(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
能動背面回路基板上に定められた電気的にアドレス指定可能な要素の配列であって、前記要素の第１の複数個の互いに重なり合わない組を有する配列を含む能動背面回路基板構成であり、所定の順番で一度に一組ずつ前記第１の複数個の組の全てをアドレス指定するように構成された組スキャニング手段を有する能動背面回路基板構成において、この構成が、前記組スキャニング手段と独立して前記組の各々を選択的にアドレス指定するための組選択手段を更に含み、前記第１の複数個の組のうち２つ以上または全てを同時にアドレス指定することができ、前記組スキャニング手段が、複数のステージを有する少なくとも１つのシフト・レジスタを包含し、前記組の各々が、それぞれのステージの出力部に接続しており、前記出力部の各々に、デマルチプレクサが続いて接続されていることを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項２】
請求項１による能動背面回路基板構成において、前記組選択手段が、シフト・レジスタの前記ステージの各々について、その出力をラッチするための第１制御入力部を包含することを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項３】
請求項２による能動背面回路基板構成において、前記ステージの各々が、前記関連ステージをラッチ解除して通常のシフト・レジスタ動作を再開させる第２制御入力部を包含することを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項４】
請求項２または請求項３による能動背面回路基板構成において、前記組選択手段が、前記第１制御入力部を選択する入力信号を、通常のシフト・レジスタ動作を禁止するための信号をともなって提供するための手段を含むことを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項５】
請求項２による能動背面回路基板構成において、前記組選択手段が、前記複数の組の各々とそれに関連した出力部との間に論理回路を包含し、前記論理回路が、前記関連した出力部の信号に置き換わる所定の第１信号を提供する第１制御入力部を有することを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項６】
請求項５による能動背面回路基板構成において、前記論理回路が、前記第１信号と異なる、前記関連した出力部の信号に置き換わる所定の第２信号を提供する第２制御入力部を包含することを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項７】
請求項６による能動背面回路基板構成において、前記第１、第２の信号のうちの一方が他方に置き換わるように前記論理回路を構成したことを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかによる能動背面回路基板構成において、前記配列は、前記要素の別の複数個の互いに重なり合わない組、この別の複数個の互いに重なり合わない組に対する第２の組スキャニング手段、および前記別の複数個の互いに重なり合わない組に対する第２の組選択手段を更に含むことを特徴とする能動背面回路基板構成。
【請求項９】
請求項８による能動背面回路基板構成において、前記配列が、前記クロック信号を生成する手段と、一度に１つのレジスタにのみ前記クロック信号を転送するように構成した手段とを包含することを特徴とする能動背面回路基板構成。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、アドレス指定可能な配列およびこのような配列を組み込んだ空間光変調器に関する。
【０００２】
本明細書における好ましい実施例に関して説明する空間光変調器は、能動半導体背面回路基板と共通の正面電極との間にスメクチック液晶層を配置した形態を採る。これは、比較的多数の画素を有し、高速で、且つ、可能なら安価な空間光変調器についての要求に応じて開発されたものであり、表示装置としてのみならず、他の光学処理形態（たとえば、相関・ホログラフィック・スイッチング）についても潜在的な用途を有する。この装置の他の態様は、本願と同一出願人による国際特許出願で扱われている（PCT/GB99/04285(代理人整理番号P20957WO),優先権GB9827952.4; PCT/GB99/04286及びPCT/GB99/042768(代理人整理番号P20958WO及びP20958WO1)、共に優先権GB9827965.6; PCT/GB99/042828 (代理人整理番号P20959WO),優先権GB9827900.3; PCT/GB99/04279(代理人整理番号P20960WO）,優先権GB9827901.1; PCT/GB99/04275(代理人整理番号P20962WO),優先権GB9827945.8並びにPCT/GB99/04260及びPCT/GB99/042677(代理人整理番号20963WO, P20963WO1)、共に優先権GB9827944.1参照）。
【０００３】
本願の空間光変調器の開発途中、一連の問題に遭遇し、それらを解決したが、これらの問題の解決策（構造、機能または方法の形を問わず）は、必ずしも本願実施例に適用するように制限されるわけではなく、他の用途を見出すことになろう。したがって、本発明の態様のすべては、必ずしも液晶装置に限られるものではなく、また、空間光変調器に限られるわけでもない。それにもかかわらず、後述する実施例を開発するに際して遭遇した問題についての論議を開示することが理解に役立つであろう。
【０００４】
液晶相は、１９世紀から認識されていた。光変調器で液晶材料を利用する早期の試みが２、３あり、いずれも、商業的な用途ではかなり成功していた。しかしながら、１９６０年代の終わりから、１９７０年代では、より多くの材料で成功する率が高まり、より純度の高い材料が利用できるようになり、そして、技術の全般的な進歩により、光変調器において液晶材料を使用することに関心が再び高まってきた。
【０００５】
一般的に言って、この１９７０年代の期間は、ネマティック、コレステリック液晶材料を用いることで始まった。コレステリック液晶材料は、主として温度を測定したり、温度変化を示したりすることができるという点で、また、たとえば、不純物の存在に応答することができるという点で、センサとしての用途が見出されていた。このような場合、コレステリック螺旋のピッチは、検出しようとしているパラメータに敏感であり、ピッチに応じて、螺旋によって或る方向の円偏光に対して選択的な反射を生じる波長を変化する。
【０００６】
また、電気光学式変調器においてコレステリック材料を使用する試みもなされたが、当時、この分野での主たる研究目標はネマティック材料であった。初期の装置は、ネマティック動的散乱効果のような効果を使用していたが、表面誘起整列配向、偏光についての効果および細長い色素分子その他の細長い分子／粒子の再配向のような特性を使用するますます複雑な装置がそれを受け継いだ。
【０００７】
この装置のいくつかは、表面整列配向を適当に調整するか、あるいは、液晶相に光学的に能動的な材料を組み込むことによって、ネマティック相がねじれた構造を採用したセルを使用していた。このような材料は、コレステリック材料に似ているという見方があるが、特殊な形態のネマティック相と考えられることが多い。
【０００８】
最初は、液晶光変調器は、対向した電極支持プレートに挟まれた液晶材料層を包含する単一セルの形をしており、これらのプレートの少なくとも一方が透明であった。このようなセルは、動作が遅く、液晶材料の劣化により寿命が短くなる傾向があった。非常に早期に、液晶セルに平均的な直流電圧を印加するのは得策ではなく、少なくとも或る場合には、液晶材料そのものの電気分解によって劣化が生じることが認識されており、平均直流電圧をゼロにする機構が案出された。
【０００９】
現在は、直流電圧を印加したときに、他の効果も作用することが認められている。任意の時間にわたって液晶電気光学装置を駆動すると、残像として知られる現象が生じる可能性がある。この効果の正確な原因は未知であるが、直流電界全体に応答して材料内にイオンが閉じ込められるか、あるいは、空間電荷が誘起され、これが、外部直流電界が除かれたときでも残留電界を生じさせるという理論がある。電気分解破壊を避けるためにも、あるいは、残像を避けるためにも、液晶材料に印加される時間平均化電圧（すなわち、電圧が実際に外部ソースから液晶に印加されている時間にわたる平均）がゼロであることが、明らかに望ましい。
【００１０】
ネマティックセルの液晶層の厚さは、普通、約２０〜１００ミクロンである。そして、ネマティック液晶セルと関連した単位静電容量値がそれ相応に小さくなる。さらに、全「ＯＦＦ」状態から全「ＯＮ」状態へのスイッチング時間がむしろ比較的長くなる、普通、約１ミリ秒となる傾向がある。確実に駆動されない限り、「ＯＦＦ」状態へ戻る緩和もいくぶん長くなる可能性があるが、この「ＯＦＦ」状態は唯一の安定状態である。
【００１１】
同時に、複数の画素を包含する電気光学ネマティック装置も考案されていた。最初は、画素の片側に共通電極を有し、セルの反対側に複数の個々にアドレス指定可能な受動電極を有する形態（たとえば、７セグメント・ディスプレイ装置）であるか、あるいは、セルの両側に交差する受動電極配列（たとえば、スキャンされる行、列の電極）の形態であった。後者の配置はかなりの融通性を持っていたが、画素間の混信に関連した問題があった。
【００１２】
印加電圧のアナログ変調によってのアナログ（グレイ・スケール）表示が必要なときには、状況は悪化した。その理由は、光学応答性が印加電圧に非線形に関係することにある。特に直流バランスも必要な場合、アドレス指定機構が比較的複雑となった。ネマティックセルの切換が比較的遅いことに関連して、このようなことを考えると、妥当な解像度を有するリアルタイム・ビデオ画像を得ることは難しい。
【００１３】
その後、能動背面回路基板装置が製造された。これは、背面回路基板とそれから隔たって対向する基板との間に配置した液晶材料層を有する。背面回路基板は、対応する画素を付勢するための複数の能動要素（たとえば、トランジスタ）を有する。この付勢は、通常、対向基板上に配置された１つまたはそれ以上の対向電極との協働作用を伴うが、背面回路基板そのものの、液晶層の平面とほぼ平行な領域に対向電極を設けることが可能となった。
【００１４】
普通の背面回路基板形態としては、シリカ／ガラス背面回路基板上の薄膜トランジスタと半導体背面回路基板の２つある。能動要素は、或る種の形態のメモリ機能を実施するように配置することができる。この場合、能動要素のアドレス指定に必要な時間は、画素をアドレス指定し且つ切り換えるのに必要な時間に比べて、短くなり、ビデオ・フレーム率で表示することについての問題を軽減する。
【００１５】
能動背面回路基板は、普通、動的ランダム・アクセス・メモリ（ＤＲＡＭ）または静的ランダム・アクセス・メモリ（ＳＲＡＭ）に非常に類似した配置で提供される。分布型配列のアドレス指定可能位置の各々で、ＳＲＡＭタイプ能動背面回路基板は、２つの安定状態を有するように配置された少なくとも２つの接続したトランジスタを包含するメモリ・セルを包含し、その結果、セル（したがって、関連した液晶画素）は、後のアドレス指定段階で変えられるまで最後に切り換えられた状態に留まる。各位置は、その関連した液晶画素を電気的に駆動し、それ自体が双安定となる。すなわち、画素静電容量がない。画素を駆動して既存の切り換えられた状態を維持するパワーは、ＳＲＡＭ位置の配列にも給電する母線から得られる。アドレス指定は、やはり、通常、周辺論理回路および列、行アドレス指定ラインから実施される。
【００１６】
或るＤＲＡＭタイプ能動背面回路基板においては、単一の能動要素（トランジスタ）が、各位置に設けてあり、関連した液晶画素の静電容量と共に、電荷蓄積セルを形成している。したがって、この場合、そして、ＳＲＡＭ背面回路基板とは異なり、液晶画素は、背面回路基板のＤＲＡＭの一体部分となる。液晶画素それ自体が双安定でない限り、位置と関連した双安定性はない。このことは、通常、ネマティック・画素に関する限り当てはまらない。その代わりに、アドレス指定されていないときに高いインピーダンスを与えて、静電容量からの電荷の漏洩を防ぐ能動要素と、ＤＲＡＭ位置の周期的なリフレッシングとに依存する。
【００１７】
コンピュータ技術と関連した形態のＲＡＭとは対照的に、画素回路、より重要には、画素トランジスタは、しばしば、少なくとも部分的に光にさらされる。このことは、特に画素がＤＲＡＭ回路の一部であるＤＲＡＭタイプ背面回路基板の場合、光誘起導電率および電荷漏洩を含む問題の原因になり得る。この局面は、我々の継続中の出願でより詳しく扱われている（PCT/GB99/04279(代理人整理番号P20960WO参照）)。
【００１８】
薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）背面回路基板は、かなりの面積となり得る面積にわたって基板（普通は、透明）上で分布させられる薄膜トランジスタの配列を有し、トランジスタをアドレス指定する周辺論理回路を備えている。従って、直接見ることのできる大面積画素付き装置を得ることが容易になる。それにもかかわらず、製造中の背面回路基板の歩留りと関連した問題があり、アドレス指定導体の長さは、スキャニングに遅延をもたらす。ＴＦＴ配列が、透明な基板（たとえば、ガラス基板）上に設けられるとき、該ＴＦＴ配列は、実際に、液晶表示装置の前面あるいは後面上に設置することができる。
【００１９】
それらの全体的なサイズに鑑みて、トランジスタ、関連した導体および他の電気素子（たとえば、コンデンサ）によって占有されるＴＦＴ配列の面積は、比較的広くはない。したがって、ＴＦＴ配列の面積は、ＤＲＡＭ構成に比べて、ＳＲＡＭ構成を使用する際に重大な欠点でとはならない。ＳＲＡＭ構成の背面回路基板は、液晶画素の遅いスイッチング時間と関連した問題の多くを克服する。
【００２０】
一般的に、ＴＦＴ背面回路基板における能動要素は、ＦＥＴと異なり、拡散トランジスタなどであり、その結果、関連するインピーダンスが比較的低く、関連した電荷漏洩が「ＯＦＦ」状態で比較的高くなる。
【００２１】
半導体能動背面回路基板のサイズは、利用できる半導体基板のサイズと比較してサイズが制限されており、光学素子の介在なしに直接見るには適していない。それにもかかわらず、背面回路基板が非常に小さいということは、能動要素のアドレス指定速度を助ける。このタイプの背面回路基板は、通常、ＦＥＴ、たとえば、ＭＯＳＦＥＴあるいはＣＭＯＳ回路を有し、「ＯＦＦ」状態において比較的高い関連インピーダンスおよび比較的低い関連電荷漏洩を有する。
【００２２】
しかしながら、小型であるということは、また、特にＤＲＡＭタイプより多くの要素を必要とするＳＲＡＭタイプにおいて、トランジスタ、関連する導体その他の電気素子（たとえば、コンデンサ）によって占有される全光変調（配列）面積が、比較的広くなることを意味する。半導体背面回路基板は、可視光に対して不透明であるので、光変調器あるいは表示装置の後部基板となろう。
【００２３】
より後年、スメクチック液晶の使用でかなりの開発が行われた。この開発によれば、スイッチング速度が著しく大きくない限りネマティック相よりも潜在的に有利となったが、適切な表面安定化を伴えば、強誘電性ネマティックＣ相が、２つの安定した整列配向状態、すなわち、メモリ機能を有する装置を提供する。
【００２４】
このような装置における液晶材料の層の厚さは、普通、対応するネマティック装置よりもかなり小さい。通常、せいぜい２、３ミクロンのオーダーである。潜在的なスイッチング速度を変えることに加えて、この厚さは、画素の単位静電容量値を増大させ、次のアドレスが生じるまで１つの画素のところで切り換えられた状態を保持する際にＤＲＡＭ能動背面回路基板の機能を容易にする。
【００２５】
しかしながら、液晶厚さが背面回路基板の下層構造と関連した厚さに近くなるほど、また、液晶セル構造が基板の撓みあるいは他の動きによって変形する可能性があるため、問題が生じる。たとえば、画素面積を横切っての応答の一様性およびセル厚さを横切っての短絡の可能性についての問題が生じる。これらの要因は、我々の継続中の出願でより詳しく扱われている（PCT/GB99/04282(代理人整理番号P20959WO参照）)。
【００２６】
液晶セルまたは画素の長い緩和時間が可能であることまたは双安定性さえ可能であることにより、グレイ・スケール画像が必要なときに比較的新しいデジタル技術の導入が容易になる。その場合、画素は、グレイ・レベルに従って観察期間の一部にわたって「ＯＮ」となる。本質的に、画像は、一連のビット・プレーンに演算分解される。この場合、各画素は「ＯＮ」あるいは「ＯＦＦ」のいずれかであり、ビット・プレーンが順次に表示される。好ましい形態においては、すなわち、（通常バイナリの）重み付けビット・プレーン技術においては、ビット・プレーンの持続時間に重み付けがなされ、それによって、画像の合成に必要なビット・プレーンの数を減らし、アドレス指定要件をいくぶんか減らすことになる。
【００２７】
画素構造−スイッチング、アドレス時間
容量性要素を切り換えるのにＳＲＡＭタイプの背面回路基板を使用する場合、背面回路基板上の位置をアドレス指定するのに必要な時間は、容量性要素が応答したかどうかにかかわらず、その位置を切り換えるのに必要なだけに短くてもよい。位置は、常に、電源に接続されており、アドレス指定パルスが停止した後も容量性要素に電力（電流／電圧）を供給し続けることができる。
【００２８】
対照的に、電力は、アドレス指定が行われている間のみＤＲＡＭ位置から容量性要素に供給され、その後、能動要素（トランジスタ）がオフにされる。もしアドレス指定パルスが必要な電荷量を転送するには不十分な長さであるならば、容量性要素は不完全に切り換えられる。このことは、たとえば、容量性要素が、或る種のスメクチック液晶セルの場合の様に強誘電性材料を含む場合に、生じがちである。たとえば、大型配列において、アドレス指定時間が短くなる。
【００２９】
１つの解決策は、アドレス指定パルス中に急速に荷電される付加的な「スラグ」静電容量を与えることであり、こうすれば、容量性要素がより長い時間にわたって切り換えを行いながら電荷溜めを得ることができる。この局面は、我々の継続中の出願においてさらに詳しく扱われている（PCT/GB99/04279(代理人整理番号P20960WO参照）)。この参考資料は、それぞれの第１電極を付勢するための半導体基板上のアドレス指定可能な能動要素の配列を有する半導体能動背面回路基板を提供することに関するものであり、そこでは、少なくとも、前記電極の下方にある領域の一部が、コンデンサとして作用するようになっている。特に、前記部分は空乏領域として形成することができ、それによって、使用時、逆バイアス・ダイオードとして作用する。あるいは、個別のコンデンサ電極板を前記電極下方に形成し、１つを基板に接続し、他方を電極に接続するようにしてもよい。
【００３０】
スメクチック液晶電気光学セル
スメクチック液晶相においては、分子は、コレステリック、ネマティック相によって示される配向秩序に加えて、位置秩序（「層」）を示す。そこにある多数の異なったスメクチックサブ相は、スメクチック層の構造全体において配向秩序が異なっており、最も普通なのは、スメクチックＡ相（ＳｍＡ）およびスメクチックＣ相（ＳｍＣ）である。
【００３１】
スメクチック材料についての普通の整列配向は、セル厚さを横切って電界を印加することができるので、平らであり（分子が主セル面とほぼ平行であり）、スメクチック層がセルの平面に対して直角である。セル平面においてスメクチック層で、ホメオトロピック整列配向を得ることが可能であり、このような装置は急速屈折率変調器となることができる。しかしながら、切り換えのために適切な電界を印加するためには、非常に小さい電極ギャップが必要であり、したがって、このような装置は、非常に小さい能動領域を有する傾向がある。その結果、このタイプの装置は比較的珍しい。
【００３２】
スメクチックＡ相において、配向方向(ディレクタ)は層の平面に対して直角である。配向方向に対して直角に電界を印加することにより、電界強さにほぼ線形に従属する量だけ、配向方向を、印加電界に対して平行な軸線まわりに傾斜させ、アナログ・グレイ・スケール変調を達成することが可能になる。光の偏光が影響を受けるので、強度変調または位相変調を達成することができる。そして、配向方向の回転がセルの平面において行われるので、通常、入射光は、常に、材料の光軸に対して垂直である。セルの厚さと関連して、このことは、このような装置のため視角を向上させることになる。この効果（エレクトロクリニック効果と呼ばれる）は、極めて急速であり、約１００ナノ秒までのスイッチング時間短縮が観察された。
【００３３】
スメクチックＣ相において、配向方向は、スメクチック層の平面と一定（「傾斜」）角度をなす。傾斜角度は、材料および温度に依存し、スメクチック層にその先端があり、その軸線がこの層に対して直角であり、配向方向のすべての可能性ある位置が表面にある円錐を構成する。キラル・スメクチックＣ相（ＳｍＣ＊）のバルクにおいて、配向方向は、螺旋と同様に層から層へ歳差運動的に変化する。
【００３４】
キラル・スメクチックＣ相において、液晶材料は強誘電体であり、永久双極子を有する。これは、時に、自発分極（Ｐs）と呼ばれる。バルク材料においては、Ｐsは、配向方向が歳差運動的に変化するにつれて層の平面において回転するので、正味効果は観測できない。もし歳差運動的な変化が、装置の平面に位置する配向方向の２つの向きだけが可能であるように配向方向の表面安定化および／または反対の対掌性キラル物質でバック・ドーピングすることによって抑制されるならば、バルク強誘電性は観察され得る。
【００３５】
スメクチックＣ＊材料は、それぞれ、高傾斜及び低傾斜材料として知られる２つのクラスに広範囲にわたって分割され得る。クラスI材料は、層シーケンス、アイソトロピック−ネマティックＡ＊−スメクチックＣ＊を有し、約２２．５°（４５°の円錐角度）まで全般的にグループ分けされた傾斜角を有する低傾斜材料となる傾向がある。クラスII材料は、相シーケンス、アイソトロピック−ネマティック−スメクチックＣ＊を有し、より大きい傾斜角を有する高傾斜材料となる傾向がある。７５°より大きい円錐角度を有する材料は、希であるが、位相変調を必要とするホログラフィック用途の場合、９０°の円錐角度が理想であろう。
【００３６】
低傾斜材料の場合、スメクチック層は、直角以外の角度でセル表面に対して傾斜し、その結果、配向方向円錐は、傾斜軸線を有し、その表面は、セル表面に対して接線方向となる。高傾斜材料の場合には、円錐軸線は、セル表面に対して直角となる。
【００３７】
構造が表面安定化されると、理論的には、少なくともクラスI材料の場合、低傾斜材料の２つの状態間には優先度はなく、双安定構造となるはずである。表面安定化は、単にセル内の層を薄くすることによって達成され得る。２つの状態は、偏光に異なった効果を奏し、したがって、強度変調または位相変調を提供できる。実際、特にシリコン背面回路基板で真の双方向性を得ることは非常に難しいか、不可能であり、一方の状態が他方の状態に対して軽い優先度がある。それにもかかわらず、これは、比較的長い緩和時間を生じるはずである。
【００３８】
高傾斜材料の場合、２つの状態は同等ではなく、一方の状態が他方の状態よりも優先し、その結果、なんら他の要因のない状態で単安定性となる。これら２つの状態は、光の位相変調を得ることができるようにするものであり、間接的に、たとえば、ホログラフィック用途において、強度変調を行うことができる。高低両方の傾斜材料は、本発明の空間光変調器において使用することができる。
【００３９】
安定性／緩和
自発偏光の存在および液晶分子が電界の影響の下に再整列するときのその再整列は、たとえば、再整列中にスメクチック層の両側の電極間の有意の付加的な電流あるいは電荷を生じさせることになる。面積Ａの画素は、スイッチング中、２ＡＰsの電荷を消費することになる。このファクタは、画素スイッチングがＤＲＡＭタイプの能動背面回路基板によって制御されるとき、すなわち、画素静電容量およびＰsが重要な設計パラメータとなっているとき、特に重要である。また、本発明の好ましい実施例におけると同様に、アドレス指定パルスが画素スイッチングには不充分に長い場合、電荷消費がこのような装置において電極を横切る電界を低減することに注目されたい。
【００４０】
既に説明したように、ここに記載した背面回路基板の使用は、液晶装置に限られない。しかしながら、これらの背面回路基板は、液晶装置の製造で使用するのに特に適している。ここで再び、このような装置においてネマティックあるいはコレステリック材料を使用することは可能であるが、スイッチング作用がより急速であるため、スメクチック材料を使用することが好ましい。
【００４１】
スメクチック材料が好ましいとする他の理由は、急速スイッチング時間である。ＤＲＡＭタイプ能動背面回路基板を使用する場合（（背面回路基板がＳＲＡＭタイプであるときには、パワー／電流が各画素に連続的に与えられる可能性があるので、これは適用できない）、ひとたび画素が所望の状態に置かれたならば、緩和時間を延ばすことができ、双安定効果さえ得ることができる。緩和が生じる場合における急速なスイッチング時間を有することの１つの利点は、観察時間に使用できる画素繰り返しアドレス期間の一部を増大させることにある。別の利点は、特に光学処理が関係する場合、データ・スループットの増大にある。
【００４２】
静電安定化
画素が一方向へ切り換えられたときに生じる電荷消費は、画素が他方向に切り換えられたときに対応する電荷を発生させる。したがって、切り換えられた画素が完全に電気的に隔離されている場合には、電荷は流れることができず、画素は緩和できない。ＤＲＡＭタイプ配列の動作において、この状態は、配列のすべてのトランジスタをオフにすることによって実施され得る。そして、好ましい実施例においては、すべてのトランジスタをオフにすることは、行スキャナに大域リセット信号ＮＲＡＲを与えることによって可能となる。また、アドレス指定機構の或る種の実施例においては、ひとたびフレーム内のすべての行がスキャンされてしまったならば、次のフレーム・スキャンのスタートまで、すべてのトランジスタがオフ状態のままにされる。（交流安定化を有するものを含めた、アドレス指定機構の他の実施例は、トランジスタをオンにしたままにしなければならない）。
【００４３】
実際には、電荷漏洩は完全に除去することはできず、したがって、緩和が、長期間にわって生じることになる。電荷漏洩の普通の原因は、先に延べた静電容量と関連した光導電性および／またはＤＲＡＭ配列の関連したスイッチング・トランジスタにおける光導電性または他の漏洩電流である。
【００４４】
したがって、電気絶縁は、緩和時間を長くするには有用であるが、ツールとしては不完全である。材料およびセル設計の適切な選択によって、または、電気絶縁によって、長い緩和時間が達成されるかどうかの重要なファクタは、画素が本質的に所望状態に維持されるべき間に、この画素の連続するアドレス指定の間に充分な時間をとることができるということである。
【００４５】
ＡＣ安定化
緩和中、配向方向は装置の平面方向から他の位置に回転する。電界が材料に付与された場合、電界それ自体が材料の偏光を誘発する。そして、偏光が電界に反応し、電界の二乗に比例し、したがって、電界極性から独立したトルクを生じさせる。負の誘電率異方性を有する材料の場合、このトルクは、画素の平面に分子を維持するように作用し、それによって、液晶の配向方向をその切り換えられた状態のいずれかに「錠止」する。こうして、連続したアドレス指定（通常、スイッチング電圧に対する低振幅）間の交互の電界の連続付与が、配向方向の、別の向きへの緩和を防ぐ。２つの好ましい向きのいずれかから配向方向が回転するいかなる傾向も、配向方向をそれが持つべき向きに回転させる交流電界によって効果的に直ちに反作用を受ける。この効果は、交流電界が存在する限りその間に得られるはずであり、その結果、装置は、あたかも双安定性であるかのようにふるまう。
【００４６】
ＤＲＡＭ配列装置においては、この効果は、ＤＲＡＭスイッチング・トランジスタのすべてを大域的にオンとし、列電極のすべてに同じ直流信号（たとえば、ゼロまたはＶボルト）を印加し、共通正面電極に交流電圧を、列電極に付与された直流レベルと一致する直流レベルを伴って印加することによって、得ることができる。
【００４７】
切り換えられた画素状態をこのように無限に続けることは、同じ光学状態を数日、数ヶ月あるいは数年にもわたって維持する必要がある或る種のタイプの光学的処理において特に重要である。
【００４８】
したがって、配列の動作中、複数の行を、より好ましくは、すべての行を同時に使用可能とすることができ、各列にある使用可能とされた画素が、すべて、同時に同じ状態にされ得ることが望ましことは明らかである。この点は、１つの画素の切り換え状態を延長させるために空白化、交流安定化を行うことに関連して既に説明した。この仕方は、また、電位の直流パルスを付与する時間を明確かつ精密に定めることができるので、望ましい。このことは、直流バランシングを考慮するときに望ましい。この段階に続いて、交流安定化を使用しない場合には、また、使用可能とされたトランジスタを使用不可能にする、好ましくは、配列全体にわたって大域的に使用不可能にし、たとえば、液晶セルの短絡による緩和を防ぐことも望ましい。
【００４９】
後述する実施例においては、列に送られた並列データが同じであり、すべての行が使用可能とされるので、配列全体が０または１にされ、それによって、配列を空白にすることができる。もし列に沿った並列データが変化するならば、垂直方向へ筋の入った画像が生成される。
【００５０】
空白処理中の正面電極と列の間の電位差がゼロである場合、画素が短絡されることになり、それによって、緩和が生じ得る。あるいは、電位差は、正または負の直流であってもよく、その場合、すべての画素を比較的急速にオンまたはオフに駆動する。もし直流電位差がゼロであるが、小さい交流電圧が、好ましくは、共通正面電極上に存在するならば、或る種の環境において、画素は、現在の状態に維持され得る（交流安定化）。
【００５１】
したがって、本発明は、電気的にアドレス指定可能な要素の配列またはこのような配列を包含する能動背面回路基板を提供する。そこにおいては、前記配列は、前記要素の複数の互いに重なり合わない組と、一度に１つずつ前記組をアドレス指定するように配置した手段と、前記複数のセットの２つ以上（好ましくは、すべて）の組（「選択組」）を同時にアドレス指定する手段とを包含する。多くの配列は、直交する導体の組を経てアドレス指定される。そして、たいていの普通の配列形態は、アドレス指定可能な行（組）と列として配置されるが、他の配置も可能である。たとえば、極座標（距離および角度）に基づいた配置も可能である。しかしながら、現代のコンピュータ技術および標準の変換器は、大多数の場合、その他のフォーマットを利用不可能なものにする傾向がある。
【００５２】
好ましくは、アドレス手段は、複数のステージを有する少なくとも１つのシフト・レジスタを有し、前記組の各々が、それぞれのステージの出力部に接続される。したがって、１つのレジスタの動作開始時に挿入される指示信号は、このレジスタをクロック・ダウンし、順次に各組をアドレス指定することができる。好ましくは、レジスタあるいはそれ以降の回路からの出力は、さらに別の要素の組がアドレス指定される前に、（クロック）パルスに応答してアドレスを除去するように構成される。
【００５３】
シフト・レジスタの出力ステージ、または出力ステージと（「選択」）組との間の回路は、第１制御入力部を包含し得る。この第１制御入力部は、活性化されたときに、「選択組」のすべてに第１の所定信号を送る。この第１の所定信号は、選択組のすべての要素を同じ第１の所定状態に切り換えるのに使用され得る。そして、使用時、好ましい実施例においては、第１の所定信号は、ＤＲＡＭタイプ配列のすべてのスイッチング・トランジスタをオンにするのに役立つ。
【００５４】
シフト・レジスタの出力ステージ、または出力ステージと（「選択」）組の間の回路は、さらに、第２制御入力部を包含することができる。この第２制御入力部は、活性化されたときに、選択組のすべてに第２の所定信号を送る。この第２の所定信号は、第１の所定信号と異なっており、選択組のすべての要素を同じ第２の所定状態へ切り換えるのに使用され得る。使用時、好ましい実施例においては、ＤＲＡＭタイプ配列のすべてのスイッチング・トランジスタをオフにするのに役立つ。
【００５５】
好ましくは、第１、第２の所定信号のうちの１つが他方よりも優先するように構成される。
【００５６】
要素が行（組）および列として配置されているとき、２つのシフト・レジスタがあり得る。１つは奇数行用、もう１つは偶数行用とすることができる。１つのシフト・レジスタだけからの出力がいつでもアクティブ（活動）であり、前の行のアドレスの除去に続いて１つだけの行がアドレス指定されるように構成してもよい。
【００５７】
シフト・レジスタは、一度に１つレジスタだけをクロッキングするように構成した手段でクロックされ得る。このクロッキング作用は、たとえば、１つのフル・レジスタをクロッキングし、次いで他のレジスタをクロッキングすることによって、あるいは、各レジスタを交互にクロッキングすることによって、必要に応じて逐次的（累進的）あるいは飛び越しスキャンを行い、一度に１つの行をアドレス指定するように変更可能である。しかしながら、たとえば、奇数行及び偶数行からなる隣り合った対について、両レジスタからの出力を同時にアクティブにすることも可能である。
【００５８】
シフト・レジスタ（単数または複数）によってアドレス指定される要素組の数を増やすために、シフト・レジスタの出力部の後にデマルチプレクサを設けてもよい。これは、また、アドレス指定することができる行の数を増大させる。
【００５９】
配列の要素が第２のアドレス指定可能な入力部を有する場合、複数の前記列（好ましくは、すべての列）の第２のアドレス指定可能な入力部を同時にアドレス指定することができる。
【００６０】
第２のアドレス指定可能な入力部は、デマルチプレクサを経てより少ない数ｎの並列データ・ラインからデータを受け取るように配置することができる。デマルチプレクサは、並列の入力ラインからデータを受け取るための複数（ｎ個）の選択的に作動可能なラッチを包含してもよい。この場合、ラッチの選択動作は置き換えられ得る。その結果、データをラッチし、すべての列に同時に送ることができる。これは、配列が空白のとき等に使用できる。
【００６１】
本発明のさらなる特徴および利点は、特許請求の範囲、および、添付図面を参照しながらの以下の実施例の説明を考慮することから明らかとなろう。
【００６２】
図１は、厚膜アルミナ・ハイブリッド基板またはチップ・キャリア２上に装着した液晶セル１の概略横断面図である。このセル１は、図２の展開図に示してある。電気光学装置を装着するためのハイブリッド基板の使用は、我々の係属中の出願でさらに詳しく論議されている（PCT/GB99/04285(代理人整理番号P20960WO参照）)。
【００６３】
セル１は、能動シリコン背面回路基板３を有し、これの中心領域は、３２０列、２４０行に配置された能動ミラー画素の配列４を提供するように形成してある。配列の外側で、背面回路基板３の縁から隔たって、周縁接着剤シール５があり、このシールは、正面電極６の周縁領域に背面回路基板３をシールする。図２は、接着剤シールが途切れ、組み立て済みのセル内に液晶材料を挿入できるようになっていることを示し、液晶材料の挿入後、シールが、同じ接着剤の更なる使用によって、あるいは、それ自体公知の任意他の材料または手段によって完全にされる。
【００６４】
正面電極６は、背面回路基板３に対面する下面上に被覆されたほぼ矩形の平らなガラスまたはシリカの基板７を有し、導電性のシルク・スクリーン加工した連続的なインジウム・スズ酸化物層８を備える。基板７の１つの側縁には、蒸着したアルミニウム縁接点９が設けてあり、この接点は基板の縁まわり、そして、層８の一部を覆って延びており、それによって、組み立て済みセル１における層８に対する電気接続部となる。
【００６５】
背面回路基板３のシリコン基板上に形成された絶縁スペーサ２５が、シリコン基板から所定の精密で安定した距離のところに正面電極６を設置するように上方へ延びており、液晶材料がこの様にして定められたスペースを満たされる。後に説明するように、スペーサ２５および背面回路基板３が、シリコン基板上に形成されると同時に、同じステップのすべてあるいは少なくとも若干を用いて能動背面回路基板の要素がシリコン基板上に形成される。
【００６６】
図３は、セル１の動作と密接に関連した印刷回路基板上の回路の概略図であり、ここには、背面回路基板３および正面電極６として概略的に示してある。背面回路基板３は、インタフェース１３を経てメモリ１２からデータを受け取り、そして、背面回路基板３、正面電極６、メモリ１２およびインタフェース１３のすべては、プログラム可能な論理回路モジュール１４の制御下にあり、このモジュールそれ自体はインタフェース１５を経てＰＣのパラレル・ポートに接続している。
【００６７】
図４は、能動背面回路基板３の配列（「平面図」）の全般的な概略図を示している。
【００６８】
図５、６を参照しながら後で詳細に説明するように、画素能動要素の中央配列４の各々は、１組の行導体の１つに接続したゲートを有するＮＭＯＳトランジスタと、１セットの列導体の１つに接続したドレン電極と、ミラー電極の形をしているか、あるいは、ミラー電極に接続しているソース電極または領域とを、本質的に、有する。普通の正面電極６の対向部分と、介在したキラル・スメクチック液晶材料２０と共に、後部設置ミラー電極は、容量特性を有する液晶画素セルを形成する。
【００６９】
奇数行、偶数行の導体は、配列の両側に隔たったそれぞれのスキャナ４４、４５に接続している。各スキャナは、シフト・レジスタ４４ａ、４５ａと配列の間に介在するレベルシフタ４４ｂ、４５ｂを包含する。使用時、指示信号は、レジスタに沿って送られ、順番に個々の行を使用可能にする（関連したトランジスタに通電する）。そして、レジスタの適当な制御によって、異なったタイプのスキャン、たとえば、インターレース式またはノンインターレース式のスキャンを所望に応じて実施することができる。
【００７０】
偶数列、奇数列の導体は、配列の頂部、底部から隔たったそれぞれのドライバ４２、４３に接続している。各ドライバは、３２から１６０のデマルチプレクサ４２ａ、４３ａ、供給ラッチ４２ｂ、４３ｂおよびラッチ、列導体間のレベルシフタ４２ｃ、４３ｃを有する。使用時、５相クロックの制御の下に、連続した組の３２の奇数または偶数列導体のためのメモリ２４からのデータが、縁結合パッド４６，４７の組からデマルチプレクサ４２ａ、４３ａへ送られ、列導体に駆動電圧として供給するために４２ｃ、４３ｃのところでレベルシフトされる前に４２ｂ、４２ｃのところでラッチされる。行スキャニングと列駆動との同期により、適切なデータ駆動電圧が、１つの行の使用可能なトランジスタを経て液晶画素に与えられる。この目的のために、種々の制御回路４８およびテスト回路４８’が設けてある。
【００７１】
引き続いてその行を使用不可能にすることで、トランジスタが高インピーダンス状態になり、データに対応する電荷が、たとえば、別の画像を書き込む（あるいは同じ画像を書き直す）かまたは現在の画像を安定させるために、この行が再びアドレス指定されるまで、或る延期期間にわたって容量性液晶画素上に維持される。
【００７２】
図５に概略的に示すように、能動背面回路基板は、ｐ型シリコン基板５１に基づいている。配列４の領域において、それは、ＮＭＯＳトランジスタ５２、画素ミラー５３および絶縁スペーサ列２５を包含する。基板５１は、まず、下方のほぼ連続するシリコン酸化物層５７によって覆われ、次いで、上方のほぼ連続するシリコン酸化物層５８によって覆われる。スペーサに類似し、そして、同様の高さを有するように構成した絶縁畝状体が配列４の領域外側に形成される。絶縁性の柱状態および畝状体の機能は、正面電極２２とシリコン基板５１との間に一定の正確な間隔を確保し、背面回路基板と正面電極間との短絡を防ぐと共に、液晶画素配列における電気的、光学的な一様性および動作を得ることにある。
【００７３】
ここで、図５が単に背面回路基板における異なった高さを示し、要素の他の空間的配置が実際に見出されるものと一致しているわけではないことは了解されたい。図６は、全般的に図５のものに類似する、トランジスタおよびミラー電極の実際の配置の平面図であるが、列２５は図示していない。トランジスタ５２は、回路それ自体の最も高い部分である。
【００７４】
これらの層に加えて、トランジスタ５２は、さらに、層５７上の金属ゲート電極５９と、層５８上の金属ドレン電極６０とよって構成されている。電極５９、６０は、それぞれ、行導体６１、列導体６２に接続されている。トランジスタ５２のところで、層５７は、非常に薄いゲート酸化物層５５によって基板５１から隔たったポリシリコン領域５６を含むように修正されている。
【００７５】
トランジスタ・ソースは、層５８内の大きい拡散領域６３の形をしており、これは、画素ミラー５３の電極６５に接続され、ゲート領域６４は、ほぼ列、行導体６１、６２の交差領域の下に位置し、充填率を最大にすると共に、それを入射光から保護している。
【００７６】
画素ミラーは、層５８上の画素電極６５によって形成される。この電極は、ドレン電極６０と同じ金属で作ってあり、そして、ドレン電極６０と同時に形成される。ミラー電極６５の大部分の下方には、基板５１内に空乏領域６６が形成されている。組み立て済みの装置において、画素電極は、２ミクロンよりいくぶん小さい距離だけ対向した正面電極から隔たっており、間に、スメクチック液晶材料２０が介在する。
【００７７】
画素ミラーはほぼ平らである。これは、下層の別個の回路要素が内からである。また、画素ミラーは、画素面積の６５％の割合（充填率）を占める。充填率を最大にするという必要性は、２つのトランジスタおよびそれらに関連した要素により多くのスペースを振り向ける必要のあるＳＲＡＭタイプよりもむしろ、ＤＲＡＭタイプ背面回路基板を使用することを決定する際の１つの重要点である。
【００７８】
各画素と関連したある絶縁性の列または柱状体は、背面回路基板２１の残りの部分でより上方に延びるが、これはまた、基板５１を覆う層５７、５８と、層５７、５８間の第１金属膜６７と、層５８と正面電極（使用時）２２との間の第２金属膜６８とを含む。第１、第２の金属膜６７、６８は、同じ金属で、トランジスタ５２の電極５９、６０と同時に蒸着される。スペーサの領域において、基板は、フィールド酸化物層６９を得るように修正されており、層５７の底部は、薄い酸化物層７１によって隔たった２つのポリシリコン層７０、７２を得るように修正されている。
【００７９】
金属層を含むにもかかわらず、スペーサは、正面電極と能動背面回路基板との間に良好な絶縁を与える。このように絶縁スペーサを形成することによって、背面回路基板上の他の要素に対して正確にこれら絶縁スペースを位置決めすることができる。それによって、光学的あるいは電気的な特性との任意の干渉を回避することができる。そして、同じプロセスをそこで使用して、背面回路基板の能動および他の要素と同時に、同じプロセスを用いてそれらを製作することによって、コストおよび効率に関して有利となる。
【００８０】
上述したように、このように形成した画素セルは、静電容量を有する。キラル・スメクチック液晶材料は強誘電性であるから、分子の再整列を生じさせるに充分な電界を付与することで、付加的な電荷転送を行うことができる。この効果は、液晶材料が再整列するのに時間がかかるので、時定数と関連している。
【００８１】
再整列時に電荷が流れるための要件および関連した時定数は、多数の帰結を有する。特に、再整列が比較的急速であり得る場合、装置の急速スキャニングのために必要なよりもかなり小さくてよい。
【００８２】
ＳＲＡＭタイプ背面回路基板の場合、画素の状態は、次のアドレス指定まで保持され、バス電流から供給されるパワーは、再整列が完了するまで供給され得る。しかしながら、ＤＲＡＭタイプ背面回路基板の場合、パワーは、アドレス指定期間中にのみ各画素に供給される。セルの静電容量値は、比較的小さく、再整列が完了するのに充分な電荷を保持することができない。
【００８３】
この問題を処理する１つの方法は、画素がアドレス指定されたときに急速に荷電される付加的な「スラグ」静電容量を各画素に与えることである。この電荷は、その後、液晶分子が再整列し、次の画素がアドレス指定されるにつれて消費される。したがって、スラグ静電容量は、アドレス指定パルスが再整列時間と同じくらい長い時間を必要とすることを効果的に排除する。
【００８４】
図５において、拡散層６６は、使用時、逆バイアスされたダイオードを形成し、その空乏領域が、スラグ静電容量として作用する。
【００８５】
この実施例において使用されるスメクチック液晶は、単安定整列性を有し、次のアドレス指定まで切り換えられた状態に留まるＤＲＡＭタイプ画素の場合、電荷漏洩を制限することが重要である。ある意味では、当初の状態に緩和を可能にする電荷漏洩の量が比較的大きいという点で、再整列中に付加的な電荷変位があるという事実は有用である。その場合、オリジナル状態への緩和を許す電荷漏洩量は比較的大きい。
【００８６】
普通のカプセル化されたコンピュータで使用されるＤＲＡＭと異なって、照明光は、背面回路基板に浸透する可能性がある。もしそれが敏感な要素に達するならば、光導電性が、スキャニング期間よりも短い時間で画素の緩和を生じさせる可能性がある。これは、偶発的として許すべきではない。したがって、（ａ）できるだけ敏感な要素に光が浸透するのを減らし、（ｂ）それにもかかわらずなお浸透する光の影響を軽減するステップを採用する必要がある。
【００８７】
図５、６において、ステップ(ａ)は、トランジスタ５２、特にそのゲート領域が金属導体６０、６１の直ぐ下に位置している限り実施される。この場合、領域６６（特に感光性が強い）によって提供されるダイオードは、ミラー層６５によって大きく隠されている。スラグ静電容量および光導電性効果の回避に関するさらなる詳細は、我々の係属中の出願に見出される（PCT/GB99/04279(代理人整理番号P20960WO参照）)。
【００８８】
図１〜６の配置における６５％の充填率が許容できるほど充分に高い場合、ミラー電極の反射率は最適化されない。その理由は、それの材料が背面回路基板の能動要素を製造する際に使用されるものと同じだからである。
【００８９】
平面全体を覆って蒸着された連続頂部絶縁層を背面回路基板に設けることは、通常の半導体製造工場の実務である。そして、先の図の配置を製造するためには、この絶縁層を除くか、または、それを第１平面に付与するのを避ける必要がある。
【００９０】
しかしながら、背面回路基板の部分的あるいは完全平面化によって、ミラー電極の充填率および反射率を向上させることができる。
【００９１】
部分的な平面化の場合、頂部絶縁層は保持されるが、下層電極パッド６５まで延びる通路は、ミラーとしてもはや機能しないほど小さくなる可能性がある。非常に反射率の高いミラー・コーティングが、画素面積の大部分を覆って蒸着され、前述の通路に接続される。
【００９２】
この構造は、とりわけ、高い充填率、非常に反射率の高いミラー電極および下層の半導体材料までの光の浸透を低減することに有利である。絶縁列および畝状物を保持して背面回路基板に対して正面電極を支持、隔離し、充填率を僅かに減らすことが好ましいが、頂部絶縁層がこれらに加わる。唯一の製造後ステップは、反射ミラー材料の蒸着である。ここで、背面回路基板の下層構造により、後者が以前ほど平らでないことは了解されたい。
【００９３】
フル平面化は、背面回路基板の形状を、絶縁材料（たとえば重合体）で充填することによって効果的に除去する公知のプロセスである。やはり、このプロセスは、製造工場で導入された頂部絶縁層の有無にかかわらず、現在の背面回路基板に実行され得る。そして、非常に平らで、非常に反射率が高いミラーを高充填率で各画素上へ蒸着する。しかしながら、製品は部分的平面化と同じ利点を有し、性能でも優れているかも知れないが、現在の技術によるその製造は多数の製造後ステップを含み、あるものは容易にあるいは効率的に実施されず（たとえば、絶縁性材料の平坦さを確保すること）、したがって、当面好ましくない。
【００９４】
キラル・スメクチック液晶材料は、それ自体公知の手段によって一方あるいは両方の基板のところで所望の表面整列配向を与えられる。能動半導体背面回路基板の場合、処理は、もし行われるとして、部分平面化あるいはフル平面化となろう。
【００９５】
回路
ここまで説明してきた実施例は、３２０列および２４０行の矩形画素配列を有し、列は、平行データ・ラインによって給電され、行は、望ましい順番でデータを受け取るか、あるいは、受け取ったデータに作用するように使用可能にされる。この配列は、各方向において標準の半分のＶＧＡ解像度である。配列の解像度をＶＧＡ規格まで高めることが望ましいであろう。これは、変形例に関して後に説明する。
【００９６】
駆動される仕方に依存して、そして、印加電圧の値に依存して、スメクチック液晶空間光変調器の本実施例は、少なくとも１０ＭＨｚのライン率および１５〜２０ｋＨｚまでのフレーム率で駆動され得るが、秒あたり約１〜１．５ギガ画素のデータ入力を必要とする。代表的には、画素アドレス時間が約１００ナノ秒である場合、画素は、実際に、約１〜５マイクロ秒かかって光学状態間の切り換えを行う。全フレーム書き込み時間が２４マイクロ秒のオーダーにある場合、フレーム間書き込み期間は、約８０マイクロ秒である。
【００９７】
ライン周波数で決定されるような、空間変調器の実フレーム率と配列の潜在フレーム率（約８０ｋＨｚ）との不一致は、画素要素が完全に切り換わるのに必要な時間（ラインまたは画素のアドレス指定時間よりかなり大きく、その間に、電荷がセル静電容量およびスラグ静電容量から引き出される）とか、直流バランシングを許すように配列を空白化する必要性とか、連続したフレームの書き込み間での空間光変調器への光学的アクセスとかの種々の要因から生じる。
【００９８】
マスタ・クロックが５０ＭＨｚで作動する。このマスタ・クロックからパルスＣＬが公知の要領で発生し、その波形ＮＴＥ、ＮＴＯ、ＮIＳＥ、ＮＣ０〜ＮＣ４が図７、７ａに示してある。頭文字「Ｎ」は、信号がロー状態で活動状態である負論理回路の使用を示している。使用時、これらの信号の反転は、この頭文字「Ｎ」を除いた同じ用語を有する。配列の行または列に適用したときなど、最終文字「Ｅ」おおび「Ｏ」は偶数、奇数を表している。
【００９９】
図８は、図４の制御回路４８の諸部分を示している。ここには、すべての行をセット（配列を空白化）し、すべての行をリセット（配列の再書き込みを可能に）するための別の信号ＮＳＡＲおよびＮＲＡＲがある。
【０１００】
図８（ａ）は、列ドライバ４２、４３を制御する際に使用するための、信号ＮＳＡＲが非活動状態にあるときの信号ＮＣ０〜ＮＣ４からの、１０ＭＨｚライン周波数での５つの重なり合っていないクロック（Ｎ）ＣＣ０〜（Ｎ）ＣＣ４の発生を示している。
【０１０１】
図４に関して既に指摘したように、３２本の入力並列データ・ラインのグループが、配列の頂部でドライバ４２によって１６０個の偶数列に１：５デマルチプレクスされ、そして、３２本の入力並列データ・ラインの相補的なグループが、配列の底部でドライバ４３によって１６０個の奇数列に１:５デマルチプレクスされる。その他の点では、ドライバ４２、４３は同様に構成される。
【０１０２】
図９は、ドライバ４２の３２個の同様な回路のうちの１つを示している。各回路は、第１セットの３２個の偶数列におけるそれぞれ単一の列に対するものである。３２本の入力データ・ラインのそれぞれに接続した入力部１３１からのデータ信号ＤＤは、クロックＮＣＣ０の活動期間中にゲート１３２によって伝送され、クロック・パルスＮＣＣ４によって制御されるゲート１３４がラッチ１３５への信号の伝送を可能にするまで、インバータ１３３のゲート・コンデンサ上に保持される。ラッチ１３５は、双安定であり、本質的に、ゲート・パルスＣＣ４によって制御される別のゲート１３６を経てリング状に接続された２つのインバータからなる。このリングは、信号がゲート１３４を経てラッチに送られているときに開き、その後、閉じてラッチ出力部に信号を保持する。ラッチの出力部は、レベルシフタ１３７および２つの直列接続バッファ１３８を経て列導体に接続している。
【０１０３】
第１セットの列導体のこの全体構成は、残りの４つのセットについても繰り返され、各セットは、同じ３２本の入力データ・ラインを有し、第１ゲート１３２上にそれぞれ適切な異なったクロック信号ＮＣＣ１〜ＮＣＣ４がある。ゲート１３４に付与された信号は、そのままＮＣＣ４およびＣＣ４として残る。その結果、ライン全体についてのデータ信号が、信号ＮＣＣ４に応答してすべての３２０個の列に同時に付与され、次のパルスＮＣＣ４までそこに維持される。
【０１０４】
ＮＳＡＲが活動状態のとき、それは、クロック・パルスＮＣＣ０〜ＮＣＣ４と置き換わり、３２０個の列すべてを６４本のデータ入力ラインに対して同時に利用できるようにする。
【０１０５】
図８（ｂ）は、行ドライバ４４、４５を制御する際に使用するために、信号ＮIＳＥまたはＮIＳＯが活動状態にあるときに信号ＮＣ０〜ＮＣ４から１０ＭＨｚで５つの重なり合っていないクロック（Ｎ）ＣＲ０〜（Ｎ）ＣＲ４を発生させることを示している。
【０１０６】
図４に関して既に説明したように、配列の偶数、奇数行は、それぞれのスキャナ４４、４５によって駆動（使用可能に）される。各スキャナは、出力部あるいは１２０個の隣接出力部に関連したレベルシフタを有するシフト・レジスタを備える。シフト・レジスタの各ステージは、完全に双安定であり、クロック・パルスＮＣ０、ＮＣ２、ＮＣ４によって制御される。単一の指示信号パルスＮＴＥ、ＮＴＯが、各フレームのスタートでそれぞれのシフト・レジスタの第１ステージに接続され、次いで、要求されるスキャニングのタイプに依存して、必要な要領でレジスタをクロックに同期して、順次移行する。
【０１０７】
図１０は、好ましい実施例の奇数行スキャナ４４の単一ステージを示しており、これは、シフト・レジスタ４４ａの単一ステージ１４０と２つのバッファ１４９との間に接続されたレベルシフタ４４ｂの関連したレベルシフタ・ユニット１４１を含む。偶数行スキャナ４５も、同様の要領で配置する。
【０１０８】
ステージ１４０は、伝送ゲート１４５を経てリング状に接続された一対の反転論理ゲート１４３、１４４を有する。論理ゲート１４３の入力部１４２は、ゲート１４５の出力部および伝送ゲート１４６の出力部に接続される。伝送ゲート１４６は、レジスタ内の先行ステージからの出力１４７（指示信号ＮＴＥ）を受け取るように作用する。ゲート１４５、１４６は、それぞれ、反転クロック信号ＮＣＲ０、ＣＲ０によって使用可能にされる。それによって、伝送ゲート１４６からの信号がゲート１４３の入力部に送られたときにリングが壊され、次いで、再形成され、受信信号の反転状態を出力ポイント１４８で維持する。
【０１０９】
ゲート１４３’、１４４’、１４５’および１４６’は、ゲート１４３〜１４６に対して同様の要領で配置され、クロック・パルスＮＣＲ４、ＣＲ４に応答して同様に作用する。それによって、ポイント１４８での信号の反転は、出力ポイント１４８’で保持される。そこにおいて、この信号は、回路１２１によってレベルシフトされ、それぞれの行に送られる。したがって、各行は、信号ＮＣＲ４に応答して使用可能にされる。
【０１１０】
ゲート１４３、１４４および１４４’の各々は、２つの入力部を有するＮＡＮＤゲートであり、ゲート１４３’は、３つの入力部を備えたＮＡＮＤゲートである。ゲート１４３および１４４’への第２入力は、信号ＮＳＡＲであり、ゲート１４３’、１４４への第２入力は、信号ＮＲＡＲであり、そして、ゲート１４３’への第３入力は、信号ＮＣＲ２’である。信号ＮＳＡＲ、ＮＲＡＲおよびＮＣＲ２’が非活動状態のとき、ゲートは、インバータとして機能し、リングは、双安定となる。
【０１１１】
信号ＮＣＲ２’は、図８（ｃ）に示すように発生させられる。これは、信号ＮＣＲ２と同様であるが、信号ＮＳＡＲが活動状態のとき、置き換えられる。ＮＳＡＲが非活動状態のとき、クロック信号ＮＣＲ２’の効果は、第２リングをリセットし、行を、次の行が使用可能にされる前に、使用不可能にすることにあり、したがって、データ供給が単一行に確実になされ、行の間で同じデータが重畳することがない。
【０１１２】
制御信号ＮＳＡＲは、信号ＮＣＲ２’を使用不可能にするように作用し、そして、レジスタの出力のすべてをセット（ラッチ）するように作用し、それによって、すべての行を使用不可能にしてこのセクションの始めに説明した要領で空白化を行う。制御信号ＮＲＡＲは、次いで、すべての行を再びオフにするように作用する。したがって、信号ＮＳＡＲは、シフト・レジスタの通常動作を置き換える。
【０１１３】
信号ＮＳＡＲの作用は、こうして、(ａ)列クロックＮＣＣ０〜ＮＣＣ５と置き換えられ、５セットの列すべてに６４個のデータ入力部からデータを同時に与えること、そして、(ｂ)クロック・パルスＮＣＲ２’およびレジスタの通常作用を使用不可能にし、そして、すべての行をラッチすることにある。これによって、全画素配列を同時に空白化することができる。
【０１１４】
画素配列ＮＴＯおよびＮＴＥが最初に導入されたとき以外は、信号ＮIＳＥおよびＮIＳＯは、相補的である。活動状態のとき、これらの作用は、行クロック・パルス（Ｎ）ＣＲ０〜（N）ＣＲ４の発生を禁止する（図８（ｂ））。こうして、シフト・レジスタ４４ａ、４４ｂのうち一方だけが、任意の時点で活動状態になり、指示信号が行に伝達される方法を制御することが可能になる。たとえば、図示したように、ＮIＳＥおよびＮIＳＯがライン周波数の半分を有するように発生させられた場合、レジスタが代わる代わりに使用可能にされ、配列の下に向かって累進的、即ちノンインタレース・ライン・スキャンを行わせる。代替案として、フレーム・アドレス期間の半分のパルスの形で信号ＮIＳＥおよびＮIＳＯを与えることがある。その結果、１つのレジスタが完全にスキャンされ、次いで、他のレジスタが完全にスキャンされ、インタレース・スキャンを可能にする。
【０１１５】
他のモードも可能である。たとえば、隣り合った奇数行と偶数行を同時に使用可能にして、半分の垂直解像度でフレーム率を二倍にすることができる。
【０１１６】
この実施例では、シフト・レジスタ・ステージが信号ＮＳＡＲ、ＮＲＡＲに直接応答するようになっているが、レジスタと行の間に別個のエンティティとして別の手段を設けてもよい。たとえば、レジスタ出力部と関連した行との間に直列に接続したＮＳＡＲ用のＯＲゲート、ＮＲＡＲ用のＡＮＤゲートを設けてもよい。
ＶＧＡ解像度
本実施例の変形例において、単一の画素ミラー能動要素の代わりに、４つ（２×２）のグループを使用する。そして、それに対応して、行、列アドレス・ラインを二重にしている。各寸法でアドレス・ラインの二重化に順応させるべく、列ドライバ、行スキャナは、１：２のデマルチプレクサを備える。
【０１１７】
列回路は、単に数を倍にしただけであり、各対が、伝送ゲート１５０、１５１によって交互に使用可能にされる。相補的な駆動制御入力部１５２、１５３が図１１に概略的に示してある。
【０１１８】
図１２ａ〜１２ｃは、行スキャナについての３つの可能な方式を示している。図１２ａの好ましい方式においては、論理ゲート１６０、１６１が、出力ポイント１４８’と、それぞれのレベルシフタ１４１、バッファ１４９の間に配置されている。ゲートの第２入力部１６２、１６３は、相補的なやり方で駆動され、上方対あるいは下方対の画素（ＲＵおよびＲＬ）のいずれかを使用可能にする。
【０１１９】
しかしながら、図１２ｂ、１２ｃに概略的に示すように、デマルチプレクシング動作は、それぞれ、レベルシフタ１４１と、最終出力ステージ１４９’との間のゲート１６４、１６５のところ、あるいは、最終出力ステージを構成するゲート１６６、１６７のところで、レベルシフタ１４１の後に実施され得る。
【０１２０】
信号１５２、１５３および／または１６２、１６３を適当に制御することによって、種々の他の配列書き込みモードが可能となることは明らかであろう。たとえば、４:１行インターレース方式がある。
【０１２１】
この変形例においては、ミラー面積対画素面積の比は縮小される。入射光から下層能動要素を遮断するのに注意が必要である。全画素静電容量対液晶セル静電容量の比率もまた、１０：１〜８．４：１にいくぶん縮小される。それにもかかわらず、解像度の増大との妥協は、まったく不利とならないと考えられる。
【０１２２】
動作
空間光変調は、光学処理用途、たとえば、ホログラフィック用途と、スイッチング用途の両方に機会を与える。その場合、必要条件は、普通に、要因（たとえば、タイミング、照明連続性、観察長など）に関して非常に厳しい。これに対抗すべく、たいていの光学処理は、像平面を横切ってのバイナリ変調だけを必要とする。
【０１２３】
表示目的のためには、目による順応および一時的平均化が前述の要因に関してより大きいラチチュードを許すが、普通は、表示領域を横切ってグレイ・スケール変調を行う必要がある。
【０１２４】
能動背面回路基板設計によって与えられる融通性に部分的に依存して、好ましい実施例の空間光変調器を駆動できる方法は多数ある。
【０１２５】
（ａ）バイナリ／グレイ・スケール
したがって、たとえば、バイナリ変調とグレイ・スケール変調の選択がある。グレイ・スケール変調それ自体は、各画素を横切って印加される振幅電圧の適当な制御によってアナログ的に達成され得る（先に述べたエレクトロクリニック効果参照）が、表示目的のためには、配列に可変仮変調を行って見かけ上のグレイ・スケールを得る方が有利である。さらに有利には、配列をデジタル的にこのように駆動する。この局面は、我々の係属中の出願にさらに詳しく記載されている（PCT/GB99/04260およびPCT/GB99/04277参照）)。
【０１２６】
（ｂ）多数回リフレッシュ
ここで再び、液晶材料は、連続した画像発生間の所望時間をカバーするに充分な長さの緩和時間を有しても有さなくてもよい。有さない場合には、画像は、２度以上書き込んで所望時間を得る必要がある。本実施例で利用できる高書き込み速度は、この局面において有用であり、１つの画像が利用できる時間全体の割合を増大させることになる。
【０１２７】
（ｃ）正面電極電圧
さらに、広義に言えば、共通正面電極と能動背面回路基板要素の間に印加される電圧は、少なくとも２つの方法で管理され得る。背面回路基板から利用できる全電圧がＶであると仮定するならば、正面電極をＶ／２にセットし、それによって、ただ１回のフレーム・スキャン中に、全画素要素を所望に応じてオンあるいはオフにすることができる。欠点は、とりわけ、各画素を横切ってより低い電圧Ｖ／２を印加すること、スイッチング時間が長くなると言うことである。
【０１２８】
あるいは、正面電極をＶとゼロに交互に駆動し、背面回路基板を同期制御して１つのフレーム・スキャン中に選択画素を光学的にオンとし、他のフレーム・スキャン中に他の選択画素を光学的にオフにしてもよい。各画素に印加される電圧は、より高く、Ｖであり、したがって、スイッチング速度を増大させるが、２つのフレーム・スキャンを実施してデータ入力を完了する必要がある。
【０１２９】
これらの２つの方法は、これからは、それぞれ「ワンパス」、「ツーパス」と呼ぶ。本実施例において、ワンパス方式は、最大の使用可能電圧でいくぶんより高いフレーム率を可能にする。
【０１３０】
これらの考察および全直流バランシングを達成するかどうか（もし達成するのであるならば、直流バランシングを達成しようとしている時間）のような他の考察は、空間光変調が作動する方法を正確に決定する。
【０１３１】
ワンパス機構
図１３は、正面電極電圧ＶＥＥがＶ／２であるときにワンパス方式において使うことができる電圧波形を示している。オフからオンにされるべきアドレス指定されたラインにおける画素ＤＵＰのミラー電極のところの電圧Ｖｐａｄは、列電極から値Ｖへ駆動される。また、オンからオフにしようとしている画素ＵＤＰの場合、ミラー電極は、ゼロ電圧に駆動される。液晶セルを横切って生じる電圧は、ＶＬＣである。付勢は、代表的には、約１０ｎｓを採用するが、本実施例においては、実際に、１００ｎｓが許される。実際に画素が切り換わるのにかなり長い期間Ｔが許されるが、それに続いて、すべての画素電極電圧（Ｖｐａｄ）は、レベルシフタへの電圧を変えることにより電圧Ｖ／２まで戻される。図１３ａに示すように、信号ＮＳＡＲ、ＮＲＡＲを使用して第２スキャンまたはセット／リセット動作を実施し、すべての画素トランジスタをオン、オフする。Ｖ／２まで画素を戻すことにより、直流印加長さが定まり、反復可能となる。
【０１３２】
図１３ａ、１３ｂにおいて、パルス１３１は、個々の行の選択を示し、ＴLは、配列にデータを入れる時間（液晶が落ち着くまでの期間を含む）を示し、ＴRは、画像が読まれる時間を示しており、この時間のスタートのみが図示してある。パルス１３２は、第２スキャン中の個々の行の選択またはセット／リセット・オプションのための大域的行選択を示している。
【０１３３】
セット／リセット・オプションは、より急速であり、好ましい。すべての画素への直流印加の長さは、配列に書き込みを行うのに取られる時間が有限であるため、セット／リセット・オプションを使用するときに、行毎に異なるが、同じ画素へ付与される直流パルスの長さがフレーム毎に等しいため、この点は重要ではない。直流バランスを意図しているときは重要な要因となる。いずれにしても、トランジスタは、その後、オフにされ、静電的な安定化を可能にする（後述する）である。
【０１３４】
すべての画素が各フレーム・スキャン中に付勢されるので、フレーム毎に同じ状態を保つ液晶要素は、同じ方向に繰り返し駆動される。これは、ゼロ直流バランスを得る際の問題を提起する。
【０１３５】
さらに、Ｖ／２まですべての画素電極を戻すことは、光導電性が重要な場合に問題を提起する。この場合、図１３ｂに示すように、フレームの書き込みに続いて正面電極電圧ＶＦＥをゼロに戻すのと同期をとって、すべての画素電極をゼロボルトにゲートで制御すると好ましい。
【０１３６】
ツーパス方式
図１４は、配列全体に書き込みをするのに必要な２つのフレーム・スキャン期間またはパスＰ１、Ｐ２にわたってツーパス機構において使用され得る電圧波形を示している。第１パスＰ１において、選定画素がアドレス指定されて光学的にオンにされ、第２パスにおいて、画素Ｐ２がアドレス指定されて光学的にオフにされる。パス以外の期間では、すべての直流電圧がゼロとなり、オプションとして、切り換え状態の交流安定化のために低レベル交流電圧となる。
【０１３７】
１番目の波形は、正面電極での電圧ＶＦＥを示しており、これは、第２パスＰ２の期間にわたってだけＶボルトまで上昇する。
【０１３８】
２番目及び３番目の波形は、それぞれＯＮまたはＯＦＦとなっている画素ミラー・パッドにおける電圧Ｖｐａｄのプロットである。第１パス中、任意のパッドを０ボルトからＶボルトへ切り換えることができる。第１の大域的空白化ＢＶは、２つのパス間ですべてのミラー・パッドをＶボルトに駆動するように印加される。第２パス中、任意のパッドを、Ｖボルトから０ボルトに切り換えることができる。第２の大域的空白化Ｂ０は、第２パスの終わりですべてのパッドを０ボルトに駆動するように印加される。空白化ＢＶおよびＢ０は、第２電極の切り換えと実質的に同期して印加される。
【０１３９】
２番目の波形は、第１パスの行スキャン中にオンとされるべく選択される画素のためのパッドにおける電圧を示しており、したがって、４番目の波形に示すような関連する液晶要素を横切って正の電位差パルスを与える。第１パス後、ＶＦＥの切り換えと関連して第１の大域的空白化ＢＶが作用し、切り換えられてしまっているかどうかに無関係に、すべての液晶要素を横切る電位差をゼロに低下させる。液晶セルの両側は、こうして、Ｖボルトとなる。
【０１４０】
３番目の波形は、第２パスの行スキャン中にオフとされるべく選択される画素のためのパッドにおける電圧を示しており、したがって、５番目の波形で示す関連する液晶要素を横切って負の電位差を与える。第２パス後、ＶＦＥの切り換えと関連して第２大域的空白化Ｂ０が作用し、切り換えられてしまっているかどうかと関係なく、すべての液晶要素を横切る電位差をゼロに低下させる。こうして、液晶セルの両側が０ボルトとなる。
【０１４１】
いずれのパス中にも（オプションとして）アドレス指定されない任意の画素は、空白化ＢＶ、Ｂ０の効果のみによるパッド電圧を有する。ＢＶおよびＢ０は、ＶＦＥの切り換えとほぼ同期しており、その結果、これらの画素は、２つのパスを通じてゼロ電位差となる。すべての場合に、ＶＦＥに対するＢＶ、Ｂ０のタイミングは、不要な画素のスイッチングが生じないようにしなければならない。
【０１４２】
さらに、２つのパスは、互いに直ぐに続いているように図示してあるが、好ましくは、機構が必要な画素スイッチングと矛盾しない限り、そうである必要はまったくない。たとえば、パス間に小さい遅延があって、最後にアドレス指定された画素を完全に切り換えることが可能であるかも知れない。このような場合、第２パスの開始と同期してＢＶを印加し、ＶＦＥをスイッチングすることが望ましいであろう。
【０１４３】
ここで、単一のパスおよび単一パス方式の低電圧Ｖ／２（したがって、スイッチングが遅い）に比して、２つのパスの要件および利用できるフル電圧Ｖの印加が相反する要因であることは了解されたい。また、図１４のパスの順序の逆転、その結果、空白化プロセスの変更などがあり得ることも明らかであろう。
【０１４４】
さらに説明すると、図１５は、配列全体に書き込みを行うのに必要な第１、第２のフレーム・スキャン期間またはパスＰ１、Ｐ２にわたって同様のツーパス機構で使用され得る単純化した電圧波形を示している。Ｐ１において、選定画素がアドレス指定されて光学的にオンにされ、Ｐ２において、選択画素がアドレス指定され、光学的にオフにされる。Ｐ１、Ｐ２以外の期間では、すべての電圧はゼロ直流となり、オプションとして、切り換え状態の交流安定化のために交流電圧が低レベルとなる。
【０１４５】
波形（ｉ）は、Ｐ１の期間中だけＶボルトまで上昇する、正面電極における電圧ＶＦＥを示している。
【０１４６】
波形（ｉｉ）は、任意の画素ミラー・パッドで得られる電圧Ｖｐａｄの全般的なプロットである。Ｐ１中の第１期間Ａの間、任意のパッドが０ボルトからＶボルトへ切り換えられる。第１の大域空白化ＢＶは、Ｐ１、Ｐ２間にすべてのミラー・パッドをＶボルトに駆動するように印加される。Ｐ２中の期間Ｂの間、任意のパッドが、Ｖボルトから０ボルトへ切り換えられ得る。第２の大域空白化Ｂ０は、第２パスの終わりですべてのパッドを０ボルトへ駆動するように印加される。空白化ＢＶおよびＢ０は、第２電極のスイッチングと同期して印加される。
【０１４７】
波形（ｉｉｉ）は、Ｐ１の行スキャン中にオンにされ、したがって、波形（ｖ）に示すように関連した液晶要素を横切って正の電位差パルスを与える選定画素のためのパッドにおける電圧を示している。Ｐ１後、ＶＦＥのスイッチングと関連して第１の大域空白化ＢＶが作用し、切り換えられてしまっているかどうかにかかわらず、すべての液晶要素を横切る電位差をゼロまで低下させる。こうして、液晶セルの両側がＶボルトとなる。
【０１４８】
波形（ｖ）は、Ｐ２の行スキャン中にオフとされるべく選択される画素のためのパッドにおける電圧を示しており、波形（ｖｉ）で示すような関連する液晶要素を横切る負の電位差を与える。Ｐ２後、ＶＦＥのスイッチングと関連して第２の大域空白化Ｂ０が作用し、切り換えられてしまっているかどうかに関わりなく、すべての液晶要素を横切る電位差をゼロまで低下させる。こうして、液晶セルの両側が０ボルトになる。
【０１４９】
波形（ｖｉｉ）は、Ｐ１またはＰ２のいずれかでも（オプションとして）アドレス指定されず、空白化ＢＶ、Ｂ０の効果のみによる任意の画素のためのパッドにおける電圧パルスを示している。ＢＶ、Ｂ０は、ＶＦＥのスイッチングと実質的に同期であり、その結果、これらの画素は、２つのパスを通じてゼロ電位差を経験する。すべてのケースにおいて、ＶＦＥに対するＢＶ、Ｂ０のタイミングは、画素の不要なスイッチングを生じさせないようになっていなければならない。
【０１５０】
さらに、Ｐ１、Ｐ２は互いに直ぐに続いているように示したが、方式が必要な画素スイッチングと矛盾しない限り、このような配置である必要はまったくない。たとえば、Ｐ１、Ｐ２間に小さい遅延があって最後にアドレス指定された画素を完全に切り換えることが可能になるかも知れないが、このような場合、Ｐ２の開始時点と同期してＢＶを印加し、ＶＦＥのスイッチングを行うのが望ましいであろう。
【０１５１】
ここで、２つのパスについての要件および利用できるフル電圧Ｖの印加が、単一のパスおよび単一パス機構の低電圧Ｖ／２（従って、スイッチングが遅い）に比して、相反する要因であることは了解されたい。また、空白化プロセスの必然的な変更態様で、図１５のＰ１、Ｐ２の順番を逆転させることが可能であり、対応する参考資料の同じ概略タイプの説明を用いて、図１６に示すように、空白化プロセスを変更したりすることができることも明らかであろう。
【０１５２】
バイナリ画像形成
バイナリ画像は、上述したようなワンパス方法によって空白画像にまたは画像が存在する状態から書き込むことができる。
【０１５３】
しかしながら、空白画像から始めた場合、新しい画像を書き、次いで、直流バランスを達成すべく各画素に印加した電圧を反転させることは、光学像の空白像への反転とならず、反転光学像を生じることになる。それに加えて、時間平均光学像は、正像および反転像が同じ時間にわたって保持される場合、ゼロであり、したがって、照明（すなわち、観察ステップ）を中断して正像を見ることが必要である。
【０１５４】
さらに、たとえば、大域セット信号ＮＳＡＲを配列に印加すると共に列電圧及び、正面電極電圧を制御してすべての画素を短絡（０ボルトに）するかあるいはこれらの画素を（プラスまたはマイナスのＶ）へ駆動することによって、アドレス指定された画素を緩和させたり、すべての画素を１つの状態（比較的急速）に駆動したりするだけで光学的に均一な画像が生じるが、直流バランスを得ることはできない。
【０１５５】
画像が存在している状態で始まる場合、類似した問題点がある。
【０１５６】
ツーパス方式、たとえば、図１４に示す形態の機構は、多数の方法で作動させ得る。
【０１５７】
第１ツーパス方式においては、既存の画像は、単に、第１パス中にすべての適切な画素をオンにし、第２パス中に相補的な画素の組をオフにすることによって新しい画像と置き換えることができる。すなわち、画素が既に「１」であるかどうかに関係なく、新しい画像のすべての「１」を最初にアドレス指定し、次いで、画素が既に「０」であるかどうかに関わりなく、新しい画像内のすべての「０」をアドレス指定するのである。画素がアドレス指定されないことはない。
【０１５８】
この機構は、すべての画素がそれらの現在の状態に関係なく各画像についてアドレス指定され、直流バランスが直接影響することがない単一パス方式と同じ欠点を有する。しかしながら、それは、コンピュータ的には容易であり迅速である。
【０１５９】
第２のツーパス機構においては、状態変化が必要なときにのみ任意の液晶要素をオンあるいはオフにする。さもなければ、無アドレス指定状態に留まる。各画素は、したがって、明確に定められた等しい長さの交互のオン、オフ・パルスのみを受け、したがって、自動的に直流バランスを長期間にわたって与える。
【０１６０】
延長期間にわたってうまくこの機構が作動するためには、連続した付勢の間に、たとえば、上述したようなスキャン間の交流安定化の付与によって、画素が緩和し得ないようになっている必要がある。
【０１６１】
自動的な長期間直流バランスの利点は、第１のツーパス機構に対する計算がより困難になるということで、部分的に相殺される。
【０１６２】
第３の好ましい機構は、図１４のツーパス機構の変更例であり、図１７に示してあるが、これは、直流バランスおよび急速あるいは駆動消去を伴って、一連のバイナリ画像を連続的に書き込むことを可能にする。図１７の波形（ｉｉｉ）及び（ｉｖ）は、選ばれた画素についてのミラー・パッド電圧および画素電位差を示している。
【０１６３】
第１のＷＲIＴＥ期間ｔ０〜ｔ１の間、第１の画像が、オンにする必要のある要素のみを駆動し（波形（ｉｉ）の期間Ａの間）、他のすべての要素が０ボルトを受け取るように書き込みプロセスを制御することによって、空白の要素配列に書き込まれる。図１４のツーパス機構の第１パスと同様に、第１の大域空白化Ｂ０を０ボルトにすることによって、ＷＲIＴＥステップが、好ましくは、時刻ｔ１の直後に行われ、そして、ＶＦＥは、図１７の波形（ｉ）に示すように、０ボルトに留まる。IＭＡＧＥ期間ｔ１〜ｔ２については、必要なバイナリ画像は無変更に留まる。
【０１６４】
空白配列に対する引き続く消去は、負の画像を書き込まれた画素にのみ書き込むことによって、ＥＲＡＳＥ期間ｔ２〜ｔ３中に行われる。これは、ＶＦＥのスイッチングと同期して、時刻ｔ２で第２大域空白化ＢＶにＶボルトを印加し、期間Ｂ中に、先にオンとされた要素のみをアドレス指定し、他の要素が０ボルトを受けるようにすることによって行われる。ｔ３で、第３の大域空白化Ｂ０に、ＶＦＥの０ボルトへのスイッチングと同期して、０ボルトが印加される。従って、この消去ステップは、全般的に、図１４の第２パスと同様である。
【０１６５】
こうして、駆動要素は、交互に、反対の電圧を受け、直流バランスを与え、他の非選定要素は、電圧を受けず、平衡状態に留まる。
【０１６６】
時刻ｔ３の後、別のバイナリ画像の書き込みを開始することができる。図示のように、これは、ほぼ時刻ｔ３で開始し得る。
【０１６７】
こうして、この第３ツーパス方式は、書き込み、消去の２つのパス中に異なった方向にフル電圧Ｖが印加され得る第２のツーパス方法に類似しているが、時刻毎にアドレス指定されるのが、異なった非相補的なグループではなくて、同じグループの選定画素であり、したがって、計算要件を縮小することができるという点で異なっている。また、それは、すべての要素がフレーム・スキャン中に必ず一方向へあるいは他の方向へ駆動されるワンパス方法とも異なる。
【０１６８】
この第３方式の利点は、時間平均画像が、書き込み、消去および「観察」プロセスの長さに無関係に非ゼロであるということにある。これは、画像と反転画像の間ではなく、画像と空白の間で交替するためである。このことは、光学的照明を連続的にすることができる。
【０１６９】
さらなる重要点は、書き込みステージが或る時間だけ行われ、この時間中に画像が「観察」あるいは利用されるのに対し、消去後に得られる空白画像を任意の時間にわたって保持する必要がまったくないということである。図１７に特に示したように、ひとたびすべての画素が初期状態に切り換えられてしまったならば、さらなる書込ステージを直ちに開始することができる。IＭＡＧＥ期間対ＷＲIＴＥ、ＥＲＡＳＥ期間の比率が大きくてもよいので、画像は、時間全体の大きい割合の部分にわたって利用でき、そして、そのコントラスト比がそれ相応に改善される。
【０１７０】
上記および他の像形成方式が大域空白化を使用しているものとして説明したが、空白化の任意のものあるいはすべてを、すべての列が空白化電圧に保持されるさらに別のフレーム・スキャンと取り替え得ることは了解されたい。これらの機構は、我々の係属中の出願の主題をなしている（PCT/GB99/04275(代理人参照番号P20962ＷＯ）)。
【０１７１】
ここで、上記の説明のかなりの部分がアドレス指定可能な配列を有する背面回路基板を組み込んでいる液晶セルに関したものであるが、本発明の配列が、画素が光変調器または表示装置として機能することを意図されているかどうかに無関係に、また、画素の構成物が液晶相を有することを意図しているかどうかに無関係に、任意の画素構造で使用できることは了解されたい。
【０１７２】
「グレイ・スケール」なる用語を本願明細書において使用したが、この用語が、白色を含む任意の色に関して使用されていることは了解されたい。さらに、本発明の方法、配列、背面回路基板、回路などを、白色を含む単一の色に関して説明したが、可変カラー・ディスプレイなどをそれ自体公知の方法で製造することになることは了解されたい。たとえば、単一配列を異なった色の画素に空間的に細分化し、たとえば、投影あるいは一時的なマルチプレクシング、たとえば、赤、緑、青の画像の逐次的な投影によって異なった着色モノクローム・配列からディスプレイを重畳することによって製造できることは了解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】は、能動背面回路基板を組み込んであり、基板上に装着した液晶セルの概略横断面図を示している。
【図２】は、図１に示す液晶セルの構成要素の展開図である。
【図３】は、液晶セルと密接に関連した回路を示す、図３のインタフェースの一部の概略ブロック回路図である。
【図４】は、中心画素・配列を含む、図１の液晶セルの能動背面回路基板の概略平面図である。
【図５】は、図４の背面回路基板の一部を示す概略横断面図であり、画素・配列の領域において遭遇する種々の層および高さを説明する図である。
【図６】は、図４の背面回路基板の配列の単一画素の概略平面図である。
【図７および７ａ】は、波形図である。
【図８】は、図４の制御回路の一部を示す概略回路図である。
【図９】は、図４の列ドライバの一部を示す概略回路図である。
【図１０】は、図４の行スキャナの一部を示す概略図である。
【図１１】は、アドレス指定される列の数を増やすための図９の回路の変更態様を示している。
【図１２】は、アドレス指定される行の数を増やすための図１０の変更態様を示している。
【図１３】は、ワンパス画像書き込み機構を説明するのに用いる波形を示している。
【図１４〜１６】は、ツーパス画像書き込み機構を説明するのに用いる波形を示している。
【図１７】は、図１４の機構の変更態様を説明するための波形を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図７ａ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２ａ】
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【図１２ｂ】
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【図１２ｃ】
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【図１３】
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【図１３ａ】
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【図１３ｂ】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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