(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知し、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知しない組み合わせパターンのときに、前記単層原反を被着体の相対位置に繰り出して当該被着体に貼付した後に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する単層アフタカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該単層アフタカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知し、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層原反から剥離シートを剥離した後の接着シート基材を被着体の相対位置に繰り出して当該被着体に貼付した後に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する複層アフタカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層アフタカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知することなく、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層原反を繰り出す途中で接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成し、当該貼付用シートを剥離シートから剥離して被着体に貼付する複層直前カット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層直前カット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項４】
被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知し、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知することなく、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層プリカット原反を繰り出すとともに、貼付用シートを剥離シートから剥離して前記被着体に貼付する複層プリカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層プリカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御することを特徴とするシート貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置に係り、更に詳しくは、原反の種別毎に貼付モードを自動的に特定して貼付用シートを被着体に貼付することができ、特に、貼付用シートを介してリングフレームに半導体ウエハを一体化（マウント）することに適したシート貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）をリングフレームに一体化する場合には、リングフレームの内側にウエハを配置した状態で、ダイシングシートやマウント用シート等の貼付用シートをそれらに亘って貼付するのが一般的となっている。このような貼付用シートを貼付する装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献におけるシート貼付装置は、剥離シートの一方の面に、プリカットされた貼付用シートが所定間隔毎に仮着された帯状の原反を繰出可能とし、当該原反を繰り出す途中でピールプレートを介して剥離シートから貼付用シートを剥離しつつリングフレームとウエハに貼付する構成となっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１５９０４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたシート貼付装置は、１種類の原反を対象とした専用装置であり、原反の種別に応じた貼付モードを選択して動作可能となる汎用性を備えたものとはなっていない。つまり、特許文献１のシート貼付装置は、プリカットされた貼付用シートを有する原反を対象とする一方、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シート基材が仮着された原反を繰り出す途中で貼付用シートを形成して貼付することはできない。
この場合、原反の供給手段とピールプレートとの間にダイカットローラ等からなる切込形成手段を設ければよいことになる。
しかしながら、予め貼付用シートが形成された原反と、繰り出し途中で貼付用シートを形成する原反の双方に対応可能としても、装置動作条件の設定、変更等はオペレータが原反を目視確認した上で行わなければならず、動作の初期作業に熟練度と、多大な労力とを要する、という不都合を招来する。
【０００５】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、種別の異なる原反を適用しても、それら原反の種別に応じて１の貼付モードを自動的に特定して貼付用シートを被着体に自動的に貼付することのできる汎用性を備えたシート貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知し、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知しない組み合わせパターンのときに、前記単層原反を被着体の相対位置に繰り出して当該被着体に貼付した後に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する単層アフタカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該単層アフタカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御する、という構成を採っている。
【０００７】
また、本発明は、被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知し、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層原反から剥離シートを剥離した後の接着シート基材を被着体の相対位置に繰り出して当該被着体に貼付した後に、接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する複層アフタカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層アフタカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御する、という構成を採っている。
【０００８】
更に、本発明は、被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知することなく、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知することなく、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層原反を繰り出す途中で接着シート基材に閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成し、当該貼付用シートを剥離シートから剥離して被着体に貼付する複層直前カット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層直前カット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御する、という構成を採っている。
【０００９】
また、本発明は、被着体を支持する支持手段と、帯状の接着シート基材からなる単層原反又は前記接着シート基材の接着面側に帯状の剥離シートが仮着された少なくとも２層の複層原反若しくは帯状の剥離シートの一方の面に貼付用シートが所定間隔をおいて仮着された少なくとも２層の複層プリカット原反を供給する供給手段と、前記原反に接着シート基材側から閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成する切込形成手段と、前記貼付用シートを被着体に貼付する貼付手段と、前記原反の種別を検知する検知手段と、原反の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置であって、
前記検知手段は、前記切り込みを検知する切込検知手段と、貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知する接着シート基材検知手段と、剥離シート検知手段とを含み、
前記制御手段は、前記切込検知手段が前記切り込みを検知し、前記接着シート基材検知手段が貼付用シートの外側に位置する接着シート基材部分を検知することなく、前記剥離シート検知手段が剥離シートを検知する組み合わせパターンのときに、前記複層プリカット原反を繰り出すとともに、貼付用シートを剥離シートから剥離して前記被着体に貼付する複層プリカット貼付モードを含む予め設定された複数の貼付モードから、当該複層プリカット貼付モードを特定して実行するように前記各手段を制御する、という構成を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、単層原反又は複層原反若しくは複層プリカット原反を供給可能とし、これら原反の状態を検知手段を介して検知することで、原反の層構造、貼付用シートの有無等が検知でき、それに応じて必要な手段を動作させることで貼付用シートを被着体に貼付することができる。従って、どのような原反が供給手段に適用されていても、オペレータが目視確認して運転条件の設定、変更や、装置の初期化作業を行うような必要がなく、自動的に貼付動作を開始させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。また、図３には、前記シート貼付装置のブロック構成図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、被着体としてのリングフレームＲＦ及びウエハＷを支持する支持手段１１と、帯状の接着シート基材ＳＢからなる単層原反Ｒ１又は前記接着シート基材ＳＢの接着面側に帯状の剥離シートＲＬが仮着された２層の複層原反Ｒ２（図７、８参照）若しくは剥離シートＲＬの一方の面に貼付用シートＳが所定間隔をおいて仮着された複層プリカット原反Ｒ３（図９参照）を供給する供給手段１２と、前記原反Ｒ１、Ｒ２に接着シート基材ＳＢ側から閉ループ状の切り込みＣを設けて貼付用シートＳを形成する第１及び第２の切込形成手段１３、１４と、前記貼付用シートＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する貼付手段１６と、前記原反Ｒ１〜Ｒ３の種別に応じて前記各手段を所定制御する制御手段１７（図３参照）と、前記原反Ｒ１〜Ｒ３の種別を検知する複数の検知手段１９とを備えて構成されている。なお、本発明における接着シート基材ＳＢとは、帯状の基材の一方の面に接着剤層を設けたものや、帯状の基材の他方の面に剥離処理層を設けたものを含み、単体で接着シートとして作用できるものを単層原反Ｒ１と称する。また、複層原反Ｒ２に用いられる剥離シートＲＬにおいても、帯状シートに剥離処理層が設けられたもの等が例示できるが、それを単層とみなし、前記接着シート基材Ｒ１に仮着されたものを２層の複層原反Ｒ２と称する。
【００１４】
前記支持手段１１は、リングフレームＲＦを支持する外側テーブル２０と、ウエハＷを支持する内側テーブル２１と、これら外側テーブル２０及び内側テーブル２１を昇降可能に支持するベーステーブル２２とを含む。外側テーブル２０は中央部に円形の穴２０Ａを備えている一方、外周側は平面視方形をなす形状に設けられている。この一方、内側テーブル２１は前記穴２０Ａの内径よりも小径となる略円形に設けられて前記穴２０Ａ内に配置されている。これら外側テーブル２０及び内側テーブル２１は、上面側に図示しない吸着孔が形成され、リングフレームＲＦ及びウエハＷを吸着保持できるように設けられている。また、外側テーブル２０及び内側テーブル２１は、それぞれ直動モータ２４、２５によって、上面高さ位置が調整可能となっている。
【００１５】
前記支持手段１１は移動手段２６を介して図１中左右方向に移動可能に設けられている。この移動手段２６は、ベーステーブル２２の下面側に設けられたスライダ２２Ａを案内する一対のガイドレール２７と、ベーステーブル２２の下面側に設けられたナット部材２２Ｂを貫通する送りねじ軸２８及び当該送りねじ軸２８を回転駆動するモータＭ１とにより構成されている。
【００１６】
前記供給手段１２は、モータＭ２の駆動により回転する供給ローラ３０により構成され、当該供給手段１２に選択的に支持される原反Ｒ１〜Ｒ３は、ガイドローラ３１、３２を介して前記第２の切込形成手段１４側に供給可能となっている。
【００１７】
前記第１の切込形成手段１３は、閉ループ状の切り込みＣが設けられていない原反Ｒ１又はＲ２を用いた場合において、前記支持手段１１を図１中実線で示される位置に移動させた状態で、リングフレームＲＦ及びウエハＷに接着シート基材ＳＢを貼付した後、接着シート基材ＳＢに閉ループ状の切り込みＣを形成して貼付用シートＳを形成するためのものである。この第１の切込形成手段１３は、刃先が下端側に向けられた切断刃３４と、この切断刃３４を上下方向に移動可能に支持する直動モータ３５とからなる。直動モータ３５は、モータＭ３の駆動により平面内で回転可能に設けられたアーム３６の一端側に支持されており、モータＭ３の上部には図示しないフレームに昇降可能な状態で固定される直動モータＭ４が配置され、この直動モータＭ４によって切断刃３４は、モータＭ３以下のユニットＵと共に上下移動可能に設けられている。ここで、ユニットＵは、前記アーム３６の他端側に設けられたシリンダ３８と、当該シリンダ３８によって上下に移動可能に設けられた押圧手段としての押圧ローラ３９と、アーム３６の下部に設けられた回転軸受４０を介して支持された下部開放型の円筒容器形状をなす押圧手段としての押さえ部材４１と、この押さえ部材４１の内部に設けられるとともに、下面側中央部が外周部よりも下方に位置する湾曲若しくは傾斜面形状に設けられたゴム等の弾性部材からなる押圧手段としての押圧パッド４２とを含む。なお、押圧パッド４２は、シリンダ４３を介して上下に移動可能に設けられている。
【００１８】
前記第２の切込形成手段１４は、前記供給手段１２から供給された原反Ｒ２を用いた場合において、接着シート基材ＳＢに閉ループ状の切り込みＣを形成し、リングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する直前に貼付用シートＳを形成するためのものである（図７、図８参照）。第２の切込形成手段１４は、外周面に閉ループ状の刃４５を備えたダイカットローラ４６と、このダイカットローラ４６との間に原反Ｒ２を挟み込むように配置されたプラテンローラ４７とからなる。
【００１９】
図１及び図３に示されるように、前記貼付手段１６は、前記原反Ｒ１〜Ｒ３を繰り出すための第１及び第２の繰出手段５０、５１と、前記剥離シートＲＬから貼付用シートＳ又は接着シート基材ＳＢを剥離するピールプレート等からなる剥離手段５２と、貼付用シートＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷに押圧して貼付する押圧手段としてのプレスローラ５３の他、前記押圧ローラ３９及び押圧パッド４２と、貼付用シートＳの外側に位置する接着シート基材部分を不要シートＳ１として巻き取る第１及び第２の不要シート巻取手段５５、５６と、剥離シートＲＬを巻き取る剥離シート巻取手段５７とを備えて構成されている。
【００２０】
前記第１の繰出手段５０は、図１に示されるように、モータＭ５によって回転する第１の繰出ローラ６０と、これに離間接触可能な第１のピンチローラ６１とからなり、第２の繰出手段５１は、モータＭ６によって駆動する第２の繰出ローラ６２と、これに離間接触可能な第２のピンチローラ６３とからなる。また、第１の不要シート巻取手段５５は、モータＭ７によって回転する第１の巻取ローラ６５により構成される一方、第２の不要シート巻取手段５６はモータＭ８によって回転する第２の巻取ローラ６６により構成されている。更に、前記剥離シート巻取手段５７は、モータＭ９によって回転する剥離シート巻取軸６７により構成されている。なお、第１の繰出手段５０は、図１中二点鎖線で示されるように、フレームＦを介して左右方向に移動可能とされ、接着シート基材ＳＢを切り抜いて貼付用シートＳをリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付した後の外周側に位置する不要シートＳ１を外側テーブル２０の上面から剥離する作用をも行うようになっている。
【００２１】
前記制御手段１７は、予め設定された複数の貼付モードから１の貼付モードを特定する機能を備えて構成されている。この貼付モードは、単層原反Ｒ１をリングフレームＲＦ及びウエハＷの相対位置に繰り出してこれらに貼付した後に接着シート基材ＳＢをリングフレームＲＦの大きさに応じて切り抜いて貼付用シートＳを形成する単層アフタカット貼付モードと、前記複層原反Ｒ２から剥離シートＲＬを剥離した後の接着シート基材ＳＢをリングフレームＲＦ及びウエハＷの相対位置に繰り出してこれらに貼付した後に、接着シート基材ＳＢをリングフレームＲＦの大きさに応じて切り抜いて貼付用シートＳを形成す複層アフタカット貼付モードと、複層原反Ｒ２を繰り出す途中で接着シート基材ＳＢに切り込みＣを設けて貼付用シートＳを形成した後に当該貼付用シートＳを剥離シートＲＬから剥離してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する複層直前カット貼付モードと、剥離シートＲＬの一方の面に貼付用シートＳが所定間隔をおいて仮着された複層プリカット原反Ｒ３を繰り出すとともに、貼付用シートＳを剥離シートＲＬから剥離してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する複層プリカット貼付モードとを含む。
【００２２】
前記検知手段１９は、図１及び図３に示されるように、前記供給手段１１の原反繰出方向下流側に配置された切込検知手段７０と、第１の不要シート巻取手段５５の原反繰出方向上流側に配置された接着シート基材検知手段７１と、剥離手段５２の原反繰出方向下流側に配置された剥離シート検知手段７２とを含む。各検知手段７０〜７２の信号は制御手段１７に出力されるようになっており、前記制御手段１７は、それら信号の組合せパターンによって予め入力された複数の貼付モードから１の貼付モードを特定し、自動で貼付動作を行うようになっている。なお、オペレータによって貼付モードが選定できるような制御とした場合には、オペレータが選定した貼付モードと各検知手段７０〜７２の信号組合せパターンから特定された貼付モードとが照合され、それらモードが一致しなければ運転を禁止するように制御される。なお、各検知手段７０〜７２は、光電管、カメラ、広角撮像センサ等により構成することができる。また、前記接着シート基材検知手段７１は、図１中二点鎖線で示されるように、第２の不要シート巻取手段５６の原反繰出方向上流側に配置してもよい。
【００２３】
次に、前記シート貼付装置１０によって前記貼付モードを実行する方法について説明する。
【００２４】
［単層アフタカット貼付モード］
図１及び図２に示されるように、単層原反Ｒ１を供給手段１２にセットし、そのリード端を第１の繰出手段５０を経由して第１の巻取ローラ６５に固定する。この一方、支持手段１１に支持されたリングフレームＲＦ及びウエハＷは、図１中実線で示される位置に保たれる。この際、押さえ部材４１はプレスローラ５３と第１の繰出ローラ６０との間に繰り出された接着シート基材ＳＢよりも上方に位置する。
【００２５】
電源投入により、切込検知手段７０、接着シート基材検知手段７１及び剥離シート検知手段７２は、それらが検知すべき対象を検知して、それぞれの検知信号を制御手段１７に出力する。つまり、切込検知手段７０は、切り込みＣを検知しないのでＯＦＦ信号を、接着シート基材検知手段７１は、接着シート基材ＳＢ（不要シートＳ１）を検知してＯＮ信号を、剥離シート検知手段７２は、剥離シートＲＬを検知しないのでＯＦＦ信号をそれぞれ制御手段１７に出力する。これら信号のパターンによって制御手段１７は、現在セットされている原反が単層原反Ｒ１であって、接着シート基材ＳＢがリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付された後で当該接着シート基材ＳＢに切り込みＣを形成する単層アフタカット貼付モードを特定することとなる。なお、切り込み検知手段は広域を検知するために、原反繰出方向に走査される（以下同様）。
【００２６】
制御手段１７が単層アフタカット貼付モードを特定すると、当該制御手段は、単層アフタカット貼付モードを実行するための信号を出力する。すなわち、支持手段１１、供給手段１２、第１の切込形成手段１３、第１の繰出手段５０及び第１の不要シート巻取手段５５に動作信号を出力する一方、第２の切込形成手段１４、第２の繰出手段５１、第２の不要シート巻取手段５６、剥離シート巻取手段５７、移動手段２６には動作信号を出力しないように制御を行う。なお、動作信号が出力されない各手段には、所定の位置で停止するように停止信号が出力されている（以下同様）。
【００２７】
プレスローラ５３及び第１の巻取ローラ６０間に延びる接着シート基材ＳＢは、押さえ部材４１を含むユニットＵ全体が直動モータＭ４の駆動を介して下降する一方、外側テーブル２０及び内側テーブル２１が上昇することで、リングフレームＲＦの上面側に接着シート基材ＳＢが押さえ付けられる（図４、５参照）。
【００２８】
次いで、カッター刃３４が直動モータ３５の駆動によって下降し、接着シート基材ＳＢの面を突き通し、モータＭ３が駆動してアーム３６が平面内で回転することで接着シート基材ＳＢを略円形に切断する。そして、その内側を貼付用シートＳとする一方、外側を不要シートＳ１として区分した後、カッター刃３４が上方に後退移動する。
【００２９】
このようにして接着シート基材ＳＢが切断されると、シリンダ３８によって押圧ローラ３９が下降し、貼付用シートＳの外周側を押圧して１回転することで、貼付用シートＳの外周部をリングフレームＲＦに貼付するとともに、シリンダ４３により押圧パッド４２が下降して貼付用シートＳをウエハＷに押圧する。これにより、リングフレームＲＦとウエハＷとが一体化される。なお、図５では、解り易くするために接着シート基材ＳＢが貼付用シートＳと不要シートＳ１とに完全に切り離されたように示しているが、実際には円形に切り抜かれた貼付用シートＳの外側部分が不要シートＳ１として連続的につながっている。
【００３０】
貼付用シートＳの貼付と、接着シート基材ＳＢの切断が完了すると、前記直動モータＭ４が図示しない駆動手段を介して上方に移動し、直動モータＭ４以下のユニット全体が図１に示される位置よりも上方位置に退避する。そして、第１の繰出手段５０がモータＭ５によって回転しながら図１中右方向へ移動し（図１中二点鎖線位置参照）、リングフレームＲＦの外周側及び外側テーブル２０に貼り付いた不要シートＳ１を剥離する。この剥離完了後、モータＭ５がロックされた状態で、図１中実線で示される位置に復帰する。この復帰に同期して、モータＭ７が駆動して第１の巻取ローラ６５による不要シートＳ１の巻き取りを行い、同時に、供給手段１２のモータＭ２が駆動して新しい接着シート基材ＳＢが支持手段１１の上方に供給されることとなる。また、貼付用シートＳを介してリングフレームＲＦと一体化されたウエハＷは、図示しない搬送手段を介して次工程に移載される。そして、新たなリングフレームＲＦとウエハＷが支持手段１２に移載され、以後同様の動作を繰り返すことで、順次一体化処理が行われる。なお、接着シート基材ＳＢをリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する際に、押さえ部材４１の外周側に位置する接着シート基材ＳＢを傾斜姿勢に保つことで、前記カッター刃３４の先端がリングフレームＲＦに接触することなく接着シート基材ＳＢに切り込みＣを形成することも可能である。
【００３１】
［複層アフタカット貼付モード］
図６に示されるように、複層原反Ｒ２を供給手段１２にセットし、その接着シート基材ＳＢと剥離シートＲＬとを剥離手段５２の先端位置で剥離する。そして、接着シート基材ＳＢのリード端を第１の繰出手段５０を経由して第１の巻取ローラ６５に固定し、剥離シートＲＬのリード端は第２の繰出手段５１を経由して剥離シート巻取軸６７に固定する。また、支持手段１１は、前記単層アフタカット貼付モードと同位置に保たれる。
【００３２】
電源投入により、切込検知手段７０は、切り込みＣを検地しないのでＯＦＦ信号を、接着シート基材検知手段７１は、接着シート基材ＳＢ（不要シートＳ１）を検知してＯＮ信号を、剥離シート検知手段７２は、剥離シートＲＬを検知してＯＮ信号をそれぞれ制御手段１７に出力する。これら信号のパターンによって制御手段１７は、現在セットされている原反が複層原反Ｒ２であって、接着シート基材ＳＢがリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付された後で当該接着シート基材ＳＢに切り込みＣを形成する複層アフタカット貼付モードを特定することとなる。
【００３３】
制御手段１７が複層アフタカット貼付モードを特定すると、当該制御手段は、複層アフタカット貼付モードを実行するための信号を出力する。すなわち、支持手段１１、供給手段１２、第１の切込形成手段１３、第１及び第２の繰出手段５０、５１、第１の不要シート巻取手段５５、剥離シート巻取手段５７に動作信号を出力する一方、第２の切込形成手段１４、第２の不要シート巻取手段５６、移動手段２６には動作信号を出力しないように制御を行う。
【００３４】
この複層アフタカット貼付モードは、剥離シートＲＬを巻き取る動作が加わる以外、前記単層アフタカット貼付モードと実質的に同一なため、動作説明は省略する。
【００３５】
［複層直前カット貼付モード］
図７及び図８に示されるように、複層原反Ｒ２を供給手段１２にセットし、ニップローラ７４を過ぎた位置でその接着シート基材ＳＢのリード端を第２の巻取ローラ６６に固定し、剥離シートＲＬは、剥離手段５２、第２の繰出手段５１を経由して剥離シート巻取軸６７に固定する。支持手段１１は、図７中二点鎖線で示される位置に保たれる。
【００３６】
電源投入により、切込検知手段７０は、切り込みＣを検地しないのでＯＦＦ信号を、接着シート基材検知手段７１は、接着シート基材ＳＢ（不要シートＳ１）を検知しないのでＯＦＦ信号を、剥離シート検知手段７２は、剥離シートＲＬを検知してＯＮ信号をそれぞれ制御手段１７に出力する。これら信号のパターンによって制御手段１７は、現在セットされている原反が複層原反Ｒ２であって、当該複層原反Ｒ２を繰り出す途中で接着シート基材ＳＢに切り込みＣを設けて貼付用シートＳを形成し、当該貼付用シートＳを剥離シートＲＬから剥離してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する複層直前カット貼付モードを特定することとなる。
【００３７】
制御手段１７が複層直前カット貼付モードを特定すると、当該制御手段は、複層直前カット貼付モードを実行するための信号を出力する。すなわち、支持手段１１、供給手段１２、第２の切込形成手段１４、第２の繰出手段５１、第２の不要シート巻取手段５６、剥離シート巻取手段５７、移動手段２６に動作信号を出力する一方、第１の切込形成手段１３、第１の繰出手段５０、第１の不要シート巻取手段５５には動作信号を出力しないように制御を行う。
【００３８】
この複層直前カット貼付モードでは、貼付動作が行われる前に、貼付用シートＳの形成動作が行われる。つまり、供給手段１２から供給された複層原反Ｒ２を第２の繰出手段５１によって繰り出し、この際、ダイカットローラ４６によって接着シート基材ＳＢに切り込みＣを形成し、貼付用シートＳが剥離手段５２の先端で図示しないセンサによって検知されるまで繰り出した後、停止してスタンバイ状態となる。このとき、貼付用シートＳの外側の接着シート基材ＳＢは不要シートＳ１として第２の不要シート巻取手段５６で巻き取られることとなる。
【００３９】
前記支持手段１１に図示しない搬送手段によってリングフレームＲＦとウエハＷとが載置されたことが図示しないセンサによって確認されると、当該支持手段１１は、移動手段２６によって図７に示される実線位置に移動される。その後、外側テーブル２０と内側テーブル２１は、直動モータ２４、２５によって上方に移動されるとともに、リングフレームＲＦとウエハＷの上面が同一平面内に位置するようにセットされる。
【００４０】
次に、支持手段１１が移動手段２６によって図７中左方向へ搬送され、その搬送に同期して第２の繰出手段５１が回転駆動されて貼付用シートＳは、剥離手段５２の先端で剥離シートＲＬから剥離され、プレスローラ５３によって押圧されてリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付されることとなる。この際、剥離シートＲＬは剥離シート巻取手段５７で巻き取られるとともに、不要シートＳ１は第２の不要シート巻取手段５６で巻き取られる。
【００４１】
［複層プリカット貼付モード］
図９に示されるように、剥離シートＲＬの一方の面に貼付用シートＳが所定間隔で仮着された複層プリカット原反Ｒ３を供給手段１２にセットし、ニップローラ７４を過ぎた位置でその不要シートＳ１のリード端を第２の巻取ローラ６６に固定し、剥離シートＲＬは、剥離手段５２、第２の繰出手段５１を経由して剥離シート巻取軸６７に固定する。支持手段１１は、図７中二点鎖線で示される位置に保たれる。なお、複層プリカット原反Ｒ３における不要シートＳ１は、それが存在することなくロール状に巻回した状態において、貼付用シートＳが径方向に重なり合うことで生ずる押し傷や、段差を無くすために設けられたスペーサ的な役割を果たすものである。
【００４２】
電源投入により、切込検知手段７０は、切り込みＣを検地してＯＮ信号を、接着シート基材検知手段７１は、接着シート基材ＳＢ（不要シートＳ１）を検知しないのでＯＦＦ信号を、剥離シート検知手段７２は、剥離シートＲＬを検知してＯＮ信号をそれぞれ制御手段１７に出力する。これら信号のパターンによって制御手段１７は、現在セットされている原反が複層プリカット原反Ｒ３であって、当該複層プリカット原反Ｒ３を繰り出すとともに、貼付用シートＳを剥離シートＲＬから剥離してリングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付する複層プリカット貼付モードを特定することとなる。
【００４３】
制御手段１７が複層プリカット貼付モードを特定すると、当該制御手段１７は、複層プリカット貼付モードを実行するための信号を出力する。すなわち、支持手段１１、供給手段１２、第２の繰出手段５１、第２の不要シート巻取手段５６、剥離シート巻取手段５７、移動手段２６に動作信号を出力する一方、第１の切込形成手段１３、第２の切込形成手段１４、第１の繰出手段５０、第１の不要シート巻取手段５５には動作信号を出力しないように制御を行う。
【００４４】
この複層プリカット貼付モードでは、貼付動作が行われる前に、複層プリカット原反Ｒ３を第２の繰出手段５１によって繰り出し、貼付用シートＳが剥離手段５２の先端で図示しないセンサによって検知されるまで繰り出した後、停止してスタンバイ状態となる。その後の動作は、第２の切込形成手段１４の動作が行われないこと以外、前記複層直前カット貼付モードと実質的に同一なため、動作説明は省略する。
【００４５】
このように、本実施形態では、供給手段１２に何れの原反Ｒ１〜Ｒ３が適用されているかを前記各検知手段７０〜７２で検知し、その検知された信号のパターンによって貼付モードを自動的に特定して駆動系を動作させるように設定したから、オペレータによる設定作業の省力化を達成して貼付用シートＳを効率良く貼付することができるシート貼付装置１０を提供することができる。
【００４６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００４７】
例えば、前記実施形態では、リングフレームＲＦ及びウエハＷに貼付用シートＳを貼付する場合を図示、説明したが、何れか一方を被着体としてもよい。また、被着体はリングフレームＲＦや半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【００４８】
また、第１の切込形成手段１３は、例えば、リングフレームの外周に沿って移動軌跡がティーチングされたロボットアームの先端にカッター刃３４を取り付けた構造や、平面内で回転可能且つ上下に移動可能な簡易型のアームに取り付けた構造等を採用してもよい。
【００４９】
更に、複層プリカット原反Ｒ３は、貼付用シートＳの外周側にスペーサとして作用する不要シートＳ１を有しないタイプのものも採用することができる。この場合は、制御手段１７は、第２の不要シート巻取手段５６を駆動しないように制御することとなる。
【００５０】
また、本実施形態では、前述した４つの貼付モードを選択的に特定する場合を説明したが、少なくとも２つの貼付モードを実行することができればよく、更に、貼付モードの数を増加させることも妨げない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】単層アフタカット貼付モードを実行する状態を示すシート貼付装置の概略正面図。
【図２】図１の概略斜視図。
【図３】本実施形態に係るシート貼付装置の全体構成を示すブロック構成図。
【図４】単層アフタカット貼付モードにおける接着シートの貼付直前状態を示す説明図。
【図５】単層アフタカット貼付モードにおける接着シートの貼付と、接着シート基材の切断を行った状態を示す説明図。
【図６】複層アフタカット貼付モードを実行する状態を示す概略斜視図。
【図７】複層直前カット貼付モードを実行する状態を示すシート貼付装置の概略正面図。
【図８】図７の概略斜視図。
【図９】複層プリカット貼付モードを実行する状態を示す概略斜視図。
【符号の説明】
【００５２】
１０  シート貼付装置
１１  支持手段
１２  供給手段
１３  第１の切込形成手段
１４  第２の切込形成手段
１６  貼付手段
１７  制御手段
１９  検知手段
３９  押圧ローラ（押圧手段）
４１  押さえ部材（押圧手段）
４２  押圧パッド（押圧手段）
５０  第１の繰出手段
５１  第２の繰出手段
５２  剥離手段
５３  プレスローラ（押圧手段）
５５  第１の不要シート巻取手段
５６  第２の不要シート巻取手段
５７  剥離シート巻取手段
７０  切込検知手段
７１  接着シート基材検知手段
７２  剥離シート検知手段
Ｃ  切り込み
Ｒ１  単層原反
Ｒ２  複層原反
Ｒ３  複層プリカット原反
ＲＦ  リングフレーム
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  貼付用シート
Ｓ１  不要シート
ＳＢ  接着シート基材
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
0004801018.tif 000003
【図３】
0004801018.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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