(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、
前記切削手段は、切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され前記切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され前記切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する噴射ノズルを有する切削水噴射ノズル手段と、を備え、
前記切削水噴射ノズル手段は、
前記切削ブレードの前記切刃外周部を撮像する撮像部と、
該撮像部が撮像した画像を表示する表示部と、
前記切削ブレードの回転軸心方向の所要位置に前記噴射ノズルを位置づける噴射ノズル位置調整部と、を備え、
前記撮像部は、前記噴射ノズルの噴射口に至る流通経路に配設されていることを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記流通経路内の残留切削水を排出するエアー供給部を備えることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが分割予定ラインによって区画され形成されたウエーハは、切削ブレードを含む切削装置によって分割予定ラインが切削され個々のデバイスに分割されパッケージングされて、携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。
【０００３】
切削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードが装着された切削手段と、から概ね構成されており、ウエーハの分割予定ラインを高精度に切削することができる。
【０００４】
また、切削手段には、切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する切削水噴射ノズル手段が配設されており、切削ブレードの切刃外周部に切削水を噴射させて切削ブレードの切削点を冷却するとともに洗浄することで、切削ブレードによる切削効率の向上を図っている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
ここで、切削水噴射ノズル手段による切削水の噴射は、切削水がブレード表裏両面に対して均等に分散するように切削ブレードの切刃外周部の中央部に対して行わせることが重要である。そこで、従来の切削装置は、切削ブレードの切刃外周部に対する切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルの位置を調整するための調整手段を備え、作業者が鏡等を利用して切削ブレードと噴射ノズルとの位置関係を目視で確認しながら噴射ノズルの位置調整を行うようにしている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３１４１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、噴射ノズルの噴射口の口径は、０．５ｍｍ〜２ｍｍ程度と比較的小さく、調整手段による調整作業を行っても、切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射口が正対するように的確に位置づけられない場合がある。すなわち、ブレードカバー等に隠れて見えにくい部分に関する調整作業であって、作業者が鏡等を利用して目視で確認しながら人間の感覚に頼って行う熟練を要するものであり、作業性が悪い上に、作業者による人的バラツキが大きく、誰が調整しても常に同じように切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射口が正対するように精度よく位置づけることは極めて困難である。
【０００８】
切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射ノズルの噴射口を位置づけられないと、切削水がブレード表裏両面に対して均等に分散するように供給されず、切削加工時の発熱の冷却が不十分となってブレード焼けを生じ切削ブレードが異常磨耗するとか、ブレード曲がりにより切削ブレードが破損するとか、切削不良により切削ブレードが曲がって被加工物にカーフずれが生ずるとか、切削水による洗浄が不十分で切削ブレードのコンタミネーションを除去できないとか、切削不良によるチッピングレベルの悪化を生ずるといった問題を生じ、加工品質が安定しなくなってしまう。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、切削ブレードの切刃外周部に対する切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルの位置調整を作業性よく高精度に行うことができる切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、前記切削手段は、切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され前記切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され前記切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する噴射ノズルを有する切削水噴射ノズル手段と、を備え、前記切削水噴射ノズル手段は、前記切削ブレードの前記切刃外周部を撮像する撮像部と、該撮像部が撮像した画像を表示する表示部と、前記切削ブレードの回転軸心方向の所要位置に前記噴射ノズルを位置づける噴射ノズル位置調整部と、を備え、前記撮像部は、前記噴射ノズルの噴射口に至る流通経路に配設されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る切削装置は、上記発明において、前記流通経路内の残留切削水を排出するエアー供給部を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る切削装置によれば、切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルと切削ブレードの切刃外周部との相対的な位置関係を、撮像部により撮像されて表示部に表示された画像によって認識可能としているので、作業者は、表示部に表示された画像を見ながら噴射ノズル位置調整部によって切削ブレードの回転軸心方向の所要位置に噴射ノズルを位置づけるように調整作業を行うことで、切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射ノズルの噴射口を正確に位置づけることができ、よって、切削ブレードの切刃外周部に対する切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルの位置調整を作業性よく高精度に行うことができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態である切削装置について図面を参照して説明する。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１の切削装置の構成例を示す概略斜視図である。本実施の形態１の切削装置１０は、半導体ウエーハ、ＣＳＰ基板等の板状物を切削するための装置であり、例えば半導体ウエーハＷをダイシングする場合は、被加工物１１は、半導体ウエーハＷが保持テープＴを介してフレームＦと一体となった状態でカセット部１２に複数収容される。本実施の形態１の切削装置１０は、搬出入手段１３、搬送手段１４、洗浄手段１５、搬送手段１６とともに、フレームＦと一体となった半導体ウエーハＷからなる被加工物１１を保持するチャックテーブル１７と、アライメント用のカメラ１８と、チャックテーブル１７に保持された被加工物１１を切削する切削手段２０と、を備える。
【００１８】
搬出入手段１３は、カセット部１２に収納された被加工物１１を搬送手段１４が搬送可能な載置領域に搬出するとともに、半導体ウエーハＷが切削処理済みの被加工物１１をカセット部１２に搬入するものである。搬送手段１４は、搬出入手段１３によって載置領域に搬出された被加工物１１をチャックテーブル１７上に搬送するものである。また、洗浄手段１５は、半導体ウエーハＷが切削手段２０による処理済みの被加工物１１を洗浄するものである。搬送手段１６は、半導体ウエーハＷが切削手段２０による処理済みの被加工物１１をチャックテーブル１７上から洗浄手段１５へ搬送するものである。
【００１９】
また、チャックテーブル１７は、図示しない駆動源に連結されて回転可能である。また、チャックテーブル１７は、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による送り機構によってＸ軸方向に移動可能に設けられている。カメラ１８は、チャックテーブル１７に保持された半導体ウエーハＷの表面を撮像するためのものであり、図示しないアライメント部は、カメラ１８によって取得した画像を基に切削すべき領域部分を検出し、切削手段２０による切削動作の位置づけに供する。
【００２０】
切削手段２０は、チャックテーブル１７に保持された被加工物１１中の半導体ウエーハＷを切削ブレード２１によって切削するもので、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない切り込み送り機構によってＺ軸方向に昇降移動可能に設けられ、また、ボールネジ、ナット、パルスモータ等による図示しない割り出し送り機構によってＹ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２１】
ここで、切削手段２０の構成について説明する。図２は、本実施の形態１の切削手段２０の構成例を示す分解斜視図であり、図３は、その組立て状態の斜視図である。本実施の形態１の切削手段２０は、切削ブレード２１と、切削ブレード２１を支持するマウント２２と、水平方向（Ｙ軸方向）に軸心を有して先端がマウント２２に連結されるスピンドル２３と、スピンドル２３を回転可能に支持するハウジング２４と、ハウジング２４に固定され切削ブレード２１を覆うブレードカバー２５と、ブレードカバー２５に配設され切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに切削水を供給する噴射ノズル４１を有する切削水噴射ノズル手段４０とを備える。
【００２２】
切削ブレード２１は、マウント２２に装填させて当接部２２ａに当接させるとともにマウント２２に形成された雄ネジ部２２ｂにナット２６を螺合させることによりマウント２２に支持固定され、ＸＺ平面内で高速回転可能とされる。また、ブレードカバー２５は、ハウジング２４に固定された第一のカバー部２５ａと、第一のカバー部２５ａよりも表面側に位置して第一のカバー部２５ａに取り付けネジ２７によって着脱自在に取り付けられる第二のカバー部２５ｂと、第一、第二のカバー部２５ａ，２５ｂにおける上部側開放部分を閉塞するように第一のカバー部２５ａに取り付けネジ２８によって着脱自在に取り付けられる第三のカバー部２５ｃとからなる。
【００２３】
切削水噴射ノズル手段４０は、切削水供給部４２に対して開閉弁４３を介して連結されて、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに切削水を供給する流通経路４４（図４−１、図４−２参照）を形成する略Ｌ字状の噴射ノズル４１を主として構成され、噴射ノズル４１が埋め込まれた取り付けブロック４５を第一のカバー部２５ａに取り付けることにより噴射ノズル４１の噴射口４１ａが切刃外周部２１ａに対向するようにブレードカバー２５に配設される。ここで、取り付けブロック４５は、矩形状の溝部４５ａが第一のカバー部２５ａの一端面に分離形成された矩形状のガイドレール２５ｄ，２５ｅ間に亘って嵌合することにより回転防止されつつ前後方向（Ｙ軸方向）にスライド可能とされている。
【００２４】
また、本実施の形態１の切削水噴射ノズル手段４０は、噴射ノズル４１に加え、撮像部４６と表示部４７と噴射ノズル位置調整部４８とエアー供給部４９とを備える。図４−１、図４−２は、撮像部４６の取り付け構成例を示す概略的な縦断正面図であり、図４−１は、ダイシング時の様子を示し、図４−２は、調整時の様子を示す。撮像部４６は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに正対してＣＣＤ等の撮像素子を用いて切刃外周部２１ａを撮像するためのものであり、図４−１、図４−２に示すように、噴射ノズル４１の噴射口４１ａに至るＸ軸方向に水平な流通経路４４の延長線上に位置させて噴射ノズル４１と一体に配設されている。ここで、撮像部４６は、撮像素子に結像するための対物レンズ５０が流通経路４４に臨む境界部分に気密状態で配設されている。表示部４７は、撮像部４６が撮像した画像を表示するためのものであり、例えば切削装置１０の上部等の適宜箇所に配設されたモニタが用いられる。
【００２５】
図５は、噴射ノズル位置調整部４８の構成例を示す概略的な水平断面図である。噴射ノズル位置調整部４８は、ボールネジ５１を有する調整棒５２と、撮像部４６を一体に有する取り付けブロック４５に形成されてボールネジ５１に螺合するナット４５ｂを有する係合部４５ｃとからなる。調整棒５２は、ボールネジ５１がガイドレール２５ｄ，２５ｅ間に位置するようにガイドレール２５ｄ，２５ｅの貫通孔２５ｆ，２５ｇを貫通させるとともに操作つまみ５３と抜け止めリング５４とにより抜け止めされて回転自在に設けられたものである。係合部４５ｃは、取り付けブロック４５の溝部４５ａの噴射ノズル４１に対応する中央位置に一体に設けられたもので、ナット４５ｂがボールネジ５１に螺合することにより、調整棒５２の回転操作方向に従いＹ軸方向の前側または後側に変位移動する。これにより、噴射ノズル位置調整部４８は、切削ブレード２１の回転軸心方向（Ｙ軸方向）の所要位置に噴射ノズル４１を位置づけ可能に構成されている。
【００２６】
また、エアー供給部４９は、位置調整時に、流通経路４４内の残留切削水を排出させるためのエアーを噴射ノズル４１に供給するためのものであり、図３に示すように、開閉弁５５を介して噴射ノズル４１に連結されている。
【００２７】
さらに、本実施の形態の切削水噴射ノズル手段４０は、切削ブレード２１の裏面側に切削水を供給する裏面側ブレードノズル５６と、切削ブレード２１の表面側に切削水を供給する表面側ブレードノズル５７とを備える（図１参照）。裏面側ブレードノズル５６は、第一のカバー部２５ａに埋め込まれて噴射口が切削ブレード２１の下部側裏面に対向するように配設され、表面側ブレードノズル５７は、第二のカバー部２５ｂに埋め込まれて噴射口が切削ブレード２１の下部側表面に対向するように配設されている。また、これらのブレードノズル５６，５７は、図３に示すように、開閉弁５８を介して切削水供給部４２に連結されている。
【００２８】
ここで、ダイシング時（加工時）の動作について説明する。切削ブレード２１による半導体ウエーハＷの切削加工時には、開閉弁４３が開放状態となり、切削水供給部４２から噴射ノズル４１内に切削水が供給される。これにより、図４−１に示すように、流通経路４４内を通った切削水を噴射ノズル４１の噴射口４１ａから切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに向けて噴射させることにより、切削ブレード２１の冷却および洗浄が行われる。この際、対物レンズ５０は流通経路４４内に面しているが、清浄な切削水が通るだけであり、対物レンズ５０が汚れることはない。
【００２９】
次に、切削ブレード２１に対する噴射ノズル４１の噴射口４１ａの位置調整時について説明する。位置調整時には、調整作業に先立ち、開閉弁４３が閉じられる一方、開閉弁５５が開放状態となり、エアー供給部４９から噴射ノズル４１内にエアーが供給される。これにより、図４−２に示すように、流通経路４４内の残留切削水は噴出エアーによって噴射口４１ａ外に全て排出される。よって、噴射ノズル４１の噴射口４１ａに至るＸ軸方向に水平な流通経路４４の延長線上に位置させた撮像部４６は、噴射口４１ａを通して切削ブレード２１の切刃外周部２１ａ付近の撮像が可能となる。
【００３０】
この状態で、撮像部４６によって切削ブレード２１の切刃外周部２１ａを撮像し、撮像部４６が撮像した画像を表示部４７に表示させる。この場合の表示画像は、例えば図３中に示すように、切刃外周部２１ａの画像Ａを含む画像となる。ここで、撮像部４６は、噴射口４１ａの中心で切刃外周部２１ａ付近を撮像しているので、切刃外周部２１ａの画像Ａが、一点鎖線で示す噴射口４１ａの中心に相当するノズル中心ＣNに一致していれば、切刃外周部２１ａに対して噴射口４１ａが正確に正対していることとなる。
【００３１】
そこで、図３中に示すように、切刃外周部２１ａの画像Ａが、ノズル中心ＣNからずれている場合には、操作つまみ５３を回動操作して噴射ノズル位置調整部４８の作用により取り付けブロック４５の位置、したがって撮像部４６および噴射口４１ａの位置をＹ軸方向に変位移動させることにより、撮像部４６により撮像される切刃外周部２１ａの画像Ａの位置にノズル中心ＣNの位置を一致させる。
【００３２】
このように、本実施の形態１によれば、切削水噴射ノズル手段４１の噴射ノズル４１と切削ブレード２１の切刃外周部２１ａとの相対的な位置関係を、撮像部４６により撮像されて表示部４７に表示された画像によって認識可能としているので、作業者は、表示部４７に表示された画像を見ながら噴射ノズル位置調整部４８によって切削ブレード２１の回転軸心方向の所要位置に噴射ノズル４１を位置づけるように調整作業を行うことで、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａの中央部に噴射ノズル４１の噴射口４１ａを正確に位置づけることができる。特に、本実施の形態１の場合、撮像部４６が位置調整の対象となる噴射口４１ａを通して切刃外周部２１ａ付近を撮像しているので、極めて高精度な位置調整が可能となる。よって、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに対する切削水噴射ノズル手段４０の噴射ノズル４１の位置調整を、熟練を要せず作業性よく、人的ばらつきがなく誰でも高精度に行うことができる。
【００３３】
図６は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａの中央部に噴射ノズル４１の噴射口４１ａが正確に位置づけられた様子を示す底面図である。本実施の形態１によれば、上述のように、切刃外周部２１ａの中央部に噴射口４１ａが正確に位置づけられるので、図４−１等に示すようなダイシング時には、切削ブレード２１の表裏両面に対して均等に分散するように切削水を噴射させて冷却および洗浄を行わせることができる。よって、切削ブレード２１の異常磨耗、ブレード破損等の問題を回避して、加工品質を安定化させることができる。
【００３４】
また、本実施の形態１によれば、実使用状態での調整を可能としているので、初期設定時だけでなく、例えば、ブレード交換時や、２４時間稼動に伴い切削装置１０に経時的な位置ずれが生じ得るような環境においても、必要時には随時、切刃外周部２１ａと噴射口４１ａとの位置関係を撮像部４６により撮像することで表示部４７を通じて確認することができ、ずれが生じていた場合には、適正位置に調整することができる。
【００３５】
（変形例）
図７は、変形例を示す切削手段２０の構成例を示す斜視図である。実施の形態１では、撮像部４６を噴射ノズル４１の噴射口４１ａに流通経路４４の延長線位置に配設したが、本変形例は、噴射ノズル４１の鉛直線上の位置、ここでは真下位置に隣接して撮像部４６を配設したものである。また、本変形例の場合、エアー供給部４９は不要とされている。
【００３６】
本変形例の場合、撮像部４６が噴射口４１ａを通して切刃外周部２１ａを撮像していないが、噴射口４１ａの真下位置で切刃外周部２１ａを撮像しているため、切削ブレード２１の回転軸心方向に対する噴射ノズル４１の位置調整は、実施の形態１の場合と同様に作業性よく高精度に行うことができる。また、本変形例の場合、対物レンズ５０を流通経路４４に臨ませて配設させる等の構造が不要であり、撮像部４６全体を取り付けブロック４５に簡単に後付け配設することができる。
【００３７】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。図８は、本実施の形態２の切削水噴射ノズル手段７０を含む切削手段６０の構成例を示す分解斜視図である。実施の形態１で示した部分と同一部分は同一符号を用いて示す。
【００３８】
実施の形態１の切削水噴射ノズル手段４０は、相対的に噴射ノズル４１側から切削ブレード２１側を撮像するようにしたが、本実施の形態２の切削水噴射ノズル手段７０は、相対的に切削ブレード２１側の位置から噴射ノズル４１の噴射口４１ａ側を撮像するようにしたものである。本実施の形態２の切削水噴射ノズル手段７０は、噴射ノズル４１、噴射ノズル位置調整部４８に加え、切削ブレード２１に対応した位置でＣＣＤ等の撮像素子を用いて噴射口４１ａを撮像する撮像部７１を有する切削ブレード代替治具７２と、撮像部７１が撮像した画像を表示する表示部７３とを備える。
【００３９】
切削ブレード代替治具７２は、マウント２２部分に対して切削ブレード２１と同様に着脱自在に取り付けられる取り付け構造を有して、調整時にのみ切削ブレード２１に代えてマウント２２に取り付けられるものである。また、撮像部７１は、切削ブレード代替治具７２において切削ブレード２１の切刃外周部２１ａ中心に対応した位置（Ｙ軸方向において裏側に片寄らせた位置）であって、噴射ノズル４１の噴射口４１ａに正対する位置に配設されており、噴射口４１ａに対する対向面には撮像素子に結像するための対物レンズ７４を備える。
【００４０】
次に、本実施の形態２の切削ブレード２１に対する噴射ノズル４１の噴射口４１ａの位置調整について説明する。位置調整時には、切削ブレード２１に代えて、切削ブレード代替治具７２をマウント２２上に取り付ける。この際、撮像部７１が噴射ノズル４１の噴射口４１ａに正対する位置となるように切削ブレード代替治具７２を取り付ける。これにより、撮像部７１は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに対応した位置で噴射口４１ａ付近の撮像が可能となる。
【００４１】
この状態で、撮像部７１によって噴射ノズル４１の噴射口４１ａを撮像し、撮像部７１が撮像した画像を表示部７３に表示させる。この場合の表示画像は、例えば図８中に示すように、噴射口４１ａの画像Ｂを含む画像となる。ここで、撮像部７１は、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに対応した位置で噴射ノズル４１の噴射口４１ａ付近を撮像しているので、噴射口４１ａの画像Ｂが、一転鎖線で示す切削ブレード２１の切刃外周部２１ａの中心に相当するブレード中心ＣBに一致していれば、切刃外周部２１ａに対して噴射口４１ａが正確に正対していることとなる。
【００４２】
そこで、図８中に示すように、噴射口４１ａの画像Ｂが、ブレード中心ＣBからずれている場合には、操作つまみ５３を回動操作して噴射ノズル位置調整部４８の作用により取り付けブロック４５の位置、したがって噴射口４１ａの位置をＹ軸方向に変位移動させることにより、撮像部７１により撮像される噴射口４１ａの画像Ｂの位置をブレード中心ＣBの位置に一致させる。調整後は、切削ブレード代替治具７２に代えて、切削ブレード２１をマウント２２上に取り付けることにより使用可能とする。
【００４３】
このように、本実施の形態２によれば、切削水噴射ノズル手段７０の噴射ノズル４１と切削ブレード２１の切刃外周部２１ａとの相対的な位置関係を、撮像部７１により撮像されて表示部７３に表示された画像によって認識可能としているので、作業者は、表示部７３に表示された画像を見ながら噴射ノズル位置調整部４８によって切削ブレード２１の回転軸心方向の所要位置に噴射ノズル４１を位置づけるように調整作業を行うことで、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａの中央部に噴射ノズル４１の噴射口４１ａを正確に位置づけることができる。よって、切削ブレード２１の切刃外周部２１ａに対する切削水噴射ノズル手段７０の噴射ノズル４１の位置調整を、熟練を要せず作業性よく、人的ばらつきがなく誰でも高精度に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態１の切削装置の構成例を示す概略斜視図である。
【図２】本実施の形態１の切削手段の構成例を示す分解斜視図である。
【図３】図２の組立て状態の斜視図である。
【図４−１】ダイシング時の様子を例にとり、撮像部の取り付け構成例を示す概略的な銃弾正面図である。
【図４−２】調整時の様子を例にとり、撮像部の取り付け構成例を示す概略的な縦断正面図である。
【図５】噴射ノズル位置調整部の構成例を示す概略的な水平断面図である。
【図６】切削ブレードの切刃外周部の中央部に噴射ノズルの噴射口が正確に位置づけられた様子を示す底面図である。
【図７】変形例を示す切削手段の構成例を示す斜視図である。
【図８】本実施の形態２の切削水噴射ノズル手段を含む切削手段の構成例を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  切削装置
１１  被加工物
１７  チャックテーブル
２０  切削手段
２１  切削ブレード
２１ａ  切刃外周部
２２  マウント
２３  スピンドル
２４  ハウジング
２５  ブレードカバー
４０  切削水噴射ノズル手段
４１  噴射ノズル
４１ａ  噴射口
４４  流通経路
４６  撮像部
４７  表示部
４８  噴射ノズル位置調整部
４９  エアー供給部
６０  切削手段
７０  切削水噴射ノズル手段
７１  撮像部
７２  切削ブレード代替治具
７３  表示部
【図１】
0004827576.tif 000002
【図２】
0004827576.tif 000003
【図３】
0004827576.tif 000004
【図４−１】
0004827576.tif 000005
【図４−２】
0004827576.tif 000006
【図５】
0004827576.tif 000007
【図６】
0004827576.tif 000008
【図７】
0004827576.tif 000009
【図８】
0004827576.tif 000010