(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールを記憶する工程仕様ルール記憶部と、
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローを記憶する工程フロー記憶部と、
前記工程フローの各工程を、前記工程仕様ルールと照らし合わせて、前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするチェック部と、
を備えることを特徴とする工程フローチェック装置。
【請求項２】
前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始条件および前記開始準備条件の一方又は両方に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かのチェックを行わないことを特徴とする請求項１記載の工程フローチェック装置。
【請求項３】
前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在するときに、後に存在する前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことを特徴とする請求項１記載の工程フローチェック装置。
【請求項４】
前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在し、かつ、前記開始準備条件に該当する工程の間に前記開始条件に該当する工程が存在するときに、前記開始条件に該当する工程の前の前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことを特徴とする請求項３記載の工程フローチェック装置。
【請求項５】
前記工程仕様ルール記憶部は、互いに異なるルールの一の工程仕様ルールおよび他の工程仕様ルールを記憶し、
前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記一の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、前記他の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、が存在するときに、前記一の工程仕様ルールおよび前記他の工程仕様ルールの各開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことを特徴とする請求項１記載の工程フローチェック装置。
【請求項６】
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールと、
をコンピュータにおいて照らし合わせるステップと、
前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックするステップと、
を含むことを特徴とする工程フローチェック方法。
【請求項７】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始条件および前記開始準備条件の一方又は両方に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かのチェックをコンピュータにおいて行わないことを特徴とする請求項６記載の工程フローチェック方法。
【請求項８】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在するときに、後に存在する前記開始準備条件に該当する工程を基準にコンピュータにおいてチェックを行うことを特徴とする請求項６記載の工程フローチェック方法。
【請求項９】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在し、かつ、前記開始準備条件に該当する工程の間に前記開始条件に該当する工程が存在するときに、前記開始条件に該当する工程の前の前記開始準備条件に該当する工程を基準にコンピュータにおいてチェックを行うことを特徴とする請求項８記載の工程フローチェック方法。
【請求項１０】
前記工程フローにおいて、一の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、前記一の工程仕様ルールと異なるルールの他の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、が存在するときに、前記一の工程仕様ルールおよび前記他の工程仕様ルールの各開始準備条件に該当する工程を基準にコンピュータにおいてチェックを行うことを特徴とする請求項６記載の工程フローチェック方法。
【請求項１１】
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールと、
を照らし合わせるステップと、
前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする工程フローチェックプログラム。
【請求項１２】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始条件および前記開始準備条件の一方又は両方に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かのチェックをコンピュータに実行させないことを特徴とする請求項１１記載の工程フローチェックプログラム。
【請求項１３】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在するときに、後に存在する前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１１記載の工程フローチェックプログラム。
【請求項１４】
前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在し、かつ、前記開始準備条件に該当する工程の間に前記開始条件に該当する工程が存在するときに、前記開始条件に該当する工程の前の前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１３記載の工程フローチェックプログラム。
【請求項１５】
前記工程フローにおいて、一の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、前記一の工程仕様ルールと異なるルールの他の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、が存在するときに、前記一の工程仕様ルールおよび前記他の工程仕様ルールの各開始準備条件に該当する工程を基準にチェックをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１１記載の工程フローチェックプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作成した工程フローを、予め定められた工程仕様ルールと照らし合わせて、仕様違反の有無をチェックする工程フローチェック装置、方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の工程フローチェック装置では、作成した工程フローの仕様違反の有無をチェック（工程フローチェック）するための工程仕様ルールとして、以下の３つのルールがある。
【０００３】
第１の工程仕様ルールとして、正方向および逆方向に係る存在必須ルールがある。正方向に係る存在必須ルールは、図８（ａ）に示すように、製造工程の開始工程から最終工程への方向（この方向を「正方向」）にチェックを行う際、２つの特定工程間に必須工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａから工程Ｃまでの間に工程Ｂが必須であるとき、開始条件；工程Ａ、終了条件；工程Ｃ、必須条件；工程Ｂと表す。逆方向に係る存在必須ルールは、図８（ｂ）に示すように、製造工程の終了工程から開始工程への方向（この方向を「逆方向」）にチェックを行う際、２つの特定工程間に必須工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｃから工程Ａまでの間に工程Ｂが必須であるとき、開始条件；工程Ｃ、終了条件；工程Ａ、必須条件；工程Ｂと表す。以上のような第１の工程仕様ルールは、特許文献１、３で開示されている。ここで、「開始条件」とは、チェックを開始するための工程を規定した条件をいう。「必須条件」とは、少なくとも開始条件に設定された工程が存在するときに開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程を規定した条件をいう。「終了条件」とは、チェックを終了するための工程を規定した条件をいう。
【０００４】
第２の工程仕様ルールとして、直前および直後に係る存在必須ルールがある。直前に係る存在必須ルールは、図９（ｃ）に示すように、ある特定工程の直前に直前工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｂの直前に工程Ａが必須であるとき、開始条件；工程Ｂ、必須条件；工程Ａと表す。直後に係る存在必須ルールは、図９（ｄ）に示すように、ある特定工程の直後に直後工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｂの直後に工程Ｃが必須であるとき、開始条件；工程Ｂ、必須条件；工程Ｃと表す。以上のような第２の工程仕様ルールは、特許文献２で開示されている。
【０００５】
第３の工程仕様ルールとして、存在禁止ルールがある。存在禁止ルールは、図１０に示すように、２つの特定工程間に禁止工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａから工程Ｃまでの間に工程Ｂの存在を禁止するとき、開始条件；工程Ａ、終了条件；工程Ｃ、禁止条件；工程Ｂと表す。以上のような第３の工程仕様ルールは、特許文献１、３で開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１５１３７４号公報
【特許文献２】特開２００１−９３７９３号公報
【特許文献３】特開平８-３１５０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、工程フローの多様化、複雑化により、特定工程後において工程フローチェックの対象外としたい場合がでてきており、従来の工程フローチェック装置および方法では、仕様違反の検出が困難になるケースがでてきている。
【０００８】
例えば、図１１に示すように、ケース（Ａ）の場合、高電流イオン注入後のレジスト剥離にはプラズマ剥離が必須であるが、ケース（Ｂ）の場合、シリコン酸化膜のウェットエッチング後の場合には（高電流イオン注入後の）プラズマ剥離を必須としないので、ケース（Ｂ）ではプラズマ剥離を工程フローチェックの対象外としたいといった場合がある。ケース（Ａ）においてプラズマ剥離が存在しない場合は仕様違反あり、ケース（Ｂ）においてプラズマ剥離が存在しない場合は仕様違反なし、となるようにしたいが、従来の工程フローチェック装置および方法では、工程仕様ルール（第１の工程仕様ルールの正方向に係る存在必須ルール）を用いてケース（Ａ）の仕様違反を検出する仕様ルールを適用した場合、ケース（Ｂ）には対応できず、ケース（Ｂ）のチェック結果は違反となってしまう（ちなみに真の仕様違反ではないがチェック結果が仕様違反となる場合を「擬似違反」という）。チェックの結果、仕様違反となった場合においては、その都度、人が判断して対処することになるが、このような擬似違反が多いと、確認の工数が増加するばかりか、最悪、真の仕様違反を見逃すケースが出てきてしまう。
【０００９】
本発明の主な課題は、工程フローの多様化、複雑化にも対応できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の視点においては、工程フローチェック装置において、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールを記憶する工程仕様ルール記憶部と、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローを記憶する工程フロー記憶部と、前記工程フローの各工程を、前記工程仕様ルールの前記開始条件、前記開始準備条件、および前記必須条件と照らし合わせて、前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするチェック部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始条件および前記開始準備条件の一方又は両方に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かのチェックを行わないことが好ましい。
【００１２】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在するときに、後に存在する前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことが好ましい。
【００１３】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記工程仕様ルールの前記開始準備条件に該当する工程が複数存在し、かつ、前記開始準備条件に該当する工程の間に前記開始条件に該当する工程が存在するときに、前記開始条件に該当する工程の前の前記開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことが好ましい。
【００１４】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記工程仕様ルール記憶部は、互いに異なるルールの一の工程仕様ルールおよび他の工程仕様ルールを記憶し、前記チェック部は、前記工程フローにおいて前記一の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、前記他の工程仕様ルールの開始準備条件に該当する工程と、が存在するときに、前記一の工程仕様ルールおよび前記他の工程仕様ルールの各開始準備条件に該当する工程を基準にチェックを行うことが好ましい。
【００１５】
本発明の第２の視点においては、工程フローチェック方法において、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールと、をコンピュータにおいて照らし合わせるステップと、前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックするステップと、を含むことを特徴とする。
【００１６】
本発明の第３の視点においては、工程フローチェックプログラムにおいて、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、前記開始条件に規定された工程の前に必ず存在する工程が規定された開始準備条件と、少なくとも前記開始条件および前記開始準備条件に設定された各工程が存在するときに前記開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程が規定された必須条件と、が設定された工程仕様ルールと、を照らし合わせるステップと、前記工程フローにおいて前記開始条件および前記開始準備条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおいて前記必須条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１７】
なお、上記工程フローチェックプログラムは、記録媒体（磁気ディスク、または磁気テープ、または光ディスク、もしくは、メモリカード、半導体メモリ等）に記憶され、読み出し装置及びインタフェースを介して、当該コンピュータに読み出し、主記憶にロードして実行することで、本発明を実施することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明（請求項１−１５）によれば、「準備開始条件」という項目を追加することで、これまでの工程仕様ルールでは実現できなかった工程フローの仕様をチェックできる。つまり、工程フローの多様化、複雑化により、従来の工程仕様ルールでは対応できなくなった工程仕様にも工程フローチェックができるようになり、工程フローの作成ミスによる製造不具合（半導体製造工程でいう、汚染事故）を未然に防止できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【００２０】
実施形態１に係る工程フローチェック装置１０は、作成した工程フローを、予め定められた工程仕様ルールと照らし合わせて、仕様違反の有無をチェックするコンピュータであり、表示部１１と、工程フロー入力部１２と、工程フロー記憶部１３と、工程仕様ルール入力部１４と、工程仕様ルール記憶部１５と、チェック部１６と、を有する。
【００２１】
表示部１１は、仕様違反の有無等の情報を表示する部分である。
【００２２】
工程フロー入力部１２は、技術者が作成完了した工程フローを入力するための部分である。工程フロー入力部１２では、仕様違反があった場合に、技術者が工程フローの修正を行う。工程フロー記憶部１３は、工程フロー入力部１２にて入力された工程フローを記憶する部分である。
【００２３】
工程仕様ルール入力部１４は、工程フローから導き出される工程仕様に基づいて作成された工程仕様ルールを入力するための部分である。工程仕様ルール記憶部１５は、工程仕様ルール入力部１４にて入力された工程仕様ルールを記憶する部分である。
【００２４】
チェック部１６は、工程フローと工程仕様ルールに基づいて仕様違反の有無のチェックを実行するためのプログラムを実装する。チェック部１６は、工程フロー記憶部１３に記憶されている工程フローと、工程仕様ルール記憶部１５に記憶されている工程仕様ルールと、を読み出して、当該工程フローが当該工程仕様ルールに適しているかどうかをチェックする。チェック部１６は、チェックした結果、仕様違反の有無を表示部１１に表示させる。チェック部１６は、仕様違反がなかった場合に、該当する工程フロー（仕様違反のないチェック済みのもの）を工程フロー記憶部１３から工程フロー記憶装置２１に送信する。
【００２５】
なお、工程フロー記憶部１３から送信された工程フローは、工程フローチェック装置１０の外部にある工程フロー記憶装置２１に記憶される。生産制御システム２２は、工程フロー記憶装置２１に記憶された工程フローを読み出して、当該工程フローに基づいて製造指示を加工装置２３や搬送設備２４に送信する。加工装置２３や搬送設備２４は、生産制御システム２２からの製造指示に基づいて所定の動作を行うことになる。
【００２６】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールについて図面を用いて説明する。図２は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【００２７】
図２に示す第４の工程仕様ルールは、従来の第１の工程仕様ルール（正方向に係る存在必須ルール；図８（ａ）参照）を改良したものである。第４の工程仕様ルールは、正方向に係る存在必須ルールである場合、製造工程の開始工程から最終工程への方向（正方向）にチェックを行う際、開始準備条件の後に存在する２つの特定工程間に必須工程があるかどうかをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａ以降の工程Ｂから工程Ｄまでの間に工程Ｃが必須であるとき、開始準備条件；工程Ａ、開始条件；工程Ｂ、終了条件；工程Ｄ、必須条件；工程Ｃと表す。
【００２８】
ここで、「開始条件」とは、チェックを開始するための工程を規定した条件をいう。「開始準備条件」とは、開始条件の前に必ず存在する工程を規定した条件をいい、作成した工程フローにおいて開始準備条件の後に開始条件が出現し、かつ、開始条件の後に終了条件が出現することで工程フローチェックを開始するための条件の１つである。「必須条件」とは、開始条件および開始準備条件に設定された工程が存在するときに開始条件に設定された工程と終了条件に設定された工程との間に必須となる工程を規定した条件をいう。「終了条件」とは、チェックを終了するための工程を規定した条件をいう。
【００２９】
図１１に示した従来技術の問題点では、第４の工程仕様ルールを適用することにより、期待通りの工程フローチェックを行うことができる。その時の工程仕様ルールの設定は、以下のようになる。なお、チェック結果は図３に示すようになる。図３は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく動作の一例を説明するための模式図である。
【００３０】
第４の工程仕様ルールとして、例えば、「ポジ塗布工程を開始準備条件として、以降の高電流Ｉ／Ｉ工程からレジスト剥離工程の間にプラズマ剥離工程が必須」と設定した場合、開始準備条件；ポジ塗布工程、開始条件；高電流Ｉ／Ｉ工程、終了条件；レジスト剥離工程、必須条件；プラズマ剥離工程と表す。図３（Ａ）では、開始条件；高電流Ｉ／Ｉ工程、及び、終了条件；レジスト剥離工程の前に、開始準備条件；ポジ塗布工程が存在するので、プラズマ剥離工程が必須条件となり、プラズマ剥離工程の有無を確認する工程フローチェックが行われることになる。一方、図３（Ｂ）では、開始条件；高電流Ｉ／Ｉ工程、及び、終了条件；レジスト剥離工程の前に、開始準備条件；ポジ塗布工程が存在しないので、プラズマ剥離工程が必須条件とならず、プラズマ剥離工程の有無を確認する工程フローチェックが行われない。
【００３１】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく他の動作について図面を用いて説明する。図４〜６は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく他の動作を説明するための模式図である。
【００３２】
工程フローチェック装置は、作成した工程フローにおいて（第４の工程仕様ルールの）開始準備条件のみの出現（図４（Ａ）参照）、及び、開始条件のみの出現（図４（Ｂ）参照）ではチェックを開始しない。なお、工程フローにおいて開始準備条件および開始条件のどちらも出現しないときはチェックを開始しない。
【００３３】
また、工程フローチェック装置は、作成した工程フローにおいて（第４の工程仕様ルールの）一の開始準備条件が出現し、さらに同一の工程仕様ルールの他の開始準備条件が出現した場合、他の開始準備条件を有効とし、一の開始準備条件をキャンセルし、他の開始準備条件に基づいてチェックを開始する。ただし、以下の場合にはこの限りでない。
【００３４】
作成した工程フローにおいて一の開始準備条件が出現し、さらに開始条件が出現した場合には、その後、他の開始準備条件（一の開始準備条件と同じもの）が出現しても一のチェックをキャンセルすることはない。図５を参照すると、第２の開始準備条件は開始条件が出現することにより第２の開始準備条件に基づいてチェックが開始されるため、その後、第３の開始準備条件が出現しても、第２の開始準備条件がキャンセルされることはない。
【００３５】
作成した工程フローにおいて、一の工程仕様ルールの開始準備条件が出現し、その後、他の工程仕様ルールの開始準備条件が出現した場合、工程フローチェック装置は、それぞれの開始準備条件に基づいてチェックを開始する。例えば、図６を参照すると、加工についての仕様ルールの開始準備条件が出現し、その後、洗浄についての仕様ルールの開始準備条件が出現しても、加工についての仕様ルールの開始準備条件がキャンセルされずに、それぞれの開始準備条件に基づいてチェックが開始される。
【００３６】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作について図面を用いて説明する。図７は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作を説明するためのフローチャートである。ここでは、特許文献１の図４に示されているフローチャートと比較しながら説明する。
【００３７】
まず、工程番号を示す変数ｎに０を設定する（ステップＳ１０）。なお、ステップＳ１０については、特許文献１の図４と同様である。
【００３８】
次に、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される開始準備工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１１）。開始準備工程でない場合（Ｓ１１のＮＯ）、変数ｎに１加算して（ステップＳ１２）、ステップＳ１１へ戻って処理を繰り返す。開始準備工程である場合（Ｓ１１のＹＥＳ）、ステップＳ１３に進む。なお、ステップＳ１１、１２については、特許文献１の図４にない追加事項である。
【００３９】
開始準備工程である場合（Ｓ１１のＹＥＳ）、変数ｎに１加算して（ステップＳ１３）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される開始工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１４）。開始工程である場合は（ステップＳ１４のＹＥＳ）、ステップＳ１８に進む。開始工程でない場合（ステップＳ１４のＮＯ）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される最終工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１６）。最終工程である場合は（ステップＳ１６のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ１６のＮＯ）、ステップＳ１３へ戻って処理を繰り返す。なお、ステップＳ１４、１６については、特許文献１の図４と同様である。
【００４０】
開始工程である場合は（ステップＳ１４のＹＥＳ）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される最終工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１８）。最終工程である場合は（ステップＳ１８のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ１８のＮＯ）、工数をカウントする変数ｉを０に設定する（ステップＳ２０）。なお、ステップＳ１８、２０については、特許文献１の図４と同様である。
【００４１】
次に、変数ｉを１加算し（ステップＳ２２）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される禁止工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ２６）。禁止工程に該当する場合（ステップＳ２６のＹＥＳ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が否定された旨（ＮＧ）のフラグをｏｎに設定し（ステップＳ２８）、ステップＳ３６に進む。禁止工程に該当しない場合（ステップＳ２６のＮＯ）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される必須工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ３０）。必須工程に該当する場合（ステップＳ３０のＹＥＳ）、必須フラグをｏｎに設定し（ステップＳ３２）、ステップＳ３４へ進む。必須工程に該当しない場合（ステップＳ３０のＮＯ）、そのままステップＳ３４へ進む。なお、ステップＳ２２、２４、２６、２８、３０、３２については、特許文献１の図４と同様である。
【００４２】
必須工程に該当しない場合（ステップＳ３０のＮＯ）、又は、ステップＳ３２の後、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される終了工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ３４）。終了工程に該当する場合（ステップＳ３４のＹＥＳ）、ステップＳ１３に戻って処理を繰り返す。終了工程に該当しない場合（ステップＳ３４のＮＯ）、ｎ＋ｉ工程が最終工程かどうかを判断する（ステップＳ３６）。最終工程である場合（ステップＳ３６のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ３６のＮＯ）、工数をカウントする変数ｉが工程仕様ルールで示される検査工数（ｋ）に等しいかどうか判断する（ステップＳ３８）。変数ｉが検査工数（ｋ）に等しくない場合（ステップＳ３８のＮＯ）、ステップＳ２２へ戻って処理を繰り返す。変数ｉが検査工数（ｋ）に等しい場合（ステップＳ３８のＹＥＳ）、ステップＳ１３へ戻って処理を繰り返す。なお、ステップＳ３４、３６、３８については、特許文献１の図４と同様である。
【００４３】
最終工程まで検査が進んだら、禁止フラグがｏｎに設定されているかどうかを判断する（ステップＳ４０）。当該フラグがｏｎではない場合（ステップＳ４０のＮＯ）、必須フラグがｏｎに設定されているかどうか判断する（ステップＳ４２）。必須フラグがｏｎに設定されている場合（ステップＳ４２のＹＥＳ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が認められた旨（ＯＫ）の判断を示して（ステップＳ４６）、終了する。禁止フラグがｏｎに設定されている場合（ステップＳ４０のＹＥＳ）、又は、必須フラグがｏｎに設定されていない場合（ステップＳ４２のＮＯ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が否定された旨（ＮＧ）の判断を示して（ステップＳ４４）、終了する。なお、ステップＳ４０、４２、４４、４６については、特許文献１の図４と同様である。
【００４４】
なお、図７に示されたフローチャートは工程フローチェックの方向が正方向に係る存在必須ルールである場合を示しているが、フローチェックの方向が逆方向に係る存在必須ルールである場合は、ステップＳ１３およびステップＳ２４における変数ｎの加算を減算にすればよい。開始準備条件は存在禁止ルール、存在必須ルール（直前、直後）においても同様に設定できる。
【００４５】
実施形態１によれば、「準備開始条件」という項目を追加することで、これまでの工程仕様ルールでは実現できなかった工程フローの仕様をチェックできる。つまり、工程フローの多様化、複雑化により、従来の工程仕様ルールでは対応できなくなった工程仕様にも工程フローチェックができるようになり、工程フローの作成ミスによる製造不具合（半導体製造工程でいう、汚染事故）を未然に防止できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく動作の一例を説明するための模式図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく第１の他の動作を説明するための模式図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく第２の他の動作を説明するための模式図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく第３の他の動作を説明するための模式図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図８】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第１の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図９】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第２の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図１０】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第３の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図１１】従来例に係る工程フローチェック装置の問題点を示した模式図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  工程フローチェック装置
１１  表示部
１２  工程フロー入力部
１３  工程フロー記憶部
１４  工程仕様ルール入力部
１５  工程仕様ルール記憶部
１６  チェック部
２１  工程フロー記憶装置
２２  生産制御システム
２３  加工装置
２４  搬送設備
【図１】
0004841900.tif 000002
【図２】
0004841900.tif 000003
【図３】
0004841900.tif 000004
【図４】
0004841900.tif 000005
【図５】
0004841900.tif 000006
【図６】
0004841900.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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