(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置される基板を受けるためのリング状の外周凸部と内周凸部を有し、該リング状の外周凸部の頂部は平滑な鏡面であり、かつ該外周凸部と内周凸部のうちの少なくとも一方の高さを調節する高さ調整手段を有し、該リング状の外周凸部の半径が前記載置される基板の半径より小さいステージ形状を有する基板の貼合せ装置の矯正ステージであって、ステージ内周部に基板の内周部領域を前記内周凸部に押圧固定して反りを矯正する内周部固定手段を設けたことを特徴とする基板の貼合せ装置の矯正ステージ。
【請求項２】
前記リング状外周凸部の半径が、基板の半径よりも１．５ｍｍ以上小さいことを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項３】
前記内周部固定手段が、矯正ステージに着脱可能であることを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項４】
前記内周部固定手段が真空吸引固定手段であり、該真空吸引固定手段が、基板の内周部領域を吸引することにより内周凸部に押圧して固定することを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項５】
前記内周部固定手段が重り固定手段であり、該重り固定手段が、基板の内周部領域を内周凸部に押圧して固定することを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項６】
前記内周部固定手段がボス部クランプ手段であり、該ボス部クランプ手段が、基板の内周部領域を内周凸部に押圧して、該基板上に突出したボス部の根元をクランプすることを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項７】
前記高さ調整手段が、少なくとも１つの外周段差リングであることを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項８】
前記外周段差リングが、矯正ステージに着脱可能であることを特徴とする請求項７に記載の矯正ステージ。
【請求項９】
前記外周段差リングの高さが、±０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載の矯正ステージ。
【請求項１０】
前記基板が、該基板上に少なくとも記録層を有する情報側基板であることを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項１１】
矯正を行なう際に基板面圧を調節する面圧調節手段を有することを特徴とする請求項１に記載の矯正ステージ。
【請求項１２】
前記面圧調節手段が、矯正ステージの内周の減圧吸着部により基板の内周クランプ部を吸着することを特徴とする請求項１１に記載の矯正ステージ。
【請求項１３】
前記面圧調節手段が、矯正ステージの外周に少なくとも１つ設けられたことを特徴とする請求項１１に記載の矯正ステージ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれかに記載の矯正ステージを使用することを特徴とする貼合せ装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の貼合せ装置を使用することを特徴とする基板の貼合せ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク等の光学的情報記録媒体及び磁気記録媒体製造用に用いられる貼合せ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー波長光を用いて記録情報を読み取ったり、情報を書き込んだり、あるいは消去したりする光学式ディスクにおいて、２枚の光透過性基板を貼り合わせて作られた光ディスクがすでに製造、販売されている。ＤＶＤやレーザーディスク等がそれである。
このものは、２枚の光透過性基板と反射層と、接着層と、印字層からなり、光透過性基板の素材としてＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート；通称アクリル）樹脂が用いられ、反射層としてＡｕ，Ａｇ，Ａｌ合金などが、また、接着剤として紫外線（ＵＶ）硬化型接着剤が用いられている。
従来の基板貼合せ方法として最も多く採用されているラジカルＵＶ方式は、基板（情報記録される方の単板、記録層・反射層を有する。）の所定同心円上にラジカルＵＶ接着剤をディスペンサーにより滴下し、カバー基板（カバーとなる透過性単板）を該情報基板に載せた後所定の回転数と回転時間をもって余分な接着剤を振り切り、紫外光を照射し、ＵＶ接着剤を硬化させて貼合せ型の基板を得ていた。
しかし、この手法では基板の反り量を矯正することができないために、殊にＲ−Ｔｉｌｔ値等が大きくなってしまい、これが多くの不良品発生の原因となっている。
貼合せ前の情報側単板の反りの大きさが貼合わせの難易度に比例する。貼合せられる２枚の板の反り量が同量で向かい合わせに貼られる場合に、バランスの取れたフラットな貼合せ媒体が得られる。
【０００３】
図１に示されるように、従来のＤＶＤ−ＲＯＭの貼合せ方式では、この様な状態のできるだけフラットに近く、相対した反りの貼合せ前単板が得やすいため、貼合せテーブルが単なる鏡面であっても２枚の単板のバランシングのみによって容易に良好な値が得られる。図中、符号（１）はカバー単板を、符号（２）は情報単板を、符号（３）はＵＶ照射のためのＵＶランプのようなＵＶ照射手段を、それぞれ示す。
時に、更に反り量を０に近づける方法として、内周に重り（４）により加重し、更に鏡面に押し当てる方法も従来取られてきた。
【０００４】
しかしながら、図２に示されるように、このような従来法では、リライタブル方式（＋／−ＲＷ、ＲＡＭ）の片側の単板にスパッタ蒸着層を数層設けることで発生するスパッタ熱変形による反り大変化、又はライトワンス方式（＋／−Ｒ）のトラック溝が深く成形転写性が原版同等には得られにくいことより成形型温上昇設定にて発生する成形熱変形による反り大変化には対応できない。
【０００５】
このことよりＲＯＭ以外の各種ディスクでは片側の情報単板（２）のみ反り大で、その反りレベルも大とパーフォマンスが悪くなっている。貼合せ後の反り・Ｒ−ｔｉｌｔ値は情報単板の反りを反映した形で大きく（−）反り傾向で何らかの矯正方法を付加して貼合せ後の反り・Ｒ−ｔｉｌｔを良好に規格内にコントロールする必要があった。
【０００６】
Ｒ−Ｔｉｌｔ値を矯正する手法として、光照射時に基板を載せるステージ（７）内周を減圧してディスク内周クランプ部を吸着する方法、又は同クランプ部に重り（４）を載せ鏡面にディスク全面を押し当てる方法があるが、この手法はＲ−Ｔｉｌｔ値が矯正される代わりに軸方向加速度値（基板の回転により、基準面に直交する方向に基板面が急激偏位する程度、即ち「凹凸の有無」）が大きくなる傾向がある。
その理由として、（ｉ）基板がステージに貼り付くことにより基板とステージ間の約２０μｍ以下の高さの微少な塵や接着材の固着が発生すること及び、ステージ上・ステージ外周端バリが顕著に窪みとして硬化されてしまうこと、（ii）吸着されている部分と吸着されていない部分とが発生して、そのまま硬化した接着剤が波状に目視されるようになること、（iii）ステージ鏡面上に吸着孔を持たせた場合、その形がそのまま硬化されて残ってしまうこと等があり、これらの不具合が軸方向加速度の悪化に繋がる。
【０００７】
また、面精度の高い吸着ステージに吸着しながら２枚の基板を押圧し光照射を行なう寸前に吸着を切ることにより上記の問題を解決しようとした（例えば、特許文献１参照）試みがあるが、大きなＲ−Ｔｉｌｔ値を有する基板の貼合せにおいては一旦吸着を切るため、矯正されたものが戻ってしまい、大きな矯正効果を得るには至らなかった。なお、上記のＲ−Ｔｉｌｔ値はディスクの半径方向の反りを角度で表わしたもので、Ｒ−Ｔｉｌｔ値が悪化して大きな値を示す基板ではプッシュプル信号のオフセットや振幅に影響を及ぼす。
また、上記の軸方向加速度は回転数が３０Ｈｚ（１８００ｒｐｍ）のとき、基準面と直行する方向における記録層の加速度で、３０Ｈｚから１．５ｋＨｚの帯域で測定している。ディスク表面の凹凸などが原因で加速度が悪化して大きな値を示す基板ではフォーカス・トラッキングサーボの引き込み応答性、追従性、安定性に影響を及ぼす。
【０００８】
近年、高速記録化されてきたＤＶＤでは軸方向加速度の品質が重要視されてきた。
この軸方向加速度については、例えばＤＶＤ＋Ｒ／ＲＷオレンジブックによれば残留フォーカス・トラッキングエラーで規定され、軸方向加速度換算にて２．１ｍ／ｓ２以下が求められる様になってきている。
【０００９】
特許文献２では、この軸方向加速度について弾性率０．１〜２０Ｍｐａの材料をステージ鏡面部に使用し、ステージとディスク表面が面当たりしても加速度の上昇が抑えられるように工夫が成されているものの、結果的に２．１ｍ／ｓ２以上までの効果となっており、安定的に２．１ｍ／ｓ２以下の製品が製造可能な製造方法ではない。
前記特許文献２の図１１より明らかな通り、ステージ鏡面上の１００μｍ以上の凹凸が２．１ｍ／ｓ２以上の加速度と対応し、２０μｍ以下の凹凸では急激な悪化を示す。この様にステージ鏡面に数μｍの塵・接着材が載るだけで悪化するので、従来テーブル形状では２．１ｍ／ｓ２以下の良品率や設備稼働率に対しての悪影響が大きい。
ステージ上塵付着の原因として単板ディスクに付着した塵が矯正ステージへ転写、移動してしまいステージ上付着となることが挙げられる。影響を及ぼす塵の大きさが数μｍ大であるため、搬送系や人体、Ｒ−Ｔｉｌｔ安定化のための保護層塗布後から貼合せまでの１日以上の単板放置時間での塵付着等が問題となる。
ステージ上接着材付着の原因としてディスク外周端からの接着材のたれによる付着、装置トラブルによるディスク滞留時の接着材内周穴、外周端への流れ込みによる鏡面汚しが挙げられる。
【００１０】
特許文献３には、ターンテーブル上に２枚の基板を載置しＵＶ硬化性接着剤を介して貼り合わせる際、このターンテーブルは、載置される基板の下側全面を支持するのではなく、基板下側の外周部と内周部の２箇所をそれぞれ環状に支持するようにすると共に、内周部の環状支持部の支持レベルと外周部の環状支持部の支持レベルとに差を持たせて、基板の自重により外周部から内周部に向かって凸状に撓み変形させて、得られる貼合せ済み基板がその後の印刷処理により反る傾向とは逆方向の反りを予め付与すること、及び内外双方の支持部の支持レベル差を相対的に調節可能にして、付与する反りの程度を変化できるようにすること、が開示されている。しかしながら、内周部の環状支持部と外周部の環状支持部の高さを変更するだけでは、得られる基板の矯正能力が乏しい。
【００１１】
特許文献４にも、ディスクを、ターンテーブル（５３）の内側の環状凸部と外側の環状凸部でディスクを支えるようにした貼合型光ディスクの貼合装置が記載されており、特許文献５にも、ディスクを、ターンテーブル（２）の内側の環状凸部（クランパ２a）と外側の環状凸部（クランパ２ｂ）のみで支えるようにした円盤状記録媒体駆動装置を有する光ディスク記録再生装置が記載されており、特許文献６には、ターンテーブル（６０）の内側の環状凸部のみで支えるようにした貼合型光ディスクの貼合装置が記載されているが、同様な難点がある。
【００１２】
また、特許文献７には、スピナーテーブル（２）の内周の２重の環状突起（２ａ、２ｂ）及び外周の環状突起（２ｃ）のみで、載置されたディスク（４，５）下面を支持し、ディスクの直径よりもスピナーテーブル（２）の直径を小さくすることにより、遠心力で外周方向に移動された光硬化性接着剤がディスクの外側壁からスピナーテーブル上面に伝わることを防止し、スピナーテーブル（２）の外周に真空吸引孔（３ｂ）を設け、またセンターボス（２ｄ）のディスク内周面と対向する面に真空吸引孔（３ｄ）を複数設けることにより、真空吸引された接着剤による内側吸引孔の封塞を防止することが開示されているが、このような真空吸引によるディスク基板の撓み変形及びその防止策については考慮するところがない。
また、これら特許文献３〜７開示の技術は、主にディスクの反り矯正に主眼を置いたものであって、矯正テーブルとディスクの間に８〜１０μｍ高さという極微小なゴミ付着や接着剤付着がある状態でＵＶ樹脂硬化すると、ディスクの軸方向加速度が悪化する（ディスク面形状が局所的に凹凸変化する）ことに対しての考慮は別段なされていない。例えばディスク外周端側面部分に接着剤が乗って固化してしまった結果、軸方向加速度が悪化することに対する対策については全く開示されるところがない。
【００１３】
【特許文献１】特開平９−２６２９０７号公報
【特許文献２】特開２０００−２１５５２４号公報
【特許文献３】特開２００２−２６０３０１号公報
【特許文献４】特開２００３−５９１１９号公報
【特許文献５】特開２００１−１７６１５８号公報
【特許文献６】特開２００３−２０３４０３号公報
【特許文献７】特開平９−２６５６７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は上記のような実情の下に、光照射中に矯正貼り合わせを行なうに当たり、貼合せ型光ディスクの軸方向加速度が悪化せず、且つ、Ｒ−Ｔｉｌｔ値が増大しない貼合せ装置を提供することにある。ここで、「光ディスク」にはカー効果やファラディ効果を利用した光磁気記録媒体（所謂「ＭＯ」）をも含む。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題は、本発明の（１）「載置される基板を受けるためのリング状の外周凸部と内周凸部を有し、該リング状の外周凸部の頂部は平滑な鏡面であり、かつ該外周凸部（以下、「外周受け」ということもある）と内周凸部（同「内周受け」ということもある）のうちの少なくとも一方の高さを調節する高さ調整手段を有し、該リング状の外周凸部の半径が前記載置される基板の半径より小さいステージ形状を有する基板の貼合せ装置の矯正ステージであって、ステージ内周部に基板の内周部領域を前記内周凸部に押圧固定して反りを矯正する内周部固定手段を設けたことを特徴とする基板の貼合せ装置の矯正ステージ」；
（２）「前記リング状外周凸部の半径が、基板の半径よりも１．５ｍｍ以上小さいことを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（３）「前記内周部固定手段が、矯正ステージに着脱可能であることを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（４）「前記内周部固定手段が真空吸引固定手段であり、該真空吸引固定手段が、基板の内周部領域を吸引することにより内周凸部に押圧して固定することを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（５）「前記内周部固定手段が重り固定手段であり、該重り固定手段が、基板の内周部領域を内周凸部に押圧して固定することを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（６）「前記内周部固定手段がボス部クランプ手段であり、該ボス部クランプ手段が、基板の内周部領域を内周凸部に押圧して、該基板上に突出したボス部の根元をクランプすることを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（７）「前記高さ調整手段が、少なくとも１つの外周段差リングであることを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（８）「前記外周段差リングが、矯正ステージに着脱可能であることを特徴とする前記第（７）項に記載の矯正ステージ」；
（９）「前記外周段差リングの高さが、±０．３ｍｍ以下であることを特徴とする前記第（７）項に記載の矯正ステージ」；
（１０）「前記基板が、該基板上に少なくとも記録層を有する情報側基板であることを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（１１）「矯正を行なう際に基板面圧を調節する面圧調節手段を有することを特徴とする前記第（１）項に記載の矯正ステージ」；
（１２）「前記面圧調節手段が、矯正ステージの内周の減圧吸着部により基板の内周クランプ部を吸着することを特徴とする前記第（１１）項に記載の矯正ステージ」；
（１３）「前記面圧調節手段が、矯正ステージの外周に少なくとも１つ設けられたことを特徴とする前記第（１１）項に記載の矯正ステージ」によって解決される。
【００１６】
また上記課題は、本発明の（１４）「前記第（１）項乃至（１３）項のいずれかに記載の矯正ステージを使用することを特徴とする貼合せ装置」；
（１５）「前記第（１４）項に記載の貼合せ装置を使用することを特徴とする基板の貼合せ方法」；
（１６）「前記第（１５）項に記載の貼合せ方法を使用して作製したことを特徴とする貼合せ型記録媒体」；
（１７）「貼合せ後の記録媒体の軸方向加速度が２．１ｍ／ｓ２以下であることを特徴とする前記第（１６）項に記載の貼合せ型記録媒体」；
（１８）「貼合せ後の記録媒体のＲ−チルト値が±０．６°以内であることを特徴とする前記第（１６）項に記載の貼合せ型記録媒体」によって解決される。
ここで、「装置」は設備や施設をも意味する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、矯正ステージ上の塵・接着材付着の影響による軸方向加速度の劣化なく貼り合せることが可能であり２．１ｍ／ｓ２以下の貼合せ後軸方向加速度を実現でき、なお且つ、成形工程でコントロールしきれていない大きなＲ−ｔｉｌｔレベルを持つ単板であっても貼合せ後のＲ−ｔｉｌｔを規定された範囲内±０．６°内に矯正することが可能であり、貼合せ後Ｒ−ｔｉｌｔの調整については、（−）Ｒ−ｔｉｌｔの量に応じて、外周段差の高さを調整することにより、０又は、（＋）側にも反り・Ｒ−ｔｉｌｔを矯正でき問題を解消することができるという極めて優れた効果が奏される。
従って、光学的情報記録媒体等の製造における歩留まりを向上できるとともに、低コストで極簡易な改造のみで品質のばらつきを高精度に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を説明する。
すなわち、図４に示されるように、上記課題解決のために講じた解決手段は、
（Ｉ）センター穴を有する信号記録基板と保護基板とを光硬化樹脂によって接着するディスク貼合せ装置について、鏡面全面当たりとせず、内外周のみを受ける凸状構造（ｉ）にしたことである。この凸状構造物の頂部は平滑な鏡面であることが好ましい。数μｍのゴミや接着剤が貼合せ矯正テーブル上に付着してディスクとの間に挟み込まれるだけで、軸方向加速度が悪化し、ディスク規格を超えてしまうことを防止する。すなわち、面当りしていない為、テーブル上のゴミ、接着剤付着の影響による軸方向加速度悪化をなくすることが可能になる。
【００１９】
（II）図４、図５に示されるように、上記リング状の外周凸部の半径を、基板の外周端より１．５ｍｍ以上内側に位置するように小さく設定した構成（ii）にしたことである。これにより、ディスク外周端の接着剤たれによるテーブル外周受け上への接着剤付着を防止することができる。矯正テーブル外周端への接着剤付着がなくなることにより、軸方向加速度悪化を防止することができる。
【００２０】
（III）外周凸部と内周凸部のうちの少なくとも一方の高さを調節する高さ調節手段を有するものとしたことである。例えば、図４に示されるように、載置されるディスクを受けるためのリング状の外周凸部に取外し可能な高さ調節手段（６）兼ディスク受けを設けた構成（iii）とすることができる。この高さ調節手段（６）は１つ又は複数からなるものであってよく、複数からなるときには、それぞれ高さレベルが異なりすげ替え可能な高さ調節手段としてもよく、又は図に示されるように、先に設置された高さ調節手段（６ａ）上に後から高さ調節手段（６ｂ）を付け足し可能なものとしてもよく、さらにこのような高さ調節手段は内周凸部に設けてもよい。
【００２１】
（IＶ）また、図６に示されるように、内周凸部に対して±０．３ｍｍの範囲で、例えば、＋０．１ｍｍ、＋０．２ｍｍ、＋０．３ｍｍ・・・のように上下調節可能な構造（iｖ）にしたことである。これにより、ラジアルチルトが調整可能となる。
【００２２】
（Ｖ）さらに、本発明においては、ステージ内周部に、基板の内周部を押圧固定して反りを矯正する内周部押圧固定手段を取外し自在に設けた構成（ｖ）を特徴としており、このような内周部押圧固定手段には例えば、基板の内周部領域を吸引して鏡面状の前記内周凸部面に押圧固定する真空吸引固定手段（ｖ１）、重り押圧固定手段（ｖ２）、ボス部クランプ手段（ｖ３）が包含される。以下、これら基板の内周部を押圧固定して反りを矯正する内周部押圧固定手段について説明する。
【００２３】
（ＶI）真空吸引固定手段（ｖ１）は、例えば図７に示されるように、ステージ内周凸部に設けられた減圧吸着手段であってよいが、さらに、上記ステージのリング状外周受けを９０°割りで１周４点を各々２ｍｍ幅で切りかいて切欠部分（８）を形成し、その部分の受けを無くし、真空を逃がす構造にすることで、内周クランプ部のみの減圧吸着を行なうことにより内外周受けにディスクを沿わせてＲ−ｔｉｌｔ矯正を行なう構造（ｖ４）としたことも特徴の１つである。
図３に示されるように、真空をなくすためのこの切欠部分（８）がないと、内外両側の圧力差により基板が変形する。
【００２４】
（ＶII）また、図８に示されるように、上記解決手段（ＶI）のような切りかきは設けないリング状外周受け形状を保ち、光照射時にディスク内周クランプ部に重りを載せることにより内外周受けにディスクを沿わせてＲ−ｔｉｌｔ矯正を行なう構成（ｖi）としたことである。
【００２５】
（ＶIII）さらに、本発明においては、ステージ内周部に、基板の内周部を押圧固定して反りを矯正する内周部押圧固定手段（ｖ）として、図８に示されるように、ステージ内周部に基板の内周部を押圧固定して反りを矯正する重り（４）からなる内周部押圧固定手段（ｖ２）を取外し自在に設けてもよい。
【００２６】
（IＸ）さらにまた、本発明においては、内周部押圧固定手段（ｖ）として、図７に示されるように、ステージ内周部に基板の内周部を押圧固定して反りを矯正するため、該基板の内周部領域を鏡面状の前記内周凸部に押圧した後に、基板上に突出したボス部（９）の根元をクランプするボス部クランプ手段（ｖ３）を設けてもよく、このボス部クランプ手段（ｖ３）は、弾力性のある椀状部材（１０）の開口部に先端縁部が嵌合して椀状部材（１０）の底部を押圧してボス部（９）の根元をクランプさせるばね（１１）であることができる。また、このボス部クランプ手段（ｖ３）は、単独で作動しても、前記真空吸引固定手段（ｖ１）及び／又は重り（４）からなる内周部押圧固定手段（ｖ２）と併用作動してもよく、併用作動した場合には本発明の効果を一層強力に発揮させることができる。
【００２７】
まず、従来貼合せ方法、構成の概要を説明する。
情報基板を記録膜がスパッタリングされた面を上にしてステージに減圧吸着し、ステージを数十ｒｐｍ程度の回転数で回転させながらディスペンサーによって紫外線硬化型接着剤（粘度：５００ｃｐ）を基板の中心から約３０ｍｍの円周上に同心円状に滴下し、この状態においてカバー基板を貼り合わせ、ステージを数百〜数千回転で回転させて接着剤をディスク終端まで展開させる。その後、該貼合せ基板を光照射ステージ（矯正ステージ）へ移動させる。
【００２８】
しかし、図７のように、本発明においては、矯正ステージには減圧吸着孔があり、貼合せた基板内周クランプ部を矯正ステージで例えば５０ｋＰａで減圧吸着し、紫外線を照射して接着剤を硬化させて貼合せ型の光ディスクにする。
【００２９】
図１１は、本発明の貼合せ装置を示す図である。
この貼合せ装置（１００）は、下部基板を導くステージ（１０６）、上部基板を導くステージ（１０７）、クリーニングユニット（１０８），（１０９）、接着剤コーティング部（１１０）、反転ユニット（１１１）、押圧部（１２）、除去スピナー（１３）、半端物除去装置（５０）、接続部（１４）、運搬アーム（１５），（１６），（１７）からなる。
クリーニングユニット（１０８），（１０９）は、静電防止ユニットを持つクリーナー（２１）とスピナー（２０）からなる。
接着剤コーティング部（１１０）は、ディスクテーブル（２２）と接着コーティングユニット（２３）からなる。
運搬アーム（１７）は押圧部（１２）で貼り合わされた基板を除去スピナー（１３）へ運搬する。
【実施例】
【００３０】
次いで、図面を参照しつつ実施例を説明する。
（実施例１）
ＤＶＤ＋ＲＷ用の情報側基板（半径６０．０ｍｍ）と、カバー基板（半径６０．０ｍｍ）を用いて、以下の実験を行なった。
図８に示すように、本発明の内外周受けのみの矯正ステージを適用せずに光照射すると、鏡面上に付着した塵や接着材を挟み込んだ形で貼り合わせられるため、その個所で非常に大きな凹凸が発生してしまい加速度の劣化に繋がっている。前記解決手段（I）の方法を用いると図９のグラフに示すように、ほとんど凹凸のない良好なディスクが得られる。内周受けの半径は、Ｒ＝２１．５ｍｍとしている。外周受けはディスク当たり面をＲ取りしており、Ｒ＝５７．０〜５７．５ｍｍでディスク面受けしている。ここで、ディスク当たり面をＲ取りとは、外周凸部上のディスクと接触する面を滑らかに（極くゆるやかに）半径方向に円弧状の面としていることを意味し、特に台形の凸部の頂点の面内周側のかど部、外周側のかど部には当たるディスク面にキズを付けないようにかど部を丸める意味でＲ取りを行なっている。殆ど面内周側のかど部、外周側のかど部を丸めておけばキズ付きはないが、しかし万が一、キズ付きが懸念される場合、頂上の平らな面も滑らかにＲ取りする。但し、Ｒ取りのきつい（尖ったＲ面）山に加工してしまうと、ディスクとの接触面積が線状になってしまい、面積が極小となりディスクの当たり圧力が高くなって軸方向加速度が悪化してしまうので、本例で用いた矯正ステージは、ほぼ水平を保った緩やかなＲ面取りにとどめたものである。
図１０には、図９のグラフに示される「軸方向加速」を発揮した同じディスク基板によるＲ−チルトの測定結果が示される。
図９、図１０における「情報単板」、「内外周受け（外周受け切り欠き）貼り合わせ後１」、「内外周受け（外周受け切り欠き）貼り合わせ後１」、「全面受け、塵付着１」、「全面受け、塵付着２」、及び「全面受け、接着材付着」について説明すると、「情報単板」は、後続サンプルに対して、使用した単板である。このＲ−チルト、加速度がどう変化するかで、貼ったテーブルの効果が示される。
「内外周受け（外周受け切り欠き）貼り合わせ後１」、及び「内外周受け（外周受け切り欠き）貼り合わせ後２」は、後続サンプルの中周部塵乗り、外周端の接着剤垂れによる加速度悪化を回避できる改善型であって、内外周受けテーブルにて、その上にディスクを置いて貼り合わせたものである。これらは、Ｎ＝２で行なったため、１と２としているが、条件の違いはない。
「全面受け、塵付着１」、及び「全面受け、塵付着２」は、従来全面フラットテーブルにて、中周部に塵、又は接着剤飛び後硬化した状態で、その上にディスクを置いて貼り合わせたものである。試験時は、ディスク内周穴の成形バリによる塵をテーブル上に乗せてテストした。これらは、Ｎ＝２で行なったため、１と２としているが、条件の違いはない。
「全面受け、接着材付着」は、従来全面フラットテーブルにて、装置内での搬送エラーにより接着剤がディスク外周端から垂れてきて、外周端５９ｍｍ付近にこびりついた状態で、その上にディスクを置いて貼り合わせたものである。
また、これら図９における軸方向加速度、及び、図１０におけるＲ−Ｔｉｌｔ値は、Dr.Shenk社製のＢｉｒｆ−１２６Ｐなる機械特性測定装置にて軸方向加速度及びＲ−チルト値の測定したものである。
【００３１】
（実施例２）
ＤＶＤ＋ＲＷ用の情報側基板（半径６０．０ｍｍ）と、カバー基板（半径６０．０ｍｍ）を用いて、以下の実験を行なった。
図５の様な前記解決手段（II）によるディスク外周端より半径で１．５ｍｍ以上内周側へ移動したリング状外周受けを設けたステージによれば、外周受けへの接着材付着を防止できるため、接着材挟み込みによる加速度の劣化を防止することができる。
【００３２】
（実施例３）
ＤＶＤ＋ＲＷ用の情報側基板（半径６０．０ｍｍ）と、カバー基板（半径６０．０ｍｍ）を用いて、以下の実験を行なった。
前記解決手段（III）、（Ｖ）による実施例を以下に説明する。
光通常貼り合わせ後の良好なＲ−ｔｉｌｔ・反りを得るのに重要な点は、よりフラットである板を用い、その板が同等の反り量で向かいあった形であることである。ＤＶＤ−ＲＯＭでは、この条件に叶っているため、図１の場合には、接着剤をスピンアウトした時点でほぼ目標とするＲ−ｔｉｌｔ・反りが得られている。よって、鏡面上で矯正を必要とせず容易に貼り合わせが可能である。
しかしながら、図２の＋／−ＲＷ、＋／−Ｒ、ＲＡＭでは、２枚単板の内片側の情報板に前工程で熱的負荷をかけるため（−）反りになり、同図の接着剤スピンアウト後の条件にても（−）反りのまま保持されている。これに対し９〜３３ｇの内周クランプ面のみを押す重りで押しても反りを変化させる効果は全くなかった。
そこで、図８により、外周端をリング状に盛り上げた状態で（＋）側への矯正を行なった。
【００３３】
条件として、毎１０枚の事前に単板での反り・Ｒ−ｔｉｌｔが全て同レベルであることが既に確認されているディスクを使用し、
（１）：鏡面ステージ＋内周重り（従来方式）、図２参照、
（２）−１：外周受け半径５５ｍｍ点で０．３ｍｍＵＰステージ＋内周重り（タイプ１）、同図の重り（４）参照、内周重りの重さは３３ｇである。
（２）−２：外周受け半径５８ｍｍ点で０．２ｍｍＵＰステージ＋内周重り（タイプ２）、図８の本発明の重り（４）参照、内周重りの重さは３３ｇである。
の全３条件で貼り合わせ作業を行ない、Ｄｒ．ｓｃｈｅｎｋ社製のＢｉｒｅｆ−１２６Ｐなる機械特性測定装置にてＲ−ｔｉｌｔを比較調査した。
結果を表１に示す。Ｒ−ｔｉｌｔ規格＋／−０．６°、または０に近い値が望ましい。
【００３４】
【表１】
0004632802.tif 000002
表中の＊は、ＮＧを表わし、ｒ，ｈは、図６中に記載の「非面当り半径の長さ」、「非面当り領域の高さ」をそれぞれ示す。
【００３５】
照射による外周受け０．２ｍｍＵＰステージに接着材硬化にてその形状を固定するが、
重りを載せる載せないは、このときに余り重要ではなく、内外周受けだけで鏡面当たりせずとも良好なＲ−ｔｉｌｔ・反りが得られる。
（１）：従来方法では、外周半径位置にて（−）反りが大きく、ディスクの反りがそのまま矯正されずに反映された形で出てきている。
（２）−１：外周段差ＵＰ、タイプ１で段差半径値を外周ではあるが、ｒ＝５５ｍｍとやや内側に配置した場合、ディスクが内周から段差の影響を受けて持ち上げられ、極端に言うとすり鉢のような形状で固定されてしまった。
（２）−２：外周段差ＵＰ、タイプ２で段差半径をｒ＝５８ｍｍで低めの０．２ｍｍ段差に変更改良し、＋／−０．６規格に対して＋／−０．３以内と余裕の在るＲ−ｔｉｌｔ値が得られた。
【００３６】
（実施例４）
実施例３では、ディスク内周クランプ部に重りを載せる方法であったが、貼合せ装置によっては従来矯正が内周クランプ部の減圧吸着による矯正を行なっている場合もある。しかし、解決手段（I）の矯正ステージ形状である内外周のみの受けとした場合には、内周クランプ部から漏れた真空圧によりステージ上ディスクをステージ形状に沿い凹形状に反らせての貼り合わせとなってしまう。
この解決手段（IV）による外周受けに切り欠きを入れたステージ形状では、内周での減圧がステージ中周とディスク間のスペースに漏れても外周で常にリークしているためディスクは内周で減圧吸着されるだけとなり、実施例３の重りで押すことと同等の良好なＲ−ｔｉｌｔ・反りが得られる。
【００３７】
（実施例５）
ＤＶＤ＋ＲＯＭ用の基板（半径６０．０ｍｍ）を用いて、以下の実験を行なった。なお、外周凸部の半径は５７．０μｍであった。
実施例３、４では、貼合せ接着材スピン後に（−）反りが大きい単板を矯正する場合についての例を説明したが、ＤＶＤ−ＲＯＭレベルのＲ−ｔｉｌｔ０．６°以下のものを貼り合わせる場合は、Ｒ−ｔｉｌｔが０に近づく様にリング状外周受けの高さを調整するのみで、内周クランプ部減圧吸着、内周重り載せ等による矯正加重は必要ない。例えば、内外周受けの高さ差を０ｍｍで矯正加重を行わない場合、ほぼ単板同等のＲ−ｔｉｌｔ、軸方向加速度の値が貼合せ後も得られる。
上記各実施形態では、ディスク用基板の貼合わせを例について説明したが、本発明はこれに限定される趣旨ではなく、高精度に貼合わせの反り角を要求される他品種、工程にて同様に実施できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】従来技術によるＲＯＭディスクのＲ−チルト矯正手法の概要図である。
【図２】従来技術によるＲＷディスク、ＤＶＤディスクのＲ−チルト矯正手法の概要図である。
【図３】基板がテーブル上で内外圧力差により変形する様子を示す概要図である。
【図４】本発明の主要な特徴をわかり易く説明するための概要図である。
【図５】本発明の１つの主要な特徴をわかり易く説明するための拡大概要図である。
【図６】本発明の他の１つの主要な特徴をわかり易く説明するための拡大概要図である。
【図７】本発明の更に他の１つの主要な特徴をわかり易く説明するための拡大概要図である。
【図８】本発明によるＲＷディスク、ＤＶＤディスクのＲ−チルト矯正手法の概要図である。
【図９】本発明のディスクによる小さい軸方向加速度（凹凸なし）を示す測定グラフである。
【図１０】本発明のディスクによる小さいＲ−ｔｉｌｔ（反りなし）を示す測定グラフである。
【図１１】本発明の貼合せ装置を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  カバー単板
２  情報単板
３  ＵＶ照射手段
４  重り
６  外周受け
７  ステージ
８  切欠部分
９  ボス部
１０  椀状部材
１１  ばね
１２  押圧部
１３  除去スピナー
１４  接続部
１５  運搬アーム
１６  運搬アーム
１７  運搬アーム
２０  スピナー
２１  クリーナー
２２  ディスクテーブル
２３  接着コーティングユニット
５０  半端物除去装置
１００  貼合せ装置
１０６  ステージ
１０７  ステージ
１０８  クリーニングユニット
１０９  クリーニングユニット
１１０  接着剤コーティング部
１１１  反転ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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