(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
断熱材で形成された箱体状の外部炉体内に対向配置された複数の加熱用側壁の間に設けられたマガジン収容室と、前記マガジン収容室の背面側に配置された加熱用背壁と、前記加熱用側壁および前記加熱用背壁に設けられた発熱手段と、前記マガジン収容室の正面側の前記加熱用側壁から離れた位置に開閉可能に配置された扉体と、前記扉体と前記マガジン収容室との間に配置された補助扉体と、を備え、
前記マガジン収容室へ加熱用気体を供給するため前記加熱用背壁に第一気体供給手段を設け、前記外部炉体に排気経路を設け、
前記加熱用背壁が、当該加熱用背壁内に少なくとも一つ形成された気体拡散室と、前記気体拡散室へ気体を供給するための前記第一気体供給手段である給気経路と、前記気体拡散室と連通して前記マガジン収容室に臨む面に開設された複数の気体供給孔と、を備え、
前記加熱用背壁の背面部に前記加熱手段を設けたことを特徴とする加熱装置。
【請求項２】
前記排気経路を前記外部炉体の背面部に設けた請求項１記載の加熱装置。
【請求項３】
前記マガジン収容室内の被加熱物の冷却用気体を供給するための第二気体供給手段を設けた請求項１または２記載の加熱装置。
【請求項４】
前記第二気体供給手段として、前記加熱用側壁に向かって冷却用気体を吹き出す気体流路を前記外部炉体内に設けた請求項３記載の加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板あるいは半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理に使用される加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルなどの構成部材であるガラス基板の熱処理装置としては、従来、加熱気体循環方式のクリーンオーブンが使用されている（例えば、特許文献１参照。）。このクリーンオーブンは、被熱処理部材であるガラス基板などを恒温槽内に収容し、ファンによって恒温槽内を循環する加熱気体を用いて熱処理が行われる。
【０００３】
しかしながら、加熱気体循環方式のクリーンオーブンの場合、ガラス基板などの被熱処理物を多段状に収容する構造を採用しやすいので、スペース効率に優れている反面、加熱温度分布を均一化することが困難であるだけでなく、加熱気体の撹拌作用によりクリーン度が悪化する可能性が大である。また、被熱処理物がリードフレームなどの軽量部材である場合、加熱気体の循環対流によって被熱処理物が所定の位置から移動することがある。
【０００４】
そこで、両面から遠赤外線を放射する機能を有する遠赤外線パネルヒータからなる複数の棚状ヒータが、炉体内に多段配置され、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部分を加熱領域とした加熱炉が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−５６１４１号公報
【特許文献２】特開２００１−３１７８７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２記載の加熱炉の場合、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部を効率的に加熱することができる点では優れている。しかしながら、被加熱物を熱処理する場合、これらの棚状ヒータの間に形成される多数の空間部に被加熱物を一つずつ収容したり、取り出したりしなければならないので、これらの作業に多大な労力と時間を要している。
【０００７】
また、半導体リードフレームなどは、近年、その複数個が収容されたマガジン単位での取り扱いが主流となっており、熱処理工程においても、このマガジンごと加熱領域内に入れたり、取り出したりすることが可能な加熱装置の需要が高まっている。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、複数の被加熱物を収容したマガジン単位での装入、熱処理および取り出しが可能であって、温度分布の均一性にも優れた加熱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の加熱装置は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体内に対向配置された複数の加熱用側壁の間に設けられたマガジン収容室と、前記マガジン収容室の背面側に配置された加熱用背壁と、前記加熱用側壁および前記加熱用背壁に設けられた発熱手段と、前記マガジン収容室の正面側の前記加熱用側壁から離れた位置に開閉可能に配置された扉体と、前記扉体と前記マガジン収容室との間に配置された補助扉体と、を備え、
前記マガジン収容室へ加熱用気体を供給するため前記加熱用背壁に第一気体供給手段を設け、前記外部炉体に排気経路を設け、
前記加熱用背壁が、当該加熱用背壁内に少なくとも一つ形成された気体拡散室と、前記気体拡散室へ気体を供給するための前記第一気体供給手段である給気経路と、前記気体拡散室と連通して前記マガジン収容室に臨む面に開設された複数の気体供給孔と、を備え、
前記加熱用背壁の背面部に前記加熱手段を設けたことを特徴とする。
【００１０】
このような構成とすれば、複数の加熱用側壁の間に設けられたマガジン収容室内に、複数の被加熱物を収容したマガジンをそのままの状態で装入し、補助扉体および扉体でマガジン収容室を閉塞した後、発熱手段で加熱用側壁および加熱用背壁を発熱させることにより、マガジン収容室内の被熱処理物をマガジンごと熱処理することが可能となる。そして、熱処理終了後は、補助扉体および扉体を開いて、マガジン収容室から再びマガジンごと被熱処理物を取り出すことが可能となる。また、マガジン収容室は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体内に形成され、複数の加熱用側壁および加熱用背壁により少なくとも３方向から加熱されるため、温度分布の均一性にも優れている。
【００１１】
ここで、前記マガジン収容室へ加熱用気体を供給するため前記加熱用背壁に第一気体供給手段を設け、前記外部炉体に排気経路を設けたことにより、加熱用背壁から供給される加熱気体がマガジン収容室内およびマガジン内を循環するため、温度分布の均一性が向上する。また、加熱用背壁から供給される加熱気体は、マガジン収容室内およびマガジン内を循環した後、外部炉体に設けられた排気口から排出されるため、クリーン度の安定性にも優れている。このため、マガジン内の被熱処理物が汚損されることもない。なお、マガジン収容室に供給する気体としては還元性ガスや不活性ガスなどが好適であるが、被加熱物が酸化しないもの、或いは酸化しても良いものであれば、空気を用いることもできる。なお、前記気体として窒素を使用すれば、無酸素雰囲気中での加熱処理が可能となる。
【００１２】
また、前記加熱用背壁が、当該加熱用背壁内に少なくとも一つ形成された気体拡散室と、前記気体拡散室へ気体を供給するための前記第一気体供給手段である給気経路と、前記気体拡散室と連通して前記マガジン収容室に臨む面に開設された複数の気体供給孔と、を備えたことにより、加熱用背壁に供給された気体は、給気経路を経由して気体拡散室内へ流入し、この中を流動、拡散した後、複数の気体供給孔を通過してマガジン収容室へ供給されることとなる。即ち、気体拡散室内に流入した気体は、その中で加熱、撹拌された後、マガジン収容室へ供給されることとなるため、温度分布の均一性をさらに向上させることができる。
【００１３】
さらに、前記加熱用背壁の背面部に前記加熱手段を設けたことにより、加熱手段によって発熱した加熱用背壁全体で気体が加熱されるため、気体を均一加熱することができる。また、気体が加熱手段に直接触れないので、粉塵の発生が抑制され、クリーン度が向上する。
【００１４】
一方、前記排気経路を前記外部炉体の背面部に設ければ、加熱用背壁からマガジン収容室へ供給された気体は、マガジン収容室内を正面に向かって流動、拡散した後、補助扉体と加熱用側壁との間からマガジン収容室外へ流出し、加熱用側壁と外部炉体との間を通過して背面側へ流動した後、外部炉体の背面にある排気口から排出されることとなる。従って、加熱用背壁からマガジン収容室へ供給された気体はマガジン収容室の内部および外部を隈無く循環した後、排気口から排出されることとなり、温度分布の均一性をさらに向上させることができる。
【００１５】
また、前記マガジン収容室内の被加熱物の冷却用気体を供給するための第二気体供給手段を設ければ、マガジン収容室内において加熱処理された被加熱物を第二気体供給手段から供給される冷却用気体によって冷却することができるようになる。従って、必要に応じて、被加熱物を急冷したり、冷却時間を任意に設定したりすることが可能となり、冷却工程の多様化を図ることができるだけでなく、冷却時間の短縮による作業工程の効率化を図ることができる。
【００１６】
この場合、前記第二気体供給手段として、前記加熱用側壁に向かって冷却用気体を吹き出す気体流路を前記外部炉体内に設けることができる。このような構成とすれば、マガジン収容室を形成する加熱用側壁に冷却用気体を吹き付け、当該加熱用側壁を急速冷却することによってマガジン収容室内に収容された被加熱物を効率良く冷却することができる。また、マガジン収容室内の被加熱物に冷却用気体が直接触れないので、冷却用気体の接触に起因する悪影響を回避することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、複数の被加熱物を収容したマガジン単位での装入、熱処理および取り出しが可能であって、温度分布の均一性にも優れた加熱装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に基づいて、本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の実施の形態である加熱装置を示す正面図、図２は図１に示す加熱装置の平面図、図３は図１に示す加熱装置の側面図、図４は図１に示す加熱装置の一部切欠正面図、図５は図１のＸ−Ｘ線における一部省略断面図である。また、図６は図１に示す加熱装置を構成するマガジン収容室の一部省略正面図、図７は図６のＡ−Ａ線における断面図、図８は図７に示す加熱用背壁のＢ−Ｂ線における矢視図、図９は図７に示す加熱用背壁のＣ−Ｃ線における矢視図、図１０は図７に示す加熱用背壁のＤ−Ｄ線における矢視図である。
【００１９】
図１〜図６に示すように、本実施形態の加熱装置１０は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体１１内に対向配置された二つの加熱用側壁１２の間に設けられたマガジン収容室１３と、このマガジン収容室１３の背面側に配置された加熱用背壁１４と、発熱手段として加熱用側壁１２および加熱用背壁１４にそれぞれ設けられたプレートヒータ１２ｈ，１４ｈと、マガジン収容室１３の正面側の加熱用側壁１２の端面から離れた位置に開閉可能に配置された扉体１５と、この扉体１５とマガジン収容室１３との間に配置された補助扉体１６と、を備えている。扉体１５は複数の蝶番１５ａを中心に回動可能に軸支され、扉体１５を閉止状態に保つためのロック機構１５ｂを備えている。補助扉体１６は複数のステー１６ａによって、扉体１５の背面から離れた位置に、扉体１５と略平行をなすように取り付けられている。
【００２０】
外部炉体１１は、前後方向に長い直方体形状であり、その底壁１１ｂの下面には、Ｖ形状の板材で形成された複数の支持脚１７が配置され、その背面には、給気管１８および排気管１９が背壁１１ａを貫通した状態で配管されている。加熱用側壁１２および加熱用背壁１４の上下にはそれぞれ天板２０、底板２１が取り付けられ、底板２１下面と外部炉体１１の底壁１１ｂ上面との間には複数のスペーサ２２が配置されている。従って、マガジン収容室１３は、二つの加熱用側壁１２、加熱用背壁１４、天板２０および底板２１によって包囲され、外部炉体１１の背壁１１ａ、底壁１１ｂ、側壁１１ｃおよび天壁１１ｄから離れた位置に配置されている。
【００２１】
マガジン収容室１３内においては、マガジン２３を載置するための複数の支持部材２４が底板２１上面の四隅寄りの位置に配置されている。各々の支持部材２４の内側（マガジン収容室１３の中心側）には、マガジン２３を支えるための階段状の支持部２４ａ，２４ｂが設けられ、それぞれの支持部２４ａ，２４ｂの正面側には、マガジン２３を支持部材２４上に載置する際に、その底面を支持部２４ａ，２４ｂへ誘導するためのガイド斜面２４ｇが形成されている。本実施形態の場合、マガジン２３は支持部２４ｂ上に載置されているが、マガジンの幅方向のサイズに応じて支持部２４ａ上に載置することもできる。マガジン２３の左右内側面には、非熱処理物であるリードフレーム２５を水平保持するための複数の横溝部２３ａが一定間隔ごとに形成されている。なお、図４に示すマガジン２３およびリードフレーム２５は一例であり、これに限定するものではない。
【００２２】
一方、図７に示すように、加熱用背壁１４の背面側には、マガジン収容室１３へ気体を供給するための気体供給手段である給気管１８が接続され、マガジン収容室１３に供給された気体の排出経路となる複数の排気管１９が外部炉体１１の背壁１１ａに貫通配管されている。また、加熱用背壁１４は、複数の枠状スペーサ２６を介在させることにより、互いに平行配置された内壁１４ａ、中間壁１４ｂおよび外壁１４ｃで構成されている。外壁１４ｃと中間壁１４ｂとの間に第一気体拡散室２７が形成され、中間壁１４ｂと内壁１４ａとの間に第二気体拡散室２８が形成されている。
【００２３】
図８に示すように、内壁１４ａには、内径２ｍｍ程度の気体供給孔１４ｙが１０ｍｍ程度の間隔で縦方向に１６個、横方向に７個、合計１１２個開設されている。また、図９に示すように、中間壁１４ｂには、内径４ｍｍ程度の貫通孔１４ｘが２０ｍｍ程度の間隔で縦方向に８個、横方向に４個、合計２８個開設されている。さらに、図１０に示すように、外壁１４ｃの中央部には内径１５〜２０ｍｍ程度の貫通孔である給気口１４ｄが１個開設され、この給気口１４ｄに給気管１８が接続されている。なお、給気口１４ｄから出た気体が第一気体拡散室２７内で拡散しないまま、第二気体拡散室２８内へ流入するのを回避するため、図６，図９に示すように、外壁１４ｃの給気口１４ｄに面する中間壁１４ｂの中央部には貫通孔１４ｘは開設されていない。貫通孔１４ｘ、気体供給孔１４ｙおよび給気口１４ｄの内径や個数はこれらの数値に限定するものではない。
【００２４】
本実施形態の加熱装置１０を用いて熱処理を行う場合、複数の加熱用側壁１２の間に形成されたマガジン収容室１３に対し、複数の被加熱物（リードフレーム２５）を収容したマガジン２３をそのままの状態で装入し、補助扉体１６および扉体１５でマガジン収容室１３を閉塞した後、発熱手段（プレートヒータ１２ｈ，１４ｈ）を有する加熱用側壁１２および加熱用背壁１４を発熱させることにより、マガジン収容室１３内のリードフレーム２５をマガジン２３ごと熱処理することができる。そして、熱処理終了後は、補助扉体１６および扉体１５を開いて、マガジン収容室１３から再びマガジン２３ごとリードフレーム２５を取り出すことができる。マガジン収容室１３は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体１１内に形成され、複数の加熱用側壁１２および加熱用背壁１４によって３方向から加熱されるため、温度分布の均一性にも優れている。
【００２５】
また、マガジン収容室１３へ気体を供給するため加熱用背壁１４に気体供給手段である給気管１８を配管し、外部炉体１１の背壁１１ａに排気経路である排気管１９を設けている。従って、給気管１８から給気口１４ｄを経て第一気体拡散室２７へ流入した気体はその内部で拡散した後、中間壁１４ｂの複数の貫通孔１４ｘをそれぞれ通過して第二気体拡散室２８内へ流入し、その内部で拡散した後、内壁１４ａの複数の気体供給孔１４ｙをそれぞれ通過してマガジン収容室１３内へ流入する。
【００２６】
マガジン収容室１３内へ流入した気体は、マガジン収容室１３内を循環した後、図５に示す、マガジン収容室１３の正面と補助扉体１６との隙間Ｓを通過してマガジン収容室１３の外へ流出し、さらに、天板２０、底板２１および加熱用側壁１２と外部炉体１１との隙間を通過して、加熱用背壁１４の背面側へ流入した後、複数の排気管１９からそれぞれ加熱装置１０の外部へ排出される。
【００２７】
このように、プレートヒータ１４ｈによって発熱している加熱用背壁１４内の第一気体拡散室２７および第二気体拡散室２８を通過することによって加熱された気体がマガジン収容室１３内を循環するため、温度分布の均一性を保つことができる。また、加熱用背壁１４の背面部に、加熱手段であるプレートヒータ１４ｈを設けているため、プレートヒータ１４ｈによって発熱した加熱用背壁１４全体で気体が加熱されるため、気体を均一加熱することができる。さらに、加熱用背壁１４から供給される加熱気体は、マガジン収容室１３内を循環した後、外部炉体１１に設けられた排気管１９から排出されるため、クリーン度の安定性にも優れており、マガジン２３内のリードフレーム２５が汚損されることもない。なお、マガジン収容室１３に供給する気体としては窒素が好適であるが、これに限定するものではない。
【００２８】
加熱装置１０においては、排気経路である排気管１９を外部炉体１１の背壁１１ａに設けているため、マガジン収容室１３の正面と補助扉体１６との隙間Ｓからマガジン収容室１３外へ流出した気体は、天板２０、底板２１および加熱用側壁１２と外部炉体１１との隙間を通過して、加熱用背壁１４の背面側へ流入した後、排気管１９から排出されることとなる。従って、加熱用背壁１４からマガジン収容室１３へ供給された気体はマガジン収容室１３の内部および外部を隈無く循環した後、排気管１９から排出されることとなり、温度分布の均一性をさらに向上させることができる。
【００２９】
なお、加熱処理が終了した後、加熱用背壁１４のプレートヒータ１４ｈの発熱を停止させ、給気管１８を通じてマガジン収容室１３へ気体を供給することにより、マガジン収容室１３内を冷却することもできる。従って、必要に応じて、被加熱物（マガジン２３内のリードフレーム２５など）を急冷したり、その冷却時間を任意に設定したりすることができる。このため、冷却工程の多様化あるいは冷却時間の短縮による作業工程の効率化を図ることができる。
【００３０】
次に、図１１〜図１７を参照して本発明のその他の実施形態について説明する。図１１はその他の実施の形態である加熱装置を示す正面図、図１２は図１１に示す加熱装置の平面図、図１３は図１１に示す加熱装置の側面図、図１４は図１１に示す加熱装置の一部省略水平断面図、図１５は図１１に示す加熱装置の内部構造を示す一部切欠正面図、図１６は図１１に示す加熱装置の内部構造を示す一部切欠側面図、図１７は図１６の一部拡大図である。
【００３１】
図１１〜図１５に示すように、本実施形態の加熱装置３０は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体３１内に対向配置された二つの加熱用側壁３２の間に形成されたマガジン収容室３３と、このマガジン収容室３３の背面側に配置された加熱用背壁３４と、発熱手段として加熱用側壁３２および加熱用背壁３４にそれぞれ設けられたプレートヒータ３２ｈ，３４ｈと、マガジン収容室３３の正面側の加熱用側壁３２の端面から離れた位置に開閉可能に配置された扉体３５と、を備えている。扉体３５は、平面視形状がＬ字状をなし、支軸３５ａを中心に回動可能に軸支され、扉体３５を閉止状態に保つためのロック機構３５ｂを備えている。
【００３２】
外部炉体３１は、前後方向に長い直方体形状であり、その底壁３１ｂの下面側には、複数のスペーサ３１ｓを介在させて遮熱板３１ｅが配置され、遮熱板３１ｅの下面には、ネジ式の高さ調節機構を有する複数の支持脚３７が配置されている。外部炉体３１の背面には、第一給気管３８，第二給気管４９の基端部４９ａ，４９ｂおよび排気管３９が背壁３１ａを貫通した状態で配管されている。加熱用側壁３２および加熱用背壁３４の上下にはそれぞれ天板（図示せず）、底板４１が取り付けられ、底板４１下面と外部炉体３１の底壁３１ｂ上面との間には複数のスペーサ（図示せず）が配置されている。従って、マガジン収容室３３は、二つの加熱用側壁３２、加熱用背壁３４、天板および底板４１によって包囲され、外部炉体３１の背壁３１ａ、底壁３１ｂ、側壁３１ｃおよび天壁３１ｄから離れた位置に配置されている。
【００３３】
マガジン収容室３３内には、マガジン４３を載置するための複数のローラ状の支持部材４４が回転自在に配置されている。各々の支持部材４４は、外部炉体３１の正面から見て左右方向に配置された支軸４４ａを中心に回転自在であるため、マガジン４３をマガジン収容室３３内へ出し入れする際に、これらの支持部材４４の回転を利用することができ、作業性に優れている。また、マガジン４３を、マガジン収容室３３内の定位置にセットするため、支持部材４４の左右側部にガイド部材４４ｇが設けられ、加熱用背壁３４寄りの部分にストッパ４４ｓが設けられている。マガジン４３は、前述したマガジン２３と同様であるが、そのサイズ、形状は特に限定するものではない。
【００３４】
一方、図１５〜図１７に示すように、加熱用背壁３４の背面側には、マガジン収容室３３内への気体供給手段である第一給気管３８が接続され、マガジン収容室３３に供給された気体の排出経路となる複数の排気管３９が外部炉体３１の背壁１１ａに貫通配管されている。また、加熱用背壁３４は、それぞれの枠状突出部３４ａｆ，３４ｃｆで中間壁３４ｂを狭持した状態で、互いに平行配置された内壁３４ａ、中間壁３４ｂおよび外壁３４ｃで構成されている。外壁３４ｃと中間壁３４ｂとの間に第一気体拡散室４７が形成され、中間壁３４ｂと内壁３４ａとの間に第二気体拡散室４８が形成されている。
【００３５】
内壁３４ａには、図８に示す内壁１４ａと同様、内径２ｍｍ程度の気体供給孔（図示せず）が１０ｍｍ程度の間隔で縦方向に１６個、横方向に７個、合計１１２個開設されている。また、中間壁３４ｂには、図９に示す中間壁１４ｂと同様、内径４ｍｍ程度の貫通孔（図示せず）が２０ｍｍ程度の間隔で縦方向に８個、横方向に４個、合計２８個開設されている。さらに、外壁３４ｃの中央部には、図１０に示す外壁１４ｃと同様、内径１５〜２０ｍｍ程度の貫通孔である給気口３４ｄが１個開設され、この給気口３４ｄに第一給気管３８が接続されている。
【００３６】
また、図１４〜図１７に示すように、マガジン収容室３３内に収容された被加熱物（図示せず）の冷却用気体を供給するための第二気体供給手段である気体流路として、左右の加熱用側壁３２に向かって冷却用気体を吹き出す管状の第二給気管４９が、外部炉体３１の内部に配置されている。第二給気管４９は横向きの略Ｕ字状に配置され、それぞれの基端部４９ａ，４９ｂが背壁３１ａを貫通して配管されている。外部炉体３１内に位置する左右一対の第二給気管４９には、加熱用側壁３２に面する部分にそれぞれ複数の貫通孔４９ｃが長手方向に沿って一体間隔ごとに開設されている。
【００３７】
本実施形態の加熱装置３０を用いて熱処理を行う場合、複数の加熱用側壁３２の間に形成されたマガジン収容室３３に対し、複数の被加熱物（図示せず）を収容したマガジン４３をそのままの状態で装入し、扉体３５でマガジン収容室３３を閉塞する。そして、発熱手段（プレートヒータ３２ｈ，３４ｈ）を有する加熱用側壁３２および加熱用背壁３４を発熱させることにより、マガジン収容室３３内の被加熱物をマガジン４３ごと熱処理することができる。マガジン収容室３３は、断熱材で形成された箱体状の外部炉体３１内に形成され、複数の加熱用側壁３２および加熱用背壁３４によって３方向から加熱されるため、温度分布の均一性にも優れている。
【００３８】
また、プレートヒータ３４ｈによって発熱している加熱用背壁３４内の第一気体拡散室４７および第二気体拡散室４８を通過することによって加熱された気体がマガジン収容室３３内を循環するため、温度分布の均一性を保つことができる。このように、加熱用背壁３４の構造は加熱用背壁１４と同様であり、加熱用背壁１４と同じ作用、効果を発揮することができる。
【００３９】
加熱処理が終了したら、発熱手段（プレートヒータ３２ｈ，３４ｈ）の作動および第一給気管３８による気体の供給を停止した後、左右の第二給気管４９に冷却用気体を供給し、複数の貫通孔４９ｃからマガジン収容室３３の加熱用側壁３２に冷却用気体を吹き付ける。この場合、冷却用気体は、外部炉体３１の背壁３１ａを貫通配管されている、第二給気管４９の基端部４９ａ，４９ｂから送り込まれる。このように、複数の貫通孔４９ｃから吹き出す冷却用気体で加熱用側壁３２を急速冷却することより、マガジン収容室３３内に収容された被加熱物を効率良く冷却することができる。
【００４０】
従って、必要に応じて、被加熱物を急冷したり、冷却時間を任意に設定したりすることが可能となり、冷却工程の多様化を図ることができるだけでなく、冷却時間の短縮による作業工程の効率化を図ることができる。また、本実施形態の場合、マガジン収容室３３内の被加熱物に冷却用気体が直接触れないので、冷却用気体の接触に起因する悪影響を回避することもできる。なお、第二給気管４９の貫通孔４９ｃからの冷却用気体の吹き出しは必須作業条件ではないので、熱処理終了後、発熱手段（プレートヒータ３２ｈ，３４ｈ）などを停止して放冷することもできる。その他の部分の構造、機能などは、前述した加熱装置１０と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明の加熱装置は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板あるいは半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理工程において広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態である加熱装置を示す正面図である。
【図２】図１に示す加熱装置の平面図である。
【図３】図１に示す加熱装置の側面図である。
【図４】図１に示す加熱装置の一部切欠正面図である。
【図５】図１のＸ−Ｘ線における一部省略断面図である。
【図６】図１に示す加熱装置を構成するマガジン収容室の一部省略正面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線における断面図である。
【図８】図７に示す加熱用背壁のＢ−Ｂ線における矢視図である。
【図９】図７に示す加熱用背壁のＣ−Ｃ線における矢視図である。
【図１０】図７に示す加熱用背壁のＤ−Ｄ線における矢視図である。
【図１１】本発明のその他の実施の形態である加熱装置を示す正面図である。
【図１２】図１１に示す加熱装置の平面図である。
【図１３】図１１に示す加熱装置の側面図である。
【図１４】図１１に示す加熱装置の一部省略水平断面図である。
【図１５】図１１に示す加熱装置の内部構造を示す一部切欠正面図である。
【図１６】図１１に示す加熱装置の内部構造を示す一部切欠側面図である。
【図１７】図１６の一部拡大図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０，３０  加熱装置
１１，３１  外部炉体
１１ａ，３１ａ  背壁
１１ｂ，３１ｂ  底壁
１１ｃ，３１ｃ  側壁
１１ｄ，３１ｄ  天壁
１２，３２  加熱用側壁
１２ｈ，１４ｈ，３２ｈ，３４ｈ  プレートヒータ
１３，３３  マガジン収容室
１４，３４  加熱用背壁
１４ａ，３４ａ  内壁
１４ｂ，３４ｂ  中間壁
１４ｃ，３４ｃ  外壁
１４ｄ，３４ｄ  給気口
１４ｘ  貫通孔
１４ｙ  気体供給孔
１５，３５  扉体
１５ａ  蝶番
１５ｂ，３５ｂ  ロック機構
１６  補助扉体
１６ａ  ステー
１７，３７  支持脚
１８，３８  給気管
１９，３９  排気管
２０  天板
２１，４１  底板
２２  スペーサ
２３，４３  マガジン
２３ａ  横溝部
２４，４４  支持部材
２４ａ，２４ｂ  支持部
２４ｇ  ガイド斜面
２５  リードフレーム
２６，３１ｓ  スペ
２７，４７  第一気体拡散室
２８，４８  第二気体拡散室
３１ｅ  遮熱板
３４ａｆ，３４ｃｆ  枠状突出部
３５ａ，４４ａ  支軸
３８  第一給気管
４４ｇ  ガイド部材
４４ｓ  ストッパ
４９  第二給気管
４９ａ，４９ｂ  基端部
４９ｃ  貫通孔
Ｓ  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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