(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された処理液を貯留して蒸発濃縮する第１蒸発器と、
前記第１蒸発器で濃縮された前記処理液をさらに蒸発濃縮する第２蒸発器と、
前記第２蒸発器で生成された前記処理液の蒸気を前記第１蒸発器に移送する蒸気移送管とを備え、
前記第１蒸発器は、前記処理液を貯留する蒸発缶と、
伝熱管を含み、前記伝熱管が前記蒸発缶の内部に配置されている伝熱器と、
前記蒸発缶に滞留する前記処理液を移送して、前記伝熱管の上方から前記伝熱管に向けて前記処理液を散布する散布器と、
前記処理液の蒸気を外部に排出するための排出管とを含み、
前記蒸気移送管は、前記第２蒸発器で生成された蒸気が凝縮して前記第１蒸発器に貯留される前記処理液に戻されるように、前記第１蒸発器において前記伝熱器の下方に接続されている、濃縮装置。
【請求項２】
第１蒸発器にて蒸発濃縮した処理液を第２蒸発器にて更に蒸発濃縮する工程と、
前記第２蒸発器で生成された蒸気を凝縮して前記第１蒸発器に貯留される前記処理液に戻す工程と、
前記第１蒸発器にて生成された蒸気を外部に排出する工程とを含み、
前記第１蒸発器は、蒸発缶の内部に伝熱管が配置され、前記伝熱管に向けて前記処理液を散布することにより前記処理液を蒸発させるように構成されており、
前記処理液に戻す工程は、前記伝熱管から前記処理液が落下する領域に向かって前記蒸気を噴出することにより前記蒸気を凝縮する工程を含む、濃縮方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、濃縮装置および濃縮方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品などを製造する工場などからは、有機物が含まれる廃液が排出される場合がある。たとえば、半導体装置を製造するときの剥離剤や洗浄剤として、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）やＭＥＡ（モノエタノールアミン）などが使用される。これらの有機物は、使用後に廃液となる。従来の技術において、有機物を含む廃液の処理方法としては、生物処理が一般的であった（たとえば、特開平６−９１２８９号公報）。
【０００３】
しかし、有機物が高濃度の場合には、生物処理を行うための希釈が必要になる。希釈により廃液の体積は大きくなって、廃液を処理するための設備が大型になる。または、廃液を処理するための設備の運転管理が難しくなる。このために、近年においては、有機物を含む廃液を処理する方法として、蒸発濃縮法が採用されている。蒸発濃縮法では、濃縮装置を用いて廃液を濃縮して、この濃縮液を再利用したり焼却等により処分したりする。
【０００４】
蒸発濃縮法において、処理液を高濃度まで濃縮するための装置として、多段の蒸発器を備える濃縮装置が知られている。この濃縮装置では、蒸発器を複数配置して、一の蒸発器で濃縮された処理液を、他の蒸発器でさらに濃縮する。たとえば、特開平４−３３０９０３号公報、または特開平４−３１３３０２には、多段の濃縮装置が開示されている。
【特許文献１】特開平６−９１２８９号公報
【特許文献２】特開平４−３３０９０３号公報
【特許文献３】特開平４−３１３３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
蒸発濃縮法を用いた濃縮装置において、処理液に含まれる物質（含有物）によっては、濃縮装置から排出される蒸気の凝縮水に、この物質が不純物となって混入する。たとえば、処理液に揮発性を有する有機物が含まれる場合には、凝縮水にも有機物が混入する。蒸発が進行して処理液中の有機物の濃度が上昇するとともに、凝縮水に混入する有機物の濃度が上昇する。
【０００６】
処理液が廃液の場合、濃縮装置にて濃縮された処理液は、たとえば廃棄処分される。このために濃縮された処理液の体積は小さいことが好ましい。すなわち、濃縮装置で高い濃度まで濃縮を行なって、処理液の体積を小さくすることが好ましい。
【０００７】
また、濃縮された濃縮液を回収して再利用する場合には、たとえば濃縮液の商品的価値を高めるために、高い濃度まで濃縮を行うことが好ましい。
【０００８】
しかしながら、上記の通り、処理液の濃度の上昇に伴って排出される凝縮水の水質が悪化するために、濃縮倍率をあまり上げることができないという問題があった。従来の技術の処理液の濃縮においては、凝縮水を所定の水質にするために、濃縮装置における処理液の濃縮倍率を抑えて運転を行っていた。たとえば、凝縮水に含まれる有機物の濃度には規制があり、この規制の凝縮水の水質を確保するために、処理液の濃縮倍率を抑えた状態で運転を行なっていた。
【０００９】
本発明は、装置から排出される凝縮水に含まれる不純物の濃度を抑制できる濃縮装置および濃縮方法を提供することを課題にする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の濃縮装置は、供給された処理液を貯留して蒸発濃縮する第１蒸発器と、前記第１蒸発器で濃縮された前記処理液をさらに蒸発濃縮する第２蒸発器とを備える。濃縮装置は、前記第２蒸発器で生成された前記処理液の蒸気を前記第１蒸発器に移送する蒸気移送管を備える。前記第１蒸発器は、前記処理液を貯留する蒸発缶と、伝熱管を含み、前記伝熱管が前記蒸発缶の内部に配置されている伝熱器と、前記蒸発缶に滞留する前記処理液を移送して、前記伝熱管の上方から前記伝熱管に向けて前記処理液を散布する散布器と、前記処理液の蒸気を外部に排出するための排出管とを含む。前記蒸気移送管は、前記第２蒸発器で生成された蒸気が凝縮して前記第１蒸発器に貯留される前記処理液に戻されるように、前記第１蒸発器において前記伝熱器の下方に接続されている。
【００１２】
本発明の濃縮方法は、第１蒸発器にて蒸発濃縮した処理液を第２蒸発器にて更に蒸発濃縮する工程と、前記第２蒸発器で生成された蒸気を凝縮して前記第１蒸発器に貯留される前記処理液に戻す工程と、前記第１蒸発器にて生成された蒸気を外部に排出する工程とを含を含む。前記第１蒸発器は、蒸発缶の内部に伝熱管が配置され、前記伝熱管に向けて前記処理液を散布することにより前記処理液を蒸発させるように構成されている。前記処理液に戻す工程は、前記伝熱管から前記処理液が落下する領域に向かって前記蒸気を噴出することにより前記蒸気を凝縮する工程を含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、装置から排出される凝縮水に含まれる不純物の濃度を抑制できる濃縮装置および濃縮方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１から図３を参照して、実施の形態における濃縮装置について説明する。
【００１６】
図１は、実施の形態における濃縮装置の概略図である。本実施の形態における濃縮装置は、第１蒸発器としての水平管型蒸発器５１を備える。水平管型蒸発器５１は、低濃縮側の蒸発器である。
【００１７】
水平管型蒸発器５１は、蒸発缶１１を含む。蒸発缶１１は、筒型に形成されている。蒸発缶１１は、内部に処理液６０を貯留することができるように形成されている。水平管型蒸発器５１は、処理液を蒸発缶１１に供給するための管７３を含む。
【００１８】
本実施の形態における水平管型蒸発器５１は、伝熱器１４を備える。伝熱器１４は、伝熱管１４ａを含む。伝熱管１４ａは、蒸発缶１１の内部に配置されている。伝熱管１４ａは、水平方向に延びるように形成されている。伝熱管１４ａは、蒸発缶１１のうち上部に配置されている。
【００１９】
伝熱器１４は、ヘッダ部１４ｂ，１４ｃを含む。ヘッダ部１４ｂは、蒸気が進入する側に配置されている。ヘッダ部１４ｃは、蒸気が排出する側に配置されている。ヘッダ部１４ｂ，１４ｃのそれぞれには、複数の伝熱管１４ａが接続されている。伝熱管１４ａは、ヘッダ部１４ｂおよびヘッダ部１４ｃをはし渡すように配置されている。伝熱器１４のヘッダ部１４ｃには、加熱蒸気の凝縮水を排出するための管７４が接続されている。管７４には、凝縮水を排出するための凝縮水ポンプ２８が配置されている。管７４には、凝縮水の熱により管７３を通る処理液を予熱する予熱器４１が配置されている。予熱器４１は、熱交換器である。
【００２０】
本実施の形態における水平管型蒸発器５１は、処理液６０の循環流路を含む。循環流路には、循環ポンプ１２および散布器１３が配置されている。
【００２１】
循環ポンプ１２は、蒸発缶１１の底部に接続されている。循環ポンプ１２は、管７０を通して、蒸発缶１１に貯留する処理液６０を散布器１３に移送することができるように形成されている。また、循環ポンプ１２は、管７５を通して、処理液６０の一部を水平管型蒸発器５２に移送することができるように形成されている。散布器１３は、処理液６０を伝熱管１４ａの上方から伝熱管１４ａに向けて散布するように形成されている。
【００２２】
水平管型蒸発器５１は、処理液の蒸気を外部に排出するための排出管として管６９を備える。管６９は、蒸発缶１１の上部に接続されている。水平管型蒸発器５１は、蒸気圧縮機器としてのヒートポンプ４０を含む。ヒートポンプ４０は、管６９に接続されている。ヒートポンプ４０は、出口側が伝熱器１４のヘッダ部１４ｂに接続されている。ヒートポンプ４０は、蒸発缶１１の上部の蒸気をヘッダ部１４ｂに移送することができるように形成されている。ヒートポンプ４０は、蒸発缶１１の内部の蒸気を吸い込んで圧縮昇温するように形成されている。伝熱器１４のヘッダ部１４ｃには、真空ポンプ２９が接続されている。
【００２３】
本実施の形態における水平管型蒸発器５１は、ヘッダ部１４ｂの蒸気を補助的に加熱するための加熱器を含む。加熱器は、蒸気を移送する管７１，７２および熱交換部４２を有する。熱交換部４２は、ヘッダ部１４ｂの内部に配置されている。本実施の形態においては、ボイラによって生成された生蒸気が熱交換部４２に供給されている。
【００２４】
本実施の形態における濃縮装置は、第２蒸発器としての水平管型蒸発器５２を備える。水平管型蒸発器５２は、水平管型蒸発器５１で濃縮された処理液６０をさらに濃縮するための蒸発器である。水平管型蒸発器５２は、高濃縮側の蒸発器である。
【００２５】
水平管型蒸発器５２は、蒸発缶２１を備える。蒸発缶２１は、筒型に形成されている。蒸発缶２１は、内部に処理液６０を貯留することができるように形成されている。
【００２６】
水平管型蒸発器５２は、伝熱器２４を備える。伝熱器２４は、ヘッダ部２４ｂ，２４ｃを含む。ヘッダ部２４ｂには、管７６が接続され、ボイラで生成された生蒸気が供給される。ヘッダ部２４ｃには、加熱蒸気のドレンを排出するための管８０が接続されている。
【００２７】
伝熱器２４は、伝熱管２４ａを有する。伝熱管２４ａは、蒸発缶２１の内部に配置されている。伝熱管２４ａは、ヘッダ部２４ｂおよびヘッダ部２４ｃをはし渡すように配置されている。伝熱管２４ａは、水平方向に延びるように形成されている。ヘッダ部２４ｂ，２４ｃのそれぞれには、複数の伝熱管２４ａが接続されている。
【００２８】
本実施の形態における水平管型蒸発器５２は、処理液６０の循環流路を含む。循環流路には、循環ポンプ２２および散布器２３が配置されている。
【００２９】
循環ポンプ２２は、管７７を通して、蒸発缶２１に貯留する処理液６０を散布器２３に移送することができるように形成されている。また、循環ポンプ２２は、管７８を通して、蒸発缶２１に貯留する処理液６０の一部を排水できるように形成されている。散布器２３は、伝熱器２４の上方に配置されている。散布器２３は、伝熱管２４ａの上方から伝熱管２４ａに向かって、処理液６０を散布することができるように形成されている。
【００３０】
本実施の形態における濃縮装置は、水平管型蒸発器５１で濃縮した処理液６０を、水平管型蒸発器５２に移送するための管７５を備える。管７５は、水平管型蒸発器５２の蒸発缶２１に接続されている。
【００３１】
本実施の形態における濃縮装置は、水平管型蒸発器５２で生成された処理液６０の蒸気を、水平管型蒸発器５１に移送するための蒸気移送管として、管７９を備える。管７９は、水平管型蒸発器５２の蒸発缶２１の上部に接続されている。管７９は、蒸発缶２１のうち伝熱器２４の上方に接続されている。また、管７９は、水平管型蒸発器５１の蒸発缶１１のうち伝熱器１４の下方に接続されている。
【００３２】
次に、本実施の形態における濃縮方法について説明する。始めに、水平管型蒸発器５１の蒸発缶１１に、処理を行なう処理液の原液を供給する。矢印８１に示すように、管７３により処理液を蒸発缶１１に移送する。処理液は、予熱器４１により予熱される。
【００３３】
次に、開閉弁３１を開いた状態にして、開閉弁３２を閉じた状態にする。循環ポンプ１２を駆動することにより、矢印８２に示すように、散布器１３に処理液６０を供給する。処理液６０は、散布器１３により伝熱管１４ａに向かって散布される。
【００３４】
散布器１３にて散布された処理液６０は、伝熱管１４ａの表面で蒸発する。処理液６０の蒸気は、矢印８３に示すように、管６９を通ってヒートポンプ４０で吸引される。蒸気は、ヒートポンプ４０により圧縮昇温された後にヘッダ部１４ｂに送られる。
【００３５】
本実施の形態においては、矢印８６に示すように、生蒸気が補助熱源として熱交換部４２に入熱される。生蒸気が熱交換部４２に供給されることにより、循環散布される処理液６０をより昇温することができる。熱交換部４２で熱交換を行った蒸気は、矢印８７に示すように、管７２を通って排出される。
【００３６】
真空ポンプ２９が駆動することにより、ヘッダ部１４ｃが排気される。ヘッダ部１４ｂに進入した蒸気がヘッダ部１４ｃに向かうことによって、伝熱管１４ａが加熱される。一方で、ヘッダ部１４ｂに進入した蒸気は、伝熱管１４ａを通ることにより凝縮してヘッダ部１４ｃに流入する。凝縮水ポンプ２８が駆動することにより、矢印８４に示すように、凝縮水が予熱器４１に導かれる。凝縮水は、予熱器４１にて冷却されて排水される。
【００３７】
このように、処理液６０を蒸発することにより濃縮を行なう。ここで、開閉弁３２を開くことにより、矢印８５に示すように、管７５を通して、濃縮された処理液６０の一部を水平管型蒸発器５２の蒸発缶２１に移送する。本実施の形態においては、水平管型蒸発器５１にて蒸発を行いながら、濃縮された処理液６０の一部を水平管型蒸発器５２に移送する。蒸発缶１１には、矢印８１に示すように処理液６０の原液を連続的に供給する。
【００３８】
水平管型蒸発器５２においては、開閉弁３４を閉じた状態にして、開閉弁３３を開いた状態にする。循環ポンプ２２を駆動することにより、矢印９１に示すように、蒸発缶２１に貯留する処理液６０が、散布器２３に向かって供給される。散布器２３に供給された処理液６０は、伝熱管２４ａに向かって散布される。伝熱管２４ａの外面において処理液６０は蒸発する。
【００３９】
伝熱器２４のヘッダ部２４ｂには、矢印９３に示すように、管７６を通して生蒸気が供給される。蒸気が伝熱管２４ａを通ることにより伝熱管２４ａが加熱される一方で、この蒸気は凝縮する。ヘッダ部２４ｃに到達した蒸気ドレンは、矢印９４に示すように、管８０を通してドレン水として排水される。
【００４０】
水平管型蒸発器５２の蒸発缶２１の内部で生成された蒸気は、矢印９２に示すように、管７９を通って水平管型蒸発器５１の蒸発缶１１に送られる。本実施の形態における管７９は、蒸発缶１１において伝熱器１４の下方に接続されている。また、管７９は、蒸発缶１１において、貯留されている処理液６０の液面よりも上方に接続されている。
【００４１】
蒸気は、伝熱管１４ａで蒸発せずに残存する処理液６０が液滴６１となって落下している領域に噴出される。管７９にて移送される蒸気は、液滴６１を加熱する一方で、凝縮して蒸発缶１１に貯留される処理液６０に戻る。
【００４２】
水平管型蒸発器５２においては、蒸発濃縮を行っているときに、処理液を循環させるための開閉弁３３を開いた状態にして、処理液を廃棄するための管７８に配置されている開閉弁３４を全閉にする。蒸発缶２１の内部には、濃縮された処理液６０が貯留される。蒸発缶２１に貯留する処理液６０の量や濃度が所定値に達したら、開閉弁３４を開くことにより、矢印９５に示すように、濃縮された処理液６０を排出する。
【００４３】
本実施の形態において、水平管型蒸発器５１は連続的な運転を行なっている。水平管型蒸発器５２では、処理液の濃縮が終わるまで、排出流路を閉じた状態で運転を行なっている。濃縮装置の運転方法としては、この形態に限られず、たとえば、水平管型蒸発器５２にて濃縮された処理液を連続的に排出しながら運転を行なっても構わない。
【００４４】
本実施の形態における濃縮装置は、第２蒸発器で生成された蒸気が第１蒸発器に貯留される処理液に戻されるように、第１蒸発器に接続されている蒸気移送管を備える。第１蒸発器は、処理液の蒸気を外部に排出するための排出管を含む。また、本実施の形態における濃縮方法は、第２蒸発器で生成された蒸気を凝縮して第１蒸発器に貯留する処理液に戻す工程と、第１蒸発器にて生成された蒸気を外部に排出する工程とを含む。この構成または方法により、処理液に含まれる物質（含有物）が排出される蒸気に混入する濃度を小さくすることができる。すなわち、濃縮装置から排出される凝縮水に含まれる不純物の濃度を小さくすることができる。または、凝縮水に含まれる不純物の総量を少なくすることができる。
【００４５】
図２に、本実施の形態における濃縮装置の概略系統図を示す。図３に、比較例としての濃縮装置の概略系統図を示す。
【００４６】
濃縮装置において、第１蒸発器は低濃縮側の蒸発器であり、第２蒸発器は高濃縮側の蒸発器である。濃縮装置において、第１蒸発器に原液が供給される。また、第１蒸発器にて濃縮された第１濃縮液が、第２蒸発器に移送される。第２蒸発器にて濃縮された第２濃縮液が排出される。この例における処理液に含まれる物質（含有物）は、有機物である。
【００４７】
図３を参照して、比較例の濃縮装置においては、第１蒸発器の蒸気から生成される第１凝縮水と、第２蒸発器の蒸気から生成される第２凝縮水とは、混合されて排出される。
【００４８】
これに対して、図２を参照して、本実施の形態の濃縮装置においては、第２蒸発器で得られた第２凝縮水が第１蒸発器に戻されている。ここで、本実施の形態においては、第２蒸発器の蒸気が、気体の形態のままで第１蒸発器に戻されているが、図２においては、有機物の濃度や移送量を示すために蒸気を第２凝縮水として換算している。濃縮装置から排出される凝縮水は、第１蒸発器において生成された蒸気から得られる第１凝縮水である。
【００４９】
本実施の形態において、第２蒸発器の蒸気から得られる第２凝縮水に含まれる有機物の濃度は、原液に含まれる有機物の濃度よりも低い。このため、第１蒸発器から排出される第１凝縮水の濃度を低くすることができる。また、第１凝縮水に対して第２蒸発器からの凝縮水が混合されないために、排出する総合された凝縮水の濃度を低くすることができる。
【００５０】
たとえば、図２および図３において、第１蒸発器に供給される原液の有機物の濃度は、略１００００ｍｇ／ｌである。また、有機物の供給量は、１日当たり１０００ｋｇである。それぞれの蒸発器において排出される凝縮水には、排出される濃縮液の略１／１００の濃度の物質が含まれている。たとえば、第１凝縮水には、第１濃縮液の略１／１００の有機物が含まれる。また、第２凝縮水には、第２濃縮液の略１／１００の有機物が含まれる。
【００５１】
図３を参照して、比較例の濃縮装置においては、排出される凝縮水の有機物の濃度は、１０００ｍｇ／ｌよりも大きくなる。これに対して、図２を参照して、本実施の形態の濃縮装置において排出される第１凝縮水の濃度は、１０００ｍｇ／ｌよりも小さくなる。このように、本実施の形態における濃縮装置は、排出される凝縮水に含まれる不純物の濃度を低く抑えることができる。凝縮水に混入して排出される有機物の量を比較したときにも、比較例においては１日あたり１１０ｋｇであるのに対して、本実施の形態においては１日あたり９４ｋｇであり、排出量を低くできることが分かる。
【００５２】
また、第２蒸発器から排出される第２濃縮液の濃度に着目したときに、図３の比較例においては略２７００００ｍｇ／ｌであるのに対して、本実施の形態においては２７４５００ｍｇ／ｌであり、第２蒸発器から排出する処理液の濃度を高くできることが分かる。
【００５３】
図３の比較例の濃縮装置のように、高濃縮側の蒸発器の蒸気を凝縮してそのまま排出する場合には、濃度の排出規制などにより、高い濃度まで濃縮を行なうことができなかった。特に、高濃縮側の第２蒸発器において、処理液の濃縮を抑えて運転していた。
【００５４】
図２の本実施の形態の濃縮装置においては、第２蒸発器にて生成される処理液の蒸気が、第１蒸発器に戻されるために、第２蒸発器にて高い濃度まで濃縮を行なうことができる。すなわち、第２蒸発器にて排出される蒸気に含まれる不純物の濃度に関わらず運転を行うことができる。
【００５５】
本実施の形態における濃縮装置は、濃縮運転の限界まで、処理液の濃縮を行なうことができる。たとえば、水平管型蒸発器においては、処理液の濃度が上昇すると、処理液の粘度が上昇して伝熱器での伝熱性能が悪化する。このために、蒸発器を運転するための処理液の濃度の限界がある。本実施の形態においては、第２蒸発器において、このような運転の限界まで処理液を濃縮することができる。
【００５６】
本実施の形態における処理液は、含有物としての有機物を含む。低沸点の有機物は、蒸発を開始するとともに速やかに蒸発する。高沸点の有機物は、処理液の濃度が高くなった状態において蒸気に混入する。本発明では、高濃縮側の蒸発缶で生じる蒸気を低濃縮側の蒸発缶に戻すために、高沸点の物質を含む処理液を蒸発濃縮するための濃縮装置に好適である。本発明における高沸点とは、蒸発させる圧力条件下において水の沸点より高い沸点を示す。濃縮装置の蒸発缶の内部が大気圧よりも低いときには、その圧力での沸点を示す。高沸点の物質としては、たとえば、大気圧中で処理液を蒸発させる場合には、沸点が１５０℃以上の物質である。高沸点の有機物としては、ＤＭＳＯ、ＭＥＡ、エチレングリコールまたはジエチレングリコールなどが挙げられる。
【００５７】
また、高沸点の物質には、処理液の濃度と蒸気に混入する量とが比例関係になく、処理液の濃度が高くなると蒸気に混入する量が指数関数状に多くなる物質がある。このような物質は、処理液の濃度が高くなると、蒸気に混入する量が非常に多くなる。本発明の濃縮装置は、このような蒸気に混入する量が指数関数状に増加する物質を含む処理液を蒸発濃縮する場合に、特に好適である。
【００５８】
図１を参照して、本実施の形態の濃縮装置においては、蒸発缶１１において、蒸気移送管としての管７９が伝熱器１４の下方に接続されている。本実施の形態の濃縮方法においては、蒸発缶１１において伝熱管１４ａから処理液６０が落下する領域に向かって水平管型蒸発器５２からの蒸気を噴出することにより蒸気を凝縮する工程を含む。この構成または方法を採用することにより、簡易な構成または方法で蒸気を凝縮して蒸発缶１１に貯留する処理液に戻すことができる。たとえば、管７９の途中に凝縮器が配置され、蒸気の少なくとも一部が液化された状態で、蒸気が蒸発缶１１に戻されていても構わない。しかし、管７９に凝縮器を配置すると、凝縮器で蒸気の熱が奪われて熱損失が生じるために、蒸発缶２１で生成した蒸気が直接的に蒸発缶１１に投入されることが好ましい。
【００５９】
本実施の形態においては、蒸発缶１１に貯留される処理液６０の液面よりも高い領域に管７９が接続されているが、この形態に限られず、蒸気移送管は、第２蒸発器で生成される蒸気が第１蒸発器に貯留される処理液に戻されるように接続されていれば構わない。すなわち、蒸気が蒸発缶内を落下する液滴により凝縮されて、第１蒸発器に貯留される処理液に戻されていても、または、蒸気が直接的に第１蒸発器に貯留される処理液に投入されていても構わない。たとえば、蒸気移送管は、蒸発缶１１の底部に貯留する処理液６０の内部に蒸気を放出するように接続されていても構わない。
【００６０】
本実施の形態において、水平管型蒸発器５１は、ヒートポンプ４０を含み、処理液の蒸気がヒートポンプ４０にて圧縮昇温されて伝熱器１４に移送されている。この構成を採用することにより、処理液の蒸気の熱を有効利用することができ、濃縮装置の熱効率を向上することができる。
【００６１】
本実施の形態においては、蒸発器として水平管型蒸発器が配置されているが、この形態に限られず、任意の蒸発器を採用することができる。たとえは、蒸発器として、フラッシュ型蒸発器が採用されていても構わない。
【００６２】
本実施の形態においては、１つの第１蒸発器に対して１つの第２蒸発器が接続されているが、この形態に限られず、任意の個数の第１蒸発器に対して、任意の個数の第２蒸発器が接続されていても構わない。
【００６３】
本実施の形態における処理液は有機物を含むが、この形態に限られず、任意の物質（含有物）を含む処理液を濃縮するための濃縮装置に本発明を適用することができる。
【００６４】
上記に記載の実施の形態は、本発明を限定するものではなく例示である。また、それぞれの図において、同一の部分および相当する部分には同一の符号を付している。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】実施の形態における濃縮装置の概略系統図である。
【図２】実施の形態における濃縮装置の液体の流量と、有機物の濃度および量とを説明する概略系統図である。
【図３】比較例の濃縮装置の液体の流量と、有機物の濃度および量とを説明する概略系統図である。
【符号の説明】
【００６６】
１１，２１  蒸発缶
１２，２２  循環ポンプ
１３，２３  散布器
１４，２４  伝熱器
１４ａ，２４ａ  伝熱管
１４ｂ，１４ｃ，２４ｂ，２４ｃ  ヘッダ部
２８  凝縮水ポンプ
２９  真空ポンプ
３１〜３４  開閉弁
４０  ヒートポンプ
４１  予熱器
４２  熱交換部
５１，５２  水平管型蒸発器
６０  処理液
６１  液滴
７０〜８０  管
８１〜８７，９１〜９５  矢印
【図１】
0004827816.tif 000002
【図２】
0004827816.tif 000003
【図３】
0004827816.tif 000004