(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
床に固定される方形枠体（３）に前後搬送ラインの高さ位置にある基板（４）の搬入口と搬出口を有する、遮蔽されたカバーが取付けられたケーシング内に、昇降可能なリフタテーブル（８）を配設し、
支持部材（１４）（１５）の前端及び後端を接続部材で接続して全体として額縁状に形成され、前記支持部材（１４）（１５）に所定の間隔で複数穿孔された中空孔（１４ａ）（１５ａ）に嵌入された軸受を介して、一端を前記支持部材から突出させ、且つ長手方向へ所定の間隔で複数の搬送ローラ（３０）が外嵌された１本の駆動軸（２２）及び複数の従動軸（２９）が軸支された、搬入口から搬入した基板（４）をストックし得ると共にストックされていた基板（４）を搬出口から搬出し得るようにしたローラコンベヤを形成するストックユニット（１２）を前記リフタテーブル（８）に複数段に設置し、
前記基板（４）を搬入搬出するための前記ストックユニット（１２）の駆動機構として
、
前記従動軸（２９）と前記支持部材から突出した従動軸（２９）の一端にプーリ（３４）を備えた複数の従動ローラユニット（２１）と、
前記駆動軸（２２）と前記支持部材から突出した駆動軸（２２）の一端にプーリ（２７）とその外側において軸心部にクラッチ孔（２２ａ）を同心状に複数のクラッチ孔（２８ａ）を有するクラッチ（２８）とを備えた一つの駆動ローラユニット（２０）と、
複数のプーリ（３４）と前記プーリ（２７）とに巻き掛けられる無端状のベルト（３６）と、
前記方形枠（３）に設置されて、前記駆動軸（２２）と平行な方向へ移動するベース（４１）と、前記クラッチ（２８）に近接離反し得る出力軸（４２ａ）には、クラッチ（２８）に近接した際に、クラッチ孔（２２ａ）に嵌入するピン（４９）及びクラッチ孔（２８ａ）に嵌入する複数のピン（５０）を備えるクラッチ（４４）を有する前記ベース（４１）に搭載される減速電動機（４２）とからなる一つの駆動装置（３９）と、
を備え、
搬送ラインの高さ位置に位置するクラッチ（２８）と近接離反可能なクラッチ（４４）とを接合することで、搬送ラインの高さ位置に位置する前記ストックユニット（１２）の駆動軸（２２）及び従動軸（２９）だけを駆動するよう構成し、
前記ケーシングに排気手段を設けたことを特徴とする基板ストック装置。
【請求項２】
前記ケーシングに設けた排気手段とは別に、第二の排気手段として、一端側が閉塞され他端側が開放されるよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）に形成された、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の長手方向へ延びる中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と、
該中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の径方向外方が連通するよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の径方向外方が連通するよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の径方向へ形成された複数の吸気孔（２２ｃ）（２９ｃ）と、
前記支持部材（１４）に形成されると共に、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）に連通するよう形成された中空孔（１４ａ）（１４ｂ）と、
該中空孔（１４ａ）（１４ｂ）を経てきた空気を吸引し得るよう前記支持部材（１４）の側部に取付けた蓋板（３７）に形成した吸引孔（３７ａ）と、
該吸引孔（３７ａ）に近接離反し得るよう、ケーシングの方形枠体（３）側に設けられた吸気ノズル（６３）と、
該吸気ノズル（６３）からの空気を吸引して排気する排気ファンを設けた請求項１に記載の基板ストック装置。
【請求項３】
前記ケーシングに設けた排気手段として、ケーシング内の基板（４）入側上部に取付けられたヘパフィルタ（５１）付きの送気ファン（５２）と、ケーシング内の基板（４）出側側上部に取付けられ且つ所定の隙間（Ｗ）に調整可能なスリット（５４ａ）（５５ａ）を有する複数枚の風量調整板（５４）（５５）と、該風量調整板（５４）（５５）のスリット（５４ａ）（５５ａ）を経て排気された空気が導入されるよう、一端側がケーシング内に設けられた吸気管（５８）と、該吸気管（５８）からの空気を排気する排気ファン（６１）とを備えた請求項１又は２に記載の基板ストック装置。
【請求項４】
基板（４）の搬入口と搬出口を有するケーシング内に、昇降可能なリフタテーブル（８）を配設し、該リフタテーブル（８）に、搬入口から搬入した基板（４）をストックし得ると共にストックされていた基板（４）を搬出口から搬出し得るようにしたコンベヤを備えた複数のストックユニット（１２）を複数段に設置し、前記ケーシングに第一の排気手段を設け、前記ストックユニット（１２）に第二の排気手段を設けた
基板ストック装置であって、
第二の排気手段は、
一端側が閉塞され他端側が開放されるよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）に形成された、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の長手方向へ延びる中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と、
該中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）と駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の径方向外方が連通するよう、駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の径方向へ形成された複数の吸気孔（２２ｃ）（２９ｃ）と、
ストックユニット（１２）の枠体（１３）における駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の支持部材（１４）に形成されると共に駆動軸（２２）及び従動軸（２９）の中空孔（２２ｂ）（２９ｂ）に連通するよう形成された中空孔（１４ａ）（１４ｂ）と、
該中空孔（１４ａ）（１４ｂ）を経てきた空気を吸引し得るよう前記枠体（１３）の側部に取付けた蓋板（３７）に形成した吸引孔（３７ａ）と、
該吸引孔（３７ａ）に近接離反し得るよう、ケーシングの方形枠体（３）側に設けられた吸気ノズル（６３）と、該吸気ノズル（６３）からの空気を吸引して排気する排気ファンを設けたことを特徴とする基板ストック装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板ストック装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、プラズマディスプレイに使用するガラス板等の基板は、加工ラインに送られて種々の加工が行われ、製品となる。この場合基板は、加工ラインの処理能力に対応して確実に加工ラインに供給し得るよう、予め所定の枚数だけストックしておく必要がある。而して、従来においては、基板のストックには台車が使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板を台車にストックしたり台車から加工ラインに供給する際には、人手が必要となる。従って、台車を用いて基板をストックする場合には、人手を省くことができず、省力化、省人化を図ることができない。
【０００４】
本発明は、斯かる実情に鑑み、基板進行方向上流側から搬入した基板を人手を要さず自動的にストックし得るようにすると共に、ストックしておいた基板を人手を要さず自動的に基板進行方向下流側の搬送ラインに搬出し得るようにした基板ストック装置を提供することを目的としてなしたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１の基板ストトック装置は、床に固定される方形枠体３に前後搬送ラインの高さ位置にある基板４の搬入口と搬出口を有する、遮蔽されたカバーが取付けられたケーシング内に、昇降可能なリフタテーブル８を配設し、
支持部材１４，１５の前端及び後端を接続部材で接続して全体として額縁状に形成され、前記支持部材１４，１５に所定の間隔で複数穿孔された中空孔１４ａ，１５ａに嵌入された軸受を介して、一端を前記支持部材から突出させ、且つ長手方向へ所定の間隔で複数の搬送ローラ３０が外嵌された１本の駆動軸２２及び複数の従動軸２９が軸支された、搬入口から搬入した基板４をストックし得ると共にストックされていた基板４を搬出口から搬出し得るようにしたローラコンベヤを形成するストックユニット１２を前記リフタテーブル８に複数段に設置し、
前記基板４を搬入搬出するための前記ストックユニット１２の駆動機構として、
前記従動軸２９と前記支持部材から突出した従動軸２９の一端にプーリ３４を備えた複数の従動ローラユニット２１と、
前記駆動軸２２と前記支持部材から突出した駆動軸２２の一端にプーリ２７とその外側において軸心部にクラッチ孔２２ａを同心状に複数のクラッチ孔２８ａを有するクラッチ２８とを備えた一つの駆動ローラユニット２０と、
複数のプーリ３４と前記プーリ２７とに巻き掛けられる無端状のベルト３６と、
前記方形枠３に設置されて、前記駆動軸２２と平行な方向へ移動するベース４１と、前記クラッチ２８に近接離反し得る出力軸４２ａには、クラッチ２８に近接した際に、クラッチ孔２２ａに嵌入するピン４９及びクラッチ孔２８ａに嵌入する複数のピン５０を備えるクラッチ４４を有する前記ベース４１に搭載される減速電動機４２とからなる一つの駆動装置３９と、
を備え、
搬送ラインの高さ位置に位置するクラッチ２８と近接離反可能なクラッチ４４とを接合することで、搬送ラインの高さ位置に位置する前記ストックユニット１２の駆動軸２２及び従動軸２９だけを駆動するよう構成し、
前記ケーシングに排気手段を設けたものである。
【０００６】
本発明の請求項２の基板ストック装置は、
前記ケーシングに設けた排気手段とは別に、第二の排気手段として、一端側が閉塞され他端側が開放されるよう、駆動軸２２及び従動軸２９に形成された、駆動軸２２及び従動軸２９の長手方向へ延びる中空孔２２ｂ、２９ｂと、
該中空孔２２ｂ、２９ｂと駆動軸２２及び従動軸２９の径方向外方が連通するよう、駆動軸２２及び従動軸２９の径方向外方が連通するよう、駆動軸２２及び従動軸２９の径方向へ形成された複数の吸気孔２２ｃ，２９ｃと、
前記支持部材１４に形成されると共に、駆動軸２２及び従動軸２９の中空孔２２ｂ、２９ｂに連通するよう形成された連通孔１４ａ，１４ｂと、
該連通孔１４ａ，１４ｂを経てきた空気を吸引し得るよう前記支持部材１４の側部に取付けた蓋板３７に形成した吸引孔３７ａと、
該吸引孔３７ａに近接離反し得るよう、ケーシングの方形枠体３側に設けられた吸気ノズル６３と、
該吸気ノズル６３からの空気を吸引して排気する排気ファンを設けたものである。
【０００７】
本発明の請求項３の基板ストック装置は、
前記ケーシングに設けた排気手段として、ケーシング内の基板４入側上部に取付けられたヘパフィルタ５１付きの送気ファン５２と、ケーシング内の基板４出側側上部に取付けられ且つ所定の隙間Ｗに調整可能なスリット５４ａ，５５ａを有する複数枚の風量調整板５４，５５と、該風量調整板５４，５５のスリット５４ａ，５５ａを経て排気された空気が導入されるよう、一端側がケーシング内に設けられた吸気管５８と、該吸気管５８からの空気を排気する排気ファン６１とを備えている。
【０００８】
本発明の請求項４の基板ストック装置は、
基板４の搬入口と搬出口を有するケーシング内に、昇降可能なリフタテーブル８を配設し、該リフタテーブル８に、搬入口から搬入した基板４をストックし得ると共にストックされていた基板４を搬出口から搬出し得るようにしたコンベヤを備えた複数のストックユニット１２を複数段に設置し、前記ケーシングに第一の排気手段を設け、前記ストックユニット１２に第二の排気手段を設けた
基板ストック装置であって、
第二の排気手段は、
一端側が閉塞され他端側が開放されるよう、駆動軸２２及び従動軸２９に形成された、駆動軸２２及び従動軸２９の長手方向へ延びる中空孔２２ｂ，２９ｂと、
該中空孔２２ｂ，２９ｂと駆動軸２２及び従動軸２９の径方向外方が連通するよう、駆動軸２２及び従動軸２９の径方向へ形成された複数の吸気孔２２ｃ，２９ｃと、
ストックユニット１２の枠体１３における駆動軸２２及び従動軸２９の支持部材１４に形成されると共に駆動軸２２及び従動軸２９の中空孔２２ｂ，２９ｂに連通するよう形成された中空孔１４ａ，１４ｂと、
該中空孔１４ａ，１４ｂを経てきた空気を吸引し得るよう前記枠体１３の側部に取付けた蓋板３７に形成した吸引孔３７ａと、
該吸引孔３７ａに近接離反し得るよう、ケーシングの方形枠体３側に設けられた吸気ノズル６３と、該吸気ノズル６３からの空気を吸引して排気する排気ファンを設けたものである。
【０００９】
本発明においては、基板４は基板４の搬送ラインの高さ位置で各ストックユニット１２に搬入され、ストックされる。又、各ストックユニット１２から搬出する場合も基板４の搬送ラインの高さ位置で行われる。
【００１０】
基板４のストック時には、排気手段が駆動され、ケーシング及び／又はストックユニット１２内の塵埃は空気に同伴されて外部へ排出される。
【００１１】
本発明においては、基板進行方向Ｄ１上流側から搬入した基板４を人手を要さず自動的にストックできると共に、ストックしておいた基板４を人手を要さず自動的に基板進行方向Ｄ１下流側の搬送ラインに搬出できるため、省力化、省人化を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
図１〜図１６は本発明を実施する形態の一例である。
基板ストック装置は加工ラインを備えた基板の搬送ラインの中途部に配置されている。すなわち、基板ストック装置は、図１〜図４に示すごとく、支柱１や梁２を備えて方形枠体３が形成されており、方形枠体３には、図示してないが、基板４の搬入口と搬出口とを備え、搬入口と搬出口以外は、遮蔽されたカバーが取付けられ、全体で中空方形状のケーシングが形成されている。
【００１３】
ケーシング内には、図１、４に示すごとくリフタ５が配置されている。而して、リフタ５は側面から見て互に交叉するごとく枢着された、起伏自在なアーム６，７を備えており、アーム６，７の上端にはリフタテーブル８が支持されている。
リフタ５は減速電動機のごとき駆動装置９によって、水平配置されたボールネジ軸１０を駆動することにより、ボールネジ軸１０を水平移動させ、ボールネジ軸１０の先端に取付けられてアーム６，７により挟持されている駆動輪１１を介してアーム６，７を起伏させ、アーム６，７の起伏によりリフタテーブル８を昇降させ得るようになっている。
【００１４】
リフタテーブル８上には、図１、４に示すごとく、複数のストックユニット１２が積重ねられて多段に設置されている。ストックユニット１２の詳細は図５〜図７に示されている。すなわち、ストックユニット１２を形成する枠体１３は、基板進行方向Ｄ１における左右両側に、基板進行方向Ｄ１へ延在する角鋼状の細長い支持部材１４，１５を備えると共に、支持部材１４，１５の前端及び後端は、フラットバー状の接続部材１６，１７により接続され、全体として額縁状に形成されている。
接続部材１６，１７の長手方向中間部には、接続部材１６，１７を接続するよう、支持部材１４，１５と平行に角鋼状の中間支持部材１８が取付けられている。更に、支持部材１４，１５の長手方向中間部には、左右の支持部材１４，１５及び中間支持部材１８を接続するように、接続部材１９が取付けられている。
【００１５】
枠体１３における支持部材１４の基板進行方向Ｄ１後端及び支持部材１５の基板進行方向Ｄ１先端における上面には、ピン１４ｃ，１５ｃが突出されており、ピン１４ｃ，１５ｃは、ストックユニット１２の組付け時に、上側のストックユニット１２における支持部材１４の基板進行方向Ｄ１後端及び支持部材１５の基板進行方向Ｄ１先端における下面に形成した孔に嵌入して、ストックユニット１２の位置決めを行い得るようになっている。
【００１６】
枠体１３の基板進行方向Ｄ１先端部には、駆動ローラユニット２０が配設されており、駆動ローラユニット２０よりも枠体１３の基板進行方向Ｄ１上流側には、一定間隔で複数組の従動ローラユニット２１が配設されている。
【００１７】
駆動ローラユニット２０は、図８に拡大して示すように、左右方向へ延在する駆動軸２２を備え、駆動軸２２には、長手方向へ所定の間隔で複数の搬送ローラ２３が外嵌され、固定されている。又、支持部材１４，１５の基板進行方向Ｄ１先端部に形成した中空孔１４ａ，１５ｂには軸受２４，２５が嵌入され、駆動軸２２はその長手方向両端部において、軸受２４，２５に回転自在に支持されている。
駆動軸２２の中間支持部材１８を横切る部分には、半円筒状の凹部が形成され、該凹部にはブッシュ状の軸受２６が配設され、駆動軸２２はその長手方向中間部において、軸受２６に回転自在に支持されている。
【００１８】
駆動軸２２の支持部材１５から外方へ突出した部分には、プーリ２７が外嵌、固定され、駆動軸２２のプーリ２７取付け部よりも更に外方部には、プーリ２７と並んでクラッチ２８が外嵌、固定されている。
【００１９】
而して駆動軸２２の端部には、端部側が大径の円錐形状のクラッチ孔２２ａが形成されていると共に、クラッチ２８のプーリ２７側とは反対側の端部には、中心から所定の半径位置に位置するよう、複数のクラッチ孔２８ａが同心状に形成されている。
【００２０】
駆動軸２２の軸心部には、長手方向へ延在する中空孔２２ｂが穿設されていると共に、中空孔２２ｂの軸受２５取付け側端部は閉塞されており、中空孔２２ｂの軸受２４取付け側端部は開放されて中空孔１４ａに連通している。又、駆動軸２２には、長手方向へ所定の間隔で、中空孔２２ｂと駆動軸２２の径方向外方とを連通させるよう、複数の吸気孔２２ｃが、駆動軸２２の径方向へ向くよう、穿設されている。
【００２１】
各従動ローラユニット２１は、図９に拡大して示すように、左右方向へ延在する従動軸２９を備え、従動軸２９には、長手方向へ所定の間隔で複数の搬送ローラ３０が外嵌され、固定されている。又、支持部材１４，１５の長手方向へ従動ローラユニット２１に対応して所定の間隔で形成した中空孔１４ａ，１５ａには、軸受３１，３２が嵌入され、従動軸２９はその長手方向両端部において、軸受３１，３２に回転自在に支持されている。
従動軸２９の中間支持部材１８を横切る部分には、半円筒状の凹部が形成され、該凹部には、ブッシュ状の軸受３３が配置され、従動軸２９はその長手方向中間部において、軸受３３に回転自在に支持されている。又、従動軸２９の支持部材１５から外方へ突出した部分には、プーリ３４が外嵌、固定されている。
【００２２】
従動軸２９の軸心部には、長手方向へ延在する中空孔２９ｂが穿設されていると共に、中空孔２９ｂの軸受３２取付け側端部は閉塞されており、中空孔２９ｂの軸受３１取付け側端部は開放されて中空孔１４ａに連通している。又、従動軸２９には、長手方向へ所定の間隔で、中空孔２９ｂと従動軸２９の径方向外方とを連通させるよう、複数の吸気孔２９ｃが穿設されている。
【００２３】
図５、６に示すごとく、支持部材１５には、プーリ２７，３４間及びプーリ３４，３４間に位置するよう、アイドルローラ３５がプーリ２７，３４と平行に取付けられており、プーリ２７，３４及びアイドルローラ３５には、無端状のタイミングベルト３６が巻掛けられて、全体として基板４を搬送し得るようにしたコンベヤが形成されている。
【００２４】
支持部材１４には、隣合う中空孔１４ａを連通させるよう、図８、９においては紙面に直行する方向、図７においては紙面と平行な方向へ延在する連通孔１４ｂが形成されている。中空孔１４ａ及び連通孔１４ｂの外側部は図８、９に示すように、開放されており、支持部材１４の外側面には、中空孔１４ａ及び連通孔１４ｂを塞ぐよう、前後で２枚に分割したフラットバー状の蓋板３７が取付けられている。又、各蓋板３７には、何れかの中空孔１４ａと同心状に連通するよう、図７に示すように吸引孔３７ａが、蓋板３７を厚さ方向へ貫通するよう穿設されている。
【００２５】
中間支持部材１８の上面には、中間支持部材１８に沿い延在する蓋板３８が取付けられており、中間支持部材１８に形成された凹部に取付けた軸受２６，３３が脱落しないようになっている。
【００２６】
方形枠体３には、ストックユニット１２に搭載されて搬送ラインの高さ位置にある基板４を搬入、搬出し得るよう、図１０、１１に示すごとく、駆動装置３９が設置されている。而して、駆動装置３９はＬＭガイド４０に沿って駆動軸２２と平行な方向へ移動するベース４１と、ベース４１に搭載されてベース４１が移動することにより図８に示すクラッチ２８に対し近接離反し得るようにした減速電動機４２と、ベース４１を介し減速電動機４２を駆動軸２２と平行な方向へ移動させるための流体圧シリンダ４３を備えており、減速電動機４２の出力軸４２ａにはクラッチ４４が設けられている。
【００２７】
クラッチ４４は、減速電動機４２の出力軸４２ａに直接外嵌、固定される円筒体４５と、円筒体４５の先端に出力軸４２ａを包囲するごとく取付けられた、弾性のある円筒蛇腹状の動力伝達部４６と、動力伝達部４６の先端に取付けられた円筒体４７と、円筒体４７に嵌入したクラッチ本体４８とを備え、クラッチ本体４８には、クラッチ２８に近接した際に、クラッチ孔２２ａに嵌入するピン４９及びクラッチ孔２８ａに嵌入する複数のピン５０を備えている。
【００２８】
方形枠体３とカバー５３により構成されるケーシングの基板進行方向Ｄ１上流側の面には、図１、２、１３に示すように、ヘパフィルタ５１を有する送気ファン５２が取付けられている。又、図１２〜図１４に示すように、ケーシングの基板進行方向Ｄ１下流側のカバー５３内には、カバー５３から所定の間隔を置いて、ケーシングを基板進行方向Ｄ１上流側と下流側を仕切るごとく、スリット５４ａ，５５ａを有する２枚の風量調整板５４，５５が設けられ、スリット調整ボルト５６によりスリット５４ａ，５５ａの互いに重なる部分の隙間Ｗを調整し得るようになっている。隙間Ｗは一旦調整されればその状態が維持されるようになっている。
【００２９】
カバー５３等と風量調整板５４とにより形成される空間５７内には、基板進行方向Ｄ１に対し直交する方向へ水平に延びる複数段の吸気管５８が配設されており、吸気管５８の空間５７内に位置する部分には、吸気管５８に沿い複数の短管状の吸気口５９が、上端部が開放されるよう、取付けられている。
【００３０】
吸気管５８はケーシング外へ延在し、その端部は図４に示すごとく、縦向きに設置した排気筒６０に接続されており、排気筒６０の下部には、排気ファン６１が設置されている。而して、基板４のストックユニット１２へのストック時には、送気ファン５２を駆動することにより、ケーシング内に空気を供給してケーシング内の塵埃を空気に同伴させ、スリット５４ａ，５５ａにより形成される隙間から空間５７内へ排気し得るようになっており、又空間５７内へ排気された空気は排気ファン６１により吸気口５９を介して吸気管５８内へ導入され、排気ファン６１によって外部へ排出し得るようになっている。
【００３１】
方形枠体３の駆動装置３９を設置した側とは反対側には、基板４の搬送ラインと略同じ高さ位置となるよう、図３に示すごとく吸気ユニット６２が配置されている。吸気ユニット６２の詳細は図１５、１６に示されており、吸気ユニット６２は、有底中空状で軸心が従動ローラユニット２１における所定の従動軸２９と同一軸線上となるよう配置された吸気ノズル６３と、吸気ノズル６３を蓋板３７の吸引孔３７ａに対し近接離反させる流体圧シリンダ６４と、吸気ノズル６３にハーフユニオン６５を介して接続されたフレキシブルチューブ６６を備えており、フレキシブルチューブ６６には図示してないが、吸込みファンが接続されている。
【００３２】
而して、吸込みファンを駆動することにより、駆動ローラユニット２０及び従動ローラユニット２１に付着した塵埃、或は駆動ローラユニット２０及び従動ローラユニット２１近傍の塵埃は、空気に同伴されて吸気孔２２ｃ，２９ｃから駆動軸２２及び従動軸２９の中空孔２２ｂ，２９ｂ内に吸込まれ、中空孔２２ｂ，２９ｂから中空孔１４ａ、連通孔１４ｂ、吸気ノズル６３が対向配置してある中空孔１４ａを経て、又一部は直接、吸気ノズル６３が対向配置してある中空孔１４ａを経て、蓋板３７の吸引孔３７ａを通り吸気ノズル６３に吸込まれ、ハーフユニオン６５、フレキシブルチューブ６６を経て吸込みファンにより外部へ排気され得るようになっている。
【００３３】
なお、図３中、６７はケーシング内の一側に基板進行方向Ｄ１下流側に位置するよう設けられ、送給されてきた基板４の先端を検出したら駆動装置３９の減速電動機４２に減速指令を与える減速指令センサ、６８は減速指令センサ６７よりも基板進行方向Ｄ１下流側に設けられ、送給されてきた基板４の先端を検出したら駆動装置３９の減速電動機４２に停止指令を与える停止指令センサ、６９は停止指令センサ６８よりも基板進行方向Ｄ１下流側に設けられ、停止すべき位置を越えた基板４の先端を検出するオーバラン検出センサであり、センサ６７〜６９は何れも光センサである。
又、７０はケーシング内の他側にセンサ６７〜６９と対向するよう設けられ、基板４の先端を検出しない場合には、センサ６７〜６９から出射されてきた光を反射する反射ミラーである。
【００３４】
更に、図３中、７１ａ，７１ｂは基板４がオーバラン位置よりももっと前方へはみ出したことを検出する光センサ型のはみ出し検出センサであり、はみ出し検出センサ７１ａ，７１ｂは対向配置されている。
【００３５】
図４中、７３はリフタテーブル８の高さ位置延いてはストックユニット１２のうち、何段目のストックユニット１２が基板４の搬送ラインにあるかを検出するためのシリンダ型の高さ位置検出センサ、７４はリフタテーブル８の下限位置検出センサ、７５はリフタテーブル８の上限位置検出センサである。
【００３６】
図１、３中、７６は天端が基板４の搬送ラインと同一レベルの入側ピンチローラ、７７は同じく出側ピンチローラであり、図１、４中、７８は最上部のストックユニット１２の上方に載置され、ストックユニット１２と共に昇降し得るようにした蓋、図８、９中、７９は駆動軸２２及び従動軸２９の下方に位置すると共に枠体１３の下面全面を覆い得るよう配置された防塵カバーである。
【００３７】
次に、上記図示例の作動を説明する。
基板４をストックユニット１２にストックする際には、予め送気ファン５２、排気ファン６１等のファン類を駆動しておき、各センサ類も作動させておく。而してリフタ５の駆動装置９を駆動してボールネジ軸１０を最大限に突出させると、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２は自重で下限位置まで下降する。従って、最上段のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面は基板４の搬送ラインの高さに位置する。リフタテーブル８が下限位置まで下降したことは、下限位置検出センサ７４により検出される。
【００３８】
最上段のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動すると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機４２を前進させる。このため、クラッチ４４は最上段の駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、最上段の駆動ローラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動を開始する。
【００３９】
そうすると、従動ローラユニット２１のプーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始する。従って、搬送ラインを送給されてきた基板４は、搬送ラインからピンチローラ７６を経て基板ストック装置の最上段のストックユニット１２に取込まれ、ストックユニット１２内を搬送ローラ２３，３０により基板進行方向Ｄ１へ送られる。
【００４０】
基板４が最上段のストックユニット１２内で搬送ローラ２３，３０により搬送されて所定位置に達すると、基板４の進行方向先端位置が減速指令センサ６７により検出され、その検出信号が減速電動機４２に与えられ、減速電動機４２は減速され、搬送ローラ２３，３０も減速されて基板４の送り速度は遅くなる。又、減速された基板４が更に前進してその先端が停止指令センサ６８により検出されると、停止指令が減速電動機４２にて与えられ、減速電動機４２は制動を掛けられ、停止する。このため、搬送ローラ２３，３０も停止して基板４は最上段のストックユニット１２内に所定の状態で停止し、ストックされる。
【００４１】
基板４がストックユニット１２内でオーバランした場合には、オーバラン検出センサ６９が基板４のオーバランを検出し、ストックユニット１２からはみ出した場合には、はみ出し検出センサ７１ａ，７１ｂが検出を行う。この場合には、次にリフタテーブル８を昇降させようとしても、昇降できないように電気系統がインターロックされている。
【００４２】
減速電動機４２が停止すると、図１０に示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電動機４２が駆動ローラユニット２０から離反する方向へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱する。
【００４３】
一方、上述のように、最上段のストックユニット１２に基板４を搬入する際には、図１５、１６に示す流体圧シリンダ６４が作動して吸気ノズル６３が所定の従動ローラユニット２１側に移動し、吸気ノズル６３の先端部は、最上段におけるストックユニット１２における蓋板３７に設けられている吸引孔３７ａに嵌入する。このため、最上段のストックユニット１２に設けられている駆動軸２２の吸気孔２２ｃ及び従動軸２９の吸気孔２９ｃから、塵埃を同伴した空気が中空孔２２ｂ，２９ｂに導入され、中空孔２２ｂ，２９ｂや中空孔１４ａ、連通孔１４ｂを通って吸気ノズル６３に吸引され、ハーフユニオン６５、フレキシブルチューブ６６を経てファンにより外部へ排気される。このため、最上段のストックユニット１２に搬入されてストックされた基板４は清浄に保持される。
【００４４】
又、送気ファン５２が駆動されることにより、外気がケーシング内に導入され、ケーシング内の上部にある塵埃は空気に同伴されてスリット５５ａ，５４ａの間の隙間Ｗから図１３、１４に示す空間５７に排出され、吸気口５９から吸気管５８に導入されて排気筒６０を通り、排気ファン６１によって外部へ排出される。このため、ケーシング内の上部は清浄に保持され、基板４も清浄な状態を保持することができる。
【００４５】
最上段のストックユニット１２に基板４が取込まれてストックされたら、リフタ５の駆動装置９が駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪１１がアーム６，７を起立させる方向へ作動するため、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２が上昇する。而して、上から２段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３から指令が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、駆動装置９は停止する。
【００４６】
第二段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、上述と同様、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動すると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機４２を前進させる。このため、クラッチ４４は第二段目の駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、第二段目の駆動ローラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動を開始する。
【００４７】
そうすると、従動ローラユニット２１のプーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始する。従って、搬送ラインを送給されてきた基板４は、搬送ラインからピンチローラ７６を経て基板ストック装置の第二段目のストックユニット１２に搬入され、ストックユニット１２内を搬送ローラ２３，３０により基板進行方向Ｄ１へ送られる。
【００４８】
基板４が第二段目のストックユニット１２内で搬送ローラ２３，３０により搬送されて所定位置に達すると、基板４の進行方向先端位置が減速指令センサ６７荷より検出され、その検出信号が減速電動機４２に与えられ、減速電動機４２は減速され、搬送ローラ２３，３０も減速されて基板４の送り速度は遅くなる。又、減速された基板４が更に前進してその先端が停止指令センサ６８により検出されると、停止指令が減速電動機４２にて与えられ、減速電動機４２は制動を掛けられ、停止する。このため、搬送ローラ２３，３０も停止して基板４は第二段目のストックユニット１２内に所定の状態で停止し、ストックされる。
【００４９】
基板４がストックユニット１２内でオーバランした場合には、オーバラン検出センサ６９が基板４のオーバランを検出し、ストックユニット１２からはみ出した場合には、はみ出し検出センサ７１ａ，７１ｂが検出を行う。この場合には、次にリフタテーブル８を昇降させようとしても、昇降できないように電気系統がインターロックしてある。
【００５０】
減速電動機４２が停止すると、図１０に示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電動機４２が駆動ローラユニット２０から離反する方向へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱する。
【００５１】
一方、ストックユニット１２に基板４を送給する際には、図１５、１６に示す流体圧シリンダ６４が作動して吸気ノズル６３が所定の従動ローラユニット２１側に移動し、吸気ノズル６３の先端部は、第二段目のストックユニット１２における蓋板３７に設けられている吸引孔３７ａに嵌入する。このため、最上段のストックユニット１２に設けられている駆動軸２２の吸気孔２２ｃ及び従動軸２９の吸気孔２９ｃから、塵埃を同伴した空気が中空孔２２ｂ，２９ｂに導入され、中空孔２２ｂ，２９ｂや中空孔１４ａ、連通孔１４ｂを通って吸気ノズル６３に吸引され、ハーフユニオン６５、フレキシブルチューブ６６を経てファンにより外部へ排気される。このため、最上段のストックユニット１２に取込まれてストックされた基板４は清浄に保持される。
【００５２】
又、送気ファン５２が駆動されることにより、外気がケーシング内に導入され、ケーシングの上部にある塵埃は空気に同伴されてスリット５５ａ，５４ａの間の隙間から図１３、１４に示す空間５７に排出され、吸気口５９から吸気管５８に導入されて排気筒６０を通り、排気ファン６１によって外部へ排出される。このため、ケーシング内の上部は清浄に保持され、基板４も清浄な状態を保持することができる。
【００５３】
第二段目のストックユニット１２に基板４が取込まれてストックされたら、リフタ５の駆動装置９が駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪１１が更にアーム６，７を起立させる方向へ作動するため、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２が上昇する。
而して、上から三段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３から指令が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、駆動装置９は停止し、以降は最上段や二段目に基板４を取込みストックする場合と同様にして、基板４の搬入作業が行われる。又、四段目よりも下方のストックユニット１２に対しても同様に作業が行われる。
【００５４】
全てのストックユニット１２に基板４が取込まれストックされると、ストックユニット１２は最上方に位置する。ストックユニット１２が上限位置まで上昇したことは、上限位置検出センサ７５により検出される。
【００５５】
而して、基板４が全てのストックユニット１２にストックされている間は、送気ファン５２は駆動されており、各ストックユニット１２内には空気が流通されて各ストックユニット１２内の塵埃の除去が行われる。
【００５６】
各ストックユニット１２にストックされている基板４を搬出する場合には、リフタ５の駆動装置９を駆動してボールネジ軸１０を最大限に突出させる。そうすると、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２は自重で下限位置まで下降する。従って、最上段のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面は基板４の搬送ラインの高さに位置する。リフタテーブル８が下限位置まで下降したことは、下限位置検出センサ７４により検出される。
【００５７】
最上段のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動すると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機４２を前進させる。このため、クラッチ４４は最上段の駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、最上段の駆動ローラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動を開始する。
【００５８】
そうすると、従動ローラユニット２１のプーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始する。従って、最上段のストックユニット１２にストックされていた基板４は、搬送ローラ２３，３０により基板進行方向Ｄ１へ搬送され、ストックユニット１２からピンチローラ７７を介して搬送ラインへ搬出される。
【００５９】
最上段のストックユニット１２にストックされていた基板４が下流側に搬出されると、減速電動機４２が停止させられ、このため、搬送ローラ２３，３０が停止する。又、減速電動機４２が停止したら、図１０に示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電動機４２を駆動ローラユニット２０から離反する方向へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱させる。
【００６０】
最上段のストックユニット１２にストックされていた基板４が搬出されたら、リフタ５の駆動装置９が駆動されて、ボールネジ軸１０が駆動され、駆動輪１１がアーム６，７を起立させる方向へ作動するため、リフタテーブル８延いてはストックユニット１２が上昇する。而して、上から２段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、高さ位置検出センサ７３から指令が出力されてリフタ５の駆動装置９に与えられ、駆動装置９は停止する。
【００６１】
第二段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が基板４の搬送ラインの高さに位置したら、駆動装置３９の減速電動機４２を駆動すると共に、流体圧シリンダ４３を作動させて減速電動機４２を前進させる。このため、クラッチ４４は第二段目の駆動ローラユニット２０のクラッチ２８に近接し、ピン４９はクラッチ孔２２ａに嵌入し、ピン５０はクラッチ孔２８ａに嵌入する。その結果、第二段目の駆動ローラユニット２０の駆動軸２２、プーリ２７、搬送ローラ２３が回転を開始し、又同時にタイミングベルト３６が回動を開始する。
【００６２】
そうすると、上記した場合と同様、従動ローラユニット２１のプーリ３４がタイミングベルト３６により回転を開始し、延いては、従動軸２９、搬送ローラ３０が回転を開始する。従って、第二段目のストックユニット１２にストックされていた基板４は搬送ローラ２３，３０により基板進行方向Ｄ１へ送られて、ストックユニット１２から搬送ラインへ搬出される。
【００６３】
而して、第二段目のストックユニット１２から基板４が搬送ラインへ搬出されると、減速電動機４２が停止させられ、このため、搬送ローラ２３，３０が停止する。又、減速電動機４２が停止したら、図１０に示す流体圧シリンダ４３によりベース４１を介して減速電動機４２を駆動ローラユニット２０から離反する方向へ移動し、クラッチ４４はクラッチ２８から離脱させる。
【００６４】
第二段目のストックユニット１２から基板４が搬送ラインに搬出されたら、又リフタ５の駆動装置９が駆動され、リフタテーブル８が所定量上昇することにより、ストックユニット１２が上昇し、第三段目のストックユニット１２における搬送ローラ２３，３０の上面が搬送ラインの高さに位置する。そこで前記したところと同様にして、第三段目のストックユニット１２の駆動ローラユニット２０及び従動ローラユニット２１を駆動し、上述したと同様にして基板４を第三段目のストックユニット１２から搬送ラインへ搬出する。又第四段目よりも下方のストックユニット１２においても、基板４は上述した手順でストックユニット１２から搬送ラインへ搬出される。
【００６５】
本発明の図示例によれば、基板４のいわゆる先入れ先出しを行うことができるが、先入れ先出しを行わなくとも実施は可能である。又、本発明の図示例では、搬送ラインの基板進行方向Ｄ１上流側から搬入した基板４を人手を要さず自動的にストックできると共に、ストックしておいた基板４を人手を要さず自動的に基板進行方向Ｄ１下流側の搬送ラインに搬出できるため、省力化、省人化を図ることができる。
【００６６】
なお、本発明の基板ストック装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００６７】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の請求項１〜４記載の基板ストック装置によれば、搬送ラインの基板進行方向Ｄ１上流側から搬入した基板４を人手を要さず自動的にストックできると共に、ストックしておいた基板４を人手を要さず自動的に基板進行方向Ｄ１下流側の搬送ラインに搬出できるため、省力化、省人化を図ることができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板ストック装置の実施の形態の一例を示す側面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向矢視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向矢視図である。
【図４】図１のＩＶ−ＩＶ方向矢視図である。
【図５】本発明の基板ストック装置に適用するストックユニットにおける枠体の平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ方向矢視図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ方向矢視図である。
【図８】本発明の基板ストック装置に適用するストックユニットにおける駆動ローラユニットの正面図である。
【図９】本発明の基板ストック装置に適用するストックユニットにおける従動ローラユニットの正面図である。
【図１０】本発明の基板ストック装置に適用するストックユニットにおける駆動ローラユニットの駆動装置の平面図である。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ方向矢視図である。
【図１２】本発明の基板ストック装置に適用する風量調整板及び排気用のスリット並びに吸気管の正面図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ方向矢視図である。
【図１４】図１２のＸＩＶ−ＸＩＶ方向矢視図である。
【図１５】本発明の基板ストック装置に適用する吸気ユニットの平面図である。
【図１６】図１５のＸＶＩ−ＸＶＩ方向矢視図である。
【符号の説明】
３  方形枠体
４  基板
８  リフタテーブル
１２  ストックユニット
１３  枠体
１４  支持部材
１４ａ        中空孔
１４ｂ        中空孔
１５ 支持部材
１５ａ        中空孔
２０  駆動ローラユニット
２１  従動ローラユニット
２２  駆動軸
２２ａ        クラッチ孔
２２ｂ        中空孔
２２ｃ        吸気孔
２３  搬送ローラ
２７  プーリ
２８  クラッチ
２９  従動軸
２９ｂ        中空孔
２９ｃ        吸気孔
３０  搬送ローラ
３４  プーリ
３６  タイミングベルト（ベルト）
３７  蓋板
３７ａ        吸引孔
３９ 駆動装置
４１ ベース
４９ ピン
５０ ピン
４２  減速電動機（ 駆動装置）
４４  クラッチ
５１  ヘパフィルタ
５２  送気ファン
５４  風量調整板
５４ａ       スリット
５５  風量調整板
５５ａ       スリット
５７  空間
５８  吸気管
６１  排気ファン
６３  吸気ノズル
Ｗ  隙間
【図１】
0004616493.tif 000002
【図２】
0004616493.tif 000003
【図３】
0004616493.tif 000004
【図４】
0004616493.tif 000005
【図５】
0004616493.tif 000006
【図６】
0004616493.tif 000007
【図７】
0004616493.tif 000008
【図８】
0004616493.tif 000009
【図９】
0004616493.tif 000010
【図１０】
0004616493.tif 000011
【図１１】
0004616493.tif 000012
【図１２】
0004616493.tif 000013
【図１３】
0004616493.tif 000014
【図１４】
0004616493.tif 000015
【図１５】
0004616493.tif 000016
【図１６】
0004616493.tif 000017