(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の水洗槽部を有する洗浄部を用い、メッキ浴槽に浸漬されてメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、前記メッキ浴槽から取り出して前記洗浄部の前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗工程と、
前記後段の水洗槽部からの排水を処理水槽に戻す工程と、
前記前段の水洗槽部からの排水を原水槽に戻す工程と、
前記原水槽の水を逆浸透膜装置で固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給する工程と、
前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得る工程と、
前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水を前記原水槽に供給する工程とを備え、
前記バレルユニット水洗工程に用いる洗浄水として、前記処理水槽の水を使用することを特徴とするメッキ済み部品の洗浄水処理方法。
【請求項２】
複数の水洗槽部を有する洗浄部を用い、メッキ浴槽に浸漬されてメッキ処理されたメッキ済み部品及びメディアを収容したバレルユニットを、前記メッキ浴槽から取り出して前記洗浄部の前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗工程と、
該バレルユニット水洗工程を終了したバレルユニットから前記メッキ済み部品及びメディアを洗浄用ポットに移し替えて洗浄水で洗浄するとともにメディア分離を行うポット水洗工程と、
前記後段の水洗槽部及び前記ポット水洗工程からの排水を処理水槽に戻す工程と、
前記前段の水洗槽部からの排水を原水槽に戻す工程と、
前記原水槽の水を逆浸透膜装置で固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給する工程と、
前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得る工程と、
前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水を前記原水槽に供給する工程とを備え、
前記バレルユニット水洗工程及び前記ポット水洗工程に用いる洗浄水として、前記処理水槽の水を使用することを特徴とするメッキ済み部品の洗浄水処理方法。
【請求項３】
前記メッキ浴槽が複数あり、各メッキ浴槽に対応して複数のバレルユニット水洗工程を備え、個々のバレルユニット水洗工程の排水毎に前記逆浸透膜装置が設けられている請求項１又は２記載のメッキ済み部品の洗浄水処理方法。
【請求項４】
前記固形分を前記メッキ浴槽によるメッキ処理に再利用する請求項１，２又は３記載のメッキ済み部品の洗浄水処理方法。
【請求項５】
部品を収容したバレルユニットが浸漬されるメッキ浴槽の後段に配置されていて、該メッキ浴槽でメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗部と、逆浸透膜装置と、蒸発装置と、処理水槽と、原水槽とを備え、
前記バレルユニット水洗部は、複数の水洗槽部を有し、前記バレルユニットを前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するものであり、前記後段の水洗槽部からの排水は前記処理水槽に戻され、前記前段の水洗槽部からの排水は前記原水槽に戻され、
前記逆浸透膜装置は、前記原水槽の水から固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給し、
前記蒸発装置は、前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得るものであり、前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水は前記原水槽に供給され、
前記処理水槽の水を前記洗浄水として前記バレルユニット水洗部に供給することを特徴とするメッキ済み部品の洗浄水処理装置。
【請求項６】
部品及びメディアを収容したバレルユニットが浸漬されるメッキ浴槽の後段に配置されていて、該メッキ浴槽でメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗部と、
該バレルユニット水洗工程を終了したバレルユニットから前記メッキ済み部品及びメディアを洗浄用ポットに移し替えて洗浄水で洗浄するとともにメディア分離を行うポット水洗部と、
逆浸透膜装置と、蒸発装置と、処理水槽と、原水槽とを備え、
前記バレルユニット水洗部は、複数の水洗槽部を有し、前記バレルユニットを前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するものであり、前記後段の水洗槽部及び前記ポット水洗部からの排水は前記処理水槽に戻され、前記前段の水洗槽部からの排水は前記原水槽に戻され、
前記逆浸透膜装置は、前記原水槽の水から固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給し、
前記蒸発装置は、前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得るものであり、前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水は前記原水槽に供給され、
前記処理水槽の水を前記洗浄水として前記バレルユニット水洗部及びポット水洗部に供給することを特徴とするメッキ済み部品の洗浄水処理装置。
【請求項７】
前記メッキ浴槽が複数あり、各メッキ浴槽に対応して前記バレルユニット水洗部を複数設け、個々のバレルユニット水洗部の排水毎に前記逆浸透膜装置を設けてなる請求項５又は６記載のメッキ済み部品の洗浄水処理装置。
【請求項８】
前記洗浄水の供給経路にイオン除去用のイオン交換装置と、紫外線で殺菌処理を行う紫外線照射装置とを設けてなる請求項５，６又は７記載のメッキ済み部品の洗浄水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置に係り、とくにチップ部品等の電子部品をバレル電解メッキ後に洗浄水で洗浄するが、その洗浄水処理方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップ部品の端子電極（外部電極）を形成するバレルメッキ装置として、メッキ液を入れたメッキ浴槽内にバレルユニットを浸漬させる構成が知られる。そのメッキ浴槽はメッキする金属毎に異なり複数を用いるが、そのバレルメッキ装置では、メッキ前洗浄及びメッキ浴槽間洗浄、そうして最終洗浄を行う。メッキ浴槽は各々単独であり、洗浄も単独にディップタイプの水洗が広く実施されているが、そのディップタイプの水洗では、オーバーフローとして多くの水洗水量を必要としている。
【０００３】
メッキ工程の水洗水排水は、濾過されて陽イオン交換手段、陰イオン交換手段を通し陽・陰イオン交換が行われて循環するが、いずれ陽イオン交換手段及び陰イオン交換手段の濃廃液の処理が必要になり、一般に専門の水処理業者に依頼して所定の処理が実施される。しかし、水処理業者に濃廃液の処理を依頼するとかなりの費用を要し、また、何処においても水処理業者が近くで容易に利用できるとは限らない。さらに、外国にバレルメッキ装置を設置することを考慮すると濃廃液の処理が問題である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
バレルユニットを用いてチップ部品のバレル電解メッキを行うバレルメッキ装置と、メッキ済みチップ部品とメディアを分離するとともにメッキ済みチップ部品を水洗する分離・洗浄装置とを一連の装置として構成し、バレルメッキ装置はバレルユニットを自動で搬送する構成とし、分離・洗浄装置は専用の洗浄用ポットを自動で搬送する構成にし、バレルメッキ装置と分離・洗浄装置間に受渡装置を備え、バレルユニットに収容したメッキ済みチップ部品とメディアを洗浄用ポットに自動で受渡し、チップ部品の端子電極を形成するメッキが自動で行われる構成において、チップ部品とメディアに対し、メッキ前洗浄及びメッキ浴槽間洗浄、そうして最終洗浄、さらに分離・洗浄装置による仕上げの洗浄を構成するような場合、これらの洗浄において多量の洗浄水を用いる。
【０００５】
本発明は、その洗浄水を循環して使用するクローズド処理システムを確立し、濃廃液での排出をすることなく、実質的に固形物である最小限の排出物だけが排出されるようにして、廃液の放出がなく、環境汚染の問題を解消可能なメッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置を提供することを目的とする。
【０００６】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法は、複数の水洗槽部を有する洗浄部を用い、メッキ浴槽に浸漬されてメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、前記メッキ浴槽から取り出して前記洗浄部の前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗工程と、
前記後段の水洗槽部からの排水を処理水槽に戻す工程と、
前記前段の水洗槽部からの排水を原水槽に戻す工程と、
前記原水槽の水を逆浸透膜装置で固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給する工程と、
前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得る工程と、
前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水を前記原水槽に供給する工程とを備え、
前記バレルユニット水洗工程に用いる洗浄水として、前記処理水槽の水を使用することを特徴としている。
【０００８】
本願請求項２の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法は、複数の水洗槽部を有する洗浄部を用い、メッキ浴槽に浸漬されてメッキ処理されたメッキ済み部品及びメディアを収容したバレルユニットを、前記メッキ浴槽から取り出して前記洗浄部の前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗工程と、
該バレルユニット水洗工程を終了したバレルユニットから前記メッキ済み部品及びメディアを洗浄用ポットに移し替えて洗浄水で洗浄するとともにメディア分離を行うポット水洗工程と、
前記後段の水洗槽部及び前記ポット水洗工程からの排水を処理水槽に戻す工程と、
前記前段の水洗槽部からの排水を原水槽に戻す工程と、
前記原水槽の水を逆浸透膜装置で固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給する工程と、
前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得る工程と、
前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水を前記原水槽に供給する工程とを備え、
前記バレルユニット水洗工程及び前記ポット水洗工程に用いる洗浄水として、前記処理水槽の水を使用することを特徴としている。
【００１０】
本願請求項３の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法は、請求項１又は２において、前記メッキ浴槽が複数あり、各メッキ浴槽に対応して複数のバレルユニット水洗工程を備え、個々のバレルユニット水洗工程の排水毎に前記逆浸透膜装置が設けられていることを特徴としている。
本願請求項４の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法は、請求項１，２又は３において、前記固形分を前記メッキ浴槽によるメッキ処理に再利用することを特長としている。
【００１１】
本願請求項５の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理装置は、部品を収容したバレルユニットが浸漬されるメッキ浴槽の後段に配置されていて、該メッキ浴槽でメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗部と、逆浸透膜装置と、蒸発装置と、処理水槽と、原水槽とを備え、
前記バレルユニット水洗部は、複数の水洗槽部を有し、前記バレルユニットを前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するものであり、前記後段の水洗槽部からの排水は前記処理水槽に戻され、前記前段の水洗槽部からの排水は前記原水槽に戻され、
前記逆浸透膜装置は、前記原水槽の水から固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給し、
前記蒸発装置は、前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得るものであり、前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水は前記原水槽に供給され、
前記処理水槽の水を前記洗浄水として前記バレルユニット水洗部に供給することを特徴としている。
【００１２】
本願請求項６の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理装置は、部品及びメディアを収容したバレルユニットが浸漬されるメッキ浴槽の後段に配置されていて、該メッキ浴槽でメッキ処理されたメッキ済み部品を収容したバレルユニットを、洗浄水で洗浄するバレルユニット水洗部と、
該バレルユニット水洗工程を終了したバレルユニットから前記メッキ済み部品及びメディアを洗浄用ポットに移し替えて洗浄水で洗浄するとともにメディア分離を行うポット水洗部と、
逆浸透膜装置と、蒸発装置と、処理水槽と、原水槽とを備え、
前記バレルユニット水洗部は、複数の水洗槽部を有し、前記バレルユニットを前段の水洗槽部から後段の水洗槽部へ順次搬送し、かつ各水洗槽部にて洗浄水で洗浄するものであり、前記後段の水洗槽部及び前記ポット水洗部からの排水は前記処理水槽に戻され、前記前段の水洗槽部からの排水は前記原水槽に戻され、
前記逆浸透膜装置は、前記原水槽の水から固形分となる成分を含む濃縮液を除去して前記処理水槽に供給し、
前記蒸発装置は、前記逆浸透膜装置で除去された前記濃縮液の水分を蒸発させる蒸発処理により固形分を得るものであり、前記蒸発処理で発生した水蒸気を冷却した水は前記原水槽に供給され、
前記処理水槽の水を前記洗浄水として前記バレルユニット水洗部及びポット水洗部に供給することを特徴としている。
【００１３】
本願請求項７の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理装置は、請求項５又は６において、前記メッキ浴槽が複数あり、各メッキ浴槽に対応して前記バレルユニット水洗部を複数設け、個々のバレルユニット水洗部の排水毎に前記逆浸透膜装置を設けたことを特徴としている。
【００１４】
本願請求項８の発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理装置は、請求項５，６又は７において、前記洗浄水の供給経路にイオン除去用のイオン交換装置と、紫外線で殺菌処理を行う紫外線照射装置とを設けたことを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００１６】
図１は本発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置の実施の形態であって、洗浄水の処理系統を示し、図２は各種水洗工程を含む連続搬送バレルメッキ装置の例を示す。また、図３は図２の連続搬送バレルメッキ装置における１つのメッキ浴槽を含むバレルメッキ装置部を、図４は洗浄部（水洗部）を、図５は受渡装置部を、図６は分離洗浄装置部をそれぞれ示す。
【００１７】
まず、図２乃至図６で洗浄水処理が必要な各種水洗工程等を含む一連の装置からなる連続搬送バレルメッキ装置について説明する。
【００１８】
これらの図において、１はＣｕの電解メッキを施す第１バレルメッキ装置部、２はＮｉの電解メッキを施す第２バレルメッキ装置部、３はＳｎの電解メッキを施す第３バレルメッキ装置部である。
【００１９】
図３で第１乃至第３バレルメッキ装置部１，２，３の構成について説明する。これらのバレルメッキ装置部１，２，３はメッキ液の組成及びメッキ用アノードの金属材質が異なること以外は実質的に同じ構成であり、メッキすべきチップ部品及びメディアを収容した筒状のバレル５ａを持つバレルユニット５を用いるもので、該バレルユニット５が浸されるメッキ液６を貯留したメッキ浴槽７と、該メッキ浴槽７内にてバレルユニット５を横方向に移動させながらバレル５ａを回転（自転）させる搬送手段８と、バレルユニット５側の集電器９が接触する給電器１０と、メッキ浴槽内側底部に配置されたメッキ用アノード１１とを有している。そして、矢印Ｄのようにバレルユニット５をメッキ浴槽７に投入し、搬送手段８で横方向に搬送し、矢印Ｕで取り出す間に、前記給電器１０を通して前記集電器９に通電してバレル５ａ内のチップ部品にバレル電解メッキ処理を行うようになっている。
【００２０】
バレルメッキ処理に伴うチップ部品の水洗工程を実行する水洗部として、図２のように、第１バレルメッキ装置部１の前段にはメッキ前の洗浄を行うメッキ前洗浄部２０が、第１バレルメッキ装置部１と第２バレルメッキ装置部２との間にはＣｕのメッキ液を洗浄して落とす第１洗浄部２１が、第２バレルメッキ装置部２と第３バレルメッキ装置部３との間にはＮｉのメッキ液を洗浄して落とす第２洗浄部２２が、第３バレルメッキ装置部３の後段にはＳｎのメッキ液を洗浄して落とす第３洗浄部２３が配置され、この後段にバレルユニット５を傾斜状態で洗浄する傾斜洗浄部２４が配置されている。この傾斜洗浄部２４は後述の受渡装置部３０へのバレルユニット５の取り出し位置となる。
【００２１】
前記メッキ前洗浄部２０と第１バレルメッキ装置部１と第１洗浄部２１と第２バレルメッキ装置部２とはメッキ部架台１４の下段位置に１列に配置されているが、第２洗浄部２２と第３バレルメッキ装置部３と第３洗浄部２３と傾斜洗浄部２４とは架台１４の上段位置に１列に配置されている。このため、下段位置の第２バレルメッキ装置部２からバレルユニット５を上段位置に引き上げるエレベータ機構１５が設置されている。
【００２２】
図４で第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３の構成について説明する。これらの洗浄部２１，２２，２３は同じ構成であり、バレルユニット５が１個毎入る３つの区画、つまり第１水洗槽部２５ａ、第２水洗槽部２５ｂ及び第３水洗槽部２５ｃを有する水洗槽２５を有し、各水洗槽部ではシャワー洗浄がディップ洗浄と共に行われる。各水洗槽部２５ａ，２５ｂ，２５ｃにはバレルユニット５が載置される台座２６が設置されている。各水洗槽部２５ａ，２５ｂ，２５ｃには台座２６上に載置されたバレルユニット５の筒状のバレル５ａ全体が浸る洗浄水２７ａ，２７ｂ，２７ｃが満たされている。そして、バレルユニット５は各水洗槽部２５ａ，２５ｂ，２５ｃの順に搬送され、浸されたバレルユニット５のチップ部品及びメッキ用メディアに付着した前段のバレルメッキ装置部のメッキ液を洗浄水で洗浄して落とす。つまり、次段のバレルメッキ装置部のメッキ液を汚染しないようにする。
【００２３】
メッキ前洗浄部２０の詳細は省略するが、ディップ洗浄を行うための水洗槽を有し、これにバレルユニット５のバレル５ａ部分を浸すものである。
【００２４】
また、傾斜洗浄部２４はバレルユニット５を水平状態から傾斜状態に姿勢を変化させなからシャワー洗浄及びディップ洗浄を行う。
【００２５】
これらの洗浄部の水洗槽には図１の経路で洗浄水が供給され（詳細は後述する）、メッキ前洗浄部２０及び傾斜洗浄部２４では洗浄水の汚染が少ないので、その排水は処理水槽２１０に戻される。同様に、第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３がそれぞれ備える最も後段の第３水洗槽部２５ｃからの排水も汚染が少ないので処理水槽２１０に戻される。第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３がそれぞれ備える中段の第２水洗槽部２５ｂからの排水は図１では前段の第１水洗槽部２５ａの洗浄水として用いている。第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３がそれぞれ備える前段の第１水洗槽部２５ａからの排水は汚染の度合いが大きいため原水槽２００に戻される。
【００２６】
なお、メッキ前洗浄部２０から第１バレルメッキ装置部１へ、バレルメッキ装置部１，２，３から後段の洗浄部２１，２２，２３へ、第３洗浄部２３から後段の傾斜洗浄部２４への移し替え動作は、ピック・アンド・プレース機構等の移し替え手段によって行う。
【００２７】
図２において、受渡装置部３０はバレルユニットの取り出し位置となる傾斜洗浄部２４に近接して設置されており、つまり受渡装置部架台３１がメッキ部架台１４に連結されており、最後の第３バレルメッキ装置部３でのバレルメッキ処理して傾斜洗浄部２４での洗浄が終了したバレルユニット５をバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメッキ用メディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポット４０に移し替える動作を自動的に実行するものである。
【００２８】
図５に示すように、受渡装置部３０は、受渡装置部架台３１上に設置されたバレル移送手段としてのロボットアーム３２にて第３バレルメッキ装置部３の後段側のバレルユニット取り出し位置である傾斜洗浄部２４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、後述する機構にてバレル５ａの内容物、つまりメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗浄用ポット４０に移し替えるものである。なお、ロボットアーム３２はバレル排出手段としても機能し、空になったバレルユニット５を排出する。
【００２９】
一方、新規の（空の）洗浄用ポット４０の供給手段及びメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアが移し替えられた洗浄用ポット４０の分離洗浄装置部６０への排出手段としてロボットアーム３３が前記架台３１上に設けられている。
【００３０】
受渡装置部３０は、第１及び第２のロボットアーム３２，３３の他に、メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５のバレル開閉蓋を開ける蓋開け手段３６と、バレルユニット５を載置する載置台３７とを有していて、蓋開け手段３６で開閉蓋を開けられたバレル５ａの開口を傾斜させて下に向けるバレル支持手段３５と、前記開閉蓋を開けられたバレル５ａから落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける漏斗４１と、該漏斗を通って落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受け取る位置に洗浄用ポット４０を支えるポット支持手段４２と、前記漏斗４１及び洗浄用ポット４０が浸るように衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水５０を満たすことのできる液槽４３と、洗浄用ポットを前記漏斗下方の液槽内位置と液槽外位置との間で移送するポット移送手段４４とを備えている。
【００３１】
この受渡装置部３０においては、まず、ロボットアーム３２にて第３洗浄部２３後段の最後尾のステーションである傾斜洗浄部２４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、バレル支持手段３５の載置台３７上に移載する。載置台３７上に上向きに置かれたバレルユニット５に対して蓋開け手段３６にてバレル５ａの開閉蓋を開ける。
【００３２】
一方、ロボットアーム３３は新規の洗浄用ポット４０をポット仮置き台５１に移送し、この上に載置された洗浄用ポット４０をさらにポット移送手段４４のチャックで保持して液槽４３内におけるポット支持手段４２の位置Ｐ２に載置する。ポット移送手段４４のチャックはその洗浄用ポット４０から着脱式蓋を外し、当該着脱式蓋を保持して待機位置に復帰する。位置Ｐ２に置かれた上部が開口した洗浄用ポット４０はさらに位置Ｐ１に移送されて漏斗４１の下方位置となる。
【００３３】
前述のように開閉蓋の外されたバレルユニット５を配置した載置台３７を回転し、図５の仮想線のようにバレル５ａを斜め下向きに傾斜させる。これによりバレル５ａの内容物は漏斗４１を通してその下方に待機した洗浄用ポット４０の開口に入る。
【００３４】
なお、バレル５ａ内面に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアはバレル５ａを回転させながら洗浄水噴射ノズル４４でバレル内側に向け洗浄水（液槽４３内の洗浄水と同じ）をシャワー状に出して漏斗４１上に落下させる。
【００３５】
バレル５ａの内容物が移し替えられた位置Ｐ１の洗浄用ポット４０は、ポット支持手段４２で位置Ｐ２となり、着脱式蓋を持って待機していたポット移送手段４４のチャックが下降して洗浄用ポット４０の着脱式蓋を装着してからポット仮置き台５１に移載する。そして、ポット仮置き台５１上のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容した洗浄用ポット４０はロボットアーム３３にて分離洗浄装置部６０のポット受入位置Ｑに移送する。
【００３６】
この受渡装置部３０における液槽４３やシャワー等へは図１の経路で洗浄水が供給され（詳細は後述する）、液槽４３からの排水は汚染が少ないので処理水槽２１０に戻される。
【００３７】
前記受渡装置部３０に隣接して分離洗浄装置部６０が設置されている。この分離洗浄装置部６０は、前記受渡装置部３０にてチップ部品とメッキ用メディアが収容された洗浄用ポット４０をポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄し、乾燥する工程を自動的に実行するものである。
【００３８】
図６を用いて分離洗浄装置部６０の要部構成について説明する。この分離洗浄装置部６０は、図５のポット受入位置Ｑで受け入れた洗浄用ポット４０を矢印Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３の順に間欠搬送し、移送される洗浄用ポット４０内のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを、メディア分離部７０、超音波洗浄部８０及び純水リンス部９０にて洗浄するものであり、さらに図２の乾燥部１００で乾燥処理する。
【００３９】
なお、洗浄用ポット４０は搬送手段１１０に載せることで移送され、一連の分離、洗浄、乾燥プロセスが完了できるようになっている。
【００４０】
分離洗浄装置部６０に洗浄用ポット４０を投入すると、搬送手段１１０上に載置され、まずメディア分離部７０に間欠搬送され、ここのシャワー部７１において洗浄用ポット４０を回転させながら洗浄水を噴射して洗浄用ポット４０からメディアを分離する。つまり、洗浄用ポット４０のメッシュはチップ部品は通過しないが、メディアは通過可能な粗さであり、シャワー部７１の洗浄水の噴射によりメディアが落下する。
【００４１】
洗浄用ポット４０は搬送手段１１０によりメディア分離部７０から超音波洗浄部８０のシャッター８１，８２が開いた状態において洗浄槽８３内に導入される。洗浄用ポット４０が洗浄槽８３内に入るとシャッター８１，８２が閉じ、洗浄槽８３内に洗浄水が満たされ、超音波振動子８４より超音波を放射し、洗浄用ポット４０内のチップ部品に超音波振動を与えることで超音波洗浄が行われる。
【００４２】
超音波洗浄の終了した洗浄用ポット４０は洗浄槽８３内の水位を下げ、シャッター８１，８２を開いた状態にて搬送手段１１０により純水リンス部９０に移送される。純水リンス部９０においてはスプレーノズル９１から洗浄用ポット４０に純水を噴射して洗浄し、チップ部品の表面を純水置換する。
【００４３】
純水リンス部９０を出た洗浄用ポット４０は、搬送手段１１０の間欠搬送により図２の乾燥部１００に移送され、エアーブローによってチップ部品は乾燥させられる。その後、洗浄用ポット４０は搬送手段１１０の排出側端に移送される。
【００４４】
これらの分離洗浄装置部６０のメディア分離部７０、超音波洗浄部８０及び純水リンス部９０には図１の経路で洗浄水が供給され（詳細は後述する）、各部からの排水は汚染が少ないので処理水槽２１０に戻される。
【００４５】
図１で図２の各種水洗工程（バレルユニット水洗工程、ポット水洗工程）等を含む連続搬送バレルメッキ装置の洗浄水の供給並びに排水処理について説明する。
【００４６】
前述したように、第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３の前段及び中段の第１及び第２水洗槽部２５ａ，２５ｂで使用された排水は原水槽２００に戻されるが、この原水槽２００は各種混雑物によってかなり汚染されている（例えばＴＤＳ（Total Dissociated Solutes：全塩濃度）：３０００〜５０００ｐｐｍ程度）。この原水槽２００の水は活性炭による吸着効果で浮遊物等を吸着除去する吸着除去手段としてのＡＣ塔２０１、濾過手段としてのプレフィルター２０２を通してＲＯ装置（逆浸透膜装置）２０３に供給される。このＲＯ装置２０３の逆浸透膜により溶解分が除去されて純水に近くなった水が処理水槽２１０に供給される。なお、メッキ前洗浄部２０及び傾斜洗浄部２４の排水を、原水槽２００の濃度調整のために当該原水槽２００に戻す構成としてもよい。
【００４７】
一方、ＲＯ装置２０３で分離、除去された溶解分を含む濃縮液は濃縮液槽２２０に蓄えられる。濃縮液槽２２０からは濃縮液が蒸発装置２２１に連続的又は随時供給され、ここで水分が蒸発させられてほぼ固形分であるスラッジが排出物として得られる。このスラッジの体積は、１時間当たり数百リットルの洗浄水を循環させるような場合であっても、極めて少量であり、廃棄処理するまでの保管が容易である。また、メッキに使用した金属成分を多量に含むため、資源として再利用することも可能である。
【００４８】
前記蒸発装置２２１の蒸発処理において発生した水蒸気はクーリングタワー２２２で冷却されて水に戻され、前記原水槽２００に供給される。
【００４９】
前記受渡装置部３０と分離洗浄装置部６０の排水は処理水槽２１０に戻されるとともに、補給水（純水）が処理水槽２１０に適量供給される。処理水槽２１０の水はＣＯＮ（Conductivity：電導度）が１００μＳ／cm程度であり、その水は濾過手段としてのファイナルフィルター２１１、イオン除去用のイオン交換装置としてのＭＢ塔２１２、紫外線で殺菌処理を行う紫外線照射装置２１３、さらにＭＢ塔２１４を通して前記受渡装置部３０及び分離洗浄装置部６０に再生した洗浄水として供給される。
【００５０】
洗浄水は一連の装置において蒸発したり付着したりして水分が失われ、処理水槽２１０に前記補給水（純水）を追加して所定の水量を維持するようにするが、１時間当たり数百リットルの洗浄水を循環させる場合でも前記補給水は１時間当たり数リットル以下で済む。水の再利用率は９９．６％程度にまで高めることができる。
【００５１】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【００５２】
(1)  バレルユニット水洗工程（メッキ前洗浄部２０、第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３及び傾斜洗浄部２４）に用いる洗浄水として、図１のように第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３がそれぞれ備える第１及び第２水洗槽部２５ａ，２５ｂの排水からＡＣ塔２０１、プレフィルター２０２やＲＯ装置２０３を用いて浮遊物や溶解分を分離し、さらに、ファイナルフィルター２１１を通し、ＭＢ塔２１２によるイオン除去、紫外線照射装置２１３の殺菌により再生した水を繰り返し使用する構成である。そして、ＲＯ装置２０３より出た濃縮液から更に水分を蒸発装置２２１で蒸発させてスラッジを排出するとともに、水蒸気は水に戻して再利用するため、一連の装置における蒸発や付着で失われる水分を除いて完全にクローズドに循環するシステムとすることができ、スラッジとして排出される固形分は体積が微小で、従来の濃廃液に比較して格段に取り扱いと保管が容易である。
【００５３】
(2)  前記スラッジはメッキに使用された金属成分が含まれるため、金属資源としての利用が可能である。
【００５４】
(3)  一連の装置に１時間当たり数百リットルの洗浄水を循環させる場合でも、処理水槽２１０に補給する純水は１時間当たり数リットル以下で済み（例えば約４００リットル／時で洗浄水を循環させる場合、補給水は１．５リットル／時程度で済み）、水の再利用率を９９．６％程度にまで高めることができ、水資源があまり豊富でない所での稼働も可能である。
【００５５】
上記実施の形態では、バレルユニット水洗工程（メッキ前洗浄部２０、第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３及び傾斜洗浄部２４）のうち、第１乃至第３洗浄部２１，２２，２３に用いた洗浄水の排水を１系統のＡＣ塔２０１、プレフィルター２０２及びＲＯ装置２０３で処理している。この場合、スラッジにはＣｕの電解メッキを施す第１バレルメッキ装置部１、Ｎｉの電解メッキを施す第２バレルメッキ装置部２、Ｓｎの電解メッキを施す第３バレルメッキ装置部３の各金属成分、つまり  Ｃｕ，Ｎｉ，Ｓｎが混在しており、再利用に際し、金属毎に分離する必要がある。
【００５６】
そこで、本発明の他の実施の形態では、各メッキ浴槽の後段の第１、第２、第３洗浄部２１，２２，２３の各排水に対して、ＡＣ塔２０１、プレフィルター２０２、ＲＯ装置２０３及び濃縮液槽２２０の系統をそれぞれ設けるようにする。これにより、第１洗浄部２１の排水を処理した濃縮液槽２２０中にはＣｕ成分が、第２洗浄部２２の排水を処理した濃縮液槽２２０中にはＮｉ成分が、第３洗浄部２３の排水を処理した濃縮液槽２２０中にはＳｎ成分がそれぞれ分離されて得られるため、別々に蒸発装置２２１で蒸発処理することで、主にＣｕ成分のスラッジ、主にＮｉ成分のスラッジ、及び主にＳｎ成分のスラッジが別々に得られ、スラッジの再利用が一層容易となる。
【００５７】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【００５８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置は、蒸発や付着で失われる水分を除いて完全にクローズドに循環するシステムであり、スラッジとして排出される固形分は体積が微小で、従来の濃廃液に比較して格段に取り扱いと保管が容易であり、従って、スラッジを処理業者に渡すことは従来に比して遥かに容易であり、輸送に係る費用も遥かに節約でき、安全かつ容易なスラッジ処理（一般に金属を回収することが行われる）が可能になる大きな効果が生じる。また、水の再利用率（リサイクル率）は最高９９．６％程度と高く、環境を汚染することなく資源の無駄が省ける大きな効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るメッキ済み部品の洗浄水処理方法及び装置の実施の形態を示す説明図である。
【図２】実施の形態において、各種水洗工程を含む連続搬送バレルメッキ装置の例を示す正面図である。
【図３】連続搬送バレルメッキ装置におけるバレルメッキ装置部の正断面図である。
【図４】連続搬送バレルメッキ装置におけるメッキ浴槽後段の洗浄部の正断面図である。
【図５】連続搬送バレルメッキ装置における受渡装置部であって一部を断面とした正面図である。
【図６】連続搬送バレルメッキ装置における分離洗浄装置部の要部構成を示す説明図である。
【符号の説明】
１，２，３  バレルメッキ装置部
５  バレルユニット
５ａ  バレル
６  メッキ液
７  メッキ浴槽
２０  メッキ前洗浄部
２１，２２，２３  洗浄部
２４  傾斜洗浄部
１５  エレベータ機構
３０  受渡装置部
３２，３３  ロボットアーム
４０  洗浄用ポット
４３  液槽
４４  洗浄水噴射ノズル
５０  洗浄水
６０  分離洗浄装置部
７０  メディア分離部
８０  超音波洗浄部
８４  超音波振動子
９０  純水リンス部
１００  乾燥部
２００  原水槽
２０１  ＡＣ塔
２０２  プレフィルター
２０３  ＲＯ装置
２１０  処理水槽
２１１  ファイナルフィルター
２１２  ＭＢ塔
２１３  紫外線照射装置
２２０  濃縮液槽
２２１  蒸発装置
２２２  クーリングタワー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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