(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
金属及び／又は半導体の微粒子とを備え、
上記微粒子は、２官能性又は多官能性配位子により互いに結合され、及び上記微粒子の一部が上記２官能性又は多官能性配位子、あるいは上記２官能性又は多官能性配位子とは異なる配位子により上記基板に結合され、
上記２官能性又は多官能性配位子は、分析物分子サイズと同等で上記分析物分子が拡散することが可能なサイズの空洞を形成することを特徴とする、電子デバイス用の導電性を有する、
微粒子構造体。
【請求項２】
上記空洞に拡散する上記分析物分子に係る物質は、アンモニア、エタノール、プロパノール、トルエン、水、ヘキサンのうちの１つ以上の物質であることを特徴とする、
請求項１記載の微粒子構造体。
【請求項３】
上記微粒子構造体は、多層構造に形成され、各層の微粒子と隣接する層の微粒子が、１又は複数の上記２官能性又は多官能性配位子により相互に結合されていることを特徴とする、
請求項１又は２記載の微粒子構造体。
【請求項４】
上記２官能性又は多官能性配位子は、１又は複数のアミノ基及び／又は１又は複数のチオール基を有することを特徴とする、
請求項１〜３いずれか１項に記載の微粒子構造体。
【請求項５】
上記２官能性又は多官能性配位子は、メルカプトアルキルシラン、アミノアルキルシラン、ジメルカプトアルカン、ジチオールアルカン、ジアミノアルカン、ジヒドロキシアルカン、およびジカルボキシアルカンから選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする、
請求項１〜４いずれか１項に記載の微粒子構造体。
【請求項６】
上記微粒子構造体は、トランジスタ素子と一体化され、トランジスタの端子間の電流制御素子を形成することを特徴とする、
請求項１〜５いずれか１項に記載の微粒子構造体。
【請求項７】
上記微粒子構造体は、１以上の上記微粒子の層と、上記微粒子の層を挟み込む絶縁隔壁とからなる共鳴トンネル効果構造体を形成し、該共鳴トンネル効果構造体は、印加された電圧に応じて上記共鳴トンネル効果構造体を流れる電流により上記トランジスタ素子を制御することを特徴とする、
請求項６記載の微粒子構造体。
【請求項８】
液相又は気相の１以上の分析物を検出する化学センサとしての、請求項１〜７いずれか１項に記載の微粒子構造体の使用。
【請求項９】
基板、並びに金属及び／又は半導体の微粒子を備え、上記微粒子は、２官能性又は多官能性配位子により互いに結合され、及び上記微粒子の一部が上記２官能性又は多官能性配位子、あるいは上記２官能性又は多官能性配位子とは異なる配位子により上記基板に結合され、上記２官能性又は多官能性配位子は、分析物分子サイズと同等で上記分析物分子が拡散することが可能なサイズの空洞を形成する、請求項１記載の微粒子構造体と、
上記微粒子構造体に接続され、上記微粒子構造体の導電率を検出する検出手段とを備える、液相又は気相の１以上の分析物を検出する、
化学センサ。
【請求項１０】
上記２官能性又は多官能性配位子は、上記分析物の吸着を促進、及び／又は、上記分析物以外の物質の吸着を防止又は妨害する鎖及び／又は側鎖を有することを特徴とする、
請求項９記載の化学センサ。
【請求項１１】
少なくとも幾つかの上記微粒子の表面は、上記分析物の吸着を促進、及び／又は、上記分析物以外の物質の吸着を防止又は妨害するように修飾されていることを特徴とする、
請求項９又は１０記載の化学センサ。
【請求項１２】
アンモニア、エタノール、プロパノール、トルエン、水、ヘキサンのうちの１つ以上の物質を、上記分析物として検出することを特徴とする、
請求項９〜１１いずれか１項に記載の化学センサ。
【請求項１３】
上記微粒子構造体を流れる電流により制御される増幅素子を備えることを特徴とする、
請求項９〜１２いずれか１項に記載の化学センサ。
【請求項１４】
上記微粒子構造体は、上記微粒子構造体の導電率の変化によりバイポーラトランジスタのベース電流を制御することを特徴とする、
請求項１３記載の化学センサ。
【請求項１５】
上記微粒子構造体は、２つのトンネル障壁間に封入されて、共鳴トンネルデバイスを形成することを特徴とする、
請求項１３又は１４記載の化学センサ。
【請求項１６】
上記微粒子構造体は、集積回路上において上記増幅素子と一体化されていることを特徴とする、
請求項１３〜１５いずれか１項に記載の化学センサ。
【請求項１７】
上記微粒子構造体の上部又は内部に化学的選択メンブレンが設けられていることを特徴とする、
請求項９〜１６いずれか１項に記載の化学センサ。
【請求項１８】
電子デバイス及び／又は請求項９〜１７いずれか１項に記載の化学センサに使用される微粒子構造体を製造する製造方法であって、
配位子を介して基板と微粒子層とを結合する工程と、
上記微粒子層に２官能性又は多官能性配位子を結合する工程と、
上記２官能性又は多官能性配位子にさらに別の微粒子層を結合する工程とを有し、
上記２官能性又は多官能性配位子の分子サイズは、上記微粒子層及び上記別の微粒子層を形成する微粒子間に、分析物分子が拡散して検出可能となる空洞を形成するように調整される、
微粒子構造体の製造方法。
【請求項１９】
上記微粒子層に２官能性又は多官能性配位子を結合する工程と、
上記２官能性又は多官能性配位子にさらに別の微粒子層を結合する工程とが、繰り返し行われ、
上記基板上に複数の微粒子単層を積層することを特徴とする、
請求項１８記載の微粒子構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、微粒子構造体及び化学センサ、並びに微粒子構造体の製造方法に関し、特に、微粒子構造体を使用した液相又は気相の分析物を検出する化学センサとして機能する電子デバイス及び化学センサ、並びに微粒子構造体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
化学処理の分野及び環境問題の分野において、無機ガスを検出するための化学センサの重要度が高まっている。現在、無機ガス及び有機ガスを検出する種々の化学センサが市販されている。多くの化学センサは、例えば１０ｐｐｍ以下の範囲の低濃度分析物を検出することができない。
【０００３】
また、高感度で約０．１〜１．０ｐｐｍの範囲で動作可能な半導体センサが知られている。これらのセンサは、分析物分子の吸着により半導体の導電率が変化するという性質を利用して分析物を検出する。しかしながら、このような半導体センサは、通常、比較的不安定で信頼性が低い。さらに、半導体層と分析物との相互作用は、通常、測定可能な導電率変化を得るドナー／アクセプタ型である必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
１９９８年発刊の分析化学７０−２８５６号（H. Wohltjen, A.W. Snow, Anal. Chem. 1998, 70, 2856）にて、石英基板上に金微粒子を付着させて形成された超小型電極構造を備える新型センサが提案されている。微粒子は、スプレー処理（エアブラシ法）により基板上に付着される。微粒子層の導電率は、センサ周辺雰囲気におけるトルエン蒸気濃度により変化し、２．７ｐｐｍまでのトルエンを検出することができる。テトラクロロエチレン（ＴＣＥ）及びプロパノールを使用した実験により、ＴＣＥについては導電率の分析物濃度に対する依存性が大きく、プロパノールについては依存性が低いことがわかる。
【０００５】
この文献に記載されたセンサは、多くの利点を有しているが、その構造により、液相の分析物の検出には適さないことがある。さらに、この装置の電子的及び化学的特性の制御には限界がある。
【０００６】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、分析物の検出において種々の要望に適合するように特性を調整できる微粒子構造体及び微粒子構造体を有するセンサ、並びに微粒子構造体の製造方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明に係る微粒子構造体は、基板と、金属及び／又は半導体の微粒子とを備え、上記微粒子は、２官能性又は多官能性配位子により互いに結合され、及び上記微粒子の一部が上記２官能性又は多官能性配位子、あるいは上記２官能性又は多官能性配位子とは異なる配位子により上記基板に結合され、上記２官能性又は多官能性配位子は、分析物分子を拡散するための、上記分析物分子のサイズと同等又はそれ以上のサイズを有する空洞を形成する。
【０００８】
基板は、例えばガラス又は半導体等を材料として形成される。微粒子構造体を使用する電子デバイスが半導体集積回路デバイスとして使用される場合、基板の材料は半導体の方が好ましい。微粒子は、好ましくは良導体を材料とする。化学的安定性を得るため、微粒子の材料は、化学的に不活性であることが好ましい。そのため、金や白金が特に好ましい。２官能性又は多官能性配位子により、２以上の微粒子が連結されて、機械的にも電気化学的にも安定した構造が形成される。
【０００９】
本発明の好ましい実施の形態においては、複数の微粒子層を多層構造に形成し、各層の微粒子と隣接する層の微粒子が１又は複数の配位子により相互に連結する。
【００１０】
例えば、各層を連結したり、１層内で微粒子を連結する配位子の長さは、同じである方が好ましいが、微粒子の相互接続に長さの異なる配位子を用いてもよい。
【００１１】
好ましい実施の形態においては、配位子は、１又は複数のアミノ基及び／又はチオール基からなる。
【００１２】
配位子は、例えばメルカプトアルキルシラン、アミノアルキルシラン、ジメルカプトアルカン、ジアミノアルカン、ヒドロキシ及びカルボキシアルカン、特にジヒドロキシアルカン及びジカルボキシアルカン等から選択できる。アルカンだけでなく、２官能性及び多官能性の有機及び／又は無機化合物をリンカ（配位子）として用いてもよい。
【００１３】
具体的な実施例においては、微粒子構造体とトランジスタ構造体とを一体化し、トランジスタの端子間の電流制御素子を形成する。
【００１４】
また、本発明の微粒子構造体は、絶縁隔壁の間に挟まれた１以上の微粒子層により（共鳴）トンネルデバイスが形成され、このトンネル効果構造体が、（共鳴）トンネルデバイスに印加された電圧に応じてそこを流れる電流によりトランジスタを制御するように配置された電子デバイスを提供する。
【００１５】
本発明に係る微粒子構造体は、特に、液相又は気相の所定の分析物により微粒子構造体の導電率が変化し、これにより分析物を検出する化学センサとして使用できる。
【００１６】
また、本発明に係る化学センサは、液相又は気相の１以上の分析物を検出する化学センサであって、化学センサの周囲の雰囲気に曝される微粒子構造体と、微粒子層の導電率を検出する検出手段とを備え、微粒子構造体は、基板と、金属及び／又は半導体の微粒子とを備え、微粒子は、２官能性又は多官能性配位子により互いに結合され、及び上記微粒子の一部が上記２官能性又は多官能性配位子、あるいは上記２官能性又は多官能性配位子とは異なる配位子により基板に結合され、上記２官能性又は多官能性配位子は、分析物分子を拡散するための、上記分析物分子のサイズと同等又はそれ以上のサイズを有する空洞を形成することを特徴とする。
【００１７】
好ましくは、上記微粒子層の導電率を検出する検出手段は、電気的測定原理に基づいて動作し、すなわち、所定電圧の電圧に対応する電流を検出する。検出手段として標準抵抗／導電率測定回路を用いてもよい。好ましい実施例では、微粒子層の導電率を検出する他の方法及び関連手段、特に、例えば微粒子構造体の複合誘電機能を光学的に測定することにより光学的に導電率を判定する光学的検出手段を設けてもよい。
【００１８】
本発明において、配位子は、検出される分析物のサイズと同等又はそれ以上のサイズを有する空洞を形成する。
【００１９】
さらに、本発明の好ましい実施の形態においては、特定の分析物の吸着を促進、及び／又は、特定の分析物以外の物質の吸着を防止又は妨害するための鎖及び／又は側鎖を配位子に導入する。
【００２０】
さらに、本発明の好ましい実施の形態において、少なくとも幾つかの微粒子の表面は、特定の分析物の吸着を促進、及び／又は、上記分析物以外の物質の吸着を防止又は妨害するように修飾される。
【００２１】
本発明は、特に、アンモニア、エタノール、プロパノール、水、脂肪族及び芳香族炭化水素のうちの１つ以上を検出する化学センサに適用される。
【００２２】
本発明の具体的な実施例において、化学センサは、微粒子構造体を流れる電流により制御される増幅素子を備える。
【００２３】
特に、微粒子構造体は、その導電率の変化によりバイポーラトランジスタのベース電流を制御するように構成される。
【００２４】
さらに、微粒子構造体は、２つのトンネル効果隔壁間に封入されて、増幅素子を制御する共鳴トンネリングデバイスを形成する。
【００２５】
好ましくは、微粒子構造体は、集積回路（ＩＣ）にて上記増幅素子と一体化される。
【００２６】
具体的な実施例によれば、化学的選択メンブレンが、分析物に曝されるように微粒子構造体の上部又は微粒子構造体内部に設けられる。
【００２７】
また、本発明に係る微粒子構造体の製造方法は、自己集合技術を用いる手法を提供する。すなわち、この微粒子構造体の製造方法は、配位子を介して基板と微粒子層とを結合する工程と、微粒子層に２官能性又は多官能性配位子を結合する工程と、２官能性又は多官能性配位子にさらに別の微粒子層を結合する工程とを有し、上記２官能性又は多官能性配位子の分子サイズは、上記微粒子層及び上記別の微粒子層を形成する微粒子間に、分析物分子が拡散して検出可能となる空洞を形成するように調整される。また、微粒子層に２官能性又は多官能性配位子を結合する工程と、この２官能性又は多官能配位子にさらに別の微粒子層を結合する工程とが、繰り返し行われ、基板上に複数の微粒子単層を積層する。
【００２８】
微粒子構造体全体の厚みは、好ましくは５０〜１００ｎｍである。また、好適な実施の形態において、微粒子構造体は、１０〜２０個の層から形成される。
【００２９】
本願で用いる「微粒子」という用語は、径が１μｍ以下の粒子を示すものとする。なお、本発明における微粒子構造体において用いられる微粒子は、好ましくは直径１００ｎｍ以下で、より好ましくは２０ｎｍ以下である。
【００３０】
以上のように、本発明に係る微粒子構造体及び化学センサは、分析物を検出して、導電率の変化により分析物濃度を測定する化学センサとして好適である。これら微粒子構造体及び化学センサは、アンモニア、エタノール、プロパノール、ヘキサン、水、トルエン等の分析物の吸着時に、導電率が大きく変化（増大又は減少）する。これらは、その構造や特に架橋２官能性又は多官能性配位子により安定し、液相の分析物の検出に特に好適である。これらは、表面／体積比が高く、信号／雑音比が低い。
【００３１】
２官能性又は多官能性配位子を用いることにより、微粒子間の相対位置及び微粒子と基板との相対位置を従来技術よりも精度良く決定することができる。特に、配位子の寸法を調整して、微粒子間の空洞の寸法を調整することにより、これら空洞の寸法が分析物分子の寸法に合致するように調整されるので、分析物分子が空洞内外に拡散し、これにより、微粒子構造体の導電率が変化する。好ましい実施例によれば、配位子及び／又は微粒子の表面に、分析物の吸着を促進する共に不要な物質の吸着を防止又は妨害する望ましい化学特性を与えることにより、選択性を向上させることができる。
【００３２】
本発明に係る新規な微粒子構造体は、化学センサとして有用なだけでなく、特性、特に導電性を精密に設定する必要がある他の電子デバイスを製造する場合にも有効である。特に、そのような電子デバイスは、共鳴トンネル効果トランジスタを有し、２つの絶縁隔壁間の少なくとも１つの微粒子構造体によりトンネル効果素子が形成される。共鳴トンネル効果トランジスタについては、例えば、「Michael S. Montemerlo et al., Technologies and Designs for Electronic Nanocomputers, The MITRE Corporation, McLean, Virginia, 1996, p.10 et seq.」に記載されている。共鳴トンネリングトランジスタの構造の詳細については、この文献及び関連する文献、特に、「J.M. Rabaey, Digital Integrated Circuits: A Design Perspective, Prentice Hall, 1996 」や、「A.C. Seabaugh et al., IEEE Transactions on Electronic Devices, Vol.36, No.10, 1989, pp.2328-2334 」、「Appl. Phys. Lett., Vol.59, 1991, pp.3413-3415」等に詳細に記載されている。
【００３３】
本発明では、トランジスタとともに共鳴トンネルトランジスタを形成する従来の共鳴トンネルデバイスに代えて、両側にトンネル隔壁を有する微粒子構造体を備える共鳴トンネルデバイスを提供する。特にこのような共鳴トンネルトランジスタに関しては、本発明は、２官能性又は多官能性配位子を有する微粒子構造体を備えたトランジスタに限らず、異なる構成の微粒子構造体を用いた応用例にも適応させることができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る微粒子構造体及び化学センサ、並びに微粒子構造体の製造方法について図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
図１は、本発明を適用した化学センサ１の構造を概略的に示す図である。この化学センサ１は、ガラスあるいはシリコン等を材料として形成された基板２と、基板２上に形成された微粒子構造体３とを備える。微粒子構造体３には、接続端子４，５が設けられており、微粒子構造体３は、この接続端子４，５を介して電源６と、微粒子構造体３の導電率又は抵抗値を測定する電流測定器７とに電気的に接続されている。この実施例においては、接続端子４，５は、指型電極構造、すなわち櫛形電極構造を有するものを用いているが、接続端子４，５の形状はいかなるものであってもよい。微粒子構造体３の導電率を正確に測定する必要がある場合、接続端子４，５の位置を正確に決定する必要がある。また、例えば、接続端子４，５を基板２上に設けてもよい。
【００３６】
微粒子構造体３と基板２との結合状態を図２に詳細に示す。基板２には、微粒子８の第１の層ａが設けられ、微粒子８は、結合分子（linking molecules）すなわち配位子９により基板２に結合されている。微粒子８を基板２に固定するのに好適な配位子９としては、様々な材料を用いることができる。例えば、微粒子８が金からなり、基板２の材料としてガラス基板が使用されてい場合、配位子９の好適な材料としては、３−アミノプロピルトリエトキシシランを用いることができる。また、第１の層ａにおいて各微粒子８は、配位子１０を介して相互に結合されている。配位子１０は、好ましくは、微粒子８を基板２に連結する配位子９とは異なるものである。このような配位子１０としては、例えば、メルカプトアルキルシラン、アミノアルキルシラン、ジメルカプトアルカン、ジアミノアルカン、多官能性ポリマ等を用いることができる。
【００３７】
微粒子８の第１の層ａの上層には、微粒子８の第２の層ｂが設けられている。第２の層ｂ内の各微粒子８は、上述のとおり、配位子１０により第１の層ａの微粒子８に結合されているとともに、第２の層ｂ内で相互に結合されている。この実施例においては、第２の層ｂの上層に、さらに、第３の層ｃを設けている。このように、第２の層ｂの上層に１つ以上の層を設けてもよい。この場合、各層は、配位子１０を介して下位の層に結合されるとともに、各層内で互いに結合される。分析物の拡散を容易にするためには、微粒子構造体３全体の厚さは薄い方がよい。一方、導電率の範囲を広げて検出を容易にするためには、微粒子構造体３の厚みを一定以上の値とする必要がある。これらの要求を満たすためには、微粒子構造体３の値の範囲を約５０〜１００ｎｍとするとよい。
【００３８】
化学センサ１の選択性を向上させるため、最上位の微粒子層の上部に選択メンブレンを設けるか、あるいは微粒子構造体３内にメンブレンを埋め込むような構造としてもよい。このようなメンブレンを形成する手法はいかなるものであってもよい。微粒子構造体３内に選択メンブレンを設けるためには、例えば、「S.W. Lee et al., Langmuit, 1998, 14, 2857; F.L. Dickert et al., Adv. Mater. 1998, 10, 149」に記載されているパーティクルインプリンティング法を用いることができる。
【００３９】
微粒子８を相互に連結する配位子１０により、図２に示すように、分析物分子１１が拡散する空洞が形成される。分析物分子１１がこれら空洞を埋めると、微粒子構造体３の導電率が変化する。導電率が正の方向に変化するか、あるいは、負の方向に変化するかといった変化の方向及び変化の量は、実際の分析物により決定される。さらに、分析物や微粒子構造体３の材料の特性によっては、微粒子８又は配位子９，１０への吸着が発生することもある。配位子９，１０の炭化水素鎖の長さを適切に選択することにより、空洞のサイズを検出すべき分子のサイズに応じて調整することができ、これにより化学センサ１の選択性を比較的容易に制御することができる。さらに、微粒子８及び／又は配位子９，１０の化学的特性を周知の手法で変更することにより、分析物分子１１の吸着を促進することができる。例えば、親水性、疎水性、芳香性、その他の化学的な官能性の鎖及び側鎖を配位子９，１０に導入して、分析物分子１１の吸着を促進するとともに、水等の不要な物質の吸着を防止することもできる。
【００４０】
同様に、特定の分析物の吸着を促進するため、微粒子８の材料を好適な金属から選択し、及び／又は表面処理を施すようにするとよい。一般に、良好な導電率を得るには、微粒子８の基本材料として、化学的に不活性な金や白金等の良導体を用いるとよい。あるいは、ここで、許容可能な導電率及び化学的安定性を有する他の材料、例えば半導体等を用いてもよい。
【００４１】
図２に示すような積層構造は、例えば当分野で周知の自己集合法（self-assembly method）により形成できる。自己集合法では、通常、まず、基板２の表面に結合する結合分子、すなわちこの具体例においては配位子９を準備する。配位子９は、さらに所定の微粒子８にも結合できる。基板表面の配位子９に微粒子８を結合することにより、第１の微粒子層ａが形成される。続いて微粒子８に多官能性配位子１０を結合し、さらにこの多官能性配位子１０を介して次の微粒子層ｂが設けられる。このように、微粒子８と多官能性配位子１０を順次結合しながら、積層構造が形成される。
【００４２】
【実施例】
「D.V. Leff, L. Brandt, J.R. Heath, Langmuir, 1996, 12, 4723」に記載された微粒子により、本発明を適用した化学センサを実現した。ここでは、安定配位子としてドデシルアミンを用いた。この実施例においては、３−アミノプロピルトリエトキシシランを介して、微粒子をガラス基板上に付着させ、化学的に結合した。また、１，６−ジメルカプトヘキサンを用いて、微粒子を相互に化学的に結合し、自己集合化を行った。このようにして、自己集合された複数の微粒子層からなる微粒子構造体を形成した。さらに微粒子構造体に接続端子を設け、この接続端子を介して微粒子構造体を抵抗値測定回路に接続した。これにより得られた化学センサは、サブセカンド応答時間レジームにおいてアンモニアに対する導電率の変化による応答を示すとともに、良好な信号対ノイズ比を示した。この応答は可逆的であり、したがって、この構造が化学センサとして好適に機能することが示された。
【００４３】
エタノール、プロパノール、水、ヘキサン、トルエン、その他の分析物について、同様の実験を行った。導電率の変化は３０％までで、その多くは、膜が分析物の気体に曝されたのち、サブセカンド応答時間レジームで発生した。
【００４４】
また、化学センサとして使用する前に微粒子構造体に熱処理を施すことにより、分析物に対する装置の選択性及び感度が調整可能であることが見出された。微粒子構造体を高温で硬化させることにより、アンモニア又は水に微粒子構造体が曝された場合の応答は、導電率の上昇から下降に変化した。微粒子間を結合する２官能性配位子として長鎖ジチオールアルカンを使用すると、幾つかの有機化合物に対する感度が向上した。
【００４５】
微粒子を使用することにより、本発明を適用した化学センサは、低濃度の分析物に対しても良好な信号対雑音比及び高感度を示す。また、微粒子を結合することにより、本発明における微粒子構造体は従来のものより安定した特性を有する。特に、微粒子間に疎水性の配位子を導入することにより、湿度に対する安定性を確保することができる。
【００４６】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る化学センサは、導電性を有する微粒子構造体を備え、微粒子構造体は、基板と、金属及び／又は半導体の微粒子とからなり、微粒子は、２官能性又は多官能性配位子により互いに及び／又は上記基板に結合されているので、機械的にも化学的にも安定した構造が実現できる。また、本発明によれば、電子デバイス及び化学センサを分析処理や分析物等に適合するよう調整できる。
【００４７】
また、本発明に係る微粒子構造体の製造方法は、配位子を介して基板と微粒子層とを結合し、この微粒子層に２官能性又は多官能性配位子を結合し、２官能性又は多官能性配位子にさらに別の微粒子層を結合する。これらの工程を繰り返すことにより、微粒子単層が積層された多層構造の微粒子構造体を製造でき、また、その厚みを容易に制御することができる。この微粒子構造体を用いて、安定した特性を有し、分析物に対する感度も良好な電子デバイス及び化学センサを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用した化学センサの構成を概略的に示す図である。
【図２】本発明を適用した微粒子構造体の構造を詳細に示す図である。
【符号の説明】
１  化学センサ、２  基板、３  微粒子構造体、８  微粒子、９  配位子、１０配位子、１１  分析物分子
【図１】
0004827073.tif 000002
【図２】
0004827073.tif 000003