(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々少なくとも１つの機器を駆動制御する複数の制御モジュールのインターロック制御装置であって、
前記複数の制御モジュールの各々に対応するスレーブスイッチ装置を備え、
前記スレーブスイッチ装置の各々は、前記対応する制御モジュールが駆動制御する前記機器の状態を示す複数の状態検知信号を多重化して多重化信号を生成する多重化装置と、前記多重化信号を記憶する記憶装置と、前記記憶された多重化信号を読み出す読出装置と、前記読み出された多重化信号を分離して複数の分離信号を生成する分離装置と、前記複数の分離信号の内所定の分離信号を前記対応する制御モジュール以外の制御モジュールに伝送する伝送装置と、前記分離信号に基づいて前記対応する機器を駆動制御する少なくとも１つの制御装置と、
前記伝送装置が接続され、前記スレーブスイッチ装置の各々を接続するマスタスイッチ装置と、を備え、
前記マスタスイッチ装置は、前記伝送装置の各々が伝送する前記所定の分離信号を多重化してマスタ多重化信号を生成するマスタ多重化装置と、前記マスタ多重化信号を記憶するマスタ記憶装置と、前記記憶されたマスタ多重化信号を読み出すマスタ読出装置と、前記読み出されたマスタ多重化信号を分離して複数のマスタ分離信号を生成するマスタ分離装置と、前記マスタ分離信号を前記スレーブスイッチ装置に出力する出力装置と、を備えることを特徴とするインターロック制御装置。
【請求項２】
前記多重化装置は、予め設定された順番で前記状態検知信号を多重化し、前記読出装置は、前記記憶された多重化信号から予め設定された条件に基づいて前記状態検知信号を読み出し、該読み出した順番に前記読み出した状態検知信号を再度多重化して多重化信号を生成することを特徴とする請求項１記載のインターロック制御装置。
【請求項３】
前記分離信号が正常か否かを判別し、前記分離信号が正常でない場合に当該分離信号に対応する機器を安全に駆動する制御信号を生成し、前記分離信号に対応する制御装置に出力する分離信号監視装置を備えることを特徴とする請求項１又は２記載のインターロック制御装置。
【請求項４】
前記スレーブスイッチ装置は、前記多重化信号を表示可能にするモニタインタフェースを備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインターロック制御装置。
【請求項５】
前記マスタ多重化装置は、予め設定された順番で前記伝送された所定の分離信号を多重化し、前記マスタ読出装置は、前記記憶されたマスタ多重化信号から予め設定された条件に基づいて前記状態検知信号を読み出し、該読み出した順番に前記読み出した状態検知信号を再度多重化してマスタ多重化信号を生成することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインターロック制御装置。
【請求項６】
前記多重化装置は、前記状態検知信号及び前記マスタ分離信号を多重化することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインターロック制御装置。
【請求項７】
前記スレーブスイッチ装置の各々は、前記マスタ分離信号が正常か否かを判別し、前記マスタ分離信号が正常でない場合に当該マスタ分離信号に対応する前記制御モジュールが制御する前記機器を安全に駆動する制御信号を生成するマスタ分離信号監視装置を備えることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインターロック制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の制御モジュールのインターロック制御装置に関し、特に、エッチング装置等の半導体製造装置において各々少なくとも１つの機器を駆動制御する複数の制御モジュールの間でインターロック制御を実行するインターロック制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のエッチング装置等の半導体製造装置には、インターロック制御機能を有するものがある。このような従来のインターロック機能を有する半導体製造装置においては、半導体製造装置の各機能を実現するための複数の機器を制御するための制御モジュール毎にインターロック回路が設けられており、インターロック制御は各制御モジュール毎に行われている。
【０００３】
また、インターロック制御は各制御モジュール間で連動して行われる場合もあり、この場合には制御モジュール間でインターロック制御のための信号を送受信している。つまり、従来のインターロック制御装置においては、インターロック制御を実行するためのインターロック要因毎に個別のインターロック制御信号を制御モジュール間で送受信し、各制御モジュール間で連動してインターロック制御を行っている（例えば、特許文献１参照）。例えば、ガス供給装置を制御するガス供給制御モジュールがガス供給装置に対してインターロック制御を実行する場合には、ガス漏れ検知器からのガス漏洩アラーム等を含む複数のインターロック要因を複数の制御モジュールにおいて夫々検出し、検出されたインターロック要因毎に個別のインターロック制御信号をガス供給制御モジュールに送信し、ガス供給制御モジュールが上記複数のインターロック要因を受信してインターロック条件が成立した場合にインターロック実行先の機器であるガス供給ボックスにインターロック制御を実行している。
【特許文献１】特願平０５−２０４４０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、半導体製造装置等の装置の機能が複雑化するとインターロック条件も複雑化し、また、装置の安全性を重視するとインターロック条件も複雑化し、従来のインターロック制御装置においては、上述のようにインターロック要因毎に個別のインターロック制御信号を各制御モジュール間で送受信しているため、インターロック制御信号の数が膨大なものとなり、各制御モジュール間を接続するための配線が複雑なものとなっていた。
【０００５】
また、従来のインターロック制御装置においては、インターロック条件毎に制御モジュール間で送受信するインターロック制御信号が異なるため、新規の半導体製造装置の開発や制御モジュールの追加等の度に各制御モジュールのインターロック回路の新規設計や設計変更等が必要であった。
【０００６】
さらに、従来のインターロック制御装置においては、インターロック機能の複雑化に伴い、装置のトラブル等でインターロック制御が実行された場合に、その原因の解析が困難であった。
【０００７】
本発明の目的は、構造を単純化することができるインターロック制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１記載のインターロック制御装置は、各々少なくとも１つの機器を駆動制御する複数の制御モジュールのインターロック制御装置であって、前記複数の制御モジュールの各々に対応するスレーブスイッチ装置を備え、前記スレーブスイッチ装置の各々は、前記対応する制御モジュールが駆動制御する前記機器の状態を示す複数の状態検知信号を多重化して多重化信号を生成する多重化装置と、前記多重化信号を記憶する記憶装置と、前記記憶された多重化信号を読み出す読出装置と、前記読み出された多重化信号を分離して複数の分離信号を生成する分離装置と、前記複数の分離信号の内所定の分離信号を前記対応する制御モジュール以外の制御モジュールに伝送する伝送装置と、前記分離信号に基づいて前記対応する機器を駆動制御する少なくとも１つの制御装置と、前記伝送装置が接続され、前記スレーブスイッチ装置の各々を接続するマスタスイッチ装置と、を備え、前記マスタスイッチ装置は、前記伝送装置の各々が伝送する前記所定の分離信号を多重化してマスタ多重化信号を生成するマスタ多重化装置と、前記マスタ多重化信号を記憶するマスタ記憶装置と、前記記憶されたマスタ多重化信号を読み出すマスタ読出装置と、前記読み出されたマスタ多重化信号を分離して複数のマスタ分離信号を生成するマスタ分離装置と、前記マスタ分離信号を前記スレーブスイッチ装置に出力する出力装置と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載のインターロック制御装置は、請求項１記載のインターロック制御装置において、前記多重化装置は、予め設定された順番で前記状態検知信号を多重化し、前記読出装置は、前記記憶された多重化信号から予め設定された条件に基づいて前記状態検知信号を読み出し、該読み出した順番に前記読み出した状態検知信号を再度多重化して多重化信号を生成することを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載のインターロック制御装置は、請求項１又は２記載のインターロック制御装置において、前記分離信号が正常か否かを判別し、前記分離信号が正常でない場合に当該分離信号に対応する機器を安全に駆動する制御信号を生成し、前記分離信号に対応する制御装置に出力する分離信号監視装置を備えることを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載のインターロック制御装置は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインターロック制御装置において、前記スレーブスイッチ装置は、前記多重化信号を表示可能にするモニタインタフェースを備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載のインターロック制御装置は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインターロック制御装置において、前記マスタ多重化装置は、予め設定された順番で前記伝送された所定の分離信号を多重化し、前記マスタ読出装置は、前記記憶されたマスタ多重化信号から予め設定された条件に基づいて前記状態検知信号を読み出し、該読み出した順番に前記読み出した状態検知信号を再度多重化してマスタ多重化信号を生成することを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載のインターロック制御装置は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインターロック制御装置において、前記多重化装置は、前記状態検知信号及び前記マスタ分離信号を多重化することを特徴とする。
【００１５】
請求項７記載のインターロック制御装置は、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインターロック制御装置において、前記スレーブスイッチ装置の各々は、前記マスタ分離信号が正常か否かを判別し、前記マスタ分離信号が正常でない場合に当該マスタ分離信号に対応する前記制御モジュールが制御する前記機器を安全に駆動する制御信号を生成するマスタ分離信号監視装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載のインターロック制御装置は、複数の制御モジュールの各々に対応するスレーブスイッチ装置において、制御モジュールが制御する機器の複数の状態を検知して生成された状態検知信号を多重化して多重化信号を生成し、この多重化信号を分離して複数の分離信号を生成し、所定の分離信号を他の制御モジュールに伝送し、分離信号に基づいて対応する機器を駆動制御する。このように、他の制御モジュールに伝送する状態検知信号を多重化した信号とすることができるので、制御モジュール間で送受信する信号数を少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線を少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成を簡単にすることができる。また、各スレーブスイッチ装置をマスタスイッチ装置が接続し、マスタスイッチ装置は、各スレーブスイッチ装置から伝送される所定の分離信号を多重化してマスタ多重化信号を生成して記憶し、記憶されたマスタ多重化信号を読み出し分離して複数のマスタ分離信号を生成し、マスタ分離信号を各スレーブスイッチ装置に出力する。このように、制御モジュール間で伝送する状態検知信号を多重化した信号とすることができるので、制御モジュール間で送受信する信号数を少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線を少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成を簡単にすることができる。また、各制御モジュールにおいて機能の追加や変更が行われたり、新たな制御モジュールが追加されたりしても、マスタスイッチ装置の構成を変更することにより制御モジュールの所望のインターロック制御を行うことができる。このように、各制御モジュールの機能の追加や変更、新たな制御モジュールの追加に対して容易に対応することができる。
【００１７】
請求項２記載のインターロック制御装置によれば、予め設定された順番で状態検知信号が多重化されて記憶され、予め設定された条件に基づいてこの記憶された多重化信号から状態検知信号が読み出されて、読み出された状態検知信号は読み出された順番に再度多重化される。従って、各制御モジュールにおいて機能の追加や変更が行われたり、新たな制御モジュールが追加されたりしても、上記予め設定された順番及び条件を変更することで制御モジュールの所望のインターロック制御を行うことができる。このように、各制御モジュールの機能の追加や変更、新たな制御モジュールの追加に対して容易に対応することができる。
【００１８】
請求項３記載のインターロック制御装置によれば、分離信号が正常か否かを判別され、分離信号が正常でない場合に当該分離信号に対応する機器を安全に駆動する制御信号が生成される。このため、インターロック制御装置の安全性を向上させることができる。
【００１９】
請求項４記載のインターロック制御装置によれば、スレーブスイッチ装置が多重化信号を表示可能にするモニタインタフェースを備えるので、オペレータは多重伝送される状態検知信号、即ちインターロック要因信号を容易に観察することができる。従って、このインターロック要因信号から装置の状態を容易に監察することができ、装置に障害が発生した場合には原因の解析などを容易に行うことができる。
【００２１】
請求項５記載のインターロック制御装置によれば、マスタスイッチ装置において、各スレーブスイッチ装置から伝送された所定の分離信号は予め設定された順番で多重化され、記憶されたマスタ多重化信号から予め設定された条件に基づいて状態検知信号が読み出され、読み出された順番に再度多重化されてマスタ多重化信号が生成される。従って、各制御モジュールにおいて機能の追加や変更が行われたり、新たな制御モジュールが追加されたりしても、上記予め設定された順番及び条件を変更することで所望の制御モジュールのインターロック制御を行うことができる。このように、各制御モジュールの機能の追加や変更、新たな制御モジュールの追加に対して容易に対応することができる。
【００２２】
請求項６記載のインターロック制御装置によれば、各スレーブスイッチ装置において状態検知信号及びマスタ分離信号が多重化されるので、各制御モジュールに対応する機器の複数の状態に基づいて各制御モジュールにおいてインターロック制御を実行することができる。
【００２３】
請求項７記載のインターロック制御回路によれば、スレーブスイッチ装置の各々において、マスタ分離信号が正常か否かが判別され、マスタ分離信号が正常でない場合には当該マスタ分離信号に対応する制御モジュールに対応する機器を安全に駆動する制御信号が生成される。このため、インターロック制御装置の安全性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２５】
まず、本発明の実施の形態に係るインターロック制御回路の基本的構成を説明する。
【００２６】
図１Ａ〜Ｉは、本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置の概略構成を示すブロック図であり、図１Ａはインターロック制御装置全体の概略構成を示すブロック図であり、図１Ｂ〜Ｉはインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。以下の説明においては、インターロック制御装置は、複数の処理を実行する処理装置における各機能毎の機器グループを制御する制御モジュールＡ，Ｂ，Ｃ間においてインターロック制御を実行するものとする。
【００２７】
図１Ａに示すように、インターロック制御装置１は、制御モジュールＡ，Ｂ，Ｃに夫々対応するスレーブスイッチ装置１００，２００，３００と、スレーブスイッチ装置１００，２００，３００と接続するマスタスイッチ装置４００とを備える。スレーブスイッチ装置１００，２００，３００はケーブル配線１８０，２８０，３８０を介してマスタスイッチ装置４００に夫々通信可能に接続されている。
【００２８】
スレーブスイッチ装置１００は、図１Ｂ，Ｃに示すように、信号変換装置１０１，１０２，１０３と、多重化装置１１０と、メモリ１２０と、書き込みアドレス制御装置１２１と、読み出しアドレス制御装置１２４と、分離装置１３０と、復号化装置１４１，１４２と、安全化装置（分離信号監視装置）１５１，１５５と、インターロック制御部１６１，１６２とを備える。インターロック制御部１６１，１６２は、制御モジュールＡが制御する機器であるインターロック実行先５１０Ａ，５２０Ａに対してインターロック指令を送信して、インターロック実行先５１０Ａ，５２０Ａにインターロック制御を実行する。
【００２９】
スレーブスイッチ装置１００において、信号変換装置１０１，１０２，１０３は、対応する制御モジュールＡの機能に関連する所定の状態を夫々検知する状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａに夫々接続されている。状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａは、処理装置における所定の機器の状態又は所定のパラメータの状態を示す状態検知信号を送信するセンサ又は機器であり、検知対象の状態に応じてＨｉｇｈレベル信号又はＬｏｗレベル信号を出力する。状態検知信号は、後述するようにインターロック制御装置１においてインターロック制御を実行するための要因となるので、状態検知装置５０１Ａが送信する状態検知信号をインターロック要因信号Ａ、状態検知装置５０２Ａが送信する状態検知信号をインターロック要因信号Ｂ、状態検知装置５０３Ａが送信する状態検知信号をインターロック要因信号Ｃとも称呼する。尚、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃは、状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａが検知した状態を示すＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｈｉｇｈレベル／Ｌｏｗレベル信号）である。
【００３０】
信号変換装置１０１は、状態検知装置５０１Ａからのインターロック要因信号ＡをＡ／Ｄ変換してデジタル信号に変換する。同様に、信号変換装置１０２，１０３は、状態検知装置５０２Ａ，５０３Ａからのインターロック要因信号Ｂ，ＣをＡ／Ｄ変換してデジタル信号に変換する。
【００３１】
多重化装置１１０は、予め設定されたパルス幅のフレームパルス信号を生成するフレームパルス信号生成部１１１と、後述するエラー監視データを生成するエラー監視データ生成部１１２と、信号を多重化する多重化部１１３とを備える。フレームパルス信号は、後述するように多重化装置１１０等の生成する多重化信号の１フレームの長さ（時間的長さ）を規定するための信号である。多重化装置１１０は、信号変換装置１０１，１０２，１０３に接続されていると共に、後述する安全化装置１７０とケーブル配線１８０とを介してマスタスイッチ装置４００に接続されており、デジタル化されたインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ及び後述するマスタスイッチ装置４００から伝送される信号を後述するように予め設定された順番で多重化して多重化信号を生成する。フレームパルス信号生成部１１１は、生成するフレームパルス信号のパルス幅を変更可能に構成されている。
【００３２】
メモリ１２０は、データの書き込み及び読み出しが可能なメモリであり、書き込みアドレス制御装置１２１の制御に従って多重化信号を記憶し、また、読み出しアドレス制御装置１２４の制御に従って多重化信号を読み出す。書き込みアドレス制御装置１２１は、書き込みアドレス制御部１２２と、書き込みアドレス設定メモリ１２３とを備え、読み出しアドレス制御装置１２４は、読み出しアドレス制御部１２５と、読み出しアドレス設定メモリ１２６とを備える。
【００３３】
書き込みアドレス設定メモリ１２３は、書き込みアドレス設定データを備える。書き込みアドレス設定データには、多重化信号を構成する各データ（以下、要素データと称する）とそれらを書き込む順番及び書き込み先のメモリ１２０内のアドレスとの関係が設定されている。書き込みアドレス設定メモリ１２３の書き込みアドレス設定データは変更可能であり、任意の書き込みアドレスが設定可能になっている。
【００３４】
書き込みアドレス制御部１２２は、多重化信号の各要素データを書き込みアドレス設定データによって指定された書き込み先アドレスに書き込むようにメモリ１２０を制御する。このように、多重化装置１１０において生成された多重化信号は、書き込みアドレス設定データに従ってメモリ１２０内の所定のアドレスに記憶される。
【００３５】
読み出しアドレス設定メモリ１２６は、読み出しアドレス設定データを備える。読み出しアドレス設定データには、メモリ１２０から読み出すデータの順番が設定されている。即ち、読み出しアドレス設定データには、メモリ１２０から読み出すデータとこれらのデータを読み出す順番、及びこれらのデータに対応したメモリ１２０のアドレスとの関係が設定されている。読み出しアドレス設定メモリ１２６の読み出しアドレス設定データは変更可能であり、任意の読み出しの順番が設定可能になっている。
【００３６】
読み出しアドレス制御部１２５は、読み出しアドレス設定データに指定された順番に要素データをメモリ１２０から読み出すようにメモリ１２０を制御する。メモリ１２０は、読み出しアドレス制御部１２５の制御に従って、読み出しアドレス設定データに設定された順番に要素データを読み出し、読み出した各要素データを読み出した順番に多重化する。尚、書き込みアドレス設定メモリの設定に基づいて、読み出しアドレス設定メモリの読み出しアドレスを設定することができる。
【００３７】
分離装置１３０は、メモリ１２０によって読み出された多重化信号を分離して各出力先に振り分けて振り分けられた信号を多重化し、出力先毎に対応する分離信号を生成する。図１Ｂにおいては、出力先としての復号化装置１４１、復号化装置１４２、及び伝送装置１４３が、分離装置１３０の第１出力端子１３１、第２出力端子１３２、及び第３出力端子１３３に夫々接続されているので、受信した多重化信号を復号化装置１４１、復号化装置１４２、及び伝送装置１４３に対応して分離して３つのグループに振り分け、各グループの信号を多重化し、３つの出力先に夫々対応した３つの分離化信号を生成する。
【００３８】
復号化装置１４１と、分離装置１３０との間には安全化装置１５１が設けられており、安全化装置１５１は、エラー監視部１５２と、信号生成部１５３と、選択部１５４とから構成されている。安全化装置１５１において、エラー監視部１５２は、分離装置１３０から出力される分離信号を監視して分離信号にエラーが発生しているか否かを判別し、エラーが発生している場合は信号生成部１５３にエラー信号を送信すると共に選択部１５４に切換信号を送信する。信号生成部１５３は、エラー監視部１５２からエラー信号を受信すると、この分離信号が送信される機器（図１Ｂにおいてはインターロック実行先５１０Ａ）を安全側に駆動するための信号（以下、安全駆動信号と称する）を生成して選択部１５４に送信する。選択部１５４は、分離装置１３０から受信した分離信号と信号生成部１５３から受信した安全駆動信号のいずれの信号を復号化装置１４１に送信するかを選択する。具体的には、エラー監視部１５２から切換信号を受信した場合、つまり受信した分離信号にエラーがある場合は復号化装置１４１に安全駆動信号を送信し、エラー監視部１５２から切換信号を受信しない場合、つまり受信した分離信号にエラーがない場合は、分離信号をそのまま復号化装置１４１に送信する。
【００３９】
復号化装置１４１は、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化してインターロック要因信号に分離する。
【００４０】
インターロック制御部１６１は、復号化装置１４１で復号化された各インターロック要因信号を解析し、解析結果に応じたインターロック指令を接続されたインターロック実行先５１０Ａに送信する。インターロック指令を受信したインターロック実行先５１０Ａは、受信したインターロック指令に応じて動作する。尚、送信するインターロック指令は、インターロック要因信号の状態（ＯＮ又はＯＦＦ）に対応して予め設定されており、また、任意の指令に変更可能である。従って、インターロック実行先の制御方法は、受信するインターロック要因信号の内容に応じて任意に設定可能となっている。
【００４１】
伝送装置１４３は、分離装置１３０から受信した分離信号をケーブル配線１８０を介してマスタスイッチ装置４００に伝送する。
【００４２】
スレーブスイッチ装置１００において、復号化装置１４２、安全化装置１５５、及びインターロック制御部１６２は、上述の復号化装置１４１、安全化装置１５１、及びインターロック制御部１６１と同様に構成されている。安全化装置１７０は、上述の安全化装置１５１と同様に構成されている。従って、各構成要素の詳細な説明は省略する。
【００４３】
また、スレーブスイッチ装置１００は、メモリ１２０に書き込まれる多重化信号及びメモリ１２０から読み出された多重化信号を蓄積するデータ蓄積部１８１を備え、データ蓄積部１８１には、パーソナルコンピュータ等のモニタ端末を接続可能にするインタフェース（Ｉ／Ｆ）１８２が接続されている。また、Ｉ／Ｆ１８２には、書き込みアドレス設定メモリ１２３の書き込みアドレス設定データ、及び読み出しアドレス設定メモリ１２６の読み出しアドレス設定データを変更可能にするメモリ書き込み制御部１８３が接続されている。この構成により、ユーザは、モニタ端末をＩ／Ｆ１８２に接続することにより、蓄積された多重化信号をモニタ端末において観察することができる。つまり蓄積されたインターロック要因信号を、即ち現在又は過去の種々の装置状態を観察することができ、装置に障害が発生した場合には原因の解析などを容易に行うことができる。また、ユーザは、モニタ端末によって、設定されている書き込みアドレス設定データ及び読み出しアドレス設定データを確認、変更することができる。
【００４４】
また、スレーブスイッチ回路１００は、所定の周波数のクロック信号を生成するクロック信号生成装置１８４を備える。
【００４５】
制御モジュールＢに対応するスレーブスイッチ装置２００及び制御モジュールＣに対応するスレーブスイッチ装置３００は上記スレーブスイッチ装置１００と同様に構成されているためその説明は省略する（図１Ｄ〜Ｇ参照）。
【００４６】
マルチスイッチ装置４００は、図１Ｈ，Ｉに示すように、ケーブル配線１８０，２８０，３８０を介してスレーブスイッチ装置１００，２００，３００の伝送装置１４３，２４３，３４３に夫々接続された安全化装置４１０，４２０，４３０を備える。安全化装置４１０はスレーブスイッチ装置１００の安全化装置１５１と同様の構成をしており、伝送装置１４３から伝送される分離信号にエラーが生じているか否かをエラー監視部４１１において判別して、エラーが発生している場合は、信号生成部４１２において分離信号に対応するインターロック要因信号が安全側になるような信号（安全駆動信号）を生成して選択部４１３から出力し、エラーが発生していない場合は、分離信号をそのまま選択部４１３から出力する。安全化装置４２０，４３０も安全化装置４１０と同様に構成されているので説明を省略する。
【００４７】
また、マスタスイッチ装置４００は、安全化装置４１０，４２０，４３０に接続された多重化装置４４０と、メモリ４５０と、書き込みアドレス制御装置４５１と、読み出しアドレス制御装置４５４と、分離装置４６０と、データ蓄積部４７１、Ｉ／Ｆ４７２、メモリ書き込み制御部４７３、及びクロック信号発生装置４７４とを備える。分離化装置４６０は、ケーブル配線１８０，２８０，３８０及び安全化装置１７０，２７０，３７０を介してスレーブスイッチ装置１００，２００，３００の多重化装置１１０，２１０，３１０に夫々接続されている。
【００４８】
マスタスイッチ４００の多重化装置４４０、メモリ４５０、書き込みアドレス制御装置４５１、読み出しアドレス制御装置４５４、分離装置４６０、データ蓄積部４７１、Ｉ／Ｆ４７２、メモリ書き込み制御部４７３、及びクロック信号発生装置４７４は、上述のスレーブスイッチ装置１００の多重化装置１１０、メモリ１２０、書き込みアドレス制御装置１２１、読み出しアドレス制御装置１２４、分離装置１３０、データ蓄積部１８１、Ｉ／Ｆ１８２、メモリ書き込み制御部１８３、及びクロック信号発生装置１８４と同様に構成されているので詳細な説明は省略する。
【００４９】
次いで、インターロック制御装置１の動作について説明する。
【００５０】
図２Ａ，Ｂは、インターロック制御装置１の基本的動作を説明するための図であり、図２Ａ（Ａ）〜（Ｅ）及び図２Ｂ（Ｆ）〜（Ｈ）は図１Ｂ，ＣのＡ、Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ１〜Ｆ３点において伝送されるデータを例示する図である。
【００５１】
まず、インターロック制御装置１の動作の概略を説明する。制御モジュールＡに対応するスレーブスイッチング装置１００において、インターロック制御部１６１は状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａの検知結果、即ちインターロック要因信号Ａ，Ｂの示す値に応じてインターロック実行先５１０Ａをインターロック制御する。また、インターロック制御部１６２は状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａ、及び状態検知装置５０１Ｂ，５０２Ｂの検知結果、即ちインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの示す値に応じてインターロック実行先５２０Ａをインターロック制御する。
【００５２】
制御モジュールＢに対応するスレーブスイッチング装置２００において、インターロック制御部２６１は状態検知装置５０３Ａ，５０１Ｂ，５０３Ｂの検知結果、即ちインターロック要因信号Ｃ，Ｄ，Ｆの示す値に応じてインターロック実行先５１０Ｂをインターロック制御する。また、インターロック制御部２６２は状態検知装置５０３Ａ，５０１Ｂ，５０２Ｂ，５０３Ｂの検知結果、即ちインターロック要因信号Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆの示す値に応じてインターロック実行先５２０Ｂをインターロック制御する。
【００５３】
制御モジュールＣに対応するスレーブスイッチング装置３００において、インターロック制御部３６１は状態検知装置５０３Ａ，５０１Ｃ，５０２Ｃの検知結果、即ちインターロック要因信号Ｃ，Ｇ，Ｈの示す値に応じてインターロック実行先５１０Ｃをインターロック制御する。また、インターロック制御部３６２は状態検知装置５０３Ａ，５０１Ｃ，５０２Ｃ，５０３Ｃの検知結果、即ちインターロック要因信号Ｃ，Ｇ，Ｈ，Ｊの示す値に応じてインターロック実行先５２０Ｃをインターロック制御する。
【００５４】
上述の関係から、マスタスイッチ装置４００は、ケーブル配線１８０を介してインターロック要因信号Ｄ，Ｅを含む多重化信号をスレーブスイッチ装置１００に送信し、ケーブル配線２８０を介してインターロック要因信号Ｃを含む多重化信号をスレーブスイッチ装置２００に送信し、ケーブル配線３８０を介してインターロック要因信号Ｃを含む多重化信号をスレーブスイッチ装置３００に送信する。また、各スレーブスイッチ装置１００，２００，３００から、これらに対応する制御モジュールＡ，Ｂ，Ｃの機能に関する状態検知信号がマスタスイッチ装置４００に伝送される。つまり、スレーブスイッチ装置１００の伝送装置１４３からインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃが、スレーブスイッチ装置２００の伝送装置２４３からインターロック要因信号Ｄ，Ｅ，Ｆが、スレーブスイッチ装置３００の伝送装置３４３からインターロック要因信号Ｇ，Ｈ，Ｊが伝送される。
【００５５】
次いで、インターロック制御装置１の動作について詳細に説明する。
【００５６】
まず、スレーブスイッチ装置１００の動作について説明する。
【００５７】
信号変換装置１０１，１０２，１０３は、状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａからインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃを夫々受信する。インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃは、図２Ａ（Ａ）に示すように、インターロック要因Ａ，Ｂ，Ｃの内容をＨｉｇｈレベル信号（例えば、＋２４Ｖ）又はＬｏｗレベル信号（例えば、０Ｖ）のＯＮ／ＯＦＦ信号で示す信号であり、状態検知装置５０１Ａ，５０２Ａ，５０３Ａが検知した状態に応じてＯＮ信号又はＯＦＦ信号を出力するように構成されている。信号変換装置１０１，１０２，１０３は、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，ＣをＡ／Ｄ変換してデジタル変換し、図２Ａ（Ｂ）に示すようにＯＮ／ＯＦＦのデジタル信号を生成する。
【００５８】
安全化装置１７０は、後述するようにマスタスイッチ装置４００からのインターロック要因信号Ｄ，Ｅを含む多重化信号を受信し、エラー監視等を行って多重化信号を多重化装置１１０に出力する。安全化装置１７０における動作の詳細な説明は後述する。安全化装置１７０がマスタスイッチ装置４００から受信する伝送データには、多重化信号、所定周期のクロック信号、及び多重化信号の１つのフレーム長を規定するためのフレームパルス信号が含まれる（図２Ａ（Ｃ）参照）。多重化信号には、後述するエラー監視データと、所定のインターロック要因信号（Ｄ，Ｅ）とが含まれている。
【００５９】
次いで、多重化装置１１０は、フレームパルス生成部１１１においてクロック信号生成部１８４からのクロック信号に基づいて、予め設定されたパルス幅のフレームパルス信号を生成し、エラー監視データ生成部１１２においてエラー監視データを生成し、多重化部１１２においてエラー監視データと、信号変換装置１０１，１０２，１０３からのインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃと、マスタスイッチ装置４００からのインターロック要因信号Ｄ，Ｅとを予め設定された順番で多重化する。
【００６０】
エラー監視データ生成部１１１において生成されるエラー監視データは、予め設定されたデータであり、具体的には、図３に示すように、１，０，１，０、１，０，１，０の５５のデジタルデータと、０，１，０，１、０，１，０，１のＡＡのデジタルデータとからなる。エラー監視データ生成部１１２は、エラー監視データとして５５のデジタルデータとＡＡのデジタルデータとを交互に生成する。このエラー監視データにより、後述するようにエラー監視部１５２等において多重化信号のエラー監視を行うことができる。尚、エラー監視データは上述のものに限らない。
【００６１】
多重化部１１３は、エラー監視データに次いで受信したインターロック要因信号をアルファベット順に多重化して多重化信号を生成する。多重下部１１３は、生成する１フレームの多重化信号の長さがフレーム信号生成部１１１からのフレームパルス信号の１パルス周期に対応する長となるように多重化信号を生成する（図２Ａ（Ｄ）参照）。エラー監視データと受信したインターロック要因信号とを多重化した多重化信号がこのフレームパルス信号よって規定されるフレーム長より短い場合は、多重化部１１３は所定数のブランク信号Ｘを多重化し、生成する多重化信号の長さをこのフレーム長にする。尚、ブランク信号Ｘは、インターロック制御において意味をなさない所定の信号であり、例えば、０又は１の１ビットの信号である。また、１フレームの多重化信号に付与されるエラー監視データには、上述のように５５のデジタルデータとＡＡのデジタルデータとが交互に使用される。
【００６２】
上述のように多重化部１１３において生成される多重化信号は、図２Ａ（Ｄ）に示すように、エラー監視データ、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ、及び所定数のブランク信号がこの順番で多重化された信号となる。
【００６３】
フレームパルス信号生成部１１１において、生成するフレームパルス信号のパルス幅は変更可能となっている。このように、多重化装置１１０に送信されるインターロック要因信号の種類に応じて出力する多重化信号の１フレームの長が変更可能になっている。
【００６４】
次いで、多重化装置１１０は、クロック信号と、フレームパルス信号生成部１１１において生成したフレームパルス信号と、多重化部１１３で生成した多重化信号とを１つの伝送データとして出力する（図２Ａ（Ｄ）参照）。
【００６５】
多重化装置１１０で多重化された多重化信号は、書き込みアドレス制御装置１２１の制御に従ってメモリ１２０に記憶される。書き込みアドレス設定メモリ１２３の書き込みアドレス設定データには、多重化信号の要素データが先頭から順番にメモリ１２０の所定のアドレスに書き込まれるように多重化信号の要素データの順番と書き込み先アドレスとの関係が設定されており、メモリ１２０は、書き込みアドレス制御部１２２に制御されて書き込みアドレス設定データに従って多重化信号の各要素データを先頭から所定のアドレスに書き込む。具体的には、メモリ１２０は、多重化信号の先頭の要素データであるエラー監視データをメモリ１２０の所定のアドレス、例えば、番号が最も若いアドレスに書き込み、２番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを次のアドレスに、３番目の要素データであるインターロック要因信号Ｂをその次のアドレスに、４番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃをその次のアドレスに、と順番に１フレームの多重化信号の最後の要素データまで書き込む。
【００６６】
メモリ１２０に書き込まれた多重化信号は、次いで、読み出しアドレス制御装置１２４の制御に従ってメモリ１２０から読み出される。読み出しアドレス設定メモリ１２６の読み出しアドレス設定データには、まず分離装置１３０から出力すべき分離信号（多重化信号）の数ｍだけ（スレーブスイッチ装置１００においてはｍ＝３）エラー監視信号を読み出し、次いで、分離装置１３０から出力すべき分離信号の各々の要素データであるインターロック要因信号を１つずつ順番に読み出すように、読み出す要素データと、これらの要素データを読み出す順番と、要素データの読み出しアドレスとの関係が設定されている。つまり、まず、エラー監視データを３回読み出し、次いでインターロック制御部１６１に送信される分離信号（以下、第１分離信号とも称する）（図２Ｂ（Ｆ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、インターロック制御部１６２に送信される分離信号（以下、第２分離信号とも称する）（図２Ｂ（Ｇ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、伝送装置１４３に送信すべき分離信号（以下、第３分離信号とも称する）（図２Ｂ（Ｈ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、第１分離信号のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂを、第２分離信号のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂ、第３分離信号のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂを読み出し、そして、第１分離信号のインターロック要因信号は既に全て読み出されているためブランク信号Ｘを読み出し、第２分離信号のインターロック要因の１つであるインターロック要因信号Ｃ、第３分離信号のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃを読み出し、各分離信号のインターロック要因信号が全て読み出されるまで順番に交互に読み出しを行う。
【００６７】
上記読み出しにおいて、各分離信号に対応する要素データの読み出し回数は同じであり、分離信号のインターロック要因信号が全て読み出された場合はブランク信号を読み出す。つまり、読み出しは、各分離信号の長さが同じになるように行う。そして、メモリ１２０は読み出した順番に各要素データを重合する（図２Ａ（Ｅ）参照）。尚、生成される重合化信号の１フレームの長さは、重合化装置１１０から出力されるフレームパルス信号の１パルス周期となる。また、このときの重合化の速度は、重合化装置１１０における重合化の速度のｍ倍（分離装置１３０の出力数）である。つまり、本実施の形態においては、重合化装置１１０における重合化の速度の３倍の速度である。次いで、メモリ１２０は、クロック信号と、フレームパルス信号と、読み出した重合化信号とを含む伝送データを出力する（図２Ａ（Ｅ）参照）。
【００６８】
次いで、分離装置１３０において、メモリ１２０において読み出された重合化信号の要素データを先頭から１つずつ順番に各出力端子に順番に振り分ける。具体的には、重合化信号の先頭の要素データであるエラー監視データを第１出力端子１３１に、重合化信号内の２番目の要素データであるエラー監視データを第２出力端子１３２に、重合化信号内の３番目の要素データであるエラー監視データを第３出力端子１３３に、重合化信号内の４番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第１出力端子１３１に、重合化信号内の５番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第２出力端子１３２に、重合化信号内の６番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第３出力端子１３３に、と重合化信号の要素データがなくなるまで要素データを１つずつ端子毎に順番に振り分ける（図２Ｂ（Ｆ）〜（Ｈ）参照）。
【００６９】
次いで、振りえ分けられた信号を重合化して分離信号を生成する。この場合、第１出力端子１３１に対応してインターロック制御部１６１に送信すべき第１分離信号が生成され（図２Ｂ（Ｆ）参照）、第２出力端子１３２に対応してインターロック制御部１６２に送信すべき第２分離信号が生成され（図２Ｂ（Ｇ）参照）、第３出力端子１３３に対応して伝送装置１４３に送信すべき第３分離信号が生成される（図２Ｂ（Ｈ）参照）。尚、分離装置１３０は、各分離信号の長さが受信したフレームパルス信号の１パルス周期となるように分離及び重合化を行う。
【００７０】
尚、上述の動作は連続して行われる。即ち、図２Ａ，Ｂ（Ｃ）〜（Ｈ）に示すように、各重合化信号（１フレーム長）は連続して生成される。
【００７１】
次いで、分離装置１３０は、第１出力端子１３１からクロック信号とフレームパルス信号と第１分離信号とを含む伝送データを安全化装置１５１に、第２出力端子１３２からクロック信号とフレームパルス信号と第２分離信号とを含む伝送データを安全化装置１５２に、出力端子１３３からクロック信号とフレームパルス信号と第３分離信号とを含む伝送データを伝送装置１４３に夫々出力する。
【００７２】
安全化装置１５１は、エラー監視部１５２において、受信した伝送データにクロック信号が抜けているか否か、受信したフレームパルス信号と第１分離信号を観察してパルス信号毎に多重化装置１１０で付された２種類（５５／ＡＡ）のエラー監視データ（図３参照）が交互に付されているか否かを監視して、分離信号のデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等を監視する。クロック信号が抜けていない場合や、フレームパルス信号毎に多重化装置１１０で付された２種類のエラー監視データが交互に付されている場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等がなく、分離信号にエラーは無いと判別する。一方、クロック信号が抜けている場合や、フレームパルス信号毎に多重化装置１１０で付された２種類のエラー監視データが交互に付されていない場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等が発生しており、分離信号にエラーが有ると判別して信号生成部１５３にエラー信号を送信すると共に選択部１５４に切換信号を送信する。
【００７３】
次いで、信号生成部１５３が、エラー監視部１５２からエラー信号を受信すると、この第１分離信号が送信されるインターロック制御部１６１がインターロック実行先５１０Ａを安全側に駆動させるように第１分離信号のインターロック要因信号（インターロック要因信号Ａ，Ｂ）の値をＯＮ又はＯＦＦの予め設定された値に変更し、所定の安全駆動信号を生成して選択部１５４に送信する。
【００７４】
次いで、選択部１５４は、エラー監視部１５２から切換信号を受信した場合、つまり第１分離信号にエラーがある場合は復号化装置１４１に安全駆動信号を送信し、エラー監視部１５２から切換信号を受信しない場合、つまり第１分離信号にエラーがない場合は、第１分離信号をそのまま復号化装置１４１に送信する。
【００７５】
安全化装置１５６も上記安全化装置１５１と同様に動作する。
【００７６】
安全化装置１５１から分離信号又は安全駆動信号を受信した復号化装置１４１は、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化して各要素信号に分離し、インターロック要因信号のみ（インターロック要因信号Ａ，Ｂ）を抽出してインターロック制御部１６１に出力する。復号化装置１４２も同様に、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化して各要素信号に分離し、インターロック要因信号のみ（インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ）を抽出してインターロック制御部１６２に出力する。
【００７７】
一方、伝送装置１４３は、分離装置１３０から受信した第３分離信号をケーブル配線１８０を介してマスタスイッチ装置４００に伝送する。
【００７８】
そして、復号化装置１４１からインターロック要因信号Ａ，Ｂを受信したインターロック制御部１６１は、受信したインターロック要因信号Ａ，Ｂの内容を解析して、即ち、ＯＮ信号であるかＯＦＦ信号であるかを判別して、インターロック要因信号Ａ，Ｂの内容の組み合わせに応じて予め設定されたインターロック指令（インターロック指令Ａ）をインターロック実行先５１０Ａに送信する。これによりインターロック実行先５１０Ａは、所定のインターロック動作を行う。同様に、インターロック制御部１６２は、受信したインターロック要因信号Ａ，Ｂ、Ｃ，Ｄ，Ｅの内容を解析して、インターロック要因信号Ａ，Ｂ、Ｃ，Ｄ，Ｅの内容の組み合わせに応じて予め設定されたインターロック指令（インターロック指令Ｂ）をインターロック実行先５２０Ａに送信する。これによりインターロック実行先５２０Ａは、所定の動作を行う。
【００７９】
スレーブスイッチ装置２００，３００もスレーブスイッチ装置１００と同様に動作するので説明を省略する。
【００８０】
尚、書き込みアドレス設定データ及び読み出しアドレス設定データの内容は上述のものに限らず他の内容であってもよい。この場合、分離装置１３０の分離方法を読み出しアドレス設定データに対応させればよい。
【００８１】
次いで、マルチスイッチ装置４００の動作を図４Ａ，Ｂを参照して説明する。図４Ａ，Ｂは、マスタスイッチ装置の基本的動作を説明するための図であり、図４Ａ，Ｂ（Ａ）〜（Ｅ）は図１Ｈ，Ｉのマスタスイッチ装置４００のＧ、Ｈ，Ｉ１，Ｉ２，Ｉ３点において伝送されるデータを例示する図である。
【００８２】
安全化装置４１０，４２０，４３０は、スレーブスイッチ装置１００，２００，３００の伝送装置１４３，２４３，３４３からケーブル配線１８０，２８０，３８０を介して第１，２，３の伝送データ（図２Ｂ（Ｈ）参照）を夫々受信する。第１の伝送データは、上述のように、分離装置１３０において生成された第３分離信号を含み、クロック信号と、フレームパルス信号と、エラー監視データとスレーブスイッチ装置１００に対応する制御モジュールＡにおいて検知される全てのインターロック要因信号（インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ）を含む多重化信号とを含むデータであり、同様に、第２の伝送信号は、クロック信号と、フレームパルス信号と、エラー監視データとスレーブスイッチ装置２００に対応する制御モジュールＢにおいて検知される全てのインターロック要因信号（インターロック要因信号Ｄ，Ｅ，Ｆ）を含む多重化信号とを含み、第３の伝送信号は、クロック信号と、フレームパルス信号と、エラー監視データとスレーブスイッチ装置３００に対応する制御モジュールＣにおいて検知される全てのインターロック要因信号（インターロック要因信号Ｇ，Ｈ，Ｊ）を含む多重化信号とを含む。
【００８３】
安全化装置４１０，４２０，４３０は、安全化装置１５１と同様に、エラー監視部４１１，４２１，４３１においてクロック信号の抜け及びエラー監視データの観察を行い、エラーの有無の判別を行う。エラーが無い場合は、選択部４１３，４２３，４３３から受信した伝送データをそのまま出力する。一方、エラーがある場合は、信号生成部４１２，４２２，４３２において夫々の多重化信号のインターロック要因信号の内容を各機器（インターロック実行先）が安全側に駆動されるように予め設定された値（ＯＮ又はＯＦＦ）に変更して安全駆動信号を重合化信号として、選択部４１３，４２３，４３３からクロック信号及びフレームパルス信号と共に出力する。尚、安全化装置４１０，４２０，４３０から送信される伝送データにおけるクロック信号及びフレームパルス信号は夫々互いに同じ信号である。また、各安全化装置４１０，４２０，４３０から送信される多重化信号におけるエラー監視データも互いに同じである。
【００８４】
次いで、多重化装置４４０は、上記多重化装置１１０と同様に、受信した多重化信号を予め設定された順番で多重化する。具体的には、多重化装置４４０は、エラー監視データに次いで受信したインターロック要因信号をアルファベット順に多重化して多重化信号を生成する。多重化装置４４０は、生成する１フレームの多重化信号の長さが受信したフレームパルス信号の１パルス周期に対応する長さとなるように多重化信号を生成する。エラー監視データと受信したインターロック要因信号とを多重化した多重化信号がこのフレームパルス信号よって規定されるフレーム長より短い場合は、多重化装置４４０は所定数のブランク信号を多重化し、生成する多重化信号の長さをこのフレーム長にする。
【００８５】
次いで、多重化装置４４０は、クロック信号と、フレームパルス信号と、生成した多重化信号とを１つの伝送データとして出力する（図４Ａ（Ａ）参照）。
【００８６】
多重化装置４４０で多重化された多重化信号は、書き込みアドレス制御装置４５１の制御に従ってメモリ４５０に記憶される。書き込みアドレス設定メモリ４５３の書き込みアドレス設定データには、多重化信号の要素データが先頭から順番にメモリ４５０の所定のアドレスに書き込まれるように、多重化信号の要素データと、これらの要素データの順番と、書き込み先アドレスとの関係が設定されており、メモリ４５０は、書き込みアドレス制御装置４５２に制御されて書き込みアドレス設定データに従って多重化信号の各要素データを先頭から所定のアドレスに書き込む。具体的には、メモリ４５０は、多重化信号の先頭の要素データであるエラー監視データをメモリ４５０の所定のアドレス、例えば、番号が最も若いアドレスに書き込み、２番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを次のアドレスに、３番目の要素データであるインターロック要因信号Ｂをその次のアドレスに、４番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃをその次のアドレスに、と順番に１フレームの多重化信号の最後の要素データまで連続するアドレスに書き込む。
【００８７】
メモリ４５０に書き込まれた多重化信号は、次いで、読み出しアドレス制御装置４５４の制御に従ってメモリ４５０から読み出される。読み出しアドレス設定メモリ４５６の読み出しアドレス設定データには、まず分離装置４６０から出力すべき分離信号（多重化信号）の数ｎだけ（マスタスイッチ装置４００においてはｎ＝３）エラー監視信号を読み出し、次いで、分離装置４６０から出力すべき分離信号の各々の要素データであるインターロック要因信号を１つずつ順番に読み出すように、読み出す要素データと、これらの要素データを読み出す順番と、要素データの読み出しアドレスとの関係が設定されている。つまり、まず、エラー監視データを３回読み出し、次いでスレーブスイッチ装置１００に送信される分離信号（以下、第１０分離信号とも称する）（図４Ｂ（Ｃ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｄを読み出し、スレーブスイッチ装置２００に送信される分離信号（以下、第１１分離信号とも称する）（図４Ｂ（Ｄ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃを読み出し、スレーブスイッチ装置３００に送信すべき分離信号（以下、第１２分離信号とも称する）（図４Ｂ（Ｅ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃを読み出し、第１０分離信号のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｅを読み出し、そして、第１１分離信号のインターロック要因信号は既に全て読み出されているためブランク信号を読み出し、第１２分離信号のインターロック要因信号も既に全て読み出されているためブランク信号を読み出し、各分離信号のインターロック要因信号が全て読み出されるまで読み出しをおこなう。
【００８８】
上記読み出しにおいて、各分離信号に対応する要素データの読み出し回数は同じであり、分離信号のインターロック要因信号が全て読み出された場合はブランク信号を読み出す。つまり、読み出しは、各分離信号の長さが同じになるように行う。そして、メモリ４５０は読み出した順番に各要素データを重合して重合化信号を生成し、この重合化信号をクロック信号及びフレームパルス信号と共に出力する（図４Ａ（Ｂ）参照）。尚、生成される重合化信号の１フレームの長さは、受信したフレームパルス信号のパルス周期となる。
【００８９】
次いで、分離装置４６０において、メモリ１２０において読み出された重合化信号の要素データを先頭から１つずつ順番に各出力端子に順番に振り分ける。具体的には、重合化信号の先頭の要素データであるエラー監視データを第１出力端子４６１に、重合化信号内の２番目の要素データであるエラー監視データを第２出力端子４６２に、重合化信号内の３番目の要素データであるエラー監視データを第３出力端子４６３に、重合化信号内の４番目の要素データであるインターロック要因信号Ｄを第１出力端子４６１に、重合化信号内の５番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃを第２出力端子４６２に、重合化信号内の６番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃを第３出力端子４６３に、と重合化信号の要素データがなくなるまで要素データを１つずつ端子毎に順番に交互に振り分ける。次いで、振り分けられた信号を重合化して分離信号を生成する。この場合、第１出力端子４６１に対応してスレーブスイッチ装置１００に送信すべき第１０分離信号が生成され（図４Ｂ（Ｃ）参照）、第２出力端子４６２に対応してスレーブスイッチ装置２００に送信すべき第１１分離信号が生成され（図４Ｂ（Ｄ）参照）、第３出力端子４６３に対応してスレーブスイッチ装置３００に送信すべき第１２分離信号が生成される（図４Ｂ（Ｅ）参照）。尚、分離装置４６０は、各分離信号の長さが受信したフレームパルス信号のパルス周期となるように分離及び重合化を行う。
【００９０】
尚、上述の動作は連続して行われる。即ち各重合化信号（１フレーム長）は連続して生成される。
【００９１】
次いで、分離装置４６０は、出力端子４６１からクロック信号とフレームパルス信号と第１０分離信号とを含む伝送データ（図４Ｂ（Ｃ）参照）を伝送装置４８１に、出力端子４６２からクロック信号とフレームパルス信号と第１１分離信号とを含む伝送データ（図４Ｂ（Ｄ）参照）を伝送装置４８２に、出力端子４６３からクロック信号とフレームパルス信号と第１２分離信号とを含む伝送データ（図４Ｂ（Ｅ）参照）を伝送装置４８３に夫々出力する。
【００９２】
伝送装置４８１，４８２，４８３は伝送データをケーブル配線１８０，２８０，２８０を介してスレーブスイッチ装置１００の安全化装置１７０、スレーブスイッチ装置２００の安全化装置２７０、及びスレーブスイッチ装置３００の安全化装置３７０に夫々送信する。
【００９３】
スレーブスイッチ装置１００において、安全化装置１７０は、安全化装置１５１と同様に、マスタスイッチ装置４００から受信した伝送データを処理する。即ち、安全化装置１７０は、エラー監視部１７１において、受信した伝送データにおいてクロック信号が抜けているか否か、受信したフレームパルス信号と第１０分離信号を観察してパルス信号毎に２種類（５５／ＡＡ）のエラー監視データ（図３参照）が交互に付されているか否かを監視して、分離信号のデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等を監視する。クロック信号が抜けてない場合や、フレームパルス信号毎に２種類のエラー監視データが交互に付されている場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等がなく、分離信号にエラーは無いと判別する。一方、クロック信号が抜けている場合や、フレームパルス信号毎に２種類のエラー監視データが交互に付されていない場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等が発生しており、分離信号にエラーが有ると判別して信号生成部１７２にエラー信号を送信すると共に選択部１７３に切換信号を送信する。
【００９４】
次いで、信号生成部１７２が、エラー監視部１７１からエラー信号を受信すると、この第１０分離信号が送信されるインターロック実行先を安全側に駆動させるように第１０分離信号のインターロック要因信号（インターロック要因信号Ｃ，Ｄ）をＯＮ又はＯＦＦに変更して所定の安全駆動信号を生成して選択部１７３に送信する。
【００９５】
次いで、選択部１７３は、エラー監視部１７１から切換信号を受信した場合、つまり第１０分離信号にエラーがある場合は多重化装置１１０に安全駆動信号を送信し、エラー監視部１７１から切換信号を受信しない場合、つまり第１０分離信号にエラーがない場合は、第１０分離信号をそのまま多重化装置１１０に送信する。
【００９６】
スレーブスイッチ装置２００の安全化装置２７０及びスレーブスイッチ装置３００の安全化装置３７０も上記安全化装置１７０と同様に動作する。
【００９７】
尚、マスタスイッチ装置４００において、書き込みアドレス設定データ及び読み出しアドレス設定データの内容は上述のものに限らず他の内容であってもよい。この場合、分離装置４６０の分離方法を読み出しアドレス設定データに対応させればよい。
【００９８】
上述のように、本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置によれば、複数の制御モジュール間のインターロック制御を実行する場合に、各制御モジュール間（各スレーブスイッチ装置間）で送受信するインターロック要因信号を多重化して送受信するので、制御モジュール間で送受信する信号を少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線を少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成を簡単にすることができる。
【００９９】
また、本実施の形態に係るインターロック制御装置によれば、各制御モジュール間（各スレーブスイッチ装置間）をマスタスイッチ装置によって接続し、各制御モジュールのインターロック制御に必要なインターロック要因信号をマスタスイッチ装置において夫々多重化して夫々の制御モジュールに送信するので、制御モジュール間で送受信する信号をより少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線をより少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成をより簡単にすることができる。
【０１００】
本実施の形態に係るインターロック制御装置によれば、送受信するインターロック要因信号の多重化や分離の条件を、各スレーブスイッチ装置及びマスタスイッチ装置における多重化条件、書き込みアドレス設定データ、読み出しアドレス設定データ、分離条件、及びフレームパルス信号のパルス周期等の予め設定された変更可能な条件によって設定している。このため、各制御モジュールにおいて機能の追加や変更が行われたり、新たな制御モジュールが追加されたりしても、上記予め設定された条件を変更することで制御モジュール間での所望のインターロック制御を行うことができる。このように、本実施の形態に係るインターロック制御装置は、各制御モジュールの機能の追加や変更、新たな制御モジュールの追加に対して容易に対応することができる。
【０１０１】
本実施の形態に係るインターロック制御装置は、安全化装置を備え、安全化装置は、制御モジュール間を伝送される伝送データにエラーがある場合は、各機器を安全側に駆動させる信号を生成する。従って、制御モジュール間を伝送される伝送データにエラーが発生した場合は、各機器を安全側に駆動するように制御するので、インターロック制御装置の安全性を向上させることができ、装置の安全性を向上させることができる。
【０１０２】
本実施の形態に係るインターロック制御装置は、各スレーブスイッチ装置及びマスタスイッチ装置がデータ蓄積部を備え、データ蓄積部はＩ／Ｆを介してモニタ端末が接続可能であるので、オペレータは多重伝送される状態検知信号、即ちインターロック要因信号を容易に観察することができる。従って、このインターロック要因信号から装置の状態を容易に監察することができ、障害が発生した場合には原因の解析などを容易に行うことができる。
【０１０３】
本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置においては、処理装置が３つの制御モジュールを備え、対応して３つのスレーブスイッチ装置を備えるものとしたが、スレーブスイッチ装置の数はこれに限るものではない。例えば、装置の制御モジュールの数に対応してスレーブスイッチ装置の数を増やしても良く、各機能を更に細分化して細分化した機能に対応してスレーブスイッチ装置を増やしてもよい。
【０１０４】
次いで、本発明の実施例として本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置を備える基板処理装置について説明する。該基板処理装置は反応性活性ガスを用いて基板に所定の処理を施すように構成されている。
【０１０５】
図５は、本実施の形態に係るインターロック制御装置を備える基板処理装置としてのプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。このプラズマ処理装置は基板としての半導体ウエハＷにＲＩＥ（Reactive Ion Etching）処理を施し、またＷＬＤＣ処理が実行可能なように構成されている。
【０１０６】
図５において、プラズマ処理装置１０は円筒形状の真空容器１１（減圧容器）を有し、該真空容器１１は内部に処理空間Ｓを有する。また、真空容器１１内には、例えば、直径が３００ｍｍの半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という。）を載置する載置台としての円柱状のサセプタ１２が配置されている。真空容器１１の内壁面は側壁部材４５で覆われる。該側壁部材４５はアルミニウムからなり、その処理空間Ｓに対向する面はイットリア（Ｙ２Ｏ３）等のセラミックによってコーティングされている。また、真空容器１１は電気的に接地し、サセプタ１２は真空容器１１の底部に絶縁性部材２９を介して設置される。
【０１０７】
プラズマ処理装置１０では、真空容器１１の内側壁とサセプタ１２の側面とによって、サセプタ１２上方の気体分子を真空容器１１の外へ排出する流路として機能する排気路１３が形成される。この排気路１３の途中にはプラズマの漏洩を防止する環状のバッフル板１４が配置される。また、排気路１３におけるバッフル板１４より下流の空間は、サセプタ１２の下方へ回り込み、可変式バルブである自動圧力制御弁（Adaptive Pressure Control Valve）（以下、「ＡＰＣバルブ」という。）１５に連通する。ＡＰＣバルブ１５は、アイソレータ（Isolator）１６を介して真空引き用の排気ポンプであるターボ分子ポンプ（Turbo Molecular Pump）（以下、「ＴＭＰ」という。）１７に接続され、ＴＭＰ１７は、バルブＶ１を介して排気ポンプであるドライポンプ（以下、「ＤＰ」という。）１８に接続されている。ＡＰＣバルブ１５、アイソレータ１６、ＴＭＰ１７、バルブＶ１及びＤＰ１８によって構成される排気流路（以下、「本排気ライン」という。）は、ＡＰＣバルブ１５によって真空容器１１内の圧力制御を行い、さらにＴＭＰ１７及びＤＰ１８によって真空容器１１内をほぼ真空状態になるまで減圧する。
【０１０８】
また、配管１９がアイソレータ１６及びＡＰＣバルブ１５の間からバルブＶ２を介してＤＰ１８に接続されている。配管１９及びバルブＶ２（以下、「バイパスライン」という。）は、アイソレータ１６及びＴＭＰ１７をバイパスして、ＤＰ１８によって真空容器１１内を粗引きする。
【０１０９】
図５に示すように、ＤＰ１８にはガス無毒化装置５０が接続されており、ガス無毒化装置５０は、真空容器１１から排気された気体を無毒化する。
【０１１０】
サセプタ１２には下部電極用の高周波電源２０が給電棒２１及び整合器（Matcher）２２を介して接続されており、該下部電極用の高周波電源２０は、所定の高周波電力をサセプタ１２に供給する。これにより、サセプタ１２は下部電極として機能する。また、整合器２２は、サセプタ１２からの高周波電力の反射を低減して高周波電力のサセプタ１２への供給効率を最大にする。
【０１１１】
サセプタ１２の内部上方には、導電膜からなる円板状のＥＳＣ電極板２３が配置されている。ＥＳＣ電極板２３には直流電源２４が電気的に接続されている。ウエハＷは、直流電源２４からＥＳＣ電極板２３に印加された直流電圧により発生するクーロン力又はジョンソン・ラーベック(Johnsen-Rahbek)力によってサセプタ１２の上面に吸着保持される。また、サセプタ１２の上方には、サセプタ１２の上面に吸着保持されたウエハＷの周りを囲うように円環状のフォーカスリング２５が配設される。このフォーカスリング２５は、処理空間Ｓに露出し、該処理空間ＳにおいてプラズマをウエハＷの表面に向けて収束し、ＲＩＥ処理の効率を向上させる。
【０１１２】
また、サセプタ１２の内部には、例えば、円周方向に延在する環状の冷媒室２６が設けられる。この冷媒室２６には、チラーユニット（図示せず）から冷媒用配管２７を介して所定温度の冷媒、例えば、冷却水やガルデン（登録商標）液が循環供給され、当該冷媒の温度によってサセプタ１２上面に吸着保持されたウエハＷの処理温度が制御される。
【０１１３】
さらに、サセプタ１２の上面のウエハＷが吸着保持される部分（以下、「吸着面」という。）には、複数の伝熱ガス供給孔２８が開口している。これら複数の周縁伝熱ガス供給孔２８は、サセプタ１２内部に配置された伝熱ガス供給ライン３０を介して伝熱ガス供給部３２に接続され、該伝熱ガス供給部３２は伝熱ガスとしてのヘリウムガスを、伝熱ガス供給孔２８を介して吸着面及びウエハＷの裏面の間隙に供給する。
【０１１４】
また、サセプタ１２の吸着面には、サセプタ１２の上面から突出自在なリフトピンとしての複数のプッシャーピン３３が配置されている。これらのプッシャーピン３３は、モータ（図示せず）とボールねじ（図示せず）を介して接続され、ボールねじによって直線運動に変換されたモータの回転運動に起因して吸着面から自在に突出する。ウエハＷにＲＩＥ処理を施すためにウエハＷを吸着面に吸着保持するときには、プッシャーピン３３はサセプタ１２に収容され、ＲＩＥ処理が施されたウエハＷを真空容器１１から搬出するときには、プッシャーピン３３はサセプタ１２の上面から突出してウエハＷをサセプタ１２から離間させて上方へ持ち上げる。
【０１１５】
真空容器１１の天井部には、サセプタ１２と対向するようにガス導入シャワーヘッド３４が配置されている。ガス導入シャワーヘッド３４には整合器３５を介して上部電極用の高周波電源３６が接続されており、上部電極用の高周波電源３６は所定の高周波電力をガス導入シャワーヘッド３４に供給するので、ガス導入シャワーヘッド３４は上部電極として機能する。なお、整合器３５の機能は上述した整合器２２の機能と同じである。
【０１１６】
ガス導入シャワーヘッド３４は、多数のガス穴３７を有する天井電極板３８と、該天井電極板３８を着脱可能に支持する電極支持体３９とを有する。また、該電極支持体３９の内部にはバッファ室４０が設けられ、このバッファ室４０には処理ガス供給装置４７から延びる処理ガス導入管４１が接続されている。この処理ガス導入管４１の途中には配管インシュレータ４２が配置されている。この配管インシュレータ４２は絶縁体からなり、ガス導入シャワーヘッド３４へ供給された高周波電力が処理ガス導入管４１によって処理ガス供給装置４７へリークするのを防止する。ガス導入シャワーヘッド３４は、処理ガス導入管４１を介してガス供給装置４７からバッファ室４０へ供給された処理ガス、例えば、反応性活性ガスであるＣｘＦｙガスとアルゴン（Ａｒ）ガスとの混合ガスを、ガス穴３７を経由して真空容器１１内部（処理空間Ｓ）へ供給する。ガス導入シャワーヘッド３４は容器蓋３１によって覆われている。また、ガス供給装置４７には供給する処理ガスの漏洩を検知するガス漏洩センサ４８が取り付けられている。
【０１１７】
また、真空容器１１の側壁には、プッシャーピン３３によってサセプタ１２から上方へ持ち上げられたウエハＷの高さに対応する位置にウエハＷの搬出入口４３が設けられ、搬出入口４３には、該搬出入口４３を開閉するゲートバルブ４４が取り付けられている。真空容器１１は、ゲートバルブ４４を介して図示しないロードロックユニットに接続されている。ロードロックユニットはその内部圧力を調整可能な真空予備搬送室と機能する。ゲートバルブ４４にはゲートバルブ４４の開閉を検知するためのチャンバ開閉検出センサ４９が取り付けられている。また、真空容器１１には、処理空間Ｓ内の圧力を検出するチャンバ内圧力監視センサ５１が取り付けられている。
【０１１８】
また、プラズマ処理装置１０は、エアや、冷却水や、Ｎ２ガスをプラズマ処理装置１０内に供給するutility供給装置５２を備える。utility供給装置５２は、ゲートバルブ４４等を駆動するためのエアを供給したり、チラーユニットから冷却水を供給したり、Ｎ２タンクからＮ２ガスを上記図示しないロードロックユニットに供給したりして、プラズマ処理装置１０内の種々の状態を制御する。utility供給装置５２は、供給するエアの圧力を検知するエア供給圧監視センサ５３を備える。
【０１１９】
このプラズマ処理装置１０の真空容器１１内では、上述したように、サセプタ１２及びガス導入シャワーヘッド３４に高周波電力を供給して、サセプタ１２及びガス導入シャワーヘッド３４の間の処理空間Ｓに高周波電力を印加することにより、該処理空間Ｓにおいてガス導入シャワーヘッド３４から供給された混合ガスをプラズマ化し、イオンを発生させ、イオン等によってウエハＷにＲＩＥ処理を施す。
【０１２０】
上述の構成を有するプラズマ処理装置１０は、その各構成要素が図６で後述するシステムコントローラ６０によって制御されて各種の処理を実行する。
【０１２１】
図６は、システムコントローラ６０の概略構成を模式的に示すブロック図である。
【０１２２】
システムコントローラ６０は、プラズマ処理装置１０の各機能を実現するための機器グループを制御する複数の制御モジュールを機能毎に備える。プラズマ処理装置１０の備える機能には、例えば、ウエハ搬送機能や処理ガス流量制御機能、電力制御機能等がある。図６に示すように、システムコントローラ６０は、プラズマ処理装置１０の各機能を実現するための機器グループを制御する制御モジュール６１，６２と、プラズマ処理装置１０の動作状況を表示し、且つユーザのプラズマ処理装置１０に対する操作を受け付けるオペレーションコントローラ６３とを備える。システムコントローラ６０において各制御モジュールは、スイッチングハブ６４を介してＥＣ（Equipment Controller）６５に接続されている。システムコントローラ６０はＥＣ６５からＬＡＮ（Local Area Network）７１を介して、プラズマ処理装置１０が設置されている工場全体の製造工程を管理するＭＥＳ（Manufacturing Execution System）としてのＰＣ７０に接続されている。ＭＥＳは、システムコントローラと連携して工場における工程に関するリアルタイム情報を基幹業務システム（図示しない）にフィードバックすると共に、工場全体の負荷等を考慮して工程に関する判断を行う。
【０１２３】
ＥＣ６５は、各制御モジュールを統括してプラズマ処理装置１０全体の動作を制御する主制御部（マスタ制御部）である。また、ＥＣ６５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等を有し、オペレーションコントローラ６３においてユーザ等によって指定されたウエハＷの処理方法、すなわち、レシピに対応するプログラムに応じてＣＰＵが、各制御モジュールに制御信号を送信することにより、プラズマ処理装置１０の各機器の動作を制御する。
【０１２４】
スイッチングハブ６４は、ＥＣ６５からの制御信号に応じてＥＣ６５の接続先としての制御モジュールを切り替える。
【０１２５】
制御モジュール６１，６２は、プラズマ処理装置１０の各機器の動作を制御する副制御部（スレーブ制御部）であり、図示しないネットワークを介して機能毎の機器グループに夫々接続される。制御モジュール６１は、プロセスチャンバモジュールであり、プラズマ処理装置１０の真空容器１１においてＲＩＥ処理を実行する機器グループを制御する。また、制御モジュール６２は、システムモジュールであり、上記ＲＩＥを連続してシステマティックに実行するために必要なウエハの搬送等を実行するための機器グループを制御する。
【０１２６】
プラズマ処理装置１０において、ウエハＷに各種の処理を施す場合には、各処理のレシピに対応するプログラムに応じてＥＣ６５のＣＰＵが、スイッチングハブ６４を切り換えて制御モジュールに制御信号を送信し、制御モジュールが受信した制御信号に基づいて各機器を制御する。
【０１２７】
また、システムコントローラ６０は、図６に示すように、制御モジュール間においてインターロック制御を実行するインターロック制御装置６６を備える。
【０１２８】
図６においては、説明をわかりやすくするためにシステムコントローラ６０が２つの制御モジュールのみを備えるものとしたが、システムコントローラ６０の備える制御モジュールは上記制御モジュールに限るものではない。例えば、システムコントローラ６０はプラズマ処理装置１０の機能をより細分化して、これらの機能に対応したより多くの制御モジュールを備えるものであってもよい。
【０１２９】
次いで、プラズマ処理装置１０が備えるインターロック制御装置６６について説明する。
【０１３０】
図７Ａ〜Ｇは、プラズマ処理装置１０が備えるインターロック制御装置６６の概略構成を示すブロック図であり、図７Ａはインターロック制御装置６６全体の概略構成を示すブロック図であり、図７Ｂ〜Ｇはインターロック制御装置６６の概略構成を示す部分拡大図である。以下の説明においては、説明をわかりやすくするために、インターロック制御装置６６が行うプロセスチャンバモジュール６１及びシステムモジュール６２の間におけるインターロック制御は、プロセスチャンバモジュール６１が制御する真空機器及びガス供給装置４７、並びにシステムモジュール６２が制御するutility装置５２に対して行われるものとする。
【０１３１】
インターロック制御装置６６は、図７Ａに示すように、プロセスチャンバモジュール６１に設けられたスレーブスイッチ装置としてのスレーブスイッチ回路６００と、システムモジュール６２に設けられたスレーブスイッチ装置としてのスレーブスイッチ回路７００と、スレーブスイッチ装置６００とスレーブスイッチ装置７００とを接続するマスタスイッチ装置としてのマスタスイッチ回路８００とを備える。
【０１３２】
スレーブスイッチ回路６００は、図７Ｂ，Ｃに示すように、信号変換装置としてのＡ／Ｄ変換回路６０１，６０２，６０３と、多重化装置６１０と、メモリとしてのデュアルポートメモリ回路６２０と、デュアルポートメモリ回路６２０を制御する書き込みアドレス制御装置としての書き込みアドレス回路６２１と、デュアルポートメモリ回路６２０を制御する読み出しアドレス制御装置としての読み出しアドレス回路６２４と、分離装置としてのデマルチプレクサ６３０と、復号化装置としての復号化回路６４１，６４２と、伝送装置としてのドライバ回路６４３と、安全化装置としての安全化回路６５１，６５５，６７０と、インターロック制御部としてのインターロック回路６６１，６６２とを備える。
【０１３３】
多重化回路６１０は、フレームパルス信号生成回路６１１と、エラー監視データ生成回路６１２と、多重化部としてのマルチプレクサ６１３とを備える。
【０１３４】
書き込みアドレス回路６２１は書き込みアドレス制御回路６２２と書き込みアドレス設定メモリ６２３とを備え、読み出しアドレス回路６２４は読み出しアドレス制御回路６２５と読み出しアドレス設定メモリ６２６とを備える。
【０１３５】
安全化回路６５１，６５５，６７０は、エラー監視回路６５２，６５６，６７１と、信号生成回路６５３，６５７，６７２と、選択回路６５４，６５８，６７３とを夫々備える。
【０１３６】
また、スレーブスイッチ回路６００は、データ蓄積部としてのデータ蓄積回路６８１と、Ｉ／Ｆ回路６８２と、メモリ書き込み制御部としてのメモリ書き込み制御回路６８３と、クロック信号生成装置としてのクロック信号生成回路６８４とを備える。さらに、スレーブスイッチ回路６００は、レシーバ回路６９１を備える。
【０１３７】
スレーブスイッチ回路６００において、Ａ／Ｄ変換回路６０１，６０２，６０３は、チャンバ開閉検出センサ４９、ガス漏洩センサ４８、チャンバ内圧力センサ５１に夫々接続されている。
【０１３８】
チャンバ開閉検出センサ４９は、プラズマ処理装置１０のゲートバルブ４４の開閉状態を示すインターロック要因信号Ａを出力する。チャンバ開閉検出センサ４９は、ゲートバルブ４４が開状態の場合にインターロック要因信号ＡとしてＯＮ信号を出力し、ゲートバルブ４４が閉状態の場合にインターロック要因信号ＡとしてＯＦＦ信号を出力する。
【０１３９】
ガス漏洩センサ４８は、ガス供給装置４７において処理ガスの漏洩が発生しているか否かを示すインターロック要因信号Ｂを出力する。ガス漏洩センサ４８は、ガス供給装置４７において処理ガスの漏洩が発生している場合にインターロック要因信号ＢとしてＯＮ信号を出力し、ガス供給装置４７において処理ガスの漏洩が発生していない場合にインターロック要因信号ＢとしてＯＦＦ信号を出力する。
【０１４０】
チャンバ内圧力監視センサ５１は、真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態か否かを示すインターロック要因信号Ｃを出力する。チャンバ内圧力監視センサ５１は、真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態の場合にインターロック要因信号ＣとしてＯＮ信号を出力し、真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態でない場合にインターロック要因信号ＣとしてＯＦＦ信号を出力する。
【０１４１】
インターロック回路６６１は、プラズマ処理装置１０のガス供給装置４７に接続されており、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃの値に応じてガス供給装置４７に対してインターロック制御を行う。具体的には、インターロック回路６６１は、インターロック要因信号Ａの値がＯＮであってゲートバルブ４４が開状態である場合、インターロック要因信号Ｂの値がＯＮであってガス供給装置４７においてガス漏洩が発生している場合、又はインターロック要因信号ＣがＯＮ状態であって真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態である場合のいずれかの条件に該当する場合に、ガス供給装置４７に対して処理ガスのガス供給を停止して中止するように指令するインターロック指令Ａを発する。このインターロック指令Ａを受信するとガス供給装置４７は処理ガスのガス供給を停止して中止する。一方、インターロック要因信号Ａの値、インターロック要因信号Ｂの値、及びインターロック要因信号Ｃの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路６６１はインターロック指令Ａを発しない。
【０１４２】
また、インターロック回路６６２は、プラズマ処理装置１０の真空機器に接続されており、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの値に応じて真空機器に対してインターロック制御を行う。真空機器は、ＡＰＣバルブ１５、ＴＭＰ１７、及びＤＰ１８等の機器である。また、インターロック要因信号Ｄは、エア供給圧監視センサ５３が出力する信号であり、utility装置５２から供給するエアの圧力がプラズマ処理装置１０のゲートバルブ４４等のシステムを駆動するために必要な所定の圧力より低下した場合をその値がＯＮになる。インターロック要因信号Ｅは、ガス無毒化装置５０の状態を示す信号であり、ガス無毒化装置５０が故障した場合にその値がＯＮになる。
【０１４３】
インターロック回路６６２は、具体的には、インターロック要因信号Ａの値がＯＮであってゲートバルブ４４が開状態である場合、インターロック要因信号ＢがＯＮ状態であってガス供給装置４７においてガス漏洩が発生している場合、インターロック要因信号ＣがＯＮ状態であって真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態である場合、インターロック要因信号ＤがＯＮ状態であってutility装置５２から供給するエアの圧力が上記所定の圧力より低下している場合、又はインターロック要因信号ＥがＯＮ状態であってガス無毒化装置５０が故障している場合のいずれかの条件に該当する場合に、真空機器に対して真空容器１１内の真空引きを停止して中止するように指令するインターロック指令Ｂを発する。このインターロック指令Ｂを受信すると真空機器は真空容器１１内の真空引きを停止して中止する。一方、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路６６２はインターロック指令Ｂを発しない。
【０１４４】
スレーブスイッチ回路７００は、図７Ｄ，Ｅに示すように、信号変換装置としてのＡ／Ｄ変換回路７０１，７０２と、多重化装置７１０と、メモリとしてのデュアルポートメモリ回路７２０と、デュアルポートメモリ回路７２０を制御する書き込みアドレス制御装置としての書き込みアドレス回路７２１と、デュアルポートメモリ回路７２０を制御する読み出しアドレス制御装置としての読み出しアドレス回路７２４と、分離装置としてのデマルチプレクサ７３０と、復号化装置としての復号化回路７４１と、伝送装置としてのドライバ回路７４２と、安全化装置としての安全化回路７５１，７７０と、インターロック制御部としてのインターロック回路７６１とを備える。
【０１４５】
多重化回路７１０は、フレームパルス信号生成回路７１１と、エラー監視データ生成回路７１２と、多重化部としてのマルチプレクサ７１３とを備える。
【０１４６】
書き込みアドレス回路７２１は書き込みアドレス制御回路７２２と書き込みアドレス設定メモリ７２３とを備え、読み出しアドレス回路７２４は読み出しアドレス制御回路７２５と読み出しアドレス設定メモリ７２６とを備える。
【０１４７】
安全化回路７５１，７７０は、エラー監視回路７５２，７７１と、信号生成回路７５３，７７２と、選択回路７５４，７７３とを夫々備える。
【０１４８】
また、スレーブスイッチ回路７００は、データ蓄積部としてのデータ蓄積回路７８１と、Ｉ／Ｆ回路７８２と、メモリ書き込み制御部としてのメモリ書き込み制御回路７８３と、クロック信号生成装置としてのクロック信号生成回路７８４とを備える。さらに、スレーブスイッチ回路７００は、レシーバ回路７９１を備える。
【０１４９】
スレーブスイッチ回路７００において、Ａ／Ｄ変換回路７０１，７０２は、エア供給圧監視センサ５３、及びガス無毒化装置Ｉ／Ｆ５０ａを介してガス無毒化装置５０に夫々接続されている。
【０１５０】
エア供給圧監視センサ５３は、上述のように、utility装置５２から供給するエアの圧力の状態を示すインターロック要因信号Ｄを出力する。エア供給圧監視センサ５３は、utility装置５２から供給するエアの圧力がプラズマ処理装置１０のゲートバルブ４４等のシステムを駆動するために必要な上記所定の圧力より低下した場合にインターロック要因信号ＤとしてＯＮ信号を出力し、utility装置５２から供給するエアの圧力が上記所定の圧力以上の場合にインターロック要因信号ＤとしてＯＦＦ信号を出力する。
【０１５１】
ガス無毒化装置５０はガス無毒化装置Ｉ／Ｆ５０ａを介してガス無毒化装置５０の状態を示すインターロック要因信号Ｅを出力する。ガス無毒化装置５０は、ガス無毒化装置５０内に故障が発生しているか否かを判別することが可能であり、ガス無毒化装置５０が故障した場合にインターロック要因信号ＥとしてＯＮ信号を出力し、ガス無毒化装置５０が故障していない場合にインターロック要因信号ＥとしてＯＦＦ信号を出力する。
【０１５２】
インターロック回路７６１は、プラズマ処理装置１０のutility供給装置５２に接続されており、インターロック要因信号Ｄ，Ｅの値に応じてutility供給装置５２に対してインターロック制御を行う。具体的には、インターロック回路７６１は、インターロック要因信号Ｄの値がＯＮであってutility装置５２から供給するエアの圧力がプラズマ処理装置１０のゲートバルブ４４等のシステムを駆動するために必要な上記所定の圧力より低下した場合、又はインターロック要因信号ＥがＯＮ状態であってガス無毒化装置５０が故障した場合のいずれかの条件に該当する場合に、utility供給装置５２に対して処理エアや水、Ｎ２ガスの供給を停止するように指令するインターロック指令Ｃを発する。このインターロック指令Ｃを受信するとutility供給装置５２はエアや水、Ｎ２ガスの供給を停止する。一方、インターロック要因信号Ｄの値及びインターロック要因信号Ｅの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路７６１はインターロック指令Ｃを発しない。
【０１５３】
マスタスイッチ回路８００は、図７Ｆ，Ｇに示すように、スレーブスイッチ回路６００のドライバ回路６４３、スレーブスイッチ回路７００のドライバ回路７４３に夫々接続されたレシーバ回路８０１，８０２と、レシーバ回路８０１，８０２に夫々接続された安全化装置としての安全化回路８１０，８２０と、多重化装置８３０と、メモリとしてのデュアルポートメモリ回路８４０と、デュアルポートメモリ回路８４０を制御する書き込みアドレス制御装置としての書き込みアドレス回路８４１と、デュアルポートメモリ回路８４０を制御する読み出しアドレス制御装置としての読み出しアドレス回路８４４と、分離装置としてのデマルチプレクサ８５０と、伝送装置としてのドライバ回路８７１，８７２とを備える。
【０１５４】
多重化回路８３０は、フレームパルス信号生成回路８３１と、エラー監視データ生成回路８３２と、多重化部としてのマルチプレクサ８３３とを備える。
【０１５５】
書き込みアドレス回路８４１は書き込みアドレス制御回路８４２と書き込みアドレス設定メモリ８４３とを備え、読み出しアドレス回路８４４は読み出しアドレス制御回路８４５と読み出しアドレス設定メモリ８４６とを備える。
【０１５６】
安全化回路８１０，８２０は、エラー監視回路８１１，８２１、信号生成回路８１２，８２２と、選択回路８１３，８２３とを夫々備える。
【０１５７】
また、マルチスイッチ回路８００は、データ蓄積部としてのデータ蓄積回路８６１と、Ｉ／Ｆ回路８６２と、メモリ書き込み制御部としてのメモリ書き込み制御回路８６３と、クロック信号生成装置としてのクロック信号生成回路８６４とを備える。
【０１５８】
スレーブスイッチ回路６００とマルチスイッチ回路８００とは、ドライバ回路６４３とレシーバ回路８０１とにより、レシーバ回路６９１とドライバ回路８７１とにより通信可能に接続されている。従って、ドライバ回路６４３及びレシーバ回路８０１、並びにレシーバ回路６９１及びドライバ回路８７１が、図１のインターロック制御装置１の伝送装置及びケーブル配線に対応する。同様に、スレーブスイッチ回路７００とマルチスイッチ回路８００とは、ドライバ回路７４２とレシーバ回路８０２とにより、レシーバ回路７９１とドライバ回路８７２とにより通信可能に接続されている。従って、ドライバ回路７４２及びレシーバ回路８０２、並びにレシーバ回路７９１及びドライバ回路８７２が、図１のインターロック制御装置１の伝送装置及びケーブル配線に対応する。
【０１５９】
スレーブスイッチ回路６００，７００、及びマスタスイッチ回路８００の構成は、図１のインターロック制御装置１におけるスレーブスイッチ装置及びマスタスイッチ装置と同様であるので、詳細な説明は省略する。
【０１６０】
以下、インターロック制御回路６６の動作について図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂを参照して説明する。図８Ａ，Ｂは、スレーブスイッチ回路６００の動作を説明するための図であり、図８Ａ，Ｂ（Ａ）〜（Ｅ）は図７Ｂ，Ｃのスレーブスイッチ回路６００のＡ、Ｂ，Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３点において伝送される伝送データを示す図である。図９Ａ，Ｂは、スレーブスイッチ回路７００の動作を説明するための図であり、図９Ａ，Ｂ（Ａ）〜（Ｄ）は図７Ｄ，Ｅのスレーブスイッチ回路７００のＡ、Ｂ，Ｃ１，Ｃ２点において伝送される伝送データを示す図である。図１０は、マスタスイッチ回路８００の動作を説明するための図であり、図１０（Ａ）〜（Ｃ）は図７Ｆ，Ｇのマスタスイッチ回路８００のＡ、Ｂ，Ｃ点において伝送される伝送データを示す図である。
【０１６１】
まず、スレーブスイッチ回路６００の動作について説明する。
【０１６２】
Ａ／Ｄ変換回路６０１，６０２，６０３は、チャンバ開閉検出センサ４９、ガス漏洩センサ４８、及びチャンバ内圧力監視センサ５１から夫々受信したインターロック要因信号Ａ，Ｂ，ＣをＡ／Ｄ変換し、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃをデジタル信号にする。チャンバ開閉検出センサ４９、ガス漏洩センサ４８、及びチャンバ内圧力監視センサ５１から夫々出力されるインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃは図２Ａ（Ａ）に示すようなＨｉｇｈレベルのＯＮ信号又はＬｏｗレベルのＯＦＦ信号である。Ａ／Ｄ変換回路６０１，６０２，６０３において夫々Ａ／Ｄ変換されたインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃは、図２Ａ（Ｂ）示すようなＯＮ／ＯＦＦのデジタル信号となる。
【０１６３】
次いで、マルチプレクサ６１３が、エラー監視データ生成回路６１２において生成されたエラー監視データと、Ａ／Ｄ変換されたインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃと、後述するようにマスタスイッチ回路８００から伝送されるインターロック要因信号Ｄ，Ｅとを多重化して多重化信号を生成する。エラー監視データは、２種類の所定のデータであり、例えば、図３に示すデータである。
【０１６４】
マルチプレクサ６１３は、エラー監視データに次いで受信したインターロック要因信号をアルファベット順に多重化して多重化信号を生成する。またマルチプレクサ６１３は、生成する１フレームの多重化信号の長さがフレーム信号生成部６１２からのフレームパルス信号の１パルス周期に対応する長となるように多重化信号を生成する（図８Ａ（Ａ）参照）。エラー監視データと受信したインターロック要因信号とを多重化した多重化信号がこのフレームパルス信号よって規定されるフレーム長より短い場合は、マルチプレクサ６１３は所定数のブランク信号を多重化し、生成する多重化信号の長さをこのフレーム長にする。マルチプレクサ６１３において生成される多重化信号は、図８Ａ（Ａ）に示すように、エラー監視データ、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ、及び所定数のブランク信号がこの順番で多重化された信号となる。
【０１６５】
フレームパルス信号は予め設定されたパルス幅のパルス信号であり、フレームパルス生成部６１２がクロック発生回路６１１からのクロック信号に基づいてフレームパルス信号を生成する。フレームパルス生成部６１２は生成するフレームパルス信号のパルス幅を変更可能に構成されている。
【０１６６】
次いで、多重化装置６１０は、クロック信号と、フレームパルス信号生成部６１２において生成したフレームパルス信号と、マルチプレクサ６１３で生成した多重化信号とを１つの伝送データとして出力する（図８Ａ（Ａ）参照）。
【０１６７】
多重化装置６１０で多重化された多重化信号は、図１のメモリ１２０の場合と同様に、書き込みアドレス回路６２１の制御に従ってデュアルポートメモリ回路６２０に記憶される。書き込みアドレス設定メモリ１２３の書き込みアドレス設定データには、多重化信号の要素データが先頭から順番にデュアルポートメモリ回路６２０の所定のアドレスに書き込まれるように多重化信号の要素データの順番と書き込み先アドレスとの関係が設定されており、デュアルポートメモリ回路６２０は、書き込みアドレス制御回路６２２に制御されて書き込みアドレス設定データに従って多重化信号の各要素データを先頭から所定のアドレスに書き込む。
【０１６８】
具体的には、デュアルポートメモリ回路６２０は、多重化信号の先頭の要素データであるエラー監視データをデュアルポートメモリ回路６２０の所定のアドレス、例えば、番号が最も若いアドレスに書き込み、２番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを次のアドレスに、３番目の要素データであるインターロック要因信号Ｂをその次のアドレスに、４番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃをその次のアドレスに、と順番に１フレームの多重化信号の要素データを連続するアドレスに書き込む。
【０１６９】
デュアルポートメモリ回路６２０に書き込まれた多重化信号は、次いで、読み出しアドレス回路６２４の制御に従ってデュアルポートメモリ回路６２０から読み出される。読み出しアドレス設定メモリ６２６の読み出しアドレス設定データには、まずデマルチプレクサ６３０から出力すべき分離信号（多重化信号）の数ｍだけ（スレーブスイッチ回路６００においてはｍ＝３）エラー監視信号を読み出し、次いで、デマルチプレクサ６３０から出力すべき分離信号の各々の要素データであるインターロック要因信号を１つずつ順番に読み出すように、読み出す要素データと、これらの要素データを読み出す順番と、要素データの読み出しアドレスとの関係が設定されている。
【０１７０】
つまり、まず、エラー監視データを３回読み出し、次いでインターロック回路６６１に送信される分離信号（以下、分離信号Ａとも称する）（図８Ｂ（Ｃ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、インターロック回路６６２に送信される分離信号（以下、分離信号Ｂとも称する）（図８Ｂ（Ｄ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、ドライバ回路６４３に送信される分離信号（以下、分離信号Ｃとも称する）（図８Ｂ（Ｅ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ａを読み出し、次いで、分離信号Ａのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂ、分離信号Ｂのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂ、分離信号Ｃのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｂ、分離信号Ａのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃ、分離信号Ｂのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃ、分離信号Ｃのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｃを順次読み出し、そして、分離信号Ａのインターロック要因信号は既に全て読み出されているためブランク信号を読み出し、分離信号Ｂのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｄ、分離信号Ｃのインターロック要因信号は既に全て読み出されているためブランク信号、ブランク信号、分離信号Ｂのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｅ、ブランク信号を順番に読み出し、各分離信号のインターロック要因信号が全て読み出されるまで読み出しをおこなう。
【０１７１】
上記読み出しにおいて、各分離信号に対応する要素データの読み出し回数は同じであり、分離信号のインターロック要因信号が全て読み出された場合は上述のようにブランク信号を読み出す。つまり、読み出しは、各分離信号の長さが同じになるように行う。そして、デュアルポートメモリ回路６２０は読み出した順番に各要素データを重合する（図８Ａ（Ｂ）参照）。尚、生成される重合化信号の１フレームの長さは、重合化回路６１０から出力されるフレームパルス信号の１パルス周期となる。また、このときの重合化の速度は、マルチプレクサ６１３における重合化の速度のｍ倍（デマルチプレクサ６３０の出力数）である。つまり、マルチプレクサ６１３における重合化の速度の３倍の速度である。次いで、デュアルポートメモリ回路６２０は、クロック信号と、フレームパルス信号と、読み出した重合化信号とを含む伝送データを出力する（図８Ａ（Ｂ）参照）。
【０１７２】
次いで、デマルチプレクサ６３０において、デュアルポートメモリ回路６２０において読み出された重合化信号の要素データを先頭から１つずつ順番に各出力端子に順番に振り分ける。具体的には、重合化信号の先頭の要素データであるエラー監視データを第１出力端子６３１に、重合化信号内の２番目の要素データであるエラー監視データを第２出力端子６３２に、重合化信号内の３番目の要素データであるエラー監視データを第３出力端子６３３に、重合化信号内の４番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第１出力端子６３１に、重合化信号内の５番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第２出力端子６３２に、重合化信号内の６番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを第３出力端子６３３に、７番目のインターロック要因信号Ｂ、８番目のインターロック要因信号Ｂ、９番目のインターロック要因信号Ｂ、１０番目のインターロック要因信号Ｃ、１１番目のインターロック要因信号Ｃ、１２番目のインターロック要因信号Ｃ、１３番目のブランク信号Ｘ、１４番目のインターロック要因信号Ｄ、１５，１６番目のブランク信号Ｘ、１７番目のインターロック要因信号Ｅ、１８番目のブランク信号Ｘを第１、第２、第３出力端子６３１，６３２，６３３に交互に振り分け、重合化信号の要素データがなくなるまで要素データを１つずつ端子毎に順番に振り分ける（図８Ｂ（Ｃ），（Ｄ），（Ｅ）参照）。
【０１７３】
次いで、振りえ分けられた信号を重合化して分離信号を生成する。この場合、第１出力端子６３１に対応してインターロック回路６６１に送信すべき分離信号Ａが生成され（図８Ｂ（Ｃ）参照）、第２出力端子６３２に対応してインターロック回路６６２に送信すべき分離信号Ｂが生成され（図８Ｂ（Ｄ）参照）、第３出力端子６３３に対応してドライバ回路６６３に送信すべき分離信号Ｃが生成される（図８Ｂ（Ｅ）参照）。尚、デマルチプレクサ６３０は、各分離信号の長さが受信したフレームパルス信号の１パルス周期となるように分離及び重合化を行う。
【０１７４】
次いで、デマルチプレクサ６３０は、第１出力端子６３１からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ａとを含む伝送データを安全化回路６５１に、第２出力端子６３２からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｂとを含む伝送データを安全化回路６５２に、第３出力端子６３３からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｃとを含む伝送データをドライバ回路６４３に夫々出力する。
【０１７５】
安全化回路６５１は、エラー監視回路６５２において、受信した伝送データにクロック信号が抜けているか否か、受信したフレームパルス信号と分離信号Ａを観察してパルス信号毎にマルチプレクサ６１３で付された２種類（５５／ＡＡ）のエラー監視データ（図３参照）が交互に付されているか否かを監視して、分離信号のデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等を監視する。クロック信号が抜けていない場合や、フレームパルス信号毎にマルチプレクサ６１３で付された２種類のエラー監視データが交互に付されている場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等がなく、分離信号にエラーは無いと判別する。一方、クロック信号が抜けている場合や、フレームパルス信号毎にマルチプレクサ６１３で付された２種類のエラー監視データが交互に付されていない場合は、分離信号にデータの欠落及びデータのＢｉｔズレ等が発生しており、分離信号にエラーが有ると判別して信号生成回路６５３にエラー信号を送信すると共に選択回路６５４に切換信号を送信する。
【０１７６】
次いで、信号生成回路６５３が、エラー監視回路６５２からエラー信号を受信すると、この分離信号Ａが送信されるインターロック回路６６１がインターロック実行先であるガス供給装置４７を安全側に駆動させるように分離信号Ａのインターロック要因信号（インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ）の値をＯＮ又はＯＦＦの予め設定された値に変更し、所定の安全駆動信号を生成して選択回路６５４に送信する。信号生成回路６５３は、例えば、インターロック要因信号ＡがＯＮ信号であり、インターロック要因信号ＢがＯＮ信号であり、インターロック要因信号ＣがＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。これにより、ガス供給装置４７はガスの供給を停止して中止するので、ガス供給装置４７が安全側に駆動される。
【０１７７】
次いで、選択回路６５４は、エラー監視回路６５２から切換信号を受信した場合、つまり分離信号Ａにエラーがある場合は復号化回路６４１に安全駆動信号を送信し、エラー監視回路６５２から切換信号を受信しない場合、つまり分離信号Ａにエラーがない場合は、分離信号Ａをそのまま復号化回路６４１に送信する。
【０１７８】
安全化回路６５６も上記安全化回路６５２と同様に動作する。即ち、エラー監視回路６５６が受信した分離信号Ｂにエラーが有ると判別した場合、信号生成回路６５７が真空機器を安全側に駆動する安全駆動信号を生成し、この安全駆動信号を選択回路６５８が複合回路６４２に出力する。一方、エラー監視回路６５６が受信した分離信号Ｂにエラーが無いと判別した場合、選択回路６５８は受信した分離信号Ｂをそのまま復号化回路６４２に出力する。ここで、信号生成回路６５７は、例えば、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅが全てＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。これにより、真空機器が真空引きを停止して中止するので、真空機器が安全側に駆動される。
【０１７９】
安全化回路６５１から分離信号又は安全駆動信号を受信した復号化回路６４１は、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化して各要素信号に分離し、インターロック要因信号のみ（インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ）を抽出してインターロック回路６６１に出力する。復号化回路６４２も同様に、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化して各要素信号に分離し、インターロック要因信号のみ（インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ）を抽出してインターロック回路６６２に出力する。
【０１８０】
一方、ドライバ回路６４３は、デマルチプレクサ６３０から受信した分離信号Ｃをケーマスタスイッチ回路８００に伝送する。
【０１８１】
そして、復号化回路６４１からインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃを受信したインターロック回路６６１は、受信したインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃの内容を解析して、即ち、ＯＮ信号であるかＯＦＦ信号であるかを判別して、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃの内容の組み合わせに応じて上述のようにガス供給装置４７に対してインターロック制御を実行する。
【０１８２】
つまり、インターロック回路６６１は、インターロック要因信号Ａの値がＯＮであってゲートバルブ４４が開状態である場合、インターロック要因信号Ｂの値がＯＮであってガス供給装置４７においてガス漏洩が発生している場合、又はインターロック要因信号ＣがＯＮ状態であって真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態である場合のいずれかの条件に該当する場合に、ガス供給装置４７に対して処理ガスのガス供給を停止して中止するように指令するインターロック指令Ａを発する。このインターロック指令Ａを受信するとガス供給装置４７は処理ガスのガス供給を停止して中止する。一方、インターロック要因信号Ａの値、インターロック要因信号Ｂの値、及びインターロック要因信号Ｃの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路６６１はインターロック指令Ａを発しない。
【０１８３】
同様に、インターロック回路６６２は、受信したインターロック要因信号Ａ，Ｂ、Ｃ，Ｄ，Ｅの内容を解析して、インターロック要因信号Ａ，Ｂ、Ｃ，Ｄ，Ｅの内容の組み合わせに応じて上述のように真空機器に対してインターロック制御を実行する。
【０１８４】
つまり、インターロック回路６６２は、インターロック要因信号Ａの値がＯＮであってゲートバルブ４４が開状態である場合、インターロック要因信号ＢがＯＮ状態であってガス供給装置４７においてガス漏洩が発生している場合、インターロック要因信号ＣがＯＮ状態であって真空容器１１の処理空間Ｓが大気圧状態である場合、インターロック要因信号ＤがＯＮ状態であってutility装置５２から供給するエアの圧力が上記所定の圧力より低下している場合、又はインターロック要因信号ＥがＯＮ状態であってガス無毒化装置５０が故障している場合のいずれかの条件に該当する場合に、真空機器に対して真空容器１１内の真空引きを停止し中止するように指令するインターロック指令Ｂを発する。このインターロック指令Ｂを受信すると真空機器は真空容器１１内の真空引きを停止して中止する。一方、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路６６２はインターロック指令Ｂを発しない。
【０１８５】
次いで、スレーブスイッチ回路７００の動作について説明する。
【０１８６】
Ａ／Ｄ変換回路７０１，７０２は、エア供給圧監視センサ５３、及びガス無毒化装置Ｉ／Ｆ５０ａを介してガス無毒化装置５０から夫々受信したインターロック要因信号Ｄ，ＥをＡ／Ｄ変換し、インターロック要因信号Ｄ，Ｅをデジタル信号にする。
【０１８７】
次いで、マルチプレクサ７１３が、エラー監視データ生成回路７１２において生成されたエラー監視データ（図３参照）と、Ａ／Ｄ変換されたインターロック要因信号Ｄ，Ｅとを多重化して多重化信号を生成する。
【０１８８】
マルチプレクサ７１３は、スレーブスイッチ回路６００のマルチプレクサ６１３と同様に、エラー監視データに次いで受信したインターロック要因信号をアルファベット順に多重化して多重化信号を生成する。生成される１フレームの多重化信号の長さはフレーム信号生成部７１１からのフレームパルス信号の１パルス周期に対応する長となり（図９Ａ（Ａ）参照）、エラー監視データと受信したインターロック要因信号とを多重化した多重化信号がこのフレームパルス信号よって規定されるフレーム長より短い場合は、ブランク信号が多重化される。マルチプレクサ７１３において生成される多重化信号は、図９Ａ（Ａ）に示すように、エラー監視データ、インターロック要因信号Ｄ，Ｅ、及び所定数のブランク信号がこの順番で多重化された信号となる。尚、インターロック回路７６１においてインターロック要因信号Ａ，Ｂ，Ｃはインターロック要因ではないので、マスタスイッチ回路８００からインターロック要因信号は伝送されない。
【０１８９】
次いで、多重化装置７１０は、クロック信号と、フレームパルス信号生成部７１２において生成したフレームパルス信号と、マルチプレクサ７１３で生成した多重化信号とを１つの伝送データとして出力する（図９Ａ（Ａ）参照）。
【０１９０】
多重化装置７１０で多重化された多重化信号は、書き込みアドレス回路７２１の制御に従ってデュアルポートメモリ回路７２０に記憶される。書き込みアドレス設定メモリ７２３の書き込みアドレス設定データには、スレーブスイッチ装置６００の書き込みアドレス設定メモリ６２３と同様に、多重化信号の要素データが先頭から順番にデュアルポートメモリ回路７２０の所定のアドレスに書き込まれるように多重化信号の要素データの順番と書き込み先アドレスとの関係が設定されており、デュアルポートメモリ回路７２０は、書き込みアドレス制御回路７２２に制御されて書き込みアドレス設定データに従って多重化信号の各要素データを先頭から所定のアドレスに書き込む。
【０１９１】
デュアルポートメモリ回路７２０に書き込まれた多重化信号は、次いで、読み出しアドレス制御装置７２４の制御に従ってデュアルポートメモリ回路７２０から読み出される。読み出しアドレス設定メモリ７２６の読み出しアドレス設定データには、スレーブスイッチ装置６００の読み出しアドレス設定メモリ６２６と同様に、まずデマルチプレクサ７３０から出力すべき分離信号（多重化信号）の数ｎだけ（スレーブスイッチ回路７００においてはｎ＝２）エラー監視信号を読み出し、次いで、デマルチプレクサ７３０から出力すべき分離信号の各々の要素データであるインターロック要因信号を１つずつ順番に読み出すように、読み出す要素データと、これらの要素データを読み出す順番と、要素データの読み出しアドレスとの関係が設定されている。
【０１９２】
つまり、まず、エラー監視データを２回読み出し、次いでインターロック回路７６１に送信される分離信号（以下、分離信号Ｄとも称する）（図９Ｂ（Ｃ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｄを読み出し、ドライバ回路７６２に送信される分離信号（以下、分離信号Ｅとも称する）（図９Ｂ（Ｄ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｄを読み出し、分離信号Ｄのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｅを、分離信号Ｅのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｅを読み出し、所定数のブランク信号を読み出す。
【０１９３】
そして、デュアルポートメモリ回路７２０は読み出した順番に各要素データを重合する（図９Ａ（Ｂ）参照）。尚、生成される重合化信号の１フレームの長さは、重合化回路７１０から出力されるフレームパルス信号の１パルス周期となる。また、このときの重合化の速度は、マルチプレクサ７１３における重合化の速度のｎ倍（デマルチプレクサ７３０の出力数）である。つまり、マルチプレクサ７１３における重合化の速度の２倍の速度である。次いで、デュアルポートメモリ回路７２０は、クロック信号と、フレームパルス信号と、読み出した重合化信号とを含む伝送データを出力する（図９Ａ（Ｂ）参照）。
【０１９４】
次いで、デマルチプレクサ９３０において、デュアルポートメモリ回路７２０において読み出された重合化信号の要素データを先頭から１つずつ順番に各出力端子に順番に振り分ける。具体的には、重合化信号の先頭の要素データであるエラー監視データを第１出力端子７３１に、重合化信号内の２番目の要素データであるエラー監視データを第２出力端子７３２に、重合化信号内の３番目の要素データであるインターロック要因信号Ｄを第１出力端子７３１に、重合化信号内の４番目の要素データであるインターロック要因信号Ｄを第２出力端子７３２に、５番目のインターロック要因信号Ｅ、６番目のインターロック要因信号Ｅを第１、第２出力端子７３１，７３２に交互に振り分け、重合化信号の要素データがなくなるまで要素データを１つずつ端子毎に順番に振り分ける（図９Ｂ（Ｃ），（Ｄ）参照）。
【０１９５】
次いで、振りえ分けられた信号を重合化して分離信号を生成する。この場合、第１出力端子７３１に対応してインターロック回路７６１に送信すべき分離信号Ｄが生成され（図９Ｂ（Ｃ）参照）、第２出力端子７３２に対応してドライバ回路７４２に送信すべき分離信号Ｅが生成される（図９Ｂ（Ｄ）参照）。尚、デマルチプレクサ７３０は、各分離信号の長さが受信したフレームパルス信号の１パルス周期となるように分離及び重合化を行う。
【０１９６】
次いで、デマルチプレクサ７３０は、第１出力端子７３１からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｄとを含む伝送データを安全化回路７５１に、第２出力端子７３２からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｅとを含む伝送データをドライバ回路７４２に夫々出力する。
【０１９７】
安全化回路７５１は、スレーブスイッチ回路６００の安全化回路６５１と同様に動作する。即ち、エラー監視回路７５２が受信した分離信号Ｄにエラーが有ると判別した場合、信号生成回路７５３がutility供給装置５２を安全側に駆動する安全駆動信号を生成し、この安全駆動信号を選択回路７５４が複合回路７４１に出力する。一方、エラー監視回路７５２が受信した分離信号Ｅにエラーが無いと判別した場合、選択回路７５４は受信した分離信号Ｅをそのまま複合回路７４１に出力する。ここで、信号生成回路７５３は、例えば、インターロック要因信号Ｄ，Ｅが全てＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。これにより、utility供給装置５２がエア、水、Ｎ２の供給を停止するので、utility供給装置５２が安全側に駆動される。
【０１９８】
安全化回路７５１から分離信号又は安全駆動信号を受信した復号化回路７４１は、受信した分離信号又は安全駆動信号を復号化して各要素信号に分離し、インターロック要因信号のみ（インターロック要因信号Ｄ，Ｅ）を抽出してインターロック回路７６１に出力する。
【０１９９】
一方、ドライバ回路７４２は、デマルチプレクサ７３０から受信した分離信号Ｅをマスタスイッチ回路８００に伝送する。
【０２００】
そして、復号化回路７４１からインターロック要因信号Ｄ，Ｅを受信したインターロック回路７６１は、受信したインターロック要因信号Ｄ，Ｅの内容を解析して、即ち、ＯＮ信号であるかＯＦＦ信号であるかを判別して、インターロック要因信号Ｄ，Ｅの内容の組み合わせに応じて上述のようにutility供給装置５２に対してインターロック制御を実行する。つまり、インターロック回路７６１は、インターロック要因信号Ｄの値がＯＮであってutility装置５２から供給するエアの圧力がプラズマ処理装置１０のゲートバルブ４４等のシステムを駆動するために必要な上記所定の圧力より低下した場合、又はインターロック要因信号ＥがＯＮ状態であってガス無毒化装置５０が故障した場合のいずれかの条件に該当する場合に、utility供給装置５２に対して処理エアや水、Ｎ２ガスの供給を停止するように指令するインターロック指令Ｃを発する。このインターロック指令Ｃを受信するとutility供給装置５２はエアや水、Ｎ２ガスの供給を停止する。一方、インターロック要因信号Ｄの値及びインターロック要因信号Ｅの値のいずれもＯＮでない場合は、インターロック回路７６１はインターロック指令Ｃを発しない。
【０２０１】
次いで、マスタスイッチ回路８００の動作について説明する。
【０２０２】
上述のように、スレーブスイッチ装置６００，７００のドライバ回路６４３，７４２から夫々伝送された分離信号Ｃ，Ｅを夫々含む伝送データ（図８Ｂ（Ｅ），図９Ｂ（Ｄ）参照）は、安全化回路８１０，８２０に受信される。
【０２０３】
安全化回路８１０，８２０は、安全化回路６５１と同様に、エラー監視回路８１１，８２１においてクロック信号の抜け及びエラー監視データの観察を行い、エラーの有無の判別を行う。エラーが無い場合は、選択回路８１３，８２３から受信した伝送データをそのまま出力する。一方、エラーがある場合は、信号生成回路８１２，８２２において夫々の分離信号Ｃ，Ｅのインターロック要因信号の内容を真空機器、ガス供給装置４７、及びutility供給５２が安全側に駆動されるように予め設定された値（ＯＮ又はＯＦＦ）に変更して安全駆動信号を重合化信号として、選択回路８１３，８２３からクロック信号及びフレームパルス信号と共に出力する。信号生成回路８１２は、例えば、インターロック要因信号Ａ，Ｂ，ＣがＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。また、信号生成部８２２は、例えば、インターロック要因信号Ｄ，ＥがＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。これにより、真空機器、ガス供給装置４７、及びutility供給５２が安全側に駆動されるようになる。
【０２０４】
次いで、マルチプレクサ８３３は、上記スレーブスイッチ回路６００のマルチプレクサ６１３と同様に、受信した多重化信号を予め設定された順番で多重化する。具体的には、マルチプレクサ８３３は、エラー監視データに次いで受信したインターロック要因信号をアルファベット順に多重化して多重化信号を生成する。マルチプレクサ８３３は、生成する１フレームの多重化信号の長さが受信したフレームパルス信号の１パルス周期に対応する長さとなるように多重化信号を生成する。エラー監視データと受信したインターロック要因信号とを多重化した多重化信号がこのフレームパルス信号よって規定されるフレーム長より短い場合は、マルチプレクサ８３３は所定数のブランク信号を多重化し、生成する多重化信号の長さをこのフレーム長にする。
【０２０５】
次いで、多重化回路８３０は、クロック信号と、フレームパルス信号と、生成した多重化信号とを１つの伝送データとして出力する（図１０（Ａ）参照）。
【０２０６】
マルチプレクサ８３３で多重化された多重化信号は、書き込みアドレス回路８４１の制御に従ってデュアルポートメモリ回路８４０に記憶される。書き込みアドレス設定メモリ８４３の書き込みアドレス設定データには、スレーブスイッチ回路６００の書き込みアドレス設定データと同様に、多重化信号の要素データが先頭から順番にデュアルポートメモリ回路８４０の所定のアドレスに書き込まれるように、多重化信号の要素データと、これらの要素データの順番と、書き込み先アドレスとの関係が設定されており、デュアルポートメモリ回路８４０は、書き込みアドレス制御回路８４２に制御されて書き込みアドレス設定データに従って多重化信号の各要素データを先頭から所定のアドレスに書き込む。具体的には、デュアルポートメモリ回路８４０は、多重化信号の先頭の要素データであるエラー監視データをデュアルポートメモリ回路８４０の所定のアドレス、例えば、番号が最も若いアドレスに書き込み、２番目の要素データであるインターロック要因信号Ａを次のアドレスに、３，４，５番目の要素データであるインターロック要因信号Ｃ，Ｄ，Ｅを連続するアドレスに、と順番に１フレームの多重化信号の要素データを連続するアドレスに書き込む。
【０２０７】
デュアルポートメモリ回路８４０に書き込まれた多重化信号は、次いで、読み出しアドレス回路８４４の制御に従ってデュアルポートメモリ回路８４０から読み出される。読み出しアドレス設定メモリ８４６の読み出しアドレス設定データには、スレーブスイッチ回路６００の読み出しメモリ設置データと同様に、まずデマルチプレクサ８５０から出力すべき分離信号（多重化信号）の数ｐだけ（マスタスイッチ回路８００においてはｐ＝２）エラー監視信号を読み出し、次いで、デマルチプレクサ８５０から出力すべき分離信号の各々の要素データであるインターロック要因信号を１つずつ順番に読み出すように、読み出す要素データと、これらの要素データを読み出す順番と、要素データの読み出しアドレスとの関係が設定されている。
【０２０８】
マスタスイッチ回路８００においては、まず、エラー監視データを１回読み出し、次いで、本インターロック制御においてはスレーブスイッチ回路７００にインターロック要因信号を送信する必要がないので、スレーブスイッチ回路７００に送信される分離信号（以下、分離信号Ｇとも称する）の要素信号としてブランク信号を読み出す。次いでスレーブスイッチ回路６００に送信される分離信号（以下、分離信号Ｆとも称する）（図１０（Ｃ）参照）のインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｄを読み出し、ブランク信号Ｘを読み出し、分離信号Ｆのインターロック要因信号の１つであるインターロック要因信号Ｅを読み出し、ブランク信号Ｘを読み出し、分離信号Ｆのインターロック要因信号は既に全て読み出されているため所定数のブランク信号の読み出しをおこなう。そして、デュアルポートメモリ回路８４０は読み出した順番に各要素データを重合して重合化信号を生成し、この重合化信号をクロック信号及びフレームパルス信号と共に出力する（図１０（Ｂ）参照）。尚、生成される重合化信号の１フレームの長さは、受信したフレームパルス信号のパルス周期となり、この長さに成るようにブランク信号Ｘが読み出される。
【０２０９】
次いで、デマルチプレクサ８５０において、デュアルポートメモリ回路８４０において読み出された重合化信号の要素データを先頭から１つずつ順番に各出力端子に順番に振り分ける。具体的には、重合化信号の先頭の要素データであるエラー監視データを第１出力端子８５１に、２番目の要素データであるブランク信号Ｘを第２出力端子８５２に、３，４，５，６番目の要素データであるインターロック要因信号Ｄ、ブランク信号Ｘ、インターロック要因信号Ｄ、ブランク信号Ｘを第１，２出力端子８５１，８５２に交互に振り分け、重合化信号の要素データがなくなるまで要素データを１つずつ端子毎に順番に振り分ける。次いで、振りえ分けられた信号を重合化して分離信号を生成する。この場合、第１出力端子８５１に対応してスレーブスイッチ回路６００に送信すべき分離信号Ｆが生成され（図１０（Ｃ）参照）、第２出力端子８５２に対応してスレーブスイッチ回路７００に送信すべき分離信号Ｇが生成される。分離信号Ｇはブランク信号Ｘのみから構成される。尚、デマルチプレクサ８５０は、各分離信号の長さが受信したフレームパルス信号のパルス周期となるように分離及び重合化を行う。
【０２１０】
次いで、デマルチプレクサ８５０は、出力端子８５１からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｆとを含む伝送データ（図１０（Ｃ）参照）をドライバ回路８７１に、第２出力端子８５２からクロック信号とフレームパルス信号と分離信号Ｇとを含む伝送データをドライバ回路８７２に夫々出力する。
【０２１１】
ドライバ回路８７１は伝送データをスレーブスイッチ回路６００のレシーバ回路６９１を介して安全化回路６７０に送信する。
【０２１２】
スレーブスイッチ回路６００において、安全化回路６７０は、安全化回路６５１と同様に駆動する。即ち、エラー監視回路６７１が受信した分離信号Ｆにエラーが有ると判別した場合、信号生成回路６７２が真空機器やガス供給装置４７、utility供給装置５２を安全側に駆動する安全駆動信号を生成し、この安全駆動信号を選択回路６７３がマルチプレクサ６１３に出力する。一方、エラー監視回路６７１が受信した分離信号Ｆにエラーが無いと判別した場合、選択回路６７３は受信した分離信号Ｆをそのままマルチプレクサ６１３に出力する。ここで、信号生成回路６７２は、例えば、インターロック要因信号Ｄ，Ｅが全てＯＮ信号である安全駆動信号を生成する。これにより、真空機器やガス供給装置４７、utility供給装置５２が安全側に駆動される。
【０２１３】
一方、ドライバ回路８７２は伝送データをスレーブスイッチ回路７００のレシーバ回路７９１に送信する。上述のように、スレーブスイッチ回路７００においては、utility装置５２に対するインターロック制御においてスレーブスイッチ回路６００からのインターロック要因信号は必要ないので、レシーバ回路７９１は、マスタスイッチ回路８００から受信した伝送データを安全化回路７７０に出力しない。尚、マスタスイッチ回路８００のドライバ回路８７２は伝送データ（ブランク信号）をスレーブスイッチ回路７００のレシーバ回路７９１に送信しないようにしてもよい。
【０２１４】
上述のように、本発明の実施例に係るインターロック制御装置６６によれば、複数の制御モジュール間のインターロック制御を実行する場合に、各制御モジュール間（各スレーブスイッチ回路間）で送受信するインターロック要因信号を多重化して送受信するので、制御モジュール間で送受信する信号を少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線を少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成を簡単にすることが、プラズマ処理装置１０のシステムコントローラ６０の構成を簡単にすることができる。
【０２１５】
また、インターロック制御装置６６によれば、各制御モジュール間（各スレーブスイッチ回路間）をマスタスイッチ回路によって接続し、各制御モジュールのインターロック制御に必要なインターロック要因信号をマスタスイッチ回路において夫々多重化して夫々の制御モジュールに送信するので、制御モジュール間で送受信する信号をより少なくすることができ、制御モジュール間を接続するための配線をより少なくすることができる。従って、インターロック制御装置の構成をより簡単にすることができる。
【０２１６】
インターロック制御装置６６によれば、送受信するインターロック要因信号の多重化や分離の条件を、各スレーブスイッチ回路及びマスタスイッチ回路におけるマルチプレクサ６１３，７１３，８３３の多重化条件、書き込みアドレス設定回路６２１，７２１，８４１における書き込みアドレス設定データ、読み出しアドレス設定回路６２４，７２４，８４４における読み出しアドレス設定データ、デマルチプレクサ６３０，７３０，８５０における分離条件、及びフレームパルス信号のパルス周期等の予め設定された変更可能な条件によって設定している。このため、各制御モジュールにおいて機能の追加や変更が行われたり、新たな制御モジュールが追加されたりしても、上記予め設定された条件を変更することで制御モジュール間での所望のインターロック制御を行うことができる。このように、インターロック制御装置６６は、プラズマ処理装置１０において各制御モジュールの機能の追加や変更、新たな制御モジュールの追加に対して容易に対応することができる。
【０２１７】
インターロック制御装置６６は、安全化回路を備え、安全化回路は、制御モジュール間を伝送される伝送データにエラーがある場合は、真空機器やガス供給装置４７、utility供給装置５２を安全側に駆動させる信号を生成する。従って、制御モジュール間を伝送される伝送データにエラーが発生した場合は、空機器やガス供給装置４７、utility供給装置５２等の各機器を安全側に駆動するように制御するので、インターロック制御装置の安全性を向上させることができ、プラズマ処理装置の安全性を向上させることができる。
【０２１８】
インターロック制御装置６６は、各スレーブスイッチ回路及びマスタスイッチ回路がデータ蓄積回路を備え、データ蓄積回路はＩ／Ｆを介してモニタ端末が接続可能であるので、オペレータは多重伝送される状態検知信号、即ちインターロック要因信号を容易に観察することができる。従って、このインターロック要因信号からプラズマ処理装置１０の状態を容易に監察することができ、障害が発生した場合には原因の解析などを容易に行うことができる。
【０２１９】
本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置６６は、プラズマ処理装置１０の備える制御モジュールの内２つの制御モジュールの間でインターロック制御を実行するものとしたが、インターロック制御装置６６は、スレーブスイッチ回路を増やすことにより多数の制御モジュール間におけるインターロック制御を実行することができる。この場合も、上記と同様の効果を奏することができる。
【０２２０】
また、インターロック制御装置６６においては、制御モジュール６１において検知されたインターロック要因信号をスレーブスイッチ回路７００において制御モジュール６２に対応するインターロック実行先であるutility供給装置５２のインターロック制御に使用していないが、スレーブスイッチ回路７００はスレーブスイッチ回路６００と同様に、他のスレーブスイッチ回路６００から送信されるインターロック要因信号をインターロック実行先に対するインターロック制御に使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０２２１】
【図１Ａ】本発明の実施の形態に係るインターロック制御装置全体の概略構成を示すブロック図である。
【図１Ｂ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｃ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｄ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｅ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｆ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｇ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｈ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図１Ｉ】図１Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図２Ａ】図１Ａのインターロック制御装置の基本的動作を説明するための図であり、図２Ａ（Ａ）〜（Ｅ）は図１Ｂ，ＣのＡ、Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ点において伝送されるデータを例示する図である。
【図２Ｂ】図１Ａのインターロック制御装置の基本的動作を説明するための図であり、図２Ｂ（Ｆ）〜（Ｈ）は図１ＢのＦ１〜Ｆ３点において伝送されるデータを例示する図である。
【図３】エラー監視データを例示する図である。
【図４Ａ】図１Ａにおけるマスタスイッチ装置の基本的動作を説明するための図であり、図４Ａ（Ａ），（Ｂ）は図１Ｉのマスタスイッチ装置のＧ，Ｈ点において伝送されるデータを例示する図である。
【図４Ｂ】図１Ａにおけるマスタスイッチ装置の基本的動作を説明するための図であり、図４Ｂ（Ｃ）〜（Ｅ）は図１Ｉのマスタスイッチ装置のＩ１，Ｉ２，Ｉ３点において伝送されるデータを例示する図である。
【図５】本実施の形態に係るインターロック制御装置を備える基板処理装置としてのプラズマ処理装置の概略構成を示す断面図である。
【図６】図５のプラズマ処理装置のシステムコントローラを示すブロック図である。
【図７Ａ】図５のプラズマ処理装置が備えるインターロック制御装置全体の概略構成を示すブロック図である。
【図７Ｂ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図７Ｃ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図７Ｄ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図７Ｅ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図７Ｆ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図７Ｇ】図７Ａのインターロック制御装置の概略構成を示す部分拡大図である。
【図８Ａ】図７Ａにおけるスレーブスイッチ回路の動作を説明するための図であり、図８Ａ（Ａ），（Ｂ）は図７Ｂ，Ｃのスレーブスイッチ回路のＡ、Ｂ点において伝送される伝送データを示す図である。
【図８Ｂ】図７Ａにおけるスレーブスイッチ回路の動作を説明するための図であり、図８Ｂ（Ｃ）〜（Ｅ）は図７Ｂのスレーブスイッチ回路のＣ１，Ｃ２，Ｃ３点において伝送される伝送データを示す図である。
【図９Ａ】図７Ａにおけるスレーブスイッチ回路の動作を説明するための図であり、図９Ａ（Ａ），（Ｂ）は図７Ｄ，Ｅのスレーブスイッチ回路のＡ、Ｂ点において伝送される伝送データを示す図である。
【図９Ｂ】図７Ａにおけるスレーブスイッチ回路の動作を説明するための図であり、図９Ｂ（Ｃ），（Ｄ）は図７Ｄのスレーブスイッチ回路のＣ１，Ｃ２点において伝送される伝送データを示す図である。
【図１０】図７Ａにおけるマスタスイッチ回路の動作を説明するための図であり、図１０（Ａ）〜（Ｃ）は図７Ｆ，Ｇのマスタスイッチ回路のＡ、Ｂ，Ｃ点において伝送される伝送データを示す図である。
【符号の説明】
【０２２２】
１，６６  インターロック制御装置
１０  プラズマ処理装置
１１  真空容器
１５  自動圧力制御弁（ＡＰＣバルブ）
１７  ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）
１８  ドライポンプ（ＤＰ）
４７  ガス供給装置
４８  ガス漏洩センサ
４９  チャンバ開閉検出センサ
５０  ガス無毒化装置
５２  utility供給装置
５３  エア供給圧監視センサ
６０  システムコントローラ
６１  プロセスチャンバモジュール（制御モジュール）
６２  システムモジュール（制御モジュール）
１００，２００，３００  スレーブスイッチ装置
１０１，１０２，１０３，２０１，２０２，２０３，３０１，３０２，３０３  信号変換装置
１１０，２１０，３１０，４４０  多重化装置
１２０，２２０，３２０，４５０  メモリ
１２１，２２１，３２１，４５１  書き込みアドレス制御装置
１２４，２２４，３２４，４５４  読み出しアドレス制御装置
１３０，２３０，３３０，４６０  分離装置
１４１，１４２，２４１，２４２，３４１，３４２  復号化装置
１４３，２４３，３４３，４８１，４８２，４８３  伝送装置
１５１，１５２，２５１，２５２，３５１，３５２，４１０，４２０，４３０  安全化装置（分離信号監視装置）
１６１，１６２，２６１，２６２，３６１，３６２  インターロック制御部
１８０，２８０，３８０  ケーブル配線
１８１，２８１，３８１  データ蓄積部
１８２，２８２，３８２  Ｉ／Ｆ
４００  マスタスイッチ
スレーブスイッチ回路  ６００，７００
６０１，６０２，６０３，７０１，７０２  Ａ／Ｄ変換回路
６１０，７１０,８３０  多重化装置
６１３，７１３，８３３  マルチプレクサ
６２０，７２０，８４０  デュアルポートメモリ回路
６２１，７２１，８４１  書き込みアドレス回路
６２４，７２４，８４４  読み出しアドレス回路
６３０，７３０，８５０  デマルチプレクサ
６４１，６４２，７４１  復号化回路
６４３，７４２，８７１，８７２  ドライバ回路
６５１，６５５，６７０，７５１，７７０  安全化回路と、
６６１，６６２  インターロック回路
６８１，６８１，８６１  データ蓄積回路
６８２，７８２，８６２  Ｉ／Ｆ回路
【図１Ａ】
0004643469.tif 000002
【図１Ｂ】
0004643469.tif 000003
【図１Ｃ】
0004643469.tif 000004
【図１Ｄ】
0004643469.tif 000005
【図１Ｅ】
0004643469.tif 000006
【図１Ｆ】
0004643469.tif 000007
【図１Ｇ】
0004643469.tif 000008
【図１Ｈ】
0004643469.tif 000009
【図１Ｉ】
0004643469.tif 000010
【図２Ａ】
0004643469.tif 000011
【図２Ｂ】
0004643469.tif 000012
【図３】
0004643469.tif 000013
【図４Ａ】
0004643469.tif 000014
【図４Ｂ】
0004643469.tif 000015
【図５】
0004643469.tif 000016
【図６】
0004643469.tif 000017
【図７Ａ】
0004643469.tif 000018
【図７Ｂ】
0004643469.tif 000019
【図７Ｃ】
0004643469.tif 000020
【図７Ｄ】
0004643469.tif 000021
【図７Ｅ】
0004643469.tif 000022
【図７Ｆ】
0004643469.tif 000023
【図７Ｇ】
0004643469.tif 000024
【図８Ａ】
0004643469.tif 000025
【図８Ｂ】
0004643469.tif 000026
【図９Ａ】
0004643469.tif 000027
【図９Ｂ】
0004643469.tif 000028
【図１０】
0004643469.tif 000029