(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイス位置決め台であって、
デバイスの各辺に対応する複数のガイド部材であって、デバイスの各辺を接触せしめて位置決めするガイド部材と、デバイス位置決め台とは別体に形成されガイド部材を調整するために使用されるガイド部材調整手段を具備し、
少なくとも一つのガイド部材が、ガイド部材をデバイス位置決め台本体部材に摺動可能に支持する摺動機構と、ガイド部材を所望の位置に固定する固定機構を含み、複数の寸法のデバイスを保持可能であり、
ガイド部材はガイド部材調整手段と係合手段により係合され、ガイド部材調整手段によって前記固定機構の固定を解除した後、ガイド部材調整手段が備える駆動手段によりデバイスの寸法に適合するようにセットされる、
ことを特徴とするデバイス位置決め台。
【請求項２】
四角形のデバイスを保持するデバイス位置決め台であり、四角形の四つの辺に対応する各ガイド部材が、それぞれ移動可能にされている、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項３】
ガイド部材を所望の位置に固定する固定機構が、傾斜面を介してガイド部材と摺接する押圧部材を含み、前記傾斜面による楔作用によりガイド部材をデバイス位置決め台本体部材の面に押し付けて成る、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項４】
ガイド部材調整手段は、ガイド部材調整手段とは別体のデバイス寸法計測手段により計測されたデバイスの寸法に基づいてガイド部材の位置を合わせる、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項５】
デバイス位置決め台に情報記録手段が付設され、デバイス位置決め台とは別体の情報読み書き手段によって、情報記録手段にデバイス位置決め台に関わる情報が記録され、また、ガイド部材調整手段に情報記録手段に記録された情報が送られ、ガイド部材調整手段は送られてきた情報に基づきガイド部材の位置を合わせるようにされている、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項６】
デバイスをガイド部材に押し付けるためにデバイス位置決め台とは別体の負圧吸引手段によってデバイスが吸引されるようにされており、
ガイド部材の位置に対応して伸縮する伸縮性材料、または、ガイド部材の位置に対応して変位するシャッタブレード、から成り、吸引時に負圧の漏れを防止して前記負圧吸引手段による吸引力を安定させる吸引力安定化手段を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項７】
デバイス位置決め台本体部材にデバイス位置決め台を使用する装置に取り付ける取付け機構が設けられ、該取付け機構が移動しないガイド部材を有するデバイス位置決め台の取り付け機構と同じとされ、移動しないガイド部材を有するデバイス位置決め台と互換性がある、ことを特徴とする請求項１に記載のデバイス位置決め台。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかのデバイス位置決め台を含むハンドラー。
【請求項９】
ガイド部材調整手段がハンドラーの内部に設けられていることを特徴とする請求項８に記載のハンドラー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】  本発明は、電子部品（以下、デバイスという）の試験等をおこなう際にデバイスを一時的に位置決めするデバイス位置決め台に関する。
また、デバイス位置決め台を有して試験等をおこなうためのハンドラーに関する。
【背景技術】  デバイスの試験をおこなうために検査装置を含むハンドラーという装置が使用される。ハンドラーは、例えば、未検のデバイスを収納した未検トレイ（収納箱）をハンドラー内のローダ部に配置し、未検トレイから所定の個数の未検デバイスを検査装置の所定の位置に移送し、そこで、必要に応じて温度をかけ、さらに、例えば、電子部品試験装置（以下、デバイステスタという）上のＩＣソケット等に移してテストをおこない、テストが終了したデバイスを良品、不良品、再テスト品等にソート（分類）して自動的に収納トレイに収納する、という作業をおこなう（図１参照）。
この際に、未検トレイから取り出された未検デバイスを検査装置の所定の位置へ移送するのに際して、デバイスはまず、供給ロボットによって未検トレイからデバイス位置決め台に移送される。そして、デバイス位置決め台ごと検査装置の所定の場所に移送される。そこで各デバイスはクランパ等でデバイステスタ上のＩＣソケット等に移動される。デバイステスタによるテストが終了した後は、逆に、クランパ等で、まず、ＩＣソケット等からデバイス位置決め台に移送され、その後、デバイス位置決め台から収納、あるいは、分類トレーに移動される。
図１１Ａに示すのは、従来から使用されてきたデバイス位置決め台１００の上面図、図１１Ｂが側面断面図である。このデバイス位置決め台１００のデバイスＤを保持する部分は可動にされてはいないので、デバイスＤの寸法が変化すると対応ができない。したがって、異なるサイズのデバイスＤに対して、それぞれデバイス位置決め台１００を用意する必要がある。
ここで、近年は機器の小型化、部品の高密度実装化が進み、それにともなってデバイスも小型化し、表面実装のパッケージが多くなり、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）等、益々、小さく、薄く、軽く、また、リードピッチが小さくなってきている。
デバイスを位置決めのラフなトレイから狭いピッチのＩＣソケットに挿入するために、デバイス位置決め台のガイド部材は高い精度を要求される。それ故に、デバイスのタイプ、外形寸法が少しでも変われば専用のデバイス位置決め台を製作して、交換しなければならない。
そのために、僅かな寸法の違いでも専用のデバイス位置決め台を用意しなければならないので、高価なデバイス位置決め台を数多く揃えなければならない。ハンドラーにおけるテストの際に、デバイスのタイプ、デバイスの寸法毎にデバイス位置決め台を交換しなければならない。複数のハンドラーを使用している場合には、交換用のデバイス位置決め台の数は膨大になり、大きなスペースとその管理が必要である。また、デバイス位置決め台は高精度が要求されるために僅かな寸法違いでも再製作を余儀なくされる。
そのため、異なる寸法のデバイスに対応できるデバイス位置決め台の開発が切望されている。
特開平１０−１２３２０７号公報はデバイスをデバイス位置決め台の受容部に収容して画像処理をおこなうことを開示している。このようにすることにより、複数の寸法のデバイスを位置決めすることができる。しかしながら、画像処理装置が高価であること、また、画像処理に時間がかかるために、全体の作業効率が低下してしまうという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】  本発明は上記問題に鑑み、複数の寸法のデバイスの位置決めを作業効率を低下せしめることなく実行できるデバイス位置決め台を提供することを目的とする。また、このようなデバイス位置決め台を有するハンドラーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】  本発明によるデバイス位置決め台は、デバイスの各辺に対応する複数のガイド部材であって、デバイスの各辺を接触せしめて位置決めするガイド部材を具備し、少なくとも一つのガイド部材が、ガイド部材をデバイス位置決め台本体部材に摺動可能に支持する摺動機構と、ガイド部材を所望の位置に固定する固定機構を含み、複数の寸法のデバイスを位置決め可能である。
本発明の一つの態様では、四角形のデバイスを保持するデバイス位置決め台として、四角形の四つの辺に対応する各ガイド部材が、それぞれ移動可能にされている。
本発明の一つの態様では、ガイド部材を所望の位置に固定する固定機構が、傾斜面を介してガイド部材と摺接する押圧部材を含み、前記傾斜面による楔作用によりガイド部材をデバイス位置決め台本体部材の面に押し付けるようにされている。
本発明の一つの態様では、ガイド部材は、デバイス位置決め台とは別体のガイド部材調整手段によりデバイスの寸法に適合するようにセットされる。
好ましくは、ガイド部材とガイト部材調整手段は、それぞれを互いに相補的に係合する係合手段により係合される。
好ましくは、ガイド部材調整手段は、ガイド部材調整手段とは別体のデバイス寸法計測手段により計測されたデバイスの寸法に基づいてガイド部材の位置を合わせるようにされている。
好ましくは、デバイス位置決め台に情報記録手段が付設され、デバイス位置決め台とは別体の情報読み書き手段によって、情報記録手段にデバイス位置決め台に関わる情報が記録され、また、ガイド部材調整手段に情報記録手段に記録された情報が送られ、ガイド部材調整手段は送られてきた情報に基づきガイド部材の位置を合わせるようにされている。
本発明の一つの態様では、デバイスを吸引してデバイス位置決め台に押し付ける吸引手段を有し、吸引手段がガイド部材の位置が変わっても吸引手段による吸引力が変化しないようにする吸引力安定化手段を含でいる。
好ましくは、吸引力安定化手段は、ガイド部材の位置に対応して伸縮する伸縮性材料、または、ガイド部材の位置に対応して変位するシャッタブレード、で構成される。
本発明の一つの態様では、デバイス位置決め台本体部材にデバイス位置決め台を使用する装置に取り付ける取付け機構が設けられ、該取付け機構が移動しないガイド部材を有するデバイス位置決め台の取り付け機構と同じとされ、移動しないガイド部材を有するデバイス位置決め台と互換性がある、ようにされている。
また、本発明によれば、上記のいずれかのデバイス位置決め台を含むハンドラーが提供される。
なお、ガイド部材調整手段はハンドラーの内部に設けることもできるし、ハンドラーの外部に設けることもできる。
【図面の簡単な説明】  図１は本発明によるデバイス位置決め台を含むハンドラーの上面図である。
図２は図１のハンドラー内の検査搬送装置の斜視図である。
図３Ａは、本発明のデバイス位置決め台の上面図である。
図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿って見た断面図である。
図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線に沿って見た断面図である。
図４Ａは小さなデバイスを保持したときのデバイス位置決め台の上面図である。
図４Ｂは小さなデバイスを保持したときのデバイス位置決め台の側面断面図である。
図５Ａは大きなデバイスを保持したときのデバイス位置決め台の上面図である。
図５Ｂは大きなデバイスを保持したときのデバイス位置決め台の側面断面図である。
図６はハンドラーの外部に配置されるガイド移動調整装置である。
図７は図６の要部拡大図である。
図８はデバイス位置決め台の外側表面に添付されたデータ記録部材と、そこに記録されているデータを読取り、あるいは、書き込むデータ読み書き装置を示す図である。
図９はデバイスの寸法をデバイス測定手段で計測する様子を示す図である。
図１０Ａは小さなデバイスＤが載置された場合の吸引力低下防止部材の形を示す図である。
図１０Ｂは大きなデバイスＤが載置された場合の吸引力低下防止部材の形を示している。
図１１Ａは従来のガイド部材が固定されているデバイス位置決め台の上面図である。
図１１Ｂは図１１ＡのＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿って見た断面図である。
【発明を実施するための最良の形態】  以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図３Ａは本発明によるデバイス位置決め台１００の上面図であり、図３Ｂは、図３ＡのＩＩＩＢ−ＩＩＩＢ線に沿って見た断面図であり、図３Ｃは、図３ＡのＩＩＩＣ−ＩＩＩＣ線に沿って見た断面図である。
１０１はガイド部材である。ガイド部材１０１はガイドベース１０１ａにガイドエレメント１０１ｂをボルト１０１ｃによって固定して形成されている。なお、ガイドベース１０１ａとガイドエレメント１０１ｂを一体に形成してもよい。ガイドベース１０１ａには長手方向に直角に延びる凹溝１０１ｄが形成されている。本実施の形態では凹溝１０１ｄはＶ溝とされている。
ガイド部材１０１は逆Ｔ字形の断面を有し（図３Ｃ参照）、ガイド部材１０１と同様に逆Ｔ字形の断面を有する溝１０２内を摺動する。この逆Ｔ字形の溝１０２はデバイス位置決め台１００の本体部材１０３に断面長方形の溝１０４を形成したものに中央に隙間を空けるようにしてカバー部材１０５を取り付けて形成されている。
１０６はクランプブロックである。クランプブロック１０６はカバー部材１０５、本体部材１０３を部分的に除去して配置されている。クランプブロック１０６の中心側の面１０６ａはガイド部材１０１のガイドベース１０１ａの側面に当接するがその当接面は微少な角度θだけ傾斜している。
クランプブロック１０６は皿ばね１０７を介装したボルト１０８とナット１０９により本体部材１０３に押し付けられている。皿ばね１０７によりクランプブロック１０６は下側に押し付けられ、前述したように当接面が傾斜していることによって楔作用が発生し、クランプブロック１０６がガイド部材１０１のガイドベース１０１ａを溝１０４の側面に押し付ける。その結果、ガイド部材１０１の位置が固定される。
ボルト１０８の頭部を皿ばね１０７の方へ押しこむと皿ばね１０７による押し付け力が作用しなくなるので、ガイド部材１０１の固定が解除されガイド部材１０１が移動可能となる。
また、図３Ｂに示されるように本体部材１０３の中央には垂直方向に貫通する穴１１０が形成されている。この穴１１０は、デバイスＤが載置された後に吸引してデバイスＤを保持するための吸引穴として利用され、また、デバイス位置決め台１００をセットする際のガイド穴としても利用される。
図３Ｂに１０３ａで示されるのはデバイス位置決め台１００をハンドラー１（図１参照）にセットする際に使用される取付け機構であり、１０３ｂで示されるのは同じく位置合わせのためのガイド穴である。上記の取り付け機構１０３ａ、ガイド穴１０３ｂは図１１ａ、図１１ｂに示されるガイド部材が不動の従来のデバイス位置決め台のものと同じとされている。したがって、本発明のデバイス位置決め台１００は従来の不動のガイド部材を有するデバイス位置決め台と互換性を有する。
図４Ａ、図４Ｂは、デバイス位置決め台１００が保持できる最小のデバイスＤを保持した場合の様子を上面、及び、側面から示した図である。図４Ｂに示されるように、ガイドエレメント１０１ｂのデバイス受面１１１は上側が急斜面、下側が緩斜面を有する。
図５Ａ、図５Ｂは、より大きなデバイスＤを保持した場合の、デバイス位置決め台１００の状態を示している。
本発明のデバイス位置決め台は、異なる寸法のデバイスを支持できることが最大の利点であり、特徴である。
そこで、デバイスの寸法に合うようにガイド部材１０１を移動し、固定する方法について説明するが、ある寸法を有するデバイス（前回のデバイスという）での作業が終了して、別の寸法のデバイス（今回のデバイスという）での作業の準備をおこなう場合を説明する。
まず、デバイス位置決め台１００は後述するようにハンドラーに、詳細には、その横移送板５に、取り付けられる。この横移送板５への取り付け、取り外しは作業者により手動でおこなわれる。
取り外されたデバイス位置決め台１００は図６に示されるガイド移動調整装置２００に取り付けられる。このガイド移動調整装置２００は、この実施の形態ではハンドラー１の外部に設けられているが、ハンドラー１の内部に設けることも可能である。
この図示されるガイド移動調整装置２００の場合は、図示されるように、デバイス位置決め台１００を裏返し、すなわち、デバイスＤを受ける側を下側にして作業がおこなわれるが、デバイス位置決め台１００を裏返しせずに、通常の姿勢で取り付けるようにされているガイド移動調整装置もある。
この際、ガイドピン（図示しない）にデバイス位置決め台１００のガイドピン受け１１２（図３Ａ，３Ｂ参照）を係合せしめ、図示しない手段によりデバイス位置決め台１００をガイド移動調整装置２００にセットする。
次いで、クランプ解除ピン２０１を空気圧や電動モータ等を利用した上下駆動装置２０２で押し下げ、デバイス位置決め台１００のクランプブロック１０６を固定しているボルト１０８を皿ばね１０７の付勢力に抗して押し下げる。その結果、楔作用が無くなり、ガイド部材１０１を溝１０２の壁に押圧していた押圧力が解除され、ガイド部材１０１は移動可能な状態にされる。
ここで、予め、凸部２０３を最後に使用された前回のデバイスの寸法に対応した凹溝１０１ｄの位置に合うようにしておけばデバイス位置決め台１００をガイド移動調整装置２００にセットすると同時に凸部２０３が凹溝１０１ｄに係合することができる。
そこで、デバイス位置決め台１００の側面にデバイスデータ記録部材１２０を付設しておき（図８参照）、予め、例えば、データ読み書き装置１３０（図８参照）で書き込んでおき、デバイスデータ記録部材１２０に書き込まれた値を、データ読み書き装置１３０で読取るようにする。
データ読み書き装置１３０はガイド移動調整装置２００に接続できるようにされていて、あるいは、常時接続されていて、ガイド移動調整装置２００は読取られたデバイスの寸法に応じてセットすべき凸部２０３の間隔を計算し、計算された値になるように凸部２０３の間隔を調整する。この調整方法は手動による入力でもよい。
さて、上記のようにしてガイド移動調整装置２００の凸部２０３がデバイス位置決め台１００のガイド部材１０１の凹溝１０１ｄに係合したら、ガイド移動調整装置２００の凸部２０３の間隔を、今回のデバイスの寸法に対応した値になるように変更しなければならない。
変更手段は手動によるデータ入力でもよいし、図９に示すようなデバイス測定手段１４０で今回のデバイスの寸法を測定する。デバイス測定手段１４０はガイド移動調整装置２００に接続できるようにされていて、あるいは、常時接続されていて、ガイド移動調整装置２００は読取られたデバイスの寸法に応じてセットすべき凸部２０３の間隔を計算し、計算された値になるようにモータ２０５を駆動して凸部２０３の間隔を調整する方法でもよい。
デバイス測定手段１４０は画像処理、電子マイクロレーザー、定圧荷重をかけての測定等で形成される。
なお、デバイスデータ記録部材１２０は、ＩＣタグ、ＩＣチップ、メモリーカード、磁気カード、バーコード等で形成することができる。
図７は図６の凸部２０３と凹溝１０１ｄが係合している部分の近傍を拡大して示した図である。
凸部２０３の移動はモータ２０５によりボールネジ機構２０４を介しておこなわれる。なお、本実施の形態では、デバイスＤの互いに平行な２辺を支持するガイド部材１０１を移動せしめる左右のボールネジ機構２０４がそれぞれ別個のモータ２０５で駆動されているが、左右のボールネジ機構２０４の、一方を左ネジ、他方を右ネジにして１つのモータ２０５で同期させながら駆動することも可能である。
次に吸引力の低下の防止について説明する。
前述したように、デバイスＤを保持するためにデバイスＤがデバイス位置決め台１００に載置されると穴１１０から吸引される。ここで、図４Ａ，図４Ｂに示されるように小さいサイズのデバイスＤの場合は、隣接するガイドエレメント１０１ｂの間に隙間はなく、ここから真空圧が漏れることは殆どない。しかしながら、図５Ａ，図５Ｂに示されるように大きいサイズのデバイスＤの場合は、隣接するガイドエレメント１０１ｂの間に大きな隙間が存在し、効果的に吸引することができない。
そこで、この実施の形態においては、図１０Ａ、図１０Ｂに示すように、伸縮性の材料、例えば、スポンジのようなもの、で形成された吸引力低下防止部材１４０を各ガイドエレメント１０１ｂの両側に取り付けることができる。図１０Ａは小さなデバイスＤが載置された場合の吸引力低下防止部材１４０の形を示し、図１０Ｂは大きなデバイスＤが載置された場合の吸引力低下防止部材１４０の形を示している。
なお、吸引力低下防止部材１４０は、上述のように伸縮性の材料で形成する他、各隙間を１または複数のシャッタブレードで覆うシャッタ式とすることもできる。
以下、上記のように構成、作用する、デバイス位置決め台１００が装着されるハンドラーにについて説明する。
図１はハンドラーの上面図である。この図１に示されるハンドラーはデバイス位置決め台１００が横方向に直線的に移動する横移動型であるが、このような横移動型の他にデバイス位置決め台１００が旋回して移動する旋回型のハンドラーもあるが説明は省略する。図１において、Ａは機枠テーブルであり、１は充填トレイのローダー、２はプレヒートパネル、３は供給ハンド、４は空トレイのバッファー、５は横移送板、６は円盤、７は円盤駆動用の制御モーター、８と９は円盤６に搭載した制御モーター、１０は円盤駆動ベルト、１１はモーター７のプーリ、ＴはＩＣソケット、１２は排出ハンド、１３，１４は検査済み製品のアンローダ、１５は一枚置きアンローダー、１６は操作ボックスであり、ＩＣソケットＴに接続する電線コードはテーブルＡの下方の（図示しない）測定装置に連結してある。
充填トレイのローダー１の始端側はトレイを積載して順送りするマガジン構成を採用してあり、外寸法の同一なトレイには数十個以上、場合によっては、百個以上のデバイスＤを規則正しく配列されるように成してあり、積み重ねられた下側のトレイから図１の上方に順次送り出されて、ローダー１の所定位置まで送られるとトレイは係止される。そこで供給ハンド３が移動を開始し、トレイから所定個数のデバイスを吸着して、デバイスＤを２個づつ横移送板５の左端部に配置されているデバイス位置決め台１００に移送し、その後、横移送板５が右に移動して定位置に停止する。
次いで、検査搬送装置Ｂ内での作動を図２を参照して説明する。図２を参照すると、円盤６は円盤駆動用の制御モーター７によって、１８０度の正逆回転される。円盤６の下方で、円盤６の回転中心に対して対称位置において、第一ステージ側のシリンダケース２８の下端に設けた吸着パッド（図示しない）は、前記した横移送板５のデバイス位置決め台１００からデバイスＤを吸着して上昇する。すると円盤６は１８０度回動して、デバイスＤを第二ステージのＩＣソケットＴの上方部に位置せしめる。
この時、横移送板５は左に移動し、供給ハンド３が次のデバイスＤをデバイス位置決め台１００へ移送する。この時点で、左に移動した横移送板５の右端部に設けたデバイス位置決め台１００の上方には、もう一方側のシリンダケース２９に設けた吸着パッド（図示せず）が検査済みのデバイスＤを吸着して位置しており、この吸着パッドを降下させてデバイス位置決め台１００に検査済みのデバイスＤを載置する。
供給ハンド３にて供給されたデバイスＤと、検査済みのデバイスＤの二つがセットされている横移送板５が右に移動すると、排出ハンド１２が駆動され、検査済みのデバイスＤがのっているデバイス位置決め台１００より検査済みのデバイスＤを拾い出す。このデバイスＤは既にＩＣソケットＴ内に押圧されて測定装置によって測定され、この測定値に基づく情報が排出ハンド１２に伝達され、検査済みのデバイスＤの排出先が指示される。
即ち、測定装置によってデバイスＤの特性が検出され、デバイスＤの品質のランクが明らかとなり層別される、測定結果から数段階に層別されるものであって、使用対称物によって使用可能のものと、使用不能の不良品、および、再検査品に別けられる。
上述の、本発明のデバイス位置決め台１００はガイド部材１０１が可動であるので寸法の異なるデバイスＤに対して使用できる。しかし、あまりに広い寸法の変化に対して１つのデバイス位置決め台１００で対応しようとすると大きいサイズのものを保持するときに不安定になってしまう。
例えば、現在では、デバイスは最小のものは一辺の長さが１ｍｍ程度であるが、最大のものは一辺の長さが５０ｍｍに達する。一辺の長さが１ｍｍ程度のデバイスを位置決めするためのデバイス位置決め台では、ガイド部材１０１のデバイスを支持する巾は、最大でも１ｍｍしかないので、到底、一辺が５０ｍｍもあるような大きなのデバイスを位置決めは事実上不可能である。
したがって、デバイスの大きさに応じて複数種類のデバイス位置決め台１００を用意するのが好ましい。これでも、従来は各寸法に対応してそれぞれ、固定タイプのデバイス位置決め台を用意しなければならなかったとすれば、格段に少量化される。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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