(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、複数の第１の内部導体を積層することによって形成された第１のコイルと、複数の第２の内部導体を積層することによって形成された第２のコイルと、前記磁性体の両端面に形成され、前記第１、第２のコイルの各端部とそれぞれ電気的に接続された外部電極とを有し、前記磁性体内に、前記第１の内部導体からなる第１の積層部と、前記第１の積層部の上面に形成され、前記第１の内部導体と前記第２の内部導体とが交互に積層された第２の積層部と、前記第２の積層部の上面に形成され、前記第２の内部導体からなる第３の積層部とが備えられたノイズフィルタ。
【請求項２】
磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、複数の第１の内部導体を積層することによって形成された第１のコイルと、複数の第２の内部導体を積層することによって形成された第２のコイルと、前記磁性体の両端面に形成され、前記第１、第２のコイルの各端部とそれぞれ電気的に接続された外部電極とを有し、前記磁性体内に、前記第１の内部導体からなる第１の積層部と、前記第１の積層部の上面に形成され、前記第１の内部導体と前記第２の内部導体とが同一面に設けられた第２の積層部と、前記第２の積層部の上面に形成され、前記第２の内部導体からなる第３の積層部とが備えられたノイズフィルタ。
【請求項３】
第１の積層部および第３の積層部における隣接する第１の内部導体間、第２の内部導体間の間隔が、第２の積層部における隣接する第１の内部導体と第２の内部導体との間隔より大きい請求項１または２記載のノイズフィルタ。
【請求項４】
第１の積層部および第３の積層部における隣接する第１の内部導体間、第２の内部導体間に他の磁性体シートより透磁率の低いシートが形成された請求項１または２記載のノイズフィルタ。
【請求項５】
第１の積層部および第３の積層部を構成する磁性体の密度より第２の積層部を構成する磁性体の密度が高くなるようにした請求項１または２記載のノイズフィルタ。
【請求項６】
第１の積層部と第２の積層部との間の距離、前記第２の積層部と第３の積層部との間の距離を、前記第１の積層部、前記第２の積層部、第３の積層部のそれぞれの隣接する各内部導体間の距離より長くした請求項１または２記載のノイズフィルタ。
【請求項７】
第１の積層部と第２の積層部との間、前記第２の積層部と第３の積層部との間に、他の磁性体シートより透磁率の低い磁性体シートが形成された請求項１または２記載のノイズフィルタ。
【請求項８】
磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、複数の第１の内部導体を積層することによって形成された第１のコイルと、前記第１の内部導体と交互に形成された複数の第２の内部導体を積層することによって形成され、かつ前記磁性体の上面視にて前記第１のコイルと重なる第２のコイルと、前記第１の内部導体同士、または前記第２の内部導体同士を接続するために前記磁性体シートに形成された複数のバイアホールとを有し、前記第１の内部導体同士を接続するバイアホールは、前記磁性体の上面視にて前記第２のコイルと重なり、前記第２の内部導体同士を接続するバイアホールは、前記磁性体の上面視にて前記第１のコイルと重なるように設けられ、前記第１の内部導体と、前記第１の内部導体と隣り合う前記第２の内部導体のうち少なくとも１つは前記磁性体の上面視にてほぼ重なるように形成されたノイズフィルタ。
【請求項９】
第１の内部導体、第２の内部導体が略Ｕ字状である請求項８記載のノイズフィルタ。
【請求項１０】
第１、第２のコイルの長さが同一になるようにした請求項８記載のノイズフィルタ。
【請求項１１】
請求項８記載のコモンモードノイズフィルタのそれぞれ第１のコイル、第２のコイルを、無線通信機器における一対の信号ラインに接続したことを特徴とするノイズフィルタを用いた電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話、情報機器等のノイズ対策として使用されるノイズフィルタおよびこのノイズフィルタを用いた電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３５は従来のノイズフィルタ（積層コモンモードチョークコイル）の分解斜視図である。第１のコイル１と第１のコイル１の上方に形成された第２のコイル２は渦巻き状に形成され、銀からなる。
【０００３】
第１の絶縁体シート３は第１のコイル１の下面に形成され、２つのバイアホール４、５が設けられている。第２の絶縁体シート６は第１のコイル１と第２のコイル２との間に形成され、１つのバイアホール７が設けられている。なお、第１の絶縁体シート３、第２の絶縁体シート６はポリイミドなどからなる絶縁性の材料で構成されている。
【０００４】
第１のコイル１の一端部に設けられた第１の外部電極８、第１のコイル１の他の一端部である第１のバイア電極８ａはそれぞれ第１のコイル１と同一面に形成されている。第２の外部電極９は第１の絶縁体シート３の下面に設けられている。なお、第１の絶縁体シート３の下面には第２のバイア電極９ａが形成され、第２の外部電極９は第１の絶縁体シート３に形成されたバイアホール４、第２のバイア電極９ａ、および第１の絶縁体シート３の下面に形成された第１の引き出し部１０を介して第１のバイア電極８ａと接続されている。
【０００５】
第２のコイル２の一端部に設けられた第３の外部電極１１と、第２のコイル２の他の一端部に設けられた第３のバイア電極１１ａがそれぞれ第２のコイル２と同一面に形成されている。
【０００６】
第４の外部電極１２が第１の絶縁体シート３の下面に設けられている。なお、第１の絶縁体シート３の下面には第４のバイア電極１２ａが形成され、第４の外部電極１２は第２の絶縁体シート６に形成されたバイアホール７、第１の絶縁体シート３に形成されたバイアホール５、第４のバイア電極１２ａ、および第１の絶縁体シート３の下面に形成された第２の引き出し部１３を介して第２のコイル２と接続されている。つまり、第２の外部電極９と第４の外部電極１２は同一面に形成されている。また、第１の外部電極８、第２の外部電極９、第３の外部電極１１、第４の外部電極１２は、それぞれ第１の絶縁体シート３、第２の絶縁体シート６の端面に対してその一部が露出している。
【０００７】
第３の絶縁体シート１４は第２の外部電極９、第４の外部電極１２の下面および第１のコイル１の上面に所定の枚数形成され、フェライトからなる。
【０００８】
この従来のノイズフィルタは、第１のコイル１、第２のコイル２にコモンモードのノイズが印加されたとき、各コイル１、２のインピーダンス値が高くなり、これにより、コモンモードのノイズを除去していた。
【０００９】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平８−３３５５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記した従来のノイズフィルタは、コモンモードのインピーダンス値をさらに高くできないという課題を有していた。
【００１２】
すなわち、第１のコイル１、第２のコイル２のそれぞれの一端部（第１のコイル１に接続される第２の外部電極９と第２のコイル２に接続される第４の外部電極１２）は同方向に（下方）に引き出されている。そのため、第１のコイル１に形成された第１のバイア電極８ａ、および第２のコイル２と第４のバイア電極１２ａや第４の外部電極１２とを接続するためのバイアホール５、７が短絡する可能性がある。もし短絡すれば第１のコイル１と第２のコイル２とが電気的に接続されてコモンモードノイズの除去特性が得られなくなる。これにより、第１のバイア電極８ａとバイアホール７との間にある程度の間隔１５を設ける必要があるため、間隔１５間には第１のコイル１の延長部分となる導体を設けることができず、この結果、間隔１５間に相当する部分には第１のコイル１と第２のコイル２とを重ねることができないため、第１のコイル１と第２のコイル２との間の重複領域をこれ以上増加させることができないからである。
【００１３】
さらに、第１のコイル１と第２のコイル２とで流れる電流の向きが逆になったとき、第１、第２のコイルでそれぞれ発生する磁束が互いに弱め合う（相殺する）ため、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできないという課題を有していた。
【００１４】
また、従来のコモンモードノイズフィルタは、実公平７−４５９３２号公報に記載されたものが知られている。
【００１５】
図３６は従来のコモンモードノイズフィルタ（積層型コイル）の分解斜視図である。
【００１６】
本体部２０１に第１コイルと第２コイルが形成されている。上下の電極部２０２，２０３が本体部２０１を挟むように設けられている。磁気シールド層２０４，２０５がコモンモードノイズフィルタの最外層に設けられている。すなわち、従来のコモンモードノイズフィルタは、本体部２０１、電極２０２，２０３、磁気シールド層２０４，２０５から構成されている。
【００１７】
本体部２０１は複数の第１コイル用磁性体シート２０６，２０７，２０８、第２コイル用磁性体シート２０９，２１０，２１１から構成されている。第１コイル用磁性体シート２０６〜２０８と第２コイル用磁性体シート２０９〜２１１は交互に配置されている。
【００１８】
すなわち、下から第２コイル用磁性体シート２１１、第１コイル用磁性体シート２０８、第２コイル用磁性体シート２１０、第１コイル用磁性体シート２０７、第２コイル用磁性体シート２０９、第１コイル用磁性体シート２０６の順に形成されている。
【００１９】
各磁性体シート２０６〜２１１の上面には、ほぼ１ターンの角形の第１コイル形成用導体パターン２１２，２１３，２１４と、第２コイル形成用導体パターン２１５，２１６，２１７とが印刷されている。
【００２０】
磁性体シート２０６に形成された導体パターン２１２の終端２１２ｂは、終端２１２ｂ部分のスルーホール２１２ｃ、磁性体シート２０９のスルーホール２０９ａを介して磁性体シート２０７に形成された導体パターン２１３の始端２１３ａと電気的に接続されている。
【００２１】
また、磁性体シート２０７に形成された導体パターン２１３の終端２１３ｂは、終端２１３ｂ部分のスルーホール２１３ｃ、磁性体シート２１０のスルーホール２１０ａを介して磁性体シート２０８に形成された導体パターン２１４の始端２１４ａと電気的に接続されている。
【００２２】
同様に、磁性体シート２０９に形成された導体パターン２１５の終端２１５ｂは、終端２１５ｂ部分のスルーホール２１５ｃ、磁性体シート２０７のスルーホール２０７ａを介して磁性体シート２１０に形成された導体パターン２１６の始端２１６ａと電気的に接続されている。
【００２３】
さらに、磁性体シート２１０に形成された導体パターン２１６の終端２１６ｂは、終端２１６ｂ部分のスルーホール２１６ｃ、磁性体シート２０８のスルーホール２１４ａを介して磁性体シート２１１に形成された導体パターン２１７の始端と電気的に接続されている。
【００２４】
このようにして、磁性体シート２０６〜２０８の導体パターン２１２〜２１４からなる第１コイルと、磁性体シート２０９〜２１１の導体パターン２１５〜２１７からなり、第１コイルと同相で同じ巻数の第２コイルとが、一層おきに形成されている。
【００２５】
また、上電極部２０２は、磁性体シート２１８，２１９，２２０から構成されている。各磁性体シート２１８〜２２０には、それぞれ引き出し用電極導体パターン２２１ａ，２２１ｂ，２２１ｃと、２２２ａ，２２２ｂ，２２２ｃとが形成されている。
【００２６】
引き出し用電極導体パターン２２１ａ〜２２１ｃはスルーホールによって互いに接続され、さらに、これらには、第１コイルを形成する磁性体シート２０６の導体パターン２１２の始端２１２ａが接続されている。
【００２７】
同様に、引き出し用電極導体パターン２２２ａ〜２２２ｃはスルーホールによって互いに接続され、さらに、これらには、磁性体シート２０６のスルーホール２０６ａを介して第２コイルを形成する磁性体シート２０９の導体パターン２１５の始端２１５ａが接続されている。
【００２８】
このようにして、上電極部２０２には第１コイルの引き出し電極ターミナルＴ１ａと、第２コイルの引き出し電極ターミナルＴ２ａとがそれぞれ形成されている。
【００２９】
さらに、下電極部２０３は、磁性体シート２２３，２２４，２２５から構成されている。各磁性体シート２２３〜２２５には、それぞれ引き出し用電極導体パターン２２６ａ，２２６ｂ，２２６ｃと、２２７ａ，２２７ｂ，２２７ｃとが形成されている（２２７ｂ，２２７ｃは図示せず）。
【００３０】
引き出し用電極導体パターン２２６ａ〜２２６ｃはスルーホールによって互いに接続され、さらに、これらには、磁性体シート２１１のスルーホール２１１ａを介して第１コイルを形成する磁性体シート２０８の導体パターン２１４の終端２１４ｂが接続されている。
【００３１】
同様に、引き出し用電極導体パターン２２７ａ〜２２７ｃはスルーホールによって互いに接続され、さらに、これらには、第２コイルを形成する磁性体シート２１１の導体パターン２１７の終端が接続されている。
【００３２】
このようにして、下電極２０３には第１コイルの引き出し電極ターミナルＴ１ｂと、第２コイルの引き出し電極ターミナルＴ２ｂとがそれぞれ形成されている。
【００３３】
この従来のコモンモードノイズフィルタは、第１コイル、第２コイルにコモンモードのノイズが印加されたとき、各コイルのインピーダンス値が高くなり、これにより、コモンモードのノイズを除去していた。
【００３４】
しかしながら、上記した従来のコモンモードノイズフィルタは、コモンモードのインピーダンス値をさらに高くできないという課題を有していた。
【００３５】
すなわち、これは角形の導体パターン２１２〜２１７のうち第１コイルを構成する２１２を例にすれば、始端２１２ａが終端２１２ｂより内側に形成されているため、始端２１２ａと、導体パターン２１２が折り曲がる２１２ｄとの間の導体パターンを、第２コイルを構成する導体パターン２１５と上面視にて重ねることができず、これにより、第１コイルで発生する磁束と第２コイルで発生する磁束とが互いにより効率的に強め合うことができないからである。
【課題を解決するための手段】
【００３６】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、コモンモード、ノーマルモードの両方のインピーダンス値を高くでき、コモンモードのノイズでもノーマルモードのノイズでも除去特性の高いノイズフィルタ、ノイズフィルタを用いた電子機器を提供することを目的とする。
【００３７】
また、コモンモードのインピーダンス値をより高くでき、コモンモードのノイズ除去特性の高いノイズフィルタおよびこのコモンモードノイズフィルタを用いた電子機器を提供することを目的とする。
【００３８】
上記目的を達成するために本発明の実施形態１（後述の実施の形態１，２）のノイズフィルタは、磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、前記磁性体内に形成された第１のインピーダンス素子と、前記第１のインピーダンス素子の上方に形成された第２のインピーダンス素子と、前記磁性体の両端面に形成され、前記第１、第２のインピーダンス素子の各端部とそれぞれ電気的に接続された外部電極とを備え、前記第１のインピーダンス素子は第１のノーマルインピーダンス素子部と、前記第１のノーマルインピーダンス素子部の上方で前記第１のノーマルインピーダンス素子部と電気的に接続された第１のコモンインピーダンス素子部とを有し、前記第２のインピーダンス素子は第２のコモンインピーダンス素子部と、前記第２のコモンインピーダンス素子部の上方で前記第２のコモンインピーダンス素子部と電気的に接続された第２のノーマルインピーダンス素子部とを有し、前記第１のコモンインピーダンス素子部と前記第２のコモンインピーダンス素子部とは互いに対向し、かつ絶縁されている。この構成によれば、コモンモード、ノーマルモードの両方のインピーダンス値を高くできるという効果を有する。
【００３９】
また、上記目的を達成するために本発明の実施形態２（後述の実施の形態３，４，５）のノイズフィルタは、磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、複数の第１の内部導体を積層することによって形成された第１のコイルと、複数の第２の内部導体を積層することによって形成された第２のコイルと、前記磁性体の両端面に形成され、前記第１、第２のコイルの各端部とそれぞれ電気的に接続された外部電極とを有し、前記磁性体内に、前記第１の内部導体からなる第１の積層部と、前記第１の積層部の上面に形成され、前記第１の内部導体と前記第２の内部導体とが交互に積層された第２の積層部と、前記第２の積層部の上面に形成され、前記第２の内部導体からなる第３の積層部とを備えている。この構成によれば、コモンモード、ノーマルモードの両方のインピーダンス値を高くできるという効果を有する。
【００４０】
さらに、上記目的を達成するために本発明の実施形態３（後述の実施の形態６）のコモンモードノイズフィルタは、磁性体シートを上下方向に積層することによって形成された磁性体と、複数の第１の内部導体を積層することによって形成された第１のコイルと、前記第１の内部導体と交互に形成された複数の第２の内部導体を積層することによって形成され、かつ前記磁性体の上面視にて前記第１のコイルと重なる第２のコイルと、前記第１の内部導体同士、または前記第２の内部導体同士を接続するために前記磁性体シートに形成された複数のバイアホールとを有し、前記第１の内部導体同士を接続するバイアホールは、前記磁性体の上面視にて前記第２のコイルと重なり、前記第２の内部導体同士を接続するバイアホールは、前記磁性体の上面視にて前記第１のコイルと重なるように設けられ、前記第１の内部導体と、前記第１の内部導体と隣り合う前記第２の内部導体のうち少なくとも１つは前記磁性体の上面視にてほぼ重なるように形成されている。この構成によれば、コモンモードのインピーダンス値をより高くできるという効果を有するものである。
【発明の効果】
【００４１】
以上のように本発明によれば、コモンモードおよびノーマルモードのインピーダンス値が高いノイズフィルタ、コモンモードのインピーダンス値が高いコモンモードノイズフィルタが実現できる。それらを携帯電話など無線通信機器における信号ラインに適用すればノイズを減衰させることができる。例えば１対の信号ラインとしてのオーディオラインにおいて可聴雑音を低減できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの分解斜視図
【図２】（ａ）同ノイズフィルタのＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は同ノイズフィルタの斜視図
【図３】（ａ）同ノイズフィルタにノーマルモード、コモンモードの電流が印加されたときのインピーダンス特性を示す図、（ｂ）同ノイズフィルタにノーマルモード、コモンモードの電流が印加されたときのインピーダンス特性の測定回路を示す図
【図４】（ａ）〜（ｄ）同ノイズフィルタにおける各導体の上面図、（ｅ）同ノイズフィルタの他の例の断面図
【図５】（ａ）同ノイズフィルタ（パターンＡ）の等価回路図、（ｂ）同ノイズフィルタ（パターンＢ）の等価回路図
【図６】（ａ）同ノイズフィルタ（パターンＡ）およびパターンＢのノイズフィルタにノーマルモードの電流が印加されたときのインピーダンス特性（減衰特性）を示す図、（ｂ）同パターンＡおよびパターンＢのノイズフィルタを模式し各パターンに印加される電流の方向を示す図
【図７】（ａ）〜（ｆ）同ノイズフィルタの製造方法を示す斜視図
【図８】同ノイズフィルタの第２の導体と第３の導体との距離と、結合係数、耐電圧の関係を示す図
【図９】同ノイズフィルタの他の例の断面図
【図１０】高周波領域でインピーダンス値が向上したことを示す周波数特性の図
【図１１】（ａ）（ｂ）同ノイズフィルタの他の例の断面図
【図１２】（ａ）〜（ｄ）同ノイズフィルタの他の例の上面図
【図１３】同ノイズフィルタの他の例の断面図
【図１４】（ａ）（ｂ）（ｄ）（ｅ）本発明の実施の形態２におけるノイズフィルタの各導体の上面図、（ｃ）（ｆ）同ノイズフィルタのパターン透過図
【図１５】（ａ）携帯電話の一対の信号ラインにおける搬送波の波形を示す図、（ｂ）本発明の実施の形態１、２におけるノイズフィルタの使われ方を示す図、（ｃ）本発明の実施の形態１、２におけるノイズフィルタが携帯電話の一対の信号ラインに使用されたときの減衰特性を示す図
【図１６】本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタの分解斜視図
【図１７】（ａ）同ノイズフィルタのＡ−Ａ線断面図、（ｂ）同ノイズフィルタの斜視図
【図１８】本発明の実施の形態３および４におけるノイズフィルタの等価回路図
【図１９】（ａ）同要部である第２の積層部における内部導体のターン数と結合係数との関係を示す図、（ｂ）同要部である第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数と結合係数との関係を示す図
【図２０】（ａ）〜（ｇ）同ノイズフィルタの製造方法を示す斜視図
【図２１】本発明の実施の形態４におけるノイズフィルタの分解斜視図
【図２２】本発明の実施の形態５におけるノイズフィルタの分解斜視図
【図２３】（ａ）同図２２のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）同ノイズフィルタの上面透過図
【図２４】同ノイズフィルタの他の例の断面図
【図２５】（ａ）（ｂ）同ノイズフィルタの他の例の上面透過図
【図２６】（ａ）同ノイズフィルタの他の例の分解斜視図、（ｂ）同ノイズフィルタの他の例のＡ−Ａ線断面図
【図２７】同ノイズフィルタの等価回路図
【図２８】（ａ）本発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタ（パターンＡ）の断面図、（ｂ）（ｃ）パターンＢのノイズフィルタの断面図、（ｄ）本発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタ（パターンＡ）とパターンＢの、周波数と減衰量との関係をそれぞれ示す図
【図２９】比較例におけるパターンＢのノイズフィルタの等価回路図
【図３０】本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの分解斜視図
【図３１】（ａ）同Ａ−Ａ線断面図、（ｂ）は同斜視図
【図３２】（ａ）〜（ｃ）同製造方法を示す斜視図
【図３３】（ａ）〜（ｄ）同製造方法を示す斜視図
【図３４】（ａ）携帯電話の一対の信号ラインにおける搬送波の波形を示す図、（ｂ）本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの使われ方の一例を示す図、（ｃ）本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタが携帯電話の一対の信号ラインに使用されたときの周波数と減衰量との関係を示す図
【図３５】従来のノイズフィルタの分解斜視図
【図３６】従来のコモンモードノイズフィルタの分解斜視図
【発明を実施するための形態】
【００４３】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【００４４】
図１は本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの分解斜視図、図２（ａ）は同ノイズフィルタのＡ−Ａ線断面図、図２（ｂ）は同ノイズフィルタの斜視図である。
【００４５】
なお、以下、第１のインピーダンス素子を第１のコイル、第２のインピーダンス素子を第２のコイル、第１のノーマルインピーダンス素子部を第１の導体、第１のコモンインピーダンス素子部を第２の導体、第２のコモンインピーダンス素子部を第３の導体、第２のノーマルインピーダンス素子部を第４の導体とする。
【００４６】
図１、図２において、第１のコイル２１は、渦巻き状の第１の導体２２および第１の導体２２の上方に形成された渦巻き状の第２の導体２３からなる。第１の導体２２は第１の引き出し部２２ａと渦巻きの中心に位置する第１のバイア電極２２ｂとを、第２の導体２３は第２の引き出し部２３ａと渦巻きの中心に位置する第２のバイア電極２３ｂとをそれぞれ有している。また、第１の導体２２と第２の導体２３は、引き出し部２２ａ、２３ａ間に電流を流したとき、第１の導体２２や第２の導体２３に流れる電流は、第２の導体２３の上方からの平面視にて同じ方向（時計回りあるいは反時計回り）に流れるように形成されている。さらに、引き出し部２２ａ、２３ａは互いに平面方向に対して対向する位置に形成されている。
【００４７】
方形の第１の磁性体シート２４は、第１の導体２２と第２の導体２３との間に形成され、第１のバイアホール２４ａを有している。また、第１のバイア電極２２ｂと第２のバイア電極２３ｂとが第１のバイアホール２４ａによって互いに接続され、これにより、第１の導体２２と第２の導体２３とが接続されて、第１のコイル２１が形成される。
【００４８】
第２のコイル２５は、渦巻き状の第３の導体２６および第３の導体２６の上方に形成された渦巻き状の第４の導体２７からなる。第３の導体２６は第３の引き出し部２６ａと渦巻きの中心に位置する第３のバイア電極２６ｂとを、第４の導体２７は第４の引き出し部２７ａと渦巻きの中心に位置する第４のバイア電極２７ｂとをそれぞれ有している。また、第３の導体２６と第４の導体２７は、引き出し部２６ａ、２７ａ間に電流を流したとき、第３の導体２６や第４の導体２７に流れる電流は、第４の導体２７の上方からの平面視にて同じ方向（時計回りあるいは反時計回り）に流れるように形成されている。さらに、引き出し部２６ａ、２７ａは平面方向に対して互いに対向する位置に、かつ引き出し部２６ａが引き出し部２２ａと同じ方向に向かうように形成されている。
【００４９】
方形の第２の磁性体シート２８は、第３の導体２６と第４の導体２７との間に形成され、第２のバイアホール２９を有している。また、第３のバイア電極２６ｂと第４のバイア電極２７ｂとが第２のバイアホール２９によって互いに接続され、これにより、第３の導体２６と第４の導体２７とが接続されて、第２のコイル２５が形成される。
【００５０】
なお、図２（ａ）においては、第１のバイアホール２４ａと第２のバイアホール２９とが上面視にてほぼ同じ位置になっているが、上面視にて互いにずれた位置になっても構わない。
【００５１】
このとき、各導体２２、２３、２６、２７は銀、銅などの導電体からなり、その長さ、幅、厚みは所定の特性に合致するように調整すればよい。なお、銅を用いれば、後述する焼成が不要となり、銀を用いれば、エアー雰囲気中で焼成できる。また、渦巻き状の各導体２２、２３、２６、２７は一平面に形成されている。そして、それぞれの外形寸法（引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いた縦横の寸法）、導体線間ピッチ、ターン数はほぼ等しくなっている。つまり、各導体２２、２３、２６、２７は引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いた部分がほぼ同一の形状になっている。ただし、渦巻き状の第１の導体２２、第３の導体２６の中心から外に向かう方向は第４の導体２７の上方からの平面視にて反時計回りに、第２の導体２３、第４の導体２７は時計回りになっている。
【００５２】
さらに、第２の導体２３と第３の導体２６とは、互いに対向し、かつその間は絶縁されている。また、同じ方向に引き出されている引き出し部２２ａ、２６ａから引き出し部２３ａ、２７ａへ電流を流したとき、第４の導体２７の上方（後述する磁性体３２の上方）からの平面視にて第２の導体２３と第３の導体２６に同じ方向（時計回りあるいは反時計回り）に電流が流れるように形成されている。
【００５３】
上記した配置関係に各導体２２、２３、２６、２７を形成したことによって、第２の導体２３や第３の導体２６の一端部（第２のバイア電極２３ｂ、第３のバイア電極２６ｂ）が、上下方向に別々に（第２の導体２３は下方の第１の導体２２と、第３の導体２６は上方の第４の導体２７と）それぞれ接続されるため、第２の導体２３と第３の導体２６とが短絡する可能性がなくなる。これにより、従来のノイズフィルタと異なり第２の導体２３や第３の導体２６を必要な分だけ延ばすことができることに加え、第２の導体２３と第３の導体２６は渦巻き状に形成されたため、第２の導体２３と第３の導体２６との重複領域を増加させることができる。この結果、第２の導体２３と第３の導体２６とに同方向の電流が流れれば、第２の導体２３、第３の導体２６でそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができるため、コモンモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【００５４】
さらに、第２の導体２３と第３の導体２６とに逆方向の電流が流れて第２の導体２３、第３の導体２６でそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことになっても、第１の導体２２と第４の導体２７とは、第２の導体２３と第３の導体２６とを介して離れた位置に形成されているため、第１の導体２２、第４の導体２７でそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことはないため、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果も得られる。
【００５５】
方形の第３の磁性体シート３０が、第１のコイル２１と第２のコイル２５との間（第２の導体２３と第３の導体２６との間）に形成されている。第３の磁性体シート３０によって第２の導体２３と第３の導体２６との間が絶縁される。方形の第４の磁性体シート３１が、第１のコイル２１の下面（第１の導体２２の下面）と、第２のコイル２５の上面（第４の導体２７の上面）に形成されている。
【００５６】
そして、各磁性体シート２４、２８、３０、３１は、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から構成され、樹脂とフェライトを混合した樹脂コンポジット材料、ガラスセラミック等の誘電体を使用できる。なお、樹脂を用いた場合は、後述するように焼成が不要となる。また上記したように上下方向に積層することによって方形で板状の磁性体３２が形成される。なお、磁性体３２は板状でなく、ある程度の厚みを有していてもよい。また、磁性体３２は必ずしも方形である必要はない。さらに、それぞれの厚みは、所定の特性（インピーダンス値、耐電圧など）によって適宜調整すればよく、厚みの調整は、磁性体シート自体の厚みを変えるか、形成される磁性体シートの枚数を変えることによって行う。
【００５７】
また、磁性体３２はフッ素系シランカップリング剤によって含浸されており、このようにすることによって、撥水性のあるフッ素系シランカップリング剤が磁性体３２内に存在する微細な細孔に充填させることができるため、ノイズフィルタ自身の耐湿性を向上させることができる。
【００５８】
磁性体３２の両端面に形成された外部電極３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄのうち、３３ａと３３ｃは磁性体３２の一端面に、３３ｂと３３ｄは磁性体３２の他の一端面に設けられている。また、外部電極３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄは、銀などの導体の表面に、ニッケルめっき、すずやはんだなどの低融点金属めっきが施されている。
【００５９】
そして、第１のコイル２１の両端部、すなわち第１の引き出し部２２ａ、第２の引き出し部２３ａは、第１の引き出し部２２ａが外部電極３３ａと、第２の引き出し部２３ａが外部電極３３ｂと電気的に接続されている。
【００６０】
同様に、第２のコイル２５についても、第３の引き出し部２６ａが外部電極３３ｃと、第４の引き出し部２７ａが外部電極３３ｄと電気的に接続されている。つまり、第１の導体２２と第３の導体２６が磁性体３２の一端面に引き出され、第２の導体２３と第４の導体２７が磁性体３２の他の一端面に引き出されている。
【００６１】
なお、第２の導体２３、第３の導体２６の形状を渦巻き状にすることによって、導体の長さを長くできるため、第２の導体２３と第３の導体２６との重複領域をより増加させることができる。これにより、第２の導体２３と第３の導体２６とに同方向の電流が流れれば、コモンモードのインピーダンス値をより高くできるという効果が得られる。
【００６２】
また、少なくとも第２の導体２３と第３の導体２６は電鋳法によって形成されており、このようにすれば、小さい導体幅、細かい導体線間ピッチを実現できるため、渦巻き状の第２の導体２３と第３の導体２６の長さをさらに長くできる。これにより、第２の導体２３と第３の導体２６との重複領域をさらに増加させることができるため、第２の導体と第３の導体とに同方向の電流が流れれば、第２、第３の導体でそれぞれ発生する磁束を互いにさらに強め合うことができる。これにより、コモンモードのインピーダンス値をさらに高くできる。
【００６３】
一方、導体を印刷で形成する場合は、マスクの精度には限界があるため、小さい導体幅、細かい導体線間ピッチを得ることができず、この結果、コモンモードのインピーダンス値を高くすることはある程度までしかできない。
【００６４】
さらに、第２の導体２３と第３の導体２６が、渦巻き状で、同じ方向に引き出されている外部電極３３ａ、３３ｃから外部電極３３ｂ、３３ｄへ電流を流したとき、磁性体３２の上方からの平面視にて第２の導体２３と第３の導体２６に同じ方向（時計回りあるいは反時計回り）に電流が流れるように形成され、かつ上記した位置関係にあれば、コモンモードのインピーダンス値を高くできる。そのため、第１の導体２２と第４の導体２７は、第２の導体２３と第３の導体２６に対して、磁性体３２の上方からの平面視にて位置ずれしたり、巻方向が異なったりしても構わない。さらに、一平面に形成された渦巻き状でなく、螺旋状に積層されたもの、弓状のものなどの他の形状でもよい。ただし、渦巻き状や螺旋状（スパイラル状）であれば、発生する磁束が強い。そのため、ノーマルモードのインピーダンス値をより高くできるので、スパイラル状である方が望ましい。なお、直線状の場合は発生する磁束が弱いため、本発明の目的とする用途にはふさわしくない。
【００６５】
図３（ａ）は、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタにノーマルモード、コモンモードの電流が印加されたときのインピーダンス特性を示す図である。
【００６６】
このとき、各モードの電流について周波数を変化させて、入出力端子間のインピーダンス値を測定した（それぞれの測定回路は図３（ｂ）に示す）。試料として、各導体２２、２３、２６、２７の外形寸法（引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いた縦横の寸法）が６００μｍ×６００μｍ、ターン数が４のものを用いた。
【００６７】
図３（ａ）から明らかなように、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタはノーマルモード、コモンモードの両方のインピーダンス値を高くできることがわかる。
【００６８】
ここで、図４（ａ）〜（ｄ）に上記した本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの各導体２２、２３、２６、２７の上面図を示す。
【００６９】
なお、第１の導体２２が第２の導体２３と入れ替わっても（このとき、磁性体３２の一端面に外部電極３３ａと３３ｂが、他の一端面に外部電極３３ｃと３３ｄが形成される。なお、このときのパターンを以下パターンＢ、上記したパターンをパターンＡとする）、上述したようにそれぞれの第１の導体２２、第２の導体２３は引き出し部２２ａ、２３ａを除いて、磁性体３２の上方からの平面視にてほぼ同一の形状になるため、特性はほぼ変化しない（このときの断面図を図４（ｅ）に示す）。
【００７０】
なお、パターンＡ（本発明の実施の形態１）は、下から第１の導体２２、第２の導体２３、第３の導体２６、第４の導体２７の順に積層され、パターンＢは、下から第２の導体２３、第１の導体２２、第３の導体２６、第４の導体２７の順に積層されている。
【００７１】
このように、各導体２２、２３、２６、２７の上下関係が入れ替わっても、これらの形状はそれぞれの引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いてほぼ同一であるため、各導体２２、２３、２６、２７の上下関係を確認する必要がなく、この結果、生産性を向上させることができる。
【００７２】
図５（ａ）は本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタ（パターンＡ）の等価回路図、図５（ｂ）は同ノイズフィルタ（パターンＢ）の等価回路図である。
【００７３】
図６（ａ）は本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタ（パターンＡ）およびパターンＢのノイズフィルタにノーマルモードの電流が印加されたときのインピーダンス特性（減衰特性）を示す図である。
【００７４】
なお、図６（ｂ）はパターンＡおよびパターンＢ（パターンＢ１、パターンＢ２）を模式し各パターンに印加される電流の方向を示す図である。また、試料は図３と同じものを用いた。
【００７５】
図６から明らかなように、パターンＢの場合印加される電流の向きによって減衰特性が変化することがわかる。
【００７６】
これは、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタ（パターンＡ）は、磁性体３２の一端部に形成された外部電極３３ａ、３３ｃと第１の導体２２、第３の導体２６との接続部付近（引き出し部２２ａ、２６ａ）間の距離と、磁性体３２の他の一端部に形成された外部電極３３ｂ、３３ｄと第２の導体２３、第４の導体２７との接続部付近（引き出し部２３ａ、２７ａ）間の距離が等しいため、ノーマルモード電流の印加される方向が異なっても磁性体内で発生する浮遊容量は変わらず、これにより、実装基板に実装する際に方向が異なっても、減衰特性は変化しないからである。これにより、実装基板に実装する方向を指定する必要が無く、製品方向を示すマーキングを付与する工程等が削減できるという効果が得られる。
【００７７】
一方、パターンＢの場合は、磁性体３２の一端部に形成された外部電極３３ａ、３３ｃと第１の導体２２、第４の導体２７との接続部付近（引き出し部２２ａ、２７ａ）間の距離と、磁性体３２の他の一端部に形成された外部電極３３ｂ、３３ｄと第２の導体２３、第３の導体２６との接続部付近（引き出し部２３ａ、２６ａ）間の距離が異なる。そのため、ノーマルモード電流の印加される方向が異なれば、入出力部分に近い接続部付近（引き出し部）間の距離も異なるため、磁性体内で発生する浮遊容量は変化し、これにより、減衰特性が変化するため、製品に方向を示すマーキング等を付与する必要がある。
【００７８】
しかしながら、パターンＢのとき（第３の導体２６のすぐ下に第１の導体２２が形成されているとき）は、第１の導体２２と第３の導体２６とは、引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いてほぼ同一の形状で、かつ渦巻きの中心から外に向かう方向は磁性体３２の上方からの平面視にて反時計回りであるため、磁性体３２の上方からの平面視にて重なるように形成される。このとき、それぞれの重複面積を最大限に増加させることができるため、それぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができ、コモンモードのインピーダンス値を最も高くできる。
【００７９】
なお、上記した実施の形態１において外部電極３３ａ〜３３ｄは、それぞれ磁性体３２の両端面に形成されているが、磁性体３２の上面視にて四隅に形成されても同様の効果が得られる。
【００８０】
以上のように構成された本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタについて、以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【００８１】
図７（ａ）〜（ｆ）は本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの製造方法を示す図である。
【００８２】
まず、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から、方形の第１の磁性体シート２４、第２の磁性体シート２８、第３の磁性体シート３０、第４の磁性体シート３１を作製する。
【００８３】
次に、第１の磁性体シート２４、第２の磁性体シート２８の所定の位置に、レーザ、パンチングなどで穴あけ加工して第１のバイアホール２４ａ、第２のバイアホール２９をそれぞれ設ける。なお、各バイアホール２４ａ、２９に銀などの導電材料を充填すれば、第１の導体２２と第２の導体２３、第３の導体２６と第４の導体２７との接続をより確実に行える。
【００８４】
次に、図７（ａ）に示すように、ベース板３３に各導体２２、２３、２６、２７のパターンが露出するようにマスクを形成し、この露出した部分に銀めっきを施して、マスクを除去することによって（電鋳法）銀などからなる渦巻き状の第１の導体２２、第２の導体２３、第３の導体２６、第４の導体２７をそれぞれ複数作製する。
【００８５】
各導体２２、２３、２６、２７は、それぞれ一端部に渦巻きの中心に位置する第１のバイア電極２２ｂ、第２のバイア電極２３ｂ、第３のバイア電極２６ｂ、第４のバイア電極２７ｂを有し、さらに他の一端部にそれぞれ第１の引き出し部２２ａ、第２の引き出し部２３ａ、第３の引き出し部２６ａ、第４の引き出し部２７ａを有している。
【００８６】
また、各導体２２、２３、２６、２７は、引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを除いた部分がほぼ同一の形状になっている。なお、引き出し部２２ａ、２３ａ、および２６ａ、２７ａはそれぞれ水平方向に対して互いに対向する位置に、かつ引き出し部２６ａが引き出し部２２ａと同じ方向に向かうように設ける。
【００８７】
次に、所定枚数の第４の磁性体シート３１の上面に複数の第１の導体２２を、第１の導体２２の上面に第１のバイアホール２４ａを有する第１の磁性体シート２４を、さらに第１の磁性体シート２４の上面に複数の第２の導体２３をそれぞれ設けて、第１のコイル２１を形成する。
【００８８】
なお、このとき第１のバイア電極２２ｂと第２のバイア電極２３ｂとを第１のバイアホール２４ａを介して接続させて、第１の導体２２と第２の導体２３とを電気的に接続する。
【００８９】
次に、第２の導体２３の上面に第３の磁性体シート３０を形成する。
【００９０】
次に、第３の磁性体シート３０の上面に複数の第３の導体２６を、第３の導体２６の上面に第２のバイアホール２９を有する第２の磁性体シート２８を、さらに第２の磁性体シート２８の上面に複数の第４の導体２７をそれぞれ設けて、第２のコイル２５を形成する。
【００９１】
なお、このとき第３のバイア電極２６ｂと第４のバイア電極２７ｂとを第２のバイアホール２９を介して接続させて、第３の導体２６と第４の導体２７とを電気的に接続する。
【００９２】
また、各導体２２、２３、２６、２７の積層方法は、上記したように順次行ってもよく、各導体２２、２３、２６、２７の下面に形成される各磁性体シート２４、２８、３０、３１に一度形成した後、この磁性体シート同士を積層しても構わない。
【００９３】
次に、第４の導体２７の上面に所定枚数の第４の磁性体シート３１を設けて、図７（ｂ）に示すような配置関係に積層する。
【００９４】
次に、図７（ｃ）に示すように、１つのノイズフィルタに各導体２２、２３、２６、２７がそれぞれ１つ内設されるように切断して、図７（ｄ）に示すような１つの積層物３４を得る。このとき、積層物３４の両端面から第１の引き出し部２２ａと第３の引き出し部２６ａが、他の端面には第２の引き出し部２３ａと第４の引き出し部２７ａがそれぞれ露出している。
【００９５】
次に、この積層物３４を焼成して磁性体３２を形成する。
【００９６】
次に、図７（ｅ）に示すように、磁性体３２を面取りする。
【００９７】
最後に、図７（ｆ）に示すように、磁性体３２の両端面に露出した引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａにそれぞれ銀などの導体を形成し、さらにこれらの表面にめっきによってニッケルめっきを、ニッケルめっきの表面にめっきによってすずやはんだなどの低融点金属めっきをそれぞれ設ける。これによって、第１の引き出し部２２ａに外部電極３３ａを、第２の引き出し部２３ａに外部電極３３ｂを、第３の引き出し部２６ａに外部電極３３ｃを、第４の引き出し部２７ａに外部電極３３ｄをそれぞれ形成し、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタを製造する。
【００９８】
なお、銀などの導体を形成した後、およびニッケルめっきを形成する前に減圧雰囲気中で磁性体３２をフッ素系シランカップリング剤に含浸する。
【００９９】
上記した本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタにおいて、第２の導体２３と第３の導体２６との距離を近づけて磁気結合を大きくすれば、コモンモードのインピーダンス値を高くできるが、第２の導体２３と第３の導体２６との距離が近づきすぎると第２の導体２３と第３の導体２６との間の耐電圧が悪化して、第２の導体２３と第３の導体２６間が短絡してしまう。
【０１００】
従って、第２の導体２３と第３の導体２６との距離（第３の磁性体シート３０の厚み）は、ある範囲に規定すべきである。
【０１０１】
図８は本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの第２の導体２３と第３の導体２６との距離と、結合係数、耐電圧の関係を示す図である。
【０１０２】
なお、耐電圧は第２の導体２３と第３の導体２６との間に１００Ｖ、１分間印加したときの良品（絶縁抵抗が１０８Ω以上のもの）率を表し、横軸に第２の導体２３と第３の導体２６との距離を、縦軸に結合係数と耐電圧不良率を示している。試料として各内部導体２２、２３、２６、２７の外形寸法が６００μｍ×６００μｍ、ターン数４のものを使用した。
【０１０３】
図８から明らかなように、第２の導体２３と第３の導体２６との距離は５０μｍより長く、２００μｍより短くすればよいことがわかる。このようにすれば、第２の導体２３と第３の導体２６との間の耐電圧を保持でき、さらに第２、第３の導体２３、２６間の結合係数がアップするため、コモンモードのインピーダンス値を高くできる。
【０１０４】
なお、この種のノイズフィルタは一般的にそのサイズが１．０ｍｍ×１．０ｍｍ×厚み０．５ｍｍのものが使用されているため、各導体２２、２３、２６、２７の縦横の外形寸法はそれぞれ５００μｍ〜８００μｍのものが通常使用され、従って各導体２２、２３、２６、２７の縦横の外形寸法に対して第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離は、１／４〜１／１６となる。
【０１０５】
また、上記した条件においては図８から明らかなように磁気的な結合係数が０．２〜０．７のものが得られた。結合係数にばらつきが生じるのは、第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離が変化するためである（磁性体３２の材料などの条件が等しい場合）。
【０１０６】
さらに、結合係数は各導体２２、２３、２６、２７のターン数によっても変化する。例えば、第１の導体２２と第４の導体２７のターン数を１、第２の導体２３と第３の導体２６のターン数を６にすれば、結合係数０．５〜０．９５となった。ターン数の差を６倍以上にするのは現実的でないため、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタの結合係数は０．２〜０．９５となる。これにより、コモンモード、ノーマルモードの両方のインピーダンス値を高くすることができる。
【０１０７】
このように、第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離や各導体のターン数を変化させることによって、結合係数を所定の値にすることができる。
【０１０８】
また、図９に示すように第１の導体２２と第２の導体２３との間の距離Ｔ１、第３の導体２６と第４の導体２７との間の距離Ｔ２、第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離ｔが、Ｔ１、Ｔ２＞ｔとなるようにすれば、第１の導体と第２の導体との間、第３の導体と第４の導体との間、および第１の導体と第４の導体との間で発生する浮遊容量を低減できる。そのため、高周波領域でインピーダンス値が向上し、さらに、第１、第４の導体間の距離を長くできるため、第１、第４の導体でそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことなく、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０１０９】
図１０は高周波領域でインピーダンス値が向上したことを示す周波数特性の図である。
【０１１０】
図１０において、周波数特性Ｃは第１の導体２２と第２の導体２３との間、第３の導体２６と第４の導体２７との間の距離が、第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離とほぼ同じようにしたもの、周波数特性Ｄは図９に示したように第１の導体２２と第２の導体２３との間、第３の導体２６と第４の導体２７との間の距離が、第２の導体２３と第３の導体２６との間の距離より長くしたものを表し、縦軸がインピーダンス値、横軸が印加される電流の周波数を示している。
【０１１１】
図１０から明らかなように、インピーダンス値がピークを示す周波数は、ＣよりＤの方がより高い値となっている。すなわち、Ｄの方が高周波のノイズの除去特性を有していることがわかる。
【０１１２】
なお、本発明の実施の形態１におけるノイズフィルタにおいて、高周波領域でインピーダンス値が向上する他のものについて説明しているが、周波数の変化する割合は各条件によって異なる。
【０１１３】
さらに、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、第１の導体２２と第２の導体２３との間、第３の導体２６と第４の導体２７との間に、磁性体３２より透磁率の低い材料３４ａを設ければ、第１の導体２２と第４の導体２７でそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがないため、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０１１４】
なお、透磁率の低い材料３４ａとして、非磁性体の材料を第１の磁性体シート２４、第２の磁性体シート２８の中に設けたもの、または第１の磁性体シート２４、第２の磁性体シート２８の一部か全部を非磁性体で形成したもの、あるいは磁性体材料の組成を変更して透磁率を下げたものであればよい。
【０１１５】
ただし、図１１（ａ）に示すような、第１の導体２２と第２の導体２３との間、第３の導体２６と第４の導体２７との間全てに透磁率の低い材料３４ａを設けるよりも、図１１（ｂ）に示すような、少なくとも透磁率の低い材料３４ａと第２の導体２３、第３の導体２６とのそれぞれの間に透磁率の高い（磁性体３２）ものを設ける方が、コモンモードのインピーダンス値が高くなり有利である。何故なら、それぞれの間に透磁率の高いものを設けることによって、第２の導体２３、第３の導体２６で発生する磁束が強くなるからである。
【０１１６】
そして、図１２（ａ）〜（ｄ）に示すように、第１、第２のコイル２１、２５における各外部電極間の導体の長さが同一になるようにすれば、引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａを含むトータルのコイルの長さが等しいため、第１、第２のコイル２１、２５におけるインピーダンス値を同一にできる。
【０１１７】
その手段として、各導体のバイア電極２２ｂ、２３ｂ、２６ｂ、２７ｂを通る線３５に対して線対称になるように各導体２２、２３、２６、２７を形成する。点３６は各導体２２、２３、２６、２７と線３５が交わる点である。また、引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａが磁性体３２の端面に露出するそれぞれの部分３７が線３５に対して線対称になるようにする。そして、点３６と３７との間の各引き出し部２２ａ、２３ａ、２６ａ、２７ａの長さが同じになるようにすればよい。
【０１１８】
さらに、図１３に示すように、第２の導体２３と第３の導体２６との間を、他の部分より密度が高くなるようにすれば、第２の導体２３と第３の導体２６との間の空孔率を下げることができるため、第２の導体２３と第３の導体２６との間の耐電圧を保持できる。
【０１１９】
なお、このとき、第２の導体２３と第３の導体２６との間の部分における他の磁性体シート（磁性体３２）より密度の高い第５の磁性体シート３８を設ければよいが、第５の磁性体シート３８の材料として、焼結助材であるＣｕＯやＢｉ2Ｏ3の含有率を増やすか、あるいは第５の磁性体シート３８自体として他の磁性体シート（磁性体３２）より密度の高いものを使用すればよい。
【０１２０】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２におけるノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【０１２１】
なお、本発明の実施の形態２におけるノイズフィルタと本発明の実施の形態１とが異なる点は、第１の導体２２ｃと第２の導体２３ｃ、第３の導体２６ｃと第４の導体２７ｃがそれぞれ、磁性体３２の上方からの平面視にてそれぞれ重ならないように形成された点のみであるため、他の構造および製造方法については、その説明を省略する。
【０１２２】
図１４（ａ）（ｂ）（ｄ）（ｅ）は、本発明の実施の形態２におけるノイズフィルタの各導体２２ｃ、２３ｃ、２６ｃ、２７ｃの上面図、図１４（ｃ）、（ｆ）は、同ノイズフィルタにおける第１の導体２２ｃと第２の導体２３ｃの、第３の導体２６ｃと第４の導体２７ｃのそれぞれのパターン透過図である。
【０１２３】
図１４において、第１の導体２２ｃと第２の導体２３ｃとが、また第３の導体２６ｃと第４の導体２７ｃとがそれぞれ直交しているため、それぞれ磁性体３２の上方からの平面視にてそれぞれ直交している部分を除いて重ならないように形成される。これにより、第１の導体２２ｃと第２の導体２３ｃとの間、第３の導体２６ｃと第４の導体２７ｃとの間で発生する浮遊容量をそれぞれ低減できるため、高周波領域でインピーダンス値が向上するという効果が得られる。
【０１２４】
また、第１の導体２２ｃと第４の導体２７ｃは、磁性体３２の上方からの平面視にて第２の導体２３ｃや第３の導体２６ｃと重ならないように形成してもよい。
【０１２５】
なお、第２の導体２３ｃと第３の導体２６ｃは、同じ方向に引き出されている引き出し部２２ａ、２６ａ（外部電極３３ａ、３３ｃ）から引き出し部２３ａ、２７ａ（外部電極３３ｂ、３３ｄ）に電流を流したとき、磁性体３２の上方からの平面視にて同じ方向（時計回りあるいは反時計回り）に流れるように形成する必要がある。
【０１２６】
上記した本発明の実施の形態１および２におけるノイズフィルタは、コイル２１、２５（インピーダンス素子）を２つ上下に積み重ねたものについて説明したが、複数上下に積み重ねたものでも同様の効果が得られる。
【０１２７】
この場合、上下方向に隣り合う導体（コモンインピーダンス素子部）は、コモンモードのインピーダンス値を高くでき、最上部、最下部の導体（ノーマルインピーダンス素子部）は、ノーマルモードのインピーダンス値を高くでき、さらに、コモンインピーダンス素子部とノーマルインピーダンス素子部との間の導体は、このノーマルモードのインピーダンス値とコモンモードのインピーダンス値の中間的な値も有する。
【０１２８】
上記のようにすれば、ノーマルモード及びコモンモードの両方のインピーダンス値、及びコイル間の結合度合いを表す結合係数を所望の値に容易に調整、設計することができる。ここで、結合係数は大きいコモンモードのインピーダンス値が大きくなる。
【０１２９】
以下、本発明の実施の形態１および２におけるノイズフィルタを、携帯電話などの無線通信機器における１対の信号ラインに使用する方法について説明する。
【０１３０】
例えば携帯電話のヘッドセットなどの通信線の信号ラインは通常１対のケーブル（信号ライン）で構成されており、携帯電話の搬送波などの高周波信号が輻射ノイズとして、前記ケーブルに対してノーマルモードおよびコモンモードで重畳されるため、ノイズの影響を大きく受けやすい。例えば、この輻射ノイズが音声信号の雑音として表れる場合がある。
【０１３１】
音声等の信号がコモンモードの高周波ノイズによって障害を受けるのは、回路中の非線型素子と静電容量により、信号の中にあった低い周波数成分が検出されて、重畳されるためである。
【０１３２】
例えば、図１５（ａ）に示すような、ＴＤＭＡ方式の携帯電話の送受信回路における搬送波９００ＭＨｚ（ＴＤＭＡキャリア）が２１７Ｈｚ（バースト周波数）で送受信されている場合、２１７Ｈｚが検波され、ノーマルモードの音声信号に重畳されて可聴雑音が聞こえるようになる。従って、誘起されるコモンモードとノーマルモードの電流が抑制できれば、音声出力などのノイズが低減できる。
【０１３３】
図１５（ｂ）に示すように、本発明の実施の形態１、２のノイズフィルタを１対の信号ライン（オーディオライン）に接続したとき、図１５（ｃ）に示す減衰特性が得られた。
【０１３４】
図１５（ｃ）から明らかなように、携帯電話の搬送波９００ＭＨｚでもコモンモード、ノーマルモードの両方のノイズが減衰されている。従って、搬送波９００ＭＨｚとともに検波された繰り返し周波数の２１７Ｈｚの信号を低減でき、可聴雑音が聞こえなくなる。
【０１３５】
このように、本発明の実施の形態１、２のノイズフィルタを携帯電話などの無線通信機器における１対の信号ラインに、それぞれ第１のコイル２１（第１のインピーダンス素子）、第２のコイル２５（第２のインピーダンス素子）に接続させれば、コモンモード、ノーマルモードの両方のノイズが印加される１対の信号ラインにおいてコモンモード、ノーマルモードの両方のインピーダンス値を高くできる（信号を減衰できる）ため、例えば１対の信号ラインとしてのオーディオラインにおいては可聴雑音を低減できるという効果が得られる。
【０１３６】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【０１３７】
図１６は本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタの分解斜視図、図１７（ａ）は同ノイズフィルタのＡ−Ａ線断面図、図１７（ｂ）は同ノイズフィルタの斜視図である。
【０１３８】
図１６、図１７において、螺旋状の第１のコイル１２１は、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｆを下から順に積層、接続することによって形成されている。螺旋状の第２のコイル１２２は、第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｆを下から順に積層、接続することによって形成されている。すなわち、第１、第２のコイル１２１、１２２はそれぞれ６層構造になっている。なお、第１、第２のコイル１２１、１２２は必ずしも６層構造にする必要はない。そして、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｆ、第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｆは銀などの導電性材料からなる。
【０１３９】
さらに、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｆ、第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｆのうちそれぞれ最下層、最上層に形成された１２１ａ、１２１ｆ、１２２ａ、１２２ｆを除く他の第１の内部導体、第２の内部導体はＵ字状をしている。なお、Ｕ字状でなく、Ｌ字状などの他の形状でも構わない。
【０１４０】
このとき、下から第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、第２の内部導体１２２ａ、第１の内部導体１２１ｄ、第２の内部導体１２２ｂ、第１の内部導体１２１ｅ、第２の内部導体１２２ｃ、第１の内部導体１２１ｆ、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆの順に形成され、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのみで構成されている部分が第１の積層部１２３、第１の内部導体と第２の内部導体とが交互に構成されている部分（第２の内部導体１２２ａ、第１の内部導体１２１ｄ、第２の内部導体１２２ｂ、第１の内部導体１２１ｅ、第２の内部導体１２２ｃ、第１の内部導体１２１ｆが形成されている部分）が第２の積層部１２４、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのみで構成されている部分が第３の積層部１２５となっている。つまり、それぞれ６層構造になっている第１、第２のコイル１２１、１２２は、そのうち３層が交互に構成されている。
【０１４１】
なお、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｆのうち最下層、最上層に形成された１２１ａ、１２１ｆには、それぞれ第１のコイル１２１の端部となる第１、第２の引き出し電極１２６，１２７がそれぞれ形成されている。同様に第２の内部導体１２２ａ、１２２ｆには、第３、第４の引き出し電極１２８、１２９がそれぞれ形成されている。
【０１４２】
また、引き出し電極１２６、１２７、１２８、１２９は、第２の内部導体１２２ｆ（後述する磁性体１３８）の上面視にて、磁性体１３８の４隅に形成してもよい。
【０１４３】
方形で複数の第１の磁性体シート１３０は、第１の積層部１２３における第１の内部導体１２１ｂ、１２１ｃの下面にそれぞれ形成され、第１のバイアホール１３１が設けられている。この第１のバイアホール１３１によって第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃが接続されている。
【０１４４】
方形で複数の第２の磁性体シート１３２は、第３の積層部１２５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆの下面にそれぞれ形成され、第２のバイアホール１３３が設けられている。この第２のバイアホール１３３によって第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆが接続されている。
【０１４５】
方形で複数の第３の磁性体シート１３４は、第２の積層部１２４における第２の内部導体１２２ａ、第１の内部導体１２１ｄ、第２の内部導体１２２ｂ、第１の内部導体１２１ｅ、第２の内部導体１２２ｃ、第１の内部導体１２１ｆの各下面に形成され、第３のバイアホール１３５、第４のバイアホール１３６がそれぞれ設けられている（第２の内部導体１２２ａの下面に形成される第３の磁性体シート１３４には第３のバイアホール１３５のみが設けられている）。
【０１４６】
第３のバイアホール１３５によって、第１の内部導体１２１ｃと１２１ｄ、１２１ｄと１２１ｅ、１２１ｅと１２１ｆとがそれぞれ接続されている。また、第４のバイアホール１３６によって、第２の内部導体１２２ａと１２２ｂ、１２２ｂと１２２ｃ、１２２ｃと１２２ｄとがそれぞれ接続されている。
【０１４７】
すなわち、第１の内部導体１２１ｄの下面の第３のバイアホール１３５が設けられた第３の磁性体シート１３４には第４のバイアホール１３６が形成されている。そして、第１の内部導体１２１ｄは、この第３のバイアホール１３５とさらにその下（第１の内部導体１２１ｃの上）の第３の磁性体シート１３４に設けられた第３のバイアホール１３５とによって第１の内部導体１２１ｃと接続され、第２の内部導体１２２ｂは、この第４のバイアホール１３６とその上（第２の内部導体１２２ｂの下）の第３の磁性体シート１３４に設けられた第４のバイアホール１３６とによって第２の内部導体１２２ａと接続されるという具合になっている。
【０１４８】
なお、第３のバイアホール１３５と第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃが、第４のバイアホール１３６と第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆがそれぞれ電気的に絶縁されている。
【０１４９】
方形で複数の第４の磁性体シート１３７は、第１の内部導体１２１ａの下面と第２の内部導体１２２ｆの上面に所定枚数形成されている。
【０１５０】
各磁性体シート１３０、１３２、１３４、１３７は、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から構成され、また上記したように上下方向に積層することによって方形で板状の磁性体１３８が形成される。なお、磁性体１３８は板状でなく、ある程度の厚みを有していてもよい。また、磁性体１３８は必ずしも方形である必要はない。さらに、それぞれの厚みは、所定の特性（インピーダンス値、耐電圧など）によって適宜調整すればよく、厚みの調整は、磁性体シート自体の厚みを変えるか、形成される磁性体シートの枚数を変えることによって行う。
【０１５１】
また、磁性体１３８はフッ素系シランカップリング剤によって含浸されており、このようにすることによって、撥水性のあるフッ素系シランカップリング剤が磁性体１３８内に存在する微細な細孔に充填させることができるため、ノイズフィルタ自身の耐湿性を向上させることができる。
【０１５２】
磁性体１３８の両端面に形成された外部電極１３９ａ、１３９ｂ、１３９ｃ、１３９ｄのうち、１３９ａと１３９ｃは磁性体１３８の一端面に、１３９ｂと１３９ｄは磁性体１３８の他の一端面に設けられている。また、外部電極１３９ａ、１３９ｂ、１３９ｃ、１３９ｄは、銀などの導体の表面に、ニッケルめっき、すずやはんだなどの低融点金属めっきが施され形成されている。
【０１５３】
また、外部電極１３９ａ、１３９ｂ、１３９ｃ、１３９ｄは、磁性体１３８の上面視にて磁性体１３８の４隅に形成されてもよい。
【０１５４】
そして、第１のコイル１２１の両端部、すなわち第１の引き出し電極１２６、第２の引き出し電極１２７は、第１の引き出し電極１２６が外部電極１３９ａと、第２の引き出し電極１２７が外部電極１３９ｂと電気的に接続されている。
【０１５５】
同様に、第２のコイル１２２についても、第３の引き出し電極１２８が外部電極１３９ｃと、第４の引き出し電極１２９が外部電極１３９ｄと電気的に接続されている。
【０１５６】
上記したように、本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタは、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのみからなる第１の積層部１２３と、第１の積層部１２３の上面に形成され、第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃが交互に積層された第２の積層部１２４と、第２の積層部１２４の上面に形成され、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのみからなる第３の積層部１２５との３層構造となっている。そのため、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２とに同方向（磁性体１３８の上面視にて時計回り、あるいは反時計回り）の電流が流れれば、第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃは交互に形成されているため、交互に形成されている第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃの距離が近くなり、これにより、第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃでそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができる。そのため、コモンモードのインピーダンス値を高くでき、さらに、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２とに逆方向の電流が流れても、第１の積層部１２３には第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのみが、第３の積層部１２５には第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのみが設けられているため、第１の積層部１２３に形成された第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃおよび第３の積層部１２５に形成された第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがない。これにより、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０１５７】
従って、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２（第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ）とに同方向の電流が流れた場合、第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ，１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃのインピーダンス値が高くなり、これらの内部導体がコモンモードのノイズを低減する。一方、逆に流れた場合は、第１の積層部１２３に形成された第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃおよび第３の積層部１２５に形成された第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのインピーダンス値が高くなり、これらの内部導体がノーマルモードのノイズを低減する。
【０１５８】
すなわち、コモンモード、ノーマルモード両方のインピーダンス値を高くできるため、コモンモード、ノーマルモードのそれぞれのインピーダンス値を所定の値に調整できる。
【０１５９】
図１８に本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタの等価回路図を示す。
【０１６０】
また、第１の積層部１２３に形成された第１の内部導体の数と、第３の積層部１２５に形成された第２の内部導体の数とが異なるようにすれば、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２とに逆方向の電流が流れた場合、第１の積層部１２３に形成された第１の内部導体および第３の積層部１２５に形成された第２の内部導体でそれぞれ発生する磁束の強さが異なるため、第１の内部導体から入力されるノーマルモードのインピーダンス値と第３の内部導体から入力されるノーマルモードのインピーダンス値を異なるようにすることができる。
【０１６１】
さらに、磁気的な結合係数を微調整できるという効果も得られる。
【０１６２】
すなわち、上記したノイズフィルタは第１、第２のコイル１２１、１２２がそれぞれ６層構造になり、そのうち３層、つまり半分が交互に形成されているが、交互に形成されている部分の割合（全体の内部導体に対する第２の積層部１２４に形成されている内部導体の割合）を変化させることによって、発生する磁束を互いに強め合うことができる内部導体の割合が変わるため、結合係数が変化するからである。
【０１６３】
このように、結合係数を微調整できれば、コモンモードのインピーダンス値、ノーマルモードのインピーダンス値をそれぞれ所定の値に規定することができるため、この効果は非常に有効である。
【０１６４】
なお、交互に形成されている部分の割合をできるだけ大きく、あるいは出来るだけ小さくすることによって、結合係数を０．２〜０．９５の間の所定の値にできるため、ノーマルモード、コモンモードのインピーダンス値を調整できる。
【０１６５】
本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタにおいて、図１９（ａ）は第２の積層部１２４における内部導体のターン数（第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆ、第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃのそれぞれのターン数）と結合係数との関係を示す図、図１９（ｂ）は第１の積層部１２３および第３の積層部１２５における内部導体のターン数（第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのそれぞれのターン数）と結合係数との関係を示す図である。なお、磁性体１３８の上面視にて内部導体が１回りした場合を１ターンとする。すなわち、内部導体が１／４ターンのとき、４層積層して１ターンとなる。
【０１６６】
試料として、磁性体が１．０ｍｍ×１．０ｍｍ×２．５ｍｍ厚みのもの、磁性体の上面視にて螺旋状の第１のコイル１２１、第２のコイル１２２で囲まれた部分の寸法が、６００μｍ×６００μｍのものを用いた。なお、図１９（ａ）は第１の積層部１２３および第３の積層部１２５における内部導体のターン数が１のもの、図１９（ｂ）は第２の積層部１２４における内部導体のターン数が１０のものを使用した。
【０１６７】
図１９（ａ）（ｂ）から明らかなように、第２の積層部１２４における内部導体のターン数が多いほど、第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数が少ないほど、そして各磁性体シート１３０、１３２、１３４の厚みが薄いほど結合係数が大きくなる。
【０１６８】
また、各磁性体シート１３０、１３２、１３４の厚みが５０μｍの場合は、第２の積層部１２４における内部導体のターン数が１０以下で、第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数が５以上のときと、各磁性体シート１３０、１３２、１３４の厚みが１００μｍの場合、第２の積層部１２４における内部導体のターン数が５〜１１、第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数が４以下のときに、それぞれ結合係数が０．２〜０．９５となる。
【０１６９】
なお、可能な限り第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数を少なく、第２の積層部１２４における内部導体のターン数を多くすれば、結合係数が０．９５のものを得ることができる。また、可能な限り第１の積層部および第３の積層部における内部導体のターン数を多く、第２の積層部１２４における内部導体のターン数を少なくすれば、結合係数が０．２のものを得ることができる。
【０１７０】
さらに、所定のノーマルモードのインピーダンス値が得られるのであれば、第１の積層部１２３に形成された第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、第３の積層部１２５に形成された第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆの形状は、１つの面に形成される渦巻き状、蛇行状などの他の形状でも構わない。また、巻方向が逆になっても構わない。
【０１７１】
なお、第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃを出来るだけ１ターンに近づけることによって、各内部導体の長さを最大限に長くできるため、第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃでそれぞれ発生する磁束が互いにより強め合うことができ、これにより、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２（第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ）とに同方向の電流が流れれば、コモンモードのインピーダンス値をより高くできるという効果が期待できる。
【０１７２】
以上のように構成された本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタについて、以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【０１７３】
図２０（ａ）〜（ｇ）は本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタの製造方法を示す斜視図である。
【０１７４】
まず、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から、方形の第１の磁性体シート１３０、第２の磁性体シート１３２、第３の磁性体シート１３４、第４の磁性体シート１３７を作製する。
【０１７５】
次に、図２０（ａ）に示すように、第２の磁性体シート１３２の所定の位置に、レーザ、パンチングなどで穴あけ加工して第２のバイアホール１３３を設ける。
【０１７６】
次に、図２０（ｂ）に示すように、第２の磁性体シート１３２の上面に第４の引き出し電極１２９を有する第２の内部導体１２２ｆを印刷によって形成する。なお、このとき同時に第２のバイアホール１３３に銀などの導電材料を充填する。このとき、第２の内部導体１２２ｆの端部と第２のバイアホール１３３とが接続されるようにする。
【０１７７】
次に、図２０（ａ）（ｂ）と同様にして、第２のバイアホール１３３が設けられた第２の磁性体シート１３２の上面に第２の内部導体１２２ｄ、１２２ｅ、１２２ｆを、第３のバイアホール１３５、第４のバイアホール１３６が設けられた第３の磁性体シート１３４の上面に第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆ、第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃを、第１のバイアホール１３１が設けられた第１の磁性体シート１３０の上面に第１の内部導体１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃをそれぞれ形成する。
【０１７８】
なお、各内部導体は、印刷でなく、めっき、蒸着、スパッタなどの他の方法で形成してもよい。
【０１７９】
次に、図２０（ｃ）に示すような配置関係に積層して螺旋状の第１、第２のコイル１２１、１２２を設け、第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのみからなる第１の積層部１２３と、第１の積層部１２３の上面に形成され、第１の内部導体１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃが交互に積層された第２の積層部１２４と、第２の積層部１２４の上面に形成され、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのみからなる第３の積層部１２５とを備える。
【０１８０】
次に、図２０（ｄ）に示すように、１つのノイズフィルタに第１のコイル１２１、第２のコイル１２２がそれぞれ１つ内設されるように切断して、図２０（ｅ）に示すような１つの積層物１４０を得る。このとき、積層物１４０の両端面から第１の引き出し電極１２６と第３の引き出し電極１２８が、他の端面には第２の引き出し電極１２７と第４の引き出し電極１２９がそれぞれ露出している。
【０１８１】
次に、この積層物１４０を焼成して磁性体１３８を形成する。
【０１８２】
次に、図２０（ｆ）に示すように、磁性体１３８を面取りする。
【０１８３】
最後に、図２０（ｇ）に示すように、磁性体１３８の両端面に露出した引き出し電極１２６，１２７，１２８，１２９にそれぞれ銀などの導体を形成し、さらにこれらの表面にめっきによってニッケルめっきを、ニッケルめっきの表面にめっきによってすずやはんだなどの低融点金属めっきをそれぞれ設けることによって、第１の引き出し電極１２６に外部電極１３９ａを、第２の引き出し電極１２７に外部電極１３９ｂを、第３の引き出し電極１２８に外部電極１３９ｃを、第４の引き出し電極１２９に外部電極１３９ｄをそれぞれ形成し、本発明の実施の形態３におけるノイズフィルタを製造する。
【０１８４】
なお、銀などの導体を形成した後、およびニッケルめっきを形成する前に減圧雰囲気中で磁性体１３８をフッ素系シランカップリング剤に含浸する。
【０１８５】
ここで、第１の積層部１２３および第３の積層部１２５における隣接する第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのそれぞれの間、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのそれぞれの間の間隔を、第２の積層部１２４における隣接する第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃとの間隔より大きくすれば、第１の積層部１２３および第３の積層部１２５における隣接する第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのそれぞれの間および第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのそれぞれの間、第１の積層部１２３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃと第３の積層部１２５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆとの間でそれぞれ発生する浮遊容量を低減できる。そのため、高周波領域でインピーダンス値が向上し、さらに、第１の積層部１２３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃと第３の積層部１２５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆとの間の距離を長くできる。そのため、第１の積層部１２３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃおよび第３の積層部１２５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがなく、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできる。
【０１８６】
また、第１の積層部１２３および第３の積層部１２５における隣接する第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃのそれぞれの間、第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆのそれぞれの間に磁性体１３８より透磁率の低いシートを形成すれば、第１の積層部１２３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃおよび第３の積層部１２５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆでそれぞれ発生する磁束を弱くすることができるため、ノーマルモードのインピーダンス値を低くできる。さらに、これによりコモンモードのインピーダンス値が一定のときにノーマルモードのインピーダンス値を調整することによって結合係数を調整できる。
【０１８７】
また、第１、第２のコイル１２１、１２２における各外部電極間（１３９ａと１３９ｂとの間、１３９ｃと１３９ｄとの間）の長さが同一になるようにすれば、引き出し部を含むトータルのコイルの長さが等しくなるため、第１、第２のコイル１２１、１２２におけるインピーダンス値を同一にできる。
【０１８８】
そして、第２の積層部１２４における隣接する第１のコイル１２１（第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆ）と、第２のコイル１２２（第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃ）とのそれぞれの間の磁性体を、他の部分（第１の積層部１２３、第３の積層部１２５）の磁性体より密度が高くなるようにすれば、第１のコイル１２１と第２のコイル１２２との間（第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃとの間）の空孔率を下げることができるため、第２の積層部１２４における第１の内部導体１２１ｄ〜１２１ｆと第２の内部導体１２２ａ〜１２２ｃとの間の耐電圧を保持できるという効果が得られる。
【０１８９】
（実施の形態４）
以下、本発明の実施の形態４におけるノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【０１９０】
図２１は本発明の実施の形態４におけるノイズフィルタの分解斜視図である。図２１において、螺旋状の第１のコイル１４１は、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｉを下から順に積層、接続することによって形成されている。１４２は螺旋状の第２のコイルで、第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｉを下から順に積層、接続することによって形成されている。すなわち、第１、第２のコイル１４１、１４２はそれぞれ９層構造になっている。なお、第１、第２のコイル１４１、１４２は必ずしも９層構造にする必要はない。そして、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｉ、第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｉは銀などの導電性材料からなる。
【０１９１】
さらに、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｉ、第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｉのうちそれぞれ最下層、最上層に形成された１４１ａ、１４１ｉ、１４２ａ、１４２ｉを除く他の第１の内部導体、第２の内部導体はＵ字状をしている。なお、Ｕ字状でなく、Ｌ字状など他の形状でも構わない。
【０１９２】
このとき、下から第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄ、同一面に形成された第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、同一面に形成された第１の内部導体１４１ｆと第２の内部導体１４２ｂ、同一面に形成された第１の内部導体１４１ｇと第２の内部導体１４２ｃ、同一面に形成された第１の内部導体１４１ｈと第２の内部導体１４２ｄ、同一面に形成された第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｅ、第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉの順に形成され、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのみで構成されている部分が第１の積層部１４３、第１の内部導体と第２の内部導体とが同一面に構成されている部分（第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、第１の内部導体１４１ｆと第２の内部導体１４２ｂ、第１の内部導体１４１ｇと第２の内部導体１４２ｃ、第１の内部導体１４１ｈと第２の内部導体１４２ｄ、第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｅが形成されている部分）が第２の積層部１４４、第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのみで構成されている部分が第３の積層部１４５となっている。つまり、それぞれ９層構造になっている第１、第２のコイル１４１、１４２は、そのうち５層が同一面に構成されている。
【０１９３】
なお、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｉのうち最下層、最上層に形成された１４１ａ、１４１ｉには、それぞれ第１のコイル１４１の端部となる第１、第２の引き出し電極１４６，１４７がそれぞれ形成されている。同様に第２の内部導体１４２ａ、１４２ｉには、第３、第４の引き出し電極１４８、１４９がそれぞれ形成されている。
【０１９４】
また、引き出し電極１４６、１４７、１４８、１４９は、第２の内部導体１４２ｉ（後述する磁性体１５８）の上面視にて、磁性体１５８の４隅に形成してもよい。
【０１９５】
方形で複数の第１の磁性体シート１５０は、第１の積層部１４３における第１の内部導体１４１ｂ〜１４１ｄの下面にそれぞれ形成され、第１のバイアホール１５１が設けられている。この第１のバイアホール１５１によって第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄが接続されている。
【０１９６】
方形で複数の第２の磁性体シート１５２は、第３の積層部１４５における第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉの下面にそれぞれ形成され、第２のバイアホール１５３が設けられている。この第２のバイアホール１５３によって第２の内部導体１４２ｅ〜１４２ｉが接続されている。
【０１９７】
方形で複数の第３の磁性体シート１５４は、第２の積層部１４４におけるそれぞれ同一面に形成された第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、第１の内部導体１４１ｆと第２の内部導体１４２ｂ、第１の内部導体１４１ｇと第２の内部導体１４２ｃ、第１の内部導体１４１ｈと第２の内部導体１４２ｄ、第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｅの各下面に形成され、第３のバイアホール１５５、第４のバイアホール１５６がそれぞれ設けられている（同一面に形成された第１の内部導体１４１ｅ、第２の内部導体１４２ａの下面の磁性体シート１５４には第３のバイアホール１５５のみが設けられている）。
【０１９８】
第３のバイアホール１５５によって、第１の内部導体１４１ｅと１４１ｆ、１４１ｆと１４１ｇ、１４１ｇと１４１ｈ、１４１ｈと１４１ｉとがそれぞれ接続されている。また、第４のバイアホール１５６によって、第２の内部導体１４２ａと１４２ｂ、１４２ｂと１４２ｃ、１４２ｃと１４２ｄ、１４２ｄと１４２ｅとがそれぞれ接続されている。
【０１９９】
すなわち、第１の内部導体１４１ｆの下面の第３のバイアホール１５５が設けられた第３の磁性体シート１５４には第４のバイアホール１５６が形成されている。そして、第１の内部導体１４１ｆは、この第３のバイアホール１５５によって第１の内部導体１４１ｅと接続され、第１の内部導体１４１ｆと同一面に形成された第２の内部導体１４２ｂは、この第４のバイアホール１５６によって第２の内部導体１４２ａと接続されるという具合になっている。
【０２００】
なお、同一面に形成された第１の内部導体と第２の内部導体とは、それぞれ電気的に絶縁されている。
【０２０１】
方形で複数の第４の磁性体シート１５７は、第１の内部導体１４１ａの下面と第２の内部導体１４２ｉの上面に所定枚数形成されている。
【０２０２】
各磁性体シート１５０、１５２、１５４、１５７は、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から構成され、また上記したように上下方向に積層することによって方形で板状の磁性体１５８（図示せず）が形成される。なお、磁性体１５８は板状でなく、ある程度の厚みを有していてもよい。また、磁性体１５８は必ずしも方形である必要はない。さらに、それぞれの厚みは、所定の特性（インピーダンス値、耐電圧など）によって適宜調整すればよく、厚みの調整は、磁性体シート自体の厚みを変えるか、形成される磁性体シートの枚数を変えることによって行う。
【０２０３】
また、磁性体１５８はフッ素系シランカップリング剤によって含浸されており、このようにすることによって、撥水性のあるフッ素系シランカップリング剤が磁性体１５８内に存在する微細な細孔に充填させることができるため、ノイズフィルタ自身の耐湿性を向上させることができる。
【０２０４】
磁性体１５８の両端面に形成された外部電極１５９ａ、１５９ｂ、１５９ｃ、１５９ｄ（図示せず）のうち、１５９ａと１５９ｃは磁性体１５８の一端面に、１５９ｂと１５９ｄは磁性体１５８の他の一端面に設けられている。また、外部電極１５９ａ、１５９ｂ、１５９ｃ、１５９ｄは、銀などの導体の表面に、ニッケルめっき、すずやはんだなどの低融点金属めっきが施されて形成されている。
【０２０５】
また、外部電極１５９ａ、１５９ｂ、１５９ｃ、１５９ｄは、磁性体１５８の上面視にて磁性体１５８の４隅に形成されてもよい。
【０２０６】
そして、第１のコイル１４１の両端部、すなわち第１の引き出し電極１４６、第２の引き出し電極１４７は、第１の引き出し電極１４６が外部電極１５９ａと、第２の引き出し電極１４７が外部電極１５９ｂと電気的に接続されている。
【０２０７】
同様に、第２のコイル１４２についても、第３の引き出し電極１４８が外部電極１５９ｃと、第４の引き出し電極１４９が外部電極１５９ｄと電気的に接続されている。
【０２０８】
このとき、それぞれ同一面に形成された第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、第１の内部導体１４１ｆと第２の内部導体１４２ｂ、第１の内部導体１４１ｇと第２の内部導体１４２ｃ、第１の内部導体１４１ｈと第２の内部導体１４２ｄ、第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｅについてはそれぞれ、第１の内部導体１４１ｃ、１４１ｄ、１４１ｅ、１４１ｆ、１４１ｇが第２の内部導体１４２ａ、１４２ｂ、１４２ｃ、１４２ｄ、１４２ｅの内側に形成されている。
【０２０９】
上記したように、本発明の実施の形態４におけるノイズフィルタは、第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのみからなる第１の積層部１４３と、第１の積層部１４３の上面に形成され、第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、第１の内部導体１４１ｆと第２の内部導体１４２ｂ、第１の内部導体１４１ｇと第２の内部導体１４２ｃ、第１の内部導体１４１ｈと第２の内部導体１４２ｄ、第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｅとがそれぞれ同一面に設けられた第２の積層部１４４と、第２の積層部１４４の上面に形成され、第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのみからなる第３の積層部１４５との３層構造となっている。そのため、第１のコイル１４１と第２のコイル１４２とに同方向（磁性体１５８の上面視にて時計回りあるいは反時計回り）の電流が流れれば、第２の積層部１４４における第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅでそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができるため、コモンモードのインピーダンス値を高くできる。さらに、第１のコイル１４１と第２のコイル１４２とに逆方向の電流が流れても、第１の積層部１４３には第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのみが、第３の積層部１４５には第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのみが設けられているため、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがなく、これにより、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０２１０】
従って、第１のコイル１４１と第２のコイル１４２（第２の積層部１４４における第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅ）とに同方向の電流が流れた場合、第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅのインピーダンス値が高くなり、これらの内部導体がコモンモードのノイズを低減する。一方、逆に流れた場合は、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのインピーダンス値が高くなり、これらの内部導体がノーマルモードのノイズを低減する。
【０２１１】
本発明の実施の形態４におけるノイズフィルタの等価回路図も図１８で示される。
【０２１２】
また、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体の数と、第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体の数とが異なるようにすれば、第１のコイル１４１と第２のコイル１４２とに逆方向の電流が流れた場合、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体および第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体でそれぞれ発生する磁束の強さが異なるため、第１の内部導体から入力されるノーマルモードのインピーダンス値と第３の内部導体から入力されるノーマルモードのインピーダンス値を異なるようにすることができる。
【０２１３】
なお、上記したように、第２の積層部１４４における第１の内部導体１４１ｅ、１４１ｆ、１４１ｇ、１４１ｈ、１４１ｉが第２の内部導体１４２ａ、１４２ｂ、１４２ｃ、１４２ｄ、１４２ｅの内側に形成されているため、第１、第２のコイル１４１、１４２における各外部電極間（１５９ａと１５９ｂとの間、１５９ｃと１５９ｄとの間）の長さが異なる。これにより、第１、第２のコイル１４１、１４２の各インピーダンス値が異なるが、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体の数を、第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体の数より増して、第１、第２のコイル１４１、１４２における各外部電極間（１５９ａと１５９ｂとの間、１５９ｃと１５９ｄとの間）の距離を等しくすればこのような不具合は解消される。
【０２１４】
さらに、磁気的な結合係数を微調整できるという効果も得られる。
【０２１５】
すなわち、上記したノイズフィルタは第１、第２のコイル１４１、１４２がそれぞれ９層構造になり、そのうち５層、つまりその約５６％が同一面に形成されているが、同一面に形成されている部分の割合（全体の内部導体に対する第２の積層部１４４に形成されている内部導体の割合）を変化させることによって、発生する磁束を互いに強め合うことができる内部導体の割合が変わるため、結合係数が変化するからである。
【０２１６】
このように、結合係数を微調整できれば、コモンモードのインピーダンス値、ノーマルモードのインピーダンス値をそれぞれ所定の値に規定することができるため、この効果は非常に有効である。
【０２１７】
なお、同一面に形成されている部分の割合をできるだけ大きく、あるいは出来るだけ小さくすることによって、結合係数を０．２〜０．９５の間の所定の値にできるため、ノーマルモード、コモンモードのインピーダンス値を調整できる。
【０２１８】
さらに、所定のノーマルモードのインピーダンス値が得られるのであれば、第１の積層部１４３に形成された第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄ、第３の積層部１４５に形成された第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉの形状は、１つの面に形成される渦巻き状、蛇行状などの他の形状でも構わない。また、巻方向が異なっても構わない。
【０２１９】
なお、第２の積層部１４４における第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅを出来るだけ１ターンに近づけることによって、各内部導体の長さを最大限に長くできるため、第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅでそれぞれ発生する磁束が互いにより強め合うことができる。これにより、第１のコイル１４１と第２のコイル１４２（第２の積層部１４４における第１の内部導体１４１ｅ〜１４１ｉと第２の内部導体１４２ａ〜１４２ｅ）とに同方向の電流が流れれば、コモンモードのインピーダンス値をより高くできるという効果が期待できる。
【０２２０】
なお、製造方法については、その各内部導体の形成位置が異なるだけで、基本的な方法は上記した本発明の実施の形態３と同様であるため、説明は省略する。
【０２２１】
ここで、第１の積層部１４３および第３の積層部１４５における隣接する第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのそれぞれの間、第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのそれぞれの間の間隔を第２の積層部１４４における同一面に形成された第１の内部導体と第２の内部導体との間（第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、１４１ｆと１４２ｂ、１４１ｇと１４２ｃ、１４１ｈと１４２ｄ、１４１ｉと１４２ｅとのそれぞれの間）の間隔より大きくすれば、第１の積層部１４３および第３の積層部１４５における隣接する第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのそれぞれの間、および第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのそれぞれの間、第１の積層部１４３における第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄと第３の積層部１４５における第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉとの間でそれぞれ発生する浮遊容量を低減できる。そのため、高周波領域でインピーダンス値が向上し、さらに、第１の積層部１４３における第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄと第３の積層部１４５における第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉとの間の距離を長くできるため、第１の積層部１４３における第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１４５における第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがなく、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできる。
【０２２２】
また、第１の積層部１４３および第３の積層部１４５における隣接する第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄのそれぞれの間、第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉのそれぞれの間に磁性体１３８より透磁率の低いシートを形成すれば、第１の積層部１４３における第１の内部導体１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１４５における第２の内部導体１４２ｆ〜１４２ｉでそれぞれ発生する磁束を弱くすることができるため、ノーマルモードのインピーダンス値を低くできる。さらに、これによりコモンモードのインピーダンス値が一定のときにノーマルモードのインピーダンス値を調整することによって結合係数を調整できる。
【０２２３】
また、第１、第２のコイル１４１、１４２における各外部電極間（１５９ａと１５９ｂとの間、１５９ｃと１５９ｄとの間）の長さが同一になるようにすれば、引き出し部を含むトータルのコイルの長さが等しくなるため、第１、第２のコイル１４１、１４２におけるインピーダンス値を同一にできる。
【０２２４】
そして、第２の積層部１４４における隣接する第１のコイル１４１と、第２のコイル１４２とのそれぞれの間（第１の内部導体１４１ｅと第２の内部導体１４２ａ、１４１ｆと１４２ｂ、１４１ｇと１４２ｃ、１４１ｈと１４２ｄ、１４１ｉと１４２ｅとのそれぞれの間）の磁性体を、他の部分（第１の積層部１４３、第３の積層部１４５）の磁性体より密度が高くなるようにすれば、第２の積層部１４４における第１のコイル１４１と第２のコイル１４２との間の空孔率を下げることができるため、第２の積層部１４４における第１のコイル１４１と第２のコイル１４２との間の耐電圧を保持できるという効果が得られる。
【０２２５】
なお、上記した本発明の実施の形態３および４において、第１の積層部１２３、１４３と第２の積層部１２４，１４４との間（第１の内部導体１２１ｃと第２の内部導体１２２ａとの間、第１の内部導体１４１ｄと第２の内部導体１４２ａとの間）の距離、第２の積層部１２４、１４４と第３の積層部１２５、１４５との間（第１の内部導体１２１ｆと第２の内部導体１２２ｄとの間、第１の内部導体１４１ｉと第２の内部導体１４２ｆとの間）の距離を、第１の積層部１２３、１４３、第２の積層部１２４、１４４、第３の積層部１２５、１４５におけるそれぞれの隣接する各内部導体間の距離より長くすれば、第１の積層部１２３、１４３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、１４１ａ〜１４１ｄと第３の積層部１２５、１４５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆ、１４２ｆ〜１４２ｉとの間で発生する浮遊容量を低減できる。そのため、高周波領域におけるインピーダンス値を高くすることができ、さらに、第１の積層部１２３，１４３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、１４１ａ〜１４１ｄと第３の積層部１２５、１４５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆ、１４２ｆ〜１４２ｉとの距離を長くできるため、第１の積層部１２３、１４３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１２５、１４５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆ、１４２ｆ〜１４２ｉでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがない。これにより、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０２２６】
また、第１の積層部１２３、１４３と第２の積層部１２４、１４４との間、第２の積層部１２４、１４４と第３の積層部１２５、１４５との間に、他の磁性体シートより透磁率の低い磁性体シートを形成すれば、第１の積層部１２３、１４３における第１の内部導体１２１ａ〜１２１ｃ、１４１ａ〜１４１ｄおよび第３の積層部１２５、１４５における第２の内部導体１２２ｄ〜１２２ｆ、１４２ｆ〜１４２ｉでそれぞれ発生する磁束を互いに弱め合う（相殺する）ことがないため、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできる。
【０２２７】
（実施の形態５）
図２２は本発明の実施の形態５におけるノイズフィルタの分解斜視図、図２３（ａ）は図２２のＡ−Ａ線断面図、図２３（ｂ）は同ノイズフィルタの上面透過図である。
【０２２８】
螺旋状の第１のコイル１６１は、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄを下から順に積層、接続することによって形成されている。螺旋状の第２のコイル１６２は、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄを下から順に積層、接続することによって形成されている。すなわち、第１、第２のコイル１６１、１６２はそれぞれ４層構造になっている。なお、第１、第２のコイル１６１、１６２は必ずしも４層構造にする必要はない。そして、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄ、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄは銀などの導電性材料からなる。
【０２２９】
さらに、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄ、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄのうちそれぞれ最下層、最上層に形成された１６１ａ、１６１ｄ、１６２ａ、１６２ｄを除く他の第１の内部導体、第２の内部導体はＵ字状をしている。なお、Ｕ字状でなく、Ｌ字状など他の形状でも構わない。
【０２３０】
このとき、下から第１の内部導体１６１ａ、第２の内部導体１６２ａ、第１の内部導体１６１ｂ、第２の内部導体１６２ｂ、第１の内部導体１６１ｃ、第２の内部導体１６２ｃ、第１の内部導体１６１ｄ、第２の内部導体１６２ｄの順に、すなわち第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄ、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄは交互に構成される。さらに図２３（ｂ）に示すように、第２の内部導体１６２ｄの上面視（後述する磁性体１７１の上面視）にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分がそれぞれ一部のみ重なるように形成されている。
【０２３１】
つまり、螺旋状となった第１のコイル１６１の中心軸をＢ、螺旋状となった第２のコイル１６２の中心軸をＣとした場合、ＢとＣがずれている。
【０２３２】
なお、ＢとＣは、第１、第２のコイル１６１、１６２が第２の内部導体１６２ｄの上面視（後述する磁性体１７１の上面視）にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が完全に重なる、あるいは全く重ならないことがない程度にずれている。
【０２３３】
また、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄのうち最下層、最上層に形成された１６１ａ、１６１ｄには、それぞれ第１のコイル１６１の端部となる第１、第２の引き出し電極１６３、１６４がそれぞれ形成されている。同様に第２の内部導体１６２ａ、１６２ｄには、第３、第４の引き出し電極１６５、１６６がそれぞれ形成されている。
【０２３４】
なお、引き出し電極１６３、１６４、１６５、１６６は、第２の内部導体１６２ｄ（後述する磁性体１７１）の上面視にて、磁性体１７１の４隅に形成してもよい。
【０２３５】
方形で複数の第１の磁性体シート１６７は、第１の内部導体１６１ｂ〜１６１ｄ、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄの各下面にそれぞれ形成され、第１のバイアホール１６８、第２のバイアホール１６９がそれぞれ設けられている（第２の内部導体１６２ａの下面に形成される第１の磁性体シート１６７には第１のバイアホール１６８のみが、第２の内部導体１６２ｄの下面に形成される第１の磁性体シート１６７には第２のバイアホール１６９のみがそれぞれ設けられている）。
【０２３６】
第１のバイアホール１６８によって、第１の内部導体１６１ａと１６１ｂ、１６１ｂと１６１ｃ、１６１ｃと１６１ｄとがそれぞれ接続されている。また、第２のバイアホール１６９によって、第２の内部導体１６２ａと１６２ｂ、１６２ｂと１６２ｃ、１６２ｃと１６２ｄとがそれぞれ接続されている。
【０２３７】
すなわち、第１の内部導体１６１ｂの下面の第１のバイアホール１６８が設けられた第１の磁性体シート１６７には第２のバイアホール１６９が形成されている。そして、第１の内部導体１６１ｂは、この第１のバイアホール１６８とそのさらに下（第１の内部導体１６１ａの上）に形成された第１の磁性体シート１６７に設けられた第１のバイアホール１６８とによって、第１の内部導体１６１ａと接続され、第２の内部導体１６２ｂは、この第２のバイアホール１６９とその上（内部導体１６２ｂの下）に形成された第１の磁性体シート１６７に設けられた第２のバイアホール１６９とによって第２の内部導体１６２ａと接続されるという具合になっている。
【０２３８】
なお、第１のバイアホール１６８と第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄが、第２のバイアホール１６９と第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄがそれぞれ電気的に絶縁されている。
【０２３９】
方形で複数の第２の磁性体シート１７０は、第１の内部導体１６１ａの下面と第２の内部導体１６２ｄの上面に所定枚数形成されている。
【０２４０】
各磁性体シート１６７、１７０は、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から構成され、また上記したように上下方向に積層することによって方形で板状の磁性体１７１が形成される。なお、磁性体１７１は板状でなく、ある程度の厚みを有していてもよい。また、磁性体１７１は必ずしも方形である必要はない。さらに、それぞれの厚みは、所定の特性（インピーダンス値、耐電圧など）によって適宜調整すればよく、厚みの調整は、磁性体シート自体の厚みを変えるか、形成される磁性体シートの枚数を変えることによって行う。
【０２４１】
また、磁性体１７１はフッ素系シランカップリング剤によって含浸されており、このようにすることによって、撥水性のあるフッ素系シランカップリング剤が磁性体１７１内に存在する微細な細孔に充填させることができるため、ノイズフィルタ自身の耐湿性を向上させることができる。
【０２４２】
磁性体１７１の両端面に形成された外部電極１７２ａ、１７２ｂ、１７２ｃ、１７２ｄ（図示せず）のうち、１７２ａと１７２ｃは磁性体１７１の一端面に、１７２ｂと１７２ｄは磁性体１７１の他の一端面に設けられている。また、外部電極１７２ａ、１７２ｂ、１７２ｃ、１７２ｄは、銀などの導体の表面に、ニッケルめっき、すずやはんだなどの低融点金属めっきが施されて形成されている。
【０２４３】
また、外部電極１７２ａ、１７２ｂ、１７２ｃ、１７２ｄは、磁性体１７１の上面視にて磁性体１７１の４隅に形成されてもよい。
【０２４４】
そして、第１のコイル１６１の両端部、すなわち第１の引き出し電極１６３、第２の引き出し電極１６４は、第１の引き出し電極１６３が外部電極１７２ａと、第２の引き出し電極１６４が外部電極１７２ｂと電気的に接続されている。
【０２４５】
同様に、第２のコイル１６２についても、第３の引き出し電極１６５が外部電極１７２ｃと、第４の引き出し電極１６６が外部電極１７２ｄと電気的に接続されている。
【０２４６】
なお、図２４に示すように、上記した本発明の実施の形態５で説明したように、螺旋状となった第１のコイル１６１の中心軸Ｂ、螺旋状となった第２のコイル１６２の中心軸Ｃがずれ、かつ本発明の実施の形態３のように第１の内部導体のみからなる第１の積層部と、第１の積層部の上面に形成され、第１の内部導体と第２の内部導体とが交互に積層された第２の積層部と、第２の積層部の上面に形成され、第２の内部導体からなる第３の積層部とが備えられるように構成してもよい。
【０２４７】
また、図２５（ａ）に示すように、磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が、図２３（ｂ）におけるその部分に対して直交するように、あるいは図２５（ｂ）に示すように、磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分と第２のコイル１６２で囲まれた部分とが重なる部分が対角状になるように配置してもよい。
【０２４８】
さらに、図２６（ａ）（ｂ）に示すように、渦巻き状の第１、第２のコイル１６１’、１６２’が磁性体の上面視にてその一部が重なるように形成してもよい。
【０２４９】
上記したように、本発明の実施の形態５におけるノイズフィルタは、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄからなる螺旋状の第１のコイル１６１、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄからなる螺旋状の第２のコイル１６２を、磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分がそれぞれ一部のみ重なるように形成した。そして、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とに同方向（磁性体１７１の上面視にて時計回り、あるいは反時計回り）の電流が流れれば、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄと第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄが交互に形成されているため、交互に形成された隣り合う第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄと第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄの距離が近くなる。これにより、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２における磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が重なっている箇所でそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができるため、コモンモードのインピーダンス値を高くでき、さらに、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とに逆方向の電流が流れても、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２における磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が重なっていない箇所でそれぞれ発生する磁束は互いに弱め合う（相殺する）ことがない。そのため、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果が得られる。
【０２５０】
従って、第１のコイル１６１（第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄ）と第２のコイル１６２（第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄ）とに同方向の電流が流れた場合、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とが磁性体１７１の上面視にて重なっている部分のインピーダンス値が高くなり、この部分がコモンモードのノイズを低減する。一方、逆に流れた場合は、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とが磁性体１７１の上面視にて重なっていない部分のインピーダンス値が高くなり、この部分がノーマルモードのノイズを低減する。
【０２５１】
図２７は本発明の実施の形態５におけるノイズフィルタの等価回路図である。ノーマルモードのインピーダンス値を高くする第１のコイル１６１と第２のコイル１６２において、磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が重なっていない部分の面積が等しい場合は、ノーマルモードのインピーダンス値は等しくなるため、方向性を持たないという効果が得られる。
【０２５２】
また、磁性体１７１の上面視にて第１のコイル１６１で囲まれた部分、第２のコイル１６２で囲まれた部分が重なっていない部分の面積が異なるようにすれば、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とに逆方向の電流が流れた場合、第１のコイル１６１および第２のコイル１６２でそれぞれ発生する磁束の強さが異なる。そのため、第１のコイル１６１から入力されるノーマルモードのインピーダンス値と第２のコイル１６２から入力されるノーマルモードのインピーダンス値を異なるようにすることができる。
【０２５３】
さらに、磁気的な結合係数を微調整できるという効果も得られる。
【０２５４】
すなわち、上記したノイズフィルタは第１、第２のコイル１６１、１６２が磁性体１７１の上面視にて重なっている部分の面積を変化させることによって、発生する磁束を互いに強め合うことができる内部導体の割合が変わるため、結合係数が変化するからである。
【０２５５】
このように、結合係数を微調整できれば、コモンモードのインピーダンス値、ノーマルモードのインピーダンス値をそれぞれ所定の値に規定することができるため、この効果は非常に有効である。
【０２５６】
なお、第１、第２のコイル１６１、１６２が磁性体１７１の上面視にて重なっている部分の面積をできるだけ大きく、あるいは出来るだけ小さくすることによって、結合係数を０．２〜０．９５の間の所定の値にできるため、ノーマルモード、コモンモードのインピーダンス値を調整できる。
【０２５７】
さらに、所定のノーマルモードのインピーダンス値が得られるのであれば、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄ、第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄの形状は、渦巻き状、蛇行状などの他の形状でも構わない。また、巻方向が逆になっても構わない。
【０２５８】
なお、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄと第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄをそれぞれ出来るだけ１ターンに近づけることによって、各内部導体の長さを最大限に長くできるため、第１の内部導体１６１ａ〜１６１ｄと第２の内部導体１６２ａ〜１６２ｄでそれぞれ発生する磁束が互いにより強め合うことができ、これにより、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とに同方向の電流が流れれば、コモンモードのインピーダンス値をより高くできるという効果が期待できる。
【０２５９】
また、製造方法については、その各内部導体の形成位置が異なるだけで、基本的な方法は上記した本発明の実施の形態３と同様であるため、説明は省略する。
【０２６０】
ここで、第１、第２のコイル１６１、１６２における各外部電極間（１７２ａと１７２ｂとの間、１７２ｃと１７２ｄとの間）の長さが同一になるようにすれば、引き出し部を含むトータルのコイルの長さが等しくなるため、第１、第２のコイル１６１、１６２におけるインピーダンス値を同一にできる。
【０２６１】
さらに、第１のコイル１６１における隣接する第１の内部導体と、第２のコイル１６２における第２の内部導体との間（第１の内部導体１６１ａと第２の内部導体１６２ａ、１６２ａと１６１ｂ、１６１ｂと１６２ｂなどのそれぞれの間）の磁性体を、他の内部導体間の磁性体より密度が高くなるようにすれば、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との間（隣り合う第１の内部導体と第２の内部導体とのそれぞれの間）の空孔率を下げることができるため、（第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との間）第１の内部導体１６１ａと第２の内部導体１６２ａ、１６２ａと１６１ｂ、１６１ｂと１６２ｂなどのそれぞれの間の耐電圧を保持できるという効果が得られる。
【０２６２】
なお、上記した本発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタは、磁性体の一端面に形成された一対の外部電極、およびこの外部電極とそれぞれ電気的に接続された第１のコイルと第２のコイルとの各接続部が、磁性体の他の一端面に形成された一対の外部電極、およびこの外部電極とそれぞれ電気的に接続された第１のコイルと第２のコイルとの各接続部に対して、磁性体の側面視にて上方あるいは下方に形成されているため、実装基板に実装する際に方向が異なっても、減衰特性は変化しないという効果が得られる。
【０２６３】
本発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタは、図２８（ａ）（図はその一例として実施の形態５のノイズフィルタの断面図を示している）に示すように、磁性体１７１の一端面に形成された一対の外部電極１８１とそれぞれ電気的に接続された第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との各接続部１８１ａ、１８１ｂが、磁性体１７１の他の一端面に形成された一対の外部電極１８２とそれぞれ電気的に接続された第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との各接続部１８２ａ、１８２ｂに対して、磁性体１７１の側面視にて上方に形成されている（以下パターンＡとする）。なお、このパターンＡの等価回路図は図１８に示されている。
【０２６４】
なお、このとき、磁性体１７１の側面視にて上から、磁性体１７１の一端面に形成された外部電極１８１と第１のコイル１６１との接続部１８１ａ、磁性体１７１の一端面に形成された外部電極１８１と第２のコイル１６２との各接続部１８１ｂ、磁性体１７１の他の一端面に形成された外部電極１８２と第１のコイル１６１との接続部１８２ａ、磁性体１７１の他の一端面に形成された外部電極１８２と第２のコイル１６２との接続部１８２ｂの順に形成されている。また、第１のコイル１６１と第２のコイル１６２とが入れ替わっていても構わない。
【０２６５】
これに対して、磁性体１７１の一端面に形成された一対の外部電極１８１とそれぞれ電気的に接続された第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との各接続部１８１ａ、１８１ｂが、図２８（ｂ）に示すように、磁性体１７１の他の一端面に形成された一対の外部電極１８２とそれぞれ電気的に接続された第１のコイル１６１と第２のコイル１６２との各接続部１８２ａ、１８２ｂを介して、磁性体１７１の側面視にて上方、下方に形成されていても、あるいは図２８（ｃ）に示すように、各接続部１８２ａ、１８２ｂに挟まれるように形成されていても構わない（以下パターンＢとする）。また、図２８（ｃ）に示したものは、図２８（ｂ）に示したものの実装方向を変えた（反転した）ものである。
【０２６６】
図２８（ｄ）は本発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタ（パターンＡ）とパターンＢの、周波数と減衰量との関係（減衰特性）をそれぞれ示す図である。なお、試料として図１９で説明したものと同じものを使用した。なお、この図の符号Ａ、Ｂ、Ｃはそれぞれ図２８の（ａ）（ｂ）（ｃ）に対応する。
【０２６７】
図２８（ｄ）から明らかなように、発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタ（パターンＡ）は減衰特性にばらつきを生じないが、パターンＢのものは（電流の向きが変化すると）ばらつきが生じる。なお、パターンＢの等価回路図を図２９に示す。
【０２６８】
何故なら、発明の実施の形態３〜５におけるノイズフィルタ（パターンＡ）は、磁性体１７１の一端面に形成された外部電極１８１と第１のコイル１６１および第２のコイル１６２との接続部１８１ａ、１８１ｂ間の距離と、磁性体１７１の他の一端面に形成された外部電極１８２と第１のコイル１６１および第２のコイル１６２との接続部１８２ａ、１８２ｂ間の距離が等しいため、ノーマルモード電流の印加される方向が異なっても（１８１ａから入力して１８２ａから出力した電流が、さらに１８２ｂから入力して１８１ａから出力した場合と、１８２ａから入力して１８１ａから出力した電流が、さらに１８１ｂから入力して１８２ａから出力した場合）磁性体１７１内で発生する浮遊容量（入力部付近と出力部付近との間の浮遊容量）は変わらない。これにより、実装基板に実装する際に方向が異なっても、減衰特性は変化しないからである。
【０２６９】
また実施の形態３，４においては、第１、第２のコイルをそれぞれ構成する内部導体が同数の場合は、ノーマルモードのインピーダンス値は等しくなるため、方向性を持たないという効果が得られる。
【０２７０】
本発明の実施の形態３〜５に述べたノイズフィルタを、携帯電話などの無線通信機器における１対の信号ラインに適用した場合も実施の形態１、２で図１５(ａ)、（ｂ）、（ｃ）を用いて述べたと同様の効果がある。
【０２７１】
（実施の形態６）
以下、本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタについて、図面を参照しながら説明する。
【０２７２】
図３０は本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの分解斜視図、図３１（ａ）は同Ａ−Ａ線断面図、図３１（ｂ）は同斜視図である。
【０２７３】
図３０、図３１において、螺旋状の第１のコイル２３１は、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅを下から順に積層、接続することによって形成されている。螺旋状の第２のコイル２３２は、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅを下から順に積層、接続することによって形成されている。すなわち、第１、第２のコイル２３１，２３２はそれぞれ５層構造になっている。なお、第１、第２のコイル２３１，２３２は必ずしも５層構造にする必要はない。そして、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅ、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅは銀などの導電性材料からなる。
【０２７４】
このとき、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅ、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅは、交互になるように形成されている。
【０２７５】
すなわち、下から第１の内部導体２３１ａ、第２の内部導体２３２ａ、第１の内部導体２３１ｂ、第２の内部導体２３２ｂ、第１の内部導体２３１ｃ、第２の内部導体２３２ｃ、第１の内部導体２３１ｄ、第２の内部導体２３２ｄ、第１の内部導体２３１ｅ、第２の内部導体２３２ｅの順に形成されている。
【０２７６】
また、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅを積層することによって得られる螺旋状の第１のコイル２３１と、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅを積層することによって得られる螺旋状の第２のコイル２３２は、後述する磁性体２４６の上面視にて第１のコイル２３１と第２のコイル２３２とが重なるように形成されている。
【０２７７】
さらに、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅ、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅは略Ｕ字状をしている。
【０２７８】
略Ｕ字状にすることによって、各内部導体を２層積層するだけで１ターンのコイルを形成することができるため、積層数が少なくて済む。これにより、小型化が可能になり、さらに、同じコイルを形成するそれぞれの内部導体について、隣り合う内部導体間の距離を近づけることができ、これにより、第１、第２のコイル２３１，２３２でそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができる。
【０２７９】
なお、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅのうち最下層に形成された２３１ａの下面には、第１のコイル２３１の端部と接続する第１の引き出し電極２３３が、最上層の２３１ｅの上面には、第１のコイル２３１の他の端部と接続する第２の引き出し電極２３４がそれぞれ形成されている。同様に第２の内部導体２３２ａ、２３２ｅには、第３、第４の引き出し電極２３５，２３６がそれぞれ形成されている。
【０２８０】
また、引き出し電極２３３，２３４，２３５，２３６は磁性体２４６の上面視にて、磁性体２４６の４隅に形成してもよい。
【０２８１】
方形で複数の第１の磁性体シート２３７は、第１の内部導体２３１ｂ〜２３１ｅの下面にそれぞれ形成され、第１のバイアホール２３８、第２のバイアホール２３９が設けられている。なお、第１のバイアホール２３８は各第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅの端部と接続され、第２のバイアホール２３９とは電気的に絶縁されている。
【０２８２】
また、第２のバイアホール２３９は、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重なるように形成されている。
【０２８３】
方形で複数の第２の磁性体シート２４０は、第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅの下面にそれぞれ形成され、第３のバイアホール２４１、第４のバイアホール２４２が設けられている。なお、第４のバイアホール２４２は各第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅの端部と接続され、第３のバイアホール２４１とは電気的に絶縁されている。
【０２８４】
また、第３のバイアホール２４１は、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重なるように形成されている。
【０２８５】
このとき、第１のバイアホール２３８、第３のバイアホール２４１によって第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅが接続され、螺旋状の第１のコイル２３１が得られる。また、第２のバイアホール２３９、第４のバイアホール２４２によって第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅが接続され、螺旋状の第２のコイル２３２が得られる。
【０２８６】
すなわち、第１の内部導体２３１ｂの下面の第１のバイアホール２３８が設けられた第１の磁性体シート２３７には第２のバイアホール２３９が形成されている。そして、第１の内部導体２３１ｂは、この第１のバイアホール２３８とさらにその下（第１の内部導体２３１ａの上）の第２の磁性体シート２４０に設けられた第３のバイアホール２４１とによって第１の内部導体２３１ａと接続され、第２の内部導体２３２ｂは、この第２のバイアホール２３９とその上（第２の内部導体２３２ｂの下）の第２の磁性体シート２４０に設けられた第４のバイアホール２４２とによって第２の内部導体２３２ａと接続されるという具合になっている。
【０２８７】
そして、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと隣り合う第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅのうち少なくとも１つは磁性体２４６の上面視にてほぼ重なるようになっている。
【０２８８】
すなわち、第１の内部導体２３１ａと第２の内部導体２３２ａ、第１の内部導体２３１ｂと第２の内部導体２３２ｂ、第１の内部導体２３１ｃと第２の内部導体２３２ｃ、第１の内部導体２３１ｄと第２の内部導体２３２ｄ、第１の内部導体２３１ｅと第２の内部導体２３２ｅのそれぞれのペアが、磁性体２４６の上面視にてほぼ（バイアホール２３８，２３９，２４１，２４２が形成された部分を除いて）重なるようにそれぞれ設けられている。
【０２８９】
方形で複数の第３の磁性体シート２４３は、第１の内部導体２３１ａの下面、第２の内部導体２３２ｅの上面にそれぞれ形成されている。第１の内部導体２３１ａの下面に形成された第３の磁性体シート２４３の下面には、第１、第３の引き出し電極２３３，２３５が設けられ、第２の内部導体２３２ｅの上面に形成された第３の磁性体シート２４３の上面には、第２、第４の引き出し電極２３４，２３６が設けられている。
【０２９０】
なお、第２の内部導体２３２ｅの上面に形成された第３の磁性体シート２４３には、第５のバイアホール２４４が設けられ、この第５のバイアホール２４４によって、第２の内部導体２３２ｅと第４の引き出し電極２３６、第１の内部導体２３１ｅと（第３のバイアホール２４１を介して）第２の引き出し電極２３４がそれぞれ接続されている。
【０２９１】
さらに、第１の内部導体２３１ａの下面に形成された第３の磁性体シート２４３には、第１、第２のバイアホール２３８，２３９が設けられ、この第１、第２のバイアホール２３８，２３９によって、第１の内部導体２３１ａと第１の引き出し電極２３３、第２の内部導体２３２ａと（第２のバイアホール２３９を介して）第３の引き出し電極２３５がそれぞれ接続されている。
【０２９２】
第４の磁性体シート２４５は、第１、第３の引き出し電極２３３，２３５の下面、および第２、第４の引き出し電極２３４，２３６の上面に所定枚数形成されている。
【０２９３】
各磁性体シート２３７，２４０，２４３，２４５は、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から構成され、また上記したように上下方向に積層することによって方形で板状の磁性体２４６が形成される。なお、磁性体２４６は板状でなく、ある程度の厚みを有していてもよい。また、磁性体２４６は必ずしも方形である必要はない。さらに、それぞれの厚みは、所定の特性（インピーダンス値、耐電圧など）によって適宜調整すればよく、厚みの調整は、磁性体シート自体の厚みを変えるか、形成される磁性体シートの枚数を変えることによって行う。
【０２９４】
また、磁性体２４６はフッ素系シランカップリング剤によって含浸されており、このようにすることによって、撥水性のあるフッ素系シランカップリング剤が磁性体２４６内に存在する微細な細孔に充填させることができるため、ノイズフィルタ自身の耐湿性を向上させることができる。
【０２９５】
磁性体２４６の両端面に形成された外部電極２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃ，２４７ｄの内で、２４７ａと２４７ｃは磁性体２４６の一端面に、２４７ｂと２４７ｄは磁性体２４６の他の一端面に設けられている。また、外部電極２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃ，２４７ｄは銀などの導体の表面に、ニッケルめっき、すずやはんだなどの低融点金属めっきが施され形成されている。
【０２９６】
また、外部電極２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃ，２４７ｄは、磁性体２４６の上面視にて磁性体２４６の４隅に形成されてもよい。
【０２９７】
そして、第１のコイル２３１の両端部に接続される第１の引き出し電極２３３、第２の引き出し電極２３４は、第１の引き出し電極２３３が外部電極２４７ａと、第２の引き出し電極２３４が外部電極２４７ｂと電気的に接続されている。
【０２９８】
同様に、第２のコイル２３２についても、第３の引き出し電極２３５が外部電極２４７ｃと、第４の引き出し電極２３６が外部電極２４７ｄと電気的に接続されている。
【０２９９】
以上のように構成された本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタについて、以下にその製造方法を図面を参照しながら説明する。
【０３００】
図３２（ａ）〜（ｃ）、図３３（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの製造方法を示す斜視図である。
【０３０１】
まず、フェライト粉体の酸化物および樹脂からなる混合物から、方形の第１の磁性体シート２３７、第２の磁性体シート２４０、第３の磁性体シート２４３、第４の磁性体シート２４５を作製する。
【０３０２】
次に、図３２（ａ）に示すように、第３の磁性体シート２４３の所定の位置に、レーザ、パンチングなどで穴あけ加工して第５のバイアホール２４４を設ける。
【０３０３】
次に、同様にして、第１の磁性体シート２３７の所定の位置に第１、第２のバイアホール２３８，２３９を設ける。さらに、第２の磁性体シート２４０の所定の位置に第３のバイアホール２４１、第４のバイアホール２４２を、他の第３の磁性体シート２４３の所定の位置に第１、第２のバイアホール２３８，２３９をそれぞれ設ける。
【０３０４】
次に、図３２（ｂ）に示すように、第５のバイアホール２４４を有する第３の磁性体シート２４３の上面に第２の引き出し電極２３４と第４の引き出し電極２３６とをそれぞれ形成する。なお、このとき同時に第５のバイアホール２４４に銀などの導電材料を充填する。
【０３０５】
同様にして、第１のバイアホール２３８、第２のバイアホール２３９を有する第３の磁性体シート２４３の上面に第１の内部導体２３１ａを印刷によって形成する。そして、第１のバイアホール２３８と第１の引き出し電極２３３とが、第２のバイアホール２３９と第３の引き出し電極２３５とがそれぞれ接続されるようにする。なお、このとき同時に第１のバイアホール２３８、第２のバイアホール２３９に銀などの導電材料を充填する。
【０３０６】
さらに、第２の磁性体シート２４０の上面に第２の内部導体２３２ａを印刷によって形成する。そして、第２の内部導体２３２ａの端部と第４のバイアホール２４２とが接続されるようにする。なお、このとき同時に第３のバイアホール２４１、第４のバイアホール２４２に銀などの導電材料を充填する。
【０３０７】
そして、第１の磁性体シート２３７の上面に第１の内部導体２３１ｂを印刷によって形成する。そして、第１の内部導体２３１ｂの端部と第１のバイアホール２３８とが接続されるようにする。なお、このとき同時に第１のバイアホール２３８、第２のバイアホール２３９に銀などの導電材料を充填する。
【０３０８】
次に、第４の磁性体シート２４５の上面に第１、第３の引き出し電極２３３，２３５を印刷によって形成する。
【０３０９】
次に、上記と同様にして設けた複数の第１の磁性体シート２３７と第２の磁性体シート２４０を交互に積層して、図３２（ｃ）に示すような配置関係にする。なお、第４の磁性体シート２４５は、第１、第３の引き出し電極２３３，２３５の下面、および第２、第４の引き出し電極２３４，２３６の上面に所定枚数形成する。
【０３１０】
このとき、第１の磁性体シート２３７に形成された第１のバイアホール２３８、第２の磁性体シート２４０に形成された第３のバイアホール２４１によって第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅをそれぞれ接続し、第１のコイル２３１を得る。また、第１の磁性体シート２３７に形成された第２のバイアホール２３９、第２の磁性体シート２４０に形成された第４のバイアホール２４２によって第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅをそれぞれ接続し、第２のコイル２３２を得る。
【０３１１】
また、第３の磁性体シート２４３に形成された第５のバイアホール２４４によって、第２の内部導体２３２ｅと第４の引き出し電極２３６、第１の内部導体２３１ｅと（第３のバイアホール２４１を介して）第２の引き出し電極２３４をそれぞれ接続する。
【０３１２】
さらに、第３の磁性体シート２４３に形成された第１のバイアホール２３８によって、第１の内部導体２３１ａと第１の引き出し電極２３３、第２の磁性体シート２４０の下面に形成された第４のバイアホール２４２によって第２の内部導体２３２ａと（第２のバイアホール２３９を介して）第３の引き出し電極２３５をそれぞれ接続する。
【０３１３】
なお、各内部導体、引き出し電極は、印刷でなく、めっき、蒸着、スパッタなどの他の方法で形成してもよい。
【０３１４】
次に、図３３（ａ）に示すように、１つのコモンモードノイズフィルタに第１のコイル２３１、第２のコイル２３２がそれぞれ１つ内設されるように切断して、図３３（ｂ）に示すような１つの積層物２４８を得る。このとき、積層物２４８の両端面から第１の引き出し電極２３３と第３の引き出し電極２３５が、他の端面には第２の引き出し電極２３４と第４の引き出し電極２３６がそれぞれ露出している。
【０３１５】
次に、この積層物２４８を焼成して磁性体２４６を形成する。
【０３１６】
次に、図３３（ｃ）に示すように、磁性体２４６を面取りする。
【０３１７】
最後に、図３３（ｄ）に示すように、磁性体２４６の両端面に露出した引き出し電極２３３，２３４，２３５，２３６にそれぞれ銀などの導体を形成し、さらにこれらの表面にめっきによってニッケルめっきを、ニッケルめっきの表面にめっきによってすずやはんだなどの低融点金属めっきをそれぞれ設けることによって、第１の引き出し電極２３３に外部電極２４７ａを、第２の引き出し電極２３４に外部電極２４７ｂを、第３の引き出し電極２３５に外部電極２４７ｃを、第４の引き出し電極２３６に外部電極２４７ｄをそれぞれ形成し、本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタを製造する。
【０３１８】
なお、銀などの導体を形成した後、およびニッケルめっきを形成する前に減圧雰囲気中で磁性体２４６をフッ素系シランカップリング剤に含浸する。
【０３１９】
上記したように、本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタは、第１のコイル２３１と第２のコイル２３２とが磁性体２４６の上面視にて重なり、さらに、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと、この第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと隣り合う第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅのうち少なくとも１つは磁性体２４６の上面視にてほぼ重なるように形成されるため、第１のコイル２３１と第２のコイル２３２とに同方向（磁性体の上面視にて時計回り、あるいは反時計回り）の電流が流れれば、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅおよび第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅでそれぞれ発生する磁束を互いに強め合うことができ、さらに、隣り合う第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅとで発生する磁束が特に互いに強め合う。これにより、コモンモードのインピーダンス値をさらに高くできるという効果が得られる。
【０３２０】
従って、第１のコイル２３１と第２のコイル２３２とに同方向の電流が流れた場合、第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅと第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅのインピーダンス値が高くなり、これらの内部導体がコモンモードのノイズを低減する。
【０３２１】
さらに、第２のバイアホール２３９、第３のバイアホール２４１は、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重なるように形成されているため、第２のバイアホール２３９と（上下方向に）接続される第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅは、磁性体２４６の上面視にて第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅからなる第１のコイル２３１と重ねることができる。同様に、第３のバイアホール２４１と（上下方向に）接続される第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅは、磁性体２４６の上面視にて第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅからなる第２のコイル２３２と重ねることができる。このようにすれば、必ず磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２が重なるようにすることができるため、コモンモードのインピーダンス値をより効果的に高くすることができる。
【０３２２】
一方、第２のバイアホール２３９、第３のバイアホール２４１が、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重ならない場合は、第２のバイアホール２３９と（上下方向に）接続される第２の内部導体２３２ａ〜２３２ｅ、および第３のバイアホール２４１と（上下方向に）接続される第１の内部導体２３１ａ〜２３１ｅは、各内部導体２３１ａ〜２３１ｅ，２３２ａ〜２３２ｅにおける第２のバイアホール２３９、第３のバイアホール２４１と接続された付近において、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重ならない。
【０３２３】
もちろん、第１のバイアホール２３８、第４のバイアホール２４２は、それぞれ各内部導体２３１ａ〜２３１ｅ，２３２ａ〜２３２ｅのそれぞれの端面に接続されているため、磁性体２４６の上面視にて第１、第２のコイル２３１，２３２と重なっている。
【０３２４】
また、引き出し電極２３３〜２３６を含めた第１、第２のコイル２３１，２３２の長さをすれば、第１、第２のコイル２３１，２３２におけるインピーダンス値を同一にできる。
【０３２５】
以下、本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタを、電子機器の一例として携帯電話などの無線通信機器における一対の信号ラインに使用する方法について説明する。
【０３２６】
例えば携帯電話のヘッドセットなどの通信線の信号ラインは通常一対のケーブル（信号ライン）で構成されており、携帯電話の搬送波などの高周波信号が輻射ノイズとして前記ケーブルに対して、ノーマルモードおよびコモンモードで重畳されるため、ノイズの影響を大きく受けやすい。例えば、コモンモードで重畳された輻射ノイズが音声信号の雑音として表れる場合がある。
【０３２７】
音声などの信号がコモンモードの高周波ノイズによって障害を受けるのは、回路中の非線型素子と静電容量により、信号の中にあった低い周波数成分が検出されて、重畳されるためである。
【０３２８】
例えば、図３４（ａ）に示すような、ＴＤＭＡ方式の携帯電話の送受信回路における搬送波９００ＭＨｚ（ＴＤＭＡキャリア）が２１７Ｈｚ（バースト周波数）で送受信されている場合、２１７Ｈｚが検波され、ノーマルモードの音声信号に重畳されて可聴雑音が聞こえるようになる。従って、誘起されるコモンモードの電流を抑制できれば、音声出力などのノイズを低減できる。
【０３２９】
ここで、本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの使われ方の一例を図３４（ｂ）に示す。
【０３３０】
図３４（ｃ）は本発明の実施の形態６におけるコモンモードノイズフィルタの減衰特性（周波数と減衰量との関係）を示す図である。
【０３３１】
図３４（ｃ）から明らかなように、携帯電話の搬送波９００ＭＨｚでもコモンモードのノイズが減衰されている。従って、搬送波９００ＭＨｚとともに検波された繰り返し周波数の２１７Ｈｚの信号を低減でき、可聴雑音が聞こえなくなる。
【産業上の利用可能性】
【０３３２】
本発明に係るノイズフィルタは、コモンモード、ノーマルモードのインピーダンス値を高くできるという効果を有するものであり、特に携帯電話、情報機器等のノイズ対策として使用されるノイズフィルタおよびこのノイズフィルタを用いた電子機器等において有用となるものである。
【符号の説明】
【０３３３】
２１  第１のコイル（第１のインピーダンス素子）
２２、２２ｃ  第１の導体（第１のノーマルインピーダンス素子部）
２３、２３ｃ  第２の導体（第１のコモンインピーダンス素子部）
２４  第１の磁性体シート
２５  第２のコイル（第２のインピーダンス素子）
２６、２６ｃ  第３の導体（第２のコモンインピーダンス素子部）
２７、２７ｃ  第４の導体（第２のノーマルインピーダンス素子部）
２８  第２の磁性体シート
３０  第３の磁性体シート
３１  第４の磁性体シート
３２  磁性体
３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄ  外部電極
３４ａ  透磁率の低い材料
３８  第５の磁性体シート
１２１、１４１、１６１、１６１’  第１のコイル
１２１ａ〜１２１ｆ、１４１ａ〜１４１ｉ、１６１ａ〜１６１ｄ  第１の内部導体
１２２、１４２、１６２、１６２’  第２のコイル
１２２ａ〜１２２ｆ、１４２ａ〜１４２ｉ、１６２ａ〜１６２ｄ  第２の内部導体
１２３、１４３  第１の積層部
１２４、１４４  第２の積層部
１２５、１４５  第３の積層部
１３０、１５０、１６７  第１の磁性体シート
１３２、１５２、１７０  第２の磁性体シート
１３４、１５４  第３の磁性体シート
１３７、１５７  第４の磁性体シート
１３８、１７１  磁性体
１３９ａ、１３９ｂ、１３９ｃ、１３９ｄ  外部電極
１８１  磁性体の一端面に形成された外部電極
１８１ａ  磁性体の一端面に形成された外部電極と第１のコイルとの接続部
１８１ｂ  磁性体の一端面に形成された外部電極と第２のコイルとの接続部
１８２  磁性体の他の一端面に形成された外部電極
１８２ａ  磁性体の他の一端面に形成された外部電極と第１のコイルとの接続部
１８２ｂ  磁性体の他の一端面に形成された外部電極と第２のコイルとの接続部
２３１  第１のコイル
２３１ａ〜２３１ｅ  第１の内部導体
２３２  第２のコイル
２３２ａ〜２３２ｅ  第２の内部導体
２３７  第１の磁性体シート
２３８  第１のバイアホール
２３９  第２のバイアホール
２４０  第２の磁性体シート
２４１  第３のバイアホール
２４２  第４のバイアホール
２４３  第３の磁性体シート
２４４  第５のバイアホール
２４５  第４の磁性体シート
２４６  磁性体
２４７ａ，２４７ｂ，２４７ｃ，２４７ｄ  外部電極
【図１】
0004706786.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
0004706786.tif 000031
【図３１】
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【図３２】
0004706786.tif 000033
【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
0004706786.tif 000036
【図３６】
0004706786.tif 000037