂直になるようになっている。
【００２３】
ホーンホルダ４の円弧部４ａと４ｂ間には、モータ１０の可動子１１が固定されており、モータ１０のモータ固定子１２はボンディングヘッド１３に固定されている。ここで、モータ１０は、可動子１１とモータ固定子１２間に吸引力を持つモータであり、可動子１１とモータ固定子１２の対向面は、それぞれ仮想支点６を中心とした円弧状に形成されている。なお、図示しないが、ボンディングヘッド１３は、上面がＸＹ軸方向に駆動されるＸＹテーブルに固定されており、ＸＹテーブルはボンディング装置の架台に固定されている。
【００２４】
ボンディングヘッド１３には、ホーンホルダ４の円弧部４ａ、４ｂに対応した部分に円弧部２０ａ、２１ａが形成された前方及び後方カム２０、２１が周知の構造よりなるクロス板ばね（十字板ばねとも言う）２２、２３によって揺動自在に支持されている。ホーンホルダ４の円弧部４ａ、４ｂと前方及び後方カム２０、２１の円弧部２０ａ、２１ａとは、該円弧部４ａ、２０ａと４ｂ、２１ａに沿って配設されたクロス板ばね２４、２５によって結合されている。即ち、クロス板ばね２４は、一端がホーンホルダ４の上方部に固定され、他端が前方及び後方カム２０、２１の下方部に固定され、クロス板ばね２５は、一端が前方及び後方カム２０、２１の上方部に固定され、他端がホーンホルダ４の下方部に固定されている。ここで、仮想支点６とクロス板ばね２２、２３の支軸２２ａ、２３ａとを結ぶ線上にクロス板ばね２４、２５のクロス部２６ａ、２６ｂが存在するように前方及び後方カム２０、２１はボンディングヘッド１３に設けられている。
【００２５】
そこで、ボンディング装置の停止中（オフ時）には、可動子１１はモータ１０の吸引力でモータ固定子１２に常時吸引され、ホーンホルダ４はクロス板ばね２４、２５を介して前方及び後方カム２０、２１に圧接されて保持されている。
【００２６】
ボンディング装置の動作中（オン時）でキャピラリ２を上下動させるためにモータ１０に駆動電流が供給されると、モータ１０の可動子１１と共にホーンホルダ４が仮想支点６を中心として揺動する。この場合、前方及び後方カム２０、２１はクロス板ばね２２、２３の支軸２２ａ、２３ａを中心として揺動可能に設けられているので、クロス板ばね２４、２５を介してホーンホルダ４と前方及び後方カム２０、２１が円弧部４ａ、２０ａと４ｂ、２１ａに沿って転がり接触しながらホーンホルダ４は揺動する。これにより、キャピラリ２は上下動させられ、キャピラリ２に挿通されたワイヤ３がワークにボンディングされる。
【００２７】
このように、モータ１０はホーンホルダ４のほぼ中央上方部の仮想支点６に近い位置に設けられているので、キャピラリ２の上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。またホーンホルダ４と前方及び後方カム２０、２１とは、クロス板ばね２４、２５によって結合されている。従って、クロス板ばね２４、２５によりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。
【００２８】
本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第２の実施の形態を図２により説明する。なお、前記実施の形態と同じ又は相当部材及び部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。前記実施の形態は、可動子１１とモータ固定子１２間に吸引力を持つモータ１０の可動子１１をホーンホルダ４に固定した。本実施の形態は、可動子１１を後方カム２１に固定した。またモータ１０の可動子１１とモータ固定子１２の対向面は、それぞれクロス板ばね２３の支軸２３ａを中心とした円弧状に形成されている。ところで、本実施の形態においては、モータ１０が後方カム２１の上方部に配設されている。そこで、ホーンホルダ４を上方に固定する力が弱くなるため、ホーンホルダ４のほぼ中央部に対応したボンディングヘッド１３の部分に磁石２７が固定されている。あるいは、磁石２７の代わりに円弧部２０ａ、２１ａに吸引力を持たせても良い。
【００２９】
本実施の形態においても、モータ１０に駆動電流が供給されると、ホーンホルダ４は仮想支点６を中心として揺動し、キャピラリ２が上昇する。またモータ１０は後方カム２１の上方部でホーンホルダ４の上方に設けられているので、前記実施の形態と同様に、キャピラリ２の上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。またホーンホルダ４と前方及び後方カム２０、２１とは、クロス板ばね２４、２５によって結合されている。従って、クロス板ばね２４、２５によりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。
【００３０】
本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第３の実施の形態を図３により説明する。本実施の形態は、前記第１の実施の形態（図１）と同様に、可動子１１とモータ固定子１２間に吸引力を持つモータ１０の可動子１１はホーンホルダ４のほぼ中央の上端に固定されている。しかし、本実施の形態は、ホーンホルダ４とボンディングヘッド１３との結合関係が異なるが、ホーンホルダ４には仮想支点６を中心として前方部及び後方部に円弧部４ａ、４ｂが形成されていることは前記実施の形態と同じである。
【００３１】
本実施の形態においては、ボンディングヘッド１３には、ホーンホルダ４の円弧部４ａ、４ｂに対応した部分に仮想支点６を中心として円弧部４ａ、４ｂより一定距離離れて円弧部１３ａ、１３ｂが形成され、円弧部４ａと１３ａ間及び４ｂと１３ｂ間には円柱３０、３１が配設されている。そして、ホーンホルダ４の円弧部４ａ、４ｂと円柱３０、３１及び円柱３０、３１とボンディングヘッド１３の円弧部１３ａ、１３ｂにそれぞれクロス部３２ａ、３２ｂ及び３３ａ、３３ｂを形成するようにクロス板ばね３４、３５が設けられている。クロス板ばね３４は、一端が円弧部４ａ、４ｂの上方部に固定され、他端が円柱３０、３１に沿って配設されてボンディングヘッド１３の円弧部１３ａ、１３ｂの上方部に固定されている。クロス板ばね３５は、一端が円弧部４ａ、４ｂの下方部に固定され、他端が円弧部１３ａ、１３ｂに沿って配設されてボンディングヘッド１３の円弧部１３ａ、１３ｂの下方部に固定されている。またクロス部３３ａと３２ａ及び３３ｂと３２ｂを結ぶ線の延長線の交点は、仮想支点６となっている。
【００３２】
本実施の形態においても、前記第１の実施の形態（図１）と同様に、可動子１１はモータ１０の吸引力でモータ固定子１２に常時吸引され、ホーンホルダ４はクロス板ばね３４、３５及び円柱３０、３１を介してボンディングヘッド１３に保持される。
【００３３】
ボンディング装置の動作中（オン時）でキャピラリ２を上下動させるためにモータ１０に駆動電流が供給されると、モータ１０の可動子１１と共にホーンホルダ４が仮想支点６を中心として揺動する。この場合、円柱３０、３１はクロス板ばね３４、３５を介してホーンホルダ４の円弧部４ａ、４ｂ及びボンディングヘッド１３の円弧部１３ａ、１３ｂに沿って転がり接触しながらホーンホルダ４は揺動する。
【００３４】
このように、本実施の形態においても前記第１の実施の形態（図１）と同様に、モータ１０はホーンホルダ４のほぼ中央上方部の仮想支点６に近い位置に設けられているので、キャピラリ２の上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。またホーンホルダ４とボンディングヘッド１３は、円柱３０、３１及びクロス板ばね３４、３５によって結合されている。従って、クロス板ばね３４、３５によりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。
【００３５】
本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第４の実施の形態を図４により説明する。本実施の形態は、前記第１の実施の形態（図１）における前方及び後方カム２０、２１とホーンホルダ４及びボンディングヘッド１３との関係が逆構成となっている。即ち、ホーンホルダ４には前方部及び後方部にクロス板ばね２２、２３を介して前方及び後方カム２０、２１が揺動自在に支持されている。前方及び後方カム２０、２１は、支軸２２ａ、２３ａを中心とした円弧部２０ａ、２１ａが形成されている。ボンディングヘッド１３には、前方及び後方カム２０、２１に対応した部分に仮想支点６を中心として円弧部１３ｃ、１３ｄが形成されている。
【００３６】
前方及び後方カム２０、２１の円弧部２０ａ、２１ａとボンディングヘッド１３の円弧部１３ｃ、１３ｄとは、これらの円弧部２０ａ、１３ｃと２１ａ、１３ｄに沿って配設されたクロス板ばね２４、２５によって結合されている。即ち、クロス板ばね２４は、一端がボンディングヘッド１３の上方部に固定され、他端が前方及び後方カム２０、２１の下方部に固定され、クロス板ばね２５は、一端が前方及び後方カム２０、２１の上方部に固定され、他端がボンディングヘッド１３の下方部に固定されている。ここで、仮想支点６とクロス板ばね２２、２３の支軸２２ａ、２３ａとを結ぶ線上にクロス板ばね２４、２５のクロス部２６ａ、２６ｂが存在するように前方及び後方カム２０、２１はホーンホルダ４に設けられている。
【００３７】
そこで、可動子１１はモータ１０の吸引力でモータ固定子１２に常時吸引され、ホーンホルダ４はクロス板ばね２２、２３によって支持された前方及び後方カム２０、２１がクロス板ばね２４、２５を介してボンディングヘッド１３に圧接されて保持されている。
【００３８】
ボンディング装置の動作中（オン時）でキャピラリ２を上下動させるためにモータ１０に駆動電流が供給されると、モータ１０の可動子１１と共にホーンホルダ４が仮想支点６を中心として揺動する。この場合、前方及び後方カム２０、２１はクロス板ばね２２、２３の支軸２２ａ、２３ａを中心として揺動可能に設けられているので、ホーンホルダ４はクロス板ばね２４、２５が前方及び後方カム２０、２１の円弧部２０ａ、２１ａとボンディングヘッド１３の円弧部１３ｃ、１３ｄに沿って転がり接触しながらホーンホルダ４は揺動する。これにより、キャピラリ２は上下動させられ、キャピラリ２に挿通されたワイヤ３がワークにボンディングされる。
【００３９】
従って、本実施の形態においても前記第１の実施の形態と同様の効果が得られる。即ち、モータ１０はホーンホルダ４のほぼ中央上方部の仮想支点６に近い位置に設けられているので、キャピラリ２の上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。またホーンホルダ４にクロス板ばね２２、２３を介して取付けられた前方及び後方カム２０、２１は、クロス板ばね２４、２５によってボンディングヘッド１３に結合されている。従って、クロス板ばね２４、２５によりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。
【００４０】
本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第５の実施の形態を図５により説明する。前記各実施の形態は、ホーンホルダ４の前方及び後方の上方部がボンディングヘッド１３に支持されている。本実施の形態は、ホーンホルダ４を支持するボンディングヘッド１３のホーンホルダ支持部１３ｅが仮想支点６の上方部に設けられている。そこで、モータ１０は、固定子と可動子間に吸引力を持たないモータであり、ホーンホルダ４のほぼ中央にはモータ１０の可動子１１が固定され、モータ固定子１２がボンディングヘッド１３に固定されている。
【００４１】
ホーンホルダ支持部１３ｅには、前方部及び後方部に支軸２２ａ、２３ａを介して前方及び後方カム２０、２１が揺動自在に支持されている。前方及び後方カム２０、２１は、支軸２２ａ、２３ａを中心とした円弧部２０ａ、２１ａが形成されている。ホーンホルダ４には、前方及び後方カム２０、２１に対応した部分に仮想支点６を中心として円弧部４ｃ、４ｄが形成されている。
【００４２】
前方及び後方カム２０、２１の円弧部２０ａ、２１ａとホーンホルダ４の円弧部４ｃ、４ｄとは、これらの円弧部２０ａ、４ｃと２１ａ、４ｄに沿って配設されたクロス板ばね４０、４１によって結合されている。即ち、クロス板ばね４０は、一端がホーンホルダ４の上方部に固定され、他端が前方及び後方カム２０、２１の下方部に固定され、クロス板ばね４１は、一端が前方及び後方カム２０、２１の上方部に固定され、他端がホーンホルダ４の下方部に固定されている。ここで、仮想支点６と支軸２２ａ、２３ａとを結ぶ線上にクロス板ばね４０、４１のクロス部４２ａ、４２ｂが存在するように前方及び後方カム２０、２１はボンディングヘッド１３のホーンホルダ支持部１３ｅに設けられている。
【００４３】
そこで、ボンディング装置の動作中（オン時）でキャピラリ２を上下動させるためにモータ１０に駆動電流が供給されると、モータ１０の可動子１１と共にホーンホルダ４が仮想支点６を中心として揺動する。この場合、前方及び後方カム２０、２１は支軸２２ａ、２３ａを中心として揺動可能に設けられているので、ホーンホルダ４は、クロス板ばね４０、４１が前方及び後方カム２０、２１の円弧部２０ａ、２１ａとホーンホルダ４の円弧部４ｃ、４ｄに沿って転がり接触しながらホーンホルダ４は揺動する。これにより、キャピラリ２は上下動させられ、キャピラリ２に挿通されたワイヤ３がワークにボンディングされる。
【００４４】
このように、モータ１０はホーンホルダ４のほぼ中央上方部の仮想支点６に近い位置に設けられているので、キャピラリ２の上下駆動時における慣性モーメントの低減化が図れると共に、装置の小型化が図れる。またホーンホルダ４とボンディングヘッド１３とは、クロス板ばね４０、４１によって結合されている。従って、クロス板ばね４０、４１によりＸ軸方向加速に対して剛性を有する。
【００４５】
なお、上記第１、第２及び第４の実施の形態（図１、図２及び図４）においては、クロス板ばね２４、２５を設けたが、ホーンホルダ４はモータ１０の吸引力によって前方及び後方カム２０、２１に圧接されるので、クロス板ばね２４、２５は設けなくてもよい。しかし、上記第１、第２及び第４の実施の形態のようにクロス板ばね２４、２５を設けると、Ｘ軸方向加速に対して剛性を有するので好ましい。また前方及び後方カム２０、２１をクロス板ばね２２、２３を介してボンディングヘッド１３に取付けたが、前方及び後方カム２０、２１自体をピン等よりなる支軸を介して取付けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第１の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はホーンホルダとボンディングヘッドとの関係部分の拡大図である。
【図２】本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第２の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はホーンホルダとボンディングヘッドとの関係部分の拡大図である。
【図３】本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第３の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はホーンホルダとボンディングヘッドとの関係部分の拡大図である。
【図４】本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第４の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はホーンホルダとボンディングヘッドとの関係部分の拡大図である。
【図５】本発明のホーンホルダ揺動型ボンディング装置の第５の実施の形態を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）はホーンホルダとボンディングヘッドとの関係部分の拡大図、（ｃ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    超音波ホーン
２    キャピラリ
３    ワイヤ
４    ホーンホルダ
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ    円弧部
５    ボンディング面
６    仮想支点
１０    モータ
１１    可動子
１２    モータ固定子
１３    ボンディングヘッド
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ    円弧部
１３ｅ    ホーンホルダ支持部
２０    前方カム
２０ａ    円弧部
２１    後方カム
２１ａ    円弧部
２２、２３、２４、２５    クロス板ばね
２７    磁石
３０、３１    円柱
３４、３５、４０、４１    クロス板ばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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