(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリーンシート積層体を支持する載置面を有するステージと、
前記グリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能であって、前記厚さ方向に移動することによって前記ステージ上に支持された前記グリーンシート積層体を切断するカッターと、
前記グリーンシート積層体において前記カッターによって切断された領域に当接して前記切断された領域を冷却する冷却手段と、
前記グリーンシート積層体の切断を容易に実施可能とするために、前記グリーンシート積層体を加熱する加熱手段と、を有することを特徴とするグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項２】
前記加熱手段は前記ステージと一体であることを特徴とする請求項１記載のグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項３】
前記加熱手段は前記カッターが切断を行う領域に近接する切断前の領域に当接する当接面を有し、前記当接面を介して前記グリーンシート積層体を加熱することを特徴とする請求項１記載のグリーンシート積層体の切断装置。
【請求項４】
グリーンシート積層体を支持するステージにおけるグリーンシート積層体載置面上に前記グリーンシート積層体を載置する工程と、
前記グリーンシート積層体を加熱する工程と、
前記グリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能なカッターを、前記厚さ方向に移動することによって前記ステージ上に支持された前記グリーンシート積層体を切断する工程と、
前記グリーンシート積層体において前記カッターによって切断された領域に冷却手段を当接させて前記領域を冷却する工程と、を有することを特徴とするグリーンシート積層体の切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、未焼成のグリーンシート積層体を切断してグリーンチップを製造するためのグリーンシート積層体の切断装置及び切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
グリーンチップを製造する方法として、支持体に保持されたグリーンシート積層体を切断する切断工程と、切断工程によって切断されたグリーンシート積層体の切断面を露出させるように、グリーンシート積層体を外側に向けて支持体を折り曲げる折り曲げ工程と、折り曲げ工程によって露出されたグリーンシート積層体の切断面に融着防止剤を散布する散布工程とを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この特許文献１に記載されたグリーンチップを製造する方法では、散布工程で、露出されたグリーンシート積層体の切断面に融着防止剤を散布することで、焼成時におけるグリーンチップ同士の融着の防止を図っている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１７９４７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
グリーンチップの切り出しにおいては、切断刃等によってグリーンシート積層体を押圧して切断しているが、この押圧・切断の操作は短い時間間隔で該グリーンシート積層体に対して繰り返して施される。その際、切断刃はある程度の厚みを有するため、切断操作時に切断刃がグリーンシート積層体内に侵入することにより該グリーンシートの面内に応力が発生する。該応力によって既に切断済みの部分がそれ以前の切断部分に近づくように押され、各々の切断面が接触する場合がある。グリーンシート積層体は可塑剤、バインダ等を含有しており、このような場合、接触した切断面同士が付着する恐れがある。グリーンシート積層体を切断する際に、切断操作を容易に行うために、該グリーンシート積層体を加熱することが一般的に行われているが、この加熱操作によって再付着発生の可能性は更に高まってしまう。再付着の発生したグリーンシート積層体は、この再付着部分を分離することが困難となり、分離率を低下させる原因となる。
【０００５】
引用文献１に開示する内容は、融着防止剤の散布によって、切断後の諸工程、具体的には焼成時においてグリーンチップ同士が再付着することを防止するものである。しかしながら、当該文献に述べられるグリーンチップの製造方法は、焼成時のグリーンチップ同士の融着防止を目的とするものであり、切断時において問題となるグリーンシート積層体における再付着を有効に防止できないものであった。
【０００６】
本発明は、以上の状況に鑑み、切断されたグリーンシート積層体における切断面同士の再付着を十分に抑制することが可能となるグリーンシートの切断装置及び切断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係るグリーンシート積層体の切断装置は、グリーンシート積層体を支持する載置面を有するステージと、グリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能であって該厚さ方向に移動することによってステージ上に支持されたグリーンシート積層体を切断するカッターと、グリーンシート積層体においてカッターによって切断された領域に当接して該切断された領域を冷却する冷却手段と、グリーンシート積層体の切断を容易に実施可能とするためにグリーンシート積層体を加熱する加熱手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
なお、上述したグリーンシート積層体の切断装置において、加熱手段はステージと一体であっても良い。或いは、加熱手段は、カッターが切断を行う領域に近接する切断前の領域に当接する当接面を有し、該当接面を介してグリーンシート積層体を加熱する様式であっても良い。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係るグリーンシート積層体の切断方法は、グリーンシート積層体を支持するステージにおけるグリーンシート積層体載置面上にグリーンシート積層体を載置する工程と、グリーンシート積層体を加熱する工程とグリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能なカッターを、厚さ方向に移動することによってステージ上に支持されたグリーンシート積層体を切断する工程と、グリーンシート積層体においてカッターによって切断された領域に冷却手段を当接させて該領域を冷却する工程と、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、切断・分離されたグリーンシート積層体各々を冷却することによって、切断刃が再度グリーンシート積層体に進入することで発生する応力によって当該積層体が変形することを防止している。また、切断領域近傍を介して切断面自体をも冷却し、これにより切断面同士の再付着する特性を低下させている。以上の効果の組み合わせによって、切断後のグリーンシート積層体同士の再付着を防止することが可能となり、グリーンシート積層体の分離率を向上することが可能となる。
【００１１】
また、本発明によれば、切断予定の部位についてはこれを冷却せず、切断済みの部位についてのみこれを効率的に冷却することが可能となる。即ち、切断後のグリーンシート積層各々の再付着を防止する際に、切断すべき切断予定部位の加熱を阻害することが無くなる。従って、グリーンシート積層体の切断操作そのものの効率を低下させること無く、分離効率の向上を図ることが可能となる。
【００１２】
また、本発明によれば、グリーンシート積層体全体としてはこれを冷却することとし、切断予定部位について切断時においてのみ加熱することとしている。従って、切断済み領域の変形能を低下させると同時に、切断予定部位のみ容易に切断できる状態とした上での切断操作の実施が可能となる。即ち、グリーンシート積層体の切断操作そのものの効率を低下させること無く、分離効率の向上を図ることが可能となる。
【００１３】
また、本発明によれば、グリーンシート積層体における切断済みの部位に関しての再加熱を行わないこととしている。これにより、切断済みの部位の応力付加時の変形量を抑えることが可能となる。従って、切断済み部分が変改して再付着する可能性を低減し、分離効率の向上を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明における複数の実施形態に係るグリーンシート積層体の切断装置について、以下に図面を参照して説明する。なお、以下の各々の実施形態に付いて同一の機能を有する構成要素については同一の参照符号を用いることとする。なお、本明細書において述べるグリーンシート積層体は、各種積層型の電子部品の製造過程においてその中間体として形成されたものを言う。より具体的には、フィライト、ガラス系セラミック等の粉末、バインダ、可塑剤、溶剤等から構成され、電子部品における絶縁領域を形成するシート、及び該電子部品における導電性領域を形成するために構成された当該シート内部に導電性の領域を有するシート等を積層し、且つ積層方向にこれらを加圧して圧着させる事で得られたシート状の部材、或いは単一のシートからなる部材を言う。また、当該シート或いはシート状部材は、これらを支持するシート状の支持体を有するものであっても良い。
【００１５】
図１は、本発明の第一の実施形態に係る切断装置について、これを側面から見た状態において特定構成の部分断面を同時に示す概略構成図である。グリーンシート積層体切断装置１は、カッター３、ステージ１０、冷却手段２０、及び加熱手段３０を備えている。ステージ１０は、水平方向に延在する載置面１０ａを有し、該載置面１０ａ上に被切断物であるグリーンシート積層体２を支持している。更にステージ１０は、図中Ｂ方向（水平面内における所定方向）への移動が可能となっている。また、該ステージ１０は加熱手段３０としての役割を有しており、グリーンシート積層体２が所定の温度となるように、載置面１０ａ上に該積層体２を支持すると同時にこれを加熱している。
【００１６】
カッター３は図中の矢印Ａ方向（載置面１０ａの延在面である水平面に対する鉛直方向即ちグリーンシート積層体の厚さ方向）に駆動可能とされており、当該方向において所定量の往復運動を行うことによって、グリーンシート積層体２に所定量食い込んで切断済み領域を形成する。なお、カッター３の切断刃３ａ（切断刃の刃先）は、図１における紙面に垂直な方向に延在しており、当該紙面に対して垂直となる切断面を形成する。ステージ１０のＢ方向への駆動は、カッター３の一回の切断操作終了後に所定量のみ行われ、その後二回目の切断操作が行われる。
【００１７】
冷却手段２０は、カッター３に対して、ステージ１０が駆動されるＢ方向下流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接すると共に所定の幅を持ってグリーンシート積層体２の表面に対して当接可能な当接部材２１を有している。当接部材２１は、冷却ユニット２３によって略Ａ方向に往復運動可能に支持されている。また、冷却ユニット２３は内部に冷却媒体流通経路２３ａを有しており、該経路２３ａに例えば冷却されたエアを流すことにより、当接部材を所定の低温に維持することを可能としている。
【００１８】
なお、加熱手段３０としては、ステージ１０内部に抵抗加熱タイプ、温水循環型、近赤外線型、等、公知の種々の加熱機構を内蔵させることによってこれを構築することが可能である。また、冷却手段２０において、当接部材２１にはポーラスな超硬合金空なる部材を用いることとし、冷却媒体として用いたエアを該部材の空隙をかいして、グリーンシート積層体２の表面にこれを吹きつけることとしても良い。また、図中、当接部材２１は切断後の領域を所定幅のみ冷却することとしているが、冷却幅は特に規定されるものではなく、切断後の領域において変形を防止し得る幅を付与すれば良い。また、冷却手段２０における当接部材２１の駆動は、支点を介した回転によるもの、直動ガイドによるもの、カム等によるもの等公知の種々の駆動系によって、グリーンシート積層体２の表面に対して、僅かな空間を形成して浮上・当接を切り替えられれば良い。これら構成は本発明の主たる内容と直接的な関係を有さず且つ耕地の種々の構成を適用可能でありこの場合、当接部材２１の移動方向はＡ方向のみに限定し得ないことから、該部材の移動方向は略Ａ方向と以下に述べる。
【００１９】
次に、当該グリーンシート積層体切断装置１を用いて実際にグリーンシート積層体２を切断する一連の工程について説明する。まず、ステージ１０における加熱手段３０を作動させ、載置面１０ａ上に支持されたグリーンシート積層体２を加熱する。グリーンシート積層体２が所定温度となった後、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動する。ステージ１０停止後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われ、グリーンシート積層体２の所定位置に切断面が形成される。切断面形成後、ステージ１０はＢ方向に所定量駆動する。これにより、次の切断予定部位が切断刃３ａの直下に位置することとなる。なお、ステージ１０の所定量の駆動が行われる間、冷却手段２０は当接部材２１を略Ａ方向上方に保持している。
【００２０】
ステージ１０の所定量の駆動が終了すると同時に、冷却手段２０は当接部材２１を略Ａ方向下方（グリーンシート積層体表面に当接する方向）に移動する。当接部材２１がグリーンシート積層体２の表面と当接し、切断済み部位の所定温度までの冷却が行われる。該冷却の操作が行われることと平行して、切断刃３ａの降下・上昇の操作が再度行われ、次なる切断予定部位の切断操作が行われる。該切断操作終了後、当接部材２１の略Ａ方向上方への移動、及びステージ１０のＢ方向における所定量の駆動が行われる。以下、以上述べた操作が繰り返して行われ、グリーンシート積層体２の略全面に渡る切断操作が実施される。
【００２１】
本実施形態によれば、切断後のグリーンシート積層体２について、所定の領域においてこれを冷却することで該シート延在方向に作用する応力が新たな切断領域から加えられた場合であっても、該応力による該シートの変形量を抑えることが可能となる。従って、切断後の分離された部分が該応力によって変形・移動し、切断面が再付着する可能性を低減することが可能となる。
【００２２】
次に、図１と同様の様式にてグリーンシート積層体切断装置１を示す図２を参照し、本発明の第二の実施形態について説明する。本実施形態においては、加熱手段３０がステージ１０と分離して配置されている。即ち、本実施形態においては、ステージ１０はグリーンシート積層体２を支持し、且つ支持状態でＢ方向に駆動するための機構のみから構成されている。加熱手段３０は、第一の実施形態と同様に、不図示の、公知の加熱源を内蔵し、且つグリーンシート積層体２の表面に当接する当接加熱部３０ａを有している。加熱当接部３０ａは、ステージ１０が駆動されるＢ方向上流側であって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２に食い込む領域に対して平行且つ隣接すると所定幅の当接領域を有している。また、加熱手段３０は、冷却手段２０と同様の構成を有することにより、冷却手段２０と同様に略Ａ方向における往復動作を行うことが可能となっている。
【００２３】
以下に、本実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて実際にグリーンシート積層体２を切断する一連の工程について説明する。まず、ステージ１０における載置面１０ａ上に支持されたグリーンシート積層体２に対して、加熱手段３０を動作させて、当接加熱部３０ａを該積層体表面に当接させ、これを所定温度まで加熱する。グリーンシート積層体２が所定温度となった後、切断予定部位がカッター３の切断刃３ａ直下となるようにステージ１０を駆動する。その際、加熱手段３０は当接加熱部３０ａを略Ａ方向上方に移動させ、ステージ１０の駆動時でのグリーンシート積層体表面との当接状態を回避する。ステージ１０停止後、切断刃３の降下・上昇の操作が行われ、グリーンシート積層体２の所定位置に切断面が形成される。切断面形成後、ステージ１０はＢ方向に所定量駆動する。これにより、次の切断予定部位が切断刃３ａの直下に位置することとなる。同時に、当接加熱部３０ａは略Ａ方向下方に移動し、次の切断予定部位の表面と当接して当該部位の加熱を行う。なお、ステージ１０の所定量の駆動が行われる間、冷却手段２０は当接部材２１を略Ａ方向上方に保持している。
【００２４】
ステージ１０の所定量の駆動が終了すると同時に、冷却手段２０は当接部材２１を略Ａ方向下方（グリーンシート積層体表面に当接する方向）に移動する。当接部材２１がグリーンシート積層体２の表面と当接し、切断済み部位の所定温度までの冷却が行われる。該冷却の操作が行われることと平行して、切断刃３ａの降下・上昇の操作が再度行われ、次なる切断予定部位の切断操作が行われる。また、同時に、加熱手段３０によって、更なる切断該切断予定部位の加熱も行われる。操作終了後、当接部材２１の略Ａ方向上方への移動、及びステージ１０のＢ方向における所定量の駆動が行われる。以下、以上述べた操作が繰り返して行われ、グリーンシート積層体２の略全面に渡る切断操作が実施される。
【００２５】
本実施形態においては、グリーンシート積層体２における切断予定部位について、切断直前に当該部位を切断が容易となる温度まで加熱し、切断後には冷却手段を用いて該切断済み部位の変形を抑えることとしている。本実施例においては、切断が行われる部位について切断操作の直前において切断を好適に行ない得る温度まで加熱することとし、且つ他の領域に関しては常に切断による応力が発生した場合であってもこの応力による変形量が問題とならなくなる状態まで該グリーンシート積層体の保持温度を低下させることとしている。また、切断時に加熱された領域は、切断後冷却手段によって速やかに冷却することで該シートを急速に該保持温度まで冷却ことを可能としている。これにより、切断効率を低下させることなく、グリーンシート積層体の分離効率を向上することが可能となる。
【実施例】
【００２６】
次に、本発明の実施形態を具現化した、本発明の第一の実施例に係るグリーンシート積層体分離装置１について、図面を参照して説明する。なお、上述した実施形態において示した構成要素と同一の機能を有する構成要素に関しては、同一の参照符号を用いてこれを説明することとする。図３Ａ及び３Ｂは上記第一の実施形態を具現化したものであり、図３Ａは本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置１の部分断面を含む正面図を、また図３Ｂは図３Ａに示す装置の部分断面を含む側面図を各々示している。
【００２７】
本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置１は、基体としてのメインフレーム部材５とサブフレーム部材７とを有している。メインフレーム部材５は、正面から見て略逆Ｕ字形状を有しており、鉛直方向においてＵ字の両直線部が並立するように配置されている。該メインフレーム部材５におけるＵ字水平部の上部略中央には、アクチュエータ１３が配置され、該メインフレーム部材５によって支持されている。アクチュエータ１３は、下方に伸びるアクチュエータロッド１３ａを有しており、該ロッド１３ａはアクチュエータ１３によって延在方向における伸縮を行う。また、メインフレーム部材５は下方において、後述する冷却手段の一部を収容する孔部５ａを有しており、該冷却手段の降下量を規制するストッパ５ｂを該孔部５ａの内部底面に有している。また、メインフレーム部材５は、略Ｕ字の両直線部における向かい合う部分配置されたガイドレール５ｃを有している。
【００２８】
サブフレーム部材７はメインフレーム部材５と同様に略逆Ｕ字形状を有しており、メインフレーム部材５の略Ｕ字の内側において同一向きとなるように配置される。サブフレーム部材７の水平方向に延在するＵ字水平部は、アクチュエータロッド１３ａの端部と結合されている。サブフレーム部材７の鉛直方向に伸びる両直線部における、メインフレーム部材５の両直線部と向かい合う部分には、スライダ７ａが固定されている。当該スライダ７ａは、メインフレーム部材５におけるガイドレール５ｃと摺動可能に係合している。従って、アクチュエータ１３が作動することによって、サブフレーム部材７は、メインフレーム部材５に対して鉛直方向に移動することが可能となる。
【００２９】
切断刃３ａを実際に保持し、カッター３の構成要素となる切断刃保持部材１５は、サブフレーム部材７における該Ｕ字形状の水平部分と略平行に配置される棒状の部材からなる。該切断刃保持部材１５は、略逆Ｕ字形状のサブフレーム部材７の下端開放部分を閉鎖するように、該サブフレーム部材７の下端部と一体的に連結されている。また、切断刃保持部材１５は、サブフレーム部材７の移動方向において、該サブフレーム部材７との結合位置とは反対の位置において、切断刃３ａを実際に保持する切断刃ホルダ１５ａを有している。当該切断刃ホルダ１５ａは、メインフレーム部材５の下方（略逆Ｕ字形状における開放部方向）に配置されるステージ１０と向かい合う部分において切断刃３ａを保持している。また、切断刃３ａの刃先はサブフレーム部材７のＵ字水平部分と平行に延在するように配置される。
【００３０】
また、切断刃保持部材１５は、サブフレーム部材７のＵ字形成面（Ｕ字を含む平面）に垂直となると共にＵ字の対向する両直線部の外側に位置する規定面において、Ｕ字両直線部と同方向に延在する冷却手段用ガイドレール１５ｂを有している。また、ガイドレールが形成される該規定面内には後述する冷却ユニットに埋設された冷却手段ストッパピン２３ｃと協働して冷却手段の移動を規制するための冷却手段ストッパ１５ｃが配置されている。なお、本実施例においては、サブフレーム部材７と切断刃保持部材１５とを異なる部材から構成されることとしているが、これらを最初から一体の部材として構成しても良い。
【００３１】
冷却ユニット２３は、側面から見た状態において、下部直線領域がステージ１０の載置面１０ａと平行に延在し且つ直立直線部分が上述した規定面と平行に延在する略Ｌ字形状を有している。また各々の部分について、前者は水平面内（載置面１０ａと平行な面内）に延在すると共に後者は該規定面内に延在している。また、直立直線部分を構成する平板部分はＵ字形成面から規定される規定面と平行に位置し、且つ下部直線領域を構成する平板部分は切断刃保持部材１５が配置される側に突出している。該冷却ユニット２３は更に、切断刃保持部材１５における冷却手段用ガイドレール１５ｃと摺動可能に係合する冷却手段スライダ２３ｂを有している。また、冷却手段スライダ２３ｂは、付勢手段２３ｅの作用により、冷却ユニットに設けられた冷却手段ストッパピン２３ｃと冷却手段ストッパ１５ｃとを所定の付勢力下において当接させている。
【００３２】
冷却ユニット２３はまた更に、前述した規定面内において両端部に突出する突出領域２３ｄを有している。当該突出領域２３ｄは、前述したメインフレーム部材５に設けられた孔部５ａ内部に収容されている。当該孔部５ａ下面に埋設されたストッパ５ｂの上端部と当該突出領域２３ｄとが当接することで冷却ユニット２３の降下量が規定される。冷却ユニット２３における略Ｌ字の下部直線領域を構成する部分内部には、水、エア等の冷却媒体を循環させるための冷却媒体流通路２３ａが形成されている。該流通路２３ａはグリーンシート積層体２の幅、と略同等以上の幅（長さ）となるように冷却ユニット２３の延在方向と平行に形成されており、その両端部において導入開口及び排出開口が形成されている。
【００３３】
ここで、冷却ユニット２３は、グリーンシート積層体２を効率的に冷却する観点から、熱伝導性の高い材料から構成されることが好ましい。また、冷却媒体流通路２３ａの下方面であって、グリーンシート積層体２と当接する部分に、熱伝導性の高い部材を当接部材２１として配置しても良い。なお、これら図３Ａ及び図３Ｂにおいて、冷却媒体を冷却媒体流通路２３ａに送るために導入開口及び排出開口と各々繋がれる媒体循環装置については、通常の冷却媒体の循環装置を使用可能であり、本発明の主たる構成に寄与するとことが特にないため、ここでの説明は省略する。
【００３４】
ステージ１０は、前述したようにグリーンシート積層体２を載置可能な水平な載置面１０ａを有する。該載置面１０ａを含む部材は不図示の制動装置によって駆動され、水平方向（図３Ａにおける紙面に垂直な方向）に間歇的に移動可能であると同時に、載置面１０ａに垂直な軸を中心に回転も可能となっている。なお、本実施例においては、該ステージ１０は不図示の熱源を内蔵しており、載置面１０ａ表面を９０℃程度以下の温度に維持することが可能となっている。
【００３５】
なお、本実施例においては、メインフレーム部材５、アクチュエータ７、サブフレーム部材５、切断刃保持部材１５、切断刃３ａ等によって実施形態におけるカッター３が構成される。また、メインフレーム部材５、アクチュエータ７、サブフレーム部材５、切断刃保持部材１５、冷却ユニット２３等によって実施形態における冷却手段が構成される。また、本実施例におけるステージ１０は実施形態におけるステージに、加熱手段３０は加熱源を内蔵したステージ１０に対応する。
【００３６】
次に、本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置１を用いて、実際にグリーンシート積層体２を切断する操作について説明する。切断操作において、まずアクチュエータ１３が作動して、切断刃３ａを上昇させ、ステージ１０の載置面１０ａからグリーンシート積層体２の厚さよりも大きな間隔を隔てる位置まで移動させる。この段階で、載置面１０ａ上に載置されたグリーンシート積層体２は、ステージ１０により加熱され、所定の温度にて保持されている。この状態からステージ１０は移動し、グリーンシート積層体２の切断予定部位と切断刃３ａの降下位置とを一致させる。
【００３７】
以下、実際の切断操作が開始される。まず、アクチュエータ１３を作動して、サブフレーム部材７を降下させる。これに伴って切断刃支持部材１５も降下する。その際、冷却ユニット２３に設けられた冷却手段ストッパピン２３ｃと冷却手段ストッパ１５ｃとは係合しており、冷却ユニット２３は切断刃支持部材１５と一体として降下する。冷却ユニット２３は突出領域２３ｄがストッパ５ｂと当接することによって、降下が停止される。この停止状態において、該部材とグリーンシート積層体２との間での熱伝達が好適に行われるように、所定の当接圧をもって当接部材２１がグリーンシート積層体２の表面と当接するように、ストッパ５の高さ（突出領域２３ｄとストッパ５との当接位置）が設定されている。当接部材２１は、切断刃３ａの刃先がグリーンシート積層体２の内部に侵入する以前に該シート表面と当接するよう、切断刃との位置関係が設定されている。
【００３８】
この状態から、サブフレーム部材７を更に降下させると、切断刃保持部材１５は更に降下を続ける。しかし、冷却ユニット２３は、冷却手段用ガイドレール１５ｃと冷却手段スライダ２３ｂとの作用により、切断刃保持部材１５の動作に影響されず、グリーンシート積層体２との当接状態を一定に保持する。これにより、当接部材２１の当接領域においてグリーンシート積層体２は所定の温度まで冷却され、水平面内に作用する応力を受けた場合であっても、当該領域内での該積層体２が大きく変形することを防止できる。
【００３９】
切断刃保持部材１５が更に降下を続けることによって、切断刃３ａがグリーンシート積層体２内部に侵入する。アクチュエータ１３の動作は、切断刃３ａの刃先が、グリーンシート積層体２の裏面に配置される支持体に食い込む程度まで続けられる。以上の操作により、グリーンシート積層体２における切断予定部位の切断操作が終了する。切断終了後、これまでとアクチュエータ１３はサブフレーム部材７を上昇させるように動作する。これにより、切断時とは逆の順序で各部材が動作し、切断前の状態に各構成が改めて配置される。
【００４０】
以上の動作を順次繰り返し、グリーンシート積層体２の全面に対して切断面を形成した後、ステージ１０は載置面１０ａに垂直な軸を中心に９０°回転する。回転後、該グリーンシート積層体２の回転後の方向における切断予定部位を切断刃３ａの直下に位置させ、再度上述した切断動作を繰り返して行う。これにより、略直方形状のチップ形状とされた部材が複数個同時に得られる。
【００４１】
以上述べたように、本実施例に拠れば、グリーンシート積層体における切断後の領域に冷却手段における当接部材を当接させることによって、当該領域周辺の変形能を低下させることが可能となる。従って、次の切断予定部位に切断刃が進入して該シートの延在面方向に作用する応力が発生した場合であっても、切断済み領域の変形量を抑制し、切断面同士の再付着を防止することが可能となる。その結果、グリーンシート積層体の分離効率を向上させることが可能となる。
【００４２】
次に、第一の実施形態を具現化した第二の実施例について述べる。図４Ａ及び図４Ｂは、各々図３Ａ及び図３Ｂと同様の様式にて本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置を示したものである。従って、図３Ａ等と同様に、先に述べた構成要素と同一の構成要素については同一の参照符号を用いて説明することとし、且つ重複する構成要素についての説明は省略することとする。
【００４３】
本実施例においては、冷却媒体流通路２３ａの下方面であって、グリーンシート積層体２と当接する部分に、所謂ポーラスな超硬材料からなる当接部材２１ａを配置している。該当接部材２１ａは、例えば、超硬合金或いはセラミック、及び樹脂からなる材料を焼結して得られる通気性を有する多孔質体の部材を用いて構成されている。従って、冷却媒体流通経路にエア等の冷却媒体を用いた場合、該部材内部に存在する多量の孔を介して表面から冷却媒体たるエアをグリーンシート積層体表面に吹きつけることが可能となる。本構成によれば、グリーンシート積層体の表面及び切断後の切断面に対して、直接冷却媒体を接触させることが可能となる。従って、冷却媒体より効率的な該積層体の冷却を行うことが可能となる。
【００４４】
次に、第二の実施形態を具現化した第三の実施例について述べる。図５Ａ及び図５Ｂは、各々図３Ａ及び図３Ｂと同様の様式にて本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置を示したものであるが、図５Ａは当該装置を背面側（加熱ユニットが配置される方向）から見た状態を示している。従って、図３Ａ等と同様に、先に述べた構成要素と同一の構成要素については同一の参照符号を用いて説明することとし、且つ重複する構成要素についての説明は省略することとする。
【００４５】
本実施例においては、加熱手段３０がステージ１０と分離されて別ユニットとして構築され、グリーンシート積層体に対して加熱作用を有さない点において、第一及び第二の実施例と異なっている。具体的には、先にも述べたように、次の切断操作において切断される切断予定部位に対して、当該部位と当接可能な加熱ユニットを当接させ、当該部位を容易に切断できる温度まで加温し、その後応力による変形を抑え得るまで、切断済み部位等を冷却することとしている。以下、具体的構成について説明する。
【００４６】
本実施形態に置いて、切断刃保持部材１５は、サブフレーム部材７のＵ字形成面（Ｕ字を含む平面）に垂直となると共にＵ字の対向する両直線部の外側に位置する規定面において、Ｕ字両直線部と同方向に延在する加熱手段用ガイドレール１５ｂを有している。また、ガイドレールが形成される該規定面内には後述する加熱ユニット３１に埋設されたストッパピン３１ｃと協働して加熱手段の移動を規制するための加熱手段ストッパ１５ｇが配置されている。なお、本実施例においては、サブフレーム部材７と切断刃保持部材１５とを異なる部材から構成されることとしているが、これらを最初から一体の部材として構成しても良い。
【００４７】
加熱ユニット３１は、側面から見た状態において、下部直線領域がステージ１０の載置面１０ａと平行に延在し且つ直立直線部分が上述した規定面と平行に延在する略Ｌ字形状を有している。また各々の部分について、前者は該規定面内に延在すると共に後者は水平面内（載置面１０ａと平行な面内）に延在している。また、直立直線部分を構成する平板部分はＵ字形成面から規定される規定面と平行に位置し、且つ下部直線領域を構成する平板部分は切断刃保持部材１５が配置される側に突出している。該突出部分は、冷却ユニット２３の突出部分と略向かい合うように配置されている。該加熱ユニット３１は更に、切断刃保持部材１５における加熱手段用ガイドレール１５ｆと摺動可能に係合する加熱手段スライダ３１ｂを有している。また、加熱手段スライダ３１ｂは、付勢手段３１ｅの作用により、加熱ユニットに設けられた加熱手段ストッパピン３１ｃと加熱手段ストッパ１５ｇとを所定の付勢力下において当接させている。
【００４８】
加熱ユニット３１はまた更に、前述した規定面内において両端部に突出する突出領域３１ｄを有している。当該突出領域３１ｄは、前述したメインフレーム部材５に設けられた孔部５ａ内部に収容されている。当該孔部５ａ下面に埋設されたストッパ５ｂの上端部と当該突出領域３１ｄとが当接することで加熱ユニット３１の降下量が規定される。加熱ユニット３１における略Ｌ字の下部直線領域を構成する部分内部には、加熱源３１ｆが形成されている。該加熱源３１ｆはグリーンシート積層体２の幅、と略同等以上の幅（長さ）となるように冷却ユニット２３の延在方向と平行に形成されている。当該構成を有することにより、切断直前の切断予定部位に対して、加熱ユニット３１を当接させ、切断操作を容易に実施し得る状態まで、当該部位を加温しておくことが可能となる。
【００４９】
なお、本実施例においては、メインフレーム部材５、アクチュエータ７、サブフレーム部材５、切断刃保持部材１５、加熱ユニット３１等によって実施形態における加熱手段が３０構成される。また、本実施例においては、冷却ユニッ２３と加熱ユニットとが同一のストッパ５ｂによって降下位置が規定されるため、これら各々の略Ｌ字の下部直線領域の下面の位置によって個々のユニットの当接タイミングを規定している。しかし、各々のユニットに対して対応するストッパを各々配することとして、当接タイミングを規定することとしても良い。
【００５０】
以上本発明の実施例について説明したが、本発明は上述した実施形態或いは実施例の具体的構成に限定されない。例えば、冷却ユニット及び加熱ユニットは、カッター３の駆動を司るアクチュエータ１３により駆動されることとしているが、例えば該アクチュエータとは独立した駆動系を有することとしても良い。また、各々の構成の配置及び駆動方向は、グリーンシート積層体が水平に支持されることを前提として、全て規定されているが、これらを異なる方向において規定することとしても良い。また、冷却ユニット及び加熱ユニットは、各々フィードフォワードタイプのものを用いてもよく、各ユニット自身が温度調整をすることが可能なフィードバックタイプのものを用いても良い。また、加熱源として、近赤外線ヒータ、温風等、高知の種々の方式を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第一の実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置の主要部の概略構成を示す側面図である。
【図２】本発明の第二の実施形態に係るグリーンシート積層体切断装置の主要部の概略構成を示す側面図である。
【図３Ａ】本発明の第一の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置正面図である。
【図３Ｂ】本発明の第一の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置側面図である。
【図４Ａ】本発明の第二の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置正面図である。
【図４Ｂ】本発明の第二の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置側面図である。
【図５Ａ】本発明の第三の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置正面図である。
【図５Ｂ】本発明の第三の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置側面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１：グリーンシート積層体切断装置、  ２：グリーンシート積層体、  ３：カッター、  ５：メインフレーム部材、  ７：サブフレーム部材、  １０：ステージ、  １３：アクチュエータ、  １５：切断刃保持部材、  ２０：冷却手段、  ２１：当接部材、  ２３：冷却ユニット、  ３０：加熱手段、  ３１：加熱ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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