(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直交する２軸方向である垂直方向と水平方向とにそれぞれ並ぶ複数の画素と、前記複数の画素に対応するように設けられた補色系の色差順次型配列フィルタと、位相が異なる４相の駆動パルス電圧がそれぞれ印加される第１〜第４の電極であって前記第１の電極にハイレベルの前記駆動パルス電圧が印加されることで前記複数の画素のうち奇数番目の行の画素である奇数行画素の信号の読み出しが可能となり、前記第３の電極にハイレベルの前記駆動パルス電圧が印加されることで前記複数の画素のうち偶数番目の行の画素である偶数行画素の信号の読み出しが可能となる第１〜第４の電極と、前記垂直方向に隣接する２つの画素の信号を混合する混合手段とを有し、前記奇数行画素の信号と前記奇数行画素の下側に隣接する前記偶数行画素の信号とを混合させることで第１のフィールド画素信号を生成し、前記偶数行画素の信号と前記偶数行画素の下側に隣接する前記奇数行画素の信号とを混合させることで第２のフィールド画素信号を生成するＣＣＤイメージャと、
前記第１のフィールド画素信号の読み出しのために前記ハイレベルの駆動パルス電圧を前記第１及び前記第３の電極の順番でそれぞれ印加し、前記第２のフィールド画素信号の読み出しのために前記ハイレベルの駆動パルス電圧を前記第３及び前記第１の電極の順番でそれぞれ印加する電圧印加手段であって、前記第１のフィールド画素信号が読み出されるときに前記第１、前記第２及び前記第４の電極の電圧を所定の間ローレベルに固定したのちに前記第１の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加し、前記第２のフィールド画素信号が読み出されるときに前記第３、前記第２及び前記第４の電極の電圧を所定の間ローレベルに固定したのちに前記第３の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加する電圧印加手段と
を具備する撮像装置。
【請求項２】
直交する２軸方向である垂直方向と水平方向とにそれぞれ並ぶ複数の画素と、前記複数の画素に対応するように設けられた補色系の色差順次型配列フィルタと、位相が異なる４相の駆動パルス電圧がそれぞれ印加される第１〜第４の電極であって前記第１の電極にハイレベルの前記駆動パルス電圧が印加されることで前記複数の画素のうち奇数番目の行の画素である奇数行画素の信号の読み出しが可能となり、前記第３の電極にハイレベルの前記駆動パルス電圧が印加されることで前記複数の画素のうち偶数番目の行の画素である偶数行画素の信号の読み出しが可能となる第１〜第４の電極と、前記垂直方向に隣接する２つの画素の信号を混合する混合手段とを有し、前記奇数行画素の信号と前記奇数行画素の下側に隣接する前記偶数行画素の信号とを混合させることで第１のフィールド画素信号を生成し、前記偶数行画素の信号と前記偶数行画素の下側に隣接する前記奇数行画素の信号とを混合させることで第２のフィールド画素信号を生成するＣＣＤイメージャの駆動方法であって、
前記第１のフィールド画素信号の読み出しのために前記第１、前記第２及び前記第４の電極の電圧を所定の間ローレベルに固定したのちに前記第１の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加し当該印加ののちに前記第３の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加し、
前記第２のフィールド画素信号の読み出しのために前記第３、前記第２及び前記第４の電極の電圧を所定の間ローレベルに固定したのちに前記第３の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加し当該印加ののちに前記第１の電極に前記ハイレベルの駆動パルス電圧を印加する
ＣＣＤイメージャの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感度の異なる複数の画素を備え、奇数フィールド及び偶数フィールドのそれぞれで画素混合して得られる信号電荷を垂直、水平転送レジスタを介して出力部へ転送するための固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法に関し、更に詳しくは、各フィールドの読み出し時、一方の読出し電極電圧がハイレベルのときに他方の読出し電極を含む残りの電極電圧がすべてローレベルとなる期間を有する固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在、固体撮像素子を用いた色分解手法の１つに、１枚の固体撮像素子上に配置した３色又は４色のオンチップカラーフィルタで色分解する単板方式がある。単板方式は、図７Ａ及びＢに示すようにＲ，Ｇ，Ｂの３色に色分解する原色系と、Ｃｙ（＝Ｂ＋Ｇ），Ｍｇ（＝Ｂ＋Ｒ），Ｙｅ（Ｇ＋Ｒ），Ｇの４色に色分解する補色系とがある。原色系は入射光の波長選択性が高いために色再現性がよいが光の利用効率が低いのに対し、補色系は入射光の波長を広い範囲で有効に利用できるため光の利用効率を高くとることができるといった特徴がある。なお、図７Ａは原色系の代表としてベイヤ型配列を、図７Ｂは補色系の代表として色差順次型配列をそれぞれ示している。
【０００３】
上記補色系の色差順次型配列フィルタを用いたＣＣＤ固体撮像素子では、図８に示すように奇数（Ｏｄｄ）フィールドと偶数（Ｅｖｅｎ）フィールドのそれぞれで画素混合がなされ、色信号が水平方向において読み出されるようになっている。すなわち、ＣＣＤから出力された色差線順次信号は、奇数フィールドにおけるｎラインでは、Ｍｇ＋Ｙｅ及びＧ＋Ｃｙの各混合信号、（ｎ＋１）ラインではＧ＋Ｙｅ及びＣｙ＋Ｍｇの各混合信号が読み出され、偶数フィールドにおけるｎ’ラインでは、Ｇ＋Ｙｅ及びＣｙ＋Ｍｇの各混合信号、（ｎ＋１）’ラインではＣｙ＋Ｇ及びＭｇ＋Ｙｅの各混合信号が読み出されることになる。
【０００４】
図９及び図１０に、補色系の色差順次型配列フィルタを用いた固体撮像素子におけるＹｅ，Ｇ，Ｙｅ，Ｍｇ列の任意画素についての垂直転送電極Ｖ１〜Ｖ４の配置構造（すなわち本例では４相駆動）並びに、奇数フィールド及び偶数フィールドの読み出し時における各転送電極Ｖ１〜Ｖ４に印加される垂直転送クロックのタイミングチャートの一例を示す。
【０００５】
ここでは、電極Ｖ１及びＶ３が読出し電極として構成され、垂直転送クロックφＶ１及びφＶ３は３値レベルをとる。すなわち、ハイレベル（以下、Ｈレベルと記す。）、ミドルレベル（以下、Ｍレベルと記す。）及びローレベル（以下、Ｌレベルと記す。）の３値をとり、Ｈレベルで信号電荷が読み出され、Ｍレベル及びＬレベルの２値で電荷の転送が行われる。これに対して電極Ｖ２及びＶ３に印加される垂直転送クロックφＶ２及びφＶ４はＭレベル及びＬレベルの２値をとり、これらにより電荷の転送が行われる。
【０００６】
本例において、奇数フィールドの画素信号の読み出し時は、先に電極Ｖ１に隣接する画素の信号電荷を読み出し、次いで電極Ｖ３に隣接する画素の信号電荷を読み出し、混合して、垂直及び水平転送レジスタを介して出力部へ転送する。これに対して、偶数フィールドの画素信号の読み出し時は、先に電極Ｖ３に隣接する画素の信号電荷を読み出し、次いで電極Ｖ１に隣接する画素の信号電荷を読み出し、混合して、垂直及び水平転送レジスタを介して出力部へ転送する。
【０００７】
この際、一方の読出し電極Ｖ１（又はＶ３）がＨレベルのとき、図示するように他の全ての電極電圧が一定期間Ｌレベルに固定されるようになっている。これにより、読出し電圧を低減して低消費電力化を図るようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来の固体撮像素子の駆動方法では、奇数フィールド及び偶数フィールドの間で出力差が生じ、撮像画面上に明暗のちらつきが発生するという問題がある。
【０００９】
図１１を参照して説明すると、Ｇ及びＭｇに対して光の透過率の高い（感度の高い）Ｙｅのフィルタをもつ画素は、Ｇ及びＭｇのフィルタをもつ画素に比べて蓄積される信号電荷量が多い。ここでは簡単のために、ＹｅとＧ及びＭｇとの透過率（感度）の比を２：１として考えると、ある一定の光量を照射してＹｅの画素の電荷量が飽和に達した場合（これを１００とする）、Ｇ及びＭｇの画素に蓄積される電荷量は、５０となる。
【００１０】
そこで、奇数フィールドの読み出し時は、電極Ｖ１に隣接する画素すなわちＧ及びＭｇのフィルタをもつ画素に蓄積された信号電荷が先に読み出され、その間の一定期間、他の電極Ｖ２〜Ｖ４はＬレベルに固定されるために、待機中のＹｅのフィルタをもつ画素のポテンシャル井戸がＭレベルとＬレベルとのレベル差に相当する分だけ浅くなり（図１１中破線で示す位置に上限が低下）、蓄積電荷量が例えば９０に摺り切られる。その結果、奇数フィールドの読出し信号は、Ｇ（５０）＋Ｙｅ（９０）及びＭｇ（５０）＋Ｙｅ（９０）となる。
【００１１】
これに対して、偶数フィールドの読み出し時には、電極Ｖ３に隣接する画素すなわちＹｅのフィルタをもつ画素に蓄積された信号電荷が先に読み出され、その間の一定期間、他の電極Ｖ１，Ｖ２及びＶ４はＬレベルに固定されるが、待機中のＧ及びＭｇのフィルタをもつ画素に蓄積された信号電荷量は電圧の印加レベルの低下による影響を受けない。その結果、偶数フィールドの読出し信号は、Ｍｇ（５０）＋Ｙｅ（１００）及びＹｅ（１００）＋Ｇ（５０）となり、図９にも示したようにトータル信号量が奇数フィールドよりも偶数フィールドの方が多くなる。このことが原因で、撮像画面上に明暗のちらつきが発生することになる。
【００１２】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、フィールド間における出力差をなくして画面のちらつき発生を防止することができる固体撮像素子の駆動装置及び駆動方法を提供することを課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するに当たり、本発明の固体撮像素子の駆動装置は、奇数フィールド及び／又は偶数フィールドの読み出しを行う前に、少なくとも先に読み出される画素の電極電圧を所定期間ローレベルに固定する手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の固体撮像素子の駆動方法は、奇数フィールド及び／又は偶数フィールドの読み出しを行う前に、少なくとも先に読み出される画素の電極電圧を所定期間ローレベルに固定することを特徴とする。
【００１５】
本発明では、奇数フィールド及び／又は偶数フィールドの読出しを行う前に、少なくとも先に読み出される画素の電極電圧を所定期間ローレベルに固定することにより、例えば透過率の高いフィルタをもつ高感度の画素に蓄積された信号電荷を予め減少させるようにしているので、各フィールド間における信号電荷に出力差が生じることがなくなる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態による固体撮像素子の駆動装置を含むＣＣＤ固体撮像素子カメラシステムの要部の構成を示すブロック図である。このシステムはデジタルビデオムービーとして構成され、ＣＣＤを用いた固体撮像素子であるＣＣＤイメージャ１と、垂直同期信号ＶＤ及び水平同期信号ＨＤ等の同期信号を発生する同期信号発生器２と、同期信号発生器２から出力される垂直同期信号ＶＤ及び水平同期信号ＨＤ等が入力され、ＣＣＤイメージャ１の駆動用の各種のタイミング信号を発生するタイミング発生器３と、タイミング発生器３から出力されるタイミング信号が入力され、垂直転送パルス、水平転送パルス及び信号電荷掃き捨て用のシャッタパルス等を与えてＣＣＤイメージャ１を駆動するドライバ４とを備えている。
【００１８】
これら同期信号発生器２、タイミング発生器３及びドライバ４により本発明に係る固体撮像素子の駆動装置が構成される。なお、タイミング発生器３は、必要に応じてリセットゲートパルス等のタイミングパルスを直接、ＣＣＤイメージャ１に印加するようになっている。また、ＣＣＤイメージャ１の出力信号の信号処理系については、その図示を省略している。
【００１９】
ＣＣＤイメージャ１は、図２に模式的に示すように、二次元的に配列されたフォトセンサからなる複数の画素（受光部）１１と、それぞれ一列分の画素１１に対し読出しゲート１２を介して接続される垂直転送レジスタ１３と、垂直転送レジスタ１３の終端に共通に接続される水平転送レジスタ１４と、水平転送レジスタ１４の終端に接続される出力部１５とを備えた、いわゆるインターライン転送方式のＣＣＤ固体撮像素子として構成される。
【００２０】
ＣＣＤイメージャ１を構成する固体撮像素子の画素１１周辺の断面構造を図３に示す。Ｎ型シリコン基板２１に形成したＰ型ウェル領域２２の表面に、受光部１１を構成するためのＮ型の不純物拡散領域からなる信号電荷蓄積領域２４と、垂直転送レジスタ１３を構成するＮ型の電荷転送領域３１及びＰ+ 型のチャネルストッパ領域３４とが形成されている。更に、上記Ｎ型の信号電荷蓄積領域２４の表面にはＰ++型の正電荷蓄積領域２５が形成され、Ｎ型の電荷転送領域３１の直下にはスミアの低減を目的としたＰ+ 型ウェル領域３０が形成されている。Ｎ型の信号電荷蓄積領域２４と電荷転送領域３１との間のＰ型領域は、読出しゲート部３５を構成している。
【００２１】
また、電荷転送領域３１、チャネルストッパ領域３４及び読出しゲート部３５上に、例えばＳｉＯ2 からなるゲート絶縁膜２３を介して多結晶シリコン層からなる転送電極３２が形成され、これら電荷転送領域３１、ゲート絶縁膜２３及び転送電極３２によって垂直転送レジスタ１３が構成される。なお、転送電極３２は１層目の多結晶シリコン層及び２層目の多結晶シリコン層から構成されるが、図では１層目の多結晶シリコン層のみを示している。
【００２２】
転送電極３２の表面には、熱酸化膜からなるシリコン酸化膜２６が形成され、その上に金属遮光膜３３が形成されている。金属遮光膜３３は受光部１１の形成領域において選択的にエッチング除去されており、光は、このエッチング除去によって形成された開口を通じて受光部１１内に入射される。金属遮光膜３３及び受光部１１の全面には層間絶縁膜２７を介してカラーフィルタ２８が形成されており、更にカラーフィルタ２８の上にはマイクロレンズ２９が形成されている。
【００２３】
本実施の形態では、カラーフィルタ２８として、Ｙｅ，Ｍｇ，Ｇ，Ｃｙの補色系フィルタが対応する画素毎に例えば図８に示した形態で配列されている。
【００２４】
本実施の形態では、上記のように、Ｎ型シリコン基板２１の表面にＰ型ウェル領域２２を形成すると共に、このＰ型ウェル領域２２内に受光部１１を構成するＮ型の信号電荷蓄積領域２４を形成することで、いわゆる電子シャッタ機能付きのＣＣＤ固体撮像素子が構成される。すなわち、シリコン基板２１に供給される基板電位をシャッタパルスに同期してハイレベルにすることにより、Ｐ型ウェル領域２２におけるポテンシャル障壁が下がり、受光部１１に蓄積された信号電荷（この場合、電子）が上記ポテンシャル障壁を越えて縦方向、つまりシリコン基板２１側に掃き捨てられる。これにより、電気的に露光期間が調整される。
【００２５】
さて、図４及び図５に、本実施の形態におけるＹｅ，Ｇ，Ｙｅ，Ｍｇ列の任意画素についての垂直転送電極Ｖ１〜Ｖ４の配置構造（すなわち本例では４相駆動）並びに、奇数フィールド及び偶数フィールドの読み出し時における各転送電極Ｖ１〜Ｖ４に印加される垂直転送クロックのタイミングチャートの一例を示す。
【００２６】
ここでは、電極Ｖ１及びＶ３が読出し電極として構成され、垂直転送クロックφＶ１及びφＶ３は３値レベルをとる。すなわち、ハイレベル（以下、Ｈレベルと記す。）、ミドルレベル（以下、Ｍレベルと記す。）及びローレベル（以下、Ｌレベルと記す。）の３値をとり、Ｈレベルで信号電荷が読み出され、Ｍレベル及びＬレベルの２値で電荷の転送が行われる。これに対して電極Ｖ２及びＶ３に印加される垂直転送クロックφＶ２及びφＶ４はＭレベル及びＬレベルの２値をとり、これらにより電荷の転送が行われる。
【００２７】
本実施の形態において、奇数（Ｏｄｄ）フィールドの画素信号の読み出し時は、先に電極Ｖ１に隣接する画素（Ｇ，Ｍｇのフィルタをもつ画素）の信号電荷を読み出し、次いで電極Ｖ３に隣接する画素（Ｙｅのフィルタをもつ画素）の信号電荷を読み出し、混合して、垂直及び水平転送レジスタ１３，１４を介して出力部１５へ転送する。これに対して、偶数（Ｅｖｅｎ）フィールドの画素信号の読み出し時は、先に電極Ｖ３に隣接する画素の信号電荷を読み出し、次いで電極Ｖ１に隣接する画素の信号電荷を読み出し、混合して、垂直及び水平転送レジスタ１３，１４を介して出力部１５へ転送する。
【００２８】
この際、一方の読出し電極Ｖ１（又はＶ３）がＨレベルのとき、図示するように他の全ての電極電圧が一定期間Ｌレベルに固定されるようになっている。これにより、読出し電圧を低減して低消費電力化を図るようにしている。
【００２９】
そして、奇数フィールド及び偶数フィールドの読出しを行う前に、先に読み出される画素の電極電圧を所定期間ＴだけＬレベルに固定するようにしている。上記の制御は、ドライバ４によって行われる。
【００３０】
なお本実施の形態では、奇数フィールドの読出し時には電極Ｖ１だけでなく、電極Ｖ２及びＶ４をもＬレベルに固定し、他方、偶数フィールドの読出し時には電極Ｖ３だけでなく、電極Ｖ２及びＶ４をもＬレベルに固定するようにしている。これにより各フィールド間での対称性を得るようにしている。また各フィールド共に、１つの電極のみＬレベルに固定しないのは、垂直転送レジスタ１３内の信号電荷の偏りを回避するためである。
【００３１】
次に、本実施の形態の作用について説明する。
【００３２】
図４を参照して、画素信号の読出しは、奇数フィールド及び偶数フィールドの画素信号がそれぞれで混合されて読み出される。一般に、Ｇ，Ｍｇに対して光の透過率の高い（感度の高い）Ｙｅのフィルタをもった画素は、Ｇ，Ｍｇのフィルタをもつ画素に比べて蓄積される信号電荷量が多い。簡単のため図６に示すように、ＹｅとＧ及びＭｇとの透過率の比を２：１とすると、ある一定の光量を照射してＹｅの画素の電荷量が飽和に達した場合（これを１００とする）、Ｇ及びＭｇの画素に蓄積される電荷量は、５０である。
【００３３】
そこで、奇数フィールドの読出し時には、電極Ｖ１に隣接する画素すなわちＧ及びＭｇのフィルタをもつ画素に蓄積された信号電荷が先に読み出され、その間の一定期間、他の電極Ｖ２〜Ｖ４はＬレベルに固定されるために、待機中のＹｅのフィルタをもつ画素のポテンシャル井戸がＭレベルとＬレベルとのレベル差に相当する分だけ浅くなり、蓄積電荷量が例えば９０に摺り切られる。その結果、奇数フィールドの読出し信号は、Ｇ（５０）＋Ｙｅ（９０）及びＭｇ（５０）＋Ｙｅ（９０）となる。
【００３４】
このとき、電極Ｖ１に隣接する画素が読み出される前に所定期間Ｔだけ電極Ｖ１がＬレベルに固定されるが、これによってＧ及びＭｇの信号電荷の読出し量が変化することはない。
【００３５】
一方、偶数フィールドの読み出し時には、先に読み出されるＹｅの画素の読出し電極Ｖ３が、読出し前に所定期間ＴだけＬレベルに固定されるため、これによってＹｅの信号電荷量は飽和量（１００）から９０に摺り切られる。これに対して、待機中のＧ及びＭｇの画素に蓄積された信号電荷量は、電圧の印加レベルの低下による影響を受けない。その結果、偶数フィールドの読出し信号は、Ｍｇ（５０）＋Ｙｅ（９０）及びＹｅ（９０）＋Ｇ（５０）となり、トータル信号量が奇数フィールドのトータル信号量と等しくなる。
【００３６】
以上のように、本実施の形態によれば、特に偶数フィールドの電荷の読み出し時に、読出し電極Ｖ３をＨレベルにする前に所定期間ＴだけＬレベルに固定することによって、Ｙｅの振動電荷を予め減少させ、奇数フィールドと偶数フィールドとの間における出力差をなくすようにしているので、当該出力差を原因とする撮像画面上の明暗のちらつきを防止することができる。
【００３７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００３８】
例えば以上の実施の形態では、奇数フィールド及び偶数フィールド共に、その読み出しの前に、先に読み出される画素の電極電圧を所定期間ローレベルに固定するようにしたが、これは各フィールドに読出しタイミングの対称性をもたせる観点から設定したものである。したがって、本質的には、高感度の画素（Ｙｅ）が先に読み出されるフィールド（偶数フィールド）にのみ上記制御を行うようにしても、上述と同様な効果を得ることができる。また同様に、読出し電極（Ｖ１，Ｖ３）以外の電極（Ｖ２，Ｖ４）もローレベルに固定するようにしたが、先に読み出される画素の電極電圧のみローレベルに固定するようにしてもよい。
【００３９】
また、以上の実施の形態では、補色系の色差順次型配列フィルタを用いた固体撮像素子を例に挙げて説明したが、これに限られることなく、例えば特開平９−２０５５８９号公報に記載のように、受光部の開口面積によって感度を異ならせた複数の画素からなる固体撮像素子にも本発明は適用可能である。この場合少なくとも、上記開口面積が大きい（感度の高い）画素が先に読み出されるフィールドにおいて、その読出し前に、当該画素の電極電圧を所定期間ローレベルに固定するようにすれば、フィールド間における出力差をなくすことができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の固体撮像素子の駆動装置によれば、撮像画面上に明暗のちらつきを発生させることなく固体撮像素子を駆動することができる。
【００４１】
また、本発明の固体撮像素子の駆動方法によれば、各フィールド間の出力差に起因する撮像画面上の明暗のちらつきを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態による固体撮像素子を用いたカメラシステムの構成の要部を示すブロック図である。
【図２】同カメラシステムにおけるＣＣＤイメージャの構成を示す説明図である。
【図３】同ＣＣＤイメージャの構造を説明する断面図である。
【図４】同ＣＣＤイメージャの任意の画素列における信号読出し作用の説明図である。
【図５】同ＣＣＤイメージャを駆動させる垂直クロックパルスのタイミングチャートの一例を示し、Ａは奇数フィールドを示し、Ｂは偶数フィールドを示している。
【図６】本発明の実施の形態の作用の説明図である。
【図７】一般的なオンチップカラーフィルタの配列形態を説明する図であり、Ａはベイヤ型配列を示し、Ｂは色差順次型配列を示している。
【図８】色差順次型配列の固体撮像素子の信号読出し形態を説明する図である。
【図９】従来技術の構成及び作用を説明する図である。
【図１０】従来の固体撮像素子用の垂直クロックパルスのタイミングチャートの一例を示し、Ａは奇数フィールドを示し、Ｂは偶数フィールドを示している。
【図１１】従来技術の問題点を説明する図である。
【符号の説明】
１…ＣＣＤイメージャ、２…同期信号発生器、３…タイミング発生器、４…ドライバ、１１…画素（受光部）、１２…読出しゲート、１３…垂直転送レジスタ、１４…水平転送レジスタ、１５…出力部、２１…シリコン基板、２４…信号電荷蓄積領域、２８…カラーフィルタ、３２…転送電極。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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