(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形のベースと、
前記ベースに対向するテーブルと、
前記ベースと前記テーブルとの間に挿通されているサドルと、
前記ベースを基準として前記サドルをＹ軸方向へ移動させるＹ軸駆動手段と、
前記サドルを基準として前記テーブルをＸ方向へ移動させるＸ軸駆動手段と、を備え、
前記サドルと前記テーブルとの何れか一方または双方が、ＣＦＲＰを用いて形成されたＸＹテーブルであって、
前記ＣＦＲＰを用いて形成された前記テーブルの下面には座が設けられ、前記テーブルの上面には、複数個のフランジ付ブッシュが装着され、前記複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部が前記テーブルの上面に凸形に形成され、前記複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部の上面が前記座の下面を基準面として、所望の精度で同一平面に形成されていることを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項２】
前記サドルと前記テーブルとの何れか一方または双方は、
前記ＣＦＲＰを用いた２枚の板材と、
前記２枚の板材の間に挟持されたコア材と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載のＸＹテーブル。
【請求項３】
前記ＣＦＲＰの２枚の板材の厚みは１〜１０ｍｍであり、
前記コア材の厚みは５〜１００ｍｍであることを特徴とする請求項２に記載のＸＹテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＸＹテーブルに関し、特に、電力消費エネルギーを削減し、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えたＸＹテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、産業界においては、各種の生産ラインの自動化が進んでいる。例えば、工作機械、または検査装置、もしくは産業機械において、ワークを正確な位置に位置決めをするために使用されるＸＹテーブルは、生産ラインの自動化を図る上で欠くことのできないユニットの一つになっている。
また、このＸＹテーブルの駆動装置は、ボールネジとサーボモータとによる駆動装置から、リニアモータへの置き替えが進んでいる。
【０００３】
例えば、図９に示すように、従来のＸＹテーブル２０にはリニアモータが採用され、下から順に、ベース１３と、サドル１４と、テーブル１５が、上下に重なって矩形体をなすように構成されている。
また、ＸＹテーブル２０は、ベース１３とサドル１４との間に、このサドル１４をＸ方向へ駆動させるＸ軸リニアモータ１７（図示せず）が設けられ、もう一方のサドル１４とテーブル１５との間にも、このテーブル１５をＹ方向へ駆動させるＹ軸リニアモータ１６（図示せず）が収納されている。
【０００４】
また、信号ケーブル１２は、平帯状のＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）であり、サドル１４から引き出されてドライバ１９に接続されている。すなわち、信号ケーブル１２は、サドル１４のＹ方向への移動に対して柔軟に追従することができる。
なお、サドル１４のＸ方向に移動する信号ケーブルは省略している。
さらに、ケーブル１８は駆動用動力ケーブルであり、これらＸ軸リニアモータおよびＹ軸リニアモータは、このケーブル１８によってドライバ１９と接続されている。（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４４４０３３６号公報（図１〜図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この種のＸＹテーブル２０のベース１３に載置されたサドル１４およびテーブル１５は、比重７．２の鋳物製であるため、重く、そのため、高速移動において大きな出力（電力消費エネルギー）のモータが必要になり、この結果、過熱によるトラブルが発生し、冷却装置が必要になるといった問題が生じていた。さらに、従来のＸＹテーブル２０は、消費電力が大きいため、世界環境問題のＣＯ２の削減に貢献ができない、という問題があった。
【０００７】
そこで、本発明はこの様な問題点に鑑みてなされたものであり、サドルおよびテーブルの軽量化を図るとともに、モータの出力を小さくし、この結果として、過熱によるトラブルの発生をなくし、冷却装置を不必要にするＸＹテーブルを提供するとともに、電力消費エネルギーを削減し、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えたＸＹテーブルを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記した課題の解決を達成するため、請求項１に記載のＸＹテーブルの発明は、矩形のベースと、前記ベースに対向するテーブルと、前記ベースと前記テーブルとの間に挿通されているサドルと、前記ベースを基準として前記サドルをＹ軸方向へ移動させるＹ軸駆動手段と、前記サドルを基準として前記テーブルをＸ方向へ移動させるＸ軸駆動手段と、を備え、前記サドルと前記テーブルとの何れか一方または双方が、ＣＦＲＰを用いて形成されたＸＹテーブルであって、前記ＣＦＲＰを用いて形成された前記テーブルの下面には座が設けられ、前記テーブルの上面には、複数個のフランジ付ブッシュが装着され、前記複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部が前記テーブルの上面に凸形に形成され、前記複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部の上面が前記座の下面を基準面として、所望の精度で同一平面に形成されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載されたＸＹテーブルであって、前記サドルと前記テーブルとの何れか一方または双方は、前記ＣＦＲＰを用いた２枚の板材と、前記２枚の板材の間に挟持されたコア材と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３に係る発明は、請求項２に記載されたＸＹテーブルであって、前記ＣＦＲＰの２枚の板材の厚みは１〜１０ｍｍであり、前記コア材の厚みは５〜１００ｍｍであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明によれば、サドル、および、テーブルの移動体の軽量化を図ることにより、Ｙ軸、Ｘ軸駆動手段の出力を小さくすることができる。さらに、具体的には、サドル、および、テーブルの材質を鋳物材からＣＦＲＰ材に代え、リニアモータやころがりガイド等を含めた移動体の比較では、１／４．４の軽量化を図ることができる。この結果、Ｙ軸、Ｘ軸駆動手段のリニアモータの容量４ｋｗ（２台）を０．８ｗのモータ（２台）に、約１／５に小さくできるため、結果として、過熱によるトラブルの発生をなくし、冷却装置を不必要にするＸＹテーブルを提供することができる。また、電力消費エネルギーを削減し、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えたＸＹテーブルの提供ができる。
また、複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部の上面が、座の下面を基準面として、所望の精度で同一平面に形成されたことにより、質量を増やさないで、テーブルの精度を容易に確保することができる。また、ＣＦＲＰ板の上面の平面度の精度に影響を受けることがなく、容易に加工ワークの精度を保つことができる。さらに、複数個のフランジ付ブッシュのフランジ部を取り付け座の基準座とすることにより、治具の固定やワークの固定を高精度に行うことができる。
【００１２】
請求項２に係る発明によれば、サドルとテーブルとの何れか一方または双方が、ＣＦＲＰを用いた２枚の板材と、２枚の板材の間に挟持されたコア材と、を備えたことから、より軽量化を図るとともに、強度を向上させることができる。
【００１３】
請求項３に係る発明によれば、ＣＦＲＰの２枚の板材の厚みは１〜１０ｍｍであり、コア材の厚みは５〜１００ｍｍとすることにより、それらを組み合わせたＣＦＲＰ板の厚みは７〜１２０ｍｍまで多様な組み合わせによって構成できることから、強度を向上させ、軽量化を図った最適なＣＦＲＰ板の供給ができ、経済的な板材の提供をすることができる。さらに、電力消費エネルギーを削減し、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えたＸＹテーブルの提供ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】全体を示す平面図である。
【図２】図１に示す正面図である。
【図３】図１に示すＡ１の矢視図である。
【図４】図１に示すＡ２の矢視図である。
【図５】ＣＦＲＰ板の上面の一部を破断した斜視図である。
【図６】図１に示すＥ−Ｅ線の断面図である。
【図７】図１に示すＦ−Ｆ線の断面図である。
【図８】図１に示すＧ−Ｇ線の断面図である。
【図９】従来の技術を示し、全体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
≪ＸＹテーブルの構成≫
図１、図２に示すように、本発明の実施形態であるＸＹテーブル１０は、例えば、工作機械の主軸台の主軸近傍に載置され、ワークの位置決めをするユニットである。
ＸＹテーブル１０は、矩形のベース１と、このベース１に対向するテーブル３と、ベース１とテーブル３との間に挿通されているサドル２と、ベース１を基準としてサドル２をＹ軸方向へ移動させるＹ軸駆動手段４のＹ軸リニアモータ４と、サドル２を基準としてテーブル３をＸ方向へ移動させるＸ軸駆動手段５のＸ軸リニアモータ５と、から構成されている。
つまり、ＸＹテーブル１０は、ベース１に積み上げられたＹ方向へ移動自在なサドル２と、サドル２に積み上げられたＸ方向へ移動自在なテーブル３とから構成されている。
【００１６】
ベース１は、平面視で矩形をした板であり、厚みは例えば２８ｍｍほどである。ベース１は、フロアに据え付けられた架台１１に８個のボルトによって固定されている。ベース１は、鋳物製であるが、他の材質、例えば、鉄板溶接構造であっても構わない。
架台１１は、平面視で矩形をしており、ＸＹテーブル１０を載置する。架台１１は、ＸＹテーブル１０の自重および切削力を受けては撓まないよう、十分な剛性を備えている。
なお、ベース１は、架台１１と一体にしても構わない。
ベース１の上面１ａの左右両端付近には、２本のＹ軸サブレール１ｂ，１ｂを介して２本のＹ軸ころがりガイド１ｃ，１ｃが平行に固定されている。また、このＹ軸ころがりガイド１ｃ，１ｃには、摺動自在にガイドナット１ｄ，１ｄが嵌合されている。
さらに、２本のＹ軸ころがりガイド１ｃ，１ｃによって形成されたスペース（空間）には、サドル２をＹ方向へ摺動するＹ軸駆動手段のＹ軸リニアモータ４が配置されている。
また、ガイドナット１ｄ，１ｄの上面には、スペーサ１ｅ，１ｅ（図６参照）を介してサドル２がボルトによって固定されている。
【００１７】
サドル２は、平面視では矩形をしたＣＦＲＰ（炭素繊維強化プラスチック：Carbon Fiber Reinforced Plastics）の板であり、４隅の角は大きな面取りにより安全対策を施している。図５に示すように、サドル２は、上面ｃと下面ｄの間に中間層ｅが形成されている。上面ｃと下面ｄは、例えば厚み２ｍｍずつのＣＦＲＰ板であり、中間層ｅの外周面も厚み２ｍｍのＣＦＲＰ板で覆われている。ＣＦＲＰの比重は１．８である。
中間層ｅは、コア材７である。コア材７をＣＦＲＰ板でサンドイッチにしたサンドイッチパネル構成により軽量化ができる。ここでは、例えば六角形状で連続して形成されたハニカム材７である。このハニカム材７を、板厚２ｍｍのＣＦＲＰ板で挟持して接着されているため、見た目では、厚み全てがＣＦＲＰ板のように見える。このように、中間層ｅを設け、中間層ｅをハニカム材７にすることにより、サドル２の軽量化が可能になる。また、サドル２の厚みは、ここでは、例えば１２ｍｍである。
サドル２の上面２ａには、２本のＸ軸スペーサ２ｂ，２ｂを介して２本のＸ軸ころがりガイド２ｃ，２ｃが平行に固定されている。また、このＸ軸ころがりガイド２ｃ，２ｃには、摺動自在にガイドナット２ｄ，２ｄが嵌合されている。
このように、２本のＸ軸ころがりガイド２ｃ，２ｃによって形成されたスペース（空間）には、テーブル３をＸ方向へ摺動するＸ軸駆動手段のＸ軸リニアモータ５が配置されている。
【００１８】
サドル２は、前記したように、後記するテーブル３と同様、従来の鋳物の材質をＣＦＲＰ板にして、厚みを薄い形状に変えている。
ＣＦＲＰ板は、カーボン繊維をエポキシやポリイミドなどのマトリックス樹脂で成形・加工して製作した強化プラスチックである。カーボン繊維は５〜１０μの太さの極細繊維であるが、これをフィルム状に形成した薄板を例えば厚みが２ｍｍになるまで積層方向を交互、斜め方向の全方向にずらして積層することにより、全方位に対して強い板材が可能になる。
【００１９】
ＣＦＲＰ板は、鋼材（スチール）や鋳物材に比べて、比強度および比弾性率（比剛性）で優れており、「軽くて強い」優れた機械的な特性をもっている。
この他、ＣＦＲＰ板の機械的性質の特徴は、カーボン繊維を用途、要求特性に合せて、カーボン繊維の種別、配向、組合せなどを変えることもできる。また、その機械的性質は、軽量・高剛性・高強度、振動減衰性に優れている。そのため、宇宙機器の衛星構造体、搭載アンテナ、太陽電池パネル、飛行機、自動車のフレームや医療機器のＸ線天板、Ｘ線フィルムカセット、機構部品等に採用されている。
【００２０】
Ｙ軸駆動手段はＹ軸リニアモータ４である。Ｙ軸リニアモータ４は、図７に示すように、断面形状がコの字状のリニアマグネットａ，ａと、このコの字状のすきまに摺動自在に嵌合されたリニアコイルｂ，ｂとから構成されている。リニアマグネットａ，ａは向かい合わせに、左右対称にベース１の上面１ａに固定され、このリニアコイルｂ，ｂは、サドル２の下面にボルト９ｂ…によって固定されている。
この結果、Ｙ軸リニアモータ４は、図示しないモーションコントローラからのＮＣ指令により駆動して、図３、図４に示すように、サドル２をＹ軸方向へ移動させる。なお、リニアスケール等を設けてクローズドループ制御をしてもかまわない。
【００２１】
同様に、Ｘ軸駆動手段はＸ軸リニアモータ５である。Ｘ軸リニアモータ５は、Ｙ軸リニアモータ４に直交する方向に配置され、前記したように、それぞれ断面形状がコの字状のリニアマグネットａ，ａと、このコの字状のすきまに嵌合されたリニアコイルｂ，ｂとから構成されている。リニアマグネットａ，ａは向かい合わせに、左右対称にサドル２の上面２ａに固定され、リニアマグネットａ，ａに摺動自在に嵌合されたリニアコイルｂ，ｂから構成されている（図３，図４，図７参照）。また、このリニアコイルｂ，ｂは、テーブル３の下面にボルトによって固定されている。この結果、Ｘ軸リニアモータ５は、図示しないモーションコントローラからのＮＣ指令により駆動して、図２に示すように、テーブル３をＸ軸方向へ移動させて、高精度な位置決めが可能である。
【００２２】
一般に、リニアモータは、ボールネジとサーボモータとを組み合わせた従来の駆動装置に比べて、移動速度、位置精度に優れており、さらに、機械的接触箇所も少ないため、摩擦によるロス、運動エネルギーのロスが少なく、機械効率が高いので、ＸＹテーブル１０には好都合である。
【００２３】
テーブル３は、図１に示すように、平面視で矩形をしたＣＦＲＰ板であり、サドル２のサイズよりは小さい面積をした形状になっている。また、サドル２と同様に、テーブル３の板厚は、１２ｍｍである。
図５に示すように、ＣＦＲＰ板は上面ｃと下面ｄと外周面のみであり、それぞれ厚み２ｍｍの板によってハニカム材７の中間層ｅをサンドイッチ状態で接着している。
ＣＦＲＰ板の特徴の説明は、前記同様であるため、省略する。
【００２４】
本実施形態のＸＹテーブル１０は、ベース１の上面１ａにサドル２を配置し、サドル２の上面２ａにテーブル３を配置して、これら三者を積み上げるとともに、ベース１とサドル２との間にはＹ軸駆動手段としてのＹ軸リニアモータ４が収容され、サドル２とテーブル３との間には、Ｘ軸駆動手段としてのＸ軸リニアモータ５が収容されて形成されている。
【００２５】
図６は、図１に示すＥ−Ｅ線の断面図である。図６に示すように、ＣＦＲＰ板のサドル２に設けた穴にスリーブ状ブッシュ８を挿通し、ハニカム材７の上面ｃと下面ｄとを接着剤で接着させて一体にしている。さらに、サドル２は、上面ｃにプレート２ｆを介して、下面ｄにもスペーサ１ｅを介して、ボルト８ｂによってガイドナット１ｄに固定されている。なお、接着剤としてはＡＶ１３８（ナガセケムテックス）が好適である。
また、Ｙ軸ころがりガイド１ｃは、Ｙ軸サブレール１ｂの溝に挿通され、ビス１ｆによって右側面の基準面に当接されている。
【００２６】
図７は、図１に示すＦ−Ｆ線の断面図である。図７に示すように、左右対称のため、右側の半分で説明し、左側は省略する。ＣＦＲＰ板のサドル２と、リニアマグネットａとの固定は、サドル２に設けた穴に   フランジ付ブッシュ９を挿通し、ハニカム材７の上面ｃと下面ｄに接着させて一体にする。さらに、フランジ付ブッシュ９のフランジ部９ａを上面ｃに当接させて、下面ｄからのボルト９ｂ…によって、リニアマグネットａをサドル２に固定する。なお、接着剤の接着強度は強力であり、ＣＦＲＰ板とハニカム材７との分解は不可能である。
【００２７】
図８は、図１に示すテーブルのＧ−Ｇ線の断面図である。図８に示すように、ＣＦＲＰ板のテーブル３の下面ｄには４個の座３ａが配置されている。また、テーブル３の上面ｃには治具の固定やワークの固定の基準座となるフランジ付ブッシュ９が挿通され、上面ｃと下面ｄに接着させて一体になっている。ねじ付きのフランジ付ブッシュ９は、テーブル３の左右方向に４列、前後方向に６列の格子状を形成し、その交点に例えば２４個配置されている。
また、このフランジ付ブッシュ９はフランジ部９ａがテーブル３の上面ｃより凸形に形成されており、この２４個の上面９ｃは、座３ａの下面ｆを基準面として、所望の形状精度の平面度で形成されている。これにより、テーブル３の厚みＨの寸法は、同一となっている。
前記平面度の加工方法として、ここでは、平面研削盤等の工作機械によって、仕上げられている。
【００２８】
ここで、従来のＸＹテーブル２０と、本願発明のＸＹテーブル１０と比較検証する。
従来と本願発明のＸＹテーブルの消費電力を算出し、ＣＯ２の発生量を算出する。
なお、環境省は、日本の発電事情がまだ火力発電が５０％以上であることを勘案し、１ｋｗｈ当りのＣＯ２の発生量は、０．３６ｋｇ−ｃｏ２／ｋｗｈであることを公表している。
そこで、ＣＯ２の発生量は、１ｋｗｈ当り、０．３６ｋｇ−ｃｏ２発生するものとする。
また、テーブルのサイズと、サドルのサイズは、本願発明と比較をする都合上、本願発明のＸＹテーブルのサイズに合わせるものとする。
なお、両者を比較するには、若干の緒言の共通化が必要である。それは質量とイナーシャ（慣性力）とスピードに関係する。ＸＹテーブルの移動の場合、質量が大であっても、スピードが低速であれば、イナーシャは小さい。また、質量が小さくても、スピードが高速であればイナーシャは大きくなる。したがって、質量が大きく、スピードが速い場合は、イナーシャを抑えるために大容量出力のモータが必要になる。このスピード（性能）を高速に設定して同等なものとして比較する必要がある（表１参照）。
しかしながら、本願発明のように、移動体の質量を極端に小さく抑え込むことによって、イナーシャを極小にすることができるから、移動体を速くする場合であっても、小出力のリニアモータで可能になる。
【００２９】
＜従来のＸＹテーブル＞
従来のＸＹテーブルの消費電力を算出し、ＣＯ２の発生量を算出する。
・テーブル移動体の質量：鋳物製板５０ｋｇ＋購入品２９．８ｋｇ＝７９．８ｋｇ
・サドル移動体の質量：鋳物製板６０ｋｇ＋購入品３１．２ｋｇ＝９１．２ｋｇ
・リニアモータの容量：Ｘ軸、Ｙ軸とも４ｋW、合計では８ｋW  
・1日の電力使用量：８ｋｗ×８Ｈ×稼働率０．３＝１９．２ｋWH
・年間の電力使用量：１９．２ｋWH×２５０日＝４，８００ｋWH
・   年間ＣＯ２の排出量：４，８００ｋＷＨ×０．３６＝１，７２８ｋｇ−ｃｏ２
【００３０】
＜本願発明のＸＹテーブル＞
本発明のＸＹテーブルの消費電力を算出し、ＣＯ２の発生量を算出する。
・テーブル移動体の質量：ＣＦＲＰ製２．７ｋｇ＋購入品２．６ｋｇ＝５．３ｋｇ
・サドル移動体の質量：ＣＦＲＰ製６．０ｋｇ＋購入品２７．５ｋｇ＝３３．５ｋｇ
・リニアモータの容量：Ｘ軸、Ｙ軸とも０．８ｋｗ、合計では１．６ｋW
・1日の電気使用量：１．６ｋW×８Ｈ×稼働率０．３＝３．８４ｋWH
・年間の電気使用量：３．８４ｋWH×２５０日＝９６０ｋWH
・   年間ＣＯ２の排出量：９６０ｋＷＨ×０．３６＝３４５ｋｇ−ｃｏ２
これらを整理した結果を表１に示す。ただし、固定または載置される治具、ワーク
等の質量は、両者に均等にかかるため除外している。
また、購入品とは、ころがりガイドおよびナット、リニアモータを構成するリニアマグネットおよびリニアコイル等を含むものとする。
【００３１】
［表１］
0004759094.tif 000002
【００３２】
表１は従来のＸＹテーブルと、本実施形態のＸＹテーブルとの比較表である。表１に示すように、従来のＸＹテーブルの移動体の質量を、約２３％に軽量化を実現した結果、Ｘ軸、Ｙ軸リニアモータの出力（容量）は、従来の４kWと４kWの２セット、合計８ｋWから、本発明の０．８ｋWと０．８ｋWの２セット、合計１．６ｋWに１／５にダウンサイジングが可能になった。
この結果、両者の１台当たりで比較すると、ＣＯ２の排出量は８０％削減効果を奏する。また、1年間の生産台数に相当する１，０００台が全国各地で、1年間稼動すると想定した場合、年間ＣＯ２の排出量を比較すると、表１の最下段に示すように、従来のＸＹテーブルでは、１，７２８ｔｏｎ−ｃｏ２に対して、本実施形態のＸＹテーブルでは、３４５ｔｏｎ−ｃｏ２となり、その差１，３８３ｔｏｎ−ｃｏ２と削減とする顕著な効果を奏する。
【００３３】
なお、本発明はその技術思想の範囲内で種々の改造、変更が可能である。例えば、ころがりガイドを使用したが、他のガイドを採用しても構わない。また、リニアモータを使用したが、Ｘ軸、Ｙ軸駆動手段であればよく、他のモータを採用しても構わない。
以上の通り、本発明のＸＹテーブルは、移動体であるテーブとサドルの軽量化に成功し、小さな容量のモータで従来の仕様と同じＸＹテーブルの機能を確保した結果、従来のＣＯ２の発生量の８０％を削減したＸＹテーブルの提供が実現した。これは、従来の技術的思想にはない、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えたＸＹテーブルという視点から研究を重ねた成果である。
また、これはＸＹテーブルの大小に拘わらず、どのサイズにも適用可能であり、これまでにない顕著な効果を奏するものである。また、ＸＹテーブル１０は、これからの他のユニットのあり方を示唆するものとなっている。このＸＹテーブルは、日々生産活動に貢献している。
【符号の説明】
【００３４】
１    ベース
１ａ  上面
１ｂ  Ｙ軸サブレール
１ｃ  Ｙ軸ころがりガイド
１ｄ  ガイドナット
１ｅ  スペーサ
１ｆ  ビス
２    サドル
２ａ  上面
２ｂ  Ｘ軸スペーサ
２ｃ  Ｘ軸ころがりガイド
２ｄ  ガイドナット
２ｆ  プレート
３    テーブル
３ａ  座
４    Ｙ軸リニアモータ（Ｙ軸駆動手段）
５    Ｘ軸リニアモータ（Ｘ軸駆動手段）
７  コア材（ハニカム材）
８  スリーブ状ブッシュ
８ｂ  ボルト
９  フランジ付ブッシュ
９ａ  フランジ部
９ｂ  ボルト
９ｃ  上面
１０  ＸＹテーブル
１１  架台
ａ    リニアマグネット（電極ヨーク）
ｂ    リニアコイル
ｃ    上面
ｄ，ｆ  下面
ｅ    中間層
Ｈ    厚み
【要約】
【課題】電力消費エネルギーを削減し、地球温暖化防止のためにＣＯ２の発生を抑えた環境対応型のＸＹテーブルを提供する。
【解決手段】環境対応型のＸＹテーブル１０は、矩形のベース１と、このベース１に対向するテーブル３と、このベース１とテーブル３との間に挿通されているサドル２と、ベース１を基準としてサドル２をＹ軸方向へ移動させるＹ軸駆動手段４と、サドル２を基準としてテーブル３をＸ方向へ移動させるＸ軸駆動手段５と、を備えた環境対応型のＸＹテーブル１０であって、前記サドル２と前記テーブル３との何れか一方または双方は、ＣＦＲＰを用いて形成したことを特徴とする。
【選択図】図２【図１】
0004759094.tif 000003
【図２】
0004759094.tif 000004
【図３】
0004759094.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0004759094.tif 000011