(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却チャンバと、冷却チャンバ内に備えられかつ多段の棚を有するラックと、各段の棚にそう方向に冷却風を送る送風手段とを備えており、各段の棚が、並列状に配置されている複数の水平状揺動軸と、各揺動軸の長さ方向に間隔をおいて揺動軸の半径方向の同一方向に突出させられかつ揺動軸の軸心を中心とする円弧状支持面を先端に有する複数の垂直板状支持部材とを備えており、揺動手段によって、各段の棚の全ての揺動軸が同一方向に同一速度で揺動させられて、時間の経過とともに支持面が表示用パネルの異なる部分と接触しながら表示用パネルが水平方向に揺動されられるようになされている冷却装置。
【請求項２】
送風手段による冷却風の送り方向が、一定であり、各揺動軸が、冷却風の送り方向にのびており、表示用パネルの揺動方向が、冷却風の送り方向と直交させられている請求項１に記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、液晶用基板を貼り合わせるために加熱された液晶パネルやフラットパネルディスプレイ用板状被処理物（以下、これらを総称して表示用パネルという）を、常温まで冷却する際に用いられる冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱処理装置は、表示用パネルを加熱する加熱装置と、熱処理後の表示用パネルを冷却する冷却装置とによって構成されている。加熱装置および冷却装置において、表示用パネルを支持するための支持具が使用される。
【０００３】
表示用パネルに傷を付けないようにするために、表示用パネルに対する支持具の接触面積をできるだけ小さくし、表示用パネルの複数か所をそれぞれピン等によって支持するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
ところが、このような支持の仕方をすると、表示用パネルの荷重がピン等に集中して作用することになり、このような荷重差が生じると、表示用パネルが撓むという問題がある。表示用パネルが撓むと、表示ムラが発生する。
【０００５】
そこで、表示用パネルとの接触面積を大きくすることが考えられる。表示用パネルとの接触面積を大きくした冷却装置としては、図１０に示すように、複数の水平長尺状支持部材Ｓ（図示は１つのみ）が隣り合うもの同士所定間隔をおいて並列状に配置され、各支持部材の上面が平坦状支持面となされているように構成することができる。
【０００６】
このように支持部材によって表示用パネルを支持するようにすると、荷重集中による表示ムラの問題は解消される。ところが、図１１に示すように、表示用パネルおよび支持部材の接触部分（Ａ点）で熱移動が生じ、接触部分では急速に表示用パネルが冷却されるが、それ以外の部分（Ｂ点、Ｃ点）では冷却速度が低下する。このように、双方の部分の冷却カーブに温度差が生じると、荷重差の場合と同様に、表示ムラが同じ様に発生する。
【特許文献１】特開２００２−１３０９５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明の目的は、表示用パネル冷却時において、上記した荷重差および温度差のいずれによる表示ムラを発生させることのないように表示用パネルを支持する支持装置を備えた冷却装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明による表示用パネル冷却装置は、冷却チャンバと、冷却チャンバ内に備えられかつ表示用パネルを多段に支持する支持装置とを備えており、支持装置が、支持部材を有しており、支持部材が、表示用パネルと部分的に接触してその表示用パネルを支持する支持部を有しており、支持部が、時間の経過とともに表示用パネルの異なる部分と接触するようになされているものである。
【０００９】
この発明による表示用パネル冷却装置では、表示用パネルおよび支持部材の接触部分が時間の経過とともに変化させられる。したがって、接触部分を通じて行われる、表示用パネルの熱移動のヵ所が変化するため、表示用パネルに温度差を発生させることを防止できる。
【００１０】
さらに、支持部材が、水平状揺動軸に取付られており、支持部が、揺動軸の軸心を中心とする円弧状支持面によって形成されていると、揺動軸の回転にともない、表示用パネルを水平方向に移動させながら、支持面が表示用パネルの異なる部分と接触させられる。
【００１１】
また、支持部材が、揺動軸の半径方向に突出させられかつ先端を支持面とする垂直板によって構成されていると、シンプルな構造でもって、支持部材を構成することができる。
【００１２】
また、上記支持部材に代えて、支持部材が、揺動軸と同心状に配置されかつ外周面を支持面とする円筒状ローラによって構成されていてもよい。
【００１３】
さらなる支持部材として、支持部材が、水平方向に並んだ一対の昇降支持片によって構成されており、支持部が、支持片の上端に形成された水平平坦状支持面によって形成されていると、両支持片によって表示用パネルを支持するか、両支持片のいずれか一方によって表示用パネルを支持するかにより、表示用パネルおよび支持部材の接触部分が変化させられる。
【００１４】
また、両支持片の昇降は、両支持片が同時に表示用パネルを支持しかつ両支持片が交互に表示用パネルを支持するように両支持片を昇降させる昇降手段によることが好ましい。
【００１５】
この発明による他の表示用パネル冷却装置は、冷却チャンバと、冷却チャンバ内に備えられかつ多段の棚を有するラックと、棚にそう方向に冷却風を送る送風手段とを備えており、各段の棚が、並列状に配置された複数の水平状揺動軸と、各揺動軸に長さ方向に間隔をおいて揺動軸の半径方向の同一方向に突出させられかつ揺動軸の軸心を中心とする円弧状支持面を先端に有する複数の垂直板状支持部材とを備えているものである。
【００１６】
この発明による冷却装置では、支持部材が送風の妨げにならないため、効率良く表示用パネルを冷却することができる。
【００１７】
この発明によるさらなる他の表示用パネル冷却装置は、冷却チャンバと、冷却チャンバ内に備えられかつ多段の棚を有するラックと、各段の棚にこれに直交する方向に冷却風を送る送風手段とを備えており、各段の棚が、並列状に配置された複数の水平状揺動軸と、各揺動軸と同心状に配置されかつ外周面を支持面とするローラとを備えているものである。
【００１８】
この発明による他のさらなる他の表示用パネル冷却装置では、各段の表示用パネルが個別に冷却風にさらされるため、極めて冷却効率がよい。
【００１９】
上記冷却装置において、全ての揺動軸を同一方向に同一速度で、揺動手段によって揺動させることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、表示用パネル冷却時において、上記した荷重差および温度差のいずれによる表示ムラをも発生させることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明の実施の形態を図面を参照しながらつぎに説明する。
【００２２】
以下の説明において、前後とは、図１を基準として、図１の左側を前、これと反対側を後といい、左右とは、後方より見て、その左右の側をそれぞれ左右というものとする。
【００２３】
図１〜図３を参照すると、冷却装置は、冷却チャンバ11と、冷却チャンバ11内に備えられかつ液晶パネルのような平板状表示用パネルＷを水平にして多段に支持している多段式ラック12とを備えている。
【００２４】
冷却チャンバ11は、略箱形状もので、後側壁21、前側壁22、左側壁23、右側壁24、頂壁25および底壁26よりなる。
【００２５】
後側壁21には入口31が、前側壁22には出口32がそれぞれ設けられている。入口31には入口シャッタ33が、出口32には出口シャッタ34がそれぞれ備えられている。
【００２６】
左側壁23に隣接して左垂直仕切板35によって区画された流出側通路36が形成されている。右側壁24に隣接して右垂直仕切板37によって区画された流入側通路38が形成されている。左垂直仕切板35および右垂直仕切板37は、詳しく図示しないが、適所に連通孔があけられている。左垂直仕切板35および右垂直仕切板37の下縁部は、水平仕切板39によって連絡されている。左垂直仕切板35に内外にまたがるように整流板41が設けられている。右垂直仕切板37の外側にはフィルタ42が装備されている。
【００２７】
流出側通路36に連通させられるように頂壁25左縁部には吸気口43が、流入側通路38に連通させられるように頂壁25右縁部には排気口44がそれぞれ設けられている。
【００２８】
底壁26上面の左縁部に近接して水冷式クーラ45が備えられている。クーラ45の右側適所には複数の循環ファン46が備えられている。
【００２９】
多段式ラック12は、冷却チャンバ11内において、左垂直仕切板35、右垂直仕切板37および水平仕切板39によって区画されたスペースに配置されている。
【００３０】
ラック12は、多段の、図示は、７段の棚51を有している。７段の棚51は、いずれも同一構造をもつものである。以下、１つの棚51についてのみ説明する。
【００３１】
棚51は、隣り合うもの同士間隔をおいて並列状に配置されている左右方向にのびた複数の、図示は、７つの水平状揺動軸61と、各揺動軸61に長さ方向に間隔をおいて取付られている複数の、図示は、５つの支持部材62とを備えている。５つの支持部材62は、同一構造のものである。以下、図４に詳細に示す１つの支持部材62について説明する。
【００３２】
支持部材62は、揺動軸61から半径方向に突出させられたものであって、揺動軸61に固定されているアーム63と、アーム63の先端に固定されている弓形状垂直板64とよりなる。垂直板64の先端に、表示用パネルＷの下面と接触させられた外向き円弧状支持面65が形成されている。支持面65のなす円弧の中心は、揺動軸61の揺動中心と一致させられている。また、全ての支持部材62は、同一方向に向けられている。
【００３３】
冷却チャンバ11内に導入された空気をクーラ45によって冷却し、これを循環ファン46によって冷却チャンバ11内を循環させる。流入側通路38を上向きに流れた冷却風は、右垂直仕切板37の連通孔を通じてからラック12まで導かれる。ラック12内部を冷却風は、各段の棚51にそって流れ、左垂直仕切板35の連通孔を通じて流出側通路36に流出し、これを下向きに流れる。
【００３４】
図示しない揺動手段により、全ての揺動軸61を同一方向に同一速度で揺動させると、各支持部材62の支持面65が表示用パネルＷとの接触部分を変えながら各支持部材62が揺動させられ、同時に、表示用パネルＷが前後方向に水平移動させられる。これにより、表示用パネルＷと支持面65との接触部分が移動していくため、熱移動が局部的に集中することが避けられる。
【００３５】
図９に示すように、揺動軸61の揺動サイクルは、表示用パネルＷの冷却期間を通じて、３サイクル程度でよい。また、支持部材62の回転半径を１００ｍｍ程度とすると、表示用パネルのＷの水平方向の移動距離は１２０ｍｍ程度となる。
【００３６】
図５および図６を参照すると、変形例による棚71は、隣り合うもの同士間隔をおいて並列状に配置されている左右方向にのびた４つの水平状揺動軸81と、各揺動軸81に取付られている揺動軸81と同数の支持部材82とを備えている。
【００３７】
各支持部材82は、対応する揺動軸81と同心状に配置されかつ外周面を支持面83とする円筒状ローラによって構成されている。
【００３８】
この棚71を用いる場合、各支持部材82の近くでは、各支持部材82が表示用パネルＷの裏面を流れようとする冷却風の流れ妨げとなって、各支持部材82の近くでは流れのよどみができる可能性がある。これを防止するためには、各棚71毎にフィルタ84を配置し、各棚71に直交する方向に冷却風を流すことが好ましい。
【００３９】
揺動軸81の揺動サイクルおよび熱移動の局部的集中防止作用は、先に説明した実施例による場合と同じである。
【００４０】
図７および図８にさらなる棚91の変形例が示されている。このさらなる変形例による棚91は、前後および左右方向に列をなして並びかつ隣り合うもの同士で接するように並んで対をなす複数対の支持片101、102を備えている。対をなす支持片101、102は、個別に昇降しうるようになっている。各支持片101、102の上端に水平平坦状支持面103、104が形成されている。
【００４１】
上段の棚91では対をなす支持片101、102の一方101が上昇させられ、その他方102は下降させられている。上昇させられている一方の支持片101の支持面103が表示用パネルＷの下面と接触させられている。上記の状態から、中段棚91で示すように、他方の支持片102を上昇させると、双方の支持片101、102の支持面103、104が同時に表示用パネルＷの下面と接触させられる。そして、下段の棚91で示すように、一方の支持片101を下降させると、今度は、他方の支持片102の支持面104だけが表示用パネルＷの下面と接触させられる。
【００４２】
このように、表示用パネルＷに対して、一方の支持片101の支持面103が接触させられる場合、双方の支持片101、102の支持面103、104が接触させられる場合、他方の支持片102の支持面104が接触させられる場合において、表示用パネルＷおよび支持片101、102の接触部分が３通りに変化させられる。これにより、熱移動の集中が避けられる。
【００４３】
上記において、棚の段数、揺動軸の数、各揺動軸に取付られた支持部材の数等は、任意に選択可能である。
【００４４】
また、冷却チャンバは、表示用パネル入口および出口を備えているが、１つの開口を出入口とするようにしてもよい。
【００４５】
また、円筒状ローラは、揺動軸のほぼ全長にわたって連続しているが、断続していもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】この発明による冷却装置の水平断面図である。
【図２】図１のII−II線にそう垂直断面図である。
【図３】図１のIII−III線にそう垂直断面図である。
【図４】図３の一部を拡大して示す支持部材の側面図である。
【図５】変形例による冷却装置の平面図である。
【図６】図５のVI−VI線にそう垂直断面図である。
【図７】さらなる変形例による冷却装置の平面図である。
【図８】図７のVIII−VIII線にそう垂直断面図である。
【図９】冷却装置の冷却特性を示す図表である。
【図１０】従来例を示す冷却装置の断面図
【図１１】従来例による冷却装置の冷却特性を示す図表である。
【符号の説明】
【００４７】
11  冷却チャンバ
12  多段ラック
51、71、91  棚
61、81  揺動軸
62、82  支持部材
65、83、103、104  支持面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004639628.tif 000008
【図８】
0004639628.tif 000009
【図９】
0004639628.tif 000010
【図１０】
0004639628.tif 000011
【図１１】
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