(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１と第２の処理入り口からのそれぞれの処理圧力Ｐ１とＰ２を感知するのに適合する第１と第２の絶対圧力センサ（１５２，１５４）と、
前記第１と第２の処理入り口とは違う第３の入り口からの大気圧Ｐ３を感知するのに適合する第３の絶対圧力センサ（１５６）と、
前記第１と第２の絶対圧力センサ（１５２，１５４）と第３の絶対圧力センサ（１５６）とに結合され、第１の圧力関数Ｆ（Ｐ２−Ｐ１）である第１のタイプの送信機出力と、第２の圧力関数Ｇ（ＡＰ１＋ＢＰ２＋ＣＰ３）であり、Ａ，ＢおよびＣが−１から＋１の範囲の乗数に設定可能である第２のタイプの送信機出力を発生する送信機回路（１６０）とを具備し、
前記送信機回路（１６０）は、前記第１のタイプの送信機出力と第２のタイプの送信機出力とを選択可能であり、差分および非差分出力を提供する圧力送信機（１５０）。
【請求項２】
前記送信機回路に結合され、第２の送信機出力のために前記乗数Ａ，ＢおよびＣをセットするコマンドを受信するのに適合する選択回路をさらに具備したことを特徴とする請求項１に記載の圧力送信機。
【請求項３】
前記コマンドは、グループＧ（Ｐ１）、Ｇ（Ｐ２）、Ｇ（Ｐ３）、Ｇ（Ｐ１−Ｐ３）、およびＧ（Ｐ２−Ｐ３）からなるグループから第２の関数を選択することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧力送信機。
【請求項４】
前記圧力送信機（１５０）はさらに２線、アナログ４−２０ｍＡ出力と送信機を持ち、さらに、前記送信機回路に結合され、第１の送信機出力または第２の送信機出力の一方を選択するプログラム入力を、前記４−２０ｍＡ出力として受信するのに適合するプログラム回路を具備したことを特徴とする請求項１に記載の圧力送信機。
【請求項５】
前記送信機回路（１６０）は、差圧（Ｐ２−Ｐ１）、および絶対圧力Ｐ１、絶対圧力Ｐ２、大気圧Ｐ３、ゲージ圧力（Ｐ１−Ｐ３）、およびゲージ圧力（Ｐ２−Ｐ３）の中から選択されたひとつを表す複数の送信機出力を発生し、前記複数の出力のうちの少なくとも一つがデジタルに送信されることを特徴とする請求項４に記載の圧力送信機。
【請求項６】
前記第１、第２の処理入り口および第３の入り口に結合され、該第１、第２の処理入り口および第３の入り口を互いに接続するように駆動可能なバルブを含むマニフォールド（２３４）と、
前記送信機回路（１６０）に結合され、もし前記第１、第２の絶対圧力センサ（１５２，１５４）の感知圧力と第３の絶対圧力センサ（１５６）の感知圧力とが前記バルブの駆動の後実質的に互いに等しくならないなら警報をセットする診断回路とをさらに具備したことを特徴とする請求項１に記載の送信機。
【請求項７】
前記第１、第２と第３の絶対圧力センサ（１５２，１５４，１５６）がサファイアで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力送信機。
【請求項８】
前記送信機回路（１６０）はさらに、前記第１、第２および第３の絶対圧力センサの少なくとも２つにより感知される絶対圧力である選択可能な第２の送信機出力を提供するための多数決論理を具備していることを特徴とする請求項１に記載の圧力送信機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の背景
化学、パルプ、および食料処理プラントにおける流体処理制御応用分野においては、種々のタイプの圧力送信機が使用されている。これらのタイプは、真空に関する処理圧力を測定する絶対圧力送信機、局所的な大気圧に関する処理圧力を測定するゲージ圧力送信機、および二つの処理圧力間の差を測定する差分圧力送信機を含む。圧力送信機は、また明記された正確さにおいて、限定されたレンジ範囲の圧力のみを測定する。そして、典型的には、送信機は、レンジを５以上オーバーラップするように製造され、各レンジは、６９，０００ｋＰａ（約１０，０００ｐｓｉ）までの要求を満たすために、約１００：１（“折り返し（turndown）”）レンジに渡って正確に圧力を測定するように条件付けられている。
【０００２】
種々のタイプとレンジは、一般的には十分に交換可能にすることはできない。大きな流体処理制御プラントは、数十または数百の３タイプのかつ異なるレンジの圧力送信機を所有しているあろうが、多くのタイプの代替送信機を備蓄しておくことによるコスト高の問題、低レンジ圧力送信機が高圧力装置に間違って装着されると、超過圧力により故障する恐れがあるという問題が生ずる。
ピューベ（Peube）氏らの米国特許第５，４９３，５１２号は、不安定な流速を測定する方法および装置を開示する。より詳細には、ピューベ氏らは、圧力に関連する一組の出力を提供するために、３つの圧力センサを用いることを開示する。第１の出力は（Ｐimpact−Ｐ１）であり、第２の出力は（Ｐ1−Ｐ2）である。しかしながら、ピューベ氏らは絶対圧力に基づいて選択された出力を選択的に提供することについては開示または言及していない。
ＰＣＴ出願  ＷＯ９８／１０２４９は、環流を監視するための改良された装置を提供する。この引例では、３つの絶対圧力を用いて、流量計を流れる流体の流速を判定するために、少なくとも２つの圧力値を提供する。しかしながら、この引例は、３つの絶対圧力センサ出力に基づく選択可能な出力を提供することについては開示または言及していない。
本発明の出願人に譲渡された米国特許第５，６３７，８０２号は、電気を帯びた場がプレートの裏側から十分に放射するような、送信される圧力用の電気容量圧力センサを開示する。この引例は、一組の絶対圧力センサ（好ましくは単クリスタル・サファイアであることが開示されている）を提供し、独立した２つの感知要素に基づく差圧測定の出力を可能にする。しかしながら、この引例もまた、３つの絶対圧力センサのうちの一つ以上に基づく選択可能な圧力に基づいた出力を提供することについては開示または言及していない。
米国特許第４，１３１，０８８号は、多機能の圧力センサを提供する。この引例に示されるセンサは、自動車の内燃エンジン用の吸収空気の流れを監視するために用いられる。より詳細には、多機能の圧力センサは、２つの絶対圧力出力ばかりでなく、測定された２つの不在の圧力間の計算された差圧を提供するために一組の絶対圧力センサを用いる。この引例は、３つの絶対圧力センサのうちの一つ以上に基づく選択可能な出力を提供することについては開示していない。
【０００３】
発明の要約
送信機は、絶対、ゲージおよび差圧測定の応用において、交換可能に使用されることができ、処理制御プラントの要求を満たすために少数の送信機のみを保管すればよいように十分なレンジを有している。圧力送信機は、差分および非差分出力を発生する。
【０００４】
送信機は、処理入り口における圧力Ｐ１とＰ２を感知するのに適合する２個の絶対圧力センサと、大気圧を感知するのに適合する第３の絶対圧力を含んでいる。送信機回路は３個の絶対圧力センサに結合し、送信機が差分および非差分装置間で柔軟に交換できるように、差分および非差分タイプの出力を発生する。
【０００５】
送信機は３個の絶対圧力センサを有し、三つの圧力Ｐ１、Ｐ２、およびＰ３は、独立に感知される。１個の差分センサが差分圧力（Ｐ２−Ｐ１）を測定する従来の装置は使用する必要がなくなり、このため差分圧力測定値のための線形圧力補償を提供するために、線形または静的圧力を感知する必要がなくなる。各センサのための線形化および補償処理の複雑さは、各センサが単に１個の圧力にさらされるので、低減される。さらに、複数のタイプの出力は、１個の圧力送信機から提供されることができ、取り替え送信機の交換可能性を改善し、多数の送信機タイプを備蓄したり製造したりすることによるコストを低減する。
【０００６】
複数の出力の利用は、１個の送信機が三つの圧力測定まで実行することを可能にする。各処理入り口は処理圧力を分けて接続されることができ、送信機は処理圧力を表す分離絶対圧力出力を提供する。ねじを切られている大気の入り口は、第３の測定が行えるように、第３の圧力に接続されることができる。複数の出力の利用は、またセンサが故障をした場合に信頼性を増すために、１個の処理圧力で非常時の測定をするのに都合が良くまた経済的である。送信機内で利用される３個のセンサにより、１個のセンサが故障した後、２個のセンサで非常時の測定を続けることができるように、多数決論理が送信機の中に含まれることができる。
【０００７】
図面の簡単な説明
図１は、圧力送信機のための代表的な処理制御環境を示す。
図２は、多出力圧力送信機の一実施形態の前面図を示す。
図３は、多出力圧力送信機の一実施形態の側面図を示す。
図４は、多出力圧力送信機中の圧力センサ装置の一部の前面図を示す。
図５は、多出力圧力送信機の一実施形態のブロック図を示す。
図６は、４−２０ｍＡ出力をもつ多出力圧力送信機の一実施形態のブロック図を示す。
図７は、シリアル受信機に接続されたシリアル出力をもつ多出力圧力送信機の一実施形態のブロック図を示す。
図８は、目盛り定めのための多岐管をもつ多出力圧力送信機の一実施形態のブロック図を示す。
【０００８】
好ましい実施形態の詳細な説明
図１には、工業用の圧力送信機のための代表的な環境が２０で示されている。図１では、処理流体ライン２３中の流量計２２、タンク２８に付設されたレベル送信機２４，２６、および処理ライン３１中のオリフィス流量計３０のような処理変数送信機が、制御システム３２に電気的に接続されている。処理変数送信機は、例えば化学、パルプ、石油、ガス、薬品、食料品、および他の流体処理プラント中のスラリ、液体、蒸気、およびガスのような、処理プラント中の流体と関連する１以上の処理変数をモニタするように構成されている。モニタされる処理変数は、圧力、温度、流量、レベル、ｐＨ、伝導率、濁度、密度、濃度、化学組成、あるいは流体の他の特性でありうる。処理変数送信機は、処理プラントの設置の要請に従って、送信機に対して内部または外部にある１以上のセンサを含む。処理変数送信機は感知された処理変数を表す送信機出力を生成する。送信機出力は、通信バス３４を経て、コントローラや表示器に遠距離を越えて送信するように構成されている。代表的な流体処理プラントでは、通信バス３４は、送信機に給電する４−２０ｍＡの電流ループ、またはコントローラ、制御システムまたは読み出しシステムへのＨＡＲＴ（Highway  Addressable  Remote  Transmitter）プロトコル通信のようなフィールドバス接続またはファイバ光学接続でありうる。２線ループによって給電される送信機では、爆発性の雰囲気中で完全な安全を提供するために、電力は低く保たれなければならない。
【０００９】
図１では、オリフィス流量計３０は、これに接続されている通信バス３４によって接続される圧力送信機３６を含む。レベル送信機２４，２６は、また圧力送信機を含む。制御システム３２は、人のオペレータのために、処理状態を表示するようにプログラムすることができ、また 該処理状態を感知し、電流のような出力装置を介して例えば圧力変換器３８および制御バルブ４０に対する処理を制御するようにプログラムすることができる。
【００１０】
図１では、２４，２６および３６の圧力送信機は、種々のパイプとタンク中で、腐食性の処理流体にさらされる圧力センサを有している。
【００１１】
図２には、複数出力圧力送信機１００の一実施形態の前面図が示されている。送信機１００は交換可能であり、圧力を表す差分出力と少なくとも一つの非差分出力を有する。差分出力は、二つの感知された処理圧力間の差に関する出力を伝送するために、二つの感知された処理圧力の増強された関数である出力である。非差分出力は、差分出力ではない。差分圧力装置は、二つの異なる出力圧力が送信機に接続される装置である。代表的な差分圧力装置は、オリフィスプレート装置である。非差分圧力装置は、一つの処理流体圧力が圧力送信機に接続される装置である。非差分圧力装置は、代表的には、絶対またはゲージ圧力測定のいずれか一方である。圧力送信機１００は、電子回路と出力回路１０４のための配線区画を収容する上部筐体１０２を含む。上部筐体１０２は、内部に１０６でねじ山を付けられ、下部筐体１０８上の相当するねじ山と適合している。上部筐体１０２と下部筐体１０８上のねじ山は密接に適合し、難燃性の接合を形成している。送信機１００はシールされ、工業上の安全基準で定められた処理制御環境に適した爆発耐久筐体を形成する。出力回路１０４は、工業上の安全基準で定められた安全回路である。処理圧力Ｐ１とＰ２は、フランジ１１０およびフランジアダプタ結合体１１２，１１４を通って送信機に結合される。フランジ１１０は、応用に応じて、液体ラインからガスを排気するために開くことができる、またはガスラインから液体を排出することができる排気／排出バルブ１１７，１１８を含む。圧力送信機１００は、また、送信機の外側にある大気圧を受ける入り口１１６を含む。入り口１１６は、内側にねじ山を付けられ、較正された圧力源がそれに接続される。入り口１１６は、また、パイプを介して、大気圧が風の影響をあまり受けない近くの位置に接続されることができる。圧力送信機１００は、それぞれ圧力Ｐ１，Ｐ２，およびＰ３を受ける３個の絶対圧力センサ（図示されていない）を含む。出力１０４は、２線回路であり、典型的には、送信機にエネルギを与える２線４−２０ｍＡ処理制御ループに接続する。
【００１２】
図３には、送信機１００の側面が図２と同じ符号を用いて示されている。
【００１３】
図４には、下部筐体１０８の拡大された前面が、点線で示される内部の特徴と共に示されている。第１の絶対圧力センサ１２０は、これに対応する第１の処理入り口１２２から第１の処理圧力Ｐ１を受ける。第２の絶対圧力センサ１２４は、これに対応する第２の圧力入り口１２６から第２の処理圧力Ｐ２を受ける。処理圧力Ｐ１とＰ２間の差が差分処理圧力であり、（Ｐ２−Ｐ１）または（Ｐ１−Ｐ２）の一方でありうる。送信機回路カード１２８は、第１および第２の絶対圧力センサ１２０，１２４に結合している。回路カード１２８は、リボンケーブル１３０を経て、上部筐体１０２中の送信機回路ボード（図示されていない）に接続されている。また、送信機回路カードは、差分処理圧力の第１の関数Ｆ（Ｐ２−Ｐ１）である第１の送信機出力１０４を発生する送信機回路を形成する。（Ｐ２−Ｐ１）は−（Ｐ１−Ｐ２）に等しく、このため、“（Ｐ２−Ｐ１）の関数”である“Ｆ”はまた“（Ｐ１−Ｐ２）”の関数である。図４において、第３の絶対圧力センサ１４０は、送信機回路に接続され、第３の入り口１１６から大気圧Ｐ３を受けるように適合されている。送信機回路は、Ｆ（Ｐ２−Ｐ１）とは異なる第２の圧力関数Ｇ（Ｐ）である第２の送信機出力を発生する。第２の関数Ｇ（Ｐ）はゲージ、大気および絶対処理圧力のグループから選択されることができる。また、Ｇ（Ｐ）は静圧力関数（０．５）（Ｐ１＋Ｐ２）であると考えることができる。複数のタイプの出力を生成する送信機回路の動作を、図５−８を参照してより詳細に説明する。
【００１４】
図５には、送信機回路の上面図が示されている。送信機１５０は処理圧力Ｐ１を受けて絶対圧力センサ出力１５３を発生する第１の絶対圧力センサ１５２を含む。第２の絶対圧力センサ１５４は第２の圧力Ｐ２を受けて、絶対圧力センサ出力１５５を発生する。第３の絶対圧力センサ１５６は第３の圧力、普通は大気圧を受け、絶対圧力センサ出力１５７を発生する。絶対圧力センサ出力１５３，１５５，１５７は、送信機回路１６０に接続される。３個の圧力センサは絶対圧力センサであり、各々が異なる圧力に接続されるから、圧力センサ出力１５３，１５５，１５７は実質的に独立であり、数学的には互いに直交している。絶対センサ間に、等分された装着ストレスまたは電気漏洩からのいくつかの小さい相互作用がある場合においてさえ、絶対センサが使用されているという理由で該相互作用は小さい。また、マイクロプロセッサのオーバヘッドが小さいので、補償計算は単純である。送信機回路１６０は、圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を計算することができ、複雑な線圧力補償計算を必要とする三つのセンサ間の相互依存が小さいまたはないので、該圧力Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３を表す三つの圧力は素早く線形化され、該回路によって温度補償されることができる。ある実施形態では、送信機回路１６０は差圧力を２以上のセンサ出力１５３，１５５，および１５７の関数として計算する。他の実施形態では、送信機回路１６０は、単純な引き算によって差圧力（Ｐ２−Ｐ１）を計算し、圧力Ｆ（Ｐ）を（Ｐ２−Ｐ１）の関数として生成する。送信機はまた第２の圧力関数Ｇ（ＡＰ１＋ＢＰ２＋ＣＰ３）を計算する。ここに、Ａ、ＢおよびＣは、−１から＋１の範囲の乗数である。第２のタイプの所望の出力Ｇ（Ｐ）を得るために、種々の乗数が、０、＋１、−１または他の値に設定されることができる。
【００１５】
例えば：
Ｇ（０Ｐ１＋０Ｐ２＋１Ｐ３）  大気圧
Ｇ（１Ｐ１＋０Ｐ２−１Ｐ３）  ゲージ圧力
Ｇ（０Ｐ１＋１Ｐ２−１Ｐ３）  ゲージ圧力
Ｇ（１Ｐ１＋０Ｐ２＋０Ｐ３）  絶対圧力
Ｇ（０Ｐ１＋１Ｐ２＋０Ｐ３）  絶対圧力
Ｇ（０．５Ｐ１＋０．５Ｐ２＋０Ｐ３）  静圧力
【００１６】
乗数Ａ、Ｂ、Ｃは、工場で、または回路１６０中にあるスイッチ、ハードウェア又はソフトウェアの一方をセットすることによって、処理プラントの技術者によって、セットされることができる。
【００１７】
図６には、送信機１７０の一実施形態のさらに詳細なブロック図が示されている。図６では、図４−５で使用された符号と同じ符号は同一または同等の要素を示している。図６において、絶対圧力センサ出力１５３，１５５，１５７は送信機回路カード１２８に結合する。送信機回路カード１２８は、３個のセンサ１５２，１５４，１５６の各々のための線形および温度補正データを蓄積するメモリ１７２を含む。送信機回路カード１２８は、リボンケーブル１３０によって、送信機回路カード１７４に接続される。リボンケーブル１３０によって結合された送信機回路カード１２８と１７４は、送信機回路を形成する。
【００１８】
送信機１７０は２線ループ１７６に接続される。送信機ループ１７６は遠隔位置にある受信機と電源に接続され、送信機１７０へエネルギを提供し、技術者からのデジタルコマンド１８０を、送信機プログラム回路１７８に提供する。送信機は、１８２で、差圧を表す第１の送信機出力Ｆ（Ｐ２−Ｐ１）を発生する。送信機回路は、１８４で、乗数Ａ、Ｂ、Ｃに依存する絶対、ゲージ、または大気圧でありうる第２の送信機出力Ｇ（ＡＰ１＋ＢＰ２＋ＣＰ３）を発生する。コマンド１８０は、技術者の選択に従って乗数Ａ，Ｂ，Ｃを供給する。コマンドは、また、グループＧ（Ｐ１）、Ｇ（Ｐ２）、Ｇ（Ｐ３）、Ｇ（Ｐ１−Ｐ３）、Ｇ（Ｐ２−Ｐ３）から、換言すれば絶対、大気またはゲージ圧力である第１の関数１８２または第２の関数１８４の一方を選択するために、ソフトウェアスイッチ１８６を駆動する。選択された圧力関数はループ１７６に提供されるアナログである４−２０ｍＡの電流の大きさを制御する。
【００１９】
４−２０ｍＡ作動およびアナログ出力電流は、ループ１７６上のデジタルコマンドと重畳される。デジタルコマンドは、工業標準ＨＡＲＴ（登録商標）信号または工業標準ＦＯＵＮＤＡＴＩＯＮフィールドバス信号でありうる。送信機１７０は、また、全ての第１および第２の関数を表す出力を直列的に、ラベルを付けられたＨＡＲＴまたはＦＩＥＬＤＢＵＳ信号として伝送することにより、それらをループ１７６上に直列的に重畳することができる。送信機中の回路は、好ましくは、マイクロプロセッサシステムで、または応用特定集積回路（ＡＳＩＣ）のような他の制御回路で実現することができる。図６中の点線１９０は、図２−４の上部および下部筐体にほぼ相当する送信機のモジュール分割を示す。センサ１５２，１５４，１５６およびそれらの特性データ１７２は、好ましくは共に一つのモジュールの中にあり、それは下部筐体の中にある。もしもセンサ１５２，１５４，１５６の一つが故障すると、下部筐体は測定の損うことなしに交換されることができる。乗数Ａ、Ｂ、Ｃの１以上の組のプログラムは、上部モジュールに蓄積される。圧力送信機１７０は２線、アナログ４−２０ｍＡ出力を有する。送信機回路に結合されたプログラム回路１７８は、第１の送信機回路１８２または第２の送信機回路１８４の一方を選択するプログラム入力を４−２０ｍＡ出力として受信するように適合されている。一方、全ての異なるタイプの出力は、ループ上でラベルを付けられたデジタル信号として直列的に利用される。
【００２０】
図７には、送信機２００が示されている。図７において、図６に示されている符号と同一の符号は、同一又は同等の要素を示す。図７において、マイクロプロセッサシステム２０２はリボンケーブル１３０を経て回路カード１２８に結合される。第１及び第２の（そして、さらに多くの）送信機出力は、受信機２０６への伝送に適した連続表示のラベル付けがなされている。このラベルによって、第１及び第２の出力を区別することができる。このラベル付けは、使用される連続プロトコル、例えばＨＡＲＴまたはＦＩＥＬＤＢＵＳの要請に従ってなされる。送信機回路は、受信機への送信に適合した連続表示をラベル付けされる多数の送信機出力を生成する。該ラベルによって出力を区別できる多数の送信機出力として、差圧（Ｐ２−Ｐ１）、絶対圧力Ｐ２、大気圧Ｐ３、ゲージ圧力（Ｐ１−Ｐ３）およびゲージ圧力（Ｐ２−Ｐ３）がある。静圧力０．５（Ｐ１＋Ｐ２）は、もし望まれるなら、含まれる。連続表示はプロセス制御ネットワークを経て伝送のためにフォーマットされる。
【００２１】
図８には、圧力送信機２２０が示されている。図８において、図６−７に使用されている符号と同じ符号は同一または同等の要素を示している。絶対圧力センサ出力１５３，１５５，１５７は異なるタイプの複数出力２３２を生成する送信機回路に接続される。送信機２２０は、さらに絶対圧力センサ１５２，１５４，１５６の流体ラインまたは圧力入力を結合し、一方、同時に該センサから処理圧力Ｐ１とＰ２を切り離すための送信機回路または他の回路により駆動されうるマニフォールドバルブの列を含む。較正圧力ＰＣＡＬ（ｔ）は全ての絶対圧力センサに適用されることができる。また、複数のタイプの出力は、較正圧力ＰＣＡＬが時間と共に変化するので 、受信機２０６において技術者によって観察されることができる。全ての絶対圧力センサは、同じ較正圧力に接続されるので、センサ１５２，１５４，１５６は、もし故障したセンサがなければ、同じ絶対圧力を読むであろう。装置は技術者に較正および診断ツールを提供する。マニフォルドは第１、第２、および第３の入り口に接続され、該第１、第２、および第３の入り口を互いに接続するように駆動できるバルブを含んでいる。診断回路は送信機回路に接続され、もし該第１、第２、および第３の圧力がバルブ２３４の駆動の後実質的に互いに等しくなく、種々の印加された較正圧力であるなら、警報を発することができる。
【００２２】
メモリ１７２に蓄積されたデータによって補正されたセンサ１５２，１５４，１５６は、電子的引き算が効果的に実行できるようにするために、互いに密接に追従しなければならない。送信機のための好ましい絶対圧力センサは、密接した追従と高い反復性を提供するために、サファイアで作られることができる。単結晶サファイアが好ましいが、多結晶または微小の粒子から形成されるサファイアもまた使用できる。サファイア容量センサのような高精度センサを用いることで、２００：１以上の正確な圧力測定の指定レンジを達成することができる。センサは、処理流体又は大気と接触して、または隔離ダイアフラムおよび隔離流体との配列によって処理流体または大気から隔離されることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  圧力送信機のための代表的な処理制御環境を示す。
【符号の説明】
２０……工業用の圧力送信機のための代表的な環境、２２……流量計、２３……処理流体ライン、２４、２６……レベル送信機、２８……タンク、３０……オリフィス流量計、３１……処理ライン、３２……制御システム、３４……通信バス、３６……圧力送信機、３８……圧力変換器、４０……制御バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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