(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溝を挟んで板厚方向に二つに分かれている部分を有していて当該二つに分かれている部分の両方の相対応する位置に、フィラメントを通すフィラメント穴および支点部材を通す支点部材穴をそれぞれ有しているフィラメント導体と、
前記フィラメント導体の溝内に位置している部分を有していて、当該溝内に位置している部分であって前記フィラメント導体のフィラメント穴および支点部材穴にそれぞれ対応する位置に、フィラメントを通すフィラメント穴および支点部材を通す支点部材穴を有しているフィラメントクランパーと、
前記フィラメント導体および前記フィラメントクランパーの両支点部材穴に通されていて、前記フィラメントクランパーを前記フィラメント導体に回動可能に保持している支点部材と、
前記フィラメント導体に対して前記フィラメントクランパーを回動させる方向に締め付ける締付け手段とを備えていて、
前記フィラメント導体および前記フィラメントクランパーのフィラメント穴にフィラメントを通し、前記締付け手段によって前記フィラメントクランパーを締め付けることによって、前記フィラメントにせん断方向に力を加えて、前記フィラメント導体に前記フィラメントを保持していることを特徴とするフィラメント保持構造。
【請求項２】
前記フィラメントは曲げ戻された形状をしており、請求項１記載のフィラメント保持構造を二つ用いて、前記フィラメントの両端部をそれぞれ保持していることを特徴とするフィラメント保持構造。
【請求項３】
前記締付け手段は、ボルトと、それに螺合するナットとを有している請求項１または２記載のフィラメント保持構造。
【請求項４】
前記ボルトはモリブデンから成り、前記ナットはカーボンから成る請求項３記載のフィラメント保持構造。
【請求項５】
請求項１、２、３または４記載のフィラメント保持構造を備えていることを特徴とするイオン源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばイオン源、プラズマ発生装置等に用いられるものであって、フィラメント導体にフィラメントを保持するフィラメント保持構造、およびそれを備えるイオン源に関する。
【背景技術】
【０００２】
イオン源等に用いられる従来のフィラメント保持構造の一例を図７に示す。このフィラメント保持構造は、フィラメント５０（これは、全体は概ねＵ字状に曲げ戻された形状をしている。例えば図４参照）を保持しかつ通電するための二つのフィラメント導体１２０の先端部付近にそれぞれスロット（細長い溝）１２２を設けておいて、スロット１２２を押し開いてフィラメント５０（より具体的にはその両端部）を挟むことによって、フィラメント導体１２０の弾性によってフィラメント５０を挟み込んで保持する（クランプする）という構造である。同様の構造が特許文献１にも記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１８２６２３号公報（段落００２７、００２８、図６、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来のフィラメント保持構造では、フィラメント５０が発熱によって高温になることに伴って、フィラメント導体１２０のフィラメント５０保持部付近も高温（例えば１０００℃〜１５００℃程度）になり、それによって、フィラメント導体１２０の材料（例えばモリブデン）が硬化して、スロット１２２を押し開いた状態が維持されて（即ち弾性が低下して）、フィラメント５０を保持する力（クランプ力）が低下してしまい、しかも一旦クランプ力が低下するとその再生が困難であるという課題がある。
【０００５】
クランプ力が低下すると、フィラメント５０の位置がずれやすくなり、様々な不具合を惹き起こす。例えば、フィラメント５０によってカソードを加熱する傍熱型陰極の場合、フィラメント５０の位置ずれによって当該フィラメント５０とカソードとの間の間隔が変化するので、カソードからの電子放出特性が変化してしまう。フィラメント５０とカソードとが当たると、両者間に接続されている電源を短絡して当該電源が壊れることも起こり得る。
【０００６】
これに対しては、当初からのクランプ力をより強くするために、（ａ）フィラメント５０の直径（線径）よりもスロット１２２の幅を十分に小さくする、（ｂ）フィラメント導体１２０のフィラメント保持部付近の幅を大きくする、（ｃ）フィラメント導体１２０のフィラメント保持部付近の厚さを大きくする、等の対策が考えられるが、当初からのフィラメントクランプ力をより強くすると、スロット１２２を押し開くことが困難になるので、フィラメント５０を挟み込んで保持する作業性が低下するという別の課題が発生する。
【０００７】
そこでこの発明は、高温になってもクランプ力の低下が少なく、クランプ力の再生も容易であり、かつフィラメントの保持や位置調整の作業性が良いフィラメント保持構造およびそれを備えるイオン源を提供することを主たる目的としている。
【０００８】
この発明に係るフィラメント保持構造は、溝を挟んで板厚方向に二つに分かれている部分を有していて当該二つに分かれている部分の両方の相対応する位置に、フィラメントを通すフィラメント穴および支点部材を通す支点部材穴をそれぞれ有しているフィラメント導体と、前記フィラメント導体の溝内に位置している部分を有していて、当該溝内に位置している部分であって前記フィラメント導体のフィラメント穴および支点部材穴にそれぞれ対応する位置に、フィラメントを通すフィラメント穴および支点部材を通す支点部材穴を有しているフィラメントクランパーと、前記フィラメント導体および前記フィラメントクランパーの両支点部材穴に通されていて、前記フィラメントクランパーを前記フィラメント導体に回動可能に保持している支点部材と、前記フィラメント導体に対して前記フィラメントクランパーを回動させる方向に締め付ける締付け手段とを備えていて、前記フィラメント導体および前記フィラメントクランパーのフィラメント穴にフィラメントを通し、前記締付け手段によって前記フィラメントクランパーを締め付けることによって、前記フィラメントにせん断方向に力を加えて、前記フィラメント導体に前記フィラメントを保持していることを特徴としている。
【０００９】
このフィラメント保持構造によれば、締付け手段によってフィラメントクランパーを締め付けることによって、フィラメントにせん断方向に力を加えて、フィラメント導体にフィラメントを保持することができる。
【００１０】
前記フィラメント保持構造を二つ用いて、曲げ戻された形状をしているフィラメントの両端部をそれぞれ保持していても良い。
【００１１】
前記締付け手段は、ボルトと、それに螺合するナットとを有していても良い。
【００１２】
前記ボルトはモリブデンから成り、前記ナットはカーボンから成っていても良い。
【００１３】
この発明に係るイオン源は、前記フィラメント保持構造を備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
この発明に係るフィラメント保持構造は、フィラメント導体およびフィラメントクランパーのフィラメント穴にフィラメントを通し、締付け手段によってフィラメントクランパーを締め付けることによって、フィラメントにせん断方向に力を加えて、フィラメント導体にフィラメントを保持している構造であり、締付け手段を締め付けることによって強いクランプ力を得ることができる。しかも、従来技術と違って弾性によってフィラメントをクランプする構造ではないので、高温になってもクランプ力の低下が少ない。フィラメント導体やフィラメントクランパーがフィラメントからの熱によって高温に曝されて硬化しても、この硬化現象は、フィラメントをクランプしている部分の形状を維持するように作用するので、弾性を用いる従来技術とは反対に、クランプ力を維持する良い方向に作用する。
【００１５】
しかも、仮にクランプ力が低下したとしても、締付け手段を増し締めすることによって、クランプ力を容易に再生することができる。
【００１６】
また、締付け手段を緩めることによって、フィラメントのクランプを簡単に開放することができるので、強いクランプ力を得ることができるにも拘わらず、フィラメントの保持や位置調整の作業性が良い。
【００１７】
請求項４に記載の発明によれば次の更なる効果を奏する。即ち、ボルトとナットとは互いに異なる材質であるので、フィラメントからの熱によって高温に曝されても、互いに焼き付くのを防止することができる。しかも、ボルトの材質であるモリブデンと、ナットの材質であるカーボンとは、互いに線膨張係数が非常に近いので、高温に曝されても、締付けが緩むのを防止することができる。
【００１８】
この発明に係るイオン源は、上記フィラメント保持構造を備えているので、上記フィラメント保持構造が奏する効果と同様の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、イオン源の一例を電源と共に示す図であり、フィラメント保持構造部分は簡略化して図示している。まずこのイオン源全体について説明する。
【００２０】
このイオン源２は、フィラメント５０によってカソード２０を加熱して当該カソード２０から熱電子を放出（具体的にはアノードを兼ねるプラズマ生成容器４内へ放出）させる構造の傍熱陰極を有している傍熱陰極型のイオン源である。
【００２１】
プラズマ生成容器４は、例えば直方体状をしていて、その内部には、例えばガス導入口８を通して、プラズマ６の生成用の所望のガス（蒸気の場合を含む）１０が導入される。このガス１０は、所望の元素（例えば、Ｂ、Ｐ、Ａs 等のドーパント）を含むガスである。より具体例を挙げれば、ＢＦ3 、ＰＨ3 、ＡsＨ3 、Ｂ2Ｈ6 等の原料ガスを含むガスである。
【００２２】
プラズマ生成容器４の一つの壁面（長辺壁の一つ）には、イオンビーム１４の引き出し用のイオン引出し口１２が設けられている。このイオン引出し口１２は、例えば、当該壁面の長手方向に細長いスリット状をしている。
【００２３】
プラズマ生成容器４の他の一つの壁面（短辺壁の一つ）には、カソード２０を位置させるためのカソード用開口１８が設けられている。カソード用開口１８の正面形状は、この例では円形をしている。このカソード用開口１８を有する壁面と対向する壁面の内側には、この例では、カソード２０と対向させて、プラズマ６中の電子を反射させる反射電極１６が、電気絶縁物１７を介して保持されている。
【００２４】
反射電極１６は、この例のようにどこにも接続せずに浮遊電位にしても良いし、カソード用の支持体５８（換言すれば、アーク電源６８の負極端）に接続してカソード電位にしても良い。
【００２５】
プラズマ生成容器４内には、この例のように、プラズマ６の生成・維持用に、プラズマ生成容器４の外部に設けられた磁石（図示省略）から、カソード２０と反射電極１６とを結ぶ軸に沿う磁界７６を印加するようにしても良い。但し磁界７６の向きは、図示とは逆でも良い。
【００２６】
カソード２０を保持する筒状のカソードホルダー３０の先端部が、プラズマ生成容器４の外部からカソード用開口１８内に、プラズマ生成容器４との間に隙間７０をあけて挿入されている。カソードホルダー３０は、この例では、プラズマ生成容器４に対して、先端部が鉛直方向Ｇの下に向くように配置されている。このカソードホルダー３０の先端部内にカソード２０が保持されている。
【００２７】
より具体的には、この例では、カソード２０は、全体として概ね円柱状をしていて、熱電子をプラズマ生成容器４内へ放出させるための前部２２、その背後にあり前部２２よりも細い後部２４およびその中間部の周囲に形成された円環状の溝２６を有している。そして、カソードホルダー３０の先端部付近（先端部から少し奥まった所）内に設けられた棚部３２の貫通穴にカソード２０の後部２４を通し、溝２６にロックワイヤ４０を嵌めて、ロックワイヤ４０でカソード２０をカソードホルダー３０の棚部３２に係止している。但し、カソードの保持構造はこの例に限られるものではない。
【００２８】
カソードホルダー３０の先端部内には、この実施形態では、カソードホルダー３０の内周面およびカソード２０の外周面との間に空間をあけて、カソード２０の外周面を取り囲むように、筒状（この例では円筒状）の第１熱シールド３６が設けられている。この第１熱シールド３６は、この例では、カソードホルダー３０の棚部３２に、それと一体物として立設されている。
【００２９】
カソードホルダー３０の先端、カソード２０の先端および第１熱シールド３６の先端は、この例では、プラズマ生成容器４のカソード用開口１８周りの内壁面５よりもプラズマ生成容器４外側に位置している。但し、これらの先端は、内壁面５と同一面に位置させても良いし、更に必要に応じてプラズマ生成容器４内に位置させても良い。
【００３０】
カソードホルダー３０の先端部とプラズマ生成容器４との間の隙間７０は断面がＬ字状に折れ曲がっていて、この隙間７０の部分に迷路構造部７２を形成している。このような迷路構造部７２を形成することによって、隙間７０の部分におけるガスのコンダクタンスを低下させることができるので、プラズマ生成用のガス１０の漏れを抑制して、ガス１０の利用効率を向上させることができる。また、ガス１０が漏れ出ることによるプラズマ生成容器４周辺の構造物の汚染を抑制することができる。
【００３１】
但し、上記のような迷路構造部７２を採用する代わりに、カソードホルダー３０とプラズマ生成容器４との間を電気絶縁物で塞いでも良い。
【００３２】
カソードホルダー３０内であってカソード２０の後部２４の近傍には、当該後部２４との間に隙間をあけて、カソード２０をその後部２４から加熱するフィラメント５０が設けられている。フィラメント５０は、この例では、図４に示す例のように、概ねＵ字状に曲げ戻された形状をしており、かつその中間部に、カソード２０の後部２４の表面に沿うように曲げられた曲り部５１を有している。
【００３３】
更にこの例では、カソードホルダー３０内に、フィラメント５０との間に空間をあけてフィラメント５０の後面を一重以上に（この例では二重に）覆うように、第２熱シールド５４が設けられている。第２熱シールド５４は、この例では、筒状部５６の先端に、それと一体で設けられている。
【００３４】
カソードホルダー３０は支持体５８によって、フィラメント５０はその両端部が二つのフィラメント導体９０によって（図１には一方のみが表れている）、第２熱シールド５４は筒状部５６および支持体６０を介して一方のフィラメント導体９０によって、それぞれ所定の位置に保持されている。各フィラメント導体９０は、フィラメント５０を保持しかつそれに通電する働きをする。このフィラメント導体９０にフィラメント５０を保持するフィラメント保持構造は後で詳述する。
【００３５】
フィラメント５０の両端部には、フィラメント導体９０を介して、フィラメント５０を加熱するフィラメント電源６４が接続されている。フィラメント５０の一端と第２熱シールド５４とは、支持体６０および筒状部５６を介して同電位にされている。フィラメント電源６４は、図示例のように直流電源でも良いし、交流電源でも良い。
【００３６】
フィラメント５０とカソード２０との間には、フィラメント５０から放出された熱電子をカソード２０に向けて加速して、当該熱電子の衝撃によってカソード２０を加熱する直流の加熱電源６６が、カソードホルダー３０等を介して、かつカソード２０を正極側にして接続されている。
【００３７】
カソード２０とプラズマ生成容器４との間には、カソード２０から放出された熱電子を加速して、プラズマ生成容器４内に導入されたガス１０を電離させると共にプラズマ生成容器４内でアーク放電を生じさせて、プラズマ６を生成する直流のアーク電源６８が、プラズマ生成容器４を正極側にして接続されている。
【００３８】
上記イオン源２においては、フィラメント５０によってカソード２０を加熱してカソード２０からプラズマ生成容器４内に熱電子を放出させて、当該熱電子を用いてプラズマ生成容器４内でアーク放電を生じさせて、プラズマ生成容器４内に導入されたガス１０を電離させてプラズマ６を生成し、このプラズマ６から、イオン引出し口１２を通して、電界の作用で、イオンビーム１４を引き出すことができる。なお、イオン引出し口１２の出口側近傍には、通常は、イオンビーム１４の引き出し用の引出し電極が設けられる。
【００３９】
次に、フィラメント導体９０にフィラメント５０を保持するフィラメント保持構造の一実施形態を図２〜図５を参照して説明する。図２は、図１中のフィラメント導体９０の先端部付近の詳細例を示したものに相当する。
【００４０】
フィラメント５０は、この例では、例えば図４に示すように、概ねＵ字状に曲げ戻された形状をしている。但し、このフィラメント５０の中間部の曲り部５１の構造は、図示例のものに限られない。このフィラメント５０の両端部を、図２に示す二つのフィラメント保持構造によってそれぞれ保持している。
【００４１】
フィラメント５０は、金属、例えばタングステン（Ｗ）から成る。
【００４２】
図２には、互いに接近して並設されたフィラメント導体９０をそれぞれ有していて、両フィラメント導体９０間の中心線８０を中心にして線対称に配置された二つのフィラメント保持構造が図中の上下に並べて記載されている。この二つのフィラメント保持構造は互いに同じ構造であるので、以下においてはその一方のフィラメント保持構造を主体に説明する。
【００４３】
各フィラメント保持構造は、フィラメント導体９０、フィラメントクランパー１００、支点部材１１０および締付け手段（ボルト１１２およびナット１１４）を備えている。
【００４４】
フィラメント導体９０は、図５も参照して、その先端部付近に、溝９２を挟んで板厚方向に二つに分かれている部分９４を有している。この二つに分かれている部分９４の上下両方の相対応する位置に、フィラメント５０を通すフィラメント穴９６および支点部材１１０を通す支点部材穴９８をそれぞれ有している。従って、フィラメント５０および支点部材１１０が斜めになるのを防止することができる。フィラメント導体９０は、更に、後述するボルト１１２を通すボルト穴９９およびボルト１１２の頭部を入れる凹部９１を有している。
【００４５】
フィラメント導体９０は、金属、例えばモリブデン（Ｍo ）から成る。後述するフィラメントクランパー１００、支点部材１１０およびボルト１１２も同様である。
【００４６】
フィラメントクランパー１００は、図３も参照して、この実施形態では、フィラメント導体９０の溝９２内に位置している部分１０２と、当該部分１０２にほぼ直角につながるレバー部１０４とを有していて、全体の平面形状が概ねＬ字形をしている。レバー部１０４は、フィラメント導体９０の溝９２の外に位置している。より具体的には、レバー部１０４は、フィラメント導体９０の先端部の細くなった段部９３に位置している。
【００４７】
フィラメントクランパー１００は、この溝内に位置している部分１０２であって上記フィラメント導体９０のフィラメント穴９６および支点部材穴９８にそれぞれ対応する位置に、フィラメント５０を通すフィラメント穴１０６および支点部材１１０を通す支点部材穴１０８を有している。レバー部１０４は、後述するボルト１１２を通すボルト穴１０９を有している。
【００４８】
支点部材１１０は、フィラメント導体９０およびフィラメントクランパー１００の両支点部材穴９８および１０８に通されていて、フィラメントクランパー１００をフィラメント導体９０に、矢印Ｃで示すように回動可能に保持している。即ち、支点部材１１０がフィラメントクランパー１００の上記回動の支点となる。支点部材１１０は、例えばピンであり、止め輪等の公知の抜け止め手段（図示省略）によって抜け止めがなされている。但し、支点部材１１０はピン以外のもの、例えばねじ、ワイヤ等でも良い。
【００４９】
フィラメント導体９０に対してフィラメントクランパー１００を回動させる方向に、より具体的には図５中の矢印Ｆに示す方向に締め付ける締付け手段として、この実施形態では、ボルト１１２およびそれに螺合するナット１１４を有している。ボルト１１２は、フィラメント導体９０のボルト穴９９およびフィラメントクランパー１００のボルト穴１０９に通されている。
【００５０】
この実施形態では、ボルト１１２の頭部をフィラメント導体９０の凹部９１に入れて、ボルト１１２の頭部がフィラメント導体９０の側面から外に突き出さないようにしている。そのようにすると、両フィラメント導体９０をより近づけて並設することができるので、フィラメント５０の間隔（より具体的にはフィラメント５０の脚部間の間隔）が狭い場合にも対応が容易となる。
【００５１】
ナット１１４は、モリブデン等の金属から成るものでも良いけれども、この実施形態ではカーボン（Ｃ）から成る。ボルト１１２は、上述したように例えばモリブデンから成る。
【００５２】
そして、フィラメント導体９０およびフィラメントクランパー１００のフィラメント穴９６および１０６にフィラメント５０を通し、ボルト１１２およびナット１１４によってフィラメントクランパー１００を矢印Ｆに示す方向に締め付けることによって、フィラメント５０にせん断方向に力を加えて、フィラメント導体９０にフィラメント５０を保持している。即ちクランプしている。その状態を拡大して図５に示す。上記締め付けは、例えばナット１１４を回すことによって行うけれども、それに限られるものではない。また、ナット１１４を回すのに、必要に応じてナットレンチ等の治具を用いても良い。
【００５３】
図２に示す実施形態では、前述したように、互いに同じ構造のフィラメント保持構造を二つ用いて、フィラメント５０の両端部をそれぞれ保持している。
【００５４】
このフィラメント保持構造は、フィラメント導体９０およびフィラメントクランパー１００のフィラメント穴９６、１０６にフィラメント５０を通し、締付け手段を構成するボルト１１２およびナット１１４によってフィラメントクランパー１００を締め付けることによって、フィラメント５０にせん断方向に力を加えて、フィラメント導体９０にフィラメント５０を保持している構造であり、締付け手段を締め付けることによって強いクランプ力を得ることができる。しかも、従来技術と違って弾性によってフィラメントをクランプする構造ではないので、高温になってもクランプ力の低下が少ない。
【００５５】
フィラメント導体９０やフィラメントクランパー１００がフィラメント５０からの熱によって高温に曝されて硬化しても、この硬化現象は、フィラメント５０をクランプしている部分の形状を維持するように作用するので、弾性を用いる従来技術とは反対に、クランプ力を維持する良い方向に作用する。
【００５６】
これを詳述すると、常温でフィラメントクランパー１００を締め付けた際に、その力によって当初は、フィラメント導体９０およびフィラメントクランパー１００のフィラメント穴９６、１０６の側壁が僅かに凹んでフィラメント５０に馴染むかも知れない。その後、フィラメント導体９０やフィラメントクランパー１００がフィラメント５０からの熱によって高温に曝されて硬化しても、上記フィラメント５０に馴染んだ形状を維持するように作用するので、このことはクランプ力を維持する良い方向に作用する。即ち、高温に曝されることによる材料の硬化現象は、弾性を用いる従来技術では当該弾性を低下させクランプ力を低下させる現象であったけれども、このフィラメント保持構造では、材料の硬化現象を、クランプ力を維持する良い方向に利用することができる。
【００５７】
しかも、このフィラメント保持構造では、仮にクランプ力が低下したとしても、締付け手段を増し締めすることによって、例えばナット１１４を回して増し締めすることによって、クランプ力を容易に再生することができる。
【００５８】
また、締付け手段を緩めることによって、例えばナット１１４を緩めることによって、フィラメント５０のクランプを簡単に開放することができるので、例えばフィラメント５０のクランプを完全に開放することもできるので、強いクランプ力を得ることができるにも拘わらず、フィラメント５０の保持や位置調整の作業性が良い。
【００５９】
締付け手段は、ボルト１１２とナット１１４との組み合わせ以外のもの、例えば、フィラメント導体９０に形成された雌ねじ部とそれに螺合する雄ねじ（例えばボルト）等でも良いけれども、この実施形態のようにボルト１１２およびナット１１４で構成すると、フィラメント導体９０にねじ加工のような複雑な加工を施さずに済むなど、締付け手段を簡単に構成することができる。また、以下に述べるように、モリブデンとカーボンとの組み合わせを選択することも容易になる。
【００６０】
ボルト１１２がモリブデンから成り、ナット１１４がカーボンから成るものにすると、ボルト１１２とナット１１４とは互いに異なる材質であるので、フィラメント５０からの熱によって高温に曝されても、互いに焼き付くのを防止することができる。しかも、ボルト１１２の材質であるモリブデンと、ナット１１４の材質であるカーボンとは、互いに線膨張係数が非常に近いので、具体的にはモリブデンの線膨張係数は約５．１×１０-6／Ｋ（０−１００℃において）、カーボンのそれは約５．６×１０-6／Ｋ（０−１００℃において）と非常に近いので、高温に曝されても、締付けが緩むのを防止することができる。
【００６１】
上記のようなカソード保持構造を備えている図１に示すイオン源２も、上記と同様の効果を奏する。以下に述べる他の実施形態のフィラメント保持構造を備えているイオン源も、当該フィラメント保持構造が奏する効果と同様の効果を奏する。
【００６２】
フィラメント導体９０の形状やフィラメントクランパー１００の形状は、上記実施形態のものに限られるものではない。例えば図６に示す実施形態のように、フィラメントクランパー１００が台形状をしていて、このフィラメントクランパー１００の大半がフィラメント導体９０の溝９２内に位置している部分１０２となっていて、このフィラメントクランパー１００のフィラメント導体９０外に出ている部分にボルト１１２の頭部を係合させて、このボルト１１２と螺合するナット１１４とで締付け手段を構成して、この締付け手段によってフィラメントクランパー１００をフィラメント導体９０に対して矢印Ｆに示す方向に締め付ける構造にしても良い。ボルト１１２とナット１１４とは反対にしても良い。フィラメント導体９０に、必要に応じて、ナット１１４、ボルト１１２を入れる凹部を形成しておいても良い。
【００６３】
上記各実施形態のフィラメント保持構造は、例えば特開２００１−２３６８９７号公報等に記載されているような、直熱陰極を構成するフィラメントの保持や、そのようなフィラメントを有する直熱陰極型のイオン源にも適用することができる。
【００６４】
また、上記各実施形態のフィラメント保持構造は、例えば特開平８−３６９８３号公報等に記載されているような、直線状のフィラメントの保持や、そのようなフィラメントを有するイオン源にも適用することができる。
【００６５】
また、各上記実施形態のフィラメント保持構造は、例えば特開平８−１９０８８８号公報に記載されているような、フィラメントを用いてイオンビームの正電荷中和用のプラズマを発生させるプラズマ発生装置（これはプラズマフラッドガン、プラズマシャワー装置等と呼ばれることもある）にも適用することができる。中和用以外のプラズマ発生装置等にも適用することができる。
【００６６】
また、上記各実施形態のフィラメント保持構造は、必ず二つ用いなければならないものではなく、一つ用いても良い。その場合でも、当該一つのフィラメント保持構造について、上述した効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】イオン源の一例を電源と共に示す図であり、フィラメント保持構造部分は簡略化して図示している。
【図２】この発明に係るフィラメント保持構造の一実施形態を示す平面図である。
【図３】図２中のフィラメントクランパーを拡大して示す平面図である。
【図４】フィラメントの一例を示す斜視図である。
【図５】図２中の線ＤーＤに沿う拡大断面図である。
【図６】フィラメントクランパーの他の例を用いたフィラメント保持構造の他の実施形態を示す平面図である。
【図７】従来のフィラメント保持構造の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６８】
２  イオン源
５０  フィラメント
９０  フィラメント導体
９２  溝
９４  二つに分かれている部分
９６  フィラメント穴
９８  支点部材穴
１００  フィラメントクランパー
１０２  溝内に位置している部分
１０６  フィラメント穴
１０８  支点部材穴
１１０  支点部材
１１２  ボルト
１１４  ナット
【図１】
0004636087.tif 000002
【図２】
0004636087.tif 000003
【図３】
0004636087.tif 000004
【図４】
0004636087.tif 000005
【図５】
0004636087.tif 000006
【図６】
0004636087.tif 000007
【図７】
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