(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの固体（１，２）を含み、前記固体間で平面インターフェース（３）を形成するように前記個体が互いに結合されており、電場の作用で圧電体によって音波が生成されるとともに、該音波が前記二つの固体間のインターフェースによって案内され、これらの波が、二つの固体内で前記インターフェースから前記インターフェースに垂直な方向（Oy）で指数的に減少する音波エネルギーを有するように前記二つの固体を選択すると共に、
単一の固体を形成するために、前記二つの固体（１，２）を同一の結晶配向を有する同一の圧電材料で形成し、該単一の固体内部に、横（ＳＨ）インターフェース音波、又は準横（Ｑ-ＳＨ）インターフェース音波のための圧電ガイドとして機能するフィルタを形成する平面金属構造（9, 9’, 10）を配し、
前記二つの固体（１，２）の構成材料の結晶軸の向きが、インターフェース（３）において横音波（ＳＨ）又は準横音波（Ｑ−ＳＨ）を得られるように選択されており、これら音波の変位ベクトル（７）がインターフェース（３）の平面内を横断する方向の単一の成分、又は横方向に優勢な成分を有することを特徴とする実質的に面の内側で音波が拡散する平面構造の音響フィルタ。
【請求項２】
インターフェース（３）の平面の内側で音波の変位ベクトル（７）の横成分が変位ベクトルの唯一の成分であり、かつ圧電性であるとともに結晶軸Ｃが音波の伝播方向Oxに垂直なインターフェース面の内側にあるような6mm結晶群から、前記二つの固体から成っている前記材料の結晶軸が選ばれることを特徴とする請求項１記載の音響フィルタ。
【請求項３】
インターフェース（３）の平面の内側の音波の変位ベクトル（７）の横成分が優占しており、前記二つの固体が結晶軸Yに沿ったカットを作ることで得られ、この軸Yがニオブ酸リチウム（YX-LiNbO3）またはタンタル酸リチウム（YX-LiTaO3）内で特定の角度で配向し、音波が前記材料の結晶軸Xに沿って拡散するように前記二つの固体（１，２）から成っている前記材料の結晶軸が選ばれることを特徴とする請求項１又は２記載の音響フィルタ。
【請求項４】
インターフェース（３）の平面の内側の音波の変位ベクトル（７）の横成分が優占しており、前記二つの固体が前記石英（ST-X石英）の結晶軸STに沿ったカットを作ることで得られ、音波が前記材料の結晶軸Xに沿って拡散するように、前記二つの固体（１，２） から成っている前記材料の結晶軸が選ばれることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の音響フィルタ。
【請求項５】
音波の伝播軸（Ox）および選ばれた横または準横インターフェース音波の単一の横（ＳＨ）あるいは優占（Ｑ-ＳＨ）変位ベクトル（７）の軸を含む面に沿ってカットされた単一の圧電結晶から得られ、表面が平面金属フィルタ構造（9, 9’, 10）が形成される統制した厚みを有してエッチングした溝を含むカットした結晶の部分の一つのカットによって得られ、前記二つのカット部分（１、２）が同じ結晶配向に沿って互いに置きかえられるとともにエラスチック接着要素で互いに固定されることを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の音響フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、音波が１面内で拡散する平面構造音波フィルタに関する。
【０００２】
本発明は、専用ではないが、特に携帯電話に利用されるような無線通信接続や、モータ式車両のドアを開ける遠隔操作用のキー、あるいは非ローカライズコンピュータ間または電気機器間のデータの無線交換にも応用される。
【０００３】
これらの無線接続は、RFフィルタ（無線周波数フィルタ）ならびにFI中間周波数表面音波フィルタとして知られるヘッド・フィルタ群を用いる。
【０００４】
表面音波フィルタは一般に、電場の影響下で、基板の表面に拡散する音波を生成する圧電基板から構成され、これらの波は、伝播方向に関して矢状面内（レイリー波）に位置するか横方向（ブロイシュタイン・グライェフ波）かまたは準横方向かのどちらかに向いている。
【０００５】
これらの音波を生成するために、前記基板には基板上に付着するかまたは表面に形成された溝内に埋まった金属付着物で形成される平面金属構造が含まれ、該平面金属構造にはたとえばインターディジタイズ(interdigitise)したコーム(comb)を形成するかあるいはSPUDT型の変換器（単相単一方向変換器）、R-SPUDT型の変換器（共鳴SPUDT）、あるいは音響的または電気的に結合した共鳴器かを形成した複数のフィンガーが含まれる。これらの装置に関する多くの情報を得るためには、本記載の末尾に与えてある文献表に挙げた文献[４]から[８]を参考にすることができ、かつそれらを本記載内で参照することによって引用してある。
【０００６】
他の技術を用いるフィルタに関する表面音波フィルタの利点は、きわめて小さい寸法と、消費量の低さ（これらは受動フィルタである）と、特に製造費とにある。
【０００７】
ところが、移動電話方式で用いられる搬送波の周波数は、900Mhzから1800Mhzへと、2200Mhz、実際は3000Mhz以上に至るような増加傾向にある。それゆえ、前記金属構造の前記基板の寸法と、フィンガーの間の隙間と、特にフィンガーの寸法とは、このような高周波を処理することができるように減らす必要がある。金属のエッチングを行なうために必要であるリソグラフィー装置の精度は0.5μmから0.35μm、実際にはさらに少ない範囲（0.25から0.18μm）に収まる必要がある。
【０００８】
また、基板の寸法をますます減らす必要がある場合にはさらに、ほこりや材料の突起物が少しでも存在していたら前記フィルタの性能を損なう。
そのため、基板を箱で守ることが重要である。
さらに、基板が圧電型であると、電磁摂動から守ることもまた必要である。結果として、干渉を防ぐために箱が必要である。
【０００９】
このように、ますます小型になることによって前記チップを環境から守るための箱よりも音響チップがますます安価になりつつあるので、部品の費用による構造的な問題がある。
【００１０】
本発明の目的は、これらの不利な点を取り除くことにある。この効果に対して本発明は、音波が平面内で有意に拡散するような平面構造の音響フィルタを提供する。
【００１１】
本発明によれば、このフィルタは二つの固体を含むこと、その一つは圧電型であること、これらの固体は互いに結合されていてそれらの間に平面インターフェースを有すること、電場の助けで圧電体が音波を生成すること、二つの固体の間のインターフェースが音波を案内すること、さらには前記インターフェースに垂直な方向で二つの固体において前記インターフェースから指数的に減少する音波エネルギーを有すること、を特徴とする。
【００１２】
これらの配置によって、基板の表面にだけではなく、二つの固体の間のインターフェースにもまた、音波が拡散する。これらの波のエネルギーは二つの固体において前記インターフェースから指数的に減少する。しかし、前記固体の厚さが音波の波長の数十倍よりも大きいので、エネルギーは前記構造の外部には漏れない。したがって、前記部品（フィルタ）を環境から守るための箱は必要ない。さらに、音波が二つの固体の間のインターフェースに拡散するので、音波は表面波よりも大きい伝播速度を示す（たとえば3000 m/sに対して5000 m/s）。
【００１３】
非分散型のこれらインターフェース波の主な偏波には次の２つのタイプがある。材料の原子の変位ベクトルが矢状面（インターフェース面に垂直）の内側にだけ位置する場合にはストーンリ波であり、この変位ベクトルが矢状面に垂直な方向に沿ってだけ位置する場合にはこれらはメルフェル・ツルヌワ横インターフェース波である。これらの波の詳細は本記載の末尾に与えてある文献[１]、[２]および[３]でみることができ、またそれらは引用して本記載に統合してある。
【００１４】
横波または準横波については、これらを用いることが好ましく、その存在条件はストーンリ波よりは厳格でなく、また伝播速度は一般に大きい。
【００１５】
利点としては、インターフェース面の内側の波の変位ベクトルの横成分は、変位ベクトルの唯一の成分であるかまたは優占するように、かつ波が圧電的に結合される場合には、二固体を構成する前記材料の結晶軸が選ばれる。
【００１６】
二固体の一つあるいは両方は、圧電材料から作ることができる。第二の場合には、二つの圧電材料が同一であって良い。これらはまた、単一固体を形成させるために同じ結晶方向を持たせるように組み合わせても良い。この場合には、二固体間のインターフェースで形成されたフィルタを形成する平面金属構造は、横インターフェース波（SH）または準横インターフェース波（Q-SH）で圧電ガイドとして働く。
【００１７】
材料の一つが圧電性であり、他が圧電性でない場合は、伝播方向に沿って音波の変位ベクトルが純粋に横水平であるかまたは優占横水平成分を有するように、またこれらの波が圧電的に結合されるように、圧電材料の結晶軸を選ぶことが好ましい。
選択した伝播方向にしたがって、音波の変位ベクトルが純粋に横水平である、または優占横水平成分を有するように、またこれらの波が圧電材料中で横水平である、または優占横水平波の伝播速度に等しい、またはそれよりも大きい伝播速度を有するように、非圧電材料の結晶軸を選んでも良い。
【００１８】
本発明のフィルタの一特性によれば、非圧電材料の誘電率および密度はそれぞれ圧電材料の誘電率および密度よりも低い。
【００１９】
前記発明の一実施例を次に説明し、付属図面を参照しつつ非限定的な例示を示す：
【００２０】
図１は、本発明による音波フィルタを示す。このフィルタにはたとえば面ｘOｚの内側に位置するインターフェース３を形成するための並行管形状と他方に対する一つの面とを有する二つの固体１と２とが含まれる。二つの固体１と２とのひとつ１は、圧電材料Aからなっているが、一方、他は、おそらく圧電材料Aと同一である圧電材料Bからなっているかまたは非圧電性である。
【００２１】
インターフェース面３に近い方向0xに拡散する音波５を生成するならば，指数曲線６で示すように，これらの波のエネルギーが方向0xに垂直な方向0yで前記インターフェースから２固体内で指数的に減少するように固体１及び２の結晶軸の向きが選ばれる。そのため，もし固体１と２とが十分に厚いと（図１の0y方向で，）つまり音波の波長の数十倍の場合，エネルギーが前記構造の外に出ることがない。
【００２２】
そのため、その環境からその部品（フィルタ）を守るための包装が必要でなくなる。
非分散性であるこれらの波の主な偏波には次の２型があり得る。材料の原子の変位ベクトル７が矢状面ｘOｙの内側にだけ位置する場合にはこれらはストーンリ波であり（文献１参照）、この変位ベクトルが矢状面に垂直な方向Ozに沿ってのみ位置する場合には（図１に示した波の場合）、これらはメルフェル・ツルヌワ横インターフェース波である（文献２および３参照）。
【００２３】
好ましくは、前記発明のフィルタは横インターフェース波を用い、その存在条件はストーンリ波よりは厳格でなく、また伝播速度は一般に大きい。
【００２４】
図２において、２つの材料AとBの間のインターフェース３に位置する本発明による音波フィルタには、インターディジタイズしたコーム（文献[４]参照）、SPUDT型の変換器（文献[５]参照）かR-SPUDT型の変換器（文献[６]参照）および音響的または電気的に結合した共鳴器（文献[７]参照）または電気的に結合した部品（文献[８]参照）といった表面波部品のものに類似する、金属のような平面導電構造が含まれる。この導電構造によって、音波と、前記フィルタの特性を定義するこの構造の形態および配列とを生成することが可能となる。
【００２５】
この構造は、たとえば固体１のインターフェース３で二つの固体１と２との一つに穿たれた溝に埋まった二つの固体１と２との間のインターフェースで形成される金属付着物で得られる導電体の網状構造で構成しても良い。これには例えば、音波の伝播方向に垂直な導電体セグメント9,  9'からなる反射版を二枚と、導電体セグメント9,  9'の間には複数のフィンガーを有することでインターディジタイズしたコーム１０によって構成された変換器とを含んでいる。
【００２６】
発明者らは現在たとえば二つの半完成体１，２が圧電性を有する場合および前記二体のうちの一つだけが圧電性を有する場合を継続して詳細に試験している。
【００２７】
１−二つの材料が圧電性である場合
二つの材料AとBとが矢状面に垂直な軸Ozに沿って配列している軸Cを有する六方晶群に由来するものである場合、これらの音波の速度vccはインターフェースで圧電性電荷がきわめて薄い金属フィルムによって短絡される場合には下記式で与えられる。
式（１）
0004820037.tif 000002
【００２８】
一方、インターフェース３で圧電性電荷が短絡されない場合にはこれらの波の速度VNCは下記式で与えられる。
式（２）
0004820037.tif 000003
【００２９】
これらの式（１）と（２）ではεAとεBとは材料AとBとの誘電率であり、eＡとeBとは圧電テンソル係数（e15）Aと（e15）Bとであり、かつVAとVBとは材料AとBとのこれら音波の横伝播速度である。
【００３０】
二つの材料が同一であり、かつ同じ配向性を持つならば、ρA=ρB=ρ; VA=VB=VS;εA=εB=ε; およびeA=eB=e15
インターフェースで圧電性電荷が短絡される場合にはこれらの波の速度vccは下記式で与えられる。
式（３）
0004820037.tif 000004
0004820037.tif 000005
は前記材料の圧電結合係数である。
【００３１】
また、インターフェースで圧電性電荷が短絡されない場合にはインターフェース波は劣化し、速度・体積vSをもって横波に合成される。
この場合にはインターフェース波が存在し、かつ劣化せず、その速度vは速度vccに近い。
それゆえ、この波の結合係数2Δv/vは下記式に近い。
式（４）
0004820037.tif 000006
【００３２】
単一の圧電材料中でインターフェース音響フィルタを実施するには次のことが必要である：
【００３３】
−波が純粋の横波であるかまたはその変位ベクトル７の横成分が優占するよう、またこの波が圧電結合するよう、選んだ伝播方向Oxに沿うべく圧電結晶の結晶軸の配向を選ぶ
−変位ベクトル７の横成分ならびに波の伝播方向に並行な面に沿って結晶をカットする
−付着させるかまたはエッチングで作り、カットされた圧電結晶の各部分の一つのカットで得た面の上にインターディジタイズした、SPUDT、R―SPUDTコーム、あるいは音響的または電気的に結合した共鳴器を有する平面フィルタ構造における表面音波に関係するすべての従来の方法で統制する厚さを有する溝を使って良好に埋める（図２）、また
−結晶の配向にしたがって、第一部分上でカットしてある結晶の第二部分を分子付着あるいは他の任意の弾性付着要素によって置き換える。
【００３４】
平面フィルタの設計に関しては、そのインターフェースの対称性によって、二つの横方向の表面波の構造の半分（その誘電率は、圧電体の内側のεであり、圧電体の外側ではε０＝０であろう）の数学的重ね合わせを経てインターフェース波構造を得ることが出来るということに留意することにより、大きく単純化できる。
【００３５】
純粋横インターフェース波（SH）の例によって、伝播方向に垂直なインターフェース面の内側に結晶軸Cがあるたとえばチタン酸鉛やジルコニウム（PZT）などの6mm六方晶群から圧電材料を取ることができる。
【００３６】
準横インターフェース波（Q-SH）では、ニオブ酸リチウム（YX-LiNbO3）またはタンタル酸リチウム（YX-LiTaO3）の結晶軸Yに沿ってカットを取ることが出きる（ただし、Yは特定の角度、たとえば175度、で配向するものとする）し、結晶軸X上で伝播が生じる。さらに、石英からSTカットを取ることもでき、結晶軸Xで伝播が生じる（ST-X石英）。
【００３７】
２−二固体の一つが圧電性であり、他方がそうでない場合
純粋横インターフェース音波は二つの材料の間で存在できる。その一つは密度ρNPと速度vNPを有する非圧電性であり、他方は前記音波の伝播方向Oxに垂直な面xOzの内側に結晶軸Cがある6mm結晶群から選んだ密度ρPと速度VPを有する圧電性である（図１）。
【００３８】
この波の速度vは次の式によって与えられる。
式（５）
0004820037.tif 000007
【００３９】
ただし、前記インターフェースで圧電電荷がきわめて薄い金属膜によってあるいは非圧電導電材料によって短絡される場合には、η２は次の式で与えられる効果的な圧電結合係数であり、
式（６）
0004820037.tif 000008
さらに、前記インターフェースで圧電電荷が短絡されぬ場合には、η２は次の式で与えられる効果的な圧電結合係数である。
式（７）
0004820037.tif 000009
【００４０】
これらの式では、εPおよびεNPはそれぞれ圧電体および非圧電体の誘電率であり、e=e15は圧電テンソル係数であり、
0004820037.tif 000010
は圧電結合係数である。
これらのインターフェース波の存在条件を決定するように、発明者らは前記式（５）の三つの項を試験した。これらの項は実数かつ正の数であることが必要であり、それゆえ速度vは速度vPおよびvNPの最小値よりも小さいかあるいはもともと等しいかである。仮にvがvNP≦vPに等しいならば、第二項は相殺され、vが減る場合にははじめの二つの項が増加する。それゆえv=vNPであるときはη2は第一項よりも大きい必要がある。
【００４１】
もし速度vがvP≦vNPに等しいならば、第一項は相殺され、vが減る場合にははじめの２項が増加する。それゆえV=VPであるときはη2はまた第２項よりも大きい必要がある。
それゆえ、存在条件は下記の不等式の対で与えられる。
式（８）
0004820037.tif 000011
【００４２】
図３で、種々のη2の値（0.05; 0.1; および0.3）のために、不等式（８）で定義したように、二つの曲線vNP/vPはこれらの波の存在の場を限定するρNP/ρPにしたがってプロットしてある。ここで、vNP＝vP＝vSである時にはρNP/ρPにもかかわらずこれらの波がまだ存在することが観察できる。これらの状況では速度vは次式で与えられる。
式（９）
0004820037.tif 000012
【００４３】
ここで、小さいρNPがρPに関係することもまた観察され、速度vNPで存在の場が広がれば広がるほどvPよりも大きくなる。さらに、ρPとの関係がη2で大きければ大きいほど、またρNPで小さければ小さいほど波はインターフェースにさらに近づく。
【００４４】
インターフェースが短絡された時にはこれらの波の結合係数2Δv/vの計算は速度vccから、またインターフェースが短絡されていない時には速度vNCから簡単に行うことができる。vNP=vP=vSであるときには次式のようになる。
式（１０）
0004820037.tif 000013
【００４５】
それゆえ
0004820037.tif 000014
が大きく、ρNPがρPよりも小さく、εNPがεPよりも小さい時には結合係数はさらに大きくなる。
【００４６】
これら横インターフェース波を拡散できる材料の組み合わせを選ぶことを容易にするための詳細は、特定の数の材料の横速度vおよびその密度ρおよび比誘電率εにしたがって表１に挙げてある。
【００４７】
【表１】
0004820037.tif 000015
この表で、材料１から８は圧電性を有し、材料９から１２は非圧電性である。
【００４８】
圧電性材料と非圧電性材料との間のインターフェースで音響フィルタを実施するためには下記が必要条件である。
【００４９】
−波が純粋の横波であるかまたはその変位ベクトル７の横成分が優占するよう、またこの波が圧電結合するよう、選んだ伝播方向に沿うべく非圧電結晶の結晶軸の配向を選ぶこと。
―波が純粋の横波であるかまたはその変位ベクトル７の横成分が優占するよう、またこの波が圧電体内の横波または準横波の速度に等しいかまたはそれらよりも大きい伝播速度を有するよう、選んだ伝播方向に沿うべく圧電結晶の結晶軸の配向を選ぶこと。
―可能ならば圧電結晶の密度よりも低い密度を有する非圧電結晶を選ぶこと。
―可能ならば圧電結晶の密度よりも小さい誘電率を有する非圧電結晶を選ぶこと。
【００５０】
準横インターフェース波（Q-SH）の存在条件を満たすために、互いに関して記述した結晶配向からそれらのインターフェースに垂直な軸の周りで前記結晶を幾分配向させる。
【００５１】
本発明の一特徴によれば、図２に示すように、材料の一つの表面で、平面フィルタの金属構造が付着するかまたは適した軸に沿って統制した厚みを有するエッチングした溝に埋まる。次にエラスチック接着用の方法をなにか用いてこの表面に適当な軸に沿って他の材料を接着させる。
【００５２】
例示するやり方によって、YAG非圧電結晶を結晶軸Yに沿ってカットし、伝播が結晶軸Xに沿って生じるようにした圧電ニオブ酸リチウム（LiNbO3）結晶上または圧電タンタル酸リチウム（LiTaO3）結晶上で接着させることが可能である。
【００５３】
本発明のフィルタの他の変種によれば、二つの固体１、２の一つは結晶性であり、他の一つは付着によって、また光軸成長よって得られる、これらの条件では、付着したかあるいは適当な軸に沿って統制された厚みを有するエッチングした溝に埋まった結晶性材料の表面は、平面フィルタを構成する金属構造物であり、また第二の材料は、結晶性材料の調製した表面上に付着したかあるいは適当な軸に沿ってエピタキシアル成長によって形成される。
【００５４】
このゆえに、切り口Y（Yは特定の角度で配置している）を有する圧電性のニオブ酸リチウムYX-LiNbO3の適正に調製した表面上に非圧電性非晶質シリコン（Si）を付着させることができ、伝播が結晶軸Xに沿って生じる。エピタキシアル成長によって窒化アルミニウム（AlN）の圧電フィルムを非圧電性サファイア表面（Al2O3）に形成することもまた可能である。
【００５５】
記述で引用した文献表
[１] アール．スタンリー、プロック．ロイヤル．ソサイエティー（ロンドン）A 106, 416(1924)（R. Stoneley, Proc. Roy. Soc.(London)A 106, 416(1924)）
[２] シー．マーフェルド及びピー．トルノワ、アプリ．フィズ．レット．19, 117(1971)（C.Maerfeld and P. Tournois, Appl. Phys. Lett. 19, 117(1971)）
[３]ビー．アウルド．固体における音波領域及び音波、２巻、１４５〜１５１頁、ジョン  ウィリー、ニューヨーク（1973）（B. Auld, Acoustic Fields and Waves in Solids, vol. 2, pages 145-151, John Wiley, New York (1973)）
[４]ディー．ピー．モルガン、信号処理のための表面波装置、エルセヴァー、ニューヨーク（1985）（D.P.Morgan, Surface Wave Devices for Signal Processing, Elsevier, New York(1985)）
[５]シー．エス．ハートマン、ピー．ヴィー．ライト、アール．ジェイ．カンジー、及びイー．エム．ガーバー、内部反響のインターディジタル変換器ＳＡＷの分析及び単相単一方向変換器の意匠への適用、アイトリプルイー超音波シンプ．プロック．、４０〜４５頁（1982）（C.S. Hartmann, P.V. Wright, R.J. Kansy and E.M. Garber, An Analysis of SAW Interdigital Transducers with Internal Reflections and the Application to the Design of Single Phase Unidirectional Transducers, IEEE Ultrasonic Symp. Pro., p. 40-45(1982)）
[６]ピー．ベンテュラ，エム，ソラル、ピー．デュフィリュー、ジェイ．エム．ホード  及びエフ．ロウックス、ＳＰＵＤＴにおける新しい構想：ＲＳＰＵＤＴ（共鳴するＳＰＵＤＴ）、アイトリプルイー超音波シンプ．プロック．、１〜６頁（1994）（P.Ventura, M. Solal, P. Dufilue, J.M. Hode and F. Roux, A New Concept in SPUDT design: the RSPUDT(Resonant SPUDT), IEEE Ultrasonic Symp. Proc., P. 1-6(1994)）
[７] ピー．エフ．クロス、アール．エフ．スミス及びダブリュ．エイチ．ハイドル、電子学、１１巻、２４４、２４５頁（１９７５年５月）（P.F. Cross, R.F. Smith and W.H. Haydl, Electronic Letters, vol. 11, p. 244-245(May 1975)）
【図面の簡単な説明】
【図１】前記発明にしたがったフィルタを斜視図として模式的に表し、二つの固体の間のインターフェースに拡散する音波を示す図。
【図２】二つの固体の間のインターディジタイズした変換器を有するインターフェースでの前記発明にしたがったフィルタを斜視図として模式的に表した図、
【図３】横または準横インターフェース波の存在範囲を定義する二本の曲線を示す図。
【図１】
0004820037.tif 000016
【図２】
0004820037.tif 000017
【図３】
0004820037.tif 000018