(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するスリットノズルにおいて、前記スリットノズルは左右の半体にボルト挿通用の貫通孔が幅方向に形成され、前記左右の半体のうちの一方の半体の合わせ面には、塗布液の貯留部となる凹部、スリット状吐出部を形成する平坦部および前記ボルト挿通用の貫通孔が開口する溝が長さ方向に連続して形成されていることを特徴とするスリットノズル。
【請求項２】
請求項１に記載のスリットノズルにおいて、前記ボルト挿通用の貫通孔は上下２段に形成され、各段のボルト挿通用の貫通孔が開口する溝が上下２段に形成されていることを特徴とするスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェーハ等の被処理物の表面に、所定幅でホトレジスト液やカラーフィルタとなる塗布液を塗布するスリットノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示されるように、一般的にスリットノズルは左右の半体を接合して構成される。具体的には図５に示すように、左右の半体１０１，１０２には幅方向に貫通孔１０３が形成され、この貫通孔１０３にボルト１０４を挿通して締め付けることで、スリットノズルが組立てられる。この状態では左右の半体１０１，１０２間に塗布液の貯留部１０５及びスリット状吐出部１０６が形成される。
【０００３】
また、同様の構造のスリットノズルが特許文献２及び特許文献３にも開示されている。いずれの構成も左右の半体がボルトで締め付けられることで、スリットノズルが組立てられている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２７４０７１号公報
【特許文献２】特開平１１−５７５３３号公報
【特許文献３】特開２０００−３３３１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述した構成のスリットノズルでは、左右の半体をボルトで締め付けた際に、ボルトに近い部分、つまりボルト挿通用の貫通孔周辺にボルトから直接応力が伝わるため、貫通孔周辺が他の部分よりも強く締め付けられ、スリット状吐出口の幅が部分的に異なり、塗布分布が不均一となる不具合がある。
【０００６】
上述した点に鑑み、本発明は、ボルトから直接伝わる応力による塗布分布への影響を低減することができるスリットノズルを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るスリットノズルは、被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するもので、左右の半体にボルト挿通用の貫通孔が幅方向に形成され、前記左右の半体のうちの一方の半体の合わせ面には、塗布液の貯留部となる凹部、スリット状吐出部を形成する平坦部および前記ボルト挿通用の貫通孔が開口する溝が長さ方向に連続して形成されている構成とする。
【０００８】
本発明に係るスリットノズルによれば、左右の半体にボルト挿通用の貫通孔が幅方向に形成され、また左右の半体のうちの少なくとも一方の半体の合わせ面にはボルト挿通用の貫通孔が開口する溝が長さ方向に連続して形成されているので、ボルトを締め付けた際に、応力が貫通孔周辺に集中することなく均一に分散するため、スリット状吐出口の幅が部分的に異なるようなことはなく、塗布分布が均一となる。
【０００９】
なお、ボルトによる締め付け箇所が上下２段の場合には、各段のボルト挿通用の貫通孔が開口する溝も上下２段に形成される。そして、上下の格段毎にボルト挿通用の貫通孔は複数個設けられ、これら複数のボルト挿通用の貫通孔が１本の溝に開口することになる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るスリットノズルによれば、ボルトから直接伝わる応力を分散させて、塗布分布への影響を低減することが可能になる。
従って、塗布に対して高信頼性及び高精度を有するスリットノズルを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
図１は本発明に係るスリットノズルの一実施の形態を示す側面から見た断面図、図２は図１のＡ−Ａ方向の矢示図である。
【００１２】
本実施の形態に係るスリットノズルは、左右の半体１，２から構成されている。
左右の半体１，２のそれぞれに上下２段となるように貫通孔１１，１２，２１，２２が幅方向に形成されている。これら貫通孔１１，１２，２１，２２は上下の各段において、長さ方向に離間して複数個形成され、対応する貫通孔１１と貫通孔２１、及び貫通孔１２と貫通孔２２は軸線が一致している。而して、各段の貫通孔１１と貫通孔２１、貫通孔１２と貫通孔２２に共通のボルト３１…を挿通して締め付けることで、スリットノズルが構成されている。
【００１３】
また、半体１と半体２との対向面（当接面）には塗布液の貯留部となる凹部１３、右側の半体２との間でスリット状吐出口１４を形成する平坦面１５が形成され、
【００１４】
そして、本実施の形態においては特に、図２に示すように、半体１と半体２との対向面において、半体１の合わせ面にボルト挿通用の貫通孔１１，１２が開口する溝１６，１７が長さ方向に連続して形成されている。
具体的には、上段の溝１６には上段の貫通孔１１が開口し、下段の溝１７には下段の貫通孔１２が開口している。
【００１５】
このようにボルト３１が挿通する貫通孔１１，１２の端部を相手方の半体２の対向面に直接押し当てることなく、長さ方向に伸びる溝１６，１７に開口せしめることで、ボルト３１による締め付け力が貫通孔１１，１２の開口周縁に集中することなく、ノズルの長さ方向に均等に分散する。その結果、スリット状吐出口１４の幅も均一になる。
【００１６】
次に、本発明に係るスリットノズルの他の実施の形態を図３（ａ）〜（ｃ）に示す断面図を用いて説明する。
図３（ａ）に示す実施の形態では、貫通孔１１，１２の端部が開口する溝１８を１本とした場合である。つまり、図１及び図２に示した実施の形態のように、２本のボルト３１に対してそれぞれ溝１６，１７を形成するのではなく、２本のボルト３１に対して１つの溝１８を形成した場合である。
【００１７】
図３（ｂ）に示す更に他の実施の形態では、溝１６，１７と対向する溝４０，４１を半体２に形成し、これら溝４０，４１に貫通孔２１，２２を開口させた場合である。
つまり、図１及び図２に示した実施の形態のように、一方の半体１のみに溝１６，１７を形成するのではなく、両方の半体１，２において、溝１６，１７，４０，４１を形成した場合である。
【００１８】
図３（ｃ）に示す更に他の実施の形態では、半体１の溝１８に対向する溝４２を半体２に形成し、溝１８には貫通孔１１，１２の端部が開口し、溝４２には貫通孔２１，２２の端部が開口するようにしている。
つまり、図３（ａ）に示した実施の形態のように、一方の半体１において、２本のボルト３１に対して１つの溝１８を形成するのではなく、両方の半体１，２において、２本のボルト３１に対する１つの溝４２を形成した場合である。
【００１９】
図３（ａ）〜（ｃ）に示す各実施の形態にあっても、ボルト３１で左右の半体１，２を締め付けた場合、貫通孔１１，１２，２１，２２の開口部周縁に応力が集中することなく、均一な力で締め付けることができる。
【００２０】
図４は従来例と本願発明との効果上の差異を膜厚を基準にして判断した結果を示すグラフである。
このグラフから明らかなように、本発明に係るスリットノズルを用いることで、塗膜の厚さが従来よりも均一になることが分かる。
【００２１】
なお、上述した各実施の形態においては、一方の半体１或いは両方の半体１，２において図２に示したような連続する溝を形成した場合を挙げて説明した。しかしながら、場合によっては、連続する溝ではなく、各ボルト位置において溝を形成するようにしても構わない。ただし連続する溝の場合は加工上が容易である。
【００２２】
また、上述した各実施の形態においては、ボルト３１が上下２段の場合を挙げて説明した。しかしながら、ボルト３１の段数はこれに限定されず様々な形態が考えられる。
【００２３】
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲でその他様々な構成が取り得る。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るスリットノズルの一実施の形態を示す側方から見た断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢示図。
【図３】（ａ）〜（ｃ）は他の実施の形態を示す図１と同様の図。
【図４】従来例と本発明との効果上の差異を膜厚を基準に判断した結果を示すグラフ。
【図５】従来のスリットノズルの側面から見た断面図。
【符号の説明】
【００２５】
１，２…スリットノズルを構成する左右の半体、１１，１２，２１，２２…貫通孔、１３…凹部、１４…スリット状吐出口、１５…平坦面、１６，１７，１８，４０，４１，４２…溝、３１…ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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