(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動時のコリオリ力に起因する起電圧が差動電圧で取り出される２つの電極および共通電極を備えた音片型または音叉型の圧電振動子と、
前記圧電素子の前記２つの電極に生じる信号を加算する加算回路と、この加算回路による加算信号の振幅を安定化する振幅制御回路と、前記圧電振動子とを含む発振回路を構成して前記圧電振動子を駆動する駆動回路と、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号を差動増幅する差動増幅回路と、
前記差動増幅回路で増幅された信号を、前記加算信号の所定位相角の検波信号で同期検波して、コリオリ力に応じた電圧信号である角速度検出信号を出力する同期検波回路と、
を備えた角速度センサの温度特性設定方法であって、
前記発振回路の発振周波数と前記起電圧信号の周波数との差の周波数である離調周波数の温度特性を求め、
前記離調周波数の感度特性を求め、
前記起電圧信号の位相角であるコリオリ信号位相と前記発振回路の発振信号位相との差である検波位相の温度特性を求め、
前記検波位相の感度特性を求め、
前記離調周波数の温度特性と前記離調周波数の感度特性とで、離調周波数に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという離調周波数の感度変化特性を導きだし、
前記検波位相の温度特性と前記検波位相の感度特性とで、検波位相に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという検波位相の感度変化特性を導きだし、
前記検波位相の感度変化により前記離調周波数の感度変化を抑制するように、前記検波位相を定めることを特徴とする角速度センサの温度特性設定方法。
【請求項２】
振動時のコリオリ力に起因する起電圧が差動電圧で取り出される２つの電極および共通電極を備えた音片型または音叉型の圧電振動子と、
前記圧電素子の前記２つの電極に生じる信号を加算する加算回路と、この加算回路による加算信号の振幅を安定化する振幅制御回路と、前記圧電振動子とを含む発振回路を構成して前記圧電振動子を駆動する駆動回路と、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって前記２つの電極に生じる起電圧信号を差動増幅する差動増幅回路と、
前記差動増幅回路で増幅された信号を、前記加算信号の所定位相角の検波信号で同期検波して、コリオリ力に応じた電圧信号である角速度検出信号を出力する同期検波回路と、
を備えた角速度センサにおいて、
前記駆動回路から前記発振周期に同期した発振信号を検出するとともに、当該発振信号に対して所定位相角だけ位相シフトした検波信号を前記同期検波回路に対して出力する位相シフト回路を備えた角速度センサ。
【請求項３】
前記発振回路の発振周波数と前記起電圧信号の周波数との差の周波数である離調周波数の温度特性と離調周波数の感度特性とで導き出される、離調周波数に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという離調周波数の感度変化特性と、
前記起電圧信号の位相角であるコリオリ信号位相と前記発振回路の発振信号位相との差である検波位相の温度特性と検波位相の感度特性とで導き出される、検波位相に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという検波位相の感度変化特性とに基づき、
前記検波位相の感度変化により前記離調周波数の感度変化を抑制するように、前記位相シフト回路の移相量を定めた請求項２に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、たとえばカメラの手ぶれ補正等に利用される角速度センサの温度特性設定方法および角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ディジタルスチルカメラやディジタルビデオカメラにおいては、手ぶれ補正のためにカメラの手ぶれを検出する角速度センサが利用されている。
このような角速度センサは、圧電振動子を発振回路の一部とする発振回路によって駆動するとともに、コリオリ力に起因する圧電振動子の振動によって生じる起電圧を検出して、角速度に応じた電圧信号を出力するものである。
上記圧電振動子の起電圧は差動増幅され、圧電振動子を駆動する駆動信号に同期して同期検波されて直流電圧信号に変換された後、直流増幅される。【０００３】
ここで圧電振動子の起電圧信号の周波数と発振回路の発振周波数との差（以下、「離調周波数」という。）が小さいほど角速度の検出感度が高くなる。また、離調周波数は温度特性を持っているため、角速度の検出感度は温度によって変化する。【０００４】
このように角速度センサの感度が温度により変化すると、同じ角速度が加わったとしても温度によって異なる角速度が求まることになり、問題となる。そこで、従来は通常使用する温度範囲で角速度の検出感度が所定範囲内に収まるように、温度に応じた感度の補正を行っている。【０００５】
特許文献１では、離調周波数の温度特性を補正するために、コンデンサと抵抗で構成される移相回路の抵抗部分にサーミスタ等の感温素子を用いている。
ここで特許文献１の角速度センサの構成を図１を参照して説明する。
図１において、円柱型圧電振動子１０の電極５，７，９は、基準電位に接続されている。検出電極６，８は差動増幅器１１および移相回路１４に接続されている。移相回路１４は、駆動発振回路１５を介して振動子１０の駆動電極４に接続されて、自励発振ループが構成されている。これにより、振動子１０の共振周波数にほぼ追従した周波数の交流電圧が駆動電極４に印加され、Ｘ方向の屈曲振動が励起される。検出電極６，８は、Ｘ方向の屈曲振動に対して対称に配置しているので、差動増幅器１１でＸ方向成分の出力はキャンセルされる。【０００６】
コリオリ力によって励起される屈曲振動に対しては、検出電極６および８の出力は、逆相となるから、差動増幅器１１の出力はＹ方向の成分、すなわち回転角速度に比例した交流電圧のみが出力される。差動増幅器１１の出力は、同期検波回路１２で同期検波され、ローパスフィルター１３で整流された結果、回転角速度に比例した直流電圧が出力端子１６に出力される。【０００７】
このような回路において、移相回路１４のＲＣ回路の抵抗素子として感温素子１９を用いる。
【特許文献１】特開平１１−３４４３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、特許文献１に示されているように感温素子を用いて圧電振動子の駆動用発振回路の発振ループ内の移相回路を構成する回路定数を補正するようにしたものでは、温度補償用のたとえばチップ感温抵抗等が必要となり、その実装スペースを確保する必要がある。しかし、面積４ｍｍ角以下の小型の角速度センサを想定した場合に、そのようなチップ部品の実装スペースは存在しない。無理に実装しようとすると表面実装を行う作業が必要になり生産性が著しく低下する。【０００９】
そこで、この発明の目的は、チップ感温抵抗等の感温素子を用いることなく、使用する温度範囲での角速度の検出感度の安定性を高めた角速度センサの温度特性設定方法および角速度センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明の角速度センサの温度特性設定方法は、振動時のコリオリ力に起因する起電圧が差動電圧で取り出される２つの電極および共通電極を備えた音片型または音叉型の圧電振動子と、
前記圧電素子の前記２つの電極に生じる信号を加算する加算回路と、この加算回路による加算信号の振幅を安定化する振幅制御回路と、前記圧電振動子とを含む発振回路を構成して前記圧電振動子を駆動する駆動回路と、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号を差動増幅する差動増幅回路と、
前記差動増幅回路で増幅された信号を、前記加算信号の所定位相角の検波信号で同期検波して、コリオリ力に応じた電圧信号である角速度検出信号を出力する同期検波回路と、
を備えた角速度センサの温度特性設定方法であって、
（１）前記発振回路の発振周波数と前記起電圧信号の周波数との差の周波数である離調周波数の温度特性（温度変化に対する離調周波数の変化特性）を求め、
（２）離調周波数の感度特性（離調周波数に対する感度の関係）を求め、
（３）起電圧信号の位相角であるコリオリ信号位相と発振信号位相との差である検波位相の温度特性を求め、
（４）前記検波位相の感度特性（検波位相に対する感度の関係）を求め、
（５）前記離調周波数の温度特性と前記離調周波数の感度特性とで、離調周波数に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという離調周波数の感度変化特性を導きだし、
（６）前記検波位相の温度特性と前記検波位相の感度特性とで、検波位相に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという検波位相の感度変化特性を導きだし、
（７）前記検波位相の感度変化により前記離調周波数の感度変化を抑制するように、前記検波位相を定めることを特徴としている。
【００１１】
この発明の角速度センサは、振動時のコリオリ力に起因する起電圧が差動電圧で取り出される２つの電極および共通電極を備えた音片型または音叉型の圧電振動子と、
この圧電素子の前記２つの電極に生じる信号を加算する加算回路と、この加算回路による加算信号の振幅を安定化する振幅制御回路と、前記圧電振動子とを含む発振回路を構成して前記圧電振動子を駆動する駆動回路と、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって前記２つの電極に生じる起電圧信号を差動増幅する差動増幅回路と、
前記差動増幅回路で増幅された信号を、前記加算信号の所定位相角の検波信号で同期検波して、コリオリ力に応じた電圧信号である角速度検出信号を出力する同期検波回路と、
を備えた角速度センサにおいて、
前記駆動回路から前記発振周期に同期した信号を検出するとともに、当該発振信号に対して所定位相角だけ位相シフトした同期信号を前記同期検波回路に対して出力する位相シフト回路を備えたことを特徴としている。
【００１２】
また、前記発振回路の発振周波数と前記起電圧信号の周波数との差の周波数である離調周波数の温度特性と離調周波数の感度特性とで導き出される、離調周波数に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという離調周波数の感度変化特性と、
前記起電圧信号の位相角であるコリオリ信号位相と前記発振回路の発振信号位相との差である検波位相の温度特性と検波位相の感度特性とで導き出される、検波位相に関する感度が温度変化に対してどのように変化するかという検波位相の感度変化特性とに基づき、
前記検波位相の感度変化により前記離調周波数の感度変化を抑制するように、前記位相シフト回路の移相量を定める。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の角速度センサの温度特性設定方法によれば、起電圧信号の位相角であるコリオリ信号位相と発振回路の発振信号位相との差である検波位相の温度特性と、検波位相の感度特性とにより定まる検波位相に関する温度変化に対する感度変化が生じて、離調周波数の温度特性と離調周波数の感度特性により定まる離調周波数に関する温度変化に対する感度変化が抑制されるので、感温素子を用いることなく、広い温度範囲にわたって感度をほぼ一定に保つことができる。【００１４】
また、この発明の角速度センサによれば、位相シフト設定回路が前記駆動回路から前記発振周期に同期した信号を検出するとともに、その発振信号に対して所定位相角だけ移相した同期信号を同期検波回路に対して出力するので、この検波位相の制御によって温度変化に対する感度変化を、感温素子を用いることなく定めることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】特許文献１に示されている角速度センサの構成を示す図である。
【図２】この発明の実施形態に係る角速度センサの構成を示すブロック図である。
【図３】同角速度センサに用いる圧電振動子の構成を示す斜視図である。
【図４】同角速度センサの詳細な構成を示す回路図である。
【図５】図４中の所定点の波形図である。
【図６】圧電振動子およびバッファ回路の等価回路図である。
【図７】離調周波数の温度特性を示す図である。
【図８】離調周波数と感度との関係を示す図である。
【図９】検波位相の温度特性を示す図である。
【図１０】検波位相と感度との関係を示す図である。
【図１１】同期検波の位相と位相シフトによる感度特性の変化および総合感度の温度特性を示す図である。
【図１２】同期検波の位相と位相シフトによる感度特性の変化を示す図である。
【図１３】同期検波回路の半周期分のフレームと温度変化に伴うコリオリ力波形および同期検波回路の出力電圧との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００１６】
３１−圧電振動子
３１Ｌ，３１Ｃ，３１Ｒ−電極
４０−位相シフト回路
３７−同期検波回路
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
この発明の実施形態に係る角速度センサとその温度特性設定方法について各図を参照して説明する。
図２は、角柱状圧電体に電極を形成した所謂音片型の圧電振動子を用いた角速度センサの構成を示すブロック図である。図２において、圧電振動子３１は、所謂バイモルフ音片型の圧電振動子である。この圧電振動子３１には左電極３１Ｌと右電極３１Ｒと共通電極３１Ｃとを設けていて、左電極３１Ｌ・右電極３１Ｒと共通電極３１Ｃとの間に駆動電圧を与える。また左電極３１Ｌと右電極３１Ｒとからそれぞれコリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって生じる起電圧を含むＬ信号とＲ信号とを取り出し、入力バッファ回路３２に与える。入力バッファ回路３２にはＬ信号とＲ信号とを加算してＬ＋Ｒ信号を出力する加算回路を備えていて、その加算信号を振幅制御回路３４へ与える。この加算信号はコリオリ力の相殺された安定な帰還信号となる。【００１８】
上述の帰還信号を振幅制御回路３４に与えることにより、振幅一定の駆動電圧となり、この駆動電圧を移相回路３５を介して圧電振動子３１の共通電極３１Ｃに与える。移相回路３５は入力バッファ回路３２からの加算信号の位相を調整するものであり、この加算信号と共通電極３１Ｃに与える駆動電圧の位相差が所望周波数で安定に発振するように調整する。【００１９】
上記圧電振動子３１、入力バッファ回路３２、振幅制御回路３４、および移相回路３５は発振回路を構成している。また、入力バッファ回路３２と振幅制御回路３４と移相回路３５とで、圧電振動子３１を駆動する駆動回路を構成している。【００２０】
同期信号生成回路３６は振幅制御回路３４の出力信号を基に、矩形波状の同期信号を生成する。位相シフト回路４０は、その同期信号の位相を所定量シフトして同期検波回路３７に与える。【００２１】
同期検波回路３７は、差動増幅回路３３から出力される信号を位相シフト回路４０から出力される同期信号に同期して検波を行う。この同期検波回路３７の出力電圧は、圧電振動子３１に加わる角速度にほぼ比例した直流電圧である。直流増幅回路３８は、これを直流増幅して角速度検出信号として出力する。また基準電圧発生回路３９はこの角速度センサ内部および外部へ基準電圧を出力する。【００２２】
図３は上記圧電振動子３１として音叉型の圧電振動子を用いた場合の全体の構成を示す斜視図である。この圧電振動子３１は分極処理が施された２枚の圧電体基板を、その分極方向が対向するように貼り合わせた後、音叉型に形成した圧電振動子であって、音叉型の圧電振動子３１の、対をなす脚部の図に示す底面部分に電極３１Ｌ，３１Ｃ，３１Ｒを形成している。この電極３１Ｌ・３１Ｒと電極３１Ｃとの間に駆動電圧を印加することによって、圧電振動子３１の対をなす脚部は左右開閉方向に基本振動する。【００２３】
この圧電振動子３１に図に示すＲ方向に回転角速度が加わると、圧電振動子３１の対をなす脚部はコリオリ力によって、図における上下方向に逆向きに振動することになる。【００２４】
圧電振動子３１の厚み方向の中間層には回路に接続しない中間金属膜を形成していて、その中間金属膜と電極３１Ｌとの間、中間金属膜と電極３１Ｒとの間、にそれぞれコリオリ力に応じた逆極性の起電圧が発生する。なお、圧電振動子３１の電極３１Ｌ，３１Ｃ，３１Ｒを形成した主面に対向する他方主面側には金属膜を形成してもよいし、しなくてもよい。【００２５】
図４は図２に示した角速度センサの具体的な回路構成を示す図であり、具体化のために回路の接続関係を部分的に変形している。圧電振動子３１には前述の電極３１Ｒ，３１Ｃ，３１Ｌおよび上記中間金属膜３１Ｓを設けている。【００２６】
バッファ回路Ａ１１，Ａ１２は圧電振動子３１の電極３１Ｌ，３１Ｒに発生する電圧を高入力インピーダンスで受ける。また、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２の接続点は基準電圧点に接続している。【００２７】
加算回路４１はバッファＡ１１，Ａ１２の出力電圧を加算して振幅制御回路３４へ与える。移相回路３５は入出力間の位相を所定量シフトする。圧電振動子３１は移相回路３５から出力する電圧によって駆動する。【００２８】
圧電振動子３１の電極（３１Ｒ，３１Ｌ）と電極３１Ｃとの間に印加される電圧は圧電振動子３１が共振するように移相回路３５により位相が調整され、振幅制御回路３４により振幅が制御されるので発振動作を持続することになる。【００２９】
同期信号生成回路３６は、この例では、加算回路４１から出力されるＬ＋Ｒ信号、すなわちコリオリ力の相殺された、上記発振回路の発振周期に相当する信号を入力して振幅を安定化させる。位相シフト回路４０は同期信号生成回路３６の出力信号（正弦波信号）の位相をＣＲ移相回路の時定数を制御することによって、同期信号生成回路３６の出力信号を所定量シフトする。【００３０】
波形整形回路４２は、位相シフト回路４０から出力される信号を同期検波に必要な矩形波信号に変換する。同期検波回路３７は、差動増幅回路３３から出力される信号を波形整形回路の出力信号に同期して検波する。【００３１】
図５は図４に示した同期信号生成回路３６の出力信号Ｓａ、位相シフト回路４０の出力信号Ｓｂ、および波形整形回路４２の出力信号Ｓｃの波形図である。このように同期信号生成回路３６は正弦波信号を出力し、位相シフト回路４０がＣＲ移相回路の時定数によって所定位相分シフトする。波形整形回路４２は信号Ｓｂを所定のしきい値で二値化することによって矩形波信号に変換して同期検波回路３７に与える。【００３２】
図６は、図４に示した圧電振動子３１およびバッファＡ１１，Ａ１２部分の等価回路図である。圧電振動子３１は等価的には図６の（Ａ）のようにコンデンサＣａ，Ｃｂ、抵抗ＲおよびインダクタＬによる回路で表される。また図６の（Ｂ）はバッファＡ１１，Ａ１２の入力部の回路構成を示している。バッファＡ１１，Ａ１２の入力部には検出抵抗を備えていて、圧電振動子３１は共振状態では等価的に検出容量（Ｃ＝Ｃａ＋Ｃｂ）とみなせるので、この圧電振動子３１と検出抵抗とによってＣＲ時定数回路を構成することになる。そして、上記検出容量Ｃは圧電振動子３１の圧電体の温度特性に応じて変化する。そのためバッファＡ１１，Ａ１２の出力電圧（コリオリ力に応じた電圧信号）の位相は温度によって変化し、温度によって発振周波数が変化することになる。また、発振周波数の変化に伴いコリオリ力による起電圧信号の周波数も変化する。【００３３】
図７は前記発振回路の発振周波数（圧電振動子を駆動する駆動周波数でもあるので、図においては駆動周波数として表している。）とコリオリ力に起因する圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号（以下、「検出信号」という。）の周波数およびその差の周波数である離調周波数の温度特性を示している。【００３４】
ここでは２５℃が基準であり、２５℃の時の離調周波数は５０Ｈｚであり、その温度での離調周波数の変化量を０Ｈｚとしている。駆動周波数と検出信号の周波数は、いずれも温度が２５℃より高くなるに従い、また低くなるに従い、低くなるが、基準温度２５℃より高温では検出周波数の変化率が大きく、基準温度２５℃より低温では駆動周波数の変化率が大きい。従って離調周波数は温度変化に伴い（この例では−２０℃から＋８５℃の範囲で）、２５℃のときの離調周波数に対して＋３５〜−５６Ｈｚ（約９１Ｈｚ）だけほぼ直線状に変化する。【００３５】
図８は、基準温度２５℃で離調周波数を５０Ｈｚに設定した際の圧電振動子の離調周波数に対する感度の特性を示している。このように離調周波数が０付近で（検出周波数と駆動周波数が接近するほど）感度は高く、離調周波数が高くなるほど（検出周波数と駆動周波数との差が大きくなると）感度が低下する。この例では離調周波数が−１９Ｈｚで感度が最大となる。離調周波数が＋９０Ｈｚのときの感度が０．２であるのに対し、離調周波数が０Ｈｚのときの感度は０．８であり約４倍も変化する。【００３６】
以上にように、図７から低温になるほど離調周波数の値はプラス側に大きくなり、図８より、そのとき感度が低下することがわかる。逆に、高温になるほど感度は高くなる。【００３７】
図９は、圧電振動子３１を評価回路に接続した状態で、検波位相の温度特性を求めた結果を示している。図９においてグレーで着色した部分は、角速度を与えた状態で１０秒間にわたって計測した、差動増幅回路３３の出力信号（この信号はコリオリ力を検出する信号であるので以下「コリオリ波形」という。）の変動幅を示している。【００３８】
このようにコリオリ力の変化に応じてコリオリ波形の振幅が変化する際、コリオリ波形には節Ｐｎと腹Ｐｓが生じる。この節および腹の位置は、前記発振回路の発振ループの位相と圧電振動子の離調周波数によって決まる。【００３９】
また、図９において「発振信号」は図４に示した加算回路４１の出力信号（Ｌ＋Ｒ信号）であり、この発振信号の立ち下がりのゼロクロス点から上記コリオリ波形の節までの位相差が「検波位相」である。【００４０】
図９の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）に示すように、−２０℃の低温では検波位相が−３５．４°であり、＋２５℃では検波位相は−２５．８°となり、＋８５℃の高温では検波位相は＋１７．６°となる。このように高温になる程、検波位相の絶対値は小さくなり、或る温度を超えて位相差がプラスになる。図９では表れていないが、＋５５℃付近で検波位相は０°となる。【００４１】
同期検波回路３７は上記発振信号の立ち下がりのゼロクロス点から発振周期の１周期分についてコリオリ波形の積分値を検波出力信号とする。具体的には負の半波の積分値の符号を反転した値を正の半波の積分値に加算した値を求める。または、発振信号の立ち下がりのゼロクロス点から発振周期の半周期分についてのコリオリ波形の積分値を検波出力信号とする。【００４２】
図１０は２５℃における上記検波位相に対する感度（検出効率）の関係を示している。検波位相が０°であるとき、検波信号とコリオリ波形の節が一致するので感度は最大となる。すなわち、コリオリ力の大きさの変化による同期検波回路３７の出力電圧変化が最大となる。バイモルフ音叉型圧電振動子を用いたこの例では、図９に示したように、検波位相の温度変化は−２０℃で−３５．４°ずれ、＋５５℃付近で０°となるので、温度変化によって検波位相が変化することに伴う感度特性は、低温で低く、＋５５℃付近で最大になる、という特性となる。【００４３】
以上の結果から、離調周波数の温度特性と検波位相の温度特性はともに低温で感度が低く高温で感度が上昇する感度温度特性がプラス傾向を示すことが分かる。【００４４】
このように検波位相は０°であるとき感度は最大となり、そこから位相がずれるに従って感度が低下する。
そこで、温度によって検波位相が変化することを利用して、温度による離調周波数の変化にともなう感度変化を補正するように検波位相を定める。【００４５】
図１１はその補正について示している。図１１の（ａ）は温度変化により離調周波数が変化することに伴う感度変化の特性である。（ｂ）は温度変化により検波位相が変化することに伴う感度変化の特性であり、曲線Ｕは検波信号（Ｌ＋Ｒ信号）に同期した位相で検波した場合の特性、曲線Ｃは図４に示した位相シフト回路４０の位相シフト量を定めて、温度変化に対する検出感度のピークをシフトさせた例である。図１１の（ｃ）は（ａ）に示した特性と（ｂ）の曲線Ｃで示した特性とを合成した総合感度特性である。温度変化によって離調周波数が変化することに伴う感度変化が右上がりであるのに対し、温度変化に対する補正後の検出感度は右下がり傾向となるので、総合感度は広い温度範囲にわたって平坦な特性にでき、規格化された感度範囲内に収めることができる。【００４６】
図１２は上記位相シフト回路４０によって同期検波の位相をシフトさせた時の感度特性の変化について示している。位相シフトを行わない場合（図９（Ｂ）に示したように、２５℃で検波位相が−２５．８°である場合）、感度変化率が−１５〜＋５％である温度範囲は０℃〜３０℃と狭いが、位相シフト回路４０での位相量を＋２１°として検波位相を−４°にした場合、上記同じ感度変化率を満足する温度範囲は０℃〜＋７５℃およびそれ以上の広い範囲にまで広げることができる。さらに上記位相シフト量を＋３４°として検波位相を＋９°にした場合、上記感度変化率を満足する温度範囲は−１５℃から＋７５℃の広範囲に広がる。しかも感度変化率を狭めることができる。【００４７】
図１３は上記位相シフト量を最適化した状態での温度変化に伴う同期検波の様子を示す図である。ここでは検波信号の半周期分の同期検波について示している。破線は図４に示した波形整形回路４２から出力される矩形波である。また正弦波状の波形はコリオリ波形（図４に示した差動増幅回路３３の出力すなわち同期検波回路３７への入力信号の波形）である。したがってこの破線で示す半周期（同期検波される区間（フレーム））での正弦波が積分されることになるが、基準電圧を挟んで正負の面積が同じ分は相殺されるので、ハッチングで示した残りの面積に比例した電圧が同期検波回路３７の出力電圧となる。【００４８】
図１３の（Ａ）は低温状態、（Ｂ）は常温状態、（Ｃ）は高温状態である。低温状態ではコリオリ波形の正弦波の半周期分が同期検波されるが、温度の上昇に伴って離調周波数が近接するため、コリオリ波形の振幅が増大するが、上記フレームに対するコリオリ波形の位相がずれるので、上記相殺部分が増大し、結果的にハッチングで示す部分の面積がほぼ一定に保たれる。このようにして広い温度範囲にわたって、同期検波回路３７からコリオリ力に応じた高精度な電圧が出力される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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