(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製のダイアフラムリングに振動板を張設してなり、電気絶縁性のスペーサリングを介して固定極と対向的に配置されてコンデンサマイクロホンの音響−電気変換器の構成要素として用いられる振動板組立体の平坦性を検査するコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法において、
基準平坦面として形成された端面を有し、その端面にて上記振動板組立体の上記ダイアフラムリングの部分を支持する円筒電極を含む金属製の検査治具と、静電容量測定器とを用い、上記振動板組立体の振動板側を上記検査治具側に向けた状態で、上記振動板組立体の上記ダイアフラムリングの部分を上記円筒電極の端面上に載置し、上記静電容量測定器にて上記ダイアフラムリングと上記円筒電極との間の静電容量を測定し、その静電容量値に基づいて上記振動板組立体の平坦性を検査することを特徴とするコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法。
【請求項２】
上記円筒電極の端面の幅が、上記振動板組立体のうち上記スペーサリングを介して上記固定極に圧接される部分の幅であることを特徴とする請求項１に記載のコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法。
【請求項３】
上記振動板組立体を、上記スペーサリングを介して上記円筒電極の端面に載置することを特徴とする請求項１または２に記載のコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイアフラムリングに振動板を張設してなるコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法に関し、さらに詳しく言えば、振動板組立体の平坦性を検査する検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
コンデンサマイクロホンは、音源からの音波を電気信号に変換するコンデンサ型の音響−電気変換器（コンデンサマイクロホンユニット）を備えている。その基本的な構成を図３の分解断面図により説明すると、音響−電気変換器ＭＵは、振動板組立体１０と、固定極３０とを電気絶縁性のスペーサリング２０を介して対向的に配置することにより構成される。
【０００３】
振動板組立体１０は、金属製のダイアフラムリング１１に振動板１２を所定の張力を付与して張設してなる組立体で、通常、振動板１２には一方の面に金属蒸着膜を有する合成樹脂フィルムが用いられ、その金属蒸着膜側がダイアフラムリング１１に所定の接着材により貼着される。
【０００４】
固定極３０は、例えばアルミニウムや黄銅合金などからなる電極板３１を有し、バックエレクトレット型の場合には、図３に示すように、電極板３１の振動板１２と対向する側の面にエレクトレット誘電体膜３２が一体に貼着される。また、単一指向性コンデンサマイクロホンの場合には、固定極３０に図示しない後部音響端子からの音波を振動板１２の背面に作用させる音孔３３が穿設される。
【０００５】
振動板組立体１０と固定極３０は、それらの間にスペーサリング２０を挟み込んだ状態で図示しないカートリッジケース内に組み込まれ、ロックリングなどの締め付け手段によりスペーサリング２０を圧縮するように強く締め付けられる（例えば、特許文献１の図１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２４４４２７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、振動板組立体１０と固定極３０との間の隙間（空気層のギャップ）はスペーサリング２０の厚みで規定され、静電容量がばらつかないように設計される。
【０００８】
ところで、通常のコンデンサマイクロホンユニットでは、図３に示すように、固定極３０の外径はダイアフラムリング１１の外径よりも小さく形成されるため、上記カートリッジケース内で締め付けが行われる場合、ダイアフラムリング１１の内径側の一部分のみがスペーサリング２０を介して固定極３０の外周部分に圧接されることになる。なお、このダイアフラムリング１１の内径側の一部分を本明細書では振動板組立体１０の圧接部分と言い、その参照符号を１０ａとする。
【０００９】
ダイアフラムリング１１に振動板１２を接着材にて貼着する際、図４（ａ）に示すように、振動板組立体１０の圧接部分１０ａにおける接着材内に気泡やゴミなどの異物１３が入り込むことがある。このような場合、振動板１２の厚みが厚く、しかも振動板１２の張力が高く設定される無指向性のコンデンサマイクロホンでは大きな問題は余り発生しない。
【００１０】
しかしながら、振動板１２の膜厚が例えば０．１〜０．２μｍ程度と薄く、しかも低い張力でダイアフラムリング１１に貼り付ける単一指向性コンデンサマイクロホンの場合には、接着材内に異物１３による凹凸がある状態で振動板組立体１０と固定極３０とをスペーサリング２０を介して強く締め付ける際、異物１３の存在によりダイアフラムリング１１が変形して振動板１２の張力が変化してしまい、周波数応答が悪くなることがある。
【００１１】
また、図４（ｂ）に示すように、振動板１２の貼着時にダイアフラムリング１１自体が平坦ではなく歪んでいる場合、その歪みが固定極３０に対する圧接により矯正されるものの、それに伴ってやはり振動板１２の張力が変化してしまう。
【００１２】
そこで、従来では異物１３の有無やダイアフラムリング１１の歪みなどを目視により検査し、不良原因となる振動板組立体１０をカートリッジケース内に組み込む前に排除するようにしているが、目視検査であるため完全とは言えない。特にダイアフラムリング１１の歪みを目視検査で見つけることはかなりの熟練を要し往々にして見逃しやすい。
【００１３】
したがって、本発明の課題は、ダイアフラムリングに振動板を張設してなる振動板組立体の平坦性を電気的に正確に検査できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は請求項１に記載のように、金属製のダイアフラムリングに振動板を張設してなり、電気絶縁性のスペーサリングを介して固定極と対向的に配置されてコンデンサマイクロホンの音響−電気変換器の構成要素として用いられる振動板組立体の平坦性を検査するコンデンサマイクロホン用振動板組立体の検査方法において、基準平坦面として形成された端面を有し、その端面にて上記振動板組立体の上記ダイアフラムリングの部分を支持する円筒電極を含む金属製の検査治具と、静電容量測定器とを用い、上記振動板組立体の振動板側を上記検査治具側に向けた状態で、上記振動板組立体の上記ダイアフラムリングの部分を上記円筒電極の端面上に載置し、上記静電容量測定器にて上記ダイアフラムリングと上記円筒電極との間の静電容量を測定し、その静電容量値に基づいて上記振動板組立体の平坦性を検査することを特徴としている。
【００１５】
本発明には、その好ましい態様として、上記円筒電極の端面の幅が上記振動板組立体のうち上記スペーサリングを介して上記固定極に圧接される部分の幅である請求項２に記載の態様と、上記振動板組立体を上記スペーサリングを介して上記円筒電極の端面に載置する請求項３に記載の態様とが含まれる。
【発明の効果】
【００１６】
振動板をダイアフラムリングに貼り付ける接着材内に気泡やゴミなどの異物が入り込んでいたり、ダイアフラムリング自体が歪んでいたりして振動板組立体が平坦ではないではないと、その振動板組立体を検査治具の円筒電極上に載置した場合、円筒電極の端面と振動板組立体との間の間隙が一定ではなくなる。したがって、本発明によれば、振動板組立体と円筒電極との間に存在する静電容量を測定することにより、振動板組立体の平坦性を電気的に正確に検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、図１および図２により、本発明の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図１は本発明の検査方法を説明するための模式図で、（ａ）は検査対象物である振動板組立体と検査治具とを分離して示す模式的な断面図，（ｂ）は検査状態を示す模式的な断面図、図２（ａ）（ｂ）は平坦でない振動板組立体の検査状態を示す模式的な断面図である。
【００１８】
図１（ａ）に示すように、振動板組立体１０の平坦性を検査するにあたって、本発明では、検査治具１１０と静電容量測定器１２０とを用いる。なお、振動板組立体１０は、先にも説明したように、金属製のダイアフラムリング１１に振動板１２を所定の張力を付与して張設してなる組立体で、通常、振動板１２には一方の面に金属蒸着膜を有する合成樹脂フィルムが用いられ、その金属蒸着膜側がダイアフラムリング１１に所定の接着材により貼着される。
【００１９】
検査治具１１０は、導電性およびある程度の剛性が必要とされるため金属材から作製される。金属材は例えばアルミニウム，黄銅合金，ＳＵＳなどであってよい。検査治具１１０は、その上部に振動板組立体１０を支持する円筒電極１１１を備える。
【００２０】
円筒電極１１１の端面１１２は、振動板組立体１０に対する基準平坦面として高精度に研磨加工されることが好ましい。円筒電極１１１の内径はダイアフラムリング１１の内径と一致させ、円筒電極１１１の外径は先の図３に示した固定極３０の外径と一致させることが好ましい。
【００２１】
すなわち、円筒電極１１１の端面１１２の幅Ｗを振動板組立体１０の固定極３０に対する圧接部分１０ａの幅と等しくすることが好ましい。これは、図３に示したように、振動板組立体１０と固定極３０とをそれらの間にスペーサリング２０を挟んだ状態で、図示しないカートリッジケース内で締め付け固定する際に問題となるのは、上記圧接部分１０ａに凹凸の原因となる異物や歪みなどが存在する場合に限られるからである。
【００２２】
平坦性の検査は、図１（ｂ）に示すように、振動板組立体１０をスペーサリング２０を介して円筒電極１１１の端面１１２上に載置し、静電容量測定器１２０にてダイアフラムリング１１と円筒電極１１１との間に存在する静電容量を測定する。静電容量測定器１２０には、市販されているＣメータやＬＣＲメータなどを使用することができる。
【００２３】
なお、振動板組立体１０を円筒電極１１１の上に載置する際、例えばダイアフラムリング１１に歪みがあるとした場合、その歪みが矯正されない範囲内であれば、振動板組立体１０に若干の圧力を加えてもよい。
【００２４】
振動板組立体１０が平坦であれば、そのダイアフラムリグ１１と円筒電極１１１の端面１１２との間隔はスペーサリング２０の厚みにより規定される。したがって、あらかじめ平坦性が確認されている良品の振動板組立体１０について静電容量を測定し、その測定値を基準値として平坦性の良否判定を行う。
【００２５】
すなわち、図２（ａ）に示すようにダイアフラムリグ１１が歪んでいたり、図２（ｂ）に示すように振動板組立体１０の圧接部分１０ａに異物１３がある場合には、その部分でダイアフラムリグ１１と円筒電極１１１の端面１１２との間隔が良品の場合よりも大きくなるため、測定される静電容量値が小さくなる。
【００２６】
したがって、例えば上記基準値±α（αは任意値）なる許容範囲を設定し、各振動板組立体ごとに測定された静電容量値が許容範囲内であれば平坦性良と判定し、許容範囲から外れた場合には平坦性不良と判定することができる。また、このように許容範囲を設定することにより、コンデンサマイクロホンの性能のばらつきを管理することができる。
【００２７】
ここで、静電容量の測定電極を円筒電極１１１としているのは、振動板１２の振動する部分の有効静電容量を含めて測定する場合よりも、振動板組立体１０の圧接部分１０ａのみの静電容量を測定した方が測定値の差が大きくなり、平坦性の良否判定が行いやすくなるためである。
【００２８】
なお、固定極３０に対する振動板組立体１０の圧接部分１０ａがダイアフラムリング１１の片面の全体である場合には、それに合わせて円筒電極１１１の幅も広げられることになる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の検査方法を説明するための模式図で、（ａ）は検査対象物である振動板組立体と検査治具とを分離して示す模式的な断面図，（ｂ）は検査状態を示す模式的な断面図。
【図２】（ａ）（ｂ）ともに、平坦でない振動板組立体の検査状態を示す模式的な断面図。
【図３】コンデンサマイクロホンに用いられる音響−電気変換器の基本的な構成を示す模式的な分解断面図。
【図４】（ａ）圧接部分に異物が存在している振動板組立体を示す模式的な断面図，（ｂ）ダイアフラムリングが歪んでいる振動板組立体を示す模式的な断面図。
【符号の説明】
【００３０】
１０  振動板組立体
１１  ダイアフラムリング
１２  振動板
１３  異物
２０  スペーサリング
３０  固定極
３１  電極板
３２  エレクトレット誘電体膜
１１０  検査治具
１１１  円筒電極
１１２  端面（基準平坦面）
１２０  静電容量測定器
【図１】
0004663542.tif 000002
【図２】
0004663542.tif 000003
【図３】
0004663542.tif 000004
【図４】
0004663542.tif 000005