(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に対して所定の処理を実行するヘッドと、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記ヘッドの動作を制御する制御部とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
【請求項２】
基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に設けられ、前記基板にむけてペーストを吐出するディスペンサ部と、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記ディスペンサ部の動作を制御する制御部とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
【請求項３】
前記踏み台は、
前記本体からの気流を取り込む取り込み口と、
前記取り込み口から取り込まれた気流を排気する排気口とを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の表示パネル製造装置。
【請求項４】
前記本体からの気流を前記取り込み口へ導く整流板を有することを特徴とする請求項３に記載の表示パネル製造装置。
【請求項５】
基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置であって、
本体と、
前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、
前記本体に接して設けられる踏み台と、
前記踏み台内に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に形成された光硬化性の接着剤に照射する光を発する光源とを有することを特徴とする表示パネル製造装置。
【請求項６】
前記踏み台は、該踏み台内部の気流を排気する排気口を有することを特徴とする請求項５に記載の表示パネル製造装置。
【請求項７】
前記踏み台は、蓋部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の表示パネル製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像表示に用いられる表示パネルとしての液晶表示パネルは、２枚の基板の一方にペーストを塗布し、他方の基板と貼り合わせて製造される。基板にペーストを塗布する際、表示パネル製造装置は、基板ステージに基板を搭載して当該基板ステージを適宜移動させる。また、表示パネル製造装置は、ペーストを充填したシリンジと、当該シリンジに取り付けられたノズルとを有するディスペンサ部を適宜移動しつつ、当該ディスペンサ部から基板に向けてペーストを吐出する（例えば、特許文献１参照）。また、２枚の基板を貼り合わせる際、表示パネル製造装置は、基板に形成された位置決め用のマーク（アライメントマーク）をカメラ撮影によって検出し、この検出されたアライメントマークの位置によって２枚の基板の位置合わせを行い、更に基板を重ねた上で、一方の基板に形成された光硬化性接着剤の周辺に光を照射して仮固定を行う。
【特許文献１】特開２００４−２９０９７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した基板ステージや塗布ヘッドの動作は制御部によって制御される。この制御部は、従来、表示パネル製造装置の本体内や、外部の制御盤に設けられている。しかしながら、制御部が本体内に設けられる場合には、表示パネル製造装置の剛性を確保すべく、本体内には複数の柱等が設置されているため、制御部を適切な位置、具体的には、作業者が操作しやすい位置に配置することが困難である。
【０００４】
一方、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に設けられる場合には、制御盤を収容するラックの設置と、表示パネル製造装置と制御盤とを接続するケーブルを敷設する必要があり、当該敷設の作業に時間を要する。また、ケーブルの長さによっては、電圧の低下やノイズの混入によって、制御時の性能が悪化する可能性がある。更には、表示パネル製造装置と制御盤とが離れているため、これらの調整やメンテナンスを別の場所で行う必要があり、非効率である。
【０００５】
また、重ね合わされた２枚の基板を仮止めするための光硬化性接着剤に対して光を照射して硬化させる場合、その光源は、従来、表示パネル製造装置の本体内に設けられる。表示パネルの大型化によって基板に形成された光硬化性接着剤が多くなることに対応して、光源も多数必要である。また、光源の稼動時に多量の熱を発生するため、冷却ファンが必要となる。従って、本体内に光源が設置されると、本体の多くの領域を占有することとなり、結果的に表示パネル製造装置の本体が必要以上に大型化してしまう。また、冷却ファンを用いて本体内を冷却することにも限度があり、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化を招く可能性がある。
【０００６】
一方、上述した問題に対して、光源を表示パネル製造装置から離れた外付けボックス内に設けることも考えられる。しかし、この場合にも、調整やメンテナンスを別の場所で行う必要があり、非効率である上、光源からの光を表示パネル製造装置へ導く光ファイバが長くなり、光の減衰が生じる。このため、光源の照度を増加させたり、減衰量の小さい光ファイバが必要となり、コストの増加を招く。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができる表示パネル製造装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に対して所定の処理を実行するヘッドと、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記ヘッドの動作を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【０００９】
近年、表示パネルの大型化に伴って、表示パネル製造装置が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために表示パネル製造装置の本体に接して踏み台を設けることが必須となっている。本発明では、この踏み台内にヘッドを制御する制御部を設けることで、本体内に組み込まれる場合と比較して、制御部が作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。
【００１０】
本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に設けられ、前記基板にむけてペーストを吐出するディスペンサ部と、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記ディスペンサ部の動作を制御する制御部とを有することを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、踏み台内にディスペンサ部の動作を制御する制御部を設けることで、本体内に組み込まれる場合と比較して、制御部が作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部が表示パネル製造装置の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。
【００１２】
また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、前記本体からの気流を取り込む取り込み口と、前記取り込み口から取り込まれた気流を排気する排気口とを有するようにしてもよい。
【００１３】
この構成によれば、本体からの気流によって踏み台内を冷却することが可能となる。
【００１４】
また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記本体からの気流を前記取り込み口へ導く整流板を有するようにしてもよい。
【００１５】
この構成によれば、本体からの気流を取り込み口に導いて、制御部を適切に冷却することが可能となる。
【００１６】
本発明に係る、基板からなる表示パネルを製造する表示パネル製造装置は、本体と、前記本体に設けられ、前記基板が搭載される基板ステージと、前記本体に接して設けられる踏み台と、前記踏み台内に設けられ、前記基板ステージに搭載された基板に形成された光硬化性の接着剤に照射する光を発する光源とを有することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、表示パネル製造装置に接して設けられる踏み台内に光源を設けることで、光源が表示パネル製造装置の本体内に設けられる場合と比較して、表示パネル製造装置の本体が必要以上に大型化したり、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化が抑制される。また、光源が表示パネル製造装置から離れた外部に設けられる場合と比較して、コストの増加が抑制される。
【００１８】
また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、該踏み台内部の気流を排気する排気口を有するようにしてもよい。
【００１９】
この構成によれば、踏み台内の気体を放出させることが可能となる。
【００２０】
また、本発明に係る表示パネル製造装置は、前記踏み台が、蓋部を有するようにしてもよい。
【００２１】
この構成によれば、踏み台内の制御部や光源のメンテナンス性を向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、表示パネルの大型化に伴って、表示パネル製造装置の本体に接して踏み台を設けることが必須となっていることに鑑み、この踏み台内に制御部や光源を設置することで、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができる表示パネル製造装置を大型の表示パネルの製造に適した構成とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。
【００２４】
まず、ガラス基板にペーストを塗布する表示パネル製造装置について説明する。図１は、本発明に係る表示パネル製造装置を適用したペースト塗布システムの実施の形態を示す平面図である。図１に示すペースト塗布システム１０は、表示パネルとしての液晶表示パネルの製造に際して、ガラス基板５０に液晶封止用のペーストを塗布するものである。ペースト塗布システム１０は、本発明の表示パネル製造装置を構成する塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４と、基板受け渡し機構３０と、搬送ロボット４０とにより構成される。
【００２５】
ペースト塗布の対象となるガラス基板５０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置される。搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０の延在方向（図１における方向Ａ）に移動可能であり、更に、図１における方向Ｂに回転可能である。この搬送ロボット４０は、基板受け渡し機構３０における上流端３２に配置されたガラス基板５０を搬送し、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４に随時配置する。
【００２６】
塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４は、配置されたガラス基板５０の表面にペーストを塗布する。ペースト塗布は、搬送ロボット４０によるガラス基板５０の搬送等と比較して時間を要するため、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４が並列的に稼動することにより、時間短縮を図り、生産性を向上させることができる。
【００２７】
ガラス基板５０にペーストが塗布された後、搬送ロボット４０は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４からペースト塗布後のガラス基板５０を随時取り出して搬送し、後段の貼り合わせ工程等へ送り出すべく、基板受け渡し機構３０における下流端３４に配置する。このような一連の動作によって、ガラス基板５０の表面にペーストが塗布される。
【００２８】
図２は、塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４（以下、これら塗布ユニット２０−１、２０−２、２０−３及び２０−４をまとめて、適宜「塗布ユニット２０」と称する）の斜視図である。
【００２９】
図２に示す塗布ユニット２０は、本体としての筐体２２、本体としてのカバー２３、及び、踏み台２４を有する。踏み台２４は、表示パネルの大型化に伴う塗布ユニット２０の大型化によって、作業者が当該塗布ユニット２０の調整やメンテナンスを行うことが困難となることに鑑み、これら調整やメンテナンスを容易に行うべく、筐体２２と接するように設けられている。
【００３０】
筐体２２上には、ディスペンサ部１１２、レーザセンサ１１３、コラム１１４、基板ステージ１１５及びカメラ１１６が設けられている。これらのうち、ディスペンサ部１１２は、ペーストを充填するシリンジと、当該シリンジに充填されたペーストを先端から吐出するノズルとにより構成される。カバー２３は、筐体２２上に設けられたコラム１１４や基板ステージ１１５等の部材を覆う。
【００３１】
ディスペンサ部１１２、レーザセンサ１１３及びカメラ１１６は、一体となってヘッド１１０を構成しており、コラム１１４に対して図２に示すＺ方向に移動可能に取り付けられている。なお、ヘッド１１０は、コラム１１４に２つ設けられる。このようなヘッド１１０は、基板５０に対して所定の処理としてのペーストの塗布を実行する。基板ステージ１１５は、ＸＹθ移動装置１１８によって、図２のＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、θ方向に微小回転可能である。図１に示す搬送ロボット４０によって搬送されてきたガラス基板５０は、基板ステージ１１５の上面に真空吸着される。カメラ１１６は、基板ステージ１１５内に設けられ、当該基板ステージ１１５に搭載されたガラス基板５０に形成されている位置決め用のマーク（アライメントマーク）５１を撮像する。
【００３２】
一方、踏み台２４内には、制御部１２０が設けられている。また、踏み台２４には制御部１２０のメンテナンスを容易にすべく、蓋部としての扉２５が設けられている。制御部１２０は、作業者の指示等に応じて、上述したディスペンサ部１１２及び基板ステージ１１５の動作と、カメラ１１６を制御する。
【００３３】
具体的には、ペースト塗布に先立って、制御部１２０は、カメラ１１６に、ガラス基板５０に形成されたアライメントマーク５１を撮像させる制御を行う。更に、制御部１２０は、カメラ１１６の撮像画像に基づいてアライメントマーク５１の位置を検出し、ガラス基板５０の表面においてペーストを塗布すべき位置を、当該アライメントマーク５１からの相対位置によって特定する。
【００３４】
ペーストを塗布すべき位置を特定した後、制御部１２０は、ディスペンサ部１１２に、直下に配置されたガラス基板５０の表面に向けてノズルの先端からペーストを吐出させる制御を行う。ペースト塗布時には、制御部１２０は、基板ステージ１１５を、適宜、図２のＸ方向及びＹ方向に移動させる制御を行う。
【００３５】
更に、制御部１２０は、レーザセンサ１１３の測定値に基づいて、ノズルの先端とガラス基板５０の表面との間の距離を検出する。この検出値が予め定められた所定範囲内でない場合には、ガラス基板５０に塗布されるペーストの断面積が所望の断面積でなくなる可能性が高い。このため、制御部１２０は、レーザセンサ１１３によって得られた測定値に基づいて、ディスペンサ部１１２を有するヘッド１１０を、図２のＺ方向に移動させることにより、ノズルの先端とガラス基板５０の表面との間の距離が所定範囲内となるように制御を行う。
【００３６】
図３は、塗布ユニット２０の踏み台２４の近傍の外観斜視図、図４は、塗布ユニット２０の踏み台２４近傍の側面から見た内部構成を示す図である。図３及び図４に示すように、本体の踏み台２４と接する側に対応するカバー２３の側面には孔部２６が形成されている。また、踏み台２４の上面には取り込み口としての孔部２７が形成されている。更には、踏み台２４の下面における制御部１２０が設置されている側には排気口としての孔部２８が形成され、制御部１２０が設置されていない側には排気口としての孔部２９が形成されている。更に、孔部２６の出口側（カバー２３の外側面）には、整流板２６ａが設けられ、カバー２３内から孔部２６を通って流出した気体を下側へ流すようになっている。
【００３７】
カバー２３の上方からカバー２３内に供給された清浄な気体の気流は、孔部２６から外部へ流れ出す。この気流は、整流板２６ａによって下側に流れ方向が変えられ、図４の矢印６１に沿って、踏み台２４に形成された孔部２７から踏み台２４内に流れ込む。この踏み台２４内に流れ込んだ気流の一部は、矢印６２に沿って踏み台２４内を流れ、制御部１２０を介して孔部２８から踏み台２４の外部へ流れ出す。また、他方の気流は、矢印６３に沿って踏み台２４内を流れ、孔部２９から踏み台２４の外部へ流れ出す。
【００３８】
このように、本実施形態では、表示パネルの大型化に伴って、塗布ユニット２０が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために塗布ユニット２０の本体に接して踏み台２４を設けることが必須となっていることに鑑み、当該踏み台２４内に、基板ステージ１１５やディスペンサ部１１２の動作を制御する制御部１２０が設けられている。これにより、制御部１２０が本体内に組み込まれる場合と比較して、作業者の操作しにくい位置に配置されることがない。また、制御部１２０が塗布ユニット２０の外部の制御盤に組み込まれる場合と比較して、ケーブル敷設が不要であり、更には、制御時の性能が悪化することや、調整やメンテナンスが非効率となることが抑制される。また、カバー２３内に供給される清浄な気体の気流を、踏み台２４内に流れ込ませることによって、踏み台２４内、特に、制御部１２０を冷却することが可能となる。
【００３９】
次に、ガラス基板を貼り合わせる表示パネル製造装置について説明する。図５は、貼り合わせユニット２１の正面から見た内部構成を示す図である。また、図６は、踏み台部分の内部構成を示す断面平面図である。
【００４０】
図５に示す貼り合わせユニット２１は、本体としての筐体７２、本体としてのカバー７３、及び、踏み台７４を有する。踏み台７４は、表示パネルの大型化に伴う貼り合わせユニット２１の大型化によって、作業者が当該貼り合わせユニット２１の調整やメンテナンスを行うことが困難となることに鑑み、これら調整やメンテナンスを容易に行うべく、筐体７２と接するように設けられている。
【００４１】
筐体７２上には、基板ステージ１２５、カメラ１２６、ヘッド１３０、支持部１３２及びコラム１３３が設けられている。
【００４２】
基板ステージ１２５は、図６のＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、θ方向に微小回転可能である。基板ステージ１２５上には不図示の搬送ロボットによって、下側ガラス基板５２が供給される。
【００４３】
ヘッド１３０は、支持部１３２によって支持される。支持部１３２は、コラム１３３に、ヘッド１３０が図５のＺ方向に移動可能なように取り付けられている。ヘッド１３０には、不図示の搬送ロボットによって、上側ガラス基板５４が供給される。ヘッド１３０に内蔵される吸着機構（不図示）は、このヘッド１３０に供給された上側ガラス基板５４を吸着保持する。このようなヘッド１３０は、基板ステージ１２５に供給された下側ガラス基板５２に対して所定の処理として上側ガラス基板５４を重ね合わせる処理を実行する。
【００４４】
図７は、下側ガラス基板５２の上面、換言すれば、上側ガラス基板５４と対向する面を示す図である。図７に示すように、下側ガラス基板５２の上面には、アライメントマーク５１−ｄと、重ね合わされた２枚のガラス基板５２及び５４を仮固定するための光硬化性の接着剤である紫外線（ＵＶ）硬化性接着剤５３と、液晶封止用の矩形枠状のペーストのパターン５７とが形成されている。
【００４５】
一方、図８は、上側ガラス基板５４の下面、換言すれば、下側ガラス基板５２と対向する面を示す図である。図８に示すように、上側ガラス基板５４の下面には、アライメントマーク５１−ｕが形成されている。
【００４６】
カメラ１２６は、基板ステージ１２５内に設けられ、当該基板ステージ１２５に吸着している下側ガラス基板５２に形成されているアライメントマーク５１−ｄと、ヘッド１３０に吸着している上側ガラス基板５４に形成されているアライメントマーク５１−ｕとを撮像する。カメラ１２６によって、アライメントマーク５１−ｄとアライメントマーク５１−ｕとが撮像されると、これらアライメントマーク５１−ｄとアライメントマーク５１−ｕとの相対位置に基づいて、下側ガラス基板５２と上側ガラス基板５４との貼り合わせ時の位置が調整される。
【００４７】
下側ガラス基板５２と上側ガラス基板５４との位置が適正に調整された後、ヘッド１３０は、下面に上側ガラス基板５４を吸着した状態で下降する。これにより、基板ステージ１２５の上面に吸着している下側ガラス基板５２と、ヘッド１３０の下面に吸着している上側ガラス基板５４とが重ねられる。
【００４８】
一方、踏み台７４内には、光源であるＵＶランプ１４０と、当該ＵＶランプ１４０に対応する冷却ファン１４２とからなる照射ユニット１４３が設けられている。本実施形態では、図７に示すように、下側ガラス基板５２に６つのＵＶ硬化性接着剤５３が形成されていることに対応して、踏み台７４内には、６つの照射ユニット１４３が設けられている。また、踏み台７４には、ＵＶランプ１４０の交換等を容易にすべく、蓋部としての扉７５が設けられている。更には、踏み台７４には、各照射ユニット１４３に対応して、踏み台７４内の気体を排気する排気口としての孔部１４５が形成されている。なお、冷却ファン１４２は、孔部１４５に対向して配置される。従って、冷却ファン１４２は、ＵＶランプ１４０の点灯によって加熱された踏み台７４内の気体を、孔部１４５を介して吸引排気する。
【００４９】
ＵＶランプ１４０には、本体内に向かう光ファイバ１４４が接続されている。このＵＶランプ１４０は、下側ガラス基板５２と、ヘッド１３０の下面に吸着している上側ガラス基板５４とが重ねられた状態で、光ファイバ１４４を介して、下側ガラス基板５２の上面に形成されたＵＶ硬化性接着剤５３に向けてＵＶ光を照射する。これにより、ＵＶ硬化性接着剤５３が硬化し、下側ガラス基板５２と上側ガラス基板５４とが仮固定される。
【００５０】
このように、本実施形態では、表示パネルの大型化に伴って、貼り合わせユニット２１が大型化する傾向にあり、作業者が調整やメンテナンスを容易に行うために貼り合わせユニット２１の本体に接して踏み台７４を設けることが必須となっていることに鑑み、当該踏み台７４内にＵＶランプ１４０及び冷却ファン１４２からなる照射ユニット１４３が設けられている。これにより、ＵＶランプ１４０が本体（筐体７２、カバー７３）内に設けられる場合と比較して、貼り合わせユニット２１の本体が必要以上に大型化したり、本体内に熱が生じることによる、貼り合わせの精度悪化、本体内の機器の寿命低下、熱対流による本体内の清浄度の悪化が抑制されるとともに、ＵＮランプ１４０の調整やメンテナンスを容易に行うことができる。また、ＵＶランプ１４０が貼り合わせユニット２１から離れた外部に設けられる場合と比較して、ＵＶランプ１４０の照度を大きくしたり、減衰量の小さな光ファイバ１４４を用いる必要はなく、コストの増加を抑制することができる。
【００５１】
なお、上述した実施形態では、ＵＶランプ１４０は、ＵＶ硬化性接着剤５３と１対１に対応するように設けられたが、複数のＵＶ硬化性接着剤５３に対して１つのＵＶランプ１４０が設けられた構成、あるいは、１つのＵＶ硬化性接着剤５３に対して１つのＵＶランプ１４０が設けられた構成の場合にも同様に本発明を適用することができる。
【００５２】
また、ＵＶ硬化性接着剤５３以外の他の光硬化性接着剤がガラス基板に形成されている場合にも、同様に本発明を適用することができる。この場合には、ＵＶランプ１４０に代えて、光硬化性接着剤の硬化に適した光を照射する光源を用いればよい。また、貼り合わせユニット２１の踏み台７４内に照射ユニット１４３を配置したものとしたが、これに限られるものではなく、照射ユニット１４３に代えて貼りあわせユニット２１の制御部を配置したり、照射ユニット１４３と制御部の双方を配置したりしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明に係る表示パネル製造装置は、制御部や光源の調整やメンテナンスを容易に行うことができ、表示パネル製造装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る表示パネル製造装置を適用したペースト塗布システムの実施形態を示す平面図である。
【図２】塗布ユニットの斜視図である。
【図３】塗布ユニットの踏み台近傍の外観斜視図である。
【図４】塗布ユニットの踏み台近傍の側面から見た内部構成を示す図である。
【図５】貼り合わせユニットの正面から見た内部構成を示す図である。
【図６】貼り合わせユニットの踏み台部分の内部構成を示す断面平面図である。
【図７】下側ガラス基板の上面図である。
【図８】上側ガラス基板の下面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  ペースト塗布システム
２０−１、２０−２、２０−３、２０−４  塗布ユニット
２１  貼り合わせユニット
２２、７２  筐体
２４、７４  踏み台
２５、７５  扉
２６、２７、２８、２９、１４５  孔部
３０  基板受け渡し機構
３２  上流端
３４  下流端
４０  搬送ロボット
５０  ガラス基板
５１  アライメントマーク
５２  下側ガラス基板
５３  ＵＶ硬化性接着剤
５４  上側ガラス基板
５７  ペーストパターン
１１２  ディスペンサ部
１１３  レーザセンサ
１１４、１３３  コラム
１１５、１２５  基板ステージ
１１６、１２６  カメラ
１２０  制御部
１３２  支持部
１４０  ＵＶランプ
１４２  冷却ファン
１４３  照射ユニット
１４４  光ファイバ
【図１】
0004623525.tif 000002
【図２】
0004623525.tif 000003
【図３】
0004623525.tif 000004
【図４】
0004623525.tif 000005
【図５】
0004623525.tif 000006
【図６】
0004623525.tif 000007
【図７】
0004623525.tif 000008
【図８】
0004623525.tif 000009