(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入路と流出路とを備えたボディと、ボディ内に着脱可能に設けられて流入路と流出路の途中に位置するシートと、ボディ内のシートの外周に設けられてシートを保持する為のシートホルダと、シートとシートホルダの上方に設けられて中央部がシートに当離座可能なダイヤフラムと、ダイヤフラムの上方に設けられてダイヤフラムをシートに当離座させる駆動手段と、ボディに形成されてシートの内周に位置してシートホルダとの間でシートを保持する隆起部と、から構成し、ボディは、シートが収容されるシート収容部と、シートホルダが収容されてシート収容部より深いシートホルダ収容部とを備え、シートホルダは、シートに外嵌されると共に、外周面と内周面の下半と底面との三面がボディに内嵌されてボディのシートホルダ収容部に収容される事を特徴とするダイヤフラム弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置等に用いられるダイヤフラム弁の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のダイヤフラム弁としては、例えば特開平６−３４１５６０号や特開平６−１９３７４７号等に記載されたものと、特開平６−９４１４２号等に記載されたものとが知られている。
【０００３】
前者は、シートとシートホルダとが一体のものであり、ダイヤフラムの当座時の推力に依ってシートが変形する惧れがないものの、シートが損傷すれば、シートとシートホルダとの全体を交換せねばならず、コストが高く付く難点があった。
【０００４】
他方、後者は、シートとシートホルダとが別体のものであり、シートが損傷すれば、これだけを交換すれば良いので、コストが高く付かないものの、シートがシートホルダのみで保持されていたので、ダイヤフラムの当座時の推力に依ってシートが変形する惧れがあり、ボディとシートとの間から流体が漏れる可能性があった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この様に、従来のものは、何れも、一長一短があり、改善が望まれていた。
本発明は、叙上の問題点に鑑み、これを解消する為に創案されたもので、その課題とする処は、コストの低減を図る事ができると共に、シートが変形する惧れがなく、ボディとシートとの間から流体が漏れない様にしたダイヤフラム弁を提供するにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のダイヤフラム弁は、流入路と流出路とを備えたボディと、ボディ内に着脱可能に設けられて流入路と流出路の途中に位置するシートと、ボディ内のシートの外周に設けられてシートを保持する為のシートホルダと、シートとシートホルダの上方に設けられて中央部がシートに当離座可能なダイヤフラムと、ダイヤフラムの上方に設けられてダイヤフラムをシートに当離座させる駆動手段と、ボディに形成されてシートの内周に位置してシートホルダとの間でシートを保持する隆起部と、から構成し、ボディは、シートが収容されるシート収容部と、シートホルダが収容されてシート収容部より深いシートホルダ収容部とを備え、シートホルダは、シートに外嵌されると共に、外周面と内周面の下半と底面との三面がボディに内嵌されてボディのシートホルダ収容部に収容される事に特徴が存する。
【０００８】
駆動手段に依りダイヤフラムの中央部がシートに当座されると、流入路と流出路とが遮断されて閉弁され、流入路から流出路への流体の通流が阻止される。
逆に、駆動手段に依りダイヤフラムが原形状に自己復帰されて中央部がシートから離座されると、流入路と流出路とが連通されて開弁され、流入路から流出路への流体の通流が許容される。
シートは、ボディとシートホルダに対して別体であるので、シートが損傷した場合には、これだけを交換すれば良い。この為、コストの低減を図る事ができる。
シートの内周に位置するボディには、隆起部が設けられているので、シートがシートホルダと隆起部との間で内外から保持される。この為、ダイヤフラムの当座時の推力に依ってシートが変形する惧れがなくなると共に、ボディとシートとの間から流体が漏れる心配がない。
【０００９】
ボディは、シートが収容されるシート収容部と、シートホルダが収容されてシート収容部より深いシートホルダ収容部とを備えているので、シート及びシートホルダが適正に位置決めされてシートがシートホルダと隆起部とに依り確実に保持される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本発明のダイヤフラム弁の要部を示す縦断側面図。図２は、分解した状態を示す図１と同様図である。
【００１１】
ダイヤフラム弁１は、ボディ２、シート３、シートホルダ４、ダイヤフラム５、駆動手段６、隆起部７とからその主要部が構成されている。
【００１２】
ボディ２は、流入路８と流出路９とを備えたもので、この例では、ステンレス鋼等の金属材料に依り作製されて居り、一側方（左方）から上方に亘って形成された略Ｌ型の流入路８と、他側方（右方）から上方に亘って形成された略Ｌ型の流出路９と、これらの上方に連通して形成された凹状の弁室１０とを備えている。流入路８の弁室１０に臨む開口は、ボディ２の中心部に位置している。
而して、ボディ２は、シート３が収容されるシート収容部１１と、シートホルダ４が収容されてシート収容部１１より深いシートホルダ収容部１２とを備えている。つまり、ボディ２の弁室１０の下部には、流入路８を中心にして隆起部７とシート収容部１１とシートホルダ収容部１２とが同心円状に形成されている。
【００１３】
シート３は、ボディ内２に着脱可能に設けられて流入路８と流出路９の途中に位置するもので、この例では、金属製又は合成樹脂製で円環状を呈して居り、外周上部には削除に依って係止段部１３が形成されている。
而して、シート３は、ボディ２に形成された隆起部７に外嵌されてボディ２のシート収容部１１に収容される。
【００１４】
シートホルダ４は、ボディ２内のシート３の外周に設けられてシート３を保持する為のもので、この例では、金属製で円環状を呈して居り、内周下部には削除に依って係止段部１３に適合する係止段部１４が形成されていると共に、ボディ２の流出路９に連通する複数（四つ）の連通孔１５が穿設されている。
而して、シートホルダ４は、シート３に外嵌されると共に、ボディ２の弁室１０に内嵌されてボディ２のシートホルダ収容部１２に収容される。
【００１５】
ダイヤフラム５は、シート３とシートホルダ４との上方に設けられて中央部がシート３に当離座可能なもので、この例では、ステンレス鋼等の弾性変形可能な金属製薄板に依り中央部を上方に膨出せしめた皿状に形成されて居り、その周縁部がシートホルダ４の外周上部に載置され、ボディ２の弁室１０に挿入されたボンネット１６の下端部に依り気密状態で挾持固定されている。ボンネット１６は、ボディ２に螺着されたボンネットナット（図示せず）を締め付ける事に依りシートホルダ４側に押圧される。
而して、ダイヤフラム５は、その中央部がシート３に当離座する事に依り弁の開閉が行われる様になっている。
【００１６】
駆動手段６は、ダイヤフラム５の上方に設けられてダイヤフラム５をシート３に対して当離座させるもので、この例では、ボンネット１６に昇降可能に設けられてダイヤフラム５の中央部に当合するステム１７を備え、このステム１７を手動や空圧や電磁や電動や油圧等に依り昇降させるものにしてある。
【００１７】
隆起部７は、ボディ２に設けられてシート３の内周に位置してシートホルダ４との間でシート３を保持するもので、この例では、円筒状を呈し、弁室１０の中央にボディ２に突出して設けられて居り、内部は流入路８に連通されている。
【００１８】
隆起部７とシートホルダ４の各上面は、略面一にしてあると共に、シート３の上面は、隆起部７とシートホルダ４の各上面より若干上方に突出する様に設定してある。
シート３、シートホルダ４、ダイヤフラム５、ボンネット１６は、図１に示す如く、ボディ２に対してボンネットナット（図示せず）を締め付ける事に依り所定の状態に組み立てられる。
【００１９】
次に、この様な構成に基づいてその作用を述解する。
駆動手段６のステム１７が下動されると、ダイヤフラム５の中央部が下方に弾性変形されてシート３に当座され、流入路８と流出路９とが遮断されて閉弁され、流入路８から流出路９への流体の通流が阻止される。
逆に、駆動手段６のステム１７が上動されると、ダイヤフラム５が原形状に自己復帰されてシート３から離座され、流入路８と流出路９とが連通されて開弁され、流入路８から流出路９への流体の通流が許容される。
【００２０】
シート３は、ボディ２とシートホルダ４に対して別体であるので、シート３が損傷した場合には、これだけを交換すれば良い。この為、コストの低減を図る事ができる。
シート３の内周に位置するボディ２には、隆起部７が設けられているので、シート３がシートホルダ４と隆起部７との間で内外から保持される。この為、ダイヤフラム５の当座時の推力に依ってシート３が変形する惧れがなくなると共に、ボディ２とシート３との間から流体が漏れる心配がない。
【００２２】
【発明の効果】
以上、既述した如く、本発明に依れば、次の様な優れた効果を奏する事ができる。
（１）  ボディ、シート、シートホルダ、ダイヤフラム、駆動手段、隆起部とで構成し、とりわけシートの内周に位置するボディに、シートホルダとの間でシートを保持する隆起部を設けたので、シートが損傷すれば、これだけを交換でき、コストの低減を図る事ができる。
（２）  シートの内周に位置するボディに、シートホルダとの間でシートを保持する隆起部を設けたので、ダイヤフラムの当座時の推力に依ってシートが変形する惧れがなく、ボディとシートとの間から流体が漏れる事がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイヤフラム弁の要部を示す縦断側面図。
【図２】分解した状態を示す図１と同様図。
【符号の説明】
１…ダイヤフラム弁、２…ボディ、３…シート、４…シートホルダ、５…ダイヤフラム、６…駆動手段、７…隆起部、８…流入路、９…流出路、１０…弁室、１１…シート収容部、１２…シートホルダ収容部、１３，１４…係止段部、１５…連通孔、１６…ボンネット、１７…ステム。
【図１】
0004700234.tif 000002
【図２】
0004700234.tif 000003