(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を、設定される検査視野の単位で検査する検査装置であって、
前記検査視野の単位で、前記検査対象面を撮像するものであり、同一検査視野を異なる照明条件にて撮像可能な撮像手段と、
前記撮像手段にて繰り返される前記検査対象面の撮像により、前記検査視野の単位で取得される複数の画像データを記憶するための画像メモリと、
前記画像メモリに記憶される前記画像データに基づき、前記検査視野の単位での画像処理を並行して行うことにより、前記検査視野単位の検査を並行して行う画像処理手段と、
前記画像メモリに、前記検査視野に対応する各照明条件での撮像による画像データを記憶可能な空き領域があるか否かを判断し、空き領域があると判断した場合に前記撮像手段を介した撮像制御を実行すると共に、前記画像メモリへの前記画像データの転送が終了すると、前記画像処理手段に前記画像処理の実行要求を送出する制御手段とを備え、
前記画像メモリは、前記検査視野に対応する画像データを記憶するためのＭ（Ｍは２以上の自然数）のメモリ領域が設定されてなり、
前記画像処理手段は、前記検査視野単位のＮ（Ｎは２以上、かつ、Ｍ以下の自然数）の画像処理を並行して実行可能であり、前記制御手段からの実行要求に基づき、前記画像処理が実行可能か否かを判断し、実行可能である場合、前記画像処理を実行することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記画像処理手段は、前記画像処理を終了すると、当該画像処理に用いた画像データの記憶されている前記画像メモリの該当領域の使用を許容することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記画像処理手段は、前記同一検査視野に対応する２以上の画像データに基づき、当該検査視野の単位で前記画像処理を実行可能であることを前提として、
前記制御手段は、前記画像データの転送によって前記画像処理のうちの少なくとも一部の処理が実行可能になると、全ての画像データの転送を待たずに前記実行要求を送出することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査対象物と前記撮像手段とを相対移動させるための移動手段と、
前記移動手段にて前記検査対象物と前記撮像手段との相対位置関係を変更し、前記検査視野を切り換える移動制御手段とを備え、
前記移動制御手段は、前記撮像手段にて一つの検査視野の撮像が終了すると、前記撮像手段から出力される前記画像データの前記画像メモリへの転送と並行して、別の検査視野への切り換えを行うことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
手段１乃至４のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査対象物は、プリント基板であり、
前記画像処理手段は、前記検査視野単位の検査として、当該検査視野内のハンダの印刷状態、バンプの状態、銀ペーストの状態、又は、導電性接着剤の状態のいずれかの検査を行うことを特徴するする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査対象物を検査する検査装置及び方法に係り、例えば検査対象物をプリント基板に具現化した基板の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プリント基板上に電子部品を実装する場合、まずプリント基板上に配設された所定の電極パターン上にクリームハンダが印刷される。次に、該クリームハンダの粘性に基づいてプリント基板上に電子部品が仮止めされる。その後、前記プリント基板がリフロー炉へ導かれ、所定のリフロー工程を経ることでハンダ付けが行われる。
【０００３】
このような工程の途中にはハンダ検査装置が組み込まれ、電子部品の仮止めに先立ち、印刷ずれ、印刷にじみ、印刷かすれ等、クリームハンダの印刷状態が検査されている。かかる検査では、画像処理技術が用いられ、電極パターン上のクリームハンダの体積値、面積値、高さなどの情報が取得される。
【０００４】
そして、このような印刷状態の検査は、プリント基板上に予め定められる検査対象部分（検査パッド）について行われる。そのため、このような検査対象部分（検査パッド）を網羅する複数の検査視野が設定され、この検査視野毎に撮像及び計測がなされて検査が実行される。実際には、固定カメラで検査視野毎の撮像を行うため、所定面積の検査視野が設定され、プリント基板をＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動させることによって検査視野が切り換えられる。
【０００５】
ところで、プリント基板上には膨大な数の検査視野が設定され、当該検査視野を切り換えながら、各検査視野において撮像及び検査が行われる。そのため、検査視野の切り換え時間、撮像後の画像転送時間、画像データに基づく画像処理時間などが発生し、検査に要する時間が長くなってしまう。そこで従来、検査時間の短縮を目的とする検査装置が考案されている（例えば、特許文献１参照）。かかる技術は、ラインセンサにて読み込んだ画像データから上記検査視野に対応する部分を切り出すことによって、検査視野の切り換え時間を短縮しようとするものである。
【特許文献１】特開平５−６４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記技術では、上記各検査視野を順次処理する構成となっている。つまり、画像処理の対象となるのは、あくまで１つの検査視野となっているのである。そのため、検査対象となっている検査視野の検査が終了するまで、次の検査視野の検査を待たなければならない。結果として、画像処理に時間がかかってしまい、全体として検査に要する時間が長くなってしまうおそれがある。
【０００７】
なお、上記課題は、クリームハンダの印刷状態の検査に限られず、検査対象物を複数の検査視野にて検査する場合に内包されるものである。
【０００８】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、検査対象物を複数の検査視野にて検査する検査装置及び検査方法において、主として、検査に要する時間の短縮を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下、上記目的等を解決するのに適した各手段につき項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果等を付記する。
【００１０】
手段１．検査対象物を、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査する検査装置であって、
前記検査視野の単位で、前記検査対象面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて繰り返される前記検査対象面の撮像により、前記検査視野の単位で取得される複数の画像データを記憶するための画像メモリと、
前記画像メモリに記憶される前記画像データに基づき、前記検査視野の単位での画像処理を並行して行うことにより、前記検査視野単位の検査を並行して行う画像処理手段とを備えていることを特徴とする検査装置。
【００１１】
手段１に記載の検査装置は、検査対象物を、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査する。上述したように、例えば検査対象物としてのプリント基板の検査対象面には、例えばクリームハンダが印刷形成される電極に対応させて、検査対象部分（検査パッド）が設定される。そのため、このような検査対象部分（検査パッド）を網羅する複数の検査視野が設定され、この検査視野毎に撮像及び計測がなされて検査が実行される。
【００１２】
ここで特に手段１では、撮像手段が、検査視野の単位で、検査対象面を撮像する。この撮像により、検査視野の単位で画像データが取得される。画像メモリには、繰り返される撮像によって取得される複数の画像データが記憶される。そして、画像処理手段により、画像メモリに記憶される画像データに基づき、検査視野の単位での画像処理が並行して行われ、検査視野単位の検査が並行して行われる。
【００１３】
従来、検査視野を単位として画像処理がなされてきたが、この検査視野単位の画像処理を並行して行うというのが、手段１の技術思想である。そして、これを実現するために、検査視野単位で撮像される複数の画像データを記憶するための画像メモリを備えるようにした。
【００１４】
手段１によれば、検査視野単位の画像処理が並行してなされるため、ある検査視野に例えば膨大な数の検査対象部分が含まれており、当該検査視野の画像処理に多くの時間が必要になった場合であっても、当該検査視野の画像処理の終了を待たずに、別の検査視野の画像処理が行われる。その結果、画像処理に要する時間を短縮することができ、検査に要する時間の大幅な短縮を図ることができる。
【００１５】
なお、ここでいう画像処理手段は、例えばコンピュータシステムとして構成することが考えられ、実行される画像処理は、コンピュータシステムにて実行されるプログラムの機能として実現されることが考えられる。また、画像処理手段を、例えば所定数の画像処理を並列に実行可能なハードウェア回路として構成してもよい。以下の手段でも、同様である。
【００１６】
ところで、検査対象物の検査対象面に設定される検査視野に対応する十分な画像メモリがあればよいが、通常は、有限の画像メモリを活用することになる。また、画像処理手段による画像処理にも、並行して実行可能な上限が存在する。そこで、以下の構成を採用することが考えられる。
【００１７】
手段２．検査対象物を、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査する検査装置であって、
前記検査視野の単位で、前記検査対象面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段にて繰り返される前記検査対象面の撮像により、前記検査視野の単位で取得される複数の画像データを記憶するための画像メモリと、
前記画像メモリに記憶される前記画像データに基づき、前記検査視野の単位での画像処理を並行して行うことにより、前記検査視野単位の検査を並行して行う画像処理手段と、
前記画像メモリに前記検査視野に対応する画像データを記憶可能な空き領域があるか否かを判断し、当該判断に基づき前記撮像手段を介した撮像制御を実行すると共に、前記画像メモリへの前記画像データの転送が終了すると、前記画像処理手段に前記画像処理の実行要求を送出する制御手段とを備え、
前記画像処理手段は、前記制御手段からの実行要求に基づき、前記画像処理が実行可能か否かを判断し、実行可能である場合、前記画像処理を実行することを特徴とする検査装置。
【００１８】
手段２においても、上記構成と同様、撮像手段が、検査視野の単位で、検査対象面を撮像する。この撮像により、検査視野の単位で画像データが取得される。画像メモリには、繰り返される撮像によって取得される複数の画像データが記憶される。そして、画像処理手段により、画像メモリに記憶される画像データに基づき、検査視野の単位での画像処理が並行して行われ、検査視野単位の検査が並行して行われる。
【００１９】
そして特に、制御手段が、画像メモリに検査視野に対応する画像データを記憶可能な空き領域があるか否かを判断し、当該判断に基づき撮像手段を介した撮像制御を実行する。
【００２０】
また、制御手段は、撮像手段から画像メモリへの画像データの転送が終了すると、画像処理手段に画像処理の実行要求を送出する。この制御手段からの実行要求に基づき、画像処理手段により、画像処理が実行可能か否かが判断され、実行可能である場合、画像処理が実行される。
【００２１】
手段２によれば、検査視野に対応する画像データを記憶可能な空き領域が画像メモリにあるか否かが判断されて、当該判断に基づき撮像制御が実行されるため、有限の画像メモリを有効に利用することができる。また、画像データの転送が終了すると画像処理の実行要求が送出され、画像処理が実行可能であるか否かの判断に基づき画像処理が実行されるため、例えばソフトウェアにて画像処理を実現する場合にＣＰＵ負荷を考慮した制御ができ、安定した画像処理が実現される。
【００２２】
そして、上記同様、検査視野単位の画像処理が並行してなされるため、ある検査視野の画像処理の終了を待たずに、別の検査視野の画像処理が行われる。その結果、画像処理に要する時間を大幅に短縮することができ、検査に要する時間の短縮を図ることができる。
【００２３】
手段３．手段１又は２に記載の検査装置において、
前記画像処理手段は、前記画像処理を終了すると、当該画像処理に用いた画像データの記憶されている前記画像メモリの該当領域の使用を許容することを特徴とする検査装置。
【００２４】
手段３によれば、画像処理手段により、画像処理の終了時に、当該画像処理に用いた画像データの記憶されている画像メモリの該当領域の使用が許容される。このように画像処理の終了時に画像メモリの使用を許容すれば、即座に次の撮像制御を実行可能となり、有限の画像メモリを有効に利用することができる。結果として、検査に要する時間の短縮に寄与する。
【００２５】
手段４．手段１乃至３のいずれかに記載の検査装置において、
前記画像メモリは、前記検査視野に対応する画像データを記憶するためのＭ（Ｍは２以上の自然数）のメモリ領域が設定されてなることを特徴とする検査装置。
【００２６】
手段４によれば、画像メモリ上に検査視野に対応する画像データを記憶するためのＭ（Ｍは２以上の自然数）のメモリ領域が設定されている。このように予めメモリ領域を設定しておくことにより、つまり、画像メモリ上にメモリ領域を確保しておくことにより、例えばテーブルなどを用いて当該メモリ領域の中の空き領域を判断しやすくなる。また、一定数（ここではＭ）のメモリ領域が設定されることにより、他の処理などによってメモリ領域が意図せず使用されることがなく、常に一定数の画像データを記憶可能となるため、結果として、検査に要する時間の短縮に寄与する。
【００２７】
手段５．手段４に記載の検査装置において、
前記画像処理手段は、前記検査視野単位のＮ（Ｎは２以上、かつ、Ｍ以下の自然数）の画像処理を並行して実行可能であることを特徴とする検査装置。
【００２８】
手段５によれば、検査視野単位のＮの画像処理が並行して実行されるため、すなわちＮの検査視野を並行して検査できるため、検査に要する時間の短縮を図ることができる。
【００２９】
なお、この場合、Ｎ≦Ｍ（メモリ領域の数）とすれば十分といえる。検査視野単位の画像処理を、検査視野に対応する１枚の画像に基づいて行う場合、メモリ領域Ｍと同数Ｎ（＝Ｍ）の画像処理が並行して実行可能であればよいためである。仮に、検査視野単位の画像処理を、検査視野に対応する二次元用画像及び三次元用画像の２枚の画像に基づいて行う場合、メモリ領域の数Ｍの半分であるＮ（＝Ｍ／２）の画像処理が並行して実行可能であればよい。
【００３０】
ところで、このように２以上の画像に基づいて検査視野単位の画像処理を行う場合、次のような構成を採用することが望ましい。
【００３１】
手段６．手段１乃至５のいずれかに記載の検査装置において、
前記撮像手段は、同一検査視野を異なる照明条件にて撮像可能となっており、
前記画像処理手段は、前記同一検査視野に対応する２以上の画像データに基づき、当該検査視野の単位で前記画像処理を実行可能であることを前提として、
前記制御手段は、前記画像データの転送によって前記画像処理のうちの少なくとも一部の処理が実行可能になると、全ての画像データの転送を待たずに前記実行要求を送出することを特徴とする検査装置。
【００３２】
手段６によれば、撮像手段により、同一検査視野が異なる照明条件にて撮像される。また、画像処理手段により、同一検査視野に対応する２以上の画像データに基づき、当該検査視野の単位で画像処理が実行される。例えば、検査対象物がプリント基板であり、クリームハンダの形成される検査対象部分を検査する場合、クリームハンダの領域抽出用の照明条件と、クリームハンダの三次元計測用の照明条件とで、同一検査視野が撮像される。そして、この場合、同一検査視野に対応する２つの画像データに基づき、検査視野単位の画像処理が実行される。
【００３３】
ここで特に、手段６によれば、画像データの転送によって画像処理のうちの少なくとも一部の処理が実行可能になると、制御手段によって、全ての画像データの転送を待たずに、画像処理の実行要求が送出される。上述したプリント基板の例で言えば、領域抽出用の照明条件で取得される画像データが転送されると、画像処理のうちの領域抽出処理等が実行可能になり、そして、三次元計測用の照明条件で取得される画像データの転送を待たずに、画像処理の実行要求が送出される。このため、三次元計測用の照明条件で取得される画像データの転送が行われているときに、領域抽出処理等が画像処理手段にて実行されうることになる。その結果、検査に要する時間のより一層の短縮を図ることができる。
【００３４】
手段７．手段１乃至６のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査対象物と前記撮像手段とを相対移動させるための移動手段と、
前記移動手段にて前記検査対象物と前記撮像手段との相対位置関係を変更し、前記検査視野を切り換える移動制御手段とを備え、
前記移動制御手段は、前記撮像手段にて一つの検査視野の撮像が終了すると、前記撮像手段から出力される前記画像データの前記画像メモリへの転送と並行して、別の検査視野への切り換えを行うことを特徴とする検査装置。
【００３５】
手段７によれば、移動制御手段により、移動手段を介して検査対象物と撮像手段との相対位置関係が変更され、検査視野が切り換えられる。そして特に、撮像手段にて一つの検査視野の撮像が終了すると、移動制御手段によって、撮像手段から出力される画像データの画像メモリへの転送と並行して、別の検査視野への切り換えが行われる。言い換えれば、撮像後の画像データの転送処理を待たずに、次の検査視野への移動制御が実行される。このようにすれば、画像データの転送処理が終了してから検査視野を切り換える構成と比べ、検査視野の切り換えが短時間のうちに可能となる。その結果、検査に要する時間のより一層の短縮を図ることができる。
【００３６】
手段８．手段１乃至７のいずれかに記載の検査装置において、
前記検査対象物は、プリント基板であり、
前記画像処理手段は、前記検査視野単位の検査として、当該検査視野内のクリームハンダの印刷状態、バンプの状態、銀ペーストの状態、又は、導電性接着剤の状態のいずれかの検査を行うことを特徴する検査装置。
【００３７】
手段８に示すように、検査対象物は、プリント基板であることが考えられる。この場合、上述したように検査視野毎にクリームハンダの印刷状態を検査する装置として実現することが考えられる。また、クリームハンダに限られず、バンプの状態、銀ペーストの状態、又は、導電性接着剤の状態を検査する装置として実現してもよい。
【００３８】
なお、以上は検査装置の発明として説明してきたが、以下に示すような検査方法の発明として実現することもできる。
【００３９】
手段９．検査対象物を、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査する検査方法であって、
前記検査視野の単位で前記検査対象面を撮像し、繰り返される撮像で取得される複数の画像データを記憶しておき、当該画像データに基づいて前記検査視野の単位での画像処理を並行して行うことにより、前記検査視野単位の検査を並行して行うことを特徴とする検査方法。
【００４０】
手段９によれば、検査視野単位の画像処理が並行してなされるため、ある検査視野の画像処理の終了を待たずに、別の検査視野の画像処理が行われる。その結果、全体としてみれば、画像処理に要する時間を短縮することができ、検査に要する時間の短縮を図ることができる。
【００４１】
手段１０．検査対象物を、検査対象面に設定される検査視野の単位で検査する検査方法であって、
前記検査視野に対応する画像データを記憶可能な空き領域があるか否かを判断し、
前記空き領域がある場合には、前記検査対象面を撮像し、
前記撮像で得られる画像データの転送が完了すると、当該画像データに基づく新たな画像処理が実行可能か否かを判断し、
前記新たな画像処理が実行可能である場合、前記画像データに基づいて前記検査視野の単位での新たな画像処理を行うことにより、前記検査視野単位の検査を並行して行うことを特徴とする検査方法。
【００４２】
手段１０によれば、上記同様、検査視野単位の画像処理が並行してなされるため、画像処理に要する時間を短縮することができ、検査に要する時間の短縮を図ることができる。また、手段１０によれば、検査視野に対応する画像データを記憶可能な空き領域があるか否かが判断されて、当該判断に基づき検査対象面が撮像されるため、有限の記憶領域を有効に利用することができる。また、画像データの転送が完了すると、新たな画像処理が実行可能か否かが判断され、実行可能である場合に新たな画像処理が実行されるため、例えばソフトウェアにて画像処理を実現する場合にＣＰＵ負荷を考慮した制御ができ、安定した画像処理が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、一実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００４４】
図１は、本実施形態における「検査装置」としての基板検査装置１を模式的に示す概略構成図である。この基板検査装置１は、「検査対象物」としてのプリント基板Ｋにおけるハンダの印刷状態を検査するためのものである。そこでまず、プリント基板Ｋについて説明しておく。
【００４５】
図２は、プリント基板Ｋの検査対象面を説明するためのものである。
【００４６】
プリント基板Ｋの検査対象面には、図２（ａ）に示すように、所定面積を有する複数の検査視野３１が設定される。これら検査視野３１は、プリント基板Ｋの検査を行うにあたり、撮像単位となる領域である。また、この検査視野３１の単位で、画像処理が行われる。図２（ｂ）は、１つの検査視野３１（記号ａで示したもの）を拡大して示す説明図である。ここに示されるように、検査視野３１内には、検査対象部分である検査パッド３２が設定されている。
【００４７】
プリント基板Ｋの検査対象面には、図示しない電極パターンが形成されており、当該電極パターンの所定の領域に、図示しないクリームハンダが印刷形成されている。そして、このクリームハンダの印刷状態を検査するために、上記電極パターンに対応させて、上記検査パッド３２が設定される（図２（ｂ）参照）。したがって、検査パッド３２内に、クリームハンダが印刷形成されている。そして、このような検査パッド３２を網羅するようにして、検査視野３１が設定される（図２（ａ）参照）。
【００４８】
本実施形態の基板検査装置１は、このようなプリント基板Ｋを、検査対象面に設定される上記検査視野３１の単位で検査する。具体的には、検査視野３１毎に、当該検査視野３１に内包される検査パッド３２内のクリームハンダの印刷状態を検査する。そこで、図２（ａ）に示した検査視野３１の単位で検査対象面を撮像し、当該撮像で得られる画像データに基づき、検査視野３１の単位で画像処理を行う。
【００４９】
次に、基板検査装置１の構成を説明する。
【００５０】
図１に示すように、基板検査装置１は、基台２を備えているとともに、基台２上には、「移動手段」としてのＸ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４が設けられている。Ｙ軸移動機構４上には、レール１０が配設されており、該レール１０上のＸＹテーブル（不図示）に上記プリント基板Ｋが載置されるようになっている。そして、Ｘ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４が作動することで、プリント基板Ｋの載置されたＸＹテーブルがＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するようになっている。これによって、プリント基板ＫがＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することになる。
【００５１】
基板検査装置１はまた、三次元計測用照射手段５と、二次元撮像用照射手段１１と、「撮像手段」としてのＣＣＤカメラ６と、ＣＣＤカメラ６に対し電気的に接続された制御手段７とを備えている。
【００５２】
三次元計測用照射手段５は、クリームハンダの三次元計測に際し、プリント基板Ｋの表面に対し斜め上方から所定の光パターンを照射するように構成されている。この光パターンをＣＣＤカメラ６にて撮像することにより得られる画像データに基づき、クリームハンダの三次元計測（主として高さ計測及び体積計測）が可能となる。
【００５３】
二次元撮像用照射手段１１は、プリント基板Ｋに対し、所定の光を照射するものである。例えば、二次元撮像用照射手段１１は、複数のリングライトから構成されており、これら各リングライトから異なる範囲にピーク波長をもつ光を照射する。この光の反射光に基づく撮像をＣＣＤカメラ６にて行うことにより得られる画像データに基づき、クリームハンダの領域抽出及び二次元計測（主として面積値計測）が可能となる。
【００５４】
ＣＣＤカメラ６は、プリント基板Ｋの真上に配置される例えばカラーカメラであり、プリント基板Ｋの検査対象面を撮像可能となっている。このＣＣＤカメラ６にて上記検査視野３１の領域が撮像される。
【００５５】
制御手段７は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏ、フリーランカウンタ等を備えたいわゆるコンピュータシステムとして構成されている。この制御手段７によって、基板検査装置１が制御される。具体的には、後述するＣＣＤカメラ６を介した撮像、ＣＣＤカメラ６から出力される画像データの転送、画像処理の要求などが、制御手段７によりなされる。
【００５６】
次に、制御手段７を中心とする基板検査装置１の電気的構成について説明する。
【００５７】
図３に示すように、制御手段７には、上記ＣＣＤカメラ６が電気的に接続されている。これにより、制御手段７は、ＣＣＤカメラ６による撮像タイミングを制御可能となっている。また、制御手段７は、ＣＣＤカメラ６から出力される画像データを後述する画像メモリ８へ転送する。
【００５８】
制御手段７にはまた、照射制御手段２１が電気的に接続されている。照射制御手段２１は、上記三次元計測用照射手段５、及び、上記二次元撮像用照射手段１１に接続されており、制御手段７からの制御信号に基づき、各照射手段５，１１による照射の実行制御を行う。
【００５９】
制御手段７にはさらに、移動制御手段２２が電気的に接続されている。移動制御手段２２は、制御手段７からの制御信号に基づき、前記Ｘ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４を適宜駆動制御する。これにより、上記ＸＹテーブルが移動させられることで、プリント基板ＫがＸ軸方向、Ｙ軸方向へと適宜移動させられる。また詳しくは後述するが、移動制御手段２２は、制御手段７からの制御信号に基づき、制御手段７による処理と並行して、プリント基板Ｋの移動制御（移動処理）が可能となっている。
【００６０】
制御手段７にはまた、画像メモリ８が電気的に接続されている。画像メモリ８には、「１」〜「Ｍ」の計Ｍのメモリ領域が設定されている。１つのメモリ領域は、上記ＣＣＤカメラ６から転送される検査視野３１に対応する画像データを格納可能な大きさとなっている。したがって、本実施形態では、検査視野３１に対応するＭの画像データが、同時に格納可能となっている。
【００６１】
制御手段７にはさらに、画像処理手段９が電気的に接続されている。画像処理手段９は、「１」〜「Ｎ」の計Ｎの画像処理を並行して実行可能となっている。したがって、本実施形態では、Ｎ個の検査視野３１に対応する画像処理を並行して実行可能となっている。なお、本実施形態では、画像処理手段９は、Ｎの画像処理プログラムを並行して実行可能なコンピュータシステムとして構成されている。そのため、物理的には画像処理手段９は上記制御手段７と一体となっており、実行されるプログラムの機能として制御手段７と区別される。もちろん、画像処理手段９を、画像処理のためのＮ個の回路を備えたハードウェアとして構成してもよい。
【００６２】
なお、本実施形態では、上述したように、二次元撮像用照射手段１１及び三次元計測用照射手段５を備えている。そして、二次元撮像用照射手段１１は、クリームハンダの領域抽出及び二次元計測（主として面積計測）に用いられる。一方、三次元計測用照射手段５は、クリームハンダの三次元計測（主として高さ計測及び体積計測）に用いられる。
【００６３】
本実施形態における検査視野３１の検査には、二次元撮像用照射手段１１による照明に対応して得られる画像データ（以下「２Ｄ用画像データ」という）に基づきクリームハンダの領域抽出及び二次元計測（主として面積計測）のみを行って良／不良を検査する「２Ｄ検査」と、当該２Ｄ検査を行うと共に当該２Ｄ検査にて良品判定されたものについて、三次元計測用照射手段５による照明に対応して得られる画像データ（以下「３Ｄ用画像データ」という）に基づきクリームハンダの三次元計測（主として高さ計測及び体積計測）を行って良／不良を検査する「２Ｄ・３Ｄ検査」とがある。これら２Ｄ検査及び２Ｄ・３Ｄ検査のうちいずれを行うかは、上記検査視野３１毎に予め設定されている。
【００６４】
２Ｄ検査の場合は、二次元撮像用照射手段１１による照明がなされてＣＣＤカメラ６による撮像が行われ、ＣＣＤカメラ６からの２Ｄ用画像データが、画像メモリ８の１つのメモリ領域に格納される。そして、画像処理手段９による検査視野３１単位の画像処理は、この１つのメモリ領域に格納された２Ｄ用画像データに基づいて行われる。
【００６５】
２Ｄ・３Ｄ検査の場合は、二次元撮像用照射手段１１による照明がなされてＣＣＤカメラ６による撮像が行われ、ＣＣＤカメラ６からの画像データが、１つのメモリ領域に格納される。また、三次元計測用照射手段５による照明がなされてＣＣＤカメラ６による撮像が行われ、ＣＣＤカメラ６からの画像データが、別のメモリ領域に格納される。すなわち、この場合は、画像メモリ８の中の２つのメモリ領域が使用されることになる。そして、画像処理手段９による検査視野３１単位の画像処理は、これら２つのメモリ領域に格納された２Ｄ用及び３Ｄ用画像データに基づいて行われる。
【００６６】
次に、上記のように構成されてなる基板検査装置１の動作を、制御手段７によって行われる制御内容を中心として説明する。
【００６７】
制御手段７は、まず、最初の検査視野３１を撮像すべく、移動制御手段２２に対し、移動処理指示を送出すると共に、撮像処理を開始する。ここで撮像処理について、図４のフローチャートに基づき説明する。
【００６８】
最初のステップ（以下、ステップを記号Ｓで示す）１００において、移動完了か否かを判断する。移動制御手段２２に対して送出した移動処理指示に基づき、移動制御手段２２によるＸ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４を介したＸＹテーブルの移動により、プリント基板ＫがＣＣＤカメラ６に対して相対移動させられる。このＳ１００の処理は、撮像対象となる次の検査視野３１への切り換えが完了したか否かを判断するものである。移動制御手段２２による移動処理については後述するが、この移動処理において、移動完了通知が送出される（図５中のＳ２１０）。したがって、ここでは、この移動完了通知に基づく判断を行う。ここで移動完了と判断された場合（Ｓ１００：ＹＥＳ）、Ｓ１１０へ移行する。一方、移動が完了していないうちは（Ｓ１００：ＮＯ）、この判断処理（Ｓ１００）を繰り返す。
【００６９】
Ｓ１１０では、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断する。この処理は、図３に示した画像メモリ８のＭ個のメモリ領域「１」〜「Ｍ」の中に、未使用のメモリ領域があるか否かを判断するものである。上記２Ｄ検査の場合、画像メモリ８に未使用のメモリ領域が１つあるか否かを判断する。また、上記２Ｄ・３Ｄ検査の場合、画像メモリ８に未使用のメモリ領域が２つあるか否かを判断する。ここで、画像メモリ８に必要な数の未使用のメモリ領域があると判断された場合（Ｓ１１０：ＹＥＳ）、Ｓ１２０へ移行する。一方、画像メモリ８に必要な数の未使用のメモリ領域がないうちは（Ｓ１１０：ＮＯ）、この判断処理（Ｓ１１０）を繰り返す。
【００７０】
Ｓ１２０では、撮像及び、画像データの転送を行う。この処理は、ＣＣＤカメラ６によって撮像対象となっている検査視野３１を撮像し、当該撮像にて取得される画像データを画像メモリ８の未使用のメモリ領域へ転送するものである。上記２Ｄ検査の場合、二次元撮像用照射手段１１による照明に基づく撮像をＣＣＤカメラ６にて行い、ＣＣＤカメラ６からの２Ｄ用画像データをメモリ領域に転送する。そして画像データの転送完了を待たずに、Ｓ１３０へ移行する。上記２Ｄ・３Ｄ検査の場合、二次元撮像用照射手段１１による照明に基づく撮像をＣＣＤカメラ６にて行い、ＣＣＤカメラ６からの２Ｄ用画像データをメモリ領域に転送する。そして、この場合はさらに、三次元計測用照射手段１１による照明に基づく撮像をＣＣＤカメラ６にて行い、ＣＣＤカメラ６からの３Ｄ用画像データを別のメモリ領域に転送する。そして、画像データの転送完了を待たずに、Ｓ１３０へ移行する。
【００７１】
Ｓ１３０では、検査視野３１のすべてを撮像したか否かを判断する。ここですべてを撮像したと判断された場合（Ｓ１３０：ＹＥＳ）、Ｓ１４０の処理を実行せず、Ｓ１５０へ移行する。一方、検査視野３１の中に撮像していないものがあれば（Ｓ１３０：ＮＯ）、Ｓ１４０にて移動制御手段２２に対して移動処理指示を送出し、その後、Ｓ１５０へ移行する。なお、Ｓ１４０の移動処理指示により、移動制御手段２２により、Ｘ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４を介したＸＹテーブルの移動がなされ、プリント基板ＫがＣＣＤカメラ６に対して相対移動させられて、次の検査視野３１への切り換えが行われる。
【００７２】
Ｓ１５０では、データ転送が完了したか否かを判断する。この処理は、上記Ｓ１２０にて転送を開始した画像データの転送が完了したか否かを判断するものである。上記２Ｄ検査の場合、２Ｄ用画像データが転送されるため、当該２Ｄ用画像データの転送が完了した時点で肯定判断される。上記２Ｄ・３Ｄ検査の場合、２Ｄ用画像データ及び３Ｄ用画像データが転送されることになるが、この場合も、最初に転送される２Ｄ用画像データの転送が完了した時点で肯定判断される。ここで転送が完了したと判断された場合（Ｓ１５０：ＹＥＳ）、Ｓ１６０へ移行する。一方、転送が完了していないうちは（Ｓ１５０：ＮＯ）、この判断処理（Ｓ１５０）を繰り返す。
【００７３】
Ｓ１６０では、画像処理手段９に対して画像処理指示を送出する。これによって、画像処理手段９は、画像処理を開始することになる。なお、画像処理については後述する。
【００７４】
Ｓ１７０では、上記Ｓ１３０と同様に、検査視野３１のすべてを撮像したか否かを判断する。ここですべてを撮像したと判断された場合（Ｓ１７０：ＹＥＳ）、本撮像処理を終了する。一方、検査視野３１の中に撮像していないものがあれば（Ｓ１７０：ＮＯ）、Ｓ１００からの処理を繰り返す。
【００７５】
続いて、上記撮像処理の開始と共に送出される、あるいは、上記Ｓ１４０にて送出される移動処理指示に基づく移動処理を、図５のフローチャートに基づき説明する。移動制御手段２２は、制御手段７からの移動処理指示があると、移動処理を開始する。
【００７６】
最初のＳ２００において、移動制御を行う。上記検査視野３１の移動順序（切り換え順序）は予め定められている。そのため、ここでは次の検査視野３１への切り換えを行うべく、Ｘ軸移動機構３及びＹ軸移動機構４を制御し、プリント基板Ｋ（ＸＹテーブル）を移動させる。なお、この移動制御は、制御手段７の処理とは独立して並行になされる。移動が完了すると、次のＳ２１０へ移行する。
【００７７】
Ｓ２１０では、制御手段７に対して移動完了通知を送出する。この移動完了通知によって、上記撮像処理の図４中のＳ１００にて肯定判断がなされることになる。移動完了通知の送出後、本移動処理を終了する。
【００７８】
さらに続けて、上記撮像処理のＳ１６０にて送出される画像処理指示に基づく画像処理を、図６のフローチャートに基づき説明する。画像処理手段９は、制御手段７からの画像処理指示があると、画像処理を開始する。
【００７９】
最初のＳ３００において、画像処理が実行可能か否かを判断する。上述したように本実施形態では、Ｎの画像処理を並行して実行可能となっている。したがって、この処理は、実行中の画像処理がＮよりも少ないか否かを判断するものである。ここで実行可能であると判断された場合（Ｓ３００：ＹＥＳ）、Ｓ３１０へ移行する。一方、実行不可能と判断された場合（Ｓ３００：ＮＯ）、この判断処理（Ｓ３００）を繰り返す。
【００８０】
Ｓ３１０では、画像処理を行う。この処理は、画像メモリ８のメモリ領域に転送された画像データに基づき行われるものである。
【００８１】
上記２Ｄ検査の場合、２Ｄ用画像データに基づいて行われる。具体的には、２Ｄ用画像データに基づき、計測対象たるクリームハンダの領域抽出及び二次元計測が行われる。そして、上述したクリームハンダについて種々の検査が実行され、良否判定が実行される。
【００８２】
また、上記３Ｄ・２Ｄ検査の場合、２Ｄ用画像データ及び３Ｄ用画像データに基づいて行われる。ただし、この場合、２Ｄ用画像データが転送されると、上述したように制御手段７から画像処理指示が送出されるため、３Ｄ用画像データの転送を待たずに、画像処理が開始される。具体的には、上記２Ｄ検査と同様に、２Ｄ用画像データに基づき、計測対象たるクリームハンダの領域の抽出及び二次元計測が行われる。そして、上述したクリームハンダについて種々の検査が実行され、良否判定が実行される。この段階で、不良と判定された場合には、次に行われる三次元計測を経ることなく、その前段階で不良と判断される。一方、検査結果において良と判定された場合には、３Ｄ用画像データに基づき、次の三次元計測が実行され、主として高さ計測及び体積計測が行われて、これら計測結果に基づく良否判定が実行される。なお、三次元計測についてはここでの詳細な説明は省略するが、位相シフト法、光切断法、空間コード法、合焦法等、任意の計測方法が適宜採用される。位相シフト法を用いた三次元計測の手順としては、例えば、特開２００３−２７９３３４号公報に例示されるものが挙げられる。
【００８３】
画像処理が終了すると移行するＳ３２０では、画像処理に用いた画像メモリ８の該当するメモリ領域の使用を許容する。その後、本画像処理を終了する。
【００８４】
なお、上記制御手段７による撮像処理は図４中のＳ１７０にて肯定判断されると終了するようになっていたが、図６に示した画像処理手段９による画像処理の終了を、制御手段７が判断するようなステップを設け、検査全体の終了を、制御手段７が判断する構成としてもよい。
【００８５】
さて、上述した各処理に対する理解を容易にするため、ここで具体例を挙げて説明する。ここでは説明を簡単にするため、上記画像メモリ８に計４個のメモリ領域「１」〜「４」（Ｍ＝４）が設けられており、画像処理手段９が計３の画像処理「１」〜「３」（Ｎ＝３）を並行して実行可能となっている場合について説明する。
（具体例１）
最初の具体例は、３つの検査視野３１（以下これらを、「第１視野」、「第２視野」、「第３視野」と記述する）について検査を行うものである。ここでは、いずれの検査視野３１（第１乃至第３視野）についても２Ｄ・３Ｄ検査が設定されている。なお、図７は、具体例１におけるＸＹテーブルの移動状況、ＣＣＤカメラによる撮像タイミング、メモリ領域「１」〜「４」の使用状況、画像処理「１」〜「３」の実行状況を対応させて示すタイミングチャートである。
【００８６】
まず時刻ｔ１において、制御手段７は、最初の検査視野３１である第１視野への移動を指示するための移動処理指示を、移動制御手段２２へ送出する。これと共に、撮像処理（図４参照）を開始する。移動処理指示が送出されると、移動制御手段２２により、移動処理が開始されて移動制御が実行される（図５中のＳ２００）。その後、時刻ｔ２において移動処理が完了すると、移動制御手段２２によって、移動完了通知が制御手段７へ送出される（Ｓ２１０）。
【００８７】
すると、制御手段７は、移動完了を判断し（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断する（Ｓ１１０）。この場合、２Ｄ・３Ｄ検査を行うため、画像メモリ８のメモリ領域が２つ空いているか（未使用か）を判断する。ここでは、４つのすべてのメモリ領域「１」〜「４」が空いているため、肯定判断される。
【００８８】
次に、制御手段７は、第１視野の撮像及び、画像データの転送を実行する（図４中のＳ１２０）。具体的には、時刻ｔ２から時刻ｔ３の期間に、制御手段７は、照明制御手段２１を介して二次元撮像用照射手段１１による照明を行い、ＣＣＤカメラ６による撮像を行う。そして時刻ｔ３から、２Ｄ用画像データのメモリ領域「１」への転送を開始する。この２Ｄ用画像データの転送と並行して、時刻ｔ３から時刻ｔ４の期間に、制御手段７は、照明制御手段２１を介して三次元計測用照射手段５による照明を行い、ＣＣＤカメラ６による撮像を行う。そして、メモリ領域「１」への画像データの転送が完了する時刻ｔ４から、この３Ｄ用画像データのメモリ領域「２」への転送を開始する。なお、図７中にはデータ転送期間について斜線を施すこととしている。後述する図８においても同様である。
【００８９】
そして、制御手段７は、検査視野３１のすべてが撮像されたか否かを判断する（Ｓ１３０）。ここでは、検査視野３１に撮像されていないものがあるため（Ｓ１３０：ＮＯ）、次の第２視野へ切り換えるための移動処理指示を、移動制御手段２２へ送出する（Ｓ１４０）。これによって、画像データの転送と並行して、移動制御手段２２により、移動処理が開始されてＸＹテーブルの移動制御が実行される（図５中のＳ２００）。その後、時刻ｔ５において移動処理が完了すると、移動制御手段２２によって、移動完了通知が制御手段７へ送出される（Ｓ２１０）。このように、本実施形態においては、撮像終了後、画像データの転送を待たずに、画像データの転送と並行して、ＸＹテーブルの移動制御、すなわち検査視野３１の切り換えが行われる。
【００９０】
さらに時刻ｔ４においては、２Ｄ用画像データの転送が完了しているため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９に対し、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。時刻ｔ４においては画像処理「１」〜「３」のいずれも実行されておらず画像処理が実行可能であるため（Ｓ３００：ＹＥＳ）、画像処理手段９によって、時刻ｔ４から、画像処理「１」が実行される。このように、本実施形態においては、２Ｄ用画像データの転送完了に伴い、３Ｄ用画像データの転送を待たずに、３Ｄ用画像データの転送と並行して、画像処理が実行される。
【００９１】
続いて制御手段７は、再度、検査視野３１のすべてを撮像したか否かを判断する（図４中のＳ１７０）。ここでは、検査視野３１に撮像していないものがあるため（Ｓ１７０：ＮＯ）、Ｓ１００へ移行して、ＸＹテーブルの移動完了を待つ（Ｓ１００：ＮＯ）。
【００９２】
上述したように、第２視野への移動の完了通知は、移動制御手段２２によって、時刻ｔ５に送出される。したがって、制御手段７は、時刻ｔ５において、ＸＹテーブルの移動完了、すなわち第２視野への切り換えの完了を判断する（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）。
【００９３】
以下、第２視野についても上記第１視野の場合と同様に、制御手段７は、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断し、第２視野の撮像及び、画像データの転送を行う（図４中のＳ１１０，Ｓ１２０）。ここでは、第２視野に対応する２Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「３」に転送され、第２視野に対応する３Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「４」に転送される。そして、ＣＣＤカメラ６による撮像が終了する時刻ｔ６において、制御手段７は、移動制御手段２２へ、次の第３視野への移動処理指示を送出する（Ｓ１４０）。これにより、移動制御手段２２によって、時刻ｔ６において、ＸＹテーブルの移動制御が開始される（図５中のＳ２００）。また、同時刻ｔ６において２Ｄ用画像データの転送が完了するため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９へ、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。これにより、画像処理手段９によって、画像処理が実行可能か否かが判断される（図６中のＳ３００）。ここでは画像処理「１」のみが実行中であるため、時刻ｔ６において、第２視野に対応する画像処理「２」が実行される（Ｓ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【００９４】
そして、移動制御手段２２によって、ＸＹテーブルの移動が完了すると、時刻ｔ７において、移動完了通知が、制御手段７へ送出される（図５中のＳ２１０）。したがって、制御手段７は、時刻ｔ７において、ＸＹテーブルの移動完了、すなわち第３視野への切り換えの完了を判断する（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）。
【００９５】
しかし、時刻ｔ７においては、画像メモリ８のメモリ領域「１」〜「４」がすべて使用されており、撮像に必要な数（ここでは２つ）の未使用のメモリ領域がないため、制御手段７は、Ｓ１１０の判断処理を繰り返す。すなわち、第３視野の撮像を待つ。
【００９６】
その後、時刻ｔ８において、第２視野に対応する画像処理「２」が終了すると、画像処理手段９は、画像処理「２」に用いていた２つのメモリ領域「３」，「４」の使用を許容する（図６中のＳ３２０）。
【００９７】
これにより、制御手段７は、時刻ｔ８において、撮像に必要な数（ここでは２つ）の未使用のメモリ領域「３」，「４」があることを判断し（図４中の１１０：ＹＥＳ）、第３視野の撮像及び、画像データの転送を行う（Ｓ１２０）。ここでは、第３視野に対応する２Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「３」に転送され、第３視野に対応する３Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「４」に転送される。
【００９８】
次に制御手段７は、撮像視野３１のすべてを撮像したか否かを判断する（図４中のＳ１３０）。ここでは、第３視野の撮像により検査視野３１のすべての撮像が終了しているため、制御手段７は、移動処理指示を送出しない（Ｓ１３０：ＹＥＳ）。そして、制御手段７は、時刻ｔ９において、２Ｄ用画像データの転送が完了すると、画像処理手段９へ、画像処理指示を送出する（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ，Ｓ１６０）。これによって、時刻ｔ９から、画像処理手段９にて、画像処理「２」が実行される（図６中のＳ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【００９９】
その後、時刻ｔ１０において、第１視野に対応する画像処理「１」が終了するため、画像処理手段９にて、該当するメモリ領域「１」，「２」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。また、時刻ｔ１１において、第３視野に対応する画像処理「２」が終了するため、画像処理手段９にて、該当するメモリ領域「３」，「４」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。これによって、全ての検査視野３１、すなわち第１乃至第３視野の検査が終了する。
（具体例２）
次の具体例は、５つの検査視野３１（以下これらを、「第１視野」、「第２視野」、「第３視野」、「第４視野」、「第５視野」と記述する）について検査を行うものである。そして、第１及び第３視野については、２Ｄ検査が設定されており、残りの第２、第４及び第５視野については、２Ｄ・３Ｄ検査が設定されている。なお、図８は、具体例２におけるＸＹテーブルの移動状況、ＣＣＤカメラによる撮像タイミング、メモリ領域「１」〜「４」の使用状況、画像処理「１」〜「３」の実行状況を対応させて示すタイミングチャートである。
【０１００】
まず時刻Ｔ１において、制御手段７は、最初の検査視野３１である第１視野への移動を指示するための移動処理指示を、移動制御手段２２へ送出する。これと共に、撮像処理（図４参照）を開始する。移動処理指示が送出されると、移動制御手段２２によって、移動処理が開始されて移動制御が実行される（図５中のＳ２００）。その後、時刻Ｔ２において移動処理が完了すると、移動制御手段２２によって、移動完了通知が制御手段７へ送出される（Ｓ２１０）。
【０１０１】
すると、制御手段７は、移動完了を判断し（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断する（Ｓ１１０）。第１視野には２Ｄ検査が設定されているため、画像メモリ８のメモリ領域が１つ空いているか（未使用か）を判断する。ここでは、すべてのメモリ領域「１」〜「４」が空いているため、肯定判断される。
【０１０２】
そして、第１視野の撮像及び、画像データの転送が実行される（図４中のＳ１２０）。具体的には、時刻Ｔ２から時刻Ｔ３の期間に、制御手段７は、照明制御手段２１を介して二次元撮像用照射手段１１による照明を行い、ＣＣＤカメラ６による撮像を行う。そして時刻Ｔ３から、メモリ領域「１」への転送を開始して、次の処理へ移行し、検査視野のすべてが撮像されているか否かを判断する（図４中のＳ１３０）。
【０１０３】
ここでは検査視野の中に撮像されていないものがあるため（図４中のＳ１３０：ＮＯ）、次の第２視野への移動処理指示を、移動制御手段２２へ送出する（Ｓ１４０）。移動制御手段２２による移動処理（図５中のＳ２００）により、撮像が終了した時刻Ｔ３から、画像データの転送と並行して、ＸＹテーブルの移動が開始される。さらに時刻Ｔ４においては、２Ｄ用画像データの転送が完了しているため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９に対し、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。これにより、画像処理手段９にて、画像処理が実行可能であるか否かが判断され（図６中のＳ３００）、実行可能であるため、時刻Ｔ４から、画像処理「１」が実行される（Ｓ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【０１０４】
続いて制御手段７は、再度、検査視野３１のすべてを撮像したか否かを判断する（図４中のＳ１７０）。ここでは検査視野３１のすべてを撮像していないため（Ｓ１７０：ＮＯ）、Ｓ１００へ移行して、ＸＹテーブルの移動完了を待つ（Ｓ１００：ＮＯ）。
【０１０５】
次に、移動制御手段２２により、時刻Ｔ５において、移動完了通知が、制御手段７へ送出される（図５中のＳ２１０）。したがって、制御手段７は、時刻Ｔ５において、ＸＹテーブルの移動完了、すなわち第２視野への切り換えの完了を判断する（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）。
【０１０６】
次に制御手段７は、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断する（Ｓ１１０）。第２視野には２Ｄ・３Ｄ検査が設定されているため、画像メモリ８の２つのメモリ領域が空いているか（未使用か）を判断する。ここでは、３つのメモリ領域「２」〜「４」が空いているため、肯定判断される。
【０１０７】
続いて制御手段７は、第２視野の撮像及び、画像データの転送を実行する（図４中のＳ１２０）。具体的には、時刻Ｔ５から時刻Ｔ６の期間に、制御手段７は、照明制御手段２１を介して二次元撮像用照射手段１１による照明を行い、ＣＣＤカメラ６による撮像を行う。そして時刻Ｔ６から、この２Ｄ用画像データのメモリ領域「２」への転送を開始する。この転送と並行して、時刻Ｔ６から時刻Ｔ７の期間に、制御手段７は、照明制御手段２１を介して三次元計測用照射手段５による照明を行い、ＣＣＤカメラ６による撮像を行う。そして、メモリ領域「２」への２Ｄ用画像データの転送が完了する時刻Ｔ７から、３Ｄ用画像データのメモリ領域「３」への転送を開始する。
【０１０８】
制御手段７は、ＣＣＤカメラ６による撮像が終了する時刻Ｔ７において、移動制御手段２２へ、次の第３視野への移動処理指示を送出する（図４中のＳ１４０）。これにより、移動制御手段２２によって、時刻Ｔ７において、ＸＹテーブルの移動制御が開始される（図５中のＳ２００）。また、同時刻Ｔ７において２Ｄ用画像データの転送が完了するため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９へ、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。これにより、画像処理手段９によって、時刻Ｔ７において、第２視野に対応する画像処理「２」が実行される（Ｓ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【０１０９】
そして、時刻Ｔ８において、移動制御手段２２によって、移動完了通知が、制御手段７へ送出される（図５中のＳ２１０）。したがって、制御手段７は、時刻Ｔ８において、ＸＹテーブルの移動完了、すなわち第３視野への切り換えの完了を判断する（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）。
【０１１０】
次に制御手段７は、撮像に必要な画像メモリ８の空きがあるか否かを判断する（図４中のＳ１１０）。第３視野には２Ｄ検査が設定されているため、画像メモリ８の１つのメモリ領域が空いているか（未使用か）を判断する。ここでは、１つのメモリ領域「４」が空いているため、肯定判断される。
【０１１１】
そこで、制御手段７は、第３視野の撮像及び、画像データの転送を行う（図４中のＳ１２０）。ここでは、第３視野に対応する２Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「４」に転送される。そして、ＣＣＤカメラ６による撮像が終了する時刻Ｔ９において、制御手段７は、移動制御手段２２へ、次の第４視野への移動処理指示を送出する（Ｓ１４０）。これにより、移動制御手段２２によって、時刻Ｔ９において、ＸＹテーブルの移動制御が開始される（図５中のＳ２００）。また、時刻Ｔ１０において２Ｄ用画像データの転送が完了するため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９へ、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。これにより、画像処理手段９によって、画像処理が実行可能か否かが判断される（図６中のＳ３００）。ここでは画像処理「１」，「２」が実行中であるため、時刻Ｔ１０において、第３視野に対応する画像処理「３」が実行される（Ｓ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【０１１２】
そして、移動制御手段２２によって、ＸＹテーブルの移動が完了すると、時刻Ｔ１１において、移動完了通知が、制御手段７へ送出される（図５中のＳ２１０）。したがって、制御手段７は、時刻Ｔ１１において、ＸＹテーブルの移動完了、すなわち第４視野への切り換えの完了を判断する（図４中のＳ１００：ＹＥＳ）。
【０１１３】
しかし、時刻Ｔ１１においては、画像メモリ８のメモリ領域「１」〜「４」がすべて使用されており、撮像に必要な数（２Ｄ・３Ｄ検査に必要な２つ）の未使用のメモリ領域がないため、制御手段７は、Ｓ１１０の判断処理を繰り返す。すなわち、第４視野の撮像を待つ。
【０１１４】
その後、時刻Ｔ１２において、第１視野に対応する画像処理「１」が終了すると、画像処理手段９によって、画像処理に用いられていたメモリ領域「１」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。また、Ｔ１３において、第３視野に対応する画像処理「３」が終了すると、画像処理手段９によって、画像処理に用いられていたメモリ領域「４」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。
【０１１５】
これにより、制御手段７は、時刻Ｔ１３において、撮像に必要な数（ここでは２つ）の未使用のメモリ領域「１」，「４」があることを判断し（図４中の１１０：ＹＥＳ）、第４視野の撮像及び、画像データの転送を行う（Ｓ１２０）。ここでは、第４視野に対応する２Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「１」に転送され、第４視野に対応する３Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「４」に転送される。
【０１１６】
そして、ＣＣＤカメラ６による撮像が終了する時刻Ｔ１４において、制御手段７は、移動制御手段２２へ、次の第５視野への移動処理指示を送出する（Ｓ１４０）。これにより、移動制御手段２２によって、時刻Ｔ１４において、ＸＹテーブルの移動制御が開始される（図５中のＳ２００）。また、同時刻Ｔ１４において２Ｄ用画像データの転送が完了するため（図４中のＳ１５０：ＹＥＳ）、制御手段７は、画像処理手段９へ、画像処理指示を送出する（Ｓ１６０）。これにより、画像処理手段９によって、画像処理が実行可能か否かが判断される（図６中のＳ３００）。ここでは画像処理「２」だけが実行中であるため、時刻Ｔ１４において、第４視野に対応する画像処理「１」が実行される（Ｓ３００：ＹＥＳ，Ｓ３１０）。
【０１１７】
そして、移動制御手段２２によって、時刻Ｔ１５において、移動完了通知が、制御手段７へ送出されるが、（図５中のＳ２１０）時刻Ｔ１５においては、画像メモリ８のメモリ領域「１」〜「４」がすべて使用されており、撮像に必要な数（２Ｄ・３Ｄ検査に必要な２つ）の未使用のメモリ領域がないため、制御手段７は、Ｓ１１０の判断処理を繰り返す。すなわち、第５視野の撮像を待つ。
【０１１８】
その後、時刻Ｔ１６において、第２視野に対応する画像処理「２」が終了すると、画像処理手段９によって、画像処理「２」に用いられていたメモリ領域「２」，「３」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。
【０１１９】
これにより、制御手段７は、時刻Ｔ１６において、撮像に必要な数（ここでは２つ）の未使用のメモリ領域「２」，「３」があることを判断し（図４中の１１０：ＹＥＳ）、第５視野の撮像及び、画像データの転送を行う（Ｓ１２０）。ここでは、第５視野に対応する２Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「２」に転送され、第５視野に対応する３Ｄ用画像データが画像メモリ８のメモリ領域「３」に転送される。そして、第５視野に対応する画像処理「２」が、時刻Ｔ１７から実行されることになる。
【０１２０】
その後、時刻Ｔ１８において、第４視野に対応する画像処理「１」が終了するため、画像処理手段９にて、該当するメモリ領域「１」，「４」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。また、時刻Ｔ１９において、第５視野に対応する画像処理「２」が終了するため、画像処理手段９にて、該当するメモリ領域「２」，「３」の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。これによって、全ての検査視野３１、すなわち第１乃至第５視野の検査が終了する。
【０１２１】
以上詳述したように本実施形態では、ＣＣＤカメラ６が、検査視野３１の単位で、プリント基板Ｋの検査対象面を撮像する。この撮像により、検査視野３１の単位で画像データが取得される。画像メモリ８には、繰り返される撮像によって取得される複数の画像データを記憶するためのＭ個のメモリ領域「１」〜「Ｍ」が設定されている。そして、画像処理手段９により、画像メモリ８に記憶される画像データに基づき、検査視野３１の単位でのＮの画像処理「１」〜「Ｎ」が並行して行われ、検査視野３１単位の検査が並行して実行される。これによって、ある検査視野３１に例えば膨大な数の検査パッド３２が含まれており（図２参照）、当該検査視野３１の画像処理に多くの時間が必要になった場合であっても、当該検査視野３１の画像処理の終了を待たずに、別の検査視野３１の画像処理が行われる。例えば上記具体例１では、時刻ｔ４から時刻Ｔ９の期間において第１視野の画像処理が実行されているが、第１視野の画像処理の終了を待たずに、時刻ｔ６から時刻ｔ８の期間において、第２視野の画像処理が実行されている（図７参照）。これによって、画像処理に要する時間を大幅に短縮することができ、検査に要する時間の短縮を図ることができる。なお、このような画像処理の並列処理は、複数のＣＰＵ（例えばデュアルＣＰＵの構成）を用いて実行される場合には特に効果が大きい。ただし、シングルＣＰＵによる処理であっても、全体としてみれば、効率的なＣＰＵ利用が可能となり、検査実行時間を短縮することが可能となる。
【０１２２】
また、本実施形態では、画像メモリ８に検査視野３１に対応する画像データを記憶可能な空き領域があるか否かが判断されて（図４中のＳ１１０）、当該判断に基づき撮像制御が実行されるため（Ｓ１２０）、有限の画像メモリ８を有効に利用することができる。また、画像データの転送が終了すると画像処理の実行要求が送出され（Ｓ１５０：ＹＥＳ，Ｓ１６０）、画像処理が実行可能であるか否かの判断に基づき画像処理が実行されるため（図６中のＳ３００，Ｓ３１０）、ＣＰＵ負荷を考慮した制御ができ、安定した画像処理が実現される。
【０１２３】
さらにまた、本実施形態では、画像処理手段９により、画像処理の終了時に、当該画像処理に用いた画像データの記憶されている該当メモリ領域の使用が許容される（図６中のＳ３２０）。これによって、即座に次の撮像制御を実行可能となり、有限の画像メモリ８を有効に利用することができる。例えば図７中の時刻ｔ８、また、図８中のＴ１３，Ｔ１６において、画像処理の終了と共にメモリ領域の使用が許容されるため、即座に撮像が可能となっている。結果として、検査に要する時間の短縮に寄与する。
【０１２４】
また、本実施形態では、画像メモリ８上に検査視野３１に対応する画像データを記憶するためのＭ個のメモリ領域が設定されている（図３参照）。このように予めメモリ領域を設定しておくことにより、つまり、画像メモリ８上にメモリ領域を確保しておくことにより、例えばテーブルなどを用いて当該メモリ領域「１」〜「Ｍ」の中の空き領域を判断しやすくなる。また、一定数のメモリ領域「１」〜「Ｍ」が設定されることにより、他の処理などによって画像メモリ８が意図せず使用されることがなく、常に一定数の画像データを記憶可能となるため、結果として、検査に要する時間の短縮に寄与する。
【０１２５】
なお、本実施形態では、Ｍ個のメモリ領域に対して、Ｎの画像処理が実行可能となっているが、Ｎ≦Ｍとすれば足りる。つまり、Ｎ≦Ｍとすれば、画像処理が実行不可能となることはないのである。これは、１つのメモリ領域に記憶された画像データに基づき画像処理を実行する場合、メモリ領域と同数の画像処理が並行して実行可能であればよいためである。上記具体例１においては、全ての検査視野３１（第１乃至第３視野）において２Ｄ・３Ｄ検査を行う構成であるため、すなわち、２つのメモリ領域に記憶された画像データに基づき一の画像処理を実行するため、Ｎ＝Ｍ／２であればよい。上記説明では、具体例２と合わせて便宜上、３の画像処理「１」〜「３」が実行可能な構成としたが、実際には、２の画像処理「１」，「２」が並行して実行可能となっていればよい。
【０１２６】
本実施形態ではさらに、２Ｄ・３Ｄ検査において、２Ｄ用画像データの転送が完了した時点で（図４中のＳ１５０）、３Ｄ用画像データの転送を待たずに、画像処理の実行要求が送出されて（Ｓ１６０）、画像処理が実行される（図６中のＳ３１０）。これによって、例えば、図７中の時刻ｔ４，ｔ６，ｔ９、また、図８中の時刻Ｔ７，Ｔ１４，Ｔ１７において、３Ｄ画像データの転送と並行して、画像処理が実行される。その結果、検査に要する時間のより一層の短縮を図ることができる。
【０１２７】
また、本実施形態では、画像処理の転送を待たずに、移動処理指示がなされて（図４中のＳ１４０）、ＸＹテーブル（プリント基板Ｋ）が移動させられて検査視野３１が切り換えられる（図５中のＳ２００）。これによって例えば、図７中の時刻ｔ４，ｔ６、また、図８中の時刻Ｔ３，Ｔ７，Ｔ９，Ｔ１４において、画像データの転送と並行して、ＸＹテーブルの移動、すなわち検査視野３１の切り換えが実行される。その結果、画像データの転送処理が終了してから検査視野３１を切り換える構成と比べ、検査視野３１の切り換えが短時間のうちに可能となる。その結果、検査に要する時間のより一層の短縮を図ることができる。
【０１２８】
なお、上述した実施の形態の記載内容に限定されることなく、本発明は、その趣旨を逸脱しない限り、種々なる形態で実施可能である。例えば、次のように実施してもよい。
【０１２９】
（ａ）上記実施形態では、画像メモリ８にメモリ領域「１」〜「Ｍ」を予め設定（確保）しているが、制御の途中で動的に確保するようにしてもよい。また、上記実施形態では、画像メモリ８の各メモリ領域「１」〜「Ｍ」が同一の大きさ（検査視野に対応する大きさ）を有するものとなっているが、もちろん、画像データの大きさが可変であれば、それに合わせてメモリ領域を確保するようにしてもよい。
【０１３０】
（ｂ）上記実施形態では、２Ｄ検査あるいは２Ｄ・３Ｄ検査を行う場合について具体化しているが、例えば３Ｄ検査を行うだけの場合にも具体化することができる。
【０１３１】
（ｃ）上記実施形態では、検査内容の詳細については特に言及していないが、例えば、二次元計測結果に基づき、検査対象たるクリームハンダの面積計測及び計測値の判定、位置ずれ判定、クリームハンダに関するブリッジの有無を判定すること等が可能である。
【０１３２】
（ｄ）撮像手段としては、上記実施形態のようなエリアを撮像可能なＣＣＤカメラ以外に、ラインカメラを採用してもよい。さらに、例えば、ＣＭＯＳカメラなど、エリア状又はライン状に撮像可能なカメラであってもよく、必ずしもＣＣＤカメラに限定されるものではない。
【０１３３】
（ｅ）上記実施形態では、クリームハンダの印刷状態の検査を行う場合について具体化しているが、ハンダバンプ、銀ペースト、導電性接着剤の検査を行う場合に具体化することもできる。また、検査対象物をプリント基板Ｋ以外としてもよい。すなわち、検査視野の単位で検査を行う検査装置であれば適用することができる。
【０１３４】
（ｆ）上記実施形態では、２Ｄ用画像データに基づいて行われる二次元計測および検査において、不良と判定された場合には、次の三次元計測を経ることなく、その前段階で不良と判断している。これに対し、三次元計測をした上で、その結果を加味して最終的に良否を判断することとしてもよい。
【０１３５】
（ｇ）上記実施形態では、２Ｄ・３Ｄ検査を行う場合に、２つのメモリ領域が空いていることを確認した上で、撮像及び画像データの転送を実行しているが、１つのメモリ領域が空いていれば、２Ｄ又は３Ｄ何れかの撮像及び画像データの転送を実行するようにしてもよい。このように構成した場合、２つのメモリ領域が空くのを待つことなく、撮像及び画像データの転送が行われるので、さらなる処理の高速化を図ることができる。
【０１３６】
（ｈ）上記実施形態では、当該視野における二次元計測と三次元計測による画像処理がともに終了したとき（例えば図７の時刻ｔ１０）に、二次元計測用の画像を記憶しているメモリ領域と、三次元計測用の画像を記憶しているメモリ領域の使用を許容することとしている。これに対し、二次元計測による画像処理が終了した時点で、二次元計測用の画像を記憶しているメモリ領域の使用を許容し、三次元計測による画像処理が終了した時点で、三次元計測用の画像を記憶しているメモリ領域の使用を許容したりしてもよい。この場合、例えば、二次元計測による画像処理が先に終了したときには、二次元計測用の画像を記憶しているメモリ領域の使用が先に許容されるので、他に使用の許容されているメモリ領域が無い場合であっても、次の二次元計測用の画像の撮像と転送を行うことができ、全体としてのメモリ領域を小さくすることも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】実施形態における基板検査装置を模式的に示す概略斜視図である。
【図２】（ａ）はプリント基板の検査対象面に設定される検査視野を示す説明図であり、（ｂ）は、検査視野内の検査パッドを示す説明図である。
【図３】基板検査装置の電気的構成を示す概略ブロック図である。
【図４】撮像処理を示すフローチャートである。
【図５】移動処理を示すフローチャートである。
【図６】画像処理を示すフローチャートである。
【図７】具体例１に対応するタイミングチャートである。
【図８】具体例２に対応するタイミングチャートである。
【符号の説明】
【０１３８】
１…基板検査装置、３…移動手段としてのＸ軸移動機構、４…移動手段としてのＹ軸移動機構、５…三次元計測用照射手段、６…撮像手段としてのＣＣＤカメラ、７…制御手段、８…画像メモリ、９…画像処理手段、１１…二次元撮像用照射手段、２１…照射制御手段、２２…移動制御手段、３１…検査視野、３２…検査パッド、Ｋ…検査対象物としてのプリント基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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