(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納したカセットを搭載する複数のカセットステージと、前記カセットに収納された基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送装置において、
前記搬送ロボット設置ステージは、前記搬送ロボットを少なくとも一方向に移動させる機構を有しており、
前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージの一側面に隣接して配置されており、
前記複数のカセットステージの少なくとも２つのカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージ及び前記複数のカセットステージの他のカセットステージに対して着脱自在で他の場所に移動可能な着脱自在型カセットステージであって、
前記搬送ロボット設置ステージの一側面に搬送ロボットが通過できる空間が生じるように、少なくとも１つの前記着脱自在型カセットステージを他の場所に移動可能な搬送ロボット移転対応型搬送装置。
【請求項２】
前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボットが移動できる前記一方向と平行に配置された請求項１に記載の搬送ロボット移転対応型搬送装置。
【請求項３】
前記着脱自在型カセットステージが、移動機構を備えている請求項１又は２に記載の搬送ロボット移転対応型搬送装置。
【請求項４】
前記搬送ロボットは、前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットである請求項１〜３のいずれかに記載の搬送ロボット移転対応型搬送装置。
【請求項５】
基板を収納したカセットを搭載する複数のカセットステージと、前記カセットに収納された基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えており、
前記搬送ロボット設置ステージは、前記搬送ロボットを少なくとも一方向に移動させる機構を有しており、
前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボットが移動できる前記一方向と平行に、且つ前記搬送ロボット設置ステージの一側面に隣接して配置されており、
前記複数のカセットステージの少なくとも２つのカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージ及び前記複数のカセットステージの他のカセットステージに対して着脱自在で他の場所に移動可能な着脱自在型カセットステージである搬送装置を対象とし、
前記搬送ロボット設置ステージの一側面に搬送ロボットが通過できる空間が生じるように、少なくとも１つの前記着脱自在型カセットステージを他の場所に移動する過程と、
前記搬送ロボットが通過できる空間から搬送ロボットを搬入出する過程とを含み、
前記搬送ロボットを搬入出する過程にロボット搬入出装置を用いる搬送ロボット移転方法。
【請求項６】
前記搬送ロボットを搬入出する過程が、ロボット搬入出装置によって搬送ロボットを持ち上げた後に略水平方向に移行し、その後所望の位置に搬送ロボットを下降させる過程を含む請求項５に記載の搬送ロボット移転方法。
【請求項７】
前記搬送ロボットは、前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットである請求項５又は６に記載の搬送ロボット移転方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶パネル，半導体製品の製造作業において、液晶基板，ウエハ等の薄板状のワーク（以下、基板という）を搬送する搬送ロボットを保守、修理、交換するために、搬送ロボットが設置されている場所から、他の場所に移転させる装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの製造工程には、基板に、薄膜形成処理，洗浄処理，レジスト塗布等の基板処理を行う工程がある。
これらの基板処理工程では、カセットに収容された基板を、基板処理装置内に搬送したり、基板処理装置から処理の終わった基板を取り出す作業を行うために、搬送ロボットが使用されている。
【０００３】
図２は、基板処理工程の設備例を示す平面図であり、この図２を用いて搬送ロボット１０６の役割を説明する。
例えば、クリーンルーム１００内のカセットストック場所１０１にあるカセット１０２は、クリーンルーム１００内の通路を移動してカセット１０２を搬送する搬送台車１０３によって搬送装置内１０４内の固定型カセットステージ１０５に搬送される。
【０００４】
搬送装置１０４は、固定型カセットステージ１０５、搬送ロボット１０６及び搬送ロボット１０６を設置する搬送ロボット設置ステージ１０７から構成されている。また、搬送ロボット設置ステージ１０７の側面には、基板に、薄膜形成処理，洗浄処理，レジスト塗布等の処理を行う基板処理装置１０８が配置されている。
【０００５】
カセット１０２が、固定型カセットステージ１０５に搬送されると、搬送ロボット１０６は、各カセットに収容されている基板を１枚ずつ取り出して基板処理装置１０８に搬送したり、基板処理装置１０８から処理の終わった基板を取り出す作業等を行う。
なお、搬送ロボット設置ステージ１０７には、搬送ロボット１０６を、図２のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、搬送ロボット１０６を基板の搬送に適した位置（通常、カセットまたは基板処理装置１０８の真正面の位置）に適宜移動させることができる。また、搬送ロボット設置ステージ１０７は、搬送ロボット１０６を図２のＹ方向以外に移動させる機構を備えてもよい。
【０００６】
図３は、搬送ロボット１０６を用いて固定型カセットステージ１０５の上にあるカセット１０２内の基板１１４を取り出すときの説明図である。
搬送ロボット１０６は、例えば、図３に示すような形状をしており、ベース機構１１０と昇降機構１１１と１組のアーム機構１１２とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材１１３とを備えている。
ベース機構１１０は、内部に図示しない複数のモータを備えていて昇降機構１１１を昇降させるとともに昇降機構１１１をＺ軸の軸心周りに回動させることができる。
アーム機構１１２は、昇降機構１１１に軸支された第１のアーム１１２ａと第２のアーム１１２ｂとが連結していて、ハンド部材１１３を少なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機構１１２の動力もベース機構１１０内に備えられたモータによって供給される。
【０００７】
また、ハンド部材１１３は、図示しない真空吸着等の手段によってハンド部材１１３の上面に基板１１４を載せて固定させることができる。
なお、図３の例では、１組のアーム機構を備えた搬送ロボット１０６であるが、複数組のアーム機構を備えた搬送ロボット１０６であってもよい。また、基板１１４を搬送できれば他の構造の搬送ロボット１０６でもよい。
【０００８】
カセット１０２は、例えば、図３に示すように複数のスロットが設けられ、複数枚の基板１１４を収容させることができる容器である。
固定型カセットステージ１０５は、搬送ロボット１０６がカセット１０２内の基板１１４を搬送するのに適した位置にカセット１０２を固定することができる装置である。図３の図例ではカセット１０２を固定型カセットステージ１０５の上部に載置し、図示しない固定機構によってカセット１０２を固定している。
【０００９】
なお、図３では、説明を簡略化するために、カセット１０２と固定型カセットステージ１０５とをそれぞれ１つだけ示し、搬送ロボット設置ステージ１０７に備えられたＹ方向の移動機構の図示を省略している。
【００１０】
このような搬送ロボット１０６を用いて、基板１１４を取り出す手順を説明する。
まず、ハンド部材１１３をＸ１方向に移動させてハンド部材を目的とする基板１１４の下方に配置されるようにカセット１０２内に挿入する。その後、ハンド部材１１３を上昇させて、ハンド部材１１３の上面に目的とする基板１１４を載せて固定する。そして、ハンド部材１１３をＸ２方向に移動させれば、基板１１４をカセットから取り出すことができる。
基板１１４をカセット内に投入する場合は、上記と逆の手順の作業を行えばよい。
【００１１】
なお、基板処理装置１０８に基板１１４を搬送したり、基板処理装置１０８から基板１１４を取り出すときも、同様に、ハンド部材１１３をＸ方向に移動させたり、Ｚ方向に移動さることによって実現できる。
【００１２】
（従来技術１）
図４は、従来技術１の搬送装置の概略平面図であり、この従来技術１の搬送装置は、搬送ロボット設置ステージ１０７と固定型カセットステージ１０５とがそれぞれ固定されていて、全体が一体となっている。また、搬送ロボット設置ステージ１０７の側面には、基板処理装置１０８が配置されている。
なお、図４では、２組のアーム機構を備えた搬送ロボット１０６を使用した例を示しているが、１組のアーム機構を備えた搬送ロボット１０６を使用してもよい。
【００１３】
また、前述したように搬送ロボット１０６は、固定型カセットステージ１０５に搬送されたカセット１０２から基板１１４を取り出して基板処理装置１０８内に搬送したり、基板処理装置１０８内から基板１１４を取り出す作業を行っている。そのために、搬送ロボット設置ステージ１０７内を移動する必要があるので、搬送ロボット設置ステージ１０７内には、搬送ロボット１０６を移動させるためにスライダー等の移動機構が設けられている。そして、通常は、搬送ロボット設置ステージ１０７内の作業領域ＯＰＥ内で搬送作業を行っている。
【００１４】
しかし、搬送ロボット１０６を新型に交換する等で、搬送ロボット１０６を搬送装置外に搬出する必要が生じた場合、搬送ロボット１０６は、搬送ロボット設置ステージ１０７内の退避領域ＯＵＴまで移動した後、ロボット搬入出口ＴＲから搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転していた。
【００１５】
搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７に搬入するときは、搬出するときとは逆にロボット搬入出口ＴＲから搬送ロボット１０６を移転して搬送ロボット設置ステージ１０７内の退避領域ＯＵＴに設置した後、作業領域ＯＰＥに移動させていた。
【００１６】
なお、通常、ロボット搬入出口ＴＲの側面は板等で覆われているので、搬送ロボット１０６を搬出または搬入するときは、板等を取り外した後に、移転作業を行っていた。
また、通常、搬送ロボット設置ステージ１０７の左側面Ｌと右側面Ｒとには、柱、扉などが配置されているので、この左側面Ｌまたは右側面Ｒから搬送ロボット１０６を移転できないようになっている。
【００１７】
（従来技術２）
図５は、従来技術２の搬送装置の概略平面図であり、従来技術１の搬送装置１０４と同様に、搬送ロボット設置ステージ１０７と固定型カセットステージ１０５とがそれぞれ固定されていて、全体が一体となっている。また、搬送ロボット設置ステージ１０７の側面には、基板処理装置１０８が配置されている。
【００１８】
このような搬送装置１０４で搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転する必要が生じた場合、従来技術１とは異なり、搬送ロボット設置ステージ１０７内に退避領域ＯＵＴがないので、退避領域ＯＵＴに搬送ロボット１０６を移動させることができない。そのために、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転するときは、搬送ロボット１０６を上に吊り上げて搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転する必要があった。
【００１９】
図６は、従来技術２の搬送ロボット１０６の移転方法例を示した搬送ロボット設置ステージ１０７の縦断側面図である。なお、固定型カセットステージ１０５は図示を省略している。
図６に示すように搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転するときは、搬送ロボット１０６をスライド機構付きクレーン１１５によって吊り上げて、搬送ロボット設置ステージ１０７外に移転していた。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術１）
従来技術１では、搬送ロボット設置ステージ１０７内に退避領域ＯＵＴが必要であるので、次の問題が生じていた。
（１）搬送装置１０４が大型化するので設置面積が大きくなってしまう。
（２）退避領域ＯＵＴは、搬送ロボット１０６の移転時にしか使わないので有効的でない。
これらの問題は、搬送装置１０４が設置されるクリーンルーム１００においては重要な問題である。その理由は、クリーンルーム１００の限られた広さの中に、多くの装置を設置する必要があるので、それぞれの装置は、より小型化が求められるからである。
【００２１】
（従来技術２）
従来技術２では、搬送ロボット設置ステージ１０７内に退避領域ＯＵＴがないので、従来技術２に比べて、搬送装置１０４の設置面積は小さい。
しかし、近年、基板１１４の大型化が進み、それに伴い搬送ロボット１０６も大型化して重量が重くなったので、従来技術２のように搬送ロボット１０６を上に吊り上げて搬出・搬入する方法では、次のような問題が生じていた。
（１）大型の搬送ロボット１０６では、吊り上げ高さを高くする必要があるので、スライド付きクレーン１１５を高い位置に設置する必要がある。
しかし、クリーンルーム１００の天井高さが、大型の搬送ロボット１０６を吊り上げるために必要な高さ以下である場合は、従来技術２の方法は採用できない。
（２）大型の搬送ロボット１０６は重量も重いので、スライド付きクレーン１１５を吊り上げ力の強い機種に変更する必要がある。そうなるとスライド付きクレーン１１５が大型化するばかりでなく、設備費も高くなる。
さらに、スライド付きクレーン１１５を設置するフレーム１１６の強度も強くする必要がある。
（３）吊り上げ高さを高くすることは、安全上好ましくない。
【００２２】
本願発明は、上記の搬送装置１０４の大型化を抑制しクリーンルーム１００の設置場所を有効利用をしつつ、搬送ロボット１０６が大型化しても設備費を増大させることなく、搬送ロボット１０６の移転をすることができる搬送ロボット移転対応型搬送装置及び搬送ロボット移転方法を提供することにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、基板を収納したカセットを搭載する複数のカセットステージと、前記カセットに収納された基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送装置において、
前記搬送ロボット設置ステージは、前記搬送ロボットを少なくとも一方向に移動させる機構を有しており、
前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージの一側面に隣接して配置されており、
前記複数のカセットステージの少なくとも２つのカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージ及び前記複数のカセットステージの他のカセットステージに対して着脱自在で他の場所に移動可能な着脱自在型カセットステージであって、
前記搬送ロボット設置ステージの一側面に搬送ロボットが通過できる空間が生じるように、少なくとも１つの前記着脱自在型カセットステージを他の場所に移動可能な搬送ロボット移転対応型搬送装置である。
【００２４】
請求項２の発明は、前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボットが移動できる前記一方向と平行に配置された搬送ロボット移転対応型搬送装置である。
【００２５】
請求項３の発明は、前記着脱自在型カセットステージが、移動機構を備えている搬送ロボット移転対応型搬送装置である。
【００２６】
請求項４の発明は、前記搬送ロボットは、前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットである。
【００２７】
請求項５の発明は、基板を収納したカセットを搭載する複数のカセットステージと、前記カセットに収納された基板を搬送する搬送ロボットと、前記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えており、
前記搬送ロボット設置ステージは、前記搬送ロボットを少なくとも一方向に移動させる機構を有しており、
前記複数のカセットステージが、前記搬送ロボットが移動できる前記一方向と平行に、且つ前記搬送ロボット設置ステージの一側面に隣接して配置されており、
前記複数のカセットステージの少なくとも２つのカセットステージが、前記搬送ロボット設置ステージ及び前記複数のカセットステージの他のカセットステージに対して着脱自在で他の場所に移動可能な着脱自在型カセットステージである搬送装置を対象とし、
前記搬送ロボット設置ステージの一側面に搬送ロボットが通過できる空間が生じるように、少なくとも１つの前記着脱自在型カセットステージを他の場所に移動する過程と、
前記搬送ロボットが通過できる空間から搬送ロボットを搬入出する過程とを含み、
前記搬送ロボットを搬入出する過程にロボット搬入出装置を用いる搬送ロボット移転方法である。
【００２８】
請求項６の発明は、前記搬送ロボットを搬入出する過程が、ロボット搬入出装置によって搬送ロボットを持ち上げた後に略水平方向に移行し、その後所望の位置に搬送ロボットを下降させる過程を含む搬送ロボット移転方法である。
また、請求項７の発明は、前記搬送ロボットは、前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットである搬送ロボット移転方法である。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１は当該出願に係る発明の特徴を最もよく表す図である。
図１は後述する図８と同じなので、説明は図８で後述する。
本発明の実施の形態は、図７乃至図９に示すように、基板を収納したカセットを搭載する複数のカセットステージと、上記カセットと基板処理装置との間で基板を搬送する搬送ロボットと、上記搬送ロボットを設置する搬送ロボット設置ステージとを備えた搬送装置において、
基板を搬送する搬送ロボット（１０６）と、搬送ロボット（１０６）を設置する搬送ロボット設置ステージ（７）と、上記搬送ロボット設置ステージ（７）に隣接して着脱自在に配置されると共に、他のカセットステージ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）に対して着脱自在に配置された複数の着脱自在型カセットステージ（５１）とを備える搬送ロボット移転対応型搬送装置（４１）である。
【００３０】
また、本発明の実施の形態は、図７乃至図１０に示すように、基板を搬送する搬送ロボット（１０６）と搬送ロボット（１０６）が設置されている搬送ロボット設置ステージ（７）とカセットステージ（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）とが組み合わされた搬送装置（４１）からカセットステージ（５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）を取り外す過程と、
搬送ロボット設置ステージ（７）の側面から搬送ロボット（１０６）を搬入出する過程とから成り、
搬送ロボット（１０６）を搬入出する過程が、ロボット搬入出装置（１１）によって搬送ロボット（１０６）を持ち上げた後に略水平方向に移行し、その後所望の位置に搬送ロボット（１０６）を下降させる過程により成る搬送ロボット移転方法である。
【００３１】
【実施例】
（実施例１）
図７乃至図１０は、本発明に係わる第１の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１の構成例を示したもので、図７は、本発明の実施例１の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。
図８（図１と同一の図）は、本発明の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から搬送ロボット１０６を移転する方法を示す説明図である。
図９は、本発明の搬送ロボット設置ステージ７の概略側面図であり、図１０は、本発明のカセットステージ５の移動機構を示す側面図である。
なお、図８は説明を簡略化するために図７に示した搬送ロボット移転対応型搬送装置４１において、搬送ロボット設置ステージ７及びカセットステージ５を部分的に図示した説明図であり、また、基板処理装置１０８の図示を省略している。以下、この図７乃至図１０を使用して、本発明を説明する。
【００３２】
従来技術と同様に、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１は、基板を搬送する搬送ロボット１０６と搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット設置ステージ７と複数のカセットステージ（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）とから構成されている。
搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット設置ステージ７の一側面（基板処理装置１０８とは反対側の側面）には、カセットステージ５が配置されるが、各カセットステージ５は、図７に示すように、各カセットステージ５が搬送ロボット設置ステージ７及び他のカセットステージ５に対して着脱自在であり、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離できるようになっている。本明細書では、この分離可能なカセットステージ５を、着脱自在型カセットステージ５１と呼ぶ。
【００３３】
そのために、図８（ａ）に示すように、着脱自在型カセットステージ５１が搬送ロボット設置ステージ７の一側面側に配置された状態から、図８（ｂ）に示すように、着脱自在型カセットステージ５１を搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離できる。
ここで、図９に示すように、搬送ロボット設置ステージ７の着脱自在型カセットステージ５１側の上部と左右の両側には、フレーム１０が設けられているが、他の部分には、少なくとも搬送ロボット１０６が通過できるだけの開口部がある。
そのために、着脱自在型カセットステージ５１が分離して、他の場所に移動すると、搬送ロボット設置ステージ７の側面には、搬送ロボット１０６が通過できるだけの空間が生じるので、搬送ロボット１０６を移転することができる。
【００３４】
そのために、着脱自在型カセットステージ５１が移動して生じた空間からハンドリフター１１等のロボット搬入出装置を用いて搬送ロボット１０６を移転することができる。
図８（ｃ）は、ロボット搬入出装置、例えばハンドリフター１１の昇降フォーク部１２を搬送ロボット設置ステージ１０７に挿入した状態を示す平面図である。また、図８（ｄ）は、図８（ｃ）のＡ−Ａ断面図であり、ハンドリフターの昇降フォーク部１２を搬送ロボット設置ステージ７内に挿入していることを側面から示している。
【００３５】
その後、図８（ｅ）に示すように、ハンドリフター１１の昇降ハンドル１３を回転させて搬送ロボット１０６を持ち上げる。
その後、図８（ｆ）に示すように、ハンドリフター１１を略水平方向に移動させて、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ７の側面から搬出する。そして、所望の位置まで搬出した後、ハンドリフターの昇降ハンドル１３を回転させて搬送ロボット１０６を下降させ、所定の場所まで移転する。
【００３６】
以上は、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ７の側面から搬出する場合の説明であったが、搬送ロボット１０６を搬入据え付けする場合は、上記と逆の手順で作業を行えばよい。
このように、本発明では、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ７の側面から交換することができる。
【００３７】
なお、各着脱自在型カセットステージ５１は、好ましくは、例えば、図１０に示すように、下部にキャスター１４等の移動機構が備えられていて移動できるようになっている。また、レベルアップアジャスター１５と呼ばれる固定具が備えられていて、移動した後に、着脱自在型カセットステージ５１が移動しないように固定することができる。
【００３８】
レベルアップアジャスター１５は、着脱自在型カセットステージ５１から突出したねじ部１６の長さを調整できるようになっていて、着脱自在型カセットステージ５１が移動しない場合は、図１０（ａ）に示すようにレベルアップアジャスター１５のねじ部１６の長さを長くして着脱自在型カセットステージ５１を床面に対して固定する。
そして、着脱自在型カセットステージ５１を移動させる場合は、図１０（ｂ）に示すようにレベルアップアジャスター１５のねじ部１６の長さを短くしてキャスターを床面に接地させると、キャスターによって移動できる。
このような移動機構を備えていると、着脱自在型カセットステージ５１の移動が簡単にできて好ましい。
なお、着脱自在型カセットステージ５１の移動機構は、上記の移動機構に限定されるものではなく、他の構造の移動機構でもよい。また、移動機構を備えないで、ハンドリフター１１等のロボット搬入出装置を用いて移動させてもよい。
【００３９】
また、着脱自在型カセットステージ５１を搬送ロボット設置ステージ７に取り付けるときは、着脱自在型カセットステージ５１と搬送ロボット設置ステージ７とを、ねじ止め等で固定する。隣り合うカセットステージ５どうしは、固定しても固定しなくてもよい。
なお、図７に示した例では、カセットステージ５は４個であるが、この数に限定されない。
【００４０】
（実施例２）
図１１は、本発明の実施例２の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。
図１１に示すように、実施例２は、実施例１と同様に、搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット設置ステージ７の一側面には、カセットステージ５が配置されるが、実施例１とは異なり、特定のカセットステージ（例えば５ｂ）だけが、搬送ロボット設置ステージ７及び他のカセットステージ５ａ，５ｃに対して着脱自在の着脱自在型カセットステージ５１であり、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離できるようになっている。
なお、特定のカセットステージ（例えば５ｂ）は、図１１に示すように１つでもよいし、複数個でもよい。また、着脱自在型カセットステージ５１以外のカセットステージ５ａ，５ｃは、搬送ロボット設置ステージ７に固定されている。
【００４１】
（実施例３）
図１２は、本発明の実施例３の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。図１２（ａ）に示すように、実施例３は、搬送ロボット１０６が設置された搬送ロボット設置ステージ７の一側面に、カセットステージ５が搬送ロボット設置ステージ７に対して着脱自在に配置され、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から移動できるようになっている。この着脱自在型カセットステージ５１は、搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から分離させるまでもなく、図１２（ｂ）に示すように、搬送ロボット１０６が搬入出できる程度の空間をあけるためのスライド機構で移動させてもよい。この実施例３は、実施例１及び実施例２のように、搬送ロボット１０６が前方の通路を塞がないので、搬送ロボットの交換作業中であっても、カセットを搬送する搬送台車が通過することができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上のようにカセットステージ５が搬送ロボット設置ステージ７及び他のカセットステージ５に対して着脱自在であると、着脱自在型カセットステージ５１を搬送ロボット設置ステージ７から分離し又は移動させることができるので、分離又は移動したカセットステージ５に対応する搬送ロボット設置ステージ７の側面に搬送ロボット１０６が通過できる空間が生じる。
すると、搬送ロボット設置ステージ７の側面から搬送ロボット１０６を移転することができるので、従来技術１のように退避領域ＯＵＴを設ける必要がなくなる。そのために、クリーンルー１００ムの設置面積を有効に利用することができるようになる。
【００４３】
また、搬送ロボット１０６を搬送ロボット設置ステージ７の側面から移転することができるので、従来技術２のように、スライド付きクレーン１１５を設置して、高い位置に吊り上げる必要もない。そのために、搬送ロボット１０６が大型化しても、天井の高さの制限を受けて吊り上げられない場合がなくなる。また、スライド付きクレーン１１５を必要としないので、設備費も低減できる。さらに、重量の重い搬送ロボット１０６を吊り上げる必要がないので安全上も好ましい。
【００４４】
また、特定のカセットステージ５ａだけが分離できるようにしてもよく、この場合は、従来の搬送装置１０４からの変更点が少なくて済むという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  当該出願に係る発明の特徴を最もよく表す図である。
【図２】  基板処理工程の設備例を示す平面図である。
【図３】  搬送ロボット１０６を用いてカセットステージ１０５の上にあるカセット１０２内の基板１１４を取り出すときの説明図である。
【図４】  従来技術１の搬送装置の概略平面図である。
【図５】  従来技術２の搬送装置の概略平面図である。
【図６】  従来技術２の搬送ロボット１０６の移転方法例を示した搬送ロボット設置ステージ１０７の縦断側面図である。
【図７】  本発明の実施例１の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。
【図８】  本発明の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１から搬送ロボット１０６を移転する方法を示す説明図である。
【図９】  本発明の搬送ロボット設置ステージ７の概略側面図である。
【図１０】  本発明のカセットステージ５の移動機構を示す側面図である。
【図１１】  本発明の実施例２の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。
【図１２】  本発明の実施例３の搬送ロボット移転対応型搬送装置４１を示す平面図である。
【符号の説明】
５      カセットステージ
５ａ乃至５ｄ  カセットステージ
７      搬送ロボット設置ステージ
１０    フレーム
１１    ロボット搬入出装置／ハンドリフター
１２    ハンドリフター１１の昇降フォーク部
１３    ハンドリフター１１の昇降ハンドル
１４    キャスター
１５    レベルアップアジャスター
１６    レベルアップアジャスター１５のねじ部
４１    （本発明に係る）搬送ロボット移転対応型搬送装置
５１    （本発明に係る）着脱自在型カセットステージ
１００  クリーンルーム
１０１  カセットストック場所
１０２  カセット
１０３  搬送台車
１０４  搬送装置
１０５  （従来の）固定型カセットステージ
１０６  搬送ロボット
１０７  搬送ロボット設置ステージ
１０８  基板処理装置
１１０  ベース機構
１１１  昇降機構
１１２  アーム機構
１１２ａ  第１のアーム
１１２ｂ  第２のアーム
１１３  ハンド部材
１１４  基板
１１５  スライド機構付きクレーン
Ｌ      搬送ロボット設置ステージ１０７の左側面
Ｒ      搬送ロボット設置ステージ１０７の右側面
ＯＰＥ  作業領域
ＯＵＴ  退避領域
ＴＲ    ロボット搬入出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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