(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品に対して加工処理を行う少なくとも１つの加工装置と、
前記加工装置から前記製品を受け取り所定の搬送先まで搬送する区画内搬送装置と、
前記加工装置及び前記搬送装置を制御するホストコンピュータと
を備えた製品搬送システムであって、
前記加工装置が、前記ホストコンピュータに対して、自身から搬出される前記製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、
前記製品搬出予告信号を受信したホストコンピュータが、前記区画内搬送装置に対して、前記製品搬出予定時間に合わせて前記製品搬出予告信号を送信した加工装置の所へ移動することを事前に命令する移動命令信号を送信し、
前記移動命令信号を受信した区画内搬送装置が、前記製品搬出予定時間に合わせて前記製品搬出予告信号を送信した加工装置の所へ移動することを特徴とする製品搬送システム。
【請求項２】
前記加工装置には、前記加工処理後の製品を一時的に保管するための少なくとも１つのステージと、前記製品の加工処理を行うための処理室とが設けられており、
前記区画内搬送装置は、前記ステージに置かれる前記加工処理後の製品を受け取るとともに、
前記製品搬出予定時間は、前記加工装置が、前記処理室において前記製品の加工処理を行うのに要する時間と、前記製品を前記処理室から前記ステージへ移動するのに要する時間とに基づいて決定されることを特徴とする請求項１に記載の製品搬送システム。
【請求項３】
前記加工装置には、前記加工処理後の製品を一時的に保管するための少なくとも１つのステージと、前記製品の加工処理を行うための処理室とが設けられており、
前記区画内搬送装置は、前記ステージに置かれる前記加工処理後の製品を受け取るとともに、
前記製品搬出予定時間は、前記加工装置が、前記製品を前記処理室から前記ステージへ移動するのに要する時間に基づいて決定されることを特徴とする請求項１に記載の製品搬送システム。
【請求項４】
前記区画内搬送装置から前記加工処理後の製品を受け取り一時的に保管するストッカと、
前記ストッカから前記加工処理後の製品を受け取り所定の搬送先まで搬送する区画外搬送装置と
をさらに備え、
前記ホストコンピュータは、前記ストッカおよび前記区画外搬送装置をさらに制御するとともに、
前記ストッカが、前記ホストコンピュータに対して、自身から搬出される前記加工処理後の製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、
前記製品搬出予告信号を受信したホストコンピュータが、前記区画外搬送装置に対して、前記製品搬出予定時間に合わせて前記ストッカの所へ移動することを事前に命令する移動命令信号を送信し、
前記移動命令信号を受信した区画外搬送装置が、前記製品搬出予定時間に合わせて前記ストッカの所へ移動することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の製品搬送システム。
【請求項５】
製品に対して加工処理を行う少なくとも１つの加工装置と、
前記加工装置から搬出される前記製品の搬出予定時間を事前に報知する区画内報知装置と、
前記加工装置及び前記区画内報知装置を制御するホストコンピュータと
を備えた製品搬送システムであって、
前記加工装置が、前記ホストコンピュータに対して、自身から搬出される前記製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、
前記製品搬出予告信号を受信した前記ホストコンピュータが、前記区画内報知装置に対して、前記製品搬出予定時間を報知することを事前に命令する報知命令信号を送信し、
前記報知命令信号を受信した前記区画内報知装置が、前記製品搬出予定時間を事前に報知することを特徴とする製品搬送システム。
【請求項６】
前記加工装置には、前記加工処理後の製品を一時的に保管するための少なくとも１つのステージと、前記製品の加工処理を行うための処理室とが設けられており、
前記ステージに置かれる前記加工処理後の製品が搬出されるとともに、
前記製品搬出予定時間は、前記加工装置が、前記処理室において前記製品の加工処理を行うのに要する時間と、前記製品を前記処理室から前記ステージへ移動するのに要する時間とに基づいて決定され、
前記加工装置は、自身が前記処理室において前記製品の加工処理を開始する時点で、前記製品搬出予告信号を送信することを特徴とする請求項５に記載の製品搬送システム。
【請求項７】
前記加工装置には、前記加工処理後の製品を一時的に保管するための少なくとも１つのステージと、前記製品の加工処理を行うための処理室とが設けられており、
前記ステージに置かれる前記加工処理後の製品が搬出されるとともに、
前記製品搬出予定時間は、前記加工装置が、前記製品を前記処理室から前記ステージへ移動するのに要する時間に基づいて決定され、
前記加工装置は、自身が前記処理室において前記製品の加工処理を終了する時点で、前記製品搬出予告信号を送信することを特徴とする請求項５に記載の製品搬送システム。
【請求項８】
前記加工装置から搬出された前記加工処理後の製品を受け取り一時的に保管するストッカと、
前記ストッカから前記加工処理後の製品が搬出される予定時間を事前に報知する区画外報知装置と
をさらに備え、
前記ホストコンピュータは、前記ストッカおよび前記区画外報知装置をさらに制御するとともに、
前記ストッカが、前記ホストコンピュータに対して、自身から搬出される前記加工処理後の製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、
前記製品搬出予告信号を受信したホストコンピュータが、前記区画外報知装置に対して、前記製品搬出予定時間を報知することを事前に命令する報知命令信号を送信し、
前記報知命令信号を受信した前記区画外報知装置が、前記製品搬出予定時間を事前に報知することを特徴とする請求項５ないし請求項７のいずれかに記載の製品搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品製造工場において製品搬送を管理する製品搬送システムに関し、特に、半導体製品の製品搬送を管理する製品搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで、半導体製品等を取り扱う製品製造工場では、常に生産装置に仕掛かりをもたせるように製品投入をコントロールするＰＵＳＨ型（計画生産）の生産が主流であった。しかし、近年では、少量多品種が進み、必要なものを必要な時に必要な量だけ生産することが重要になり、ＰＵＬＬ型（受注生産）の生産へと変化している。このＰＵＬＬ型の生産においては、製品をいかに早く次の工程へ搬送するかが生産効率を向上させる上で重要になる。
【０００３】
しかしながら、従来の搬送方式では、製品搬送において、加工装置で製品処理が完了してから製品搬送を開始するまでの間に無駄な時間が発生し、生産効率の向上に支障をきたす。そこで、この製品搬送における無駄な時間を解消することが、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を向上させる上で重要となり、また生産納期を短縮させる上でも重要となる。
【０００４】
以下、このような従来の半導体製品の製品搬送システムの様々な形態について、図面を用いて説明する。
［従来例１］
【０００５】
まず、本例における半導体製品の製品搬送システムの構成について説明する。図７は、当該半導体製品の製品搬送システムの構成を模式的に表した概略構成図である。
【０００６】
図７に示すように、当該製品搬送システムは、半導体製品に対して一連の加工処理を連続して行う複数の加工装置２１０と、半導体製品を一時的に保管するストッカ２２０と、これらの加工装置２１０とストッカ２２０との間で半導体製品の搬送を行う自動搬送車２３０とによって構成される。
【０００７】
このような構成において、加工装置２１０は、半導体製品に対して一連の加工処理を連続して行う。ストッカ２２０には、加工処理後の半導体製品が一時的に保管される。これら加工装置２１０とストッカ２２０間での半導体製品の搬送は、自動搬送車２３０によって行われる。
【０００８】
次に、当該半導体製品の製品搬送システムの動作について説明する。図８は、当該半導体製品の製品搬送システムのタイミング図である。
【０００９】
図７及び図８に示すように、加工装置２１０は、その内部に、半導体製品（以下、単に製品Ａと称する）を設置するための第１ステージ２１１と第２ステージ２１２とを備えている。加工装置２１０は、第１ステージ２１１に設置された製品Ａの処理が完了すると、ホストコンピュータ２５０に製品処理完了信号Ｓ６７を送信する。これを受信したホストコンピュータ２５０は、自動搬送車２３０に加工装置２１０の位置に移動するように移動命令信号Ｓ８０を送信する。これを受信した自動搬送車２３０は、加工装置２１０の位置に移動し、移動完了信号Ｓ８１を送信する。これを受信したホストコンピュータ２５０は、自動搬送車２３０に製品Ａの受取開始指示をする製品受取開始信号Ｓ８２を送信する。これを受信した自動搬送車２３０は、製品Ａを加工装置２１０から受け取り、ホストコンピュータ２５０に製品受取完了信号Ｓ８３を送信する。これを受信したホストコンピュータ２５０は、製品Ａをストッカ２２０に搬送するように自動搬送車２３０に移動命令信号Ｓ８０を送信する。これを受信した自動搬送車２３０は、製品Ａをストッカ２２０の位置まで搬送し、ホストコンピュータ２５０に移動完了信号Ｓ８１を送信する。これを受信したホストコンピュータ２５０は、事前にストッカ２２０からロード要求信号Ｓ７１を送信されていることを確認した上で、自動搬送車２３０に製品引渡開始信号Ｓ８４を送信する。これを受信した自動搬送車２３０は、ストッカ２２０に製品Ａを引き渡し、その後、ホストコンピュータ２５０に製品引渡完了信号Ｓ８５を送信する。
［従来例２］
【００１０】
上記［従来例１］とは別の製品搬送システムとして、例えば特開昭６１−５６８５８号公報に記載されているプリント板の自動供給装置がある。当該自動供給装置では、各加工装置は、プリント板加工完了時期が接近している状態を知らせる加工完了予告信号により、未加工のプリント板をストッカから交換機へ受け渡す。未加工のプリント板を受け取った交換機は、加工完了の予告をした加工装置の受け渡し位置へ移動し、加工装置からの加工完了信号によって加工済みのプリント板を加工装置から交換機へ受け渡すと同時に未加工のプリント板を交換機から加工装置へ受け渡す。受け渡しが完了すると、加工装置の加工作業を開始させると同時に交換機が加工完了プリント板を持ってストッカの位置へ戻り、ストッカへ格納する（特許文献１を参照）。
［従来例３］
【００１１】
さらに、上記［従来例１］及び［従来例２］とは別の製品搬送システムとして、例えば特開昭６３−２５６３３９号公報に記載されている搬送制御装置がある。当該搬送制御装置では、搬送路上に並べられた複数のステーションと製品の搬送を行う搬送制御装置に関して記載されている。この公報でいう「ステーション」は、上記［従来例１］のところで図７に示したストッカ２２０に該当し、以下同様に「自走搬送車」は、自動搬送車２３０に該当し、また「搬送制御装置」は、ホストコンピュータ２５０に該当する。搬送制御装置は、自走搬送車へ移動命令と、製品の移載命令とを出力し、各ステーションから製品の入出力情報を受け取る通信手段と、現在の時刻の情報を得る計時手段と、各ステーションに製品が入力された時刻を各ステーション別に記憶する記憶手段と、現在の時刻と製品入力時刻の差をとる演算手段と、演算手段による演算効果とステーションの標準試験終了時間の差が最小である時間差最小ステーションを判定するステーション判定手段と、時間差最小ステーションの位置へ試験が終了する前に自走搬送車を移動させる予備移動手段とを含んで構成される（特許文献２を参照）。
【特許文献１】特開昭６１−５６８５８号公報
【特許文献２】特開昭６３−２５６３３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記［従来例１］〜［従来例３］の技術は、それぞれ以下の点で改善の余地を有している。
【００１３】
まず、上記［従来例１］の技術では、加工装置２１０で製品Ａの処理が完了してから自動搬送車２３０が移動を開始するため、製品Ａは処理が完了しているにもかかわらず、加工装置２１０の第１ステージ２１１の上で自動搬送車２３０が到達するまでの無駄な待ち時間が発生する。
【００１４】
また、上記［従来例２］の技術では、上記［従来例１］の加工装置のように複数のステージを備えた場合には、未加工の製品と加工済みの製品を必ずしも同時に交換する必要はなく、未加工製品は空いたステージに設置しておけば、加工装置はステージに設置された製品を連続で処理することができる。したがって、このような対応を装置側でとることにより、当該技術が不要な場合も存在する。しかしながら、当該技術は、加工完了予告信号に基づいて、加工装置前に事前に未加工製品を設置することで、製品処理完了に合わせて未加工製品と交換するものである。すなわち、当該技術は、装置稼働率（交換機の稼働率）を向上させるための搬送装置の技術であって、本発明に係る製品搬送システムのように、加工処理後の製品を待ち時間なく移動するための技術ではない。
【００１５】
また、上記［従来例３］の技術では、予備移動命令出力のための入力時刻のデータを、製品をステーションに投入した時にセットして、搬出したときにリセットする。そして、製品処理の時間を前もってデータとして登録しておくことで、予備移動命令を出力する。しかし、上記［従来例１］の加工装置のように、加工装置が複数のステージをもつ場合には、セットした製品を処理完了する迄の時間は、加工装置の稼動状況によって異なってくる。例えば加工装置に製品をセットした時に既にその装置で他の製品を処理していた場合のセットしたときから製品搬出までの時間と、製品をセットした時に装置がそれまで待ち状態であった場合の製品をセットしてから製品搬出までの時間は異なる。そのため、データとして登録した時間の誤差は大きくなり、搬送に問題が発生する。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明によれば、製品に対して加工処理を行う少なくとも１つの加工装置と、加工装置から製品を受け取り所定の搬送先まで搬送する区画内搬送装置と、加工装置及び搬送装置を制御するホストコンピュータとを備えた製品搬送システムであって、加工装置が、ホストコンピュータに対して、自身から搬出される製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、製品搬出予告信号を受信したホストコンピュータが、区画内搬送装置に対して、製品搬出予定時間に合わせて製品搬出予告信号を送信した加工装置の所へ移動することを事前に命令する移動命令信号を送信し、移動命令信号を受信した区画内搬送装置が、製品搬出予定時間に合わせて製品搬出予告信号を送信した加工装置の所へ移動することを特徴とする製品搬送システムが提供される。
【００１７】
この発明によれば、区画内搬送装置を、製品搬出予定時間に合わせて、製品搬出予告信号を送信した加工装置の所へ移動させることができるので、加工処理後の製品をいち早く移動させることができる。その結果、製品搬送の無駄な時間が解消されて、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を高め、生産納期を短縮することができる。
【００１８】
また、本発明によれば、製品に対して加工処理を行う少なくとも１つの加工装置と、加工装置から搬出される製品の搬出予定時間を事前に報知する区画内報知装置と、加工装置及び区画内報知装置を制御するホストコンピュータとを備えた製品搬送システムであって、加工装置が、ホストコンピュータに対して、自身から搬出される製品の搬出予定時間を事前に予告する製品搬出予告信号を送信し、製品搬出予告信号を受信したホストコンピュータが、区画内報知装置に対して、製品搬出予定時間を報知することを事前に命令する報知命令信号を送信し、報知命令信号を受信した区画内報知装置が、製品搬出予定時間を事前に報知することを特徴とする製品搬送システムが提供される。
【００１９】
この発明によれば、区画内報知装置が、製品搬出予定時間を事前に報知することができるので、報知を受けた作業者が加工処理後の製品をいち早く移動させることができる。その結果、製品搬送の無駄な時間が解消されて、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を高め、生産納期を短縮することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、製品搬出予定時間に合わせて、加工処理後の製品をいち早く移動させることができる。その結果、製品搬送の無駄な時間が解消されて、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を高め、生産納期を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００２２】
［第１の実施形態］
本実施の形態に係る製品搬送システムの構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。図１は、本実施の形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した概略構成図である。図２は、本発明の実施の形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した平面図である。
【００２３】
図１及び図２に示すように、当該製品搬送システムは、半導体製品（以下、単に製品と称する）の加工工程毎に複数のブロックＢＬ１〜ＢＬ４によって構成されている。これらの各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４は、製品に対して一連の加工処理を行う複数の加工装置１１０と、加工装置１１０から製品を受け取り所定の搬送先（後述するストッカ１２０）まで搬送する自動搬送車１３０と、自動搬送車１３０から加工処理後の製品を受け取り一時的に保管するストッカ１２０と、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け取り所定の搬送先（次工程となる他のブロックのストッカ）まで搬送する自動搬送車１３１と、加工装置１１０、自動搬送車１３０、ストッカ１２０及び自動搬送車１３１を制御するホストコンピュータ１５０とを備えている。なお、加工装置１１０、自動搬送車１３０、１３１及びストッカ１２０と、ホストコンピュータ１５０は、後述する様々な信号の送受信を行う不図示の送受信手段をそれぞれ備えている。
【００２４】
加工装置１１０は、その内部に、加工処理前後の製品を一時的に保管するための第１ステージ１１１及び第２ステージ１１２と、製品の加工処理を行うための処理室１１３とが設けられており、自動搬送車１３０は、第１ステージ１１１または第２ステージ１１２に置かれる加工処理後の製品を受け取る。このように、加工装置１１０は、複数のステージを備えていることから、製品に対して一連の加工処理を順次、連続して行うことができる構成となっている。なお、ステージは、例えば大きな面積を有するなどして、製品に対して一連の加工処理を順次、連続して行うことができる構成となっていれば、１つであってもよい。
【００２５】
次に、本実施の形態に係る製品搬送システムの作用について図１乃至図３を参照して説明する。図３は、本実施の形態に係る製品搬送システムのタイミング図である。
【００２６】
図１に示すように、加工装置１１０は、第１ステージ１１１と第２ステージ１１２のどちらか一方でも空きの状態であれば、ホストコンピュータ１５０にロード要求信号Ｓ１１を送信して、加工処理前の装置の供給を要求する。
【００２７】
ロード要求信号Ｓ１１を受信したホストコンピュータ１５０は、ストッカ１２０が加工処理前の製品を保管している場合には、ストッカ１２０に製品移動・保管信号Ｓ２４を送信して、ストッカ１２０に保管されている加工処理前の製品を搬出するように指示する。
【００２８】
製品移動・保管信号Ｓ２４を受信したストッカ１２０は、自身が保管している加工処理前の製品を搬出する予定時間を製品搬出予告信号Ｓ２５によってホストコンピュータ１５０に送信する。
【００２９】
製品搬出予告信号Ｓ２５を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信して、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ２５の搬出予定時間に合わせてストッカ１２０の位置に移動するように指示する。なお、「搬出予定時間に合わせて」とは、「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に自動搬送車１３０がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【００３０】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、自動搬送車１３０がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、自動搬送車１３０が実際にストッカ１２０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【００３１】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に自動搬送車１３０の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が自動搬送車１３０の位置を検出し、不図示の演算手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された自動搬送車１３０の速度とからその移動時間を算出することで、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【００３２】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、自動搬送車１３０がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、ホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信するが、このような場合には、自動搬送車１３０がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【００３３】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３０は、移動を開始して、ストッカ１２０の位置に移動完了すると移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００３４】
ストッカ１２０は、保管している加工処理前の製品を搬出する準備が完了すると、製品搬出許可信号Ｓ２７をホストコンピュータ１５０に送信して、搬出準備完了を通知する。
【００３５】
製品搬出許可信号Ｓ２７を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に製品受取開始信号Ｓ３２を送信して、加工処理前の製品の受け取り開始を指示する。
【００３６】
製品受取開始信号Ｓ３２を受信した自動搬送車１３０は、ストッカ１２０から加工処理前の製品を受け取り、ホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ３３を送信して、加工処理前の製品の受け取り完了を通知する。
【００３７】
製品受取完了信号Ｓ３３を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信して、自動搬送車１３０が加工装置１１０の位置に移動するように指示する。
【００３８】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３０は、移動を開始して、加工装置１１０の位置に移動すると、移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００３９】
移動完了信号Ｓ３１を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に製品引渡開始信号Ｓ３４を送信して、加工処理前の製品の引き渡しを指示する。
【００４０】
製品引渡開始信号Ｓ３４を受信した自動搬送車１３０は、加工装置１１０の第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方に加工処理前の製品を設置し、製品引渡完了信号Ｓ３５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理前の製品の引き渡し完了を通知する。
【００４１】
加工装置１１０は、加工処理前の製品が第１ステージ１１１または第２ステージ１１２に設置されると、ホストコンピュータ１５０に製品設置完了信号Ｓ１３を送信して、加工処理前の製品の設置完了を通知する。
【００４２】
製品設置完了信号Ｓ１３を受信したホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０に製品処理開始信号Ｓ１４を送信して、加工装置１１０は、不図示の移動手段によって、加工処理前の製品を第１ステージ１１１または第２ステージ１１２から処理室１１３へ移動して、加工処理を開始する。
【００４３】
図１及び図３に示すように、加工装置１１０は、製品の加工処理が完了する前に、製品搬出予告信号Ｓ１５をホストコンピュータ１５０に送信して、自身から搬出される加工処理後の製品の製品搬出予定時間を事前に予告する。
【００４４】
なお、この製品搬出予告信号Ｓ１５を送るタイミングは、加工装置１１０の仕様に応じて様々に設定することができる。
【００４５】
例えば、加工装置１１０が製品を１つずつ加工処理するものとし、加工装置１１０の第１ステージ１１１または第２ステージ１１２に設置された製品の１ロットが１０個で構成されていたとすれば、加工装置１１０は、最後の１０個目の製品に対して加工処理を開始する時に、製品搬出予告信号Ｓ１５を送信するものとする。
【００４６】
この場合、製品搬出予定時間は、加工装置１１０が処理室１１３において製品の加工処理を行うのに要する時間と、不図示の移動手段によってその製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２へと移動するのに要する時間とに基づいて決定する。より詳細には、加工装置１１０は、製品１個当たりの加工処理時間と、製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方へ移動する移動時間とが予め記憶された記憶手段と、１０個目の製品に対して加工処理を開始する開始時間を検出する検出手段と、製品搬出予定時刻を算出する算出手段とを備えており、この算出手段が、検出手段が検出した「１０個目の製品に対する加工処理の開始時間」に、記憶手段に予め記憶された「製品１個当たりの加工処理時間」と、「製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方へ移動する移動時間」とを加算することで、製品搬出予定時刻を決定する。
【００４７】
また、例えば加工装置１１０が真空状態の下で加工処理を行うものであるときは、加工処理後の製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２へと移動する際に、処理室１１３内の圧力を調整する時間が長くかかるため、加工装置１１０は、この圧力調整が完了した時に、製品搬出予告信号Ｓ１５を送信するものとする。
【００４８】
この際、製品搬出予定時間は、加工装置１１０が、不図示の移動手段によって加工処理後の製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２へと移動するのに要する時間に基づいて決定する。より詳細には、加工装置１１０は、製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方へ移動する移動時間が予め記憶された記憶手段と、処理室１１３内の圧力調整が完了した完了時間を検出する検出手段と、製品搬出予定時刻を算出する算出手段とを備えており、この算出手段が、検出手段が検出した「処理室１１３内の圧力調整が完了した完了時間」に、記憶手段に予め記憶された「製品を処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方へ移動する移動時間」を加算することで、製品搬出予定時刻を決定する。
【００４９】
再び、本実施の形態に係る製品搬送システムの作用の説明に戻る。製品搬出予告信号Ｓ１５を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を事前に送信して、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ１５の搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置に移動するように指示する。なお、上述したように「搬出予定時間に合わせて」とは、「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に自動搬送車１３０が加工装置１１０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【００５０】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、自動搬送車１３０がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、自動搬送車１３０が実際に加工装置１１０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【００５１】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に自動搬送車１３０の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が自動搬送車１３０の位置を検出し、不図示の算出手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された自動搬送車１３０の速度とからその移動時間を算出することで、自動搬送車１３０が製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【００５２】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、自動搬送車１３０が加工装置１１０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、ホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信するが、このような場合には、自動搬送車１３０が加工装置１１０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【００５３】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３０は、移動を開始して、搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置に移動すると、移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００５４】
加工装置１１０は、加工処理が完了して、加工処理後の製品を搬出することが可能な状態（不図示の移動手段によって、加工処理後の製品が処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２へ移動された状態）になると、製品搬出許可信号Ｓ１７をホストコンピュータ１５０に送信して、搬出許可を通知する。
【００５５】
製品搬出許可信号Ｓ１７を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に製品受取開始信号Ｓ３２を送信して、加工処理後の製品の受け取り開始を指示する。
【００５６】
製品受取開始信号Ｓ３２を受信した自動搬送車１３０は、加工装置１１０の第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方に設置された加工処理後の製品を受け取り、ホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ３３を送信して、加工処理後の製品の受け取り完了を通知する。
【００５７】
製品受取完了信号Ｓ３３を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３０に移動命令信号Ｓ３０を送信して、ストッカ１２０の位置に移動するように指示する。
【００５８】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３０は、移動を開始して、ストッカ１２０の位置に移動すると移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００５９】
移動完了信号Ｓ３１を受信したホストコンピュータ１５０は、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け入れ可能な状態を通知するロード要求信号Ｓ２１が事前に送られていることを確認した上で、自動搬送車１３０に製品引渡開始信号Ｓ３４を送信して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。
【００６０】
製品引渡開始信号Ｓ３４を受信した自動搬送車１３０は、加工処理後の製品をストッカ１２０に引き渡し、製品引渡完了信号Ｓ３５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の引き渡し完了を通知する。
【００６１】
図１及び図２に示すように、ストッカ１２０は、加工処理後の製品が所定の保管位置に設置されるとホストコンピュータ１５０に製品設置完了信号Ｓ２３を送信して、加工処理後の製品の設置完了を通知する。
【００６２】
製品設置完了信号Ｓ２３を受信したホストコンピュータ１５０は、加工処理後の製品を次の加工処理工程である別のブロックへと搬送するために、ストッカ１２０に製品移動・保管信号Ｓ２４を送信して、一時的に保管されている加工処理後の製品を搬出するように指示する。
【００６３】
製品移動・保管信号Ｓ２４を受信したストッカ１２０は、不図示の移動手段によって加工処理後の製品をその保管位置から搬出位置まで移動させるが、その移動が完了する前に、製品搬出予告信号Ｓ２５をホストコンピュータ１５０に送信して、自身から搬出される加工処理後の製品の製品搬出予定時間を事前に予告する。
【００６４】
なお、この製品搬出予告信号Ｓ２５を送るタイミングは、ストッカ１２０の仕様に応じて様々に設定することができる。
【００６５】
製品搬出予告信号Ｓ２５を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３１に移動命令信号Ｓ３０を事前に送信して、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４間で加工処理後の製品の搬送を担う自動搬送車１３１が製品搬出予告信号Ｓ２５の搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置に移動するように命令する。なお、上述したように「搬出予定時間に合わせて」とは、上述したように「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に自動搬送車１３１がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【００６６】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３１が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて自動搬送車１３１に移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、自動搬送車１３１がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、自動搬送車１３１が実際にストッカ１２０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように移動命令信号Ｓ３０を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【００６７】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に自動搬送車１３１の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が自動搬送車１３１位置を検出し、不図示の算出手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された自動搬送車１３１の速度とからその移動時間を算出することで、自動搬送車１３１が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【００６８】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、自動搬送車１３１がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、自動搬送車１３１は、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４のホストコンピュータ１５０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、該当するブロックのストッカ１２０へ移動するが、このような場合には、自動搬送車１３０がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【００６９】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３１は、移動を開始して、搬出予定時間に合わせて製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置に移動すると、移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００７０】
ストッカ１２０は、加工処理後の製品を搬出することが可能な状態（不図示の移動手段によって、加工処理後の製品が保管位置から搬出位置へ移動された状態）になると、製品搬出許可信号Ｓ２７をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の搬出を許可する。
【００７１】
製品搬出許可信号Ｓ２７を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３１に製品受取開始信号Ｓ３２を送信して、加工処理後の製品の受け取りを指示する。
【００７２】
製品受取開始信号Ｓ３２を受信した自動搬送車１３１は、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け取り、ホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ３３を送信して、加工処理後の製品の受け取り完了を通知する。
【００７３】
製品受取完了信号Ｓ３３を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３１に移動命令信号Ｓ３０を送信して、次の加工処理工程となるブロックのストッカの位置へ移動するように指示する。
【００７４】
移動命令信号Ｓ３０を受信した自動搬送車１３１は、移動を開始して、次の加工処置工程となるブロックのストッカ１２０の位置に移動すると、移動完了信号Ｓ３１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００７５】
移動完了信号Ｓ３１を受信したホストコンピュータ１５０は、自動搬送車１３１に製品引渡開始信号Ｓ３４を送信して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。
【００７６】
製品引渡開始信号Ｓ３４を受信した自動搬送車１３１は、加工処理後の製品をストッカ１２０に引き渡し、製品引渡完了信号Ｓ３５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の引き渡し完了を通知する。
【００７７】
次に、本実施の形態に係る製品搬送システムの効果について説明する。
【００７８】
以上に説明したように、本実施の形態に係る製品搬送システムにおいては、加工装置１１０ならびにストッカ１２０が、製品搬出予定時間を含んだ製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５を事前にホストコンピュータ１５０に送信することで、ホストコンピュータ１５０が、自動搬送車１３０、１３１をその製品搬出予定時間に合わせて、その製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５を送信した加工装置１１０ならびにストッカ１２０の位置へ移動させることができるので、加工装置１１０ならびにストッカ１２０での無駄な待ち時間を解消して、加工処理後の製品をいち早く移動させることができる。その結果、製品搬送の無駄な時間が解消されて、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を高め、生産納期を短縮することができる。
【００７９】
なお、上述したようにホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから、順次、自動搬送車１３０に移動指示するものとする。このようにすれば、自動搬送車１３０の製品搬送において、加工処理後の製品の無駄な待ち時間を最小限に抑えることができる。また、自動搬送車１３１は、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４のホストコンピュータ１５０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ２５の送信を受けた場合には、その搬出予定時間の先後を不図示の判断手段によって判断して、時間の早いものから順次、該当するブロックのストッカ１２０へ移動するものとする。このようにすれば、自動搬送車１３１の製品搬送において、加工処理後の製品の無駄な待ち時間を最小限に抑えることができる。
【００８０】
［第２の実施形態］
本実施の形態に係る製品搬送システムの構成について説明する。当該製品搬送システムは、上記［第１の実施形態］に係る製品搬送システムと基本構成を同様とするものであるが、自動搬送車の代わりに作業者が製品の搬送を担う場合に適用されるものである。具体的には、ホストコンピュータが、自動搬送車に事前に送信する移動命令信号の代わりに、報知装置に対して製品搬出予定時間を報知することを事前に命令する報知命令信号を送信し、これを受けた報知装置が製品搬出予定時間を事前に作業者に報知することで移動指示するものである。
【００８１】
以下、本実施の形態に係る製品搬送システムの構成について、図４及び図５を参照して説明する。図４は、本実施の形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した概略構成図である。図５は、本発明の実施の形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した平面図である。
【００８２】
図４及び図５に示すように、当該製品搬送システムは、半導体製品の加工工程毎に複数のブロックＢＬ１〜ＢＬ４によって構成されている。これらの各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４は、半導体製品（以下、単に製品と称する）に対して一連の加工処理を行う複数の加工装置１１０と、加工装置１１０から搬出される加工処理後の製品の搬出予定時間を事前に作業者に対して報知する報知装置１６０と、作業者を介して加工処理後の製品を受け取り一時的に保管するストッカ１２０と、ストッカ１２０から加工処理後の製品が搬出される予定時間を事前に作業者に対して報知する報知装置１６１と、加工装置１１０、報知装置１６０、ストッカ１２０及び報知装置１６１を制御するホストコンピュータ１５０とを備えている。なお、作業者は、報知装置１６０による報知を受けて、加工装置１１０から製品を受け取りストッカ１２０まで搬送する役割を担う者と、報知装置１６１による報知を受けて、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け取り、次の加工処理工程となる他のブロックのストッカまで搬送する役割を担う者とに分かれている。また、加工装置１１０、報知装置１６０、１６１及びストッカ１２０と、ホストコンピュータ１５０は、後述する様々な信号の送受信を行う不図示の送受信手段をそれぞれ備えている。
【００８３】
報知装置１６０、１６１は、具体的には、表示部を備えた携帯端末であり、各加工装置１１０の製品搬出予定時間、各ストッカ１２０の製品搬出予定時間をそれぞれが表示することで、作業者に対して移動指示をする。なお、作業者は、その役割に応じて、これらの報知装置１６０、１６１をいずれかを常時携帯している。
【００８４】
次に、本実施の形態に係る製品搬送システムの作用について図４及び図５を参照して説明する。図５は、本実施の形態に係る製品搬送システムの平面図である。
【００８５】
図４に示すように、加工装置１１０は、第１ステージ１１１と第２ステージ１１２のどちらか一方でも空きの状態であれば、ホストコンピュータ１５０にロード要求信号Ｓ１１を送信して、加工処理前の装置の供給を要求する。
【００８６】
ロード要求信号Ｓ１１を受信したホストコンピュータ１５０は、ストッカ１２０が加工処理前の製品を保管している場合には、ストッカ１２０に製品移動・保管信号Ｓ２４を送信して、ストッカ１２０に保管されている製品を搬出するように指示する。
【００８７】
製品移動・保管信号Ｓ２４を受信したストッカ１２０は、保管している加工処理前の製品を搬出する予定時間を製品搬出予告信号Ｓ２５によってホストコンピュータ１５０に送信する。
【００８８】
製品搬出予告信号Ｓ２５を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を送信して、作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５の搬出予定時間に合わせてストッカ１２０の位置に移動するように指示する。なお、「搬出予定時間に合わせて」とは、「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【００８９】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて自動搬送車１３０に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、作業者がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、作業者が実際にストッカ１２０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【００９０】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に作業者の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が作業者の位置を検出し、不図示の算出手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された作業者の速度とからその移動時間を算出することで、作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【００９１】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、ホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を送信するが、このような場合には、作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【００９２】
報知命令信号Ｓ４６を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、ストッカ１２０の搬出予定時間を報知する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部にはその搬出予定時間が表示される。
【００９３】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、ストッカ１２０の位置に移動すると、報知装置１６０によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【００９４】
ストッカ１２０は、保管している加工処理前の製品を搬出する準備が完了すると、製品搬出許可信号Ｓ２７をホストコンピュータ１５０に送信して、搬出準備完了を通知する。
【００９５】
製品搬出許可信号Ｓ２７を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に製品受取開始信号Ｓ４２を送信する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理前の製品の受け取り開始を指示する旨が表示される。
【００９６】
その表示を見た作業者は、ストッカ１２０から製品を受け取り、報知装置１６０によってホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ４３を送信して、加工処理前の製品の受け取り完了を通知する。
【００９７】
製品受取完了信号Ｓ４３を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に移動命令信号Ｓ４０を送信して、作業者が加工装置１１０の位置に移動するように指示する。
【００９８】
移動命令信号Ｓ４０を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、搬送先となる加工装置１１０を指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理前の製品を搬送する加工装置１１０を特定する情報が表示される。
【００９９】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、加工装置１１０の位置に移動すると、報知装置１６０によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【０１００】
移動完了信号Ｓ４１を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に製品引渡開始信号Ｓ４４を送信して、加工処理前の製品の引き渡しを指示する。
【０１０１】
製品引渡開始信号Ｓ４４を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、加工処理前の製品の引き渡しを指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理前の製品の引き渡しを指示する旨が表示される。
【０１０２】
その表示を見た作業者は、加工装置１１０の第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方に加工処理前の製品を設置し、報知装置１６０によって製品引渡完了信号Ｓ４５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理前の製品の引き渡し完了を通知する。
【０１０３】
加工装置１１０は、加工処理前の製品が第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方に設置されると、ホストコンピュータ１５０に製品設置完了信号Ｓ１３を送信して、加工処理前の製品の設置完了を通知する。
【０１０４】
製品設置完了信号Ｓ１３を受信したホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０に製品処理開始信号Ｓ１４を送信して、加工装置１１０は、不図示の移動手段によって、製品を第１ステージ１１１または第２ステージ１１２から処理室１１３へ移動して、加工処理を開始する。
【０１０５】
図４及び図６に示すように、加工装置１１０は、製品の加工処理が完了する前に、製品搬出予告信号Ｓ１５をホストコンピュータ１５０に送信して、自身から搬出される加工処理後の製品の製品搬出予定時間を事前に予告する。
【０１０６】
なお、この製品搬出予告信号Ｓ１５を送るタイミングは、上記［第１の実施形態］と同様に、具体的には、段落［００４５］〜［００４８］に記載するように、加工装置１１０の仕様に応じて様々に設定することができる。
【０１０７】
製品搬出予告信号Ｓ１５を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を事前に送信して、作業者が製品搬出予告信号Ｓ１５の搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置に移動するように指示する。なお、上述したように「搬出予定時間に合わせて」とは、「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【０１０８】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、作業者が製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて作業者に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、作業者がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、作業者が実際に加工装置１１０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【０１０９】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に作業者の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が作業者の位置を検出し、不図示の算出手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ１５を送信したストッカ１２０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された作業者の速度とからその移動時間を算出することで、作業者が製品搬出予告信号Ｓ１５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【０１１０】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、作業者が加工装置１１０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、ホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、報知装置１６０に報知命令信号Ｓ４６を送信するが、このような場合には、作業者が加工装置１１０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【０１１１】
報知命令信号Ｓ４６を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の搬出予定時間を報知する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部にはその搬出予定時間が表示される。
【０１１２】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ１５を送信した加工装置１１０の位置に移動すると、報知装置１６０によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【０１１３】
加工装置１１０は、加工処理が完了して、加工処理後の製品を搬出することが可能な状態（不図示の移動手段によって、加工処理後の製品が処理室１１３から第１ステージ１１１または第２ステージ１１２へ移動された状態）になると、製品搬出許可信号Ｓ１７をホストコンピュータ１５０に送信して、搬出許可を通知する。
【０１１４】
製品搬出許可信号Ｓ１７を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に製品受取開始信号Ｓ４２を送信して、加工処理後の製品の受け取り開始を指示する。
【０１１５】
製品受取開始信号Ｓ４２を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、加工処理後の製品の受け取り開始を指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理後の製品の受け取り開始を指示する旨が表示される。
【０１１６】
その表示を見た作業者は、加工装置１１０の第１ステージ１１１または第２ステージ１１２の空いている方に設置された加工処理後の製品を受け取り、報知装置１６０によってホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ４３を送信して、加工処理後の製品の受け取り完了を通知する。
【０１１７】
製品受取完了信号Ｓ４３を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６０に移動命令信号Ｓ４０を送信して、ストッカ１２０の位置に移動するように指示する。
【０１１８】
移動命令信号Ｓ４０を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、ストッカ１２０の位置に移動するように指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、ストッカ１２０の位置への移動を指示する旨が表示される。
【０１１９】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、ストッカ１２０の位置に移動すると、報知装置１６０によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【０１２０】
移動完了信号Ｓ４１を受信したホストコンピュータ１５０は、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け入れ可能な状態を通知するロード要求信号Ｓ２１が事前に送られていることを確認した上で、報知装置１６０に製品引渡開始信号Ｓ４４を送信して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。
【０１２１】
製品引渡開始信号Ｓ４４を受信した報知装置１６０は、作業者に対して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理後の製品の引き渡しを指示する旨が表示される。
【０１２２】
その表示を見た作業者は、加工処理後の製品をストッカ１２０に引き渡し、報知装置１６０によって製品引渡完了信号Ｓ４５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の引き渡し完了を通知する。
【０１２３】
図４及び図５に示すように、ストッカ１２０は、加工処理後の製品が所定の保管位置に設置されるとホストコンピュータ１５０に製品設置完了信号Ｓ２３を送信して、加工処理後の製品の設置完了を通知する。
【０１２４】
製品設置完了信号Ｓ２３を受信したホストコンピュータ１５０は、加工処理後の製品を次の加工処理工程である別のブロックへと搬送するために、ストッカ１２０に製品移動・保管信号Ｓ２４を送信して、一時的に保管されている加工処理後の製品を搬出するように指示する。
【０１２５】
製品移動・保管信号Ｓ２４を受信したストッカ１２０は、不図示の移動手段によって加工処理後の製品をその保管位置から搬出位置まで移動させるが、その移動が完了する前に、製品搬出予告信号Ｓ２５をホストコンピュータ１５０に送信して、自身から搬出される加工処理後の製品の製品搬出予定時間を事前に予告する。
【０１２６】
なお、この製品搬出予告信号Ｓ２５を送るタイミングは、上記［第１の実施形態］と同様に、ストッカ１２０の仕様に応じて様々に設定することができる。
【０１２７】
製品搬出予告信号Ｓ２５を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６１に報知命令信号Ｓ４６を事前に送信して、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４間で加工処理後の製品の搬送を担う作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５の搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置に移動するように命令する。なお、上述したように「搬出予定時間に合わせて」とは、「搬出予定時間に間に合うように」という意味であり、実際に自動搬送車１３１がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間と一致することが好ましい。
【０１２８】
そのために、ホストコンピュータ１５０は、作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する不図示の判断手段と、その判断に基づいて報知装置１６１に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを調整する不図示の調整手段とを備える。そして、判断手段が、作業者がその搬出予定時間よりも前に移動することができると判断した場合には、調整手段が、作業者が実際にストッカ１２０の位置に移動する時間が搬出予定時間と一致するように報知装置１６１に報知命令信号Ｓ４６を送信するタイミングを遅らせる調整をする。
【０１２９】
ここで、判断手段は、より詳細には、不図示の記憶部に作業者の速度が予め記憶されており、不図示の検出手段が作業者の位置を検出し、不図示の算出手段が、その位置から製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置までの距離を算出して、さらに、その算出した距離と予め記憶された作業者の速度とからその移動時間を算出することで、作業者が製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置にその搬出予定時間よりも前に移動することができるか否かを判断する。
【０１３０】
なお、この搬出予定時間は、ホストコンピュータ１５０の不図示の設定手段によって設定されるが、例えば「搬出予定時間の５分前」と設定されている場合には、作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも前になることがある。一方、作業者（または報知装置１６１であって良い）は、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４のホストコンピュータ１５０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ２５の送信を受けた場合には、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、該当するブロックのストッカ１２０へ移動するが、このような場合には、作業者がストッカ１２０の位置に移動する時間は、搬出予定時間よりも後になることがある。
【０１３１】
報知命令信号Ｓ４６を受信した報知装置１６１は、作業者に対して、製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の搬出予定時間を報知する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部にはその搬出予定時間が表示される。
【０１３２】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、搬出予定時間に合わせてその製品搬出予告信号Ｓ２５を送信したストッカ１２０の位置に移動すると、報知装置１６１によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【０１３３】
ストッカ１２０は、加工処理後の製品を搬出することが可能な状態（不図示の移動手段によって、加工処理後の製品が保管位置から搬出位置へ移動された状態）になると、製品搬出許可信号Ｓ２７をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の搬出を許可する。
【０１３４】
製品搬出許可信号Ｓ２７を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６１に製品受取開始信号Ｓ４２を送信して、加工処理後の製品の受け取りを指示する。
【０１３５】
製品受取開始信号Ｓ４２を受信した報知装置１６１は、作業者に対して、加工処理後の製品の受け取りを指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理後の製品の受け取りを指示する旨が表示される。
【０１３６】
その表示を見た作業者は、ストッカ１２０から加工処理後の製品を受け取り、報知装置１６０によってホストコンピュータ１５０に製品受取完了信号Ｓ４３を送信して、加工処理後の製品の受け取り完了を通知する。
【０１３７】
製品受取完了信号Ｓ４３を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６１に移動命令信号Ｓ４０を送信して、次の加工処理工程となるブロックのストッカの位置へ移動するように指示する。
【０１３８】
移動命令信号Ｓ４０を受信した報知装置１６１は、作業者に対して、次の加工処理工程となるブロックのストッカの位置へ移動するように指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、次の加工処理工程となるブロックのストッカを特定する情報が表示される。
【０１３９】
その表示を見た作業者は、移動を開始して、次の加工処理工程となるブロックのストッカ１２０の位置に移動すると、報知装置１６１によって移動完了信号Ｓ４１をホストコンピュータ１５０に送信して、移動完了を通知する。
【０１４０】
移動完了信号Ｓ４１を受信したホストコンピュータ１５０は、報知装置１６１に製品引渡開始信号Ｓ４４を送信して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。
【０１４１】
製品引渡開始信号Ｓ４４を受信した報知装置１６１は、作業者に対して、加工処理後の製品の引き渡しを指示する。この際、報知装置１６０の不図示の表示部には、加工処理後の製品の引き渡しを指示する旨が表示される。
【０１４２】
その表示を見た作業者は、加工処理後の製品をストッカ１２０に引き渡し、報知装置１６１によって製品引渡完了信号Ｓ４５をホストコンピュータ１５０に送信して、加工処理後の製品の引き渡し完了を通知する。
【０１４３】
次に、本実施の形態に係る製品搬送システムの効果について説明する。
【０１４４】
以上に説明したように、本実施の形態に係る製品搬送システムにおいては、加工装置１１０ならびにストッカ１２０が、製品搬出予定時間を含んだ製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５を事前にホストコンピュータ１５０に送信することで、ホストコンピュータ１５０が、報知装置１６０、１６１を介して、作業者をその製品搬出予定時間に合わせて、その製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５を送信した加工装置１１０ならびにストッカ１２０の位置へ移動させることができるので、加工装置１１０ならびにストッカ１２０での無駄な待ち時間を解消して、加工処理後の製品をいち早く移動させることができる。その結果、製品搬送の無駄な時間が解消されて、ＰＵＬＬ型生産での生産効率を高め、生産納期を短縮することができる。
【０１４５】
なお、上述したようにホストコンピュータ１５０は、加工装置１１０及びストッカ１２０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ１５、Ｓ２５の送信を受けた場合には、不図示の判断手段によって、その搬出予定時間が早いものから、順次、報知装置１６０に移動指示するものとする。このようにすれば、作業者の製品搬送において、加工処理後の製品の無駄な待ち時間を最小限に抑えることができる。また、作業者は、各ブロックＢＬ１〜ＢＬ４のホストコンピュータ１５０のいずれか複数から十分な時間間隔を空けることなく製品搬出予告信号Ｓ２５の送信を受けた場合には、その搬出予定時間の先後を判断して、時間の早いものから順次、該当するブロックのストッカ１２０へ移動するものとする。このようにすれば、製品搬送において、加工処理後の製品の無駄な待ち時間を最小限に抑えることができる。
【０１４６】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【０１４７】
例えば、報知装置１６０、１６１は、携帯端末に限らず、例えば掲示板やシグナルタワーであってよい。このような場合には、ホストコンピュータ１５０との「移動命令信号」、「移動完了信号」、「製品受取開始信号」、「製品受取完了信号」、「製品引渡信号」及び「製品引渡完了信号」の送受信が省かれることになるが、例えば製品を搬送する加工装置やストッカの指示は、上記「掲示板」や「シグナルタワー」における表示によって行うことができる。また、製品の受け取り開始が可能か否か、そして、製品の引き渡し開始が可能か否かは、作業者が加工装置やストッカの状態を確認することで判断できる。また、作業者の移動完了、製品の受け取り完了、製品の引き渡し完了は、ホストコンピュータ１５０が必ずしも認識している必要はないので、別段問題が生じることもない。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製品搬送システムの概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る製品搬送システムのタイミング図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る製品搬送システムの概略構成図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る製品搬送システムの構成を模式的に表した平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る製品搬送システムのタイミング図である。
【図７】従来の半導体製品の製品搬送システムの構成を模式的に表した概略構成図である。
【図８】従来の半導体製品の製品搬送システムのタイミング図である。
【符号の説明】
【０１４９】
１１０      加工装置
１１１      第１ステージ
１１２      第２ステージ
１１３      処理室
１２０      ストッカ
１３０      自動搬送車
１３１      自動搬送車
１５０      ホストコンピュータ
１６０      報知装置
１６１      報知装置
２１０      加工装置
２１１      第１ステージ
２１２      第２ステージ
２２０      ストッカ
２３０      自動搬送車
２５０      ホストコンピュータ
ＢＬ１      ブロック
ＢＬ２      ブロック
ＢＬ３      ブロック
ＢＬ４      ブロック
Ｓ１１      ロード要求信号
Ｓ１３      製品設置完了信号
Ｓ１４      製品処理開始信号
Ｓ１５      製品搬出予告信号
Ｓ１７      製品搬出許可信号
Ｓ２１      ロード要求信号
Ｓ２３      製品設置完了信号
Ｓ２４      製品移動・保管信号
Ｓ２５      製品搬出予告信号
Ｓ２７      製品搬出許可信号
Ｓ３０      移動命令信号
Ｓ３１      移動完了信号
Ｓ３２      製品受取開始信号
Ｓ３３      製品受取完了信号
Ｓ３４      製品引渡開始信号
Ｓ３５      製品引渡完了信号
Ｓ４０      移動命令信号
Ｓ４１      移動完了信号
Ｓ４２      製品受取開始信号
Ｓ４３      製品受取完了信号
Ｓ４４      製品引渡開始信号
Ｓ４５      製品引渡完了信号
Ｓ４６      報知命令信号
Ｓ６７      製品処理完了信号
Ｓ７１      ロード要求信号
Ｓ８０      移動命令信号
Ｓ８１      移動完了信号
Ｓ８２      製品受取開始信号
Ｓ８３      製品受取完了信号
Ｓ８４      製品引渡開始信号
Ｓ８５      製品引渡完了信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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