(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直積みした複数の基板を幅方向に位置決めして収納する基板収納部と、基板収納部の上方側に配設され、基板を所定位置に搬送する一対の搬送レールと、基板収納部内の最上層の基板を吸着した状態で上昇し、基板を搬送レールに載置する基板吸着装置とを備え、前記一対の搬送レールが基板の幅方向に移動可能に配設され、基板吸着装置に吸着された基板が搬送レール間を通過する際に、各搬送レールが基板に干渉しない位置まで移動する基板供給装置であって、
前記基板収納部が、基板の側面に当接することで基板を幅方向に位置決めする側面基準板を備え、この側面基準板は、下縁部分において基板供給装置本体側に軸支されると共に、上縁部分において前記搬送レールと係合され、前記搬送レールの移動に伴って、軸支された部分を中心に基板の幅方向に傾斜動可能であることを特徴とする基板供給装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板供給装置であって、
前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段は、該側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピンと、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットとを備え、
ブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることを特徴とする基板供給装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の基板供給装置であって、
前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、前記側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピンと、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットと、調節ピンの先端部分に配設される第一の当接部と、調節ピンの側面基準板側に配設される第二の当接部と、前記搬送レールの移動に伴い、前記調節ピンに案内された状態で、第一の当接部と第二の当接部の間を移動可能に配設されるブロック部材と、調節ピンが挿通された状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばねとを備えることを特徴とする基板供給装置。
【請求項４】
請求項１記載の基板供給装置であって、
前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、一方の端部において前記搬送レールに接合すると共に、他方の端部において基板の幅方向に回転可能となるよう側面基準板にヒンジ接合される調節部材と、基板供給装置本体側に配設され、前記調節部材の一部に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットとを備え、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材が配設されると共に、ブラケットの基板の幅方向の配設位置を調節可能であることを特徴とする基板供給装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品実装設備等において各種処理装置に基板を供給する基板供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より基板に、例えば電子部品の実装等の様々な処理を施すための装置に基板を供給する基板供給装置が知られている。
以下、図５を用いて、一般的な基板供給装置の一例について説明する。
基板供給装置１００は基板の左右両側に配設される略矩形状の板体である一対の側壁１０１、各側壁１０１の下方側に配設され、側壁１０１を所定のタイミングで左右方向に移動させるシリンダ１０２、側壁１０１の左右方向の移動を案内するガイド部材１０３、基板に対して上下動可能となるよう支柱に配設された吸着ノズル１０４、基板を上面に載置するため左右の側壁１０１に挟まれる位置にほぼ水平に配設される基板載置板１０５、各側壁１０１の上端部分に配設され、各側壁１０１と一体に移動すると共に、基板を所定位置まで搬送する一対の搬送レール１０６等から概略構成される。また、前記一対の側壁１０１のうち、いずれか一方（例えば左側）の側壁１０１ａは、基板の側面を当接させることで基板を左右方向に位置決めするための基準用の側壁（以下、「基準側の側壁」という。）として用いられる。なお、搬送レール１０６による基板の搬送方向は、図５において紙面に垂直な方向である。
【０００３】
上述のような構造を備える基板供給装置１００を用いて基板を供給するには、まず、基板の幅（左右方向の幅）に合わせて予め各側壁１０１同士の間隔を調節したうえで、基板を基板載置板１０５上に直積みする。
そして、吸着ノズル１０４を降下させて最上層の基板を真空吸着し、吸着状態を維持したまま吸着ノズル１０４を上昇させる。この際に、前記シリンダ１０２を駆動させることにより、各側壁１０１を基板から離れる方向に移動させる。
【０００４】
そして、基板を搬送レール１０６より高い位置まで上昇させた後、シリンダ１０２を駆動することにより各側壁１０１を元の位置まで移動させ、搬送レール１０６上に基板を載置する。そして、基板を所定位置まで搬送する。
上述のように、基板の引き上げ時に側壁１０１を基板から離れる方向に移動させることで、基板が側壁１０１や搬送レール１０６に当接して吸着ノズル１０４から脱落することを防止できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような構造を備える基板供給装置１００によると、側壁１０１の直立状態を維持したまま左右方向に移動させていたため、各側壁１０１は、積載された基板の側面から完全に離れることになる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因して、積載された基板に位置ずれが生じ易くなり、また、側壁を元の位置に移動させる際にも、例えば、シリンダ１０２の動作に起因して、基準側の側壁１０１ａに微小量の位置ずれが生じ、積載された基板に位置ずれが生じるという問題があった。また、このように基板の位置がずれることにより、例えば、基板の所定位置を吸着できず、基板が落下したり、あるいは基板を搬送レール１０６上の所定位置に載置できないなど、作業性を悪化させる要因となっていた。
【０００６】
本発明の課題は、上述の問題を考慮し、積載された基板の位置ずれを防止できる基板供給装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するため、請求項１記載の基板供給装置（１０）は、直積みした複数の基板を幅方向に位置決めして収納する基板収納部（２０）と、基板収納部の上方側に配設され、基板を所定位置に搬送する一対の搬送レール（４０）と、基板収納部内の最上層の基板を吸着した状態で上昇し、基板を搬送レールに載置する基板吸着装置（３０）とを備え、前記一対の搬送レールが基板の幅方向に移動可能に配設され、基板吸着装置に吸着された基板が搬送レール間を通過する際に、各搬送レールが基板に干渉しない位置まで移動する基板供給装置であって、前記基板収納部が、基板の側面に当接することで基板を幅方向に位置決めする側面基準板（２２）を備え、この側面基準板は、下縁部分において基板供給装置本体側に軸支されるとともに、上縁部分において前記搬送レールと係合され、前記搬送レールの移動に伴って、軸支された部分を中心に基板の幅方向に傾斜動可能であることを特徴とする。
【０００８】
請求項１記載の基板供給装置によれば、側面基準板は、基板供給装置本体側にその下縁部分を支持されるとともに、上縁部分において搬送レールと係合され、搬送レールの移動に伴ってこの支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなる。つまり、基板収納部に積層された基板のうち、基板収納部から取出す必要がある上層に位置する基板に対しては、搬送レールの後方への移動に伴い側面基準板が一定量離れることで基板を取出しやすくなり、一方、下層に位置する基板に対しては側面基準板が極微量しか離れないので、基板の位置ずれを抑えることができる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【０００９】
請求項２記載の基板供給装置は、請求項１記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段（５０）を備え、該傾斜量調節手段は、該側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピン（５１）と、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケット（５２）とを備え、ブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、第一の当接部がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００１１】
請求項３記載の基板供給装置は、請求項１または２記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、前記側面基準板外面から略垂直方向に突出して配設されると共に、前記搬送レールの移動に伴い基板の幅方向に移動する調節ピンと、基板供給装置本体側に配設され、調節ピンの先端部分に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットと、調節ピンの先端部分に配設される第一の当接部（５３）と、調節ピンの側面基準板側に配設される第二の当接部（５４）と、前記搬送レールの移動に伴い、前記調節ピンに案内された状態で、第一の当接部と第二の当接部の間を移動可能に配設されるブロック部材（５５）と、調節ピンが挿通された状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばね（５６）とを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の基板供給装置によれば、請求項１または２と同様の効果を得られると共に、調節ピンに挿通した状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばねを備えることで、第一の当接部がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれ等を防止できる。
【００１３】
請求項４記載の基板供給装置は、請求項１記載の基板供給装置であって、前記側面基準板の傾斜量を調節する傾斜量調節手段を備え、該傾斜量調節手段が、一方の端部において前記搬送レールに接合すると共に、他方の端部において基板の幅方向に回転可能となるよう側面基準板にヒンジ接合される調節部材（６１）と、基板供給装置本体側に配設され、前記調節部材の一部に当接することで、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケット（５２）とを備え、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材（６３）が配設されると共に、ブラケットの基板の幅方向の配設位置を調節可能であることを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材が配設されることで、調節部材がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、調節部材がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
[第一の実施の形態]
以下、本発明にかかる基板供給装置１０の第一の実施の形態について図１〜図３を用いて説明する。なお、以下の説明において、搬送レール４０による基板の搬送方向を左右方向とし、水平面内で左右方向に直交する方向を前後方向とする。
図１に示すように、基板供給装置１０は、基板収納部２０、基板吸着装置３０、搬送レール４０、傾斜量調節手段５０（図３を参照）等から概略構成される。
【００１６】
基板収納部２０は直積みした複数の基板を幅方向（前後方向）に位置決めした状態で収納するために設けられ、フレーム２１、側面基準板２２、側面板２３、基板載置板２４を備える。
フレーム２１は略矩形状に形成される枠体であり、基板供給装置１０の前後側それぞれに配設される。そして、各フレーム２１間には、リニアガイド２１ａに挿通されたリニアガイド軸２１ｂが掛け渡されており、フレーム駆動用シリンダ２１ｃを駆動させることで、各フレーム２１はリニアガイド軸２１ｂに案内された状態で前後方向に移動可能な構造を備えている。従って、各フレーム２１間の距離を、基板収納部２０に収納される基板の前後方向の幅に対応して調節可能となっている。なお、詳しい説明は後述するが、各フレーム２１には搬送レール４０、傾斜量調節手段５０等が配設される。
側面基準板２２は、基板収納部２０に収納された基板の側面（本実施の形態においては後側面）に当接することで基板を前後方向に位置決めするための略矩形状の板体である。
側面基準板２２の寸法（前後方向及び上下方向の長さ）は、フレーム２１の開口の寸法よりも小さいものとされており、側面基準板２２は、その下縁部分において、例えば図２に示すスプリングピン２２ａなどを介して後側のフレーム２１に軸支されており、この軸支された部分を中心にしてフレーム２１の開口内を前後方向に傾斜動可能となっている。なお、詳しい説明は後述するが、この傾斜動は搬送レール４０の前後方向への移動に伴って行われる。
【００１７】
側面板２３は、基板収納部２０に収納された基板の側面（本実施の形態においては前側面）に当接することで、前記側面基準板２２と共に基板を前後方向に位置決めするための略矩形状の板体であり、その左縁部分において前側のフレーム２１にヒンジ接合されている。また、側面板２３は開閉扉としての機能を備えており、側面板２３を開くことで基板収納部２０への基板の収納が行われる。
基板載置板２４は、その上面に基板を載置するために、前記両フレーム２１間の下面側に掛け渡される略矩形状の板体である。
【００１８】
基板吸着装置３０は、基板収納部２０内に積層された基板のうち、最上層の基板を吸着ノズル３１で吸着した状態で上昇し、搬送レール４０上に載置するために配設される。
基板吸着装置３０は複数の吸着ノズル３１を備え、これら吸着ノズル３１が基板供給装置１０の左側から右方向に延出するアーム３２に取付けられる。また、アーム３２は基板供給装置１０の左側において、上下方向に延びるアームガイド軸３３に、アームガイド３４を介して連結されている。また、アームガイド軸３３の下端側には、主動プーリ３５を備えた回転型モータ３６が配設され、アームガイド軸３３の上端側には、従動プーリ３７が配設される。そして、回転型モータ３６を駆動することで、主動プーリ３５と従動プーリ３７に掛け回されたタイミングベルト３８（無端ベルト）に接合した前記アーム３２が上下動し、吸着ノズル３１を上下動することができる。
【００１９】
搬送レール４０は基板吸着装置３０によって基板収納部２０から取出された基板を所定位置まで搬送するための部材であり、基板収納部２０の上方に前後一対に設けられる。
各搬送レール４０は、フレーム２１の上面に配設された搬送レール移動用シリンダ４１と接合しており、この搬送レール移動用シリンダ４１を駆動させることにより、搬送レール４０を前後方向に移動可能となっている。
なお、搬送レール４０には搬送レール取付け台４２が接合され、この搬送レール取付け台４２は、フレーム２１上面側に取り付けられたリニアガイド４３上を摺動可能に配設されている。従って、搬送レール４０は搬送レール取付け台４２を介して、リニアガイド４３により前後方向への移動が案内される。
【００２０】
搬送レール４０がこのような構造を備えることにより、基板を吸着した状態で上昇する吸着ノズル３１が搬送レール４０間を通過する際に、各搬送レール４０を基板に干渉しない位置まで移動させることができる。
なお、詳しい説明は後述するが、一対の搬送レール４０のうち、前記側面基準板２２が配設されている側（後側）の搬送レール４０には、側面基準板２２を傾斜させると共に、傾斜量を調節する傾斜量調節手段５０が接合されている。
【００２１】
傾斜量調節手段５０は、上述のように、搬送レール４０の移動に伴って側面基準板２２を所定量傾斜させるために配設され、図３に示すように、調節ピン５１、ブラケット５２、第一の当接部５３、第二の当接部５４、ブロック部材５５、つる巻ばね５６等を備える。なお、図１においては、傾斜量調節手段５０の図示を省略している。
調節ピン５１は、側面基準板２２の外面から略垂直方向に突出して配設され、搬送レール４０の移動に伴い前後方向に移動する部材である。
【００２２】
ブラケット５２は、後側のフレーム２１の上縁部分を構成する部材の下面側に取付けられる正面視略Ｌ字状の部材であり、調節ピン５１の先端に配設された第一の当接部５３に当接することで、側面基準板２２の傾斜動を停止させるために配設される。
ブラケット５２が前記フレーム２１と当接する部分には、前後方向に長穴５２ａが形成されており、ブラケット５２は、この長穴５２ａを介して下方側からねじ止めされている。従って、ブラケット５２の配設位置を長穴５２ａに沿った方向に調節できる。
【００２３】
第一の当接部５３は、上述のように、調節ピン５１の先端部分に配設される円形の部材であり、その一方の側面（後側面）において前記ブラケット５２に当接すると共に、他方の側面（前側面）において、後述するつる巻ばね５６の先端部分と当接する。
第二の当接部５４は、調節ピン５１の側面基準板２２側、つまり前記第一の当接部５３に対して間隔をあけて配設される円形の部材であり、その一方の側面（後側面）において、後述するブロック部材５５に当接する。なお、図示はしないが、第二の当接部５４は調節ピン５１に挿通した状態でその周方向の側面側からねじ止めされている。従って、第二の当接部５４の配設位置を、調節ピン５１の軸方向に沿って調節することができる。
【００２４】
ブロック部材５５は、側面視略Ｕ字状に形成された部材であり、前記搬送レール取付け台４２を介して搬送レール４０に接合する。また、ブロック部材５５の開口部５５ａには前記調節ピン５１が挿通されており、ブロック部材５５は、搬送レール４０の移動に伴い調節ピン５１に案内された状態で、第一の当接部５３と第二の当接部５４の間を移動する。なお、ブロック部材５５を前後方向に移動させるために、フレーム２１の一部に切欠き２１ｄが形成されている。
つる巻ばね５６は、調節ピン５１に挿通され、その一方の端部（後側の端部）において、第一の当接部５３の前側面と当接し、他方の端部（前側の端部）において、ブロック部材５５の後側面に当接する。
【００２５】
従って、後側の搬送レール４０が基板に干渉しない方向（後方）へ移動すると、この搬送レール４０と一体にブロック部材５５が後方向に移動する。するとブロック部材５５と第一の当接部５３の間に介在するつる巻ばね５６により、第一の当接部５３を後方向に移動させる力が働き、この第一の当接部５３、ひいては調節ピン５１が後方向に移動する。従って、側面基準板２２を後方に傾斜させることができる。
そして、側面基準板２２が所定量傾斜した時点で第一の当接部５３の後側面がブラケット５２の側面に当接することで、側面基準板２２が停止する。
なお、第一の当接部５３がブラケット５２に当接すると、つる巻ばね５６には、第一の当接部５３により、前方向（縮み側）への力が働き、つる巻ばね５６が一定量縮むことになる。
【００２６】
また、搬送レール４０が元の位置、つまり前方向へ移動すると、つる巻ばね５６は、その両端部分において第一の当接部５３とブロック部材５５に当接した状態を保ちつつ、徐々に伸びていく。なお、この間は第一の当接部５３の後側面はブラケット５２に当接した状態を保っている。
そして、搬送レール４０が前方向に所定量移動した時点で、ブロック部材５５が第二の当接部５４の後側面に当接する。この状態からブロック部材５５がさらに前方向に移動することで、第一の当接部５３がブラケット５２から離れ、調節ピン５１全体が前方向に移動する。
そして、搬送レール４０が元の位置に戻った時点で、調節ピン５１に接合した側面基準板２２が直立状態となる。なお、搬送レール４０が元の位置に戻った状態で、側面基準板２２が直立状態となるように、予め第二の当接部５４の配設位置を調節しておくものとする。
【００２７】
次に、基板供給装置１０の動作について説明する。
まず、フレーム駆動用シリンダ２１ｃを駆動させて、基板収納部２０に収納する基板の幅（前後方向の長さ）に対応して、フレーム２１間の前後方向の距離を調節しておく。そして、複数の基板を前側のフレーム２１の開口側から、順次基板収納部２０に挿入する。この際に、基板の後側面を後側のフレーム２１に配設された側面基準板２２に当接させることで、基板を前後方向に位置決めする。
そして、吸着ノズル３１を降下させ、基板収納部２０内に積層された基板のうち、最上層の基板を吸着する。
【００２８】
そして、基板を吸着した状態で吸着ノズル３１を上昇させる。この際に、基板を通過させるため、各搬送レール４０を基板に干渉しない位置まで移動させる。そして、この搬送レール４０のうち、後側の搬送レール４０の後方への移動に伴い、上述のように側面基準板２２が後方へ所定量傾斜する。
そして、基板が搬送レール４０間を通過後、各搬送レール４０を元の位置まで移動させる。この搬送レール４０の移動により側面基準板２２が直立状態となる。
そして、基板を搬送レール４０上に載置し、所定位置まで搬送する。
以上で基板供給装置１０の動作が完了する。
【００２９】
本実施の形態で示した基板供給装置１０によれば、側面基準板２２は、フレーム２１にその下縁部分を支持され、この支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板２２が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなり、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置３０が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール４０上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【００３０】
また、傾斜量調節手段５０のつる巻ばね５６により、第一の当接部５３がブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、ブラケット５２の配設位置を前後方向に調節可能であるため、ブラケット５２に第一の当接部５３が当接する位置を調節でき、ひいては側面基準板２２の傾斜量を調節することができる。
【００３１】
なお、本実施の形態においては、傾斜量調節手段５０が調節ピン５１、ブラケット５２、第一の当接部５３、第二の当接部５４、ブロック部材５５、つる巻ばね５６を備えるものとしたが、これに限らず、例えば、調節ピン５１と、ブラケット５２のみを備えるものとしても良い。この場合は、傾斜量調節手段５０の構造を簡易なものにできる。
また、基板搬送方向に対して側面基準板２２を後側に配設するものとしたが、前側に配設しても良い。
【００３２】
[第二の実施の形態]
次に、第二の実施の形態について、図４を用いて説明する。
なお、以下の説明において、上記第一の実施の形態と同様の構成となる部分については同一の符号を用いるものとする。
第一の実施の形態と異なるのは、傾斜量調節手段の構造のみであり、本実施の形態にかかる基板供給装置の傾斜量調節手段６０は、図４に示すように、調節部材６１と、ブラケット５２を備える。
【００３３】
調節部材６１は、一方の端部において搬送レール４０に接合すると共に、他方の端部において側面基準板２２の上縁部分にヒンジ６２により接合される部材である。従って、調節部材６１はヒンジ接合された部分を中心に前後方向に回転可能であると共に、搬送レール４０の移動と一体に前後方向に移動可能である。
調節部材６１の一部には上下方向に延出する当接部６１ａが形成され、この当接部６１ａは、後述するブラケット５２の側面に当接する。
【００３４】
ブラケット５２は、前記第一の実施の形態で示したブラケット５２と同一の構造を備えており、その配設位置を前後方向に調節可能となっている。また、ブラケット５２の側面、つまり調節部材の当接部６１ａと当接する部分には弾性部材６３として、例えば弾性を有する樹脂製のゴムが貼設されている。
【００３５】
従って、搬送レール４０が基板に干渉しない方向（後方）へ移動すると、この搬送レール４０と一体に調節部材６１が後方に移動する。そして、側面基準板２２が所定量傾斜した時点で調節部材の当接部６１ａがブラケット５２の弾性部材６３に当接し、側面基準板２２の傾斜が停止する。
なお、搬送レール４０が元の位置に戻った状態で、側面基準板２２が直立状態となるように、予め調節部材６１の形状を調節しておくものとする。
【００３６】
本実施の形態で示した基板供給装置１０によれば、弾性部材６３により、調節部材の当接部６１ａがブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、ブラケット５２の配設位置を前後方向に調節可能であるため、このブラケット５２に当接部６１ａが当接する位置も調節でき、ひいては側面基準板２２の傾斜量を調節することができる。
なお、本実施の形態においては、ブラケット５２の側面に弾性部材６３が貼設されるものとしたが、これに限らず、例えばブラケット５２を可撓性を有する部材で形成し、ブラケット５２自体の撓みにより調節部材の当接部６１ａがブラケット５２に当接する際の衝撃を緩和するものとしてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１記載の基板供給装置によれば、側面基準板は、基板供給装置本体側にその下縁部分を支持され、この支持された部分を中心に傾斜動する。従って、側面基準板が、積載された基板の側面から大きく離れることが無くなる。つまり、基板収納部に積層された基板のうち、基板収納部から取出す必要がある上層に位置する基板に対しては、側面基準板が一定量離れることで基板を取出しやすくなり、一方、下層に位置する基板に対しては側面基準板が極微量しか離れないので、基板の位置ずれ量を抑えることができる。従って、例えば、基板の吸着時や引き上げ時の振動等に起因した基板の位置ずれや、あるいは、従来の基板供給装置のような、基準用側壁を移動するための、例えばシリンダやモータなどの駆動装置の動作に起因した基準用側壁の位置ずれを防止できる。
また、基板の位置ずれを防止できるので、基板吸着装置が基板の所定位置を正確に吸着でき、基板供給作業中の基板の落下を防止でき、また、基板を搬送レール上の所定位置に正確に載置でき、作業性を向上させることができる。
【００３８】
請求項２記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、第一の当接部がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【００３９】
請求項３記載の基板供給装置によれば、請求項１または２と同様の効果を得られると共に、調節ピンに挿通した状態でブロック部材と第一の当接部との間に配設されるつる巻ばねを備えることで、第一の当接部がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
【００４０】
請求項４記載の基板供給装置によれば、請求項１と同様の効果を得られると共に、ブラケットが調節部材と当接する部分に弾性部材が配設されることで、調節部材がブラケットに当接する際の衝撃を緩和することができ、衝撃に起因した基板の位置ずれを防止できる。
また、側面基準板の傾斜動を停止させるブラケットの配設位置を基板の幅方向に調節可能であることから、調節部材がブラケットに当接する位置を調節でき、基板の種類毎に異なる基板の幅に対応して、側面基準板の傾斜量を調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の実施の形態の基板供給装置を示す要部斜視図である。
【図２】第一の実施の形態の側面基準板の取付け構造を示す要部斜視図である。
【図３】第一の実施の形態の傾斜量調節手段の構造を示す要部斜視図である。
【図４】第二の実施の形態の傾斜量調節手段の構造を示す要部斜視図である。
【図５】従来の基板供給装置を示す要部正面図である。
【符号の説明】
１０    基板供給装置
２０    基板収納部
２２    側面基準板
３０    基板吸着装置
４０    搬送レール
５０    傾斜量調節手段
５１    調節ピン
５２    ブラケット
５３    第一の当接部
５４    第二の当接部
５５    ブロック部材
５６    つる巻ばね
６１    調節部材
６３    弾性部材
【図１】
0004633964.tif 000002
【図２】
0004633964.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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