(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する細長い形状を有し、導電部を備え、被めっき物としての複数のワークを長手方向に沿って収容可能であり、
前記ワークを収容する入り口が、前記ワークキャリアの長手方向に沿って連続して設けられていることを特徴とするワークキャリア。
【請求項２】
弾力性を有し、前記入り口の幅が可変であることを特徴とする請求項１に記載のワークキャリア。
【請求項３】
前記ワークキャリアに外力が作用しない状態において、前記入り口の幅が、前記ワークの短径よりも狭いことを特徴とする請求項１または２に記載のワークキャリア。
【請求項４】
前記ワークキャリアの長手方向に形成された縦糸と、前記縦糸と交差する横糸とを有し、前記縦糸の少なくとも一部が導電性であり、前記横糸の少なくとも一部が、所定間隔で導電性を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のワークキャリア。
【請求項５】
給電部を備えためっき槽と、請求項１〜４のいずれかに記載のワークキャリアと、を有することを特徴とするめっき装置。
【請求項６】
前記ワークキャリア内において、前記ワークの位置を変化させる機構を有することを特徴とする請求項５に記載のめっき装置。
【請求項７】
前記ワークキャリアの前記入り口を広げることにより、前記ワークキャリアに収容された前記ワークを取り出す機構を有することを特徴とする請求項５または６に記載のめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークキャリアおよびめっき装置に関し、さらに詳しくはチップ電子部品のめっき・搬送に好適なワークキャリアと、このワークキャリアを有するめっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップコンデンサ、チップインダクタ、チップバリスタなどの小型電子部品では、キャップ状の外部電極がセラミック素子本体の長さ方向の両端側、あるいは、長さ方向とは異なる短手方向の両端側に端子として形成されている。また、外部電極が形成された端子を多く有する、いわゆる多端子の電子部品もある。このような外部電極は、通常、素子本体側から下地層、中間めっき層、外側めっき層の順に形成される。中間めっき層および外側めっき層は、バレルめっき法を用いて形成されるのが一般的である。
【０００３】
バレルめっき法を、図１２に示すフローチャートに沿って説明する。まず、バレル内に、被めっき物（ワーク）、導電性ダミー（メディア）を投入する。このバレルを、純水で洗浄した後、めっき槽に浸漬させた状態で回転させながら電気を流すことによって、ワークに対してＮｉめっき（中間めっき層の形成）を行う。そして、中間めっき層が形成されたワークを再び純水で洗浄した後、バレルを別のめっき槽に浸漬させた状態で回転させながら電気を流すことによって、ワークに対してＳｎめっき（外側めっき層の形成）を行う。外側めっき層が形成されたワークは再び純水で洗浄され、その後、ワークとメディアとが分離され、ワークが回収される。
【０００４】
このような工程はそれぞれ単独で行われるため、めっき工程における生産効率等が低いという問題があった。この問題を解決するために、たとえば、特許文献１には、上記の工程間におけるワークの搬送を自動で行うバレルめっき装置が開示されている。
【０００５】
しかしながら、バレルめっき法では、バレル内での撹拌状態やメディアと給電部との接触状態によっては、電気が通じず、めっきが不十分となる恐れがあり、その結果、めっき厚みのバラツキが発生することがあった。さらには、バレル内では、ワークが強制的に撹拌されるため、ワーク同士、または、ワークとメディアとが衝突し、その衝撃によりワークに割れ、欠けなどの破損が生じることがあった。
【０００６】
このように、バレルめっき法を採用した場合には、上記のような不具合により、ｐｐｍオーダーでのめっき不良に対する対策には限界があった。
【０００７】
ところで、特許文献２には、バレルめっき法とは異なり、ワークと給電部とをステンレスメッシュを介して接触させ、ワークに連続的にめっきする方法が開示されている。しかしながら、特許文献２に開示された方法では、ワークとメッシュとが固定されているため、ワークとめっき液とが接触していない部分が存在し、均一なめっきができないという問題があった。さらには、給電電極全体が導電性を有しているため、給電電極全体がめっきされることとなり、無駄なめっきが多く生じてしまう問題もあった。
【特許文献１】特開２００３−４１３９９号公報
【特許文献２】特開平５−９７７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、ワーク（被めっき物）に対してめっきを確実かつ均一に行い、ワークのめっき品質を向上させることができ、しかも、めっき工程におけるめっき効率をも改善することができるワークキャリアおよびこのワークキャリアを有するめっき装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係るワークキャリアは、
連続する細長い形状を有し、導電部を備え、被めっき物としての複数のワークを長手方向に沿って収容可能であり、
前記ワークを収容する入り口が、前記ワークキャリアの長手方向に沿って連続して設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明のワークキャリアは、導電部を備えることで、外部からの給電により、ワークキャリア自体が、めっき工程における給電部（カソード）として機能することができる。そのため、バレルめっき法におけるメディアは必要とされない。しかも、複数のワークが収容され、ワークに対するめっきを連続的に行うことができるため、めっき装置用のワークキャリアとして好適である。
【００１２】
好ましくは、前記ワークキャリアが弾力性を有し、前記入り口の幅が可変であることを特徴とする。
【００１３】
好ましくは、前記ワークキャリアに外力が作用しない状態では、前記入り口の幅が、前記ワークの短径よりも狭いことを特徴とする。
【００１４】
ワークキャリアにおいて、ワークを収容するための入り口を上記のように設けることで、ワークキャリアに対して、外力を作用させ、入り口の幅を変化させることができる。そして、この入り口を通じ、複数のワークを同時に効率よく容易に収容することができる。しかも、ワークキャリアに外力が作用しない状態では、入り口の幅が、ワークの短径よりも狭いため、ワークを収容した状態を維持することができ、ワークキャリアからワークが脱落するのを防止することができる。さらに、ワークキャリアが弾力性を有しているため、ワークを柔軟に保持でき、その結果、ワークの全面にめっき液が接触するため、より均一なめっきを行うことができる。
【００１５】
好ましくは、前記ワークキャリアの長手方向に形成された縦糸と、前記縦糸と交差する横糸とを有し、前記縦糸の少なくとも一部が導電性であり、前記横糸の少なくとも一部が、所定間隔で導電性を有していることを特徴とする。
【００１６】
ワークキャリアが、縦糸と、横糸とを有しているため、ワークキャリア内部に収容されているワークに対して十分なめっき液を供給することができる。また、給電部（カソード）としての機能を十分に果たしつつ、ワークキャリアに非導電部を設けることにより、ワークキャリア自体に施されるめっきを最小限とすることができ、無駄なめっきが削減される。その結果、めっき効率を向上させることができる。さらに、ワークキャリアの長手方向に縦糸が形成されているため、外部からの給電部が導電性を有する縦糸に接触しさえすれば、ワークキャリア全体に確実に給電することができる。その結果、めっきが不十分となる不具合を解消することができる。
【００１７】
本発明に係るめっき装置は、給電部を備えためっき槽と、上記のいずれかに記載のワークキャリアと、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明のワークキャリアを有していることで、本発明のめっき装置は、ワークを個別にめっき処理することができ、しかも、ワークに対して、均一かつ確実にめっきすることができる。
【００１９】
好ましくは、前記ワークキャリア内において、前記ワークの位置を変化させる機構を有することを特徴とする。
【００２０】
上記の機構を有していることにより、強制的に、ワークの外面全体をめっき液に接触させることができるため、より確実かつ均一にめっきをすることができ、めっき品質を向上させることができる。
【００２１】
好ましくは、前記ワークキャリアの前記入り口を広げることにより、前記ワークを取り出す機構を有することを特徴とする。
【００２２】
上記の機構を有していることで、ワークを容易に回収できる。しかも、バレルめっき法のようなワークとメディアとを分離する工程が必要ないため、めっき工程における効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るワークキャリアの概略斜視図、
図２は、ワークであるチップ電子部品の概略斜視図、
図３は、図１に示すワークキャリアのＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た概略断面図、
図４は、図１に示すワークキャリアを構成する縦糸および横糸の概略拡大図、
図５は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の概略断面図、
図６は、図５に示すめっき装置が有する給電部の拡大概略図、
図７は、図１に示すワークキャリアの長手方向に沿った概略断面図、
図８は、図７に示す拡開部材をＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ方向から見た概略平面図、
図９（Ａ）は、図８に示す拡開部材をＩＸＡ−ＩＸＡ方向から見た概略断面図、図９（Ｂ）は、図８に示す拡開部材をＩＸＢ−ＩＸＢ方向から見た概略断面図、
図１０は、本発明のワークキャリアおよびめっき装置を用いた場合のめっき工程を示すフローチャート、
図１１は、本発明の他の実施形態に係るめっき装置の概略断面図、
図１２は、従来例に係るバレルめっき法によるめっき工程を示すフローチャートである。
【００２４】
ワークキャリア１
図１に示すように、本実施形態に係るワークキャリア１は、ワークキャリア１の長手方向に沿って設けられた連続する入り口５を有しているため、複数のワーク１０（被めっき物）を長手方向に沿って収容することが可能である。複数のワーク１０を収容したワークキャリア１は、ワーク１０のめっき工程において、ワーク１０を搬送し、後述するめっき装置のめっき槽に投入される。
【００２５】
また、本実施形態に係るワークキャリア１は、後述するように縦糸と横糸とから構成されるメッシュ状であるため、弾力性を有している。そのため、たとえば、図１に示すワークキャリア１の引き出し部２、３に外力を作用させることで、ワークキャリア１の入り口５の幅を容易に可変させることができる。ワークキャリア１の入り口５の幅を、ワーク１０の径よりも大きくすると、ワーク１０をワークキャリア１の内部に収容することができる。
【００２６】
なお、ワークキャリア１に対して外力が作用していない場合には、ワークキャリア１の入り口５の幅が、ワーク１０の短径よりも狭いことが好ましい。ワーク１０を上記のようにしてワークキャリア１内に収容した後、外力を作用させない場合、ワークキャリア１の入り口５の幅がワーク１０の短径よりも小さくなる。その結果、ワーク１０を収容した状態を保持でき、ワークキャリア１からのワーク１０の脱落を防止できるからである。
【００２７】
本実施形態では、被めっき物であるワーク１０は、図２に示すように、通常は、直方体形状であり、その寸法は、長さ方向（図２におけるＬ）が０．４〜５．７ｍｍ、幅方向（図２におけるＷ）が０．２〜５．０ｍｍ、高さ方向（図２におけるＴ）が０．２〜２．５ｍｍとされる。ここで、Ｌ＞Ｗ≧Ｔであるため、ワーク１０の短径はＴとなる。そして、ワーク１０の長さ方向の両端に、外部電極１２が一定の幅ａで形成される（図２のハッチング部）。
【００２８】
このようなワーク１０を確実に収容するため、本実施形態に係るワークキャリア１は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た断面形状が、図３に示すように、略円形状である。ワークキャリア１の断面形状は特に制限されず、三角形状、四角形状などの多角形状であってもよいが、ワーク１０と確実に接触し、かつその接触面積を最小限とするためには、略円形状であることが好ましい。
【００２９】
本実施形態では、ワーク１０を容易にワークキャリア１内に収容するため、ワーク１０の長さ方向Ｌが、ワークキャリア１の長手方向に一致するようにワーク１０が配置される。このようにすることで、ワークキャリア１の入り口５の幅を、ワーク１０の長さＬまで大きくする必要はなく、ワーク１０の幅Ｗまたは高さＴよりも大きくすることで、ワーク１０をワークキャリア１内に収容することができる。
【００３０】
この場合、ワークキャリア１が、幅Ｗのワーク１０を確実に収容するには、図３に示すように、ワークキャリア１の断面形状の半径ｒが、幅Ｗに対して、ｒ＞（√２／２）×Ｗの関係式を満足することが好ましい。
【００３１】
また、ワークキャリア１は、導電性を有しており、ワーク１０のめっき時には、めっき装置の給電部から給電され、ワーク１０に対する給電部（カソード）として機能する。そして、ワークキャリア１とワーク１０との接触部分を通じてワーク１０がめっきされる。ワークキャリア１自体がカソードとして機能するため、バレルめっき法のような導電性ダミー（メディア）を用いる必要はない。
【００３２】
本実施形態に係るワークキャリア１は、ワークキャリア１の長手方向に形成された縦糸７と、その縦糸に交差する横糸８と、から構成されており、この縦糸７および横糸８が導電性を有している。
【００３３】
ワークキャリア１を構成する全ての縦糸７および横糸８が導電性を有していてもよいが、ワークキャリア１は、ワーク１０とともにめっき液中に導入されるため、ワークキャリア１自体もめっきされることとなる。したがって、無駄なめっきを削減するために、本実施形態では、図４に示すように、縦糸７の少なくとも一部（７ａ）が導電性を有し、横糸８の少なくとも一部（８ａ）が、所定間隔ｄで導電性を有していることが好ましい。すなわち、ワークキャリア１の一部（７ｂ、８ｂ）が非導電性であることが好ましい。
【００３４】
縦糸７はワークキャリア１の長手方向に沿って形成されており、しかも、ワークキャリア１は、長手方向に移動するため、外部からの給電部が導電性を有する縦糸７ａに接触しさえすれば、ワークキャリア１全体に確実に給電することができる。そして、ワークキャリア１が、ワーク１０に対する給電部（カソード）として機能する。
【００３５】
一方、横糸８は、縦糸７と交差しており、横糸８の少なくとも一部（８ａ）は、ワーク１０と常時接触している。したがって、ワーク１０において外部電極１２が形成されるべき部分（図２のハッチング部）と、導電性を有する横糸８ａと、が接触していれば、通電し、めっきされることとなる。
【００３６】
ここで、図２に示すように、ワーク１０において外部電極１２は、一定の幅ａで形成される。そのため、この外部電極１２が形成されるべき部分の幅ａ（図２のハッチング部）が、導電性を有する横糸８ａ（図４の太線）の間隔ｄよりも大きければ、ワーク１０において外部電極１２が形成されるべき部分が、通電している横糸８ａに常に接触していることとなる。したがって、当該部分に対して、確実にめっきを行うことができる。
【００３７】
縦糸および横糸の材質としては特に制限されないが、ステンレス、銅、銀、アルミニウムなどが好ましい。
【００３８】
めっき装置２０
本実施形態に係るめっき装置２０は、図５に示すように、上述したワークキャリア１と、給電部（２４、２６）を備えためっき槽２２と、洗浄槽と、ワークの回収機構と、乾燥機構と、を有する。なお、図５においては、洗浄槽、ワークの回収機構および乾燥機構の図示は省略した。また、図５においては、ワークの図示を省略したが、ワークは、ワークキャリア１の内部に収容されている。
【００３９】
図５に示すように、めっき装置２０において、ワークキャリア１は、矢印の方向に移動しながら、ワークとともに、めっき槽２２のめっき液２８中に導入される。めっき槽２２の内部には、給電部２４（アノード）が設置されている。一方、めっき槽２２の外部に設置されている給電部２６は、ワークキャリア１に接触しており、ワークキャリア１に対して給電する。その結果、ワークキャリア１がワークに対する給電部（カソード）として機能する。
【００４０】
ワークキャリア１に給電する機構は、特に制限されないが、図６に示す給電部２６によりワークキャリア１に給電することが好ましい。図６に示す給電部２６は、容易に変形することができ、しなった状態で、ワークキャリア１に確実に接触している。一方、ワークキャリア１には、上述したように、ワークキャリア１の長手方向（進行方向）に沿って縦糸が形成されており、縦糸の少なくとも一部が導電性を有している。この給電部２６と、ワークキャリア１の導電性を有する縦糸とが、接触することで、ワークキャリア１全体に給電される。
【００４１】
給電部２６は、図６に示すように、しなった状態で、ワークキャリア１と接触しているため、ワークキャリア１の位置が多少ずれたとしても、給電部２６は、ワークキャリア１との接触状態を維持することができる。したがって、移動するワークキャリア１に対して確実に給電することができ、確実なめっきを行うことができる。なお、図６においては、１つの給電部２６のみを図示しているが、給電部２６が複数あってもよい。給電部２６を複数設けることで、より確実にワークキャリア１に対して給電することができる。
【００４２】
本実施形態に係るめっき装置２０は、さらに、めっきされたワークを回収する機構を有している。めっきされたワークを回収する手段は特に制限されないが、本実施形態では、図７に示す拡開部材３０を用いてワーク１０を回収することができる。図７に示すように、拡開部材３０は、ワークキャリア１の入り口５の幅よりも狭い幅を有する支持部材３２により支持されている。そして、拡開部材３０は、ワークキャリア１の内部に静止した状態で固定されている。
【００４３】
拡開部材３０は、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ方向から見ると、図８に示すように、ワークキャリア１の進行方向に沿って広がる構成を有している。すなわち、拡開部材３０の先端部（図８の左端）の幅は、ワークキャリア１の幅よりも狭く、拡開部材３０の最大幅部は、ワークキャリア１の幅よりも大きい構成となっている。
【００４４】
このような構成を有していることにより、ワークキャリア１が矢印に示す進行方向に移動すると、まず、図９（Ａ）に示すように、拡開部材３０がワークキャリア１の内部に接触する。さらに、ワークキャリア１が移動すると、拡開部材３０が、ワークキャリア１を内部から押し広げることとなる。その結果、図９（Ｂ）に示すように、ワークキャリア１が変形し、ワークキャリア１の入り口５の幅が広がる。そして、ワークキャリア１の入り口５の幅が、ワーク１０の幅よりも大きくなると、ワーク１０は、ワークキャリア１から解放され、ワーク１０が回収される。なお、回収の際に、拡開部材３０は、ワーク１０に接触していてもよいし、接触していなくてもよい。
【００４５】
また、たとえば、支持部材３２に溝を形成したり、支持部材３２を特定の角度で設置するなどして、めっきされたワーク１０を、ワークキャリア１から直接回収せずに、支持部材３２を通じて回収してもよい。すなわち、支持部材３２を利用することで、回収の際にワーク１０に加わる衝撃等を緩和することができる。
【００４６】
めっき工程
次に、本実施形態に係るめっき装置２０を用いためっき工程について説明する。一具体例として、積層セラミックコンデンサの製造について説明する。
【００４７】
まず、チタン酸バリウム等の誘電体粒子を含むペーストから、グリーンシートを形成する。次に、グリーンシートの表面に、Ｎｉ等を含む内部電極ペーストを印刷する。次に、内部電極ペーストが印刷されたグリーンシートを複数積層し、積層方向の両端面に保護用グリーンシートを積層して、積層体を得る。次に、この積層体を所定の寸法に切断して、グリーンチップを得る。このグリーンチップに対して、脱バインダ処理、焼成処理、および熱処理を行って、コンデンサ素子本体が得られる。
【００４８】
次に、コンデンサ素子本体の長手方向の両端部に、外部電極を形成する。各外部電極は、通常、下地層、中間めっき層、および外側めっき層の３層から構成される。下地層は、コンデンサ素子本体の両端部に、電極ペースト膜（Ａｇ，Ｃｕ等）を塗布し、これに焼き付け処理を行うことで形成される。中間めっき層は、ＮｉまたはＮｉ合金膜等で構成され、電解めっき法により形成される。外側めっき層は、電解めっき法により形成され、ＳｎあるいはＳｎ合金のめっき層で構成される。
【００４９】
以下では、図５を用い、図１０に示すめっき工程のフローチャートに沿って、本実施形態に係るめっき装置２０により、中間めっき層および外側めっき層を形成する工程について説明する。
【００５０】
まず、下地層が既に形成された複数のコンデンサ素子本体（ワーク）を、ワークキャリア１に収容する。そして、収容されたワークは、ワークキャリア１により搬送され、ワークキャリア１に収容された状態で洗浄槽に投入され洗浄される。
【００５１】
次に、図５に示すように、洗浄されたワークは、ワークキャリア１により矢印の方向に搬送され、ワークキャリア１とともに、Ｎｉめっき（中間めっき）用のめっき液２８が充填されためっき槽２２に投入される。めっき槽２２の内部には、給電部２４（アノード）が設置され、めっき槽２２の外部に設置されている給電部２６がワークキャリア１に接触している。そのため、ワークキャリア１がワークに対する給電部（カソード）となり、めっき液２８中において、カソードであるワークキャリア１に接触しているワークがＮｉめっきされ、ワークに中間めっき層が形成される。
【００５２】
このとき、上述したワークキャリア１を用いることで、ワークを確実かつ均一にめっきすることができ、めっき品質を向上させることができる。しかも、バレルめっき法のめっき工程のように、めっき時にワーク同士、またはワークとメディアとが衝突し、その衝撃で、ワークの破損が生じることはない。さらには、ワークキャリア１を図５に示す方向に移動させることで、複数のワークに対して、連続的なめっきを実現できる。その結果、めっき不良率を改善できるだけでなく、めっき効率をも改善することができる。
【００５３】
中間めっき層が形成されたワークは、さらにワークキャリア１により搬送され、ワークキャリア１とともに洗浄槽に投入され、洗浄される。洗浄されたワークは、ワークキャリア１により搬送され、Ｓｎめっき（外側めっき）用のめっき液が充填されためっき槽に、ワークキャリア１とともに投入され、Ｎｉめっきの場合と同様にして、Ｓｎめっきされ、ワークに外側めっき層が形成される。
【００５４】
外側めっき層が形成されたワークは、上記と同様に洗浄される。その後、上述したワークの取り出し機構により、ワークが回収され、めっき装置２０の乾燥機構により乾燥され、製品とされる。
【００５５】
本実施形態に係るめっき装置２０を用いためっき工程においては、バレルめっき法のようにめっきされたワークをメディアから分離する工程は必要ないため、めっき工程における生産効率が改善される。また、上述した拡開部材を用いることで、めっきされたワークを容易に回収することができるため、めっき工程における効率をより向上させることができる。
【００５６】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００５７】
例えば、図１１に示すように、めっき槽２２の中に、ワークに対して振動を与えるためのローラ３４が設置されていてもよい。
【００５８】
図１１に示すように、ローラ３４はワークキャリア１の移動の障害となるように配置されている。ワークキャリア１は弾力性を有しているので、これらのローラ３４に沿って進む際には、ワークキャリア１は変形しながら移動することとなる。このとき、ワークキャリア１に外力が作用することとなり、ワークキャリア１に振動が与えられる。そして、この振動により、ワークキャリア１に収容されているワークは、ワークキャリア１内における位置が変わる。そのため、ワークキャリア１とワークとが接触していた部分が、ワークキャリア１と接触しなくなり、ワークの別の部分が、ワークキャリア１と接触するようになる。したがって、ワークがめっき液２８中に投入されている状態で、ワークキャリア１を通じてワークに振動を与えることで、ワークの外面全体をめっき液２８に接触させることができ、所望の箇所に均一なめっきをより確実に行うことができる。
【００５９】
なお、図１１に示すローラのうち、両端部に配置してあるローラ３６は、ワークキャリア１の進行方向を変えるために配置され、ワークキャリア１の進行方向への移動に応じて回転する。
【００６０】
本実施形態においては、ワークに振動を与える機構として、図１１に示すようなローラ３４を用いたが、ワークに振動を与えて、ワークの外面全体をめっき液２８に接触させるような機構であれば、特に制限されず、本発明の効果を得ることができる。
【００６１】
本発明のめっき装置２０は、上述した積層セラミックコンデンサの他に、チップインダクタ、チップバリスタ等のチップ電子部品の製造に好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るワークキャリアの概略斜視図である。
【図２】図２は、ワークであるチップ電子部品の概略斜視図である。
【図３】図３は、図１に示すワークキャリアのＩＩＩ−ＩＩＩ方向から見た概略断面図である。
【図４】図４は、図１に示すワークキャリアを構成する縦糸および横糸の概略拡大図である。
【図５】図５は、本発明の一実施形態に係るめっき装置の概略断面図である。
【図６】図６は、図５に示すめっき装置が有する給電部の拡大概略図である。
【図７】図７は、図１に示すワークキャリアの長手方向に沿った概略断面図である。
【図８】図８は、図７に示す拡開部材をＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ方向から見た概略平面図である。
【図９】図９（Ａ）は、図８に示す拡開部材をＩＸＡ−ＩＸＡ方向から見た概略断面図、図９（Ｂ）は、図８に示す拡開部材をＩＸＢ−ＩＸＢ方向から見た概略断面図である。
【図１０】図１０は、本発明のワークキャリアおよびめっき装置を用いた場合のめっき工程を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、本発明の他の実施形態に係るめっき装置の概略断面図である。
【図１２】図１２は、従来例に係るバレルめっき法によるめっき工程を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６３】
１…  ワークキャリア
２、３…  引き出し部
５…  入り口
７…  縦糸
８…  横糸
１０…  ワーク
１２…  外部電極
２０…  めっき装置
２２…  めっき槽
２４、２６…  給電部
２８…  めっき液
３０…  拡開部材
３２…  支持部材
３４、３６…  ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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