(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、透明導電膜と、該透明導電膜よりも抵抗値の低い金属又は合金よりなるメッシュ状の導電体とを設けた色素増感型太陽電池用電極であって、
最上層に導電性粒子を含む有機膜が形成されていることを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
【請求項２】
請求項１において、該導電性粒子がＩＴＯ、ＡＴＯ、及びＺｎＯよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の透明導電性粒子であることを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
【請求項３】
請求項１又は２において、該有機膜がアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂及びポリウレタン系樹脂よりなる群から選ばれる１種又は２種以上より形成されることを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
【請求項４】
請求項３において、該有機膜が架橋構造を有することを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、該導電性粒子の表面が化学修飾されていることを特徴とする色素増感型太陽電池用電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は色素増感型太陽電池用電極に係り、特に、基材上に透明導電膜が形成された色素増感型太陽電池用電極において、該透明導電膜よりも抵抗値の低い金属又は合金よりなるメッシュ状導電体を補助電極として設けることにより電極の低抵抗化を図った色素増感型太陽電池用電極であって、該補助電極の電解液による腐食の問題を改善した色素増感型太陽電池用電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
増感色素を吸着させた酸化物半導体を電極に用いて太陽電池を構成することは既に知られている。図７は、このような色素増感型太陽電池の一般的な構造を示す断面図である。図７に示す如く、ガラス基板等の基板１上にＦＴＯ（フッ素ドープ酸化スズ）、ＩＴＯ（インジウムスズ酸化物）等の透明導電膜２が設けられ、この透明導電膜２上に分光増感色素を吸着させた金属酸化物半導体膜３が形成されている。この色素増感型半導体電極４と対向して間隔をあけて対向電極５が配置されており、図示しない封止材により色素増感型半導体電極４と対向電極５との間に電解質６が封入されている。７は、半導体電極４と対向電極５との間隔を維持するために周縁部に設けられた絶縁性のスペーサである。
【０００３】
色素吸着半導体膜３は、通常、色素を吸着させた酸化チタン薄膜よりなり、この酸化チタン薄膜に吸着されている色素が可視光によって励起され、発生した電子を酸化チタン微粒子に渡すことによって発電が行われる。対向電極４は、ガラス又はプラスチック等の基板上にＩＴＯやＦＴＯ等の透明導電膜が形成され、この透明導電膜上に、透明導電膜と増感色素との間の電子の授受を促進させるための触媒としての白金膜又は炭素膜が、透過率を低下させない程度の膜厚に形成されたものである。また、電解質６としては、酸化還元性物質、例えば、ＬｉＩ、ＮａＩ、ＫＩ、ＣａＩ２などの金属ヨウ化物とヨウ素の組み合わせ、ＬｉＢｒ、ＮａＢｒ、ＫＢｒ、ＣａＢｒ２などの金属臭化物と臭素の組み合わせ、好ましくは、金属ヨウ化物とヨウ素の組み合わせよりなる酸化還元性物質を、プロピレンカーボネートなどのカーボネート化合物、アセトニトリルなどのニトリル化合物等の溶媒に溶解してなる電解液が用いられている。
【０００４】
色素増感型太陽電池の対向電極や半導体電極の基板上に設ける透明導電膜として、ＩＴＯ等の金属酸化物膜よりも抵抗値の低い金属又は合金膜を形成すると、電解液中のヨウ素等により、この膜が腐食を受けるため、このような膜を形成することはできない。また、色素増感型太陽電池用電極の薄肉軽量化のために、基板をガラス基板に比べて耐熱性の低い高分子フィルムとする場合、成膜時の制約の問題から、低抵抗の透明導電膜の形成が困難である。このため、従来においては、対向電極や半導体電極の透明導電膜としては、ＩＴＯ等の金属酸化物膜が採用されているが、このような金属酸化物膜よりなる透明導電膜は、抵抗値が十分に低いものではなく、このことが色素増感型太陽電池の光電変換効率を下げる原因となっている。特に、大面積化を図る場合、この透明導電膜の抵抗による損失が光電変換効率低下の原因となっている。
【０００５】
上記従来の問題点を解決し、抵抗値が十分に低く、しかも電解液による腐食も受け難い、色素増感型太陽電池の光電変換効率の向上に有効な色素増感型太陽電池用電極として、本出願人は先に、図６に示す如く、基材フィルム１１上に透明導電膜１３が形成されてなる色素増感型太陽電池用電極において、基材フィルム１１と透明導電膜１３との間に、透明導電膜よりも抵抗値の低いメッシュ状の導電体（以下、この導電体を「補助電極」と称す場合がある。）１２を設けた色素増感型太陽電池用電極を提案した（特願２００３−８５５５９。以下「先願」という。）。
【０００６】
この先願の色素増感型太陽電池用電極１０であれば、透明導電膜１３よりも抵抗値の低いメッシュ状導電体の補助電極１２により、電極の低抵抗化を図ることができる。この補助電極１２は、透明導電膜１３により保護されているため、電解液により腐食を受け難い。
【特許文献１】特願２００３−８５５５９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記先願の色素増感型太陽電池用電極１０では、補助電極１２が透明導電膜１３に覆われているものの、腐食性の補助電極の電解液による腐食を確実に防止することはできず、補助電極の腐食で補助電極自体の抵抗値が増加するという問題を完全に解決することはできない。
【０００８】
また、補助電極を必ず透明導電膜と基材との間に形成する必要があり、設計上制約を受ける。
【０００９】
従って、本発明は、基材上に、透明導電膜が形成された色素増感型太陽電池用電極であって、該透明導電膜よりも抵抗値の低い金属又は合金よりなるメッシュ状導電体を補助電極として設けることにより電極の低抵抗化を図った色素増感型太陽電池用電極において、該補助電極の電解液による腐食の問題をより一層確実に解決し、耐久性、信頼性に優れた色素増感型太陽電池用電極を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明（請求項１）の色素増感型太陽電池用電極は、基材上に、透明導電膜と、該透明導電膜よりも抵抗値の低い金属又は合金よりなるメッシュ状の導電体とを設けた色素増感型太陽電池用電極であって、最上層に導電性粒子を含む有機膜が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
この色素増感型太陽電池用電極では、最上層の導電性粒子を含む有機膜により、補助電極のメッシュ状導電体が電解液から確実に保護されて、その腐食が防止される。
【００１２】
この色素増感型太陽電池用電極において、導電性粒子としては、ＩＴＯ、ＡＴＯ、及びＺｎＯよりなる群から選ばれる１種又は２種以上の透明導電性粒子が挙げられ、これらの導電性粒子は、化学修飾されていることが好ましい。また、有機膜は、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂及びポリウレタン系樹脂よりなる群から選ばれる１種又は２種以上より構成される、架橋構造を有するものが好ましい。
【００１３】
保護膜としての有機膜は、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂及びポリウレタン系樹脂よりなる群から選ばれる１種又は２種以上の透明樹脂よりなることが好ましく、架橋構造を有することが好ましい。また、透明粒子を含むものであっても良く、これにより、膜の強度向上、バリア性向上という効果が奏される。
【００１４】
本発明において、基材は、高分子フィルムよりなることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、基材上に透明導電膜が形成された色素増感型太陽電池用電極であって、この透明導電膜よりも抵抗値の低い金属又は合金よりなるメッシュ状導電体を補助電極として設けることにより電極の低抵抗化を図った色素増感型太陽電池用電極において、補助電極の電解液による腐食の問題をより一層確実に解決し、耐久性、信頼性に優れた色素増感型太陽電池用電極と、この色素増感型太陽電池用電極を備える光電変換効率に優れた色素増感型太陽電池が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照して本発明の色素増感型太陽電池用電極及び色素増感型太陽電池の実施の形態を詳細に説明する。
【００１７】
図１〜２及び図５（ａ）は、本発明の色素増感型太陽電池用電極の実施の形態を示す斜視図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。図３，４は参考例に係る色素増感型太陽電池用電極を示す斜視図である。
【００１８】
図１の色素増感型太陽電池用電極１０Ａは、基材フィルム１１上に金属又は合金のメッシュよりなる補助電極１２が設けられ、この上に透明導電膜１３が形成され、最表層としてバリア層１４が形成されている。図２の色素増感型太陽電池用電極１０Ｂは、補助電極１２が透明導電膜１３上に形成されている点が図１の色素増感型太陽電池用電極１０Ａと異なり、その他は同様の構成とされている。
【００１９】
基材フィルム１１としては、透明性、複屈折の点で優れていることから、ポリカーボネート、ポリメチルメタアクリレート、ポリビニルクロライド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルムが用いられ、その厚さは通常１２μｍ〜２ｍｍ程度である。
【００２０】
補助電極１２を形成する金属又は合金としては、透明導電膜１３よりも抵抗値の低い材料であれば良く、特に制限はないが、一般的には、Ａｇ、Ａｇ合金（Ａｇ／Ｐｄ、Ａｇ／Ｎｄ、Ａｇ／Ａｕ等）、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ、Ａｌ合金、Ｎｉ、Ｃｒ合金等の１種又は２種以上が用いられる。
【００２１】
補助電極１２は、透明性を損なわない程度に薄膜状に形成することも考えられるが、そのような薄膜状に形成した膜状補助電極では、十分な低抵抗化の効果を得ることができないことから、図１に示す如く、メッシュ状に形成する。このメッシュ状補助電極１２の線形や目開きについては特に制限はないが、線径が過度に細く、目開きが過度に大きいと十分な低抵抗化効果を得ることができず、逆に線径が過度に太く、目開きが過度に小さいと電極の透明性が損なわれる。従って、メッシュ状補助電極１２の線径は１０〜１０００μｍ、目開き（電極面積に対する開口部の面積割合）は８０％以上とすることが好ましい。なお、補助電極１２の厚さ（高さ）は０．１〜１０μｍ程度であることが好ましい。
【００２２】
透明導電膜１３は、ＩＴＯ、ＦＴＯ、ＡＴＯ、ＳｎＯ２等の透明導電膜であって、その膜厚は、通常１００〜１０００ｎｍ程度であることが好ましい。特に、Ｉ２に対する腐食に強いＳｎＯ２系の透明導電膜が好ましい。
【００２３】
この透明導電膜１３は、スパッタ法により形成することが好ましく、特に酸素雰囲気ガスを用いた反応性スパッタ法で形成することが好ましい。スパッタ法であれば、基材フィルム１１の耐熱温度以下の低温で、良好な低抵抗膜よりなる透明導電膜１３を形成することができ、効率的である。
【００２４】
図１，２の色素増感型太陽電池用電極１０Ａ，１０Ｂにおいて、バリア層１４としては、
(1)  導電性粒子を含む有機膜よりなる有機系バリア層
又は
(2)  半導体膜よりなる半導体系バリア層
を形成することができる。
【００２５】
有機系バリア層１４の有機膜は、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の透明樹脂よりなることが好ましく、これらの樹脂は、加熱により、或いは紫外線、電子線等の高エネルギー線の照射により架橋構造とされていることが、高いバリア効果を得ることができる点において好ましい。
【００２６】
また、有機膜中の導電性粒子としては、ＩＴＯ、ＡＴＯ、ＺｎＯ等の透明導電性粒子を用いることができ、その平均粒径は５〜５０００ｎｍであることが好ましい。この導電性粒子の平均粒径が１ｎｍ未満では粒子同士のコンタクトが不十分で、導電性が得られず、１０μｍを超えると対極と接触し、電気的に短絡を引きおこしセルの性能を低下させる。
【００２７】
このような導電性粒子は、表面がアクリル基等により化学修飾されていることが好ましく、このような表面修飾により、基材樹脂との密着性を高め、より一層バリア効果を高めることができる。
【００２８】
有機系バリア層中の導電性粒子の配合割合は、多過ぎるとバリア層１４の強度、バリア性等が劣り、少な過ぎると導電性が不足し、電極の低抵抗化が損なわれるため、バリア層１４中の導電性粒子は、１０〜８０重量％、特に２０〜５０重量％であることが好ましい。
【００２９】
この有機系バリア層の厚さは薄過ぎると、バリア層１４を形成したことによる十分な保護効果を得ることができず、厚過ぎると剥離が生じやすく、また、割れやすくなることから０．５〜１０μｍ程度とすることが好ましい。
【００３０】
このような導電性粒子を有する有機膜よりなる有機系バリア層を設けることにより、補助電極１２を電解液から確実に保護して、補助電極１２の劣化を防止することができる。
【００３１】
この有機系バリア層は、十分な保護効果を奏するため、図１に示す如く、補助電極１２を基材フィルム１１と透明導電膜１３との間に設ける場合に限定されず、図２に示す如く、透明導電膜１３の上に補助電極１２を形成し、その上にバリア層１４を形成するようにすることもできる。
【００３２】
半導体系バリア層の半導体膜としては、ＴｉＯ２、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、Ｎｉ２Ｏ５等の金属酸化物膜を用いることができる。
【００３３】
この半導体膜は、スパッタリング法、好ましくは金属ターゲットを用いた反応性スパッタリング法により形成することができる。また、化学溶液を用いた析出法、過酸化物の塗布及び熱処理による方法、或いはゾル−ゲル法により形成することができる。特に、スパッタリング法であれば、緻密でバリア性に優れた半導体膜を形成することができる。
【００３４】
特に、半導体膜として、酸化チタンナノポーラス半導体膜を形成した場合には、このバリア層に半導体電極の半導体層としての機能を付与することができ、この色素増感型太陽電池用電極をそのまま色素増感型太陽電池用半導体電極とすることができる。
【００３５】
この半導体系バリア層の厚さは薄過ぎると、バリア層１４を形成したことによる十分な保護効果を得ることができず、厚過ぎると膜が割れやすくなることから０．１〜５μｍ程度とすることが好ましい。
【００３６】
このような半導体膜よりなる半導体系バリア層を設けることにより、補助電極１２を電解液から確実に保護して、補助電極１２の劣化を防止することができる。
【００３７】
この半導体系バリア層は、十分な保護効果を奏するため、図１に示す如く、補助電極１２を基材フィルム１１と透明導電膜１３との間に設ける場合に限定されず、図２に示す如く、透明導電膜１３の上に補助電極１２を形成し、その上にバリア層１４を形成するようにすることもできる。
【００３８】
図３，４に示す色素増感型太陽電池用電極１０Ｃ，１０Ｄは、バリア層１４を設けず、補助電極１２を不働態膜を形成し易い金属又はその合金で形成して使用中に補助電極表面に不働態膜を形成させるか、或いは、補助電極１２の表面を酸化処理して不働態膜を形成した点が、図１，２に示す色素増感型太陽電池用電極１０Ａ，１０Ｂと異なり、その他の基材フィルム１１や透明導電膜１３の構成や、補助電極１２の線径や目開き等は、図１，２におけると同様である。
【００３９】
図３，４の色素増感型太陽電池用電極１０Ｃ，１０Ｄにおいて、不働態膜を形成し易い金属又は合金としては、Ｔｉ、Ｎｉ、Ａｌ等の１種よりなる金属、或いはこれらの１種又は２種以上を含む合金が挙げられる。
【００４０】
酸化処理により不働態膜を形成する場合であっても、補助電極１２は上述のような不働態膜を形成し易い金属又は合金により形成されていることが好ましい。
【００４１】
不働態膜形成のための酸化処理は、金属アノード処理、酸化性ガス雰囲気中での紫外線照射、或いは酸化性ガス雰囲気中でのプラズマ処理により行うことができる。ここで、酸化性ガス雰囲気とは、酸素、オゾン、或いはこれらのガスを含むガス雰囲気である。
【００４２】
不働態膜は、補助電極２の表面の厚さ１〜５０ｎｍ程度に形成されていることが好ましい。
【００４３】
このような不働態膜を形成することにより、補助電極１２を電解液から確実に保護して、補助電極１２の劣化を防止することができる。
【００４４】
この不働態膜は、十分な保護効果を奏するため、図３に示す如く、補助電極１２を基材フィルム１１と透明導電膜１３との間に設ける場合に限定されず、図４に示す如く、透明導電膜１３の上に補助電極１２を形成することもできる。
【００４５】
図５に示す色素増感型太陽電池用電極１０Ｅは、バリア層１４を設けず、補助電極１２の表面部分のみを覆う保護膜１５を設け、保護膜付き補助電極１２Ａとした点が図２に示す色素増感型太陽電池用電極１０Ｂと異なり、その他の基材フィルム１１や透明導電膜１３の構成や、補助電極１２の線径や目開き等は、図２におけると同様である。
【００４６】
図５の色素増感型太陽電池用電極１０Ｅにおいて、補助電極１２を覆う保護膜１５としては
(1)  有機膜
又は
(2)  無機膜
を形成することができる。
【００４７】
有機系保護膜は、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の透明樹脂よりなることが好ましく、これらの樹脂は、加熱により、或いは紫外線、電子線等の高エネルギー線の照射により架橋構造とされていることが、高いバリア効果を得ることができる点において、好ましい。
【００４８】
有機系保護膜は、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３等の透明粒子を含むものであっても良く、このような透明粒子を含むことにより膜強度向上という効果が奏される。
【００４９】
このような透明粒子は、表面がアクリル基等により化学修飾されていることが好ましく、このような表面修飾により、基材樹脂との密着性を高め、より一層バリア効果を高めることができる。この化学修飾としては、具体的には、基材樹脂がアクリル系樹脂の場合、透明粒子にＳｉＯ２を使用して、ＳｉＯ２粒子の表面をアクリル変性する方法が挙げられる。
【００５０】
有機系保護膜中の透明粒子の配合割合は、多過ぎると保護膜の強度、バリア性等が劣り、少な過ぎると透明粒子を配合したことによる上記効果を十分に得ることができないため、有機系保護膜中の透明粒子は、１０〜８０重量％、特に２０〜５０重量％であることが好ましい。
【００５１】
無機系保護膜は、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３等の透明金属酸化物よりなり、特に、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ等の乾式成膜法、とりわけ金属ターゲットを用いる反応性スパッタリング法により形成されていることが好ましい。
【００５２】
このような補助電極１２を覆う保護膜１５の厚さは薄過ぎると、保護膜１５を形成したことによる十分な保護効果を得ることができず、厚過ぎると割れやすくなることから０．１〜５μｍ程度とすることが好ましい。
【００５３】
このような保護膜１５を形成することにより、補助電極１２を電解液から確実に保護して、補助電極１２の劣化を防止することができる。
【００５４】
透明導電膜１３上の補助電極１２を覆う保護膜１５は、絶縁性の膜であっても良く、材質を選定することにより、著しく高い保護効果を得ることができる。
【００５５】
本発明の色素増感型太陽電池用電極は、特に透明導電膜上に白金薄膜が設けられた色素増感型太陽電池の対向電極に好適であり、この白金薄膜もスパッタリング法により形成されたものであることが好ましい。ただし、バリア層１４として半導体膜を形成した色素増感型太陽電池用電極にあっては、色素増感型太陽電池用半導体電極としても好適に用いることができる。
【００５６】
本発明の色素増感型太陽電池は、このような本発明の電極を用いて常法に従って容易に組み立てられる。
【００５７】
なお、本発明は、特に基材フィルムを用いたフィルムタイプの色素増感型太陽電池用電極に好適であるが、何らこれに限定されず、ガラス基板を用いた色素増感型太陽電池用電極にも適用することができる。
【００５８】
以下に、本発明に係るメッシュ状導電体よりなる補助電極１２の好適な形成方法について、図８を参照して説明する。図８は本発明に係るメッシュ状導電体の製造手順の一例を示す模式的な断面図である。
【００５９】
まず(1)，(2)のように高分子フィルム２１上に水等の溶剤に対して可溶な材料を用いてドット２２を印刷する。次いで、(3)の通り、この高分子フィルム２１のドット２２上及びドット２２間のフィルム露出面のすべてを覆うように導電材料層２３を形成する。次に、このフィルム２１を水等の溶剤によって洗浄する。この際、必要に応じ、超音波照射やブラシ、スポンジ等で擦るなどの溶解促進手段を併用してもよい。
【００６０】
これにより、(4)の通り、可溶性のドット２２が溶解し、このドット２２上の導電材料もフィルム２１から剥れて除去される。そして、ドット同士の間の領域に形成された導電材料よりなるメッシュ状導電体パターン２４がフィルム２１上に残る。このメッシュ状導電体パターン２４は、ドット２２間の領域を占めるものであるから、全体としてはメッシュ状となる。
【００６１】
従って、ドット２２間の間隙を狭くしておくことにより、線幅の小さいメッシュ状のメッシュ状導電体パターン２４が形成される。また、各ドット２２の面積を広くすることにより、開口率の大きなメッシュ状導電体パターン２４が形成される。ドット２２を形成するための前記水等に対して可溶な印刷材料は、微粒子を分散させる必要のないものであり、低粘性のもので足りる。この低粘性の印刷材料によれば、微細なドットパターンとなるようにドットを印刷することができる。
【００６２】
なお、上記(4)の工程の後、必要に応じ仕上げ洗浄（リンス）し、乾燥を行う。
【００６３】
高分子フィルム２１上に形成するドット２２は印刷により形成されることが好ましい。印刷材料としては、ドット２２を除去させる溶剤に対して可溶な材料の溶液が用いられる。このドット２２を除去させる溶剤としては、有機溶剤であってもよいが、安価であると共に、環境への影響の点からして水が好ましい。水は、通常の水のほか、酸、アルカリ又は界面活性剤を含んだ水溶液であってもよい。この印刷材料には、印刷仕上り状況を確認し易くするために顔料や染料を混ぜてもよい。
【００６４】
溶剤をこのように水とする関係からして、ドット２２の形成材料としては水溶性の高分子材料が好ましくは、具体的にはポリビニルアルコールなどが好適である。
【００６５】
ドット２２は、それらの間のフィルム露出領域がメッシュ状となるように印刷される。好ましくは、このフィルム露出領域の線幅が３０μｍ以下となるように印刷される。印刷手法としてはグラビア印刷、スクリーン印刷、インクジェット印刷、静電印刷が好適であるが、細線化のためにはグラビア印刷が好適である。
【００６６】
ドット２２の形状は、円、楕円、角形など任意であるが、角形特に正方形であることが好ましい。ドット２２の印刷厚みは、特に限定されるものではないが、通常は０．１〜５μｍ程度とされる。
【００６７】
ドット２２の印刷後、好ましくは乾燥し、次いで前述の補助電極形成材料により導電材料層２３を形成する。
【００６８】
この導電材料層２３の厚さは、薄過ぎるとメッシュ状導電体を形成することによる低抵抗化を十分に図れず、厚過ぎると得られる色素増感型太陽電池用電極の厚さに影響を及ぼすと共に、光透過性を低減してしまうことから、０．１〜１００μｍ程度とするのが好ましい。
【００６９】
導電材料層２３の形成手法としては、スパッタリング、イオンプレーティング、真空蒸着、化学蒸着などの気相メッキ法や、液相メッキ（電解メッキ、無電解メッキ等）、印刷、塗布などが例示されるが、広義の気相メッキ（スパッタリング、イオンプレーティング、真空蒸着、化学蒸着）又は液相メッキが好適である。
【００７０】
この導電材料層２３の形成後、前記の通り、溶剤好ましくは水を用いてドット２２を除去し、必要に応じ乾燥して補助電極としてのメッシュ状導電体が形成される。
【００７１】
なお、形成されたメッシュ状導電体に更に湿式メッキを行って湿式メッキ層を形成することにより、より一層の低抵抗化を図ることも可能である。
【００７２】
このようにして、補助電極としてのメッシュ状導電体を、基材面に、溶剤に対して可溶な物質によってドットを形成する第１の工程と、次いで基材面に溶剤に対して不溶な導電材料よりなる導電材料層を形成する第２の工程と、その後、基材面を溶剤と接触させてドット及びドット上の導電材料層を除去する第３の工程とを経て形成することにより、光の透過率が高く、導電性の高いメッシュ状導電体を、低温にて容易かつ効率的に形成することができる。即ち、溶剤に対して可溶性の材料として、低粘性の材料によってドットを印刷、形成することができる。このため、ドット間の間隔を著しく小さくするように微細で精微な印刷を施すことができる。このドット同士の間の細い領域は、後に導電性材料が残存してメッシュ状導電体となる領域であるから、本発明によると、著しく細い導電性メッシュパターンを高精度にて形成することができる。この線幅を小さくすることにより、メッシュの開口率を大きくとることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の色素増感型太陽電池用電極の実施の形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の色素増感型太陽電池用電極の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図３】参考例に係る色素増感型太陽電池用電極を示す斜視図である。
【図４】参考例に係る色素増感型太陽電池用電極を示す斜視図である。
【図５】図５（ａ）は本発明の色素増感型太陽電池用電極の別の実施の形態を示す斜視図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面の拡大図である。
【図６】先願の色素増感型太陽電池用電極の実施の形態を示す斜視図である。
【図７】色素増感型太陽電池の一般的な構造を示す断面図である。
【図８】メッシュ状導電体の製造手順の一例を示す模式的な断面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  基板
２  透明導電膜
３  色素吸着半導体膜
４  色素増感型半導体電極
５  対向電極
６  電解質
７  スペーサ
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ  色素増感型太陽電池用電極
１１  基材フィルム
１２  補助電極
１２Ａ  保護膜付き補助電極
１３  透明導電膜
１４  バリア層
１５  保護膜
２１  基材フィルム（高分子フィルム）
２２  ドット
２３  導電材料層
２４  メッシュ状導電体パターン
【図１】
0004797324.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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