(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）を照射する方法であって、
目（Ｅ）に関して当該光源（１０２）を位置決めする位置決め工程と；
上記光源（１０２）により網膜（Ｒ）を照射する照射工程と；
網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）を検出器（１１２）で受け取る工程と；
上記検出器（１１２）で目（Ｅ）の波先収差を検出する工程と；
を有する方法において、
上記光源（１０２）は、目（Ｅ）の角膜（Ｃ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び網膜（Ｒ）から反射された該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、目（Ｅ）に関して位置決めされることを特徴とする方法。
【請求項２】
上記第２の経路に沿って進行する光（Ｌ３）を通過させ、上記第１の経路に沿って進行する光（Ｌ２）を遮断するために絞り（１０８）を設けたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記光源（１０２）をレーザーダイオードとしたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
上記光源（１０２）が光ビーム（Ｌ１）を発光し；
上記位置決め工程は、光ビーム（Ｌ１）が目（Ｅ）の光学軸（Ａ）から外れて目（Ｅ）に入射するように、上記光源（１０２）を位置決めする工程を有する；ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
上記光源（１０２）が、角膜（Ｃ）から反射された光（Ｌ２）と網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）との間の分離を許容するのに十分な大きさの距離だけ、上記光学軸（Ａ）から外れて位置することを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
上記検出器（１１２）をハルトマン・シャック検出器としたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
上記照射工程が非偏光ビームスプリッタ（１０４）で上記光源（１０２）から目（Ｅ）へ光（Ｌ１）を導く工程を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）を照射する方法であって、
目（Ｅ）に関して当該光源（１０２）を位置決めする位置決め工程と；
上記光源（１０２）により網膜（Ｒ）を照射する照射工程と；
を有する方法において、
上記光源（１０２）は、目（Ｅ）の角膜（Ｃ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び網膜（Ｒ）から反射された該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、目（Ｅ）に関して位置決めされ、上記照射工程が非偏光立体ビームスプリッタで上記光源（１０２）から目（Ｅ）へ光（Ｌ１）を導く工程を有することを特徴とする方法。
【請求項９】
上記非偏光ビームスプリッタ（１０４）をプレートビームスプリッタとしたことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）を照射する装置（１００）であって、
目（Ｅ）に関して位置決めされた光源（１０２）と；
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）を受け取る光学素子（１１２）と；
を有し、上記光学素子（１１２）が網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）を受け取るように位置決めされ、目（Ｅ）の波先収差を検出する検出器（１１２）からなる装置において、
上記光源（１０２）は、目（Ｅ）の角膜（Ｃ）から反射された上記光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び網膜（Ｒ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、目（Ｅ）に関して位置決めされることを特徴とする装置。
【請求項１１】
上記光学素子が上記第２の経路に沿って進行する光（Ｌ３）を通過させ、上記第１の経路に沿って進行する光（Ｌ２）を遮断する絞り（１０８）を有することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
上記光源（１０２）をレーザーダイオードとしたことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
上記光源（１０２）が光ビーム（Ｌ１）を発光し、かつ、光ビーム（Ｌ１）が目（Ｅ）の光学軸（Ａ）から外れて目（Ｅ）に入射するように位置決めされることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１４】
上記光源（１０２）が、角膜（Ｃ）から反射された光（Ｌ２）と網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）との間の分離を許容するのに十分な大きさの距離だけ、上記光学軸（Ａ）から外れて位置することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
上記検出器（１１２）をハルトマン・シャック検出器としたことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１６】
上記光源（１０２）から目（Ｅ）へ光（Ｌ１）を導くための非偏光ビームスプリッタ（１０４）を更に有することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１７】
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）を照射する装置（１００）であって、
目（Ｅ）に関して位置決めされた光源（１０２）と；
目（Ｅ）の網膜（Ｒ）から反射された光（Ｌ３）を受け取る光学素子（１１２）と；
上記光源（１０２）から目（Ｅ）へ光（Ｌ１）を導くための非偏光立体ビームスプリッタと；
を有する装置において、
上記光源（１０２）は、目（Ｅ）の角膜（Ｃ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び網膜（Ｒ）から反射された該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、目（Ｅ）に関して位置決めされることを特徴とする装置。
【請求項１８】
上記非偏光（１０４）ビームスプリッタをプレートビームスプリッタとしたことを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
光学素子（Ｅ）の波先収差を決定する方法であって、
上記光学素子（Ｅ）に関して上記光源（１０２）を位置決めする工程と；
上記光源（１０２）により上記光学素子（Ｅ）を照射する工程と；
上記光学素子（Ｅ）を通って伝達され当該光学素子（Ｅ）を通って戻り反射された光（Ｌ３）を検出器（１１２）で受け取る工程と；
波先収差を上記検出器（１１２）で検出する工程と；
を有する方法において、
上記光源（１０２）は、上記光学素子（Ｅ）の表面（Ｃ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び当該光学素子（Ｅ）を通って伝達され同光学素子（Ｅ）を通って戻り反射された該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、該光学素子（Ｅ）に関して位置決めされることを特徴とする方法。
【請求項２０】
光学素子（Ｅ）の波先収差を決定する装置（１００）であって、
上記光学素子（Ｅ）に関して位置決めされた光源（１０２）と；
上記光学素子（Ｅ）を通って伝達され同光学素子（Ｅ）を通って戻り反射された上記光源（１０２）からの光（Ｌ３）を受け取る検出器（１１２）と；
を有する装置において、
上記光源（１０２）は、上記光学素子（Ｅ）の表面（Ｃ）から反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ２）が第１の経路に沿って進行するように及び当該光学素子（Ｅ）を通って伝達され同光学素子（Ｅ）を通って戻り反射された当該光源（１０２）からの光（Ｌ３）が上記第１の経路から空間的に離間した第２の経路に沿って進行するように、該光学素子（Ｅ）に関して位置決めされることを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の背景】
本発明は目における波先(wavefront) 収差のためのセンサの如き波先センサに関し、特に、目の光学軸から逸れた光経路に沿って網膜を照射することにより角膜反射を回避するそのようなセンサに関する。本発明は更にこのような軸外れ(off-axis)照射を使用して波先を感知する方法に関する。
【０００２】
目内手術やコンタクトレンズの製造の如き目的で人間の目における波先収差を検出することは従来知られている。このような検出は、例えば、１９９４年７月発行の雑誌Journal of the Optical Society of America （第１１巻Ｎｏ．７）のライアン(Liang) 等の著による「ハルトマン・シャック(Hartmann-Shack)波先センサの使用による人間の目の波収差の客観的な測定」（１−９頁）に開示されている。レーザーダイオード又は他の光源からの光のビームは瞳の方へ導かれ、網膜へ入射する。網膜は高吸収性なので、元のビームよりも４桁程度の暗さのビームが網膜により反射され、瞳から出る。典型的には、入来し（目に入り）出現する（目から出る）光は共通の光学経路を辿り、入来する光はビームスプリッタと共通の光学経路に来る。
【０００３】
出現するビームはハルトマン・シャック検出器へ送られ、収差を検出する。このような検出器は光をスポットの列に分解し、電荷結合検出器又は他の二次元光検出器上にスポットを合焦させるレンズの列を有する。各スポットは、波先収差が無い場合に占める位置からのその変位を決定するように位置決めされ、スポットの変位は波先の復元、従って収差の検出を可能にする。
【０００４】
ライアン等の技術に対する改善は１９９７年１１月発行の雑誌Journal of the Optical Society of America （第４巻Ｎｏ．１１）のジェー・ライアン(J. Liang)及びディー・アール・ウイリアムズ(D.R. Williams)等の著による「普通の人間の目の収差及び網膜画質」（２８７３−２８８３頁）及び米国特許第５，７７７，７１９号明細書に教示されている。この米国特許は収差を検出し、このように検出した収差を目の手術並びに目内及びコンタクトレンズの製造に使用するための技術を教示している。更に、１９９４年の雑誌のライアン等の技術とは異なり、これらの技術はそれ自体自動化に役立つ。
【０００５】
上述の技術は目の光学軸に沿って目を照射することを含む。その結果、網膜から反射された光は迷(stray) 反射と混合され、測定を混乱させることがある。詳細には、迷反射はハルトマン・シャック検出器内に形成されたスポットの列の真ん中の疑似の明るいスポットとして現れる。
【０００６】
このような迷反射は波先センサにおいていくつかの原因となる。特に重要なことは、網膜とビームスプリッタとの間の光学素子からの反射である。このような素子は典型的には目のレンズ系、及びビームスプリッタと目との間の一対のレンズとを含む。網膜以外の表面からの戻り反射は照射ビームよりも弱いが、網膜から反射された弱い信号よりも明るい。
【０００７】
目のレンズ系においては、戻り反射が問題となるのに十分明るい唯一の表面は角膜の第１の（外側）表面である。この反射は網膜からの反射に対してエネルギ的に匹敵し、それ故、特に検出器内のスポットのセントロイドを自動的に計算すべき場合は、波先感知にとってかなり有害になることがある。
【０００８】
ライアン及びウイリアムズ並びにウイリアムズ等の雑誌において教示された角膜反射を除去する１つの既知の方法はビームスプリッタと網膜との間のすべての表面からの反射光を除去するために偏光ビームスプリッタを使用することである。これらの表面がそこへ入射する光の線形偏光を維持するので、レンズの反射及び角膜の反射は排除される。しかし、網膜から反射された光の多くも失われてしまう。網膜から反射された全体の光の約３０％の減偏光光のみが波先収差を検出するために利用できる。更に、減偏光光はかなりの空間ノイズを含む。更に別の問題は目のレンズ系（主に角膜）の複屈折によりスポットの列内へ導入される強度不均一である。
【０００９】
網膜からの信号を増大させながらビームスプリッタと目との間のすべての光学系からの反射を除去する別の既知の方法は目のすぐ前方で四分の一波長（λ／４）プレートと組み合わせた偏光ビームスプリッタの使用を含む。ドイツ国公開特許出願ＤＥ４２２２３９５Ａ１号明細書はこの技術を教示している。この技術は網膜から反射された光の一層多くの部分が検出器へ到達するのを可能にし、目の複屈折により生じるスポットの明るさの変化を除去しながらスポットの質を改善する。これはまた、レンズからの戻り反射を除去する。しかし、角膜反射は除去されず、従って、偏光光学系が存在しない場合と同じように厄介である。
【００１０】
上述した２つの技術における別の問題は偏光ビームスプリッタ及びλ／４プレートのコストである。コストを気にする商業的な設定においては、このようなコストを排除するのが望ましい。
【００１１】
【発明の概要】
上述に照らして、角膜反射が検出器上の疑似のスポットを生じさせない又は網膜から反射された光から導かれる信号を劣化させないような波先センサを提供する要求が当業界に存在することは容易に明らかであろう。特に、偏光光学系を使用せずに角膜反射の問題を排除することにより正確で安価な方法によって波先収差を検出する要求がある。
【００１２】
それ故、本発明の目的はこのような要求を満たすことである。
上述及び他の目的を達成するため、本発明は目を軸外れ照射する波先センサに関する。角膜により反射されない光は網膜に入射し、網膜により反射された光はレンズ及び角膜を通って戻る。これにより、その光は角膜反射が生じる光学経路とは異なる光学経路内に合焦される。網膜反射の全部が使用され、角膜反射は単純で安価な絞りの如き非偏光光学系により排除できる。
【００１３】
目を照射するために使用されるビームは比較的狭く（例えば、およそ１−１．５ｍｍの直径）、小さな領域内で角膜を横切り、角膜反射が検出器への帰還経路を辿る可能性を更に減少させる。更に、小さなスポットが網膜上で合焦する屈折範囲を増大することができる。典型的には、１ｍｍより少ないだけの目の光学軸からの照射ビームの変位が角膜反射を完全に除去する。
【００１４】
照射ビームは好ましくは、例えば目の前でビームスプリッタを直角に配置することにより、目の前の最後の可能な位置で光学経路内へ導入される。従って、ビームスプリッタと網膜との間の唯一の素子が角膜であるため、レンズからの戻り反射は回避される。
【００１５】
目の前でビームスプリッタを直角に配置した場合でさえ、同じ素子の使用により照射ビームの焦点及び出口ビームの焦点を調整することができる。これを行う１つの方法はスライド上に装着したミラーを備えた折り畳み光学経路を提供することである。ミラーはビームスプリッタに達する前の照射ビームの経路及び出口ビームの経路内に配置される。従って、スライドの運動が両方のビームを合焦させる。
【００１６】
異なる患者の目を調節する必要があるなら、出力の方向に垂直な（一層一般には、非平行な）方向に光源を移動させることができる。
本発明は目の波先感知を含む又は網膜の照射を含む任意の手続きにおいて有用性を有する。このような手続きは自動屈折、コンタクトレンズ又は目内レンズの設計、屈折手術及び適応性の光学系による網膜作像を含むが、これらに限定されない。本発明は人間の目に使用することに期待されるが、家畜又は目に関係しない応用も同様に発揮できる。
【００１７】
【好ましい実施の形態の詳細な説明】
添付図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を詳細に説明する。
図１は患者の目Ｅの網膜を照射する基本的な装置１００の全体図を示し、好ましい実施の形態において実施される光学原理を説明するために使用される。レーザーダイオードの如きレーザー光源１０２は平行プレートビームスプリッタ、肉厚プレートビームスプリッタ、プリズムビームスプリッタ、半銀ミラー又は他の適当なビームスプリッタとすることのできるビームスプリッタ１０４の方へ光Ｌ１のビームを発光する。ビームスプリッタ１０４は好ましくは９０％の透過性及び１０％の反射性を有するが、必要なら他の比率も使用できる。レーザー光源１０２及びビームスプリッタ１０４は、光Ｌ１が目Ｅの光学軸Ａから外れて目Ｅに入射するように、位置決めされる。従って、目Ｅの角膜Ｃから反射された光ビームＬ２は光学軸Ａから外れて反射される。残りの光は目Ｅの網膜Ｒ上にレーザービーコンＢを形成する。目Ｅの光学系のため、目Ｅの網膜Ｒから反射された光ビームＬ３は目Ｅから出て、ビームスプリッタ１０４を通過する。次いで、光ビームＬ３はレンズ１０６、角膜から反射された光ビームＬ２を遮断しながら網膜から反射された光ビームＬ３を通過させる絞り１０８、及びレンズ１１０を通過して、ハルトマン・シャック検出器１１２へ至る。従来既知のように、検出器１１２はＣＣＤ又は他の適当な二次元検出器上の光スポットＬ４の列として光ビームＬ３を合焦させるためにレンズ列１１４を有する。
【００１８】
図２−４は図１を参照して先に説明した光学原理を使用する第２世代の装置２００を示す。図２は上から見た装置２００の下方レベル２０２を示し、一方、図３は上から見た装置２００の上方レベル２０４を示し、図４は右から見た装置２００の両方のレベル２０２、２０４を示す。
【００１９】
下方レベル２０２においては、図２に示すように、レーザーダイオード２０６が水平位置決めのための装着体２０８に装着される。このような位置決めの目的は後に説明する。ダイオード２０６から出た光ビームはレンズ２１０、２１２を通って下方レベル光経路ＬＬを追従する。光ビームはコーナーミラー２１４により再帰反射され、レンズ２１６を通り、光ビームを上方へ反射させるミラー２１８に至る。
【００２０】
上方レベル２０４においては、図３に示すように、平行プレートビームスプリッタ２２０がミラー２１８により上方へ反射された光ビームを受け取り、その光ビームを上方レベル光経路ＬＵに沿って導く。経路ＬＵは大幅に簡単化した形状で示され；図１の上述の説明は当業者に対して真の光学経路のための要求の理解を提供する。光ビームは図１に関連して先に説明した方法で目Ｅを照射する。目Ｅの網膜Ｒにより反射された網膜反射光ビームはビームスプリッタ２２０及びレンズ２２２を通って戻る。次いで、網膜反射光ビームはコーナーミラー２２４により再帰反射され、レンズ２２６を通り、レンズ列２３０及びＣＣＤ検出器２３２を有するハルトマン・シャック検出器２２８に至る。もちろん、光経路ＬＵに沿った適当な位置（例えば、レンズ２２２の焦点）に絞りを配置することができる。設定に応じて、ミラー２１４、２２４の代わりに単一のミラーを使用することができる。
【００２１】
入射光ビームの直径は適当な値、例えば１．５ｍｍである。小さな直径は網膜の焦点深度を増大させ、患者上での正確な光の合焦の要求を緩和する。
小さな直径はまた、網膜上のスポットが屈折制限されることを保証する。進入ビームはレンズ列内のレンズの直径よりも小さくすべきでない。さもなければ、入来ビーム内の屈折がＣＣＤ上のスポットを顕著にぼやけさせてしまう。
【００２２】
進入ビームは、角膜反射と網膜反射とを分離し、もって、角膜反射の効果を回避するために、ビームの直径の１／２よりも大きい距離だけ、瞳内で角膜極から変位され、好ましくは約１ｍｍだけ変位される。この距離は対象物毎に変えることができ、小さな進入ビームの直径のため１ｍｍ以下とすることができる。この距離は、ダイオード２０６及びそのコリメート光学系を小さな量だけ並進させる装着体２０８で変化することができる。ダイオード２０６及びその光学系を１ｍｍまで並進させる能力で十分である。角膜からの反射光は発散され、レンズ２２２によりコリメートされ、レンズ２２２の焦点に位置する絞り又は別の適当な光学素子により遮光することができる。
【００２３】
他の光学素子からの戻り反射は目のすぐ前の最後の可能な場所にビームスプリッタ２２０を配置することにより回避することができる。この構成は、照射ビームが他の光学素子を回避するのを可能にする。その理由は、ビームスプリッタ２２０と網膜Ｒとの間の唯一の素子が角膜Ｃだからである。
【００２４】
ビームスプリッタからの普通の反射は回転したビームスプリッタ立体又は肉厚プレートビームスプリッタを使用することにより回避することができる。従来しばしば必要とされたような、迷光を除去するために適所での目での画像から適所での目無しでの画像を差し引く必要なない。
【００２５】
図４に示すように、装置２００の光学経路の長さは、ミラー２１４、２２４が単一の剛直体として移動できるようにミラー２１４、２２４をスライド機構２３４に結合することにより、変えることができる。ミラー２１４、２２４は相対的に軸方向に変位される。スライド機構２３４が距離ｘだけ運動すると、各レベル２０２、２０４の光学経路長さが距離２ｘだけ変化し、装置の光学経路長さは全体として距離４ｘだけ変化する。
【００２６】
スライド機構の別の利点は、入来ビームが網膜上で合焦するのを許容し、同時に、同じ装置即ちミラー２１４、２２４を支えるスライド２３４で、出口光がＣＣＤアレイ上で合焦するのを許容することである。ミラー２１４がビームスプリッタ２２０に到達する前の照射ビームの経路内にあり、ミラー２２４が出口ビームの経路内にあるので、スライド２３４の運動は両方のビームの経路長さを変更し、両方のビームの焦点の調整を可能にする。従って、スライド２３４は経済性及び便利さを提供する。
【００２７】
装置２００に二重スライド機構を使用することができる。例えば、別のミラー（図示せず）をミラー２１４、２２４に対向して配置して、光ビームにより装置を通る別のパス（光路）を作ることができる。この構成により、スライド機構２３４が距離ｘだけ運動すると、全体の光学経路長さは距離８ｘだけ変化する。
【００２８】
実験結果を図５、６に示す。図５は、偏光ビームスプリッタを使用せず、波長λ＝７９０ｍｍを発生させるＳＬＤ光源を使用した本発明に係る軸外れ照射により得られた結果を示す。図６は、偏光ビームスプリッタを使用するがλ／４プレートを使用せず、波長λ＝６３３ｍｍを発生させるＨｅ−Ｎｅ（ヘリウム／ネオン）レーザー光源を使用した従来の軸外れ照射により得られた結果を示す。両方の結果は次の条件で得られる：６．７ｍｍの瞳直径のための無力化調節、５００ミリ秒の露光時間、１０μＷの進入レーザーパワー及び１．５ｍｍの進入ビーム直径。
【００２９】
図５、６の比較は、本発明が光スループット及びスポットの質に対して大なる改善を提供することを示す。図５に示すスポットパターンは図６のものよりも一層良好な強度均一性を有し、図６のものよりも４倍も大きな平均スポット強度を有する。実際、両者に関しては、図５のスポットパターンは偏光ビームスプリッタ及びλ／４プレートを使用し、その技術の欠点を伴わずに得られたものに匹敵する。平行プレートビームスプリッタ等とすることのできる単一の非偏光ビームスプリッタはλ／４プレートを使用した又は使用しない従来の偏光技術に必要な光学系よりも安価である。１よりも大きな反射に対する透過率を備えたビームスプリッタの使用は利用できる光を更に増大させる。
【００３０】
本発明は多くの利点を与える。目及び他の光学系における戻り反射の有害な効果は回避され、機器を一層頑丈にし、これを作動させるソフトウエアを一層簡単にする。スポット画像の質は偏光効果により劣化せず、そのため、精度が改善される。スループットは従来のものよりも高く、同じレベルの照射、従って同じレベルの患者の心地及び安全性のための一層大きな信号を達成できる。代わりに、少ない照射光強度で従来と同じ信号を達成でき、従って患者の心地及び安全性を改善する。十分に明るいダイオードにより、網膜からＣＣＤアレイへ殆どすべての光を伝達するために、プレートビームスプリッタの反射に対する透過率を選択することができる。偏光光学系が必要でないため、コストが減少する。
【００３１】
以上好ましい実施の形態を説明したが、本発明の開示を吟味した当業者なら、本発明の要旨内で他の実施の形態を実現できることを認識できよう。例えば、改善された経路長さ及び小型化のために光学経路は付加的な折り畳みを有することができ、固定標的及び瞳カメラを追加することができる。また、網膜反射と角膜反射とを空間的に分離する任意の方法により、例えば適当な入射角を選択することにより、光源を位置決めできる。それ故、本発明は特許請求の範囲にのみ制限されると解釈すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の好ましい実施の形態において実施される基本的な光学概念を示す概略図である。
【図２】  好ましい実施の形態に係る波先センサにおける光学素子の配置を示す概略図である。
【図３】  好ましい実施の形態に係る波先センサにおける光学素子の配置を示す概略図である。
【図４】  好ましい実施の形態に係る波先センサにおける光学素子の配置を示す概略図である。
【図５】  好ましい実施の形態により得られる実験結果を示す図である。
【図６】  従来技術により得られる実験結果を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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