(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との混合物中に、加熱により酸化マグネシウムを生成するマグネシウム化合物と、カチオン界面活性剤とが溶解されてなる交流型プラズマディスプレイパネル用酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物。
【請求項２】
脂肪族多価アルコールが脂肪族二価アルコールである請求項１に記載の液体組成物。
【請求項３】
脂肪族二価アルコールが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール又はこれらの混合物からなる請求項２に記載の液体組成物。
【請求項４】
多塩基有機酸が、フマル酸、リンゴ酸、コハク酸、クエン酸、イタコン酸又はこれらの混合物からなる請求項１に記載の液体組成物。
【請求項５】
マグネシウム化合物が、水酸化マグネシウム、硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、炭酸マグネシウム、シュウ酸マグネシウム、マグネシウムのアルコキシド化合物又はこれらの混合物からなる請求項１に記載の液体組成物。
【請求項６】
カチオン界面活性剤が、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルアミンアセテート又はこれらの混合物からなる請求項１に記載の液体組成物。
【請求項７】
多価アルコール１００質量部に対して有機酸を７０〜３００質量部の範囲となる量にて含む請求項１に記載の液体組成物。
【請求項８】
マグネシウム化合物の含有量が、組成物全体に対して１〜２５質量％の範囲にある請求項１に記載の液体組成物。
【請求項９】
カチオン界面活性剤の含有量が、組成物全体に対して０．１〜４０質量％の範囲にある請求項１に記載の液体組成物。
【請求項１０】
さらに、マグネシウム１モルに対して、アルミニウム、ケイ素、亜鉛、ガリウム、ゲルマニウム、ヒ素、カドミウム、インジウム、スズ、アンチモン、水銀、タリウム、鉛及びビスマスからなる群より選ばれる元素を含む化合物が、該元素の量に換算して０．０００１〜０．１５モルの割合となるように溶解されている請求項１に記載の液体組成物。
【請求項１１】
脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸とが部分的に重合した化合物を含む請求項１に記載の液体組成物。
【請求項１２】
誘電体層を備えた交流型プラズマディスプレイパネルの前面板用基体の誘電体層の上に、請求項１に記載の液体組成物を塗布して塗布膜を形成し、次いで塗布膜を６０〜４００℃の温度にて加熱して塗布膜を固化させた後、固化した塗布膜を４５０℃以上の温度で焼成して酸化マグネシウム薄膜を生成させることからなる酸化マグネシウム薄膜付き交流型プラズマディスプレイパネルの前面板用基体の製造方法。
【請求項１３】
誘電体層が、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸
化二ホウ素、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムの混合物からなるガラス組成物、又は酸化鉛、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物である請求項１２に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、交流型プラズマディスプレイパネルの誘電体層保護膜用の酸化マグネシウム薄膜を製造するのに有用な酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
交流型プラズマディスプレイパネル（以下、ＡＣ型ＰＤＰという）は、放電電極、誘電体層、そして保護膜がこの順で積層されている前面板と、アドレス電極、隔壁、そして赤、緑、青の紫外線励起蛍光体からなる蛍光体層とが配設された背面板とを、それぞれ保護膜と蛍光体層とが放電ガスが充填された放電空間を挟んで互いに向き合うように配置した構成となっている。このような構成のＡＣ型ＰＤＰでは、前面板の放電電極の放電によって放電空間内にて紫外光を発生させ、その紫外光を背面板の蛍光体に照射して赤、緑、青の可視光に変換し、その可視光を前面板から取り出すようになっている。
【０００３】
誘電体層保護膜には、二次電子放出能が高く、耐スパッタ性の高い酸化マグネシウム薄膜が一般的に利用されている。この誘電体層保護膜用の酸化マグネシウム薄膜の製造には、電子ビーム蒸着法（ＥＢ蒸着法）が広く利用されている。しかしながら、ＥＢ蒸着法は、真空容器を必要とするため製造設備が高価で、またバッチ式の生産となるため生産性が低いという問題がある。
【０００４】
製造設備が安価で、生産性の高い酸化マグネシウム薄膜の製造方法として、塗布法が検討されている。塗布法とは、酸化マグネシウムもしくは加熱によって酸化マグネシウムを形成するマグネシウム化合物を含む溶液組成物を塗布して塗布膜を形成し、次いでその塗布膜を加熱焼成して酸化マグネシウム薄膜を製造する方法である。しかしながら、塗布法では、加熱焼成時に塗布膜の熱収縮が起こるため、得られる酸化マグネシウム薄膜に亀裂が発生しやすく、また酸化マグネシウム薄膜と基体との密着性が低いという問題がある。
【０００５】
亀裂の発生が少なく、かつ基体との密着性の高い酸化マグネシウム薄膜を塗布法により製造する方法として、特許文献１には、塗布膜を加熱焼成して酸化マグネシウム薄膜とする前に、塗布膜を光学的、化学的もしくは熱的に固化させる方法が開示されている。光学的、化学的もしくは熱的に固化させた塗布膜は、加熱焼成時の熱収縮が起こりにくくなるため、得られる酸化マグネシウム薄膜に亀裂が発生しにくく、また酸化マグネシウム薄膜と基体との密着性が向上する。特許文献１には、熱的に固化する液体組成物として、溶媒に脂肪族二価アルコールと有機酸（特に、多塩基有機酸）との混合物を用いた液体組成物が記載されている。
【特許文献１】特開２００５−３６２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述のようにＡＣ型ＰＤＰでは、可視光が前面板から取り出されるため、前面板に形成された酸化マグネシウム薄膜は可視光透過率が高い方が好ましい。しかしながら、本発明者の検討によると、上記特許文献１に記載されている、溶媒が脂肪族二価アルコールと有機酸との混合物からなる酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物は、亀裂の発生が少なく、基体との密着性が高い酸化マグネシウム薄膜を製造するのに適した液体組成物であるが、得られる酸化マグネシウム薄膜の可視光透過率については不十分な場合がある。
従って、本発明の目的は、亀裂の発生が少なく、基体との密着性が高く、そして可視光透過性の高い酸化マグネシウム薄膜を塗布法により製造するのに有用な液体組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との混合物中に、加熱により酸化マグネシウムを生成するマグネシウム化合物と、カチオン界面活性剤とが溶解されてなる交流型プラズマディスプレイパネル用酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物にある。
【０００８】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物の好ましい態様は次の通りである。
（１）脂肪族多価アルコールが、脂肪族二価アルコールである。
（２）上記脂肪族二価アルコールが、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール又はこれらの混合物からなる。
（３）多塩基有機酸が、フマル酸、リンゴ酸、コハク酸、クエン酸、イタコン酸又はこれらの混合物からなる。
（４）マグネシウム化合物が、水酸化マグネシウム、硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、炭酸マグネシウム、シュウ酸マグネシウム、マグネシウムのアルコキシド化合物又はこれらの混合物からなる。
（５）カチオン界面活性剤が、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ステアリルアミンアセテート又はこれらの混合物からなる。
【０００９】
（６）多価アルコール１００質量部に対して有機酸を７０〜３００質量部の範囲となる量にて含む。
（７）マグネシウム化合物の含有量が、組成物全体に対して１〜２５質量％の範囲にある。
（８）カチオン界面活性剤の含有量が、組成物全体に対して０．１〜４０質量％の範囲にある。
（９）さらに、マグネシウム１モルに対して、アルミニウム、ケイ素、亜鉛、ガリウム、ゲルマニウム、ヒ素、カドミウム、インジウム、スズ、アンチモン、水銀、タリウム、鉛及びビスマスからなる群より選ばれる元素を含む化合物が、該元素の量に換算して０．０００１〜０．１５モルの割合となるように溶解されている。
（１０）脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸とが部分的に重合した化合物を含む。
【００１０】
本発明はまた、誘電体層を備えた交流型プラズマディスプレイパネルの前面板用基体の誘電体層の上に、上記本発明の液体組成物を塗布して塗布膜を形成し、次いで塗布膜を６０〜４００℃の温度にて加熱して塗布膜を固化させた後、固化した塗布膜を４５０℃以上の温度で焼成して酸化マグネシウム薄膜を生成させることからなる酸化マグネシウム薄膜付き交流型プラズマディスプレイパネルの前面板用基体の製造方法にもある。
【００１１】
誘電体層を備えた交流型プラズマディスプレイパネルの前面板用基体の誘電体層は、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸化二ホウ素、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムの混合物からなるガラス組成物、又は酸化鉛、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物からなるガラス組成物であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物を用いることによって、ＡＣ型ＰＤＰの誘電体層保護膜として有用な、亀裂が少なく、誘電体層との密着性が高く、そして可視光透過性の高い酸化マグネシウム薄膜を工業的に有利に製造することができる。
また、本発明のＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体の製造方法を利用することによって、亀裂が少なく、誘電体層との密着性が高く、そして可視光透過性の高い酸化マグネシウム薄膜を備えたＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体を工業的に有利に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用の液体組成物は、脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との混合物中に、加熱により酸化マグネシウムを生成するマグネシウム化合物と、界面活性剤とが溶解されてなる。
【００１４】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物において、脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との混合物は溶媒となる。脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との混合割合は、多価アルコール１００質量部に対して有機酸を７０〜３００質量部の範囲となる割合であることが好ましい。
【００１５】
脂肪族多価アルコールは、脂肪族二価アルコール又は脂肪族三価アルコール（グリセン）であることが好ましく、脂肪族二価アルコールであることが特に好ましい。脂肪族多価アルコールは、炭素原子数が２〜１０の範囲にあることが好ましく、２〜６の範囲にあることが特に好ましい。脂肪族二価アルコールの例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール及びヘキシレングリコールを挙げることができる。脂肪族多価アルコールは、一種を単独であるいは二種以上を混合して用いることができる。
【００１６】
多塩基有機酸は、二塩基有機酸（ジカルボン酸）及び三塩基有機酸（トリカルボン酸）であることが好ましい。多塩基有機酸は、炭素原子数が４〜１０の範囲にあることが好ましく、４〜６の範囲にあることが特に好ましい。多塩基有機酸の例としては、フマル酸、リンゴ酸、コハク酸、クエン酸及びイタコン酸を挙げることができる。多塩基有機酸は、一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。
【００１７】
加熱により酸化マグネシウムを生成するマグネシウム化合物の例としては、水酸化マグネシウム、硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、硫酸マグネシウム、塩化マグネシウム、炭酸マグネシウム、シュウ酸マグネシウム及びマグネシウムのアルコキシド化合物（例えば、マグネシウムメトキシド、マグネシウムエトキシド、マグネシウムプロキシド、マグネシウムブトキシド）を挙げることができる。マグネシウム化合物は結晶水を有してもよい。マグネシウム化合物は一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。マグネシウム化合物の含有量は、組成物全体に対して１〜２５質量％の範囲にあることが好ましい。
【００１８】
界面活性剤としては、カチオン界面活性剤を用いる。界面活性剤は一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。界面活性剤の含有量は、組成物全体に対して０．１〜４０質量％の範囲にあることが好ましく、０．１〜２０質量％の範囲にあることが特に好ましい。
【００１９】
カチオン界面活性剤としては、アルキルアミン塩、第４級アンモニウム塩、フォスフォニウム塩及びスルファミニウム塩を用いることができる。特に好ましいのは、アルキルアミン塩及び第４級アンモニウム塩である。カチオン界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミンアセテート及びラウリルトリメチルアンモニウムクロライドを挙げることができる。
【００２３】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物には、さらに、マグネシウム１モルに対して、アルミニウム、ケイ素、亜鉛、ガリウム、ゲルマニウム、ヒ素、カドミウム、インジウム、スズ、アンチモン、水銀、タリウム、鉛及びビスマスからなる群より選ばれる長周期型周期律表１２〜１５族の元素を含む化合物が、該元素の量に換算して０．０００１〜０．１５モルの割合となるように溶解されていてもよい。これらの長周期型周期律表１２〜１５族の元素の化合物は、酸化マグネシウム薄膜の製造の際に、生成する酸化マグネシウム結晶子のサイズを微細にする効果がある。このため、これらの長周期型周期律表１２〜１５族の元素の化合物が溶解されている液体組成物から製造した酸化マグネシウム薄膜は、酸化マグネシウム結晶子が微細で、可視光の透過性がさらに高いものとなる。
【００２４】
長周期型周期律表１２〜１５族の元素を含む化合物は、亜鉛、スズ及びアンチモンの化合物であることが好ましい。長周期型周期律表１２〜１５族の元素を含む化合物は、硝酸塩、酢酸塩、硫酸塩、塩化物、フッ化物、炭酸塩、シュウ酸塩、アセチルアセトネート化合物、あるいはアルコキシド化合物であることが好ましく、硝酸塩及び塩化物であることが特に好ましい。長周期型周期律表１２〜１５族の元素の化合物は、一種を単独で用いてもよいし、二種以上を混合して用いてもよい。
【００２５】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物は、脂肪族多価アルコール、多塩基有機酸、マグネシウム化合物、界面活性剤、さらに必要に応じて長周期型周期律表１２〜１５族の元素を含む化合物を所定の割合で混合することよって製造することができる。これら各原料の混合順序としては、脂肪族多価アルコールとマグネシウム化合物（さらに必要に応じて長周期型周期律表１２〜１５族の元素を含む化合物）とを混合して、マグネシウム化合物を脂肪族多価アルコールに溶解させ、次いでマグネシウム化合物が溶解している脂肪族多価アルコールと、多塩基有機酸及び界面活性剤を混合するのが好ましい。脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸とを混合した後に６０〜４００℃の温度に加熱して、脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸との一部をエステル縮合させることによって、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物の粘度を調製してもよい。
【００２６】
本発明の酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、酸化マグネシウム薄膜付きＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体を製造するに際しては、誘電体層を備えたＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体の誘電体層の上に、本発明の液体組成物を塗布して塗布膜を形成し、次いで塗布膜を６０〜４００℃の温度にて加熱して塗布膜を固化させた後、固化した塗布膜を４５０℃以上の温度で焼成して酸化マグネシウム薄膜を生成させることからなる方法により行なうことが好ましい。
【００２７】
酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を塗布するＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体の誘電体層を構成する材料は、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物（ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2）からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2）からなるガラス組成物、酸化鉛、三酸化二ホウ素、酸化ケイ素及び酸化アルミニウムの混合物（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3）からなるガラス組成物、又は酸化鉛、酸化亜鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2）であることが好ましい。
【００２８】
酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を誘電体層の上に塗布して塗布膜を形成する方法としては、スピンコート法、ディップコート法、スプレーコート法、ロールコート法、メニスカスコート法、バーコート法及び流延法などの方法を用いることができる。
【００２９】
本発明においては、誘電体層上に形成した塗布膜を、通常は６０〜４００℃、好ましくは２５０〜３５０℃の温度にて加熱して、塗布膜を構成している液体組成物の溶媒である脂肪族多価アルコールと多塩基有機酸とをエステル縮合させることにより、塗布膜を固化させる。これにより、固化した塗布膜は、その後の加熱焼成時での熱収縮が起こりにくくなるため、得られる酸化マグネシウム薄膜に亀裂が発生しにくく、また酸化マグネシウム薄膜と基体との密着性が向上する。固化した塗布膜から酸化マグネシウム薄膜を生成させるための焼成温度は、４５０〜６００℃の温度の範囲にあることが好ましい。
【００３０】
上記のようにしてＡＣ型ＰＤＰの前面板用基体の誘電体層の上に形成される酸化マグネシウム薄膜の厚さは、一般に０．１〜２０μｍの範囲、好ましくは０．１〜５μｍの範囲にある。酸化マグネシウム薄膜の波長４００〜８００ｎｍの可視光の透過率は、厚さ０．２μｍの場合で通常は９０％以上、特に９１〜９９％の範囲にある。
【実施例】
【００３１】
［実施例１］
（１）酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物の調製
エチレングリコール５３質量部に、硝酸マグネシウム六水和物６質量部を加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４１質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてラウリルトリメチルアンモニウムクロライド１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００３２】
（２）酸化マグネシウム薄膜の製造及び可視光透過率の測定
ガラス基板の上に、上記（１）にて調製した酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物をスピンコート法により塗布して塗布膜を形成した。この塗布膜付きガラス基板を大気中で２５０℃の温度で３０分間加熱処理して塗布膜を固化させた後、さらに大気中で５５０℃の温度で１時間焼成して、酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の膜厚は０．２μｍであった。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、下記の方法により平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は２０ｎｍで、可視光透過率は９４％であった。
【００３３】
［平均結晶子径の測定方法］
透過型電子顕微鏡を用いて撮影した酸化マグネシウム薄膜表面の拡大写真から、任意の２０個の結晶子の直径を測定して、その平均を算出する。
【００３４】
［可視光透過率の測定方法］
酸化マグネシウム薄膜付きガラス基板について、波長４００〜８００ｎｍの可視光透過率を（株）島津製作所製、ＵＶ−２４００ＰＣを用いて測定する。参照サンプルとして、ガラス基板単独の可視光透過率を測定して、その差から酸化マグネシウム薄膜の可視光透過率を算出する。
【００３５】
（３）酸化マグネシウム薄膜の製造及び放電開始電圧・放電維持電圧の測定
下記の放電特性評価用パネルの誘電体層の上に、上記（１）にて調製した酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を、スピンコート法により塗布して塗布膜を形成した。この塗布膜付きガラス基板を大気中で２５０℃の温度で３０分間加熱処理して塗布膜を固化させた後、さらに大気中で５５０℃の温度で１時間焼成して、酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の膜厚は０．２μｍであった。
【００３６】
［放電特性評価パネル］
図１は、放電特性評価パネルの平面図であり、図２は、図１の主要部拡大図である。評価パネルは、ガラス基板１、ガラス基板１の上に形成された二本の電極線２ａ、２ｂからなる十組の放電電極３と、放電電極３の電極線２ａ、２ｂを外部に接続するための取り付け用電極４ａ、４ｂ、そして放電電極３を覆うように形成された誘電体層５からなる。ガラス基板１のサイズは、縦５０ｍｍ×横５０ｍｍであり、二本の電極線２ａ、２ｂ（幅はいずれも０．３ｍｍ）のギャップは０．１ｍｍであり、各放電電極３のギャップは０．２ｍｍである。電極線２ａ、２ｂと、取り付け用電極４ａ、４ｂとの接点部分の幅は０．５ｍｍである。誘電体層５は、酸化鉛、三酸化二ホウ素及び酸化ケイ素の混合物（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2）からなり、縦２０ｍｍ×横２０ｍｍ×厚さ２００μｍである。
【００３７】
上記のようにして製造した酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、下記の方法により、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４１４Ｖ、放電維持電圧は３７２Ｖであった。
【００３８】
［放電開始電圧と放電維持電圧の測定方法］
放電特性評価パネルの取り付け用電極に、高電圧パルス発生装置を取り付ける。評価用パネルを上部に観察窓が設けられている密閉容器に、評価用パネルの放電電極が観察窓が見える位置に配置する。密閉容器の内圧を０．１３Ｐａ（１×１０-3Ｔｏｒｒ）以下まで減圧する。続いて、密閉容器にＨｅ：９５体積％、Ｘｅ：５体積％からなる混合ガスが大気圧となるまで充填する。この操作を３回繰り返した後、密閉容器の内圧を、混合ガスにて６．６７×１０4Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）に調整する。その後、高圧パルス発生装置により、評価パネルの取り付け電極に方形波形の電圧を加えて、放電状態を観察する。具体的には、電圧を徐々に増加させて行き、放電が開始した電圧を放電開始電圧とし、次に電圧を徐々に減少させて行き、放電電極の放電が、十組中で一組でも途切れた電圧を放電維持電圧とする。
【００３９】
［実施例２］
エチレングリコール５４質量部に、酢酸マグネシウム四水和物５質量部を加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４２質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてステアリルアミンアセテート１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００４０】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は２０ｎｍで、可視光透過率は９３％であった。
【００４１】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４２５Ｖ、放電維持電圧は３８１Ｖであった。
【００４２】
［実施例３］
エチレングリコール５３質量部に、硝酸マグネシウム六水和物６質量部と硝酸亜鉛六水和物０．０２５質量部とを加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４１質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてラウリルトリメチルアンモニウムクロライド１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００４３】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は１５ｎｍで、可視光透過率は９７％であった。
【００４４】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４０３Ｖ、放電維持電圧は３２４Ｖであった。
【００４５】
［実施例４］
エチレングリコール５３質量部に、硝酸マグネシウム六水和物６質量部と塩化スズ０．０６５質量部とを加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４１質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてラウリルトリメチルアンモニウムクロライド１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００４６】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は１５ｎｍで、可視光透過率は９６％であった。
【００４７】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４２３Ｖ、放電維持電圧は３３６Ｖであった。
【００４８】
［実施例５］
エチレングリコール５３質量部に、硝酸マグネシウム六水和物６質量部と塩化アンチモン０．０５８質量部とを加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４１質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてラウリルトリメチルアンモニウムクロライド１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００４９】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は１５ｎｍで、可視光透過率は９８％であった。
【００５０】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４１０Ｖ、放電維持電圧は３２９Ｖであった。
【００５１】
［実施例６］
エチレングリコール５３質量部に、酢酸マグネシウム四水和物５質量部と塩化アンチモン０．０５８質量部とを加えて撹拌して溶解させた。この溶液にクエン酸４２質量部を添加し、次いで１３０℃の温度に加熱して、エチレングリコールとクエン酸とを部分的に縮重合させた。この溶液を室温まで放冷した後、溶液に界面活性剤としてラウリルトリメチルアンモニウムクロライド１質量部を加えて、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００５２】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は１５ｎｍで、可視光透過率は９７％であった。
【００５３】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４２５Ｖ、放電維持電圧は３４５Ｖであった。
【００５４】
［比較例１］
ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド（界面活性剤）を加えない以外は、実施例１と同様にして、酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を調製した。
【００５５】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（２）と同様にして、ガラス基板の上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。得られた酸化マグネシウム薄膜の外観を観察したところ、亀裂やガラス基板からの剥離は見られなかった。また粘着テープによる付着力試験を行なったところ、酸化マグネシウム薄膜はガラス基板から剥離しなかった。
得られた酸化マグネシウム薄膜について、実施例１（２）と同様に平均結晶子径と可視光透過率とをそれぞれ測定したところ、平均結晶子径は２０ｎｍで、可視光透過率は８５％であった。
【００５６】
得られた酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物を用いて、実施例１（３）と同様にして、評価用パネルの上に膜厚０．２μｍの酸化マグネシウム薄膜を製造した。この酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルについて、実施例１（３）と同様に、放電開始電圧と放電維持電圧を測定したところ、放電開始電圧は４２４Ｖ、放電維持電圧は３８２Ｖであった。
【００５７】
実施例１〜６及び比較例１にて、得られた酸化グネシウム薄膜の可視光透過率及び酸化マグネシウム薄膜付き評価用パネルの放電開始電圧と放電維持電圧とを下記の表１にまとめて示す。
【００５８】
表１
────────────────────────────────────────
平均結晶子径    可視光透過率    放電開始電圧    放電維持電圧
（ｎｍ）        （％）          （Ｖ）          （Ｖ）
────────────────────────────────────────
実施例１      ２０            ９４          ４１４          ３７２
実施例２      ２０            ９３          ４２５          ３８１
実施例３      １５            ９７          ４０３          ３２４
実施例４      １５            ９６          ４２３          ３３６
実施例５      １５            ９８          ４１０          ３２９
実施例６      １５            ９７          ４２５          ３４５
────────────────────────────────────────
比較例１      ２０            ８５          ４２４          ３８２
────────────────────────────────────────
【００５９】
表１に示した結果から、界面活性剤を含む酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物（実施例１〜６）から製造した酸化マグネシウム薄膜と、界面活性剤を含まない酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物から製造した酸化マグネシウム薄膜（比較例１）とを比べると、界面活性剤を含む酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物から製造した酸化マグネシウム薄膜の方が高い可視光透過率を示すことが分かる。特に、亜鉛、スズ、アンチモンを含む化合物が溶解されている酸化マグネシウム薄膜製造用液体組成物（実施例３〜６）から製造した酸化マグネシウム薄膜の可視光透過率が高いことが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本実施例にて使用した放電特性評価用パネルの平面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  ガラス基板
２ａ、２ｂ  電極線
３  放電電極
４ａ、４ｂ  取り付け用電極
５  誘電体層
【図１】
0004813234.tif 000002
【図２】
0004813234.tif 000003