(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体への対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられたヘッド部と、を備えたヘッドであって、
前記対向面は空気流の方向に延びた第１方向、および前記第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダは、
前記対向面に形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、
前記負圧キャビティに対して空気流の流入側に位置するリーディングステップ部と、
前記リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部において、それぞれ前記リーディングパッドの流入側に形成され、前記流入側および前記リーディングステップ部の一方の側面に開口する第１凹所、並びに、前記流入側および前記リーディングステップ部の他方の側面に開口する第２凹所と、を備え、
前記リーディングステップ部は、前記第１および第２凹所により規定され前記第２方向に延びる主ステップ部と、前記主ステップ部から流入側に向かって延出し前記第１凹所と第２凹所と間に位置する少なくとも１つの延出ステップ部と、前記延出ステップ部から前記第１方向と交差する方向に延出した折り曲げ部と、を有しているヘッド。
【請求項２】
前記折曲げ部は、前記延出ステップ部の延出端から延出している請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記折曲げ部は、前記延出ステップ部から前記第２方向に延出している請求項１又は２に記載のヘッド。
【請求項４】
前記延出ステップ部は、前記主ステップ部から前記第１方向に沿って前記リーディングステップ部の流入側端まで延びている請求項１ないし３のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項５】
前記リーディングステップ部は、前記主ステップ部から前記第１方向に延出した複数の延出ステップ部と、前記延出ステップ部の間に形成され前記流入側に開口する凹所を有している請求項１ないし４のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項６】
前記主ステップ部は、前記第２の方向に沿って前記リーディングステップ部の一側から他側まで延び帯状に形成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項７】
前記リーディングパッドは、前記第１方向に沿った幅が３０μｍ以下に形成されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項８】
前記スライダは、前記第１方向に延びた中心軸を有し、前記複数の凹所および延出ステップ部は、前記中心軸に対して対称に形成されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項９】
前記スライダは、前記リーディングパッドと前記負圧キャビティの流入側端との間に形成されたポケット凹所を有している請求項１に記載のヘッド。
【請求項１０】
ディスク状の記録媒体と、前記記録媒体を支持しているとともに回転する駆動部と、を備えたディスク装置に用いるヘッドサスペンションアッセンブリであって、
記録媒体への対向面を有するスライダおよび前記スライダに設けられたヘッド部を具備するヘッドと、前記記録媒体に対して前記ヘッドを移動自在に支持するヘッドサスペンションと、を備え、
前記対向面は空気流の方向に延びた第１方向、および前記第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダは、
前記対向面に形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、
前記負圧キャビティに対して前記空気流の流入側に位置するリーディングステップ部と、
前記リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部において、それぞれ前記リーディングパッドの流入側に形成され、前記流入側および前記リーディングステップ部の一方の側面に開口する第１凹所、並びに、前記流入側および前記リーディングステップ部の他方の側面に開口する第２凹所と、を備え、
前記リーディングステップ部は、前記第１および第２凹所により規定され前記第２方向に延びる主ステップ部と、前記主ステップ部から流入側に向かって延出し前記第１凹所と第２凹所と間に位置する少なくとも１つの延出ステップ部と、前記延出ステップ部から前記第１方向と交差する方向に延出した折り曲げ部と、を有しているヘッドサスペンションアッセンブリ。
【請求項１１】
ディスク状の記録媒体と、
前記記録媒体を支持しているとともに回転する駆動部と、
記録媒体への対向面を有するスライダ、および前記スライダに設けられたヘッド部を具備するヘッドと、
前記記録媒体に対して前記ヘッドを移動自在に支持するヘッドサスペンションと、を備え、
前記対向面は空気流の方向に延びた第１方向、および前記第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダは、  
前記対向面に形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、
前記負圧キャビティに対して前記空気流の流入側に位置するリーディングステップ部と、
前記リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部において、それぞれ前記リーディングパッドの流入側に形成され、前記流入側および前記リーディングステップ部の一方の側面に開口する第１凹所、並びに、前記流入側および前記リーディングステップ部の他方の側面に開口する第２凹所と、を備え、
前記リーディングステップ部は、前記第１および第２凹所により規定され前記第２方向に延びる主ステップ部と、前記主ステップ部から流入側に向かって延出し前記第１凹所と第２凹所と間に位置する少なくとも１つの延出ステップ部と、前記延出ステップ部から前記第１方向と交差する方向に延出した折り曲げ部と、を有しているディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスク装置等のディスク装置に用いるヘッド、このヘッドを備えたヘッドサスペンションアッセンブリ、およびヘッドサスペンションアッセンブリを備えたディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスク装置として、例えば、磁気ディスク装置は、ケース内に配設された磁気ディスクと、磁気ディスクを支持および回転駆動するスピンドルモータと、磁気ディスクに対して情報のリード／ライトを行う磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスクに対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、を備えている。キャリッジアッセンブリは、回動自在に支持されたアームと、アームから延出したサスペンションとを備え、このサスペンションに延出端に磁気ヘッドが支持されている。磁気ヘッドは、サスペンションに取り付けられたスライダ、およびスライダに設けられたヘッド部を有し、ヘッド部は、リード用の再生素子、ライト用の記録素子を含んで構成されている。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置に小型化が進み、これに伴ってモバイル機器向けの用途が広がっている。モバイル向けの磁気ディスク装置に求められる性能として、動作衝撃耐力や高い高度保証が挙げられる。スライダは、磁気ディスクの記録面と対向した対向面（エアベアリングサーフェース：ＡＢＳ）を有している。スライダは、サスペンションにより、磁気ディスクの磁気記録層に向う方向に所定のヘッド荷重が印加されている。
【０００４】
磁気ディスク装置の動作時、回転する磁気ディスクとスライダとの間に空気流が発生し、スライダの対向面には、空気流体潤滑の原理により、スライダを磁気ディスク記録面から浮上させる力（正圧）が作用する。そして、スライダの対向面の形状を工夫して、浮上力とヘッド荷重とを釣り合わせることにより、スライダは、磁気ディスク記録面と約１０ｎｍの極小隙間を保ったままディスク表面に接触することなく安定浮上される。これにより、磁気ヘッドによる、高密度記録、高速データアクセスおよび高信頼性を達成している。
【０００５】
上記のような磁気ヘッドの動作衝撃耐力や高度保証を得るためには、スライダの対向面の設計が重要となる。高度保証とは、減圧環境下でもスライダの浮上量が低下しないことを意味し、ここでは、減圧性能と称する。動作衝撃耐力および減圧性能を向上させるためには、衝撃印加時、いかにスライダがディスク面から引き剥がされ難くするかと、減圧時に、いかに浮上量が低下しないようにするかと、が重要となる。
【０００６】
そこで、スライダの浮上量の変動を防止するため、スライダの対向面中央付近に負圧キャビティや動圧発生溝を形成したディスク装置が知られている。すなわち、このスライダは、ＡＢＳの中央部に形成された負圧溝と、スライダの流入端側に設けられたリーディングステップと、スライダの流出端側に設けられたトレーリングステップと、を有し、トレーリングステップに磁気ヘッドが設けられている（例えば、特許文献１）。
【０００７】
リーディングステップには、圧力発生パッドとして、リーディングパッドが設けられている。このリーディングパッドは、負圧キャビティをスライダの流入側へできるだけ大きくとるため、小さな幅に形成されている。更に、リーディングパッドで発生する圧力を大きくするため、リーディングパッドの流入側に深さの異なり、かつ、リーディングパッドに近づくにつれて徐々にディスク面とのすきまが狭くなるステップ部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１２３４２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のようにスライダの対向面を工夫するようにより、動作衝撃耐力と減圧性能をを高めることができるが、より多くの空気を取り込んでより多くの圧力を発生するようにすることが望ましい。また、スライダにスキュー角が付いた場合、空気の流れに対してリーディングパッドで発生する圧力を高めることができない。
【００１０】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、動作衝撃耐力および減圧性能をより高めることができるとともに、スキュー角が付いた場合でも圧力の低下を抑制することができ、信頼性および安定性の向上したヘッド、このヘッドを備えたヘッドサスペンションアッセンブリ、およびディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、この発明の態様に係るヘッドは、記録媒体への対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられたヘッド部と、を備えたヘッドであって、前記対向面は空気流の方向に延びた第１方向、および前記第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダは、前記対向面に形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、前記負圧キャビティに対して空気流の流入側に位置するリーディングステップ部と、前記リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部において、それぞれ前記リーディングパッドの流入側に形成され、前記流入側および前記リーディングステップ部の一方の側面に開口する第１凹所、並びに、前記流入側および前記リーディングステップ部の他方の側面に開口する第２凹所と、を備え、前記リーディングステップ部は、前記第１および第２凹所により規定され前記第２方向に延びる主ステップ部と、前記主ステップ部から流入側に向かって延出し前記第１凹所と第２凹所と間に位置する少なくとも１つの延出ステップ部と、前記延出ステップ部から前記第１方向と交差する方向に延出した折り曲げ部と、を有している。
【００１２】
この発明の他の態様に係るディスク装置は、ディスク状の記録媒体と、前記記録媒体を支持しているとともに回転する駆動部と、記録媒体への対向面を有するスライダ、および前記スライダに設けられたヘッド部を具備するヘッドと、前記記録媒体に対して前記ヘッドを移動自在に支持するヘッドサスペンションと、を備え、前記対向面は空気流の方向に延びた第１方向、および前記第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダは、前記対向面に形成され負圧を発生させる負圧キャビティと、前記負圧キャビティに対して前記空気流の流入側に位置するリーディングステップ部と、前記リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部において、それぞれ前記リーディングパッドの流入側に形成され、前記流入側および前記リーディングステップ部の一方の側面に開口する第１凹所、並びに、前記流入側および前記リーディングステップ部の他方の側面に開口する第２凹所と、を備え、前記リーディングステップ部は、前記第１および第２凹所により規定され前記第２方向に延びる主ステップ部と、前記主ステップ部から流入側に向かって延出し前記第１凹所と第２凹所と間に位置する少なくとも１つの延出ステップ部と、前記延出ステップ部から前記第１方向と交差する方向に延出した折り曲げ部と、を有している。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の態様によれば、動作衝撃耐力および減圧性能をより高めることができるとともに、スキュー角が付いた場合でも圧力の低下を抑制することができ、信頼性および安定性の向上したヘッド、このヘッドを備えたヘッドサスペンションアッセンブリ、およびディスク装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、この発明の第１の実施形態に係るＨＤＤを示す平面図。
【図２】図２は、上記ＨＤＤにおける磁気ヘッド部分を拡大して示す側面図。
【図３】図３は、上記磁気ヘッドのスライダのディスク対向面側を示す斜視図。
【図４】図４は、上記スライダのディスク対向面側を示す平面図。
【図５】図５は、図４の線Ａ−Ａに沿った断面図。
【図６】図６は、この発明の第２の実施形態に係る磁気ヘッドのディスク対向面側を概略的に示す平面図。
【図７】図７は、この発明の第３の実施形態に係る磁気ヘッドのディスク対向面側を概略的に示す平面図。
【図８】図８は、この発明の第４の実施形態に係る磁気ヘッドのディスク対向面側を概略的に示す平面図。
【図９】図９は、この発明の第５の実施形態に係る磁気ヘッドのディスク対向面側を概略的に示す平面図。
【図１０】図１０は、この発明の第６の実施形態に係る磁気ヘッドのディスク対向面側を概略的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下図面を参照しながら、この発明に係るディスク装置をハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤと称する）に適用した第１の実施形態について詳細に説明する。
【００１６】
図１は、筐体のトップカバーを取外して、ＨＤＤの内部構造を示している。図１に示すように、ＨＤＤは、上面の開口した矩形箱状のケース１２と、複数のねじによりケースにねじ止めされケースの上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。
【００１７】
ケース１２内には、記録媒体としての磁気ディスク１６、磁気ディスクを支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ１８、磁気ディスクに対して情報の書き込み、読み出しを行なう複数の磁気ヘッド４０、これらの磁気ヘッドを磁気ディスク１６に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ２２、キャリッジアッセンブリを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッドが磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した退避位置に保持するランプロード機構２５、およびヘッドＩＣ等を有する基板ユニット２１等が収納されている。
【００１８】
ケース１２の底壁外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。このプリント回路基板は、基板ユニット２１を介して、スピンドルモータ１８、ＶＣＭ２４、および磁気ヘッド４０の動作を制御する。
【００１９】
磁気ディスク１６は、上面および下面に磁気記録層を有している。また、磁気ディスク１６の表面には、１ｎｍ程度の厚さで、潤滑剤１７、例えば、オイルが塗布されている。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８の図示しないハブの外周に嵌合されているとともに、クランプばね１７によってハブ上に固定されている。スピンドルモータ１８を駆動することにより、磁気ディスク１６は所定の速度、例えば、４２００ｒｐｍで矢印Ｂ方向に回転される。
【００２０】
キャリッジアッセンブリ２２は、ケース１２の底壁上に固定された軸受部２６と、軸受部から延出した複数のアーム３２と、を備えている。これらのアーム３２は、磁気ディスク１６の表面と平行に、かつ、互いに所定の間隔を置いて位置しているとともに、軸受部２６から同一の方向へ延出している。キャリッジアッセンブリ２２は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３８を備えている。サスペンション３８は、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム３２の先端に固定され、アームから延出している。各サスペンション３８は対応するアーム３２と一体に形成されていてもよい。アーム３２およびサスペンション３８によりヘッドサスペンションを構成し、このヘッドサスペンションと磁気ヘッド４０とによりヘッドサスペンションアッセンブリを構成している。
【００２１】
図２に示すように、各磁気ヘッド４０は、ほぼ直方体形状のスライダ４２とこのスライダに設けられた記録再生用のヘッド部３９とを有し、サスペンション３８の先端部に設けられたジンバルばね４１に固定されている。各磁気ヘッド４０は、サスペンション３８の弾性により、磁気ディスク１６の表面に向かうヘッド荷重Ｌが印加されている。
【００２２】
図１に示すように、キャリッジアッセンブリ２２は、軸受部２６からアーム３２と反対の方向へ延出した支持枠４５を有し、この支持枠により、ＶＣＭ２４の一部を構成するボイスコイル４７が支持されている。支持枠４５は、合成樹脂によりボイスコイル４７の外周に一体的に成形されている。ボイスコイル４７は、ケース１２に固定された一対のヨーク４９間に位置し、これらのヨーク、および一方のヨークに固定された図示しない磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。ボイスコイル４７に通電することにより、軸受部２６の回りでキャリッジアッセンブリ２２が回動し、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動および位置決めされる。
【００２３】
ランプロード機構２５は、ケース１２の底壁に設けられているとともに磁気ディスク１６の外側に配置されたランプ５１と、各サスペンション３８の先端から延出したタブ５３と、を備えている。キャリッジアッセンブリ２２が、磁気ディスク１６の外側の退避位置まで回動する際、各タブ５３は、ランプ５１に形成されたランプ面と係合し、その後、ランプ面の傾斜によって引き上げられ、磁気ヘッド４０のアンロード動作を行う。
【００２４】
次に、磁気ヘッド４０の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドを構成するスライダのディスク対向面側を示す斜視図、図４はスライダの平面図、図５はスライダの断面図である。  
図３ないし図５に示すように、磁気ヘッド４０はほぼ直方体状に形成されたスライダ４２を有し、このスライダは磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状のディスク対向面（ＡＢＳ）４３、ディスク対向面と直交して延びた流入側端面４４ａ、ディスク対向面と直交して延びた流出側端面４４ｂ、およびそれぞれディスク対向面と直交して流入側端面４４ａと流出側端面４４ｂとの間を延びた一対の側面４４ｃを有している。
【００２５】
ディスク対向面４３の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。スライダ４２は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、０．８５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗが１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍに形成され、いわゆるフェムトスライダとして構成されている。
【００２６】
磁気ヘッド４０は浮上型のヘッドとして構成され、スライダ４２は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とディスク対向面４３との間に生じる空気流Ｃ（図２参照）により浮上する。ＨＤＤの動作時、スライダ４２のディスク対向面４３はディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。ここで、空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ｂと一致している。スライダ４２は、磁気ディスク１６表面に対し、ディスク対向面４３の第１方向Ｘが空気流Ｃの方向とほぼ一致するように配置されている。
【００２７】
図３ないし図５に示すように、ディスク対向面４３のほぼ中央部から流出端側に渡って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、流出側端面４４ｂに向かって開放している。スライダ４２の厚さは、例えば０．２３ｍｍに形成され、負圧キャビティ５４の深さは８００〜１５００ｎｍ、例えば１５００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ディスク対向面４３中心部で負圧を発生させることができる。
【００２８】
ディスク対向面４３において、流入側端部には、ほぼ矩形状のリーディングステップ部５０が形成されている。リーディングステップ部５０はディスク対向面４３より一段低く、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。リーディングステップ部５０は、スライダ４２の第２方向のほぼ全域に亘って延びている。
【００２９】
磁気ヘッド４０のピッチ角を維持するため、リーディングステップ部５０上には、空気膜によってスライダ４２を支えるリーディングパッド５２が突設されている。リーディングパッド５２は、細長い帯状に形成され、第２方向Ｙに沿ってリーディングステップ部５０の幅方向全域に渡り連続的に延びている。リーディングパッド５２は、スライダ４２の流入側端面４４ａから下流側にずれた位置に形成され、すなわち、リーディングステップ５０の下流側端に沿って形成されている。リーディングパッド５２は、第１方向に沿った幅が３０μｍ以下に形成されている。そして、リーディングパッド５２の上面はディスク対向面４３を構成している。
【００３０】
リーディングステップ部５０においてリーディングパッド５２の流入側には、リーディングステップ部よりも一段深い複数の凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃが形成されている。これらの凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃは、例えば、矩形状に形成され、第２方向Ｙに並んで設けられている。凹所７０ａは、リーディングステップ部５０の側面および流入側端面４４ａに開口している。凹所７０ｃは、リーディングステップ部５０の反対側の側面および流入側端面４４ａに開口している。凹所７０ｂは、凹所７０ａ、７０ｂの間に位置し、流入側端面４４ａに開口している。
【００３１】
リーディングステップ部５０は、リーディングパッド５２の流入側に並んで位置し第２方向Ｙに延びる細長い帯状の主ステップ部５０ａと、それぞれ主ステップ部から流入側に向かって第２方向Ｙと交差する方向に延びた２つの帯状の延出ステップ部５０ｂ、５０ｃと、を有している。延出ステップ部５０ｂは、主ステップ部５０ａから第１方向Ｘに沿って流入側端面４４ａまで延び、凹所７０ａ、７０ｂ間に位置している。延出ステップ部５０ｃは、主ステップ部５０ａから第１方向Ｘに沿って流入側端面４４ａまで延び、凹所７０ｂ、７０ｃ間に位置している。延出ステップ部５０ｂ、５０ｃおよび凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃは、スライダ４２の中心軸線Ｄに対して対称に形成されている。
【００３２】
ディスク対向面４３には、ディスク対向面４３の各側縁に沿って延びているとともに第２方向Ｙに間隔を置いて対向した一対のサイド部４６が形成されている。これらのサイド部４６は負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられている。サイド部４６は、リーディングステップ部５０からスライダ４２の下流端側に延出している。リーディングステップ部５０および一対のサイド部４６は、スライダ４２の中心軸線Ｄに対して対称に設けられ、全体として、流入側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。そして、リーディングステップ部５０および一対のサイド部４６により負圧キャビティ５４が規定されている。
【００３３】
各サイド部４６上には、サイドパッド４８が形成され、リーディングパッド５２に繋がっている。リーディングパッド５２およびサイドパッド４８はほぼ平坦に形成され、ディスク対向面４３を形成している。
【００３４】
各サイド部４６には第１凹所５６ａおよび第２凹所５６ｂが連続して形成されている。第１および第２凹所５６ａ、５６ｂは、磁気ディスク１６の表面に向かって開口しているとともに、ディスク対向面４３の流入側端に向かって開口している。第１凹所５６ａおよび第２凹所５６ｂの各々は矩形状に形成され、第１方向Ｘとほぼ平行に延びた一対の側縁、およびこれら側縁の延出端同士を繋いでいるとともに第２方向Ｙとほぼ平行に延びた底縁によって規定されている。第２凹所５６ｂは、第１凹所５６ａよりも一段深く形成されている。
【００３５】
スライダ４２のディスク対向面４３には、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイド部４６からスライダの流出側端面４４ｂに向かって直線的に延出した一対のスカート部５７が形成されている。各スカート部５７は、サイド部４６よりも深く形成され、負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。各スカート部５７は、ディスク対向面４３に対して、例えば、深さ１００〜２００ｎｍに形成されている。
【００３６】
一対のサイド部４６間において、リーディングパッド５２と負圧キャビティ５４の流入側端との間には、ポケット凹所７４が形成されている。このポケット凹所７４は、細長い帯状に形成され、第２方向Ｙに沿ってサイド部４６間を延びている。ポケット凹所７４は、負圧キャビティ５４とほぼ等しい深さに形成されている。
【００３７】
スライダ４２は、空気流Ｃの方向に対して、ディスク対向面４３の流出側の端部に形成されたトレーリングステップ部５８を有している。トレーリングステップ部５８は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ部５０と同一突出高さに形成されている。言い換えると、トレーリングステップ部５８は、ディスク対向面４３からの深さが、リーディングステップ部５０と同一深さ、５０〜２５０ｎｍ、例えば、１００ｎｍに形成されている。トレーリングステップ部５８は、空気流Ｃの方向に対して、負圧キャビティ５４の下流側に位置し、かつ、ディスク対向面４３の第２方向Ｙほぼ中央に位置している。更に、トレーリングステップ部５８は、スライダ４２の流出側端面４４ｂから僅かに流入側端面４４ａ側にずれて設けられている。
【００３８】
図３ないし図５に示すように、トレーリングステップ部５８は、ほぼ直方体形状に形成され、流入側に位置した２つの角部が面取りされた形状を有している。トレーリングステップ部５８は、磁気ディスク１６の表面と対向した上面を有している。
【００３９】
トレーリングステップ部５８の上面には、空気膜によってスライダ４２を支えるトレーリングパッド６０が突設されている。トレーリングパッド６０は、リーディングパッド５２およびサイドパッド４８と同一高さレベルに形成され、その表面は、ディスク対向面４３を構成している。
【００４０】
トレーリングパッド６０は、ほぼ矩形状のベース部６２、第２方向Ｙに沿ってベース部から両側へ延出した一対の翼部６４、およびベース部６２から第１方向Ｘに沿って流入端側へ延出した一対の延出部６６を有している。トレーリングステップ部５８において、ベース部６２は、流出端側で中心軸線Ｄ上に設けられ、第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。各翼部６４は、ベース部６２の両端から第１方向Ｘに沿ってスライダ４２の流入端側に延びている。２つの延出部６６は、それぞれ第１方向Ｘに沿って延出し、隙間を置いて互いに対向している。２つの延出部６６は、第１方向Ｘに沿った長さが互いに等しく、トレーリングステップ部５８の流入側端縁まで延びている。
【００４１】
図５に示すように、磁気ヘッド４０のヘッド部３９は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子および再生素子を有/している。これら再生素子および記録素子は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ４２の下流側端部内に埋め込まれている。再生素子および記録素子は、トレーリングパッド６０に形成された図示しないリード／ライトギャップを有している。
【００４２】
以上のように構成されたＨＤＤおよびヘッドサスペンションアッセンブリによれば、磁気ヘッド４０は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とディスク対向面４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。これにより、ＨＤＤの動作時、スライダ４２のディスク対向面４３は磁気ディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。図２に示すように、磁気ヘッド４０は、ヘッド部３９のリード／ライトギャップが最もディスク表面に接近した傾斜姿勢をとって浮上する。
【００４３】
磁気ヘッド４０は、スライダ４２のディスク対向面４３に負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ディスク対向面４３中心部で負圧を発生させることができる。また、リーディングパッド５２を幅細形状とすることにより、負圧キャビティ５４をスライダの流入端側に配置することができ、動作衝撃耐力が向上する。更に、十分大きなポケット凹所７４も配置することができ、その部分でより多くの空気を取り込み、トレーリングパッド６０の配置されているスライダ下流側へそれらの空気を導くことができる。
【００４４】
リーディングパッドの流入側に深さが異なり、かつリーディングパッドに近づくにつれて徐々にディスク表面とのすきまが狭くなるようなリーディングステップ部５０および凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃを設けてることにより、リーディングパッド５２で発生する圧力を大きくすることができる。そのため、スライダのピッチング角低下を抑制することが可能となる。
【００４５】
また、リーディングステップ部５０は、主ステップ部５０ａから流入側端面まで延出した延出ステップ部５０ｂ、５０ｃを有し、各延出ステップ部の第２方向Ｙの両側にそれぞれ凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃを設けることにより、流入する空気をリーディングステップ部で囲い込み、効率的にリーディングパッドに導くことができ、これにより、リーディングパッドでの圧力発生効率を高めることができる。更に、図４に矢印Ｆで示すように、スライダ４２に対してスキュー角が空気流に対しても、延出ステップ部５０ａ、５０ｂおよび凹所７０ａ、７０ｃにより、これらの空気を逃がさずに囲い込み、リーディングパッドで発生する圧力を高めることができる。従って、スキュー角が付いたときの空気取り込み効率低下を防止することができる。
【００４６】
以上のことから、動作衝撃耐力および減圧性能をより高めることができるとともに、スキュー角が付いた場合でも圧力の低下を抑制することができ、信頼性および安定性の向上したヘッド、このヘッドを備えたヘッドサスペンションアッセンブリ、およびディスク装置が得られる。
【００４７】
図６は、この発明の第２の実施形態に係るディスク装置の磁気ヘッド４０のディスク対向面を示している。前述したリーディングステップ部５０の延出ステップ部は、２本に限らず、３つとしてもよい。第２の実施形態によれば、リーディングステップ部５０は、主ステップ部５０ａの第２方向Ｙ中央部から流入側端面４４ａまで延出した３本の延出ステップ部５０ｂ、５０ｃ、５０ｄを有している。これらの延出ステップ部５０ｂ、５０ｂ、５０ｃは、第１方向Ｘに沿って延びているとともに、第２方向Ｙに沿って互いに離間している。
【００４８】
リーディングステップ部５０において、各延出ステップ部の両側に、リーディングステップ部よりも一段深い凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄが形成されている。これらの凹所７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄは、例えば、矩形状に形成され、第２方向Ｙに並んで設けられている。凹所７０ａは、リーディングステップ部５０の側面および流入側端面４４ａに開口している。凹所７０ｄは、リーディングステップ部５０の反対側の側面および流入側端面４４ａに開口している。凹所７０ｂ、７０ｃは、凹所７０ａ、７０ｄの間に位置し、流入側端面４４ａに開口している。
【００４９】
図７は、この発明の第３の実施形態に係るディスク装置の磁気ヘッド４０のディスク対向面を示している。第３の実施形態によれば、リーディングステップ部５０は、主ステップ部５０ａの第２方向Ｙ中央部から流入側端面４４ａまで延出した１本の延出ステップ部５０ｂを有している。延出ステップ部５０ｂは、第１方向Ｘに沿って延びている。リーディングステップ部５０において、この延出ステップ部５０ｂの両側に凹所７０ａ、７０ｂが形成されている。
【００５０】
図８は、この発明の第４の実施形態に係るディスク装置の磁気ヘッド４０のディスク対向面を示している。リーディングステップ部５０の各延出ステップ部５０ｂ、５０ｃは、主ステップ５０ａよりも太い幅に形成されている。
【００５１】
図９は、この発明の第５の実施形態に係るディスク装置の磁気ヘッド４０のディスク対向面を示している。第５の実施形態によれば、リーディングステップ部５０は、それぞれ主ステップ部５０ａから流入側端面４４ａまで延出した複数、例えば、２つの延出ステップ部５０ｂ、５０ｃと、各延出ステップ部の延出端から第２方向Ｙに沿って延出した折り曲げ部７２ａ、７２ｂを有している。折曲げ部７２ａ、７２ｂは、互いに接近する方向に延びている。
【００５２】
図１０は、この発明の第６の実施形態に係るディスク装置の磁気ヘッド４０のディスク対向面を示している。第６の実施形態によれば、リーディングステップ部５０は、それぞれ主ステップ部５０ａから流入側端面４４ａまで延出した複数、例えば、２つの延出ステップ部５０ｂ、５０ｃと、各延出ステップ部の延出端から第２方向Ｙに沿って両方向に延出した一対の折り曲げ部７２ａ、７２ｂ、７２ｃ、７２ｄを有している。
【００５３】
第２ないし第６の実施形態において、スライダの他の構成は、前述した第１の実施形態と同一であり、同一部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略した。
【００５４】
上記のように構成された第２ないし第６の実施形態においても、第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。また、第５および第６の実施形態によれば、リーディングステップ部は、延出ステップ部の延出端から更に延出した折曲げ部を有していることから、リーディングステップ部により、流入空気を逃がさず一層確実に囲い込み、リーディングパッドで発生する圧力を高めることができる。
【００５５】
本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００５６】
スライダにおけるリーディングステップ部、トレーリングステップ部、各パッドの形状および寸法等は上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて変更可能である。延出ステップ部の数および凹所の数は、必要に応じて増減可能である。延出ステップ部は、スライダの第１方向に限らず、第１方向に対し傾斜して延びていてもよい。また、ポケット凹所は、省略してもよい。この発明は、フェムトスライダに限らず、ピコスライダ、ペムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。ディスク装置において、磁気ディスクの枚数は１枚に限らず、増加可能である。
【符号の説明】
【００５７】
１２…ケース、１６…磁気ディスク、１８…スピンドルモータ
２２…キャリッジアッセンブリ、２６…軸受部、３２…アーム、
３８…サスペンション、４０…磁気ヘッド、４２…スライダ、４３…ディスク対向面、
４４…ヘッド部、４６…サイド部、４８…サイドパッド、
５０…リーディングステップ部、５０ａ…主ステップ部、
５０ｂ、５０ｃ、５０ｄ…延出ステップ部、５２…リーディングパッド、
５４…負圧キャビティ、５７…スカート部、５８…トレーリングステップ部、
６０…トレーリングパッド、７０ａ、７０ｂ、７０ｃ、７０ｄ…凹所、
７４…ポケット凹所
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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