(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルおよびこのノズルの断面積より広い流路拡大部を接続してなる流路と、前記ノズルの出口に対向する位置で前記流路拡大部に配置された誘振子と、前記誘振子の下流側となる位置で前記流路拡大部に配置されたエンドブロックとを有し、前記ノズルから噴出される流体の流れを前記誘振子を中心に左右に振り分けて交番圧力波を生じさせるフルイディック素子において、
前記流路拡大部の内壁に相当してこの壁に沿って流体が帰還する帰還壁の下端部が前記誘振子で均等に振り分けられた流体を安定に帰還するために滑らかになるように形成されており、
前記流路拡大部の深さをｈとし、前記帰還壁の下端部の半径をＲとした場合に、前記帰還壁の下端部の半径Ｒと前記流路拡大部の深さｈとの関係が、Ｒ／ｈ＝０．１２以下の曲面として形成されていることを特徴とするフルイディック素子。
【請求項２】
前記請求項１に記載のフルイディック素子と、
前記フルイディック素子により発生される交番圧力波に応じた信号を出力する圧力センサと、
を備えていることを特徴とするフルイディック型流量計。
【請求項３】
前記請求項２に記載のフルイディック型流量計と、
小流量域の流体の流量を検出する小流量域検出素子と、
を備えていることを特徴とする複合型流量計。
【請求項４】
前記小流量域検出素子は、前記フルイディック型流量計の前記ノズルの入口側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の複合型流量計。
【請求項５】
前記小流量域検出素子は、前記フルイディック型流量計の前記ノズルによる流体の流れの変動に影響されない位置に形成された小流量流路に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の複合型流量計。
【請求項６】
前記小流量域検出素子として熱式流量検出センサを用いることを特徴とする請求項３〜５の何れか一項に記載の複合型流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フルイディック素子の製造方法、フルイディック素子、フルイディック型流量計、複合型流量計に係り、より詳しくは、流体の流量変化に対応するフルイディック振動を検出するフルイディック素子の製造方法、フルイディック素子、フルイディック型流量計、および複合型流量計に関する。例えば、都市ガス（ＬＮＧ）やプロバンガス（ＬＰＧ）などの流量計、あるいは、都市ガス（ＬＮＧ）、プロバンガス（ＬＰＧ）、エアコン、エンジンなどの流量制御装置等に用いることができる。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、フルイディック型流量計においては種々の提案がなされている。
例えば、特開平８−２１０８８６号公報に記載されているものとして、図４に示すようなフルイディック素子１００が用いられている。このフルイディック素子１００は、流体入口１０１、ノズル１０２、流路拡大部１０３、および流体排出口１０４を順次接続させて形成した流路と、流路拡大部１０３に配設されてノズル１０２の出口と対向する誘振子１０５と、その下流側に配置されたエンドブロック１０６と、帰還壁１０７を有している。
【０００３】
このようなフルイディック素子１００を用いたフルイディック型流量計では、ノズル１０２から下流側に向かって噴出する流体が誘振子１０５の外側に沿って交互に振り分けられる。図４の誘振子１０５の下側に流体が流れる状態から説明すると、ノズル１０２から噴出する流体の大部分は流路拡大部１０３から流体排出口１０４に向けて流れるが、一部はエンドブロック１０６にぶつかって流路拡大部１０３の下側の帰還壁１０７に沿って帰還流体となり、新たにノズル１０２からの噴出する流体の噴流に直角方向からぶつかる。
【０００４】
この帰還流体のエネルギーによって、新たにノズル１０２から噴出する流体の噴流は今度は誘振子１０５の上側に流れ、一部はエンドブロック１０６にぶつかって流路拡大部１０３の上側の帰還壁１０７に沿って帰還流体となり、新たにノズル１０２からの噴出する流体の噴流に直角方向からぶつかる。
【０００５】
この帰還流体のエネルギーにより、新たにノズルから噴出する流体の噴流は、今度は誘振子１０５の下側に流れる。ノズル１０２から噴出する噴流の流れの振り分けはこのようにして繰り返される。
【０００６】
フルイディック型流量計は、上記のように流体に生じた振動（交番圧力波）の周波数を圧力センサにより検出し、その検出した出力を電気信号に変換することで流体の流量を測定しようとするものである。このようなフルイディック型流量計では、流体が一定幅のノズル１０２から誘振子１０５に向けて噴出した場合に、周囲の流体の流速より速い高速の流れの「噴流」と、その流れの中に置かれた誘振子１０５の下流側で見られる「帰還流」との関係が重要となり、２次元の場で考えると誘振子１０５の形状がフルイディック振動特性に極めて重要な役割りを果たしている。
【０００７】
より詳しく説明すると、ノズル１０２からの「噴流」が半無限の空間に噴出した場合は「噴流」の方向は安定するが、流路拡大部１０３の空間は制限があって中央には誘振子１０５があるので、噴流はノズル１０３から噴出するときの初速の方向が維持できなくなり、このため二次元の噴流が不安定となって、この不安定性によりフルイディック振動が始まるきっかけが生まれると考えられる。
【０００８】
一方、流れの中に配置した誘振子１０５の下流側には非対称配列の渦（カルマン渦）が生成され、この渦列は蛇行する流れとなる。したがって、「帰還流」は振動流となり安定し得なくなると考えられる。このように、「噴流」も「帰還流」も誘振子１０５の形状やエンドブロック１０６や流路拡大部１０３の壁面によって影響を受けて不安定となる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
従来のフルイディック型流量計は、小流量域での直線性が悪いが大流量域の測定に適しているので、例えば都市ガスの流量を測定するガスメータ等では、小流量域の測定に適したフローセンサ等の熱式流量検出センサとフルイディック型流量計とを合わせ持つ複合型流量計が用いられている。
【００１０】
このため、フルイディック型流量計は、最低振動流量（フルイディック振動の開始流量）が低く、流量範囲には広いダイナミックレンジが望まれている。仮に、フルイディック型流量計の流体振動開始量を０流量から使うことができれば、熱式流量検出センサを用いることなくフルイディック型流量計のみによる流量計が実現できる。例えそうならなくても、フルイディック型流量計の安定した流体振動開始の流量を少しでも低くすることができれば、熱式流量検出センサへの要求仕様を緩めることができる。
【００１１】
すなわち、現状の複合型流量計では、例えばフルスケール４０００Ｌ（リットル）／ｈ（時間）で、２００Ｌ／ｈ〜数１０００Ｌ／ｈの範囲をフルイディック型流量計で受け持ち、０〜２００Ｌ／ｈの範囲を熱式流量検出センサで受け持っている。このため、熱式流量検出センサの流量受け持ち範囲が２桁もあることから小流量域の測定精度が得られ難いという問題点があった。
【００１２】
これにより、熱式流量検出センサの性能に厳しい仕様が要求され、流量計として使用する場合には複雑な信号処理や流量補正演算処理が必要となる。従って、フルイディック型流量計の流体振動開始量を１００Ｌ／ｈ以下にすることができただけでも、信号処理のし易さ、信頼性、あるいは製造コストの面での改善に与える影響は大きくなる。このようなことから、フルイディック型流量計で振動を検出し始めたときの流量（最低振動検出流量）、流量−振動数特性に関してさまざまな実験的な検討を行っており、「帰還壁」が重要な制御因子であることがわかっており、これまでに種々の提案がなされている。
【００１３】
これを具体的に説明すると、流路拡大部の側壁すなわち帰還壁は底面に対して垂直であることが望ましく、また深さ方向に渡って一定であることが望ましく、かつ最適な形状が存在するのでそのような形状としている。
【００１４】
前述した流路拡大部の側壁、すなわち帰還壁が底面に対して垂直よりも流路拡大部の内側に倒れている場合は、帰還流に対して遠くに離れていることになるため帰還流のエネルギーがロスすることから、フルイディック振動周波数（Ｆ）の流量（Ｑ）依存性は同一流量時の振動周波数が低くなってゆき、流量−振動周波数の直線性（ｄＦ／ｄＱ）が悪くなる。
【００１５】
また、反対に流路拡大部の側壁、すなわち帰還壁が底面に対して垂直よりも流路拡大部の外側に倒れている場合は、フルイディック振動周波数（Ｆ）の流量（Ｑ）依存性は同一流量時の振動周波数が高くなってゆき、流量−振動周波数の直線性（ｄＦ／ｄＱ）が悪くなる。
【００１６】
したがって、帰還壁の底面に対する垂直度を管理してやれば性能的にはまったく問題がなくなる。
【００１７】
しかしながら、実験室ではアルミニウムブロックを切削加工により製作していたので問題にならなかったが、生産性を考慮して製作することを検討してみると、帰還壁を底面に対して流路拡大部深さ方向に渡って垂直にするということはコストのかかる課題となり、必ずしも容易でないことがわかってきた。つまり、通常の金型成型による方法では、帰還壁がフルイディック素子の床面（底面）から直立しているため、成型時の床面と帰還壁上部との温度分布の差によって熱応力のかかり方が生じ、ノズル出口に対してエンドブロックが傾いたり、帰還壁の下端部にバリが存在するような場合には、バリが存在する部分とそうでない部分とで流れの状態が乱れてしまい、流量計としての性能が著しく低下するという問題点があった。
【００１８】
このため生産性を重視して金型成型により製作する場合には、帰還壁が傾いたり、バリが発生しないようにするため、帰還壁の下端部に曲面を形成して帰還壁に剛性を持たせる必要がある。しかしながら、この曲面の半径が大きくなるに従って剛性は増していくので垂直性は良くなるものの、帰還壁の下端部に対する噴流の剥離位置の変動が大きくなり、その結果、流量に対するフルイディック振動周波数の直線性が悪くなるという問題点があった。
【００１９】
本発明は上記に鑑みてなされたものであって、生産時においても実験室で得られた最適な形状による性能、フルイディック振動を安定させて、フルイディック振動出力による流量測定領域を小流量域側に広げることを維持しながら金型成型も可能な帰還壁の下端部の形状、すなわち曲面半径とカット面を持ったフルイディック素子の製造方法とその製造方法により制作したフルイディック素子、フルイディック型流量計、および複合型流量計を提供することを目的とする。
【００４０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のフルイディック素子は、ノズルおよびこのノズルの断面積より広い流路拡大部を接続してなる流路と、前記ノズルの出口に対向する位置で前記流路拡大部に配置された誘振子と、前記誘振子の下流側となる位置で前記流路拡大部に配置されたエンドブロックとを有し、前記ノズルから噴出される流体の流れを前記誘振子を中心に左右に振り分けて交番圧力波を生じさせるフルイディック素子において、前記流路拡大部の内壁に相当してこの壁に沿って流体が帰還する帰還壁の下端部が前記誘振子で均等に振り分けられた流体を安定に帰還するために滑らかになるように形成されており、前記流路拡大部の深さをｈとし、前記帰還壁の下端部の半径をＲとした場合に、前記帰還壁の下端部の半径Ｒと前記流路拡大部の深さｈとの関係が、Ｒ／ｈ＝０．１２以下の曲面として形成されていることを特徴とする。
【００４１】
この請求項１に記載の発明によれば、帰還壁の下端部における流体の剥離位置の変動が少なくなり、渦の発生する位置が安定するため、帰還流の戻りが安定する。
【００４９】
この請求項１に記載の発明によれば、曲面の半径が具体的に与えられていることから、ノズルから噴出された流体の帰還壁の下端部における流体の剥離位置の変動が一定の範囲以下に抑制され、帰還流の戻りが安定する。
【００５８】
請求項２に記載のフルイディック型流量計は、前記請求項１に記載のフルイディック素子と、前記フルイディック素子によって発生される交番圧力波に応じた信号を出力する前記フルイディック素子により発生される交番圧力波に応じた信号を出力する圧力センサと、を備えていることを特徴とする。
【００５９】
この請求項２に記載の発明によれば、ズルから噴出された流体が誘振子によって振り分けられた後に続いて、帰還壁の下端部での流体の剥離位置の変動が少なくなることから、帰還流の戻りを安定させることができる。
【００６０】
請求項３に記載の複合型流量計は、前記請求項２に記載のフルイディック型流量計と、小流量域の流体の流量を検出する小流量域検出素子と、を備えていることを特徴とする。
【００６１】
この請求項３に記載の発明によれば、ノズルから噴出された流体が誘振子によって振り分けられた後に帰還壁の下端部での流体の剥離位置の変動が少なくなり、帰還流の戻りを安定させ得る計測流量のダイナミックレンジを広くとることができる。
【００６２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の複合型流量計において、前記小流量域検出素子は、前記フルイディック型流量計の前記ノズルの入口側に配置されていることを特徴とする。
【００６３】
この請求項４に記載の発明によれば、請求項３に記載の発明と同等の作用が得られる上、流路の構成をより簡略化することができる。
【００６４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の複合型流量計において、前記小流量域検出素子は、前記フルイディック型流量計の前記ノズルによる流体の流れの変動に影響されない位置に形成された小流量流路に配置されていることを特徴とする。
【００６５】
この請求項５に記載の発明によれば、請求項４に記載の発明と同等の作用が得られる上、小流量域検出素子の出力によって流体の流量を測定する際に、流路拡大部と帰還壁における流体の流れの変動に左右されずに測定することが可能となる。
【００６６】
請求項６に記載の発明は、請求項３〜５の何れか一項に記載の複合型流量計において、前記小流量域検出素子として熱式流量検出センサを用いることを特徴とする。
【００６７】
この請求項６に記載の発明によれば、請求項３〜５の発明と同等の作用が得られる上、小流量域での測定感度を高めることができる。
【００６８】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照して、本発明に係るフルイディック素子の製造方法、フルイディック素子、フルイディック型流量計、および複合型流量計の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００６９】
図１は、本実施の形態に係るフルイディック素子の斜視図であり、図２は、本実施の形態に係る複合型流量計の概略構造を示す平面図である。まず、図１を参照してフルイディック素子１Ａの構成を説明する。このフルイディック素子１Ａは、図中の矢印で示した流体の流れ方向に向かうに従って流路断面積が絞られた流路絞り部２と、ノズル３と、このノズル３の断面積より広い流路拡大部４とが順次接続してなる流路５と、ノズル３の出口６に対向する位置で流路拡大部４に配置された誘振子７と、この誘振子７の下流側となる位置で流路拡大部４に配置されたエンドブロック８とを有していて、ノズル３の中心を通る中心線を挟んで対称の形状となるようにプラスチック材料を用いて成型されている。そして、流路絞り部２の上流側の端部と流路拡大部４の下流側の端部とは開放されている。
また、流路絞り部２の両側の壁面には複数の溝９が形成されている。
【００７０】
このようなフルイディック素子１Ａは、図２に示すような流量計本体１０に組み込まれ、この流量計本体１０の上面を閉塞する蓋（図示せず）によって上面の開口面が覆われている。そして、その蓋の上面には、圧力センサ（図示せず）が取り付けられている。
【００７１】
この圧力センサは、ノズル３の出口６側の両側に配置されて蓋に形成された孔１１を介してフルイディック素子１Ａの交番圧力波を検出し、その検出した圧力に応じた電気信号を出力する。
【００７２】
また、フルイディック素子１Ａに形成された溝９には、整流網１２と整流格子１３とが組み込まれている。流量計本体１０には、流体流入口１４と、流体流出口１５と、流体流入口１４から流体流出口１５に向けて流体としてのガスを流す流路１６が形成されていて、この流路１６の中央部にフルイディック素子１Ａが配置されている。
【００７３】
フルイディック素子１Ａの流路絞り部２の上流側は流体流入口１４に、流路拡大部４の出口側は流体流出口１５に接続されている。さらに、フルイディック素子１Ａの上流側となる流路１６には、地震等の異常な振動を受けたときに駆動部１７により流路１６を遮断する遮断弁１８が組み立てられている。以上の組み立てによりフルイディック型流量計２０が構成されている。
【００７４】
さらに、フルイディック素子１Ａのノズル３の入口側には、小流量検出素子としての感熱式流量検出センサ（以下、本実施の形態ではフローセンサと称する）１９を配設することにより、複合型流量計３０が構成されている。このフローセンサ１９は、ガスの流量に応じた電気信号を出力するので、その出力に基づいてガスの流量が測定される。
【００７５】
フルイディック型流量計２０の主要な構成部品であるフルイディック素子１Ａは、流体流入口１４から流入したガスがノズル３から下流側に向かって噴出すると、ガスは誘振子７の外側に沿って交互に振り分けられる。図２において、ガスが誘振子７の上側を流れる状態から説明すると、ノズル３から噴出するガスの大部分は流路拡大部４から流体流出口１５に向かって流れるが、一部はエンドブロック８にぶつかって流路拡大部４の上側の側壁に沿って帰還流体となり、新たにノズル３から噴出するガスの噴流に略直角方向からぶつかる。この帰還流体のエネルギーにより、新たにノズル３から噴出するガスの噴流は今度は誘振子７の下側を流れ、一部はエンドブロック８にぶつかり、流路拡大部４の下側の側壁に沿って帰還流体となり、新たにノズル３からの噴出するガスの噴流に略直角方向からぶつかる。
【００７６】
この帰還流体のエネルギーにより、新たにノズル３から噴出するガスの噴流は今度は誘振子７の上側に流れる。ノズル３から噴出する噴流の流れの振り分けはこのようなコアンダ効果によって繰り返される。このようにすることで生じた流体振動（交番圧力波）を圧力センサにより検出し、その出力の周期を電気信号に変換して認識することでガスの流量を測定しようとするものである。
【００７７】
ところで、フルイディック素子１Ａは、ＡＢＳ(Alkyl Benzene Sulfonate）、ＰＢＴ(Poly Butyrene Terephthalate）、ＰＣ(polycabonate)、ＰＯＭ(Polyacetal resin)、ＢＭＣ(Bulk Molding Compound）等のプラスチック材料により成型されている。この場合、成型後の寸法変化を小さくする上で、プラスチック材料は方向によって収縮率が異なるが、平均の収縮率が例えば５／１０００程度と低いＡＢＳ、ＰＢＴ、ＰＣ等が好ましい。
【００７８】
また、フルイディック素子１Ａを成型するときは金型を用いるので、帰還壁が傾いたり、帰還壁の下端部にはにバリが生じ易い。帰還壁が傾いたり、帰還壁の下端部にバリができると、前述したように流体がノズル３によって振り分けられてエンドブロックに沿って流れ、帰還していくときに帰還流の流れを乱す原因となる。
【００７９】
そこで、この傾きやバリの発生を避けるために、帰還壁の下端部に曲面を形成するが、その曲面の半径が大き過ぎると、流体の剥離位置の変動が大きくなる。また、そのバリや傾きを仕上げ加工等により一定値に定めることは至難であるし、コストがかさむ方法でもある。
【００８０】
このため、本実施の形態のフルイディック素子１Ａは、帰還壁の下端部が一定の半径以下の曲面となるような公差を満足するように成型されている。ここでいう一定の半径とは、流路拡大部の深さをｈとし、半径をＲとした場合に、Ｒ／ｈ＝０．１２以下である。特に、Ｒ／ｈ＝０．０４ならばさらによい。流路拡大部の深さｈはこの例では２５ｍｍであるので、前者の半径Ｒは３ｍｍ、後者の半径Ｒは１ｍｍとなる。
【００８１】
従って、このような方法で製造されたフルイディック素子１Ａの帰還壁の下端部は、曲面Ｒのないエッジ（直角）の状態から、３ｍｍ以下の半径をもつ曲面の状態に維持されている。このような構成において、ノズル３からガスが噴出するときに誘振子７によって振り分けられた流体がエンドブロックに沿って流れ、帰還流の戻りが安定する許容範囲である。
【００８２】
また、ノズル３から噴出して流路拡大部を流れる流体の流れの層方向と平行な底面内における前記帰還壁の下端部の全域が均一に一定の半径以下の曲面となるような公差を満足するようにフルイディック素子１Ａを成型することにより、成型されたフルイディック素子１Ａの帰還壁の図示しない下端部により、その高さ方向に直立の状態に維持される。したがって、二次元の場においても帰還流の戻りが安定する。
【００８３】
さらに、ノズルの中心と誘振子の中心を通る中心線で振り分けられる前記帰還壁の下端部の両側が均一に一定の半径以下の曲面となるような公差を満足するようにフルイディック素子１Ａを成型することにより、帰還壁は直立の状態に維持される。従って、コアンダ効果による帰還流の戻りが極めて均等に行われる。
【００８４】
ここで、帰還壁の下端部の曲面の半径がＲ／ｈ＝０．０４（半径１ｍｍ）、Ｒ／ｈ＝０．１２（半径３ｍｍ）、Ｒ／ｈ＝０．１６（半径４ｍｍ）、Ｒ／ｈ＝０．２（半径５ｍｍ）の場合の実験結果を図３に示す。
【００８５】
図３は、本実施の形態における振動周波数のバラツキのパルス数（振動数）依存性を前述したＲ／ｈをパラメーターとして示したグラフである。このパルスのバラツキは、１％以下程度でなければ計量法による器差を満たすことはできないことが知られており、瞬時流量を精度良く測定できるようにするために、１０パルス（振動回数１０回：ちなみに１Ｈｚの振動であれば６秒間となる）時のばらつきが１％以内でなければならない。
【００８６】
これを図３のグラフで見ると、Ｒ／ｈ＝０．１２は満足している。図３のグラフに示すように、Ｒ／ｈ＝０．１６ではバラツキのパルス数の依存性は１．５％（１０パルス時）、Ｒ／ｈ＝０．２でバラツキのパルス数の依存性は１．８％（１０パルス時）であり、流量に対するフルイディック振動は不安定であることを示している。
【００８７】
これに対して、Ｒ／ｈ＝０．１２では安定している。この値は従来よりも改善された値である。２００Ｌ／ｈ〜４００Ｌ／ｈ以下の小流量域において計量法で許容される器差３％の範囲に入る値であった。
【００８８】
さらに改善を行う場合には、帰還壁の下端部の半径Ｒと流路拡大部の深さの比：Ｒ／ｈを更に小さくすればよい。すなわち、Ｒ／ｈ＝０．０４ではＲ／ｈ＝０．１２に比べてバラツキの値がさらに小さくなっている。このことは、Ｒ／ｈ＝０．０４のフルイディック振動周波数の流量依存性はＲ／ｈ＝０．１２よりもより大きな傾きｄＦ／ｄＱであることを示しており、流量測定の精度が良くなることを示している。
【００８９】
これまでは帰還壁の下端部が一定の半径以下の曲面Ｒとなるような公差を満足するように成型したときの実施例について説明をしてきた。ここでいう一定の半径とは、流路拡大部の深さをｈとし、半径をＲとした場合のＲ／ｈ比であった。
【００９０】
しかし、本実施の形態では、さらに帰還壁の下端部が一定以下のカット面Ｃであってもよく、Ｃ／ｈ比による公差を満足すれば良いことがわかった。比較するために、Ｒ／ｈ＝０．０４（半径１ｍｍ）とＣ／ｈ＝０．０４（カット面１ｍｍ）に対して実験を行ったところ、帰還壁の下端部分に曲率Ｒを付けた場合とカット面Ｃを付けた場合とで同様な効果が得られることがわかった。
【００９１】
また、本実施の形態では、フルイディック素子１のノズル３の入口側にフローセンサ１９を配置するようにしたので、複合型流量計３０としての流路１６の構成を簡略化することができる。
【００９７】
請求項６に記載の発明によれば、流路拡大部の深さをｈとし、帰還壁の下端部の半径をＲとした場合に、帰還壁の下端部の半径Ｒと流路拡大部の深さｈとの関係が、Ｒ／ｈ＝０．０４以下の曲面となるような公差を満足するようにフルイディック素子を成型するようにしたので、帰還壁の下端部における流体の剥離位置の変動を請求項５の場合よりもさらに抑制することができる。
【０１０２】
【発明の効果】
請求項１に記載の発明によれば、帰還壁における流体の剥離位置の変動が少なく、帰還流の振り分けが安定し、これによって、小流量域でのフルイディック振動を安定させ、フルイディック振動出力による流量測定領域を小流量域側に広げることができる。
【０１０６】
請求項１に記載の発明によれば、ノズルから噴出した流体が誘振子で振り分けられた帰還流が帰還壁の下端部における流体の剥離位置の変動を一定の範囲以下に抑制し、帰還流の方向を安定させることができる。
【０１１１】
請求項２に記載の発明によれば、ノズルから噴出された流体が誘振子によって振り分けられた後に続いて帰還壁の下端部での流体の剥離位置の変動が少なくなり、帰還流の戻りを安定させ得るフルイディック型流量計を提供することができる。
【０１１２】
請求項３に記載の発明によれば、ノズルから噴出した流体がエンドブロックにおける流体の剥離位置の変動を少なくして、帰還流の方向を安定させ得る複合型流量計を提供することができる。
【０１１３】
請求項４に記載の発明によれば、請求項３に記載の発明と同等の効果が得られる上、流路の構成を簡略化することができる。
【０１１４】
請求項５に記載の発明によれば、請求項４の発明の効果に加えて、小流量域検出素子の出力により流体の流量を測定する際に、ノズルにおける流体の流れの変動に左右されることなく、測定が可能となる。
【０１１５】
請求項６に記載の発明によれば、請求項３〜５に記載の発明と同等の効果が得られる上、小流量域での測定感度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係るフルイディック素子の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る複合型流量計の概略構造を示す平面図である。
【図３】本実施の形態における振動周波数のバラツキのパルス数の依存性をＲ／ｈをパラメーターとして示したグラフである。
【図４】従来のフルイディック素子の概略構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１Ａ  フルイディック素子
２  流路絞り部
３  ノズル
４  流路拡大部
５  流路
６  出口
７  誘振子
８  エンドブロック
９  溝
１０  流量計本体
１１  孔
１２  整流網
１３  整流格子
１４  流体流入口
１５  流体流出口
１６  流路
１７  駆動部
１８  遮断弁
１９  感熱式流量検出センサ（フローセンサ）
２０  フルイディック型流量計
３０  複合型流量計
【図１】
0004798873.tif 000002
【図２】
0004798873.tif 000003
【図３】
0004798873.tif 000004
【図４】
0004798873.tif 000005