(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結装置におけるドア連結装置であって、
第一に、固定されているまたは変位可能なチャンバ（Ａ）および移動可能または移送可能なチャンバ（Ｂ）の各チャンバは、固定フレームを形成するフランジ（４，５）と協働するドア（２，３）を備えた少なくとも一つのアクセス用開口部を有し、該ドアは、密封手段（１２，１４）の介在物を具え、２つのドア（２，３）のうちの一方が上記一方のドアと協働するフランジ（４，５）に連結されており、
第二に、２つのドア（２，３）は、対応するそれぞれのフランジ（４，５）へのロック手段と補助連結手段を有し、該ロック手段と補助連結手段は、一つのチャンバの内容物が他のチャンバに移動される前であって、フランジ（４，５）が密封すべくお互いにロックされている間に、２つのドア（２，３）が連結されるのを許容し、それによって、密封手段（１２，１６および１３，１４）の接触を介して、現在互いに接触しているドア表面（１７，１８）を外部媒体から隔離する内部空間（Ｃ）を形成し、
第三に、フランジ（４，５）の相互ロック、および、対応するフランジからのドア（２，３）のアンロックを制御する外部手段（５２）が設けられ、
第四に、２つのドア（２，３）間の上記補助連結手段が、内部空間（Ｃ）に向かって開き、且つ真空源（３９）に連結されドアの少なくとも一方に形成されたダクト（３０，３４，３５）で構成された装置であって、
真空源（３９）をダクト（３０，３４，３５）のネットワークに接続するダクト系（３８）に、このダクト系中の部分的な真空の強さを測定し、この部分的な真空が表示値または記憶値に届かないときに、警報装置（４５）に反応を起こさせるセンサー（４４）を具えることを特徴とするドア連結装置。
【請求項２】
ドアの一つ（３）には、他のドア（２）のシールと協働し、且つ２つのドア（２，３）の間に形成された空間「Ｃ」に対する密封の内側の臨界線を形成する円形領域（１６）が備えられ、前記ドアは、この円形領域（１６）の近辺に、他のドア（２）に関してドア（３）の相対的変位を制限する内側で凹んだ円形支持面（４８）を有し、これによって部分的な真空の作用で対応するシール（１２）の圧縮が行なわれることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
真空をドア（２または３）の一つに形成されたダクト（３０，３４，３５）のネットワークに送るダクト系（３８）は、多方向電動バルブ（８０）の介在物を具えた圧縮空気源（８１または７７）にも接続され、該バルブは、真空源および真空ゲージ（４４）を具えた枝管（４５）からダクト系（３８）を隔離可能であると同時に、圧縮空気の流れを２つのドア（２，３）の間の空間Ｃに送り込み、これらのドアが離れるのを促進するように、このダクト系（３８）を、圧縮空気源と連通させ得ることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、チャンバの一つから他方のチャンバへ内容物を移動させる目的で、外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結のための装置におけるドア連結用装置に関する。
【０００２】
この説明および添付の特許請求の範囲の解釈の目的のために、「密封する」または「密封された」の用語は、２つのタイプの媒体を分離する壁が、該壁を通っての１つ以上の照合物質、例えばいわゆる汚染物質、の移動を防止または制限するような特性を意味する。
【０００３】
「汚染している」または「汚染」の用語は、物質が任意の媒体の中で、除外され、または限られた量または濃度に留められねばならないという特性を意味する。これは、例えば、生物学上またはその他の自然界の病原菌または汚染物質であってもよく、また、流体媒体中の懸濁液の中にも配され得る単純な固体粒子、液体粒子またはガス粒子であってもよい。
【０００４】
より詳しくは、本発明は、限定的ではないが、粒子によるものを含み、汚染が外部媒体から回避または制限されることを要する医学的または生物学的なタイプでの用途を参照しつつ以下に説明される。例として、以後「Ａ」と称するチャンバの一つは、クリーンルームまたは滅菌室からなるが、これは置換え可能であり、以後「Ｂ」と称する他のチャンバは、取外し可能且つ移送可能な、例えば使い捨てチャンバであり、以下に説明される密封された連結装置が連結位置にあるときに、２つのチャンバの間に形成された通路、即ち移送可能なチャンバから固定式チャンバまでの通路を通って、移送されるべき一つ以上の対象物または装填物を含んでいる。例えば、クリーンルーム中で進行している製造または生産のために必要とされる成分または製品を固定式チャンバに供給したり、その逆に、該クリーンルームから廃棄物または製品を排出する。
【０００５】
本発明は、技術状態に従うとより複雑な接合装置の部分を形成する連結装置に関し、本発明の紹介および説明が成される前に、図１乃至７を参照して、先ず以下に説明される。
【０００６】
そのような密封接合装置は、産業および研究の多くの分野において普通に使用されており、実際には、この領域に含まれた大気又は製品の危険なすなわち汚染した性質の故、または、この領域に含まれ滅菌された大気が周囲の空気によって汚染される可能性がある故に、監禁チャンバを形成するために確定された領域を隔離することが必要である度毎に使用されている。そのような状況は、特に、核、電子、製薬および医療分野において発生する。
【０００７】
従って、本発明は、より詳しくは、技術状態の一部を形成するという理由で、この段階で説明されている装置に関し、ここでは、それぞれフランジ４および５の形態の固定フレームにより各々支持されているドア２および３の一時的な連結がチャンバ「Ｃ」を形成する。これらのドアのうちの一つ、即ちドア２は、外部媒体から隔離された固定チャンバ「Ａ」の開口部６に配され、一方、他のドア、即ちドア３は、やはり外部媒体から隔離された他のチャンバ「Ｂ」の開口部に配されている。本発明は、限定されないが、より詳しくは、この装置の、滅菌チャンバ「Ａ」と持ち運び可能なチャンバ、即ち可動式チャンバ「Ｂ」との相互接続の用途に関する。例えば、該可動式チャンバ「Ｂ」は、ドア３のフランジ５に固定された合成材料８で作られたケーシングによって形成された移送可能な容器からなる。
【０００８】
この密封接合装置によれば、固定チャンバ「Ａ」は、概ね円形で軸１０の回りに連結されたアーム９によって、例えば垂直に、フランジ４に関して支持されたドア２によって閉鎖される。このドアは、フランジ４の支持面１１と互いに協働し合う圧縮可能な環状シール１２のような密封手段を有している。
【０００９】
同様に、移送可能なチャンバ「Ｂ」は、概ね円形であるが、固定チャンバのドア２のためのフランジ４に形成された開口部よりも小さい直径寸法であり、この開口部を介して嵌合し得るドア３によって閉鎖される。ドア３は、該ドアのフランジ５を密封する手段、即ちフランジによって支持され、ドア３の支持面１５と互いに協働する圧縮可能な環状シール１４を有している。
【００１０】
ドア２および３の各々は、各ドアを閉鎖された位置においてフランジに対してロックする手段とも連携されている。図５および６に図示され下記に定義されている実施形態においては、これらのロック手段は、フランジ４のベアリング内で回転自在に取り付けられたシャフト５０、シャフトの、チャンバＡに配されたその端部上にしっかりと留められた回転式掛金５１、およびシャフト５０の、チャンバＡの外側に延在するその端部上にしっかりと留められたレバー５２とを具えている。回転式掛金５１はブレードの形状をしており、図５に示されるように、ドア２をフランジ４の凹部内に押圧する位置、またはこのドアが動くのを許容する、このドアの半径方向外側の位置のいずれかを占め得る。
【００１１】
シャフト５０は、一方において、該シャフト上にフランジ４の外側からレバー５２に向かってしっかりと留められ、フランジ５をフランジ４に対してしっかりと留めることが可能なもう一つの回転式掛金５３と、他方において、ドア３をそのフランジ５上にしっかりと留める手段と協働可能な２つの半径方向指状部材５４および５５を担持している。図６は、これらの多様な構成要素５１，５３，５４および５５がお互いに関して、およびレバー５２に関して角度的にずらされていることを示している。
【００１２】
ドア３をそのフランジ５にロックする手段は、２つの円柱状ピン５６，５７を具えており、それぞれドア３の盲ボア５８と、第一のボアと同軸でフランジ５に半径方向に形成されたボア５９とに前後にぴったりと嵌合している。ピンは、部分的にしか係合されないため、ピン５７はフランジ５から突出し、ピン５６はドア３を受け入れているフランジ５の内側のボア５ａを横切ってドア３をフランジにロックする。容器が使い捨て容器の場合、図６に見られるような他のピン６０がフランジのボア６１に、ドア３の盲ボア６２と整列して配される。最初は、ピン６０は、図６に図示された位置にある。つまり、ピン６０は、一方の端部においてフランジ５から半径方向へ延在する一方で、その反対側の端部は盲ボア６２に入ることなくボア５ａと面一に存する。このピン６０と同軸ピン５６，５７は、シャフト５０の回転軸を含む直径方向平面の各々の側で角度的にずれており、このシャフトによって支持されている指状部材５４，５５の円形経路内に配されている。
【００１３】
かかる装置は、一般的には、フランジ４の周辺で角度をもって離間されている同様の他の装置と連携されている。
【００１４】
最後に、取外し可能なチャンバ即ち容器Ｂのフランジ５を固定チャンバＡのフランジ４に対して位置付けるのを容易にするために、図７に示されるように、フランジ４は、外方に向いて突出しフランジ５の周辺に作られた円形の切欠き６４と協働し得る数個の縦長の指状部材６３に固定されている。
【００１５】
移動が行われない場合、ドア２および３の各々は、掛金５１とピン５６によってそれぞれに対応するフランジ４および５に対してロックされている。一方のチャンバの内容物が他方のチャンバに移動される必要がある場合、例えば、移送可能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移送されなければならない場合には、移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３のフランジ５が、図１に示されるように、固定チャンバ「Ａ」のドア２のフランジ４に対して、指状部材６３により大まかに位置付けられ、その後、最終的にはドア３の凹部７５内へのドア２の中央ボス７１の係合により確実に位置付けられる個所にもたらされる。
【００１６】
図６の矢印７０の方向にレバー５２を回すと、同時に、フランジ５をフランジ４にロックし、回転式掛金５１を介してドア２をアンロックし、さらにピン５６，５７を押し込む指状部材５５を介してドア３をフランジ５からアンロックする。つまり、この押し込み動作は、フランジのボア５ａとのピン５６，５７の間の接触領域を均しくし、それによってドア３を解放する。
【００１７】
この位置において、図３に示されるように、フランジ５に支持されている環状シール１４は、フランジ４（図２）の円形支持面１３に対して密封接触状態にあり、かくて、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の間の接続領域の内側を外部媒体から隔離している。同様に、他の環状シール１２は、ドア３、即ちより厳密には円形の隆起部１６と密封接触状態にあり、これにより２つのドア２および３の間の間隙、即ち空間「Ｃ」を隔離している。このために、ドアの表面１７および１８は、これまでは外部媒体と接触していたが、今やこの空間Ｃの中に閉じ込められ、それによって、これらの表面が２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の密封連結により形成された内部容量を引き続き汚染する可能性を防止する。汚染製品の移動の場合には、この空間の封じ込めは、移動後に外側と再び接触するであろう２つの表面１７および１８が外部媒体を汚染する可能性をも防止する。
【００１８】
以上から、２つのフランジ４および５とそれぞれに対応する２つのドア２および３との間の密封手段は、２つの円形で且つ連続する、いわゆる密封の臨界線Ｃ１，Ｃ２を確定し、外部媒体の汚染または外部媒体による汚染、さらには、同様に空間「Ｃ」（図４参照）の汚染または空間「Ｃ」による汚染を防止するために、その臨界線の無欠性は完全に維持されなければならないことが明らかである。
【００１９】
「臨界線」という用語は、当業者に周知のごとく、連通された２つのチャンバの外にある媒体による残滓汚染を伴う線を意味する。２つのチャンバが連結され連通された後に、この線は、２つのチャンバの間に形成された通路に存する空気または液体と接触するようになるか、または製品、即ち前記通路を通る製品と接触するようになり、それらを汚染する。
【００２０】
このような処理の間、下記の補足的な連結手段と、この手段を具える２つのドア２および３の外面とが一緒に結合し、固定チャンバ「Ａ」のドア２の開閉動作が移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３に伝達されるように、これらのドアを一緒に固定する。
【００２１】
２つのドア２および３が、それぞれのフランジ４，５からアンロックされた後に、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」は、ドア２を、図４に示されるように、固定チャンバ「Ａ」の内側に向けて回転させることにより連通を図ることができる。この動作は、フランジ４の開口部４ａを露出させ、２つのドア２および３の間の連結の故に、ドア３を動かし、ドア３はこの開口部４ａを貫通して固定チャンバ「Ａ」に入る。
【００２２】
例えば、移送可能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移動された後に、ドアは閉鎖位置に戻される。
【００２３】
閉鎖体のロックは、このチャンバＢが使い捨てチャンバの場合には、レバー５２をピン６０が指状部材５４によって押し込まれるまで矢印７０に対して反対方向に回すことにより、さらには、ドア２が回転式掛金５１によってフランジ４へロックされるのを許容するように、該レバーを図６に示されている中央位置まで戻すことにより行われる。
【００２４】
この段階で、チャンバＡおよびＢは、再び気密的に閉鎖され、チャンバＢは、臨界線を分離し、それまで隔離されていた面の外側と接触されることにより取り除かれ得る。
【００２５】
密封接合装置のより完全な説明のために、必要に応じて、ＩＤＣ  ＩＳＯＬＡＴＥＵＲ  ＤＥＮＯＭＩＮＡＴＥＵＲ  ＣＯＭＭＵＮのフランス特許出願公開公報第ＦＲ−Ａ−２，７２１，２８９号を参照できる。
【００２６】
外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結方法は、全体的には十分満足できるが、ドア間の一時的な連結に関する限りは改良し得る。
【００２７】
このように、この連結がドアの一つから突出し、他のドアの切り欠きに入るような半径方向へのスタッドまたは差し込みペグによってもたらされる場合、２つのドアを接続および接続解除するために必要とされる回転は、移送可能なチャンバ「Ｂ」のドアの回転によって概ね達成される。例えば、該容器は、固定チャンバ「Ａ」に対して、必ずしも便利なものではなく、この容器の大きさに応じて人の骨折りを必要とする。さらに、対応するシール上の円形密封支持面の摩擦のために、この回転は汚染粒子を発生させるかもしれない磨耗を引き起こすか、またはバクテリアまたはその他の汚染を誘発するような漏れの発生を引き起こす。
【００２８】
この磨耗を減少させるために潤滑剤に頼ることは、汚染源をも構成する。
【００２９】
フランス特許出願公開公報第ＦＲ−Ａ−２，７２１，２８９号に記載されるように、２つのドアの間の連結が粘着または磁力、例えば、固定チャンバ「Ａ」のドア２の外面の中央部分に固定された少なくとも一つの小さな磁気プレートによって、さらにその他には、他方のドア３の外面１７に固定された磁性すなわち鉄のプレートによってなされた場合、２つの遮蔽物の間に発生される磁気引力は比較的低く、これらのドアの製造公差に依存する。このため、この引力は、反対側の円形支持面によって２つのドアの間でシール１２の適当な圧縮をもたらし、これらの２つのドアの間に密封連結を行わせるには十分でないかもしれない。同様に、開放の際、特に移送可能なチャンバＢが部分的に真空状態にあるとき、このチャンバ「Ｂ」のドア３は、チャンバＣを開放して固定チャンバ「Ａ」のドア２から離れるようになり、そのため、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の内部容量の汚染、特に固定チャンバ「Ａ」の汚染、を引き起こさせるかもしれない。
【００３０】
欧州特許出願公開公報第ＥＰ−Ａ−０，７３０，９０７号は、２つのドアの間に連結をもたらす装置を開示しており、該装置は、これらのドアが各々フレームから出て回動解放する段階以前に、これらの２つのドアをお互いに固定するために、ドアの一つに形成され、且つこれらの２つのドアの間に形成された空間に向かって開口するダクトを具える。
【００３１】
かくて、２つのドアの間の密封連結がなされるや否や、２つのドアの間で境界を画された内部空間に真空状態を作り出すことによる、ダクトのネットワークの排気が、お互いに向かい合った面積の寸法および部分的な真空の強さに応じた力、しかし、いかなる場合にも通常の磁気引力の強さよりもさらに強いかもしれない力によって、これらの２つのドアをお互いに近接して保持させる。
【００３２】
この連結方法は、以下のような利点も提供する。即ち、
−２つのドアの間に相対的な角度を持った動きを必要とせず、さらにシールの磨耗を引き起こさないので、実際に汚染粒子を発生させることがなく、潤滑を必要としない；
−シール手段の寿命を引き伸ばすことにより、扱い難い操作である、それらの取り替えに伴う制約を軽減することができる；
−ダクトのネットワーク中および真空源に連結された内部空間に部分的な真空が創り出されるとすぐに始動するため、便利かつほぼ瞬間的である。
【００３３】
しかしながら、例えば、不正確な位置付けまたはシール手段の磨耗の結果として、２つのドアの間の密封の内側の臨界線が破壊されてしまった場合には、真空が２つのドアの間に連結をもたらすことを許容したにも関わらず、検知不可能なために、かえって有害となる偶発的な汚染の危険がある。
【００３４】
本発明の目的は、これを、外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結装置のドアを連結し、接合安全性および引き続きの処理の安全性を高めることを改善し、一方で、例えばチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の無菌性が維持されるような最初の状態を保証する装置を提供することにより、救済することにある。
【００３５】
この目的のために、本発明による連結装置は、真空源をドアの一つに形成されたダクトのネットワークに接続するダクト系に、このダクト系中の部分的な真空の強さを測定し、且つこの部分的な真空が表示された値または記憶された値に届かないときに、警報装置を反応させる少なくとも一つのセンサーを備える。
【００３６】
２つのチャンバを一緒に接合する操作の都度、センサーは、ドア間の連結について自動的なチェックを行い、密封の欠如による不慮の汚染を防止する。これは、２つのチャンバ間で移動される製品または液体に伴う安全性を飛躍的に改善する。
【００３７】
効果的には、ドアの一つが、他のドアのシールと協働し、２つのドア間の内側空間の境界を画す密封の内側の臨界線を確定する円形領域を備えられ、前記ドアは、この円形領域に接近して、他のドアに対する該ドアの相対的軸方向移動を制限する凹状の円形支持面を有しており、これにより、部分的な真空の作用の下での対応するシールの制御された圧縮を確実にしている。
【００３８】
本発明の一実施形態において、ドアの一つに形成されたダクトのネットワークに真空を運ぶダクト系は、多方向電動バルブの介在物を具える圧縮空気源にも連結されている。該電動バルブは、真空源およびセンサーを備える分岐ダクトからダクト系を隔離することができ、且つ同時に、このダクト系を２つのドア間の空間にこれらのドアが分離するのを助けるための圧縮空気の流れを送るべく圧縮空気源と連通させることを可能にしている。
【００３９】
この単純且つ廉価な構成によって、例えばチャンバＢのドアがチャンバＢの除去以前にその固定フレームの中に完全にロックされておらず、そのチャンバが真空にされている間に、詰まったままにされてしまった場合のように、チャンバＡのドアに詰まったままにされてしまったときに、可動式チャンバＢのドアを取外さねばならないのを回避することができる。かくて、固定ドアのシールを破損する危険を伴いつつ、可動ドアの取外しに成功すべく、ドアと固定ドアの一点との間にレバーやスクリュードライバーが挿入される必要はなくなる。
【００４０】
本発明は、図１ないし７において技術状態による接合装置を示し、および図８ないし１１において本発明による装置の一実施形態を示している添付の概略図を参照して、以降に続く説明の助けにより、より良く理解されるであろう。
【００４１】
以降に続く説明において、本発明と先に説明した技術状態に共通の要素は、同じ参照番号を有し、新規の要素は３０から４９および７２以降の番号によって参照されている。
【００４２】
図８および９に示されるとおり、ドアを貫通するダクトのネットワークを有するドア２は、
−アーム９において、ドア２に対して配されているアームの面から出現する横向きの盲ダクト３４と連通する長手方向のダクト３０と、
−ドア２において、前記ダクト３４を延長するダクト３５とを具える。
【００４３】
Ｏ−リング３６は、漏洩を避けるために、アーム９がドア２と出会う平面に配されている。ダクト３５は、このドア２がドア３に対して上方にあるときに、外部媒体から隔離されねばならない密封された内部空間Ｃを形成する領域内において、ドア２の外面１８から出ている。
【００４４】
ダクト３０は、好ましくは２つのチャンバの外側に配された例えば電気式真空ポンプの、真空源３９に導くダクト３８と連結するための取り付け具３７と連通している。このポンプ用の電力供給回路４０は、スイッチ、または、遮断機４２のような、手動または自動的にに作動される操作部材を具えている。このスイッチは、好ましくは２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の外側に配され、例えば、フランジのロックを制御する手段に近接して固定チャンバ「Ａ」の外面に配されている。
【００４５】
ダクト系３８は、タップ４３を経て真空ゲージまたはその他のタイプのセンサー４４にも連結され、センサー４４は空気回路中の部分的な真空の強さを測定し、空気的なまたは電気的な手段で警報装置４５を反応させる。センサー４４は、機械式または電気式の部分的な真空測定装置４６にも連結し得る。
【００４６】
本発明の他の特徴によれば、図１０および１１により詳しく示されるように、ドア２のシール１２と協働し、内部空間「Ｃ」の密封の内側の臨界線Ｃ１を確定する、ドア３の円形の隆起部１６が、このドア３の外面１７の周辺に形成され、円形の支持面４８と並置されている。この支持面の有用性については、以下に説明される。
【００４７】
連結装置は、この説明の前段部で述べたように、フランジ４および５が共にロックされ、シール１４の圧縮によって外部媒体から結合を密封するまでは、２つのドア２および３をロックする操作は行われない。この段階では、図１０に示されるように、ドア３の円形領域１６が、既にドア２のシール１２と接触するようになっており、その反面、隣接する円形の支持面４８は、該支持面４８に対向する、ドア２の支持面４９とは今だ完全には接触していない。
【００４８】
スイッチ４２が真空ポンプ３９のスイッチをオンにすべく始動されるとすぐに、ダクト系３８とダクトのネットワーク３０，３４および３５は、ドア２および３の間の隙間「Ｃ」の内部に部分的な真空を引き起こし、これは、ドア３の支持面４８が対向する、ドア２の支持面４９に対して接触するようになるまで、ほんの短い距離（図１１ではかなり大げさになっているが）を、ドア３が軸方向に移動するのを引き起こす効果を有する。この位置において、図１１に示されるように、内部空間「Ｃ」に特有の内側の臨界線Ｃ１を確定する円形領域１６は、反対側にあるドア２のシール１２のその部分を圧迫し、この密封の臨界線が達成されるよう保証する。同時に、空間「Ｃ」の内部に作り出された部分的な真空は、ドア２および３が接続されているのを確実にする。スイッチ４２の始動は、例えば、該スイッチがレバー５２の一つの回転経路内に配されるのであれば、手動でも自動でもよい。
【００４９】
ポンプ３９から空間Ｃへ導く空気回路中の部分的な真空は、センサー４４で測定される。もしこの強さがシール１２に対する支持面１６の所望のシールに対応する基準値に届かない場合、誤った位置付けまたは、磨耗または望ましくない存在による漏洩の結果として、センサー４４は、警報装置４５を反応させて、オペレーターに２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」を連通させるような処置を続行してはいけないことを知らせる。
【００５０】
センサー４４はまた、例えば固定チャンバＡのドア２をロックすることにより、これを連通させるのを防止するような電気的、電子的または電子機械的な手段に反応し得る。
【００５１】
このセンサーは、従って、仮に汚染させているのがこれらのチャンバであった場合、これらのチャンバまたは外部媒体が最初の状態に保たれることを保証する。この移動する臨界線の無欠性のチェックは、チャンバ「Ａ」および「Ｂ」の密封連結処理の安全性を著しく高めるので、殊に有効である。
【００５２】
センサー４４は、２つのチャンバＡおよびＢを連結する場合にも使用され得る。特に、回路中に部分的な真空を創り出すことが存する空気回路の自己検査中に、この回路がふさがれていないか、または前記センサーが正しく作動しているかをチェックするためにも使用される。
【００５３】
本発明による部分的な真空によって連結する装置は単独でも使用可能であるが、ドア２および３が関連する角度位置に位置付けられた後、しかし、フランジ４および５をロックする、従って上述のごとくドア２および３をアンロック操作する前にこれらのドアを一時的に相互に固定するのみの場合であっても、本発明の装置を磁気連結装置と組み合わせることは好都合かもしれない。
【００５４】
磁気連結装置は、図９に示されるように、固定チャンバ「Ａ」のドア２の中央のボスの内側に配された磁石７２を具える。この磁石は、上述の中央のボスの反対側である、ドア３に形成された凹部７５の溝７４内に保持された鉄を含む材料でできた小さな金属製プレート７３と協働するように意図されている。
【００５５】
図８に示された実施形態において、ダクト系３８は、多方向電動バルブ８０の介在物とともに、圧縮空気源８１または電動エアーポンプ７７のいずれかに接続された枝管７６にも接続される。電動バルブの電動電源回路７８は、コンタクト７９を具えている。
【００５６】
ドアを閉じる操作の際に、オペレータが誤ってドア３を固定フレーム５にロックし、ドア２を対応するフレーム４に閉鎖し、ロックし、さらにチャンバＢから排気したなら、ドア３は、ドア２に貼りついたままになり、その後それを解放するために必要とされるのは、コンタクト７９が始動されることである。この作動は、例えば解除レバーの始動と共に、特定の人の介在または自動実行により行われ得る。電動バルブ８０は、その後、ダクト系３８を真空源３９および真空ゲージ４４に具えつけられた枝管４５から隔離し、このダクト系３８を圧縮空気源と連通させる。かくて、圧縮空気は、空間Ｃに入り、ドア３がドア２から離間するのを促すような力をドア３に加える。
【００５７】
この手順は、接合操作の際には発生しないが、ドアを離れやすくしたり、この分離を行うための工具の必要性を無くすことにより、シールの無欠性、つまりはシールの臨界線の無欠性、を保つのに役立つ。
【図面の簡単な説明】
【図１】  外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向断面図であり、２つのチャンバのドアがお互いに向かい合って位置されているときである。
【図２】  ２つのドア間の密封手段の一実施形態を、拡大寸法で示した部分断面図である。
【図３】  外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向断面図であり、これらのドアがお互いにロックされた後である。
【図４】  外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向断面図であり、これらの２つのドアが開放された後である。
【図５】  フランジをお互いにロックする手段と各ドアをそのフランジにロックする手段の一実施形態を、拡大寸法で示した、図６の線Ｖ−Ｖによる部分断面図である。
【図６】  図５の線ＶＩ−ＶＩによる部分断面図である。
【図７】  取外し可能なチャンバを固定チャンバ上に位置付ける手段の一実施形態を、拡大寸法で示した部分断面図である。
【図８】  本発明のドアの正面図である。
【図９】  図８のドアが移送可能なチャンバのドアに連結されている段階を、拡大寸法で示した図８の線ＩＸ−ＩＸによる図である。
【図１０】  ２つのドアの間の内部空間の境界を画す本発明の密封手段の一実施形態を、拡大寸法で示した断面部分図である。
【図１１】  ２つのドアの間の内部空間の境界を画す本発明の密封手段の一実施形態を、拡大寸法で示した断面部分図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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