(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマーからなる原料樹脂をスパイラルマンドレルを経て環状ダイからチューブ状に溶融押出して、このチューブ状の溶融物を冷却しながらその内方空間に気体を供給して膨張させることによりバブルを形成し、このバブルをシート状に折り畳みながら引き取るインフレーション製膜方法において、前記バブルのネック部の内壁に向かって水平な方向にエアーを吹き付けて、このネック部を直立状に保持することを特徴とするインフレーション製膜方法。
【請求項２】
光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマーからなる原料樹脂をスパイラルマンドレルを経て環状ダイからチューブ状に溶融押出して、このチューブ状の溶融物を冷却しながらその内方空間に気体を供給して膨張させることによりバブルを形成し、このバブルをシート状に折り畳みながら引き取るインフレーション製膜装置において、前記バブルのネック部の内壁に向かって水平な方向にエアーを吹き付けて、ネック部を直立状に保持するエアー吹き出し装置とバブルの内圧調整用のエア−給排気装置とを設けたことを特徴とするインフレーション製膜装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱可塑性ポリマー、特に光学的異方性の溶融相を形成し得る熱可塑性ポリマー（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーと称したり、また単に液晶ポリマーと略称したりすることがある）からなるフィルム（以下、これを熱可塑性液晶ポリマーフィルムと称することがある）の成形に好適に用いられるインフレーション製膜方法とその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムは、（１）金属箔と直接熱接着できること、（２）耐熱性であること、（３）低吸湿性であること、（４）熱寸法安定性に優れていること、（５）湿度寸法安定性に優れていること、（６）高周波数特性に優れていること、（７）有毒なハロゲン、燐、アンチモン等の難燃剤を含有しなくても難燃性であること、（８）耐放射線性に優れていること、（９）熱膨張係数が制御できること、（１０）低温でもしなやかであることなどの特長があるために、回路基板などの電気絶縁材料として理想的な材料の一つとされている。したがって、熱可塑性液晶ポリマーフィルムを電気絶縁材料とする回路基板、特に精密回路基板の実現化への期待は高い。
【０００３】
熱可塑性液晶ポリマーフィルムを構成する熱可塑性液晶ポリマーは、製膜装置に備えたダイのスリットから吐出させると、その分子が吐出方向に配向し、そのままでは液晶ポリマー分子の大部分がほとんど同一方向（フィルムの長手方向、すなわちＭＤ方向）に配向し、得られる熱可塑性液晶ポリマーフィルムはＭＤ方向に裂け易い。しかも、ＭＤ方向とこれと直角方向のＴＤ方向とで熱膨張係数や熱寸法変化率が異なるなどの物性に差異がある熱可塑性液晶ポリマーフィルムとなる。言い換えれば、ＭＤ方向とＴＤ方向とで物性が異なることを異方性、逆にほぼ等しいことを等方性と称すれば、前記熱可塑性液晶ポリマーフィルムは異方性となる。
【０００４】
この異方性フィルムは、ＭＤ方向とＴＤ方向とで例えば熱寸法変化率や熱膨張係数が異なるので、回路基板特に精密回路基板の絶縁材料として用いる場合、この回路基板の製造途中で、回路基板に反りや歪みを生じたり、回路基板上の回路配線の位置ずれを生じたりするために実用に供し得ない。
【０００５】
この異方性を緩和するため、従来より種々の製膜方法が提案されている。その一つは、（ａ）環状スリットを介して相互に反対方向に回転する可動ダイリップを用いて溶融液晶ポリマーを吐出させるいわゆる回転ダイを用いるインフレーション製膜方法である（例えば特公昭６２−３３９３１号、特開昭５３−８８０６０号、特開昭６３−１９９６２２号、特開平１−１３０９３０号、特表平３−５０４９４８号、特開平２−８９６１６号、特表平４−５０６７７９号各公報）。また、（ｂ）Ｔダイで横方向に磁場をかける製膜方法（例えば特開昭６３−２４２５１３号公報）、（ｃ）Ｔダイなどを用いて得られる異方性液晶ポリマーフィルムを、合成樹脂フィルムとラミネートし、このラミネート体を横延伸（ＭＤ方向よりも大きい延伸倍率でＴＤ方向に延伸）する後加工方法（例えば特開平７−３２３５０６号、特開平７−２５１４３８号、特開平９−１３１７８９号各公報）、（ｄ）静止環状ダイを用いるインフレーション製膜方法（例えば特開平２−３４３０号、特開平２−８８２１２号各公報）などがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記（ａ）の方法では、フィルムの表面と裏面における液晶ポリマー分子の配向方向が交差して厚さ方向の全体として配向バランスが保たれているが、これらの方法に用いられる特殊なダイから吐出された溶融液晶ポリマーフィルムは、ダイから吐出された直後の溶融状態から冷却され、半溶融状態を経てさらに冷却されて固化に至るフィルム形成過程において、バブルのネック部とエクスパンド部の表面および裏面で収縮する方向が交差する。したがって、これら表面と裏面において方向の異なる収縮応力が発生し、ネック部とエクスパンド部が捩れるように応力が作用して、形状が不安定で変わり易いので、長時間安定した製膜が困難である。しかも、実用に供することができるような膜厚分布が良好な平坦フィルムが得られにくい。
【０００７】
また、上記（ｂ）の方法では、磁場による作用は小さくて、分子の配向角が効果的に変化するために要する時間が長く、実際の製膜に利用できる程度の著しい異方性緩和は期待できず、実用に供し得る等方性フィルムを得ることは困難である。
【０００８】
さらに、上記（ｃ）の方法は、異方性緩和という目的においては有効で、実用に供し得る等方性フィルムを得ることができるが、生産効率の点で問題がある。
【０００９】
上記（ｄ）の方法は、異方性を緩和するために、溶融液晶ポリマーを環状ダイからチューブ状に吐出してバブルを形成したあと、このバブルにガス内圧をかけることにより横方向に延伸させる方法であるが、異方性を解消するためには、横方向の延伸倍率を大きくする必要がある。しかしながら、横延伸倍率を大として異方性を解消しようとすると、環状ダイから吐出直後のネック部がダイを中心に円運動を起こし、その形状が製膜方向（以後ＭＤ方向と言う場合がある）に対して変化するために、バブルが不安定になり易くて、得られるフィルムの膜厚分布がＭＤ方向に変化して膜厚分布が不良になり易い。また、膜厚分布の変化が短い周期で変化するので、膜厚分布を改善する対策が取り難いという欠点がある。
【００１０】
本発明者らは、インフレーション製膜方法において、得られるフィルムの異方性を緩和して、膜厚分布の良好なフィルムを安定して得ることができる製膜方法について鋭意研究を行った結果、環状ダイから溶融押出されるバブルのネック部の動きが得られるフィルムの性状に大きな影響を及ぼすことを見出した。
【００１１】
図１は、環状ダイから溶融押出されるときのバブルのネック部の動きを詳細に観察した結果を示す模式図である。同図のように、環状ダイから溶融押出された直後のチューブ状のネック部４１は、液晶ポリマーの流れ方向Ｘに対して一定周期ｔで反時計方向Ｙに円運動を行っており、これら周期ｔの間で前記ネック部４１に形状歪みＺが発生し、この形状歪みＺが得られるフィルムの性状に大きな影響を与える。前記ネック部４１に円運動を与える力は、液晶ポリマーの流れの混合および整流による均一化のために設けられた製膜装置の部品であるマンドレルに起因する。
【００１２】
図２は、一般に使用されるスパイラルマンドレルの断面図を示している。このスパイラルマンドレル２は、内子２１と外子２２の間にギャップ２３が設けられており、樹脂導入口２４から導入された溶融液晶ポリマーは、ギャップ２３の下方から溝２５を通って上方へ導かれ、ギャップ２３の上端から導出される。このとき、液晶ポリマーの分子は、流れ方向よりわずかに一方向に傾いて斜行する。
つまり、前記ギャップ２３を通過する液晶ポリマーの主な流れは、前記溝２５に沿って内部を流れる斜行流と、溝２５の外部を流れるか溝２５を乗り越えるか溝２５から溢れ出るかして垂直方向の上方に流れる垂直流である。前記溝２５は、スパイラルマンドレル２の下方から上方に進むにしたがって深さが次第に減少するので、溝２５内を斜行流として流れる液晶ポリマーは、上方へ進むにしたがって溝２５の外部へ溢れ出して垂直流となる。このように、スパイラルマンドレル２においては、斜行流と垂直流が互いに接触し、斜行流が垂直流に変わっていく過程で液晶ポリマーの混合・均一化が行われる。
【００１３】
また、液晶ポリマーは、剛直な長い分子であって、分子の向きをすばやく瞬間的に変えることは難しいために、斜行流にあって斜め方向に配向していた分子が垂直流に侵入したとしても、斜めに配向したまま垂直に流れる傾向がある。
【００１４】
以上のように、垂直方向に配向した液晶ポリマー分子と斜め方向に配向した液晶ポリマー分子が混在した垂直流が、スパイラルマンドレル２の上端に達し、ダイから吐出されて、前記ネック部４１を形成することになる。すなわち、このネック部４１内の液晶ポリマー分子は、垂直方向に配向した分子と、斜め方向に片方に傾いて配向した分子とから構成され、前記ネック部４１の全体としては、平均して垂直より少し斜め方向に分子が傾いて配向する性質を有している。このとき、斜行流は溝２５に沿って斜め方向にせん断力を受けるので、せん断力の方向に容易に配向する液晶ポリマー分子は、斜めに配向する傾向をもつ。一方、垂直流においては、せん断力は垂直方向に作用するので、垂直流における液晶ポリマー分子は垂直に配向する傾向をもつ。
【００１５】
また、液晶ポリマーは、冷却されれば液晶ポリマー分子の配向方向よりもこれと垂直の方向に強く収縮する。図３は前記ネック部４１で発生する収縮状態を説明する模式図である。同図のように、前記ネック部４１には、液晶ポリマー分子の配向方向Ｓに対し、これと垂直方向に冷却収縮応力Ｔが作用してネック部４１に捩れ形状を与える。また、前記ネック部４１の上部側は、下部側に対し冷却により固くなりつつあり、ネック部上方のエクスパンド部に固定されていて回転することはできないが、下部側は高温で溶融状態にあって柔らかいので、前記冷却収縮応力Ｔにより円周方向に回転して円運動を起こし、これがネック部４１の形状歪みＺ（図１）の発生原因となる。さらに、前記ネック部４１は、形状歪みＺを残したままエクスパンド部でバブルが膨張され、そのシリンダー部でフィルムが基本的に形成されるので、得られるフィルムも当然に形状歪みＺを残している。この形状歪みＺにより膜厚分布の大きな異方性のあるフィルムとなる。
【００１６】
前記ネック部４１の形状歪みＺを解消する方法としては、環状ダイの内周壁だけを、または内周壁と外周壁をともに回転させて、その回転力によりネック部４１の回転を解消する方法が考えられる。しかし、この方法には次のような欠点を伴う。つまり、バブルの回転運動は、周期的な動きをしているが、振動などの外乱要因が与えられた時はバブルの円運動の周期が変化するので、環状ダイ以降の外乱要因に対し十分な対応ができない。
【００１７】
本発明者らは、以上のような知見に基づき、さらに研究を行った結果、ネック部の捩れを解消して、膜厚分布が小さい良好な熱可塑性液晶ポリマーフィルムを得るに至った。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
本発明のインフレーション製膜方法は、熱可塑性液晶ポリマーからなる原料樹脂をスパイラルマンドレルを経て環状ダイからチューブ状に溶融押出して、このチューブ状の溶融物を冷却しながらその内方空間に気体を供給して膨張させることによりバブルを形成し、このバブルのネック部の内壁に向かって水平な方向にエアーを吹き付けて、このネック部を直立状に保持する。また、本発明のインフレーション製膜装置は、前記バブルのネック部の内壁に向かって水平な方向にエアーを吹き付けて、ネック部を直立状に保持するエアー吹き出し装置とバブルの内圧調整用エア−給排気装置とを有する。
【００１９】
以上の方法と装置によれば、製膜時に前記バブルのネック部にその内部からエアーが吹き付けられて、このネック部が直立状に保持されるので、ネック部に捩れが起こらず、形状歪みが発生しない。このため、膜厚分布が小さい良好なフィルムが安定して得られる。
【００２０】
以上の方法や装置には、熱可塑性液晶ポリマーが好適に用いられる。このような剛直な硬いフィルムとなる熱可塑性液晶ポリマーを用いる場合でも、フィルムの異方性が緩和された膜厚分布が小さい良好なフィルムが安定して得られる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図４は、インフレーション製膜装置の全体構造を示す概略図である。同図の製膜装置は、押出機１の樹脂吐出方向前部側にマンドレル２とダイ３を取り付けている。このダイ３からは高温の溶融液晶ポリマーがチューブ状に押出され、冷却されながら内方空間に空気や窒素などの気体が供給され、内圧により膨張されてバブル４となり、その上部側が左右一対のロール５によりシート状に折り畳まれて、複数のガイドロール６を経てターレットワインダー７により、熱可塑性液晶ポリマーフィルム１０として引き取られる。
【００２２】
図５は前記バブル４の拡大図である。このバブル４は、樹脂吐出方向に順に、ネック部４１、エクスパンド部４２、シリンダー部４３に分かれている。前記ネック部４１とは、ダイ３の環状スリットから吐出された溶融液晶ポリマーが形成する径の比較的小さいチューブ状の部分である。前記バブル４は、気体が導入されることによって外周方向に膨張して径を増大させる力を受け、実際に径が増大する領域をエクスパンド部４２と称している。高温の溶融液晶ポリマーは、前記ネック部４１とエクスパンド部４２の領域を経て冷却固化され、もはや径が増大しない領域をシリンダー部４３と称している。
【００２３】
図６は、前記ダイ３の上方で前記バブル４のネック部４１にその内部からエアーを吹き付けて、ネック部４１を直立状に保持するエアー吹き出し装置９とバブルの内圧調整用のエア−給排気装置８を示す縦断面図である。また、図７は各装置８、９の概略を示す斜視図である。図６のように、前記エアー給排気装置８は、中心に配置される第１配管８１と、その外周に所定間隔をあけて同心状に配置される径大の第２配管８２とを備え、これら配管８１、８２をダイ３の下方から、このダイ３の環状スリット３１より吐出されるネック部４１の内部にかけて上下貫通状に取り付け、前記第１、第２配管８１、８２の間の第１空間８３から前記バブル４を膨張させるための気体を上向きのａ方向に吹き出し、また前記第１配管８１内の第２空間８４からバブル４内に供給された気体を下向きのｂ方向に向かって排気する。
【００２４】
また、前記エアー吹き出し装置９は、前記第２配管８２よりも径大で、これの外周囲に所定間隔をあけて同心状に配置される第３配管９１と、これの上端側に取り付けられて、前記ネック部４１の内壁に向かって水平なｃ方向にエアーを吹き出す円筒体９２とを備えている。この円筒体９２は、多数の通気孔９３ａを有する円筒状の壁部９３と、その上下に取り付けられた上下蓋体９４、９５からなり、この下部側蓋体９５の内部に前記第３配管９１の上端を開口させ、この第３配管９１と前記第２配管８２の間に形成される第３空間９０から円筒体９２内にエアーを供給して、このエアーを前記壁部９２の通気孔９３ａからネック部４１の内壁に向かって水平方向ｃに吹き付ける。これにより、ネック部４１を非接触で支えて、ネック部４１を常に直立状に保持させる。一方、前記エアー給排気装置８の第１、第２配管８１、８２は、前記第３配管９１が開口される下部側の蓋体９５を貫通して上部側蓋体９４の上端面に開口させ、これら第１、第２配管８１、８２を介して前記バブル４への給排気を行う。
【００２５】
前記円筒体９２は、ネック部４１と接触しないように、このネック部４１つまり前記ダイ３の環状スリット３１の直径よりも少なくとも５〜２０％小さく設定することが好ましく、より好ましくは１０％に設定される。また、前記円筒体９２の長さは、ネック部４１を非接触で良好に支えるためには、ネック部４１の長さの１／５〜１／２程度に設定することが好ましく、より好ましくは１／３程度に設定される。さらに、前記円筒体９２の各部材は高温に耐え得る金属材料や無機材料で形成し、特に円筒体９２の円筒状壁部９３は、前記ダイ３の環状スリット３１から吐出されたネック部４１と密着せず、エアーを均一に吐出できるメッシュまたは多孔質材料で形成することが好ましい。また、供給するエアーは予め加温しておくことが望ましく、前記環状スリット３１から吐出される樹脂温度よりも１０〜３０℃低い温度を有しているのが好ましい。供給されるエアーの温度が以上の条件より低すぎると、円筒体９２の部分で冷却が進み、その部分での収縮によりバブル４の内圧を上げてもバブル４が膨らまないことがある。
【００２６】
図８は前記各装置８、９の要部を示す平断面図である。同図のように、エアー給排気装置８の第１、第２配管８１、８２と、エアー吹き出し装置９の第３配管９１とは、３重管構造とされていて、第１配管８１内に第２空間８４を、第１、第２配管８１、８２の間に第１空間８３を、また、第２、第３配管８２、９１の間に第３空間９０をそれぞれ形成している。そして、この第３空間９０を前記円筒体９２の内部に開口させ、また、前記第１、第２空間８３、８４をバブル４のネック部４１に開口させる。
【００２７】
本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーは特に限定されるものではないが、その具体例として、以下に例示する（イ）から（二）に分類される化合物およびその誘導体から導かれる公知のサーモトロピック液晶ポリエステルおよびサーモトロピック液晶ポリエステルアミドを挙げることができる。但し、光学的に異方性の溶融相を形成し得るポリマーを得るためには、各々の原料化合物の組み合わせには適当な範囲があることは言うまでもない。
【００２８】
（イ）芳香族または脂肪族ジヒドロキシ化合物（代表例は表１参照）
【００２９】
【表１】
0004632557.tif 000002
【００３０】
（ロ）芳香族または脂肪族ジカルボン酸（代表例は表２参照）
【００３１】
【表２】
0004632557.tif 000003
【００３２】
（ハ）芳香族ヒドロキシカルボン酸（代表例は表３参照）
【００３３】
【表３】
0004632557.tif 000004
【００３４】
（ニ）芳香族ジアミン、芳香族ヒドロキシアミンまたは芳香族アミノカルボン酸（代表例は表４参照）
【００３５】
【表４】
0004632557.tif 000005
【００３６】
これらの原料化合物から得られる熱可塑性液晶ポリマーの代表例として表５に示す構造単位を有する共重合体（ａ）〜（ｅ）を挙げることができる。
【００３７】
【表５】
0004632557.tif 000006
【００３８】
また、本発明に使用される熱可塑性液晶ポリマーの融点としては、フィルムの所望の耐熱性および加工性を得る目的においては、約２００〜約４００℃の範囲内、とりわけ約２５０〜約３５０℃の範囲内に融点を有するものが好ましいが、フィルム製造の点からは、比較的低い融点を有するものが好ましい。したがって、より高い耐熱性や融点が必要な場合には、一旦得られたフィルムを加熱処理することによって、所望の耐熱性や融点にまで高める。加熱処理条件の一例を説明すれば、一旦得られたフィルムの融点が２８３℃の場合、２６０℃で５時間加熱すれば、融点は３２０℃になる。
【００３９】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明は実施例により何ら制限されるものではない。なお、実施例において、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点、膜厚およびネック部変動量の評価は以下の方法により行った。
【００４０】
（１）融点
示差走査熱量計を用いて、フィルムの熱挙動を観察して得た。つまり、供試フィルムを２０℃／分の速度で昇温して完全に溶融させた後、溶融物を５０℃／分の速度で５０℃まで急冷し、再び２０℃／分の速度で昇温した時に現れる吸熱ピークの位置を、フィルムの融点として記録した。
【００４１】
（２）膜厚
膜厚は、デジタル厚み計（株式会社ミツトヨ製、ＬＶＤＴ）を用い、得られたフィルムをＴＤ方向に１ｃｍ間隔で測定し、中心値に対するＴＤ方向の変動幅を調べた。
【００４２】
（３）ネック部の変動測定装置
図９はネック部４１の変動測定装置を示す概略図である。レーザービーム出射口１１と、これと対向するレーザービーム受光口１２を有するレーザー変位センサー１３の２基を、ネック部４１を遮るように２ヵ所に対向配置し、遮られたレーザー光の強度を測定することによりネック部４１のＡとＢの変動を測定した。
【００４３】
実施例１
製膜装置としては、図６において、外子３２の内径が４０ｍｍ、内子３３の内径が３９ｍｍとされたダイ３を使用した。また、エアー吹き出し装置９の円筒体９２としては、径が３６ｍｍで、長さがネック部４１に対し１／３となる５ｃｍのものを用いた。
【００４４】
ｐ−ヒドロキシ安息香酸と６−ヒドロキシ−２−ナフトエ酸の共重合物で、融点が２８０℃の熱可塑性液晶ポリマーを吐出量２０ｋｇ／時で溶融押出し、横延伸倍率４．７７倍、縦延伸倍率２．０９倍の条件でインフレーション製膜した。また、前記エアー吹き出し装置９の円筒体９２から吹き出されるエアーの温度は２６０℃に設定した。これによれば、製膜中はネック部４１の回転運動は観察されず、捩れのない安定した運転が可能であった。また、ネック部４１のＡとＢでの変動（図９）は、図１０のグラフに示すとおりである。同図から明らかなように、ネック部４１のＡとＢの変動はいずれも１ｍｍ以下であった。
【００４５】
比較例１
前記エアー吹き出し装置９を使用することなく、その他は実施例１と同様にしてインフレーション製膜を行った。これによれば、製膜時のネック部４１に回転運動が観察され、ネック部４１のＡとＢでの変動は、図１１のグラフに示すとおりであった。同図から明らかなように、ネック部４１のＡとＢの変動は約２ｍｍ程度であった。
【００４６】
上記実施例１と比較例１による膜厚比較結果を表６に示す。同表において、ＡＶＥは得られた熱可塑性液晶ポリマーフィルムの平均膜厚（μｍ）を、ＭＡＸは同フィルムの膜厚の最大値を、ＭＩＮは膜厚の最小値を、ＲはＭＡＸとＭＩＮの差をそれぞれ示している。
【００４７】
【表６】
0004632557.tif 000007
【００４８】
同表に示したように、実施例１では平均膜厚５２．０２μｍの熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られ、また比較例１では平均膜厚４９．３２μｍの熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られた。また、比較例１のＲ値は１０．３４であるのに対し、実施例１のＲ値は５．００であり、さらに、比較例１の膜厚公差は±１０．５％であるのに対し、実施例１の膜厚公差は±５．０％である。これらのことから、実施例１によれば膜厚分布が小さい良好な熱可塑性液晶ポリマーフィルムが得られることが理解できる。
【００４９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、たとえ熱可塑性液晶フィルムなどの剛直な硬いフィルムとなる樹脂を用いる場合でも、ネック部に捩れが起こらず、形状歪みが発生しないので、異方性を緩和して膜厚分布の良好なフィルムを安定して得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】環状ダイから溶融押出されるときのバブルのネック部の動きを観察した結果を示す模式図である。
【図２】一般に使用されるスパイラルマンドレルの断面図である。
【図３】ネック部で発生する収縮状態を説明する模式図である。
【図４】インフレーション製膜装置の全体構造を示す概略図である。
【図５】バブルの拡大図である。
【図６】バブルのネック部にその内部からエアーを吹き付けて、ネック部を直立状に保持するエアー吹き出し装置とバブルの内圧調整用のエア−給排気装置を示す縦断面図である。
【図７】前記のエアー吹き出し装置とバブルの内圧調整用のエア−給排気装置の概略を示す斜視図である。
【図８】前記のエアー吹き出し装置とバブルの内圧調整用のエア−給排気装置の要部を示す平断面図である。
【図９】ネック部の変動測定装置を示す概略図である。
【図１０】実施例１によるネック部の変動を示すグラフである。
【図１１】比較例１によるネック部の変動を示すグラフである。
【符号の説明】
４…バブル、４１…ネック部、８…エア−給排気装置、９…エアー吹き出し装置。
【図１】
0004632557.tif 000008
【図２】
0004632557.tif 000009
【図３】
0004632557.tif 000010
【図４】
0004632557.tif 000011
【図５】
0004632557.tif 000012
【図６】
0004632557.tif 000013
【図７】
0004632557.tif 000014
【図８】
0004632557.tif 000015
【図９】
0004632557.tif 000016
【図１０】
0004632557.tif 000017
【図１１】
0004632557.tif 000018