(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
高速度工具鋼で構成された歯切工具本体の表面に、
（ａ）いずれもＣｒとＡｌとＢ（ボロン）の複合窒化物からなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、
（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、
上記薄層Ａは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＢＦ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．０１〜０．１０、Ｆは０．２０〜０．３５を示す）を満足するＣｒとＡｌとＢの複合窒化物層、上記薄層Ｂは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｍ＋Ｎ）ＡｌＭＢＮ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｍは０．２５〜０．４０、Ｎは０．１０〜０．２０を示す）を満足するＣｒとＡｌとＢの複合窒化物層、からなり、
（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｘ＋Ｙ）ＡｌＸＢＹ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＣｒとＡｌとＢの複合窒化物層、からなる硬質被覆層を蒸着形成してなることを特徴とする合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、硬質被覆層がすぐれた熱伝導性を有し、さらに高温硬さと高温強度に加えて、高温耐酸化性も具備し、したがって特に合金鋼などの高い発熱を伴う高速歯切加工に用いた場合にも、すぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆高速度工具鋼製歯切工具（以下、被覆ハイス歯切工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に自動車や航空機、さらに各種駆動装置などの構造部材として各種歯車が用いられ、これら歯車の歯形の歯切加工には、ソリッドホブ（例えば図３の概略斜視図参照）やピニオンカッタ（例えば図４の概略斜視図参照）、さらにシェービングカッタなどの歯切工具が用いられている。
【０００３】
工具の耐摩耗性を改善するために、工具表面に硬質被覆層を設けることが通常行われているが、歯切工具についても、例えば図３、図４に示される形状に機械加工された高速度工具鋼で構成された歯切工具本体を基体とし、この基体の表面に耐摩耗性に優れた硬質被覆層を設けた被覆ハイス歯切工具が知られており、そして、硬質被覆層としては、例えば、組成式：［Ｃｒ1-X ＡｌX］Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．７０を示す）、あるいは、組成式：[Ｃｒ１−Ｙ ＡｌＹ][Ｎ１-α−β−γＢαＣβＯγ]（ただし、原子比で、０．４５<Ｙ<０．７５、０≦α<０．１２、０≦β<０．２０、０．０１≦γ≦０．２５を示す）で表されるＣｒ−Ａｌ系複合窒化物［以下、（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎで示す］等が知られている。
【０００４】
そして、硬質被覆層を構成する前記（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層が、構成成分であるＡｌによって高温硬さ、同Ｃｒによって高温強度、さらにＣｒとＡｌの共存含有によってすぐれた高温耐酸化性を具備することから、かかる硬質被覆層を形成してなる被覆ハイス歯切工具はすぐれた歯切性能を発揮することも知られている。
【０００５】
さらに、上記の被覆ハイス歯切工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の基体（ハイス歯切工具本体）を装入し、例えば雰囲気を２Ｐａの真空雰囲気として、ヒータで装置内を４００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＣｒ−Ａｌ系合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記基体には、例えば−２００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記基体の表面に、上記（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
【特許文献１】特許第３０２７５０２号
【特許文献２】特開２００４−１６９０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年の歯切加工装置の高性能化はめざましく、一方で歯切加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、歯切加工は高速化の傾向にあるが、上記従来の被覆歯切工具においては、これを通常の歯切加工条件で用いた場合には問題はないが、これを合金鋼等の高速歯切加工条件で用いた場合には、高い発熱を伴うことから硬質被覆層の摩耗進行が促進され、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた熱伝導性、耐摩耗性を発揮する被覆ハイス歯切工具を開発すべく、上記従来の被覆ハイス歯切工具の硬質被覆層に着目し研究を行った結果、
（ａ）硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ）Ｎ層の成分としてＢを含有させ、ＣｒとＡｌとＢの複合窒化物層を形成した場合、あるいは、硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層の成分であるＢの含有割合を多くすれば硬質被覆層の熱伝導性は向上するが、１〜１０原子％程度のＢ含有割合では、合金鋼の高速歯切加工で要求される高い熱伝導性を確保することができないため、耐摩耗性が十分ではなく、これらの要求に満足に対応させるためには前記１〜１０原子％をはるかに越えた２０〜３５原子％のＢ含有が必要となる。一方、２０〜３５原子％のＢ成分を含有した（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層を硬質被覆層として実用に供するためには、所定量のＣｒを含有させて所定の高温強度を確保する必要があるが、この場合Ａｌ成分の含有割合はきわめて低い状態となるのが避けられず、この結果高温硬さおよび耐熱性のきわめて低いものとなること。
【０００８】
（ｂ）組成式：（Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＢＦ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．０１〜０．１０、Ｆは０．２０〜０．３５を示す）を満足する、Ｂ含有割合が２０〜３５原子％の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層と、
組成式：（Ｃｒ1-（Ｍ＋Ｎ）ＡｌＭＢＮ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｍは０．２５〜０．４０、Ｄは０．１０〜０．２０を示す）を満足する、相対的にＡｌ成分の含有割合を多くした（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、
を、それぞれの層厚を５〜２０ｎｍ（ナノメーター）の薄層とした状態で、交互積層すると、この（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層は、薄層の交互積層構造によって、上記の高Ｂ含有の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層（以下、薄層Ａという）のもつすぐれた熱伝導性と、前記薄層Ａに比して相対的にＢ含有割合が低く、かつ相対的にＡｌ含有割合が高い（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層（以下、薄層Ｂという）のもつ所定の相対的に高い高温硬さおよび耐熱性を具備するようになること。
【０００９】
（ｃ）上記（ｂ）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層は、合金鋼の高速歯切加工で要求される高い熱伝導性を具備するものの、十分満足な高温硬さおよび耐熱性を有するものでないので、これを硬質被覆層の上部層として設け、一方下部層としては、熱伝導性が十分であるとはいえないものの、相対的にＡｌ成分の含有割合が高く、すぐれた高温硬さ、耐熱性を具備する硬質被覆層である（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、すなわち、
組成式：（Ｃｒ1-（Ｘ＋Ｙ）ＡｌＸＢＹ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足する、単一相構造の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、
を設けた構造にすると、この硬質被覆層は、一段とすぐれた熱伝導性に加えて、高温硬さと耐熱性、さらに高温強度を備えたものとなるので、この硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆ハイス歯切工具は、高熱発生を伴う合金鋼の高速歯切加工で要求される高い熱伝導性を具備し、しかも、すぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するようになること。
以上（ａ）〜（ｃ）に示される研究結果を得たのである。
【００１０】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、高速度工具鋼基体の表面に、
（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの層厚をそれぞれ有し、
（ｂ）上記上部層は、いずれも５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の層厚を有する薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、
上記薄層Ａは、
組成式：（Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＢＦ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．０１〜０．１０、Ｆは０．２０〜０．３５を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、
上記薄層Ｂは、
組成式：（Ｃｒ1-（Ｍ＋Ｎ）ＡｌＭＢＮ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｍは０．２５〜０．４０、Ｄは０．１０〜０．２０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、からなり、
（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、
組成式：（Ｃｒ1-（Ｘ＋Ｙ）ＡｌＸＢＹ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．５０〜０．７０、Ｙは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層、
からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる、合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆ハイス歯切工具（表面被覆高速度工具鋼製歯切工具）に特徴を有するものである。
【００１１】
つぎに、この発明の被覆ハイス歯切工具において、これを構成する硬質被覆層の構成を上記の通りに限定した理由を説明する。
（ａ）下部層の組成式および層厚
上記の通り、硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層におけるＡｌ成分には高温硬さおよび耐熱性を向上させ、一方同Ｃｒ成分には高温強度、さらに同Ｂ成分には熱伝導性を向上させる作用があり、下部層ではＡｌ成分の含有割合を相対的に多くして、高い高温硬さおよび耐熱性を具備せしめるが、Ａｌの含有割合を示すＸ値がＣｒとＢとの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．５０未満では、相対的にＣｒの割合が多くなって、合金鋼の高速歯切加工で要求されるすぐれた高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、摩耗進行が急激に促進されるようになり、一方Ａｌの割合を示すＸ値が同０．７０を越えると、相対的にＣｒの割合が少なくなり過ぎて、高温強度が急激に低下し、この結果チッピング（微少欠け）などが発生し易くなることから、Ｘ値を０．５０〜０．７０と定めた。
また、Ｂの割合を示すＹ値がＣｒとＡｌとの合量に占める割合で、０．０１未満では、所定の熱伝導性を確保することができず、一方同Ｙ値が０．１０を超えると、高温硬さおよび耐熱性が急激に低下するようになることから、Ｙ値を０．０１〜０．１０と定めた。
さらに、その層厚が２μｍ未満では、自身のもつすぐれた高温硬さおよび耐熱性を硬質被覆層に長期に亘って付与できず、工具寿命短命化の原因となり、一方その層厚が６μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その層厚を２〜６μｍと定めた。
【００１２】
（ｂ）上部層の薄層Ａの組成式
表面層の薄層Ａの（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）ＮにおけるＢ成分は、上記の通り相対的に含有割合を著しく高くして、熱伝導性を向上させ、もって高熱発生を伴う合金鋼の高速歯切加工に適応させる目的で含有するものであり、したがってＦ値が０．２０未満では所望のすぐれた熱伝導性を確保することができず、一方Ｆ値が０．３５を越えると、層自体が具備すべき高温強度を確保することができなくなり、チッピングが発生し易くなることから、Ｆ値を０．２０〜０．３５と定めた。
また、Ａｌの割合を示すＥ値がＣｒとＢとの合量に占める割合で、０．０１未満では、最低限の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、摩耗促進の原因となり、一方同Ｅ値が０．１０を超えると、高温強度に低下傾向が現れるようになり、チッピング発生の原因となることから、Ｅ値を０．０１〜０．１０と定めた。
【００１３】
（ｃ）上部層の薄層Ｂの組成式
上部層の薄層Ｂにおいては、上記薄層Ａに比してＢ成分の含有割合を相対的に低くし、かつＡｌ成分の含有割合を相対的に高く維持することで、前記薄層Ａに不足する高温硬さおよび耐熱性を具備せしめ、隣接する薄層Ａの高温硬さおよび耐熱性不足を補強し、もって、前記薄層Ａの有するすぐれた熱伝導性と、前記薄層Ｂの有する相対的に高い高温硬さおよび耐熱性を具備した上部層を形成するものであるが、組成式におけるＡｌの含有割合を示すＭ値が０．２５未満になると、所定の高温硬さおよび耐熱性を確保することができず、これが摩耗促進の原因となり、一方同Ｍ値が０．４０を越えると、高温強度が急激に低下するようになり、上部層にチッピングが発生し易くなることから、Ｍ値を０．２５〜０．４０と定めた。
また、Ｂの割合を示すＮ値がＣｒとＡｌとの合量に占める割合で、０．１０未満では、上部層全体の熱伝導性低下が避けられず、一方同Ｎ値が０．２０を超えると、上部層全体の高温強度が急激に低下することから、Ｎ値を０．１０〜０．２０と定めた。
【００１４】
（ｄ）上部層の薄層Ａと薄層Ｂの層厚
それぞれの層厚が５ｎｍ未満ではそれぞれの薄層を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果上部層に所望のすぐれた熱伝導性、さらに所定の高温硬さと耐熱性を確保することができなくなり、またそれぞれの層厚が２０ｎｍを越えるとそれぞれの薄層がもつ欠点、すなわち薄層Ａであれば高温硬さと耐熱性不足、薄層Ｂであれば熱伝導性の低下が層内に局部的に現れ、これが原因でチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、それぞれの層厚を５〜２０ｎｍと定めた。
【００１５】
（ｅ）上部層の層厚
その層厚が０．５μｍ未満では、自身のもつすぐれた熱伝導性および所定の高温硬さと耐熱性を硬質被覆層に長期に亘って付与できず、工具寿命短命化の原因となり、一方その層厚が１．５μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その層厚を０．５〜１．５μｍと定めた。
【発明の効果】
【００１６】
この発明の被覆ハイス歯切工具は、硬質被覆層が（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなるが、硬質被覆層の上部層を薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造とすることによって、所定の高温硬さと耐熱性を保持した状態で、すぐれた熱伝導性を具備せしめ、同単一相構造の下部層がすぐれた高温硬さと耐熱性を有することから、高熱発生による摩耗の進行が促進され易い合金鋼の高速歯切加工でも、硬質被覆層にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を長期に亘って付与することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
つぎに、この発明の被覆ハイス歯切工具を実施例により具体的に説明する。
【実施例１】
【００１８】
材質がＪＩＳ・ＳＫＨ５１および同ＳＫＨ５５の高速度工具鋼からなる直径：８０ｍｍ×長さ：１３０ｍｍの寸法をもった素材から、機械加工にて外径：７５ｍｍ×長さ：１１０ｍｍの全体寸法をもち、かつ３条右捩れ×１８溝の形状をもった図３に概略斜視図で示されるハイス歯切工具本体（ソリッドホブ）を製造した。
【００１９】
（ａ）ついで、上記の２種の材質のハイス歯切工具本体（ソリッドホブ）を基体とし、これらの基体のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、一方側のカソード電極（蒸発源）として、それぞれ表１に示される目標組成に対応した成分組成をもった上部層の薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金、他方側のカソード電極（蒸発源）として、同じくそれぞれ表１に示される目標組成に対応した成分組成をもった上部層の薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、また前記両Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金から９０度ずれた位置に前記回転テーブルに沿ってカソード電極（蒸発源）として下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金を装着し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する歯切工具本体基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ前記下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって歯切工具本体基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する歯切工具本体基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ前記下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記ハイス歯切工具本体基体の表面に、表１に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層を硬質被覆層の下部層として蒸着形成し、
（ｄ）ついで、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して２Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する歯切工具本体基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加した状態で、前記薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金のカソード電極とアノード電極との間に５０〜２００Ａの範囲内の所定の電流を流してアーク放電を発生させて、前記歯切工具本体基体の表面に所定層厚の薄層Ａを形成し、前記薄層Ａ形成後、アーク放電を停止し、代って前記薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金のカソード電極とアノード電極間に同じく５０〜２００Ａの範囲内の所定の電流を流してアーク放電を発生させて、所定層厚の薄層Ｂを形成した後、アーク放電を停止し（この場合薄層Ｂの形成から開始してもよい）、再び前記薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金のカソード電極とアノード電極間のアーク放電による薄層Ａの形成と、前記薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金のカソード電極とアノード電極間のアーク放電による薄層Ｂの形成を交互に繰り返し行い、もって前記ハイス歯切工具本体基体の表面に、層厚方向に沿って表１に示される目標組成および一層目標層厚の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層からなる上部層を同じく表１に示される全体目標層厚で蒸着形成することにより、本発明被覆ハイス歯切工具１〜６をそれぞれ製造した。
【００２０】
また、比較の目的で、上記の２種類の材質のハイス歯切工具本体基体を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として、それぞれ表２に示される目標組成に対応した成分組成をもったＣｒ−Ａｌ−Ｂ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を４００℃に加熱した後、前記歯切工具本体基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって歯切工具本体基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記歯切工具本体基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｂ合金のカソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記ハイス歯切工具本体基体の表面に、表２に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、被覆ハイス歯切工具１〜６（以下、比較被覆ハイス歯切工具１〜６と云う）をそれぞれ製造した。
【００２１】
つぎに、上記の本発明被覆ハイス歯切工具１〜６および比較被覆ハイス歯切工具１〜６を用いて、材質がＪＩＳ・ＳＣＭ４１５の合金鋼にして、
モジュール：２．５、圧力角：２０度、歯数：２８、ねじれ角：２５度右捩れ、歯幅：５０ｍｍの寸法および形状をもった歯車の加工を、
切削速度（回転速度）：  ２３０  ｍ／ｍｉｎ、
送り：  ２．０  ｍｍ／ｒｅｖ、
加工形態：クライム、シフトなし、ドライ（エアーブロー）、
の条件で高速歯切加工（上記ＪＩＳ・ＳＣＭ４１５の合金鋼歯車の加工の場合の切削速度は通常１３０ｍ／ｍｉｎ）を行い、
逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るまでの歯車加工数を測定した。
この測定結果を表１，２それぞれに示した。
【実施例２】
【００２２】
また、ハイス歯切工具本体として、同じく材質がＪＩＳ・ＳＫＨ５１および同ＳＫＨ５５の高速度工具鋼からなる外径：１０５ｍｍ×厚さ：２２ｍｍの寸法をもった素材から、機械加工にてピッチ円直径：１００ｍｍ×厚さ：１８ｍｍの全体寸法をもち、かつカッタ歯数：５０の形状をもった図４に概略斜視図で示されるディスク型ピニオンカッタ（ＪＩＳ・Ｂ・４３５６記載の１００形）を製造した。
【００２３】
ついで、上記のハイス歯切工具本体（ピニオンカッタ）を基体とし、これらの基体の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、表１に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる下部層と、同じく層厚方向に沿って表１に示される目標組成および一層目標層厚の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層からなる上部層を同じく表１に示される全体目標層厚で蒸着形成することにより、本発明被覆ハイス歯切工具７〜１２をそれぞれ製造した。
【００２４】
また、比較の目的で、上記のハイス歯切工具本体（ピニオンカッタ）の基体の表面をアセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件で、同じく表２に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより、被覆歯切工具７〜１２（以下、比較被覆ハイス歯切工具７〜１２と云う）をそれぞれ製造した。
【００２５】
つぎに、上記の本発明被覆ハイス歯切工具７〜１２および比較被覆ハイス歯切工具７〜１２を用いて、材質がＪＩＳ・ＳＣＭ４１５の合金鋼にして、
モジュール：  ２．２５、圧力角：  ２０度、歯数：  ４４、歯幅：  ２０ｍｍの寸法および形状をもった歯車の加工を、
ストローク数：  ９００  ストローク／ｍｉｎ、
円周送り：  ０．５  ｍｍ／ストローク、
半径送り：  ０．０２  ｍｍ／ストローク、
の条件で高速歯切加工（上記ＪＩＳ・ＳＣＭ４１５の合金鋼歯車の加工の場合のストローク数は通常６００ストローク／ｍｉｎ）を行い、逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍに至るまでの歯車加工数を測定した。この測定結果を表１，２にそれぞれ示した。
【００２６】
【表１】
0004706916.tif 000002
【００２７】
【表２】
0004706916.tif 000003
【００２８】
この結果得られた本発明被覆ハイス歯切工具１〜１２の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる硬質被覆層を構成する上部層の薄層Ａおよび薄層Ｂ、さらに同下部層の組成、並びに比較被覆ハイス歯切工具１〜１２の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散型Ｘ線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、上記の硬質被覆層の構成層の平均層厚を透過型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
【００２９】
表１，２に示される結果から、本発明被覆ハイス歯切工具は、いずれも硬質被覆層がそれぞれ組成の異なる、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎからなる単一相構造の下部層と、層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有する上部層で構成され、前記下部層がすぐれた高温硬さおよび耐熱性、さらに前記上部層がすぐれた熱伝導性を有し、硬質被覆層はこれらのすぐれた特性を兼ね備えたものとなるので、合金鋼製歯車の歯切加工を、高い発熱を伴う高速歯切加工条件で行なった場合にも、硬質被覆層がすぐれた熱伝導性、耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が単一相構造の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｂ）Ｎ層からなる比較被覆ハイス歯切工具は、前記高速歯切加工条件では、熱伝導性不足、耐摩耗性不足が原因で、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の表面被覆高速度工具鋼製歯切工具（本発明被覆ハイス歯切工具）は、通常の条件での歯切加工は勿論のこと、特に各種の合金鋼製歯車などの歯切加工を、高い発熱を伴う高速歯切加工条件で行なった場合にも、硬質被覆層がすぐれた熱伝導性、耐摩耗性を発揮し、長期に亘ってすぐれた性能を示すものであるから、歯切加工装置の高性能化、並びに歯切加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】この発明の被覆ハイス歯切工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図３】ソリッドホブの概略斜視図である。
【図４】ディスク型ピニオンカッタの概略斜視図である。
【図１】
0004706916.tif 000004
【図２】
0004706916.tif 000005
【図３】
0004706916.tif 000006
【図４】
0004706916.tif 000007