(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を所定の範囲にて所定の間隔で走査する走査装置を備えたレーザ加工装置を使用し、少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して、前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法であって、
前記粘着シートと前記走査装置とを相対的に移動させながら、前記移動方向と直交する方向に前記走査装置によってレーザ光を往復走査し、前記貫通孔の配列を連続的なくさび状にすることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項２】
前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、０＜ｔａｎθ≦１となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項１に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項３】
前記走査装置は複数設けられており、前記複数の走査装置によって並列する複数の貫通孔群を形成するとともに、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込むようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項４】
隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をＰとしたときに、０＜Ｐ≦０．７となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項３に記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項５】
前記貫通孔の孔密度が３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２となるようにレーザ加工を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シートの製造方法。
【請求項６】
基材と粘着剤層とを備え、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔が複数形成されている貫通孔形成粘着シートであって、
前記複数の貫通孔は、平面視において連続的なくさび状に配列されていることを特徴とする貫通孔形成粘着シート。
【請求項７】
前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、０＜ｔａｎθ≦１となっていることを特徴とする請求項６に記載の貫通孔形成粘着シート。
【請求項８】
前記連続的なくさび状に配列されている貫通孔群は、複数並列して粘着シートに形成されており、
隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側は、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込んでいることを特徴とする請求項６または７に記載の貫通孔形成粘着シート。
【請求項９】
隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をＰとしたときに、０＜Ｐ≦０．７となっていることを特徴とする請求項８に記載の貫通孔形成粘着シート。
【請求項１０】
前記貫通孔の孔密度が３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２であることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の貫通孔形成粘着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気溜まりやブリスターを防止または除去することのできる貫通孔を有する粘着シートおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
粘着シートを手作業で被着体に貼付する際に、被着体と粘着面との間に空気溜まりができ、粘着シートの外観を損ねてしまうことがある。このような空気溜まりは、特に粘着シートの面積が大きい場合に発生し易い。
【０００３】
また、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂等の樹脂材料は、加熱により、または加熱によらなくても、ガスを発生することがあるが、このような樹脂材料からなる被着体に粘着シートを貼付した場合には、被着体から発生するガスによって粘着シートにブリスター（ふくれ）が生じることとなる。
【０００４】
上記のような問題を解決するために、特許文献１には、孔径が０．１〜３００μｍの貫通孔を３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２の孔密度で形成した粘着シートが提案されている。かかる貫通孔形成粘着シートによれば、粘着面側の空気やガスを貫通孔から粘着シート表面側に抜くことにより、粘着シートの空気溜まりまたはブリスターを防止することが可能である。
【０００５】
上記貫通孔形成粘着シートにおける貫通孔の形成には、レーザ穴開け加工が利用される場合がある。レーザ穴開け加工装置としては、例えば、走査装置としてのガルバノユニットおよびｆθレンズを有するレーザ光照射装置を備えたものが用いられる。
【０００６】
上記レーザ穴開け加工装置を使用して穴開け加工を行うには、粘着シートを搬送しながら、ガルバノユニットによりレーザ光を粘着シートの幅方向（搬送方向と直交する方向）に走査し、ｆθレンズを介してレーザ光を粘着シートに照射する。
【特許文献１】国際公開第２００４／０６１０３１号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来は、上記レーザ穴開け加工によって貫通孔を格子状に配列させていたが、ガルバノユニットの走査速度に限界があることから、粘着シートの搬送速度を速くすることができなかった。したがって、貫通孔形成粘着シートの生産性は必ずしも高くはなかった。
【０００８】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、生産性を向上させることのできる貫通孔形成粘着シートの製造方法および生産性の高い貫通孔形成粘着シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、レーザ光を所定の範囲にて所定の間隔で走査する走査装置を備えたレーザ加工装置を使用し、少なくとも基材と粘着剤層とを備えた粘着シートに対しレーザ光を照射して、前記粘着シートに貫通孔を形成する貫通孔形成粘着シートの製造方法であって、前記粘着シートと前記走査装置とを相対的に移動させながら、前記移動方向と直交する方向に前記走査装置によってレーザ光を往復走査し、前記貫通孔の配列を連続的なくさび状にすることを特徴とする貫通孔形成粘着シートの製造方法を提供する（請求項１）。
【００１０】
なお、本明細書において、「シート」にはフィルムおよびテープの概念、「フィルム」にはシートおよびテープの概念が含まれるものとする。また、本発明における「走査装置」としては、例えば、ガルバノミラー、ポリゴンミラー等を備えたユニット（スキャナ）などが挙げられる。また、「前記粘着シートと前記走査装置とを相対的に移動」には、走査装置を固定して粘着シートを移動させる場合と、粘着シートを固定して走査装置を移動させる場合と、粘着シートおよび走査装置を互いに反対方向に移動させる場合とが含まれる。
【００１１】
上記発明（請求項１）によれば、貫通孔を格子状に配列する場合と比較して、粘着シートと走査装置との相対移動速度を高く設定することができるため、レーザ穴開け加工の加工速度を向上させ、貫通孔形成粘着シートの生産性を高めることができる。
【００１２】
上記発明（請求項１）においては、前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、０＜ｔａｎθ≦１となるようにレーザ加工を行うことが好ましい（請求項２）。
【００１３】
上記発明（請求項１，２）において、前記走査装置は複数設けられており、前記複数の走査装置によって並列する複数の貫通孔群を形成するとともに、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込むようにレーザ加工を行うことが好ましい（請求項３）。
【００１４】
上記発明（請求項３）によれば、くさび状の貫通孔の配列の広間隔部分における貫通孔の孔密度を向上させ、得られる貫通孔形成粘着シートにおける貫通孔の孔密度をエア抜け性に優れた範囲内に制御し易くすることができる。
【００１５】
上記発明（請求項３）においては、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をＰとしたときに、０＜Ｐ≦０．７となるようにレーザ加工を行うことが好ましい（請求項４）。
【００１６】
上記発明（請求項１〜４）においては、前記貫通孔の孔密度が３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２となるようにレーザ加工を行うことが好ましい（請求項５）。
【００１７】
第２に本発明は、基材と粘着剤層とを備え、一方の面から他方の面に貫通する貫通孔が複数形成されている貫通孔形成粘着シートであって、前記複数の貫通孔は、平面視において連続的なくさび状に配列されていることを特徴とする貫通孔形成粘着シートを提供する（請求項６）。
【００１８】
上記発明（請求項６）に係る貫通孔形成粘着シートは、例えば、速い速度で粘着シートを搬送しながら、その搬送方向と直交する方向に走査装置によってレーザ光を往復走査することにより製造することができるため、貫通孔が格子状に配列された貫通孔形成粘着シートと比較して、生産性が高い。
【００１９】
上記発明（請求項６）において、前記貫通孔のくさび状の配列におけるくさびの対称線に対する、前記貫通孔の配列の角度をθとしたときに、０＜ｔａｎθ≦１となっていることが好ましい（請求項７）。
【００２０】
上記発明（請求項６，７）において、前記連続的なくさび状に配列されている貫通孔群は、複数並列して粘着シートに形成されており、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側は、他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に、貫通孔同士が重ならずに入り込んでいることが好ましい（請求項８）。
【００２１】
上記発明（請求項８）に係る貫通孔形成粘着シートは、くさび状の貫通孔の配列の広間隔部分における貫通孔の孔密度が高くなっているため、エア抜け性に優れたものになり易い。
【００２２】
上記発明（請求項８）においては、隣接する貫通孔群における一方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の狭間隔側が他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の広間隔側に入り込む幅の、前記他方の貫通孔群のくさび状の貫通孔の配列の幅に対する比をＰとしたときに、０＜Ｐ≦０．７となっていることが好ましい（請求項９）。
【００２３】
上記発明（請求項６〜９）においては、前記貫通孔の孔密度が３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２であることが好ましい（請求項１０）。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、貫通孔形成粘着シートの生産性を向上させることができる。また、本発明によれば、生産性の高い貫通孔形成粘着シートを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の一実施形態で使用するレーザ穴開け加工装置の概略側面図であり、図２は、同レーザ穴開け加工装置におけるガルバノユニットの設置位置を示す平面図であり、図３は、同レーザ穴開け加工装置の概略正面図であり、図４は、本発明の一実施形態に係る貫通孔形成粘着シートにおける貫通孔の配列例であり、図５は、同貫通孔形成粘着シートの断面図である。
【００２６】
ここで、図１〜図５中、符号１Ｐは、基材１１、粘着剤層１２および剥離材１３を積層してなる粘着シート（貫通孔形成前の粘着シート）を示し、符号１Ｐ’は、粘着シート１Ｐから剥離材１３を剥離した、基材１１および粘着剤層１２からなる二層シートを示し、符号１’は、貫通孔２が形成された基材１１および粘着剤層１２からなる貫通孔形成二層シートを示し、符号１は、貫通孔形成二層シート１’に剥離材１３を積層した、貫通孔２が形成された基材１１および粘着剤層１２と剥離材１３とからなる貫通孔形成粘着シートを示す。
【００２７】
なお、基材１１および粘着剤層１２の材料は、レーザ加工によって貫通孔２が形成され得る材料であれば特に限定されるものではない。
【００２８】
図１および図２に示すように、本実施形態で使用するレーザ穴開け加工装置は、長尺の粘着シート１Ｐが巻かれているロールＲ１と、貫通孔形成粘着シート１を巻き取るロールＲ２と、粘着シート１Ｐから剥離材１３を剥離する分離ロールＲ３と、貫通孔形成二層シート１’に剥離材１３を貼り付ける貼付ロールＲ４と、分離ロールＲ３にて剥離した剥離材１３を巻き取るロールＲ５と、貫通孔形成二層シート１’に積層するための剥離材１３が巻かれているロールＲ６と、ロールＲ１およびロールＲ２との間に設置されたレーザ光照射装置３とを備えている。
【００２９】
レーザ光照射装置３は、レーザ光を発振するレーザ発振器３１と、レーザ発振器３１からのレーザ光を２つに分岐する第１ハーフミラー３２ａと、第１ハーフミラー３２ａからのレーザ光をさらに２つに分岐する２つの第２ハーフミラー３２ｂと、第２ハーフミラー３２ｂからのレーザ光をさらに２つに分岐する４つの第３ハーフミラー３２ｃと、各第３ハーフミラー３２ｃからのレーザ光を走査する８つのガルバノユニット３３（Ｘ方向に走査するガルバノミラーおよびＹ方向に走査するガルバノミラーを備えている）と、各ガルバノユニット３３からのレーザ光を二層シート１Ｐ’に対して照射する８つのｆθレンズ３４と、レーザ光が照射される二層シート１Ｐ’の下側にて二層シート１Ｐ’を支持する２本のロール状の支持体３５と、２本のロール状の支持体３５の前後および間に設けられた吸引搬送装置（サクションベルト）３６とを備えている。
【００３０】
図２に示すように、８つのガルバノユニット３３（３３ａ〜３３ｈ）は、４つずつ２列に並んでおり、各列の４つのガルバノユニット３３（３３ａ，３３ｃ，３３ｅ，３３ｇ／３３ｂ，３３ｄ，３３ｆ，３３ｈ）は、二層シート１Ｐ’の幅方向に直列的に並んでいる。これら８つのガルバノユニット３３が、３３ａ〜３３ｈの順で、二層シート１Ｐ’の幅方向所定の間隔で走査し得るように（図３参照）、一方の列のガルバノユニット３３ａ，３３ｃ，３３ｅ，３３ｇと、他方の列のガルバノユニット３３ｂ，３３ｄ，３３ｆ，３３ｈとは、互いに二層シート１Ｐ’の幅方向にずれるようにして並んでいる。
【００３１】
レーザ発振器３１の種類は特に限定されるものではなく、例えば、炭酸ガス（ＣＯ２）レーザ、ＴＥＡ−ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ、ＵＶ−ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ、半導体レーザ、ＹＶＯ４レーザ、ＹＬＦレーザ、フェムト秒レーザ等のいずれであってもよい。
【００３２】
上記レーザ穴開け加工装置によるレーザ穴開け加工は、次のようにして行われる。
ロールＲ１から繰り出された粘着シート１Ｐは、分離ロールＲ３にて剥離材１３が剥離され、二層シート１Ｐ’となる。二層シート１Ｐ’は、粘着剤層１２を上側、基材１１を下側にして、レーザ光照射装置３の設置位置に向かって所定の速度で搬送される。
【００３３】
二層シート１Ｐ’は、レーザ光照射装置３において、吸引搬送装置３６により下方に吸引されて、ロール状の支持体３５の上部外周面に密着しながら搬送される。
【００３４】
レーザ光照射装置３における８つのガルバノユニット３３は、それぞれ二層シート１Ｐ’の幅方向に所定の間隔でレーザ光を往復走査し、移動している二層シート１Ｐ’のロール状の支持体３５への密着部分に対してｆθレンズ３４を介してレーザ光を照射する。このレーザ光照射によって、二層シート１Ｐ’には、粘着剤層１２および基材１１を貫通する貫通孔２が複数形成され、貫通孔形成二層シート１’となる（図５参照）。
【００３５】
本実施形態において、上記レーザ光照射によって得られる貫通孔形成二層シート１’の貫通孔２は、８つのガルバノユニット３３に対応して、シート幅方向に並列した８つの貫通孔群２０を構成し、各貫通孔群２０にて連続的なくさび状に配列されている。図４に、貫通孔形成二層シート１’の一部として、ガルバノユニット３３ａによって形成される貫通孔群２０ａ、ガルバノユニット３３ｂによって形成される貫通孔群２０ｂ、ガルバノユニット３３ｃによって形成される貫通孔群２０ｃを示す。
【００３６】
上記のように貫通孔２を連続的なくさび状に配列するには、二層シート１Ｐ’を搬送しながら、ガルバノユニット３３によってレーザ光を二層シート１Ｐ’の幅方向に往復走査すればよいが、貫通孔２を格子状に配列する場合と比較して、二層シート１Ｐ’の搬送速度を高く設定することができる。そのため、レーザ穴開け加工の加工速度を向上させ、貫通孔形成粘着シート１の生産性を高めることができる。なお、ガルバノユニット３３は、二層シート１Ｐ’の幅方向だけでなく、二層シート１Ｐ’の長さ方向（搬送方向）にレーザ光が傾くように走査してもよい。
【００３７】
ここで、貫通孔２のくさび状の配列（くさび２１）を構成する貫通孔２の配列２２（直線状）の傾斜の程度であるが、くさび２１の対称線Ｓ（本実施形態では二層シート１Ｐ’の搬送方向に直交する線）に対する、貫通孔２の配列２２の角度をθとしたときに、０＜ｔａｎθ≦１とすることが好ましく、特に０＜ｔａｎθ≦０．５とすることが好ましい。ｔａｎθが０よりも大きいことにより、二層シート１Ｐ’の搬送速度を速くして、貫通孔形成粘着シート１の生産性を高めることができる。一方、ｔａｎθが１を超えると、くさび２１を構成する貫通孔２の配列２２の傾斜の程度が大きくなり過ぎ、貫通孔２の孔密度をエア抜け性に優れた範囲内に制御し難くなるおそれがある。
【００３８】
なお、本実施形態では、くさび２１の狭間隔側の先端部は所定の間隙を有するが、この間隙はなくてもよい。すなわち、くさび２１の先端部は尖っていてもよい。
【００３９】
図４に示すように、隣接する貫通孔群２０（図４では、貫通孔群２０ａと貫通孔群２０ｂ、貫通孔群２０ｂと貫通孔群２０ｃ）における一方の貫通孔群２０のくさび状の貫通孔２の配列（くさび２１）の狭間隔側は、他方の貫通孔群２０のくさび状の貫通孔２の配列（くさび２１）の広間隔側に、貫通孔２同士が重ならずに入り込んでいる。このように隣接する一方のくさび２１を他方のくさび２１に入り込ませることにより、くさび２１の広間隔部分における貫通孔２の孔密度を向上させ、貫通孔２の孔密度をエア抜け性に優れた範囲内に制御し易くすることができる。
【００４０】
上記のような貫通孔２の配列は、二層シート１Ｐ’の搬送速度、ガルバノユニット３３の走査タイミング、および２本のロール状の支持体３５の間隔の調整によって形成することができる。
【００４１】
ここで、隣接する一方のくさび２１が他方のくさび２１に入り込む量であるが、隣接する一方のくさび２１の狭間隔側が他方のくさび２１の広間隔側に入り込む幅Ｗ２の、他方のくさび２１の幅Ｗ１に対する比をＰとしたときに、０＜Ｐ≦０．７であることが好ましく、特に０＜Ｐ≦０．４であることが好ましい。Ｐが０よりも大きいことにより、貫通孔２の孔密度を向上させることができる。一方、Ｐが０．７を超えると、ガルバノユニット３３による走査幅が大きくなり過ぎて、レーザ穴開け加工の加工効率が低下したり、貫通孔２の形状が崩れたりするおそれがある。
【００４２】
貫通孔形成粘着シート１における貫通孔２の孔密度は、３０〜５０,０００個／１００ｃｍ２であることが好ましく、特に１００〜１０,０００個／１００ｃｍ２であることが好ましい。貫通孔２の孔密度が３０個／１００ｃｍ２未満であると、空気またはガスが抜け難く、貫通孔２の孔密度が５０,０００個／１００ｃｍ２を超えると、粘着シート１の機械的強度が低下するおそれがある。
【００４３】
貫通孔２の基材１１および粘着剤層１２における孔径は０.１〜３００μｍであることが好ましく、特に０.１〜１５０μｍであることが好ましい。貫通孔２の孔径が０.１μｍ未満であると、貫通孔２から空気またはガスが抜け難く、貫通孔２の孔径が３００μｍを超えると、貫通孔２が目立つようになる。
【００４４】
貫通孔２の孔径は、粘着シート１の厚さ方向に一定であってもよいし、粘着シート１の厚さ方向に変化していてもよいが、貫通孔２の孔径が粘着シート１の厚さ方向に変化する場合は、粘着剤層１２の粘着面から基材１１表面にかけて漸次小さくなるのが好ましい。このように貫通孔２の孔径が変化することにより、基材１１表面にて貫通孔２がより目立ち難くなり、粘着シート１の外観を良好に保つことができる。
【００４５】
レーザ加工によって貫通孔２を形成する場合、貫通孔２には先細りのテーパがつくことが多いため、上記形状の貫通孔２は、本実施形態のように、粘着剤層１２の粘着面側からレーザ光を照射することにより形成することができる。
【００４６】
上記のようにして貫通孔２が形成された貫通孔形成二層シート１’には、ロールＲ６から繰り出された剥離材１３が貼付ロールＲ４にて貼り付けられ、図５に示すように基材１１、粘着剤層１２および剥離材１３の積層体となった貫通孔形成粘着シート１は、ロールＲ２に巻き取られる。
【００４７】
なお、本実施形態では、剥離材１３を粘着剤層１２から剥離してレーザ光照射をしているが、その理由は次の通りである。
【００４８】
剥離材１３を粘着剤層１２に積層した状態で剥離材側からレーザ光を照射した場合、剥離材１３の材質によっては、剥離材１３の貫通孔２開口部周縁に形成されるドロスが、粘着剤層１２の貫通孔２開口部を拡げてしまうことがあり、この場合、粘着シート１に形成される貫通孔２の孔径や孔密度の精度が低くなってしまう。また、粘着剤層１２の貫通孔２開口部が拡がると、貫通孔２の内部空間が大きくなり、粘着シート１を被着体に貼付した後に、貫通孔２中の空気や貫通孔２中に入った水等が粘着シート１の表面に何らかの影響を与えるおそれがある。
【００４９】
これに対し、本実施形態のように、粘着剤層１２に対して直接レーザ光を照射すれば、粘着剤層１２の貫通孔２開口部が拡がることがなく、孔径や孔密度の精度が高く、内部空間の小さい貫通孔２を形成することができる。また、粘着剤層１２に対するレーザ光照射において、剥離材１３を介在させないことにより、レーザ光の照射時間を短縮すること、またはレーザの出力エネルギーを小さくすることができる。レーザの出力エネルギーが小さければ、粘着剤層１２および基材１１に対する熱影響が小さくなり、熱変形等の少ない、形の整った貫通孔２を形成することが可能となる。
【００５０】
以上のようにしてレーザ穴開け加工を行うことにより、二層シート１Ｐ’の搬送速度を速くして貫通孔形成粘着シート１の生産性を向上させることができるとともに、貫通孔２の孔密度を高めてエア抜け性に優れた貫通孔形成粘着シート１を製造することができる。
【００５１】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００５２】
例えば、レーザ光照射装置３におけるガルバノユニット３３の数は８つでなくてもよいし、ガルバノユニット３３は２列になっていなくてもよい。また、剥離材１３を粘着剤層１２に積層した状態でレーザ光を照射してもよいし、レーザ光の照射は基材１１側から行ってもよい。さらに、貼付ロールＲ４で貼り付ける剥離材１３は、分離ロールＲ３で剥離した剥離材１３であってもよい。さらにまた、吸引搬送装置３６は搬送用ロールであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明の貫通孔形成粘着シートは、空気溜まりやブリスターが生じやすい場合に使用する粘着シートとして有用であり、本発明の製造方法は、かかる貫通孔形成粘着シートを高い生産性で製造するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施形態で使用するレーザ穴開け加工装置の概略側面図である。
【図２】同レーザ穴開け加工装置におけるガルバノユニットの設置位置を示す平面図である。
【図３】同レーザ穴開け加工装置の概略正面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る貫通孔形成粘着シートにおける貫通孔の配列例である。
【図５】同貫通孔形成粘着シートの断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１Ｐ…粘着シート（貫通孔形成前）
１Ｐ’…二層シート
１’…貫通孔形成二層シート
１…貫通孔形成粘着シート
１１…基材
１２…粘着剤層
１３…剥離材
２…貫通孔
２０…貫通孔群
２１…貫通孔のくさび状の配列（くさび）
２２…貫通孔の配列
３…レーザ光照射装置
３１…レーザ発振器
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ…ハーフミラー
３３…ガルバノユニット
３４…ｆθレンズ
３５…ロール状の支持体
３６…吸引搬送装置（サクションベルト）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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