(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、
前記検査用基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、
前記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程と、
前記検査工程による検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程と
を行って前記着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する製造条件決定工程を有し、
前記製造条件決定工程により決定された前記吐出条件に基づいて、前記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記製造条件決定工程では、前記カラーフィルタの着色層形成用領域とは異なる形状のテストパターンを有する第１の検査用基板を前記検査用基板形成工程で形成し、前記第１の検査用基板を用いて前記着色層形成用塗工液塗布工程、前記検査工程、および前記調整工程を行い、
次いで、前記カラーフィルタの着色層形成用領域と同一形状の第２の検査用基板を前記検査用基板形成工程で形成し、前記第２の検査用基板を用いて前記着色層形成用塗工液塗布工程、前記検査工程、および前記調整工程を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記検査工程が、インクジェットノズルからの前記着色層形成用塗工液の吐出速度を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７】
前記検査工程が、インクジェットノズルからの前記着色層形成用塗工液の吐出重量を検査する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項８】
前記検査用基板形成工程が、前記着色層形成用領域が親液性であり、かつ前記着色層形成用領域以外の領域が撥液性である検査用基板を形成する工程であることを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピューターの発達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要が増加する傾向にある。しかしながら、このカラー液晶ディスプレイが高価であることから、コストダウンの要求が高まっており、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタに対するコストダウンの要求が高い。
【０００３】
このようなカラーフィルタにおいては、通常赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３原色の着色パターンを備え、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素に対応する電極をＯＮ、ＯＦＦさせることで液晶がシャッタとして作動し、Ｒ、Ｇ、およびＢのそれぞれの画素を光が通過してカラー表示が行われるものである。
【０００４】
従来より行われているカラーフィルタの一般的な製造方法としては、例えば染色法が挙げられる。この染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返すことによりＲ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。
【０００５】
また、他の方法としては顔料分散法が挙げられる。この方法においては、まず基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパターニングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの工程を３回繰り返すことにより、Ｒ、Ｇ、およびＢのカラーフィルタ層を形成する。
【０００６】
しかしながら、上記いずれの方法も、Ｒ、Ｇ、およびＢの３色を着色するために、同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になるという問題や、露光や現像等、多数の工程を繰り返すため歩留まりが低下するという問題がある。またさらに、現像の際に用いられる薬品等によって、他の部材が劣化してしまう場合がある等の問題もあった。
【０００７】
そこで、例えば基材上に、光触媒と、エネルギー照射に伴う光触媒の作用により特性が変化する材料とを含有する光触媒含有層形成用塗工液を用いて光触媒含有層を形成し、この光触媒含有層をパターン状に露光することにより、特性が変化したパターンを形成し、着色層をインクジェット法により形成するカラーフィルタの製造方法が提案されている（特許文献１）。また例えば、基材上に着色層を形成する着色層形成用塗工液を留めるためのバンクを形成し、このバンクにフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射することによりバンクを撥液性として、インクジェット法等により着色層等の機能性部を形成する方法も提案されている（特許文献２）。
【０００８】
これらの方法によれば、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布し、着色層を形成することが可能であることから、複雑な工程を繰り返す必要がなく、製造効率がよいという利点を有している。また現像液等を用いる必要がないことから、部材の劣化等が生じるおそれもないものとすることができる。しかしながら、インクジェット法により、着色層を形成する着色層形成用塗工液を吐出して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の吐出量にはバラつきがある。そのため、各着色層形成用領域に吐出される着色層形成用塗工液の量が均一なものとならず、各着色層の色相等にバラつきが生じ、形成されたカラーフィルタに色ムラが発生する等の問題があった。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−０７４９２８号公報
【特許文献２】特開２０００−１８７１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、形成される各着色層の色相等にバラつきが少なく、色ムラの少ない高品質な表示が可能なカラーフィルタを、インクジェット法を用いて製造する方法の提供が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程と、上記検査工程による検査データを利用して上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程とを行って上記着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する製造条件決定工程を有し、上記製造条件決定工程により決定された上記吐出条件に基づいて、上記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタを製造することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【００１２】
本発明によれば、上記製造条件決定工程により決定された吐出条件に基づいて、カラーフィルタが製造されることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量等を一定にすることが可能となり、形成された各着色層間での色ムラ等が少ないものとすることができる。したがって、本発明によれば、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができる。
【００１３】
上記発明においては、上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有していてもよく、また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有していてもよい。また上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有していてもよく、上記検査工程が、上記各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有していてもよい。またさらに、上記検査工程が、インクジェットノズルからの、上記着色層形成用塗工液の吐出速度を検査する工程を有していてもよく、上記検査工程が、インクジェットノズルからの、上記着色層形成用塗工液の吐出重量を検査する工程を有していてもよい。これらの測定を行うことにより、各インクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量等を把握することが可能となり、調整工程において、効率よく着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となるからである。
【００１４】
また上記発明においては、上記検査用基板形成工程が、上記着色層形成用領域が親液性であり、かつ上記着色層形成用領域以外の領域が撥液性である検査用基板を形成する工程であってもよい。この場合、上記検査用基板の撥液性および親液性を利用して、着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量を一定にすることが可能となり、形成された各着色層間での色ムラ等が少ないものとすることができる。したがって、本発明によれば、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明は、液晶表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関するものである。以下詳しく説明する。
【００１７】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、上記検査工程による検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程とを行って上記着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する製造条件決定工程を有し、上記製造条件決定工程により決定された上記吐出条件に基づいて、上記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタを製造することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、例えば図１に示すように、着色層を形成するための着色層形成用領域ａを有する検査用基板１を形成する検査用基板形成工程（図１（ａ））と、インクジェット法により、上記着色層形成用領域ａ上に、着色層形成用塗工液２を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程（図１（ｂ）および（ｃ））と、上記各着色層形成用領域ａにおける着色層形成用塗工液２のムラを検査する検査工程（図示せず）と、この検査工程により得られた検査データを利用して、上記着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程（図示せず）とを行って、製造条件を決定する製造条件決定工程を有することを特徴としている。本発明においては、上記製造条件決定工程により決定された着色層形成用塗工液の吐出条件に基づいて、着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタを製造することとなる。なお、本発明でいう上記着色層形成用塗工液のムラとは、着色層形成用塗工液の塗布量のムラだけでなく、例えば着色層形成用領域に塗布された際の色度や輝度、膜厚、体積等のムラも含むものとする。
【００１９】
ここで、上述したように、通常、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布して着色層を形成する場合、各インクジェットノズルによって、着色層形成用塗工液の吐出量等にバラつきがあることから、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量が一定とならず、形成される各着色層の色相等にバラつきが生じるという問題があった。
【００２０】
一方、本発明においては、例えば検査用基板上に塗布された着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程を行い、着色層形成用塗工液の吐出条件を細かく調整し、実際のカラーフィルタを製造する際の製造条件を決定する製造条件決定工程を有することから、実際にカラーフィルタを製造する際、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量を一定とすることが可能となる。したがって、本発明によれば、形成された各着色層の色相等にバラつきが少ないものとすることができ、高品質な色表示が可能なカラーフィルタを製造することができるのである。以下、本発明のカラーフィルタの製造方法の製造条件決定工程について説明する。
【００２１】
１．製造条件決定工程
本発明における製造条件決定工程は、検査用基板形成工程と、着色層形成用塗工液塗布工程と、検査工程と、調整工程とを有し、実際のカラーフィルタを製造するための着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する工程である。本発明においては、製造条件決定工程として、上記各工程が１回のみ行われるものであってもよいが、通常、上記各工程を、例えば上記順序で繰り返し行うことにより、着色層形成用塗工液の吐出条件が決定される。なお本工程は、上記各工程以外にも必要に応じた工程を有していてもよく、例えばプリベイク工程やポストベイク工程等を有していてもよい。また、製造条件決定工程に用いられる検査用基板としては、一種類である必要はなく、例えば円形状や矩形状等、任意のパターン状に形成された着色層形成用領域を有する第１の検査用基板を用いて、着色層形成用塗工液の吐出条件を大まかに設定した後、実際に製造するカラーフィルタの着色層パターンと同様の着色層形成用領域を有する第２の検査用基板を用いて、より厳密に着色層形成用塗工液の吐出条件を設定してもよい。また、さらに複数の検査用基板を用いて上記着色層形成用塗工液の吐出条件を設定してもよい。以下、上記製造条件決定工程における各工程について詳しく説明する。
【００２２】
（１）検査用基板形成工程
まず、製造条件決定工程における検査用基板形成工程について説明する。本発明における検査用基板形成工程は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する工程である。上述したように、本工程において形成される検査用基板は、１種類である必要はなく、本工程は、適宜着色層形成用領域のパターンを変更して検査用基板を形成する工程であってもよい。
【００２３】
上記着色層形成用領域のパターンとしては、後述する検査工程において着色層形成用塗工液のムラを検査可能なパターンであればよく、製造するカラーフィルタの着色層パターンの形状等に合わせて適宜選択される。例えば実際に製造するカラーフィルタの着色層パターンと同じパターンであってもよく、また例えば円形状や矩形状等、検査工程において検査しやすいテストパターン等であってもよい。
【００２４】
また、上記着色層形成用領域としては、後述する着色層形成用塗工液を塗布することにより、着色層を形成可能な領域であればよく、通常、実際にカラーフィルタを製造する際に、基板上に設けられる着色層形成用領域と同一の性状や形状を有するものとされる。このような着色層形成用領域を有する検査用基板としては、例えば着色層形成用領域の周囲に、着色層形成用塗工液を留めるための土手がパターン状に形成されたものや、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、かつそれ以外の領域が撥液性領域とされているもの等とすることができる。
【００２５】
ここで本工程は特に、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板を形成する工程であることが好ましい。このような検査用基板とすることにより、着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液が塗布された際、撥液性領域には着色層形成用塗工液が付着せず、親液性である着色層形成用領域のみに高精細に着色層形成用塗工液が付着することが可能となるからである。また実際にカラーフィルタを製造する際にも、この手法が用いられることが、製造効率や、高精細な着色層を形成可能である等の面から好ましいからである。なお、本発明でいう撥液性領域とは、隣接する領域より、液体との接触角が１°以上高い領域をいうこととする。本発明においては特に、上記撥液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角が、５０°以上、中でも７０°以上であることが好ましい。また撥液性領域の純水との接触角は９０°以上、中でも１００°以上であることが好ましい。一方、上記親液性領域の表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、９°以下、特に表面張力６０ｍＮ／ｍの液体との接触角が１０°以下とされることが好ましい。また、純水との接触角は２０°以下、中でも１０°以下とされることが好ましい。これにより、上記親液性領域のみに、高精細に着色層形成用塗工液を塗布することが可能となるからである。なお、上記液体との接触角は、上記表面張力を有する液体との接触角を接触角測定器（協和界面科学（株）製ＣＡ−Ｚ型）を用いて測定（マイクロシリンジから液滴を滴下して３０秒後）し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得られるものである。
【００２６】
本工程において、上記着色層形成用領域が親液性領域であり、それ以外の領域が撥液性領域である検査用基板を形成する方法としては、例えばエネルギー照射に伴う光触媒の作用により濡れ性が変化する濡れ性変化層を基板表面に形成し、この濡れ性変化層の濡れ性をパターン状（着色層形成用領域のパターン状）に変化させる方法等とすることができる。このような濡れ性変化層を利用して、親液性のパターンを形成する方法としては、例えば特開２００２−４０２３０公報や、特開２００３−１０５０２９公報等に記載された方法を用いることができる。
【００２７】
また、例えば上記着色層形成用領域のみに、親液性を有する材料を用いて層を形成する方法や、上記着色層形成用領域以外の領域のみに、撥液性を有する材料を用いて層を形成する方法等であってもよく、またこれらを組合わせた方法であってもよい。またさらに、着色層形成用領域以外の領域に、有機材料からなる層を形成し、この層に対してフッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射することにより、着色層形成用領域以外の領域を、撥液性とする方法等であってもよい。なおプラズマ照射を行うことにより、検査用基板を形成する場合、上記着色層形成用領域の表面は、無機材料が露出、または無機材料によって覆われていることが好ましい。これにより、基板全面にプラズマ照射をした場合であっても、上記着色層形成用領域にはフッ素が導入されず、着色層形成用領域以外の領域のみにフッ素が導入されるものとすることができるからである。上記プラズマの照射方法は、例えば特開２０００−１８７１１１号公報に記載されている方法と同様とすることができる。
【００２８】
（２）着色層形成用塗工液塗布工程
次に、上記製造条件決定工程における着色層形成用塗工液塗布工程について説明する。本工程は、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する工程であり、その吐出パターンは、上記検査用基板の着色層形成用領域の形状等により適宜選択される。
【００２９】
製造条件決定工程において、初めて着色層形成用塗工液塗布工程が行われる場合には、本工程は通常の吐出条件により、着色層形成用塗工液を吐出する工程とされる。一方製造条件決定工程において、検査用基板形成工程、着色層形成用塗工液塗布工程、検査工程、および調整工程等の各工程が繰り返し行われる場合であって、２順目以降に行われる着色層形成用塗工液塗布工程においては、後述する調整工程によって調整された吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の吐出が行われることとなる。これにより、先に行われた調整工程における調整によって吐出条件が最適化されたかを検査することができ、また本工程後に行われる調整工程において、さらに微調整を行うことも可能となる。
【００３０】
なお、本工程において着色層形成用塗工液を塗布するために用いられるインクジェット装置としては、カラーフィルタを製造する際に用いられるインクジェット装置と同一のものとされる。このようなインクジェット装置としては、１つのみインクジェットノズルを有するものであってもよいが、通常複数のインクジェットノズルを有するものとされる。上記インクジェット装置としては、一般的なカラーフィルタの製造の際に用いられるものと同様とすることができる。
【００３１】
また、本工程に用いられる着色層形成用塗工液としては、通常、実際にカラーフィルタを製造する際に用いられる着色層形成用塗工液と同一のものとされるが、例えば必要に応じてテスト用の着色層形成用塗工液等が用いられてもよい。このような着色層形成用塗工液としては、インクジェット法を用いてカラーフィルタを製造する際に一般的に用いられるものと同様とすることができる。
【００３２】
（３）検査工程
次に、本発明の製造条件決定工程における検査工程について説明する。本工程は、上記着色層形成用塗工液のムラを検査する工程であり、上記着色層形成用塗工液のムラを検査することが可能な方法であれば、その方法は特に限定されるものではない。
【００３３】
本工程に用いられるムラの検査方法としては、例えば上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度を測定する方法や、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の膜厚を測定する方法、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の体積を測定する方法、インクジェットノズルからの着色層形成用塗工液の吐出速度を測定する方法、インクジェットノズルからの着色層形成用塗工液の吐出重量を測定する方法等が挙げられる。
【００３４】
上記輝度を測定する方法としては、蛍光灯等の光源を用いて、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の透過画像をＲＧＢ各色の色分解フィルタを使用したＣＣＤカメラ等で撮影し、全面または測定したい領域を画像として記録する。その後、この画像のＲＧＢ各色の濃淡の分布を解析し、輝度分布として算出する方法等とすることができる。なお、ＣＣＤカメラ取得画像は輝度データとして算出できればモノクロでもカラーでも良い。また、顕微鏡型分光光度計を用い、上記着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の測定したい領域について、輝度を計測する方法も用いることができる。上記方法により、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の輝度ムラを測定することにより、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量のムラを把握すること等が可能となる。具体的には、輝度が高い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が少なく、輝度が低い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が多いといえる。したがって、後述する調整工程において、この輝度データに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３５】
また、色度を測定する方法としては、顕微鏡形分光光度計を用い、上記各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の色度を計測する方法とすることができる。計測した色度より、赤色着色層形成用塗工液（Ｒ）に対してはＲｘを、緑色着色層形成用塗工液（Ｇ）に対してはＧｙを、青色着色層形成用塗工液（Ｂ）に対してはＢｙを抽出し、これらをそれぞれの色度データとすることが有効である。例えば、上記Ｒｘ、Ｇｙ、およびＢｙの値の分布を把握することにより、着色層形成用塗工液の量のブレ等を把握することが可能となり、後述する調整工程において、この色度データに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３６】
また、上記膜厚を測定する方法としては、上記着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液を例えばプリベイクし、触針型の膜厚計や非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。触針型の膜厚計とは、例えば針先を着色層形成用塗工液に接触させたまま移動させ、針先の上下動の推移にて膜厚を計測する手法であり、非接触型の３次元形状測定器とは、例えば光学干渉の干渉縞を用いて相対的な膜厚を算出する手法である。ここで、上記着色層形成用塗工液が、完全には硬化していないが混色しない程度に硬化している状態である場合には、非接触型の３次元形状測定器を使用する方法であることが好ましい。なお、上記膜厚を測定する方法を用いる場合、例えば各着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の最大膜厚の分布を測定する方法であってもよく、また着色層形成用領域に塗布された上記着色層形成用塗工液の平均膜厚の分布を測定する方法であってもよい。平均膜厚は、上記測定器により、各着色層形成用領域内の膜厚を複数箇所について測定し、その測定値から算出することができる。
【００３７】
ここで、膜厚が厚い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、膜厚が薄い領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この膜厚のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３８】
また、上記体積を測定する方法としては、非接触型の３次元形状測定器等により測定する方法とすることができる。例えば各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の体積を測定する場合、この着色層形成用領域を細分化した所定の面積ごとの膜厚を計測し、それぞれ測定された膜厚（高さ）に上記所定の面積を乗じた値の総和により算出することができる。体積が多い領域においては、塗布された着色層形成用塗工液の量が多く、体積が少ない領域においては塗布された着色層形成用塗工液の量が少ないといえる。したがって、後述する調整工程において、この体積のデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００３９】
また、吐出速度を測定する方法としては、例えば上記着色層形成用塗工液塗布工程において着色層形成用塗工液がインクジェット装置のインクジェットノズルから吐出された際の着色層形成用塗工液の飛翔状態をＣＣＤカメラで撮像することにより計測する方法とすることができる。インクジェットヘッドのインク吐出周波数と同期をとってストロボを発光させ、これによって照らし出されたインクをＣＣＤカメラにより撮像することによりインクの飛翔状態を撮影することができる。そこで、撮影時間をずらして取得した２枚以上の上記画像より、ずらした時間と移動の距離から吐出速度を算出することが可能である。上記着色層形成用塗工液の吐出速度、およびインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の体積は比例関係にあり、上記吐出速度を測定することによって、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。
【００４０】
また、インクジェットノズルからの吐出重量を測定する方法としては、例えば各インクジェットノズルから一定時間に吐出される着色層形成用塗工液の総重量を計測し、この総重量を、一定時間に吐出された液滴数で除算することにより算出する方法とすることができる。なお、１つのインクジェットノズルから吐出される液滴の量は通常極めて少量であり、総重量を計測可能な重量まで吐出する際に長い時間を要することから、着色層形成用塗工液中の溶媒等の揮発の影響が懸念されるが、例えばすべてのインクジェットノズルから着色層形成用塗工液を吐出させた場合の着色層形成用塗工液の総重量から、計測したいインクジェットノズルのみから着色層形成用塗工液を吐出させなかった場合の着色層形成用塗工液の総重量を減算することにより、特定のインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の量を短時間で正確に計測することができる。また、不揮発性が高くかつ着色層形成用塗工液より比重の重い液体に着色層形成用塗工液を打ち込むことにより、長時間、溶媒等の揮発を気にせずに、１つのインクジェットノズルから吐出された着色層形成用塗工液の重量を計測することもできる。各インクジェットノズルから吐出される着色層形成用塗工液の各液滴の量を把握することにより、各着色層形成用領域に塗布される着色層形成用塗工液の量を把握することが可能となる。したがって、このデータに基づいて、着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。なお、上記インクジェットノズルからの吐出重量を測定する方法は、通常、上述したいずれかの方法と組合わせて用いられることが好ましい。
【００４１】
ここで、本工程は、上記のいずれか一種類の測定方法のみを行うものであってもよいが、例えば二種類以上の測定方法を組合わせて行うものであってもよい。二種類以上の測定方法を組合わせた場合、後述する調整工程において、より正確に着色層形成用塗工液の吐出条件を調整することが可能となる。また二種類以上の測定を組合わせて行う場合には、少なくとも１つの測定方法を各検査用基板について行い、それ以外の測定方法を、数枚の検査用基板のうちの一枚に対して行うものであってもよい。また、上記輝度を測定する方法、上記色度を測定する方法、上記膜厚を測定する方法、および上記体積を測定する方法においては、後述するプリベイク工程やポストベイク工程等の後に行われることが好ましい。また、インクジェットノズルからの吐出速度を測定する方法やインクジェットノズルからの吐出重量を測定する方法は、上記着色層形成用塗工液塗布工程前、または着色層形成用塗工液塗布工程と同時に行うことができる。
【００４２】
なお本発明においては、特に上記の中でも輝度を測定する方法が少なくとも用いられることが好ましい。これにより、検査工程に要する時間を短いものとすることができ、より短時間で効率よく製造条件決定工程を行うことが可能となるからである。
【００４３】
（４）調整工程
次に、本発明の製造条件決定工程における調整工程について説明する。本工程は、上述した検査工程により得られた検査データを利用して、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する工程である。本工程においては、上記検査工程により得られた検査データから、例えば塗布された着色層形成用塗工液の量が多い領域、少ない領域を割り出し、その領域の着色層形成用塗工液の塗布に用いられたインクジェットノズルを特定し、そのインクジェットノズルの吐出条件を調整する方法等とすることができる。
【００４４】
本工程における吐出条件の調整方法としては、例えば着色層形成用領域に吐出する着色層形成用塗工液の液滴数を増減して調整する方法や、インクジェットノズルにかける電圧量やパルス幅を調整すること等によって、インクジェットノズルから一回に吐出される着色層形成用塗工液の量を調整する方法、予め各インクジェットノズルから複数段階の液適量（例えば多い、通常、少ない等）吐出できるように設定しておき、これらを適宜組合わせることによって、着色層形成用塗工液の量を調整する方法、またこれらの方法を必要に応じて２つ以上組合わせる方法等が挙げられる。
【００４５】
上述したような方法により決定された着色層形成用塗工液の吐出条件は、上記着色層形成用塗工液塗布工程における各インクジェットノズルの設定に反映されることとなる。
【００４６】
（５）プリベイク工程およびポストベイク工程
本発明の製造条件決定工程には、上述したように、プリベイク工程や、ポストベイク工程を有していてもよい。プリベイク工程は、上述した着色層形成用塗工液塗布工程により塗布された着色層形成用塗工液をプリベイクする工程である。プリベイク工程により着色層形成用塗工液をプリベイクし、着色層形成用塗工液をある程度固化させることによって、上記検査工程において、輝度を測定する場合や色度を測定する場合、着色層形成用塗工液の膜厚を測定する場合、着色層形成用塗工液の体積を測定する場合等に、着色層形成用塗工液どうしが混色してしまうことや、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の状態が変化してしまうこと等を防ぐことができ、より正確に検査を行うことが可能となる。
【００４７】
上記プリベイク工程においては、上記着色層形成用塗工液が流動性を有しない状態となるまで固化させることが可能であれば、そのプリベイクの条件等は特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるプリベイクの条件と同様とすることができる。
【００４８】
またポストベイク工程としては、上記着色層形成用塗工液を完全に硬化させることが可能な工程であれば、その条件等特に限定されるものではなく、一般的なカラーフィルタの製造方法におけるポストベイクの条件等と同様とすることができる。
【００４９】
２．その他の工程
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記製造条件決定工程により決定された上記着色層形成用塗工液の吐出条件に基づいて、上記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタが製造される。本発明におけるカラーフィルタの製造方法として具体的には、上述した検査用基板形成用工程と同様の工程により、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ形成用基板を形成するカラーフィルタ形成用基板形成工程と、上記カラーフィルタ形成用基板の着色層形成用領域上に着色層形成用塗工液を塗布するカラーフィルタ着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするカラーフィルタ着色層プリベイク工程と、プリベイクされた着色層形成用塗工液をポストベイクするカラーフィルタ着色層ポストベイク工程とを有する方法等とすることができる。
【００５０】
なお、上記カラーフィルタ形成用基板としては、着色層を形成するパターン状に着色層形成用領域が形成されたものとすることができ、上記着色層形成用領域としては、上述した検査用基板に形成される着色層形成用領域と同様の性状、または形状等を有するものとされる。また、上記カラーフィルタ着色層形成用塗工液塗布工程においては、上述した製造条件決定工程により決定された吐出条件に基づいて着色層形成用塗工液の塗布が行われることとなる。また上記カラーフィルタ着色層プリベイク工程やカラーフィルタ着色層ポストベイク工程としては、一般的なカラーフィルタの製造方法における各工程と同様とすることができる。
【００５１】
なお、本発明において、上記製造条件決定工程により決定された吐出条件を利用して、カラーフィルタを製造している場合であっても、製造工程中で、例えば色ムラ等の不具合が生じた場合には、再度上記製造条件決定工程を行い、着色層形成用塗工液の吐出条件を決定しなおしてもよい。
【００５２】
また、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００５３】
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明する。
【００５４】
[実施例１]
（検査用基板形成工程）
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み０．７ｍｍ、横３７０ｍｍ、縦４７０ｍｍのＣｏｒｎｉｎｇ社製ＥＡＧＬＥ２０００を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクスは開口部が１００μｍ×３００μｍ、遮光部分の線幅が２０μｍとなるように形成し、横方向に１２０μｍピッチ、縦方向に３２０μｍピッチにて縦横ともそれぞれ１０００画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均１．５μｍとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域（着色層形成用領域）を親液性とした。このとき表面張力４０ｍＮ／ｍの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で６５°、着色層形成用領域で１０°であった。
【００５５】
（着色層形成用塗工液塗布工程）
次に、上記親疎液性を有する検査用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるＲＧＢ各色の顔料分散型インクを用い、１つの開口部（着色層形成用領域）あたり１３０滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。またこのときのインクジェットヘッドへの印加電圧は７５Ｖ、パルス幅は６μｓであった。またさらに、インクジェットヘッドは１ヘッドにつき１００ノズルを有するものを用い、１色につき１ヘッド、すなわちＲＧＢ３色にて３ヘッドを用いた。塗布は、各着色層形成用領域（１画素）あたり１ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また着色層形成用塗工液は横方向にＲＧＢの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記着色層形成用塗工液を各着色層形成用領域にそれぞれ１３０滴ずつ着弾させた検査用基板を１２０℃のホットプレートに設置し１０分間プリベイクした。プリベイク後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が１２μｍの針で５ｍｇの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。
【００５６】
（検査工程および調整工程）
〔検量線作成用基板の作製〕
上述した工程と同様の工程を行うことにより、各着色層形成用領域あたりに、それぞれ１００滴ずつ、１２０滴ずつ、１４０滴ずつ着色層形成用塗工液の液滴をインクジェットノズルから着弾させた３種類の検量線作成用基板を作製した。
〔検量線の作成〕
上記着色層を形成した３種類の検量線作成用基板の、着色層形成用塗工液が塗布された面とは反対面側より蛍光灯を照射し、この透過光を着色層形成用塗工液が塗布された面側からＣＣＤカメラにて撮像した。撮像に対し、ＣＣＤカメラにＲＧＢ各色の色分解フィルタを設置し、Ｒ補正用画像、Ｇ補正用画像、Ｂ補正用画像の３種類、計９枚の画像を取得した。またこのときの撮像の分解能は１００μｍ以下となるように設定した。撮像した画像に認められた濃淡を画像処理し、輝度の分布に変換した。その後、各画素の位置と輝度の分布を着弾液滴数の異なる画像より解析し、各画素すなわちインクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。調整にはまず、各着色層形成用領域の輝度データの平均値を算出し、次に各着色層形成用領域の各輝度データについて、上記平均値からの差を算出した。輝度が低い画素に相当するノズルは吐出液滴数を増やし、輝度が高い画素に相当するノズルは吐出液滴数を減らすように調整した。液滴数の増減は直線近似された検量線を用いて算出した。
【００５７】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、撮像し、輝度データの算出を行ったところ、輝度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００５８】
[実施例２]
（検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
【００５９】
（検査工程および調整工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より輝度（Ｙ値）を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００６０】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に測定し、輝度データの算出を行ったところ、輝度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００６１】
[実施例３]
（検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
【００６２】
（検査工程および調整工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計ＬＣＦ−ｓｅｒｉｅｓにて測定し、測定値より色度Ｒｘ、Ｇｙ、Ｂｙを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００６３】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に測定し、色度データの算出を行ったところ、色度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００６４】
[実施例４]
（検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
【００６５】
（検査工程および調整工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、触針式膜厚計ＶＥＥＣＯ社製デックタックOSP-1110にて測定した。測定は着色層形成用領域中央部を横断するように触針させ、各着色層形成用領域の最大膜厚を記録した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と上記最大膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の最大膜厚を測定し、膜厚の分布を検査した。この膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００６６】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の最大膜厚分布を検査したところ、最大膜厚の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００６７】
[実施例５]
（検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
【００６８】
（検査工程および調整工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける平均膜厚を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と平均膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の平均膜厚を測定し、膜厚の分布を検査した。この膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００６９】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の平均膜厚分布を検査したところ、膜厚の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００７０】
[実施例６]
（検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
【００７１】
（検査工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例１と同様の方法により、３種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Ｍｉｃｒｏｍａｐ社三次元非接触表面形状計測装置ｍｉｃｒｏｍａｐ５５７を用い測定した。測定は各着色層形成用領域（１画素）毎、すなわち１００μｍ×３００μｍの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける着色層形成用塗工液の体積を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と体積との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の着色層形成用塗工液の体積を測定し、体積の分布を検査した。この体積分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００７２】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の体積分布を検査したところ、体積の分布が収束した。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００７３】
[実施例７]
（検査用基板形成工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
【００７４】
（検査工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
〔検量線の作成〕
以下の方法により、インクジェットヘッドからの吐出平均速度および吐出平均重量との関連を示す検量線を作成した。
インクジェットヘッドの吐出周波数２ｋＨｚと同じ周波数にてストロボを発光させ、そのストロボ発光を照射したインク液滴の画像をＣＣＤにて撮像した。またストロボ発光をずらすことにより、インクジェットヘッドから吐出されてから１０μｓ後の着色層形成用塗工液の液滴の画像も取得した。これら２種類の画像の吐出液滴の位置と時間より、各ノズルからの吐出液滴の速度を導出、その平均値を算出した。平均吐出重量の測定方法としては、受け皿に吐出周波数２ｋＨｚにて３０秒間、全ノズルからインクを吐出させ、総重量を計測し、これを総液滴数で除算することにより算出した。
またインクジェットヘッドに６０Ｖ、７０Ｖ、８０Ｖの３種類の電圧を印加し、それぞれ平均吐出速度と平均吐出重量を算出し、検量線を作成した。平均吐出速度と平均吐出重量は比例関係にあった。
〔着色層形成用塗工液の塗布および検査〕
上述した検査用基板の各着色層形成用領域に、インクジェットヘッドに７５Ｖの電圧を印加して、着色層形成用塗工液を１３０滴ずつ塗布した。この際、インクジェットヘッドのノズルからの吐出液滴の速度を計測、速度分布を算出した。これを上記にて算出した検量線に基づき、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の重量の分布を得た。この塗布重量分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの吐出速度を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００７５】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された吐出速度に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００７６】
[実施例８]
（検査用基板形成工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
【００７７】
（検査工程および調整工程）
〔インクジェットノズルからの吐出重量分布の把握〕
インクジェットの特定の１つのノズルのみから、着色層形成用塗工液を吐出させず、他の９９個のノズルから着色層形成用塗工液を、吐出周波数２ｋＨｚにて３０秒間受け皿に吐出させ、総重量を計測した。その後、全ノズルから上記の条件で着色層形成用塗工液を受け皿に吐出させ、総重量を計測した。続いて、上記総重量の差を算出し、これを液滴数で除算することにより、各インクジェットノズルから吐出される各液滴の重量を算出した。
【００７８】
（着色層形成用塗工液塗布工程および調整工程）
上述した実施例１と同様の方法により、検査用基板に着色層形成用塗工液を着弾させた。検査用基板の各着色層形成用領域には、各ノズルあたり平均１３０滴の着色層形成用塗工液を塗布した。このとき各ノズルから吐出される液滴数は上述した検査工程および調整工程にて算出した各液滴の重量に基づき算出した。具体的には、上記各インクジェットノズルから吐出される各液滴の平均重量を算出し、平均重量を吐出しているノズルの吐出液滴数を１３０滴とし、そのほかのノズルに対しては吐出重量の平均値に対する比率に基づき、重量の多いノズルは液滴数を減らし、重量の少ないノズルは液滴数を増やした。
この検査用基板について、実施例３の検量線の作製にて記載した手法と同手法によって、色度を計測し、色度分布を算出した。色度の分布はカラーフィルタとして実用上問題の無い範囲であった。
【００７９】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【００８０】
[実施例９]
（検査用基板形成工程）
実施例１と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
【００８１】
（検査工程および着色層形成用塗工液塗布工程）
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上記検査用基板と同様の検量線作成用基板を作製した。その後、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅と吐出平均重量との関連を示す検量線を作成した。実施例７と同様の速度測定手法と同様の手法を用い、パルス幅４μｓ、６μｓ、８μｓにて電圧を印加したときの各ノズルからの吐出速度を測定し、各ノズルに対する検量線を作成した。
〔着色層形成用塗工液の塗布、検査、および調整〕
上述した検査用基板の各着色層形成用領域に、パルス幅６μｓを印加して、着色層形成用塗工液を１３０滴ずつ塗布した。この際、インクジェットヘッドのノズルからの吐出液滴の速度を計測、速度分布を算出した。これを上記にて算出した検量線に基づき、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の重量の分布を得た。この塗布重量分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルへのパルス幅を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
【００８２】
（カラーフィルタ作製工程）
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出されたパルス幅に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを２４０℃で３０分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説明する工程図である。
【符号の説明】
【００８４】
１…検査用基板
２…着色層形成用塗工液
ａ…着色層形成用領域
【図１】
0004788340.tif 000002