(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路パターンと空間を有する多数の印刷回路基板の前記回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システムにおいて、
光源を利用して前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検査器と、
前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピクセル単位の明るさを照度計による前記回路パターンと前記空間とを識別する第１の明るさレベルによって前記印刷回路基板の良否を判別する制御部と、を含み、
前記制御部は前記第１の明るさレベルによって前記印刷回路基板の前記回路パターンが不良として判別されれば、所定の実際の不良パターンに対応する第２の明るさレベルを利用して前記不良として判別された回路パターンの箇所が実際の不良であるか否かを２次的に判別することを特徴とする自動光学検査システム。
【請求項２】
前記制御部は、
前記光源が透過光であれば、前記第２の明るさレベルは前記第１の明るさレベルより小さく、
前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２の明るさレベルの間であれば、前記回路パターンの不良箇所が良品性異物によるものであるとして判別し、前記不良判別された印刷回路基板を良品として判別することを特徴とする、請求項１に記載の自動光学検査システム。
【請求項３】
前記制御部は、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２の明るさレベル以下であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別して前記不良判別された印刷回路基板を不良として判別することを特徴とする、請求項２に記載の自動光学検査システム。
【請求項４】
前記制御部は、
前記光源が反射光であれば、前記第２の明るさレベルは前記第１の明るさレベルより大きく、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第１および前記第２の明るさレベルの間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によるものであるとして判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を良品として判別することを特徴とする、請求項１に記載の自動光学検査システム。
【請求項５】
前記制御部は、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２の明るさレベルの以上であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を不良として判別することを特徴とする、請求項４に記載の自動光学検査システム。
【請求項６】
前記制御部はコンピューターシステムを具備し、
前記コンピューターシステムは前記自動光学検査器とコンピュータネットワークとを通じて前記映像データおよび前記２次的な判別情報を相互伝送することを特徴とする、請求項１に記載の自動光学検査システム。
【請求項７】
前記制御部は、
前記映像データの画素単位で明るさレベルを抽出するためのプログラムを含むことを特徴とする、請求項１または請求項６に記載の自動光学検査システム。
【請求項８】
多数の印刷回路基板の回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システムにおいて、
光源から透過光を発生させて前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検査器と、
前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピクセル単位の明るさを照度計による第１基準値を利用して前記印刷回路基板の良否を判別する制御部と、を含み、
前記制御部は前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板の箇所を前記第１基準値より小さい明るさである照度計の第２基準値を利用して前記不良として判別された印刷回路基板が実際に不良であるか否かを２次的に判別することを特徴とする自動光学検査システム。
【請求項９】
前記制御部は、
前記不良として判別された印刷回路基板の回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によるものであるとして判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を良品として判別することを特徴とする、請求項８に記載の自動光学検査システム。
【請求項１０】
前記制御部は、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２基準値以下であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を実際の不良として判別することを特徴とする、請求項９に記載の自動光学検査システム。
【請求項１１】
多数の印刷回路基板の回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システムにおいて、
光源から反射光を発生させて前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検査器と、
前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピクセル単位の明るさを照度計による第１基準値によって前記印刷回路基板の良否を判別する制御部と、を含み、
前記制御部は前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板の箇所を前記第１基準値より大きい明るさである照度計の第２基準値を利用して前記不良として判別された印刷回路基板が実際に不良であるか否かを２次的に判別することを特徴とする自動光学検査システム。
【請求項１２】
前記制御部は、
前記不良として判別された印刷回路基板の回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によることとして判別して、前記不良として判別された印刷回路基板を良品として判別することを特徴とする請求項１１に記載の自動光学検査システム。
【請求項１３】
前記制御部は、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２基準値の以上であれば、前記回路パターンを実際不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を実際不良として判別することを特徴とする請求項１２に記載の自動光学検査システム。
【請求項１４】
フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の回路パターンを検査する自動光学検査システムでの良品を不良として判別する過検出を防止するための検査方法において、
光源を利用して前記印刷回路基板を獲得する段階と、
前記印刷回路基板に対応する映像データを獲得する段階と、
前記映像データを画素単位の明るさレベルによる前記回路パターンを識別する第１基準値によって前記印刷回路基板の良否を判別する段階と、
前記第１基準値によって不良判別された印刷回路基板の箇所を実際の不良パターンに対応する明るさレベルである第２基準値によって実際の不良状態を判別する段階と、
を含み、それによって過検出を防止することを特徴とする自動光学検査システムの検査方法。
【請求項１５】
前記不良状態を判別する段階は、
前記光源が透過光の場合、前記第２基準値は前記第１基準値より小さい明るさレベルを有し、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記不良として判別された印刷回路基板を良品性異物による良品として判定することを特徴とする、請求項１４に記載の自動光学検査システムの検査方法。
【請求項１６】
前記不良状態を判別する段階は、
前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板の前記回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２基準値より小さければ、前記不良として判定された印刷回路基板を実際の不良として判別することを特徴とする、請求項１５に記載の自動光学検査システムの検査方法。
【請求項１７】
前記不良状態を判別する段階は、
前記光源が反射光の場合、前記第２基準値は前記第１基準値より大きい明るさレベルを有し、
前記不良として判別された回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第１および前記第２基準
値の間であれば、前記不良として判別された印刷回路基板を良品性異物による良品として
判定することを特徴とする、請求項１４に記載の自動光学検査システムの検査方法。
【請求項１８】
前記不良状態を判別する段階は、
前記第１基準値によって不良判別された印刷回路基板の回路パターンの箇所の明るさレベルが前記第２基準値より大きければ、前記不良として判定された印刷回路基板を実際の不良として判別することを特徴とする、請求項１７に記載の自動光学検査システムの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は自動光学検査システム(Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ ｓｙｓｔｅｍ 、 ＡＯＩ ｓｙｓｔｅｍ)に係わり、さらに具体的にはフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ 、ＰＣ）の外観検査のとき、良品が不良品として検出される過検出を防止するシステム及びその処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス、例えば、液晶ディスプレー装置の駆動ドライバ集積回路(ＬＣＤ Ｄｒｉｖｅｒ ＩＣ)およびメモリなどの各種の半導体集積回路の製造に使用される主要材料の一つである印刷回路基板はフィルム(Ｆｉｌｍ)、テープ(Ｔａｐｅ)などの形態で製造されている。
【０００３】
このようなフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板は、例えば、ＴＡＢ(Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｂｏｎｄｉｎｇ)またはＣＯＦ(Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ)基板などがある。 印刷回路基板には、フィルム、テープ基板形態で露光、現像などの製造工程を通じて微細パターンが形成され、パターン形象の良、不良の判定が印刷回路基板の生産性に非常に重要な要因になる。
【０００４】
また、光を利用して自動的にフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の外観を検査するにあたって、規格上では良品であるが、ほこりなどの異物により不良として判定される過検出は製品と自動光学検査システムの信頼性に絶対的な影響を及ぼす重要な要因である。
【０００５】
実質的に半導体集積回路製造用フィルム、テープ形態の印刷回路基板を生産する業界では製品の微細したパターン内の合線、短絡、突起、凹みなどの各種の欠陷が発生して大問題が惹起されており、これの効果的な検査が生産性および品質管理におけるキーになっているのが実情である。
【０００６】
このための検査方法の一つの人力による検査は徐々にフィルム、テープ形態の印刷回路基板が超高微細パターンに製造されて、効果的な検査はますます難しくなり、不可能になっている。これによって光学的な映像獲得による自動検査装置の需要が急増し、必須の設備とされている。
【０００７】
しかし、一般的な自動検査装置は光学的な映像を獲得して映像処理装置およびコンピュータなどによって処理して、パターンの良否の判定をするようになり、良品を不良として判定する過検出現象が大きい問題を引き起こす。これは製造した製品が自動的に不良として判別し、これを廃棄処理するようになしたため生産性が大きく低下する。これは、製造企業の採算性の悪化につながる
。
【０００８】
図１Ａ乃至図１Ｄはフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の透過光を利用して獲得した映像データから判断された突起、合線または異物を示す図である。図２Ａ乃至図２Ｂはフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の反射光を利用して獲得した映像データから判断された突起または異物を示す図である。
【０００９】
図１Ａおよび図１Ｄを参照すると、一般的な自動光学検査システム(図示せず)で透過光を利用して獲得したフィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の映像データ２は各々が実在的なリード４の突起８および合線１０の場合と、図１Ｃおよび図２Ｂの異物またはほこりなどによる突起１２および合線１４の場合に対する映像データ２は各々その照度計で差がある。ここで透過映像は印刷回路基板のリード４が黒色として表示され、空間６が白色として表示される。
【００１０】
しかし、図１Ａおよび図１Ｂの実際製造上の欠陷による突起８および合線１０と、図１Ｃおよび図１Ｄのほこりや異物などがリード４に付着して示す突起および合線のように見える良品性突起１２および合線１４は自動光学検査システムによって同一にリード４から突出した突起および合線として判別されて、全部パターン不良として処理される。
【００１１】
また、図２Ａを参照すると、反射光を利用して獲得した映像データは実際の製造上の欠陷による突起１６として、図２Ｂのほこりや異物などによって実際の突起のように見える良品性突起１８と同一に判別されて、全部不良として処理される。
【００１２】
上述のように、従来のフィルム、テープ形態の印刷回路基板製造企業体に導入した光学式自動検査システムは透過光または反射光を通じて映像を獲得し、これを通じてパターン領域と空間領域を区分してパターンの良、不良を判定する方式にした。このような方式では良品性異物およびほこりなどが回路内に存在する場合、図１Ｃ、図１Ｄおよび図２Ｂに示すような映像が得られるので過検出の原因になっている。したがって、フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の検査過程で発生する過検出現象は生産性低下および原価上昇の要因になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の検査対象パターン内に異物およびほこりなどによる良品を不良として判別する過検出を防止するための検査システムおよびその方法を提供することである。
【００１４】
本発明の他の目的は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、光学的明るさを、照度計の特性を利用して、フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の外観検査のときに発生する過検出現象を防止する検査システムおよびその検査方法を提供することである。
【００１５】
本発明のまた他の目的は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の自動光学検査システムにおいて、良品を不良として判別する過検出を防止して生産性を向上させるための装置および方法を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述の目的を達成するための本発明の一実施態様によれば、回路パターンと空間を有す
る多数の印刷回路基板の前記回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システム
は、光源を利用して前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検
査器と、前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピ
クセル単位の明るさを照度計による前記回路パターンと前記空間とを識別する第１ の明るさレベルによって、前記印刷回路基板の良否を判別する制御部と、を含み、前記制御部は前記第１ の明るさレベルによって前記印刷回路基板の前記回路パターンが不良として判別されれば、所定の実際不良パターンに対応する第２ の明るさレベルを利用して前記不良として判別された回路パターンの箇所が実際の不良であるか否かを２次的に判別する。
【００１７】
こうした特徴により、前記制御部は、前記光源が透過光であれば、前記第２の明るさレベルは前記第１の明るさレベルより大きく、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２の明るさレベルの間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によるものとして判別し、前記不良判別された印刷回路基板を良品として判別する。ここで、前記制御部は、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第２の明るさレベル以下であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別して前記不良判別された印刷回路基板を不良として判別する。ここで、前記制御部は、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第２の明るさレベル以上であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を不良として判別することが望ましい。
【００１８】
こうした特徴によると、前記制御部はコンピューターシステムを具備し、前記コンピューターシステムは前記自動光学検査器とコンピュータネットワークとを通じて前記映像データおよび前記２次的な判別情報を相互伝送する。
【００１９】
こうした特徴により、前記制御部は、前記映像データをその画素単位で明るさレベルを抽出するためのプログラムを含む。
【００２０】
上述の目的を達成するための本発明の他の態様によれば、多数の印刷回路基板の回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システムは、光源から透過光を発生させて前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検査器と、前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピクセル単位の明るさを照度計による第１基準値を利用して前記印刷回路基板の良否を判別する制御部とを含み、前記制御部は前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板を前記第１基準値より小さい明るさを照度計の第２基準値を利用して前記不良として判別された印刷回路基板が実際に不良であるか否かを２次的に判別する。
【００２１】
こうした特徴により、前記制御部は、前記不良として判別された印刷回路基板の回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によるものとして判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を良品として判別する。ここで、前記制御部は、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第２基準値以下であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を実際の不良として判別する。
【００２２】
上述の目的を達成するための本発明のまた他の態様によれば、多数の印刷回路基板の回路パターンの不良の可否を検査する自動光学検査システムは、光源から反射光を発生させて前記各々の印刷回路基板に対応する映像データを獲得する自動光学検査器と、前記自動光学検査器から前記映像データを受け入れ、前記映像データの各々のピクセル単位の明るさを照度計による第１基準値によって前記印刷回路基板の良否を判別する制御部とを含み、前記制御部は前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板を前記第１基準値より大きい明るさを照度計の第２基準値を利用して前記不良として判別された印刷回路基板が実際に不良であるか否かを２次的に判別する。
【００２３】
こうした特徴により、前記制御部は、前記不良として判別された印刷回路基板の回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記回路パターンの不良が良品性異物によるものとして判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を良品として判別する。前記制御部は、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第２基準値の以上であれば、前記回路パターンを実際の不良として判別し、前記不良として判別された印刷回路基板を実際の不良として判別する。
【００２４】
上述の目的を達成するための本発明のまた他の態様によれば、フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の回路パターンを検査する自動光学検査システムでの良品を不良として判別する過検出を防止するための検査方法は、光源を利用して前記印刷回路基板を獲得する段階と、前記印刷回路基板に対応する映像データを獲得する段階と、前記映像データを画素単位の明るさレベルによる前記回路パターンを識別する第１基準値によって前記印刷回路基板の良否を判別する段階と、前記第１基準値によって不良判別された印刷回路基板を実際の不良パターンに対応する明るさレベルの第２基準値によって実際の不良状態を判別する段階と、を含んで過検出を防止する。
【００２５】
こうした特徴によれば、前記不良状態を判別する段階は、前記光源が透過光の場合、前記第２基準値は前記第１基準値より小さい明るさレベルを有し、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記不良として判別された印刷回路基板を良品性異物による良品として判定する。前記不良状態を判別する段階は、前記第１基準値によって不良として判別された印刷回路基板の前記回路パターンの明るさレベルが前記第２基準値より小さければ、前記不良として判定された印刷回路基板を実際の不良として判別する。
【００２６】
こうした特徴によれば、前記不良状態を判別する段階は、前記光源が反射光の場合、前記第２基準値は前記第１基準値より大きい明るさレベルを有し、前記不良として判別された回路パターンの明るさレベルが前記第１および前記第２基準値の間であれば、前記不良として判別された印刷回路基板を良品性異物による良品として判定する。前記不良状態を判別する段階は、前記第１基準値によって不良判別された印刷回路基板の回路パターンの明るさレベルが前記第２基準値より大きければ、前記不良として判定された印刷回路基板を実際の不良として判別する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、細分化された基準閾値を利用して実際に不良ユニットではなく、異物による不良として過検出されたユニットを良品として判別することによって、過検出を防止して検査工程での検査効率および生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
具体的に本発明による自動光学検査システムの構成を図３に示す。
【００３０】
図３を参照すると、前記自動光学検査システム１００は自動光学検査器(Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｉｎｓｐｅｃｔｏｒ 、 ＡＯＩ)１０２と、前記ＡＯＩ１０２とデータ通信可能なコンピュータシステム１７０で構成される。
【００３１】
前記自動光学検査器(ＡＯＩ 、１０２)は巻き出し部１１０と、巻き取り部１４０との間にビジョン検査部(ｖｉｓｉｏｎ ｉｎｓｐｅｃｔｏｒ)１２０および不良処理部１３０を具備し、これらの構成要素の諸般の動作を制御するＡＯＩ制御部１５０をさらに含む。
【００３２】
前記巻き出し部１１０はフィルムまたはテープ形態の印刷回路基板がリール(ｒｅｅｌ)またはロール(ｒｏｌｌ)形態の連続して続いた印刷回路基板をビジョン検査部１２０へ提供する。
【００３３】
前記ビジョン検査部１２０は前記巻き出し部１１０から提供された印刷回路基板を撮像して前記ＡＯＩ制御部１５０に提供する。例えば、透過光源または反射光源と少なくとも一つのＣＣＤカメラを利用して印刷回路基板ユニットの微細回路パターンに対する映像データを獲得し、獲得した映像データを前記ＡＯＩ制御部１５０に出力する。
【００３４】
前記不良処理部１３０は検査結果、不良として最終判別された不良印刷回路基板を表示するためにパンチング(ｐｕｎｃｈｉｎｇ)するか、マーキング(ｍａｒｋｉｎｇ)して巻き取り部１４０に出力する。
【００３５】
前記巻き取り部１４０は前記ビジョン検査部１２０から検査完了した印刷回路基板を前記不良処理部１５０を通じて受け入れて巻き戻す。
【００３６】
前記ＡＯＩ制御部１５０は前記ＡＯＩ１０２の諸般の動作を制御し、前記ビジョン検査部１２０から撮像された映像データを受けてデータ通信のためのインターフェース(例えば、ＬＡＮ、ＲＳ−２３２Ｃ など)を通じて前記コンピューターシステム１７０に提供し、前記コンピュータシステム１７０から良否の判定による検査情報を受けて前記ＡＯＩ１０２の構成要素１１０、１２０、１３０または１４０を駆動動作させる。
【００３７】
そして、前記コンピュータシステム１７０は本発明による検査工程の諸般の動作を制御するメーン制御部として、図４に示すように、典型的なコンピュータシステムの構成要素を含む。そして前記コンピュータシステム１７０は制御部１７２と、ディスプレー部１７４と、入力部１７６と、インターフェース部１７８と、貯蔵部１８０と、を含む。また、前記コンピュータシステム１７０は図面のように、前記ＡＯＩ１０２と独立的に具備するが、前記ＡＯＩ１０２と一体に具備されるバッチ(ｂａｔｃｈ)形に具備することができる。
【００３８】
前記制御部１７２は、例えば、中央処理装置と、制御プログラムなどを具備し、前記 ＡＯＩ１０２から撮像された映像データを受けてヒストグラム方式のデータに変換して表示し、オペレータが映像データ１８２およびヒストグラムによる照度計の明るさレベルを監視するように制御する。すなわち、前記制御部１７２は光学検査の収率を向上させるために図５に示す動作手順で処理される。
【００３９】
前記表示部１７４は前記映像データ１８２を表示し、ヒストグラム方式のデータをピクセル単位の明るさを照度計に表示する。
【００４０】
前記入力部１７６は前記映像データ１８２をピクセル単位で選択、検査、編集および確認するための入力信号を出力する。
【００４１】
前記インターフェース部１７８は前記ＡＯＩ１０２と相互データ通信のための装置として、例えばＬＡＮ、ＲＳ−２３２などの通信プロトコルを利用して前記ＡＯＩ１０２から撮像された映像データを受け入れ、検査結果による情報を前記ＡＯＩ１０２に出力する。
【００４２】
そして、前記貯蔵部１８０は本発明によるヒストグラム分析プログラム１８６と、映像データ１８２および編集プログラム１８４を貯蔵する。前記ヒストグラム分析プログラム１８６は前記映像データ１８２を受けてヒストグラム方式にデータ変換し、獲得された映像データからパターンの良否を判定するための各々のピクセルの明るさを照度計に出力する。また、前記ヒストグラム分析プログラム１８６は前記制御部１７２が照度計明るさレベルによる閾値(ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ ｖａｌｕｅ)すなわち、第１基準値と、光源すなわち、透過光または反射光によって第１基準値に対応する第２基準値を利用して映像データからパターンの良否を判定する。この際、オペレータは表示された印刷回路基板ユニットの特定部分に対する照度計の明るさレベルを確認することができる。
【００４３】
したがって、前記コンピュータシステム１７０は光学カメラを利用してフィルム、テープ形態の印刷回路基板を検査する自動光学検査システムで、透過光または反射光を利用してイメージを取得して、良品として定義された規格と対比して良否を判定する。この際、実際パターンの不良またはパターンとパターンとの間に良品性異物およびほこりなどによってパターンと空間に区分する特定閾値(Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ Ｖａｌｕｅ、例えば、照度計１２０レベル)を基準としてパターン成分を認識するようになる。
【００４４】
しかし、図１Ｃおよび図１Ｄの場合のように、良品性異物による不良はパターンと空間に区分する特定閾値によってパターン領域では区分されたが、光学照度計上で見る場合には、閾値に比較的近接する光学的照度計(例えば、７０レベル以上)に表示する。図１Ａおよび図１Ｂの場合のように、実際のパターン不良の場合には光学照度計(例えば、７０レベル以下)が閾値と比較的差が大きいことが分かる。
【００４５】
したがって、本発明はパターンと空間とを区分する特定閾値を基準値としてパターン領域に区分された領域をより細分化して良否を判別する。すなわち、閾値より低くて、パターン領域として認識されたが、光学的照度計が、比較的、近接した一定の領域を良品性異物およびほこりなどによって検出された部分と判断し、反対に、比較的、実際のパターンの光学的照度と類似の照度を有すれば、実際の回路の不良としてみなすようになる。
【００４６】
また、この部分には、反射光を利用する場合にも、同一の原理を適用することができることは自明である。例えば、照度計１２０レベルの第１基準値を利用してパターンの不良の有無を判別し、不良判別されたユニットを再び第２基準値照度計２００レベル以上であるか否かを判別し、それ以上であれば、実際にパターンの突起、合線などの不良ユニットとして判定する。そして第２基準値照度計２００レベル以下であれば、良品性異物による良品として判定する。
【００４７】
その結果、透過光および／または反射光を利用して獲得した映像データを通じて実際のパターン不良のみを検出することによって、実際の良品を不良として判定する過検出を防止して生産性が向上する。
【００４８】
図５は本発明の一実施形態による自動光学検査システムの動作手順を示す流れ図である。この手順は前記コンピュータシステム１７０が処理するプログラムとして、このプログラムは前記貯蔵部１８０に貯蔵される。
【００４９】
図５を参照すると、前記コンピュータシステム１７０は段階Ｓ２００でＡＯＩ１０２からフレキシブル印刷回路基板が撮像されれば、段階Ｓ２０２でイメージ処理プロセスによって映像データ１８２を獲得する。段階Ｓ２０４で獲得された映像データを第１基準値を利用してユニットの良否を判別するために分析する。すなわち、ヒストグラム方式の照度計を利用して特定閾値の第１基準値を基準としてユニットのパターンに不良が発生したか否かを判別する。
【００５０】
ここで、ヒストグラム(ｈｉｓｔｏｇｒａｍ)は映像データでピクセル(ｐｉｘｅｌ)に対する明暗数値の分布を表した方式である。普通ヒストグラムのＸ軸は明暗数値を、Ｙ軸は頻度数を表示する。ストグラムで明暗数値を表示するＸ軸の値は普通０〜２５５レベルに分かれる。例えば、ヒストグラムグラフが０レベルに近ければ、明度が低いことを示し、２５５レベルは明度が高いことを示す。以下、本発明では透過光を利用したヒストグラムを通じて獲得した映像データを分析、説明する。
【００５１】
したがって、前記段階Ｓ２０６で前記第１基準値は例えば、照度計１２０レベルの基準値を利用して１次的なパターンの不良を判別する。
【００５２】
続いて、段階Ｓ２０８で第１基準値によって不良として判別された映像データは第２基準値を利用して不良として判別されたユニットが実際に不良パターンを有しているか、または異物などによる過検出であるかを判別する。
【００５３】
判別結果、第２基準値以下のレベルであると判別されれば、この手順は段階Ｓ２１０に進行して合線および／または突起など実際の不良パターンとして判別する。続いて、段階Ｓ２１２で該当ユニットは不良として判定する。
【００５４】
そして、前記段階Ｓ２０８で第２基準値を超過する照度レベルであれば、この手順は段階Ｓ２１４に進行して良品性異物として判断し、段階Ｓ２１６で該当ユニットを良品として判定する。
【００５５】
上述のように、本発明の自動光学検査システムは明るさを照度計の互いに異なる基準値を利用して１次不良と判定されたユニットの２次パターンの良否を判別する。
【００５６】
続いて、本発明の実施形態によるヒストグラム方式を利用した分析画面を図６乃至図８に示す。これら画面は前記コンピュータシステム１７０の表示装置１７４に出力されることで、照度計レベルによる分析のためのヒストグラム分析プログラム１８６によって駆動される。
【００５７】
図６を参照すると、前記画面４００は自動光学検査器１０２から撮像された映像テイト１８２の一部を示す図として、リード４２０と空間４２２に区分され、突起または合線などの実際不良パターン４０４と、異物４０６による検査結果が出力される。そして、一側にはヒストグラム方式を利用して照度計の分布図４１０を示す。
【００５８】
図７を参照すると、図６の画面からパターンの良否を判別するために閾値による映像データのピクセル単位で示した閾値画面である。これはスレッショルド値によってリード４２０と空間４２２とを区分して表示し、突起、合線４０４′および異物４０６′の検査結果を示す。ここで、特定位置のピクセルを選択すれば、図８に示すように、突起、合線または異物の該当ピクセルを含む領域４１２の照度レベルが補助窓４３０を通じて出力され、これを通じて各々のピクセル上の明るさを照度レベルで確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１Ａ】フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の透過光を利用して獲得した映像データから判断された突起、合線または異物を示す図である。
【図１Ｂ】フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の透過光を利用して獲得した映像データから判断された突起、合線または異物を示す図である。
【図１Ｃ】フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の透過光を利用して獲得した映像データから判断された突起、合線または異物を示す図である。
【図１Ｄ】フィルムおよびテープ形態の印刷回路基板の透過光を利用して獲得した映像データから判断された突起、合線または異物を示す図である。
【図２Ａ】印刷回路基板の反射光を利用して獲得した映像データから判断された突起または異物を示す図である。
【図２Ｂ】印刷回路基板の反射光を利用して獲得した映像データから判断された突起または異物を示す図である。
【図３】本発明の実施形態による自動光学検査システムの構成を示したブロック図である。
【図４】図３に示したコンピュータシステムの構成を示したブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態による自動光学検査システムの動作手順を示す流れ図である。
【図６】本発明の実施形態によるヒストグラム方式を適用してパターンの不良を判別するための状態を示す図である。
【図７】本発明の実施形態によるヒストグラム方式を適用してパターンの不良を判別するための状態を示す図である。
【図８】本発明の実施形態によるヒストグラム方式を適用してパターンの不良を判別するための状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００  検査システム
１０２  ＡＯＩ
１１０  巻き出し部
１２０  ビジョン検査部
１３０  不良処理部
１４０  巻き取り部
１５０  ＡＯＩ制御部
１７０  コンピュータシステム
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
0004804779.tif 000005
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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