(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って中央ＩＤＴ電極とその両側のＩＤＴ電極とからなる３つのＩＤＴ電極を近接配置すると共に、それらの両側にグレーティング反射器を配設した１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタにおいて、
前記中央ＩＤＴ電極を構成する一方のくし形電極と他方のくし形電極の電極指数が同数であり、
前記中央ＩＤＴ電極を平衡端子に接続し、
前記中央ＩＤＴ電極と前記両側のＩＤＴ電極との間に、前記両側のＩＤＴ電極の一方の極性のくし形電極に接続した複数本の電極指を設け、
前記複数本の電極指の数が、前記両側のＩＤＴ電極の一方と他方とで奇数本だけ異なっていることを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
前記複数本の電極指のうち、前記両側のＩＤＴ電極と隣り合うそれぞれの電極指が、帯域幅を広げるための幅広の電極指であることを特徴とする請求項１に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記両側のＩＤＴ電極の一方が他方より奇数本だけ電極指数が多いことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記幅広の電極指と前記中央ＩＤＴ電極との間に、前記両側のＩＤＴ電極のいずれか一方に接続された奇数本の電極指を設けたことを特徴とする請求項２に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項５】
前記両側のＩＤＴ電極に接続されている電極指のうち、前記中央ＩＤＴ電極と隣り合う電極指が接地されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項６】
ＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配置した弾性表面波共振子を請求項１乃至５のいずれか一項に記載の平衡型弾性表面波フィルタの不平衡側の端子に直列接続したことを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項７】
縦続接続した２つの１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタのうち、少なくとも１つが、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の平衡型弾性表面波フィルタであることを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
【請求項８】
ＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配置した弾性表面波共振子を前記縦続接続した２つの１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタの段間に少なくとも１つ設け、これを直列接続したことを特徴とする請求項７に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は弾性表面波フィルタに関し、特に１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅差誤差を改善した平衡型弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、弾性表面波フィルタ（以下、ＳＡＷフィルタと称す）は通信分野で広く利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有することから特に携帯電話機等に多く用いられている。最近の携帯電話機ではデジタル回路とアナログ回路とを非常に小さな空間に収容する必要から、他の回路からのノイズを極力低減する必要がある。このため、ＲＦ回路、ＩＦ回路の入出力回路を平衡型化して、ノイズを低減する手段が採用されるようになり、ＲＦ及びＩＦ回路等に用いられるデバイスにも平衡型化が要求されている。
【０００３】
図１６（ａ）は縦１次−３次モードを用いた縦結合１次−３次二重モード表面波フィルタ（以下、二重モードＳＡＷフィルタと称す）を２つ縦続接続した弾性表面波フィルタの電極パターン構成を示す平面図である。圧電基板（図示しない）の主面上に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極１０１、１０２、１０３を近接配置すると共に、該ＩＤＴ電極１０１、１０２、１０３の両側にグレーティング反射器（以下、反射器と称す）１０４ａ、１０４ｂを配設して二重モードＳＡＷフィルタＦ１を形成する。さらに、同一圧電基板上に二重モードＳＡＷフィルタＦ１に並行して、フィルタＦ１とほぼ同じ構成のＩＤＴ電極１０１’、１０２’、１０３’を近接配置すると共に、それらの両側に反射器１０４’ａ、１０４’ｂを配設して二重モードＳＡＷフィルタＦ２を形成する。そして、二重モードＳＡＷフィルタＦ１及びＦ２のそれぞれ両側のＩＤＴ電極１０２、１０３及び１０２’、１０３’の圧電基板の中央部寄りのくし形電極同士を、同一圧電基板に形成したリード電極にて接続する。さらに、中央のＩＤＴ電極１０１及び１０１’の圧電基板の外側寄りのくし形電極をそれぞれ入力端子ＩＮ及び出力端子ＯＵＴにボンディングワイヤ等を用いて接続すると共に、他のくし形電極を接地して縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタを構成する。
【０００４】
ＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極１０１、１０２、１０３及びＳＡＷフィルタＦ２のＩＤＴ電極１０１’、１０２’、１０３’はそれぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成される。なお、二重モードＳＡＷフィルタＦ１、Ｆ２の帯域幅を広げるために、該フィルタのそれぞれの中央のＩＤＴ電極１０１、１０１’における最外側のそれぞれの電極指（電極指Ｓ１、Ｓ２と称す）幅を他より幅広としている。
【０００５】
図１６（ｂ）は、同図（ａ）に示した不平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタの出力側を平衡型化したもので、入力側の二重モードＳＡＷフィルタＦ１の構成は同一であるが、出力側のフィルタＦ２を形成する中央のＩＤＴ電極１０５のそれぞれくし形電極と２つの出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２とを接続し、平衡型構成としている。
図１７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、図１６（ｂ）に示した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差特性、振幅差特性である。中心周波数を９４２．５ＭＨｚ、帯域幅を３５ＭＨｚと設定し、圧電基板に３９°Ｙ−Ｘ LiTaO3を用い、電極周期λを4.1846μｍ、電極膜厚ｈを８．７％λ、中央のＩＤＴ電極１０１、１０１’を１７．５対、両側のＩＤＴ電極１０２、１０３、１０２’、１０３’を１１．５対、交差幅を５０λ、反射器１０４ａ、１０４ｂ、１０４’ａ、１０４’ｂの本数を６０本と設定した場合のフィルタ特性である。
【０００６】
図１８はＳＡＷフィルタのフィルタ特性を測定するための回路図であり、ＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスが共に５０Ωのときにはバラン（ＢＡＬＵＮ、インピーダンス整合器）のインピーダンス比ｎは１となる。フィルタの出力インピーダンスが５０Ωより大きな場合にはｎの値を変えて測定する。また、図１９は平衡型ＳＡＷフィルタの２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２の位相差、及び振幅差を測定するための回路図であり、ＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスが共に５０Ωのときは、Ｒ１、Ｒ２は共に２５Ωとなり、５０Ωより大きな場合にはＲ１、Ｒ２の値を適宜設定すればよい。
【０００７】
図２０は入出力インピーダンスを互いに異ならせた入力不平衡−出力平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。即ち、入力側ＳＡＷフィルタＦ１の中央のＩＤＴ電極１０１の対数に比べ、出力側ＳＡＷフィルタＦ２の中央のＩＤＴ電極１０６の対数を異ならせて、入出力インピーダンスを異ならせる。図２０の例は出力インピーダンスを高くするためにＩＤＴ電極１０６の対数を少なくした例である。入力側のＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極構成は、図１６（ａ）に示したＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極構成と同様である。出力側のＳＡＷフィルタＦ２のＩＤＴ電極１０６、１０７（１０８は電極の中央に関し、１０７と対称である）は、ＳＡＷフィルタＦ１の中央のＩＤＴ電極１０１の最外側の電極指Ｓ１から順に所定の本数の電極指を、中央のＩＤＴ電極１０１から切り離して、外側のＩＤＴ電極１０２の一方のくし形電極に接続して形成したものである。
【０００８】
図２１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、図２０に示した入出力インピーダンスの異なる入力不平衡−出力平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差特性、振幅差特性である。中心周波数を９４２．５ＭＨｚ、帯域幅を３５ＭＨｚと設定し、圧電基板に３９°Ｙ−Ｘ LiTaO3を用い、電極膜厚ｈを８．７％λ、入力側のＳＡＷフィルタＦ１の中央のＩＤＴ電極１０１を１６．５対、両側のＩＤＴ電極１０２、１０３を１０．５対、交差幅を５０λ、反射器１０４ａ、１０４ｂの本数を６０本とし、出力側のＳＡＷフィルタＦ２の中央のＩＤＴ電極１０６の対数を出力インピーダンスに合わせるように、両端から所定の電極指数を切り離し、その電極指をそれぞれ両側のＩＤＴ電極１０７、１０８に接続し、交差幅を５０λ、反射器１０９ａ、１０９ｂの本数を６０本と設定した場合のフィルタ特性である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図１６（ｂ）あるいは図２０に示したような従来の入力不平衡−出力平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタにおいては、図１７（ｂ）あるいは２１（ｂ）に示したように、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差は正確に１８０°とはならず、位相差誤差約１０．５°あるいは約６°が発生した。また、ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の振幅差は正確に０ｄＢとはならず振幅誤差約１．５ｄＢあるいは約３．３ｄＢが生じ、携帯電話等に用いる場合に受信品質を劣化させるという問題があった。
本発明は上記問題を解決するためになされたものであって、２つの平衡端子間の位相差１８０°からの位相誤差及び振幅誤差を従来のものより大幅に小さくした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
［適用例１］
圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って中央ＩＤＴ電極とその両側のＩＤＴ電極とからなる３つのＩＤＴ電極を近接配置すると共にそれらの両側にグレーティング反射器を配設した１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタにおいて、前記中央ＩＤＴ電極を構成する一方のくし形電極と他方のくし形電極の電極指数が同数であり、前記中央ＩＤＴ電極を平衡端子に接続したことを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例２］
帯域幅を広げるための幅広の電極指を前記両側のＩＤＴ電極にそれぞれ接続したことを特徴とする適用例１に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例３］
前記両側のＩＤＴ電極の一方が他方より奇数本だけ電極指数が多いことを特徴とする適用例１または適用例２に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例４］
前記幅広の電極指と前記中央ＩＤＴ電極との間に、前記両側のＩＤＴ電極の少なくとも一方に接続された奇数本の電極指を設けたことを特徴とする適用例２に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例５］
前記中央ＩＤＴ電極と前記両側のＩＤＴ電極との間に、前記両側のＩＤＴ電極の一方の極性のくし形電極に接続した複数本の電極指を設けたことを特徴とする適用例１乃至４のいずれか一つに記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例６］
前記両側のＩＤＴ電極の一方の極性のくし形電極に接続した前記複数本の電極指の数が、前記両側のＩＤＴ電極の一方と他方とで奇数本だけ異なっていることを特徴とする適用例５に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例７］
前記両側のＩＤＴ電極に接続されている電極指のうち、前記中央ＩＤＴ電極に隣接する電極指が接地されていることを特徴とする適用例１乃至６のいずれか一つに記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例８］
ＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配置した弾性表面波共振子を適用例１乃至７のいずれか一つに記載の平衡型弾性表面波フィルタの不平衡側の端子に直列接続したことを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例９］
縦続接続した２つの１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタのうち、少なくとも１つが、適用例１乃至８のいずれか一つに記載の平衡型弾性表面波フィルタであることを特徴とする平衡型弾性表面波フィルタ。
［適用例１０］
ＩＤＴ電極とその両側にグレーティング反射器を配置した弾性表面波共振子を前記縦続接続した２つの１次−３次縦結合二重モード弾性表面波フィルタの段間に少なくとも１つ設け、これを直列接続したことを特徴とする適用例９に記載の平衡型弾性表面波フィルタ。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面に示した実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明に係る入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの電極パターン構成を示す平面図であって、圧電基板（図示しない）の主面上に表面波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極１、２、３を近接配置すると共に、該ＩＤＴ電極１、２、３の両側に反射器４ａ、４ｂを配設して二重モードＳＡＷフィルタＦ１を形成する。さらに、同一圧電基板上にＳＡＷフィルタＦ１に並行して、それとほぼ同じ構成のＩＤＴ電極１’、２’、３’を近接配置すると共に、それらの両側に反射器４’ａ、４’ｂを配設して二重モードＳＡＷフィルタＦ２を形成する。さらに、二重モードＳＡＷフィルタＦ１及びＦ２のそれぞれ両側のＩＤＴ電極２、３および２’、３’の圧電基板の中央部寄りくし形電極同士を、同一圧電基板上に形成したリード電極にてそれぞれ接続する。そして、ＳＡＷフィルタＦ１の中央ＩＤＴ電極１の外側寄りのくし形電極を入力端子ＩＮにボンディングワイヤ等を用いて接続し、ＳＡＷフィルタＦ２の中央のＩＤＴ電極１’のそれぞれのくし形電極を平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２にボンディングワイヤ等にてそれぞれ接続し、他のくし形電極は接地して、入力不平衡−出力平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタを構成する。
【００１２】
ＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極１、２、３及びＳＡＷフィルタＦ２のＩＤＴ電極１’、２’、３’はそれぞれ互いに間挿し合う複数の電極指を有する一対のくし形電極から形成されている。なお、ＳＡＷフィルタＦ１、Ｆ２の帯域幅を広げるために、ＳＡＷフィルタＦ１においては中央のＩＤＴ電極１の最外側の電極指Ｓ１、Ｓ２の幅を他電極指の幅より幅広とし、ＳＡＷフィルタＦ２においては両側のＩＤＴ電極２’、３’の最内側の電極指幅Ｓ１、Ｓ２を幅広としている。
【００１３】
本発明の特徴はＳＡＷフィルタＦ２の電極パターン構成であり、広帯域化をはかるための幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２を中央のＩＤＴ電極１’から切り離し、両側のＩＤＴ電極２’、３’の一方のくし形電極に接続すると共に、中央のＩＤＴ電極１’を形成するそれぞれのくし形電極の電極指数を１本間引くか、増やして同数とし、ＩＤＴ電極１’の幾何学的対称性を図ったことである。また、幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２を両側のＩＤＴ電極２’、３’に移すことにより、中央のＩＤＴ電極１’の中央に対して、二重モードＳＡＷフィルタＦ２の幾何学的対称性を図ったことである。しかし、このままではＳＡＷフィルタＦ２を伝搬する表面波の位相が１８０°ずれるので、図１６に比べてＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極３において、それぞれのくし形電極の信号と接地とを逆に接続するようにする。
図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、中心周波数を９４２．５ＭＨｚ、帯域幅を３５ＭＨｚとした入力不平衡−出力平衡型の縦続型二重モードＳＡＷフィルタを図１の電極パターンに基づいて試作したフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差特性及び振幅差特性である。諸定数は図１７のときと同様であるが、出力側ＳＡＷフィルタＦ２の中央ＩＤＴ電極１’の対数を１７対とし、それぞれのくし形電極の電極指数を同一に設定した。
図２と図１７とを比較すると位相差誤差が約１０．５°から約２．５°に縮小し、振幅差誤差が約３．３ｄＢから約０．３ｄＢと大幅に減少していることが判明した。
【００１４】
図３は本発明に係る第２の実施例で、図１６に示した縦続型二重モードＳＡＷフィルタの入力側のＳＡＷフィルタＦ１を構成する中央のＩＤＴ電極１の最外側の電極指Ｓ１、Ｓ２を切り離すと共に、電極指を１本間引くか、増やしてそれぞれのくし形電極の本数を同数としたＩＤＴ電極５と、中央のＩＤＴ電極から切り離したＳ１、Ｓ２を両側のＩＤＴ電極２、３にそれぞれ接続してＩＤＴ電極６、７とする。そして、出力側のＳＡＷフィルタＦ２は図１に示したＳＡＷフィルタＦ２の構成と同一とすることにより、中央のＩＤＴ電極それぞれのくし形電極の電極指数は同数となり、対称性が保たれる。さらに、入出力のＳＡＷフィルタとも幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２が両側のＩＤＴ電極の接続されているために、２つのＳＡＷフィルタ間のインピーダンス整合が改善される。
【００１５】
図４は本発明に係る第３の実施例であって、圧電基板（図示しない）の表面波の伝搬方向に沿って、ＩＤＴ電極１１、１２、１３を近接配置すると共に、それらの両側に反射器１４ａ、１４ｂを配設して構成した１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタである。ＩＤＴ電極１２、１３の図中上側のくし形電極を接続して入力とし、中央のＩＤＴ電極１１のそれぞれのくし形電極を２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２に接続し、他の電極指は接地する。本発明の特徴は中央のＩＤＴ電極１１のそれぞれのくし形の電極指数を同数とすると共に、該電極１１と外側のＩＤＴ電極１３との間に位相シフト用の電極指１５を設けることにより、表面波の位相を１８０°シフトすることができることである。
【００１６】
図５は本発明に係る第４の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタであって、入力側のＳＡＷフィルタＦ１には従来の二重モードＳＡＷフィルタを用い、出力側のＳＡＷフィルタＦ２には図４に示した二重モードＳＡＷフィルタを用いて縦続接続して構成したフィルタである。１８０°位相シフト用の電極指１５を用いることにより、図１６に示した外側のＩＤＴ電極１０３と同様に信号、接地構成とすることができる。この点が図１の外側のＩＤＴ電極３の構成と異なるところである。
【００１７】
図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、図５の電極パターンを用いて試作した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差特性、振幅差特性である。諸定数は図１７のものとほぼ同様であるが、出力側ＳＡＷフィルタＦ２ＩＤＴ電極１１を１７対とし、それぞれのくし形電極の電極指数を同数とした。その結果、位相差特性では位相差誤差８°、振幅特性では振幅差誤差１ｄＢと従来の特性に比べて大幅に改善されていることが分かる。
【００１８】
図７は本発明に係る第５の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタであって、図５に示した入力側ＳＡＷフィルタＦ１の中央のＩＤＴ電極１６の最外側の電極指Ｓ１、Ｓ２を切り離してＩＤＴ電極２１とし、外側のＩＤＴ電極１７、１８に接続して、ＩＤＴ電極２２、２３として、入力側ＳＡＷフィルタＦ１を形成し、出力側ＳＡＷフィルタとして図４に示した平衡型フィルタを用いて縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタを構成したものである。この例でも出力側のＩＤＴ電極１１のそれぞれくし形電極の電極指数は同数で、対称性を保っている。さらに、幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２が共に外側のＩＤＴ電極に存在するために、ＳＡＷフィルタＦ１、Ｆ２のインピーダンス整合は改善されている。
【００１９】
図８は本発明に係る第６の実施例であって、入出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタである。入力側のＳＡＷフィルタＦ１は図１に示したＳＡＷフィルタＦ１を用い、出力側のＳＡＷフィルタＦ２は図１に示したＳＡＷフィルタＦ２を元にして、中央のＩＤＴ電極１’から左右同数ずつ切り離して中央のＩＤＴ電極３１とし、切り離した電極指を両側のＩＤＴ電極２’、３’の一方のくし形電極の接続して、両側のＩＤＴ電極３２、３３を形成する。中央のＩＤＴ電極３１の電極対数が減少することにより、出力インピーダンスを増大させることができる。この実施例でも出力側ＳＡＷフィルタの中央ＩＤＴ電極３１のそれぞれのくし形電極の電極指数を等しく設定している。この場合もＳＡＷフィルタＦ２の中央ＩＤＴ電極３１の構成により、位相が１８０°ずれるため、ＳＡＷフィルタＦ１のＩＤＴ電極２７の信号、接地の接続は従来のものと逆になっている。
【００２０】
図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、図８の電極パターンを用いて試作した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子ＯＵＴ１、ＯＵＴ２間の位相差特性、振幅差特性である。位相差特性、振幅特性とも図２１に示した従来の特性に比べて、位相差誤差５°、振幅差誤差１．４ｄＢと大幅に改善されていることが分かる。
【００２１】
図１０は本発明に係る第７の実施例であって、入出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタである。入力側のＳＡＷフィルタＦ１として、図３に示した入力側のＳＡＷフィルタＦ１を用い、出力側のＳＡＷフィルタＦ２として図８に示した出力側のＳＡＷフィルタＦ２を用いて構成したフィルタである。ＩＤＴ電極３１のそれぞれのくし形電極の電極指数は同数であると共に、ＳＡＷフィルタＦ１、Ｆ２を形成する外側のＩＤＴ電極３６、３７及び３２、３３に幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２を移したために、インピーダンスの整合が改善される。
【００２２】
図１１（ａ）は本発明に係る第８の実施例の入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す電極パターン図であって、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って３つのＩＤＴ電極４５、４６、４７を近接配置すると共にそれらの両側に反射器４８ａ、４８ｂを配設して１次−３次縦結合二重モードＳＡＷフィルタを構成する。そして、中央ＩＤＴ電極４５のそれぞれのくし形電極の電極指を同一とすると共に、両側のＩＤＴ電極４６、４７の一方の極性のそれぞれのくし形電極に電極指を追加し、追加したそれぞれの電極指の差を奇数本とする。これは両側のＩＤＴ電極４６、４７の位相差を１８０°異ならせる作用を有する。図１１（ａ）の例ではＩＤＴ電極４７に１８０°位相シフト用の電極指４９を付加した場合を示している。なお、帯域を広帯域化するために幅広の電極指Ｓ１、Ｓ２とすることは前述した通りである。
また、図１１（ｂ）は本発明に係る第９の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタであって、入力側のＳＡＷフィルタＦ１として、図１６に示した入力側のＳＡＷフィルタＦ１を用い、出力側のＳＡＷフィルタＦ２として図１１（ａ）に示したＳＡＷフィルタを用いて構成したフィルタである。また、外側のＩＤＴ電極４７に１８０°位相シフト用の電極指４９を設けたために、ＳＡＷフィルタＦ１の外側のＩＤＴ電極４３に従来の構成の電極を用いることができる。
【００２３】
図１２は本発明に係る第９の実施例であって、入出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタである。入力側のＳＡＷフィルタＦ１として、図１６に示した入力側のＳＡＷフィルタＦ１の中央のＩＤＴ電極１０１最外側の電極指Ｓ１、Ｓ２を切り離し、両側のＩＤＴ電極１０２、１０３にそれぞれ接続したＩＤＴ電極５１、５２、５３を用い、出力側のＳＡＷフィルタＦ２として図１１に示した出力側のＳＡＷフィルタＦ２を用いて構成したフィルタである。このフィルタの場合も出力ＩＤＴ電極４５のそれぞれのくし形電極の電極指数は同数とし、フィルタのインピーダンス整合もよい。
【００２４】
図１３は本発明に係る第１０の実施例であって、図１に示した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの入力側に、ＳＡＷ共振子Ｒを直列接続して有極構成としたフィルタである。ＳＡＷ共振子Ｒは縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタと同一圧電基板上に形成され、表面波の伝搬方向に沿って、ＩＤＴ電極５５とその両側に反射器５６ａ、５６ｂを配置して構成する。そして、減衰量の増加を必要とする周波数帯にＳＡＷ共振子Ｒの反共振周波数を合わせることにより、所望の周波数における減衰量を増大できるとはよく知られている。このフィルタの場合も出力ＩＤＴ電極１’のそれぞれのくし形電極の電極指数は同数に設定してある。
【００２５】
図１４は本発明に係る第１１の実施例であって、図１に示した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのＳＡＷフィルタＦ１とＦ２との段間に２つのＳＡＷ共振子Ｒ１、Ｒ２を直列接続して構成した有極型のフィルタである。ＳＡＷ共振子Ｒ１、Ｒ２は縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタと同一圧電基板上に形成され、それらの反共振周波数を減衰量の増加を必要とする周波数帯合わせることにより、所望の周波数の減衰量を増大できる。このフィルタの場合も出力ＩＤＴ電極１’のそれぞれのくし形電極の電極指数は同数に設定してある。
【００２６】
図１５は本発明に係る第１２の実施例であって、図４に示した二重モードＳＡＷフィルタの入力側にＳＡＷ共振子Ｒを直列接続して構成した有極構成のフィルタである。この例も所望の周波数帯の減衰量を増大させることができると共に、出力ＩＤＴ電極１１のそれぞれのくし形電極の電極指数は同数に設定してある。
【００２７】
以上の説明では入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタを例にして本発明を説明したが、本発明はこれのみに限定するものではなく、入力側の二重モードＳＡＷフィルタを平衡型にした入力−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタ、入出力を入れ替えた入力平衡−出力不平衡型二重モードＳＡＷフィルタにも適用できることは説明するまでもない。
さらに、有極構成のフィルタについては、図１に示した入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタを元として、これの入力側にＳＡＷ共振子を直列接続した例と、フィルタの段間に２つのＳＡＷ共振子を直列接続した例を説明したが、これのみに限らず、図３、図５、図７、図８、図１０、図１１及び図１２に示したフィルタにＳＡＷ共振子を直列接続し、有極構成のフィルタができることは説明するまでもない。また、フィルタの段間に２つのＳＡＷ共振子を直列接続した例を説明したが、図５、図７、図１１及び図１２に示したフィルタは分割したＳＡＷ共振子を接続し、１つのＳＡＷ共振子としてフィルタの段間に設け、それを直列接続して有極構成のフィルタができることは説明するまでもない。
また、圧電基板として３９°Ｙ−Ｘ LiTaO3を用いて説明したが、他の切断角度でもよく、またニオブ酸リチウム、四硼酸リチウム、ランガサイト等の圧電基板にも本発明が適用できることは説明するまでもない。
【００２８】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成したので、或る実施例では１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できるという優れた効果を表す。また或る実施例ではインピーダンスの改善されるため、パスバンド特性が改善されると共に、１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できるという優れた効果を表す。また或る実施例では１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できると共に、外側の一方のＩＤＴ電極の極性を変えることができ、縦続接続する際に自由度が増すという利点がある。また或る実施例では１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できると共に、帯域幅を拡大し、外側のＩＤＴ電極の極性を変えることができるという優れた効果を奏す。また或る実施例では１対の平衡端子間の位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できるという優れた効果を奏す。また或る実施例では入出力インピーダンスが互いに異なる平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できるという優れた効果を奏す。また或る実施例では入出力インピーダンスが互いに異なる平衡型二重ＳＡＷモードフィルタの位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できるという優れた効果と、外側のＩＤＴ電極の一方の電極の位相を１８０°シフトさせるという効果を奏す。また或る実施例では縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの入出力インピーダンスを互いに異ならせ、位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できると共に、第１の二重モードＳＡＷフィルタの外側のＩＤＴ電極を構成するくし形電極の極性を変えたものができるという優れた効果を奏す。また或る実施例では位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できると共に、有極構成ができるという優れた効果を奏す。また或る実施例では位相差誤差及び振幅誤差を大幅に改善できると共に、有極構成ができるという優れた効果を奏す。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図２】  （ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図１の電極パターンを用いて試作した縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子間の位相差特性、振幅差特性である。
【図３】本発明に係る第２の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図４】本発明に係る第３の実施例で、１８０°位相シフト用の電極指を付加した入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図５】本発明に係る第４の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図５の電極パターンを用いて試作した縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子間の位相差特性、振幅差特性である。
【図７】本発明に係る第５の実施例の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図８】本発明に係る第６の実施例で、入力出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図８の電極パターンを用いて試作したフィルタのフィルタ特性、２つの平衡出力端子間の位相差特性、振幅差特性である。
【図１０】本発明に係る第７の実施例で、入力出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図１１】本発明に係る第８の実施例で、（ａ）は入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィルタ、（ｂ）は（ａ）を用いた第９の実施例で入力出力インピーダンスを互いに異にしたフィルタの構成を示す平面図である。
【図１２】本発明に係る第１０の実施例で、入力出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図１３】本発明に係る第１１の実施例で、有極構成とした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図１４】本発明に係る第１２の実施例で、有極構成とした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図１５】本発明に係る第１３の実施例で、有極構成とした入力不平衡−出力平衡型の二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である
【図１６】（ａ）は従来の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタ、（ｂ）は従来の入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタである。
【図１７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図１６（ｂ）の電極パターンを用いて試作したフィルタのフィルタ特性、２つの平衡端子間の位相差特性、振幅差特性である。
【図１８】ＳＡＷフィルタのフィルタ特性を測定するための回路構成である。
【図１９】ＳＡＷフィルタの２つの平衡端子間の位相差特性、振幅差特性を測定するための回路構成である。
【図２０】従来の入力出力インピーダンスを互いに異にした入力不平衡−出力平衡型の縦続接続型二重モードＳＡＷフィルタの構成を示す平面図である。
【図２１】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ図２０の電極パターンを用いて試作したフィルタのフィルタ特性、２つの平衡端子間の位相差特性、振幅差特性である。
【符号の説明】
１、２、３、１’、２’、３’、５、６、７、１１、１２、１３、１６、１７、１８、２１、２２、２３、２５、２６、２７、３１、３２、３３、３５、３６、３７、４１、４２、４３、５１、５２、５３、５５、５７、５７’、６０・・ＩＤＴ電極
Ｓ１、Ｓ２・・広帯域とするための電極指
１５・・電極指
４ａ、４ｂ、４’ａ、４’ｂ、８ａ、８ｂ、１４ａ、１５ｂ、１９ａ、１９ｂ、２４ａ、２４ｂ、２８ａ、２８ｂ、３４ａ、３４ｂ、３８ａ、３８ｂ、４４ａ、４４ｂ、４８ａ、４８ｂ、５４ａ、５４ｂ、５６ａ、５６ｂ、５８ａ、５８ｂ、５８’ａ、５８’ｂ、６１ａ、６１ｂ・・グレーティング反射器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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