(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状材料を気体により浮上させた状態で、パスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の幅方向両側端縁を、少なくとも搬送方向の１個所、計２個所で検出可能な幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群からの検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニット、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の搬送用ローラユニット及び、前記エアテーブル上の薄板状材料を前記搬送方向と直交する幅方向に移動可能に幅方向ローラユニット、を含んで構成され、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記直進ローラユニットは、前記搬送方向に離間して配置された少なくとも一対の幅方向ローラユニットを有してなり、
これら幅方向ローラユニットは、前記薄板状材料を、前記幅方向の相異なる方向に駆動して、薄板状材料の、その表面に対して直交するθ軸廻りのアライメント可能とされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記幅方向センサ群は、矩形の前記薄板状材料の４隅の角部を検出する位置に配置された４個の幅方向センサを有してなることを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットの少なくとも一方における前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。
【請求項６】
薄板状材料を気体により浮上させた状態でパスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の両側端縁を、少なくとも搬送方向の１個所、計２個所で検出する幅方向センサ群と、
前記幅方向センサ群の検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、
前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された搬送用ローラユニットとを含んで構成され、
前記搬送用ローラユニットは、
上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送用装置。
【請求項８】
薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、
この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、
この方向転換コンベア上における前記薄板状材料の外周線に相当する位置に配置され、前記直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の外周の少なくとも３箇所を検出可能な転換位置センサ群と、
前記転換位置センサ群からの検出信号が入力される転換位置制御装置と、を有してなり、
前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に、前記方向転換時に転換中心となる中心点を囲んで配置された複数の方向転換ローラユニットとを含んで構成され、
前記方向転換ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、
前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、
前記転換位置制御装置は、前記入力した検出信号に基づいて、前記方向転換ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の、前記パスライン方向の位置、このパスラインと直交する方向の位置、及び、形状中心廻りの角度位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記転換位置センサ群は、前記中心点に形状中心が一致した状態の前記薄板状材料の４隅となる位置に配置されたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項１０】
請求項８又は９において、
前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、
前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項１１】
請求項８乃至１０のいずれかにおいて、
前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【請求項１２】
請求項１１において、
前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）に用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する際に、アライメントシリンダ・ローラを用いることなく、パスラインに沿って、正確に搬送できるようにした薄板状材料搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイのガラス基板は僅かな疵や埃でも品質に大きく影響するため、その搬送の際には、表面に疵が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求される。
【０００３】
このような搬送手段の１つとして、ローラコンベアがあるが、搬送路が直角に曲げる場合、２つの直進ローラコンベアの間に直角方向に進むコンベアを配置し、ガラス基板を直角に方向転換する際には、コンベアを上昇させ、ガラス基板のパスラインを約２０〜５０ｍｍ上げて搬送していた。
【０００４】
又、直交して配置された２つの直進ローラコンベアの交点位置にガラス基板を持ち上げて旋回させる機構を設けたり、直進ローラコンベア全体を旋回させる方法があるが、どちらも、近年のガラス基板の大型化に伴い、構造も大きくなり、運転のための動力や製造コストも大幅に増大し、又タクトタイムの短縮も困難であるという問題点があった。
【０００５】
又、ローラコンベアに替えて、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
このようなエアテーブルの場合、ガラス基板を浮上させた状態でその搬送方向を変更したり、ガラス基板自身を旋回させることは、圧力エア上でのガラス基板の挙動を制御することが困難であり、浮上しているガラス基板の端縁をガイドローラによってガイドすることも考えられるが、ガラス基板は、例えば第８世代においては、Ｗ２２００ｍｍ×Ｌ２５００ｍｍという大きさに比べて厚さが０．５〜０．７ｍｍ程度と非常に薄く、慣性でガラス基板端縁がガイドローラに衝突した場合に非常に割れ易いという問題点がある。したがって従来は、ガラス基板の高速搬送あるいは高速方向変換や高速旋回ができなかった。
【０００７】
又、エアテーブルからなる直進エアコンベアを用いてガラス基板を搬送させる場合、ガラス基板の幅方向両側端を、例えばアライメントシリンダ・ローラを用いて押すことにより、ガラス基板をパスラインの中心線上に合わせることがなされているが、非常に薄いガラス基板を、これが破損しないように、幅方向両側端を押すことは、制御が困難であるという問題点がある。
【０００８】
同様に、直進エアコンベアからガラス基板を受け取って、これを方向変換や旋回させた後に、他の直進エアコンベアに移載する方向転換エアコンベアが考えられるが、この場合、ガラス基板の中心と、方向転換エアコンベア上における方向変換や旋回の中心とを一致させるためには、上記のようなアライメントシリンダ・ローラを例えば、前記中心に対してその周囲に４箇所に設けたりする必要があり、これも、アライメントに時間がかかったり、又高速且つ精密な制御が困難であるという問題点があった。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
この発明は、エアテーブルユニットを用いて薄板状材料を非接触で支持且つ搬送しつつ、アライメントシリンダ・ローラ等を用いることなく、薄板状材料の搬送方向の、高速転換あるいは高速旋回を可能とした薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【００１１】
又、直進エアテーブル上を薄板状材料を搬送する際に、その幅方向のアライメントを、薄板状材料の幅方向両端縁を押したりすることなく、従って薄板状材料の幅方向両端縁を損傷させたりすることなく幅方向位置の調整ができる薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【００１２】
更に又、エアフーブルを用い、ガラス基板の方向変換や旋回をさせるための方向転換エアコンベアにおいて、薄板状材料の中心と方向変換や旋回時の中心とを、アライメントシリンダ・ローラを用いることなく調整して一致させることができる薄板状材料搬送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
以下の各実施例により、上記課題を解決することができる。
【００１４】
（１）薄板状材料を気体により浮上させた状態で、パスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の幅方向両側端縁を、少なくとも搬送方向の１個所、計２個所で検出可能な幅方向センサ群と、前記幅方向センサ群からの検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニット、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された複数の搬送用ローラユニット及び、前記エアテーブル上の薄板状材料を前記搬送方向と直交する幅方向に移動可能に幅方向ローラユニット、を含んで構成され、前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００１５】
（２）前記直進ローラユニットは、前記搬送方向に離間して配置された少なくとも一対の幅方向ローラユニットを有してなり、これら幅方向ローラユニットは、前記薄板状材料を、前記幅方向の相異なる方向に駆動して、薄板状材料の、その表面に対して直交するθ軸廻りのアライメント可能とされたことを特徴とする（１）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１６】
（３）前記幅方向センサ群は、矩形の前記薄板状材料の４隅の角部を検出する位置に配置された４個の幅方向センサを有してなることを特徴とする（１）又は（２）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００１７】
（４）前記搬送用ローラユニット及び幅方向ローラユニットの少なくとも一方における前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置を設けたことを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【００１８】
（５）前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載の薄板状材料搬送用装置。
【００１９】
（６）薄板状材料を気体により浮上させた状態でパスラインに沿って直線的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの幅方向両側で、前記パスラインを中心として、前記薄板状材料の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向の複数個所に配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の両側端縁を、少なくとも搬送方向の１個所、計２個所で検出する幅方向センサ群と、前記幅方向センサ群の検出信号が入力される位置制御装置と、を有してなり、前記直進エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に配置された搬送用ローラユニットとを含んで構成され、前記搬送用ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記幅方向ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の幅方向位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００２０】
（７）前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする（６）に記載の薄板状材料搬送用装置。
【００２１】
（８）薄板状材料を気体により浮上させた状態で直進的に搬送する直進エアコンベアと、この直進エアコンベアの搬送方向の端部に臨んで配置され、該直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料を受け取り、且つ、受け取った薄板状材料の進行方向を水平面内で転換させる方向転換エアコンベアと、この方向転換コンベア上における前記薄板状材料の外周線に相当する位置に配置され、前記直進エアコンベアにより搬送されてきた薄板状材料の外周の少なくとも３箇所を検出可能な転換位置センサ群と、前記転換位置センサ群からの検出信号が入力される転換位置制御装置と、を有してなり、前記方向転換エアコンベアは、平坦な上面に複数の給気孔を備えた複数のエアテーブルユニットと、これら複数のエアテーブルユニットの間に、前記方向転換時に転換中心となる中心点を囲んで配置された複数の方向転換ローラユニットとを含んで構成され、前記方向転換ローラユニットは、上端に開口を備えた筒状体からなる吸引用パイプ、この吸引用パイプの内側に、水平面内の回転軸廻りに回転自在に支持され、且つ、上端が前記吸引用パイプの上端の開口よりも突出可能とされた送りローラ、前記吸引用パイプに負圧を印加する負圧源、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記負圧源から前記吸引用パイプに印加される負圧をオン・オフする負圧制御装置、を有してなり、前記転換位置制御装置は、前記入力した検出信号にもとづいて、前記方向転換ローラユニットを駆動して、前記薄板状材料の、前記パスライン方向の位置、このパスラインと直交する方向の位置、及び、形状中心廻りの角度位置を制御するようにされたことを特徴とする薄板状材料搬送装置。
【００２２】
（９）前記転換位置センサ群は、前記中心点に形状中心が一致した状態の前記薄板状材料の４隅となる位置に配置されたことを特徴とする（８）に記載の薄板状材料搬送装置。
【００２３】
（１０）前記負圧源は排気ブロワーとされ、この排気ブロワーの吸気口は、前記吸引用パイプの下端開口に接続され、前記吸引用パイプ内には、前記送りローラを駆動するためのモータを含む駆動装置、前記送りローラを、その上端が、前記薄板状材料のパスラインに到達する搬送位置及び前記パスラインよりも下がった待機位置との間で変位可能に支持する上下動装置、及び、前記送りローラを、その回転軸が、前記水平面内で、該送りローラの頂点を通る鉛直軸線廻りに少なくとも９０°の範囲で角度変位自在となるように支持する送り方向転換装置のうち、少なくともモータを配置したことを特徴とする（６）乃至（９）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【００２４】
（１１）前記直進エアコンベアは、前記方向転換エアコンベア上で、搬送方向が直交するように一対配置され、これら一対の直進エアコンベアのパスラインの幅方向中心の延長線が、前記中心点で交差するようにされたことを特徴とする（８）乃至（１０）のいずれかに記載の薄板状材料搬送装置。
【００２５】
（１２）前記薄板状材料搬送用ユニットを、前記中心点から等距離の位置に、複数基配置したことを特徴とする（１１）に記載の薄板状材料搬送装置。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、アライメントシリンダ・ローラ等を用いることなく、ガラス基板等の薄板状材料を正確に位置決めして搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
図１に示されるように、この実施形態に係る薄板状材料搬送装置１０は、図１において左から右方向に、例えば大型のＬＣＤ用のガラス基板（薄板状材料）１２を非接触で直線状の水平のパスライン（幅方向中心線Ｐ１で示す）に沿って搬送する第１の直進エアコンベア１４と、この第１の直進エアコンベア１４の、図１において右端に接続された方向転換エアコンベア１６と、この方向転換エアコンベア１６の、図１において上側の端部に接続され、且つ第１の直進エアコンベア１４のパスラインＰ１と直交するパスラインＰ２に沿ってガラス基板１２を直線的に搬送可能な第２の直進エアコンベア１８と、から構成されている。
【００２９】
図１において、符号１は第１の幅方向センサ群、２は第２の幅方向センサ群、３は転換位置センサ群、５Ａ、５Ｂ、５Ｃは徐行位置センサ、６Ａ、６Ｂ、６Ｃは停止位置センサをそれぞれ示す。
【００３０】
第１の幅方向センサ群１は、２個の幅方向センサ１Ａ、１Ｂから構成されている。これらの幅方向センサ１Ａ、１Ｂは、反射型あるいは透過型光センサ等から構成されていて、第１の直進エアコンベア１４における幅方向両側の端部近傍であって、パスラインＰ１を中心として、ガラス基板１２の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向では停止位置でのガラス基板１２の搬送方向中間部における幅方向両端に相当する位置に配置され、第１の直進エアコンベア１４により搬送されてきたガラス基板１２の幅方向両外側端縁を搬送方向の中間位置で検出可能とされている。
【００３１】
第２の幅方向センサ群２も、前記と同様に、２個の幅方向センサ２Ａ、２Ｂから構成され、これらの幅方向センサ２Ａ、２Ｂは、幅方向センサ１Ａ、１Ｂと同様に反射型あるいは透過型光センサ等から構成されていて、第２の直進エアコンベア１８の幅方向両側の端部近傍であって、パスラインＰ３を中心としてガラス基板１２の幅に等しい間隔で、且つ、搬送方向では停止位置でのガラス基板１２の搬送方向中間部における幅方向両側端に相当する位置に配置され、該第２の直進エアコンベア１８により搬送されてきたガラス基板１２の幅方向両側端を、搬送方向の中間位置で検出可能に構成されている。
【００３２】
又、前記徐行位置センサ５Ａ〜５Ｃ及び停止位置センサ６Ａ〜６Ｃはいずれも、前記幅方向センサと同様に、透過型あるいは反射型光センサから構成されている。
【００３３】
徐行位置センサ５Ａと停止位置センサ６Ａは第１の直進エアコンベア１４上に配置され、搬送されてくるガラス基板１２の先端縁が徐行開始位置に到達したことを検出し、又停止位置センサ６Ａは、同先端縁が停止位置となった時にこれを検出するようにされている。
【００３４】
同様に、徐行位置センサ５Ｂ及び停止位置センサ６Ｂは、方向転換エアコンベア１６上において、ガラス基板１２の先端縁が徐行開始位置及び停止位置となった時を検出するものである。又、徐行位置センサ５Ｃ、停止位置センサ６Ｃは、第２の直進エアコンベア１８上において、搬送されてくるガラス基板１２の先端縁が徐行開始位置となった時及び停止位置となった時にこれを検出するようにされている。
【００３５】
前記転換位置センサ群３は、４個の転換位置センサ３Ａ〜３Ｄからなり、これら転換位置センサ３Ａ〜３Ｄは、方向転換エアコンベア１６上において、ガラス基板１２が方向転換開始位置となった時の四隅の先端角部に相当する位置に配置され、これらを光学的に検出するようにされた透過型又は反射型光センサから構成されている。
【００３６】
前記幅方向センサ１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、転換位置センサ３Ａ〜３Ｄ、徐行位置センサ５Ａ〜５Ｃ、停止位置センサ６Ａ〜６Ｃの出力信号は、図２に示されるように、位置制御装置４に入力されるようになっている。
【００３７】
第１の直進エアコンベア１４及び第２の直進エアコンベア１８は、それぞれ、複数のエアテーブルユニット２０及び直進ローラユニット２２とを組合せて構成されている。又、方向転換エアコンベア１６は、前記と同様の複数のエアテーブルユニット２０と、方向転換ローラユニット３０とを組み合わせて構成されている。
【００３８】
エアテーブルユニット２０は、図３、図４に示されるように、ガラス基板１２の下面に対して空気（気体）を供給してガラス基板１２を非接触で支持するためのエアテーブル２６と、エアテーブル２６に正圧の空気を供給するための、例えばブロワーからなる正圧発生装置２８と、を備えて構成されている。
【００３９】
エアテーブル２６は、上面部２７が略平坦なほぼ直方体の箱状体であって、ガラス基板１２の下面に対して空気を供給するための複数の給気孔２７Ａが上面部２７に形成されている。
【００４０】
第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８は、２〜４基のエアテーブル２６をその長手方向に並べて１列とし、且つ、５列（ＣＶ−１Ａ〜ＣＶ１Ｅ、ＣＶ−２Ａ〜ＣＶ−２Ｅ）横並びとして構成されている。又、５列のうち幅方向両外側の列ＣＶ−１Ａ、ＣＶ−１Ｅ、ＣＶ−２Ａ、ＣＶ−２Ｅにおける各エアテーブルユニット２０間には、直進ローラユニット２２が配置されている。
【００４１】
エアテーブルユニット２０の列ＣＶ−１ＢとＣＶ−１Ｄの途中の前記幅方向センサ１Ａ、１Ｂの間、又、列ＣＶ−２ＢとＣＶ−２Ｄの途中の幅方向センサ２Ａ、２Ｂの間には、これらと、搬送方向に同等の位置に各々２基の幅方向ローラユニット２４が配置されている。これら幅方向ローラユニット２４は、パスラインＰ１、Ｐ２に対して直交する方向、即ち、搬送方向に対して幅方向にガラス基板１２を送るように配置されている。
【００４２】
方向転換エアコンベア１６は、第１の直進エアコンベア１４の搬送方向における幅方向両側のエアテーブルユニット２０の列ＣＶ−１Ａ、ＣＶ−１Ｅに接続して、２列（ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅ）のエアテーブルユニット２０が設けられ、その列ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅは、それぞれ２基のエアテーブルユニット２０と、これらエアテーブルユニット２０の間にそれぞれ設けられた方向転換ローラユニット３０とを有している。
【００４３】
又、これら２列ＣＶ−３Ａ、ＣＶ−３Ｅの間には、第２の直進エアコンベア１８におけるエアテーブルユニット２０の列と平行に６列のエアテーブルユニット２０Ａ〜２０Ｆが配置され、図１において左側（第１の直進エアコンベア１４側）の第１列と第２列のエアテーブルユニット２０Ａと２０Ｂとの間及び第５列と第６列のエアテーブルユニット２０Ｅと２０Ｆとの間には方向転換ローラユニット３０が配置されている。なお、エアテーブルユニット２０の列ＣＶ−３Ｅの外側（図１において下側）にもエアテーブルユニット２０が配置され、ガラス基板１２の旋回時に、これを浮上できるようにしている。
【００４４】
この方向転換エアコンベア１６における４基の方向転換ローラユニット３０は、第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８のパスラインＰ１、Ｐ２の延長線の交点を中心点ＣＲとして、この中心点ＣＲから等距離、即ち、同一円周上にあるように配置されている。
【００４５】
次に、方向転換ユニット３０の詳細な構成について説明する。
【００４６】
図５、図６に示されるように、方向転換ローラユニット３０は、上端に開口３３Ａを備えた鉛直方向の吸引用パイプ３２と、この吸引用パイプ３２の内側に、水平面内の回転軸３４Ａにより回転自在に支持され、且つ、上端が吸引用パイプ３２の上端の開口３３Ａよりも僅かに突出可能とされた送りローラ３４と、吸引用パイプ３２に負圧を印加する負圧源であるブロワー３６とを備えて構成されている。
【００４７】
吸引用パイプ３２は、送りローラ３４近傍を囲む小径部３２Ａと、この小径部３２Ａの下端に接続され、ここからブロワー３６の上端面まで到達する大径部３２Ｂとから構成されている。更に、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂの上部には、４本のブラケット３２Ｃが一体的に形成されていて、このブラケット３２Ｃの先端において、ガラス基板１２のパスラインＰ１、Ｐ２を含む搬送面よりも下方位置で固定されるようになっている（図示省略）。
【００４８】
方向転換ローラユニット３０は、送りローラ上下動装置３８を備えている。この送りローラ上下動装置３８は、送りローラ３４を、その上端が、吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出し、前記パスラインＰ１、Ｐ２に到達する搬送位置（図６、図７参照）及びこれよりも上端が上端面３３Ｂよりも下方に引き込んで、パスラインＰ１、Ｐ２上のガラス基板１２と非接触の待機位置（図５、図８参照）との間で変位可能に支持している。
【００４９】
送りローラ上下動装置３８は、吸引用パイプ３２の大径部３２Ｂ内に配置され、ブロワー３６の上面に固定された基板４０上に設けられたソレノイド装置から構成されている。
【００５０】
この、ソレノイド装置である送りローラ上下動装置３８の可動部３８Ａは基板４０に対して一定範囲で上下動可能とされていて、この可動部３８Ａの上端には、支持板３９が支持され、この支持板３９の下側にはローラ上下動装置３８に隣接して送りローラ姿勢制御装置４２が支持されている。
【００５１】
送りローラ姿勢制御装置４２は、送りローラ３４の頂点を通る鉛直方向の中心軸線３２ＣＬ上の姿勢制御軸４３を有し、例えばカム機構（図示省略）からなる装置を内蔵して、図５、図６において鉛直方向の姿勢制御軸４３を、鉛直状態のまま、少なくとも９０°の範囲で、中心軸線３２ＣＬ廻りに揺動できるようにされている。
【００５２】
姿勢制御軸４３は、前記支持板３９の中心を貫通して上方に突出し、その上端にローラ支持体４４及び駆動モータ４６を支持している。
【００５３】
ローラ支持体４４は、駆動モータ４６よりも高い位置に設けられた円盤状の支持台４５を備え、この支持台４５上には、送りローラ３４の回転軸３４Ａが水平に支持されている。
【００５４】
送りローラ３４は、マグネットローラであって、この送りローラ３４の前面位置において支持台４５に回転自在に支持された駆動マグネットローラ３５によって、非接触状態で駆動されるようになっている。
【００５５】
マグネットローラ３５の回転軸３５Ａは、駆動モータ４６の駆動軸４６Ａと直結されて、該駆動モータ４６により回転駆動されるようになっている。
【００５６】
又、送りローラ姿勢制御装置４２によって、図８に示されるような、パスラインＰ１と平行な面内で回転する姿勢、及び、図９に示されるような、パスラインＰ２と平行な面内で回転する姿勢となるように、中心軸線３２ＣＬ周りに少なくとも９０°の角度範囲で位置調整可能とされている。
【００５７】
第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８に用いられている直進ローラユニット２２は、図１０に示されるように、それぞれのパスラインＰ１、Ｐ２と平行な鉛直面内で回転可能な直進送りローラ２２Ａと、上端面が直進送りローラ２２Ａの上端よりも僅かに低く配置された鉛直方向の吸引用パイプ２２Ｂと、この吸引用パイプ２２Ｂの下端に給気孔が連結して配置されたブロワー２２Ｃと、マグネットローラである直進送りローラ２２Ａを非接触で駆動するためのマグネット駆動ローラ２２Ｄと、マグネット駆動ローラ２２Ｄを駆動するためのモータ２２Ｅとを備えて構成されている。
【００５８】
前記幅方向ローラユニット２４は、幅方向送りローラ２４Ａの送り方向が、直進ローラユニット２２における直進送りローラ２２Ａと直交する方向とされた点においてのみ相違し、他の構成が、直進ローラユニット２２と同一とされるものである。
【００５９】
次に、上記薄板状材料搬送装置１０によってガラス基板１２を、第１の直進エアコンベア１４から方向転換エアコンベア１６を経て、ここで旋回させることなく、第２の直進エアコンベア１８に搬送する過程について説明する。
【００６０】
まず、方向転換エアコンベア１６における方向転換ローラユニット３０を、予め、図１、図１０に示されるように送りローラ３４の回転面が第１の直進エアコンベア１４のパスラインＰ１と平行となるようにしておく。
【００６１】
又、幅方向ローラユニット２４は、ブロワー２２Ｃを非駆動とすることによって、ガラス基板１２が吸引されることなく、即ち、ガラス基板１２が幅方向送りローラ２４Ａと非接触となるようにしておく。
【００６２】
第１の直進エアコンベア１４上のガラス基板１２を、エアテーブル２６から噴出される正圧の空気によって浮上させ、且つ、このとき直進ローラユニット２２におけるブロワー２２Ｃを駆動させると、吸引用パイプ２２Ｂからガラス基板１２の下面に負圧が作用して、ガラス基板１２を搬送位置にある直進送りローラ２２Ａの上端に接触するように吸引する。
【００６３】
第１の直進エアコンベア１４上を搬送されるガラス基板１２の先端が、徐行位置センサ５Ａの位置に到達すると、この徐行位置センサ５Ａが、先端検出信号を位置制御装置４に出力し、位置制御装置４は、直進ローラユニット２２のモータ２２Ｅの回転速度を低下させて、徐行搬送状態とする。
【００６４】
徐行状態となったガラス基板１２の先端が停止位置センサ６Ａの位置に到達すると、その検出信号が停止位置センサ６Ａから位置制御装置４に出力され、位置制御装置４は、直進ローラユニット２２の直進送りローラ２２Ａを停止状態とする。この時、ブロワー２２Ｃは駆動状態のままとして、ガラス基板１２をその位置に固定する。
【００６５】
この時、幅方向センサ１Ａ、１Ｂは、ガラス基板１２の幅方向両側端を検出することになるが、ガラス基板１２が、パスラインＰ１に対して幅方向にずれていると、幅方向センサ１Ａ、１Ｂの一部又は全部がガラス基板１２の幅方向側端を検出することができない。
【００６６】
従って、位置制御装置４は、幅方向センサ１Ａ、１Ｂのいずれかがガラス基板１２を検出し、且つ、いずれかが検出しないかによって、ガラス基板１２のパスラインＰ１に対するずれを検出することができる。
【００６７】
位置制御装置４は、幅方向センサ１Ａ、１Ｂの両方がガラス基板１２を検出するまで、前記ずれを補正する方向に幅方向ローラユニット２４における幅方向送りローラ２４Ａを駆動して、ガラス基板１２の幅方向中心とパスラインＰ１とを一致させる。この時、幅方向ローラユニット２４は、ブロワー２２Ｃを駆動して、ガラス基板１２を、幅方向送りローラ２４Ａと接触するように吸引状態としておき、幅方向送りローラ２４Ａが駆動されると、ガラス基板１２が幅方向に駆動される。なお、幅方向送りローラ２４Ａによってガラス基板１２を駆動する際には、直進ローラユニット２２のブロワー２２Ｃの駆動を停止して、ガラス基板１２と直進送りローラ２２Ａとを非接触としておく。
【００６８】
ガラス基板１２の幅方向位置の矯正後、幅方向ローラユニット２４におけるブロワーによる吸引を停止して、幅方向送りローラ２４Ａとガラス基板１２とが非接触となるようにする。
【００６９】
方向転換エアコンベア１６におけるエアテーブル２６から予め正圧の空気を供給しておけば、ガラス基板１２は方向転換エアコンベア１６上に円滑に移動していく。このとき、方向転換ローラユニット３０における吸引用パイプ３２にブロワー３６から負圧を印加すると、駆動マグネットローラ３５によって回転される送りローラ３４に向けてガラス基板１２が吸引されて、その接触圧によって確実に搬送される。
【００７０】
なお、方向転換ローラユニット３０では、予め送りローラ上下動装置３８によって、送
りローラ３４を、その上端が吸引用パイプ３２の上端面３３Ｂから僅かに突出した搬送位置となるようにセットしておく。
【００７１】
ガラス基板１２が方向転換エアコンベア１６上を移動して、その先端が徐行位置センサ５Ｂに到達した時、送りローラ３４は徐行速度になり、更に、停止位置センサ６Ｂの位置に移動したとき、送りローラ３４による搬送を停止し、次に、負圧印加を停止するとともに、送りローラ上下動装置３８によって、送りローラ３４を待機位置まで下降させる。
【００７２】
この待機位置の状態で、４基のうち、パスラインＰ１上の２基の方向転換ローラユニット３０において、送りローラ姿勢制御装置４２を作動させて、姿勢制御軸４３を介して、送りローラ３４の回転軸３４Ａを中心軸線３２ＣＬ周りに９０°回転させて、図１１に示されるように、送りローラ３４の回転面が第２の直進エアコンベア１８における直進送りローラ２２Ａの回転面及びパスラインＰ２と平行となるようにする。
【００７３】
なお、このとき又は前後に、転換位置センサ３Ａ〜３Ｄによって、ガラス基板１２の中心と、中心点ＣＲとの一致又はそのずれを検出し、位置制御装置４によって、４基の方向転換ローラユニット３０を駆動してガラス基板１２を回転させたり、あるいは４基のうちの２基を駆動して、ガラス基板をパスラインＰ１方向及び／又はＰ２方向に駆動して、ガラス基板１２の中心と第１及び第２の直進エアコンベア１４、１８の幅方向中心（パスラインＰ１、Ｐ２）及び方向転換エアコンベア１６の中心点ＣＲとを整合させる。
【００７４】
次に、前記送りローラ３４の回転面がパスラインＰ１と平行となっている方向転換ローラユニット３０の送りローラ３４を待機位置まで下降させてから、その回転面がパスラインＰ２と平行となるようにする。
【００７５】
更に、送りローラ上下動装置３８によって送りローラ３４を搬送位置にまで上昇させ、同時に、ブロワー３６を起動して、ガラス基板１２に負圧を印加して、該ガラス基板１２を送りローラ３４の上端に接触させる。この状態で、送りローラ３４を、ガラス基板１２が第２の直進エアコンベア１８方向に移動するように駆動する（図１２参照）。
【００７６】
第２の直進エアコンベア１８は、予め、直進送りローラ２２Ａを搬送位置として、且つ、送り方向に駆動すると共に、ブロワー２２Ｃによって吸引用パイプ２２Ｂに負圧を印加しておく。
【００７７】
送りローラ３４の駆動によって、ガラス基板１２は、方向転換エアコンベア１６上から第２の直進エアコンベア１８上に移動し、更に、この第２の直進エアコンベア１８によって、図１、図１２において上方に、パスラインＰ２に沿って移動され、ガラス基板１２のその搬送方向先端が徐行位置センサ５Ｃの位置に到達した時、前述と同様にガラス基板１２の搬送速度が徐行速度となり、更に移動して、停止位置センサ６Ｃの位置で停止する。
【００７８】
ここでも、第１の直進エアコンベア１４上においてと同じように、幅方向センサ２Ａ、２Ｂによって、ガラス基板１２の幅方向両側端が検出され、その検出信号に応じて、位置制御装置４により、幅方向送りローラ２４Ａが上昇された幅方向ローラユニット２４によって、ガラス基板１２の幅方向位置が調整され、次に下降され更に搬送されて、搬送を終了する。
【００７９】
上記ガラス基板１２の搬送過程は、ガラス基板１２を旋回させることなく搬送方向を９０°変換するものであるが、次に、ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上において９０°旋回させて搬送する過程について説明する。
【００８０】
このガラス基板搬送過程は、図１に示される状態から図１１に示される状態までは前記と同一であるので、説明を省略する。
【００８１】
ガラス基板１２を方向転換エアコンベア１６上で旋回させる場合は、図１１に示される状態で、ガラス基板１２が方向転換エアコンベア１６における送りローラ３４上に移載された状態から、方向転換ローラユニット３０に負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で、方向転換エアコンベア１６における４基の送りローラ３４を、図１３に示されるようにガラス基板１２が反時計方向に回転されるように方向を揃えて駆動させる。すると、ガラス基板１２は、方向転換エアコンベア１６の中心点ＣＲを中心として回転され、９０°反時計方向に回転されたときガラス基板１２の旋回を停止させる。
【００８２】
転換位置センサ３Ａ〜３Ｄによって、ガラス基板１２の中心と、中心点ＣＲとの一致又はそのずれを検出し、位置制御装置４によって、前記のずれを補正する。
【００８３】
次に、方向転換エアコンベア１６における、パスラインＰ２上の一対の送りローラ３４を、各々の送りローラ姿勢制御装置４２によって、回転面がパスラインＰ２と平行な鉛直面となるように回転させる（図１２参照）。この際、送りローラ３４を待機位置とし、且つ、負圧の印加を停止することは前記と同様である。
【００８４】
９０°旋回後に、負圧の印加を開始し、且つ、送りローラ３４を搬送位置として、この状態で送りローラ３４を回転させると、ガラス基板１２は方向転換エアコンベア１６上から第２の直進エアコンベア１８上に移載され、そのまま搬送される。その途中における幅方向センサ２Ａ、２Ｂによるガラス基板１２の幅方向位置の矯正は、前述と同様である。
【００８５】
上記実施形態においては、直進ローラユニット２２は、その直進送りローラ２２Ａの回転面がパスライン方向とされ、又幅方向ローラユニット２４は、その幅方向送りローラ２４Ａの回転面がパスラインと直交する方向とされているが、これら直進ローラユニット２２及び幅方向ローラユニット２４の一方又は両方を、前記方向転換ローラユニット３０と同様に構成して、同一の送りローラが、パスライン方向又はパスラインと直交する方向に回転面を有するようにしてもよい。
【００８６】
更に、直進エアコンベアにおいて、幅方向ローラユニットを設けることなく、方向転換ローラユニット３０と同様の構成の直進ローラユニットを設けるようにしてもよい。
【００８７】
この場合、図１４に示されるように、方向転換ローラユニット５０が直進ローラユニットに代えて設けられ、その送りローラ５２は、パスラインに沿ったガラス基板１２の搬送時には、回転面がパスラインと平行に、又位置センサによって検出された信号に基づいてガラス基板１２の幅方向位置を調整する場合には、送りローラ５２の回転面はパスラインと直交する方向となるようにされている。
【００８８】
さらに、上記実施形態においては、第１、第２の幅方向センサ群１、２は、共に２個の幅方向センサから構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、ガラス基板の幅方向両側端を搬送方向の２箇所、合計４箇所で検出する４個の幅方向センサから構成してもよい。また、幅方向センサによる検出位置は、ガラス基板１２の、搬送方向中間位置でセットされているが、これは、ガラス基板１２の先端縁における幅方向両端あるいは後端縁における幅方向両端であってもよい。
【００８９】
図１５に、薄板状材料搬送装置における直進エアコンベア及び幅方向センサ群、幅方向ローラユニットの他の実施形態を示す。
【００９０】
この実施形態は、幅方向センサ群が、４個の幅方向センサ１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆから構成され、且つ、これらは、停止位置におけるガラス基板１２の４隅の角部を検出するように配置されている。又、幅方向ローラユニット２５は、パスラインＰ１に沿って搬送方向に離間した２箇所に設けられていて、これら幅方向ローラユニット２５の幅方向送りローラ２５Ａは、図１５において矢印で示されるように、相互に異なる方向に回転可能とされている。この幅方向ローラユニット２５における幅方向送りローラ２５Ａを含む他の構成は、前記幅方向ローラユニット２４と同一であるので説明を省略する。
【００９１】
この実施形態においては、４個の幅方向センサ１Ｃ〜１Ｆが停止位置におけるガラス基板１２の４隅の角部の位置のずれを検出することができ、従って、ガラス基板１２の、パスラインＰ１と直交する方向のずれのみならず、図１５に示されるような、ガラス基板１２の中心軸（θ軸）廻りのずれ（θ）も間接的に検出することができる。
【００９２】
図１４の場合、ガラス基板１２は、前記中心点廻りに反時計方向に角度θだけずれた状態である。
【００９３】
図の実施形態の場合は、パスラインＰ１を、図１４において左側から見たとき、前側の幅方向送りローラ２５Ａを時計方向に、又後側の幅方向送りローラ２５Ａを反時計方向にそれぞれ回転させることによって、ガラス基板１２の中心軸廻りのずれ角θを矯正することができる。
【００９４】
なお、転換位置センサ３Ａ〜３Ｄは、ガラス基板１２の４隅の角部を検出するものでなくてもよく、４辺の側端縁を検出するようにしてもよく、又、転換位置センサ群３は、少なくとも３個の転換位置センサから構成されるものであればよい。
【００９５】
更に、上記実施形態において、方向転換ローラユニット３０は、その送りローラ３４が、吸引用パイプ３２の上端面３２Ｂに対して上下動するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものでなく、送りローラ３４を、吸引用パイプ３２と共に上下動させるようにしても良い。
【００９６】
同様に、送りローラ３４の回転面を送りローラ姿勢制御装置４２によって、中心軸線３２ＣＬ周りに回転させるようにしているが、本発明はこれに限定されるものでなく、要すれば、送りローラ３４を、その送り方向が９０°転換されるように回転軸３４Ａを水平面内で回転できるものであれば良く、従って、送りローラ３４及びその回転軸３４Ａを、吸引用パイプ３２と共に回転するようにしても良い。
【００９７】
また、送りローラ姿勢制御装置４２における送りローラ上下動装置、送りローラ姿勢制御装置の構成は、実施形態の例に限定されず、他の構成であってもよい。例えばカム機構、ロータリーソレノイド、空気圧アクチェータ等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板状材料搬送装置を示す略示平面図
【図２】同薄板状材料搬送装置の制御系を示すブロック図
【図３】同薄板状材料搬送装置における直進エアコンベアにおけるエアテーブルユニットを示す略示断面図
【図４】同エアテーブルユニットを拡大して示す断面図
【図５】同薄板状材料搬送装置の方向転換エアコンベアに用いる方向転換ローラユニットを示す一部断面とした斜視図
【図６】同方向転換ローラユニットを、吸引用パイプを取り除いた状態で示す斜視図
【図７】同方向転換ローラユニットにおいて送りローラがガラス基板と接触する搬送位置の状態を模式的に示す断面図
【図８】同送りローラの待機位置の状態を示す図６と同様の断面図
【図９】同方向転換ローラユニットの送りローラを９０°姿勢を変えた状態を模式的に示す図６と同様の断面図
【図１０】同実施形態における直進エアコンベアに用いられる直進ローラユニットを模式的に示す断面図
【図１１】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板の搬送方向を９０°転換する第１過程を模式的に示す平面図
【図１２】同第２過程を模式的に示す平面図
【図１３】同薄板状材料搬送装置によりガラス基板を途中で９０°旋回して搬送する第１過程を模式的に示す平面図
【図１４】同薄板状材料搬送装置における方向転換エアコンベアの他の実施形態を示す斜視図
【図１５】直進エアコンベアの他の実施形態を模式的に示す平面図
【符号の説明】
【００９９】
Ｐ１、Ｐ２…パスライン
１…第１の幅方向センサ群
２…第２の幅方向センサ群
１Ａ〜１Ｆ、２Ａ、２Ｂ…幅方向センサ
３…転換位置センサ群
３Ａ〜３Ｄ…転換位置センサ
４…位置制御装置
５Ａ〜５Ｃ…徐行位置センサ
６Ａ〜６Ｃ…停止位置センサ
ＣＲ…中心点
１０…薄板状材料搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４…第１の直進エアコンベア
１６…方向転換エアコンベア
１８…第２の直進エアコンベア
２０…エアテーブルユニット
２２…直進ローラユニット
２２Ａ…直進送りローラ
２４、２５…幅方向ローラユニット
２４Ａ、２５Ａ…幅方向送りローラ
２６…エアテーブル
２７…上面部
２７Ａ…給気孔
２８…正圧発生装置
３０、５０…方向転換ローラユニット
３２…吸引用パイプ
３２ＣＬ…中心軸線
３３Ａ…開口
３３Ｂ…上端面
３４、５２…送りローラ
３４Ａ…回転軸
３５…駆動マグネットローラ
３６…ブロワー
３８…送りローラ上下動装置
４２…送りローラ姿勢制御装置
４６…駆動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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