(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された少なくとも３個の環状の突き上げ部材を有し、前記最内側の突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される上下動軸に連結され、前記上下動軸が上昇することにより、外側の突き上げ部材より内側の突き上げ部材が順次更に上昇し、この上昇時には、上昇する突き上げ部材より内側の突き上げ部材は同時に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記最外側の突き上げ部材には、外周部にストッパが螺合して設けられ、前記吸着体の内側には、前記ストッパが接触して上昇が停止させられる段部が前記ストッパに対向して形成され、前記最外側の突き上げ部材及び前記最内側の突き上げ部材以外の突き上げ部材には、当該突き上げ部材の外側の突き上げ部材に接触して上昇が停止させられるストッパがそれぞれ上下位置調整可能に設けられ、前記最内側の突き上げ部材以外の突き上げ部材は、前記上下動軸にそれぞれ軸受を介して支承され、前記上下動軸には、前記最外側の突き上げ部材の下方部分及び前記最外側の突き上げ部材の凹部底面の上方部分にそれぞればね力調整用駒を前記上下動軸に対して上下動可能に嵌挿して固定すると共に、 前記各ばね力調整用駒と対応する突き上げ部材間に該対応する突き上げ部材を保持する圧縮ばねを配設し、前記各ばね力調整用駒を上下動させることにより、圧縮ばねのばね力を調整することを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された３個の環状の１段目、２段目、３段目突き上げ部材を有し、前記３段目突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される駆動上下動軸に連結され、前記駆動上下動軸が上昇することにより、最初に３個の突き上げ部材が同時に上昇し、次に２段目突き上げ部材と３段目突き上げ部材とが更に上昇し、最後に３段目突き上げ部材が更に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記１段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成され、外周には前記吸着体に接触して上昇が停止させられる１段目ストッパが上下位置調整可能に設けられ、前記２段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成されて前記１段目突き上げ部材の凹部内に配設され、１段目突き上げ部材の凹部の底面と一定の空間を保つように連動ストッパが設けられ、更に前記１段目突き上げ部材の凹部底面部を貫通してストッパ軸が設けられ、このストッパ軸には、前記１段目突き上げ部材に接触して上昇が停止させられる２段目ストッパが上下位置調整可能に設けられ、前記３段目突き上げ部材には、前記２段目突き上げ部材及び１段目突き上げ部材を貫通して下方に伸び、前記駆動上下動軸に連結された連結上下動軸が固定され、前記連結上下動軸には、１段目突き上げ部材を上方に付勢する１段目保持用圧縮ばねが１段目突き上げ部材の下面側に配設され、２段目突き上げ部材を上方に付勢する２段目保持用圧縮ばねが１段目突き上げ部材と２段目突き上げ部材の空間部に配設され、前記１段目及び２段目突き上げ部材は、前記連結上下動軸に軸受を介して支承され、前記吸着体に固定された吸着体支持ブロックは、 前記駆動上下動軸に軸受を介して支承され、前記駆動上下動軸には、前記１段目突き上げ部材の下方部分及び前記１段目突き上げ部材の凹部底面の上方部分にそれぞればね力調整用駒を前記駆動上下動軸に対して上下動可能に嵌挿して固定すると共に、 前記各ばね力調整用駒と前記１段目及び２段目突き上げ部材間にそれぞ圧縮ばねを配設し、前記各ばね力調整用駒を上下動させることにより、圧縮ばねのばね力を調整することを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項３】
ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された３個の環状の１段目、２段目、３段目突き上げ部材を有し、前記３段目突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される駆動上下動軸に連結され、前記駆動上下動軸が上昇することにより、最初に３個の突き上げ部材が同時に上昇し、次に２段目突き上げ部材と３段目突き上げ部材とが更に上昇し、最後に３段目突き上げ部材が更に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記１段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成され、外周には前記吸着体に接触して上昇が停止させられる１段目ストッパが上下位置調整可能に螺合して設けられ、前記吸着体の内側には、 １段目ストッパが接触して上昇が停止させられる段部が１段目ストッパに対向して形成され、 前記２段目突き上げ部材は、前記１段目突き上げ部材の凹部内に形成された段部に載置され、かつ該１段目突き上げ部材に上下動可能に配置され、この２段目突き上げ部材には、１段目突き上げ部材を貫通してストッパ受け軸が固定され、ストッパ受け軸には、リング状の２段目ストッパ受け板が固定され、前記１段目突き上げ部材の下端側の外周には、 前記ストッパ受け板に対応して前記２段目ストッパ受け板が接触して上昇が停止させられる２段目ストッパが上下位置調整可能に螺合して設けられ、前記ストッパ受け軸には、該ストッパ受け軸の下端部で支持された１段目圧縮ばね保持ブロックが上下動可能に設けられ、前記３段目突き上げ部材には、前記１段目突き上げ部材を貫通して下方に伸び、前記駆動上下動軸に連結された連結上下動軸が固定され、前記連結上下動軸には、２段目突き上げ部材の底面上の部分に位置決め駒が固定され、前記１段目圧縮ばね保持ブロックと前記１段目突き上げ部材間には１段目突き上げ部材を上方に付勢する１段目保持用圧縮ばねが配設され、前記位置決め駒と前記２段目突き上げ部材間には２段目突き上げ部材を上方に付勢する２段目保持用圧縮ばねが配設され、前記１段目突き上げ部材は、前記２段目突き上げ部材に直接上下動可能に配設され、前記２段目突き上げ部材は、前記３段目突き上げ部材に直接上下動可能に配設されていることを特徴とするダイピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイピックアップ装置に係り、特にウェーハシートに整列して貼り付けられたダイをウェーハシートから個々にピックアップするダイピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハシートをダイの外周側から徐々に剥離させるダイピックアップ装置として、例えば特許文献１及び２等が挙げられる。
【特許文献１】特開２００３−１３３３９１号公報
【特許文献２】特開２００５−１１７０１９号公報
【０００３】
特許文献１の突き上げ手段は、外側から内側へ順次に配置された複数の環状の突き上げ部材を有している。複数の突き上げ部材はそれぞれ肩部を持つ段付き形状に形成されており、その外側の突き上げ部材によって支持されている。複数の突き上げ部材は該複数の突き上げ部材に対応してカム部を有するカムによって上下動させられる。即ち、外側のカム部から順次内側のカム部によって外側の突き上げ部材から順次内側の突き上げ部材が上昇する。これにより、ウェーハシートはダイの外周側から徐々に剥離される。
【０００４】
特許文献２の突き上げ手段は、吸着体（吸着駒）の外側から内側へ順次に配置された３個の環状の突き上げ部材を有している。外側の突き上げ部材と中間の突き上げ部材との間には第１の圧縮コイルばねが配設され、中間の突き上げ部材と内側の突き上げ部材との間には第１の圧縮コイルばねよりもばね定数の大きい第２の圧縮コイルばねが配設されており、内側の突き上げ部材は上下動軸と連動して上下動するようになっている。ここで、外側の突き上げ部材は、該突き上げ部材の一部が吸着体に接触することによって上昇が停止し、中間の突き上げ部材は、該突き上げ部材の一部が外側の突き上げ部材に接触することによって上昇が停止し、内側の突き上げ部材は、上下動軸の上昇によってコントロールされる。
【０００５】
そこで、上下動軸が上昇して内側の突き上げ部材を押し上げると、内側の突き上げ部材と中間の突き上げ部材との間の第２の圧縮コイルばねのばね力によって中間の突き上げ部材が押し上げられ、更に外側の突き上げ部材と中間の突き上げ部材との間の第１の圧縮コイルばねのばね力によって外側の突き上げ部材が押し上げられるので、３個の突き上げ部材が同時に押し上げられる。そして、外側の突き上げ部材の一部が吸着体の上方内面と接触することによって３個の突き上げ部材の上昇が停止する。更に上下動軸が上昇すると、中間の突き上げ部材と内側の突き上げ部材の間の第２の圧縮コイルばねにより、中間の突き上げ部材の一部が外側の突き上げ部材と接触して中間の及び内側の突き上げ部材の上昇が停止する。この場合、第１の圧縮コイルばねのばね力は第２の圧縮コイルばねのばね力よりも小さいので、中間の突き上げ部材が外側の突き上げ部材の上方内面に接触するまで上昇できる。更に上下動軸が上昇すると、内側の突き上げ部材のみが上昇する。これにより、ウェーハシートはダイの外周側から徐々に剥離される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１は、複数の突き上げ部材に対応したカム部を有するカムによって複数の突き上げ部材の上昇量が決められる。このため、ダイのサイズ変更やウェーハシートの変更又は経時変化に対しては、それに対応したカムに交換しなければならなかった。
【０００７】
特許文献２は、外側の突き上げ部材の一部が吸着体に接触することによって、また中間の突き上げ部材の一部が外側の突き上げ部材に接触することによって外側の突き上げ部材及び中間の突き上げ部材の上昇が停止する。このように、外側の突き上げ部材の上昇量は、吸着体と外側の突き上げ部材の隙間により決まり、中間の突き上げ部材の上昇量は、外側の突き上げ部材と中間の突き上げ部材の隙間によって決まる。このため、ダイのサイズ変更やウェーハシートの変更又は経時変化に対して複数の突き上げ部材を最適な上昇量に設定することができなかった。
【０００８】
本発明の課題は、ダイのサイズ変更やウェーハシートの変更又は経時変化に対して複数の突き上げ部材を最適な上昇量に容易に設定することができるダイピックアップ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された少なくとも３個の環状の突き上げ部材を有し、前記最内側の突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される上下動軸に連結され、前記上下動軸が上昇することにより、外側の突き上げ部材より内側の突き上げ部材が順次更に上昇し、この上昇時には、上昇する突き上げ部材より内側の突き上げ部材は同時に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記最外側の突き上げ部材には、外周部にストッパが螺合して設けられ、前記吸着体の内側には、前記ストッパが接触して上昇が停止させられる段部が前記ストッパに対向して形成され、前記最外側の突き上げ部材及び前記最内側の突き上げ部材以外の突き上げ部材には、当該突き上げ部材の外側の突き上げ部材に接触して上昇が停止させられるストッパがそれぞれ上下位置調整可能に設けられ、前記最内側の突き上げ部材以外の突き上げ部材は、前記上下動軸にそれぞれ軸受を介して支承され、前記上下動軸には、前記最外側の突き上げ部材の下方部分及び前記最外側の突き上げ部材の凹部底面の上方部分にそれぞればね力調整用駒を前記上下動軸に対して上下動可能に嵌挿して固定すると共に、 前記各ばね力調整用駒と対応する突き上げ部材間に該対応する突き上げ部材を保持する圧縮ばねを配設し、前記各ばね力調整用駒を上下動させることにより、圧縮ばねのばね力を調整することを特徴とする。
【００１０】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された３個の環状の１段目、２段目、３段目突き上げ部材を有し、前記３段目突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される駆動上下動軸に連結され、前記駆動上下動軸が上昇することにより、最初に３個の突き上げ部材が同時に上昇し、次に２段目突き上げ部材と３段目突き上げ部材とが更に上昇し、最後に３段目突き上げ部材が更に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記１段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成され、外周には前記吸着体に接触して上昇が停止させられる１段目ストッパが上下位置調整可能に設けられ、前記２段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成されて前記１段目突き上げ部材の凹部内に配設され、１段目突き上げ部材の凹部の底面と一定の空間を保つように連動ストッパが設けられ、更に前記１段目突き上げ部材の凹部底面部を貫通してストッパ軸が設けられ、このストッパ軸には、前記１段目突き上げ部材に接触して上昇が停止させられる２段目ストッパが上下位置調整可能に設けられ、前記３段目突き上げ部材には、前記２段目突き上げ部材及び１段目突き上げ部材を貫通して下方に伸び、前記駆動上下動軸に連結された連結上下動軸が固定され、前記連結上下動軸には、１段目突き上げ部材を上方に付勢する１段目保持用圧縮ばねが１段目突き上げ部材の下面側に配設され、２段目突き上げ部材を上方に付勢する２段目保持用圧縮ばねが１段目突き上げ部材と２段目突き上げ部材の空間部に配設され、前記１段目及び２段目突き上げ部材は、前記連結上下動軸に軸受を介して支承され、前記吸着体に固定された吸着体支持ブロックは、 前記駆動上下動軸に軸受を介して支承され、前記駆動上下動軸には、前記１段目突き上げ部材の下方部分及び前記１段目突き上げ部材の凹部底面の上方部分にそれぞればね力調整用駒を前記駆動上下動軸に対して上下動可能に嵌挿して固定すると共に、 前記各ばね力調整用駒と前記１段目及び２段目突き上げ部材間にそれぞ圧縮ばねを配設し、前記各ばね力調整用駒を上下動させることにより、圧縮ばねのばね力を調整することを特徴とする。
【００１１】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、ダイが整列して貼り付けられたウェーハシートの下面を吸着保持する吸着体と、この吸着体の内側に配設された突き上げ手段と、この突き上げ手段を上下駆動させる上下駆動手段とを備え、前記突き上げ手段は、外側から内側へ順次配設された３個の環状の１段目、２段目、３段目突き上げ部材を有し、前記３段目突き上げ部材は、前記上下駆動手段で上下駆動される駆動上下動軸に連結され、前記駆動上下動軸が上昇することにより、最初に３個の突き上げ部材が同時に上昇し、次に２段目突き上げ部材と３段目突き上げ部材とが更に上昇し、最後に３段目突き上げ部材が更に上昇し、ウェーハシートをダイの外周側から内側に徐々に剥離させるダイピックアップ装置において、
前記１段目突き上げ部材は、縦断面が凹部形状に形成され、外周には前記吸着体に接触して上昇が停止させられる１段目ストッパが上下位置調整可能に螺合して設けられ、前記吸着体の内側には、 １段目ストッパが接触して上昇が停止させられる段部が１段目ストッパに対向して形成され、 前記２段目突き上げ部材は、前記１段目突き上げ部材の凹部内に形成された段部に載置され、かつ該１段目突き上げ部材に上下動可能に配置され、この２段目突き上げ部材には、１段目突き上げ部材を貫通してストッパ受け軸が固定され、ストッパ受け軸には、リング状の２段目ストッパ受け板が固定され、前記１段目突き上げ部材の下端側の外周には、 前記ストッパ受け板に対応して前記２段目ストッパ受け板が接触して上昇が停止させられる前記１段目突き上げ部材には２段目ストッパが上下位置調整可能に設けられ、前記ストッパ受け軸には、該ストッパ受け軸の下端部で支持された１段目圧縮ばね保持ブロックが上下動可能に設けられ、前記３段目突き上げ部材には、前記１段目突き上げ部材を貫通して下方に伸び、前記駆動上下動軸に連結された連結上下動軸が固定され、前記連結上下動軸には、２段目突き上げ部材の底面上の部分に位置決め駒が固定され、前記１段目圧縮ばね保持ブロックと前記１段目突き上げ部材間には１段目突き上げ部材を上方に付勢する１段目保持用圧縮ばねが配設され、前記位置決め駒と前記２段目突き上げ部材間には２段目突き上げ部材を上方に付勢する２段目保持用圧縮ばねが配設され、前記１段目突き上げ部材は、前記２段目突き上げ部材に直接上下動可能に配設され、前記２段目突き上げ部材は、前記３段目突き上げ部材に直接上下動可能に配設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
最内側の突き上げ部材を除いて、最外側の突き上げ部材には、吸着体に接触して上昇が停止させられるストッパが上下位置調整可能に設けられ、その他の突き上げ部材には、当該突き上げ部材の外側の突き上げ部材に接触して上昇が停止させられるストッパがそれぞれ上下位置調整可能に設けられている。そこで、それぞれのストッパを上下動させることによりそれぞれの突き上げ部材の上昇量を調整できる。従って、ダイのサイズ変更やウェーハシートの変更又は経時変化に対して、各突き上げ部材の上昇量をそれぞれ最適な状態に調整できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を図１により説明する。ウェーハシート１にはダイ２が整列して貼り付けられている。ウェーハシート１の下面側に該ウェーハシート１を吸着保持する吸着体１０が配設され、吸着体１０の内側には突き上げ手段２０が配設されている。吸着体１０の下方には突き上げ手段２０を上下駆動する上下駆動手段４０が配設されている。ダイ２の上方には、該ダイ２を吸着して移送する吸着ヘッド６０が配設されており、吸着ヘッド６０には吸引穴６１が形成されている。
【００１４】
まず、吸着体１０の構成について説明する。吸着体１０は内部に空間部１１を有し、上方中央に環状の突き上げ部材開口穴１２が形成され、更に突き上げ部材開口穴１２の外側に複数個のシート吸引穴１３が形成されている。また吸着体１０の上面には環状溝１４が形成され、この環状溝１４がシート吸引穴１３に連通するように連通溝１５が形成されている。これら環状溝１４及び連通溝１５によりピックアップされるダイ２の外側のウェーハシート１部分を吸着体１０に確実に吸着保持できるようになっている。吸着体１０は吸着体支持ブロック１６に固定されており、吸着体支持ブロック１６には、外部と空間部１１が連通するように真空吸引穴１７が形成されている。真空吸引穴１７には、図示しないパイプの一端が接続され、パイプの他端は真空ポンプに接続されている。
【００１５】
次に突き上げ手段２０の構成について説明する。突き上げ手段２０は、上端が突き上げ部材開口穴１２から露出するように吸着体１０の空間部１１に配設されており、外側から内側に順次配置された１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３を有している。１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の表面及び断面は正方形の形状に形成されている。
【００１６】
１段目突き上げ部材２１は最も外側に位置し、縦断面が凹部形状となっており、外周には１段目ストッパ２４が螺合されている。２段目突き上げ部材２２は１段目突き上げ部材２１の凹部内に配設され、縦断面が凹部形状となっている。
【００１７】
２段目突き上げ部材２２の下面には、１段目突き上げ部材２１の凹部の底面と一定の空間を保つように連動ストッパ２５が設けられており、該連動ストッパ２５が１段目突き上げ部材２１の凹部底面に当接した状態においては、２段目突き上げ部材２２の上面は１段目突き上げ部材２１の上面と同一平面となるように形成されている。また２段目突き上げ部材２２の下面には、１段目突き上げ部材２１の凹部底面部を貫通して回転止めとストッパ支持を兼ねたストッパ軸２６が固定されており、ストッパ軸２６の下端部には２段目ストッパとなるナット２７が螺合されている。
【００１８】
３段目突き上げ部材２３は２段目突き上げ部材２２の凹部内に配設されており、３段目突き上げ部材２３が２段目突き上げ部材２２の凹部底面に当接した状態においては、３段目突き上げ部材２３の上面は１段目突き上げ部材２１及び２段目突き上げ部材２２の上面と同一平面になるように形成されている。３段目突き上げ部材２３には２段目突き上げ部材２２及び１段目突き上げ部材２１を貫通して下方に伸びた連結上下動軸３０が固定されており、連結上下動軸３０は１段目突き上げ部材２１及び２段目突き上げ部材２２に軸受３１、３２を介して回転自在に支承されている。
【００１９】
連結上下動軸３０には、１段目突き上げ部材２１の下方部分及び１段目突き上げ部材２１との底面の上方部分にそれぞればね力調整用駒３３、３４が固定されている。また連結上下動軸３０には、ばね力調整用駒３３と１段目突き上げ部材２１間及びばね力調整用駒３４と２段目突き上げ部材２２間にそれぞれ１段目保持用圧縮ばね３５、２段目保持用圧縮ばね３６が配設されている。なお、ばね力調整用駒３３、３４は連結上下動軸３０に対して上下動可能に嵌挿され、図示しないねじで連結上下動軸３０に固定されるようになっている。即ち、ばね力調整用駒３３、３４を上下動させて連結上下動軸３０に固定することにより１段目保持用圧縮ばね３５、２段目保持用圧縮ばね３６のばね力を調整することができる。
【００２０】
次に１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量の調整について説明する。１段目ストッパ２４は１段目突き上げ部材２１に螺合されているので、１段目ストッパ２４を上下動させることにより吸着体１０の上端部下面と１段目ストッパ２４との間隔Ｈ１を調整することができる。この間隔Ｈ１が１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇する１段目上昇量となる。２段目ストッパとなるナット２７はストッパ軸２６に螺合されているので、ナット２７を上下動させることにより１段目突き上げ部材２１とナット２７との間隔Ｈ２を調整することができる。この間隔Ｈ２が１段目突き上げ部材２１が上昇した後に２段目、３段目突き上げ部材２２、２３が更に上昇する２段目上昇量となる。２段目、３段目突き上げ部材２２、２３が２段目上昇した後、連結上下動軸３０を更に上昇させる上昇量が３段目突き上げ部材２３の３段目上昇量となる。
【００２１】
最後に上下駆動手段４０の構成について説明する。吸着体支持ブロック１６には、連結上下動軸３０の真下の部分に駆動上下動軸４１が軸受４２を介して回転自在に支承されている。駆動上下動軸４１の上端は連結上下動軸３０に連結駒４３で連結されている。駆動上下動軸４１の下端には受け板４４が固定されている。受け板４４はローラ４５に当接しており、ローラ４５はローラ軸４６に回転自在に支承されている。ローラ軸４６はレバー４７の一端側に固定されており、レバー４７の他端側は回転軸４８に固定されている。回転軸４８は図示しないモータのモータ軸に連結されている。受け板４４にはばね掛け４９が固定されており、受け板４４がローラ４５に圧接するようにばね５０が掛けられている。
【００２２】
次に作用を図１及び図２により説明する。図１（ａ）に示すように、ウェーハシート１が吸着体１０上に置かれる。この時、真空吸引穴１７に接続されている真空ポンプを作動させる。これにより、シート吸引穴１３を通して吸引される環状溝１４及び連通溝１５によりウェーハシート１は吸着体１０に吸引固定される。次に図２（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようにレバー４７が回転軸４８を中心として矢印方向に回転させられる。これにより、ローラ４５が受け板４４を持ち上げ、駆動上下動軸４１及び連結上下動軸３０を上昇させる。
【００２３】
図１の状態より図２（ａ）に示すように、レバー４７が回転して連結上下動軸３０が上昇すると、１段目保持用圧縮ばね３５のばね力により１段目突き上げ部材２１が上昇させられる。１段目突き上げ部材２１と共に１段目ストッパ２４が図１に示す１段目上昇量Ｈ１だけ上昇し、１段目ストッパ２４が吸着体１０の上端部下面に当接し、１段目突き上げ部材２１の上昇は停止する。ここで、１段目突き上げ部材２１が上昇すると、連動ストッパ２５を介して２段目突き上げ部材２２も１段目突き上げ部材２１と共に上昇する。また３段目突き上げ部材２３も２段目突き上げ部材２２と共に上昇する。即ち、図２（ａ）に示すように、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３は１段目上昇量Ｈ１だけ上昇する。これにより、ピックアップしようとするダイ２は、外周側の端部がウェーハシート１から剥離する。
【００２４】
図２（ｂ）に示すようにレバー４７が更に回転すると、１段目突き上げ部材２１は１段目ストッパ２４が吸着体１０に当接しているので上昇できないが、２段目突き上げ部材２２は２段目保持用圧縮ばね３６のばね力により３段目突き上げ部材２３と共にナット２７が１段目突き上げ部材２１に当接するまで上昇する。即ち、２段目突き上げ部材２２及び３段目突き上げ部材２３は２段目上昇量Ｈ２だけ上昇する。これにより、ダイ２は１段目突き上げ部材２１の上面に対応する部分がウェーハシート１から更に剥離する。
【００２５】
図２（ｃ）に示すようにレバー４７が更に回転すると、２段目突き上げ部材２２はナット２７が１段目突き上げ部材２１に当接しているので上昇できなく、３段目突き上げ部材２３のみが連結上下動軸３０の上昇量だけ上昇する。即ち、３段目突き上げ部材２３は３段目上昇量Ｈ３だけ上昇する。これにより、ダイ２は２段目突き上げ部材２２の上面に対応する部分がウェーハシート１から更に剥離する。その後は、レバー４７が前記と逆方向に回転し、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３が下降して突き上げ手段２０は初期状態となる。吸着ヘッド６０はダイ２を吸着して所定位置に移送する。
【００２６】
このように、ウェーハシート１はダイ２の外周側から徐々に剥離されていくため、ダイ２の一部のみに集中的な過大応力が加わることがなく剥離をスムーズに行うことができる。この結果、大面積で厚さの薄いダイ２であっても割れることなくピックアップすることができる。
【００２７】
特に本実施の形態においては、１段目ストッパ２４を上下動させることにより１段目突き上げ部材２１の１段目上昇量Ｈ１を調整でき、またナット２７を上下動させることにより２段目突き上げ部材２２の２段目上昇量Ｈ２を調整でき、更に２段目突き上げ部材２２が２段目上昇量Ｈ２上昇した後に３段目突き上げ部材２３を上昇させる上昇量をコントロールすることにより３段目上昇量Ｈ３を設定できる。このように、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３をそれぞれ調整できるので、ダイ２のサイズ変更やウェーハシート１の変更又は経時変化に対して、各１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３をそれぞれ最適な状態に調整できる。
【００２８】
本発明のダイピックアップ装置の他の実施の形態を図３により説明する。なお、前記実施の形態（図１及び図２）と同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。本実施の形態は前記実施の形態と突き上げ手段２０の構成が異なるのみである。即ち、符号１から１７、上下駆動手段４０及び吸着ヘッド６０は前記実施の形態と同じであるので、その構成の説明は省略する。
【００２９】
そこで、突き上げ手段２０の構成について説明する。突き上げ手段２０は、前記実施の形態と同様に、上端が突き上げ部材開口穴１２から露出するように吸着体１０の空間部１１に配設されており、外側から内側に順次配置された１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３を有している。１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の表面及び断面は正方形の形状に形成されている。
【００３０】
１段目突き上げ部材２１は最も外側に位置し、縦断面が凹部形状となっており、外周には１段目ストッパ２４及び２段目ストッパ２７が螺合されている。１段目ストッパ２４は吸着体１０の段部１０ａに対向して設けられ、２段目ストッパ２７は１段目突き上げ部材２１の下端側に設けられている。
【００３１】
２段目突き上げ部材２２は、１段目突き上げ部材２１の凹部内の段部２１ａに載置され、かつ該１段目突き上げ部材２１に上下動可能に配設されている。２段目突き上げ部材２２が１段目突き上げ部材２１の段部２１ａに当接した状態においては、２段目突き上げ部材２２の上面は１段目突き上げ部材２１の上面と同一平面となるように形成されている。また２段目突き上げ部材２２には、１段目突き上げ部材２１の凹底面部を貫通して回転止めと２段目ストッパ受け軸を兼ねたストッパ受け軸７０が固定されており、ストッパ受け軸７０にはリングに形成された２段目ストッパ受け板７１が固定されている。またストッパ受け軸７０の下方部には１段目圧縮ばね保持板７２が上下動可能に嵌挿されており、この１段目圧縮ばね保持板７２はストッパ受け軸７０の下端のつば部７０ａで支持されている。
【００３２】
３段目突き上げ部材２３は２段目突き上げ部材２２に上下動可能に配設されており、３段目突き上げ部材２３には下方に伸び連結駒４３に固定された連結上下軸３０が固定されている。連結上下軸３０は、１段目突き上げ部材２１の底部を貫通し該１段目突き上げ部材２１に上下動可能で、また２段目ストッパ受け板７１の中空部に遊嵌され、前記１段目圧縮ばね保持板７２が固定されている。連結上下軸３０には、２段目突き上げ部材２２の底面上の部分に位置決め駒７３が固定され、位置決め駒７３が１段目突き上げ部材２１の凹部底面に当接した状態においては、３段目突き上げ部材２３の上面は１段目突き上げ部材２１及び２段目突き上げ部材２２の上面と同一平面になるように形成されている。連結上下動軸３０には、１段目圧縮ばね保持ブロック７２と１段目突き上げ部材２１の底面間及び位置決め駒７３と２段目突き上げ部材２２の下面間にそれぞれ１段目保持用圧縮ばね３５、２段目保持用圧縮ばね３６が配設されている。
【００３３】
次に１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量の調整について説明する。１段目ストッパ２４は吸着体１０の段部１０ａに対応して１段目突き上げ部材２１に螺合されているので、１段目ストッパ２４を上下動させることにより吸着体１０の段部１０ａと１段目ストッパ２４との間隔Ｈ１を調整することができる。この間隔Ｈ１が１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇する１段目上昇量となる。２段目突き上げ部材２２にはストッパ受け軸７０を介して２段目ストッパ受け板７１が固定されており、２段目ストッパ受け板７１に対応して２段目ストッパ２７が１段目突き上げ部材２１に螺合されている。そこで、２段目ストッパ２７を上下動させることにより２段目ストッパ受け板７１と２段目ストッパ２７との間隔Ｈ２を調整することができる。この間隔Ｈ２が１段目突き上げ部材２１が上昇した後に２段目、３段目突き上げ部材２２、２３が更に上昇する２段目上昇量となる。２段目、３段目突き上げ部材２２、２３が２段目上昇した後、連結上下動軸３０を更に上昇させる上昇量が３段目突き上げ部材２３の３段目上昇量となる。
【００３４】
次に作用を図３及び図４により説明する。図３に示すように、ウェーハシート１が吸着体１０上に置かれる。この時、真空吸引穴１７に接続されている真空ポンプを作動させる。これにより、シート吸引穴１３を通して吸引される環状溝１４及び連通溝１５によりウェーハシート１は吸着体１０に吸引固定される。次に図４（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すようにレバー４７が回転軸４８を中心として矢印方向に回転させられる。これにより、ローラ４５が受け板４４を持ち上げ、駆動上下動軸４１及び連結上下動軸３０を上昇させる。
【００３５】
図３の状態より図４（ａ）に示すように、レバー４７が回転して連結上下動軸３０が上昇すると、１段目保持用圧縮ばね３５のばね力により１段目突き上げ部材２１が上昇させられる。１段目突き上げ部材２１と共に１段目ストッパ２４が図３に示す１段目上昇量Ｈ１だけ上昇し、１段目ストッパ２４が吸着体１０の段部１０ａに当接し、１段目突き上げ部材２１の上昇は停止する。ここで、１段目突き上げ部材２１が上昇すると、１段目突き上げ部材２１の段部２１ａにより２段目突き上げ部材２２も１段目突き上げ部材２１と共に上昇する。また３段目突き上げ部材２３も２段目突き上げ部材２２と共に上昇する。即ち、図４（ａ）に示すように、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３は１段目上昇量Ｈ１だけ上昇する。これにより、ピックアップしようとするダイ２は、外周側の端部がウェーハシート１から剥離する。
【００３６】
図４（ｂ）に示すようにレバー４７が更に回転すると、１段目突き上げ部材２１は１段目ストッパ２４が吸着体１０に当接しているので上昇できないが、２段目突き上げ部材２２は２段目保持用圧縮ばね３６のばね力により３段目突き上げ部材２３と共に２段目ストッパ受け板７１が２段目ストッパ２７に当接するまで上昇する。即ち、２段目突き上げ部材２２及び３段目突き上げ部材２３は２段目上昇量Ｈ２だけ上昇する。これにより、ダイ２は１段目突き上げ部材２１の上面に対応する部分がウェーハシート１から更に剥離する。
【００３７】
図４（ｃ）に示すようにレバー４７が更に回転すると、２段目突き上げ部材２２は２段目ストッパ受け板７１が２段目ストッパ２７に当接しているので上昇できなく、３段目突き上げ部材２３のみが連結上下動軸３０の上昇量だけ上昇する。即ち、３段目突き上げ部材２３は３段目上昇量Ｈ３だけ上昇する。これにより、ダイ２は２段目突き上げ部材２２の上面に対応する部分がウェーハシート１から更に剥離する。その後は、レバー４７が前記と逆方向に回転し、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３が下降して突き上げ手段２０は初期状態となる。吸着ヘッド６０はダイ２を吸着して所定位置に移送する。
【００３８】
本実施の形態においても前記実施の形態と同様に、ウェーハシート１はダイ２の外周側から徐々に剥離されていくため、ダイ２の一部のみに集中的な過大応力が加わることがなく剥離をスムーズに行うことができる。この結果、大面積で厚さの薄いダイ２であっても割れることなくピックアップすることができる。
【００３９】
また１段目ストッパ２４を上下動させることにより１段目突き上げ部材２１の１段目上昇量Ｈ１を調整でき、また２段目ストッパ２７を上下動させることにより２段目突き上げ部材２２の２段目上昇量Ｈ２を調整でき、更に２段目突き上げ部材２２が２段目上昇量Ｈ２上昇した後に３段目突き上げ部材２３を上昇させる上昇量をコントロールすることにより３段目上昇量Ｈ３を設定できる。このように、１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３をそれぞれ調整できるので、ダイ２のサイズ変更やウェーハシート１の変更又は経時変化に対して、各１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の上昇量Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３をそれぞれ最適な状態に調整できる。
【００４０】
なお、上記実施の形態においては、３個の突き上げ部材２１、２２、２３を設けた場合について説明したが、４個以上の突き上げ部材を設けた場合にも適用できる。また１段目、２段目、３段目突き上げ部材２１、２２、２３の表面及び断面が正方形の形状に形成されている場合について説明したが、これら突き上げ部材２１、２２、２３は正方形に限定されるものではなく、矩形形状、円形形状又は楕円形状等でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】図１の続きの作動状態を示す断面図である。
【図３】本発明のダイピックアップ装置の一実施の形態を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図３の続きの作動状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１    ウェーハシート
２    ダイ
１０    吸着体
１６    吸着体支持ブロック
２０    突き上げ手段
２１    １段目突き上げ部材
２２    ２段目突き上げ部材
２３    ３段目突き上げ部材
２４    １段目ストッパ
２５    連動ストッパ
２６    ストッパ軸
２７    ナット（２段目ストッパ）
３０    連結上下動軸
３３、３４    ばね力調整用駒
３５    １段目保持用圧縮ばね
３６    ２段目保持用圧縮ばね
４０    上下駆動手段
４１    駆動上下動軸
６０    吸着ヘッド
７０    ストッパ受け軸
７１    ２段目ストッパ受け板
７２    １段目圧縮ばね保持ブロック
７３    位置決め駒
Ｈ１    １段目上昇量
Ｈ２    ２段目上昇量
Ｈ３    ３段目上昇量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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