(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被粘着物を粘着保持する保持治具に装着され、表面の少なくとも一部に前記被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有するゴム弾性部材の洗浄方法であって、
前記表面に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記表面に噴射することを特徴とするゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項２】
前記洗浄液は、前記表面に対して１５〜７０°の角度で、９０ｍｍ以下の噴射距離から、０．７〜７ＭＰａの噴射圧で噴射されることを特徴とする請求項１に記載のゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項３】
前記洗浄液は、２〜２５ｍｍ／ｓｅｃの通過速度で前記表面を通過するように、噴射されることを特徴とする請求項１又は２に記載のゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項４】
前記洗浄液は、５〜５０°の噴射角で噴射されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項５】
前記ゴム弾性部材は、粘着性シリコーンゴム組成物を硬化して成ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項６】
前記粘着性は、２〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法。
【請求項７】
被粘着物を粘着保持する保持治具に装着され、表面の少なくとも一部に前記被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有するゴム弾性部材の洗浄装置であって、
前記ゴム弾性部材を固定する固定台と、
前記固定台に固定された前記ゴム弾性部材の前記表面に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液を前記表面に噴射する噴射ノズルとを備え、
前記噴射ノズルは、０．７〜７ＭＰａの噴射圧を有し、前記表面に対して１５〜７０°の角度で９０ｍｍ以下の噴射距離となるように、並列に複数配置されていることを特徴とするゴム弾性部材の洗浄装置。
【請求項８】
前記粘着性は、２〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有することを特徴とする請求項７に記載のゴム弾性部材の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゴム弾性部材の洗浄方法及びゴム弾性部材の洗浄装置に関し、さらに詳しくは、小型部品等の被粘着物を粘着保持する保持治具のゴム弾性部材に付着した付着物を所望のように除去することのできるゴム弾性部材の洗浄方法、及び、ゴム弾性部材の洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等の薄板状物、セラミックコンデンサ、コイルフィルター等の小型の電子部品等の製造においては、前記薄板状物等は破損しやすく、前記電子部品等は所定の位置に固定しにくく転倒しやすいので、一般に、これらの薄板状物又は電子部品等を保持治具等に固定して、例えば、研磨工程、パターン形成工程、ダイシング工程等の製造工程又は製造工程間の搬送等が行われている。
【０００３】
薄板状物又は電子部品等を粘着保持可能な保持治具としては、例えば、少なくとも表面部が粘着性を有するゴム弾性材で形成され、その粘着力により小型部品をその弾性材表面において密着保持可能であることを特徴とする小型部品の保持治具（特許文献１参照。）、上面に少なくとも一つの凸状体を有するベース部と、前記凸状体と隔ててその外側を囲う周壁部と、前記凸状体の頂部及び前記周壁部の頂部と下面で密着固定し、かつ上面に粘着部を有する粘着シート部材と、該粘着シート部材と前記ベース部及び前記周壁部によって形成される空隙部に連通する通気孔を備えた部品保持具であって、前記凸状体の頂部と対応させた前記粘着シート部材の上面部位には、前記粘着部よりも弱い粘着力を有する弱粘着部又は非粘着部を形成されており、前記空隙部内の気体を前記通気孔を介して外部から吸引することで、前記粘着シート部材の前記空隙部に対応する部位が前記ベース部の下面側に弾性変形するようにしたことを特徴とする部品保持具（特許文献２参照。）等が挙げられる。
【０００４】
このような保持治具又は部品保持具は、薄板状物又は小型部品等の被粘着物を粘着保持した状態で、その製造工程又は製造工程間の搬送等に使用されると、又は、使用されなくても放置されると、製造工程等で発生する不純物、不要物、その環境下に存在する埃、浮遊物等がゴム弾性材又は粘着シート部材に付着し、被粘着物を所望のように粘着保持することができなくなることがある。
【０００５】
このような場合には、通常、保持治具のゴム弾性材又は部品保持具の粘着シート部材は、洗浄される。保持治具のゴム弾性材又は部品保持具の粘着シート部材を洗浄するには、これまで、例えば、空気をゴム弾性材又は粘着シート部材に噴射して、ゴム弾性材又は粘着シート部材に付着した不純物、不要物、埃、浮遊物等の付着物を風圧で除去する方法、又は、ゴム弾性材又は粘着シート部材を洗浄液に浸漬して、ゴム弾性材又は粘着シート部材に付着した付着物を洗い落とす方法等が採用されてきた。
【０００６】
しかし、これらの従来の洗浄方法では、ゴム弾性材又は粘着シート部材に付着した付着物を所望のように除去することができなかった。
【０００７】
【特許文献１】特公平０７−０９３２４７号公報
【特許文献２】特開２００５−３２７７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この発明は、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材に付着した付着物を所望のように除去することのできるゴム弾性部材の洗浄方法、及び、ゴム弾性部材の洗浄装置を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着され、表面の少なくとも一部に前記被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有するゴム弾性部材の洗浄方法であって、前記表面に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記表面に噴射することを特徴とするゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項２は、前記洗浄液は、前記表面に対して１５〜７０°の角度で、９０ｍｍ以下の噴射距離から、０．７〜７ＭＰａの噴射圧で噴射されることを特徴とする請求項１に記載のゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項３は、前記洗浄液は、２〜２５ｍｍ／ｓｅｃの通過速度で前記表面を通過するように、噴射されることを特徴とする請求項１又は２に記載のゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項４は、前記洗浄液は、５〜５０°の噴射角で噴射されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項５は、前記ゴム弾性部材は、粘着性シリコーンゴム組成物を硬化して成ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項６は、前記粘着性は、２〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のゴム弾性部材の洗浄方法であり、
請求項７は、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着され、表面の少なくとも一部に前記被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有するゴム弾性部材の洗浄装置であって、前記ゴム弾性部材を固定する固定台と、前記固定台に固定された前記ゴム弾性部材の前記表面に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液を前記表面に噴射する噴射ノズルとを備え、前記噴射ノズルは、０．７〜７ＭＰａの噴射圧を有し、前記表面に対して１５〜７０°の角度で９０ｍｍ以下の噴射距離となるように、並列に複数配置されていることを特徴とするゴム弾性部材の洗浄装置であり、
請求項８は、前記粘着性は、２〜５０ｇ／ｍｍ２の粘着力を有することを特徴とする請求項７に記載のゴム弾性部材の洗浄装置である。
【発明の効果】
【００１０】
この発明に係るゴム弾性部材の洗浄方法によれば、付着物が付着したゴム弾性部材に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記ゴム弾性部材に向かって噴射するから、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物を所望のように除去することができる。したがって、本願発明によれば、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材に付着した付着物を所望のように除去することのできるゴム弾性部材の洗浄方法、及び、ゴム弾性部材の洗浄装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
この発明に係るゴム弾性部材の洗浄方法によって洗浄されるゴム弾性部材は、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されるゴム弾性部材である。ゴム弾性部材の詳細については後述する。このゴム弾性部材は、被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有しているから、ゴム弾性部材を備えた保持治具を使用している間に、又は、使用されなくても放置されている間に、使用中に発生する不純物、不要物、その環境下に存在する埃、浮遊物等の付着物が付着し、その結果、被粘着物を所望のように粘着保持することができなくなる。また、ゴム弾性部材又は保持治具の製造において発生する製品屑等が、ゴム弾性部材に付着することがあり、製造した保持治具をそのまま使用することができないことがある。したがって、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄方法によって洗浄されるゴム弾性部材は、その表面に種々の付着物が付着したゴム弾性部材ともいえる。
【００１２】
この発明に係るゴム弾性部材の洗浄方法に使用される洗浄液は、水、又は、水とアルコールとの混合液であり、洗浄後に洗浄液を乾燥させる必要が特にない点で、水とアルコールとの混合液が好ましい。前記アルコールは、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等を使用することができ、メタノール又はプロパノールが安価である点で、有利に用いられる。前記混合溶液にける水とアルコールとの混合比は、水が含まれていれば特に限定されない。洗浄液としてアルコールのみを用いると、洗浄後のゴム弾性部材が白化して、ゴム弾性部材が本来有する粘着力が低下することがある。前記混合液における水とアルコールとの質量比は、２５：７５〜７５：２５であるのが好ましく、４０：６０〜６０：４０であるのがより好ましい。なお、この発明において、洗浄液は、例えば、１０℃以上、その沸点以下の温度に設定されればよく、洗浄液の温度を調整しやすい点で、１５〜６０℃がよく、常温程度が特によい。
【００１３】
この発明に係るゴム弾性部材の洗浄方法（以下、この発明に係る洗浄方法と称することがある。）においては、ゴム弾性部材の表面に向けて、前記洗浄液を噴射する。
【００１４】
この発明に係る洗浄方法において、洗浄液は、ゴム弾性部材に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重（この発明において、衝撃力と称する場合がある。）でゴム弾性部材に向かって噴射される。洗浄液が、ゴム弾性部材に対して０．０１０ＭＰａ未満の衝撃荷重でゴム弾性部材に噴射されると、ゴム弾性部材に付着した付着物を効果的に除去することができないことがあり、一方、０．０６ＭＰａを超える衝撃荷重でゴム弾性部材に噴射されると、ゴム弾性部材に傷又は亀裂等が生じ、ゴム弾性部材を破損させることがある。ゴム弾性部材の破損を防止しつつ、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をより効果的に除去することができる点で、洗浄液は、ゴム弾性部材に対して０．０２８〜０．０５１ＭＰａの衝撃荷重でゴム弾性部材に向かって噴射されるのが好ましく、０．０３４〜０．０４４ＭＰａの衝撃荷重でゴム弾性部材に向かって噴射されるのがより好ましい。
【００１５】
ゴム弾性部材に対する衝撃荷重は、このゴム弾性部材に洗浄液を噴射したときに、ゴム弾性部材が受ける衝撃荷重を、ゴム弾性部材の裏面等に取り付けた衝撃センサ（例えば、商品名「ＰＳ−Ｃ」、「ＰＳ−Ｄ」共に株式会社共和電業製等）を用いて、測定することができる。
【００１６】
この発明に係る洗浄方法においては、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重が前記範囲内にあればよく、洗浄液の衝撃荷重が前記範囲内になるように、洗浄液が噴射される角度、洗浄液の噴射距離、噴射角、噴射ノズルの噴射口径、噴射量等を適宜調整することができる。
【００１７】
例えば、洗浄液は、ゴム弾性部材の表面に対して１５〜７０°の角度に調整して、噴射されるのが好ましい。洗浄液が、ゴム弾性部材の表面に対して、１５°よりも小さい角度で噴射されると、洗浄液によって、ゴム弾性部材が浮き上がり、又は弾性変形して、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をより一層効果的に除去することができないことがあり、一方、７０°の角度よりも大きい角度で噴射されると、洗浄液によって、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物がゴム弾性部材の中に押し込まれてしまい、付着物をより一層効果的に除去することができないことがある。ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をさらに効果的に除去することができる点で、洗浄液は、ゴム弾性部材の表面に対して、３０〜５５°の角度に調整して噴射されるのがより好ましく、４０〜５０°の角度に調整して噴射されるのが特に好ましい。
【００１８】
また、洗浄液は、ゴム弾性部材の表面と洗浄液の噴射開始位置（通常、噴射ノズルのノズル口）との噴射距離が９０ｍｍ以下に調整されて、噴射されるのが好ましい。洗浄液が、９０ｍｍよりも長い噴射距離で噴射されると、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重が小さくなり、付着物をより一層効果的に除去することができないことがあり、また、付着物を除去するために、後述する噴射圧を高める必要があり、ゴム弾性部材の破損、製造設備の複雑化、製造コスト上昇等により、洗浄効率を犠牲にすることがある。なお、洗浄液は、その噴射開始位置がゴム弾性部材に接しない位置まで、ゴム弾性部材に近付けて、噴射されることができる。ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をさらに効果的に除去することができる点で、洗浄液は、３０〜７０ｍｍ程度の噴射距離で噴射されるのがより好ましく、４０〜６０ｍｍ程度の噴射距離で噴射されるのが特に好ましい。
【００１９】
さらに、洗浄液は、０．７〜７ＭＰａの噴射圧に設定して、噴射されるのが好ましい。洗浄液が、０．７ＭＰａよりも小さな噴射圧で噴射されると、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重が小さくなり、付着物をより一層効果的に除去することができないことがあり、一方、７ＭＰａよりも大きい噴射圧で噴射されると、ゴム弾性部材の表面に傷又は亀裂等が生じ、ゴム弾性部材を破損させてしまうことがある。ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をさらに効果的に除去することができる点で、洗浄液は、３〜６ＭＰａ程度の噴射圧で噴射されるのがより好ましく、４〜５ＭＰａ程度の噴射圧で噴射されるのが特に好ましい。
【００２０】
この発明に係る洗浄方法において、洗浄液がゴム弾性部材の表面を通過する通過速度は特に限定されないが、作業性を確保し、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をより効果的に除去するには、洗浄液は、ゴム弾性部材の表面を通過する通過速度を２〜２５ｍｍ／ｓｅｃに調整して、噴射されるのが有利である。ゴム弾性部材は被粘着物を粘着保持可能な粘着力を有しているから、洗浄液がゴム弾性部材の表面を通過する通過速度が２５ｍｍ／ｓｅｃよりも速いと、付着物を効果的に除去するのに、洗浄液を２回以上噴射する必要があることがある。一方、洗浄液がゴム弾性部材の表面を通過する速度は２ｍｍ／ｓｅｃよりも遅くてもよいが、あまりに遅いと、ゴム弾性部材の洗浄効率が低下し、作業性が劣ることになる。作業性を確保し、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をさらに効果的に除去するには、洗浄液は、３〜２０ｍｍ／ｓｅｃの通過速度に調整して、噴射されるのがより有利であり、３〜１５ｍｍ／ｓｅｃの通過速度に調整して、噴射されるのが特に有利である。
【００２１】
この発明に係る洗浄方法において、噴射口から噴射される洗浄液の噴射領域を表す噴射角は特に限定されないが、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重を確保しつつも、ゴム弾性部材の表面を傷付けることなく、付着した付着物をより効果的に除去するには、洗浄液は、５〜５０°の噴射角に調整して、噴射されるのが有利である。洗浄液が、５°の噴射角よりも小さな噴射角で噴射されると、ゴム弾性部材の表面を傷付けてしまうことがあり、５０°の噴射角よりも大きな噴射角で噴射されると、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重が小さくなり、付着物を除去することができないことがある。ゴム弾性部材の表面を傷付けることなく、付着した付着物をより一層効果的に除去するには、洗浄液は、１０〜３５°の噴射角に調整して、噴射されるのがより有利であり、１０〜３０°の噴射角に調整して、噴射されるのが特に有利である。
【００２２】
この発明に係る洗浄方法において、洗浄液がゴム弾性部材の幅方向に噴射される態様は特に限定されないが、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物をより効果的に除去するには、洗浄液は、ゴム弾性部材の幅方向全体にわたって均一に噴射されるのが有利であり、また、ゴム弾性部材の幅方向に所定間隔をおいて（例えば、繰り返して又は並列状態で）噴射されるのが有利である。加えて、ゴム弾性部材の長さ方向に所定間隔をおいて（例えば、直列状態で）噴射されてもよい。この発明においては、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重を前記範囲内に調整すれば、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物を効果的に除去することができるから、ゴム弾性部材の幅方向に所定間隔を設けて洗浄液を噴射すれば、十分に付着物を除去することができるうえ、洗浄液の使用量を少なくすることもできる。ゴム弾性部材の幅方向に所定間隔を設けて洗浄液を噴射する場合には、前記所定間隔は、例えば、前記噴射角等にもよるが、例えば、１５〜５０ｍｍがよく、２０〜４０ｍｍが特によい。
【００２３】
この発明に係る洗浄方法においては、ゴム弾性部材に対する衝撃荷重を前記範囲内に調整して、ゴム弾性部材の表面に向けて、洗浄液が噴射されて、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物を除去する。洗浄液が噴射されたゴム弾性部材の表面は、目視又は顕微鏡等によりゴム弾性部材の表面を観察して、付着物が除去された程度を評価することができる。このゴム弾性部材を備えた保持治具は、前記被粘着物を所望のように確実に粘着保持しつつ、被粘着物の製造工程等に使用されるのであるから、被粘着物を粘着保持するゴム弾性部材の表面は、顕微鏡等により観察されたときに、付着物がわずかに付着している程度に保たれているのが望ましい。この発明に係る洗浄方法によれば、ゴム弾性部材の表面に付着した付着物を、顕微鏡により観察されたときに、付着物がわずかに付着している程度にまで、所望のように除去することができる。また、この発明に係る洗浄方法においては、ゴム弾性部材に傷又は亀裂等が生じ、ゴム弾性部材を破損させることなく、また、所望のように付着物を除去することができるから、ゴム弾性部材の粘着力を製造直後の本来の粘着力まで回復させることができる。
【００２４】
次に、この発明に係る洗浄方法を実施することのできる洗浄装置の一例（以下、単に洗浄装置と称することがある。）を、図面を参照して、説明する。
【００２５】
この洗浄装置１は、図１及び図２に示されるように、ゴム弾性部材３１を備えた保持治具３０を固定することにより、保持治具３０のゴム弾性部材３１を固定する固定台１０と、固定台１０により固定されたゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記ゴム弾性部材３１に噴射する噴射ノズル２０とを備えている。より具体的には、洗浄装置１は、図１及び図２に示されるように、ゴム弾性部材３１を備えた保持治具３０を固定することにより、保持治具３０のゴム弾性部材３１を固定する固定台１０と、固定台１０により固定されたゴム弾性部材３１の表面に対して、所定の角度θ（すなわち、１５〜７０°）で、所定の噴射距離ｄとなるように、ゴム弾性部材３１の上方に配置され、所定の噴射圧（すなわち、０．７〜７ＭＰａ）に設定された洗浄液を噴射する噴射ノズル２０とを備えている。また、この洗浄装置１は、図１及び図２に示されるように、固定台１０をその表面に備えた搬送手段１１と、搬送手段１１を囲繞するように設置され、ゴム弾性部材３１の上方に噴射ノズル２０を配置する噴射ノズル配置ゲート２１とを備えている。
【００２６】
前記固定台１０は、図１及び図２に示されるように、その表面に保持治具３０を固定することにより、保持治具３０のゴム弾性部材３１を固定することができればよく、例えば、固定台１０は、接着又は磁気等により保持治具３０を固定するように構成されてもよく、また、通常の固定手段、例えば、保持治具３０の基体３２と係合可能な係合部（図示しない。）を有し、基体３２と係合部とを係合させて、保持治具３０を固定するように構成されてもよい。洗浄装置１においては、固定台１０は、磁気を帯び、保持治具３０の基体３２を磁力で固定するように、構成されている。
【００２７】
搬送手段１１は、図１及び図２に示されるように、固定台１０をその表面に備え、所定の搬送速度、つまり、前記洗浄液の通過速度に一致する速度で、固定台１０を、図１及び図２における矢印Ａ方向に、搬送するように、構成されている。搬送手段１１は、例えば、図示しない駆動手段、例えば、モータ等と、駆動手段で発生した駆動力を伝達する図示しない駆動力伝達手段、例えば、歯車、チェーン等とを有している。この搬送手段１１は、固定台１０を所定の搬送速度で搬送することができればよく、例えば、ベルトコンベヤ、メッシュタイプのコンベア等が挙げられる。
【００２８】
前記噴射ノズル配置ゲート２１は、図１及び図２に示されるように、搬送手段１１を囲繞し、搬送手段１１が噴射ノズル配置ゲート２１の内部を通過するように、設置されている。この噴射ノズル配置ゲート２１は、搬送手段１１の両側から垂直に延在する二本の支柱２２と、搬送手段１１の上部で、搬送手段１１の進行方向に垂直に延在して、二本の支柱２２を結合する梁２３とを有している。噴射ノズル配置ゲート２１の支柱２２は、梁２３に配置された後述する噴射ノズル２０の噴射口から、固定台１０に固定されたゴム弾性部材３１までの直線距離が、前記噴射距離ｄ、すなわち、９０ｍｍ以下となるように、その高さが調整されている。また、この噴射ノズル配置ゲート２１の梁２３は、図１及び図２に示されるように、噴射ノズル２０が取り付けられている。
【００２９】
前記噴射ノズル２０は、図１及び図２に示されるように、前記所定の角度θで、洗浄液をゴム弾性部材３１に噴射することができるように、前記噴射ノズル配置ゲート２１の梁２３に、所定間隔で、３本並列に配置されている。各噴射ノズル２０は、図示しない洗浄液貯蔵槽に貯蔵された洗浄液を移送する移送手段２４、例えば、配管が接続され、この移送手段２４には、洗浄液を所定の圧力、つまり、前記噴射圧に加圧する加圧手段、例えば、コンプレッサ（図示しない）等が介装されている。
【００３０】
この噴射ノズル２０は、ゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液をゴム弾性部材３１に噴射することができればよく、例えば、円形、楕円形又はスリット状の噴射口（図示しない。）を有する、噴射ノズル又は高圧噴射ノズル等が挙げられる。噴射ノズル２０は、噴射される洗浄液の噴射圧、噴射量等に応じて、その口径等が設定され、さらに、噴射角（図２において、ａで示される。）が５〜５０°となる噴射口を有しているのがよい。このような噴射ノズル２０は、公知の噴射ノズルを使用することができ、例えば、フラットスプレーパターンを有するスプレーノズル（商品名「ＭＥＧ型Ｗａｓｈｊｅｔ高圧スプレーノズルシリーズ」、「ＷＥＧ型Ｗａｓｈｊｅｔ高圧スプレーノズルシリーズ」、「ＭＥＧ−ＳＳＴＣ型Ｗａｓｈｊｅｔ高圧スプレーノズルシリーズ」及び「ＩＭＥＧ型Ｗａｓｈｊｅｔ高圧スプレーノズルシリーズ」、いずれもスプレーイングシステムスジャパン株式会社製）等が挙げられる。
【００３１】
このように構成された洗浄装置１は、洗浄液を、ゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、また、前記衝撃荷重を実現するように、所定の角度θで、所定の噴射距離ｄから、所定の噴射圧で、ゴム弾性部材３１に向かって、噴射することができる。
【００３２】
次に、この洗浄装置１を使用した、この発明に係る洗浄方法を説明する。ゴム弾性部材３１を洗浄するには、先ず、洗浄液を調製し、図示しない洗浄液貯蔵槽に貯蔵する。次いで、移送手段２４に介装された加圧手段を稼動させ、噴射ノズルに供給される洗浄液を前記噴射圧に加圧しつつ、移送手段２４を介して、洗浄液を噴射ノズル２０に供給する。一方、搬送手段１１の表面に備え付けられた固定台１０に、表面に付着物が付着したゴム弾性部材３１を備えた保持治具３０を、固定する。
【００３３】
次いで、搬送手段１１の駆動手段を稼動させ、所定の搬送速度で、搬送手段１１を稼動させる。そうすると、搬送手段１１の表面に固定された固定台１０を介して、保持治具３０のゴム弾性部材３１も所定の搬送速度で、図１及び図２に示される矢印Ａの方向に、搬送される。
【００３４】
搬送手段１１における駆動手段の稼動と同時に、又は、前後して、噴射ノズル２０から洗浄液を噴射する。この噴射ノズル２０は、前記したように、ゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液を噴射することができる。また、この噴射ノズル２０は、前記衝撃荷重を実現するように、所定の角度θ及び所定の噴射距離ｄとなるように、噴射ノズル配置ゲート２１の梁２３に配置され、かつ、所定の噴射圧となるように、加圧手段で洗浄液が加圧されているから、搬送手段１１の稼動によって所定の搬送速度で搬送される保持治具３０のゴム弾性部材３１の表面に対して、所定の角度θで、所定の噴射距離ｄから、所定の噴射圧に設定された洗浄液を噴射することができる。したがって、ゴム弾性部材３１に付着した付着物を所望のように除去することができ、また、ゴム弾性部材に傷又は亀裂等が生じ、ゴム弾性部材を破損させることなく、ゴム弾性部材３１の粘着力を製造直後の本来の粘着力まで回復させることができる。
【００３５】
この発明に係る洗浄方法及び洗浄装置において、洗浄されるゴム弾性部材は、前記したように、被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されるゴム弾性部材である。
【００３６】
ゴム弾性部材は、被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有するゴム弾性部材であればよく、例えば、被粘着物を粘着保持可能な粘着性を有する強粘着部からなるゴム弾性部材であってもよく、この強粘着部よりも粘着力が弱く、それ自体では被粘着物を粘着保持することができない程度の粘着力を有する弱粘着部からなるゴム弾性部材であってもよく、また、強粘着部に加えて、弱粘着部、及び／又は、被粘着物を粘着保持しない非粘着部をさらに有するゴム弾性部材であってもよい。強粘着部及び弱粘着部又は非粘着部を有するゴム弾性部材としては、例えば、表面に、強粘着部及び弱粘着部又は非粘着部のいずれか一方を海とし、他方を島とする海島構造を有して成るゴム弾性部材、表面に、強粘着部及び弱粘着部又は非粘着部が交互に配置されたゴム弾性部材等が挙げられる。すなわち、この発明において、ゴム弾性部材は、その表面の少なくとも一部に強粘着部を有しているゴム弾性部材であればよい。
【００３７】
ここで、強粘着部の粘着力は、被粘着物を粘着保持するには、例えば、２〜５０ｇ／ｍｍ２であるのがよく、弱粘着部の粘着力は、０．１ｇ／ｍｍ２以上２ｇ／ｍｍ２未満であるのがよく、非粘着部の粘着力は、０．１ｇ／ｍｍ２未満である。ここで、強粘着部、弱粘着部及び非粘着部の粘着力は、次のようにして求める。先ず、ゴム弾性部材を水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱をなしたステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。次いで、この荷重測定装置における吸着固定装置又は真空吸引チャックプレート上にゴム弾性部材を固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度でゴム弾性部材の被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を、２５ｇ／ｍｍ２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を弾性部材の粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡｌ  ＭＯＤＥＬ  ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ  ＳＴＡＮＤ  シリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。
【００３８】
ゴム弾性部材における強粘着部は、粘着性組成物によって、形成される。粘着性組成物としては、例えば、シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマー等が挙げられ、強度、耐候性に優れたシリコーンゴム、フッ素系ゴムがよい。これらの内でも、５〜６０程度のゴム硬度（ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３［デュロメータＡ］）を有するのが特によい。ゴム硬度が、５未満であると粘着力が強くなりすぎることがあり、一方、６０を越えると粘着力が弱くなりすぎることがある。
【００３９】
前記シリコーンゴムは、必須成分として、シリコーン生ゴム（ａ）と、粘着成分（ｃ）と、シリカ系充填材（ｅ）とを含有する粘着性シリコーンゴム組成物によって、形成される。この粘着性シリコーンゴム組成物は、付加反応硬化型及び過酸化物硬化型のいずれでもよい。粘着性シリコーンゴム組成物が付加反応硬化型である場合には、粘着性シリコーンゴム組成物は、シリコーン生ゴム（ａ）と、架橋成分（ｂ）と、粘着成分（ｃ）と、シリコーン生ゴム（ａ）と前記架橋成分（ｂ）との架橋反応を促進する触媒（ｄ）と、シリカ系充填材（ｅ）とを含有する。一方、粘着性シリコーンゴム組成物が過酸化物硬化型である場合には、粘着性組成物は、シリコーン生ゴム（ａ）と、粘着成分（ｃ）と、シリカ系充填材（ｅ）と、有機過酸化物（ｆ）とを含有する。
【００４０】
まず、付加反応硬化型の粘着性シリコーンゴム組成物について説明する。付加反応硬化型の粘着性組成物に含有される前記シリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ２ＳｉＯ２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、付加反応により架橋可能なアルケニル基を有するポリオルガノシロキサン等を用いることができ、特に、下記（１）式で示されるアルケニル基含有ポリオルガノシロキサンを好適に用いることができる。
【００４１】
Ｒ１（３−ａ）ＸａＳｉＯ−（Ｒ１ＸＳｉＯ）ｍ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｎ−ＳｉＲ１（３−ｂ）Ｘｂ                                                        （１）式
【００４２】
ただし、（１）式中、Ｒ１は脂肪族不飽和結合を有することのない１価の炭化水素基であり、それぞれ同一であっても、異なっていてもよく、Ｘは、アルケニル含有有機基であり、それぞれ同一であっても、異なっていてもよい。また、ａは０〜３の整数、ｂは０〜３の整数、ｍは０以上の整数、ｎは１００以上の整数であり、ａ、ｂ及びｍは同時に０とはならない。
【００４３】
前記式（１）において、Ｒ１としては、炭素数１〜１０の炭化水素基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等を例示でき、特にメチル基、フェニル基が好ましい。また、Ｘで示されるアルケニル基含有有機基としては、炭素数２〜１０のアルケニル基含有有機基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基、オクテニル基等の炭素二重結合含有炭化水素基、アクリロイルプロピル基、アクリロイルメチル基、メタクリロイルプロピル基、メタクリロイルメチル基等の(メタ)アクリロイルアルキル基、シクロヘキセニルメチル基、シクロヘキセニルエチル基、シクロヘキセニルプロピル基等のシクロアルケニルアルキル基、ビニルオキシプロピル基等を挙げることができる。
【００４４】
シリコーン生ゴム（ａ）は、オイル状、粘土状の性状を有していてもよく、その粘度は２５℃において５０ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましく、特に１００ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましい。
【００４５】
シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。
【００４６】
付加反応硬化型の粘着性組成物に含有される架橋成分（ｂ）は、シリコーン生ゴム（ａ）と架橋反応可能な成分であり、例えば、１分子中にＳｉ原子に結合したＨ原子を少なくとも２個以上、好ましくは３個以上有するＳｉＨ結合含有ポリオルガノシロキサン（以下、オルガノハイドロジェンポリシロキサンと称することもある。）を用いることができる。
【００４７】
このポリオルガノシロキサンとしては、直鎖状、分枝状、環状のポリオルガノシロキサンの中から適宜に選択して使用することができ、例えば、下記（２）式又は（３）式で示されるポリオルガノシロキサンを好適例として挙げることができる。
【００４８】
ＨｃＲ１（３−ｃ）ＳｉＯ−（ＨＲ１ＳｉＯ）ｘ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｙ−ＳｉＲ１（３−ｄ）Ｈｄ                                                        （２）式
【００４９】
【化１】
0004656582.tif 000002
【００５０】
前記（２）式及び（３）式において、Ｒ１は前記と同様の１価の炭化水素基であり、同一であっても、異なっていてもよい。また、ｃ、ｄは０〜３の整数、ｘ、ｙ、ｓは０以上の整数、ｒは１以上の整数であり、ｃ、ｄ、ｘは同時に０とはならず、さらに、ｘ＋ｙ≧０である。また、ｒ＋ｓ≧３、好ましくは８≧ｒ＋ｓ≧３である。
【００５１】
これらのオルガノハイドロジェンポリシロキサンの中でも、オイル状の性状を有し、粘度が２５℃において１〜５０００ｍＰａ・ｓであるオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。
【００５２】
架橋成分（ｂ）は、その一種を単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。
【００５３】
架橋成分（ｂ）の配合割合は、適宜に選択可能であるが、シリコーン生ゴム（ａ）がアルケニル基を含有すると共に、架橋成分（ｂ）がＳｉＨ結合を含有する場合、シリコーン生ゴム（ａ）のアルケニル基に対する架橋成分（ｂ）中のＳｉＨ結合のモル比が０．５〜２０であるのが好ましく、特に１〜１５の範囲であるのが好ましい。このモル比が０．５未満では、後述する硬化後の架橋密度が低くなり、粘着層の形状を保持しにくくなることがある。一方、前記モル比が２０を超えると、得られる粘着層の粘着力が低下することがある。
【００５４】
付加反応硬化型の粘着性組成物に含有される粘着成分（ｃ）は、粘着力を向上するために配合される成分であり、例えば、ポリオルガノシロキサンを用いることができ、特に、Ｒ２３ＳｉＯ１／２単位及びＳｉＯ２単位（ただし、Ｒ２は脂肪族不飽和結合を有しない１価の炭化水素基である。）を含有するものを好適に用いることができる。ここで、Ｒ２としては、炭素数１〜１０のものが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等を例示でき、特にメチル基、フェニル基が好ましい。
【００５５】
粘着成分（ｃ）は、一般的に粘着性をより高度に確保するために、シリコーン生ゴム（ａ）及び架橋成分（ｂ）とともに架橋反応を生じない、又は、生じ難い構造を有するものが好ましい。
【００５６】
粘着成分（ｃ）としてポリオルガノシロキサンを用いる場合は、Ｒ２３ＳｉＯ１／２単位／ＳｉＯ２単位のモル比が０．６〜１．７となるものが好ましい。このモル比が０．６未満では、粘着層の粘着性が高くなり過ぎ、又はシリコーン生ゴム（ａ）と相溶し難くなって、分離して粘着性を発現しなくなることがある。一方、前記モル比が１．７を超えると粘着層の粘着力が低下することがある。
【００５７】
なお、このポリオルガノシロキサンは、Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有していてもよく、その場合、ＯＨ基含有量が０〜４．０モル％とするのが好ましい。
【００５８】
Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有するポリオルガノシロキサンを用いる場合、シリコーン生ゴム（ａ）として、下記（４）式に示されるポリオルガノシロキサンを含有するときには、シリコーン生ゴム（ａ）と架橋成分（ｂ）とが一部縮合反応物を形成していてもよい。
【００５９】
（ＯＨ）Ｒ１ＹＳｉＯ−（Ｒ１ＸＳｉＯ）ｐ−（Ｒ１２ＳｉＯ）ｑ−ＳｉＲ１２（ＯＨ）                                                                  （４）式
【００６０】
ただし、（４）式中、Ｒ１は脂肪族不飽和結合を有さない１価の炭化水素基であり、それぞれ同一であっても、異なっていてもよく、ＹはＲ１又はアルケニル基含有有機基である。Ｘはアルケニル含有有機基である。また、ｐは１以上の整数、ｑは１００以上の整数である。１価の炭化水素基及びアルケニル基含有有機基は前記したのと同様である。
【００６１】
このようなシリコーン生ゴム（ａ）と粘着成分（ｃ）との縮合反応物を形成するには、トルエン等の溶剤に溶解したシリコーン生ゴム（ａ）及び粘着成分（ｃ）の混合物を、アルカリ性触媒の存在下で、室温乃至還流下で反応させればよい。
【００６２】
粘着成分（ｃ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いることもできる。
【００６３】
粘着成分（ｃ）は、シリコーン生ゴム（ａ）／粘着成分（ｃ）の質量比として２０／８０〜８０／２０の範囲で用いるのが好ましく、特に、３０／７０〜７０／３０とするのが好適である。この範囲を超えて粘着成分（ｃ）が少ないと粘着性が不足しやすくなり、一方、多いと粘着層が硬くなるとともに弾性力が強く、粘着層が変形し難くなり、何れにおいても、被粘着物を粘着保持しにくくなることがある。
【００６４】
付加反応硬化型の粘着性組成物に含有される触媒（ｄ）は、主として、シリコーン生ゴム（ａ）と架橋成分（ｂ）との架橋反応を促進する触媒であり、通常、ハイドロサイレーションの触媒として使用されるものであればよく、例えば、白金化合物等が挙げられる。白金化合物としては、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とアルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン化合物との反応物、塩化白金酸とビニル基含有シロキサンとの反応物等が挙げられる。
【００６５】
触媒（ｄ）の配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と架橋成分（ｂ）との合計質量に対し、白金成分として１〜５，０００ｐｐｍとするのが好ましく、特に５〜２，０００ｐｐｍとすることが好適である。配合割合が１ｐｐｍ未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着層の粘着力が低下することがあり、一方、５，０００ｐｐｍを超えると処理浴の使用可能時間が短くなる場合がある。
【００６６】
付加反応硬化型の粘着性組成物に含有されるシリカ系充填材（ｅ）は、前記各成分とともに添加され、粘着層の機械的強度を補強するとともに、粘着層を構成する成分、特に、粘着性を付与する粘着成分（ｃ）を粘着層に分散させて、小型電子部品等の確実な粘着保持に寄与する成分である。
【００６７】
特に、シリカ系充填材（ｅ）としては、その比表面積が１００ｍ２／ｇ以上４００ｍ２／ｇ以下であるのが好適である。比表面積が１００ｍ２／ｇ以上であれば、弾性部材の引っ張り強度等の機械的強度を向上させることができると共に粘着性を付与する成分が脱離し難くなり、微細な削りカスやのり残りが生じ難くなる。なお、比表面積が４００ｍ２／ｇを超えるものは、製造に手間を要し、高価であるため実用的でない。ここで、比表面積はＢＥＴ吸着法により測定される比表面積である。
【００６８】
シリカ系充填材（ｅ）としては、シリカ、石英紛、珪藻土等が挙げられるが、好ましくは、シリカである。シリカとしては、例えば、ヒュームドシリカ、焼成シリカ等の乾式法により合成されたシリカであっても、沈降シリカ、シリカゲル等の湿式法により合成されたシリカであってもよい。これらの中でも、比表面積を前記範囲内に調整しやすい点で、ヒュームドシリカ、沈降シリカが好適である。シリカ系充填材（ｅ）は、必要に応じて、その表面を、例えば、オルガノポリシロキサン、オルガノポリシラザン、クロロシラン、アルコキシシラン等の表面処理剤で処理したものを用いてもよい。
【００６９】
シリカ系充填材（ｅ）は、一種単独で用いても、二種類以上を混合して用いてもよい。
【００７０】
シリカ系充填材（ｅ）の配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着成分（ｃ）との合計１００質量部に対して１〜３０質量部とするのが好ましく、５〜２０質量部とするのが特に好ましい。シリカ系充填材（ｅ）の配合割合が１質量部未満であると、弾性部材の強度が低下して、十分な効果が得られ難くなり、また、使用時にのり残りが発生しやすくなることがある。一方、配合割合が３０質量部を超えると、弾性部材の粘着力が低下することがある。
【００７１】
付加反応硬化型の粘着性組成物には、さらに、シリコーン生ゴム（ａ）からシリカ系充填材（ｅ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。例えば、任意成分として、前記成分を混合する時の架橋反応を抑制するための反応制御剤を添加することができる。この反応制御剤としては、例えば、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３−メチル−１−ペンチン−３−オール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、１−エチニルシクロヘキサノール、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ブチン、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ペンチン、３，５−ジメチル−３−トリメチルシロキシ−１−ヘキシン、１−エチニル−１−トリメチルシロキシシクロヘキサン、ビス（２，２−ジメチル−３−ブチノキシ）ジメチルシラン、１，３，５，７−テトラメチル−１，３，５，７−テトラビニルシクロテトラシロキサン、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジビニルジシロキサン等が挙げられる。この反応制御剤を添加する場合、その配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着成分（ｃ）との合計１００質量部に対して、０〜５．０質量部とするのが好ましく、特に０．０５〜２．０質量部とするのが好ましい。この反応制御剤の配合割合が５．０質量部を超えると粘着性組成物の硬化時に硬化し難くなることがある。
【００７２】
また、この反応制御剤の他にも、適宜、任意成分を添加することが可能であり、例えば、ポリジメチルシロキサン、ポリジメチルジフェニルシロキサン等の非反応性のポリオルガノシロキサン、布置する際の粘度を下げるための溶剤として、トルエン、キシレン等の芳香族系溶剤、ヘキサン、オクタン、イソパラフィン等の脂肪族系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸イソブチル等のエステル系溶剤、ジイソプロピルエーテル、１，４−ジオキサン等のエーテル系溶剤、又はこれらの混合溶剤、染料、顔料等を使用することができる。
【００７３】
このような付加反応硬化型の粘着性組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記シリカ系充填材（ｅ）を含有しない組成物である、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＥ１２１４」、「Ｘ−４０−３０９８」等の「Ｘ−４０系」及び「Ｘ−３４−６３２Ａ／Ｂ」等の「Ｘ−３４系」組成物等が入手可能である。
【００７４】
次に、過酸化物硬化型の粘着性組成物について説明する。過酸化物硬化型の粘着性組成物に含有される前記シリコーン生ゴムシリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ２ＳｉＯ２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、ポリジメチルシロキサン、その置換体等が挙げられる。このシリコーン生ゴム（ａ）の性状、粘度等は、前記付加反応硬化型の粘着性組成物に含有されるシリコーン生ゴム（ａ）と基本的に同様である。シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
【００７５】
過酸化物硬化型の粘着性組成物に含有される粘着成分（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）は、それぞれ、前記付加反応硬化型の粘着性組成物に含有される粘着成分（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）と基本的に同様である。
【００７６】
過酸化物硬化型の粘着性組成物に含有される有機過酸化物（ｆ）は、主として、シリコーン生ゴム（ａ）同士を、又は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着成分（ｃ）とを架橋させる硬化剤であり、例えば、ベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等のジアルキルパーオキサイド類等が挙げられる。有機過酸化物（ｆ）としては、ジアシルパーオキサイド類が好ましく、ベンゾイルパーオキサイドが特に好ましい。
【００７７】
有機過酸化物（ｆ）の配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着成分（ｃ）との合計質量に対し、０．２〜５．０質量部とするのが好ましく、特に０．５〜２．５質量部とすることが好適である。配合割合が、０．２質量部未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着層の粘着力が低下することがあり、一方、５．０質量部を超えると、粘着性組成物によって形成されるゴム弾性部材の硬度が高くなり、粘着力が低下するという欠点が生じる場合がある。
【００７８】
過酸化物硬化型の粘着性組成物には、さらに、シリコーン生ゴム（ａ）、粘着成分（ｃ）、シリカ系充填材（ｅ）及び前記有機過酸化物（ｆ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。任意成分としては、前記付加反応硬化型の粘着性組成物で例示した成分が挙げられる。
【００７９】
このような過酸化物硬化型の粘着性組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記有機過酸化物（ｆ）を含有しない組成物である、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＲ−１０１−１０」、「ＫＲ−１２０」、「ＫＲ−１３０」及び「ＫＲ−１４０」等が入手可能である。
【００８０】
また、ゴム弾性部材における強粘着部形成する前記フッ素系ゴムは、例えば、フッ化ビニリデン・六フッ化プロピレン共重合体、カーボン等の充填材、トリアルイソシアネート等の架橋助剤及びパーオキサイド等の硬化剤等を含有するフッ素系ゴム組成物が挙げられる。フッ素系ゴム組成物としては、例えば、ダイキン工業株式会社から商品名「ＤＣ−２０５０」、「ＤＣ−２２６０」等が入手可能である。
【００８１】
ゴム弾性部材における弱粘着部又は非粘着部は、強粘着部の全部若しくは一部を弱粘着性又は非粘着性に変換することによって、又は、弱粘着性組成物若しくは非粘着性組成物によって、形成される。弱粘着性組成物又は非粘着性組成物としては、例えば、弱粘着性又は非粘着性のシリコーン樹脂、フッ素樹脂、ウレタン樹脂等を含む組成物等が挙げられる。
【００８２】
ゴム弾性部材が強粘着部からなるゴム弾性部材又は弱粘着部からなるゴム弾性部材である場合には、前記粘着性組成物又は前記弱粘着部粘着性組成物を、定法に従って、硬化させて、ゴム弾性部材を形成することができる。
【００８３】
一方、ゴム弾性部材が強粘着部と弱粘着部又は非粘着部とを有するゴム弾性部材である場合には、強粘着部と弱粘着部又は非粘着部とは、それぞれ異なる組成物で形成されてもよく、同じ粘着性組成物で形成された後、例えば、後述する（１）〜（４）に示す処理等が施されて形成されてもよい。強粘着部と弱粘着部又は非粘着部とがそれぞれ異なる組成物で形成される場合には、強粘着部は粘着性組成物の硬化物で形成され、弱粘着部又は非粘着部は弱粘着性組成物又は非粘着性組成物の硬化物で形成される。強粘着部と弱粘着部又は非粘着部とを一体に形成する場合には、例えば、（１）粘着性組成物を定法に従って硬化させて成る硬化物の表面にマスキング部材を載置し、弱粘着部又は非粘着部を形成する部分にマスキング部材上から照射量を制御して紫外線を照射する処理、（２）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分に弱粘着性組成物又は非粘着性組成物を塗布する処理、（３）弱粘着部又は非粘着部を形成する部分の表面を粗面化する処理、（４）弱粘着性材料又は非粘着性材料を用いて定法に従ってシート状に成形し、強粘着部を形成する部分に粘着性組成物を塗布する処理等が行われる。
【００８４】
ゴム弾性部材は、被粘着物を粘着保持するため、通常、その表面は平滑とされるが、粘着保持する被粘着物に応じて、その表面は凹凸形状とされてもよい。
【００８５】
ゴム弾性部材は、その表面に粘着させる被粘着物、保持治具の用途等に応じて、その厚さが決定される。例えば、ゴム弾性部材の厚さは、１．８ｍｍ程度に設定される。
【００８６】
このゴム弾性部材は、基体に装着されて、保持治具とされる。基体は、粘着保持する被粘着物に応じて、種々の形状が選択される。例えば、保持治具が後述する小型部品等を粘着保持する場合には、基体として、例えば、正方形、長方形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等の板状基体が有利に用いられ、一方、保持治具が後述する薄板状物等を粘着保持する場合には、基体として、例えば、上面に少なくとも一つの凸状体を有するベース部と、前記凸状体と隔ててその外側を囲う周壁部と、通気孔とを備えた基体、すなわち、周壁部と、周壁部で包囲された内部空間に形成された少なくとも一つの凸状体と、周壁部と凸状体との間隙部に連通する通気孔とを有する基体が有利に用いられる。
【００８７】
基体を形成する材料としては、例えば、炭素鋼、ステンレス鋼、銅、マグネシウム、アルミニウム合金及びニッケル合金等の金属、樹脂、セラミックス等が挙げられる。これらの中でも、加工性、操作性、耐熱性の観点から、金属又は樹脂がよく、特に、ステンレス鋼、アルミニウム合金がよい。
【００８８】
前記基体の少なくとも一方の表面に前記ゴム弾性部材が装着された保持治具は、被粘着物をゴム弾性部材に粘着保持することにより、被粘着物を粘着保持可能に成っている。ここで、ゴム弾性部材に粘着保持される被粘着物は、薄板状物、電子部品等の破損又は損傷しやすいもの、小型で取り扱いが困難であるもの等であるのが有利である。薄板状物としては、例えば、シリコンウェハ、フレキシブルプリント基板、大画面表示装置用のガラス板等が挙げられ、電子部品としては、例えば、チップコンデンサ、セラミックコンデンサ、コイルフィルター、抵抗素子、導電回路、コンデンサ、ＬＳＩ、インダクタ等が挙げられる。
【００８９】
この発明に係る洗浄方法においては、ゴム弾性部材３１を洗浄すればよいが、この発明に係る洗浄方法を実施することのできる洗浄装置の一例で説明したように、基体に装着されたまま、すなわち、保持治具ごと、ゴム弾性部材を洗浄してもよい。
【００９０】
また、この発明に係る洗浄方法においては、水又は水とアルコールとの混合溶液でゴム弾性部材を洗浄後に、ゴム弾性部材を乾燥処理してもよい。ゴム弾性部材の乾燥は、通常の乾燥方法、例えば、加熱乾燥法、送風乾燥法、真空乾燥法等を任意に選択することができる。
【００９１】
この発明に係る洗浄方法を実施することのできる洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、噴射ノズル配置ゲート２１の梁２３に所定間隔で３個の噴射ノズル２０が並列に配置されているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、噴射ノズルは、噴射ノズル配置ゲートの梁に１個のみが配置されてもよく、２個又は４個以上が配置されてもよい。また、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置において、噴射ノズルは、噴射ノズル配置ゲートの梁に内装され、ゴム弾性部材の幅方向にわたるスリット状の開口を有する噴射ノズルであって、ゴム弾性部材の幅方向に均一に洗浄液を噴射する噴射ノズルとされてもよい。
【００９２】
また、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、１つの噴射ノズル配置ゲート２１が搬送手段１１を囲繞するように配置されているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、搬送手段１１の搬送方向（図１及び図２における矢印Ａの方向）に所定間隔をおいて、２つ以上の噴射ノズル配置ゲートそれぞれが、搬送手段１１を囲繞するように、すなわち、搬送方向に沿って直列に、配置されてもよい。
【００９３】
さらに、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、噴射ノズル配置ゲート２１が搬送手段１１を囲繞するように設置され、搬送手段１１の搬送方向（図１及び図２における矢印Ａの方向）に対して反対方向に洗浄液を噴射するように成っているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、噴射ノズル配置ゲートは、搬送手段に沿ってその片側又は両側に配置され、搬送手段の搬送方向に対して垂直方向から洗浄液を噴射するように成っていてもよい。
【００９４】
また、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、噴射ノズル配置ゲート２１に噴射ノズル２０が配置され、搬送手段１１によってゴム弾性部材３１が搬送されて、ゴム弾性部材３１が噴射ノズル２０に対して移動するように成っているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、噴射ノズルが配置された噴射ノズル配置ゲートが所定速度で固定台に沿って、図１及び図２における矢印Ａと逆方向に、移動可能に構成され、ゴム弾性部材が不動の固定台に固定されて、噴射ノズルがゴム弾性部材に対して移動するように成っていてもよい。
【００９５】
さらに、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、搬送手段１１の表面に固定台１０が固定されているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、固定台は、搬送手段に内装されていてもよく、また、例えば、搬送手段の一部に一体として設けられた接着部又は磁気固定部等とされてもよい。
【００９６】
また、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、噴射ノズル配置ゲート２１の下流に、ゴム弾性部材を乾燥させる乾燥機、例えば、加熱乾燥機、送風乾燥機、真空乾燥機等が設置されてもよい。
【００９７】
さらに、洗浄装置の一例においては、図１及び図２に示されるように、保持治具３０ごとゴム弾性部材３１を洗浄するように成っているが、この発明に係るゴム弾性部材の洗浄装置においては、保持治具からゴム弾性部材を取り外して、ゴム弾性部材のみを洗浄するように成っていてもよい。この場合には、ゴム弾性部材の裏面が粘着性を有しているときには、搬送手段及び固定台は、ゴム弾性部材を固定するために特別な構成とされる必要はない。
【実施例】
【００９８】
１１０ｍｍ×１１０ｍｍ×０．９ｍｍに切り出したステンレス鋼の一方の表面に、シリコーンゴム（商品名「ＫＥ１２１４」、信越化学工業株式会社製）９９質量％とシリカ系充填材（ｅ）（株式会社龍森製、商品名「クリスタライト」）１質量％とからなる付加反応硬化型の粘着性シリコーンゴム組成物を積層して金型等にてプレス成形した。このようにして、基体と、この基体の表面に装着された、１００ｍｍ×１００ｍｍ×１．８ｍｍの厚さを有するシート状のゴム弾性部材とを有する保持治具を作製した。
【００９９】
この保持治具のゴム弾性部材の表面にアルミナ粉末０．５ｇをほぼ均一に振りかけた後、ゴム弾性部材の全表面をポリエチレンテレフタレート製フィルムで覆い、フィルム上から荷重をかけ、アルミナ粉末をゴム弾性部材に強固に粘着保持させた。
【０１００】
この保持治具を用いて、表１に示す各条件で、水とアルコールの混合溶液（水とアルコールの混合比（質量比）は５０：５０）を、ゴム弾性部材の幅方向に所定間隔で並列に配置された３個又は４個の噴射ノズル（表１において、「ノズル数」と称する。）から、ゴム弾性部材の表面に噴射し、洗浄後のゴム弾性部材における表面のアルミナ粉末の除去具合を評価した。ノズルは、噴射角に応じて、選択した。具体的には、噴射角が１５°の場合には、商品名「Ｂ１／８  ＭＥＧ−１５０５」、噴射角が２５°の場合には、商品名「Ｂ１／８  ＭＥＧ−２５０５」、噴射角が４０°の場合には、商品名「Ｂ１／８  ＭＥＧ−４００５」（いずれも、スプレーイングシステムスジャパン株式会社製）を使用した。
【０１０１】
このとき、保持治具におけるゴム弾性部材が積層されていない基体端部近傍の裏面に取り付けた衝撃センサ（例えば、商品名「ＰＳ−Ｃ」、「ＰＳ−Ｄ」共に株式会社共和電業製）を用いて、基体が受ける衝撃荷重を測定し、この測定値を、ゴム弾性部材が受ける衝撃荷重とした。
【０１０２】
評価は、顕微鏡により、ゴム弾性部材の表面における任意の領域（１０ｍｍ×１０ｍｍ）１０点を拡大率１０倍で拡大観察し、いずれの領域にも、ゴム弾性部材の表面にアルミナ粉末が残存していなかった場合を「０」とし、顕微鏡により同様に観察して、ゴム弾性部材のいずれかの領域にアルミナ粉末がわずかに（具体的には５個以下）残存していた場合を「１」とし、目視により、ゴム弾性部材のいずれかの領域にアルミナ粉末がわずかに（具体的には６〜１０個）残存していた場合を「２」とし、目視により、ゴム弾性部材のいずれかの領域にアルミナ粉末が１０個を超えて１００個まで残存していた場合を「３」とし、目視により、ゴム弾性部材のいずれかの領域にアルミナ粉末が１００個を超えて残存していた場合を「４」とし、洗浄により、アルミナ粉末がほとんど除去されていなかった場合を「５」とした。
【０１０３】
【表１】
0004656582.tif 000003
【０１０４】
また、実施例１、２及び３におけるゴム弾性部材の粘着力を、前記粘着力の測定方法により測定したところ、何れも約２．８ｇ／ｍｍ２程度の粘着力を有していた。前記シリコーンゴムと前記シリカ系充填材（ｅ）とを含む組成物によって形成されたゴム弾性部材は、通常、約２．９ｇ／ｍｍ２程度の粘着力を有しているから、アルミナ粉末を付着させたゴム弾性部材は、洗浄によって、製造直後の本来の粘着力まで回復させることができた。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】図１は、この発明に係る洗浄方法を実施することのできる洗浄装置の一例における正面を示す概略正面図である。
【図２】図２は、この発明に係る洗浄方法を実施することのできる洗浄装置の一例における上面示す概略上面図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１  洗浄装置
１０  固定台
１１  搬送手段
２０  噴射ノズル
２１  噴射ノズル配置ゲート
２２  支柱
２３  梁
２４  移送手段
３０  保持治具
３１  ゴム弾性部材
３２  基体
【図１】
0004656582.tif 000004
【図２】
0004656582.tif 000005