(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
探針を有するカンチレバーと、
このカンチレバーを振動させる励振手段と、
この励振手段によって前記カンチレバーを第１の方向Ｚに振動させながら、前記探針と試料とが相互作用を起こす領域まで前記探針を前記試料の表面に近接した状態で前記試料と相対的にそれぞれ前記第１の方向Ｚと直交する第２及び第３の方向Ｘ，Ｙもしくは前記第１、第２及び第３の方向Ｚ，Ｘ，Ｙに走査させる走査手段と、
前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段と、
この変位検出手段から出力された変位信号を所定のタイミングでサンプリングし且つサンプリングした値を前記変位信号の山谷幅の大きさを表す変位強度信号として出力する信号強度検出手段と、
前記走査手段による走査の間、前記信号強度検出手段から出力された変位強度信号が予め設定した値に近づくよう前記走査手段を前記第１の方向Ｚに動かして制御する制御手段と、
前記信号強度検出手段から出力された変位強度信号に基づく画像を表示する画像表示手段とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
前記信号強度検出手段は、前記変位検出手段から出力される正弦波状の前記変位信号の一周期内の山と谷もしくは谷と山が出力されるごとに半周期以内に山と谷の差を前記変位強度信号として出力し、前記制御手段側に送り出すことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
【請求項２】
前記信号強度検出手段によるサンプリングは、前記変位信号より作り出されたタイミング信号に基づいてなされることを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項３】
前記制御手段は、予め設定される参照信号と前記変位強度信号との偏差を演算し、この偏差信号を零に近づけるように前記走査手段の制御を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項４】
前記制御手段は、
前記偏差信号を加算する加算手段と、
この加算手段から出力された信号をサンプルホールドして出力する第１のサンプルホールド手段と、
この第１のサンプルホールド手段から出力された信号をサンプルホールドして前記加算手段に出力する第２のサンプルホールド手段と、
前記第１及び第２のサンプルホールド手段によってサンプルホールドするタイミングを与えるタイミング出力手段とを有し、
前記加算手段は、前記偏差信号と第２のサンプルホールド手段からの出力とを加算演算を行うとともに、前記第１のサンプルホールド手段のサンプリングと前記第２のサンプルホールド手段のサンプリングとを、前記タイミング出力手段から出力される時間差をもったそれぞれのタイミング信号に基づいて行うことを特徴とする請求項３に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項５】
前記第１及び第２のサンプルホールド手段のサンプリングのタイミング信号は、前記変位検出手段から出力された変位信号に基づいて発生されることを特徴とする請求項４に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項６】
前記第１及び第２のサンプルホールド手段のサンプリングのタイミング信号の時間差が、前記変位検出手段から出力された変位信号の半周期以内に対応する時間差であることを特徴とする請求項４または５に記載の走査型プローブ顕鏡。
【請求項７】
前記走査手段の走査動作中の前記第１の方向Ｚの位置制御は、前記第１のサンプルホールド手段からの出力に基いてなされることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか一に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【請求項８】
前記探針及び試料は液体中に置かれることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一に記載の走査型プローブ顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Ａｔｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）などの走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ：Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）に係り、特に、走査型プローブ顕微鏡の信号処理回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】
周知のように、ＳＰＭは、試料表面の凹凸段差の計測や表面物理量のマッピングなどに利用される装置であって広く普及している。
【０００３】
このようなＳＰＭの代表的なものとして、走査型トンネリング顕微鏡やＡＦＭが挙げられる。
【０００４】
このＳＰＭでは、メカニカルプローブ（すなわち探針）と試料表面との間に生じるトンネル電流や原子間力等の物理量を検出し、その測定量が一定となるように探針と試料の間（Ｚ方向の間隔）を圧電体アクチュエータを用いて所定の距離に制御しながら、両者を相対的にＸＹ方向もしくはＸＹＺ方向に走査し、試料表面の微細形状の測定を行うようにしている。
【０００５】
このようにＳＰＭは、装置としての構成が比較的簡単でありながら、原子オーダの高い分解能を有していること、試料のＺ方向の凹凸に対して高いコントラストが得られることなどの特徴がある。
【０００６】
また、ＳＰＭのなかでもＡＦＭは、試料の導電性の有無を問わずに測定が可能であること、液体中に置かれている試料の表面も画像化できること、試料の凹凸と同時に他の物理量を測定して比較することができることなどの特徴を有していることから、ＳＰＭの中で最も広く普及している。
【０００７】
このようなＡＦＭの操作方法としては、コンタクトモード測定法とＡＣモード測定法と呼ばれる２種類に大別される。
【０００８】
１９８６年にＧ．ＢｉｎｎｉｇらによりＡＦＭが発明されたときには（特開昭６２−１３０３０２号公報：ＩＢＭ、Ｇ．ビニッヒ、サンプル表面の像を形成する方法及び装置）コンタクトモード測定であったが、最近では測定中に探針の横方向にかかる力の影響を低減でき、乱れの少ないきれいな画像が得られるＡＣモード測定法を使うことが多い。
【０００９】
このＡＣモード測定では、その自由端近傍に鋭い突起（探針）を有するカンチレバーを数ｎｍから数１００ｎｍのオーダーで振動させながら、試料の表面と探針との相互作用によるカンチレバーの振動状態の変化を検出して試料表面の凹凸をとらえ画像化する方法である。
【００１０】
ノンコンタクトモード測定法、ダイナミックモード測定法、インターミッテントコンタクトモード測定法、タッピングモード測定法などは、このＡＣモード測定法に含まれる。
【００１１】
このようなＡＣモード測定法は、測定信号の処理の仕方から更にＡＭ（Ａｍｐｌｉｔｕｄｅ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）デイテクションとＦＭ（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ）ディテクションとの２種類に分けられる。
【００１２】
現在のところ、ＦＭデイテクションは、カンチレバーの機械的Ｑ値が極めて高くなる真空中においてノンコンタクトモード測定を行う場合にのみ用いられている。
【００１３】
そして、大気中や液体中においては、回路構成が比較的簡単であるＡＭデイテクションが使われるケースが多い。
【００１４】
このＡＭディテクションは、探針をもつカンチレバーをカンチレバーの機械的共振周波数近傍で励振させて試料表面に近づけたときに、探針先端と試料表面の相互作用に伴い、カンチレバーの振動振幅が変化するのを捕らえ、その変化分を補正して探針と試料との間の距離が一定になるよう制御する方法である。
【００１５】
例えば、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６４．２４５４−２４５６（１９９４）（Ｃ．Ｐｕｔｍａｎ  ｅｔ  ａｌ）に見られるように、カンチレバーと試料が近づくとカンチレバーの振動幅が小さくなるが、この振動幅を設定値に保つようフィードバック制御をかけ、カンチレバーの振幅が設定値になるようにカンチレバーと試料との間隔が調整される。
【００１６】
ここで、カンチレバーを振動させる方法について共通して言えることは、回路側から見ると、カンチレバーの位置情報をある周波数で変調をかけて検出し、後に復調させて位置情報を得ようとする手法と理解することができる。
【００１７】
また、上記Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６４．２４５４−２４５６（１９９４）においては、カンチレバーを振動させながら試料に近づけていったとき、大気中と液体中ではカンチレバーの振幅の減衰傾向に差があることが指摘されている。
【００１８】
大気中では、カンチレバーの振動は、その振動中心に対して対称的に振幅が減衰する過程があり、この過程の所定の状態を設定状態としてフィードバック制御を行う。
【００１９】
これに対して、液体中においては、探針と試料表面が接触する位相の振幅が減衰する一方それと反対の位相の振幅はあまり変化しないという過程がある。
【００２０】
液体中では、このような過程の所定の状態を設定状態としてフィードバック制御を行う。
【００２１】
このように、動作として物理上本質的な差があるにも拘らず、市販されているＡＦＭにおいては、その差に応じて制御方法を変えることはなされていない。
【００２２】
また、従来のＡＭディテクションを使ったＡＣモード測定法による走査型プローブ顕微鏡では、カンチレバーの変位を検出する変位検出部より出力されるカンチレバーの振動変位に応じた交流信号としての変位信号の信号強度を、次段の信号強度検出部で検出するようにしている。
【００２３】
すなわち、信号強強検出部に入った交流の変位信号は、通常、ｒｍｓ−ｄｃ回路と呼ばれる回路で平滑化されることによってカンチレバーの変調信号が取り除かれ、変位信号強度としてを出力される。
【００２４】
このｒｍｓ−ｄｃ回路は、図２の（ａ）にその詳細が示されている。
【００２５】
このｒｍｓ−ｄｃ回路１１１では、通常、図２の（ｂ）に示されているような変位信号Ｓ２１に対し、バンドパスフィルタ２０１を通して変調周波数すなわちカンチレバーの振動周波数近傍の周波数成分だけを取り出した信号を絶対値回路２０２に入れて片極性としたのち（図２の（ｂ）中、信号Ｓ２２）、ローパスフィルタ２０３により信号をなまらせて、変位信号の強度を示すｒｍｓ値として出力している。
【００２６】
図２の（ｂ）中、信号Ｓ２３は、このようなｒｍｓ−ｄｃ回路１１１を通した後の波形を示している。
【００２７】
この場合、ローパスフィルタ２０３のカットオフ周波数が変調周波数の２桁ほど低い値であるため、ｒｍｓ−ｄｃ回路１１１を使用した従来のＳＰＭ装置では、この時点で元の変位信号に対し遅れが生じており、このあとフィードバック制御を行っても、試料表面凹凸の周波数（空間周波数）が高いものには追従できなくなる。
【００２８】
これを解消して高分解能で測定を行うためには、ＸＹ走査周波数を下げて、すなわちゆっくりと測定を行うことが必要になる。
【００２９】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、ｒｍｓ−ｄｃ回路１１１を使用した従来のＳＰＭ装置では、変位信号の高速検出を行うことができないので、その結果、高速走査を行うことがが不可能となる。
【００３０】
また、上述したような各種のＳＰＭに共通する課題として、最終的に画像を取り込むためにかなり長い時間がかかるということが挙げられる。
【００３１】
例えば、ＡＦＭでは、Ｘ方向２５６画素、Ｙ方向２５６画素のデータを取り込んで、３次元画像とするのに４分強の時間をかけている場合が多い。
【００３２】
これは、工場などにおいて、デバイスの検査にＡＦＭを用いている場合、画像の取り込みに長い時間がかかると、検査工程のスループットが低下し、その結果、検査工程の費用が高くなって、デバイス全体としての価格上昇につながるという点で問題となる。
【００３３】
また、水中でのみ生きることができる生体高分子のような試料の研究にＡＦＭを用いて、その試料の動く様子を観察しようとする場合、従来のＡＦＭでは、画像化にかかる時間がかかり過ぎて使いものにならない。
【００３４】
この種の試料を観察する場合、少なくとも１画面が０．５秒以下の短時間に得られないと、意味のあるデータを取ることはできない。
【００３５】
本発明の基本的な目的は、上記のような事情に鑑みてなされたもので、探針を振動させて測定を行うＳＰＭにおいて、画像取り込み速度を高速化したＳＰＭ装置を提供することにある。
【００３６】
このような高速描画が可能なＳＰＭを実現するためには、装置各部の基本性能を向上させる必要がある。
【００３７】
このためには、装置剛性を上げて、装置の機械的共振周波数を測定に影響がない高い周波数に上げること、カンチレバーを使うＡＦＭにおいては、カンチレバーの機械的共振周波数を高くして１画素中で探針が試料表面と相互作用する所定回数あたりの時間を短くすることのほか、信号処理回路を高速化し帯域を広げることが必要である。
【００３８】
本発明の目的とするところは、詳しくは、ＳＰＭ測定の高速化を実現する信号処理回路を提供することにある。
【００３９】
更に、詳しくは、ＡＭディテクションによるＳＰＭ測定の高速化を実現する信号処理回路を提供することにある。
【００４０】
また、高速描画が可能なＳＰＭを実現するためには、前述のように共振周波数の高いカンチレバーを使用する必要がある。
【００４１】
そして、カンチレバーの共振周波数を上げるためには、カンチレバーの長さを短くする必要がある。
【００４２】
製造精度が同じままで短いカンチレバーを作れば、できあがるカンチレバーの寸法ばらつきが大きくなり、カンチレバーを交換する度にそのばらつきに対応するように装置の回路側で調整をしなければならなくなる。
【００４３】
本発明の目的は、カンチレバーの個体差により機械的共振周波数がばらついているカンチレバーを交換しながら使用する場合にも、回路側の調整を少なくした回路を提供することにある。
【００４４】
本発明の別の目的は、液体中において高速測定を実現するＳＰＭを提供することにある。
【００４５】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、上記課題を解決するために、
（１）探針を有するカンチレバーと、
このカンチレバーを振動させる励振手段と、
この励振手段によって前記カンチレバーを第１の方向Ｚに振動させながら、前記探針と試料とが相互作用を起こす領域まで前記探針を前記試料の表面に近接した状態で前記試料と相対的にそれぞれ前記第１の方向Ｚと直交する第２及び第３の方向Ｘ，Ｙもしくは前記第１、第２及び第３の方向Ｚ，Ｘ，Ｙに走査させる走査手段と、
前記カンチレバーの振動変位を検出する変位検出手段と、
この変位検出手段から出力された変位信号を所定のタイミングでサンプリングし且つサンプリングした値を前記変位信号の山谷幅の大きさを表す変位強度信号として出力する信号強度検出手段と、
前記走査手段による走査の間、前記信号強度検出手段から出力された変位強度信号が予め設定した値に近づくよう前記走査手段を前記第１の方向Ｚに動かして制御する制御手段と、
前記信号強度検出手段から出力された変位強度信号に基づく画像を表示する画像表示手段とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
前記信号強度検出手段は、前記変位検出手段から出力される正弦波状の前記変位信号の一周期内の山と谷もしくは谷と山が出力されるごとに半周期以内に山と谷の差を前記変位強度信号として出力し、前記制御手段側に送り出すことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００４６】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（２）  前記信号強度検出手段によるサンプリングは、前記変位信号より作り出されたタイミング信号に基づいてなされることを特徴とする（１）に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００４７】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（３）  前記制御手段は、予め設定される参照信号と前記変位強度信号との偏差を演算し、この偏差信号を零に近づけるように前記走査手段の制御を行うことを特徴とする（１）または（２）に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００４８】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（４）  前記制御手段は、
前記偏差信号を加算する加算手段と、
この加算手段から出力された信号をサンプルホールドして出力する第１のサンプルホールド手段と、
この第１のサンプルホールド手段から出力された信号をサンプルホールドして前記加算手段に出力する第２のサンプルホールド手段と、
前記第１及び第２のサンプルホールド手段によってサンプルホールドするタイミングを与えるタイミング出力手段とを有し、
前記加算手段は、前記偏差信号と第２のサンプルホールド手段からの出力とを加算演算を行うとともに、前記第１のサンプルホールド手段のサンプリングと前記第２のサンプルホールド手段のサンプリングとを、前記タイミング出力手段から出力される時間差をもったそれぞれのタイミング信号に基づいて行うことを特徴とする（３）に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００４９】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（５）  前記第１及び第２のサンプルホールド手段のサンプリングのタイミング信号は、前記変位検出手段から出力された変位信号に基づいて発生されることを特徴とする（４）に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００５０】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（６）  前記第１及び第２のサンプルホールド手段のサンプリングのタイミング信号の時間差が、前記変位検出手段から出力された変位信号の半周期以内に対応する時間差であることを特徴とする（４）または（５）に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００５１】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（７）  前記走査手段の走査動作中の前記第１の方向Ｚの位置制御は、前記第１のサンプルホールド手段からの出力に基いてなされることを特徴とする（４）乃至（６）のいずれか一に記載の走査型プローブ顕鏡が提供される。
【００５２】
また、本発明によると、上記課題を解決するために、
（８）  前記探針及び試料は液体中に置かれることを特徴とする（１）乃至（７）のいずれか一に記載の走査型プローブ顕微鏡が提供される。
【００５４】
（作用）
従来、信号振幅もしくは信号強度を得るために時定数の長いｒｍｓ−ｄｃ回路を便用していたのに対して、本発明によると、信号をサンプリングしてから演算処理を行うようにすることにより、高速に検出を行うことができ、その結果、高速走査が可能な走査型ブローブ顕微鏡を提供できる。
【００５５】
さらに、本発明によると、サンプリングのタイミングをカンチレバーの変位検出手段から出力される変位信号の１周期内の山と谷もしくは谷と山が出力されるごとに半周期以内に山と谷の差を演算して変位強度信号として出力することにより、最短の時間で信号を処理することができ、その結果、高速走査が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供できる。
【００５６】
また、本発明によると、サンプリングのタイミングをカンチレバーの変位検出手段から出力される変位信号を基に発生することにより、走査中試料と探針との相互作用によってカンチレバーの振動状態がわずか変化しても十分対応して信号強度検出が可能になり、高い安定性で高速走査可能な走査型プローブ顕微鏡を提供できる。
【００５７】
さらに、本発明によると、一般に、その機械的共振周波数の個体差が大きい高速走査用のカンチレバーを取り替えながら便用するとき、調整用の特別な回路が無くても、カンチレバーを交換したときに装置の回路時定数の調整無しもしくは少ない調整にて測定を行うことができ、操作が容易な走査型プローブ顕微鏡を提供できる。
【００５８】
また、時定数や位相回りが問題になる従来のオペアンプを用いて構成したアナログのＰＩ制御回路や、プログラム実行に時間がかかるＤＳＰ（ディジタルシグナルプロセッサ）ＩＣを用いて構成するディジタルＰＩ制御回路を用いた走査型プローブ顕微鏡に対して、本発明によると、サンプルホールド回路を使って簡単な構成で時定数や位相回りの問題を最小にしながら高速の制御を行えるようになるので、その結果、低コストで安定した高速走査が可能な走査型プローブ顕微鏡を提供できる。
【００５９】
さらに、本発明によると、このサンプルホールド回路のサンプリングのタイミング信号をカンチレバーの変位検出手段から出力される変位信号を基に発生することにより、走査中、試料と探針との相互作用によってカンチレバーの振動状態がわずか変化しても十分対応して制御が可能になり、高い安定性で高速走査可能な走査型プローブ顕微鏡を提供できる。
【００６０】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００６１】
（第１の実施の形態）
本発明による走査型プローブ顕微鏡の第１の実施の形態について、図１、図３、図４、図５を用いて説明する。
【００６２】
図１は、本発明の第１の実施の形態に適用されるＡＭディテクションを使ったＡＣモード測定法の走査型プローブ顕微鏡の基本的な構成について説明するために示すブロック図である。
【００６３】
すなわち、図１に示すように、ＸＹＺ走査を行うアクチュエータ１１８上においた試料１０１に対峙するよう、その先端の尖った探針１０２をその自由端に有するカンチレバー１０３を配置し、励振部材１０４に励振電圧発生器１０５よりカンチレバー１０３の機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧を印加して、探針１０２を上下方向に振動させる。
【００６４】
図１中、点線枠で囲んで示す変位検出部（手段）１０６は、半導体レーザＬＤと二分割光ディテクタＰＤを含む光てこ式変位センサー１０７、この変位センサー１０７のフォーカス調整を行う光学系調整部１０８、前記変位センサー１０７により光電変換された信号を増幅、演算処理するプリアンプ１０９からなる。
【００６５】
このプリアンプ１０９での演算処理は、二分割光ディテクタＰＤの二つのセンシング部位からのそれぞれの出力をＡ、Ｂとすると、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）なる演算を行う。
【００６６】
この演算結果は、変位信号として変位検出部１０６より出力される。
【００６７】
この変位信号は、カンチレバー１０３の変位に応じた信号なので、カンチレバー１０３が振動している場合には交流信号となる。
【００６８】
このような変位信号は、図１中、点線枠で囲って示す信号強度検出部１１０へと出力されるほか、通常、カンチレバー１０３の振動周波数特性の検出を行う回路などに向けても出力される。
【００６９】
図１中、信号Ｓ１は、この変位信号を示している。
【００７０】
そして、信号強度検出部１１０から出力された変位強度信号は、図１中、点線枠で囲って示す制御部１１２に出力されるほか、通常、カンチレバー１０３の励振の大きさを調整するため、カンチレバー１０３の現在の振動の大きさをモニターする信号Ｓ２としても利用される。
【００７１】
すなわち、この変位強度信号Ｓ２をモニターした値に応じて、励振電圧発生器１０５の出力を調整することにより、測定開始前に、カンチレバー１０３の変位を調整するようしている。
【００７２】
信号強度検出部１１０から出力された信号は、制御部１１２内の比較器１１３に入力される。
【００７３】
この比較器１１３では、参照信号発生部１１４から出力される参照信号と変位強度信号との偏差が演算され出力される。
【００７４】
フィードバック制御部１１５では、この偏差信号を零に近づけるよう、アクチュエータ１１８及びその駆動回路１１７を含む走査部１１６に対して制御信号を出力する。
【００７５】
すなわち、フィードバック制御部１１５は、カンチレバー１０３の振動変位が所定の状態になるように、アクチュエータ１１８のＺ方向の動きについてＰＩＤ制御を行う。
【００７６】
また、同時にフィードバック制御部１１５からは、コンピュータ１２０にも制御信号が出力され、そのモニター１２１に試料の表面情報が表示される。
【００７７】
図１中、点線枠で囲って示す画像表示部１１９は、画像を描画するために用いられるほか、コンピュータ１２０のキーボードなどはＳＰＭに対する操作を行うインプットデバイスとしても使われ、各種の指令信号がコンピュータ１２０からＳＰＭ装置側に出力されるが、図１ではこれらを省略して描かれている。
【００７８】
本発明の第１の実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡の基本構成は、図１から従来の信号強度検出部として用いられていた図２の（ａ）に示したようなｒｍｓ−ｄｃ回路１１１を除去したものと同様である。
【００７９】
すなわち、本実施の形態による走査型プローブ顕微鏡の基本構成は、図１に示した探針１０２を有するカンチレバー１０３と、このカンチレバー１０３を励振させる励振部材１０４と、この励振部材１０４を駆動する励振電圧発生器１０５と、変位検出部１０６と、信号強度検出部１１０と、ＰＩＤ制御を行う制御部１１２、アクチュエータ１１８とその駆動回路１１７を含む走査部１１６と、画像表示部１１９とからなる。
【００８０】
そして、本実施の形態においては、高速化のために、従来のｒｍｓ−ｄｃ回路１１１を除去した信号強度検出部１１０に工夫がなされていて、図３にその回路構成の詳細が示されている。
【００８１】
図４の（ｂ）は、本実施の形態による信号強度検出部１１０の動作を説明するために各部における信号波形を示している。
【００８２】
なお、図４の（ｂ）中、Ｓ４１で示す信号強度検出部１１０への入力信号（変位信号）の波形は、図４の（ａ）に示すカンチレバー４０３が振動して試料４０１と離れる位相におけるカンチレバーの位置４０４と、試料４０１に近づく位置４０５とに対応させて、Ｙ軸プラス側が離れる方向、マイナス側が近づく方向を示している。
【００８３】
図４の（ａ）中、参照符号４０２は探針である。
【００８４】
また、図４の（ｂ）中、周期ｔ１を有する変位信号Ｓ４１の３周期目の波形が、それまでの２周期が振動中心に対称的であったのに対し、非対称となっていることから、図４の（ｂ）中、Ｓ４１の波形はカンチレバーと試料を液体中に入れて動作させたときの信号であることが理解される。
【００８５】
すなわち、図３に示すように、この信号強度検出部１１０への入力信号（変位信号）は、図１の変位検出部１０６からの出力（変位信号：図４の（ｂ）中、Ｓ４１）であり、第１のサンプルホールド回路３０１、第２のサンプルホールド回路３０２に入力されるとともに、位相シフター３０４に入力される。
【００８６】
図３中、点線枠で囲まれるタイミング回路３０３は、第１のサンプルホールド回路３０１、第２のサンプルホールド回路３０２でのサンプリングを実行するためのタイミング信号を発生する。
【００８７】
まず、位相シフター３０４に入力された変位信号は、９０度、すなわち、四分の一波長分位相の遅れた信号（図４の（ｂ）中、Ｓ４２）となり、ゼロクロス比較回路３０５で方形波（図４の（ｂ）中、Ｓ４３）とされる。
【００８８】
このゼロクロス比較回路３０５からの出力は、第１の単安定マルチバイブレータ３０６に入り、図４の（ｂ）中、Ｓ４３の方形波の立ち上がりを捕らえて、一定幅のパルスを発生させる（図４の（ｂ）中、Ｓ４４）。
【００８９】
また、ゼロクロス比較回路３０５の出力は、インバータ回路３０７で反転されたあとで第２の単安定マルチバイブレータ３０８に入り、図４の（ｂ）中、Ｓ４３の方形波の立ち下がりを捕らえてＳ４４の発生からｔ２時間後に一定幅のパルスを発生させる（図４の（ｂ）中、Ｓ４５）。
【００９０】
そして、サンプルホールド回路３０１、３０２は、第１及び第２の単安定マルチバイブレータ３０６、３０８からの出力パルスの立ち上がりのタイミングで入力信号（図４の（ｂ）中、Ｓ４１）をサンプリングし、次のパルスが入るまでその値を維持し出力する。
【００９１】
図４の（ｂ）中、Ｓ４６の実線で示す波形は、第１のサンプルホールド回路３０１からの出力を示している。
【００９２】
また、図４の（ｂ）中、Ｓ４６の破線で示す波形は、第２のサンプルホールド回路３０２からの出力を示している。
【００９３】
そして、第１のサンプルホールド回路３０１からの出力及び第２のサンプルホールド回路３０２からの出力は、オペアンプ３０９により差動増幅されて概略周期ｔ３を有する階段状の波形として出力される（図４の（ｂ）中、Ｓ４７）。
【００９４】
そして、このオペアンプ３０９からの出力は、ローパスフィルタ３１０を経て、信号のスパイクノイズが除去された変位強度信号として、後段の制御部（図１の参照符号１１２）に送り出される。
【００９５】
次に、上述したような本実施の形態による信号強度検出部１１０を、図５に示すＡＦＭユニット、図１の参照符号１０９で示すプリアンプ、図１の参照符号１１２で示すＰＩＤ制御を行う制御部、図１の参照符号１１７で示す駆動回路、図１の参照符号１０５で示す励振電圧発生器、図１の参照符号１１９で示す画像表示部を組み合わせてＳＰＭ装置を構成した場合の動作について説明する。
【００９６】
まず、図５に示すＡＦＭユニットについて説明する。
【００９７】
すなわち、図５に示すように、筐体５０１には、中央に顕微鏡用の２０倍の対物レンズ５１８が貫通するよう穴が開けられたインバー材の板部材５０２が渡されている。
【００９８】
スキャナ保持台５０４は、長さ調整が可能な３本のマイクロメータ５０３によって、板部材５０２の上に保持されている。
【００９９】
スキャナは複数本の積層圧電体を組み合わせて作られており、図５中、参照符号５０５、５０６、５０７は、それぞれ、Ｚ方向の圧電体、Ｚ方向のカウンター圧電体、Ｘ方向の圧電体を示している。
【０１００】
Ｙ方向の圧電体５０８は、影に隠れている。
【０１０１】
これらの圧電体５０５、５０６、５０７、５０８は、両端とも固定せずに自由振動させると２６０ｋＨｚという高い共振周波数を示し、スキャナとして組み上げたとき、Ｚ方向の圧電体５０５は６０ｋＨｚ程度の高い周波数でも走査可能な高速走査用スキャナとなる。
【０１０２】
このＺ方向の圧電体５０５の下側には、試料台がグリースにより固定され、この試料台には下向きに試料が固定されカンチレバー５０９と対抗している。
【０１０３】
このカンチレバー５０９は、マイクログラスプレート５１０に固定され、試料と共に、水５１１に浸されている。
【０１０４】
図５中、参照符号５１２は、カンチレバー５０９をその共振周波数付近の周波数て励振するための励振部材であり、これも圧電体よりなる。
【０１０５】
ここで、カンチレバー５０９は、長さ１０μｍ、幅２μｍ、厚さ０．１４μｍの窒化シリコン製カンチレバーであり、大気中での共振周波数が１．３ＭＨｚから１．８ＭＨｚであるとともに、液体中での共振周波数が４５０ｋＨｚから６５０ｋＨｚである。
【０１０６】
また、このカンチレバー５０９のバネ定数は５０から２８０ｐＮ／ｎｍであると見積もられる。
【０１０７】
そして、励振部材５１２で励振されたカンチレバー５０９の振振変位の検出は、顕微鏡用対物レンズ５１８を含む光てこ式変位計により検出される。
【０１０８】
また、半導体レーザ５１３から発せられたレーザ光は、コリメータレンズ５１４で平行光とされたあと、偏光ビームスプリッタ５１５、ハーフミラー５１６で反射し、四分の一波長板５１７により円偏光とされたあと、顕微鏡用対物レンズ５１８に入射し、カンチレバー５０９の背面にスポットを結ぶ。
【０１０９】
そして、カンチレバー５０９の背面で反射した光は、来た光路を戻り、偏光ビームスプリッタ５１５を直進してフォトディテクタ５２０に到る。
【０１１０】
図５中、参照符号５１９は、スポット形状調整用のレンズである。
【０１１１】
また、図５中、参照符号５２０は、カンチレバー５０９の傾き角微調整用のネジである。
【０１１２】
顕微鏡用対物レンズ５１８は、カンチレバー５０９へのレーザスポット照射位置確認と試料観察のための顕微鏡光学系の対物レンズとしても共用される。
【０１１３】
すなわち、顕微鏡光学系は、光源５２１、レンズ５２２、ハーフミラー５２３、対物レンズ５１８、接眼レンズ５２４からなる。
【０１１４】
その他、ＰＩＤ制御回路としては、周波数特性が３００ｋＨｚまで伸びている回路が使用されている。
【０１１５】
また、スキャナを駆動する回路としては、９０ｎＦの容量負荷に対して周波数特性が２５ｋＨｚまで伸びている回路が使用されている。
【０１１６】
そして、以上のような構成のＡＦＭユニットを用いて、実際に、試料として雲母基板上に固定したミオシン分子を水中で測定したところ、２７０ｎｍ×２７０ｎｍの領域を８０ｍ秒で画像化することができることが確認されている。
【０１１７】
この８０ｍ秒という画像化速度（フレームレート）は、現時点で世界最高の画像化速度に相当する速度である。
【０１１８】
また、この８０ｍ秒という画像化速度（フレームレート）は、水中でのみ生きることができる生体高分子のような試料を観察する場合、意味のあるデータを取るために要求されている０．５秒（フレームレート）よりもはるかに高い画像化速度（フレームレート）でもある。
【０１１９】
なお、この場合の表示画面の精細度は、１００×１００画素である。
【０１２０】
一方、信号強度検出部１１０として従来のようにｒｍｓ−ｄｃ回路を用いたＳＰＭの場合には、このような高速度では全く画像化することができないことが確認されている。
【０１２１】
以上のように、ＳＰＭによる実測に基づいて、本実施の形態による信号強度検出部１１０の有効性が確認されている。
【０１２２】
また、従来のｒｍｓ−ｄｃ回路を用いる場合、カンチレバーの振動をリップルの無いｒｍｓ値として出力し得るようにするためには、カンチレバーが複数周期振れる必要がある。
【０１２３】
例えば、カンチレバーが５回以上（５周期以上）振れる必要があるので、カンチレバーと試料の相互作用の状態を一定に保つよう制御するためには、カンチレバーの振れの５周期以上遅れて出力される変位信号の強度を元に制御を行うことになる。
【０１２４】
一方、本実施の形態による信号強度検出部１１０においては、従来のｒｍｓ−ｄｃ回路を便用した場合と比べ、はるかに短い時間内に変位強度信号を得ることができる。
【０１２５】
すなわち、本実施の形態の信号強度検出部１１０においては、変位信号の山と谷の位相でサンプリングが行われて差動増幅されるので、変位信号の一対の山と谷もしくは谷と山が入力された直後から、遅くとも半周期以内のタイミングでピークトゥバレー値（Ｐ−Ｖ値）の演算が行われて変位信号の強度の測定が終了する。
【０１２６】
以降、山と谷、谷と山を数えるごと、すなわち半周期ごとに変位強度信号が出力される。
【０１２７】
この結果、本実施の形態の信号強度検出部１１０によれば、カンチレバー１０３の振動状態の変化を理論的に最短の時間で捕らえ、後段の制御部１１２へと信号を送り出すことができるので、高速走査を行うことが可能になり、高速追従性の良いＳＰＭ測定を実現することが可能になる。
【０１２８】
そして、本実施の形態のように、変位信号の強度の測定のために、変位信号の半周期ごとのＰ−Ｖ値を捕らえることができる信号強度検出部１１０の回路構成は、従来にない新規なものである。
【０１２９】
また、本実施の形態の信号強度検出部１１０においては、従来のｒｍｓ−ｄｃ回路を使用した場合で問題になる位相回りの問題を回避することができる。
【０１３０】
また、本実施の形態の信号強度検出部１１０によれば、サンプルホールドのタイミング信号をカンチレバー１０３の変位信号を元に作っているので、カンチレバーを交換したとき、カンチレバー１０３のもつ個体差により機械的共振周波数がずれていても、サンプルホールドのタイミング信号は自動的に変位信号の山と谷の位置に発生され、回路側の調整は不要になるという利点を有している。
【０１３１】
実際、高い機械的共振周波数のカンチレバーを作ろうとすると、長さをはじめとするカンチレバーの形状を小さくせざるを得ず、プロセス精度からくるカンチレバー形状の寸法ばらつきの影響が大きくなる。
【０１３２】
これにより、同じウェーハから取り出したカンチレバーであっても、機械的共振周波数が大きく異なることが多くなる。
【０１３３】
例えば、共振周波数１ＭＨｚを狙って作製した場合でも、７００ｋＨｚ〜１．３ＭＨｚ程度のばらつきは簡単に起きてしまう。
【０１３４】
したがって、本実施の形態のように、カンチレバーのもつ個体差に煩わされずに測定を行えることは、ＳＰＭの高速測定においては非常に有用である。
【０１３５】
なお、これまで述べたような説明では、タイミング回路３０４に二つの単安定マルチバイブレータ３０７、３０８を用いた場合について説明したが、例えば、一つの単安定マルチバイブレータを用い、一つのタイミング信号のデューティー比が１となるように調整し、その立ち上がりと立ち下がりを捕らえてサンプリングを行うことも可能である。
【０１３６】
また、図３では信号強度検出回路１１０のタイミング回路３０３への入力が位相シフター３０４に直接入力されているが、バンドパスフィルタにより波形整形してから入力するようにしてもよい。
【０１３７】
なお、図１に示したプリアンプ１０９からの出力される変位信号には、高周波ノイズなどが乗っていることがあるが、そのような変位信号をそのまま、タイミング信号の元信号として用いるとタイミング信号がチャタリングを起こして、信号処理回路全体が不安定になる場合が予想される。
【０１３８】
そこで、このような場合に備えて、プリアンプ１０９からの出力をバンドパスフィルタにより波形を整形してから、タイミング信号を作り出すことにより、そのようなチャタリングを防止をして信号処理回路全体が不安定になることを無くすことができる。
【０１３９】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態について説明する。
【０１４０】
前述した第１の実施の形態では、信号強度検出部（図１中、参照符号１１０）について、図３で示すようなサンプルホールド回路３００を使って変位信号の一対の山と谷もしくは谷と山が入力された直後から遅くとも半周期以内のタイミングでピークトゥバレー値（Ｐ−Ｖ値）の演算を行い変位信号の強度の測定を行うようにしている。
【０１４１】
これに対し、本実施の形態では、信号強度検出部（図１中、参照符号１１０）について、図６に示すようなピークホールド回路６００を用いて同様な測定を行い、半周期以内のタイミングでピークトゥバレー値（Ｐ−Ｖ値）の演算を行うようにしている。
【０１４２】
図６は、本発明による第２の実施の形態において、高速化のために工夫がなされた図１中の信号強度検出部１１０の詳細な構成について説明するために示すブロック図である。
【０１４３】
図７は、図６の信号強度検出部１１０の動作を説明するために各部における信号波形を示した図である。
【０１４４】
すなわち、図６に示すように、本実施の形態の信号強度検出部１１０は、入力信号のプラス側とマイナス側のそれぞれの信号成分（図７中、Ｓ７７とＳ７８）をピークホールドするための、オペアンプ６０１、６０６、ダイオード６０２、６０７、コンデンサ６０３、６０８、アナログスイッチ６０４、６０９、サンプルホールド回路６０５、６１０からなるピークホールド回路６００と、比較器６１１、ローパスフィルタ６１２、前記ピークホールド回路６００のタイミング信号を発生するタイミング信号発生回路６１３からなる。
【０１４５】
ここで、ピークホールド回路６００は、交流信号のプラスもしくはマイナス側のピーク値すなわち山もしくは谷の値を検出する回路である。
【０１４６】
そして、このピークホールド回路６００は、信号をコンデンサ６０３、６０８に蓄積しながら信号の最大値を追いかけて行くトラッキングと呼ばれる動作と、その蓄積した値をサンプルホールドする動作と、蓄積した信号をリセットする動作とを行う。
【０１４７】
また、比較器６１１は、プラス側のピーク値とマイナス側のピーク値の差分信号を出力する。
【０１４８】
前記タイミング信号発生回路６１３は、アナログスイッチ６０４、６０９のスイッチング及びサンプルホールド回路６０５、６１０のサンプルホールドのタイミングを発生するために、入力信号（図７中、Ｓ７１）を直接ゼロクロス比較回路６１４に入力する回路系と、入力信号を位相シフター６１８で９０度位相を遅らせてから（図７中、Ｓ７２）ゼロクロス比較回路６１８に入力する回路系とに分かれる。
【０１４９】
一方のゼロクロス比較回路６１４の出力は、単安定マルチバイブレータ６１５に入りアナログスイッチ６０４を含むプラス側のピークホールド系のリセットを行うｔ５のパルス幅を有したタイミング信号（図７中、Ｓ７５の立ち上がり）を発生する。
【０１５０】
また、ゼロクロス比較回路６１４の出力は、インバータ回路６１６に入り符号が反転されたあと、単安定マルチバイブレータ６１７に入りアナログスイッチ６０９を含むマイナス側のピークホールド系のリセットを行うｔ５のパルス幅を有したタイミング信号（図７中、Ｓ７４の立ち上がり）を発生する。
【０１５１】
また、位相シフター６１８の出力は、ゼロクロス比較器６１９に入力されたのち、単安定マルチバイブレータ６２３、インバータ回路６２４を経てサンプルホールド回路６０５でのサンプルホールドのためにｔ４のパルス幅を有したタイミング信号（図７中、Ｓ７６の立ち上がり）を発生する。
【０１５２】
また、ゼロクロス比較回路６１９の出力は、もう一方のインバータ回路６２０、単安定マルチバイブレータ６２１、インバータ回路６２２によりサンプルホールド回路６１０でのサンプルホールドのためにｔ４のパルス幅を有したタイミング信号（図７中、Ｓ７３の立ち上がり）を発生する。
【０１５３】
そして、サンプルホールド回路６０５、６１０でホールドされた信号は、図７中、Ｓ７９の実線（プラス側）と破線（マイナス側）で示すように半周期ずれながら一周期ごとに値を更新する。
【０１５４】
また、比較器６１１では、この差分演算が行われるので、その出力信号は、図７中、Ｓ７０に示すように入力信号の一対の信号の山と谷もしくは谷と山を数えてから半周期以内、そして、半周期ごとに新しいＰ−Ｖ値が出力される。
【０１５５】
この結果、本実施の形態によるピークホールド回路６００を用い信号強度検出部１１０でも、前述した第１の実施の形態のサンプルホールド回路を用いた信号強度検出部１１０と同様な動作を実現することができる。
【０１５６】
本実施の形態による信号強度検出部１１０においては、ピークホールド回路６００を用いているため、サンプルホールド回路３００を用いた第１の実施の形態による信号強度検出部１１０比べて、入力信号にノイズが乗っていてもノイズも含めた入力信号のエンベロープのピーク値を確実に測定することができる。
【０１５７】
また、本実施の形態による信号強度検出部１１０においては、ピークホールド回路６００を用いているため、入力信号の周波数や位相が多少ずれるなど不規則な動きをしても確実に入力信号のピーク値を測定することができる。
【０１５８】
すなわち、本実施の形態による信号強度検出部１１０においては、ピークホールド回路６００を用いているため、より安定したＳＰＭの高速測定動作を行うことができるようになる。
【０１５９】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について図８、図９を用いて説明する。
【０１６０】
本発明の第３の実施の形態に係る走査型プローブ顕微鏡の基本構成は、第１の実施の形態と同様であり、図１に示す探針１０２を有するカンチレバー１０３と、このカンチレバー１０３を励振させる励振部材１０４、この励振部材１０４を駆動する励振電圧発生器１０５と、変位検出部１０６と、信号強度検出部１１０と、制御部１１２と、アクチュエータ１１８とその駆動回路１１７を含む走査部１１６と、画像表示部１１９からなる。
【０１６１】
本実施の形態においては、高速化のために、制御部１１２の回路構成に工夫がなされている。
【０１６２】
図８は、本発明による第３の実施の形態において、高速化のために工夫がなされた図１中の制御部１１２の詳細な構成について説明するために示すブロック図である。
【０１６３】
図９は、図８の制御部１１２の動作を説明するために各部における信号波形を示した図である。
【０１６４】
すなわち、図８に示すように、本実施の形態による制御部１１２は、比較器８０１と、参照信号回路８０２と、加算器８０３と、第１のサンプルホールド回路８０４と、第２のサンプルホールド回路８０６と、タイミング回路８０５と、遅延回路８０７と、増幅器８０８とからなる。
【０１６５】
カンチレバー１０３の変位信号（図９中、Ｓ９１）は、第１の実施の形態で説明した信号強度検出部１１０を経て図９中、Ｓ９２に示すように変位信号（図９中、Ｓ９１）の半周期ごとにステップ変化する変位強度信号とされたあと、比較器８０１に入力される。
【０１６６】
この比較器８０１では、変位強度信号と参照信号回路８０２から出力される参照信号との偏差が演算増幅される。
【０１６７】
ＳＰＭ装置としてフィードバック動作をする場合には、この偏差を零に近づけるような制御を行うが、この制御のための信号を作り出すのが、この制御部１１２の役目の一つである。
【０１６８】
そして、比較器８０１から出力される偏差信号は、加算器８０３に入力され、ここで、第２のサンプルホールド回路８０６からの信号との和が出力される。
【０１６９】
この出力は、ＳＰＭ装置を動作させ走査を行った場合の、走査開始からの偏差信号の積算結果であり、試料表面凹凸を表していることになる。
【０１７０】
タイミング回路８０５は、クロック信号を発生し、第１及び第２のサンプルホールド回路８０４、８０６のサンプリングのタイミングを与える元信号（図９中、Ｓ９４）を出力する。
【０１７１】
この元信号は、第１の実施の形態の説明で用いた図４中のＳ４４とＳ４５の信号をタイミング回路８０５に入力して加算したあと、第１のサンプルホールド回路８０４に出力するために用いられる。
【０１７２】
このため、図９では、この元信号Ｓ９４のパルスの立ち上がりは、前段の信号強度検出部１１０からの出力に同期し、変位信号Ｓ９１の山と谷の位相となっている。
【０１７３】
なお、図９中、ｔ７は、変位信号Ｓ９１の最初の山から最初の谷までの時間である。
【０１７４】
また、図９中、ｔ８は、変位信号Ｓ９１の最初の谷から二番目の山までの時間である。
【０１７５】
この出力が、第１のサンプルホールド回路８０４に入力されてサンプリングを行うと、第１のサンプルホールド回路８０４は、加算器８０３の信号をホールドし、次のタイミング信号が入力されるまで維持して出力する。
【０１７６】
なお、タイミング回路８０５から出力された信号は、遅延回路８０７にも入力される。
【０１７７】
この遅延回路８０７は、第１のサンプルホールド回路８０４のサンプリングのタイミングよりｔ９時間だけ遅れて第２のサンプルホールド回路８０６のサンプリングを行うタイミング信号を出力する。
【０１７８】
図９中のＳ９５はこれを示しているが、図９中のＳ９４とＳ９５の比較から理解されるように、この場合、遅延回路８０７は、Ｓ９４の信号を反転させて出力している。
【０１７９】
第２のサンプルホールド回路８０６では、このタイミング信号を受け、第１のサンプルホールド回路８０４のサンプリングが行われたあと、ｔ９時間後にサンプリングが行われる。
【０１８０】
つまり、第２のサンプルホールド回路８０６では、第１のサンプルホールド回路８０４のサンプリングが行われたあとｔ９時間だけずらしてサンプリングが行われ、後段の回路へと出力される。
【０１８１】
このように、第１及び第２のサンプルホールド回路８０４、８０６でのサンプリングのタイミングをずらしている結果、制御部１１２の前段の信号強度検出部１１０からの信号が図９中のＳ９２に示すように出力され、比較器８０１で図９中のＳ９３に示すようになった出力は、第２のサンプルホールド回路８０６のタイミングで、加算器８０３の出力と同じ信号が増幅器８０８へと送られることになる。
【０１８２】
また、制御部１１２の後段で分岐された信号は、画像表示部１１９側のコンピュータ１２０に出力されて画像描画に用いられる。
【０１８３】
このときの信号は、図９中のＳ９６で示されており、ｔ１０の周期を有した階段状の波形となっている。
【０１８４】
比較器８０１から出力される偏差信号（図９中、Ｓ９２）との比較で理解されるように、Ｓ９２はその時々の偏差信号であり、Ｓ９６はその偏差信号の積算信号である。
【０１８５】
この積算信号Ｓ９６は、試料表面の凹凸を表すことになる。
【０１８６】
フィードバック制御を行うため増幅器８０８では、この信号に対しゲインの調整を行い、走査部（図１の参照符号１１６）の駆動回路１１７へ出力する。
【０１８７】
なお、図８中、ＣＮＴは参照信号回路８０２の参照信号のレベルを調整するための外部入力であり、ＲＳは加算器８０３のリセット信号であり、ＣＬＫｅｘはタイミング回路８０５のクロック信号を外部の信号に基づいて発生するときの外部からの入力信号であり、Ａｄｊは増幅器８０８のゲインを外部から調整するための外部入力を示している。
【０１８８】
本実施の形態の制御部１１２によれば、変位信号Ｓ９１が山もしくは谷となったあと、ｔ９時間後に走査部１１６への制御信号が出力されるので、応答性よく制御信号を次の走査部１１６に送り出すことができる。
【０１８９】
なお、このｔ９時間は、信号変位の零秒より大きく半周期に対応する時間以下であり、変位信号が山もしくは谷となったあと、その半周期以内に制御信号を出力することができる。
【０１９０】
また、本実施の形態の制御部１１２によれば、高速に走査を行う場合や高い機械的共振周波数のカンチレバーを使う場合にも対応ができることになる。
【０１９１】
このような制御部１１２の回路構成は、従来にない新規なものである。
【０１９２】
そして、本実施の形態の制御部１１２では、サンプルホールド回路８０４、８０６などを中心に構成したので、従来のアナログＰＩ制御回路を使うときの問題であった位相の回り、遅れが問題にならなくなる。
【０１９３】
すなわち、本実施の形態によれば、より安定したＳＰＭの高速測定動作を行うことができるようになる。
【０１９４】
また、本実施の形態の制御部１１２では、すべて通常の回路素子で制御部１１２を構成しているため、本実施の形態の制御部１１２と同じ動作をＤＳＰ（デジタル信号処理）回路を組み込み動作させた場合と比べ、ＤＳＰ回路を動作させるプログラムソフトの処理時間が無く、基本的により高速化が可能であり、優れていると言える。
【０１９５】
なお、これまでの各実施の形態では、励振手段としてカンチレバーを圧電体などによりその共振周波数付近の周波数で励振して測定する場合について説明したが、特開平９−１５９６８２号公報（山田ほか；磁場制御による走査プローブ顕微鏡）に示されるような磁場によりカンチレバーを励振させる測定においても、この発明は応用可能であり、カンチレバーの駆動方式によって、本発明は限定を受けるものではない。
【０１９６】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ＡＭディテクションによるＳＰＭ測定の高速化を実現する信号処理回路により、従来に無い高速描画が可能なＳＰＭ装置を提供することができる。
【０１９７】
また本発明によれば、カンチレバーの個体差により機械的共振周波数がばらついている高速走査用カンチレバーを交換しながら使用する場合に、回路側の調整を少なくした信号処理回路を備えたＳＰＭ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明に適用されるＡＭディテクションを使ったＡＣモード測定法の走査型プローブ顕微鏡の基本的な構成について説明するために示すブロック図である。
【図２】図２の（ａ）は、図１中、参照符号１１１で示される従来の信号強度検出部としてのｒｍｓ−ｄｃ回路の詳細な構成について説明するために示すブロック図であり、図２の（ｂ）は、図２の（ａ）の各部の信号波形を示した図である。
【図３】図３は、本発明による第１の実施の形態において、高速化のために工夫がなされた図１中の信号強度検出部１１０の詳細な構成について説明するために示すブロック図である。
【図４】図４の（ａ）は、カンチレバー４０３が振動したときの試料４０１との位置関係を示す図であり、図４の（ｂ）は、図３の信号強度検出部１１０の動作を説明するために各部における信号波形を示した図である。
【図５】図５は、図３の信号強度検出部１１０をＡＦＭユニットに組み合わせてＳＰＭ装置を構成する場合のＡＦＭユニットの構成を示す図である。
【図６】図６は、本発明による第２の実施の形態において、高速化のために工夫がなされた図１中の信号強度検出部１１０の詳細な構成について説明するために示すブロック図である。
【図７】図７は、図６の信号強度検出部１１０の動作を説明するために各部における信号波形を示した図である。
【図８】図８は、本発明による第３の実施の形態において、高速化のために工夫がなされた図１中の制御部１１２の詳細な構成について説明するために示すブロック図である。
【図９】図９は、図８の制御部１１２の動作を説明するために各部における信号波形を示した図である。
【符号の説明】
１…試料、
１０２…探針、
１０３…カンチレバー、
１０４…励振部材、
１０５…励振電圧発生器、
１０６…変位検出部（手段）、
ＬＤ…半導体レーザ、
ＰＤ…二分割光ディテクタ、
１０７…光てこ式変位センサー、
１０８…光学系調整部、
１０９…プリアンプ、
１１０…信号強度検出部、
１１２…制御部、
１１３…比較器、
１１４…参照信号発生部、
１１５…フィードバック制御部、
１１６…走査部、
１１７…駆動回路、
１１８…アクチュエータ、
１１９…画像表示部、
１２０…コンピュータ、
１２１…モニター、
３００…サンプルホールド回路、
３０１…第１のサンプルホールド回路、
３０２…第２のサンプルホールド回路、
３０３…タイミング回路、
３０４…位相シフター、
３０５…ゼロクロス比較回路、
３０６…第１の単安定マルチバイブレータ、
３０７…インバータ回路、
３０８…第２の単安定マルチバイブレータ、
３０９…オペアンプ、
３１０…ローパスフィルタ、
５０１…筐体、
５１８…対物レンズ、
５０２…インバー材の板部材、
５０４…スキャナ保持台、
５０３…マイクロメータ、
５０５…Ｚ方向の圧電体、
５０６…Ｚ方向のカウンター圧電体、
５０７…Ｘ方向の圧電体、
５０８…Ｙ方向の圧電体、
５０９…カンチレバー、
５１０…マイクログラスプレート、
５１１…水、
５１２…励振部材、
５１８…顕微鏡用対物レンズ、
５１３…半導体レーザ、
５１４…コリメータレンズ、
５１５…偏光ビームスプリッタ、
５１６…ハーフミラー、
５１７…四分の一波長板、
５２０…フォトディテクタ、
５１９…スポット形状調整用のレンズ、
５２０…傾き角微調整用のネジ、
５１２…光源、
５２２…レンズ、
５２３…ハーフミラー、
５１８…対物レンズ、
５２４…接眼レンズ、
６００…ピークホールド回路、
６０１、６０６…オペアンプ、
ダイオード…６０２、６０７、
６０３、６０８…コンデンサ、
６０４、６０９…アナログスイッチ、
６０５、６１０…サンプルホールド回路、
６１１…比較器、
６１２…ローパスフィルタ、
６１３…タイミング信号発生回路、
６１４…ゼロクロス比較回路、
６１８…相シフター、
６１５…単安定マルチバイブレータ、
６１６…インバータ回路、
６１７…単安定マルチバイブレータ、
６１８…位相シフター、
６１９…ゼロクロス比較器、
６２３…単安定マルチバイブレータ、
６２４…インバータ回路、
６２０…インバータ回路、
６２１…単安定マルチバイブレータ、
６２２…インバータ回路、
８０１…比較器、
８０２…参照信号回路、
８０３…加算器、
８０４…第１のサンプルホールド回路、
８０６…第２のサンプルホールド回路、
８０５…タイミング回路、
８０７…遅延回路、
８０８…増幅器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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