(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子、第２のリング状振動子、第３のリング状振動子および第４のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、
一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に前記第２のリング状振動子を設けた第１の枠部材と、
一端に前記第３のリング状振動子を設け且つ他端に前記第４のリング状振動子を設けた第２の枠部材と
を備え、
前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記回転子の形状が立方体であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記回転子の各面のうち前記各リング状振動子が接触する面に、該各リング状振動子が嵌る凹部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子および第２のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、
一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に第１の軸棒を設けた第１の枠部材と、
一端に前記第２のリング状振動子を設け且つ他端に第２の軸棒を設けた第２の枠部材と
を備え、
前記回転子の各面のうち前記各軸棒が対向する面に、該各軸棒が挿入される挿入孔が設けられ、
前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項５】
前記回転子が球体であることを特徴とする請求項４に記載の超音波モータ。
【請求項６】
回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子および第２のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、
一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に第１の円板を設けた第１の枠部材と、
一端に前記第２のリング状振動子を設け且つ他端に第２の円板を設けた第２の枠部材と
を備え、
前記回転子の形状が立方体であり、
前記回転子の各面のうち前記各リング状振動子が接触する面に、該各リング状振動子が嵌る凹部が設けられ、前記回転子の各面のうち前記各円板が接触する面に、該各円板が嵌る凹部が設けられ、
前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする超音波モータ。
【請求項７】
前記各リング状振動子と前記回転子との相対位置を検出する位置検出装置を設けたことを特徴とする請求項１ないし６のうちのいずれか１項に記載の超音波モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超音波モータに関し、詳しくは複数のステータによってロータを任意の方向に回転させる超音波モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、磁力を使わずにステータ側の圧電素子の振動により、そのステータに接するロータを動かすことができる超音波モータの開発が進んでいる。
【０００３】
超音波モータではステータの数やロータの形状を工夫することによって様々な用途に用いることができ、たとえばディスク型やリング型のロータがすでによく知られ、また最近では、ロータを球体にした球面超音波モータの開発も進んできている。
【０００４】
たとえば特許文献１に記載の発明では、３個のステータのそれぞれの円環状表面の全周がロータに接するようにして、この３個のステータによって球体であるロータを３方向から保持し、この３個のステータの回転方向を制御することによってロータを任意の方向に回転させるようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−８４５２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように従来から様々な形状等の超音波モータが提案されているが、周囲が磁気を帯びている場合にも使用可能であるといった超音波モータの利点を活かし、超音波モータの利用分野をさらに拡大するためにも、超音波モータのさらなる小型化、軽量化が望まれている。
【０００７】
本発明は上記の点にかんがみてなされたもので、複数の自由度を確保しながら小型化、軽量化を実現した超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子、第２のリング状振動子、第３のリング状振動子および第４のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に前記第２のリング状振動子を設けた第１の枠部材と、一端に前記第３のリング状振動子を設け且つ他端に前記第４のリング状振動子を設けた第２の枠部材とを備え、前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする。
【０００９】
また本発明は請求項１に記載の発明において、前記回転子の形状が立方体であることを特徴とする。
【００１０】
また本発明は請求項２に記載の発明において、前記回転子の各面のうち前記各リング状振動子が接触する面に、該各リング状振動子が嵌る凹部が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子および第２のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に第１の軸棒を設けた第１の枠部材と、一端に前記第２のリング状振動子を設け且つ他端に第２の軸棒を設けた第２の枠部材とを備え、前記回転子の各面のうち前記各軸棒が対向する面に、該各軸棒が挿入される挿入孔が設けられ、前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする。
【００１２】
また本発明は請求項４に記載の発明において、前記回転子が球体であることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、回転子と、圧電体により円環上に進行波を励起するリング状振動子とを備え、前記回転子の周りに第１のリング状振動子および第２のリング状振動子を配置して加圧接触させてなる超音波モータにおいて、一端に前記第１のリング状振動子を設け且つ他端に第１の円板を設けた第１の枠部材と、一端に前記第２のリング状振動子を設け且つ他端に第２の円板を設けた第２の枠部材とを備え、前記回転子の形状が立方体であり、前記回転子の各面のうち前記各リング状振動子が接触する面に、該各リング状振動子が嵌る凹部が設けられ、前記回転子の各面のうち前記各円板が接触する面に、該各円板が嵌る凹部が設けられ、前記第１の枠部材と前記第２の枠部材とを前記ロータを挟んで交差する向きで設けたことを特徴とする。
【００１４】
また本発明は請求項１ないし６のうちのいずれか１項に記載の発明において、前記各リング状振動子と前記回転子との相対位置を検出する位置検出装置を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数の自由度を確保しながら小型化、軽量化を実現した超音波モータを提供することができる。
【００１６】
すなわち本発明によれば、枠部材とロータとで１自由度を実現し、また、別の枠部材とロータとで１自由度を実現したので、ロータを仲介して枠部材どうしで回転中心を同一とした２自由度を実現することができる。
【００１７】
また、本発明によれば、回転位置検出装置を設けて、枠部材とロータとの相対位置検出を可能としたので、所望の動作制御を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の一実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【００２０】
図１に示すように、本実施の形態による超音波モータ１は、立方体であるロータ２を、２個のステータ３ａおよび３ｂによって保持して回転させ、さらに２個のステータ６ａおよび６ｂによって保持して回転させる。
【００２１】
ステータ３ａのロータ２と接する面には多数の振動片１３ａが設けられ、ステータ３ｂのロータ２と接する面には多数の振動片１３ｂが設けられており、この振動片１３ａおよび１３ｂが振動して進行波を発生する。
【００２２】
また、ロータ２のステータ３ａと接する面には凹部２ａが設けられており、この凹部２ａにステータ３ａが嵌り、ロータ２のステータ３ｂと接する面にもやはり凹部２ａが設けられており、この凹部２ａにステータ３ｂが嵌るように構成されている。
【００２３】
ステータ３ａの振動片１３ａおよびステータ３ｂの振動片１３ｂはロータ２と接触し、振動片１３ａおよび振動片１３ｂが振動して発生する進行波によってロータ２が回転させられる。
【００２４】
ステータ３ａはネジなどの止め具４ａによってコの字形の枠部材４の一端に固定され、またステータ３ｂはネジなどの止め具４ｂによって枠部材４の他端に固定され、ロータ２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ３ａおよびステータ３ｂがロータ２の凹部２ａに嵌り、ステータ３ａおよびステータ３ｂとロータ２とがずれないようにされている。
【００２５】
一方、ステータ６ａのロータ２と接する面には多数の振動片１６ａが設けられ、ステータ６ｂのロータ２と接する面には多数の振動片１６ｂが設けられており、この振動片１６ａおよび１６ｂが振動して進行波を発生する。
【００２６】
また、ロータ２のステータ６ａと接する面には凹部２ａが設けられており、この凹部２ａにステータ６ａが嵌り、ロータ２のステータ６ｂと接する面にもやはり凹部２ａが設けられており、この凹部２ａにステータ６ｂが嵌るように構成されている。
【００２７】
ステータ６ａの振動片１６ａおよびステータ６ｂの振動片１６ｂはロータ２と接触し、振動片１６ａおよび振動片１６ｂが振動して発生する進行波によってロータ２が回転させられる。
【００２８】
ステータ６ａはネジなどの止め具７ａによってコの字形の枠部材７の一端に固定され、またステータ６ｂはネジなどの止め具７ｂによって枠部材７の他端に固定され、ロータ２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ６ａおよびステータ６ｂがロータ２の凹部２ａに嵌り、ステータ６ａおよびステータ６ｂとロータ２とがずれないようにされている。
【００２９】
なお、図１に示すように、枠部材４と枠部材７とは、ロータ２を挟んで交差する向きで設けられている。
【００３０】
図２は、図１に示した超音波モータ１を図１の方向ＩＩから見た側面図である。
【００３１】
図３は、図１に示した超音波モータ１を図２の方向ＩＩＩから見た側面図である。
【００３２】
図４は、図１に示した超音波モータ１を図２の方向ＩＶから見た平面図である。
【００３３】
図５は、図１に示した超音波モータ１を図２の方向Ｖから見た底面図である。
【００３４】
本実施の形態の超音波モータ１では、ステータ６ａおよび６ｂを用いて、ステータ６ａとステータ６ｂとに同じ方向の進行波を生じさせることによって、図２に示す矢印Ｍの方向へ、枠部材７とロータ２とを相対的に回転させることもできるし、ステータ３ａおよび３ｂを用いて、ステータ３ａとステータ３ｂとに同じ方向の進行波を生じさせることによって、図３に示す矢印Ｐの方向へ、枠部材４とロータ２とを相対的に回転させることもできる。
【００３５】
本実施の形態によれば、枠部材４とロータ２とで１自由度を実現し、また、枠部材７とロータ２とで１自由度を実現したので、ロータ２を仲介して枠部材４と枠部材７とで２自由度を実現することができる。
【００３６】
図６は、本発明の第２の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【００３７】
図６に示すように、本実施の形態による超音波モータ１０１は、立方体であるロータ１０２を、ステータ１０３ａと軸棒１０３ｂとによって保持して回転させ、さらにステータ１０６ｂと軸棒１０６ａとによって保持して回転させる。
【００３８】
ステータ１０３ａのロータ１０２と接する面には多数の振動片１１３ａが設けられており、この振動片１１３ａが振動して進行波を発生する。
【００３９】
また、ロータ１０２のステータ１０３ａと接する面には凹部１０２ａが設けられており、この凹部１０２ａにステータ１０３ａが嵌るように構成されている。他方、ロータ１０２の軸棒１０３ｂと対向する面には挿入孔１０２ｂが設けられており、この挿入孔１０２ｂに軸棒１０３ｂが挿入され、挿入孔１０２ｂと軸棒１０３ｂとが摺動自在にされている。
【００４０】
ステータ１０３ａの振動片１１３ａはロータ１０２と接触し、振動片１１３ａが振動して発生する進行波によってロータ１０２が回転させられる。
【００４１】
ステータ１０３ａはネジなどの止め具１０４ａによってコの字形の枠部材１０４の一端に固定され、また軸棒１０３ｂはネジなどの止め具１０４ｂによって枠部材１０４の他端に固定され、ロータ１０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ１０３ａがロータ１０２の凹部１０２ａに嵌るとともに軸棒１０３ｂがロータ１０２の挿入孔１０２ｂに挿入され、ステータ１０３ａおよび軸棒１０３ｂとロータ１０２とがずれないようにされている。
【００４２】
一方、ステータ１０６ｂのロータ１０２と接する面には多数の振動片１１６ｂが設けられており、この振動片１１６ｂが振動して進行波を発生する。
【００４３】
また、ロータ１０２のステータ１０６ｂと接する面には凹部１０２ａが設けられており、この凹部１０２ａにステータ１０６ｂが嵌るように構成されている。他方、ロータ１０２の軸棒１０６ａと対向する面には挿入孔１０２ｂが設けられており、この挿入孔１０２ｂに軸棒１０６ａが挿入され、挿入孔１０２ｂと軸棒１０６ａとが摺動自在にされている。
【００４４】
ステータ１０６ｂの振動片１１６ｂはロータ１０２と接触し、振動片１１６ｂが振動して発生する進行波によってロータ１０２が回転させられる。
【００４５】
ステータ１０６ｂはネジなどの止め具１０７ｂによってコの字形の枠部材１０７の一端に固定され、また軸棒１０６ａはネジなどの止め具１０７ａによって枠部材１０７の他端に固定され、ロータ１０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ１０６ｂがロータ１０２の凹部１０２ａに嵌るとともに軸棒１０６ａがロータ１０２の挿入孔１０２ｂに挿入され、ステータ１０６ｂおよび軸棒１０６ａとロータ１０２とがずれないようにされている。
【００４６】
なお、図６に示すように、枠部材１０４と枠部材１０７とは、ロータ１０２を挟んで交差する向きで設けられている。
【００４７】
本実施の形態によれば、枠部材１０４とロータ１０２とで１自由度を実現し、また、枠部材１０７とロータ１０２とで１自由度を実現したので、ロータ１０２を仲介して枠部材１０４と枠部材１０７とで２自由度を実現することができる。
【００４８】
図７は、本発明の第３の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【００４９】
図７に示すように、本実施の形態による超音波モータ２０１は、立方体であるロータ２０２を、ステータ２０３ａと円板２０３ｂとによって保持して回転させ、さらにステータ２０６ｂと円板２０６ａとによって保持して回転させる。
【００５０】
ステータ２０３ａのロータ２０２と接する面には多数の振動片２１３ａが設けられており、この振動片２１３ａが振動して進行波を発生する。
【００５１】
また、ロータ２０２のステータ２０３ａと接する面には凹部２０２ａが設けられており、この凹部２０２ａにステータ２０３ａが嵌るように構成されている。他方、ロータ２０２の円板２０３ｂと接する面にも凹部２０２ａが設けられており、この凹部２０２ａに円板２０３ｂが嵌り、凹部２０２ａと円板２０３ｂとが摺動自在にされている。
【００５２】
ステータ２０３ａの振動片２１３ａはロータ２０２と接触し、振動片２１３ａが振動して発生する進行波によってロータ２０２が回転させられる。
【００５３】
ステータ２０３ａはネジなどの止め具２０４ａによってコの字形の枠部材２０４の一端に固定され、また円板２０３ｂはネジなどの止め具２０４ｂによって枠部材２０４の他端に固定され、ロータ２０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ２０３ａがロータ２０２の凹部２０２ａに嵌るとともに円板２０３ｂがロータ２０２の凹部２０２ａに嵌り、ステータ２０３ａおよび円板２０３ｂとロータ２０２とがずれないようにされている。
【００５４】
一方、ステータ２０６ｂのロータ２０２と接する面には多数の振動片２１６ｂが設けられており、この振動片２１６ｂが振動して進行波を発生する。
【００５５】
また、ロータ２０２のステータ２０６ｂと接する面には凹部２０２ａが設けられており、この凹部２０２ａにステータ２０６ｂが嵌るように構成されている。他方、ロータ２０２の円板２０６ａと対向する面にも凹部２０２ａが設けられており、この凹部２０２ａに円板２０６ａが嵌り、凹部２０２ａと円板２０６ａとが摺動自在にされている。
【００５６】
ステータ２０６ｂの振動片２１６ｂはロータ２０２と接触し、振動片２１６ｂが振動して発生する進行波によってロータ２０２が回転させられる。
【００５７】
ステータ２０６ｂはネジなどの止め具２０７ｂによってコの字形の枠部材２０７の一端に固定され、また円板２０６ａはネジなどの止め具２０７ａによって枠部材２０７の他端に固定され、ロータ２０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ２０６ｂがロータ２０２の凹部２０２ａに嵌るとともに円板２０６ａがロータ２０２の凹部２０２ａに嵌り、ステータ２０６ｂおよび円板２０６ａとロータ２０２とがずれないようにされている。
【００５８】
なお、図７に示すように、枠部材２０４と枠部材２０７とは、ロータ２０２を挟んで交差する向きで設けられている。
【００５９】
本実施の形態によれば、枠部材２０４とロータ２０２とで１自由度を実現し、また、枠部材２０７とロータ２０２とで１自由度を実現したので、ロータ２０２を仲介して枠部材２０４と枠部材２０７とで２自由度を実現することができる。
【００６０】
図８は、本発明の第４の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【００６１】
図８に示すように、本実施の形態による超音波モータ３０１は、球体であるロータ３０２を、ステータ３０３ａと軸棒３０３ｂとによって保持して回転させ、さらにステータ３０６ｂと軸棒３０６ａとによって保持して回転させる。
【００６２】
ステータ３０３ａのロータ３０２と接する面には多数の振動片３１３ａが設けられており、この振動片３１３ａが振動して進行波を発生する。
【００６３】
また、ステータ３０３ａのロータ３０２と接する面の形状は、ロータ３０２の表面の球面に適合してロータ３０２を保持する形状であり、ロータ３０２の軸棒３０３ｂと対向する面には挿入孔３０２ｂが設けられており、この挿入孔３０２ｂに軸棒３０３ｂが挿入され、挿入孔３０２ｂと軸棒３０３ｂとが摺動自在にされている。
【００６４】
ステータ３０３ａの振動片３１３ａはロータ３０２と接触し、振動片３１３ａが振動して発生する進行波によってロータ３０２が回転させられる。
【００６５】
ステータ３０３ａはネジなどの止め具３０４ａによってコの字形の枠部材３０４の一端に固定され、また軸棒３０３ｂはネジなどの止め具３０４ｂによって枠部材３０４の他端に固定され、ロータ３０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ３０３ａがロータ３０２を保持するとともに軸棒３０３ｂがロータ３０２の挿入孔３０２ｂに挿入され、ステータ３０３ａおよび軸棒３０３ｂとロータ３０２とがずれないようにされている。
【００６６】
一方、ステータ３０６ｂのロータ３０２と接する面には多数の振動片３１６ｂが設けられており、この振動片３１６ｂが振動して進行波を発生する。
【００６７】
また、ステータ３０６ｂのロータ３０２と接する面の形状は、ロータ３０２の表面の球面に適合してロータ３０２を保持する形状であり、ロータ３０２の軸棒３０６ａと対向する面には挿入孔３０２ｂが設けられており、この挿入孔３０２ｂに軸棒３０６ａが挿入され、挿入孔３０２ｂと軸棒３０６ａとが摺動自在にされている。
【００６８】
ステータ３０６ｂの振動片３１６ｂはロータ３０２と接触し、振動片３１６ｂが振動して発生する進行波によってロータ３０２が回転させられる。
【００６９】
ステータ３０６ｂはネジなどの止め具３０７ｂによってコの字形の枠部材３０７の一端に固定され、また軸棒３０６ａはネジなどの止め具３０７ａによって枠部材３０７の他端に固定され、ロータ３０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ３０６ｂがロータ３０２を保持するとともに軸棒３０６ａがロータ３０２の挿入孔３０２ｂに挿入され、ステータ３０６ｂおよび軸棒３０６ａとロータ３０２とがずれないようにされている。
【００７０】
なお、図８に示すように、枠部材３０４と枠部材３０７とは、ロータ３０２を挟んで交差する向きで設けられている。
【００７１】
本実施の形態によれば、枠部材３０４とロータ３０２とで１自由度を実現し、また、枠部材３０７とロータ３０２とで１自由度を実現したので、ロータ３０２を仲介して枠部材３０４と枠部材３０７とで２自由度を実現することができる。
【００７２】
図９は、本発明の第５の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【００７３】
図９に示すように、本実施の形態による超音波モータ４０１は、球体であるロータ４０２を、ステータ４０３ａと軸棒４０３ｂとによって保持して回転させ、さらにステータ４０６ｂと軸棒４０６ａとによって保持して回転させる。
【００７４】
ステータ４０３ａのロータ４０２と接する面には多数の振動片４１３ａが設けられており、この振動片４１３ａが振動して進行波を発生する。
【００７５】
また、ステータ４０３ａのロータ４０２と接する面の形状は、ロータ４０２の表面の球面に適合してロータ４０２を保持する形状であり、ロータ４０２の軸棒４０３ｂと対向する面には挿入孔４０２ｂが設けられており、この挿入孔４０２ｂに軸棒４０３ｂが挿入され、挿入孔４０２ｂと軸棒４０３ｂとが摺動自在にされている。
【００７６】
ステータ４０３ａの振動片４１３ａはロータ４０２と接触し、振動片４１３ａが振動して発生する進行波によってロータ４０２が回転させられる。
【００７７】
ステータ４０３ａはネジなどの止め具４０４ａによってコの字形の枠部材４０４の一端に固定され、また軸棒４０３ｂはネジなどの止め具４０４ｂによって枠部材４０４の他端に固定され、ロータ４０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ４０３ａがロータ４０２を保持するとともに軸棒４０３ｂがロータ４０２の挿入孔４０２ｂに挿入され、ステータ４０３ａおよび軸棒４０３ｂとロータ４０２とがずれないようにされている。
【００７８】
本実施の形態では、挿入孔４０２ｂおよび軸棒４０３ｂの近傍に回転位置検出装置４０２ｃを設けている。回転位置検出装置４０２ｃはたとえばエンコーダを用いて、挿入孔４０２ｂと軸棒４０３ｂとの相対回転位置変位を検出し、枠部材４０４とロータ４０２との相対位置検出を可能としている。この検出結果は、図示しない制御手段にて参照され、超音波モータ４０１の動作制御に用いることができる。なお、回転位置検出装置４０２ｃは、図９に示すように、ロータ４０２の外側に設けてもよいし、ロータ４０２を削る等して回転位置検出装置４０２ｃをロータ４０２に埋め込んでもよい。
【００７９】
一方、ステータ４０６ｂのロータ４０２と接する面には多数の振動片４１６ｂが設けられており、この振動片４１６ｂが振動して進行波を発生する。
【００８０】
また、ステータ４０６ｂのロータ４０２と接する面の形状は、ロータ４０２の表面の球面に適合してロータ４０２を保持する形状であり、ロータ４０２の軸棒４０６ａと対向する面には挿入孔４０２ｂが設けられており、この挿入孔４０２ｂに軸棒４０６ａが挿入され、挿入孔４０２ｂと軸棒４０６ａとが摺動自在にされている。
【００８１】
ステータ３０６ｂの振動片３１６ｂはロータ３０２と接触し、振動片３１６ｂが振動して発生する進行波によってロータ３０２が回転させられる。
【００８２】
ステータ４０６ｂはネジなどの止め具４０７ｂによってコの字形の枠部材４０７の一端に固定され、また軸棒４０６ａはネジなどの止め具４０７ａによって枠部材４０７の他端に固定され、ロータ４０２を適切な強さで押し付けるようにして保持する。このとき、上述のようにステータ４０６ｂがロータ４０２を保持するとともに軸棒４０６ａがロータ４０２の挿入孔４０２ｂに挿入され、ステータ４０６ｂおよび軸棒４０６ａとロータ４０２とがずれないようにされている。
【００８３】
本実施の形態では、挿入孔４０２ｂおよび軸棒４０６ａの近傍にも回転位置検出装置４０２ｃを設けている。回転位置検出装置４０２ｃはたとえばエンコーダを用いて、挿入孔４０２ｂと軸棒４０６ａとの相対回転位置変位を検出し、枠部材４０７とロータ４０２との相対位置検出を可能としている。この検出結果は、図示しない制御手段にて参照され、超音波モータ４０１の動作制御に用いることができる。
【００８４】
なお、図９に示すように、枠部材４０４と枠部材４０７とは、ロータ４０２を挟んで交差する向きで設けられている。
【００８５】
本実施の形態によれば、枠部材４０４とロータ４０２とで１自由度を実現し、また、枠部材４０７とロータ４０２とで１自由度を実現したので、ロータ４０２を仲介して枠部材４０４と枠部材４０７とで２自由度を実現することができる。
【００８６】
また、本実施の形態によれば、回転位置検出装置４０２ｃを設けて、枠部材４０４とロータ４０２との相対位置検出、枠部材４０７とロータ４０２との相対位置検出を可能としたので、所望の動作制御を行うことができる。
【００８７】
なお、本発明は、上述の各実施の形態の各構成を任意に組み合わせて実施することもできる。
【００８８】
また、上述の各実施の形態では、ロータを立方体または球体にしたが、本発明はこれに限られるものではなく、いかなる形状であってもかまわない。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の一実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【図２】図１に示した超音波モータ１を図１の方向ＩＩから見た側面図である。
【図３】図１に示した超音波モータ１を図２の方向ＩＩＩから見た側面図である。
【図４】図１に示した超音波モータ１を図２の方向ＩＶから見た平面図である。
【図５】図１に示した超音波モータ１を図２の方向Ｖから見た底面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【図９】本発明の第５の実施の形態による超音波モータの概略を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９０】
１  超音波モータ
２  ロータ
３ａ、３ｂ、６ａ、６ｂ  ステータ
１３ａ、１３ｂ、１６ａ、１６ｂ、  振動片
４、７  枠部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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