(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンゾーンの天井に、温調された清浄空気の吹出口を形成するための開口部を形成し、その開口部に、プレートの下面に複数のノズルを形成したプレートノズルを複数枚並べて設けて、前記吹出口を形成したことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記プレートノズルは、薄型箱状に形成されたプレートと、そのプレートの縦横に複数のノズルが、そのプレートの下面から突出するようにプレートと一体に樹脂成形して形成される請求項１記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記ノズルの内径が２〜４０ｍｍの範囲内のいずれかに形成され、前記ノズルの高さが２０〜２００ｍｍの範囲内のいずれかに形成される請求項２記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記プレートには、内径が大きく、かつ一定の吹出角度で清浄空気を吹き出すノズルと、そのノズル間に配置され、内径が小さく清浄空気を広角度で清浄空気を吹き出すノズルが設けられる請求項３記載のクリーンルーム。
【請求項５】
製造設備が設置されるクリーンゾーンと、該クリーンゾーンの天井に設けられ、下部に、温調された清浄空気の吹出口を形成するための開口部を有する給気チャンバと、前記クリーンゾーンの床下に設けられたレターンチャンバと、該レターンチャンバと前記給気チャンバとを結ぶ空気循環路と、空気循環路に接続された空調機と、空調機と前記給気チャンバを結ぶ循環路に設けられた高性能フィルタと、プレートの下面に複数のノズルを形成して構成され、前記給気チャンバの下部の開口部を覆うように複数枚並べて設けられ、前記クリーンゾーンの天井に前記吹出口を形成するための複数のプレートノズルとを備えたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項６】
前記給気チャンバの下部の開口部に、方形の開口が複数形成された支持枠が設けられ、その支持枠の各開口に、シール材を介して前記プレートノズルが取り付けられる請求項５記載のクリーンルーム。
【請求項７】
前記プレートノズルは、薄型箱状に形成されたプレートと、そのプレートの縦横に多数のノズルが、そのプレートから突出するようにプレートと一体に樹脂成形して形成される請求項５記載のクリーンルーム。
【請求項８】
前記ノズルの内径が２〜４０ｍｍの範囲内のいずれかに形成され、前記ノズルの高さが２０〜２００ｍｍの範囲内のいずれかに形成される請求項７記載のクリーンルーム。
【請求項９】
前記プレートノズルの各ノズルから吹き出された清浄空気が、風速０．１５ｍ／ｓｅｃとなる有効噴射距離をノズル内径に応じて予め求めておき、前記床上のある高さの面で風速０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃとなるように、前記ノズルの有効噴射距離からノズル内径を選定する請求項７記載のクリーンルーム。
【請求項１０】
各ノズルから吹き出された清浄空気は、有効噴射距離に達する間に一定の広がり角で吹き出され、ノズル同士の間隔は、隣接するノズルから吹き出された清浄空気の広がり角で、前記有効噴射距離内で隣接するノズルからの清浄空気が相互に交わるように設定される請求項９記載のクリーンルーム。
【請求項１１】
製造設備が設置されるクリーンゾーンと、該クリーンゾーンの天井に設けられ、下部に、温調された清浄空気の吹出口を形成するための開口部を有する給気チャンバと、前記クリーンゾーンの床下に設けられたレターンチャンバと、該レターンチャンバと前記給気チャンバとを結ぶ空気循環路と、空気循環路に接続された空調機と、給気チャンバ内に設けられた高性能フィルタと、プレートの下面に複数のノズルを形成して構成され、前記給気チャンバの下部の開口部を覆うように複数枚並べて設けられ、前記クリーンゾーンの天井に前記吹出口を形成するための複数のプレートノズルとを備えたことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項１２】
前記給気チャンバの下部の開口部に、方形の開口が複数形成された支持枠が設けられ、その支持枠の各開口に、シール材を介してプレートノズルが取り付けられる請求項１１記載のクリーンルーム。
【請求項１３】
前記プレートノズルは、薄型箱状に形成されたプレートと、そのプレートの縦横に多数のノズルが、そのプレートから突出するようにプレートと一体に樹脂成形して形成される請求項１１記載のクリーンルーム。
【請求項１４】
ノズルの内径が２〜４０ｍｍの範囲内のいずれかに形成され、前記ノズルの高さが２０〜２００ｍｍの範囲内のいずれかに形成される請求項１３記載のクリーンルーム。
【請求項１５】
前記プレートノズルの各ノズルから吹き出された清浄空気が、風速０．１５ｍ／ｓｅｃとなる有効噴射距離をノズル内径に応じて予め求めておき、前記床上のある高さの面で風速０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃとなるように、前記ノズルの有効噴射距離からノズル内径を選定する請求項１４記載のクリーンルーム。
【請求項１６】
各ノズルから吹き出された清浄空気は、有効噴射距離に達する間に一定の広がり角で吹き出され、ノズル同士の間隔は、隣接するノズルから吹き出された清浄空気の広がり角で、前記有効噴射距離内で隣接するノズルからの清浄空気が相互に交わるように設定される請求項１５記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造、液晶基板製造、医薬品や食品製造等に用いられるクリーンルームに係り、特に、クリーンゾーンに精密温調された清浄空気を吹き出す吹出口を改良したクリーンルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶基板製造、医薬品や食品製造等の製造工場では、建屋全体をクリーンルーム化している。
【０００３】
クリーンルームとしては、図８に示す一方向流式（層流式）と、図９に示す非一方向式（乱流式）の２方式がある。
【０００４】
図８に示した一方向流式クリーンルーム４０は、製造設備Ｍが設置されるクリーンゾーン４１の天井の略全面にわたって給気チャンバ４２が設けられ、その給気チャンバ４２の吹出口４３に高性能フィルタ（ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡ）４４が設けられ、床４５の下部にはレターンチャンバ４６が形成され、レターンチャンバ４６と給気チャンバ４２とを結んで循環路４７が接続され、その循環路４７に空調機４８が接続されて構成される。
【０００５】
図９に示した非一方向式クリーンルーム５０では、クリーンゾーン４１の天井部の必要箇所にそれぞれフィルタユニット５１を設けたものである。フィルタユニット５１は、給気チャンバ５２の吹出口５３に高性能フィルタ５４を設けて構成される。この図９のクリーンルーム５０では、フィルタユニット５１を除いて、レターンチャンバ４６、循環路４７、空調機４８の構成は図８のクリーンルーム４０と同じである。
【０００６】
図８に示した一方向流式クリーンルーム４０では、給気チャンバ４２の吹出口４３に設けられたフィルタ４４から清浄空気が均一にクリーンゾーン４１に給気され、クリーンゾーン４１をダウンフローで床４５からレターンチャンバ４６に排気（還気）される気流となるため、クリーンゾーン４１内で発生した粒子が拡散することなくレターンチャンバ４６に流れ、クリーンゾーン４１の清浄度を高めると共に温度分布の均一化を図ることができる。
【０００７】
一方、図９に示した非一方向式クリーンルーム５０では、クリーンゾーン４１の天井部の必要箇所にフィルタユニット５１が設置されるため、フィルタユニット５１、５１間では、清浄空気が流れず滞留が生じ乱流となるが、製造設備Ｍの設置の位置に合わせてフィルタユニット５１を配置することで、必要箇所で粒子の拡散を防止することができる。しかし、非一方向式の場合、クリーンゾーン４１内で要求される熱負荷を処理するために給気温度を制御しても、フィルタユニット５１の直下とそれ以外では差のついた温度分布となる。
【０００８】
クリーンゾーン４１で発生した粒子の拡散を制御し、製造設備Ｍの装置等からの発熱を除去するためには、ダウンフローの面風速は、０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃが必要であり、図８の一方向流式では、膨大な空気循環量を必要とする問題がある。この点では、図９の非一方向式は、必要箇所にフィルタユニット５１を設置することにより、総風量は一方向流式より少なくてすむ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１０−１１２６４６号公報号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、最近は、製造設備Ｍも大型化しており、クリーンゾーン４１の高さも６ｍ以上も必要とされており、非一方向式で、フィルタ５４から温調された清浄空気を吹き出しても、床４５に到達する際には拡散してしまい、必要箇所でのダウンフローとなる風速（０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃ）が得られない問題がある。
【００１１】
従って、一方向流式のようにクリーンゾーンの水平断面の全体をダウンフローで流すのが好ましいが、循環総風量が多くなる問題が解消されない。
【００１２】
また、両方式ともフィルタから清浄空気を吹き出すため、フィルタにピンホールがあるかどうか、給気側から給気と共にエアロゾルを流してフィルタリーク試験を行う必要がある。このフィルタリーク試験は、フィルタの下面のサンプリングプローブを縦横に走査してリークしたエアロゾルの有無とピンホールの位置を特定するものであるが、検査には膨大な時間がかる問題がある。
【００１３】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、循環風量が少なくても、温度制御および清浄度確保に必要なダウンフローの風速を確保でき、しかもフィルタリーク試験も簡単に行えるクリーンルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために本発明のクリーンルームは、クリーンゾーンの天井に、温調された清浄空気の吹出口を形成するための開口部を形成し、その開口部に、プレートの下面に複数のノズルを形成したプレートノズルを複数枚並べて設けて、前記吹出口を形成したことを特徴とするものである。
【００１５】
本発明のクリーンルームは、製造設備が設置されるクリーンゾーンと、該クリーンゾーンの天井に設けられ、下部に、温調された清浄空気の吹出口を形成するための開口部を有する給気チャンバと、前記クリーンゾーンの床下に設けられたレターンチャンバと、該レターンチャンバと前記給気チャンバとを結ぶ空気循環路と、空気循環路に接続された空調機と、空調機と前記給気チャンバを結ぶ循環路に設けられた高性能フィルタと、プレートの下面に複数のノズルを形成して構成され、前記給気チャンバの下部の開口部を覆うように複数枚並べて設けられ、前記クリーンゾーンの天井に前記吹出口を形成するための複数のプレートノズルとを備えてなるものである。
【００１６】
また高性能フィルタは、前記空気循環路に接続する代わりに給気チャンバ内に設けるようにしてもよい。
【００１７】
本発明に用いられるプレートノズルは、薄型箱状に形成されたプレートと、そのプレートの縦横に複数のノズルが、そのプレートの下面から突出するようにプレートと一体に樹脂成形して形成される。ノズルの内径は２〜４０ｍｍの範囲内のいずれかに形成され、ノズルの高さは２０〜２００ｍｍの範囲内のいずれかに形成される。
【００１８】
また、本発明においては、プレートノズルのプレートには、一定の角度で清浄空気を吹き出す内径の大きなノズルと、そのノズル間に配置され、内径が小さく清浄空気を広角度で清浄空気を吹き出すノズルが設けられるようにしてもよい。
【００１９】
本発明において、プレートノズルのノズルから吹き出された清浄空気が、風速０．５ｍ／ｓｅｃとなる有効噴射距離をノズル内径に応じて予め求めておき、前記床上のある高さの面で風速０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃとなるように、前記ノズルの有効噴射距離からノズル内径を選定する。
【００２０】
また、各ノズルから吹き出された清浄空気は、有効噴射距離に達する間に一定の広がり角で吹き出され、ノズル同士の間隔は、隣接するノズルから吹き出された清浄空気の広がり角で、前記有効噴射距離内で隣接するノズルからの清浄空気が相互に交わるように設定される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、次のような優れた効果を発揮する。
【００２２】
（１）クリーンゾーンの清浄空気の吹出口が、複数のプレートノズルで形成されることで、プレートノズルの各ノズルから吹き出す温調された清浄空気の風速とその到達距離を自在に選定することができる。
【００２３】
（２）クリーンルームの天井が高くてもノズルの到達距離とクリーンゾーンが必要とする風速を最適化することができる。
【００２４】
（３）クリーンルーム内での空気の総循環量を従来のクリーンルームの１／３〜１／１０にすることができる。
【００２５】
（４）高性能フィルタは、循環系路や給気チャンバに設けるため、フィルタリーク試験などの検査が簡単にできる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の一実施の形態を示す全体図である。
【図２】本発明の他の実施の形態を示す全体図である。
【図３】図１、図２おいて、給気チャンバにプレートノズルを取り付ける状態を示す部分斜視図である。
【図４】図１、図２おいて、給気チャンバにプレートノズルを取り付けた状態の部分拡大断面図である。
【図５】本発明において、ノズルの各内径の違いによる、ノズルから吹き出される風速と到達距離の関係を示す図である。
【図６】本発明において、プレートノズルの各ノズルから吹き出された清浄空気の広がり状態を説明する図である。
【図７】本発明において、プレートノズルに、広がり角の違うノズルを設けたときの、両ノズルから吹き出された清浄空気の広がり状態を説明する図である。
【図８】従来の一方向流式クリーンルームを示す全体図である。
【図９】従来の非一方向式クリーンルームを示す全体図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２８】
図１は、本発明のクリーンルームの全体図を示したものである。
【００２９】
先ずクリーンルーム１０は、製造設備Ｍが設置されるクリーンゾーン１１の天井には、略全面にわたって複数の給気チャンバ１２が相互に隣接するように設けられ、クリーンゾーン１１の床１５の下部にはレターンチャンバ１６が形成され、レターンチャンバ１６と給気チャンバ１２とを結んで循環路１７が接続され、その循環路１７に空調機１８が接続されて構成される。
【００３０】
本実施の形態においては、循環路１７に高性能フィルタ（ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡ）１９が設けられ、給気チャンバ１２の開口部に、複数のプレートノズル２０を設けて吹出口が構成される。
【００３１】
空調機１８は、蒸発器２１と循環ファン２２を有し、その吸込側に外気ＯＡの導入ライン１３が接続され、空調機１８に至る循環路１７には、循環空気の一部を排気する排気ファンを備えた排気ライン１４が接続される。
【００３２】
このクリーンルーム１０は、クリーンゾーン１１の天井がプレートノズル２０のノズル２４で形成され、ノズル２４から、空調機１８で空調され、高性能フィルタ１９で除塵された清浄空気ＣＡが吹き出されるため、クリーンゾーン１１の天井高さが高くてもノズル径を自由に選定することで、床１５上の必要高さ（ユースポイント）、例えば床１５から１ｍの高さで、必要なダウンフローとなる風速（０．１５〜０．５ｍ／ｓｅｃ）を確保することができると共に、必要な空気循環量も従来の１／３〜１／１０の風量とすることが可能となる。
【００３３】
また、高性能フィルタ１９は、循環路１７に接続するだけであり、そのフィルタリーク試験も簡単に行える。
【００３４】
図２は、本発明の他のクリーンルームの全体図を示したものである。
【００３５】
図２のクリーンルーム１０は、図１のクリーンルーム１０と基本構成は同じであるが、高性能フィルタ１９を給気チャンバ１２内に設けたものである。図２のクリーンルーム１０は、高性能フィルタ１９の取り付け位置が、図１と相違する以外は、図１と同じであるので、図２に図１と同じ符号を付してその説明は省略する。
【００３６】
この図１、図２に示したクリーンルーム１０において、クリーンゾーン１１の天井に取り付ける給気チャンバ１２は、複数個並べて天井の略全面に設置して、一方向流式クリーンルームを構成する例を示したが、給気チャンバ１２を天井の必要箇所に設置して非一方向式クリーンルームを構成するようにしてもよい。
【００３７】
また給気チャンバ１２は、複数個並べる代わりに、天井の略全面を覆うように１つの給気チャンバ１２で構成するようにしてもよい。
【００３８】
さて、図３は、本発明のプレートノズル２０を給気チャンバ１２の開口部に取り付ける際の部分拡大斜視図を示し、図４はプレートノズル２０を給気チャンバ１２に取り付けた部分断面図を示したものである。
【００３９】
プレートノズル２０は、金型を用いて樹脂成形にて薄型箱状のプレート２３とノズル２４が一体成形される。
【００４０】
このプレートノズル２０は、例えば３０ｃｍ×３０ｃｍ、５０ｃｍ×５０ｃｍのサイズで、プレート２３の周囲の厚さ１０〜２０ｍｍ程度に形成され、ノズル２４の高さは、２０〜２００ｍｍ、内径はφ２〜４０ｍｍの範囲で適宜形成される。
【００４１】
使用する樹脂は、エンジニアリングプラスチックで、ポリアセタール、ポリイミド、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレートのいずれかを選択できる。また樹脂にカーボンブラックや黒鉛粉末、酸化亜鉛などの導電性粉末やノニオン系又はアニオン系界面活性剤等からなる帯電防止剤を添加するようにしてもよい。
【００４２】
また、プレート２３の周囲には、後述するビス止めのためのビス用穴２５が各辺に３箇所形成される。
【００４３】
次にプレートノズル２０の給気チャンバ１２への取り付けを説明する。
【００４４】
先ず、プレートノズル２０は、ＳＵＳやアルミニウムなど金属角パイプで形成した支持枠３０に並べて支持される。この支持枠３０は、プレートノズル２０を支持する方形枠３１、３１を有し、その方形枠３１に、プレートノズル２０のビス用穴２５に対向してネジ穴３２が設けられる。
【００４５】
プレートノズル２０を支持枠３０に取り付ける際に、その間をシールするシール材２６が設けられる。シール材２６は、支持枠３０の方形枠３１の枠体形状に形成され、また支持枠３０のネジ穴３２と一致する位置にビス穴２７が形成される。
【００４６】
支持枠３０へのプレートノズル２０の取り付けは、支持枠３０上に枠状のシール材２６を載置し、そのシール材２６上にプレートノズル２０を前後左右に並べる。その状態で、ビス用穴２５にビス２８を、シール材２６のビス穴２７を通して支持枠３０のネジ穴３２にねじ込んで、プレートノズル２０を支持枠３０に取り付ける。
【００４７】
このようにプレートノズル２０は、シール材２６を介して支持枠３０にビス止めして取り付けた後、その支持枠３０を、給気チャンバ１２に取り付ける。
【００４８】
この給気チャンバ１２は、図４に示すように、開口部が角パイプで直方体状に形成されたボックス上のフレーム３３を有し、そのフレーム３３の周面と上面にカバー３５が取り付けられて構成される。支持枠３０は、フレーム３３の上面に、シール材３８を介してボルト・ナット３９にて取り付けられる。
【００４９】
このように、給気チャンバ１２に、プレートノズル２０を取り付けた支持枠３０を取り付けたのち、図１、図２に示したクリーンゾーン１１の天井に給気チャンバ１２を取り付けると共に循環路１７のダクトと接続することでクリーンルーム１０が構成される。
【００５０】
次に、クリーンゾーン１１の天井の吹出口を形成するプレートノズル２０のノズル２４の形状とその内径及びその取り付け間隔について説明する。
【００５１】
先ずノズル２４の形状は、図３，４に示すように、逆ロート状に形成されるが、円筒状に形成してもよい。
【００５２】
次に、ノズル２４の配置数について説明する。
【００５３】
先ず従来の高性能フィルタから吹き出す清浄空気を、面積１ｍ2当たり、面風速を０．０５ｍ／ｓｅｃとしたときの風量（３ｍ3／ｍｉｎ）を基準とし、ノズル内径を、それぞれφ２ｍｍ、φ５ｍｍ、φ１０ｍｍ、φ２０ｍｍ、φ４０ｍｍとし、同一風量（３ｍ3／ｍｉｎ）を吹き出すときのノズル本数は、次のようになる。
【００５４】
φ２ｍｍのノズルではノズル数１５９１個（４０×４０個）、φ５ｍｍのノズルではノズル数２５４個（１６×１６個）、φ１０ｍｍのノズルではノズル数６３個（８×８個）、φ２０ｍｍのノズルではノズル数１６個（４×４個）、φ４０ｍｍのノズルではノズル数４個（２×２個）となる。従って、これらの本数を、１ｍ2当たり、縦横に四角形状に等間隔で、或いはジグザグに三角形状に等間隔で並べるように設ければよい。
【００５５】
次に、φ２ｍｍ、φ５ｍｍ、φ１０ｍｍ、φ２０ｍｍ、φ４０ｍｍのノズルから下方に吹き出される清浄空気の風速（ｍ／ｓｅｃ）と到達距離（ｍ）について、シミュレーションした結果を図５により説明する。
【００５６】
先ず、従来のフィルタでは、風速０．０５ｍ／ｓｅｃで吹き出したときの到達距離は、５ｍが最大であり、５ｍに達すると風速がゼロとなる。
【００５７】
これに対して、φ２ｍｍのノズルでは、到達距離５ｍ、φ５ｍｍのノズルでは、到達距離６．５ｍ、φ１０ｍｍのノズルでは、到達距離７．２ｍ、φ２０ｍｍとφ４０ｍｍのノズルでは、到達距離８ｍと、ノズル径が大きくなると到達距離が長くなり、φ２０ｍｍ〜φ４０ｍｍの範囲のノズルでは、到達距離に差がないことがわかる。
【００５８】
ここで、クリーンゾーンの床から必要な高さ面で、粒子の拡散を制御し、製造設備の装置等からの発熱を除去できる最小の風速０．１５ｍ／ｓｅｃを得ようとする場合、φ２ｍｍのノズルでは、ノズル位置から床上の必要な高さ面（例えば高さ１ｍ、通常高さ２ｍ以内）までの距離（以下有効噴射距離という）は約３ｍ、φ５ｍｍのノズルでは、有効噴射距離は約５ｍ、φ１０ｍｍのノズルでは有効噴射距離は６．５ｍ、φ２０ｍｍのノズルでは、有効噴射距離は７ｍ、φ４０ｍｍのノズルでは、有効噴射距離は８ｍとなる。つまり、必要な高さ面からノズルまでの距離が、そのノズルの有効噴射距離内であれば、必要な高さ面で、風速０．１５ｍ／ｓｅｃ以上の十分な風速が得られることが分かる。
【００５９】
従って、図１、図２に示したクリーンゾーン１１の天井高さから、床１５の必要高さ面で、風速０．１５ｍ／ｓｅｃ以上が得られるノズル内径とその配置本数も自在に設計できることが可能となり、総循環風量もフィルタ全面から吹き出す方式に比べて１／３〜１／１０の風量にすることができる。
【００６０】
図６は、プレートノズル２０の各ノズル２４から吹き出される温調された清浄空気ＣＡの広がり状態を模式的に示したものである。
【００６１】
先ず、各ノズル２４から吹き出される温調された清浄空気ＣＡは、下向きに吹き出されると共に、ノズル２４の吹出形状により、一定の広がり角θをもつ。ここで上述のように、例えば、φ１０ｍｍのノズルを選定した場合、風速０．１５ｍ／ｓｅｃの有効噴射距離Ｌは６．５ｍであり、その到達距離Ｌ以内で、図６に示すように隣接するノズル２４からの温調された清浄空気ＣＡ同士が重なり合えば、床面からの必要高さ（例えば１ｍ）での面全体を均一な風速、均一な温度の気流にすることができる。
【００６２】
また、図６では、クリーンゾーン１１の天井近くでは、ノズル２４同士が間隔を置いて設けられるため、吹き出された温調された清浄空気ＣＡ間では、空気の滞留が生じるが、滞留する空気は、その周囲が各ノズル２４からの温調された清浄空気ＣＡで包囲されるため、滞留空気中に粒子が発生しても、いずれかの温調された清浄空気ＣＡに同伴して広くは拡散することなくレターンチャンバに流れる。
【００６３】
図７は、クリーンゾーン１１の天井近くで粒子が発生した場合の拡散を確実に防止する例を示したものである。
【００６４】
本例においては、広がり角θをもつノズル２４θ、２４θの間に、より角度のある広がり角αをもつノズル２４αを配置されるようにプレートノズル２０を形成する例を示したものである。
【００６５】
この広がり角αをもつノズル２４αは、ノズル２４θ、２４θから吹き出される清浄空気ＣＡ間に吹き付けるだけであり、到達距離は短くてすむ。従って、ノズル２４αは、ノズル２４θ、２４θの内径より小さな、例えばφ２ｍｍのノズルを用いても５ｍの到達距離があり、しかもノズルの吹出角度αは自由に選定でき、より確実な発生粒子の拡散を防止できる。
【００６６】
また、プレートノズル２０のプレート２３に形成するノズル２４の内径を変える他に、本発明では、ノズル内径の違うプレートノズル２０を種々形成しておき、これをクリーンゾーン１１の製造設備Ｍの配置状況に応じて、ノズル径の違うプレートノズル２０をクリーンゾーン１１に清浄空気を吹き出す給気チャンバ１２に取り付けることで、クリーンゾーン１１のエリア全体の風速分布も自在に設定することができる。すなわち粒子拡散が要求されるエリア上の天井には、内径の大きなノズルからなるプレートノズル２０を配置し、粒子拡散の影響のないエリアでは、ノズル内径の小さなプレートノズル２０を配置することで、循環風量をより抑えた、一方向流式と非一方向流式との中間の吹出方式とすることもできる。
【００６７】
以上本発明の実施の形態を説明したが、本発明では種々の変更が可能である。すなわち、クリーンルームとして説明したが、クリーンルームとは広義のものであり、例えば液晶基板を露光する露光装置内に形成されるクリーンルームや局所的に形成されたクリーンルームでも適用できることは勿論である。
【符号の説明】
【００６８】
１０  クリーンルーム
１１  クリーンゾーン
１２  給気チャンバ
１６  レターンチャンバ
２０  プレートノズル
２３  プレート
２４  ノズル
【要約】
【課題】循環風量が少なくても、必要なダウンフローの風速を確保でき、しかもフィルタリーク試験も簡単に行えるクリーンルームを提供する。
【解決手段】クリーンルーム１０のクリーンゾーン１１の温調された清浄空気の吹出口が、複数のプレートノズル２０で形成されたものである。
【選択図】図１【図１】
0004755307.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図８】
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【図９】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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