(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ガス中の可燃ガスを測定する可燃ガス計であって、該可燃ガス計内に、
前記可燃ガスを測定する第１及び第２の可燃ガスセンサと、
前記第１の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第１の管路と、
前記第２の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第２の管路と、
前記第１及び前記第２の可燃ガスセンサをクリーニングするためのクリーニング流体を前記第１及び前記第２の管路に交互に供給する供給手段と、
前記可燃ガス計内を負圧にするための吸引手段と、
を備え、
前記吸引手段で前記可燃ガス計内を負圧にすることにより前記第１、第２管路を介して前記第１、第２可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入するように構成するとともに、前記供給手段は、前記測定ガスの流量よりも前記クリーニング流体の流量が多くなるように、前記第１及び前記第２の管路に前記クリーニング流体を供給することを特徴とする可燃ガス計。
【請求項２】
前記第１の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第１のフィルタを有し、
前記第２の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第２のフィルタを有し、
前記供給手段が前記クリーニング流体を供給するときに、前記第１又は前記第２の管路を逆流して前記第１又は前記第２のフィルタの一方から流出したクリーニング流体が他方に流入するのを防止する流入防止手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の可燃ガス計。
【請求項３】
前記可燃ガス計内に前記測定ガス中の酸素ガスを測定する酸素センサと、
前記酸素センサに前記測定ガスを導入する第３の管路と、
を備えることを特徴と請求項１又は２に記載の可燃ガス計。
可燃ガス計。
【請求項４】
前記第１の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第１のフィルタを有し、
前記第２の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第２のフィルタを有し、
前記第３の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第３のフィルタを有し、
前記供給手段が前記クリーニング流体を供給するときに、前記第１又は前記第２の管路を逆流して前記第１又は前記第２のフィルタの一方から流出したクリーニング流体が前記第３のフィルタに流入するのを防止する流入防止手段を備えることを特徴とする請求項２に記載の可燃ガス計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、測定ガス中の可燃ガスを測定する可燃ガス計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開平１１−２２３６１４号公報には、セラミックス基板と、このセラミックス基板の表面に形成された白金薄膜（測温抵抗体）と、この白金薄膜の表面に形成されたガラス保護膜（絶縁層）と、このガラス保護層膜の表面及びセラミックス基板の裏面に形成されたセラミック又はガラス繊維の織布又は不織布からなる触媒シートと、この触媒シートの表面に形成された多孔質保護膜とを備える接触燃焼式可燃ガスセンサが開示されている。この接触燃焼式可燃ガスセンサは、応答速度が極めて速く、測定開始から長時間経過しても精度や感度が劣化しないために、安定した測定が可能である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
図２は、可燃ガス計（比較例）の構成図である。
図２に示す煙道１０１は、測定ガス（排ガス）が流れる流路である。可燃ガス計１０２は、測定ガス中の可燃ガスを測定する可燃ガスセンサ（ＣＯセンサ）１０３，１０４と、測定ガス中の酸素ガスを測定する酸素センサ（ジルコニア酸素センサ）１０５と、可燃ガスセンサ１０３，１０４及び酸素センサ１０５に測定ガスを導入する管路１０６と、クリーニング流体として計装空気を可燃ガスセンサ１０３，１０４に供給する供給手段１０７と、管路１０６にダストが流入するのを防止するフィルタ１０８と、管路１０６に測定ガスを吸引する吸引手段（エゼクタ）１０９とを備えている。
【０００４】
供給手段１０７は、可燃ガスセンサ１０３に供給する流体を測定ガス又は計装空気に切り替える切替バルブ１０７ａと、可燃ガスセンサ１０４に供給する流体を測定ガス又は計装空気に切り替える切替バルブ１０７ｂと、計装空気が流れる管路１０７ｃ，１０７ｄと、管路１０７ｃを開放及び閉鎖する電磁弁１０７ｅと、管路１０７ｄを開放及び閉鎖する電磁弁１０７ｆと、管路１０６に校正ガスを供給する管路１０７ｇと、吸引手段１０９に計装空気（エゼクタエア）を供給する管路１０７ｈとを備えている。
【０００５】
次に、可燃ガス計のクリーニング動作を説明する。図２に示す状態では、電磁弁１０７ｅが管路１０７ｃを遮断しているために、計装空気が切替バルブ１０７ａに作用せず、図中実線で示す状態に切替バルブ１０７ａが切り替り、測定ガスが可燃ガスセンサ１０３に流入する。一方、管路１０７ｄを電磁弁１０７ｆが開放しているために、計装空気の空気圧が切替バルブ１０７ｂに作用して、図中実線で示す状態に切替バルブ１０７ｂが切り替り、計装空気が可燃ガスセンサ１０４に流入する。可燃ガスセンサ１０３による可燃ガス測定が終了すると、電磁弁１０７ｅが管路１０７ｃを開放するために、可燃ガスセンサ１０３に計装空気が流入して可燃ガスセンサ１０３がクリーニングを開始する。一方、電磁弁１０７ｆが管路１０７ｄを遮断するために、可燃ガスセンサ１０４に可燃ガスが流入して可燃ガスセンサ１０４の測定が開始される。以上の動作が繰り返されて、可燃ガスセンサ１０３，１０４が可燃ガスを連続して測定する。このように、可燃ガス計１０２では、計装空気の空気圧を利用して切替バルブ１０７ａ，１０７ｂを交互に切り替えて、可燃ガスセンサ１０３，１０４の一方に計装空気を通過させてクリーニングするとともに他方に測定ガスを通過させて可燃ガスを測定する。
【０００６】
図２に示す可燃ガス計１０２では、煙道１０１を流れる排ガスの酸露点が高温（通常１５０°Ｃ程度）であるために、切替バルブ１０７ａ，１０７ｂの温度をこの温度以上（１８０°Ｃ程度）に保持する必要がある。また、この排ガスは、フィルタ１０８を通過可能な微細なダストを含み腐食性が強い。このために、切替バルブ１０７ａ，１０７ｂのシリンダのスライド面などの可動部に腐食や磨耗が発生するおそれがある。さらに、切替バルブ１０７ａ，１０７ｂの可動部に酸露点よりも温度の低い部分があると、この部分が結露してダストが付着し動作が不完全になるおそれがある。その結果、切替バルブ１０７ａ，１０７ｂの耐久性や信頼性を確保することが困難になるとともに、切替バルブ１０７ａ，１０７ｂの交換が必要になるために、装置のコストが高くなるという問題があった。
【０００７】
この発明の課題は、切替バルブなどの可動部を省略して信頼性を向上させることができる可燃ガス計を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、この実施形態に限定するものではない。請求項１の発明は、測定ガス中の可燃ガスを測定する可燃ガス計であって、該可燃ガス計内に、
前記可燃ガスを測定する第１及び第２の可燃ガスセンサ（３，４）と、
前記第１の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第１の管路（６）と、
前記第２の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第２の管路（７）と、
前記第１及び前記第２の可燃ガスセンサをクリーニングするためのクリーニング流体を前記第１及び前記第２の管路に交互に供給する供給手段（９）と、
前記可燃ガス計内を負圧にするための吸引手段（１５）と、
を備え、
前記吸引手段で前記可燃ガス計内を負圧にすることにより前記第１、第２管路を介して前記第１、第２可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入するように構成するとともに、前記供給手段は、前記測定ガスの流量（Ｌ０）よりも前記クリーニング流体の流量（Ｌ1）が多くなるように、前記第１及び前記第２の管路に前記クリーニング流体を供給することを特徴とする可燃ガス計（２）である。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１に記載の可燃ガス計において、
前記第１の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第１のフィルタ（１２ａ）を有し、前記第２の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第２のフィルタ（１２ｂ）を有し、前記供給手段が前記クリーニング流体を供給するときに、前記第１又は前記第２の管路を逆流して前記第１又は前記第２のフィルタの一方から流出したクリーニング流体が他方に流入するのを防止する流入防止手段（１３）を備えることを特徴とする可燃ガス計である。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の可燃ガス計において、前記測定ガス中の酸素ガスを測定する酸素センサ（５）と、前記酸素センサに前記測定ガスを導入する第３の管路（８）とを備えることを特徴とする可燃ガス計である。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２に記載の可燃ガス計において、前記第１の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第１のフィルタ（１２ａ）を有し、前記第２の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第２のフィルタ（１２ｂ）を有し、前記第３の管路は、前記測定ガスを吸引する吸引口に第３のフィルタ（１２ｃ）を有し、前記供給手段が前記クリーニング流体を供給するときに、前記第１又は前記第２の管路を逆流して前記第１又は前記第２のフィルタの一方から流出したクリーニング流体が前記第３のフィルタに流入するのを防止する流入防止手段（１４）を備えることを特徴とする可燃ガス計である。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について詳しく説明する。
図１は、この発明の実施形態に係る可燃ガス計の構成図である。
煙道１は、重油ボイラや発電所などの工業用ボイラなどの燃焼炉から排出される亜硫酸ガス（ＳＯ2 ）、窒素酸化物（ＮＯx ）、石炭や重油などの多量のダストなどを含む排ガスが通過する通路である。
【００１４】
可燃ガス計２は、排ガスなどの測定ガス中の可燃ガスを測定する装置である。可燃ガス計２は、可燃ガスセンサ３，４と、酸素センサ５と、管路６，７，８と、供給手段９，１０，１１と、フィルタ１２と、流入防止手段１３，１４と、吸引手段１５とを備えている。可燃ガス計２は、ほぼ完全燃焼している排ガス中の未燃焼成分ガスを測定して燃焼効率などを監視する。可燃ガス計２は、煙道１の壁部１ａに装着されている。
【００１５】
可燃ガスセンサ３，４は、可燃ガスを測定するセンサである。可燃ガスセンサ３，４は、不完全燃焼が始まり未燃焼成分ガスが急激に増加したときに、測定ガス中の未燃焼成分ガスを検出するＣＯセンサ（一酸化炭素センサ）である。可燃ガスセンサ３，４は、例えば、特開平１１−２２３６１４号公報に記載されている接触燃焼式可燃ガスセンサである。可燃ガスセンサ３，４は、クリーニング用の計装空気を通過させて内部の白金薄膜（測温抵抗体）を加熱すると、触媒シートの表面で吸着された可燃性分子を急速に酸化させ除去するために、高濃度の亜硫酸ガスにさらされても殆ど永久被毒を受けずに触媒が活性化してセンサ感度が回復する。
【００１６】
酸素センサ５は、測定ガス中の酸素ガスを測定するセンサである。酸素センサ５は、煙道１内を流れる排ガス中の酸素を連続して検出するジルコニア酸素センサである。酸素センサ５は、ほぼ完全燃焼している排ガス中に２〜４％程度残存する酸素を測定する。酸素センサ５は、ジルコニア（ＺｒＯ2 ）に金属酸化物を不純物として添加した安定化ジルコニア焼結体（固体電解質）と、この安定化ジルコニア焼結体の両面に形成された白金電極とを備えている。酸素センサ５は、一方の白金電極側に標準空気が供給され、他方の白金電極側に測定ガスが供給されており、２つの白金電極間に発生する起電力から測定ガス中の酸素ガス濃度を測定する。
【００１７】
管路６は、可燃ガスセンサ３に測定ガスを導入する導入管であり、管路７は可燃ガスセンサ４に測定ガスを導入する導入管である。管路６は、測定ガスを吸引する吸引口６ａを備えており、管路７は測定ガスを吸引する吸引口７ａを備えている。管路６は、吸引口６ａ側から吸引した測定ガスを可燃ガスセンサ３に導き、管路７は吸引口７ａ側から吸引した測定ガスを可燃ガスセンサ４に導く。管路６，７は、可燃ガスセンサ３，４を通過した測定ガスを合流させる合流部６ｂと、合流部６ｂで合流した測定ガスを吸引手段１５内に排出させる排出口６ｃとを備えている。
【００１８】
管路８は、酸素センサ５に測定ガスを導入する導入管である。管路８は、測定ガスを吸引する吸引口８ａを備えており、吸引口８ａから吸引した測定ガスを酸素センサ５に導き、酸素センサ５を通過した測定ガスを吸引手段１５内に排出口５ｂから排出させる。
【００１９】
供給手段９は、可燃ガスセンサ３，４をクリーニングするためのクリーニング流体（計装空気）を管路６，７に交互に供給する手段である。供給手段９は、計装空気を管路６，７に導入する管路９ａ，９ｂと、管路９ａ，９ｂを管路６，７に接続する接続部９ｃ，９ｄと、管路９ａ，９ｂを開放及び遮断する電磁弁９ｅ，９ｆと、管路９ａ，９ｂを流れる計装空気の流量を調整する可変絞り９ｇ，９ｈと、可変絞り９ｇ，９ｈから接続部９ｃ，９ｄに向かう計装空気の流れを許容しその流量を測定するフローメータ９ｉ，９ｊとを備えている。供給手段９は、管路６，７を流れる測定ガスの流量Ｌ0 よりも供給する計装空気の流量Ｌ1 が多くなるように、接続部９ｃ，９ｄから管路６，７に計装空気を供給する。
【００２０】
供給手段１０は、可燃ガスセンサ３，４及び酸素センサ５を校正するための校正用流体を管路６，７，８に供給する手段である。供給手段１０は、校正用流体として校正ガスを管路６，７，８に導入する管路１０ａと、校正用流体として計装空気を管路６，７，８に導入する管路１０ｂと、管路１０ａと管路１０ｂとが合流する合流部１０ｃと、合流部１０ｃから管路６，７，８に校正ガス又は計装空気を導入する管路１０ｄと、管路６，７，８に接続する接続部１０ｅ，１０ｆ，１０ｇと、管路１０ａを開放及び遮断する電磁弁１０ｈと、管路１０ａを流れる校正ガスの流量を調整する可変絞り１０ｉと、管路１０ｂを開放及び遮断する電磁弁１０ｊと、管路１０ｂを流れる校正ガスの流量を調整する可変絞り１０ｋと、合流部１０ｃから接続部１０ｅ，１０ｆ，１０ｇに向かう校正ガス又は計装空気の流れを許容しその流量を測定するフローメータ１０ｍとを備えている。供給手段１０は、例えば、１％の酸素と１０００ｐｐｍの一酸化炭素と残りが窒素からなる校正ガスを管路６，７，８に供給するとともに、２１．９５％の酸素と７８．０５％の窒素とを含む計装空気を管路６，７，８に供給する。
【００２１】
供給手段１１は、吸引手段１５にエゼクタエア（計装空気）を供給する手段である。供給手段１１は、計装空気を吸引手段１５に導入する管路１１ａと、管路１１ａを開放及び遮断する電磁弁１１ｂと、管路１１ａを流れる計装空気の流量を調整する可変絞り１１ｃと、可変絞り１１ｃから吸引手段１５に向かう計装空気の流れを許容しその流量を測定するフローメータ１１ｄとを備えている。
【００２２】
フィルタ１２は、煙道１内の排ガスに含まれるダストなどを管路６，７，８内に吸引しないように除去する部材である。フィルタ１２は、吸引口６ａに取り付けられたフィルタ部１２ａと、吸引口７ａに取り付けられたフィルタ部１２ｂと、吸引口８ａに取り付けられたフィルタ部１２ｃとから構成されている。
【００２３】
流入防止手段１３は、供給手段９が計装空気を管路６，７に供給するときに、管路６又は管路７を逆流してフィルタ部１２ａ，１２ｂの一方から流出した計装空気が他方に流入するのを防止する手段である。流入防止手段１４は、供給手段９が計装空気を管路６，７に供給するときに、管路６又は管路７を逆流してフィルタ部１２ａ，１２ｂの一方から流出した計装空気がフィルタ部１２ｃに流入するのを防止する手段である。収入防止手段１３，１４は、計装空気の流入を防止可能な大きさに形成された仕切り板である。流入防止手段１３は、フィルタ部１２ａとフィルタ部１２ｂとの間に設置されており、流入防止手段１４はフィルタ部１２ａとフィルタ部１２ｃとの間に設置されている。
【００２４】
吸引手段１５は、管路６，７，８に測定ガスを吸引するエゼクタである。吸引手段１５は、管路１１ａから噴出するエゼクタエアによって内部が負圧になっており、管路６，７，８に測定ガスを吸引させて排出口５ｂ，６ｃから排出させ、この測定ガスを計装空気とともに煙道１内に噴射する。
【００２５】
次に、この発明の実施形態に係る可燃ガス計の動作を説明する。
（測定動作）
供給手段１１が計装空気を吸引手段１５に供給すると、吸引手段１５内が負圧になり、煙道１内の排ガスが測定ガスとしてフィルタ１２から吸引されて管路６，７，８にそれぞれ導入される。可燃ガスセンサ３，４が測定ガス中の未燃焼成分ガスを測定し、酸素センサ５が測定ガス中の酸素ガスを測定する。可燃ガスセンサ３，４を通過した測定ガスは排出口６ｃから排出され、酸素センサ５を通過した測定ガスは排出口５ｂから排出されて、管路１１ａを通過した計装空気とともに測定ガスが吸引手段１５によって煙道１内に戻される。
【００２６】
（クリーニング動作）
可燃ガスセンサ４をクリーニングするときには、電磁弁９ｆが管路９ｂを開放すると管路９ｂに計装空気が流入して、接続部９ｄから管路７に計装空気が供給される。このときに、可燃ガスセンサ４に測定ガスが流入しないように、管路９ｂを流れる計装空気の流量Ｌ1 は管路７内を流れる測定ガスの流量Ｌ0 よりも多い。このために、計装空気の一部は、可燃ガスセンサ４に流入して可燃ガスセンサ４をクリーニングした後に排出口６ｃから排出する。可燃ガスセンサ４に計装空気が流れている間に、可燃ガスセンサ４が加熱されて触媒表面に吸着した可燃性分子が酸化され除去される。一方、管路７に供給された計装空気のうち可燃ガスセンサ４に流入する計装空気以外の残りの計装空気は、管路７を吸引口７ａに向かって逆流してフィルタ部１２ｂから煙道１内に流出する。このときに、フィルタ部１２ｂから排出した計装空気がフィルタ部１２ａ，１２ｃに流入するのを流入防止手段１３，１４が阻止する。可燃ガスセンサ３をクリーニングするときにも同様な動作が行われて、可燃ガスセンサ３，４が交互にクリーニングされる。
【００２７】
可燃ガス計２は、例えば、測定動作とクリーニング動作とを２時間周期で繰り返し、このうち可燃ガスセンサ３，４の一方の測定時間が５０分であり他方のクリーニング時間が５０分（合計１００分）である。可燃ガス計２は、１周期のうち２０分間だけ可燃ガスセンサ３，４の双方を測定動作させて、可燃ガスセンサ３，４の一方の感度を徐々に低下させながら他方の感度を徐々に上げて、測定データの連続性を維持している。
【００２８】
（校正動作）
電磁弁１０ｊが管路１０ｂを開放すると管路１０ｄに計装空気が流入して、接続部１０ｅ，１０ｆ，１０ｇから管路６，７，８に計装空気が供給される。測定動作時と同様に、可燃ガスセンサ３，４及び酸素センサ５に測定ガスが流入しないように、管路１０ｂ，１０ｄを流れる計装空気の流量は管路６，７，８を流れる測定ガスの流量よりも多い。その結果、一酸化炭素を含まない計装空気が可燃ガスセンサ３，４を通過して、可燃ガスセンサ３，４がゼロガス校正されるとともに、２１．９５％の酸素を含む計装空気が酸素センサ５を通過して酸素センサ５が校正される。
【００２９】
一方、電磁弁１０ｈが管路１０ａを開放すると管路１０ｄに校正ガスが流入して、接続部１０ｅ，１０ｆ，１０ｇから管路６，７，８に校正ガスが供給される。この場合にも、管路１０ａ，１０ｄを流れる校正ガスの流量は管路６，７，８を流れる測定ガスの流量よりも多い。１０００ｐｐｍの一酸化炭素が燃焼して０．０５％の酸素が消費されて、可燃ガスセンサ３，４のスパン側及び酸素センサ５が低濃度側データを示すように校正される。
【００３０】
この発明の実施形態に係る可燃ガス計には、以下に記載する効果がある。
(1) この実施形態では、可燃ガスセンサ３に測定ガスを管路６が導入し、可燃ガスセンサ４に測定ガスを管路７が導入して、クリーニング動作時には供給手段９が計装空気を管路６，７に交互に供給する。このために、２系統の管路６，７によって２つの可燃ガスセンサ３，４に独立して測定ガスを流すことができるとともに、２つの可燃ガスセンサ３，４に計装空気を独立して流すことができる。その結果、図２に示す可燃ガス計（比較例）１０２のように可動部を有する切替バルブ１０７ａ，１０７ｂが必要なくなって、装置全体の信頼性を向上させることができる。また、可燃ガスセンサ３，４の周辺は通常２００°Ｃ程度の高温で加熱されているが、電磁弁９ｅ，９ｆなどは高温領域外に設置されているために、装置全体の信頼性を向上させることができる。
【００３１】
(2) この実施形態では、クリーニング動作時に管路６，７を逆流してフィルタ部１２ａ，１２ｂの一方から流出した計装空気が他方に流入するのを流入防止手段１３が防止する。また、この実施形態では、クリーニング動作時に管路６，７を逆流してフィルタ部１２ａ，１２ｂの一方から流出した計装空気がフィルタ部１２ｃに流入するのを流入防止手段１４が防止する。このために、フィルタ部１２ａ，１２ｂから排出された計装空気を管路６，７，８に吸引されて測定ガス中に計装空気が混入し、測定誤差が発生するのを防止することができる。
【００３２】
この発明は、以上説明した実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、これらもこの発明の範囲内である。例えば、この実施形態では、測定ガスとして排ガスを例に挙げて説明したが排ガスに限定するものではない。また、この実施形態では、可燃ガス計２が酸素センサ５を備えているが可燃ガスセンサ３，４のみによって可燃ガス計を構成してもよい。
【００３３】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によると、測定ガス中の可燃ガスを測定する可燃ガス計であって、該可燃ガス計内に、
前記可燃ガスを測定する第１及び第２の可燃ガスセンサと、
前記第１の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第１の管路と、
前記第２の可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入する第２の管路と、
前記第１及び前記第２の可燃ガスセンサをクリーニングするためのクリーニング流体を前記第１及び前記第２の管路に交互に供給する供給手段と、
前記可燃ガス計内を負圧にするための吸引手段と、
を備え、
前記吸引手段で前記可燃ガス計内を負圧にすることにより前記第１、第２管路を介して前記第１、第２可燃ガスセンサに前記測定ガスを導入するように構成するとともに、前記供給手段は、前記測定ガスの流量よりも前記クリーニング流体の流量が多くなるように、前記第１及び前記第２の管路に前記クリーニング流体を供給するするようにしたので、切替バルブなどの可動部を省略して信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施形態に係る可燃ガス計の構成図である。
【図２】可燃ガス計（比較例）の構成図である。
【符号の説明】
１  煙道
２  可燃ガス計
３  可燃ガスセンサ（第１の可燃ガスセンサ）
４  可燃ガスセンサ（第２の可燃ガスセンサ）
５  酸素センサ
６  管路（第１の管路）
７  管路（第２の管路）
８  管路（第３の管路）
９，１０，１１  供給手段
１２  フィルタ
１２ａ  フィルタ部（第１のフィルタ）
１２ｂ  フィルタ部（第２のフィルタ）
１２ｃ  フィルタ部（第３のフィルタ）
１３，１４  流入防止手段
１５  吸引手段
Ｌ0   測定ガスの流量
Ｌ1   計装空気の流量
【図１】
0004666243.tif 000002
【図２】
0004666243.tif 000003