(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パタン形状を透過部または不透過部として指定する液晶パネルと、該液晶パネルを照明する照明装置と、該液晶パネルで指定したパタンを被露光基板上に投影する投影光学系とを有する液晶マトリックス投影露光装置において、
前記液晶パネルに近接または密着させて、該液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板を設け、
該開口制御板を介した状態で、前記液晶パネル上の透過部とされる点状または隣合う液晶セル同士による露光部がわずかに重なる程度に、第１の露光として被露光基板を投影露光し、
第１の露光の際の液晶パネルの位置に対し該液晶パネルを動かし或いは第１の露光の際の被露光基板の位置に対し該被露光基板の位置を動かすと共に、前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板を介した状態で、該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置
【請求項２】
請求項１に示す液晶マトリックス投影露光装置において、開口のｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長を、ｘ，ｙ各方向につき、液晶セルピッチの８０％以上液晶セルピッチ以下とした開口制御板を有することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置
【請求項３】
請求項１に示す液晶マトリックス投影露光装置において、ｍを３以上の整数とする時、開口のｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長を、ｘ，ｙ各方向につき、液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定した開口制御板を有することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置
【請求項４】
パタン形状を透過部または不透過部として指定する液晶パネルと、該液晶パネルを照明する照明装置と、該液晶パネルで指定したパタンを被露光基板上に投影する投影光学系とを有する液晶マトリックス投影露光装置において、
前記液晶パネルに近接または密着させて、該液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板を設け、
該開口制御板を介した状態で、前記液晶パネル上の透過部とされる点状または隣合う液晶セル同士による露光部がわずかに重なる程度に、第１の露光として被露光基板を投影露光し、
第１の露光の際の液晶パネルの位置に対し該液晶パネルを動かし或いは第１の露光の際の被露光基板の位置に対し該被露光基板の位置を動かすと共に、前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板を介した状態で、該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光し、
該開口制御板を着脱するための待避・進入機構を有することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置
【請求項５】
パタン形状を透過部または不透過部として指定する液晶パネルと、該液晶パネルを照明する照明装置と、該液晶パネルで指定したパタンを被露光基板上に投影する投影光学系とを有する液晶マトリックス投影露光装置において、
前記液晶パネルに近接または密着させて、該液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板を該開口の形状および／または寸法を異として複数設け、
該開口制御板を介した状態で、前記液晶パネル上の透過部とされる点状または隣合う液晶セル同士による露光部がわずかに重なる程度に、第１の露光として被露光基板を投影露光し、
第１の露光の際の液晶パネルの位置に対し該液晶パネルを動かし或いは第１の露光の際の被露光基板の位置に対し該被露光基板の位置を動かすと共に、前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板を介した状態で、該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光し、
任意の開口制御板を選択して択一着脱するための機構を有することを特徴とする液晶マトリックス投影露光装置
【請求項６】
液晶パネル中の液晶セルの透過領域を、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状で、ｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長を、ｘ，ｙ各方向につき、液晶セルピッチの８０％以上液晶セルピッチ以下とした開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板により限定して各液晶セルの一部のみを透過部として残し、
該液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定して、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第１の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置を液晶セルのｘ方向ピッチの１／２だけｘ方向に動かすか、または被露光基板の位置を（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけｘ方向に動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第２の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置を液晶セルのｙ方向ピッチの１／２だけｙ方向に動かすか、または被露光基板の位置を（ｙ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけｙ方向に動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第３の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置をｘ方向に液晶セルのｘ方向ピッチの１／２とｙ方向に液晶セルのｙ方向ピッチの１／２だけ動かすか、または被露光基板の位置をｘ方向に（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２、ｙ方向に（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけ動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第４の工程とを含むことを特徴とする液晶マトリックス投影露光方法
【請求項７】
液晶パネル中の液晶セルの透過領域を、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状で、ｍを３以上の整数とする時、ｘ，ｙ方向の開口の径または対辺長または対角長がそれぞれ液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定した開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板により限定して各液晶セルの一部のみを透過部として残し、
該液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定して、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第１の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、ｎを０またはｍより小さい任意の正の整数とする時、該液晶パネルの位置を、第１の露光位置に対して、ｘ方向および／またはｙ方向に液晶セルピッチのｎ／ｍ動かすか、または、被露光基板を（セルピッチのｎ／ｍ）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する任意の工程とを含むことを特徴とする液晶マトリックス投影露光方法
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する産業分野】
本発明は半導体集積回路、光エレクトロニクス素子、マイクロマシン部品等の微細パタンを半導体ウエハ等の被露光基板上に転写する装置および方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体集積回路、光エレクトロニクス素子、マイクロマシン部品等の微細パタンを、半導体ウエハ、金属基板、ガラス基板等の各種基板上に形成するのに、投影露光装置および投影露光方法が多用されている。
【０００３】
図１６は従来の投影露光装置の構成図である。この従来の投影露光装置を用いて投影露光を行うには、合成石英、ガラス等の光透過基板上にクロム等の遮光体で原図となるパタンを形成したレチクルや、シリコンウエハ等の枠上に設けた各種薄膜や薄い金属板板等に原図となるパタン形状の穴を開けたステンシルマスクを原図基板８３として用いる。
【０００４】
そして、前記原図基板８３に光源と照明光学系によって構成された照明装置３によって照明光４を当て、投影レンズ、投影ミラー光学系、レンズとミラーとを適宜組み合わせた光学系等の投影光学系５を用いて、該原図基板８３上のパタンを被露光基板６の上に投影する。
【０００５】
該被露光基板６、たとえば半導体ウエハ、金属基板、ガラス基板等の上には、予めレジスト等の感光性材料７を塗布や吹き付け等により付加しておく。すると、前記原図基板８３に当てた照明光線４により前記感光性材料７が該原図基板８３の透過部の形状に対応したパタン形状に感光する。
【０００６】
したがって、露光後、現像を行うと、前記感光性材料７がポジ形かネガ形かに応じて感光部または未感光部の感光性材料７が除去され、前記原図基板８３上のパタン形状が該被露光基板６上に転写される。
【０００７】
このように、従来の投影露光装置および投影露光方法は、レチクルやステンシルマスク等の原図基板８３上のパタンを被露光基板６上の感光性材料に転写する装置および方法であるので、まずは所望のパタンに対応したパタンを有する原図基板８３が必要不可欠であった。
【０００８】
原図基板８３は、形成してある微細パタンに少しでも間違いや欠陥があると、転写したパタンを使用した製品の全てが不良品となってしまうことから、検査、確認が重要であり、非常に高価である。パタンは形状だけでなく、線幅や穴の大きさ、さらにはそれらの位置等の各種精度も問題となるため、パタンが微細になるととくに高価となる。
【０００９】
一方、社会の消費傾向の多様化に伴い、製品は多品種少量生産化する傾向にある。たとえば、半導体集積回路製品では、特定用途向けＩＣが伸びる一方、極めて大量に同じ製品を生産する例はメモリ等極一部に限られている。
【００１０】
そして、まだ汎用品が多数出回るに至っていないマイクロマシンの部品等は、当初から半導体集積回路製品と比べると桁違いに少量しか生産しないのが通例である。
【００１１】
ところが、生産量の多少に拘らず、投影露光を行う限りは元になるパタンを有する原図基板８３を必要とするので、少量生産品では原図基板８３の価格が製品価格に大きく影響するようになる。
【００１２】
また、原図基板８３上のパタンの変更、修正は特別な場合を除いてほとんど不可能に近く、製品毎、パタンの変更毎に原図基板８３を作り直す必要がある。
【００１３】
このため、最近になって、製品毎、パタンの変更毎に従来の原図基板８３を作り直すのではなく、液晶パネルの各液晶セルを透過、遮光を制御するマトリックススイッチとして利用して原図基板８３の代替となし、透過部、遮光部を所定の配置で指定して投影露光を行う、図１７に示す液晶マトリックス投影露光装置およびそれを利用した露光方法の有用性がたとえば、第４６回応用物理学関係連合講演会講演予稿集７４２ページ（１９９９）やＪａｐａｎｅｓｅ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｖｏｌ．３８，ｐｐ．３２４−３２９（２０００）に開示されている。
【００１４】
上記の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法によれば、液晶パネル１の各セルの透過、遮光をパタン指定部８からキーボード操作等により容易に指定できる。９は液晶パネル１とパタン指定部８とがケーブル等で連結されていることを示す。
【００１５】
したがって、従来のレチクルやステンシルマスク等固定のパタンを有する原図基板８３は不要である。
【００１６】
また、パタンの設計データをパーソナルコンピュータ等によって、液晶パネル１の各セルへの制御指令に自動的に変換することが容易にできるため、液晶パネル１の各セルの透過、不透過の制御を自動的におこなうことも可能である。
【００１７】
なおかつ、パタンの設計データをパーソナルコンピュータ等によって、液晶パネル１の各セルへの制御指令に自動的に変換するようにすれば、該設計データを用いてパタンの検査ができるので、間違いや欠陥を大幅に削減することができ、パタンの変更や修正も極めて容易にできる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１７に示した開示された液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法には、以下に示すような問題があった。
【００１９】
図１８は液晶パネル１の模式図である。図１８（ａ）に示すように、液晶パネル１の各液晶セル１０の間に境界部８４があり、該境界部８４の部分はセル部の透過、遮光の指定と関係なく、常に不透過となってしまった。
【００２０】
また、単純マトリックス方式の液晶パネル１の場合には、液晶セル１０の中には障害物が存在しないが、アクティブマトリックス方式の液晶パネル１の場合には、図１８（ｂ）に示すように、液晶セル１０の中に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）１９が形成されており、該ＴＦＴ１９の部分が前記境界部８４に加えて常に不透過となってしまった。
【００２１】
図１９は従来の液晶マトリックス投影露光装置によって形成したパタン形状の説明図である。単純マトリックス方式の液晶パネル１を用いる場合でも、遮光液晶セル８５の中に連続した透過液晶セル８６を並べて線状の感光部を形成しようとしても、境界部８４に対応する部分の露光量が少ないので、転写パタンにくびれや突起ができてしまった。
【００２２】
たとえば、図１９（ａ）に示すように、液晶パネル１の斜線部を遮光液晶セル８５、白枠部を透過セル８６に指定して投影露光を行うと、本来直線上のパタンが必要なのに、感光性材料７としてネガ形レジストを用いた場合には図１９（ｂ）に示すようなレジストパタン８７となってしまい、転写パタンにくびれ８８が生じてしまった。また、感光性材料７としてポジ形レジストを用いた場合には図１９（ｃ）に示すようなレジストパタン８９となってしまい、転写パタンに突起９０ができてしまった。
【００２３】
なお、一般にはレジストパタン８７およびレジストパタン８９は液晶パネル１で液晶セルの透過部、遮光部として指定したパタンに対して投影露光倍率が掛かった大きさのパタンとなるが、対応が分かりにくくなるため、図１９ではレジストパタン８７およびレジストパタン８９の線幅を液晶セルの大きさに合わせて描いた。
【００２４】
アクティブマトリックス方式の液晶パネル１の場合には、ＴＦＴ１９も障害物となるため、くびれや突起がさらに顕著となってしまった。
【００２５】
応答速度や透過、不透過のコントラスト比等の観点から、最近の液晶パネル１の大半はＴＦＴ１９を用いている。ＴＦＴ１９は一般に液晶セル１０中の角部に配置されているので、それがあると、液晶セル１０の透過部の形状が長方形または正方形ではなくなり、連続した透過部を作ろうとすると、前記境界部８４の部分とつながったさらに大きい不透過部が形成され、転写パタンのくびれ８８や突起９０がより一層劣悪になるという課題があった。
【００２６】
このため、前記の液晶セル１０間の境界部８４をなるべく細くしたり、前記ＴＦＴ１９の寸法をできる限り小さくすることにより、形成されるパタンのくびれ８８や突起９０を極力抑える対処を行っていた。
【００２７】
しかしながら、境界部８４もアクティブマトリックス方式の液晶パネル１におけるＴＦＴ１９も必要不可欠であり、完全になくすことはできず、また、極力小さくするにしても限度があるため、形成されるパタンのくびれ８８や突起９０を十分小さくすることが困難であった。
【００２８】
従来の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法においては、転写できるパタンの最小寸法は大略一つの液晶セル１０の大きさとなる。したがって、微細なパタンを転写するには液晶セル１０大きさが小さい程好ましい。しかしながら、液晶セル１０の大きさを小さくしてもそれに比例して前記境界部８４やＴＦＴ１９の大きさを小さくすることは困難なので、液晶セル１０の大きさが小さい程、くびれ８８や突起９０の問題が解決困難となっていた。
【００２９】
また、従来の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法においては、転写できるパタンの単位寸法も大略一つの液晶セル１０の大きさとなるため、該液晶セル１０の大きさの整数倍の幅や大きさを持つパタンしか形成できなかった。したがって、液晶セル１０の大きさより小さい幅や大きさを有するパタンを形成することもできなかった。
【００３０】
また、従来の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法においては、液晶セル１０の配置に従ってパタンが転写されるため、斜め線パタンは非常に形成しにくかった。
【００３１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記の課題を解決するため、請求項１に示すように、パタン形状を透過部または不透過部として指定する液晶パネルと、該液晶パネルを照明する照明装置と、該液晶パネルで指定したパタンを被露光基板上に投影する投影光学系とを有する液晶マトリックス投影露光装置において、
前記液晶パネルに近接または密着させて、該液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板を設け、
該開口制御板を介した状態で、前記液晶パネル上の透過部とされる点状または隣合う液晶セル同士による露光部がわずかに重なる程度に、第１の露光として被露光基板を投影露光し、
第１の露光の際の液晶パネルの位置に対し該液晶パネルを動かし或いは第１の露光の際の被露光基板の位置に対し該被露光基板の位置を動かすと共に、前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板を介した状態で、該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光することを特徴とする。
【００３２】
開口制御板の開口のｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長は、請求項２に示すように、ｘ，ｙ各方向につき、液晶セルピッチの８０％以上液晶セルピッチ以下としても良く、請求項３に示すように、ｘ，ｙ各方向につき、ｍを３以上の整数とする時、液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定しても良い。
【００３３】
また、請求項４に示すように、該開口制御板を着脱するための待避・進入機構を付与し、従来の露光と切り替えて使用することができるすればなお良く、請求項５に示すように、開口制御板を該開口の形状および／または寸法を異として複数設け、任意の開口制御板を選択して択一着脱するための機構を有するようにすればさらに良い。
【００３４】
そして、パタンを転写するに当たっては、請求項６に示すように、液晶パネル中の液晶セルの透過領域を、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状で、ｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長を、ｘ，ｙ各方向につき、液晶セルピッチの８０％以上液晶セルピッチ以下とした開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板により限定して各液晶セルの一部のみを透過部として残し、
該液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定して、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第１の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置を液晶セルのｘ方向ピッチの１／２だけｘ方向に動かすか、または被露光基板の位置を（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけｘ方向に動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第２の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置を液晶セルのｙ方向ピッチの１／２だけｙ方向に動かすか、または被露光基板の位置を（ｙ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけｙ方向に動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第３の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、該液晶パネルの位置をｘ方向に液晶セルのｘ方向ピッチの１／２とｙ方向に液晶セルのｙ方向ピッチの１／２だけ動かすか、または被露光基板の位置をｘ方向に（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２、ｙ方向に（ｘ方向液晶セルピッチ）×（投影露光倍率）の１／２だけ動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第４の工程とを含むようにする。
【００３５】
また、請求項７に示すように、液晶パネル中の液晶セルの透過領域を、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状で、ｍを３以上の整数とする時、ｘ，ｙ方向の開口の径または対辺長または対角長がそれぞれ液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定した開口を全ての液晶セルに対応して有する開口制御板により限定して各液晶セルの一部のみを透過部として残し、
該液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定して、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する第１の工程と、
第１の工程における該液晶パネルまたは被露光基板の位置に対し、ｎを０またはｍより小さい任意の正の整数とする時、該液晶パネルの位置を、第１の露光位置に対して、ｘ方向および／またはｙ方向に液晶セルピッチのｎ／ｍ動かすか、または、被露光基板を（セルピッチのｎ／ｍ）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、
前記液晶パネル上にパタン形状を透過部または遮光部として指定し直し、前記開口制御板の開口を通過させつつ該指定したパタン形状に被露光基板を投影露光する任意の工程とを含むようにする。
【００３６】
【発明の実施の形態】
このように、本発明の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法は、開口制御板を用いて従来の液晶セルの中に、パタンを連結して形成するのに適した形状、寸法を有する、小さい透過部を設定することを課題を解決するための実施形態としている。発想を変えて、従来よりセル内の不透過部を増やす点に特徴がある。
【００３７】
また、液晶セルの開口を制限するのと同時に、多重露光してパタンを形成し、これにより、突起やくびれのほとんど無い滑らかな転写パタンを形成するとともに、液晶セルの大きさよりも微細なパタンや液晶セルピッチより小さいピッチのパタンを形成できるようにする。また、従来の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法では形成しにくかった斜め線パタンも形成可能とする。
【００３８】
【実施例】
本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は本発明の液晶マトリックス投影露光装置の構成図である。第４６回応用物理学関係連合講演会講演予稿集７４２ページ（１９９９）やＪａｐａｎｅｓｅ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｖｏｌ．３８，ｐｐ．３２４−３２９（２０００）に開示された従来の装置との最大の相違点は、図１に示すように液晶パネル１の射出面に密着または近接させるか、図２に示すように液晶パネル１の入射面に密着または近接させ、各液晶セルの位置に対応させて、セルの一部のみを所定の形状の透過部として残すための開口制御板２を設けた点である。
【００３９】
液晶パネル１を光源と照明光学系とからなる照明装置３によって照明し、照明光４によって液晶パネル１上のパタン形状を投影光学系５を介して被露光基板６上に投影し、該被露光基板６上に付した感光性材料７を液晶パネル１に指定した透過部のパタンに開口制御板２の開口形状を重ねた形に感光させる。
【００４０】
８は液晶パネル１上にパタン形状を指定するためのパタン指定部である。パタンデータをパタン形状として表示するディスプレイ、指示を与えるためのキーボード、パタンデータを処理したり、記憶したり、検査するコンピュータ等で構成する。液晶パネル１とパタン指定部８とを結ぶ線９は両者がケーブル等で結合されていることを意味する。
【００４１】
液晶パネル１の液晶セル配置と開口制御板２の開口配置の例を図３に示す。縦横で転写パタンのでき方をほぼ同じにするためには、液晶パネル１上の液晶セルピッチがｘ方向とｙ方向で等しく液晶セル１０が正方形であることが好ましい。そこで、図３（ａ）には液晶セルピッチがｘ方向とｙ方向で等しく液晶セル１０が正方形であるの場合の液晶パネル１の液晶セル配置例を示した。これに対し、図３（ｂ）が適合する開口制御板２の例である。照明光線が不透過の基板１１に直径が液晶セルピッチの８０％以上液晶セルピッチ以下の円形開口１２を設けてある。
【００４２】
図４は図３に示した開口制御板２の円形開口１２と液晶セル１０との相対位置関係を詳細に示した図であり、図中の１０は正方形をした任意の液晶セル、１３、１４、１５、１６は液晶セル１０に隣接する正方形の液晶セル、一点鎖線１７、１８は任意の液晶セル１０と隣接する液晶セル１３、１４、１５、１６との境界部の中心線である。円形開口１２は図４（ａ）に示すように液晶セル１０をはみ出しても良く、図４（ｂ）に示すように液晶セル１０の中に収めても良い。
【００４３】
液晶セル１０内にＴＦＴ１９が存在する場合には、図４（ｃ）に示すように、できるだけ円形開口１２が該ＴＦＴ１９と重畳しないようにする。必ずしも円形開口１２の中心が液晶セル１０の中心と一致する必要はない。
【００４４】
図５は液晶セルピッチがｘ方向とｙ方向で等しく液晶セル１０が正方形である開口制御板２の円形以外の開口形状の例を示す。図５（ａ）は円に類似の任意曲線による開口２０、図５（ｂ）は正方形の四隅に面取りを付した開口２１、図４（ｃ）は多角形状の開口２２の例である。また、図５（ｄ）、図５（ｅ）、図５（ｆ）は多角形の開口の角に任意の丸みを設けた開口２３、２４、２５の例である。
【００４５】
なお、多角形の開口または多角形の角に丸みを持たせた開口の場合の角の数は任意で良い。
【００４６】
また、丸みを持たせるための曲線は必ずしも円弧である必要はなく任意で良い。そして、辺と角の丸みを形成する曲線とは交わっても接しても良い。
【００４７】
開口制御板２は照明光線が不透過の薄板または薄膜に穴状の開口を形成しても良く、照明光４を透過するガラスや石英等の透過基板上に遮光膜を付け、該遮光膜を開口の形状に除去しても良い。
【００４８】
図３、図４、図５に示したような開口を有する開口制御板２を入れた状態で、パタン指定部８から液晶パネル１の各液晶セルの透過、遮光を指定し、照明装置３からの照明光４によって液晶パネル１を照明して投影光学系５を介して液晶セル１０の透過、不透過で指定されるパタン形状を被露光基板６上に投影し、該被露光基板６上に付した感光性材料７を感光させる。
【００４９】
図６は、本発明の液晶マトリックス投影露光方法を説明する図であり、液晶パネル１上の透過および遮光の指定と被露光基板６上の転写パタンとの関係を例示している。たとえば、図６（ａ）に示すように、斜線を施した部分を遮光液晶セル２６とし、２７を開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セルとして第１の露光を行う。液晶マトリックスの規模は任意であり、ｘ軸、ｙ軸を図のように取って、ｙ軸およびｘ軸から図示の液晶マトリックス迄の距離をそれぞれａ、ｂとする。
【００５０】
被露光基板６上に付した感光性材料７は、図６（ｂ）に示すように、点状または隣合う透過液晶セル２７どうしによる露光部がわずかに重なる程度に感光する。２８が感光性材料７の露光部である。露光部の重なり方、離れ方は、開口制御板２の開口の大きさ、形状や露光量、感光性材料７の種類、厚さ等に依存する。
【００５１】
なお、一般には感光性材料７の露光部２８は開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セル２７に対して投影露光倍率が掛かった大きさとなるが、対応が分かりにくくなるため、図６（ｂ）では感光性材料７の露光部２８の大きさを開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セル２７の大きさに合わせて描いた。
【００５２】
次に、液晶パネル１を液晶セルピッチｐの１／２動かすか、または、被露光基板６を（液晶セルピッチｐの１／２）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１の液晶セルの透過、遮光を設定し直して第２の露光を行う。たとえば、図６（ｃ）に示すように、液晶パネル１をｙ方向に液晶セルピッチｐの１／２動かし、斜線を施した部分を遮光液晶セル２９とし、３０を開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セルとして第２の露光を行う。この結果、図６（ｄ）の３１が第２の露光による感光性材料７の露光部となる。重ねて描いた２８が前記第１の露光により露光された部分である。
【００５３】
次に、液晶パネル１を第１の露光の場合の位置に対して前記の第２の露光の場合と直交する方向に、液晶セルピッチｐの１／２動かすか、または、被露光基板６を（液晶セルピッチｐの１／２）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１の液晶セルの透過、遮光を設定し直して第３の露光を行う。たとえば、図５（ｅ）に示すように、液晶パネル１を今度はｘ方向に液晶セルピッチｐの１／２動かし、斜線を施した部分を遮光液晶セル３２とし、３３を開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セルとして第３の露光を行う。この結果、図６（ｆ）の３４が第３の露光による感光性材料７の露光部となる。重ねて描いた３５は前記第１の露光および第２の露光より露光された部分である。
【００５４】
さらに、液晶パネル１を第１の露光の場合の位置に対して、前記第２の露光の際に動かした方向および第３の露光の際に動かした方向の双方に、液晶セルピッチｐの１／２動かすか、または、被露光基板６を（液晶セルピッチｐの１／２）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１の液晶セルの透過、不透過を設定し直して第４の露光を行う。たとえば、図５（ｇ）に示すように、液晶パネル１を今度はｘ方向およびｙ方向にそれぞれ液晶セルピッチｐの１／２ずつ動かし、斜線を施した部分を遮光液晶セル３６とし、３７を開口制御板２で透過領域を制限した透過液晶セルとして第４の露光を行う。この結果、図６（ｈ）の３８が第４の露光による感光性材料７の露光部となる。重ねて描いた３９は前記第１の露光、第２の露光および第３の露光により露光された部分である。
【００５５】
上記のように第１の露光、第２の露光、第３の露光、第４の露光を行うと、感光性材料７は、露光領域が重なる場所では複数回露光される。
【００５６】
露光を行う際に、液晶パネル１または被露光基板６を所定の距離動かすには、図示してないが、それぞれが搭載されているステージを移動させれば良い。
【００５７】
ところで、パタンを投影露光する場合、投影光学系５によって被露光基板６上に形成されるパタンの光像は、液晶パネル１上の元々のパタンに対して強度分布の広がりを持って形成される。
【００５８】
そして、パタン光像の強度分布の広がり方は主として投影光学系５の開口数、収差等の光学特性や液晶パネル１を照明する照明光４のコヒーレンス係数等の照明条件等によって決まる。
【００５９】
この結果、露光後に現像した時に得られる感光性材料７のパタン寸法は常に一定ということにはならず、被露光基板６上に形成されるパタン光像の強度分布の広がりと露光量に応じて変動する。
【００６０】
したがって、第１の露光から第４の露光迄の４回の露光それぞれによって点状に露光された感光性材料７のパタンの形状、寸法は各場所毎に受けた合計露光量により変動し、４回の露光によって２回以上露光された部分とそれらの周辺は、露光量が１回だけ露光された場所より遠く迄露光の影響が及ぶ。
【００６１】
このため、点状の感光箇所を一部を重ねて図６のように第１の露光から第４の露光迄の４回の露光を行い、開口制御板２の開口の大きさに応じた露光量を選択すれば、露光領域の谷間となるパタン同士のつなぎ部分は露光が重なるため、それぞれの露光による光強度分布の重畳によって、１回だけ露光される場所の光強度と同程度にすることができる。すなわち、点状の露光箇所をその一部を重ねて連ねることにより、図７に示すようにその包絡線に類似したほぼ滑らかに連続した転写パタン４０を形成することができる。
【００６２】
この際、円形の微細露光領域をどの位重ねて露光を繰り返せばパタン４０が滑らかに連続して形成されるかが問題となるが、おおむね円形の半径ないしは半径の１．２倍より短い間隔で露光すればほぼ滑らかなパタンとなる。したがって、上記の第１の露光から第４の露光迄の４回の露光における露光距離間隔が最低限度の適正間隔である。より短い間隔で露光を行っても、接続状況の滑らかさがあまり改善されない一方で、露光回数が増加するため、合計所要時間が長くなつてしまう。一方、より長い距離間隔で露光すると、パタンの接続痕が出やすくなる。
【００６３】
第１の露光と第４の露光とが重なる部分は、円形の微細露光領域間の距離がｘ方向、ｙ方向に露光を重ねる場合より大きくなるため、ｘ方向、ｙ方向のパタンと比べると若干凹凸が残るものの、斜めのパタンがほぼ滑らかに形成される。従来のように、液晶パネル１で透過部を斜め方向に指定すると、四角形の露光部の角同士が連なることになり、パタン間に隙間ができてつながらなかったり、御幣状のパタンになったりしたが、それと比較すると、改善は顕著である。
【００６４】
なお、第１の露光から第４の露光迄の４回の露光の露光順序は任意であり、必ずしも図５に示した順序とする必要はない。
【００６５】
また、液晶パネル１または被露光基板６を図５では＋ｘまたは＋ｙ方向に動かしたが、−ｘまたは−ｙ方向に動かしても良い。
【００６６】
被露光基板６上に多数の同じパタンを転写する場合には、第１の露光から第４の露光迄の４回の露光を順次繰り返しても良いが、第１の露光だけ必要な回数をそれぞれの場所に行った後、液晶パネル１上のパタンを変更して第２の露光を行い、次にまた液晶パネル１上のパタンを変更して第３の露光を行い、最後にまた液晶パネル１上のパタンを変更して第４の露光を行うというように、液晶パネル１上のパタンが同じになる露光を連続して行っても良い。液晶パネル１上のパタンの変更回数が減るため、パタンの転写に要する時間を短縮することができる。
【００６７】
ほぼ滑らかに連続したパタンが形成できるのは、開口制御板２の開口形状が図５に示した形状であることと密接に関係しており、従来のように縦横方向の辺を有する正方形や長方形セルのままで複数回の露光を行って一部を重ねるようにしてもうまくは行かない。
【００６８】
図８は従来のように正方形を有するセルのままで複数回の露光を行って一部を重ねるようにした例である。図８（ａ）に示すように、斜線を施した部分を遮光液晶セル４１とし、４２を透過液晶セルとして第１の露光を行う。被露光基板６上に付した感光性材料７は、図８（ｂ）に示すように、点状または隣合う透過液晶セル４２どうしによる露光部がわずかに重なる程度に感光する。４３が感光性材料７の露光部である。
【００６９】
なお、一般には感光性材料７の露光部４３は透過液晶セル４２に対して投影露光倍率が掛かった大きさとなるが、対応が分かりにくくなるため、図８（ｂ）では感光性材料７の露光部４３の大きさを透過液晶セル４２の大きさに合わせて描いた。
【００７０】
次に、本発明と同様に液晶パネル１を液晶セルピッチｐの１／２動かすか、または、被露光基板６を（液晶セルピッチｐの１／２）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１の液晶セルの透過、不透過を設定し直して第２の露光を行う。たとえば、図８（ｃ）に示すように、液晶パネル１をｙ方向に液晶セルピッチｐの１／２動かし、斜線を施した部分を遮光液晶セル４４とし、４５を透過液晶セルとして第２の露光を行う。この結果、図８（ｄ）の４６が第２の露光による感光性材料７の露光部となる。重ねて描いた４３が前記第１の露光により露光された部分である。
【００７１】
しかし、このように開口制御板２が付いていない状態では、液晶セル幅いっぱいに２回の露光が重なるため、被露光基板６の透過液晶セル４５に相当する場所の外側に光強度分布が広がる部分ができてしまう。したがって、感光性材料６がポジ形の場合には、図９（ａ）に示すように現像後のレジストパタン４７に凹み４８ができ、ネガ形の場合には、現像後のレジストパタン４９に突起５０ができてしまう。
【００７２】
開口制御板２の開口の大きさはさらに小さくても良く、ｍを３より大きい整数とする時、円形状、長円形状または任意の直線および／または曲線で構成する円形、長円形に類似した形状で、ｘ，ｙ方向の開口の径または対辺長または対角長がそれぞれ液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定しても良い。
【００７３】
図１０にｍ＝３の場合の実施例を示す。図は複数回の露光により感光性材料７が順次露光される状況を示している。開口の形状は図５と同様で良い。
【００７４】
この実施例においては、まず、開口の大きさを、開口制御板２の開口のｘ，ｙ方向の径または対辺長または対角長を液晶セルピッチｐの２／３またはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定し、液晶パネル１の液晶セルの透過、遮光を設定して第１の露光により、図１０（ａ）に示すように、液晶セルピッチｐに相当する間隔で点状に露光する。
【００７５】
５１が被露光基板６上の感光性材料７の露光部である。露光部５１は、開口制御板２の開口の大きさに投影露光倍率が掛かった大きさとなる。
【００７６】
次に、液晶パネル１をｘ方向またはｙ方向に液晶セルピッチｐの１／３動かすか、または、被露光基板６を（液晶セルピッチｐの１／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１の液晶セルの透過、遮光を設定し直して、図１０（ｂ）に示すように、第２の露光を行う。５２が第２の露光による露光部である。ここでは一例として液晶パネル１をｙ方向に動かす場合を示した。
【００７７】
さらに、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｙ方向に液晶セルピッチの２／３動かすか、被露光基板６をｙ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第３の露光を行う。図１０（ｃ）の５３は第３の露光による露光部、５４は第１の露光と第２の露光による露光部である。
【００７８】
次に、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの１／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの１／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第４の露光を行う。図１０（ｄ）の５５は第４の露光による露光部、５６は第１の露光からと第３の露光までのいずれかの露光による露光部である。
【００７９】
さらに、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの２／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第５の露光を行う。図１０（ｅ）の５７は第５の露光による露光部、５８は第１の露光からと第４の露光までのいずれかの露光による露光部である。
【００８０】
次に、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの１／３、ｙ方向に液晶セルピッチの２／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの１／３）×（投影露光倍率）、ｙ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第６の露光を行う。図１０（ｆ）の５９は第６の露光による露光部、６０は第１の露光からと第５の露光までのいずれかの露光による露光部である。
【００８１】
さらに、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの２／３、ｙ方向に液晶セルピッチの１／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）、ｙ方向に（液晶セルピッチの１／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第７の露光を行う。図１０（ｇ）の６１は第７の露光による露光部、６２は第１の露光からと第６の露光までのいずれかの露光による露光部である。
【００８２】
図８には以上に示した第７の露光迄しか示していないが、必要に応じて、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの１／３、ｙ方向に液晶セルピッチの１／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの１／３）×（投影露光倍率）、ｙ方向に（液晶セルピッチの１／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第８の露光を行う。
【００８３】
また、必要に応じて、液晶パネル１を第１の露光を行った位置に対してｘ方向に液晶セルピッチの２／３、ｙ方向に液晶セルピッチの２／３動かすか、被露光基板６をｘ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）、ｙ方向に（液晶セルピッチの２／３）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して第９の露光を行う。
【００８４】
第８の露光、第９の露光に限らず、各露光は所望するパタンの形状に応じて省略しても良い。
【００８５】
なお、複数回行う露光の露光順序は任意であり、必ずしも図１０に示した順序とする必要はない。
【００８６】
また、液晶パネル１または被露光基板６を図８では＋ｘまたは＋ｙ方向に動かしたが、−ｘまたは−ｙ方向に動かしても良い。
【００８７】
これらの複数回の露光によって、開口制御板２の開口の大きさに応じた露光量を選択すれば、図５の場合と同様、露光領域の谷間となるパタン同士のつなぎ部分は露光が重なるため、それぞれの露光による光強度分布の広がりの重畳によって、１回だけ露光される場所の光強度と同程度にすることができる。すなわち、点状の露光箇所をその一部を重ねて連ねることにより、図１１に示すようにその包絡線に類似したほぼ滑らかに連続したパタン６３を形成することができる。
【００８８】
ｍ≧４の場合には、ｎを０またはｍより小さい正の整数とする時、第１の露光位置に対して、ｘおよび／またはｙ方向に液晶セルピッチｐのｎ／ｍ動かすか、または、被露光基板６を（セルピッチのｎ／ｍ）×（投影露光倍率）に相当する距離だけ動かし、液晶パネル１のセルの透過、遮光を設定し直して、次々に露光を行う。
【００８９】
上記の複数の露光は任意の順序で行って良い。
【００９０】
このように露光すると、先の図６および図１０に示したのと同様に、被露光基板６上の感光性材料７は、複数回の露光で点状に露光した部分の全部を包絡した形に露光される。
【００９１】
そのため、現像後形成される感光性材料６のパタンは、露光部分のつなぎ目に相当する凹凸が平滑化された滑らかな外形形状となる。
【００９２】
図６、図１０の場合を含め、パタン側壁の平滑化のされ具合は、開口制御板２の開口の形状、寸法のほか、感光性材料７の種類や厚さ、投影光学系５の開口数、照明光４の露光波長やコヒーレンス度等により異なるが、露光量を選べば、円や多角形等がつながって露光されたとは思えない滑らかさとなる。
【００９３】
また、露光量が最適でない条件でも、従来の投影露光装置および方法において液晶セル全体を単位として転写パタンをつなぎ合わせる場合と比較すると、液晶セル境界やＴＦＴに対応する部分に起因するパタンの劣化かないため、格段に滑らかな外形形状を有するパタンを得ることができる。
【００９４】
なお、開口制御板２の開口の径またはｘ，ｙ方向の対辺長または対角長を、ｍを３以上の整数とする時、液晶セルピッチの２／ｍまたはその−２０％から＋２０％の範囲内に設定すれば、（液晶セルピッチｐの約２／ｍ前後）×（投影露光倍率）という従来の約２／ｍの微細パタンを形成することができる。
【００９５】
また、（液晶セルピッチｐの約２／ｍ前後）×（投影露光倍率）のパタンを（液晶セルピッチｐの約１／ｍ）ずつ液晶パネル１を動かして露光するか、（液晶セルピッチｐの約１／ｍ）×（投影露光倍率）ずつ被露光基板６を動かして露光することにより、従来転写できたパタンの２／ｍの微細ピッチのパタンを形成することができる。
【００９６】
図１２は一例として、ｍ＝３の場合に、図１０に示した方法によって、従来の２／３の線幅で２／３のピッチのパタンが形成できる例を示す。図１２（ａ）は露光場所の重なりを表しており、６４が開口制御板２の開口１個に相当する露光場所である。また、図１２（ｂ）は現像後得られる感光性材料７のパタン形状である。図は感光性材料７としてポジ形レジストを使用した場合を示しており、６５がレジスト、６６が現像後レジストが除去されてできたパタンである。
【００９７】
なお、以上の説明では液晶セルピッチがｘ方向とｙ方向とで等しいとして説明した。しかし、必ずしも液晶セルピッチがｘ方向とｙ方向とで等しくなくても本発明が有効なことは明らかである。
【００９８】
たとえば縦長の液晶セルを有し、ｙ方向の液晶セルピッチがｘ方向の液晶セルピッチより長い場合には、開口制御板２の開口の形状を図１３に例示するような形状とすれば良い。
図１３（ａ）は任意曲線からなる長円形の開口６７、図１３（ｂ）、図１３（ｃ）は多角形状の開口６８、６９、図１３（ｄ）、図１３（ｅ）、図１３（ｆ）は多角形の角を丸めた形状７０、７１、７２である。開口の大きさや露光時に液晶パネル１や被露光基板６を動かす距離はｘ方向、ｙ方向別々にそれぞれの方向の液晶セルピッチを基準にして決めれば良い。
【００９９】
ところで、本発明により上記のように複数回の露光を重ね合わせることによってパタンを形成すると、露光回数に応じてパタン形成に要する時間が長くなってしまう。したがって、必要に応じて適切な大きさの開口を有する開口制御板２を取り付けられるように構成しておけば、より便利である。
【０１００】
図１４は開口制御板２を着脱するための待避・進入機構を設けた本発明の液晶マトリックス投影露光装置である。案内機構７３上を開口制御板２を載せたキャリッジ７４が動く構造になっており、図に実線で示した待避位置にある開口制御板２を二点鎖線で示した使用位置７５に搬入する。
【０１０１】
転写されるパタンに多少の凹みや突起があっても良い場合には開口制御板２を待避させ、滑らかなパタンが必要な時に開口制御板２を装着する。
【０１０２】
開口制御板２を着脱するための待避・進入機構は任意で良く、後述の図１５に示すように回転アームを利用した待避・進入機構を設けたり、伸縮するアームを使用したりしても良い。
【０１０３】
図１５は複数の開口制御板を交換可能とした液晶マトリックス投影露光装置である。開口制御板ストッカー７６に複数の開口制御板を用意しておく。図には７７、７８、７９で示す３枚の開口制御板を描いたが、ストックする枚数は任意である。
【０１０４】
回転支柱８０に開口制御板を保持して回転および上下する回転アーム８１がついており、必要とする開口制御板を選択して液晶パネル１に装着する。
【０１０５】
この場合も開口制御板を着脱するための待避・進入機構は任意で良く、図１４に示したように案内機構上を開口制御板７７、７８、７９を載せたキャリッジが動くようにしたり、伸縮するアームを利用したりしても良い。なお、二点鎖線で示した８２は開口制御板の使用位置を示している。
【０１０６】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法によれば、液晶セル間に露光光線が不透過となる境界部が存在しても、また、液晶セル内に露光光線が不透過となるＴＦＴが設けられていても、接続したことが目立たない滑らかな外形形状のパタンを転写形成することができる。
【０１０７】
また、斜め線パタンも従来よりはるかに滑らかに転写形成することができる。
【０１０８】
さらに、開口制御板の開口の大きさを小さくすることにより、仕様する液晶パネルの液晶セルの大きさや液晶セルピッチが同じでも、従来より微細なパタンや従来よりパタンピッチの小さいパタンを転写することができる。
従来よりパタンピッチの小さいパタンを転写することができる。
【０１０９】
なお、開口制御板の開口の大きさを小さくすることにより、複数回の露光が必要となるが、液晶セルピッチの整数分の１の距離間隔で露光するため、露光回数の増加は必要最低限度の回数となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液晶マトリックス投影露光装置の構成図である。
【図２】本発明の液晶マトリックス投影露光装置の別の構成図である。
【図３】液晶パネルのセル配置と開口制御板の開口との関係である。
【図４】液晶セルと開口制御板の開口との位置関係の詳細図である。
【図５】正方形液晶セルに対する開口制御板の開口形状の例である。
【図６】本発明の液晶マトリックス投影露光方法の説明図である。
【図７】図６に示した本発明の方法により転写されるパタン形状である。
【図８】開口制御板を用いずに接続露光を行った時の露光状況である。
【図９】開口制御板を用いずに接続露光を行った時の転写パタン形状である。
【図１０】本発明の別の液晶マトリックス投影露光方法の説明図である。
【図１１】図１０示した本発明の方法により転写されるパタン形状である。
【図１２】微細幅、微細ピッチのパタンが形成できる例の説明図である。
【図１３】ｘ方向、ｙ方向で液晶セルピッチが異なる液晶セルに対する開口制御板の開口形状の例である。
【図１４】開口制御板を着脱するための待避・進入機構を設けた本発明の液晶マトリックス投影露光装置の構成図である。
【図１５】複数の開口制御板を交換可能とした本発明の液晶マトリックス投影露光装置の構成図である。
【図１６】従来の原図基板を用いる投影露光装置の構成図である。
【図１７】従来の液晶マトリックス投影露光装置の構成図である。
【図１８】液晶パネル１の模式図である。
【図１９】従来の液晶マトリックス投影露光装置によって形成したパタン形状の説明図である。
【符号の説明】
１  液晶パネル
２  開口制御板
３  照明装置
４  照明光
５  投影光学系
６  被露光基板
７  感光性材料
８  パタン指定部
１０  液晶セル
２０、２１、２２、２３、２４、２５  開口の形状例
２６  ２９、３２、３６  遮光液晶セル
２７、３０、３３、３７  透過液晶セル
２８、３１、３４、３５、３８、３９  露光部
４０  転写パタン
７３  案内機構
７４  キャリッジ
７６  開口制御板ストッカー
８０  回転支柱
８１  回転アーム
【図１】
0004726173.tif 000002
【図２】
0004726173.tif 000003
【図３】
0004726173.tif 000004
【図４】
0004726173.tif 000005
【図５】
0004726173.tif 000006
【図６】
0004726173.tif 000007
【図７】
0004726173.tif 000008
【図８】
0004726173.tif 000009
【図９】
0004726173.tif 000010
【図１０】
0004726173.tif 000011
【図１１】
0004726173.tif 000012
【図１２】
0004726173.tif 000013
【図１３】
0004726173.tif 000014
【図１４】
0004726173.tif 000015
【図１５】
0004726173.tif 000016
【図１６】
0004726173.tif 000017
【図１７】
0004726173.tif 000018
【図１８】
0004726173.tif 000019
【図１９】
0004726173.tif 000020