(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送される被検査物の外観を撮像部により撮像し、画像処理により欠陥部位の有無を検査する外観検査システムにおいて、前記被検査物として、一又は二以上のディスプレイ用フラットパネルを含むパネル基板を適用し、このパネル基板のブランク部位に、インクリメント方式により順次検出可能な複数のパターン要素又はアブソリュート方式により検出可能であってそれぞれに絶対座標を付した複数のパターン要素、を用いたエンコーダパターンを表示することにより、前記パネル基板の搬送方向（Ｙ座標方向）におけるＹ座標位置に対応するＹ座標パターン部及び前記Ｙ座標方向に直角となるＸ座標方向におけるＸ座標位置に対応するＸ座標パターン部を有するエンコーダパターン表示部を、前記ディスプレイ用フラットパネルの表面に表示するブラックマトリクスパターン等のパターンと一緒に形成するとともに、欠陥部位を検出する際に当該エンコーダパターン表示部を前記撮像部により撮像して得たパターン信号から前記欠陥部位の位置に対応する少なくとも前記Ｙ座標位置を検出する検出処理部を有する検査装置を具備してなることを特徴とする外観検査システム。
【請求項２】
前記撮影部には、一又は二以上のラインセンサカメラを用いることを特徴とする請求項１記載の外観検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パネル基板等の被検査物の外観を撮像装置により撮像し、画像処理により欠陥部位の有無を検査する際に用いて好適な外観検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の液晶表示用パネルを含むパネル基板等の被検査物の外観を撮像部により撮像し、画像処理により欠陥部位（視覚的不良点）の有無を検査する外観検査システムは、既に本出願人が提案した特許文献１で開示される基板用自動検査装置が知られている。
【０００３】
この基板用自動検査装置（外観検査システム）は、被検査基板を搬送する搬送部と、搬送される被検査基板の視覚的不良点を検出する検出部と、この検出部からの検出情報に基づいて被検出基板の視覚的不良点に自動でマーキングするマーキング部を備える基板用自動検査システムにおいて、被検出基板の下面の左右両側を支持する一対の支持ローラ機構と、この支持ローラ機構に支持される被検出基板の左右の端辺に当接して被検出基板の左右方向の位置規制を行う一対の規制ローラ機構と、被検出基板の前後の端辺に係止して被検出基板を移送する移送機構と、移送される被検出基板の下面に圧力空気を吹付けて被検出基板の下方への撓みを規制する空気吹付機構を有する搬送部を備えたものであり、検査の高速化を実現して製品の生産性を高めることができる。
【特許文献１】特開２０００−１９３６０４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した従来の外観検査システム（基板用自動検査装置）は、次のような解決すべき課題が存在した。
【０００５】
第一に、被検査基板の視覚的不良点を検出する検出部からの検出情報には、視覚的不良点の大きさや種類等をはじめ、視覚的不良点の位置情報が含まれる。この位置情報、特に、搬送方向（Ｙ座標方向）の位置情報は、搬送機構に付設したエンコーダ等から得ているが、この位置情報は、被検査基板の位置をいわば間接的に検出した位置情報となるため、高精度の位置情報を得るには限界があり、液晶表示用パネルのような高度の位置精度が要求される被検査物にとっては十分な精度を確保できない。
【０００６】
第二に、高度の位置精度が要求される被検査物では、検出精度を高めるために、搬送機構に、高精度（高精密）で剛性及び信頼性の高い機械部品が要求され、搬送機構のコスト比率が相当に大きくなる。特に、液晶表示用パネルのように製品の大型化が進んだ場合、搬送機構のコスト比率は更に大きくなり、コストアップが無視できない。
【０００７】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した外観検査システムの提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するため、搬送される被検査物Ｐの外観を撮像部Ｖにより撮像し、画像処理により欠陥部位の有無を検査する外観検査システム１を構成するに際して、被検査物Ｐとして、一又は二以上のディスプレイ用フラットパネルＰｄ…を含むパネル基板Ｐｏを適用し、このパネル基板Ｐｏのブランク部位Ｂｐに、インクリメント方式により順次検出可能な複数のパターン要素２ｅ…又はアブソリュート方式により検出可能であってそれぞれに絶対座標を付した複数のパターン要素２ｓ…、を用いたエンコーダパターンを表示することにより、パネル基板Ｐｏの搬送方向Ｆｙ（Ｙ座標方向）におけるＹ座標位置に対応するＹ座標パターン部２ｙ及びＹ座標方向に直角となるＸ座標方向におけるＸ座標位置に対応するＸ座標パターン部２ｘを有するエンコーダパターン表示部２を、フラットパネルＰｄ…の表面に表示するブラックマトリクスパターン等のパターンと一緒に形成するとともに、欠陥部位を検出する際に当該エンコーダパターン表示部２を撮像部Ｖにより撮像して得たパターン信号Ｓｐから欠陥部位の位置に対応する少なくともＹ座標位置を検出する検出処理部４を有する検査装置３を具備することを特徴とする。
【０００９】
この場合、発明の好適な態様により、撮影部Ｖには、一又は二以上のラインセンサカメラＶｃ…を用いることができる。
【発明の効果】
【００１０】
このような構成を有する本発明に係る外観検査システム１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【００１１】
（１）  パネル基板Ｐｏ上に表示したエンコーダパターン表示部２と、欠陥部位を検出する際に撮像部Ｖにより撮像したエンコーダパターン表示部２に係わるパターン信号Ｓｐから欠陥部位の位置に対応する少なくともＹ座標位置を検出する検出処理部４を有する検査装置３を備えるため、パネル基板Ｐｏにおける欠陥部位の座標位置を当該パネル基板Ｐｏ自身から直接検出できる。したがって、搬送機構に影響を受けることなく、高精度の位置情報を確実かつ安定して得ることができる。
【００１２】
（２）  パネル基板Ｐｏにおける欠陥部位の座標位置を検出するに際し、搬送機構に影響を受けないことから、搬送機構には高精度（高精密）で剛性及び信頼性の高い機械部品は要求されない。したがって、搬送機構の形式選定を含めて大幅なコストダウンを図ることができるとともに、外観検査システム１の小型化、更には軽量化及び省エネルギ性向上にも寄与できる。
【００１３】
（３）  一又は二以上のディスプレイ用フラットパネルＰｄ…を含むパネル基板Ｐｏを使用し、このパネル基板Ｐｏのブランク部位Ｂｐにエンコーダパターン表示部２を表示するようにしたため、ディスプレイ用フラットパネルＰｄ…の表面に表示するブラックマトリクスパターン等の表示処理と一緒（同時）に表示できる。したがって、容易かつ低コストに実施でき、本発明に係る外観検査システム１は、このようなパネル基板Ｐｏに用いて最適である。
【００１４】
（４）  パネル基板Ｐｏの搬送方向Ｆｙ（Ｙ座標方向）におけるＹ座標位置に対応するＹ座標パターン部２ｙ及びＹ座標方向に直角となるＸ座標方向におけるＸ座標位置に対応するＸ座標パターン部２ｘを有するエンコーダパターン表示部２を設けたため、従来、撮像部Ｖ側で行っていたＸ座標位置の設定を、Ｙ座標位置を検出する場合と同様に検出処理できる。したがって、Ｘ座標についても高精度の位置情報を確実かつ安定して得ることができるとともに、容易かつ低コストによる実施が可能となる。
【００１５】
（５）  インクリメント方式により順次検出可能な複数のパターン要素２ｅ…又はアブソリュート方式により検出可能な絶対座標を付した複数のパターン要素２ｓ…を用いることができるエンコーダパターン表示部２を設けたため、被検査物Ｐの大きさや形状（形態）に応じて最適なパターン形態を選択できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る最良の実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００１７】
まず、本実施形態に係る外観検査システム１の構成について、図１〜図３を参照して説明する。なお、外観検査システム１には、検査装置３と、この検査装置３による検査対象となる被検査物Ｐ上に表示されるエンコーダパターン表示部２が含まれる。
【００１８】
最初に、被検査物Ｐについて、図１及び図２を参照して説明する。例示の被検査物Ｐは、テレビジョンディスプレイに用いる液晶表示用パネル等のディスプレイ用フラットパネルＰｄ…を含むパネル基板Ｐｏであり、一枚のガラス板により構成する。このパネル基板Ｐｏは、全体を矩形に形成し、面内には六枚のフラットパネルＰｄ…が配列するとともに、各フラットパネルＰｄ…には、ブラックマトリクスパターンが表示される。したがって、このパネル基板Ｐｏは、外観検査システム１による検査後、所定のカッティング工程に送られ、このパネル基板Ｐｏから単体のフラットパネルＰｄ…が六枚得られる。このため、パネル基板Ｐｏにおける各フラットパネルＰｄ…を除いた部位はブランク部位（余白部位）Ｂｐとなり、このブランク部位（余白部位）Ｂｐには、通常、製品番号（バーコード）１１や各種注意マーク１２等が表示される。
【００１９】
一方、このパネル基板Ｐｏの表面には、本発明に従ってエンコーダパターン表示部２を表示する。このエンコーダパターン表示部２には、パネル基板Ｐｏの搬送方向Ｆｙ（Ｙ座標方向）におけるＹ座標位置に対応するエンコーダパターンを表示したＹ座標パターン部２ｙと、Ｙ座標方向に直角となるＸ座標方向におけるＸ座標位置に対応するエンコーダパターンを表示したＸ座標パターン部２ｘが含まれる。なお、図１は、Ｙ座標パターン部２ｙのみの表示態様を示すとともに、図２は、Ｙ座標パターン部２ｙとＸ座標パターン部２ｘの双方を用いた表示態様を示す。
【００２０】
Ｙ座標パターン部２ｙは、図２（図１）に示すように、平面から見て左側のブランク部位Ｂｐｐ内に、各パターン要素２ｓ…を、パネル基板Ｐｏの左辺Ｐｏｐに沿って一定間隔おきに順次表示する。この際、Ｙ座標パターン部２ｙは、パネル基板Ｐｏの左辺Ｐｏｐに沿った全体に設ける必要はない。即ち、各フラットパネルＰｄ…の長さに対応させて表示すればよく、各フラットパネルＰｄ…間の間隔に相当するブランク部位Ｂｐｓ…における表示は必要ない。したがって、このブランク部位Ｂｐｓ…に、前述した製品番号１１や注意マーク１２等を表示することができる。例示のパターン要素２ｓは、図２に抽出図で示すように、Ｘ座標方向に長いバー状をなし、Ｘ座標方向長さＬａは１〔ｍｍ〕前後に選定するとともに、Ｙ座標方向の幅Ｌｂは５０〔μｍ〕前後に、また、各パターン要素２ｓ…間の間隔Ｌｃは５０〔μｍ〕前後に選定した。そして、各パターン要素２ｓ…には、それぞれに絶対座標を付す。即ち、パターン要素２ｓをＸ座標方向に分割することにより複数のドットｄ…の連続体とし、各ドットｄ…を、例えば「黒（１）」又は「白（０）」で表すことにより、少なくともＮビットの数値による絶対座標を付す。したがって、Ｙ座標パターン部２ｙは、アブソリュート方式により検出可能となる。
【００２１】
一方、Ｘ座標パターン部２ｘは、パネル基板ＰｏにおけるＹ座標方向に対して直角方向に設ける。即ち、図２に示すように、平面から見て搬送方向前側のブランク部位Ｂｐｆ内に、各パターン要素２ｅ…を、パネル基板Ｐｏの前辺Ｐｏｆに沿って一定間隔おきに順次表示する。この際、Ｘ座標パターン部２ｘは、上述したＹ座標パターン部２ｙの場合と同様に、各フラットパネルＰｄ…間の間隔に相当するブランク部位Ｂｐｓ…における表示は必要ないが、図２では、このブランク部位Ｂｐｓ…にも表示した例を示す。例示のパターン要素２ｅは、図２に抽出図で示すように、Ｙ座標方向に長い一本のバー状をなし、Ｙ座標方向長さＬｄは１〔ｍｍ〕前後に選定するとともに、Ｘ座標方向の幅Ｌｅは５０〔μｍ〕前後に、また、各パターン要素２ｅ…間の間隔Ｌｆは５０〔μｍ〕前後に選定した。Ｘ座標パターン部２ｘは、インクリメント方式により順次検出可能であり、最初のパターン要素２ｅから順次カウントして位置座標を得る。
【００２２】
このようなＸ座標パターン部２ｘ及びＹ座標パターン部２ｙは、各フラットパネルＰｄ…に表示するブラックマトリクスパターンの表示処理工程の中で一緒に表示することができる。即ち、このブラックマトリクスパターンは、パネル基板Ｐｏの上面に、公知の露光工程，現像工程，エッチング工程等を経て表示処理されるため、このブラックマトリクスパターンの表示処理と一緒（同時）に表示処理することができる。このように、エンコーダパターン表示部２は、フラットパネルＰｄ…におけるブラックマトリクスパターン等の表示処理と一緒に表示できるため、容易かつ低コストに実施できる。したがって、本発明に係る外観検査システム１は、このようなパネル基板Ｐｏに用いて最適である。
【００２３】
なお、例示は、Ｘ座標パターン部２ｘにインクリメント方式により順次検出可能な複数のパターン要素２ｅ…を使用し、Ｙ座標パターン部２ｙにアブソリュート方式により検出可能であって、それぞれに絶対座標を付した複数のパターン要素２ｓ…を使用したが、Ｘ座標パターン部２ｘにアブソリュート方式により検出可能な絶対座標を付したパターン要素２ｓ…を使用してもよいし、Ｙ座標パターン部２ｙにインクリメント方式により検出可能なパターン要素２ｅ…を使用してもよい。このように、Ｘ座標パターン部２ｘ又はＹ座標パターン部２ｙには、被検査物Ｐの大きさや形状（形態）に応じた最適なパターン形態を選択できる。一方、このようなエンコーダパターン表示部２は、図１に示すように、Ｙ座標パターン部２ｙのみで構成してもよいし、Ｘ座標パターン部２ｘとＹ座標パターン部２ｙの双方により構成してもよい。Ｙ座標パターン部２ｙのみで構成した場合には、Ｘ座標の設定は従来の方法を用いればよい。即ち、予めパネル基板Ｐｏと同じ形状のテスト基板を搬送し、撮像部Ｖ側で参照するＸ座標を設定すればよい。エンコーダパターン表示部２にＸ座標パターン部２ｘを含ませれば、従来、撮像部Ｖ側で行っていたＸ座標位置の設定を、Ｙ座標位置を検出する場合と同様に検出処理できるため、Ｘ座標に対しても高精度の位置情報を確実かつ安定して得ることができ、しかも容易かつ低コストに実施できる利点がある。
【００２４】
次に、検査装置３の構成について、図１及び図３を参照して説明する。検査装置３は、図３に示すように、製造ラインに接続する検査ユニットとして構成する。検査装置３は、装置ベッド２１を備え、この装置ベッド２１の上面に、パネル基板Ｐｏ…を搬送する搬送機構２２を配設する。例示の搬送機構２２は、複数の搬送ローラ２２ｒ…を順次配したコンベア機構を用いている。前述したように、検査装置３では、パネル基板Ｐｏにおける欠陥部位の座標位置を検出するに際し、搬送機構２２に影響を受けないことから、搬送機構２２には高精度（高精密）で剛性及び信頼性の高い機械部品は要求されない。したがって、搬送機構２２の形式選定を含めて大幅なコストダウンを図ることができるとともに、外観検査システム１の小型化、更には軽量化及び省エネルギ性向上にも寄与できる。なお、図１中、２３は搬送機構２２を駆動する搬送駆動部を示す。
【００２５】
一方、搬送機構２２の前後方向中間位置であって、この搬送機構２２の上方には、搬送機構２２により搬送されるパネル基板Ｐｏ…の上面を撮像する撮像部Ｖを配設する。この撮像部Ｖは、支持フレーム２５と、この支持フレーム２５に支持され、かつＸ座標方向に配列した四台のラインセンサカメラＶｃ…を備える。また、撮像部Ｖの手前であって、搬送機構２２の左右両側にはクランプ部２６ｐ，２６ｐ，２６ｑ，２６ｑを配設する。各クランプ部２６ｐ，２６ｐ，２６ｑ，２６ｑは、例えば、電磁ソレノイド等により進退変位される回動自在の規制ローラ２６ｐｐ，２６ｐｐ，２６ｑｐ，２６ｑｐを備えており、左側に配した前後一対のクランプ部２６ｐ，２６ｐの規制ローラ２６ｐｐ，２６ｐｐは、パネル基板Ｐｏの左辺Ｐｏｐに対向するとともに、右側に配した前後一対のクランプ部２６ｑ，２６ｑの規制ローラ２６ｑｐ，２６ｑｐは、パネル基板Ｐｏの右辺Ｐｏｑに対向する。これにより、パネル基板Ｐｏが搬送機構２２により所定の開始位置まで搬送されたなら、各クランプ部２６ｐ…，２６ｑ…は、後退位置にある規制ローラ２６ｐｐ…，２６ｑｐ…を所定の規制位置まで前進変位させることにより、パネル基板Ｐｏの左右方向位置及びＹ座標方向に対する角度を正規の位置及び角度に修正することができる。
【００２６】
他方、３１はコントローラである。コントローラ３１は、コンピュータ機能を有し、少なくとも処理部３２及び制御部３３を備えることにより各種演算処理及び各種制御処理（シーケンス制御）を実行するとともに、その他、一般的なコンピュータ機能に備える記憶処理や入出力処理等を実行できる。この場合、処理部３２の入力側には上述したラインセンサカメラＶｃ…をそれぞれ接続する。処理部３２は、各ラインセンサカメラＶｃ…により撮像して得た画像信号を画像処理し、欠陥部位の有無を検査する機能を有するとともに、特に、欠陥部位を検出する際に撮像部Ｖにより撮像したエンコーダパターン表示部２に係わるパターン信号Ｓｐから欠陥部位の位置に対応するＸ座標位置及びＹ座標位置を検出する機能を有する検出処理部４を構成する。また、制御部３３の出力側には上述した搬送駆動部２３及び各クランプ部２６ｐ，２６ｐ，２６ｑ，２６ｑを接続する。制御部３３は、検査装置３における全体の制御を司る機能を備えている。
【００２７】
次に、本実施形態に係る外観検査システム１の動作（機能）について、図１〜図３を参照しつつ図４に示すフローチャートに従って説明する。
【００２８】
検査を行う際は、製造工程で製造されたパネル基板Ｐｏ…が搬送機構２２により搬送方向Ｆｙ（Ｙ座標方向）に一定速度で搬送される（ステップＳ１）。そして、パネル基板Ｐｏが撮像部Ｖの手前における所定の開始位置まで搬送されれば、不図示の検出スイッチにより検出され、各クランプ部２６ｐ…，２６ｑ…が駆動制御されることにより、後退位置にある各規制ローラ２６ｐｐ…，２６ｐｑ…が所定の規制位置まで前進変位する。この結果、パネル基板Ｐｏの左右方向位置及びＹ座標方向に対する角度が正規の位置及び角度に修正される（ステップＳ２，Ｓ３）。なお、この修正は、パネル基板Ｐｏの搬送中に行ってもよいし、パネル基板Ｐｏを一旦停止させて行ってもよい。
【００２９】
一方、各ラインセンサカメラＶｃ…は、Ｘ座標方向にスキャニングを行っており、各ラインセンサカメラＶｃ…により撮像して得た画像信号は処理部３２に付与される。今、位置及び角度の修正されたパネル基板Ｐｏが搬送され、Ｘ座標パターン部２ｘがスキャニングされた場合を想定する。これにより、Ｘ座標パターン部２ｘに基づくパターン信号Ｓｐ（パルス信号）は処理部３２に付与されるため、処理部３２では、このパターン信号Ｓｐをこのパネル基板Ｐｏに固有のＸ座標として読取るとともに、前回設定したＸ座標に対して書換設定を行う（ステップＳ４）。
【００３０】
更に、パネル基板Ｐｏが搬送され、Ｙ座標パターン部２ｙにおけるパターン要素２ｓがスキャニングされれば、このパターン要素２ｓに基づくパターン信号Ｓｐ（ビット信号）が処理部３２に付与されるため、処理部３２は、このパターン信号Ｓｐからパターン要素２ｓに付された絶対座標を、パネル基板Ｐｏにおける所定のＹ座標として読取る（ステップＳ５）。また、このパターン要素２ｓのスキャニングに同期してフラットパネルＰｄの上面もスキャニングされる（ステップＳ６）。このフラットパネルＰｄの上面をスキャニングして得た画像信号は、処理部３２に付与され、画像処理により欠陥部位の有無が検査される。この際、欠陥部位が検出されれば、このときに読取ったＹ座標パターン部２ｙにおけるパターン要素２ｓのＹ座標がこの欠陥部位のＹ座標位置となり、さらに、設定されているＸ座標との照合から得るＸ座標がこの欠陥部位のＸ座標位置となる。したがって、欠陥部位が検出されたなら、コントローラ３１は、欠陥部位及び対応する座標位置を欠陥情報としてメモリに記憶する（ステップＳ７，Ｓ８）。以下、同様のスキャニング処理が一枚のパネル基板Ｐｏに対して行われる（ステップＳ９，Ｓ５…）。他方、一枚のパネル基板Ｐｏの検査が終了すれば、次のパネル基板Ｐｏに対しても、最初から、即ち、Ｘ座標パターン部２ｘの検出から同様に行われる（ステップＳ１０，Ｓ１…）。
【００３１】
よって、このような本実施形態に係る外観検査システム１によれば、パネル基板Ｐｏ上に表示したエンコーダパターン表示部２と、欠陥部位を検出する際に撮像部Ｖにより撮像したエンコーダパターン表示部２に係わるパターン信号Ｓｐから欠陥部位の位置に対応する少なくともＹ座標位置を検出する検出処理部４を有する検査装置３を備えるため、パネル基板Ｐｏにおける欠陥部位の座標位置を当該パネル基板Ｐｏ自身から直接検出できる。したがって、搬送機構２２に影響を受けることなく、高精度の位置情報を確実かつ安定して得ることができる。また、パネル基板Ｐｏにおける欠陥部位の座標位置を検出するに際し、搬送機構２２に影響を受けないことから、搬送機構２２には高精度（高精密）で剛性及び信頼性の高い機械部品は要求されない。したがって、搬送機構２２の形式選定を含めて大幅なコストダウンを図ることができるとともに、外観検査システム１の小型化、更には軽量化及び省エネルギ性向上にも寄与できる。
【００３２】
以上、最良の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，手法，素材，数量，数値等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。
【００３３】
例えば、液晶表示用パネル等の複数のディスプレイ用フラットパネルＰｄ…を含むパネル基板Ｐｏを例示したが、パネル基板Ｐｏ自身が一枚のフラットパネルＰｄであってもよい。また、撮影部Ｖに、一又は二以上のラインセンサカメラＶｃ…を用いた場合を例示したが、一般的なビデオカメラを含むイメージセンサを用いてもよい。なお、本発明における外観検査システム１は、その名称に限定されるものではなく、再検査システムや修正システム等、同様の機能を含むシステム（装置）が全て含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の最良の実施形態に係る外観検査システムにおける主要部を示す全体構成図、
【図２】同外観検査システムにおけるエンコーダパターン表示部を表示したパネル基板（被検査物）の平面図、
【図３】同外観検査システムにおける検査装置の外観斜視図、
【図４】同外観検査システムの動作（機能）を説明するためのフローチャート、
【符号の説明】
【００３５】
１：外観検査システム，２：エンコーダパターン表示部，２ｘ：Ｘ座標パターン部，２ｙ：Ｙ座標パターン部，２ｅ…：パターン要素，２ｓ…：パターン要素，３：検査装置，４：検出処理部，Ｐ：被検査物，Ｐｄ…：ディスプレイ用フラットパネル，Ｐｏ：パネル基板，Ｂｐ：ブランク部位，Ｖ：撮像部，Ｖｃ…：ラインセンサカメラ，Ｆｙ：被検査物の搬送方向，Ｓｐ：パターン信号
【図１】
0004691538.tif 000002
【図２】
0004691538.tif 000003
【図３】
0004691538.tif 000004
【図４】
0004691538.tif 000005