(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールを記憶する工程仕様ルール記憶部と、
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローを記憶する工程フロー記憶部と、
前記工程フローの各工程を、前記工程仕様ルールと照らし合わせて、前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするチェック部と、
を備えることを特徴とする工程フローチェック装置。
【請求項２】
前記チェック部は、前記工程フローにおける前記停止条件と前記再開条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックしないことを特徴とする請求項１記載の工程フローチェック装置。
【請求項３】
前記チェック部は、前記工程フローにおける前記停止条件と前記終了条件に該当する工程の間に前記再開条件に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間のみにおいて前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックすることを特徴とする請求項１記載の工程フローチェック装置。
【請求項４】
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールと、
をコンピュータにおいて照らし合わせるステップと、
前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックするステップと、
を含むことを特徴とする工程フローチェック方法。
【請求項５】
前記工程フローにおける前記停止条件と前記再開条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックしないことを特徴とする請求項４記載の工程フローチェック方法。
【請求項６】
前記工程フローにおける前記停止条件と前記終了条件に該当する工程の間に前記再開条件に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間のみにおいて前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックすることを特徴とする請求項４記載の工程フローチェック方法。
【請求項７】
複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、
チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールと、
を照らし合わせるステップと、
前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とする工程フローチェックプログラム。
【請求項８】
前記工程フローにおける前記停止条件と前記再開条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かのチェックをコンピュータに実行させないことを特徴とする請求項７記載の工程フローチェックプログラム。
【請求項９】
前記工程フローにおける前記停止条件と前記終了条件に該当する工程の間に前記再開条件に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間のみにおいて前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かのチェックをコンピュータに実行させることを特徴とする請求項７記載の工程フローチェックプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作成した工程フローを、予め定められた工程仕様ルールと照らし合わせて、仕様違反の有無をチェックする工程フローチェック装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の工程フローチェック装置では、作成した工程フローの仕様違反の有無をチェックするための工程仕様ルールとして、以下の３つのルールがある。
【０００３】
第１の工程仕様ルールとして、正方向および逆方向に係る存在必須ルールがある。正方向に係る存在必須ルールは、図６（ａ）に示すように、製造工程の開始工程から最終工程への方向（この方向を「正方向」）にチェックを行う際、２つの特定工程間に必須工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａから工程Ｃまでの間に工程Ｂが必須であるとき、開始条件；工程Ａ、終了条件；工程Ｃ、必須条件；工程Ｂと表す。逆方向に係る存在必須ルールは、図６（ｂ）に示すように、製造工程の終了工程から開始工程への方向（この方向を「逆方向」）にチェックを行う際、２つの特定工程間に必須工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｃから工程Ａまでの間に工程Ｂが必須であるとき、開始条件；工程Ｃ、終了条件；工程Ａ、必須条件；工程Ｂと表す。以上のような第１の工程仕様ルールは、特許文献１、３で開示されている。ここで、「開始条件」とは、チェックを開始するための工程を規定した条件をいう。「必須条件」とは、少なくとも開始条件に設定された工程が存在するときに開始条件に設定された工程の前または後に必須となる工程を規定した条件をいう。「終了条件」とは、チェックを終了するための工程を規定した条件をいう。
【０００４】
第２の工程仕様ルールとして、直前および直後に係る存在必須ルールがある。直前に係る存在必須ルールは、図７（ｃ）に示すように、ある特定工程の直前に直前工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｂの直前に工程Ａが必須であるとき、開始条件；工程Ｂ、必須条件；工程Ａと表す。直後に係る存在必須ルールは、図７（ｄ）に示すように、ある特定工程の直後に直後工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ｂの直後に工程Ｃが必須であるとき、開始条件；工程Ｂ、必須条件；工程Ｃと表す。以上のような第２の工程仕様ルールは、特許文献２で開示されている。
【０００５】
第３の工程仕様ルールとして、存在禁止ルールがある。存在禁止ルールは、図８に示すように、２つの特定工程間に禁止工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａから工程Ｃまでの間に工程Ｂの存在を禁止するとき、開始条件；工程Ａ、終了条件；工程Ｃ、禁止条件；工程Ｂと表す。以上のような第３の工程仕様ルールは、特許文献１、３で開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１５１３７４号公報
【特許文献２】特開２００１−９３７９３号公報
【特許文献３】特開平８-３１５０１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、工程フローの多様化、複雑化により、特定工程間に限り工程フローのチェックの対象外とする場合がでてきており、従来の工程フローチェック装置および方法では、仕様違反の検出が困難になるケースがでてきている。
【０００８】
例えば、図９にあるように、ケース（Ａ）ではＴｉＮスパッタと入庫の間に酸剥離を禁止とするが、ケース（Ｂ）ではＴｉＮスパッタと入庫の間でもベベルエッチからＰＲ工程までは酸剥離を許可する、といった場合がある。ケース（Ａ）において酸剥離が存在した場合は仕様違反あり、ケース（Ｂ）において酸剥離が存在した場合は仕様違反なし、となるようにしたいが、従来の工程フローチェック装置および方法では、工程仕様ルール（第３の工程仕様ルールの存在禁止ルール）を用いてケース（Ａ）の仕様違反を検出する工程仕様ルールを適用した場合、ケース（Ｂ）には対応できず、ケース（Ｂ）のチェック結果は仕様違反となってしまう（ちなみに違反ではないが結果が違反となる場合を「擬似違反」という）。チェックの結果、仕様違反となった場合においては、その都度、人が判断して対処するが、このような擬似違反が多いと、確認の工数が増加するばかりか、最悪、真の仕様違反を見逃すケースが出てきてしまう。
【０００９】
本発明の主な課題は、製造工程フローの多様化、複雑化にも対応できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の第１の視点においては、工程フローチェック装置において、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールを記憶する工程仕様ルール記憶部と、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローを記憶する工程フロー記憶部と、前記工程フローの各工程を、前記工程仕様ルールと照らし合わせて、前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするチェック部と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記チェック部は、前記工程フローにおける前記停止条件と前記再開条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックしないことが好ましい。
【００１２】
本発明の前記工程フローチェック装置において、前記チェック部は、前記工程フローにおける前記停止条件と前記終了条件に該当する工程の間に前記再開条件に該当する工程が存在しないときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間のみにおいて前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックすることが好ましい。
【００１３】
本発明の第２の視点においては、工程フローチェック方法において、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールと、をコンピュータにおいて照らし合わせるステップと、前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをコンピュータにおいてチェックするステップと、を含むことを特徴とする。
【００１４】
本発明の第３の視点においては、前記工程フローチェックプログラムにおいて、複数の工程を所定の順序で配列した工程フローの各工程を、チェックを開始するための工程が規定された開始条件と、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程が規定された停止条件と、チェックが停止した後にチェックを再開するための工程が規定された再開条件と、チェックを終了するための工程が規定された終了条件と、前記開始条件に設定された工程と前記終了条件に設定された工程の間に必須又は禁止となる工程が規定された必須条件又は禁止条件と、が設定された工程仕様ルールと、を照らし合わせるステップと、前記工程フローにおいて前記開始条件、前記停止条件、前記再開条件、および前記終了条件に該当する工程が存在するときに、前記工程フローにおける前記開始条件と前記停止条件に該当する工程の間、および、前記再開条件と前記終了条件に該当する工程の間において前記必須条件又は前記禁止条件に該当する工程が存在するか否かをチェックするステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明（請求項１−９）によれば、「停止条件，再開条件」という発想を追加することで、これまでの工程仕様ルールでは実現できなかった工程フローの仕様をチェックできるようになる。つまり、工程フローの多様化、複雑化により、従来の工程仕様ルールでは対応できなくなった工程仕様にもフローチェックできるようになり、工程フロー作成ミスによる製造不具合（半導体製造工程でいう、汚染事故）を未然に防止できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【００１７】
実施形態１に係る工程フローチェック装置１０は、作成した工程フローを、予め定められた工程仕様ルールと照らし合わせて、仕様違反の有無をチェックするコンピュータであり、表示部１１と、工程フロー入力部１２と、工程フロー記憶部１３と、工程仕様ルール入力部１４と、工程仕様ルール記憶部１５と、チェック部１６と、を有する。
【００１８】
表示部１１は、仕様違反の有無等の情報を表示する部分である。
【００１９】
工程フロー入力部１２は、技術者が作成完了した工程フローを入力するための部分である。工程フロー入力部１２では、仕様違反があった場合に、技術者が工程フローの修正を行う。工程フロー記憶部１３は、工程フロー入力部１２にて入力された工程フローを記憶する部分である。
【００２０】
工程仕様ルール入力部１４は、工程フローから導き出される工程仕様に基づいて作成された工程仕様ルールを入力するための部分である。工程仕様ルール記憶部１５は、工程仕様ルール入力部１４にて入力された工程仕様ルールを記憶する部分である。
【００２１】
チェック部１６は、工程フローと工程仕様ルールに基づいて仕様違反の有無のチェックを実行するためのプログラムを実装する。チェック部１６は、工程フロー記憶部１３に記憶されている工程フローと、工程仕様ルール記憶部１５に記憶されている工程仕様ルールと、を読み出して、当該工程フローが当該工程仕様ルールに適しているかどうかをチェックする。チェック部１６は、チェックした結果、仕様違反の有無を表示部１１に表示させる。チェック部１６は、仕様違反がなかった場合に、該当する工程フロー（仕様違反のないチェック済みのもの）を工程フロー記憶部１３から工程フロー記憶装置２１に送信する。
【００２２】
なお、工程フロー記憶部１３から送信された工程フローは、工程フローチェック装置１０の外部にある工程フロー記憶装置２１に記憶される。生産制御システム２２は、工程フロー記憶装置２１に記憶された工程フローを読み出して、当該工程フローに基づいて製造指示を加工装置２３や搬送設備２４に送信する。加工装置２３や搬送設備２４は、生産制御システム２２からの製造指示に基づいて所定の動作を行うことになる。
【００２３】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールについて図面を用いて説明する。図２は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【００２４】
図２に示す第４の工程仕様ルールは、従来の第３の工程仕様ルール（存在禁止ルール；図８参照）を改良したものである。第４の工程仕様ルールは、２つの特定工程間であって停止条件から再開条件の間を除く部分に禁止工程が存在するか否かをチェックするためのルールである。例えば、工程仕様ルール上、工程Ａから工程Ｇまでの間であって工程Ｃから工程Ｅまでの間に禁止工程に該当する工程Ｄが存在するとき、開始条件；工程Ａ、停止条件；工程Ｃ、再開条件；工程Ｅ、終了条件；工程Ｇ、禁止条件；工程Ｄと表す。なお、禁止条件；工程Ｄは、停止条件；工程Ｃと再開条件；工程Ｅの間に存在するので、工程フローチェックの対象外となる。また、工程Ｂまたは工程Ｆが禁止工程に該当する場合、工程Ｂまたは工程Ｆは、工程フローチェックの対象となる。
【００２５】
ここで、「開始条件」とは、チェックを開始するための工程を規定した条件をいう。「停止条件」とは、チェックを開始した後にチェックを停止するための工程を規定した条件をいう。「禁止条件」とは、チェックの際に禁止となる工程を規定した条件をいう。「再開条件」とは、チェックを停止した後にチェックを再開するための工程を規定した条件をいう。「終了条件」とは、チェックを終了するための工程を規定した条件をいう。
【００２６】
図９に示した従来技術の問題点では、第４の工程仕様ルールを適用することにより、期待通りの工程フローチェックを行うことができる。その時の工程仕様ルールの設定は、以下のようになる。なお、チェック結果は図３に示すようになる。図３は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく動作の一例を説明するための模式図である。
【００２７】
第４の工程仕様ルールとして、例えば、「ＴｉＮスパッタ工程から入庫工程の間において、酸剥離工程の存在を禁止する。ただし、ベベルエッチ工程からＰＲ工程の間に限りチェック対象外とする」と設定した場合、開始条件；ＴｉＮスパッタ工程、停止条件；ベベルエッチ工程、再開条件：ＰＲ工程（塗布工程）、終了条件；入庫工程、禁止工程：酸剥離工程と表す。図３（Ａ）では、開始条件；ＴｉＮスパッタ工程と終了条件；入庫工程の間に停止条件；ベベルエッチ工程と再開条件：ＰＲ工程（塗布工程）が存在しないので、禁止工程：酸剥離工程が禁止条件となり、酸剥離工程の有無を確認する工程フローチェックが行われることになる。一方、図３（Ｂ）では、開始条件；ＴｉＮスパッタ工程と終了条件；入庫工程の間に停止条件；ベベルエッチ工程と再開条件：ＰＲ工程（塗布工程）が存在するので、停止条件；ベベルエッチ工程と再開条件：ＰＲ工程（塗布工程）の間に禁止工程：酸剥離工程が存在する場合であっても、酸剥離工程の有無を確認する工程フローチェックが行われない。
【００２８】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく他の動作について図面を用いて説明する。図４は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく他の動作を説明するための模式図である。
【００２９】
工程フローチェック装置は、作成した工程フローにおいて（第４の工程仕様ルールの）停止条件と再開条件の間に終了条件が存在する場合、工程フローチェックを終了する。
【００３０】
次に、実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作について図面を用いて説明する。図５は、本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作を説明するためのフローチャートである。ここでは、特許文献１の図４に示されているフローチャートと比較しながら説明する。
【００３１】
まず、工程番号を示す変数ｎに０を設定する（ステップＳ１０）。次に、変数ｎに１加算して（ステップＳ１１）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される開始工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１２）。開始工程である場合は（ステップＳ１２のＹＥＳ）、ステップＳ１４に進む。開始工程でない場合（ステップＳ１２のＮＯ）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される最終工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１３）。最終工程である場合は（ステップＳ１３のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ１３のＮＯ）、ステップＳ１１へ戻って処理を繰り返す。なお、ステップＳ１０〜１３については、特許文献１の図４と同様である。
【００３２】
開始工程である場合は（ステップＳ１２のＹＥＳ）、変数ｎで示される工程が工程仕様ルールで示される最終工程であるかどうかを判断する（ステップＳ１４）。最終工程である場合は（ステップＳ１４のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ１４のＮＯ）、工数をカウントする変数ｉを０に設定する（ステップＳ１５）。次に、変数ｉを１加算する（ステップＳ１６）。なお、ステップＳ１４〜１７については、特許文献１の図４と同様である。
【００３３】
次に、変数ｎ＋ｉで示される工程について停止フラグがｏｎになっているかどうかを判断する（ステップＳ２１）。停止フラグがｏｎになっている場合（ステップＳ２１のＹＥＳ）、ステップＳ２４に進む。停止フラグがｏｎになっていない場合（ステップＳ２１のＮＯ）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される停止工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ２２）。停止工程に該当する場合（ステップＳ２２のＹＥＳ）、停止フラグをｏｎにし（ステップＳ２３）、ステップＳ１６へ戻って処理を繰り返す。停止工程に該当しない場合（ステップＳ２２のＮＯ）、ステップＳ２６に進む。停止フラグがｏｎになっている場合（ステップＳ２１のＹＥＳ）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される再開工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ２４）。再開工程に該当しない場合（ステップＳ２４のＮＯ）、ステップＳ１６へ戻って処理を繰り返す。再開工程に該当する場合（ステップＳ２４のＹＥＳ）、停止フラグをｏｆｆにし（ステップＳ２５）、ステップＳ２６に進む。なお、ステップＳ２１〜２５については、特許文献１の図４にない追加事項である。
【００３４】
停止フラグをｏｆｆにした後、又は、停止工程に該当しない場合（ステップＳ２２のＮＯ）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される禁止工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ２６）。禁止工程に該当する場合（ステップＳ２６のＹＥＳ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が否定された旨（ＮＧ）のフラグをｏｎに設定し（ステップＳ２８）、ステップＳ３６に進む。禁止工程に該当しない場合（ステップＳ２６のＮＯ）、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される必須工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ３０）。必須工程に該当する場合（ステップＳ３０のＹＥＳ）、必須フラグをｏｎに設定し（ステップＳ３２）、ステップＳ３４へ進む。必須工程に該当しない場合（ステップＳ３０のＮＯ）、そのままステップＳ３４へ進む。なお、ステップＳ２６、２８、３０、３２については、特許文献１の図４と同様である。
【００３５】
必須工程に該当しない場合（ステップＳ３０のＮＯ）、又は、ステップＳ３２の後、変数ｎ＋ｉで示される工程が工程仕様ルールで示される終了工程に該当するかどうかを判断する（ステップＳ３４）。終了工程に該当する場合（ステップＳ３４のＹＥＳ）、ステップＳ１１に戻って処理を繰り返す。終了工程に該当しない場合（ステップＳ３４のＮＯ）、ｎ＋ｉ工程が最終工程かどうかを判断する（ステップＳ３６）。最終工程である場合（ステップＳ３６のＹＥＳ）、ステップＳ４０に進む。最終工程でない場合（ステップＳ３６のＮＯ）、工数をカウントする変数ｉが工程仕様ルールで示される検査工数（ｋ）に等しいかどうか判断する（ステップＳ３８）。変数ｉが検査工数（ｋ）に等しくない場合（ステップＳ３８のＮＯ）、ステップＳ１６へ戻って処理を繰り返す。変数ｉが検査工数（ｋ）に等しい場合（ステップＳ３８のＹＥＳ）、ステップＳ１１へ戻って処理を繰り返す。なお、ステップＳ３４、３６、３８については、特許文献１の図４と同様である。
【００３６】
最終工程まで検査が進んだら、禁止フラグがｏｎに設定されているかどうかを判断する（ステップＳ４０）。当該フラグがｏｎではない場合（ステップＳ４０のＮＯ）、必須フラグがｏｎに設定されているかどうか判断する（ステップＳ４２）。必須フラグがｏｎに設定されている場合（ステップＳ４２のＹＥＳ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が認められた旨（ＯＫ）の判断を示して（ステップＳ４６）、終了する。禁止フラグがｏｎに設定されている場合（ステップＳ４０のＹＥＳ）、又は、必須フラグがｏｎに設定されていない場合（ステップＳ４２のＮＯ）、工程仕様ルールにより当該工程間の順序が否定された旨（ＮＧ）の判断を示して（ステップＳ４４）、終了する。なお、ステップＳ４０、４２、４４、４６については、特許文献１の図４と同様である。
【００３７】
なお、図５に示されたフローチャートでは存在禁止ルールを例にして述べてきたが、停止条件および再開条件は、その他の工程仕様ルール（存在必須（正方向），（逆方向）ルール）においても同様に設定できる。
【００３８】
実施形態１によれば、「停止条件，再開条件」という発想を追加することで、これまでの工程仕様ルールでは実現できなかった工程フローの仕様をチェックできるようになる。つまり、工程フローの多様化、複雑化により、従来の工程仕様ルールでは対応できなくなった工程仕様にもフローチェックできるようになり、工程フロー作成ミスによる製造不具合（半導体製造工程でいう、汚染事故）を未然に防止できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の構成を模式的に示したブロック図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置において用いられる第４の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく動作の一例を説明するための模式図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の第４の工程仕様ルールに基づく他の動作を説明するための模式図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る工程フローチェック装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第１の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図７】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第２の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図８】従来例に係る工程フローチェック装置において用いられる第３の工程仕様ルールの概略を示した模式図である。
【図９】従来例に係る工程フローチェック装置の問題点を示した模式図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  工程フローチェック装置
１１  表示部
１２  工程フロー入力部
１３  工程フロー記憶部
１４  工程仕様ルール入力部
１５  工程仕様ルール記憶部
１６  チェック部
２１  工程フロー記憶装置
２２  生産制御システム
２３  加工装置
２４  搬送設備
【図１】
0004841901.tif 000002
【図２】
0004841901.tif 000003
【図３】
0004841901.tif 000004
【図４】
0004841901.tif 000005
【図５】
0004841901.tif 000006
【図６】
0004841901.tif 000007
【図７】
0004841901.tif 000008
【図８】
0004841901.tif 000009
【図９】
0004841901.tif 000010