(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド部を有し、前記ヘッド部によって記録媒体に対して浮上した状態で記録および再生の少なくとも一方を行うヘッドスライダであって、
ベース面上の空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と、
前記ベース面上の前記第１の空気軸受部よりも空気流出端側に設けられ、前記ヘッド部を有し、前記第１の空気軸受部よりも面積の小さい第２の空気軸受部と、
前記第１の空気軸受部と前記ベース面との空気流入端側の段差部よりも空気流出端側の、前記ヘッドスライダの長手方向の中心軸の両側に設けられた一対の正圧発生部と、
前記第１の空気軸受部と前記一対の正圧発生部のうちの一方の正圧発生部との間、および、前記第１の空気軸受部と前記一対の正圧発生部のうちの他方の正圧発生部との間に、それぞれ設けられたサイドレール部と、
前記一対の正圧発生部の、前記ヘッドスライダの長手方向の中心軸の外側に、それぞれ設けられた外側サイドレール部とを備え、
前記外側サイドレール部の前記サイドレール部と対向する側が、前記第１の空気軸受部のもっとも外側の端部よりも、外側に配置されたことを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
前記ベース面と前記第１の空気軸受部との間に設けられた第１のステップ部と、
前記ベース面と前記第２の空気軸受部との間に設けられた第２のステップ部とをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記第１の空気軸受部、前記第２の空気軸受部および前記サイドレール部で囲まれた領域に負圧発生部を備えたことを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記第１の空気軸受部、前記第２の空気軸受部、前記サイドレール部、前記外側サイドレール部および前記一対の正圧発生部が前記ベース面から同じ高さに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記第１のステップ部および前記第２のステップ部が前記ベース面から同じ高さに形成されていることを特徴とする請求項２に記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
請求項１に記載のヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダに対し、前記ベース面の前記第１の空気軸受部および前記第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から、所定の付勢力を付与するサスペンションとを備えたことを特徴とするヘッド支持装置。
【請求項７】
前記サスペンションは、前記ヘッドスライダに対して前記所定の付勢力を付与するピボット部を有することを特徴とする請求項６に記載のヘッド支持装置。
【請求項８】
請求項６に記載のヘッド支持装置と、
ディスク状記録媒体と、
前記ディスク状記録媒体を回転駆動させる駆動部と、
前記ヘッド支持装置の前記サスペンションを前記ディスク状記録媒体の半径方向に回動させる回動部と、
前記駆動部の回転駆動および前記回動部の回動を制御する制御部とを備えたことを特徴とするディスク装置。
【請求項９】
前記ヘッド支持装置の前記サスペンションは、前記ヘッドスライダに対して前記所定の付勢力を付与するピボット部を有し、
前記ピボット部と前記ヘッドスライダとが接する位置をピボット位置としたとき、
前記ヘッドスライダの重心位置と前記ピボット位置とを前記ディスク状記録媒体面に対して投影した位置が一致することを特徴とする請求項８に記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、浮上型のヘッドスライダ、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置、および、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置を搭載した磁気ディスク装置等のディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、磁気ディスク装置等のディスク装置に用いられる浮上型のヘッドスライダに関する様々な技術が提案されてきた。
【０００３】
特に、近年、搭載される機器の小型化およびディスク状記録媒体の密度の向上にともなって、磁気ヘッドをディスク状記録媒体に近接させる必要があるので、浮上型のヘッドスライダに要求されるディスク状記録媒体からの浮上量は、約十数ｎｍと、かなり小さくなってきている。
【０００４】
このような低浮上量の磁気ディスク装置等においては、外部からの衝撃が加わったような場合に、ヘッドスライダがディスク状記録媒体に衝突し、ディスク状記録媒体を磁気的および機械的に傷つけ、記録再生が不可能になる可能性があるという課題があった。
【０００５】
これらの課題に鑑みて、耐衝撃性に優れた浮上型ヘッドスライダを実現するため、ディスク状記録媒体に対向すべき面（以下、空気潤滑面と記す）の形状についても様々な検討がなされてきた。
【０００６】
例えば、すでに出願人らは、ベース面上の空気流入端側および空気流出端側にそれぞれ空気軸受部を設け、これら二つの空気軸受部の記録媒体に対向すべき面の形状を適切に設計し、それぞれの空気軸受部の発生する圧力を制御することにより、衝撃を吸収し、ヘッドスライダと記録媒体との衝突を防ぐことのできるヘッドスライダを提案している。このようなヘッドスライダによれば、衝撃が付与された場合に、ヘッドスライダが正のピッチ角度を維持した状態でピッチ方向に回転して衝撃を吸収することで、ヘッドスライダと記録媒体との衝突を防ぐことができ、約１０００Ｇ（１Ｇ＝９．８ｍ／ｓ2）程度の高い耐衝撃性を有するヘッドスライダを提供することができた（例えば、特開２００２−２８８９５９号公報を参照）。
【０００７】
しかしながら、近年では、情報機器のモバイル化がさらに進んでおり、モバイル機器に搭載されるべき磁気ディスク装置にも、さらに高い耐衝撃性が求められている。一例としては、約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、情報の記録および再生の少なくとも一方の可能なディスク装置を実現することが要望されている。
【発明の開示】
【０００８】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、例えば約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、情報の記録および再生の少なくとも一方が可能なディスク装置、ならびに、このようなディスク装置を実現するためのヘッドスライダ、および、ヘッド支持装置を提供するものである。
【０００９】
本発明のヘッドスライダは、ヘッド部を有し、ヘッド部によって記録媒体に対して浮上した状態で記録および再生の少なくとも一方を行うヘッドスライダであって、ベース面上の空気流入端側に設けられた第１の空気軸受部と、ベース面上の第１の空気軸受部よりも空気流出端側に設けられ、ヘッド部を有し、第１の空気軸受部よりも面積の小さい第２の空気軸受部と、第１の空気軸受部とベース面との空気流入端側の段差部よりも空気流出端側の、ヘッドスライダの長手方向の中心軸の両側に設けられた一対の正圧発生部と、第１の空気軸受部と一対の正圧発生部のうちの一方の正圧発生部との間、および、第１の空気軸受部と一対の正圧発生部のうちの他方の正圧発生部との間に、それぞれ設けられたサイドレール部と、一対の正圧発生部の、ヘッドスライダの長手方向の中心軸の外側に、それぞれ設けられた外側サイドレール部とを備えたことを特徴としている。
【００１０】
このような構成によれば、衝撃が印加されたときに、一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力が、安定浮上時と比較して大きくなるので、ヘッドスライダはあたかも一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力によって支えられたような状態でピッチ方向に回転して、衝撃を吸収することができるので、より高い衝撃、例えば、約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、記録媒体との間で衝突の発生しない構成を実現できる。さらに、第１の空気軸受部と記録媒体の間で発生する圧力を、第２の空気軸受部と記録媒体との間で発生する圧力よりも高くすることができるので、記録媒体の記録面に対して正のピッチ角度を保った状態で浮上することのできるヘッドスライダを実現できる。さらに、サイドレール部および外側サイドレール部によって、空気流が制御されて、一対の正圧発生部において、より高い圧力を発生させることができる。
【００１１】
また、ベース面と第１の空気軸受部との間に設けられた第１のステップ部と、ベース面と第２の空気軸受部との間に設けられた第２のステップ部とをさらに備えた構成であってもよい。
【００１２】
このような構成によれば、さらに、ベース面と第１の空気軸受部との間、および、ベース面と第２の空気軸受部との間のそれぞれに大きな段差を設けることができるので、それぞれの境界部分において、より大きな圧力を発生させることができる。
【００１３】
また、第１の空気軸受部、第２の空気軸受部およびサイドレール部で囲まれた領域に負圧発生部を備えた構成であってもよい。
【００１４】
このような構成によれば、さらに、負圧発生部において、効率的に負圧を発生させることが可能となる。
【００１５】
また、第１の空気軸受部、第２の空気軸受部、サイドレール部、外側サイドレール部および一対の正圧発生部がベース面から同じ高さに形成されている構成であってもよい。
【００１６】
このような構成によれば、さらに、製造を行う際に、基材の表面を第１の空気軸受部、第２の空気軸受部、サイドレール部、外側サイドレール部および一対の正圧発生部を規定する面とすることができるので、製造性に優れた構成を実現できる。
【００１７】
また、第１のステップ部および第２のステップ部がベース面から同じ高さに形成されている構成であってもよい。
【００１８】
このような構成によれば、さらに、第１のステップ部および第２のステップ部を同じ工程で作成することが容易になるので、さらに、製造性に優れた構成を実現できる。
【００１９】
さらに、ヘッドスライダの空気流入端から一対の正圧発生部の空気流入端側の境界部までの長手方向の距離Ｄ１が、ヘッドスライダの長手方向の長さをＤＴとしたときに、
０．４７≦（Ｄ１／ＤＴ）≦０．６６
の関係を満たす構成であってもよい。
【００２０】
このような構成によれば、さらに、衝撃が加わったときの、最小隙間の変動を、ヘッドスライダが記録媒体から離間する方向にすることのできる構成を実現できる。
【００２１】
さらに、ヘッドスライダの空気流入端から第１の空気軸受部の段差部までの長手方向の距離Ｄ２が、ヘッドスライダの長手方向の長さをＤＴとしたときに、
０．１８≦（Ｄ２／ＤＴ）≦０．３５
の関係を満たす構成であってもよい。
【００２２】
このような構成によれば、さらに、衝撃が加わったときの、最小隙間の変動を、ヘッドスライダが記録媒体から離間する方向にすることのできる構成を実現できる。
【００２３】
次に、本発明のヘッド支持装置は、本発明のヘッドスライダと、ヘッドスライダに対し、ベース面の第１の空気軸受部および第２の空気軸受部が設けられた側と反対側から、所定の付勢力を付与するサスペンションとを備えたことを特徴としている。
【００２４】
このような構成によれば、衝撃が印加されたときに、一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力が、安定浮上時と比較して大きくなるので、ヘッドスライダはあたかも一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力によって支えられたような状態でピッチ方向に回転して、衝撃を吸収することができるので、より高い衝撃、例えば、約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、記録媒体との間で衝突の発生しない構成を実現できる。
【００２５】
また、サスペンションは、ヘッドスライダに対して所定の付勢力を付与するピボット部を有する構成であってもよい。
【００２６】
このような構成によれば、さらに、ヘッドスライダに対して、より効率的に所定の付勢力を付与することができる構成を実現できる。
【００２７】
次に、本発明のディスク装置は、本発明のヘッド支持装置と、ディスク状記録媒体と、ディスク状記録媒体を回転駆動させる駆動部と、ヘッド支持装置のサスペンションをディスク状記録媒体の半径方向に回動させる回動部と、駆動部の回転駆動および回動部の回動を制御する制御部とを備えたことを特徴としている。
【００２８】
このような構成によれば、衝撃が印加されたときに、一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力が、安定浮上時と比較して大きくなるので、ヘッドスライダはあたかも一対の正圧発生部と記録媒体との間で発生する圧力によって支えられたような状態でピッチ方向に回転して、衝撃を吸収することができるので、より高い衝撃、例えば、約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、記録媒体との間で衝突の発生しない構成を実現できる。
【００２９】
また、ヘッド支持装置のサスペンションは、ヘッドスライダに対して所定の付勢力を付与するピボット部を有し、ピボット部とヘッドスライダとが接する位置をピボット位置としたとき、ヘッドスライダの重心位置とピボット位置とをディスク状記録媒体面に対して投影した位置が一致する構成であってもよい。
【００３０】
このような構成によれば、さらに、衝撃が付与されたときに、慣性モーメントの発生の少ない、もっとも耐衝撃性に優れた構成を実現することができる。
【００３１】
以上述べたように、本発明によれば、例えば約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、情報の記録および再生の少なくとも一方が可能なディスク装置、ならびに、このようなディスク装置を実現するためのヘッドスライダ、および、ヘッド支持装置を提供できる。
【発明の効果】
【００３２】
以上述べたように、本発明によれば、例えば約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、情報の記録および再生の少なくとも一方が可能であるという効果を有するので、浮上型のヘッドスライダ、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置、および、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置を搭載したディスク装置等として有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００３４】
（第１の実施の形態）
まず、本発明の第１の実施の形態における、浮上型ヘッドスライダの構造について説明する。
【００３５】
図１は、本発明の第１の実施の形態における浮上型ヘッドスライダ１（以下、浮上型を省略して、単にヘッドスライダと記す）の空気潤滑面（以下、ＡＢＳ面とも記す）の形状を示した正面図である。また、図１に示したように、ヘッドスライダ１は、紙面に向かって左側から空気が流入する構成である。以下、図１における、ヘッドスライダ１の紙面に向かって左側を空気流入端側、紙面に向かって右側を空気流出端側と記す。また、図１に示したように、ヘッドスライダ１は、ディスク装置１０１（図示せず）に搭載されたときに、紙面に向かって上方向が記録媒体３０（図示せず）の外周側に向いており、紙面に向かって下側が記録媒体３０の内周側に向くように配置されるものとする。以下、図１におけるヘッドスライダ１の紙面に向かって上側を外周側、下側を内周側と記す。さらに、図２Ａはヘッドスライダ１の背面図であり、図２Ｂはヘッドスライダ１の左側面図であり、図２Ｃはヘッドスライダ１の右側面図であり、図２Ｄはヘッドスライダ１の平面図であり、図２Ｅはヘッドスライダ１の底面図である。
【００３６】
図１に示したように、ヘッドスライダ１は、そのベース面６上に、空気流入端側から順に、第１のステップ部７、第１のステップ部７上に、第１の空気軸受部２、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５、さらに、第２のステップ部８、ならびに、第２のステップ部８上に第２の空気軸受部３を備えた構成である。ここで、空気軸受部とは、ヘッドスライダ１がディスク装置１０１に装着されたときに、対向する記録媒体３０との間の空間に正圧を発生する部分のことをいう。また、第１の空気軸受部２と第２の空気軸受部３との間のベース面６の領域は、負圧が発生する負圧発生部１２である。
【００３７】
ヘッドスライダ１は、いわゆるＦＥＭＴＯスライダであり、その寸法は、図１において、長手方向（空気流入方向）長さ×短手方向（空気流入方向に垂直な方向）長さ＝０．８５ｍｍ×０．７０ｍｍである。また、ヘッドスライダ１においては、第１の空気軸受部２、第１の正圧発生部４、第２の正圧発生部５および第２の空気軸受部３がそれぞれベース面６から同じ高さにある。また、ヘッドスライダ１においては、第１の空気軸受部２と第１の正圧発生部４の内側、および、第１の空気軸受部２と第２の正圧発生部５の内側が、それぞれサイドレール部１３によって接続されている。サイドレール部１３のベース面６からの高さも、第１の空気軸受部２、第１の正圧発生部４、第２の正圧発生部５および第２の空気軸受部３と同じ高さである。
【００３８】
また、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１は、第１のステップ部７および第２のステップ部８がそれぞれベース面６から同じ高さに設けられている。
【００３９】
なお、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１は、ベース面６から第１のステップ部７および第２のステップ部８までの高さが７５０ｎｍであり、第１のステップ部７および第２のステップ部８から、第１の空気軸受部２、第２の空気軸受部３およびサイドレール部１３までの高さは７０ｎｍである。また、ヘッドスライダ１の作成は、例えばエッチング法により行うことができる。
【００４０】
本実施の形態においては、ヘッドスライダ１の第１のステップ部７と第１の空気軸受部２との空気流入端側の境界部分（空気流入端から０．１６ｍｍの位置）を段差部１１と記し、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５のコの字状の領域における、第１のステップ部７との境界領域（空気流入端から０．５６ｍｍの位置）を、それぞれ第１の境界部９および第２の境界部１０と記す。第１の境界部９および第２の境界部１０の、ヘッドスライダ１における長手方向の位置は、互いに略一致させるものとする。第１の境界部９および第２の境界部１０のヘッドスライダ１における長手方向の位置を一致させることで、浮上時のバランス性に優れた構成を実現することができる。
【００４１】
また、ヘッドスライダ１は、その第２の空気軸受部３のもっとも空気流出端側にヘッド部２５を有する。また、第２の空気軸受部３は、ヘッドスライダ１の長手方向の中心軸に対して非対称な形状であるが、この形状は、ディスク装置１０１に搭載された場合の、記録媒体３０の内周側における空気流入速度と外周側における空気流入速度との違いに応じて、浮上量が変動することを抑制するために設計されている。
【００４２】
また、ヘッドスライダ１の第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５の外側には、それぞれ外側サイドレール部１４が設けられている。本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１は、外側サイドレール部１４、第１の境界部９、第２の境界部１０およびサイドレール部１３に囲まれた領域で空気流を圧縮することにより、第１の境界部９、第２の境界部１０において、より効果的に正圧を発生させることができる。
【００４３】
また、ヘッドスライダ１の長手方向のクラウン量は１３ｎｍである。クラウン量が大きいほど、後述するピッチ角度の変動を大きくすることができる。また、ヘッドスライダ１の短手方向のキャンバ量は０ｎｍである。
【００４４】
次に、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１が、ディスク装置１０１に搭載されたときの挙動について説明する。図３Ａおよび図３Ｂは、ヘッドスライダ１の浮上時の挙動を示す図であり、図３Ａは、通常の安定浮上時の挙動を示す図であり、図３Ｂは、外部から衝撃が加わったときの挙動を示す図である。図３Ａおよび図３Ｂともに、紙面に向かって左側から空気が流入しているものとする。
【００４５】
まず、図３Ａに示したように、ヘッドスライダ１は、その記録媒体３０の回転時には、ヘッド支持装置１０７（図示せず）から記録媒体３０に接近する方向に慣性作用点２０（本実施の形態においては、ヘッドスライダ１の空気潤滑面の裏側の中心点）に対して付与される荷重による押圧力と、ヘッドスライダ１と記録媒体３０との間に空気流が流入することによる、ヘッドスライダ１を記録媒体３０から離反させる方向に作用する浮上力とが釣り合った状態で、ヘッドスライダ１は記録媒体３０から安定に浮上することができる。ヘッドスライダ１は、図１に示したように、第１の空気軸受部２の面積が、第２の空気軸受部３の面積よりも大きく、これにより、第１の空気軸受部２において発生する圧力が、第２の空気軸受部３において発生する圧力よりも大きくなる。この圧力の差によって、ヘッドスライダ１は、記録媒体３０の表面に対して、正のピッチ角度θａを保った状態で安定に浮上することができる。
【００４６】
また、ヘッドスライダ１においては、ヘッド部２５は第２の空気軸受部３の空気流出端側に設けられている。第２の空気軸受部３が発生する圧力領域（以下、正圧領域と記す）２１によって、ヘッドスライダ１は支えられ、ヘッド部２５は、記録媒体３０から浮上量ＦＨａ（図３Ａ参照）を保った状態で、記録媒体３０に衝突することなく浮上することができる。
【００４７】
次に、図３Ｂに示したように、ヘッドスライダ１に対して、ディスク装置１０１の落下等に伴い、慣性作用点２０に対して外部からの衝撃力が印加された場合には、ヘッドスライダ１は、図面中、反時計回りに回転するように移動して、記録媒体３０の記録面に対して、安定浮上時のピッチ角度θａよりも小さなピッチ角度θｂを維持した状態で浮上を続ける。本発明の第１の実施の形態においては、第１の空気軸受部２と第１のステップ部７との境界領域の段差部１１の位置が、空気流入端側よりもある程度内側に入った（離間した）構成となっているので、ヘッドスライダ１が衝撃を受けた場合に、ピッチ方向に回転しやすい構成となっている。
【００４８】
ヘッドスライダ１においては、図３Ｂに示したように、外部から衝撃力が印加されたような場合には、第１の正圧発生部４の第１の境界部９および第２の正圧発生部５の第２の境界部１０が発生する正圧領域２２の圧力が通常時よりも高くなることによって、ヘッドスライダ１があたかも正圧領域２２の空気軸受によって支えられるように、ヘッドスライダ１は記録媒体３０に衝突することなく浮上量ＦＨｂを保った状態で浮上することができる。
【００４９】
ここで、ヘッドスライダ１が記録媒体３０との間で発生する圧力分布について、さらに詳細に説明する。図４Ａおよび図４Ｂは、ヘッドスライダ１と記録媒体３０との間で発生する圧力分布を示す図であり、図４Ａは、通常浮上時の圧力分布を示す図であり、図４Ｂは、衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図である。図４Ａおよび図４Ｂにおいては、ヘッドスライダ１のＡＢＳ面と記録媒体３０との間で発生する圧力分布が、三次元のグラフで示されており、紙面に向かって上側は相対圧力値が正であること（大気圧よりも高い）を示し、下側は相対圧力値が負であること（大気圧よりも低い）を示す。なお、圧力分布の計算は、例えば、カリフォルニア大学バークレー校（Ｕ．Ｃ．Ｂｅｒｋｅｌｅｙ校）が開発した設計プログラム（ＣＭＬＡｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｄｅｓｉｇｎ  Ｐｒｏｇｒａｍ）を用いて行うことができる。シミュレーションの条件としては、荷重：通常時：１．５ｇｆ、衝撃印加時：１０ｇｆ（約５３００Ｇの衝撃力に相当する）、半径：９ｍｍ、回転数：３６００ｒ／ｍ、スキュー角：６．４４°、目標浮上量：１０ｎｍとして演算を行った。なお、ここで、衝撃印加時の衝撃力Ｇは、ヘッドスライダ１の質量が１．６ｍｇであるとすると、
Ｇ＝（（１０−１．５）／（１．６×０．００１））＝５３１２．５（Ｇ）
となることより算出した。５３００Ｇの衝撃力とは、前述したように、約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置１０１と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合に、ディスク装置１０１が受ける衝撃に相当する。この衝撃力に対してヘッドスライダ１が記録媒体３０に接触せず、浮上するということは、すなわち、５３００Ｇの耐衝撃性を有するものと考えられる。
【００５０】
図４Ａに示したように、ヘッドスライダ１の安定浮上時には、ヘッドスライダ１と記録媒体３０との間に、四つの正圧領域２１，２２（二つ），４１が発生することがわかる。これら四つの正圧領域２１，２２，４１は、それぞれ、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間、ならびに、第１の空気軸受部２と記録媒体３０との間で、空気流が圧縮された結果発生するものである。図４Ａに示したように、ヘッドスライダ１の安定浮上時には、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値（一例として、正圧領域を形成する山部の最大値）が、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２２それぞれの圧力値、ならびに、第１の空気軸受部２と記録媒体３０との間で発生する正圧領域４１の圧力値よりも高い。このように、ヘッドスライダ１は、通常の安定浮上時には、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する圧力がもっとも高い状態で浮上していることがわかる。これにより、ヘッドスライダ１は、通常時には、正圧領域２１の空気軸受によって支えられ、記録媒体３０と接触することなく浮上する。
【００５１】
一方、ヘッドスライダ１が、外部からの衝撃を受けた場合には、図４Ｂに示すように、正圧領域２１の圧力値よりも、正圧領域２２の圧力値、すなわち、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧の圧力値が大きくなっている。そして、衝撃が印加されたときの、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値は、図４Ａに示した通常浮上時の正圧領域２１の圧力値よりも小さくなっていることがわかる。これは、図３Ａおよび図３Ｂに示したように、ヘッドスライダ１は、衝撃が印加された場合に、ピッチ角度が減少する方向にピッチ方向に回転して衝撃を吸収する。これにより、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間の距離が若干広がって、このために、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値が小さくなったものと考えられる。また、ヘッドスライダ１は、衝撃が加わったときに、あたかも圧力値の大きくなった正圧領域２２の空気軸受に支えられながら、ピッチ方向に回転するような挙動を示すので、衝撃が印加された場合にも記録媒体３０に衝突しにくい。
【００５２】
以上述べたように、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１は、通常浮上時に、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値が、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間でそれぞれ発生する正圧領域２２の圧力値よりも高くなる。一方で、ヘッドスライダ１に衝撃が印加された場合には、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値よりも、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間でそれぞれ発生する正圧領域２２の圧力値が高くなり、ヘッドスライダ１はあたかも正圧領域２２の空気軸受に支えられながらピッチ方向に回転するようにして衝撃力を吸収することができる。なお、演算によれば、約５３００Ｇという衝撃が加わっても、ヘッドスライダ１が記録媒体３０と接触することがなく、高い耐衝撃性を実現することができる。
【００５３】
次に、このような高い耐衝撃性を実現することのできるヘッドスライダ１の条件について説明する。まず、ヘッドスライダ１の第１の正圧発生部４の第１の境界部９、および、第２の正圧発生部５の第２の境界部１０の、ヘッドスライダ１における長手方向の位置がヘッドスライダ１の耐衝撃性に影響を与える。
【００５４】
図５は、ヘッドスライダ１の第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置と、衝撃を印加された場合の最小隙間およびピッチ角度の変動量との関係を示す図である。なお、ピッチ角度の単位はμｒａｄで示し、最小隙間の変動量の単位はｎｍで示す。最小隙間の変動量が正の値であることは、ヘッドスライダ１と記録媒体３０との最小隙間が減少する方向（ヘッドスライダ１が記録媒体３０に接近する方向）であることを示し、最小隙間の変動量が負の値であることは、ヘッドスライダ１と記録媒体３０との最小隙間が増加する方向（ヘッドスライダ１が記録媒体から離間する方向）であることを示している。よって、最小隙間の値が変動しない、または、最小隙間の変動量が負の値となることが望ましい。
【００５５】
図５に示したように、ヘッドスライダ１において、空気流入端側からの、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置を移動させることによって、最小隙間の変動量の値も変化することがわかる。図５に示したように、ヘッドスライダ１（長手方向の長さが０．８５ｍｍ）においては、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が空気流入端から約０．４８ｍｍのときに、最小隙間の変動が最小値（−０．７５ｎｍ）となり、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、空気流入端から０．４ｍｍ以上０．５６ｍｍ以下であるときに、最小隙間の変動量が負の値、すなわち、ヘッドスライダ１が記録媒体３０から離間する方向に最小隙間が変動するので、よりヘッドスライダ１と記録媒体３０との接触の可能性を低くすることができる。また、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、空気流入端から０．４ｍｍのとき、および、０．５６ｍｍのときに、最小隙間の変動量が「０」となるので、もっとも耐衝撃性に優れたヘッドスライダ１を得ることが可能であるといえる。
【００５６】
図６Ａ〜図６Ｆに、ヘッドスライダ１において、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、前述の条件を満たすときの圧力分布を確認のために示す。図６Ａは、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、空気流入端から０．４ｍｍのときの、ヘッドスライダ５１のＡＢＳ面の構成を示す図であり、図６Ｂは、そのヘッドスライダ５１の通常浮上時の圧力分布を示す図であり、図６Ｃは、そのヘッドスライダ５１に衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図である。また、図６Ｄは、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、空気流入端から０．５６ｍｍのときの、ヘッドスライダ５２のＡＢＳ面の構成を示す図であり、図６Ｅは、そのヘッドスライダ５２の通常浮上時の圧力分布を示す図であり、図６Ｆは、そのヘッドスライダ５２に衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図である。
【００５７】
まず、図６Ｂおよび図６Ｅに示したように、第１の境界部９および第２の境界部１０の、空気流入端からの長手方向の位置が０．４０ｍｍである場合、および、０．５６ｍｍである場合ともに、通常浮上時には、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値が、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２２の圧力値よりも高くなっており、ヘッドスライダ５１，５２はそれぞれ、通常浮上時には、第２の空気軸受部３に搭載されたヘッド部２５と記録媒体３０との接触を防止しながら、安定して浮上することができる。
【００５８】
また、図６Ｃおよび図６Ｆに示したように、第１の境界部９および第２の境界部１０の、空気流入端からの長手方向の位置が０．４０ｍｍである場合、および、０．５６ｍｍである場合ともに、衝撃が印加されたときには、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値よりも、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２２の圧力値が大きくなっている。ヘッドスライダ５１，５２はそれぞれ、衝撃が印加されたときには、正圧領域２２に発生した空気軸受によって、あたかも支持されながらピッチ方向に回転するようにして、衝撃を吸収することができる。よって、上述したように、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、０．４０ｍｍから０．５６ｍｍまでに位置するヘッドスライダ１，５１，５２は、それぞれ耐衝撃性に優れた構成であるといえる。また、この範囲においては、図５に示したように、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が空気流出端側から離間するほど、ヘッドスライダ１，５１，５２のピッチ角度の変動量が大きくなっていることがわかる。
【００５９】
次に、ヘッドスライダ１の、第１のステップ部７と第１の空気軸受部２との間の段差部１１の位置も、ヘッドスライダ１の耐衝撃性に影響を与える。図７は、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１の段差部１１の空気流入端からの位置と、ピッチ角度の変動量および最小隙間の変動量との関係を示す図である。図７に示した例においては、前述の第１の境界部９および第２の境界部１０の空気流入端からの位置を０．５６ｍｍに固定して演算を行っている。
【００６０】
図７に示したように、本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダ１においては、その段差部１１の位置と最小隙間の変動値との間に相関があることがわかる。ヘッドスライダ１の長手方向における段差部１１の位置が空気流入端から約０．２６ｍｍにある場合に、最小隙間の変動量がもっとも小さい−０．７５ｎｍとなり、段差部１１の位置が空気流入端から０．１５ｍｍから０．３０ｍｍまでの範囲で、最小隙間の変動量が負の値、すなわち、ヘッドスライダ１が記録媒体３０から離間する方向に最小隙間が変動するので、より耐衝撃性に優れた構成を実現することができる。
【００６１】
図８Ａ〜図８Ｆに、ヘッドスライダ１において、段差部１１の長手方向の位置が、前述の条件を満たすときの圧力分布を確認のために示す。図８Ａは、段差部１１の長手方向の位置が空気流入端から０．１５ｍｍのときのヘッドスライダ６１のＡＢＳ面の構成を示す図であり、図８Ｂは、そのヘッドスライダ６１の通常浮上時の圧力分布を示す図であり、図８Ｃは、そのヘッドスライダ６１に衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図である。また、図８Ｄは、段差部１１の長手方向の位置が空気流入端から０．３０ｍｍのときのヘッドスライダ６２のＡＢＳ面の構成を示す図であり、図８Ｅは、そのヘッドスライダ６２の通常浮上時の圧力分布を示す図であり、図８Ｆは、そのヘッドスライダ６２に衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図である。
【００６２】
まず、図８Ｂおよび図８Ｅに示したように、段差部１１の空気流入端からの長手方向の位置が０．１５ｍｍである場合、および、０．３０ｍｍである場合ともに、通常浮上時には、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値が、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２２の圧力値よりも大きくなっており、ヘッドスライダ６１，６２はそれぞれ、通常浮上時には、第２の空気軸受部３に搭載されたヘッド部２５と記録媒体３０との接触を防止しながら、安定して浮上することができる。
【００６３】
また、図８Ｃおよび図８Ｆに示したように、衝撃が印加されたときには、段差部１１の、空気流入端からの長手方向の位置が０．１５ｍｍである場合、および、０．３０ｍｍである場合ともに、第２の空気軸受部３と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２１の圧力値よりも、第１の正圧発生部４と記録媒体３０との間、および、第２の正圧発生部５と記録媒体３０との間で発生する正圧領域２２の圧力値が大きくなっており、ヘッドスライダ６１，６２はそれぞれ、衝撃が印加されたときには、正圧領域２２に発生した空気軸受によって、あたかも支持されたような状態でピッチ方向に回転して、衝撃を吸収することができるので、ヘッドスライダ１は記録媒体３０と接触しない。よって、上述したように、第１の境界部９および第２の境界部１０の長手方向の位置が、０．１５ｍｍから０．３０ｍｍまでに位置するヘッドスライダ１，６１，６２は、それぞれ耐衝撃性に優れた構成であるといえる。また、この範囲においては、図７に示したように、段差部１１の長手方向の位置が空気流出端側から離間するほど、ヘッドスライダ１，６１，６２のピッチ角度の変動量が大きくなっていることがわかる。
【００６４】
以上述べたように、ヘッドスライダ１においては、第１の境界部９および第２の境界部１０の空気流入端からの距離Ｄ１を、
０．４０ｍｍ≦Ｄ１≦０．５６ｍｍ    （１）
とし、かつ、段差部１１の空気流入端からの距離Ｄ２を、
０．１５ｍｍ≦Ｄ２≦０．３０ｍｍ    （２）
とすることによって、もっとも耐衝撃性に優れたヘッドスライダ１を実現することができる。
【００６５】
なお、前述したように、ヘッドスライダ１はＦＥＭＴＯスライダであり、その長手方向の長さは、０．８５ｍｍであることから、（１）式および（２）式をヘッドスライダ１の長さで正規化すると、ヘッドスライダ１の長手方向の長さをＤＴとした場合に、
（０．４０／０．８５）≦（Ｄ１／ＤＴ）≦（０．５６／０．８５）  （３）
（０．１５／０．８５）≦（Ｄ２／ＤＴ）≦（０．３０／０．８５）  （４）
が得られる。これらを計算すると、
０．４７≦（Ｄ１／ＤＴ）≦０．６６    （５）
０．１８≦（Ｄ２／ＤＴ）≦０．３５    （６）
となり、（５）式および（６）式の関係を満たすヘッドスライダ１は、耐衝撃性に優れたヘッドスライダであるということができる。
【００６６】
なお、本発明の第１の実施の形態においては、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５がそれぞれ、ヘッドスライダ１の長手方向の中心軸に対して外側に、外側サイドレール部１４を有する例を用いて説明を行ったが、本発明はこの例に限定されるものではない。例えば、図９に示したヘッドスライダ８５のように、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５が、外側サイドレール部１４を有しない構成であっても、前述のヘッドスライダ１と同様に、衝撃が加わった場合には、第１の正圧発生部４および第２の正圧発生部５から高い圧力が発生し、空気軸受を形成するので、耐衝撃性に優れた構成を実現できる。
【００６７】
なお、本発明の第１の実施の形態においては、磁気ディスク装置用のヘッドスライダについての説明を行ったが、本発明のヘッドスライダはその用途を磁気ディスク装置用に限定されず、例えば、光磁気ディスク装置や光ディスク装置等に用いる浮上型ヘッドスライダをも含む。
【００６８】
また、本発明の第１の実施の形態においては、所定の条件におけるシミュレーション結果にもとづいて説明したが、本発明の浮上型ヘッドスライダは、そのシミュレーションの際の回転数、荷重、ヘッドスライダの大きさ等に限定されるものではない。
【００６９】
例えば、本発明のヘッドスライダは、実用的に磁気ディスク装置に用いられる回転数においては、良好な耐衝撃性を示すものである。さらに、本発明の浮上型ヘッドスライダは、小型磁気ディスク装置において一般的に用いられる、２０００〜５０００ｒｐｍ程度の比較的低い回転数においても、上述したような良好な耐衝撃性を示すことが可能である。
【００７０】
また、本発明の第１の実施の形態においては、長手方向（空気流入方向）長さ×短手方向（空気流入方向に垂直方向）長さ＝０．８５ｍｍ×０．７０ｍｍの大きさ（いわゆる２０％スライダまたはＦＥＭＴＯスライダ）を用いて説明を行ったが、本発明のヘッドスライダはその大きさに限定されない。一例として、いわゆる３０％スライダまたはＰＩＣＯスライダと呼ばれるヘッドスライダを用いても同様の効果を得ることが可能である。
【００７１】
さらに、本発明のヘッドスライダは、上述した使用時の荷重に限定されるものではない。一例としては、前述のＰＩＣＯスライダまたはＦＥＭＴＯスライダを用いた場合、０．５ｇから２．５ｇまでの荷重において使用することが可能である。
【００７２】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態におけるヘッド支持装置１０７およびディスク装置１０１について、図面を用いて詳細に説明する。
【００７３】
図１０は、ディスク装置１０１の要部斜視図である。ここでは、ディスク装置１０１の例として、磁気ディスク装置を用いて示す。また、図１１は、ヘッド支持装置１０７の要部斜視図である。
【００７４】
図１０に示すディスク装置１０１において、記録媒体（ディスク状記録媒体）３０は主軸１０３に回転自在に支持され、駆動部１０４により回転駆動される。この駆動部１０４としては、例えばスピンドルモータを用いることができる。
【００７５】
記録媒体３０に対して記録再生を行うヘッド部２５（図示せず）を備えたヘッドスライダ１が、サスペンションに取り付けられてヘッド支持装置１０７が構成され、このヘッド支持装置１０７はアクチュエータアーム１０８に固定され、さらに、アクチュエータアーム１０８は回動部１１０によって回動自在なアクチュエータ軸１０９に取り付けられている。駆動部１０４の回転駆動および回動部１１０の回動は制御部（図示せず）によって制御されている。
【００７６】
なお、本発明の第２の実施の形態におけるヘッドスライダ１は、本発明の第１の実施の形態で説明した、図１に示したようなＡＢＳ面を有する構成であり、前述の（５）式および（６）式を満たすものとする。
【００７７】
回動部１１０としては、例えばボイスコイルモータを用いることができ、アクチュエータアーム１０８を回動させて、ヘッドスライダ１を記録媒体３０面上の任意のトラック位置に移動させる。筐体１１１は、これらの構成要素を所定の位置関係に保って保持している。
【００７８】
図１１は、サスペンション１０６とヘッドスライダ１とを有するヘッド支持装置１０７の要部斜視図である。ヘッドスライダ１は、スライダ保持部１１２の先端側の一端に設けられた舌状部１１３に固定されている。また、スライダ保持部１１２の他端はビーム１１４に固着されている。
【００７９】
スライダ保持部１１２としては、例えばジンバルスプリングが用いられ、ヘッドスライダ１のピッチ動作およびロール動作を許容する。ヘッドスライダ１のスライダ保持部１１２への固定は、例えば接着剤による接着で行われ、スライダ保持部１１２のビーム１１４への固着は、例えば溶着により行うことができる。ビーム１１４の先端部にはヘッドスライダ１に対して荷重を付勢するピボット部１１５があり、このピボット部１１５を介してヘッドスライダ１に所定の荷重が付勢される。このピボット部１１５がヘッドスライダ１と当接する点、すなわちピボット位置が、第１の実施の形態で述べたような、慣性作用点２０、つまり、ヘッドスライダ１に外乱等による衝撃等の慣性力が印加された場合に、その慣性力が作用する作用点となる。
【００８０】
このとき、ヘッドスライダ１の重心位置とピボット位置とを記録媒体３０面に対して投影した位置が一致するようにヘッド支持装置１０７を構成することにより、慣性モーメントの発生を抑制することができるので、もっとも耐衝撃性に優れたヘッド支持装置１０７を得ることが可能である。
【００８１】
このようなヘッド支持装置１０７を用いて、回転する記録媒体３０上で記録再生を行う場合、ヘッドスライダ１にはピボット部１１５から加わる荷重、ならびにヘッドスライダ１の空気潤滑面の設計により、空気流によりヘッドスライダ１を記録媒体３０から浮上させる方向に作用する正圧力、および、記録媒体３０に接近させる方向に作用する負圧力の三つの力が作用し、これらの力の釣り合いによりヘッドスライダ１は安定に浮上し、この浮上量を一定に保った状態で回動部１１０を駆動してヘッドスライダ１を所望のトラック位置に位置決めしながら記録媒体３０に対してヘッド部２５による記録および再生の少なくとも一方を行うことが可能である。
【００８２】
このような構成の、ヘッドスライダ１を搭載したヘッド支持装置１０７およびディスク装置１０１を用いることにより、耐衝撃性に優れたヘッド支持装置およびディスク装置を得ることができる。
【００８３】
なお、本発明は、例として示した磁気ディスク装置に何ら限定されるものではなく、光磁気ディスク装置や、光ディスク装置等の浮上型のヘッドスライダを用いたディスク装置に適用可能である。
【００８４】
また、本発明は、ディスク形状の媒体を用いたディスク装置に限定されるものではなく、他のいかなる形状の媒体を用いた記録再生装置にも適用可能である。
【００８５】
以上述べたように、本発明のヘッドスライダを用いれば、約５３００Ｇという大きな加速度の慣性力がヘッドスライダに印加された場合においても、ヘッドスライダが、ディスク状記録媒体に衝突せず、ディスク状記録媒体上を安定して浮上することのできる浮上型のヘッドスライダを実現できる。
【００８６】
また、本発明のヘッドスライダを用いてヘッド支持装置およびディスク装置を構成することにより、ヘッドスライダがディスク上を浮上しているときに大きな外部からの衝撃による慣性力が作用しても、ヘッドスライダの記録媒体表面への衝突を防止できる、耐衝撃性の高いヘッド支持装置ならびにディスク装置を提供することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
以上述べたように、本発明によれば、例えば約１．５ｍの高さ（人が立った状態の手の高さを想定している）からコンクリートの床に対して直接、ディスク装置と情報機器との間に緩衝材のない状態で落下させた場合にも、情報の記録および再生の少なくとも一方が可能であるという効果を有するので、浮上型のヘッドスライダ、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置、および、浮上型のヘッドスライダを用いたヘッド支持装置を搭載したディスク装置等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの空気潤滑面の形状を示した正面図
【図２Ａ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの背面図
【図２Ｂ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの左側面図
【図２Ｃ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの右側面図
【図２Ｄ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの平面図
【図２Ｅ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの底面図
【図３Ａ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの通常の安定浮上時の挙動を示す図
【図３Ｂ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの外部から衝撃が加わったときの挙動を示す図
【図４Ａ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダがと記録媒体との間で発生する圧力分布を示す図
【図４Ｂ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダがと記録媒体との間で発生する圧力分布を示す図
【図５】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの第１の境界部および第２の境界部の長手方向の位置と、衝撃を印加された場合の最小隙間およびピッチ角度の変動量との関係を示す図
【図６Ａ】本発明の第１の実施の形態における、第１の境界部および第２の境界部の長手方向の位置が空気流入端から０．４ｍｍのときの、ヘッドスライダのＡＢＳ面の構成を示す図
【図６Ｂ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの通常浮上時の圧力分布を示す図
【図６Ｃ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダに衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図
【図６Ｄ】本発明の第１の実施の形態における、第１の境界部および第２の境界部の長手方向の位置が、空気流入端から０．５６ｍｍのときの、ヘッドスライダのＡＢＳ面の構成を示す図
【図６Ｅ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの通常浮上時の圧力分布を示す図
【図６Ｆ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダに衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図
【図７】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの段差部の空気流入端からの位置と、ピッチ角度の変動量および最小隙間の変動量との関係を示す図
【図８Ａ】本発明の第１の実施の形態における、段差部の長手方向の位置が空気流入端から０．１５ｍｍのときの、ヘッドスライダのＡＢＳ面の構成を示す図
【図８Ｂ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダの通常浮上時の圧力分布を示す図
【図８Ｃ】本発明の第１の実施の形態におけるヘッドスライダに衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図
【図８Ｄ】本発明の第１の実施の形態において、段差部の長手方向の位置が空気流入端から０．３０ｍｍのときの、ヘッドスライダのＡＢＳ面の構成を示す図
【図８Ｅ】本発明の第１の実施の形態のヘッドスライダの通常浮上時の圧力分布を示す図
【図８Ｆ】本発明の第１の実施の形態のヘッドスライダに衝撃が印加されたときの圧力分布を示す図
【図９】本発明の第１の実施の形態における第１の正圧発生部および第２の正圧発生部が、外側サイドレール部を有しないヘッドスライダの構成を示す図
【図１０】本発明の第２の実施の形態におけるディスク装置の要部斜視図
【図１１】本発明の第２の実施の形態におけるヘッド支持装置の要部斜視図
【符号の説明】
【００８９】
１，５１，５２，６１，６２，８５    ヘッドスライダ
２    第１の空気軸受部
３    第２の空気軸受部
４    第１の正圧発生部
５    第２の正圧発生部
６    ベース面
７    第１のステップ部
８    第２のステップ部
９    第１の境界部
１０    第２の境界部
１１    段差部
１２    負圧発生部
１３    サイドレール部
１４    外側サイドレール部
２０    慣性作用点
２１，２２，４１    正圧領域
２５    ヘッド部
３０    記録媒体
１０１    ディスク装置
１０３    主軸
１０４    駆動部
１０６    サスペンション
１０７    ヘッド支持装置
１０８    アクチュエータアーム
１０９    アクチュエータ軸
１１０    回動部
１１１    筐体
１１２    スライダ保持部
１１３    舌状部
１１４    ビーム
１１５    ピボット部
【図１】
0004797987.tif 000002
【図２Ａ】
0004797987.tif 000003
【図２Ｂ】
0004797987.tif 000004
【図２Ｃ】
0004797987.tif 000005
【図２Ｄ】
0004797987.tif 000006
【図２Ｅ】
0004797987.tif 000007
【図３Ａ】
0004797987.tif 000008
【図３Ｂ】
0004797987.tif 000009
【図４Ａ】
0004797987.tif 000010
【図４Ｂ】
0004797987.tif 000011
【図５】
0004797987.tif 000012
【図６Ａ】
0004797987.tif 000013
【図６Ｂ】
0004797987.tif 000014
【図６Ｃ】
0004797987.tif 000015
【図６Ｄ】
0004797987.tif 000016
【図６Ｅ】
0004797987.tif 000017
【図６Ｆ】
0004797987.tif 000018
【図７】
0004797987.tif 000019
【図８Ａ】
0004797987.tif 000020
【図８Ｂ】
0004797987.tif 000021
【図８Ｃ】
0004797987.tif 000022
【図８Ｄ】
0004797987.tif 000023
【図８Ｅ】
0004797987.tif 000024
【図８Ｆ】
0004797987.tif 000025
【図９】
0004797987.tif 000026
【図１０】
0004797987.tif 000027
【図１１】
0004797987.tif 000028