(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
行列状に設けられた複数の透明着色部と、前記透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの表面にスペーサを配置する方法であって、
スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を前記遮光部上に互いに離間して複数配置するＡ工程と、
前記Ａ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、
前記Ｂ工程後に、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を前記遮光部上に互いに離間して複数配置するＣ工程と、
前記Ｃ工程で配置した液滴を乾燥させるＤ工程と、
を備え、前記Ｃ工程では、前記Ａ工程で液滴を配置した位置と同一の位置に前記液滴を配置するスペーサの配置方法。
【請求項２】
前記カラーフィルタは、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行が、この順に繰り返し列方向に設けられ、かつ、前記Ｒ行と前記Ｇ行との間、前記Ｇ行と前記Ｂ行との間、及び、前記Ｂ行と前記Ｒ行との間に前記遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものであり、
前記Ａ工程では、前記各遮光線部、又は、前記各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間して前記複数の液滴を配置し、
前記Ｃ工程では、前記Ａ工程で前記液滴を配置した遮光線部の上に対して、前記Ａ工程で液滴を配置した位置の上にさらに液滴を配置する請求項１に記載のスペーサの配置方法。
【請求項３】
行列状に設けられた複数の透明着色部と、前記透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの表面にスペーサを配置する方法であって、
スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を前記遮光部上に互いに離間して複数配置するＡ工程と、
前記Ａ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、
前記Ｂ工程後に、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を前記遮光部上に互いに離間して複数配置するＣ工程と、
前記Ｃ工程で配置した液滴を乾燥させるＤ工程と、を備え、
前記Ｃ工程では、前記Ａ工程で液滴が配置された位置と一部のみ重なる位置に前記液滴を配置するスペーサの配置方法。
【請求項４】
前記カラーフィルタは、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行が、この順に繰り返し列方向に設けられ、かつ、前記Ｒ行と前記Ｇ行との間、前記Ｇ行と前記Ｂ行との間、及び、前記Ｂ行と前記Ｒ行との間に前記遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものであり、
前記Ａ工程では、前記各遮光線部、又は、前記各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間して前記複数の液滴を配置し、
前記Ｃ工程では、前記Ａ工程で前記液滴を配置した遮光線部の上に対して、前記Ａ工程で液滴を配置した隣り合う２つの位置の間に液滴を配置する請求項３に記載のスペーサの配置方法。
【請求項５】
前記カラーフィルタは、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行が、この順に繰り返し列方向に設けられ、かつ、前記Ｒ行と前記Ｇ行との間、前記Ｇ行と前記Ｂ行との間、及び、前記Ｂ行と前記Ｒ行との間に前記遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものであり、
前記Ａ工程では、前記各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間して前記複数の液滴を配置し、
前記Ｃ工程では、前記Ａ工程では選択しなかった遮光線部の上に対して、前記Ａ工程で配置された液滴の位置に対して互い違いとなる位置に液滴を配置する請求項３に記載のスペーサの配置方法。
【請求項６】
前記Ａ工程及び前記Ｃ工程における複数の液滴の吐出は、複数の開口を行方向に配列したヘッド装置を用いて行う請求項１〜５の何れか一項に記載のスペーサの配置方法。
【請求項７】
行列状に設けられた複数の透明着色部と、前記透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの遮光部上にスペーサを配置する方法であって、
カラーフィルタを列方向に移動させながら、前記移動方向の後ろ側に配置された複数の第一の開口からスペーサ含有液を吐出して複数の液滴を前記カラーフィルタの遮光部上に行方向に離間して配置し、及び、前記カラーフィルタの移動方向の前側に配置された複数の第二の開口からスペーサ含有液を吐出して複数の液滴を前記遮光部上に配置された前記複数の液滴とそれぞれ重ねて配置し、複数の合一した液滴を行方向に離間した状態で得るＨ工程と、
前記Ｈ工程で形成した液滴を乾燥させるＢ工程と、を備えるスペーサの配置方法。
【請求項８】
前記カラーフィルタは、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行が、この順に繰り返し列方向に設けられ、かつ、前記Ｒ行と前記Ｇ行との間、前記Ｇ行と前記Ｂ行との間、及び、前記Ｂ行と前記Ｒ行との間に前記遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものであり、
前記Ｈ工程では、前記各遮光線部、又は、前記各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間して前記複数の合一した液滴を形成する請求項７に記載のスペーサの配置方法。
【請求項９】
行列状に設けられた複数の透明着色部と、前記透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの遮光部上にスペーサを配置する方法であって、
スペーサ含有液を複数回開口から吐出させることにより形成した複数個の液滴を前記遮光部上に行方向に互いに重なり合うように配置して線状液滴を形成し、前記線状液滴を列方向に複数配置するＩ工程と、
前記Ｉ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、
を備えるスペーサの配置方法。
【請求項１０】
前記カラーフィルタは、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行が、この順に繰り返し列方向に設けられ、かつ、前記Ｒ行と前記Ｇ行との間、前記Ｇ行と前記Ｂ行との間、及び、前記Ｂ行と前記Ｒ行との間に前記遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものであり、
前記Ｉ工程では、前記各遮光線部、又は、前記各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ前記線状液滴を配置する請求項９のスペーサの配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペーサの配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイにおいては、カラーフィルタと駆動基板とが互いに対向配置され、これらカラーフィルタと駆動基板との間に液晶が封入されている。【０００３】
このカラーフィルタは、例えば、透明基板上に、Ｒ、Ｇ、及びＢの各色の透明着色部が３色一組で行列状に多数配列されると共に、各透明着色部間に光を遮光する遮光部が設けられたものである。【０００４】
そして、駆動基板とカラーフィルタとの間には所定の間隔を維持するための球状のスペーサが多数行列状に配置されている。【０００５】
このような液晶ディスプレイの製造においては、カラーフィルタの表面にスペーサを配置した後、そのスペーサの上に駆動基板が重ねられる。このとき、カラーフィルタの表面における透明着色部上にスペーサが配置されると、液晶ディスプレイとして使用する際にこの透明着色部に対応する画素の表示品質に影響を及ぼす場合がある。したがって、カラーフィルタの表面における遮光部上にスペーサを配置する必要がある。【０００６】
そして、このように遮光部上にスペーサを配置する方法としては、具体的には、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した略同一径の液滴を遮光部上に行列状に付着させ、その後液滴を乾燥させることによってスペーサを遮光部上に固着することが知られている。より具体的には、開口が一列に多数形成されたヘッド装置から、開口の配列方向と直行する方向に移動するカラーフィルタに対して所定のタイミングで間欠的に液滴の列を吐出することによってカラーフィルタの遮光部上に液滴を行列状に配置する。カラーフィルタ上において液滴は、液滴同士が合一しないような距離互いに離間して配置される。
【特許文献１】特開平１０−４８４１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、スペーサ含有液中のスペーサ濃度は、ヘッド装置の開口から吐出される液滴中に通常１個のスペーサが含まれるように設定されている場合が多い。そうすると、確率的にスペーサを含まない液滴が吐出されることが避けられないと予想される。このようにしてスペーサを含まない液滴がカラーフィルタ上に配置されると、カラーフィルタ上に意図しないスペーサ未散布部が生じることとなる。そして、この未散布部の近辺においては、駆動基板とカラーフィルタとの距離が周りよりも小さくなるので、液晶ディスプレイとした時にモアレ等の表示ムラが発生することが考えられる。【０００８】
本発明者らが検討したところ、スペーサが含まれない液滴の発生確率を低減させるべくスペーサ含有液中のスペーサ含有濃度を通常よりも上げると、スペーサによるヘッド装置の開口のつまりが発生したり、逆に大量のスペーサを含む液滴が発生して、カラーフィルタ上においてスペーサが透明着色部にはみ出す場合が生じ、好ましくない。【０００９】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、パネルの表示ムラを低減できるカラーフィルタへのスペーサの散布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る第１のスペーサ散布方法は、行列状に設けられた複数の透明着色部と、透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの表面にスペーサを配置する方法である。そして、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を遮光部上に互いに離間して複数配置するＡ工程と、Ａ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、Ｂ工程後に、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を遮光部上に互いに離間して複数配置するＣ工程と、Ｃ工程で配置した液滴を乾燥させるＤ工程と、を備える。【００１１】
本発明によれば、Ｂ工程で液滴を乾燥することによってスペーサをカラーフィルタの遮光部上に固着した後に、Ｃ工程で再び液滴を遮光部上に配置しその後乾燥している。したがって、Ａ工程で配置した液滴との合一によるスペーサの移動等を気にすることなく、Ｃ工程で液滴を遮光部上の任意の位置に再び配置することができる。したがって、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度を従来よりも高くでき、スペーサを含まない液滴が生成する場合があっても、パネル形成時のギャップの変動を従来よりも抑制できる。【００１２】
ここで、Ｃ工程では、Ａ工程で液滴を配置した位置と同一の位置に液滴を配置することができる。【００１３】
これによれば、カラーフィルタの遮光部の略同一位置に対して複数の液滴に由来するスペーサがそれぞれ配置されることとなる。したがって、スペーサを含まない液滴が形成される場合があっても、液滴を供給した位置にスペーサが１個も存在しない可能性が極めて少なくなる。【００１４】
この場合、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には、具体的には以下のようにすることができる。【００１５】
すなわち、Ａ工程では、各遮光線部、又は、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対して、互いに行方向に離間する複数の液滴をそれぞれ配置し、Ｃ工程では、Ａ工程で液滴を配置した遮光線部の少なくとも一部の上に対して、Ａ工程で液滴を配置した位置にさらに液滴を配置する。【００１６】
特に、Ｂ行とＲ行との間の遮光部のみの上に液滴を配置すると、スペーサとＧ行との距離が遠くなり、何らかの外乱等があった場合でもスペーサがＧ行上に誤って配置される可能性が著しく低くなるので好ましい。【００１７】
一方、Ｃ工程では、Ａ工程で液滴が配置された位置と一部のみ重なる位置に液滴を配置することもできる。【００１８】
これによれば、Ａ工程及びＢ工程を経て既に液滴が乾燥しスペーサが固着しているので、Ｃ工程においてＡ工程で配置した位置と一部のみ重なる位置に新たに液滴を配置しても、固着したスペーサが移動しない。これにより、既に固着したスペーサ間にこれらのスペーサと離間させつつ新たにスペーサを配置することができる。したがって、スペーサの密度を高めることができ、スペーサを含まない液滴が形成されてスペーサの未散布部が生じてもパネル形成後のギャップの変動を従来に比して抑制できる。【００１９】
ここで、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には次のようにすることができる。【００２０】
すなわち、Ａ工程では、各遮光線部、又は、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対して、互いに行方向に離間する複数の液滴をそれぞれ配置し、Ｃ工程では、Ａ工程で液滴を配置した遮光線部の少なくとも一つの上に対して、Ａ工程で液滴を配置した隣り合う２つの位置の間に液滴をそれぞれ配置する。好ましくは、Ａ工程で液滴を配置した隣り合う２つの位置の間に、この２つの位置の両方と重なるように液滴を配置する。【００２１】
これによれば、各遮光線部上において、スペーサの密度を高められる。【００２２】
一方、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には、次のようにすることもできる。【００２３】
すなわち、Ａ工程では、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対して、互いに行方向に離間する複数の液滴をそれぞれ配置し、Ｃ工程では、Ａ工程では選択しなかった遮光線部の上に対して、Ａ工程で配置された液滴の位置に対して互い違いとなる位置にそれぞれ液滴を配置する。【００２４】
この場合も、互い違いにスペーサを配列できるのでスペーサの密度が上がる。
【００２５】
ここで、Ａ工程及びＣ工程における複数の液滴の吐出は、複数の開口を行方向に配列したヘッド装置を用いて行うことが好ましい。【００２６】
続いて本発明に係る第２のスペーサの配置方法は、行列状に設けられた複数の透明着色部と、透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの遮光部上にスペーサを配置する方法である。そして、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を遮光部上の同一位置に複数個供給して合一させ合一した液滴を得ると共に、当該合一した液滴を遮光部上に互いに離間して複数形成するＨ工程と、Ｈ工程で形成した液滴を乾燥させるＢ工程と、を備える。【００２７】
これによれば、合一した液滴においては、単一の液滴に比してスペーサの存在確率が高くなる。したがって、スペーサの未配置部を低減させることができ、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度が上がるので、ギャップの変動を抑制できる。【００２８】
ここで、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には、Ｈ工程では、各遮光線部、又は、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間して複数の合一した液滴を形成することができる。【００２９】
続いて本発明に係る第３のスペーサの配置方法は、行列状に設けられた複数の透明着色部と、透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの遮光部上にスペーサを配置する方法である。そして、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を遮光部上に行方向に互いに重なり合うように配置して線状液滴を形成し、この線状液滴を列方向に複数配置するＩ工程と、Ｉ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、を備える。【００３０】
これによれば、遮光部上に線状に液滴が合一した線状液滴が形成し、この線状液滴におけるスペーサの密度を従来のように孤立した液滴における密度よりも高めることができる。これにより、遮光部上におけるスペーサの密度を従来に比してあげられる。したがって、スペーサを含まない単一液滴が吐出される場合があっても、パネルとした時のギャップの変動を抑制できる。ここで、線状液滴を列方向に離間して形成することにより、スペーサの配置位置の制御性を十分に担保できる。【００３１】
ここで、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には、以下のようにすることができる。すなわち、Ｉ工程では、各遮光線部、又は、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ線状液滴を配置する。【００３２】
続いて本発明に係る第４のスペーサの配置方法は、行列状に設けられた複数の透明着色部と、透明着色部の間隙に設けられた遮光部とを有するカラーフィルタの遮光部上にスペーサを配置する方法である。そして、スペーサ含有液を開口から吐出させることにより形成した液滴を遮光部上に千鳥配置するＪ工程と、Ｊ工程で配置した液滴を乾燥させるＢ工程と、を備える。【００３３】
これによれば、遮光部上に液滴が千鳥配置されるので、液滴の径を従来と同一としても、従来に比してカラーフィルタ上に多数の液滴を互いに合一させること無く配置することができる。したがって、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度が高くなり、スペーサを含まない単一液滴が形成される場合があっても、基板上においてスペーサが配置されない場所が発生することによる影響を低減させることができ、ギャップの変動を抑制できる。【００３４】
ここで、カラーフィルタが、赤色透明着色部が行方向に複数に並べられたＲ行、緑色透明着色部が行方向に複数に並べられたＧ行、及び、青色透明着色部が行方向に複数に並べられたＢ行がこの順に繰り返し列方向に設けられたものであり、Ｒ行とＧ行との間、Ｇ行とＢ行との間、及び、Ｂ行とＲ行との間に遮光部としての遮光線部がそれぞれ形成されたものである場合には、Ｊ工程では、各遮光線部の内から１行又は複数行おきに選択した特定の遮光線部の上に対してそれぞれ行方向に互いに離間してかつ列方向には同一位置に液滴を配置し、さらに、特定の遮光線部と異なる遮光線部の上に特定の遮光線部の上の液滴と互い違いとなる位置に液滴を配置することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、パネルとした時のギャップの変動を抑制できるので、カラーフィルタの表示ムラを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、第一実施形態のスペーサ配置方法に用いるスペーサ散布装置の模式図である。
【図２】図２は、本実施形態で用いるカラーフィルタの断面図である。
【図３】図３は、図２のカラーフィルタの一部破断上面図である。
【図４】図４は、図１の断面模式図である。
【図５】図５は、図４の概略上面図である。
【図６】図６は、Ａ工程によってカラーフィルタ上に液滴が配置された後の状態を示すカラーフィルタの上面図である。
【図７】図７は、Ｂ工程によって図６のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図８】図８は、Ｃ１工程によって図７のカラーフィルタ上にさらに液滴が配置された後の状態を示す上面図である。
【図９】図９は、Ｄ工程によって図８のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図１０】図１０は、第二実施形態において、Ｃ２工程によって図７のカラーフィルタ上にさらに液滴が配置された後の状態を示す上面図である。
【図１１】図１１は、Ｄ工程によって図１０のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図１２】図１２は、第三実施形態において、Ｃ３工程によって図７のカラーフィルタ上にさらに液滴が配置された後の状態を示す上面図である。
【図１３】図１３は、Ｄ工程によって図１２のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図１４】図１４は、第四実施形態のスペーサ配置方法に用いるスペーサ散布装置の模式図である。
【図１５】図１５は、第四実施形態のＨ工程において、カラーフィルタに対して、ヘッド装置４１Ｆ，ヘッド装置４１Ｒから液滴を配置している途中の状態を示すスペーサ散布装置の断面模式図である。
【図１６】図１６は、Ｈ工程によってカラーフィルタ上に液滴が配置されている途中の状態を示す上面図である。
【図１７】図１７は、Ｂ工程によって図１６のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図１８】図１８は、第五実施形態のＩ工程において、カラーフィルタに対して、ヘッド装置４１Ｆ，ヘッド装置４１Ｒから液滴を配置している途中の状態を示すカラーフィルタの上面図である。
【図１９】図１９は、Ｂ工程によって図１８のカラーフィルタ上の液滴が乾燥した後の状態を示す上面図である。
【図２０】図２０は、第六実施形態のＪ工程において、カラーフィルタに対して、ヘッド装置４１Ｆ，ヘッド装置４１Ｒから液滴を配置している途中の状態を示すカラーフィルタの上面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０…スペーサ、３７…開口、４１…ヘッド装置、１００…カラーフィルタ、１１０Ａ，１１０Ａ＊，１１０Ｂ，１１０Ｃ，１１０Ｄ，１１０Ｈａ，１１０Ｈｂ，１１１Ｈ，１１０Ｉａ，１１０Ｉｂ，１１０Ｊａ，１１０Ｊｂ，１１２…液滴、１２０…遮光部、１２０ＢＲ…遮光線部、１２０ＲＧ…遮光線部、１２０ＧＢ…遮光線部、１３０…透明着色部、１３０Ｒ…赤色透明着色部、１３０Ｇ…緑色透明着色部、１３０Ｂ…青色透明着色部、１３０ＲＬ…Ｒ行、１３０ＧＬ…Ｇ行、１３０ＢＬ…Ｂ行。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
（第一実施形態：Ａ，Ｂ，Ｃ１，Ｄ工程）
本発明の第一実施形態に係るスペーサ散布方法について説明する。図１は、本実施形態で用いるスペーサ散布装置の概略模式図である。このスペーサ散布装置１は、ヘッド装置４１から上方のカラーフィルタ１００に対してスペーサ含有液をそれぞれ噴射して、カラーフィルタ１００の下面にスペーサ含有液の液滴を付着させる装置である。【００３９】
本実施形態に係るスペーサ散布装置１は、主として、スペーサ含有液１２を攪拌する攪拌槽２０と、上方のカラーフィルタ１００に向けてスペーサ含有液１２を噴射するヘッド装置４１と、攪拌槽２０からヘッド装置４１へスペーサ含有液を導くラインＬ１と、ヘッド装置４１から攪拌槽２０にスペーサ含有液を導くラインＬ２と、カラーフィルタ１００をヘッド装置４１の上方で移動させる基板移動ユニット８０と、ヘッド装置４１や基板移動ユニット８０等を制御するコントローラ９０と、を主として備えている。【００４０】
ヘッド装置４１は、ヘッド容器４２と噴射部５０とを有している。ヘッド容器４２は、開口３７が形成された上板１０３、及び、開口３７と連通したヘッド室４３を形成するヘッド室形成部材１０４を含む。また、噴射部５０は、ヘッド室４３内のスペーサ含有液を開口３７から噴射させるハンマー５２及びピエゾ素子５４を含む。【００４１】
具体的には、ヘッド容器４２は、カラーフィルタ１００の幅方向に延在した箱状をなす。ヘッド容器４２の上板１０３には開口３７がカラーフィルタ１００の幅方向に多数一列に並んで形成されている。【００４２】
ここで、開口３７の径は、例えば、１０〜５０μｍ程度とされる。また、開口３７間の間隔は、例えば、１００μｍ程度とされる。これは、この開口３７から吐出され、カラーフィルタ１００の表面に付着した液滴の径（例えば８０μｍ）に基づいて、開口３７の配列方向に隣り合う液滴同士が互いに合一しないように定められる。【００４３】
ヘッド容器４２の一端にはラインＬ１が接続される一方、ヘッド容器４２の他端にはラインＬ２が接続されている。【００４４】
ヘッド容器４２内には上から順にハンマー５２及びピエゾ素子５４が設けられている。このピエゾ素子５４の底部はヘッド容器４２の底部に固定されている。ピエゾ素子５４は、コントローラ９０に接続されており、コントローラ９０からの信号に応じて上方に向かって伸縮する。【００４５】
ハンマー５２はピエゾ素子５４上に固定されている。ハンマー５２の上面は各開口３７に対して下から対向すると共に各開口３７と所定間隔離間している。ハンマー５２とピエゾ素子５４とが噴射部５０を構成している。【００４６】
そして、ピエゾ素子５４が、外部からの信号により上方に伸びると、ハンマー５２が上方に動く。したがって、開口３7近傍のスペーサ含有液１２がハンマー５２の上端面５２ｄによって開口３７から押し出され、上方に向かってスペーサ含有液１２の液滴が噴射される。【００４７】
攪拌槽２０はモータ１７ａにより回転する攪拌翼１７を備え、スペーサ含有液１２を攪拌してスペーサ１０を液中に分散させる。スペーサ１０としては、例えば、粒径１〜７μｍ程度のシリカ等の珪素酸化物粒子やシリコン変性ポリマー等のプラスチック粒子等を使用できる。また、スペーサ１０が分散されるスペーサキャリア液１１としては、水とＩＰＡの混合液等が利用できる。【００４８】
なお、攪拌槽２０は、攪拌翼１７に代えて超音波分散器を採用してもよく、必要に応じて、攪拌翼１７及び超音波分散器を併用しても良い。また、攪拌槽として、容器内に固定攪拌羽根が設けられたいわゆるスタティックミキサーを用いてもよい。【００４９】
この攪拌槽２０は、恒温槽２６中に浸漬されており、スペーサ含有液１２の温度をほぼ一定に保てるようになっている。また、攪拌槽２０は、上下方向の高さを自在に可変となっており、スペーサ含有液１２の水面の位置を調整できるようになっている。【００５０】
ラインＬ２には、循環ポンプ７０が接続されている。循環ポンプ７０は、ヘッド容器４２内のスペーサ含有液を吸引し攪拌槽２０内に排出する。循環ポンプ７０としては、例えば、摺動部のないマグネット式のポンプ等を使用することが好ましい。【００５１】
基板移動ユニット８０は、基板吸引部８２と基板移動部８４とを有している。基板吸引部８２は、ヘッド装置４１の上方でカラーフィルタ１００を静電気や減圧等によって吸引してカラーフィルタ１００を支持する。基板移動部８４は、カラーフィルタ１００を吸引した基板吸引部８２を基板移動方向、すなわち、基板の巾方向と直交する方向に水平に移動させる。また、基板移動部８４は、カラーフィルタ１００を基板の巾方向にも所定距離動かせるようになっており、カラーフィルタ１００のアラインメントが可能となっている。基板移動部８４としては、カラーフィルタ１００を高精度に移動可能なリニアモータ式のものが好ましい。【００５２】
コントローラ９０は、予め定められたプログラムに基づいて処理を行うコンピュータ装置であり、基板移動ユニット８０、ピエゾ素子５４、循環ポンプ７０、及び、モータ１７ａに接続され、これらの駆動を制御する。【００５３】
（カラーフィルタ）
続いてこのようなスペーサ散布装置でスペーサを散布する対象となるカラーフィルタ１００について図２及び図３を参照して説明する。【００５４】
カラーフィルタ１００は、図に示すように、基板１２５、ブラックマトリクス（遮光部）１２０、赤色着色部（透明着色部）１３０Ｒ、緑色着色部（透明着色部）１３０Ｇ、青色着色部（透明着色部）１３０Ｂ、上膜１６０を備えている。【００５５】
基板１２５は、ガラス等から形成された透明な平板である。【００５６】
ブラックマトリクス（遮光部）１２０は、可視光を遮光する材料からなる膜である。ブラックマトリクス１２０の材料としては、例えば、クロム、クロム／酸化クロム等の金属系材料や、樹脂材料等が挙げられる。このブラックマトリクス１２０は、図２及び図３に示すように行方向及び列方向にそれぞれ延びて格子形状をなし、行列状に多数の開口１２０ｐを形成している。ブラックマトリクス１２０の列方向の幅１２０Ｗは、例えば、５〜３０μｍ程度、ブラックマトリクス１２０の行方向の幅１２０Ｖは５〜３０μｍ程度とすることができる。また、ブラックマトリクスの高さ１２０ｈは、例えば０．１〜２μｍ程度とすることができる。【００５７】
なお、本実施形態でのブラックマトリクス１２０は格子形状であるが、行方向又は列方向の何れかの方向のみに延びるストライプ形状の遮光部を採用しても良い。【００５８】
赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂは、それぞれ、ブラックマトリクス１２０の開口１２０ｐ内に列方向にこの順に配置されている。行方向には同じ着色部が並んでおり、図３に示すように、赤色着色部１３０Ｒが行方向に複数並んだＲ行１３０ＲＬ、緑色着色部１３０Ｇが行方向に複数並んだＧ行１３０ＧＬ，青色着色部１３０Ｂが行方向に複数並んだＢ行１３０ＢＬが列方向にこの順に多数形成されている。赤色着色部１３０Ｒ、緑色着色部１３０Ｇ、青色着色部１３０Ｂは、それぞれ、各色の可視光を選択的に透過可能な透明着色材料からなり、例えば、透明着色樹脂を使用できる。各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの列方向の幅１３０Ｗは、例えば、５〜１００μｍ、行方向の幅１３０Ｖは、例えば、１５〜３００μｍとすることができる。各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの高さ１３０ｈは、例えば、１〜２μｍとすることができる。【００５９】
ここで、図３において、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの高さ１３０ｈは、ブラックマトリクス１２０の高さ１２０ｈよりも十分に高くされている。【００６０】
ここで、遮光部１２０のうちＲ行１３０ＲＬとＧ行１３０ＧＬとの間を行方向に伸びる部分を遮光線部１２０ＲＧ、遮光部１２０のうちＧ行１３０ＧＬとＢ行１３０ＢＬとの間を行方向に伸びる部分を遮光線部１２０ＧＢ、遮光線部１２０のうちＢ行１３０ＢＬとＲ行１３０ＲＬとの間を行方向に伸びる部分を遮光線部１２０ＢＲとする。【００６１】
そして、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ及びブラックマトリクス１２０上に亘って上膜１６０が形成されている。この上膜１６０は、基板１１０側から順に、透明電極膜１４０、及び配向膜１５０を有する積層体である。【００６２】
透明電極膜１４０は、液晶ディスプレイの駆動基板の画素電極（不図示）に対向配置されるべき共通電極であり、ＩＴＯ等の透明な導電材料により形成される。透明電極膜１４０の厚みは、例えば、約０．１μｍ程度である。【００６３】
配向膜１５０は、液晶を所望の方向に配向させるものであり、例えば、ポリイミド等の樹脂材料等により形成できる。配向膜１５０の厚みは、例えば、約０．１μｍ程度である。【００６４】
そして、ブラックマトリクス１２０の上面と、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂの上面と、の段差に対応して、カラーフィルタ１００の表面、すなわち、上膜１６０の表面においては、ブラックマトリクス１２０に対向する部分よりも、各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂに対向する部分の方が高くなっている。すなわち、上膜１６０の表面において、ブラックマトリクス１２０の遮光線部１２０ＢＲ，１２０ＲＧ，１２０ＲＧ上には、それぞれ行方向に伸びる溝１６０ａが形成されている。【００６５】
このようなカラーフィルタ１００は、例えば、基板１１０上に、フォトリソグラフィー法等によって格子状のブラックマトリクス１２０を形成した後、ブラックマトリクス１２０の開口１２０ｐに、フォトリソグラフィー法等によって順次各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂをブラックマトリクス１２０よりもそれぞれ高くなるように形成し、その後、ブラックマトリクス１２０及び各着色部１３０Ｒ，１３０Ｇ，１３０Ｂ上にスパッタリング法や蒸着法等によって所定の厚みの透明電極膜１４０を形成し、透明電極膜１４０の上にさらにポリイミド樹脂等の配向膜材料を所定の厚み塗布して固化し、その表面をラビングして配向膜１５０とすることにより容易に得られる。【００６６】
（スペーサ散布方法）
続いて、本実施形態に係るスペーサ散布方法について説明する。【００６７】
あらかじめ、攪拌槽２０にスペーサ含有液１２を投入しておく（図1参照）。さらに、攪拌槽２０の水面の高さを、ヘッド室４３の開口３７の高さとほぼ同程度としておく。【００６８】
また、モータ１７ａを始動し、攪拌翼１７を駆動させて攪拌槽２０内でスペーサ含有液１２を攪拌しスペーサ１０を分散させておく。さらに、循環ポンプ７０の駆動により、攪拌槽２０においてスペーサ１０が良好に分散したスペーサ含有液１２を、ラインＬ１及びラインＬ２を通って攪拌槽２０とヘッド容器４２とを循環させる。【００６９】
続いて、図４及び図５に示すように、基板吸引部８２を用いて、上膜１６０が下向きになるようにカラーフィルタ１００を吸引により水平に支持し、基板移動部８４によりカラーフィルタ１００の位置合わせ（アラインメント）を行う。ここで、遮光線部１２０ＢＲ、１２０ＲＧ、１２０ＧＢの伸びる方向と、ヘッド容器４２の開口３７の並ぶ方向（開口配列方向）とが平行となるようにカラーフィルタ１００を配置する。【００７０】
次に、カラーフィルタ１００を水平に基板移動方向に移動させてヘッド装置４１の上方を通過させると共に、各ピエゾ素子５４を複数回駆動してヘッド容器４２内のスペーサ含有液を各開口３７から上方に向けて噴射する。そうすると、図６に示すように、一回の噴射毎に、カラーフィルタ１００の下面にスペーサ含有液の液滴１１０Ａが開口３７の数に対応して一行分互いに行方向に離間して付着する。各液滴１１０Ａは通常１つのスペーサ１０を含む。液滴１１０Ａの体積は、例えば、４×１０−８〜８×１０−８ｃｍ３であり、カラーフィルタ１００上での直径は、例えば、７０〜８０μｍである。【００７１】
ここでは、図６に示すように、カラーフィルタ１００における各遮光線部１２０ＢＲ上のみに液滴１１０Ａが一行分付着するように、基板移動ユニット８０によるカラーフィルタ１００の移動速度や、ピエゾ素子５４の駆動間隔を制御する（Ａ工程）。ここで、各液滴１１０Ａは、行方向に隣り合う液滴１１０Ａ同士においても、列方向に隣り合う液滴１１０Ａ同士においても互いに離間する。行方向の液滴１１０Ａの間隔は、図５における開口３７の間隔に対応する。このとき、カラーフィルタ１００の表面には、スペーサ１０を含む液滴１１０Ａに代えて、スペーサ１０を含まない液滴１１０Ａ＊が不可避的に生成する。【００７２】
続いて、このカラーフィルタの液滴を乾燥する（Ｂ工程）。具体的には、例えば、液滴１１０Ａが付着したカラーフィルタ１００を、図示しない基板搬送装置によって乾燥室内へ運ぶ。【００７３】
乾燥室内では、このカラーフィルタ１００上の液滴１１０Ａを赤外線ヒータ等により乾燥させる。そうすると、表面張力等によってスペーサ１０が液滴１１０Ａの水平方向中心近傍に引き寄せられるので、カラーフィルタ１００の表面において液滴１１０Ａが付着した位置の中心部付近にスペーサ１０が固着される。すなわち、スペーサ１０は、カラーフィルタ１００の遮光線部１２０ＢＲ上に固着する。これは、スペーサ１０の粒子密度がスペーサキャリア液１１の密度よりも高い場合でも、スペーサ１０の粒子密度がスペーサキャリア液１１の密度よりも低い場合においても同様である。【００７４】
このとき、本実施形態ではカラーフィルタ１００の表面における遮光線部１２０ＢＲ上に溝１６０ａがあるので、スペーサ１０は、この溝１６０ａ上に特にきれいに配列される。【００７５】
なお、乾燥の際にスペーサに働く毛管引力等によって、特に表面に特殊な処理をしていないスペーサ１０でも十分にカラーフィルタ１００の表面に固着し、その後の工程において液を滴下しても既に固着したスペーサ１０の移動は殆ど起らない。特に、配向膜に固着可能なポリマー等を表面にコーティングしたスペーサや、配向膜への固着性を発現する官能基を化学反応により表面に結合させたスペーサ等の表面処理スペーサであれば、より一層強固にカラーフィルタ１００の表面に固着させることができる。【００７６】
一方、スペーサ１０を含有していない液滴１１０Ａ＊が乾燥した後には、スペーサ未配置部Ａができる。【００７７】
続いて、このカラーフィルタ１００をスペーサ散布装置１の基板移動ユニット８０に先と同様にしてセットし、再び、カラーフィルタ１００の表面に液滴１１０Ｂを散布する（Ｃ１工程）。液滴１１０Ｂは、液滴１１０Ａと同様にしてスペーサ含有液を開口３７から吐出することにより形成される。このとき、図８に示すように、先にＡ工程で液滴１１０Ａを散布した位置と同じ位置に液滴１１０Ｂを再び散布する。すなわち、Ａ工程で液滴１１０Ａを滴下した遮光部のそれぞれに対して、Ａ工程で液滴１１０Ａを散布したのと同じ位置に液滴１１０Ｂを散布する。そうすると、新たに付着した液滴１１０Ｂ内には、Ａ工程及びＢ工程を経て既に表面に固着したスペーサ１０と、Ｃ１工程で液滴１１０Ｂによって供給された未固着のスペーサ１０とが含まれる。この場合、スペーサ未配置部Ａにも再び液滴１１０Ｂが供給されることとなる。【００７８】
そして、続いて、Ｂ工程と同様にして液滴１１０Ｂを乾燥する（Ｄ工程）と、カラーフィルタ１００の遮光線部１２０ＢＲ上に、図９に示すように、後から供給されたスペーサ１０も固着されることとなる。このとき、スペーサ未散布部Ａにも新たな液滴１１０Ｂに由来するスペーサ１０が供給されるので、最終的に、スペーサ１０が一つも配置されないスペーサ未散布部の発生確率は著しく低減する。【００７９】
このように本実施形態によれば、Ｂ工程で液滴１１０Ａを乾燥することによってスペーサ１０をカラーフィルタ１００の遮光部上に固着した後に、Ｃ工程で再び液滴１１０Ｂを遮光部上に配置しその後乾燥している。したがって、液滴の合一やスペーサの移動等を気にすることなく、Ｃ工程で液滴を遮光部上の任意の位置に再び配置することができる。したがって、スペーサ１０を従来よりも高密度に配置でき、スペーサ１０を含まない液滴１１０Ａ＊が生成する場合があっても、パネル形成時のカラーフィルタと駆動基板とのギャップの変動を従来よりも抑制できる。【００８０】
また、Ａ工程及びＣ１工程において、それぞれ同一の位置に液滴を配置しているので、カラーフィルタの遮光部の略同一位置上に対して複数の液滴に由来するスペーサがそれぞれ配置されることとなる。したがって、スペーサを含まない液滴が形成される場合があっても、液滴が供給された位置にスペーサが１個も存在しなくなる可能性が極めて少なくなる。【００８１】
また、Ｂ行１３０ＢＬとＲ行１３０ＲＬとの間の遮光線部１２０ＢＲのみの上に液滴１１０Ａ，１１０Ｂを配置しているので、スペーサ１０とＧ行１３０ＧＬとの距離が遠くなり、何らかの外乱等があった場合でもスペーサが緑色透明着色部１３０Ｇ上に誤って配置される可能性が著しく低くなるので好ましい。【００８２】
なお、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度は、５０〜３００個／ｍｍ２程度、好ましくは、１００〜２００個／ｍｍ２程度、より好ましくは１４０〜１６０個／ｍｍ２程度とすることが好ましい。【００８３】
（第二実施形態：Ａ，Ｂ，Ｃ２，Ｄ工程）
続いて、本発明の第二実施形態について図１０及び図１１を参照して説明する。【００８４】
本実施形態では、第一実施形態と同様にしてＡ工程及びＢ工程を実施した後に、Ｃ２工程を行う。Ｃ２工程が第一実施形態のＣ１工程と異なる点は以下のとおりである。すなわち、Ｃ２工程においては、Ａ工程で液滴１１０Ａが配置された位置とは異なる位置に液滴１１０Ｃを配置する。液滴１１０Ｃは液滴１１０Ａと同様にしてスペーサ含有液を開口３７から吐出させることにより形成する。具体的には、Ｃ２工程では、図１０に示すように、Ａ工程で液滴を配置した遮光線部１２０ＢＲ上であって、Ａ工程で配置された互いに隣り合う液滴１１０Ａの位置の間に、これら二つの位置に対して重なり合うようにそれぞれ液滴１１０Ｃを配置する（Ｃ２工程）。具体的には、カラーフィルタ１００の基板移動ユニット８０におけるアラインメント時に、カラーフィルタ１００を開口３７の配列方向に少しずらしておいてから、液滴の吐出をすればよい。【００８５】
そして、この後、第一実施形態と同様のＤ工程によって液滴１１０Ｃを乾燥させると、図１１に示すように、液滴１１０Ｃ中のスペーサ１０もカラーフィルタ１００の表面に固着する。【００８６】
これによれば、Ａ工程及びＢ工程を経て既に液滴１１０Ａが乾燥しスペーサ１０が固着しているので、Ｃ工程において、Ａ工程で配置した位置と一部のみ重なる位置に液滴を配置しても、固着したスペーサが移動したりしない。これにより、既に固着したスペーサ１０間にこれらのスペーサ１０と離間させつつ新たにスペーサ１０を配置することができ、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度を高めることができる。したがって、スペーサを含まない液滴１１０Ａ＊が形成される場合がありスペーサの未散布部Ａが生じてもパネル形成後のギャップの変動を従来よりも抑制できる。【００８７】
（第三実施形態：Ａ，Ｂ，Ｃ３，Ｄ工程）
続いて、本発明の第三実施形態について図１２及び図１３を参照して説明する。【００８８】
本実施形態では、第二実施形態と同様にしてＡ工程及びＢ工程を実施した後に、Ｃ３工程を行う。Ｃ３工程が第二実施形態のＣ２工程と異なる点は以下のとおりである。すなわち、Ｃ３工程においては、図１２に示すように、Ａ工程で液滴１１０Ａが配置された遮光線部１２０ＢＲとは異なる遮光線部１２０ＲＧに対して液滴１１０Ｄを配置する点と、遮光線部１２０ＲＧにおいて、Ａ工程で配置された液滴１１０Ａの位置に対して互い違いとなる（千鳥状となる）ようにそれぞれ液滴１１０Ｄを配置する点である。（Ｃ３工程）。液滴１１０Ａが配置された位置と、液滴１１０Ｄが配置された位置とは互いに一部が重なっている。液滴１１０Ｄも液滴１１０Ｂと同様にしてスペーサ含有液を開口３７から吐出させることにより形成される。【００８９】
そして、この後、Ｄ工程によって液滴１１０Ｄを乾燥させると、図１３に示すように液滴１１０Ｄのスペーサ１０もカラーフィルタ１００の表面に固着する。【００９０】
この場合も、第二実施形態と同様にして、新たにスペーサを配置でき、さらに、互い違いにスペーサを配列できてスペーサの密度が一層上がるので、スペーサ１０を含まない液滴１１０Ａ＊によってスペーサ未散布部Ａができても、ギャップの変動を抑制しうる。【００９１】
(第四実施形態：Ｈ，Ｄ工程)
続いて、本発明の第四実施形態について説明する。本実施形態では、図１４に示すように、基板移動方向に２つのヘッド装置４１Ｆ，４１Ｒを備えたスペーサ散布装置を用いる。各ヘッド装置４１Ｆ，４１Ｒについて、開口３７の配列方向は互いに平行である。また、ヘッド装置４１Ｒ，４１Ｆ自体は、第一実施形態のヘッド装置４１と同じである。【００９２】
まず、Ｈ工程において、図１５及び図１６に示すように、液滴１１０を散布する。具体的には、このＨ工程では、基板移動方向後ろ側のヘッド装置４１Ｒの開口３７からスペーサ含有液を吐出してカラーフィルタ１００の遮光線部１２０ＢＲ上にそれぞれ液滴１１０Ｈを互いに行方向に離間して配置すると共に、さらに、基板移動方向前側のヘッド装置４１Ｆの各開口３７からスペーサ含有液を吐出して遮光線部１２０ＢＲ上において液滴１１０Ｈに重ねて液滴１１０Ｈと同等の体積の液滴１１０Ｈｂをそれぞれ到達させ、液滴を合一させてなる液滴１１１Ｈを行方向に離間してそれぞれ配置する。ここで、液滴１１１Ｈは列方向にも互いに離間するように設定することが好ましい。【００９３】
すなわち、カラーフィルタ１００の表面の同一位置に複数回液滴を配置することによって液滴を合一させた液滴１１１Ｈを配置する。【００９４】
その後、第一実施形態のＢ工程と同様に液滴１１１Ｈを乾燥させることにより、図１７に示すように、液滴１１１Ｈ中のスペーサをカラーフィルタ１００の表面に固着させる。【００９５】
これによれば、合一した液滴においては、単一の液滴に比してスペーサの存在確率が高くなる。したがって、スペーサ１０を含まない単一の液滴１１０Ｈａ＊が形成される場合があっても、スペーサの未配置部を低減させることができ、スペーサの密度を高めることができるので、ギャップの変動を抑制できる。特に、合一した液敵同士がさらに他の合一した液敵同士と合一しないように配置位置を設定すると、スペーサの偏在を抑制する効果が高い。【００９６】
（第五実施形態：Ｉ，Ｂ工程）
続いて、本発明の第五実施形態について図１８を参照して説明する。【００９７】
本実施形態では、Ｉ工程で液滴をカラーフィルタ１００の表面に配置した後、第五実施形態と同様のＢ工程で液滴を乾燥する。【００９８】
Ｉ工程が第四実施形態のＨ工程と異なる点は、ヘッド装置４１Ｒの開口３７から上述と同様にスペーサ含有液を吐出して、行方向に互いに離間する液滴１１０Ｉａをカラーフィルタの遮光線部１２０ＢＲ上に配置し、さらに、ヘッド装置４１Ｆの開口３７からスペーサ含有液を吐出して、カラーフィルタの遮光線部１２０ＢＲ上であって液滴１１０Ｉａ同士の間に液滴１１０Ｉｂをそれぞれ配置する点である。ここで、各液滴１１０Ｉｂは、隣り合う２つの液滴１１０Ｉａの両方に重なるように配置する。これにより、カラーフィルタ１００上には、カラーフィルタの行方向に伸びる線状の線状液滴１１２が形成する。ここで、線状液滴１１２同士は、列方向には互いに離間配置されるようにする。【００９９】
そして、この後、Ｂ工程によって液滴を乾燥させると、図１９に示すように、液滴１１０Ｃのスペーサ１０もカラーフィルタ１００の表面に固着する。【０１００】
これによれば、遮光部上に線状に液滴が合一した線状液滴１１２が形成し、この線状液滴１１２におけるスペーサの密度は、従来のように孤立した液滴よりも高くなる。これにより、遮光部上におけるスペーサ１０の密度を従来に比してあげられる。したがって、スペーサ１０を含まない単一液滴１１０Ｉａ＊が形成される場合があっても、パネルとした時のギャップの変動を抑制できる。ここで、線状液滴を列方向に離間して形成することにより、スペーサの配置位置の制御性を十分に担保することが容易である。【０１０１】
（第六実施形態：Ｊ，Ｂ工程）
続いて、本発明の第六実施形態について図２0を参照して説明する。【０１０２】
本実施形態では、Ｊ工程で液滴をカラーフィルタ１００の表面に配置した後、第五実施形態と同様のＢ工程で液滴を乾燥する。【０１０３】
Ｊ工程が第五実施形態のＩ工程と異なる点は、ヘッド装置４１Ｒの開口３７からスペーサ含有液を吐出して液滴１１０Ｊａをカラーフィルタの遮光線部１２０ＢＲ上に行方向に互いに離間して配置し、さらに、ヘッド装置４１Ｆの開口３７からスペーサ含有液を吐出して液滴１１０Ｊａと同様の液滴１１０Ｊｂをカラーフィルタの遮光線部１２０ＲＧ上に行方向に互いに離間して配置する点である。ここで、各液滴１１０Ｊｂは、液滴１１０Ｊａに対して互い違いに、すなわち、液滴１１０Ｊｂ及び液滴１１０Ｊａを合わせて全体として千鳥状の配列となるように配置する。このとき、液滴１１０Ｊｂと液滴１１０Ｊａとが互いに離間するように配置することが好ましい。【０１０４】
そして、この後、Ｂ工程によって液滴を乾燥させると、図１２に示すように、液滴１１０Ｃのスペーサ１０もカラーフィルタ１００の表面に固着する。【０１０５】
これによれば、遮光部上に液滴が千鳥配置されるので、液滴の径を従来と同一としても、従来に比してカラーフィルタ上に多数の液滴を互いに合一させること無く配置することができる。したがって、カラーフィルタ上におけるスペーサの密度が高くなり、スペーサを含まない単一液滴１１０Ｊａ＊が形成される場合があっても、基板上においてスペーサ未配置部による影響を低減させることができ、ギャップの変動を抑制できる。【０１０６】
本発明は上記実施形態に限定されず様々な変形態様が可能である。【０１０７】
例えば、上記実施形態では、スペーサ含有液を下から上に向かって吐出してカラーフィルタ１００の下面上に液滴を配置しているが、スペーサ含有液を上から下に向かって吐出してカラーフィルタ１００の上面上に液滴を配置してもいい。【０１０８】
また、上記実施形態では、カラーフィルタの主として遮光線部１２０ＢＲ上にスペーサを配置しているが、他の遮光部に配置しても実施可能であることは言うまでも無い。【０１０９】
また、上記実施形態では、カラーフィルタ１００の表面における遮光線部１２０ＢＲ等の上に溝１６０ａが形成されているが、溝が無くても実施は可能である。【０１１０】
また、第一、第二、第四及び第五実施形態では、遮光線部１２０ＢＲのみに液滴を配置しているが、これ以外の遮光線部１２０ＲＧのみ、または、遮光線部１２０ＧＢのみに液滴を配置しても良い。また、第一、第二、第四及び第五実施形態では、すべての遮光線部から２つおきに選択した特定の遮光線部に液滴を配置しているが、遮光線部間の間隔に応じて、すべての遮光部から一つおきに選択した特定の遮光線部に液滴を配置しても良く、また、すべての遮光部から３つ以上おきに選択した特定の遮光線部に液滴を配置しても良く、さらには、すべての遮光線部に液滴を配置しても実施は可能である。【０１１１】
また、第三及び第六実施形態では、遮光線部１２０ＢＲ及び遮光部ＲＧに液滴を配置することにより千鳥状の配列を得ているが、任意の遮光部に対して液滴を配置して千鳥上の配置を得ることもできる。【０１１２】
また、第三〜第五実施形態においては、二つのヘッド装置４１Ｒ，４１Ｆを備えるスペーサ散布装置を用いているが、図１のような一つのヘッド装置４１を有するスペーサ散布装置を用い、一つのヘッド装置４１から同一のカラーフィルタに対して２回の液滴の散布を行うことによっても第三〜第五実施形態の実施が可能である。【０１１３】
また、上記実施形態におけるヘッド容器４２の開口３７の間隔は、一度の吐出により形成される液滴が互いに合一しないような間隔であれば任意の値とすることができる。さらに、一つの開口を有するヘッド装置４１をスキャンすることによって液滴を配置してもよい。
さらに、上記第二〜第三実施形態では、Ｃ工程では、Ａ工程で配置した駅滴の位置に一部重ねて液滴を配置しているが、重ならないように配置しても実施は可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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