(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断装置であって、
前記ワークを保持しかつ前記ワークを前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置する配置部、
前記配置部を支持し移動することによって前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る移動部、
前記移動部に接続され落下運動することによって前記移動部を牽引して移動させる錘、および
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制する速度抑制手段を備え、
前記速度抑制手段は、
ネジ溝が設けられたガイド棒と、
前記ガイド棒を回転させる駆動手段と、
前記ガイド棒が螺入されかつ前記ガイド棒の回転によって移動する抑制板とを含み、
前記抑制板は前記錘の牽引による前記移動部の移動を妨げる位置に配置され、前記抑制板が前記錘の牽引による前記移動部の移動速度よりも遅い速度で前記移動部と同方向にかつ前記移動部と接触しながら移動することによって前記移動部の移動速度が抑制される、ワーク切断装置。
【請求項２】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断装置であって、
前記ワークを保持しかつ前記ワークを前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置する配置部、
前記配置部を支持し移動することによって前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る移動部、
前記移動部に接続され落下運動することによって前記移動部を牽引して移動させる錘、および
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制する速度抑制手段を備え、
前記速度抑制手段は、
移動に一定の力を要する抵抗部材を含み、
前記抵抗部材は前記錘の牽引による前記移動部の移動を妨げる位置に配置され、前記移動部が前記抵抗部材を押しながら移動することによって前記移動部の移動速度が抑制される、ワーク切断装置。
【請求項３】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断装置であって、
前記ワークを保持しかつ前記ワークを前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置する配置部、
前記配置部を支持し移動することによって前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る移動部、
前記移動部に接続され落下運動することによって前記移動部を牽引して移動させる錘、および
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制する速度抑制手段を備え、
前記速度抑制手段は、
前記錘を支持する支持部と、
前記支持部を下降させる下降手段とを含み、
前記下降手段は前記錘の落下を抑制する速度で前記錘を支持する前記支持部を下降させ前記錘の前記移動部を牽引する力を減少させることによって前記移動部の移動速度が抑制される、ワーク切断装置。
【請求項４】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断方法であって、
前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置部によって前記ワークを配置する工程、
前記配置部を支持する移動部に錘を接続する工程、
落下運動する前記錘に牽引されて前記移動部が移動しそれに伴って前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る工程、
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと回転する前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制しこれによって前記内周刃ブレードに対する前記ワークの送り速度を抑制して切断を開始する工程を備え、
前記錘の牽引による前記移動部の移動を妨げる位置に抑制板を配置し、前記抑制板が前記錘の牽引による前記移動部の移動速度よりも遅い速度で前記移動部と同方向にかつ前記移動部に接触しながら移動することによって前記移動部の移動速度を抑制する、ワーク切断方法。
【請求項５】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断方法であって、
前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置部によって前記ワークを配置する工程、
前記配置部を支持する移動部に錘を接続する工程、
落下運動する前記錘に牽引されて前記移動部が移動しそれに伴って前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る工程、
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと回転する前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制しこれによって前記内周刃ブレードに対する前記ワークの送り速度を抑制して切断を開始する工程を備え、
前記錘の牽引による前記移動部の移動を妨げる位置に移動に一定の力を要する抵抗部材を配置し、前記移動部が前記抵抗部材を押しながら移動することによって前記移動部の移動速度が抑制される、ワーク切断方法。
【請求項６】
中空円板状の台板と前記台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断方法であって、
前記内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置部によって前記ワークを配置する工程、
前記配置部を支持する移動部に錘を接続する工程、
落下運動する前記錘に牽引されて前記移動部が移動しそれに伴って前記ワークを前記内周刃ブレードに向けて送る工程、
前記錘の牽引による前記移動部の移動を抑える力を前記移動部または前記錘に加えることによって少なくとも前記ワークと回転する前記内周刃ブレードの前記刃先とが接触するときの前記移動部の移動速度を抑制しこれによって前記内周刃ブレードに対する前記ワークの送り速度を抑制して切断を開始する工程を備え、
前記錘を支持部によって支持し前記錘の落下を抑制する速度で前記支持部を下降させ前記錘の前記移動部を牽引する力を減少させることによって前記移動部の移動速度が抑制される、ワーク切断方法。
【請求項７】
前記ワークが希土類焼結合金である、請求項４から請求項６のいずれかに記載のワーク切断方法。
【請求項８】
前記ワークの切断に際して前記刃先にクーラントが供給され、
前記刃先に供給される前記クーラントは水溶性のクーラント原液を希釈したものであり、前記クーラント原液は界面活性剤を５ｗｔ％〜２０ｗｔ％含み潤滑剤を１０ｗｔ％〜４０ｗｔ％含む、請求項４から請求項７のいずれかに記載のワーク切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワーク切断装置およびワーク切断方法に関し、より特定的には内周刃ブレードを用いてワークを切断する、ワーク切断装置およびワーク切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンやガリウム砒素などのインゴットであるワークより薄板状のウエハを切り出すために、中空円板状の薄い台板とその台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレード（内周刃砥石）を高速回転させて当該ワークを切断する内周刃切断装置が用いられている。内周刃切断装置を用いて切断加工することによって、歩留まりがよく、厚さの薄い製品が得られるという利点がある。【０００３】
このような内周刃切断装置では、回転する内周刃ブレードに対してワークを、またはワークに対して回転する内周刃ブレードを送って切断加工を行う。一般に切断加工の際に生じる切断抵抗は、ワークと内周刃ブレードの刃先との接触面積（切断面積）およびワークまたは内周刃ブレードの送り速度（切断速度）に比例して増加する。切断抵抗が増すと薄い内周刃ブレードの台板に反りが生じ、刃先が変位し、切り出された製品の切断面における平坦精度（切断精度）が悪くなるという問題がある。特に、ワークと刃先とが接触する瞬間、つまり切断を開始する瞬間に刃先が変位しやすいので、切断開始の瞬間の過剰な送り速度を抑制する必要がある。【０００４】
ワークの切断精度の悪化を防ぐために、特許文献１では、複数の変位検出器で検出した刃先の変位量に基づいて制御装置が補正量を求め、内周刃ブレードを変位させる主軸変位駆動手段にフィードバックして刃先の位置を補正する技術が開示されている。また、特許文献２では、複数のセンサで検出した刃先の変位量に基づいて制御装置が補正量を求め、エアー圧力調整装置にフィードバックして刃先の位置を補正する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平４−１２２６０９号公報
【特許文献２】特開平５−３１８４６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１および特許文献２に開示されるようなフィードバック制御を用いるとワーク切断装置の制御システムが複雑となり、ワーク切断装置のコストが上昇してしまう。
それゆえに、この発明の主たる目的は、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置を構成でき、安定して高精度にワークの切断加工を行うことができるワーク切断装置およびワーク切断方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明のある見地によれば、中空円板状の台板と台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断装置であって、ワークを保持しかつワークを内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置する配置部、配置部を支持し移動することによってワークを内周刃ブレードに向けて送る移動部、移動部に接続され落下運動することによって移動部を牽引して移動させる錘、および錘の牽引による移動部の移動を抑える力を移動部または錘に加えることによって少なくともワークと内周刃ブレードの刃先とが接触するときの移動部の移動速度を抑制する速度抑制手段を備える、ワーク切断装置が提供される。【０００７】
この発明の他の見地によれば、中空円板状の台板と台板の内周縁に設けられた刃先とを有する内周刃ブレードを回転させてワークを切断するワーク切断方法であって、内周刃ブレードによって切断可能な位置に配置部によってワークを配置する工程、配置部を支持する移動部に錘を接続する工程、落下運動する錘に牽引されて移動部が移動しそれに伴ってワークを内周刃ブレードに向けて送る工程、錘の牽引による移動部の移動を抑える力を移動部または錘に加えることによって少なくともワークと回転する内周刃ブレードの刃先とが接触するときの移動部の移動速度を抑制しこれによって内周刃ブレードに対するワークの送り速度を抑制して切断を開始する工程を備える、ワーク切断方法が提供される。【０００８】
この発明では、移動部は落下する錘に牽引され、これによってワークが内周刃ブレードに向けて送られる。そして、錘の牽引による移動部の移動を抑える力を移動部または錘に加えることによって、言い換えれば、移動部にその移動方向とは反対方向の力または錘にその落下方向とは反対方向の力を実質的に加えることによって、少なくともワークと内周刃ブレードとが接触するときの移動部の移動速度が抑制され、内周刃ブレードに対するワークの過剰な送り速度が抑制される。したがって、最適なワークの送り速度でワークと内周刃ブレードとを接触させ、切断開始直後の刃先の変位を少なくすることができ、安定して高精度に切断加工を開始することができる。また、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置を構成することができる。【０００９】
好ましくは、速度抑制手段は、ネジ溝が設けられたガイド棒と、ガイド棒を回転させる駆動手段と、ガイド棒が螺入されかつガイド棒の回転によって移動する抑制板とを含む。抑制板は錘の牽引による移動部の移動を妨げる位置に配置され、抑制板が錘の牽引による移動部の移動速度よりも遅い速度で移動部と同方向にかつ移動部と接触しながら移動することによって移動部の移動速度が抑制される。このように、抑制板の移動速度を移動部の移動速度よりも遅くするのみで移動部の移動速度を抑制でき、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置を構成することができる。【００１０】
また、好ましくは、速度抑制手段は、移動に一定の力を要する抵抗部材を含む。抵抗部材は錘の牽引による移動部の移動を妨げる位置に配置され、移動部が抵抗部材を押しながら移動することによって移動部の移動速度が抑制される。この場合、速度抑制手段を制御する必要がなく、より低コストでワーク切断装置を構成することができる。【００１１】
さらに、好ましくは、速度抑制手段は、錘を支持する支持部と、支持部を下降させる下降手段とを含む。下降手段は錘の落下を抑制する速度で錘を支持する支持部を下降させ錘の移動部を牽引する力を減少させることによって移動部の移動速度が抑制される。この場合、錘の落下速度を支持部がない場合のそれより遅くなるように支持部の下降速度を設定するのみでよく、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置を構成することができる。【００１２】
ワークが脆い性質を有する場合、ワークと内周刃ブレードの刃先との接触時にワークの送り速度が高ければ、ワークを切断加工して得られる製品の切断精度が悪くなるばかりでなく、チッピング（欠け）を生じることがある。この発明では、硬く脆い性質を有し加工が難しい希土類焼結合金がワークの場合であっても、チッピングがなく、安定して高精度にワークの切断加工を行うことができる。【００１３】
また、ワークの切断に際して水溶性のクーラント原液を水で希釈した水溶性クーラントを用いる場合、水を主成分としているので、油を主成分としたクーラントと比べて環境への負荷が小さい反面、泡立ちやすく、表面張力も大きいため内周刃ブレードに供給することが難しい。特に内周刃ブレードの刃先が、砥粒を中空円板状の台板の内周縁に電気めっきした砥粒層からなる場合、砥粒の密度が高く（チップポケットが小さく）、水溶性クーラントを供給することが難しい。さらに、内周刃ブレードでは、刃先が円心方向に向いているために、遠心力によって生じる連れまわり流が刃先に強固にまとわり付き、刃先にクーラントを供給することが難しい。このために、硬いワークを切断するとクーラントの供給不足によって内周刃ブレードが焼き付き、さらには欠けてしまうことがある。界面活性剤を５ｗｔ％〜２０ｗｔ％含み、潤滑剤を１０ｗｔ％〜４０ｗｔ％含む水溶性のクーラント原液を水で希釈した水溶性クーラントを用いることが好ましい。この場合、内周刃ブレードの刃先に適切にクーラントを供給でき、焼き付きや欠けを防ぐことができる。また、刃先の磨耗を最適化でき、高精度の切断加工を行う内周刃ブレードを長寿命化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の一実施形態の概略を示す斜視図である。
【図２】（ａ）はこの発明の一実施形態の概略を示す正面図解図であり、（ｂ）はその側面図解図である。
【図３】（ａ）は内周刃ブレードの固定態様を示す図解図であり、（ｂ）はクーラントノズルの吐出口を示す部分斜視図であり、（ｃ）はクーラントノズルの吐出口近傍を示す図解図である。
【図４】ワーク切断装置によって切断加工されるワークの一例を示す図解図である。
【図５】ワークと内周刃ブレードの刃先との位置関係、およびワークの送り速度を示す図解図である。
【図６】速度抑制手段の動作を示す図解図である。
【図７】ワーク切断装置によって切断加工されるワークの他の例を示す図解図である。
【図８】クーラントの表面張力と切断精度との関係を示す実験結果であり、（ａ）はテーブル、（ｂ）はグラフである。
【図９】製品の厚みの測定ポイントを説明するための図解図である。
【図１０】クーラントの吐出圧力と切断精度との関係を示す実験結果であり、（ａ）はテーブル、（ｂ）はグラフである。
【図１１】この発明の他の実施形態の概略を示す側面図解図である。
【図１２】（ａ）はこの発明のその他の実施形態の概略を示す正面図解図であり、（ｂ）はその側面図解図である。
【符号の説明】
【００１５】
１０，１００，２００      ワーク切断装置
１２      ベット
３２      内周刃ブレード
４８      クーラントノズル
５０      ガイド溝
５２      ガイド孔
５３      移動部
５４      スライド台
５６      突出部
５９      配置部
６６      ワーク
７０      錘
７６，１０２，２０２      速度抑制手段
７８，１０４，２０４      ガイド部材
８０，２０６      ガイド棒
８２      抑制板
８４，１０６，２２０      送りストッパ
８６，２１０      巻き戻しストッパ
１０８，２２２      戻しストッパ
１１０      抵抗部材
２０８      リフト板
２１６      支持板
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について説明する。
図１および図２を参照して、この発明の一実施形態のワーク切断装置１０は、内周刃ブレード３２（後述）を縦に配置し、回転する内周刃ブレード３２に対してワーク６６（後述）を送って切断加工するタイプの内周刃切断装置である。【００１７】
ワーク切断装置１０はベット１２を含む。ベット１２上には回転支持部１４が設けられる。回転支持部１４には、チャックボディ１６に固着される回転軸１８が挿入され、回転軸１８は軸受け２０および２２によって支持される。これによりチャックボディ１６は回転可能に支持される。【００１８】
図２（ａ）に示すように、回転支持部１４内において回転軸１８にはプーリ２４が取り付けられる。また、ベット１２内には回転軸モータ２６が配置され、回転軸モータ２６の回転軸にはモータプーリ２８が取り付けられる。プーリ２４とモータプーリ２８とはベルト３０によって連結される。回転軸モータ２６を駆動し、ベルト３０を回転させることによって回転軸１８が回転し、チャックボディ１６、内周刃ブレード３２およびテンションヘッド３４が、図２（ｂ）に示すように矢印Ａ方向に回転する。【００１９】
図３（ａ）に示すように、内周刃ブレード３２の外周縁は、チャックボディ１６の端面とテンションヘッド３４の端面とで挟まれ、固定される。【００２０】
具体的には、テンションヘッド３４の外周側に設けられる複数のボルト孔３６に固定ボルト３８を螺入し、その先端を内周刃ブレード３２の外周縁に設けられる挿通孔４０に挿通する。そして、固定ボルト３８の先端をチャックボディ１６に設けられるボルト孔４２に螺入し、締め込むことで内周刃ブレード３２が固定される。また、テンションヘッド３４の内周側に設けられる複数のプレスボルト孔４４にプレスボルト４６を螺入し、絞め込むことで内周刃ブレード３２を外周方向に張り上げることができる。【００２１】
内周刃ブレード３２は、たとえば、厚み０．３ｍｍ程度の中空円板状のステンレス鋼合金である台板３２ａと、台板３２ａの内周縁にダイヤモンドの砥粒をニッケル液などの金属めっき液を用いて電気めっきして形成された砥粒層の刃先３２ｂと、を含む厚みの薄いブレードである。【００２２】
また、刃先３２ｂの近傍には、クーラントノズル４８が配置される。クーラントノズル４８は、図示しないクーラント供給部より送られるクーラントを吐出口４８ａより連続的に吐出し、刃先３２ｂに供給する。図３（ｂ）および（ｃ）からわかるように、吐出口４８ａは、クーラントノズル４８の先が割れた形状をしている。吐出口４８ａからクーラントは刃先３２ｂを包むように吐出される。供給されるクーラントは、図示しない温度調整部によって吐出時に２２℃〜３５℃となるように調整されている。また、吐出圧力は０．０５ＭＰａ〜０．２ＭＰａに調整される。０．０５ＭＰａ未満では、刃先３２ｂが焼き付く。一方、０．２ＭＰａ超では、刃先３２ｂが撓み切断精度が低下する。【００２３】
刃先３２ｂに供給されるクーラントは、水に２ｗｔ％〜１０ｗｔ％程度の水溶性のクーラント原液を添加したものである。このクーラント原液の主な組成は、日本公開公報特開２００３−８２３３５に記載の通りである。このクーラント原液は、刃先３２ｂへの浸透性を上げるためにカルボン酸などで炭素数１０〜２０の界面活性剤を５ｗｔ％〜２０ｗｔ％含み、刃先３２ｂとワーク６６（後述）との潤滑性を上げるためにグリコール類などで分子量７６〜１００００の潤滑剤を１０ｗｔ％〜４０ｗｔ％含む。具体的には、クーラント原液として、WS＃２５２（ユシロ化学工業社製）などが用いられる。【００２４】
クーラントは、２５℃での表面張力が２０ｍＮ／ｍ〜４０ｍＮ／ｍになるように調整される。２０ｍＮ／ｍ未満では、切断時において砥粒とワーク６６との間で砥粒の上すべりが生じ、有効な切削ができない。一方、４０ｍＮ／ｍ超では、砥粒とワーク６６との間へのクーラントの供給不足による切断抵抗の増加がみられる。【００２５】
図１および図２に戻って、ベット１２上にはガイド溝５０が形成され、ガイド溝５０内にはベット１２の上面を開口するガイド孔５２がガイド溝５０の長手方向中央部に形成される。ガイド溝５０には移動部５３が配置される。移動部５３は、ガイド溝５０上を長手方向に摺動可能なスライド台５４、スライド台５４の底面に設けられかつガイド孔５２を挿通してベット１２内に突出する突出部５６、およびスライド台５４上に立設される支持部材５８を含む。【００２６】
このような移動部５３によって配置部５９が支持される。配置部５９は、支持部材５８によって支持される割出機構６０、割出機構６０によって支持される固定治具６２、および固定治具６２の主面に設けられるカーボンなどの貼付板６４を含み、貼付板６４の主面にワーク６６が固着される。割出機構６０は、固定治具６２を内周刃ブレード３２と直交する方向（矢印Ｘ方向）に移動させ、ワーク６６を切断できるように内周刃ブレード３２の中心付近に配置する。つまり、割出機構６０によってワーク６６の切断加工により得られる製品の厚さを調整することができる。【００２７】
なお、割出機構６０は、図示しない制御部より入力される信号によって駆動されてもよいし、たとえばハンドルなどを取り付けて手動で駆動されてもよい。【００２８】
また、スライド台５４の前面には、たとえばピアノ線や鋼線などからなる線状部材６８の一端が接続され、線状部材６８の他端には錘７０が接続される。スライド台５４と錘７０とを接続する線状部材６８は、ローラ支持部７２に支持されるガイドローラ７４によって案内される。スライド台５４は、落下する錘７０に牽引され、ガイド溝５０を摺動して矢印Ｂ方向（図２（ｂ）参照）に移動し、ワーク６６を内周刃ブレード３２の中心付近から外周方向へ送る。【００２９】
なお、錘７０には、ワーク６６の重量に対して３〜６倍の重量の鉄塊などが用いられる。たとえば、ワーク６６の重量が３００ｇ〜４００ｇである場合、錘７０には１．６ｋｇの鉄塊が用いられる。【００３０】
さらに、ベット１２内のガイド孔５２の下方には、移動部５３の移動速度を抑制する速度抑制手段７６が設けられる。速度抑制手段７６は、断面コ字状のガイド部材７８、ネジ溝が形成されるガイド棒８０、ガイド棒８０が螺入されかつガイド部材７８を摺動する抑制板８２、ガイド部材７８の一端部に接合される送りストッパ８４、ガイド部材７８の他端部に接合される巻き戻しストッパ８６、およびガイド棒８０に接続されるモータ８８を含む。【００３１】
送りストッパ８４はガイド棒８０を回転可能に保持し、巻き戻しストッパ８６にはガイド棒８０が挿通される。ベット１２内において、ガイド部材７８、送りストッパ８４、および巻き戻しストッパ８６は固定され、送りストッパ８４は摺動する抑制板８２の先端位置を規制し、巻き戻しストッパ８６は突出部５６の後端位置を規制する。【００３２】
ガイド棒８０は、接続されるモータ８８によって一定速度で回転駆動され、抑制板８２を送りストッパ８４の方向（矢印Ｂ方向）、または巻き戻しストッパ８６の方向（矢印Ｂの反対方向）に移動させる。このとき抑制板８２は、ガイド棒８０の回転駆動に伴って回転することなくガイド部材７８上を摺動する。
なお、モータ８８の回転速度および回転方向は、図示しない制御部によって変更することができる。【００３３】
このように構成されるワーク切断装置１０によって切断加工されるワーク６６としては、たとえば希土類焼結合金が用いられる。希土類焼結合金であるワーク６６の形状の一例を図４に示す。【００３４】
図４を参照して、ワーク６６は、製造効率を向上させるために直方体の希土類焼結合金を接着剤などによって一体化し、配置部５９によって内周刃ブレード３２の中心付近に配置することができる限度内の適当な大きさの直方体に構成される。このような形状のワーク６６を切断加工して得られる製品は、たとえば光ピックアップレンズ駆動用の磁石に用いられる。【００３５】
ついで、図５および図６を参照して、ワーク切断装置１０の主要動作について説明する。
図５（ａ）に示すように、ワーク切断装置１０の作動前に、配置部５９によって内周刃ブレード３２の中心付近に図４に示す形状の希土類焼結合金のワーク６６が配置される。また、ワーク６６の重量に対して３〜６倍の重量である錘７０が線状部材６８によってスライド台５４に接続される。このとき、図６（ａ）に示すように、突出部５６は抑制板８２と巻き戻しストッパ８６とに挟まれているので、スライド台５４は移動することができない。【００３６】
図示しないスタートボタンが押されることによって、回転軸モータ２６が駆動し、内周刃ブレード３２が回転し、刃先３２ｂには吐出口４８ａより温度調整されたクーラントが供給される。そして、速度抑制手段７６のモータ８８が駆動し、図６（ｂ）に示すように、抑制板８２が送りストッパ８４の方向に移動し、ワーク６６の送り動作が開始される。【００３７】
抑制板８２の移動速度は、錘７０の落下によって牽引されるスライド台５４の移動速度よりも遅く、抑制板８２と突出部５６とは接触しながら送りストッパ８４の方向に移動する。つまり、スライド台５４は、抑制板８２によってその移動速度を抑制されながら矢印Ｂ方向に移動し、ワーク６６を回転する内周刃ブレード３２に向けて送り、図５（ｂ）に示すように、ワーク６６と刃先３２ｂとを接触させて切断を開始する。【００３８】
ここで、切断中に抑制板８２の移動速度をスライド台５４の移動速度よりも断続的に大きくすると、刃先３２ｂが前後方向に加振され、切断箇所の切断抵抗が小さくなり、刃厚が小さくても刃先３２ｂが曲がりにくくなる。また、切断抵抗が小さくなることから切断精度も向上する。【００３９】
図５（ｃ）に示すように、ワーク６６の送りが進むにつれて、ワーク６６と刃先３２ｂとの接触面積（切断面積）が大きくなり、それに伴って切断抵抗も大きくなる。切断抵抗が大きくなることによって、ワーク６６の送り負荷（スライド台５４の移動負荷）も大きくなり、スライド台５４の移動速度ひいてはワーク６６の送り速度が低下する。このようにスライド台５４の移動速度は低下するのに対して抑制板８２の移動速度は一定であるので、切断開始後にワーク６６が一定量送られた（切り込まれた）時点で、図６（ｃ）に示すように突出部５６と抑制板８２とは離れる。そして、落下する錘７０の牽引によってのみスライド台５４が移動し、ワーク６６を送る。【００４０】
図５（ｄ）に示すように、ワーク６６の送りが進むと、ある時点で切断面積は最大かつ一定となり、それに伴ってワーク６６の送り速度も一定となる。【００４１】
図５（ｅ）に示すように、さらにワーク６６の送りが進むと、刃先３２ｂは貼付板６４に達する。カーボンである貼付板６４の切断抵抗は、希土類焼結合金であるワーク６６の切断抵抗よりも小さく、ワーク６６の切断面積も小さくなるので、スライド台５４の移動速度ひいてはワーク６６の送り速度が上昇する。【００４２】
その後、図６（ｄ）に示すように、突出部５６が、送りストッパ８４と接触している抑制板８２に再び接触すると、ワーク６６の送り動作が終了する。このとき、ワーク６６と内周刃ブレード３２とは図５（ｆ）に示すような状態となり、切断加工が終了する。
切断加工の終了後、モータ８８の回転方向を逆転させて駆動することによって、抑制板８２は突出部５６を押しながら巻き戻しストッパ８６の方向に移動し、図６（ａ）の状態に戻る。なお、突出部５６および抑制板８２の位置戻し動作は、たとえば、戻しボタンを押すことによって行ってもよいし、送りストッパ８４にセンサを取り付けて自動的に行ってもよい。【００４３】
このようなワーク切断装置１０によれば、最適なワーク６６の送り速度でワーク６６と内周刃ブレード３２とを接触させることができる。したがって、厚みの薄い内周刃ブレード３２であっても切断開始直後の刃先３２ｂの変位を少なくすることができ、ワーク６６が硬く脆い性質を有する希土類焼結合金であってもチッピングがなく、安定して高精度に切断加工を開始することができる。また、抑制板８２の移動速度をスライド台５４の移動速度よりも遅くするのみで移動部５３の移動速度を抑制でき、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置１０を構成することができ、ひいては切断加工によって得られる製品の製造コストを下げることができる。【００４４】
また、界面活性剤を５ｗｔ％〜２０ｗｔ％含み、潤滑剤を１０ｗｔ％〜４０ｗｔ％含む水溶性のクーラント原液を水で希釈した水溶性クーラントを用いることで、内周刃ブレード３２の刃先３２ｂに適切にクーラントを供給でき、焼き付きや欠けを防ぐことができる。また、刃先３２ｂの磨耗を最適化でき、高精度の切断加工を行う内周刃ブレード３２を長寿命化することができる。なお、この水溶性クーラントは、内周刃ブレード３２への供給時（吐出時）に２２℃〜３５℃となるように温度調整されることでより効果的に用いることができる。【００４５】
また、クーラントは２５℃での表面張力が２０ｍＮ／ｍ〜４０ｍＮ／ｍになるように調整されるのが望ましい。表面張力を２０ｍＮ／ｍ〜４０ｍＮ／ｍにすることで、切断時に遠心力等で刃先３２ｂにクーラントが残りにくいワーク切断装置１０でも、刃先３２ｂにクーラントが適度に残り、良好な切断が可能になる。【００４６】
さらに、吐出圧力は０．０５ＭＰａ〜０．２ＭＰａに調整されるのが望ましい。吐出圧力を０．０５ＭＰａ〜０．２ＭＰａにすることで、刃先３２ｂへのクーラントの供給不足による刃先３２ｂの焼き付きや変形が抑制され、精度よく切断することができる。【００４７】
なお、直方体の希土類焼結合金を一体化して構成されるワーク６６の形状は図４に示すものに限らない。また、その断面積が大きければ単体で切断加工してもよい。【００４８】
また、図４に示す形状のワーク６６の他にも様々な形状のワーク６６がワーク切断装置１０によって切断加工される。希土類焼結合金であるワーク６６の他の形状の例を図７に示す。【００４９】
図７（ａ）に示すように、上辺および底辺が円弧である略台形状の断面を有する希土類焼結合金をワーク６６として用い、切断加工することもある。このような形状のワーク６６を切断加工して得られる製品は、たとえばＶＣＭ（ボイスコイルモータ）駆動用の磁石に用いられる。また、図７（ｂ）に示すように、その大きさが小さければ製造効率を向上させるために、図７（ａ）に示す形状のワーク６６を接着剤などによって一体化してもよい。なお、図７（ａ）に示す形状の希土類焼結合金を一体化して構成されるワーク６６の形状は図７（ｂ）に示すものに限らない。【００５０】
ここで用いられる接着剤には、ＣａＣＯ3（炭酸カルシウム）、コラーゲン（にかわ）、テレビンおよびコロホニウム（松やに）を混合したものを用いるのが望ましい。この接着剤は刃厚の小さい内周刃に巻きつくこともなく、切断負荷の変動による刃先３２ｂの焼き付きや砥粒のはがれがより起きにくくなる。また、ワーク６６のはがれもない。接着剤の成分比率としては、ＣａＣＯ3：にかわ：松やに＝１：０．６〜１．０：０．６〜１．０にするのが好ましい。【００５１】
また、製造効率を向上させるために、円柱状の希土類焼結合金を接着剤などによって一体化し、図７（ｃ）から図７（ｅ）に示すような形状にワーク６６を構成して切断加工することもある。このような形状の希土類焼結合金のワーク６６を切断加工して得られる製品は、たとえば光ピックアップレンズ駆動用の磁石に用いられる。なお、円柱状の希土類焼結合金を一体化して構成されるワーク６６の形状は図７（ｃ）から図７（ｅ）に示すものに限らない。また、その断面の面積が大きければ単体で切断加工してもよい。
さらに、図７（ｆ）に示すように、円筒形状の希土類焼結合金をワーク６６として用い、切断加工することもある。【００５２】
図７（ｆ）に示す形状のワーク６６を切断加工する場合、切断開始後すぐに切断面積が最大となる。そして、切断が進むにつれて急激に切断面積が小さくなる。このとき、突出部５６と抑制板８２とが離れず、スライド台５４の移動速度が抑制されたまま切断加工を行う可能性がある。あるいは一旦離れた突出部５６と抑制板８２とが切断加工中に再び接触し、スライド台５４の移動速度が再び抑制される可能性がある。これによって、ワーク６６の送り動作に要する時間ひいては切断加工に要する時間が長くなり製造効率が低下する恐れがある。そこで、製造効率の低下を防ぐために、ワーク６６と刃先３２ｂとの接触後に制御部を介してモータ８８の回転速度を上昇させ、抑制板８２の移動速度を上げてもよい。また、固定治具６２に負荷センサを取り付け一定以上の負荷を検出したときに自動的にモータ８８の回転速度を上昇させ、抑制板８２の移動速度を上げてもよい。【００５３】
図４および図７に示す他にも、様々な形状のワーク６６が考えられることは言うまでもない。【００５４】
ついで、ワーク切断装置１０と速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置とによってワーク６６の切断加工を行い、得られる製品の切断精度を比較した実験例について説明する。なお、ワーク切断装置１０と速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置との構成の差異は、速度抑制手段７６の有無のみである。【００５５】
加工条件を表１に示す。
【表１】
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【００５６】
ワーク切断装置１０と速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置とは同一の加工条件で実験を行った。表１に示すように、この実験例では、厚み０．１ｍｍの台板３２ａの内周縁に、砥粒材料として平均砥粒径６０μｍの人造ダイヤモンドをニッケル液を用いて電気めっきして厚み０．２６ｍｍの砥粒層からなる刃先３２ｂが形成された内周刃ブレード３２が用いられた。台板３２ａの材質としては、超抗張力特性を有するステンレス鋼合金が用いられた。また、内周刃ブレード３２の回転速度（周速）は１１３０ｍ／ｍｉｎであった。【００５７】
ワーク６６には、ＶＣＭブロックと呼ばれ、断面積（端面の面積）が約７．６ｃｍ2である図７（ａ）に示す形状の希土類焼結合金が用いられた。具体的に希土類焼結合金としては、液相焼結を行い、Ｆｅを多く含むＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結合金が用いられた。Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結合金は希土類焼結合金の中でも、特に硬く脆い性質を有する加工難材である。【００５８】
錘７０には、１．６ｋｇの鉄塊が用いられた。【００５９】
クーラントには、ユシロ化学工業社製のＷＳ＃２５２を水によって１０ｗｔ％希釈したものが用いられた。クーラントは、吐出時に２５℃となるように調整され、吐出量１．０Ｌ／ｍｉｎで刃先３２ｂに供給された。【００６０】
実験によって、表２に示す結果が得られた。
【表２】
0004687461.tif 000003
【００６１】
この実験では、ワーク切断装置１０と速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置とによって、それぞれ１個のワーク６６において５回の切断加工を行い、これを１５個のワーク６６について繰り返し行った。【００６２】
速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置では、得られる製品の厚み平均が３．４１８ｍｍであるのに対し、ワーク切断装置１０では、３．４０４ｍｍとなり、目標切断厚（３．４ｍｍ）に近く、高精度に切断加工を行うことができた。【００６３】
また、速度抑制手段７６を備えていないワーク切断装置では、得られる製品の厚みばらつきが０．０１４ｍｍであるのに対し、ワーク切断装置１０では、０．００５１ｍｍとなり、厚みばらつきを約３分の１に低減させることができた。【００６４】
なお、「厚み平均」とは、切断加工して得た全ての製品の厚みを測定し、合計し、平均した値である。また、この実験例およびつぎの実験例における「厚みばらつき」とは、切断加工して得た全ての製品について目標切断厚（たとえばこの実験例では３．４ｍｍ）に対する厚みの誤差を検出し、合計し、平均した値である。【００６５】
また、ワーク切断装置１０において種類の異なるクーラント１とクーラント２とを用いて内周刃ブレード３２の耐久性を比較する実験を行った。【００６６】
クーラント１としては、界面活性剤をカルボン酸で１０ｗｔ％含み、潤滑剤をエチレングリコールで２０ｗｔ％含む水溶性のクーラント原液を水で１０倍に希釈した水溶性クーラントが用いられた。また、クーラント２としては、界面活性剤をカルボン酸で４ｗｔ％含み、潤滑剤をエチレングリコールで８ｗｔ％含む水溶性のクーラント原液を水で１０倍に希釈した水溶性クーラントが用いられた。なお、クーラント１およびクーラント２は吐出時に２５℃となるよう温度調整されていた。【００６７】
加工条件を表３に示す。
【表３】
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【００６８】
表３に示すように、この実験例では、厚み０．１ｍｍの台板３２ａと、台板３２ａの内周縁に砥粒材料として平均砥粒径６０μｍの人造ダイヤモンドをニッケル液を用いて電気めっきして形成された厚み０．２６ｍｍの砥粒層からなる刃先３２ｂと、を含む内周刃ブレード３２が用いられた。台板３２ａの材質としては、超抗張力特性を有するステンレス鋼合金が用いられた。また、内周刃ブレード３２の回転速度（周速）は１１３０ｍ／ｍｉｎであった。【００６９】
ワーク６６には、□ブロックと呼ばれ、端面の縦横長さはそれぞれ２０．２ｍｍ、５２ｍｍで奥行きは３０ｍｍであり、断面積が約１０．５ｃｍ2である図４に示す形状のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結合金が用いられた。【００７０】
錘７０には、１．０ｋｇの鉄塊が用いられた。【００７１】
実験によって、表４に示す結果が得られた。
【表４】
0004687461.tif 000005
【００７２】
表４に示すように、クーラント２を刃先３２ｂに供給して切断加工を行った場合、内周刃ブレード３２の平均寿命は８００ｓｈｏｔであった。これに対し、クーラント１を刃先３２ｂに供給して切断加工を行った場合では、内周刃ブレード３２の平均寿命が１２００ｓｈｏｔとなり、内周刃ブレード３２を長寿命化することができた。【００７３】
また、クーラント１を用いることによって、クーラント２を用いるよりも目標切断厚（０．６６ｍｍ）に対する厚み平均の誤差および厚みばらつきを低減させることができた。つまり、クーラント１を用いることによって、より高精度に切断加工を行うことができた。【００７４】
さらに、ワーク切断装置１０においてクーラントの表面張力を変化させ、異なる表面張力毎に、ワーク６６を切断加工して得られる製品の厚みばらつきを求めた実験例について説明する。【００７５】
加工条件を表５に示す。
【表５】
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【００７６】
表５に示すように、この実験例では、厚み０．１ｍｍの台板３２ａの内周縁に、砥粒材料として平均砥粒径６０μｍの人造ダイヤモンドをニッケル液を用いて電気めっきして厚み０．２６ｍｍの砥粒層からなる刃先３２ｂが形成された内周刃ブレード３２が用いられた。台板３２ａの材質としては、超抗張力特性を有するステンレス鋼合金が用いられた。また、内周刃ブレード３２の回転速度（周速）は１１３０ｍ／ｍｉｎであった。
ワーク６６には、３５ｍｍ×３０ｍｍ×３０ｍｍの図４に示す形状のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結合金が用いられた。【００７７】
錘７０には、１．６ｋｇの鉄塊が用いられた。【００７８】
クーラントには、ユシロ化学工業社製のＷＳ＃２５２を水によって希釈したものが用いられた。クーラントは、吐出時に２５℃となるように調整され、吐出圧力は０．１５ＭＰａに設定された。ここで、クーラントの吐出圧力とは、クーラントノズル４８の吐出口４８ａにおけるクーラントの圧力をいう。【００７９】
この実験では、ワーク切断装置１０によって、１個のワーク６６において５回の切断加工を行い、これを１５個のワーク６６について繰り返し行った。【００８０】
実験の結果、図８（ａ）および（ｂ）に示すように、クーラントの表面張力が２０ｍＮ／ｍ〜４０ｍＮ／ｍの範囲内であれば、得られる製品の厚みばらつきを小さくできることがわかった。したがって、クーラントの表面張力がこの範囲内であれば、より高精度に切断加工を行うことができる。【００８１】
なお、この実験例およびつぎの実験例における「厚みばらつき」は、切断加工して得た全ての製品について厚みの誤差を検出し、合計し、平均した値である。ここで、製品についての「厚みの誤差」は、つぎのようにして求められる。切断加工して得られた製品について、図９に示す９箇所の測定ポイントの厚みをたとえばマイクロメータで測定し、その最大値と最小値との差をその製品についての厚みの誤差とする。【００８２】
さらに、ワーク切断装置１０においてクーラントの吐出圧力を変化させ、異なる吐出圧力毎に、ワーク６６を切断加工して得られる製品の厚みばらつきを求めた実験例について説明する。
加工条件は上述の表５と同じである。【００８３】
すなわち、この実験例では、厚み０．１ｍｍの台板３２ａの内周縁に、砥粒材料として平均砥粒径６０μｍの人造ダイヤモンドをニッケル液を用いて電気めっきして厚み０．２６ｍｍの砥粒層からなる刃先３２ｂが形成された内周刃ブレード３２が用いられた。台板３２ａの材質としては、超抗張力特性を有するステンレス鋼合金が用いられた。また、内周刃ブレード３２の回転速度（周速）は１１３０ｍ／ｍｉｎであった。【００８４】
ワーク６６には、３５ｍｍ×３０ｍｍ×３０ｍｍの図４に示す形状のＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結合金が用いられた。【００８５】
錘７０には、１．６ｋｇの鉄塊が用いられた。【００８６】
クーラントには、ユシロ化学工業社製のＷＳ＃２５２を水によって希釈したものが用いられた。なお、クーラントは吐出時に２５℃となるように調整され、その表面張力は３０ｍＮ／ｍに設定された。【００８７】
この実験では、ワーク切断装置１０によって、１個のワーク６６において５回の切断加工を行い、これを１５個のワーク６６について繰り返し行った。【００８８】
実験の結果、図１０（ａ）および（ｂ）に示すように、クーラントの吐出圧力が０．０５ＭＰａ〜０．２ＭＰａの範囲内であれば、得られる製品の厚みばらつきを小さくできることがわかった。したがって、クーラントの吐出圧力がこの範囲内であれば、より高精度に切断加工を行うことができる。【００８９】
ついで、図１１を参照して、この発明の他の実施形態のワーク切断装置１００について説明する。
ワーク切断装置１００では、上述のワーク切断装置１０における速度抑制手段７６に代えて速度抑制手段１０２が用いられる。その他の構成についてはワーク切断装置１０と同様に構成されるのでその重複する説明は省略する。【００９０】
ワーク切断装置１００において、移動部５３の移動速度を抑制する速度抑制手段１０２はベット１２内に設けられ、速度抑制手段１０２は、断面コ字状のガイド部材１０４、ガイド部材１０４の一端部に接合される送りストッパ１０６、ガイド部材１０４の他端部に接合される戻しストッパ１０８、およびガイド部材１０４上を摺動する抵抗部材１１０を含む。【００９１】
ベット１２内において、ガイド部材１０４、送りストッパ１０６および戻しストッパ１０８は固定され、抵抗部材１１０は、突出部５６を戻しストッパ１０８とで挟む位置に配置される。また、抵抗部材１１０は、たとえば鉄塊などの錘であり、錘７０よりも軽量なものが用いられる。【００９２】
このようなワーク切断装置１００の速度抑制手段１０２では、錘７０の落下によって矢印Ｂ方向に移動する突出部５６が、移動に一定の力を要する抵抗部材１１０を押しながら移動することによって、スライド台５４の移動速度ひいてはワーク６６の過剰な送り速度を抑制する。【００９３】
なお、ワーク切断装置１００が停止状態であるときは、図示しない支持台によって、錘７０は落下しないよう支持されている。あるいは錘７０は取り外されている。【００９４】
また、切断加工の終了後、スライド台５４は人手によって戻しストッパ１０８の方向（矢印Ｂの反対方向）に押し戻される。このとき錘７０は支持台によって支持されていてもよいし、取り外されていてもよい。そして、送りストッパ１０６と接触している抵抗部材１１０を戻しストッパ１０８の方向へ移動させるために、たとえば、ベット１２の側面に図示しない開閉口を設け、その開閉口を開けて、人手によって抵抗部材１１０を移動するようにしてもよい。【００９５】
このようなワーク切断装置１００によれば、最適なワーク６６の送り速度でワーク６６と内周刃ブレード３２とを接触させることができる。したがって、厚みの薄い内周刃ブレード３２であっても切断開始直後の刃先３２ｂの変位を少なくすることができ、ワーク６６が硬く脆い性質を有する希土類焼結合金であってもチッピングがなく、安定して高精度に切断加工を開始することができる。また、速度抑制手段１０２を制御する必要がなく、より低コストでワーク切断装置１００を構成することができ、ひいては切断加工によって得られる製品の製造コストを下げることができる。【００９６】
さらに、図１２（ａ）および（ｂ）を参照して、この発明の他の実施形態のワーク切断装置２００について説明する。
ワーク切断装置２００では、上述のワーク切断装置１０における速度抑制手段７６に代えて速度抑制手段２０２が用いられる。ワーク切断装置２００において、ワーク切断装置１０と同様に構成される部分の説明は省略する。【００９７】
速度抑制手段２０２は、ベット１２内において、断面コ字状のガイド部材２０４、ネジ溝が形成されるガイド棒２０６、ガイド棒２０６が螺入されかつガイド部材２０４を摺動するリフト板２０８、ガイド部材２０４の上端部に接合される巻き戻しストッパ２１０、およびガイド棒２０６に接続されるモータ２１２を含む。【００９８】
さらに、速度抑制手段２０２は、ベット１２の側面に形成されるリフト孔２１４より突出するリフト板２０８の先端部に接続されかつ錘７０を支持する支持板２１６を含む。【００９９】
ガイド部材２０４の下端部は、ベット１２内の底面に接合される。ガイド棒２０６は、巻き戻しストッパ２１０を挿通し、ベット１２内の底面に設けられる軸受け２１８によって回転可能に保持される。【０１００】
また、ワーク切断装置２００において、ベット１２内のガイド溝５０の下方には、送りストッパ２２０および戻しストッパ２２２が設けられる。送りストッパ２２０は突出部５６の先端位置を規制し、戻しストッパ２２２は突出部５６の後端位置を規制する。【０１０１】
ガイド棒２０６は、接続されるモータ２１２によって一定速度で回転駆動され、リフト板２０８およびリフト板２０８に接続される支持板２１６を下降または上昇させる。このときリフト板２０８は、ガイド部材２０４を上下に摺動し、ガイド棒２０６の回転駆動に伴って左右に振れることなく移動する。【０１０２】
なお、モータ２１２は、図示しないスタートボタンが押されることによって回転を開始する。また、モータ２１２の回転速度および回転方向は、図示しない制御部によって変更することができる。【０１０３】
このようなワーク切断装置２００の速度抑制手段２０２では、リフト板２０８に接続されかつ錘７０を支持する支持板２１６を錘７０の落下を抑制する速度で下降させることによって、錘７０のスライド台５４を矢印Ｂ方向に牽引する力を減少させ、スライド台５４の移動速度ひいてはワーク６６の過剰な送り速度を抑制する。【０１０４】
ワーク切断装置２００において図４に示すワーク６６を切断加工する場合のワーク６６の送り動作（切断動作）はワーク切断装置１０におけるワーク６６の送り動作と同様となる。【０１０５】
切断開始後、ワーク６６の送りが進むにつれて、ワーク６６の切断面積が大きくなり（図５（ｃ）参照）、それに伴って切断抵抗も大きくなる。切断抵抗が大きくなることによって、ワーク６６の送り負荷も大きくなり、スライド台５４の移動速度ひいてはワーク６６の送り速度が低下する。このようにスライド台５４の移動速度は低下するのに対して支持板２１６の下降速度は一定であるので、切断開始後にワーク６６が一定量送られた時点で、錘７０と支持板２１６とは離れる。【０１０６】
そして、落下する錘７０の牽引によってのみスライド台５４が移動し、ある時点で切断面積は最大かつ一定となり（図５（ｄ）参照）、それに伴ってワーク６６の送り速度も一定となる。【０１０７】
さらにワーク６６の送りが進むと、刃先３２ｂは貼付板６４に達する（図５（ｅ）参照）。カーボンである貼付板６４の切断抵抗は、ワーク６６の切断抵抗よりも小さく、ワーク６６の切断面積も小さくなるので、錘７０の落下速度ひいてはワーク６６の送り速度が上昇する。【０１０８】
その後、突出部５６と送りストッパ２２０とが接触し、ワーク６６の送り動作が終了する。【０１０９】
切断加工の終了後、スライド台５４は人手によって戻しストッパ２２２の方向（矢印Ｂの反対方向）に押し戻される。このとき錘７０は、モータ２１２の回転方向を逆転させることによって上昇する支持板２１６によって、図１２（ａ）に示す位置で再び支持される。なお、錘７０の位置戻し動作は、たとえば、戻しボタンを押すことによって行ってもよいし、抑制板２１６にセンサを取り付けて自動的に行ってもよい。【０１１０】
このようなワーク切断装置２００によれば、最適なワーク６６の送り速度でワーク６６と内周刃ブレード３２とを接触させることができる。したがって、厚みの薄い内周刃ブレード３２であっても切断開始直後の刃先３２ｂの変位を少なくすることができ、ワーク６６が硬く脆い性質を有する希土類焼結合金であってもチッピングがなく、安定して高精度に切断加工を開始することができる。また、錘７０の落下を抑制する速度となるように支持板２１６の下降速度を設定するのみで移動部５３の移動速度を抑制でき、複雑な制御システムを必要とせず、低コストでワーク切断装置２００を構成することができ、ひいては切断加工によって得られる製品の製造コストを下げることができる。【０１１１】
なお、この発明は、内周刃ブレードを横に寝かせて配置するタイプのワーク切断装置にも適用できる。【０１１２】
また、ワークに対して内周刃ブレードを送って切断加工を行うタイプのワーク切断装置にも適用できる。【０１１３】
さらに、台板の外周縁に刃先を有する外周刃ブレード（外周刃砥石）を用いるワーク切断装置にも適用することができる。【０１１４】
また、この発明で用いられるワークは、希土類焼結合金に限らず、シリコン、ガリウム砒素など高精度に切断加工を行うものを広く対象としている。【０１１５】
この発明が詳細に説明され図示されたが、それは単なる図解および一例として用いたものであり、限定であると解されるべきではないことは明らかであり、この発明の精神および範囲は添付された請求の範囲の文言のみによって限定される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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