(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象の回路基板における複数の導体パターンに接触型のプローブを順次接触させて当該各導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定する静電容量測定方法であって、
前記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実行した後に、
前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、
前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該検出された群に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査する短絡検査処理とを実行し、
前記短絡検査処理によって短絡が検出された前記導体パターンについての前記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴とする静電容量測定方法。
【請求項２】
検査対象の回路基板における各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して接触型のプローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、
請求項１記載の静電容量測定方法によって測定された前記各正規な対電極間静電容量を基準データとして、前記検査対象の回路基板についての前記保存した対電極間静電容量が、対応する前記基準データに対して所定範囲内のときに当該導体パターンに断線および短絡が生じていないと判別することを特徴とする回路基板検査方法。
【請求項３】
接触型のプローブと、測定対象の回路基板における複数の導体パターンの各々に前記プローブを接触させた状態で当該各導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定すると共に当該測定した対電極間静電容量に基づいて検査対象の回路基板を検査する制御部とを備えた回路基板検査装置であって、
前記制御部は、前記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実行した後に、
前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、
かつ、前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該検出された群に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査する短絡検査処理とを実行し、当該短絡検査処理によって短絡が検出された前記導体パターンについての前記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴とする回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象の回路基板における複数の導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定する静電容量測定方法、測定した対電極間静電容量に基づいて回路基板を検査する回路基板検査方法および回路基板検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の静電容量測定方法として、図４に示す手順で静電容量を測定する静電容量測定方法が従来から知られている。この静電容量測定方法は、例えば図２に示す回路基板検査装置４１による回路基板検査処理で実施されている。この場合、回路基板検査装置４１は、絶縁フィルム２ａが貼付された電極２ｂを有する電極部２、検査用プローブ３，４、移動機構５ａ，５ｂ、制御部４６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成されている。一方、検査対象の回路基板Ｐは、図３に示すように、ガラスエポキシ系基材の表面に複数の導体パターンＣＰ1 ，ＣＰ2 ，・・・（以下、特に区別しないときには「導体パターンＣＰ」ともいう）が形成されて構成されている。また、各導体パターンＣＰにおける各端点には、同図に示すように、ランドが形成され、このランドは、測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 ，・・・（以下、特に区別しないときには「測定ポイントＴＰ」ともいう）として機能する。
【０００３】
次に、回路基板検査装置４１の動作について図２〜図４を参照して説明する。まず、導体パターンＣＰの形成面を上向きにして回路基板Ｐを電極部２における電極２ｂの上に載置する。次に、制御部４６が、移動機構５ａ，５ｂを制御してプローブ固定具３ａ，４ａに取り付けられた検査用プローブ３，４を回路基板Ｐの導体パターンＣＰ1 における測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 にそれぞれ接触させる（ステップ５０）。次いで、制御部４６が、検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントＴＰ1 における導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣTC1 、および測定ポイントＴＰ2 における導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣTC2 をオートレンジ測定でそれぞれ仮測定する。この場合、対電極間静電容量を正確に測定するためには、測定される対電極間静電容量に適した測定レンジを選択する必要がある。つまり、例えば測定レンジの上限値や下限値の近傍まで達する対電極間静電容量をその測定レンジで正確に測定するのは困難となる。このため、仮測定した各対電極間静電容量ＣTC1 ，ＣTC2 （以下、区別しないときには、「対電極間静電容量ＣTC」ともいう）に適した測定レンジを選択して設定する（ステップ５１）。より具体的には、例えば、対電極間静電容量ＣTC1 をフルスケール２０ｐＦの測定レンジで仮測定して３ｐＦを得た際には、３ｐＦを正確に測定するのに最も適したフルスケール１０ｐＦの測定レンジを選択して設定する。
【０００４】
次に、制御部４６は、移動機構５ａ，５ｂを制御して検査用プローブ３，４を上動させて各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 から若干離間させ、この状態で検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントＴＰ1 での浮遊容量ＣS1、および測定ポイントＴＰ2 での浮遊容量ＣS2を設定した測定レンジでそれぞれ測定してＲＡＭ７に記憶させる（ステップ５２）。このステップ５２による測定処理により、検査用プローブ３，４やプローブ固定具３ａ，４ａに起因する浮遊容量が測定される。次に、制御部４６は、移動機構５ａ，５ｂを制御して検査用プローブ３，４を各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 に再度接触させ、検査信号としての交流電圧を順次出力することにより、測定ポイントＴＰ1 における導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣPR1 、および測定ポイントＴＰ2 における導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量ＣPR2 （以下、区別しないときには「対電極間静電容量ＣPR」ともいう）をそれぞれステップ５１において設定した測定レンジで測定する（ステップ５３）。次いで、制御部４６は、測定した各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 における各対電極間静電容量ＣPR1 ，ＣPR2 から各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 における各浮遊容量ＣS1，ＣS2（以下、区別しないときには、「浮遊容量ＣS 」ともいう）を差し引き、この差分容量を浮遊容量の影響を排除した各測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 における正規の対電極間静電容量ＣTP1 ，ＣTP2 としてＲＡＭ７に記憶させる（ステップ５４）。制御部４６は、導体パターンＣＰ1 における残りの測定ポイントＴＰ3 に対しても上記各ステップ５０〜５４を実施し、対電極間静電容量ＣTP3 を算出してＲＡＭ７に記憶させる。
【０００５】
制御部４６は、すべての測定ポイントＴＰにおける対電極間静電容量ＣTPを測定したか否かを判断し（ステップ５５）、未測定の測定ポイントが存在するときには上記各ステップ５０〜５４を繰り返し実施して、他の導体パターンＣＰに規定された各測定ポイントＴＰにおける対電極間静電容量ＣTPを順次測定しＲＡＭ７に記憶させる。次に、制御部４６は、ステップ５５においてすべての測定ポイントＴＰの対電極間静電容量ＣTPを測定したと判断したときには、ＲＡＭ７に記憶させた各対電極間静電容量ＣTPに基づき、各導体パターンＣＰ毎に、その導体パターンＣＰ内の各測定ポイントＴＰにおける対電極間静電容量ＣTP，ＣTP同士を比較し、対電極間静電容量ＣTPが異なる導体パターンＣＰが存在するか否かを判別する（ステップ５６）。この場合、図３に示す導体パターンＣＰ2 のように断線箇所が存在しないときには、各測定ポイントＴＰ4 〜ＴＰ6 における各対電極間静電容量ＣTP4 〜ＣTP6 は互いに同一または近似する容量値となる。一方、導体パターンＣＰ1 のように断線箇所Ｂが存在するときには、測定ポイントＴＰ2 における対電極間静電容量ＣTP2 が、本来的には同一の容量となるべき他の測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ3 における対電極間静電容量ＣTP1 ，ＣTP3 とは異なる値となる。このため、制御部４６は、ステップ５６において、同一の導体パターンＣＰにおける各測定ポイントＴＰの各対電極間静電容量ＣTPが互いに異なるときには、この導体パターンＣＰに対して断線検査を実施して、断線箇所を特定する（ステップ５７）。具体的には、移動機構５ａ，５ｂを制御して一方の検査用プローブ３をその対電極間静電容量ＣTPが他の対電極間静電容量ＣTPと異なる測定ポイントＴＰに接触させると共に、他方の検査用プローブ４を残りの測定ポイントＴＰに順次接触させつつ両検査用プローブ３，４間の抵抗値を測定することにより、断線箇所を特定して断線箇所情報をＲＡＭ７に記憶させる。
【０００６】
次いで、ステップ５６において、対電極間静電容量ＣTPが異なる導体パターンＣＰがなかったとき、およびステップ５７の断線検査を終了したときには、制御部４６は、ＲＡＭ７に記憶させた各対電極間静電容量ＣTPに基づき、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パターンＣＰの群の有無を検出する（ステップ５８）。この際に、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パターンＣＰの群を検出したときには、その導体パターンＣＰ，ＣＰ間に、図３に示すような短絡箇所Ａが存在する可能性がある。このため、制御部４６は、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パターンＣＰ，ＣＰ間の短絡検査を実施する（ステップ５９）。具体的には、移動機構５ａ，５ｂを制御して対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する一対の導体パターンＣＰ，ＣＰに検査用プローブ３，４をそれぞれ接触させ、両導体パターンＣＰ，ＣＰ間の抵抗値を測定することにより、短絡箇所の有無を特定する。次いで、短絡箇所が存在するときには、短絡箇所情報（短絡の有無の情報）をＲＡＭ７に記憶させる。一方、ステップ５８において、対電極間静電容量ＣTPが互いに近似する導体パターンＣＰの群が検出されないときには、この静電容量測定処理を終了する。
【０００７】
この回路基板検査装置４１による静電容量測定方法によれば、断線した導体パターンＣＰ、およびこの断線した導体パターンＣＰの断線箇所を検出し、かつ他の導体パターンＣＰに短絡している導体パターンＣＰを検出しつつ、正常な導体パターンＣＰについての対電極間静電容量ＣTPの測定および記憶が可能となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の静電容量測定方法には、以下の問題点がある。すなわち、従来の静電容量測定方法では、すべての測定ポイントＴＰにおいて、適正な測定レンジを選択するために対電極間静電容量ＣTCを測定した後に浮遊容量ＣS を測定し、その上で、さらに対電極間静電容量ＣPRを測定して正規な対電極間静電容量ＣTPを算出する必要がある。したがって、各測定ポイントＴＰにおいて、少なくとも２回は検査用プローブ３（または４）を測定ポイントＴＰに対して接離動（上下動）させる必要がある。この場合、検査用プローブ３（または４）の上下動は、検査用プローブ３に対する加速やブレーキの制御を行う関係上、ある程度長いタクトタイムを必要とする。したがって、すべての導体パターンＣＰにおけるすべての測定ポイントＴＰについての対電極間静電容量ＣTPを測定するために膨大な時間を要するという問題点がある。また、導体パターンＣＰに断線が存在していた場合には、その導体パターンＣＰ上の各測定ポイントＴＰに対する対電極間静電容量ＣTPの測定が無駄となる。このため、測定効率が低下しているという問題点もある。
【０００９】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、短時間で効率よく導体パターンの静電容量を測定し得る静電容量測定方法を提供することを主目的とする。また、短時間で効率よく回路基板を検査し得る回路基板検査方法および回路基板検査装置を提供することを他の目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載の静電容量測定方法は、測定対象の回路基板における複数の導体パターンに接触型のプローブを順次接触させて当該各導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定する静電容量測定方法であって、前記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実行した後に、前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該検出された群に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査する短絡検査処理とを実行し、前記短絡検査処理によって短絡が検出された前記導体パターンについての前記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の回路基板検査方法は、検査対象の回路基板における各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して接触型のプローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、請求項１記載の静電容量測定方法によって測定された前記各正規な対電極間静電容量を基準データとして、前記検査対象の回路基板についての前記保存した対電極間静電容量が、対応する前記基準データに対して所定範囲内のときに当該導体パターンに断線および短絡が生じていないと判別することを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の回路基板検査装置は、接触型のプローブと、測定対象の回路基板における複数の導体パターンの各々に前記プローブを接触させた状態で当該各導体パターンと基準電極との間の対電極間静電容量を測定すると共に当該測定した対電極間静電容量に基づいて検査対象の回路基板を検査する制御部とを備えた回路基板検査装置であって、前記制御部は、前記各導体パターンの断線を検査する断線検査処理を実行した後に、前記断線検査処理において断線が検出されなかった前記各導体パターン毎に、当該導体パターンに対して前記プローブを離間した状態で配置させて当該プローブと前記基準電極との間の第１の対電極間静電容量を測定する第１の容量測定処理と、前記プローブを離間した状態から前記導体パターン上の１つの測定ポイントに接触させて当該導体パターンと前記基準電極との間の第２の対電極間静電容量を測定する第２の容量測定処理と、前記測定した第２の対電極間静電容量と前記第１の対電極間静電容量との差分容量を当該導体パターンに対応する前記対電極間静電容量として保存する測定結果保存処理とを実行し、かつ、前記保存した対電極間静電容量同士が近接する前記導体パターンの群を検出する検出処理と、当該検出された群に属する前記導体パターン同士間の短絡を検査する短絡検査処理とを実行し、当該短絡検査処理によって短絡が検出された前記導体パターンについての前記対電極間静電容量を除いて前記保存した対電極間静電容量を正規な前記対電極間静電容量とすることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る静電容量測定方法、回路基板検査方法および回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、従来の回路基板検査装置４１と同一の構成要素、および検査対象の回路基板Ｐについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【００１４】
最初に、本発明を適用した回路基板検査装置１の構成について、図２を参照して説明する。
【００１５】
同図に示すように、回路基板検査装置１は、電極部２、検査用プローブ３，４、移動機構５ａ，５ｂ、制御部６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備えて構成されている。電極部２は、その表面に絶縁フィルム２ａが貼付された平板状の電極２ｂを有し検査対象の回路基板Ｐを載置可能に構成されている。検査用プローブ３，４は、接触型プローブであって、プローブ固定具３ａ，４ａを介して移動機構５ａ，５ｂに取り付けられた状態で電極部２の上方に配設されている。制御部６は、電極部２および検査用プローブ３，４を用いての回路基板Ｐに対する検査処理や、移動機構５ａ，５ｂの駆動制御などを実行する。ＲＡＭ７は、導体パターンＣＰ毎の測定ポイントＴＰの位置データ、測定した浮遊容量ＣS 、測定した対電極間静電容量ＣTP、検出した断線箇所や短絡箇所の情報、および制御部６の演算結果などを一時的に記憶する。ＲＯＭ８は、制御部６の動作プログラムを記憶する。
【００１６】
次に、回路基板検査装置１の動作について、図１を参照して説明する。なお、回路基板検査装置４１と同一の動作については、その旨を記載して重複する説明は省略する。
【００１７】
まず、導体パターンＣＰ1 ，ＣＰ2 の形成面を上向きにして回路基板Ｐを電極部２の上に載置する。
【００１８】
次に、制御部６が、図１に示す静電容量測定処理を開始する。この処理では、制御部６は、移動機構５ａ，５ｂを制御してプローブ固定具３ａ，４ａに取り付けられた検査用プローブ３，４を回路基板Ｐの導体パターンＣＰ1 の上方に移動させ、この導体パターンＣＰ1 に対する断線検査を実施する（ステップ３０：断線検査処理）。具体的には、制御部６は、検査用プローブ３を図３に示す測定ポイントＴＰ1 に接触させると共に、検査用プローブ４を測定ポイントＴＰ2 および測定ポイントＴＰ3 に順次接触させ、測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ2 間、測定ポイントＴＰ1 ，ＴＰ3 間に検査信号としての交流電圧（または直流電圧）を出力することにより、各測定ポイントＴＰ，ＴＰ間の抵抗値を測定して導体パターンＣＰ1 に対する断線を検査する。
【００１９】
ステップ３０において、図３に示すような断線箇所Ｂが導体パターンＣＰ1 に存在しないと判別したときには、制御部６は、移動機構５ａ，５ｂを制御して検査用プローブ３，４のいずれか一方（一例として検査用プローブ４）を上動させると共に１つの測定ポイントＴＰ（一例として測定ポイントＴＰ1 ）にいずれか他方の検査用プローブ（一例として検査用プローブ３）の接触を維持する。次いで、検査用プローブ３を介して検査信号としての交流電圧を出力することにより、導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の仮の対電極間静電容量ＣTC1 を仮測定する。続いて、制御部６は、測定した対電極間静電容量ＣTC1 に基づいて、この導体パターンＣＰ1 の測定ポイントＴＰでの容量測定に適した測定レンジを選択して設定する（ステップ３１）。次に、制御部６は、移動機構５ａを制御して検査用プローブ３を測定ポイントＴＰ1 から若干離間（上動）させ、この状態で検査信号としての交流電圧を出力することにより、測定ポイントＴＰ1 での浮遊容量（本発明における第１の対電極間静電容量に相当する）ＣS1を測定してＲＡＭ７に記憶させる（ステップ３２：第１の容量測定処理）。これにより、その位置での検査用プローブ３やプローブ固定具３ａに起因する浮遊容量が測定される。
【００２０】
次に、制御部４６は、移動機構５ａを制御して検査用プローブ３を測定ポイントＴＰ1 に再度接触させ、検査信号としての交流電圧を出力することにより、測定ポイントＴＰ1 での導体パターンＣＰ1 と電極２ｂとの間の対電極間静電容量（本発明における第２の対電極間静電容量に相当する）ＣPR1 をステップ３１で設定した測定レンジを使用して測定する（ステップ３３：第２の容量測定処理）。次いで、制御部４６は、対電極間静電容量ＣPR1 から浮遊容量ＣS1を差し引き、この差分（ＣPR1 −ＣS1）を浮遊容量の影響を排除した導体パターンＣＰ1 についての正規な対電極間静電容量ＣCP1 としてＲＡＭ７に記憶（保存）させる（ステップ３４：測定結果保存処理）。この後、制御部４６は、すべての導体パターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCP1 ，ＣCP2 ・・（以下、区別しないときには、「対電極間静電容量ＣCP」ともいう）を測定したか否かを判別し（ステップ３５）、他の導体パターンＣＰに対しても上記各ステップ３０〜３４を実施して、各対電極間静電容量ＣCPを順次測定してＲＡＭ７に記憶させる。この場合、ステップ３０の断線検査において、断線箇所が導体パターンＣＰに存在すると判別したときには、制御部６は、断線箇所情報をＲＡＭ７に記憶し、この導体パターンＣＰに対するステップ３１〜３４の処理を行わずに、ステップ３５に移行する。なお、ステップ３０の断線検査において断線箇所が存在すると判別した導体パターンＣＰが１つでも存在するときには、その回路基板Ｐに対するすべての測定処理を終了して他の回路基板Ｐに対してこの静電容量測定処理を実行してもよい。
【００２１】
次に、制御部６は、ステップ３５においてすべての導体パターンＣＰの対電極間静電容量ＣCPを測定したと判別したときには、ＲＡＭ７に記憶させた各対電極間静電容量ＣCPに基づき、対電極間静電容量ＣCP同士が互いに近似する導体パターンＣＰ，ＣＰ・・の群の有無を検出する（ステップ３６：検出処理）。この処理において、対電極間静電容量ＣCP同士が互いに近似する導体パターンＣＰの群が検出されたときには、その導体パターンＣＰ，ＣＰ間（または３以上の導体パターンＣＰ，ＣＰ，ＣＰ間）に、例えば、図３に示すような短絡箇所Ａが存在する可能性がある。このため、制御部６は、検出された群に属する導体パターンＣＰ，ＣＰ同士の短絡を検査する（ステップ３７：短絡検査処理）。具体的には、移動機構５ａ，５ｂを制御して検査用プローブ３，４を対電極間静電容量ＣCPが互いに近似する導体パターンＣＰ，ＣＰに接触させ、両導体パターン間の抵抗値を測定することにより、短絡箇所の有無を判別すると共に、短絡箇所が存在するときにはその箇所を特定し、その短絡箇所情報をＲＡＭ７に記憶させる。一方、ステップ３６において、対電極間静電容量ＣCPが互いに近似する導体パターンＣＰの群が検出されないときには、この静電容量測定処理を終了する。以上の処理を実行することにより、回路基板Ｐについての正常な導体パターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCPの測定が完了すると共に、この回路基板に対する断線箇所や短絡箇所の有無に関する回路基板検査が完了する。
【００２２】
次に、同種の回路基板Ｐを検査する際には、まず、検査対象の回路基板Ｐを導体パターンＣＰ1 ，ＣＰ2 の形成面を上向きにして電極部２の上に載置する。次いで、制御部６が、図１に示す静電容量測定処理のうちの対電極間静電容量ＣPRの測定処理（ステップ３３）と、このステップ３３によって測定された対電極間静電容量ＣPRおよび上記した静電容量測定処理によって予め測定されている導体パターンＣＰ毎の浮遊容量ＣS に基づく対電極間静電容量ＣCPの算出処理（ステップ３４）とを各導体パターンＣＰ毎に繰り返し実行する。この場合、対電極間静電容量ＣPRの測定処理（ステップ３３）では、静電容量測定処理において使用した測定レンジと同じ測定レンジで対電極間静電容量ＣPRを測定する。また、回路基板Ｐ上のすべての導体パターンＣＰの各々に対して、上記した静電容量測定処理のステップ３３で測定した測定ポイントＴＰと同じ測定ポイントＴＰについての対電極間静電容量ＣCPを測定してＲＡＭ７に保存する。次に、制御部６は、既にＲＡＭ７に記憶されている対電極間静電容量ＣCPを基準データとして、検査対象の回路基板Ｐについて保存した対電極間静電容量ＣCPが、対応する基準データに対して所定範囲内（例えば、±１０％以内）のときに、その導体パターンＣＰに断線および短絡が存在しないと判別する（判別処理）。この判別処理をすべての導体パターンＣＰに対して行うことにより、検査対象の回路基板Ｐについての回路基板検査処理が完了する。
【００２３】
このように、この静電容量測定方法によれば、１つの導体パターンＣＰに対して、対電極間静電容量ＣCPを測定するために適した測定レンジを選択するための対電極間静電容量ＣTCの測定、浮遊容量ＣS の測定、対電極間静電容量ＣTPの再測定、および対電極間静電容量ＣCPの算出処理をそれぞれ１回ずつ行うだけで対電極間静電容量ＣCPを測定することができる。したがって、各測定ポイントＴＰのすべてに対して、上記の各処理をそれぞれ１回ずつ行う必要がある従来の静電容量測定方法と比較して、極めて短時間ですべての対電極間静電容量ＣCPを測定することができる。具体的には、比較的短時間で終了する断線検査処理（ステップ３０）に要する時間を無視し、１つの導体パターンＣＰに平均４つの測定ポイントＴＰが存在するとした場合、対電極間静電容量ＣCPについての測定時間を１／４に短縮することができる。また、各導体パターンＣＰに対して、対電極間静電容量ＣCPの測定に先立って断線検査処理（ステップ３０）を行うことにより、断線箇所が存在する導体パターンＣＰについての対電極間静電容量ＣCPの無駄な測定を回避することができる。このため、その分、測定効率を向上させることができる。さらに、対電極間静電容量ＣCPを短時間で測定できる結果、回路基板Ｐに対する基板検査を短時間で行うことができ、これにより、回路基板Ｐについての検査コストを低減することができる。
【００２４】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実施の形態では、本発明における静電容量測定方法を回路基板検査装置の検査処理に適用した例について説明したが、単に静電容量の測定を行う静電容量測定装置に適用することもできる。また、本発明の実施の形態では、基準電極として電極部２の電極２ｂを用いた静電容量測定の例について説明したが、例えば、検査対象の回路基板Ｐにおいて広い面積を有するグランドパターンや電源パターンなどを基準電極として用いることもできる。さらに、すべての導体パターンＣＰに対する断線検査処理（ステップ３０）を対電極間静電容量ＣCPの測定（ステップ３１〜３４）に先立って一括的に行うこともできる。また、本発明の実施の形態では、対電極間静電容量ＣCPの測定精度を上げるべく測定に適した測定レンジを選択設定する例について説明したが、これに限定されない。つまり、測定に適した測定レンジを選定設定するための対電極間静電容量ＣTCの仮測定処理を省いて、上記した測定ポイントＴＰ上での測定処理（ステップ３２：第１の容量測定処理）によって測定した浮遊容量（本発明における第１の対電極間静電容量）ＣS と、その導体パターンＣＰおよび電極２ｂの間の対電極間静電容量測定処理（ステップ３３：第２の容量測定処理）によって測定された対電極間静電容量（本発明における第２の対電極間静電容量）ＣPRとに基づいて対電極間静電容量ＣCPを測定することができるのは勿論である。
【００２５】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の静電容量測定方法によれば、各導体パターン上の測定ポイントでの静電容量測定に先立って、導体パターンに対する断線検査を行うことにより、１つの導体パターンに対して、例えば、対電極間静電容量を測定するために適した測定レンジを選択するための対電極間静電容量の測定処理、第１の測定処理、第２の測定処理および測定結果保存処理をそれぞれ１回ずつ行うだけで対電極間静電容量を測定することができる。したがって、各測定ポイントのすべてに対して、上記の各処理をそれぞれ１回ずつ行う必要がある従来の静電容量測定方法と比較して、極めて短時間ですべての対電極間静電容量を測定することができる。また、各導体パターンに対して、対電極間静電容量の測定に先立って断線検査処理を行うことにより、断線箇所が存在する導体パターンについての対電極間静電容量の無駄な測定を回避することができるため、その分、測定効率を向上させることができる。
【００２６】
また、請求項２記載の回路基板検査方法および請求項３記載の回路基板検査装置によれば、対電極間静電容量を短時間で測定できる結果、回路基板に対する基板検査を短時間で行うことができ、これにより、回路基板についての検査コストを十分に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置１による静電容量測定処理を示すフローチャートである。
【図２】回路基板検査装置１および従来の回路基板検査装置４１の構成を示す構成図である。
【図３】検査対象の一例である回路基板Ｐの上面図である。
【図４】従来の回路基板検査装置４１による静電容量測定処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１  回路基板検査装置
２  電極部
３，４  検査用プローブ
５ａ，５ｂ  移動機構
６  制御部
７  ＲＡＭ
ＣＰ1 ，ＣＰ2   導体パターン
Ｐ  回路基板
ＴＰ1 〜ＴＰ6   測定ポイント
【図１】
0004663918.tif 000002
【図２】
0004663918.tif 000003
【図３】
0004663918.tif 000004
【図４】
0004663918.tif 000005