(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
固形成分と液体成分とが混在した廃液を、前記固形成分と前記液体成分とに分離して、前記固形成分と前記液体成分とをそれぞれ再利用する廃液のリサイクル方法であって、
薄膜蒸発装置を用いて前記廃液の前記液体成分を蒸発させて前記固形成分の濃縮液を生成する濃縮工程と、前記濃縮液に、廃液を遠心分離することによって得られた固形スラッジを加えた混合液を、攪拌乾燥装置を用いて乾燥させて前記固形成分を得る乾燥工程と、前記濃縮工程及び前記乾燥工程において排出される気化された前記液体成分を液化して回収する回収工程とを有することを特徴とする廃液のリサイクル方法。
【請求項２】
前記攪拌乾燥装置は、筒状をなす容器と、該容器に回転自在に挿通されるとともに軸方向及び周方向に間隔をあけて設けられた複数の攪拌羽根を有する攪拌ロータと、前記容器内に遊動自在に挿入された円柱状の遊動棒とを備え、前記複数の攪拌羽根のうち少なくとも２つが、前記攪拌ロータを回転させたときに、前記容器の内周面に接触している前記遊動棒に対して、該遊動棒の軸線に前記攪拌ロータの径方向内方に向かう力が生じるように送り出す掬部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の廃液のリサイクル方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固形成分と液体成分とが混在した廃液を、固形成分と液体成分とに分離して、それぞれ再利用を図る廃液のリサイクル方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固形成分と液体成分とが混在した廃液の一例として、半導体ウエハなどの電子部品素材の切断加工時や研磨加工時に排出される廃クーラントが挙げられる。半導体ウエハの切断加工及び研磨加工においては、クーラント液を流して半導体ウエハを冷却しつつ硬質材料で構成された研磨剤を添加しており、廃クーラントは、液体成分であるクーラント液に固形成分として研磨剤や半導体ウエハの加工屑が混在したものである（特許文献１参照）。
【０００３】
従来、このような廃クーラントは産業廃棄物として処理されており、この廃棄物の処理に多大なコストが掛かるだけでなく、環境に対する負荷も大きくなるため、問題となっていた。
そこで、半導体ウエハの切断・研磨工程で発生する廃液を、固形成分である研磨剤および加工屑と液体成分であるクーラント液とに分離して、再利用を図る廃液のリサイクル方法が提案されている（特許文献２参照）。
【０００４】
この廃液のリサイクル方法では、研磨剤および加工屑とクーラント液とが混在した廃液に希釈液を加えて低粘性化させた後に遠心分離することにより、固形成分を多く含有する固形スラッジと液体成分とに分離し、得られた固形スラッジの残留液体成分を気化せしめて固形成分を乾燥粉末化する蒸留乾燥工程を有するものであり、この蒸留乾燥には固形スラッジを振動させつつ加熱する振動乾燥装置が用いられている。
【０００５】
この廃液のリサイクル方法では、廃液中の固形成分をクーラント液から分離して回収することができ、こうして得られた固形成分を、例えば鋳型の離型剤などとして再利用することができるものである。
【特許文献１】特開平１１−１９８０１６号公報
【特許文献２】特開２００３−２２５７００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記の廃液のリサイクル方法では、まず、廃液を遠心分離することによって例えば固形成分が８５％程度の固形スラッジを得ているが、遠心分離しただけでは、分離された液体成分に固形成分が微量ながら混じってしまうおそれがあり、せっかく分離した液体成分を有効に再利用できなくなってしまうといった問題があった。
また、固形成分を多く含有する固形スラッジを乾燥させる際に振動乾燥装置が使用されている。この振動乾燥装置は、容器内に装入された固形スラッジを振動させることで加熱された容器の内壁との接触を促進して、乾燥効率を向上させたものであるが、振動によって固形スラッジを動かしているのみであり、固形スラッジを効率良く乾燥させることができないものであった。
【０００７】
本発明は、前述の事情に鑑みてなされたものであって、液体成分と固形成分とが混在した廃液を、固形成分と液体成分とに効率良く分離できるとともに、液体成分を純度良く回収でき、固形成分および液体成分ともに再利用できる廃液のリサイクル方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、固形成分と液体成分とが混在した廃液を、前記固形成分と前記液体成分とに分離して、前記固形成分と前記液体成分とをそれぞれ再利用する廃液のリサイクル方法であって、薄膜蒸発装置を用いて前記廃液の前記液体成分を蒸発させて前記固形成分の濃縮液を生成する濃縮工程と、前記濃縮液に、廃液を遠心分離することによって得られた固形スラッジを加えた混合液を、攪拌乾燥装置を用いて乾燥させて前記固形成分を得る乾燥工程と、前記濃縮工程及び前記乾燥工程において排出される気化された前記液体成分を液化して回収する回収工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
この構成の廃液のリサイクル方法は、薄膜蒸発装置を用いて固形成分の濃縮液を生成する濃縮工程を有する。薄膜蒸発装置とは、円筒状の胴体を有し、この胴体の内部に胴体の内壁と僅かな隙間を保った状態で高速回転される回転羽根が備えられ、胴体の外側には、胴体を加熱するジャケットが配置されたものである。胴体内に廃液が供給されると、回転羽根の回転による遠心力によって回転羽根と胴体内壁との僅かな隙間に薄い液膜を形成し、胴体内壁との接触により加熱されて液体成分が蒸発して、固形成分の濃縮液が生成されるものである。
【００１０】
また、濃縮工程で得られた濃縮液に固形スラッジを加えた混合液を乾燥させる乾燥工程では、攪拌乾燥装置を用いている。この攪拌乾燥装置は、円筒状をなす容器とこの容器に対して回転自在に挿通され、攪拌羽根を有する攪拌ロータとを備えたものである。この攪拌乾燥装置では、筒状をなす容器内に前記混合液を供給し、この混合液を攪拌ロータによって攪拌しながら乾燥を行うものである。
【００１１】
請求項２記載の廃液のリサイクル方法は、前記攪拌乾燥装置として、筒状をなす容器と、該容器に回転自在に挿通されるとともに軸方向及び周方向に間隔をあけて設けられた複数の攪拌羽根を有する攪拌ロータと、前記容器内に遊動自在に挿入された円柱状の遊動棒とを備え、前記複数の攪拌羽根のうち少なくとも２つが、前記攪拌ロータを回転させたときに、前記容器の内周面に接触している前記遊動棒に対して、該遊動棒の軸線に前記攪拌ロータの径方向内方に向かう力が生じるように送り出す掬部を備えた構成の攪拌乾燥装置を使用することを特徴とする。
【００１２】
この構成の廃液のリサイクル方法では、乾燥工程で用いられる攪拌乾燥装置が、遊動棒を容器内部に備え、この遊動棒を容器内で遊動させる掬部が設けられた構成とされているので、攪拌ロータや容器内壁に付着した固形成分などを遊動棒で擦り落とすことができ、攪拌ロータの回転が固形成分の付着によって妨げられることがない。また、掬部で遊動棒を移動させることによって、遊動棒が押し上げられる際に遊動棒が容器内周面を押圧して異音や振動を生じることを防止でき、攪拌乾燥を安定して行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に係る発明によれば、廃液の液体成分を蒸発させて濃縮させる濃縮工程に薄膜蒸発装置を用いているので、廃液を薄い液膜とした状態で胴体の内壁面と接触させることができ、胴体からの伝熱効率が向上され、廃液の濃縮を効率良く行うことができる。また、液体成分を蒸発させた後に液化して回収するので、液体成分に固形成分が混じることがなく、液体成分を純度良く分離することができる。
また、濃縮液と固形スラッジとの混合液の乾燥工程に攪拌乾燥装置を用いているので、混合液の乾燥を効率良く行うことができる。また、この乾燥工程においても、液体成分を気化させて分離するので、液体成分を純度良く分離することができる。
【００１４】
請求項２に係る発明によれば、攪拌ロータや容器内壁に固形成分が付着することなく、安定して攪拌乾燥を行うことができるので、混合液の乾燥をさらに効率良く行うことができる。とくに、固形成分が塊状になり易いものである場合には、回転体や容器内壁に固形成分が固着して攪拌ロータが回転できなくなるおそれがあるので、遊動棒を備えた攪拌乾燥装置を用いることが好ましい。
【００１５】
このように、本発明によれば、液体成分と固形成分とが混在した廃液を、固形成分と液体成分とに効率良く分離できるとともに、液体成分を純度良く回収でき、固形成分および液体成分ともに再利用できる廃液のリサイクル方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施形態について添付した図面を参照して説明する。図１に本発明の実施形態である廃クーラントのリサイクル方法の一例を示す。
この廃クーラントＷのリサイクル方法１は、クーラント液に研磨剤や加工屑が混入した廃クーラントＷ（本実施形態では、クーラント液に１％の固形成分が混入した廃クーラントＷ）を処理するものである。
【００１７】
まず、薄膜蒸発装置１０を用いて廃クーラントＷの液体成分２Ｂを蒸発させて固形成分を濃縮する濃縮工程２を行う。この濃縮工程２で使用される薄膜蒸発装置１０を図２および図３に示す。
薄膜蒸発装置１０は、円筒状をなす胴体１１と、この胴体１１の内部に配置された回転羽根２０と、この回転羽根２０を回転する駆動部２６とを有する。
【００１８】
胴体１１は、円筒状をなす円筒体１２とその円筒体１２の両端の開口部を塞いだ側面部１３Ａ、１３Ｂとを有する。胴体１１の一端側（図２において左側）には、廃クーラントＷを胴体１１内に供給する廃クーラント供給口１４が形成され、胴体１１の他端側（図２において右側）には、下方側壁面に貫通された濃縮液製出口１５が形成されるとともに、上方側壁面に貫通されたベーパ出口１６が形成されている。このベーパ出口１６には、気体と液体とを分離するデミスタ１６Ａが装備されている。
【００１９】
また、胴体１１の外周面には、前記一端側から濃縮液製出口１５の手前側までの部分にかけて胴体１１を加熱する流体（本実施形態では高温水蒸気）が流通されるジャケット１７が設けられている。このジャケット１７の一端側には高温水蒸気の流入させるためのスチーム入口１８が設けられ、ジャケット１７の他端側には下方側壁面に貫通されたドレン出口１９が設けられている。
【００２０】
胴体１１の内部に配置された回転羽根２０は、円柱状の軸部２１を有しており、この軸部２１の軸線が円筒体１２の軸線と一致するように配置されており、軸部２１の一端側および他端側が側面部１３Ａ、１３Ｂから突出されている。軸部２１の一端側は、胴体１１の一端側側面部１３Ａの外側に設けられた従動軸受部２２によって回転自在に支持されており、軸部２１の他端側は、胴体１１の他端側側面部１３Ｂの外側に設けられた主動軸受部２３によって回転自在に支持されている。この主動軸受部２３から突出された軸部２１の他端側にプーリー２７が備えられ、このプーリー２７がベルト２８を介してモータ２９に接続されており、これらプーリー２７とベルト２８とモータ２９とが駆動部２６を構成している。
【００２１】
軸部２１の外周面の一端側には、軸部２１の径方向外側に向けて延びて胴体１１（円筒体１２）の内周面１２Ａ近傍まで達する支柱部２４が周方向に複数（本実施形態では、図３に示すように６本）設けられている。回転羽根２０は、この支柱部２４の最も径方向外側の部分を繋ぐように形成された円筒羽根部２５を有しており、この円筒羽根部２５がなす円筒の軸線と円筒体１２の軸線とが一致するように形成されている。
また、図２に示すように、円筒羽根部２５は胴体１１の一端側から前記ジャケット１７が配置された部分に形成されており、前記濃縮液製出口１５が形成された部分から他端側には、円筒羽根部２５が形成されておらず軸部２１のみが配置されていることになる。
【００２２】
この薄膜蒸発装置１０では、ジャケット１７のスチーム入口１８から高温水蒸気が供給され、胴体１１の円筒体１２が加熱される。高温水蒸気は円筒体１２に熱を奪われることで水（液体）となり、ジャケット１７の他端側下方壁面に形成されたドレン出口１９から排出される。
また、回転羽根２０が駆動部２６によって軸部２１の軸線回りに回転されており、円筒羽根部２５が設けられた部分では、胴体１１の円筒体１２の内周面と円筒羽根部２５の外周面との間に僅かな隙間Ｓが形成されている。
【００２３】
廃クーラント供給口１４から胴体１１内部に廃クーラントＷが供給されると、この廃クーラントＷは円筒体１２の内周面と回転する円筒羽根部２５の外周面との前記隙間Ｓに薄い液膜を形成することになる。このように薄い液膜となった廃クーラントＷが、高温水蒸気によって加熱されている円筒体１２と接触することになり、廃クーラントＷ中の液体成分２Ｂが蒸発・気化され、固形成分が濃縮された濃縮液２Ａが生成されることになる。ここで、本実施形態では、この濃縮工程２において、廃クーラントＷのうちの５０％を占める液体成分２Ｂが蒸発され、濃縮液２Ａは元の廃クーラントＷのうちの液体成分を４９％、固形成分１％を含有したものとされる。
生成された濃縮液２Ａは、胴体１１の他端側の下方側壁面に形成された濃縮液製出口１５から取り出され、気化された液体成分２Ｂがベーパ出口１６から排出される。
【００２４】
次に、前記濃縮工程２で得られた濃縮液２Ａに固形スラッジを加えた混合液を、攪拌乾燥装置３０を用いて乾燥して固形成分からなる乾燥製品３Ａを得る乾燥工程３を行う。この乾燥工程３で使用される攪拌乾燥装置３０を図４から図８に示す。
攪拌乾燥装置３０は、図７および図８に示すように、円筒状をなす容器３１と、この容器３１に回転自在に配置された攪拌ロータ４０と、容器３１内に遊動自在に配置された遊動棒５０とを有する。
【００２５】
容器３１は、基台上に横置きされて両端に側壁部３２Ａ、３２Ｂが設けられた容器本体３３と、容器本体３３の外周を覆うように設けられたジャケット（図示略）とを備えている。
容器本体３３は円筒状をなしており、一方の端部（図４において右側）の上部に濃縮液２Ａ及び固形スラッジを供給する原料入口３４が設けられており、容器本体３３のほぼ中央の底部に濃縮液２Ａと固形スラッジとの混合液が乾燥されて得られる乾燥製品３Ａを製出する製出口３５が設けられている。また、容器本体３３のほぼ中央の上部には、真空装置（図示略）に接続されるバグフィルタ３６が設けられている。
【００２６】
攪拌ロータ４０は、図５から図８に示すように、外形が円柱状をなす攪拌ロータ本体４１と、攪拌ロータ４０の軸方向及び周方向に設けられた複数の攪拌羽根４２とによって構成されており、容器３１の外部に設けられた駆動源（図示略）によって、矢印Ａ方向に回転自在とされている。
また、攪拌ロータ本体４１の内部には、熱媒としての高温水蒸気が導入可能である流路（図示略）が形成されている。
【００２７】
複数の攪拌羽根４２は、図５および図６示すように、攪拌ロータ本体４１の周面であって、攪拌ロータ本体４１の周面上の螺旋状軌跡と直線状軌跡との交点上に、攪拌ロータ本体４１の軸方向及び周方向に間隔をあけて設けられている。この螺旋状軌跡は、攪拌ロータ本体４１のほぼ中央に向けて、攪拌ロータ本体４１の両端からそれぞれ、図５または図６に示す矢印Ａ方向となるように配置されている。また、直線状軌跡は、攪拌ロータ本体４１の軸線と平行であって攪拌ロータ本体４１の周面の４箇所で、周方向等間隔となるように配置されている。そして、直線状軌跡上に配置された攪拌羽根４２と隣接する他の直線状軌跡上に配置された攪拌羽根４２との間に、その軸線が攪拌ロータ本体４１の軸線と平行に配置された円柱状の遊動棒５０が備えられている。
【００２８】
攪拌羽根４２は、図５および図６に示すように、攪拌ロータ本体４１に接続される基端から攪拌ロータ本体４１の径方向外方の先端に向けて漸次細くなるように形成された板状部材であって、断面台形状を有している。そして、攪拌羽根４２は、攪拌ロータ４０が矢印Ａ方向に回転するときに、回転方向前方の面４２ａにおける攪拌ロータ４０の径方向外方の端辺が回転方向に対して垂直となるように形成されている。また、攪拌羽根４２の回転方向後方の面４２ｂにおける攪拌ロータ４０の径方向外方の端辺において、攪拌ロータ本体４１の中央に近接する一方の辺が他方の辺よりも回転方向前方に位置しており、回転方向後方の面４２ｂが攪拌ロータ本体４１の中央を向くように傾斜して形成されている。
【００２９】
また、攪拌羽根４２は中空となっており、攪拌ロータ本体４１の流路と接続されている。これにより、攪拌ロータ本体４１内を流通する高温水蒸気が攪拌羽根４２内にも流通することとなり、攪拌羽根４２が加熱される。また、同一の直線状軌跡上に設けられた複数の攪拌羽根４２のうち少なくとも１つの攪拌羽根４２の先端には、掬部材４３が設けられている。
【００３０】
この掬部材４３は、板状部材であって、攪拌羽根４２の攪拌ロータ４０の軸方向における側面のいずれか一方に設けられている。また、この掬部材４３は、攪拌ロータ４０の径方向外方の一端である先端から径方向内方に向けてその幅が漸次狭くなるように形成されている台形状となっている。掬部材４３は、攪拌ロータ４０がＡ方向に回転することによって、容器本体３３の内周面３３Ａと接触している遊動棒５０を回転方向よりも攪拌ロータ４０の径方向外方に向けてではなく、遊動棒５０の軸線に攪拌ロータ４０の径方向内方に向かう力が生じるよう遊動棒５０を掬うように送り出す。
【００３１】
この攪拌乾燥装置３０では、次のようにして濃縮液２Ａ及び固形スラッジの混合液が乾燥される。まず、熱媒である高温水蒸気を攪拌ロータ本体４１内に導入する。これにより、複数の攪拌羽根４２は、内部を流通する高温水蒸気によって加熱される。また、容器本体３３外周面に設けられたジャケットにも熱媒として高温水蒸気を導入することによって容器本体３３が加熱される。さらに、バグフィルタ３６に接続された真空装置によって容器３１内部を減圧する。この状態で攪拌ロータ４０を矢印Ａ方向に回転させる。
【００３２】
そして、原料入口３４から濃縮液２Ａ及び固形スラッジを容器３１内に供給する。供給された濃縮液２Ａ及び固形スラッジは混合された状態で、容器本体３３の下側の内周面３３Ａ上に載置され、攪拌ロータ４０が回転することによって攪拌される。また、濃縮液２Ａ及び固形スラッジの混合液は、高温水蒸気によって加熱されている攪拌羽根４２や容器本体３３の内周面３３Ａと接触することにより乾燥される。このとき、混合液を攪拌、乾燥する途中で混合液の固形成分が塊状となって攪拌羽根４２や容器本体３３の内周面３３Ａに付着することがある。
【００３３】
ここで、攪拌羽根４２が垂直下向きの状態から水平状態に移行する際、遊動棒５０は攪拌羽根４２に支持されながら容器本体３３の内周面３３Ａに沿って押し上げられる。このとき、遊動棒５０は、移動しながら容器本体３３の内周面３３Ａに付着している固形成分を脱落させる。
ここで、攪拌羽根４２が遊動棒５０を容器本体３３の内周面３３Ａに沿って押し上げるが、掬部材４３は、攪拌ロータ４０が回転することにより遊動棒５０の軸線に攪拌ロータ４０の径方向内方に向かう力が生じるよう掬うようにして送り出す。すなわち、掬部材４３によって、遊動棒５０が容器本体３３の内周面３３Ａに向けて押圧されることが回避されるのである。
【００３４】
次に、攪拌羽根４２が水平状態から垂直上向きの状態に移行する際、遊動棒５０が攪拌羽根４２における回転方向前方の面４２ａに沿って攪拌ロータ４０の径方向外方から攪拌ロータ４０の軸線に向かって移動する。このとき、遊動棒５０は、移動しながら攪拌羽根４２における回転方向前方の面４２ａに付着している固形成分を脱落させる。
その後、攪拌羽根４２が垂直上向きの状態から水平状態に移行する際、遊動棒５０が回転方向前方に配置された攪拌羽根４２における回転方向後方の面４２ｂに沿って攪拌ロータ４０の軸線から攪拌ロータ４０の径方向外方に向かって移動し、容器本体３３の内周面３３Ａと接触する。このとき、遊動棒５０は、移動しながら攪拌羽根４２における回転方向後方の面４２ｂに付着している固形成分を脱落させる。
【００３５】
続いて、攪拌羽根４２が水平状態から垂直下向きの状態に移行する際、遊動棒５０が攪拌羽根４２に支持されながら容器本体３３の内周面３３Ａに沿って下方に移動する。このとき、遊動棒５０は、移動しながら容器本体３３の内周面３３Ａに付着している固形成分を脱落させる。
そして、攪拌羽根４２が垂直下向きの状態から水平状態に移行する際、遊動棒５０が容器本体３３の内周面３３Ａの底部に残されるが、上述したように、回転方向後方に位置する攪拌羽根４２によって容器本体３３の内周面３３Ａに沿って押し上げられる。
【００３６】
このように濃縮液２Ａ及び固形スラッジの混合液を攪拌しながら乾燥することにより、固形成分が乾燥された乾燥製品３Ａが得られ、製出口３５から製出される。この乾燥製品３Ａは液体成分がほとんど除去されており、元の廃クーラントＷのうちの固形成分１％と固形スラッジの固形成分とから構成されることになる。
乾燥によって除去された液体成分３Ｂはバグフィルタ３６を通じて容器３１外部に排出されることになる。
【００３７】
次に、濃縮工程２で排出された液体成分２Ｂおよび乾燥工程３で排出された液体成分３Ｂを回収して液化する回収・液化工程４について説明する。濃縮工程２で排出された液体成分２Ｂおよび乾燥工程３で排出された液体成分３Ｂは、ともに気体状態で存在することになる。回収・液化工程４では、これらの気体を回収して冷却することにより、気体となった液体成分２Ｂ、３Ｂを液化して回収するのである。ここで回収されたクーラント液４Ａは、元の廃クーラントＷのうちの液体成分９９％から構成され、固形成分を全く含有していないものとなる。
【００３８】
本実施形態による廃クーラントＷのリサイクル方法１では、固形成分を濃縮する濃縮工程２において薄膜蒸発装置１０を使用しており、廃クーラントＷを薄い液膜の状態にして加熱された胴体１１の内周面１２Ａに接触させることができるので、液体成分２Ｂの蒸発が促進され、固形成分の濃縮を効率良く行うことができる。また、液体成分２Ｂの加熱および蒸発が短時間で行われるので、液体成分２Ｂであるクーラントの熱による変質を防止できる。
【００３９】
また、濃縮液２Ａ及び固形スラッジの混合液を乾燥させる乾燥工程３において攪拌乾燥装置３０を使用しており、混合液を十分に攪拌することができ、混合液の乾燥を効率良く行うことができる。また、この攪拌乾燥装置３０の容器３１内部に遊動棒５０が設けられているので、混合液を乾燥させている途中で固形成分が攪拌ロータ４０や容器３１内周面３３Ａに付着した場合に、この遊動棒５０によって固形成分を擦り落とすことができ、攪拌ロータ４０の回転が妨げられず、混合液の乾燥を確実にかつ効率良く行うことができる。
また、この攪拌乾燥装置３０には、遊動棒５０を容器３１内で遊動させる掬部材２３が設けられているので遊動棒５０が押し上げられる際に遊動棒５０が容器３１内周面３３Ａを押圧して異音や振動を生じることを防止でき、攪拌乾燥を安定して行うことができる。
【００４０】
また、濃縮工程２および乾燥工程３において、液体成分２Ｂ、３Ｂであるクーラントを気化して排出しており、この気化した液体成分２Ｂ、３Ｂを回収して液化することによって、固形成分が混入しない純度の高いクーラント液４Ａを得ることができる。
本実施形態に係る廃クーラントＷのリサイクル方法１によって得られたクーラント液４Ａは、純度が高く再度クーラント液として再利用することができる。また、固形成分の乾燥製品３Ａには、研磨剤と加工屑とが混在した状態であるが、仕上げ加工前の荒加工時の研磨剤として、あるいは鋳型の離型剤として再利用することができる。
このように本実施形態によれば、廃クーラントＷを、固形成分である乾燥製品３Ａと液体成分であるクーラント液４Ａとに効率良く分離できるとともに、クーラント４Ａを純度良く回収でき、固形成分である乾燥製品３Ａおよびクーラント液４Ａともに再利用することができる。
【００４１】
なお、本実施形態では、クーラント液に研磨剤や加工屑が混入した廃クーラントのリサイクル方法として説明したが、これに限定されることはなく、他の廃液の液体成分と固形成分とを分離するリサイクル方法であってもよい。
また、クーラント液に１％の固形成分が混入した廃クーラントを処理するリサイクル方法として説明したが、これに限定されることはなく、薄膜蒸発装置に装入できる程度に固形成分が混入された廃液であればよい。
【００４２】
また、濃縮工程に使用される薄膜蒸発装置や乾燥工程に使用される攪拌乾燥装置に、減圧手段を設けて胴体内を減圧した状態で濃縮や乾燥を行っても良い。この場合には、大気圧で行う場合よりも低温で液体成分を蒸発させることができ、濃縮及び乾燥をさらに効率よく行うことができるとともに、液体成分の熱による変質を防止することできるので好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態である廃クーラントのリサイクル方法の工程を示す工程図である。
【図２】図１の濃縮工程で用いられる薄膜蒸発装置の側面断面図である。
【図３】図２におけるＸ−Ｘ断面図である。
【図４】図１の乾燥工程で用いられる攪拌乾燥装置の側面部分断面図である。
【図５】図４に示す攪拌乾燥装置に備えられた攪拌ロータの側面図である。
【図６】図５の攪拌ロータに設けられた攪拌羽根の配置状態を示す展開図である。
【図７】図４におけるＹ−Ｙ断面図である。
【図８】図４の攪拌ロータを回転させた状態でのＹ−Ｙ断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  廃クーラントのリサイクル方法（廃液のリサイクル方法）
２  濃縮工程
２Ａ  濃縮液
３  乾燥工程
３Ａ  乾燥製品（固形成分）
４  回収・液化工程（回収工程）
４Ａ  クーラント液（液体成分）
１０  薄膜蒸発装置
３０  攪拌乾燥装置
３１  容器
３３Ａ  内周面
４０  攪拌ロータ
４２  攪拌羽根
４３  掬部材（掬部）
５０  遊動棒
Ｗ  廃クーラント（廃液）
【図１】
0004607005.tif 000002
【図２】
0004607005.tif 000003
【図３】
0004607005.tif 000004
【図４】
0004607005.tif 000005
【図５】
0004607005.tif 000006
【図６】
0004607005.tif 000007
【図７】
0004607005.tif 000008
【図８】
0004607005.tif 000009