(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線及び／又は日射を反射する特性をもつ、銀又は銀含有金属合金を基にしたｎ個の機能性金属層（３，６）と、（ｎ＋１）個の「コーティング」とが交互になったものを含み、ｎ≧２である、薄層の積重体を備えた少なくとも一つの透明ガラス基材（１）含むグレージング集成体であり、上記コーティングは、各機能性層（３，６）が二つのコーティング（２ａ，２ｂ；４，５ａ，５ｂ；７，８ａ，８ｂ）の間に配置されるよう、一つの層又は複数の層から構成され、そのうちの少なくとも一つは誘電材料から製作されている（２ａ，２ｂ；５ａ，５ｂ；８ａ，８ｂ）グレージング集成体であって、当該積重体を備えた基材（１）を強化、曲げ加工又は徐冷タイプの熱処理にかける場合に当該積重体の光学的品質を保持するため、
一方で、当該機能性金属層のうちの少なくともｎ番目のもの（６）の上に配置されるコーティングが、少なくとも酸素と水とに対してバリヤーを形成する材料製のバリヤー層（８ｂ）を少なくとも一つ含み、このバリヤー層はケイ素化合物ＳｉＯ2、ＳｉＯxＣyもしくはＳｉＯxＮy、窒化物Ｓｉ3Ｎ4もしくはＡｌＮ、又はこれらの化合物のうちの少なくとも２種の混合物を基にして選ばれ、
そして他方で、当該機能性金属層（６）の構成材料を吸収することができる材料製の少なくとも一つの吸収性層（８ａ）が、当該機能性金属層（６）の上及び当該バリヤー層（８ｂ）の下に配置されるコーティングの一部を形成しており、当該吸収性層（８ａ）は、
・次の酸化物すなわちＺｎＯ及びＳｎＯ2のうちの一つから選ばれた誘電材料製の多孔質の吸収性層であるか、あるいは、
・前記機能性層の金属のカチオンを可逆的又は不可逆的に注入することができる材料製であり、酸化物ＷＯ3を基にしていて、この酸化物は酸素に関し不足当量であり及び／又は水和されていることが可能である、多孔質の吸収性層である、
ことを特徴とするグレージング集成体。
【請求項２】
前記積重体が三つのコーティング（２ａ，２ｂ；４，５ａ，５ｂ；７，８ａ，８ｂ）と互い違いになった二つの機能性金属層（３，６）を含むことを特徴とする、請求項１記載のグレージング集成体。
【請求項３】
前記バリヤー層の幾何学的厚さが１０ｎｍより厚いかそれと等しいことを特徴とする、請求項１又は２記載のグレージング集成体。
【請求項４】
前記バリヤー層の幾何学的厚さが１５〜６０ｎｍであることを特徴とする、請求項３記載のグレージング集成体。
【請求項５】
前記吸収性層が、多孔度が５〜２５％の多孔質材料製であることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか一つに記載のグレージング集成体。
【請求項６】
前記多孔質の吸収性層の幾何学的厚さが２〜３０ｎｍであることを特徴とする、請求項５記載のグレージング集成体。
【請求項７】
前記機能性層の金属のカチオンを可逆的又は不可逆的に注入することができる材料製の吸収性層の厚さが１〜５０ｎｍであることを特徴とする、請求項１から５までの一つ記載のグレージング集成体。
【請求項８】
前記吸収性層の厚さが２〜３０ｎｍであることを特徴とする、請求項７記載のグレージング集成体。
【請求項９】
前記機能性層のうちの少なくとも一つの上に少なくとも部分的に酸化された、厚さが０．５〜４ｎｍである、薄い犠牲金属層が載っていることを特徴とする、請求項１から８までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１０】
前記積重体が二つの機能性層（３，６）を含み、それらのおのおのがバリヤー層及び吸収性層と組み合わされていることを特徴とする、請求項１から９までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１１】
前記バリヤー層、又は複数の前記バリヤー層のうちの少なくとも一つが、少なくとも一つの他の層のコーティングの下にあることを特徴とする、請求項１から１０までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１２】
前記機能性層、又は複数の前記機能性層のうちの少なくとも一つがコーティングの上に配置されていて、その最終層が当該機能性層の濡れを容易にし、この最終層が酸化物Ｔａ2Ｏ5、Ｎｂ2Ｏ5及びＺｎＯのうちの一つから選ばれていることを特徴とする、請求項１から１１までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１３】
前記機能性層のうちの少なくとも一つの上にＳｎＯ2／Ｓｉ3Ｎ4又はＷＯ3／Ｓｉ3Ｎ4  ＺｎＯ／Ｓｉ3Ｎ4と続くものを含むコーティングが載っていることを特徴とする、請求項１から１２までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１４】
前記機能性層（３，６）のうちの少なくとも一つが、ＷＯ3又はＳｎＯ2又はＺｎＯの層の上且つＳｉ3Ｎ4もしくはＡｌＮ、又はＳｉ3Ｎ4とＡｌＮの混合物製の層の下に配置されていることを特徴とする、請求項１から１３までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１５】
構成要素の前記透明基材のうちの少なくとも一つが透き通った又は全体に着色されたガラス製であることを特徴とする、請求項１から１４までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１６】
ガラスタイプの少なくとも２枚の硬質基材を熱可塑性ポリマーの少なくとも１枚のシートを使って組み合わせて積層されていて、ガラス／薄層の積重体／ポリマーのシート／ガラスタイプの構造を持つことを特徴とする、請求項１から１５までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１７】
ガラスタイプの硬質基材をエネルギー吸収特性をもつポリウレタンに基づいたポリマーの少なくとも１枚のシートと組み合わせて積層されている、ガラス／薄層の積重体／ポリマーのシートタイプの構造をもつ対称積層グレージングタイプのものであることを特徴とする、請求項１から１５までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１８】
湾曲されていることを特徴とする、請求項１から１７までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項１９】
少なくとも前記積重体を支持する基材が強化ガラス製であることを特徴とする、一体式集成体としてあるいは二重グレージングタイプの多重グレージングユニットとして取り付けられる請求項１から１８までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項２０】
ＴLが５０〜８５％であり、ＲLが２０％未満であることを特徴とする、請求項１から１９までの一つに記載のグレージング集成体。
【請求項２１】
外部反射のａ*とｂ*の値が負であることを特徴とする、請求項２０記載のグレージング集成体。
【請求項２２】
請求項１から２１までの一つに記載のグレージング集成体を製造するための方法であって、薄い層の積重体をそのガラス基材上に、磁場によって随意に支援される、スパッタリングタイプの真空技術を使用して堆積させることと、曲げ加工、強化又は徐冷タイプの熱処理を当該基材上で、その光学的品質を損なうことなく行うことを特徴とする、グレージング集成体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、透明基材に関し、詳しく言えばガラスといったような硬質の無機材料から作られた透明基材に関し、これらの基材は日射及び／又は長波長の赤外線に作用することができる金属タイプの挙動を示す層を少なくとも一つ含む薄層の積重体で被覆される。
【０００２】
もっと詳しく言うと、本発明は、そのような基材を断熱及び／又は日射防止グレージング集成体を製造するために使用することに関する。これらのグレージング集成体（ｇｌａｚｉｎｇ  ａｓｓｅｍｂｌｙ）は、特に空調の負荷を減らし及び／又は車室のガラスをはめた面が相変わらず増えていることにより引き起こされる過熱を減らす目的で、建物と車両の両方に装備しようとするものである。
【０００３】
【従来の技術】
基材にそのような特性を与えるための既知のタイプの多層積重体は、少なくとも一つの金属層、例えば銀の層が、金属酸化物タイプの誘電材料の二つのコーティングの間に配置されたものからなる。この積重体は一般に、例えばスパッタリングといったような、随意に磁場により支援される真空技術を利用して行われる一連の堆積（付着）により得られる。二つの非常に薄い金属層を銀層の両側に設けてもよく、下の層は核形成のための結合層として働き、上層は銀の上の酸化物層を酸素存在下でのスパッタリングにより堆積させる場合に銀の劣化を防止するよう保護層又は「犠牲」層として働く。
【０００４】
銀の基礎層を一つ又は二つ有するこのタイプの積重体は、例えば、ヨーロッパ特許第０６１１２１３号、同第０６７８４８４号及び同第０６３８５２８号明細書から知られている。
【０００５】
現在、低放射率又は日射防止グレージング集成体であって、ほかに基材自体に固有の特性、特に美的特性（それらを成形することができるよう）、機械的特性（それらがより強くなるよう）、あるいは安全上の特性（それらが破損の際に傷害の原因にならないよう）を有するこれらのグレージング集成体の需要が増加している。これは、ガラス基材を曲げ加工、徐冷及び強化タイプの、それ自体既知の熱処理にかけることを必要とする。特に、当節はほとんど全てが湾曲及び／又は強化されている、車両へ取り付けようとする積層タイプのグレージング集成体が意図されている。
【０００６】
従って、銀層タイプの機能性層の完全な状態を維持するため、特にそれらの劣化を防止するため、多層積重体を改変することが必要である。第一の解決策は、機能性層を取り囲む上述の薄い金属層の厚さを有意に増加させることにあり、このようにして、高温で周囲の雰囲気から拡散しそうであり及び／又はガラス基材から移動しそうである酸素を、それが機能性層に到達することなくこれらの金属層を酸化することにより、それらで「捕捉」することが保証される。
【０００７】
この解決策は欠点なしではなく、二つの金属層は銀層の「代わりに」容易に酸化するので、それらは特に光の透過率ＴL を非常に増大させることになり、従ってこの値は熱処理前にはもっとはるかに小さかったとは言えＴL の値が７５％より大きく最高８０％までである、湾曲又は強化される低放射率又は日射防止グレージング集成体を得ることが可能である。詳しくは、ヨーロッパ特許出願公開第０５０６５０７号明細書を、スズ層とニッケル−クロム層との間に配置された銀層を有する上記の如き「強化可能な」積重体の説明について、参照することができる。しかし、熱処理前のコーティングされた基材が「半完成」製品としてのみ考えられたこと、そして光学的特性がそれをそのままでは使用できなくすることがよくあったことは明らかである。従って、一方は非湾曲／非強化グレージング集成体のためのものでありそして他方は強化又は湾曲しようとするグレージング集成体のためのものである二つのタイプの多層積重体を並行して開発及び製造することが必要であったが、それは特に原料と生産管理の点で問題を複雑にしかねない。
【０００８】
ヨーロッパ特許第０７１８２５０号明細書で提案された改良が、この制約を克服するのを可能にした。この明細書の教示は、薄層の積重体を、その光学的及び熱的特性が、その積重体で被覆される基材が熱処理を受けようと受けまいと事実上変わらないままであるように設計するというものである。そのような成果は、二つの特徴を組み合わせることにより得られ、それらの特徴とは、すなわち一方では機能性層の上に高温での酸素の拡散に対するバリヤーを形成することができる材料であり、それ自体が、その光学的特性の改変をもたらすであろう高温での化学的又は構造的な改変を被らない材料から製作された層を設けることであって、この材料は例えば窒化ケイ素Ｓｉ3 Ｎ4 又は窒化アルミニウムＡｌＮでよく、他方では機能性層を下にある誘電体、特に酸化亜鉛ＺｎＯ、のコーティングと直接接触させることである。
【０００９】
この解決策は、基材が熱処理後には全く一定であるＴL のレベルと外部反射の見かけとを効果的に維持するのを可能にするとは言うものの、この種の積重体にあっては、肉眼に時には見える光学的欠陥が熱処理後に現れることがあるのが認められていて、これらは非常にしばしば、「ピンホール」タイプの又はわずかにぼやけた外観をもつ明るい斑点の形をしており、これは、特にこれらのグレージング集成体が非常に厳しい標準規格により非常に高い光学的品質を課される自動車タイプの車両に取り付けようとする、積層タイプであってもよくそうでなくてもよい湾曲／強化グレージング集成体である場合に、結果として異常に高いスクラップ発生率をもたらすことがあるので、美観と生産性との点で明らかに不利であることから、それはなおも改善の余地がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、特に先に説明したタイプの機能性層を有する新しいタイプの積重体を開発することにより、この欠点をうまく改善することであり、そしてその積重体はその光学的品質を維持しながら、曲げ加工／強化又は徐冷タイプの高温の熱処理を受けるとことができる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の主体は、赤外線及び／又は日射を反射する特性をもつ、特に本質的に金属性の、ｎ個の機能性層と、（ｎ＋１）個の「コーティング」とが交互になったものを含む薄層の積重体を備えた透明基材を少なくとも一つ含むグレージング集成体であり、ここではｎ≧１である。上記の「コーティング」は、一つの層又は複数の層から構成され、そのうちの少なくとも一つは誘電材料から製作される。これらの機能性層とこれらのコーティングは、（おのおのの）機能性層が二つのコーティングの間に配置されるように配列される。
【００１２】
積重体を備えた基材を強化、曲げ加工、徐冷タイプの熱処理にかける場合に積重体の光学的品質を保持するために、
・一方において、機能性層の上に、あるいは複数の機能性層のうちの一つの上に、そして後者の場合好ましくはｎ番目の層の上に配置するコーティングは、少なくとも酸素と水に対してバリヤーを形成することができる材料製の「バリヤー」層を少なくとも一つ含み、
・そして他方において、当該機能性層の構成材料を「吸収」又は「安定化」することができる材料製の少なくとも一つの「吸収性」又は「安定化」層が、当該機能性層の上且つ「バリヤー」層の下に配置されるコーティングの一部か、あるいは当該機能性層の下に配置されるコーティングの一部を形成する。
【００１３】
好ましくは、バリヤー層は機能性層の構成材料に対するバリヤーをやはり形成することができる材料から作られる。
【００１４】
発明者らは、実際、このタイプの薄層積重体の熱処理後に光学的欠陥が現れるのは本質的に、機能性層に隣接する層への機能性層の構成材料の一部分の移動から起こり、非常に少量の一部分の移動からさえ起こっていたことを証明した。「構成材料」なる用語は、層が金属である場合に、当該金属元素とことにより完全にあるいは部分的にイオン化した金属の両方を意味するものと解される。例えば、機能性層が銀から作られる場合、上層すなわちその上に配置されるものへのＡｇとＡｇ+ の両方の形の銀の移動が観測され、この移動の結果積重体の表面に銀の「クラスター」ができて、美的でない斑点を生じさせた。
【００１５】
この移動について、一方は機械的理由、他方は化学的理由の二つの理由が提出された。
【００１６】
機械的観点からは、積重体を高温に、詳しくはグレージング集成体を曲げ加工及び／又は強化する通常の作業のために必要である５５０〜６５０℃の温度範囲内に加熱すると、薄層を構成する全ての材料はこの熱応力に対し「異なる反応」をする。銀タイプの金属製の機能性層は大きく膨張し、一般に、それと隣接する積重体のその他の層、特に誘電体を基にしたものよりももっと膨張する。それゆえ、機能性層は高温で高い圧縮状態にあり、そして金属及び／又はイオン形態の銀はその場合に、それがさらされる熱機械的応力を緩和するため他の層へ移動する傾向をもつに至るまで不安定になりやすく、隣接層へのその層の付着力は低下する。
【００１７】
化学的観点からは、この時に隣接層が、もっと詳しく言えばそれの上に配置される層がこの移動を完全に封鎖することができない場合に、上述の光学的欠陥が現れる。これは、機能性層の上に配置された誘電体コーティングとして、金属酸化物タイプの既知の材料がある場合に、あるいはＳｉ3 Ｎ4 の場合にそうであるように機能性層へ外部から酸素が移動するのを防ぐように酸素バリヤーを形成するために選ばれた材料がある場合にも、言えよう。
【００１８】
従って、本発明は、銀タイプの機能性層のために二重の保護を施そうというものである。
【００１９】
機能性層の上に、その機能性層へ周囲雰囲気から酸素と水が移動するのを防ぐことができる材料から作られた少なくとも一つの層を設け続けることは重要であり、雰囲気に源を発するこの拡散はこの時にガラスに源を発する酸素の起こりえる移動よりも多くて且つ機能性層の完全性にとって著しく不利になることが分かった。（とは言え、最大限の安全性のために、このタイプの「バリヤー層」を機能性層の下にも配置するようにしてもよい。）このように、これは機能性層の熱的性能特性を低下させ且つその光学的品質に問題を生じさせるであろう機能性層の、特に酸化や水和による、化学的変性を回避し、この化学的な劣化現象は抑制しがたいものである。
【００２０】
けれども、本発明はこの第一の保護に、第一の態様によれば層から外へ移動しやすかろう銀を捕捉しそして吸収するための手段を付け加え、これは熱機械的応力の下で「過剰」である機能性層の構成材料のうちのなにがしかの量を受け入れることができる層を用いて達成される。従って、このいわゆる「吸収性」層は、外部雰囲気までの積重体の他の層への移動を止めることを可能にする。
【００２１】
積重体におけるその位置はいろいろでよい。それを機能性層の上に配置する場合に、それがその役割を果たすことができるためには、上述の光学的欠陥を生じさせ、すなわち機能性層からやってくる材料、特に銀の、美的でない斑点の原因となる「クラスター」ができる、バリヤー層を通してのなんらかの移動が起こるのを防ぐため、それは上述のバリヤー層の下にあるのが好ましい。とは言え、それを機能性層の下に配置するようにしてもよい。
【００２２】
実際のところ、「吸収性」層は、それが好ましくは少なくとも二つの特性をもつように選ばれるべきであり、一方においては、それを構成する材料が機能性層の材料に対し良好な化学的親和性をもつことが重要であり、そして他方では、吸収性層の材料が機能性層の「過剰な」材料を捕捉できることが重要であって、この「過剰な」材料を取り込む方法はいろいろなやり方で、特にすき間（ｉｎｔｅｒｓｔｉｔｉａｌ）タイプ又は間隙（ｖａｃａｎｃｙ）タイプの取り込みにより、行うことが可能である。
【００２３】
第二の態様によれば、「吸収性」層ではなくむしろ「安定化」層を用いることが好ましい。本発明の趣旨において、「安定化」とは当該層の本質を機能性層とこの層との界面を安定化するように選ぶことをことを意味する。この安定化は、それを取り囲む層への機能性層の付着力を増加させることになり、こうしてその構成材料が一般には支持基材から遠ざかる方向に移動するのに抵抗する。
【００２４】
この「安定化」層を作るのに特に有利な一つの材料は酸化亜鉛であること、積重体のガラス基材と反対の側からの、直接のあるいは犠牲タイプの薄い金属層（厚みは一般に約０．５〜２ｎｍ）を介しての拡散に最善のやり方で抵抗するために好ましくは機能性層の上に配置された、酸化亜鉛であることが分かった。（それは機能性層の下に、好ましくはそれと直接接触して、あってもよい。）このＺｎＯを基にした「安定化」層は有利には、少なくとも５ｎｍ、特に５〜２５ｎｍの厚さである。
【００２５】
本発明は、二つのコーティングの間に配置した単一の「機能性」層だけを有する積重体のみに適用されるものではない。それはまた、複数の機能性層、特に、例えばヨーロッパ特許第０６３８５２８号明細書に記載されたタイプの、三つのコーティングと互い違いになった二つの機能性層、あるいは例えばヨーロッパ特許第０６４５３５２号明細書に記載されたタイプの、四つのコーティングと互い違いになった三つの機能性層、を含む積重体にも適用される。
【００２６】
例えば積重体がいくつかの機能性層を使用する場合には、積重体の一番最後の機能性層、つまり支持基材から一番遠く離れたものは、バリヤー層と吸収性又は安定化層の両方を備えることがしばしば有利であるというのが事実であることが分かった。と言うのは、積重体におけるその位置のゆえに、周囲雰囲気により一番酸化されそうであり、且つ、構成成分の一部が積重体の一番最後の層の外表面まで最も容易に移動できるものであるという意味において、最も「影響を受ける」ものは後者であるように思えるからである。
【００２７】
もちろん、特に銀製又は銀を含有する合金製の、全部の機能性層に、本発明によるバリヤー層と吸収性又は安定化層とをこのように設けるようにしてもよい。
【００２８】
本発明によるバリヤー層は、好ましくは、屈折率がこの種の積重体において標準的に使用されるものと都合よく同様である、すなわち詳しく言えば１．７と２．５の間にある、誘電材料から選ばれる。例えば、それを「光学的」に金属酸化物タイプの誘電性層の代わりとすることができ、そしてそれは干渉の光学機能とバリヤー機能を兼ね備えることができる。
【００２９】
詳しく言うなら、バリヤー層は、酸化ケイ素ＳｉＯ2 、酸炭化ケイ素ＳｉＯx Ｃy 又は酸窒化ケイ素ＳｉＯx Ｎy タイプのケイ素化合物を基礎材料とする。それは、窒化ケイ素Ｓｉ3 Ｎ4 又は窒化アルミニウムＡｌＮタイプの窒化物、あるいはこれらの化合物のうちの少なくとも２種の混合物を基礎材料としてもよい。
【００３０】
それは、ＳｉＣ、ＴｉＣ、ＬｉＣ及びＴａＣといったような炭化物タイプであるように選ぶこともできるが、その場合には、光の透過率ＴL の高いグレージング集成体を得ることが所望されるならＴL のレベルに関して積重体を不利なものにしかねないそれらの吸収特性のゆえに、それを厚過ぎることのない厚さに制限するのが好ましい。
【００３１】
一般に、バリヤー層の幾何学的厚さはその他の点で好ましくは、少なくとも１０ｎｍ、特に少なくとも１５ｎｍ、あるいはとりわけ１５〜６０ｎｍ又は更にとりわけ２０〜５０ｎｍとなるように選ばれる。
【００３２】
ここで、本発明の第一の側面による積重体における配列と吸収性層の特性とを検討しよう。それは高温での機能性層の圧縮の状態を、特に金属又はイオン形態にある、その材料の一部を取り込むのを可能にすることにより軽減することを可能にしなくてはならないことが分かった。それは、機能性層と直接接して、その下か又はその上に配置してもよく、あるいは、高温で移動する金属又はイオン形態の物質を「浸透」させる少なくとも一つの「中間層」によりそれから切り離されるが、これは中間層を化学的又は構造的に改変して積重体の光学的見かけに全体的に不利となる影響を与えることにはならない。機能性層と吸収性層との間にあることができる、一つあるいは複数のこれらの中間層は、詳しく言えば、機能性層に関し核形成層として又は犠牲層として働く薄い金属層である。
【００３３】
第一の態様によれば、吸収性層の材料は多孔質材料から選ばれ、詳しく言えば多孔度が少なくとも２％、好ましくは５〜２５％の層である。多孔度は、ここではｐ％＝１−（ｄ1 ／ｄ0 ）の関係で定義され、この式のｄ0 は百分率で表した当該材料の理論密度であり、ｄ1 はその実際の密度である。この多孔度は、材料が誘電体である場合、それの理論上の屈折率と比べたその屈折率の、その密度とほぼ同じ割合での低下によってしばしば表現される。十分な吸収能力をもたらすために、一般には、この多孔質の層が少なくとも２ｎｍ、特に２〜３０ｎｍの幾何学的厚さを持つようにし、機能性層の「過剰」である物質の所望される完全な吸収を行うために多孔度と厚さの両方を変えることが可能である。
【００３４】
第一の事例によれば、この多孔性層は本質的に金属質でよく、特に次の金属、すなわちＮｉ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｔｉ、ＮｉＣｒタイプの合金、又は鋼のうちの少なくとも一つから選ばれた材料で製作することができる。この場合、その厚さは、より厚い層を選ぼうとするとその光学的吸収特性は非常に透明なグレージング集成体を得ることが望まれる場合に光透過率のレベルを余りに著しく低下させるので、２〜５ｎｍの範囲に制限するのが好ましい。
【００３５】
第二の事例によれば、多孔質層を誘電材料から選び、特に次の酸化物、すなわち酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化チタンＴｉＯ2 、酸化ケイ素ＳｉＯ2 及び酸化アルミニウムＡｌ2 Ｏ3 のうちの少なくとも一つから選ぶ。この場合には、層はかなり厚くてよく、そしてまた積重体において干渉の役割を果たしてもよい。
【００３６】
これらの種々の材料の多孔度は、堆積（付着）条件を調節して変えることができる。例えば、これらの層を磁場により随意に支援されるスパッタリングで堆積させる場合、堆積室内の圧力の選定は層の多孔度を制御するのを可能にし、アルゴンタイプの、不活性ガスの圧力が高くなればなるほど、多孔度が上昇する傾向が大きくなる。
【００３７】
第二の態様によれば、吸収性層の材料は、機能性層の金属のイオンを可逆的又は不可逆的に注入し、そしてことによっては非イオン化金属を可逆的又は不可逆的に注入して、ことによりそれを注入する際にイオン化することができる材料からなる。これは詳しく言えば、次の成分、すなわち酸化タングステンＷＯ3 、酸化ニッケルＮｉＯx 、酸化ニオブＮｂＯx 、酸化イリジウムＩｒＯx 、酸化スズＳｎＯx 、及び酸化バナジウムＶＯx のうちの少なくとも一つを基にした材料であり、これらの酸化物は酸素に関して不足当量（ｓｕｂｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔｒｉｃ）であること、そして水和されているかあるいは水和されていないことが可能である。実際、これらの材料、特に酸化タングステンは、エレクトロクロミック窓ガラス又は装置においてＡｇ+ タイプのカチオンを可逆的に注入する特性についてよく知られている。
【００３８】
この種の注入層の厚さは、特に上述の材料のおのおのに関するその固有の注入能力に応じて、いろいろでよい。好ましくは、少なくとも１ｎｍ、特に１〜５０ｎｍ、好ましくは２〜３０ｎｍの層が設けられる。
【００３９】
第三の態様によれば、吸収性層は本質的に、機能性層が金属質である場合に機能性層の金属とはっきりとした（ｄｅｆｉｎｅｄ）あるいははっきりしない（ｕｎｄｅｆｉｎｅｄ）固溶体を形成することができる金属（又は合金）からなる。詳しくは、次の金属又はメタロイド、すなわちＣｕ、Ｐｄ、Ｚｎ、Ａｕ、Ｃｄ、Ａｌ及びＳｉのうちの少なくとも一つを挙げることができる。「固溶体」という用語は、ここでは、厳密に言って必ずしも合金でなく、吸収性層の金属が機能性層のなにがしかの量の金属をそのマトリックス中へ「溶解」させ、化学量論のはっきりしない化合物を作ることができるもの、すなわち機能性層のうちの可変量の、つまりは０％から「始まる」量の金属を漸次増加させることができる金属である類のものを意味すると解される。
【００４０】
第二と第三の態様の材料は、第一の態様で説明したもののような多孔度をもつようにしてもよい。
【００４１】
有利には、機能性層のうちの少なくとも一つを、少なくとも部分的に酸化され特に０．５〜４ｎｍの厚さを有する薄い「犠牲」金属層がその上にくるようにしてもよく、後者は、次の層が酸素の存在下での反応性スパッタリングで堆積させる酸化物を基にする場合に、積重体の堆積の際の酸化から機能性層を保護するのを可能にする。こうして、「犠牲」層は機能性層の金属の代わりに酸化する。
【００４２】
従って、金属質タイプの吸収性層、特に多孔質であり及び／又は固溶体を形成することができるものを、機能性層の上に直接配置するようにすることができ、それゆえ「犠牲」層として働くようにすることもできる。この場合には、それは、上層の堆積中にそれが酸化された後に吸収体としての役割を果たすことができる十分な厚さの不酸化金属が残るように、十分厚くなくてはならない。
【００４３】
有利には、積重体は二つの機能性層を含み、そのおのおのにバリヤー層と吸収性又は安定化層が組み合わされる。
【００４４】
積重体において、バリヤー層又は、複数のバリヤー層がある場合それらのうちの少なくとも一つは、本発明の趣旨でのコーティングの本質的側面を構成することができる。それはまた、誘電材料のほかの層と組み合わせてもよく、そして特に、酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化スズＳｎＯ2 、酸化チタンＴｉＯ2 、酸化ニオブＮｂ2 Ｏ5 、酸化タンタルＴａ2 Ｏ5 、酸化アルミニウムＡｌ2 Ｏ3 及び酸化タングステンＷＯ3 といったような金属酸化物、あるいはこれらの酸化物のうちの少なくとも二つのものの任意の混合物を基にした少なくとも一つの他の層をその上に載せることもできる。詳しく言うと、この酸化物層の堆積（付着）を行う二つの方法があって、通常の方法において直接酸化物の形態で行うか、あるいは特にそれが積重体の最終層を構成する場合に、金属の形態で行い、次いでその堆積（付着）後に、最も詳しく言えば基材の空気中での熱処理の際に、その酸化を行う。その厚さは好ましくは、０．５〜２０ｎｍとなるように、特に１〜５ｎｍとなるように選ばれるが、もちろんそれは依然として随意のままである。理由はたくさんあり得るが、特に言えば、それらは、これらの層の堆積（付着）の速度、原料（スパッタリング堆積手法を使用する場合にはターゲット）の値段、そして屈折率を考慮に入れることができる。バリヤー層の上にある単数又は複数の層の慎重な選定は、積重体で被覆した基材を積層グレージング集成体に装備する場合にポリビニルブチラールＰＶＢタイプの熱可塑性ポリマーのシートへの積重体の付着力の最適化を考慮に入れることもできる。（これに関しては、例えばヨーロッパ特許第０４３３１３６号明細書の教示を指摘することができる。）この選定はまた、例えば、グレージング集成体を製造する過程か、それを保管している間か、あるいはそれを取り付けてから、それが接触する雰囲気（例えば熱処理中の雰囲気）に応じて、積重体が克服しなくてはならないであろう化学的腐食及び／又は機械的問題を考慮に入れることもできる。
【００４５】
更に、機能性層、あるいは複数の機能性層のうちの少なくとも一つを、最後の層が機能性層の濡れを容易にするコーティングの上に配置するようにしてもよい。これは、より詳しく言えば、酸化亜鉛ＺｎＯ、酸化ニオブＮｂ2 Ｏ5 又は酸化タンタルＴａ2 Ｏ5 を基にした湿潤層でよく、あるいはこのタイプの二つの層の連続したものでもよい。更に詳しいことについては、ヨーロッパ特許第０６１１２１３号明細書及びヨーロッパ特許第０６７８４３４号明細書を参照することができる。これらの湿潤層が、それらを多孔性であるように選ぶことにより吸収性層の役割を果たすこともできること、あるいはそれらの厚さとそれらの形状とを選択することにより安定化層のそれを果たすこともできることは、除外されない。
【００４６】
本発明の一つの態様によれば、機能性層のうちの少なくとも一つの上にはＳｎＯ2 ／Ｓｉ3 Ｎ4 又はＷＯ3 ／Ｓｉ3 Ｎ4 又はＺｎＯ／Ｓｉ3 Ｎ4 タイプの一連の吸収性又は安定化層／バリヤー層を含むコーティングを載せ、Ｓｉ3 Ｎ4 は、例えばＡｌＮと、又はＡｌＮとＳｉ3 Ｎ4 との混合物と、取り替えることが可能である。
【００４７】
本発明によるグレージング集成体は、特に銀を基にした二つの機能性層を有する積重体の場合には、これらの層のうちの少なくとも一つ、特に最後のものが、一連のＺｎＯ／Ｓｉ3 Ｎ4 ／ＺｎＯを含むコーティングの上にあるようなものでもよい。
【００４８】
このグレージング集成体はまた、機能性層のうちの少なくとも一つ、特に最初のものが、一連のＳｎＯ2 ／ＺｎＯ又はＳｉ3 Ｎ4 ／ＺｎＯを含むコーティングの上にあるようなものでもよい。
【００４９】
第二の態様によれば、この場合には吸収性又は安定化層／機能性層／バリヤー層タイプ（ことにより機能性層の両側に「中間層」がある）の連続したものがあり、詳しく言えば機能性層の下にはＳｎＯ2 又はＷＯ3 又はＺｎＯの層が、そして機能性層の上にはＳｉ3 Ｎ4 及び／又はＡｌＮの層がある。
【００５０】
本発明によるグレージング集成体は、積重体を支持し、ことによっては少なくとも一つの他の基材と組み合わされた、少なくとも一つの基材を含む。それらは全てが透明でよく、あるいは着色されていてよく、特に基材のうちの少なくとも一つは全体に着色されたガラス製でよい。着色のタイプの選定は、グレージング集成体の製造が完了したならばそれに求められる光透過率のレベル又は着色の見かけに依存する。例えば、車両に取り付けようとするグレージング集成体については、標準規格によりフロントガラスはおよそ７５％の光透過率ＴL をもつことを要求され、このような透過率のレベルは例えば側面窓ガラスあるいはサンルーフには要求されない。採用することができる着色ガラスは、例えば、４ｍｍの厚さについてＴL が６５〜９５％、エネルギー透過率ＴE が４０〜８０％、そしてＤ65光源を使って透過光の主波長が４７０〜５２５ｎｍであり透過光の色純度が０．４〜６％であるものであって、これらは（Ｌ，ａ* ，ｂ* ）測色系でもって透過光のａ* とｂ* の値がそれぞれ−９と０の間及び−８と＋２の間にあることにより「表す」ことができる。
【００５１】
これらは、サン−ゴバン・ビトラージュ社によりＰＡＲＳＯＬの名称で市販されているガラス、特に緑青色をもつものでよい。それらはまた、やはりサン−ゴバン・ビトラージュ社により市販されているいわゆる「ＴＳＡ」範囲のガラス、並びに組成と特性が特にヨーロッパ特許第０６１６８８３号、同第０６４４１６４号、同第０７２２４２７号明細書、及び国際公開第９６／００３９４号パンフレットに記載されているガラスでもよい。
【００５２】
本発明によるグレージング集成体は、少なくとも１枚の熱可塑性ポリマーのシートを使用して、ガラス／薄層の積重体／シート／ガラスタイプの構造をもつよう、特にガラスタイプの少なくとも２枚の硬質基材を組み合わせた、積層構造をもってもよい。詳しく言えば、ポリマーはポリビニルブチラールＰＶＢ、エチレン−酢酸ビニルＥＶＡ、ポリエチレンテレフタレートＰＥＴ又はポリ塩化ビニルＰＶＣを基礎材料とすることができる。
【００５３】
グレージング集成体は、ガラスタイプの硬質基材をエネルギー吸収特性を有するポリウレタンタイプのポリマーの少なくとも１枚のシートと組み合わせ、随意に「自己修復」特性を有するポリマーのもう一つの層と組み合わせた、いわゆる積層グレージング構造をもつこともできる。このタイプのグレージング集成体についてより詳しいことについては、特にヨーロッパ特許第０１３２１９８号、同第０１３１５２３号及び同第０３８９３５４号明細書を参照することができる。この場合、グレージング集成体はガラス／薄層の積重体／ポリマー層タイプの構造を有することができる。
【００５４】
本発明によるグレージング集成体は、薄層積重体を損傷することなく熱処理を受けることができる。従って、それらは随意に曲げ加工及び／又は強化される。それらを、特に車両用窓ガラスを製作するため、湾曲させる場合、薄層積重体は好ましくは少なくとも部分的に平らでない面上にある。積層構造体では、それは好ましくはポリマーシートと接触する。
【００５５】
グレージング集成体はまた、それが積重体を備えた単一の基材のみからなる場合に、やはり曲げ加工及び／又は強化することができる。この場合、これは「一体式」グレージング集成体と呼ばれる。グレージング集成体は、多重グレ−ジングユニット、特に二重グレージングユニットでもよく、少なくとも積重体を支持する基材が曲げ加工及び／又は強化される。多重グレージングの構成においては、積重体がサンドイッチされたガス入りの空隙に面する側にあるようにそれを配置するのが好ましい。
【００５６】
本発明のグレージング集成体は、光の透過率の値が５０〜８５％、特に６０〜８０％、反射率ＲL の値が２０％未満、特に１３％未満、そして外部反射のａ* とｂ* の値が負となるように、一般的なやり方で、好ましく設計され、例えば特に、外観の色が現在完全に美的であると評価されている青−緑により近い色合いをもつ車両用窓ガラスにおいて出くわすＴL の全範囲を「包含」することが可能である。
【００５７】
本発明はまた、グレージング集成体を製造するための方法にも関し、それはそのガラス基材上に磁場により随意に支援されるスパッタリングタイプの真空技術を使って薄層の積重体を堆積させ（第一の層を別の技術を使って、例えば熱分解タイプの熱的な分解技術を使って、堆積（付着）させる可能性を除外せずに）、そして次にこの被覆した基材上でその光学的品質を損なうことなく曲げ加工／強化又は徐冷タイプの熱処理を行うというものである。
【００５８】
【実施例】
本発明の詳しいことと有利な特徴は、図１を用いて説明される下記の非限定の例から明らかになろう。
【００５９】
図１は本発明による積重体を示しているが、種々の材料の厚さの比率は、その検討がより容易なように、顧慮されていない。
【００６０】
以下の全ての例において、積重体は基材１の上に堆積（付着）させるが、これは厚さ２ｍｍの透き通ったシリカ−ソーダ−石灰ガラス製である。積重体は、厚さが同一であるかあるいは異なる銀の二つの機能性層３、６に分解され、ヨーロッパ特許第０６３８５２８号明細書の教示に従い第一の層３の厚さは第二の層６のそれより薄い。機能性層３、６のそれぞれの上には、薄い、少なくとも部分的に酸化された金属質の「犠牲」層４、７が堆積される。
【００６１】
機能性層３、６の下には、誘電材料を基にした一つの層又は複数の重ね合わせた層があり、これらの層は２ａ、２ｂ及び５ａ、５ｂで参照される。
【００６２】
基材から数えて最後の機能性層６の上、且つ犠牲層７の上には、誘電材料の一つの層又は重ね合わせた層８ａ、８ｂがある。
【００６３】
従って、層２ａ及び２ｂと銀層３とを組み合わせる第一のコーティングと、層４、５ａ及び５ｂと第二の銀層６とを組み合わせる第二のコーティングと、そして層７、８ａ及び８ｂを組み合わせる第三のコーティングとを使用する構造体がある。
【００６４】
第一の一連の例によれば、例１〜３は、
・犠牲層４、７がＮｂ製であり、
・層２ａがＳｎＯ2 製であり、
・層５ａがＳｉ3 Ｎ4 製であり、
・層５ｂがＺｎＯ製であり、
・層８ｂがＳｉ3 Ｎ4 製であり、そして
・層３、６が銀製である。
【００６５】
これらの種々の例では、層８ａの種類だけが変化する。本発明の趣旨において、Ｓｉ3 Ｎ4 層５ａと８ｂは、それぞれ銀層３と６に関し酸素バリヤー層の役割を果たし、本発明の趣旨における「吸収性」層は層８ａであり、従ってそれは、上に（又は下に）それを堆積させる銀層６から移動してくるなにがしかの量の銀を吸収することができる。
【００６６】
これらの全ての例において、積重体の層は磁場に支援されるスパッタリングにより連続して堆積させるが、堆積させようとする層の厚さの良好な制御を可能にする限りは他の任意の堆積（付着）手法を考えてもよい。
【００６７】
堆積装置は、適切な材料から作られたターゲットを取り付けた陰極を備え、それらの下を基材１が連続して進む、少なくとも一つのスパッタリング室を含む。層のおのおのについてのこれらの堆積条件は次のとおりである。
銀を基にした層３、６は、銀ターゲットを使用し、アルゴン雰囲気中で０．８Ｐａの圧力で堆積させる。
ＳｎＯ2 を基にした層２ａは、スズターゲットを使用し、０．８Ｐａの圧力で、酸素を３６容量％含むアルゴン／酸素雰囲気中において反応性スパッタリングにより堆積させる。
Ｎｂを基にした層４、７は、ニオブターゲットを使用し、やはり同じ圧力で、アルゴン雰囲気中にて堆積させる。
Ｓｉ3 Ｎ4 層５ａ、８ｂは、ホウ素又はアルミニウムをドープしたケイ素ターゲットを使用し、２０容量％の窒素を含むアルゴン／窒素雰囲気中０．８Ｐａの圧力での反応性スパッタリングにより堆積させる。
そしてＺｎＯ層２ｂと５ｂは、亜鉛ターゲットを使用し、同じ圧力で、４０容量％の酸素を含むアルゴン／酸素雰囲気での反応性スパッタリングにより堆積させる。
【００６８】
パワー密度と基材１の走行速度を、所望の層の厚さを得るため既知のやり方で調節する。
【００６９】
〔例１〕
この例では、層８ａは、０．８Ｐａの圧力及び２０容量％の酸素を含むアルゴン／酸素雰囲気中でのＷターゲットの反応性スパッタリングにより得られた酸化タングステンＷＯ3 製である。
【００７０】
〔例２〕
この例では、層８ａは、層２ｂ及び５ｂのために想定した圧力よりかなり高い１．２Ｐａの圧力で堆積させた「多孔質」の酸化亜鉛製である。その測定した多孔度は１５％である。
【００７１】
〔例３〕
この例では、層８ａは層２ａと同じように堆積させたＳｎＯ2 製である。
【００７２】
下記の表１は、これらの三つの例のそれぞれについて、当該積重体の層の種類と厚さ（ナノメートルでの）を挙げている。
【００７３】
【表１】
0004633872.tif 000002
【００７４】
次に、これらの被覆した基材のおのおのを６２０℃より高温の熱処理にかけ、次いで湾曲させ、そして同じ種類であるが被覆されていず、同じ曲率を有する基材に厚さが０．８０ｍｍのポリビニルブチラールの熱可塑性シートを用いて、積層された基材（１）／多層／ＰＶＢ／基材（２）の構造をもち、自動車のフロントガラスタイプの装備品において基材１の面に平らでない多層積重体が配置されるように、既知のやり方でホットカレンダリングにより接合させた。
【００７５】
下記の表２は、これらの例のおのおのについて、
光の透過率ＴL （％）（Ｄ65光源）、
エネルギーの透過率ＴE （％）、
透過光の（Ｌ，ａ* ，ｂ* ）測色系でのａ* とｂ* の値ａ* （Ｔ）及びｂ* （Ｔ）、
外部光反射率ＲL （％）（Ｄ65光源）、
反射光の（Ｌ，ａ* ，ｂ* ）測色系でのａ* とｂ* の値ａ* （Ｒ）及びｂ* （Ｒ）、
を、一方においては曲げ加工と積層前の被覆された基材（１）（「一体式」）について、そして他方では曲げ加工し組み立てて積層グレージング集成体にした被覆基材（１）（「積層式」）について、示している。
【００７６】
【表２】
0004633872.tif 000003
【００７７】
更に、湾曲した被覆基材の光学的品質はそれらの熱処理前の品質と同等であり、斑点が目に見えることあるいは何らかの残留するぼやけ（ｆｕｚｚｉｎｅｓｓ）が出現することはなかった。
【００７８】
これらの結果から、下記の結論を引き出すことができる。
・厚さが非常に薄くても、「多孔質」タイプ（ＺｎＯ）であるかあるいはＡｇ+ 注入タイプ（ＷＯ3 、ＳｎＯ2 ）の吸収性層８ａは、最終の銀層６の応力をその「過剰の」銀を吸収することにより緩和するのに、それゆえに同様であるがこのタイプの層のない積重体において起こりかねないランダムな光学的劣化の問題を解消するのに、十分効果的である。
【００７９】
・積重体は、追加の「吸収性」層により熱的に又は光学的に不利な影響を受けず、グレージング集成体はそれらが「一体式」であれ「積層式」であれ、反射光が青−緑の範囲内にとどまり（ａ* （Ｒ）とｂ* （Ｒ）が両方とも負である）、そして積層式の場合において少なくとも７５％のＴL の値を保持するのが可能であって、これはこの種のグレージング集成体をフロントガラスとして使用する場合に自動車分野において重要なことである。
【００８０】
・曲げ加工は、強化操作よりも機械的及び熱的に更に一層「応力が多い」と見なすことができる熱処理であるから、これらのグレージング集成体を、例えば建物で使用される二重グレージング構造を持つ、非湾曲強化グレージング集成体として使用して、同じ光学的品質を得ることも、なおさら可能である。
【００８１】
・グレージング集成体の熱処理がその光学的品質を保持する（これが本発明の目的であった）ばかりでなく、更に、特にＳｉ3 Ｎ4 バリヤー層が存在するために、その光学的／熱的特性を有意に変更しないという意味において、ヨーロッパ特許第０７１８２５０号明細書に記載される積重体の利点が維持されることにも注目すべきである（もちろん、ＰＶＢシートと第二のガラスを加えることから、一体式集成体と比較して積層集成体ではＴL の低下が生じる）。
【００８２】
先の例と比較していくらかの変更を行って、例４も作製したが、これらの変更は本質的に、チタンを基にした層（４）と（７）を使用し、犠牲層（４）とＳｉ3 Ｎ4 を基にした層（５ａ）との間に、下記において層（５ａ’）と呼ばれるＺｎＯ層を加え、そして最後に層（８ａ）として非多孔質（あるいはほとんど多孔質でない）ＺｎＯから製作された「安定化」層を使用するというものであった。
【００８３】
下記の表３は、一連の層をｎｍでのそれらの厚さとともに対照して示している（かっこ内の数字は、これらの層のおのおのについて厚さの最も有利な範囲を指示している）。
【００８４】
【表３】
0004633872.tif 000004
【００８５】
好ましくは、層（５ａ’＋５ａ＋５ｂ）の幾何学的厚さの合計は７０〜９０ｎｍであり、層８ａと８ｂの幾何学的厚さの合計は３０〜５０ｎｍである。
【００８６】
この積重体には、やはりＳｉ3 Ｎ4 バリヤー層（８ｂ）があり、そして非多孔質（あるいはほとんど多孔質でない）ＺｎＯの「安定化」層（８ａ）がある。他方の非多孔質あるいはほとんど多孔質でないＺｎＯ層（５ａ’）は、ＺｎＯ層（８ａ）により得られる安定化の効果に寄与することができる。
【００８７】
下記の表４は、上記のように被覆しそして次に前と同じ条件下で積層された基材の測色値（表２の場合において既に説明した）を、百分率で表したエネルギー反射率の値ＲE を加えて示している。
【００８８】
【表４】
0004633872.tif 000005
【００８９】
もう一つの例である例４ａを、例４における積重体を再度繰り返して、しかしながらＳｉ3 Ｎ4 の最終層（８ａ）の化学的性質をわずかに変更して、すなわち１９９７年７月２１日のフランス特許出願第９７／０９２２３号明細書の教示により、この最終層をそれが少量の金属を、この事例ではアルミニウムを、およそ１０原子％の割合で含有するという点で「ドープ」して、製作した。この「ドーピング」は、基材のその後の熱処理を行う雰囲気中に存在しそうである腐食性の種、特にＮａ2 Ｏタイプの種、に対するＳｉ3 Ｎ4 層の耐性を増大させるのを可能にする。
【００９０】
最後に、例４と同様であるが、第一の銀層（３）の下にＳｎＯ2 ／ＺｎＯと続くものではなくＳｉ3 Ｎ4 ／ＺｎＯと続くものを使用して、例５を作製した。更に、銀層（３）と（６）のおのおのに、それらの上のＴｉ犠牲層（４）と（７）だけでなく、それらの直ぐ下にやはりＴｉ製の、下記において（２ｃ）及び（２ｃ’）と呼ばれる薄層も添えることにした。とは言え、これらのＴｉ犠牲層（４）、（７）がなく及び／又はこれらのＴｉの下層（２ｃ）がなしで有利な積重体が製作され、それゆえそれらは随意のものであることに注目すべきである。
【００９１】
表５はこれらの一連の層を示すものである。
【００９２】
【表５】
0004633872.tif 000006
【００９３】
この特定の例においては、やはりＳｉ3 Ｎ4 バリヤー層（８ｂ）があり、そして例４におけるように、非多孔質又はほとんど多孔質でないＺｎＯ「安定化」層（８ａ）があって、この効果は、やはり非多孔質又はほとんど多孔質でないＺｎＯの下層（５ｂ）の存在によって向上させることができる。
【００９４】
例５ａは、例５と同じ例を、とは言え例４ａにおけるようにＳｉ3 Ｎ4 の最終層８ａにアルミニウムをドープして、製作するものであった。
【００９５】
従って、本発明は、これらの積重体に熱処理を施そうとする場合に、銀層を「含有」しようとしそしてそれらの構成材料の完全性を保持しようとする二つのタイプの層を有利に組み合わせることにより、二つの非常に重要な利点を組み合わせるのを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による積重体を示す図である。
【符号の説明】
１…基材
２ａ、２ｂ…誘電材料層
３…機能性層
４…犠牲層
５ａ、５ｂ…誘電材料層
６…機能性層
７…犠牲層
８ａ、８ｂ…誘電材料層
【図１】
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