(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第１の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第１の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、前記第１の誘電体薄膜に対し化学構造式が同じで粘度が異なり、かつ厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第２の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第２の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、２層以上の前記第１の組合せ層と２層以上の前記第２の組合せ層を真空蒸着により交互に積層して、複数のコンデンサ要素を有する積層体を形成する工程と、前記積層体を電極引き出し端面部分で切断する工程と、前記電極引き出し端面を酸素プラズマ又はオゾンを含むガスに接触させて前記第１の誘電体薄膜の第１の電極引き出し端面部分および前記第２の誘電体薄膜の第２の電極引き出し端面部分にエッチングにより凸凹面を形成する工程と、前記凸凹面が形成された前記第１の電極引き出し端面部分および前記第２の電極引き出し端面部分に端面電極を形成する工程と、を有するフィルムコンデンサの製造方法。
【請求項２】
真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、第１の有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開いている間は、第２の有機材料蒸発要素に対する第２の開閉板を閉め、且つ、第２の開閉板を開いている間は、第１の開閉板を閉め、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみの連続的もしくは断続的な開動作とすることを特徴とするフィルムコンデンサ製造装置。
【請求項３】
回転体の回転動作中は、有機材料蒸発要素に対する開閉板を閉状態にすることを特徴とする請求項２に記載のフィルムコンデンサ製造装置。
【請求項４】
真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した、異なる有機材料を有する２個以上の有機材料蒸発要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数の金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数のコンデンサマージン形成要素を有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体の回転方向に対し前記有機材料蒸発要素と前記コンデンサマージン形成要素と前記金属薄膜形成要素を１個ずつ順番に１つの群として配置し、前記回転体が前記群により形成される角度範囲を２回以上往復した後、次の群に往復運動範囲を回転移動することを繰り返し、前記有機材料蒸発要素に対する各前記開閉板は同時に開くことを特徴とするフィルムコンデンサ製造装置。
【請求項５】
真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した有機材料蒸発要素とを有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記有機材料蒸発要素は、有機材料を薄く伸展する蒸発板と、前記蒸発板表面に前記有機材料を供給する手段と、前記蒸発板を輻射加熱する有機材料加熱手段と、熱輻射量制御電源と、前記有機材料の蒸気を囲む容器と、前記容器を排気する手段と、前記容器内圧力を制御する排気調整弁とを有し、前記回転体が２回転以上回転する毎に、前記有機材料加熱手段の前記蒸発板への熱輻射量と前記容器内圧力を変化させることを繰り返し、前記有機材料の分子量を２回転以上毎に交互に変化させることを特徴とするフィルムコンデンサ製造装置。
【請求項６】
真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転位置を割り出す回転位置計と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し、前記回転位置計と連動した開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体を連続して回転させながら、有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開き第２の開閉板を閉めた状態と、第１の開閉板を開き第２の開閉板を開いた状態と、第１の開閉板を閉め第２の開閉板を開く状態とを、前記回転位置計と連動して交互に繰り返し、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみが連続的に開くことを特徴とするフィルムコンデンサ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はフィルムコンデンサの製造方法とその製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報通信分野の技術進歩に伴い、制御機器を構成する電子部品に対しての小型化、軽量化、高性能化が強く要望されている。フィルムコンデンサについても例外ではなく、誘電体フィルムのよりいっそうの薄膜化への取り組みが行われている。例えば、誘電体としてフィルムを前もって製造する方法に対し、１μm 以下の厚みの誘電体を真空蒸着法によって薄膜形成しながら同時に金属薄膜電極形成を行ってコンデンサを形成する方法が今後必要となる。
【０００３】
以下、図面を参照しながら、従来の積層型フィルムコンデンサの製造方法の一例について説明する。従来、巻回積層型のフィルムコンデンサの母材を切断したときに、切断端面が揃っているフィルムコンデンサに対して、電極と端面電極との電気的な接触と端面電極との十分な付着強度を得るための方法が特公平０８−０１７１４３号公報に開示されている。図９及び図１０に、その従来の巻回型フィルムコンデンサの製造方法の一例を示す。図において、１は厚み約２μｍのポリフエニレンサルフアイド（ＰＰＳ）フィルムを用いた片面金属化フィルム、１ａは電極となるアルミニウム蒸着膜、３はマージン部、４はマージン幅、５は親コンデンサ、６は端面電極である。まず、図１０に示すように、複数のコンデンサ要素が形成されるように複数のマージン部３が設けられている広幅の片面金属化フィルム１を、互いに隣接する１組のマージン部３の各間が２枚のフィルムで１／２ずつずらせて重ねるように巻向する。得られた巻回物を１組のマージン幅４の中央部分で切断して、図１０（Ａ）に示す親コンデンサ５を形成する。次に親コンデンサ５の電極引出しをすべき端面を酸素ガスプラズマまたはオゾンガスに接触させて、図１０（Ｂ）に示すようにフィルム１の電極引出し端面側部分をマージン幅４より小さい幅で化学的に電極１ａに対して選択除去して、片面金属化フィルム１の電極１ａを前記端面より露出させるとともに、電極引出し端面部の各誘電体が凸凹をなすよう処理する。その後、前記端面に黄銅を主とする金属を溶射し、図１０（Ｃ）に示すように、端面電極６を形成した後、マージンの形成方向と直角な方向へ親コンデンサ５を切断することにより、単位コンデンサ素子を得る。以上の方法により、巻き回時に微少な隙間がある金属化フィルムの非金属側の方が、それが無い金属化部側の部分よりも優先的に除去されるため、各フィルムの端面がテーパ状に加工される傾向にあり、しかも０．２mmを超えない短い一定の範囲の微小凸凹量が規則性を持たずに端面全体に形成される。この結果、電極１ａと端面電極６との良好な電気的接触と、端面電極６の十分な付着強度を得ることができ、しかもフィルムコンデンサを小型化することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図９や図１０に示した従来の方式では、誘電体フィルムの厚みが１．０μｍ以下の極薄膜化になると、電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に得られず、しかも真空蒸着による誘電体薄膜形成と金属薄膜形成による積層方法においては、従来の金属化フィルムの非金属側と金属化側界面に於ける微小隙間の差が無いため、酸素プラズマに接触させたときにフィルム端面のテーパ状加工による凸凹も有効に発生しない。
【０００５】
この結果、電極端面部における良好な電気的接合と、端面電極に対する付着強度が得にくいという問題が生じる。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、超薄膜の有機薄膜誘電体と金属薄膜電極とを多重に交互に重ね合わせた積層型もしくは巻回型のフィルムコンデンサの母材を切断することにより形成される端面において、電極と端面電極との良好な電気的接触と、端面電極の十分な付着強度を得ることのできる積層型フィルムコンデンサと  、その電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に得られる製造方法と、その誘電体薄膜と金属電極薄膜を積層する製造装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のフィルムコンデンサの製造技術においては、複数の電極と、前記電極間に配置されている、少なくとも１層以上の有機材料からなる誘電体と、前記電極引き出し端面にそれぞれ付与され、前記電極と接続される端面電極とを備え、前記誘電体の端面が、２層以上の複数層を単位として、化学的エッチングの程度を変化せしめて、単位毎に交互に凸凹面をなすように、前記電極の位置から浅くまたは深く後退してなる構成体としたものである。２層以上の複数層を単位とすることにより、十分な接触と付着強度の向上をもたらすことが可能となる。
【０００７】
そして、本第発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極と端面電極との良好な電気的接触と、端面電極の十分な付着強度を有する高品質な積層型フィルムコンデンサが得られる特徴がある。
【０００８】
請求項１の発明のフィルムコンデンサの製造方法においては、厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第１の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第１の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、前記第１の誘電体薄膜に対し化学構造式が同じで粘度が異なり（分子量が異なる）、かつ厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第２の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第２の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、２層以上の前記第１の組合せ層と２層以上の前記第２の組合せ層を真空蒸着により交互に積層して、複数のコンデンサ要素を有する積層体を形成する工程と、前記積層体を電極引き出し端面部分で切断する工程と、前記電極引き出し端面を酸素プラズマ又はオゾンを含むガスに接触させて前記第１の誘電体薄膜の第１の電極引き出し端面部分および前記第２の誘電体薄膜の第２の電極引き出し端面部分にエッチングにより凸凹面を形成する工程と、前記凸凹面が形成された前記第１の電極引き出し端面部分および前記第２の電極引き出し端面部分に端面電極を形成する工程と、を有するものである。
【０００９】
この請求項１の発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの製造方法が得られる。請求項２及び３の発明のフィルムコンデンサの製造装置においては、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、第１の有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開いている間は、第２の有機材料蒸発要素に対する第２の閉板を閉め、且つ第２の開閉板を開いている間は第１の開閉板を閉め、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみの連続的もしくは断続的な開動作とすることを特徴とするものである。
【００１０】
この請求項２及び３の発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの積層製造装置が得られる。請求項４の発明のフィルムコンデンサの製造装置においては、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した、異なる有機材料を有する２個以上の有機材料蒸発要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数の金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数のコンデンサマージン形成要素を有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体の回転方向に対し前記有機材料蒸発要素と前記コンデンサマージン形成要素と前記金属薄膜形成要素を１個ずつ順番に１つの群として配置し、前記回転体が前記群により形成される角度範囲を２回以上往復した後、次の群に往復運動範囲を回転移動することを繰り返し、前記有機材料蒸発要素に対する各々の前記開閉板は同時に開くことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４の発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保でき、且つ生産性に優れたフィルムコンデンサの積層製造装置が得られる。請求項５の発明のフィルムコンデンサの製造装置においては、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した有機材料蒸発要素とを有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記有機材料蒸発要素は、有機材料を薄く伸展する蒸発板と、前記蒸発板表面に前記有機材料を供給する手段と、前記蒸発板を輻射加熱する有機材料加熱手段と、熱輻射量制御電源と、前記有機材料の蒸気を囲む容器と、前記容器を排気する手段と、前記容器内圧力を制御する排気調整弁とを有し、前記回転体が２回転以上回転する毎に、前記有機材料加熱手段の前記蒸発板への熱輻射量と前記容器内圧力を変化させることを繰り返し、前記有機材料の分子量を２回転以上毎に交互に変化させることを特徴とするものである。
【００１２】
この請求項５の発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサを単一種の有機材料蒸発源から得ることのできる積層製造装置が得られる。
【００１３】
請求項６の発明のフィルムコンデンサの製造装置においては、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転位置を割り出す回転位置計と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し、前記回転位置計と連動した開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体を連続して回転させながら、有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開き第２の開閉板を閉めた状態と、第１の開閉板を開き第２の開閉板を開いた状態と、第１の開閉板を閉め第２の開閉板を開く状態とを、前記回転位置計と連動して交互に繰り返し、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみが連続的に開くことを特徴とするものである。
【００１４】
この請求項６の発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサを、回転体を連続的に回転させながら積層できる生産性の高い積層製造装置が得られる。
【００１５】
本発明のフィルムコンデンサの製造方法においては、複数のコンデンサ要素を有する広幅の片面金属化フィルムを巻き取りによって積層体とする工程と、前記工程で得られた積層物を電極引き出し端面部分で切断する工程と、前記電極引き出し端面を酸素プラズマもしくオゾンを含むガスに接触させて、前記誘電体薄膜の前記電極引き出し端面部分を前記電極から後退させる工程と、前記電極引き出し端面部分に端面電極を形成する工程とを含むフィルムコンデンサ製造方法において、２層以上連続した第１の片面金属化フィルムの巻き取りと、前記第１の片面金属化フィルムとエッチング速度が異なり且つ２層以上連続した第２の片面金属化フィルムの巻き取りを同時に行って積層体を形成することからなるものである。
【００１６】
これらの発明により、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の片面金属化フィルムを積層して形成するフィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの製造方法が得られる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図１から図８を用いて説明する。
（実施の形態１）
図１に、本発明の第１実施形態におけるフィルムコンデンサの構成を示す。図１において、１ａは電極となるアルミニウム蒸着膜、３はコンデンサ要素を形成するためのマージン部、４はマージン幅、５は親コンデンサ、６は端面電極、８ａ及び８ｂは膜厚約０．４μｍの有機材料からなるそれぞれ第１及び第２の誘電体である。誘電体８ａと８ｂの異なる点は、電極引き出しをする端面において、誘電体８ａの端面が誘電体８ｂの端面に対しマージン部３に近くまで入り込んでいるところにある。誘電体８ａと８ｂはそれぞれ３層ずつ連続して形成される。この結果、一電極端面において、３層毎に交互に誘電体層の凸凹面が寸法９を持って形成され、電極１ａの引き出し形状が３層毎に変化する。
【００１８】
このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａとの間には良好な電気的接合が得られ、端面電極６は電極１ａと誘電体８ａ、８ｂに対して高い付着強度を有する。
（実施の形態２）
図１と図２とを用いて、本発明第２実施形態のフィルムコンデンサの製造方法を説明する。
【００１９】
図１において、８ａはジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
【００２０】
【化１】
0004814408.tif 000002
【００２１】
を成分とする第１の誘電体薄膜、また
８ｂはフエノキシエチルアクリレート
【００２２】
【化２】
0004814408.tif 000003
【００２３】
を成分とする第２の誘電体薄膜である。
図２は酸素プラズマ処理装置を示す。図２において、１０は減圧保持可能な真空容器、１１は石英窓、１２は高周波を印加する電極、１３は高周波電源、１４はアルミニウムからなるマスクである。
【００２４】
本実施例において、まず広幅の第１の誘電体薄膜８ａを真空蒸着により一層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を３回連続して繰り返し、次に、広幅の第２の誘電体薄膜８ｂを真空蒸着により一層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を３回連続して繰り返す。マージン部は誘電体薄膜８ａ、８ｂの種別に拘わらず１層毎に互いに隣接する１組のマージン幅４の各間が上下の誘電体薄膜で１／２ずつずれるように積層する。以上の積層工程を約１０００回繰り返し、３０００層からなる誘電体薄膜と電極薄膜の組み合わせ層を形成する。この広幅の積層体を１組のマージン幅４の中央部分で切断して図１に示す親コンデンサ素子を形成する。
【００２５】
次に図２に示す酸素プラズマ処理装置により、親コンデンサ素子５の電極引き出しをすべき端面を酸素プラズマに接触させて、誘電体薄膜８ａ、８ｂの電極引き出し端面倒部分をマージン幅４より小さい幅で化学的に選択除去して、電極１ａを前記端面より露出させる。酸素プラズマの条件は酸素ガス流量６０Ｓcm3／分（Ｓcm3／分とは標準状態における毎分の流量）、圧力１．０Torr、高周波電力４００W である。
【００２６】
酸素プラズマによる有機材料の除去は、有機材料を構成するＣ−Ｃ、Ｃ−Ｈ、Ｃ−Ｓなどの結合を、プラズマによって発生した酸素ラジカルが分解し、有機物がＣＯ2、Ｈ2Ｏ、ＳＯ2などのガスになり、真空排気されることにより行われる。この条件下で、第１の誘電体薄膜８ａであるジメチロールトリシクロデカンジアクリレートのポリマー化した固体のエッチング速度は約１０００Å／分、第２の誘電体薄膜８ｂであるフエノキシエチルアクリレートは約３００Å／分であり、この２つの化学構造が異なる誘電体薄膜８ａ、８ｂはエッチング速度が異なる。
【００２７】
この結果、電極端面において、３層毎に交互に誘電体層の凸凹面が寸法９を持って形成され電極１ａの引き出し形状が３層毎に変化する。このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａの間には良好な電気的接合が得られ端面電極６は電極１ａと誘電捧８ａ、８ｂに対して強い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。
【００２８】
なお、誘電体薄膜の真空蒸着源の加熱温度は樹脂モノマの加熱分解温度以下とする。例えばジメチロールトリシクロデカンジアクリレートにおいては１７０℃以下である。また誘電体薄膜を形成する表面において、熱的不均一を原因とする粒状付着や紫外線の不均一照射による部分的固化を避けるために薄膜形成表面は冷却水等を用いて一定に温度を保ち、また光の進入を防止する。
【００２９】
（実施の形態３）
図１と図２を用いて、本発明第３実施形態のフィルムコンデンサの製造方法を説明する。
図１において、８ａは粘度約１３５ｍＰａ・ｓｅｃ（２５℃）のジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第１の誘電体薄膜、８ｂは粘度約１７０ｍＰａ・ｓｅｃ（２５℃）のジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第２の誘電体薄膜である。
【００３０】
上記誘電体薄膜は化学式が同一の構造異性体であって、メチロール基の結合位置の相違により、粘度が異なり、またこの結果ポリマー化したときの硬化度も異なるものと推定される。
【００３１】
本実施例において、まず広幅の第１の誘電体薄膜８ａを真空蒸着により一層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を３回連続して繰り返し、次に、広幅の第２の誘電体薄膜８ｂを真空蒸着により一層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を３回連続して繰り返す。マージン部は誘電体薄膜８ａ、８ｂの種類に拘わらず１層毎に互いに隣接する１組のマージン幅４の各間が上下の誘電体薄膜で１／２ずつずれるように積層する。
【００３２】
以上の積層工程を約１０００回繰り返し、３０００層からなる誘電体薄膜と電極薄膜の組み合わせ層を形成する。この広幅の積層体を１組のマージン幅４の中央部分で切断して図１に示す親コンデンサ素子を形成する。次に図２に示す酸素プラズマ処理装置により、親コンデンサ素子５の電極引き出しをすべき端面を酸素プラズマに接触させて、誘電体薄膜８ａ、８ｂの電極引き出し端面側部分をマージン幅４より小さい幅で化学的に選択除去して、電極１ａを前記端面より露出させる。この際の酸素プラズマの条件は酸素ガス流量６０s cc／分、圧力１．０Torr、高周波電力４００W である。
【００３３】
この条件下で、第１の誘電体薄膜８ａであるジメチロールトリシクロデカンジアクリレートのポリマー化した固体のエッチング速度は約７００Å／分、第２の誘電体薄膜８ｂであるジメチロールトリシクロデカンジアクリレートは約１０００Å／分であり、この２つの化学構造が同じ誘電体薄膜８ａ、８ｂは粘度が異なり、エッチング速度が異なる。この結果、電極端面において、３層毎に交互に誘電体層の凸凹面が寸法９を持って形成され、電極１ａの引き出し形状が３層毎に変化する。このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａの間には良好な電気的接合が得られ、端面電極６は電極１ａと誘電体８ａ、８ｂに対して強い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。
【００３４】
（実施の形態４）
図３を用いて、本発明第４実施形態のフィルムコンデンサの製造装置を説明する。
図３において、３１は減圧保持可能な積層用真空容器、３２は紙面垂直方向に被成膜平面を有する６角形の回転体、３３は広幅のコンデンサ素子板、３４ａ及び３４ｂは減圧保持可能な第１及び第２の有機材料蒸着容器、３５ａ及び３５ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器に収納されたそれぞれ第１及び第２の有機材料蒸着ルツボ、３７ａ及び３７ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器と積層用真空容器３１を遮断するそれぞれ第１及び第２の開閉板、３６ａはジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第１の有機材料液、３６ｂはフエノキシエチルアクリレートを成分とする第２の有機材料液である。第１の有機材料液３６ａは図示されない真空排気系に接続された第１の有機材料蒸着容器３４ａに収納された第１の有機材料蒸着ルツボ３５ａの中で加熱され、蒸気化する。第２の有機材料液３６ｂは図示されない真空排気系に接続された第２の有機材料蒸着容器３４ｂに収納された第２の有機材料蒸着ルツボ３５ｂの中で加熱され、蒸気化する。３８はスパッタ用アルミニウムターゲット、３９はスパッタ用直流電源、４０はオイルマージン吹き出し部、４１はマージン形成用オイルである。
【００３５】
本実施例において、回転体３２は一方向への回転と停止を繰り返し、有機材料蒸発容器３４ａまたは３４ｂ、次にオイルマージン吹き出し部４０、次にスパッタ用ターゲット３８と、順番に各被成膜面を対向静止させる。対向静止した状態で第１もしくは第２の開閉板を開くことによって第１もしくは第２の有機材料蒸気が回転体３２の被成膜面に接触し冷却されて、第１もしくは第２のの有機材料誘電体薄膜が形成できる。またこの時同時にスパッタ用電源３９をオンにして別の被成膜面にアルミニウムからなる電極薄膜が形成できる。さらに同時にオイルマージン吹き出し部４０と積層真空容器３１を遮断する遮断板４３を開いて別の成膜面にオイルによるマージン部が形成できる。以上の膜形成動作を、回転体３２を６００ずつ回転停止を繰り返しながら行うことにより多層積層ができる。以上の動作を可能とする本装置において、特に、第１の開閉板を開いて第１の有機材料を蒸著している間は第２の開閉板は閉めて第２の有機材料の蒸着を停止する。また第２の開閉板を開いて第２の有機材料を蒸著している間は第１の開閉板は閉めて第１の有機材料の蒸着を停止する。この動作を回転体３２の回転回数に対し３回毎に交互に行って、同種の有機材料薄膜と金属電極薄膜の組み合わせ層を３層連続して形成することを繰り返すことができる。この結果、３層毎にエッチング速度の異なる広幅の積層コンデンサ素子板３３を形成させることができる。
【００３６】
（実施の形態５）
図４を用いて、本発明第５実施形態のフィルムコンデンサの製造装置を説明する。
図４において、３１は減圧保持可能な積層用真空容器、３２は紙面垂直方向に被成膜平面を有する６角形の回転体、３３は広幅のコンデンサ素子板、３４ａ及び３４ｂは減圧保持可能な第１及び第２の有機材料蒸着容器であり積層真空容器３１に接続されている。３５ａまたは３５ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器に収納された第１または第２の有機材料蒸着ルツボ、３７ａ及び３７ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器と積層用真空容器３１を遮断する第１及び第２の開閉板、３６ａはジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第１の有機材料液、３６ｂはフエノキシエチルアクリレートを成分とする第２の有機材料液である。第１の有機材料液３６ａは図示されない真空排気系に接続された第１の有機材料蒸着容器３４ａに収納された第１の有機材料蒸着ルツボ３５ａの中で加熱され蒸気化する。第２の有機材料液３６ｂは図示されない真空排気系に接続された第２の有機材料蒸着容器３４ｂに収納された第２の有機材料蒸着ルツボ３５ｂの中で加熱され、蒸気化する。３８ａ及び３８ｂは積層真空容器３３にゲートバルブ４２ａまたは４２ｂを介して接続された真空容器内に保持される第１及び第２のスバッタ用アルミニウムターゲット、３９ａおよび３９ｂは第１および第２のスバッタ用直流電源、４０ａ、４０ｂは積層真空容器３３にゲートバルブ４３ａ、４３ｂを介して接続された真空容器内に保持される第１、第２のオイルマージン吹き出し部、４１はマージン形成用オイルである。
【００３７】
本実施例において、積層真空容器３１の周囲に対し、回転体３２の周方向に順番に第１の有機材料蒸着容器３４ａ、第１のスパッタ用ターゲット３８ａ、第１のオイルマージン吹き出し部４０ａ、第２の有機材料蒸着容器３４ｂ、第２のスパッタ用ターゲット３８ｂ、第２のオイルマージン吹き出し部４０ｂを紙面向かって右回りに配置する。各６個のユニットの配置角度の割り出し角度は６０度とする。第１の回転体３２は紙面向かって左回りに６０度づつのの回転と停止を繰り返し、有機材料蒸発容器３４ａ、もしくは３４ｂ、次にオイルマージン吹き出し部４０ａ、もしくは４０ｂ、次にスパッタ用ターゲット３８ａ、もしくは３８ｂと、順番に各被成膜面を対向静止させる。対向静止した状態で第１及び第２の開閉板を開くことによって第１及び第２の有機材料蒸気が回転体３２の対称を成す２つの被成膜面に接触し冷却されて、第１及び第２の有機材料誘電体薄膜が対称を成す２つの被成膜面に形成できる。またこの時同時にスパッタ用電源３９ａ及び３９ｂをオンにして別の対称を成す２つの被成膜面にアルミニウムからなる電極薄膜が形成できる。
【００３８】
さらに同時にオイルマージン吹き出し部４０ａ、及び４０ｂと積層真空容器３１を遮断する遮断板４３ａ、及び４３ｂを開いて別の対称を成す２つの成膜面にオイルによるマージン部が形成できる。
以上の膜形成動作を行いながら、回転体３２を６０度ずつ３回の１方向への回転停止成膜を行う。
【００３９】
次に回転体３２を紙面向かって右回りに１８０度もどす。以上の動作を３回繰り返すことにより、図４に示す範囲Ａのコンデンサ素子板３３（Ａ−１、Ａ−２、Ａ−３）には、第１の有機材料薄膜とアルミニウム電極薄膜を組み合わせ層とする層が３層連続で形成できる。また、範囲Ｂのコンデンサ素子板３３（Ｂ−１、Ｂ−２、Ｂ−３）には、第２の有機材料薄膜とアルミニウム電極薄膜を組み合わせ層とする層が３層連続で形成できる。以上の動作の後、回転体３２を紙面向かって左回りに１８０度回転し、被成膜面の対象に関するＡ範囲とＢ範囲を逆にして、前記６０度ずつの割り出しによる１方向回転停止と１８０度の戻し回転を行う。以上の動作を繰り返すことにより、Ａ範囲とＢ範囲において全ての被成膜面に対する同時成膜処理を行うことができ、３層毎にエッチング速度の異なる有機材料誘電体薄膜を生産性良く製造できる。
【００４０】
（実施の形態６）
図５を用いて、本発明第６実施形態のフィルムコンデンサの製造装置を説明する。
【００４１】
図５において、３１は減圧保持可能な積層用真空容器、３２は紙面垂直方向に被成膜平面を有する円筒状の回転体、４０はオイルマージン吹き出し部、５０はアルミニウム蒸着源、３６はジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする有機材料液、５１は積層真空容器３１の中に配置され有機材料液３６を冷却しながら収納する樹脂容器、５２は有機材料液３６を薄く伸展するためのＳＵＳ製ベルト、５３はベルト５２を回転するローラー１、５４は有機材料液３６を樹脂容器５１より汲み上げ、ベルト５２に転写する転写ローラー、５５はベルト５２の樹脂塗布面と反対の表面を加熱するハロゲンランプヒータ、５６はランプヒータの加熱出力を変更するコントローラ、５７は有機材料蒸気を封じ込める遮断壁、５８は有機材料蒸発圧力を制御するための、図示しない排気系に接続する制御弁である。５９は回転体３２の表面に対する樹脂蒸気開口部である。
【００４２】
本実施例において、回転体は紙面向かって右回りに所定の速度で回転する。１回転毎に、オイルマージン吹き出し部４０よりオイルマージンを回転体３２の表面に形成し、次にアルミニウム蒸着源５０より、広幅の厚み約４００Åの電極薄膜を１層形成し、次に樹脂蒸気開口部５９より樹脂蒸気が回転体３２の表面に接触して有機材料薄膜を１層形成する。以上の状態を保持したまま回転体３２を連続して回転させると有機材料薄膜と金属電極薄膜からなるコンデンサーとしてのマージン部を有する多層積層体、すなわち広幅のコンデンサー素子板を製造できる。本実施例の特徴は、回転体が３回転する毎に、加熱コントローラ５６の設定を変更し、ランプヒータ５５からベルト５２に対する熱輻射量を変更することにある。この結果、ベルト５２表面から蒸発する有機材料蒸気の蒸発成分は、３回転毎に分子構造（分子量）の異なるものとなる。例えば、ジメテロールトリシクロデカンジアクリレートは約１８０℃でモノマー成分の中の結合が切れ始める。そこで、ＳＵＳベルトは熱伝導性が保持されるように比較的薄い厚みのものを使用し、ランプヒーターからの熱輻射量を瞬時に変更して有機材料液の蒸発温度を１５０℃と１８０℃とに３回転毎に交互に変更することを繰り返す。以上の動作をすることにより、３層毎にエッチング速度の異なる有機材料誘電体薄膜を１つの有機材料蒸発要素から形成できるため、シンプルな製造装置を得ることができる。
【００４３】
（実施の形態７）
図６と図２を用いて、本発明第７実施形態のフィルムコンデンサの製造方法を説明する。
【００４４】
図６において、８ａはジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第１の誘電体薄膜、８ｂはフエノキシエチルアクリレート
【００４５】
【化３】
0004814408.tif 000004
【００４６】
【化４】
0004814408.tif 000005
【００４７】
を成分とする第２の誘電体薄膜、８ｃはジメチロールトリシクロデカンジアクリレートとフエノキシエチルアクリレートの積層体を等量ずつ配合した混合物からなる第３の誘電体薄膜である。
【００４８】
図２は酸素プラズマ処理装置を示す。図２において、１０は減圧保持可能な真空容器、１１は石英窓、１２は高周波を印加する電極、１３は高周波電源、１４はアルミニウムからなるマスクである。本実施例において、まず広幅の第１の誘電体薄膜８ａを真空蒸着により１層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を２回連続して繰り返し、次に、広幅の第１の誘電体薄膜８ａを真空蒸着により１層形成した表面に、さらに広幅の第２の誘電体薄膜８ｂを真空蒸着により１層形成し、その後、広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を１層形成する。
【００４９】
次に、広幅の第２の誘電体薄膜８ｂを真空蒸着により１層形成した表面に広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を２回連続して繰り返す。次に、広幅の第１の誘電体薄膜８ａを真空蒸着により一層形成した表面に、さらに広幅の第２の誘電体薄膜８ｂを真空蒸着により一層形成し、その後、広幅のアルミニウム電極１ａをマージン部３を形成しながら真空蒸着により１層形成した組み合わせ層を１層形成する。マージン部は誘電体薄膜８ａ、８ｂ、８ｃの種類に拘わらず１層毎に互いに隣接する１組のマージン幅４の各間が上下の誘電体薄膜で１／２ずつずれるように積層する。以上の積層工程を約１０００回繰り返し、３０００層からなる誘電体薄膜と電極薄膜の組み合わせ層を形成する。この広幅の積層体を１組のマージン幅４の中央部分で切断して図１に示す親コンデンサ素子を形成する。次に図２に示す酸素プラズマ処理装置により、親コンデンサ素子５の電極引き出しをすべき端面を酸素プラズマに接触させて、誘電体薄膜８ａ、８ｂまたは８ｃの電極引き出し端面側部分をマージン幅４より小さい幅で化学的に選択除去して、電極１ａを前記端面より露出させる。酸素プラズマの条件は酸素ガス流量６０Ｓcm3／分、圧力１．０Torr、高周波電力４００Ｗである。
【００５０】
この条件下で、第１の誘電体薄膜８ａであるジメチロールトリシクロデカンジアクリレートのポリマー化した固体のエッチング速度は約１０００Å／分、第２の誘電体薄膜８ｂであるフエノキシエチルアクリレートは約３００Å／分であり、この２つの化学構造が異なる誘電体薄膜８ａ、８ｂはエッチング速度が異なる。この結果、電極端面において、３層毎に交互に誘電体層の凸凹面が寸法９を持って形成さ、電極１ａの引き出し形状が３層毎に変化する。このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａの間には良好な電気的接合が得られ、端面電極６は電極１ａと誘電体８ａ、８ｂに対して高い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。誘電体薄膜８ｃの場合も、上記８ｂと同様に、高い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。
【００５１】
（実施の形態８）
図７を用いて、本発明第８実施形態のフィルムコンデンサの製造装置を説明する。
【００５２】
図７において、３１は減圧保持可能な積層用真空容器、３２は紙面垂直方向に被成膜平面を有する円筒状の回転体、４０はオイルマージン吹き出し部、５０はアルミニウム蒸着源、３４ａ及び３４ｂは第１及び第２の有機材料蒸着容器、３５ａ及び３５ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器に収納されたそれぞれ第１及び第２の有機材料蒸着ルツボ、３７ａと３７ｂは前記第１及び第２の有機材料蒸着容器と積層用兵空容器３１を遮断するそれぞれ第１と第２の開閉板、３６ａはジメチロールトリシクロデカンジアクリレートを成分とする第１の有機材料液、３６ｂはフエノキシエチルアクリレートを成分とする第２の有機材料液である。
【００５３】
６０は回転体３２の回転位置を計測するエンコーダ、６１は回転体３２の回転回数と回転角度によって開閉板１、２の開閉を制御する開閉コントローラである。第１の有機材料液３６ａは図示されない真空排気系に接続された第１の有機材料蒸着容器３４ａに収納された第１の有機材料蒸着ルツボ３５ａの中で加熱され、蒸気化する。第２の有機材料液３６ｂは図示されない真空排気系に接続された第２の有機料蒸着容器３４ｂに収納された第２の有機材料蒸着ルツボ３５ｂの中で加熱され、蒸気化する。
【００５４】
本実施例において、回転体は紙面向かって右廻りに所定の速度で回転する。１回転毎に、オイルマージン吹き出し部４０よりオイルマージンを回転体３２の表面に形成し、次にアルミニウム蒸着源５０より、広幅の厚み約４００Åの電極薄膜を１層形成する。ここで、第１もしくは第２の開閉板を開くことによって第１もしくは第２の有機材料蒸気が回転体３２の被成膜面に接触し冷却されて、第１もしくは第２の有機材料誘電体薄膜が形成できる。
【００５５】
以上の動作を可能とする本装置における特徴は、まず、回転体３２が２回転する間、第１の開閉板３７ａを開いて第１の有機材料を蒸着し、この間第２の開閉板３７ｂは閉めて第２の有機材料の蒸着を停止する。次の１回転の間に第２の開閉板３７ｂをまず開き、完全に開いた後で第１の開閉板３７ａを閉める。次に、回転体３２が２回転する間、第２の開閉板３７ｂを開いて第１の有機材料を蒸着し、この間第１の開閉板３７ａは閉めて第２の有機材料の蒸着を停止する。次の１回転の間に第１の開閉板３７ａをまず開き、完全に開いた後で第２の開閉板３７ｂを閉める。以上の動作において第１及び第２の開閉板の開閉のタイミングはエンコーダ６０において検出した回転回数と、回転角度を開閉コントローラー６１に送り、常に所定の位置で開閉するようにする。この動作を回転体３２の回転回数に対し３回毎に交互に繰り返す。以上の動作の結果、３層毎にエッチング速度の異なる広幅の積層コンデンサ素子板を形成させることができる。
【００５６】
（実施の形態９）
図８、図２を用いて、本発明第９実施形態のフィルムコンデンサの製造方法を説明する。
【００５７】
１００ａは厚み約０．８μm のポリフェニレンサルフアイド（ＰＰＳ）フィルムを用い片面金属化フィルム、１００ｂは厚み約０．８μm のポリエチレンナフタレート（PEN ）フィルムを用いた片面金属化フィルム、１ａは電極となるアルミニウム蒸着膜、３はマージン部、４はマージン幅である。まず、図８に示すように、複数のコンデンサ要素が形成されるように複数のマージン部３が設けられている広幅の片面金属化フィルム１００ａと１００ｂとを各フィルムが２層連続で交互になるよう、各フィルム２枚ずつ合計４枚を同時に巻回する。フィルムの重ね合わせに関しては、１層毎に互いに隣接する１組のマージン部３の各間が２枚のフィルムで１／２づつずらせて重ねるように巻回する。得られた巻回物を１組のマージン幅４の中央部分で切断して、図１０（Ａ）に示す親コンデンサ５を形成する。次に親コンデンサ５の電極引出しをすべき端面を酸素ガスプラズマもしくはオゾンガスに接触させて、図１０（B ）に示すようにフィルム１の電極引出し端面側部分をマージン幅４より小さい幅で化学的に電極１ａに対して選択除去して、片面金属化フィルム１の電極１ａを前記端面より露出させるとともに、電極引出し端面部の各誘電体が凸凹をなすよう処理する。その後、前記端面に黄銅を主とする金属を溶射し、図１０（Ｃ）に示すように、端面電極６を形成した後、マージンの形成方向と直角な方向へ親コンデンサ５を切断することにより、単位コンデンサ素子を得る。この結果、電極端面において、２層毎に交互に誘電体層の凸凹面が寸法９を持って形成され、電極１ａの引き出し形状が２層毎に変化する。このため電極端面に黄銅を溶射して、端面電極６を形成するときに、端面電極６と電極１ａの間には良好な電気的接合が得られ、端面電極６は電極１ａと誘電体８ａ、８ｂに対して強い付着強度を有するフィルムコンデンサを製造できる。
【００５８】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、次の有利な効果を得ることができる。
本発明のフィルムコンデンサの製造技術によれば、複数の電極と、前記電極間に配置されている、少なくとも１層以上の有機材料からなる誘電体と、前記電極引き出し端面にそれぞれ付与され、前記電極と接続される端面電極とを備え、前記誘電体の端面が、２層以上の複数層を単位として、単位毎に交互に凸凹面をなすように、前記電極から後退してなる構成とすることにより、誘電体の厚みが０．８μm 以下の超薄膜誘電体積層型フィルムコンデンサにおいても、電極と端面電極との良好な電気的接触と、端面電極として十分な付着強度を備えた高品質な積層型フィルムコンデンサが得られる。
【００６０】
請求項１のフィルムコンデンサの製造方法によれば、厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第１の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第１の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、前記第１の誘電体薄膜に対し化学構造式が同じで粘度が異なり、かつ厚みが０．８μｍ以下の広幅の有機材料からなる第２の誘電体薄膜を真空蒸着により一層形成した表面に広幅の金属電極を真空蒸着により一層形成した第２の組合せ層を２層以上連続して形成する工程と、２層以上の前記第１の組合せ層と２層以上の前記第２の組合せ層を真空蒸着により交互に積層して、複数のコンデンサ要素を有する積層体を形成する工程と、前記積層体を電極引き出し端面部分で切断する工程と、前記電極引き出し端面を酸素プラズマ又はオゾンを含むガスに接触させて前記第１の誘電体薄膜の第１の電極引き出し端面部分および前記第２の誘電体薄膜の第２の電極引き出し端面部分にエッチングにより凸凹面を形成する工程と、前記凸凹面が形成された前記第１の電極引き出し端面部分および前記第２の電極引き出し端面部分に端面電極を形成する工程と、を有することにより、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの製造方法が得られる。
【００６１】
請求項２及び３のフィルムコンデンサの製造装置によれば、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、第１の有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開いている間は第２の有機材料蒸発要素に対する第２の開閉板を閉め、また第２の開閉板を開いている間は第１の開閉板を閉め、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみの連続的もしくは断続的な開動作とすることを特徴とすることにより、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、２層以上の間隔でエッチング速度の異なる広幅の積層コンデンサ素子板を形成させることができる結果、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの積層製造装置が得られる。
【００６２】
請求項４のフィルムコンデンサの製造装置によれば、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し開閉板を挿んで対向して配置した、異なる有機材料を有する２個以上の有機材料蒸発要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数の金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した前記有機材料蒸発要素と同個数のコンデンサマージン形成要素を有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体の回転方向に対し前記有機材料蒸発要素と前記コンデンサマージン形成要素と前記金属薄膜形成要素を１個ずつ順番に１つの群として配置し、前記回転体が前記群により形成される角度範囲を２回以上往復した後、次の群に往復運動範囲を回転移動することを繰り返し、前記有機材料蒸発要素に対する各前記開閉板は同時に開くことを特徴とすることにより、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、２層以上の間隔でエッチング速度の異なる広幅の積層コンデンサ素子板を形成させることができる結果、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保でき、且つ生産性に優れたフィルムコンデンサの積層製造装置が得られる。
【００６３】
請求項５のフィルムコンデンサの製造装置によれば、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置した有機材料蒸発要素とを有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記有機材料蒸発要素は、有機材料を薄く伸展する蒸発板と、前記蒸発板表面に前記有機材料を供給する手段と、前記蒸発板を輻射加熱する有機材料加熱手段と、熱輻射量制御電源と、前記有機材料の蒸気を囲む容器と、前記容器を排気する手段と、前記容器内圧力を制御する排気調整弁とを有し、前記回転体が２回転以上回転する毎に、前記有機材料加熱手段の前記蒸発板への熱輻射量と前記容器内圧力を変化させることを繰り返し、前記有機材料の分子量を２回転以上毎に交互に変化させることを特徴とすることにより、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに、誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサを単一の有機材料蒸発源から得ることのできるシンプルな積層製造装置が得られる。
【００６５】
請求項６のフィルムコンデンサの製造装置によれば、真空容器内に収納された回転体と、前記回転体の回転位置を割り出す回転位置計と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置する金属薄膜形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対向して配置するコンデンサマージン形成要素と、前記回転体の回転軸と平行をなす回転体表面に対し、前記回転位置計と連動した開閉板を挿んで対向して配置した異なる有機材料を有する有機材料蒸発要素を２個以上有するフィルムコンデンサ製造装置において、前記回転体を連続して回転させながら、有機材料蒸発要素に対する第１の開閉板を開き第２の開閉板を閉めた状態と、第１の開閉板を開き第２の開閉板を開いた状態と、第１の開閉板を閉め第２の開閉板を開く状態とを、前記回転位置計と連動して交互に繰り返し、前記回転体表面の全面が前記同種の有機材料蒸発要素の対面を２回通過する間は、前記開閉板の一方のみが連続的に開くことを特徴とすることにより、誘電体の厚みが０．８μｍ以下の積層型フィルムコンデンサに対し、電極引出し端面部において酸素プラズマに接触させて電極を露出するときに誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサを、回転体を連続的に回転させながら積層できる生産性の高い積層製造装置が得られる。
【００６６】
以上に述べた本発明のフィルムコンデンサの製造方法によれをば複数のコンデンサ要素を有する広幅の片面金属化フィルムを巻き取りによって積層体とする工程と、前記工程で得られた積層物を電極引き出し端面部分で切断する工程と、前記電極引き出し端面を酸素プラズマもしくはオゾンを含むガスに接触させて、前記誘電体薄膜の前記電極引き出し端面部分を前記電極から後退させる工程と、前記電極引き出し端面部分に端面電極を形成する工程とを有するフィルムコンデンサ製造方法において、２層以上連続した第１の片面金属化フィルムの巻き取りと、前記第１の片面金属化フィルムとエッチング速度が異なり且つ２層以上連続した第２の片面金属化フィルムの巻き取りを同時に行って積層体を形成することにより、誘電体の厚みが０．８μm 以下の片面金属化フィルムを積層して形成するフィルムコンデンサにおいても、電極引出し端面部において誘電体フィルムの凸凹量が十分に確保できるフィルムコンデンサの製造方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１乃至３の実施形態によるフィルムコンデンサの構造を示す断面図
【図２】本発明の第２、３、７および９の実施形態で用いたプラズマ処理装置の断面図
【図３】本発明の第４実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造装置の断面図
【図４】本発明の第５実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造装置の断面図
【図５】本発明の第６実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造装置の断面図
【図６】本発明の第７実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造方法を示す断面図
【図７】本発明の第８実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造装置の断面図
【図８】本発明の第９実施形態に用いたフィルムコンデンサの製造方法を示す斜視図
【図９】従来のフィルムコンデンサの製造方法を示す斜視図
【図１０】従来のフィルムコンデンサの製造方法を示す断面図
【符号の説明】
８ａ    第１の誘電体薄膜
８ｂ    第２の誘電体薄膜
８ｃ    第３の誘電体薄膜
１３    高周波電源
３１    積層真空容器
３２    回転体
３３    コンデンサー素子板
３４ａ    第１の有機材料蒸発容器
３４ｂ    第２の有機材料蒸発容器
３６ａ    第１の有機材料液
３６ｂ    第２の有機材料液
３７ａ    第１の開閉板
３７ｂ    第２の開閉板
３８    スパッタ  ターゲット
４０    オイルマージン吹き出し部
５０    アルミニウム蒸着部
５２    ベルト
５５    ランプヒーター
５６    加熱出力コントローラー
６０    エンコーダー
６１    開閉板コントローラー
１００ａ  第１の片面金属化フィルム
１００ｂ  第２の片面金属化フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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