(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体保持体と、
複数のノズル保持部を備えて前記回転体保持体に回転可能に保持され、それら複数のノズル保持部の一つづつを、自身の回転により選択的に下向きの吸着・装着位置に位置決めする回転体と、
前記複数のノズル保持部の各々に対応して設けられ、各ノズル保持部を少なくとも負圧供給装置と大気とに選択的に接続する複数の方向切換弁と、
前記回転体の回転に基づいて、前記複数の方向切換弁のうち下向きの吸着・装着位置へ旋回するノズル保持部に対応するものを切り換える回転依拠弁切換装置と
を含む電気部品装着装置。
【請求項２】
電気部品を回路基材に装着する電気部品装着装置であって、
電気部品を吸着保持する吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部を備えたノズル保持体と、
そのノズル保持体内に配設されて、前記ノズル保持部への気体通路を、少なくとも、負圧供給装置に連通させる状態と大気に連通させる状態とに切り換えるパイロット式方向切換弁と、
加圧空気を供給する正圧供給装置と、
その正圧供給装置と前記パイロット式方向切換弁との間に配設され、パイロット圧としての正圧のパイロット式方向切換弁への供給を制御するパイロット圧制御装置と
を含む電気部品装着装置。
【請求項３】
前記パイロット圧制御装置が、
前記ノズル保持体に設けられた第一接続部と、
前記ノズル保持体と相対運動可能に設けられた接続部材に設けられた第二接続部と、
前記ノズル保持体と前記接続部材とを、前記第一接続部と前記第二接続部とが接続状態となる接続位置と、非接続状態となる非接続位置とに機械的に相対移動させる断接装置と
を備えた機械式カット弁を含む 請求項２に記載の電気部品装着装置。
【請求項４】
前記ノズル保持体が、複数のノズル保持部を備え、回転軸線まわりに回転することによりそれら複数のノズル保持部を選択的に部品吸着位置および部品装着位置に位置決めする回転体を含み、前記接続部材が、前記部品吸着位置および部品装着位置に設けられた請求項３に記載の電気部品装着装置。
【請求項５】
前記パイロット式方向切換弁が２つのパイロット圧ポートを備え、それら２つのパイロット圧ポートのいずれに前記正圧供給装置からの加圧空気が供給されるかによって２つの切換状態に切り換えられるものであり、前記パイロット圧制御装置がそれら２つのパイロット圧ポートへの前記正圧供給装置からの加圧空気の供給状態を切り換える電磁弁装置を含む請求項２ないし４のいずれかに記載の電気部品装着装置。
【請求項６】
前記パイロット式方向切換弁が前記ノズル保持部への気体通路を前記負圧供給装置から遮断する状態に切り換えられる際、前記正圧供給装置からのパイロット圧を前記ノズル保持部にも供給してノズル保持部内の負圧を速やかに解消する負圧解消装置を含む請求項２ないし５のいずれかに記載の電気部品装着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気部品（電子部品を含む）をプリント配線板等の回路基材に装着する電気部品装着装置に関するものであり、特に、吸着ノズルにより電気部品を負圧で吸着して保持し、回路基材に装着するタイプの電気部品装着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
吸着ノズルにより電気部品を保持するタイプの電気部品装着装置においては、吸着時に吸着ノズルに負圧を供給し、装着時には装着ノズル内の負圧を解消することが必要である。負圧を解消するためには、吸着ノズル内の空間を単に大気に連通させてもよいのであるが、負圧を急速に解消するために、正圧を供給することが広く行われている。そして、負圧を急速に解消するのは装着作業の能率を向上させるためであり、同じ目的で、吸着時における吸着ノズルの電気部品への接近速度や、装着時における吸着ノズルの電気部品からの離間速度を増大させること、ならびに吸着ノズルの下降完了から上昇開始までの時間を短縮することが望まれている。
【０００３】
装着作業の能率向上を図りつつ、電気部品の吸着ミスや装着ミスの発生を良好に回避するためには、吸着ノズル内の空間に負圧の供給を開始し、あるいは負圧の解消を開始する時期を、吸着ノズルの昇降動作と精度よく同期させることが必要であり、この同期を電気的に精度良くとることは困難である。例えば、吸着ノズル内の空間と、負圧供給装置，正圧供給装置あるいは大気との連通，遮断を、電磁方向切換弁や電磁開閉弁によって制御することも可能なのであるが、この場合には、電磁弁への切換信号の発生や、その切換信号に応じた電磁弁の作動の遅れが比較的大きく、また、遅れ量が変化し易いために、高速作動中に高精度で同期をとることが困難なのである。
【０００４】
そのため、従来、吸着ノズルを保持するノズル保持体を昇降させて、そのノズル保持体に保持される吸着ノズルを電気部品に接近させ、あるいは電気部品から離間させる保持体昇降装置と、方向切換弁を切り換える弁切換装置とを機械的に同期させることが一般的に行われている。しかし、近年、吸着ノズルにより保持される電気部品の種類が増加し、高さが種々に異なるために、吸着ノズルの下降端位置が大きく変化するようになり、保持体昇降装置の作動量が大きく変わるようになった。その結果、保持体昇降装置と機械的に同期して作動する弁切換装置による方向切換弁の切換時期も変化し、電気部品の吸着ミスや装着ミスが発生し易くなっている。これらミスが発生すれば、そのミスをカバーするために電気部品装着装置に余分の動作を行わせることが必要となって、装着作業の能率が低下し、また、ミスの発生が見過ごされれば、不良電気回路が発生してしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】
本発明は、以上の事情を背景とし、電気部品の吸着ミスや装着ミスの発生を極力回避することと、万一、発生した場合にミスの発生をいち早く発見することとの少なくとも一方により、作業能率の低下あるいは不良電気回路の発生をできる限り回避することを課題としてなされたものであり、本発明によって、下記各態様の電気部品装着装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。また、一つの項に複数の事項が記載されている場合、それら複数の事項を常に一緒に採用しなければならないわけではない。一部の事項のみを選択して採用することも可能なのである。
【０００６】
なお、以下の各項において、(3)項が請求項１に相当し、(8)項が請求項２に、(9)項が請求項３に、(10)項が請求項４に、(11)項が請求項５に、(13)項が請求項６にそれぞれ相当する。
以下の各項の発明の中には、補正により特許請求の範囲に記載の発明でも、それの下位概念の発明でもなくなったものもあるが、特許請求の範囲に記載の発明を理解する上で有用な記載を含んでいるため、そのまま残すこととする。
【０００７】
（１）複数のノズル保持部を備えて回転軸線まわりに回転し、それら複数のノズル保持部を選択的に部品吸着位置および部品装着位置に位置決めする回転体を備え、前記ノズル保持部に保持される吸着ノズルにより電気部品を吸着保持して回路基材に装着する電気部品装着装置において、
前記回転体の回転に伴う前記複数のノズル保持部の前記部品吸着位置および前記部品装着位置への到達時に、回転体の回転を利用して前記ノズル保持部内の圧力状態を切り換える回転依拠状態切換装置を設けたことを特徴とする電気部品装着装置。
【０００８】
上記部品吸着位置と部品装着位置とは互いに異なる位置でも、同一位置でもよい。回転体に複数のノズル保持部を設け、それらノズル保持部の各々に吸着ノズルを保持させて電気部品を装着する装置は、回転体を一定角度ずつ間欠的に回転させ、ノズル保持部が停止している間に、そのノズル保持部に保持されている吸着ノズルが電気部品の吸着および装着を行うようにされるのが普通であるが、その際、停止位置の一つにおいて吸着ノズルが電気部品を吸着し、別の一つにおいて電気部品を装着するようにされる場合と、電気部品の吸着と装着とが同じ停止位置で行われるようにされる場合とがある。後者は、回転体が回転させられるのみならず、横方向移動装置により横方向にも移動させられるタイプの装置において多く採用され、前者は、回転体が横方向にも移動させられるタイプの装置にも、移動させられないタイプの装置にも採用される。
【０００９】
いずれの場合にも、回転体の回転および停止と、吸着ノズル（すなわち、ノズル保持部）の昇降とは機械的に同期させられるのが普通であるため、方向切換弁の切換装置を、ノズル保持部を昇降させる保持部昇降装置と同期させる代わりに、回転体の回転と同期させても、吸着ノズルの昇降と、吸着ノズル内の圧力状態の切換えとを精度良く同期させることができる。しかも、回転体の回転、停止の時期は、電気部品の高さの変化とは関係なく一定とされるため、吸着ノズル内の圧力状態の切換えを、吸着ノズルの電気部品への接触あるいは電気部品からの離間と精度良く同期して行うことができる。上記説明から明らかなように、本項において「ノズル保持部の部品吸着位置および部品装着位置への到達時」とは、「ノズル保持部に保持された吸着ノズルの電気部品への接触、離間との関係で適切な時期」という意味であって、文字通り、ノズル保持部が部品吸着位置や部品装着位置へ到達した瞬間という意味ではない。
【００１０】
（２）前記回転体を回転可能に保持する回転体保持体を移動させる保持体移動装置を含む(1)項に記載の電気部品装着装置。
保持体移動装置は、回転体保持体を昇降させる保持体昇降装置、回転体保持体を少なくとも水平方向の成分を含む方向に移動させる保持体横移動装置、回転体保持体を回転体の回転軸線である第一回転軸線と交差（立体交差を含む）する第二回転軸線のまわりに回転させる保持体回転装置の少なくとも一つを含むものとされる。
（３）回転体保持体と、
複数のノズル保持部を備えて前記回転体保持体に回転可能に保持され、それら複数のノズル保持部の一つづつを、自身の回転により選択的に下向きの吸着・装着位置に位置決めする回転体と、
前記複数のノズル保持部の各々に対応して設けられ、各ノズル保持部を少なくとも負圧供給装置と大気とに選択的に接続する複数の方向切換弁と、
前記回転体の回転に基づいて、前記複数の方向切換弁のうち下向きの吸着・装着位置へ旋回するノズル保持部に対応するものを切り換える回転依拠弁切換装置と
を含む電気部品装着装置。
本項の電気部品装着装置は、前記 (1)項に記載の電気部品装着装置の望ましい態様の一つである。回転依拠弁切換装置は、回転体の回転を直接あるいは間接の原因として（回転に基づいて、伴って、起因して、回転を利用して、または直接回転によって）方向切換弁を切り換えるものとすることができる。回転体の回転を直接の原因とするとは、回転体の回転そのものにより方向切換弁の切換えが行われることであり、回転体の回転を間接の原因とするとは、回転体の回転が他の部材の運動を引き起こし、その運動によが方向切換弁の切換えが行われることである。回転依拠弁切換装置は、例えば、(9)項および(10)項に記載の構成とすることができる。
（４）回転体保持体を昇降させることにより、前記吸着・装着位置に位置決めされたノズル保持部およびそれに保持された吸着ノズルを昇降させる保持体昇降装置を含む(3)項に記載の電気部品装着装置。
本項に記載の電気部品装着装置においては、回転体保持体が昇降させられることによって回転体が昇降させられ、その回転体のノズル保持部およびその保持部に保持されている吸着ノズルも共に昇降させられる。
（５）前記回転体が水平な第一回転軸線まわりに回転可能なものであり、当該電気部品装着装置が、前記回転体保持体を第一回転軸線と交差する第二回転軸線まわりに回転させる保持体回転装置を含む (3)項または (4)項に記載の電気部品装着装置。
回転体保持体が第二回転軸線まわりに回転させられれば、回転体、ノズル保持部、吸着ノズル等も第二回転軸線まわりに回転させられる、
（６）前記第二回転軸線と、前記吸着・装着位置に位置決めされたノズル保持部の軸線とが実質的に一致する (5)項に記載の電気部品装着装置。
本項に記載の電気部品装着装置においては、回転体保持体が第二回転軸線まわりに回転させられれば、ノズル保持部が自身の軸線まわりに回転させられる。吸着ノズルの吸着面がノズル保持部と同心に形成されている場合には、その吸着面に吸着された電気部品が、ノズル保持部の軸線上に位置する１点を中心として回転することとなり、電気部品の吸着ノズルによる保持位置に回転位置誤差がある場合にそれを補正したり、電気部品を吸着時とは異なる姿勢で装着したりする必要がある場合に、好適である。
（７）前記回転体の外部に設けられた圧力センサと、
前記回転体の回転に依拠して、前記複数のノズル保持部のうち前記部品吸着位置にあるものを前記圧力センサに選択的に接続するセンサ接続装置と
を含む (3)項ないし (6)項のいずれかに記載の電気部品装着装置。
本項に記載の電気部品装着装置においては、圧力センサの検出結果を監視していれば、万一、電気部品の吸着ミスが発生した場合に、それをいち早く検出することができ、吸着ミスを犯した吸着ノズルに再度吸着動作を行わせたり、次の吸着ノズルに吸着されなかった電気部品を吸着させたりすることができる。吸着ミスのカバーが速やかに行われるようにすることが可能となるのである。また、吸着ミスの発生が見過ごされることを良好に回避することができるため、不良回路の発生を良好に防止することができる。
（８）電気部品を回路基材に装着する電気部品装着装置であって、
電気部品を吸着保持する吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部を備えたノズル保持体と、
そのノズル保持体内に配設されて、前記ノズル保持部への気体通路を、少なくとも、負圧供給装置に連通させる状態と大気に連通させる状態とに切り換えるパイロット式方向切換弁と、
加圧空気を供給する正圧供給装置と、
その正圧供給装置と前記パイロット式方向切換弁との間に配設され、パイロット圧としての正圧のパイロット式方向切換弁への供給を制御するパイロット圧制御装置と
を含む電気部品装着装置。
ノズル保持部内の圧力状態の切換えを、加圧空気の圧力をパイロット圧とするパイロット式方向切換弁に行わせ、そのパイロット式方向切換弁へのパイロット圧の制御をパイロット圧制御装置に行わせれば、方向切換弁の切換えが、純機械的に行う場合より容易になることが多く、その分、切換時期の制御精度を向上させることが容易になる。また、装置コストも低減させ得る場合が多い。
（９）前記パイロット圧制御装置が、
前記ノズル保持体に設けられた第一接続部と、
前記ノズル保持体と相対運動可能に設けられた接続部材に設けられた第二接続部と、
前記ノズル保持体と前記接続部材とを、前記第一接続部と前記第二接続部とが接続状態となる接続位置と、非接続状態となる非接続位置とに機械的に相対移動させる断接装置と
を備えた機械式カット弁を含む (8)項に記載の電気部品装着装置。
本項によれば、機械式カット弁まで正圧を供給した状態にしておき、機械式カット弁を機械的に作動させることにより、パイロット式方向切換弁に速やかにパイロット圧を供給し、パイロット式方向切換弁を必要な時点に迅速に切り換えることができる。しかも、機械式カット弁は、電気部品装着装置の、回転体等ノズル保持体や昇降装置の可動部材等、作動部材の作動と機械的に同期させることが容易であるため、吸着ノズルの電気部品に対する接触，離間と容易に同期させることができる。
（１０）前記ノズル保持体が、複数のノズル保持部を備え、回転軸線まわりに回転することによりそれら複数のノズル保持部を選択的に部品吸着位置および部品装着位置に位置決めする回転体を含み、前記接続部材が、前記部品吸着位置および部品装着位置に設けられた (9)項に記載の電気部品装着装置。
本項の構成を採用すれば、接続部材を部品吸着位置および部品装着位置に設ければよいため、その接続部材への正圧供給通路の接続が容易であり、装置コストを低減させることができる。
（１１）前記パイロット式方向切換弁が２つのパイロット圧ポートを備え、それら２つのパイロット圧ポートのいずれに前記正圧供給装置からの加圧空気が供給されるかによって２つの切換状態に切り換えられるものであり、前記パイロット圧制御装置がそれら２つのパイロット圧ポートへの前記正圧供給装置からの加圧空気の供給状態を切り換える電磁弁装置を含む (8)項ないし(10)項のいずれかに記載の電気部品装着装置。
パイロット式方向切換弁の２つのパイロット圧ポートへの正圧の供給は迅速に行うことが必要であるが、機械式カット弁が設けられている場合には、その機械式カット弁への正圧の供給状態の切換えは、前もって行っておくことができるため、それほど迅速性を要しない。したがって、１つ以上の電磁弁を含む電磁弁装置によって十分目的を達することができる。しかも、電磁弁装置は、電気的に制御可能であるため、状況に応じて、状態を切り換えたり、切り換えなかったりすることが可能であり、ノズル保持部の圧力制御の自由度を増すことが容易である。例えば、機械式カット弁が遮断状態から連通状態に切り換えられても、必ずしもパイロット式方向切換弁の切換えが行われるとは限らないようにすることができるのである。
（１２）前記ノズル保持体を運動させることによって前記ノズル保持部を部品吸着位置または部品装着位置に位置決めするノズル保持体駆動装置と、
前記ノズル保持体の外部に設けられた圧力センサと、
前記ノズル保持体の運動に依拠して、前記部品吸着位置にあるノズル保持体を前記圧力センサに選択的に接続するセンサ接続装置と
を含む (8)項ないし(11)項のいずれかに記載の電気部品装着装置。
(7)項に関して前述した説明が本項の発明にも当てはまる。
（１３）前記パイロット式方向切換弁が前記ノズル保持部への気体通路を前記負圧供給装置から遮断する状態に切り換えられる際、前記正圧供給装置からのパイロット圧を前記ノズル保持部にも供給してノズル保持部内の負圧を速やかに解消する負圧解消装置を含む (8)項ないし(12)項のいずれかに記載の電気部品装着装置。
ノズル保持部内の圧力状態を切り換えるためにパイロット式方向切換弁を使用する場合には、パイロット圧としての正圧が必ずパイロット式方向切換弁まで供給される。そして、パイロット式方向切換弁は、切換えに応じてノズル保持部内の圧力状態が迅速に変わるようにするために、できる限りノズル保持部に近い位置に配設されるものであるため、必然的に正圧がノズル保持部に近い位置まで導かれることとなる。したがって、その正圧をノズル保持部内、すなわち、吸着ノズル内の負圧の解消に利用すれば、負圧解消用の正圧を導く気体通路の大部分を、パイロット圧を導く気体通路と兼用とすることができ、装置コストを低減し得る。しかも、負圧解消用の正圧は、ノズル保持部内の圧力の負圧から大気圧への切換えの過渡期にノズル保持部内に供給される必要があるものであるため、負圧から大気圧への切換えを行うパイロット式方向切換弁のパイロット圧をノズル保持部に供給することとすれば、専用の制御装置を使用することなく、適切な時期に正圧を供給することができ、この点でも装置コストの低減を図ることができる。
（１４）複数のノズル保持部を備えたノズル保持体と、
そのノズル保持体を運動させることにより、前記複数のノズル保持部を択一的に部品吸着位置へ位置決めするノズル保持体駆動装置と、
前記ノズル保持体の外部に設けられた圧力センサと、
前記ノズル保持体の前記ノズル保持体駆動装置による運動に依拠して、前記複数のノズル保持部のうち前記部品吸着位置にあるものを前記圧力センサに選択的に接続するセンサ接続装置と
を含む電気部品装着装置。
(7)項に関して前述した説明が本項の発明にも当てはまる。
（１５）前記ノズル保持体が回転軸線まわりに回転可能な回転体であり、前記保持体駆動装置が、その回転体を回転させる回転駆動装置を含む(14)項に記載の電気部品装着装置。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態である電気部品装着装置を備える電気部品装着システムとしての電子部品装着装置を備える電子部品装着システムについて図面に基づいて詳細に説明する。
本電子部品装着システムは、図１に示すように、ベース１０上に配設された部品装着装置１２，部品供給装置１４およびプリント配線板搬送装置１６を備えている。プリント配線板搬送装置１６は、Ｘ軸方向（図１において上下方向）に配設された基板コンベヤとしての配線板コンベヤ１８を備え、回路基材の一種であるプリント配線板２０が配線板コンベヤ１８により搬送されるとともに、ストッパ装置２２により、予め定められた部品装着位置に位置決めされ、プリント配線板保持装置２４により保持される。
【００１２】
配線板コンベヤ１８の水平面内においてＸ軸方向と直交するＹ軸方向の両側には、部品供給装置１４が設けられている。部品供給装置１４は、フィーダ支持台２６と、その上にＸ軸方向に並べられて配列される多数のフィーダ２８とを有し、位置を固定して設けられている。各フィーダ２８は、それぞれ１種類ずつの電気部品たる電子部品３２を収容し、それら電子部品３２を１個ずつ順次部品供給部に送るものである。フィーダ２８は、例えば、複数の電子部品が等間隔に保持させられたテープを送ることにより電子部品を１個ずつ部品供給部に送るものでもよく、あるいは、ケーシング内に収容された電子部品を空気流，傾斜，振動等あるいはそれらの組み合わせにより一列に並べて部品供給部へ１個ずつ送るものとしてもよい。
【００１３】
部品装着装置１２は、部品保持ヘッド３０がＸ軸方向およびＹ軸方向に直線移動させられてフィーダ２８の部品供給部に対応する部品受取位置から受け取った電子部品３２を搬送し、前記部品装着位置に保持されたプリント配線板２０に装着するものである。そのため、部品装着装置１２は、ＸＹ移動装置たるＸＹロボット３４を備えている。ＸＹロボット３４は、支柱３５に支持されてベース１０の上方に配設された上フレーム３６に保持されている。上フレーム３６は、図１においては理解を容易にするために除去され、位置のみが二点鎖線で示されている。上フレーム３６には、水平にかつＹ軸方向に平行に一対のガイドレール３８が固定され、Ｙ軸スライド４０がガイドブロック４１において移動可能に嵌合されている。Ｙ軸スライド４０のナット４２がＹ軸方向に平行に延びる送りねじ４３に螺合され、Ｙ軸モータ（サーボモータ）４４によって送りねじ４３が回転させられることにより、Ｙ軸スライド４０が水平なＹ軸方向に移動させられる。ナット４２，送りねじ４３およびＹ軸モータ４４等がＹ軸スライド駆動装置を構成し、ガイドレール３８，ガイドブロック４１がＹ軸スライド４０の移動を案内する案内装置を構成している。
【００１４】
Ｙ軸スライド４０上には、Ｘ軸スライド４６が、水平面内においてＹ軸方向と直交し、水平面に平行なＹ軸方向に移動可能に設けられている。Ｘ軸スライド４６の垂直な側面には、Ｘ軸方向に延びる送りねじ（図示省略）が取り付けられるとともに、Ｘ軸スライド４６がナット（図示省略）において螺合されており、送りねじがＸ軸モータ（サーボモータ）５０（図１参照）により回転させられることにより、Ｘ軸スライド４６は、ガイドブロック５１およびガイドレール５２に案内されてＸ軸方向に移動させられる。送りねじ，ナットおよびＸ軸モータ５０等がＸ軸スライド駆動装置を構成し、ガイドブロック５１およびガイドレール５２がＸ軸スライド４６の移動を案内する案内装置を構成している。Ｙ軸スライド４０，Ｙ軸スライド駆動装置およびＸ軸スライド駆動装置，Ｘ軸，Ｙ軸スライド４０，４６の各移動を案内する案内装置がＸＹロボット３４を構成している。Ｘ軸スライド４６には、複数（図示の例では３個）の部品保持ヘッド３０がＸ軸方向に並んで設けられている。部品保持ヘッド３０は、ＸＹロボット３４により水平面内の任意の位置に移動させられる。
【００１５】
Ｘ軸スライド４６を構成する側壁の垂直な側面５４には、上記複数の部品保持ヘッド３０がそれぞれ昇降可能かつ回転可能に設けられるとともに、図２に示すように、各部品保持ヘッド３０を昇降させる昇降装置６０および部品保持ヘッド３０を軸線まわりに回転させる回転装置６２がそれぞれ設けられている。また、プリント配線板２０に設けられた複数の基準マークを撮像するマーク撮像装置（図示省略）が設けられるとともに、部品撮像装置６４が設けられている。
【００１６】
部品保持ヘッド３０は、電子部品３２を負圧により吸着する複数の吸着ノズル１００と、吸着ノズル１００を保持するホルダ１０２とを備えている。ホルダ１０２は、Ｘ軸スライド４６に上下方向に昇降可能に保持された概して円筒状を成すスリーブ１０６と、スリーブ１０６に上下方向の軸線まわりに回転可能に保持された軸部１０８とを含むものである。スリーブ１０６の上端部に一体的に設けられた係合部１１０には、送りねじ１１２に螺合されたナット１１４が固定されている。送りねじ１１２は、Ｘ軸スライド４６を構成する上壁に、上下方向に延びる軸線のまわりに回転可能かつ軸方向に移動不能に取り付けられており、送りねじ１１２がタイミングプーリ１１６，１１８，タイミングベルト１２０を含む回転伝達装置を介して昇降用モータ１２２によって回転させられることにより、ナット１１４が昇降させられるとともにホルダ１０２および吸着ノズル１００が昇降させられる。ホルダ１０２の昇降は、スリーブ１０６の外周面に固定の上下方向に延びるガイドレール１２４と、Ｘ軸スライド４６の側面５４に固定のガイドブロック１２６とにより案内される。送りねじ１１２，タイミングプーリ１１６，１１８，タイミングベルト１２０および昇降用モータ１２２が昇降装置６０を構成している。
【００１７】
軸部１０８の下端部には、歯車１３０が一体的に設けられ、回転用モータ１３２の出力軸に固定の歯車１３４と上記歯車１３０とが噛み合わせられており、回転用モータ１３２の駆動により、軸部１０８が自身の軸線まわりに回転させられるとともに、軸部１０８に保持される複数の吸着ノズル１００のうち、後述する作用位置である部品吸着・装着位置に位置決めされた吸着ノズル１００が軸部１０８の軸線と一致する回転軸線のまわりに回転させられる。歯車１３０，１３４および回転用モータ１３２が回転装置６２を構成している。
【００１８】
軸部１０８の下端部には、支持部材１４０が固定されている。支持部材１４０は、複数の部材が組み付けられることにより、一体的な支持部材１４０として機能するものである。支持部材１４０には、図２および図３に示すように、回転体１４４が軸部１０８の回転軸線に直角で水平な軸線まわりに回転可能に支持されている。厳密には、支持部材１４０に回転不能かつ移動不能に取り付けられた接続部材１４６を介して、回転体１４４が回転可能に支持されている。接続部材１４６については、後に説明する。回転体１４４は、複数の部材が一体的に組み付けられることにより一体の部材として機能するものである。回転体１４４には、複数個、本実施形態では８個の吸着ノズル１００が回転体１４４の回転軸線のまわりに等角度間隔で放射状に、かつ、着脱可能に保持されている。回転体１４４には、回転軸線のまわりに等角度間隔に、半径方向に延びる複数（図示の例では８個）のノズル保持穴１５０が形成され、それらノズル保持穴１５０に吸着ノズル１００が相対回転不能かつノズル保持穴１５０の中心軸線の方向である軸方向に設定距離移動可能に保持されている。吸着ノズル１００は、ノズル本体１５４，吸着管１５６および発光部１５８を一体的に備えるものである。吸着ノズル１００のノズル本体１５４には、係合ピン１６０が設けられ、図３に示すように、その係合ピン１６０の先端が吸着ノズル１００から突出し、ノズル保持穴１５０に連通する係合穴１６２に係合させられている。係合穴１６２は、回転体１４４の半径方向に延びる長穴であり、係合ピン１６０の突出部がその係合穴１６２の長手方向には移動可能かつ長手方向に直角な幅方向には実質的に移動不能に係合することにより、吸着ノズル１００がノズル保持穴１５０内に相対回転不能かつ軸方向に設定距離移動可能に保持されることになる。ノズル保持穴１５０内に配設された付勢装置としての圧縮コイルスプリング１６６により、吸着ノズル１００が回転体１４４の外周側に突出する向きに付勢され、係合ピン１６０と係合穴１６２の外周側の端面との当接により、吸着ノズル１００の突出限度が規定されている。
【００１９】
回転体１４４に保持された複数の吸着ノズル１００は、図３に示すノズル選択装置１７０により、部品吸着・装着位置に選択的に位置決めされる。本実施形態においては、部品吸着・装着位置に位置決めされた吸着ノズル１００は、吸着管１５６が下向きとなり、吸着ノズル１００の軸線は、回転体１４４の回転軸線と直交する垂直方向に延び、軸部１０８の軸線と実質的に一致する。したがって、回転装置６２によって軸部１０８が回転させられれば、部品吸着・装着位置に位置決めされた吸着ノズル１００が自身の軸線まわりに回転させられる。ノズル選択装置１７０は、駆動源たる選択用モータ１７２と、選択用モータ１７２の回転を回転体１４４に伝達する回転伝達装置１７４とを備えるものである。回転伝達装置１７４は、選択用モータ１７２の出力軸に設けられた駆動ギヤ１７６と、回転体１４４の一端部に一体的に設けられた被駆動ギヤたる外歯リングギヤ１７８と、駆動ギヤ１７６の回転を外歯リングギヤ１７８に伝達するための複数の被駆動ギヤ１８０，１８２とを含むものである。
【００２０】
吸着ノズル１００は、前述のように、負圧により電子部品３２を保持するものであり、吸着ノズル１００内部に通路１９０が形成され、ノズル保持穴１５０に連通している。回転体１４４には、ノズル保持穴１５０の各々に対応して、複数（本実施形態では８つ）のパイロット式方向切換弁１９４が設けられている。パイロット式方向切換弁１９４は、回転体１４４内に配設され、ノズル保持穴１５０、ひいては吸着ノズル１００内部の通路１９０に連通する気体通路である通路１９５を、負圧供給装置１９６に連通させる状態と、大気に連通させる状態と、正圧供給装置１９８に連通させる状態とに選択的に切り換えるものである。
【００２１】
接続部材１４６は、回転体１４４の中心を貫通して設けられた軸部２０２と、軸部２０２の外歯リングギヤ１７８側の先端部とは反対側の後端部から外周側に延び出す円筒状を成す円筒部２０４とを備えている。回転体１４４は、軸部２０２の外周側に回転可能に嵌合されるとともに、円筒部２０４においてその外周が覆われている。円筒部２０４は、支持部材１４０の一部を構成する円筒状のポート形成部材２０５によって外周側から回転不能かつ軸方向に移動不能に保持されている。接続部材１４６の軸部２０２内部には、負圧通路２０６が形成されている。その負圧通路２０６が、回転体１４４内部に形成された放射状に延びる複数の負圧通路２１２およびパイロット式方向切換弁１９４を経て、負圧ポート２１４（図６および図７参照），通路１９５およびノズル保持穴１５０（通路１９０）に接続されている。なお、回転体１４４が軸部２０２に対して回転させられても、負圧通路２０６と負圧通路２１２との連通状態が保たれるようにされている。本実施形態におけるパイロット式方向切換弁１９４は、正圧（加圧空気の圧力）をパイロット圧とするものであり、ハウジング内の２つの圧力室の一方に選択的に正圧が供給されて弁部材としてのスプール２１８が移動させられることにより、通路１９０と負圧供給装置１９６，大気あるいは正圧供給装置１９８との接続状態を切り換えることができる。
【００２２】
パイロット式方向切換弁１９４に供給されるパイロット圧の制御は、パイロット圧制御装置２２０により行われる。パイロット圧制御装置２２０は、回転体１４４に設けられ、パイロット式方向切換弁１９４の一方の圧力室（第１圧力室）２２２に連通させられた第１パイロット圧通路２２４と、接続部材１４６の円筒部２０４に形成され、第１パイロット圧通路２２４と軸方向（回転体１４４の中心軸線の方向）の位置が一致させられた第１接続通路２３２とを含むものである。回転体１４４が回転させられて、複数の吸着ノズル１００のうちの１つが部品吸着・装着位置に位置決めされれば、その吸着ノズル１００に対応して設けられたパイロット圧制御装置２２０の第１パイロット圧通路２２４が、第１接続通路２３２と回転体１４４の周方向における位相が一致させられ、第１接続通路２３２に連通させられる。また、パイロット圧制御装置２２０は、パイロット式方向切換弁１９４の他方の圧力室（第２圧力室）２４０に連通させられた第２パイロット圧通路２４２と、接続部材１４６の円筒部２０４に形成され、第２パイロット圧通路２４２と軸方向の位置が一致させられた第２接続通路２４４とを含む。部品吸着・装着位置にある吸着ノズル１００に対応する第２パイロット圧通路２４２は、第２接続通路２４４と連通させられる。部品吸着・装着位置に位置しない吸着ノズル１００の第１，第２パイロット圧通路２２４，２４２は、上記第１，第２接続通路２３２，２４４には接続されない。ノズル選択装置１７０が、回転体１４４と接続部材１４６とを、第１パイロット圧通路２２４と第１接続通路２３２とが接続状態となる接続位置と、非接続状態となる非接続位置とに機械的に相対移動させる断接装置を構成しており、第一接続部として機能する第１パイロット圧通路２２４および第２パイロット圧通路２４２と、第二接続部として機能する第１接続通路２３２および第２接続通路２４４と、上記断接装置とが機械式カット弁を構成している。
【００２３】
パイロット式方向切換弁１９４は、図３に示すように、ポート形成部材２０５に設けられた２つのパイロット圧ポート（第１，第２パイロット圧ポート）２５０，２５２を備えるものである。パイロット圧ポート２５０，２５２は、それぞれ通路２５４，２５５の途中に設けられた電磁弁装置としての電磁方向切換弁２５６を経て、正圧供給装置１９８および大気に接続されている。電磁方向切換弁２５６の切換えにより、パイロット圧ポート２５０，２５２の一方が正圧供給装置１９８からパイロット圧を供給され、かつ、他方が大気に開放される状態と、いずれのパイロット圧ポート２５０，２５２も正圧供給装置１９８から遮断される状態とに選択的に切り換えられる。パイロット圧制御装置２２０は、上記電磁方向切換弁２５６も含むものである。
【００２４】
第２圧力室２４０は、図６および図７に示すように、大気開放用ポート２５８を経て外部の大気に連通させられている。また、第２圧力室２４０は、負圧解消用ポート２６０を経て前記通路１９５に接続されており、第２圧力室２４０に正圧が供給される状態では、この負圧解消用ポート２６０を経て、ノズル保持穴１５０ひいては吸着ノズル１００内の通路１９０に正圧が供給される。
【００２５】
通路１９５にはまた、負圧通路２７０が連通させられている。部品吸着・装着位置にあるノズル保持穴１５０においては、図４に示すように、負圧通路２７０が接続部材１４６の円筒部２０４に形成された負圧測定用ポート２７２に選択的に接続され、支持部材１４０内部に設けられた負圧通路２７４を経て圧力センサ２７６に接続させられている。圧力センサ２７６は、ノズル保持穴１５０ひいては通路１９０の負圧を測定するものである。吸着ノズル１００に電子部品３２が吸着されている状態や、吸着されていない状態において、通路１９０内の負圧を監視すれば、吸着ノズル１００によって電子部品３２が正常に吸着されたか否か、その吸着力が十分であるか、吸着ノズル１００に詰まりが発生していないか、あるいは、負圧源に異常が発生していないか等を検知することができる。
【００２６】
本電子部品装着システムは、図５に示す制御装置３３０により制御される。制御装置３３０は、ＰＵ（プロセッシングユニット）３３２，ＲＯＭ３３４，ＲＡＭ３３６およびそれらを接続するバス３３８を有するコンピュータ３４０を主体とするものである。バス３３８には入力インタフェース３４２が接続されるとともに、部品撮像装置６４および圧力センサ２７６等が接続されている。バス３３８にはまた、出力インタフェース３４６が接続されるとともに、駆動回路３４８を介してＹ軸モータ４４，Ｘ軸モータ５０，昇降用モータ１２２，回転用モータ１３２，選択用モータ１７２，電磁方向切換弁２５６等が接続されている。Ｙ軸モータ４４，Ｘ軸モータ５０，昇降用モータ１２２，回転用モータ１３２および選択用モータ１７２は、駆動源たる電動モータとしてのサーボモータであり、回転角度の精度の良い制御が可能である。
【００２７】
以下、本電子部品装着システムの作動を説明する。電子部品３２の取出し時には、ノズル選択装置１７０によって回転体１４４が回転させられ、８個の吸着ノズル１００が順次部品吸着・装着位置に位置決めされるとともに、ＸＹロボット３４により、電子部品３２を供給するフィーダ２８の部品供給部上へ移動させられる。吸着ノズル１００が部品吸着・装着位置へ到達するとき、昇降装置６０の駆動により、吸着ノズル１００がホルダ１０２とともに下降させられる。また、電子部品３２を取り出すべき吸着ノズル１００が部品吸着・装着位置に位置決めされる前に、電磁方向切換弁２５６の切換えによって、第１パイロット圧ポート２５０が正圧供給装置１９８に接続される。回転体１４４の回転によって、電子部品３２を取り出すべき吸着ノズル１００が部品吸着位置に位置決めされれば、図６に示すように、第１パイロット圧通路２２４と第１接続通路２３２とが接続状態となり、第１パイロット圧ポート２５０を経たパイロット圧が、上記吸着ノズル１００に対応するパイロット式方向切換弁１９４の第１圧力室２２２に供給され、パイロット式方向切換弁１９４が負圧供給状態に切り換えられる。つまり、ノズル保持穴１５０および吸着ノズル１００の通路１９０が負圧供給装置１９６に接続されるのである。そして、吸着ノズル１００が電子部品３２に接触して負圧により吸着した後、ホルダ１０２が上昇させられ、吸着ノズル１００が電子部品３２をフィーダ２８から取り出す。なお、電子部品３２を取り出した吸着ノズル１００においては、回転体１４４が回転させられれば、第１パイロット圧通路２２４と第１接続通路２３２とが非接続状態となるのであるが、パイロット式方向切換弁１９４のスプール２１８は、ハウジングの内周面との摩擦力により負圧供給状態に保持されるため、吸着ノズル１００は電子部品３２を吸着保持した状態に維持される。
【００２８】
また、負圧測定用ポート２７２が通路２７０，１９５を経てノズル保持穴１５０および通路１９０に連通させられており、吸着ノズル１００が電子部品３２を吸着した後であって回転体１４４が次の吸着ノズル１００を部品吸着・装着位置に位置決めするために回転させられる前に、通路１９０内の負圧が圧力センサ２７６によって測定される。この測定値に基づいて、吸着ノズル１００に吸着ミスが発生していないか、あるいは、吸着力が十分であるか等が判定される。例えば、圧力センサ２７６により測定された通路１９０内の負圧の強さ（負圧の絶対値）が設定値以上であるか否かに基づいて判定が行われる。具体的には、通路１９０の負圧の強さが設定値以上であれば、吸着ノズル１００によって電子部品３２が吸着されており、かつ、吸着力も十分であると判定される。また、負圧供給装置１９６にも異常が発生していないことも確認される。逆に、設定値より弱ければ、吸着ノズル１００が電子部品３２を保持していないか、その吸着状態が異常であるか、あるいは、負圧供給装置１９６に異常が発生しているかの少なくとも１つの問題が発生している可能性が高いと判定される。問題が発生した吸着ノズル１００がある場合に、作業者に向かって警報を発するようにしてもよいし、ディスプレイに何番の部品保持ヘッド３０の何番の吸着ノズル１００に負圧異常が発生したかが表示されるとともに、負圧異常の発生した部品保持ヘッド３０および吸着ノズル１００の情報が生産情報メモリに記録されるようにしてもよい。この生産情報メモリの記録は、以後の電子部品装着システムの制御に用いられる。例えば、負圧異常が発生した吸着ノズル１００により吸着されるべきであった電子部品３２の吸着が別の吸着ノズル１００によって行われるようにされたり、負圧異常の発生回数または発生率が設定値を超えた吸着ノズル１００が使用されないようにされるのである。
【００２９】
なお、圧力センサ２７６による通路１９０内の負圧の測定は、吸着ノズル１００が電子部品３２を保持していない時にも行うことができる。この場合には、吸着ノズル１００の通路１９０等に目詰まりが発生しているか否かを検査することができる。例えば、通路１９０内の圧力が設定値（前記設定値とは異なる負の値）より低くなれば（負圧が設定値より強くなれば）、通路１９０，ノズル保持穴１５０または通路１９５に詰まりが発生していることが判るのである。
【００３０】
８個の吸着ノズル１００がそれぞれ、部品吸着・装着位置において電子部品３２を取り出した後、電子部品撮像位置において部品撮像装置６４により電子部品３２の保持姿勢が撮像される。全部の吸着ノズル１００が電子部品３２を吸着したならば、部品保持ヘッド３０がＸＹロボット３４によりプリント配線板２０上へ移動させられる。部品撮像装置６４による電子部品３２の撮像後、上記プリント配線板２０上への移動中も含む適宜の時期に、撮像結果に基づいて吸着ノズル１００による電子部品３２の保持位置誤差および保持方位誤差が求められる。そして、最初にプリント配線板２０に装着されるべき電子部品３２を保持している吸着ノズル１００が部品吸着・装着位置に位置させられるとともに、その吸着ノズル１００による電子部品３２の保持位置誤差および保持方位誤差が修正される。電子部品３２の方位が変更されることもある。方位の変更は電子部品３２を吸着時と異なる方位で装着する必要がある場合に行われる。この方位の変更と保持方位誤差の修正とは、回転用モータ１３２により軸部１０８が回転させられることによって行われる。軸部１０８が回転させられれば、部品吸着・装着位置に位置決めされた、あるいは後に位置決めされる吸着ノズル１００も軸線まわりに同角度回転させられることとなり、その吸着ノズル１００に保持されている電子部品３２の方位の変更と保持方位誤差の修正とが行われるのである。また、これら方位の変更と保持方位誤差の修正とによって生じる電子部品３２の位置の変化と、前記保持位置誤差とを打ち消すようにホルダ１０２の移動量が修正される。なお、プリント配線板２０への電子部品３２の装着に先立ってプリント配線板２０に設けられた基準マークが基準マーク撮像装置により撮像され、その撮像結果に基づいてプリント配線板２０の部品装着箇所のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差が取得されており、上記ホルダ１０２の移動量の修正は、この部品装着箇所の位置誤差も打ち消すように行われる。
【００３１】
部品保持ヘッド３０のプリント配線板２０上への移動後、昇降装置６０によってホルダ１０２が下降させられて電子部品３２がプリント配線板２０に装着される。その際、電子部品３２を装着すべき吸着ノズル１００が部品吸着・装着位置に位置決めされる前に、電磁方向切換弁２５６の切換えによって、第２ポート２５２が正圧供給装置１９８に接続される。そして、回転体１４４の回転によって、吸着ノズル１００が部品吸着・装着位置に位置決めされれば、図７に示すように、第２パイロット圧ポート２５２が第２接続通路２４４および第２パイロット圧通路２４２に接続され、第２圧力室２４０にパイロット圧が供給され、スプール２１８が移動させられて、ノズル保持穴１５０および通路１９０が負圧供給装置１９６から遮断される。また、負圧解消用ポート２６０が第２圧力室２４０に連通させられ、負圧解消用ポート２６０を経て通路１９０に正圧が供給されることにより、通路１９０内の負圧が速やかに解消される。パイロット式方向切換弁１９４が負圧解消状態に切り換えられるのであり、電子部品３２が解放され、プリント配線板２０上に載置される。
【００３２】
図８に、本実施形態における回転体１４４の回転、ホルダ１０２の昇降、およびパイロット式方向切換弁１９４の切換えに基づく吸着ノズル１００内部の負圧の変化の関係を、時間を横軸にとったグラフで示すが、このグラフによれば、吸着ノズル１００の下降の途中で電子部品３２を装着すべき吸着ノズル１００の部品吸着・装着位置への位置決めが終了し、パイロット式方向切換弁１９４が切り換えられて吸着ノズル１００内部の通路１９０の負圧が急速に解消され、電子部品３２が解放される。パイロット式方向切換弁１９４がそのようなタイミングで切り換えられるように、昇降用モータ１２２と選択用モータ１７２とがそれぞれ制御されるのである。パイロット式方向切換弁１９４が負圧解消状態に切り換えられた後は、第２圧力室２４０は、大気開放用ポート２５８に連通させられ、吸着ノズル１００の通路１９０が大気に開放される。
【００３３】
本実施形態においては、図８のグラフから明らかなように、電子部品３２の高さに応じて、ホルダ１０２および吸着ノズル１００の上昇端位置および下降端位置が変更されるように昇降用モータ１２２が制御される。それによって、吸着ノズル１００の下降端位置（実際には、下降端位置の手前で下降速度が減速されるのであり、その減速開始位置も）が変わっても、下降速度は変わらずに吸着ノズル１００が昇降させられる。
【００３４】
本実施形態においては、回転体１４４を回転可能に保持するホルダ１０２が回転体保持体を構成している。昇降装置６０が保持体昇降装置の一例であり、回転装置６２が保持体回転装置の一例である。回転体１４４の水平な回転軸線を第一回転軸線とすれば、回転装置６２が回転体１４４を回転させる垂直な回転軸線は、第一回転軸線と交差する第二回転軸線を構成している。回転体１４４を移動させるＸＹロボット３４，昇降装置６０および回転装置６２が保持体移動装置を構成している。また、吸着ノズル１００を保持するノズル保持穴１５０がノズル保持部の一例である。パイロット式圧力切換弁１９４が、複数のノズル保持部の各々に対応する方向切換弁の一例であり、パイロット圧制御装置２２０が回転依拠弁切換装置の一例であって、これらパイロット式圧力切換弁１９４およびパイロット圧制御装置２２０が回転依拠状態切換装置の一実施形態である。負圧通路２７０を備えた回転体１４４および負圧測定用ポート２７２を備えた接続部材１４６がセンサ接続装置を構成している。ノズル選択装置１７０が、ノズル保持体としての回転体１４４を部品吸着位置または部品装着位置に位置決めするノズル保持体駆動装置の一例である回転駆動装置を構成している。負圧解消用ポート２６０が負圧解消装置を構成している。
【００３５】
本実施形態においては、部品吸着・装着位置に位置決めされる吸着ノズル１００の通路１９０の負圧供給状態あるいは負圧解消状態への切換えを、パイロット式方向切換弁１９４で行い、そのパイロット式方向切換弁１９４へのパイロット圧の供給の切換えを回転体１４４の回転（吸着ノズル１００の部品吸着・装着位置への位置決め動作）で制御する構成とすることにより、部品吸着時に吸着ノズル１００の通路１９０に負圧の供給を開始し、あるいは、部品装着時に通路１９０の負圧の解消を開始する時期を、電子部品３２の高さの変化の影響を受けることなく、吸着ノズル１００の昇降動作と精度よく同期させることができる。従来は、吸着ノズルを昇降させるノズル昇降装置と方向切換弁を切り換える弁切換装置とを機械的に同期させていたため、図８のグラフにおいて二点鎖線で示すように、吸着ノズルの昇降の際に同じ位置ａにおいて弁切換装置による方向切換弁の切換えが開始されていたため、電子部品の高さの変化によって、方向切換弁の切換開始時期が変化し（例えば開始時期ｂ，ｃ）、電子部品の吸着ミスや装着ミスが発生し易かったのであるが、本実施形態においては、破線で示すように、電子部品３２の高さが変わり、吸着ノズル１００の昇降範囲が変わっても、吸着ノズル１００の下降端位置と、吸着ノズル１００の通路１９０に負圧の供給が開始される位置、あるいは、通路１９０の負圧の解消が開始される位置との相対位置関係は変わらず、吸着ノズル１００による吸着ミスや装着ミスの発生を極力回避することができる。また、パイロット式方向切換弁１９４のパイロット圧である正圧を、負圧解消用ポート２６０を経て吸着ノズル１００の通路１９０に供給することにより、負圧の急速な解消を実現することができ、負圧解消専用の正圧供給制御装置等の機構を別個に設ける必要がなく、装置コストが低減される。さらに、吸着ノズル１００の通路１９０の負圧を、電子部品３２を吸着している状態と吸着していない状態との両方の場合について圧力センサ２７６で検出することができ、吸着ミスの発生や、通路１９０の目詰まり等をいち早く発見することができる。
【００３６】
図１〜図７に示す実施形態は、複数の吸着ノズル１００が水平軸線まわりに回転可能な回転体１４４に放射状に保持される形態の電子部品装着装置を備えるものであったが、ノズル保持体としての回転体を、水平な移動平面に直角な回転軸線である垂直軸線まわりに回転可能に設け、この回転体に複数の吸着ノズルを保持させる形態とすることも可能である。あるいはまた、ノズル保持体としての回転体を、垂直軸線を中心とする円錐面の母線である軸線のまわりに回転可能に設け、複数の吸着ノズルを、回転体の回転軸線を中心とする円錐面の母線の方向に放射状に延びる姿勢で保持させる形態とすることも可能である。この実施形態における吸着ノズルは、部品吸着・装着位置において、垂直な姿勢となるようにされることが望ましい。
【００３７】
図１〜図７に示す実施形態は、本発明に係る電気部品装着装置たる電子部品装着装置を、一軸線（水平軸線）まわりを旋回する複数の吸着ノズル１００を有する部品保持ヘッド３０が、電子部品供給装置１４から電子部品３２を受け取り、プリント配線板保持装置２４に保持されたプリント配線板２０の表面に平行な基準平面内の任意の位置へ移動させられて、複数の吸着ノズル１００により吸着保持された電子部品３２をプリント配線板２０に装着する形式の電子部品装着システムに採用した場合の実施形態であるが、本発明に係る電子部品装着装置を、図９に示すように、それぞれ複数の吸着ノズル１００を保持する複数のホルダ１０２を備える部品保持ヘッド３０が一軸線まわりを旋回可能に回転ヘッド５１０に保持され、複数の吸着ノズル１００が、部品吸着位置において電子部品供給装置５１２から電子部品３２を吸着し、部品装着位置において基板保持装置たるプリント配線板保持装置５１４に保持されたプリント配線板２０に装着する形式の電子部品装着システムに採用してもよい。なお、本実施形態における電子部品供給装置５１２は、電子部品フィーダ２８と同様の電子部品フィーダ５２０が複数台フィーダ支持台５２２に支持され、フィーダ支持台５２２が、複数の電子部品フィーダ５２０の部品供給部が並ぶ方向（Ｘ軸方向）に平行な方向に移動し得るように、支持台移動装置５２４を含むものである。また、プリント配線板保持装置５１４は、プリント配線板２０をその表面に平行な水平面内の任意の位置へ移動させ得るように、相対移動装置たるＸＹ移動装置５３０を含むものである。
【００３８】
以上、本発明のいくつかの実施形態を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である電子部品装着装置を備える電子部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電子部品装着装置を示す正面図（一部断面）である。
【図３】上記電子部品装着装置を構成する複数の吸着ノズル，回転体，パイロット式方向切換弁およびパイロット圧制御装置を示す側面断面図である。
【図４】上記電子部品装着装置を構成する複数の吸着ノズル，回転体，圧力センサおよびセンサ接続装置を示す正面断面図である。
【図５】前記電子部品装着システムを制御する制御装置のうち本発明に関連の深い部分を示すブロック図である。
【図６】前記パイロット式方向切換弁の一作動状態を示す側面断面図である。
【図７】前記パイロット式方向切換弁の別の作動状態を示す側面断面図である。
【図８】前記電子部品装着装置の回転体昇降装置の昇降と、回転体の回転と、吸着ノズル内の負圧の変化との相対関係を表すグラフである。
【図９】本発明の別の実施形態である電子部品装着装置を備える電子部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
１２：電子部品装着装置    ３０：部品保持ヘッド    ３２：電子部品    ３４：ＸＹロボット    ６０：昇降装置    ６２：回転装置    １００：吸着ノズル
１０２：ホルダ    １２２：昇降用モータ    １３２：回転用モータ    １４４：回転体    １４６：接続部材    １５０：ノズル保持穴    １７０：ノズル選択装置    １７２：選択用モータ    １９４：パイロット式方向切換弁
１９５：通路    １９６：負圧供給装置    １９８：正圧供給装置    ２０６：負圧通路    ２１２：負圧通路    ２１４：負圧ポート    ２１５：負圧ポート
２２４：第１パイロット圧通路    ２３２：第１接続通路    ２４０：圧力室（第２圧力室）    ２４２：第２パイロット圧通路    ２４４：第２接続通路
２５０，２５２：第１，第２パイロット圧ポート    ２５６：電磁方向切換弁    ２５８：大気開放用ポート    ２６０：負圧解消用ポート    ２７０，２７４：負圧通路    ２７２：負圧測定用ポート    ２７６：圧力センサ    ３００：制御装置    ２２０：パイロット圧制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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