(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、
Ｘ線源とＸ線検出器との間において被測定物を載置するステージと、
ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、
モニタ画面と、
Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部と、
モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、
モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウスとを備えるＸ線検査装置であって、
駆動部はステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構と、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構と、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構と、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構とを有し、
マウスは左クリックボタンと中クリックボタンと右クリックボタンとを有し、
モニタ画面に表示した四角形の透視Ｘ線画像の中心を原点とし、当該中心を通る水平線を基準線とするとともに、対角線を設定し、
モニタ画面に表示した透視Ｘ線画像上でマウスの左クリック操作による位置指定が行われたときに、原点に対する指定位置の方向と距離に応じて、ＸＹ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、
透視Ｘ線画像上でマウスの中クリック操作による位置指定が行われたときに、基準線に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、
透視Ｘ線画像上でマウスの右クリック操作による位置指定が行われたときに、対角線及び原点に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構又はステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生部とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査を行うためのＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器が配置してある。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。
これらのＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に、ステージを配置し、この上に被測定物を載置して位置を調整し、透視Ｘ線像を撮影する。また、ステージの他にＸ線検出器を傾動できるようにして（あるいはＸ線検出器とＸ線源とを一体で傾動できるようにして）、斜め方向からの透視Ｘ線像を撮影するようにしたものも利用されている。
【０００３】
Ｘ線検査装置による検査では、通常、位置合わせや測定倍率調整、測定角度調整のために視野移動を行う。視野移動は、入力操作により、ステージ移動機構やＸ線測定光学系の光軸を傾斜する傾動機構で構成される駆動部に対して駆動制御信号を与えることにより、ステージ等を所望の方向に所望の速度で移動させ、同時に被測定物の透視Ｘ線画像を撮影するようにし、これにより被測定物の検査位置、検査角度を探し出す。そして、適切な検査位置や検査角度が見つかると視野移動を停止し、その状態でモニタ画面に表示された透視Ｘ線画像を観察する。
【０００４】
Ｘ線検査装置における視野移動の操作を行うための入力装置としては、いろいろ考えられるが、操作者がステージをＸＹＺ方向に移動する場合に、移動方向と移動速度との制御信号を同時に指示することができ、しかも操作者が状況に応じて操作量を感覚的に把握して入力しやすい入力装置として、ジョイスティックが一般的に利用されている。例えば、図４に示すように、ジョイスティック５０のスティック５１を傾斜させた方向によりステージの移動方向を制御し、スティック５１の傾斜角度の大きさでステージの移動速度を制御する。さらにスティック周辺にボタン５２を設け、ステージの回転動作、昇降動作などの動作の指示を与えることができるようにしてある。
【０００５】
一方、最近のＸ線検査装置は、パーソナルコンピュータと接続されているものが一般的になっており、マウスによるコンピュータ操作に慣れた操作者が、マウスを用いて指示を与えることができるようにしてある（例えば特許文献１参照）。
マウスのクリック操作により、ステージの移動制御を行うことができるようにしたものも利用されている。例えば、図５に示すように、モニタ画面５３上に透視Ｘ線画像５４とともにマウス用操作画面５５が表示されており、マウス用操作画面上の特定領域（選択ボタン）をクリック操作することにより、予めその位置に対応して登録してある制御信号により、ステージ移動機構や傾動機構を制御するようにしてある。
【特許文献１】特開２００１−２５５２８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述したように、最近のＸ線検査装置はパーソナルコンピュータに接続されたものが多い。パーソナルコンピュータはマウスで操作することが多いことから、ステージ移動の操作を行う場合に、入力装置をマウスからジョイスティックに代えて操作するのではなく、そのままマウスを用いて操作できるようにするのが望ましい。
【０００７】
その場合に、図５に示したようなマウス操作画面を用いた方法で制御する場合は、ジョイスティックのように、複数の制御量、すなわち移動方向および移動速度を関連させて操作することが困難である。この方法では、マウスで１度に選択できるのは１種類であるため、ステージ移動方向とステージ移動速度とは同時には制御できず、柔軟な操作が困難である。
【０００８】
そこで、本発明はＸ線検査装置においてステージ駆動機構や傾動機構のような駆動機構を操作する際に、マウスを用いて移動方向と移動速度を含む複合的な制御信号を簡単なクリック操作で発生することができるようにしたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、ステージ駆動機構や傾動機構をジョイスティックにより操作するときと同様に、直感的に適度の操作量を指示することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、被測定物に向けて透視用Ｘ線を照射するＸ線源と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線源とＸ線検出器との間において被測定物を載置するステージと、ステージ上の被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整する駆動部と、モニタ画面と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成するＸ線画像作成部と、モニタ画面に透視Ｘ線画像の画像表示を行うＸ線画像表示制御部と、モニタ画面の任意の位置にポインタを表示するとともにクリック操作によりポインタの位置を指定するマウスとを備えるＸ線検査装置であって、駆動部はステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構と、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構と、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構と、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構とを有し、マウスは左クリックボタンと中クリックボタンと右クリックボタンとを有し、モニタ画面に表示した四角形の透視Ｘ線画像の中心を原点とし、当該中心を通る水平線を基準線とするとともに、対角線を設定し、モニタ画面に表示した透視Ｘ線画像上でマウスの左クリック操作による位置指定が行われたときに、原点に対する指定位置の方向と距離に応じて、ＸＹ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、透視Ｘ線画像上でマウスの中クリック操作による位置指定が行われたときに、基準線に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向への並進移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生し、透視Ｘ線画像上でマウスの右クリック操作による位置指定が行われたときに、対角線及び原点に対する指定位置の位置と距離に応じて、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構又はステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生する駆動信号発生部とを備えるようにしている。
【００１０】
この発明によれば、Ｘ線測定光学系によってステージ上に載置された被測定物の透視Ｘ線像が撮影され、Ｘ線画像作成部がＸ線検出器からの撮影信号に基づいて透視Ｘ線画像を作成する。
Ｘ線画像表示制御部は、作成された透視Ｘ線画像をモニタ画面に表示する。マウスは、モニタ画面にポインタを表示し、マウスの位置を移動させることによりモニタ画面上のポインタを移動するとともに、マウスのクリック操作ボタンをクリックすることにより、クリック時点のポインタの位置を指定する。ポインタがモニタ画面の透視Ｘ線画像上に表示された状態でクリック操作が行われると、その指定位置に応じた駆動信号が発生する。この駆動信号は、モニタ画面の二次元面上の位置に応じて駆動内容（駆動軸）の種類、移動方向、移動速度を同時に制御する信号とすることができるので、１回のクリック操作で複合的な駆動信号を発生させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ステージ駆動機構や傾動機構のような駆動機構を操作する際に、マウスによる１回のクリック操作で、駆動内容（駆動軸）の種類、移動方向(正転、逆転)、移動速度等の複合して同時に制御することができ、柔軟な位置決め操作を実行することができる。
また、透視Ｘ線画像上でクリック操作を行うので、例えば透視Ｘ線画像を右に移動したいときに、透視Ｘ線画像上の右側をクリックすれば右方向に移動するようにするなど、実際の表示画像に合った駆動信号を発生させるようにすれば、直感的な操作で所望の移動を行わせることができる。
【００１２】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、駆動部は、ステージ面方向であるＸＹ方向への並進移動機構、ステージ面に垂直なＺ方向への並進移動機構、Ｚ方向の回転軸に対する回転移動機構、ステージ面に対するＸ線測定光学系の光軸を傾斜させる傾動移動機構の少なくともいずれかの移動機構を有するようにしてもよい。
これによれば、駆動部による動作がＸＹ方向並進駆動、Ｚ方向並進駆動、回転駆動、傾動駆動のいずれでもマウスによるクリック操作で、複合的な制御を行うことができる。
【００１３】
上記発明において、さらに駆動信号発生部は、透視Ｘ線画像上の指定位置に応じて、いずれかの移動機構の移動方向と移動速度に関する制御情報を含んだ駆動信号を発生するようにしてもよい。
これによれば、移動方向と移動速度を１回のクリック操作で指示することができるので、ジョイスティックと同様の操作性を与えることができる。
【００１４】
上記発明において、駆動部は複数の移動機構を有し、マウスは複数のクリック操作用ボタンを有し、異なるクリック操作用ボタンには異なる移動機構の駆動信号が割り付けられるようにしてもよい。
これによれば、複数の移動機構の動作をクリック操作ボタンにより使い分けて指示することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物を載置するステージ１４と、被測定物の測定視野を調整するための駆動機構１５（駆動部）と、装置全体の制御を行う制御系２０とにより構成される。
【００１７】
制御系２０は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１、入力装置であるキーボード２２、同じく入力装置であるマウス２３、モニタ画面２４ａを有する表示装置２４により構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成部３１、Ｘ線画像表示制御部３２、駆動信号発生部３３に分けられる。
【００１８】
Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるイメージインテンシファイア（以下ＩＩと略す）と、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。
【００１９】
ステージ１４は、ＸＹ面となる２次元平面を有しており、この上に被測定物Ｓを載置することができるようにしてある。
駆動機構１５は、Ｘ線測定光学系１３（Ｘ線検出器１２、またはＸ線発生装置１１とＸ線検出器１２）を傾動移動するＸ線測定光学系傾動機構１６と、ステージ１４をＸＹＺ方向に並進移動するとともにＺ方向軸に対して回転移動するためのステージ移動機構１７とからなる。
そして、図２に示すように、ＸＹ面移動（Ｘ方向並進およびＹ方向並進）、上下移動（Ｚ方向並進）、Ｚ軸回転α、Ｚ軸傾動βの５種類の駆動内容について、それぞれの駆動軸方向に並進又は回転するためのモータが搭載されており、モータの回転方向（正回転、負回転）に基づいて移動方向が決定され、モータの回転速度に基づいて移動速度を決定されることになる。
【００２０】
ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。Ｘ線画像作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、表示装置２４のモニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂとして表示するためのコマ画像データを作成する制御を行う。
【００２１】
Ｘ線画像表示制御部３２は、Ｘ線画像作成部３１により作成されたコマ画像データを、次々とモニタ画面２４ａに表示する制御を行う。これにより、モニタ画面２４ａの一部または全面には、被測定物Ｓの透視Ｘ線画像２４ｂ（動画像）が表示される。
【００２２】
駆動信号発生部３３は、モニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂが表示されている状態で、透視Ｘ線画像２４ｂの上にマウスのポインタ２４ｃの位置が移動されクリック操作による位置指定が行われたときに、その指定位置を読み取り、指定位置座標に応じて予め設定してある駆動機構１５に対する駆動制御信号を発生する制御を行う。
本実施形態では、マウス２３には、３つのクリック操作ボタンが設けてあり、それぞれに異なる駆動軸に対する移動方向および移動速度の駆動制御信号が発生するようにしている。
【００２３】
図３は、マウス２３の各クリック操作ボタンと透視Ｘ線画像２４ｂでのクリック操作との関係を説明する図である。マウス２３には、左クリックボタン２３ａ、中クリックボタン２３ｂ、右クリックボタン２３ｃが設けてある。
透視Ｘ線画像２４ｂは、どのクリックボタンが操作されるかによって異なる制御モードが割り付けられる。すなわち、左クリックボタン２３ａを操作したときはＸＹ面移動の駆動軸を制御するモードＡとなり、中クリックボタン２３ｂを操作したときは上下移動の駆動制御信号が発生するモードＢとなり、右クリックボタンを操作したときは回転移動および傾動移動の駆動軸を制御するモードＣとなるようにしてある。
【００２４】
次に、各モードでの入力操作について説明する。モードＡでは、透視Ｘ線画像２４ｂの中心を原点として原点からクリックで指定した位置に向かう方向によってＸＹ面内の移動方向を指示し、中心からの距離により移動速度を指示する。これにより、透視Ｘ線画像２４ｂを見ながら、移動したい方向の画像部分をクリックすればよいので、直感的に移動方向を設定することができる。
モードＢでは、透視Ｘ線画像２４ｂの中心を通る水平線を基準線として、それより上部側が上方移動、下部側が下方移動を指示する領域となる。また、基準線からの距離に応じて移動速度を指示する。これにより、画面の上下位置と、上下移動方向および移動速度とを対応させて直感的に指示することができる。
モードＣでは、透視Ｘ線画像２４ｂが２本の対角線で上下左右に４分割され、そのうち上下２つの領域が傾動移動、左右２つの領域が回転移動の操作領域となる。傾動および回転は、移動方向は正転、逆転の２種類しかないので、上領域と右領域が正転、下領域と左領域が逆転の指示領域とする。移動速度は、モードＡと同様に中心からの距離により指示する。
これにより、直感的に移動方向、移動速度を設定することができるようにしてある。
【００２５】
したがって、モニタ画面２４ａに透視Ｘ線画像２４ｂが表示された状態で、操作者がマウスを移動してポインタを移動し、透視Ｘ線画像２４ｂの上でクリックすると、クリックしたクリックボタンの種類、透視Ｘ線画像２４ｂ上の指定位置とに基づいて、駆動する駆動軸の種類および駆動軸の移動方向、移動速度を一挙に設定することができるようになる。
【００２６】
上記実施形態では、モードＣにおいて、傾動と回転との指示を行うようにしたが、クリックボタンを４つ以上有するマウスを用いる場合は、傾動と回転とを別々のクリックボタンに対応させて別々のモードとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
本発明は、マウスを用いて視野調整を行うＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】駆動軸による移動方向の種類を説明する図。
【図３】マウスのクリック操作ボタンと透視Ｘ線画像上でのクリック操作との関係を説明する図。
【図４】従来からの入力装置のひとつであるジョイスティックの構成を示す図。
【図５】従来からのマウスによる入力操作を説明する図。
【符号の説明】
【００２９】
１、２：  Ｘ線検査装置
１１：  Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  ステージ
１５：  駆動機構（駆動部）
１６：  Ｘ線測定光学系傾動機構
１７：  ステージ移動機構
２０：  制御系
２３：  マウス
２４：  表示装置
２４ａ：  モニタ画面
２４ｂ：  透視Ｘ線画像
３１：  Ｘ線画像作成部
３２：  Ｘ線画像表示制御部
３３：  駆動信号発生部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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