(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速回転して被加工物を切削するブレードと，前記ブレードを挟むように配設され，切削水を供給する一対の側面ノズルとを備えたダイシング装置において，
固定部と，
前記固定部に対して移動可能に設置され，前記側面ノズルを支持する支持装置と，
前記固定部と前記支持装置とを移動固定可能に連結し，前記固定部に対する前記支持装置の位置を調整するアジャスタ装置と，
を有し，
前記固定部及び前記支持装置の少なくとも一側面には，前記固定部に対する前記支持装置の位置を，前記ブレードのサイズに応じて調整するための調整目安が形成されており，
前記調整目安は，
前記固定部に設けられた調整目盛と，
前記調整目盛に対向するように前記支持装置に設けられた調整マークと，
を含み，
前記調整目盛は，
前記ブレードのサイズに応じた前記調整マークの位置を示す目盛と，
前記ブレードのサイズを示す数字と，
を含むことを特徴とする，ダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシング装置にかかり，特に，ブレードのサイズに応じて側面ノズルの位置を容易に調整することができるダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来，賽の目状にカーフ（切溝）を生成して半導体ウェハなどの被加工物を複数片に分割するダイシング工程においては，フランジにより固定されたリング状ブレードを備えたダイシング装置が用いられている。
【０００３】
かかるダイシング装置は，ブレードを高速回転させて，被加工物を切削加工する。その際に，ブレードと被加工物との間に生じる摩擦熱が，ブレードの磨耗や破損を増大させ，また，被加工物の加工面上のチッピングや異常切削の原因となる。そこで，ブレードや加工点に切削水を供給し，冷却する方法が採用されている。
【０００４】
切削水の供給方法としては，シャワーノズルを用いて切削方向前方からブレード外周面に切削水を供給する方法，ブレードを挟むように前後に配設された１対の側面ノズルを用いてブレードの両側より切削水を供給する方法，さらにブレード外周面全体に切削水を供給する方法などが一般的である。
【０００５】
このうち，側面ノズルによる切削水の供給方法においては，側面ノズルがブレード下部の側方に加工面と略平行に設置され，側面ノズルの側面に形成された開口からブレード外周側面及び加工点に対し切削水が供給される。この際，ブレード及び加工点を効果的に冷却するために，側面ノズルの加工面からの高さがブレードのサイズに応じて調整される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来のダイシング装置では，側面ノズルの位置（加工面からの高さなど）を調整するためには，スパナ，六角レンチ，定規などの各種工具を使用して調整しなければならない。また，奥側の側面ノズルの位置を調整する際には，ホイルカバーを取り外さなければならない。このため，側面ノズルの位置調整には，時間がかかり不便であるという問題がある。
【０００７】
また，側面ノズルの位置を調整する際に，ブレードのサイズに対応した調整位置の目安がないので，側面ノズルの好適な調整位置を正確かつ迅速に判断することが困難であるという問題もある。
【０００８】
本発明は，従来のダイシング装置が有する上記問題点に鑑みてなされたものであり，本発明の目的は，ブレードのサイズに応じて，側面ノズルの位置を容易かつ迅速に調整することが可能な，新規かつ改良されたダイシング装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点によれば，高速回転して被加工物を切削するブレードと，前記ブレードを挟むように配設され，切削水を供給する一対の側面ノズルとを備えたダイシング装置において，固定部と，前記固定部に対して移動可能に設置され，前記側面ノズルを支持する支持装置と，前記固定部と前記支持装置とを移動固定可能に連結し，前記固定部に対する前記支持装置の位置を調整するアジャスタ装置と，を有し，前記固定部及び前記支持装置の少なくとも一側面には，前記固定部に対する前記支持装置の位置を，前記ブレードのサイズに応じて調整するための調整目安が形成されており，前記調整目安は，前記固定部に設けられた調整目盛と，前記調整目盛に対向するように前記支持装置に設けられた調整マークと，を含み，前記調整目盛は，前記ブレードのサイズに応じた前記調整マークの位置を示す目盛と，前記ブレードのサイズを示す数字とを含むことを特徴とする，ダイシング装置を提供する。
【００１０】
かかる構成により，アジャスタ装置を利用して固定部に対する支持装置の位置を調整することができるので，支持装置に支持された側面ノズルの位置をブレードのサイズに応じて調整することができる。特に，側面ノズルの加工面からの高さを容易に調整できる。さらに，一対の側面ノズルを一体的に移動させて同時に調整することもできる。従って，側面ノズルの位置調整の際に，ホイルカバーを取り外したり，各種工具を用いたりする必要がなく，省力化，迅速化が図れる。
【００１１】
さらに，固定部及び支持装置の少なくとも一側面には，固定部に対する支持装置の位置を調整するための，調整目安が形成されている，如く構成すれば，側面ノズルの位置を調整する際に，ブレードのサイズに応じた側面ノズルの好適な調整位置を，正確かつ迅速に判断することができる。従って，客観的な側面ノズルの位置調整が可能になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に略同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１３】
まず，図１に基づいて，本発明の第１の実施の形態におけるダイシング装置の概略について説明する。図１は，本実施形態にかかるダイシング装置１０の全体斜視図である。
【００１４】
ダイシング装置本体１０は，図１に示すように，半導体ウェハ１２などの被加工物を切削または切断する切削ユニット２０と，半導体ウェハ１２を載置するチャックテーブル１５とを有する。半導体ウェハ１２は，ウェハテープ１３によりフレーム１４に支持された状態で，チャックテーブル１５上に供給される。チャックテーブル１５は切削ユニット２０に対し相対的に移動可能であり，切削ユニット２０の端部に設置された高速回転するブレードに半導体ウェハ１２を所定量切り込ませながら，チャックテーブル１５が移動することにより切削が進行する。逆に，チャックテーブル１５が固定され，切削ユニット２０が相対的に移動して切削する場合もある。
【００１５】
ウェハ処理工程において微細領域内に素子や集積回路が大量に作り込まれた半導体ウェハ１２をダイシングする場合，半導体チップの間のストリートに沿った精密な加工が要求される。そこで，ダイヤモンド等の砥粒をニッケル等のボンド材で電着したリング状のブレードが用いられる。ブレードの厚さは極薄であり，例えば２０〜３０μｍである。このようなブレードが切削ユニット２０に設置され，高速回転しながら半導体ウェハ１２のストリートに沿って切削し，極薄のカーフを形成する。
【００１６】
この際，カーフの縁に生じた不定形破断であるチッピングや半導体ウェハ１２の異常切削が生じることがある。このチッピングの原因としては，摩擦熱により高温化したブレードが切削水により十分に冷却されず，目詰まり，磨耗，湾曲，破断することなどが挙げられる。半導体ウェハ１２のストリート外に達する程大きいチッピングが生じた場合には，半導体素子が破壊されて，歩留まりが低下してしまう。従って，ブレード及び加工点を十分に冷却するとともに，切削ユニット２０を精密に制御することが求められる。
【００１７】
次に，図２に基づいて，本実施形態における切削ユニットの全体構成を説明する。なお，図２は，本実施形態にかかる切削ユニット２０の斜視図である。
【００１８】
図２に示すように，切削ユニット２０は，リング状のブレード２２と，ブレード２２を両側より挟持するフランジ２４と，切削方向前方から切削水を供給するシャワーノズル２５と，ブレード２２両側から切削水を供給する側面ノズル２６と，ホイルカバー２８と，固定部３０と，側面ノズル２６を支持する支持装置３２と，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置を調整するアジャスタ装置３４とを有する。
【００１９】
リング状のブレード２２は，フランジ２４に挟持された状態でスピンドル回転軸に軸着され，例えば３０ｋｒｐｍで高速回転可能である。高速回転するブレード２２が，その外周を半導体ウェハ１２の加工面に所定量切り込ませながら，加工面に対し相対移動することで，ストリートに沿った精密な切削が進行する。切削中には切削水が供給され，ブレード２２及び加工点が冷却される。
【００２０】
フランジ２４は，例えばステンレス等の比較的硬質な金属などで形成されており，ブレード２２を両側より挟持して固定する。この際，フランジ２４は，ブレード２２の両側から略同一の領域を均等な圧力で挟持するので，ブレード２２が偏圧により湾曲，変形することなく，加工面を略直線的に切削することができる。
【００２１】
シャワーノズル２５は，ブレード２２の外周面と対向して切削方向前方に設置される。本実施形態にかかるシャワーノズル２５は，ホイルカバー２８と一体形成されており，図２の点線で示すように，ホイルカバー２８の内部に形成された例えば中空円筒状の切削水用水路２５ｂを有する。また，シャワーノズル２５は，給水ホースなどと連結されるシャワーノズル給水口２５ａと，ブレード外周面と対向する側に孔またはスリットなどのシャワーノズル開口２５ｃを有する。
【００２２】
給水ホースなどにより供給された例えば純水などの切削水は，シャワーノズル給水口２５ａを介して，切削水用水路２５ｂに導入される。切削水用水路２５ｂは，切削水をシャワーノズル開口２５ｃに誘導する。これにより，シャワーノズル２５は，シャワーノズル開口２５ｃからブレード２２先端に向けて切削水を放出して，ブレード２２及び加工点を冷却することができる。
【００２３】
なお，シャワーノズル２５は，ホイルカバー２８と別体に構成されてもよい。また，シャワーノズル２５は，切削方向前方に限らず，ブレード２２上部または切削方向後方などに配置されてもよく，複数のシャワーノズル開口２５ｃを有してもよい。また，切削ユニット２０は，側面ノズル２６から十分な切削水を供給できる場合には，シャワーノズル２５を必ずしも具備する必要はない。
【００２４】
側面ノズル２６は，ブレード２２の両側（図２では一側を図示せず）に，例えばブレード２２及び加工面と略平行に設置され，ブレード２２と対向する側に設けられたスリットなどの開口から，ブレード２２両側面に向けて切削水を放出する。
【００２５】
ホイルカバー２８は，切削水が周辺に飛散するのを防止するだけでなく，ブレード２２を保護し，危険防止のためブレード２２が露出しないようにする機能を有する。なお，本実施形態にかかるホイルカバー２８には，上記シャワーノズル２５及び後述する固定部３０が一体形成されている。
【００２６】
固定部３０は，例えば，ホイルカバー２８の切削方向後方側でブレード２２の上方に固定配置される。この固定部３０は，図２に示すように，上記ホイルカバー２８と一体形成されているが，かかる例に限定されず，固定部３０をホイルカバー２８と分離可能または別体に構成してもよい。
【００２７】
支持装置３２は，固定部３０の下方に配置され，固定部３０に対し垂直方向に移動可能に設けられる。この支持装置３２は，２つの側面ノズル２６を一体的に支持して，当該側面ノズル２６をブレード２２の両側の好適な位置に配置する機能を有する。なお，本実施形態では，支持装置３２は，２つの側面ノズル２６を支持しているが，３以上の側面ノズル２６を支持するように構成してもよい。
【００２８】
アジャスタ装置３４は，支持装置３２を固定部３０に対して固定または移動可能に連結することにより，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置を調整する機能を有する。なお，このアジャスタ装置３４の調整機能の詳細については後述する。
【００２９】
次に，図３に基づいて，本実施形態にかかる側面ノズルがブレードに対して切削水を供給する態様について説明する。なお，図３は，本実施形態にかかる側面ノズル２６がブレード２２に対して切削水を供給する態様を示す説明図であり，図３（ａ）は正面図，図３（ｂ）は立面図，図３（ｃ）は側面図である。
【００３０】
図３（ａ）に示すように，側面ノズル２６は，支持装置３２に連結される連結部２６ｂと，連結部２６ｂと連結形成され加工面及びブレード２２と略平行な略中空円筒状の直線部２６ａとを有する。
【００３１】
連結部２６ｂは，上部で支持装置３２と連結可能であり，内部形成された円筒空洞を通じて，給水ホースなどにより供給された高圧の切削水を，直線部２６ａに誘導する機能を有する。
【００３２】
直線部２６ａは，全体が略直線の略中空円筒状であり，その外径は例えば４ｍｍで，内径は例えば３ｍｍである。直線部２６ａのブレード２２と対向する側には，切削水を放出するための開口として例えば，スリット３６が等間隔で５つ形成されている。開口としては必ずしもスリット３６に限定されず，孔などであってもよい。また，スリット３６の設置数は５つに限定されず，例えば３〜４つなどでもよく，また，その配置も図３に示す配置に限らず，例えば，切削方向前方に多数のスリット３６を配置してもよい。
【００３３】
なお，本実施形態にかかる側面ノズル２６は，直線部２６ａを有したが，かかる例に限定されない。例えば，側面ノズル２６の切削水を放出する部分（本実施形態では直線部２６ａに該当する）が，ブレード２２の外周側面に沿って湾曲していたり，加工面と非平行であったりしてもよく，側面ノズル２６は多様な形状に形成しうるものとする。また，本実施形態ではブレード２２両側に側面ノズル２６を設置したが，片側のみに設置しても構わない。
【００３４】
上記のような構成の側面ノズル２６は，図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すように，ブレード２２外周側面下部の両側に，直線部２６ａがブレード２２及び加工面と略平行になるように設置され，スリット３６からブレード２２両側面に向けて切削水を放出する。これにより，切削水は，被加工物の切削中にブレード２２及び加工点を冷却することができる。
【００３５】
ところで，切削に用いられるブレード２２のサイズは被加工物や用途などに応じて様々である。具体的には，ブレード２２の直径は例えば５０ｍｍ，６０ｍｍなどがあり，その差は少ないとはいえない。このため，切削水を有効活用しブレード２２及び加工点を効率的に冷却するためには，装着されたブレード２２のサイズに応じて，側面ノズル２６の垂直方向の位置を調整して，切削水が好適に供給されるようにしなければならない。そこで，以下では，本実施形態の特徴である，側面ノズル２６の位置を容易に調整する機構について詳細に説明する。
【００３６】
まず，図４に基づいて，本実施形態にかかる固定部，支持装置及びアジャスタ装置の構成及び連結状態を詳細に説明する。なお，図４は，本実施形態にかかる固定部３０，支持装置３２及びアジャスタ装置３４の構成及び連結状態を説明する斜視図である。
【００３７】
図４に示すように，固定部３０は，固定部本体３０ａと，固定部本体３０ａの一側面に形成された凹部３０ｂとを有する。凹部３０ｂは，後述する支持装置３４の凸部３２ｂと嵌合することができるように所定の幅で形成されている。また，固定部本体３０ａには，略円筒状のねじ穴３４ｃが，凹部３０ｂが形成された面と垂直な方向に固定部本体３０ａを貫通して形成されている。なお，固定部本体３０ａは，上記のようにホイルカバー２８と一体形成されており，一端部（図４では右端部）が延長形成されているが，図４では省略してある。
【００３８】
支持装置３２は，側面ノズル２６を支持する支持部３２ａと，支持部３２ａの上方に形成された凸部３２ｂとを有する。支持部３２ａは，加工面に対し垂直方向に設けられた側面ノズル連結孔３２ａａに，各側面ノズル２６の連結部２６ｂを挿入して固定することで，２つの側面ノズル２６を支持することができる。このため，支持装置３４は２つの側面ノズル２６を一体的に支持して，同時に移動させることが可能である。また，凸部３２ｂは，支持部３２ａの上方に突出形成されており，上記固定部３０の凹部３０ｂと略水平方向に嵌合可能である。なお，凸部３２ｂには，水平方向と比して垂直方向に大きな幅を有する縦長の孔である第１連結孔３４ｂが，凸部３２ｂを水平方向に貫通して形成されている。
【００３９】
アジャスタ装置３４は，固定部３０と支持装置３２を締結固定自在な連結部材としてねじ３４ａと，支持装置３２の凸部３２ｂに形成された第１連結孔３４ｂと，固定部３０に形成されたねじ穴３４ｃとを有する。ねじ３４ａは，回転自在に第１連結孔３４ｂを貫通でき，ねじ穴３４ｃと螺合するよう形成されている。このため，アジャスタ装置３４は，第１連結孔３４ｂを貫通させたねじ３４ａをねじ穴３４ｃに螺合して締め付けることにより，嵌合された凸部３２ｂと凹部３０ｂとを連結して固定することができる。
【００４０】
ここで，図５に基づいて，支持装置が固定部に固定された状態について詳細に説明する。なお，図５は，本実施形態にかかる固定部３０に固定された支持装置３２を示す説明図である。図５（ａ）は，固定部３０に固定された支持装置３２を示す正面図であり，図５（ｂ）は，固定部３０に固定された支持装置３２を示す側面図である。
【００４１】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように，アジャスタ装置３４のねじ３４ａを締め付ける（例えば時計回りに回す）ことにより，嵌合された支持装置３２の凸部３２ｂと固定部３０の凹部３０ｂとの間に隙間がなくなり，支持装置３２は固定部３０に対し連結固定されて移動できない（締結位置）。このような締結位置では，支持装置３２は，固定部３０に対して固定されているので，支持装置３２に支持された側面ノズル２６は所定位置に安定的に固定される。
【００４２】
一方，図６に基づいて，支持装置が固定部に対して相対移動可能な状態について説明する。なお，図６は，本実施形態にかかる固定部３０に対して相対移動可能な支持装置３２を示す側面図である。
【００４３】
図６に示すように，アジャスタ装置３４のねじ３４ａを弛緩させる（例えば反時計回りに回す）ことにより，嵌合された凸部３２ｂと凹部３０ｂとの間に隙間が生じ，支持装置３２は固定部３０に対し相対移動が可能になる（弛緩位置）。このような弛緩位置では，支持装置３２は，固定部３０に対して垂直方向に相対移動できるので，支持装置３２に支持された側面ノズル２６もまた加工面に対して垂直な方向に移動可能になる。このため，弛緩位置では，側面ノズル２６を，ブレード２２のサイズに応じた好適な位置（例えば，加工面からの高さ）に移動させることができる。
【００４４】
なお，上記のように，凸部３２ｂに形成された第１連結孔３４ｂは垂直方向に大きい幅を有するので，支持装置３２は当該幅の範囲内では自由に移動可能である。しかし，支持装置３２が上方または下方に大きく移動し，ねじ３４ａが第１連結孔３４ｂの下端または上端に到った場合には，支持装置３２はそれ以上の移動を制限される。これにより，支持装置３２の過度の移動が原因で，側面ノズル２６などが半導体ウェハ１２に接触したり，支持装置３２が他の装置などに接触するなどして，半導体ウェハ１２または各種装置の破損を引き起こすことを防止できる。一方，第１連結孔３４ｂが過度に小さいと，支持装置３２の可動範囲が狭まり側面ノズル２６を十分に移動させることができない。このため，第１連結孔３４ｂの大きさは，使用可能性のあるブレード２２のサイズや周辺各種装置の大きさ及び配置などを考慮して，好適に決定される。
【００４５】
このように，アジャスタ装置３４が締結位置及び弛緩位置を有することにより，側面ノズル２６の位置を調整することができる。即ち，ブレード２２のサイズ変更などの理由で側面ノズル２６の位置を調整する必要がある場合には，まず，アジャスタ装置３４のねじ３４ａを緩めて，支持装置３２を固定部３０に対して相対移動可能にする。次いで，側面ノズル２６が好適な位置に配置されるように，支持装置３２を固定部に３０対し，例えば垂直方向に相対移動させる。さらに，ねじ３４ａを締め付けて，固定部３０に対して支持装置３２を固定することにより，側面ノズル２６を当該好適な位置で固定することができる。
【００４６】
以上のように，アジャスタ装置３４は，比較的簡単な構造であるにもかかわらず，例えばブレード２２サイズに応じて，側面ノズル２６の位置を，特殊な工具を用いることなく容易かつ迅速に調整することができる。また，２つの側面ノズル２６を同時に移動できるので，迅速に位置調整できる。
【００４７】
次に，図７に基づいて，調整目安を用いた側面ノズルの位置調整について説明する。図７は，本実施形態にかかる調整目安を用いた側面ノズル２６の位置調整を説明する説明図である。なお，本実施形態にかかる調整目安とは，ブレード２２のサイズに応じて側面ノズル２６を好適な位置に配置するために，予め，固定部３０及び支持装置３２の一側面に形成された調整目盛及び調整マークのことである。
【００４８】
図７に示すように，本実施形態にかかる固定部３０及び支持装置３２の一側面（オペレータが目視可能な側が好ましい）上には，調整目盛５０ａと調整マーク５０ｂからなる調整目安５０が形成されている。調整目盛５０ａは，固定部３０に描かれた，例えば７つのブレード２２サイズごとに好適な調整マーク５０ｂの位置を表す目盛と，当該ブレード２２の直径を表す数字（例えば５０：直径５０ｍｍのブレード２２に対応することを示す）を有する。また，調整マーク５０ｂは，支持装置３２に描かれた，例えば１つの頂点が上記調整目盛５０ａに対向するように配置された略三角形のマークである。
【００４９】
従って，当該調整マーク５０ｂの頂点を上記調整目盛５０ａに合わせることにより，ブレード２２の直径に応じて支持装置３２の位置（即ち，側面ノズル２６の位置）を好適に調整することができる。このように，調整目安５０は，ブレード２２のサイズに応じた側面ノズル２６の好適な位置を，調整目盛５０ａと調整マーク５０ｂが対になって表示するものである。なお，当該側面ノズル２６の好適な位置は，例えば過去の切削実験などに基づいて冷却効果が高くなるようブレード２２のサイズごとに設定され，この設定位置に応じて調整目安５０が形成される。
【００５０】
以下に，図７に基づいて，調整目安５０を利用して側面ノズル２６の位置を調整する方法について具体的に説明する。
【００５１】
図７（ａ）に示すように，例えば直径が５６ｍｍのブレード２２を用いる場合には，調整マーク５０ｂが，「５６」と表示された調整目盛５０ａに合うように，固定部３０に対する支持装置３２の相対位置が調整されている。これにより，側面ノズル２６は，直径が５６ｍｍのブレード２２のサイズに応じて加工面から所定距離上方に配置されているので，好適にブレード２２及び加工点を冷却することができる。
【００５２】
続いて，例えば直径が５６ｍｍのブレード２２から例えば直径が６０ｍｍのブレード２２に交換された場合には，側面ノズル２６の加工面からの高さを調整する必要がある。そこで，まず，ねじ３４ａを緩め，次いで，図７（ｂ）に示すように，調整マーク５０ｂが「６０」と表示された調整目盛５０ａに合うように，固定部３０に対して支持装置３２を相対移動させて，再びねじ３４ａを締結する。これにより，側面ノズル２６は，上記直径５６ｍｍのブレード２２の場合よりも，下方（加工面に近い方向）に配置され，直径６０ｍｍのブレード２２に対応した好適な位置から切削水を放出することができる。
【００５３】
以上のように調整目安５０を利用することにより，支持装置３２上の調整マーク５０ｂを，固定部３０上のブレード２２サイズに対応する調整目盛５０ａに合わせるだけで，容易かつ正確に側面ノズル２６の位置を調整することができるので，便利であるとともに客観的な位置調整ができる。
【００５４】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００５５】
例えば，ダイシングする被加工物としては，ＶＴＲやＦＤＤ等の磁気ヘッド，セラミック，水晶，ガラス，小型電子部品，リチウムナイオベイトに代表される圧電結晶材料やフェライトといった脆性材料等にも適用できる。
【００５６】
また，本実施形態にかかるブレード２２はリング状であるが，本発明はかかる例に限定されず，例えばハブ（Ｈｕｂ）と切刃部を一体形成したハブブレードなどであってもよい。
【００５７】
さらに，上記実施形態において，連結部材としてねじ３４ａを用いたが，本発明はかかる例に限定されず，固定部３０と支持装置３２を移動固定可能に連結し，固定部３０に対する支持装置３２の位置を調整可能な装置であればよい。例えば，固定部３０に対して回転自在な位置調整つまみを配設し，支持装置３２を固定部３０に対して移動可能に配設し，位置調整つまみから延長形成された雄ねじが螺合する雌ねじを支持装置３２に形成して，位置調整つまみの運動（回転）に応じて固定部３０に対する支持装置３２の位置を調整可能に構成してもよい。
【００５８】
また，調整目安５０は，必ずしもブレード２２の直径に応じた調整目盛５０ａを有さなくともよく，例えば，ブレード２２の型番，厚さ，単なる符号や番号，被加工物の材質などを示す調整目盛５０ａを有してもよい。
【００５９】
また，調整目安５０は，固定部３０及び／又は支持装置３２の一側面に形成されなくともよく，オペレータが調整目安５０を参考に側面ノズル２６の位置調整をできるものであればよい。例えば，固定部３０と支持装置３２との相対位置，または側面ノズル２６の加工面からの高さなどを検出するセンサを設け，当該センサの検出値と規定値とを比較して，側面ノズル２６の位置調整を行うなどすることができる。この場合，さらに固定部３０に対して支持装置３２を自動移動させる駆動手段を設け，センサの出力に応じて自動的に側面ノズル２６の位置調整を制御できるよう構成してもよい。
【００６０】
なお，切削水が供給される一対の側面ノズル２６の連結部２６ｂを，支持装置３２内部で連結し，切削水が供給される開口部を１つにして一対の側面ノズル２６に切削水が均等に分配される，如く構成すれば，各側面ノズル２６から放出される切削水の流量調整が不要となる。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように，本発明におけるダイシング装置では，アジャスタ装置を利用して固定部に対する支持装置の相対位置を調整することができるので，支持装置に支持された側面ノズルの位置をブレードのサイズに応じて容易に調整することができる。また，自在位置調整装置を利用することで，固定部に対する支持装置の相対位置を容易に調整できるとともに，微調整も可能になる。従って，側面ノズルの位置調整の際に，ホイルカバーを取り外したり，各種工具を用いたりする必要がないので便利であり，省力化，迅速化が図れる。
【００６２】
さらに，調整目安により，側面ノズルの位置を調整する際に，ブレードのサイズに応じた側面ノズルの好適な調整位置を，正確かつ迅速に判断することができる。従って，客観的な側面ノズルの位置調整が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は，第１の実施形態にかかるダイシング装置の全体斜視図である。
【図２】図２は，第１の実施形態にかかる切削ユニットの斜視図である。
【図３】図３は，第１の実施形態にかかる側面ノズルがブレードに対して切削水を供給する態様を示す説明図である。
【図４】図４は，第１の実施形態にかかる固定部，支持装置及びアジャスタ装置の構成及び連結状態を説明する斜視図である。
【図５】図５は，第１の実施形態にかかる固定部に固定された支持装置を示す説明図である。
【図６】図６は，第１の実施形態にかかる固定部に対して相対移動可能な支持装置を示す側面図である。
【図７】図７は，第１の実施形態にかかる調整目安を用いた側面ノズルの位置調整を説明する説明図である。
【符号の説明】
１０  ：  ダイシング装置本体
１２  ：  半導体ウェハ
２０  ：  切削ユニット
２２  ：  ブレード
２６  ：  側面ノズル
３０  ：  固定部
３２  ：  支持装置
３４  ：  アジャスタ装置
５０  ：  調整目安
【図１】
0004740488.tif 000002
【図２】
0004740488.tif 000003
【図３】
0004740488.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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