(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハを保持するウェーハテーブルと、
前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、
前記ウェーハのノッチ部を研削する円筒形状のノッチ用砥石と、
前記ウェーハテーブルを前記砥石と前記ノッチ用砥石とに対して相対的に移動させる移動手段と、
前記ノッチ用砥石の端面に隣接して配設され、エアーを前記ノッチ用砥石の端面に向けて噴射するエアーセンサ部を有し、前記噴射されたエアーの背圧の変化により前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認する異常検出センサと、を備えたことを特徴とするウェーハ面取り装置。
【請求項２】
前記異常検出センサは、
前記エアーセンサ部が設けられたアーム部材と、
前記アーム部材の端面から突出して配設された押圧部材と、
前記アーム部材を揺動自在に支持する支持部材と、を有し、
前記移動手段により前記ウェーハテーブルを前記ノッチ部の加工位置まで移動させると、前記ウェーハテーブルにより前記押圧部材が押圧されることで前記アーム部材が揺動され、前記エアーセンサ部が前記ノッチ用砥石の端面に隣接する位置より退避されることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ面取り装置。
【請求項３】
前記支持部材は弾性力を有し、二つの平面が交差した十字型の形状であることを特徴とする請求項２に記載のウェーハ面取り装置。
【請求項４】
前記異常検出センサは、前記エアーセンサ部が前記ノッチ用砥石の端面に隣接する位置より退避された位置において前記エアーセンサ部からエアーを噴射し、前記噴射されたエアーの背圧の変化により、該異常検出センサ自身の異常の有無を確認することを特徴とする請求項２又は３のいずれか１項に記載のウェーハ面取り装置。
【請求項５】
ウェーハテーブルによりウェーハを保持し、前記ウェーハのノッチ部をノッチ用砥石により研削するウェーハ面取り方法において、
前記ノッチ用砥石の端面に隣接して配設された異常検出センサのエアーセンサからエアーを前記ノッチ用砥石の端面に向けて噴射するステップと、
前記エアーセンサから噴射されたエアーの背圧の変化により前記異常検出センサにおいて前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認するステップと、
前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認するステップにより前記ノッチ用砥石に異常がないことが確認された場合に、前記ウェーハテーブルを移動させる移動手段により前記ウェーハテーブルを前記ノッチ部の加工位置まで移動させるステップであって、前記ウェーハテーブルにより前記異常検出センサを押圧させることで前記エアーセンサを前記ノッチ用砥石の端面に隣接する位置より退避させるステップと、
前記ノッチ用砥石により前記ノッチ部を研削するステップと、
前記エアーセンサからエアーを噴射して前記異常検出センサにおいて該異常検出センサ自身の異常の有無を確認するステップと、
を有することを特徴とするウェーハ面取り方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハの外周部に面取り加工を行なうウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。面取り加工に使用される面取り装置には、ウェーハ外周部を研削する外周部用砥石や、方位の基準位置となるＶ字状のノッチ部（図９に示すＮ部）を研削するノッチ部用砥石等の各種砥石が複数取り付けられ、これらの砥石をスピンドルにより高速に回転させて加工を行なう。
【０００３】
しかし、このような面取り装置では、長期使用による劣化や、研削時の過負荷等により、砥石に破損や変形が発生する場合がある。通常、ウェーハの各種加工においては、多数のウェーハを１つのカセットに収納し、自動的に連続して加工を行なうため、加工中にこのような問題が発生しても、問題が検知できなければそのまま加工を進めてしまい、多くのウェーハを無駄にしてしまうことになる。
【０００４】
このため、例えば、砥石に発生する問題の検知用として、砥石を回転させるモータの電流値変化より砥石にかかる負荷を検出し、砥石の異常の有無を確認して面取り装置の制御を行うウェーハの面取り方法、及び面取り装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、その他の異常の確認方法として、光学式センサや近接センサを砥石近傍に設ける、又は画像処理などにより砥石の破損、変形、脱落等の異常の有無を確認する方法も実施されている。
【特許文献１】特開平８−２３６４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記特許文献に提案されている技術により砥石の異常の有無を確認した場合、正常状態と異常状態を判別するための値の設定が、周囲の環境、ウェーハの種類、砥石の回転数等により大幅に変化する為、値の調整が困難であり、誤認識してしまう事が多くあった。
【０００７】
また、他の方法においても、加工点周辺は切削液や研削屑が飛散し測定環境が悪く、光や映像による確認が困難であり、誤認識されやすい。また、磁気による判別も、砥石の素材により判別の可否が分かれるため、砥石のホルダなど、砥石以外の場所での測定となり測定精度が悪くなる。更に、画像処理装置などでは、装置の価格が高価であり、設置に多大な費用が必要であった。
【０００８】
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、簡易な機構の異常検出センサにより、誤認識無くノッチ用砥石の異常の有無を確認することが可能であるウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ウェーハを保持するウェーハテーブルと、前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、前記ウェーハのノッチ部を研削する円筒形状のノッチ用砥石と、前記ウェーハテーブルを前記砥石と前記ノッチ用砥石とに対して相対的に移動させる移動手段と、前記ノッチ用砥石の端面に隣接して配設され、エアーを前記ノッチ用砥石の端面に向けて噴射するエアーセンサ部を有し、前記噴射されたエアーの背圧の変化により前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認する異常検出センサと、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
請求項１の発明によれば、ウェーハテーブルに保持されて回転するウェーハと、高速に回転する外周部用の砥石とが、移動手段により相対的に移動して、ウェーハ外周部が研削される。続いて、ウェーハのノッチ部と、高速に回転するノッチ用砥石とが、移動手段により相対的に移動して、ノッチ部の研削が行なわれる。
【００１１】
このとき、ノッチ用砥石の鉛直方向近傍には、上方に位置するノッチ用砥石に向かってエアーを噴射する異常検出センサが設けられている。異常検出センサでは、ノッチ用砥石によるノッチ部の加工に入る前、噴射するエアーの背圧が確認される。異常検出センサは、エアーが噴出されるノズルを有したエアーセンサ部が、弾性力を有する支持部材により支持されたアーム部の一端に設けられ、上方に位置するノッチ用砥石に向かってエアーを噴出する。
【００１２】
これにより、ノッチ用砥石が破損、脱落、又は変形等していた場合に、噴射するエアーがノッチ用砥石に当たることなく通過するため、背圧が下がりノッチ用砥石の異常を検知することが可能となる。異常が検知された際には、面取り装置を停止させ加工を開始しないので、ウェーハに加工不良や未加工が発生せず、ウェーハを無駄にすることがない。
【００１３】
また、異常検出センサからは常にエアーが噴出されているため、切削液や切削屑によりセンサが測定不能となることがなく、誤検出がない安定した精度の高い検知が行える。さらに、エアーセンサ部よりエアーは常に噴射されており、切削液や切削屑が測定箇所に侵入することが少ないため、環境に影響を受けずにノッチ用砥石の異常の有無を確認することが可能となる。更に、機構が簡易であるためメンテナンス性がよい。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記異常検出センサは、前記エアーセンサ部が設けられたアーム部材と、前記アーム部材の端面から突出して配設された押圧部材と、前記アーム部材を揺動自在に支持する支持部材と、を有し、前記移動手段により前記ウェーハテーブルを前記ノッチ部の加工位置まで移動させると、前記ウェーハテーブルにより前記押圧部材が押圧されることで前記アーム部材が揺動され、前記エアーセンサ部が前記ノッチ用砥石の端面に隣接する位置より退避されることを特徴としている。
【００１８】
請求項２によれば、異常検出センサのアーム部に設けられた押圧部は、ノッチ部用砥石によりウェーハのノッチ部が研削される際、ノッチ用砥石に接近してくるウェーハを保持したウェーハテーブルにより押圧される。押圧部が押圧された異常検出センサは、支持部材が弾性変形し、ウェーハテーブルがノッチ部の加工位置まで移動すると、異常検出センサのエアーセンサ部がノッチ用砥石の端面に隣接する位置より完全に退避する。
【００１９】
これにより、別の移動機構がなくとも、異常検出センサがノッチ部の加工の妨げとならない位置まで容易に移動させることが可能となる。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記支持部材は弾性力を有し、二つの平面が交差した十字型の形状であることを特徴としている。
【００２１】
請求項３の発明によれば、支持部材は、２枚の板状の弾性体が交差した十字型の形状に
形成されている。
【００２２】
これにより、異常検出センサがウェーハテーブルにより押圧されて支持部材が弾性変形する際、１枚の板状部材や棒状の部材と異なり、ねじれ方向の変位が発生せず、異常検出センサのエアーセンサ部が常に垂直な状態を保ちながら移動することが可能となる。これにより、誤検出がない安定した精度の高い検知が行える。
【００２３】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３のいずれか１項において、前記異常検出センサは、前記ノッチ用砥石の近傍より退避した際の背圧の変化により、該異常検出センサ自身の異常の有無を確認することを特徴としている。
【００２４】
請求項４の発明によれば、ウェーハテーブルにより押圧されてノッチ用砥石の近傍より退避した異常検出センサは、エアーが噴射されるノズルの切削液や切削屑による詰まりを防止するため、常にエアーを噴射し続ける。このとき、噴射されるエアーはノッチ用砥石に当たらないため、噴射するエアーの背圧が低下する。しかし、異常検出センサの配管、ノズル、センサ等の不具合により背圧が変化しない場合は、異常検出センサ自身の異常として面取り装置を停止させる。
【００２５】
これにより、異常検出センサに不具合がある状態で継続してノッチ用砥石の異常の確認を行うことがなく、誤認識のないノッチ用砥石の異常の確認が可能となる。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、ウェーハテーブルによりウェーハを保持し、前記ウェーハのノッチ部をノッチ用砥石により研削するウェーハ面取り方法において、前記ノッチ用砥石の端面に隣接して配設された異常検出センサのエアーセンサからエアーを前記ノッチ用砥石の端面に向けて噴射するステップと、前記エアーセンサから噴射されたエアーの背圧の変化により前記異常検出センサにおいて前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認するステップと、前記ノッチ用砥石の異常の有無を確認するステップにより前記ノッチ用砥石に異常がないことが確認された場合に、前記ウェーハテーブルを移動させる移動手段により前記ウェーハテーブルを前記ノッチ部の加工位置まで移動させるステップであって、前記ウェーハテーブルにより前記異常検出センサを押圧させることで前記エアーセンサを前記ノッチ用砥石の端面に隣接する位置より退避させるステップと、前記ノッチ用砥石により前記ノッチ部を研削するステップと、前記エアーセンサからエアーを噴射して前記異常検出センサにおいて該異常検出センサ自身の異常の有無を確認するステップと、を有することを特徴としている。
【００２７】
請求項６の発明によれば、ウェーハ面取り装置のノッチ用砥石の近傍には、噴射するエアーの背圧変化によりノッチ用砥石の異常の有無を確認する異常検出センサが設けられる。ウェーハのノッチ部が研削される際には、異常検出センサがウェーハテーブルにより押圧され、支持部材が弾性変形してノッチ用砥石近傍より退避する。このとき、異常検出センサは、背圧の変化から自身に異常が無いかを確認する。
【００２８】
これにより、ノッチ用砥石が破損、脱落、又は変形等していた場合には、背圧が下がりノッチ用砥石の異常を検知することが可能となる。また、異常検出センサがノッチ用砥石近傍より退避した際に、背圧が低下していない場合は、異常検出センサの異常として検知することが可能となる。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明したように、本発明のウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法によれば、エアーによる簡易で安価な機構であって、尚且つメンテナンスフリーな異常検出センサにより、誤認識無くノッチ用砥石の破損、脱落、又は変形等の異常の有無が確認可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３１】
最初に、本発明に係るウェーハ面取り装置について説明する。図１は、面取り装置の主要部を示す正面図である。
【００３２】
面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石回転ユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
【００３３】
ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。
【００３４】
Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。
【００３５】
Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。
【００３６】
Ｚテーブル３１には、θ軸モータ３２、θスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３にはウェーハＷを吸着載置するウェーハテーブル（載置台）３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。
【００３７】
また、ウェーハテーブル３４の下部には、ウェーハＷの周縁を仕上げ面取りする砥石のツルーイングに用いるツルーイング砥石４１（以下ツルアー４１と称する）が、ウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心に取り付けられている。
【００３８】
このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷ及びツルアー４１は図のθ方向に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。
【００３９】
砥石回転ユニット５０は、外周加工砥石５２が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心ＣＨを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル５１、外周加工砥石５２の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ精研スピンドル５７の近傍には、砥石の破損、脱落、又は変形等の異常を確認する異常検出センサ１がそれぞれ支柱８に設けられている。
【００４０】
外周精研スピンドル５４は、回転軸がウェーハＷの接線方向（図１に示すＸ軸方向）に向かって（本実施例においては８度）傾斜している。外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石５５が取付けられている。
【００４１】
ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。ノッチ精研削砥石５８は、任意の方向に所定量傾斜させることができるように保持されている。
【００４２】
図２は、ウェーハテーブル３４に取付けられたツルアー４１を表わしている。ツルアー４１は、図２に示すように、ウェーハテーブル３４の下部にウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心で取付けられ、θ軸モータ３２によってθ回転される。また、ウェーハテーブル３４の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハＷが載置されて吸着固定される。
【００４３】
図３は、外周加工砥石５２の構成を表わしたものである。外周加工砥石５２は２段構成になっており、下段はツルアー４１の外周形状を形成するマスター溝５２ａを有するマスター砥石５２Ａで、上段はウェーハＷの外周粗研削用溝５２ｂが形成された外周粗研削砥石５２Ｂになっている。
【００４４】
なお、図３においては説明を簡略にするため、各砥石に夫々１個の溝が記載されているが、実際には摩耗による溝形状の変形に対処するため、各砥石には夫々複数個の溝が形成されている。
【００４５】
図４は、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ精研スピンドル５７の近傍に設けられた異常検出センサ１を表している。異常検出センサ１は、支柱８に設けられたベース４に、金属、又は樹脂製の弾性体により十字型に形成された支持部材３を挟んでアーム部材２が取り付けられている。
【００４６】
アーム部材２の一端には、上方に向かってエアーの噴射口６Ａが設けられたエアーセンサ部６が取り付けられている。エアーセンサ部６には、チューブ７が接続され、図６に示すように、圧力センサ９とレギュレータ１２とを経由して、不図示のエアー供給源よりエアーが送られる。送られたエアーは、噴射口６Ａよりノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１に向かって噴射され、噴射するエアーの背圧が圧力センサ９により検知される。
【００４７】
このとき、ノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１に破損、脱落、又は変形等の異常があった場合は、圧力センサ９で検知される背圧が低下する。予め設定された値以下に背圧が低下した場合は、不図示の制御装置により、面取り装置１０を停止させる。
【００４８】
アーム部材２の側面には、ウェーハテーブル３４に向かって耐摩耗性の樹脂で形成された押圧部材５が設けられている。押圧部材５は、図５に示すように、ノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１によりウェーハＷのノッチ部Ｎを研削する際、接近するウェーハテーブル３４に接触して押圧される。
【００４９】
これにより、弾性体である支持部材３が屈曲してアーム部材２が移動する。このとき。支持部材３４は十字型の弾性体である為、ねじれ等が発生せず、アーム部材２は平行に移動を行う。
【００５０】
エアーセンサ部６は、アーム部材２の移動にともない、ノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１の下方より退避し、噴射されていたエアーはノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１に当たることなく上方に噴射されるようになる。
【００５１】
このとき、圧力センサ９で検知される噴射されるエアーの背圧が低下していなかった場合、異常検出センサ１自身に異常があるとして、不図示の制御装置により、面取り装置１０を停止させる。
【００５２】
ノッチ部Ｎの研削が終わり、ウェーハテーブル３４が離れると、押圧部材５が押圧されなくなりアーム部材２が平行に異動して元の位置にもどるとともに、エアーセンサ部６もノッチ精研削砥石５８またはノッチ粗研削砥石６１の下方近傍へ戻る。
【００５３】
なお、本実施の形態においては、ツルアー４１は、加工されるウェーハＷと同等以下の外径であり、同厚の円盤状ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｃａｒｂｉｄｅ）砥石、又はＷＡ（Ｗｈｉｔｅ  ｆｕｓｅｄ  ａｌｕｍｉｎａ）砥石が用いられ、砥石の粒度は＃３２０である。
【００５４】
また、マスター砥石５２Ａは直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃６００とした。また外周粗研削砥石５２Ｂは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃８００である。
【００５５】
外周精研削砥石５５は、直径５０ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００とした。また、ノッチ粗研削砥石６１は直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石、粒度＃８００が用いられ、ノッチ精研削砥石５８は、直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃４０００が用いられている。
【００５６】
外周砥石スピンドル５１は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度８，０００ｒｐｍで回転される。また、外周精研スピンドル５４はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度３５，０００ｒｐｍで回転される。
【００５７】
ノッチ粗研スピンドル６０は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度８０，０００ｒｐｍで回転され、ノッチ精研スピンドル５７はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度１５０，０００ｒｐｍで回転される。
【００５８】
面取り装置１０のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省力する。
【００５９】
次に、本発明に係わるウェーハ面取り方法について図８の面取り方法を示したフロー図に沿って説明する。
【００６０】
面取り装置１０では、まず外周加工砥石５２のマスター砥石５２Ａにより、目的とする面取り形状に加工されたツルアー４１を使い、外周精研削砥石５５、ノッチ精研削砥石５８に対してツルーイングが行なわれる。
【００６１】
ツルーイングによって各砥石に面取り加工用の溝が形成された後、ウェーハテーブル３４へウェーハＷが載置されて面取り加工が開始される（ステップＳ１）。
【００６２】
面取り加工では、まず外周加工砥石５２の外周粗研削砥石５２ＢによりウェーハＷの外周が粗研削される。ウェーハＷの外周粗研削が終了すると、Ｘテーブル２４、Ｙテーブル２８、及びＺテーブル３１の各テーブルが移動してウェーハＷが外周精研削砥石５５の加工位置に合わせられ、ウェーハＷの外周精研削が開始される（ステップＳ２）。
【００６３】
ウェーハＷの外周精研削が終了すると、Ｙテーブル２８が戻されてウェーハＷが外周精研削砥石５５から離れる。続いて、ターンテーブル５３が回転してノッチ粗研削砥石６１がノッチＮを加工する位置まで移動するとともに、Ｚテーブル３１によりウェーハＷがノッチ粗研削砥石６１の加工位置までＺ方向に移動する。
【００６４】
ウェーハＷがノッチ粗研削砥石６１の加工位置まで移動した時点で、エアーセンサ部６よりノッチ粗研削砥石６１に向かって噴射されるエアーの背圧が、図６に示す圧力センサ９により検知され、不図示の制御装置により確認される（判断Ｃ１）。
【００６５】
確認されたエアーの背圧が予め設定された規定値以下であった場合、制御装置は、ノッチ粗研削砥石６１に破損、脱落、又は変形等の異常が発生していると判断して、面取り装置１０を停止させる。面取り装置１０が停止した後、異常のあったノッチ粗研削砥石６１を交換して面取り装置１０の運転を再開する（ステップＳ３）。
【００６６】
確認されたエアーの背圧が予め設定された規定値以上であった場合、ノッチ粗研削砥石６１には異常が無いと判断し、ノッチ粗研削砥石６１によりノッチＮの粗研削を開始する（ステップＳ４）。
【００６７】
このとき、異常検出センサ１は、図７（ａ）に示す状態から、図７（ｂ）に示すように、接近するウェーハテーブル３４に押圧部材５が接触し、支持部材３が屈曲してアーム部材２が移動する。これにより、エアーセンサ部６がノッチ粗研削砥石６１鉛直方向近傍より退避し、噴射されるエアーがノッチ粗研削砥石６１に当たらなくなる。ノッチ粗研削砥石６１に当たらなくなったエアーの背圧は、図６に示す圧力センサ９により検知され、不図示の制御装置により確認される（判断Ｃ２）。
【００６８】
確認されたエアーの背圧が、ノッチ粗研削砥石６１にエアーが当たっていた時の背圧と比べて変化が無い場合、制御装置は、異常検出センサ１に不具合が発生していると判断し、加工中のウェーハＷの加工終了後、面取り装置１０を停止させる。面取り装置１０が停止した後、不具合が発生している箇所を修理、交換して面取り装置１０の運転を再開する（ステップＳ５）。
【００６９】
確認されたエアーの背圧が、ノッチ粗研削砥石６１にエアーが当たっていた時の背圧と比べて変化していた場合、制御装置は、異常検出センサ１が正常に動作していると判断し、ノッチ粗研削砥石６１による加工終了後、ノッチ精研削砥石５８によるノッチＮの精研削を開始する（ステップＳ６）。
【００７０】
ノッチ精研削砥石５８によるノッチＮの精研削では、ノッチ粗研削砥石６１による粗研削の時と同様に、加工前にノッチ精研削砥石５８の異常の有無が確認される。破損、脱落、又は変形等の異常が発生していると判断された場合は、面取り装置１０を停止させてノッチ精研削砥石５８の交換を行なう。
【００７１】
異常が無いと判断された場合は、ノッチ精研削砥石５８によるノッチＮの精研削を開始し、異常検出センサ１の異常の有無を確認するとともに、ノッチＮの精研削が行なわれる。精研削終了後は、ウェーハテーブル３４よりウェーハＷが搬出されて不図示のカセットへ収納される。
【００７２】
以上説明したように、ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法によれば、エアーを用いた簡易で安価な機構の異常検出センサにより、ノッチ用砥石に発生する、破損、脱落、又は変形等の異常を誤検出することなく確認することが可能となる。
【００７３】
これにより、ウェーハに加工不良や未加工が発生せず、ウェーハを無駄にすることがない。
【００７４】
なお、本実施の形態においては、ノッチ部の研削の前に外周部の研削を行なっているが、本発明はこれに限らず、外周部の研削前にノッチ部を研削する方法であっても好適に利用可能である。
【００７５】
また、常検出センサからは常にエアーが噴出されているため、切削液や切削屑によりエアー噴射口が詰まることはなく、更に異常検出センサ自身の異常を確認することが可能であるため、環境に影響を受けない、メンテナンスフリーなノッチ用砥石の異常確認を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係わる面取り装置の主要部を示す正面図。
【図２】ウェーハテーブル周りの拡大図。
【図３】外周加工砥石を示した側面図。
【図４】異常検出センサの構成を示した斜視図。
【図５】ノッチ用砥石によりノッチを加工している際の異常検出センサの斜視図。
【図６】異常検出センサの配管系統図。
【図７】ノッチ用砥石によりノッチを加工している際の異常検出センサの上面図。
【図８】本発明に係わる面取り方法を示したフロー図。
【図９】ノッチ付きウェーハの上面図。
【符号の説明】
【００７７】
１…異常検出センサ，２…アーム部材，３…支持部材，４…ベース，５…押圧部材，６…エアーセンサ部，７…チューブ，８…支柱，９…圧力センサ，１０…面取り装置，２４…Ｘテーブル，２８…Ｙテーブル，３３…θスピンドル，３４…ウェーハテーブル，５２…外周加工砥石，４１…ツルーイング砥石（ツルアー），５４Ａ、５４Ｂ…外周精研スピンドル，５５Ａ、５５Ｂ…外周精研削砥石（面取り用砥石），５８…ノッチ精研削砥石，６１…ノッチ粗研削砥石，６３Ａ、６３Ｂ…駆動装置，Ｗ…ウェーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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