(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
A層／B層／C層の３層から構成されるフィルムにおいて、各層がそれぞれ下記成分からなることを特徴とするダイシングシート用基体フィルム。
A層：アクリル酸エステル成分が６０〜８０重量％であり、メタクリル酸エステル成分が２０〜４０重量％であるアクリル系樹脂。
B層：酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマー。
C層：熱可塑性エチレン系樹脂。
【請求項２】
縦方向と横方向に４０％伸長させ、これを６０℃で１０秒間加熱して収縮させた場合の縦方向と横方向の復元率が９０％以上である、請求項１記載のダイシングシート用基体フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等をチップ状にダイシングする工程で使用されるダイシングシートに用いられる基体フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
予め大面積でつくられた半導体ウエハは、チップ状に切断（ダイシングという）される。このダイシング工程では、該半導体ウエハを固定する必要がある。この固定のためにダイシングシートが使用される。
該シートは、粘着剤層と基体フィルムとから構成されている。この基体フィルムとしては、一般にポリ塩化ビニル系フィルム、ポリオレフィン系フィルム又はその他の樹脂を用いたフィルムが使用されているが、ポリ塩化ビニル系フィルムは、特に環境問題等で数量が減っているのが実情である。
【０００３】
ポリオレフィン系フィルム又は他の樹脂を用いたフィルムをダイシングシート用基体フィルムとするときには、ダイシング後の拡張性に問題があり、これを解決しようとする特許技術が公開されている。
例えば、一定の表面粗度と伸張前後に一定の面内位相差をもってなるポリオレフィン系フィルムをダイシング基体フィルムとして特定し、該フィルムを結晶性ポリエチレンを主とする層を表裏層に、その中間にエチレン、プロピレン又はブテンー１のいずれかのモノマー成分を４０重量％以上含む非晶性ポリオレフィンによる層をもって積層したもので達成するというものである。（特許文献１参照）
また、エチレンを主成分（６０重量％以上）として、これにメタクリル酸及び（メタ）アクリル酸アルキルエステル（C３〜C８のアルキル基）を共重合した弾性を有する３元共重合樹脂をダイシング基体フィルムとして、これに粘着層を設けて２層からなるダイシングテープ又は該ダイシング基体フィルムに、更にポリエチレンやエチレン−酢酸ビニル共重合体を積層して３層からなるダイシングシートとするものである。（特許文献２参照）
また、軟質アクリル系樹脂を内部に、硬質アクリル系樹脂を最外層とする多層構造重合体粒子又はこれに０〜５０質量％の熱可塑性樹脂、例えば極性の高いエチレン系樹脂、スチレン系樹脂、アクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂又はナイロン系樹脂等をブレンドしたものからなるフィルムを基体として、この片面に粘着剤層を設けてダイシング用粘着シートとしたものである。（特許文献３参照）
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２３２６８３号公報
【特許文献２】特開平７−２３０９７２号公報
【特許文献３】特開２００４−７９９１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に半導体ウエハは、まずダイシングシートの粘着面に固定され、ラックに収納した状態でダイシング工程に送られる。そしてここで、まずダイサーによって所定サイズにダイシングされる。次に該テープは拡張され、ダイシングされた半導体ウエハはピックアップしやすいように一定の隙間がつくられる。そして、ピッカーによってピックアップされる。その後使用済みとなったダイシングシートは、収納ラックに回収されて、主たる工程は終了する。
ところで、最近の更なる半導体チップの小片化に伴って、上記工程において、次の二つのような新たな課題が発生していた。
まずその一つが、ダイシング工程においてこれまでより小片にダイシングされた後、次の工程で半導体チップをピックアップする際、半導体チップが小片化しているため、より広く、均一に拡張しなければ、適正にピックアップできず、誤作動の原因になっていた。
また、もう一つが、使用済みのダイシングシートの回収である。上記ラックに収納した状態でダイシング工程に送られるところから、使用済みダイシングシートのラック回収までは、人の手を通さず全て機械が行う。したがって、ダイシングシートを拡張する前に比べて拡張後のシートのサイズが、大きくなっていたりすると、効率的にラックへの回収ができなくなる。
【０００６】
このラックへの効率的回収は、使用済み該シートを所定温度に加熱し、収縮させることによって回収するものであるが、前記一般に知られているダイシングシートでは、該温度での加熱収縮が小さいので、該ラック内への収納が困難であった。この困難さは、半導体チップのサイズが小さくなるほど、該シートの拡張はより大きくする必要があり、したがって回収における加熱収縮もより大きく収縮させないことには、該ラック内に収納できないことになる。
【０００７】
本発明は、半導体チップの小片化に伴って必要とされる、より広く均一に拡張ができて（以下これを拡張性と呼ぶ。）、且つ使用済みのダイシングシートのラックへの回収が、より容易に行える（以下これをラック回収性と呼ぶ。）、ダイシングシート用基体フィルムを見出すことを主たる課題として、見出されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、アクリル酸エステル成分が８０〜６０重量％であり、メタクリル酸エステル成分が２０〜４０重量％であるアクリル系樹脂からなるA層、酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマーからなるB層、熱可塑性エチレン系樹脂からなるC層とがA層／B層／C層の３層に積層されているダイシングシート用基体フィルムであることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、縦方向と横方向に４０％伸長させ、これを６０℃で１０秒間加熱して収縮させた場合の縦方向と横方向の復元率が９０％以上であるダイシングシート用基体フィルムであることも特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
より優れた拡張性を有するダイシングシート用基体フィルムが得られるようになり、半導体ウエハ等をより小片にダイシングし、ピックアップすることが容易に、且つ確実にできるようになった。
【００１１】
また、使用済みダイシングシートのラックへの収納回収が、より確実に、容易に行えるようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明において、A層を形成するアクリル系樹脂はアクリル酸エステル成分とメタクリル酸エステル成分とを含んでおり、アクリル酸エステルとメタクリル酸エステルとの共重合体であっても、アクリル酸エステル系樹脂とメタクリル酸エステル系樹脂とのブレンド樹脂であってもよい。
まず、アクリル酸エステルとしては、具体的にはアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシルまたはアクリル酸ｎ−オクチル等が例示でき、また、メタクリル酸エステルとしては、具体的にはメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ｎ−ブチルまたはメタクリル酸イソブチル等が例示できる。
アクリル酸エステル成分は、軟質的な特性を有し、その硬度は（JIS  K  ６２５３  デュロメータータイプＡ）４０〜９０が好ましく、５０〜８０がさらに好ましい。
また、メタクリル酸エステル成分は、硬質的な特性を有し、その硬度は（JIS  K  ６２５３  デュロメータータイプD）２０〜５０が好ましく、３０〜４０がさらに好ましい。
共重合体は、アクリル酸エステルを主成分としてメタクリル酸エステルを共重合成分として共重合することにより得られる。
【００１３】
アクリル酸エステル系樹脂としては、アクリル酸エステルを単量体とした単独重合体又はアクリル酸エステルと共重合可能な他の単量体との共重合体のいずれでもよい。
アクリル酸エステル系樹脂がゴム弾性を有するためには、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシル又はアクリル酸ｎ−オクチルが好ましく、アクリル酸ｎ−ブチルがより好ましい。
また、アクリル酸エステルと共重合可能な他の単量体としては、具体的にはメタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ペンチル等のメタクリル酸エステル系単量体やスチレン、α―メチルスチレン、１−ビニルナフタレン、３−メチルスチレン等の芳香族ビニル系単量体が例示できる。アクリル酸エステル系樹脂が軟質的な特性を有するためには、アクリル酸エステルが主成分であること、つまり重合体を形成させるために使用される全単量体に対して、アクリル酸エステルと共重合可能な単量体の割合は、５０重量％未満で使用されるのが好ましい。
【００１４】
次に、メタクリル酸エステル系樹脂としては、メタクリル酸を単量体とした単独重合体又はメタクリル酸エステルと共重合可能な他の単量体との共重合体のいずれでもよい。
メタクリル酸系樹脂が硬質的な特性を有するためには、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル又はメタクリル酸プロピルが好ましく、メタクリル酸メチルがより好ましい。
また、メタクリル酸エステルと共重合可能な他の単量体としては、具体的にはアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ペンチル等のアクリル酸エステル系単量体やスチレン、α―メチルスチレン、１−ビニルナフタレン、３−メチルスチレン等の芳香族ビニル系単量体が例示できる。メタクリル酸エステル系樹脂が硬質的な特性を有するためには、メタクリル酸エステルが主成分であること、つまり重合体を形成させるために使用される全単量体に対して、メタクリル酸エステルと共重合可能な単量体の割合は、５０重量％未満で使用されるのが好ましい。
【００１５】
次に、アクリル系樹脂におけるアクリル酸エステル成分とメタクリル酸エステル成分の割合は、アクリル酸エステル成分が８０〜６０重量％、メタクリル酸エステル成分が２０〜４０重量％であるのが好ましく、さらに好ましくはアクリル酸エステル成分が７５〜６５重量％、メタクリル酸エステル成分が２５〜３５重量％である。
アクリル酸エステル成分とメタクリル酸エステル成分の割合は、アクリル酸エステル成分が８０〜６０重量％、メタクリル酸エステル成分が２０〜４０重量％の範囲にあるときに、より優れた拡張性を示し、さらにラック回収性にも優れる。
【００１６】
ピックアップ工程におけるダイシングシート用基体フィルムの拡張量が大きい場合には、フィルムの破れといった問題が生じることがある。その場合には、A層のアクリル系樹脂に熱可塑性エラストマーを添加することができる。
熱可塑性エラストマーとしては、ポリスチレン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、ポリエステル系エラストマー又はポリアミド系エラストマーが例示できるが、アクリル系樹脂に添加しても透明性の低下の少ないポリスチレン系エラストマーが好ましい。
【００１７】
スチレン系エラストマーとしては、スチレンと共役ジエン、例えばブタジエン、イソプレン又は１，３−ペンタジエン等とのブロック共重合体が一般的であり、その中でもスチレンとブタジエンとのブロック共重合体が最も一般的である。
該スチレンと共役ジエンとのブロック共重合体は、温度２３０℃、荷重２１．２Nの時のMFRが３〜１０ｇ／１０分のものが好ましい。
【００１８】
スチレン系エラストマーの添加量が増えてくると、ダイシングシート用基体フィルムのラック回収性に影響が出てくる。つまり、６０℃に加熱しても、一旦拡張したダイシングシート用基体フィルムが収縮しきらない場合には、ラック回収性が悪くなることになる。
このような場合には、さらにテルペン樹脂を添加することによりラック回収性を補うことができる。
テルペン樹脂としては、一般に知られているように、テルペンモノマー、つまりα―ピネン、β―ピネン又はジペンテンを骨格とするテルペン樹脂、これを骨格とするスチレン変性テルペン樹脂又はこれを骨格とするフェノール変性テルペン樹脂である。他にこれらテルペン樹脂を水添した飽和テルペン樹脂もある。
該テルペン樹脂は、分子量５００〜１４００、軟化点８０〜１５０℃及びガラス転移点４０〜９０℃であることが好ましい。アクリル系樹脂やスチレンと共役ジエンとからなるブロック共重合樹脂に対する相溶性から、フェノール変性共重合テルペン樹脂で、かつガラス転移点５５〜９０℃の好ましい。
【００１９】
スチレン系エラストマーとテルペン樹脂の添加できる割合は、次のように例示できる。
スチレン系エラストマーの添加量としては、３〜２０重量％が好ましい。スチレン系エラストマーが３〜１０重量％の範囲では、さらにテルペン樹脂を添加しなくても充分なラック回収性が得られるが、テルペン樹脂を添加しても特に問題はない。
スチレン系エラストマーが１０重量％を超えて２０重量％までの範囲では、テルペン樹脂を添加した方がよい。その割合は、アクリル系樹脂８０〜８９重量％とスチレン系エラストマー１１〜２０重量％とのブレンド樹脂１００重量部に対して、テルペン樹脂５〜２３重量部添加するのが好ましい。
スチレン系エラストマーが２０重量％を超えると、テルペン樹脂をさらに添加しても、充分なラック回収性が得られず好ましくない。
【００２０】
次に、B層について説明する。B層はA層とC層の間にあって、両層を強い接着力でもって積層するための接着層である。
B層を形成する酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマーは、例えば次のようなものである。
ポリスチレンセグメントとジエンセグメント、例えばポリブタジエン、ポリイソプレン等とがブロック結合されてなる熱可塑性エラストマーが水素添加され、更に酸変性されたものである。ここでジエンセグメントが、例えばポリブタジエンによる場合、それが水添（水素添加）されると、ポリ（エチレンーブチレン）セグメントになり、ポリイソプレンの場合には、ポリ（エチレンープロピレン）セグメントになる。このジエンセグメントとしてはポリブタジエンによるものが好ましい。
酸変性は、一般にオレフィン樹脂等で行われる酸変性と同じであり、α、β―不飽和カルボン酸又はその無水物、例えば（メタ）アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸又はフマル酸等を付加することで行われる。
該酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマーの密度は０．８８〜０．９９の範囲であり、かつ、温度２３０℃、荷重２１．２NのときのMFRが２〜１０ｇ／１０ｍｉｎのものが好ましい。
尚、該酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマーは、一般的にはこれ単独で使用するのが最も好ましいが、他の例えばエチレン系共重合樹脂（例えばエチレンとＣ１〜Ｃ４のアクリル酸エステルとのコポリマー）をブレンドしてもよい。但し、この他の樹脂のブレンド量は５０重量％未満に抑えることが好ましい。
【００２１】
次に、C層について説明する。C層はダイシングシート用基体フィルムを押出・製膜する際にロール状に巻き取るが、その際にフィルム面どうしがブロッキングしないようにする、所謂ブロッキング防止層として働く。また、ダイシング工程で半導体をダイシングした後、ダイシングシートを拡張する際に、ダイシング受け台との摩擦を少なくし、滑らかに拡張するようにする効果も有している。
C層を形成する熱可塑性エチレン系樹脂は、例えば次のようなものである。
中密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン（C３〜C８のα―オレフィンを共重合成分とするもの）またはエチレンとアクリル酸エステルとの共重合体等が挙げられる。中でも好ましいのはエチレンとアクリル酸エステルの共重合体である。このアクリル酸エステルとしては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピルまたはアクリル酸ブチル等が例示できる。
該熱可塑性エチレン系樹脂の密度は０．９１〜０．９６の範囲であり、かつ、温度１９０℃、荷重２１．２ＮのときのＭＦＲが０．５〜１０ｇ／１０ｍｉｎのものが好ましい。
【００２２】
そして、３層からなるダイシングシート用基体フィルムの厚み構成は、次のとおり例示できる。
A層は３０〜２００μｍ、好ましくは４０〜１５０μｍ、B層は５〜５０μｍ、好ましくは８〜４０μｍ、C層は５〜５０μｍ、好ましくは１０〜４０μｍである。
A層の厚みが３０〜２００μｍであるとき、優れた拡張性を示し、さらにラック回収性にも優れる。
B層は５〜５０μｍのときに、外層と内層との充分な接着性を示すと共に、A層の優れた拡張性とラック回収性を阻害しないものとなる。
C層はダイシングシート用基体フィルムをロール状に巻き取った際に生じるブロッキングを防止するために設ける層であるが、その厚みが５〜５０μｍのときに、A層の優れた拡張性とラック回収性を阻害せずに、良好なブロッキング防止性を示す。
【００２３】
尚、ダイシングシートとして実際に使用する場合には、前記ダイシングシート用基体フィルムに粘着剤層を設ける。
この粘着剤層に用いられる粘着剤は一般に知られているポリアクリル系、ポリビニルアルコール系または塩素化ポリエチレン系等の粘着性樹脂が適宜使用される。
また、この粘着剤層はA層面上に設けられる。
【００２４】
次に、３層ダイシングシート用基体フィルムの好ましい製造手段の一つとして例示できる共押出法について説明する。
この共押出法は、３台の押出機を用い、それぞれの押出機にA層を構成する樹脂、B層を構成する樹脂及びC層を構成する樹脂を投入する。押出機内で溶融・混練された後マルチダイ（３層）からフィルム状に押出されるが、該ダイの形状によりＴダイ法またはインフレーション法に分けられる。いずれの方法でもよいが、フィルムの厚み精度の点から、Ｔダイ法の方が好ましい。
押出された３層フィルム状物は、約30〜100℃のロールを介して、冷却して巻き取られる。
【００２５】
このようにして得られたダイシングシート用基体フィルムは、優れた拡張性とラック回収性を有している。
【実施例】
【００２６】
以下に比較例と共に実施例で、より詳細に説明する。
尚、以下の各例での拡張性およびラック回収性は次のとおり測定し得たものである。
【００２７】
●拡張性
得られたダイシングシート用基体フィルムを３００ｍｍ×３００ｍｍの大きさにカットし試料片とする。次に、試料片の全面に１０ｍｍ×１０ｍｍの格子状に線を入れる。
中央部に直径２００ｍｍの穴の空いた２枚の枠を用意し、穴の位置が丁度重なるように、前記試験片を間に挟んで、試験片が動かないように固定する。その後、この枠を水平に固定する。この枠の下側、穴の中央部に外径１５０ｍｍ、内径１４０ｍｍの円筒をセットする。次にこの円筒を２００ｃｍ／分の速度で４０ｍｍ押し上げることにより、該試料を拡張する。そして、この押し上げた状態で中央に位置している格子の縦方向と横方向の長さを測定し、原試料に対する各々の伸度（％）を求め、その伸度の比率を算出する。その比が１．３以下であれば拡張性に優れるとして○、１．３を超える場合には拡張性なしとして×とした。
【００２８】
●ラック回収性
得られたダイシングシート用基体フィルムの縦方向と横方向について以下の測定を行う。
縦１００ｍｍ×横１０ｍｍにカットした試料片に標線間距離４０ｍｍになるように線を入れる。この試料片を株式会社島津製作所製の引張試験機“ＡＧＳ１００Ａ”に、チャック間距離４０ｍｍで（標線とチャックを合わせるように）セットし、引張速度２００ｍｍ／分にて４０％伸張する。そしてその伸張で１分間保持した後、チャックを解放し、試料片を取り出す。次に、この試料片の表面温度が６０℃となる温風を１０秒間吹き付ける。試料片が常温に戻ったら、標線の距離Ｌ（ｍｍ）を測定する。４０％伸張に対する縦方向の復元率（％）を下記の式より求める。
復元率（％）＝［｛４０−（Ｌ−４０）｝／４０］×１００
この同じ測定を、縦１０ｍｍ×横１００ｍｍにカットした試料片でも行う。縦および横方向の復元率が９０％以上であれば、ラック回収性に優れるとして○、９０％未満ではラック回収性なしとして×とした。
【００２９】
（実施例１）
各層で使用した樹脂は次のようなものである。
A層：アクリル酸ブチル７０重量％、メタクリル酸メチル３０重量％であるアクリル系樹脂（ビカット軟化点７０℃、ＭＦＲ＝２２ｇ／１０分）  １００重量％
B層：酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマー樹脂（旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名タフテック、品種Ｍ１９１３）  １００重量％
C層：エチレンーアクリル酸ブチル共重合樹脂（アトフィナジャパン株式会社製、商品名ロトリル、品種７ＢＡ０１）  １００重量％
上記の樹脂をそれぞれ３台の押出機に投入し、アクリル系樹脂は２２０℃で、酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマー樹脂は２００℃で、エチレンーアクリル酸ブチル共重合樹脂は２００℃でそれぞれ溶解させ、２２０℃のＴダイから積層押出し、６０℃の引き取りロールで冷却固化し、巻き取ってフィルムを得た。
得られたフィルムの厚み構成は、A層／B層／C層の順に、１１０μｍ／１０μｍ／３０μｍ＝１５０μｍであった。
【００３０】
前記得られたフィルムの一部をカットして、試料片を作成し、拡張性およびラック回収性を測定した。結果は表１に示した。
【００３１】
（参考例１）
各層で使用した樹脂は次のようなものである。
A層：アクリル酸ブチル７０重量％、メタクリル酸メチル３０重量％であるアクリル系樹脂（ビカット軟化点７０℃、ＭＦＲ＝２２ｇ／１０分）９３重量％とスチレン−ブタジエンブロック共重合樹脂（ＪＳＲ株式会社製、商品名ダイナロン  品種４６３０Ｐ）７重量％
B層：酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマー樹脂（旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名タフテック、品種Ｍ１９１３）６０重量％とエチレンーメチルアクリレート共重合樹脂（アトフィナジャパン株式会社製、商品名ロトリル  品種９ＭＡ０２）４０重量％
C層：エチレンーメチルアクリレート共重合樹脂（アトフィナジャパン株式会社製  商品名ロトリル  品種９ＭＡ０２）１００重量％
上記の樹脂を用いて、実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの厚み構成は、A層／B層／C層の順に、１００μｍ／３５μｍ／１５μｍ＝１５０μｍであった。
【００３２】
前記得られたフィルムの一部をカットして、試料片を作成し、拡張性およびラック回収性を測定した。結果は表１に示した。
【００３３】
（参考例２）
各層で使用した樹脂は次のようなものである。
A層：アクリル酸ブチル７０重量％、メタクリル酸メチル３０重量％であるアクリル系樹脂（ビカット軟化点７０℃、ＭＦＲ＝２２ｇ／１０分）８５重量％とスチレン−ブタジエンブロック共重合樹脂（ＪＳＲ株式会社製、商品名ダイナロン  品種４６３０Ｐ）１５重量％の混合樹脂１００重量部に対して、フェノール変性テルペン樹脂（ヤスハラケミカル株式会社製、商品名ＹＳポリスター、品種Ｔ１１５）１５重量部
B層：酸変性水添スチレン系熱可塑性エラストマー樹脂（旭化成ケミカルズ株式会社製、商品名タフテック、品種Ｍ１９１３）６０重量％とエチレンーメチルアクリレート共重合樹脂（アトフィナジャパン株式会社製、商品名ロトリル  品種９ＭＡ０２）４０重量％
C層：エチレンーメチルアクリレート共重合樹脂（アトフィナジャパン株式会社製  商品名ロトリル  品種９ＭＡ０２）１００重量％
上記の樹脂を用いて、実施例１と同様の方法でフィルムを得た。得られたフィルムの厚み構成は、A層／B層／C層の順に、１００μｍ／３５μｍ／１５μｍ＝１５０μｍであった。
【００３４】
前記得られたフィルムの一部をカットして、試料片を作成し、拡張性およびラック回収性を測定した。結果は表１に示した。
【００３５】
（比較例１）
A層として、アクリル酸ブチル５０重量％、メタクリル酸メチル５０重量％であるアクリル系樹脂（ビカット軟化点８０℃、ＭＦＲ＝２５ｇ／１０分）  １００重量％を用いる以外は実施例１と同様の条件でフィルムを得た。
得られたフィルムの一部をカットして、試料片を作成し、拡張性およびラック回収性を測定した。結果は表１に示した。
【００３６】
0004813863.tif 000002
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