(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
マウントにより支持され、光源からの光を虚像もしくは実像で焦点に集めるコレクターミラーを具備し、このコレクターミラーは、このコレクターミラーが光軸に少なくとも垂直に変位され得るように、支持体により前記マウント内で調節もしくは変位可能である、光源からの放射線のための集束装置であって、
前記コレクターミラー（１）は、互いに径方向に配設された複数の環状のシェル（２３）を備えた光透過システムに従って、シェルコレクター（１’）としてデザインされており、
前記環状のシェル（２３）は、マウントリング（２４）としてデザインされたマウントに、前記マウントの径方向の補強リブ（２６）内の支持体（２９）に接続されて、かつ前記補強リブ（２６）がマウントリング（２４）に接続される領域に設けられた切欠部（２８）を介して夫々支持されており、
前記環状のシェル（２３）は、夫々、支持体（２９）の中に突出した夫々の端部が、光軸（３５）に垂直な方向に変位可能な支持部（３４）の中で保持されている、
集束装置。
【請求項２】
前記変位は、前記支持体の領域内でなされる請求項１の装置。
【請求項３】
複数の支持体（２９）が、マウントリング（２４）の補強リブ（２６）に、周方向に渡って配設かつ分布されている請求項１もしくは２の装置。
【請求項４】
前記コレクターミラー（１）の支持体（２９）には、光軸に対して垂直なコレクターミラー（１）の動きを果たさせる部材（３０，３４’，３７，３８，３９，４０，４１）が設けられている請求項１ないし３のいずれか１の装置。
【請求項５】
前記部材は、能動的な調節ユニット（３４’，４０，４１）としてデザインされている請求項４の装置。
【請求項６】
前記環状のシェル（２３）は、各々が、前記マウントリング（２４）の一側に支持されており、また、前記マウントリング（２４）に接続されていない一端部で、光軸の方向に各々が変位可能である請求項１ないし５のいずれか１の装置。
【請求項７】
前記環状のシェル（２３）は、前記光源からそれた側で前記マウントリング（２４）に支持されている請求項６の装置。
【請求項８】
前記支持体（２９）は、前記光軸（３５）に平行に位置されており、この支持体（２９）のサイズは、支持体（２９）により支持されている環状のシェル（２３）が光軸（３５）に垂直な方向に変位可能なような大きさとなるように、前記光軸（３５）に垂直な方向が選定されている請求項１ないし７のいずれか１の装置。
【請求項９】
前記切欠部（２８）は、前記マウントリング（２４）の周方向に延びているスロットとしてデザインされている請求項１ないし８のいずれか１の装置。
【請求項１０】
前記スロット（２８）の長さは、前記補強リブ（２６）の厚さの複数倍に相当している請求項９の装置。
【請求項１１】
前記支持部（３４）には、光軸に対して垂直な環状のシェル（２３）の動きを果たさせる部材（３０，３４’，３７，３８，３９，４０，４１）が設けられている請求項１ないし１０のいずれか１の装置。
【請求項１２】
平行四辺形体（３０）が、前記部材として設けられており、この平行四辺形体（３０）の一端部は、前記支持部（３４）に接続されており、また、平行四辺形体（３０）の他端部は、補強リブ（２６）の領域内で前記マウントリング（２４）に接続されている請求項１１の装置。
【請求項１３】
前記支持部（３４）と平行四辺形体（３０）とは一体的なデザインである請求項１２の装置。
【請求項１４】
前記支持部（３４）と、平行四辺形体（３０）と、補強リブ（２６）を備えたマウントリング（２４）とは、一体的なデザインである請求項１３の装置。
【請求項１５】
前記部材は、前記支持部（３４）に接続されたガイド（３７）を備えた線形ガイドであり、このガイド（３７）は、前記支持部（３４）に接続されており、また、このガイド（３７）は、前記マウントリング（２４）内に支持された支持ピン（３８）もしくは線形ガイドに沿って線形的に変位可能である請求項１１の装置。
【請求項１６】
前記環状のシェル（２３）に形成された複数の切欠部（４０）によって、これら環状のシェル（２３）は、前記マウントリング（２４）との接続点において、板ばね（３９）を形成しており、これら板ばねによって、環状のシェル（２３）は、マウントリング（２４）に接続されている請求項１１の装置。
【請求項１７】
２つの前記切欠部（４０）が、光軸と平行に延びるようにして互いに離間して配設されており、これら切欠部間で、前記板ばね（３９） は、環状のシェル（２３）に設けられている請求項１６の装置。
【請求項１８】
板ばね（３９）を形成する目的で、各支持体（２９）には、光軸（３５）に平行な切欠部と、周方向に延びた切欠部とが形成されている請求項１６の装置。
【請求項１９】
前記環状のシェル（２３）をマウントリング（２４）に接続する目的で、環状のシェル（２３）の外周に装着され、夫々が環状のシェル（２３）に一端部で接続され、夫々がマウントリング（２４）に他端部で接続された複数の板ばね（３９）が、マウントリング（２４）に設けられている請求項１１の装置。
【請求項２０】
前記支持体（２９）には、能動的な調節ユニット（３４’，４０，４１）が設けられている請求項１ないし１９のいずれか１の装置。
【請求項２１】
前記調節ユニット（４０，４１）は、長さが可変なようにデザインされたピエゾ素子、電気もしくは電磁調節ユニット、液圧もしくは気圧ユニット、または、プランジャーを含んでいる請求項５もしくは２０の装置。
【請求項２２】
前記支持部（３４）は、熱アクチュエータとしてデザインされているか、熱アクチュエータ（３４’）が設けられており、この熱アクチュエータは、前記環状のシェル（２３）が、温度変化のときに、光軸（３５）に垂直な方向への変位を果たすように、これの長さと関連して、材料と熱膨張係数とを参照して予め設定されている請求項１ないし２１のいずれか１の装置。
【請求項２３】
前記熱アクチュエータは、前記支持部（３４）に作用する別の部分（３４’）としてデザインされている請求項２２の装置。
【請求項２４】
光源と、マウントにより支持され、光源からの光を虚像もしくは実像で焦点に集めるコレクターミラーを具備する、半導体リソグラフィでの照明システムを有する露光装置であって、前記コレクターミラー（１）は、このコレクターミラー（１）が光軸に少なくとも垂直に変位され得るように、支持体（２９）により前記マウント（１０，２４）内で調節もしくは変位可能であり、
前記コレクターミラーは、互いに径方向に配設された複数の環状のシェルを備えた光透過システムに従って、シェルコレクターとしてデザインされており、
前記環状のシェル（２３）は、マウントリング（２４）としてデザインされたマウントに、前記マウントの径方向の補強リブ（２６）内の支持体（２９）に接続されて、かつ前記補強リブ（２６）がマウントリング（２４）に接続される領域に設けられた切欠部（２８）を介して夫々支持されており、
前記環状のシェル（２３）は、夫々、支持体（２９）の中に突出した夫々の端部が、光軸（３５）に垂直な方向に変位可能な支持部（３４）の中で保持されている、
露光装置。
【請求項２５】
前記変位は、この装置の支持体の領域で生じる請求項２４の露光装置。
【請求項２６】
前記環状のシェル（２３）は、マウントリング（２４）の一側に夫々保持されており、光軸（３５）の方向にマウントリング（２４）からそれた端部で変位可能である請求項２４もしくは２５の露光装置。
【請求項２７】
前記支持体（２９）は、光軸（３５）に平行に位置され、これら支持体（２９）のサイズは、支持体（２９）に保持された前記環状のシェル（２３）が、光軸に垂直な方向に変位可能なような大きさとなるように、前記光軸（３５）に垂直な方向が選定されている請求項２４ないし２６のいずれか１の露光装置。
【請求項２８】
前記切欠部（２８）は、前記マウントリング（２４）の周方向に延びたスロットとしてデザインされている請求項２４ないし２７のいずれか１の露光装置。
【請求項２９】
前記支持部（３４）には、光軸（３５）に対して垂直な環状のシェル（２３）の動きを果たさせる部材（３０，３４’，３７，３８，３９，４０，４１）が設けられている請求項２４ないし２８のいずれか１の露光装置。
【請求項３０】
前記支持体（２９）には、能動的な調節ユニット（３４’，４０，４１）が設けられている請求項２４ないし２９のいずれか１の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、比較的詳細まで規定された型の、請求項１の前段部に係わるコレクターミラーを有する、光源、特にレーザープラズマ源からの放射線のための収束装置（focusing device）に関する。
【背景技術】
【０００２】
コレクターミラーを有する照明システムが、特許文献１に開示されている。
【０００３】
半導体リソグラフィにおいて、レーザープラズマ源等の光源がしばしば使用されている。この光源の光は、コレクターミラーを介して、虚像もしくは実像の条件で、第２の焦点に集められ、所定のビームを形成するために照明システムへガイドされる。コレクターミラーは、レーザープラズマ源により加熱され、例えば照明の欠陥、テレセントリング（telecentring）のエラー、均一性の欠陥などのマイナス影響を下流の照明システムに与え得る形状の変化に対応し、光のロスを導き得る。
【特許文献１】米国特許５，７９８，８２３
【特許文献２】ＥＰ１２２５４８１Ａ２
【特許文献３】ＤＥ１０１３８２８４Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
こうした不利な点を回避するために、発生された熱を放散させるようにコレクターミラーを冷却する方法が公知である。しかし、この目的を果すために必要になる大きな支出にも関わらず、結像の精度に関して、避けられない公差化の問題が、まだ残っている。これらは、特に第２の焦点の位置の変化に帰する。更に、パルス的に操作される場合に、時間とともに強く変化し得る所定の高熱負荷を考えると、コレクターミラーは、全体に一定の温度レベルで維持されることが不可能で、“動的な”冷却システムを必要とするようになる。
【０００５】
本発明の目的は、先行技術での不利な点が回避され、特にコレクターミラーの光学特性が、下流照明システムにおけるマイナス影響が起こらないように熱負荷下でも変わらない形状で維持される装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係われば、この目的は，請求項１で請求された態様によりなされる。
【０００７】
コレクターミラーは、ｚ方向に、即ち、光軸の方向に特に変位され、また、コレクターミラー自身は、第２の焦点の位置が温度変化のときに変化されないようにデザインされている事実により、コレクターミラーの光学特性が熱負荷のもとでさえも変化されない形態で維持される。  
コレクターミラーが、これの形状が、楕円群、双曲線群もしくは放物線群のような共焦点曲線群(isofocal family of curves)に従って設定されるように、装着もしくは構成する第１のデザイン上の解決が本発明に係れば提案されている。“共 (isofacal)”焦点曲線群により意味されることは、源、即ち、第１の焦点と第２の焦点との間の間隔（spacing）が変化しないことである。楕円群のみが、簡単にするために、以下に説明される。楕円の共焦点群は、源をこの源の固定された像(fixed image) に投影する。このコレクターミラーが、共焦点曲線群に従って加熱のもとで成形されていれば、これの光学特性は、一定に維持される。このことは、コレクターミラーを冷却するか、高い経費をかけて一定の温度に維持する必要性をなくすことを意味するが、熱によるコレクターミラーの形状の変化は、選択された光学特性が変化しないで維持されるように、生じることも意味する。
【０００８】
上記のような共焦点コレクターミラーにとって、円錐定数(conic constant)Ｋとセミパラメータ(semiparameter) Ｐ＝Ｒとは、源とコレクターミラーの頂点との間の間隔の一次関数により良い近似値で表され得る。  
もし、一方で、目的が、コレクターミラーの変位もしくは変化によって、通常は無視し得る倍率の変化を避けるとこであれば、光源とこの光源の結像面との間の間隔は、第２の解決策に従って変えられなければならない。これは、例えば、能動的(actively)にか、受動的な熱膨張(passive thermal expansion)によりなされ得る。偏心率γもしくは円錐定数Ｋは、倍率を有するコレクターミラーに対して一定に維持されなければならない。そして、頂点曲率Ｐ＝Ｒは、線形的に変化しなければならない。この解決は、臨界照明をするシステムにとって、ある環境のもとでは、有効である。なぜなら、光源の像は、レチクルで同じサイズを維持するからである。
【０００９】
第１の焦点と第２の焦点との間隔が同じに維持される共焦点曲線群を使用する解決策とは反して、 異なる解決策においては、コレクターミラーから第２の焦点へのビーム角度が同じに維持されて、第２の焦点が対応して変位される。もし、第２の焦点が同じ点に維持されるのであれば、コレクターミラーばかりではなく、光源もしくは第１の焦点も、ｚ方向に対応して動かされなければならない。
【００１０】
コレクターミラーは、異方性の熱負荷を通常は受けるので、少なくともほぼ均一な温度分布がコレクターミラーで果されるような方法でコレクターミラーに不均一に分布された冷却装置が設けられるというような、本発明に係わる改良が成され得る。これは、公知の冷却装置と比較して、比較的高い費用がかかる。しかしながら、この費用は、コレクターミラー全体の冷却を果す必要がなく、また大部分の均一な温度分布を確実にすることから、著しく低く維持されることが可能である。
【００１１】
反射により動作するコレクターミラーの代わりに、１つのマウントに一緒になって留められた複数のかたまって並べられた環状のシェル、即ち、ミラーシェルを有し、透過光コレクター（ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｄ−ｌｉｇｈｔ  ｃｏｌｌｅｃｔｏｒ）と称されているようなコレクターミラーを、新規な方法で、本発明の非常に効果的な改良で、支持させることが可能である。また、シェルコレクターとも称されているこのような透過光コレクターは、“巣のような形状のコレクター（ｎｅｓｔｅｄ  ｃｏｌｌｅｃｔｏｒｓ）”として示されている（例えば、特許文献１並びに特許文献２）。使用に際して、シェルコレクターは、高温の熱を受け、従って、使用されている部品の熱膨張係数の相違並びに／もしくは温度勾配によって、コレクターミラーの変形が生じる。これは、マウントリングもしくはスポーク付きリングとして一般的にデザインされているマウントへの環状のシェルの装着領域で特に生じる。このスポーク付きリングは、径方向に延びた複数のスポークを有しており、これらスポークに個々の環状のシェルが、互いに所定の令方向の間隔を有して取着されている。
【００１２】
第２の焦点での光源の撮像は、ミラーシェルの幾何学的形状に影響される。この幾何学的形状の如何なる変化も、撮像の変化を生じさせる。動作の間、また、動作状態（ＥＵＶ放射並びに真空）の結果として、コレクターは、高い温度に加熱され、摂氏数百度にも達する。材料の選定は、環状のセルに、同様にマウントリングに、特定の熱膨張係数（ＣＴＥ）を与える。前記変形は、コレクターの所で生じる。これは、環状のシェルとマウントリングとを横切って温度勾配が生じ、このため、ΔＬ＝Ｌ＊ＣＴＥ＊ΔＴ（Ｌ＝長さ、ΔＬ＝長さの変化分、Ｔ＝温度、そして、ΔＴ＝温度偏差）の結果として、マウントリング並びに環状のシェル上での異なる観察点が、異なって膨張するためである。これら変形は、特に、環状のシェルとマウントリングとの間の接合部で、システム内の最大温度勾配が、接合方法に応じで、ここに生じるので、非常に大きい。このことは、例えば、比較的高い温度レベルのために、コレクターは、マウントリングよりもクランプ点でより大きい膨張が生じることを意味している。マウントリングは、比較的高い硬度を有しているので、この点での環状のシェルの膨張は、押えられている。しかし、シェルは、非クランプで邪魔されることはなく、膨張され得る。この結果、例えば、４ｘ９０°の分布を有するクランプ点を想定すると、コレクターは、クローバの葉のような形状にする。これは、マウントリングは、４つのクランプ点で膨張が押えられるけれども、膨張は、４５°だけオフセットした４つの点で可能であるためである。このようなコレクターの非対称的な変形は、矯正されることはできないか、大きな出費でもってのみ矯正可能である。
【００１３】
本発明に係われば、マウントリングもしくはリブへの環状のシェルの接続点もしくはクランプ点は、環状のシェルが、光軸に対して対称に膨張することができるように、選定されることができる。このミラーコレクターは、冷たい状態との比較では形状の対称的な変形が生じる。この形状の対称的な変化、並びにこれに関連した、システムの光学的な結像の変化は、もし、必要であれば、たいした問題がなく、矯正されることができる。ミラーコレクターの環状のシェルは、例えば、一端部で、モウントリング内でフロート状態となるように、マウントリングの一側に支持もしくはフロート状態で支持されていれば、また、かくして、他端部がクランプされていなければ、自由端部は、光軸の方向に対応して膨張することができる。クランプ点で望まれている全てのものは、半径方向、即ち、光軸に対して垂直な方向への環状のシェルの動き並びに／もしくは変位を果たさせることである。これら環状のシェルは、光源からそれた一側で、マウントリングに接続されることができるか、両端部間の所望の位置で、マウントリングに接続されることができる。
【００１４】
能動並びに受動システム及びこれらの組合せが、径方向への環状のシェルの変位を可能にするために、使用されることができる。受動システムの場合には、クランプ点での剛性が非常に減じられないようにしなければならない。能動システムは、クランプ点で剛性を比較的高くする可能性を与えているけれども、外側から駆動される別の調節部材を与える必要がある。
【００１５】
中に環状のシェルが保持されている環状のシェルもしくは支持部のための平行四辺形体のガイドが、例えば、受動もしくは能動駆動システムとして可能である。同様に、支持部を適当に所望の位置へと引張るか押す、補強リブ内の引張りワイヤもしくは押しロッドが、可能である。長さがテレスコープの形態で変化する、スライダーもくしはボールベアリングを備えた線形ガイドが、また、考えられることができる。
【００１６】
マウントリングもしくは補強リブへの環状のシェルの更なる可能性の接続方法は、環状のシェルの外周に一体的に形成されているか、環状のシェルの外周に別の部品として配設されている板ばねを、この目的のために使用することである。これら板ばねは、この場合、光軸の方向と、環状のシェルの周方向との両方に沿って延びることができる。
【００１７】
また、半能動システムとして考えられることは、温度変化に対応するアクチュエータである。この場合、環状のシェル、もしくはこれら環状のシェルの支持部は、“熱アクチュエータ”によって、マウントリングに接続されている。この“熱アクチュエータ”は、これの長さと熱膨張係数とが、この場合には、以下のように設定されている。即ち、環状のシェル、もしくはこれら環状のシェルの支持部が、温度変化の場合に、コレクターミラーの光学特性が変化しないか、矯正可能な程度のみに変化するように、設定されている。
【発明の実施の形態】
【００１８】
所望の方法でコレクターミラーの形状の変化を特に果すためのデザイン構造が、従属項と、図面を参照して以下に説明される典型的な実施形態とにおいて、原則的かつ概略的に説明されている。
【００１９】
ＥＵＶリソグラフィのための、半導体素子を製造するための照明システムと一体化され、共焦点に機能するコレクターミラー１を用いる可能性のある例として、図１に示されている。
【００２０】
例えばレーザープラズマ源、またはピンチプラズマ（pinch plasma ）焦点もしくは高濃度（dense）プラズマ焦点の光源２からの光は、コレクターミラー１を介して、フェーセットミラー（facet mirror）３上に投射される。この光源２は、コレクターミラー１の第１の焦点に位置されている。説明されている典型的な実施形態において、第２の焦点２００（図１では示されず）は、フェーセットミラー３の下流に位置されている。光は、偏向ミラー４を介してフェーセットミラー３からレチクル（マスク）５へ送られる。レチクル５の構造は、投射レンズ６を介しての結像のためにウエハ７に依存している（図示されず）。
【００２１】
レーザープラズマの光源２は、コレクターミラー１を、これの形状が変化する高熱負荷にさらす。通常、これの形状の変化は、制御不可能な照明欠陥を生じさせる。
【００２２】
図２は、コレクターミラーの光学特性が維持されるような、コレクターミラー１の制御される形状の変化と変位との原則を示している。これは、第２の焦点の位置が変わらずに維持されるように、コレクターミラー１が特にｚ方向へ変位され、これの形状が、共焦点曲線群に従って変化されるという解決法を示している。
【００２３】
良い近似算のために、楕円形群を示すパラメーターε及びｐが、温度変化ｄＴの一次関数として表され得る。かくして、これは、
【数１】
0004820074.tif 000002
【００２４】
を適用できる。この場合、
ｐ＝セミパラメーター
２ｅ＝焦点間隔
ｓ０＝源からコレクターミラーの頂点までの距離
ａ０＝ｅ＋Ｓ０並びにＳ（ｄＴ＝０）＝Ｓ０
である。
【００２５】
これは、間隔距離＝源からコレクターミラーまでの距離であるために、
ｓ＝ａ−ｅ
α＝使用される材料の線膨張係数
ε＝楕円の偏心率
γ２＝第２の焦点とコレクターミラーとの間のアパーチャ角
を適用している。  
図２に示されるように、焦点間隔２ｅは、変わらずに維持され、角度γ２がγ２’に変化し、Ｓ０がＳ（ｄＴ）に変化するのみである。
【００２６】
図３は、解決法の原理を示しており、コレクターミラーは、倍率、即ち像の大きさもしくは像側のアパーチャが熱負荷下で変化しないように、デザインされている。光源２からこの光源の像までの間隔は、目的によって異なる。偏心率εもしくは円錐定数Ｋが、この倍率維持コレクターのために一定に維持されている。頂点曲率ｐ＝Ｒが、線形に移動する。以下の式は、セミパラメーターｐのためにこれから導かれる。
【数２】
0004820074.tif 000003
【００２７】
また、図３に示されているように、この場合、焦点間隔２ｅは、２ｅ’に変化する。これは、光源２が２’に変位されることを意味する。示されるように、この場合、アパーチャの角度γ２は、変わらずに維持されている。また、光源２が変位される代わりに、角度γ２を変わらず維持するために、第２の焦点が、同じ結果を有するように変位されることが、原則的には可能である。しかしながら、実際は、第２の焦点は、固定されて維持される。また、光源２と、コレクターミラー１とは、ｚ方向へ適当に変位される。
【００２８】
言うまでもなく、楕円群の代わりに、双曲線群もしくは放物線群を利用することも可能である。  
コレクターミラー１は、加熱される際、これが共焦点であるかあるいは倍率を維持する形で機能するように、設定の必要条件に従ってデザインされている。このことは、形状の特有の変化が、この形状がこれに応じて変化するような方法で成されることを意味する。多々のデザインの改良が、この成形を果すために、可能である。かくして、図４乃至図９を参照して概略的に以下で説明されている典型的な実施形態は、例としてのみ考慮されるのがよい。これらは、共焦点コレクターミラー１に関する。コレクターミラー１の適当なデザイン構造と、これの吊り下げと、適当な場合はこれの冷却とを考えると、コレクターミラー１の形状の変化は同様に起こるが、これは、特に望ましい特有の光学特性が、そのまま維持されるように起こるというのが、実際のところである。
【００２９】
図４の典型的な実施形態に係われば、コレクターミラー１は、周囲で、光軸８即ち、ｚ軸（光学軸）に対し直角に変位され得る支持部９を介してマウント１０に接続されている。加熱されている際、コレクターミラー１は、膨張し、支持部９は、矢印１１の方向に、温度に応じて、変位され得る（コレクターミラー１の破線部を参照）。同時に、コレクターミラー１は、後方へ移動される、即ち、中央のガイド１２で、ばね装置１３の抵抗に抗して、光源２から離れる。示されるように、こうして、光源２と頂点との間の間隔Δａ１の変化が起こる。コレクターミラーの共焦点を維持する、もしくは、この光学特性に関連する後者の共熱を維持するために、間隔Δａ１の変化が、同様の光学効果を有する楕円形の所望の共焦点群を発生させるように設定されることを確実にする必要がある。しかしながら、所望の間隔の変化は、計算でもしくは経験的に、使用される公知の材料、膨張倍率、焦点間隔、更には公知のパラメーターによって決定され得る。
【００３０】
熱負荷下で、コレクターミラー１は、ｚ軸に沿った変位を行う。即ち、間隔距離は、変化する。また、光源２の平面１５にミラーを取り付けるという目的を果すのに好都合である。熱膨張が生じると、これは、自動的にｚ軸８に抗する移動を引き起こす。こうして、楕円の形状は、源からの像の大きさもしくは“像の側上”のアパーチャの“関連するアパーチャ”において、互いに異なっている。しかしながら、一般に、このような像の大きさの変化は、照明システムの性能に極僅かな影響を与えるのみである。
【００３１】
受動的なデザインでは充分でない場合、ｚ変位は、マウントにもしくはマウント１０とコレクターミラー１もしくは支持部９との間に適当な部材を用いて、比較的正確に設定され得る。これは、例えば支持部材１６（図５を参照）を介して吊り下げることによって、または１以上の能動部品１７（図６を参照）を用いて、果され得る。能動部品１７は、コレクターミラー１とマウント１０との間に配置され得る。これは、所望の長手方向の変位を果すために、例えば特殊な膨張係数を有する材料で形成された駆動構成部材として使用され得る。また、同様に、例えば空気、水圧、静磁気、圧電部材等の単純駆動動作構成部材も、使用可能である。このような駆動構成部材は、特に駆動され、必要であれば、適当な適応と変化を果すという利点を有している。
【００３２】
共焦点コレクターミラー１のための支持部の型が、図７に示されている。更に、この“自然な”変位（間隔）Δａ１は、付加的に、更に膨張される。このために、複数のストラット１８が、コレクターミラー１に、周囲に渡って分配されるように、配置されている。これらは、この場合、ｚ軸８と外周との間の周囲の領域に配置されている。ストラット１８は、一端で、夫々に支点１９を介して、コレクターミラー１に接続されており、他端は、夫々に支点２０で、関節部を成すように夫々に支持されている。ストラット１８の長軸は、ｚ軸８に対し平行に延びている。これは、コレクターミラー１が温度上昇を経験すると、膨張し、破線の位置に到達する。同時に、かくして、ストラット１８も変位され、これらの支点は、破線の位置１８’，１９’へ変位される。この結果、コレクターミラー１の頂点から光源２までの間隔は、更に値(寸法)Δａｘだけ、付加的に変化する。かくして、コレクターミラー１の全変位は、Δａ２＝Δａ１＋Δａｘで表される。Δａｚは、共焦点を果すために、ストラット１８の長さＬにより、所望のように設定され得る。
【００３３】
ストラット１８の外側の軸回転が、ｚ軸、かくして付加的な通路Δａｘ上への投射に対し、対応する短縮化を引き起こす。  
改善の原則が、図８に示されており、逆の動きが果される。この場合、同様に、ストラット１８は、周囲に渡って設けられ、ｚ軸８とコレクターミラー１の外周との間に位置され、同様に、夫々に関節部（支点）１９を介してコレクターミラー１に一端で接続され、また、他端で支点２０に取着されている。
【００３４】
しかしながら、ストラット１８の長軸は、コレクターミラー１の後方への変位を考慮して特に寸法Δａｘだけストラット１８がこの変位を妨害するように、この場合ｚ軸に対し傾斜するように位置されている。この場合、これは、コレクターミラー１の変位のためのΔａ３＝Δａ１−Δａｘを適用できる。同様に、Δａｘは、ストラット１８の長さＬにより設定され得、かくして、コレクターミラー１の対応する全変位を共焦点を作り出すように果すことが可能である。
【００３５】
図７に係わる全変位間隔が増加する改良か、図８に係わる全変位間隔を減少する改良の選択は、特有の使用状況とパラメーターとによって夫々に決定されている。  
コレクターミラー１の支持部の型は、図９の原則に示されている。支持部は、平行四辺形２１を介し、マウント１０を用いて機能する。  
また、適当な場合は、更なる冷却装置を付加的に設置することが可能である。この冷却装置は、図４の原則に参照符号“２２”で示されている。特にレーザープラズマ源が使用されている際、コレクターミラー１は周囲に渡って分配され不均一に加熱されるので、冷却ダクト２２は、全体的に見て、コレクターミラー１において少なくとも大部分に均一な温度がもたらされるように局所的な冷却が果されるような方法で、配置されている。  
温度が上昇する際、また、コレクターミラー１の変位は、倍率に変化を生じさせる。しかし、これは、ほんの僅かの変化である。
【００３６】
図１０並びに１１は、以下に環状のシェルと称される、鳥の巣のようにかたまって並べられた多数のミラーの環状のシェル２３を有する透過光コレクターミラー１’としてデザインされたコレクターミラーを示している。これら環状のシェルは、光源２から外れた側で、フランジリング２４’の下に、以下に詳述される方法で支持部を介して一側に接続されるか、浮かされた方法で、接続されている。図１を参照して説明された一例としての実施の形態とは異なって、透過光コレクターミラー１’の場合には、光源２は、ミラー１の反対側に、即ち、ビーム方向の上流（図１０でも見られる）に配置されている。図示の一例の実施の形態では、７つの環状のシェル２３が設けられており、これら環状のシェルを、光源２により発生されたビームが第２の焦点へと通過する。１つのみの環状のシェル２３を有する透過光コレクターミラー１’もまた、原理的には可能である。
【００３７】
光源２からそれた側で、フランジリング（マウントリング）２４内に浮いた状態か、一側に支持された環状のシェル２３の代わりに、環状のシェル２３は、２つの端部間の領域内で、フランジリング２４に接続されることができる。この場合、軸方向の変位が、温度変化のときに、環状のシェル２３の両端で可能である。勿論、光源２と面する側でフランジリング２４内に環状のシェル２３を支持させることも可能である。
【００３８】
前記フランジリング２４は、中に環状のシェル２３が、クランプ留め、即ち、支持され、径方向に延びた４つの補強リブ２６を有していることが、図１１から、また、図１２の拡大図により見ることができる。更に、図１０並びに１１に見られるように、透過光コレクターミラー１’の中央領域は、カバープレート２７により覆われている。４つの補強リブ２６の代わりに、可能であれば、１つのみのリブもしくは複数の補強リブを与えることが可能である。
【００３９】
図１２に見られるように、前記フランジリング２４は、補強リブ２６の結合点の領域で、周方向に延びたスロット２８の形態の切欠部を有している。これらスロット２８は、リブの厚さの複数倍の長さで周方向に延びており、例えば、補強リブの厚さの８ないし１０倍の長さが可能である。これら細長いスロット２８は、熱により異なる熱膨張が生じたときに、熱ストレスが補強リブ２６に伝わるのを防止する機能のみを有している。また、これら細長いスロット２８は、結合点の領域での、装着リング２４への移行領域に薄い材料のみがスロット２８により残っているので、補強リブ２６の線形膨張を生じさせることができる。この結果、弾性的な動きが、可能となっている。
【００４０】
ボアもしくはホルダーの形態での支持体２９、即ち、支持点が、図１２に見られる。これら支持体２９、即ち、ホルダー、並びに環状のシェル２３の正確な形状が、以下の図を参照して説明される。
【００４１】
図１３は２つの脚部３１，３２を有する平行四辺形体３０を介して、図９に示された支持体と類似した支持体を示している。前記２つの脚部は、互いに平行に配設され、また、夫々の両端部が、関節接続部３３を介して、装着リング２４、かくして、リブ２６と支持部（支持片）３４とに、夫々接続されている。環状のシェル２３は、所望の方法、例えば、溶接、接着、クランプ留め、により、支持部３４中に一端部が、夫々支持されている。環状のシェル２３の夫々の他端は、自由になっており、この結果、これら環状のシェルは、温度変化のときに、特に、光軸３５の方向に自由に動くことができる。
【００４２】
図１３に破線で示されているように、関節接続部によって、平行四辺形体３０は、矢印３６の方向への、かくして、光軸に垂直方向への環状のシェル２３の変位を可能にしている。同時に、光軸方向への僅かの変位が、この場合には、更に付加的に可能である。
【００４３】
図１４は、２つの脚部３１，３２が支持部３４とリブ２６とに一体的なデザインの平行四辺形体３０の形状を示している。この平行四辺形体は、マウントリング２４とも一体的である。関節接続部３３は、脚部３１，３２の両端部を薄くすることにより形成されている。この図１４に示された平行四辺形体３０は、所望の方法、例えば、フライス削り、のこ引き、により、または、エロージョン／キャビテイ陥没（ｅｒｏｓｉｏｎ／ｃａｖｉｔｙ  ｓｉｎｋｉｎｇ）により、形成されることできる。
【００４４】
図１５は、線形ガイドにより矢印３６の方向に変位可能な支持部３４を有する例示的な実施の形態を示している。この目的のために、支持部３４に接続され、また、線形ガイドのために、支持ピン３８に対して矢印３６の方向に線形的に変位可能なガイド３７が、設けられている。
【００４５】
図１６ないし１８は、板ばね３９を介する補強リブ２６中への環状のシェル２３の支持方法の例を示している。この場合、これら板ばね３９は、夫々、補強リブ２６の所での環状のシェル２３の支持点の領域で環状のシェル２３自身で形成されている。このための１つの可能性は、互いに離間して位置されて、間に板ばね３９を形成している複数のスロットもしくは切欠部４０を形成することである。図１６ないし１８において、これら切欠部４０は、図１６で矢印の方向から見られた図１７で見ることができるように、光軸３５に平行に形成されている。これら板ばねの弾性力に基づいて、前記と同様に、板ばね３９は、光軸に垂直方向（矢印３６の方向）に環状のシェル２３を変位させることが可能であり、また、所望の方法で、補強リブ２６に接続されることができる。この接続は、例えば、接着、溶接、クランプ留めによりなされ得る。
【００４６】
図１９並びに２０は、図１６ないし１８に示されたタイプに類似した例を示している。基本的な相違は、この場合には、板ばね３９が、環状のシェル２３を切欠することにより形成されているのではなく、別の板ばね３９が、設けられていることのみである。これら別の板ばねは、リブのスロットの中への、接着、溶接、クランプ留めにより、補強リブ２６に接続されることができる。
【００４７】
図２１ないし２４は、同様に、板ばね３９により、環状のシェル２３が、補強リブ２６に接続されている例を示している。光軸に対して同軸もしくは平行に、図１６ないし２０に示すように配置された板ばね３９の代わりに、板ばねは、方位方向もしくは周方向に、かくして、光軸に垂直に配置されている。
【００４８】
図２２並びに２３は、環状のシェル２３のＬ字形状の切れ目により、板ばね３９が形成されていることを示している。このＬ字の短い方の脚部は、軸方向に延びており、一方、Ｌ字の長い方の脚部は、周方向に延びている。同様に、図２２は、図２１の矢印ｙの方向から見た図である。この矢印ｙの方向は、同時に、矢印３６の方向、かくして、環状のシェル２３の動きの方向を示している。
【００４９】
図２４は、図２３での表示に対応しているけれども、この場合には、板ばね３９は、環状のシェル２３によっては形成されていないで、図１９並びに２０に示された例示的な例のように、接着、半田、溶接、もしくは他の所望の方法により環状のシェル２３に接続されている板ばね３９により、構成されている。
【００５０】
図２１並びに２４において、板ばね３９の自由端部は、接着、半田、溶接、もしくは他の所望の方法により補強リブ２６に夫々同様に接続されている。
【００５１】
図２５並びに２６を参照して、以下に、光軸に垂直な方向に環状のシェル２３を変位させるための必要な可能性を実行する能動的なコンセプトをどのようにして使用するのかの２つの可能性を原理的に説明する。これら能動的なコンセプトは、全体的なシステムの剛性が、前に説明された受動的なコンセプトが必要としているような低い剛性により、無視できるように影響されないという効果を有している。更に、能動的なコンセプトは、補強リブ２６中での環状のシェル２３のクランプ点を、これら環状のシェルが特定の温度で理想的な状態で位置されなければならない位置へともたらすことを意図している。
【００５２】
図２５は、環状のシェル２３が中に支持される支持部が、適当な方位により、矢印３６の方向に、かくして、光軸に垂直な方向に支持シェル(支持部)３４が動くように、材料並びに／もしくは熱膨張係数、並びに長さＬの固定に関してデザインされる１つの可能性を示している。このような環状のシェルの動きは、コレクターミラー１’の光学的特性が、温度変化の場合に少なくともほぼ同じに保たれるように、なされる。この場合に、かくして、支持部３４は、内側で補強リブ２６に永久的に接続されている。
【００５３】
勿論、前記支持部３４を全体として、適当な材料、熱膨張係数、並びに必要な長さを有する“熱アクチュエータ”としてデザインされる絶対的な必要性はないけれども、これは、支持部３４に接続された能動的な調節ユニットのような別の部分３４’により、また、なされ得る。これは、図２５に破線で示されている。この場合、別の部分３４’は、補強リブ２６に接続されている。図２５に示された熱アクチュエータの代わりに、支持部３４に作用して、この支持部を矢印３６の方向で調節する他の能動的な調節ユニットが、また、可能である。
【００５４】
前述された受動的なシステムに、付加的に駆動アクチュエータを装着させることが可能である。これは、環状のシェル２３の能動的な調節と受動的な調節との組み合わせを果たす。所謂、静的な、また動的な動作は、センサー並びに制御ループの対応したデザインに関連してアクチュエータの位置とタイプとを適当に選ぶことにより、目標とする状態で影響されることができる。しかし、かくして、能動的な緩衝が発生され得るか、剛性が周波数の関数として選定される。例えば、例えば、機械的振動に対して、低い周波数（熱ドリフト）の場合には、低く、早い場合には、高く、選定される。また、センサー値を相違させることにより環状のシェル２３の理想的な円形を常時確実する対応した複数のセンサーと関連してアクチュエータを配設することが想定される。
【００５５】
受動的な部材と能動的な調節ユニットとの組み合わせが、図２６に単に原理的に示されている。見られるように、受動的な部材は、図１３に示された平行四辺形体３０に相当している。更に、アクチュエータ（詳細には示されていない）が、温度変化のときに、支持片３４が、かくして、これに支持された環状のシェル２３が、環状のシェル２３が最小の変形となる位置へと矢印３６の方向に動くことを確実にする能動的な調節ユニットとして支持部３４に更に作用する。
【００５６】
多くの変形例が、例えば、牽引ワイヤー、押しロッド、エゾ素子、電子システム、電磁システム、及び類似のユニットのような、能動的な調節ユニットに対して可能である。このような能動的な調節ユニットは、受動的な部材と別々に、もしくは、組をなして使用されることができる。テレスコープデザインの長手方向に調節可能なプランジャー４１が、図２６で破線により示されている。駆動装置（図示せず）が、プランジャー４１の長さを、かくして、矢印３６の方向での支持部３４の変位を調節するために使用されることができる。
【００５７】
第２の焦点が、環状のシェル２３の形状、即ち、変位の変化ごとに、同じ点に常時あるとは限らないので、矢印４２により図３に示されているように、第２の焦点を一定に維持するために、光源２が光軸３５上で適当に変位されるときに有効であり得る。この矢印４２の方向への光源２の変位は、所望の装置（図示せず）により果たされることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】マイクロリソグラフィのためのＥＵＶ照明システムに配置された本発明の第１の実施の形態に関わるコレクターミラーの概略を示している。
【図２】楕円形の共焦点群のための、コレクターミラーと第２の焦点との間の放射線の移動通路の原則を示している。
【図３】倍率を維持するための、コレクターミラーと第２の焦点との間の放射線の移動通路の原則を示している。
【図４】本発明に関わる共焦点コレクターミラーのための第１の型の支持部を示している。
【図５】曲げばねを備えた共焦点コレクターミラーの支持部を示している。
【図６】能動部品を備えた共焦点コレクターミラーの支持部を示している。
【図７】温度上昇が起こる際に間隔が付加的に変化する共焦点コレクターミラーの支持部を示している。
【図８】温度上昇が起こる際の位置の変動が少ない共焦点コレクターミラーの支持部を示している。
【図９】平行四辺形ガイドを介して取り付けられた共焦点コレクターミラーの支持部を示している。
【図１０】基本の側面図で、複数の環状のシェルを備えたシェルコレクターの形態の第２の実施の形態のコレクターミラーを示している。
【図１１】図１０に示したシェルコレクターを斜視図で示している。
【図１２】図１０に示したシェルコレクターのマウントリングの上面図である。
【図１３】図１２のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿った断面で、マウントリング上の環状のシェルの支持体を示す概略図である。
【図１４】図１３と類似した形態の、マウントリング上の環状のシェルの支持体の例を示している。
【図１５】線形ガイドを備えたマウントリング内の環状のシェルの支持体の第３の実施の形態を示している。
【図１６】環状のシェル内に一体的に形成もしくは組み入れられた板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図１７】環状のシェル内に一体的に形成もしくは組み入れられた板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図１８】環状のシェル内に一体的に形成もしくは組み入れられた板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図１９】図１６ないし１８に示した支持と類似し、別の板としてデザインされた板ばねによる支持を示している。
【図２０】図１６ないし１８に示した支持と類似し、別の板としてデザインされた板ばねによる支持を示している。
【図２１】径方向に与えられた板ばねを備え、図１−６ないし１８に示されたのと類似した形態での、板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図２２】径方向に与えられた板ばねを備え、図１−６ないし１８に示されたのと類似した形態での、板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図２３】径方向に与えられた板ばねを備え、図１−６ないし１８に示されたのと類似した形態での、板ばねによるマウントリング内への環状のシェルの支持を示している。
【図２４】環状のシェルに装着された別の部分としての、図２１ないし２３に示された板ばねを示している。
【図２５】熱で変化するアクチュエータによる、環状のシェルのための半能動的調節システムを示している。
【図２６】能動的なシステムによりなされる変位マウントリング上の環状のシェルの支持の原理を示している。
【符号の説明】
【００５９】
１…コレクターミラー、２…光源、３…フェ−セットミラー、４…偏向ミラー、５…レチクル、６…投影レンズ、７…ウエハ、２３…環状のシェル、２４…マウントリング、２６…補強リブ、２９…支持体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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