(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、
上記異方性導電体が貼着されたテープを供給する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、
上記互いに隣り合う異方性導電体間に上記切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、
それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、
上記供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、
上記供給リール、上記巻き取りリール、上記ギャップ形成手段、上記圧着ヘッド機構、上記テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、
このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段と、
を有し、上記テープにテンションを与えた状態で上記フレームを上記異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動可能にし、
上記ギャップ形成手段は、上記異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、上記カッタによって刻まれた２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有したことを特徴とする異方性導電体貼り付け装置。
【請求項２】
前記剥ぎ取り手段は、剥ぎ取りレバーと、この剥ぎ取りレバーを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部とからなり、上記剥ぎ取りレバーの先端を前記２本の切れ目の一方の切れ目に係合させて掻き上げる動作を行うことで、前記２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取ることを特徴とする請求項１記載の異方性導電体貼り付け装置。
【請求項３】
前記テンション付与手段は、前記供給リールと、テープ進行路上の前記圧着ヘッド機構と前記巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、前記供給リールと上記クランパ手段との間の前記テープを緊張状態で保持するようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の異方性導電体貼り付け装置。
【請求項４】
前記クランパ手段は、２つのクランパからなり、一方のクランパはテープ進行方向先方側に設けられ、取り付け位置の固定された固定クランパであり、他方のクランパは上記固定クランパのテープ進行方向後方側に設けられ、上記テープ進行路上を所定量だけ往復動可能な可動クランパであって、これら２つのクランパはテープを進行させるための機能をも有し、その動作は、
前記テープを巻き取りリール方向に進行させる場合には、上記可動クランパが上記テープをクランプ状態とするとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、その状態で、上記可動クランパが上記テープに対し上記供給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テープ進行方向に所定量移動することで当該テープを進行させ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時点で、上記固定クランパが上記テープに対し上記テンションを保持した状態で当該テープをクランプするとともに、上記可動クランパがテープのクランプ状態を解除して元の位置に復帰する動作を行う、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載の異方性導電体貼り付け装置。
【請求項５】
テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、
上記異方性導電体に上記テープの進行方向に沿って所定長さごとに所定間隔の２本の切れ目を刻む工程と、
上記２本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープから剥ぎ取り、隣り合う異方性導電体間に上記所定間隔のギャップを形成する工程と、
上記ワークに貼り付ける異方性導電体を上記ワークに対向する位置に上記テープにテンションをかけながら移動させる異方性導電体移動工程と、
テンションがテープにかかった状態で、テープ全体を上記ワーク側に移動させるテープ全体移動工程と、
上記テープにテンションがかかった状態で上記異方性導電体が上記ワークに当接した後または当接と同時に上記異方性導電体を上記ワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、
上記圧着加熱工程ののちに、上記テープにテンションがかかった状態でテープ全体を上記ワークから遠ざかる方向に移動させ、上記ワークに圧着された上記異方性導電体から上記テープを剥がすテープ剥離工程と、
を有することを特徴とする異方性導電体貼り付け方法。
【請求項６】
前記ギャップの巾が１〜２ｍｍであることを特徴とする請求項５に記載の異方性導電体貼り付け方法。
【請求項７】
前記テープにかかるテンションは、前記テープを供給する供給リールに対して供給方向とは反対となる方向の回動力を与えると共に、前記テープを巻き取る巻き取りリールの手前に配置される前記テープを間欠的に送るクランパ手段によって上記回動力に抗して前記テープをクランプすることによって与えられることを特徴とする請求項５または６記載の異方性導電体貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性導電体を回路基板等のワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶パネルや基板などのワークに電子部品を実装するに先立って、異方性導電体をワークに貼り付ける工程が採用されており、この異方性導電体貼り付け工程において異方性導電体貼り付け装置が用いられる。
【０００３】
この異方性導電体貼り付け装置のなかで、テープの一方の面に異方性導電体が貼着されてなるＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film）テープをその進行方向に沿って所定長さごとにカッタにより切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体を液晶パネル等のワークの所定位置に貼り付ける機構を有した異方性導電体貼り付け装置がある（特開平１０−２７８２０号公報他参照）。
【０００４】
図８から図１０は、従来のこの種の異方性導電体貼り付け装置を使用した際の異方性導電体張り付け工程を概略的に示すものである。まず、図８に示すように、ＡＣＦテープとして、異方性導電体１が一方の面に貼着されたテープ２は、ここでは図示しない供給リールから送りローラ３によって送られる。テープ２は、まず、ガイドローラ４によって下方（矢印Ａ方向）に進行方向を変えて、次のガイドローラ５で水平方向に進行方向が変えられ、さらに、次のガイドローラ６によって再び上方へ進行を方向を変え、巻取りリール７によって異方性導電体１が剥がされたあとのテープ２が巻き取られる。
【０００５】
また、ガイドローラ４とガイドローラ５の間には、テープ２に貼着された異方性導電体１に対し、テープ２の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ目を刻むカッタ８が設けられ、その切れ目によって、異方性導電体１は所定の長さごとに切り分けられる状態となる。
【０００６】
また、ガイドローラ５とガイドローラ６の間には、圧着ヘッド機構９と基板支持台１０が設けられている。この圧着ヘッド機構９は、圧着ツール１１と、この圧着ツール１１をロッド１３によって往復動させるシリンダ１２とから構成されている。なお、圧着ツール１１内には、ここでは図示しないが異方性導電体１を加熱するためのヒータが設けられている。
【０００７】
また、基板支持台１０には液晶パネル等のワークとなる基板１４が載せられ、この基板１４は矢印Ｂ方向に間欠的に移動するようになっている。また、この圧着ヘッド機構９の近傍には、異方性導電体剥離機構１５が設けられている。
【０００８】
この異方性導電体剥離機構１５は、シリンダ１６と、このシリンダ１６によって往復動可能な駆動軸１７と、この駆動軸１７の先端に回動自在に取り付けられた剥離ローラ１８などによって構成されている。
【０００９】
このような構成において、今、切れ目と切れ目との間の異方性導電体（以下、それぞれの切れ目によって切り分けられるそれぞれの異方性導電体を１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・で表す）が圧着ヘッド機構９に到達すると（図８の状態では異方性導電体１ａが圧着ヘッド機構９に到達した状態となっている）、圧着ヘッド機構９のロッド１３が駆動される。それによって、圧着ツール１１がテープ２を基板１４に押圧させ、異方性導電体１ａを基板１４上に圧着させる動作を行う（図９の状態）。
【００１０】
そして、その圧着動作が終了すると、圧着ツール１１は元の位置に復帰するがその復帰動作が行われる直前の段階、つまり、図９の状態で異方性導電体剥離機構１５が動作を開始する。
【００１１】
すなわち、図９の状態において、異方性導電体剥離機構１５の駆動軸１７が水平方向に駆動され、その先端に設けられた剥離ローラ１８がテープ２に当接した状態となる。このとき、異方性導電体１ａは、図示しないヒータによる加熱により基板１４側に接着された状態となっている。この状態で、圧着ツール１１が上方に復帰するとともに剥離ローラ１８がさらに前方に進み、テープ２が巻取りリール７に巻取られる動作を行うことによって、図１０に示すように、異方性導電体１ａはテープ２から剥離されて行く。
【００１２】
そして、圧着ツール１１がもとの状態に復帰することで、次に圧着される異方性導電体１ｂが圧着ツール１１の真下に到達し、上述したような圧着動作が繰り返される。なお、このとき、基板１４も矢印Ｂ方向に移動させられているので、上述した動作により、基板１４上に圧着された異方性導電体１ａは、所定位置にまで移動した状態となっている。この異方性導電体１ａのあとに続いて、次の異方性導電体１ｂが次の基板１４上に圧着される。このような圧着動作が連続的に行われる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の異方性導電体貼り付け装置は、圧着ヘッド機構９によって異方性導電体を基板１４に圧着させる際、上述したように、それぞれの切れ目によって分けられた異方性導電体を１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・のうち、圧着ヘッド機構９の真下に到達した異方性導電体（図８から図１０においては異方性導電体１ａ）に対し、圧着ヘッド機構９のロッド１３が垂直方向に駆動されることによって、圧着ツール１１がテープ２を基板１４に押圧させることで、異方性導電体１ａを基板１４上に圧着させる動作を行う（図９の状態）。
【００１４】
このような圧着動作を行う際、図８から図１０からもわかるように、ガイドローラ５とガイドローラ６間の異方性導電体は、一定量だけたるみを持った状態、つまり、少なくとも、図８の状態におけるガイドローラ５とガイドローラ６間においては、異方性導電体はテンションが解除された状態とする必要がある。
【００１５】
これは、図８の状態から図９の状態のような圧着動作が行われる際、ロッド１３が所定の距離（圧着ツール１１と基板１４との間隔）だけ押し下げられることになるためであり、それに対応できるように、少なくとも、図８の状態におけるガイドローラ５とガイドローラ６間においては、テープ２のテンションが解除されている。また、図９となる直前においては、異方性導電体１の貼着されたテープ２は巻き取りリール等によるわずかなテンションがかけられた状態としてある。すなわち、もし、テープ２に大きなテンションがかかった状態で、圧着ツール１１による押圧動作がなされると、テープ２が無理矢理に伸ばされて、場合によっては切れてしまうこともあり得るからである。一方、図９の直前においてテンションが無いと、テープ２が折り重なってしまう危険が生ずるためである。
【００１６】
このように、従来の異方性導電体貼り付け装置は、圧着ツール１１の垂直方向の動きを、圧着対象となる異方性導電体１に直接与えることで、その異方性導電体１を基板１４上に押し当てるようにしている。つまり、圧着対象となる異方性導電体１が基板１４上に圧着される直前は、圧着ツール１１の押し下げ動作に依存してテープ２がテンションに抗してわずかに引きずり出されるような動作を行うことで、圧着対象となる異方性導電体１が基板１４上に圧着される。
【００１７】
上述のように、テープ２のテンションが解除されることで、圧着ツール１１と異方性導電体１の位置関係は一定となりにくい。しかも、テープ２が引き出される際のテンションは、経時的変化や温度変化が生じやすく、また常に一定な値とはなりにくい。このため、テープ２が引き出される量も一定しない。また、テープ２への張力によってテープ２自体が引き伸ばされることも生じ、その量は一定しない。したがって、図８に示す圧着動作開始時点では、圧着対象となる異方性導電体１ａが基板１４の取り付け位置に正確に対向していたとしても、テンションが一時的に解除されることや圧着ツール１１の垂直方向の動きによるテープ２の引き出されによって、異方性導電体１ａの位置が基板１４の取り付け位置に対してずれを生じたりすることも多く、圧着位置精度が悪くなるという問題が生じる。
【００１８】
また、従来の異方性導電体貼り付け装置は、異方性導電体１ａが基板１４に圧着された状態（図９の状態）となったあと、上述したように、異方性導電体剥離機構１５により、図１０に示すように異方性導電体１ａをテープ２から剥離させる動作を行う必要がある。
【００１９】
これは、ガイドローラ５とガイドローラ６間において、テープ２にはわずかなテンションのみが与えられている状態となっているため、圧着ツール１１が上方に復帰しても、テープ２と異方性導電体１ａは基板１４への圧着状態がそのまま保持され、仮に、その状態で巻き取りリール７を駆動させても、テープ２の動きは基板１４上においては水平方向（矢印Ｂ方向）であり、剥離動作が適正になされないからである。この状態に対処するために、わずかな隙間内を水平方向に動作させる特別な機構としての異方性導電体剥離機構１５が必要とされている。
【００２０】
そこで、本発明は、切れ目間に存在するそれぞれの異方性導電体をワーク上に圧着する際の、圧着位置精度の向上を図ることができる異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法を提供することを目的としている。また、他の発明は、従来のような異方性導電体剥離機構という特別な剥離機構を設けずに、圧着された異方性導電体をテープから剥がすことができる異方性導電体貼り付け装置および異方性導電体貼り付け方法を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、本発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、異方性導電体が貼着されたテープを装着する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、互いに隣り合う異方性導電体間に切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとに上記ワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、供給リール、巻き取りリール、ギャップ形成手段、圧着ヘッド機構、テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段とを有し、圧着対象となる異方性導電体をワーク上に圧着する際は、圧着対象となる異方性導電体が貼着されたテープのテンションを保持した状態でフレーム駆動手段がフレームをワーク方向に移動させる駆動を行い、圧着対象となる異方性導電体のテンションを保持した状態で当該圧着対象となる異方性導電体を、ワークの所定位置に押し当てるようにしている。
【００２２】
このように、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものがワーク側に押し下げられる機構となっているので、圧着対象となる異方性導電体に進行路に沿った方向のテンションを与えた状態のまま、その異方性導電体をワークに押し当てることができる。これによって、ワークへの圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【００２３】
また、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分には常にテンションがかけられていることから、異方性導電体のワーク上への圧着動作が終わったあと、フレームを上昇させれば、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構は不要となり、全体的な機構を簡素化することができるとともに、異方性導電体からテープを剥がす際に生じがちな、異方性導電体やテープなどの損傷を防ぐことができる。
【００２４】
また他の発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をテープの進行方向に沿って所定長さごとに切れ目を刻み、それぞれの切れ目間の異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け装置において、異方性導電体が貼着されたテープを供給する供給リールおよび異方性導電体の圧着動作が終了した後のテープを巻き取る巻き取りリールと、互いに隣り合う異方性導電体間に切れ目としてのギャップを形成させるギャップ形成手段と、それぞれのギャップ間に存在する異方性導電体をそれぞれの異方性導電体ごとにワークに貼り付ける圧着ヘッド機構と、供給リールと巻き取りリール間に架け渡されたテープのうち、少なくとも、圧着対象となる異方性導電体の存在するテープ部分に対し、少なくとも、圧着動作の開始から終了までの間はテープ進行路に沿う方向のテンションを与えるとともにそれを保持するテンション付与手段と、供給リール、巻き取りリール、ギャップ形成手段、圧着ヘッド機構、テンション付与手段の各構成要素を取り付けるフレームと、このフレームを所定量往復動可能に駆動するフレーム駆動手段とを有し、テープにテンションを与えた状態でフレームを異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動可能にし、
ギャップ形成手段は、異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有している。
【００２５】
このように、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものが異方性導電体の貼り付け面に対し垂直方向に往復動するので、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構は不要となり、全体的な機構を簡素化することができるとともに、異方性導電体からテープを剥がす際に生じがちな、異方性導電体やテープなどの損傷を防ぐことができる。また、ギャップ形成手段としては、カッタとこのカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段で済むので、構造が簡単で製品コストに大きな影響を与えることはない。
【００２６】
さらに他の発明は、上述の各発明の異方性導電体貼り付け装置に加え、それぞれの切れ目として、互いに隣り合う異方性導電体間に所定間隔が形成されるような２本の切れ目を刻むとともに、その２本の切れ目間に存在する異方性導電体部分をテープから剥ぎ取ることでギャップを形成している。
【００２７】
このため、テープ上のそれぞれの異方性導電体において隣接する異方性導電体間に所定間隔のギャップが形成されるので、異方性導電体がワーク上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体にその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体はワーク上の所定位置に良好な状態で接着させることができる。
【００２８】
このような異方性導電体貼り付け装置において、ギャップ形成手段を、異方性導電体に切れ目を刻むカッタと、このカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段とを有する構成とするのが好ましい。
【００２９】
このように、ギャップ形成手段としては、カッタとこのカッタを駆動するカッタ駆動部と、カッタによって刻まれた２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取る剥ぎ取り手段で済むので、構造が簡単で製品コストに大きな影響を与えることはない。
【００３０】
また、このギャップ形成手段で用いる剥ぎ取り手段を、剥ぎ取りレバーと、この剥ぎ取りレバーを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部とで構成し、剥ぎ取りレバーの先端を２本の切れ目の一方の切れ目に係合させて掻き上げる動作を行うことで、２本の切れ目間に存在する不要な異方性導電体部分を剥ぎ取るようにするのが好ましい。
【００３１】
このように、剥ぎ取りレバーによって掻き上げるような動作を行うことで不要な異方性導電体部分をはぎとりようにしているので、切れ目部分の確実な剥ぎ取りが可能となる。
【００３２】
また、他の発明は、上述の各発明の異方性導電体貼り付け装置に加え、テンション付与手段は、供給リールと、テープ進行路上における圧着ヘッド機構と巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、テンション付与手段は、供給リールと、テープ進行路上の圧着ヘッド機構と巻き取りリール間に設けられたクランパ手段とからなり、供給リールとクランパ手段との間のテープを緊張状態で保持するようにしている。
【００３３】
これにより、テープを進行させるための機能が得られるとともに、供給リールとの間に存在するテープに対し、常に進行路に沿った方向にテンションを与えた状態を保持することができる。
【００３４】
また他の発明は、上述の各発明に加え、クランパ手段は２つのクランパからなり、一方のクランパはテープ進行方向先方側に設けられ、取り付け位置の固定された固定クランパであり、他方のクランパは固定クランプのテープ進行方向後方側に設けられ、テープ進行路上を所定量だけ往復動可能な可動クランパであって、これら２つのクランパはテープを進行させるための機能をも有し、その動作は、テープを巻き取りリール方向に進行させる場合には、可動クランパがテープをクランプ状態とするとともに、固定クランパはクランプ解除状態とし、その状態で、可動クランパがテープに対し供給リールとの間でのテンションを保持した状態で、テープ進行方向に所定量移動することで当該テープを進行させ、当該可動クランパの所定量の進行が終了した時点で、固定クランパがテープに対し、テンションを保持した状態で当該テープをクランプするとともに、可動クランパがテープのクランプ状態を解除して元の位置に復帰する動作を行うようにしている。
【００３５】
このため、クランパ手段によってテープの進行とテープのテンション付与が行われる。この結果、複雑な動作を簡単な機構で達成することができ、長期間安定した動作が達成される。
【００３６】
また、他の発明は、テープの一方の面に貼着された異方性導電体をワークに貼り付ける異方性導電体貼り付け方法において、異方性導電体にテープの進行方向に沿って所定長さごとに所定間隔の２本の切れ目を刻む工程と、２本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープから剥ぎ取り、隣り合う異方性導電体間に所定間隔のギャップを形成する工程と、ワークに貼り付ける異方性導電体をワークに対向する位置にテープにテンションをかけながら移動させる異方性導電体移動工程と、テンションがテープにかかった状態で、テープ全体をワーク側に移動させるテープ全体移動工程と、テープにテンションがかかった状態で異方性導電体がワークに当接した後または当接と同時に異方性導電体をワークに圧着し加熱する圧着加熱工程と、この圧着加熱工程ののちに、テープにテンションがかかった状態でテープ全体をワークから遠ざかる方向に移動させ、ワークに圧着された異方性導電体からテープを剥がすテープ剥離工程と、を有している。
【００３７】
この方法によれば、テープに常にテンションが付与された状態で異方性導電体がまずワークに押し当てられ、その後にまたは同時に異方性導電体をワークに圧着し加熱するので、異方性導電体のワークに対する位置精度が向上する。また、テープ上のそれぞれの異方性導電体において隣接する異方性導電体間に所定間隔のギャップが形成されるので、異方性導電体がワーク上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体にその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体はワーク上の所定位置に良好な状態で接着させることができる。また、ギャップの巾は、１〜２ｍｍとすることができる。
【００３８】
さらに、他の発明は、上述の発明の異方性導電体貼り付け方法に加え、テープにかかるテンションは、テープを供給する供給リールに対して供給方向とは反対となる方向の回動力を与えると共にテープを巻き取る巻き取りリールの手前に配置されるテープを間欠的に送るクランパ手段によって回動力に抗してテープをクランプすることによって与えられるものとしている。
【００３９】
この方法を採用すると、テープテンションの付与が簡単な機構で達成できる。
しかも、クランパ手段は、テープ送りとしても機能するので、一層効率的な機構とすることができ安価な方法となる。
【００４０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る異方性導電体貼り付け装置の実施の形態について図１から図７を参照しながら説明する。なお、従来技術の説明で用いた異方性導電体貼り付け装置（図８から図１０参照）は、テープ２の一面側に異方性導電体１が貼り付けられた２層構造のＡＣＦテープ用の異方性導電体貼り付け装置であったが、この実施の形態では、テープ２の他面（異方性導電体１が貼り付けられた面と反対側の面）にテープ２を保護するための保護テープ２ａが貼り付けられた３層構造のＡＣＦテープにも適用可能な異方性導電体貼り付け装置として説明する。
【００４１】
図１は、本発明による異方性導電体貼り付け装置の実施の形態を説明する構成図であり、図８から図１０と同一部分には同一符号が付されている。
【００４２】
図１において、異方性導電体１が一方の面に貼着され、保護テープ２ａが他方の面に貼着されたテープ２は、モータ（図示省略）によって供給側とは反対となる方向に回動力が付与されている供給リール２１に装着されている。そして、テープ２の先端側がモータ（図示省略）によって巻き取り方向に回動力が付与されている巻き取りリール７に取り付けられ、供給リール２１と巻き取りリール７の間には複数のガイドローラ（この実施の形態では、７個のガイドローラ２１〜２７が設けられている。
【００４３】
なお、保護テープ２ａは、その先端が保護テープ巻き取りリール２８に取り付けられ、テープ２の進行動作と保護テープ巻き取りリール２８の巻き取り動作に伴って、保護テープ２ａはテープ２から剥がされて行く。したがって、それ以降（この図１の場合、ガイドローラ２２の直前付近以降）は、テープ２は保護テープ２ａが剥がされた状態、つまり、図８から図１０で説明したと同様の２層構造の状態となる。
【００４４】
このように、保護テープ２ａが剥がされて２層構造となったＡＣＦテープ（テープ２と異方性導電体１からなる）はガイドローラ２２によって図示下方向（矢印Ａ方向）に進行方向を変えて送られる。なお、この実施の形態の説明に用いるそれぞれの図（図１から図７）において、図示上下（垂直）方向を矢印Ａ−Ａ’方向（矢印Ａを下方向、矢印Ａ’を上方向）として表し、図示左右（水平）方向を矢印Ｂ−Ｂ’方向（矢印Ｂを右方向、矢印Ｂ’を左方向）として表すことにする。
【００４５】
ガイドローラ２２によって矢印Ａ方向に送られた異方性導電体１の貼着されたテープ２は、次のガイドローラ２３で斜め下方向に進行方向が変えられる。テープ２は、さらに、次のガイドローラ２４によって水平方向（矢印Ｂ方向）に進行方向を変え、次のガイドローラ２５によって斜め上方向に進行を方向を変え、次のガイドローラ２６によって上方向（矢印Ａ’方向）に進行方向を変えて、ガイドローラ２７のガイドで巻取りリール７に巻き取られるようになっている。なお、巻き取りリール７には、異方性導電体１の剥がされたあとのテープ２のみが巻き取られる。
【００４６】
また、ガイドローラ２２とガイドローラ２３の間には、テープ２に貼着された異方性導電体１に対し、テープ２の進行方向に沿って所定の長さごとに切れ目を刻むカッタ８が設けられ、このカッタ８によって刻まれた切れ目によって、異方性導電体１は所定の長さごとに切り分けられ、前述したように、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が形成される状態となる。
【００４７】
ただし、この実施の形態では、切れ目によって分けられるそれぞれの異方性導電体間、つまり、隣り合う異方性導電体間（たとえば、異方性導電体を１ａと異方性導電体１ｂとの間）には所定間隔のギャップＧが形成される。
【００４８】
これを実現するギャップ形成手段４０は、上述のカッタ８と、互いに隣り合う異方性導電体間に所定間隔の２本の切れ目を刻むようなカッタ８の駆動制御を行うカッタ駆動部２９と、その２本の切れ目間に存在する余分な異方性導電体部分をテープ２から剥ぎ取る剥ぎ取りレバー３０と、その剥ぎ取りレバー３０を駆動するための剥ぎ取りレバー駆動部３１とを有するものとされている。ここで、剥ぎ取りレバー３０、剥ぎ取りレバー駆動部３１によって剥ぎ取り手段が構成される。なお、ギャップ形成手段４０の動作についてはのちに説明する。
【００４９】
また、ガイドローラ２４とガイドローラ２５の間には、圧着ヘッド機構９が設けられている。この圧着ヘッド機構９は、圧着ツール１１と、この圧着ツール１１をロッド１３によって往復動させるシリンダ１２とから構成されている。なお、圧着ツール１３内には、ここでは図示しないが異方性導電体１を加熱するためのヒータが設けられている。
【００５０】
また、ガイドローラ２６とガイドローラ２７の間には、テープ２（異方性導電体１の剥がされた後のテープ）をクランプ可能な２つのクランパ（可動クランパ３２と固定クランパ３３）からなるクランパ手段が設けられている。
【００５１】
可動クランパ３２は、モータによって回転するポールネジ３２ａにその略中央が係合し、一端側が固定部３２ｂに摺動可能に取り付けられ予め設定された移動量（後述する）だけ矢印Ａ−Ａ’方向に往復動可能に設けられている。一方、固定クランパ３３は、可動クランパ３２の上方の所定位置に固定された状態で設けられている。
【００５２】
これら可動クランパ３２と固定クランパ３３は、テープ２の送り機構としての働きを行うとともに、供給リール２１との間に存在するテープ２に対し、進行路に沿った方向へのテンションを与えて、それを保持する働きも行う。すなわち、この可動クランパ３２と固定クランパ３３、さらに供給リール２１とでテンション付与手段が構成される。具体的には、供給リール２１は、モータによってテープ供給方向とは反対方向にテンションがかけられており、クランパ手段によってテープ２をその位置に固定しまたは進行方向にテープ２を駆動することで、供給リール２１とクランパ手段との間のテープ２を緊張状態（テンション付与状態）で保持している。この可動クランパ３２と固定クランパ３３の詳細な動作についてはのちに説明する。
【００５３】
ところで、以上説明した各構成要素、すなわち、供給リール２１、保護テープ巻き取りリール２８、カッタ８、カッタ駆動部２９、剥ぎ取りレバー３０、剥ぎ取りレバー駆動部３１、圧着ヘッド機構９、巻き取りリール７、可動クランパ３２と固定クランパ３３、ガイドローラ２１〜２７などはフレーム３４に取り付けられている。
【００５４】
なお、このフレーム３４は、１枚の板であってもよいが、これらそれぞれの構成要素を幾つかのブロックにわけて、それぞれのブロックごとのフレームとして、その複数のフレームを接合して１つのフレームとしたものであってもよい。たとえば、供給リール２１、保護テープ巻き取りリール２８、カッタ８、カッタ駆動部２９、剥ぎ取りレバー３０、剥ぎ取りレバー駆動部３１、ガイドローラ２１〜２３を１つのブロックとし、圧着ヘッド機構９、ガイドローラ２４，２５を１つのブロックとし、巻き取りリール７、可動クランパ３２と固定クランパ３３、ガイドローラ２６，２７を１つのブロックとして、これら各ブロックごとにそれぞれのフレームを設け、これら複数のフレームを接合して１つのフレーム３４とするようにしてもよい。
【００５５】
そして、このフレーム３４は、モータやポールネジ等からなるフレーム駆動手段であるフレーム駆動装置３５によって図示上下方向（矢印Ａ−Ａ’方向）に下降／上昇動作可能となっている。このフレーム３４が下降動作することによって、圧着対象となる異方性導電体１（圧着ツール１１の真下に存在する異方性導電体）を押し下げる動作を行うようになっている。この動作についてはのちに説明する。
【００５６】
また、圧着ヘッド機構９の圧着ツール１１に対向する位置には、基板支持台１０が設けられ、この基板支持台１０には液晶パネルなどのワークとなる基板１４が載せられる。この基板支持台１０上の基板１４は、図示水平方向（矢印Ｂ方向）に間欠的に移動するようになっている。
【００５７】
次に、このように構成された実施の形態の異方性導電体貼り付け装置の動作について説明する。なお、この動作の説明と共に異方性導電体貼り付け方法を併せて説明することとする。
【００５８】
まず、供給リール２１に装着された３層構造（テープ２とその一方の面に貼着された異方性導電体１と他方の面に貼着された保護テープ２ａからなる）のＡＣＦテープは、進行するに伴って、その保護テープ２ａが保護テープ巻き取りリール２８に巻き取られて行き、ガイドローラ２２の直前付近からは保護テープ２ａが剥がされたテープ２と異方性導電体１からなる２層構造のＡＣＦテープとなる。
【００５９】
この２層構造となったＡＣＦテープは、ガイドローラ２２によって矢印Ａ方向に進行し、カッタ８によって異方性導電体１に切れ目を入れる工程が行われるが、前述したように、この実施の形態では、切れ目によって分けられたそれぞれの異方性導電体１の互いに隣り合う異方性導電体１間に、所定間隔の２本の切れ目（この２本の切れ目間をスパンカット部ＳＣと呼ぶ）を刻むようなカッタ駆動制御を行い、そのスパンカット部ＳＣに存在する余分な異方性導電体部分をテープ２から剥ぎ取ることで、当該テープ２上でそれぞれ隣り合う異方性導電体間にそれぞれギャップＧを形成する工程が行われる。この工程について、図２（Ａ）〜（Ｃ）を参照しながら説明する。
【００６０】
図２（Ａ）〜（Ｃ）において、異方性導電体１が貼付されたテープ２は、図示の上方向から下方向（矢印Ａ方向）に向かって進行しており、その進行経路にカッタ８とそれを駆動するカッタ駆動部２９が存在し、その手前には、剥ぎ取りレバー３０とそれを駆動する剥ぎ取りレバー駆動部３１が存在している。
【００６１】
カッタ８は、カッタ駆動部２９によって矢印Ｂ方向（テープ２の進行方向と直角方向）に押圧されて、テープ２に貼着された異方性導電体１をその刃８ａで押し切るような動作を行うようになっている。カッタ駆動部２９によりカッタ８が予め決められたタイミングで押圧されると、図２（Ａ）に示すように、異方性導電体１には第１の切れ目Ｌ１が刻まれる。
【００６２】
なお、カッタ８は、第１の切れ目Ｌ１を入れた後は直ちに矢印Ｂ’方向に戻って、もとの位置に復帰する。この図２（Ａ）はカッタ８が第１の切れ目Ｌ１を設ける動作を行ったあと、元の位置に戻った状態が示されている。
【００６３】
そして、第１の切れ目Ｌ１を刻む動作を行ったのち、テープ２がわずかに進行した状態で、再び、カッタ８はカッタ駆動部２９によって上述したように矢印Ｂ方向に押圧されて、図２（Ｂ）に示すように、テープ２に貼付された異方性導電体１を押し切るような動作を行う。この図２（Ｂ）も、カッタ８が第２の切れ目Ｌ２を刻む動作を行ったあと、元の位置に戻った状態が示されている。
【００６４】
このようなカッタ駆動部２９によるカッタ８の駆動制御が行われることによって、異方性導電体１には、図２（Ｂ）に示すように、第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２が刻まれ、スパンカット部分ＳＣが形成される。この第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２との間隔、すなわち、スパンカット部分ＳＣの幅Ｗは、この実施の形態では、１ｍｍ〜２ｍｍ程度である。なお、第１の切れ目Ｌ１を刻むためのカッタ駆動タイミングや第２の切れ目Ｌ２を刻むためのカッタ駆動タイミングは、テープ２の進行速度やスパンカットＳＣをどのくらいの大きさとするかによって予め決めておくことができる。
【００６５】
このようにして、テープ２が矢印Ａ方向に進行して行くに従って、予め決められたタイミングでカッタ駆動部２９がカッタ８を駆動させ、それによって、第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２が刻まれ、それによって、これら第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２との間にはスパンカット部分ＳＣが形成される。
【００６６】
そして、次の工程として、このスパンカット部分ＳＣを剥ぎ取りレバー３０でテープ２から剥ぎ取ることで、隣り合う異方性導電体間にギャップＧを形成する工程を行う。
【００６７】
すなわち、図２（Ｂ）で説明したように、２箇所の切れ目Ｌ１，Ｌ２が入って、その間にスパンカット部ＳＣが形成された状態となると、図２（Ｃ）に示すように、剥ぎ取りレバー駆動部３１によって剥ぎ取りレバー３０が駆動され、剥ぎ取りレバー３０の先端部３０ａが切れ目Ｌ２に係合する位置まで図示の下方向（矢印Ａ方向）に移動し、先端部３０ａが切れ目Ｌ２に係合した状態となったところで、今度は、剥ぎ取りレバー駆動部３１の駆動によって、剥ぎ取りレバー３０はその回動軸３０ｂを中心に矢印Ｃ方向に回動するような動作を行う。それによって、剥ぎ取りレバー３０の先端部３０ａがスパンカット部ＳＣを剥ぎ取る動作を行い、スパンカット部ＳＣはテープ２から剥がされてギャップＧが形成される。
【００６８】
このような動作をテープ２の進行動作にしたがって行うことにより、異方性導電体１の貼着されたテープ２は図３のような状態となる。すなわち、テープ２上の異方性導電体１は、所定の長さごとの異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・に分けられ、しかも、それぞれ隣接する異方性導電体間（異方性導電体１ａと異方性導電体１ｂの間、異方性導電体１ｂと異方性導電体１ｃの間など）には、スパンカット部分ＳＣにほぼ相当する１〜２ｍｍ程度のギャップＧが形成された状態となる。
【００６９】
そして、この図３のような状態となったテープ２は、図１において、ガイドローラ２３を経て圧着ツール１１部分に送られて行き、それぞれの異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が、順次、各基板１４に圧着される動作が行われるが、この図１，４，５，６，７では、異方性導電体１ａの圧着動作について示す。なお、この圧着ツール１１による異方性導電体１ａの圧着動作を可動クランパ３２と固定クランパ３３の動作とともに説明する。
【００７０】
異方性導電体１ａが圧着ツール１１の真下に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツール１１が圧着動作を行う前の状態（図１に示す状態）においては、可動クランパ３２はテープ２のクランプを解除している状態、固定クランパ３３はテープ２をクランプしている状態となっている。
【００７１】
この状態は、固定クランパ３３と供給リール２１との間のテープ２は、その進行路に沿った方向にテンションがかけられた状態である。したがって、当然のことながら、圧着対象となる異方性導電体１ａは同様にテンションがかけられている状態となっている。これは、供給リール２１がモータによって供給方向とは反対方向に回動力が常時付与されているためである。
【００７２】
このように、異方性導電体１ａが圧着ツール１１の真下に存在する位置に到達し、まだ、圧着ツール１１が圧着動作を行う前の状態においては、供給リール２１から固定クランプ３３までの間のテープ２は、テンションがかけられた状態となっているため、圧着対象となる異方性導電体１ａもテンションがかけられた状態で圧着ツール１１の真下に存在する。
【００７３】
この状態で圧着動作を行うが、この圧着動作は、まず、フレーム駆動装置３５の駆動により、フレーム３４が矢印Ａ方向に下降動作することによって、異方性導電体１ａが基板１４の所定位置に押し当てられ（図４参照）、そのあとまたは同時に、圧着ツール１１が押圧動作することで行われる（図５参照）。つまり、フレーム３４が下降動作するということは、このフレーム３４に取り付けられている全ての構成要素がフレーム３４とともに下降動作するということであり、それによって、異方性導電体１ａは基板１４の所定位置に押し当てられることになる。
【００７４】
図４は、フレーム３４が下降動作することによって、異方性導電体１ａが基板１４の所定位置に押し当てられた状態を示すものである。このように、フレーム３４そのものが下降動作を行うことで、圧着対象となる異方性導電体１ａはテンションをかけられた状態のまま基板１４に押し当てられるので、基板１４上への圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【００７５】
そして、図４の状態、つまり、フレーム３４の下降動作により、異方性導電体１ａが基板１４の所定位置に押し当てられた状態において、圧着ツール１１が下降動作し、異方性導電体１ａを基板１４上に押圧するとともに熱を加えることで、異方性導電体１ａは基板１４の所定位置に圧着される（図５参照）。
【００７６】
なお、この異方性導電体１ａの圧着動作が行われる際、その後に続く異方性導電体１ｂは、異方性導電体１ａとの間でギャップＧが存在しているため、異方性導電体１ａに加えられる熱の影響を受けにくくすることができる。
【００７７】
このようにして、異方性導電体１ａの基板１４上への圧着動作が終わると、圧着ルール１１が上昇する（図６参照）。その後または同時に、フレーム３４がフレーム駆動装置３５の駆動によって、異方性導電体１ａの貼着面に対して垂直方向となる上方（矢印Ａ’方向）に移動し、圧着動作前の状態に復帰する（図７参照）。
【００７８】
このとき、固定クランプ３３と供給リール２１との間のテープ２は、テンションがかけられた状態が保持され、しかもフレーム３４が異方性導電体１ａのテープ２への貼着面に対し垂直方向に移動するので、圧着動作が終了してフレーム３４が上昇するだけで、基板１４上に圧着された異方性導電体１ａからテープ２を容易に剥がすことができる。
【００７９】
図７は、圧着動作終了後にフレーム３４が上昇することで、基板１４上に圧着された異方性導電体１ａからテープ２が剥がれた状態を示すものである。このように、フレーム３４を上昇させるだけでテープ２を剥がすことができるので、従来のように、異方性導電体剥離機構を設ける必要はなくなる。
【００８０】
そして、異方性導電体１ａの基板１４上への圧着動作が終わって、フレーム３４がフレーム駆動装置３５の駆動によって上昇し、圧着動作前の状態に復帰すると（図７の状態）、これとほぼ同時に、可動クランパ３２がテープ２をクランプし、固定クランパ３３がテープ２のクランプを解除する。
【００８１】
この状態から、今度は、可動クランパ３２がテープ２をクランプした状態で矢印Ａ’方向に決められた移動量だけ移動する。この移動量は、異方性導電体１ａのあとに続く異方性導電体１ｂを適正な圧着位置（圧着ツール１１の真下）に移動させるに必要な距離である。
【００８２】
このように、１つの異方性導電体１ａの圧着動作が終了すると、可動クランパ３２がテープ２をクランプした状態で所定量だけ引っ張り上げることによって、次の異方性導電体１ｂを圧着ツール１１の真下に位置させるという動作を行う。
なお、このとき、可動クランパ３２が矢印Ａ’方向に所定量移動することによって、テープ２が可動クランパ３２の移動量の分だけ、ガイドローラ２７側に進行するが、そのテープ２は巻き取りリール７によって巻き取られる。
【００８３】
そして、可動クランパ３２が決められた移動量だけ移動し終わると、固定クランパ３３がテープ２をクランプし、それに応動して可動クランパ３２がテープ２のクランプを解除し、下方（矢印Ａ方向）に移動して、もとの位置に復帰する。
この状態においては、前述したように、供給リール２１から固定クランプ３３までの間のテープ２はテンションがかけられた状態となっているため、圧着対象となる異方性導電体１ｂもテンションがかけられた状態で圧着ツール１１の真下に存在する。
【００８４】
これによって、異方性導電体１ａを基板１４に対して圧着させたときと同様の動作を行うことで、異方性導電体１ｂに関しても次の基板１４に対して圧着動作を行うことができる。なお、このとき、基板１４も所定量だけ矢印Ｂ方向に移動した状態となっており、圧着対象となる異方性導電体１ｂが次の基板１４の圧着位置に対向するようになる。
【００８５】
以上説明したように、この実施の形態では、テープ２に貼着された異方性導電体１に切れ目を刻む際、隣接する異方性導電体間（異方性導電体１ａと異方性導電体１ｂとの間、異方性導電体１ｂと異方性導電体１ｃとの間など）に１ｍｍ〜２ｍｍ程度のスパンカット部分ＳＣを形成し、そのスパンカット部分ＳＣを剥ぎ取りレバー３０によって剥ぎ取ることで、隣接する異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・間に１〜２ｍｍ程度のギャップＧを形成するようにしている。そして、このような状態のものを、圧着ツール１１に供給して圧着動作を行うようにしている。
【００８６】
これによって、ある異方性導電体（たとえば、異方性導電体１ａ）が基板１４上に圧着される際、隣接する次の異方性導電体１ｂにその熱が加わってしまうといった不具合を未然に防止することができ、それぞれの異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・は各基板１４に良好な状態で接着させることができる。
【００８７】
また、供給リール２１、保護テープ巻き取りリール２８、カッタ８、カッタ駆動部２９、剥ぎ取りレバー３０、剥ぎ取りレバー駆動部３１、圧着ヘッド機構９、巻き取りリール７、可動クランパ３２と固定クランパ３３、ガイドローラ２１〜２７など、圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレーム３４に取り付け、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を各基板１４上に圧着させる際は、テープ２のテンションを維持しつつフレーム３４そのものが、基板１４側に押し下げられる機構となっているので、圧着対象となる異方性導電体の位置を保持したまま、基板１４上に圧着動作させることができる。
【００８８】
これによって、基板１４上への圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【００８９】
また、圧着動作終了後も、テープ２は、テンションがかけられた状態を保持していることから、圧着動作終了後に、フレーム３４を異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・の貼着面に対して垂直方向に上昇させるだけで、基板１４上に圧着された異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ．，・・・からテープ２を容易に剥がすことができる。これによって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構を不要とすることができる。
【００９０】
なお、上述の実施の形態は、本発明の好適な実施の形態の例であるが、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々変形実施可能である。たとえば、前述の各実施の形態では、圧着ツール１１やフレーム３４を上下方向に移動させる例を示したが、上下方向に移動しているテープ２に対しフレーム３４と圧着ツール１１を左右方向に移動させて異方性導電体１を基板１４に圧着させるようにしても良い。
【００９１】
また、上述の実施の形態では、フレーム３４を下降させ（＝テープ２全体を下降させ）、テープ２に貼着している異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を基板１４に当接させてから圧着ツール１１を下降させているが、異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・を基板１４に当接させず、わずかな隙間を有している状態まで下降させ、その状態において圧着ツール１１を下降させ、この圧着１１によって異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・と基板１４との当接、圧着を行わせるようにしても良い。また、フレーム３４の下降と同時に圧着ツール１１も独自に下降させ、フレーム３４の下降の終了と同時に圧着ツール１１がテープ２に当接し圧着を開始するようにしても良い。
【００９２】
さらに、上述の実施の形態では、スパンカット部ＳＣを形成する際、１つのカッタ８によって行う例について説明したが、カッタ８を２つ用意し、それぞれのカッタ８の刃８ａをスパンカット部分ＳＣの幅Ｗ（１〜２ｍｍ）に並行配置して一回のカッタ駆動によりスパンカット部分ＳＣを形成するようにしてもよい。
【００９３】
また、スパンカット部ＳＣに存在する余分な異方性導電体の剥ぎ取りを行う手段としては、前述の実施の形態では、剥ぎ取りレバー３０がスパンカット部ＳＣを掻き上げるような動作を行うことで剥ぎ取りを行うようにしたが、これに限られるものではなく種々の手段が考えられる。たとえば、カッタ８によってスパンカット部ＳＣが形成されたら、そのスパンカット部ＳＣを粘着テープによって剥ぎ取るようにしてもよく、また、スパンカット部ＳＣに圧縮空気を噴射することによってスパンカット部ＳＣを剥ぎ取るようにすることも考えられる。
【００９４】
なお、この圧縮空気を用いる方法は、前述の実施の形態の剥ぎ取りレバー３０による剥ぎ取り機構に併用させることも可能である。つまり、まず、剥ぎ取りレバー３０による剥ぎ取りを行ったあと、圧縮空気を噴射させるようにすることも可能で、これにより、より確実な剥ぎ取りが行えるとともに粉塵などを吹き飛ばすことができる。
【００９５】
また、スパンカット部分ＳＣの幅Ｗは、前述の実施の形態では、１ｍｍから２ｍｍとしたがこれに限られるものではなく、所定範囲で任意に設定することができる。
【００９６】
また、上述の実施の形態では、３層構造のＡＣＦテープを用いた場合について説明したが、２層構造のＡＣＦテープにも適用できることは勿論である。また、上述の実施の形態では、液晶パネル面などのワークに異方性導電体を貼り付ける例を示したが、ワークとしては通常の回路基板やフレキシブル基板等の基板としたり、テープ状のものとしてもよい。さらに、異方性導電体の代わりに等方性導電体を採用してもよい。
【００９７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、供給リール、巻き取りリール、圧着ヘッド機構など圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素をフレームに取り付け、異方性導電体を基板上に圧着させる際は、フレームそのものがワーク側に押し下げられる機構となっており、しかも、圧着対象となる異方性導電体に進行路に沿った方向のテンションを与えた状態のまま、その異方性導電体をワークに押し当てている。これによって、ワークへの圧着位置にずれが生じることなく高い圧着位置精度を得ることができる。
【００９８】
また、他の発明によれば、圧着対象となる異方性導電体の存在する部分のテープには常にテンションがかけられ、しかも圧着ヘッド機構等圧着を行う側の機構を構成する全ての構成要素が取り付けられたフレームを、異方性導電体のワーク上への圧着動作が終わったあと、異方性導電体の貼着面に対して垂直方向に移動させているので、ワーク上に圧着された異方性導電体から容易にテープを剥がすことができる。したがって、従来の異方性導電体貼り付け装置で用いられていた異方性導電体剥離機構を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の異方性導電体貼り付け装置の概略的な構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２を刻む工程とギャップＧを形成する工程を説明する図であり、（Ａ）は第１の切れ目Ｌ１を刻む動作を説明する図、（Ｂ）は第２の切れ目Ｌ２を刻む動作を説明する図、（Ｃ）は第１の切れ目Ｌ１と第２の切れ目Ｌ２の間に存在する余分な異方性導電体（スパンカット部分ＳＣ）を剥ぎ取る動作を説明する図である。
【図３】図２の工程を経て分断された異方性導電体１ａ，１ｂ，１ｃ，・・・が形成された状態を示す図である。
【図４】図１に示す異方性導電体貼り付け装置においてフレームが下降動作することによって圧着対象となる異方性導電体がワーク（基板）上に押し当てられた状態を示す図である。
【図５】図４の状態から圧着ツールが下降し、異方性導電体をワーク（基板）に対して圧着している状態を示す図である。
【図６】図５の状態から圧着ツールが上昇し、異方性導電体の圧着状態を解除した状態を示す図である。
【図７】図６の状態からフレームが上昇することによってテープが異方性導電体から剥がされた状態を示す図である。
【図８】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上のある１区間の異方性導電体が圧着ツール上に到達した様子を示す図である。
【図９】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、テープ上のある１区間の異方性導電体に対し圧着ツールによる圧着動作を示す図である。
【図１０】従来の異方性導電体貼り付け装置における異方性導電体貼り付け手順を説明する図であり、圧着動作後、圧着された異方性導電体をテープから剥がす動作を説明する図である。
【符号の説明】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ  異方性導電体
２  テープ
７  巻取りリール
８  カッタ（ギャップ形成手段の一部）
８ａ  カッタの刃
９  圧着ヘッド機構
１１  圧着ツール
１４  基板（ワーク）
２１〜２７  ガイドローラ
２８  保護テープ巻き取りリール
２９  カッタ駆動部（ギャップ形成手段の一部）
３０  剥ぎ取りレバー（ギャップ形成手段の一部、剥ぎ取り手段の一部）
３１  剥ぎ取りレバー駆動部（ギャップ形成手段の一部、剥ぎ取り手段の一部）
３２  可動クランパ（クランパ手段の一部）
３３  固定クランパ（クランパ手段の一部）
３４  フレーム
３５  フレーム駆動装置（フレーム駆動手段）
４０  ギャップ形成手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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