(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前工程の設備で作業が遂行された互いに異なる大きさを有する基板を整列して置くためのハンドリングステーションと、
前記ハンドリングステーションに整列された前記基板を取り上げ、前記基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載する搬送ロボットと、
基板の大きさに関わらずカセットまたは次の設備の一定の位置に前記基板が積載されるように、前記ハンドリングステーションにおける基板の整列または前記搬送ロボットの動作を制御する設備制御器と、を含み、
前記ハンドリングステーションは、前工程の設備からスライディングして進入する基板を止めるためのストップバーを有し、
前記ストップバーは、進入する基板の大きさに関わらず、ハンドリングステーションの前面に形成され、
前記ストップバーにより基板がハンドリングステーションの前面に整列されると、前記ハンドリングステーションは反転し、前記基板がハンドリングステーションの後面に整列される、基板のアンローディング装置。
【請求項２】
前記搬送ロボットは前記ハンドリングステーションの後面に整列された基板を取り上げた後、基板の大きさに関わらず一定の半径で回転させ、カセットまたは次工程の設備に前記整列された基板を搭載することを特徴とする、請求項１に記載の基板のアンローディング装置。
【請求項３】
前工程の設備で作業が遂行された互いに異なる大きさを有する基板を整列して置くためのハンドリングステーションと、
前記ハンドリングステーションに整列された前記基板を取り上げ、前記基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載する搬送ロボットと、
基板の大きさに関わらずカセットまたは次の設備の一定の位置に前記基板が積載されるように、前記ハンドリングステーションにおける基板の整列または前記搬送ロボットの動作を制御する設備制御器と、を含み、
前記ハンドリングステーションは、前工程の設備からスライディングして進入する基板を止めるためのストップバーを有し、
前記ストップバーは、進入する基板の大きさに関わらず、ハンドリングステーションの前面に形成され、
前記ハンドリングステーションは、前記ストップバーによって整列された基板の大きさを感知するためのセンサをさらに有する、
前記設備制御器は、
ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースから前記ハンドリングステーションに整列された基板の大きさの情報を受信し、
前記ハンドリングステーションにある位置感知センサによって感知された基板の大きさの情報と、ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースからの基板の大きさの情報とが一致するかどうかを判断する、基板のアンローディング装置。
【請求項４】
前記設備制御器は、前記位置感知センサによって感知された前記基板の大きさの情報に基づいて前記搬送ロボットの回転半径を制御し、前記基板がカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載されるように調整することを特徴とする、請求項３に記載の基板のアンローディング装置。
【請求項５】
前記搬送ロボットは、
ベースと、
前記ベース上に回転できるように形成されている回転軸と、
前記回転軸に連結され、前記回転軸を中心に回転する回転アームと、
前記回転アームにスライディングできるように連結され、アーム全体の長さが調節できるようにするスライディングアームと、
前記スライディングアームに連結され、基板を吸着するための真空吸着板を有する搬送チャックと、
を含む請求項４に記載の基板のアンローディング装置。
【請求項６】
前記基板は原板と切断板とからなり、
前記搬送ロボットは、
前記原板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、アームの長さがｄ１である状態で前記原板を前記搬送チャックで取り上げた後、前記回転軸を中心に回転させてカセットまたは次の設備に積載し、前記切断板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、前記スライディングアームを前記回転アームの方向にスライディングさせ、アームの長さをｄ２（ｄ２＜ｄ１）にした状態で前記切断板を前記搬送チャックで取り上げた後、前記スライディングアームを前記回転アームの反対方向にスライディングさせ、アームの長さを前記ｄ１にした状態で前記回転軸を中心に回転し、前記切断板をカセットまたは次工程の設備に積載することを特徴とする、請求項５に記載の基板のアンローディング装置。
【請求項７】
前工程の設備で作業が遂行された互いに異なる大きさを有する基板を整列して置くためのハンドリングステーションと、
前記ハンドリングステーションに整列された前記基板を取り上げ、前記基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載する搬送ロボットと、
基板の大きさに関わらずカセットまたは次の設備の一定の位置に前記基板が積載されるように、前記ハンドリングステーションにおける基板の整列または前記搬送ロボットの動作を制御する設備制御器と、を含み、
前記ハンドリングステーションは、前工程の設備からスライディングして進入する基板を止めるためのストップバーを有し、
前記ストップバーは、移動が可能であり、前記基板が前記ハンドリングステーションに進入する前には前記ハンドリングステーションの前面に形成されており、
前記設備制御器は、前記基板が前記ストップバーによって前記ハンドリングステーションの前面に整列された場合、前記基板の大きさの情報に基づいて前記ストップバーを移動させ、前記基板が前記ハンドリングステーションの後面に整列されるように調整することを特徴とする、基板のアンローディング装置。
【請求項８】
前記ハンドリングステーションは、前記ストップバーによって前面に整列された基板の大きさを感知するためのセンサをさらに含み、
前記設備制御器は、前記センサによって感知された基板の大きさに関する情報を、センサから受信することを特徴とする、請求項７に記載のアンローディング装置。
【請求項９】
前記設備制御器は、前工程の設備またはホストから進入した基板の大きさに関する情報を受信することを特徴とする、請求項７に記載のアンローディング装置。
【請求項１０】
作業者が基板の大きさの情報を直接入力する作業者インタフェースをさらに含む、請求項７に記載の基板のアンローディング装置。
【請求項１１】
前工程の設備において作業が遂行された基板をハンドリングステーションの前面に整列させる段階と、
前記整列された基板の大きさの情報を設備制御器に伝送する段階と、
伝送された基板の大きさの情報によって前記基板を返送する搬送ロボットの回転半径を制御し、前記基板をカセットまたは次工程の設備の一定の位置に搭載する段階と、を含み、
前記整列された基板の大きさは前記ハンドリングステーションにある位置感知センサによって感知され、
前記設備制御器は、
ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースから前記ハンドリングステーションに整列された基板の大きさの情報を受信し、前記ロボットの回転半径を制御し、
前記ハンドリングステーションにある位置感知センサによって感知された基板の大きさの情報と、ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースからの基板の大きさの情報とが一致するかどうかを判断する基板のアンローディング方法。
【請求項１２】
前記基板は原板と切断板とからなり、
前記設備制御器は、
前記原板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、前記搬送ロボットのアームの長さをｄ１にした状態で前記原板を取り上げた後、回転軸を中心に回転させ、カセットまたは次工程の設備に積載し、前記切断板が前記ハンドリングステーションに整列される場合には前記搬送ロボットのアームの長さをｄ２（ｄ２＜ｄ１）にした状態で前記切断板を取り上げた後、前記ロボットのアームの長さを前記ｄ１にした状態で回転軸を中心に回転させ、前記切断板をカセットまたは次工程の設備に積載することを特徴とする、請求項１１に記載の基板のアンローディング方法。
【請求項１３】
前記設備制御器は、前記位置感知センサの感知結果によって前記搬送ロボットの回転半径を制御することを特徴とする、請求項１２に記載のアンローディング方法。
【請求項１４】
前記設備制御器は、感知された基板の大きさと、ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースからの前記基板の大きさとで情報が異なる場合、感知された基板の大きさに基づいて作業を進めることができるかどうかを判断し、
作業を進めることができないと判断した場合、基板のアンローディング作業を中止し、
作業を進めることができると判断した場合、感知された基板の大きさによって搬送ロボットの回転半径を制御することを特徴とする、請求項１１に記載の基板のアンローディング方法。
【請求項１５】
前工程の設備で作業が遂行された基板を、基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの後面に整列させる第１段階と、
前記整列された基板を、基板の大きさに関わらず一定の半径で回転させ、カセットまたは次工程の設備の一定の位置に搭載する第２段階と、を含み、
前記第１段階は、
前記基板を前記ハンドリングステーションの前面に位置したストップバーによって基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの前面に整列させる段階と、
前記前面に整列された基板の大きさによって前記ストップバーを後面方向に移動させ、前記基板をハンドリングステーションの後面に整列させる段階と、を有する基板のアンローディング方法。
【請求項１６】
前記基板の大きさは前記ハンドリングステーションにあるセンサによって感知されることを特徴とする、請求項１５に記載の基板のアンローディング方法。
【請求項１７】
前記基板の大きさは、ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースから送信されることを特徴とする請求項１５に記載の基板のアンローディング方法。
【請求項１８】
前工程の設備で作業が遂行された基板を、基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの後面に整列させる第１段階と、
前記整列された基板を、基板の大きさに関わらず一定の半径で回転させ、カセットまたは次工程の設備の一定の位置に搭載する第２段階と、を含み、
前記第１段階は、
前記ハンドリングステーションの前面に位置しているストップバーによって、基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの前面に前記基板を整列させる段階と、
前記ハンドリングステーションを１８０°回転し、前記基板をハンドリングステーションの後面に整列させる段階と、
を含む基板のアンローディング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明の基板のアンローディング装置及びアンローディング方法に関し、より詳しくは、互いに異なる大きさを有する薄膜トランジスタ液晶表示装置（ｔｈｉｎ  ｆｉｌｍ  ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ  ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｄｉｓｐ−ｌａｙ；ＴＦＴ−ＬＣＤ）基板のアンローディング装置及びアンローディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＦＴ−ＬＣＤは二つの基板の間に注入されている二方性誘電率を有する液晶物質に電界を印加し、この電界の強さを調整して基板を透過する光の量を調節することにより、望む画像信号を得る装置である。
【０００３】
通常、ＴＦＴ−ＬＣＤの二つの基板の一方は、多数の画素電極と薄膜トランジスターとが形成されているＴＦＴ基板である。他方の基板は、所望の色を表示するための赤、青のカラーフィルター（ｃｏｌｏｒ ｆｉｌｔｅｒ；ＣＦ）及びブラックマトリックス（ｂｌａｃｋ ｍａｔｒｉｘ）が形成されているＣＦ基板である。
【０００４】
ＴＦＴ−ＬＣＤの製造工程では生産性の向上のために一枚のガラス基板に一つのＴＦＴ−ＬＣＤを形成するためのパネル（これをセルという）を多数形成する。
【０００５】
つまり、ＴＦＴ−ＬＣＤの製造工程では、ＴＦＴ基板とＣＦ基板とにそれぞれ多数のセル（たとえば、４、６、８枚のセル）を形成した後、多数のセルが形成されたＴＦＴ基板とＣＦ基板とを組み立て、各セル毎に切断してＴＦＴ−ＬＣＤを製造する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
一方、それぞれＴＦＴ基板とＣＦ基板とを製造する工程中に各基板のセルに不良が発生することがある。不良が生じた基板を組み立てた後、各セル毎にＴＦＴ−ＬＣＤを製造する場合には次のような問題点が生じることがある。
【０００７】
即ち、組み立てられた二つの基板の中で、もしある一方の基板のセルは正常でこれに対応する他の基板のセルは不良であるとすれば、これらセルからなるＴＦＴ−ＬＣＤは不良と見なされて廃棄しなければならないという問題点がある。
【０００８】
したがって、不良セルを有するＴＦＴ基板またはＣＦ基板を、たとえば、１／２の大きさ、１／３の大きさで切断し、セルの不良如何によって切断されたＴＦＴ基板またはＣＦ基板を組み立てた後、最終的にＴＦＴ−ＬＣＤを製造する方法が用いられている。
【０００９】
しかし、従来には切断されていない基板（これを原板という）と、１／２または１／３の大きさに切断された基板（これを切断板という）とをカセットまたは他の設備にアンローディングする場合、以下に説明するように基板の大きさに関わらず同一な方法でアンローディングを遂行するために多くの問題点が発生する。
【００１０】
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、それぞれ原板と切断板とをアンローディングする従来の方法を示す図面である。
【００１１】
図１に示すように、前工程の設備で所定の作業が遂行された原板４または切断板５はハンドリングステーション１の上に置かれる。この時、原板４または切断板５はハンドリングステーション１の前面に整列される。
【００１２】
搬送ロボット２は、ハンドリングステーション１の前面に整列された原板または切断板を取り上げた後、図１中矢印方向にこれを回転させ、それぞれカセット３に搭載する。この時、基板の大きさ、つまり、原板であるか切断板であるかに関わらず、一定の半径で基板を回転させてカセットに搭載する。したがって、原板の場合には図１（Ａ）に示すようにカセット３の遮られた部分に安定して整列されるが、切断板の場合には図１（Ｂ）に示すようにカセットの遮られた部分、すなわち不安定な位置に積載される。つまり、不安定な位置にある基板を積載しているカセットを搬送する場合、振動や外部の衝撃が加わることがあり、この振動や外部の衝撃によって基板が破損する問題がある。
【００１３】
また、基板の種類によってカセットに積載される位置が一定しないので、次の工程で作業する時、作業が容易でないという問題点がある。
【００１４】
本発明は前記問題点を解決するためのものであって、基板によってハンドリングステーションに置かれる位置を調節するかまたは搬送ロボットの回転半径を調節することによって基板をカセットまたはその次工程の設備の安定した位置に積載するためのものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、本発明の一実施形態による基板のアンローディング装置は、前工程の設備で作業が遂行された、互いに異なる大きさを有する基板を整列して置くためのハンドリングステーションと；前記ハンドリングステーションに整列された前記基板を取り上げ、前記基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載する搬送ロボットと；基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に前記基板が積載されるように前記ハンドリングステーションでの基板の整列または前記搬送ロボットの動作を制御する設備制御器を含む。
【００１６】
また、基板のアンローディング装置は作業者が基板の大きさの情報を直接入力する作業者インタフェースをさらに含むことができる。ここで、前記ハンドリングステーションは前工程の設備からスライディングして進入する基板を止めるためのストップバーと、ストップバーによって整列された基板の大きさを感知するための感知センサとを含む。
ストップバーは、進入する基板の大きさに関わらず、ハンドリングステーションの前面に形成することができる。ストップバーにより基板がハンドリングステーションの前面に整列されると、前記ハンドリングステーションは反転し、前記基板がハンドリングステーションの後面に整列されるようにしてもよい。
ハンドリングステーションは、前記ストップバーによって整列された基板の大きさを感知するためのセンサをさらに含むことができる。前記センサによって感知された基板の大きさの情報は前記設備制御器に転送され、前記設備制御器は、前記基板の大きさの情報に基づいて前記搬送ロボットの回転半径を制御し、前記基板がカセットまたは次工程の設備の一定の位置に積載されるように調整することが可能である。
一方、前記ストップバーは移動が可能であり、前記ストップバーによって前記基板が後面に整列されるように構成できる。前記ストップバーは、前記基板が前記ハンドリングステーションに進入する前には前記ハンドリングステーションの前面に形成されており、前記設備制御器は、前記基板が前記ストップバーによって前記ハンドリングステーションの前面に整列された場合、前記基板の大きさの情報に基づいて前記ストップバーを移動させ、前記基板が前記ハンドリングステーションの後面に整列されるように調整する。前記ハンドリングステーションは、前記ストップバーによって前面に整列された基板の大きさを感知するためのセンサをさらに含み、前記設備制御器は、前記センサによって感知された基板の大きさに関する情報を、センサから受信する。
前記設備制御器は、前工程の設備またはホストから進入した基板の大きさに関する情報を受信可能である。この場合、前記設備制御器は、ホストまたは前工程の設備から伝送される基板の大きさの情報に基づき、前記基板が前記ハンドリングステーションに進入する前に予め前記ストップバーを移動させ、前記基板がハンドリングステーションの後面に整列されるように調整する。
作業者が基板の大きさの情報を直接入力する作業者インタフェースをさらに含んでもよい。
【００１７】
また、前記搬送ロボットはベースと、前記ベースの上に回転できるように形成されている回転軸と、前記回転軸に連結されて前記回転軸を中心に回転する回転アームと、前記回転アームにスライディングできるように連結されてアーム全体の長さが調節できるようにするスライディングアームと、前記スライディングアームに連結されており、基板を吸着するための真空吸着板を有する搬送チャックを含む。
搬送ロボットは前記ハンドリングステーションの後面に整列された基板を取り上げた後、基板の大きさに関わらず一定の半径で回転させ、カセットまたは次工程の設備に前記整列された基板を搭載することができる。
前記基板が原板または切断板であり、前記搬送ロボットは、前記原板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、アームの長さがｄ１である状態で前記原板を前記搬送チャックで取り上げた後、前記回転軸を中心に回転させてカセットまたは次の設備に積載し、前記切断板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、前記スライディングアームを前記回転アームの方向にスライディングさせ、アームの長さをｄ２（ｄ２＜ｄ１）にした状態で前記切断板を前記搬送チャックで取り上げた後、前記スライディングアームを前記回転アームの反対方向にスライディングさせ、アームの長さを前記ｄ１にした状態で前記回転軸を中心に回転し、前記切断板をカセットまたは次工程の設備に積載することができる。
【００１８】
一方、本発明の一実施形態による基板のアンローディング方法は、前工程の設備で作業が遂行された基板をハンドリングステーションの前面に整列する段階と、前記整列された基板の大きさを設備制御器に伝送する段階と、伝送された基板の大きさの情報によって前記基板を返送する搬送ロボットの回転半径を制御し、前記基板をカセットまたは次工程の設備の一定の位置に搭載する段階とを含む。ここで、前記設備制御器は前記原板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、前記搬送ロボットアームの長さをｄ１にした状態で前記原板を取り上げた後、回転軸を中心に回転させてカセットまたは次工程の設備に積載する。前記切断板が前記ハンドリングステーションに整列された場合には、前記搬送ロボットアームの長さをｄ２（ｄ２＜ｄ１）にした状態で前記切断板を中心に回転して前記切断板をカセットまたは次の設備に積載することができる。
【００１９】
この時、前記設備制御器はハンドリングステーションにある位置感知センサによって感知される基板の大きさの伝送を受け、前記基板の感知結果によって前記搬送ロボットの回転半径を制御することができる。前記設備制御器は、ホスト、前工程の設備または作業者インタフェースから、前記ハンドリングステーションに整列された基板の大きさの情報の伝送を受けて前記ロボットの回転半径を制御することもできる。
【００２０】
一方、本発明の別の一実施形態による基板のアンローディング方法は、前工程の設備で作業が遂行された基板を基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの後面に整列させる第１段階と、前記整列された基板を基板の大きさに関わらず同一半径に回転させてカセットまたは次工程の設備の一定の位置に搭載する第２段階とを含む。
【００２１】
ここで、前記第１段階は、前記基板を前記ハンドリングステーションの前面に位置したストップバーによって基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの前面に整列させる段階と、前記前面に整列された基板の大きさによって前記ストップバーを後面方向に移動し、前記基板をハンドリングステーションの後面に整列する段階とを含むことができる。
【００２２】
また、前記第１段階は、前記ハンドリングステーションに進入する前記基板の大きさの情報をホストまたは前工程の設備または作業者インタフェースから受信する段階と、前記受信された大きさの情報によってハンドリングステーションにあるストップバーの位置を予め調整し、前記基板が前記ハンドリングステーションに進入する場合、位置調整された前記ストップバーによって後面に整列する段階とを含むことができる。
【００２３】
前記第１段階は、前記基板を前記ハンドリングステーションの前面に位置したストップバーによって基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの前面に整列させる段階と、前記ハンドリングステーションを反転し、前記基板をハンドリングステーションの後面に整列する段階とを含むことができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態例を詳細に説明する。
【００２５】
図２は、本発明の実施形態例による基板のアンローディング装置１００を示す図面である。
【００２６】
図２に示すように、本発明の実施形態例による基板のアンローディング装置１００はハンドリングステーション１１０、搬送ロボット１２０、設備制御器１３０及び作業者インタフェース１４０からなる。
【００２７】
ハンドリングステーション１１０は、前工程の設備で所定の作業が遂行された基板をアンローディングするために臨時に置くところであって、図３及び４に示すように、ストップバー１１１、位置感知センサ１１２、１１３、１１４を含んでなる。
【００２８】
ストップバー１１１は、前工程の設備から搬送される基板をハンドリングステーション１１０に整列されるようにするためのものであって、前工程の設備から伝送される基板はハンドリングステーション１１０にスライディングされながら進入してこのストップバー１１１によって停止する。位置感知センサ１１２、１１３、１１４はハンドリングステーションに置かれた基板の大きさを感知するためのものであって、本発明の実施形態例では光センサを用いている。
【００２９】
搬送ロボット１２０は、ハンドリングステーション１１０に整列された基板を取り上げた後、基板ごと回転してカセットや次工程の設備に基板を搭載する役割を果たす。搬送ロボット１２０によって搬送された基板は、基板の大きさに関わらずカセットの安定した位置に搭載される。
【００３０】
設備制御器１３０は、ハンドリングステーション１１０及び搬送ロボット１２０の動作を制御し、基板の大きさに関わらずカセットまたは次工程の設備の一定の位置に基板が搭載されるようにする。設備制御器１３０は、作業者インタフェース１４０を通じて作業者が直接入力する制御命令や、ホスト２００からの作業命令によって、または自体内に保存された制御プログラムによって、ハンドリングステーション１１０及び搬送ロボット１２０の動作を制御する。
【００３１】
以下、図３〜６を参照して本発明の第１実施形態例に係る基板のアンローディング方法を説明する。
【００３２】
本発明の第１実施形態例によると、ハンドリングステーション１１０に置かれた基板は、基板の大きさに関わらずストップバー１１１によってハンドリングステーションの前面を基準に整列される。この時、ハンドリングステーションに整列された基板の大きさは位置感知センサ１１２、１１３、１１４によって感知される。
【００３３】
つまり、図３に示すように、原板がストップバー１１１によってハンドリングステーションに整列された場合には、三つの位置感知センサ１１２、１１３、１１４全てによって基板が感知される。図４に示すように、原板の大きさの１／２である基板（以下、これを１／２基板という）がストップバー１１１によってハンドリングステーションに整列された場合には、位置感知センサ１１３、１１４だけが基板を感知し、位置感知センサ１１２は基板を感知しない。これと同様に、図５に示すように、１／３切断板がこのストップバー１１１によってハンドリングステーションに整列された場合には、位置感知センサ１１４のみが基板を感知し、位置感知センサ１１２、１１３は基板を感知しない。
【００３４】
感知された基板の大きさの情報は、ハンドリングステーション１１０によって設備制御器１３０に伝送される。設備制御器１３０は、ハンドリングステーション１１０からの基板の大きさの情報に基づいて、以下に説明するように搬送ロボット１２０のアームの長さを制御する。
【００３５】
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、ハンドリングステーション１１０の上に整列された基板がそれぞれ原板、１／２基板、１／３基板である場合の搬送ロボットの状態を示す図面である。
【００３６】
図６に示すように、本発明の第１実施形態例による搬送ロボット１２０はベース１２１、回転軸１２２、回転アーム１２３、スライディングアーム１２４及び搬送チャック１２５からなる。回転軸１２２はベース１２１の上で回転できるように形成されている。回転アーム１２３は、回転軸１２２に連結されて回転軸１２２を中心に回転する。スライディングアーム１２４は、回転アーム１２３から伸縮自在に摺動するように連結されており、スライディングアーム１２４の摺動によってアーム全体の長さが可変となる。搬送チャック１２５は、真空吸着板（図示せず）を有しており、この真空吸着板を通じて基板を真空吸着した状態で基板を返送する。
【００３７】
本発明の第１実施形態例によると、先ず、この搬送ロボット１２０はハンドリングステーション１１０に整列された基板の大きさによってアームの長さを調節し、搬送チャック１２５の端部に基板が位置するようにした後、基板を吸着する。ハンドリングステーションから原板１６０を吸着する場合にはアームの長さを最大にして吸着し（図６（Ａ）参照）、１／２基板１６２や１／３基板１６４を吸着する場合にはスライディングアーム１２４を回転アーム１２３の方向に摺動させ、アーム全体の長さを縮めることにより１／２基板と１／３基板とが搬送チャックの端部に位置するようにする（図６（Ｂ）、（Ｃ）参照）。
【００３８】
搬送ロボット１２０は、基板を吸着したままアーム１２０，１２４を回転し、カセットや他工程の設備に基板を搬送する。この時、搬送ロボットが原板１６０を吸着した場合にはアームの長さを変えないまま回転してカセットなどに載置する。一方、１／２基板１６２や１／３基板１６４を吸着した場合、アームの長さを原板を吸着する時の長さに伸ばした後、アーム１２０，１２４を回転してカセットに基板を載置する。このようにすると、図３〜５に示すように、基板の大きさに関わらずカセットの安定した位置に基板を積載することができる。
【００３９】
本発明の第１実施形態例におけるアームの長さは設備制御器１３０を通じて制御される。設備制御器１３０には、前述したように、予めハンドリングステーション１１０から基板の大きさの情報が伝送される。
【００４０】
一方、第１実施形態例では基板の大きさをハンドリングステーション１１０の位置感知センサ１１２、１１３、１１４を通じて感知したが、この他にも図６に示すように、搬送ロボット１２０の搬送チャック１２５に感知センサ１２６ａ、１２６ｂ、１２６ｃを設け、この感知センサにより測定することもできる。
【００４１】
また、ハンドリングステーション１１０や搬送ロボット１２０で直接基板の大きさを測定せずに、前工程の設備やホスト２００から基板の大きさを送信してもらうか、または作業者が直接目で確認した基板の大きさを作業者インタフェース１４０を通じて設備制御器１３０に送信することによって搬送ロボットのアームの長さを制御することもできる。
【００４２】
次は、図７及び８を参照して本発明の第２実施形態例による基板のアンローディング方法を説明する。
【００４３】
本発明の第２実施形態例によると、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、ハンドリングステーション１１０に置かれた基板は基板の大きさに関わらずストップバー１１１によってハンドリングステーションの後面（上流側）を基準に整列される。ストップバー１１１は設備制御器１３０の制御または作業者の操作により位置が変化する。この時、次のような方法で１／２基板または１／３基板はハンドリングステーション１１０の後面に整列される。
【００４４】
最初の方法によると、先ず、ストップバー１１１はハンドリングステーションの前面（下流側）に位置している。原板１６０、１／２基板１６２、１／３基板１６４は、それぞれ図３〜５に示すようにスライディングされながら搬送され、前面にあるストップバー１１１に整列される。ハンドリングステーション１１０の位置感知センサ１１２、１１３、１１４は前面にあるストップバー１１１によって整列された各基板の大きさを感知し、その感知の結果を設備制御器１３０に伝送する。すると、設備制御器は各基板の大きさによってストップバー１１１を後面方向（上流方向）に移動させ、結局、基板の大きさに関わらず全ての基板が後面に整列するようにする。具体的には、１／２基板１６２の場合にはストップバー１１１を原板の長さ１／２ほど後面方向に移動させ、１／３基板１６４の場合にはストップバー１１１を原板の長さ２／３ほど後面方向に移動させることにより、基板の大きさに関わらず全ての基板を後面に整列させる。
【００４５】
また、第２の方法によると、前工程の設備またはホスト２００から伝達される基板の大きさの情報や作業者が直接入力する基板の大きさの情報を設備制御器が受信し、基板がハンドリングステーション１１０に進入する前に予めストップバー１１１を移動させる。つまり、例えば、１／３基板１６４がハンドリングステーション１１０に進入するという情報を設備制御器１３０が受信すると、設備制御器１３０は予めストップバー１１１を原板の長さの２／３ほど後面方向に移動するように制御する。したがって、図７（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、基板の大きさに関わらずハンドリングステーションの後面に基板が整列するようになる。
【００４６】
基板の大きさに関わらずに、ハンドリングステーションの後面に基板が整列すると、図８（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、搬送ロボット１２０は整列された基板を吸着する。この時、本発明の第２実施形態例では予めハンドリングステーションの後面に基板が整列されているので、基板の大きさに関わらず一定のアームの長さで基板を吸着した後にアームごと基板を回転させ、カセットや次工程の設備１７０に搭載することによって安定した位置に基板を搭載することができる。
【００４７】
次に、図４〜１１を参照して本発明の第３実施形態例による基板のアンローディング方法を説明する。
【００４８】
本発明の第３実施形態例によると、図９（Ａ）、１０（Ａ）、１１（Ａ）に示すように、基板はその大きさに関わらずストップバー１１１によってハンドリングステーションの前面（下流側）に整列される。ハンドリングステーションに基板が整列されると、図９（Ｂ）、１０（Ｂ）、１１（Ｂ）に示すようにハンドリングステーションが１８０#回転して基板が後面に整列するようにする。この時、ハンドリングステーション全体が１８０#回転することもあり、基板が置かれた部分だけが１８０#回転することもある。このようにして、ハンドリングステーションの後面に基板が整列すると、第２実施形態例と同様に搬送ロボットは基板の大きさに関わらず、一定のアームの長さで基板を吸着した後に基板ごとアームを回転し、カセットや次工程の設備に搭載することによって安定した位置に基板を搭載する。
【００４９】
本発明の第３実施形態例によると、基板がハンドリングステーション１１０の前面にあるストップバー１１１によって整列されると、すぐハンドリングステーションを１８０#回転してハンドリングステーションの後面に整列することができるので、ハンドリングステーションが基板の大きさを感知したり、基板の大きさの情報を設備制御器に伝達する必要がない。
【００５０】
次に、図１２を参照して本発明の実施形態例によるアンローディング装置の全体の動作を説明する。
【００５１】
先ず、設備制御器１３０は前工程の設備またはホストからハンドリングステーション１１０に到着する基板の大きさの情報を受信するか、作業者インタフェースを通じて基板の大きさの情報の入力を直接受ける（Ｓ１１）。前工程の設備から基板が到着すると（Ｓ１２）、ハンドリングステーションの位置感知センサは基板に到着した基板の大きさを感知し、その大きさの情報を設備制御器に伝送する（Ｓ１３）。
【００５２】
すると、設備制御器１３０はホスト（または、前工程の設備、作業者の直接入力）から受信された基板の大きさの情報とハンドリングステーションで直接感知した基板の大きさの情報（実物情報）が一致するかどうかを判断する（Ｓ１４）。
【００５３】
前記段階において、ホストからの基板の大きさの情報とハンドリングステーションで感知した基板の大きさの情報とが異なる場合には、実際ハンドリングステーションで測定した基板の大きさの情報に基づいて作業を進めることができるかどうかを判断する（Ｓ１５）。
【００５４】
この時、実際基板の大きさの情報に基づいて作業を進めることができるかどうかは、主に、その作業の危険性の如何によって決定する。
【００５５】
前記段階Ｓ１５で作業を進めることができないと判断した場合、つまり、危険性のある作業と判断された場合には、設備制御器は基板の作業を中止して作業者の処理を待つ（Ｓ１６）。ステップＳ１５で作業を進めることができると判断した場合には、ハンドリングステーションで実際測定した基板の情報によって作業を進め、実際測定した基板の大きさの情報をホスト（または次工程の設備）に伝送する。
【００５６】
前記段階Ｓ１４でホストから伝送される基板の大きさの情報と基板の大きさとが一致すると判断した場合や段階Ｓ１５で実際基板の大きさの情報にしたがって作業を進めると判断した場合には、設備制御器はこの基板が原板であるか切断板であるかを判断する（Ｓ１７）。
【００５７】
そして、前記判断の結果によって、前述した方法でそれぞれ切断板及び原板の整列を行う（Ｓ１８、Ｓ１９）。
【００５８】
切断板及び原板に対する整列が完了すると、設備制御器はこの基板がカセットに積載される作業であるかどうか、または次工程の設備に積載される作業であるかどうかを判断する（Ｓ２０）。
【００５９】
前記段階において、次工程の設備に積載される作業と判断した場合には、搬送ロボットは前記基板を次工程の設備の安定した位置に搬送、載置する。この時、設備制御器は基板の大きさの情報も共に伝送する（Ｓ２１）。
【００６０】
前記段階において、カセットに積載される作業と判断した場合には、搬送ロボットは基板をカセットの安定した位置に載置した後（Ｓ２２）、全ての基板に対して前記作業が進んだかどうかを判断する（Ｓ２３）。
【００６１】
作業が終了した全ての基板がカセットに積載された場合、設備制御器はホストに作業が完了したことを報告した後、カセットを排出する（Ｓ２４、Ｓ２５）。
【００６２】
以上、本発明の実施形態例について説明したが、本発明が前記実施形態例に限られるわけではなく、その他の様々な変形や変更が可能であるのは当然のことである。
【００６３】
例えば、本発明の実施形態例においては、ハンドリングステーション（または搬送ロボット）によって基板の実際の大きさを感知し、実際に感知された基板の大きさとホスト（または前工程の設備、作業者の入力）から伝送される基板とを比較した後、前記比較結果によってアンローディング作業を遂行したが、この他にもホスト（または前工程の設備、作業者の入力）からの大きさの情報だけに基づくかハンドリングステーション（または搬送ロボット）によって感知された基板の大きさの情報だけに基づいてアンローディング作業を遂行することもできる。
【００６４】
また、本発明の実施形態例においてはＴＦＴ−ＬＣＤを製造するための基板のアンローディング装置について説明したが、これ以外にもプラズマディスプレーパネルなどのように切断された基板を用いるアンローディング装置にも適用することができる。
【００６５】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によると、基板の大きさによってハンドリングステーションに置かれる位置を調節するか、または、搬送ロボットの回転半径を調節して基板をカセットまたは次工程の設備に積載するので、カセットの安定した位置に基板を積載することができる。したがって、基板を積載しているカセットを返送する場合、振動や外部の衝撃から基板が破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ），（Ｂ） ；それぞれ従来の原板と切断板とをアンローディングする方法を示す図面である。
【図２】本発明の実施形態例による基板のアンローディング装置を示す図面である。
【図３】本発明の第１実施形態例による基板（原板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図４】本発明の第１実施形態例による基板（１／２基板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図５】本発明の第１実施形態例による基板（１／３基板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図６】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）； それぞれ原板、１／２基板、１／３基板である場合の搬送ロボットの状態を示す図面である。
【図７】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）；本発明の第２実施形態例による基板のアンローディング方法を示す図面である。
【図８】（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）；それぞれ原板、１／２基板、１／３基板である場合の搬送ロボットの状態を示す図面である。
【図９】本発明の第３実施形態例による基板（原板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図１０】本発明の第３実施形態例による基板（１／２基板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図１１】本発明の第３実施形態例による基板（１／３基板）のアンローディング方法を示す図面である。
【図１２】本発明の実施形態例によるアンローディング装置の全体の動作を示す順序図である。
【符号の説明】
１００    基板のアンローディング装置
１１０    ハンドリングステーション
１１１    ストップバー
１１２、１１３、１１４    位置感知センサ
１２０    搬送ロボット
１２１    ベース
１２２    回転軸
１２３    回転アーム
１２４    スライディングアーム
１２５    搬送チャック
１２６ａ、１２６ｂ、１２６ｃ    感知センサ
１３０    設備制御器
１４０    作業者インタフェース
１６０    原板
１６２    １／２基板
１６４    １／３基板
１７０    次工程の設備
２００    ホスト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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