(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属ガラス合金製のパイプを製造するための製造方法であって、
平坦面に半円状の溝が形成された一対の鋳型を、平坦面に形成した溝同士が互いに向かい合うように組み合わせてなる、長さ方向に延在する柱状の中空部を有する銅製の鋳型を用い、
前記パイプを構成する金属ガラス合金材料を溶融する工程と、
前記鋳型の中空部を鉛直方向に延在させた状態で、必要に応じて前記鋳型の水冷を行いつつ、圧縮したガスを用いて、製造するパイプの厚さに応じた圧力で、前記鋳型の上部に配置されるノズルから前記鋳型の中空部に、前記ノズル内の前記溶融した金属ガラス合金材料を全て噴射して、この溶融した金属ガラス合金材料を前記噴射の圧力に応じた所定の速度で下方に向けて前記中空部を通過させることにより、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した金属ガラス合金材料を付着させ、この壁面に付着した前記溶融した金属ガラス合金材料を前記鋳型によって冷却して凝固させて、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した金属ガラス合金材料の膜を形成する工程とを含むパイプの製造方法。
【請求項２】
更に、前記溶融した材料を前記中空部に噴射するときに、前記中空部を負圧にする工程を含む請求項１に記載のパイプの製造方法。
【請求項３】
金属ガラス合金製のパイプを製造するための製造装置であって、
平坦面に半円状の溝が形成された一対の鋳型を、平坦面に形成した溝同士が互いに向かい合うように組み合わせてなる鋳型であって、鉛直方向に一致する長さ方向に延在する柱状の中空部を有する銅製の鋳型、もしくは、鉛直方向に一致する長さ方向に延在する柱状の中空部を有する水冷式の銅製の鋳型と、
前記パイプを構成する金属ガラス合金材料を溶融する手段と、
ガスを圧縮するための圧縮手段と、
前記圧縮手段によって圧縮されたガスを用いて、製造するパイプの厚さに応じた圧力で、前記鋳型の上部に配置されるノズルから、前記鋳型の中空部に、前記ノズル内の前記溶融した金属ガラス合金材料を全て噴射して、この溶融した金属ガラス合金材料を前記噴射の圧力に応じた所定の速度で下方に向けて前記中空部を通過させることにより、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した金属ガラス合金材料を付着させ、この壁面に付着した前記溶融した金属ガラス合金材料を前記鋳型によって冷却して凝固させて、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した金属ガラス合金材料の膜を形成する手段とを有するパイプの製造装置。
【請求項４】
更に、前記溶融した材料を前記中空部に噴射するときに、前記中空部を負圧にする手段を有する請求項３に記載のパイプの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パイプの製造方法及び製造装置に関し、特に、コリオリ式質量流量計に用いられる振動流管の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ式質量流量計は新しいタイプの流量計であり、質量流量を直接測定する全く新しい原理に基づいている。そして、その優れた測定性能のため、コリオリ式流量計の利用価値は高まっている。例えば、半導体、バイオ、メディカル、精密化学などの分野において使用される装置のために、従来にない高精度の流量計が求められている。測定すべき流体は、価格の高いもの、微少流量の測定が必要なものが大部分であることから、質量流量を直接測定できるコリオリ流量計はこのようなニーズに対応でき、しかも、更に微少流量を正確に測定するレベルのものが求められている。
【０００３】
コリオリ流量計の性能は、そのほとんどが被測定流体を流す計測用振動流管（以下、振動流管という）の物性（密度、ヤング率、強度）により決定される。コリオリ流量計の精度を向上させるためには、計測系が同じであれば、微小なコリオリ力でも大きく変形するような振動流管を用いることが必要とされ、そのため、厚さが薄く、かつヤング率が低い材料を用いて振動流管を構成することが望まれる。現在、振動流管の材料は、主にステンレス合金及びハステロイ合金が使用されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
コリオリ流量計に用いられる振動流管を製造する方法としては、例えば、心棒鋳造法、遠心鋳造法、板巻き溶接法などが用いられている。
しかし、心棒鋳造法では、心棒が必要であり、また、細径で厚さが薄くて長い振動流管を作製することは困難であった。また、遠心鋳造法で、鋳型を回転させるための機構が必要であるために製造設備が高価になるという問題があり、また、細径で厚さが薄くて長いパイプを製造することが困難であるという問題がある。また、板巻き溶接法では、相当な塑性を要する材料を用いなければならず、使用可能な材料が限定されてしまうという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題を解消するためになされたものであり、本発明の目的は、寸法が均一で、細くて厚みが薄くて長いパイプを簡単な設備で製造するための製造方法を提供することにある。
【０００６】
また、本発明の別の目的は、優れた力学特性を有する超薄肉の金属ガラスパイプを容易に製造するための製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様は、パイプを製造するための製造方法であって、長さ方向に延在する柱状の中空部を有する鋳型を用い、前記パイプを構成する材料を溶融する工程と、前記中空部に前記溶融した材料を噴射した後、前記中空部を所定の速度で通過させて、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した材料の膜を形成する工程とを含むパイプの製造方法を提供する。
【０００８】
本発明の製造方法においては、更に、前記溶融した材料を前記中空部に噴射するときに、前記中空部を負圧にする工程を含むことが好ましい。
【０００９】
また、本発明の製造方法において、前記パイプを構成する材料が、金属、合金、金属ガラス及びセラミックスからなる群から選択された少なくとも一種であることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の製造方法において、前記溶融した材料を圧縮されたガスによる圧力を利用して噴射することが好ましい。
【００１１】
本発明の第２の態様は、パイプを製造するための製造装置であって、長さ方向に延在する柱状の中空部を有する鋳型と、前記パイプを構成する材料を溶融する手段と、前記中空部に前記溶融した材料を噴射するとともに前記中空部を所定の速度で通過させて、前記中空部を形成する前記鋳型の壁面に前記溶融した材料の膜を形成する手段とを有するパイプの製造装置を提供する。
【００１２】
本発明のパイプの製造装置は、更に、前記溶融した材料を前記中空部に噴射するときに、前記中空部を負圧にする手段を有することが好ましい。
【００１３】
また、更に、ガスを圧縮するための圧縮手段を有し、前記溶融した材料を前記圧縮手段により圧縮されたガスによる圧力を利用して噴射させることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のパイプの製造方法は、溶融した材料を鋳型の中空部に所定の圧力で噴射するだけでパイプを製造することができるので、寸法が均一で、細くて薄くて長いパイプを簡単に製造することができる。
【００１５】
また、本発明のパイプの製造方法により製造されるパイプの材料として、金属ガラスを用いれば、金属ガラスパイプを簡単に製造することができる。こうして得られる金属ガラスパイプは、結晶質のパイプよりも、強度、弾力性、耐食性に優れる。また、金属ガラスを用いることにより、ヤング率を大幅に低くすることができ、しかも強度を高めることができ、パイプの薄肉化が可能である。このようにヤング率が低いパイプを製造することができるので、このパイプをコリオリ流量計に用いれば、同じコリオリ力を流管が受けたときに弾性変形歪量が大きくなり、従来のステンレス流管を用いた場合よりも高感度化を実現することができる。また、本発明の製造方法によれば、薄肉で小径のパイプを容易に製造することができるので、このようなパイプを振動流管に用いることにより更なる高感度化も実現することができる。それゆえ、本発明の製造方法は、コリオリ流量計に用いられる振動流管の製造方法として極めて最適である。
【００１６】
本発明の製造方法により製造されるパイプは、石油、化学、バイオ、半導体、医学など広範な分野に利用することができ、高強度、高弾性変形率、高耐食性を有するので、例えば、注射針などに利用できる。
【００１７】
本発明の製造装置は、溶融した材料を鋳型の中空部に所定の圧力で噴射することができるので、本発明の製造方法を実現する装置として最適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明のパイプの製造方法について、添付の図面に示される好適な態様に基づいて詳細に説明する。
図１に、本発明のパイプの製造方法を実現するためのパイプの製造装置の概念図を示す。
パイプ製造装置１０は、基本的に、鋳型１２、ノズル１４、圧縮機１６、高周波コイル１８及び高周波電源２０から構成される。
【００１９】
鋳型１２は、パイプを成型するための柱状の型であり、鋳型１２の長さ方向に延在する円柱状の中空部（キャビティ）１２ａを有している。鋳型１０の中空部１２ａの一方の開放端部１２ｂが、ノズル１４からの溶融した試料を注入するための注入口であり、他方の開放端部１２ｃが、中空部１２ａに注入された溶融試料を排出させるための排出口である。図１に示すように、注入口１２ｂは、鋳型１２の表面（上面）から内部に向かうに従って径が徐々に細くなるテーパ状の形状を有している。
【００２０】
鋳型１２を構成する材料としては、変形しにくく、冷却性に優れた材料が好ましく、熱伝導率の高い銅が好ましい。また、冷却性を高めるという観点からは水冷式の鋳型とすることが好ましい。鋳型１２の材料は、使用するパイプの材料に応じて適宜選択することができる。鋳型１２の中空部１２ａの寸法（直径及び長さ）は、製造するパイプの寸法に応じて適宜変更することができ、例えば、１ｍｍ〜４ｍｍの外径を有するパイプを製造するには、鋳型１２の中空部１２ａの内径をその大きさにすればよく、長さが２ｍｍのパイプを製造するには、中空部をその長さになるように形成すればよい。
【００２１】
ここで、鋳型１２の中空部１２ａは、鋳型１２に貫通する孔（貫通孔）を開けることによって形成してもよいし、平坦面に半円状の溝が形成された一対の鋳型を、平坦面に形成した溝同士が互いに向かい合うように組み合わせることによって形成してもよい。
【００２２】
図１のパイプ製造装置において、ノズル１４は、溶融した試料、例えば、金属や合金、金属ガラス、セラミックスなどを、その先端１４ａから鋳型１２に注入させるためのものであり、石英やカーボンなどの耐火性材料から形成される。ノズル１４は、昇降装置（図示しない）によって鉛直方向（図中、上下方向）に昇降可能となっている。ノズル１４は、鋳型１２の上方で、鋳型１２の中空部１２ａと同軸上に配置されており、昇降装置（図示しない）による昇降によって、ノズル１４の先端１４ａが、鋳型１２の注入口１２ｂに向かって前進又は後退することができる。
【００２３】
ノズル１４の先端１４ａには、開閉可能な弁やシャッタを設けることができ、弁やシャッタの開閉により、ノズル１４内の溶融試料の鋳型１２への注入を制御するようにしても良い。また、ノズル１４内で試料を溶融する際には、ノズル１４の内部が不活性ガス雰囲気にすることが望ましい。
【００２４】
圧縮機１６は、ノズル１４に圧縮ガスを流入させるためのものであり、弁２２を開放することによって、ノズル１４内に圧縮ガスを供給することができる。これにより、ノズル１４内の溶融試料を鋳型１２の中空部１２ａに注入する前のノズル１４内の圧力を高めておくことができる。そして、ノズル１４内の溶融試料を鋳型１２に注入するときには、所定の圧力に高められた溶融試料が所定の速度で鋳型１２の中空部１２ａに噴射させられる。
【００２５】
ノズル１４内のガス圧は、圧縮機１６を制御することによって調整することができ、ノズル１４内のガス圧に応じて溶融試料の噴射速度が調整される。それゆえ、ガス圧は、製造するパイプの厚さや長さに応じて調整することが好ましい。圧縮ガスとしては、例えば、空気や不活性ガス（窒素、アルゴンなど）を用いることができる。
【００２６】
高周波コイル１８は、ノズル１４の周囲を囲むように巻設されており、高周波電源２０と接続されている。高周波電源２０から高周波コイル１８に高周波電流を流すことによって、ノズル１４内の試料を高周波誘導加熱して溶解することができる。図示例では、ノズル１４内の試料を溶解する手段として、高周波コイル１８と高周波電源２０を用いた高周波誘導加熱手段を用いたが、これに限らず、アーク加熱により試料を溶解する手段を用いても良い。
【００２７】
次に、本発明のパイプ製造方法に用いられるパイプの材料について説明する。
本発明のパイプ製造方法を用いて製造されるパイプの材料としては、純金属、合金、金属ガラス合金、セラミックスなどを用いることができる。純金属としては、例えば、Ｔｉを用いることができる。合金としては、Ｔｉ系、Ｎｉ系、Ｃｏ系、Ｐｄ系、Ｃｕ系、Ｚｒ系の合金を用いることができ、例えば、Ｔｉ−Ｓｎ系合金、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｒ−Ｓｎ系合金、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｒ−Ａｌ−Ｓｉ−Ｂ系合金を用いることができる。金属ガラス合金としては、例えば、Ｚｒ基、Ｔｉ基、Ｎｉ基、Ｆｅ基、Ｃｕ基などの金属ガラス合金やＴｉ−Ｓｎ系金属ガラスを用いることができる。セラミックスとしては溶融可能なセラミックスであれば任意のセラミックスを用いることができる。
【００２８】
本発明では、強度、弾性変形率、耐食性が高いという理由から、下記組成式で表され、１５００ＭＰａ以上の強度を有するＴｉ系非晶質合金であることが好ましい。
Ｔｉ100-a-b-c-d-eＣｕaＮｉbＭ１cＭ２dＭ３e
なお、式中、Ｍ１はＺｒ、Ｈｆ及びＳｃよりなる群から選択された少なくとも１種の元素、Ｍ２はＡｌ及びＳｎの少なくとも１種の元素、Ｍ３はＳｉ及びＢの少なくとも１種の元素であり、ａ、ｂ、ｃ、ｄ及びｅは、それぞれ、原子％を表し、１０＜ａ＜４０、０＜ｂ＜３０、２＜ｃ＜１０、２＜ｄ＜１０、０＜ｅ＜５及び４０＜ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＜６０を満足する。
このようなＴｉ系非晶質合金は、強度特性に優れるので薄肉パイプ用の材料として最適である。
【００２９】
次に、パイプ製造装置１０の動作について図１及び図２を参照して説明する。
まず、所望の組成比に計量した試料をノズル１４内に入れた後、ノズル１４の内部に不活性ガスを流入して不活性ガス雰囲気にする（図２（ａ）参照）。次いで、高周波電源２０を投入して、高周波コイル１８に高周波電流を供給してノズル１４の内部に存在する試料２４を溶解する。
【００３０】
次いで、昇降装置（図示しない）を駆動することによってノズル１４を下降させて、ノズル１４の先端１４ａを鋳型１２の注入口１２ｂに差し込む（図２（ｂ）参照）。
【００３１】
次に、図１に示す弁２２を開放して圧縮機１６から圧縮ガスをノズル１４内に流入させて、ノズル１４の内部の圧力を高めて、溶融している試料２４を鋳型１２の中空部１２ａに噴射する（図２（ｃ）参照）。中空部１２ａに噴射された溶融試料は、中空部１２ａを高速で通過した後、鋳型１２の排出口１２ｃから排出される。このとき、中空部１２ａを通過する溶融試料は、中空部１２ａを構成する鋳型１２の内壁１２ｄ全体に付着するとともに、低温の内壁１２ｄとの接触によって急速に冷却されて凝固する。一方、中空部１２ａを通過する溶融試料の中心部の温度は高く、粘性も低いために、溶融試料は中空部の途中で留まることなく、圧縮ガスのガス圧によって更に中空部１２の下方に押しやられ、排出口１２ｃから排出される。こうして、図２（ｄ）に示すように、中空部１２ａを構成する鋳型１２の内壁１２ｄには、その内壁１２ｄを覆うような薄い管状（筒状）の膜が形成される。内壁１２ｄを覆う薄い膜は、内壁１２ｄとの接触により急冷されることによって形成されるので非晶質構造を有している。
【００３２】
次いで、鋳型１２の注入口１２ｂ又は排出口１２ｃから薄い管状の膜２８を押し出して、鋳型１２から管状の膜２８を取り出す。こうして厚さの薄く、寸法が均一なパイプ２８が得られる。こうして製造されたパイプの外面の表面粗さは鋳型１２の内壁１２ｄの表面粗さが転写される。すなわち、パイプの外面には、鋳型１２の内壁１２ｄの表面粗さが反映されている。それゆえ、鋳型１２の内壁１２ｄの表面粗さを低くすることによって、パイプ外面の表面粗さも低くすることができる。
【００３３】
パイプの厚さは、溶融試料をノズルから噴射するための圧力を制御することによって調整することができる。すなわち、中空部１２ａを高速で通過させることによって、内壁１２ｄに付着させる溶融試料の量を減らすことができ、これにより、厚さの薄いパイプを得ることができる。中空部１２を更に高速に通過させるために、図１に示すパイプ製造装置１０において、更に、鋳型１２の中空部１２ａを負圧にするための真空ポンプを設けることが好ましい。すなわち、真空ポンプと鋳型１２の排出口とを、減圧弁を備える管状部材を用いて接続し、真空ポンプを作動させて減圧弁を開くことによって鋳型１２の中空部１２ａを減圧して負圧になるように構成することが好ましい。そして、ノズル１４から溶融した試料を鋳型１２の中空部１２ａに向けて噴射するときに、鋳型１２の中空部１２ａが負圧になるように減圧弁の開閉を制御することが好ましい。また、中空部１２ａの減圧のタイミングは、溶融試料の鋳型の中空部１２への噴射と同時であっても良いし、噴射よりも前でも後でも良く、所望するパイプの厚さに応じて適宜制御することができる。パイプの薄肉のパイプを得るためには、成型されるパイプの厚みが薄くなるようなタイミングに制御することが好ましい。
【００３４】
このような構成にすることにより、ノズル１４から噴射させた溶融試料を、中空部１２ａを負圧にしない場合よりも更に高速に中空部１２ａの内部を通過させることが可能となる。すなわち、鋳型１２の中空部１２ａを通過する溶融試料の速度を更に増大させることができる。その結果、鋳型１２の中空部１２ａの内壁に形成される管状の膜の厚さを薄くすることができる。更には、内壁に形成される管状の膜の長さ、すなわちパイプの長さを一層長くすることができる。
【００３５】
本発明の製造方法においては、上述したように、鋳型１２の中空部１２ａに溶融した試料を噴射して、中空部を構成する壁面に溶融試料を固着させるので、鋳型の温度は高められる。一方、ガラス状のパイプを得るには、中空部に噴射させた溶融試料を中空部の壁面で急冷させる必要があるため、製造時には鋳型を低温に維持させることが好ましく、例えば、鋳型を水冷させつつ鋳型に溶融試料を噴射してパイプを製造することが好ましい。
【００３６】
本発明の製造方法により得られたパイプは、厚さが薄いために軽量化されている。そして、急冷されるために非晶質構造を有するので、強度も高められている。このようなパイプは、様々な用途に利用することができ、例えばコリオリ流量計に用いられる振動流管に最適である。例えば、ガラス金属を用いて上述した製造方法により金属ガラスパイプを作製すれば、厚さが薄く、ヤング率が低く、耐食性に優れた振動流管が得られ、この振動流管を用いてコリオリ流量計を構成すれば、従来よりも計測感度を高めることができる。これにより気体流量の計測も可能になると考えられる。
【００３７】
本発明においては、製造されたパイプの内面及び外面の少なくとも一方の面精度が高くなるように加工することもできる。例えば、コリオリ流量計に用いる場合には、振動流管は常に振動しているため、振動流管の内面と外面の面精度が低いと、その部分から疲労破壊が起こる可能性があるからである。
【００３８】
また、本発明の製造方法により得られるパイプを振動流管に用いる場合、成形加工及び圧力損失の点から直管タイプとすることが好ましい。直管タイプの振動流管用のパイプを、ガラス金属を用いて本発明の製造方法により製造すれば、得られたパイプは弾力性に優れるので感度が高く、直感タイプであっても従来よりも精度良く質量流量を測定することができる。
【００３９】
次に、本発明のパイプ製造方法の実施例について図１及び２を参照して説明する。
【実施例１】
【００４０】
まず、本実施例では、外径が２ｍｍ、長さが２００ｍｍのＴｉ基の金属ガラスパイプを製造する例について説明する。
【００４１】
最初に、所望の組成になるように計量した金属ガラスパイプ用試料を用意した。その試料をノズル１４に入れて、ノズル１４内に不活性ガスを充填した。次いで、高周波電源２０を投入して高周波コイル１８に電流を供給して、高周波誘導加熱によりノズル１４内の試料を溶解した（図２（ａ）参照）。次いで、ノズル１４を鋳型１２の注入口１２ｂに移動させて挿入し（図２（ｂ）参照）、弁２２を開放して、圧縮機１６からノズル１４内に圧縮ガスを流入してノズル１４内の圧力を２ｋｇｆ／ｃｍ2（１９．６×１０4Ｎ／ｍ2）にし、溶融試料を鋳型１２の中空部１２ａに噴射した（図２（ｃ）参照）。こうして中空部を構成する内壁に薄い管状の膜２８を形成した（図２（ｄ）参照）。中空部１２ａから管状の膜を取り出してパイプを得た。製造されたパイプの厚さを測定したところ、平均厚さは０．２５ｍｍであった。また、パイプの組織をＸ線回折により解析したところガラス状（非晶質）になっていることが分かった。
【実施例２】
【００４２】
本実施例では、製造されるパイプの長さが１８０ｍｍになるように鋳型の中空部１２ａの長さを変更し、パイプの材料としてＺｒ基の金属ガラス材料を用い、ノズル内の圧力を２．５ｋｇｆ／ｃｍ2（２４．５×１０4Ｎ／ｍ2）にして溶融金属を噴射した以外は、実施例１と同様にしてパイプを製造した。製造されたパイプの厚さを測定したところ平均厚さは０．３ｍｍであった。
【実施例３】
【００４３】
本実施例では、パイプの材料としてＦｅ基の金属ガラスを用い、ノズル内の圧力を１．５ｋｇｆ／ｃｍ2（１４．７×１０4Ｎ／ｍ2）にして溶融金属を噴射した以外は、実施例１と同様にしてパイプを製造した。製造されたパイプの厚さを測定したところ平均厚さは０．２ｍｍであった。
【実施例４】
【００４４】
本実施例では、パイプの材料としてＣｕ基の金属ガラスを用いた以外は、実施例１と同様にしてパイプを製造した。製造されたパイプの厚さを測定したところ平均厚さは０．２５ｍｍであった。
【００４５】
ここで、実施例１〜４で製造したパイプの厚さの長さ方向における分布を測定した。測定は、パイプを、鋳型の注入口側に位置する部分（以下、注入口部という）から１０ｍｍごとに切断し、５点測定した厚みを算術平均し、注入口部からの距離に対してプロットした。計測結果を図３のグラフに示す。このグラフから分かるように、注入口部から４０ｍｍまでは厚さにバラツキがあるが、４０ｍｍよりも長くなると略３０ｍｍ以下と均一な厚みになっているのが分かる。
【００４６】
上記実施例１〜４によって得られたパイプをコリオリ流量計の振動流管に用いたところ、従来のＳＵＳ製の振動流管を用いたコリオリ流量計よりも、性能指数にて２８倍程度の結果が得られた。コリオリ流量計は、石油、化学、バイオ、半導体、医学など広範な分野において重要な役割を負う不可欠な計測機器であり、本発明の製造方法によって製造される金属ガラスパイプは高強度、高弾性変形率、高耐食性を有するので、このようなコリオリ流量計の振動流管として極めて最適である。
【００４７】
更に、Ｔｉ−Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｒ−Ｓｎ系の合金について、試料１としてＴｉ５０Ｃｕ２５Ｎｉ１５Ｚｒ５Ｓｎ５をベースにするとともに、下記表１に示すように組成を変更した複数の試料を用いて、組成の異なる種々のパイプを製造した。パイプの製造では、図１に示す鋳型１２として直径２ｍｍの中空部を有する鋳型を用い、図１に示す製造装置により本発明の製造方法に従った。下記表１に示す組成の異なるそれぞれの試料ついて、直径２ｍｍの非晶質合金製のパイプを作製することができた。
【００４８】
【表１】
0004633377.tif 000002
【００４９】
以上、本発明のパイプの製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態及び実施例に限定はされず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【００５０】
例えば、本発明の製造方法により製造されたパイプの外面及び内面を機械加工などにより研磨しても良く、例えば、外面をセンターレス研磨したり、内面をワイヤー放電加工により加工してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の製造方法を実現するための製造装置の模式図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、パイプの製造工程を説明するための模式図である。
【図３】実施例１〜４で製造したパイプの注入口部からの長さに対する厚みの分布図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  パイプ製造装置
１２  鋳型
１２ａ  中空部
１２ｂ  注入口
１２ｃ  排出口
１２ｄ  内壁
１４  ノズル
１６  圧縮機
１８  高周波コイル
２０  高周波電源
２２  弁
２４  溶融試料
２８  管状の膜
【図１】
0004633377.tif 000003
【図２】
0004633377.tif 000004
【図３】
0004633377.tif 000005