(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を把持する被処理物保持手段が備えられ、ハンガー幅長さが調節できるよう摺動可能に設けられた被処理物保持腕を備えた、電気めっき装置に用いられる搬送用ハンガーであって、
前記被処理物保持腕と、前記被処理物保持腕と摺動接触する部材とを、それぞれ青銅、真ちゅう、銅のうちの２つの異なる金属材質を用いて形成していることを特徴とする搬送用ハンガー。
【請求項２】
被処理物を把持する被処理物保持手段が備えられ、ハンガー幅長さが調節できるよう摺動可能に設けられた１対の被処理物保持腕と、
ガイドレールに対して摺動接触する摺動部材と、
前記摺動部材と前記被処理物保持腕とを連結し、前記被処理物保持手段による被処理物の保持位置を前記ガイドレールより側方にする連結部材と、
を備えた、電気めっき装置に用いられる搬送用ハンガーであって、
前記１対の被処理物保持腕が、前記連結部材に設けられた孔に挿入され、互いに重なった状態で摺動するように構成されており、
前記１対の被処理物保持腕の材質としてそれぞれ青銅、真ちゅう、銅のうち何れか異なる金属を用いるとともに、前記連結部材の材質として青銅、真ちゅう、銅のうち前記１対の被処理物保持腕に用いられた金属と異なる金属を用いた、
ことを特徴とする搬送用ハンガー。
【請求項３】
前記摺動部材が、前記ガイドレールの上面に対しては摺動接触し、前記ガイドレールの側面に対してはローラ接触することを特徴とする請求項２に記載の搬送用ハンガー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、めっき処理などを行う基板を搬送する搬送用ハンガーを備えた表面処理装置に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
まず、表面処理装置の構造について、図３、図４を用いて以下に説明する。図３は、表面処理装置１００を上方からみた平面図である。図４は、図３に示す表面処理装置１００をα方向から見た側面図である。
【０００３】
図３および図４に示すように、表面処理装置１００は、プリント基板などの被処理物を保持した搬送用ハンガー１５を搬送するためのガイドレール１０〜１３を備えており、これらのガイドレールに沿って、めっき前処理工程を行うための前処理槽１、電気めっき工程を行うためのめっき槽２、めっき後処理工程を行うための回収槽３と水洗槽４、被処理物の取り外しを行うためのアンロード部５、搬送用ハンガー１５に付着しためっきを除去する剥離する工程（剥離工程）を行うための剥離槽６、ハンガー剥離後処理工程を行う水洗槽７、被処理物の取り付けを行うロード部８が設けられている。
【０００４】
図３に示す昇降ガイドレール１０、１２は、搬送用ハンガー１５に被処理物Ｗ（プリント基板など）の取り付け、取り外しを行ったり、被処理物Ｗが槽（前処理槽１、めっき槽２、回収槽３、水洗槽４や剥離槽６等）内に浸潰する際に昇降するガイドレールである。固定ガイドレール１１，１３は、それぞれめっき槽２、剥離槽６に降下した搬送用ハンガー１５を搬送するために固定されたガイドレールである。図４に示す昇降ガイドレールガイドレール１０、１２が降下した状態において、ガイドレール１０，１２とガイドレール１１，１３とが連続して、１つの環状ガイドレールを構成する。
【０００５】
図３に示すように、表面処理装置１００は、ロード部８において、搬送用ハンガー１５のハンガー幅を被処理物Ｗの搬送方向幅に調節し被処理物Ｗを取り付けた後、上記ガイドレール１０，１１，１２に沿って順次前処理槽１、めっき槽２、回収槽３、水洗槽４へ搬送して浸漬処理した後、アンロード部５において被処理物Ｗを取り外れすとともに搬送用ハンガー１５のハンガー幅を縮めた後、剥離槽６内を上記ガイドレール１３に沿って搬送し、搬送用ハンガーに付着しためっきを除去し、その後、再びガイドレール１０に沿って搬送して搬送用ハンガー１５をロード部８へ戻すようになっている。
【０００６】
表面処理装置１００は、表面処理に使用しない搬送用ハンガー１５をガイドレール１０〜１３から取り外して保管する手間を省くため、常に一定数の搬送用ハンガー１５を搬送しており、剥離槽６は表面処理に使用しない搬送用ハンガー１５をストックする場所（ストック場所）を兼ねている。
【０００７】
ところで、被処理物Ｗへ電流が集中してめっき膜厚がばらつくのを防止することを目的として、表面処理装置１００は、電気めっき槽２内で被処理物Ｗの前後間隔が所定距離（例えば、５ｍｍ）となるように、第１位置決め搬送手段１８によって、電気めっき槽２の入口部で搬送用ハンガー１５を前送りしている。ここで、電気めっき槽２の長さは決まっているため、被処理物Ｗのサイズが小さい場合は電気めっき槽２内を搬送される搬送用ハンガー１５の数は増加し、被処理物Ｗのサイズが大きい場合は電気めっき槽２内を搬送される搬送用ハンガー１５の数は減少する。
【０００８】
即ち、被処理物Ｗのサイズに応じて表面処理に使用される搬送用ハンガー１５の数が変わることによって、搬送用ハンガー１５のストック場所を兼ねる剥離槽６内を搬送される搬送用ハンガー１５の数が増減する。表面処理装置１００は、これに対応して円滑な装置稼働を実現することを目的として、図３における剥離槽６のハンガー浸漬部（図３中（ｌ）位置）では、第２位置決め搬送手段２３が、搬送用ハンガー１５を搬送用ハンガーとの前後間隔が所定距離になるよう前送りしている。
【０００９】
図３に示す表面処理装置１００によって搬送される搬送用ハンガー１５の構造を、図２０ａ、ｂ、ｃを用いて以下に説明する（特許文献１を参照）。図２０ａは、図４に示す搬送用ハンガー１５の構造を示す詳細図であり、図２０ｂは、搬送用ハンガー１５のβ−β断面図である。図２０ｃは、搬送用ハンガー１５の中央付近断面図である。
【００１０】
図２０ａに示すように搬送用ハンガー１５は、一対の被処理物保持腕４６と、被処理物Ｗを保持するクランプ４８を備えた竿４７と、固定ガイドレール１１に対して摺動接触する摺動部材３５と、これらを連結する連結部材４４を有している。なお、つまみ４９は、被処理物保持腕４６を被処理物Ｗの幅に調節する際に、ハンガー幅調節機構によって幅調節のために用いられる。
【００１１】
図２０ｂに示すように、被処理物保持腕４６は、連結部材４４に設けられた２つの孔に各々摺動可能（図面上紙面手前−奥方向に摺動）に収容されている。この連結部材４４と被処理物保持腕４６は同種の金属材質で形成されている。また、摺動部材３５は、図２０ｃに示すように、固定ガイドレール１１の上面、図面上の右側面、下面に対して摺動接触している。
【００１２】
また、図２０ｃにおいて、符号４５はロックレバーであり、ロックレバー４５により被処理物保持腕４６がロックされると（図２０ｃの点線で示す）、搬送用ハンガー１５のハンガー幅が固定される。被処理物保持腕４６は、各々別個の孔に収容されているため、ロックレバー４５は、それぞれの被処理物保持腕４６をロックできるよう連結部材４４の正面（図２０ｃにおける右側面）と後面（図２０ｃにおける左側面）に１つずつ取付けられている。
【００１３】
図３におけるロード部８では、ハンガー幅調節機構が、上記ロックレバー４５を上側に持ち上げて被処理物保持腕４６のロックを解除した後、つまみ４９の位置を調節してハンガー幅を調節し、その後クランパー開閉機構によって搬送用ハンガー１５のクランプ４８が開閉されて被処理物Ｗが搬送用ハンガー１５に取り付けられる。
【００１４】
【特許文献１】特開２００２−３６３７９６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、上述のような表面処理装置１００では、昇降ガイドレール１０，１２の昇降周期は約２０〜３０秒となっている。昇降周期が約２０〜３０秒もかかると、所定時間に搬送される被処理物の数が少なくなり生産性が悪いものであった。そこで生産性を向上するために上記昇降周期を短くすることが望まれている。
【００１６】
しかし、上述の表面処理装置１００の場合、この昇降ガイドレールの昇降周期を短くできず、処理能力を上げることができなかった。これは、次の点が影響していた。
【００１７】
（i）被処理物保持腕４６と連結部材４４が通電時に溶接されたような状態となって、ロード部８においてハンガー幅の調節が円滑にできないことがあり、昇降ガイドレール停止時間に再度調節しなおすための時間的余裕を組み込む必要があった。
【００１８】
（ii）ロード部８でのハンガー幅調節において、ロックレバー４５が連結部材４４の正面と後面に取付けられているため、ハンガー幅調節機構の作動が多くなり、ハンガー幅調節機構に要する時間が長くかかる。
【００１９】
（iii）ロード部８では、ハンガー幅調節動作と被処理物の取付けを一度に行っており、ハンガー幅調節が完了した後でなければ搬送用ハンガーに対して被処理物が取付けられないため、昇降ガイドレールが下降した位置で停止する時間が短くできない。
【００２０】
（iv）特に作業者によって被処理物の取り付けが行われる場合、被処理物の取り付け作業そのものを短くすることに限界があるため、昇降ガイドレールの停止時間を所定以上に短くできず、結果として昇降周期を短くできない。
【００２１】
（v）搬送用ハンガー１５に付着しためっきを十分に除去するために必要な時間を確保するために剥離槽６を長くすると、剥離槽６内における搬送用ハンガー１５の間隔調整動作に要する時間が長くかかり、昇降ガイドレールの昇降周期内でハンガー間隔調整動作が完了できない。
【００２２】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、上記（i）〜（v）の問題点を解決して、昇降ガイドレールの昇降周期を短くして生産性を向上させることができる表面処理装置、搬送用ハンガーの搬送方法および搬送用ハンガーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
この発明の複数の独立した側面を以下に示す。
【００２４】
（１）この発明に係る搬送用ハンガーは、被処理物を挟持する被処理物保持手段が備えられ、ハンガー幅長さが調節できるよう摺動可能に設けられた被処理物保持腕を備えた搬送用ハンガーであって、
前記被処理物保持腕と、前記被処理物保持腕と摺動接触する部材とを、異なる金属材質を用いて形成していることを特徴とする。
【００２５】
これにより、めっき処理などの通電時に被処理物保持腕が溶接されたような状態となって摺動できなくなることや円滑に摺動できなくなることを防止でき、昇降ガイドレールの昇降周期が短い場合にも、搬送用ハンガーのハンガー幅を確実に調節完了できる。
【００２６】
（２）この発明に係る搬送用ハンガーは、被処理物を挟持する被処理物保持手段が備えられ、ハンガー幅長さが調節できるよう摺動可能に設けられた１対の被処理物保持腕と、
ガイドレールに対して摺動接触する摺動部材と
前記摺動部材と前記被処理物保持腕とを連結し、前記被処理物保持手段による被処理物の保持位置を前記ガイドレールより側方にする連結部材と、
を備えた搬送用ハンガーであって、
前記１対の被処理物保持腕が、前記連結部材に設けられた孔に挿入され、互いに重なった状態で摺動するように構成されており、
前記１対の被処理物保持腕および前記連結部材とを、それぞれ異なる金属材質を用いて形成していることを特徴とする。
【００２７】
これにより、めっき処理などの通電時に被処理物保持腕同士又は被処理物保持腕と連結部材が溶接されたような状態となって、被処理物保持腕が摺動できなくなることや円滑に摺動できなくなることを防止でき、昇降ガイドレールの昇降周期が短い場合にも、搬送用ハンガーのハンガー幅を確実に調節完了できる。また、ガイドレールと搬送用ハンガーが摺動するために発生する粉塵が処理槽内に混入しにくくし、安全な処理が可能になる。
【００２８】
（３）この発明に係る搬送用ハンガーは、前記摺動部材が、前記ガイドレールの上面に対しては摺動接触し、前記ガイドレールの側面に対してはローラ接触することを特徴とする。
【００２９】
これにより、ガイドレールと搬送用ハンガーが摺動するために発生する粉塵をさらに抑制できるとともに、通電が必要な処理においては、通電不良を防止して安定した処理ができる。また、ガイドレールや搬送用ハンガーの摺動部材の加工精度が悪いことによって発生する搬送詰まりを防止でき、表面処理装置の製作における加工精度の負担を軽減することができる。
【００３０】
（４）この発明は、被処理物のサイズに応じてハンガー幅長さが調節可能な搬送用ハンガーと、当該搬送用ハンガーを案内する昇降ガイドレールとを有する表面処理装置の搬送用ハンガーの搬送方法であって、
前記昇降ガイドレールが降下した時に、始端部及び終端部が前記昇降ガイドレールと連続する固定ガイドレールを設置し、当該固定ガイドレールの中央部にロード部を配するとともに、
前記昇降ガイドレールが降下したときに、ハンガー幅調整部で搬送用ハンガーのハンガー幅を調節した後、当該搬送用ハンガーを、前記固定ガイドレールの始端部からに前記固定ガイドレールに移し替えて前記ロード部に送り、
次に昇降ガイドレールが降下したときに、前記ロード部に送られた搬送用ハンガーを前記固定ガイドレールの終端部から前記昇降ガイドレールに移し替えることを特徴とする。
【００３１】
これにより、昇降ガイドレールの昇降周期を短くしても、ハンガー幅の調節および被処理物の取り付けが前記昇降周期内で完了でき、安全に表面処理装置を稼働させつつ、表面処理装置の生産性を高めることができる。
【００３２】
（５）この発明は、被処理物のサイズに応じてハンガー幅長さが調節可能な搬送用ハンガーと、当該搬送用ハンガーを案内する昇降ガイドレールとを有する表面処理装置の搬送用ハンガーの搬送方法であって、
前記昇降ガイドレールが降下した時に、始端部及び終端部が前記昇降ガイドレールと連続する固定ガイドレールを設置し、当該固定ガイドレールの中央部にハンガー幅調整部を配するとともに、
前記昇降ガイドレールが降下したときに、アンロード部で搬送用ハンガーのハンガー幅を調節した後、当該搬送用ハンガーを、前記固定ガイドレールの始端部からに前記固定ガイドレールに移し替えてハンガー幅調整部に送り、
次に昇降ガイドレールが降下したときに、前記ハンガー幅調整部に送られた搬送用ハンガーを前記固定ガイドレールの終端部から前記昇降ガイドレールに移し替えることを特徴とする。
【００３３】
これにより、昇降ガイドレールの昇降周期を短くしても、ハンガー幅の調節および被処理物の取り外し（作業者による傷つきやすい薄板基板などの取り外し）が前記昇降周期内で完了でき、安全に表面処理装置を稼働させつつ、表面処理装置の生産性を高めることができる。
【００３４】
（６）この発明は、昇降ガイドレールと固定ガイドレールで構成され、昇降ガイドレールが下降時に固定ガイドレールと連続する、環状ガイドレールに沿って搬送用ハンガーを搬送する表面処理装置であって、
搬送用ハンガーを昇降ガイドレールの下降時に固定ガイドレールに移し替えて溜め置く載せ替え手段、
前記載せ替え手段により溜め置かれた搬送用ハンガーを先行する搬送用ハンガーと所定の距離になる位置まで搬送する前詰め搬送手段、
前記所定の距離を維持した状態で、前記固定ガイドレール上の搬送用ハンガーを搬送する固定ガイドレール搬送手段、
を備えたことを特徴とする。
【００３５】
これにより、昇降ガイドレールの昇降周期が短くなっても、ストック場所を兼ねるハンガー戻し工程の入口部で搬送用ハンガーが搬送詰まりを起こすことなく円滑に搬送用ハンガーの距離を調節でき、安全に表面処理装置を稼働させつつ、生産性を高めることができる。
【００３６】
（７）この発明は、前記載せ替え手段が、前記所定の距離をあけて複数の搬送用ハンガーを溜め置き、前記前詰め搬送手段が、前記複数の搬送用ハンガーを前記所定の距離を維持した状態で搬送することを特徴とする。
【００３７】
これにより、昇降ガイドレールの昇降周期がより一層短くなっても、ストック場所を兼ねるハンガー戻し工程の入口部で搬送用ハンガーが搬送詰まりを起こすことなく円滑に搬送用ハンガーの距離を調節でき、安全に表面処理装置を稼働させつつ、生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
1．表面処理装置および搬送用ハンガーの構造
この発明の搬送用ハンガーを搬送する表面処理装置の構造は、前述の図３、図４に示すものと同じである。
【００３９】
図３および図４に示すように、表面処理装置１００は、プリント基板などの被処理物を把持した搬送用ハンガー１５を搬送するためのガイドレール１０〜１３を備えており、これらのガイドレールに沿って、めっき前処理を行うための前処理槽１、電気めっき処理を行うためのめっき槽２、めっき後処理を行うための回収槽３と水洗槽４、被処理物の取り外しおよびハンガー幅の縮小を行うためのアンロード部５、搬送用ハンガー１５に付着しためっきを除去するための剥離槽６、剥離処理が終わった搬送用ハンガー１５を水洗する水洗槽７、被処理物の取り付けおよびハンガー幅拡張を行うロード部８が設けられている。図３に示す昇降ガイドレール１０，１２は、搬送用ハンガー１５に被処理物Ｗ（プリント基板など）の取り付け、取り外しを行ったり、被処理物Ｗをめっき槽２内に浸漬させる等の際に昇降するガイドレールである。固定ガイドレール１１，１３は、それぞれめっき槽２、剥離槽６に降下した搬送用ハンガー１５を順次搬送するために各槽に固定されたガイドレールである。ガイドレール１０〜１３の材質としては、通電が必要な場所には銅、真ちゅう等の金属が用いられ、通電が必要のない場所にはステンレス等が用いられている。
【００４０】
つぎに、図２ａなどを用いて、この発明の搬送用ハンガー１５の構造について説明する。この発明の搬送用ハンガー１５は、図１に示すように、ロックレバー４５の配設位置が異なる以外は、正面から見れば図２０ａに示す従来の搬送用ハンガーと同じ構成である。即ち、図１に示すように、搬送用ハンガー１５は、被処理物Ｗを保持するクランプ４８を有する竿４７と、一対の被処理物保持腕４６と、固定ガイドレール１１に対して摺動接触する摺動部材３５と、これらを連結する連結部材４４を有している。
【００４１】
摺動部材３５の材質としては、ガイドレール１０〜１３の通電が必要な場所を構成する金属と異なる金属であり、導電性がある金属材や当該金属をめっきした部材が用いられる。例えば、金、白金、銀、ステンレス、アルミニウム、銅、青銅や黄銅などの各種銅合金などが挙げられる。好ましくは、耐摩耗性に優れた材質を用いることが好ましく、ガイドレール１０〜１３の通電が必要な場所には銅を用い、摺動部材３５は青銅とすることが好ましい。
【００４２】
図２ａは、図１に示す本発明の搬送用ハンガー１５をβ方向から見たβ−矢視図である。図２ａに示すように、被処理物保持腕４６は、搬送方向の長さ（図１に示すＬ０）を調節可能な１対の被処理物保持腕４６ａ，４６ｂで構成される。具体的には、図２ａに示すように、１対の被処理物保持腕４６ａ，４６ｂが、連結部材４４に設けた１つの孔に挿入され、互いに重なった状態で摺動接触するように収容されている。
【００４３】
また、この１対の被処理物保持腕４６ａ，４６ｂの材質としては、通電時に焼き付きや溶接されたような状態とならないように、それぞれ異なる金属（例えば、銅と真ちゅうの組み合わせや銅含有率が異なる金属）が用いられ、被処理物保持腕４６ａ，４６ｂと連結部材４４の材質とも異なる金属が用いられている。金属材質としては、例えば、連結部材４４は青銅が、被処理物保持腕４６ａは真ちゅうが、被処理物保持腕４６ｂは銅が用いられている。
【００４４】
図２ａに示すように被処理物保持腕４６ａ，４６ｂが互いに重なった状態で収容されているため、ロックレバー４５は連結部材４４の正面（図面下側）のみに設けられており、被処理物保持腕４６ｂは、ロックレバー４５によるロック圧力を被処理物保持腕４６ａを介して受けるようになっている。
【００４５】
なお、図１に示す搬送用ハンガー１５の幅長さＬ０は、被処理物Ｗの幅長さＷ０と挟みしろＷ１に基づいて算出する。例えば、図１に示すように、被処理物Ｗ（幅長さＷ０）の両端に挟みしろＷ１を設ける場合、搬送用ハンガー１５の幅長さＬ０は、Ｌ０＝Ｗ０−２×Ｗ１で算出する。
【００４６】
摺動部材３５の上部には、チェーンベルト３９（図３に示す固定ガイドレール搬送手段１９を構成）に噛み合うワンウェイクラッチ方式のギヤ４０が取付けられた軸受け３６が固着されている。このため、固定ガイドレール１１，１３上でチェーンベルト３９に噛み合うギヤ４０は、前送り時などにおいて図１に示すＢ方向へのみ回転することができる。
【００４７】
図２ｂに示すプッシャー当接面３７は、搬送用ハンガー１５の搬送手段である間欠搬送手段１７，２２のプッシャー１６，２１（図４）が当接する部分である。図２ｂの爪当接部３２は、搬送用ハンガー１５の搬送手段である位置決め搬送手段１８の搬送爪３０（図３）が当接する部分である。これら搬送用ハンガー１５の各搬送手段について、以下に説明する。
【００４８】
２．搬送用ハンガー１５の各搬送手段
図１に示す搬送用ハンガー１５は、表面処理装置１００において、以下の間欠搬送手段１７，２２、固定ガイドレール搬送手段１９，２４、位置決め搬送手段１８，２３および送り出し手段２０，２５によって搬送される（図３および図４を参照）。
【００４９】
まず、図４に示す昇降ガイドレール１０，１２の上部に設けられた間欠搬送手段１７，２２は、それぞれ昇降ガイドレール１０（ｃ）〜（ｆ）、（ｈ）〜（ｋ）の位置にある搬送用ハンガー１５を、図５に示すプッシャー１６，２１によって１ピッチずつ間欠搬送する。図５は、昇降ガイドレール１０および１２の上部に設けられる間欠搬送手段１７，２２の構造を示す平面図である。
【００５０】
図３に示す位置決め搬送手段１８は、固定ガイドレール１１に沿って設けられ、めっき槽２の上方から被処理物浸漬部２ａ内へ下降した搬送用ハンガー１５（図４の（ｘ）位置）を、固定ガイドレール１１に移し換えて（ｂ）の位置まで前送りすると共に、めっき槽２内での被処理物Ｗとその前（図４の左側）の（ａ）位置にある被処理物Ｗとの間隔をＬ１（例えば、Ｌ１＝５ｍｍ）に調整する。
【００５１】
図６に、位置決め搬送手段１８の構造を示す。図６に示す位置決め搬送手段１８は、固定ガイドレール１１に沿って別途設けられたレールに沿ってＸ、Ｙ方向に前後移動が可能であり、図６Ａに示す状態でばねによってＺ方向に付勢される搬送爪３０を有する。これにより、搬送用ハンガー１５を搬送する際には、まずＸ方向に移動する際にはばねが縮んで図２ｂに示す爪当接部３２上（図６Ｂの状態）を通過した後、逆方向（図６ＣのＹ方向）に移動して搬送爪３０が搬送用ハンガー１５の爪当接部３２を引っ掛けて搬送用ハンガー１５を図３に示すＣ方向に搬送する。このとき、位置決め搬送手段１８の移動速度は、固定ガイドレール搬送手段１９の移動速度（つまり、チェーンベルト３９の移動速度）よりも速いことが必要である。なお、剥離層６側の位置決め搬送手段２３も、図６に示す上記めっき槽２側の位置決め搬送手段１３と同様の構造および動作を行う。
【００５２】
固定ガイドレール搬送手段１９，２４は、位置決め搬送手段１８，２３で前送りされた搬送用ハンガー１５を、所定の間隔（図４のＬ１）を維持しつつ（図３の矢印Ｃの方向）へ搬送する。
【００５３】
送り出し搬送手段２０，２５（図３）は、固定ガイドレール搬送手段１９，２４でそれぞれ（ｇ）（ｏ）位置まで搬送された搬送用ハンガー１５を、それぞれ昇降ガイドレール１２，１０の（ｈ）、（ｆ）位置に送り出して移し換える。なお、送り出し搬送手段２０，２５の構造および動作は、図６に示す位置決め搬送手段１８と同じである。
【００５４】
３．改良型表面処理装置１０２の概要
図３に示す表面処理装置１００を改良した改良型表面処理装置１０２の詳細について、図７等を用いて以下に説明する。なお、図７に示す改良型表面処理装置１０２が、図３に示す表面処理装置１００と異なる点は、（i）剥離槽６の降下位置（図３に示す（ｌ）の位置に相当）に載せ替え搬送手段８０と前詰め搬送手段８２を設け、固定ガイドレール搬送手段１３が連続搬送でなく間欠搬送する手段となった点、（ii）昇降ガイドレール１０，１２の一部を切り欠いて、それぞれに切り欠き固定ガイドレール７１，９１を別途設け、ロード部８の前およびアンロード部５の後にそれぞれハンガー幅調整部７２，９３を設けた点、（iii）昇降ガイドレール１０，１２の内側に搬送用ハンガーの浮き上りやがたつきを防止する係止ガイド１１０を設けた点、（iv）搬送用ハンガー１５の連結部材４４および摺動部材３５等の構造を変更した点などである。
【００５５】
まず、上記（iv）の改良について説明する。搬送用ハンガー１５の連結部材４４および摺動部材３５等の構造を変更した（iv）の改良によって、搬送用ハンガーとガイドレールとの摺動による粉塵の発生を抑制しながら、電気めっき処理時の通電不良も抑制することができ、めっき品質を向上することができる。
【００５６】
図１６は、昇降ガイドレール１０上を搬送される搬送用ハンガー１５ａを示す側面図である。図１６に示すように、摺動部材３５ａは、昇降ガイドレール１０の右側に案内ローラ３５ｂ、昇降ガイドレール１０の左側に案内ローラ３５ｃを有している。案内ローラ３５ｂは昇降ガイドレール１０右側面の下端部に対してローラ接触し、案内ローラ３５ｃは昇降ガイドレール１０左側面の上端部にローラ接触しており、摺動部材３５ａは、昇降ガイドレール１０に対して、昇降ガイドレール１０の上面でのみ摺動接触するよう構成されている。また、摺動部材３５ａは、昇降ガイドレール１０の下面には接触しないようになっている。
【００５７】
案内ローラ３５ｂ，ｃを設けることにより、摺動部材３５ａと昇降ガイドレール１０との摺動接触面積が減少するため、粉塵の発生が抑制される。また、案内ローラ３５ｂ，ｃを設けたことに加え、昇降ガイドレール１０の下面に対して摺動部材３５ａが接触しないようにしたことにより、昇降ガイドレール１０の面加工精度が高くなくても搬送不良を起こすことがなく、安定した搬送が可能になる。
【００５８】
更には、本発明の搬送用ハンガー１５ａは、電気めっき槽２での電気めっき処理時には、めっき槽２の固定ガイドレール１１から摺動部材３５ａに通電を受けて、その電気が連結部材４４ａ、竿４７、クランプ４８へと通電される。ところが、摺動部材３５ａと固定ガイドレール１１とがすべてローラ接触であると、固定ガイドレール１１から摺動部材３５ａの接触が十分でなく通電不良が発生することがある。搬送用ハンガー１５ａは、摺動部材３５ａがガイドレールの上面に対して摺動接触することよって、摺動部材３５ａと固定ガイドレール１１との接触面積を確保し、通電不良を防止している。
【００５９】
また、搬送用ハンガー１５ａは、図１６に示すように、連結部材４４ａが、略水平方向に延伸するように構成されている。これにより、各処理槽の開口部上をガイドレール１０〜１３が通過しないように、各処理槽をガイドレール１０〜１３から離して設けることができ、摺動部材３５ａとガイドレール１０〜１３との摺動によって発生する粉塵が処理槽内へ混入することを防止できる。
【００６０】
なお、図１５は、図１６に示す搬送用ハンガー１５ａを正面から見た図である。図１５に示すように、この実施形態では、搬送用ハンガー１５ａは、竿４７が４本となっており、図１に示す搬送用ハンガー１５より竿４７が１つ増やされている。
【００６１】
次に、上記（i）（iv）の改良について説明する。
【００６２】
上記（i）の改良により、搬送用ハンガー１５ａのストック場所を兼ねる剥離槽６内での搬送用ハンガーの間隔調整作業を、載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２が分担することで、改良型表面処理装置１０２の昇降ガイドレール１０，１２が昇降する周期を短くした場合でも、搬送用ハンガー１５ａが剥離槽６の入口部で搬送詰まりを起こすことなく円滑に搬送することができる。
【００６３】
また、上記（iv）の改良により、表面処理装置１０２の昇降ガイドレール１０，１２が昇降する周期を短くした場合でも、被処理物（ワーク）の取り付け等の作業を余裕をもって行うことができ、確実に被処理物の取り付けを完了することができる。
【００６４】
図７に示すように、改良型表面処理装置１０２は、プリント基板などの被処理物を挟持した搬送用ハンガー１５ａを搬送するためのガイドレール１０〜１３（切り欠き固定ガイドレール７１，９１を含む）を備えており、これらのガイドレールに沿って、めっき前処理を行うための前処理槽１、電気めっき処理を行うためのめっき槽２、めっき後処理を行うための回収槽３と水洗槽４、被処理物の取り外しを行うためのアンロード部５、ハンガー幅縮小調整を行うハンガー幅縮小部９１、搬送用ハンガー１５ａに付着しためっきを除去するとともに搬送用ハンガー１５ａのストック場所兼ねるための剥離槽６、剥離処理が終わった搬送用ハンガー１５ａを水洗する水洗槽７、ハンガー幅拡張調整を行うハンガー幅拡張部７１、被処理物の取り付けを行うロード部８が設けられている。なお、図７においては、理解容易のため昇降ガイドレール１０，１２だけを斜線で示している。
【００６５】
図７における、一部が切り欠かれた昇降ガイドレール１０は一体で昇降する。なお、これは昇降ガイドレール１２についても同様である。
【００６６】
図８に、アンロード部５およびロード部８に配設されているクランプ解除手段の構造を示す。図８に示すように、クランプ解除手段５０は、基枠４０に設けられ、搬送用ハンガー１５ａの右側に位置するクランパ押圧部材５０ａ、押圧シリンダ５０ｂと、基枠４２に設けられ、搬送用ハンガー１５ａの左側に位置する支持板５０ｃ、支持シリンダ５０ｄによって構成されている。クランプ解除手段５０は、搬送用ハンガー１５ａが、昇降ガイドレール１２と共に降下した状態（図８に示す位置）で、被処理物Ｗを挟持するクランプ４８の解除を行う。具体的には、図８に示す支持シリンダ５０ｄが作動することで支持板５０ｃを搬送用ハンガー１５に当接させた状態とし、その状態で押圧シリンダ５０ｂが作動することでクランパ押圧部材５０ａがクランプ４８を押圧し、クランプ４８の解除を行う。
【００６７】
なお、表面処理装置１００の構造を示す図３では省略していたが、改良型表面処理装置１０２では、アンロード部５の後とロード部８の前には、図７に示すように、それぞれハンガー幅調整部９１，７１が設けられている。
【００６８】
図１７、１８および１９を用いて、ハンガー幅調整部９１，７１に配設されているハンガー幅調整装置の構造を説明する。図１７は、ハンガー幅調整装置の構造を示す側面図である。図１７に示すように、ハンガー幅調整装置は、搬送用ハンガー１５ａの右側に設けられる基枠２１０ａ上に設置されたハンガー幅調節ユニット２０１と、搬送用ハンガー１５ａの左側に設けられる基枠２１０ｂに取付けられたハンガーサポート手段２０２とで構成されている。ハンガーサポート手段２０２は、上記クランプ解除手段５０の支持板５０ｃ、支持シリンダ５０ｄとで構成されるハンガー支持手段と同じ構造である。
【００６９】
ハンガー幅調整ユニット２０１は、図１７に示すように、搬送用ハンガー１５ａのつまみ４９をガイドしてハンガー幅の調節を行うつまみ操作手段２０３、搬送用ハンガー１５ａのロックレバー４５ａを操作するロックレバー操作手段２０４、および搬送用ハンガー１５ａの連結部材４４ａを挟持して搬送用ハンガー１５ａを固定する固定手段２０５及びこれらが搬送用ハンガー１５ａに対して作動可能な位置へセットするセット手段２０６とで構成されている。
【００７０】
セット手段２０６は、図１７に示すように、上記つまみ操作手段２０３、ロックレバー操作手段２０４及び固定手段２０５を取付ける移動台２０６ａと、当該移動台２０６ａの移動を円滑に案内する案内レール２０６ｂと、移動台２０６ａを移動させるセットシリンダ２０６ｃとで構成されている。
【００７１】
ロックレバー操作手段２０４は、図１８に示すように、移動台２０６中央上端部に取り付けられており、開閉シリンダ２０４ａとレバー操作具２０４ｂとで構成されている。
【００７２】
図２１Ａに示すように、開閉シリンダ２０４ａによって、レバー操作具２０４ｂは上下動し、図２１Ｂに示すように、レバー操作具２０４ｂが、搬送用ハンガー１５ａのロックレバー４５ａをばねの力に逆らって持ち上げるとロックが解除する。
【００７３】
固定手段２０５は、図１９に示すように、移動台２０６ａに対して、上記ロックレバー操作手段２０４を挟んで取り付けられた１対の挟持シリンダ２０５ａ及び挟持具２０５ｂとで構成されている。
【００７４】
当該固定手段２０５は、図２２に示すように、挟持シリンダ２０５ａが作動することで、挟持具２０５ｂが互いに間隔を狭める又は広げる運動をして搬送用ハンガー１５ａの連結部材４４ａを挟持して搬送用ハンガー１５ａを固定する。
【００７５】
つまみ操作手段２０３は、図２３に示すように、搬送用ハンガー１５ａのつまみ４９を操作する１対のつまみガイド２０３ａと、１対のつまみガイド２０３ａを互いに近づくまたは離れる運動をさせるタイミングベルト２０３ｂと、当該タイミングベルト２０３ｂを駆動させてつまみガイド２０３ａを所定幅に調整するローラ２０４ｂとで構成されている。一方のつまみガイド２０３ａは、上記タイミングベルト２０３ｂの上側を走行する部分に、他方のつまみガイド２０３ａはタイミングベルト２０３ｂの下側を走行する部分に固着されている。なお、２０３ｄは案内ガイドであり、つまみガイド２０３ａは後端において当該案内ガイド２０３ｄに移動可能に係合し、前倒し状態にならないよう支承されている。
【００７６】
ローラ２０４ｂが駆動モータによって、図２３のＣ方向に回転すると、積みガイド２０３ａは互いに近づように移動し、ローラ２０３ｃが反対方向に回転するとつまみガイド２０３ａは互いに離れるよう移動する。
【００７７】
昇降ガイドレール１０が降下し、搬送用ハンガー１５ａが、図１７に示す状態になると、セット手段２０６のセットシリンダ２０６ｃ、及びハンガーサポート手段２０２の支持シリンダ２０２ａが作動する。
【００７８】
すると、ハンガーサポート手段２０２、つまみ操作手段２０３、ロックレバー操作手段２０４、固定手段２０５は、搬送用ハンガー１５ａに対して、図２４に示す位置になる。
【００７９】
その後、固定手段２０５の挟持シリンダ２０５ａが作動して、挟持具２０５ｂが搬送用ハンガー１５ａの連結部材４４ａを挟持して固定し、次いでロックレバー操作手段２０４の開閉シリンダ２０４ａが作動して、レバー操作部２０４ｂがロックレバー４５ａを持ち上げてロックを解除した後、つまみ操作手段２０３のローラ２０３ｃが回転してつまみガイド２０３ａが搬送用ハンガー１５ａのつまみ４９の間隔を所定間隔に調節する。
【００８０】
その後、ロックレバー操作手段２０４の開閉シリンダ２０４ａが作動してレバー操作具２０４ｂが搬送用ハンガー１５ａのロックレバー４５ａを下げてロックし、次いで固定手段２０５の挟持シリンダ２０５ａが作動して挟持具２０５ｂが搬送用ハンガー１５ａの挟持を解除する。その後、セット手段２０６のセットシリンダ２０６ｃ及びハンガーサポート手段２０２の支持シリンダ２０２ａが作動して、ハンガーサポート手段２０２、つまみ操作手段２０３、ロックレバー操作手段２０４及び固定手段２０５が、搬送用ハンガー１５ａから退避する。なお、次の搬送用ハンガー１５ａが搬送されてくるまでに、つまみ操作手段２０３のつまみガイド２０３ａは当初の間隔に戻され、以降同じ動きを繰り返す。
【００８１】
最後に、上記改良（iii）について説明する。改良（iii）によって、搬送用ハンガー１５ａが昇降ガイドレール１０のコーナー部を通過する際に、がたついたり浮き上ったりすることを防止し、安定した搬送ができるようになる。
【００８２】
係止ガイド１１０は、図１６に示すように、昇降ガイドレール１０が取付けられているフレーム上に取り付けられている。搬送用ハンガー１５ａの爪当接部３２が当該係止ガイド１１０に抑え込まれるようになっており、搬送用ハンガー１５ａが昇降ガイドレール１０のコーナー部を通過する際に、がたついたり浮き上ったりすることを防止している。
【００８３】
４．改良型表面処理装置１０２における搬送方法
図７に示す前処理槽１から水洗槽４までの搬送方法は、図３に示す前述の実施形態と同じであるため、アンロード部５からロード部８に至るまでの搬送方法について以下に説明する。
【００８４】
まず、図７に示す昇降ガイドレール１２を切り欠いて設けた固定ガイドレール９１の付近における搬送動作について、図９を用いて以下に説明する。
【００８５】
図７に示す水洗槽４から引き上げられた搬送用ハンガー１５ａは、昇降ガイドレール１２に沿ってアンロード部５の上方に搬送され（図９Ａを参照）、昇降ガイドレール１２と共に降下する。
【００８６】
アンロード部５で被処理物Ｗが取り外されると、切り欠き位置搬送手段９０が図９Ａの右方向に移動し、搬送用ハンガー１５ａを搬送爪９３ｂで引っかけた状態で左方向（図３に示す搬送方向Ｃ）に移動し、搬送用ハンガー１５ａを固定ガイドレール９１に移し替え、ハンガー幅調整部９１に送って停止する。なお、切り欠き位置搬送手段９０は、図６に示す位置決め搬送手段１８と同じ構造の装置であり、図９Ａに示すように、２つの搬送爪９３ａ，９３ｂを有している。
【００８７】
その後、切り欠き位置搬送手段９０は、上昇する昇降ガイドレール１２に接触しないように右方向に移動し、図９Ａに示す位置に停止する。
【００８８】
以降は、昇降ガイドレール１２が上昇して上記と同じ動作が再度行われ、図９Ｂに示すように、昇降ガイドレール１２が次に降下したときには、搬送用ハンガー１５ａは既に搬送方向の幅長さが調整されており（例えば、被処理物保持腕４６に付着しためっきや汚れを落とすためにハンガー幅を一旦広げた後最小の幅に縮められる）、もう片方の搬送爪９３ａによって昇降ガイドレール１２に移し替えられることになる。
【００８９】
以上のように、アンロード部５において被処理物Ｗを取り外した搬送用ハンガー１５ａを固定ガイドレール９０に移し替えることで、搬送用ハンガー１５ａのハンガー幅長さの調整を昇降ガイドレールの昇降周期に合わせて行う必要がなく、かかる作業を余裕をもって円滑に行うことができる。
【００９０】
昇降ガイドレール１２に移し替えられた搬送用ハンガー１５ａは、さらに、間欠搬送手段によって図６に示す剥離槽６の浸漬位置まで１ピッチ搬送される。以下に、載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の構造を説明した後で、剥離槽６の浸漬位置における搬送動作について説明する。
【００９１】
図１０は、図７に示す載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の構造を示す図である。図１１Ａは、図１０に示す載せ替え手段８０の詳細を示すλ−矢視図であり、図１１Ｂは、図１０に示す前詰め搬送手段８２の詳細図である。
【００９２】
載せ替え手段８０は、図７に示すように、剥離槽６の浸漬位置に設けられており、図１１Ａに示すように、搬送用ハンガー１５ａを前送りするための２つの搬送爪８０１を有する。また、搬送爪８０１が設けられた移動板８０２は、モーター機構８０３に接続されており、ガイドレール１２，１３に沿って移動することが可能である。
【００９３】
また、図１０に示すように、本実施形態における搬送用ハンガー１５ａの連結部材４４ａは水平方向に外側に延伸して形成されている。このため、載せ替え手段８０が移動することにより、図６に示す搬送爪３０と同様の構造を有する搬送爪８０１が連結部材４４ａを引っかけた状態で搬送用ハンガー１５ａを搬送することが可能である。
【００９４】
一方、図１１Ｂに示すように、前詰め搬送手段８２は、駆動チェーン８６と、駆動チェーン８６に固定された走行台８５と、走行台８５が前倒し状態となるのを防止する係止レール８３とにより構成される。走行台８５は、図１１Ｂに示すように、固定ガイドレール１３に沿って移動可能に構成されており、図６に示す搬送爪３０と同様の構造を有する搬送爪８４（図２ｂの爪当接部３２を引っかけて搬送用ハンガー１５ａを移動させるもの）を３つ備えている。また、図１１Ｂに示す走行台８５の下側には、移動時のがたつき等を防止するためのガイドローラ８７ａ，８７ｂが設けられている。
【００９５】
図１２Ａに示すように、搬送用ハンガー１５ａが剥離層６の浸漬位置で昇降ガイドレール１２と共に下降したことをセンサで検知すると、図１０に示す載せ替え手段８０は、右方向に移動して爪８０１が搬送用ハンガー１５ａを引っかけた状態で、左方向（搬送方向）に移動し、昇降ガイドレール１２上から固定ガイドレール１３上へ搬送用ハンガー１５ａを１ピッチ搬送して溜め置く。なお、１ピッチ搬送後の搬送用ハンガー１５ａと昇降ガイドレール１２と共に降下してきた搬送用ハンガー１５ａとの間隔距離Ｌ２は、ここでは、２０ｍｍである。
【００９６】
図１２Ｂに示すように、次の搬送用ハンガー１５ａが剥離槽６の浸漬位置で昇降ガイドレール１２と共に下降してくると、載せ替え手段８０は、同様に、右に移動して搬送用ハンガー１５ａを２つまとめて１ピッチ移動する。このときセンサによって搬送用ハンガー１５ａが２つ溜め置かれたことが検知される。
【００９７】
さらに、次の搬送用ハンガー１５ａが図１２Ｃに示す位置から、剥離槽６の浸漬位置に下降してきたことをセンサで検知すると、図１３Ｄに示すように、前詰め搬送手段８２が右方向に移動し、搬送爪８２ａ，８２ｂ，８２ｃがそれぞれ搬送用ハンガー１５ａを引っかけた状態とし、図１３Ｅに示すように、搬送用ハンガー１５ａが所定の距離Ｌ２の間隔を維持した状態で左方向に移動して固定ガイドレール搬送手段２４上に搬送用ハンガー１５ａを移動させる。
【００９８】
前詰め搬送手段８２は、図１３Ｆに示すように、先行する搬送用ハンガーとの間隔が所定の距離Ｌ２になる位置まで搬送用ハンガー１５ａを搬送されたことをセンサで検知すると停止する。その後、固定ガイドレール搬送手段２４は、下降した昇降ガイドレール１０に搬送用ハンガー１５ａを移動させて移し替えを行う。なお、図７に示す改良型表面処理装置１０２においては、図３に示す表面処理装置１００のように剥離槽６の引上げ位置に送り出し搬送手段２５を設けていないが、これを設けるようにしてもよい。これにより、搬送用ハンガー１５ａを昇降ガイドレール１０の昇降周期に合わせて確実に移し替えを行うことができる。
【００９９】
以上のように、搬送用ハンガー１５ａを所定の距離Ｌ２になる位置まで前送りする前詰め搬送手段８２が戻るまでに、剥離槽６の浸漬位置に搬送されてくる搬送用ハンガー１５ａを載せ替え手段８０が一旦昇降ガイドレール１２から固定ガイドレール１３へ移し替えて溜め置くため、昇降ガイドレール１２の昇降周期が短くなっても、剥離槽６の入口部で搬送用ハンガーが詰まってしまうのを防止することが容易である。
【０１００】
また、載せ替え手段８０および前詰め搬送手段８２がそれぞれ搬送爪を複数設けるようにしたが、搬送爪を１つだけ設けるようにしてもよい。
【０１０１】
さらに、図７に示す昇降ガイドレール１０を切り欠いて設けた固定ガイドレール７１の付近における搬送動作について、図１４を用いて以下に説明する。
【０１０２】
上記剥離工程の後、ハンガー剥離後処理を行う水洗槽７から引上げられた搬送用ハンガー１５ａは、昇降ガイドレール１０に沿ってハンガー幅調整部７２の上方に搬送され（図１４Ａを参照）、昇降ガイドレール１０と共に降下する。
【０１０３】
ハンガー幅調整部７２で搬送用ハンガー１５ａのハンガー幅長さが所定の幅に調整されると、切り欠き位置搬送手段７０が図１４Ａの右方向に移動し、搬送用ハンガー１５ａを搬送爪７３ｂで引っかけた状態で固定ガイドレール７１に移し替えるように左方向（図３に示す搬送方向Ｃ）に移動して停止する。なお、切り欠き位置決め搬送手段７０は、図６に示す位置決め搬送手段１８と同じ構造の装置であり、図９に示すように、２つの搬送爪７３ａ，７３ｂを有している。
【０１０４】
なお、切り欠き搬送手段７０は、上昇する昇降ガイドレール１０に接触しないように右方向に移動し、図１４Ａに示す位置に停止する。
【０１０５】
以降は、昇降ガイドレール１０が上昇して上記と同じ動作が再度行われ、図１４Ｂに示すように、昇降ガイドレール１０が次に降下したときには、搬送用ハンガー１５ａは既に被処理物Ｗが取り付けが行われており、もう片方の搬送爪７３ａによって昇降ガイドレール１０に移し替えられることになる。
【０１０６】
以上のように、ハンガー幅調整部７２でハンガー幅が所定幅に調整された搬送用ハンガー１５ａを固定ガイドレール７１に移し替えることで、ロード部８へ搬送用ハンガー１５ａを搬送する際の昇降時間を被処理物Ｗの取り付け時間に充てることができ、昇降ガイドレールの昇降周期を短くしても、余裕をもって被処理物Ｗの取り付け作業を行うことができる。そのため、作業者によって被処理物Ｗ取り付けが行われる場合にも、被処理物Ｗの取り付けが完了しないことを防止でき、又は搬送用ハンガー１５ａに対して被処理物Ｗの取り付け位置を精度よくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】この発明の搬送用ハンガー１５の構造を示す図である。
【図２ａ】図１に示す搬送用ハンガー１５をβ方向から見たβ−矢視図である。
【図２ｂ】搬送用ハンガー１５の中央断面図である。
【図３】表面処理装置１００を上方からみた平面図である。
【図４】図３に示す表面処理装置１００をα方向から見た側面図である。
【図５】昇降ガイドレールの上部に設けられる間欠搬送手段の構造を示す平面図である。
【図６】位置決め搬送手段１８の構造を示す図である。
【図７】改良型表面処理装置１０２の構造を示す図である。
【図８】アンロード部５およびロード部８に配設されているクランプ解除手段の構造を示すである。
【図９】固定ガイドレール９１の付近における搬送動作を示す図である。
【図１０】載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の構造を示す図である。
【図１１】載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の詳細を示す図である。
【図１２】載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の搬送動作を示す図である。
【図１３】載せ替え手段８０と前詰め搬送手段８２の搬送動作を示す図である。
【図１４】固定ガイドレール７１の付近における搬送動作を示す図である。
【図１５】図１６に示す搬送用ハンガー１５ａを正面から見た図である。
【図１６】昇降ガイドレール１０上を搬送される搬送用ハンガー１５ａを示す側面図である。
【図１７】ハンガー幅調整装置の構造を示す側面図である。
【図１８】ハンガー幅調整装置の構造を示す正面図である。
【図１９】ハンガー幅調整装置を上方から見た図である。
【図２０ａ】従来の搬送用ハンガー１５の構造を示す図である。
【図２０ｂ】図２０ａに示す搬送用ハンガー１５をγ方向から見たγ−矢視図である。
【図２０ｃ】搬送用ハンガー１５の中央断面図である。
【図２１】ロックレバー操作手段２０４の構造および動作を示す図である。
【図２２】固定手段２０５の構造および動作を示す図である。
【図２３】つまみ操作手段２０３の構造および動作を示す図である。
【図２４】ハンガー幅調節ユニット２０１の構造を示す図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１・・・・前処理槽
２・・・・めっき槽
３・・・・回収槽
４、７・・・・水洗槽
５・・・・アンローダー
６・・・・剥離槽
８・・・・ローダー
１０、１２・・・・昇降ガイドレール
１１、１３・・・・固定ガイドレール
１５、１５・・・・搬送用ハンガー
１７、２２・・・・間欠搬送手段
１８、２３・・・・位置決め搬送手段
１９、２４・・・・固定ガイドレール搬送手段
２０、２５・・・・送り出し搬送手段
３５・・・・摺動部材
４４・・・・連結部材
４７・・・・被処理物保持部材
１００・・・・電気めっき装置
【図１】
0004813935.tif 000002
【図２ａ】
0004813935.tif 000003
【図２ｂ】
0004813935.tif 000004
【図３】
0004813935.tif 000005
【図４】
0004813935.tif 000006
【図５】
0004813935.tif 000007
【図６】
0004813935.tif 000008
【図７】
0004813935.tif 000009
【図８】
0004813935.tif 000010
【図９】
0004813935.tif 000011
【図１０】
0004813935.tif 000012
【図１１】
0004813935.tif 000013
【図１２】
0004813935.tif 000014
【図１３】
0004813935.tif 000015
【図１４】
0004813935.tif 000016
【図１５】
0004813935.tif 000017
【図１６】
0004813935.tif 000018
【図１７】
0004813935.tif 000019
【図１８】
0004813935.tif 000020
【図１９】
0004813935.tif 000021
【図２０ａ】
0004813935.tif 000022
【図２０ｂ】
0004813935.tif 000023
【図２０ｃ】
0004813935.tif 000024
【図２１】
0004813935.tif 000025
【図２２】
0004813935.tif 000026
【図２３】
0004813935.tif 000027
【図２４】
0004813935.tif 000028