(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された多層情報記録媒体の製造方法であって、
前記信号基板の一方の主面側に所定の情報記録部を形成する第１工程と、
複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を有する除去領域とを有するスクリーン上に供給された樹脂含有塗料の一部を、前記スクリーン上にスキージを摺動させることにより前記複数の第１孔内を通過させて、前記所定の情報記録部上に塗料層を形成し、前記塗料層に含まれる樹脂を硬化して、前記樹脂層を形成する第２工程とを含み、
前記第１工程と前記第２工程とをそれぞれ所定回数行い、
各第２工程において、前記所定の情報記録部に塗布されなかった前記スクリーン上の残余の樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより、前記スクリーン上から除去することを特徴とする多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記スクリーン上から除去された前記樹脂含有塗料はリサイクル処理されて、再度前記スクリーン上に供給される請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記スクリーンは、前記塗布領域の周囲において、前記スキージの進行方向に沿って設けられ、複数の第３孔を有した除去補助領域をさらに有する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記スクリーンは、前記塗布領域を挟むように配置された、１対の除去補助領域をさらに有し、各除去補助領域は複数の第３孔を有している請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記第２工程において、前記塗布領域よりも前記除去領域の方が低くなるように、前記スクリーンを水平面に対して傾斜させ、かつ、前記スクリーンに対応して前記所定の情報記録部も傾斜させ、この状態で、前記所定の情報記録部に前記樹脂含有塗料を塗布して前記塗料層を形成する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記第２工程において、
前記塗料層を介して、凹凸表面を有する信号転写用基板と前記信号基板とを貼り合わせ、前記塗料層に含まれる樹脂の硬化後に、前記樹脂層から前記信号転写用基板を剥離する請求項１に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記信号転写用基板と前記信号基板とを、大気圧よりも低い気圧下で貼り合わせる請求項６に記載の多層情報記録媒体の製造方法。
【請求項８】
２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された多層情報記録媒体を製造するための製造装置であって、
前記情報記録部を形成する情報記録部形成部と、
前記樹脂層を形成する樹脂層形成部とを含み、
前記樹脂層形成部は、
複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を有する除去領域とを有するスクリーンと、
前記スクリーン上に前記樹脂含有塗料を供給可能とする塗料供給部と、
前記スクリーン上を摺動可能とし、前記スクリーン上を摺動することによって、前記塗料供給部によって前記スクリーン上に供給される前記樹脂含有塗料を、前記複数の第１孔を通過させて前記情報記録部上に塗料層を形成可能とするスキージと、を含む印刷部と、
前記塗料層に含まれる樹脂を硬化可能とする樹脂硬化実施部とを含み、
前記除去領域は、前記情報記録部に塗布されずに前記スクリーン上に残る樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより、前記スクリーン上から除去可能とすることを特徴とする多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項９】
前記印刷部は、前記スクリーン上から除去されうる樹脂含有塗料を収容可能とする容器をさらに含む請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１０】
前記樹脂層形成部は、
情報面として凹凸面を有し、前記塗料層に貼付けられることにより、前記塗料層に情報面を転写可能とする信号転写用基板を含む信号転写部と、
前記樹脂層から前記信号転写用基板を剥離する剥離処理部とをさらに含む請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１１】
前記樹脂層形成部は、前記信号基板を着脱自在に固定可能とするテーブルをさらに備える請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１２】
前記スクリーンは、前記塗布領域よりも前記除去領域の方が低くなるように、水平面に対して傾斜しており、かつ、前記スクリーンに対応して前記テーブルも傾斜している請求項１１に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１３】
前記容器に収容されうる前記樹脂含有塗料をリサイクルし、リサイクルされた前記樹脂含有塗料を前記塗料供給部に供給可能とするリサイクル機構をさらに備えた請求項９に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１４】
前記スクリーンは、前記塗布領域の周囲において、前記スキージの進行方向に沿って設けられ、複数の第３孔を有した除去補助領域をさらに有する請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１５】
前記スクリーンは、前記塗布領域を挟むように配置された１対の除去補助領域をさらに有し、各除去補助領域は複数の第３孔を有している請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１６】
前記除去領域と前記除去補助領域とが繋がっている請求項１４または１５に記載の多層情報記録媒体の製造装置。
【請求項１７】
請求項８に記載の多層情報記録媒体の製造装置を構成するスクリーンであって、
複数の第１孔を有し、前記スクリーン上に供給される前記樹脂含有塗料の一部を、前記複数の第１孔を通過させて前記情報記録部へ塗布可能とする塗布領域と、
複数の第２孔を有し、前記情報記録部に塗布されないで残る樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより前記スクリーン上から除去可能とする除去領域とを含むことを特徴とする多層情報記録媒体製造用スクリーン。
【請求項１８】
２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された、多層情報記録媒体を複数個連続製造する製造方法であって、
前記信号基板の一方の主面側に所定の情報記録部を形成する情報記録部形成工程と、
複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を有する除去領域とを有するスクリーン上に供給される樹脂含有塗料の一部を、前記スクリーン上にスキージを摺動させることにより、前記複数の第１孔内を通過させて、所定の情報記録部上に塗料層を形成し、前記塗料層に含まれる樹脂を硬化して、前記樹脂層を形成する樹脂層形成工程とを含み、
各多層情報記録媒体を製造するために、情報記録部形成工程と樹脂層形成工程とをそれぞれ所定回数行い、
各情報記録部に塗布されなかった残余の樹脂含有塗料の少なくとも一部は、１以上の塗料層を形成する毎に、または、他の塗料層を形成している最中に、複数の第２孔内を通過させて、前記スクリーン上から除去することを特徴とする、複数の多層情報記録媒体を連続製造する製造方法。
【請求項１９】
１層の塗料層を形成する毎に、前記スクリーン上に樹脂含有塗料を補充する請求項１８に記載の複数の多層情報記録媒体を連続製造する製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報の記録、または情報の再生を目的とした多層情報記録媒体およびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器または映像音響機器等で処理される情報量の拡大化に伴い、データアクセスが容易で、大容量データを蓄積可能で、かつ機器の小型化に対応可能な光ディスクなどの、情報記録媒体が注目されている。また、情報記録媒体について情報の高密度記録化が検討されており、高密度記録可能な情報記録媒体として、波長が約４００ｎｍのレーザ光源と開口数（ＮＡ）が０．８５の集光レンズとを含む光ヘッドを備えた記録再生装置を用いて、情報が記録再生される情報記録媒体が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この情報記録媒体では、例えば、単一の記録層について２５ＧＢ程度、２層の記録層について５０ＧＢ程度の容量のデータを蓄積可能である。
【０００３】
次に、特許文献１に記載された従来の多層情報記録媒体の構造及び製造方法を、図１３Ａ〜図１５Ｊを用いて説明する。
【０００４】
図１３Ａ〜図１３Ｆには、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型（スタンパ）の製造方法を示している。まず、ガラス板２０１上にフォトレジスト等の感光材料を塗布して感光膜２０２を形成する（図１３Ａ参照）。次いで、レーザ光２０３を用いて、ピットや案内溝等のパターンを感光膜２０２に転写するための露光を行う（図１３Ｂ参照）。図１３Ｂにおいて、２０２ａは、レーザ光２０３が照射された部分（露光部）である。露光部の感光材料は現像工程を経ることにより除去され、ピットや案内溝等のパターン２０４がガラス板２０１上に形成された光記録原盤２０５が得られる（図１３Ｃ参照）。次に、スパッタリングや蒸着等の方法によってパターン２０４上に導電膜２０６を形成する。すると、パターン２０４の形状が導電膜２０６に転写される（図１３Ｃおよび図１３Ｄ参照）。次に、導電膜２０６上にめっき膜２０７を形成して、導電膜２０６の剛性を高め、かつ導電膜２０６に厚みを持たせる（図１３Ｅ参照）。次に、めっき膜２０７と導電膜２０６とからなる積層体を、光記録原盤２０５から剥離して、スタンパ２０８を得る（図１３Ｆ参照）。
【０００５】
図１４は、従来の多層情報記録媒体の断面図を示している。この多層情報記録媒体は、第１信号基板３０１を含んでいる。第１信号基板３０１上には、第１情報記録部３０２が配置され、第１情報記録部３０２上には、第２信号基板３０３が配置されている。第２信号基板３０３上には、第２情報記録部３０４と、透明層３０５と、透明基板３０６とがこの順に配置されている。透明層３０５は、透明基板３０６を第２情報記録部３０４に貼りつけるために設けられている。
【０００６】
第１信号基板３０１は、ピットや案内溝を有する面を、凹凸形状の情報面として有している。この情報面は、図１３Ｆに示したスタンパ２０８を用いて、第１信号基板３０１を射出圧縮成型法により成形する際に形成される。第１信号基板３０１の平均厚みは１．１ｍｍ程度である。第１情報記録部３０２および第２情報記録部３０４は、それぞれ記録膜や反射膜等を含んでおり、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される。
【０００７】
第２信号基板３０３は、スピンコート法によって塗布された光硬化性樹脂に、凹凸面を有する信号転写用基板を貼りつけ、光硬化性樹脂の硬化後に、光硬化性樹脂から信号転写用基板を剥離することによって形成される。信号転写用基板は、図１３Ｆに示したスタンパ２０８と同様に、凹凸面を有している。
【０００８】
透明基板３０６は、記録再生光に対して十分に透明な材料からなる。透明層３０５は、光硬化性樹脂や、感圧接着剤等の接着剤から形成されている。透明基板３０６と透明層３０５とを足した平均厚みは０．０７５ｍｍ程度である。このようにして作製された多層情報記録媒体の記録再生は、透明基板３０６側から記録再生レーザ光を入射することによって行なわれる。
【０００９】
次に、図１５Ａ〜図１５Ｊを用いて従来の多層情報記録媒体の製造方法についてより詳細に説明する。
【００１０】
まず、第１信号基板４０１の情報面上に、スパッタリングや蒸着等の方法により第１情報記録部４０２を形成する。第１信号基板４０１は吸引器等の手段によって回転テーブル４０３に固定された状態にしておく（図１５Ａ参照）。次に、第１情報記録部４０２に、ディスペンサーを用いて光硬化性樹脂を含む塗料４０４を所望の半径を有する円を描くように塗布する（図１５Ｂ参照）。次に、回転テーブル４０３を回転して、塗料４０４を延伸する。延伸の際には、遠心力によって余分な樹脂と気泡とが除去される。延伸後の塗料４０４の厚みは、塗料４０４の粘度、回転テーブルの回転数、回転時間、雰囲気条件（温度や湿度など）を任意に設定することにより、所望の値に制御できる。回転停止後、塗料４０４を、光照射機４０５を用いた光照射により硬化して、光硬化性樹脂層４０４'とする（図１５Ｃ参照）。
【００１１】
一方で、回転テーブル４０７上に信号転写用基板４０６を固定する。信号転写用基板４０６は、図１３Ｆに示したスタンパ２０８と同様の凹凸面を有している（図１５Ｄ参照）。信号転写用基板４０６上に、ディスペンサーを用いて光硬化性樹脂を含む塗料４０８を所望の半径を有する円を描くように塗布する。次に、回転テーブル４０７を回転して、塗料４０８を延伸する。延伸後の塗料４０８の厚みは、塗料４０４の場合と同様の方法により制御できる（図１５Ｅ参照）。回転テーブル４０７の回転を停止した後、塗料４０８を、光照射機４０９を用いた光照射により硬化して、光硬化性樹脂層４０８'とする（図１５Ｆ参照）。
【００１２】
次に、基板４１０と基板４１１とを、回転テーブル４０３上で、光硬化性樹脂層４０８'と４０４'とが向い合うように、光硬化性樹脂を含む塗料４１２を介して重ね合わせ、この状態で、回転テーブル４０３を回転させる（図１５Ｇ参照）。回転テーブル４０３の回転により、塗料４１２は所望の厚みに制御（延伸）される。その後、塗料４１２を、光照射機４０５を用いた光照射により硬化して、光硬化性樹脂層４１２'とする（図１５Ｈ参照）。次に、光硬化性樹脂層４０８'から信号転写用基板４０６を剥離する。
【００１３】
なお、塗料４０４に含まれる光硬化性樹脂には、第１情報記録部４０２および光硬化性樹脂層４１２'と接着性が良好なものが選択される。塗料４０８に含まれる光硬化性樹脂には、信号転写用基板４０６との剥離性が良く、且つ光硬化性樹脂層４１２'（図１５Ｈ参照）との接着性が良好なものが選択される。塗料４０４，４１２，４０８の粘度は、薄い光硬化性樹脂層の形成を可能とするために、いずれも約１５０ｍＰａ・ｓ程度に調整されている。なお、光硬化性樹脂層４０４'、４０８'、４１２'からなる一体化物（樹脂層ともいう）は、図１４における第２信号基板３０３に相当する。上記一体化物の厚みは、説明の都合上、図１４における第２信号基板３０３の厚みよりも厚く記載している。
【００１４】
次に、光硬化性樹脂層４０８′の第１信号基板４０１側の面の反対面上、すなわち、第２情報面上に、スパッタリングや蒸着等の方法により第２の情報記録部４１３を形成し、第２情報記録部４１３上に、透明層４１５形成用の、光硬化性樹脂を含む塗料を塗布する。次いで、塗布された塗料に透明基板４１４を貼りつけた後、回転テーブル４０３を回転させることにより、塗料に混入した気泡を除去しながら、かつ塗料を延伸する。その後、透明基板４１４越しに、塗料に所定の波長の光を照射して光硬化性樹脂を硬化させ、塗料を透明層４１５とする（図１５Ｉ参照）。
【特許文献１】特開２００２−０９２９６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、スピンコート法によって光硬化性樹脂層等を形成すると、周方向の細かな膜厚変動や、半径方向の大きな膜厚変動が生じる。特に、多数の情報記録部を備えた多層情報記録媒体では、隣り合う情報記録部間に配置された信号基板（樹脂層）の膜厚変動の足し合わせにより、多層情報記録媒体全体の厚さ変動が大きくなる。
【００１６】
また、スピンコート法では、被塗布面の縁部にまで塗料が行きわたる。そのため、光照射によって光硬化性樹脂を硬化させる時に、縁部上に配置された光硬化性樹脂が表面張力により盛り上がり、その結果、被塗布面の縁部上における光硬化性樹脂層４０４'の厚みが、被塗布面の他の部分上におけるそれより顕著に大きくなってしまう（図１５Ｊ参照）。この厚さ変動は、光硬化性樹脂層４０４'、４０８'、４１２'からなる一体化物（樹脂層）の厚さ変動をもたらす。樹脂層の厚さ変動は、レーザ光を用いて情報の記録、または情報の再生を行う際に、球面収差の増大により光スポットのサイズの変動を引き起こす。さらに、上記厚さ変動は、情報面上へ光スポットの焦点を維持するフォーカス制御や、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御にも悪影響を与えてしまう。これらの結果、多層情報記録媒体について、情報の記録、または情報の再生が良好に行えないという問題が生じる。
【００１７】
また、スピンコート法において上記厚さ変動を抑制するためには、回転テーブルの回転速度や回転数などを制御するための複雑なプログラムを作製しなければならない。よって、スピンコート法において上記厚さ変動を抑制しようとすると、タクト時間が増大するという問題が生じる。
【００１８】
そこで、本発明者らは、樹脂層の形成にスピンコートではなく、スクリーン印刷技術の応用を試みた。次に、図１６Ａ〜図１６Ｄを用いて、スクリーン印刷技術を用いた樹脂層の形成について説明する。
【００１９】
図１６Ａに示すように、まず、表面に第１情報記録部５０２が形成された第１信号基板５０１を、バキューム等の手段によってテーブル（図示せず）に固定する。次に、第１情報記録部５０２の上に、所定の間隔をあけて、例えば、スクリーン５０４等の孔版を配置する。スクリーン５０４は、スクリーン枠５０６に固定されている。次にスクリーン５０４上の網目が開いていない部分に紫外線硬化樹脂等を含む塗料を供給し、図１６Ｂに示すように、スクレッパー５０７を摺動することにより、スクリーン５０４の網目内に塗料を充填する。次に、スクリーン５０４に所定の圧力を加えるようにスキージ５０８を摺動させ、スクリーン５０４の網目内に充填された樹脂含有塗料を、網目から押し出して、第１情報記録部５０２上へ塗布する（図１６Ｃ、図１６Ｄ参照）。第１信号基板５０１を入れ替え、図１６Ａから図１６Ｄまでの作業を行うことによって、表面に塗料が塗布された第１信号基板５０１を複数得ることができる。なお、スムーズかつ確実な塗布を行うために、図１６Ａにおいて、スクリーン５０４上に供給される塗料の量は、一層の塗料層の形成に必要な量より多い。そのため、余った塗料のみによって別の塗料層が形成されるか、または、上記余った塗料に新たな塗料が追加されて、別の塗料層が形成される。
【００２０】
このようなスクリーン印刷では、信号基板を設置する時間と、スクレッパー５０７及びスキージ５０８がスクリーン上を摺動する時間の和が、塗料塗布のタクト時間に相当するため、スピンコート法よりもタクト時間の短縮化を比較的容易に実現できる。
【００２１】
しかし、この製造方法では、スクリーン５０４上に供給された塗料が、スクレッパー５０７及びスキージ５０８の摺動に伴い変質してしまう。変質の原因としては、スクレッパー５０７及びスキージ５０８の摺動に伴い塗料が空気を巻き込みながら移動するので、粘度が変わることや、スクレッパー５０７及びスキージ５０８が摺動する際に生じる摩擦等によって、塗料の温度が変化すること等が考えられる。塗料の粘度が変化すると、塗料層の厚みが、塗料層毎に異なってしまう恐れがある。塗料層の厚みが、塗料層毎に異なると、複数の多層上表記録媒体の品質にバラツキが生じる。また、一つの塗料層または樹脂層についても厚みむらが生じる恐れもある。
【００２２】
本発明は、上記課題を解決するものであり、厚みの均一性が高い樹脂層を形成可能とすることにより、情報の再生、または情報の記録再生が良好に行われる多層情報記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法は、２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された多層情報記録媒体の製造方法であって、前記信号基板の一方の主面側に所定の情報記録部を形成する第１工程と、複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を有する除去領域とを有するスクリーン上に供給された樹脂含有塗料の一部を、前記スクリーン上にスキージを摺動させることにより前記複数の第１孔内を通過させて、前記所定の情報記録部上に塗料層を形成し、前記塗料層に含まれる樹脂を硬化して、前記樹脂層を形成する第２工程とを含み、前記第１工程と前記第２工程とをそれぞれ所定回数行い、各第２工程において、前記所定の情報記録部に塗布されなかった前記スクリーン上の残余の樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより、前記スクリーン上から除去することを特徴とする。
【００２５】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置は、２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された多層情報記録媒体を製造するための製造装置であって、前記情報記録部を形成する情報記録部形成部と、前記樹脂層を形成する樹脂層形成部とを含み、前記樹脂層形成部は、複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を除去領域とを有するスクリーンと、前記スクリーン上に前記樹脂含有塗料を供給可能とする塗料供給部と、前記スクリーン上を摺動可能とし、前記スクリーン上を摺動することによって、前記塗料供給部によって前記スクリーン上に供給される前記樹脂含有塗料を、前記複数の第１孔を通過させて前記情報記録部上に塗料層を形成可能とするスキージと、を含む印刷部と、前記塗料層に含まれる樹脂を硬化可能とする樹脂硬化実施部とを含み、前記除去領域は、前記情報記録部に塗布されずに前記スクリーン上に残る樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより、前記スクリーン上から除去可能とすることを特徴とする。
【００２６】
本発明の多層情報記録媒体製造用スクリーンは、本発明の多層情報記録媒体の製造装置を構成するスクリーンであって、複数の第１孔を有し、前記スクリーン上に供給される前記樹脂含有塗料の一部を、前記複数の第１孔を通過させて前記情報記録部へ塗布可能とする塗布領域と、複数の第２孔を有し、前記情報記録部に塗布されないで前記スクリーン上に残る樹脂含有塗料の少なくとも一部を、前記複数の第２孔内を通過させることにより前記スクリーン上から除去可能とする除去領域とを含むことを特徴とする。
【００２７】
本発明の複数の多層情報記録媒体を連続製造する製造方法は、２以上の情報記録部と、前記情報記録部間に配置された樹脂層とを含み、これらが信号基板上に配置された、多層情報記録媒体を複数個連続製造する製造方法であって、前記信号基板の一方の主面側に所定の情報記録部を形成する情報記録部形成工程と、複数の第１孔を有する塗布領域と、複数の第２孔を有する除去領域とを有するスクリーン上に供給される樹脂含有塗料の一部を、前記スクリーン上にスキージを摺動させることにより、前記複数の第１孔内を通過させて、所定の情報記録部上に塗料層を形成し、前記塗料層に含まれる樹脂を硬化して、前記樹脂層を形成する樹脂層形成工程とを含み、各多層情報記録媒体を製造するために、情報記録部形成工程と樹脂層形成工程とをそれぞれ所定回数行い、各情報記録部に塗布されなかった残余の樹脂含有塗料の少なくとも一部は、１以上の塗料層を形成する毎に、または、他の塗料層を形成している最中に、複数の第２孔内を通過させて、前記スクリーン上から除去することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、厚みの均一性がよい樹脂層を形成可能とすることにより、情報の記録、または情報の再生が良好に行える多層情報記録媒体を提供できる。また、複数の多層情報記録媒体について、品質のバラツキが生じることを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法の好ましい一例では、スクリーン上から除去された樹脂含有塗料はリサイクル処理されて、再度スクリーン上に供給される。
【００３０】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法の好ましい一例では、スクリーンが、塗布領域の周囲において、スキージの進行方向に沿って設けられ、複数の第３孔を有した除去補助領域をさらに有している。あるいは、スクリーンが、塗布領域を挟むように配置された１対の除去補助領域をさらに有し、各除去補助領域が複数の第３孔を有している。このように、スクリーンが除去補助領域を有している場合、除去領域と除去補助領域とが繋がっていると好ましい。
【００３１】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法の好ましい一例では、第２工程において、塗布領域よりも除去領域の方が低くなるように、スクリーンを水平面に対して傾斜させる。そして、スクリーンに対応して所定の情報記録部も傾斜させる。この状態で、所定の情報記録部に樹脂含有塗料を塗布する。
【００３２】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法の好ましい一例では、樹脂含有塗料に含まれる樹脂が、例えば光硬化性樹脂である。光硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂であると好ましい。樹脂含有塗料は、界面活性剤および脱泡剤のうちの少なくとも１種を含んでいると好ましい。
【００３３】
本発明の多層情報記録媒体の製造方法の好ましい一例では、第２工程において、塗料層を介して、凹凸表面を有する信号転写用基板と信号基板とを貼り合わせ、次いで、塗料層に含まれる樹脂を硬化して樹脂層を形成する。塗料層に含まれる樹脂の硬化後に、樹脂層から信号転写用基板を剥離する。この場合、信号転写用基板と信号基板とを、大気圧よりも低い気圧下で貼り合わせると好ましい。信号転写基板は、ポリオレフィン樹脂を含んでいると好ましい。
【００３４】
本発明の多層情報記録媒体の一例は、本発明の製造方法の一例によって製造されているので、樹脂の厚みの均一性が優れている。そのため、多層情報記録媒体の光（記録光、再生光）の入射側の表面から各情報記録部の記録までの距離、すなわち、光路長の変動が少ない。よって、本発明の多層情報記録媒体の一例では、球面収差の増大による光スポットのサイズの変動が抑制されており、フォーカス制御およびトラッキング制御も安定して行われる。
【００３５】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、多層情報記録媒体の製造装置を構成する印刷部が、スクリーン上から除去される樹脂含有塗料を収容可能とする容器を備えている。
【００３６】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、樹脂層形成部が、信号転写用基板を含む信号転写部と、樹脂層から信号転写用基板を剥離する剥離処理部をさらに含む。信号転写用基板は、情報面として凹凸面を有し、塗料層に貼付けられることにより、塗料層に情報面を転写可能とする。
【００３７】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、樹脂層形成部が、信号基板を着脱自在に固定可能とするテーブルを備える。
【００３８】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、スクリーンが、塗布領域よりも除去領域の方が低くなるように、水平面に対して傾斜しており、かつ、スクリーンに対応してテーブルも傾斜している。
【００３９】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、樹脂硬化実施部が、光照射装置を備えている。この光照射装置は、例えば、紫外線を照射可能とする。
【００４０】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、スクリーン上から除去されて容器に溜まる樹脂含有塗料に対してリサイクル処理をし、リサイクル処理された樹脂含有塗料を塗料供給部に供給可能とするリサイクル機構を備えている。
【００４１】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、スクリーンが、塗布領域の周囲において、スキージの進行方向に沿って設けられ、複数の第３孔を有した除去補助領域を有している。
【００４２】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、スクリーンが、塗布領域を挟むように配置された１対の除去補助領域を有し、各除去補助領域が複数の第３孔を有している。
【００４３】
本発明の多層情報記録媒体の製造装置の好ましい一例では、除去領域と除去補助領域とが繋がっている。
【００４４】
本発明の複数の多層情報記録媒体を連続製造する製造方法の好ましい一例では、１層の塗料層を形成する毎に、スクリーン上に樹脂含有塗料を補充する。
【００４５】
本発明の複数の多層情報記録媒体を連続製造する製造方法の好ましい一例では、スキージの摺動距離を、周期的に変化させる。
【００４６】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。本実施形態は、多層情報記録媒体として、ディスク状の情報記録媒体を例に挙げて説明するが、本発明における多層情報記録媒体はこれに限定されず、例えば、メモリーカード等の情報記録媒体であってもよい。
【００４７】
（実施形態１）
実施形態１では、本発明の多層情報記録媒体の製造方法の一例および、この方法により製造される多層情報記録媒体の一例について図１〜図５Ｄを用いて説明する。
【００４８】
図１は本発明の多層情報記録媒体の一例の断面図である。図１に示すように、多層情報記録媒体は、第１信号基板６０１と、第１信号基板６０１の情報面上に配置された第１情報記録部６０２とを備えている。第１信号基板６０１は、ピットや案内溝を有する面を、凹凸形状の情報面として有している。また、多層情報記録媒体は、第１情報記録部６０２上に配置された第２信号基板６０３を備えている。第２信号基板６０３は、ピットや案内溝を有する面を、凹凸形状の情報面（第１信号基板６０１側の面の反対面）として有している。多層情報記録媒体は、この情報面上に配置された第２情報記録部６０４を備えている。多層情報記録媒体は、第２情報記録部６０４上に配置された第３信号基板６０５を備えている。第３信号基板６０５は、ピットや案内溝を有する面を、凹凸形状の情報面（第２信号基板６０３側の面の反対面）として有している。多層情報記録媒体は、この情報面上に配置された第３情報記録部６０６を備えている。多層情報記録媒体は、第３情報記録部６０６上に配置された第４信号基板６０７を備えている。第４信号基板６０７は、ピットや案内溝を有する面を、凹凸形状の情報面（第３信号基板６０５側の面の反対面）として有している。多層情報記録媒体は、この情報面上に配置された第４情報記録部６０８と、第４情報記録部６０８上に配置された透明層６０９とを備えている。
【００４９】
なお、本願において、第２〜４信号基板６０３、６０５、６０７は、樹脂層６０３，６０５，６０７と呼び、第１信号基板６０１は単に信号基板６０１と呼ぶ場合もある。
【００５０】
第１信号基板６０１は、情報記録媒体の反りを抑制するため、情報記録媒体の剛性を高めるため、および他の光ディスク（ＣＤ、ＤＶＤなど）との互換性を確保するために、外径φ１２０ｍｍ、厚さ１．０〜１．１ｍｍ程度の円板から形成されている。第１信号基板６０１の材料としては、例えば、ポリカーボネイトやアクリル系樹脂などが挙げられる。図１に示した多層情報記録媒体では、第１信号基板６０１の材料としてポリカーボネイトを用いている。
【００５１】
凹凸形状の情報面は、例えば、図１３Ｆに示したスタンパ２０８を用いて、第１信号基板６０１の成型する際に同時に形成される。第１信号基板６０１は、例えば、射出圧縮成型法等の成形法により形成できる。第１信号基板６０１はその中心部に、直径φ１５ｍｍの中心孔６１０を有している。この中心孔６１０によって、プレーヤによる情報の記録再生の際に、多層情報記録媒体はプレーヤの所定の位置に回転可能に保持される。
【００５２】
第１信号基板６０１上に形成される樹脂層６０３、６０５、６０７や透明層６０９が光硬化性樹脂を含む場合、これらの層の形成の際には、光硬化収縮が生じる。この光硬化収縮は第１信号基板６０１に反りをもたらしてしまう。従って、樹脂層６０３、６０５、６０７および透明層６０９の形成後において、多層情報記録媒体に反りが生じないよう、第１信号基板６０１は、予め、上記光硬化収縮による反りと反対の反りを有するように形成されていると好ましい。
【００５３】
本実施形態の多層情報記録媒体が再生専用の多層情報記録媒体（ＲＯＭ）である場合、第１情報記録部６０２は、例えば、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕ、Ｓｉ、ＳｉＯ2などの金属や半導体、誘電体を材料として、スパッタリングや蒸着等の方法により形成されている。
【００５４】
次に、本実施形態の多層情報記録媒体がＷｒｉｔｅ  Ｏｎｃｅ型の多層情報記録媒体である場合の第１情報記録部６０２の構成について図２を用いて説明する。
【００５５】
第１情報記録部６０２は、例えば、ＡｌＣｒからなる反射膜５０３、ＺｎＳからなる第１誘電体膜５０４、ＴｅＯＰｄからなる記録膜５０５、ＺｎＳからなる第２誘電体膜５０６が、第１信号基板６０１（図１参照）側からこの順で配置された構造をしている。これらの層は、いずれも、例えば、スパッタリングや蒸着等の方法により形成される。反射膜５０３の材料には、ＡｌＣｒに代えて、再生専用の多層情報記録媒体と同様に、ＡｇやＡｕ等の金属を主成分とする材料を用いてもよい。
【００５６】
第２情報記録部６０４、第３情報記録部６０６、および第４情報記録部６０８についても、第１情報記録部６０２と同様の構造をしている。反射膜５０３の厚みを調整したり、反射膜５０３を除去したり、および／または第１誘電体膜５０４や記録膜５０５の厚みを調整することにより、多層情報記録媒体の光学特性を調整できる。また、第１〜４情報記録部は色素膜（図示せず）等をさらに備えた構造をしていてもよい。
【００５７】
樹脂層６０３、６０５、６０７は、記録再生光に対してほぼ透明である。樹脂層６０３は、例えば、アクリル樹脂を主成分とする紫外線硬化樹脂から形成されていると好ましい。紫外線硬化樹脂は、紫外線域の波長の光に対してのみ高感度に反応して硬化するからである。
【００５８】
次に、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例について、図３Ａ〜図５Ｄを用いて説明する。
【００５９】
図３Ａおよび図４Ａは、本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程の断面図であり、図３Ａは塗布直前の様子を示した図、図４Ａは塗布直後の様子を示した図である。図３Ｂは、塗布直前のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図であり、図４Ｂは、塗布直後のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【００６０】
これらの図において、１０１はスキージ、１０２はスクリーン枠、１０３は紫外線硬化樹脂を含んだ樹脂含有塗料、１０４はスクリーン、６０１は第１信号基板、１０６は塗布領域、１０７は余剰の樹脂含有塗料を除去するための除去領域、１１１は塗料一時保持領域、１０８はスクリーン１０４上から除去された余剰の樹脂含有塗料を収容するための容器、１０９はテーブル、１１０は樹脂含有塗料が塗布されることにより形成された塗料層、６０２は第１情報記録部を表す。樹脂含有塗料１０３は、紫外線硬化樹脂等の樹脂の他に、粘度調整のための溶媒、硬化開始剤等を含んでいてもよい。粘度調整のための溶媒には、例えば、トルエン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）などが用いられる。
【００６１】
本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法では、まず、第１信号基板６０１の情報面上に、記録膜や反射膜などを含む第１情報記録部６０２を形成する（第１工程）。第１情報記録部６０２を構成する記録膜５０５（図２参照）や反射膜５０３（図２参照）などは、いずれも、スパッタリングや蒸着等の方法により形成する。第１信号基板６０１は、必要に応じて、バキューム等の手段によってテーブル１０９に固定されている。
【００６２】
次に、第１情報記録部６０２上に樹脂層６０３を形成する（第２工程）。第２工程では、下記の処理がなされる。
【００６３】
まず、第１情報記録部６０２が形成された第１信号基板６０１上に、所定の間隔をあけて、所定寸法の網目を有するスクリーン１０４を配置する。上記間隔は、樹脂含有塗料の塗布が良好に行なわれれば特に制限はない。上記間隔は樹脂含有塗料の粘度等によって異なるが、通常１ｍｍ〜５ｍｍが適当である。
【００６４】
スクリーン１０４は、塗料一時保持領域１１１と、塗布領域１０６と、除去領域１０７とを有している。これらの領域は、スキージ１０１の進行方向Ｘに沿ってこの順に存在している。ここで、スキージ１０１の進行方向Ｘとは、樹脂含有塗料を情報記録部に塗布する時のスキージ１０１の移動方向のことである。
【００６５】
塗料一時保持領域１１１は、樹脂含有塗料１０３を一時的に保持するための領域である。塗布領域１０６は、スクリーン１０４の厚み方向に貫通した複数の第１孔を有している。複数の第１孔は例えば網目であり、この網目内を通過した樹脂含有塗料は被印刷物（情報記録部）に塗布される。各第１孔の大きさや数等を調整することにより、塗布量を適切な量に調整できる。除去領域１０７は、スクリーン１０４の厚み方向に貫通した複数の第２孔を有している。複数の第２孔も例えば網目であり、情報記録部に塗布されなかった残余の樹脂含有塗料は複数の第２孔内を通過して、スクリーン１０４上から除去される。
【００６６】
スクリーン枠１０２にスクリーン１０４が固定されたスクリーン部材１１４は、例えば、下記のようにして作製される。
【００６７】
まず、スクリーン枠１０２に、例えば、網目等の複数の孔を有する多孔質材料等を張り、この多孔質材料に感光乳剤をコーティングする。次いで、コーティングされた多孔質材料のうちの塗布領域１０６となる箇所および除去領域１０７となる箇所以外を遮光マスクによりマスクする。次いで、露光装置を用いて多孔質材料に紫外線を一定時間照射する。紫外線照射によって露光された部分を水噴射などによって水洗することにより現像すれば、塗布領域１０６と除去領域１０７とを有するスクリーン１０４がスクリーン枠１０２に固定されたスクリーン部材１１４を得ることができる。
【００６８】
なお、スクリーン枠１０２の材料には、例えば、木材、アルミニウム、ステンレス、プラスチックなどを用いることができる。なかでも、軽量かつ剛性の高いアルミニウムが好ましい。多孔質材料の原料には、例えば、シルク、ナイロン（登録商標）、ポリエステル、ポリアリレート、ステンレスなどを用いることができるが、なかでも、摩擦等による被印刷物への負荷が小さくできる点においてポリエステルが好ましい。また、外圧に対する復元性がよい点では、ポリアリレートが好ましい。
【００６９】
感光乳剤には、例えば、ジアゾニウム塩または重クロム酸塩を、ＰＶＡまたは酢酸ビニルエマルジョンに混合し溶解させたものなどを用いることができる。スクリーン１０４の塗布領域１０６および除去領域１０７におけるメッシュ数（１インチ当たりの線材の本数）は、１００〜６００であると好ましい。線材の線幅は２０μｍ〜１００μｍであると好ましい。メッシュ数および線材の線幅がこの範囲内にあれば、樹脂含有塗料の通過不良や塗布ムラを生じさせることなく、樹脂含有塗料を塗布できる。なお、複数の第１孔および複数の第２孔は網目に限定されない。
【００７０】
以下に、スクリーン枠１０２としてアルミを使用し、スクリーンの材料としてポリエステルからなる多孔質材料を使用した例について、より具体的に、第２工程を説明する。しかし、スクリーン枠１０２やスクリーン１０４に他の材料を用いた場合も、この例と同様の効果を奏する。
【００７１】
まず、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、スクリーン１０４のうちの塗料一時保持領域１１１上に樹脂含有塗料１０３を滴下する。滴下は例えばディスペンサー等により行う。樹脂含有塗料１０３の滴下量については、一層の塗料層（硬化後に樹脂層となる）の形成に必要な量であれば特に制限はないが、スムーズかつ確実な塗布を行うためには、一層の塗料層の形成に必要な量よりも多いと好ましい。また、一層の塗料層の形成に必要な量よりも多い樹脂含有塗料を一度に供給しておけば、一層の塗料層の形成後に樹脂含有塗料を補充しなくても、スキージ１０１に付着した樹脂含有塗料によって、別の塗料層を１層以上形成できる。
【００７２】
図３Ａおよび図３Ｂに示した例では、塗料一時保持領域１１１が、スクリーン１０４のスキージ１０１の進行方向両端部のうちの、進行開始端部の近傍に有る。スキージ１０１は、スクリーン１０４上の塗料一時保持領域１１１に供給された樹脂含有塗料１０３よりも、より進行開始側に配置しておく。
【００７３】
次に、スキージ１０１を、スクリーン１０４に荷重を加えながら、スクリーン１０４上を摺動させ、スクリーン１０４の塗布領域１０６を通過させる。スキージ１０１の摺動に伴い、樹脂含有塗料の一部は、塗布領域１０６の複数の第１孔内を通過して、第１情報記録部６０２に塗布される。第１情報記録部６０２に塗布されなかった残余の樹脂含有塗料１０３については、塗布領域１０６と除去領域１０７の間の領域１１３に溜められるか、または、除去領域１０７の複数の第２孔内を通過してスクリーン１０４上から除去される。図４Ａおよび図４Ｂに示した例では、残余の樹脂含有塗料は領域１１３に溜められている。領域１１３に溜められた樹脂含有塗料１０３は、例えば、下記（１）および／または（２）のようにしてスクリーン１０４上から除去される。
【００７４】
（１）樹脂含有塗料１０３自信の流動性により徐々に除去領域１０７内に移動して、スクリーン１０４上から除去される。
【００７５】
（２）別の多層情報媒体の製造過程において上記と同様にして塗料層を形成する。この塗料層の形成の際に残った余剰の樹脂含有塗料によって、領域１１３に既に溜まっていた樹脂含有塗料１０３が領域１１３から押し出されて除去領域１０７内に入り、スクリーン１０４上から除去される。
【００７６】
スクリーン１０４に供給される樹脂含有塗料１０３の粘度については、低すぎると塗布された樹脂含有塗料の流動が高くなりすぎる。樹脂含有塗料１０３の流動が高すぎると、第１信号基板６０１から樹脂含有塗料１０３がはみ出たり、硬化後に第１信号基板１０５の周縁端部で樹脂の盛り上りが生じたりする。一方、樹脂含有塗料１０３の粘度が高すぎると、樹脂含有塗料１０３が塗布領域１０６の第１孔内を通過し難くなる。そのため、樹脂含有塗料１０３の第１情報記録部６０２への塗布が行い難くなる。温度変化及び／又は湿度変化に起因する樹脂含有塗料１０３の粘度への影響等を考慮すると、スクリーン１０４に供給される樹脂含有塗料１０３の粘度は、２５℃の雰囲気下で、３０ｃｐｓ〜１００００ｃｐｓ（３０ｍＰａ・ｓ〜１００００ｍＰａ・ｓ）であると好ましく、１０００ｃｐｓ〜５０００ｃｐｓ（１０００ｍＰａ・ｓ〜５０００ｍＰａ・ｓ）であるとより好ましい。
【００７７】
なお、本願において、粘度は、回転粘度計を用いて測定した値である。回転粘度計を用いた粘度の測定方法は、回転子の回転トルクが粘度に比例することを利用している。回転子には、例えば、円筒形のローターや羽等が用いられる。回転トルクとは、試料（樹脂含有塗料）中に入れられた回転子を、棒状の軸を介して連結されたモーター等によって一定速度で回転させ続けるのに必要な力のことである。
【００７８】
本実施形態では、製造される多層情報記録媒体について、開口数が０．８５の対物レンズと、波長４０５ｎｍのレーザ光源とを備えた記録再生ヘッドを用いて、情報の再生が可能となるよう、樹脂層６０３、６０５、６０７（図１参照）の平均厚みは、例えば、５μｍ〜２５μｍとされる。
【００７９】
樹脂含有塗料１０３の塗布範囲は、スクリーン１０４における塗布領域１０６の面積や、形状等を選択することにより制限できる。本実施形態において、第１信号基板６０１の外径φは、例えば１２０ｍｍである。第１信号基板６０１は、例えば直径φ１５ｍｍの中心孔６１０（図１参照）を有している。このような第１信号基板６０１に対して、例えば、第１信号基板６０１の内径よりも外側の領域であって（例えば、中心から１０ｍｍ以上離れた領域）、かつ、第１信号基板６０１の外径よりも内側の領域（例えば、中心から５９．５ｍｍ以内の領域）にのみ、樹脂含有塗料１０３を塗布可能な塗布領域１０６を有するスクリーン１０４を用いる。このようなスクリーン１０４を用いれば、第１信号基板６０１の外周縁部６０１ａ（図１参照）および内周縁部６０１ｂ（図１参照）を除く第１信号基板６０１上、すなわち、直径１１９ｍｍの円内であって、直径２０ｍｍの円外に、樹脂含有塗料１０５を塗布できる（図４Ａ参照）。
【００８０】
第１信号基板６０１の外周縁部６０１ａ（図１参照）や内周縁部６０１ｂ（図１参照）にも樹脂含有塗料１０３を塗布した場合に、樹脂含有塗料１０３に含まれる樹脂を硬化させると、各縁部に塗布された樹脂が表面張力により盛り上がる。その結果、各縁部上における樹脂層６０３，６０５，６０７（図１参照）の厚みが、樹脂層６０３，６０５，６０７の他の部分の厚みよりも顕著に大きくなる。よって、樹脂層６０３，６０５，６０７の厚みの均一性が悪くなる。樹脂層６０３，６０５，６０７の厚さ変動は、レーザ光を用いて情報の記録、または情報の再生を行う際に、球面収差の増大により光スポットのサイズの変動を引き起こす。さらに、上記厚さ変動は、情報面上へ光スポットの焦点を維持するフォーカス制御や、信号列に光スポットを追従させるトラッキング制御にも悪影響を与えてしまう。これらの結果、多層情報記録媒体に対して情報の記録または情報の再生が良好に行えないという問題が生じる。また、第１信号基板６０１から樹脂含有塗料がはみ出すことにより、多層情報記録媒体の内外径各々の寸法精度が悪化し、美観も損なうなどの問題が発生する。
【００８１】
しかし、上記のとおり、スクリーン１０４における塗布領域１０６の面積や形状等を、スクリーン１０４に対向する第１信号基板６０１の平面内に納まるように設定すれば、樹脂層６０３，６０５，６０７（図１参照）の厚さ変動、および光路長の変動が抑制される。その結果として、球面収差の増大による光スポットのサイズの変動を抑制でき、フォーカス制御およびトラッキング制御も安定して行われる多層情報記録媒体を提供できる。また、寸法精度がよく、外観の良好な多層情報記録媒体を提供できる。
【００８２】
スクリーン１０４における除去領域１０７の面積や形状等については、余剰の樹脂含有塗料を十分除去できれば特に制限はないが、図３Ｂに示すように、スキージ１０１の幅Ｗ１よりも、スキージ１０１の進行方向Ｘと直交する除去領域１０７の幅Ｗ２の方が大きいと好ましい。幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも大きいと、図４Ｂに示すように、スキージ１０１の両端１０１ａ，１０１ｂからはみ出た樹脂含有塗料１０３についても効率よく除去できるからである。また、除去領域１０７の面積が大きければ大きいほど、より効率的に樹脂含有塗料を除去できる。
【００８３】
スクリーン１０４における除去領域１０７の配置位置については、スキージ１０１の進行方向に沿って、塗布領域１０６よりも、進行方向終了側に配置されており、塗布領域１０６と繋がっていなければ特に制限はない。しかし、余剰の樹脂含有塗料１０３が逆流して塗布領域１０６内に浸入しな程度に、塗布領域１０６と除去領域１０７とが離れていると好ましい。
【００８４】
樹脂含有塗料１０３には、塗布時の空気混入を抑制するために、界面活性剤が含まれていると好ましい。空気が混入した樹脂含有塗料１０３を用いると、樹脂層の厚みの均一性が損なわれるとともに、多層情報記録媒体の記録特性または再生特性が劣化してしまうからである。
【００８５】
界面活性剤としては、例えば、アニオン性の界面活性剤、またはノニオン性の界面活性剤等が挙げら得るが、なかでも、塗料層１１０のレベリング（表面凹凸の平滑化）がより良好に行える、ノニオン性の界面活性剤が好ましい。
【００８６】
また、本実施形態の多層情報記録媒体の製法方法では、樹脂含有塗料１０３中に混入した気泡を除去する方法として、下記（１）〜（３）の方法を採用することが好ましい。
【００８７】
（１）樹脂含有塗料１０３の塗布後には、塗料層１１０に信号転写が行なわれ、次いで、塗料層１１０に含まれる樹脂の硬化が行なわれる。樹脂含有塗料を塗布して塗料層を形成した後、塗料層を所定時間放置した後に信号転写を行う。信号転写は、例えば、凹凸表面を情報面として有する信号転写用基板８０２（図５Ａ参照）を用いて行う。放置環境は、大気圧下でもよいが減圧下（例えば、１Ｐａ〜１００Ｐａ）であると好ましい。好ましい放置時間は樹脂含有塗料１０３の粘度や放置環境等により左右されるが、樹脂含有塗料１０３の粘度が高ければ高いほど長い時間が必要となる。通常は１〜５分間程度である。所定時間放置することにより、樹脂含有塗料１０３に含まれる気泡が除去されるとともに、塗料層１１０のレベリングも行なわれるので好ましい。なお、「平滑」の程度は、第１信号基板６０１と、信号転写用基板８０２（図５Ａ参照）との貼り合わせが良好に行える程度であれば充分である。
【００８８】
（２）樹脂含有塗料に消泡剤を混入する。消泡剤には、例えば、シリコン系消泡剤、非シリコン系消泡剤等を用いることができる。なかでも、樹脂層６０３，６０５，６０７（図１参照）の光透過性を良好に確保する観点からは、非シリコン系消泡剤が好ましい。非シリコン系消泡剤としては、特に限定されないが、例えば、２−エチルヘキサノール、ポリプロピレン誘電体、オレイン酸などが挙げられる。
【００８９】
（３）予め脱泡された樹脂含有塗料を用いる。脱泡は、ロータリーポンプなどにより減圧された金属製のドラム容器内等で行える。
【００９０】
（１）〜（３）を採用することによる気泡除去効果は、樹脂含有塗料の材料や粘度等によって異なるが、これらを組み合わせて採用することにより、樹脂含有塗料中の泡を大幅に低減できる。
【００９１】
以上のようにして、高精度、且つ厚みの均一性が良好な塗料層１１０を形成できる（図４Ａ参照）。
【００９２】
次に、テーブル１０９から、塗料層１１０が一方の主面の上方に形成された第１信号基板６０１を取り出し、別の、第１情報記録部６０２が形成された第１信号基板６０１をテーブル１０９に固定する。第１情報記録部６０２が形成された第１信号基板６０１の入れ替えとスキージ１０１の進行方向Ｘへの摺動とを繰り返して行って、樹脂含有塗料１０３の塗布を複数の第１情報記録部に対して行えば、塗料層を連続的に形成できる。
【００９３】
より具体的説明すると、例えば、図３Ａ〜図４Ｂを用いて説明した処理を、異なる、第１情報記録部６０２が形成が形成された第１信号基板６０１に対して行う。スクリーン１０４への樹脂含有塗料１０３の供給は、１層の塗料層１１０を形成する毎に行ってもよいし、または、複数の塗料層１１０を形成する毎に行ってもよい。
【００９４】
各塗料層１１０の形成後、図４Ａに示したスキージ１０１については、進行方向Ｘとは逆方向に摺動される。この逆方向へのスキージ１０１の摺動と、第１情報記録部６０２が形成された第１信号基板６０１の入れ替えとを同時進行させれば、別の樹脂層形成にかかるタクト時間を短縮できる。
【００９５】
次に、第２工程における、樹脂含有塗料１０３の塗布後の処理について説明する。
【００９６】
図５Ａに示すように、塗料層１１０が一方の主面の上方に形成された第１信号基板６０１を、減圧槽８０１の中に配置する。第１信号基板６０１の中心部に形成された中心孔６１０にセンターボス８０６を通すことによって、第１信号基板６０１を所定の位置に固定する。信号転写用基板８０２についても減圧槽８０１中に配置する。信号転写用基板８０２は、例えば、紫外線硬化樹脂との剥離性が良好な、ポリオレフィンを含んでいると好ましい。また、ポリオレフィンは成形性が良好であり、ピットや案内溝を含む凹凸形状を有する情報面を例えば射出圧縮成形等の樹脂成形法により容易に成形できるので、信号転写用基板８０２の材料として好適である。
【００９７】
さらに、ポリオレフィンは紫外線を透過させることが可能であるので、信号転写用基板８０２越しに、塗料層１１０に紫外線を照射すれば、塗料層１１０に含まれる紫外線硬化樹脂を効率良く硬化できる。ポリオレフィンとしては、例えば、シクロペンタジエンを原料とするシクロオレフィンが挙げられる。
【００９８】
第１信号基板６０１の平均厚みが、例えば、１．１ｍｍである場合、信号転写用基板８０２の平均厚みは、例えば、０．６ｍｍであると好ましい。第１信号基板６０１よりも薄い信号転写用基板８０２を用いれば、厚さの相違による剛性差により、樹脂硬化後の信号転写用基板８０２の剥離が容易に行える。
【００９９】
減圧槽８０１内は、ロータリーポンプやメカニカルブースターポンプなどの減圧ポンプ８０３によって排気可能であり、短時間で所定の気圧にまで減圧可能である。本実施形態においては、減圧槽８０１内が、例えば、１００Ｐａ以下の真空度に達したときに、図５Ｂに示すように、信号転写用基板８０２と第１信号基板６０１とを塗料層１１０および第１情報記録部６０２を介して貼り合わせる。このとき、加圧プレート８０４によって、信号転写用基板８０２を加圧して、塗料層１１０に信号転写用基板８０２の凹凸面を情報面として転写する。減圧槽８０１内が減圧されていることから、塗料層１１０と信号転写用基板８０２との間に気泡を混入させることなく、信号転写用基板８０２と第１信号基板６０１と貼り合せることができる。また、樹脂含有塗料の第１情報記録部６０２への塗布時に、塗料層内に混入した気泡も取り除くことができる。
【０１００】
次に、貼り合わされた第１信号基板６０１と信号転写用基板８０２とを、減圧槽８０１から取り出す。次いで、図５Ｃに示すように、信号転写用基板８０２の上方に配置された紫外線照射装置８０５によって、信号転写用基板８０２越しに、塗料層１１０に紫外線を照射して、樹脂含有塗料に含まれる紫外線硬化樹脂を硬化し、塗料層１１０を樹脂層とする。
【０１０１】
次いで、樹脂層６０３から信号転写用基板８０２を剥離する（図５Ｄ参照）。この際、信号転写用基板８０２と樹脂層６０３との間に圧縮エアーを吹き込むと好ましい。このようにして、情報面を有する樹脂層６０３を形成する。
【０１０２】
なお、紫外線の照射、および／または、信号転写用基板８０２の剥離についても、信号転写用基板８０２と第１信号基板６０１との貼り合せ時と同様に、減圧雰囲気下で行なってもよい。
【０１０３】
次に、第１工程として、第２情報記録部６０４を、第１情報記録部６０２と同様に、スパッタリング等の方法により形成する。さらに、第３〜４情報記録部６０６，６０８についても、同様にして形成する。また、第２工程として、樹脂層６０５，６０７についても、同様にして形成する。すなわち、第１情報記録部６０２と樹脂層６０３とを形成した後、さらに、第１工程と第２工程とをこの順で、各々必要回数行う（図１参照）。
【０１０４】
最後に、第４情報記録部６０８上に、透明層６０９を形成する。透明層６０９は、例えば、記録再生光に対してほぼ透明な（透過性を有する）アクリル樹脂を主成分とした紫外線硬化樹脂を用いて形成する。透明層６０９についても、例えば、樹脂層６０３、６０５，６０７と同様に、透明層６０９形成用の塗料をスクリーンを通して第４情報記録部６０８等に塗布することにより形成する（図１参照）。
【０１０５】
第４情報記録部６０８の直上における透明層６０９の平均厚みは、透明層６０９の表面から第１情報記録部６０２までの距離が、１００μｍ程度となるように、透明層６０９と第１情報記録部６０２との間に配置された樹脂層６０３、６０５、６０７の厚みに応じて決定される。上記１００μｍは、今回用いた記録再生ヘッドによる球面収差の補正可能限界である。
【０１０６】
例えば、樹脂層６０３、６０５、６０７の平均厚さが、９．５μｍ、１３．５μｍ、１７．５μｍである場合は、透明層６０９の平均厚さは、５９．５μｍ（１００μｍ−９．５μｍ−１３．５μｍ−１７．５μｍ）とする。樹脂層６０３、６０５、６０７の平均厚さがいずれも１０μｍである場合は、透明層６０９の平均厚さは、７０μｍ（１００μｍ−１０μｍ×３層）とする。なお、第１〜４情報記録部の各厚みは、樹脂層６０３、６０５、６０７や透明層６０９のそれと比較して桁違いに薄いので無視できる。
【０１０７】
本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法では、樹脂層６０３、６０５、６０７および第１〜第４情報記録部６０２，６０４，６０６，６０８がいずれも、第１信号基板６０１の外周縁部６０１ａおよび内周縁部６０１ｂを除く第１信号基板６０１上に形成されている（図１参照）。そのため、透明層６０９は、第１信号基板６０１の外周縁部６０１ａおよび内周縁部６０１ｂと接合するように形成できる。したがって、第１〜４情報記録部６０２，６０４，６０６，６０８と樹脂層６０３、６０５、６０７とを、透明層６０９と第１信号基板６０１によって囲うことができる。ポリカーボネイトは硬化前の紫外線硬化樹脂および硬化後の紫外線硬化樹脂と接着性が高い。したがって、第１信号基板６０１の材料として、ポリカーボネイトを用い、透明層６０９の材料として紫外線硬化樹脂を用いれば、湿気などが原因で各樹脂層とそれに接する情報記録部とが剥離することを抑制できる。
【０１０８】
上記では、第１信号基板の上方に塗料層を形成した後に信号転写基板を重ね合わせることで塗料層に信号を転写する場合について説明した。しかし、例えば、樹脂含有塗料の粘度が比較的低いために、所望の厚みの樹脂層を形成することが困難な場合は、下記ようにして塗料層を形成してもよい。
【０１０９】
信号転写用基板８０２上に、第１樹脂含有塗料を第１スクリーンの孔を通して塗布する。一方、第１信号基板の上方に、第２樹脂含有塗料を第２スクリーンを通して塗布する。第１スクリーンと第２スクリーンは、それぞれ、図３Ａ〜図４Ｂを用いて説明したスクリーン１０４と同様のものを用いればよい。第１樹脂含有塗料および第２樹脂含有塗料には、図３Ａ〜図４Ｂを用いて説明した例と同様のものを用いればよい。
【０１１０】
次いで、第１樹脂含有塗料および第２樹脂含有塗料を介して、第１信号基板６０１と信号転写用基板８０２とを、大気圧よりも低い気圧下で貼り合わせる。第１樹脂含有塗料と第２樹脂含有塗料とを密着させた後に、これらの樹脂含有塗料に信号転写基板を介して紫外線を照射し、樹脂を硬化させる。このようにすれば、樹脂含有塗料の粘度が比較的低い場合であっても、所望の厚みの樹脂層を形成できる。
【０１１１】
次ぎに、複数の塗料層を樹脂含有塗料を途中で補充することなく形成する場合について検討する。
【０１１２】
下記の条件下で、樹脂含有塗料を途中で補充することなく２０層の塗料層１１０（図４Ａ参照）を形成した。そして、このようにして形成された各塗料層１１０に含まれる樹脂を硬化して得られる各樹脂層６０３（図１参照）について厚みを測定した。表１には、各樹脂層６０３の平均厚み、最小厚み、最大厚み、厚み斑を示している。なお、各樹脂層の平均厚みの目標値は２５μｍとした。
【０１１３】
塗料層の形成前の雰囲気温度２５℃
第１信号基板６０１の形状：外径１２０ｍｍ、内径１５ｍｍ
第１情報記録部６０２の形状：外径１１７ｍｍ、内径４６ｍｍ
スクリーンの材料：塗布領域１０６および除去領域１０７（図３Ｂ等参照）以外の領域に乳化剤（ジアゾ感光乳剤）がコーティングされたポリアリレート製メッシュ
塗布領域１０６におけるメッシュ数：１６０（線幅：４５μｍ）
除去領域におけるメッシュ数：１００（線幅：７０μｍ）
樹脂含有塗料の供給量：５ｍｌ
塗布前の樹脂含有塗料１０３の粘度：２０００ｍＰａ・ｓ（雰囲気温度２５℃）
塗布前におけるスクリーン１０４と第１情報記録部６０２との最短距離：３．５ｍｍ
【０１１４】
（樹脂層の厚みの測定箇所）
各樹脂層の厚みは、第１信号基板６０１の中心を中心とする半径２２ｍｍ、２８ｍｍ、３３ｍｍ、３８ｍｍ、４３ｍｍ、４８ｍｍ、５３ｍｍ、５８ｍｍ，５８．３ｍｍ、５８．６ｍｍの円周上を、それぞれ、６度間隔で測定した。すなわち、互いに測定箇所が重複しないように６００箇所について、各樹脂層の厚みを測定した。表１における平均厚みは６００箇所における厚みの平均値である。
【０１１５】
（樹脂層の厚みの測定方法）
樹脂層の厚みは、光の干渉効果を利用した方法（ＰＶ法）にて測定した。この測定方法は、樹脂層の表面で反射した光とその裏面で反射した光が互いに干渉を起こし、これらの反射光の位相が一致すると強度が高まり、ずれると弱まるという性質を利用している。波長の変化に伴い反射光強度が変化する干渉パターンが観測され、このパターンにおけるピーク波長λ１およびバレー波長λ２が、光路差２ｎｄ（ｎ＝樹脂層の屈折率、ｄ＝樹脂層の厚さ）の整数倍であるという関係から、樹脂層の厚みｄを得る。
【０１１６】
樹脂層の厚みの測定には、多層情報記録媒体の記録再生に用いるレーザ光よりも、長波長のレーザ光を用いた。多層情報記録媒体に記録された情報を再生するレーザ光と同等の波長の光を出射する光源を、樹脂層の厚みを測定するための装置に用いた場合、情報記録部に記録されている情報によって光回折が発生し、この光回折が、樹脂層の厚みの測定に悪影響を与えてしまうからである。本例では、記録再生用のレーザ光として、波長が約４００ｎｍ程度の青色レーザを使用するので、波長６５０ｎｍの程度の赤色レーザ光を用いて樹脂層の厚みを測定した。
【０１１７】
表１中の厚み斑とは、「平均厚み２５μｍ」を樹脂層の厚みの目標値として樹脂層を形成した場合の、Ｐｅａｋ ｔｏ Ｐｅａｋ ｖａｌｕｅ（ＰＰ値）のことである。例えば、ＰＰ値が１．５μｍである場合、表１において１．５μｍと記載している。
【０１１８】
【表１】
0004827848.tif 000002
【０１１９】
多層情報記録媒体が、波長４０５ｎｍの光を用いて記録再生される多層情報記録媒体であり、樹脂層の平均厚みの目標値が２５μｍである場合、樹脂層に関して許容されるＰＰ値は２．５μｍである。
【０１２０】
表１に示すように、１〜１１層目の塗料層の厚み斑は２．５μｍ以下となっている。このことから、１１層目の塗料層を形成し終わる前に樹脂含有塗料を補充しなくても、厚み斑について実用上許容される１１層の樹脂層を形成できることが確認できた。
【０１２１】
表１に示すように、後に形成された樹脂層ほど厚み斑が大きくなっているが、これは、樹脂含有塗料の粘度と温度が変化し樹脂含有塗料が変質したためと考えられる。樹脂含有塗料が変質する主要因は、樹脂含有塗料の移動中の空気の巻き込みと、移動による摩擦熱の発生であると考えられる。
【０１２２】
なお、表１に示した例では、雰囲気温度２５℃における粘度が２０００ｍＰａ・ｓの樹脂含有塗料を用いた場合の結果であるが、２５℃の雰囲気下における粘度が１０００〜４０００ｍＰａ・ｓの樹脂含有塗料を用いた場合も、同様の結果か得られる。
【０１２３】
次に、１０層の塗料層を形成する毎に、樹脂含有塗料を３０ｍｌ追加して、連続して５０００層の塗料層を形成する場合について検討する。
【０１２４】
５０００層の樹脂層のうちの幾つかの樹脂層について厚みを測定し、表２に、それらの樹脂層の平均厚み、最小厚み、最大厚み、厚み斑を示した。初回の樹脂含有塗料の供給量も３０ｍｌとした。５０００層の塗料層の形成最中、スクリーンの温度とスクリーン上の樹脂含有塗料の温度がほぼ一定に保たれるように、水冷式クーラーを用いて２２℃の風を１０ｍ3／ｍｉｎ、雰囲気中に供給し続けた。樹脂層の厚みの測定方法は表１に示した例と同様の方法で行った。その他の条件は、表１に示した例と同様にした。
【０１２５】
【表２】
0004827848.tif 000003
【０１２６】
表２に示すように、測定した全ての樹脂層について、厚み斑は２．５μｍ以下であり、ほぼ一定であった。樹脂層の平均厚みについてもほぼ一定であった。
【０１２７】
表２に示した例では、１０層の塗料層を形成する毎に、樹脂含有塗料を３０ｍｌ追加した。ところで、例えば、第１信号基板６０１の外径が１２０ｍｍ、内径が１５ｍｍであり、第１情報記録部６０２の外径が１１７ｍｍ、内径が４６ｍｍである場合、樹脂層６０３の形成に必要な樹脂含有塗料の量は約０．２５ｍｌである。よって、１０層の樹脂層の形成に消費される樹脂含有塗料の量は２．５ｍｌにしか満たない。よって、計算上では、１０層の塗料層を形成する毎に、スクリーン１０４上の、除去領域１０７と塗布領域１０６との間の領域１１３（図４Ｂ参照）に２７．５ｍｌ（＝３０ｍｌ−２．５ｍｌ）の樹脂含有塗料１０３が積載される。このように、樹脂層の形成に必要な樹脂含有塗料の量よりも、遥かに多い量の樹脂含有塗料を供給するのは、スムーズかつ確実に、厚み斑の小さい塗料層を形成するためである。
【０１２８】
図４Ｂに示すように、領域１１３に溜まった樹脂含有塗料は、追加される余剰の樹脂含有塗料によって領域１１３から押出され、除去領域１０７内に入る。除去領域１０７内に押し込まれた樹脂含有塗料は、その自重により除去領域１０７の複数の第２孔（例えば、網目）内を通過し、徐々にスクリーン１０４上から除去される。
【０１２９】
また、除去領域１０７の下方には、スクリーン１０４上から除去された樹脂含有塗料を貯留する容器１０８が設けられている。そのため、スクリーン１０４上から落下した樹脂含有塗料は順次この容器１０８内に蓄積される。よって、スクリーン１０４上には、１０層の塗料層を形成する毎に、計算上では、２７．５ｍｌの余剰の樹脂含有塗料が積載されることになるが、除去領域１０７から徐々に余剰の樹脂含有塗料が除去されるため、スクリーン１０４上から樹脂含有塗料があふれ出る心配はない。
【０１３０】
容器１０８の形状や開口面積等については、スクリーン１０４上から除去された樹脂含有塗料を収容できる限り特に制限はない。
【０１３１】
容器１０８内に貯留された樹脂含有塗料は、リサイクル処理されて再利用されることが望ましい。余剰の樹脂含有塗料は、大気に長時間さらされ、および／または、スクリーン１０４に擦り付けられているので、気泡や異物が混入している可能性が高い。気泡や異物が混入した樹脂含有塗料を樹脂層の形成に用いると、良好な記録または再生が行えなくなる。よって、再使用前に、樹脂含有塗料中の気泡や異物は取り除いておかなければならない。
【０１３２】
リサイクル処理は例えば、下記の方法（１）〜（４）により行える。
【０１３３】
（１）フィルターに通して、樹脂含有塗料中の異物を除去する。
（２）樹脂含有塗料を減圧槽内にしばらくの間入れて、樹脂含有塗料中の気泡を除去する。
（３）遠心力を利用して、樹脂含有塗料中の気泡を除去する。
（４）超音波を利用して、樹脂含有塗料中から気泡を浮き上がらせ、または、破泡させる。
【０１３４】
これらの方法は、２種以上組み合わせて採用すると好ましい。例えば、直径１０μｍ以上の不純物の透過を阻止可能な程度の網目を有するカートリッジフィルターに通して、リサイクル対象の樹脂含有塗料から不純物を除去した後、遠心脱泡機を用いて、不純物除去後の樹脂含有塗料から気泡を除去すると好ましい。このようなリサイクル処理を経た樹脂含有塗料を再度スクリーン１０４上に供給すれば、樹脂含有塗料の有効使用率を高めることができる。
【０１３５】
以上のとおり、本実施形態では、複数層（例えば１０層）の塗料層を形成する毎に、樹脂含有塗料を供給しても、樹脂層の厚みと厚み斑をほぼ一定に保つことができるので、大量生産に適している。また、スクリーン１０４に、余剰の樹脂含有塗料を除去するための除去領域１０７を設けているので、余剰の樹脂含有塗料をスクリーン１０４上から除去できる。そのため、スクリーンのメンテナンス頻度を減らすことができる。さらに、スクリーン１０４上から除去された余剰の樹脂含有塗料については、リサイクル処理をすることによって再度スクリーン１０４上に供給できるので、樹脂含有塗料の有効使用率が高くなる。
【０１３６】
（実施形態２）
実施形態２では、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の他の例について、図６Ａ〜図８を用いて説明する。
【０１３７】
図６Ａおよび図７Ａは、本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程の断面図であり、図６Ａは塗布直前の様子を示した図、図７Ａは塗布直後の様子を示した図である。図６Ｂは、塗布直前のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図であり、図７Ｂは、塗布直後のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。樹脂含有塗料９０３については、実施形態1で用いた樹脂含有塗料１０３と同様のものを用いればよい。
【０１３８】
これらの図において、９０１はスキージ、９０２はスクリーン枠、９０３は紫外線硬化樹脂を含んだ樹脂含有塗料、９０４はスクリーン、６０１は第１信号基板、６０２は第１情報記録部、９０６は塗布領域、９０７は余剰の樹脂含有塗料９０３を除去するための除去領域、９１１は塗料一時保持領域、９０８はスクリーン９０４から除去された余剰の樹脂含有塗料９０３を収容するための容器、９０９はテーブル、９１０は樹脂含有塗料９０３が塗布されることにより第１信号基板６０１上に形成された塗料層を表す。
【０１３９】
本実施形態では、第２工程において、（１）塗布領域１０６を挟むように配置され、塗布領域１０６と離間した１対の除去補助領域９１４を有するスクリーン９０４を用いたこと、および（２）この１対の除去補助領域９１４を設けたことに対応して、スクリーン９０４から除去された余剰の樹脂含有塗料を収容するための容器９０８の形状を変えたこと以外は、実施形態１と同様である。よって、第１信号基板６０１の保持や、スキージ９０１の摺動等については、実施形態１と同様に行なわれる。
【０１４０】
本実施形態では、スクリーン９０４が除去補助領域９１４を有しているので、余剰の樹脂含有塗料９０３を効率よくスクリーン９０４上から除去できる。図８に示すように、本実施形態における容器９０８の平面形状は、例えば、コの字状である。
【０１４１】
なお、除去補助領域９１４に関しても、除去領域９０７と同様に面積が大きければ大きいほど、効率良く余剰の樹脂含有塗料を除去できる。しかし、本発明の目的が達成される限りにおいては、その面積や形状等については特に制限はない。容器９０８の形状や開口面積等についても同様である。
【０１４２】
図６Ｂおよび図７Ｂに示した例では、除去補助領域９１４は除去領域９０７と繋がっており、除去補助領域９１４と除去領域９０７とが連続した一つの領域を構成しているので、余剰の樹脂含有塗料を効率的に除去でき好ましい。しかし、除去補助領域９１４は、必ずしもは除去領域９０７と繋がっていなくてもよい。
【０１４３】
除去補助領域９１４を構成する複数の第３の孔が網目である場合、除去補助領域９１４におけるメッシュ数は、１００〜６００であると好ましく、線材の線幅は２０μｍ〜１００μｍであると好ましい。
【０１４４】
本実施形態では、多層情報記録媒体を量産する場合において、各多層情報記録媒体が有する樹脂層６０３，６０５，６０７（図１参照）間の厚みのばらつきを極力小さくするため、１層の塗料層を形成する毎に、スキージ９０１と塗布領域９０６の間、すなわち、塗料一時保持領域９１１に、樹脂含有塗料９０３を供給する。
【０１４５】
樹脂含有塗料９０３の供給量は、ディスペンサー等の塗料供給部（図示せず）によって行なわれる。樹脂含有塗料９０３は、例えば、第１信号基板６０１の外径が１２０ｍｍ、内径が１５ｍｍであり、第１情報記録部６０２の外径が１１７ｍｍ、内径が４６ｍｍである場合、１層の塗料層を形成する毎に１０ｍｌ補充した。また初回供給量も１０ｍｌとした。
【０１４６】
本実施形態でも実施形態１と同様に、樹脂層の平均厚みの目標値を２５μｍとした。１層の樹脂層６０３の形成に必要な樹脂含有塗料９０３の量は０．２５ｍｌである。よって、１層の塗料層を形成する毎に９．７５ｍｌの樹脂含有塗料がスクリーン９０４上に余る。余剰の樹脂含有塗料の積算量は、実施形態１における場合よりも多い。そのため、スクリーン９０４が、除去領域９０７に加えて除去補助領域９１４を有していても、複数の塗料層の形成を連続的に行うと、場合によっては、余剰の樹脂含有塗料が塗布領域９０６内に浸入して、塗料層の形成が妨げられる恐れがある。
【０１４７】
このような場合、周期的に、スキージ９０１のストローク長（進行方向Ｘへの摺動距離）を変化させると好ましい。例えば、１層目〜２０層目の塗料層を形成する際のストローク長よりも、２１層目の塗料層を形成する際のストローク長をより長くして、塗布領域９０６と除去領域９０７との間の領域９１３に蓄積された余剰の樹脂含有塗料を、除去領域９０７内に押し込むと好ましい。各塗料層の形成の際に、除去領域９０７に達するまでスキージ９０１を摺動させてもよいが、上記のとおり、周期的（例えば、２以上の塗料層を形成する毎）にスキージ９０１のストローク長を変化させれば、余剰の樹脂含有塗料も効率的に除去でき、よって、効率的に樹脂層を形成できる。
【０１４８】
また、本実施形態では、容器９０８に収容された樹脂含有塗料に対して、下記のようなリサイクル処理を行った。
【０１４９】
まず、上記樹脂含有塗料を、直径５μｍ以上の不純物の透過を阻止可能な程度の網目を有するカートリッジフィルターを透過させて不純物を取り除いた。次いで、樹脂含有塗料を容器９０８内にもどし、ロータリーポンプを用いた排気によって、容器９０８内を９０ｋＰａ以下に減圧した。この状態を１時間保持することによって、脱泡処理をした。
【０１５０】
第１信号基板６０１のテーブル９０９への固定と、樹脂含有塗料９０３の供給やスキージ９０１の位置補正等とを並行して行うことにより、タクト時間をさらに短縮することができる。
【０１５１】
樹脂層６０５、６０７についても、樹脂層６０３と同様に形成する。第１〜４情報記録部６０２、６０４，６０６，６０８、透明層６０９については実施形態１と同様に形成して、図１に示した多層情報記録媒体を得る。すなわち、第１情報記録部６０２と樹脂層６０３とを形成した後、さらに、第１工程と第２工程とをこの順で、各々必要回数行う。最後に、第４情報記録部６０８上に、透明層６０９を形成する（図１参照）。
【０１５２】
次に、１層の塗料層を形成する毎に、樹脂含有塗料を１０ｍｌ追加しながら、５０００層の樹脂層を連続形成する場合について検討する。
【０１５３】
５０００層の樹脂層のうちの幾つかの樹脂層について厚みを測定し、表３に、それらの樹脂層の平均厚み、最小厚み、最大厚み、厚み斑を示した。初回供給量も１０ｍｌとした。樹脂層の厚みの測定方法は表１に示した例と同様の方法で行った。その他の条件は、表２に示した例と同様にした。
【０１５４】
【表３】
0004827848.tif 000004
【０１５５】
表３に示された結果と表２に示された結果とを比較する。表２中、最も薄い樹脂層の厚みは２３．８μｍであり、最も厚い樹脂層の厚みは２６．４μｍであり、個体ばらつきも含めた厚み斑は２．６μｍ（＝２６．４μｍ−２３．８μｍ）である。一方、表３中、最も薄い樹脂層の厚みは２４．０μｍであり、最も厚い樹脂層の厚みは２６．１μｍであり、個体ばらつきも含めた厚み斑は２．１μｍ（＝２６．１μｍ−２４．０μｍ）である。以上のことから、１０層の塗料層を形成する毎に樹脂含有塗料を補充する場合よりも、１層の塗料層を形成する毎に樹脂含有塗料を補充する場合の方が、平均厚みがより目標値に近い樹脂層を形成でき、かつ、各樹脂層について厚み斑を小さくすることができることが確認できた。
【０１５６】
（実施形態３）
実施形態３では、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の他の例について図９Ａ〜図１０Ｂを用いて説明する。
【０１５７】
図９Ａおよび図１０Ａは、本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程の断面図であり、図９Ａは塗布直前の様子を示した図、図１０Ａは塗布直後の様子を示した図である。図９Ｂは、塗布直前のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図であり、図１０Ｂは、塗布直後のスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【０１５８】
これらの図において、１００１はスキージ、１００２はスクリーン枠、１００３は紫外線硬化樹脂を含んだ樹脂含有塗料、１００４はスクリーン、６０１は第１信号基板、６０２は第１情報記録部、１００６は塗布領域、１００７は余剰の樹脂含有塗料１００３を除去するための除去領域、１０１１は塗料一時保持領域、１０１３は塗布領域１００６と除去領域１００７との間の領域、１００８はスクリーン１００４から除去された余剰の樹脂含有塗料１００３を収容するための容器、１００９はテーブル、１０１０は樹脂含有塗料１００３が塗布されることにより第１信号基板６０１の上方に形成された塗料層を表す。樹脂含有塗料１００３については、実施形態1で用いた樹脂含有塗料１０３と同様のものを用いればよい。
【０１５９】
本実施形態では、第２工程において、塗布領域１００６よりも除去領域１００７の方が低くなるように、スクリーン１００４を水平面に対して傾斜させる。かつ、スクリーン１００４に対応して第１の情報記録部６０２およびテーブル１００９も同角度傾斜させる。このような状態で、第１情報記録部６０２に樹脂含有塗料１００３を塗布する。本実施形態の多層情報記録媒体の製造方法は、以上のこと以外は実施形態１と同様である。よって、第１信号基板６０１の保持や、スキージ１００１の摺動等については、実施形態１と同様に行なわれる。傾斜角度については、５度〜３０度が好ましい。本実施形態の一例では、傾斜角度を１０度とした。
【０１６０】
本実施形態では、上記のとおり塗布領域１００６よりも除去領域１００７の方が低くなるように、スクリーン１００４を水平面に対して傾斜させた状態で樹脂含有塗料の塗布を行なう。そのため、実施形態２のように、スキージ１００１のストローク長を長くしたり、スクリーン１００４に除去補助領域を設ける等しなくても、余剰の樹脂含有塗料１００３をより確実にスクリーン１００４上から除去できる。
【０１６１】
樹脂層６０５、６０７についても、樹脂層６０３と同様に形成する。第１〜４情報記録部６０２、６０４，６０６，６０８、透明層６０９については実施形態１と同様に形成して、図１に示した多層情報記録媒体を得る。すなわち、第１情報記録部６０２と樹脂層６０３とを形成した後、さらに、第１工程と第２工程とをこの順で、各々必要回数行う。最後に、第４情報記録部６０８上に、透明層６０９を形成する（図１参照）。
【０１６２】
以上のことから、本実施形態においても、実施形態１〜２と同様に、所望の厚みを有し且つ厚みの均一性が良好な樹脂層を形成できる。よって、情報の記録、または情報の再生が良好に行える多層情報記録媒体を提供できる。
【０１６３】
（実施形態４）
実施形態４では、本発明の多層情報記録媒体の製造装置の一例について、図１１および図１２を用いて説明する。
【０１６４】
図１１は、本発明の多層情報記録媒体の製造装置の全体を示した構成概念図であり、図１２は、上記製造装置を構成する樹脂層形成部（多層情報記録媒体の製造過程で用いられる印刷装置）の構成概念図である。本実施形態においても、図１に示した多層情報記録媒体を形成する場合を例にあげて、本実施形態の製造装置の構成および動作について説明する。
【０１６５】
図１１に示すように、本実施形態の多層情報記録媒体の製造装置は、情報記録部形成部７０５と、樹脂層形成部７０７と、透明層形成部７０６とを備えている。樹脂層形成部７０７は、印刷部７０１と、信号転写部７０２と、樹脂硬化実施部７０３と、剥離処理部７０４とから構成されている。この製造装置では、後述のとおり、複数の多層情報記録媒体を連続的に製造できる。
【０１６６】
情報記録部形成部７０５は、例えば、従来から良くしられた、スパッタリング装置、または蒸着装置などの薄膜形成装置で構成されている。情報記録部形成部７０５では、まず、複数の第１信号基板６０１に対して、第１情報記録部６０２が順次形成される（情報記録部形成工程）。
【０１６７】
図１２に示すように、樹脂層形成部７０７を構成する印刷部７０１は、例えば、スクリーン７０１ｂと、塗料供給部７０１ｄと、スキージ７０１ｅと、余剰の樹脂含有塗料を収容するための容器７０１ｆとを有している。
【０１６８】
スクリーン７０１ｂは、実施形態１において説明したスクリーン１０４（図３Ｂまたは図４Ｂ等参照）と同様に、樹脂含有塗料を一時的に保持するための塗料一時保持領域１１１と、塗布領域１０６と、除去領域１０７とを有する。塗料供給部７０１ｄは、スクリーン７０１ｂ上にペースト状の樹脂含有塗料７０１ｃを供給可能とする、例えばディスペンサーである。なお、スクリーン７０１ｂは、実施形態２で説明したスクリーン９０４（図６Ｂおよび図７Ｂ等参照）と同様に、除去補助領域９１４を有していてもよい。
【０１６９】
スキージ７０１ｅは、スクリーン７０１ｂに荷重をかけながらスクリーン７０１ｂ上を摺動可能である。スキージ７０１ｅをスクリーン７０１ｂに対して摺動させると、例えば、塗料供給部７０１ｄによってスクリーン１０４上に供給された樹脂含有塗料７０１ｃの一部を、塗布領域を通して第１情報記録部６０２（図１等参照）に塗布できる。
【０１７０】
図１２に示すように、第１情報記録部が形成された第１信号基板６０１は、印刷部７０１内に配置されたテーブル７０８に搬送され、上記印刷部７０１では、第１信号基板６０１上の第１情報記録部に、樹脂含有塗料７０１ｃが塗布される。このようにして、第１情報記録部上に未硬化状態の紫外線硬化樹脂を含む塗料層が形成される。
【０１７１】
スクリーン７０１ｂは、塗料層の形成後に残った樹脂含有塗料をスクリーン７０１ｂ上から除去可能とする除去領域を有しているので、除去領域から除去される。余剰樹脂含有塗料の除去は、第１情報記録部が形成された第１信号基板６０１の入れ替えが行なわれている再最中、および／または、入れ替えられた、第１情報記録部が形成された第１信号基板６０１に塗料層が形成されている最中に、除去領域から除去される。
【０１７２】
なお、本実施形態の製造装置は、第１信号基板６０１をテーブル７０８に一時的に吸着固定可能とする吸引手段を備えていると好ましい。吸引手段としては、例えばバキューム等が挙げられる。
【０１７３】
図１２に示す様に信号転写部７０２は、信号転写用基板７０２ａを複数備えている。各信号転写用基板７０２ａは、情報面として凹凸面を有している。搬送部７１３によって信号転写部７０２内に搬送された各塗料層に対して、上記情報面が接するように、塗料層と信号転写用基板７０２ａとを張り合わせられる。これにより、信号転写用基板の情報面が塗料層に転写される。搬送部７１３による搬送は、図中の矢印の方向に行われる。
【０１７４】
図１２に示す様に樹脂硬化実施部７０３は、紫外線を照射可能な光照射装置７１２から構成されている。樹脂硬化実施部７０３内に搬送された各塗料層に対して信号転写用基板７０２ａ越しに紫外線を照射すれば、各塗料層に含まれる紫外線硬化樹脂が硬化して、樹脂層６０３（図１参照）が形成される。
【０１７５】
樹脂層形成部７０７を構成する剥離処理部７０４内では、剥離処理部７０４内に搬送された、第１信号基板と第１情報記録部と樹脂層と信号転写用基板からなる構造物について、樹脂層と信号転写用基板との界面で２つに分離する剥離処理がなされる。剥離処理部７０４は、例えば、信号転写用基板７０９と情報面が形成された樹脂層を含む構造体７１０を保持可能とする１対の吸着パッド、信号転写用基板７０９と上記構造体７１０との界面に挿入されてこれらを剥がす金属板等から構成されている。なお、図１２において、７０９は樹脂層から剥離された信号転写用基板であり、７１０は情報面が形成された樹脂層を含む構造体である。
【０１７６】
本実施形態では、樹脂層形成部における一連の処理（樹脂層形成工程）は、減圧ポンプ７１１を用いて樹脂層形成部７０７全体を減圧雰囲気に保ちながら行う。図１２において、７１３は圧力検出装置であり、圧力検出装置７１３は、樹脂層形成部７０７内の圧力を一定に保持可能とするために圧力制御装置（図示せず。）に接続されている。このように、樹脂含有塗料の塗布、信号の転写、樹脂の硬化および剥離処理の全てを、減圧雰囲気中で行えば、コンタミを低減でき、樹脂層中への気泡の混入を低減でき、かつ印刷中の樹脂含有塗料への気泡混入も低減できる。
【０１７７】
このようにして得られた、複数の構造体７１０は、順次、情報記録部形成部および樹脂層形成部に所定回数搬送されて、構造体７１０の各々に、第２〜４情報記録部６０４，６０６、６０８、および樹脂層６０５，６０７（図１参照）が形成される。すなわち、第１情報記録部６０２と樹脂層６０３とを形成した後、さらに、情報記録部形成工程と樹脂層形成工程とをこの順で、各々必要回数行う（図１参照）。
【０１７８】
第４情報記録部６０８（図１参照）の形成後は、図１１に示すように透明層形成部７０６で透明層６０９（図１参照）が形成される。透明層が、例えば、紫外線硬化樹脂を含む塗料から形成される場合、透明層形成部７０６は、透明層形成用の印刷部と、透明層形成用の樹脂硬化実施部とを備える。透明層形成用の印刷部の構成は、例えば、樹脂層形成部の印刷部と同様であってもよく、スクリーンについてだけ、透明層の形成専用のものを用いればよい。透明層形成用の樹脂硬化実施部は、樹脂層形成部の樹脂硬化実施部と同様に紫外線を放射する光照射装置から構成されていればよい。
【０１７９】
実施形態１〜４では、いずれも、４つの情報記録部を備えた多層情報記録媒体を例に挙げて説明した。しかし、本発明の多層情報記録媒体およびその製造方法この例に制限されない。製造装置についても、４つの情報記録部を備えた多層情報記録媒体を製造するものに限定されない。情報記録部の数は、第１信号基板、各樹脂層、透明層等の厚みを調整することにより、２つまたは３つとしてもよいし、５つ以上としてもよい。複数の情報記録部を備えた情報記録媒体は、大容量の情報を記録再生可能である。
【０１８０】
実施形態１〜４では、第１〜第４情報記録部は、いずれも、反射膜５０３、第１誘電体膜５０４、記録膜５０５、第２誘電体膜５０６が、第１信号基板側からこの順で配置された構造をしているが（図２参照）、第１〜第４情報記録部はこの形態に制限されない。各情報記録部は、少なくとも記録膜を含んでいればよく、その他の膜のうちの少なくとも１つがなくてもよいし、これらの膜以外の膜が含まれていてもよい。反射膜５０３、第１誘電体膜５０４、記録膜５０５、および第２誘電体膜５０６の材料についても、実施形態１で説明した材料に制限されず、それぞれ、公知の材料のいずれであってもよい。
【０１８１】
実施形態１〜４では、円盤状のいわゆる光ディスクを例に挙げて説明したが、本発明の多層情報記録媒体およびその製造方法はこの例に限定されない。例えば、メモリーカードなどにも、本発明は適用できる。
【０１８２】
実施形態１〜４では、樹脂層は、信号転写用基板によって転写された情報面を有していが、例えば、ホログラムメモリ等のような多層情報記録媒体にあっては、樹脂層は上記情報面を備えていなくても良い。
【産業上の利用可能性】
【０１８３】
本発明の多層情報記録媒体の製法方法および製造装置によれば、厚みの均一性が高い樹脂層を形成できるので、情報の再生、または情報の記録再生が良好に行われる多層情報記録媒体を、生産性良く提供できる。本発明は、中心孔を有する円盤形のＢｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃのみならず、メモリーカード、ＣＤ、ＤＶＤ、ホログラムメモリ等にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１８４】
【図１】図１は、本発明の多層情報記録媒体の一例の断面図である。
【図２】図２は、図１に示した多層情報記録媒体を構成する第１情報記録部の一例の断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図であり、樹脂含有塗料を塗布する直前の様子を示した図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、図３Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程の断面図であり、樹脂含有塗料を塗布した直後の様子を示した図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図４Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の他の例を説明する一工程断面図であり、樹脂含有塗料を塗布する直前の様子を示した図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、図６Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法の他の例を説明する一工程の断面図であり、樹脂含有塗料を塗布した直後の様子を示した図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、図７Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図８】図８は、スクリーンから除去された樹脂含有塗料を収容するための容器の一例の平面図である。
【図９Ａ】図９Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法のさらに別の例を説明する一工程の断面図であり、樹脂含有塗料を塗布する直前の様子を示した図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、図９Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、図１に示した多層情報記録媒体の製造方法のさらに別の例を説明する一工程の断面図であり、樹脂含有塗料を塗布した直後の様子を示した図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、図１０Ａに示されたスクリーンおよびスキージの様子を示した平面図である。
【図１１】図１１は、本発明の多層情報記録媒体の製造装置の一例を示した構成概念図である。
【図１２】図１２は、図１１に示した多層情報記録媒体の製造装置を構成する樹脂層形成部の一例を示した構成概念図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１３Ｅ】図１３Ｅは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１３Ｆ】図１３Ｆは、従来の多層情報記録媒体の作製の際に用いられる基板作製用金型の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１４】図１４は、従来の多層情報記録媒体の一例を示す断面図である。
【図１５Ａ】図１５Ａは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｃ】図１５Ｃは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｄ】図１５Ｄは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｅ】図１５Ｅは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｆ】図１５Ｆは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｇ】図１５Ｇは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｈ】図１５Ｈは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｉ】図１５Ｉは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の一例を説明する一工程断面図である。
【図１５Ｊ】図１５Ｊは、図１５Ｃの一部の拡大図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の他の一例を説明する一工程断面図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の他の一例を説明する一工程断面図である。
【図１６Ｃ】図１６Ｃは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の他の一例を説明する一工程断面図である。
【図１６Ｄ】図１６Ｄは、従来の多層情報記録媒体の製造方法の他の一例を説明する一工程断面図である。
【符号の説明】
【０１８５】
１０１、９０１、１００１、７０１ｅ      スキージ
１０２、９０２、１００２                スクリーン枠
１０３、９０３、１００３、７０１ｃ      樹脂含有塗料
１０４、９０４、１００４、７０１ｂ      スクリーン
１０６、９０６、１００６                塗布領域
１０７、９０７、１００７                除去領域
１０８、９０８、１００８、７０１ｆ      容器
１０９、９０９、１００９、７０８        テーブル
１１０、９１０、１０１０                塗料層
９１４                                  除去補助領域
６０１                                  第１信号基板
６０２                                  第１情報記録部
６０３                                  第２信号基板（樹脂層）
６０４                                  第２情報記録部
６０５                                  第３信号基板（樹脂層）
６０６                                  第３情報記録部
６０７                                  第４信号基板（樹脂層）
６０８                                  第４情報記録部
６０９                                  透明層
８０１                                  減圧槽
８０２                                  信号転写用基板
８０３                                  減圧ポンプ
８０４                                  加圧プレート
８０５、７１２                          光照射装置
７０１                                  印刷部
７０２                                  信号転写部
７０３                                  樹脂硬化実施部
７０４                                  剥離処理部
７０５                                  情報記録部形成部
７０６                                  透明層形成部
７０７                                  樹脂層形成部
【図１】
0004827848.tif 000005
【図２】
0004827848.tif 000006
【図３Ａ】
0004827848.tif 000007
【図３Ｂ】
0004827848.tif 000008
【図４Ａ】
0004827848.tif 000009
【図４Ｂ】
0004827848.tif 000010
【図５Ａ】
0004827848.tif 000011
【図５Ｂ】
0004827848.tif 000012
【図５Ｃ】
0004827848.tif 000013
【図５Ｄ】
0004827848.tif 000014
【図６Ａ】
0004827848.tif 000015
【図６Ｂ】
0004827848.tif 000016
【図７Ａ】
0004827848.tif 000017
【図７Ｂ】
0004827848.tif 000018
【図８】
0004827848.tif 000019
【図９Ａ】
0004827848.tif 000020
【図９Ｂ】
0004827848.tif 000021
【図１０Ａ】
0004827848.tif 000022
【図１０Ｂ】
0004827848.tif 000023
【図１１】
0004827848.tif 000024
【図１２】
0004827848.tif 000025
【図１３Ａ】
0004827848.tif 000026
【図１３Ｂ】
0004827848.tif 000027
【図１３Ｃ】
0004827848.tif 000028
【図１３Ｄ】
0004827848.tif 000029
【図１３Ｅ】
0004827848.tif 000030
【図１３Ｆ】
0004827848.tif 000031
【図１４】
0004827848.tif 000032
【図１５Ａ】
0004827848.tif 000033
【図１５Ｂ】
0004827848.tif 000034
【図１５Ｃ】
0004827848.tif 000035
【図１５Ｄ】
0004827848.tif 000036
【図１５Ｅ】
0004827848.tif 000037
【図１５Ｆ】
0004827848.tif 000038
【図１５Ｇ】
0004827848.tif 000039
【図１５Ｈ】
0004827848.tif 000040
【図１５Ｉ】
0004827848.tif 000041
【図１５Ｊ】
0004827848.tif 000042
【図１６Ａ】
0004827848.tif 000043
【図１６Ｂ】
0004827848.tif 000044
【図１６Ｃ】
0004827848.tif 000045
【図１６Ｄ】
0004827848.tif 000046