(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、
前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダと、
前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、
前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程及び前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記気体供給手段からの単位時間あたりの気体の供給量が異なるように、前記気体供給手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、
前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダと、
前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、
前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程または前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程の少なくともいずれか一方の工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程において前記気体供給手段により前記ディスク面空間に気体を供給させながら、前記気体吸引手段により前記密閉空間の気体を吸引させて、前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように、前記気体供給手段及び前記気体吸引手段を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項３】
請求項１または２の磁気転写装置において、
前記被転写用ディスクは、前記第１マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第１ディスクホルダに保持され、
前記気体供給手段は、前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つの磁気転写装置において、
前記気体供給手段は、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面のうち前記被転写用ディスクが径方向について前記第２マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つの磁気転写装置において、
前記気体供給手段の気体送出口は、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかに形成されていること、
を特徴とする磁気転写装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１つの磁気転写装置において、
機械的外力を付与する機械的外力付与手段を有し、
前記制御手段は、前記機械的外力付与手段により機械的外力を付与して、前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように制御すること、
を特徴とする磁気転写装置。
【請求項７】
第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項８】
第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項９】
請求項７または８の磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクは前記第１マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第１ディスクホルダに保持され、
前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか１つの磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面のうち前記被転写用ディスクが径方向について前記第２マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか１つの磁気転写方法において、
前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかより前記ディスク面空間に気体を供給すること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれか１つの磁気転写方法において、
前記密着狭持工程では、機械的外力を付与して前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写方法。
【請求項１３】
磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、
を特徴とする磁気転写用被転写媒体製造方法。
【請求項１４】
磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、
前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、
前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、
前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、
前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、
前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、
前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、
を特徴とする磁気転写用被転写媒体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気転写用被転写媒体製造方法に係り、特にハードディスク装置等に用いられる被転写媒体に、マスターディスクからフォーマット情報等の磁気情報パターンを転写する磁気転写技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法（磁気転写）が効率的であり、好ましい。
【０００３】
この磁気転写にあたっては、マスターディスクを保持するディスクホルダを２つ設け、各々のディスクホルダはマスターディスクを保持し、一方のディスクホルダを稼動させて他方のディスクホルダに接近させて２枚のマスターディスクでスレーブディスクを挟み込む。すると、各々のディスクホルダの凹部で形成される空間は、シール材としてのＯ−リングで密閉される。
【０００４】
そして、この状態で２枚のマスターディスクとスレーブディスクの内周部および外周部の空間のエアを真空吸引する。そして、２枚のマスターディスクとスレーブディスクの接触面に部分的に滞留していたエアがディスクの内周側および外周側に排出され、接触面に隙間がなくなる。そのため、スレーブディスクは２枚のマスターディスクで密着狭持される。そしてその後、マスターディスクからスレーブディスクへ磁気転写を行う。
【特許文献１】特開２００６−１９６１２０号公報
【特許文献２】特開２００４−７９０２７号公報
【特許文献３】特開２００４−１０３１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ディスクホルダの凹部で密閉空間を形成した状態からディスク（２枚のマスターディスクとスレーブディスクの両方を含む）の内周部および外周部の空間のエアを真空吸引すると、吸着保持していたディスクの吸着保持力が減少する。そのため、ディスク位置が移動して、２枚のマスターディスクとスレーブディスクの中心の位置がずれる。したがって、転写信号がスレーブディスクの中心に対して偏芯した状態で磁気転写されるおそれがある。
【０００６】
特に、コンタミ汚染防止の観点からスレーブディスクをマスターディスク以外とは非接触で吸着保持している場合には、常にエアが吸引され続けるため、スレーブディスクのマスターディスクに接する面の反対面側が負圧になりディスクの位置ずれが生じやすい。
【０００７】
また、ディスクホルダを開ける時、通常はスレーブディスクが保持側（固定側）のディスクホルダに残るが、鏡面どうしの密着により非保持側（可動側）に持って行かれ、装置が異常停止するおそれがある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ディスクホルダの閉時においてディスクの位置ずれの発生を防止し、ディスクホルダの開時においてスレーブディスクが可動側のディスクホルダ側に持って行かれることを防止する磁気転写装置、磁気転写方法及び当該磁気転写方法を用いた磁気転写用被転写媒体製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために本発明の磁気転写装置は、第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダと、前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、前記移動手段により前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程及び前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記気体供給手段からの単位時間あたりの気体の供給量が異なるように、前記気体供給手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、被転写用ディスクの第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するので、第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が与えられ、被転写用ディスクは移動しない。そのため、第１マスターディスクと第２マスターディスクにより被転写用ディスクを密着狭持した時に、被転写用ディスクの中心の位置と第１マスターディスクおよび第２マスターディスクの中心の位置とが合わされた状態で維持される。
【００１１】
また、第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が与えられ、被転写用ディスクは、第２ディスクホルダ側に持っていかれることなく、第１ディスクホルダ側に残らせることができる。さらに、密着狭持工程と密閉空間開放工程の各工程に適した気体の供給量を設定することができる。また、前記目的を達成するために本発明の磁気転写装置は、第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写装置であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダと、前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させる移動手段と、前記移動手段により前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダを相対的に移動させて接近させることにより前記第１ディスクホルダと前記第２ディスクホルダから形成される密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給する気体供給手段と、前記密閉空間の気体を吸引する気体吸引手段と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程または前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程の少なくともいずれか一方の工程において、前記気体供給手段により前記ディスク面空間へ気体を供給するとともに、前記密着狭持工程において前記気体供給手段により前記ディスク面空間に気体を供給させながら、前記気体吸引手段により前記密閉空間の気体を吸引させて、前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように、前記気体供給手段及び前記気体吸引手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする。本発明によれば、密着狭持工程において気体供給手段によりディスク面空間に気体を供給させるので、気体吸引手段により密閉空間の気体を吸引させても、第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が与えられ、第１ディスクホルダに吸引保持される被転写用ディスクは移動しない。
【００１２】
本発明の一態様として、前記被転写用ディスクは、前記第１マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第１ディスクホルダに保持され、前記気体供給手段は、前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、を特徴とする。
【００１３】
かかる態様によれば、ディスク面空間が正圧に維持されるので、第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が与えられ、第１ディスクホルダに吸引保持される被転写用ディスクは移動しない。
【００１４】
本発明の一態様として、前記気体供給手段は、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面うち前記被転写用ディスクが径方向について前記第２マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、を特徴とする。
【００１５】
かかる態様によれば、被転写用ディスクに対し局部的に加圧がなされるので、第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が局部的に与えられ、第１ディスクホルダに吸引保持される被転写用ディスクは移動しない。
【００１６】
本発明の一態様として、前記気体供給手段の気体送出口は、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかに形成されていること、を特徴とする。
【００１７】
かかる態様によれば、より確実にディスク面空間に気体を供給することができ、より確実に第１ディスクホルダに対して被転写用ディスクを保持するための保持力が与えられ、第１ディスクホルダに吸引保持される被転写用ディスクは移動しない。
【００２２】
本発明の一態様として、機械的外力を付与する機械的外力付与手段を有し、前記制御手段は、前記機械的外力付与手段により機械的外力を付与して、前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させるように制御すること、を特徴とする。
【００２３】
かかる態様によれば、機械的外力を加えて第１マスターディスクと第２マスターディスクにより被転写用ディスクを密着狭持させるので、コンタミの防止を図ることができる。
【００２４】
前記目的を達成するために本発明の磁気転写方法は、第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、を特徴とする。また、本発明の磁気転写方法は、第１マスターディスク及び第２マスターディスクの磁気情報を被転写用ディスクに転写する磁気転写方法であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた前記第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、を特徴とする。
【００２５】
本発明の一態様として、前記被転写用ディスクは前記第１マスターディスクに重ねられた状態で吸引されることにより前記第１ディスクホルダに保持され、前記ディスク面空間が正圧に維持されるように気体を供給すること、を特徴とする。
【００２６】
本発明の一態様として、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面うち前記被転写用ディスクが径方向について前記第２マスターディスクより突出している部分の面を加圧するように気体を供給すること、を特徴とする。
【００２７】
本発明の一態様として、前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面と同一面または前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面から突出した面のいずれかより前記ディスク面空間に気体を供給すること、を特徴とする。
【００３０】
本発明の一態様として、前記密着狭持工程では、機械的外力を付与して前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、を特徴とする。
【００３１】
前記目的を達成するために本発明の磁気転写用被転写媒体製造方法は、磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なる磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、前記密着狭持工程及び前記密閉空間開放工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程における前記密閉空間内への単位時間あたりの気体の供給量が異なること、を特徴とする。また、本発明の磁気転写用被転写媒体製造方法は、磁気転写用の被転写用ディスクからなる被転写媒体製造方法であって、前記被転写用ディスクと当該被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第１マスターディスクとを吸着保持する第１ディスクホルダと、前記被転写用ディスクに対して転写するためのパターンを備えた第２マスターディスクを吸着保持する第２ディスクホルダにより密閉空間を形成する密閉空間形成工程と、前記密閉空間内で前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させて真空吸引する密着狭持工程と、前記被転写用ディスクに前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクのパターンを転写する転写工程と、前記密閉空間を開放する密閉空間開放工程と、を有し、前記密着狭持工程と前記密閉空間開放工程の少なくとも一方の工程では、前記密閉空間内であって前記被転写用ディスクの前記第１マスターディスクに接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間に気体を供給するとともに、前記密着狭持工程では、前記ディスク面空間に気体を供給しつつ、前記密閉空間内の気体を減圧させることにより前記第１マスターディスクと前記第２マスターディスクにより前記被転写用ディスクを密着狭持させること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、ディスクホルダの閉時においてディスクの位置ずれの発生を防止し、ディスクホルダの開時においてスレーブディスクが可動側のディスクホルダに保持されるマスターディスクに持って行かれることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下添付図面に従って、本発明に係る磁気転写装置、磁気転写方法、磁気転写用被転写媒体の好ましい実施の形態について詳説する。なお、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
〔磁気転写装置の概念〕
図１は、転写装置の一例である磁気転写装置の概念を表わす斜視図である。磁気転写装置１は、図１には記載していない被転写用ディスクであるスレーブディスクを、２枚のマスターディスクで密着挟持する第１のディスクホルダ１１と第２のディスクホルダ１２とを有する転写ユニット１０を構成する。
【００３４】
また、第１のディスクホルダ１１と第２のディスクホルダ１２の上面及び下面に配置された磁石３１を有する転写用磁界印加手段３０、第１のディスクホルダ１１と第２のディスクホルダ１２又は磁石３１、３１を図の矢印Ａ方向に相対的に回転させる図示しない回転手段、及びスレーブディスクとマスターディスクとを転写ユニット１０に搬入、搬出する図示しない搬送手段等も構成する。
〔磁気転写装置の構成〕
図２は、磁気転写装置１の実施の形態を表わす側面図である。磁気転写装置１のベース１０ａ上には転写ユニット１０が設けられ、転写用磁界印加手段３０、３０は図のＸ方向の水平移動と図のθ方向の回転運動を行う駆動手段３２、３２で磁石３１、３１を保持している。
【００３５】
また、第１のディスクホルダ１１と第２のディスクホルダ１２には、エア供給用のポンプ６０とエア吸引用のポンプ６１、および後述する各流路へのエアの供給・吸引を制御する制御機器（制御弁など、不図示）が接続され、さらに、エア供給用のポンプ６０とエア吸引用のポンプ６１、および制御機器の動作は制御手段である制御部３５により制御されている。
〔転写ユニットの構成〕
図３は、転写ユニット１０の構成を説明するための側面図である。転写ユニット１０は、第１のディスクホルダ１１、第２のディスクホルダ１２、第１のディスクホルダ１１の姿勢調整を行うチルチング調整手段２３、及び第２のディスクホルダ１２を第１のディスクホルダ１１に対して接近又は離間させる移動手段４０等から構成されている。
【００３６】
図３に示すように、転写ユニット１０のユニットベース２９には取り付け板２７が固定され、取り付け板２７にはチルチング調整手段２３を構成するチルチングベース２４が取り付けられている。チルチングベース２４には第１のディスクホルダ１１が図３のＹ方向（紙面に垂直方向）及びＺ方向の傾斜調整が可能に取り付けられている。
【００３７】
チルチング調整手段２３は、チルチングベース２４、４個の先端が球形の微調ネジ（調整ボルト）２５、２５、…と４個のクランプネジ２６、２６、…とからなる調整部材とで構成されている。微調ネジ２５は押しネジでクランプネジ２６は引きネジとして作用する。
【００３８】
また、第１のディスクホルダ１１は、スレーブディスクとマスターディスクとを保持するホルダ板１３、ホルダ板１３を複数のＬ字状コマ（固定部材）１７、１７、…を介して固定保持する中間板（取り付け部材）１６、中間板１６を位置決め固定するディスクホルダベース１８等で構成されている。
【００３９】
ディスクホルダベース１８は、一方の面に凹部１８ａを有しており、ホルダ板１３を固定保持した中間板１６を凹部１８ａに挿入し、押圧部材である押しネジ１９で中間板１６の上部側面を押圧することにより中間板１６の他の側面２面がディスクホルダベース１８の凹部１８ａの壁面に形成された位置規制部位に当接し、中間板１６が位置決めされるようになっている。このため、押しネジ１９を緩め、ホルダ板１３を中間板１６ごとディスクホルダベース１８から取りはずしても又再現性良く位置決めが可能である。
【００４０】
このために、ホルダ板１３でスレーブディスクとマスターディスクとを保持した時のスレーブディスクとマスターディスクの中心線ＣＬを所定位置にあわせこむ調整を磁気転写装置１の外部で行うことができる。
【００４１】
取り付け板２７、チルチングベース２４、ディスクホルダベース１８、及び中間板１６の夫々中央部には図の点線で示す貫通孔が形成されており、転写用磁界印加手段３０の磁石３１が中心線ＣＬを中心に回転可能に挿入されるようになっている。
【００４２】
また、転写ユニット１０のユニットベース２９にはリニアガイド４２が設けられ、テーブル４１を図３のＸ方向に案内し、テーブル４１はモータ４４で駆動されるボールネジ４３によって図のＸ方向に移動されるようになっている。このリニアガイド４２、テーブル４１、ボールネジ４３、及びモータ４４等で移動手段４０を構成している。
【００４３】
移動手段４０のテーブル４１には取り付け板２８が固定されており、取り付け板２８には第２のディスクホルダ１２が取り付けられている。第２のディスクホルダ１２は、マスターディスクを保持するホルダ板２０、ホルダ板２０を複数のＬ字状コマ１７、１７、…を介して固定保持する中間板２１、中間板２１を位置決め固定するディスクホルダベース２２等で構成されている。
【００４４】
ディスクホルダベース２２は、一方の面に凹部２２ａを有しており、ホルダ板２０を固定保持した中間板２１を凹部２２ａに挿入し、押しネジ１９で中間板２１の上部側面を押圧することにより中間板２１の他の側面２面がディスクホルダベース２２の凹部２２ａの壁面に形成された位置規制部位に当接し、中間板２１が位置決めされるようになっている。このため、押しネジ１９を緩め、ホルダ板２０を中間板２１ごとディスクホルダベース２２から取りはずしても又再現性良く位置決めが可能である。
【００４５】
このために、ホルダ板２０でマスターディスクを保持した時のマスターディスクの中心線ＣＬを第１のディスクホルダ１１のホルダ板１３でスレーブディスクとマスターディスクとを保持した時のスレーブディスクとマスターディスクの中心線ＣＬとに一致させるようにあわせこむ調整を磁気転写装置１の外部で行うことができる。
【００４６】
また、取り付け板２８、ディスクホルダベース２２、及び中間板２１の夫々中央部には図の点線で示す貫通孔が形成されており、他方側の転写用磁界印加手段３０の磁石３１が中心線ＣＬを中心に回転可能に挿入されるようになっている。
【００４７】
第２のディスクホルダ１２は前述のように、移動手段４０によって図のＸ方向に接近又は離間されるようになっているので、第２のディスクホルダ１２を第１のディスクホルダ１１に向けて接近させることにより、磁気転写されるスレーブディスクは第１のディスクホルダ１１及び第２のディスクホルダ１２に保持されたマスターディスクに両側から密着保持されるようになっている。
〔ディスクホルダの構造〕
図４は、第１のディスクホルダ１１のホルダ板１３、及び第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０を表わす断面図である（ホルダ板１３に関しては、後述する図５の４−４線に沿った断面図に相当）。第１のディスクホルダ１１のホルダ板１３は、円板状で周縁部に薄肉部が形成されており、この薄肉部で複数のＬ字状コマ１７、１７、…を介して中間板１６に固定保持されるようになっている。
【００４８】
また、ホルダ板１３の中央部は中心部分に凸形状のコア１３ｒを備えた大きな凹部１３ｐになっており、凹部１３ｐの底面がディスク受け面（保持面）１３ｂになっている。また、ホルダ板１３の側面から内部に向けて１個の小径の孔１３ｅが形成され、コア１３ｒにて開口されている。また、ホルダ板１３の別の側面から内部に向けて１個の小径の孔１３ｆが形成され、コア１３ｒにて開口されている。なお、コア１３ｒはホルダ板１３と一体成形されたものであってもよい。
【００４９】
小径の孔１３ｅは、ホルダ板１３と第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０とでマスターディスク９２、スレーブディスク９１、及びマスターディスク９３を挟持した時のディスク中心孔の内周側の空間Ｐに加圧用のエアを供給するエア供給路１３ｅであり、小径の孔１３ｆは空間Ｐのエアを吸引する内周側エア吸引路１３ｆである。内周側エア吸引路１３ｆはポンプ６１（図４参照）を介して真空源に接続され、空間Ｐのエアを吸引する。
【００５０】
エア供給路１３ｅにはエア供給用のポンプ６０、内周側エア吸引路１３ｆにはエア吸引用のポンプ６１が接続され、ポンプ６０とポンプ６１の動作は制御部３５（図２，図３参照）により制御されている。
【００５１】
また、図５はディスクを保持しないときにホルダ板１３をディスク受け面（保持面）１３ｂ側から見たときの正面図である。また、図５の６−６線に沿った断面図を図６に、図５の８−８線に沿った断面図を図７に示す。
【００５２】
図５に示すように、ホルダ板１３は円形を成し、中央部は中心部分にコア１３ｒを備えた大きな凹部１３ｐになっており、凹部１３ｐの底面がディスク受け面（保持面）１３ｂになっている。
【００５３】
コア１３ｒは、図４に示すように断面が階段状に形成され、図５で示したときに中心から円形状の第１面１３ｋ、輪環形状の第２面１３ｍ、同じく輪環形状の第３面１３ｎが形成されている。
【００５４】
図５に示すように、時計の６時方向に位置するホルダ板１３の側面から内部に向けて前記のエア供給路１３ｅが形成され、コア１３ｒの第１面１３ｋにて開口されている。また、時計の１２時方向に位置するホルダ板１３の別の側面から内部に向けて前記の内周側エア吸引路１３ｆが形成され、コア１３ｒの第３面１３ｎにて開口されている。
【００５５】
また、時計の１〜２時方向に位置するホルダ板１３の側面から内部に向けて１個の小径の孔１３ｇが形成され、凹部１３ｐに到達した位置でディスク受け面１３ｂにて開口されている。また、時計の４〜５時方向に位置するホルダ板１３の別の側面から内部に向けて１個の小径の孔１３ｈが形成され、凹部１３ｐに到達した位置でディスク受け面１３ｂにて開口されている。
【００５６】
小径の孔１３ｇはマスターディスク９２、９３とスレーブディスク９１の外周側の空間Ｑ（図４参照）のエアを吸引する外周側エア吸引路１３ｇであり、小径の孔１３ｈはディスクホルダ内の真空状態を破壊するため空間Ｑにエアを供給する真空破壊エア供給路１３ｈである。図６に示すように、外周側エア吸引路１３ｇにはエア吸引用のポンプ６１、真空破壊エア供給路１３ｈにはエア供給用のポンプ６０が接続されている。
【００５７】
また、時計の９時方向に位置するホルダ板１３の別の側面から内部に向けて１個の小径の孔１３ｉが形成され、コア１３ｒの第３面１３ｎにて開口されている。小径の孔１３ｉは、ディスクの吸着状態を破壊するため空間Ｐ（図４参照）にエアを供給する吸着破壊エア供給路１３ｉである。図７に示すように、吸着破壊エア供給路１３ｉにはエア供給用のポンプ６０が接続されている。
【００５８】
以上のように、エア供給路１３ｅ、内周側エア吸引路１３ｆ、外周側エア吸引路１３ｇ、真空破壊エア供給路１３ｈ、吸着破壊エア供給路１３ｉの各流路は、各々別の流路にすることが望ましい。これにより、コンタミの防止を図ることができる。
【００５９】
なお、エア供給路１３ｅ、真空破壊エア供給路１３ｈ、吸着破壊エア供給路１３ｉの各流路には、共通のエア供給用のポンプ６０が接続されているが、各流路へのエア供給のタイミングや供給量は制御弁などの制御機器（不図示）により制御している。同様に、内周側エア吸引路１３ｆ、外周側エア吸引路１３ｇの各流路には、共通のエア吸引用のポンプ６１が接続されているが、各流路へのエア供給のタイミングや供給量は制御弁などの制御機器（不図示）により制御している。
【００６０】
また、真空破壊エア供給路１３ｈ、吸着破壊エア供給路１３ｉの各流路にはエア供給用のポンプ６０を接続せずに、大気開放できるようにしておいてもよい。
【００６１】
また、エア供給路１３ｅ、内周側エア吸引路１３ｆ、外周側エア吸引路１３ｇ、真空破壊エア供給路１３ｈ、吸着破壊エア供給路１３ｉの各流路の配置の仕様は、図５の仕様に限定されない。
【００６２】
図４に示すように、ホルダ板１３の凹部１３ｐの底面であるディスク受け面１３ｂには緩衝材１５が取り付けられている。また、ホルダ板１３の凹部１３ｐと薄肉部との間の厚肉部には溝１３ｃが形成され、溝１３ｃにはシール材としてО−リング１４が設けられている。
【００６３】
ホルダ板１３の凹部１３ｐの底面には、図４の２点鎖線で示すような、前述のエア供給路１３ｅ、内周側エア吸引路１３ｆとは別の真空吸引路１３ｄが形成され、マスターディスク９２を吸着保持する。真空吸引路１３ｄにはエア吸引用のポンプ６１が接続されている。
【００６４】
第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０も円板状で周縁部に薄肉部が形成されており、この薄肉部で複数のＬ字状コマ１７、１７、…を介して中間板２１に固定保持されるようになっている。
【００６５】
また、ホルダ板２０の内部も大きな凹部２０ｃになっており、凹部２０ｃの底面がディスク受け面２０ａになっている。また、ディスク受け面２０ａには緩衝材１５が取り付けられている。ホルダ板２０の凹部２０ｃの底面には図４の２点鎖線で示す真空吸引路２０ｂが形成され、マスターディスク９３を吸着保持する。真空吸引路２０ｂにはエア吸引用のポンプ６１が接続されている。
【００６６】
また、図４に示すように、スレーブディスク９１の中心孔の径はマスターディスク９２、９３の中心孔の径よりも小径に形成されており、内周側エア吸引路１３ｆで真空吸引した時にこの中心孔の径差によって生ずるスレーブディスク９１の露出面に吸引力が作用し、スレーブディスク９１がマスターディスク９２に固定される。
【００６７】
なお、マスターディスク９２のホルダ板１３への保持及びマスターディスク９３のホルダ板２０への保持は、真空吸引路１３ｄ及び真空吸引路２０ｂを設けて吸着保持するようにしたが、真空吸引路１３ｄ及び真空吸引路２０ｂを設けずに、ホルダ板１３及びホルダ板２０の緩衝材１５に接着で取り付けるようにしてもよい。
【００６８】
図４に示すようにホルダ板１３でマスターディスク９２とスレーブディスク９１を保持し、ホルダ板２０でマスターディスク９３を保持した状態でホルダ板２０をホルダ板１３に向けて近接させ、マスターディスク９２とマスターディスク９３とでスレーブディスク９１を挟み込んだときに、ホルダ板２０の凹部２０ｃと薄肉部との間の厚肉部がホルダ板１３のＯ−リング１４に僅かに当接するように、ホルダ板１３及びホルダ板２０の凹部（１３ｐ，２０ｃ）の深さが決定されている。
【００６９】
ホルダ板２０をホルダ板１３に向けて近接させ、マスターディスク９２とマスターディスク９３とでスレーブディスク９１を挟み込むと、ホルダ板１３の凹部１３ｐとホルダ板２０の凹部２０ｃとで形成される空間はシール材としてのＯ−リング１４で密閉される。
【００７０】
この状態で内周側エア吸引路１３ｆからマスターディスク９２、９３とスレーブディスク９１の内周部の空間Ｐのエアを真空吸引し、外周側エア吸引路１３ｇからマスターディスク９２、９３とスレーブディスク９１の外周側の空間Ｑのエアを真空吸引することにより、マスターディスク９２とスレーブディスク９１、及びスレーブディスク９１とマスターディスク９３との接触面に部分的に滞留していたエアがディスクの内周側及びディスクの外周側に排出され、接触面には隙間がなくなって、スレーブディスク９１はマスターディスク９２とマスターディスク９３とで密着挟持される。
【００７１】
以上説明した転写ユニット１０を構成する部材のうち、安定した転写磁界を印加するために、少なくとも第１のディスクホルダ１１、第２のディスクホルダ１２、第１のディスクホルダ１１の姿勢調整を行うチルチング調整手段２３、及び取り付け板２７、２８の材質は、例えばＳＵＳ３０４等の非磁性材料が用いられる。
〔磁気転写方法の説明〕
次に、磁気転写装置１による磁気転写方法について以下に説明する。最初に、転写ユニット１０において、第１のディスクホルダ１１のホルダ板１３のディスク受け面１３ｂが第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０のディスク受け面２０ａに対して平行になるように、第１のディスクホルダ１１の姿勢を調整する。この調整はチルチング調整手段２３にて行う。即ち、チルチング調整手段２３に設けられた複数の微調ネジ２５又はクランプネジ２６のうち少なくとも３個を用いて行う。
【００７２】
次に、中間板１６の外形を基準として、ホルダ板１３でスレーブディスク９１とマスターディスク９２とを保持した時のスレーブディスク９１とマスターディスク９２の中心線ＣＬが所定位置になるようにホルダ板１３の位置を調整し、次いでホルダ板１３を中間板１６に固定する。
【００７３】
この時、Ｌ字状コマ１７、１７、…を介してネジで固定する。なお、Ｌ字状コマ１７、１７、…は挟み込み方向以外の方向への移動や回転が規制されているので、正確に位置調整されたホルダ板１３が固定時にずれることがない。
【００７４】
なお、このホルダ板１３の位置調整は、磁気転写装置１の外部でいわゆる外段取りで行う。次いで中間板１６をディスクホルダベース１８の凹部１８ａに挿入し、押しネジ１９で中間板１６を押圧する。
【００７５】
これにより、中間板１６はディスクホルダベース１８の凹部１８ａに形成された位置規制面に押圧され、再現性よく位置決めされる。
【００７６】
第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０も同様にして、ホルダ板２０でマスターディスク９３を保持した時のマスターディスク９３の中心線ＣＬが所定位置になるように調整し、ホルダ板２０を中間板２１に固定する。この時も、Ｌ字状コマ１７、１７、…を介してネジで固定する。この調整も、外段取りで行う。次いで第１のディスクホルダ１１同様に中間板２１をディスクホルダベース２２の凹部２２ａに挿入し、押しネジ１９で中間板２１を押圧して位置決めする。
【００７７】
以上の第１のディスクホルダ１１のチルチング調整、及びホルダ板１３、２０の位置調整によって、第１のディスクホルダ１１の前述した中心線ＣＬと第２のディスクホルダ１２の前述した中心線ＣＬとが同一直線上で一致する。
【００７８】
次に、第１のディスクホルダ１１のホルダ板１３にマスターディスク９２を挿入し、真空吸引路１３ｄで真空吸引して保持する。また、第２のディスクホルダ１２のホルダ板２０にマスターディスク９３を挿入し、真空吸引路２０ｂで真空吸引保持する。なお、一旦、ホルダ板１３にマスターディスク９２を、ホルダ板２０にマスターディスク９３を真空吸引して保持した後は、スレーブディスク９１のみ入れ換えることにより、複数のスレーブディスク９１への磁気転写を行うことにしてもよい。
【００７９】
次に、スレーブディスク９１への磁気転写へと進んでいくが、以後の作用については、図８の動作フローチャート図を用いて詳細に説明する。
【００８０】
図８に示すように、まず、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を供給し、同時にスレーブディスク９１の吸着を開始する（ステップＳ１）。
【００８１】
具体的には、マスターディスク９２と重ねるようにスレーブディスク９１をホルダ板１３に挿入して供給する。同時に、内周側エア吸引路１３ｆで真空吸引することにより、スレーブディスク９１の吸着を開始して固定状態にする。
【００８２】
ここで、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を挿入する時に使用する吸引ヘッド５０の近辺の断面図を、図９に示す。吸引ヘッド５０は、全体が円柱状に形成され、図９に示すように、その内部の一部に中空部５０ａが形成されることにより、断面が凹型に形成されている。そして、中空部５０ａが形成される面側には、円柱の一周にわたって吸引孔５０ｂが開口している。また、中空部５０ａが形成される面の反対側には、吸引孔５０ｂと外部の双方に連通する排出孔５０ｃが形成されている。
【００８３】
そして、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を挿入する時には、吸引孔５０ｂからの吸引により、スレーブディスク９１を吸引ヘッド５０に吸着させて搬送することにより、スレーブディスク９１の供給元からホルダ板１３に供給する。
【００８４】
さらに、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を挿入する時には、中空部５０ａとディスクの中心孔の内周側にわたって形成される空間Ｒを、正圧にしておくことが望ましい。具体的には、制御部３５によりポンプ（６０，６１）および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を保持するため内周側エア吸引路１３ｆから真空吸引する一方で、エア供給路１３ｅから空間Ｒに加圧用のエアを供給しておくことが考えられる。
【００８５】
これにより、スレーブディスク９１は、エア供給路１３ｅから供給される加圧用のエアにより加圧され、かつ、内周側エア吸引路１３ｆにより真空吸引されるので、位置ずれが生じない。そのため、ホルダ板１３にスレーブディスク９１を挿入し終えて吸引ヘッド５０をスレーブディスク９１から退避させた後も、マスターディスク９２の中心の位置とスレーブディスク９１の中心の位置を合わせた状態を維持することができる。
【００８６】
次に、スレーブディスク９１の内周側への加圧エアの供給を開始する（ステップＳ２）。具体的には、制御部３５によりポンプ６０および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、エア供給路１３ｅから加圧用のエアをスレーブディスク９１の内周側の部分（図４において空間Ｐ）へ供給する。
【００８７】
なお、ステップＳ１においてすでにエア供給路１３ｅから加圧用のエアを供給している場合には、そのまま継続させることにより、加圧用のエアをスレーブディスク９１の内周側の部分へ供給する。
【００８８】
次に、可動側のディスクホルダである第２のディスクホルダ１２を、第１のディスクホルダ１１に向けて移動させる（ステップＳ３）。
【００８９】
次に、第１のディスクホルダ１１と第２のディスクホルダ１２により密閉空間を形成する（ステップＳ４）。具体的には、図１０に示すように、ディスクの内周側の空間Ｐとディスクの外周側の空間Ｑからなる密閉空間が形成される。
【００９０】
この時、ホルダ板１３に保持されたスレーブディスク９１に対し、ホルダ板２０に保持されたマスターディスク９３を押付けた状態となる。この押付けにより、緩衝材１５、１５に反発力が生じるとともに、ホルダ板１３の凹部１３ｐとホルダ板２０の凹部２０ｃとで形成される空間はシール材としてのＯ−リング１４で密閉される。
【００９１】
次に、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引を開始する（ステップＳ５）。具体的には、内周側エア吸引路１３ｆによって空間Ｐのエアを吸引し（図１０参照）、外周側エア吸引路１３ｇ（図５、図６参照）によって空間Ｑのエアを吸引する。
【００９２】
ここで、前記のステップＳ２で説明したように、エア供給路１３ｅから加圧用のエアをスレーブディスク９１の内周側の部分（空間Ｐ）へ供給している。これにより、スレーブディスク９１がマスターディスク９２に接する面の反対面に接するディスク面空間にも加圧用のエアが供給され、ディスク面空間が正圧に維持される。
【００９３】
特に、スレーブディスク９１がマスターディスク９２に接する面の反対面における、図１１に示すようなスレーブディスク９１の内周部分α（スレーブディスク９１が径方向についてマスターディスク９３より突出している部分）の面に、局部的に加圧用のエアを供給することができる。そして、図１１に示すように、スレーブディスク９１の内周部分αにおいて正圧に維持する。そのため、内周側エア吸引路１３ｆにより真空吸引される吸引力との差圧によるスレーブ保持力が発生し、スレーブディスク９１の位置ずれが生じない。
【００９４】
なお、エア供給路１３ｅからの加圧用のエアの単位時間あたりの供給量は、内周側エア吸引路１３ｆからの単位時間あたりのエアの吸引量と外周側エア吸引路１３ｇからの単位時間あたりのエアの吸引量の合計量よりも少なくする。これにより、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内のエアを減圧させることができる。
【００９５】
また、エア供給路１３ｅが開口するコア１３ｒの第１面１３ｋの位置は、第１のディスクホルダ１１に保持されたスレーブディスク９１の第２のディスクホルダ１２側の面と同一面上、あるいは、より第２のディスクホルダ１２側に突出した面上となるように形成しておくことが望ましい。これにより、より確実にエア供給路１３ｅからスレーブディスク９１の内周部分αに加圧用のエアを供給することができる。
【００９６】
次に、スレーブディスク９１がマスターディスク９２とマスターディスク９３とによって密着挟持される（密着狭持工程）（ステップＳ６）。具体的には、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引によって、マスターディスク９２とスレーブディスク９１との接触面、及びスレーブディスク９１とマスターディスク９３との接触面に僅かに滞留していたエアが排出される。
【００９７】
そして、両ディスクの接触面が互いに吸引され、スレーブディスク９１がマスターディスク９２とマスターディスク９３とによって確実に密着挟持される。そしてその後、最終的に空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間は真空状態となる。
【００９８】
ここで、前記のステップＳ５で説明したように、スレーブ保持力を発生させて、スレーブディスク９１の位置ずれが生じないようにしている。そのため、スレーブディスク９１がマスターディスク９２とマスターディスク９３とによって密着挟持されたときに、スレーブディスク９１の中心の位置とマスターディスク９２とマスターディスク９３の中心の位置とが合わされた状態で維持される。
【００９９】
次に、スレーブディスク９１の内周側への加圧エアの供給を終了する（ステップＳ７）。具体的には、制御部３５によりポンプ６０および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、エア供給路１３ｅからスレーブディスク９１の内周側の部分（図４の空間Ｐ）への加圧用のエアの供給を終了する。
【０１００】
次に、マスターディスク９２及びマスターディスク９３の磁気情報をスレーブディスク９１に転写する（磁気転写工程）（ステップＳ８）。具体的には、内周側エア吸引路１３ｆと外周側エア吸引路１３ｇからのエアの吸引を停止した後、転写用磁界印加手段３０、３０から転写磁界を印加し、パターン状の磁性層を備えたマスターディスク９２及びマスターディスク９３の磁気情報をスレーブディスク９１の磁性層に転写する。
【０１０１】
ここで、前記のステップＳ６の作用の結果、スレーブディスク９１の中心の位置とマスターディスク９２とマスターディスク９３の中心の位置とが合わされた状態で維持されている。そのため、転写信号がスレーブディスク９１の中心に対して偏芯して信号抜けや信号変形等の転写不良が発生することがなく、良質の磁気記録媒体が得られる。
【０１０２】
次に、スレーブディスク９１の内周側への加圧エアの供給を開始し、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引を終了し、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内に真空破壊エアを供給する（ステップ９）。
【０１０３】
具体的には、内周側エア吸引路１３ｆによる空間Ｐのエアを吸引、外周側エア吸引路１３ｇによる空間Ｑのエアの吸引を終了する。そして同時に、制御部３５によりポンプ６０および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、空間Ｑに真空破壊エア供給路１３ｈから真空破壊エアを供給する。
【０１０４】
そして同時に、制御部３５によりポンプ６０および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、エア供給路１３ｅから加圧用のエアをスレーブディスク９１の内周側の部分（図１０において空間Ｐ）へ供給する。これにより、スレーブディスク９１のマスターディスク９２に接する面の反対側の面に接している空間であるディスク面空間にも加圧用のエアが供給され、ディスク面空間が正圧に維持される。
【０１０５】
次に、可動側のディスクホルダである第２のディスクホルダ１２を、第１のディスクホルダ１１から退避させる（ステップＳ１０）。具体的には、移動手段４０（図３参照）を作動させ、第２のディスクホルダ１２を第１のディスクホルダ１１から退避させる。
【０１０６】
ここで、前記のステップＳ９で説明したように、エア供給路１３ｅから加圧用のエアをスレーブディスク９１の内周側の部分（空間Ｐ）へ供給している。これにより、スレーブディスク９１がマスターディスク９２に接する面の反対面に接する空間（ディスク面空間）内であって、図１１に示すようなスレーブディスク９１の内周部分α（スレーブディスク９１が径方向についてマスターディスク９３より突出している部分）の面に、局部的に加圧用のエアを供給することができる。そして、図１１に示すように、スレーブディスク９１の内周部分αにおいて正圧に維持する。そのため、内周側エア吸引路１３ｆにより真空吸引される吸引力との差圧によるスレーブ保持力が発生し、スレーブディスク９１が第２のディスクホルダ１２側に持っていかれるおそれがない。
【０１０７】
次に、内周側エア吸引路１３ｆからの真空吸引を終了して、スレーブディスク９１の吸着を終了する（ステップＳ１１）。
【０１０８】
次に、ホルダ板１３からスレーブディスク９１を取り出す（ステップＳ１２）。具体的には、吸引孔５０ｂからの吸引により、スレーブディスク９１を吸引ヘッド５０に吸着させて搬送することにより、スレーブディスク９１のホルダ板１３から排出する。
【０１０９】
ここで、ステップＳ１２では、空間Ｒ（図９参照）を正圧にしておくことが望ましい。具体的には、吸着破壊エア供給路１３ｉ（図５、図７参照）から空間Ｒに吸着破壊用のエアを供給しておくことが考えられる。これにより、吸着破壊エアがスレーブディスク９１とマスターディスク９２の間に流入するので、吸引ヘッドによりスレーブディスク９１を確実に吸着させて排出させることができる。
【０１１０】
以上のようにして、スレーブディスク９１への磁気転写が終了する。
【０１１１】
なお、エア供給路１３ｅから空間Ｐに供給する加圧用のエアの単位時間当たりの流量は、ステップＳ４の時とステップＳ１０の時で異なるように設定することが望ましい。より具体的には、ステップＳ４の時よりもステップＳ１０の時のほうが、単位時間当たりの流量を多く設定しておくことが望ましい。
【０１１２】
また、図１２に示すような動作フローチャート図で表すことのできる実施例も考えられる。図１２の実施例では、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間の形成（ステップＳ４）後であって、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引開始（ステップＳ５）前に、機械的外力を付与してスレーブディスク９１をマスターディスク９２とマスターディスク９３とにより密着狭持させる（ステップＳ４´）。
【０１１３】
具体的には、機械的外力付与手段として移動手段４０（図３参照）を作動させ、第２のディスクホルダ１２を第１のディスクホルダ１１に向けてさらに接近させて、ホルダ板１３に保持されたスレーブディスク９１にホルダ板２０に保持されたマスターディスク９３をさらに押付けることが考えられる。これにより、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引開始前に予め、スレーブディスク９１をマスターディスク９２とマスターディスク９３により密着狭持させておく。
【０１１４】
また、空間Ｐと空間Ｑからなる密閉空間内の吸引開始（ステップＳ５）により、その後、ディスク間の密着力をアップさせておく（ステップＳ６´）。
【０１１５】
その他の各ステップについては図８の実施例と共通する。
【０１１６】
なお、図８や図１２において、ステップＳ１にてスレーブディスク９１の外周側を吸着保持し、ステップＳ２とステップ９にてスレーブディスク９１の外周側から加圧エアを供給する実施例も考えられる。
【０１１７】
この実施例を実現するための構造として、具体的には、第１のディスクホルダ１１側のディスク板１３について図１３に示すような構造とすること、が考えられる。図１３に示すように、スレーブディスク９１の外径はマスターディスク９２、９３の外径よりも大きく形成されており、外周側エア吸引路１３ｓで真空吸引した時にこの外径差によって生ずるスレーブディスク９１の突出面に吸引力が作用し、スレーブディスク９１がマスターディスク９２に固定される。
【０１１８】
また、制御部３５によりポンプ６０および制御機器（制御弁など、不図示）の動作を制御して、エア供給路１３ｔから加圧用のエアをスレーブディスク９１の外周側の部分（図１３の空間Ｑ）へ供給する。これにより、スレーブディスク９１の外周部分に、局部的に加圧用のエアを供給することができる。そして、スレーブディスク９１の外周部分において正圧に維持する。そのため、外周側エア吸引路１３ｓにより真空吸引される吸引力との差圧によるスレーブ保持力が発生し、スレーブディスク９１の位置ずれが生じない。
【０１１９】
なお、その他の実施例として、図８や図１２において、ステップＳ１にてスレーブディスク９１の内周側と外周側の両方を吸着保持し、ステップＳ２とステップ９にてスレーブディスク９１の内周側と外周側の両方から加圧エアを供給する実施例も考えられる。
【０１２０】
また、前述した実施の形態では、磁気転写装置１の構成について、スレーブディスク９１及びマスターディスク９２、９３の軸心を水平方向に配置した構成で説明したが、水平方向に限らず、垂直方向、あるいは水平方向に対して所定角度傾斜した方向に配置した構成の磁気転写装置であってもよい。
【０１２１】
以上、本発明の磁気転写装置、磁気転写方法、及び磁気転写用被転写媒体について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】磁気転写装置の概念を表わす斜視図
【図２】磁気転写装置の実施の形態を表わす側面図
【図３】転写ユニットの実施の形態を表わす側面図
【図４】第１のディスクホルダのホルダ板および第２のディスクホルダのホルダ板を表わす断面図
【図５】第１のディスクホルダのホルダ板の正面図
【図６】第１のディスクホルダのホルダ板を表わす断面図（図５の６−６線に沿った断面図）
【図７】第１のディスクホルダのホルダ板を表わす断面図（図５の７−７線に沿った断面図）
【図８】磁気転写装置の動作フローチャート図
【図９】吸引ヘッドの近辺の断面図
【図１０】第１のディスクホルダと第２のディスクホルダにより密閉空間を形成している状態を表す断面図
【図１１】スレーブディスクの内周部分に、局部的に加圧用のエアを供給した図
【図１２】磁気転写装置の動作フローチャート図
【図１３】スレーブディスクの外周側を吸着保持し、スレーブディスクの外周側から加圧エアを供給した例を表す断面図
【符号の説明】
【０１２３】
１…磁気転写装置、１０…転写ユニット、１１…第１のディスクホルダ（ディスクホルダ）、１２…第２のディスクホルダ（ディスクホルダ）、１３…ホルダ板、１３ｂ…ディスク受け面（保持面）、１３ｅ…エア供給路、１３ｆ…内周側エア吸引路、１６…中間板、１８…ディスクホルダベース、１９…押しネジ、２０…ホルダ板、２３チルチング調整手段、４０…移動手段、９１…スレーブディスク（被転写用ディスク）、９２・９３…マスターディスク、Ｐ…内周側の空間、Ｑ…外周側の空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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