(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体領域及び前記本体領域の磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から先端側へ延び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画する一対の支持片を有する支持部と、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための押し付け荷重を発生する荷重発生部と、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記荷重発生部を介して前記支持部に支持され、前記荷重発生部によって発生される荷重を磁気ヘッドに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部であって、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、
前記荷重発生部を形成する荷重発生部材であって、磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称な荷重発生部材を備え、
前記荷重発生部材は、前記一対の支持片に当接された状態で固着される一対の支持部当接領域と、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板に当接された状態で固着されるロードビーム部当接領域であって、先端及び基端がそれぞれ前記支持部当接領域の先端より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置するロードビーム部当接領域と、前記一対の支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域の間をそれぞれ連結する一対の延在領域と、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記支持部当接領域より先端側で且つ少なくとも一部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域の間に位置するように前記一対の延在領域に形成された一又は複数のスリットとを有しており、
前記一対の延在領域は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリットと同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリットより外方に位置する外方部分を介して対応する前記支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域を連結する一対の第１延在領域と、前記一対の支持部当接領域の間を前記ロードビーム部当接領域を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域とを含み、前記ロードビーム部当接領域を基準にして磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記第１延在領域及び前記第２延在領域は、磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記支持部当接領域と前記スリットとの間において互いに連接され、
前記一対の第１延在領域は、前記外方部分が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに弾性変形することで第１荷重を発生し、
前記一対の第２延在領域は、前記第１延在領域の前記曲げ線回りの弾性変形に応じて、前記一対の第２延在領域の基端側エッジが前記支持部当接領域に連接する点と前記第１延在領域の前記曲げ線を延長して前記ロードビーム部当接領域に達した点とを結ぶ一対の捩れ線回りに弾性変形して第２荷重を発生し、
前記第１荷重及び前記第２荷重の合力が前記押し付け荷重として作用することを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記一対の第２延在領域の基端側エッジは、平面視において基端側へ開く湾曲形状とされていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記曲げ線は、前記スリットの磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置していることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記スリットは、前記延在領域及び前記ロードビーム部当接領域の境界を跨ぐことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記スリットは、磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った直線部分を有し、且つ、磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有していることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記ロードビーム部当接領域は、前記曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に位置する部分に貫通孔を有していることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記スリット及び前記貫通孔は、単一の開口を形成していることを特徴とする請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記第１延在領域における磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側のエッジには、前記曲げ線より先端側にフランジが設けられていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
重心位置が前記曲げ線及び前記捩れ線より基端側に位置する状態で前記ロードビーム基板に直接又は間接的に固着された平衡質量体を備えていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記平衡質量体は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が前記折り曲げ部より先端側に位置し且つ前記ロードビーム基板に直接又は間接的に連結される領域よりも前記ディスク面から離間されていることを特徴とする請求項９に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記支持部は、前記平衡質量体より前記ディスク面に近接する側において前記一対の支持片の間を連結するブリッジ部を有し、
前記ブリッジ部は、平面視において前記平衡質量体とオーバーラップし且つ前記平衡質量体との間に前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を有していることを特徴とする請求項９又は１０に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
本体領域及び前記本体領域の磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から先端側へ延び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画する一対の支持片を有する支持部と、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための押し付け荷重を発生する荷重発生部と、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記荷重発生部を介して前記支持部に支持され、前記荷重発生部によって発生される荷重を磁気ヘッドに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部であって、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、
サスペンション幅方向両側にフランジが設けられ且つ前記ロードビーム部として作用する先端側領域と前記荷重発生部として作用する基端側領域とを一体的に有するロードビーム基板を備え、
前記基端側領域は、前記一対の支持片に当接された状態で固着される一対の支持部当接領域と、平衡質量体が固着される平衡質量体当接領域であって、先端及び基端がそれぞれ前記支持部当接領域の先端より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置する平衡質量体当接領域と、前記一対の支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域の間をそれぞれ連結する一対の延在領域と、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記支持部当接領域より先端側で且つ少なくとも一部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域の間に位置するように前記一対の延在領域に形成された一又は複数のスリットとを有しており、
前記一対の延在領域は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリットと同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリットより外方に位置する外方部分を介して対応する前記支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域を連結する一対の第１延在領域と、前記一対の支持部当接領域の間を前記平衡質量体当接領域を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域とを含み、前記平衡質量体当接領域を基準にして磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記第１延在領域及び前記第２延在領域は、磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記支持部当接領域と前記スリットとの間において互いに連接され、
前記一対の第１延在領域は、前記外方部分が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに弾性変形することで第１荷重を発生し、
前記一対の第２延在領域は、前記第１延在領域の前記曲げ線回りの弾性変形に応じて、前記一対の第２延在領域の基端側エッジが前記支持部当接領域に連接する点と前記第１延在領域の前記曲げ線を延長して前記平衡質量体当接領域に達した点とを結ぶ一対の捩れ線回りに弾性変形して第２荷重を発生し、
前記第１荷重及び前記第２荷重の合力が前記押し付け荷重として作用することを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドを支持するための磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドをハードディスク等の記憶媒体の所望トラック上へ高精度に移動させ得ること（位置決め精度の向上）、及び、前記磁気ヘッドを前記記憶媒体上に位置させている作動状態において高い耐衝撃性を有し得ること（耐衝撃性の向上）が求められている。
【０００３】
位置決め精度を向上させるためには、前記磁気ヘッドを所望トラックから変位させるような振動が前記磁気ヘッドサスペンションに生じ難くする必要があり、特に、主共振モードである首振り（ＳＷＡＹ）モードや捩り（ＴＯＲＳＩＯＮ）モードに関する共振周波数の高域化を図ることが重要となる。
【０００４】
例えば、前記磁気ヘッドサスペンションの一構成要素であるロードビーム部の板厚を厚くすることによって、前記ロードビーム部の剛性を高め、これにより、磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高域化させることができる。
また、前記ロードビーム部の基端側の幅を広げ、前記ロードビーム部の支持点の幅を広げることによっても、前記ロードビーム部の剛性を高めることができる。
【０００５】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための荷重を発生する荷重発生部と、前記荷重を磁気ヘッドに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重発生部を介して前記ロードビーム部を支持するアーム等の支持部と、前記ロードビーム部に接合され且つ前記磁気ヘッドを支持するフレクシャ部とを備えている。
【０００６】
前記荷重発生部は、一般的に、前記記憶媒体のディスク面と直交するｚ方向に撓み弾性変形可能な弾性板によって形成されている。
詳しくは、前記弾性板は、基端部が前記支持部に連結され且つ自由端部が前記ロードビーム部の基端部に連結されており、前記ロードビーム部を片持ち状態で支持している。
【０００７】
かかる構成において、前記ロードビーム部の基端側の幅を広げて、前記荷重発生部によって支持される前記ロードビーム部の支持点（前記ロードビーム部及び前記弾性板の自由端部の連結点）の磁気ヘッドサスペンション幅方向長さを広げること、及び／又は、前記ロードビーム部の板厚を厚くすることで、前記ロードビーム部の剛性を高めることができる。
【０００８】
しかしながら、前記ロードビーム部の板厚を厚くすること及び前記ロードビーム部の基端側の幅を広げることは何れも、前記ロードビーム部の質量増大を招き、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性に関してはマイナスに作用する。
【０００９】
即ち、耐衝撃性を向上させるためには、前記磁気ヘッドサスペンションが装着されたデータ記憶装置に外部から衝撃力が印加された際に、前記磁気ヘッドサスペンションが前記記憶媒体のディスク面と直交するｚ方向（高さ方向）に変位し難くする必要がある。
特に、前記データ記憶装置に外部から前記磁気ヘッドを前記ディスク面から離間させる方向へ一定以上の大きさの衝撃力が加わった際に、前記磁気ヘッドが前記ディスク面から離間する動作（跳躍動作）を行うと、この跳躍の揺れ戻しの際に前記磁気ヘッドがディスク面に衝突して、前記ディスク面を損傷させる恐れがある。
【００１０】
耐衝撃性の向上には、前記ロードビーム部の薄肉化及び／又は狭小化等によって前記ロードビーム部の質量を低減させることで、衝撃が加わった際に該ロードビーム部に付加される慣性力を小さくすることが効果的であり、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数高域化のために前記ロードビーム部の板厚を厚くすること及び／又は幅を広げることは逆に耐衝撃性の悪化を招く。
【００１１】
前記ロードビーム部の板厚及び／又は幅を維持しつつ、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させる構成として、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板に前記荷重発生部を越えて基端側へ延びる基端側延在領域を設けた構成（下記特許文献１参照、以下、従来構成１という）や、前記ロードビーム基板の基端側に平衡質量体を設けた構成（下記特許文献２及び３参照、以下、従来構成２という）が提案されている。
【００１２】
前記従来構成１及び２は、前記基端側延在領域及び／又は前記平衡質量体によって、前記荷重発生部を基準にして先端側の質量と基端側の質量とを可及的に平衡化させることで、外部からの衝撃印加時における磁気ヘッドの跳躍を抑えるものであり、前記ロードビーム部の剛性低下を招くことが無い点で有用である。
【００１３】
しかしながら、前記従来構成１及び２においては、前記ロードビーム部は、前記支持部に片持ち支持された状態の前記荷重発生部の自由端部に接合されている。この構成では、衝撃を受けた際に、前記ロードビーム部の支持点（即ち、前記ロードビーム部及び前記荷重発生部の接合点）がディスク面と直交するｚ方向に大きく変動してしまう。
従って、前記各特許文献に記載の磁気ヘッドサスペンションは、前記ロードビーム部の剛性低下を招くという問題は生じないものの、耐衝撃性を十分には向上できない。即ち、磁気ヘッドが跳躍する限界加速度を十分高めることができない。また、基端側延在領域がディスク面と衝突する限界加速度も高めることができない。
【特許文献１】特開２００４−３４８８０４号公報
【特許文献２】特開平９−０８２０５２号公報
【特許文献３】特開平１１−０３９８０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、耐衝撃性の向上及び共振周波数の高域化の双方を図り得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションは、本体領域及び前記本体領域の磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から先端側へ延び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画する一対の支持片を有する支持部と、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための押し付け荷重を発生する荷重発生部と、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記荷重発生部を介して前記支持部に支持され、前記荷重発生部によって発生される荷重を磁気ヘッドに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部であって、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記荷重発生部を形成する荷重発生部材であって、磁気ヘッドサスペンションの中央長手線を基準にして左右対称な荷重発生部材を備え、前記荷重発生部材は、前記一対の支持片に当接された状態で固着される一対の支持部当接領域と、前記ロードビーム部を形成するロードビーム基板に当接された状態で固着されるロードビーム部当接領域であって、先端及び基端がそれぞれ前記支持部当接領域の先端より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置するロードビーム部当接領域と、前記一対の支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域の間をそれぞれ連結する一対の延在領域と、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記支持部当接領域より先端側で且つ少なくとも一部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域の間に位置するように前記一対の延在領域に形成された一又は複数のスリットとを有している。
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の延在領域は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリットと同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリットより外方に位置する外方部分を介して対応する前記支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域を連結する一対の第１延在領域と、前記一対の支持部当接領域の間を前記ロードビーム部当接領域を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域とを含み、前記ロードビーム部当接領域を基準にして磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記第１延在領域及び前記第２延在領域は、磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記支持部当接領域と前記スリットとの間において互いに連接され、前記一対の第１延在領域は、前記外方部分が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに弾性変形することで第１荷重を発生し、前記一対の第２延在領域は、前記第１延在領域の前記曲げ線回りの弾性変形に応じて、前記一対の第２延在領域の基端側エッジが前記支持部当接領域に連接する点と前記第１延在領域の前記曲げ線を延長して前記ロードビーム部当接領域に達した点とを結ぶ一対の捩れ線回りに弾性変形して第２荷重を発生し、前記第１荷重及び前記第２荷重の合力が前記押し付け荷重として作用することを特徴とするものである。
【００１６】
上記構成の磁気ヘッドサスペンションによれば、前記曲げ線回りに弾性変形する前記第１延在領域が、基端部が対応する前記支持部当接領域を介して対応する前記支持片に連結され且つ自由端部が前記ロードビーム部当接領域を介して前記ロードビーム基板に連結されており、対応する前記支持片に片持ち支持されている。
一方、前記捩れ線回りに弾性変形する前記一対の第２延在領域は、前記一対の第２延在領域に連接される前記一対の支持部当接領域及び前記ロードビーム部当接領域との共働下に、一端部及び他端部が前記一対の支持片にそれぞれ連結された両持ち支持状態とされている。
即ち、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の延在領域が、前記支持部に片持ち支持された状態で前記ロードビーム基板を支持する一対の第１延在領域に加えて、前記支持部に両持ち支持された状態で前記ロードビーム基板を支持する一対の第２延在領域を備えている。
【００１７】
従って、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高域化することができるとともに、耐衝撃性を有効に向上させることができる。即ち、磁気ヘッドサスペンションが衝撃を受けた際に、ロードビーム部の支持点がディスク面と直交するｚ方向へ変位するのを抑制することができるため、磁気ヘッドの跳躍限界加速度を有効に向上させることができるとともに、磁気ヘッドサスペンションとディスクとの干渉を有効に防止することができる。
また、前記第１荷重を発生させる部材と第２荷重を発生させる部材とを一体的に形成することにより、荷重発生部材の幅方向長さを可及的に短くすることができる。これにより、磁気ヘッドサスペンションを小型化・省スペース化を実現することができる。
【００１８】
好ましくは、前記一対の第２延在領域の基端側エッジは、平面視において基端側へ開く湾曲形状とされている。
【００１９】
この場合、第２延在領域の基端側エッジが平面視において基端側へ開く湾曲形状を有していることにより、第２延在領域の弾性変形時において、第２延在領域の基端側エッジの引張りを有効に防止できるため、荷重のばらつきを低減させる（荷重安定化を図る）ことができるとともに、ばね定数のばらつきを低減させる（ばね定数の安定化を図る）ことができる。
【００２０】
好ましくは、前記曲げ線は、前記スリットの磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置している。
【００２１】
この場合、第１延在領域の弾性変形における曲げ線が前記スリットの磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置していることにより、前記捩れ線の先端側のエッジが前記スリットの長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置する。
従って、第２延在領域の前記捩れ線回りの弾性変形動作に際し、前記第２延在領域の磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側のエッジにおいて高低差が生じない。この結果、前記第２延在領域の前記捩れ線回りの弾性変形動作をスムースに行わせることができる。
【００２２】
好ましくは、前記スリットは、前記延在領域及び前記ロードビーム部当接領域の境界を跨ぐように構成される。
【００２３】
この場合、スリットの端部は、ロードビーム部当接領域にロードビーム部が当接された際に、ロードビーム部に覆われることなく前記境界を越えて前記延在領域に位置される。
これにより、金型等による曲げ・捩れ加工を安定的に行うことができる。特に、捩れ線の先端側のエッジにスリットが位置することとなるため、捩れ線の捩れ加工をより安定的に行うことができる。
【００２４】
好ましくは、前記スリットは、磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った直線部分を有し、且つ、磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有している。
【００２５】
この場合、スリットの磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った直線部分を有し、且つ、スリットの磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有していることにより、前記第１延在領域における前記曲げ線の弾性変形動作と前記第２延在領域における前記捩れ線回りの弾性変形動作とをともにスムースに行わせることができる。
【００２６】
好ましくは、前記ロードビーム部当接領域は、前記曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に位置する部分に貫通孔を有している。
【００２７】
この場合、ロードビーム部当接領域において、前記曲げ線と磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置には、貫通孔が設けられることにより、荷重発生部材において曲げ線において曲げられる領域が可及的に小さくなる。
従って、前記曲げ線回りの弾性変形動作をスムースに行わせることができるとともに、幅方向の省スペース化が可能となる。
【００２８】
より好ましくは、前記スリット及び前記貫通孔は、単一の開口を形成している。
【００２９】
この場合、単一の開口孔によりスリット及び貫通孔が形成されるため、スリット及び貫通孔の形成を容易且つ高精度に行うことができる。
【００３０】
また、好ましくは、前記第１延在領域における磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側のエッジには、前記曲げ線より先端側にフランジが設けられている。
【００３１】
この場合、前記フランジによって前記ロードビーム部の剛性を補強することができる。  即ち、前記フランジによって前記ロードビーム部のうち前記曲げ線及び前記捩れ線より先端側に位置する部分のねじれ剛性、曲げ剛性及び面内剛性を高めることができる。これにより、磁気ヘッドサスペンションの共振特性を向上させることができる。また、前記フランジの一部をロードビーム部に設けられたフランジと平面視においてオーバーラップさせることにより、共振特性をより向上させることができる。
【００３２】
好ましくは、重心位置が前記曲げ線及び前記捩れ線より基端側に位置する状態で前記ロードビーム基板に直接又は間接的に固着された平衡質量体を備えている。
【００３３】
この場合、ロードビーム基板には、直接又は間接的に平衡質量体が固着される。このとき、平衡質量体の重心位置は、前記曲げ線及び前記捩れ線より基端側に位置される。
これにより、磁気ヘッドサスペンションの可動領域（支持体を除いた領域）における重心を曲げ線及び捩れ線近傍に可及的に近づけることができる。従って、外部からの衝撃が加わった場合でも、荷重発生部による振動を可及的に抑制することができ、耐衝撃性を向上させることができる。
【００３４】
より好ましくは、前記平衡質量体は、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部を有し、前記折り曲げ部より基端側の領域が前記折り曲げ部より先端側に位置し且つ前記ロードビーム基板に直接又は間接的に連結される領域よりも前記ディスク面から離間されている。
【００３５】
この場合、平衡質量体は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った折り曲げ部より折り曲げられており、当該折り曲げ部より基端側の領域が前記折り曲げ部より先端側に位置し前記ロードビーム基板に直接又は間接的に連結される領域よりもディスク面から離間している。
これにより、外部からの衝撃により荷重発生部において振動した場合であっても、前記平衡質量体がディスク面に当接することを有効に防止することができる。
【００３６】
好ましい一態様として、前記支持部は、前記平衡質量体より前記ディスク面に近接する側において前記一対の支持片の間を連結するブリッジ部を有し、前記ブリッジ部は、平面視において前記平衡質量体とオーバーラップし且つ前記平衡質量体との間に前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を有している。
【００３７】
この場合、前記支持部には、ブリッジ部が設けられ、前記平衡質量体より前記ディスク面に近接する側において前記一対の支持片の間が連結される。このとき、前記ブリッジ部は、平面視において前記平衡質量体とオーバーラップし且つ前記平衡質量体との間に前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙を有している。
このように、一対の支持片の間がブリッジ部で連結されることにより、一対の支持片が形成された支持部の首振り方向及び捩れ方向の剛性を高めることができる。また、ブリッジ部と当該ブリッジ部に平面視においてオーバーラップする平衡質量体との間に両者が動作・非作動時において干渉しないような所定の間隙を設けることにより、前記磁気ヘッドサスペンションの作動時に前記第２延在領域が前記捩れ線回りに捩れ弾性変形することを許容することができる。さらに、外部から衝撃が加わった場合に、平衡質量体の振動をブリッジ部が防止することにより、ディスク面との接触による損傷を回避することができる。
【００３８】
又、本発明は、本体領域及び前記本体領域の磁気ヘッドサスペンション幅方向両側から先端側へ延び磁気ヘッドサスペンション幅方向中央に先端側に開く凹部を画する一対の支持片を有する支持部と、磁気ヘッドをディスク面へ向けて押し付けるための押し付け荷重を発生する荷重発生部と、平面視において基端側が前記凹部内に位置するように前記荷重発生部を介して前記支持部に支持され、前記荷重発生部によって発生される荷重を磁気ヘッドに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部に固着されるフレクシャ部であって、前記磁気ヘッドを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、サスペンション幅方向両側にフランジが設けられ且つ前記ロードビーム部として作用する先端側領域と前記荷重発生部として作用する基端側領域とを一体的に有するロードビーム基板を備えた磁気ヘッドサスペンションも提供する。
この場合において、前記基端側領域は、前記一対の支持片に当接された状態で固着される一対の支持部当接領域と、平衡質量体が固着される平衡質量体当接領域であって、先端及び基端がそれぞれ前記支持部当接領域の先端より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置する平衡質量体当接領域と、前記一対の支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域の間をそれぞれ連結する一対の延在領域と、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記支持部当接領域より先端側で且つ少なくとも一部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域の間に位置するように前記一対の延在領域に形成された一又は複数のスリットとを有する。
前記一対の延在領域は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリットと同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリットより外方に位置する外方部分を介して対応する前記支持部当接領域及び前記平衡質量体当接領域を連結する一対の第１延在領域と、前記一対の支持部当接領域の間を前記平衡質量体当接領域を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域とを含み、前記平衡質量体当接領域を基準にして磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記第１延在領域及び前記第２延在領域は、磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記支持部当接領域と前記スリットとの間において互いに連接される。
前記一対の第１延在領域は、前記外方部分が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ線回りに弾性変形することで第１荷重を発生し、前記一対の第２延在領域は、前記第１延在領域の前記曲げ線回りの弾性変形に応じて、前記一対の第２延在領域の基端側エッジが前記支持部当接領域に連接する点と前記第１延在領域の前記曲げ線を延長して前記平衡質量体当接領域に達した点とを結ぶ一対の捩れ線回りに弾性変形して第２荷重を発生する。前記第１荷重及び前記第２荷重の合力が前記押し付け荷重として作用する。
【発明の効果】
【００３９】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の延在領域が、支持部に片持ち支持された状態でロードビーム基板を支持する一対の第１延在領域に加えて、支持部に両持ち支持された状態で前記ロードビーム基板を支持する一対の第２延在領域を備えているため、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高域化することができるとともに、耐衝撃性を有効に向上させることができる。即ち、磁気ヘッドサスペンションが衝撃を受けた際に、ロードビーム部の支持点がディスク面と直交するｚ方向へ変位するのを抑制することができるため、磁気ヘッドの跳躍限界加速度を有効に向上させることができるとともに、磁気ヘッドサスペンションとディスクとの干渉を有効に防止することができる。
また、前記第１荷重を発生させる部材と第２荷重を発生させる部材とを一体的に形成することにより、荷重発生部材の幅方向長さを可及的に短くすることができる。これにより、磁気ヘッドサスペンションを小型化・省スペース化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
＜第１実施形態＞
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１（ａ）及び（ｂ）に、それぞれ、本発明に係る第１実施形態における磁気ヘッドサスペンション１の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。
【００４１】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１は、図１に示すように、磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付けるための押し付け荷重を発生する荷重発生部２０と、前記荷重を磁気ヘッド１００に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重発生部２０を介して前記ロードビーム部３０を含むアッセンブリを支持する支持部１０と、前記ロードビーム部３０に固着され且つ前記磁気ヘッド１００を支持するヘッド搭載領域４３を有するフレクシャ部４０とを備えている。
【００４２】
前記支持部１０は、前記荷重発生部２０を介して前記アッセンブリを支持するための部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
本実施形態においては、前記支持部１０は、基端部がアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを有している。なお、これに代えて、アクチュエータによって揺動されるキャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部を備えたベースプレートとすることも可能である。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．０８ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４３】
本実施形態において、前記支持部１０は、図１に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１の幅方向中央に先端側に開く凹部１３を画するように、幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片１２を有している。
即ち、前記支持部１０は、基端部が前記アクチュエータに直接又は間接的に連結される平板状の本体領域１１と、前記本体領域１１の先端部における幅方向両端部から先端側へ延びる前記一対の支持片１２とを有しており、前記一対の支持片１２の間に前記凹部１３が画されている。
【００４４】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重発生部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッド１００に伝達するための部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施形態において、前記ロードビーム部３０は、所定形状に成形されたロードビーム基板１３０によって形成されている。前記ロードビーム基板１３０は、図１に示すように、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部に曲げ形成されたフランジ３２とを有しており、前記フランジ３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム基板１３０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４５】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、突起（以下、ディンプルと称する）３３を有している。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０４ｍｍ〜０．０８ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重は前記ディンプル３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００４６】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド１００を支持した状態で前記ロードビーム部３０に溶接又は接着等により固着される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１（ｂ）に示すように、前記ロードビーム部３０の対向面（ディスク面に対向する側の面）に溶接又は接着等によって固着される前記ロードビーム基板１３０に当接され且つ溶接又は接着等により固着されるフレクシャ基板１４０と、前記フレクシャ基板１４０に積層された絶縁層１５０と、前記絶縁層１５０に積層された導体層１５５とを一体的に有する配線一体型とされている。前記フレクシャ基板１４０から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。本実施形態において、前記フレクシャ基板１４０は、前記ロードビーム基板１３０に適宜の溶接点（図１（ｂ）の○印で示す）においてレーザースポット溶接されている。
【００４７】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド１００を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記ディンプル３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は、前記ディンプル３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１５ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４８】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１に示すように、基端側が平面視において前記凹部１３内に位置するように前記ロードビーム部３０に固着された平衡質量体５０であって、前記ロードビーム部３０、前記フレクシャ部４０及び前記磁気ヘッド１００とともに前記荷重発生部２０を介して前記支持部１０に支持されるアッセンブリを形成する平衡質量体５０を備えている。
前記平衡質量体５０は、例えば、厚さ０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍの金属板によって好適に形成される。
【００４９】
前記平衡質量体５０は、前記支持部１０に前記荷重発生部２０を介して支持される前記アッセンブリのうち前記荷重発生部２０を基準にして先端側に位置する部分と基端側に位置する部分との質量平衡化を図り、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション１の耐衝撃性を向上させるための部材である。
【００５０】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１が装着されたデータ記憶装置に外部から衝撃力が印加されると、他の部位に比して低剛性とされている前記荷重発生部２０が衝撃力の印加方向に応じて弾性変形する。
例えば、前記磁気ヘッド１００を前記ディスク面から離間させる方向への衝撃力（磁気ヘッド跳躍方向衝撃力）が印加されたとする。この際、前記アッセンブリのうち前記荷重発生部２０より先端側に位置する部分には、磁気ヘッド跳躍方向衝撃力によって前記荷重発生部２０回り一方側への慣性モーメントが生じる。一方、前記アッセンブリのうち前記荷重発生部２０より基端側に位置する部分には、前記磁気ヘッド跳躍方向衝撃力によって前記荷重発生部２０回り他方側への慣性モーメントが生じる。
前記平衡質量体５０を備えることにより、前記荷重発生部２０回り他方側への慣性モーメントを荷重発生部２０回り一方側への慣性モーメントに一致又は近づけることができ、これにより、衝撃力印加時の前記荷重発生部２０回りの前記アッセンブリの回動動作を有効に抑えることができる。
【００５１】
なお、本実施形態において、前記平衡質量体５０は、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム基板１３０とは別体とされており、溶接又は接着等によって前記ロードビーム基板１３０に固着されているが、これに代えて、前記平衡質量体５０を前記ロードビーム部３０と一体形成することも可能である。
即ち、前記ロードビーム部３０を形成する前記ロードビーム基板１３０の磁気ヘッドサスペンション幅方向中央を前記荷重発生部２０より磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側へ延在させて、この延在部を前記平衡質量体５０として作用させることも可能である。
【００５２】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１に示すように、前記荷重発生部２０を形成する荷重発生部材７０を備えている。
前記荷重発生部材７０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
図２に、図１の磁気ヘッドサスペンション１における荷重発生部材７０の平面図を示す。図２（ａ）は、曲げ線ＢＬがスリット７４の磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置している場合を示し、図２（ｂ）は、曲げ線ＢＬの延長線がスリット７４内を通る場合を示す。なお、曲げ線ＢＬの位置は図２に例示する２つの構成に限られるものではなく、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリット７４とオーバーラップする範囲内において種々の位置を取り得る。即ち、曲げ線ＢＬの位置は、前記範囲内において、曲げ加工の安定性及び共振特性の安定性等に基づいて決定することができる。本実施形態においては、主に、図２（ａ）の構成について説明する。
【００５３】
前記荷重発生部材７０は、前記磁気ヘッドサスペンション１の中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置されている。
前記荷重発生部材７０は、前記一対の支持片１２に当接された状態で固着される一対の支持部当接領域７１と、前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム基板１３０に当接された状態で固着されるロードビーム部当接領域７２であって、先端及び基端がそれぞれ前記支持部当接領域７１の先端より磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置するロードビーム部当接領域７２と、前記一対の支持部当接領域７１及び前記ロードビーム部当接領域７２の間をそれぞれ連結する一対の延在領域７３と、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記支持部当接領域７１より先端側で且つ少なくとも一部が磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記一対の支持部当接領域７１及び前記ロードビーム部当接領域７２の間に位置するように前記一対の延在領域７３に形成された一又は複数のスリット７４とを有している。
本実施形態においては、前記ロードビーム部３０のロードビーム基板１３０が平面視において基端側が前記支持部１０の凹部１３内に位置するように前記荷重発生部材７０を介して前記支持部１０に支持される。より具体的には、前記支持部１０のディスク面側の面と前記荷重発生部材７０のディスク面とは反対側の面とが、前記一対の支持片１２及び前記一対の支持部当接領域７１に設けられた適宜の溶接点においてレーザースポット溶接され、前記ロードビーム部３０のロードビーム基板１３０のディスク面とは反対側の面と前記荷重発生部材７０のディスク面側の面とが、前記ロードビーム基板１３０及び前記ロードビーム部当接領域７２に設けられた適宜の溶接点（図１（ｂ）の○印）においてレーザースポット溶接されている。
なお、溶接により固着する代わりに、接着等により両者を固着することとしてもよい。
【００５４】
前記磁気ヘッドサスペンション１において、前記一対の延在領域７３は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し前記スリット７４と同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリット７４より外方に位置する外方部分を介して対応する前記支持部当接領域７１及び前記ロードビーム部当接領域７２を連結する一対の第１延在領域７３ａと、前記一対の支持部当接領域７１の間を前記ロードビーム部当接領域７２を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域７３ｂとを含んでいる。
前記一対の第１延在領域７３ａ及び前記一対の第２延在領域７３ｂのうち、前記ロードビーム部当接領域７２を基準にして磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する第１延在領域７３ａ及び第２延在領域７３ｂは、磁気ヘッドサスペンション幅方向同一側に位置する前記支持部当接領域７１と前記スリット７４との間において互いに連接されている。
【００５５】
ここで、前記一対の第１延在領域７３ａは、前記外方部分が磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った曲げ線ＢＬ回りに撓み弾性変形することで第１荷重を発生する。
また、前記一対の第２延在領域７３ｂは、前記第１延在領域７３ａの前記曲げ線ＢＬ回りの弾性変形に応じて、前記一対の第２延在領域７３ｂの基端側エッジが前記支持部当接領域７１に連接する点と前記第1延在領域７３ａの前記曲げ線ＢＬを延長して前記ロードビーム部当接領域７２に達した点とを結ぶ一対の捩れ線ＴＬ回りに捩れ弾性変形して第２荷重を発生する。
このように発生する前記第１荷重及び前記第２荷重の合力が前記押し付け荷重として作用する。
【００５６】
図３に、図２の荷重発生部材７０の模式斜視図を示す。図３（ａ）は、装置に実装される前の状態を示し、図３（ｂ）は、装置実装後における作動状態を示す。
本実施形態において、前記荷重発生部材７０は、図３（ａ）に示すように、前記曲げ線ＢＬで前記ロードビーム当接領域７２の先端側が支持部当接領域７１よりディスク面に近接するように曲げ加工され、前記捩れ線ＴＬで前記ロードビーム当接領域７２の基端側が前記支持部当接領域７１よりディスク面から離間するように捩れ加工される。このとき、前記ロードビーム当接領域７２は、磁気ヘッドサスペンション長手方向にわたって略平面状となっている。
かかる構成においては、前記磁気ヘッドサスペンション１が回転するディスク面上に前記磁気ヘッド１００を位置させる作動状態時に、前記ディスク面の回転に伴う空気圧によって前記磁気ヘッド１００がディスク面上で浮上することにより、図３（ａ）の状態から図３（ｂ）の状態となるように、前記ロードビーム部３０が前記荷重発生部材７０を曲げ戻す。これにより、前記荷重発生部材７０が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付けるための第１及び第２荷重を発生する。
【００５７】
即ち、前記荷重発生部材７０の曲げ戻し動作（弾性変形）によって生じる第１延在領域７３ａにおける保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける第１荷重として作用し、前記荷重発生部材７０の曲げ戻し動作（弾性変形）によって生じる第２延在領域７３ｂにおける保有弾性が前記磁気ヘッド１００をディスク面へ向けて押し付ける第２荷重として作用する。この第１及び第２荷重の合力が押し付け荷重として前記磁気ヘッド１００をディスク面から離間させる方向へ押圧する前記空気圧とつり合うことにより、前記磁気ヘッド１００は、作動状態において前記ディスク面上で所定距離だけ浮上する。
【００５８】
以上のように、上記構成の磁気ヘッドサスペンション１によれば、前記曲げ線ＢＬ回りに弾性変形する前記第１延在領域７３ａが、基端部が対応する前記支持部当接領域７１を介して対応する前記支持片１２に連結され且つ自由端部が前記ロードビーム部当接領域７２を介して前記ロードビーム基板１３０に連結されており、対応する前記支持片１２に片持ち支持されている。
一方、前記捩れ線ＴＬ回りに弾性変形する前記一対の第２延在領域７３ｂは、前記一対の第２延在領域７３ｂに連接される前記一対の支持部当接領域７１及び前記ロードビーム部当接領域７２との共働下に、一端部及び他端部が前記一対の支持片１２にそれぞれ連結された両持ち支持状態とされている。
【００５９】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記一対の延在領域７３が、前記支持部１０に片持ち支持された状態で前記ロードビーム基板１３０を支持する一対の第１延在領域７３ａに加えて、前記支持部１０に両持ち支持された状態で前記ロードビーム基板１３０を支持する一対の第２延在領域７３ｂを備えている。
【００６０】
これにより、前記荷重発生部材７０が第１延在領域７３ａにおいて撓み弾性変形することで前記第１荷重を発生させるとともに、第２延在領域７３ｂにおいて捩れ弾性変形することで前記第２荷重を発生させるため、前記磁気ヘッドサスペンション１の共振周波数を高域化することができるとともに、耐衝撃性を有効に向上させることができる。
【００６１】
即ち、前記荷重発生部材７０が前記第１延在領域７３ａを有することにより、前記アッセンブリの支持点（前記アッセンブリが前記荷重発生部２０によって支持される点）の幅（磁気ヘッドサスペンション幅方向に関する長さ）を可及的に広げることができ、前記アッセンブリのシーク方向（ディスク面と平行な方向）の剛性を高めて前記磁気ヘッドサスペンション１の共振周波数、特に、首振りモードの共振周波数を高域化することができる。
【００６２】
さらに、長手方向一端側及び他端側が前記支持部１０における一対の支持片１２によって両持ち支持された前記一対の第２延在領域７３ｂが、前記第１延在領域７３ａとともに前記荷重発生部２０として作用している。
従って、外部から衝撃力が印加された際に、前記アッセンブリの支持点（アッセンブリ及び荷重発生部２０の接合点）がディスク面と直交する方向に動くことを効果的に抑制することができ、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を飛躍的に向上させることができるとともに、磁気ヘッドサスペンション１とディスクが衝突する限界加速度を向上させることができる。
【００６３】
即ち、基端部が前記支持部１０に連結され且つ自由端部が前記アッセンブリを支持する片持ち構成の前記第１延在領域７３ａだけが前記荷重発生部２０を形成する場合には、外部からの衝撃力印加時に、前記アッセンブリの支持点がディスク面と直交する方向に大きく変動してしまう。特に、前記アッセンブリのシーク方向の剛性を高めるために、前記ロードビーム部３０の基端側の幅を広げる場合には、その傾向が大きくなる。
従って、前記荷重発生部２０を基準にして前記アッセンブリの先端側及び基端側の質量を前記平衡質量体５０によって平衡化したとしても、衝撃力印加時における前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を十分には抑えることはできない。
【００６４】
これに対し、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記第１延在領域７３ａに加えて、両持ち支持され且つ捩れ弾性変形によって第２荷重を発生する前記一対の第２延在領域７３ｂを有している。
【００６５】
かかる構成によれば、外部から衝撃力が印加された際に、前記アッセンブリの支持点がディスク面に直交する方向に変動することを有効に防止することができる。従って、前記磁気ヘッド１００の跳躍を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を飛躍的に向上させることができ、前記磁気ヘッド１００の跳躍動作を引き起こす衝撃力の加速度（限界加速度）を飛躍的に向上させることができるとともに、サスペンションとディスクが衝突する限界加速度を向上させることができる。
【００６６】
また、前記第１荷重を発生させる部材と第２荷重を発生させる部材とを一体的に形成することにより、荷重発生部材７０の幅方向長さを可及的に短くすることができる。これにより、磁気ヘッドサスペンション１を小型化・省スペース化を実現することができる。
【００６７】
本実施形態において、前記曲げ線ＢＬは、前記スリット７４の磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置している。また、前記一対の第２延在領域７３ｂの基端側エッジは、平面視において基端側へ開く湾曲形状とされている。
【００６８】
この場合、第１延在領域７３ａの弾性変形における曲げ線ＢＬが前記スリット７４の磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置していることにより、前記捩れ線ＴＬの先端側のエッジが前記スリット７４の長手方向基端側のエッジと磁気ヘッドサスペンション長手方向に関し同一位置に位置する。
従って、第２延在領域７３ｂの前記捩れ線ＴＬ回りの弾性変形動作に際し、前記第２延在領域７３ｂの磁気ヘッドサスペンション長手方向先端側のエッジにおいて高低差が生じない。この結果、前記第２延在領域７３ｂの前記捩れ線ＴＬ回りの弾性変形動作をスムースに行わせることができる。
【００６９】
また、第２延在領域７３ｂの基端側エッジが平面視において基端側へ開く湾曲形状を有していることにより、第２延在領域７３ｂの弾性変形時において、前記捩れ線ＴＬが前記湾曲形状により規制される。これにより、第２延在領域７４ｂの基端側エッジの引張りを有効に防止できるため、荷重のばらつきを低減させる（荷重安定化を図る）ことができるとともに、ばね定数のばらつきを低減させる（ばね定数の安定化を図る）ことができる。
【００７０】
本実施形態において、前記ロードビーム部当接領域７２は、前記曲げ線ＢＬと磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置に位置する部分に貫通孔を有している。本実施形態においては、単一のスリット７４が設けられており、前記スリット７４は、前記貫通孔としても作用する（スリット及び前記貫通孔は、単一の開口を形成している）。
【００７１】
この場合、前記ロードビーム部当接領域７２において、前記曲げ線ＢＬと磁気ヘッドサスペンション長手方向同一位置には、貫通孔としてのスリット７４が設けられることにより、荷重発生部材７０において曲げ線ＢＬにより曲げられる領域が可及的に小さくなる。
従って、前記曲げ線ＢＬ回りの弾性変形動作をスムースに行わせることができるとともに、幅方向の省スペース化が可能となる。
また、前記貫通孔が前記スリット７４とともに単一の開口孔により形成されるため、開口孔の形成を容易且つ高精度に行うことができる。
【００７２】
本実施形態において、前記スリット７４は、磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った直線部分を有し、且つ、磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有している。
【００７３】
この場合、スリット７４の磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側のエッジが磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った直線部分を有し、且つ、スリット７４の磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有していることにより、前記第１延在領域７３ａにおける前記曲げ線ＢＬの弾性変形動作と前記第２延在領域７３ｂにおける前記捩れ線ＴＬ回りの弾性変形動作とをともにスムースに行わせることができる。
また、スリット７４の磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側の端部が平面視において磁気ヘッドサスペンション幅方向外方に凸状の湾曲形状を有していることにより、前記第２延在領域７３ｂにおける前記捩れ線ＴＬ回りの弾性変形動作をスムースに行わせることができる。
なお、スリット及び貫通孔の形状、大きさを変化させることにより、発生応力を低く抑えたまま、柔軟なばね定数に変更設定することができる。また、スリット及び／又は貫通孔の形状は、本実施形態のような長方形の両端に半円を設けた略長方形状のみに限られず、例えば、略台形状としてもよい。
【００７４】
さらに、前記スリット７４は、前記延在領域７３及び前記ロードビーム部当接領域７２の境界を跨ぐように構成される。
【００７５】
この場合、スリット７４の端部は、ロードビーム部当接領域７２にロードビーム部３０のロードビーム基板１３０が当接された際に、前記ロードビーム基板１３０に覆われることなく前記境界を越えて前記延在領域７３に位置される。
これにより、金型等による曲げ・捩れ加工を安定的に行うことができる。特に、捩れ線ＴＬの先端側のエッジにスリット７４が位置することとなるため、捩れ線ＴＬの捩れ加工をより安定的に行うことができる。
【００７６】
本実施形態において、前記平衡質量体５０は、重心位置が前記曲げ線ＢＬ及び前記捩れ線ＴＬより基端側に位置する状態で前記ロードビーム基板１３０に溶接又は接着等により直接又は間接的に固着されている。本実施形態においては、前記平衡質量体５０の先端部５３のディスク面側の面と前記ロードビーム基板１３０のディスク面とは反対側の面とが適宜の溶接点（図１（ｂ）の○印）でレーザースポット溶接されている。なお、各溶接点は、前記磁気ヘッドサスペンション１の中央長手線ＣＬを基準にして左右対称に配置されることが好ましい。溶接点を左右対称に配置させることにより、ロードビーム部３０のシーク方向の剛性及び捩れ方向の剛性を効果的に高めることができ、前記磁気ヘッドサスペンション１における首振りモードの共振周波数及び捩れモードの共振周波数を高域化することができる。
また、平衡質量体５０の少なくとも一部は、剛性を高めるために、ロードビーム基板１３０に形成されたフランジ３２にオーバーラップしている。
前記平衡質量体５０の重心位置が前記曲げ線ＢＬ及び前記捩れ線ＴＬより基端側に位置することにより、磁気ヘッドサスペンションの可動領域（前記アッセンブリ）における重心を前記曲げ線ＢＬ及び前記捩れ線ＴＬ近傍に可及的に近づけることができる。従って、外部からの衝撃が加わった場合でも、荷重発生部２０による振動を可及的に抑制することができ、耐衝撃性を向上させることができる。
本実施形態において、前記捩れ線ＴＬは、平衡質量体５０の重心位置より先端側に位置している。
【００７７】
図４（ａ）及び図４（ｂ）に、それぞれ、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１における平衡質量体５０の上面図及び側面図を示す。
本実施形態において、前記平衡質量体５０は、図４に示すように、磁気ヘッドサスペンション幅方向に沿った折り曲げ部５１を有し、前記折り曲げ部５１より基端側の領域である基端部５２が前記折り曲げ部５１より先端側に位置し且つ前記ロードビーム基板１３０に直接又は間接的に連結される領域である先端部５３よりも前記ディスク面から離間されている。
【００７８】
この場合、平衡質量体５０は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った折り曲げ部５１より折り曲げられており、当該折り曲げ部５１より磁気ヘッドサスペンション長手方向基端側の基端部５２が前記折り曲げ部５１より先端側に位置し前記ロードビーム基板１３０に直接又は間接的に連結される先端部５３よりもディスク面から離間している。
これにより、外部からの衝撃により荷重発生部２０において振動した場合であっても、前記平衡質量体５０がディスク面に当接することを有効に防止することができる。
【００７９】
本実施形態において、前記平衡質量体５０は、図４（ｂ）に示すように、前記折り曲げ部５１を含む領域が他の領域に比して薄くなっている。
かかる構成によれば、前記折り曲げ部５１での前記平衡質量体５０の曲げ加工を安定的に行うことができる。
前記折り曲げ部５１を含む領域を薄くする方法としては、例えば、前記平衡質量体５０における前記折り曲げ部５１に対応する部分の少なくとも一方側の面（本実施形態においてはディスク面側の面）をエッチングすることにより、容易に行うことができる。
【００８０】
ここで、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１の効果について従来構成と比較しつつ説明する。
図１５（ａ）に、比較例における磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図を示し、図１５（ｂ）に、図１５（ａ）の磁気ヘッドサスペンション１Ａの荷重発生部材７０Ａの上面図を示す。
図１５の磁気ヘッドサスペンション１Ａが本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と異なるのは、荷重発生部材７０Ａがスリット７４及び第２延在領域７３ｂを有しておらず、前記曲げ線ＢＬ回りに弾性変形する延在領域７３Ａを有しているのみである点である。即ち、前記延在領域７３Ａは、基端部が対応する前記支持部当接領域７１Ａを介して対応する前記支持片１２に連結され且つ自由端部が前記ロードビーム部当接領域７２Ａを介して前記ロードビーム基板１３０に連結され、対応する前記支持片１２に片持ち支持されることにより前記第１荷重のみを発生させるものである。
【００８１】
ここでは、何れの磁気ヘッドサスペンション１，１Ａにおいてもロードビーム基板１３０の板厚を０．０２ｍｍ、フレクシャ基板１４０の板厚を０．０１８ｍｍ、平衡質量体５０の板厚を０．２０ｍｍとするものを用いて解析を行った。ただし、荷重発生部材の板厚は、両者のばね定数を一致させて比較するために、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１の荷重発生部材７０の板厚を０．０３０ｍｍとし、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａの荷重発生部材７０Ａの板厚を０．０３５ｍｍとした。なお、各基板及び平衡質量体の材としては、何れもステンレス板（ＳＵＳ３０４−ＨＴＡ）を用いた。
解析方法としては、有限要素解析法を用いて、平衡質量体５０及び荷重発生部材７０，７０Ａとディスク面との衝突限界加速度及び共振特性を算出した。
【００８２】
図５及び図６に、磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッドがディスク面から離れる方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅０．５ｍｓｅｃ，１．０ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの衝撃波に対するディスク面との衝突限界加速度の関係を表すグラフを示す。図５は、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１についてのグラフであり、図６は、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａについてのグラフである。
ここでは、平衡質量体５０下面のディスク面に対する高さＺ１が３００μｍ及び３５０μｍの場合におけるグラフと、荷重発生部材７０，７０Ａ下面のディスク面に対する高さＺ２が３００μｍ及び３５０μｍの場合におけるグラフとをそれぞれ算出した。
【００８３】
この結果、図５及び図６に示すように、高さＺ１及びＺ２のいずれにおいても、同じ高さ同士を比べると、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１におけるディスク面との接触限界加速度が比較例の磁気ヘッドサスペンションにおけるディスク面との接触限界加速度を上回る結果となった。さらに、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１において前記高さＺ１又はＺ２が３００μｍの場合における接触限界加速度は、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて高さＺ１又はＺ２が３５０μｍの場合における接触限界加速度と同程度となった。
【００８４】
図７に、実施例及び比較例を用いて行ったシーク方向の共振周波数に関する解析結果（周波数応答特性）のグラフを示す。
ここでは、首振りモード（ＳＷＡＹモード）の共振周波数と、荷重発生部材７０付近を支点としてロードビーム部３０全体が磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りに捩れる１次捩れモードの共振周波数と、磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れにおいてロードビーム部３０の長手方向中央付近に節（節を境に捩れ方向が反転する）を有し、支持部１０の磁気ヘッドサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの捩れ方向とロードビーム部３０の基端側の捩れ方向とが逆位相となる２次捩れモードの共振周波数とのそれぞれについて、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１の場合と比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａの場合とを比較した。
【００８５】
この結果、図７に示すように、首振りモード（ＳＷＡＹモード）の共振周波数は、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａの１２．５ｋＨｚに対し、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１では１３．０ｋＨｚとなり、より高い周波数となった。同様に、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１における捩れモード（ＴＯＲＳＩＯＮモード）の共振周波数は、１次捩れモードの共振周波数においては、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａの７．２６ｋＨｚに対して７．３８ｋＨｚとなり、２次捩れモードの共振周波数においては、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａの９．７０ｋＨｚに対して１０．７ｋＨｚとなり、何れのモードも本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１の方がより高い周波数となった。
【００８６】
以上のように、本実施形態の磁気ヘッドサスペンション１は、比較例の磁気ヘッドサスペンション１Ａに比して、ディスク面との衝突限界加速度の向上と共振特性の向上とを同時に向上させることができる。
また、図５に示すように、同じ高さであれば、平衡質量体５０とディスク面との衝突は、荷重発生部材７０とディスク面との衝突より低い加速度で生じ得る。従って、前述したように、平衡質量体５０を磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った折り曲げ部５１より折り曲げることにより、前記平衡質量体５０の基端部５２を先端部５３よりもディスク面から離間させる（前記高さＺ１を可及的に大きくする）ことで、ディスク面との接触限界加速度をより高めることができる。
【００８７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明に係る第２実施形態の磁気ヘッドサスペンション２について説明する。
図８（ａ）及び（ｂ）に、それぞれ、本発明に係る第２実施形態における磁気ヘッドサスペンション２の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。図８においては、フレクシャ部４０を構成する導体層及び絶縁層は図示を省略している。また、図９に、図８の磁気ヘッドサスペンション２におけるロードビーム基板２３０の平面図を示し、図１０に、図７の磁気ヘッドサスペンション２の側面図を示す。なお、第１実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００８８】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション２が前記第１実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と異なる第１の点は、前記荷重発生部材がロードビーム基板に一体形成されていることである。
即ち、本実施形態において、前記磁気ヘッドサスペンション２は、図８及び図９に示すように、基端側が荷重発生部２０として作用し、先端側がロードビーム部２０として作用するロードビーム基板２３０を有している。
前記ロードビーム基板２３０のうちロードビーム部３０として作用させる先端側領域２３１の磁気ヘッドサスペンション幅方向両端部には、左右対称にフランジ３２が設けられ、当該フランジ３２が設けられた先端側領域２３１より基端側の基端側領域２３２が荷重発生部２０として作用する。
【００８９】
本実施形態においては、前記平衡質量体５０のディスク面側の面が前記ロードビーム基板２３０のディスク面と反対側の面に溶接又は接着等により固着される。本実施形態においては、適宜の溶接点（図８（ｂ）において○印で示す）でレーザースポット溶接されている。
このとき、本実施形態における一対の延在領域７３は、磁気ヘッドサスペンション長手方向に関しスリット７４と同一位置で且つ磁気ヘッドサスペンション幅方向に関し前記スリット７４より外方に位置する外方部分を介して対応する支持部当接領域７１及び平衡質量体の当接領域７５を連結する一対の第１延在領域７３ａと、前記一対の支持部当接領域７１の間を前記平衡質量体当接領域７５を介して連結するように磁気ヘッドサスペンション幅方向に延びる一対の第２延在領域７３ｂとを含んでいる。そして、本実施形態の第２延在領域７３ｂは、前記一対の第２延在領域７３ｂの基端側エッジが前記支持部当接領域７１に連接する点と前記第１延在領域７３ａの前記曲げ線ＢＬを延長して前記平衡質量体当接領域７５に達した点とを結んだ捩れ線ＴＬ回りに捩れ弾性変形することにより、前記第２荷重を発生させている。
【００９０】
本実施形態の支持部２１０も、前記第１実施形態と同様に、前記磁気ヘッドサスペンション２の幅方向中央に先端側に開く凹部２１３を画するように、本体領域２１１の幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片２１２を有しており、前記基端側領域２３２は、図８及び図１０に示すように、前記一対の支持片２１２において、前記支持部２１０のディスク面と反対側の面に溶接又は接着等により固着される。本実施形態においては、適宜の溶接点（図８（ａ）において○印で示す）でレーザースポット溶接されている。
【００９１】
このように、荷重発生部材がロードビーム基板に一体形成されることにより、磁気ヘッドサスペンション２の部品点数を低減することができ、コストを低減しつつ、磁気ヘッドサスペンション２の組み付け精度を向上させることができるとともに、磁気ヘッドサスペンション２の質量を軽量化することができる。
また、前記ロードビーム基板２３０を支持部１０のディスク面と反対側の面に固着することにより、ロードビーム基板２３０下面のディスク面に対する高さを増やすことができる。
【００９２】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション２が前記第１実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と異なる第２の点は、図８及び図１０に示すように、前記支持部２１０が前記平衡質量体５０より前記ディスク面に近接する側において前記一対の支持片２１２の間を連結するブリッジ部２１４を有し、前記ブリッジ部２１４は、平面視において前記平衡質量体５０とオーバーラップし且つ前記平衡質量体５０との間に前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙２１５を有していることである。
【００９３】
この場合、前記支持部２１０に設けられたブリッジ部２１４は、前記平衡質量体５０より前記ディスク面に近接する側に位置し、且つ、前記平衡質量体５０とディスク面と直行する方向に所定の間隙２１５を有しつつ前記一対の支持片２１２の間を連結している。
詳しくは、前記平衡質量体５０の基端部５２が先端部５３に対してディスク面から離間した状態となるように平衡質量体５０が折り曲げられ、当該折り曲げ角度が前記平衡質量体５０が作動・非作動時において、ブリッジ部２１４と干渉しないように調整される。本実施形態においては、平衡質量体５０の基端部５２と先端部５３とが略平行となるように、平衡質量体５０の中間領域で折り曲げ加工されている。
【００９４】
このように、一対の支持片２１２の間がブリッジ部２１４で連結されることにより、一対の支持片２１２が形成された支持部２１０の首振り方向及び捩れ方向の剛性を向上させることができる。また、ブリッジ部２１４と当該ブリッジ部２１４に平面視においてオーバーラップする平衡質量体５０との間に両者が作動・非作動時において干渉しないような所定の間隙２１５を設けることにより、前記磁気ヘッドサスペンション２の作動時に前記第２延在領域７３ｂが前記捩れ線ＴＬ回りに捩れ弾性変形することを許容することができる。さらに、外部から衝撃が加わった場合に、平衡質量体５０の振動をブリッジ部２１４が防止することにより、ディスク面との接触による損傷を回避することができる。
【００９５】
本実施形態において、前記ブリッジ部２１４は、図８に示すように、支持部２１０に一体形成されている。これにより、部品点数の増加を防止することができる。
ただし、前記ブリッジ部２１４を前記支持部２１０とは別体形成し、前記支持部２１０に溶接又は接着等により固着することも当然に可能である。
【００９６】
なお、本実施形態のスリット７４は、磁気ヘッドサスペンション２の中央長手線ＣＬを基準に左右対称な略台形状とされている。
また、本実施形態の支持部２１０は、アクチュエータによって揺動されるキャリッジアームの先端にスウェッジ加工により接合されるボス部２１６を備えたベースプレートとされているが、第１実施形態と同様に、前記支持部２１０を基端部がアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを有する構成とすることも可能である。
【００９７】
＜第３実施形態＞
続いて、本発明に係る第３実施形態の磁気ヘッドサスペンション３について説明する。
図１１（ａ）及び（ｂ）に、それぞれ、本発明に係る第３実施形態における磁気ヘッドサスペンション３の上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。図１１においては、フレクシャ部４０を構成する導体層及び絶縁層は図示を省略している。また、図１２に、図１１の磁気ヘッドサスペンション３における荷重発生部材３７０の平面図を示し、図１３に、図１０の磁気ヘッドサスペンション３の側面図を示す。なお、第１及び第２実施形態と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００９８】
本実施形態の磁気ヘッドサスペンション３が前記第２実施形態の磁気ヘッドサスペンション２と異なる点は、図１１及び図１２に示すように、荷重発生部２０とロードビーム部３０とは、前記第１実施形態の磁気ヘッドサスペンション１と同様別体（荷重発生部２０は荷重発生部材３７０により形成され、ロードビーム部３０はロードビーム基板３３０により形成される）とされ、且つ、前記荷重発生部２０を形成する本実施形態の荷重発生部材３７０に形成された第１延在領域７３ａにおける磁気ヘッドサスペンション幅方向外方側のエッジには、前記曲げ線ＢＬより先端側にフランジ３７５が設けられていることである。
本実施形態において、前記フランジ３７５は、前記荷重発生部材３７０を折り曲げ形成することにより一体的に形成されている。また、前記ロードビーム基板３３０に設けられた前記フランジ３２は、前記荷重発生部材３７０に形成されたフランジ３７５と磁気ヘッドサスペンション長手方向に関してオーバーラップするように形成されている。また、前記荷重発生部材３７０に形成された前記フランジ３７５は、平衡質量体５０の先端部と磁気ヘッドサスペンション長手方向に関して一部オーバーラップしている。
【００９９】
この場合、前記フランジ３７５によって前記ロードビーム部３０の剛性を補強することができる。即ち、前記フランジ３７５によって前記ロードビーム部３０のうち前記曲げ線ＢＬ及び前記捩れ線ＴＬより先端側に位置する部分のねじれ剛性、曲げ剛性及び面内剛性を高めることができる。これにより、磁気ヘッドサスペンション３の共振特性を向上させることができる。
【０１００】
本実施形態において、前記荷重発生部材３７０は、図１１及び図１３に示すように、前記一対の支持片２１２において、前記支持部２１０のディスク面と反対側の面に溶接又は接着等により固着される。本実施形態においては、適宜の溶接点（図１１（ａ）において○印で示す）でレーザースポット溶接されている。また、前記ロードビーム基板３３０は、図１１及び図１３に示すように、前記荷重発生部材３７０のディスク面と反対側の面に溶接又は接着等により固着される。本実施形態においては、適宜の溶接点（図１１（ｂ）において○印で示す）でレーザースポット溶接されている。
なお、本実施形態においても第２実施形態と同様に、前記磁気ヘッドサスペンション３は、図１１及び図１３に示すように、前記支持部２１０が前記平衡質量体５０より前記ディスク面に近接する側において前記一対の支持片２１２の間を連結するブリッジ部２１４を有し、前記ブリッジ部２１４は、平面視において前記平衡質量体５０とオーバーラップし且つ前記平衡質量体５０との間に前記ディスク面と直交する方向に所定の間隙２１５を有している。
【０１０１】
以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変更、修正が可能である。
例えば、図１４に例示するように、荷重発生部材７００にスリット７４０が複数設けられる構成としてもよい。この場合、図１４（ａ）に示すように、支持部当接領域７１とロードビーム部当接領域７２との間に両者のうち何れにもオーバーラップしないように設けてもよいが、図１４（ｂ）に示すように、前記スリット７４０は、捩れ線ＴＬ回りの弾性変形動作をスムースに行わせるべく、延在領域７３及びロードビーム部当接領域７２の境界を跨ぐように構成されることが好ましい。また、このようにスリット７４０を複数設ける場合、さらに、ロードビーム部当接領域７２に独立した前記貫通孔を設けることとしてもよい。
この他、前記各実施形態における一又は複数の構成部材を他の実施形態に係る磁気ヘッドサスペンションに置換適用することも適宜可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本発明に係る第１実施形態における磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２】図２は、図１の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重発生部材の平面図である。
【図３】図３は、図２の荷重発生部材７０の模式斜視図である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、それぞれ、本実施形態の磁気ヘッドサスペンションにおける平衡質量体の上面図及び側面図である。
【図５】図５は、本実施形態の磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッドがディスク面から離れる方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅０．５ｍｓｅｃ，１．０ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの衝撃波に対するディスク面との衝突限界加速度の関係を表すグラフである。
【図６】図６は、比較例の磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッドがディスク面から離れる方向の衝撃波（正弦半波）であって、パルス幅０．５ｍｓｅｃ，１．０ｍｓｅｃ及び２．０ｍｓｅｃの衝撃波に対するディスク面との衝突限界加速度の関係を表すグラフである。
【図７】図７は、実施例及び比較例を用いて行ったシーク方向の共振周波数に関する解析結果（周波数応答特性）のグラフである。
【図８】図８（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本発明に係る第２実施形態における磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図９】図９は、図８の磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム基板の平面図である。
【図１０】図１０は、図８の磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図１１】図１１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、本発明に係る第３実施形態における磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図１２】図１２は、図１１の磁気ヘッドサスペンションにおける荷重発生部材の平面図である。
【図１３】図１３は、図１１の磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図１４】図１４は、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションに適用可能な荷重発生部材を例示する上面図である。
【図１５】図１５（ａ）は、比較例における磁気ヘッドサスペンションの上面図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）の磁気ヘッドサスペンションの荷重発生部材の上面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１，２，３                磁気ヘッドサスペンション
１０，２１０              支持部
１１，２１１              本体領域
１２，２１２              支持片
１３                      凹部
２０                      荷重発生部
３０                      ロードビーム部
４０                      フレクシャ部
５０                      平衡質量体
５１                      折り曲げ部
５２                      基端部
５３                      先端部
７０，３７０              荷重発生部材
７１                      支持部当接領域
７２                      ロードビーム部当接領域
７３                      延在領域
７３ａ                    第１延在領域
７３ｂ                    第２延在領域
７４                      スリット
１００                    磁気ヘッド
１３０，２３０，３３０    ロードビーム基板
２１４                    ブリッジ部
２１５                    間隙
３７５                    フランジ
ＢＬ                      曲げ線
ＣＬ                      中央長手線
ＴＬ                      捩れ線
【図１】
0004761481.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004761481.tif 000004
【図４】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図５】
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【図６】
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