(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽に被処理体を浸漬して洗浄処理を行う洗浄装置において、
前記洗浄槽は、底壁の上部に厚みの異なる側壁をパッキンを介して締結するとともに、前記パッキンは、各側壁と底壁との間で挟圧される挟圧部に前記側壁と底壁とを締結するための挿通孔を形成し、前記挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積が均一となるように形成したことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記挟圧部は、前記挿通孔を形成した部分の合計幅を均一とすることで単位長さ当たりの面積が均一となるように形成したことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記挟圧部は、側壁の内側端縁の直下部と底壁との間で挟圧される突部を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記底壁と周壁とを締結するボルトは、締結した状態で前記底壁に対応する位置にくびれ部を形成したことを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記底壁と周壁との締結部分に冷却機構を配設したことを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記底壁は、超音波振動子を連設した振動板であることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項７】
洗浄槽に被処理体を浸漬して洗浄処理を行う洗浄ユニットを有する処理装置において、
前記洗浄ユニットは、洗浄槽の底壁の上部に厚みの異なる側壁をパッキンを介して締結するとともに、前記パッキンは、各側壁と底壁との間で挟圧される挟圧部に前記側壁と底壁とを締結するための挿通孔を形成し、前記挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積が均一となるように形成したことを特徴とする処理装置。
【請求項８】
前記挟圧部は、前記挿通孔を形成した部分の合計幅を均一とすることで単位長さ当たりの面積が均一となるように形成したことを特徴とする請求項７に記載の処理装置。
【請求項９】
前記挟圧部は、側壁の内側端縁の直下部と底壁との間で挟圧される突部を有することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の処理装置。
【請求項１０】
前記底壁と周壁とを締結するボルトは、締結した状態で前記底壁に対応する位置にくびれ部を形成したことを特徴とする請求項７〜請求項９のいずれかに記載の処理装置。
【請求項１１】
前記底壁と周壁との締結部分に冷却機構を配設したことを特徴とする請求項７〜請求項１０のいずれかに記載の処理装置。
【請求項１２】
前記底壁は、超音波振動子を連設した振動板であることを特徴とする請求項７〜請求項１１のいずれかに記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶基板などの被処理体に対して洗浄処理を施すための洗浄装置及び洗浄ユニットを有する処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体部品やフラットディスプレイなどの製造過程においては、半導体ウエハや液晶基板などの被処理体に対して洗浄処理を施す洗浄工程が設けられている。この洗浄工程で用いられる処理装置には、洗浄槽に洗浄液を貯留しておき、洗浄槽に複数の被処理体を配列させた状態で浸漬して、被処理体の洗浄処理を行う洗浄ユニット（洗浄装置）を内蔵したものが知られている（たとえば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この従来の洗浄装置では、超音波振動子の上部に矩形板状の振動板を取付けて超音波振動ユニットを形成するとともに、この超音波振動ユニットの振動板の上部に矩形筒状の周壁をパッキンを介して締結して洗浄槽を形成していた。
【０００４】
そして、従来の洗浄装置では、コストメリットを考慮して汎用の超音波振動ユニットを用いるためや、洗浄槽の周壁の内部に洗浄液を吐出するノズルを取付けるためなどの設計上の制約に起因して、洗浄槽の周壁を構成する四辺の側壁の厚みがそれぞれ異なっており、洗浄槽の底壁を構成する振動板と厚みの異なる側壁との間で各側壁の厚みに対応した幅を有するパッキンを挟圧して、洗浄槽の樹脂製の側壁とカーボン系材料製の底壁とを樹脂製のボルトを用いて水密状に締結していた。
【特許文献１】特開２００３−２０９０８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記従来の洗浄装置では、洗浄槽の側壁の厚みが異なっており、各側壁の厚みに対応した幅を有するパッキンを用いて洗浄槽の底壁と側壁とを締結していたために、締結される側壁の厚みが異なるにもかかわらず同一の締結力で締結されることになり、側壁の厚い部分と薄い部分とでパッキンの挟圧力が異なっていた。
【０００６】
しかも、樹脂製の側壁とカーボン系材料製の底壁とを樹脂製のボルトを用いて締結していたために、側壁の熱を良好に放熱することができず、高温の洗浄液が使用された場合に洗浄槽の締結部分において熱膨張が生じやすくなっていた。
【０００７】
そのため、高温の洗浄液が使用されて洗浄槽の締結部分に熱膨張が生じた場合に、パッキンの挟圧力の低い部分から洗浄液が漏出してしまうおそれがあった。
【０００８】
特に、底壁として超音波振動子を取付けた振動板を用いた場合には、熱膨張とともに振動によって締結部のボルトとパッキンの挿通孔との間での干渉が生じて、樹脂製のボルトが破損してしまうおそれもあった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、請求項１に係る本発明では、洗浄槽に被処理体を浸漬して洗浄処理を行う洗浄装置において、前記洗浄槽は、底壁の上部に厚みの異なる側壁をパッキンを介して締結するとともに、前記パッキンは、各側壁と底壁との間で挟圧される挟圧部に前記側壁と底壁とを締結するための挿通孔を形成し、前記挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積が均一となるように形成することにした。
【００１０】
また、請求項２に係る本発明では、前記請求項１に係る本発明において、前記挟圧部は、前記挿通孔を形成した部分の合計幅を均一とすることで単位長さ当たりの面積が均一となるように形成することにした。
【００１１】
また、請求項３に係る本発明では、前記請求項１又は請求項２に係る本発明において、前記挟圧部は、側壁の内側端縁の直下部と底壁との間で挟圧される突部を有することにした。
【００１２】
また、請求項４に係る本発明では、前記請求項１〜請求項３のいずれかに係る本発明において、前記底壁と周壁とを締結するボルトは、締結した状態で前記底壁に対応する位置にくびれ部を形成することにした。
【００１３】
また、請求項５に係る本発明では、前記請求項１〜請求項４のいずれかに係る本発明において、前記底壁と周壁との締結部分に冷却機構を配設することにした。
【００１４】
また、請求項６に係る本発明では、前記請求項１〜請求項５のいずれかに係る本発明において、前記底壁は、超音波振動子を連設した振動板であることにした。
【００１５】
また、請求項７に係る本発明では、洗浄槽に被処理体を浸漬して洗浄処理を行う洗浄ユニットを有する処理装置において、前記洗浄ユニットは、洗浄槽の底壁の上部に厚みの異なる側壁をパッキンを介して締結するとともに、前記パッキンは、各側壁と底壁との間で挟圧される挟圧部に前記側壁と底壁とを締結するための挿通孔を形成し、前記挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積が均一となるように形成することにした。
【００１６】
また、請求項８に係る本発明では、前記請求項７に係る本発明において、前記挟圧部は、前記挿通孔を形成した部分の合計幅を均一とすることで単位長さ当たりの面積が均一となるように形成することにした。
【００１７】
また、請求項９に係る本発明では、前記請求項７又は請求項８に係る本発明において、前記挟圧部は、側壁の内側端縁の直下部と底壁との間で挟圧される突部を有することにした。
【００１８】
また、請求項１０に係る本発明では、前記請求項７〜請求項９のいずれかに係る本発明において、前記底壁と周壁とを締結するボルトは、締結した状態で前記底壁に対応する位置にくびれ部を形成することにした。
【００１９】
また、請求項１１に係る本発明では、前記請求項７〜請求項１０のいずれかに係る本発明において、前記底壁と周壁との締結部分に冷却機構を配設することにした。
【００２０】
また、請求項１２に係る本発明では、前記請求項７〜請求項１１のいずれかに係る本発明において、前記底壁は、超音波振動子を連設した振動板であることにした。
【発明の効果】
【００２１】
そして、本発明では、以下に記載する効果を奏する。
【００２２】
すなわち、本発明では、洗浄槽の底壁の上部に厚みの異なる側壁をパッキンを介して締結するとともに、パッキンの各側壁と底壁との間で挟圧される挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積が均一となるように形成しているために、締結される側壁の厚みの相違にかかわらず底壁と側壁とを均一の締結力で締結することができ、側壁の厚い部分と薄い部分とでパッキンの挟圧力を均一とすることができるので、高温の洗浄液が使用されて洗浄槽の各部に熱膨張が生じても、均一の挟圧力でシールすることができて、洗浄液が漏出してしまうのを防止することができる。この挟圧部の挿通孔を形成した部分の単位長さ当たりの面積を均一にするには、挟圧部の挿通孔を形成した部分の合計幅を均一とすれば容易に実現することができる。
【００２３】
特に、側壁の内側端縁の直下部と底壁との間で挟圧される突部を挟圧部に形成した場合には、側壁の内側端縁部分で突部によって側壁と底壁との間に水分が侵入するのを防止することができ、洗浄槽の内部（側壁と底壁との間）に洗浄液が残留してしまうのを防止することができる。
【００２４】
また、締結した状態で底壁に対応する位置にくびれ部を形成したボルトで底壁と周壁とを締結した場合には、熱膨張によってボルトと底壁の挿通孔との干渉を防止でき、ボルトの破損を未然に防止することができる。
【００２５】
また、底壁と周壁との締結部分に冷却機構を配設した場合には、熱による膨張を小さくすることができ、熱膨張に起因する洗浄液の漏出や部品の破損を防止することができる。
【００２６】
特に、超音波振動子を連設した振動板を底壁として用いた超音波洗浄装置の場合には、熱膨張に加えて振動の影響も及ぼすことになるために、上記の熱膨張による不具合を解消することで、超音波洗浄装置の洗浄液の漏出や部品の破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に、本発明に係る洗浄ユニットを内蔵した処理装置の具体的な構成について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、洗浄ユニットとして超音波洗浄ユニットを用いるとともに、洗浄処理を施す被処理体としてウエハ（基板）を用いた場合について説明する。
【００２８】
図１に示すように、処理装置１は、複数枚のウエハ２を収容したキャリア３の搬入及び搬出を行うキャリア搬入出部４と、複数のキャリア３に収容されたウエハ２を組合わせることによって一括処理するバッチ５を編成するバッチ編成部６と、各バッチ５ごとにウエハ２の洗浄処理及び乾燥処理を行う基板処理部７とで構成している。
【００２９】
キャリア搬入出部４は、キャリア３を載置するキャリアステージ８に密閉状の開閉扉９を形成し、この開閉扉９の内側にキャリア搬送機構10を配設し、このキャリア搬送機構10によってキャリアステージ８に載置されたキャリア３を必要に応じてキャリアストック11に一時的に保管するとともに、キャリア載置台12に搬入するようにしている。
【００３０】
また、キャリア搬入出部４は、基板処理部７で処理が完了したウエハ２が収容されたキャリア３に対し、上記搬入時とは逆に、キャリア載置台12に載置されたキャリア３を必要に応じてキャリア搬送機構10によってキャリアストック11に一時的に保管するとともに、キャリアステージ８に搬出するようにしている。
【００３１】
バッチ編成部６は、キャリア搬入出部４との間に密閉状の開閉扉13を形成し、この開閉扉13の内側にキャリア３に収容された複数枚のウエハ２を同時に搬送するための基板搬送機構14と、この基板搬送機構14によって搬送されたウエハ２の配列間隔を半分に変更してバッチ５を形成するためのバッチ形成機構15と、基板搬送機構14によって搬送されたウエハ２の配列順序を変更する配列順序変更機構16と、バッチ形成機構15によって形成されたバッチ５をバッチ編成部６と基板処理部７との間で受渡すとともに基板処理部７の内部での搬送を行うバッチ搬送機構17とを配設している。また、バッチ編成部６は、内部にキャリア３に収容されたウエハ２の収容状態を検出するウエハ収容状態検出センサー18とキャリア３に収容された複数枚のウエハ２のノッチの位置調整を行うノッチアライナー19を配設している。
【００３２】
そして、バッチ編成部６では、キャリア搬入出部４から搬入される複数個（たとえば、２個）のキャリア３にそれぞれ収容された複数枚（たとえば、２５枚）のウエハ２を組合わせて基板処理部７で一括処理する複数枚（たとえば、５０枚）のウエハ２で構成されたバッチ５を形成し、そのバッチ５を基板処理部７に受渡し、また、基板処理部７での処理が完了した後には、基板処理部７からバッチ５を受取り、元のキャリア３にウエハ２を収容して、そのキャリア３をキャリア搬入出部４に搬送するようにしている。
【００３３】
基板処理部７は、ウエハ２の洗浄及び乾燥を行う洗浄乾燥機構20とウエハ２の洗浄を行う洗浄機構21とで構成している。そして、洗浄乾燥機構20には、バッチ５をウエハ昇降機構22で昇降することによって洗浄と乾燥とを行う基板洗浄乾燥ユニット23とバッチ搬送機構17の洗浄を行う搬送機構洗浄ユニット24とを並設している。また、洗浄機構21には、第１の洗浄ユニットとしての超音波洗浄ユニット25と第２及び第３の洗浄ユニット26,27とを並設しており、各洗浄ユニット25,26,27には、バッチ５を薬液処理するための洗浄部28,29,30とバッチ５を純水処理するための洗浄部31,32,33とこれらの薬液処理用の洗浄部28,29,30と純水処理用の洗浄部31,32,33との間でバッチ５の搬送を行う搬送機構34,35,36とを設けている。
【００３４】
また、基板処理部７は、洗浄乾燥機構20と洗浄機構21に沿ってバッチ搬送機構17を配設しており、このバッチ搬送機構17の始端部分をバッチ編成部６に配設している。
【００３５】
そして、基板処理部７は、バッチ編成部６で編成されたバッチ５をバッチ搬送機構17によって洗浄乾燥機構20のウエハ昇降機構22や洗浄機構21の搬送機構34,35,36に搬送して、各洗浄乾燥機構20や洗浄機構21においてウエハ２の処理をバッチ５ごとに行ない、その後、処理後のバッチ５を洗浄乾燥機構20のウエハ昇降機構22や洗浄機構21の搬送機構34,35,36からバッチ搬送機構17に移送し、このバッチ搬送機構17によって処理後のバッチ５をバッチ編成部６へ再び搬送するようにしている。
【００３６】
このように、処理装置１は、キャリア搬入出部４によってウエハ２をキャリア３ごとバッチ編成部６に搬入し、バッチ編成部６において基板処理部７で一括処理するバッチ５を編成して基板処理部７に受渡し、基板処理部７でバッチ５ごとに一括して処理を施し、その後、処理後のバッチ５をバッチ編成部６に受渡し、バッチ編成部６でバッチ５を構成するウエハ２をキャリア３に収容してキャリア搬入出部４に搬送し、キャリア搬入出部４によって処理後のウエハ２を収容したキャリア３を搬出するようにしている。
【００３７】
次に、本発明の要部となる超音波洗浄ユニット25（超音波洗浄装置）の構成について説明する。
【００３８】
超音波洗浄ユニット25は、図２〜図４に示すように、上部に開口を形成した矩形箱型状の容器37の内部に基台38を取付け、この基台38の上部に矩形枠状のアルミニウム製の基枠39を取付け、この基枠39の上部に厚さ1mmのフッ素系ゴム製（例えば、VITON（登録商標）製）のパッキン40を介して洗浄槽41を取付けている。
【００３９】
洗浄槽41は、超音波振動ユニット42の上部に矩形箱枠状の周壁43を取付けることによって構成している。周壁43は、耐薬品性に富む材料であるポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）あるいはフッ素樹脂（ＰＦＡ）等で形成している。超音波振動ユニット42は、耐薬品性及び音波透過性に富む材料であるアモルファスカーボンあるいは炭化珪素等のカーボン系材料からなる矩形板状の振動板44（底壁46）の下面に超音波振動子45を取付け、この超音波振動子45に駆動制御装置（図示省略）を接続している。
【００４０】
このように、洗浄槽41は、周壁43をＰＴＦＥあるいはＰＦＡで形成し、底壁46となる振動板44をアモルファスカーボンあるいは炭化珪素等のカーボン系材料で形成することによって、洗浄液にＳＣ１、ＳＣ２あるいはＤＨＦ等の薬液を使用した場合でも溶解してしまうおそれがなく、メタルコンタミネーション等の発生を防止することができる。特に、振動板44を音波透過性に富む材料であるアモルファスカーボンあるいは炭化珪素等のカーボン系材料で形成しているために、石英のように薬液による溶解によって肉厚が薄くなるおそれがなく、音波透過率の低下を防止することができる。
【００４１】
そして、洗浄槽41は、超音波振動ユニット42の振動板44を底壁46として基枠39に取付け、この底壁46の周縁上部に周壁43を厚さ2mmの復元性の高いパーフロPF-A製のパッキン47を介して取付けている。これら基枠39と底壁46と周壁43は、パッキン40,47を介してアルミニウム製のボルト48で一括して締結している。
【００４２】
ここで、洗浄槽41の周壁43は、前後側壁49,50と左右側壁51,52とで構成している。なお、各側壁49,50,51,52は、幅が異なっており、前側壁49、後側壁50、左右側壁51,52の順で幅が広くなっている。
【００４３】
そして、底壁46と周壁43との間に介設したパッキン47は、図５及び図６に示すように、左右方向に伸延する前片53及び後片54と、これら前後片53,54の左右端部間に介設した前後方向に伸延する左片55及び右片56とによって平面視で矩形枠状に形成し、内側部分に貫通状の開口57を形成している。
【００４４】
また、パッキン47は、各片53,54,55,56に各側壁49,50,51,52と底壁46との間で挟圧される挟圧部58,59,60,61を形成するとともに、この挟圧部58,59,60,61に同一間隔でボルト48を挿通させるための挿通孔62を穿設している。
【００４５】
ここで、パッキン47に形成した挟圧部58,59,60,61は、各側壁49,50,51,52と底壁46とで挟圧される合計幅が各側壁49,50,51,52の幅の相違にかかわらずに均一となるようにしている。すなわち、図6に示すように、側壁49と底壁46とで挟圧される前片53を外側端縁の突部58oと内側端縁の突部58iとで形成し（図６(a)参照。）、挟圧部58の合計幅Ａを外側端縁の突部58oの幅a1と内側端縁の突部58iの幅a2との合計（Ａ＝a1＋a2）とし、側壁50と底壁46とで挟圧される後片54を外側端縁の突部59oと内側の突部59iと薄肉状の凹部63と内側端縁の突部66とで形成し（図６(b)参照。）、挟圧部59の合計幅Ｂを外側端縁の突部59oの幅b1と内側の突部59iの幅b2と内側端縁の突部66の幅b3との合計（Ｂ＝b1＋b2＋b3）とし、側壁51と底壁46とで挟圧される左片55を外側端縁の突部60oと内側の突部60iと薄肉状の凹部64と内側端縁の突部67とで形成し（図６(ｃ)参照。）、挟圧部60の合計幅Ｃを外側端縁の突部60oの幅c1と内側の突部60iの幅c2と内側端縁の突部67の幅c3との合計（Ｃ＝c1＋c2＋c3）とし、側壁52と底壁46とで挟圧される右片56を外側端縁の突部61oと内側の突部61iと薄肉状の凹部65と内側端縁の突部68とで形成し（図６(ｄ)参照。）、挟圧部61の合計幅Ｄを外側端縁の突部61oの幅d1と内側の突部61iの幅d2と内側端縁の突部68の幅d3との合計（Ｃ＝d1＋d2＋d3）とし、各側壁49,50,51,52の幅A',B',C',D'が異なるにもかかわらず各挟圧部58,59,60,61の合計幅A,B,C,Dが均一となるようにしている。
【００４６】
また、ボルト48は、アルミニウム製として強度を確保しつつ、底壁46と周壁43とをパッキン47を介して締結した状態において、底壁46に形成した挿通孔76に対応する位置の外径を小さくしてくびれ部69を形成している。これにより、ボルト48と底壁46の挿通孔76との間のクリアランスが大きくなるようにしている。
【００４７】
さらに、ボルト48は、皿バネ70を介して底壁46と周壁43とを締結している。これにより、皿バネ70の作用で底壁46と周壁43とを強固に締結して、ボルト48の緩みを防止している。
【００４８】
また、基枠39には、円形断面を有する矩形枠状の冷却水路71を形成しており、この冷却水路71に連続して常温の冷却水を毎分１〜３リットル程度通水している。このようにして、基枠39に底壁46と周壁43との締結部分を冷却するための冷却機構72を形成している。
【００４９】
特に、上記洗浄槽41では、周壁43を保温性の高い素材である樹脂製（ＰＴＦＥあるいはＰＦＡ等）とするとともに、ボルト48を熱伝導率の高い素材である金属製（アルミニウム等）とすることによって、周壁43が放熱しにくく熱による影響を受けやすくなっているにもかかわらず、周壁43の熱をボルト48を介して冷却機構72へと良好に伝導させることができ、周壁43の冷却を迅速に行わせることができるようになっている。
【００５０】
洗浄槽41は、以上に説明したように構成しており、左右側壁51,52には、洗浄液を吐出するための左右一対の洗浄液吐出ノズル73,74を取付けている。また、洗浄槽41の内部には、ウエハ２をバッチ５ごと支持しながら洗浄液に浸漬するためのウエハボート75を昇降自在に配設している。このウエハボート75は、搬送機構34に連動連結している。
【００５１】
以上に説明したように、上記構成の洗浄槽41では、底壁46の上部に厚みの異なる側壁49,50,51,52をパッキン47を介して締結するとともに、パッキン47に各側壁49,50,51,52と底壁46との間で挟圧される均一の合計幅を有する挟圧部58,59,60,61を形成している。このように、上記洗浄槽41では、各挟圧部58,59,60,61の合計幅を均一とすることによって、パッキンの各挟圧部58,59,60,61の単位長さ当たりの面積が均一となるようにしている。
【００５２】
そのため、上記洗浄槽41では、ボルト48によって締結される側壁49,50,51,52の厚みの相違にかかわらず底壁46と側壁49,50,51,52とを均一の締結力で締結することができ、側壁49,50,51,52の厚い部分と薄い部分とでパッキン47の挟圧力を均一とすることができる。
【００５３】
これにより、上記洗浄槽41では、高温の洗浄液が使用されて洗浄槽41の各部に熱膨張が生じても、底壁46と側壁49,50,51,52を均一の挟圧力でシールすることができ、シール部分から洗浄液が漏出してしまうのを防止することができる。
【００５４】
しかも、上記洗浄槽41では、パッキン47の挟圧部59,60,61に側壁50,51,52の内側端縁の直下部と底壁46との間で挟圧される突部66,67,68を形成している。
【００５５】
そのため、上記洗浄槽41では、側壁50,51,52の内側端縁部分で突部66,67,68によって側壁50,51,52と底壁46との間に水分が侵入するのを防止することができ、洗浄槽41の内部（側壁50,51,52と底壁46との間）に洗浄液が残留してしまうのを防止することができるので、洗浄液の残留に起因する洗浄不良の発生を未然に防止することができる。
【００５６】
また、上記洗浄槽41では、底壁46と側壁49,50,51,52とをボルト48で締結した状態において、底壁46に形成したボルト48を挿通するための挿通孔76に対応する位置にくびれ部69を形成したボルト48を用いているために、ボルト48と挿通孔76とのクリアランスを大きく確保することができ、熱膨張によってボルト48と底壁46の挿通孔76との間で生じるおそれがある干渉（剪断作用）を防止することができ、ボルト48の破損を未然に防止することができる。
【００５７】
また、上記洗浄槽41では、底壁46と周壁43との締結部分に冷却機構72を形成しているために、洗浄槽41の内部で高温の洗浄液を使用しても、底壁46と周壁43との締結部分の熱による膨張を小さくすることができ、熱膨張に起因する洗浄液の漏出や部品の破損を防止することができる。
【００５８】
さらに、上記洗浄槽41では、超音波振動子45を連設した振動板44を底壁46として用いることによって超音波洗浄ユニット25を構成しているために、底壁46と周壁43との締結部分には熱膨張による影響に加えて振動による影響も及ぼされることになるが、上記したように熱膨張による不具合を解消することで、超音波洗浄ユニット25の洗浄液の漏出や部品の破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る処理装置を示す平面図。
【図２】超音波洗浄ユニットを示す正面断面図。
【図３】同側面断面図。
【図４】洗浄槽の底壁と周壁の締結部分を示す拡大断面図。
【図５】パッキンを示す平面図。
【図６】同部分拡大図。
【符号の説明】
【００６０】
１  処理装置                                ２  ウエハ
３  キャリア                                ４  キャリア搬入出部
５  バッチ                                  ６  バッチ編成部
７  基板処理部                              ８  キャリアステージ
９  開閉扉                                  10  キャリア搬送機構
11  キャリアストック                        12  キャリア載置台
13  開閉扉                                  14  基板搬送機構
15  バッチ形成機構                          16  配列順序変更機構
17  バッチ搬送機構                          18  ウエハ収容状態検出センサー
19  ノッチアライナー                        20  洗浄乾燥機構
21  洗浄機構                                22  ウエハ昇降機構
23  基板洗浄乾燥ユニット                    24  搬送機構洗浄ユニット
25  超音波洗浄ユニット                      26,27  洗浄ユニット
28,29,30  薬液処理用の洗浄部                31,32,33  純水処理用の洗浄部
34,35,36  搬送機構                          37  容器
38  基台                                    39  基枠
40  パッキン                                41  洗浄槽
42  超音波振動ユニット                      43  周壁
44  振動板                                  45  超音波振動子
46  底壁                                    47  パッキン
48  ボルト                                  49  前側壁
50  後側壁                                  51  左側壁
52  右側壁                                  53  前片
54  後片                                    55  左片
56  右片                                    57  開口
58,59,60,61  挟圧部                         62  挿通孔
63,64,65  凹部                              66,67,68  突部
69  くびれ部                                70  皿バネ
71  冷却水路                                72  冷却機構
73,74  洗浄液吐出ノズル                     75  ウエハボート
76  挿通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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