(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光スイッチにおいて、
第１及び第２の導波路(121, 123)を備えた基板であって、前記第１及び第２の導波路が、所定の幅を備えたギャップにおいて隔離され、該ギャップに第１の屈折率を備えた液体が充填されるとき、前記第１の導波路(121)を進む光が前記第２の導波路(123)に入り、前記ギャップに気体が充填されているとき、前記第１の導波路(121)を進む光が前記ギャップにより反射されるように前記第１及び第２の導波路(121, 123)が配置されており、その際前記ギャップは、前記基板におけるトレンチ(100, 130, 150)の一部分をなし、該トレンチ(100, 130, 150)は、前記ギャップを含む第１の領域(113)及び前記ギャップに隣接する第２の領域(112, 114)からなり、前記第２の領域(112, 114)の幅が、前記第１の領域(113)の幅よりも大きくなっている基板と、
前記第１の領域(113)に配置される前記第１の屈折率を備えた液体であって、所定の温度に加熱されたとき気体を発生させる液体と、
前記気体を所定の温度に加熱して前記第１の領域において前記液体に気泡(117)を発生させる前記第１の領域に配置された第１のヒータ(116)と、
制御信号に応答して前記第１の領域(113)にまたがる圧力差を生じさせ、前記第１の領域内の前記気泡(117)の一部分を前記第２の領域(112, 114)へ移動させる機械的な移動機構(141, 142)と
を含み、
前記移動機構により前記第２の領域内に部分的に移動された前記気泡が、該気泡の表面張力によって前記第２の領域(112, 114)に完全に引き込まれるように構成されることを特徴とする光スイッチ。
【請求項２】
前記トレンチ(100, 130, 150)に終端を備えた第３の導波路(122)をさらに備え、前記ギャップが液体で充填されていないとき、前記第１の導波路(121)を進む光が前記第３の導波路(122)に入るように、前記第３の導波路(122)が配置されているようにしたことを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【請求項３】
前記第１の屈折率が前記第１(121)及び第２の導波路(123)の屈折率とは異なるとき、前記第１の導波路(121)から出る光が前記第２の導波路(123)に入るように、前記第１(121)及び第２(123)の導波路が光学的結合が可能なように位置合わせされることを特徴とする請求項１に記載の光スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチに関し、さらに詳細には、クロスポイントスイッチング素子又は交差型スイッチング素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバは、電子的なパスに比較して遥かに高速のデータ速度の通信を可能とする。しかしながら、光学的な信号路に固有の大きな帯域の効果的な利用のためには、光学的な交差接続スイッチが必要である。典型的な遠隔通信環境において、光ファイバ間の信号の切り換えには、電気的な交差接続スイッチが用いられている。光信号は、まず、電気信号に変換される。電気信号が切り換えられた後、信号は、光ファイバを介して送信される光信号に再び復帰変換される。高い処理能力を実現するために、電気的な交差接続スイッチは、高度な平行度を備えた高価なスイッチング構成を用いている。しかしながら、このような平行構造を用いても、交差接続スイッチにはボトルネックがある。
【０００３】
多くの光学的な交差接続スイッチが提案されているが、それらのいずれもが、コスト相応の、信頼性の高い光学的な交差接続スイッチに対するニーズを充分には満足していない。ある種の光学的な交差接続スイッチは、スイッチングのために波長分割多重化（WDM）を用いている。しかしながら、このタイプのシステムは、光信号を異なる波長で切り換えねばならない。光信号がいつでも同じ波長であるようなシステムにおいては、このタイプのシステムは、信号を必要な波長に変換し、切り換え、次いで、元の波長に再び戻さなければならない。このような変換処理は、システムを複雑化し、コスト高にする。
【０００４】
光学的な交差接続の第２のタイプは、全反射（TIR: Total Internal Reflection）スイッチング素子を用いる。TIR部材は、切り換え可能な境界を備えた導波路からなる。光は、境界に所定の角度で入射する。第１の状態において、境界は、ほとんど異なる屈折率を備えた二つの領域を分離している。この状態において、光は、この境界に関して反射されて方向を変える。第２の状態において、境界により分離されたこの二つの領域は、同じ屈折率を備え、光は、境界を真っ直ぐ通過する。方向変化の大きさは、二つの領域の屈折率差に対応する。方向を大きく変化させるためには、境界背後の領域は、導波路の屈折率に等しい屈折率と導波路のそれと大きく異なるものとに切り換えられねばならない。
【０００５】
大きな屈折率変化を行うある種の従来技術のTIR部材は、境界背後の材料を機械的に変化させるように作動する。例えば、Kanaiなどの米国特許第５，２０４，９２１号は、導波路内の交差ポイントのアレイに基づいた光学的な交差接続を開示している。各々の交差ポイントにおける溝が、どの溝が屈折率整合オイルにより充填されているかに応じてオン・オフされる。屈折率整合オイルは、導波路の屈折率に近い屈折率を備えている。導波路を介して伝えられた光信号は、溝が屈折率整合オイルにより充填されているとき、交差ポイントを通過して伝達されるが、信号は、溝が空のときは、全反射により交差ポイントにおいてその方向を変化する。交差ポイントスイッチングを変化させるためには、溝は、充填され、空にされなければならない。この特許において記述されるシステムにおいて、「ロボット」が、溝を充填したり、空にしたりする。このタイプのスイッチは、関心のある多くの用途に対しては余りにも低速であることである。
【０００６】
TIR部材のこのタイプのより高速化に対応した初期のバージョンが、ここで参照される米国特許第５，６９９，４６２号に述べられている。この特許におけるTIR部材は、第１の光学的な導波路及び第２の光学的な導波路の交点におけるギャップから液体を移動させるために熱励起を用いる。このタイプのTIR部材において、トレンチが導波路を分離している。このトレンチには、屈折率整合液体が充填されている。局部的なヒータを用いて屈折率整合液体を加熱することにより、泡が交差ポイントに発生させられる。交差ポイントを反射状態から透過状態に切り換えて出力光信号の方向を変化させるために、泡は交差ポイントから除去されねばならない。
【０００７】
泡が凝縮不能の気体（空気のような）を含んでいるときは、ヒータがオフになるとき、消滅するには非常に長時間を要する。迅速なサイクル時間を必要とする多くの用途に対してこの点は受け入れがたい。このような気泡は、気泡に力を加えて片側に、光路の外に押し出すことによって除去できる。
【０００８】
泡は、また、泡の片側の圧力を増すことによってトレンチの他の側へ移動させることができる。このような圧力増加は、交差ポイントの片側で液体に熱を加えることによってあるいは交差ポイントの片側に液体を物理的に移動することによって実現し、交差ポイントから泡を押し出すか引っ張り出す。トレンチの壁が互いに平行なときは、この移動は、泡全体を交差ポイント領域から完全に除去するのに充分なだけのものが必要である。このような大きな移動は、比較的長時間を必要とし、また、高価なハドウエアを必要とする。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、交差接続スイッチなどに使用する交差構造を提供することを主目的とするものである。
【００１０】
本発明の他の目的は、泡の消去時間が従来技術のクロスポイントスイッチのそれよりも短い交差ポイント構造を提供することを目的とするものである。
【００１１】
それらの目的及びその他の目的は、以下の発明の詳細な説明及び添付の図面から当業者には明らかなことになろう。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、所定の幅を備えたギャップにおいて交差する第１及び第２の導波路を備えた基板上に構成された光スイッチにある。第１及び第２の導波路は、ギャップが第１の屈折率を備えた液体で充填されたとき、第１の導波路を進む光が第２の導波路に入るように、配置されている。このギャップは、ギャップを含む第１の領域及び第１の領域に隣接する第２の領域を備えた基板内のトレンチの一部分である。第２の領域は、第１の領域の幅よりも大きな幅を備えている。第１の導波路を進む光は、ギャップが液体で充填されているとき、ギャップによって反射される。第１の屈折率を備えた液体が、第１の領域に配置される。液体は、所定の温度に加熱されたとき、気体を発生させる。第１のヒータが、第１の領域内に配置され、液体を所定の温度まで加熱し、ギャップにおいて液体内に気泡を発生させる。移動機構が、制御信号に応答して第１の領域内の気泡を部分的に第２の領域内に伸長させる。移動機構は、第１のヒータ及び第２の領域の間で第１の領域にその一部分を位置させた第２のヒータから構成できる。移動機構は、また、第１の領域に圧力差を加えて泡を第２の領域内に一部分伸長させる機構を備えても良い。トレンチに終端を備えた第３の導波路が、また、光スイッチに配置されても良い。第３の導波路は、ギャップが液体で充填されてないとき、第１の導波路を進む光が第３の導波路に入るように配置される。
【００１３】
即ち、本発明によるクロスポイント型の光スイッチの有するトレンチの構造は、狭幅領域、及びその少なくとも一側に位置する広げられた拡開領域を有する。狭幅領域には加熱部材が設けられる。通常は狭幅領域には、屈折率が整合した液体が充填され、狭幅領域を交差する光信号を通過させることができる。加熱部材が動作すると、狭幅領域に泡が発生し、このとき交差方向に領域に入射される光は狭幅領域で反射される。この泡は、その一部がわずかに拡開領域に進入したとき、表面張力の影響により、狭幅領域を抜けて拡開領域へと引き込まれる。従って、泡の除去がより素早く行なわれ、比較的高速でのスイッチングが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して本発明の好適実施形態となるスイッチ装置について詳細に説明する。まず、本発明は、二つの状態を備えたクロスポイントスイッチング装置１０の平面図である図１及び図２を参照するとより良く理解できる。スイッチング素子１０は、基板上部のプレーナ光導波回路において製造された３個の導波路１１−１３から構成されている。基板は二酸化ケイ素であることが好ましいが、ケイ素のような材料を用いても良い。導波路は、二つのクラッド層とコア層とにより構成されている。図面を単純化するために、個々の層は図示されていない。二酸化ケイ素によるこのような導波路の製造は、従来周知であり、従って、ここでは詳述はしない。例えば、オハイオ州コロンバスにあるHitachi Cable and Photonic Integration Research, Inc. は、二酸化ケイ素及びケイ素基板上のＳｉＯ2導波路を発表した。コアは、基本的には、ＧｅあるいはＴｉＯ2をドープされたＳｉＯ2である。クラッド材料は、Ｂ2Ｏ3及び／あるいはＰ2Ｏ5のような材料をドープされたＳｉＯ2である。コア材料は、クラッド層の屈折率とは異なる屈折率を備えているので、光信号は、導波路１１−１３に沿って導かれる。
【００１５】
トレンチ１４は、導波路を貫通してエッチングされ、ケイ素基板内に達していることが好ましい。図１に示すように、トレンチ１４は、トレンチ１４を充填する材料の屈折率が導波路の屈折率と大きく異なっているときは、導波路１１内を進む光が導波路１３内に反射されるようにする。スイッチング素子のこの状態を「反射」状態と呼ぶ。しかしながら、トレンチ及び導波路の交差ポイントが導波路の屈折率と等しい屈折率を備えた材料で充填されているときは、図２に示すように、光信号は、トレンチ１４を通過して導波路１２から出て行く。スイッチング素子のこの状態を「非反射」状態と呼ぶ。
【００１６】
導波路１１及び１３が交差する角度は、導波路材料及びトレンチにおいて反射状態を作り出すために使われる材料間の屈折率の差によって定まる。導波路の入射角度とトレンチの位置は、導波路１１からトレンチ壁へ入射する光が導波路１３内に全反射されるように選択される。この角度は、トレンチ壁の正規の方向に関して５３度〜７５度である。
【００１７】
トレンチが屈折率整合材料で充填されているときは、第４の導波路１９内を進む光は導波路１３に進む。導波路１９は、クロスポイントスイッチング素子の二次元的なアレイを用いる交差接続スイッチを構成する。このタイプのアレイは、クロスポイントスイッチング素子の複数の行及び列からなる。それらの行及び列は、行及び列の導波路を介して接続される。交差接続スイッチは、行導波路上の信号を列導波路に接続できる。特定のスイッチングパターンが、スイッチング素子の状態に応じて定まる。
【００１８】
それらのシンプルな交差接続スイッチにおいては、いかなる時点においても、行導波路からの光を列導波路に切り換えるようにそれぞれの列にせいぜい１個のスイッチング素子が配置されているだけである。列導波路に切り換えられた光は、非反射状態にあるスイッチング素子を介して列の端部に伝えられる。導波路１９は、アレイ内で部材１０上のスイッチング素子によって切り換えられた光がその下方の列にある次のスイッチング素子に伝えられることを可能にして光が列内の最後のスイッチング素子から最終的に出ることができるようにする。
【００１９】
上述したように、屈折率整合材料は、過熱部材６の助けを借りて交差ポイントにおいて泡１５を形成するときこの交差ポイントから移動される。この機能に必要な小さな加熱部材が、インクジェット印刷技術において周知であるので、ここでは詳述しない。加熱部材は、導波路の下方に配置されてトレンチを横断する光が加熱部材によって遮断されないようにすることが好ましい。泡は、屈折率整合材料を蒸発させるかあるいは液体中に溶解されている気体を解放することにより発生させられる。
【００２０】
泡は、消滅させるか図２に示すように片側に移動させるかして除去される。片側への泡の移動は、少なくとも泡の長さ分の距離だけの移動を要求される。
【００２１】
本発明は、泡の移動に必要な移動量を減少させてこの問題を解決しようとするものである。図３〜図５を参照する。図３は、本発明による交差ポイントトレンチ１００の平面図である。図４は、トレンチ１００の側面図である。トレンチ１００は、図１及び図２に示されるトレンチ１４とは置き換えられている。図５は、トレンチ１００を用いるスイッチング素子１０１の平面図である。図５は、泡１１７が存在するときのトレンチ壁からの光信号の反射を示している。図面を簡単にするために、図５において１２１−１２３で示される導波路は、図３及び図４においては省略されている。トレンチ１００は、基板１８０にエッチングされることが好ましく、平行な壁を備えたギャップ領域１１３からなり、図５に示されているように光信号を反射するかあるいは前記領域１１３が屈折率整合材料を充填されたとき光信号がトレンチを通過させるかする。領域１１３の両側のトレンチ部分は、１１２及び１１４で示されるように広げられている。加熱部材１１６が、トレンチ１００の底部に配置されている。本実施形態では、広げられた部分の両側のトレンチの壁１１１及び１１５は、互いに平行であるが、本発明の示唆するところに従って他の形状にすることも可能である。
【００２２】
領域１１３において泡が移動させられる様子を示すのが、図６及び図７である。本発明は、領域１１３を超えないで領域１１３内に形成された泡が図５に示すように領域１１３に留まっているという観点から構成されている。しかしながら、図６に示すように泡の一部分が広げられた領域の片側に入るように泡が片側にわずかにずれると、泡は、広げられた領域（拡幅領域）１１２、１１４に入るかあるいは１２９により図７に示されるように広げられた領域１１２、１１４を超えた領域に入るよう泡の表面張力によりこの広げられた領域に向けて引き込まれる。一旦、泡が広げられた領域１１２、１１４に移動すると、トレンチは光に対して透明となり、及び、交差ポイントは、切り換えられている。泡は、それ以上の援助を必要とせずに消滅させられる。交差ポイントが反射状態に復帰させられるために、加熱部材１１６を再び駆動することにより新たな泡が領域１１３に導かれる。
【００２３】
図８には、本発明による交差ポイントトレンチ１３０のその他の実施形態の平面図が示されている。以下の説明を簡単にするために、図３及び図４に示されるトレンチ１００の構成と同じ機能を備えたトレンチ１３０の構成には同じ数字が付与されている。トレンチ１３０は、１３１で示される第２の加熱部材が広げられた領域１１２の一部分の位置にトレンチの底部に配置されていることがトレンチ１００とは異なっている。加熱部材１１３は、１３７で示されるような泡を領域１１３において部材１１６の加熱により発生された泡を不安定化させるために用いられる。加熱部材１３１が作動させられると、泡１３７は、加熱部材１３１の領域を超えて拡大させられる。新たな泡が、トレンチの広げられた領域に延びる。上述したように、このような泡は、自動的にこの広げられた領域に引き込まれ、図６及び図７に関連して述べたような機構によって領域１１３の外に移動させられる。図８に示される加熱部材は、領域１１３の他端に配置しても良い。
【００２４】
領域１１３内の泡は、領域１１３にまたがる圧力差を発生させることにより領域１１３を脱出するのに充分なだけ移動される。図９及び図１０は、本発明によるトレンチのその他の実施形態のそれぞれ側面図及び平面図である。以下の説明を簡単にするために、図３及び図４に示されるトレンチ１００の構成と同じ機能を備えたトレンチ１３０の構成には同じ数字が付与されている。トレンチ１５０は、１４１及び１４２で示される二つのダイアフラムを備え、これらは、トレンチ１５０内の圧力を変化させることにより変形可能である。図９及び図１０の実施形態においては、ダイアフラムは、「プッシュ・プル」のやり方で作動し、領域１１３の片側における圧力が増加して反対側が減少する。この圧力差は、泡１４７の位置を領域１１４に移動させて泡を領域１１３から外すのに充分なものである。
【００２５】
泡に要求される移動量は、領域１１３の外に泡を完全に移動させるのにシステムに要求された移動量よりも小さい。インクジェットプリンタに用いられるタイプのダイアフラムの設計が、そのために使用できる。図９及び図１０に示す実施形態はトレンチの上部に配置されるダイアフラムを用いているが、圧電変換器あるいはマイクロメカニカルデバイスのような領域１１３の少なくとも片側で圧力あるいは容積を変化させる装置も使用できることは、当該技術に知識を有するものであれば上述の説明から容易に行い得ることであろう。例えば、加熱部材１５３は、加熱部材を備えた領域１１３の側における圧力を変化させて泡を発生させるのに充分なパワーを領域１１５に与える。領域１１３における泡が追い出された後、泡を形成する圧力は消滅させられる。
【００２６】
領域１１３の長さは、スイッチング素子が透明なとき、領域１１３を通過する光信号全体を収容できるのに充分なだけ大きく選ばれていることが好ましい。プレーナ光導波回路における光学的な伝播の性質のために、この領域は、領域１１３の各々の側において終わっている導波路コアよりもわずかに大きくなければならない。
【００２７】
本発明の実施形態において、領域１１３の各々の側におけるトレンチ壁は、互いに平行であり、すなわち、導波路部分１１及び１２は、コーリニヤであり、及び、導波路部分１９及び１３は、コーリニヤである。原理的には、スイッチが反射状態にあるとき光信号を反射する壁のみが、プレーナであることが必要である。しかしながら、その屈折率が導波路のそれに正確には整合しない液体が使用されねばならないとき、光信号は、トレンチが透明状態にあるとき液体に入るとともに再び液体を出るように屈折する。この屈折は、実質的な側方への移動を生じる。スイッチング素子の射出導波路は、この移動を吸収するために移動可能にされている。トレンチ壁が入射点及び射出点において平行であるとき、初期の導波路ピッチ及び角度が、それらの移動にもかかわらず維持される。しかしながら、入射壁及び射出壁が平行でないときは、射出導波路角度は、入射導波路角度とは異なるものとなり、ピッチは、ゆがめられる。それらの変化は、多くのスイッチング素子からなる交差ポイントスイッチを構成するとき必要な光学的な相互結合を複雑なものとし、コストアップを招くものである。
【００２８】
本発明による上述した実施形態においては、３個の導波路を用いたが、２個の導波路のみを用いる実施形態も構成することができる。図１において、導波路１２あるいは導波路１３は、光吸収媒体に置換できる。このような実施形態においては、光スイッチは、入力導波路から残りの出力導波路に光信号を伝達する第１の状態と、及び、光信号が吸収される第２の状態とを備える。出力導波路１３が省略される実施形態は、Ｎ：１光学的マルチプレクサを構成する際に特に効果的である。
【００２９】
本発明による上述の実施形態は、トレンチのギャップの両側に広げられた領域を用いた。しかしながら、この広げられた領域は、泡が移動させられるギャップの側の領域がこのギャップよりも大きくされているときは省略できる。図１１は、このようなその他の形状を備えたトレンチ３００の平面図である。トレンチ３００は、泡３１７がトレンチ内に存在するときは、導波路３２１を導波路３２２に接続し、及び、トレンチが屈折率整合液体で充填されているときは、導波路３２１及び３２３間を接続する。
【００３０】
種々の変形、変更は、上述の説明及び添付される図面から当業者にとって明らかなことであろう。従って、本発明は、特許請求の範囲によってのみ限定されるものである。
【００３１】
本発明を上述の実施形態に沿って説明すると、本発明は、光スイッチ（１０１）において、第１及び第２の導波路（１２１、１２３）を備えた基板（１８０）であって、前記第１及び第２の導波路（１２１、１２３）が、所定の幅を備えたギャップにおいて交差し、該ギャップに第１の屈折率を備えた液体が充填されるとき、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第２の導波路（１２３）に入り、前記ギャップに気体が充填されているとき、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記ギャップにより反射されるように前記第１及び第２の導波路（１２１、１２３）が配置されており、その際前記ギャップは、前記基板におけるトレンチ（１００、１３０、１５０）の一部分をなし、該トレンチ（１００、１３０、１５０）は、前記ギャップを含む第１の領域（１１３）及び前記ギャップに隣接する第２の領域（１１２）からなり、前記第２の領域（１１２）の幅が、前記第１の領域（１１３）の幅よりも大きくされている基板（１８０）と、前記第１の領域（１１３）に配置される前記第１の屈折率を備えた液体であって、所定の温度に加熱されたとき気体を発生させる液体と、前記気体を所定の温度に加熱して前記第１の領域（１１３）において前記液体に気泡を発生させる前記第１の領域（１１３）に配置された第１のヒータ（１１６）と、制御信号に応答して前記第１の領域（１１３）内の前記気泡の一部分を前記第２の領域（１１２）内に伸長させる移動機構とからなるようにしたことを特徴とする光スイッチを提供する。
【００３２】
好ましくは、前記移動機構は、前記第１のヒータ（１１６）及び前記第１の領域（１１３）の間であって、その一部分を前記第１の領域（１１３）内に配置されている第２のヒータ（１３１）からなる。
【００３３】
好ましくは、前記第２のヒータ（１３１）が、前記第２の領域（１１２）内に延びる。
【００３４】
好ましくは、前記トレンチ（１００、１３０、１５０）は、前記第１の領域（１１３）の幅よりも大きな幅を備えた第３の領域（１１４）を備え、前記第１の領域（１１３）が、前記第２及び第３の領域（１１２、１１４）の間に配置され、及び、その際前記移動機構が、前記第１の領域（１１３）に圧力差を生じさせる機構（１４１、１４２、１５３）を備える。
【００３５】
好ましくは、前記移動機構は、前記トレンチ（１００、１３０、１５０）の前記第２の領域（１１２）あるいは前記第３の領域（１１４）に配置されている第３のヒータ（１５３）からなる。
【００３６】
好ましくは、前記移動機構は、前記トレンチ（１００、１３０、１５０）の前記第２あるいは第３の領域（１２２、１１４）内に前記液体を移動させる機械的な装置（１４１、１４２）からなる。
【００３７】
好ましくは、前記トレンチ（１００、１３０、１５０）に終端を備えた第３の導波路（１２２）をさらに設け、前記ギャップが液体で充填されていないとき、前記第１の導波路（１２１）を進む光が前記第３の導波路（１２２）に入るように、前記第３の導波路（１２２）が配置される。
【００３８】
好ましくは、前記第１の屈折率が前記第１及び第２の導波路（１２１、１２３）の屈折率とは異なるとき、前記第１の導波路（１２１）から出る光が前記第２の導波路（１２３）に入るように、前記第１及び第２の導波路（１２１、１２３）が光学的結合が可能なように位置合わせされる。
【図面の簡単な説明】
【図１】二つの状態を備えるクロスポイントスイッチング素子を第１の状態にして示す平面図である。
【図２】二つの状態を備えるクロスポイントスイッチング素子を第２の状態にして示す平面図である。
【図３】本発明による交差ポイントのトレンチ構造を示す平面図である。
【図４】トレンチ構造の側面図である。
【図５】トレンチ構造を用いるスイッチング素子の平面図である。
【図６】狭幅の領域内において泡が移動される初期段階の様子を示す該略図である。
【図７】狭幅の領域内において泡が移動された様子を示す該略図である。
【図８】本発明による交差ポイントトレンチ構造の他の実施形態を示す平面図である。
【図９】本発明によるトレンチ構造の他の実施形態を示す側面図である。
【図１０】本発明によるトレンチ構造の他の実施形態を示す平面図である。
【図１１】本発明によるトレンチのその他の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１００  トレンチ
１１２  第２の領域
１１３  第１の領域
１１６  加熱部材
１２１  第１の導波路
１２３  第２の導波路
１３０、１５０  トレンチ
１８０  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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