(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素イオン伝導性を有する固体電解質からなり一端が封止された円筒管と、該円筒管の内面および外面の互いに対向する位置に形成された内側電極と外側電極からなる一対の電極と、前記円筒管の外側表面に形成され、前記外側電極の一部または全部が露出するような空間部を具備し且つ該空間部の周囲に発熱体を埋設してなるセラミック層と、前記空間部を閉塞するように設けられた酸素イオン伝導性を有する固体電解質層と、閉塞された空間部内に被測定ガスを取り込むための拡散孔、とを具備することを特徴とする空燃比センサ素子。
【請求項２】
前記拡散孔が、前記固体電解質層に形成されてなる請求項１記載の空燃比センサ素子。
【請求項３】
前記拡散孔が、前記セラミック層に形成されてなる請求項１または請求項２記載の空燃比センサ素子。
【請求項４】
前記セラミック層、または前記固体電解質層が、前記円筒管に巻き付け形成されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか記載の空燃比センサ素子。
【請求項５】
前記発熱体が、非酸素イオン伝導性のセラミック層中に埋設されてなる請求項１乃至請求項４のいずれか記載の空燃比センサ素子。
【請求項６】
前記空間部の側壁が、該空間部を閉塞する固体電解質層と実質的に同質のセラミック材料からなるセラミック層に形成されてなることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか記載の空燃比センサ素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自動車等の内燃機関における空気と燃料の比率を制御するための空燃比センサ素子に関するものであり、具体的には発熱体とセンサ部が一体化されてなり、熱衝撃性に優れた活性化時間の短いヒータ一体型の空燃比センサ素子に係わる。
【０００２】
【従来技術】
現在、自動車等の内燃機関においては、排出ガス中の酸素濃度を検出して、その検出値に基づいて内燃機関に供給する空気および燃料供給量を制御することにより、内燃機関からの有害物質、例えばＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘを低減させる方法が採用されている。
【０００３】
この検出素子として、主として酸素イオン伝導性を有するジルコニアを主分とする固体電解質からなり、一端が封止された円筒管の外面および内面にそれぞれ一対の電極層が形成された固体電解質型の酸素センサ素子が用いられている。
【０００４】
このような酸素センサにおいて、一般に、空気と燃料の比率が１付近の制御に用いられる、いわゆる理論空燃比センサ（λセンサ）では、外側の測定電極の表面に保護層となる多孔質層が設けられており、所定温度で円筒管両側に発生する酸素濃度差を検出し、エンジン吸気系の空燃比の制御が行われている。
【０００５】
一方、広範囲の空燃比を制御するために用いられている、いわゆる広域空燃比センサ（Ａ／Ｆセンサ）は、測定電極の表面に微細な細孔を有するガス拡散律速層となるセラミック多孔質層を設け、固体電解質からなる円筒管に一対の電極に通じて印加電圧を加え、その際得られる限界電流値を測定して空燃比を直接制御するものである。
【０００６】
上記理論空燃比センサおよび広域空燃比センサともセンシング部を約７００℃付近の作動温度までに加熱する必要があり、そのために、円筒管からなる酸素センサ素子の内側には、センシング部を作動温度まで加熱するため棒状のセラミックヒータが挿入されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年排気ガスの規制強化の傾向が強まり、エンジン始動直後からのＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘの検出が必要になってきた。このような要求に対して、上述のように、セラミックヒータを円筒管内に挿入してなる間接加熱方式の円筒型酸素センサ素子では、センシング部が活性化温度に達するまでに要する時間（以下、活性化時間という。）が遅いために排気ガス規制に充分対応できないという問題があった。
【０００８】
その問題を回避する方法として、図１７に示すようにヒータを一体化した平板状の固体電解質を用いた酸素センサ素子（以下、平板型素子という。）が提案されている。図１７によれば平板型素子５０では、平板状の固体電解質５１には、排気ガスを取り込むための拡散孔と呼ばれる小さな孔６１が開けられており、その両面に一対の電極５２、５３が形成され、さらに周囲がセラミック絶縁層６０からなる空間部５４を挟んでもう一枚の平板状の固体電解質５５が成形されている。その固体電解質の両面には一対の電極５６、５７が形成されており、場合によっては、平板状の固体電解質の間には拡散律速層が形成されている。また、電極以外のセラミック絶縁体５８中には発熱体５９が埋設されている。さらに電極５７は、大気ガス供給口６２を通じて大気と接触される。
【０００９】
このような平板型素子においては、前者の固体電解質をポンプセルとして、後者の固体電解質を濃淡電池セルとして作用させている。
【００１０】
しかしながら、この平板型素子は従来の間接加熱方式と異なり、直接加熱方式であるために急速昇温が可能ではあるが、平板状で素子の矢印で示したエッジ部分に熱応力が発生しやすく急速昇温によってセンサ素子が破壊しやすく、信頼性の点で欠けるという問題があった。
【００１１】
従って、本発明は、発熱体を一体的に具備してなるともに、急速昇温などの熱衝撃性に対しても優れた耐久性を具備する空燃比センサ素子を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の問題について検討した結果、酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなる円筒管の外面に所定の空間を介して固体電解質層を設け、前記円筒管の内面および外面の互いに対向する位置に一対の電極を形成し、且つ前記空間の周囲に素子を加熱するための発熱体を埋設した円筒形状の構造を採用することにより、従来の素子では得られない急速昇温などの熱衝撃性に優れたヒータ一体型空燃比センサ素子が提供できることを見出し本発明に至った。
【００１３】
即ち、本発明の空燃比センサ素子は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質からなり一端が封止された円筒管と、該円筒管の内面および外面の互いに対向する位置に形成された内側電極と外側電極からなる一対の電極と、前記円筒管の外側表面に形成され、前記外側電極の一部または全部が露出するような空間部を具備し且つ該空間部の周囲に発熱体を埋設してなるセラミック層と、前記空間部を閉塞するように設けられた酸素イオン伝導性を有する固体電解質層と、閉塞された空間部内に被測定ガスを取り込むための拡散孔、とを具備することを特徴とするものである。
【００１４】
なお、上記の酸素センサ素子によれば、前記拡散孔は、前記固体電解質層または前記セラミック層に形成することが望ましい。
【００１５】
さらに、前記セラミック層および前記固体電解質層は、前記円筒管の表面の一部に巻き付け形成されていることが望ましい。
【００１６】
また、発熱体は、非酸素イオン伝導性のセラミック層中に埋設されてなり、空間部の側壁は、該空間部を閉塞する固体電解質層と実質的に同質のセラミック材料からなるセラミック層に形成されてなることが空間部を閉塞する固体電解質層の強度を高める上で望ましい。
【００１７】
本発明の空燃比センサ素子は、酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された円筒管の外側に空間を介して固体電解質層を設け、前記円筒管の内面および外面の対向する位置に一対の電極対を形成すると同時に、空間を介して固体電解質層が形成され、且つ前記空間や電極対の周囲に素子を加熱するための発熱体を埋設した素子構造からなる。
【００１８】
そのため、本発明の空燃比センサ素子は、センサ素子全体が円筒型を有しているために、熱応力が素子全体に渡り均等に分散されるため、熱応力の集中が防止され、平板型素子では得られない優れた熱衝撃性が得られる。
【００１９】
また、本発明の空燃比センサ素子によれば、空間部や電極対の周囲のセラミック層内に発熱体を埋設したことによって、固体電解質からなる円筒管の外面の空間部付近に形成した電極対を効率的に加熱することができる結果、急速昇温を行うことができ、センサの活性化時間、即ち、所定の温度までの到達時間を短縮することができる。
【００２０】
なお、本発明の空燃比センサ素子は、後述するように、製造にあたって、固体電解質からなる円筒管を具備するセンサ素体の表面に、発熱体を埋設した前記セラミック層や前記固体電解質層を巻き付けて、同時焼成して作製することができるために、従来のように、センサ素子とヒータ素子とをそれぞれ個別に作製し、円筒状の酸素センサ素子中にセラミックヒータを挿入して使用する従来の酸素センサ素子に比べて、組み立て工程が少なく、製造コストが極めて安価になり、経済性の観点からも優れている。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の空燃比センサ素子の一例の概略斜視図を示す図１、図１におけるＸ１−Ｘ１縦断面図である図２、図１におけるＸ２−Ｘ２横断面図である図３をもとに説明する。
【００２２】
図１乃至図３の空燃比センサ素子１によれば、酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質からなり一端が封止された、言い換えれば縦断面がＵ字状の円筒管２には、センサ素子を構成するための一対の内側電極３と外側電極４からなる電極対が形成されている。具体的には、円筒管２の内面に、空気などに接触される内側電極３と、またそれと対向する外面には排気ガスなどの被測定ガスと接触する外側電極４が形成されて、ポンピングセルが形成されている。
【００２３】
また、円筒管２の外側表面には、電極４の一部または全部が露出するような空間部５が形成されており、且つその空間部５の周囲に発熱体６が埋設されたセラミック層７が設けられている。
【００２４】
そして、この空間部５の上面には、この空間部５を閉塞するように、酸素イオン伝導性を有する固体電解質層８が形成されており、さらにこの固体電解質層８には、被測定ガスとなる排気ガスを取りこむための小さな拡散孔１１が形成されている。
【００２５】
また、セラミック層７中に配設された発熱体６は、リード電極１２を経由して端子電極１３と接続されており、これらを通じて発熱体６に電流を流すことにより発熱体６が加熱され、内側電極３および外側電極４を具備する固体電解質からなる円筒管を加熱する仕組みとなっている。
【００２６】
本発明の上記センサ素子においては、上記の拡散孔１１を通して、所定量の排気ガスが固体電解質層８によって形成された空間部５内に導入され、さらに排気ガス中の酸素ガスは酸素イオンとしてポンピングセル中を拡散した後、円筒管２の内部に酸素ガスとして放出される仕組みになっている。この際、前述の固体電解質層８は、ポンピングセル表面に小さな空間を形成することによって、空間部５内の酸素ガス濃度を均一にすることによりポンピングセル中での酸素イオンの流れを均一にする作用を有するとともに、上記の発熱体６を埋設したセラミック層７との熱膨張係数の差に起因する内部応力を緩和する機能を有している。
【００２７】
本発明の空燃比センサ素子の全体の大きさとしては、外径を３〜６ｍｍ、特に３〜４ｍｍに、また内径は少なくとも０．５ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上とすることにより、素子の消費電力を低減するとともに、センシング性能を高めることができる。
【００２８】
また、本発明においてはセンサ素子の熱衝撃性を改善する目的で、素子の周囲に５０〜６００μｍの多孔質体を被覆することも出来る。
（固体電解質）
本発明において用いられるセラミック固体電解質は、ＺｒＯ2を含有するセラミックスからなり、安定化剤として、Ｙ2Ｏ3およびＹｂ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、Ｓｍ2Ｏ3、Ｎｄ2Ｏ3、Ｄｙ2Ｏ3等の希土類酸化物を酸化物換算で１〜３０モル％、好ましくは３〜１５モル％含有する部分安定化ＺｒＯ2あるいは安定化ＺｒＯ2が用いられている。
【００２９】
また、ＺｒＯ2中のＺｒを１〜２０原子％をＣｅで置換したＺｒＯ2を用いることにより、電子伝導性が大きくなり、応答性がさらに改善されるといった効果がある。
【００３０】
さらに、焼結性を改善する目的で、上記ＺｒＯ2に対して、Ａｌ2Ｏ3やＳｉＯ2を添加含有させることができるが、多量に含有させると、高温におけるクリープ特性が悪くなることから、Ａｌ2Ｏ3およびＳｉＯ2の添加量は総量で５重量％以下、特に２重量％以下であることが望ましい。
（セラミック層）
一方、発熱体６を埋設するセラミック層７としては、アルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラスの群から選ばれる少なくとも１種の絶縁性セラミック材料が好適に用いられる。さらに、セラミック層７をガラスによって形成する場合には、耐熱性の観点から、ＢａＯ、ＰｂＯ、ＳｒＯ、ＣａＯ、ＣｄＯのうちの少なくとも１種を５重量％以上含有するガラスであり、特に結晶化ガラスであることが望ましい。
【００３１】
また、このセラミック層７は、相対密度が８０％以上、開気孔率が５％以下の緻密質なセラミックスによって構成されていることが望ましい。これは、セラミック層７が緻密質であることにより絶縁層の強度が高くなる結果、酸素センサ素子自体の機械的な強度を高めることができるためである。
【００３２】
さらに、このセラミック層７は、後述する図７のように、上記のセラミック材料のうち少なくとも２種のセラミック材料の組み合わせて多層構造によって形成することもできる。
（発熱体）
また、上記セラミック層７の内部に埋設される発熱体６としては、白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムの群から選ばれる１種の金属、または２種以上の合金からなることが望ましく、特に、セラミック層７との同時焼結性の点で、そのセラミック層７の焼成温度よりも融点の高い金属または合金を選択することが望ましい。
【００３３】
また、発熱体６中には上記の金属の他に焼結防止と絶縁層との接着力を高める観点からアルミナ、スピネル、アルミナ／シリカの化合物、フォルステライトあるいは上述の電解質となり得るジルコニア等を体積比率で１０〜８０％、特に３０〜５０％の範囲で混合することが望ましい。
（固体電解質層）
空間部５を閉塞する固体電解質層８は、円筒管２と同様の固体電解質によって構成される。特に、この固体電解質層８は、円筒管２を構成する固体電解質と同一の材質からなることが望ましい。
【００３４】
また、セラミック層７の外表面に形成された固体電解質層８は、発熱体６からの熱の放散を防止する役目を有する。また、セラミック層７の上下面に同様の固体電解質が形成されることになる結果、固体電解質からなる円筒管２とセラミック層７間の熱膨張差や焼成収縮差等に起因する応力を緩和させ、熱応力をできる限り小さくする作用もなす。
【００３５】
なお、発熱体６は、円筒管２や空間部５上部の固体電解質層８に対して直接接することなく、セラミック層７内に埋設されていることが必要であって、発熱体６と円筒管２および固体電解質層８との間のセラミック層７の厚みは少なくとも２μｍ以上、好ましくは５μｍ以上であることが望ましい。
（空間部）
空間部５の形状としては、特に限定するものではないが、円筒管２の外面に形成する上で、円筒管２の長手方向の長さが長い長方形状あるいは楕円形状であることが好ましいが、円形であってもかまわない。空間部５が長方形状の場合は、その隅部は緩やかな曲面によって形成することによって空間部５の隅部への熱応力の集中を緩和することができる。
（拡散孔）
図１乃至図３の空燃比センサ素子において、空間部５の上部に形成した固体電解質層８に形成した拡散孔１１は、直径が１００〜５００μｍであることが望ましく、この拡散孔１１は、１個または２個以上形成してもよい。
【００３６】
なお、この図１乃至図３の空燃比センサ素子においては、拡散孔１１を固体電解質層８に形成したが、この拡散孔１１は、空間部５内に被測定ガスを導入できるものであれば、その形成場所は問わない。例えば、図４に示すように、拡散孔１１をセラミック層７に対して、円筒管２の長手方向に拡散孔１１を形成して、空燃比センサ素子１の先端部付近から拡散孔１１を経由して空間部５内に被測定ガスを導入することができる。
【００３７】
また、他の形態として、図５に示すように、空間部５から先端側にガス透過性を有する多孔質体１４を形成し、この多孔質体１４内の気孔を拡散孔１１として空間部５に被測定ガスを導入することができる。
（電  極）
本発明の空燃比センサ素子１における内側電極３、外側電極４は、いずれも白金、ロジウム、パラジウム、ルテニウムおよび金の群から選ばれる１種、または２種以上の合金、特に白金が好適に用いられる。
【００３８】
また、センサ動作時の電極中の金属の粒成長を防止する目的と、応答性に係わる金属粒子と固体電解質とガスとの、いわゆる３相界面の接点を増大する目的で、上述の円筒管２または固体電解質層８を構成する固体電解質成分を１〜５０体積％、特に１０〜３０体積％の割合で上記電極中に混合することが望ましい。
（電極保護層）
外側電極４を保護するために、図６に示すように、拡散孔１１の直下に、円柱体からなる多孔質体１６を配置して、拡散孔１１を通過した排気ガスが直接、外側電極４に触れないようにする必要がある。また、この多孔質体１６は、空間部５へのガスの拡散を制御するために用いることも可能である。
【００３９】
さらには、この空間部５内には、上記の外側電極４を保護する役目と、空間部５の強度を高めるために、空間部５内部全体に多孔質体を充填することも可能である。
【００４０】
また、上記図１乃至図６では、発熱体６を埋設するセラミック層７を単層構造によって形成したが、このセラミック層７の開口部を塞ぐように形成される固体電解質層８とセラミック層７との接合部では熱膨張差などに起因して応力が発生しやすく、また固体電解質層８が非常に薄いために固体電解質層８が破損しやすい。
【００４１】
そこで、図７の（ａ）概略縦断面図と（ｂ）横断面図に示すように、発熱体６を埋設する部分をアルミナ、スピネル、フォルステライト、ガラスなどの非酸素イオン伝導性のセラミック層７ａによって形成し、さらに開口部５を形成するとともにその開口面に固体電解質層８が形成される部分をジルコニアなどの固体電解質層８と実質的に同質材料からなるセラミック層７ｂによって形成することが望ましい。
【００４２】
また、さらに他の構造としては、図８の（ａ）概略縦断面図、（ｂ）概略横断面図に示すように、３層構造として、発熱体６を埋設するセラミック層７ａと、ジルコニアなどの固体電解質層８と実質的に同質材料からなるセラミック層７ｂ、７ｃによって形成することも可能である。
（製造方法）
次に、本発明の空燃比センサ素子の製造方法について、図１乃至図３の空燃比センサ素子の製造方法を例にして、図９乃至図１５をもとに説明する。
【００４３】
まず円筒管２を形成するために、一端が封止された中空の円筒管素体２０を作製する。この円筒管素体２０は、ジルコニア等の酸素イオン伝導性を有するセラミック固体電解質粉末に対して、適宜、成形用有機バインダーを添加して押出成形や、静水圧成形（ラバープレス）あるいはプレス形成などの周知の方法により作製される（図９（ａ））。
【００４４】
そして、上記固体電解質からなる円筒管素体２０の内面および外面に、電極対として内側電極３および外側電極４となる電極パターン２１、２２を例えば、白金を含有する導電性ペーストを用いてスラリーデッィプ法、あるいはスクリーン印刷、パット印刷、ロール転写で形成して、センサ素体Ａを作製する（図９（ｂ））。この時、円筒管素体２０内面への電極２２の印刷は、円筒管素体２０内部に導体ペーストを充填して排出して内面全面に塗布形成することが効率がよい。
【００４５】
次に、固体電解質を形成するセラミック粉末に成形用有機バインダーを添加したスラリーをドクターブレード法、押出し成形法、金型プレス法などにより、５０〜５００μｍ、特に１００〜３００μｍの厚さの固体電解質層８を形成するためのグリーンシート２３を作製する（図１０（ａ））。
【００４６】
そして、上記グリーンシート２３の表面に発熱体６を内蔵するセラミック層７を形成するために、非酸素イオン伝導性セラミック粉末に、成形用有機バインダーを添加して絶縁体スラリーを調製し、このスラリーを空間部形成部を除くグリーンシート２３の片面にスクリーン印刷等でセラミック層２６を塗布する（図１０（ｂ））。その後、セラミック層２６表面に白金粉末を含む導電性ペーストを印刷してリード部を含む発熱体パターン２７を形成する（図１０（ｃ））。そして、再度、上記絶縁体スラリーを塗布してセラミック層２８形成して、セラミック層２６、２８中に発熱体パターン２７を埋設させる（図１０（ｄ））。また、同時に、グリーンシート２３に、拡散孔１１となる貫通孔２９を穿孔する。このようにして、図１１の概略斜視図に示すようなヒータ素体Ｂを作製する。
【００４７】
次に、図１２に示すように、上記円筒状のセンサ素体Ａの表面に、ヒータ素体Ｂを巻き付けて円筒状積層体を作製する。この際、ヒータ素体Ｂをセンサ素体Ａに巻き付けるには、ヒータ素体Ｂとセンサ素体Ａとの間にアクリル樹脂や有機溶媒などの接着剤を介在させて接着させたり、あるいはローラ等で圧力を加えながら機械的に接着することができる。
【００４８】
この巻き付け処理において、ヒータ素体Ｂの合わせ目は、ヒータ素体Ｂの両端部が重なることなく、図３に示すように所定の間隔が開いていることが望ましく、特にこの円筒管２における巻き付けられていない領域３０の横断面における中心角θが５〜５０度、特に１０〜２５度であることが望ましい。これは上記中心角が５度より小さいと、ヒータ素体Ｂの大きさおよびセンサ素体Ａの製造ばらつきによってヒータ素体Ｂの端面が一部重なり合う場合が発生しやすくなり、素子の歩留まりが悪い。また、中心角が５０度を越えると、焼成時に素子が楕円形に変形しやすくなり、熱衝撃性が低下するおそれがある。
【００４９】
そして、上記の円筒状積層体をセンサ素体Ａを構成する固体電解質からなる円筒管素体２０およびヒータ素体Ｂにおけるセラミック層２６、２８および固体電解質のグリーンシート２３、並びに各電極が同時に焼成可能な温度で焼成することにより、センサ素体Ａとセンサ素体Ｂとを一体化することができる。
【００５０】
例えば、固体電解質としてジルコニア、発熱体６を埋設するセラミック層としてアルミナを用いた場合には、アルゴンガス等の不活性雰囲気中あるいは大気中で１３００〜１７００℃で１〜１０時間程度焼成することによりヒータ素体Ａとセンサ素体Ｂとを同時焼成することができる。
【００５１】
なお、拡散孔１１の形成は、上記の製造工程においては、図１０（ｄ）に示したように、巻き付け処理前のヒータ素体Ｂのグリーンシート２３に形成したが、その他、焼成後の固体電解質層にマイクロドリル等を用いて孔を開けてもよいが、作業性および歩留まりの観点からは前者が望ましい。また、図４のように、拡散孔１１をセラミック層７に対して円筒管２の長手方向に形成するには、上記図１０のセラミック層２６、２８に長手方向に拡散孔１１となる溝を形成すればよい。
【００５２】
さらに、図５のように多孔質体１４によって拡散孔１１を形成する場合には、前記図７のセラミック層７ａ、７ｂを積層形成する過程で、先端側に、焼成後、１０〜４０％の気孔率を有する多孔質体を形成するようなアルミナ、スピネル、フォルステライト、ジルコニア、ガラス等のセラミック粉末を塗布すればよい。
（素子の他の製造方法）
また、本発明の空燃比センサ素子の他の製造方法として、図１３に示すように、前記ヒータ素体Ｂを作製するにあたって、セラミック層７を形成するためにセラミック粉末を用いて２枚のグリーンシート３１、３２を作製し、グリーンシート３２の表面に白金などのペーストを印刷して発熱体パターン３３を形成した後、前述のグリーンシート２３にグリーンシート３１、３２を積層圧着してヒータ素体Ｂを作製する。そして、前記製造方法と同様にしてセンサ素体Ａに巻き付け処理し、焼成することによっても作製することができる。
【００５３】
また、さらに他の製造方法として、図１４に示すように、固体電解質粉末を用いて作製されたグリーンシート３６に、図１０（ｄ）のヒータ素体Ｂを積層して積層体Ｂ’を作製する。一方、図９（ｂ）のセンサ素体Ａにおいて、電極パターン２２を形成していない、電極パターン２１のみを形成したセンサ素体Ａ’を作製し、センサ素体Ａ’の表面に積層体Ｂ’のグリーンシート３６の測定電極パターン３５を形成していない側とセンサ素体Ａ’の外表面が接触するように巻き付け処理して、同時焼成することも可能である。
【００５４】
また、さらに他の製造方法として、図７の酸素センサを作製するには、図１５に示すように、非酸素イオン伝導性のセラミック材料からなるグリーンシート３７ａ、３７ｂ間にリードパターンを含む発熱体パターン３８を形成し、そのグリーンシート３７ａ、３７ｂに開口３９を形成し、開口３９内に固体電解質のセラミック層４０を充填する。そして、セラミック層４０の表面に電極パターン４１と適宜、拡散律速層４２を形成する。さらに、その上に開口４３を有する固体電解質からなるグリーンシート４４を積層し、さらに拡散孔４５を形成した固体電解質グリーンシート４６をグリーンシート４４の開口４３を閉塞するように積層し一体化して積層体を形成する。
【００５５】
その後、この積層体を図１４で説明したのと同様に、測定電極を有しないセンサ素体Ａ’の表面に、上記のようにして作製した積層体のグリーンシート３７側をセンサ素体Ａ’の表面に巻き付け処理して、同時焼成することによって形成することができる。また、開口３９内に固体電解質のセラミック層４０を充填する際に、開口３９のみならず、グリーンシート３７ａ、３７ｂの表面まで被覆すれば、図８のような構造の酸素センサが得られる。
【００５６】
【実施例】
（実施例１）
市販のアルミナ粉末と、５モル％Ｙ2Ｏ3含有のジルコニア粉末と、白金粉末をそれぞれ準備した。
【００５７】
まず、５モル％Ｙ2Ｏ3含有のジルコニア粉末にポリビニルアルコール溶液を添加して坏土を作製し、押出成形により焼結後、外径が約４ｍｍ、内径が１ｍｍになるように一端が封じた円筒管素体を作製し、その外表面に、外側電極として白金ペーストからなる長方形状の電極パターンおよびリードパターンを印刷塗布するとともに、成形体の内部全面にも白金ペーストを塗布して内側電極を形成してセンサ素体Ａを作製した。なお、内側電極および外側電極の厚みは焼成後にそれぞれ約１０μｍとなるように調整した。
【００５８】
また、５モル％Ｙ2Ｏ3含有のジルコニア粉末にアクリル系バインダーとトルエン溶液を加えてスラリーを作製し、ドクターブレード法により厚みが約２００μｍのジルコニアグリーンシートを作製した。このジルコニアグリーンシートを用い開口部を形成する部分の中心に、マイクロドリルにより焼成後の直径が０．３ｍｍになるように拡散孔を形成した。
【００５９】
その後、このジルコニアグリーンシートの開口部を形成する部分以外の領域に、アルミナ粉末を含むスラリーをスクリーン印刷で焼成後に約１０μｍの厚みになるように塗布後、そのアルミナ層の表面に白金ペーストを用いて発熱体パターンを焼成後に１０μｍの厚みになるように印刷形成し、再度、その上にアルミナスラリーを塗布して、アルミナ層内に発熱体パターンを埋設して、ヒータ素体Ｂを作製した。
【００６０】
そして、上記センサ素体Ａの表面に、上記ヒータ素体Ｂを巻き付けて円筒状積層体を作製した。なお、巻き付けにあたって接着剤としてアクリル系バインダを用いた。
【００６１】
その後、この円筒状積層体を１５００℃、大気中で２時間焼成して、図１に示す本発明の空燃比センサ素子を完成させた。この際、最終的に作製したセンサ素子における円筒管における巻き付けられていない領域の円筒管の横断面における中心角は２０度とした。
【００６２】
作製した空燃比センサ素子の評価は、室温から１０００℃まで２０秒で昇温し、１０００℃から室温まで空冷するという温度サイクルを１サイクルとし、これを２０万回繰り返し素子が破損する確率を求めた。この際、比較のため図１７に示すような市販のヒータが一体化した平板型の素子についても同様な試験を行った。また、用いた素子の数量はそれぞれ５０個とした。
【００６３】
その結果、本発明の空燃比センサ素子の破損率は１８％であったのに対して、市販の平板型素子では破損率が９２％と極めて高かった。これより、本発明の円筒状の素子の耐熱衝撃性が優れたものであることが理解される。
（実施例２）
実施例１の本発明の空燃比センサ素子を用い、７００℃において電極間に０．３Ｖ印加した時の空燃比に対するポンピング電流を測定しその関係を図１６に示す。この図１６より、空燃比が１０から６０の範囲においてポンピング電流と空燃比が単一の曲線で表わされることがわかる。これにより本発明の空燃比センサは広範囲の燃焼領域においても空気と燃料の比率を検出する充分な機能を有することが分かる。
【００６４】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の空燃比センサ素子によれば、従来の素子では得られない急速昇温などの熱衝撃性に優れた空燃比センサ素子が提供でき、また、その結果、センサ活性化時間を短縮することもできる。しかも、本発明のセンサ素子は発熱体を内蔵するセラミック層とを同時焼成して作製できるため、製造コストが極めて安価になり、経済性の観点からも優れている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の空燃比センサ素子の一例を説明するための概略斜視図である。
【図２】図１の空燃比センサ素子におけるＸ１−Ｘ１縦断面図である。
【図３】図１の空燃比センサ素子におけるＸ２−Ｘ２横断面図である。
【図４】本発明の空燃比センサ素子の他の例を説明するための概略縦断面図である。
【図５】本発明の空燃比センサ素子のさらに他の例を説明するための概略縦断面図である。
【図６】本発明の空燃比センサ素子のさらに他の例を説明するための概略縦断面図である。
【図７】本発明の空燃比センサ素子のさらに他の例を説明するための（ａ）概略縦断面図と（ｂ）検知部の横断面図である。
【図８】本発明の空燃比センサ素子のさらに他の例を説明するための（ａ）概略縦断面図と（ｂ）検知部の横断面図である。
【図９】本発明の空燃比センサ素子の製造方法を説明するための図であって、センサ素体を作製する工程を示す図である。
【図１０】本発明の空燃比センサ素子の製造方法を説明するための図であって、ヒータ素体を作製する工程を示す図である。
【図１１】図８によって作製されたヒータ素体Ｂの概略斜視図である。
【図１２】ヒータ素体Ｂをセンサ素体Ａに巻き付ける工程を示す図である。
【図１３】本発明の空燃比センサ素子の他の製造方法を説明するための図であって、ヒータ素体Ｂを作製する工程を示す図である。
【図１４】本発明の空燃比センサ素子の他の製造方法を説明するための図であって、ヒータ素体Ｂを作製する工程を示す図である。
【図１５】本発明の空燃比センサ素子の他の製造方法を説明するための図であって、ヒータ素体Ｂを作製する工程を示す図である。
【図１６】実施例２の空燃比センサ素子における空燃比に対するポンピング電流の関係を示す図である。
【図１７】従来の平板型空燃比センサ素子を説明するための概略断面図である。
【符号の説明】
１  空燃比センサ素子
２  円筒管
３  内側電極
４  外側電極
５  空間部
６  発熱体
７  セラミック層
８  固体電解質層
１１  拡散孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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