(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状物を貯留する筒状容器と、
前記筒状容器内に挿通される軸状部材と、
前記軸状部材を軸方向に往復運動させる駆動装置とを備え、
前記筒状容器は、筒状容器における軸方向の一方の端部に設けられ、前記液状物を吐出する吐出側端部とその反対側の入口側端部とを有するノズルと、筒状容器における軸方向の他方の端部に設けられた開口部と、前記ノズルの入口側端部に隣接する位置に配置され、筒状容器に貯留された液状物の前記ノズルへの供給と遮断の切り替えを行う弁の一部を構成する弁座とを含み、
前記軸状部材は、軸状部材における軸方向の一方の端部に設けられ、軸状部材が往復運動することによって前記弁座に当接する状態と前記弁座から乖離した状態とが選択され、前記弁座と共に前記弁を構成する弁構成部を含み、
前記弁構成部が前記弁座から乖離したときに、前記筒状容器に貯留された液状物を前記ノズルの吐出側端部から選択的に吐出させる液状物吐出装置であって、
更に、前記筒状容器内において、前記軸状部材に連動しないように前記軸状部材の周囲に配置され、前記弁構成部が前記弁座に当接した状態と前記弁構成部が前記弁座から乖離した状態のいずれにおいても、前記筒状容器に貯留された液状物と前記軸状部材の外周面の少なくとも一部とを隔てる鞘状部材と、
前記鞘状部材の前記開口部側の端部に接続されると共に前記開口部を塞ぐように前記筒状容器に固定された固定部材とを備えたことを特徴とする液状物吐出装置。
【請求項２】
前記鞘状部材の前記ノズル側の端部は、前記弁座よりも前記開口部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の液状物吐出装置。
【請求項３】
前記鞘状部材の前記ノズル側の端部は、前記弁構成部が最も前記弁座から離れた状態にあるときの前記弁構成部よりも前記開口部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の液状物吐出装置。
【請求項４】
前記筒状容器は、一定の内径を有する内径一定部分と、前記内径一定部分よりも前記弁座に近い位置に配置され、前記弁座に近づくに従って内径が徐々に小さくなる内径変化部分とを含み、
前記鞘状部材の前記ノズル側の端部は、前記内径変化部分の内側に配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【請求項５】
前記筒状容器は、一定の内径を有する内径一定部分と、前記内径一定部分よりも前記弁座に近い位置に配置され、前記内径一定部分の内径よりも小さい内径を有する小径部分と、前記内径一定部分と前記小径部分とを連結する連結部分とを含み、
前記鞘状部材の前記ノズル側の端部は、前記小径部分よりも前記開口部に近い領域内に配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【請求項６】
前記連結部分における液状物に接する面は、前記筒状容器における軸方向に対して直交するように配置されていることを特徴とする請求項５記載の液状物吐出装置。
【請求項７】
更に、前記鞘状部材と前記軸状部材との間の間隙への液状物の浸入を防止するためのシール部材を備えたことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【請求項８】
前記筒状容器に貯留される液状物は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度が５０〜１０００Ｐａ・secの範囲内の値になる性質を有している液状物であることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【請求項９】
前記筒状容器に貯留される液状物は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される粘度に関して、回転数１ＲＰＭにおける粘度を回転数５ＲＰＭにおける粘度で除した値が１．１〜６．０の範囲内の値になる性質を有している液状物であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【請求項１０】
前記筒状容器に貯留される液状物は、熱または電磁波によって硬化する樹脂であって、電子部品を被実装物に実装する際に、電子部品と被実装物とを接着するために電子部品と被実装物との間に介在されるものであることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液状物吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微少量の液状物を吐出するための液状物吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状物吐出装置は、シンリジと呼ばれる容器に貯留された接着剤、封止剤、コーティング剤等の液状物をノズルから吐出する装置である。この液状物吐出装置は、一般にディスペンサーと呼ばれ、従来から様々な分野で用いられている。一例を挙げると、エレクトロニクス分野において、電子部品を配線基板や半導体装置等の被実装物に実装する際に、電子部品と被実装物とを接着するための樹脂を、電子部品または被実装物に塗布する場合に液状物吐出装置が用いられる。
【０００３】
近年、エレクトロニクス分野では、電子部品の小形化・高集積化が要求されており、これに伴い、液状物吐出装置を用いて、微少量の液状物を高精度で且つ安定して吐出する技術が求められている。電子部品の小形化・高集積化の要求に応えるには、液状物としては、塗布された後に所望の位置から流れて拡がることなく、一定の形状を保つことが理想的である。この観点からは、液状物の粘度は高いことが好ましい。しかし、液状物吐出装置から吐出される際に液状物の粘度が高いと、微少量の液状物を高精度で高速に吐出することが難しくなる。そのため、液状物吐出装置から吐出される際における液状物の粘度は低いことが好ましい。これらの要求を満たすために、液状物の性質としては、停止状態または停止に近い流動状態において粘度が高いことに加え、チキソ性が高いことが望ましい。それは、液状物は液状物吐出装置から吐出される際にはノズルの近傍で流動するため、液状物のチキソ性が高いと、液状物の粘度は、液状物吐出装置から吐出される際には低くなり、塗布された後には高くなるためである。
【０００４】
従来、液状物吐出装置としては、エアパルス方式のものが多く用いられていた。エアパルス方式の液状物吐出装置では、シリンジの一方の端部にノズルが設けられ、他方の端部に圧縮エアの供給部が設けられている。この液状物吐出装置では、所定の時間だけ供給部よりシリンジ内に圧縮エアを供給することによって、所定量の液状物をノズルより吐出させる。エアパルス方式の液状物吐出装置には、構造が簡単であるという利点がある一方で、以下のような問題点があった。すなわち、エアパルス方式の液状物吐出装置では、シリンジ内の液状物を吐出させるにつれて、シリンジ内において、液状物は減少し、エアクッションとして機能する圧縮エアの容積は増加する。そのため、この液状物吐出装置では、エアクッションとして機能する圧縮エアの容積の変化に伴い、１回の吐出当たりの吐出量が変化するという問題点があった。また、エアパルス方式の液状物吐出装置では、上述のように、シリンジ内の圧縮エアがエアクッションとして機能するため、応答性が劣るという問題点や、吐出操作時以外のときにノズルから液状物がはみ出る場合があることから吐出の精度が劣るという問題点があった。
【０００５】
上記のエアパルス方式の液状物吐出装置の問題点を解決するために、例えば特許文献１ないし３に記載されているように、シリンジに貯留された液状物のノズルへの供給と遮断の切り替えを行う弁を備えた液状物吐出装置が提案されている。この液状物吐出装置は、一般に、以下のような構成になっている。まず、液状物吐出装置は、シリンジ内に挿通され、往復運動する軸状部材を備えている。シリンジ内には、ノズルの入口部分に弁座（バルブシート）が設けられている。軸状部材の先端部分は、軸状部材が往復運動することによって弁座に当接する状態と弁座から乖離した状態とが選択されるようになっている。この軸状部材の先端部分と弁座とによって弁が構成される。シリンジ内において、液状物の表面よりもノズルとは反対側に形成される空間には、大気圧以上の一定圧力が加えられる。この液状物吐出装置は、軸状部材の先端部が弁座から乖離したときに、シリンジに貯留された液状物をノズルから選択的に吐出させる。
【０００６】
【特許文献１】実公平５−９０９９号公報
【特許文献２】特公平５−４２３０４号公報
【特許文献３】特開平１１−１９７５７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のような弁を備えた液状物吐出装置によれば、エアパルス方式の液状物吐出装置に比べて高精度の吐出が可能になる。しかしながら、この液状物吐出装置では、以下のような問題点があった。まず、この液状物吐出装置では、シリンジ内に挿通された軸状部材は、シリンジ内に貯留された液状物に接触している。そのため、軸状部材は、往復運動する際に、液状物による流体抵抗を受ける。これに起因して、弁を備えた液状物吐出装置では、軸状部材の往復運動を高速化したり、液状物の吐出の精度を向上させたりすることが難しいという問題点があった。この問題点は、液状物の粘度が高いほど顕著になる。
【０００８】
また、弁を備えた液状物吐出装置では、特に粘度およびチキソ性が高い液状物を用いた場合に、以下で説明するような問題点があった。この問題点について図１２および図１３を参照して詳細に説明する。
【０００９】
図１２および図１３は、弁を備えた液状物吐出装置の一例におけるノズルの近傍を示している。図１２および図１３に示した液状物吐出装置は、シリンジ２１０と、このシリンジ２１０の先端部に装着されたノズル部材２２０と、シリンジ２１０内に挿通された軸状部材２３０とを備えている。ノズル部材２２０は、シリンジ２１０の先端部に接続される円筒形状の接続部２２１と、この接続部２２１の先端側に設けられたノズル２２２とを含んでいる。ノズル２２２は、液状物を吐出する吐出側端部２２２ａとその反対側の入口側端部２２２ｂとを有している。ノズル部材２２０は、更に、ノズル２２２の入口側端部２２２ｂに隣接する位置に配置された弁座２２３を含んでいる。軸状部材２３０の先端部は、円錐形状になっている。この先端部は、軸状部材２３０が往復運動することによって弁座２２３に当接する状態と弁座２２３から乖離した状態とが選択されるようになっている。シリンジ２１０内には、液状物２４０が貯留されている。
【００１０】
図１２は、軸状部材２３０が往復運動するときの液状物２４０の様子を模式的に表している。図中の矢印は、液状物２４０の流動する方向と速度を表している。図１２に示したように、軸状部材２３０が往復運動するとき、液状物２４０には軸状部材２３０によってせん断が付与される。そのため、液状物２４０がチキソ性を有している場合には、軸状部材２３０が往復運動するときに、液状物２４０のうち、軸状部材２３０の近傍の部分の粘度は大きく低下し、軸状部材２３０から遠い部分の粘度はあまり変化しない。そのため、液状物２４０のうち軸状部材２３０の近傍の部分のみが流動しやすくなって、この部分が選択的にノズル２２２へ供給されて吐出される。その結果、図１３に示したように、軸状部材２３０の外周面と液状物２４０との間に空隙２５０が発生する。このとき、液状物２４０のうち、軸状部材２３０から遠い部分の粘度は高いままなので、空隙２５０は液状物２４０によって埋められ難い。このようにして、粘度の高い液状物２４０がシリンジ２１０の内周面の近傍に残って、シリンジ２１０内に液状物２４０が残っていながら液状物２４０の吐出が不能になる場合が発生する。この場合、シリンジ２１０内の液状物２４０の一部しか使用されないことになって不経済である。この問題点は、シリンジ２１０の内径が大きいほど顕著になる。
【００１１】
また、この液状物吐出装置では、上述のようにしてシリンジ２１０内において液状物２４０の粘度が不均一になることから、安定して精度よく液状物２４０を吐出させることが困難になるという問題点がある。
【００１２】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、微少量の液状物を安定して高精度に吐出することのできる液状物吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の液状物吐出装置は、液状物を貯留する筒状容器と、筒状容器内に挿通される軸状部材と、軸状部材を軸方向に往復運動させる駆動装置とを備えている。筒状容器は、筒状容器における軸方向の一方の端部に設けられ、液状物を吐出する吐出側端部とその反対側の入口側端部とを有するノズルと、筒状容器における軸方向の他方の端部に設けられた開口部と、ノズルの入口側端部に隣接する位置に配置され、筒状容器に貯留された液状物のノズルへの供給と遮断の切り替えを行う弁の一部を構成する弁座とを含んでいる。軸状部材は、軸状部材における軸方向の一方の端部に設けられ、軸状部材が往復運動することによって弁座に当接する状態と弁座から乖離した状態とが選択され、弁座と共に弁を構成する弁構成部を含んでいる。そして、本発明の液状物吐出装置は、弁構成部が弁座から乖離したときに、筒状容器に貯留された液状物をノズルの吐出側端部から選択的に吐出させる。本発明の液状物吐出装置は、更に、筒状容器内において、軸状部材に連動しないように軸状部材の周囲に配置され、弁構成部が弁座に当接した状態と弁構成部が弁座から乖離した状態のいずれにおいても、筒状容器に貯留された液状物と軸状部材の外周面の少なくとも一部とを隔てる鞘状部材と、鞘状部材の開口部側の端部に接続されると共に開口部を塞ぐように筒状容器に固定された固定部材とを備えている。
【００１４】
本発明の液状物吐出装置では、弁構成部が弁座に当接した状態と弁構成部が弁座から乖離した状態のいずれにおいても、鞘状部材によって、筒状容器に貯留された液状物と軸状部材の外周面の少なくとも一部とが隔てられる。
【００１６】
また、本発明の液状物吐出装置において、鞘状部材のノズル側の端部は、弁座よりも開口部に近い位置に配置されていてもよい。
【００１７】
また、本発明の液状物吐出装置において、鞘状部材のノズル側の端部は、弁構成部が最も弁座から離れた状態にあるときの弁構成部よりも開口部に近い位置に配置されていてもよい。
【００１８】
また、本発明の液状物吐出装置において、筒状容器は、一定の内径を有する内径一定部分と、内径一定部分よりも弁座に近い位置に配置され、弁座に近づくに従って内径が徐々に小さくなる内径変化部分とを含み、鞘状部材のノズル側の端部は、内径変化部分の内側に配置されていてもよい。
【００１９】
また、本発明の液状物吐出装置において、筒状容器は、一定の内径を有する内径一定部分と、内径一定部分よりも弁座に近い位置に配置され、内径一定部分の内径よりも小さい内径を有する小径部分と、内径一定部分と小径部分とを連結する連結部分とを含み、鞘状部材のノズル側の端部は、小径部分よりも開口部に近い領域内に配置されていてもよい。この場合、連結部分における液状物に接する面は、筒状容器における軸方向に対して直交するように配置されていてもよい。
【００２１】
また、本発明の液状物吐出装置は、更に、鞘状部材と軸状部材との間の間隙への液状物の浸入を防止するためのシール部材を備えていてもよい。
【００２２】
また、本発明の液状物吐出装置において、筒状容器に貯留される液状物は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度が５０〜１０００Ｐａ・secの範囲内の値になる性質を有している液状物であってもよい。
【００２３】
また、本発明の液状物吐出装置において、筒状容器に貯留される液状物は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される粘度に関して、回転数１ＲＰＭにおける粘度を回転数５ＲＰＭにおける粘度で除した値が１．１〜６．０の範囲内の値になる性質を有している液状物であってもよい。
【００２４】
また、本発明の液状物吐出装置において、筒状容器に貯留される液状物は、熱または電磁波によって硬化する樹脂であって、電子部品を被実装物に実装する際に、電子部品と被実装物とを接着するために電子部品と被実装物との間に介在されるものであってもよい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の液状物吐出装置では、弁構成部が弁座に当接した状態と弁構成部が弁座から乖離した状態のいずれにおいても、鞘状部材によって、筒状容器に貯留された液状物と軸状部材の外周面の少なくとも一部とが隔てられる。これにより、本発明によれば、鞘状部材がない場合に比べて、軸状部材と液状物とが接触する領域の面積が減少する。その結果、本発明によれば、往復運動する軸状部材と液状物とが接触することに起因した不具合が緩和されて、微少量の液状物を安定して高精度に吐出することが可能になるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１ないし図３は、本発明の一実施の形態に係る液状物吐出装置の断面図である。なお、図１ないし図３は、互いに異なる状態を表している。
【００２７】
図１ないし図３に示したように、本実施の形態に係る液状物吐出装置１は、液状物２を貯留する筒状容器３を備えている。筒状容器３は、シリンジ１０と、このシリンジ１０の先端側（図１ないし図３における下方）の部分に装着されたノズル部材２０とを有している。液状物吐出装置１は、更に、筒状容器３内に挿通された軸状部材３０と、軸状部材３０を軸方向に往復運動させる駆動装置４０と、筒状容器３内において軸状部材３０の周囲に配置された鞘状部材５０と、この鞘状部材５０に連結された固定部材６０とを備えている。以下の説明では、シリンジ１０から見てノズル部材２０側を先端側あるいは下方と言い、反対側を後端側あるいは上方と言う。
【００２８】
ノズル部材２０は、シリンジ１０の先端側の部分に接続される円筒形状の接続部２１と、この接続部２１の先端側に設けられたノズル２２とを含んでいる。ノズル２２は、液状物を吐出する吐出側端部２２ａとその反対側の入口側端部２２ｂとを有している。ノズル部材２０は、更に、ノズル２２の入口側端部２２ｂに隣接する位置に配置された弁座（バルブシート）２３を含んでいる。なお、図１ないし図３には、弁座２３を、接続部２１およびノズル２２を含む部分とは別の部材で構成した例を示しているが、弁座２３は接続部２１およびノズル２２と一体的に形成されていてもよい。
【００２９】
シリンジ１０は、一定の内径を有する内径一定部分１１と、内径一定部分１１よりも弁座２３に近い位置に配置され、内径一定部分１１の内径よりも小さい内径を有する小径部分１２と、内径一定部分１１と小径部分１２とを連結する連結部分１３とを含んでいる。内径一定部分１１における小径部分１２とは反対側の端部には、開口部１１ａが形成されている。シリンジ１０は、更に、開口部１１ａの周囲に配置されたフランジ部１４を含んでいる。ノズル部材２０の接続部２１は、小径部分１２に接続されている。
【００３０】
連結部分１３は、内径一定部分１１よりも弁座２３に近い位置に配置され、弁座２３に近づくに従って内径が徐々に小さくなっている。図１ないし図３には、連結部分１３の形状が、円錐台の側面に相当する形状になっている例を示している。しかし、連結部分１３の形状は、これに限らず、例えば、外側に突出するように湾曲した曲面形状になっていてもよい。連結部分１３は、本発明における内径変化部分に対応する。
【００３１】
軸状部材３０は、細長い円柱形状の第１の部分３１と、第１の部分３１よりも弁座２３に近い位置に配置され、第１の部分３１よりも小さい径を有する円柱形状の第２の部分３２と、第１の部分３１と第２の部分３２を連結する連結部分３３とを含んでいる。連結部分３３は、第２の部分３２に近づくに従って内径が徐々に小さくなる円錐台形状になっている。軸状部材３０における軸方向の一方の端部（先端部）、すなわち第２の部分３２の先端部には、円錐形状の弁構成部３４が形成されている。弁構成部３４は、弁座２３と共に、筒状容器３に貯留された液状物２のノズル２２への供給と遮断の切り替えを行う弁を構成している。弁構成部３４は、軸状部材３０が往復運動することによって弁座２３に当接する状態と弁座２３から乖離した状態とが選択されるようになっている。
【００３２】
弁座２３および軸状部材３０の材料としては、例えば、ステンレス、工具鋼、硬合金等の金属材料や、セラミック材料を用いることができる。また、弁座２３および軸状部材３０は、部分的に、クロム系やニッケル系等の金属材料によるめっきや、タングステンカーバイド系材料による溶射等の表面処理が施されたものであってもよい。
【００３３】
鞘状部材５０は、円筒形状の第１の部分５１と、第１の部分５１よりも弁座２３に近い位置に配置されたテーパー部分５２とを含んでいる。第１の部分５１の内径は、軸状部材３０における第１の部分３１の外径よりも大きく、鞘状部材５０における第１の部分５１の内周面と軸状部材３０における第１の部分３１の外周面との間には間隙が形成されている。テーパー部分５２は、筒状であるが、その外径は弁座２３に近づくに従って徐々に小さくなっている。すなわち、テーパー部分５２の外周面の形状は、シリンジ１０における連結部分１３の内周面の形状に類似している。テーパー部分５２の内径は、第１の部分５１の内径よりも小さくなっている。また、図１に示したように、テーパー部分５２は、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態において、軸状部材３０における連結部分３３よりも下方に配置されている。テーパー部分５２の内周面は、軸状部材３０における第２の部分３２の外周面に対して、わずかな間隙を介して対向している。
【００３４】
鞘状部材５０の材料としては、例えば、ステンレス、銅、アルミニウム等の金属材料や、使用する液状物２に対して耐性のある樹脂材料を用いることができる。樹脂材料としては、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素系樹脂あるいはウレタンを用いることができる。上記の金属材料や樹脂材料のチューブは、市販されており、容易に入手することができる。そこで、このようなチューブを用いて鞘状部材５０を形成してもよい。例えば、肉厚が０．５ｍｍ程度のステンレス製のチューブを切削加工して鞘状部材５０を形成してもよい。この場合、鞘状部材５０となるチューブと固定部材６０となる肉厚部分とが一体化された物を加工して、鞘状部材５０と固定部材６０とが一体化された物を形成してもよい。鞘状部材５０におけるテーパー部分５２は、例えば、鞘状部材５０となるチューブに対して、スエージ加工や、切削加工や、あるいはこれら両方の加工を施すことによって形成することができる。
【００３５】
固定部材６０は、鞘状部材５０の後端部に接続された第１の部分６１と、第１の部分６１の後端側に設けられた第２の部分６２とを含んでいる。第１の部分６１の外径は、鞘状部材５０における第１の部分５１の外径よりも大きい。第２の部分６２の外径は、第１の部分６１の外径よりも大きい。第１の部分６１は、シリンジ１０における内径一定部分１１の開口部１１ａから内径一定部分１１内に挿入されている。第２の部分６２は、シリンジ１０におけるフランジ部１４の上に配置されている。第１の部分６１の外周面にはＯリング６３が装着されている。このＯリング６３は、内径一定部分１１の内周面に接している。また、固定部材６０には、鞘状部材５０における第１の部分５１の内径と等しい内径を有し、軸状部材３０を挿通させる孔６０ａが設けられている。
【００３６】
駆動装置４０は、例えばソレノイドを用いたものになっている。この駆動装置４０は、ケース４１と、このケース４１内に収納された励磁コイル４２と、この励磁コイル４２の中心部分に挿通された鉄芯４３およびスプリング４４と、調整ねじ４５とを有している。ケース４１には、鞘状部材５０における第１の部分５１の内径と等しい内径を有し、軸状部材３０を挿通させる孔４１ａが設けられている。ケース４１において孔４１ａを構成する面と軸状部材３０における第１の部分３１の外周面との間にはＯリング４６が設けられている。
【００３７】
軸状部材３０における第１の部分３１の後端部は、鉄芯４３に接続されている。鉄芯４３は、ケース４１内において、軸状部材３０における軸方向に移動可能になっている。スプリング４４は、鉄芯４３に対して押し下げる方向の力を付与している。励磁コイル４２に通電していない状態では、スプリング４４によって鉄芯４３が押し下げられる。一方、励磁コイル４２に通電している状態では、スプリング４４の力に抗して鉄芯４３が上方に移動する。このように鉄芯４３が上下方向に移動することにより、鉄芯４３に接続された軸状部材３０が軸方向に往復運動するようになっている。調整ねじ４５は、鉄芯４３のストローク、すなわち軸状部材３０のストロークを調整するものである。なお、駆動装置４０は、ソレノイドを用いたものに限らず、軸状部材３０を往復運動させることができるものであればよく、例えばエアアクチュエータであってもよい。駆動装置４０としては、高速且つ正確に、応答性よく、軸状部材３０を往復運動させることができるものが望ましい。
【００３８】
ケース４１は、シリンジ１０のフランジ部１４と、固定部材６０の第２の部分６２とを挟み込んで、シリンジ１０、固定部材６０およびケース４１を互いに固定する固定部４１ｂを有している。この固定部４１ｂによって固定部材６０がシリンジ１０に固定されることによって、鞘状部材５０は筒状容器３に対して固定されている。このようにして、鞘状部材５０は、筒状容器３内において、軸状部材３０に連動しないように軸状部材３０の周囲に配置されている。そして、鞘状部材５０は、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態と弁構成部３４が弁座２３から乖離した状態のいずれにおいても、筒状容器３に貯留された液状物２と軸状部材３０の外周面の少なくとも一部とを隔てるようになっている。なお、軸状部材３０の外周面とは、軸状部材３０の外面のうち、軸方向の両端面を除いた面を言う。
【００３９】
図２は、軸状部材３０のストロークを最も短く設定した場合において、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態を示している。図３は、軸状部材３０のストロークを最も長く設定した場合において、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態を示している。軸状部材３０のストロークの最小値は、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態において弁構成部３４と弁座２３との間に液状物２の通過を妨げない程度の間隙が形成されるように設定される。
【００４０】
ケース４１および固定部材６０には、貫通する通気路７０が形成されている。通気路７０の一端部は、シリンジ１０における内径一定部分１１の開口部１１ａの近傍に配置され、内径一定部分１１内の空間に連通している。通気路７０の他端部は、ケース４１の側面に配置されている。通気路７０の他端部には、エア配管７１が接続されている。
【００４１】
液状物吐出装置１は、更に、シリンジ１０の内径一定部分１１内において、液状物２の上に配置されるプランジャ８０を備えている。プランジャ８０における液状物２に接する面は、シリンジ１０の連結部分１３の内周面に対して平行な斜面になっている。プランジャ８０には、鞘状部材５０における第１の部分５１の外径よりも若干大きな内径を有する孔が設けられている。これにより、プランジャ８０は、液状物２の液面、すなわち液状物２の開口部１１ａ側の表面の位置に応じて、内径一定部分１１内を移動可能になっている。
【００４２】
液状物吐出装置１は、更に、ノズル部材２０の周囲に配置され、ノズル部材２０を加温するヒータ９０を備えている。
【００４３】
液状物吐出装置１を用いて吐出する液状物２としては、例えば、接着剤や封止剤やコーティング剤がある。液状物２としての接着剤としては、例えば、熱または電磁波によって硬化する樹脂であって、電子部品を被実装物に実装する際に、電子部品と被実装物とを接着するために電子部品と被実装物との間に介在されるものがある。なお、液状物２は、液体に限らず、全体として流動するものであれば、微細な固体を含んでいてもよい。
【００４４】
ここで、図１ないし図３を参照して、筒状容器３、軸状部材３０および鞘状部材５０の位置関係について説明する。筒状容器３では、シリンジ１０において、液状物２の液面、すなわち液状物２の開口部１１ａ側の表面の位置に関して、最も開口部１１ａに近い限界位置が規定されている。図１ないし図３は、液状物２の液面が限界位置にある状態を示している。鞘状部材５０の開口部１１ａ側の端部すなわち後端部は、限界位置よりも弁座２３から遠い位置に配置されていることが好ましい。この場合には、鞘状部材５０の後端部が、常に、液状物２の液面よりも上方にあるため、鞘状部材５０の後端部よりも上方の位置で、軸状部材３０が液状物２に接することがない。鞘状部材５０の後端部は、開口部１１ａと上記限界位置との間の領域内に配置されていてもよい。
【００４５】
鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、弁座２３よりも開口部１１ａに近い位置に配置されている。図２に示したように、鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態にあるときの弁構成部３４よりも開口部に近い位置に配置されていてもよい。この場合には、鞘状部材５０は、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態と弁構成部３４が弁座２３から乖離した状態のいずれにおいても、筒状容器３内において液状物２と軸状部材３０の外周面の一部とを隔てる。
【００４６】
あるいは、図３に示したように、鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態にあるときの弁構成部３４と軸方向に関して同じ位置またはその位置よりも若干、弁座２３に近い位置に配置されていてもよい。この場合には、鞘状部材５０は、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態では、筒状容器３内において液状物２と軸状部材３０の外周面の一部とを隔て、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態では、筒状容器３内において液状物２と軸状部材３０の外周面の全体とを隔てる。
【００４７】
また、鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、シリンジ１０における小径部分１２よりも開口部１１ａに近い領域内に配置されていてもよい。この場合、鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、シリンジ１０における連結部分１３の内側に配置されていてもよい。なお、鞘状部材５０のノズル２２側の端部が、小径部分１２の開口部１１ａ側の端部と同じ高さの位置に配置される場合も、鞘状部材５０のノズル２２側の端部が上記の領域内に配置される場合に含まれる。
【００４８】
鞘状部材５０の厚みは小さいほど好ましい。なお、鞘状部材５０として市販のチューブを使用する場合には、鞘状部材５０の厚みは０．２ｍｍ以上であることが好ましい。ただし、チューブを切削加工して鞘状部材５０を形成する場合には、鞘状部材５０の厚みが小さすぎると加工が困難になることから、鞘状部材５０の厚みは０．５ｍｍ以上とすることが好ましい。鞘状部材５０と軸状部材３０との間の間隙の大きさは、鞘状部材５０によって軸状部材３０の往復運動が妨げられない程度であればよく、０．０１〜１．０ｍｍであることが好ましい。鞘状部材５０における第１の部分５１の外径は、大きくなるほど筒状部材３内に貯留可能な液状物２の容積が減少するので、大きすぎることは好ましくない。これらのことから、鞘状部材５０における第１の部分５１の外径は、軸状部材３０における第１の部分３１の外径よりも、０．５〜３．０ｍｍだけ大きいことが好ましい。
【００４９】
次に、シリンジ１０、軸状部材３０および鞘状部材５０の径の関係について説明する。ここでは、一例として、液状物２に対する容量が１０ｃｃのシリンジ１０を用いる場合を例にとって説明する。この場合のシリンジ１０における内径一定部分１１の内径は約１５ｍｍである。軸状部材３０における第１の部分３１の外径は、例えば１．０〜５．０ｍｍの範囲内である。従って、第１の部分３１の外径と内径一定部分１１の内径との比である［第１の部分３１の外径］／［内径一定部分１１の内径］の値は、例えば１．０／１５〜５．０／１５の範囲内である。
【００５０】
鞘状部材５０における第１の部分５１の外径は、軸状部材３０における第１の部分３１の外径よりも、例えば０．５〜３．０ｍｍだけ大きい。すなわち、第１の部分５１の外径は、例えば１．５〜８．０ｍｍの範囲内である。従って、第１の部分５１の外径と内径一定部分１１の内径との比である［第１の部分５１の外径］／［内径一定部分１１の内径］の値は、例えば１．５／１５〜８．０／１５の範囲内である。
【００５１】
次に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１の作用について説明する。シリンジ１０およびノズル部材２０を含む筒状容器３内には、液状物吐出装置１によって吐出すべき液状物２が貯留される。シリンジ１０における内径一定部分１１内において、液状物２の上にはプランジャ８０が配置される。内径一定部分１１内において、プランジャ８０の上方の空間には、エア配管７１および通気路７０を通して高圧エアが適宜供給され、これにより大気圧以上の一定圧力が加えられる。
【００５２】
軸状部材３０は、駆動装置４０によって駆動されて、軸方向に往復運動する。図１に示したように、軸状部材３０が最も下方に位置する状態では、弁構成部３４が弁座２３に当接し、液状物２のノズル２２への供給は遮断される。そのため、この状態では、ノズル２２の吐出側端部２２ａから液状物２は吐出されない。一方、図２または図３に示したように、軸状部材３０が図１に示した位置よりも上方にあるときには、弁構成部３４が弁座２３から乖離し、前述のプランジャ８０の上方の空間に加えられる圧力によって、液状物２がノズル２２へ供給され、吐出側端部２２ａから吐出される。
【００５３】
次に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１の効果について説明する。本実施の形態に係る液状物吐出装置１では、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態と弁構成部３４が弁座２３から乖離した状態のいずれにおいても、鞘状部材５０によって、筒状容器３に貯留された液状物２と軸状部材３０の外周面の少なくとも一部とが隔てられる。そのため、本実施の形態によれば、鞘状部材５０がない場合に比べて、軸状部材３０の外周面と液状物２とが接触する領域の面積が減少する。その結果、本実施の形態によれば、往復運動する軸状部材３０と液状物２とが接触することに起因した不具合が緩和される。
【００５４】
具体的には、まず、本実施の形態によれば、軸状部材３０が受ける液状物２による粘性抵抗が低減される。これにより、本実施の形態によれば、軸状部材３０の往復運動を高速化したり、液状物２の吐出の精度を向上させたりすることが可能になる。
【００５５】
次に、特にチキソ性の高い液状物２を用いた場合における本実施の形態に係る液状物吐出装置１の効果について説明する。鞘状部材５０がない場合には、図１３を参照して説明したように、液状物がシリンジの内周面の近傍に残って、シリンジ内に液状物が残っていながら液状物の吐出が不能になるという問題が発生する。これに対し、本実施の形態によれば、鞘状部材５０がない場合に比べて、軸状部材３０の外周面と液状物２とが接触する領域の面積が減少することから、上記の問題の発生を防止することができる。
【００５６】
なお、シリンジ１０における小径部分１２の内側では、軸状部材３０の外周面の一部が液状物２に接触する。そのため、小径部分１２の内側では液状物２の粘度の低下が起こり得る。しかし、小径部分１２の内径が内径一定部分１１の内径よりも小さいことから、小径部分１２の内側における液状物２の粘度の低下は、小径部分１２の内周面の近傍でも起こり得る。そのため、粘度の高い液状物２が小径部分１２の内周面の近傍に残るという問題は発生し難い。
【００５７】
以上のことから、本実施の形態に係る液状物吐出装置１によれば、微少量の液状物２を安定して高精度に吐出することが可能になると共に、シリンジ１０内に液状物２が残っていながら液状物２の吐出が不能になることを防止することができる。
【００５８】
ところで、鞘状部材５０のノズル２２側の端部がシリンジ１０における小径部分１２の内側に配置されていると、鞘状部材５０の外周面と小径部分１２の内周面との間に形成される液状物２の通路が狭くなりすぎる可能性がある。そこで、図１ないし図３に示したように、鞘状部材５０のノズル２２側の端部を、小径部分１２よりも開口部１１ａに近い領域内に配置することにより、鞘状部材５０によって小径部分１２における液状物２の通路が狭くなることを防止することができる。特に、鞘状部材５０のノズル２２側の端部を、連結部分１３の内側に配置することにより、小径部分１２における液状物２の通路を狭めることなく、鞘状部材５０によって、できるだけ長い領域にわたって軸状部材３０の外周面を液状物２から隔てることが可能になる。
【００５９】
また、鞘状部材５０のノズル２２側の端部近傍にテーパー部分５２を設け、テーパー部分５２の外周面の形状を、シリンジ１０における連結部分１３の内周面の形状に類似した形状とすることにより、液状物２の通路を狭めることなく、鞘状部材５０によって、できるだけ長い領域にわたって軸状部材３０の外周面を液状物２から隔てることが可能になる。
【００６０】
次に、図４ないし図７を参照して、本実施の形態に係る液状物吐出装置１の第１ないし第４の変形例について説明する。本実施の形態において、鞘状部材５０は、筒状容器３内において、液状物２と軸状部材３０の外周面の少なくとも一部とを隔てるものである。そのため、鞘状部材５０と軸状部材３０との間の間隙への液状物２の浸入を防止する必要がある。特に液状物２の粘度が高い場合には、テーパー部分５２の内周面と軸状部材３０における第２の部分３２の外周面との間の間隙の大きさを適当に設定することにより、鞘状部材５０と軸状部材３０との間の間隙への液状物２の浸入を防止することが可能である。
【００６１】
鞘状部材５０と軸状部材３０との間の間隙への液状物２の浸入をより確実に防止するために、シール部材を設けてもよい。第１ないし第３の変形例は、それぞれ異なるシール部材を設けた例である。
【００６２】
図４は、第１の変形例におけるシール部材の近傍を示す断面図である。図４において、記号Ｌ１で示す線は、弁構成部３４が弁座２３に当接した状態における軸状部材３０の先端の位置を表している。また、記号Ｌ２で示す線は、弁構成部３４が最も弁座２３から離れた状態における軸状部材３０の先端の位置を表している。第１の変形例では、鞘状部材５０はテーパー部分５２を有しておらず、鞘状部材５０は一定の内径および一定の外径を有している。軸状部材３０における第１の部分３１の外周面には、シール部材としてのＯリング５３が装着されている。Ｏリング５３は、鞘状部材５０の内周面に接する。
【００６３】
図５は、第２の変形例におけるシール部材の近傍を示す側面図である。図５中の記号Ｌ１，Ｌ２で示す各線の意味は前述の通りである。第２の変形例においても、鞘状部材５０はテーパー部分５２を有しておらず、鞘状部材５０は一定の内径および一定の外径を有している。第２の変形例では、シール部材として、伸縮可能なベローズ（蛇腹）状のカバー５４が設けられている。カバー５４の一端部は、鞘状部材５０のノズル２２側の端部近傍における外周面に固定されている。カバー５４の他端部は、軸状部材３０における第２の部分３２の外周面に固定されている。カバー５４は、使用する液状物２に対して劣化や溶解が生じない材料によって形成される。
【００６４】
図６は、第３の変形例におけるシール部材の近傍を示す側面図である。図６中の記号Ｌ１，Ｌ２で示す各線の意味は前述の通りである。第３の変形例においても、鞘状部材５０はテーパー部分５２を有しておらず、鞘状部材５０は一定の内径および一定の外径を有している。第３の変形例では、シール部材として、伸縮可能な管状のカバー５５が設けられている。カバー５５の一端部は、鞘状部材５０のノズル２２側の端部近傍における外周面に固定されている。カバー５５の他端部は、軸状部材３０における第２の部分３２の外周面に固定されている。カバー５５は、使用する液状物２に対して劣化や溶解が生じない材料であって、柔軟性のある材料によって形成される。カバー５５の材料としては、例えば、ゴムや熱可塑性エラストマーを用いることができる。また、カバー５５としては、柔軟性のある熱収縮チューブを用いてもよい。
【００６５】
図７は、第４の変形例における液状物吐出装置１を示す断面図である。第４の変形例では、シリンジ１０の連結部分１３における液状物２に接する面１３ａは、筒状容器３における軸方向に対して直交するように配置されている。第４の変形例において、鞘状部材５０によって小径部分１２における液状物２の通路が狭められないように、鞘状部材５０のノズル２２側の端部は、小径部分１２よりも開口部１１ａに近い領域内に配置されていることが好ましい。また、第４の変形例では、プランジャ８０における液状物２に接する面は、連結部分１３における液状物２に接する面１３ａに対して平行な面、すなわち筒状容器３における軸方向に対して直交する面になっている。
【００６６】
次に、本実施の形態において用いる液状物２の好ましい性質について説明する。本実施の形態において用いる液状物２については、極端な高粘度では吐出に限度があることに加え、その製造においても原料の混練が困難であったり、攪拌の際に液状物２に取り込まれたエアの脱泡が困難であったりする等の弊害があることから、好ましい粘度範囲が存在する。具体的には、本実施の形態において用いる液状物２は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度が５０〜１０００Ｐａ・secの範囲内の値になる性質（以下、第１の性質という。）を有していることが好ましい。また、本実施の形態において用いる液状物２は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される粘度に関して、回転数１ＲＰＭにおける粘度を回転数５ＲＰＭにおける粘度で除した値（以下、粘度比という。）が１．１〜６．０の範囲内の値になる性質（第２の性質という。）を有していることが好ましい。本実施の形態において用いる液状物２は、上記の第１の性質と第２の性質の両方を有していることがより好ましい。
【００６７】
また、本実施の形態において用いる液状物２は、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度が１００〜７００Ｐａ・secの範囲内の値になる性質（以下、第３の性質という。）を有していることがより好ましい。また、本実施の形態において用いる液状物２は、粘度比が１．５〜４．０の範囲内の値になる性質（第４の性質という。）を有していることがより好ましい。本実施の形態において用いる液状物２は、上記の第３の性質と第４の性質の両方を有していることがより好ましい。
【００６８】
次に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１の効果を確認するために行った実験の結果について説明する。この実験では、本実施の形態における実施例の液状物吐出装置１と比較例の液状物吐出装置とを用いて、互いに異なる特性の３種類の液状物Ａ〜Ｃに対する吐出状況を調べた。実施例の液状物吐出装置１において、鞘状部材５０はステンレスチューブを用いて形成されている。また、実施例の液状物吐出装置１は、図６に示したように、シール部材として、ゴム製チューブよりなるカバー５５を備えている。比較例の液状物吐出装置は、実施例の液状物吐出装置１から鞘状部材５０およびカバー５５を除いたものである。
【００６９】
液状物Ａ〜Ｃは、いずれも、エポキシ樹脂、硬化剤および無機フィラーからなる熱硬化性接着剤である。雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度は、液状物Ａでは８０Ｐａ・sec、液状物Ｂでは２００Ｐａ・sec、液状物Ｃでは４００Ｐａ・secである。また、粘度比は、液状物Ａでは１、液状物Ｂでは２．５、液状物Ｃでは３．６である。
【００７０】
吐出状況は、液状物の吐出を繰り返し行ったときに、シリンジ１０内の軸状部材３０の周囲において液状物の陥没が発生したか否かで判定した。軸状部材３０の周囲における液状物の陥没の度合いが小さいほど、吐出が良好に行われ、吐出不能となった時点でシリンジ１０内に残留する液状物が少なくなる。下記の表１に、実験の結果を示す。なお、表１中の“粘度”とは、雰囲気温度２３℃、相対湿度５０％の環境下においてＥ型粘度計によって測定される、回転数１ＲＰＭにおける粘度である。また、表１中の“Ｏ”は、軸状部材３０の周囲において液状物の陥没が発生しなかったことを表し、“×”は、軸状部材３０の周囲において液状物の陥没が発生したことを表している。
【００７１】
【表１】
0004743872.tif 000002
【００７２】
表１に示した結果から分かるように、チキソ性がほとんど無く、且つ比較的低粘度の液状物Ａに対しては、実施例の液状物吐出装置１でも比較例の液状物吐出装置でも、軸状部材３０の周囲における液状物の陥没が発生せず、良好な吐出が行われた。一方、高粘度で、且つチキソ性を有する液状物Ｂ，Ｃに対しては、比較例の液状物吐出装置では、液状物のうち軸状部材３０の近傍の部分が選択的にノズル２２に供給される傾向が顕著に現れ、軸状部材３０の周囲における液状物の陥没が発生した。その結果、液状物Ｂ，Ｃに対しては、比較例の液状物吐出装置では、吐出不能となった時点で、シリンジ１０内に、当初の半分以上の液状物が残留した。これに対して、実施例の液状物吐出装置１では、液状物Ｂ，Ｃに対しても、軸状部材３０の周囲における液状物の陥没が発生せず、良好な吐出が行われた。
【００７３】
上記の実験の結果から分かるように、本実施の形態に係る液状物吐出装置１は、特に、停止状態または停止に近い流動状態において粘度が高く、且つチキソ性が高いという性質を有する液状物２を用いる場合に顕著な効果を発揮する。上記の液状物２の性質は、特に、電子部品を配線基板や半導体装置等の被実装物に実装する際に、電子部品と被実装物とを接着するための樹脂に適した性質である。それは、上記の性質を有する液状物２は、液状物吐出装置１によって吐出する際には粘度が低くなるため吐出が容易になり、塗布された後には粘度が高くなって所望の位置から流れて拡がることなく、一定の形状を保つためである。本実施の形態に係る液状物吐出装置１によれば、上記の性質を有する液状物２を、被塗布物における微小面積の目標箇所に、安定して精度よく塗布することが可能になる。そのため、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いることにより、高密度の実装や微小部品の実装を効率よく行うことが可能になる。
【００７４】
次に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いた液状物の塗布方法について説明する。この液状物の塗布方法は、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いて、筒状容器３に貯留された液状物２を吐出し、吐出された液状物２を被塗布物に塗布する方法である。この液状物の塗布方法において使用される液状物２としては、前述の第１の性質と第２の性質の少なくとも一方を有しているものが好ましく、前述の第３の性質と第４の性質の少なくとも一方を有しているものがより好ましい。この液状物の塗布方法によれば、前述のように、被塗布物における微小面積の目標箇所に、安定して精度よく塗布することが可能になる。この液状物の塗布方法は、後述する電子装置の製造方法に用いることができる他、例えば、液晶ガラスや樹脂よりなる基板同士を接着および封止するための接着剤の塗布や、自動車のフロントガラスを車体に接着するための接着剤の塗布にも用いることができる。
【００７５】
次に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いた電子装置の製造方法について説明する。この電子装置の製造方法は、電子部品を被実装物に実装することによって、電子部品と被実装物とを含む電子装置を製造する方法である。この電子装置の製造方法は、熱または電磁波によって硬化する接着用樹脂を、電子部品と被実装物とを接着するために電子部品と被実装物との間に介在させる工程と、電子部品と被実装物との間に接着用樹脂を介在させた状態で、接着用樹脂に熱または電磁波を付与して、接着用樹脂を硬化させる工程とを備えている。接着用樹脂を電子部品と被実装物との間に介在させる工程は、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いて、電子部品と被実装物の少なくとも一方に、液状物２としての接着用樹脂を塗布する工程を含んでいる。
【００７６】
上記の電子装置の製造方法において、被実装物は、例えば配線基板や半導体装置である。また、電子部品は、被実装物としての配線基板とは別の配線基板であってもよい。従って、電子装置の製造方法は、配線基板同士を接続して電子装置を製造する場合を含む。
【００７７】
次に、図８および図９を参照して、上記の電子装置の製造方法の具体的な一例について説明する。図８および図９は、それぞれ電子装置の製造方法の一例を説明するための斜視図である。この電子装置の製造方法は、電子部品１２０を回路基板１１０に実装することによって、電子部品１２０と回路基板１１０とを含む電子装置を製造する方法である。
【００７８】
図８は、電子装置の製造方法における一工程を示している。この工程では、回路基板１１０上の目標箇所に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いて接着用樹脂１１３を塗布する。接着用樹脂１１３は、熱または特定波長域の電磁波によって硬化する樹脂である。
【００７９】
図９は、次の工程を示している。この工程では、コレット（吸着保持具）１４０によって保持した電子部品１２０を、接着用樹脂１１３を介して回路基板１１０と対向する位置に配置する。次に、コレット１４０によって、電子部品１２０と回路基板１１０を、それらが互いに密着するように加圧すると共に、接着用樹脂１１３に熱または特定波長域の電磁波を付与して接着用樹脂１１３を硬化させる。これにより、電子部品１２０が回路基板１１０に実装され、電子装置が完成する。
【００８０】
以下、図１０および図１１を参照して、図８および図９に示した電子装置の製造方法について更に詳しく説明する。図１０は、コレット１４０によって保持した電子部品１２０を、接着用樹脂１１３を介して回路基板１１０と対向する位置に配置する工程を示す断面図である。図１０に示したように、回路基板１１０は、一方の面１１０ａと、その反対側の面１１０ｂとを有している。また、回路基板１１０は、貫通する開口部１１１を有している。基板１１０は、更に、一方の面１１０ａにおいて露出する複数の導体層１１２を有している。
【００８１】
電子部品１２０は、一方の面１２０ａと、その反対側の面１２０ｂとを有している。また、電子部品１２０は、一方の面１２０ａに配置された機能面１２１を有している。電子部品１２０は、例えば固体撮像素子であり、この場合、機能面１２１は受光面である。電子部品１２０は、更に、面１２０ａにおいて、機能面１２１の周辺に配置された複数の電極１２２を有している。電極１２２は、例えばバンプである。前述の回路基板１１０の開口部１１１は、機能面１２１を露出させるためのものである。また、回路基板１１０の導体層１１２は、電子部品１２０の電極１２２に接続されるようになっている。
【００８２】
電子装置の製造方法において、回路基板１１０は、一方の面１１０ａが上を向き、反対側の面１１０ｂが支持台１３０の上面に接するようにして、支持台１３０の上に載置される。支持台１３０は、回路基板１１０を吸着するための吸着孔１３１を有している。支持台１３０は、吸着孔１３１より回路基板１１０を吸引し保持する。この状態で、図８に示したように、回路基板１１０上の目標箇所に、本実施の形態に係る液状物吐出装置１を用いて接着用樹脂１１３を塗布する。回路基板１１０上の目標箇所とは、導体層１１２のうち電子部品１２０の電極１２２に接続される部分を含む箇所である。
【００８３】
次に、図１０に示したように、コレット１４０によって、面１２０ａが下を向くように電子部品１２０を保持する。コレット１４０は、電子部品１２０を吸着するための吸着孔１４１を有している。コレット１４０は、吸着孔１４１より電子部品１２０を吸引し保持する。また、コレット１４０は、温度調節可能なヒータを内蔵している。更に、コレット１４０は、垂直および水平方向に移動可能で、且つ保持した電子部品１２０に対して荷重を加えることができるようになっている。
【００８４】
次に、図１１に示したように、コレット１４０を下降させて、機能面１２１が回路基板１１０の開口部１１１に対向し、且つ電極１２２が回路基板１１０の導体層１１２に対向するように、電子部品１２０を回路基板１１０上に配置する。
【００８５】
次に、回路基板１１０と電子部品１２０との間に接着用樹脂１１３を介在させた状態で、電極１２２と導体層１１２とを接触させ、接着用樹脂１１３に熱または特定波長域の電磁波を付与すると共に、電極１２２および導体層１１２を、それらが互いに密着するように加圧する。接着用樹脂１１３に熱を付与する場合には、例えばコレット１４０によって電子部品１２０を加熱する。この工程により、接着用樹脂１１３は硬化して、回路基板１１０と電子部品１２０とを接着すると共に、電極１２２と導体層１１２との接続部分の周囲を封止する。以上の一連の工程により、電子部品１２０が回路基板１１０に実装され、電子装置が完成する。
【００８６】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、本発明の液状物吐出装置は、実施の形態で挙げた性質の液状物に限らず、種々の液状物を吐出するために使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る液状物吐出装置の断面図である。
【図２】図１に示した液状物吐出装置の他の状態を示す断面図である。
【図３】図１に示した液状物吐出装置の更に他の状態を示す断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態の第１の変形例におけるシール部材の近傍を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施の形態の第２の変形例におけるシール部材の近傍を示す側面図である。
【図６】本発明の一実施の形態の第３の変形例におけるシール部材の近傍を示す側面図である。
【図７】本発明の一実施の形態の第４の変形例の液状物吐出装置を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施の形態に係る液状物吐出装置を用いた電子装置の製造方法の一例を説明するための斜視図である。
【図９】本発明の一実施の形態に係る液状物吐出装置を用いた電子装置の製造方法の一例を説明するための斜視図である。
【図１０】図８および図９に示した電子装置の製造方法を詳しく説明するための断面図である。
【図１１】図１０に示した工程に続く工程を説明するための断面図である。
【図１２】従来の液状物吐出装置における問題点を説明するための説明図である。
【図１３】従来の液状物吐出装置における問題点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００８８】
１…液状物吐出装置、２…液状物、３…筒状容器、１０…シリンジ、２０…ノズル部材、２２…ノズル、２３…弁座、３０…軸状部材、３４…弁構成部、４０…駆動装置、５０…鞘状部材、６０…固定部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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