(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在チャック上に、平坦面を有する定盤を平坦面を上側にして載置し固定する工程と、
定盤の平坦面にリペア剤を介して薄板を密着させる工程と、
薄板上に液体接着剤を滴下する工程と、
接着剤上に基板を載置する工程と、
チャックを回転させて薄板と基板との間の接着剤を拡散させる工程と、
薄板と基板との間の接着剤を拡散させた後、薄板と基板との間の接着剤を硬化する工程と、
その後定盤の平坦面から薄板と基板を取除く工程と、を備え、定盤の平坦面から薄板と基板を取除く際、定盤の平坦面からリペア剤を介して薄板と基板を剥離することを特徴とする薄板で被覆された基板の製造方法。
【請求項２】
接着剤は電離放射線硬化性接着剤からなり、
接着剤を硬化させる工程は、電離放射線照射により接着剤を硬化させることを特徴とする請求項１記載の薄板で被覆された基板の製造方法。
【請求項３】
定盤の平坦面に複数の薄板を密着させることを特徴とする請求項１記載の薄板で被覆された基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学フィルム等を貼り合せた機能性を有する基板に接着剤を介して薄いガラス等薄板貼合せ、このようにして薄板で被覆された基板を製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、薄板で被覆された基板の製造方法として、特願平１０−３４０２７５に示されたものがある。特開平１０−３４０２７５に示された基板の製造方法によれば、薄板で被覆された基板を製造することが可能となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような従来技術によれば、薄板で被覆された基板の製造が可能である。
しかしながら基板の製造中に薄板が歪んだりすることがある。
【０００４】
本発明は、薄板がゆがんだり歪んだりすることなく、精度良く薄板で被覆された基板を製造することができる、薄板で被覆された基板の製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転自在チャック上に、平坦面を有する定盤を平坦面を上側にして載置し固定する工程と、定盤の平坦面にリペア剤を介して薄板を密着させる工程と、薄板上に液体接着剤を滴下する工程と、接着剤上に基板を載置する工程と、チャックを回転させて薄板と基板との間の接着剤を拡散させる工程と、薄板と基板との間の接着剤を拡散させた後、薄板と基板との間の接着剤を硬化する工程と、その後定盤の平坦面から薄板と基板を取除く工程と、を備え、定盤の平坦面から薄板と基板を取除く際、定盤の平坦面からリペア剤を介して薄板と基板を剥離することを特徴とする薄板で被覆された基板の製造方法である。
【０００６】
本発明によれば、薄板は定盤の平坦面により密着されるので、薄板で被覆された基板の製造中に薄板が歪んだり、たわんだりすることはない。またチャックの回転により、薄板と基板との間の接着剤を拡散させることができるので、余分な接着剤により基板が汚れることはない。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図７は、本発明による薄板で被覆された基板の製造方法を示す図である。
【０００８】
図１乃至図７において、回転自在のチャック２０上に、平坦な上面（平坦面）２１ａを有する定盤２１（ＡＬ硝子：旭硝子社製、熱膨張係数３７×1０-7／℃、
厚さ６．３５ｍｍ、１５０ｍｍ角、平坦性５μｍ以下）を載置する（図１）。チャック２０は真空吸着機能を有し、定盤２１を吸着固定するようになっている。
【０００９】
また、チャック２０は所望により回転するとともに、その上面外縁にストッパ２２が設けられている。
【００１０】
次に定盤２１の平坦面２１上に、定盤２１よりも小さい薄板ガラス１１（ＡＦ４５：ショット社製、熱膨張係数４５×1０-7／℃、厚さ５０μｍ、３０ｍｍ角）
を載置する（図７参照）。
【００１１】
この場合、予め定盤２１の平坦面２１上に薄板ガラス１１を載置しておき、その後定盤２１をチャック２１上に載置固定してもよい。
【００１２】
定盤２１は平坦面２１ａを有しているが、定盤２１が平坦面２１ａを有するために、薄板ガラス１１の平坦性を保つことができ、薄板で被覆された基板を製造する際、基板ガラス１１が歪むことはない。また後述のようにチャック２０の回転中に、定盤２１から薄板ガラス１１側へ不均一な力が加わることはない。
【００１３】
定盤２１の平坦面２１ａの上に薄板ガラス１１を載置する場合、１枚の薄板ガラス１１を載置してもよく、複数の薄板ガラス１１を載置してもよい。
【００１４】
定盤２１の平坦面２１ａが十分な平坦性を有する場合、平坦面２１ａと薄板ガラス１１との間で確実な真空密着を行なうことができるが、薄板１１に対してブローエア２８を吹付けてもよい（図６）。
【００１５】
すなわち、図６に示すようにチャック２０をフード２５で覆い、フード２５内にブローエア２８を吹付ける。フード２５内のブローエア２８は、その後排気管２６から接着剤分離ボックス２７を経て外方へ放出される。このようにフード２５内にブローエア２８を吹付けることにより、薄板１１を定盤２１の平坦面２１ａに確実に密着させることができる。
【００１６】
さらに、定盤２１の平坦面２１ａと薄板ガラス２１との密着性を高めるため、定盤２１上に揮発性の有機溶剤を適量塗布してもよい。定盤２１および薄板ガラス１１は、双方とも洗浄済のものを使用し、定盤２１の平坦面２１上に薄板ガラス１１を載置する場合、定盤２１と薄板ガラス１１との間に異物等が混入しないように、クリーンルーム内の清浄度の高いクリーンベンチ内で載置してもよい。
【００１７】
このように定盤２１の平坦面２１ａ上に薄板ガラス１１を載置することにより、薄板ガラス１１自体に多少のたわみがあっても、このたわみは定盤２１の平坦面２１ａにより矯正される。
【００１８】
次に定盤２１の平坦面２１ａ上に載置密着された薄板ガラス１１上に、ディスペンサ２３から接着剤１２を滴下する（図１）。接着剤１２は温度調製されている液送タンク（図示せず）からディスペンサ２３へ供給される。接着剤１２の滴下量は、電解弁の開閉により制御することができる。
【００１９】
次に図２に示すように、薄板ガラス１１に滴下された接着剤１２上に基板１３が載置される。このような基板１３としては、ソーダガラスが用いられる。基板１３を載置することにより、薄板ガラス１１と基板１３との間の接着剤１２は外方へ拡がっていく。
【００２０】
次に図３に示すように、チャック２０を高速で回転させる。この場合、薄板ガラス１１と基板１３との間に滴下された接着剤１２は外周辺へ拡散し、一部は外方へ放出される。これに伴なって、接着剤１２の厚みが低下する。薄板ガラス１１と基板１３との間から放出された接着剤１２は、図６に示す排気管２６から接着剤分離ボックス２７において除去される。また基板１３はストッパ２２により保持されるので、チャック２０の回転中に基板１３が定盤２０上でずれることはない。
【００２１】
このように、薄板ガラス１１と基板１３との間の接着剤１２を遠心力により外方へ放出することができるので、余分な接着剤１２により基板１３を汚すことはない。また薄板ガラス１１と基板１３との間の接着剤１２の厚みは、チャック２０の回転数、回転時間、接着剤１２の粘性を適宜選択することにより調整される。
【００２２】
接着剤１２として電離放射線硬化型のものを用いる場合は、その後薄板ガラス１１と基板１３との間の接着剤１２に対して電離放射線（紫外線または電子線）を照射し、接着剤１２を硬化する。
【００２３】
このようにして薄板ガラス１１と基板１３とからなる、薄板で被覆された基板を製造することができる。
【００２４】
その後、薄板ガラス１１と基板１３を定盤２１から剥離用ヘラ３０を用いて剥離して取除く（図５(ａ)(ｂ)(ｃ)）。この場合、分離用ヘラ３０の代わりにブローエア２８（図６参照）を用いて、薄板ガラス１１と基板１３を定盤２１から剥離してもよい。さらに定盤２１の平坦面２１ａ上にリペア剤（図示せず）を塗布しておくことにより、薄板ガラス１１と基板１３の剥離を容易に行なうことができる。
【００２５】
以上のように、本実施の形態によれば、薄板ガラス１１が歪むことなく、また余分な接着剤１２により基板１３が汚れることのない、薄板で被覆された基板を確実に製造することができる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、薄板が歪んだりゆがんだりすることなく、また余分な接着剤により基板が汚れることのない、薄板で被覆された基板を精度良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による薄板で被覆された基板の製造方法を示す工程図。
【図２】本発明による薄板で被覆された基板の製造方法を示す工程図。
【図３】本発明による薄板で被覆された基板の製造方法を示す工程図。
【図４】定盤および基板を示す平面図。
【図５】定盤から薄板で被覆された基板を取除く工程を示す図。
【図６】フード内にブローエア２８を吹付ける状態を示す図。
【図７】定盤上に薄板ガラスを載置する状態を示す図。
【符号の説明】
１１  薄板ガラス
１２  接着剤
１３  基板
２０  チャック
２１  定盤
２２  ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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