(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
通気フィルタを通して自身の内外の気体を流通可能としてなるセンサであって、
通気性と撥水性を有するシート状の上記通気フィルタと、
上記センサの内部及び外部にそれぞれ連通する保持孔を含むフィルタ保持部材と、
上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に配置され、両端が開放された筒形状を有する孔内配置部を含み、上記通気フィルタを上記保持孔内に固定する固定部材と、を備え、
上記通気フィルタは、その一部である通気部を通じて通気可能としつつ、上記保持孔を閉塞してなり、
上記固定部材の上記孔内配置部の外周面と、上記フィルタ保持部材の上記保持孔の内壁面との間に、上記通気フィルタのうち、上記通気部以外の部分の少なくとも一部を挟持して、上記通気フィルタを上記保持孔内に固定してなる
センサの製造方法であって、
シート状の上記通気フィルタのうち、上記通気部が上記固定部材の上記孔内配置部の一端を閉塞し、上記通気部の周囲に位置する周囲部が上記孔内配置部の上記外周面に沿った挿入前形態に、上記通気フィルタを変形させたのち、これに続いて、上記通気フィルタ及び上記固定部材を、上記通気部側から上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に挿入し、または、上記通気フィルタを変形させつつ、上記通気フィルタのうち変形させた部分及び上記固定部材を、上記通気部側から上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に挿入し、
上記通気フィルタで上記保持孔を閉塞すると共に、この上記通気フィルタを上記保持孔内に固定する変形挿入工程を有し、
前記変形挿入工程では、
前記フィルタ保持部材の前記保持孔よりも大きな径を有し、自身の径大端から径小端に向けて徐々に径小となるテーパ状のテーパ挿入変形路を構成可能としてなるフィルタ変形具を用い、または、
自身の径大端から径小端に向けて徐々に径小となるテーパ状のテーパ部と、このテーパ部に続いて配置され、上記径小端と同径で、かつ、上記保持孔と同径または大きな径をなす筒状の筒状部と、を有する二部挿入変形路を構成可能としてなるフィルタ変形具を用い、
シート状の前記通気フィルタの前記通気部の周縁に、前記固定部材の前記孔内配置部の一端を当接させた状態で、
上記通気部を先頭にして、上記通気フィルタ及び上記固定部材の上記孔内配置部を、上記テーパ挿入変形路内に上記径大端側から上記径小端側に向けて挿入して、または、上記二部挿入変形路のうち上記テーパ部を通じて上記筒状部内に挿入して、上記通気フィルタを前記挿入前形態に変形させる
センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサの製造方法であって、
前記フィルタ変形具のうち、
前記テーパ挿入変形路、または、前記二部挿入変形路をなす面は、前記フィルタ保持部材の前記保持孔の前記内壁面よりも、前記通気フィルタが滑り易くされてなる
センサの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のセンサの製造方法であって、
前記通気フィルタは、
多孔質繊維構造を有する樹脂シートからなる
センサの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のセンサの製造方法であって、
前記センサは、被測定気体中の特定ガス成分についての存比、濃度、濃度変化の少なくともいずれかを検知するガスセンサであって、前記通気フィルタを通じて外気を上記ガスセンサ内に取り入れて基準ガスとするガスセンサである
センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、通気フィルタを通して自身の内外の気体を流通可能としてなるセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、通気フィルタを通して自身の内外の気体を流通可能としてなるセンサとして、例えば、混合ガス中から特定のガス成分の濃度を検出するガスセンサ等が挙げられ、さらにこのガスセンサとして、酸素センサ、ＨＣセンサやＮＯｘセンサ等種々のものが知られている。例えば、特許文献１に記載のガスセンサでは、外気をセンサ内部に導入する貫通孔を、ガスセンサの一方側に設けられたシール部材の中央部分に、軸方向に貫通する形態に形成している。この貫通孔に用いる通気フィルタは、シート状で、通気性と防水性とを有している。そして、この貫通孔内には、シート状で通気性及び防止性を有し、貫通孔を閉塞する通気フィルタと、この通気フィルタを貫通孔内に固定する筒状挿入部材を有している。このガスセンサでは、通気フィルタの通気部を筒状挿入部材に被せた状態で、この筒状挿入部材と共に、シール部材の貫通孔内に圧入することで、通気フィルタの周囲部の一部が貫通孔の内周面と筒状挿入部材の外周面との間で挟持される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１６１７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このセンサの製法では、筒状挿入部材と共に通気フィルタを貫通孔内に押し込む。このため、挿入の途中では、シール部材の貫通孔のうち、挿入側の開口縁付近で、通気フィルタの周囲部がほぼ９０度に折り曲げられた状態とされつつ、貫通孔内に引き込まれるように移動するので、通気フィルタに生じる抵抗が大きく、通気フィルタのうち、貫通孔内に既に挿入された部分と未だ挿入されていない部分との間など、各部に過度な引っ張り応力がかかる場合がある。これにより、通気フィルタに破れや亀裂が生じたり、あるいは、貫通孔を閉塞する部分における通気性の低下を招く虞がある。
【０００５】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、通気フィルタを通して自身の内外間で気体を流通可能としてなるセンサにおいて、通気フィルタの損傷及び通気性低下を抑制しつつ、簡単かつ安価に、フィルタ保持部材への通気フィルタの組み付けが可能なセンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
その解決手段は、通気フィルタを通して自身の内外の気体を流通可能としてなるセンサであって、通気性と撥水性を有するシート状の上記通気フィルタと、上記センサの内部及び外部にそれぞれ連通する保持孔を含むフィルタ保持部材と、上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に配置され、両端が開放された筒形状を有する孔内配置部を含み、上記通気フィルタを上記保持孔内に固定する固定部材と、を備え、上記通気フィルタは、その一部である通気部を通じて通気可能としつつ、上記保持孔を閉塞してなり、上記固定部材の上記孔内配置部の外周面と、上記フィルタ保持部材の上記保持孔の内壁面との間に、上記通気フィルタのうち、上記通気部以外の部分の少なくとも一部を挟持して、上記通気フィルタを上記保持孔内に固定してなるセンサの製造方法であって、シート状の上記通気フィルタのうち、上記通気部が上記固定部材の上記孔内配置部の一端を閉塞し、上記通気部の周囲に位置する周囲部が上記孔内配置部の上記外周面に沿った挿入前形態に、上記通気フィルタを変形させたのち、これに続いて、上記通気フィルタ及び上記固定部材を、上記通気部側から上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に挿入し、または、上記通気フィルタを変形させつつ、上記通気フィルタのうち変形させた部分及び上記固定部材を、上記通気部側から上記フィルタ保持部材の上記保持孔内に挿入し、上記通気フィルタで上記保持孔を閉塞すると共に、この上記通気フィルタを上記保持孔内に固定する変形挿入工程を有し、前記変形挿入工程では、前記フィルタ保持部材の前記保持孔よりも大きな径を有し、自身の径大端から径小端に向けて徐々に径小となるテーパ状のテーパ挿入変形路を構成可能としてなるフィルタ変形具を用い、または、自身の径大端から径小端に向けて徐々に径小となるテーパ状のテーパ部と、このテーパ部に続いて配置され、上記径小端と同径で、かつ、上記保持孔と同径または大きな径をなす筒状の筒状部と、を有する二部挿入変形路を構成可能としてなるフィルタ変形具を用い、シート状の前記通気フィルタの前記通気部の周縁に、前記固定部材の前記孔内配置部の一端を当接させた状態で、上記通気部を先頭にして、上記通気フィルタ及び上記固定部材の上記孔内配置部を、上記テーパ挿入変形路内に上記径大端側から上記径小端側に向けて挿入して、または、上記二部挿入変形路のうち上記テーパ部を通じて上記筒状部内に挿入して、上記通気フィルタを前記挿入前形態に変形させるセンサの製造方法である。
【０００７】
本発明のセンサの製造方法では、変形挿入工程において、通気フィルタを、そのうちの通気部が固定部材の孔内配置部の一端を閉塞し、周囲部を孔内配置部の外周面に沿った挿入前形態に変形させたのち、これに続いて、一連の動作により、通気フィルタ及び固定部材を、通気部側からフィルタ保持部材の保持孔内に挿入する。
または、通気フィルタを挿入前形態に変形させつつ、この通気フィルタのうち既に変形させた部分及び固定部材を保持孔内に挿入する。そして、この通気フィルタで保持孔を閉塞すると共に、この通気フィルタを保持孔内に固定する。
このため、通気フィルタを固定部材の孔内配置部と共に保持孔内へ挿入する際には、通気部は挿入前形態とされているから、挿入にあたり変形に伴う抵抗が少なく、通気フィルタの各部に過度な引っ張り応力がかからないため、通気フィルタにおける破れや亀裂の発生を防止できる。また、通気フィルタのうち、通気部などにおける通気性の低下も防止できる。
【０００８】
また、通気フィルタを予め別途、有底筒状に成形しておき、この成形された通気フィルタを挿入するのではないから、このような成形のコストも不要である。
なお、通気フィルタとしては、可撓性のあるシート状の形態からなり、撥水性及び通気性を有するものであれば良く、例えば、多孔質繊維構造を有する樹脂シート（例えば、商標名ゴアテックス（ジャパンゴアテックス（株）製）等、ペーパフィルタ、綿、合成繊維等からなる繊維フィルタ等が挙げられる。
【０００９】
【００１０】
加えて、本発明のセンサの製造方法では、変形挿入工程において、テーパ挿入変形路または二部挿入変形路を構成可能とされたフィルタ変形具を用いる。
そして、シート状の通気フィルタのうち、通気部の周縁に、固定部材の孔内配置部の一端を当接させた状態で、通気部を先頭にして、通気フィルタ及び固定部材の孔内配置部を、テーパ挿入変形路内に径大端から径小端に向けて挿入して、通気フィルタを挿入前形態に変形させる。または、通気フィルタ及び固定部材の孔内配置部を、二部挿入変形路のうちテーパ部を通じて筒状部内に挿入して、通気フィルタを挿入前形態に変形させる。
このようにテーパ状のテーパ挿入変形路を通じて、あるいはテーパ部を通じて筒状部内に通気フィルタを挿入することにより、通気フィルタが変形路内に挿入される際、通気フィルタが変形路内を進むにつれて徐々に縮径するように変形が進むので、スムーズに挿入前形態に変形させることができる。また、挿入前形態に変形させる時点で、通気フィルタの各所にかかる応力をも低減することができる。
【００１１】
なお、テーパ挿入変形路あるいは二部挿入変形路のテーパ部としては、フィルタ保持部材の保持孔よりも大きな径を有し、自身の径大端から径小端に向けて徐々に径小となるテーパ形状とした形態であれば良い。さらに、テーパ形状としては、径大端から径小端に向かうにつれ一定割合で縮径する円錐台のテーパ面や、変形路側に凸となるＲ面状のテーパ面を形成するのが特に好ましい。この面に沿って通気フィルタを移動させることで、これをよりスムーズに変形させうるからである。
また、フィルタ変形具としては、テーパ挿入変形路または二部挿入変形路をなす貫通孔を有するもののほか、移動可能な複数の部材を組み合わせることでこれらを構成可能としてなるフィルタ変形具が挙げられる。
【００１２】
さらに、上述のセンサの製造方法であって、前記フィルタ変形具のうち、前記テーパ挿入変形路、または、前記二部挿入変形路をなす面は、前記フィルタ保持部材の前記保持孔の前記内壁面よりも、前記通気フィルタが滑り易くされてなるセンサの製造方法とすると良い。
【００１３】
本発明のセンサの製造方法では、テーパ挿入変形路をなす面は、または、二部挿入変形路をなす面は、フィルタ保持部材の保持孔の内壁面より、通気フィルタが滑りやすくされてなるフィルタ変形具を用いる。
これにより、通気フィルタを挿入前形態に変形させる際において、通気フィルタと、このフィルタ変形具のうち、テーパ挿入変形路をなす面、または二部挿入変形路をなす面との間で起こる摩擦力をより小さくできる。このため、通気フィルタを挿入前形態に変形させるにあたり、通気フィルタの各所に生じる応力をさらに低減させることができる。
なお、テーパ挿入変形路をなす面や二部挿入変形路をなす面が、通気フィルタが滑りやすくされてなるフィルタ変形具としては、例えば、これら挿入変形路をなす面の面粗度を、保持孔の内壁面の面粗度より小さく仕上げてなるフィルタ変形具や、挿入変形路をなす面に摩擦係数を低下させる滑剤を付着させてなるフィルタ変形具が挙げられる。
【００１４】
さらに、上述のいずれか１項に記載のセンサの製造方法であって、前記通気フィルタは、多孔質繊維構造を有する樹脂シートからなるセンサの製造方法とすると良い。
【００１５】
本発明のセンサの製造方法で用いる通気フィルタは、多孔質繊維構造を有する樹脂シートである。このように、本発明の製造方法では、通気フィルタの各所に生じる応力を低減しているので、この通気フィルタが多孔質繊維構造を有しているものであっても、通気フィルタの破れや亀裂の発生、通気部における通気性の低下を適切に回避して、保持孔に固定することができる。
【００１６】
さらに、上述のいずれか１項に記載のセンサの製造方法であって、前記センサは、被測定気体中の特定ガス成分についての存比、濃度、濃度変化の少なくともいずれかを検知するガスセンサであって、前記通気フィルタを通じて外気を上記ガスセンサ内に取り入れて基準ガスとするガスセンサであるセンサの製造方法とすると良い。
【００１７】
本発明のセンサの製造方法におけるセンサは、通気フィルタを通じて外気をガスセンサ内に取り入れて基準ガスとするガスセンサである。
本発明では、通気フィルタをフィルタ保持部材の保持孔内に固定する際に、通気フィルタに生じる破れや亀裂の発生、通気部での通気性の低下を抑制できるので、通気フィルタの通気部を介して外気をガスセンサ内に適切に取り入れることができる。
したがって、これにより製造されたガスセンサは、被測定気体中の特定ガス成分についての存比、濃度、濃度変化の少なくともいずれかについて、正確に検知できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（実施形態）
以下、本発明を具体化した酸素センサ１の製造方法の一実施の形態について、図１〜図７を参照して説明する。本実施形態では、通気フィルタを通して自身の内外で気体を流通可能としてなるセンサのうち、ガスセンサ、さらに具体的には、酸素センサ１の製造方法を例示して詳述する。本実施形態に係る酸素センサ１は、車両の排気ガス中の酸素濃度を計測するセンサである。図１は、本実施形態に係る酸素センサ１の形態及び構造を示す断面図である。図２は、図１の酸素センサ１のうち、外筒４２の基端開口部４２２に嵌挿する前のシールユニット５を拡大して示す拡大断面図である。
なお、以下、本実施形態の酸素センサ１及び各部品の説明では、図１において軸線ＡＸに沿う方向（軸線方向）のうち、図１中上方を基端側とし、図１中下方を先端側とする。
【００１９】
図１に示すように、酸素センサ１は、軸線ＡＸに沿って延び、先端部２１を閉塞した有底円筒状に形成された酸素検出素子２、この酸素検出素子２内に配置された軸状のセラミックヒータ３、この酸素検出素子２を収容するケース４等から構成されている。
この酸素検出素子２は、ＺｒＯ２を主成分とした、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体からなる。この酸素検出素子２の先端部２１で、酸素検出素子２の外周面２ａには、外側電極（図示せず）が形成されている。この外側電極は、ＰｔあるいはＰｔ合金からなる多孔質の被膜であり、外部電極用端子部材１１を経て、リード線１１１と電気的に接続されている。
一方、酸素検出素子２の先端部２１で、酸素検出素子２の内周面２ｂにも、内側電極（図示せず）が形成されている。この内側電極も、ＰｔあるいはＰｔ合金からなる多孔質の被膜であり、内部電極用端子部材１２を経て、リード線１２１と電気的に接続されている。
【００２０】
酸素センサ１のうちケース４は、酸素センサ１を排気管等の取付部に固定すると共に、酸素検出素子２を内部に収容しつつ、その先端部２１を排気管等の内部に突出させて保持する主体金具４１を含む。また、この主体金具４１の基端側に延設され、酸素センサ１の基端側から酸素検出素子２の内部に大気を導入するための外筒４２を含む。
【００２１】
主体金具４１は、金属からなり、筒状に形成されている。この主体金具４１の先端側には、プロテクタ４３が設けられている。プロテクタ４３は、金属製で有底筒状に形成され、排気管内の排気ガスを酸素検出素子２に接触させるためのガス導入口を複数有している。
一方、主体金具４１の基端側には、径方向内側に延出した先端縁を有する加締部４１１が形成されている。また、主体金具４１の内周面には、先端側に向かって縮径するテーパ形状の内周受け部４１２が、径方向内側に突出する形態で周設されている。
【００２２】
酸素検出素子２は、その鍔部２２がセラミックホルダ６を介して主体金具４１内の内周受け部４１２に支持された状態に、配置されている。さらに主体金具４１と酸素検出素子２との間には、セラミックホルダ７、セラミック粉末８及びリング９が配置され、主体金具４１の基端に位置する加締部４１１で、このリング９を介してセラミックホルダ７、セラミック粉末８を押圧している。これにより、酸素検出素子２を主体金具４１内に固定している。
さらに、主体金具４１には、基端側から外筒４２の先端部４２１が嵌合して、溶接されている。一方、この外筒４２のうち基端側に開口する基端開口部４２２には、この基端開口部４２２を閉塞してケース４及び酸素検出素子２の内部に基準ガス空間ＧＳを形成すべく、円柱状のシールユニット５が嵌挿されている。但し、このシールユニット５には、その中央を貫通する通気経路７５を介して基準ガス空間ＧＳに外気（酸素）が導入されるようになっている。また、後述するように、このシールユニット５のうち、グロメット５０には複数の挿通孔５５，５６が形成されており、酸素検出素子２と電気的に導通するリード線１１１，１２１がこの挿通孔５５，５６に挿通され、セラミックヒータ３と電気的に導通するリード線１３が図示しない挿通孔に挿通されている。
【００２３】
次に、酸素センサ１に組付ける前の状態のシールユニット５の詳細構造について、図２〜図５に基づいて説明する。なお、図３は、図１の酸素センサ１のうち、シールユニット５に用いるグロメット５０を示す断面図である。図４は、シールユニット５に用いた固定部材７０を示す断面図である。図５は、シールユニット５に用いる通気フィルタ９０であり、後述する挿入形態前とする前の状態を示す斜視図である。
【００２４】
シールユニット５は、フッ素ゴムからなる円柱状のグロメット５０と、このグロメット５０の中央を軸線方向に貫通する通気孔５１に嵌挿可能な孔内配置部７１を有する固定部材７０と、これらグロメット５０の通気孔５１の内壁面５３ａと固定部材７０の外周面７１ａとの間に挟持されて固定されるシート状の通気フィルタ９０とから構成されている（図２参照）。
【００２５】
グロメット５０の通気孔５１は、図３に示すように、外側面５０ａ側に位置するフィルタ閉塞側部５２、センサ内側面５０ｂ側に位置するフィルタ挿入側部５４、及びフィルタ閉塞側部５２とフィルタ挿入側部５４との中間に位置する円筒状のフィルタ固定部５３からなる。このうち、フィルタ閉塞側部５２はフィルタ固定部５３より径大な円板状に凹設されている。また、外側面５０ａに放射状に凹設された溝がこのフィルタ閉塞側部５２の内周面に届く形態に形成されている。また、フィルタ挿入側部５４は、フィルタ固定部５３からセンサ内側面５０ｂ側に向けて拡径するテーパ形状となっている。
【００２６】
また、グロメット５０には、軸線方向に貫通する複数のリード線挿通孔５５，５６（図１及び図２では２つ図示）が、通気孔５１の径方向外側に位置し、軸線ＡＸを中心とする所定径の仮想円上に、それぞれ等間隔で形成されている。上述したように、このリード線挿通孔５５，５６には、リード線１１１，１２１が挿通される。なお、グロメット５０は、本発明のフィルタ保持部材に対応する。
【００２７】
固定部材７０は、ステンレスからなり、図４に示すように、その両端を開口した形態で、外形、略シルクハット形状に形成されている。この固定部材７０は、酸素センサ１において、先端側に配置される鍔部７３と、基端側に配置される折り返し部７４と、鍔部７３及び折り返し部７４の中間の位置にする孔内配置部７１と、を有する。この固定部材７０の孔内配置部７１は、グロメット５０の通気孔５１のフィルタ固定部５３と嵌合可能な円筒状に形成されている。
【００２８】
具体的には、この孔内配置部７１の先端には、この孔内配置部７１から径方向外側に拡がる鍔部７３が周設されている。一方、孔内配置部７１の基端部分には、筒内に向けてＲ形状に折り返された折り返し部７４が形成されている。シールユニット５では、孔内配置部７１のうち、最も基端側に位置するフィルタ当接部位７２が、次述する通気フィルタ９０の通気周縁部９２と当接する。なお、フィルタ当接部位７２は、本発明の孔内配置部の一端に対応する。
【００２９】
通気フィルタ９０は、可撓性のあるシート状の樹脂フィルタであり、図５に示すように、シールユニット５に組み付ける前の形態（以下、「組付け前形態」という）は円形状とされている。この通気フィルタ９０は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）の未焼成成形体を、ＰＴＦＥの融点より低い加熱温度で一方向に延伸することにより得られる多孔質繊維構造体を有し、水滴等の水を主体とする液体の透過を阻止すると共に、空気等の気体の透過を許容する通気フィルタとして構成されている。さらに具体的には、商標名ゴアテックス（ジャパンゴアテックス（株）製）の通気フィルタを用いる。
なお、このような通気性及び撥水性に加え、撥油性を有した通気フィルタとして、商標名オレオベントフィルタ（ジャパンゴアテックス（株）製）の通気フィルタ等を用いることもできる。この通気フィルタを酸素センサ１に用いる場合には、外気を酸素センサ１内に導入する際、通気フィルタに付着した油分が気化して、酸素センサ１内に侵入する危険性をより低くすることができる。
【００３０】
この通気フィルタ９０のうち、ほぼ中央に位置する円環状の通気周縁部９２は、シールユニット５に組み付けられたとき、固定部材７０のフィルタ当接部位７２と当接する部分となる。また、この通気周縁部９２に囲まれた部分が、孔内配置部７１の基端側に位置する通気部９１となる。この通気部９１は、固定部材７０の孔内配置部７１の基端を閉塞しつつ、外気を固定部材７０の通気経路７５を経て酸素センサ１内に導入可能する部分となる。また、通気周縁部９２の径方向外側に位置する周囲部９３は、グロメット５０のうちフィルタ固定部５３の内壁面５３ａと固定部材７０の孔内配置部７１の外周面７１ａとの間に挟持され、通気フィルタ９０を、固定部材７０と共にグロメット５０内に固定する部位となる。
【００３１】
上述したように、このシールユニット５では、通気フィルタ９０は、その通気部９１がグロメット５０のフィルタ閉塞側部５２に位置し、周囲部９３がグロメット５０の通気孔５１の内壁面５３ａと固定部材７０の孔内配置部７１の外周面７１ａとの間に挟持された状態で、固定部材７０と共にグロメット５０の通気孔５１内に固定される。固定部材７０は、その鍔部７３とグロメット５０のフィルタ挿入側部５４とが係合することにより、軸線方向の位置決めがなされている。
【００３２】
次に、本実施形態に係る酸素センサ１の製造方法について説明する。ただし、この酸素センサ１において、通気フィルタ９０及び固定部材７０のグロメット５０内への組み付け以外は、公知の手法によれば良いので、シールユニット５を外筒４２の基端開口部４２２に嵌挿する前の状態におけるシールユニット５の組み付けを中心に説明し、その他は簡略に説明する。
このシールユニット５は、図６及び図７に示すように、以下に説明する挿入装置１００を用いて、グロメット５０の通気孔５１内に通気フィルタ９０及び固定部材７０の孔内配置部７１を挿入して形成する。そこで、まず挿入装置１００について簡単に説明した後、これらを用いたシールユニット５の組み付けについて説明する。
なお、図６は、シールユニット５の組み付け工程のうち、組付前形態の通気フィルタ９０が挿入前形態に変形される前の状態を示す断面説明図である。図７は、同じく、通気フィルタ９０を挿入前形態に変形しつつ、グロメット５０内に挿入している状態を示す断面説明図である。また、以下、シールユニット５の組み付け工程の説明では、図６及び図７において軸線Ｐに沿う方向（軸線方向）のうち、図６，図７における上方を軸線上方とし、図６，図７における下方を軸線下方とする。
【００３３】
この挿入装置１００は、昇降ヘッド２５０、台座２３０及びフィルタ変形具２００を備える。このうち昇降ヘッド２５０は、軸線方向（図６中上下方向）に移動可能とされ、固定部材７０の孔内配置部７１の内周に挿入可能な径を有する棒状のロッド部２５１を軸線下方に備えている。このロッド部２５１は、孔内配置部７１内に挿入した状態で、固定部材７０を仮保持可能である一方、この孔内配置部７１をグロメット５０の通気孔５１内に挿入した後は、固定部材７０の保持を解除可能な形態とされている。この挿入装置１００は、ロッド部２５１に固定部材７０を保持した昇降ヘッド２５０を下降させて、通気フィルタ９０及び固定部材７０と共にグロメット５０の通気孔５１内に挿入するのに足りる押圧力を発生するように構成されている。
【００３４】
台座２３０は、グロメット保持台２３１及び支持具２３４からなる。グロメット保持台２３１は、金属からなり、図６及び図７に示すように、その中央、軸線上方に位置する収容孔２３２と、この収容孔２３２に連通して軸線下方に位置する支持具収容孔２３３とを有する。このうち収容孔２３２は、グロメット５０を収容可能な円筒状の凹部で、グロメット５０の外周面５０ｃに当接する内周面２３２ａを有している。一方、支持具収容孔２３３は、この収容孔２３２より径小な円筒状の孔であり、円柱状の支持具２３４が嵌挿されている。
【００３５】
支持具収容孔２３３内に嵌挿された支持具２３４は、金属からなり、図６及び図７に示すように、その上端の支持面２３４ａ中央部に円筒状の逃し孔２３５を凹設した略円柱状とされている。逃し孔２３５はグロメット５０の通気孔５１よりやや径大とされ、リング状の支持面２３４ａは、グロメット保持台２３１の収容孔２３２内に位置し、グロメット５０を支持する。
なお、逃し孔２３５は、昇降ヘッド２５０のロッド部２５１をグロメット５０の通気孔５１内に挿入したとき、通気フィルタ９０や固定部材７０が支持具２３４に衝突するのを回避するために設けてある。
【００３６】
また、フィルタ変形具２００は、それぞれ金属からなり、図６及び図７に示すように、それぞれの側部に略半円柱状の凹部が形成された部分変形具２０１，２１１の２つの部材からなる。この部分変形具２０１，２１１は、両者を互いに突き合わせて、両者の側面間に貫通孔（フィルタ変形孔２０２）が形成されるようにして用いる。この部分変形具２０１，２１１は左右対称（図６，図７中左右）に形成された一対の部材である。この部分変形具２０１，２１１は、両者を互いに突き合わせたとき、互いに最も近接し、厚み（軸線方向の寸法）が薄くされた変形部２０１Ｆ，２１１Ｆと、この変形部２０１Ｆ，２１１Ｆよりも軸線Ｐからグロメット５０の半径分以上離れて位置する摺動部２０１Ｓ，２１１Ｓと、を含む。
【００３７】
部分変形具２０１，２１１は、その摺動部２０１Ｓ，２１１Ｓの摺動部下端面２０１Ｓａ，２１１Ｓａがグロメット保持台２３１の軸線上方の摺動面２３１ａに当接した状態に配置される。この部分変形具２０１，２１１は、その摺動部２０１Ｓ，２１１Ｓが台座２３０のグロメット保持台２３１の上を摺動することにより、軸線Ｐを中心として変形部２０１Ｆ，２１１Ｆが互いに近接する方向及び遠ざかる方向（図６，図７の左右方向）の双方向に移動可能とされている。
【００３８】
前述したように、このフィルタ変形具２００では、部分変形具２０１と部分変形具２１１とを互いに突き合わせた状態にすると、対向する変形部２０１Ｆと変形部２１１Ｆとの間には、これらを軸線Ｐ方向に貫通するフィルタ変形孔２０２が形成される。
本実施形態では、このフィルタ変形孔２０２は、このうち軸線上方側に位置し、軸線上方の径大端２０３Ｌから軸線下方の径小端２０３Ｎに向かって徐々に縮径するテーパ状のテーパ部２０３と、このテーパ部２０３に続いて軸線下方に位置する円筒状の円筒部２０４とからなる。このうちテーパ部２０３は、部分変形具２０１，２１１の変形部２０１Ｆ，２１１Ｆにそれぞれ形成されたテーパ面２０３ａ，２０３ｂにより構成されている。また、円筒部２０４は、部分変形具２０１，２１１の変形部２０１Ｆ，２１１Ｆにそれぞれ形成された半円筒状の半円筒面２０４ａ，２０４ｂにより構成されている。このテーパ部２０３の径小端２０３Ｎ及び円筒部２０４の内径は、同径であり、いずれもグロメット５０の通気孔５１におけるフィルタ固定部５３の内径よりも径大とされている。
なお、本実施形態では、フィルタ変形孔２０２が本発明の二部挿入変形路に、テーパ部２０３がテーパ部に、また円筒部２０４が筒状部に対応する。
【００３９】
フィルタ変形孔２０２をなす変形部２０１Ｆ，２１１Ｆのうち、テーパ面２０３ａ，２０３ｂ及び半円筒面２０４ａ，２０４ｂは、グロメット５０の内壁面５３ａより通気フィルタ９０が滑り易い状態とされている。
具体的には、本実施形態では、テーパ面２０３ａ，２０３ｂ及び半円筒面２０４ａ，２０４ｂの面粗度を、内壁面５３ａの面粗度よりも小さくしてある。例えば、内壁面５３ａの面粗度ＲａがＲａ＝０．８２（μｍ）であるのに対し、テーパ面２０３ａ，２０３ｂ及び半円筒面２０４ａ，２０４ｂにおけるこれらの面粗度Ｒａの平均値は、Ｒａ＝０．２２（μｍ）とされている。
なお、二部挿入変形路あるいは後述するテーパ挿入変形路をなす面を、通気フィルタが滑りやすくするには、挿入変形路の面粗度を下げるほか、この面に摩擦係数を低下させる滑剤を付着させる手法が挙げられる。
【００４０】
また、フィルタ変形具２００のうち、変形部２０１Ｆ，２１１Ｆの軸線上方には、これらを突き合わせた状態において、組付け前形態の通気フィルタ９０（図５参照）を載置するためのフィルタ載置凹部２０５が凹設されている。このフィルタ載置凹部２０５をなす変形部２０１Ｆの載置面２０１Ｆａ及び変形部２１１Ｆの載置面２１１Ｆａは、組付け前形態の通気フィルタ９０を載置すると、その通気部９１及びその近傍でフィルタ変形孔２０２のうち径大端２０３Ｌを塞ぐ形態とされている。
一方、この変形部２０１Ｆ，２１１Ｆのうち、軸線下方に位置する下端面２０１Ｆｂ，２１１Ｆｂは、摺動部下端面２０１Ｓａ，２１１Ｓａより軸線上方に位置している。なお、グロメット５０を台座２３０の収納孔２３２内に配置したとき、グロメット５０のセンサ内側面５０ｂと変形部２０１Ｆ，２１１Ｆの下端面２０１Ｆｂ，２１１Ｆｂとの間隔が、固定部材７０の孔内配置部７１の軸線方向長さよりも短くなるようにされている。
【００４１】
次いで、シールユニット５の組み付け工程について説明する。
当初、部分変形具２０１，２１１を、互いに、かつ軸線Ｐから離間した位置に、また、昇降ヘッド２５０を、台座２３０及び部分変形具２０１，２１１より軸線上方に位置させておく。グロメット５０の外側面５０ａを軸線下方に向け、そのセンサ内側面５０ｂがグロメット保持台２３１の摺動面２３１ａよりも軸線上方に位置するようにして、このグロメット５０をグロメット保持台２３１の収容孔２３２内に挿入する。収容孔２３２内に挿入されたグロメット５０を、その外側面５０ａが支持具２３４の支持面２３４ａで支持された状態とする。次いで、部分変形具２０１，２１１をそれぞれ互いに近づく方向に移動させ突き合わせる。さらに、フィルタ変形具２００のフィルタ載置凹部２０５に組付け前形態の通気フィルタ９０を載置する。これにより、この通気フィルタ９０のうち通気部９１でフィルタ変形孔２０２の軸線上方を塞ぐ。一方、昇降ヘッド２５０のロッド部２５１に固定部材７０の孔内配置部７１を被せ、このロッド部２５１で固定部材７０を保持させる。
【００４２】
次に、昇降ヘッド２５０を軸線下方に移動させて、ロッド部２５１で保持された固定部材７０を軸線下方に向けて移動させる。すると、その孔内配置部７１のフィルタ当接部位７２が、フィルタ載置凹部２０５に配置された通気フィルタ９０の通気周縁部９２と当接し、通気部９１が、固定部材７０の孔内配置部７１の一端であるフィルタ当接部位７２を閉塞する。
【００４３】
昇降ヘッド２５０をさらに軸線下方に移動させると、通気フィルタ９０の通気部９１を先頭にして、通気フィルタ９０及び固定部材７０の孔内配置部７１が、フィルタ変形孔２０２内にテーパ部２０３側から挿入される。すると、この通気フィルタ９０の周囲部９３は、テーパ部２０３をなすテーパ面２０３ａ，２０３ｂに沿って移動し、さらに円筒部２０４内に引き込まれる。これにより、引き込まれた周囲部９３は、固定部材７０の孔内配置部７１の外周面７１ａと円筒部２０４の半円筒面２０４ａ，２０４ｂとの間に挟まれて、孔内配置部７１の外周面７１ａを覆った形態に変形される。
このようにして、組付け前形態（シート状）の通気フィルタ９０を部分変形具２０１，２１１のフィルタ変形孔２０２内に挿通すると、通気フィルタ９０は、通気部９１かつ固定部材７０の孔内配置部７１の一端を閉塞し、周囲部９３が孔内配置部７１の外周面７１ａを沿った形態、すなわち挿入前形態９４に変形される（図７参照）。
【００４４】
しかも、上述したように、組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させる際、この通気フィルタ９０がテーパ部２０３内から円筒部２０４内へと進むにつれて徐々に縮径するように変形が進むので、スムーズに挿入前形態９４に変形させることができる。
したがって、挿入前形態９４に変形させる時点で、通気フィルタ９０の各所にかかる応力をも低減することができる。
【００４５】
さらに、図７に示すように、通気フィルタ９０を挿入前形態に変形させつつ、通気フィルタ９０の通気部９１と周囲部９３の一部、及び固定部材７０の孔内配置部７１の一部をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する。本実施形態では、通気フィルタ９０の通気部９１及び固定部材７０の孔内配置部７１が、グロメット５０の通気孔５１内に挿入されはじめたところで、部分変形具２０１，２１１をそれぞれ軸線Ｐから遠ざかる方向（図７中左右方向）に移動させる。なお、この部分変形具２０１，２１１の移動量は、昇降ヘッド２５０、固定部材７０、及び通気フィルタ９０が部分変形具２０１，２１１同士の間を挿通可能となる量で足りる。部分変形具２０１，２１１の移動後、昇降ヘッド２５０を、固定部材７０の鍔部７３がグロメット５０のうちフィルタ挿入側部５４に係合するまで下降させ、固定部材７０の孔内配置部７１と共に挿入前形態９４とした通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する。これにより、この通気部９１はフィルタ閉塞側部５２に配置される。
【００４６】
その後、昇降ヘッド２５０を軸線上方に反転移動させ、固定部材７０を残したまま、ロッド部２５１を通気孔５１内から引き抜く。かくして、シールユニット５の組み付けは完了する（図２参照）。
組み付けが完了したシールユニット５では、通気フィルタ９０の周囲部９３がグロメット５０の内壁面５３ａと固定部材７０の孔内配置部７１の外周面７１ａとの間で挟持され、この通気孔５１内に通気フィルタ９０及び固定部材７０は固定される。
【００４７】
上述したシールユニット５を組み付けによれば、通気孔５１内に挿入する前に、通気フィルタ９０を挿入前形態９４とするので、通気孔５１内への挿入の際に通気フィルタ９０をあまり変形させなくて済むため、挿入に伴う抵抗が少なく、通気フィルタ９０の各部に過度な引っ張り応力がかからない。このため、通気フィルタ９０における破れや亀裂の発生を防止できる。また、通気フィルタ９０のうち、通気部９１などにおける通気性の低下も防止できる。
【００４８】
また、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に組み付けるにあたり、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する直前に、組付け前形態の通気フィルタ９０が挿入前形態９４に変形される。このため、組付け前形態の通気フィルタ９０を予め別途、有底筒状に成形しておき、この成形された通気フィルタを挿入するのではないから、このような成形のコストも不要である。
【００４９】
特に、本実施形態では、部分変形具２０１，２１１のうち、フィルタ変形孔２０２をなすテーパ面２０３ａ，２０３ｂ及び半円筒面２０４ａ，２０４ｂの面粗度を、グロメット５０の内壁面５３ａの面粗度よりも小さくしてある。
これにより、組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させる際において、この通気フィルタ９０の周囲部９３と、テーパ面２０３ａ，２０３ｂ及び半円筒面２０４ａ，２０４ｂとの間で起こる摩擦力をより小さくできる。このため、通気フィルタ９０の各所に生じる応力をさらに低減させることができる。
【００５０】
続いて、酸素センサ１の製造について説明する。
別途、公知の手法により、酸素センサ１のうち、シールユニット５を除いた残余の部分を組み付けておく。さらに、リード線１１１，１２１，１３をグロメット５０のリード線挿通孔５５，５６等にそれぞれ挿通する。そして、このシールユニット５を外筒４２の基端開口部４２２内に嵌挿し、外筒４２と共にこのシールユニット５を径方向内側に加締めて、このシールユニット５を外筒４２に固定して酸素センサ１を完成させる（図１参照）。
【００５１】
かくして、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に固定する際に、通気フィルタ９０の破れや亀裂の発生、通気部９１における通気性の低下を抑制できるので、本実施形態に係る酸素センサ１の実使用において、この通気部９１を介して外気を酸素センサ１の基準ガス空間ＧＳに適切に取り入れることができる。
【００５２】
ここで、酸素センサ１を用いて排気ガス中の酸素濃度を計測する原理ついて、簡単に説明する。
酸素検出素子２のうち、その外周面２ａに測定ガスとしての排気ガスを接触させ、その内周面２ｂに基準ガスとしての大気を接触させる。すると、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体からなる酸素検出素子２は、その内外周面２ａ，２ｂの酸素濃度差に応じて酸素濃淡電池起電力が発生する。
酸素検出素子２のうち、外周面２ａの電位は、外周面２ａに形成された外部電極（図示せず）、外部電極用端子部材１１、リード線１１１を経て、外部に取り出される。また、内周面２ｂの電位は、内周面２ｂに形成された内部電極（図示せず）、内部電極用端子部材１２、リード線１２１を経て、外部に取り出される。
かくして、本実施形態に係る酸素センサ１では、リード線１１１，１２１間の電圧を測定することにより、排気ガスの酸素濃度を検出することができる。なお、本実施形態の酸素センサ１では、酸素検出素子２をセラミックヒータ３で加熱することにより、酸素検出素子２の早期活性化を図っている。
【００５３】
（変形形態１）
次いで、上記実施形態の変形形態に係り、フィルタ変形具２００に代えてフィルタ変形具４００を有する挿入装置３００を用いた例について、図８を参照して説明する。
本変形形態１で用いる挿入装置３００は、上述の実施形態で用いた挿入装置１００とは、フィルタ変形具４００のフィルタ変形孔の部分で変形具２００とその形態が異なるが、それ以外の部分では挿入装置１００と同様のものである。したがって、同様な部分の説明は省略あるいは簡素化し、異なる部分を中心に説明することとする。
【００５４】
フィルタ変形具４００をなす部分変形具４０１，４１１は、その摺動部４０１Ｓ，４１１Ｓの摺動部下端面４０１Ｓａ，４１１Ｓａがグロメット保持台２３１の軸線上方の摺動面２３１ａに当接した状態に配置される。この部分変形具４０１，４１１は、その摺動部４０１Ｓ，４１１Ｓが台座２３０のグロメット保持台２３１の上を摺動することにより、軸線Ｐを中心として変形部４０１Ｆ，４１１Ｆが互いに近接する方向及び遠ざかる方向（図８の左右方向）の双方向に移動可能とされている。
【００５５】
このフィルタ変形具４００では、部分変形具４０１と部分変形具４１１とを互いに突き合わせた状態にすると、対向する変形部４０１Ｆと変形部４１１Ｆとの間には、これらを軸線Ｐ方向に貫通するフィルタ変形孔４０２が形成される。
このフィルタ変形孔４０２は、グロメット５０の通気孔５１よりも大きな径を有し、軸線上方の径大端４０２Ｌから軸線下方の径小端４０２Ｎに向かって徐々に縮径するテーパ状のテーパ挿入変形路を構成してなる。このフィルタ変形孔４０２は、部分変形具４０１，４１１の変形部４０１Ｆ，４１１Ｆにそれぞれ形成されたテーパ面４０１ａ，４０１ｂにより構成されている。このフィルタ変形孔４０２のうち最小径となる径小端４０２Ｎの内径は、グロメット５０の通気孔５１におけるフィルタ固定部５３の内径よりも径大とされている。なお、フィルタ変形孔４０２は、本発明のテーパ挿入変形路に対応する。
【００５６】
また、フィルタ変形具４００のうち、変形部４０１Ｆ，４１１Ｆの軸線上方には、これらを突き合わせた状態において、組付け前形態の通気フィルタ９０（図５参照）を載置するためのフィルタ載置凹部４０５が凹設されている。このフィルタ載置凹部４０５をなす変形部４０１Ｆの載置面４０１Ｆａ及び変形部４１１Ｆの載置面４１１Ｆａは、組付け前形態の通気フィルタ９０を載置すると、その通気部９１及びその近傍でフィルタ変形孔４０２の径大端４０２Ｌを塞ぐ形態とされている。
一方、この変形部４０１Ｆ，４１１Ｆのうち、軸線下方に位置する下端面４０１Ｆｂ，４１１Ｆｂは、摺動面４０１Ｓａ，４１１Ｓａより軸線上方に位置している。
なお、グロメット５０を台座２３０の収納孔２３２内に配置したとき、グロメット５０のセンサ内側面５０ｂと変形部４０１Ｆ，４１１Ｆの下端面４０１Ｆｂ，４１１Ｆｂとの間隔が、固定部材７０の孔内配置部７１の軸線方向長さよりも短くなるようにされている。
【００５７】
このフィルタ変形具４００を用いたシールユニット５の組み付け工程では、ロッド部２５１で保持された固定部材７０を軸線下方に移動させて、固定部材７０のフィルタ当接部位７２を、フィルタ載置凹部４０５に配置された組付け前形態の通気フィルタ９０の通気周縁部９２と当接させる。これにより、この通気フィルタ９０の通気部９１が、固定部材７０の孔内配置部７１の一端であるフィルタ当接部位７２を閉塞する。
さらに、昇降ヘッド２５０を下降させると、通気部９１を先頭にして、通気フィルタ９０及び固定部材７０を、フィルタ変形具４００のフィルタ変形孔４０２内にその径大端４０２Ｌ側から挿入される。すると、この通気フィルタ９０の周囲部９３が、テーパ面４０１ａ，４０１ｂに沿って徐々にフィルタ変形孔４０２内に引き込まれる。
【００５８】
これにより、この通気フィルタ９０がフィルタ変形孔４０２内を径大端４０２Ｌから径小端４０２Ｎへと進むにつれて徐々に縮径するように変形が進み、通気フィルタ９０は、変形部４０１Ｆ，４１１Ｆの径小端４０２Ｎで、周囲部９３から固定部材７０の孔内配置部７１の外周面７１ａを沿う挿入前形態９４（図７参照）にスムーズに変形される。
また、挿入前形態９４に変形させる時点で通気フィルタ９０の各所にかかる応力をも、低いものとすることができる。
【００５９】
特に、本変形形態でも、部分変形具４０１，４１１のうち、フィルタ変形孔４０２をなすテーパ面４０１ａ，４０１ｂの面粗度を、グロメット５０の内壁面５３ａの面粗度よりも小さくしてある。これにより、組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させる際において、この通気フィルタ９０の周囲部９３と、テーパ面４０１ａ，４０１ｂとの間で起こる摩擦力をより小さくできる。このため、通気フィルタ９０の各所に生じる応力をさらに低減させることができる。
【００６０】
（変形形態２）
次いで、上記実施形態の変形形態２に係るシールユニット５の組み付け工程について、図９を参照して説明する。
上記実施形態及び上記変形形態１に係るシールユニット５の組み付け工程では、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する際、組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させつつ、通気フィルタ９０の通気部９１及び周囲部９３の一部を、固定部材７０と共に通気孔５１内に挿入した。
これに対し、本変形形態２に係るシールユニット５の組み付け工程では、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する際に、組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させたのち、これに続いて、一連の動作により、通気フィルタ９０及び固定部材７０を通気孔５１内に挿入する。
本変形形態２に用いる挿入装置５００は、上述の実施形態に用いた挿入装置１００及び変形形態１に用いた挿入装置３００とは、台座の形態と動作、及び台座とフィルタ変形具との配置関係が異なるが、それ以外は挿入装置１００，３００と同様の構成となっている。したがって、本変形形態２において上記実施形態及び上記変形形態１と同様な部分の説明は省略あるいは簡素化し、異なる部分を中心に説明する。
【００６１】
本変形形態２の挿入装置５００で用いるフィルタ変形具４００の形態は、上記変形形態１に用いたものと同様である。但し、フィルタ変形具４００をなす部分変形具４０１，４１１のうち、変形部４０１Ｆ，４１１Ｆの軸線下方の部分を、これらを突き合せた状態において、次述する台座６３０を一時挿入する台座挿入凹部４０６として用いる。
【００６２】
一方、台座６３０は、グロメット保持台６３１及び支持具２３４からなる。グロメット保持台６３１は、金属からなり、図９に示すように、その中央、軸線上方に位置する収容孔６３２と、この収容孔６３２に連通して軸線下方に位置する支持具収容孔６３３とを有する。このうち収容孔６３２は、グロメット５０を収容可能な円筒状の凹部で、グロメット５０の外周面５０ｃに当接する内周面６３２ａを有している。また、支持具収容孔６３３は、この収容孔６３２より径小な円筒状の孔であり、円柱状の支持具２３４が嵌挿されている。この台座６３０は、このうち支持具２３４の支持面２３４ａで支持されたグロメット５０を保持しながら、軸線方向に（図９中上下方向）に移動可能とされている。台座６３０のうちグロメット保持台６３１の外周面６３１ａは、この台座挿入凹部４０６の内周面４０１Ｆｃ，４１１Ｆｃより径小とされている。
【００６３】
変形形態１に係る図８と対比すると容易に理解できるように、この台座６３０とフィルタ変形具４００とは、変形形態１とは違い部分変形具４０１，４１１の摺動部下端面４０１Ｓａ，４１１Ｓａは、グロメット保持台６３１の軸線上方に位置する上端面６３１ａと離間されて、フィルタ変形具４００が台座６３０よりも軸線上方の位置に配置されている。
なお、この台座６３０とフィルタ変形具４００との軸線方向（図９中上下方向）の間隔は、フィルタ変形具４００により組付け前形態の通気フィルタ９０を挿入前形態９４に変形させてから、この挿入前形態９４を維持しつつ、これに続いて固定部材７０と共にグロメット５０の通気孔５１内に挿入可能となるように、台座６３０とフィルタ変形具４００との相対位置を考慮したものである。
【００６４】
次いで、シールユニット５の組み付け工程について説明する。
当初、部分変形具４０１，４１１を、互いに、かつ軸線Ｐから離間した位置に、また、昇降ヘッド２５０を部分変形具４０１，４１１より軸線上方に位置に、台座６３０を部分変形具４０１，４１１より軸線下方に位置させておく。グロメット５０の外側面５０ａを軸線下方に向け、そのセンサ内側面５０ｂがグロメット保持台６３１の摺動面６３１ａよりも軸線上方に位置するようにして、このグロメット５０をグロメット保持台６３１の収容孔６３２内に挿入する。収容孔６３２内に挿入されたグロメット５０を、その外側面５０ａが支持具２３４の支持面２３４ａで支持された状態とする。次いで、部分変形具４０１，４１１をそれぞれ互いに近づく方向に移動させ突き合わせる。さらに、フィルタ変形具４００のフィルタ載置凹部４０５に組付け前形態の通気フィルタ９０を載置する。これにより、この通気フィルタ９０のうち通気部９１及びその近傍でフィルタ変形孔４０２の径大端４０２Ｌを塞ぐ。一方、昇降ヘッド２５０のロッド部２５１に固定部材７０の孔内配置部７１を被せ、このロッド部２５１で固定部材７０を保持させる。
【００６５】
次に、昇降ヘッド２５０を軸線下方に移動させて、ロッド部２５１で保持された固定部材７０を軸線下方に向けて移動させる。すると、その孔内配置部７１のフィルタ当接部位７２が、フィルタ載置凹部２０５に配置された通気フィルタ９０の通気周縁部９２と当接し、通気部９１が、固定部材７０の孔内配置部７１の一端であるフィルタ当接部位７２を閉塞する。
【００６６】
昇降ヘッド２５０をさらに軸線下方に下降させると、通気フィルタ９０の通気部９１を先頭にして、通気フィルタ９０及び固定部材７０の孔内配置部７１が、フィルタ変形具４００のフィルタ変形孔４０２に径大端４０２Ｌから挿入される。すると、この通気フィルタ９０の周囲部９３は、フィルタ変形孔４０２をなすテーパ面４０１ａ，４０１ｂに沿って移動する。この通気フィルタ９０がフィルタ変形孔４０２内を軸線上方の径大端４０２Ｌから軸線下方の径小端４０２Ｎへと進むにつれて徐々に縮径するように変形が進み、孔内配置部７１の外周面７１ａを覆った挿入前形態９４に変形される。
【００６７】
次いで、図９に示すように、通気フィルタ９０が挿入前形態９４に変形されたところで、昇降ヘッド２５０の下降を停止させ、この挿入前形態９４の状態を、変形部４０１Ｆ，４１１Ｆの径小端４０２Ｎ及びその近傍で周囲部９３を保持することにより維持させる。昇降ヘッド２５０の停止後、台座６３０を上昇させ、固定部材７０の孔内配置部７１と共に挿入前形態９４とした通気フィルタ９０を、グロメット５０の通気孔５１内に挿入する。なお、挿入途中で、部分変形具４０１，４１１をそれぞれ軸線Ｐから遠ざかる方向（図９中左右方向）に移動させる。この部分変形具４０１，４１１の移動量は、台座６３０が部分変形具４０１，４１１同士の間を挿通可能となる量で足りる。
部分変形具４０１，４１１の移動後、台座６３０を、固定部材７０の鍔部７３がグロメット５０のうちフィルタ挿入側部５４に係合するまで上昇させ、固定部材７０の孔内配置部７１と共に挿入前形態９４とした通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する。これにより、この通気部９１はフィルタ閉塞側部５２に配置される。
【００６８】
その後、昇降ヘッド２５０を軸線上方に反転移動させ、固定部材７０を残したまま、ロッド部２５１を通気孔５１内から引き抜く。かくして、シールユニット５の組み付けは完了する。
上述したシールユニット５を組み付けによれば、通気孔５１内に挿入する前に、通気フィルタ９０を挿入前形態９４とするので、通気孔５１内への挿入の際に通気フィルタ９０をあまり変形させなくて済むため、挿入に伴う抵抗が少なく、通気フィルタ９０の各部に過度な引っ張り応力がかからない。このため、通気フィルタ９０における破れや亀裂の発生を防止できる。また、通気フィルタ９０のうち、通気部９１などにおける通気性の低下も防止できる。
【００６９】
また、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に組み付けるにあたり、通気フィルタ９０をグロメット５０の通気孔５１内に挿入する直前に、組付け前形態の通気フィルタ９０が挿入前形態９４に変形される。このため、組付け前形態の通気フィルタ９０を予め別途、有底筒状に成形しておき、この成形された通気フィルタを挿入するのではないから、このような成形のコストも不要である。
【００７０】
以上において、本発明を実施形態及び変形形態１，２に即して説明したが、本発明は、実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、実施形態及び変形形態１，２では、酸素センサ１の製造方法について説明したが、本発明に係るセンサの製造方法は、酸素センサ１のみならず、通気フィルタを通して自身の内外で気体を流通可能としてなるセンサに適用することができる。
また、実施形態及び変形形態１，２では、フィルタ変形具２００におけるフィルタ変形孔２０２のテーパ部２０３、及びフィルタ変形具４００におけるフィルタ変形孔４０２を、径大端から径小端に向かうにつれ一定割合で縮径する円錐台のテーパ面とした。
しかしながら、フィルタ変形具に形成される二部挿入変形路のテーパ部やテーパ挿入変形路のテーパ形状としては、変形路側に凸となるＲ面状のテーパ面としても良い。この面に沿って通気フィルタを移動させることで、これをよりスムーズに変形させうるからである。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本実施形態に係る酸素センサ１の形態及び構造を示す断面図である。
【図２】図１の酸素センサ１のうち、外筒４２の基端開口部４２２に嵌挿する前のシールユニット５を拡大して示す拡大断面図である。
【図３】図１の酸素センサ１のうち、シールユニット５に用いるグロメット５０を示す断面図である。
【図４】シールユニット５に用いる固定部材７０を示す断面図である。
【図５】シールユニット５に用いる通気フィルタ９０であり、その組付け前形態を示す斜視図である。
【図６】シールユニット５の組み付け工程のうち、組付前形態の通気フィルタ９０が挿入前形態に変形にされる前の状態を示す断面説明図である。
【図７】図６と同じく、通気フィルタ９０を挿入前形態に変形しつつ、グロメット５０内に挿入している状態を示す断面説明図である。
【図８】変形形態１に係るシールユニット５の組み付け工程の説明図である。
【図９】変形形態２に係るシールユニット５の組み付け工程の説明図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  酸素センサ（センサ）
５１  通気孔（保持孔）
５３ａ  （保持孔の）内壁面
７０  固定部材
７１  孔内配置部
７１ａ  （孔内配置部の）外周面
７２  フィルタ当接部位（孔内配置部の一端）
９０  通気フィルタ
９１  通気部
９２  通気周縁部
９３  （通気フィルタの）周囲部
９４  挿入前形態
２００，４００  フィルタ変形具
２０１，２１１，４０１，４１１  部分変形具
２０２  フィルタ変形孔（二部挿入変形路）
４０２  フィルタ変形孔（テーパ挿入変形路）
４０２Ｌ  径大端
４０２Ｎ  径小端
２０３  テーパ部（径大部）
２０３Ｌ  径大端
２０３Ｎ  径小端
２０３ａ，２０３ｂ  （テーパ部の）テーパ面
４０１ａ，４０１ｂ  （テーパ部の）テーパ面
２０４  円筒部（筒状部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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