(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に少なくとも非晶質材料で構成された光導電層及び表面層を順次積層してなる電子写真感光体と、該電子写真感光体を帯電するための帯電手段と、該電子写真感光体を露光して静電潜像を形成する潜像形成手段と、該静電潜像を現像するための、トナー粒子及び研磨剤を含有するトナーを装填したトナー供給手段と、該静電潜像を該トナーによりトナー像を形成する現像手段と、該電子写真感光体上のトナー像を転写材に転写する転写手段と、該電子写真感光体上の転写残トナーを除去するクリーニング手段を少なくとも有する電子写真装置において、
該電子写真感光体の１０μｍ×１０μｍの範囲における表面をＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）により測定して得られる微視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線における５％〜９５％に相当する高さをＡ（μｍ）、山と山の平均間隔をＢ（μｍ）とし、該電子写真感光体の表面を表面粗さ計により測定して得られる基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ４．０ｍｍで評価した時に得られる測定曲線を、カットオフλｃ＝０．８ｍｍ、λｓ＝０．００８ｍｍでフィルタリングして得られる粗さ曲線における巨視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線における５％〜９５％に相当する高さをａ（μｍ）、山と山の平均間隔をｂ（μｍ）とし、
該トナー供給手段に装填された該現像用トナーに含まれる該研磨剤が無機酸化物粒子で、その一次粒子の平均粒径をＲ（μｍ）としたとき、
Ａ、Ｂ、ａ、ｂ及びＲが下記（１）〜（７）の全ての条件を満たすことを特徴とする電子写真装置。
（１）  ０．０１μｍ≦Ａ≦０．３０μｍ
（２）  ０．０３μｍ≦ａ≦０．４５μｍ
（３）  ０．７μｍ≦Ｂ≦２．５μｍ
（４）  ５０μｍ≦ｂ≦３５０μｍ
（５）  １．０×１０−３μｍ２≦Ａ×ａ≦４．５×１０−２μｍ２
（６）  ０．１５≦ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）≦３０
（７）  ０．１０≦ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）≦２０
ここで、
ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（Ａ×Ｂ／（Ｂ＋２×（Ａ２＋Ｂ２／４）１／２））
ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（ａ×ｂ／（ｂ＋２×（ａ２＋ｂ２／４）１／２））
である。
【請求項２】
前記電子写真感光体の前記微視的表面粗さの負荷曲線における５％〜２０％の傾きをＣ、８０％〜９５％の傾きをＤとし、
前記電子写真感光体の前記巨視的表面粗さの負荷曲線における５％〜２０％の傾きをｃ、８０％〜９５％の傾きをｄとしたとき、
Ｃ、Ｄ、ｃ及びｄが下記（８）〜（１１）の全ての条件を満たす電子写真感光体を用いることを特徴とする請求項１に記載の電子写真装置。
（８）  ２５０（％／μｍ）≦Ｃ≦３０００（％／μｍ）
（９）  ２００（％／μｍ）≦Ｄ≦２０００（％／μｍ）
（１０）  ２５０（％／μｍ）≦ｃ≦１０００（％／μｍ）
（１１）  ２００（％／μｍ）≦ｄ≦１０００（％／μｍ）
【請求項３】
前記Ａ、Ｂ、ａ及びｂが下記（１２）〜（１３）の全ての条件を満たす電子写真感光体を用いたことを特徴とする請求項１または２に記載の電子写真装置。
（１２）  ４．５≦Ｂ／Ａ≦７０
（１３）  ４００≦ｂ／ａ≦３０００
【請求項４】
前記Ａ、Ｂ、ａ、ｂ及びＲが下記（１４）〜（２０）の全ての条件を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電子写真装置。
（１４）  ０．０３μｍ≦Ａ≦０．２０μｍ
（１５）  ０．０５μｍ≦ａ≦０．４０μｍ
（１６）  ０．９μｍ≦Ｂ≦２．２μｍ
（１７）  ８０μｍ≦ｂ≦３００μｍ
（１８）  ３．２×１０−３μｍ２≦Ａ×ａ≦３．０×１０−２μｍ２
（１９）  ０．２０≦ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）≦２５
（２０）  ０．１５≦ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）≦１０
ここで、
ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（Ａ×Ｂ／（Ｂ＋２×（Ａ２＋Ｂ２／４）１／２））
ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（ａ×ｂ／（ｂ＋２×（ａ２＋ｂ２／４）１／２））
である。
【請求項５】
前記電子写真感光体は、アモルファスシリコン系電子写真感光体であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子写真装置。
【請求項６】
前記研磨剤の一次粒子の平均粒径Ｒが、０．０３μｍ≦Ｒ≦０．３μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子写真装置。
【請求項７】
前記研磨剤が、チタン酸ストロンチウム微粉体を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の電子写真装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機、プリンター、ファックス等の電子写真プロセスを利用した電子写真装置に関するものである。その中でも特に、アモルファスシリコン（以下、「ａ−Ｓｉ」と示す）系で構成された光導電層を有する電子写真感光体を用いた電子写真装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板上に非晶質材料を感光層とした電子写真感光体は広く知られている。その一例として、金属等の基板上にＣＶＤ等の成膜技術により形成されたａ−Ｓｉを感光層とした電子写真感光体が挙げられる。
【０００３】
このａ−Ｓｉ電子写真感光体において、クリーニング性向上、高湿環境下での画像流れ防止及びトナー等の融着による画像欠陥防止を目的として、電子写真感光体表面の微細形状を規定した電子写真感光体については数多くの提案がなされている。
【０００４】
なかでも、導電性支持体上にシリコン原子を母材とする感光層と表面層からなる光受容部材において、微視的な凹凸高さと凹凸ピッチの関係と、巨視的な凹凸高さと凹凸ピッチの関係が条件式を満たすような凹凸形状を有する電子写真感光体を形成することにより、トナー融着に対する耐久性や画像流れ等が良好となることが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、ａ−Ｓｉを含む光導電層及び表面層を順次積層させた電子写真感光体において、１０μｍ×１０μｍの範囲における最も深い点を基準とした時の凹凸高さの累積度数分布における５０〜９０％にあたる凹凸高さの差と、導電性基板のＲａ（算術平均粗さ）を規定の範囲内にすることにより、トナー融着や高湿流れを抑制できることが開示されている（例えば、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００６】
また、周方向に切削したドラム状基板外周面にａ−Ｓｉからなる感光層を積層し、その表面の断面に形成された三角形状の線条溝の平均間隔、Ｒａ及び三角形状の頂点部のなす角度を規定の範囲にすることにより、トナー付着・融着を防止し、良好な画像形成が得られることが開示されている（例えば、特許文献４参照）。
【０００７】
また、ａ−Ｓｉからなる感光層の表面にａ−ＳｉＣが積層されてなる電子写真感光体において、三角形状の頂部を成す角度、隣接する三角形状の底部を成す角度及び各線条溝のピッチを規定の範囲内とすることにより、トナー付着・融着を防止し、良好な画像形成が得られることが開示されている（例えば、特許文献５参照）。
【０００８】
更に、ａ−Ｓｉ電子写真感光体を用いた電子写真装置において、電子写真感光体表面の凹凸平均ピッチと凹凸平均高さの関係と、研磨手段に分散・混合された研磨剤粒子の平均半径の関係が条件式を満たすことにより、画像流れ、画像抜けやクリーニング性等が良好となることが開示されている（例えば、特許文献６参照）。
【特許文献１】特開平１０−６３０２３号公報
【特許文献２】特開２００２−４９１７１号公報
【特許文献３】特開２００２−４０６９７号公報
【特許文献４】特開２０００−３１４９７４号公報
【特許文献５】特開平１０−９０９２８号公報
【特許文献６】特開平０９−２４４４９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、近年、電子写真装置がカラー化へと進展したことにより、従来以上の高速化と高画質化への市場要求が高まっている。同時に、エコロジーへの意識の高まりからａ−Ｓｉ電子写真感光体を用いながらも、更なる電子写真感光体の高寿命化、及び電子写真装置の省エネルギー化が求められている。
【００１０】
具体的には、高速化、高画質化への市場要求を満たすために、電子写真装置の高速化に対応した低融点トナーと、高画質化に対応した小粒径トナーが使用されるようになった。この結果、トナーの低融点化により電子写真感光体表面への融着が従来トナーよりも生じ易くなった。更に、トナーの小粒径化により従来トナーよりも比表面積が大きくなったため、電子写真感光体表面への付着力が大きくなった。これにより、残留トナーを電子写真感光体表面から除去することが従来トナーよりも困難となった。
【００１１】
よって、低融点の小粒径トナーを用いた電子写真装置の場合は、電子写真感光体表面への融着が起こる可能性が高くなる。このため、クリーニングブレードやクリーニングローラーを併用しても十分に残留トナー、あるいは融着トナーを電子写真感光体表面から除去することが困難となる場合があった。
【００１２】
このような状態で電子写真プロセスを繰り返すと、画像上に融着トナーによる「黒スジ」又は「白スジ」等の画像欠陥が発生し、その結果、初期の画質を維持することができない場合があった。
【００１３】
また、長寿命化、省エネルギー化への市場要求を満たすために、電子写真プロセスによる電子写真感光体表面の磨耗の低減や、ドラムヒーターレスによる電力量の低減が要求されるようになった。これにより、従来に比べ電子写真感光体表面に付着する水分やオゾン生成物等の吸着物を十分に除去することが困難となる。このため、高湿環境下における画像流れ「高湿流れ」やクリーニング不良による画像濃度低下が起こる可能性が高くなった。
【００１４】
更に、電子写真装置のカラー化への進展により、出力される画像が文字だけでなく、写真等の出力する機会も増加した。これにより、従来の文字出力のみの場合では確認できなかった高湿流れが写真出力時に現れ易くなってしまうため、更なる高湿流れの抑制効果の向上が必要となってきた。
【００１５】
よって、これら課題を解決するためには、従来以上に電子写真感光体に付着する融着トナー、水分及びオゾン生成物を効率良く除去可能な表面を有する電子写真感光体及び付着物を効率良く除去可能な電子写真装置が必要となった。そのためには、電子写真感光体表面の形状そのものを厳密に制御し、更に、厳密に制御された表面形状と研磨剤粒径を効果的に組み合わせることにより、効率良く電子写真感光体表面から付着物を除去可能な電子写真装置が求められた。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、従来以上に厳密に制御させた電子写真感光体の表面形状と研磨剤の粒径を適切に制御して、電子写真感光体表面に付着したトナーや付着物を効率的に除去するより、電子写真装置の高速化、高画質化、省エネルギー化及び電子写真感光体の高寿命化を実現し、トナー融着による画像欠陥、クリーニング不良及び高湿環境下における「高湿流れ」に対して良好な電子写真装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成すべく鋭意検討を行った結果、電子写真感光体表面の微視的及び巨視的な表面形状から得られる高さ方向及び横方向のパラメーターと、微視的な表面形状から得られる高さ方向のパラメーターと巨視的な表面形状から得られる高さ方向のパラメーターの関係と、更には微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤粒径の関係を制御することにより、画像欠陥、クリーニング不良及び高湿流れに対して大きな効果があることを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。
【００１８】
詳細に記述すると、本発明は、基体上に少なくとも非晶質材料で構成された光導電層及び表面層を順次積層してなる電子写真感光体と、該電子写真感光体を帯電するための帯電手段と、該電子写真感光体を露光して静電潜像を形成する潜像形成手段と、該静電潜像を現像するための、トナー粒子及び研磨剤を含有するトナーを装填したトナー供給手段と、該静電潜像を該トナーによりトナー像を形成する現像手段と、該電子写真感光体上のトナー像を転写材に転写する転写手段と、該電子写真感光体上の転写残トナーを除去するクリーニング手段を少なくとも有する電子写真装置において、
該電子写真感光体の１０μｍ×１０μｍの範囲における表面をＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）により測定して得られる微視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線における５％〜９５％に相当する高さをＡ（μｍ）、山と山の平均間隔をＢ（μｍ）とし、該電子写真感光体の表面を表面粗さ計により測定して得られる基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ４．０ｍｍで評価した時に得られる測定曲線を、カットオフλｃ＝０．８ｍｍ、λｓ＝０．００８ｍｍでフィルタリングして得られる粗さ曲線における巨視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線における５％〜９５％に相当する高さをａ（μｍ）、山と山の平均間隔をｂ（μｍ）とし、
該トナー供給手段に装填された該現像用トナーに含まれる該研磨剤が無機酸化物粒子で、その一次粒子の平均粒径をＲ（μｍ）としたとき、
Ａ、Ｂ、ａ、ｂ及びＲが下記（１）〜（７）の全ての条件を満たすことを特徴とする電子写真装置に関する。
（１）  ０．０１μｍ≦Ａ≦０．３０μｍ
（２）  ０．０３μｍ≦ａ≦０．４５μｍ
（３）  ０．７μｍ≦Ｂ≦２．５μｍ
（４）  ５０μｍ≦ｂ≦３５０μｍ
（５）  １．０×１０−３μｍ２≦Ａ×ａ≦４．５×１０−２μｍ２
（６）  ０．１５≦ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）≦３０
（７）  ０．１０≦ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）≦２０
ここで、
ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（Ａ×Ｂ／（Ｂ＋２×（Ａ２＋Ｂ２／４）１／２））
ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（ａ×ｂ／（ｂ＋２×（ａ２＋ｂ２／４）１／２））
である。
【００１９】
上記のように、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を厳密に制御し、更に微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤粒径との関係をも制御することにより、トナー融着、クリーニング不良及び高湿流れの抑制効果が改善され、特性が良好となった。その原因を以下のように推察する。
【００２０】
まず、高湿流れは、トナーに含まれる研磨剤がクリーニングブレード等のクリーニング部材により電子写真感光体表面と摺擦される際に、電子写真感光体表面に付着したオゾン生成物や吸着水分を充分に除去しきれない場合に発生すると推察される。このことから、高湿流れの発生メカニズムを推察すると、
１．  電子写真感光体の微視的又は巨視的な表面形状の山と山の間隔よりも研磨剤の粒径が大きすぎるために、研磨剤が表面形状の山と山の間に入ることができない。その結果、谷部に付着した吸着物を充分に除去できないために高湿流れが発生する。
２．  研磨剤の粒径が、微視的又は巨視的な表面形状の山と山の間に入り込むことができる大きさの場合であっても、谷部の傾斜が立っている表面形状の場合は研磨剤が谷部へと充分に入り込むことができず、その結果、付着した吸着物を充分に除去できないために高湿流れが発生する。
３．  微視的又は巨視的な表面形状が非常に粗いために、クリーニング部材から山と山の間に入り込んだ研磨剤へと力がほとんど伝わらない。この結果、研磨剤と電子写真感光体との摺擦力が非常に小さくなるため、研磨剤により吸着物を充分に除去することができなくなり高湿流れが発生する。
等が推察される。
【００２１】
このことから、オゾン生成物や吸着水分を充分に除去することが難しい場所は、微視的又は巨視的な表面形状で見られる山と山の間、特に谷部である。よって、谷部に付着した吸着物を効率良くすることが画像流れを抑制するためには必要となってくる。そのため、微視的又は巨視的な表面形状における高さ方向のパラメーターを小さくする、又は、山及び谷の傾斜も緩やかにすることが求められる。その結果、山と山の間、特に谷部に研磨剤が入り込みやすくなる、また、クリーニング部材の接触面積が増加することにより摺擦面積が上がるため、オゾン生成物や吸着水分を除去することが容易となる。その結果、高湿流れの発生が抑制されるものと推察している。
【００２２】
しかし、微視的又は巨視的な表面形状の高さ方向のパラメーターを小さくしすぎる、又は、山及び谷の傾斜が緩やかになりすぎると、微視的又は巨視的な表面形状が平坦化してしまう。そのため、クリーニング部材と電子写真感光体表面との接触面積が大きくなりすぎることにより、単位面積当たりの摺擦力が極端に低下してしまうため、逆に、オゾン生成物や吸着水分を充分に除去することができなくなり、画像濃度低下等の画像欠陥が発生すると推察される。
【００２３】
また、微視的又は巨視的な表面形状が平坦化されることにより、クリーニング部材が電子写真感光体表面に付着したトナーを除去する際に、トナーの逃げ道がなくなってしまう。そのため、クリーニング部材と電子写真感光体表面で挟まれた付着トナーに押し圧が集中し、電子写真感光体表面へと押し付けられる。しかし、電子写真感光体表面を極端に平坦化することにより、研磨剤による摺擦力が低下するためにトナーの融着が発生すると推察される、このため、除去できなくなった融着トナーが電子写真装置での出力画像に影響を与えると考えられる。このことから、微視的又は巨視的な表面形状を極端に平坦化させすぎない、特に、山の頂点部の平坦化を抑制することによりクリーニング部材から付着トナーへの局所的に大きな力を加えないようにすることでトナーの融着が良化するものと推察している。
【００２４】
以上のことから、画像欠陥、クリーニング不良及び高湿流れに対して良好な電子写真装置を実現するためには、電子写真感光体の表面を適切な形状に制御し、且つ、適切に制御された表面形状に対して適切な研磨剤を用いる必要があると推察される。よって、微視的及び巨視的な表面形状における高さ、山と山の間隔及び山と谷の形状等の表面形状を厳密に表すパラメーターと研磨剤の粒径を制御することが必要であると考える。
【発明の効果】
【００２５】
本発明による電子写真装置によれば、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を厳密に表す各パラメーターと、微視的及び巨視的な表面形状から得られる高さ方向のパラメーターの関係と、更には、微視的及び巨視的な表面形状と外添材の粒径を制御することにより、トナー融着等の画像欠陥、クリーニング不良及び高湿環境下での画像流れの発生を抑制する効果を向上させることが可能となる。
【００２６】
これにより、電子写真装置における諸問題を解決することが可能となるため、高速化、高画質化、高寿命化及び省エネルギー化に対応した電子写真装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００２８】
「本発明に係わる微視的な表面粗さ」
図１は、ａ−Ｓｉ電子写真感光体を１０μｍ×１０μｍの範囲におけるＡＦＭの測定により得られた微視的形状において最も高い点を基準とした凹凸高さ（ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ）の負荷曲線の模式的な概略図を示したものである。横軸はｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ、縦軸はＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏである。ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔとは、ＡＦＭの測定により得られた微視的な表面形状における最も高い点を基準とした高さ方向の距離を示すものである。また、Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏとは、図１７に示すように、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）で得られる三次元観察像における最も高い点を基準として、距離ｘにおける三次元観察像の断面面積Ａ（ｘ）を計算し、このＡ（ｘ）を最大高さＸの断面面積Ａ（Ｘ）に対する百分率として示したものである。よって、Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ及びＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏの値が小さい方が山部、大きい方が谷部を示している。
【００２９】
本発明において、Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏの５％から９５％に対応するｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔの差をＡとし、このＡの値を用いた。このような値を用いた理由について、図２を用いて説明する。図２に示すように、微視的な表面形状には局所的に深い谷ｖが存在している。このような場合には、この局所的に深い谷ｖの影響により最大高さや十点平均粗さ等の高さ方向のパラメーターが正確に測定できない場合がある。このような局所的な谷の影響を抑制するためにＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが９５％以上の領域を除去することで、測定位置による高さ方向のパラメーターへの影響を限りなく小さくすることが可能となる。同様に、ＡＦＭで得られる微視的な表面形状に局所的に高い山が存在する場合がある。特に、電子写真感光体表面を研磨した際には、更に研磨により発生した研磨残渣等が電子写真感光体の研磨面上に付着することにより局所的に大きな山となってしまう場合がある。このような局所的に高い山の影響により高さ方向のパラメーターが正確に測定できない場合が生じる。このような局所的な山の影響を抑制するためにＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％以下の領域を除去することで、測定位置や研磨処理による高さ方向のパラメーターへの影響を限りなく小さくすることが可能となる。
【００３０】
図１３は、図１２に示すＡＦＭ三次元観察像の（１）の断面を示す模式的な概略図である。横軸はＡＦＭ三次元観察像のｘ軸であり、スケールは１０μｍである。また、縦軸はＡＦＭ三次元観察像のｚ軸であり、ＡＦＭ三次元観察像の最も深い位置を基準とした高さである。
【００３１】
本発明では、微視的な表面形状における山と山の間隔の平均値をＢとし、このＢの値を用いた。このＢの算出方法を以下に示す。断面形状において、山の頂点から左右の谷までの底点までの距離の両方ともがＡＦＭ三次元観察像における最大高さの５％以上ある場合には山と定義する。そして、同様に断面形状から全ての山を探し、各山と山の間の距離を算出し、平均値を求めた。図１３を用いて説明すると、Ｍ１とＭ２の山を見た場合、ｔ１及びｔ３は最大高さの５％以上、ｔ２は５％未満であるとする。この場合、Ｍ１は山と定義され、Ｍ２は定義されない。同様にして、図１３の断面形状から全ての山を探すと７個あり、各山と山の間隔Ｓ１〜Ｓ６を算出し平均値を算出する。この作業を同じＡＦＭ三次元観察像で５回行い、各断面形状から得られた平均値を更に平均した値がＢとなる。
【００３２】
このような値を用いた理由について図１２を用いて説明する。図１２の（１）と（２）の位置からも分かるように、ａ−Ｓｉドラムの微視的表面形状は測定位置により少なからず異なった形状である。そのため、各山と山の間隔は異なり、更に、測定位置によっても異なってしまう。そこで、電子写真感光体の表面を表すパラメーターの精度を高めるために、ＡＦＭ三次元観察像から得られる複数のｘ軸−ｚ軸断面から山と山の間隔を求め、その値を平均してＢの値を算出した。
【００３３】
もう一つの理由としては、クリーニング不良、トナー融着及び高湿流れは、各山及び各谷といった微小な表面面積内で観察されるものではなく、ある程度の広い表面面積内で発生する現象である。そのため、ある程度の広い測定範囲より算出される値の方が現象との関係性が高いと考えたからである。
【００３４】
また、本発明では、図１に示すように、微視的な表面形状の山や谷そのものの形状を、Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％から２０％に対応するｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔを測定し、横軸をｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ、縦軸をＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏにして測定点の直線近似によって得られる傾きをＣ、Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが８０％から９５％に対応するｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔを測定し、横軸をｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ、縦軸をＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏにして測定点の直線近似によって得られる傾きをＤとして数値化し、測定範囲内にある山をまとめた時の傾斜と谷をまとめた時の傾斜を求めた。このように、測定範囲内にある山及び谷を合計して、山及び谷の形状を表した理由としては、上記Ｂに記載した内容と同じく、特定の山及び谷の形状を用いるのではなく、測定範囲内に存在する山及び谷全体の形状を数値化することにより、測定した電子写真感光体の表面を表すパラメーターの精度を高めることが可能となるためである。
【００３５】
このようにして得られたＣは、測定範囲内の微視的な表面粗さにおける全ての山から得られた山の平均的な傾斜であり、同様にＤも、測定範囲内の微視的な表面粗さにおける全ての谷から得られた谷の平均的な傾斜である。Ｃを求める際にＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％より小さい範囲を、またＤを求める際にＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが９５％より大きい範囲を用いなかった理由は、上記Ａに記載した内容と同じく、局所的な山であるＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％以下の領域を、また、局所的な谷であるＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが９５％以上の領域を除去することで、測定位置による高さ方向のパラメーターのばらつきを抑え、測定位置や研磨処理による影響を抑制することが可能となるためである。
【００３６】
また、本発明では、微視的な表面形状と研磨剤粒径との関係を示すために、
ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（Ａ×Ｂ／（Ｂ＋２×（Ａ２＋Ｂ２／４）１／２））
という関係式を用いた。このような関係式を用いて微視的な表面形状と研磨剤粒径との関係を定義した理由を下記に述べる。
【００３７】
クリーニング不良、高湿流れを抑制するためには、電子写真感光体表面に付着したオゾン生成物及び水分を研磨剤及びクリーニング部材により効率よく除去することが必要であると考えられる。すなわち、電子写真感光体の微視的な表面形状の中でも、特に付着物の除去が困難な山と山の間の形状と研磨剤の粒径のマッチングが必要であると考えられる。しかし、電子写真感光体全体を見たとき、山と山の間の形状は図２からも分かるように必ずしも同じ形状ではない。よって、山と山の間の形状を近似し、且つ研磨剤粒径ともマッチングを考える必要があった。
【００３８】
そこで、山と山の間の形状を、高さをＡ、底辺をＢとした二等辺三角形であると近似した。そして、この二等辺三角形の内接円の直径を求め、この直径が近似した山と山の間の形状に対する理想的な研磨剤の粒径と考えた。このようにして求めた理想的な研磨剤の粒径と実際の研磨剤の一次粒径の平均粒径の比をｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）で表した。これにより、微視的な表面形状と研磨剤の平均粒径とのマッチングを考えて、微視的な表面形状と研磨剤粒径の制御が可能となった。
【００３９】
本発明では、電子写真感光体のＡＦＭの測定範囲として、１０μｍ×１０μｍの範囲で測定した。この理由として、測定範囲を広くすることで安定した測定が可能となる。これにより、正確な測定値が得られる。しかし、測定範囲を広くしすぎると巨視的な表面形状の影響、即ち、基体のうねりや加工形状の影響や、突起等の特異形状が反映されてしまうため、測定値の安定性が低下してしまう。逆に、測定範囲を狭くしすぎると、測定位置の選択によるばらつきが大きくなる。そのため、本発明では、より正確な測定値を得るための最適な範囲として、１０μｍ×１０μｍを測定範囲とした。
【００４０】
「本発明に係わる巨視的な表面粗さ」
図３は、ａ−Ｓｉ電子写真感光体を表面粗さ計により測定して得られる基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ４．０ｍｍで評価した測定曲線をカットオフλｃ＝０．８ｍｍ、λｓ＝０．００８ｍｍでフィルタリングして得られる粗さ曲線より得られた最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線の模式的な概略図を示したものである。横軸は深さ、縦軸は負荷長さ率である。深さとは、粗さ計の測定により得られた巨視的形状における最も高い点を基準とした高さ方向の距離を示すものである。また、負荷長さ率とは、図１８に示すように、粗さ計で得られる波形における最も高い点を基準として、距離ｙにおける粗さ計で得られた波形の切断距離の合計Ｍ（ｙ）を計算し、このＭ（ｙ）を最大高さＹにおける切断距離（評価長さ）Ｌに対する百分率で示したものである。よって、負荷長さ率及び深さが小さい方が山部、大きい方が谷部を示している。
【００４１】
本発明では、粗さ曲線を用いて負荷長さ率の５％から９５％に対応する深さをａとし、このａの値を用いた。断面曲線ではなく、粗さ曲線を用いた理由は、断面曲線では測定範囲内のうねり等の影響により高さ方向のパラメーターの数値にばらつきを生じる場合があり、その結果、電子写真感光体の表面形状とトナー融着やクリーニング不良による画像欠陥及び高湿流れとの関係に対する信頼性が低かったためである。そのために、λｃを０．８ｍｍとしてうねり成分を除去し、更にλｓを０．００８ｍｍとしてノイズの除去を行った粗さ曲線を用いた。また、負荷長さ率の５％から９５％に対応する深さを用いた理由として、粗さ計等で得られる巨視的な表面形状においても、上記記載した微視的な表面形状と同様の理由により、測定位置によって高さ方向のパラメーターが正確に測定できない場合があるためである。その結果、このような局所的な山の影響を無くすために負荷長さ率が５％以下の領域を、また、局所的な谷の影響を無くすために負荷長さ率が９５％以上の領域を除去することで、測定位置や研磨処理による影響を抑制することが可能となる。
【００４２】
図１４は、電子写真感光体を表面粗さ計により測定して得られる粗さ曲線の模式的な概略図である。横軸は測定長さ、縦軸は高さである。本発明では、巨視的な表面形状における山と山の間隔の平均値をｂとし、このｂの値を用いた。
【００４３】
このｂの算出方法を以下に示す。粗さ曲線において、カウントレベルを平均線に対して±最大高さの１０％に設定する。次に、粗さ曲線のカウントレベルをプラス側に超えた場所を山、マイナス側に超えた場所を谷とし、得られた山と谷を一対にして基準長さ内にいくつあるのかをＰｃ（ピークカウント）として算出する。Ｐｃから一対の山及び谷の間隔を計算し、評価長さ内で平均値を求めた。同様の測定を行い、各粗さ曲線から得られた平均値を更に平均した値がｂとなる。
【００４４】
このような値を用いた理由を説明する。電子写真感光体の巨視的な表面形状は基板の形状に大きく影響され、基板を旋盤等で切削した場合には、基板表面は規則的な表面形状が形成される。しかし、規則的な表面形状はしているものの、旋盤自体の加工精度が少なからず存在するため、値の信頼性を上げるために複数の山と山の間隔の平均値を用いた。
【００４５】
また、本発明では、図３に示すように、巨視的な表面形状の山や谷そのものの形状を、負荷長さ率が５％から２０％に対応する深さを測定し、横軸を深さ、縦軸を負荷長さ率にして測定点の直線近似によって得られる傾きをｃ、負荷長さ率が８０％から９５％に対応する深さを測定し、横軸を深さ、縦軸を負荷長さ率にして測定点の直線近似によって得られる傾きをｄとして数値化し、測定範囲内にある山をまとめた時の傾斜と谷をまとめた時の傾斜を求めた。
【００４６】
このように、測定範囲内にある全ての山及び全ての谷から求めた山及び谷の傾斜を用いた理由としては、特定の山及び谷の形を数値化した値が、測定した電子写真感光体の表面を正確に表していない可能性があるためである。すなわち、電子写真感光体の巨視的な表面形状は、基体の形状に大きく影響される。しかし、基板上に膜を形成した後の巨視的な表面形状の山及び谷の形状が、膜形成の条件等により電子写真感光体表面と基板の表面形状とは全く同じとは限らないためである。
【００４７】
もう一つの理由としては、画像欠陥や高湿流れは、ある程度の範囲内の山及び谷に影響されるものであると考えたからである。
【００４８】
このようにして得られたｃは、測定範囲内の巨視的な表面粗さにおける全ての山から得られた山の平均的な傾斜であり、同様にｄも、測定範囲内の巨視的な表面粗さにおける全ての谷から得られた谷の平均的な傾斜である。ｃを求める際に負荷長さ率が５％より小さい範囲を、またｄを求める際に負荷長さ率が９５％より大きい範囲を用いなかった理由は、上記ａに記載した内容と同じく、局所的な山である負荷長さ率が５％以下の領域を、また、局所的な谷のである負荷長さ率が９５％以上の領域を除去することで、測定位置による高さ方向のパラメーターのばらつきを抑え、測定位置や研磨処理による影響を抑制することが可能となるためである。
【００４９】
また、本発明では、巨視的な表面形状と研磨剤粒径との関係を示すために、
ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）＝Ｒ／（ａ×ｂ／（ｂ＋２×（ａ２＋ｂ２／４）１／２））
という関係式を用いた。このような関係式を用いて巨視的な表面形状と研磨剤粒径との関係を定義した理由は、上記したｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）と同じである。すなわち、クリーニング不良、高湿流れを抑制するためには、電子写真感光体の巨視的な表面形状と研磨剤の粒径のマッチングが必要である。そこで、山と山の間の形状を、高さをａ、幅をｂとした二等辺三角形と近似し、その二等辺三角形の内接円が理想的な研磨剤の粒径と考えた。そして、実際の研磨剤の平均粒径と近似によって求めた研磨剤粒径の比としてｇ（ａ，ｂ，Ｒ）と表すことで、巨視的な表面形状と研磨剤の平均粒径とのマッチングを考えて、微視的な表面形状と研磨剤粒径の制御が可能となった。
【００５０】
本発明では、電子写真感光体の表面粗さ計の基準長さとして０．８ｍｍで測定した。この理由として、測定範囲を広くすることで基体のうねりの影響によるばらつきが大きくなる場合がある。逆に、測定範囲を狭くすることで、山や谷の数が減少することによる測定位置の選択によるばらつきが大きくなる場合がある。そのため、本発明では基準長さを０．８ｍｍとし、より正確な測定値を得るために評価長さを４．０ｍｍとして測定した。
【００５１】
本発明において、電子写真感光体の微視的な表面形状から得られるＡの値を０．０１μｍ以上０．３０μｍ以下、巨視的な表面形状から得られるａの値を０．０３μｍ以上０．４５μｍ以下、更にＡ×ａを１．０×１０−３μｍ２以上４．５０×１０−２μｍ２以下とすることにより、高湿流れ及び画像欠陥の抑制効果が良好な電子写真装置が得られることを見出した。
【００５２】
Ａを０．３０μｍより大きくすると、微視的な表面形状の凹凸形状が大きくなりすぎるため、電子写真感光体表面の凹部に付着したオゾン生成物や水分等を研磨剤やクリーニング部材により除去することが困難となる場合がある。その結果、高湿流れを生じる場合がある。また、０．０１μｍより小さくすると、微視的な表面形状の微細な凹凸形状が小さくなるのと同時に、山や谷の表面の更に細かな凹凸も小さくなる。その結果、クリーニング部材と電子写真感光体との接触面積が増加するため、クリーニング部材と電子写真感光体表面との接触面積における単位当たりの摺擦力が低下するためクリーニング不良を生じやすくなる。また、電子写真感光体の微視的な凹凸が小さくなるためクリーニング部材と電子写真感光体表面の間に入り込んだトナー等の逃げ道が減少するために、トナー等の融着が生じやすくなる。これらの結果より画像欠陥が生じる場合がある。また、電子写真感光体の微視的な表面形状を研磨により制御する場合、研磨が進むにつれ研磨部材と電子写真感光体の接触面積の増加により研磨レートが低下していく。そのため、微視的な表面形状を０．０１μｍより小さくするためには、研磨に要する時間が非常の多くなるため生産の観点からも好ましくない。
【００５３】
また、ａを０．４５より大きくすると、巨視的な表面形状の凹凸形状が大きくなるため、Ａと同様に高湿流れを生じる場合がある。また、ａを０．０３μｍより小さくすると、Ａと同様にトナー等の融着やクリーニング不足による画像欠陥が発生する場合がある。
【００５４】
また、Ａ×ａを４．５０×１０−２μｍ２よりも大きくすると、微視的及び／又は巨視的な表面形状が大きくなるため、Ａと同様に高湿流れを生じる場合がある。また、Ａ×ａを１．０×１０−３μｍ２よりも小さくすると、微視的及び／又は巨視的な表面形状が小さくなるため、Ａと同様にトナー等の融着やクリーニング不足による画像欠陥が発生する場合がある。
【００５５】
本発明において、Ａを０．０３μｍ以上０．２μｍ以下、ａを０．０５μｍ以上０．４０μｍ以下、Ａ×ａを３．２×１０−３μｍ２以上３．０×１０−２μｍ２以下とすることにより、クリーニング不良やトナー融着等の画像欠陥及び高湿流れに対してより好ましい。
【００５６】
本発明において、電子写真感光体の微視的な表面形状から得られるＢの値を０．７μｍ以上２．５μｍ以下、巨視的な表面形状から得られるｂの値を５０μｍ以上３５０μｍ以下とすることにより、高湿流れ及び画像欠陥の抑制効果が良好な電子写真装置が得られることを見出した。
【００５７】
Ｂを２．５μｍ、ｂを３５０μｍより大きくすると、微視的な表面形状が平坦化の方向となり、その結果、クリーニング部材と電子写真感光体との接触面積が増加するためクリーニング不良を生じる場合がある。また、クリーニング部材と電子写真感光体表面の間に入り込んだトナーの逃げ道が減少するために、トナー等の融着が生じる場合がある。これらの結果、画像欠陥が生じる場合がある。また、Ｂを０．７μｍ、ｂを５０μｍより小さくすると、表面形状の凹凸が細かくなるため、谷部に付着したオゾン生成物や水分等を研磨剤やクリーニング部材により除去することが困難となる場合がある。その結果、高湿流れを生じる場合がある。
【００５８】
本発明において、Ｂを０．９μｍ以上２．２μｍ以下、ｂを８０μｍ以上３００μｍ以下とすることにより、クリーニング不良やトナー融着等の画像欠陥及び高湿流れに対してより好ましい。
【００５９】
本発明において、電子写真感光体の微視的な表面形状と研磨剤粒径の関係ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）を０．１５以上３０以下、電子写真感光体の巨視的な表面形状と研磨剤粒径の関係ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）を０．１０以上２０以下とすることにより、高湿流れ及び画像欠陥の抑制効果が良好な電子写真装置が得られることを見出した。
【００６０】
ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）を３０、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）を２０より大きくすると、微視的及び巨視的な表面形状に対して研磨剤の粒径が大きすぎるために、山と山の間に付着したオゾン生成物や水分等を除去することが困難となる場合がある。その結果、高湿流れを生じる場合がある。逆に、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）を０．１５、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）を０．１０より小さくすると、微視的及び巨視的な表面形状に対して研磨剤の粒径が小さすぎるために、山と山の間に入りこんだ研磨剤にクリーニング部材からかかる力が非常に小さくなるため、高湿流れを生じる場合がある。
【００６１】
本発明において、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）を０．２０以上２５以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）を０．１５以上１０以下とすることにより、高湿流れに対してより好ましい。
【００６２】
本発明で用いる研磨剤は、従来公知の一般的に電子写真装置で用いられる無機微粉体の研磨剤であれば何れも使用できる。また、研磨剤をトナー粒子に外添する際には、複数の種類の研磨剤や異なる粒径を有する研磨剤を同時に外添させても良い。上記一般的に電子写真装置で用いられる従来公知の研磨剤の一例として、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化セレン、チタン酸ストロンチウム等が上げられる。本発明において、高湿流れ向上のために、研磨剤として用いる無機微粉体として、少なくともチタン酸ストロンチウム微粉体を用いることが特に好ましい。
【００６３】
微視的又は巨視的な表面形状と研磨剤の粒径とのマッチングを制御することが重要であるため、前記研磨剤の形状も特に制限は無い。
【００６４】
また、研磨剤の製造方法に関しても特に制限は無く、従来公知の一般的な製造方法で作製された研磨剤は何れも使用できる。
【００６５】
本発明で用いる研磨剤の平均粒径Ｒ（μｍ）は、以下の方法により算出される。トナーを電子顕微鏡にて５万枚の倍率で撮影した写真から１００個の研磨剤をランダムに選択し、これらの粒径を測定し、その平均を求めた。各研磨剤の粒径は、一次粒子の最長辺をｈ、最短辺をｉとしたとき、（ｈ＋ｉ）／２として求めた。
【００６６】
上記方法により求められた研磨剤の一次粒子の平均粒径は、前述したｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）及びｇ（ａ，ｂ，Ｒ）の関係を満たす粒径であれば特に問題はないが、平均粒径が０．０３μｍ〜０．３μｍの研磨剤を用いることにより高湿流れの抑制効果がより良好となる。
【００６７】
本発明において、トナー粒子に使用する着色剤としては、従来公知のトナーに使用されている染料及び顔料の着色剤は何れも使用できる。また、トナー粒子の製造方法は特に制限はなく、懸濁重合法、乳化重合法、会合重合法、混錬粉砕法が用いられる。
【００６８】
本発明において、ＡＦＭにより得られる微視的な表面形状において、横軸をｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ（μｍ）、縦軸をＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏ（％）とした際、Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％と２０％を結ぶ近似直線の傾きをＣ、８０％と９５％を結ぶ近似直線の傾きをＤとした。そして、Ｃを２５０％／μｍ以上３０００％／μｍ以下、Ｄを２００％／μｍ以上２０００％／μｍ以下とすることにより、画像欠陥、クリーニング不良及び高湿流れの抑制効果がより良好となる。
【００６９】
微視的な表面形状における山の傾きＣを２５０％／μｍより小さくすると、微視的な山の形状が立ってくるため、山部と山部の間をクリーニングすることが難しくなる。その結果、高湿流れが発生する場合がある。また、Ｃを３０００％／μｍより大きくすると、微視的な山の形状がつぶれてくるため、クリーニング部材との接触面積が増加する。これため、クリーニング不良による濃度低下や、クリーニング時にトナー等の逃げが減少することによるトナーの融着等の画像欠陥が発生する場合がある。
【００７０】
また、微視的な表面形状における谷の傾きＤを２００％／μｍより小さくすると、微視的な谷の形状が立ってくるため、谷部のクリーニングが困難となり、その結果、高湿流れが発生する場合がある。また、Ｄが２０００％／μｍより大きくなる場合は、微視的な形状も小さくなっているため、クリーニング部材との接触面積が増加することによるクリーニング性の低下やトナーの融着等の画像欠陥が発生する場合がある。
【００７１】
このように、微視的な山及び谷の各々の形状が高湿流れや画像欠陥に影響を与えるため、微視的な山及び谷の形状を適切に制御することで高湿流れ及び画像欠陥の抑制効果が更に良好となると推察される。
【００７２】
また、本発明において、粗さ計により得られる巨視的な表面形状において、横軸を深さ（μｍ）、縦軸を負荷長さ率（％）とした際、負荷長さ率が５％と２０％を結ぶ近似直線の傾きｃ、８０％と９５％を結ぶ近似直線の傾きをｄとした。そして、ｃを２５０％／μｍ以上１０００％／μｍ以下、ｄを２００％／μｍ以上１０００％／μｍ以下とすることにより、画像欠陥、クリーニング不良及び高湿流れの抑制効果がより良好となる。
【００７３】
巨視的な表面形状における山の傾きｃを２５０％／μｍより小さくすると、巨視的な山の形状が立ってくるため、外添材やクリーニング部材による山と山の間及び谷部をクリーニングすることが難しくなり、その結果、高湿流れが発生する場合がある。また、ｃを１０００％／μｍより大きくすると、微視的な山の形状がつぶれてくるため、クリーニング部材との接触面積が増加する。このため、クリーニング不良による濃度低下や、クリーニング時にトナー等の逃げが減少することによるトナー等の融着が発生する場合があり、画像欠陥が発生する場合がある。
【００７４】
また、巨視的な表面形状における谷の傾きｄを２００％／μｍより小さくすると、巨視的な谷の形状が立ってくるため、谷部のクリーニングが困難となり、その結果、高湿流れが発生する場合がある。また、ｄが１０００％／μｍより大きくなる場合は、巨視的な形状も小さくなっているため、クリーニング部材との接触面積が増加することによるクリーニング性の低下やトナー等の融着が発生する場合があると推察される。
【００７５】
このように、巨視的な山及び谷の各々の形状が高湿流れや画像欠陥に影響を与えるため、巨視的な山及び谷の形状を適切に制御することで高湿流れ及び画像欠陥の抑制効果が更に良好となると推察される。
【００７６】
更に、本発明において、電子写真感光体の微視的な表面形状から得られるＡとＢの関係Ｂ／Ａを４．５以上７０以下、また、巨視的な表面形状から得られるａとｂの関係ｂ／ａを４００以上３０００以下とすることにより、画像欠陥、クリーニング不良及び高湿流れの抑制効果が更に良好となる。
【００７７】
Ｂ／Ａを７０、ｂ／ａを３０００より大きくすると、微視的又は巨視的な表面形状が極端に平坦化するため、クリーニング部材と電子写真感光体表面との接触面積における単位当たりの摺擦力が低下するためクリーニング不良を生じる場合がある。また、電子写真感光体の微視的な凹凸が小さくなるためクリーニング部材と電子写真感光体表面の間に入り込んだトナーの逃げ道が減少するために、トナー等の融着が生じやすくなる。これらの結果、画像欠陥が生じる場合がある。
【００７８】
逆に、Ｂ／Ａを４．５、ｂ／ａを４００より小さくすると、谷の深さが非常に深くなってしまうため、研磨剤及びクリーニング部材を用いて山と山の間に付着したオゾン生成物や水分等を除去することが困難となる場合があり、その結果、高湿流れを生じる場合がある。
【００７９】
上記微視的及び巨視的な表面形状を制御する手段としては、特に限定されるものではないが、微視的及び巨視的な表面形状の山や谷の形、高さを任意に変えることが可能であることから、電子写真感光体表面を研磨することが好ましい。
【００８０】
研磨手段としては、研磨テープ、磁性粉体、バフ研磨等の研磨方法やこれらの組合せによる研磨等、特に制限されるものではなく、目的の表面形状に制御するために適宜選択して使用することが好ましい。
【００８１】
研磨テープ等の研磨砥粒が固定されているものを用いると、微視的及び巨視的な表面形状の山の頂点のみが選択的に研磨される。その結果、山部が平坦化されるためＣ及びｃのみが大きく変化し、逆に、谷部はほぼ変化しないためＤ及びｄの変化は少ない。また、磁性粉体やバフ研磨等の研磨砥粒が固定されておらず、流動性を有するものを用いると、微視的及び巨視的な表面形状に関らず全体的に研磨される。この結果、Ｃ、ｃ、Ｄ、ｄともに大きくなり、微視的及び巨視的な表面形状の山は丸みを有する形状となる。
【００８２】
また、研磨に使用する砥粒の粒径は、目的の微視的及び巨視的な表面形状により適宜選択する必要があるが、砥粒の粒径は、特に微視的な表面形状の制御に効果的である。微視的な表面形状における山と山の間隔よりも大きい粒径の砥粒を用いると、谷部には砥粒が入り込めないため山部のみを選択的に研磨する。反対に、山と山の間隔よりも小さい粒径の砥粒を用いると、山、谷ともに研磨することができる。よって、電子写真感光体の研磨前の表面形状、研磨後に目標とする表面形状等によって磁性粉体の粒径を適宜選択する必要がある。しかし、研磨による電子写真感光体の加工ダメージの点から、粒径が１００μｍ以下の研磨砥粒を用いることが好ましい。
【００８３】
図４は、本発明で電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を制御するために用いた電子写真感光体表面を磁性粉体により研磨する研磨装置の一例を示した模式的な概略断面図である。ここで、図４（ａ）は装置全体の概略断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の要部の詳細を示す模式的な概略断面図である。
【００８４】
図４（ａ）に示す研磨装置は、マグネットローラー容器４０４内に内部に磁性体を有するマグネットローラー４０２が収容されており、前記マグネットローラー４０２表面は磁性粉体４０３によって覆われている。電子写真感光体４０１及びマグネットローラー４０２は不図示の回転機構と接続されており、それぞれ回転可能になっている。マグネットローラー容器４０４は可動台４０７に固定されており、移動機構４０８によって電子写真感光体４０１へ磁性粉体４０３が接する位置まで移動し、これにより、電子写真感光体４０１表面を磁性粉体で研磨する構成となっている。
【００８５】
マグネットローラー４０２内部の磁性体により磁性粉体がブラシ状に形成され、電子写真感光体４０１の表面をマグネットローラー４０２上に形成されたブラシ状の磁性粉体により研磨する。これにより、研磨時に発生した研磨残渣及び研磨前、研磨中に付着したダスト等を研磨面から除去するとともに、研磨傷を抑制することが可能となる。
【００８６】
マグネットローラー４０２内部の磁性体は、通常のフェライト磁石等の金属や、プラスティックマグネット等の磁性体を用いて円筒状に形成したもので、マグネットローラー上に良好なブラシ状の磁性粉体を形成するためには、多極磁性体を用いることが好ましい。
【００８７】
また、磁性体の磁束線密度が低いものを用いた場合、マグネットローラー４０２表面で生じる磁性粉体の穂立ち部の流動性が高くなるため、電子写真感光体表面の微細な形状の凹部へと選択的に入り易くなり、研磨後の微細な形状は丸みを有する形状となる。逆に、磁性体の磁束線密度が高いものを用いた場合、穂立ち部の流動性が低下するために微細な形状の中で高い凸部が研磨されやすくなり、研磨後の微細な形状は凸部が平坦化された形状となる。よって、磁性体の磁束線密度は、電子写真感光体表面の形状等によって適宜選択する必要がある。しかし、磁束線密度が低くすぎる場合には磁性粉体をマグネットローラー４０２表面に維持できなくなることから、マグネットローラー４０２表面で３０ｍＴ（＝３００Ｇ）以上となるような磁性体を使用することが好ましい。
【００８８】
図４（ｂ）に示すように、マグネットローラー４０２表面を覆う磁性粉体４０３の層厚は、マグネットローラー４０２と板状の磁性体規制ブレード４０５との間隔（ＳＢ距離）により制御される。磁性粉体層の電子写真感光体４０１上におけるニップ幅（電子写真感光体と磁性粉体の接触部における周方向の幅）は、研磨レート、研磨後の形状に影響を与えるため、ニップ幅を安定して制御することにより安定性及び再現性の高い研磨が可能となる。ニップ幅の制御手段として、図４の研磨装置では上記ＳＢ距離及び電子写真感光体４０１とマグネットローラー４０２との間隔であるＳＤ距離を制御することで容易に実現できる。ＳＤ距離は、図４に示す研磨装置においては、マグネットローラー容器４０４に接続されたマイクロメーター４０６により容易に調整が可能である。ニップ幅は、広げると研磨レートが上がり、狭めると下がることから、ＳＢ距離及びＳＤ距離は適宜選択する必要がある。しかし、マグネットローラー４０２と電子写真感光体への接触を防ぐ点から、ＳＢ距離及びＳＤ距離は４００μｍ以上に、また、ニップ幅を広げていくと研磨レートが飽和することからＳＢ距離は１５００μｍ以下にすることが好ましい。
【００８９】
マグネットローラー４０２の外周は、磁力により吸引された磁性粉体４０３により覆われている。この磁性粉体としては、一般にフェライト、マグネタイト等の磁性粉体、周知の磁性トナーのキャリアを使用することが可能である。磁性粉体表面が樹脂膜等でコーティングされていると、電子写真感光体と磁性粉体との摩擦が低下し、研磨レートが低下するため磁性粉体表面がコーティングされていない磁性粉体を使用することが好ましい。
【００９０】
また、磁性粉体の形状は、焼結体等の球形の磁性粉体と焼結体を粉砕したもの等の不定形の磁性粉体とに大きく分けられる。球形の磁性粉体よりも不定形の磁性粉体の方が電子写真感光体表面と磁性粉体との摩擦抵抗が大きくなるため研磨レートが高くなる。このことから、磁性粉体の形状は研磨レート等によって適宜選択する必要がある。
【００９１】
磁性粉体４０３による研磨の際、電子写真感光体４０１を回転させて、電子写真感光体表面を研磨することにより、電子写真感光体外周を均一に研磨することが可能となる。電子写真感光体の回転数は、目的の微視的及び巨視的な表面形状により適宜選択する必要があるが、研磨時の回転数は、特に巨視的な表面形状の制御に効果的である。回転数を下げると電子写真感光体表面の巨視的な表面形状の山が選択的に研磨され、且つ研磨レートも低下する傾向が見られる。逆に、回転数を上げていくと巨視的な表面形状の谷が選択的に研磨され、且つ研磨レートも向上する傾向が見られる。そのため、研磨後の電子写真感光体表面の形状、研磨レート及び研磨量によって適宜選択する必要があるが、安定した研磨を行うためには、１０〜５００ｒｐｍで回転させることが好ましい。
【００９２】
また、電子写真感光体表面を研磨する際に、マグネットローラー４０２に吸引されている磁性粉体４０３を常に入れ替えることにより、安定した研磨を行うことが可能となるため、マグネットローラー４０２も回転させることが好ましい。このとき、マグネットローラー４０２の回転方向は、電子写真感光体表面と磁性粉体が接する位置で電子写真感光体４０１の回転方向とマグネットローラー４０２の回転方向が同一方向よりも逆方向の方が、研磨レートが向上する。このことからマグネットローラー４０２の回転方向を図４に示すように逆方向にする方が研磨時間短縮の点から好ましい。
【００９３】
図５は、本発明で電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を制御するために用いた電子写真感光体表面を研磨テープより研磨する研磨装置の一例を示した模式的な概略断面図である。加圧弾性ローラー容器５０７内に加圧弾性ローラー５０３が接続されている。不図示の回転機構に接続された定量送り出しローラー５１０とキャプスタンローラー５０９によって研磨テープ５０２は送り出し量が制御されている。送り出しロール５０４から送り出された研磨テープは、搬送経路支持棒５１１を経由して巻き取りロール５０５によって巻き取られる構成となっている。加圧弾性ローラー容器５０７は、移動機構５０６によって電子写真感光体５０１方向へと移動することによって、電子写真感光体５０１表面に研磨テープ５０２を押し当てて研磨を行う構成となっている。
【００９４】
研磨テープ５０２は、通常ラッピングテープと呼ばれるものが好ましく、砥粒としては炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化アルミ（Ａｌ２Ｏ３）、α酸化鉄（Ｆｅ２Ｏ３）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）、ダイヤモンド（Ｃ）、シリカ（ＳｉＯ２）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ３）等が用いられる。また、砥粒の粒径は、細かすぎると研磨レートが低下し、粗すぎると電子写真感光体表面への加工ダメージが大きくなることから、０．１〜１００μｍ、更には１〜４０μｍが好適である。
【００９５】
研磨テープ５０２は、一般によく知られた塗布方法、例えばドクターブレード（ナイフエッジ）コート法、デップコート法、エアーナイフコート法、カーテンコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、エクストルージョンコート法等により塗布することが可能である。
【００９６】
研磨テープの送り速度は、研磨レート、研磨傷、処理コスト、摩擦による発熱等を考慮しながら適宜決定すれば良いが、１〜３００ｍｍ／ｍｉｎ、更には１０〜１００ｍｍ／ｍｉｎにすることが好ましい。
【００９７】
加圧弾性ローラー５０３は、芯金上に可撓性部材としてのゴムを形成することにより作成される。ゴムはネオプレン（登録商標）ゴム、シリコンゴム等の材質が挙げられる。ＪＩＳゴム硬度が高くなると研磨レートは向上するが徐々に飽和していくため、ＪＩＳゴム硬度が２０〜９０程度のものを用いるのが好ましい。
【００９８】
また、加圧弾性ローラー５０３の形状は、感光体母線方向に均一な処理を行うために、中央部の直径が両端部より太いものが好ましく、直径差が０．０１〜０．６ｍｍ、さらには０．０２〜０．４ｍｍが好適である。
【００９９】
更に、電子写真感光体５０１を研磨する際に、加圧弾性ローラー５０３から回転する電子写真感光体５０１への押し当て圧力を９．８×１０３〜１．９６×１０６Ｎ／ｍ２にすることが好ましく、４．９×１０４〜９．８×１０５Ｎ／ｍ２にすることがより好ましい。これは、押し当て圧力が低すぎると研磨レートの低下につながり、逆に、高すぎると研磨面での発熱により研磨テープの樹脂成分が多量に電子写真感光体表面へと転写されてしまうからである。
【０１００】
電子写真感光体５０１と研磨テープ５０２が接する研磨面において、摩擦熱による前記樹脂成分の電子写真感光体への転写及び研磨テープからの砥粒の脱落等を防ぐために、研磨面を水冷、冷風等で冷却した方が好ましい。研磨面の冷却方法としては、研磨面を直接冷却しても良いし、加圧弾性ローラー表面に冷却手段を接触させても良いし、電子写真感光体内部を冷却しても良い。
【０１０１】
本発明において、電子写真感光体の巨視的な表面形状は、膜を形成する基板の表面形状に影響される。そのため、電子写真感光体の巨視的な表面形状を制御する手段として、基板の表面形状を制御することが好ましい。基板の表面形状を制御する手段としては、特に限定は無いが、基板の表面形状を厳密に制御する観点から、基板を旋盤等で切削加工することが好ましい。
【０１０２】
「本発明に係わる電子写真感光体」
本発明は、基体上に少なくとも非晶質材料で構成された光導電層を有する電子写真感光体を用いることを特徴としている。図８に本発明に好適な電子写真感光体の一例として、ａ−Ｓｉ電子写真感光体の模式的な概略断面図を示す。
【０１０３】
図８（ａ）に示す電子写真用感光体は、円筒状基体８０１の上に、水素原子またはハロゲン原子を構成要素として含むアモルファスシリコン（以下「ａ−Ｓｉ：Ｈ，Ｘ」と表記する。）  を有する光導電層８０２が設けられている。
【０１０４】
図８（ｂ）に示す電子写真用感光体は、円筒状基体８０１の上に、ａ−Ｓｉ：Ｈ，Ｘからなり光導電性を有する光導電層８０２と、アモルファスシリコン系（又はアモルファス炭素系）表面層８０３が設けられて構成されている。
【０１０５】
図８（ｃ）に示す電子写真用感光体は、円筒状基体８０１の上に、アモルファスシリコン系電荷注入阻止層８０４と、ａ−Ｓｉ：Ｈ，Ｘからなり光導電性を有する光導電層８０２と、アモルファスシリコン系（又はアモルファス炭素系）表面層８０３が設けられて構成されている。光導電層８０２と表面層８０３の界面に関しては、連続的に変化させ界面反射を抑制する界面制御を施しても良い。
【０１０６】
図８（ｄ）に示す電子写真用感光体は、円筒状基体８０１の上に、光導電層８０２が設けられている。この光導電層はａ−Ｓｉ：Ｈ，Ｘからなる電荷発生層８０５及び電荷輸送層８０６とからなり、その上にアモルファスシリコン系（又はアモルファス炭素系）表面層８０３が設けられている。電荷発生層８０５と表面層８０３の界面に関しては、連続的に変化させ界面反射を抑制する界面制御を施しても良い。
【０１０７】
本発明における電子写真感光体表面の研磨は、図８（ｂ）、図８（ｃ）、図８（ｄ）のような表面層まで形成した後に行っても良いし、図８（ａ）のような光導電層８０２まで形成した後に研磨を行い、研磨後に表面層８０３を形成しても良い。
【０１０８】
「本発明に係わる電子写真感光体製造装置」
上記ａ−Ｓｉ電子写真感光体の作製方法は、一般的に知られている真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、熱ＣＶＤ法、光ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法等の成膜方法により、基体上に図８に示すａ−Ｓｉ電子写真感光体を形成すればよく、なかでも、プラズマＣＶＤ法、すなわち、原料ガスにＲＦ帯やＶＨＦ帯の高周波電力を印加してグロー放電により分解し、基体上に堆積膜を形成する方法によりａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製することが好ましい。
【０１０９】
図６は、電源周波数としてＶＨＦ帯を用いた高周波プラズマＣＶＤ法によるａ−Ｓｉ電子写真感光体製造装置の一例を示す模式的な概略構成図であり、図７は、異なる２つの高周波電力を出力可能な高周波プラズマＣＶＤ法によるａ−Ｓｉ電子写真感光体製造装置の一例を示す模式的な概略構成図である。これらの一例として図６に示す電子写真感光体製造装置について説明する。図６のａ−Ｓｉ電子写真感光体製造装置は、少なくとも、円筒状基体６０１を内包できる減圧可能な反応容器６０２、反応容器６０２内に原料ガスを供給するための原料ガス導入管６０９及び原料ガスを分解するための電力を導入するカソード６０７からなる堆積装置、反応容器６０２内に原料ガスを供給する原料ガス供給装置６０４、反応容器６０２内を排気するための不図示の排気装置及びカソード６０７に電力を供給する電力供給装置からなる。
【０１１０】
まず、反応容器６０２内に円筒状基体６０１を設置し、不図示の排気装置による排気口６１２を介して反応容器６０２内を排気した後、不活性ガスを反応容器６０２内に供給する。そして、反応容器６０２の内圧が所望の圧力に設定した後に、ヒーター６０８によって円筒状基体６０１を所望の温度まで加熱を行う。
【０１１１】
以上の手順により加熱工程が終了した後、続いて堆積層形成工程を行う。反応容器６０２内の不活性ガスを不図示の排気装置により排気した後、反応容器６０２内に原料ガス供給装置６０４から原料ガス導入管６０９を介して原料ガスを供給する。反応容器６０２の内圧が安定したところで、高周波電力源６０５からカソード６０７にマッチングボックス６０６を介して高周波電力の供給を行い、反応容器６０２内にグロー放電を生起させる。この放電エネルギーによって、反応容器６０２内の原料ガスが分解され、円筒状基体６０１上に所定の堆積層が形成される。なお、堆積層の基体周方向の均一性を向上させるために、堆積層形成中、駆動部６１０を介してモーター６１１によって基体６０１を所定の速度で回転させる方法が有効である。こうして、堆積層が所望の膜厚に到達したら高周波電力の供給を停止し、原料ガス供給装置６０４からの原料ガスの供給を停止することで堆積層の形成を終える。同様の作業を複数回続けて行うことによって多層構造を持つ堆積層を形成することが可能になる。
【０１１２】
［電子写真装置］
本発明により作製された電子写真感光体が用いられる電子写真装置の一実施形態を図９に示す。なお、本例の電子写真装置は、円筒状の電子写真感光体が用いられる場合に好適なものである。
【０１１３】
図９において、電子写真感光体９０１の周囲に、電子写真感光体９０１に静電潜像形成のための帯電を行う一次帯電器９０２と、静電潜像の形成された電子写真感光体９０１に現像用トナーを供給するための現像器９０３と、電子写真感光体表面のトナーを紙などの転写材９０４に移行させるための転写帯電器９０５と、電子写真感光体表面のクリーニングするためのクリーナー９０６とが配設されている。また、電子写真感光体９０１の内部には、不図示の感光体ヒーターが配設されており、この感光体ヒーターによって電子写真感光体９０１を加熱できる構成となっている。また、クリーナー９０６と一次帯電器９０２の間には、次回の複写動作に備えて電子写真感光体表面の除電を行うための除電ランプ９０９が配設されており、また転写材９０４は送りローラー９１０により送られる。露光Ａの光源には、ハロゲン光源、あるいは単一波長を主とする光源を用いる。
【０１１４】
このような電子写真装置を用いた複写画像の形成は、例えば以下のように行なわれる。まず、電子写真感光体９０１を所定の速度で矢印の方向へ回転させ、一次帯電器９０２を用いて電子写真感光体９０１の表面を一様に帯電させる。次に、帯電された電子写真感光体９０１の表面に画像の露光Ａを行い、該画像の静電潜像を電子写真感光体９０１の表面に形成させる。そして電子写真感光体９０１表面に静電潜像の形成された静電潜像部が現像器９０３の設置部を通過する際に、現像器９０３によってトナーが電子写真感光体９０１の表面に供給され、静電潜像がトナー９１１による画像として顕像化（現像）され、更にこのトナー画像は感光体９０１の回転とともに転写帯電器９０５の設置部に到達し、ここで送りローラー９１０によって送られてくる転写材９０４に転写される。
【０１１５】
転写終了後、分離帯電器により転写材を電子写真感光体から静電気力を利用して分離させる。分離はベルト、爪などを用いて機械的に分離しても良い。次の複写工程に備えるために電子写真感光体９０１の表面から残留トナーがクリーナー９０６によって除去され、更に電子写真感光体９０１表面の電位がゼロ若しくは殆どゼロとなるように除電ランプ９０９により除電され、１回の複写工程を終了する。
【実施例】
【０１１６】
以下、実施例及び比較例により本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらにより何ら制限されるものではない。
【０１１７】
＜電子写真感光体作製例１＞
アルミニウム製の円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ）をダイヤモンドミラクルバイトにより鏡面加工し、その円筒状基体の巨視的な表面形状が、下記に示す＜表面粗さ計による巨視的表面粗さの測定方法＞により切断レベル差δｃ［５％〜９５％］（負荷長さ率（ｍｒ）の５％〜９５％までの距離）が０．１５±０．１μｍ、山と山の間隔が１２０±１０μｍとなるように加工した。次に、図６に示すプラズマ処理装置を用いて、上記円筒状基体上に表１に示す条件で、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行い、正帯電ａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製した。このとき、１０５ＭＨｚの高周波電力を出力可能な高周波電源を用いた。また、表１に示す製造条件中の「２００→２０」はガス流量を２００ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）から２０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）まで連続的に変化させることを表す。
【０１１８】
【表１】
0004623651.tif 000002
【０１１９】
＜表面粗さ計による巨視的表面粗さの測定方法＞
測定位置は、電子写真感光体の任意の円周方向を０°とした時の０°位置と１８０°位置における電子写真感光体の長手方向における中心位置と中心位置から±１００ｍｍ位置の３×２ヶ所、計６ヶ所を、表面粗さ計（Ｍｉｔｕｔｏｙｏ製：ＳＶ−Ｃ４０００）により測定し、Ｄｕａｌｔｒａｃｅ  ＰａｃｋのＳｕｒｆｐａｃｋを用いて解析した。
【０１２０】
表面粗さ計の測定条件は、温度２３±３℃、湿度５５±５％の室内において、先端半径５μｍの標準スタイラス（１２ＡＡＢ４０３）及び標準ノーズピース（１２ＡＡＣ７５３）を取り付け、速度０．１ｍｍ／Ｓ、ピッチ０．５μｍ、４ｍＮ用検出器でとした。また、評価条件は、Ｒ曲線（断面曲線）、規格を  ＯＬＤＭＩＸ  とし、基準長さ０．８ｍｍ、区間数５、評価長さ４．０ｍｍ、助走及び後走０．４ｍｍ、フィルタ種別をＧａｕｓｓｉａｎ、λｃを０．８ｍｍ、λｓを０．００８ｍｍとした。
【０１２１】
これにより得られた粗さ曲線から、図１０に示すように切断レベル差δｃの基準線を負荷長さ率５％、切断線を負荷長さ率９５％に設定してδｃ［５％〜９５％］を求めた。このようにして各測定位置で求めたδｃ［５％〜９５％］の平均値をａとした。
【０１２２】
また、得られた粗さ曲線において、カウントレベルを最大高さの１０％に設定してＰｃ（ピークカウント、単位：個／ｃｍ）を求め、このＰｃの逆数に１０５を掛けて山と山の間隔を算出した。このようにして各測定位置で求めた山と山の間隔の平均値をｂとした。
【０１２３】
次に、得られた粗さ曲線から、図１１に示すように基準線を負荷長さ率０％とし、切断線を負荷長さ率が５％、１０％、１５％及び２０％に設定して各負荷長さ率における最高点からの距離を求めた。得られた測定データを横軸に最高点からの距離（μｍ）、縦軸に負荷長さ率（％）として直線近似し、直線の傾きを求めた。各測定位置で求めた近似直線の傾きの平均値をｃとした。
【０１２４】
更に、基準線を負荷長さ率０％とし、切断線を負荷長さ率が８０％、８５％、９０％及び９５％に設定して各負荷長さ率における最高点からの距離を求めた。得られた測定データを横軸に最高点からの距離（μｍ）、縦軸に負荷長さ率（％）として直線近似し、直線の傾きを求めた。各測定位置で求めた近似直線の傾きの平均値をｄとした。
【０１２５】
《実施例１》
電子写真感光体作製例１で作製した電子写真感光体を下記に示す研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施した。電子写真感光体の微視的な表面形状を下記に示す＜ＡＦＭによる微視的表面粗さの測定方法＞により評価し、Ａの値（μｍ）が表２に示す値をとるような研磨時間を割り出した。更に、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の電子写真感光体の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄを下記に示すＡＦＭによる測定方法により求め、巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを前述した表面粗さ計による測定方法により求めた。測定結果は表５に示す。
【０１２６】
【表２】
0004623651.tif 000003
【０１２７】
上記の電子写真感光体１から７について、下記に示す研磨剤作製例１により作製した研磨剤を下記に示す現像用トナー作製例１に添加して作製した現像用トナーを用いて、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を下記の条件により評価した。このとき、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例１に示すＳＴ（１）を用いた。評価結果は表５に示す。
【０１２８】
＜研磨条件１＞
図４の研磨装置を用いて、電子写真感光体４０１の研磨を行った。研磨条件は、電子写真感光体の回転数を９０ｒｐｍ、マグネットローラー４０２の回転数を２４０ｒｐｍ、マグネットローラー４０２の磁力を９００Ｇ、ＳＤ距離を０．４ｍｍ、ＳＢ距離を１．０ｍｍに調整し、磁性粉体４０３は、同和鉄粉工業株式会社製Ｃｕ−Ｚｎフィライト（ＤＦＣ４５０）を３．０μｍ以下の粒径の磁性粉体を取り除いたものを用いた。
【０１２９】
＜ＡＦＭによる微視的表面粗さの測定方法＞
測定位置は、表面粗さ計の測定位置と同じ位置を測定した。ＡＦＭは、Ｑｕｅｓａｎｔ社製  Ｑ−ＳＣＯＰＥ２５０（Ｖｅｒｓｉｏｎ３．１８１）、ヘッドＴａｐｅ１０、プローブＮＳＣ１６を用い、１０μｍ×１０μｍの範囲をＳＣＡＮ  ＲＡＴＥ  ４Ｈｚで測定したＡＦＭ観察像をＱｕｅｓａｎｔ社製  Ｑ−ＳＣＯＰＥ２５０のＴｉｌｔ  ＲｅｍｏｖａｌのＰａｒａｂｏｌｉｃ  Ｌｉｎｅ  ｂｙ  ｌｉｎｅ補正を行った後に得られる三次元形状から成るＡＦＭ観察像を、Ｈｉｓｔｏｇｒａｍ  ＡｎａｌｙｓｉｓのＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏによりグラフ化させた。
【０１３０】
このグラフのＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏ５％から９５％に対応するｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ［５％〜９５％］を求め、各測定位置で求めたｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ［５％〜９５％］の平均値をＡとした。
【０１３１】
また、上記グラフからＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが５％、１０％、１５％及び２０％位置での各ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔを求めた。得られた測定データを横軸ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔ（μｍ）、縦軸Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏ（％）として直線近似して直線の傾きを求めた。各測定位置で求めた近似直線の傾きの平均値をＣとした。
【０１３２】
更に、上記グラフからＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏが８０％、８５％、９０％及び９５％位置での各ｓｕｒｆａｃｅ  Ｈｅｉｇｈｔを求めた。得られた測定データを横軸が深さ（μｍ）、縦軸がｍｒ（％）として直線近似して直線の傾きを求めた。各測定位置で求めた近似直線の傾きの平均値をＤとした。
【０１３３】
また、前記Ｔｉｌｔ  ＲｅｍｏｖａｌのＰａｒａｂｏｌｉｃ  Ｌｉｎｅ  ｂｙ  ｌｉｎｅ補正を行った後に得られる三次元形状から成るＡＦＭ観察像を、Ｈｉｓｔｏｇｒａｍ  ＡｎａｌｙｓｉｓのＨｅｉｇｈｔ  Ｈｉｓｔｏｇｒａｍによりグラフ化させた。このグラフを用いてＲｏｕｇｈｎｅｓｓ  Ｐａｒａｍｅｔｅｒの最大高さＲｔを求めた。
【０１３４】
次に、前記補正後のＡＦＭ観察像をＤｉｍｅｎｓｉｏｎにより二次元化した。Ｐｒｏｆｉｌｅ  Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ  ｓｅｃｔｉｏｎを選択し、二次元化したＡＦＭ観察像の測定位置にカーソルを動かし、Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ  ＭｅｎｕのＸＹ：Ｔｗｏ  Ｐｏｉｎｔを選択して測定位置の断面形状を表示させた。この断面形状を用いて山と山の間隔を求めた。山と山の測定方法は、図１３に示すように、山の頂点から左右それぞれの谷の底点までの距離がＲｔに対して５％以上あった場合に山とみなし、断面形状内の山の数を求めた。次に、最初の山から最後の山の頂点までの間隔を測定し、前記求めた間隔を山の数で割って山と山の間隔を求めた。測定位置は、ｙ軸の１、３、５、７、９μｍ位置の５点である。各測定位置で求めた山と山の間隔の平均値をＢとした。
【０１３５】
＜研磨剤作製例１＞
炭酸ストロンチウム６００ｇと酸化チタン３５０ｇをボールミルにて、８時間湿式混合した後、ろ過乾燥し、この混合物を１０ｋｇ／ｃｍ２の圧力にて成形して７時間焼結した。これを、機械粉砕して、焼結工程を経由したチタン酸ストロンチウム微粉体を作製した。
焼結温度及び機械粉砕時間を変化させ、表３に示すチタン酸ストロンチウム（以下、ＳＴと示す）微粉体を作製した。
【０１３６】
【表３】
0004623651.tif 000004
【０１３７】
＜トナー作製例１＞
・スチレン−ｎ−ブチルアクリル重合体‥１００部
（共重合質量比＝７８：２２、重量平均分子量＝３８万）
・カーボンブラック‥８部
・３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルサリチル酸のアルミニウム化合物‥５部
・パラフィンワックス（融点＝８０℃）‥２部。
【０１３８】
上記コンパウンドをヘンシェルミキサーにて混合し、二軸押し出し混錬機で溶融混錬した後、ハンマーミルで粗粉砕し、ジェットミルで微粉砕した後、分級してトナー粒子Ａを作製した。
【０１３９】
上記で作製したトナー粒子Ａ １００部に対して、シリカ微粉体（商品名Ｒ９７４、一次粒子の平均径約１２ｎｍ、日本アエロジル社製）１００部をヘキサメチルジシラザン７部で表面処理した疎水性シリカ（Ｂｅｔ比表面積＝８５ｍ２／ｇ）１．２部及び作製したチタン酸ストロンチウム微粉体０．９部をヘンシェルミキサーで外添してトナーを作製した。
【０１４０】
＜電子写真装置を用いた評価方法＞
評価に使用した電子写真装置は、キヤノン製デジタル電子写真装置ｉＲ−６０００を用いた。
【０１４１】
高湿流れ及び画像欠陥の評価は、電子写真感光体を３０℃、８０％の高温高湿環境下に設置し、昼間電子写真感光体を稼働して耐久を実施している間は感光体ヒーターをＯＮにして感光体表面温度を約４０℃に維持し、夜間電子写真装置を停止している間は感光体ヒーターをＯＦＦにするシーケンスで耐久評価により実施した。
【０１４２】
＜高湿流れの評価＞
高湿流れの評価は、印字率１％と通常より印字率を下げたテストパターンを用いて、Ａ４コピー用紙を一日当り２万枚の連続通紙耐久を５日間実施して１０万枚までの通紙耐久を行った後、環境条件を３５℃／８５％に変更し、一昼夜放置し、次の朝一番に画像出しを行い高湿流れの評価を行った。画像は、６ポイントから８ポイントの「電」文字が一行に繰り返し印刷された文字テストチャートとハーフトーン（ＨＴ）チャートを原稿台におき、コピーをした時に得られたコピー画像を使用した。
【０１４３】
文字チャートにより得られたコピー画像を観察し、どのポイントの文字までが読み取れるのかを評価した。但し、この時、画像上でムラがある場合には、全画像領域で評価し最も悪い部分の結果を示した。評価基準は次の通りである。
◎‥６ポイントの文字まで読むことができる。
○‥７ポイントの文字まで読むことができる。
△‥８ポイントの文字まで読むことができる。
×‥８ポイントの文字の一部が読むことができない。
【０１４４】
また、ＨＴチャートより得られたコピー画像の画像濃度を測定した。測定位置は、図１５に示すように、Ａ３のコピー画像における電子写真感光体の長手方向に対応するコピー画像の中心を電子写真感光体回転方向に１ｃｍ角の範囲に分割して各範囲の画像濃度を測定し、反射濃度の最大値に対する最小値の比率（反射濃度の最小値／反射濃度の最大値）を求めて比較した。画像濃度の測定は、画像濃度計（ＭａｃｂｅｔｈＲＤ９１４）を用いて測定した。評価基準は次の通りである。
◎‥最も濃度の低い範囲の画像濃度が最も濃度の高い範囲の画像濃度に対して９０％以上１００％以下で非常に良好。
○‥最も濃度の低い範囲の画像濃度が最も濃度の高い範囲の画像濃度に対して８５％以上９０％未満で良好。
△‥最も濃度の低い範囲の画像濃度が最も濃度の高い範囲の画像濃度に対して８０％以上８５％未満で実用上問題無し。
×‥最も濃度の低い範囲の画像濃度が最も濃度の高い範囲の画像濃度に対して８０％未満で、目視で濃度差が確認できる。
【０１４５】
＜画像欠陥の評価方法＞
画像欠陥は、高湿流れ評価と同様の連続通紙耐久を行った後、以下に示す方法で実施した。黒スジの評価は、全白チャートとしてキヤノン製カラーレーザーコピア用紙（ＴＫＣＬ  Ａ３）を原稿台におき、コピーをした時に得られたコピー画像を観察し、また、クリーニング不良の評価は、図１６に示すＡ３のテストチャートを原稿台におき、コピーをした時に得られたコピー画像を使用した。
【０１４６】
黒スジの評価は、全白チャートにより得られたコピー画像を観察し、画像上に長さ１ｍｍ以上の黒スジが確認できるかを評価した。評価基準は次の通りである。
◎‥全く確認できない。
○‥１ｍｍ未満の黒スジが僅かに確認できる。
△‥１ｍｍ以上の黒スジが僅かに確認できる。
×‥１ｍｍ以上の黒スジが容易に確認できる。
【０１４７】
クリーニング不良の評価は、図１６に示すような反射濃度が１．５である直径１０ｍｍの黒円がＡ３用紙の中央に１０ｍｍ間隔で合計２０個印刷してあるテストチャートを原稿台におき、コピーをした時に得られたコピー画像の画像濃度を測定し、最も濃度が濃い黒円から順に選んだ１０個の平均値を求めた。画像濃度の測定は、画像濃度計（ＭａｃｂｅｔｈＲＤ９１４）を用いて測定した。評価基準は次の通りである。
◎‥測定した反射濃度が１．４以上。
○‥測定した反射濃度が１．３以上１．４未満。
△‥測定した反射濃度が１．２以上１．３未満。
×‥測定した反射濃度が１．２未満。
【０１４８】
《比較例１》
電子写真感光体作製例１で作製した電子写真感光体を研磨せずに、前述のＡＦＭによる測定方法によりＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを、また、前述の表面粗さ計による測定方法によりａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。更に、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。評価結果は表５に示す。但し、比較例１で用いた電子写真感光体の番号は（１）とする。
【０１４９】
《比較例２》
電子写真感光体作製例１で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表４に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の電子写真感光体の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表４に示す。更に、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。評価結果は表５に示す。
【０１５０】
【表４】
0004623651.tif 000005
【０１５１】
実施例１及び比較例１、２により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表５に示す。
【０１５２】
【表５】
0004623651.tif 000006
【０１５３】
表５の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ａが０．０２μｍ以上０．２５μｍ以下、Ｂが０．８μｍ以上１．９μｍ以下、ａが０．０７μｍ以上０．１５μｍ以下、ｂが１２５μｍ以上１５０μｍ以下、Ａ×ａが１．４×１０−３μｍ２以上３．８×１０−２μｍ２以上、且つ、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が２．６以上３０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が４．０以上８．６以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、Ｂ／Ａが４．５以上７０以下に制御されることで高湿流れ（文字）及び高湿流れ（ＨＴ）が改善され、特性が良好となった。更に、Ａが０．０４μｍ以上、Ｂが１．８μｍ以下、ａが０．０８μｍ以上、ｂが１４５μｍ以下、Ａ×ａが３．２×１０−３μｍ２以上、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が１５以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が７．５以下に制御されることで更に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０１５４】
＜電子写真感光体作製例２＞
電子写真感光体作製例１に示す条件により電子写真感光体を作製した。但し、電子写真感光体作製例２では、巨視的な表面形状が、表面粗さ計で求められるδｃ［５％〜９５％］が０．２８±０．１μｍ、山と山の間隔が２００±１０μｍとなるように加工した円筒状基体を用いて電子写真感光体を作製した。
【０１５５】
《実施例２》
電子写真感光体作製例２で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表６に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表９に示す。
【０１５６】
【表６】
0004623651.tif 000007
【０１５７】
上記の電子写真感光体８〜１３について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（８）を用いた。評価結果は表９に示す。
【０１５８】
＜研磨剤作製例２＞
硫酸チタニル水溶液を加水分解して得られた含水酸化チタンスラリーをアルカリ水溶液で洗浄した。次に、前記含水酸化チタンスラリーに塩酸を添加してｐＨを調整し、チタニアゾル分散液を得た。前記チタニアゾル分散液にＮａＯＨを添加し、分散液のｐＨを調整し、上澄み液の電気伝導度が１００μＳ／ｃｍになるまで洗浄を繰り返した。前記含水酸化チタンに対し、約１倍モル量のＳｒ（ＯＨ）２・８Ｈ２Ｏを加えてＳＵＳ製反応容器に入れ、窒素ガスで置換した。更に、ＳｒＴｉＯ３換算で０．３ｍｏｌ／リットルになるように蒸留水を加えた。窒素雰囲気下で前記スラリーを反応温度まで昇温し、反応温度を保持して反応させた。反応後、室温まで冷却し、上澄み液を除去した後、純水で洗浄を繰り返した。前記スラリーを純水で繰り返し洗浄した後、ヌッチェでろ過し、得られたケーキを乾燥してチタン酸ストロンチウム微粉体を作製した。
【０１５９】
反応温度、昇温速度、水溶液のｐＨを変化させ、表７に示すチタン酸ストロンチウム（以下、ＳＴと示す）微粉体を作製した。
【０１６０】
【表７】
0004623651.tif 000008
【０１６１】
《比較例３》
電子写真感光体作製例２で作製した電子写真感光体を研磨せずに、実施例１と同様にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及びａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。更に、実施例２と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。評価結果は表９に示す。但し、比較例３で用いた電子写真感光体の番号は（５）とする。
【０１６２】
《比較例４》
電子写真感光体作製例２で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例２と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表８に示す値をとるような研磨時間を割り出した。更に、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及びａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。更に、実施例１と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。評価結果は表９に示す。
【０１６３】
【表８】
0004623651.tif 000009
【０１６４】
実施例２及び比較例３、４により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表９に示す。
【０１６５】
【表９】
0004623651.tif 000010
【０１６６】
表９の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ａが０．０１μｍ以上０．１０μｍ以下、Ｂが１．１μｍ以上１．８μｍ以下、ａが０．１４μｍ以上０．１９μｍ以下、ｂが２２５μｍ以上２３５μｍ以下、Ａ×ａが１．４×１０−３μｍ２以上１．９×１０−２μｍ２以下、且つ、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が２．０以上２０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が１．１以上１．４以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、Ｃが３０００％／μｍ以下、Ｄが２０００％／μｍ以下に制御されることで更に黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。更に、Ａが０．０３μｍ以上、ａが０．１５μｍ以上、ｂが２３０μｍ以下、Ａ×ａが４．５×１０−３μｍ２以上、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が６．７以下に制御されることで更に高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０１６７】
＜電子写真感光体作製例３＞
電子写真感光体作製例１に示す条件により電子写真感光体を作製した。但し、電子写真感光体作製例３では、巨視的な表面形状が、表面粗さ計で求められるδｃ［５％〜９５％］が０．０９±０．１μｍ、山と山の間隔が１５０±１０μｍとなるように加工した円筒状基体を用いて電子写真感光体を作製した。
【０１６８】
《実施例３》
電子写真感光体作製例３で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表１０に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表１２に示す。
【０１６９】
【表１０】
0004623651.tif 000011
【０１７０】
上記の電子写真感光体１４〜２１について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（６）を用いた。評価結果は表１２に示す。
【０１７１】
《比較例５》
電子写真感光体作製例３で作製した電子写真感光体を研磨せずに、実施例１と同様にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及びａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。更に、実施例３と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。評価結果は表１２に示す。但し、比較例５で用いた電子写真感光体の番号は（１０）とする。
【０１７２】
《比較例６》
電子写真感光体作製例３で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表１１に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及びａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。更に、実施例３と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。評価結果は表１２に示す。
【０１７３】
【表１１】
0004623651.tif 000012
【０１７４】
実施例３及び比較例５、６により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表１２に示す。
【０１７５】
【表１２】
0004623651.tif 000013
【０１７６】
表１２の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ａが０．０２μｍ以上０．３０μｍ以下、Ｂが０．７μｍ以上２．０μｍ以下、ａが０．０５μｍ以上０．１０μｍ以下、ｂが１５５μｍ以上１８５μｍ以下、Ａ×ａが１．０×１０−３μｍ２以上３．０×１０−２μｍ２以下、且つ、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が０．１５以上２．０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．４０以上０．８０以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、Ｃが２５０％／μｍ以上、Ｄが２００％／μｍ以上、ｃが１０００％／μｍ以下、ｄが１０００％／μｍ以下に制御することで高湿流れ（文字）及び黒スジが良好となり、Ｂ／Ａが４．５以上、ｂ／ａが３０００以下となることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良がより改善され、特性が良好となった。更に、Ａが０．１０μｍ以上０．２０μｍ以下、Ｂが１．１μｍ以上１．５μｍ以下、ｂが１７０μｍ以下、Ａ×ａが６．０×１０−３μｍ２以上１．６×１０−２μｍ２以下、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が０．２１以上０．４０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．５０以上０．６７以下に制御されることで更に高湿流れ（文字）及び高湿流れ（ＨＴ）が改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に良好となった。
【０１７７】
＜電子写真感光体作製例４＞
アルミニウム製の円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ）をダイヤモンドミラクルバイトにより鏡面加工し、その円筒状基体の巨視的な表面形状の山と山の平均間隔が１５０±１０μｍとし、切断レベル差δｃ［５％〜９５％］が表１３に示す値をとるように加工した。次に、図７に示すプラズマ処理装置を用いて、上記円筒状基体上に表１４に示す条件で、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行い、正帯電ａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製した。作製したａ−Ｓｉ電子写真感光体表面を上記条件によりＡＦＭで微視的な表面形状を測定したところ、円筒状基体の巨視的な表面形状の影響をほぼ受けず、Ａが０．２０±０．０１μｍであった。
【０１７８】
このとき、１０５ＭＨｚ及び６０ＭＨｚの高周波電力を出力可能な高周波電源を用いた。また、表１４に示す製造条件中の「２４０→２０」はガス流量を２４０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）から２０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）まで連続的に変化させることを表す。
【０１７９】
【表１３】
0004623651.tif 000014
【０１８０】
【表１４】
0004623651.tif 000015
【０１８１】
《実施例４》
電子写真感光体作製例４で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．１０μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１５に示す。但し、基板番号〔２〕〜〔１１〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々２２〜３２とする。
上記の電子写真感光体２２〜３２について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例１に示すＳＴ（１）を用いた。評価結果は表１５に示す。
【０１８２】
《比較例７》
電子写真感光体作製例４で作製した電子写真感光体を実施例４と同様に電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．１０μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１５に示す。但し、基板番号〔１〕、〔１２〕、〔１３〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々（１３）、（１４）、（１５）とする。更に、実施例４と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。
【０１８３】
実施例４及び比較例７により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表１５に示す。
【０１８４】
【表１５】
0004623651.tif 000016
【０１８５】
表１５の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ｂが１．８μｍ以上２．０μｍ以下、ａが０．０３μｍ以上０．４５μｍ以下、Ａ×ａが３．０×１０−３μｍ２以上４．５×１０−２μｍ２以下、又、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が１．３以上２０以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、ｃが２６０％／μｍ以上１０００％／μｍ以下、ｄが２２０％／μｍ以上９８０％／μｍ以下に制御されることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となり、ｂ／ａが４０９以上２８００以下となることで高湿流れ（文字）及び黒スジが改善され、より良好となった。更に、ａが０．０６μｍ以上０．３０μｍ以下、Ａ×ａが６．０×１０−３μｍ２以上３．０×１０−２μｍ２以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が２．０以上１０以下に制御されることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良が更に改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０１８６】
《実施例５》
電子写真感光体作製例４で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により、電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．０６μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１６に示す。但し、基板番号〔３〕〜〔１２〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々３３〜４２とする。
【０１８７】
上記の電子写真感光体３３〜４２について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（６）を用いた。評価結果は表１６に示す。
【０１８８】
《比較例８》
電子写真感光体作製例４で作製した電子写真感光体を実施例５と同様に電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．０６μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１６に示す。但し、基板番号〔１〕、〔２〕、〔１３〕、〔１４〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々（１６）、（１７）、（１８）、（１９）とする。更に、実施例５と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。
【０１８９】
実施例５及び比較例８により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表１６に示す。
【０１９０】
【表１６】
0004623651.tif 000017
【０１９１】
表１６の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ｂが２．０μｍ以上２．２μｍ以下、ａが０．０３μｍ以上０．４０μｍ以下、ｂが１２０μｍ以上１３０μｍ以下、Ａ×ａが１．８×１０−３μｍ２以上２．４×１０−２μｍ２以下、且つ、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．１０以上１．３以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、ｃが２５０％／μｍ以上８４０％／μｍ以下、ｄが２００％／μｍ以上８００％／μｍ以下に制御されることで高湿流れ（文字）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となり、ｂ／ａが４００以上となることで高湿流れ（ＨＴ）が改善され、より良好となった。更に、ａが０．２６μｍ以下、Ａ×ａが１．６×１０−２μｍ２以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．１５以上に制御されることで更に高湿流れ（文字）が更に改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０１９２】
＜電子写真感光体作製例５＞
アルミニウム製の円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ）をダイヤモンドミラクルバイトにより鏡面加工し、その円筒状基体の巨視的な表面形状の切断レベル差δｃ［５％〜９５％］が０．０９±０．０１μｍ、山と山の平均間隔が表１７に示すように加工した。次に、図７に示すプラズマ処理装置を用いて、上記円筒状基体上に表１４に示す条件で、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行い、正帯電ａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製した。作製したａ−Ｓｉ電子写真感光体表面を上記条件によりＡＦＭで微視的な表面形状を測定したところ、円筒状基体の巨視的な表面形状の影響をほぼ受けず、Ａが０．２０±０．０１μｍであった。このとき、１０５ＭＨｚ及び６０ＭＨｚの高周波電力を出力可能な高周波電源を用いた。
【０１９３】
【表１７】
0004623651.tif 000018
【０１９４】
《実施例６》
基体番号〔１６〕〜〔２４〕の円筒状基体上に電子写真感光体作製例５で作製した電子写真感光体を下記に示す研磨条件２により電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．１５±０．０１μｍとなるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に電子写真感光体の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１８に示す。但し、基板番号〔１６〕〜〔２４〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々４３〜５１とする。
【０１９５】
上記の電子写真感光体４３〜５１について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（８）を用いた。評価結果は表１８に示す。
【０１９６】
＜研磨条件２＞
図５に示す研磨装置を用いて、電子写真感光体５０１の研磨を行った。研磨条件は、電子写真感光体の回転数を９０ｒｐｍ、研磨テープの送り速度を３０ｍｍ／ｍｉｎ、加圧弾性ローラー５０３から電子写真感光体５０１への圧力を４．９×１０５Ｎ／ｍ２、加圧弾性ローラーは、材質がＪＩＳゴム硬度５０のネオプレン（登録商標）ゴムで、中央部の直径が両端部より０．１ｍｍ太い形状のもの、研磨テープ５０２は富士写真フィルム社製ラッピングテープＬＴ−Ｃ２０００（砥粒：炭化珪素（ＳｉＣ）、粒径：６μｍ、塗布方法：ドクターブレード（ナイフエッジ）コート法）を用い、研磨テープの冷却を行わなかった。
【０１９７】
《比較例９》
基体番号〔１４〕、〔２４〕の円筒状基体上に電子写真感光体作製例５で作製した電子写真感光体を上記に示す研磨条件２により電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．１８±０．０１μｍとなるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に電子写真感光体の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表１８に示す。但し、基板番号〔１４〕、〔２４〕の各基板上に形成された研磨後の電子写真感光体の感光体番号を各々（２０）、（２１）とする。更に、実施例６と同様に高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を評価した。
【０１９８】
実施例６及び比較例９により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表１８に示す。
【０１９９】
【表１８】
0004623651.tif 000019
【０２００】
表１８の結果より、電子写真感光体の巨視的な表面形状を、ｂが５０μｍ以上３５０μｍ以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、ｂが８０μｍ以上３００μｍ以下に制御されることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良がより改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０２０１】
《実施例７》
電子写真感光体作製例１で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．０４μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表２０に示す。
【０２０２】
上記の研磨後の電子写真感光体について、トナー粒子に外添される研磨剤の平均粒径を表１９のように変化させて作製したトナーを用いて、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。評価結果は表２０に示す。但し、研磨剤番号ＳＴ（１）〜ＳＴ（４）、ＳＴ（６）〜ＳＴ（８）を外添したトナーを用いて評価した電子写真感光体の感光体番号を各々５２〜５８とする。
【０２０３】
《比較例１０》
電子写真感光体作製例１で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により電子写真感光体の微視的な表面形状Ａが０．０４μｍになるまで研磨処理を実施した。電子写真感光体の研磨が終了した後、実施例１と同様に微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。測定結果は表２０に示す。
【０２０４】
上記の研磨後の電子写真感光体について、トナー粒子に外添される研磨剤の平均粒径が０．７０μｍである現像用トナーを用いて、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例７と同様に評価した。評価結果は表２０に示す。但し、研磨剤番号ＳＴ（５）を外添したトナーを用いて評価した電子写真感光体の感光体番号を（２２）とする。
【０２０５】
【表１９】
0004623651.tif 000020
【０２０６】
実施例７及び比較例１０により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表２０に示す。
【０２０７】
【表２０】
0004623651.tif 000021
【０２０８】
表２０の結果より、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が３０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が  １５以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に関する評価は良好であった。また、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が２５以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が１３以下に制御されることで、高湿流れ（文字）に関する評価がより良好となった。更に、０．０３μｍ以上０．３μｍ以下の研磨剤の粒径を用いることにより高湿流れ（ＨＴ）に関する評価が更に良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に関する評価が特に良好となった。
【０２０９】
＜電子写真感光体作製例７＞
アルミニウム製の円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ）をダイヤモンドミラクルバイトにより鏡面加工し、その円筒状基体の巨視的な表面形状が、表面粗さ計で下記に示す測定方法により切断レベル差δｃ［５％〜９５％］（負荷長さ率（ｍｒ）の５％〜９５％までの距離）が０．０７±０．１μｍ、山と山の平均間隔が１００±１０μｍとなるように加工した。次に、図７に示すプラズマ処理装置を用いて、上記円筒状基体上に表２１に示す条件で、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行い、正帯電ａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製した。
【０２１０】
このとき、１０５ＭＨｚ及び６０ＭＨｚの高周波電力を出力可能な高周波電源を用いた。また、表２１に示す製造条件中の「２５０→２０」はガス流量を２５０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）から２０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）まで連続的に変化させることを表す。
【０２１１】
【表２１】
0004623651.tif 000022
【０２１２】
《実施例８》
電子写真感光体作製例７で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表２２に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表２４に示す。
【０２１３】
【表２２】
0004623651.tif 000023
【０２１４】
上記の電子写真感光体５９〜６２について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（６）を用いた。評価結果は表２４に示す。
【０２１５】
《比較例１１》
電子写真感光体作製例７で作製した電子写真感光体を研磨せずに、上記のＡＦＭによる測定方法によりＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを、また、上記の表面粗さ計による測定方法によりａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。更に、電子写真感光体製造例７で作製した電子写真感光体の高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。評価結果は表２４に示す。但し、比較例１１で用いた電子写真感光体の番号は（２３）とする。
【０２１６】
《比較例１２》
電子写真感光体作製例７で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表２３に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表２４に示す。
【０２１７】
【表２３】
0004623651.tif 000024
【０２１８】
上記の電子写真感光体（２４）、（２５）について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例８と同様に評価した。評価結果は表２４に示す。
【０２１９】
実施例８、比較例１１及び１２により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表２４に示す。
【０２２０】
【表２４】
0004623651.tif 000025
【０２２１】
表２４の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ａが０．１０μｍ以上０．２８μｍ以下、Ｂが１．７μｍ以上２．５μｍ以下、ａが０．０４μｍ以上０．０７μｍ以下、ｂが１０５μｍ以上１１０μｍ以下、Ａ×ａが４．０×１０−３μｍ２以上２．０×１０−２μｍ２以下、又、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が０．１５以上０．４０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．５７以上１．０以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。更に、Ａが０．２０μｍ、Ｂが２．２μｍ、ａが０．０５μｍ、ｂが１１０μｍ、Ａ×ａが１．０×１０−２μｍ２、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が０．２０、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．８０に制御されることで高湿流れ（文字）、黒スジ及びクリーニング不良が更に改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【０２２２】
＜電子写真感光体作製例８＞
アルミニウム製の円筒状基体（直径８０ｍｍ、長さ３５８ｍｍ）をダイヤモンドミラクルバイトにより鏡面加工し、その円筒状基体の巨視的な表面形状が、表面粗さ計で下記に示す測定方法により切断レベル差δｃ［５％〜９５％］（負荷長さ率（ｍｒ）の５％〜９５％までの距離）が０．５４±０．１μｍ、山と山の平均間隔が１２０±１０μｍとなるように加工した。次に、図７に示すプラズマ処理装置を用いて、上記円筒状基体上に表２５に示す条件で、電荷注入阻止層、光導電層、表面層の順に成膜を行い、正帯電ａ−Ｓｉ電子写真感光体を作製した。
【０２２３】
このとき、１０５ＭＨｚ及び６０ＭＨｚの高周波電力を出力可能な高周波電源を用いた。また、表２５に示す製造条件中の「１８０→２０」はガス流量を１８０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）から２０ｍｌ／ｍｉｎ（ｎｏｒｍａｌ）まで連続的に変化させることを表す。
【０２２４】
【表２５】
0004623651.tif 000026
【０２２５】
《実施例９》
電子写真感光体作製例８で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表２６に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表２８に示す。
【０２２６】
【表２６】
0004623651.tif 000027
【０２２７】
上記の電子写真感光体６３〜６８について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例１と同様に評価した。但し、トナー粒子に外添した研磨剤は研磨剤作製例２に示すＳＴ（８）を用いた。評価結果は表２８に示す。
【０２２８】
《比較例１３》
電子写真感光体作製例８で作製した電子写真感光体を研磨せずに、上記のＡＦＭによる測定方法によりＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄを、また、上記の表面粗さ計による測定方法によりａ、ｂ、ｃ、ｄを求めた。更に、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例９と同様に評価した。評価結果は表２８に示す。但し、比較例１３で用いた電子写真感光体の番号は（２６）とする。
【０２２９】
《比較例１４》
電子写真感光体作製例８で作製した電子写真感光体を実施例１と同様の研磨条件１により研磨時間をそれぞれ変えて研磨処理を実施し、実施例１と同様の方法で求められるＡの値（μｍ）が表２７に示す値をとるような研磨時間を割り出した。さらに、かかる条件を満たす研磨時間で研磨処理を実施した後の微視的な表面形状Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ及び巨視的な表面形状ａ、ｂ、ｃ、ｄを実施例１と同様に求めた。測定結果は表２８に示す。
【０２３０】
【表２７】
0004623651.tif 000028
【０２３１】
上記の電子写真感光体（２７）、（２８２）について、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良を実施例９と同様に評価した。評価結果は表２８に示す。
【０２３２】
実施例９、比較例１３及び１４により求めたＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）、ｇ（ａ、ｂ、Ｒ）、Ａ×ａ、Ｂ／Ａ、ｂ／ａの測定結果及び高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良の評価結果を表２８に示す。
【０２３３】
【表２８】
0004623651.tif 000029
【０２３４】
表２８の結果より、電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を、Ａが０．０１μｍ以上０．１０μｍ以下、ａが０．３９μｍ以上０．４５μｍ以下、Ａ×ａが３．９×１０−３μｍ２以上４．５×１０−２μｍ２以下、又、微視的及び巨視的な表面形状と研磨剤の粒径の関係を、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が２．０以上２０以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．４４以上０．５１以下に制御されることで高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となった。また、Ｃが２９５０％／μｍ以下、Ｄが１９００％／μｍ以下に制御されることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良が改善され、特性が良好となり、更に、Ａが０．０３μｍ以上０．０５μｍ以下、ａが０．４０μｍ以下、Ａ×ａが１．２×１０−２μｍ２以上２．０×１０−２μｍ２以下、ｆ（Ａ，Ｂ，Ｒ）が４．０以上６．７以下、ｇ（ａ，ｂ，Ｒ）が０．５０以上に制御されることで高湿流れ（ＨＴ）及びクリーニング不良が更に改善され、特性が良好となり、高湿流れ（文字）、高湿流れ（ＨＴ）、黒スジ及びクリーニング不良に対して特に改善され、特性が良好となった。
【図面の簡単な説明】
【０２３５】
【図１】ａ−Ｓｉ電子写真感光体を１０μｍ×１０μｍの範囲におけるＡＦＭ測定より得られた最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線の模式的な概略図である。
【図２】ａ−Ｓｉ電子写真感光体表面研磨後の１０μｍ×１０μｍの範囲におけるＡＦＭ三次元観察像である。
【図３】ａ−Ｓｉ電子写真感光体表面を表面粗さ計により測定し、基準長さ０．８ｍｍ、評価長さ４．０ｍｍで評価して得られる測定曲線を、λｃ＝０．８ｍｍ、λｃ＝０．００８ｍｍでフィルタリングして得られる粗さ曲線における巨視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線の模式的な概略図である。
【図４】（ａ）電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を制御するための磁性粉体を用いた研磨装置の模式的な概略断面図である。（ｂ）図４−（ａ）の要部の詳細を示す模式的な概略断面図である。
【図５】電子写真感光体の微視的及び巨視的な表面形状を制御するための研磨テープを用いた研磨装置の模式的な概略断面図である。
【図６】ＶＨＦ帯を用いた高周波プラズマＣＶＤ法によるａ−Ｓｉ電子写真感光体製造装置の一例を示す模式的な概略構成図である。
【図７】ＶＨＦ帯を用いた高周波プラズマＣＶＤ法によるａ−Ｓｉ電子写真感光体製造装置の別の一例を示す模式的な概略構成図である。
【図８】本発明に係わる電子写真感光体の層構成を模式的に示す概略断面図である。
【図９】本発明に係わる電子写真装置の一実施形態を示す模式的断面図である。
【図１０】ａを求める際に用いた切断レベル差δｃ［５％〜９５％］を説明するための巨視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線の模式図である。
【図１１】ｃ及びｄを求める際に用いた切断レベル差δｃを説明するための巨視的表面粗さで最も高い点を基準とした凹凸高さの負荷曲線の模式図である。
【図１２】Ｂの測定方法を説明するためのＡＦＭ三次元観察像である。
【図１３】Ｂの測定方法を説明するためのＡＦＭ断面観察像の模式的な概略図である。
【図１４】ｂの測定方法を説明するための粗さ曲線の模式的な概略図である。
【図１５】ハーフトーンチャートによる高湿流れの評価時の測定位置を示す概略図である。
【図１６】クリーニング不良の評価に用いたテストチャートの概略図である。
【図１７】ＡＦＭの測定により求められるＢｅａｒｉｎｇ  Ｒａｔｉｏを説明するための微視的な表面及び負荷曲線の説明図である。
【図１８】粗さ計の測定により求められる負荷長さ率を説明するための巨視的な表面及び負荷曲線の説明図である。
【符号の説明】
【０２３６】
４０１、５０１‥‥‥‥‥‥電子写真感光体
４０２‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥マグネットローラー
４０３‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥磁性体
４０４‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥マグネットローラー容器
４０５‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥磁性体規制ブレード
４０６‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥マイクロメーター
４０７‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥可動台
４０８、５０６‥‥‥‥‥‥移動機構
４０９、５０８‥‥‥‥‥‥ベース台
５０２‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥研磨テープ
５０３‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥加圧弾性ローラー
５０４‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥送り出しロール
５０５‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥巻き取りロール
５０７‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥加圧弾性ローラー容器
５０９‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥キャプスタンローラー
５１０‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥定量送り出しローラー
５１１‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥搬送経路支持棒
６０１、７０１‥‥‥‥‥‥円筒状基体
６０２、７０２‥‥‥‥‥‥反応容器
６０３、７０３‥‥‥‥‥‥シールド
６０４、７０４‥‥‥‥‥‥原料ガス供給装置
６０５、７０５、７１３‥‥高周波電源
６０６、７０６‥‥‥‥‥‥マッチングボックス
６０７、７０７‥‥‥‥‥‥カソード
６０８、７０８‥‥‥‥‥‥ヒーター
６０９、７０９‥‥‥‥‥‥原料ガス導入管
６１０、７１０‥‥‥‥‥‥駆動部
６１１、７１１‥‥‥‥‥‥モーター
６１２、７１２‥‥‥‥‥‥排気口
８００‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥電子写真感光体
８０１‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥円筒状基体
８０２‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥光導電層
８０３‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥表面層
８０４‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥電荷注入阻止層
８０５‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥電荷発生層
８０６‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥電荷輸送層
９０１‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥電子写真感光体
９０２‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥一次帯電器
９０３‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥現像器
９０４‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥転写材
９０５‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥転写帯電器
９０６‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥クリーナー
９０７‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥弾性ローラー
９０８‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥クリーニングブレード
９０９‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥除電ランプ
９１０‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥送りローラー
９１１‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥トナー
【図１】
0004623651.tif 000030
【図３】
0004623651.tif 000031
【図４】
0004623651.tif 000032
【図５】
0004623651.tif 000033
【図６】
0004623651.tif 000034
【図７】
0004623651.tif 000035
【図８】
0004623651.tif 000036
【図９】
0004623651.tif 000037
【図１０】
0004623651.tif 000038
【図１１】
0004623651.tif 000039
【図１３】
0004623651.tif 000040
【図１４】
0004623651.tif 000041
【図１５】
0004623651.tif 000042
【図１６】
0004623651.tif 000043
【図１７】
0004623651.tif 000044
【図１８】
0004623651.tif 000045
【図２】
0004623651.tif 000046
【図１２】
0004623651.tif 000047