(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ブロック（１０）と、前記第１ブロックと対向する第２ブロック（２０）と、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロック（３０）とを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部（４０）を有するボディ本体（１Ａ）において、
前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材（９１）と、前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材（９２）と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（７１）を設けた第１補強部材（７０）と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（８１）を設けた第２補強部材（８０）とを備え、
前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃えると共に、前記中間ブロックにおいて前記第１補強部材を前記第１ブロックと接する側となる第１当接面（３１）に配置し、同じく前記中間ブロックにおいて前記第２補強部材を前記第２ブロックと接する側となる第２当接面（３２）に配置し、
前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第２補強部材の貫通孔を貫通し前記第１補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、
前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成する
ことを特徴とするボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項２】
前記第１固定部材が第１ベース部材（１０１）を介して前記第１ブロックに取り付けられ、前記第２固定部材が第２ベース部材（１０２）を介して前記第２ブロックに取り付けられている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項３】
前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部（５０）及び第２ダイヤフラム部（６０）が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部（４５）により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、
前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項４】
前記第１当接面に前記第１補強部材を収容する第１当接面溝部（３３）が形成されていると共に、前記第２当接面に前記第２補強部材を収容する第２当接面溝部（３４）が形成されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項５】
前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、
前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第１補強部材との固定はナットを介して行われる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項６】
前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、
前記第１補強部材及び前記第２補強部材は、前記貫通孔に加えて前記ボルト体からなる前記第１固定部材及び前記第２固定部材と螺合するねじ溝部（７２，８２）をそれぞれに形成しており、
一側の補強部材の貫通孔と他側の補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置している請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項７】
前記第１補強部材及び前記第２補強部材が円弧形状である請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項８】
前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項９】
前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されている請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１０】
前記ボディ本体が圧力制御弁である請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１１】
前記ボディ本体が定流量弁である請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【請求項１２】
前記ボディ本体がダイヤフラムポンプである請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のブロックを積層して形成するボディ本体において、各ブロック間同士を強力に固定するボディ本体のブロック間固定構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のブロックを積層して構成されるボディ本体５００は、図１８のとおり、上から順に第１ブロック５０１、中間ブロック５０３、第２ブロック５０２となる。従来、ボディ本体を一体化する場合、接続ボルト５１１を第１ブロック側から挿入して中間ブロック５０３を貫通し第２ブロック側に備えられたナット５１２と係合させ、同様に、接続ボルト５１１を第２ブロック側から挿入して中間ブロック５０３を貫通し第１ブロック側に備えられたナット５１２と係合させ、各ブロック同士を接続、固定していた。このような固定構造は構造体製品において一般的であり、ボディ本体を有する構造体の製品として広く採用されている。例えば、流量コントロールバルブ（特許文献１参照）、背圧制御弁（特許文献２参照）、ダイヤフラムポンプ（特許文献３のインジェクター参照）、または定流量弁（特許文献４参照）等の構造体製品である。
【０００３】
各特許文献に開示の構造体製品は、主にシリコンウエハーや基板の洗浄設備等の半導体製造における流体供給分野に用いられ、例えば、超純水をはじめ、フッ酸等の薬液の供給、圧送ラインに接続される。このため、前記の各構造体製品は、いずれも極めて高い清浄度が要求されるため、腐蝕の影響を受け難いフッ素樹脂素材が多用される。
【０００４】
半導体製造分野において、ウエハー洗浄効率の改善、薬剤の溶解度調整から高温水、水蒸気等の高温、高圧の流体圧送への対応が今まで以上に求められている。そのため、構造体製品は常に低温流体と高温流体の両方に曝露される過酷な使用条件も想定しなけらばならない。ところが、ＰＴＦＥ等の軟質のフッ素樹脂は切削加工には向くものの線膨張係数が大きく加熱、冷却を繰り返しているうちに変形しやすくなる。これはクリープ（ｃｒｅｅｐ）と称され、構造体製品の歪みを助長し、内部構造の気密性を低下させて流通される流体の清浄度への影響が指摘される。また、構造体製品から製造設備内に流体成分が漏洩すると、他の機器への影響も懸念される。
【０００５】
従来例の図１８に示す構造から理解されるように、ボディ本体５００は接続ボルト５１１とナット５１２によるブロック間の固定であるため、ボディ本体の固定を強固にしようとする場合、ボルトの数を増やしてブロック同士を締め付けていた。しかし、ボルト−ナットによる締結では１本ずつ締めるため、ボディ本体の全てのボルトを締結した際、締め付け強さが必ずしも一定とはならず、ゆるみの原因となりやすい。なお、構造体製品の形状によっては、ボルトの取り付け部位に制約を受けることも多く、単純に取り付け本数の増加のみでは対処しきれない場合もある。
【０００６】
構造体製品自体が小型であれば、温度変化によるブロックの変形（クリープ）は少なくほとんど問題化しない。しかし、近年のウエハー表面積の増大に伴い、単位時間当たりの処理能力の拡大を所望すると、各構造体自体をこれまでよりも大型化することにより流体の供給量を増加して対処する必要がある。すると、構造体製品のブロック自体も当然に大きくなり、樹脂製ブロックの温度変化による変形量の増大も不可避となる。単にボルト−ナットによる締結では、前述の問題点に加え樹脂製ブロックの変形（クリープ）によりナットあるいはボルトの頭部がブロック内に食い込み応力集中に伴う亀裂を引き起こしやすい点も指摘される。そこで、樹脂製ブロックに生じる熱変形に対処するべく、ブロック同士を固定する構造の改良が切望されている。
【特許文献１】特許第２６７１１８３号公報
【特許文献２】特許第３４６７４３８号公報
【特許文献３】特許第３４９７８３１号公報
【特許文献４】特開２００３−２４８５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、ブロック同士を組み合わせて一体にする構造体において、単にボルト−ナットのみによるブロック同士の固定に代えて各ブロック間を強固かつ安定に固定して、流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とするボディ本体におけるブロック間固定構造を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、請求項１の発明は、第１ブロック（１０）と、前記第１ブロックと対向する第２ブロック（２０）と、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロック（３０）とを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部（４０）を有するボディ本体（１Ａ）において、前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材（９１）と、前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材（９２）と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（７１）を設けた第１補強部材（７０）と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔（８１）を設けた第２補強部材（８０）とを備え、前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃えると共に、前記中間ブロックにおいて前記第１補強部材を前記第１ブロックと接する側となる第１当接面（３１）に配置し、同じく前記中間ブロックにおいて前記第２補強部材を前記第２ブロックと接する側となる第２当接面（３２）に配置し、前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第２補強部材の貫通孔を貫通し前記第１補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成することを特徴とするボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【０００９】
請求項２の発明は、前記第１固定部材が第１ベース部材（１０１）を介して前記第１ブロックに取り付けられ、前記第２固定部材が第２ベース部材（１０２）を介して前記第２ブロックに取り付けられている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１０】
請求項３の発明は、前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部（５０）及び第２ダイヤフラム部（６０）が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部（４５）により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１１】
請求項４の発明は、前記第１当接面に前記第１補強部材を収容する第１当接面溝部（３３）が形成されていると共に、前記第２当接面に前記第２補強部材を収容する第２当接面溝部（３４）が形成されている請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１２】
請求項５の発明は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第１補強部材との固定はナットを介して行われる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１３】
請求項６の発明は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１補強部材及び前記第２補強部材は、前記貫通孔に加えて前記ボルト体からなる前記第１固定部材及び前記第２固定部材と螺合するねじ溝部（７２，８２）をそれぞれに形成しており、一側の補強部材の貫通孔と他側の補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置している請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１４】
請求項７の発明は、前記第１補強部材及び前記第２補強部材が円弧形状である請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１５】
請求項８の発明は、前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなる請求項１に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１６】
請求項９の発明は、前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されている請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１７】
請求項１０の発明は、前記ボディ本体が圧力制御弁である請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１８】
請求項１１の発明は、前記ボディ本体が定流量弁である請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【００１９】
請求項１２の発明は、前記ボディ本体がダイヤフラムポンプである請求項３に記載のボディ本体におけるブロック間固定構造に係る。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、第１ブロックと、前記第１ブロックと対向する第２ブロックと、前記第１ブロックと前記第２ブロックの間に位置する樹脂製の中間ブロックとを備え、前記中間ブロックは前記第１ブロックから前記第２ブロックに向けて貫通するチャンバ部を有するボディ本体において、前記第１ブロックと前記中間ブロックを固定する第１固定部材と、前記第２ブロックと前記中間ブロックを固定する第２固定部材と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔を設けた第１補強部材と、前記第１固定部材及び前記第２固定部材が貫通する貫通孔を設けた第２補強部材とを備え、前記第１補強部材の貫通孔と前記第２補強部材の貫通孔同士を同一直線上に揃えると共に、前記中間ブロックにおいて前記第１補強部材を前記第１ブロックと接する側となる第１当接面に配置し、同じく前記中間ブロックにおいて前記第２補強部材を前記第２ブロックと接する側となる第２当接面に配置し、前記第１固定部材が前記第１補強部材の貫通孔を貫通し前記第２補強部材の貫通孔と固定して前記第１ブロックと前記中間ブロックを接続し、同時に、前記第２固定部材が前記第２補強部材の貫通孔を貫通し前記第１補強部材の貫通孔と固定して前記第２ブロックと前記中間ブロックを接続して、前記第１ブロックと、前記中間ブロックと、前記第２ブロックとを一体に固定し前記ボディ本体を構成するため、ブロック同士を組み合わせて一体にする構造体における単にボルト−ナットのみによるブロック同士の固定に代えて各ブロック間を強固かつ安定に固定して、流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【００２１】
請求項２の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１固定部材が第１ベース部材を介して前記第１ブロックに取り付けられ、前記第２固定部材が第２ベース部材を介して前記第２ブロックに取り付けられているため、補強部材全体及びベース部材全体により均等な力で第１ブロックを中間ブロック側に押しつけることができ、第２ブロックを中間ブロック側に押しつけることができ、ブロックの変形を抑制する効果が高まる。
【００２２】
請求項３の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記中間ブロックにおける前記チャンバ部に第１ダイヤフラム部及び第２ダイヤフラム部が収容され、前記第１ダイヤフラム部及び前記第２ダイヤフラム部は連結部により互いに連結され、前記連結部は前記チャンバ部内に進退自在に配置されており、前記第１ダイヤフラム部は前記第１ブロックと前記中間ブロックの間に挟持され、前記第２ダイヤフラム部は前記第２ブロックと前記中間ブロックの間に挟持されているため、流体供給分野に用いられるボディ本体のブロック同士の固定に適応させることができる。
【００２３】
請求項４の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１当接面に前記第１補強部材を収容する第１当接面溝部が形成されていると共に、前記第２当接面に前記第２補強部材を収容する第２当接面溝部が形成されているため、第１ブロック側への第１補強部材の突出、並びに第２ブロック側への第２補強部材の突出を抑えることができる。
【００２４】
請求項５の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１固定部材と前記第２補強部材との固定並びに前記第２固定部材と前記第１補強部材との固定はナットを介して行われるため、補強部材の加工を簡便にできるとともに、ボルト体である固定部材と補強部材との固定が円滑かつ容易となる。
【００２５】
請求項６の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１固定部材及び前記第２固定部材がボルト体であって、前記第１補強部材及び前記第２補強部材は、前記貫通孔に加えて前記ボルト体からなる前記第１固定部材及び前記第２固定部材と螺合するねじ溝部をそれぞれに形成しており、一側の補強部材の貫通孔と他側の補強部材のねじ溝部が同一直線上に位置しているため、固定構造に要する部品数を少なくできるとともに、ボルト体である固定部材と補強部材との固定が円滑かつ容易となる。
【００２６】
請求項７の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記第１補強部材及び前記第２補強部材が円弧形状であるため、ボディ本体内部の構造を加味して構造強度を維持することができる。
【００２７】
請求項８の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項１の発明において、前記樹脂製の中間ブロックがポリテトラフルオロエチレンからなるため、耐蝕性、耐薬品性や高温耐性を有すると共に、粘性が強く、切削加工に適している。特に、当該ボディ本体におけるブロック間固定構造を用いることにより、ポリテトラフルオロエチレン製の中間ブロックに生じるクリープによる歪みの影響は、両補強部材を介し面としての上下方向から押圧されることにより抑制可能となる。
【００２８】
請求項９の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項３の発明において、前記第１ダイヤフラム部、または前記第２ダイヤフラム部の少なくともいずれかにシール部材が圧着されているため、ダイヤフラムと各ブロックとの密着性は高まり、チャンバ内の気密性が向上する。
【００２９】
請求項１０の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項３の発明において、前記ボディ本体が圧力制御弁であるため、流体圧力を一定化する用途のボディ本体における流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【００３０】
請求項１１の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項３の発明において、前記ボディ本体が定流量弁であるため、供給流量を一定化する用途のボディ本体における流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【００３１】
請求項１２の発明に係るボディ本体におけるブロック間固定構造によると、請求項３の発明において、前記ボディ本体がダイヤフラムポンプであるため、流体を供給する用途のボディ本体における流通する流体の温度変化に伴うブロックの変形を極力回避可能とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図２は第１実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図３は第１実施例のボディ本体の部分上面図、図４は第１実施例のボディ本体の正面視部分断面図、図５は固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図、図６は他の固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図、図７は第２実施例に係るボディ本体の側面視部分断面図、図８は第２実施例のボディ本体の正面視部分断面図、図９はさらに他の固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図、図１０は第３実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図１１は第３実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図１２は第４実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図１３は第４実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図１４は第５実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図、図１５は第５実施例のボディ本体の側面視部分断面図、図１６は第５実施例のボディ本体の部分正面図、図１７は第５実施例における別例の部分正面図である。
【００３３】
本発明のボディ本体は、流体供給分野に用いられ、半導体製造設備における超純水や薬液等の流体の供給、圧送ライン（図示せず）に接続される。そこでボディ本体に各種流体を導入して流量制御、流体圧力の安定化、流体圧送を行う装置として用いられる。このようなボディ本体に組み込まれているブロック間固定構造とは、二のブロックの間にさらに他のブロックが介在されている複数のブロックを積層したボディ本体において、これらの各ブロック同士を固定するための構造である。
【００３４】
図１ないし図４に示す第１実施例のボディ本体１Ａは、請求項１０の発明に規定するように、ブロック間固定構造を圧力制御弁に適用した例である。開示の圧力制御弁とは、流入側（上流側）の圧力変動に対応して流出側（下流側）の圧力変動を平坦化して、流量を一定にする流量コントロールバルブである。圧力制御弁の構造と共に本発明のボディ本体におけるブロック間固定構造を説明する。
【００３５】
図１の側面視縦断面図から把握されるように、ボディ本体１Ａにおいては、第１ブロック１０と、この第１ブロックと対向する第２ブロック２０と、第１ブロックと第２ブロックとの間に挟まれるようにして中間ブロック３０が位置している。中間ブロック３０には、第１ブロック１０から第２ブロック２０に向けて貫通するチャンバ部４０が形成されている。図１では後記する第１補強部材７０、第２補強部材８０の配置を示す。
【００３６】
ボディ本体１Ａは流体の流量制御、流体圧力の安定化を目的とするため、請求項３の発明に規定するように、第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０が中間ブロック３０内に形成されたチャンバ部４０に収容される。第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０は連結部４５により互いに連結される。連結部４５はチャンバ部４０の内部を連結部の連結方向に進退自在に配置されている。また、第１ダイヤフラム部５０は第１ブロック１０と中間ブロック３０の間に、第２ダイヤフラム部６０も第２ブロック２０と中間ブロック３０の間に挟持される。
【００３７】
より詳しく述べると、第１ダイヤフラム部５０は薄肉可動部５１と外周部５２とからなり、第１ダイヤフラム部５０の外周部５２は第１ブロック１０と中間ブロック３０に挟まれてボディ本体１Ａに固定され、チャンバ部４０に収容される。チャンバ部４０において、第１ダイヤフラム部５０を挟んで第１ブロック１０寄りとなる空間は第１加圧室１１、同じく中間ブロック寄りとなる空間は第１チャンバ４０ｐとして区画される。
【００３８】
同様に、第２ダイヤフラム部６０は薄肉可動部６１と外周部６２とからなり、第２ダイヤフラム部６０の外周部６２は第２ブロック２０と中間ブロック３０に挟まれてボディ本体１Ａに固定され、チャンバ部４０に収容される。チャンバ部４０において、第２ダイヤフラム部６０を挟んで第２ブロック２０よりとなる空間は第２加圧室２１、同じく中間ブロックよりとなる空間は第２チャンバ４０ｑとして区画される。
【００３９】
図示の例によると、請求項９の発明にも規定するように、第１ダイヤフラム部５０を挟持する両ブロックの間に第１シール部材１９が圧着され、さらに、第２ダイヤフラム部６０を挟持する両ブロックの間に第２シール部材２９が圧着されている。シール部材はフッ素樹脂ゴム、シリコーンゴム等の耐薬品性の樹脂素材からなるＯリングあるいは角リングである。シール部材を介在させることにより、ダイヤフラムと各ブロックとの密着性が高まり、チャンバ内の気密性が向上する。
【００４０】
第１ダイヤフラム部５０及び第２ダイヤフラム部６０を連結する連結部４５には弁部４６が備えられる。弁部４６はチャンバ部４０を狭小とする弁座３５を開閉する。符号４７は弁機構体であり、第１ダイヤフラム部５０、第２ダイヤフラム部６０、及び連結部４５により構成される。
【００４１】
中間ブロック３０内において、一次側（上流側）に流体Ｆを受け入れる流入部４１が設けられ、第２チャンバ４０ｑに接続される。また、二次側（下流側）に流体Ｆを送り出す流出部４２が設けられ、流出部４２は第１チャンバ４０ｐに接続される。流体Ｆは流入部４１から第２チャンバ４０ｑに流入し、チャンバ部４０を狭小とする弁座３５を通過して第１チャンバ４０ｐに流入して流出部４２からボディ本体外部へ流出する。さらに、中間ブロック３０の流入部４１側に流入側接続部３８、流出部４２側に流出側接続部３９が備えられ、流体の供給、圧送ライン（図示せず）に管路接続される。
【００４２】
圧力制御弁であるボディ本体１Ａには、第１加圧室１１または第２加圧室２１のいずれかあるいは両方に加圧手段２が備えられる。図示の加圧手段２は、電空レギュレーターの下で制御される調圧気体３であり、第１加圧室１１に接続される。第１ダイヤフラム部５０（弁機構体４７）は、調圧気体３により常時中間ブロック３０の内部方向に押し下げられる。第２加圧室２１では加圧手段としてばね２２が設けられている。第２ダイヤフラム部６０（弁機構体４７）は、ばね２２により常時中間ブロック３０の内部方向に押し上げられる。
【００４３】
ここで、ボディ本体１Ａの圧力制御弁としての作用を簡単に説明する。一次側（上流側）となる流入部４１の圧力変動は、第２ダイヤフラム部６０及び第１ダイヤフラム部５０に対する背圧（中間ブロックから離れる外向きの圧力）の変動として現れる。このとき、前出のばね２２や調圧気体３による一定の内向き（中間ブロックに押し込む向き）の設定圧力と、一次側の外向きの変動圧力は均衡を保とうとして、弁機構体４７を移動させる。弁機構体４７（連結部４５）の進退動作により弁部４６と弁座３５との距離は変化し、弁座３５の開口量は変化し、二次側に通過する流体の流量は制御される。
【００４４】
図中の符号１２は調圧気体のための給気ポート、１３は調圧気体の排気ポート、２３は第２加圧室２１内の空気の流出入を行う呼吸路である。なお、加圧手段の別例として、ステッピングモータとボールネジの組み合わせ、ソレノイド構造（電磁石）等の利用も可能である。
【００４５】
ボディ本体を流通する流体は、超純水の他に、酸性、塩基性等の高腐蝕性の流体であり、さらにはこれらの高温流体も含まれる。そこで、各部材はＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）、ＦＥＰ（パーフルオロエチレンプロペンコポリマー）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド）等の耐蝕性、耐薬品性に優れ、高温耐性も併せ持つフッ素樹脂により成形される。以下順次述べる各実施例のボディ本体も同様のフッ素樹脂よりなる。
【００４６】
特に、ボディ本体に組み込まれている樹脂製の中間ブロック３０は、請求項８の発明に規定するように、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）から形成される。ＰＴＦＥは前記の耐蝕性、耐薬品性や高温耐性を有すると共に、粘性が強く、切削加工に適している。そのため、中間ブロック内部のチャンバ部、流入部、流出部等の加工は容易である。とりわけ、多品種少量生産に向く。
【００４７】
ただし、背景技術にて述べたとおり、ＰＴＦＥは線膨張係数が大きく加熱、冷却を繰り返しているうちにクリープ（ｃｒｅｅｐ）と称される変形を起こしやすくなる。そこで、中間ブロック３０に第１補強部材７０及び第２補強部材８０を備えて、第１ブロックと中間ブロックの固定、第２ブロックと中間ブロックとの固定を補助することとした。
【００４８】
図２の側面視部分断面図において、部分Ａ*はボディ本体１Ａの側面を示し、部分Ａ#は側面視の断面を示す。ボディ本体１Ａには、ブロック間の固定部材として、第１ブロック１０に設けられた第１凹部１５に挿入されてこの第１ブロック１０と中間ブロックを固定するための第１固定部材９１、第２ブロック２０に設けられた第２凹部２５に挿入されてこの第２ブロック２０と中間ブロックを固定するための第２固定部材９２が備えられる。部分Ａ*の補強部材及び固定部材は破線で表し、部分Ａ#の補強部材及び固定部材は二点鎖線で表している。固定部材は補強部材と接合できる限り適宜であり、例えばリベット等を用いることもできる。なお、実施例では後記するように、第１，第２固定部材を共にボルト体としている。
【００４９】
第１補強部材７０には、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔７１が設けられ、同じく、第２補強部材８０にも、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔８１が設けられている。図示のブロック間固定構造Ｘ１からよく分かるように、第１補強部材７０及び第２補強部材８０の両貫通孔７１，８１に対して第１固定部材９１、第２固定部材９２がそれぞれ垂直に挿通されている。つまり、両補強部材の貫通孔同士は、同一直線上に揃えられた配置となる。互いの補強部材の貫通孔同士は最短距離となり、両固定部材の挿通が容易となるためである。
【００５０】
続いて示す図３の部分上面図において、部分Ａ’はボディ本体１Ａの上面部分であり、部分Ａ”はボディ本体１Ａの第１ブロック１０を半分切り取り外して中間ブロック３０を露出させた上面部分である。図４の正面視部分断面図において、部分Ａ**はボディ本体１Ａの流入部４１（流入側接続部３８）からの正面視部分であり、Ａ##は同方向による断面部分である。
【００５１】
請求項７の発明に規定するように、第１補強部材７０は円弧形状をしており、互いに同一形状の７０α，７０βからなる（図３参照）。ちなみに、第２補強部材８０は第１補強部材７０と同形状であるため、図示、説明を省略する。円弧形状とすることにより、円盤状のダイヤフラム部をその外周から押さえ、ダイヤフラム部とブロックとの圧着、ブロック間の締め付けを強固にすることができる。また、中間ブロックの厚さ（高さ）に占める流入部４１，流出部４２の口径（直径）を比較的大きく設計した場合、流入部４１，流出部４２がある位置に第１補強部材７０，第２補強部材８０を配置することは困難となる。そこで、第１補強部材及び第２補強部材は、流入部４１，流出部４２付近を避け、ボディ本体内部の構造を加味して構造強度を維持するため、環形状からこの部位を切り取り円弧形状となる。
【００５２】
第１補強部材７０（７０α，７０β）は、中間ブロック３０において第１ブロック１０と接する側となる第１当接面３１に配置される。さらに、実施例のボディ本体１Ａでは、請求項４の発明に規定するように、第１当接面３１に第１当接面溝部３３を設けて、第１補強部材７０（７０α，７０β）を第１当接面溝部３３の内部に収容している。第１当接面溝部を設けたことによって、第１ブロック１０側への第１補強部材の突出が抑えられる（図４参照）。加えて、第１ブロックに要する形状加工も低減される。
【００５３】
むろん、第２補強部材８０（８０α，８０β）も同様に、中間ブロック３０において第２ブロック２０と接する側となる第２当接面３２に配置され、第２当接面３２に第２面部溝部３４がさらに設けられ、第２補強部材８０（８０α，８０β）は第２面部溝部３４の内部に収容されている（図４参照）。第２当接面溝部の作用は前記と同様である。図中の符号３３ｒは第１当接面溝部の底面部、３４ｒは第２当接面溝部の底面部である。図３の部分Ａ”において第１固定部材は二点鎖線で存在位置を示す。図４の部分Ａ**において第１補強部材７０α（７０）、第２補強部材８０α（８０）のみ破線で取り付けられる位置を示す。
【００５４】
ブロック間固定構造Ｘ１における固定部材と補強部材との接続、固定の様子について、図５を用いて説明する。図５では把握容易のため各ブロックを外した状態で固定部材と補強部材のみを示す。請求項６の発明に規定されるとおり、第１固定部材９１及び第２固定部材９２は共に同形のボルト体である。符号９３はボルト溝、９４はボルト頭部、ｗａはワッシャである。固定部材としてボルト体を採用することにより、ブロック同士の固定、取り外しは容易となり作業性は高まる。
【００５５】
図５から分かるように、第１補強部材７０にあっては、第１固定部材９１が貫通する貫通孔７１に加えて、第２固定部材９２のボルト溝９３と螺合するねじ溝部７２（ねじ山部）が形成されている。また、第２補強部材８０にあっても、第２固定部材９２が貫通する貫通孔８１に加えて、第１固定部材９１のボルト溝９３と螺合するねじ溝部８２（ねじ山部）が形成されている。図示の位置関係のとおり、一側の補強部材の貫通孔７１，８１と他側の補強部材のねじ溝部７２，８２は同一直線上の配置である。従って、固定部材（ボルト体）による固定、ねじ止めが円滑となる。また、固定構造に要する部品数が少なくなる。
【００５６】
これまでに説明した固定部材、補強部材に基づくブロック間固定構造Ｘ１の具体的配置については、前掲の図４のとおり示される。図示のブロック間固定構造は、第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定である。第２ブロック２０の第２凹部２５に第２固定部材９２（ボルト体）が挿入されると、第２補強部材８０の貫通孔８１をそのまま貫通し、中間ブロック３０内に形成された通過部３６も通り抜けて、第１補強部材７０のねじ溝部７２に螺着される。このときのねじ締めが強まるほど、第１補強部材７０（７０β）は第２固定部材９２に引き寄せられる。結果的に、第１補強部材７０と第２固定部材９２（特にそのボルト頭部９４）との間に挟まれている中間ブロック３０と第２ブロック２０は密着し、互いのブロック同士は強固に固定される。
【００５７】
図３の上面図からも参照されるとおり、第１補強部材７０（７０α，７０β）は、面として第１当接面溝部３３の底面部３３ｒに圧着する。このため、各々の第２固定部材（ボルト体）によるねじ締め強度の不均一さは解消され、第１補強部材全体として均等な力で中間ブロックを第２ブロック側に押しつける。当然ながら、図示しないものの第２補強部材８０と第１固定部材による中間ブロックと第１ブロックの固定関係も全く同様である。ゆえに、流通流体の熱変化に伴い、樹脂製の中間ブロックに生じるクリープによる歪みの影響は、両補強部材を介し上下方向から面として押圧されることにより減少可能となる。
【００５８】
図６は補強部材と固定部材の取り付けの別例としてブロック間固定構造Ｘ１’を示す。請求項５の発明に規定するように、第１固定部材９１及び第２固定部材９２は前記と同様にボルト体である。そこで、第１固定部材９１と第２補強部材８０との固定並びに第２固定部材９２と第１補強部材７０との固定は、いずれもナット９５を介して行われる。図示からも理解されるように、ボルト溝９３の螺合をナット９５に委ねるため、補強部材にねじ溝部を設ける必要はなく、単に貫通孔のみでよい。従って、補強部材の加工が簡便となる。必要に応じて、ナットを補強部材に溶接しておくこともできる。
【００５９】
図７の側面視部分断面図及び図８の正面視部分断面図に示した第２実施例のボディ本体１Ｂは、第１実施例と同様の圧力制御弁にブロック間固定構造を適用した例である。圧力制御弁としての機構、作用は第１実施例にて詳述のとおりであるため省略する。図７の部分Ｂ*はボディ本体１Ｂの側面、部分Ｂ#は側面視の断面を示す。部分Ｂ*の補強部材、ベース部材及び固定部材は破線で表し、部分Ｂ#の補強部材、ベース部材及び固定部材は二点鎖線で表している。図８の部分Ｂ**はボディ本体１Ｂの流入部４１（流入側接続部３８）からの正面視部分であり、部分Ｂ##は同方向による断面部分である。なお、各部材における共通箇所には同一符号を用いた。
【００６０】
第２実施例のボディ本体１Ｂにおけるブロック間固定構造Ｘ２にあっては、請求項２の発明に規定するように、第１固定部材９１は第１ベース部材１０１を介して第１ブロック１０に取り付けられ、また、第２固定部材９２は第２ベース部材１０２を介して第２ブロック２０に取り付けられている。第１ベース部材１０１には貫通孔１０３が設けられ、ここに第１固定部材９１が挿入される。同じく、第２ベース部材１０２にも貫通孔１０４が設けられ、ここに第２固定部材９２が挿入される。
【００６１】
第１，第２ベース部材１０１（１０１α，１０１β），１０２（１０２α，１０２β）は、前記の第１，第２補強部材７０（７０α，７０β），８０（８０α，８０β）と対応した同一の円弧形状である。図８から理解されるとおり、第１ブロック１０には第１収容溝部１１１が設けられ、この第１収容溝部１１１に第１ベース部材１０１（１０１α，１０１β）が収容される。第２ブロック２０にも第２収容溝部１１２が設けられ、この第２収容溝部１１２に第２ベース部材１０２（１０２α，１０２β）が収容される。図８の部分Ｂ**において第１補強部材７０α（７０）、第２補強部材８０α（８０）、第１ベース部材１０１α（１０１）、第２ベース部材１０２α（１０２）のみ破線で取り付けられる位置を示す。
【００６２】
ベース部材を含めた固定部材と補強部材に基づくブロック間固定構造Ｘ２の接続、固定の様子については、図９のとおり示される。図９では把握容易のため各ブロックを外した状態である。まず、第１固定部材９１は、第１ベース部材１０１の貫通孔１０３に挿入され、続いて第１補強部材７０の貫通孔７１も貫通し、第２補強部材８０のねじ溝部８２に螺着される。同様に、第２固定部材９２も、第２ベース部材１０２の貫通孔１０４に挿入され、第２補強部材８０の貫通孔８１も貫通し、第１補強部材７０のねじ溝部７２に螺着される。自明ながら、貫通孔１０３，７１，ねじ溝部８２と、貫通孔１０４，８１，ねじ溝部７２は、いずれとも同一直線上の配置である。
【００６３】
ベース部材を備えたことによる効果について、前出の図８が参照される。ボルト体である第２固定部材９２が第１補強部材７０（７０β）のねじ溝部７２に螺着される。このときのねじ締めが強固となることにより、固定部材と補強部材に挟まれている中間ブロック３０と第２ブロック２０の密着も強まる。第２ベース部材１０２が第２固定部材９２のボルト頭部９４の内側に介在されていることから、第２ブロック２０は第２固定部材９２のボルト頭部による狭い面積の押圧から、第２ベース部材を伴った面による押圧となる。よって、第２ブロックと中間ブロックとの接続に際し、ねじ締め強度の不均一さはいっそう解消され、第１補強部材全体と第２ベース部材全体により均等な力で中間ブロックを第２ブロック側に押しつけることができる。この作用は、第１ブロック１０と中間ブロック３０を固定する第１ベース部材１０１、第２補強部材８０、第１固定部材においても全く同様である。
【００６４】
第２実施例に開示のボディ本体のブロック間固定構造Ｘ２によると、例えば中間ブロックの他に第１ブロック及び第２ブロックも共にＰＴＦＥ製とした際、樹脂製のボディ本体を流通する流体の熱変化に伴って樹脂製のボディ本体に生じるクリープの低減に効果を上げる。つまり、両補強部材と両ベース部材を備えることにより、第１ブロック−中間ブロック−第２ブロックの組み合わせでこれらの各ブロックは強制的に上下方向から押圧され一体に固定される構造となるためである。
【００６５】
各図に示した第１，第２補強部材７０，８０、第１，第２固定部材９１，９２、第１，第２ベース部材１０１，１０２の材質は適宜金属製であり、例えば、ＳＳ４００、ＳＵＳ３０４等である。とりわけ、図４、図８から把握されるように、チャンバ部を流通する流体とこれらの部材は接触することはない。ゆえに、補強部材や固定部材が腐蝕されることもなく、また、部材の腐蝕により流体の清浄度を下げるおそれも生じにくい。
【００６６】
図１０及び図１１に開示の第３実施例のボディ本体１Ｃは、別形態の圧力制御弁に前記のブロック間固定構造Ｘ１を適用した例である。例示の圧力制御弁とは、流出側（下流側）の圧力変動の影響を極力回避して流入側（上流側）の流体を所定の圧力状態に制御可能とする背圧制御弁である。簡単に構造を説明する。図１０においては、簡略のため第１補強部材７０、第２補強部材８０のみを示した。
【００６７】
圧力制御弁（背圧制御弁）のボディ本体１Ｃでは、第１ブロック１０、中間ブロック３０、第２ブロック２０の順に積み重ねられ、中間ブロック３０にはチャンバ部４０が形成されている。第１ダイヤフラム５０ｃは薄肉可動部５１ｃと外周部５２ｃとからなり、第１ブロック１０と中間ブロック３０との間に外周部５２ｃが挟持され固定されている。第２ダイヤフラム６０ｃも薄肉可動部６１ｃと外周部６２ｃとからなり、第２ブロック２０と中間ブロック３０との間に外周部６２ｃが挟持され固定されている。第１ダイヤフラム５０ｃ及び第２ダイヤフラム６０ｃは連結部４５ｃにより互いに連結される。これら両ダイヤフラムと連結部により弁機構体４７ｃは構成され、チャンバ部の内部を進退自在に配置される。図１と共通となる箇所は同一符号である。
【００６８】
次にボディ本体１Ｃ内の流体の流通と併せて弁機構体４７の動作を説明する。第１ダイヤフラム５０ｃは調圧気体３（加圧手段２）の付勢を受けて常時中間ブロック３０の内部方向に押し下げられている。図示してはいなものの、弁部４６ｃは弁座３５に着座している。また、第２ダイヤフラム６０ｃもばね２２により上向きに付勢される。
【００６９】
上流側の流体流量が増加して圧力が増すと、流入側接続部３８、流入部４１を経て第１チャンバ４０ｐに流入した流体Ｆの圧力を受けて、第１ダイヤフラム５０ｃは調圧気体３の付勢に抗して上昇する。そこで、第１ダイヤフラム部５０ｃと連動して連結部４５（弁機構体４７ｃ）も一体に上昇する。図１０のとおり、弁部４６ｃは弁座３５から離れて第１チャンバ４０ｐから第２チャンバ４０ｑへ通り抜ける流路が開かれる。よって、流体Ｆは第２チャンバ４０ｑ、流出部４２，流出側接続部３９を経てボディ本体の外部に流出する。なお、第１ダイヤフラム部５０ｃの薄肉可動部５１ｃ（ダイヤフラム有効径）は、第２ダイヤフラム部６０ｃの薄肉可動部６１ｃ（ダイヤフラム有効径）よりも大きいため、流入側の圧力変動に対する感度は良くなる。
【００７０】
図１１の側面視部分断面図において、部分Ｃ*は圧力制御弁のボディ本体１Ｃの側面を示し、部分Ｃ#は側面視の断面を示す。部分Ｃ*の補強部材及び固定部材は破線で表し、部分Ｃ#の補強部材及び固定部材は二点鎖線で表している。この場合も前記と同様に、ブロック間の固定部材として、第１ブロック１０に設けられた第１凹部１５に挿入されてこの第１ブロック１０と中間ブロックを固定するための第１固定部材９１、第２ブロック２０に設けられた第２凹部２５に挿入されてこの第２ブロック２０と中間ブロックを固定するための第２固定部材９２が備えられる。第１補強部材７０には、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔７１が設けられ、同じく、第２補強部材８０にも、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔８１が設けられている。
【００７１】
第１，第２固定部材９１，９２は共にボルト体である。第１固定部材９１は、第１補強部材７０の貫通孔７１を貫通して第２補強部材８０の貫通孔に形成されたねじ溝部８２と螺合する。同様に、第２固定部材９２は、第２補強部材８０の貫通孔８１を貫通して第１補強部材７０の貫通孔に形成されたねじ溝部７２と螺合する。そこで、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定、第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定が完了し、全てのブロックは一体化する。
【００７２】
図１２及び図１３に開示の第４実施例のボディ本体１Ｄは、請求項１１の発明に規定するように、定流量弁である。このボディ本体に前記のブロック間固定構造Ｘ２を適用した例である。図１２の縦断面図においては簡略のため、第１補強部材７０、第２補強部材８０、第１ベース部材１０１、第２ベース部材１０２のみを表した。
【００７３】
定流量弁のボディ本体１Ｄでは、第１ブロック１０、第１中間ブロック３０ｓ、第２中間ブロック３０ｔ、第２ブロック２０の順に四のブロックが積み重ねられる。第１，第２中間ブロック３０ｓ，３０ｔを通じて内部にチャンバ部４０が形成されている。なお、図１と共通となる箇所は同一符号である。
【００７４】
この定流量弁は、流入側（上流側）から流入する流体をいったん絞り部に送り、再度当該定流量弁に戻して流出側（下流側）から排出する構造である。そこで、流体の流出入の観点から新たに第３ダイヤフラム部を設けてチャンバ部を区画するため、中間ブロックを２分割して第１，第２中間ブロック３０ｓ，３０ｔとした。
【００７５】
第１ダイヤフラム部５０ｄは薄肉可動部５１ｄと外周部５２ｄとからなり、その外周部５２ｄはシール部材１９ｄを介して第１ブロック１０と第１中間ブロック３０ｓの間に挟持、固定されている。第２ダイヤフラム部６０ｄは薄肉可動部６１ｄと外周部６２ｄとからなり、その外周部６２ｄはシール部材２９ｄを介して第２ブロック２０と第２中間ブロック３０ｔの間に挟持、固定されている。加えて、第３ダイヤフラム部５５は薄肉可動部５７と外周部５６とからなり、その外周部５６は断面視略コ字形状をしており、シール部材５８が埋設されて第１中間ブロック３０ｓと第２中間ブロック３０ｔの間に挟持、固定されている。
【００７６】
第１ダイヤフラム部５０ｄと第３ダイヤフラム部５５は連結部４５ｓにより互いに連結され、第２ダイヤフラム部６０ｄと第３ダイヤフラム部５５は連結部４５ｔにより互いに連結される。各ダイヤフラム部と連結部により弁機構体４７ｄは構成され、チャンバ部の内部を進退自在に配置される。３枚のダイヤフラム部が備えられたことにより、チャンバ部４０は上から順に第１チャンバ４０ｓ、第２チャンバ４０ｔ、第３チャンバ４０ｕに区画される。弁機構体４７ｄには弁部４６ｄが備えられ、第２中間ブロック内に弁座３５ｔが形成される。そこで、弁機構体４７ｄの進退により、弁部と弁座との間の間隔が変化して流量は制御される。
【００７７】
第１ダイヤフラム部５０ｄは、巻きばね４を伴う押圧部材５、並びに第１給気ポート１４から第１加圧室１１に流入する調圧気体３（加圧手段２）の付勢を受けて制御される。
また、第２ダイヤフラム６０ｄは、第２給気ポート２４から第２加圧室２１に流入する調圧気体３（加圧手段２）の付勢を受けて制御される。符号６はロックナットである。
【００７８】
定流量弁である第４実施例のボディ本体１Ｄに流入する流体Ｆの経路の詳細は次のとおりとなる。流入側接続部３８ｄ、流入部４１を経て第３チャンバ４０ｕに流入した流体Ｆは、弁座３５ｔを通過して第２チャンバ４０ｔに流入して絞り部側流出部４１ｏ、絞り部側流出接続部３７ｏからいったんボディ本体外部の接続管路８に流出する。流体Ｆは公知の可変オリフィスからなる絞り部７を経由して、絞り部側流入接続部３７ｉ、絞り部側流入部４２ｉから第１チャンバ４０ｓに流入する。そして、流体Ｆは流出部４２、流出側接続部３９ｄより排出される。この間、各ダイヤフラムに加わる流体圧力、調圧気体、絞り部のバランスにより、最終的な流出側流体の流量が所定量に制御される。
【００７９】
図１３の側面視部分断面図において、部分Ｄ*は定流量弁のボディ本体１Ｄの側面を示し、部分Ｄ#は側面視の断面を示す。部分Ｄ*の補強部材、ベース部材及び固定部材は破線で表し、部分Ｄ#の補強部材、ベース部材及び固定部材は二点鎖線で表している。第４実施例のボディ本体１Ｄにおいて、図４参照のとおり、第１補強部材７０は第１中間ブロック３０ｓの第１当接面３１ｄに配置され、第１当接面３１ｄの第１当接面溝部３３ｓの内部に収容される。同様に、第２補強部材８０も第２中間ブロック３０ｔの第２当接面３２ｄに配置され、第２当接面３２ｄの第２当接面溝部３４ｔの内部に収容される。また、図８参照のとおり、第１ブロック１０には第１ベース部材１０１を収容する第１収容溝部１１１ｄが設けられ、第２ブロック２０にも第２ベース部材１０２を収容する第２収容溝部１１２ｄが設けられ、第１，第２ベース部材はそれぞれの収容溝部に収容される。符号３０ｖは第１中間ブロックと第２中間ブロックによる第３当接面である。
【００８０】
第１固定部材９１は第１ベース部材１０１を介して第１ブロック１０に取り付けられ、また、第２固定部材９２は第２ベース部材１０２を介して第２ブロック２０に取り付けられている。第１ベース部材１０１には貫通孔１０３が設けられ、ここに第１固定部材９１が挿入される。同じく、第２ベース部材１０２にも貫通孔１０４が設けられ、ここに第２固定部材９２が挿入される。この実施例の両固定部材もボルト体であるため、第１補強部材７０の貫通孔７１にねじ溝部７２、第２補強部材８０の貫通孔８１にねじ溝部８２がそれぞれ設けられ螺合される。第１，第２ベース部材１０１，１０２の形状は、前記の第１，第２補強部材７０，８０と対応した同一形状の円弧形状である。
【００８１】
定流量弁として示す第４実施例のボディ本体１Ｄによると、第１，第２中間ブロック３０ｓ，３０ｔに加えて第１，第２ブロック１０，２０も細かな形状加工を要する。従って、いずれのブロックとも切削加工が容易なフッ素樹脂としてＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）が好ましく用いられる。ところが、図示から自明なようにボディ本体１Ｄは縦方向（ブロックの積み重ね方向）に長い構造体である。そこで、４個のブロック全てにわたり強力に固定し、しかも、樹脂製の各ブロックに生じるクリープによる歪みの影響を抑制しなければならない。以上の観点を考慮すると、定流量弁であるボディ本体１Ｄにブロック間固定構造Ｘ２を採用する場合、第１，第２補強部材の面として押圧に加え、第１，第２補強部材の面による押圧も加わる。このため、総じて各ブロック同士は比較的均一に押圧され一体に固定される。
【００８２】
図１４ないし図１６に開示の第５実施例のボディ本体１Ｅは、請求項１２の発明に規定するように、ダイヤフラムポンプである。このボディ本体に前記のブロック間固定構造Ｘ１を適用した例である。図１４においては簡略のため、第１補強部材７０、第２補強部材８０のみを表した。はじめに図１４を用いてダイヤフラムポンプであるボディ本体１Ｅの構造を説明する。
【００８３】
ダイヤフラムポンプであるボディ体１Ｅは、第１ブロック１０、中間ブロック３０、第２ブロック２０の順に重ねられる。第１，第２ブロックに挟まれた中間ブロックにその内部を第１ブロックから第２ブロックへ貫通するチャンバ部４０が形成されている。第１ダイヤフラム部５０ｅは薄肉可動部５１ｅと外周部５２ｅとからなり、その外周部５２ｅはシール部材１９ｅを介して第１ブロック１０と中間ブロック３０の間に挟持、固定されている。第２ダイヤフラム部６０ｅは薄肉可動部６１ｅと外周部６２ｅとからなり、その外周部６２ｅはシール部材２９ｅを介して第２ブロック２０と中間ブロック３０の間に挟持、固定されている。
【００８４】
第１ダイヤフラム部５０ｅと第２ダイヤフラム部６０ｅは連結部４５により互いに連結される。各ダイヤフラム部と連結部により与圧機構体４８は構成され、チャンバ部の内部を往復動作自在に配置される。図示のダイヤフラム部の配置から理解されるとおり、チャンバ部４０において、第１ダイヤフラム部５０ｅを挟んで第１ブロック１０寄りとなる空間は第１チャンバ４０ｍ、中間ブロック寄りとなる空間は第１加圧室１１ｍとして区画される。同様に、第２ダイヤフラム部６０ｅを挟んで第２ブロック２０寄りとなる空間は第２チャンバ４０ｎ、中間ブロック寄りとなる空間は第２加圧室２１ｎとして区画される。
【００８５】
ダイヤフラムポンプのボディ体１Ｅの内部には、圧送される流体Ｆの第１外側流入部３１３、第２外側流入部３３１、前記の第１外側流入部と第２外側流入部を連通する接続流入部３２１とを備えるボディ内部流入部３１０、及び流体Ｆの第１外側流出部３１４、第２外側流出部３３２、前記の第１外側流出部と第２外側流出部を連通する接続流出部３２２とを備えるボディ内部流出部３２０が配される。第１チャンバ４０ｍには、第１外側流入部と連通する第１吸込部３４１、第１外側流出部と連通する第１吐出部３４２が形成され、第２チャンバ４０ｎには、第２外側流入部と連通する第２吸込部３５１、第２外側流出部と連通する第２吐出部３５２が形成される。
【００８６】
さらに、第１外側流入部３１３と第１吸込部３４１の間に介装され第１吸込部３４１方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第１吸込用逆止弁３６１、第１吐出部３４２と第１外側流出部３１４の間に介装され第１外側流出部３１４方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第１吐出用逆止弁３６６、第２外側流入部３３１と第２吸込部３５１の間に介装され第２吸込部３５１方向に被圧送流体Ｆを流通可能とする第２吸込用逆止弁３７１、第２吐出部３５２と第２外側流出部３３２の間に介装され第２外側流出部３３２方向に流体Ｆを流通可能とする第２吐出用逆止弁３７６が備えられている。
【００８７】
実施例の逆止弁３６１，３６６，３７１，３７６は、円筒体の一側の面（上面部）に十字形状の溝が形成された構造である（図示せず）。なお、ダイヤフラムポンプ内に備えられる逆止弁は被圧送流体の逆流を阻止できる構造であれば実施例の構造に限定されない。
【００８８】
第１ブロック１０の一側（ボディ本体下側）には、流体Ｆをボディ本体内へ流入させるための第１流入口３１１が設けられ、第１外側流入部３１３に接続される。第１ブロック１０内の他側（ボディ本体上側）には、流体Ｆをボディ本体外へ流出させるための第１流出口３１２が設けられ、第１外側流出部３１４に接続される。第２ブロック２０の一側（ボディ本体下側）にも、流体Ｆをボディ本体内へ流入させるための第２流入口３３３が設けられ、第２外側流入部３３１に接続される。第２ブロック２０内の他側（ボディ本体上側）にも、流体Ｆをボディ本体外へ流出させるための第２流出口３３４が設けられ、第２外側流出部３３２に接続される。
【００８９】
中間ブロック３０には、第１作動流体流出入部３９１及び第２作動流体流出入部３９２が形成されている。第１作動流体流出入部３９１を流出入する作動流体ａにより、第１ダイヤフラム部５０ｅの膨張は制御される。同様に、第２作動流体流出入部３９２を流出入する作動流体ａにより、第２ダイヤフラム部６０ｅの膨張も制御される。
【００９０】
当該実施例において、第１ダイヤフラム部５０ｅ及び第２ダイヤフラム部６０ｅは連結部４５により接続されており、互いのダイヤフラムの挙動は連動する構成となっている。そのため、一方のダイヤフラム部の背後から作動流体が流入すると、当該ダイヤフラムは付勢されて膨張し当該ダイヤフラムを収容するチャンバ内の流体を吐出する（図１４の第１ダイヤフラム部５０ｅ、第１チャンバ４０ｍ参照）。また、他方のダイヤフラム部は連結部を通じて一方のダイヤフラムに引き寄せられると共にダイヤフラムの背後から付勢していた作動流体の流出が始まる。この結果として、他方のダイヤフラムを収容しているチャンバ内へ被圧送流体の流入が始まる（図１４の第２ダイヤフラム部６０ｅ、第２チャンバ４０ｎ参照）。
【００９１】
第５実施例のボディ本体１Ｅのダイヤフラムポンプにあっては、作動停止の後、作動開始時の脈動の不安定化を抑制するため、第１ダイヤフラム部５０ｅ及び第２ダイヤフラム部６０ｅの膨張、収縮のストレスの均衡化が図られている。具体的には、第１ブロック１０には第１薄肉部４１０が形成され、第１ばね４１２の付勢を受ける第１付勢ブロック４１１が収容される。第２ブロック２０にも、第２薄肉部４２０が形成され、第２ばね４２２の付勢を受ける第２付勢ブロック４２１が収容される。図中、符号４１３は第１付勢ブロックの動きを円滑にするために空気が出入りする第１呼吸路、４１４は第１蓋部、４２３は第２付勢ブロックの動きを円滑にするために空気が出入りする第２呼吸路、４２４は第２蓋部である。
【００９２】
作動停止後、第１付勢ブロック４１１が第１薄肉部４１０を第１チャンバ４０ｍ方向に押圧すると共に、同等の押圧力で第２付勢ブロック４２１が第２薄肉部４２０を第２チャンバ４０ｎ方向に押圧することにより、第１ダイヤフラム部５０ｅ及び第２ダイヤフラム部６０ｅはそれぞれの薄肉部からの押圧を均しく受ける。こうして両ダイヤフラムの膨張、収縮のストレスは均等となり、双方のダイヤフラムは互いに同形状状態となる。
【００９３】
なお、ダイヤフラムポンプの作動を停止させると、被圧送流体Ｆの流通圧力が低下して両チャンバ内の圧力が一定となる。すると、ダイヤフラムを形成する樹脂自体の弾性力により、第１ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムの膨張、収縮のストレスは均衡し、互いに同形状状態となる。従って、図示実施例のような第１付勢ブロック、第２付勢ブロック等のダイヤフラムの位置状態を均衡させる手段を省略することも可能である。
【００９４】
既述のとおり、ダイヤフラムポンプの内部に被圧送流体を流通可能とする内部流路（ボディ内部流入部３１０、ボディ内部流出部３２０）が形成される。当該ダイヤフラムポンプの構造によると、第１外側流入部３１３または第２外側流入部３３１のいずれかから流入する流体は、第１チャンバ４０ｍもしくは第２チャンバ４０ｎのいずれかに流入可能となる。同様に、第１チャンバ４０ｍもしくは第２チャンバ４０ｎのいずれかから流出（吐出）される流体は、第１外側流出部３１４または第２外側流出部３３２のいずれかを経由してダイヤフラムポンプ外に流出可能となる。図示の例では、第１流出口３１２、第２流入口３３３は封止され、第１外側流入部３１３（第１流入口３１１）から流入した流体は第２外側流出部３３２（第２流出口３３４）からボディ本体外に流出する。
【００９５】
図１５の側面視部分断面図において、部分Ｅ*はダイヤフラムポンプのボディ本体１Ｅの側面を示し、部分Ｅ#は側面視の断面を示す。部分Ｅ*の補強部材及び固定部材は破線で表し、部分Ｅ#の補強部材及び固定部材は二点鎖線で表している。続いて示す図１６，図１７の部分側面図において、部分Ｅ’はボディ本体１Ｅの第１ブロック側から見た左側面部分であり、部分Ｅ”は同方向によるボディ本体１Ｅの第１ブロック１０を半分切り取り外して中間ブロック３０を露出させた左側面部分である。図示の部分Ｅ”において第１固定部材は二点鎖線で存在位置を示す。
【００９６】
第１補強部材７０（７０α，７０β）は、中間ブロック３０において第１ブロック１０と接する側となる第１当接面３１ｅに配置され、第１当接面３１ｅに第１当接面溝部３３ｅを設けて、第１補強部材７０（７０α，７０β）を第１当接面溝部３３ｅの内部に収容している。第２補強部材８０も同様に、中間ブロック３０において第２ブロック２０と接する側となる第２当接面３２ｅに配置され、第２当接面３２に第２当接面溝部３４ｅがさらに設けられ、第２補強部材８０は第２当接面溝部３４ｅの内部に収容されている。
【００９７】
ブロック間の固定部材としては、第１ブロック１０に設けられた第１凹部１５に挿入されてこの第１ブロック１０と中間ブロックを固定するための第１固定部材９１、第２ブロック２０に設けられた第２凹部２５に挿入されてこの第２ブロック２０と中間ブロックを固定するための第２固定部材９２が備えられる。第１補強部材７０には、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔７１が設けられ、同じく、第２補強部材８０にも、第１固定部材９１及び第２固定部材９２が貫通する貫通孔８１が設けられている。
【００９８】
第１，第２固定部材９１，９２は共にボルト体である。第１固定部材９１は、第１補強部材７０の貫通孔７１を貫通して第２補強部材８０の貫通孔に形成されたねじ溝部８２と螺合する。同様に、第２固定部材９２は、第２補強部材８０の貫通孔８１を貫通して第１補強部材７０の貫通孔に形成されたねじ溝部７２と螺合する。そこで、第１ブロック１０と中間ブロック３０との固定、第２ブロック２０と中間ブロック３０との固定が完了し、全てのブロックは一体化してボディ本体を構成する。
【００９９】
図１６から把握されるとおり、実施例のボディ本体１Ｅのダイヤフラムポンプにおいても、第１補強部材７０は円弧形状を採用しており、互いに同一形状の７０α，７０βからなる。ちなみに、第２補強部材８０は第１補強部材７０と同形状であるため、図示、説明を省略する。円弧形状とすることにより、当該ダイヤフラムポンプ内の円盤状のダイヤフラム部をその外周から押さえ、ダイヤフラム部とブロックとの圧着、ブロック間の締め付けを強固にすることができる。
【０１００】
特に、開示のダイヤフラムポンプは各チャンバに流体を導くための内部流路（ボディ内部流入部３１０、ボディ内部流出部３２０）を備える。このため、ダイヤフラムポンプ自体の大きさを考慮して小型化しようとする場合、内部流路への第１補強部材７０，第２補強部材８０の接触を回避しながら両補強部材を配置することは困難である。ゆえに、ボディ内部流入部３１０、ボディ内部流出部３２０を回避した結果、図示するような円弧形状が好適となる。
【０１０１】
続く図１７は、ボディ本体１Ｅのダイヤフラムポンプにおける補強部材の他の形態を開示する。図示の第１補強部材７０γ，７０δは、共に略コ字形状をしている。当然ながら第２補強部材も同形状である。図示の形状によると、正面視で矩形のダイヤフラムポンプの内部形状に即しているため、各ブロック間を安定して固定することができる。
【０１０２】
以上詳述の本発明のブロック間固定構造は、上記実施例として開示の構成に必ずしも限られるものではない。発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を付加して実施することができることは言うまでもない。例えば、ボルト体には図示のボルトに加えて適宜のねじも含まれる。ダイヤフラムポンプに対して第１，第２ベース部材をさらに付加してブロック間の密着を高めることも可能である。また、補強部材やベース部材の形状は、実施例に開示の円弧形状、コ字形状の他に、ボディ本体の形状に適応させて、例えばＵ字形状、Ｌ字形状、長方形形状あるいは環形状等より適切に選択される。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明の第１実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図２】第１実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図３】第１実施例のボディ本体の部分上面図である。
【図４】第１実施例のボディ本体の正面視部分断面図である。
【図５】固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図である。
【図６】他の固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図である。
【図７】第２実施例に係るボディ本体の側面視部分断面図である。
【図８】第２実施例のボディ本体の正面視部分断面図である。
【図９】さらに他の固定部材及び補強部材の取り付け状態を示す部分斜視図である。
【図１０】第３実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図１１】第３実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図１２】第４実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図１３】第４実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図１４】第５実施例に係るボディ本体の側面視縦断面図である。
【図１５】第５実施例のボディ本体の側面視部分断面図である。
【図１６】第５実施例のボディ本体の部分正面図である。
【図１７】第５実施例における別例の部分正面図である。
【図１８】従来のボディ本体におけるブロック間固定構造を示した切り欠き側面図である。
【符号の説明】
【０１０４】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ    ボディ本体
１０    第１ブロック
１５    第１凹部
１９    第１シール部材
２０    第２ブロック
２５    第２凹部
２９    第２シール部材
３０    中間ブロック
３１    第１当接面
３２    第２当接面
３３    第１当接面溝部
３４    第２当接面溝部
４０    チャンバ部
４５    連結部
５０    第１ダイヤフラム部
６０    第２ダイヤフラム部
７０    第１補強部材
７１    貫通孔
７２    ねじ溝部
８０    第２補強部材
８１    貫通孔
８２    ねじ溝部
９１    第１固定部材
９２    第２固定部材
１０１  第１ベース部材
１０２  第２ベース部材
１１１  第１収容溝部
１１２  第２収容溝部
Ｘ１，Ｘ１’，Ｘ２  ブロック間固定構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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