(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板および該半導体基板下に設けられた複数の外部接続用電極を有する半導体構成体と、前記半導体構成体下およびその周囲に設けられた下層絶縁膜と、前記下層絶縁膜下に設けられた下層配線と、少なくとも前記半導体構成体の周囲における前記下層絶縁膜上に設けられた絶縁層とを備えた半導体装置において、
前記下層配線と前記下層絶縁膜との間に、前記半導体構成体の外部接続用電極に対応する部分に開口部を有する金属層が設けられ、前記金属層の開口部に対応する部分における前記下層絶縁膜に開口部が形成され、前記下層配線は前記金属層の開口部および前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されており、
前記半導体構成体の外部接続用電極は配線の接続パッド部であり、前記配線の接続パッド部下面に保護金属層が設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、前記半導体構成体および前記絶縁層上に上層絶縁膜が設けられ、前記上層絶縁膜上に上層配線が設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項２に記載の発明において、前記下層絶縁膜、前記絶縁層および前記上層絶縁膜に設けられた貫通孔内に上下導通部が前記下層配線および前記上層配線に接続されて設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項２に記載の発明において、前記絶縁層中に両面配線基板が前記下層配線および前記上層配線に接続されて埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１に記載の発明において、前記下層配線を含む前記下層絶縁膜下に、前記下層配線の接続パッド部に対応する部分に開口部を有する下層オーバーコート膜が設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
請求項５に記載の発明において、前記下層オーバーコート膜の開口部内およびその下方に半田ボールが前記下層配線の接続パッド部に接続されて設けられていることを特徴とする半導体装置。
【請求項７】
半導体基板および該半導体基板下に設けられた複数の外部接続用電極を有する半導体構成体と、前記半導体構成体下およびその周囲に設けられた下層絶縁膜と、前記下層絶縁膜下に設けられた下層配線と、少なくとも前記半導体構成体の周囲における前記下層絶縁膜上に設けられた絶縁層とを備えた半導体装置において、
前記下層配線と前記下層絶縁膜との間に、前記半導体構成体の外部接続用電極に対応する部分に開口部を有する金属層が設けられ、前記金属層の開口部に対応する部分における前記下層絶縁膜に開口部が形成され、前記下層配線は前記金属層の開口部および前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されており、
前記半導体構成体は前記下層絶縁膜上に接着層を介して接着されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項８】
請求項７に記載の発明において、前記接着層に前記下層絶縁膜の開口部に連通する開口部が形成され、前記下層配線は、前記金属層の開口部、前記下層絶縁膜の開口部および前記接着層の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
開口部を有するマスク金属層の上面に下層絶縁膜を形成する工程と、
半導体基板および該半導体基板下に設けられた接続パッド部を持つ配線を有する半導体構成体を、前記下層絶縁膜の上面に固着する工程と、
前記マスク金属層をマスクとしてレーザビームを照射することにより、マスク金属層の開口部の外部に照射されるレーザビームはマスク金属層によって遮断され、前記半導体構成体の配線の接続パッド部に対応する部分における前記下層絶縁膜にマスク金属層の開口部と同一の径の開口部を形成する工程と、
前記下層絶縁膜下に下層配線を前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の配線の接続パッド部に接続させて形成する工程と、
を有し、
前記マスク金属層の開口部の直径は、半導体構成体の配線の接続パッド部の直径よりも小さくなっていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の発明において、前記開口部を有するマスク金属層の上面に前記下層絶縁膜を形成する工程の前に、ベース板を準備する工程と、前記ベース板上に、前記開口部を有する前記マスク金属層を形成する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の発明において、前記下層絶縁膜に開口部を形成する工程は、前記ベース板を除去して、前記開口部を有する前記マスク金属層を露出する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９に記載の発明において、前記半導体構成体を、前記下層絶縁膜の上面に固着する工程は、前記下層絶縁膜と前記半導体構成体とを接着層で固着する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の発明において、レーザビームを照射することにより前記接着層に前記下層絶縁膜の前記開口部に連通する開口部を形成する工程を含み、
前記開口部形成後、前記下層絶縁膜および前記接着層の開口部を介して露出された前記半導体構成体の配線の接続パッド部の下面を含む下層絶縁膜の下面に、下層配線を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の発明において、前記下層配線を形成する工程は、前記開口部を有する前記マスク金属層を除去し、前記下層絶縁膜の下面に前記下層配線を形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の発明において、前記下層配線を形成する工程は、前記マスク金属層の下面に前記下層配線を形成し、且つ、前記下層配線以外の領域における前記マスク金属層を除去する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体装置には、ＣＳＰ(chip size package)と呼ばれる半導体構成体を該半導体構成体よりも平面サイズの大きいベース板上に設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。この場合、半導体構成体の周囲におけるベース板上には絶縁層が設けられている。半導体構成体および絶縁層上には上層絶縁膜が設けられている。上層絶縁膜上には上層配線が半導体構成体の柱状電極に接続されて設けられている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−７１９９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来の半導体装置の製造方法では、上層絶縁膜上に形成される上層配線を半導体構成体の柱状電極に接続するために、半導体構成体の柱状電極の上面中央部に対応する部分における上層絶縁膜に開口部を形成する必要がある。この場合、上層絶縁膜に開口部をレーザビームの照射によるレーザ加工により形成することが知られている。
【０００５】
一方、レーザビームのビーム径が現状で最小の５０μｍ程度であると、上層絶縁膜に形成される開口部の直径は７０μｍ程度となる。この場合、レーザ加工精度を考慮すると、半導体構成体の柱状電極の直径は１００〜１２０μｍとする必要がある。したがって、半導体構成体の微細化に限界があり、柱状電極の本数の増加に対応できないという問題があった。
【０００６】
そこで、この発明は、より一層微細化することができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板および該半導体基板下に設けられた複数の外部接続用電極を有する半導体構成体と、前記半導体構成体下およびその周囲に設けられた下層絶縁膜と、前記下層絶縁膜下に設けられた下層配線と、少なくとも前記半導体構成体の周囲における前記下層絶縁膜上に設けられた絶縁層とを備えた半導体装置において、前記下層配線と前記下層絶縁膜との間に、前記半導体構成体の外部接続用電極に対応する部分に開口部を有する金属層が設けられ、前記金属層の開口部に対応する部分における前記下層絶縁膜に開口部が形成され、前記下層配線は前記金属層の開口部および前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されており、前記半導体構成体の外部接続用電極は配線の接続パッド部であり、前記配線の接続パッド部下面に保護金属層が設けられていることを特徴とするものである。
請求項２に記載の発明に係る半導体装置は、請求項１に記載の発明において、前記半導体構成体および前記絶縁層上に上層絶縁膜が設けられ、前記上層絶縁膜上に上層配線が設けられていることを特徴とするものである。
請求項３に記載の発明に係る半導体装置は、請求項２に記載の発明において、前記下層絶縁膜、前記絶縁層および前記上層絶縁膜に設けられた貫通孔内に上下導通部が前記下層配線および前記上層配線に接続されて設けられていることを特徴とするものである。
請求項４に記載の発明に係る半導体装置は、請求項２に記載の発明において、前記絶縁層中に両面配線基板が前記下層配線および前記上層配線に接続されて埋め込まれていることを特徴とするものである。
請求項５に記載の発明に係る半導体装置は、請求項１に記載の発明において、前記下層配線を含む前記下層絶縁膜下に、前記下層配線の接続パッド部に対応する部分に開口部を有する下層オーバーコート膜が設けられていることを特徴とするものである。
請求項６に記載の発明に係る半導体装置は、請求項５に記載の発明において、前記下層オーバーコート膜の開口部内およびその下方に半田ボールが前記下層配線の接続パッド部に接続されて設けられていることを特徴とするものである。
請求項７に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板および該半導体基板下に設けられた複数の外部接続用電極を有する半導体構成体と、前記半導体構成体下およびその周囲に設けられた下層絶縁膜と、前記下層絶縁膜下に設けられた下層配線と、少なくとも前記半導体構成体の周囲における前記下層絶縁膜上に設けられた絶縁層とを備えた半導体装置において、前記下層配線と前記下層絶縁膜との間に、前記半導体構成体の外部接続用電極に対応する部分に開口部を有する金属層が設けられ、前記金属層の開口部に対応する部分における前記下層絶縁膜に開口部が形成され、前記下層配線は前記金属層の開口部および前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されており、前記半導体構成体は前記下層絶縁膜上に接着層を介して接着されていることを特徴とするものである。
請求項８に記載の発明に係る半導体装置は、請求項７に記載の発明において、前記接着層に前記下層絶縁膜の開口部に連通する開口部が形成され、前記下層配線は、前記金属層の開口部、前記下層絶縁膜の開口部および前記接着層の開口部を介して前記半導体構成体の外部接続用電極に接続されていることを特徴とするものである。
請求項９に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、開口部を有するマスク金属層の上面に下層絶縁膜を形成する工程と、半導体基板および該半導体基板下に設けられた接続パッド部を持つ配線を有する半導体構成体を、前記下層絶縁膜の上面に固着する工程と、前記マスク金属層をマスクとしてレーザビームを照射することにより、マスク金属層の開口部の外部に照射されるレーザビームはマスク金属層によって遮断され、前記半導体構成体の配線の接続パッド部に対応する部分における前記下層絶縁膜にマスク金属層の開口部と同一の径の開口部を形成する工程と、前記下層絶縁膜下に下層配線を前記下層絶縁膜の開口部を介して前記半導体構成体の配線の接続パッド部に接続させて形成する工程と、を有し、前記マスク金属層の開口部の直径は、半導体構成体の配線の接続パッド部の直径よりも小さくなっていることを特徴とするものである。
請求項１０に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項９に記載の発明において、前記開口部を有するマスク金属層の上面に前記下層絶縁膜を形成する工程の前に、ベース板を準備する工程と、前記ベース板上に、前記開口部を有する前記マスク金属層を形成する工程と、を含むことを特徴とするものである。
請求項１１に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項１０に記載の発明において、前記下層絶縁膜に開口部を形成する工程は、前記ベース板を除去して、前記開口部を有する前記マスク金属層を露出する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項１２に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項９に記載の発明において、前記半導体構成体を、前記下層絶縁膜の上面に固着する工程は、前記下層絶縁膜と前記半導体構成体とを接着層で固着する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項１３に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項１２に記載の発明において、レーザビームを照射することにより前記接着層に前記下層絶縁膜の前記開口部に連通する開口部を形成する工程を含み、前記開口部形成後、前記下層絶縁膜および前記接着層の開口部を介して露出された前記半導体構成体の配線の接続パッド部の下面を含む下層絶縁膜の下面に、下層配線を形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項１４に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項１３に記載の発明において、前記下層配線を形成する工程は、前記開口部を有する前記マスク金属層を除去し、前記下層絶縁膜の下面に前記下層配線を形成する工程を含むことを特徴とするものである。
請求項１５に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項１３に記載の発明において、前記下層配線を形成する工程は、前記マスク金属層の下面に前記下層配線を形成し、且つ、前記下層配線以外の領域における前記マスク金属層を除去する工程を含むことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、下層絶縁膜下に設けられた開口部を有する金属層をマスクとしてレーザビームを照射し、半導体構成体の外部接続用電極に対応する部分における下層絶縁膜に開口部を形成することにより、半導体構成体の外部接続用電極をより一層微細化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
（第１実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置はエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなる平面方形状の下層絶縁膜１を備えている。下層絶縁膜１の上面中央部には半導体構成体２がエポキシ系樹脂等からなる接着層３を介して搭載されている。
【００１０】
半導体構成体２は平面方形状のシリコン基板（半導体基板）４を備えている。シリコン基板４の下面には所定の機能の集積回路（図示せず）が設けられ、下面周辺部には集積回路に接続された、アルミニウム系金属等からなる複数の接続パッド５が、各辺に卒配列されて設けられている。接続パッド５の中央部を除くシリコン基板４の下面には酸化シリコン等からなる絶縁膜６が設けられ、接続パッド５の中央部は絶縁膜６に設けられた開口部７を介して露出されている。
【００１１】
絶縁膜６の下面にはポリイミド系樹脂等からなる保護膜８が設けられている。絶縁膜６の開口部７に対応する部分における保護膜８には開口部９が設けられている。保護膜８の下面には配線１０が設けられている。配線１０は、保護膜８の下面に設けられたニッケルからなる下地金属層１１と、下地金属層１１の下面に設けられた銅からなる上部金属層１２との２層構造となっている。配線１０の一端部は、絶縁膜６および保護膜８の開口部７、９を介して接続パッド５に接続されている。配線１０は、図面では２本のみが図示されているが、実際には、平面方形状のシリコン基板４の各辺に沿って配列された接続パッド５に対応する本数を備え、この後説明する接続パッド部１０ａとされた各他端部は、保護膜６下において、マトリクス状に配列されている。
【００１２】
そして、半導体構成体２は、その配線１０を含む保護膜８の下面がエポキシ系樹脂等からなる接着層３を介して下層絶縁膜１の上面中央部に接着されていることにより、下層絶縁膜１の上面中央部に搭載されている。半導体構成体２の配線１０の接続パッド部（外部接続用電極）１０ａの下面中央部に対応する部分における下層絶縁膜１および接着層３には平面形状が円形の開口部１３が設けられている。
【００１３】
下層絶縁膜１の下面には下層配線２１が設けられている。下層配線２１は、下層絶縁膜１の下面に設けられたニッケルからなる下地金属層２２と、下地金属層２２の下面に設けられた銅からなる上部金属層２３との２層構造となっている。下層配線２１の一端部は、下層絶縁膜１および接着層３の開口部１３を介して半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａに接続されている。
【００１４】
下層配線２１および下層絶縁膜１の下面にはソルダーレジスト等からなる下層オーバーコート膜３１が設けられている。下層配線２の接続パッド部に対応する部分における下層オーバーコート膜３１には開口部３２が設けられている。下層オーバーコート膜３１の開口部３２内およびその下方には半田ボール３３が下層配線２の接続パッド部に接続されて設けられている。
【００１５】
半導体構成体２および接着層３の周囲において、下層絶縁膜１の上面には絶縁層３４が設けられている。絶縁層３４は、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなっている。半導体構成体２および絶縁層３４の上面には、下層絶縁膜１と同一の材料からなる上層絶縁膜３５が設けられている。
【００１６】
上層絶縁膜３５の上面には上層配線３６が設けられている。上層配線３６は、上層絶縁膜３５の上面に設けられたニッケルからなる下地金属層３７と、下地金属層３７の上面に設けられた銅からなる上部金属層３８との２層構造となっている。上層配線３６および上層絶縁膜３５の上面にはソルダーレジスト等からなる上層オーバーコート膜３９が設けられている。上層配線３６の接続パッド部に対応する部分における上層オーバーコート膜３９には開口部４０が設けられている。
【００１７】
下層配線２と上層配線３６とは、下層絶縁膜１、絶縁層３４および上層絶縁膜３５に設けられた貫通孔４１の内壁面に設けられた上下導通部４２を介して接続されている。上下導通部４２は、貫通孔４１の内壁面に設けられたニッケルからなる下地金属層４３と、下地金属層４３の内面に設けられた銅からなる上部金属層４４との２層構造となっている。上下導通部４２内にはソルダーレジスト等からなる充填材４５が充填されている。
【００１８】
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図２に示すように、銅箔からなるベース板５１の上面に無電解ニッケルメッキからなるマスク金属層５２が形成されたものを準備する。この場合、この準備したもののサイズは、図１に示す完成された半導体装置を複数個形成することが可能なサイズとなっている。マスク金属層５２は、後述するレーザビームを照射してレーザ加工するときに使用するマスクを形成するためのものである。
【００１９】
次に、図３（Ａ）および図３（Ａ）の平面図である図３（Ｂ）に示すように、フォトリソグラフィ法により、マスク金属層５２の所定の箇所（図１に示す半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部に対応する部分）に平面形状が円形の開口部５３を形成する。次に、図４に示すように、開口部５３内を含むマスク金属層５２の上面にエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなる下層絶縁膜１を形成する。
【００２０】
次に、図５に示すように、半導体構成体２を準備する。この半導体構成体２は、ウエハ状態のシリコン基板４下に集積回路（図示せず）、アルミニウム系金属等からなる接続パッド５、酸化シリコン等からなる絶縁膜６、ポリイミド系樹脂等からなる保護膜８および配線１０（ニッケルからなる下地金属層１１および銅からなる上部金属層１２）を形成した後、ダイシングにより個片化することにより得られる。
【００２１】
次に、下層絶縁膜１の上面の半導体構成体搭載領域に、半導体構成体２の配線１０を含む保護膜８の下面をエポキシ系樹脂等からなる接着層３を介して接着することにより、半導体構成体２を搭載する。この場合、下層絶縁膜１の上面の半導体構成体搭載領域に、ＮＣＰ(Non-Conductive Paste)と言われる接着材を印刷法やディスペンサ等を用いて、またはＮＣＦ(Non-Conductive Film)と言われる接着シートを予め供給しておき、加熱圧着により半導体構成体２を下層絶縁膜１の上面に固着する。
【００２２】
次に、図６に示すように、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に格子状の絶縁層形成用シート３４ａをピン等で位置決めしながら配置する。絶縁層形成用シート３４ａは、例えば、ガラス布等からなる基材にエポキシ系樹脂等からなる熱硬化性樹脂を含浸させ、熱硬化性樹脂を半硬化状態にしてシート状となし、パンチング等により複数の方形状の開口部５４を形成したものである。絶縁層形成用シート３４ａの開口部５４のサイズは半導体構成体２のサイズよりもやや大きくなっている。このため、絶縁層形成用シート３４ａと半導体構成体２との間には隙間５５が形成されている。
【００２３】
次に、絶縁層形成用シート３４ａの上面に、銅箔からなるサブベース板５４の下面に上層絶縁膜形成用層３５ａが形成されたものを配置する。上層絶縁膜形成用層３５ａは下層絶縁膜１と同一の材料からなり、そのうちのエポキシ系樹脂等からなる熱硬化性樹脂は半硬化状態とされている。
【００２４】
次に、図７に示すように、一対の加熱加圧板５７、５８を用いて上下から絶縁層形成用シート３４ａおよび上層絶縁膜形成用層３５ａを加熱加圧する。この加熱加圧により、絶縁層形成用シート３４ａおよび上層絶縁膜形成用層３５ａ中の熱硬化性樹脂が流動して図８に示す隙間５５に充填され、その後の冷却により固化して、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に絶縁層３４が形成され、且つ、半導体構成体２および絶縁層３４の上面に上層絶縁膜３５が形成される。
【００２５】
ここで、図６に示すように、絶縁層形成用シート３４ａの下面には下層絶縁膜１およびベース板５１が配置され、絶縁層形成用シート３４ａの上面には下層絶縁膜１と同一の材料からなる上層絶縁膜形成用層３５ａおよびベース板５１と同一の材料からなるサブベース板５４が配置されているので、絶縁層形成用シート３４ａの部分における厚さ方向の材料構成が対称となる。この結果、加熱加圧により、絶縁層形成用シート３４ａおよび上層絶縁膜形成用層３５ａが厚さ方向に対称的に硬化収縮し、ひいては全体として反りが発生しにくく、それ以後の工程への搬送やそれ以後の工程での加工精度に支障を来しにくいようにすることができる。
【００２６】
この場合、下層絶縁膜１は、そのうちの熱硬化性樹脂が予め硬化されているため、加熱加圧されてもほとんど変形しない。また、サブベース板５４により、上側の加熱加圧板５７の下面に上層絶縁膜形成用層３５ａ中の熱硬化性樹脂が不要に付着するのを防止することができる。この結果、上側の加熱加圧板５５をそのまま再使用することができる。
【００２７】
次に、ベース板５１およびサブベース板５４をエッチングにより除去すると、図８に示すように、開口部５３内に充填された下層絶縁膜１を含むマスク金属層５２の下面が露出され、且つ、上層絶縁膜３５の上面が露出される。この状態では、ベース板５１およびサブベース板５４を除去しても、下層絶縁膜１、絶縁層３４および上層絶縁膜３５の存在により、強度を十分に確保することができる。このように、本実施形態では、製造工程中に必要とされるベース板５１およびサブベース板５６をエッチングにより除去するので、完成する半導体装置の厚さを薄くすることができるという効果を有する。
【００２８】
次に、図９に示すように、レーザビームの照射によるレーザ加工により、マスク金属層５２の開口部５３内の下層絶縁膜１を除去するとともに、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部に対応する部分における下層絶縁膜１および接着層３に開口部１３を形成する。また、下層絶縁膜１、絶縁層３４および上層絶縁膜３５に、メカニカルドリルを用いてあるいはレーザビームの照射によるレーザ加工により、貫通孔４１を形成する。
【００２９】
レーザビームを照射して開口部１３を形成する場合について説明する。レーザビームを下層絶縁膜１および接着層３に直接照射すると、そのビーム径に応じた径の開口部が形成される。ここで、マスク金属層５２の開口部５３の直径は、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの直径よりも小さくなっている。このため、レーザビームのビーム径が半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの直径よりも大きいと、マスク金属層５２の開口部５３の外部に照射されるレーザビームはマスク金属層５２によって遮断されるため、下層絶縁膜１および接着層３に形成される開口部１３の直径はマスク金属層５２の開口部５３の直径に応じた大きさとなる。
【００３０】
すなわち、マスク金属層５２は、開口部５３を有することにより、レーザビームの照射によるレーザ加工により下層絶縁膜１および接着層３に開口部１３を形成するときのマスクとして機能し、下層絶縁膜１および接着層３に金属層５２の開口部５３にセルフアライメントされ、金属層５２の開口部５３と同一の径の開口部１３が形成される。
【００３１】
この結果、下層絶縁膜１および接着層３に形成すべき開口部１３の直径を可及的に小さくすることが可能となり、且つ、マスク金属層５２に対する半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの位置合わせが比較的容易となり、ひいては半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの直径を可及的に小さくすることが可能となり、半導体構成体２の微細化が可能となる。
【００３２】
例えば、現状では、レーザビームのビーム径が最小の５０μｍ程度であり、下層絶縁膜１および接着層３に直接照射すると、それらの形成される開口部の直径は７０μｍ程度となる。このため、照射されるレーザビームをすべて受光するには、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの直径は、レーザ加工精度を考慮すると、現状の方法では、１００〜１２０μｍとする必要がある。
【００３３】
これに対し、マスク金属層５２をレーザビームのマスクとする本実施形態の方法では、フォトリソグラフィ法により形成されるマスク金属層５２の開口部５３の直径は２０〜５０μｍ、特に２０〜３０μｍとすることが可能であるので、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの直径は５０〜８０μｍ、特に５０〜６０μｍとすることが可能であり、半導体構成体２の微細化が可能となる。
【００３４】
次に、マスク金属層５２をエッチングにより除去すると、図１０に示すように、下層絶縁膜１の下面が露出される。このように、本実施形態では、製造工程中に必要とされるマスク金属層５２をエッチングにより除去するので、完成する半導体装置の厚さを薄くすることができるという効果を有する。
【００３５】
次に、図１１に示すように、下層絶縁膜１および接着層３の開口部１３を介して露出された半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面を含む下層絶縁膜１の下面全体、上層絶縁膜３５の上面全体および貫通孔４１の内壁面に、ニッケルの無電解メッキにより、下地金属層２２、３７、４３を形成する。次に、下地金属層２２、３７、４３をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうことにより、下地金属層２２、３７、４３の表面に上部金属層２３、３８、４４を形成する。
【００３６】
次に、上部金属層２３、３８および下地金属層２２、３７をフォトリソグラフィ法によりパターニングすると、図１２に示すようになる。すなわち、下層絶縁膜１の下面に、下地金属層２２および上部金属層２３からなる２層構造の下層配線２１が形成される。また、上層絶縁膜３５の上面に、下地金属層３７および上部金属層３８からなる２層構造の上層配線３６が形成される。さらに、貫通孔４１の内壁面に、下地金属層４３および上部金属層４４からなる２層構造の上下導通部４２が形成される。なお、下層配線２１、上層配線３６および上下導通部４２は、下地金属層２２、３７上に上部金属層形成領域が除去されたメッキレジスト膜を形成した後、電解メッキにより上部金属層２３、２８、４４を形成するパターンメッキ法により形成してもよい。
【００３７】
次に、図１３に示すように、下層配線２１を含む下層絶縁膜１の下面に、スクリーン印刷法、スピンコート法等により、ソルダーレジスト等からなる下層オーバーコート膜３１を形成する。また、上層配線３６を含む上層絶縁膜３５の上面に、スクリーン印刷法、スピンコート法等により、ソルダーレジスト等からなる上層オーバーコート膜３９を形成する。この状態では、上下導通部４２内にソルダーレジスト等からなる充填材４５が充填されている。
【００３８】
次に、下層配線２の接続パッド部に対応する部分における下層オーバーコート膜３１に、レーザビームの照射によるレーザ加工により、開口部３２を形成する。また、上層配線３６の接続パッド部に対応する部分における上層オーバーコート膜３９に、レーザビームの照射によるレーザ加工により、開口部４０を形成する。
【００３９】
次に、下層オーバーコート膜３１の開口部３２内およびその下方に半田ボール３３を下層配線２の接続パッド部に接続させて形成する。次に、互いに隣接する半導体構成体２間において、下層オーバーコート膜３１、下層絶縁膜１、絶縁層３４、上層絶縁膜３５および上層オーバーコート膜３９を切断すると、図１に示す半導体装置が複数個得られる。
【００４０】
（第２実施形態）
図１４はこの発明の第２実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と異なる点は、下層配線２１と下層絶縁膜２１との間に銅からなる下部金属層６１を設け、上層配線３６と上層絶縁膜３５との間に銅からなる下部金属層６２を設け、半導体構成体２のシリコン基板４の上面をエポキシ系樹脂等からなる接着層６３を介して上層絶縁膜３５の下面に接着した点である。この場合、下層配線２１の一端部は、下部金属層６１の開口部６４と下層絶縁膜２１および接着層３の開口部１３とを介して半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａに接続されている。
【００４１】
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図１５に示すように、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ガラス布基材エポキシ樹脂等のシートからなる下層絶縁膜１の下面に銅箔からなるべた状のマスク金属層６５が固着されたものを準備する。この場合も、この準備したもののサイズは、図１４に示す完成された半導体装置を複数個形成することが可能なサイズとなっている。
【００４２】
次に、図１６に示すように、フォトリソグラフィ法により、マスク金属層６５の所定の箇所（図１４に示す半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部に対応する部分）に平面形状が円形の開口部６４を形成する。
【００４３】
次に、図１７に示すように、下層絶縁膜１の上面の半導体構成体搭載領域に、半導体構成体２の配線１０を含む保護膜８の下面をエポキシ系樹脂等からなる接着層３を介して接着することにより、半導体構成体２を搭載する。この場合も、ＮＣＰと言われる接着材またはＮＣＦと言われる接着シートを、下層絶縁膜１の上面の半導体構成体搭載領域に予め供給しておき、加熱圧着により半導体構成体２を下層絶縁膜１の上面に固着する。
【００４４】
次に、図１８に示すように、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に格子状の絶縁層形成用シート３４ａをピン等で位置決めしながら配置する。次に、半導体構成体２のシリコン基板４の上面に、ディスペンサー等を用いて、シリコンカップリング剤を含むエポキシ系樹脂等からなる液状の接着材６２ａを塗布する。次に、絶縁層形成用シート３４ａの上面に、銅箔からなるサブベース板５６の下面に上層絶縁膜３５が形成されたものを配置する。この場合、上層絶縁膜３５中のエポキシ系樹脂等からなる熱硬化性樹脂は既に硬化されている。
【００４５】
次に、図１９に示すように、一対の加熱加圧板５７、５８を用いて上下から加熱加圧すると、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に絶縁層３４が形成され、上層絶縁膜３５の下面に半導体構成体２のシリコン基板４の上面が接着層６２を介して接着され、絶縁層３４の上面に上層絶縁膜３５の下面が固着される。
【００４６】
次に、図２０に示すように、レーザビームの照射によるレーザ加工により、開口部６４を有するマスク金属層６５をマスクとして、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部に対応する部分における下層絶縁膜１および接着層３に開口部１３を形成する。また、マスク金属層６５、下層絶縁膜１、絶縁層３４、上層絶縁膜３５およびサブベース板５７の所定の箇所に、メカニカルドリルを用いてあるいはレーザビームの照射によるレーザ加工により、貫通孔４１を形成する。
【００４７】
次に、図２１に示すように、マスク金属層６５の開口部６４と下層絶縁膜１および接着層３の開口部１３とを介して露出された半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面を含むマスク金属層６５の下面全体、サブベース板５７の上面全体および貫通孔４１の内壁面に、ニッケルの無電解メッキにより、下地金属層２２、３７、４３を形成する。次に、下地金属層２２、３７、４３をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうことにより、下地金属層２２、３７、４３の表面に上部金属層２３、３８、４４を形成する。
【００４８】
次に、フォトリソグラフィ法により、上部金属層２３、下地金属層２２およびマスク金属層６５をパターニングし、且つ、上部金属層３８、下地金属層３７およびサブベース板５７をパターニングすると、図２２に示すようになる。すなわち、下層絶縁膜１の下面に、下部金属層６１を有する下地金属層２２および上部金属層２３からなる２層構造の下層配線２１が形成される。また、上層絶縁膜３５の上面に、下部金属層６２を有する下地金属層３７および上部金属層３８からなる２層構造の上層配線３６が形成される。さらに、貫通孔４１の内壁面に、下地金属層４３および上部金属層３４からなる２層構造の上下導通部４２が形成される。以下、上記第１実施形態の場合と同様の工程を経ると、図１３に示す半導体装置が複数個得られる。
【００４９】
（第３実施形態）
図２３はこの発明の第３実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と大きく異なる点は、ビルドアップ工法により、下層配線および上層配線を共に２層配線構造とした点である。すなわち、第１の下層配線２１Ａを含む第１の下層絶縁膜１Ａの下面には、第１の下層絶縁膜１Ａと同一の材料からなる第２の下層絶縁膜１Ｂが設けられている。
【００５０】
第２の下層絶縁膜１Ｂの下面に設けられた第２の下層配線２１Ｂの一端部は、第２の下層絶縁膜１Ｂに設けられた開口部７１を介して第１の下層配線２１Ａの接続パッド部に接続されている。第２の下層配線２１Ｂを含む第２の下層絶縁膜１Ｂの下面には下層オーバーコート膜３１が設けられている。下層オーバーコート膜３１の開口部３２内およびその下方には半田ボール３３が第２の下層配線２１Ｂの接続パッド部に接続されて設けられている。
【００５１】
第１の上層配線３６Ａを含む第１の上層絶縁膜３５Ａの上面には、第１の上層絶縁膜３５Ａと同一の材料からなる第２の上層絶縁膜３５Ｂが設けられている。第２の上層絶縁膜３５Ｂの上面に設けられた第２の上層配線３６Ｂの一端部は、第２の上層絶縁膜３５Ｂに設けられた開口部７２を介して第１の上層配線３６Ａの接続パッド部に接続されている。第２の上層配線３６Ｂを含む第２の上層絶縁膜３５Ｂの上面には上層オーバーコート膜３９が設けられている。第２の上層配線３６Ｂの接続パッド部に対応する部分における上層オーバーコート膜３９には開口部４０が設けられている。なお、下層配線および上層配線は共に３層以上の配線構造としてもよい。
【００５２】
（第４実施形態）
図２４はこの発明の第４実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と大きく異なる点は、上下導通部４２を備えておらず、その代わりに、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における絶縁層３４中に方形枠状で両面配線構造の回路基板８１を埋め込んで配置した点である。
【００５３】
この場合、回路基板８１は、ガラス布基材エポキシ樹脂等からなる方形枠状の基板８２を備えている。基板８２の下面には銅箔からなる下層配線８３が設けられ、上面には銅箔からなる上層配線８４が設けられている。下層配線８３と上層配線８４とは、基板８２の内部に設けられた導電性ペースト等からなる上下導通部８５を介して接続されている。
【００５４】
下層配線２は、下層絶縁膜１および絶縁層３４に設けられた開口部８６を介して回路基板８１の下層配線８３の接続パッド部に接続されている。上層配線３６は、上層絶縁膜３５および絶縁層３４に設けられた開口部８７を介して回路基板８１の上層配線８４の接続パッド部に接続されている。
【００５５】
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。この場合、図６に示すような工程において、図２５に示すように、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に格子状の絶縁層形成用シート３４ａ、格子状の回路基板８１および格子状の絶縁層形成用シート３４ａをピン等で位置決めしながら配置する。次に、上側の絶縁層形成用シート３４ａの上面に、サブベース板５４の下面に上層絶縁膜形成用層３５ａが形成されたものを配置する。この場合、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部および回路基板８１の下層配線８３の接続パッド部の下面中央部に対応する部分におけるマスク金属層５２には開口部５３ａ、５３ｂが形成されている。
【００５６】
次に、図２６に示すように、一対の加熱加圧板５７、５８を用いて上下から加熱加圧すると、接着層３を含む半導体構成体２の周囲における下層絶縁膜１の上面に絶縁層３４が形成され、且つ、絶縁層３４中に回路基板８１が埋め込まれ、半導体構成体８および絶縁層３４の上面に上層絶縁膜３５が形成される。次に、ベース板５２およびサブベース板５４をエッチングにより除去すると、図２７に示すように、マスク金属層５２の開口部５３ａ、５３ｂ内に充填された下層絶縁膜１を含むマスク金属層５２の下面が露出され、且つ、上層絶縁膜３５の上面が露出される。
【００５７】
次に、図２８に示すように、レーザビームの照射によるレーザ加工により、開口部５３ａ、５３ｂを有するマスク金属層５２をマスクとして、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａの下面中央部に対応する部分における下層絶縁膜１および接着層３に開口部１３を形成し、且つ、回路基板８１の下層配線８３の接続パッド部の下面中央部に対応する部分における下層絶縁膜１および絶縁層３４に開口部８６を形成する。この場合、開口部８６の直径は開口部１３の直径と同じとなる。
【００５８】
また、レーザビームの照射によるレーザ加工により、回路基板８１の上層配線８４の接続パッド部に対応する部分における上層絶縁膜３５および絶縁層３４に開口部８７を形成する。この場合、開口部８７の直径は開口部１３の直径よりも大きくなる。以下、上記第１実施形態の場合と同様の工程を経ると、図２４に示す半導体装置が複数個得られる。
【００５９】
このようにして得られた半導体装置では、図２４に示す半導体装置と比較して、下層配線および上層配線を２層構造としても、下層絶縁膜および上層絶縁膜が１層であるので、その分、薄型化することができる。また、上下導通部４２を備えていないので、メカニカルドリルによる貫通孔４１の形成を行なう必要はない。
【００６０】
（第５実施形態）
図２９はこの発明の第５実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と異なる点は、半導体構成体２の配線１０を含む保護膜８の下面にポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂等の絶縁材からなる静電気防止用保護膜９１を設けた点である。
【００６１】
したがって、この場合、半導体構成体２の静電気防止用保護膜９１の下面は接着層３を介して下層絶縁膜１の上面中央部に接着されている。下層配線２１は、下層絶縁膜１、接着層３および静電気防止用保護膜９１の開口部１３を介して半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａに接続されている。
【００６２】
ところで、半導体構成体２を下層絶縁膜１上に搭載する前においては、静電気防止用保護膜９１には開口部１３は形成されていない。そして、開口部１３を有しない静電気防止用保護膜９１は、それ自体がウエハ状態のシリコン基板４下に形成された時点から半導体構成体２が下層絶縁膜１上に搭載される時点までにおいて、シリコン基板４下に形成された集積回路を静電気から保護するものである。
【００６３】
（第６実施形態）
図３０はこの発明の第６実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と異なる点は、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａ下面に電解銅メッキからなる保護金属層９２を設けた点である。この場合、保護金属層９２は、レーザビームが照射されるときに、配線１０の接続パッド部１０ａを保護するためのものである。すなわち、配線１０を５〜１０μｍの厚さに形成し、レーザビームによりエッチングされる量を見込んで、この配線１０の接続パッド部１０ａ上にのみ、保護金属層９２を数μｍの厚さに形成しておくと半導体構成体２の薄型化を図ることができる。
【００６４】
（第７実施形態）
図３１はこの発明の第７実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と異なる点は、半導体構成体２の配線１０の接続パッド部１０ａ下面中央部に電解銅メッキからなる柱状電極（外部接続用電極）９３を設け、配線１０を含む保護膜８の下面にエポキシ系樹脂等からなる封止膜９４をその下面が柱状電極９３の下面と面一となるように設けた点である。この場合、柱状電極９３を含む封止膜９４の下面は接着層３を介して下層絶縁膜１の上面中央部に接着されている。下層配線２１は、下層絶縁膜１および接着層３の開口部１３を介して半導体構成体２の柱状電極９３に接続されている。
【００６５】
（第８実施形態）
図３２はこの発明の第８実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す半導体装置と異なる点は、半導体構成体２および下層絶縁膜１の上面にエポキシ系樹脂等からなる封止膜（絶縁層）９５のみを設けた点である。この場合、封止膜９５はトランスファモールド法等のモールド法により形成される。
【００６６】
なお、上記各実施形態において、マスク金属層に形成する開口部は平面形状が円形とされるものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、平面形状が、例えば、多角形状のものとか、任意の形状とすることができるものである。また、下層絶縁膜にレーザビームを照射して開口部を形成する際、マスク金属層は、開口部を有するべた状のものである場合で説明したが、下層絶縁膜にレーザビームを照射する前に、パターニングして配線やパッド部を形成しておいてもよい。その他、本発明の趣旨に沿って、種々、変形して適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の第１実施形態としての半導体装置の断面図。
【図２】図１に示す半導体装置の製造方法の一例において、当初準備したものの断面図。
【図３】（Ａ）は図２に続く工程の断面図、（Ｂ）はその平面図。
【図４】図３に続く工程の断面図。
【図５】図４に続く工程の断面図。
【図６】図５に続く工程の断面図。
【図７】図６に続く工程の断面図。
【図８】図７に続く工程の断面図。
【図９】図８に続く工程の断面図。
【図１０】図９に続く工程の断面図。
【図１１】図１０に続く工程の断面図。
【図１２】図１１に続く工程の断面図。
【図１３】図１２に続く工程の断面図。
【図１４】この発明の第２実施形態としての半導体装置の断面図。
【図１５】図１４に示す半導体装置の製造方法の一例において、当初準備したものの断面図。
【図１６】図１５に続く工程の断面図。
【図１７】図１６に続く工程の断面図。
【図１８】図１７に続く工程の断面図。
【図１９】図１８に続く工程の断面図。
【図２０】図１９に続く工程の断面図。
【図２１】図２０に続く工程の断面図。
【図２２】図２１に続く工程の断面図。
【図２３】この発明の第３実施形態としての半導体装置の断面図。
【図２４】この発明の第４実施形態としての半導体装置の断面図。
【図２５】図２４に示す半導体装置の製造方法の一例において、所定の工程の断面図。
【図２６】図２５に続く工程の断面図。
【図２７】図２６に続く工程の断面図。
【図２８】図２７に続く工程の断面図。
【図２９】この発明の第５実施形態としての半導体装置の断面図。
【図３０】この発明の第６実施形態としての半導体装置の断面図。
【図３１】この発明の第７実施形態としての半導体装置の断面図。
【図３２】この発明の第８実施形態としての半導体装置の断面図。
【符号の説明】
【００６８】
１  下層絶縁膜
２  半導体構成体
３  接着層
４  シリコン基板
５  接続パッド
６  絶縁膜
８  保護膜
１０  配線
２１  下層配線
３１  下層オーバーコート膜
３３  半田ボール
３４  絶縁層
３５  上層絶縁膜
３６  上層配線
３９  上層オーバーコート膜
４１  貫通孔
４２  上下導通部
５１  ベース板
５２  マスク金属層
５３  開口部
５６  サブベース板
【図１】
0004636090.tif 000002
【図２】
0004636090.tif 000003
【図３】
0004636090.tif 000004
【図４】
0004636090.tif 000005
【図５】
0004636090.tif 000006
【図６】
0004636090.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004636090.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0004636090.tif 000011
【図１１】
0004636090.tif 000012
【図１２】
0004636090.tif 000013
【図１３】
0004636090.tif 000014
【図１４】
0004636090.tif 000015
【図１５】
0004636090.tif 000016
【図１６】
0004636090.tif 000017
【図１７】
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【図１８】
0004636090.tif 000019
【図１９】
0004636090.tif 000020
【図２０】
0004636090.tif 000021
【図２１】
0004636090.tif 000022
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
0004636090.tif 000027
【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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