(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の複数の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを吐出させるための積層型の圧電アクチュエータを接合し、該圧電アクチュエータの広幅面に形成された表面電極に対してフレキシブルフラットケーブル広幅面に形成された接合電極部を接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、
前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、
前記圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成し、
前記圧電アクチュエータにおける表面シートの広幅面には、前記個別電極に電気的に導通する多数の個別用表面電極と、前記コモン電極に電気的に導通する多数のコモン用表面電極とを島状に形成し、且つ前記コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置され、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心として１８０度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置され、
前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第１の方向とそれと直交する第２の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成され、
前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されていることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記フレキシブルフラットケーブルが、前記第１方向と直交する第２の方向に引き出されるように延びていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１方向と直交する第２の方向に沿うように１８０度回転移動して接合可能に構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
前記フレキシブルフラットケーブルに形成され、前記コモン用表面電極に接合されるコモン用接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルにおける前記第２の方向に沿う一対の側縁と、これらに連通し且つ第１の方向の自由端縁とに帯状に形成され、
前記個別用表面電極に接合される個別用接合電極部は、前記コモン用接合電極部で囲まれる領域に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに係り、より詳しくは、圧電アクチュエータの駆動により複数のノズルから選択的にインクを吐出するインクジェットプリンタヘッドの構成に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のオンディマンド型のインクジェットプリンタヘッドにおいては、特許文献１や特許文献２等に開示されているように、複数枚のプレートを積層して、インク流路を有するキャビティユニットが構成され、これらのプレートは複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記各圧力室に接続する共通インク室としてのマニホールド室を有するマニホールドプレート等とから構成されている。圧電アクチュエータは、圧電セラミックス板（圧電シート）を挟んでコモン電極と個別電極とを交互に積層して構成され、積層方向に対向する前記個別電極とコモン電極との間の圧電シートの部分である活性部が前記圧力室の上方にて平面視で重なるように、圧電アクチュエータとキャビティユニットとが接合されている。
【０００３】
そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合端子部（接合電極）と圧電アクチュエータの最上層のシートの表面電極とを接合させる一方、前記表面電極と個別電極またはコモン電極とを圧電アクチュエータの積層方向に延びる導通部にて接続させている。
【０００４】
その場合、圧電アクチュエータの最上層のシートには、コモン電極用の表面電極と個別電極用の表面電極とが当該シートの長手方向（ノズルの列が延びる方向、圧力室ひいては活性部の列が延びる方向）に沿う左右両側縁の近傍に配置されていた結果、フレキシブルフラットケーブルにおける接合電極（接合端子部）に連設し、且つ外部の駆動ＩＣ（集積回路素子）に接続すべき微細幅のリード線は、前記シートの幅の狭い部分（短辺と直交する方向）に多数本形成されるから、ノズル数引いては活性部の数が増大するのに比例して隣接するリード線間の距離が近くなり、隣接するリード線間で発生する相互インダクタンスが増大して、印字性能が悪化するという問題があった。
【０００５】
そこで、特許文献３に示すように、前記最上層のシートの長辺方向と直交する方向にフレキシブルフラットケーブルを延ばし、このフレキシブルフラットケーブルの延びる方向に沿って微細幅のリード線を形成することで、前記相互インダクタンスの増大を防止することが考えられた。
【特許文献１】特開２００２−３６５４４号公報
【特許文献２】特開２００２−１９１０２号公報
【特許文献３】特開２００１−２６０３４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記のキャビティユニットと圧電アクチュエータとは予め接合されたノズルヘッドとした状態で準備され、このノズルヘッドに前記フレキシブルフラットケーブルを接合したものを、インクカートリッジ等を搭載できるキャリッジの下面に固定し、フレキシブルフラットケーブルの他端をプリンタの本体の印字指令を出力する制御基板に接続することが行われている。前記ノズルヘッドの一対の長辺のうちどちら側からフレキシブルフラットケーブルを外に引き出すかはプリンタの設計上であるけれども、その引出し方向に応じて圧電アクチュエータの最上層のシートの表面に形成される表面電極のパターンを変更しなければならないとすると、製造コストが高くなるという問題を招来するのであった。
【０００７】
本発明は、前記従来の問題を解決すべくなされたものであって、圧電アクチュエータの最上層のシートの表面に形成される個別電極用表面電極及びコモン電極用表面電極のパターンを工夫することにより、前記フレキシブルフラットケーブルの引出し方向を１８０度変更可能とし、且つ製造コストも低減できるインクジェットプリンタヘッドを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数のノズル列と前記各ノズル毎に対応する圧力室の複数の列とが形成されたキャビティユニットに、前記圧力室毎に選択的に駆動可能な活性部を有してインクを吐出させるための積層型の圧電アクチュエータを接合し、該圧電アクチュエータの広幅面に形成された表面電極に対してフレキシブルフラットケーブル広幅面に形成された接合電極部を接合してなるインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータは圧電シートを含む複数枚のシートを積層して形成されており、前記圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートが前記各圧力室に対応する前記活性部となるように構成し、前記圧電アクチュエータにおける表面シートの広幅面には、前記個別電極に電気的に導通する多数の個別用表面電極と、前記コモン電極に電気的に導通する多数のコモン用表面電極とを島状に形成し、且つ前記コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置され、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心として１８０度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置され、前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第１の方向とそれと直交する第２の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成され、前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されているものである。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルが、前記第１方向と直交する第２の方向に引き出されるように延びているものである。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルは、前記第１方向と直交する第２の方向に沿うように１８０度回転移動して接合可能に構成されているものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記フレキシブルフラットケーブルに形成され、前記コモン用表面電極に接合されるコモン用接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルにおける前記第２の方向に沿う一対の側縁と、これらに連通し且つ第１の方向の自由端縁とに帯状に形成され、前記個別用表面電極に接合される個別用接合電極部は、前記コモン用接合電極部で囲まれる領域に形成されているものである。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、コモン用表面電極及び個別用表面電極は、前記表面シートの広幅面の中心点を対称中心とする点対称状に配置されている一方、前記フレキシブルフラットケーブルの広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心の周りに１８０度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極及び個別用表面電極にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されているので、同一のヘッドユニットを使って、フレキシブルフラットケーブルを引出し方向を１８０度回転させて逆にする作業が至極簡単にできるという効果を奏する。
【００１３】
そして、請求項１に記載の発明によれば、前記コモン用表面電極は、前記表面シートの広幅面の外周寄り部位であって前記第１の方向とそれと直交する第２の方向とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成されているものであるから、前記コモン用表面電極の複数の群とフレキシブルフラットケーブルの広幅面におけるコモン用接合電極部とを接合させることができて、接合強度を向上させることがきて、フレキシブルフラットケーブルが温度変化等にて第１の方向に伸縮しても、接合の剥がれを発生することがなく信頼性を向上させることができる。
【００１４】
また、前記個別用表面電極は前記表面シートの広幅面の内周寄り部位に形成されているものであるから、フレキシブルフラットケーブルの広幅面の広い面積を利用して、対応する多数の個別用接合電極部及びそのリード線を配置できるという効果を奏する。
【００１５】
請求項３に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの幅方向を、表面シートひいては圧電アクチュエータの長手方向（第１の方向）と平行状にして寸法を大きくできるから、その長手方向に多数配列される個別電極のための個別電極用接合電極部とそのリード線とを配置する面積的余裕が大きくなり、設計の自由度が向上する。
【００１６】
請求項４に記載の発明によれば、圧電アクチュエータとフレキシブルフラットケーブルとの接合部のうち、コモン用の接合部分が前記第１の方向及び第２の方向に延びて接合面積を大きくでき、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面について説明する。
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明を適用するインクジェットプリンタの斜視図、図２は第１の実施形態におけるプリンタヘッドを背面側から見た平面図、図３は図２のIII ―III 線矢視断面図、図４はヘッドユニットの各部品の斜視図、図５はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図６（ａ）は図４のVI−VI線矢視断面図、図７は図４のVII −VII 線矢視断面図、図８は圧電アクチュエータの部分拡大断面図、図９は圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図、図１０〜図１７は圧電アクチュエータ１２における各層の電極パターンを示す図、図１８〜図１９は電極パターンの重なり状態を示す平面図、図２０は圧電アクチュエータの表面電極とフレキシブルフラットケーブルの接合電極部との重なり配置状態を示す平面図である。
【００１９】
本発明に係るカラーインクジェットプリンタ１００は、図１に示すように、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがぞれぞれ仕切られて充填されたインクカートリッジ６１と、用紙（被記録媒体）６２に印字するためのインクジェットプリンタヘッド（以下単にプリンタヘッドという）６３と、前記インクカートリッジ６１とプリンタヘッド６３が搭載されるキャリッジ６４と、このキャリッジ６４を前記用紙６２の搬送方向（副走査方向、以下第１の方向またはＹ方向という）と直交する方向（主走査方向、以下第２の方向、Ｘ方向という）に往復移動させる駆動ユニット６５、キャリッジ６４の往復移動方向に延び、前記プリンタヘッド６３と対向配置されたプラテンローラ６６と、パージ装置６７とを備えている。
【００２０】
駆動ユニット６５は、キャリッジ６４の下端部に配置されてプラテンローラ６６と平行に延びるキャリッジ軸７１と、キャリッジ６４の上端部に配置されてキャリッジ軸７１と平行に延びるガイド板７２と、キャリッジ軸７１とガイド板７２との間にあって、キャリッジ軸７１の両端部に配置される２つのプーリ７３、７４とこの両プーリ７３，７４に巻き掛けしたタイミングベルト７５とからなる。
【００２１】
モータ７６の駆動に従って回転する一方のプーリ７３からの駆動力により、タイミングベルト７５に接合されているキャリッジ６４が、前記キャリッジ軸７１とガイド板７２に支持されて直線往復移動できる。
【００２２】
図示しない給紙部からＹ方向（第１の方向）に搬送される用紙６２は、前記プラテンローラ６６とプリンタヘッド６３との間に導入されて、後述するようにプリンタヘッド６３から吐出されるインクにより所定の印字がなされ、その後排紙される。
【００２３】
パージ装置６７はプラテンローラ６６の側方に設けられ、プリンタヘッド６３がリセット位置にある時に、プリンタヘッド６３に対向するように配置されている。このパージ装置６７は、プリンタヘッド６３の後述する複数のノズル１１ａを覆うように当該ノズルの開口面に対して当接するパージキャップ８１と、ポンプ８２及びカム８３と、インク貯留部８４とを備えている。プリンタヘッド６３がリセット位置にあるときに、プリンタヘッド６３の内部に溜まる気泡等を含んだ不良インクを、カム８３の駆動によりポンプ８２によって吸引することにより、プリンタヘッド６３の回復を図るようにしている。なお、吸引された不良インクはインク貯留部８４に貯められる。
【００２４】
パージ装置６７におけるプラテンローラ６６側の位置には、パージ装置６７に隣接してワイパ部材８６が配置されている。このワイパ部材８６はへら状に形成されており、キャリッジ６４の移動に伴って、プリンタヘッド６３のノズル面を拭くものである。ノズル面を拭く場合に、ワイパ部材８６は上方に突出され、ノズル面を拭かない場合には下方に後退している。
【００２５】
キャップ８５は、インクの乾燥を防止するため、印字が終了するとリセット位置に戻されるキャリッジ６４に搭載されたプリンタヘッド６３の複数のノズル１１ａを覆うものである。
【００２６】
プリンタヘッド６３は、図２及び図３に示すように、前面（図３における下面）にＹ方向（第１の方向）に列状に配置された複数個のノズル１１ａ（図７参照）を有するヘッドユニット６と、このヘッドユニット６の背面側を後述のように接着剤を介して固定支持するためのヘッドホルダ１とを備えている。
【００２７】
ヘッドホルダ１には、前述したインクカートリッジ６１を搭載する搭載部３が備えられ、このインクカートリッジ６１からヘッドユニット６に、後述する各色毎のインク供給用のスリーブ４を介して、インクが供給されるようになっている。
【００２８】
その場合、図２及び図３に示すように、インクカートリッジ６１の搭載部３の下面となるヘッドホルダ１の底板１ａには、ヘッドユニット６に固定されたフレキシブルフラットケーブル４０を引き出すためのスリット８７と、ヘッドユニット６に突設された４本の筒状のスリーブ４を挿通させるため挿通孔８８，８８と、後述する剛性の高いスペーサプレート１９の張出し部をヘッドホルダ１に固定する接着剤８９用の流し込み孔８９ａ、８９ｂが穿設されている。接着剤８９として、例えば光硬化型接着剤であるＵＶ接着剤を注入する。
【００２９】
前記スリット８７は、底部１ａの中央付近において長辺側（Ｙ方向）に沿って細長く形成されている。流し込み孔８９ａ、８９ｂは、底板１ａにおける下面側の開口の面積が上面側の開口の面積よりも小さい側断面視で逆向き台形状に形成され、底板１ａの左右両長辺（Ｙ方向）に沿って複数箇所設けられている。この各流し込み孔５５は剛性の高いスペーサプレート１９の張出し部の上面に対向して開口されている。
【００３０】
次に、ヘッドユニット６の構成から説明する。ヘッドユニット６は、図４〜図７に示すように、複数枚の金属プレートを積層して構成されたキャビティユニット１０と、このキャビティユニット１０に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ１２と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合されたフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。
【００３１】
この実施形態のヘッドユニット６は、図２及び図４に示すように、ノズル１１ａが多数設けられてＹ方向（第１の方向）に長く構成された長尺型のヘッドであり、ヘッドユニット６が取り付けられるヘッドホルダ１も、図２に示すように、Ｙ方向に長く構成されている。
【００３２】
前記キャビティユニット１０は図２〜図４に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、３枚のスペーサプレート１９，２０，２１及び圧力室２３が形成されているベースプレート２２の合計９枚の偏平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。
【００３３】
そして、前記複数枚のスペーサプレート１９〜２１のうち、少なくとも１枚のスペーサプレートの剛性を、他のプレート（ノズルプレート、カバープレート、ダンパープレート、マニホールドプレート、スペーサプレート、ベースプレートを含む）の剛性よりも大きく（高く）なるように設定されているものである。
【００３４】
本実施形態では、プレートの積層方向（板厚さ方向）の寸法が平板面の縦横寸法に比してかなり小さい偏平なキャビティユニットの平面が湾曲するような外力に対しての剛性の大小をいう。例えばキャビティユニットの平板の外周部を固定した状態で、当該平板面と垂直な方向の外力により、キャビティユニットの平板が撓み振動または曲げ変形する等に対する曲げ剛性（縦弾性係数と断面二次モーメントとの積）をいう。
【００３５】
剛性を高く（大きく）するために、合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１５〜２２は、４２％ニッケル合金鋼板製であり、カバープレート１５、ダンパープレート１６、マニホールドプレート１７、１８、上側２枚のスペーサプレート２０、２１及びベースプレート２２の板厚さを５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。一方、前記マニホールドプレート１８の直上に配置される第１スペーサプレート１９の板厚は、３００μｍ〜５００μｍ程度で、他のプレート１１、１５〜１８、２０〜２２の剛性よりはるかに大きく設定されている。また図示実施形態では、前記第１スペーサプレート１９の平面視形状を、他のプレートの平面視形状より大きくする。例えば、平面視矩形形状の他のプレート１１、１５〜１８、２０〜２２の外周に対して、同じく平面視矩形の第１スペーサプレート１９の外周縁が適宜寸法Ｈ１だけ張り出すように形成されている。
【００３６】
前記第１スペーサプレート１９の剛性を高める他の手段として、前記板厚の他、プレートの材質の強度（引張強さ）を大きくする。例えば、第１スペーサプレート１９以外のプレートの材質をクロム強じん鋼とし、第１スペーサプレート１９の材質をニッケル・クロム・モリブデン鋼、ステンレス鋼、タングステン鋼、コバルト・クロム・タングステン鋼にする等、引張強さの異なる材料を用いる。また、炭素鋼、合金鋼を焼入れすることにより、剛性を高めても良い。
【００３７】
前記実施形態では、マニホールドプレート１７、１８の直上に隣接する第１スペーサプレート１９の剛性を大きくしたが、圧力室２３を有するベースプレート２２の直下（下面）に隣接する第３のスペーサプレート２１の剛性を大きくしても良いし、第２のスペーサプレート２０の剛性を大きくしても良いし、両者の剛性を大きくすることもできる。ベースプレート２２とマニホールドプレート１８との間に介挿されるスペーサプレートが１枚の場合、それの剛性を大きくする。
【００３８】
前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル１１ａが、当該ノズルプレート１１における第１の方向（キャビティユニット１０の長辺方向であり、図１及び図３において、Ｙ方向、副走査方向）に沿ってなした列が４列千鳥配列状に設けられている。
【００３９】
即ち、キャビティユニット１０を図１のＸ方向（短辺方向、主走査方向）に沿って切断し、且つ前記短辺の中央線Ｃより右側のみ示す図６（ａ）において、右側位置の第１列のノズル１１ａ−１と、前記中央線Ｃに近い側の第２列のノズル１１ａ−２とは、ノズルプレート１１の前記第１の方向に延びる２つの平行状の近接した基準線（図示せず）に沿って各々微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されており、同様に、前記中央線Ｃより左側においても、第３列のノズル１１ａ−３と第４列のノズル１１ａ−４（但し、図６（ａ）には図示せず）とは、同じく前記第１の方向（Ｙ方向）に延びる２つの平行状の近接した基準線に沿って、各々微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個穿設されている。また、第１列のノズル１１ａ−１と第２列のノズル１１ａ−２との組と、第３列のノズル１１ａ−３と第４列のノズル１１ａ−４との組は、キャビティユニット１０の短辺方向（第２の方向、図１において、Ｘ方向、主走査方向））に間隔をおいて平行に配置されている。実施例では、第１列〜第４列の各々のノズル列の長さは２インチ、各々のノズル１１ａの数は１５０個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。
【００４０】
図４に示すキャビティユニット１０の最上層であるベースプレート２２には、圧力室２３が、前記各ノズル１１ａに対応して同じピッチＰだけ隔てて板厚さ方向に貫通するように設けられ、且つキャビティユニット１０の短辺と略平行状に細長く形成され、圧力室２３の列はキャビティユニット１０の長辺方向（Ｙ方向）に列状に配置されている。従って、隣接する圧力室２３の間は、キャビティユニット１０の短辺と略平行状の細長い隔壁２４にて隔絶されている。該各隔壁２４の幅寸法Ｗ２は、圧力室２３の幅寸法Ｗ１よりも若干小さく設定されている（図５を参照）。
【００４１】
そして、第１列の圧力室２３−１は前記第１列のノズル１１ａ−１と対応する。同様にして、第２列の圧力室２３−２は第２列のノズル１１ａ−２と、第３列の圧力室２３−３は第３列のノズル１１ａ−３と、第４列の圧力室２３−４は第４列のノズル１１ａ−４と、各々対応関係にある。
【００４２】
次に、キャビティユニット１０の最上層であるベースプレート２２における圧力室２３の配置関係を、その上に前記ノズル１１ａの列方向（第１の方向、Ｙ方向）に縦列させて配置する２つの圧電アクチュエータ１２（個別には符号１２ａ、１２ｂを付する）における活性部の配置との関係から説明する。
【００４３】
１つの圧電アクチュエータ１２ａ（または１２ｂ）が、前記４列のノズル１１ａの個数のうちの列方向の半数（１列につき７５個）の圧力室２３を作動させるように７５個の活性部を有して配置される。従って、図１及び図３に示すように、キャビティユニット１０の上面のうち長手方向（前記Ｙ方向）の前半部に一方の圧電アクチュエータ１２ａが配置され、後半部に他方の圧電アクチュエータ１２ｂが配置される。
【００４４】
そして、各圧電アクチュエータ１２ａ（または１２ｂ）は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部として有し、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【００４５】
即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室２３）の列方向（第１の方向、Ｙ方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（４つ）と同じ数だけ、第２の方向（Ｘ方向）に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１０の幅方向、Ｘ方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。
【００４６】
前記圧力室２３は、２つの圧電アクチュエータ１２ａ、１２ｂと対応してベースプレート２２の長手方向（Ｙ方向）に２グループに分けて配置される。つまり、一方のアクチュエータ１２ａに対応するグループの圧力室２３は、ノズル１１ａの列方向（Ｙ方向）の前半部のものに対応し、他方のアクチュエータ１２ｂに対応するグループの圧力室２３は、ノズル１１ａの列方向（Ｙ方向）の後半部のものに対応して、それぞれノズル１１ａの配置間隔（ピッチＰ）と同じ間隔で、且つ２列の千鳥状配列を２組、計４列をなして配置されている（図１参照）。
【００４７】
前記各圧力室２３は、ベースプレート２２の幅方向（第２の方向、Ｘ方向）に長く、且つベースプレート２２を厚さ方向に貫通して形成されている。その各圧力室２３の入口端２３ｂは、スペーサプレート１９、２０、２１に形成された第２インク通路３０、絞り部２８、第１インク通路２９を介して後述するマニホールド室２６に連通する（図５及び図６（ａ）参照）。
【００４８】
また、各圧力室２３の流出端２３ａは、ベースプレート２２とノズルプレート１１との間に位置するスペーサプレート１９、２０、２１、マニホールドプレート１７、１８、ダンパープレート１６及び中間プレート１５に形成されたインク流通路としての各連通路２５を介して各ノズル１１ａに連通するが、この連通路２５の一部は、ベースプレート２２とノズルプレート１１との間の積層されるプレート１５〜２１のうち少なくとも１枚（１層）のプレートにはその平板面（表面または裏面）と略平行状の凹溝状流通路５０を備えることにより、前記各圧力室２３に対応するノズル１１ａの位置を、前記各圧力室２３の流出端２３ａ（インク流出部）から、ベースプレート２２の表面と直交する直線（垂線）がノズルプレート１１に至る個所より、横方向（プレートの第１方向に沿った方向、Ｙ方向）に距離Ｌ３だけずれた位置に設定することができるものである（図７参照）。
【００４９】
つまり、図４及び図７に示すごとく、圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの２つのグループの圧力室２３の間は、ベースプレート２２の長手方向に圧力室２３の配置間隔（ピッチＰ）よりも広い間隔Ｌ２に設定されている。これは、各圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの製作上、最列端の個別電極３６、３６とそれに近接する圧電アクチュエータ１２ａの一端部４４（他方の圧電アクチュエータ１２ｂの一端部４５）との距離Ｌ１を、個別電極３６のピッチＰの１／２以下に製作することが困難なため、距離Ｌ１を圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの製作しやすい大きさとして、それよりも大きい間隔Ｌ２を設定したのである。
【００５０】
そして、一方の圧電アクチュエータ１２ａの一端部４４と、これに隣接する他方の圧電アクチュエータ１２ｂの一端部４５とを相対向させて、且つ該対向する両端部４４、４５の間隔を距離Ｌ４だけ隔てて、両圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂを直列状に配置することになる（図７参照）。
【００５１】
これにより、ノズル１１ａのピッチＰは、その列方向に一定に設定されているが、対応する圧力室２３の位置とはプレートの板厚に垂直な線（垂線）に対して横方向（Ｙ方向）に距離Ｌ３だけずれているから、対応する各圧力室２３の流出端２３ａからノズル１１ａに接続する連通路２５のうち少なくとも一部を、上記したように、プレートの平板面と平行な凹溝状連通路５０にて構成することにより、その他のプレートにおける連通路２５は各プレートの板厚方向に垂直に貫通させて、この凹溝状連通路５０の一端部及び他端部に連通させるだけで、前記横ずれに対応させることができる。なお、前記凹溝状連通路５０は前記横ずれとともに圧力室２３の延長方向にも延び、２グループの圧力室２３の間隔Ｌ２の中央を境にして対称に傾斜している。
【００５２】
本実施形態では、圧力室２３が設けられたベースプレート２２の下面側に隣接する第３スペーサプレート２１に凹溝状連通路５０が設けられるものであって、この凹溝状連通路５０の構成をさらに詳述すると、図５及び図７（ａ）に示すように、第３スペーサプレート２１の表面（上面）側に開放されて、対応する圧力室２３の流出端２３ａに連通する一端５０ａと、該第３スペーサプレート２１の裏面（下面）側に開放された凹溝状水平通路部５０ｂと、下側の第２スペーサプレート２０における垂直状の連通路２５の上端に連通する他端５０ｃとからなる。
【００５３】
このように、圧力室２３から対応するノズル１１ａまでのインク流通路としての連通路２５のうちの一部をプレートの平面と平行状に延びる凹溝状連通路５０に形成し、その他の連通路２５をプレートの平面と垂直な方向に貫通させる形状を採用することにより、圧力室２３と対応するノズル１１ａの位置が平面視で大きくずれていても、その両者を簡単に連通させるようなインク流通路の設計ができる。また、各圧力室２３から対応するノズル１１ａまでのインク流通路としての連通路２５の全長（凹溝状連通路５０を含む距離）を等しくするように制御することも至極簡単となる。
【００５４】
前記二枚のマニホールドプレート１７、１８には、マニホールド室２６が、前記ノズル１１ａの列に沿って延びるように穿設されている。さらに詳述すると、各マニホールド室２６の長さは、前記各ノズル列方向に並ぶ圧力室２３を適宜数毎に分割した長さであり、実施例では、圧力室２３の１グループ（１グループの１列の圧力室２３の数が７５）の長さにわたった長さを有し、且つキャビティユニット１０には、圧力室２３の列が４列あるので、その１つの列毎に配置する。従って、実施例では、８本のマニホールド室２６が形成されている。各マニホールド室２６の長手方向一端部は、その上方の積層されたスペーサプレート１９〜２１及びベースプレート２２の端部に穿設されたインク供給孔３１に連通する。
【００５５】
また、各マニホールド室２６の深さはマニホールドプレート１７、１８の板厚さ全体にわたるようエッチング加工等にて穿設形成され、この二枚を合わせたマニホールドプレート１７、１８の直上層の第１スペーサプレート１９と、下層のダンパープレート１６とにより積層されることにより密閉される構造となっている。なお、ダンパープレート１６には、前記マニホールド室２６と平面視形状が同じで下面側をエッチング加工により板厚を薄くしたダンパー室２７を形成する。
【００５６】
圧電アクチュエータ１２の駆動により圧力室２３に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されてマニホールド室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【００５７】
また、第２スペーサプレート２０には、インク流の絞り部２８を、前記各圧力室２３毎に対応させて形成する。この絞り部２８の平面視形状は、図６（ｂ）に示すように、長手方向の両端部２８ａ，２８ｂの面積が大きく、その中間の面積が小さく形成されている。また、各絞り部２８の長手方向を前記圧力室２３の長手方向と平行状になるように形成されている。そして、第２スペーサプレート２０の下面側に前記第１スペーサプレート１９を、上面側に第３スペーサプレート２１をそれぞれ積層することにより、前記絞り部２８が密閉されている。第１スペーサプレート１９に穿設された第１インク通路２９は、前記マニホールド室２６を前記絞り部２８における一端部２８ａに連通させている。他方、第３スペーサプレート２１に穿設された第２インク通路３０は、前記絞り部２８における他端部２８ｂを圧力室２３の入口端２３ｂに連通させている（図５及び図６（ａ）参照）。
【００５８】
前記インク供給孔３１は、図４に示すように、各マニホールド室２６毎に計８個設けられている。そしてインク供給孔３１は、２個（１色）を一組として、その上面にそれぞれインクカートリッジ６１から供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ３２が接着剤にて固定されている。
【００５９】
また、各フィルタ３２（２個１組のインク供給孔３１）上には、インクカートリッジ６１からインクの供給を受けるために、筒状のスリーブ４が各々突設されている（図２参照）。各スリーブ４は、内部にインク通路を有するとともに、下部に外径の大きい大径部と、上部に外径の小さい小径部とを有しており、その各下端面が、前記各フィルタ３２上にエポキシ樹脂等にて強固に接着固定されている。また、前記小径部の外周には、インクカートリッジ６１と接続する流路部材との接続に際して、インク漏れを防止するために、環状の弾性シール体であるゴム製のパッキンもしくはＯリング等が被嵌される（図示せず）。
【００６０】
次に、圧電アクチュエータ１２の構成について詳述する。各圧電アクチュエータ１２（個別には符号１２ａ，１２ｂを付する）は、図８に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３、３４とが交互に積層された群と、該群の上面に２枚のシート４６、４７からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。
【００６１】
コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図８に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３（点線で示す）に対応した箇所ごとに細幅の個別電極３６（個別には符号３６−１，３６−２，３６−３，３６−４で示す）のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図３のＹ方向、各ノズル１１ａの列方向）に沿って列状に形成される。
【００６２】
そして、第１列目の個別電極３６−１と第４列目の個別電極３６−４とは、各圧電シート３３のー対の長辺の側縁に近い側に各々配置されている。また、第２列目の個別電極３６−２と第３列目の個別電極３６−３とは、各圧電シート３３の短辺方向の中央寄り部位に配置されている（図１１参照）。
【００６３】
各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４のパターンは、前記第１の方向と直交する第２の方向（Ｘ方向）に沿って各圧電シート３３の短辺と平行状に延びる。その場合、各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４における直線部３６ｂは、前記各圧力室２３−１，２３−２，２３−３，２３−４（図１１の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている。第１列目の個別電極３６−１と第２列目の個別電極３６−２とが対向する端部３６ａ及び第３列目の個別電極３６−３と第４列目の個別電極３６−４とが対向する端部３６ａは、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に屈曲形成されて、圧力室外に延びている。その屈曲方向は、平面視で前記２つの圧電アクチュエータ１２ａ，１２ｂの相対向する一端部４４（４５）から離れる方向であり、且つ両端部３６ａ，３６ａ同士が互いに近づく方向に延びている（図１１参照）。
【００６４】
また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８（図１０参照）及び後述する拘束層における下層シート４６の第１接続パターン５３（図１２参照）と少なくとも一部が平面視で重なり、当該圧電シート３４及び下層シート４６を貫通する内部導通電極４２ａ，４２ｂ，９０とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図１１、図１２参照）。
【００６５】
さらに、圧電シート３３には、後述する圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、前記個別電極３６−１と３６−２との列を囲み、且つ個別電極３６−３及び３６−４の列を囲むようにダミーコモン電極４３が形成されている（図１１参照）。
【００６６】
前記コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面に印刷形成されるものである（図１０及び図１５参照）。コモン電極３７は、前記各列の圧力室２３−１、２３−２、２３−３、２３−４ひいては各列の個別電極３６−１、３６−２、３６−３、３６−４の配置位置と平面視で重複し、且つその各圧力室２３（個別電極３６の直線部３６ｂ）の長手方向（Ｘ方向）に沿って長い第１電気導通部分３７ａと、前記各圧力室２３の長手方向の両端部２３ａ，２３ｂに対応して、前記第１電気導通部分３７ａの両端を前記第１の方向（Ｙ方向）に沿って連結（電気的に接続）する第２電気導通部分３７ｂとからなるように形成する。図１０及び図１５を参照しながら、コモン電極３７のパターンをより詳しく説明すると、例えば、第１列の圧力室２３−１の各圧力室２３の長手方向の寸法に略等しい長さの平面視矩形状の第１電気導通部分３７ａと、前記各圧力室２３の長手方向の両端部２３ａ，２３ｂに対応する上方で前記各第１電気導通部分３７ａの両端に連結し、圧力室２３の列方向（Ｙ方向）に延びる第２電気導通部分３７ｂとからなり、この第１電気導通部分３７ａと第２電気導通部分３７ｂとで囲まれた領域であって、第１列の圧力室２３−１の隣接する圧力室２３の間に位置する隔壁２４の上方に対応して短冊状の空白部分４８ができるものである。
【００６７】
これら第１電気導通部分３７ａ及び第２電気導通部分３７ｂの端部は圧電シート３４の長辺に沿う側縁及び短辺に沿う側縁を囲むように形成される４周側縁導電部３７ｃに連結接続されている。各第１電気導通部分３７ａの配置間隔Ｐは各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４の配置間隔Ｐひいては圧力室２３の配置間隔Ｐと等しく設定配置されている（図１０、図１５参照）。
【００６８】
前記第１列の圧力室２３−１と第２列の圧力室２３−２との間（及び第３列と第４列の圧力室２３−３、２３−４との間）に対応する圧電シート３４の部位には、前記２列の第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′で囲まれた領域内に、平面視で略小判型のダミー個別電極３８（個別には符号３８−１，３８−２，３８−３，３８−４で示す）が圧力室２３ひいては個別電極３６の列方向に沿って一定間隔で配置されている。各ダミー個別電極３８は、各個別電極３６の直線部３６ｂではなく、各一端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この小判型の各ダミー個別電極３８も、平面視において、前記各個別電極３６における一端部３６ａが延びる方向と同じ方向にのびている。換言すると、それぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一端部４４（４５）の直線が延びる方向（Ｘ方向）に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている（図１０参照）。
【００６９】
この各ダミー個別電極３８を第１の島状個別導通部と称する。そして、各ダミー個別電極３８のパターン領域の輪郭縁と、前記第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′との最接近した位置での間隔、並びに隣接するダミー個別電極３８、３８のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。
【００７０】
このように、第１の島状個別導通部としての各ダミー個別電極３８を傾斜状に形成すると、各ダミー個別電極３８の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の第２電気導通部分３７ｂの長辺縁３７ｂ′、３７ｂ′間の距離を短く設定できる（図７及び図１５参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができ、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。その結果、各圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の短辺（Ｘ方向）の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。
【００７１】
そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３には、幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４１を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４とには、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、端部３６ａと電極３８の位置において、各圧電シート３３、３４の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２ａ，４２ｂが形成されている。その場合、圧電シート３３における内部導通電極４２ａと圧電シート３４における内部導通電極４２ｂとは、平面視で上下に重複しない位置に適宜距離ｅ１だけ隔てて形成されている（図９参照）。
【００７２】
前記拘束層としての２枚のシート４６、４７のうちの下層シート４６の上面には、図１２に示すように、平面視で略小判型の第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３，５３−４で示す）が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。この各第１接続用パターン５３もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一側端４４（４５）が延びる方向（Ｘ方向）に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている。また、前記下層シ−ト４６の上面の４隅等には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン５４が形成されている。
【００７３】
他方、図１３に示すように、上層シ−ト４７の上面には、前記圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７と平面視でほぼ同じ大きさで重複するようなコモン導通部としての連絡用パターン５５と、前記下層シ−ト４６における第１接続用パターン５３（個別には符号５３−１，５３−２，５３−３，５３−４で示す）の少なくとも一部と平面視で重複するように、第２接続用パターン５６（個別には符号５６−１，５６−２，５６−３，５６−４で示す）が一定間隔で配置形成されている。
【００７４】
この第２接続用パターン５６を第２の島状個別導通部と称する。実施形態では、第１の島状個別導通部であるダミー個別電極３８とは、第１接続用パターン５３を介し、且つ各圧電シートの層厚さ方向に貫通するような後述する内部導通電極６０，６２を介して電気的に導通している。
【００７５】
そして、この各第２接続用パターン５６もそれぞれ平面視で圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の一側端４４（４５）が延びる方向に対して角度α（６０度程度の鋭角）にて傾斜状に延びている（図１３及び図１８参照）。さらに、各第２接続用パターン５６のパターン領域の輪郭縁と、前記連絡用パターン５５のパターン領域の直線状の輪郭縁５５ａとの最接近した位置での間隔、並びに隣接する第２接続用パターン５６、５６のパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に設定する。
【００７６】
このように、第２の島状個別導通部としての各第２接続用パターン５６を傾斜状に形成すると、各第２接続用パターン５６の長さ寸法を長く形成できるものでありながら、隣接するパターン領域の輪郭縁同士の間隔を一定距離に保持しながら、前記対向する一対の輪郭縁５５ａ，５５ａ間の距離を短く設定できる（図１４及び図１８参照）。その結果、前記各パターンの印刷形成時に、パターンの輪郭がにじむ等して、パターンの領域（面積）に若干の大小の誤差ができても、隣接するパターンの間隔を所定距離ｅ２以上に保持できるから、その各電極に電圧を印加したときに、隣接する電極間に電流が漏れることがなく、所定の圧力室に対応する活性部のみを確実に作動させることができて、印字品質を良好に保持できるという効果を奏する。
【００７７】
その結果、各圧電アクチュエータ１２ａ（１２ｂ）の短辺（Ｘ方向）の寸法を短く形成でき、インクジェットプリンタヘッドをコンパクトに形成できるという効果を奏する。
【００７８】
図１６及び図１８に示すように、圧電アクチュエータ１２の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における連絡用パターン５５の一部に平面視で重複するようにコモン用導電層５１が複数形成されている。また、トップシ−ト３５の上面には、前記上層シ−ト４７における各第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４にそれぞれ平面視で重複するように、個別用導電層５２（個別には符号５２−１，５２−２，５２−３，５２−４で示す）が一定間隔で配置形成されている（図１８参照）。この各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３，５２−４は、図１６に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（Ｘ方向）ひいては各個別電極３６−１，３６−２，３６−３，３６−４と略平行であって、その各個別電極の直線部３６ｂの部位方向に伸びる直線状に形成されるが、各個別電極の直線部３６ｂよりは短い。さらに、このトップシート２３５の上面に形成される各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３，５２−４は、図１８及び図１９に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁２４の上方に位置させる。図１８では、隔壁２４の中心からわずかずれているが、その中心に一致させても良い。
【００７９】
さらに、図１７に示すように、前記トップシート３５の上面には、前記フラットケーブル４０、４０の下面に形成されたコモン用接合電極部７７及び個別用接合電極部７８とにそれぞれに接続するための表面電極（後付け電極）として、平面視矩形状等の個別用表面電極５８とコモン用表面電極５７とが形成されている。その場合、図１９に示すように、個別用表面電極５８は、トップシート３５における各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３，５２−４の長さ方向の適宜部分に平面視で一部だけ重複して電気的に接続するように島状に形成し、且つ各個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３，５２−４の列方向（Ｙ方向）に隣接する箇所では、Ｘ方向にずれるように千鳥状に配置形成する。
【００８０】
換言すると、図示実施形態では、各個別用表面電極５８は、対応する圧力室２３ひいては活性部に対して平面視で、それらの配置間隔（ピッチ）Ｐの略半分だけずれた位置に配置され、且つ隣接する圧力室２３，２３の間の隔壁２４の上方に配置されることになる（図１９参照）。
【００８１】
なお、この実施形態の変形例として、隣接する圧力室２３の間の隔壁２４の上方に配置する前記各個別用表面電極５８は、対応する圧力室２３（活性部）に対して、前記配置間隔（ピッチＰ）の１．５倍の距離ずつＹ方向にずらして配置しても良い。
【００８２】
さらに、図４及び図１９に示すように、直列状に配置される２つの圧電アクチュエータ４０、４０の相対向する一端部４４、４５に最接近する位置の前記個別用表面電極５８は、前記一端部４４、４５からの距離Ｌ５は、対応する活性部ひいては圧力室２３の前記一端部４４、４５からの距離Ｌ１より大きくなるように偏倚させて配置するものである。
【００８３】
そして、前記下層シ−ト４６の各第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３，５３−４の箇所には、下側にて隣接する圧電シ−ト３４の各ダミー個別電極３８−１，３８−２，３８−３，３８−４とそれぞれを上下方向に電気的に接続するために、下層シ−ト４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極９０が形成されている（図１２参照）。
【００８４】
また、下層シート４６における連絡用パターン５４の箇所には、前記下側にて隣接する圧電シート３４のコモン電極３７と上下方向に電気的に接続するために、前記と同様の複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材からなる内部導通電極９１が形成されている（図１２参照）。
【００８５】
同様に、上層シート４７には、その第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４の箇所と下層シート４６の第１接続用パターン５３−１，５３−２，５３−３，５３−４の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９２、及び連絡用パターン５５と連絡用パターン５４とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９３がそれぞれ形成されている（図１３参照）。
【００８６】
トップシート３５にも、前記と同様にして、個別用導電層５２−１，５２−２，５２−３，５２−４の箇所と、下に隣接する上層シート４７における第２接続用パターン５６−１，５６−２，５６−３，５６−４の箇所とを個別的に電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９４が設けられ、また、トップシート３５には、そのコモン用導電層５１と下に隣接する上層シート４７における連絡用パターン５５とを電気的に接続するためにスルーホール内に内部導通電極９５がそれぞれ形成されている（図１６参照）。
【００８７】
数枚のシートを積層した場合、その上下に隣接するシートにおける個別電極３６及びそれに対応するダミー個別電極３８、第１接続用パターン５３、第２接続用パターン５６の間を上下に接続するための内部導通電極４２ａ，４２ｂ，９０，９２，９４同士を平面視で重複しない位置に配置させることが好ましい。
【００８８】
また、コモン用表面電極５７は、トップシート３５の上面に形成されたコモン用導電層５１の一部に平面視で重複するように、島状に後付けされるものである。コモン用表面電極５７及び個別用表面電極５８の後付けは、銀−パラジュウム系の導電部材をスクリーン印刷形成することにより行われる。
【００８９】
その場合、図１７で黒塗り矩形状で示すコモン用表面電極５７及び白抜き矩形状で示す個別用表面電極５８は、前記トップシート３５の広幅面の平面視における中心点Ｏを対称中心とする点対称状に配置されている。なお、図１７において示す個別用表面電極５８の数は実施形態の数より少なくして、図示が明確になるようにしたものである。
【００９０】
他方、前記フレキシブルフラットケーブル４０の広幅面に形成される対応する接合電極部（コモン用接合電極部７７及び個別用接合電極部７８）は、当該フレキシブルフラットケーブル４０を前記対称中心Ｏとして１８０度水平回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極５７及び個別用表面電極５８にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されている（図２０参照）。
【００９１】
上記の実施形態をさらに詳細に説明すると、前記コモン用表面電極５７は、前記トップシート３５の広幅面の外周寄り部位であって前記第１の方向（Ｙ方向）とそれと直交する第２の方向（Ｘ方向）とに適宜間隔で複数群に分かれて配置形成されている。その詳細は、図１７において、トップシート３５の第１の方向（Ｙ方向）の左右両側縁に沿って配置される上下位置（２つ）の第１群５７−１及び上下位置（２つ）の第２群５７−２と、トップシート３５の前記対称中心（定点）Ｏを通り、第１の方向（Ｙ方向）と平行なＹ１軸線を左右両側に跨ぐようにして配置される上下位置（２つ）の第３群５７−３と、前記Ｙ１軸線の左側で前記第１群５７−１との間に配置される上下位置（２つ）の第４群５７−４と、前記Ｙ１軸線の右側で前記第２群５７−２との間に配置される上下位置（２つ）の第５群５７−５とからなる。前記第１群５７−１と第２群５７−２の各コモン用表面電極５７は、対称中心（定点）Ｏを挟んでそれぞれ反対側に定点Ｏから等距離に配置される。上下の第３群５７−３における各コモン用表面電極５７も、対称中心（定点）Ｏを挟んでそれぞれ反対側に定点Ｏから等距離に配置される。さらに、第４群５７−４と第５群５７−５の各コモン用表面電極５７も、対称中心（定点）Ｏを挟んでそれぞれ反対側に定点Ｏから等距離に配置されるものである。前記個別用表面電極５８も当然に前記トップシート３５の広幅面の内周寄り部位にて、対称中心（定点）Ｏを挟んでそれぞれ反対側に定点Ｏから等距離に配置されることになる。
【００９２】
他方、フレキシブルフラットケーブル４０の下面（広幅面）には、前記コモン用表面電極５７に接合されるコモン用接合電極部７７と、前記各個別用表面電極５８に接合される個別用接合電極部７８とが形成される。図２０に示す実施形態では、前記コモン用接合電極部７７は、フレキシブルフラットケーブル４０における前記第２の方向（Ｘ方向）に沿う一対の側縁に沿う第１部分７７ａ、７７ａと、これらに連通し且つ第１の方向（Ｙ方向）の自由端縁に沿う第２部分７７ｂとに帯状に形成されている。そして、前記多数の個別用接合電極部７８は、前記コモン用接合電極部７７（一対の第１部分７７ａ、７７ａと第２部分７７ｂと）で囲まれる領域内に個別用表面電極５８と対応して形成されている。各個別用接合電極部７８には前記第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びるリード線（図示せず）の一端が接続され、各リード線の他端及び前記コモン用接合電極部７７の他端は、各フレキシブルフラットケーブル４０の片面に取付けられた駆動用の集積回路４０ａ（図２参照）に電気的に接合されるものである。
【００９３】
上記のように構成した場合、例えば、図４の二点鎖線及び図２０の実線で示すように、ヘッドユニット６の長辺の右側外に引き出するようにフレキシブルフラットケーブル４０を圧電アクチュエータ１２のトップシート３５に接合するときには、前記コモン用接合電極部７７の第２部分７７ｂを前記第１群５７−１に接合させる一方、第１部分７７ａ、７７ａを、少なくとも前記第３群５７−３及び第５群５７−５に接合させる（加えて、第４群５７−４も接合しても良い）。
【００９４】
逆に、図４の実線で示すように、ヘッドユニット６の長辺の左側外に引き出するようにフレキシブルフラットケーブル４０を圧電アクチュエータ１２のトップシート３５に接合するときには、前記コモン用接合電極部７７の第２部分７７ｂを前記第２群５７−２に接合させる一方、第１部分７７ａ、７７ａを、少なくとも前記第３群５７−３及び第４群５７−４に接合させる（加えて、第５群５７−５も接合しても良い）。
【００９５】
なお、フレキシブルフラットケーブル４０は従来から公知の構成、つまり、可撓性を有し、湾曲変形に対する耐久性のある電気絶縁性の合成樹脂材にて銅箔等の導体からなる前記微細幅のリード線を覆い、前記コモン用接合電極部７７の対応する部分及び個別用接合電極部７８の部分のみをフレキシブルフラットケーブル４０の広場面の片面側に開口し、その開口部にバンプを形成したもので、半田製のバンプのときは当該バンプをコモン用表面電極５７及び個別用表面電極５８に重ねて加熱押圧して接合する。異方導電性樹脂などのバンプ材料が加圧により導電性を有するタイプの場合には、単なる加圧接合で良い。
【００９６】
上述のように本発明では、前記コモン用表面電極５７及び個別用表面電極５８は、前記表面シートの広幅面の中心点Ｏを対称中心とする点対称状に配置されている一方、前記フレキシブルフラットケーブル４０の広幅面に形成される接合電極部は、当該フレキシブルフラットケーブルを前記対称中心Ｏの周りに１８０度回転移動させたときに前記多数のコモン用表面電極７７及び個別用表面電極７８にそれぞれ電気的に接合し得るように配置されているので、同一のヘッドユニット６を使って、フレキシブルフラットケーブル４０を引出し方向を１８０度回転させて逆にする作業が至極簡単にできる。その場合、フレキシブルフラットケーブル４０における自由端縁（第１の方向（Ｙ方向））に沿う第２部分７７ｂと第１群５７−１（第２群５７−２）のみを接合し、フレキシブルフラットケーブル４０の前記自由端縁から第２の方向（Ｘ方向）に遠い側（つまりフレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の中途部）ではコモン用表面電極７７と接合しないようにしたので、当該フレキシブルフラットケーブル４０が温度変化等にて（Ｘ方向）に伸縮することがあっても、前記第２部分７７ｂでの接合は保持される。また、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の中途部をヘッドホルダ１のスリット８７（図２及び図３参照）から湾曲させて引き出す場合にも、その湾曲を円滑にできる。
【００９７】
また、コモン用接合電極部７７の第１部分７７ａ，７７ａと、前記コモン用表面電極５７における第４群５７−４及び第５群５７−５とが共に前記第２の方向（Ｘ方向）に長く形成されているから、フレキシブルフラットケーブル４０が温度変化等にてＸ方向に伸縮しても、接合の剥がれで発生しない信頼性を向上させることができる。
【００９８】
さらに、フレキシブルフラットケーブル４０の幅寸法（Ｙ方向寸法）内に、前記第１部分７７ａ，７７ａを形成したので当該フレキシブルフラットケーブル４０、ひいてはヘッドユニット６をコンパクトにできる。
【００９９】
しかも、前記第３群５７−３は、島状の個別用表面電極５８の列の間にてトップシート３５の第１の方向の内側（中心寄り部位）に入り込むように配置しているから、当該トップシート３５の広幅表面を有効に利用できる。
【０１００】
圧電アクチュエータ１２に接合すべきフレキシブルフラットケーブル４０の幅方向を、トップシート３５ひいては圧電アクチュエータ１２の長手方向（第１の方向）と平行状にした場合は、その長手方向に多数配列される個別電極のための個別電極用接合電極部７８とそのリード線とを配置する面積的余裕が大きくなり、設計の自由度が向上する。
【０１０１】
前記実施形態では、ノズルの列は４列であったが、本発明では１列以上のノズル列に対して適用できる。また、単一の圧電アクチュエータと単一のフレキシブルフラットケーブルとの接合に対して適用できることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明を適用するインクジェットプリンタヘッドの斜視図である。
【図２】プリンタヘッドの背面側から見た平面図である。
【図３】図２の III−III 線矢視断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。
【図５】キャビティユニットの一部分解斜視図である。
【図６】（ａ）は図４のVI−VI線矢視拡大断面図、（ｂ）は絞り部の拡大平面図である。
【図７】図４のVII −VII 線矢視拡大断面図である。
【図８】圧電アクチュエータの部分拡大断面図である。
【図９】圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大斜視図である。
【図１０】コモン電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。
【図１１】個別電極等のパターンを示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。
【図１２】拘束層の下層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１３】拘束層の上層シートにおけるパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１４】活性部における圧力室に対する個別電極とダミー電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１５】コモン電極等のパターンの詳細を示す圧電シートの一部切欠き拡大平面図である。
【図１６】トップシートにおける個別用導電層等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１７】トップシートにおける個別用表面電極等のパターンを示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１８】トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と第１及び第２接続用パターンと個別用導電層との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図１９】トップシートの平面視における圧力室に対する個別電極と個別用導電層と個別用表面電極との重なり関係を示す一部切欠き拡大平面図である。
【図２０】トップシートとフレキシブルフラットケーブルとの重なり状態を示す一部拡大平面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０      インクジェットプリンタヘッド
１１      キャビティユニット
１２      圧電アクチュエータ
２２      ベースプレート
２３      圧力室
２４      ノズル
３３，３４    圧電シート
３５      トップシート
３６      個別電極
３７      コモン電極
４０      フラットケーブル
５７      コモン用表面電極
５８      個別用表面電極
７７      コモン用接合電極部
７７ａ    第１部分
７７ｂ    第２部分
７８      個別用接合電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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