(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、
上記外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する傾斜面を有し、その傾斜面における上記外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの上記外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、
上記外周部の内周側において隣り合う２つの上記載置部の間にあって、上記載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部と、
を備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するウェーハのハンドリング方法であって、
上記ウェーハ収納容器に収納された状態で上記切り欠き部から露出したウェーハの上記外周縁に接触してウェーハを保持し、ウェーハを上記ウェーハ収納容器から取り出すことを特徴とするウェーハのハンドリング方法。
【請求項２】
ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、
上記外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する傾斜面を有し、その傾斜面における上記外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの上記外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、
上記外周部の内周側において隣り合う２つの上記載置部の間にあって、上記載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部と、
を備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するハンドリング操作を行うウェーハのハンドリング方法であって、
ウェーハの上記外周縁に接触してウェーハを保持し、ウェーハに接触した部分を上記切り欠き部の位置に合せながらウェーハを上記載置部に載置し、上記切り欠き部において、ウェーハの上記外周縁と接触を解除することによりウェーハを上記ウェーハ収納容器に収納することを特徴とするウェーハのハンドリング方法。
【請求項３】
ウェーハの径方向外側からウェーハを挟持する複数のアームのアーム先端における斜め下方に傾斜した部分を前記切り欠き部において挿脱することにより、前記ハンドリング操作を行うことを特徴とする請求項１または２に記載のウェーハのハンドリング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを収納し、搬送または保管等するためのウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいはウェーハ収納容器にウェーハを収納するウェーハのハンドリング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ（以後、単に「ウェーハ」という。）は、極めて高価であり、しかも、破損しやすい製品であるため、通常、ウェーハの収納、搬送または保管には、専用の収納容器が使用される。専用のウェーハ収納容器として、ウェーハの口径に対応する凹状の複数の収容凹部に複数枚のウェーハを立てるように収容するものが知られている。従来、該ウェーハ収納容器からウェーハを作業者による手作業で取り出していたため、作業が非常に面倒であると共に、作業ミスも発生しやすかった。
【０００３】
しかし、近年の技術の進歩により、半導体装置の製造工程においては、ロボットを導入することによって、製造効率が高まると共に、手作業によるミスも低減してきている。特に、パドル式搬送機構を用いると、略Ｕ字状のウェーハ保持部材を介して、ウェーハの周縁部を下方から保持した状態でウェーハ収納容器からウェーハを取り出すことができる（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
また、搬送プレートの先端部に吸着孔を設けた搬送機構を用い、ウェーハ収納容器からウェーハを取り出す方法も知られている (例えば、特許文献２を参照)。
【特許文献１】特開２００２−３１９６１２号公報（段落０００２）
【特許文献２】特開平０９−１３９４１４号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のウェーハの搬送機構を用いたウェーハのハンドリング方法には、次のような問題がある。パドル式搬送機構を用いる方法の場合には、パドルでウェーハを下方より持ち上げてから取り出しを行なう。この際、パドルは、直接、ウェーハの表面と接触してしまい、ウェーハの表面が汚染されたり、ウェーハの表面に微細な傷が生じたりする恐れがある。特に、ウェーハが３００ｍｍ、さらに４５０ｍｍと大型化してくると、ウェーハを取り出す際に、ウェーハの自重に起因して、ウェーハの表面に微細な傷が生じる可能性がより高くなる。また、複枚数のウェーハを収納したウェーハ収納容器からウェーハのハンドリングを行う際に、ウェーハとウェーハの間に、搬送機構が入り込みウェーハを吸着もしくはエッジグリップして移しかえる事を繰り返すので、ハンドリング中に発生したり、巻き込まれたりしたパーティクル等が下段のウェーハ上に落下して、ウェーハを汚染してしまう恐れもあった。
【０００６】
また、特許文献２に開示されるウェーハ収納容器からウェーハを取り出す方法の場合にも、上述したパドル式搬送機構を用いる方法と同様に、大型のウェーハの自重に起因して、ウェーハの取り出しに対応することが難しいという問題がある。また、吸着ヘッドによりウェーハを吸着すると、ウェーハ表面に微細な傷を生じさせたり、ごく微量のヘッド材質がウェーハ表面に移行したりする。このため、ウェーハが汚染され、ウェーハ品質が低下するという問題がある。
【０００７】
本発明者は、本発明に先立ち、ウェーハを凹部に立てて収納するタイプの従来のウェーハ収納容器の欠点を解消すべく、全く新しい形状のウェーハ収納容器を発明した。従来のウェーハ収納容器は、ウェーハを取り出しあるいは収納しにくいこと、ウェーハの収容容積が大きくてかさばること等の欠点を有している。かかる欠点に鑑み、本発明者は、ウェーハを中央に載置するタイプのリング状のトレイであって、ウェーハを載置した状態で複数積載可能なウェーハ収納容器を発明するに至った。当該ウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは当該ウェーハ収納容器にウェーハを収納する場合にも、ウェーハの表面に傷を付けず、あるいは表面汚染させることなくウェーハをハンドリングすることが望まれる。
【０００８】
本発明は、上記のような経緯からなされたものであって、その目的とするところは、ウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する傾斜面を有し、その傾斜面における外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの上記外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、外周部の内周側において隣り合う２つの載置部の間にあって、載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部とを備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するウェーハのハンドリング方法であって、ウェーハ収納容器に収納された状態で切り欠き部から露出したウェーハの外周縁に接触してウェーハを保持し、ウェーハをウェーハ収納容器から取り出すウェーハのハンドリング方法としている。このため、ウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供することができる。
【００１０】
また、本発明は、ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する傾斜面を有し、その傾斜面における外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、外周部の内周側において隣り合う２つの載置部の間にあって、載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部とを備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するハンドリング操作を行なうウェーハのハンドリング方法であって、ウェーハの外周縁に接触してウェーハを保持し、ウェーハに接触した部分を切り欠き部の位置に合せながらウェーハを載置部に載置し、切り欠き部において、ウェーハの外周縁と接触を解除することによりウェーハをウェーハ収納容器に収納するウェーハのハンドリング方法としている。このため、ウェーハをウェーハ収納容器に載置してから搬送手段とウェーハの接触を解除し、ウェーハを収納することができる。従って、ウェーハの破損を防止できる。その結果、ウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能となる。
【００１１】
また、別の本発明は、先の発明において、ウェーハの径方向外側からウェーハを挟持する複数のアームのアーム先端における斜め下方に傾斜した部分を切り欠き部において挿脱することにより、ハンドリング操作を行うウェーハのハンドリング方法としている。このため、搬送中に、ウェーハを載置するアームの間隔がわずかに広がった場合でも、ウェーハを落下させず、安定してウェーハをハンドリングすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明に係るウェーハのハンドリング方法の好適な実施の形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。ただし、本発明は、以下に説明する好適な実施の形態に何ら限定されるものではない。  
【００１４】
まず、ウェーハ収納容器の形状について説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るウェーハのハンドリング方法を行う際に用いられるウェーハ収納容器１０の斜視図である。図２は、ウェーハ収納容器１０の平面図である。図３は、図２中おけるウェーハ収納容器１０を矢印Ａの方向から見た正面図である。図４は、図２中におけるウェーハ収納容器１０を矢印Ｂの方向から見た正面図である。図５は、ウェーハ３１を収納したウェーハ収納容器１０を上下方向に複数積み重ねた状態を示す図である。なお、以下の説明において、図１、図３、図４に示す矢示Ｚ１方向を上方、および矢示Ｚ２方向を下方、とそれぞれ規定する。
【００１５】
図１および図２に示すように、ウェーハ収納容器１０は、平面において略リング状の形態を有している。また、ウェーハ収納容器１０は、その外周側に設けられるリング状の外周部１２と、外周部１２の内側に設けられている載置部１４とを有している。ウェーハ収納容器１０の素材としては、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）若しくはポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等のエンジニアリングプラスチックが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、これらの樹脂にガラスファイバーを添加したり、カーボンファイバーや導電樹脂等による導電性を付与したものでも良い。また、外周部と載置部とを異なる材料から形成し、２色成形や熱溶着、超音波溶着、摩擦係合等で一体化しても良い。さらに、ウェーハ収納容器の全体又は一部、特には載置部に、導電性塗料を塗布したり、ダイヤモンドライクコーティング、セラミックコーティング、炭化珪素コーティング、ＰＴＦＥ樹脂コーティング、ＰＥＥＫ樹脂コーティング等を施すこともできる。また、例えば、ウェーハの外径を４５０ｍｍとすると、ウェーハ収納容器１０の径方向の外寸は、５００〜５５０ｍｍの範囲が好適であるが、ウェーハ収納容器１０に載置されるウェーハの外径に対応して適宜変更することができる。また、ウェーハ収納容器１０は、射出成形によって製造するのが好ましいが、この製造方法に限定されるものではない。
【００１６】
外周部１２は、リング状の平板を周方向に沿って凹凸が交互に４回ずつ繰り返すような形態を有している。具体的には、外周部１２は、上方側に突出する略円弧状の凸部２２と、凸部２２同士を接続すると共に、凸部２２より下方側にある下板部１８とから構成されている。凸部２２の円周方向両端は、下板部１８に連接するテーパ部２０，２０となっている。以下、凸部２２におけるテーパ部２０，２０を除いた平板状の部分を上板部１６といい、下板部１８とその両端にあるテーパ部２０，２０をまとめて指す際には、凹部２４という。外周部１２の径方向の長さは、２０〜３０ｍｍの範囲であるのが好ましいが、この範囲に限定されるものではない。
【００１７】
図３および図４に示すように、上板部１６の高さ方向の位置と下板部１８の高さ方向の位置との間には、合計４つの載置部１４が円周方向に等間隔で設けられている。図１および図２に示すように、載置部１４は、各凸部２２の位置からウェーハ収納容器１０の径方向内側に向かって斜め下方に延出するように設けられており、その両側の端部１４ａ，１４ａは、凸部２２の両側に隣接する凹部２４まで至る。載置部１４は、上方から見て略円弧状の形態を有する。載置部１４は、各凸部２２の内側に設けられており、周方向に向かって隣接する２つの載置部１４の間には、略円弧状に切り欠かれた合計４つの切り欠き部２３を有する。切り欠き部２３は円周方向に等間隔で設けられている。切り欠き部２３は、載置部１４よりもウェーハの径方向外側に、かつウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた部分である。載置部１４の中央部における外周部１４ｂと上板部１６の内周部１６ａとの間には、載置部１４と上板部１６とを連接するテーパ状の上方傾斜部２５が設けられている。上述したように、載置部１４は上板部１６の高さ方向の位置と下板部１８の高さ方向の位置との間に設けられているため、上方傾斜部２５は、外周部１４ｂから内周部１６ａに向かって斜め上方に傾斜している。また、載置部１４の端部１４ａ，１４ａにおける外周部１４ｃ，１４ｃと凸部２２の両側に位置する下板部１８の内周部１８ａ，１８ａとの間には、載置部１４と下板部１８とを連接するテーパ状の下方傾斜部２６，２６が設けられている。下方傾斜部２６，２６は、外周部１４ｃ，１４ｃから内周部１８ａ，１８ａに向かって斜め下方に傾斜している。以下、載置部１４において上方傾斜部２５の内側に相当する部分を下方載置部（傾斜面）２７といい、載置部１４において下方傾斜部２６の内側に相当する部分を上方載置部２８という。
【００１８】
ウェーハ収納容器１０において、切り欠き部２３が設けられている区間には、下板部１８の内周からウェーハ収納容器１０の中心方向であり、かつ斜め上方に向かってテーパ状の延出部２９が延出している。テーパ部２０と載置部１４との間の部分であり、かつ上方傾斜部２５と下方傾斜部２６との間の部分には、ウェーハ収納容器１０を連通するような連通孔３０が形成されている。上板部１６、下板部１８、テーパ部２０、上方傾斜部２５、下方傾斜部２６および延出部２９の厚みは、それぞれ２〜４ｍｍであるのが好ましいが、これらに限定されるものではない。
【００１９】
図５に示すように、ウェーハ３１は、ウェーハ収納容器１０の載置部１４の傾斜面に載置される。ウェーハ３１は、直径３００〜４５０ｍｍ程度の円盤状の形態を有している。ウェーハ収納容器１０は、運搬時若しくは保管時には、それぞれウェーハ３１を収納した状態で複数個積み重ねて使用される。ウェーハ収納容器１０は、凸部２２同士および凹部２４同士が、それぞれ両端に設けられるテーパ部２０によって位置あわせされて、他のウェーハ収納容器１０の上に積み重ねられる。ウェーハ収納容器１０が積み重ねられた状態では、各ウェーハ収納容器１０の凸部２２同士および凹部２４同士がそれぞれ合わさるため、ウェーハ収納容器１０同士がずれたり、ガタつくことはない。また、収納されたウェーハ３１の外周縁は、切り欠き部２３において露出する。
【００２０】
次に、本発明の実施の形態に係るウェーハのハンドリング方法について説明する。
【００２１】
図６、図７および図８は、ウェーハ３１を積み重ねられたウェーハ収納容器１０から取り出す方法を段階的に示す図である。また、図９は、図８の矢印Ａの方向からウェーハ３１を見た図である。
【００２２】
まず、積み重ねられたウェーハ収納容器１０は、搬送用のケースに納められた後、指定のスペースに配置される。ウェーハ収納容器１０が目的地に搬送されると、該ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１が取り出される。ウェーハ収納容器１０の搬送方法は特に限定されるものではなく、例えば、地面上を走行する自走型搬送車により搬送する方法、または室内の天井に設けられたレールに沿ってウェーハ収納容器１０を搬送する方法が挙げられる。その後、図６（Ａ）に示すように、指定のスペースに配置されたウェーハ収納容器１０の近辺にウェーハ搬送装置が配置される。
【００２３】
この実施の形態において、ウェーハ搬送装置は、ベース板上に設けられた搬送ロボットであり、機台座（図示せず）と、アーム部４０とからなっている。アーム部４０は、旋回基軸（図示せず）を介して機台座に対して回転自在、かつ昇降自由になる第１アーム４１と、当該第１アーム４１の端部に設けられた第１回転軸４３を中心として第１アーム４１に対して回転可能な第２アーム４２と、当該第２アーム４２の端部に設けられた第２回転軸４４を中心として第２アーム４２に対して回転可能なウェーハ保持部４５とを有している。ウェーハ保持部４５は、２本の挟持部４６からなり、両挟持部４６間の距離を調整することによって、種々の直径を有するウェーハ３１の挟持に対応させることができる。各挟持部４６の先端の内側には、ウェーハ３１の外周縁と接する接触部４７が設けられている。接触部４７は、ウェーハ収納容器１０の切り欠き部２３から挿脱可能なように、切り欠き部２３の幅より短い幅の板を水平より斜め下方に傾斜させた部分と水平より斜め上方に傾斜させた部分とを連接してなる略V字形状を有している。この略V字形状の接触部４７によってウェーハ３１を径方向から挟んで搬送するため、搬送中にウェーハ３１が横方向にずれるのを防止できる。ただし、上述の形態に限定せず、接触部４７は、切り欠き部２３の幅より短い幅の板を水平より斜め下方のみに傾斜させた形状を有しても良い。各挟持部４６の材質は、特に限定されるものではなく、例えば、ステンレス等の金属を好適に採用することができる。なお、取り出す際に、直接、ウェーハ３１の外周縁と接触する接触部４７に対し、ウェーハ３１を傷つけない材質、例えばフッ素樹脂等によりコーティング処理を行なうのが好ましい。
【００２４】
次に、図６（Ｂ）および図７（Ａ）に示すように、ウェーハ保持部４５は、第１アーム４１と第２アーム４２の回動に伴い、ウェーハ収納容器１０の上方まで移動する。続いて、ウェーハ保持部４５を、ウェーハ収納容器１０の載置部１４の周方向に沿って形成される切り欠き部２３に挿入するように降下させながら、両挟持部４６の間を挟める。この結果、接触部４７が切り欠き部２３に挿入され、続いてウェーハ保持部４５が、第２回転軸４４を中心として閉じることにより、接触部４７は、ウェーハ３１の外周縁に当接する。切り欠き部２３において、ウェーハ３１の外周縁は露出しているため、ウェーハ３１の外周縁は２個の接触部４７と線接触の状態となる。その結果、ウェーハ３１の搬送時に、ウェーハ３１の裏面に傷がつくことを防止できる。また、図９に示すように、２つの接触部４７の斜面上にウェーハ３１の外周縁が接触しているので、振動によって挟持部４６間の距離がわずかに変化しても、ウェーハ３１を当該斜面上に載置し続けることができる。
【００２５】
続いて、図７（Ｂ）および図８に示すように、アーム部４０は、旋回基軸（図示せず）を介して上昇する。すると、接触部４７にウェーハ３１の外周縁を載置させながら、ウェーハ収納容器１０から支障なくウェーハ３１を取り出すことができる。そして、ウェーハ収納容器１０から取り出したウェーハ３１を、所定の移動経路に従って搬送し、別の装置に投入して所定の処理を行なう。
【００２６】
図１０、図１１および図１２は、ウェーハ３１を取り出した後に、ウェーハ収納容器１０を搬送する方法を段階的に示す図である。
【００２７】
図１０、図１１および図１２に示すように、ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１を取り出した後、ウェーハ保持部４５は、再び、第１アーム４１と第２アーム４２の回動に伴い、ウェーハ収納容器１０の上方に移動し、ウェーハ収納容器１０に向けて降下する。次に、ウェーハ保持部４５が第２回転軸４４を中心として閉じることにより、接触部４７は、リング状のウェーハ収納容器１０の凸部２２の裏側と接触する。続いて、アーム部４０を上昇させることにより、リング状のウェーハ収納容器１０をその直下にあったウェーハ収納容器１０から分離することができる。このように、ウェーハ収納容器１０が積載されている場合には、ウェーハ３１、ウェーハ収納容器１０の順に搬送することにより、スムーズにウェーハ３１をウェーハ収納容器１０から取り出すことができる。この実施の形態において、リング状のウェーハ収納容器１０を搬送するアーム部４０は、ウェーハ３１を搬送するアーム部４０と別の機器とするのが好ましい。ウェーハ３１の汚染を低減できるからである。
【００２８】
本実施の形態において、ウェーハ保持部４５を移動させる手段として、２関節アームを用いたが、２関節に限りものではない。また、ウェーハ３１を移動させるウェーハ保持部４５は、２本の挟持部４６に限らず、必要に応じて２本以上の挟持部４６を有するウェーハ保持部４５であっても良い。
【００２９】
本実施形態に係わるウェーハのハンドリング方法によれば、ウェーハ３１の主表面上の領域を、搬送装置が移動することが無く、ウェーハ３１の外側からアームがウェーハ３１の外周部と線接触するだけなので、ウェーハ３１を汚染することが防止でき、ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１を安全かつ高品質を保持して取り出すことができる。しかし、これに加えて、図８、図７（Ｂ）、図７（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ａ）の順で操作して、ウェーハ３１を載置する接触部４７をウェーハ収納容器１０の切り欠き部２３に向けて降下させ、ウェーハ３１をウェーハ収納容器１０の載置部１４に載置した後、接触部４７を切り欠き部２３から抜くことにより、ウェーハ収納容器１０にウェーハ３１を収納することもできる。
【００３０】
以上、本発明に係るウェーハのハンドリング方法の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されず、種々変形した形態にて実施可能である。
【００３１】
例えば、上述の実施の形態では、ウェーハ収納容器１０の外形は、円形に限定されるものではなく、六角形、八角形または楕円形等の他の形態を有するものとしても良い。また、ウェーハ収納容器１０は、ウェーハ３１を載置する領域にウェーハ３１の表裏方向に貫通する穴を有さない容器であっても良い。
【００３２】
また、図８の矢印Ａの方向から見たときに、図１３に示す挟持状態になるように、接触部４７に傾斜面を設けずに、ウェーハ３１の外周縁に対してウェーハ３１の径方向に略直角に当接する接触部４７を採用しても良い。
【００３３】
また、上述の実施の形態では、載置部１４には、周方向に沿って４つの切り欠き部２３が設けられているが、これに限定されることなく、３つ以下としても良いし、５つ以上としても良い。この場合、切り欠き部２３の形態をウェーハ保持部４５によりウェーハ３１をバランス良く取り出すことと対応させることが必要となる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、ウェーハを搬送するためのウェーハ収納容器を使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係るウェーハのハンドリング方法を行なう際に用いられるウェーハ収納容器の斜視図である。
【図２】図１に示すウェーハ収納容器の平面図である。
【図３】図２中おけるウェーハ収納容器を矢印Ａの方向から見た正面図である。
【図４】図２中におけるウェーハ収納容器を矢印Ｂの方向から見た正面図である。
【図５】図１に示すウェーハ収納容器を上下方向に複数積み重ねる形態を示す図である。
【図６】積み重ねられたウェーハ収納容器からウェーハを取り出す方法を段階的に示す図である。
【図７】図６に続いて、積み重ねられたウェーハ収納容器からウェーハを取り出す方法を段階的に示す図である。
【図８】図７に続いて、積み重ねられたウェーハ収納容器からウェーハを取り出す方法を段階的に示す図である。
【図９】図８に示す矢印Ａの方向からウェーハを見た図である。
【図１０】ウェーハを搬送後に、ウェーハ収納容器を搬送する方法を段階的に示す図である。
【図１１】図１０に続いて、ウェーハを搬送後に、ウェーハ収納容器を搬送する方法を段階的に示す図である。
【図１２】図１１に続いて、ウェーハを搬送後に、ウェーハ収納容器を搬送する方法を段階的に示す図である。
【図１３】アーム部に設けられた接触部の別の形態を示す図であり、図８中の矢印Ａの方向からウェーハを見た図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０…ウェーハ収納容器
１２…外周部
１４…載置部
２２…凸部
２３…切り欠き部
２４…凹部
２５…上方傾斜部
２６…下方傾斜部
２７…下方載置部（傾斜面）  
３１…ウェーハ
４０…アーム部
４１…第１アーム
４２…第２アーム
４３…第１回転軸
４４…第２回転軸
４５…ウェーハ保持部
４６…挟持部
４７…接触部（斜め下方に傾斜した部分）
【図１】
0004820347.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
0004820347.tif 000011
【図１１】
0004820347.tif 000012
【図１２】
0004820347.tif 000013
【図１３】
0004820347.tif 000014