(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に薄板を収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、
当該薄板支持容器用蓋体の外殻を構成する本体部に、上記容器本体に対して固定及び固定解除して着脱できる簡易着脱機構を備え、
当該簡易着脱機構が、上記本体部から延出して上記容器本体の被嵌合部に係止する係止部材と、
当該係止部材の先端側を上下動させるカム機構と、
上記係止部材と係止した状態で回動して当該係止部材を上記本体部から延出させて上記容器本体の被嵌合部に係止させる繰り出し部材を備え、
当該繰り出し部材が回動することにより上記係止部材を上記容器本体の被嵌合部に係止させて上記蓋体を上記容器本体側に固定する回動領域と、
上記蓋体を上記容器本体側に固定した状態で上記繰り出し部材をさらに回動させて当該繰り出し部材自体を固定する回動領域とを分けたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記カム機構が、
上記係止部材の繰り出しに伴ってその先端嵌合部を持ち上げる先端側カムと、
上記係止部材の先端部を支持して上記先端側カムと摺接することで上記繰り出しに伴って上記先端嵌合部を上方へ持ち上げると共にてこの支点となる支点部とを備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項３】
請求項２に記載の薄板支持容器用蓋体において、さらに、
上記係止部材の基端部を上下動させて、てこの力点になる基端上側カムと、
当該基端上側カムに摺接し上記繰り出しに伴って上記係止部材の基端部を押し下げるカム押え突起とを備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項４】
請求項２に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記カム機構が、
上記係止部材の先端部に設けられ上記本体部が上記容器本体側に力を入れて押し込まないで嵌合した状態で上記被嵌合部に取り付いて上記係止部材を上記被嵌合部内に案内する案内部材とを備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項５】
請求項４に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記案内部材が、上記係止部材の延出に伴って上記被嵌合部の縁に摺接しながら内部に押し込まれて上記係止部材を被嵌合部に案内する傾斜面を備えたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管、輸送、製造工程等において使用できるようにした薄板支持容器用蓋体及び蓋体の取り付け方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の薄板を収納して保管、輸送するための薄板支持容器は一般に知られている。
【０００３】
この薄板支持容器は主に、容器本体と、この容器本体の上部開口を塞ぐ蓋体とから構成されている。容器本体の内部には、半導体ウエハ等の薄板を支持するための部材が設けられている。このような薄板支持容器では、内部に収納した半導体ウエハ等の薄板における表面の汚染等を防止するために、容器内を清浄に保って輸送する必要がある。このため、容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定して、容器本体内を密封している。この蓋体を容器本体に固定する構造としては種々のものがある。
【０００４】
半導体製造工場等に輸送された薄板支持容器は、製造ラインに載せられて蓋体が専用装置によって自動的に着脱される。
【０００５】
この専用装置に対応した蓋体としては特許文献１に記載のものがある。この蓋体１は、図２に示すように、本体２と、カム部材３と、ラッチ用アーム４と、支点５とから構成されている。
【０００６】
カム部材３は本体２に回転可能に取り付けられている。カム部材３にはカム部分６が設けられている。このカム部分６には、長穴状の連結開口部７が設けられている。
【０００７】
ラッチ用アーム４は、その基端部にＳ字型カムフォロワ部分８が設けられ、このＳ字型カムフォロワ部分８が連結開口部７に嵌合して捕捉されている。
【０００８】
支点５は、本体２に設けられた突起部材によって構成され、ラッチ用アーム４を支持している。
【０００９】
この構成により、カム部材３が回転することで、連結開口部７に捕捉されたＳ字型カムフォロワ部分８が、図中の右方向に移動されながら、上方へ押し上げられる。これにより、ラッチ用アーム４が、本体２から延出されながら、支点５を中心に回動して、ラッチ用アーム４の先端が下方へ押し下げられる。
【００１０】
このとき、ラッチ用アーム４の先端は、容器本体側の穴部に嵌合しており、下方へ押し下げられることで、蓋体を容器本体側に押し付けて固定する。
【特許文献１】特開２００１−５１２２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上述のような蓋体１では、ラッチ用アーム４が本体２から延出してその先端が容器本体側の穴部に嵌合するが、このラッチ用アーム４を本体２から延出するときは、蓋体を容器本体側に押し付けておく必要がある。これは、蓋体と容器本体との間に、容器本体内を密封するためのシール部材があるためである。このシール部材は合成樹脂等の弾性体でできていて、容器本体に嵌合した蓋体を押し返してしまうため、蓋体を容器本体側に押し付けておいて、ラッチ用アーム４を本体２から延出させる必要がある。
【００１２】
ところが、この場合、容器本体を横にした状態（半導体ウエハ等が水平になるように配置した状態）で、蓋体を容器本体に取り付けようとすると、容器本体がずれてしまう。蓋体を容器本体に取り付ける場合は、上述のように、蓋体を容器本体側に押し付けておく必要があるが、容器本体を横にした状態では、容器本体を支えるものがなにもないため、容器本体がずれてしまう。このため、蓋体の着脱を自動化するのが難しいという問題点がある。
【００１３】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、蓋体を容器本体側に押し付けなくても容易に取り付けることができる薄板支持容器用蓋体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
第１の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、当該薄板支持容器用蓋体の外殻を構成する本体部に、上記容器本体に対して固定及び固定解除して着脱できる簡易着脱機構を備え、当該簡易着脱機構が、上記本体部から延出して上記容器本体の被嵌合部に係止する係止部材と、当該係止部材の先端側を上下動させるカム機構と、上記係止部材と係止した状態で回動して当該係止部材を上記本体部から延出させて上記容器本体の被嵌合部に係止させる繰り出し部材を備え、当該繰り出し部材が回動することにより上記係止部材を上記容器本体の被嵌合部に係止させて上記蓋体を上記容器本体側に固定する回動領域と、上記蓋体を上記容器本体側に固定した状態で上記繰り出し部材をさらに回動させて当該繰り出し部材自体を固定する回動領域とを分けたことを特徴とする。
【００１５】
上記構成により、上記蓋体を上記容器本体側に固定する回動領域では、繰り出し部材を回動する力が上記係止部材を上記被嵌合部に係止させるためにすべて使われる。また、上記繰り出し部材自体を固定する回動領域では、繰り出し部材を回動する力がこの繰り出し部材自体を固定するためにすべて使われる。これにより、上記蓋体を上記容器本体側に固定する力と上記繰り出し部材自体を固定する力とが重なることが無くなる。
【００１６】
第２の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、請求項１に記載の薄板支持容器用蓋体において、上記カム機構が、上記係止部材の繰り出しに伴ってその先端嵌合部を持ち上げる先端側カムと、上記係止部材の先端部を支持して上記先端側カムと摺接することで上記繰り出しに伴って上記先端嵌合部を上方へ持ち上げると共にてこの支点となる支点部とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
上記構成により、上記係止部材の繰り出しに伴って、先端嵌合部が上記容器本体の被嵌合部に係止した係止部材は、その先端嵌合部が先端側カムで持ち上げられると共に、支点部をてこの支点として上記先端嵌合部を上方へ持ち上げる。これにより、薄板支持容器用蓋体を容器本体に対して固定する。
【００１８】
第３の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、請求項２に記載の薄板支持容器用蓋体において、さらに、上記係止部材の基端部を上下動させて、てこの力点になる基端上側カムと、当該基端上側カムに摺接し上記繰り出しに伴って上記係止部材の基端部を押し下げるカム押え突起とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
上記構成により、上記繰り出しに伴って上記基端上側カムと上記カム押え突起が摺接して、上記係止部材の基端部を押し下げ、上記支点部をてこの支点として上記先端嵌合部を上方へ持ち上げる。
【００２０】
第４の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、請求項２に記載の薄板支持容器用蓋体において、上記カム機構が、上記係止部材の先端部に設けられ上記本体部が上記容器本体側に力を入れて押し込まないで嵌合した状態で上記被嵌合部に取り付いて上記係止部材を上記被嵌合部内に案内する案内部材とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００２１】
上記構成により、本体部を容器本体側に軽く嵌合させて容器本体を押さない状態で簡易着脱機構の係止部材を本体部から延出させると、最初に係止部材の先端部の案内部材が被嵌合部に取り付く。この状態でさらに係止部材を本体部から延出させると、案内部材が係止部材を被嵌合部に案内して、係止部材が被嵌合部内に嵌合する。
【００２２】
第５の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、請求項４に記載の薄板支持容器用蓋体において、上記案内部材が、上記係止部材の延出に伴って上記被嵌合部の縁に摺接しながら内部に押し込まれて上記係止部材を被嵌合部に案内する傾斜面を備えたことを特徴とする。
【００２３】
上記構成により、上記係止部材の延出に伴って上記案内部材の傾斜面が上記被嵌合部の縁に摺接すると、この傾斜面に案内されて上記案内部材が被嵌合部の内部に押し込まれる。
【発明の効果】
【００４６】
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【００４７】
（１）  本体部を容器本体側に軽く嵌合させて容器本体を押さない状態で、案内部材が係止部材を被嵌合部に案内して、係止部材を被嵌合部内に嵌合させるため、容器本体を固定しなくても蓋体を容易に取り付けることができるようになり、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００４８】
（２）  案内部材の取り付き部で被嵌合部に取り付き、案内部で被嵌合部内に係止部材を案内するため、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００４９】
（３）  取り付き部の突起が被嵌合部に引っ掛かり、案内部の傾斜面が被嵌合部の縁に沿って係止部材を被嵌合部に案内するため、容器本体を固定しなくても蓋体を容易に取り付けることができるようになり、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５０】
（４）  案内部の傾斜面の表面を荒らして、係止部材を被嵌合部にスムーズに案内することができるため、ラッチキーの回転トルクも小さくて済み、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５１】
（５）  簡易着脱機構の各摺動部分の摺接面を荒らして係止部材を被嵌合部にスムーズに案内することができるため、ラッチキーの回転トルクも小さくて済み、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５２】
（６）  薄板の周縁部は表面を荒らしたＶ字型溝の傾斜面に沿って溝底部に嵌合するため、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５３】
（７）  摺動剤を添加した合成樹脂で傾斜面等を成形して、各摺接部の摩擦抵抗が小さくなるため、ラッチキーの回転トルクも小さくて済み、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５４】
（８）  上記傾斜面の表面又は摺接面を、諸条件に応じて上記摺動性合成樹脂単体又は当該摺動性合成樹脂に摺動剤を添加して成形して、各面の摩擦抵抗を小さくしたので、ラッチキーの回転トルクも小さくて済み、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５５】
このとき、上記単体で成形される摺動性合成樹脂として、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ又はＥＴＦＥ等のフッ化物合成樹脂を用いたり、上記摺動剤として、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、シリコン、ガラス繊維、カーボン繊維、グラファイト、ＤＬＣ又は二硫化モリブデンのうちの１又は複数を用いたりすることができ、これによりラッチキーの回転トルクも小さくて済み、上記同様に、既存の着脱装置を用いて蓋体の着脱作業の自動化が可能になる。
【００５６】
（９）  上記蓋体を上記容器本体側に固定する回動領域と、上記繰り出し部材自体を固定する回動領域とを分けて、上記蓋体を上記容器本体側に固定する力と上記繰り出し部材自体を固定する力とが重ならないようにしたので、上記繰り出し部材の回動が異常に重くなることが無くなり、蓋体の取り外し作業性が向上する。
【００５７】
（９）  上記繰り出し部材のキー溝と、当該繰り出し部材を被う保持カバーとの間に隙間を設けて、上記キー溝に嵌合するラッチキーが保持カバーに接触するのを防ぐため、保持カバーの破損や塵埃等の発生を防止することができる。
【００５８】
（１０）  上記案内部材が上記被嵌合部に取り付いたときに、上記吸着パッドによる吸着を解除するため、上記蓋体を上記容器本体に固定するとき、ロードポート側に固定された蓋体に容器本体が引き寄せられて変形することがなくなり、変形した後に吸着パッドによる吸着を解除して容器本体が元に戻ることで発生する振動、それに伴う塵埃等の発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５９】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００６０】
［第１実施形態］
本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して、保管、輸送、製造ライン等における使用に供するための容器である。なお、本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。薄板支持容器を塞ぐ蓋体としては種々のものがあるが、ここでは２種類の蓋体を示す。
【００６１】
本実施形態に係る薄板支持容器１１は、図３〜１０に示すように、内部に半導体ウエハ４９（図２６参照）を複数枚収納する容器本体１２と、この容器本体１２内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された半導体ウエハ４９を両側から支持する２つの薄板支持部１３と、容器本体１２を塞ぐ第１蓋体１４及び第２蓋体１５と、工場内の搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ１６と、作業者が手で薄板支持容器１１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル１７とから構成されている。
【００６２】
容器本体１２は、図３、４に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体１２は縦置き状態（図３，４の状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄと底板部１２Ｅとから構成され、その上部に開口１２Ｆが設けられている。この容器本体１２は、半導体ウエハ４９の製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状態で底部となる側壁部１２Ａの外側には、薄板支持容器１１の位置決め手段（図示せず）が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部１２Ａの外側にはトップフランジ１６が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部１２Ｃ、１２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル１７が着脱自在に取り付けられている。
【００６３】
容器本体１２の各側壁部１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ、１２Ｄの上端部には、図５及び図６に示すように、蓋体１４が嵌合するための蓋体受け部２１が設けられている。この蓋体受け部２１は容器本体１２の上端部を、蓋体１４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体１４は、蓋体受け部２１の垂直板部２１Ａの内側に嵌合し、水平板部２１Ｂに当接することで、蓋体受け部２１に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部２１Ｂには、その全周にシール溝２１Ｃが設けられ、第１蓋体１４の下側面に取り付けられたガスケット２２が嵌合して薄板支持容器１１の内部を密封するようになっている。蓋体受け部２１の四隅の垂直板部２１Ａの内側面には、後述する簡易着脱機構２６の蓋体係止爪（図示せず）が嵌合して第１蓋体１４を容器本体１２側に固定するための第１被嵌合部２３が設けられている。この第１被嵌合部２３は、垂直板部２１Ａを四角形状に窪ませて形成され、その内側上面に蓋体係止爪が嵌合するようになっている。
【００６４】
さらに、各第１被嵌合部２３の近傍には、第２被嵌合部２４が設けられている。この第２被嵌合部２４は、第２蓋体１５の簡易着脱機構３２の係止部材４２が嵌合されて、第２蓋体１５を容器本体１２側に固定するようになっている。
【００６５】
薄板支持部１３は、容器本体１２に着脱自在に取り付けられている。この薄板支持部１３は図７及び図８に示すように構成されている。薄板支持部１３は主に、並列に一定間隔を空けて多数枚配設されて各半導体ウエハ４９が１枚ずつ載置して支持される載置板片２５Ａと、各載置板片２５Ａが並列に一定間隔を空けて配設された状態でこれらを３カ所の位置で一体的に支持する連結板片２５Ｂと、最奥側の連結板片２５Ｂの内側面（半導体ウエハ４９への当接面）に形成された半導体ウエハ４９の支持用のＶ字型溝２５Ｃとから構．成されている。Ｖ字型溝２５Ｃの表面は荒らして仕上げられている。容器本体１２を横にした状態（半導体ウエハ４９が水平になるように配置された状態）で下側に位置するＶ字型溝２５Ｃの下側面のみ、又は上下両側面を荒らして仕上げられている。Ｖ字型溝２５Ｃの表面を荒らすとは、表面全面に１０〜１５μｍ程度の凹凸を２万〜３万個／ｃｍ2程度の密度で仕上げることをいう。過度に高い精度でＶ字型溝２５Ｃの表面を仕上げると、半導体ウエハ４９とＶ字型溝２５Ｃの表面とが密着しすぎて摩擦抵抗が大きくなって滑りにくくなるのに対して、表面を荒らすと、半導体ウエハ４９とＶ字型溝２５Ｃの表面とが密着しなくなって摩擦抵抗が小さくなる。このため、Ｖ字型溝２５Ｃの表面を、１０〜１５μｍ程度の凹凸が残る状態に荒らして仕上げる。このＶ字型溝２５Ｃの表面を荒らして仕上げる手段としては種々のものがある。例えば、Ｖ字型溝２５Ｃの表面を研磨やサンドブラスト等によって荒らして仕上げてもよい。また、金型のうちＶ字型溝２５Ｃに対応する部分の表面を荒らして１０〜１５μｍ程度の凹凸を作ってもよい。Ｖ字型溝２５Ｃの表面に１０〜１５μｍ程度の凹凸が２万〜３万個／ｃｍ2程度の密度で残る状態に仕上げることができる手段であれば、全ての手段を用いることができる。
【００６６】
薄板支持部１３の裏面には、容器本体１２内に設けられた下部支持用突起（図示せず）と嵌合してこの薄板支持部１３の下部を支持する下部支持穴部２５Ｄと、上部支持用突起（図示せず）と嵌合してこの薄板支持部１３の上部を支持する上部支持穴部２５Ｅとが設けられている。
【００６７】
第１蓋体１４は、皿状に形成され、その中央部が、内部に収納される半導体ウエアの上部に接触しないように、円筒状に盛り上げて形成されている。第１蓋体１４の四隅には、図３、４に示すように、第１蓋体１４を容器本体１２に対して着脱自在に固定する簡易着脱機構２６が設けられている。この簡易着脱機構２６は主に、第１蓋体１４の周縁部から突出した状態で設けられた蓋体係止爪（図示せず）を備えて構成されている。この蓋体係止爪が第１被嵌合部２３に嵌合するようになっている。
【００６８】
第２蓋体１５は、薄板支持容器１１の輸送時に使用されたり、工場内の製造ラインで使用されたりする。この第２蓋体１５は、図１、９、１０に示すように、本体部３０と、カバー板（図示せず）と、簡易着脱機構３２とから構成されている。
【００６９】
本体部３０は、全体を薄肉のほぼ四角形状に形成され、容器本体１２の蓋体受け部２１に装着された状態で外部にはみ出さないようになっている。本体部３０の下部の周囲にはガスケット受け部３１が取り付けられている。このガスケット受け部３１には、ガスケット（図示せず）が設けられ、本体部３０が蓋体受け部２１に装着された状態で、シール溝２１Ｃに嵌合して容器本体１２内をシールするようになっている。なお、ガスケットは、第１蓋体１４のガスケット２２と同様に、シール溝２１Ｃの形状に合わせて適宜形成される。
【００７０】
第２蓋体１５の本体部３０のうち長手方向両側（図９中の左上、右下方向両側）の端部には、簡易着脱機構３２が取り付けられる凹部３３がそれぞれ設けられている。この凹部３３は、本体部３０の端部をほぼ長方形状に窪ませて形成されている。凹部３３の長手方向両端部（図９中の右上、左下方向両端部）には、後述する係止部材４２の先端嵌合部５６が出没する開口３４が設けられている。この開口３４は、本体部３０が蓋体受け部２１に嵌合された状態で、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に整合する位置に設けられている。凹部３３の底部には、回転支持軸３６と、ストッパ３７と、係止爪３８と、基端下側カム３９と、先端側カム４０とがそれぞれ設けられている。凹部３３には、カバー板が着脱自在に取り付けられている。このカバー板は、凹部３３内に設けられる簡易着脱機構３２を洗浄する際に取り外される。
【００７１】
回転支持軸３６は、後述する繰り出し部材４４を回転可能に支持するための部材である。回転支持軸３６は、底部から円柱状に隆起させて設けられている。この回転支持軸３６が、繰り出し部材４４の回転筒部６３に嵌合されて、繰り出し部材４４を回転可能に支持する。ストッパ３７は、繰り出し部材４４を所定角度に回動した状態で支持するための部材である。このストッパ３７は、回転支持軸３６の周囲２カ所に、底部から立ち上げた板状部材によって構成されている。この板状部材を湾曲させて受け部３７Ａが形成されている。この受け部３７Ａに、繰り出し部材４４の係合片６５の突起部６５Ａが嵌合することで、繰り出し部材４４を所定角度で支持する。
【００７２】
係止爪３８は、後述するカバー押え４７を凹部３３の底部に固定するための部材である。カバー押え４７は、凹部３３の長手方向両側にそれぞれ取り付けられるため、それに合わせて係止爪３８も、凹部３３の長手方向両側に６個ずつそれぞれ取り付けられている。係止爪３８は、Ｌ字状の部材で構成され、カバー押え４７の下側支持板片８８が嵌合するようになっている。
【００７３】
基端下側カム３９と先端側カム４０は後述するカム機構４５を構成する部材である。また、基端下側カム３９と後述する基端上側カム５３は、係止部材４２が繰り出される際に係止部材４２の基端側を下方へ押し下げる基端側カムを構成している。
【００７４】
基端下側カム３９は、図１及び図９に示すように、係止部材４２の繰り出しに伴って、その基端側を他方（図１の下方）へ押しやる（押し下げる）ための部材である。この基端下側カム３９は、回転支持軸３６の両側にそれぞれ設けられている。基端下側カム３９は、その側面断面形状をほぼ三角形状に形成されて、係止部材４２の基端側を上下させる斜面３９Ａを備えて構成されている。この斜面３９Ａは、係止部材４２の基端側摺接面５２との摩擦抵抗を小さくするために、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。
【００７５】
先端側カム４０は、係止部材４２の繰り出しに伴って、その先端嵌合部５６を一方（図１の上方）へ押しやる（持ち上げる）ための部材である。この先端側カム４０は、凹部３３の長手方向両端部に、開口３４に臨ませた状態で設けられている。先端側カム４０は、その側面断面形状を三角形状に形成されて、係止部材４２の先端側を上方へ持ち上げる斜面４０Ａを備えて構成されている。この斜面４０Ａは、係止部材４２の支点部５５の先端側摺接面５５Ａとの摩擦抵抗を小さくするため、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。斜面４０Ａの上端部には、嵌合凹部４０Ｂが設けられている。この嵌合凹部４０Ｂは、係止部材４２の支点部５５が嵌合する部分である。
【００７６】
凹部３３内には簡易着脱機構３２が設けられている。この簡易着脱機構３２は、第２蓋体１５を容器本体１２に対して容易に着脱できるようにするための装置である。簡易着脱機構３２は、図１に示すように、係止部材４２と、案内部材４３と、繰り出し部材４４と、カム機構４５と、保持カバー４６と、カバー押え４７とから構成されている。
【００７７】
係止部材４２は、第２蓋体１５が容器本体１２の蓋体受け部２１に装着された状態で、本体部３０の開口３４から延出して、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合するための部材である。この係止部材４２は、図１、図１１〜１３に示すように、連結軸５１と、基端側摺接面５２と、基端上側カム５３と、上側溝部５４と、支点部５５と、先端嵌合部５６と、基端側板部５７と、先端側板部５８とから構成されている。
【００７８】
連結軸５１は、後述する繰り出し部材４４の長穴部６４に嵌合して、繰り出し部材４４と係止部材４２とを互いに連結するための部材である。連結軸５１は、丸棒状に形成され、係止部材４２の基端部に上側へ向けて設けられている。
【００７９】
基端側摺接面５２は、基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接して、係止部材４２の基端部を上下動させるための部分である。この基端側摺接面５２は、係止部材４２の基端部の下側を斜めに削って形成されている。基端側摺接面５２は、基端下側カム３９の斜面３９Ａとの摩擦抵抗を小さくするため、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。この基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の基端部が下方へ押し下げられ、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の基端部が上方へ押し上げられるようになっている。
【００８０】
基端上側カム５３は、基端下側カム３９と共に、係止部材４２の基端部を上下動させるための部分である。この基端上側カム５３は、てこの原理で力点になる部分である。なお、連結軸５１は、てこの原理の力点とはならず、単に係止部材４２を出没動させる際の長手方向の力を受ける部分である。
【００８１】
基端上側カム５３は、係止部材４２の基端部の近傍に上側へ向けて設けられている。基端上側カム５３は、その側面断面形状を三角形状に形成されて、係止部材４２の基端側を上下させる斜面５３Ａを備えて構成されている。この基端上側カム５３の斜面５３Ａは、基端下側カム３９の斜面３９Ａと同様に、表面を荒らして仕上げられ、後述する保持カバー４６側のカム押え突起６９と摺接するようになっている。突起６９も同様に、表面を荒らして仕上げられている。基端上側カム５３の斜面５３Ａは、基端下側カム３９の斜面３９Ａとほぼ平行になるように設定されている。これにより、カム押え突起６９と基端上側カム５３の斜面５３Ａとが摺接した状態で係止部材４２が繰り出されると、カム押え突起６９で基端上側カム５３が押されて係止部材４２の基端部が下方へ押し下げられるようになっている。また、係止部材４２が引き込まれると、基端下側カム３９の斜面３９Ａで基端側摺接面５２が押されて係止部材４２の基端部が上方へ押し上げられるようになっている。
【００８２】
支点部５５は、係止部材４２の先端部を支持して回動中心になる部分である。この支点部５５は、てこの原理での支点となる部分である。支点部５５は、係止部材４２の先端近傍の下側に、ほぼ直角に角張らせて形成されている。この角張った支点部５５の頂点部分には先端側摺接面５５Ａが形成されている。この先端側摺接面５５Ａは、先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して、係止部材４２の先端嵌合部５６を上下動させるための部分である。先端側摺接面５５Ａは、支点部５５の頂点部分を斜めに削って形成されている。先端側摺接面５５Ａは、先端側カム４０の斜面４０Ａとの摩擦抵抗を小さくするため、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。この先端側摺接面５５Ａが先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の先端嵌合部５６が上方へ押し下げられ、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の先端部が下方へ押し上げられるようになっている。
【００８３】
さらに、支点部５５は、先端側カム４０の嵌合凹部４０Ｂに嵌合することで、この嵌合凹部４０Ｂを中心にして回動するようになっている。
【００８４】
先端嵌合部５６は、凹部３３の開口３４から外部に延出して、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に直接に嵌合するための部分である。この先端嵌合部５６が、てこの原理の作用点になっている。先端嵌合部５６は、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合した状態で十分な力を発揮できるように、支点部５５から僅かな距離を隔てて設けられている。
【００８５】
基端側板部５７及び先端側板部５８は、係止部材４２を支持して往復動を許容するための部材である。この基端側板部５７及び先端側板部５８は、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。さらに、連結軸５１、回転支持軸３６、回転筒部６３、繰り出し部材４４の長穴部６４等の、係止部材４２の出し入れ動作によって摺動する部分の摺接面全てが、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。
【００８６】
案内部材４３は、本体部３０が容器本体１２側に軽く嵌合した状態で、第２被嵌合部２４に取り付いて係止部材４２を第２被嵌合部２４内に案内するための部材である。案内部材４３は、係止部材４２の先端嵌合部５６の先端部に設けられている。この案内部材４３は、取り付き部４３Ａと、案内部４３Ｂとから構成されている。
【００８７】
取り付き部４３Ａは、第２被嵌合部２４に最初に取り付くための部材である。即ち、この取り付き部４３Ａは、本体部３０が容器本体１２の蓋体受け部２１に軽く嵌合した状態で、係止部材４２が第２被嵌合部２４へ向けて延出されるときに第２被嵌合部２４に最初に取り付く部材である。取り付き部４３Ａは、本体部３０を容器本体１２の蓋体受け部２１に軽く嵌め込んでガスケット２２がシール溝２１Ｃに軽く接触して、力を入れて押し込まない状態で、係止部材４２を第２被嵌合部２４へ向けて延出させたとき、第２被嵌合部２４に取り付く。この取り付き部４３Ａは、係止部材４２の先端部のうち容器本体１２の内側に偏った位置（図１中の下側に偏った位置）に設けられた突起によって構成されている。
【００８８】
案内部４３Ｂは、係止部材４２を第２被嵌合部２４に案内するための部材である。この案内部４３Ｂは、取り付き部４３Ａと係止部材４２の先端嵌合部５６とを繋ぐ傾斜面によって構成されている。案内部４３Ｂは、取り付き部４３Ａで第２被嵌合部２４に取り付いた後、係止部材４２の延出に伴って第２被嵌合部２４の縁に傾斜面が摺接しながら内部に押し込まれて係止部材４２を第２被嵌合部２４に案内するようになっている。案内部４３Ｂを構成する傾斜面は、上記同様に、表面を荒らして仕上げられている。
【００８９】
繰り出し部材４４は、係止部材４２に連結して係止部材４２を出没動させるための部材である。この繰り出し部材４４は、凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に取り付けられている。繰り出し部材４４は、図１、９、１４〜１７に示すように、天板部６１と、キー溝６２と、回転筒部６３と、長穴部６４と、係合片６５とから構成されている。
【００９０】
天板部６１は、ほぼ円盤状に形成されている。この天板部６１の対向する２カ所には、係合片６５を設けるための切り欠き６６が設けられている。
【００９１】
キー溝６２は、蓋体着脱装置（図示せず）で第２蓋体１５を自動的に着脱する際に装置のラッチキーが嵌合するための溝である。このキー溝６２は、天板部６１の上側面の中心に設けられている。
【００９２】
回転筒部６３は、繰り出し部材４４を凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に取り付けるための部材である。この回転筒部６３は、天板部６１の下側面の中央部に設けられている。この回転筒部６３の中心に、キー溝６２が位置するようになっている。
【００９３】
長穴部６４は、繰り出し部材４４の回転を係止部材４２の出没動作に変換するための部分である。長穴部６４は、天板部６１の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。この長穴部６４は、その一端部６４Ａが天板部６１の中心に近く、他端部６４Ｂが遠くなるように、螺旋の一部で構成されている。係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の一端部６４Ａで嵌合しているときに、係止部材４２は引き込まれ、他端部６４Ｂで嵌合しているときに、係止部材４２は繰り出されるようになっている。
【００９４】
この長穴部６４のうち天板部６１の下側面には、なだらかに傾斜した壁面６４Ｃが設けられている。この壁面６４Ｃは、長穴部６４の一端部６４Ａで天板部６１の下側面と同じ高さに、他端部に行くに従って次第に高くなるように設定されている。これは、係止部材４２と繰り出し部材４４とを確実に連結するためである。即ち、係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の他端部６４Ｂで嵌合して繰り出されている状態では、係止部材４２の基端部は下方へ押し下げられているため、その基端部が押し下げられた状態でも連結軸５１が長穴部６４に確実に嵌合できるようにするためである。
【００９５】
係合片６５は、繰り出し部材４４を所定角度だけ回動させた状態で支持するための部材である。係合片６５は、天板部６１の周縁の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。係合片６５は、天板部６１から周縁に沿って延びた板状部材で構成されている。係合片６５の先端部は、ストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合する突起部６５Ａが設けられている。さらに、係合片６５は弾性を有し、突起部６５Ａを弾性的に支持している。この突起部６５Ａがストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合することで、繰り出し部材４４が所定角度（係止部材４２を延出させて第２蓋体１５を容器本体１２に固定した角度）回動したところで支持されるようになっている。
【００９６】
カム機構４５は、繰り出し部材４４で繰り出された係止部材４２の先端嵌合部５６が蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合された状態で、その第２被嵌合部２４の上面に当接して、第２蓋体１５を容器本体１２側に押し下げて固定するための部材である。このカム機構４５によって、繰り出し部材４４で繰り出される係止部材４２の先端嵌合部５６を押し上げて第２被嵌合部２４の上面に当接させると共に、基端部を押し下げることでてこの原理により第２蓋体１５を容器本体１２側に押し下げて固定するようになっている。カム機構４５は、基端下側カム３９と、基端上側カム５３と、基端側摺接面５２と、カム押え突起６９と、先端側カム４０と、先端側摺接面５５Ａとから構成されている。なお、基端下側カム３９、基端上側カム５３、基端側摺接面５２、先端側カム４０及び先端側摺接面５５Ａは上述した通りである。
【００９７】
カム押え突起６９は、基端上側カム５３の斜面５３Ａに当接して、係止部材４２の繰り出しに伴って係止部材４２の基端部を押し下げるための部材である。このカム押え突起６９は、保持カバー４６の下側面に設けられている。具体的には、基端下側カム３９の斜面３９に係止部材４２の基端側摺接面５２が摺接した状態で、カム押え突起６９と基端上側カム５３の斜面５３Ａとが隙間なく摺接する位置に設けられている。
【００９８】
保持カバー４６は、係止部材４２と繰り出し部材４４とを保持するための部材である。保持カバー４６は、図１８、１９に示すように、繰り出し部材保持部７１と、係止部材保持部７２とから構成されている。
【００９９】
繰り出し部材保持部７１は、繰り出し部材４４をその回転を許容した状態で支持するための部材である。この繰り出し部材保持部７１は、周縁板７４と、天板７５とから構成されている。周縁板７４は、繰り出し部材４４の周縁を覆って形成されている。天板７５は、繰り出し部材４４の上側を覆って形成されている。天板７５の中央部には、繰り出し部材４４のキー溝６２と同じ大きさのキー穴７６が設けられている。このキー穴７６は、天板７５が繰り出し部材４４を覆った状態で繰り出し部材４４のキー溝６２と整合するようになっている。これにより、係止部材４２が引き込まれた状態で、キー溝６２とキー穴７６とが整合するようになっている。
【０１００】
係止部材保持部７２は、係止部材４２をその往復動を許容した状態で支持するための部材である。この係止部材保持部７２は、繰り出し部材保持部７１の左右両側にそれぞれ設けられている。各係止部材保持部７２は、側板７８と、天板７９とから構成されている。
【０１０１】
側板７８は、係止部材４２の基端付近をその左右から支持するための部材である。側板７８は、広幅部７８Ａと、狭幅部７８Ｂとから構成されている。広幅部７８Ａは、係止部材４２の基端側板部５７がはめ込まれる部分である。狭幅部７８Ｂは、係止部材４２の基端側板部５７と先端側板部５８との間がはめ込まれる部分である。
【０１０２】
天板７９は、係止部材４２をその上側から支持するための部材である。この天板の下側面の基端部には、上述したカム押え突起６９が設けられている。天板７９の下側面の先端部には、係止部材４２の上側溝部５４に嵌合する支持用突起８０が設けられている。天板の先端側には、スリット８１が設けられ、そのスリット８１の先端に隆起部８２が設けられている。この隆起部８２は、中央隆起片８２Ａと、左右係止片８２Ｂとから構成され、スリット８１で弾性支持されている。この隆起部８２の中央隆起片８２Ａ及び左右係止片８２Ｂが、カバー押え４７の十字状切り欠き８６Ａと嵌合することで、保持カバー４６とカバー押え４７との間の位置決めがなされるようになっている。
【０１０３】
カバー押え４７は、図１、２０、２１に示すように、保持カバー４６を第２蓋体１５の凹部３３に固定するための部材である。具体的には、２つのカバー押え４７が各係止部材保持部７２をそれぞれ支持して、保持カバー４６を凹部３３に固定するようになっている。このカバー押え４７は、側板８５と、天板８６と、上側支持板片８７と、下側支持板片８８とから構成されている。
【０１０４】
各側板８５は、係止部材４２の左右を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。天板８６は、各側板８５を一体的に支持すると共に、係止部材４２の上側を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。上側支持板片８７は、保持カバー４６の係止部材保持部７２の天板７９を、その下側から支持するための部材である。係止部材保持部７２の天板７９は、カバー押え４７の天板８６と上側支持板片８７とで、上下から支持される。下側支持板片８８は、カバー押え４７を凹部３３に固定するための部分である。下側支持板片８８は、各側板８５の下端部に３つずつ設けられている。各下側支持板片８８が、凹部３３に設けられた係止爪３８に嵌合することで、カバー押え４７を凹部３３に固定する。各下側支持板片８８には、係止爪３８に嵌合しやすいように、テーパ８８Ａが設けられている。
【０１０５】
第１蓋体１４及び第２蓋体１５の下側面には、図２２〜２６に示すように、薄板押えとしてのウエハ押え８９が設けられている。このウエハ押え８９は、容器本体１２内に収納された複数枚の半導体ウエハ４９を、その上側から支持するための部材である。ウエハ押え８９は、基端支持部９０と、弾性支持板部９１と、当接片９２と、連接支持板部９３と、支持用リブ９４とから構成されている。
【０１０６】
基端支持部９０は、ウエハ押え８９の両端にそれぞれ設けられて２つの弾性支持板部９１を直接的に支持するための部材である。基端支持部９０は、四角棒状に形成されると共に、ウエハ押え８９の長手方向全長（図２３の上下方向）に亘って形成されている。蓋体１５の下側面には２つの鈎状支持部９６がそれぞれ設けられている。基端支持部９０は、各鈎状支持部９６にはめ込まれて、蓋体裏面側に固定されている。
【０１０７】
弾性支持板部９１は、当接片９２の外側端を弾性的に支持するための部材である。２つの弾性支持板部９１は、容器本体１２内に収納される半導体ウエハ４９の枚数分だけ並べて設けられている。各弾性支持板部９１は、横一列に並べられた状態で基端支持部９０にそれぞれ固定されている。弾性支持板部９１は、側面形状をＳ字状に折り曲げられて構成されている。２つの弾性支持板部９１は、その基端部を２つの基端支持部９０にそれぞれ固定され、先端部に当接片９２がそれぞれ取り付けられて、各当接片９２を弾性的に支持している。
【０１０８】
当接片９２は、各半導体ウエハ４９の周縁部に直接に当接して各半導体ウエハ４９を直接的に支持するための部材である。各当接片９２の一側面には、図２６に示すように、半導体ウエハ４９が嵌合するＶ字型溝９８が設けられている。このＶ字型溝９８は、半導体ウエハ４９の周縁部を溝底部に嵌合することで、半導体ウエハ４９を蓋体１５側から支持するようになっている。このＶ字型溝９８のうち、各半導体ウエハ４９が水平になるように配置された状態（容器本体１２を横にした状態）で、下側に位置する面である下側面９８Ａを大きくしている。具体的には、傾斜角度を緩やかにして面積を大きくしている。これにより、下側面９８Ａの下端部を下方へ延ばして形成されている。この結果、下側面９８Ａの下端部は、下方へずれた状態の半導体ウエハ４９よりも下側に位置するように設定されている。なお、半導体ウエハ４９が下方へずれた状態とは、容器本体１２を横にして、各半導体ウエハ４９が、薄板支持部１３のＶ字型溝２５Ｃから外れて載置板片２５Ａに載置された状態（図２６の半導体ウエハ４９Ａの状態）をいう。さらに、下側面９８Ａは、上記Ｖ字型溝２５Ｃの表面と同様に、その表面を荒らして仕上げられている。なお、ここでは、下側面９８Ａの面積を大きくしたが、Ｖ字型溝９８を下方へずらしてもよい。
【０１０９】
連接支持板部９３は、２つの当接片９２の間を互いに連接して支持するための部材である。連接支持板部９３の両端部が各当接片９２にそれぞれ接続されて各当接片９２を弾性的に支持している。連接支持板部９３は、側面形状をほぼＵ字状に折り曲げて形成されている。具体的には、両側の縦板部９３Ａ、９３Ｂと、横板部９３Ｃとから構成されている。縦板部９３Ａ、９３Ｂは、蓋体１５の裏面に垂直な方向に配設され、ほとんど撓むことなく、各当接片９２を支持する。
【０１１０】
横板部９３Ｃは、弾性的に撓むようになっている。連接支持板部９３が各当接片９２を弾性的に支持する機能は主に横板部９３Ｃが担っている。横板部９３Ｃは、その両端に縦板部９３Ａ、９３Ｂがそれぞれ接続された状態で、蓋体１５の裏面に沿う方向に配設されている。横板部９３Ｃは、その中央部を後述する支持用凸条１００に支持され、この支持用凸条１００を中心にして両端部が撓むようになっている。
【０１１１】
支持用リブ９４は、連接支持板部９３を支持して蓋体裏面に沿った方向にずれるのを防止するための支持用部材である。支持用リブ９４は、蓋体１５の裏面の中央部に設けられている。支持用リブ９４は、多数配設されるウエハ押え８９の連接支持板部９３の全部を覆うように設けられている。具体的には、収納される半導体ウエハ４９の枚数分だけ並べて設けられる連接支持板部９３を全て嵌合できる長さに設定されている。支持用リブ９４は、２つの支持壁部１０１、１０２で構成されている。
【０１１２】
各支持壁部１０１、１０２は互いに対向して平行に設けられている。各支持壁部１０１、１０２は、支持板片１０３と、仕切り板片１０４とから構成されている。
【０１１３】
支持板片１０３は、連接支持板部９３の縦板部９３Ａ、９３Ｂを、半導体ウエハ４９の円周方向（図１８の左右方向）にずれないように支持するための部材である。支持板片１０３は、連接支持板部９３の縦板部９３Ａ、９３Ｂを直接的に支持することで、間接的に各当接片９２を、半導体ウエハ４９の円周方向にずれないように支持している。
【０１１４】
仕切り板片１０４は、多数配設される連接支持板部９３を個別に仕切るための板片である。各仕切り板片１０４は、最外側及び各連接支持板部９３の間にそれぞれ位置して設けられている。これにより、各仕切り板片１０４が各連接支持板部９３をその幅方向両側から支持している。これにより、各仕切り板片１０４は、連接支持板部９３を直接的に支持することで、間接的に各当接片９２を、半導体ウエハ４９の円周方向と直交する方向にずれないように支持している。
【０１１５】
上記支持板片１０３と仕切り板片１０４とで、連接支持板部９３を周囲（容器本体１２内に収納された半導体ウエハ４９の円周方向と直交する方向）から挟んで個別に支持することで、連接支持板部９３の蓋体裏面に沿う方向のズレを防止し、蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容するようになっている。
【０１１６】
支持板片１０３及び仕切り板片１０４と、連接支持板部９３との間は、僅かな隙間が空くように設定され、小さい振動のとき接触しないようになっている。即ち、半導体ウエハ４９が僅かに振動する程度のときには、連接支持板部９３は、支持板片１０３及び仕切り板片１０４と接触しないで撓んで振動を吸収するようになっている。振動が激しくなったときには、各当接片９２を介して連接支持板部９３も激しく振動するため、連接支持板部９３は支持板片１０３及び仕切り板片１０４に接触して支持されるようになっている。
【０１１７】
支持用リブ９４の２つの支持壁部１０１、１０２の間には、支持用凸条１００が設けられている。支持用凸条１００は、各連接支持板部９３に直接当接して支持するための部材である。具体的には、各連接支持板部９３の横板部９３Ｃの中央部が支持用凸条１００に当接して支持され、横板部９３Ｃの両端部が自由に撓むことができるようになっている。支持用凸条１００は、互いに対向して平行に設けられた２つの支持壁部１０１、１０２の間の中央部にこれら支持壁部１０１、１０２と平行でかつほぼ同じ長さに設けられている。
【０１１８】
以上のように構成された薄板支持容器１１は、次のようにして使用される。
【０１１９】
第２蓋体１５を容器本体１２から取り外す場合は、ラッチキーをキー溝６２に嵌合して回転させる。これにより、図２７（Ａ）の状態から、繰り出し部材４４が回転して係止部材４２が徐々に引き込まれる。これにより、係止部材４２の支点部５５の先端側摺接面５５Ａが先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して、図２４（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）のように、先端嵌合部５６が下方へ押し下げられる。これと同時に、係止部材４２の基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接して、係止部材４２の基端部が押し上げられる。これにより、先端嵌合部５６は、本体部３０内部に完全に収納される。そして、第２蓋体１５を容器本体１２から取り外す。
【０１２０】
第２蓋体１５を容器本体１２に取り付ける場合は、ラッチキーをキー溝６２に嵌合した第２蓋体１５を蓋体受け部２１に軽く嵌合させて容器本体１２を押さない状態で、ラッチキーを回転させる。これにより、上記の場合と逆に、係止部材４２が本体部３０から押し出される。
【０１２１】
この係止部材４２の押し出しにより、最初に係止部材４２の先端部の案内部材４３が第２被嵌合部２４に取り付く。具体的には、案内部材４３の取り付き部４３Ａが第２被嵌合部２４内に入り込む。この取り付き部４３Ａは、係止部材４２の先端部で容器本体１２の内側へ偏心して設けられているため、係止部材４２の先端部がカム機構４５で押し上げられる前に、第２被嵌合部２４内に入り込むことができる。このとき、ウエハ押え８９の当接片９２の各Ｖ字型溝９８には、容器本体１２内の各半導体ウエハ４９がそれぞれ嵌合する。各半導体ウエハ４９の周縁部は、大きくしてその表面を荒らしたＶ字型溝９８の下側面９８Ａに沿ってスムーズに且つ確実に溝底部に案内されて嵌合する。ラッチキーの回転トルクも小さくて済む。
【０１２２】
この状態でさらに係止部材４２が本体部３０から押し出されると、係止部材４２の支点部５５が先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して先端嵌合部５６が上方へ押し上げられる。さらに、基端上側カム５３の斜面５３Ａにカム押え突起６９が当接して、係止部材４２の基端部を押し下げる。これにより、係止部材４２の基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに沿って下方へ押し下げられる。これと同時に、案内部材４３の案内部４３Ｂが第２被嵌合部２４の縁に摺接しながら第２被嵌合部２４内に入り込み、係止部材４２を第２被嵌合部２４に案内する。これにより、係止部材４２の先端部は、カム機構４５で押し上げられながら、第２被嵌合部２４内に入り込む。
【０１２３】
係止部材４２の支点部５５では、先端側摺接面５５Ａが嵌合凹部４０Ｂに嵌合して、係止部材４２が嵌合凹部４０Ｂを中心に回動する。
【０１２４】
係止部材４２の基端部では、基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接すると共に、カム押え突起６９が基端上側カム５３の斜面５３Ａに当接して、係止部材４２の基端部を押し下げる。
【０１２５】
これにより、係止部材４２は、嵌合凹部４０Ｂに嵌合した支点部５５を支点にしたてことして機能し、先端嵌合部５６が蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合した状態で、第２蓋体１５を容器本体１２側へ強く押し下げて固定する。
【０１２６】
このとき、ウエハ押え８９で半導体ウエハ４９が容器本体１２の薄板支持部１３側へ押し込まれるが、薄板支持部１３のＶ字型溝２５Ｃはその表面を荒らしているため、半導体ウエハ４９の周縁部はＶ字型溝２５Ｃの傾斜面に沿ってスムーズに溝底部に嵌合する。他の摺接部も表面を荒らしてスムーズに滑り、ラッチキーの回転トルクも小さくて済む。
【０１２７】
このような第２蓋体１５の取り付け方は、容器本体１２を縦にした場合も横にした場合も有効である。半導体ウエハ４９を出し入れするために容器本体１２を横にした場合、容器本体１２はただ載置台に載置されるだけで固定されないので、これまで蓋体１５の着脱の自動化が難しかった。しかし、上述のように、横にした容器本体１２をほとんど押さないで蓋体１５を取り付けることができるため、既存の着脱装置を用いて、蓋体１５の着脱作業の自動化を図ることが可能になる。
【０１２８】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。なお、本実施形態の薄板支持容器用蓋体の全体構成は、上述した第１実施形態の薄板支持容器用蓋体とほぼ同様であるため、同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、本発明の特徴部分のみを説明する。
【０１２９】
第１実施形態の繰り出し部材４４では、長穴部６４を螺旋状に形成したが、この場合、蓋体１５を容器本体１２側に固定するための力と、繰り出し部材４４自体を固定するための力とが重なって、繰り出し部材４４の回動が重くなることがある。この場合も、周囲の部材との関係で、繰り出し部材４４の回動が異常に重くなることが無ければ特に問題はない。しかし、場合によっては繰り出し部材４４の回動が異常に重くなることがある。このため、繰り出し部材４４の長穴部６４を改良して、蓋体１５を容器本体１２側に固定する力と、繰り出し部材４４自体を固定する力とが重ならないようにした。
【０１３０】
具体的には、図２９に示すように、長穴部６４の形状を改良した。第１実施形態では、長穴部６４を単純な螺旋形状にしたが、本実施形態では、繰り出し部材４４が回動することにより係止部材４２を容器本体１２の第２被嵌合部２４に係止させて蓋体１５を容器本体１２側に固定する回動領域Ａと、蓋体１５を容器本体１２側に固定した状態で繰り出し部材４４をさらに回動させて繰り出し部材４４自体を固定する回動領域Ｂとを分けて、蓋体１５を容器本体１２側に固定する力と、繰り出し部材４４自体を固定する力とが重ならないようにした。
【０１３１】
上記回動領域Ａは、繰り出し部材４４の回動可能角度（長穴部６４の全長）の大半を占めている。即ち、長穴部６４の一端部６４Ａから他端部６４Ｂの少し手前までの角度を占める領域である。回動領域Ａは螺旋状に形成されている。この回動領域Ａの螺旋形状は、係止部材４２を繰り出して蓋体１５を容器本体１２側に固定するまでの工程を回動領域Ａ内で終了させることができるように設定されている。具体的には、次の一連の動作を回動領域Ａ内で終了させるように設定されている。即ち、長穴部６４の一端部６４Ａに係止された係止部材４２が繰り出し部材４４の回動に伴って繰り出され、案内部材４３の取り付き部４３Ａが第２被嵌合部２４に取り付き、案内部４３Ｂが係止部材４２を第２被嵌合部２４に案内して先端嵌合部５６を第２被嵌合部２４内に挿入し、カム機構４５等が先端嵌合部５６を押し上げて第２被嵌合部２４の上面に当接させて基端部を押し下げることで、蓋体１５を容器本体１２側に固定する、一連の動作を回動領域Ａ内で終了させるように設定されている。これにより、回動領域Ａでは、繰り出し部材４４を回動させる力が、係止部材４２を第２被嵌合部２４に係止させて蓋体１５を容器本体１２側に固定するために使われる。
【０１３２】
上記回動領域Ｂは、繰り出し部材４４の回動可能角度（長穴部６４の全長）のうち他端部６４Ｂ側の一部を占める領域である。即ち、回動領域Ｂは、蓋体１５を容器本体１２側に固定した後に繰り出し部材４４をさらに回動させて、繰り出し部材４４自体を固定するための領域である。具体的には、係合片６５の突起部６５Ａをストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合させるのに必要な領域である。回動領域Ｂは螺旋状ではなく繰り出し部材４４の回転中心を中心とした円形状に形成され、係止部材４２の繰り出しは行わないようになっている。蓋体１５の容器本体１２側への固定は上記回動領域Ａで完了しており、係止部材４２を繰り出す必要がないため、ここでは係止部材４２の繰り出しは行わず、繰り出し部材４４自体の固定のみを行う。即ち、繰り出し部材４４を回動させる力はすべて、係合片６５の突起部６５Ａをストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合させて、繰り出し部材４４自体を固定するために使われる。
【０１３３】
このように、蓋体１５を容器本体１２側に取り付けるために繰り出し部材４４を回動する力は、回動領域Ａにおいては、係止部材４２を第２被嵌合部２４に係止させて蓋体１５を容器本体１２側に固定するために使われ、回動領域Ｂにおいては、係合片６５の突起部６５Ａをストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合させて繰り出し部材４４自体を固定するために使われる。これにより、蓋体１５を容器本体１２側に固定する力と、繰り出し部材４４自体を固定する力とが、回動領域Ａ、Ｂに分けられて重なることが無くなる。
【０１３４】
この結果、繰り出し部材４４を回動させる力が極端に重くなることがなくなり、蓋体１５の取り付け作業性が向上する。
【０１３５】
また、蓋体１５を取り外すときも、係止部材４２を第２被嵌合部２４から抜き取る力と、係合片６５の突起部６５Ａをストッパ３７の受け部３７Ａから外す力とが、回動領域Ａ、Ｂに分けられて重なることが無くなるため、蓋体１５の取り外し作業性が向上する。
【０１３６】
繰り出し部材４４のキー溝６２と保持カバー４６との間には、図３０及び図３１に示すように、隙間１０１が設けられている。キー溝６２の近傍の保持カバー４６の厚さＴを薄くして、隙間１０１の幅を拡大している。この隙間１０１は、キー溝６２に嵌合するラッチキー１００の接触を防ぐための隙間である。即ち、図３３に示す、繰り出し部材１０３のキー溝１０４と保持カバー１０５との間のように、保持カバー１０５が厚くてあまり隙間がない場合は、ラッチキー１００がキー溝１０４に完全に嵌合しない状態でラッチキー１００を回転させると、ラッチキー１００が保持カバー１０５に接触して、保持カバー１０５を破損したり、塵埃等が発生したりする。第１実施形態において説明したように、案内部材４３の取り付き部４３Ａと案内部４３Ｂとによって、蓋体１５の本体部３０が容器本体１２側に軽く嵌合した状態で蓋体１５を容器本体１２側に取り付けることができるため、図３２に示すように、ロードポート側ドア１０６と蓋体１５との間には隙間Ｃができてしまう。このため、図３３に示すように、ラッチキー１００がキー溝１０４に完全に嵌合しない状態になってしまうことがあり、保持カバー１０５の破損等を招く。即ち、蓋体１５を容器本体１２側に取り付けるときは、ラッチキー１００がキー溝１０４に嵌合した状態で回動されて、蓋体１５が簡易着脱機構３２によって容器本体１２側に引き寄せられるが、このとき、ラッチキー１００と保持カバー１０５の内側面とが接触して破損等を招くおそれがある。また、蓋体１５を容器本体１２から取り外すときは、ラッチキー１００をキー溝１０４に嵌合して回動させるが、このときラッチキー１００がキー溝１０４に完全に嵌合していないと、ラッチキー１００が保持カバー１０５に接触して破損等を招くおそれがある。
【０１３７】
これを防止するために、繰り出し部材４４のキー溝６２と保持カバー４６との間に隙間１０１を設けている。これにより、ラッチキー１００をキー溝６２に嵌合して回動させると、ラッチキー１００と共に繰り出し部材４４が回動するが、このとき、キー溝６２と保持カバー４６との間の隙間１０１によってラッチキー１００が保持カバー４６に接触するのを防ぐことができる。これにより、保持カバーの破損や塵埃等の発生を防止することができる。
【０１３８】
以上の構成の薄板支持容器用蓋体では、その全体的な作用は上記第１実施形態の薄板支持容器用蓋体と同様であるが、蓋体１５の取り付け方法は以下のようにして行われる。
【０１３９】
ロードポート側ドア１０６には、図３４及び図３５に示すように、ラッチキー１００と共に吸着パッド１０７が設けられている。吸着パッド１０７は、蓋体１５を着脱させる際に、蓋体１５に吸着して支持する。
【０１４０】
まず、吸着パッド１０７で吸着されることでロードポート側ドア１０６に支持された蓋体１５が、容器本体１２側に軽く嵌合される。具体的には、ウエハ押え８９が半導体ウエハ４９に軽く接触するところまで蓋体１５の本体部３０が容器本体１２側に挿入される。このとき、半導体ウエハ４９は、図３４に示すように、各Ｖ字型溝２５Ｃ、９８の下方に位置するため、ロードポート側ドア１０６（蓋体１５）と容器本体１２との間に隙間Ｄが生じてしまう。この状態からラッチキー１００を回動させることで、案内部材４３の取り付き部４３Ａと案内部４３Ｂとによって蓋体１５が容器本体１２に固定されるが、ロードポート側ドア１０６が蓋体１５を支持したままでは、容器本体１２がずれる。即ち、ロードポート側ドア１０６で蓋体１５が支持されていると、ロードポート側ドア１０６（蓋体１５）と容器本体１２との間に隙間Ｄがあるため、その状態で蓋体１５が容器本体１２に固定されると、隙間Ｄの分だけ容器本体１２をロードポート側ドア１０６側へ引き寄せることになり、結果的に図３４中の点線で示すように、容器本体１２が変形してしまう。このように容器本体１２が変形した状態で、吸着パッド１０７での吸着を解除すると、容器本体１２が急激に元の状態に戻って、振動が発生し、塵埃等が発生するおそれがある。
【０１４１】
このため、本実施形態では、吸着パッド１０７での吸着を早期に解除するようにした。具体的には、蓋体１５の本体部３０が容器本体１２側に軽く嵌合した状態で繰り出し部材４４を回動させて案内部材４３の取り付き部４３Ａが第２被嵌合部２４に取り付いたときに、吸着パッド１０７による吸着を解除するようにした。
【０１４２】
このとき、ロードポート側ドア１０６と蓋体１５との間には隙間Ｄが生じて、ラッチキー１００のキー溝６２への挿入が浅くなってしまうが、この浅くなった分は、繰り出し部材４４のキー溝６２と保持カバー４６との間の隙間１０１で解消する。即ち、上述したように、蓋体１５を容器本体１２側に取り付けるときにラッチキー１００と保持カバー１０５の内側面とが接触したり、蓋体１５を容器本体１２から取り外すときにラッチキー１００が浅く嵌合して保持カバー１０５に接触したりするのを解消するために、本実施形態では、保持カバー４６の厚さＴを薄くして隙間１０１を設けた。ラッチキー１００のキー溝６２への挿入が浅くなって、ラッチキー１００が保持カバー４６に接触する可能性があるが、上記隙間１０１を設けることで、ラッチキー１００の保持カバー４６への接触を解消する。
【０１４３】
この方法により、蓋体１５が容器本体１２に固定されるときに、ロードポート側ドア１０６側に容器本体１２が引き寄せられて変形するのを防止する。これにより、変形した容器本体１２が元に戻るときに発生する振動、それに伴う塵埃等の発生を防止することができる。
【０１４４】
［変形例］
（１）  上記第１実施形態では、係止部材４２を持ち上げるカム機構４５として、先端側カム４０と基端側カム（５３）とを設けたが、先端側カム４０だけの機構でもよい。また、他の構造にカム機構でもよい。例えば、図２８に示すように、先端側の下側に突起１１１を設けた係止部材１１２と、カム１１３を備えたスライド板１１４とを備えた構成のカム機構でもよい。この場合は、係止部材１１２とスライド板１１４とを同時に延出させて係止部材１１２の先端を第２被嵌合部２４内に挿入した後、スライド板１１４をさらに延出させると、係止部材１１２の先端部が第２被嵌合部２４内で持ち上がって蓋体１５を容器本体１２に固定する。これ以外にも、係止部材４２が延出して第２被嵌合部２４内に係止する構造のカム機構全てに本願発明を適用することができる。
【０１４５】
この構成の場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１４６】
（２）  上記第１実施形態では、案内部材４３の案内部４３Ｂを直線的な平坦面状にしたが、湾曲させてもよい。案内部４３Ｂは、第２被嵌合部２４の縁部に摺接しながら内部に入り込める形状の面であればよく、平坦面でも、湾曲面でも、凸面でも、凹面でもよい。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１４７】
（３）  上記第１実施形態では、薄板支持部１３、簡易着脱機構３２、ウエハ押え８９等の摺接面（Ｖ字型溝２５Ｃの表面等）や傾斜面の表面（案内部４３Ｂの傾斜面の表面等）の摩擦抵抗を小さくするために表面を荒らして成形したが、摺接面等を成形する材料自体を調整してもよい。この摩擦抵抗を小さくするための材料としては、摺動性合成樹脂を用いる。この摺接面等を成形する摺動性合成樹脂としては、摺動性合成樹脂を単体で使用してもよく、当該摺動性合成樹脂に摺動剤を添加してもよい。
【０１４８】
単体の摺動性合成樹脂としては、フッ化物合成樹脂を用いる。このフッ化物合成樹脂として、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ又はＥＴＦＥ等の表面摩擦抵抗の小さい材料を用いる。
【０１４９】
摺動性合成樹脂に添加する摺動剤（プラスチック添加用摺動剤）としては、ＰＴＦＥ、ＰＦＡ、シリコン、ガラス繊維、カーボン繊維、グラファイト、ＤＬＣ又は二硫化モリブデンを用いる。これらの材料を単体で、又は複数組み合わせて、母材となるＰＢＴやＰＯＭ等のエンジニアリングプラスチックに１０〜２０％程度混合する。上記各プラスチック添加用摺動剤の組み合わせ及び配合比率はエンジニアリングプラスチックの種類によって異なるため、各エンジニアリングプラスチックに応じて最適な値を実験等によって設定する。
【０１５０】
これにより、各摺接面での摩擦抵抗が小さくなって、蓋体１５の容器本体１２への取り付け、簡易着脱機構３２の作動等がスムーズになり、横にした容器本体１２をほとんど押さないで容易に蓋体１５を取り付けることができる。この結果、既存の着脱装置を用いて、蓋体１５の着脱作業の自動化を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０１５１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器用蓋体の簡易着脱機構を示す要部斜視図である。
【図２】従来の薄板支持容器用蓋体を示す側面断面である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器をその蓋体を外した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器の蓋体受け部を示す部分斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器の蓋体受け部の部分断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る薄板支持部を示す正面図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る薄板支持部を示す側面図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る第２蓋体を示す上面斜視図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る第２蓋体を示す下面斜視図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す上面斜視図である。
【図１２】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す下面斜視図である。
【図１３】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す側面断面図である。
【図１４】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す上面斜視図である。
【図１５】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す下面斜視図である。
【図１６】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す平面図である。
【図１７】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す裏面図である。
【図１８】本発明の第１実施形態に係る保持カバーを示す上面斜視図である。
【図１９】本発明の第１実施形態に係る保持カバーを示す下面斜視図である。
【図２０】本発明の第１実施形態に係るカバー押えを示す上面斜視図である。
【図２１】本発明の第１実施形態に係るカバー押えを示す上面斜視図である。
【図２２】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す側面断面図である。
【図２３】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２４】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す断面斜視図である。
【図２５】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す要部斜視図である。
【図２６】本発明の第１実施形態に係る薄板支持部とウエハ押えを示す要部拡大図である。
【図２７】本発明の第１実施形態に係る簡易着脱機構の動作を示す模式図である。
【図２８】本発明の第１実施形態の変形例を示す側面図である。
【図２９】本発明の第２実施形態に係る簡易着脱機構を示す平面図である。
【図３０】図２９の側面断面図である。
【図３１】本発明の第２実施形態に係る簡易着脱機構の要部を示す断面図である。
【図３２】本発明の第２実施形態に係る薄板支持容器用蓋体の取り付け状態を示す模式図である。
【図３３】従来の簡易着脱機構の要部を示す断面図である。
【図３４】本発明の第２実施形態に係る薄板支持容器用蓋体の取り付け状態を示す模式図である。
【図３５】本発明の第２実施形態に係る薄板支持容器用蓋体の取り付け状態を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１５２】
１１：薄板支持容器、１２：容器本体、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ：側壁部、１２Ｅ：底板部、１２Ｆ：開口、１３：薄板支持部、１４：第１蓋体、１５：第２蓋体、１６：トップフランジ、２３：第１被嵌合部、２４：第２被嵌合部、３０：本体部、３２：簡易着脱機構、３４：開口、３６：回転支持軸、３７：ストッパ、３９：基端下側カム、４０：先端側カム、４２：係止部材、４３：案内部材、４３Ａ：取り付き部、４３Ｂ：案内部、４４：繰り出し部材、４５：カム機構、４６：保持カバー、４７：カバー押え、４９：半導体ウエハ、５３：基端上側カム、５５：支点部、５５Ａ：先端側摺接面、５６：先端嵌合部、６９：カム押え突起、８９：ウエハ押え、１００：ラッチキー、１０１：隙間、１０３：繰り出し部材、１０４：キー溝、１０５：保持カバー、１０６：ロードポート側ドア、１０７：吸着パッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
0004764001.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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