(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を所定方向に搬送する基板の搬送装置であって、
ベース板と、
このベース板に敷設され上記所定方向に沿って配置されたガイドレールと、
このガイドレールに沿って移動可能に設けられた搬送台車と、
この搬送台車を上記ガイドレールの一端部と他端部との間で往復駆動する駆動手段と、
上記ガイドレールの一端部で上記搬送台車に供給された上記基板を、上記搬送台車上で位置決めするとともに、位置決めした状態で上記搬送台車に保持する位置決め保持手段と、
上記ベース板側に設けられ、上記基板が位置決め保持された上記搬送台車が上記駆動手段によって上記ガイドレールの他端部に駆動されたときに上記位置決め保持手段によって上記搬送台車に保持された基板の保持状態を解除する解除手段と、
この解除手段によって保持状態が解除された上記基板を上記搬送台車から受け取る受け取り手段と
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】
上記搬送台車には、回転方向を上記搬送台車の移動方向と直交させた複数の受けローラが行列状に設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項３】
上記位置決め保持手段は、
上記搬送台車の上記移動方向と交差する幅方向の両端部に幅方向に沿って移動可能に設けられた複数の保持部材と、
各保持部材を上記搬送台車の幅方向の内方に向かって付勢したばねと、
上記レールの一端部に設けられ上記搬送台車が上記レールの一端部に位置するときに上記保持部材に着脱可能に係合する第１の解除部材、及びこの第１の解除部材を上記搬送台車の幅方向に沿って駆動する保持用駆動源を具備し、
上記保持用駆動源は、上記レールの一端部で上記搬送台車に上記基板を供給するときには上記第１の解除部材を介して上記保持部材を上記ばねの付勢力に抗して上記搬送台車の幅方向外方に退避させ、上記搬送台車に基板が供給されたならば上記第１の解除部材による上記保持部材の退避状態を解除して上記ばねの付勢力で上記基板を上記保持部材によって上記搬送台車上で位置決め保持させることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項４】
上記解除手段は、上記搬送台車が上記レールの他端部に搬送されたときに上記保持部材に係合する第２の解除部材及びこの第２の解除部材を上記搬送台車の幅方向外方に向かって駆動して上記保持部材による上記基板の保持状態を解除する解除用駆動源からなることを特徴とする請求項３記載の基板の搬送装置。
【請求項５】
上記受け取り手段は、
上記搬送台車が上記レールの他端部に搬送されてきたときにこの搬送台車に保持された基板の下方に入り込む可動部材と、上記搬送台車に保持された基板の保持状態が解除されたときに上記可動部材を上昇方向に駆動して上記基板を上記搬送台車から上昇させて受け取らせる受け取り用駆動源とによって構成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項６】
基板を処理する処理装置であって、
一列に並設され長手方向の一端から搬入された上記基板を処理して長手方向の他端から搬出する複数の処理ユニットと、
これら処理ユニットの上部に設けられ上記処理ユニットに搬入される未処理の基板を上記処理ユニットの長手方向の他端から一端に搬送する搬送装置を具備し、
上記搬送装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板を直線的に搬送するための基板の搬送装置及びこの搬送装置が用いられた基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。
【０００５】
基板に対して上述した一連の処理を行う場合、基板を水平に搬送したのでは、基板に供給される処理液の重量によって基板が撓むため、基板の処理を全面にわたって均一に行なうことができなくなるということがある。
【０００６】
そこで、処理液によって基板を処理する際、上記基板が処理液の重量によって撓むのを防止するため、基板を所定の傾斜角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するということが考えられている。基板を傾斜させて搬送すれば、処理液は基板の板面に溜まらず、上方から下方へ円滑に流れるから、処理液の重量によって基板が撓むのを防止することができる。
【０００７】
ところで、基板に対して薬液処理、リンス液処理及び乾燥処理などの複数の処理を連続して行なう場合、処理装置は基板に対して複数の処理を順次行なう複数の処理ユニットが一列に配置された構造となる。
【０００８】
複数の処理ユニットが一列に設けられた処理装置は長尺化することになる。その場合、基板は処理装置の長手方向一端の処理ユニットに供給され、複数の処理ユニットで順次処理された後、長手方向他端の処理ユニットから搬出される。処理装置の長手方向他端から排出された基板は次工程に受け渡される。したがって、上記処理装置に対する基板の供給と排出を、処理装置の長手方向一端と他端とでそれぞれ別々に行なわなければならないから、作業性が悪いということがある。
【０００９】
そこで、作業性を向上させるため、処理装置と平行に基板の搬送装置としてのローラコンベアを配置し、処理装置の一端から供給されて処理され、長手方向他端から排出された基板を、上記搬送コンベアに移載し、この搬送コンベアによって処理装置の長手方向一端に戻して次工程に受け渡すということが考えられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
処理装置の長手方向一端から供給され、この処理装置で処理されて長手方向他端から排出された基板を、処理装置の長手方向一端へ戻すようにすれば、処理装置に対する基板の供給と、処理された基板の次工程への受け渡しを長手方向の同じ一端側の位置で行なうことができるから、作業性の向上を図ることが可能となる。
【００１１】
しかしながら、処理装置と平行に設けられたローラコンベアによって基板を搬送するようにすると、基板にはローラが転接するため、基板に傷や汚れがつくということがある。しかも、基板が搬送ローラ上で蛇行することがあるから、そのような場合には基板の周縁がローラコンベアの幅方向両側に設けられたガイドに当たり、基板の側縁に欠けが生じるなどのことがある。
【００１２】
この発明は、基板を傷や汚れが付くことなく確実に、しかも迅速に搬送することができるようにした基板の搬送装置及びその搬送装置が用いられた基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、基板を所定方向に搬送する基板の搬送装置であって、
ベース板と、
このベース板に敷設され上記所定方向に沿って配置されたガイドレールと、
このガイドレールに沿って移動可能に設けられた搬送台車と、
この搬送台車を上記ガイドレールの一端部と他端部との間で往復駆動する駆動手段と、
上記ガイドレールの一端部で上記搬送台車に供給された上記基板を、上記搬送台車上で位置決めするとともに、位置決めした状態で上記搬送台車に保持する位置決め保持手段と、
上記ベース板側に設けられ、上記基板が位置決め保持された上記搬送台車が上記駆動手段によって上記ガイドレールの他端部に駆動されたときに上記位置決め保持手段によって上記搬送台車に保持された基板の保持状態を解除する解除手段と、
この解除手段によって保持状態が解除された上記基板を上記搬送台車から受け取る受け取り手段と
を具備したことを特徴とする基板の搬送装置にある。
【００１４】
上記搬送台車には、回転方向を上記搬送台車の移動方向と直交させた複数の受けローラが行列状に設けられていることが好ましい。
【００１５】
上記位置決め保持手段は、
上記搬送台車の上記移動方向と交差する幅方向の両端部に幅方向に沿って移動可能に設けられた複数の保持部材と、
各保持部材を上記搬送台車の幅方向の内方に向かって付勢したばねと、
上記レールの一端部に設けられ上記搬送台車が上記レールの一端部に位置するときに上記保持部材に着脱可能に係合する第１の解除部材、及びこの第１の解除部材を上記搬送台車の幅方向に沿って駆動する保持用駆動源を具備し、
上記保持用駆動源は、上記レールの一端部で上記搬送台車に上記基板を供給するときには上記第１の解除部材を介して上記保持部材を上記ばねの付勢力に抗して上記搬送台車の幅方向外方に退避させ、上記搬送台車に基板が供給されたならば上記第１の解除部材による上記保持部材の退避状態を解除して上記ばねの付勢力で上記基板を上記保持部材によって上記搬送台車上で位置決め保持させることが好ましい。
【００１６】
上記解除手段は、上記搬送台車が上記レールの他端部に搬送されたときに上記保持部材に係合する第２の解除部材及びこの第２の解除部材を上記搬送台車の幅方向外方に向かって駆動して上記保持部材による上記基板の保持状態を解除する解除用駆動源からなることが好ましい。
【００１７】
上記受け取り手段は、
上記搬送台車が上記レールの他端部に搬送されてきたときにこの搬送台車に保持された基板の下方に入り込む可動部材と、上記搬送台車に保持された基板の保持状態が解除されたときに上記可動部材を上昇方向に駆動して上記基板を上記搬送台車から上昇させて受け取らせる受け取り用駆動源とによって構成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、ガイドレールに沿って往復駆動される台車を用いて基板を搬送するとともに、台車に供給された基板を位置決め保持するため、基板を傷付けることなく搬送することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１乃至図１３はこの発明の一実施の形態を示し、図１はこの発明の処理装置の概略的構成を示す斜視図、図２は正面図である。上記処理装置は装置本体１を有し、この装置本体１は分割された複数の処理ユニット、この実施の形態では第１乃至第５の処理ユニット１Ａ〜１Ｅを分解可能に一列に連結してなる。
【００２０】
各処理ユニット１Ａ〜１Ｅは架台２を有する。この架台２の前面には箱型状の処理部３が所定の角度で傾斜して保持されている。上記架台２と処理部３の上面には装置本体１の全長にわたって搬送装置４が設けられている。上記架台２の下端の幅方向両端には板状の一対の脚体５（一方のみ図示）が分解可能に設けられる。この脚体５によって上記架台２の下面側に空間部６が形成される。
【００２１】
上記空間部６には、上記処理部３で後述するように行なわれる基板Ｗの処理に用いられる薬液やリンス液などの処理液を供給するタンクやポンプ或いは供給を制御するための制御装置などの機器７をフレーム８に載置した機器部９が収納されるようになっている。つまり、各処理ユニット１Ａ〜１Ｅは架台２を脚体５で支持して処理部３の下方に空間部６を形成することで、上下方向に位置する処理部３、搬送装置４及び機器部９の３つの部分に分割されている。
【００２２】
図１に示すように、上記処理部３の幅方向の両側面にはスリット１３（一方の側面のみ図示）が形成されている。第１の処理ユニット１Ａのスリット１３から搬入された基板Ｗは第２乃至第５の処理ユニット１Ｂ〜１Ｅ内を順次搬送される。そして、基板Ｗは各処理ユニット１Ａ〜１Ｅで所定の処理が行なわれて最終の第５の処理ユニット１Ｅから搬出されるようになっている。
【００２３】
上記搬送装置４は、後述するように未処理の基板Ｗを第５の処理ユニット１Ｅ側に位置する一端から第１の処理ユニット１Ａ側の他端まで搬送する。搬送装置４による基板Ｗの搬送方向を図１に矢印Ｘで示す。
【００２４】
上記第１の処理ユニット１Ａ側には傾斜受け渡しユニット１６が設けられている。この傾斜受け渡しユニット１６は上記搬送装置４によって水平に搬送されてきた基板Ｗを受けて所定の角度、たとえば７５度の角度に傾斜させて上記第１の処理ユニット１Ａに供給する。
【００２５】
上記傾斜受け渡しユニット１６で７５度の角度に傾斜させられた基板Ｗは第１乃至第５の処理ユニット１Ａ〜１Ｅで順次処理されて搬送され、第５の処理ユニット１Ｅから搬出されて次の工程に受け渡される。すなわち、未処理の基板Ｗが供給される搬送装置４の一端は、処理された基板Ｗが搬出される第５の処理ユニット１Ｅ側に位置するから、搬送装置４への基板Ｗの供給と、処理された基板Ｗの搬出を装置本体１の同じ一端側で行なうことが可能となる。
【００２６】
図３乃至図５に示すように、上記搬送装置４はベース板２１を有する。このベース板２１の上面の幅方向両端部にはそれぞれガイドレール２２が長手方向全長にわたって敷設されている。このガイドレール２２には搬送台車２３が移動可能に設けられ、駆動手段によって上記ベース板２１の長手方向一端と他端との間で往復駆動されるようになっている。
【００２７】
上記駆動手段は、図３に示すように上記ベース板２１の一側の長手方向の一端部と他端部とに設けられた一対のモータ２４を有する。図４と図５に示すように、各モータ２４の出力軸にはプーリ２５が嵌着されている。一対のプーリ２５にはワイヤ２６の一端部と他端部とが末端を固定して巻着されている。
【００２８】
上記ワイヤ２６の中途部は上記搬送台車２３の幅方向一側に設けられた連結具２７に連結固定されている。上記ワイヤ２６の両端部が巻着された一対のプーリ２５は各モータ２４によって同方向に同期して回転駆動される。それによって、ワイヤ２６は一方のプーリ２５から繰り出されて他方のプーリ２５に巻き取られて走行するから、その走行に上記搬送台車２３が連動する。つまり、搬送台車２３は上記ガイドレール２２に沿って往復駆動可能となっている。
【００２９】
図４（ａ）に示すように、上記搬送台車２３は矩形枠状のフレーム２８を有し、フレーム２８の幅方向両側には車輪２８ａが設けられている。このフレーム２８には、走行方向（前後方向）に沿う一端と他端とにそれぞれ複数の支持片２９が走行方向と交差する幅方向に所定間隔で立設されている。
【００３０】
走行方向において対応する一対の支持片２９にはそれぞれ支軸３１が架設されている。各支軸３１はそれぞれ複数の受けローラ３２が所定間隔で回転可能に設けられている。つまり、搬送台車２３には回転軸線を搬送台車２３の移動方向に沿わせた複数の受けローラ３２が行列状に設けられている。
【００３１】
図４（ｂ）に示すように、上記搬送台車２３の受けローラ３２には未処理の基板Ｗが供給される。搬送台車２３に供給された基板Ｗは位置決め保持手段３０によって位置決めされて移動不能に保持される。すなわち、位置決め保持手段３０は、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、上記搬送台車２３のフレーム２８の幅方向両側の前後方向両端部に設けられたリニアガイド３３を有する。
【００３２】
各リニアガイド３３には保持部材３４が移動可能に設けられている。この保持部材３４はばね３５によって図７（ａ）に矢印で示す上記搬送台車２３の幅方向内方に向かって付勢されている。上記リニアガイド３３の上面にはストッパ３６が設けられ、上記保持部材３４はストッパ３６に当たることで、上記ばね３５の付勢力による移動が阻止される。
【００３３】
上記保持部材３４からは係合杆３７が下方に向かって設けられている。搬送台車２３が上記ベース板２１の長手方向の一端部に位置するとき、上記係合杆３７の下端部はＵ字状の第１の解除部材３８の溝内に位置する。
【００３４】
上記第１の解除部材３８は保持用駆動源としての保持用シリンダ３９のロッド３９ａに取り付けられている。この保持用シリンダ３９はガイドレール２２の外側から立設された取付け片４０に取り付けられている。
【００３５】
図７（ｂ）に示すように、上記保持用シリンダ３９のロッド３９ａが没入方向に駆動されると、上記第１の解除部材３８が上記係合杆３７に係合して上記保持部材３４をばね３５の付勢力に抗して駆動する。つまり、保持部材３４は搬送台車２３の幅方向外方へ駆動される。
【００３６】
上記搬送台車２３の受けローラ３２上には、図７（ｂ）に示すように上記保持部材３４をばね３５の付勢力に抗して移動させた状態で、未処理の基板Ｗが図示しないロボットによって供給される。基板Ｗが供給されると、上記保持用シリンダ３９のロッド３９ａが突出方向に駆動される。それによって、図３（ｃ）に示すように、第１の解除部材３８と係合杆３７との係合状態が解除され、上記保持部材３４がばね３５の付勢力によって基板Ｗの幅方向の端面に当たるまでリニアガイド３３に沿って移動する。このとき、保持部材３４はリニアガイド３３の上面に設けられたストッパ３６に当たり、それ以上、基板Ｗの端面に強く圧接するのが阻止される。
【００３７】
搬送台車２３に供給された基板Ｗの両側の両端部がそれぞれ保持部材３４によって押圧保持され、しかも基板Ｗの幅方向両端に位置する一対の保持部材３４による押圧位置がストッパ３６によって位置決めされることで、基板Ｗは搬送台車２３上で搬送方向と交差する幅方向に対して高精度に位置決めされると同時に、移動不能に保持される。
【００３８】
搬送台車２３が基板Ｗを位置決め保持すると、この搬送台車２３は一対のモータ２４によって走行駆動されるワイヤ２６に連動してベース板２１の他端部に駆動される。ベース２１の他端部には、搬送台車２３に保持された基板Ｗの保持状態を解除する解除手段４１及び基板Ｗを搬送台車２３から受けて上記傾斜受け渡しユニット１６に受け渡すための受け渡し手段４２が設けられている。
【００３９】
上記解除手段４１は、図５に示すように上記搬送台車２３がベース板２１の他端部の所定の位置まで搬送されて位置決めされたときに、搬送台車２３に設けられて基板Ｗを位置決め保持した４つの保持部材３４からそれぞれ下方に延出された係合杆３７が入り込む、Ｕ字状の第２の解除部材４４を有する。第２の解除部材４４は解除用駆動源としての解除用シリンダ４５のロッド４５ａに取り付けられている。上記解除用シリンダ４５はガイドレール２２の外側から立設された取付け片４６に取り付けられている。
【００４０】
上記搬送台車２３がベース板２１の他端部の所定の位置まで搬送されて、上記第２の解除部材４４の溝内に係合杆３７が入り込むと、上記解除用シリンダ４５が作動してそのロッド４５ａを没入方向に駆動する。それによって、上記解除部材４４が係合杆３７を介して保持部材３４を搬送台車２３の幅方向外方へ移動させるから、４つの保持部材３４に夜基板Ｗの保持状態が解除される。解除手段４１の動作は図７（ａ）〜７（ｃ）を参照して説明した位置決め保持手段３０の動作と同じである。
【００４１】
図５に示すように、上記受け渡し手段４２は上記ベース板２１の一端部に設けられた矩形状の可動板４８を有する。この可動板４８の端部は上記ベース板２１に設けられた取付け片４９に支軸５１によって回動に連結されている。つまり、可動板４８は支軸５１を支点として上昇方向に回動可能となっている。
【００４２】
図６に示すように、上記可動板４８の他端部の下面にはこの可動板４８を上下方向、つまり支軸５１を支点として他端部が上昇する方向に駆動する受け取り用駆動源としての上下用シリンダ５２のロッド５２ａが連結されている。
【００４３】
上記可動板４８の上面には角筒状の複数のアーム５３の一端部が固定されている。つまり、複数のアーム５３はベース板２１の幅方向に所定間隔で設けられている。各アーム５３には複数の受け渡しローラ５４がアーム５３の両側に、しかも長手方向に対して所定間隔で設けられている。なお、ローラ５４の直径はアーム５３の厚さ寸法よりも大きく形成されていて、径方向の一部をアーム５３の上面から上方に突出させている。
【００４４】
各アーム５３の一端部側において、幅方向に対応する複数の受け渡しローラ５４は駆動軸５５によって連結されている。複数の駆動軸５５は図示しないベルトなどによって同期して回転するよう連結されているとともに、そのうちの１つ駆動軸５５は図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっている。
【００４５】
基板Ｗを位置決め保持した上記搬送台車２３がベース板２１の他端部の所定の位置まで搬送されてくると、複数のアーム５３が搬送台車２３に設けられた支軸３１間から基板Ｗの下面側に入り込む。
【００４６】
アーム５３が基板Ｗの下面側に入り込んで、その基板Ｗの保持部材３４による保持状態が解除されると、可動板４８が上下用シリンダ５２によって上昇方向に回動駆動され、この回動にアーム５３が連動する。それによって、搬送台車２３に設けられた基板Ｗは上記アーム５３に設けられた受け渡しローラ５４に受け渡される。
【００４７】
上記搬送装置２３は図３と図５に鎖線で示すカバー５７によって覆われている。このカバー５７の長手方向の両端は開口していて、一端開口からは搬送台車２３に未処理の基板Ｗが供給され、他端開口からは受け渡し手段４２のアーム５３が受けた基板Ｗが傾斜受け渡しユニット１６に搬出される。なお、カバー５７の他端部には、アーム５３が上方へ回動できるための膨出部５７ａが形成されている。
【００４８】
つぎに、上記構成の処理装置に未処理の基板Ｗを搬送装置４によって搬入する動作を図８乃至図１３を参照しながら説明する。 
図８は搬送台車２３の受ローラ３２に図示しないロボットによって未処理の基板Ｗが供給された状態を示す。搬送台車２３に基板Ｗを供給する際、保持用シリンダ３９のロッド３９ａが図７（ｂ）に示すように没入方向に駆動されている。それによって、保持部材３４は基板Ｗの幅方向外方へ退避しているから、基板Ｗが保持部材３４にぶつかることなく、搬送台車２３に供給することができる。
【００４９】
基板Ｗが搬送台車２３に供給されると、保持用シリンダ３９による保持部材３４の退避状態が解除され、図９に示すように４つの保持部材３４がばね３５によって幅方向内方へ付勢されて基板Ｗの幅方向両側を押圧する。それによって、基板Ｗは搬送台車２３上で位置決め保持されることになる。
【００５０】
基板Ｗを位置決め保持した搬送台車２３は、図１０に示すようにベース板２１の受け渡し手段４２が設けられた他端部に向かって駆動される。図１１は搬送台車２３がベース板２１の他端部に到達し、基板Ｗの下面に受け渡し手段４２のアーム５３が入り込んだ状態を示す。
【００５１】
上記アーム５３が基板Ｗの下面に入り込むと同時に、解除手段４１の第２の解除部材４４（図５に示す）の溝内に、保持部材３４に連結された係合杆３７が入り込む。そして、搬送台車２３がベース板２１の他端部に搬送されると、上記解除手段４１の解除用シリンダ４５が作動して保持部材３４を幅方向に駆動する。それによって、搬送台車２３の基板Ｗの保持状態が解除される。
【００５２】
基板Ｗの保持状態が解除されると、上下用シリンダ５２が作動して上記アーム５３が可動板４８とともに回動上昇する。この状態は図６に示す。それによって、台車２３上の基板Ｗが上記アーム５３に設けられた受け渡しローラ５４によって受け取られる。
【００５３】
アーム５３が回動上昇して基板Ｗを搬送台車２３から受けると、図１２に矢印で示すように、搬送台車２３はベース板２１の他端部から一端部へ向かって駆動される。そして、ベース板２１の一端部に位置決めされた上記搬送台車２３にはつぎの未処理の基板Ｗが供給されて位置決め保持される。
【００５４】
つまり、基板Ｗを受け渡し手段４２のアーム５３に受け渡せば、基板Ｗを処理装置の第１の処理ユニット１Ａに供給する前に、搬送台車２３を基板Ｗの供給位置に戻してつぎの未処理の基板Ｗを供給することができるから、その分、タクトタイムを短縮することができる。
【００５５】
搬送台車２３が上昇したアーム５３の下方から退避すると、図１３に示すように、上記アーム５３が上昇した状態から水平な状態に戻る。ついで、アーム５３の一端部に設けられた駆動軸５５が回転駆動され、この駆動軸５５に設けられた受け渡しローラ５４が連動するから、受け渡しローラ５４に支持された基板Ｗは第１の処理ユニット１Ａ側に設けられた傾斜受け渡しユニット１６内へ搬送される。
【００５６】
傾斜受け渡しユニット１６内に搬送された基板Ｗは水平な状態から７５度の角度に傾斜させられ、上記第１の処理ユニット１Ａ内に搬入される。それによって、基板Ｗは第１の処理ユニット１Ａから第５の処理ユニット１Ｅに順次送られて処理され、この第５の処理ユニット１Ｅから搬出されることになる。
【００５７】
このように、処理装置に対する基板Ｗの搬入と搬出とを同じ位置で行なえるようにするため、未処理の基板Ｗを搬送装置４で第５の処理ユニット１Ｅ側から第１の処理ユニット１Ａ側へ搬送する場合、上記基板Ｗを第５の処理ユニット１Ｅと第１の処理ユニット１Ａとの間で往復駆動される搬送台車２３で搬送するようにした。
【００５８】
そのため、ローラ搬送する場合のように基板Ｗをローラで擦ることがないばかりか、基板Ｗが蛇行するということもないから、基板Ｗに傷や塵埃を付着させずに、搬送することができる。
【００５９】
上記搬送台車２３に対して基板Ｗを保持部材３４によって位置決め保持するときに上記保持部材３４を駆動するための保持用シリンダ３９と、保持部材３４によって位置決め保持された基板Ｗを受け渡し手段４２のアーム５３に受け渡す際に基板Ｗの保持状態を解除するための解除用シリンダ４５を上記搬送台車２３に設けず、ベース板２１側に設けるようにした。
【００６０】
つまり、搬送台車２３には保持部材３４をばね３５の付勢力に抗して駆動するための上記保持用シリンダ３９や解除用シリンダ４５を設けないため、搬送台車２３を軽量化することができる。それによって、ベース板２１の長手方向に沿う搬送台車２３の往復駆動を高速で行なえるから、基板Ｗの搬送、受け渡しに要するタクトタイムを短縮することが可能となる。
【００６１】
上記一実施の形態では受け渡し手段において、アームを回動させて搬送台車から基板を受け取るようにしたが、アームを上下動させて基板を搬送台車から受け取るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】この発明の一実施の形態の処理装置の概略的構成を示す斜視図。
【図２】上記処理装置の正面図。
【図３】上記処理装置に設けられる搬送装置の概略的構成を示す斜視図。
【図４】（ａ）は搬送装置の一端部で待機する搬送台車の平面図、（ｂ）は同じく側面図。
【図５】搬送装置の他端部に設けられた解除手段と受け渡し手段を示す斜視図。
【図６】受け渡し手段の側面図。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は搬送台車に基板を位置決め保持する位置決め保持手段の動作を順次示した説明図。
【図８】搬送手段の搬送台車に基板を供給するときの説明図。
【図９】搬送台車に供給された基板を位置決め保持手段によって位置決め保持したときの説明図。
【図１０】基板を位置決め保持した搬送台車を受け渡し手段の方向へ走行させるときの説明図。
【図１１】搬送台車に保持された基板の下面側に受け渡し手段のアームが入り込んだときの説明図。
【図１２】受け渡し手段が搬送台車から基板を受けた後、搬送台車が退避するときの説明図。
【図１３】搬送台車から受け渡し手段が受けた基板を傾斜受け渡しユニットに搬出するときの説明図。
【符号の説明】
【００６３】
１Ａ〜１Ｅ…第１乃至第５の処理ユニット、２２…ガイドレール、２３…搬送台車、２４…モータ（駆動手段）、２６…ワイヤ（駆動手段）、３０…位置決め保持手段、３２…受ローラ、３４…保持部材、３５…ばね、３８…第１の解除部材、３９…保持用シリンダ、４１…解除手段、４２…受け渡し手段、４４…第２の解除部材、４５…解除用シリンダ、５２…上下用シリンダ、５３…アーム、５４…受け渡しローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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