(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が固定端とされ、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材のうち少なくとも一方の屈曲部材の他端に変位を伝達し、該屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記少なくとも一方の屈曲部材に変位が伝達されることにより、該屈曲部材の両端を結ぶ基準直線と交差する方向に前記頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記圧電素子が固定される支持体を更に備え、
前記一対の屈曲部材の前記各一端は、該一端が前記支持体に固定されることにより、固定端とされることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記各頂部は、前記基準直線に対して互いに異なる側に位置するように前記各屈曲部材がそれぞれ配置され、前記基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することを特徴とする請求項１又は２に記載されたアクチュエータ。
【請求項４】
前記各頂部は、前記基準直線に対して共に同じ側に位置するように前記各屈曲部材がそれぞれ配置され、前記基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することを特徴とする請求項１又は２に記載されたアクチュエータ。
【請求項５】
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、該積層体の積層方向と交差する各側面に前記積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、該各固定基板が、前記積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置された圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、該積層体の積層方向と交差する側面の一方に前記積層体の変位を拘束する拘束手段が配置された圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して共に同じ側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
前記圧電素子の中央部分が前記支持体に固定されていることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載されたアクチュエータ。
【請求項９】
前記圧電素子の中央部分と前記支持体とが固定された固定点と、前記各屈曲部材の前記各固定端との距離が共に略等しいことを特徴とする請求項８に記載されたアクチュエータ。
【請求項１０】
前記頂部同士が連結部材によって機械的に連結されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載されたアクチュエータ。
【請求項１１】
薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするスライダユニット。
【請求項１２】
薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするスライダユニット。
【請求項１３】
薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、
前記スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態で前記スプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするサスペンション。
【請求項１４】
薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、
前記アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、
前記スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態で前記スプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするサスペンション。
【請求項１５】
記録媒体と、該記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、該ヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダが搭載される連結部材によって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするハードディスク装置。
【請求項１６】
記録媒体と、該記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、該ヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、
前記アクチュエータは、
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部に前記第２内部電極を含んでいない圧電素子と、
前記圧電素子が固定される支持体と、
それぞれ頂部を有するように屈曲し、前記ヘッドスライダによって該頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、
前記一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、前記各頂部が前記各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、
前記圧電素子は、前記一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、前記各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、
前記圧電素子から前記一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、前記基準直線と交差し且つ同じ方向に前記各頂部が移動することを特徴とするハードディスク装置。
【請求項１７】
圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、
前記第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に前記積層体の積層方向並びに前記第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、
前記第１非活性部が内部に前記第１内部電極を含んでおらず、前記第２非活性部が内部委前記第２内部電極を含んでいないことを特徴とする圧電素子。
【請求項１８】
圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、
該積層体の積層方向と交差する各側面に前記積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、
該各固定基板が、前記積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置されていることを特徴とする圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録の分野において、急速な勢いで記録密度の高度化が進んでいる。この記録密度の高度化を図るために、例えばトラックピッチの幅を狭くした場合には、トラック位置に対する磁気ヘッドの位置を高い精度で制御する必要性が生じてくる。ところが、ボイスコイルモータ（ＶＣＭ：Voice Coil Motor）による制御だけでは高い精度を実現することは難しい。そのため、ボイスコイルモータによるヘッド位置制御に加えて、アクチュエータによる高精度のヘッド位置制御をおこなう２段型サーボコントロール方式が提案されている。
【０００３】
このような２段型サーボコントロール方式のアクチュエータとして、左右一対の可動部及びこれらの両可動部を一端部側において互いに連結する固定部を有する基体を備え、この基体の両可動部の少なくとも一方の側面に圧電／電歪素子が配設されているものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載されたアクチュエータでは、固定部を所定の方法によって固定すると共に、圧電／電歪素子を駆動させて可動部をたわませることにより、可動部の一端部側の移動に追従するように被駆動体が変位する。なお、この被駆動体の変位は、可動部の延在方向に対して直交する方向に沿った方向であり、略一直線状の変位である。
【特許文献１】特開２００２−２８９９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、従来にない新しい態様でヘッドスライダ等の被駆動体を駆動させることが可能なアクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、従来にない新しい態様でヘッドスライダ等の被駆動体を駆動させ得るアクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子を見出した。
【０００６】
すなわち、本発明に係るアクチュエータは、圧電素子と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、その頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、一対の屈曲部材は、その一端が固定端とされ、圧電素子は、一対の屈曲部材のうち少なくとも一方の屈曲部材の他端に変位を伝達し、その屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から少なくとも一方の屈曲部材に変位が伝達されることにより、その屈曲部材の両端を結ぶ基準直線と交差する方向に前記頂部が移動することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るアクチュエータでは、一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、一対の屈曲部材のうち少なくとも一方の屈曲部材の他端が圧電素子によって変位する。そして、圧電素子によって屈曲部材が変位することにより、屈曲部材の頂部が基準直線と交差する方向に移動する。そのため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が、この頂部の移動に伴い変位するようになる。その結果、ヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。また、一端が固定され、他端が圧電素子と接続された屈曲部材を圧電素子によって伸長及び屈曲させているため、端部の変位量に対して頂部の変位量を大きくすることができる。
【０００８】
また、圧電素子が固定される支持体を更に備え、一対の屈曲部材の各一端は、その一端が支持体に固定されることにより、固定端とされることが好ましい。
【０００９】
また、各頂部は、基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置され、基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することが好ましい。このようにすると、一対の屈曲部材のうち一方が伸長し、他方が屈曲するように各屈曲部材が駆動されるため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が平行移動と共に回転移動するようになり、共振等による振動の影響を受けにくくなる。
【００１０】
また、各頂部は、基準直線に対して共に同じ側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置され、基準直線と交差し且つ共に同じ方向に移動することが好ましい。このようにすると、一対の屈曲部材が共に伸長又は屈曲するように各屈曲部材が駆動されるため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が平行移動するようになる。
【００１１】
また、本発明に係るアクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、その頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、一対の屈曲部材は、その一端が前記支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。なお、本発明及び以下の発明において、「圧電的に活性な」とは「圧電効果（ピエゾ効果）により歪みが生じる」ことを意味し、「圧電的に非活性な」とは「圧電効果により歪みが生じない」ことを意味する。
【００１２】
本発明に係るアクチュエータでは、一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、各頂部が基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置する第１及び第２非活性部を含む積層体を有しており、第１非活性部の内部には第１内部電極が含まれておらず、第２非活性部の内部には第２内部電極が含まれていない。そのため、活性部が共に伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体（活性部）の変位が第１及び第２非活性部によりそれぞれ拘束されて、積層体が略Ｓ字状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように略Ｓ字状に変形することで、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が屈曲し、他方の屈曲部材が伸長するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。また、一端が固定され、他端が圧電素子に接続された各屈曲部材を圧電素子によって伸長及び屈曲させているため、端部の変位量に対して頂部の変位量を大きくすることができる。さらに、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が伸長し、他方の屈曲部材が屈曲するように各屈曲部材が駆動されるため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が平行移動と共に回転移動するようになり、共振等による振動の影響を受けにくくなる。またさらに、本発明に係るアクチュエータでは、圧電素子を１つのみしか用いていないため、部品点数を少なくすることができると共に、僅かな消費電力で大きな変位を得ることができる。
【００１３】
さらに、本発明に係るアクチュエータは、圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、その積層体の積層方向と交差する各側面に積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、その各固定基板が、積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置された圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、その頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００１４】
本発明に係るアクチュエータでは、一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、各頂部が基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子が積層体の積層方向と交差する各側面に設けられた固定基板を有しており、固定基板が積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置されている。そのため、積層体が伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体の変位が各固定基板によりそれぞれ拘束されて、略Ｓ字状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように略Ｓ字状に変形することで、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が屈曲し、他方の屈曲部材が伸長するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、各頂部同士を連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。また、一端が固定され、他端が圧電素子に接続された各屈曲部材を圧電素子によって伸長及び屈曲させているため、端部の変位量に対して頂部の変位量を大きくすることができる。さらに、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が伸長し、他方の屈曲部材が屈曲するように各屈曲部材が駆動されるため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が平行移動と共に回転移動するようになり、共振等による振動の影響を受けにくくなる。またさらに、本発明に係るアクチュエータでは、圧電素子を１つのみしか用いていないため、部品点数を少なくすることができると共に、僅かな消費電力で大きな変位を得ることができる。
【００１５】
またさらに、本発明に係るアクチュエータは、圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、その積層体の積層方向と交差する側面の一方に積層体の変位を拘束する拘束手段が配置された圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、その頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を備え、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して共に同じ側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００１６】
本発明に係るアクチュエータでは、一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、各頂部が基準直線に対して共に同じ側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子が、積層体の積層方向と交差する側面の一方に配置された拘束手段を有している。そのため、積層体が伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体の変位が拘束手段（例えば、圧電的に非活性な非活性部や固定基板）により拘束されて、積層体が弧状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように弧状に変形することで、一対の屈曲部材が共に伸長又は屈曲するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、各頂部同士を連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。また、一端が固定され、他端が圧電素子に接続された各屈曲部材を圧電素子によって伸長及び屈曲させているため、端部の変位量に対して頂部の変位量を大きくすることができる。さらに、一対の屈曲部材が共に伸長又は屈曲するように駆動されるため、各頂部同士を機械的に連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体が平行移動するようになる。またさらに、本発明に係るアクチュエータでは、圧電素子を１つのみしか用いていないため、部品点数を少なくすることができると共に、僅かな消費電力で大きな変位を得ることができる。
【００１７】
また、圧電素子の中央部分が支持体に固定されていることが好ましい。このようにすると、圧電素子の両端において十分な変位量を確保することができると共に、固定されている圧電素子の中央部分において容易かつ確実に配線を行うことができる。
【００１８】
また、圧電素子の中央部分と支持体とが固定された固定点と、各屈曲部材の各固定端との距離が共に略等しいことが好ましい。このようにすると、固定点及び各固定端によって略二等辺三角形が形成されるから、ヘッドスライダ等の被駆動体を安定に駆動させることが可能なアクチュエータとすることができる。
【００１９】
また、頂部同士が連結部材によって機械的に連結されていることが好ましい。このようにすると、この連結部材にヘッドスライダ等の被駆動体を搭載して各屈曲部材を駆動させることで、被駆動体の変位を制御することができる。
【００２０】
本発明に係るスライダユニットは、薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダが搭載される連結部材によってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明に係るスライダユニットは、薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダによってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２２】
上記の各スライダユニットでは、アクチュエータにおける一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、アクチュエータにおける一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、アクチュエータにおいて、各頂部が基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置する第１及び第２非活性部を含む積層体を有しており、第１非活性部の内部には第１内部電極が含まれておらず、第２非活性部の内部には第２内部電極が含まれていない。そのため、活性部が共に伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体（活性部）の変位が第１及び第２非活性部によりそれぞれ拘束されて、積層体が略Ｓ字状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように略Ｓ字状に変形することで、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が屈曲し、他方の屈曲部材が伸長するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、連結部材に搭載され、又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダを従来にない新しい態様で駆動させることができる。
【００２３】
本発明に係るサスペンションは、薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態でスプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダが搭載される連結部材によってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明に係るサスペンションは、薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、ヘッドスライダを駆動するアクチュエータと、アクチュエータが主面に搭載されたスプリングプレートと、スプリングプレートから所定距離だけ離間した状態でスプリングプレートを片持支持するロードビームと、を備え、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダによってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２５】
上記の各サスペンションでは、アクチュエータにおける一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、アクチュエータにおける一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、アクチュエータにおいて、各頂部が基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置する第１及び第２非活性部を含む積層体を有しており、第１非活性部の内部には第１内部電極が含まれておらず、第２非活性部の内部には第２内部電極が含まれていない。そのため、活性部が共に伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体（活性部）の変位が第１及び第２非活性部によりそれぞれ拘束されて、積層体が略Ｓ字状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように略Ｓ字状に変形することで、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が屈曲し、他方の屈曲部材が伸長するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、連結部材に搭載され、又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダを従来にない新しい態様で駆動させることができる。
【００２６】
本発明に係るハードディスク装置は、記録媒体と、その記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、そのヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダが搭載される連結部材によってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２７】
また、本発明に係るハードディスク装置は、記録媒体と、その記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッドが形成されたヘッドスライダと、そのヘッドスライダを駆動させるアクチュエータとを備えるハードディスク装置であって、アクチュエータは、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいない圧電素子と、圧電素子が固定される支持体と、それぞれ頂部を有するように屈曲し、ヘッドスライダによってその頂部同士が機械的に連結された一対の屈曲部材と、を有し、一対の屈曲部材は、その一端が支持体に固定されることにより固定端とされると共に、各頂部が各屈曲部材の両端を結ぶ基準直線に対して互いに異なる側に位置するように配され、圧電素子は、一対の屈曲部材の他端に変位を伝達し、各屈曲部材の両端間の距離を変えるように配されており、圧電素子から一対の屈曲部材に変位が伝達されることにより、基準直線と交差し且つ同じ方向に各頂部が移動することを特徴とする。
【００２８】
上記の各ハードディスク装置では、アクチュエータにおける一対の屈曲部材の一端が固定端となっており、アクチュエータにおける一対の圧電素子の他端が圧電素子によってそれぞれ変位する。また、アクチュエータにおいて、各頂部が基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材がそれぞれ配置されている。さらに、アクチュエータの圧電素子が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置する第１及び第２非活性部を含む積層体を有しており、第１非活性部の内部には第１内部電極が含まれておらず、第２非活性部の内部には第２内部電極が含まれていない。そのため、活性部が共に伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体（活性部）の変位が第１及び第２非活性部によりそれぞれ拘束されて、積層体が略Ｓ字状に変形するようになる。そして、圧電素子の積層体がこのように略Ｓ字状に変形することで、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材が屈曲し、他方の屈曲部材が伸長するように駆動されるから、各屈曲部材の頂部が共に基準直線と交差する方向に移動することとなる。その結果、連結部材に搭載され、又は各頂部同士を機械的に連結するように取り付けられたヘッドスライダを従来にない新しい態様で駆動させることができる。
【００２９】
本発明に係る圧電素子は、圧電体層と第１及び第２内部電極とが交互に積層され、圧電的に活性な活性部と圧電的に非活性な第１及び第２非活性部を含む積層体を有し、第１及び第２非活性部が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置しており、第１非活性部が内部に第１内部電極を含んでおらず、第２非活性部が内部に第２内部電極を含んでいないことを特徴とする。
【００３０】
本発明に係る圧電素子では、積層体が、互いに離間すると共に積層体の積層方向並びに第１及び第２内部電極の延在方向から見て互いに重ならないように位置する第１及び第２非活性部を含んでいる。そして、第１非活性部の内部には第１内部電極が含まれておらず、第２非活性部の内部には第２内部電極が含まれていない。そのため、活性部が共に伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体（活性部）の変位が第１及び第２非活性部によりそれぞれ拘束されて、積層体が略Ｓ字状に変形するようになる。その結果、本発明に係る圧電素子と、それぞれ頂部を形成するように屈曲する一対の屈曲部材とを用いてアクチュエータを作成すると、この圧電素子が略Ｓ字形状に変形して、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材を屈曲し、他方の屈曲部材を伸長するように各屈曲部材を駆動させるから、各頂部同士を連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。
【００３１】
また、本発明に係る圧電素子は、圧電体層と内部電極とが交互に積層された積層体を有し、その積層体の積層方向と交差する各側面に積層体の変位を拘束する固定基板がそれぞれ設けられ、その各固定基板が、積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置されていることを特徴とする。
【００３２】
本発明に係る圧電素子では、固定基板が、積層体の積層方向と交差する各側面にそれぞれ設けられ、積層体の積層方向から見たときに互いに重ならないように配置されている。そのため、積層体が伸長又は圧縮するように圧電素子を作動させると、積層体の変位が各固定基板によりそれぞれ拘束されて、略Ｓ字状に変形するようになる。その結果、本発明に係る圧電素子と、それぞれ頂部を形成するように屈曲する一対の屈曲部材とを用いてアクチュエータを作成すると、この圧電素子が略Ｓ字形状に変形して、一対の屈曲部材のうち一方の屈曲部材を屈曲し、他方の屈曲部材を伸長するように各屈曲部材を駆動させるから、各頂部同士を連結する連結部材に搭載され又は各頂部同士を連結するように取り付けられたヘッドスライダ等の被駆動体を従来にない新しい態様で駆動させることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、従来にない新しい態様でヘッドスライダ等の被駆動体を駆動させることが可能なアクチュエータ、スライダユニット、サスペンション及びハードディスク装置、並びにこれらに用いられる圧電素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
本発明の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは各図の上方向及び下方向に対応したものである。
【００３５】
（第１実施形態）
図１を参照して、第１実施形態に係るハードディスク装置１Ａの構成について説明する。図１は、第１〜第４実施形態に係るハードディスク装置を示す概略構成図である。
【００３６】
ハードディスク装置１Ａは、図１に示されるように、その筐体１０の内部に、記録媒体であるハードディスク１２と、ヘッドスライダ（以下、単にスライダと称する）ＳＬを有するヘッドスタックアセンブリ（ＨＳＡ：Head Stack Assembly）２０とを備えている。ハードディスク１２は、図示しないスピンドルモータによって回転される。スライダＳＬは、ハードディスク１２から磁気記録情報を読取り、またハードディスク１２に磁気記録情報を記録するためのものである。また、ハードディスク装置１Ａには、ハードディスク１２への情報の記録及び再生等の各種制御を行う制御部１４、及びスライダＳＬをハードディスク１２上から退避させておくためのランプ機構１６が設けられている。なお、図１では、ハードディスク１２からのスライダＳＬの浮上量を調整するためのスライダレール等の図示を省略している。
【００３７】
ヘッドスタックアセンブリ２０は、ボイスコイルモータにより支軸１８周りに回動自在に支持されたアクチュエータアーム２２と、このアクチュエータアーム２２に接続されたサスペンション２４とから構成された組立体が、図の奥行き方向に複数個重ねられることで構成されている。そして、このサスペンション２４の先端には、ハードディスク１２と対向するように、スライダＳＬが取り付けられている。
【００３８】
次に、図２〜図６を参照して、このハードディスク装置１ＡにおけるスライダＳＬの保持状態について説明する。図２は、第１実施形態に係るスライダユニットを示す斜視図である。図３は、第１実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。図４は、（ａ）が第１実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。図５は、第１実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図６は、図２のスライダユニットのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【００３９】
スライダＳＬは、略直方体形状を呈しており、幅が１．０ｍｍ程度、長さが１．２３５ｍｍ程度、高さが０．３ｍｍ程度に設定されている。スライダＳＬの内部には、ハードディスク１２と対向するエアベアリング面（ＡＢＳ：Air Bearing Surface）Ｓに露出するように薄膜磁気ヘッドＨが形成されている。このスライダＳＬは、２段階サーボコントロール方式によって位置制御されており、ボイスコイルモータに加えアクチュエータ３０によっても位置制御が行われている。アクチュエータ３０は、ボイスコイルモータよりも微細にスライダＳＬの位置制御を行うことのできるデバイスであり、スライダＳＬをサスペンション２４のロードビーム２６に対して相対変位させるものである。すなわち、スライダＳＬを比較的大きく移動させる際はボイスコイルモータによってサスペンション２４を回転させ、スライダＳＬの微少移動を行う際はアクチュエータ３０を駆動させる。
【００４０】
このアクチュエータ３０は、フレーム３２と、底板３４と、圧電素子５０とによって構成されている。
【００４１】
フレーム３２は、略Ｈ字状の金属板が加工され、一対の屈曲部材３６，３８と連結部材４０とが一体的に形成されている。各屈曲部材３６，３８は、頂部３６ａ，３８ａを形成するようにそれぞれ屈曲されている。各屈曲部材３６，３８は、頂部３６ａ，３８ａが各屈曲部材３６，３８の両端を結ぶ基準直線Ｌ１，Ｌ２に対して互いに異なる側に位置するように（頂部３６ａが基準直線Ｌ１に対して左側に位置し、頂部３８ａが基準直線Ｌ２に対して右側に位置するように）配置されている（図４（ａ）参照）。各屈曲部材３６，３８の先端は、その先端にそれぞれ設けられた各接合しろ３６ｂ、３８ｂと底板３４とが接合されることで底板３４に固定され、固定端となっている。各屈曲部材３６，３８の基端は、圧電素子５０の両端面と接着されることで、圧電素子５０と接続されている。連結部材４０は、頂部３６ａ，３８ａ同士を機械的に連結するように、各屈曲部材３６，３８と一体的に構成されており、スライダＳＬが搭載される搭載面４０ａを有している。連結部材４０の搭載面４０ａは、所定間隔をもって底板３４と離間するように、連結部材４０が凸状に折り曲げられて形成されている（図４（ｂ）参照）。このため、屈曲部材３６，３８の変位によって連結部材４０が移動しても、連結部材４０と底板３４とが接触しないようになっている。
【００４２】
底板３４は、略三角形状を呈しており、基端側の頂部が略矩形状となるように引き出された導出部３４ａを有している。底板３４の導出部３４ａは、圧電素子５０の中央部分と接着されている。また、アクチュエータ３０を後述するジンバル２８に設置するため、底板３４とジンバル２８とが接合されている。なお、第１実施形態に係るアクチュエータ３０では、底板３４と圧電素子５０とが固定された第１固定点Ｐ１と、底板３４と接合しろ３６ｂ，３８ｂとがそれぞれ固定された第２及び第３固定点Ｐ２，Ｐ３との距離が略等しくなるように設定されており、第１、第２及び第３固定点Ｐ１〜Ｐ３によって略二等辺三角形Ｔ１が形成されている。
【００４３】
圧電素子５０は、上述のように、エポキシ系、シリコーン系、アクリル系等の接着剤で、各屈曲部材３６，３８の基端及び底板３４の導出部３４ａと接着されている。圧電素子５０は、図５に示されるように、第１及び第３内部電極６０，６４又は第２及び第３内部電極６２，６４が表面に形成された圧電体層が複数積層された積層体５２と、積層体５２の表面に形成された外部電極５４ａ，５４ｂとを有している。
【００４４】
積層体５２は、圧電的に活性な領域である活性部５６と、圧電的に非活性な領域（図５中の斜線領域）である非活性部５８ａ，５８ｂとを含んでいる。非活性部５８ａ，５８ｂは、活性部５６を挟んで互いに離間すると共に、積層体５２の積層方向及び第１〜第３内部電極６０，６２，６４の延在方向から見て互いに重ならないように配置されている。
【００４５】
外部電極５４ａ，５４ｂは、例えばＡｇにより構成されている。外部電極５４ａは、積層体５２の一方の端面及び上面を覆うように形成されている。外部電極５４ｂは、積層体５２の他方の端面及び下面を覆うように形成されている。圧電素子５０の中央部分における外部電極５４ａ，５４ｂには、圧電素子５０を駆動させるために、例えば図示しない外部電源に電気的に接続されたフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）基板等を用いてリード線がはんだ等により接続され、電圧が印加されるようになっている。
【００４６】
積層体５２の内部に配置されている第１〜第３内部電極６０，６２，６４は、例えばＡｇ−Ｐｄ合金により構成されている。第１内部電極６０の一端は、積層体５２の一方の端面に引き出され、外部電極５４ａに接続されている。第１内部電極６０のうち積層体５２の上部に形成されている第１内部電極６０ａの他端は、積層体５２の他方の端面に露出しておらず、その端面からやや引き込まれた位置にある。一方、第１内部電極６０のうち積層体５２の下部に形成されている第１内部電極６０ｂの他端は、積層体５２の長手方向の中央付近に位置しており、非活性部５８ａの内部に至らないようになっている。
【００４７】
第２内部電極６２の一端は、積層体５２の他方の端面に引き出され、外部電極５４ｂに接続されている。第２内部電極６２のうち積層体５２の下部に形成されている第２内部電極６２ａの他端は、積層体５２の一方の端面に露出しておらず、その端面からやや引き込まれた位置にある。一方、第２内部電極６２のうち積層体５２の上部に形成されている第２内部電極６２ｂの他端は、積層体５２の長手方向の中央付近に位置しており、非活性部５８ｂの内部に至らないようになっている。
【００４８】
第３内部電極６４は、外部電極５４ａ，５４ｂ、第１内部電極６０及び第２内部電極６２のいずれにも接続されておらず、積層体５２の内部で独立して設けられている。
【００４９】
以上の構成を有する圧電素子５０に電圧が印加されると、活性部５６が伸長又は圧縮する一方、活性部５６と非活性部５８ａ，５８ｂとの接触面において非活性部５８ａ，５８ｂにより活性部５６の変位が拘束されるため、積層体５２が略Ｓ字状に変形することとなる。そのため、圧電素子５０の両端に接続されている各屈曲部材３６，３８は、一端が固定端となっているので、圧電素子５０によって変位が伝達されることで、その両端間の距離が変わるようになる。
【００５０】
そして、アクチュエータ３０にスライダＳＬが取り付けられたスライダユニット４２は、図２及び図５に示されるように、サスペンション２４のロードビーム２６に片持支持されたジンバル（スプリングプレート）２８上に載置されている。すなわち、スライダユニット４２は、アクチュエータ３０の底板３４とジンバル２８とが溶接等によって接合されることで、ジンバル２８のタング部２８ａの載置面２８ｂ上に載置されている。ジンバル２８におけるタング部２８ａの裏面２８ｃと、ロードビーム２６のジンバル対向面部２７とは、所定距離だけ離間した状態で対面している。このジンバル対向面部２７のスライダＳＬに対応する位置には、ジンバル２８のタング部２８ａがロードビーム２６方向へ過度に変位しないように規制するためのディンプル（突起）２６ａが、スライダＳＬへ向かって突出するように形成されている。
【００５１】
次に、図７を参照して、アクチュエータ３０の駆動について説明する。図７は、変位後の第１実施形態に係るアクチュエータを示す上面図である。
【００５２】
アクチュエータ３０は、圧電素子５０に電圧が印加されていない場合、圧電素子５０が変形しないので、図４（ａ）に示されるような初期状態となっている。そして、圧電素子５０に電圧が印加され、圧電素子５０が略Ｓ字状に変形すると、各屈曲部材３６，３８に変位が伝達されて各屈曲部材３６，３８の各基端がそれぞれ変位して、屈曲部材３６が屈曲し、屈曲部材３８が伸長するようになる。そうすると、各屈曲部材３６，３８の各頂部３６ａ，３８ａが、図４（ａ）に示される初期状態から図７に示される矢印Ａ方向（基準直線Ｌ１，Ｌ２と交差する方向）に共に移動する。このとき、連結部材４０が各頂部３６ａ，３８ａと同じく矢印Ａ方向に平行移動すると共に初期状態から角度θ１だけ回転移動し、連結部材４０の中心点が初期状態の点Ｏ１ａから変位後の点Ｏ１ｂへと移動することとなる。
【００５３】
このように連結部材４０が変位すると、連結部材４０の搭載面４０ａに搭載されているスライダＳＬが変位する。具体的には、スライダＳＬの先端の中心位置が、初期状態の点Ｐ１から変位後の点Ｑ１まで距離Ｄ１だけ移動する。なお、このアクチュエータ３０では、図７に示される矢印Ａと反対方向についても、上記と同様にスライダＳＬが駆動される。
【００５４】
以上のように、本第１実施形態では、アクチュエータ３０において、各屈曲部材３６，３８の先端が底板３４を介してジンバル２８に固定されており、各屈曲部材３６，３８の各基端が圧電素子５０によってそれぞれ変位する。また、屈曲部材３６の頂部３６ａが基準直線Ｌ１に対して左側に位置し、屈曲部材３８の頂部３８ａが基準直線Ｌ２に対して右側に位置するように、各屈曲部材３６，３８がそれぞれ配置されている。さらに、圧電素子５０において、積層体５２が、互いに離間すると共に積層体５２の積層方向及び第１〜第３内部電極６０，６２，６４の延在方向から見て互いに重ならないように位置する非活性部５８ａ，５８ｂを含んでおり、第１内部電極６０ｂが非活性部５８ａの内部に至らず、第２内部電極６２ｂが非活性部５８ｂの内部に至らないようになっている。そのため、圧電素子５０は、電圧が印加されることで、活性部５６が伸長又は圧縮する一方、非活性部５８ａ，５８ｂによって活性部５６の変位が拘束されるので、略Ｓ字状に変形することとなる。そして、圧電素子５０の積層体５２がこのように略Ｓ字状に変形することで、屈曲部材３６が屈曲し且つ屈曲部材３８が伸長するように各屈曲部材３６，３８が駆動されるから、各屈曲部材３６，３８の各頂部３６ａ，３８ａが図７に示される矢印Ａ方向に共に移動することとなる。その結果、連結部材４０の搭載面４０ａに搭載されたスライダＳＬを従来にない新しい態様で駆動させることができることとなる。
【００５５】
また、本第１実施形態では、先端が底板３４に固定され、基端が圧電素子５０の両端とそれぞれ接続された各屈曲部材３６，３８を、圧電素子５０によってそれぞれ伸長及び屈曲させている。そのため、各屈曲部材３６，３８の端部の変位量に対して、各頂部３６ａ，３８ａの変位量を大きくすることができる。
【００５６】
また、本第１実施形態では、屈曲部材３６が伸長し、屈曲部材３８が屈曲するように各屈曲部材３６，３８が駆動される。そのため、連結部材４０の搭載面４０ａに搭載されたスライダＳＬが平行移動すると共に回転移動するので、スライダＳＬが共振等による振動の影響を受けにくくなる。
【００５７】
また、本第１実施形態では、スライダＳＬの駆動源として圧電素子５０を１つしか用いていないため、部品点数を少なくすることができると共に、僅かな消費電力で大きな変位を得ることが可能となる。
【００５８】
また、本第１実施形態では、圧電素子５０の中央部分と底板３４の導出部３４ａとが固定されている。そのため、圧電素子５０の両端において十分な変位量を確保することができると共に、固定されている圧電素子５０の中央部分において容易かつ確実に配線を行うことができる。
【００５９】
また、本第１実施形態では、第１、第２及び第３固定点Ｐ１〜Ｐ３によって略二等辺三角形Ｔ１が形成されているため、スライダＳＬを安定に駆動させることが可能なアクチュエータとすることができる。
【００６０】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態に係るハードディスク装置１Ｂについて説明する。第２実施形態に係るハードディスク装置１Ｂでは、アクチュエータ１３０の構成が、上述の第１実施形態に係るアクチュエータ３０と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
【００６１】
図８及び図９を参照して、アクチュエータ１３０の構成について説明する。図８は、第２実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。図９は、（ａ）が第２実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【００６２】
アクチュエータ１３０は、フレーム１３２と、圧電素子５０とによって構成されている。フレーム１３２は、略Ｍ字状の金属板が加工され、一対の屈曲部材１３４，１３６と底板１３８とが一体的に形成されている。各屈曲部材１３４，１３６は、頂部１３４ａ，１３６ａを形成するようにそれぞれ屈曲されている。各屈曲部材１３４，１３６は、頂部１３４ａ、１３６ａが各屈曲部材１３４，１３６の両端を結ぶ基準直線Ｌ１０１，Ｌ１０２に対して互いに異なる側に位置するように（頂部１３４ａが基準直線Ｌ１０１に対して左側に位置し、頂部３８ａが基準直線Ｌ１０２に対して右側に位置するように）配置されている（図９（ａ）参照）。各屈曲部材１３４，１３６の先端は、底板１３８の先端側における各角とそれぞれ機械的に連結されており、底板１３８を介してジンバル２８に固定されている。各屈曲部材１３４，１３６の基端は、圧電素子５０の両端面と接着されることで、圧電素子５０と接続されている。なお、第２実施形態においては、各屈曲部材１３４，１３６の各頂部１３４ａ，１３６ａ同士を連結するようにスライダＳＬが取り付けられており、スライダＳＬが所定間隔をもって底板１３８と離間している（図９（ｂ）参照）。
【００６３】
底板１３８は、略三角形状を呈しており、基端側の頂部が略矩形状となるように引き出された導出部１３８ａを有している。底板１３８の導出部１３８ａは、圧電素子５０の中央部分と接着されている。また、アクチュエータ１３０をジンバル２８に設置するため、底板１３８とジンバル２８とが接合されている。なお、第２実施形態に係るアクチュエータ１３０では、底板１３８と圧電素子５０とが固定された第１固定点Ｐ１０１と、各屈曲部材１３４，１３６の先端がそれぞれ底板１３８を介してジンバル２８と固定された第２及び第３固定点Ｐ１０２，Ｐ１０３との距離が略等しくなるように設定されており、第１、第２及び第３固定点Ｐ１０１〜Ｐ１０３によって略二等辺三角形Ｔ２が形成されている。
【００６４】
第２実施形態に係るアクチュエータ１３０は、圧電素子５０によって第１実施形態に係るアクチュエータ３０と同様に駆動される。すなわち、図９（ａ）に示されるアクチュエータ１３０の初期状態から、圧電素子５０に電圧が印加されて圧電素子５０が略Ｓ字状に変形すると、各屈曲部材１３４，１３６の各頂部１３４ａ，１３６ａが図１０に示される矢印Ａ方向（基準直線Ｌ１０１，Ｌ１０２と交差する方向）に共に移動する。このとき、スライダＳＬが各頂部１３４ａ，１３６ａと同じく矢印Ａ方向に平行移動すると共に初期状態から角度θ２だけ回転移動し、スライダＳＬの中心点が初期状態の点Ｏ２ａから変位後の点Ｏ２ｂへと移動することとなる。そして、これに伴い、スライダＳＬの先端の中心位置が、初期状態の点Ｐ２から変位後の点Ｑ２へと距離Ｄ２だけ移動する。
【００６５】
以上のように、本第２実施形態に係るアクチュエータ１３０は、第１実施形態に係るアクチュエータ３０と同じ作用効果を奏する。
【００６６】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態に係るハードディスク装置１Ｃについて説明する。第３実施形態に係るハードディスク装置１Ｃでは、アクチュエータ２３０の構成が、上述の第１及び第２実施形態に係るアクチュエータ３０，１３０と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
【００６７】
図１１及び図１２を参照して、アクチュエータ２３０の構成について説明する。図１１は、第３実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。図１２は、（ａ）が第３実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【００６８】
アクチュエータ２３０は、フレーム２３２と、底板２３４と、圧電素子５０とによって構成されている。
【００６９】
フレーム２３２は、所定形状の金属板が加工され、一対の屈曲部材２３６，２３８と第１連結部材２４０及び第２連結部材２４２とが一体的に形成されている。各屈曲部材２３６，２３８は、頂部２３６ａ，２３８ａを形成するようにそれぞれ屈曲されている。各屈曲部材２３６，２３８は、各頂部２３６ａ，２３８ａが各屈曲部材２３６，２３８の両端を結ぶ基準直線Ｌ２０１，Ｌ２０２に対して互いに異なる側に位置するように（頂部２３６ａが基準直線Ｌ２０１に対して左側に位置し、頂部２３８ａが基準直線Ｌ２０２に対して右側に位置するように）配置されている（図１２（ａ）参照）。各屈曲部材２３６，２３８の先端は、第２連結部材２４２と一体となっている。各屈曲部材２３６，２３８の基端は、圧電素子５０の両端面と接着されることで、圧電素子５０と接続されている。第１連結部材２４０は、頂部２３６ａ，２３８ａ同士を機械的に連結するように、各屈曲部材２３６，２３８と一体的に構成されており、スライダＳＬが搭載される搭載面２４０ａを有している。第１連結部材２４０の搭載面２４０ａは、所定間隔をもって底板２３４と離間するように、第１連結部材２４０が凸状に折り曲げられて形成されている（図１２（ｂ）参照）。第２連結部材２４２は、各屈曲部材２３６，２３８の先端同士を機械的に連結するように、各屈曲部材２３６，２３８と一体的に構成されている。また、第２連結部材２４２は、溶接等によって底板２３４の先端側と接合されている。
【００７０】
底板２３４は、略矩形状を呈しており、基端側が引き出された略矩形状の導出部２３４ａを有している。底板２３４の導出部２３４ａは、圧電素子５０の中央部分と接着されている。また、アクチュエータ２３０をジンバル２８に設置するため、底板２３４とジンバル２８とが接合されている。なお、第３実施形態に係るアクチュエータ２３０では、底板２３４と圧電素子５０とが固定された第１固定点Ｐ２０１と、各屈曲部材２３６，２３８の先端がそれぞれ底板２３４を介してジンバル２８と固定された第２及び第３固定点Ｐ２０２，Ｐ２０３との距離が略等しくなるように設定されており、第１、第２及び第３固定点Ｐ２０１〜Ｐ２０３によって略二等辺三角形Ｔ３が形成されている。
【００７１】
第３実施形態に係るアクチュエータ２３０は、圧電素子５０によって第１及び第２実施形態に係るアクチュエータ３０，１３０と同様に駆動される。すなわち、図１２（ａ）に示されるアクチュエータ２３０の初期状態から、圧電素子５０に電圧が印加されて圧電素子５０が略Ｓ字状に変形すると、各屈曲部材２３６，２３８に変位が伝達されて各屈曲部材２３６，２３８の各基端がそれぞれ変位して、各屈曲部材２３６，２３８の各頂部２３６ａ，２３８ａが図１３に示される矢印Ａ方向（基準直線Ｌ２０１，Ｌ２０２と交差する方向）に共に移動する。このとき、スライダＳＬが各頂部２３６ａ，２３８ａと同じく矢印Ａ方向に平行移動すると共に初期状態から角度θ３だけ回転移動し、スライダＳＬの中心点が初期状態の点Ｏ３ａから変位後の点Ｏ３ｂへと移動することとなる。そして、これに伴い、スライダＳＬの先端の中心位置が、初期状態の点Ｐ３から変位後の点Ｑ３へと距離Ｄ３だけ移動する。
【００７２】
以上のように、本第３実施形態に係るアクチュエータ２３０は、第１及び第２実施形態に係るアクチュエータ３０，１３０と同じ作用効果を奏する。
【００７３】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態に係るハードディスク装置１Ｄについて説明する。第４実施形態に係るハードディスク装置１Ｄでは、圧電素子３５０を含めたアクチュエータ３３０の構成及び動作が、上述の第１〜第３実施形態に係るアクチュエータ３０，１３０，２３０と相違する。以下では、これらの相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
【００７４】
図１４を参照して、アクチュエータ３３０の構成について説明する。図１４は、（ａ）が第４実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【００７５】
アクチュエータ３３０は、フレーム３３２と、底板３３４と、圧電素子３５０とによって構成されている。
【００７６】
フレーム３３２は、略Ｈ字状の金属板が加工され、一対の屈曲部材３３６，３３８と連結部材３４０とが一体的に形成されている。各屈曲部材３３６，３３８は、頂部３３６ａ，３３８ａを形成するようにそれぞれ屈曲されている。各屈曲部材３３６，３３８は、各頂部３３６ａ，３３８ａが各屈曲部材３３６，３３８の両端を結ぶ基準直線Ｌ３０１，Ｌ３０２に対して共に同じ側（右側）に位置するように配置されている（図１４参照）。各屈曲部材３３６，３３８の基端は、圧電素子３５０の両端面と接着されることで、圧電素子３５０と接続されている。連結部材３４０は、頂部３３６ａ，３３８ａ同士を機械的に連結するように、各屈曲部材３３６，３３８と一体的に構成されており、スライダＳＬが搭載される搭載面３４０ａを有している。連結部材３４０の搭載面３４０ａは、所定間隔をもって底板３３４と離間するように、連結部材３４０が凸状に折り曲げられて形成されている（図１４（ｂ）参照）。
【００７７】
底板３３４は、略三角形状を呈しており、基端側の頂部が略矩形状となるように引き出された導出部３３４ａを有している。底板３３４の導出部３３４ａは、圧電素子３５０の中央部分と接着されている。また、アクチュエータ３３０をジンバル２８に設置するため、底板３３４とジンバル３２８とが接合されている。なお、第４実施形態に係るアクチュエータ３３０では、底板３３４と圧電素子３５０とが固定された第１固定点Ｐ３０１と、底板３３４と接合しろ３３６ｂ，３３８ｂとがそれぞれ固定された第２及び第３固定点Ｐ３０２，Ｐ３０３との距離が略等しくなるように設定されており、第１、第２及び第３固定点Ｐ３０１〜Ｐ３０３によって略二等辺三角形Ｔ４が形成されている。
【００７８】
圧電素子３５０は、図１５に示されるように、圧電体層３５４と内部電極３５６とが交互に積層された積層体３５２と、積層体３５２の表面に形成された外部電極３５８とを有している。積層体３５２では、内部電極３５６同士が圧電体層３５４を挟んで隣り合っている領域が、圧電的に活性な活性部３６０となっている。また、積層体３５２には、積層体３５２の積層方向と交差する側面の一方に、圧電的に非活性な領域である非活性部３６２が配置されている。そのため、圧電素子３５０に電圧が印加されると、活性部３６０が伸長又は圧縮する一方、活性部３６０と非活性部３６２との接合面において非活性部３６２により活性部３６０の変位が拘束されるため、積層体３５２が弧状に変形することとなる。
【００７９】
以上のように、本第４実施形態では、アクチュエータ３０において、各屈曲部材３３６，３３８の先端が底板３３４を介してジンバル２８に固定されており、各屈曲部材３３６，３３８の各基端が圧電素子３５０によってそれぞれ変位する。また、各屈曲部材３３６，３３８の各頂部３３６ａ，３３８ａが基準直線Ｌ３０１，Ｌ３０２に対して共に右側に位置するように、各屈曲部材３３６，３３８が配置されている。さらに、圧電素子３５０において、積層体３５２の積層方向と交差する側面の一方に、圧電的に非活性な領域である非活性部３６２が配置されている。そのため、圧電素子３５０は、非活性部３６２により活性部３６０の変位が拘束され、電圧が印加されることで弧状に変形することとなる。そして、圧電素子３５０の積層体３５２がこのように弧状に変形することで、各屈曲部材３３６，３３８が伸長又は屈曲するから、各屈曲部材３３６，３３８の各頂部３３６ａ，３３８ａが共に図１６に示される矢印Ａ方向に移動することとなる。その結果、連結部材３４０の搭載面３４０ａに搭載されたスライダＳＬを従来にない新しい態様で駆動させることができることとなる。
【００８０】
また、本第４実施形態では、先端が底板３３４と固定され、基端が圧電素子３５０の両端とそれぞれ接続された各屈曲部材３３６，３３８を、圧電素子３５０によってそれぞれ伸長及び屈曲させている。そのため、各屈曲部材３３６，３３８の端部の変位量に対して、各頂部３３６ａ，３３８ａの変位量を大きくすることができる。
【００８１】
また、本第４実施形態では、各屈曲部材３３６，３３８が共に伸長又は屈曲するように駆動される。そのため、連結部材３４０の搭載面３４０ａに搭載されたスライダＳＬが平行移動するようになる。
【００８２】
また、本第４実施形態では、スライダＳＬの駆動源として圧電素子３５０を１つしか用いていないため、部品点数を少なくすることができると共に、僅かな消費電力で大きな変位を得ることが可能となる。
【００８３】
また、本第４実施形態では、圧電素子３５０の中央部分と底板３３４の導出部３３４ａとが固定されている。そのため、圧電素子３５０の両端において十分な変位量を確保することができると共に、固定されている圧電素子３５０の中央部分において容易かつ確実に配線を行うことができる。
【００８４】
また、本第４実施形態では、第１、第２及び第３固定点Ｐ３０１〜Ｐ３０３によって略二等辺三角形Ｔ４が形成されているため、スライダＳＬを安定に駆動させることが可能なアクチュエータとすることができる。
【００８５】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、第１〜第３実施形態に係るアクチュエータ３０，１３０，２３０では圧電素子５０を用いていたが、図１７に示されるような圧電素子４５０を用いてもよい。圧電素子４５０は、具体的には、圧電体層４５４と内部電極４５６とが交互に積層された積層体４５２と、積層体４５２の表面に形成された一対の外部電極４５８と、一対の固定基板４６０ａ，４６０ｂとを有している。各固定基板４６０ａ，４６０ｂは、積層体４５２の積層方向と交差する各側面にそれぞれ設けられており、積層体４５２の積層方向から見たときに互いに重ならないようになっている。そのため、圧電素子４５０に電圧が印加されると、積層体４５２が伸長又は圧縮する一方、積層体４５２と固定基板４６０ａ，４６０ｂとの接合面において積層体４５２の変位が拘束されるため、積層体４５２が略Ｓ字状に変形することとなる。
【００８６】
また、第１〜第３実施形態では頂部３６ａ，１３４ａ，２３６ａが基準直線Ｌ１，Ｌ１０１，Ｌ２０１に対して右側に位置し、頂部３８ａ，１３６ａ，２３８ａが基準直線Ｌ２，Ｌ１０２，Ｌ２０２に対して左側に位置するように屈曲部材３６，１３４，２３６及び屈曲部材３８，１３６，２３８が配置されていたが、各頂部がそれぞれの基準直線に対して互いに異なる側に位置するように各屈曲部材が配置されていればよい。具体的には、頂部３６ａ，１３４ａ，２３６ａが基準直線Ｌ１，Ｌ１０１，Ｌ２０１に対して左側に位置し、頂部３８ａ，１３６ａ，２３８ａが基準直線Ｌ２，Ｌ１０２，Ｌ２０２に対して右側に位置するように屈曲部材３６，１３４，２３６及び屈曲部材３８，１３６，２３８が配置されていてもよい。
【００８７】
また、第４実施形態に係るアクチュエータ３３０では圧電素子３５０を用いていたが、図１８に示されるような圧電素子５５０を用いてもよい。圧電素子５５０は、具体的には、圧電体層５５４と内部電極５５６とが交互に積層された積層体５５２と、積層体５５２の表面に形成された一対の外部電極５５８と、固定基板５６０とを有している。固定基板５６０は、積層体５５２の積層方向と交差する側面の一方に配置されている。そのため、圧電素子５５０に電圧が印加されると、積層体５５２が伸長又は圧縮する一方、積層体５５２と固定基板５６０との接合面において積層体５５２の変位が拘束されるため、積層体５５２が弧状に変形することとなる。
【００８８】
また、第４実施形態では各頂部３３６ａ，３３８ａが各基準直線Ｌ３０１，Ｌ３０２に対して共に右側に位置するように各屈曲部材３３６，３３８が配置されていたが、各頂部３３６ａ，３３８ａが各基準直線Ｌ３０１，Ｌ３０２に対して共に左側に位置するように各屈曲部材３３６，３３８が配置されていてもよい。
【００８９】
また、上記の各実施形態においては１つの圧電素子を用いてアクチュエータを駆動させていたが、圧電素子を各屈曲部材に一つずつ割り当てることにより、複数の圧電素子を用いてアクチュエータを駆動させてもよい。このとき、圧電素子は、各屈曲部材の基端又は先端のいずれに接続されていてもよい。
【００９０】
また、上記の各実施形態においては金属板を加工することによりフレーム３２，１３２，２３２，３３２を形成していたが、単結晶シリコン基板をエッチング等することによりフレームを形成してもよい。
【００９１】
また、上記の各実施形態においては底板３４，１３８，２３４，３３４をジンバル２８と接合することにより、アクチュエータ３０，１３０，２３０，３３０をジンバル２８に設置していたが、フレーム３２，１３２，２３２，３３２が底板３４，１３８，２３４，３３４を有さず、フレーム３２，１３２，２３２，３３２を直接ジンバル２８と接合することにより、アクチュエータ３０，１３０，２３０，３３０をジンバル２８に設置してもよい。
【００９２】
また、上記の各実施形態においてはアクチュエータ３０，１３０，２３０，３３０を薄膜磁気ヘッドＨが形成されたスライダＳＬの駆動に適用したが、スライダＳＬだけでなく種々の被駆動体の駆動に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】第１〜第４実施形態に係るハードディスク装置を示す概略構成図である。
【図２】第１実施形態に係るスライダユニットを示す斜視図である。
【図３】第１実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図４】（ａ）が第１実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【図５】第１実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図６】図２のスライダユニットのＶＩ−ＶＩ線断面図である。
【図７】変位後の第１実施形態に係るアクチュエータを示す上面図である。
【図８】第２実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図９】（ａ）が第２実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【図１０】変位後の第２実施形態に係るアクチュエータを示す上面図である。
【図１１】第３実施形態に係るアクチュエータの分解斜視図である。
【図１２】（ａ）が第３実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【図１３】変位後の第３実施形態に係るアクチュエータを示す上面図である。
【図１４】（ａ）が第４実施形態に係るアクチュエータの上面図であり、（ｂ）が（ａ）のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【図１５】第４実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図１６】変位後の第４実施形態に係るアクチュエータを示す上面図である。
【図１７】第１〜第３実施形態の変形例に係る圧電素子を示す斜視図である。
【図１８】第４実施形態の変形例に係る圧電素子を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９４】
１Ａ〜１Ｄ…ハードディスク装置、１２…ハードディスク、２４…サスペンション、２６…ロードビーム、２８…ジンバル（スプリングプレート）、３０，１３０，２３０，３３０…アクチュエータ、３６，３８，１３４，１３６，２３６，２３８，３３６，３３８…屈曲部材、３６ａ，３８ａ，１３４ａ，１３６ａ，２３６ａ，２３８ａ，３３６ａ，３３８ａ…頂部、３４，１３８，２３４．３３４…底板、４０，２４０，３４０…（第１）連結部材、４２…スライダユニット、５０，３５０，４５０，５５０…圧電素子、５２，３５２，４５２，５５２…積層体、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ１０１，Ｌ１０２，Ｌ２０１，Ｌ２０２，Ｌ３０１，Ｌ３０２…基準直線、ＳＬ…ヘッドスライダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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