(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの片面を研磨する前工程として、前記ウェーハを所定温度に予備加熱された平板状のキャリアプレート上に貼付する際に、
該キャリアプレートを所定温度に予備加熱する予備加熱工程で、予備加熱テーブル上で前記キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークを検出し、前記マークの位置を基準としてキャリアプレートの位置決めを行った後、
前記キャリアプレートを、その位置決め状態を保持しつつウェーハの貼付工程を行う貼付テーブル上に移送し、
次いで、前記貼付テーブル上で前記キャリアプレートの所定箇所にウェーハを貼付することを特徴とするウェーハの貼付方法。
【請求項２】
キャリアプレートに設けたマークとして、幅広のマークを使用し、所定の回転速度で回転する前記キャリアプレートに設けられた前記マークの一端を検出したとき、キャリアプレートの回転速度を前記所定の回転速度よりも低速とし、
次いで、前記マークの他端を検出したとき、前記キャリアプレートの回転を停止する請求項１記載のウェーハの貼付方法。
【請求項３】
キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークの検出を、前記キャリアプレートを予備加熱する予備加熱テーブルに設けられたセンサによって行う請求項１又は請求項２記載のウェーハの貼付方法。
【請求項４】
予備加熱工程で所定温度に予備加熱されたキャリアプレート上に、研磨を施すウェーハの片面を貼付するウェーハの貼付装置において、
該予備加熱工程に設けられた予備加熱テーブル上に載置された前記キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークを検出手段によって検出し、検出された前記マークの位置を基準としてキャリアプレートの位置決めを行う位置決め手段と、
位置決めされたキャリアプレートを、その位置決め状態を保持してウェーハの貼付テーブル上に移送する移送手段と、
前記ウェーハの貼付テーブル上に移送されたキャリアプレートの所定位置に、ウェーハを載置する載置手段とを具備することを特徴とするウェーハの貼付装置。
【請求項５】
キャリアプレートに設けられたマークが、幅広のマークであって、前記キャリアプレートを回転する回転手段を駆動して所定回転速度で回転するキャリアプレートに設けられた、前記マークの一端を検出手段が検出したとき、キャリアプレートの回転速度を前記所定の回転速度よりも低速とし、前記マークの他端を前記検出手段が検出したとき、前記キャリアプレートの回転を停止するように、前記回転手段を制御する制御手段が設けられている請求項４記載のウェーハの貼付装置。
【請求項６】
キャリアプレートの所定位置に設けられたマークを検出するセンサが、固定加熱テーブルに設けられている請求項４又は請求項５記載のウェーハの貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はウェーハの貼付方法及びその装置に関し、更に詳細にはウェーハの片面を研磨する前工程として、前記ウェーハを所定温度に予備加熱された平板状のキャリアプレート上に貼付するウェーハの貼付方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ウェーハの鏡面研磨加工等においては、一般的に、ウェーハの一面側を平坦で且つ剛性を有するプレート（以下、キャリヤプレートと称する）に接着し、そのキャリヤプレートを介して研磨装置でウェーハの他面側（研磨面）の研磨がなされる。
通常、ウェーハは、薄く反り易く、平坦にした状態を維持させることが困難であるが、剛性を有するキャリヤプレートによって平坦に保持することにより、平坦な状態を維持でき、その研磨を容易に行うことができる。
このため、ウェーハの研磨面を研磨加工によって高精度（高い平坦度）に仕上げるには、ウェーハをキャリヤプレートに対して高精度に平坦に接着させることが必要であると共に、キャリヤプレート自体の平坦度が高いことが要求される。
特に、シリコンウェーハのポリシング加工では、一般的に、キャリヤプレートに接着された複数枚のシリコンウェーハを、そのキャリヤプレートを介して研磨用定盤の研磨面へ押圧して、両者を相対的に運動させることにより、複数枚のシリコンウェーハの研磨面を研磨する。この様にして研磨されたシリコンウェーハの研磨面は、サブミクロン単位の高い平坦精度が要求される。
【０００３】
また、研磨が終了したウェーハは、キャリヤプレートから剥離されて次の加工工程に進み、ウェーハが剥離されたキャリヤプレートは、洗浄等されて何回も繰り返し使用される。
このため、キャリヤプレートは耐久性の高いものが要求され、その材質としては、高い剛性を備え、且つ耐久性に富むセラミックス等が利用されている。
尚、キャリヤプレート上にウェーハを接着剤（ワックス）で貼付するには、通常、ウェーハ上にワックスを滴下し、ウェーハ全面でワックス層の厚さが均一になるようにウェーハをスピンさせ、次いで、そのウェーハを反転させて所定温度に予備加熱されたキャリヤプレート上に貼付している。
【０００４】
ところで、鏡面研磨されたウェーハを剥離し洗浄を施したキャリヤプレートのウェーハの貼付面には、ウェーハを貼付した箇所とウェーハを貼付しなかった箇所とで微細な差異が生ずる。例えば、ウェーハを貼付しなかったキャリヤプレートの箇所は、研磨液に含まれている研磨粒子や研磨屑が固相反応等して生じた生成物が堆積されたり、研磨液に含有されている化学物質による影響を受けたりする。
一方、ウェーハの貼付箇所には、かかる生成物の堆積や研磨液に含有されている化学物質による影響等は少ない
この様に、研磨によってキャリアプレートのウェーハの貼付面に生じた微細な差異を無視してウェーハを貼付すると、ウェーハを貼付した箇所と貼付しなかった箇所に跨ってウェーハが貼付される場合が発生する。この場合、ウェーハに鏡面研磨を施すと、ウェーハの研磨面は、キャリアプレートの不均一な貼付面の影響を受け、高い平坦度のウェーハが得られなくなる。
【０００５】
このため、ウェーハの鏡面研磨等の際に、キャリアプレートの不均一な貼付面の影響を可及的に少なくすべく、実用新登録第２５６２０４４号公報には、繰り返して使用されるキャリアプレートにウェーハを貼付する際に、可及的に同一箇所にウェーハを貼付すべく、図７に示すウェーハの貼付装置１００が提案されている。
図７に示すウェーハの貼付装置１００には、矢印Ａ方向に回転可能に設けられた貼付テーブル１０２に載置されたキャリアプレート１０４に、マーク１０６，１０６が設けられており、このマーク１０６，１０６を検出するセンサが設けられている。更に、上下方向に昇降可能に設けられた吸着部１１０を具備し、吸着部１１０に吸着されたウェーハ１０８をキャリアプレート１０４の貼付面１０４ａの一定箇所に載置する載置装置が設けられている。
かかるウェーハの貼付装置１００では、先ず、センサによって検出したマーク１０６，１０６の位置を基準にし、キャリアプレート１０４の位置決めを行った後、先の研磨でキャリアプレート１０４に貼付したウェーハ１０８と同一箇所が載置装置の吸着部１１０の下方に位置するように貼付テーブル１０２を回転する。
次いで、先にウェーハ１０８を貼付した箇所が吸着部１１０の下方に位置したとき、貼付テーブル１０２の回転を停止し、吸着部１１０を降下することによって、先にウェーハ１０８を貼付した同一箇所に次のウェーハ１０８を載置できる。
【０００６】
また、特開平１１−３２０３９３号公報には、センサによって検出したマーク１０６，１０６の位置を基準にして位置決めを施したキャリアプレート１０４に、貼付するウェーハ１０８の貼付位置を定期的に順次変位するウェーハの貼付方法が提案されている。
かかるウェーハの貼付方法によれば、キャリアプレート１０４のウェーハ１０８の貼付面全面を均等に活用でき、キャリアプレート１０４のウェーハ１０８の貼付面を可及的に均質とすることができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記公報に記載されたウェーハの貼付装置や貼付方法によれば、キャリアプレート１０４に貼付したウェーハ１０８の研磨面に研磨を施すことによって、高い平坦度のウェーハを得られるものと期待できる。
しかしながら、前記公報に記載されたウェーハの貼付装置や貼付方法では、いずれもウェーハ１０８を貼付する貼付テーブル１０２でキャリアプレート１０４の位置決めを施している。
かかるキャリアプレート１０４の位置決めに要する時間は、ウェーハ１０８をキャリアプレート１０４の貼付面に載置して貼付するに要する時間よりも長く、キャリアプレートの位置決めからウェーハの貼付にまでに至る一連の処理時間が長くなる要因の一つとなっている。
そこで、本発明の課題は、位置決めされたキャリアプレートの所定位置にウェーハを貼付する際に、貼付テーブルでのウェーハの貼付に要する時間を可及的に短縮し得るウェーハの貼付方法及びその装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、貼付テーブルでのウェーハの貼付に要する時間を短縮するには、キャリアプレートの位置決めと、ウェーハのキャリアプレートの所定位置への載置とを別工程とし、キャリアプレートを所定温度に予備加熱する予備加熱工程でキャリアプレートの位置決めを行うことが有効であると考え検討した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、ウェーハの片面を研磨する前工程として、前記ウェーハを所定温度に予備加熱された平板状のキャリアプレート上に貼付する際に、該キャリアプレートを所定温度に予備加熱する予備加熱工程で、予備加熱テーブル上で前記キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークを検出し、前記マークの位置を基準としてキャリアプレートの位置決めを行った後、前記キャリアプレートを、その位置決め状態を保持しつつウェーハの貼付工程を行う貼付テーブル上に移送し、次いで、前記貼付テーブル上で前記キャリアプレートの所定箇所にウェーハを貼付することを特徴とするウェーハの貼付方法にある。
【０００９】
また、本発明は、予備加熱工程で所定温度に予備加熱されたキャリアプレート上に、研磨を施すウェーハの片面を貼付するウェーハの貼付装置において、該予備加熱工程に設けられた予備加熱テーブル上に載置された前記キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークを検出手段によって検出し、検出された前記マークの位置を基準としてキャリアプレートの位置決めを行う位置決め手段と、位置決めされたキャリアプレートを、その位置決め状態を保持してウェーハの貼付テーブル上に移送する移送手段と、前記ウェーハの貼付テーブル上に移送されたキャリアプレートの所定位置に、ウェーハを載置する載置手段とを具備することを特徴とするウェーハの貼付装置でもある。
【００１０】
かかる本発明において、キャリアプレートに設けたマークとして、幅広のマークを使用し、所定の回転速度で回転する前記キャリアプレートに設けられた前記マークの一端を検出したとき、キャリアプレートの回転速度を前記所定の回転速度よりも低速とし、次いで、前記マークの他端を検出したとき、前記キャリアプレートの回転を停止することによって、キャリアプレートの回転停止後に移動する移動距離を可及的に短縮でき、キャリアプレートの位置決め精度を向上できる。
また、キャリアプレートの所定箇所に設けられたマークの検出を、前記キャリアプレートを予備加熱する予備加熱テーブルに設けられたセンサによって行うことによって、キャリアプレートの位置決めを容易に行うことができる。
【００１１】
本発明によれば、キャリアプレートの位置決めと、ウェーハのキャリアプレートの所定位置への載置とを別工程とし、キャリアプレートの位置決めをキャリアプレートの予備加熱工程で行う。このため、貼付テーブルでは、キャリアプレートの位置決めよりも短時間で行うことのできるウェーハのキャリアプレートの所定箇所への載置のみを行うため、貼付テーブルにおいてキャリアプレートの位置決めとウェーハの貼付とを行っていた従来のウェーハの貼付方法に比較して、ウェーハの貼付に要する時間の短縮を図ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るウェーハの貼付装置の概略を図１に示す。図１において、セラミック材から成るキャリアプレートに予備加熱を施す第１予備加熱テーブル１０と第２予備加熱テーブル１２とが設けられた予備加熱工程と、貼付テーブル１４が設けられたウェーハの貼付工程とが直列に配列されている。更に、プレステーブル１８が設けられたプレス工程が、直列に配列されている予備加熱工程とウェーハの貼付工程とに対して直交するように配列されている。
かかる各テーブルに載置されるキャリアプレートは、第１予備加熱テーブル１０→第２予備加熱テーブル１２→貼付テーブル１４→プレステーブル１８の順序で移送される。このキャリアプレートの第１予備加熱テーブル１０→第２予備加熱テーブル１２→貼付テーブル１４の移送は、移送装置２０により行われ、貼付テーブル１４→プレステーブル１８の移送は、移送装置２２により行われる。このため、移送装置２０，２２は、略Ｌ字状に配設されている。
【００１３】
図１に示す予備加熱工程の第２予備加熱テーブル１２の温度は、第１予備加熱テーブル１０よりも高温となるように調整されており、キャリアプレートは２段階で所定温度まで予備加熱され、貼付テーブル１４でウェーハが貼付される。
更に、貼付テーブル１４でキャリアプレートに貼付されたウェーハは、プレステーブル１８で貼着されたウェーハの全面を押圧し、ウェーハの接着を確実とする。
かかる図１に示すウェーハの貼付装置では、第２予備加熱テーブル１２でキャリアプレートの位置決めを行う。図２に第２予備加熱テーブル１２でキャリアプレート２４の位置決めを行っている状態を示す。
図２に示す第２予備加熱テーブル１２（以下、単に加熱テーブル１２と称することがある）は、内部にヒータが設けられて所定位置に固定された固定加熱テーブルであって、載置されたキャリアプレート２４を所定温度まで予備加熱する。
かかる加熱テーブル１２の中央部に穿設された貫通孔２８に挿入されたシャフト２６の先端部には、キャリアプレート１２の裏面に当接して吸着する真空吸着手段等の吸着手段（図示せず）が設けられており、シャフト２６の後端部には、キャリアプレート２４の回転手段としてのパルスモータ３０が装着されている。
更に、パルスモータ３０の底部には、シリンダ装置３４のロッド３６の先端が当接しており、キャリアプレート２４及びパルスモータ３０を昇降可能としている。
【００１４】
図２（ａ）に示す加熱テーブル１２のキャリアプレート２４の載置面に開口された凹部３８には、センサとしての光フォトセンサ４０が設けられている。この光フォトセンサ４０は、キャリアプレート２４の裏面側に設けられたマーク３２を検出するためのものである。
かかるマーク３２は、光フォトセンサ４０によって検出でき、化学的、経年的に消失し難いものであればよく、キャリアプレート２４と色違いのセラミック材によって形成されたマーク３２、例えば、白色のキャリアプレート２４に黒色のセラミック材で形成したマーク３２であってもよい。また、マーク３２の表面にバーコードや丸印等の記号を形成し、キャリプレート２４の履歴等を知る上での手掛かりとなる情報を盛り込んでもよい。
この光フォトセンサ４０からの信号は、図１に示すウェーハの貼付装置の操作パネルに設けられたマイクロコンピュータ等から成る制御部４２が受信し、この信号に基づいて制御部４２からパルスモータ３０に制御信号が発信される。
【００１５】
図２に示す第２予備加熱テーブル１２で位置決めを行ったキャリアプレート２４は、位置決めされた状態を保持しつつ、移送装置２０によって貼付テーブル１４に移送される。
かかる移送装置２０を図３（ａ）（ｂ）に示す。図３（ａ）は、移送装置２０の部分正面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）の側面図である。図３に示す移送装置２０には、キャリアプレート２４の移送方向に沿って配設されたボールネジ（図示せず）が、駆動モータ（図示せず）によって正転方向又は逆転方向に回転可能に設けられている。このボールネジには、移動体４４が設けられており、ボールネジが正逆方向への回転によって、キャリアプレート２４の移送方向に沿って移動する。
かかる移動体４４には、移動体４４の移動方向に対して直角方向に突出し、後端部が固着されているアーム４６が設けられている。このアーム４６には、一対の保持具４８，４８が装着されている。かかる一対の保持具４８，４８は、図２に示す加熱テーブル１２で位置決めされたキャリアプレート２４を貼付テーブル１４に移送する際に、キャリアプレート２４の位置決め状態を保持するためのものである。
【００１６】
一対の保持具４８，４８の各々には、キャリアプレート２４の周縁部を載置する載置面がアーム４６と平行に設けられたＬ字状の移動板４８ａが、アーム４６に沿って移動可能に装着されている。かかる移動板４８ａの載置面には、キャリアプレート２４の位置決め状態を保持する保持板４８ｂが設けられており、保持板４８ｂの形状を図４（ａ）（ｂ）に示す。
図４（ａ）は保持板４８ｂの正面図であり、図４（ｂ）は保持板４８ｂの側面図である。保持板４８ｂは、図４（ａ）に示す様に、その一端縁がキャリアプレート２４の端縁形状に倣って凹状端縁５０に形成されていると共に、凹状端縁５０側には、図４（ａ）（ｂ）に示す様に、テーパ面５２に形成されている。
かかる保持板４８ｂは、一対の移動板４８ａ，４８ａの各載置面に、互いの凹状端縁５０が対向するように装着される。
尚、保持具４８，４８は、保持具４８，４８に設けられているボルト等のストッパ（図示せず）緩締することによって移動可能又は固定状態とすることができる。
【００１７】
かかる移送装置２０によって、位置決めされた状態を保持して貼付テーブル１４に移送されたキャリアプレート２４は、図５に示す様に、固定されている貼付テーブル１４上に載置される。貼付テーブル１４上に載置されたキャリアプレート２４の裏面は、貼付テーブル１４の中央部に穿設された貫通孔（図示せず）に挿入されたシャフト５０の先端部に設けられた、真空吸着手段等の吸着手段（図示せず）が当接して吸着される。このシャフト５０の後端部には、キャリアプレート２４の回転手段としてのパルスモータ５２が装着されている。
更に、パルスモータ５２の底部には、シリンダ装置５４のロッド５６の先端が当接しており、キャリアプレート２４及びパルスモータ５２を昇降可能としている。
このため、シリンダ装置５４を駆動してキャリアプレート２４及びパルスモータ５２を上昇することによって、キャリアプレート２４が貼付テーブル１４から離れるため、キャリアプレート２４をパルスモータ５２によって容易に回動できる。
【００１８】
この様に、貼付テーブル１４上に載置されたキャリアプレート２４には、上下方向に昇降可能に設けられた吸着部５８に吸着されたウェーハＷが載置される。
貼付テーブル１４上に載置され、所定箇所にウェーハＷ，Ｗ・・が載置されたキャリアプレート２４は、移送装置２０と直交方向に配設された移送装置２２によってプレステーブル１８に移送される。かかる移送装置２２は、移送装置２０と同一構成のため、ここでは詳細な説明を省略する。
また、プレステーブル１８には、プレステーブル１８に載置されたキャリアプレート２４の所定位置にウェーハＷ，Ｗ・・を確実に貼着すべく、ゴム等の弾性部材によって形成され、圧力流体によって所定圧力に調整されたバックが、キャリアプレート２４に載置されたウェーハＷ，Ｗ・・に当接し押圧可能とし得るように上下動可能に設けられている。
【００１９】
図１〜図４に示すウェーハの貼付装置を用いてキャリアプレート２４にウェーハＷ，Ｗ・・を貼付する際には、図２に示す第２予備加熱テーブル１２に所定温度に予備加熱されたキャリアプレート２４を載置した後、シリンダ装置３４を駆動して加熱テーブル１２の載置面からキャリアプレート２４を上昇させ、パルスモータ３０を駆動してキャリアプレート２４を回転する。かかるキャリアプレート２４の回転に伴なって、キャリアプレート２４の裏面側に設けられたマーク３２は、光フォトセンサ４０の上方を通過し、その際に、加熱テーブル１２に設けられた光フォトセンサ４０は、マーク３２を検知して検知信号を制御部４２に発信する。この光フォトセンサ４０からのマーク３２の検知信号を受信した制御部４２は、パルスモータ３０に駆動停止の信号を発信する。
回転が停止したキャリアプレート２４は、マーク３２の位置を基準にして所定位置に位置決めされており、位置決めされた状態を保持して図３（ａ）（ｂ）に示す移送装置２０によって貼付テーブル１４に移送される。
【００２０】
図３（ａ）（ｂ）に示す移送装置２０によって、図２に示す第２予備加熱テーブル１２で位置決めされたキャリアプレート２４を、貼付テーブル１４に移送する際には、先ず、保持板４８ｂ，４８ｂの各凹状端縁５０の全面がキャリアプレート２４の側周面に接触する様に、保持具４８，４８の位置調整を手動で行う。
更に、図３（ｂ）に示す様に、加熱テーブル１２の上方に位置するキャリアプレート２４の下面側に、保持具４８，４８の移動板４８ａ，４８ａの載置面が到達するように移動体４４の位置を、ボールネジを正逆回転させて調整する。
次いで、キャリアプレート２４を加熱テーブル１２の上方に上昇させているシリンダ装置３４（図２）を駆動し、キャリアプレート２４を降下することによって位置決めされた状態でキャリアプレート２４を、保持板４８ｂ，４８ｂの凹状端縁５０，５０の間に落とし込むことができる。
その後、ボールネジを正逆回転させて移動体４４を貼付テーブル１４まで移送する。かかる移送の際にも、キャリアプレート１４の側周面は保持板４８ｂ，４８ｂの凹状端縁５０，５０によって位置決めされており、キャリアプレート２４の位置決め状態は保持される。
【００２１】
移送装置２０によって貼付テーブル１４に移送されたキャリアプレート２４は、図５に示す様に、貼付テーブル１４上に載置されている。このキャリアプレート２４は、シリンダ装置５４を駆動してキャリアプレート２４を貼付テーブル１４から上昇させた後、ウェーハＷの貼付を予定している箇所がウェーハＷの吸着部５８の真下となるようにパルスモータ５２を回転する。
ウェーハＷの貼付予定箇所がウェーハＷの吸着部５８の真下に到達したとき、パルスモータ５２によるキャリアプレート２４の回転を停止した後、シリンダ装置５４を駆動しキャリアプレート２４を降下して貼着テーブル１４上に載置し、次いで、吸着部５８を降下してウェーハＷを載置する。ウェーハＷのキャリアプレート２４の載置面と接触する接触面には、ウェーハ全面でワックス層（接着剤層）が均一厚さに塗布されている。更に、他のウェーハＷの各々も、同様にしてキャリアプレート２４上の所定位置に載置する。
この様に、ウェーハＷ，Ｗ・・が所定位置に載置されたキャリアプレート２４は、移送装置２０と同様の構成の移送装置２２によって、プレステーブル１８上に移送され、キャリアプレート２４に載置されたウェーハＷ，Ｗ・・を確実に貼着した後、研磨工程に移送される。
【００２２】
ここで、実用新登録第２５６２０４４号公報に提案されている様に、繰り返して使用されるキャリアプレート２４の可及的に同一箇所にウェーハＷを貼付する場合、或いは特開平１１−３２０３９３号公報に提案されている様に、キャリアプレート２４に、貼付するウェーハＷの貼付位置を定期的に順次変位する場合であっても、図２に示す加熱テーブル１２で調整できる。
つまり、加熱テーブル１２に設けられた光フォトセンサ４０が、キャリアプレート２４の裏面側に設けられたマーク３２を検知した検知信号を受信した制御部４２から、パルスモータ３０に駆動停止の信号を発信するタイミングを調整することによって、キャリアプレート２４を所望の位置で停止できる。
この様に、図１〜図４に示すウェーハの貼付装置によれば、所望の箇所でキャリアプレート２４の位置決めを行うことができる。
しかも、キャリアプレート２４の位置決めを、工程時間が他の工程に比較して長い予備加熱工程で行うため、従来のウェーハの貼付工程でキャリアプレート２４の位置決めを行う場合に比較して、貼付工程の工程時間を短縮できる。
【００２３】
ところで、制御部４２からの停止信号によってパルスモータ３０の駆動が停止されても、回転しているキャリアプレート２４は、その慣性力によって、停止するまで所定距離回転する。このため、パルスモータ３０の駆動停止からキャリアプレート２４の回転停止までの距離を可及的に短くすることによって、キャリアプレート２４の位置決めを正確に行うことができる。
このためには、制御部４２のキャリアプレート２４に幅広のマーク３２を設け、パルスモータ３０（以下、単にモータ３０と称することがある）を、制御部４２によって図６に示す制御を行うことが好ましい。すなわち、制御部４２からの駆動信号によって、モータ３０を駆動しキャリアプレート２４を所定の回転速度で回転する（ステップＳ１、ステップＳ２）。
キャリアプレート２４が所定の回転速度に到達した後、加熱テーブル１２に設けられた光フォトセンサ４０が、キャリアプレート２４に設けられた幅広のマーク３２の一端を検出したか否かを判断する（ステップＳ３）。ここで、光フォトセンサ４０が幅広のマーク３２の一端を検出したとき、光フォトセンサ４０からの信号に基づき、制御部４２はキャリアプレート２４の回転速度を低速とする信号をモータ３０に発信する（ステップＳ４）。他方、ステップＳ４で光フォトセンサ４０が幅広のマーク３２の一端を検出していないと判断したときは、所定の回転速度でキャリアプレート２４の回転を続行する。
【００２４】
次いで、ステップＳ４で発信された信号に基づいて回転数が低下されて回転するキャリアプレート２４の幅広のマーク３２の他端が、加熱テーブル１２に設けられた光フォトセンサ４０が幅広のマーク３２の他端を検出したか否かを判断する（ステップＳ５）。ここで、光フォトセンサ４０が幅広のマーク３２の他端を検出したとき、光フォトセンサ４０からの信号に基づき、制御部４２はキャリアプレート２４の回転を停止する信号をモータ３０に発信する（ステップＳ６）。他方、ステップＳ５で光フォトセンサ４０が幅広のマーク３２の他端を検出していないと判断したときは、低速回転数でキャリアプレート２４の回転を続行する。
この様に、キャリアプレート２４の回転停止を行うことによって、回転するキャリアプレート２４の慣性力によるキャリアプレート２４の停止位置のズレを可及的に少なくできる。
【００２５】
以上、述べてきた図１〜図６に示すウェーハの貼付装置では、キャリアプレート２４の位置決めを加熱テーブル１２で行っているが、キャリアプレート２４の位置決めを予備加熱工程で行う限り、加熱ヒータ等の加熱源が内臓されていないテーブルでキャリアプレート２４の位置決めを行ってもよい。
また、図１に示す第１予備加熱テーブル１０でキャリアプレート２４の位置決めを行ってもよい。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によれば、他の工程に比較して工程時間の長い予備加熱でキャリアプレートの位置決めを行うため、ウェーハの貼付工程では、位置決めされたキャリアプレートへのウェーハの載置のみを行うことで足りる。このため、貼付テーブルでキャリアプレートの位置決めとウェーハの貼付とを行っていた従来のウェーハの貼付方法に比較して、ウェーハの貼付に要する時間の短縮を図ることができる。その結果、ウェーハの研磨工程のうち、準備工程の工程時間を短縮でき、研磨工程全体の工程時間の短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハの貼付装置の概略を説明する概略図である。
【図２】図１に示すウェーハの貼付装置を構成する第２予備加熱テーブルを説明するための斜視図である。
【図３】ウェーハを移送する移送装置について説明する部分正面図である。
【図４】移送装置を構成する保持具の保持板を説明する正面図及び側面図である。
【図５】図１に示すウェーハの貼付装置を構成する貼付テーブルを説明するための斜視図である。
【図６】本発明に係るウェーハの貼付方法の他の態様を説明するためのフローチャートである。
【図７】従来のウェーハの貼付装置を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１２  第２予備加熱テーブル（固定加熱テーブル）
１４  貼付テーブル
１８  プレステーブル
２０，２２  移送装置（移動手段）
２４  キャリアプレート
２６，５０  シャフト
３０，５２  パルスモータ（回転手段）
３２  マーク
３４，５２  シリンダ装置
３６，５６  ロッド
４０  光フォトセンサ（検出手段）
４２  制御部（制御手段）
４４  移動体
４６  アーム
４８  保持具
４８ａ  移動板
４８ｂ  保持板
５０  凹状端縁
５８  吸着部
【図１】
0004663133.tif 000002
【図２】
0004663133.tif 000003
【図３】
0004663133.tif 000004
【図４】
0004663133.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004663133.tif 000007
【図７】
0004663133.tif 000008