(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一のガラス基板上に第一の電極と隔壁とが形成された背面板と、第二のガラス基板上に第二の電極が形成された前面板とを重ね合せるプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記前面板の前記背面板と対向させる側表面の検査を行う前面板表面検査工程と、
前記前面板表面検査工程の結果に基づき、前記背面板に対する前記前面板の基準位置からのずらし量を算出する前面板貼り合せ位置演算工程と、
前記前面板貼り合せ位置演算工程の前記ずらし量に応じた距離だけ前記基準位置からずらせて前記背面板と前記前面板とを貼り合せる貼り合せ工程とを備え、
前記前面板表面検査工程において、前記前面板の前記表面から突起した凸部を検出するとともに、前記凸部の位置を求め、
前記前面板貼り合せ位置演算工程において、前記前面板表面検査工程で求めた前記凸部の位置と前記隔壁が配置された位置情報とから、前記凸部が前記隔壁間に位置するように前記ずらし量を算出することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記前面板貼り合せ位置演算工程において、前記凸部が所定の色のセルを形成する前記隔壁間に位置するように前記ずらし量を算出することを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記ずらし量は、前記前面板を前記第二の電極の延設方向へのみずらす量であることを特徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記プラズマディスプレイパネルの製造方法は、さらに、
前記背面板の前記隔壁頂部の検査を行う背面板表面検査工程と、
前記前面板表面検査工程における結果と前記背面板表面検査工程における結果とに基づき、前記前面板の凸部の位置に前記隔壁頂部の凹部が位置するような前記前面板と前記背面板との組合せを求める基板組合せ演算工程と、
前記基板組合せ演算工程で求めた組合せの前記前面板と前記背面板とを選択する基板選択工程とを備え、
前記貼り合せ工程は、前記基板選択工程で選択された前記前面板と前記背面板とを貼り合せることを特徴とする請求項１から３までのいずれか一項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記前面板表面検査工程は、前記前面板の前記凸部の位置および形状を求め、
前記背面板表面検査工程は、前記背面板の前記隔壁頂部の凹部の位置および形状を求め、前記基板組合せ演算工程は、前記前面板表面検査工程で求めた前記前面板の前記凸部の位置および形状と前記背面板表面検査工程で求めた前記背面板の前記隔壁頂部の凹部の位置および形状とに基づき、前記前面板と前記背面板との組合せを求めることを特徴とする請求項４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電空間を有するように２枚の基板を貼り合せてなるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄くて大画面の平面型表示デバイスとしてプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と略記する）が注目されており、３種類の電極を備えた面放電形式のＡＣ型ＰＤＰがその代表的な構造である。ＡＣ型ＰＤＰは、行方向に伸びた走査電極および維持電極を複数対配列した前面板と、列方向に伸びた複数のアドレス電極を配列した背面板とが隔壁を介して対向配置され、その間に放電空間を形成するように構成されている。そして、１対の走査電極および維持電極と１つのアドレス電極とが立体交差した部分に、隔壁で仕切られたセルが形成されている。
【０００３】
このような構造のＰＤＰを形成するために、ＰＤＰの製造工程において前面板と背面板とを貼り合せる工程が存在する。このような貼り合せの工程において、前面板上の凹凸や背面板上の凹凸が著しいと、前面板もしくは背面板の凸となるような突起部の接触により部分的に隔壁に応力がかかった状態となり、隔壁の欠けや損傷、または前面板に生じた突起部の欠けや損傷が起こる。この結果、前面板の突起部や隔壁の損傷による破片が放電空間であるセルをふさぐこととなり、これによってそのセルが点灯しないような不良が生じていた。このような不良はドット不良と呼ばれている。
【０００４】
図１０は、隔壁の破片などによりこのようなドット不良を引き起こす様子を模式的に示したＰＤＰの断面図である。図１０（ａ）は、上述のような突起部を含む前面板４１と隔壁を備えた背面板４７とを貼り合せる以前の状態を示しており、図１０（ｂ）は、このような前面板４１と背面板４７とを貼り合せた以後の状態を示している。図１０に示すように、背面板４７は、所定の間隔で配置された複数の隔壁１０を備えており、また、各隔壁１０で仕切られた空間にセル１８がそれぞれ形成されている。また、図１０では、前面板４１が、例えば微小欠陥などにより表面から凸となるように突起した突起部１３を含んだ一例を示している。このような前面板４１上に生じる突起部１３は、例えば前面板４１の誘電体層を焼成して形成するとき、下地の材料や誘電体層の材料に潜在的に含まれている不純物が気化して気泡となり、このような気泡が前面板４１から突出することなどにより発生する。
【０００５】
このような前面板４１と背面板４７とにおいて、図１０（ａ）に例示するように、前面板４１に含まれる突起部１３が隔壁１０と対向するような位置に存在すると、図１０（ｂ）に示すように、このような前面板４１と背面板４７とを貼り合せたとき、突起部１３と隔壁１０との接触によりそれぞれに応力がかかった状態となり欠けや損傷などが生じることとなる。図１０（ｂ）では、このような突起部１３と隔壁１０との接触により、接触した隔壁１０に損傷痕９０が生じるとともに、その損傷による隔壁１０の破片９１がセル１８に残留した様子を示している。このような破片９１がセル１８に残留すると、ＰＤＰの動作時において、破片９１によりセル１８は放電時に必要な壁電荷を十分に蓄えることができなくなるため、これによってセルの発光が妨げられ、ドット不良を引き起こすこととなる。
【０００６】
このような前面板に生じる突起部に起因したドット不良などの問題を解決する手法として、従来、上述のような隔壁の破片などをセル内に残さないような工程を含んだＰＤＰの製造方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。このような従来の製造方法は、例えば、ＰＤＰの貼り合せ工程の前において次に述べるような仮組み工程を実施することでドット不良を抑制している。
【０００７】
すなわち、まず、後の貼り合せ工程において組み合される予定の前面板と背面板とを準備し、両基板を用いて貼り合せ工程と同様の位置合せを行う。
【０００８】
次に、前面板の表面と背面板の隔壁の頂部とを当接させて、後の貼り合せ工程以降において当接箇所に作用する押圧が生じるように、両基板間に圧力を加える。すなわち、図１０（ａ）に示すように前面板４１と背面板４７とが位置合せされた場合、図１０（ｂ）に示すように、前面板４１に生じた突起部１３が隔壁１０に接触し押圧することとなる。このような加圧によって、上述の当接部分のうちで、例えば図１０の突起部１３によって一点集中的な押圧が加えられる部分の隔壁１０に積極的に折損を生じさせる。その後に、両基板を一旦引き離す。すなわち、このような仮の貼り合せ工程において、図１０（ｂ）で示したような損傷痕９０や破片９１が生じることとなる。
【０００９】
この工程の後に、上記工程で生じた、例えば図１０（ｂ）に示したような破片９１を除去するようなクリーニング工程を実施する。
【００１０】
このような従来の製造方法によれば、この仮組み工程において、あらかじめ発生させた破片などをクリーニング工程において除去した後に、前面板と背面板とを実際に貼り合せて封着することとなる。図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、このような従来の製造方法により製造されたＰＤＰの例を模式的に示した断面図である。図１１に示すように、セル１８内には、図１０（ｂ）で示したような破片９１が除去されている。このように、従来の製造方法は、セル内に残留するような破片などを除去した後に実際の貼り合せ工程を実施することで、前面板の突起部に起因したドット不良などを抑制していた。
【特許文献１】特開２０００−１４９７９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上述した従来のＰＤＰの製造方法では、仮組み工程において管理しない状態で前面板に生じた突起部と隔壁とを加圧接触させるため、これによって生じる突起部あるいは隔壁の損傷状態や形状などは一意的に決められたのではなく、例えば隔壁の損傷が大きいと、この隔壁両側のセル間で放電空間がつながることとなり、セル間のクロストークが生じるなどの課題があった。すなわち、従来の製造方法の仮の貼り合せ工程において、図１１（ａ）に示すように、突起部１３と損傷痕９０とがほぼ一致するような折損が隔壁１０に生じた場合はドット不良などを抑制する効果があった。一方、図１１（ｂ）に示すように、大きな損傷痕９２となるような折損が隔壁１０に生じた場合、折損が生じた隔壁１０両側のセル１８間で放電空間がつながることとなる。このため、上述した従来のＰＤＰの製造方法によれば、ドット不良に代えて、セル間のクロストークによる色むらが生じるような色むら不良を引き起こす可能性があり、従来の製造方法により製造されたＰＤＰにおける良品率の大きな改善効果は見込めない可能性があった。
【００１２】
また、従来のＰＤＰの製造方法は、対をなす前面板と背面板との組合せを管理する必要はないものの、製造工程において上述したような仮組み工程が必要となるため製造効率が低下するという課題もあった。
【００１３】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、前面板が突起部を有する場合であっても、ドット不良を引き起こすような隔壁などの欠けや損傷の発生を容易に防止し、製造工程における効率よい良品率の向上を図ったＰＤＰの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述したような目的を達成するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、第一のガラス基板上に第一の電極と隔壁とが形成された背面板と、第二のガラス基板上に第二の電極が形成された前面板とを重ね合せるＰＤＰの製造方法であって、前面板の背面板と対向させる側表面の検査を行う前面板表面検査工程と、前面板表面検査工程の結果に基づき、背面板に対する前面板の基準位置からのずらし量を算出する前面板貼り合せ位置演算工程と、前面板貼り合せ位置演算工程のずらし量に応じた距離だけ基準位置からずらせて背面板と前面板とを貼り合せる貼り合せ工程とを備え、前面板表面検査工程において、前面板の表面から突起した凸部を検出するとともに、凸部の位置を求め、上記前面板貼り合せ位置演算工程において、前面板表面検査工程で求めた凸部の位置と隔壁が配置された位置情報とから、凸部が隔壁間に位置するようにずらし量を算出する。このような製造方法とすることにより、上述したような前面板に生じた突起部と隔壁頂部との接触を回避するように、背面板と前面板とをずらせて貼り合せが可能となるため、ドット不良を引き起こすような突起部による隔壁の欠けなどを容易に防止でき、効率よく良品率の向上を図れる。
【００１５】
さらに、前面板に生じた突起部のような凸部を隔壁間に位置させた状態で、背面板と前面板との貼り合せが可能となるため、ドット不良を引き起こすような突起部による隔壁の欠けなどを容易に防止でき、効率よく良品率の向上を図れる。
【００１６】
また、本発明のＰＤＰの製造方法は、上記前面板貼り合せ位置演算工程において、凸部が所定の色のセルを形成する隔壁間に位置するようにずらし量を算出する。このような製造方法とすることにより、前面板に生じた突起部のような凸部を視認性の低い色のセルに移動させることができるため、突起部によりドット不良が生じたとしてもこのドット不良を目立たないようにすることができる。
【００１７】
また、本発明のＰＤＰの製造方法は、上記ずらし量を、前面板を第二の電極の延設方向へのみずらす量としている。このような製造方法とすることにより、前面板における表示電極などの第二の電極の有効な長さを、例えば隔壁のピッチの１／２倍だけ長くなるような長さとしておけばよいため、容易に実現することができる。
【００１８】
また、本発明のＰＤＰの製造方法は、さらに、背面板の隔壁頂部の検査を行う背面板表面検査工程と、前面板表面検査工程における結果と背面板表面検査工程における結果とに基づき、前面板の凸部の位置に隔壁頂部の凹部が位置するような前面板と背面板との組合せを求める基板組合せ演算工程と、基板組合せ演算工程で求めた組合せの前面板と背面板とを選択する基板選択工程とを備え、貼り合せ工程が、基板選択工程で選択された前面板と背面板とを貼り合せる。そして、本発明のＰＤＰの製造方法において、前面板表面検査工程は、前面板の凸部の位置および形状を求め、背面板表面検査工程は、背面板の隔壁頂部の凹部の位置および形状を求め、基板組合せ演算工程は、前面板表面検査工程で求めた前面板の凸部の位置および形状と背面板表面検査工程で求めた背面板の隔壁頂部の凹部の位置および形状とに基づき、前面板と背面板との組合せを求める。このような製造方法とすることにより、例えば、前面板と背面板とをずらすことによっても前面板の凸部一部が隔壁と重なるような場合、このような前面板の凸部に対応した凹部を有する背面板が選択できるため、さらに製造工程における良品率の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のＰＤＰの製造方法によれば、前面板が凸部のような突起部を有する場合であっても、隔壁あるいは突起部自体の欠けや損傷の発生を容易に防止できるため、これによって、製造工程における効率よい良品率の向上を図ったＰＤＰの製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２１】
（実施の形態１）
まず、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの構造について説明する。図１は、本発明の実施の形態１に用いられるＰＤＰの構造を示す断面図であり、図１（ａ）は、行方向に切断した断面図、同図（ｂ）は、列方向に切断した断面図である。図１に示すように、背面板４７は、第一のガラス基板とするガラス基板７上に、ストライプ状の第一の電極とするアドレス電極８が列方向に延伸し、それぞれが平行となるように複数形成されている。そして、アドレス電極８を覆うように下地誘電体層９が形成されている。下地誘電体層９上には、それぞれのアドレス電極８の間に位置しアドレス電極８に平行な列隔壁１０が等間隔で複数形成され、さらに、列隔壁１０と交差する方向に行隔壁１１が等間隔で複数形成されている。
【００２２】
また、背面板４７に対向して配置された前面板４１は、第二のガラス基板とするガラス基板１上に、ストライプ状の走査電極２および維持電極３の双方からなる第二の電極とする表示電極４が行方向に延伸し、それぞれが平行となるように複数形成されている。そして、表示電極４を覆うように誘電体層５が形成され、誘電体層５上に保護層６が形成されている。
【００２３】
そして、列隔壁１０および行隔壁１１で囲まれた空間には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する蛍光体層１２が形成されて、１つのセルが構成される。すなわち、表示の最小単位であるセルは、行方向に形成された表示電極４と列方向に形成されたアドレス電極８との立体交差部に、列隔壁１０と行隔壁１１とに囲まれるようにして形成される。そして、各セルでの放電により紫外線を発生させ、この紫外線で蛍光体層１２を発光させて画像表示を行う。
【００２４】
このように、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰは、それぞれが列方向に延伸するように所定のピッチで配置された複数の列隔壁１０および列隔壁１０間に配置されたアドレス電極８を有する背面板４７と、それぞれが行方向に延伸するように所定のピッチで配置された複数の表示電極４を有する前面板４１とをそれぞれ対向配置し重ね合せて、列隔壁１０および行隔壁１１で囲まれた放電空間が形成されるように複数のセルを構成している。
【００２５】
図２は、このように構成された前面板４１と背面板４７とを対向配置したときの構造を模式的に示した図である。図２に示すように、前面板４１上には、背面板４７と貼り合せる際の基準位置を示す前面板アライメントマークＡ１４および前面板アライメントマークＢ１５が２箇所に形成されている。表示電極４は、これら前面板アライメントマークＡ１４および前面板アライメントマークＢ１５を基準として、それぞれが所定の位置となるように前面板４１上に配置されている。また、背面板４７上には、前面板４１と貼り合せる際の基準位置を示す背面板アライメントマークＡ１６および背面板アライメントマークＢ１７が２箇所に形成されている。アドレス電極８は、これら背面板アライメントマークＡ１６および背面板アライメントマークＢ１７を基準として、それぞれが所定の位置となるように背面板４７上に配置されている。このように配置された各アライメントマークは、前面板４１と背面板４７との貼り合せを行うとき、前面板４１と背面板４７とを所定の位置関係で対向配置させるために利用される。このように、アライメントマークは、通常、ＰＤＰを形成するとき、前面板と背面板との貼り合せ時に前面板アライメントマークＡ、Ｂと背面板アライメントマークＡ、Ｂとがそれぞれ同じ位置関係になるように位置決めを行い、貼り合せを行うために設けられている。
【００２６】
さらに、本実施の形態のＰＤＰは、図２に示すように、背面板４７上に列隔壁１０と行隔壁１１で囲まれたセル１８を複数形成している。図２では、列方向にｍ個、行方向にｎ個の表示に有効なセルがマトリックス状に形成された一例を示している。さらに、図２では、列隔壁１０の間隔、すなわちピッチをＰとする長さとし、表示電極４の長手方向における有効な長さをＬとした場合を示している。特に、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰは、表示電極４の長手方向における有効な長さを、背面板４７における行方向の有効表示領域よりも少なくとも列隔壁１０のピッチの１／２倍だけ長くなるような長さとしている。図２では、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの一例として、表示電極４の有効な長さＬが、ピッチＰの行方向有効セル個数ｎ倍、すなわちＰ×ｎよりも、ピッチＰの１／２倍だけ長くなるように構成したＰＤＰを挙げている。
【００２７】
ところで、上述したように、前面板の誘電体層を焼成して形成するとき、例えば、下地の材料や誘電体層の材料に潜在的に含まれている不純物が気化して気泡となり、このような気泡が前面板から突出することにより、図１０を用いて説明したような突起部１３が発生することがある。本実施の形態のＰＤＰにおける前面板４１においても同様に、このような突起部１３が発生する可能性がある。すなわち、上述の例のように、本実施の形態のＰＤＰの前面板４１の誘電体層５および保護層６の一部に気泡や盛り上がりなど、隔壁を配置する方向に前面板４１から突出するような微小な欠陥が存在する場合がある。さらに、単にアライメントマークが一致するように、背面板４７とこのような欠陥を有した前面板４１とを貼り合せたとき、図１０（ｂ）で示したように、その微小な欠陥である突起部１３が背面板４７の隔壁１０の頂部に接触する場合もある。
【００２８】
本発明の実施の形態１におけるＰＤＰでは、図１０で説明したような前面板４１の表面上に発生した突起部１３に起因するドット不良のような不具合を抑制するため、前面板４１において、その表示電極４の表示有効な長さＬを、背面板４７における行方向の表示有効な範囲Ｐ×ｎよりも少なくとも列隔壁１０のピッチの１／２倍だけ長くなるような構成としている。すなわち、前面板４１と背面板４７との貼り合せ時において、前面板４１を背面板アライメントマークＡ１６、背面板アライメントマークＢ１７に対して選択的に行方向にセル幅の１／２の範囲の中でずらして貼り合せを行うことができるような前面板４１の構成としている。なお、以下、表示電極４の表示有効な長さＬを、背面板４７における行方向の表示有効な範囲Ｐ×ｎよりもピッチＰの１／２倍だけ長くなるようなＰＤＰの例を挙げて説明するが、表示電極４の表示有効範囲と背面板４７における有効なセルの範囲とが重なる範囲において、表示電極４の長さＬをピッチＰの１／２倍以上長くなるような構成としてもよい。
【００２９】
次に、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程フローについて説明する。図３は、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程のフローを示す図である。
【００３０】
図３に示すように、本実施の形態のＰＤＰの製造工程において、まず、前面板４１の表面に表示電極４や誘電体層５などを形成する前面板処理工程Ｓ１１を実施する。前面板処理工程Ｓ１１のすべての処理が終了した後に、前面板表面の誘電体層５や保護層６上における気泡や突起などの欠陥の有無を確認する前面板表面検査工程Ｓ１２を行う。この前面板表面検査工程Ｓ１２における検査は、前面板４１の表面の凹凸に関する表面検査であり、前面板４１の少なくとも保護層６側の表面に存在する図１０で説明した突起部１３のような欠陥を検出し、検出した欠陥の大きさや高さなどに関する情報とその欠陥の基板上の位置に関する情報とを識別し記憶する。
【００３１】
また、上記工程Ｓ１１、Ｓ１２と並行して、背面板４７の表面にアドレス電極８や下地誘電体層９、隔壁および蛍光体層１２を形成する背面板処理工程Ｓ１１’を実施する。
【００３２】
その後、上述した前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果を基にして、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の、背面板４７に対する前面板４１の位置を演算し決定する前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３を実施する。特に、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３では、前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果に基づき、背面板４７に対する前面板４１のアライメントマークなどの基準位置からのずらし量を算出する。すなわち、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３における演算により、前面板４１に存在する突起部１３などの欠陥が背面板４７の隔壁上に重ならないように前面板４１と背面板４７とを対向配置するような、背面板４７に対する前面板４１の位置を算出し決定する。
【００３３】
最後に、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３により決定された背面板４７に対する前面板４１の貼り合せ位置、すなわちずらし量に従って、前面板４１と背面板４７との貼り合せ工程Ｓ１４を実施し、ＰＤＰを完成させる。
【００３４】
このように、本発明の実施の形態１のＰＤＰの製造方法は、前面板４１の背面板４７と対向させる側表面の検査を行う前面板表面検査工程Ｓ１２と、前面板表面検査工程Ｓ１２の結果に基づき、背面板４７に対する前面板４１の基準位置からのずらし量を算出する前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３と、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３のずらし量に応じた距離だけ基準位置からずらせて背面板４７と前面板４１とを貼り合せる貼り合せ工程Ｓ１４とを備えている。さらに、前面板表面検査工程Ｓ１２において、前面板４１の表面から突起した凸部を検出するとともに、凸部の位置を求め、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３において、前面板表面検査工程Ｓ１２で求めた凸部の位置と隔壁が配置された位置情報とから、凸部が隔壁間に位置するようにずらし量を算出している。
【００３５】
次に、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法の詳細な工程フローについて説明する。また、本実施の形態では、ずらし量を、前面板４１を第二の電極とする表示電極４の延設方向へのみずらす量として説明する。
【００３６】
図４は、前面板４１と背面板４７との貼り合せを実施する製造装置の主要部のブロック図である。本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法では、図４に示すような製造装置を用いてＰＤＰの製造を行う。図４に示すように、本製造装置は、前面板表面検査装置１９からの情報に基づき前面板４１と背面板４７との貼り合せを実施する位置決め機構２０や貼り合せ機構２３、および位置決め機構２０を制御する貼り合せ位置決定制御部２１を備え、本実施の形態の製造方法はこのような製造装置を用いて前面板４１と背面板４７との貼り合せを実施する。前面板表面検査装置１９は、図３における前面板表面検査工程Ｓ１２を行うために設けた装置であり、上述したように前面板４１の表面の凹凸に関する表面検査を行う。また、貼り合せ位置決定制御部２１は、前面板表面検査装置１９からの情報に基づき前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３を実施し、位置決め機構２０や貼り合せ機構２３により、貼り合せ位置決定制御部２１からの制御に応じた前面板４１と背面板４７との貼り合せ工程Ｓ１４が実施される。
【００３７】
次に、図４を参照して、このような貼り合せを実施する本実施の形態の製造装置について説明する。貼り合せを実施する本実施の形態の製造装置において、前面板表面検査装置１９は、前面板４１の少なくとも保護層６側の表面に存在する突起部１３のような欠陥の大きさや高さなどに関する情報や、その欠陥の基板上の位置に関する情報を欠陥情報として、貼り合せ位置決定制御部２１に通知する。貼り合せ位置決定制御部２１は、前面板表面検査装置１９から通知された情報と、隔壁が配置される位置情報とに基づき、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置の情報、すなわち、突起部１３が列隔壁１０間に位置するようなオフセット量を含めた位置情報を示す貼り合せ位置データを演算により求める。貼り合せ位置決定制御部２１は、演算により求めた貼り合せ位置データを、背面板４７のアライメントマークに対するオフセット量として前面板４１の識別情報とともに記憶する。このようなオフセット量は、背面板４７のアライメントマークに対し前面板４１のアライメントマークをずらすようなずらし量を示す。
【００３８】
次に、貼り合せを実施する製造装置に前面板４１が投入されると、貼り合せ位置決定制御部２１は、前面板４１の識別情報読み取り部２２より送られてきた識別情報を参照してその投入された前面板４１の貼り合せ位置データを抽出する。さらに、貼り合せ位置決定制御部２１は、貼り合せ位置データに基づき、投入された前面板４１にもっとも最適な背面板４７に対しての貼り合せ位置に関する情報を、背面板４７のアライメントマークに対するオフセット量として位置決め機構２０に送信する。次に、位置決め機構２０は、前面板４１と背面板４７とのアライメントマークが一致する基準位置に対し、貼り合せ位置決定制御部２１から受け取ったオフセット量を加算する。位置決め機構２０は、基準位置にオフセット量を加えた位置に、前面板４１の位置決めを実施する。次に、貼り合せ機構２３が、このように位置決めされた前面板４１と背面板４７との貼り合せを実施する。
【００３９】
また、図４に示す貼り合せ位置決定制御部２１において、前面板演算用記憶部２４は、前面板表面検査装置１９からの欠陥情報を一時的に記憶する。また、背面板設計情報記憶部２５は、背面板４７の隔壁の座標などの設計情報を種別毎に記憶する。また、背面板演算用記憶部２６は、前面板表面検査装置１９からの種別情報を基に背面板設計情報記憶部２５から送信される背面板４７の隔壁の座標などの設計情報を一時的に記憶する。また、貼り合せ位置決定演算部２７は、前面板演算用記憶部２４からの前面板４１の欠陥情報と背面板演算用記憶部２６からの背面板４７の隔壁の座標を用いて、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置を演算する。また、貼り合せ位置記憶部２８は、貼り合せ位置に関する情報を前面板４１の識別番号と関連付けて記憶する。
【００４０】
このように、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法は、例えば図４で示したような製造装置を利用して、図３で示したような各工程を実施するため、前面板４１に図１０（ａ）で示したような突起部１３が存在する場合であっても、前面板表面検査工程Ｓ１２において、このような突起部１３の位置座標などを検出し、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３において、突起部１３のような欠陥が背面板４７の隔壁上に重ならないような背面板４７に対する前面板４１の位置情報を演算し、貼り合せ工程Ｓ１４において、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３での演算により決定した背面板４７に対する前面板４１の位置情報に応じた対向配置関係で前面板４１と背面板４７とが対向配置され、それぞれの貼り合せが行われる。すなわち、本発明の実施の形態１のＰＤＰの製造方法はこのような各工程を実施するため、前面板４１がその表面に突起部１３などの欠陥による凸部を有するとき、前面板４１の凸部が列隔壁間に位置するなど、凸部と隔壁とが重ならないように前面板４１と背面板４７とを対向配置し、それぞれの貼り合せを行っている。言い換えれば、本発明の実施の形態１のＰＤＰの製造方法は、背面板アライメントマークＡ１６、背面板アライメントマークＢ１７に対して前面板アライメントマークＡ１４、前面板アライメントマークＢ１５が、例えば行方向にセル幅の１／２の範囲の中でずれるように、前面板４１と背面板４７とをずらして貼り合せを行い、突起部と隔壁との接触を防止している。本発明の実施の形態１のＰＤＰの製造方法は、これら前面板表面検査工程Ｓ１２、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３および貼り合せ工程Ｓ１４を設けることで突起部と隔壁との接触を防止しており、これによって、上述したような前面板４１の突起部１３と隔壁とが接触することで生じた破片などによるドット不良を低減している。また、突起部１３の発生により、例えば従来では廃棄処分としていたような前面板４１も、本実施の形態の製造方法によれば利用できる可能性があるため、前面板４１の歩留りを上げることもできる。また、貼り合せ位置を背面板４７のアライメントマークに対するオフセット量とすることで、既存の位置決め機構にオフセット量を補正した位置決めができるような変更をするのみでよいため、このようなオフセット量だけずらせた貼り合せを容易に実現できる。また、貼り合せ位置決定制御部２１は、具体的にはパーソナルコンピュータなどを利用して実現でき、特に、近年ではこのようなコンピュータ技術の進展により、前面板４１の欠陥情報のような大容量の情報も容易に記憶できるとともに、貼り合せ位置に関する演算なども容易かつ高速に実行することができる。このため、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３のような工程は、効率よく処理することができる。
【００４１】
次に、貼り合せ位置決定演算部２７で実施される演算方法の詳細な一例について説明する。貼り合せ位置決定演算部２７は、例えば次の１から３で示すようなルールに基づいた演算を行い、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置を求める。
【００４２】
１．前面板表面検査装置１９で検出されたすべての前面板４１の凸部などの欠陥が、背面板４７の列隔壁１０に重ならないように、背面板４７に対して前面板４１をずらすことが可能なずらし量の範囲を求める。
【００４３】
２．上記のルール１で、すべての前面板４１の欠陥を背面板４７の列隔壁１０間に位置させるようなずらし量の範囲が存在しない場合は、すべての前面板４１の欠陥のうち、小さな欠陥のみが列隔壁１０に重なるような背面板４７に対して前面板４１をずらせるずらし量の範囲を求める。
【００４４】
３．上記のルール１または２で求めた範囲の中点を、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置とする。ただし、上記のルール１または２で求めた範囲が、複数に分割された範囲の集合となっている場合は、その中から一番長い範囲の中点を求め、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置とする。
【００４５】
このような方法によれば、背面板の隔壁と重ならないようにずらすことのできる前面板の欠陥の最大の大きさは、セルの開口部の大きさの欠陥である。このような欠陥が存在する場合の背面板の隔壁と前面板の欠陥との位置関係を図５に示す。図５に示すように、このセルの開口部と同じ大きさの欠陥とを隔壁上に重ならないようにするため、前面板をずらす最大の量は、セルの中心から隔壁の中心までのセル幅の１／２となる。このため、本発明の実施の形態１の製造方法では、背面板４７に対して前面板４１をセルの１／２の幅だけずらす範囲で、前面板４１の欠陥と背面板４７の列隔壁１０が重ならない位置が決定され、ドット不良の発生を防ぐことができる。なお、前面板４１における表示電極４の表示有効領域と背面板４７における各セルの表示有効領域とが重なる範囲において、背面板４７に対して前面板４１をセル幅の１／２以上ずらせるような構成であってもよい。図６は、本発明の実施の形態１における製造方法により製造されたＰＤＰのアライメントマークの相対的なばらつきを示した図である。図６に示すように、本発明の実施の形態１における製造方法により製造されたＰＤＰは、１つの背面板４７の基準とするアライメントマークに対して、複数の前面板４１が、図６に示すように、行方向にセル幅の１／２の範囲内でずれたようなばらつきを持つ相対的な位置関係となっている。
【００４６】
以上のように、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法では、上述したような製造工程に従ってＰＤＰが製造されるため、前面板４１の欠陥が原因で生じる凸部などの欠陥を隔壁間に選択的に移動させることとなり、前面板４１の凸部のような欠陥に起因するドット不良の発生を防ぐことができる。このため、ＰＤＰの製造工程の良品率の向上および、表示品質の向上を図ることができる。さらに、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法は、前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果に基づいて、前面板４１と背面板４７との貼り合せの位置関係を演算し、この演算結果に応じたオフセット量だけそれぞれの基板をずらせて貼り合せを行えばよい。このため、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法は、上述した従来例のような仮の貼り合せ工程やクリーニング工程を含む仮組み工程などを設ける必要はなく、また凸部などの欠陥を隔壁間に選択的に移動させた対向配置関係で貼り合せを行うような手法であるため、クロストークによる色むら不良を引き起こすような大きな損傷痕を隔壁に生じさせることもない。よって、本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの製造方法によれば、製造効率を低下させることなく、ドット不良を引き起こすような隔壁などの欠けや損傷の発生を容易に防止し、製造工程における良品率の向上を図ったＰＤＰの製造方法を提供できる。
【００４７】
なお、本発明の実施の形態１では、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の位置決めの基準として前面板４１と背面板４７とにアライメントマークを設けたが、これに代えて前面板４１や背面板４７の構造の一部、例えば電極の端などを位置決めの基準として用いてもよい。
【００４８】
また、本発明の実施の形態１では、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の位置決めの基準位置を、前面板４１と背面板４７とを重ねたときの両基板のアライメントマークが重なる位置としているが、これに代えて背面板４７の基準位置を、アライメントマークにある一定のオフセット量を加えた位置を基準位置と定義し、その基準位置に対して前面板４１の凸部などの欠陥が背面板４７の列隔壁１０間に位置するよう前面板４１を貼り合せるような貼り合せ手法を用いてもよい。
【００４９】
また、本発明の実施の形態１において、すべての前面板４１の凸部などの欠陥を背面板４７の列隔壁１０間に位置させるようなずらし量の範囲が存在しない場合は、背面板４７に対し、すべての前面板４１の欠陥のうち小さな欠陥のみが列隔壁１０に重なるように、ずらし量の範囲を求めるような一例を挙げたが、欠陥の大きさ以外の欠陥の情報、例えば欠陥の高さや欠陥の成分などの情報をさらに判定基準として加えて、列隔壁１０に重なる欠陥を選択してもよい。
【００５０】
さらに、本発明の実施の形態１では、貼り合せ位置決定演算部２７において、背面板４７に対する前面板４１の最適な位置での隔壁上に位置する前面板４１の欠陥を求めているが、貼り合せ位置決定演算部２７に前面板４１の良品と不良品を判定する判定部を設け、例えば、隔壁上に位置する前面板４１の欠陥が所定の大きさより大きい場合には、背面板４７との貼り合せを行わずに不良品の前面板４１として処理し、所定の大きさより小さい場合は、上述した方法で求めた最適な位置で背面板４７との貼り合せを行うような工程をさらに備えてもよい。
【００５１】
さらに、本発明の実施の形態１では、背面板４７に対して前面板４１を行方向にのみずらすことで、すべての前面板４１の欠陥が背面板４７の列隔壁１０に重ならないようなずらし量の範囲を求める方法をとったが、これに代えて前面板４１の表示電極４に予備の電極を複数本追加して前面板４１を列方向にずらせるような構造にし、背面板４７に対して前面板４１を行方向および列方向にずらすことで、すべての前面板４１の欠陥が背面板４７の列隔壁１０および行隔壁１１に重ならないような範囲を求める方法をとってもよい。
【００５２】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法について説明する。
【００５３】
本実施の形態では、例えば、前面板の欠陥のうち、ドット不良を引き起こす可能性が高い大きな欠陥が存在する場合に、このような欠陥を背面板の視認性の低い色のセルや画面の辺縁部のセルに位置させるようにすることで、ドット不良によるＰＤＰの不良率の低減、およびＰＤＰの表示品質の向上を図っている。
【００５４】
本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの基本的な構造は、図１で示したような実施の形態１と同じ構造であり、詳細な説明は省略する。ただし、実施の形態１との比較において、前面板４１のそれぞれの表示電極４において、表示電極４の長手方向、すなわち行方向の有効な長さが、背面板４７における行方向の有効表示領域よりも少なくとも列隔壁１０のピッチの３倍だけ長くなるような長さとしている。
【００５５】
次に、本発明の実施の形態２のＰＤＰの製造方法の基本的な工程フローについて、実施の形態１で説明した図３を用いて説明する。
【００５６】
まず、本実施の形態のＰＤＰの製造工程において、実施の形態１と同様に、前面板処理工程Ｓ１１、前面板表面検査工程Ｓ１２、背面板処理工程Ｓ１１’を実施する。
【００５７】
その後、前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果を基にして、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の、前面板４１に存在する突起部１３などの欠陥が背面板４７の隔壁上に重ならないような背面板４７に対する前面板４１の位置を演算し決定する前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３を実施する。特に、本発明の実施の形態２のＰＤＰの製造方法では、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３において、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の、前面板４１に存在する突起部１３などの欠陥を、視認性の低い色のセルや画面の辺縁部のセルに位置させるように背面板４７に対する前面板４１の位置を算出し決定する。すなわち、本実施の形態における前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３では、突起部１３が所定の色のセルを形成する隔壁間に位置するようなずらし量を算出している。
【００５８】
最後に、実施の形態１と同様に、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３より決定された背面板４７に対する前面板４１の貼り合せ位置に従って、前面板４１と背面板４７との貼り合せ工程Ｓ１４を実施し、ＰＤＰを完成させる。
【００５９】
このように、本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法は、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３において、凸部が所定の色のセルを形成する隔壁間など視認性の低い色のセルや画面の辺縁部のセルに位置するようにずらし量を算出することを特徴としている。特に、表示電極４の行方向の有効な長さを、背面板４７における行方向の有効表示領域よりも列隔壁１０のピッチの３倍だけ長くなるような長さとすることで、３原色の中から、例えば青色のセルとするような視認性の低い色のセルを選択することができる。なお、前面板４１の凸部が画面の辺縁部のセルに位置させるため、表示電極４の有効範囲と背面板４７における有効なセルの範囲とが重なる範囲において、表示電極４の長さＬを、列隔壁１０のピッチＰの３倍以上長くなるような構成としてもよい。
【００６０】
次に、本発明の実施の形態２における、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３で実施される演算方法について説明する。例えば、次の１から３で示すようなルールに基づいた演算を行い、背面板４７に対する前面板４１の最適な貼り合せ位置を求める。
【００６１】
１．前面板表面検査装置１９で検出されたすべての前面板４１の欠陥のうち、ドット不良になる可能性のある大きさの欠陥、例えば、セルの開口部より大きな欠陥を検索する。
【００６２】
２．ルール１で検索したすべての前面板４１の欠陥が、背面板４７のセルのうち、例えば緑のセルとするような視認性の高い色のセル上には位置しないように、背面板４７に対して前面板４１をずらせるずらし量の範囲を求める。
【００６３】
３．上記のルール２で、ルール１で検索したすべての前面板４１の欠陥が、背面板４７のセルのうち視認性の高い色のセル上に位置しないように背面板４７に対して前面板４１をずらせる範囲が存在しない場合は、視認性の高い色のセル上に位置するルール１で検索した欠陥が、背面板４７の中央付近に位置しないように、背面板４７に対して前面板４１をずらせるずらし量の範囲を求める。
【００６４】
このような方法によれば、上記ルールの対象となった任意の前面板の欠陥は、赤、緑、青の３セルのうちの所定の色のセルに存在するように前面板を背面板に対して位置決めされることになる。
【００６５】
以上のように、本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法によれば、上述したような製造工程に従ってＰＤＰが製造されるため、前面板４１の欠陥が原因で生じる凸部などの欠陥を、視認性の低い色のセルや画面の辺縁部のセルに選択的に移動してドット不良を目立たなくすることができ、ＰＤＰの製造工程の良品率の向上および、表示品質の向上を図ることができる。さらに、本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法は、実施の形態１と同様に、前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果に基づいて、前面板４１と背面板４７との貼り合せの位置関係を演算し、この演算結果に応じたオフセット量だけそれぞれの基板をずらせて貼り合せを行えばよいため、本発明の実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法によっても、製造効率を低下させることなく、ドット不良を引き起こすような隔壁などの欠けや損傷の発生を容易に防止し、製造工程における良品率の向上を図ったＰＤＰの製造方法を提供できる。
【００６６】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法について説明する。
【００６７】
本実施の形態は、例えば、前面板の突起部のような欠陥のうち、ドット不良を引き起こす可能性が高い大きな欠陥が存在し、実施の形態１や実施の形態２で説明したような工程手順を実施しても隔壁間にこのような欠陥を位置させることが困難な場合などにも対応させたＰＤＰの製造方法である。すなわち、本実施の形態では、このような大きな欠陥が前面板に存在した場合、この大きな欠陥の存在箇所が背面板の隔壁頂部の低い箇所に位置するような背面板を複数枚から選択し、この欠陥を有した前面板と選択された背面板とを組み合すことで、ＰＤＰのさらなる不良率の低減、およびＰＤＰの表示品質の向上を図っている。なお、本発明の実施の形態３のＰＤＰの基本的な構造については、実施の形態１と同様であるため詳細な説明は省略する。
【００６８】
まず、本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程フローについて説明する。図７は、本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程のフローを示す図である。
【００６９】
図７に示すように、本ＰＤＰの製造工程において、まず、実施の形態１と同様に、前面板処理工程Ｓ１１、前面板表面検査工程Ｓ１２および背面板処理工程Ｓ１１’を実施した後、背面板４７表面の基板全域における隔壁の高さや形状を確認する背面板表面検査工程Ｓ１２’を実施する。背面板表面検査工程Ｓ１２’においては、背面板４７の表面について、あらかじめ指定した複数箇所の隔壁の高さや形状などに関する情報を位置情報とともに記憶する。
【００７０】
次に、前面板表面検査工程Ｓ１２の検査結果における欠陥の大きさや高さなどに関する情報に基づき、次に進む工程を判定する前面板判定工程Ｓ２０を実施する。前面板判定工程Ｓ２０では、前面板表面検査工程Ｓ１２の表面検査結果に基づき、前面板４１に、例えばセルの行方向幅よりも大きな欠陥があるかどうかを判定する。前面板判定工程Ｓ２０において、例えばセルの行方向幅よりも大きな欠陥は存在しないと判定されると、実施の形態１と同様の前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３、および前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３の演算結果に従って前面板４１と背面板４７とを貼り合す貼り合せ工程Ｓ１４が実施される。また、前面板判定工程Ｓ２０において、例えばセルの行方向幅よりも大きな欠陥が存在すると判定されると、本発明の実施の形態３の特徴とする基板組合せ演算工程Ｓ３１、基板選択工程Ｓ３２および貼り合せ工程Ｓ１４が実施される。なお、前面板判定工程Ｓ２０において、例えばセルの行方向幅よりも大きな欠陥は存在しないと判定されると、実施の形態２、あるいは実施の形態１と実施の形態２とを組み合せたような工程を実施してもよい。また、ここでは、前面板判定工程Ｓ２０において、欠陥の行方向幅の大きさを判定するものとして説明するが、欠陥の行方向幅のみでなく、実施の形態１や実施の形態２のような手法によっても欠陥と隔壁との接触が回避できないような欠陥についても判定するような判定基準としてもよい。
【００７１】
次に、本実施の形態では、例えばセルの行方向幅よりも大きな欠陥が存在する場合、図７に示すように、さらに、上述した前面板表面検査工程Ｓ１２と背面板表面検査工程Ｓ１２’との検査結果を基にして、前面板４１と背面板４７を貼り合せる際の、前面板４１と背面板４７との最適な組合せを演算する基板組合せ演算工程Ｓ３１を実施する。すなわち、この基板組合せ演算工程Ｓ３１は、前面板表面検査工程Ｓ１２における結果と背面板表面検査工程Ｓ１２’における結果とに基づき、前面板４１の凸部の位置に隔壁頂部の凹部が位置するような前面板４１と背面板４７との組合せを、最適な組合せとして求める。より詳細には、前面板表面検査工程Ｓ１２は、前面板４１の凸部の位置および形状を求め、背面板表面検査工程Ｓ１２’は、背面板４７の隔壁頂部の凹部の位置および形状を求め、基板組合せ演算工程Ｓ３１は、前面板表面検査工程Ｓ１２で求めた前面板４１の凸部の位置および形状と背面板表面検査工程Ｓ１２’で求めた背面板４７の隔壁頂部の凹部の位置および形状とに基づき、前面板４１と背面板４７との組合せを、最適な組合せとして求める。
【００７２】
この工程の後、基板組合せ演算工程Ｓ３１で決定された最適な組合せの情報を基に前面板４１と背面板４７とを選択し、次の工程に搬送するための基板選択工程Ｓ３２を実施する。
【００７３】
最後に、基板組合せ演算工程Ｓ３１の演算により求めた背面板４７に対する前面板４１の貼り合せ位置に従って、前面板４１と背面板４７との貼り合せ工程Ｓ１４を実施し、ＰＤＰを完成させる。なお、図７では、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３の演算結果に従って前面板４１と背面板４７との貼り合せ、および基板組合せ演算工程Ｓ３１および基板選択工程Ｓ３２を実施した後に前面板４１と背面板４７との貼り合せを貼り合せ工程Ｓ１４で実施するような一例を挙げているが、前面板貼り合せ位置演算工程Ｓ１３の後に、ずらし量に応じた距離だけ基準位置からずらせた対向配置関係で、背面板４７と前面板４１との貼り合せを行う第一の貼り合せ工程を設け、基板選択工程Ｓ３２の後には、基板選択工程Ｓ３２で選択された前面板４１の凸部と隔壁頂部の凹部とが一致するような対向配置関係で、背面板４７と前面板４１との貼り合せを行う第二の貼り合せ工程を設けたような構成であってもよい。
【００７４】
このように、本発明の実施の形態３のＰＤＰの製造方法は、実施の形態１や実施の形態２で説明したような製造工程に加えて、さらに、背面板４７の隔壁頂部の検査を行う背面板表面検査工程Ｓ１２’と、前面板表面検査工程Ｓ１２における結果と背面板表面検査工程Ｓ１２’における結果とに基づき、前面板４１の凸部の位置に隔壁頂部の凹部が位置するような前面板４１と背面板４７との組合せを求める基板組合せ演算工程Ｓ３１と、基板組合せ演算工程Ｓ３１で求めた組合せの前面板４１と背面板４７とを選択する基板選択工程Ｓ３２とを備え、貼り合せ工程Ｓ１４が、基板選択工程Ｓ３２で選択された前面板４１と背面板４７とを貼り合せる。そして、また、本発明のＰＤＰの製造方法において、前面板表面検査工程Ｓ１２は、前面板４１の凸部の位置および形状を求め、背面板表面検査工程Ｓ１２’は、背面板４７の隔壁頂部の凹部の位置および形状を求め、基板組合せ演算工程Ｓ３１は、前面板表面検査工程Ｓ１２で求めた前面板４１の凸部の位置および形状と背面板表面検査工程Ｓ１２’で求めた背面板４７の隔壁頂部の凹部の位置および形状とに基づき、前面板４１と背面板４７との組合せを求める。すなわち、本発明の実施の形態３のＰＤＰの製造方法は、前面板判定工程Ｓ２０においてその凸部が、例えばセルの行方向幅よりも大きいと判定されたとき、前面板表面検査工程Ｓ１２による前面板４１の表面の凹凸に関する表面検査とともに、背面板表面検査工程Ｓ１２’による背面板４７の隔壁頂部の凹凸に関する隔壁検査に基づき、前面板４１の凸部に対応した位置に隔壁高さが凹部となる背面板４７を選択し、前面板４１の凸部に選択した背面板４７の隔壁凹部が位置するように対向配置し、それぞれの貼り合せを行うことを特徴としている。
【００７５】
次に、本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法において、このような貼り合せを実施するために利用する製造装置について説明する。図８は、このような貼り合せを実施するために、基板の取り出しを実施する製造装置の主要部のブロック図である。
【００７６】
このような基板の取り出しを実施する製造装置において、基板取り出し制御部３０は、前面板表面検査装置１９および背面板表面検査装置２９からの情報に基づき、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の前面板４１と背面板４７との最適な組合せの演算を行う。これとともに、基板取り出し制御部３０は、選択された前面板４１と背面板４７との識別情報をそれぞれ記憶する。さらに、基板取り出し制御部３０は、この情報を基に前面板４１と背面板４７との取り出し順位を決定し、前面板取り出し機構３１と背面板取り出し機構３２とに対して、前面板４１と背面板４７とが複数枚収納されている収納部３３から前面板４１と背面板４７との取り出しを実施するよう指令する。これにより、次の工程の前面板４１と背面板４７との貼り合せ工程に基板が搬送される。
【００７７】
また、図８に示す基板取り出し制御部３０において、前面板演算用記憶部３４は、前面板表面検査装置１９からの情報を識別情報とともに記憶する。また、背面板演算用記憶部３５は、背面板表面検査装置２９からの検査結果に基づく情報を識別情報とともに記憶する。また、収納位置記憶部３６は、収納部３３に保管されている複数の前面板４１および背面板４７の収納位置と識別情報とを関連付けた情報を記憶する。また、基板取り出し演算部３７は、前面板演算用記憶部３４、背面板演算用記憶部３５および収納位置記憶部３６の情報に基づき、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の前面板４１と背面板４７との最適な組合せを演算する。また、順位設定部３８は、基板取り出し演算部３７の結果を記憶する。
【００７８】
次に、基板取り出し演算部３７で実施される前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の前面板４１と背面板４７との最適な組合せの演算について説明する。
【００７９】
図９は、ドット不良が発生する可能性がある前面板４１の欠陥と背面板４７の隔壁の位置関係を示す図である。図９に示すように、行方向の隔壁上に前面板４１の欠陥が位置するような場合は、前面板４１の表示電極４の列方向の位置が、背面板４７の行方向の行隔壁１１との位置関係で一意に決定されてしまう。このため、前面板４１を背面板４７に対して行方向にずらしたとしても欠陥と隔壁との接触を回避することができず、実施の形態１で説明したような方法によっても、欠陥は、行隔壁１１あるいは行隔壁１１と列隔壁１０の交差部上のどこかに必ず位置することになる。このため、このまま前面板４１と背面板４７とを貼り合せた場合、図９に示す欠陥Ａは行方向の隔壁上に重なるため、隔壁が破壊され、セルが点灯しないドット不良になるという不都合が生じる可能性がある。前面板判定工程Ｓ２０における判定基準として、欠陥の行方向幅の大きさを判定するのみでなく、この例のような欠陥と隔壁との接触が回避できないような欠陥についても判定するような判定基準としてもよい。
【００８０】
本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法においては、このような不都合を解決するため、前面板４１の欠陥の存在箇所となる背面板４７の隔壁頂部が他の領域より低いような背面板４７を選択することで、前面板４１の凸部のような欠陥により隔壁を破壊する可能性をさらに低くしている。
【００８１】
すなわち、例えば次のようなルールに従って演算を行うことでこのような不都合を解決できる。
【００８２】
１．前面板演算用記憶部３４に記憶されている前面板４１の欠陥の座標と背面板演算用記憶部３５に記憶されている背面板４７の隔壁の座標とを照合し、隔壁上に位置する前面板４１の欠陥を検索する。
【００８３】
２．上記のルール１で検索した隔壁上に位置する前面板４１の座標と、背面板演算用記憶部３５に記憶されている背面板４７の隔壁頂部の高さ情報を照合し、収納部３３に格納されている複数の背面板４７から該当部分の背面板４７の隔壁頂部の高さが一番低い背面板４７を最適な組合せとして選択する。
【００８４】
３．上記のルール２で、収納部３３に格納されている複数の前面板４１から、同一の背面板４７が最適な背面板４７として選択された場合は、ルール１で求めた欠陥のうち大きな欠陥を有している前面板４１から優先的に前面板４１と背面板４７の組合せを行う。
【００８５】
以上のように、本発明の実施の形態３によれば、隔壁との接触が回避できないような欠陥を有する前面板４１に対しては、前面板４１の表面の凹凸に関する表面検査および背面板４７の隔壁高さの凹凸に関する隔壁検査に基づき、前面板４１の凸部に対応した位置に隔壁高さが凹部となる背面板４７を選択し、前面板４１の凸部に背面板４７の隔壁凹部が位置するように対向配置し、それぞれの貼り合せを行うため、前面板４１に起因するドット不良の発生を防ぐことができ、さらに、ＰＤＰの製造工程の良品率の向上、および表示品質の向上を図ることができる。
【００８６】
なお、本発明の実施の形態３では、前面板４１と背面板４７とを貼り合せる際の前面板４１と背面板４７との最適な組合せの演算において、欠陥の大きさのみで優先順位付けを行い、最適な前面板４１と背面板４７との組合せを選択する演算を行う方法をとっているが、欠陥の数や欠陥の存在する座標などを考慮した判定基準を用いて、最適な組合せを演算する方法をとってもよい。
【００８７】
また、前面板４１の凸部のような突起部１３が原因で生じるドット不良を低減するために、実施の形態１、実施の形態２および実施の形態３のいくつかを組み合せて実施してもよい。
【００８８】
また、上記の各実施の形態では、列隔壁１０および行隔壁１１を備えたＰＤＰについて説明したが、行隔壁１１を備えていないＰＤＰについても本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上のように本発明のＰＤＰの製造方法によれば、セルが点灯しないドット不良のうち、前面板の突起部が原因で生じるドット不良を低減することができ、ＰＤＰの製造工程の良品率の向上および、表示品質の向上を図ることができるので、放電空間を有するように２枚の基板を貼り合せてなるＰＤＰの製造方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の実施の形態１におけるＰＤＰの構造を示す図
【図２】同ＰＤＰの前面板と背面板とを対向配置したときの構造を模式的に示す図
【図３】本発明の実施の形態１および実施の形態２におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程のフローを示す図
【図４】本発明の実施の形態１における製造装置の主要部のブロック図
【図５】本発明の実施の形態１における背面板の隔壁と前面板の欠陥との位置関係を示す図
【図６】本発明の実施の形態１におけるＰＤＰのアライメントマークの相対的なばらつきを示す図
【図７】本発明の実施の形態３におけるＰＤＰの製造方法の基本的な工程のフローを示す図
【図８】本発明の実施の形態３における製造装置の主要部のブロック図
【図９】本発明の実施の形態３におけるドット不良が発生する可能性がある前面板の欠陥と背面板の隔壁の位置関係を示す図
【図１０】ドット不良を引き起こす様子を模式的に示したＰＤＰの断面図
【図１１】従来の製造方法により製造されたＰＤＰの例を模式的に示す断面図
【符号の説明】
【００９１】
１，７    ガラス基板
２    走査電極
３    維持電極
４    表示電極
５    誘電体層
６    保護層
８    アドレス電極
９    下地誘電体層
１０    列隔壁
１１    行隔壁
１２    蛍光体層
１３    突起部
１４    前面板アライメントマークＡ
１５    前面板アライメントマークＢ
１６    背面板アライメントマークＡ
１７    背面板アライメントマークＢ
１８    セル
１９    前面板表面検査装置
２０    位置決め機構
２１    貼り合せ位置決定制御部
２２    識別情報読み取り部
２３    貼り合せ機構
２４，３４    前面板演算用記憶部
２５    背面板設計情報記憶部
２６，３５    背面板演算用記憶部
２７    貼り合せ位置決定演算部
２８    貼り合せ位置記憶部
２９    背面板表面検査装置
３０    基板取り出し制御部
３１    前面板取り出し機構
３２    背面板取り出し機構
３３    収納部
３６    収納位置記憶部
３７    基板取り出し演算部
３８    順位設定部
４１    前面板
４７    背面板
９０，９２    損傷痕
９１    破片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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