(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
方形のワークが跨って載置される第１及び第２の載置部材のうちの第１の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第１の当接部と、を有する第１の移動ユニットと、
前記第２の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第２の当接部と、を有する第２の移動ユニットと、
前記第１の移動ユニットを第１の直線軌道上で両方向に移動させる第１の移動手段と、
前記第２の移動ユニットを前記第１の直線軌道と平行な第２の直線軌道上で両方向に移動させる第２の移動手段と、
前記ワークを前記第１及び第２の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第１及び第２の載置部材上に前記ワークを搬入するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記コンベア上の前記ワークを前記第１及び第２の載置部材上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、
前記第１及び第２の移動手段を個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記第１及び第２の当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第１及び第２の移動手段を制御する初期制御と、
前記コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記第１及び第２の当接部の間で、かつ、前記第１及び第２の載置部材上に前記ワークが載置されたとき、前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第１及び第２の移動手段の少なくともいずれかを制御する位置決め制御と、
前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、前記第１及び第２の移動ユニットが同方向に等速で走行するように前記第１及び第２の移動手段を制御して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、
を実行することを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項２】
前記制御手段は、
前記コンベアを前記下降位置から前記上昇位置に上昇させ、次の前記ワークを前記コンベア上に準備する準備制御と、
前記搬送先に移動した前記第１及び第２の当接部を再び前記初期位置に位置させるように前記第１及び第２の移動手段を制御する戻り制御と、
を実行することを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送システム。
【請求項３】
前記搬送先に配置され、前記制御手段により制御される搬出手段を備え、
前記搬出手段は、前記ワークを前記第１及び第２の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第１及び第２の載置部材上から前記ワークを搬出するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記第１及び第２の載置部材上の前記ワークを前記コンベア上に移載する昇降機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送システム。
【請求項４】
前記第１の移動手段は、
前記第１の直線軌道を規定し、前記第１の移動ユニットの移動を案内する第１のガイド部材を備え、
前記第２の移動手段は、
前記第２の直線軌道を規定し、前記第２の移動ユニットの移動を案内する第２のガイド部材を備え、
前記第１の移動ユニットは、
前記第１の載置部材および前記第１の当接部が上面に設けられた第１の支持板と、
前記第１の支持板の下面に固定され、前記第１のガイド部材と係合する第１の支持ブロックと、を備え、
前記第２の移動ユニットは、
前記第２の載置部材および前記第２の当接部が上面に設けられた第２の支持板と、
前記第２の支持板の下面に固定され、前記第２のガイド部材と係合する第２の支持ブロックと、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送システム。
【請求項５】
前記第１及び第２の移動手段がボールネジ機構を備えたことを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送システム。
【請求項６】
前記第１及び第２の移動手段がラック−ピニオン機構を備えたことを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送システム。
【請求項７】
前記第１及び第２の移動手段がリニアモータを備えたことを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送システム。
【請求項８】
ベルトの走行方向が相互に平行となるように配設された第１及び第２のベルトコンベアを備え、方形のワークを前記第１及び前記第２のベルトコンベアの各ベルト上に跨るように載置して搬送するワーク搬送システムであって、
前記ワークを前記第１及び第２のベルトコンベアの走行方向と直交する水平方向に移動させ、前記第１及び第２のベルトコンベア上に前記ワークを搬入する搬入コンベア、及び、前記搬入コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記搬入コンベア上の前記ワークを前記第１及び第２のベルトコンベア上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、
前記第１及び第２のベルトコンベアを個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、
前記第１及び第２のベルトコンベアの各ベルト上にそれぞれ設けられ、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部と、を備え、
前記制御手段は、
前記第１及び第２のベルトコンベアの各々の前記当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第１及び第２のベルトコンベアを駆動する初期制御と、
前記搬入コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記当接部の間で、かつ、各ベルト上に前記ワークが載置されたとき、前記当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第１及び第２のベルトコンベアの少なくともいずれかを駆動する位置決め制御と、
前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、各ベルトが同方向に等速で走行するように前記第１及び第２のベルトコンベアを駆動して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、
を実行することを特徴とするワーク搬送システム。
【請求項９】
前記第１及び第２のベルトコンベアの各ベルトのうち、上方を走行する部分の下に配設され、当該部分を支持する支持部と、
前記第１及び第２のベルトコンベアの各ベルトのうち、下方を走行する部分の下に配設され、当該部分を上方に押し上げる軸体と、
を備えたことを特徴とする請求項８に記載のワーク搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板等のワークを搬送する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型ディスプレイの製造において使用される薄板状のガラス基板に代表される基板は一般に基板収納カセットに複数枚収納される。そして、その処理時には一枚ずつ基板収納カセットから取り出されて基板処理装置へ搬送され、処理後には基板処理装置から再び基板収納カセットへ搬入される。この種の設備の場合、基板収納カセットと処理装置との間で基板を１枚ずつ搬送する搬送装置が必要となる。基板を搬送する搬送装置としては、例えば、特開２００４−２８４７７２号公報に記載されるような、ローラコンベアを用いた装置が提案されている。【０００３】
ここで、従来の搬送装置では基板収納カセットと処理装置との間で基板を搬送する際、搬送途中で基板が傾いてしまう場合がある。基板が傾いた状態で処理装置或いは基板収納カセットへ到達すると、搬送装置から処理装置或いは基板収納カセットへ基板を円滑に移載できない場合がある。
【発明の開示】
【０００４】
本発明の目的は、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することにある。
【０００５】
本発明によれば、方形のワークが跨って載置される第１及び第２の載置部材のうちの第１の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第１の当接部と、を有する第１の移動ユニットと、前記第２の載置部材と、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する第２の当接部と、を有する第２の移動ユニットと、前記第１の移動ユニットを第１の直線軌道上で両方向に移動させる第１の移動手段と、前記第２の移動ユニットを前記第１の直線軌道と平行な第２の直線軌道上で両方向に移動させる第２の移動手段と、前記ワークを前記第１及び第２の直線軌道と直交する水平方向に移動させ、前記第１及び第２の載置部材上に前記ワークを搬入するコンベア、及び、前記コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記コンベア上の前記ワークを前記第１及び第２の載置部材上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、前記第１及び第２の移動手段を個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記第１及び第２の当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第１及び第２の移動手段を制御する初期制御と、前記コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記第１及び第２の当接部の間で、かつ、前記第１及び第２の載置部材上に前記ワークが載置されたとき、前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第１及び第２の移動手段の少なくともいずれかを制御する位置決め制御と、前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、前記第１及び第２の移動ユニットが同方向に等速で走行するように前記第１及び第２の移動手段を制御して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、を実行することを特徴とするワーク搬送システムが提供される。
【０００６】
このワーク搬送システムによれば、前記第１及び第２の当接部が前記ワークの対向する両端縁にそれぞれ当接し、前記ワークの位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態でワークを搬送できる。従って、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することができる。
【０００７】
また、本発明によれば、ベルトの走行方向が相互に平行となるように配設された第１及び第２のベルトコンベアを備え、方形のワークを前記第１及び前記第２のベルトコンベアの各ベルト上に跨るように載置して搬送するワーク搬送システムであって、前記ワークを前記第１及び第２のベルトコンベアの走行方向と直交する水平方向に移動させ、前記第１及び第２のベルトコンベア上に前記ワークを搬入する搬入コンベア、及び、前記搬入コンベアを下降位置と上昇位置との間で昇降して前記搬入コンベア上の前記ワークを前記第１及び第２のベルトコンベア上に移載する昇降機構を備えた搬入手段と、前記第１及び第２のベルトコンベアを個別に制御すると共に前記搬入手段を制御する制御手段と、前記第１及び第２のベルトコンベアの各ベルト上にそれぞれ設けられ、前記ワークの端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部と、を備え、前記制御手段は、前記第１及び第２のベルトコンベアの各々の前記当接部が相互に前記ワークの幅よりも離間した初期位置に位置するように前記第１及び第２のベルトコンベアを駆動する初期制御と、前記搬入コンベアを前記上昇位置から前記下降位置に降下させ、前記初期位置にある前記当接部の間で、かつ、各ベルト上に前記ワークが載置されたとき、前記当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じになるように前記第１及び第２のベルトコンベアの少なくともいずれかを駆動する位置決め制御と、前記第１及び第２の当接部の間の距離が前記ワークの幅と同じ状態で、各ベルトが同方向に等速で走行するように前記第１及び第２のベルトコンベアを駆動して前記ワークを搬送先に搬送する搬送制御と、を実行することを特徴とするワーク搬送システムが提供される。
【０００８】
このワーク搬送システムによれば、前記当接部が前記ワークの対向する両端縁にそれぞれ当接し、前記ワークの位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態でワークを搬送できる。従って、搬送途中でワークが傾くことなく、位置決めされた状態でワークを搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡの平面図である。
【図２】基板搬送システムＡの正面図である。
【図３】図３−１は基板収納カセット１００の外観図、図３−２は基板収納カセット１００の内部の構成を示す図である。
【図４】図４−１は、昇降ユニット２０の基板収納カセット１００に面する側の構成を示す一部破断図、図４−２乃至図４−４は昇降ユニット２０と移載ユニット３０とによる基板の搬送動作を示す動作説明図である。
【図５】図５−１及び図５−２は移載ユニット４０の動作説明図である。
【図６】図６−１はベルトコンベア１１の概略側面視図、図６−２はベルトコンベア１２の概略側面視図、図６−３はベルト１１ｃの、当接部１４ａと突起部１５ａが設けられた部位の拡大図、図６−４は図１の線Ｉ−Ｉに沿う断面図、図６−５は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う断面図である。
【図７】図７−１は張力調整機構を有する軸受により従動プーリ１１ｂを軸支した例を示す構成図、図７−２は図７−１の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図、図７−３は基板搬送システムＡを制御する制御部７０のブロック図である。
【図８】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図９】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１０】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１１】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１２】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１３】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１４】基板搬送システムＡの動作説明図である。
【図１５】本発明の他の実施形態を示す図である。
【図１６】本発明の他の実施形態を示す図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢの平面図である。
【図１８】移動ユニット２１１３、２１２３近傍の構成を示す斜視図である。
【図１９】本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣの平面図である。
【図２０】移動ユニット３１１３、３１２３近傍の構成を示す斜視図である。
【図２１】本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＤの平面図である。
【図２２】移動ユニット４１１３、４１２３近傍の構成を示す斜視図である。
【図２３】本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＥの平面図である。
【図２４】移動ユニット５１１３、５１２３近傍の構成を示す斜視図である。
【図２５】図２４の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図（端面図）である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
＜第１実施形態＞
＜システムの概略＞
図１は本発明の一実施形態に係る基板搬送システムＡの平面視図、図２は基板搬送システムＡの正面視図である。本実施形態ではガラス基板等の基板を搬送するシステムに本発明を適用した例について説明するが、本発明は基板以外のワークの搬送にも適用できる。基板搬送システムＡは、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２とをそれぞれ備えた２つのベルトコンベアユニット１０と、ベルトコンベアユニット１０の側方に配置され、基板収納カセット１００ａ及び１００ｂ（以下、総称するときは基板収納カセット１００という。）をそれぞれ昇降する４つの昇降ユニット２０と、昇降ユニット２０間に配設された２つの固定式の移載ユニット３０と、移載ユニット３０の側方に配設された２つの昇降式の移載ユニット４０と、を備える。図中、Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向、Ｚは鉛直方向を示す。【００１１】
基板搬送システムＡは、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２の側方（＋Ｘ方向）に配置され、基板を複数枚収納する基板収納カセット１００ａから、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２の側方（−Ｙ方向）に配置され、基板を処理する処理装置１１０へ基板を搬送するシステムである。また、処理装置１１０による処理を終えた基板を処理装置１１０から第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２の側方（＋Ｘ方向）に配置され、基板を複数枚収納する基板収納カセット１００ｂへ搬送するシステムである。なお、図１及び図２は基板収納カセット１００内に基板が未収納である場合を示している。【００１２】
＜基板収納カセット＞
図３−１は基板収納カセット１００の外観図である。基板収納カセット１００は方形の基板を複数枚収納可能なカセットであって、鉛直方向に延びる複数の部材１０１と水平方向に延びる複数の部材１０２及び１０３とから構成される直方体形状のフレーム体を備える。図３−２に示すように、対向する部材１０１間にはワイヤ１０４が張設されており、収納される基板はこのワイヤ１０４上に載置状態にて収納される。本実施形態では、ワイヤ１０４が鉛直方向に所定のピッチで配設されており、各基板を収納するスロットが鉛直方向に複数段形成される。ワイヤ１０４の使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、基板収納カセット１００の収納効率を高めることができる。【００１３】
＜昇降ユニット＞
図１を参照して、昇降ユニット２０は、１つの基板収納カセット１００に対して１対設けられ、１対の昇降ユニット２０は、基板収納カセット１００を挟んでＹ方向に離間して相互に向かい合うように配設される。以下、図２及び図４−１を参照して昇降ユニット２０の構成について説明する。図４−１は、昇降ユニット２０の基板収納カセット１００に面する側の構成を示す一部破断図である。【００１４】
各昇降ユニット２０は、Ｘ方向に離間した一対の支柱２１と、支柱２１間に架設された複数の梁２２と、を備える。支柱２１の基板収納カセット１００側の側面にはレール部材２３が設けられている。レール部材２３にはスライド部材２４が摺動可能に取り付けられており、スライド部材２４はレール部材２３に案内されて上下に移動する。スライド部材２４間には支持部材２５（図４−１は一部破断図）が架設されており、この支持部材２５には基板収納カセット１００が搭載される載置板２６が固定されている。基板収納カセット１００はＹ方向の両側から一対の昇降ユニット２０の載置板２６上に載置される。【００１５】
上方の梁２２には減速機付きのモータ２７が支持されており、その出力軸はＺ方向に延びるボールネジ２９の上端部に接続されている。ボールネジ２９の上下端部はそれぞれ上下の軸支部２８に回転可能に支持されており、モータ２７の回転によりボールネジ２９が回転する。ボールネジ２９にはボールナット２９ａが螺着されており、ボールナット２９ａは連結部材２９ｂを介して支持部材２５に連結されている。しかして、ボールネジ２９の正転、逆転により、ボールナット２９ａがボールネジ２９に沿って上下に移動し、ボールナット２９ａ、連結部材２９ｂ、支持部材２５、スライド部材２４、載置板２６及び基板収納カセット１００は一体となって上下に昇降する。【００１６】
＜移載ユニット３０＞
図１及び図２を参照して移載ユニット３０はベルトコンベアユニット１０と基板収納カセット１００との間で基板の移載をするためのユニットであり、本実施形態では複数（ここでは５つ）のローラコンベア３１と、各ローラコンベア３１を支持する支持部材３２と、支持部材３２が立設されたベース部材３３と、により構成されている。本実施形態の場合、各ローラコンベア３１は一列のローラを備える。ローラコンベア３１はモータ等の不図示の駆動手段により回転駆動されるローラの回転軸芯がＹ方向に設定され、ローラ上に載置される基板をＸ方向に搬送する。図４−２乃至図４−３は昇降ユニット２０と移載ユニット３０とによる基板の搬送動作を示す動作説明図である。【００１７】
各ローラコンベア３１及び支持部材３２は、昇降ユニット２０により昇降される基板収納カセット１００の下方に配置され、基板収納カセット１００の部材１０３と干渉しないようにＸ方向に所定の間隔を置いて配設されている。基板収納カセット１００に収納されている基板をベルトコンベアユニット１０へ搬送する場合、最下方の基板から搬送され、図４−３に示すように昇降ユニット２０により基板収納カセット１００を降下させ、最下方の基板が各ローラコンベア３１上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア３１のローラを回転駆動することにより、基板がベルトコンベアユニット１０へ搬送される。【００１８】
次の基板を搬送する場合、図４−４に示すように、昇降ユニット２０は略１段分、再び基板収納カセット１００を降下させ、最下方の基板が各ローラコンベア３１上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア３１のローラを回転駆動することにより、基板がベルトコンベアユニット１０へ搬送される。以降同様にして順次ローラコンベア３１が基板収納カセット１００内に入り込んでいき、基板収納カセット１００内の基板が搬送される。ベルトコンベアユニット１０から基板収納カセット１００へ基板を搬送する場合には概ねこの逆の動作となる。基板収納カセット１００とベルトコンベアユニット１０との間の基板の移載は、各ローラコンベア３１の各ローラの頂点を結んだ線Ｌの高さの位置（移載高さという。）で行なわれる。【００１９】
＜移載ユニット４０＞
図１及び図２を参照して移載ユニット４０は、移載ユニット３０と共にベルトコンベアユニット１０と基板収納カセット１００との間で基板を移載するためのユニットである。また、処理装置１１０側に配設された移載ユニット４０はベルトコンベアユニット１０と処理装置１１０との間でも基板の移載を行なう。各移載ユニット４０は、本実施形態では複数（ここでは３つ）のローラコンベア４１と、各ローラコンベア４１を支持する支持部材４２ａと、支持部材４２ａが立設されたベース部材４２ｂと、を備える。本実施形態の場合、各ローラコンベア４１は二列のローラを備える。ローラコンベア４１はモータ等の不図示の駆動手段により回転駆動されるローラの回転軸芯がＹ方向に設定され、ローラ上に載置される基板をＸ方向に搬送する。【００２０】
各ローラコンベア４１及び支持部材４２ａは、後述するベルトコンベアユニット１０のベルトと干渉しないようにＸ方向に所定の間隔を置いて配置され、また、中央のローラコンベア４１はベルトコンベアユニット１０間に配設されている。移載ユニット４０は、各ローラコンベア４１を昇降する昇降機能を備える。図５−１及び図５−２は移載ユニット４０の動作説明図である。【００２１】
移載ユニット４０は、伸縮自在な支持部材４４を介してベース部材４２ｂを支持するベース部材４３を備える。各ローラコンベア４１は支持部材４２ａ及びベース部材４２ｂと共にベース部材４３に対して昇降可能となっている。ベース部材４３上には板カム４５ａと、板カム４５ａの回転軸に固定されたピニオン４５ｂと、ピニオン４５ｂと噛み合うラック４５ｃと、ラック４５ｃの移動を案内するガイド部材４５ｄと、ラック４５ｃを移動させるエアシリンダ４５ｅと、を備える。【００２２】
ラック４５ｃはその長手方向がＸ方向を向くように配設されており、また、エアシリンダ４５ｅはＸ方向に伸縮する。エアシリンダ４５ｅの伸縮によりラック４５ｃはガイド部材４５ｄに案内されてＸ方向に移動する。ラック４５ｃの移動によりピニオン４５ｂが回転し、板カム４５ａも回転する。ベース部材４３には板カム４５ａとの干渉を回避する穴４３ａが設けられている。ベース部材４２ｂの下面には板カム４５ａの周面と当接するローラ４２ｃが設けられており、ローラ４２ｃが当接する板カム４５ａの周面上の位置と、板カム４５ａの回転軸心との距離の変動によりローラコンベア４１が昇降する。【００２３】
しかして、移載ユニット４０は、移載ユニット３０との間で基板を移載する場合には、図５−１に示すように各ローラの頂点を結び線が上記の移載高さを示す線Ｌを通る位置にローラコンベア４１が上昇した位置（以下、上昇位置という。）にある。一方、後述するように移載ユニット４０からベルトコンベアユニット１０へ基板を移載する場合には、エアシリンダ４５ｅを伸長することによる板カム４５ａの回転により図５−２に示すように各ローラの頂点を結び線が上記の移載高さを示す線Ｌよりも下方の線Ｌ’を通る位置にローラコンベア４１が下降する（この位置を以下、下降位置という。）。図５−２から図５−１の態様に戻す場合にはエアシリンダ４５ｅを収縮させる。なお、本実施形態ではこのような昇降機構を採用するが、他の昇降機構も採用できることは言うまでもない。【００２４】
＜ベルトコンベアユニット＞
図１、図２並びに図６−１及び図６−２を参照してベルトコンベアユニット１０の構成について説明する。図６−１はベルトコンベア１１の概略側面視図、図６−２はベルトコンベア１２の概略側面視図である。上述した通り、ベルトコンベアユニット１０は、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２と、から構成されており、本実施形態の場合、Ｘ方向に離間して２つのベルトコンベアユニット１０が平行に設けられている。【００２５】
第１のベルトコンベア１１は、駆動プーリ１１ａと、従動プーリ１１ｂと、駆動プーリ１１ａと従動プーリ１１ｂとに巻き回された無端のベルト１１ｃと、を備え、例えば、ベルト１１ｃとしてタイミングベルトを用いたベルトコンベアである。【００２６】
駆動プーリ１１ａと従動プーリ１１ｂとはＹ方向に離間して配設されおり、ベルト１１ｃの走行方向はＹ方向に設定されている。駆動プーリ１１ａは軸受１１ｄに軸支された駆動軸１１ｅに連結されている。本実施形態の場合、２つのベルトコンベアユニット１０の第１のベルトコンベア１１は同期的に駆動する。このため、各駆動プーリ１１ａを共通の駆動軸１１ｅに連結している。駆動軸１１ｅの端部は減速機付きモータ１３ａの出力軸に接続されており、モータ１３ａの回転駆動によりり２つの駆動プーリ１１ａが同期回転する。従動プーリ１１ｂはその回転軸が軸受１１ｆに軸支されており、自由回転する。従動プーリ１１ｂの回転軸は第２のベルトコンベア１２の上下のベルト１２ｃ間を通過する。【００２７】
なお、従動プーリ１１ｂ（及び後述する従動プーリ１２ｂ）は張力調整機構を有する軸受により軸支することもできる。図７−１は張力調整機構を有する軸受により従動プーリ１１ｂを軸支した例を示す構成図、図７−２は図７−１の線ＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。従動プーリ１１ｂは軸受部６１により片持ちにて軸支される。軸受部６１はＹ方向に延びるガイド部材６２によりＹ方向に移動可能に支持されている。ガイド部材６２の両端部には端部板６３ａ及び６３ｂが固定されており、端部板６３ａ、６３ｂ間には軸体６４がその軸芯回りに回転可能に取り付けられている。【００２８】
軸体６４は軸受部６１を貫通すると共に、ガイド部材６２にＹ方向に移動可能に支持された移動板６５も貫通している。軸体６４の一部の周面にはネジ６４ａが刻設されており、移動板６５はこのネジに螺合するネジ穴（不図示）が設けられている。軸体６４と軸受部６１とは遊嵌である。移動板６５と軸受部６１との間にはコイルスプリング６６が装填されており、両者を常時離間するように付勢する。しかして、軸体６４を回転すると移動板６５がＹ方向に移動する。移動板６５を軸受部６１側に移動するとベルト１１ｃをより緊張させることができるが、移動板６５と軸受部６１との間にはコイルスプリング６６が装填されているため、過度に緊張することが抑制される。【００２９】
ベルト１１ｃのうち、上方を走行するベルト１１ｃ上には基板の端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部１４ａと、複数の突起部１５ａとが設けられている。図６−３はベルト１１ｃの、当接部１４ａと突起部１５ａが設けられた部位の拡大図である。当接部１４ａは本実施形態の場合、略直方体形状をなし、ベルト１１ｃ上に突出している。当接部１４ａは基板の−Ｙ側の端縁の位置を規定する。突起部１５ａは、ベルト１１ｃ上の、基板が載置される部位に設けられており、本実施形態の場合、Ｙ方向に複数並べて配置されている。この突起部１５ａは基板が載置される載置部材として機能する。【００３０】
突起部１５ａは上面が曲形をなしており載置される基板との接触面積をできるだけ小さくしている。また、突起部１５ａの上面は平滑であることが望ましい。各突起部１５ａの頂点を結ぶ線は上述した線Ｌ’と線Ｌとの間を通過し、また、当接部１４ａの上面は上述した線Ｌ（移載高さ）よりも低い位置に位置するようにベルトコンベアユニット１０の高さ方向の位置は位置決めされている。【００３１】
突起部１５ａ及び当接部１４ａは、ベルト１１ｃの走行により、Ｙ方向の直線軌道上を移動する。つまり、第１のベルトコンベア１１は突起部１５ａ及び当接部１４ａをＹ方向の直線軌道上で移動させる移動手段として機能する。【００３２】
第２のベルトコンベア１２の構成は第１のベルトコンベア１１の構成と同様である。つまり、第２のベルトコンベア１２は、駆動プーリ１２ａと、従動プーリ１２ｂと、駆動プーリ１２ａと従動プーリ１２ｂとに巻き回された無端のベルト１２ｃと、を備える。駆動プーリ１２ａと従動プーリ１２ｂとはＹ方向に離間して配設されおり、ベルト１２ｃの走行方向はＹ方向に設定されている。つまり、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２とは、各々のベルト１１ｃ、１２ｃの走行方向が相互に平行となるように配設されている。なお、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２とは相対的にＹ方向にずれて配置されており、かつ、第１のベルトコンベア１１の駆動プーリ１１ａ及び従動プーリ１１ｂの位置と、第２のベルトコンベア１２の駆動プーリ１２ａ及び従動プーリ１２ｂの位置と、はＹ方向に逆転している。【００３３】
駆動プーリ１２ａは軸受１２ｄに軸支された駆動軸１２ｅに連結されている。第１のベルトコンベア１１の場合と同様に、２つのベルトコンベアユニット１０の各駆動プーリ１２ａは共通の駆動軸１２ｅに連結されている。駆動軸１２ｅの端部は減速機付きモータ１３ｂの出力軸に接続されており、モータ１３ｂの回転駆動によりり２つの駆動プーリ１２ａが同期回転する。この構成により、複数の第１のベルトコンベア１１と複数の第２のベルトコンベア１２とにそれぞれ１つずつ駆動源（モータ１３ａ、１３ｂ）を設ければ足りる。従動プーリ１２ｂはその回転軸が軸受１２ｆに軸支されており、自由回転する。従動プーリ１２ｂの回転軸は第１のベルトコンベア１１の上下のベルト１１ｃ間を通過する。ベルト１２ｃのうち、上方を走行するベルト１２ｃ上には第１のベルトコンベア１１と同様に、基板の端縁に当接して当該端縁の位置を規定する当接部１４ｂと、複数の突起部１５ｂとが設けられており、これらは図６−３で参照した当接部１４ａ、突起部１５ａと同様である。当接部１４ｂは基板の＋Ｙ側の端縁の位置を規定する。【００３４】
突起部１５ｂ及び当接部１４ｂは、ベルト１２ｃの走行により、突起部１５ａ及び当接部１４ａが移動する直線軌道と平行なＹ方向の直線軌道上を移動する。つまり、第２のベルトコンベア１２は突起部１５ｂ及び当接部１４ｂをＹ方向の直線軌道上で移動させる移動手段として機能する。【００３５】
＜補助ユニット＞
図１及び図６−１及び図６−２に示すように本実施形態ではベルトコンベアユニット１０のＹ方向の略中間部位に補助ユニット５０が配設されている。補助ユニット５０は、支持部５１と、補助軸５２と、を備える。図６−４は図１の線Ｉ−Ｉに沿う断面図、図６−５は図１の線ＩＩ−ＩＩに沿う断面図である。支持部５１は表面が平滑な板であり、脚部５１ａを介して台５３に支持されている。支持部５１はベルト１１ｃ、１２ｃのうち、上方を走行する部分の下に配設され、当該部分が載置されることにより、ベルト１１ｃ、１２ｃを支持する。この支持部５１は表面な平滑な板に代えて軸体等も採用できる。補助軸５２はテンションローラとして機能する軸体であり、軸受部５２ａを介して台５３に支持されている。補助軸５２は、ベルト１１ｃ、１２ｃのうち、下方を走行する部分の下に配設され、これを上方へ押し上げることによりベルト１１ｃ、１２ｃに一定の張力を発生させる。【００３６】
＜制御部＞
図７−３は基板搬送システムＡを制御する制御部７０のブロック図である。制御部７０はＣＰＵ７１と、ＲＡＭ７２と、ＲＯＭ７３とを備える。ＲＯＭ７３には基板搬送システムＡの制御プログラム等が格納される。ＲＡＭ７２、ＲＯＭ７３は他の記憶手段も採用可能である。ＣＰＵ７１には入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）７４が接続されており、入力Ｉ／Ｆ７４には各種のセンサが接続されている。このセンサとしては、例えば、各モータ１３ａ、１３ｂ、２７の回転角又は回転量、ローラコンベアによる基板の搬送量を検出するセンサが挙げられる。各種のセンサの検出結果は入力Ｉ／Ｆ７４を介してＣＰＵ７１が取得する。【００３７】
ＣＰＵ７１には出力Ｉ／Ｆ７５が接続されており、出力Ｉ／Ｆ７５にはモータ、制御弁が接続されている。モータは、例えば、各モータ１３ａ、１３ｂ、２７並びに上述したローラコンベアの駆動モータ等である。制御弁はエアシリンダ４５ｅへのエアの供給、方向を切替える弁である。ＣＰＵ７１は例えば入力Ｉ／Ｆ７４に接続された各種センサの検知結果に応じて、出力Ｉ／Ｆ７５に接続された各アクチュエータに制御命令を出力して基板搬送システムＡを動作させる。なお、第１のベルトコンベア１１と第２のベルトコンベア１２とは制御部７０によってそれぞれ個別に独立して制御されることは言うまでもない。ＣＰＵ７１には通信Ｉ／Ｆ７８が接続されており、ホストコンピュータ８０とのデータ通信を行なう。ホストコンピュータ８０は基板搬送システムＡに対する各種の設定、動作命令等を行なう。【００３８】
＜基板搬送システムの動作＞
次に、図８乃至図１４を参照して制御部７０の制御による基板搬送システムＡの動作例について説明する。ここでは、基板収納カセット１００ａから処理装置１１０へ基板を一枚ずつ搬送し、また、処理装置１１０から基板収納カセット１００ｂへ処理済の基板を搬送する場合について説明する。【００３９】
まず、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２を駆動してベルト１１ｃ、１２ｃを走行させ、第１のベルトコンベア１１の当接部１４ａと、第２のベルトコンベア１２の当接部１４ｂとが相互に基板の幅よりも離間した位置（初期位置）に位置させる（初期制御）。図８は当接部１４ａ、１４ｂが初期位置に位置した態様を示す。図中、Ｐ１は当接部１４ａの基板への当接面のＹ方向の位置を、Ｐ２は当接部１４ｂの基板への当接面のＹ方向の位置を、それぞれ示す。Ｐ１とＰ２とは距離ｄ１だけ離間しており、距離ｄ１＞基板のＹ方向の幅、である。【００４０】
続いて昇降ユニット２０により基板収納カセット１００ａを降下させ、最下方の基板が移載ユニット３０の各ローラコンベア３１上に載置される位置にて停止する。ローラコンベア３１のローラを回転駆動することにより、基板を−Ｘ方向に移動させ、ベルトコンベアユニット１０へ移動させる（図９）。基板収納カセット１００ａ側の移載ユニット４０は予めローラコンベア４１を上昇位置に位置させておき、ローラコンベア４１のローラも回転駆動する。これにより、ローラコンベア３１からローラコンベア４１へ基板が移動し、ベルトコンベアユニット１０上に基板が移動する。【００４１】
ベルトコンベアユニット１０上へ基板が移動すると、基板収納カセット１００ａ側のローラコンベア３１及び４１のローラの回転駆動を停止し、ローラコンベア４１を下降位置へ降下させる。これにより、基板がベルトコンベアユニット１０のベルト１１ｃ、１２ｃ上へ載置される。基板は２つのベルトコンベアユニット１０の各ベルト１１ｃ、１２ｃ上に跨る位置まで移動され、この跨った状態で搬送される。本実施形態ではベルト１１ｃ、１２ｃ上に突起部１５ａ、１５ｂを設けているため、基板は突起部１５ａ、１５ｂ上に跨って載置される。【００４２】
次に、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２を駆動してベルト１１ｃ、１２ｃを相互に逆方向に走行させ、初期位置にある当接部１４ａと当接部１４ｂとの間の距離が基板の幅となるようにする（位置決め制御）。これにより基板が位置決めされる。図１０は基板が位置決めされた態様を示す図である。当接部１４ａと当接部１４ｂとが初期位置から移動し、Ｐ１とＰ２との距離がｄ１からｄ２へ変化している。距離ｄ２≒基板のＹ方向の幅、である。ベルト１１ｃ、１２ｃを相互に逆方向に走行させることで、当接部１４ａが基板の−Ｙ側の端縁に、当接部１４ｂが基板の＋Ｙ側の端縁に、それぞれ当接し、また、基板は突起部１５ａ、１５ｂを滑動する。基板は当接部１４ａと１４ｂとに緩やかに挟持されてそのＹ方向の位置決めがなされることになる。【００４３】
次に、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２を駆動してベルト１１ｃ、１２ｃを同方向（＋Ｙ方向）に等速で走行させる（搬送制御）。これにより基板が＋Ｙ方向に搬送される。図１１は基板が搬送される態様を示した図である。ベルト１１ｃ、１２ｃを同方向（＋Ｙ方向）に等速で走行させることで、基板が当接部１４ａと１４ｂと挟まれて位置決めされた状態のまま搬送される。ベルト１１ｃ、１２ｃには基板の自重により下方向の荷重が作用するが、支持部５１により支持され、ベルト１１ｃ、１２ｃが下方へ撓むことが防止されて基板を安定して搬送することができる。【００４４】
次に、基板の搬送が開始されるのと前後して処理装置１１０側の移載ユニット４０のローラコンベア４１を下降位置に位置させる。図１２に示すように基板が処理装置１１０側の移載ユニット４０上へ到達すると、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２の駆動を停止し、基板の搬送を停止する。そして、処理装置１１０側の移載ユニット４０のローラコンベア４１を上昇位置へ上昇させ、基板をベルトコンベアユニット１０からローラコンベア４１へ移載する。移載後、ローラコンベア４１のローラを回転駆動し、基板を−Ｘ方向に移動させ、処理装置１１０へ基板を移載する（図１３）。以上により１単位の基板の搬送が終了する。なお、処理装置１１０へ基板を移載する際、並行して、図１３に示すように、基板収納カセット１００ａから次の基板をベルトコンベアユニット１０へ移載する動作を開始することもできる。図１３では、ベルトコンベア１１、１２も駆動されて、当接部１４ａ、１４ｂが初期位置へ戻るように移動している。【００４５】
次に、処理装置１１０から基板収納カセット１００ｂへ処理済みの基板を搬送する場合について説明する。まず、処理装置１１０側の移載ユニット４０のローラコンベア４１を上昇位置に位置させる。また、昇降ユニット２０により基板収納カセット１００ｂを降下させ、基板収納カセット１００ｂ内の基板を収納する段を移載ユニット３０の移載高さに合わせる。続いて処理装置１１０側の移載ユニット３０及び４０のローラコンベア３０及び４０のローラを回転駆動し、基板を＋Ｘ方向に搬送可能な状態で待機する。処理装置１１０から処理済の基板が排出されると、図１４に示すように、移載ユニット４０⇒移載ユニット３０と基板が搬送されて基板収納カセット１００ｂ内に収納されることになる。処理装置１１０から基板収納カセット１００ｂへ処理済みの基板を搬送する間、図１４に示すように、基板収納カセット１００ａから基板をベルトコンベアユニット１０へ移載して、処理装置１１０への搬送を準備することができる。【００４６】
＜基板搬送システムの利点＞
本実施形態の基板搬送システムＡによれば、当接部１４ａ、１４ｂが基板の対向する両端縁にそれぞれ当接し、ベルト１１ｃ、１２ｃの走行方向（Ｙ方向）の基板の位置決めを行なうことができると共に、位置決めされた状態で基板を搬送できる。従って、搬送途中で基板が傾くことなく、位置決めされた状態で基板を搬送することができる。【００４７】
上記の位置決め制御の際には、基板がベルト１１ｃ、１２ｃ上を摺動することになるが、本実施形態では基板が載置される部位に複数の突起部１５ａ、１５ｂを設け、基板を突起部１５ａ、１５ｂ上に載置されるようにしているので、ベルト１１ｃ、１２ｃと基板とがほとんど接触せず、両者の摩擦を軽減して基板が傷つくことを防止できる。【００４８】
また、上記実施形態では、ベルトコンベアユニット１０のベルト１１ｃ、１２ｃの走行方向と直交する方向に基板を移載する移載ユニット３０、４０を設けたことにより、、ベルトコンベアユニット１０の長手方向に沿ってその側方に基板収納カセット１００と処理装置１１０とを配置したレイアウトを採用できた。【００４９】
更に、ローラコンベア４１を昇降可能とすることで、ローラコンベア４１を上昇位置に位置させて基板を搬送する際、当接部１４ａ、１４ｂと基板が干渉することがない。従って、ある基板の搬送中に、ベルトコンベアユニット１０上に基板収納カセット１００又は処理装置１１０からの他の基板を配置し、基板の移載の準備ができ、搬送効率を高めることができる。【００５０】
＜第２実施形態＞
上記実施形態では、位置決め制御の際、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２を駆動してベルト１１ｃ、１２ｃを相互に逆方向に走行させ、初期位置にある当接部１４ａと当接部１４ｂとの間の距離が基板の幅となるようにした。つまり、当接部１４ａと当接部１４ｂとの双方を逆方向に移動させることにより、基板の位置決めを行なったが、いずれか一方が他方へ近づくように移動すれば基板の位置決めができる。【００５１】
従って、第１及び第２のベルトコンベア１１、１２の少なくともいずれかを駆動し、当接部１４ａ又は１４ｂの一方が他方へ近づくように制御することで基板の位置決めができる。更に、位置決め制御では、当接部１４ａ及び１４ｂを異なる速度で同方向に移動させてもよい。例えば、当接部１４ａと当接部１４ｂとを初期位置から基板の搬送方向（Ｙ方向）に移動させるが、当接部１４ａの移動速度は搬送制御時の移動速度と同じに、当接部１４ｂは搬送制御時の移動速度より遅い速度とし、徐々に当接部１４ｂの移動速度を搬送制御時の移動速度まであげる。これにより、当接部１４ａと当接部１４ｂとの移動速度の差により両者の距離が狭まり、やがて両者が基板の両端縁に当接することになる。この方式では、基板の搬送を行ないながら基板の位置決めができる。【００５２】
また、上記実施形態では、４本のベルト１１ｃ、１２ｃに跨って１枚の基板を載置し、搬送したが、基板の大きさに併せてベルトの幅を調整することで、２本のベルト１１ｃ、１２ｃで１枚の基板を搬送するようにしてもよい。つまり、最低１つのベルトコンベアユニット１０があれば、上記実施形態の各制御が実施できる。【００５３】
これとは逆に４本以上のベルトを用いる構成も採用できる。図１５は４つのベルトコンベアユニット１０を用いた例を示す図である。ベルトコンベアユニット１０を２つずつ独立して同期駆動することで、２枚の基板を並行して搬送することができる。また、４つのベルトコンベアユニット１０を全て同期駆動することで、図１６に示すように図１５の基板とは大きさが異なる（より大きな）基板も搬送できる。つまり、初期制御及び位置決め制御等における当接部１４ａ、１４ｂ間の距離を適宜設定することで、異なる大きさの基板を同じシステムで搬送できるという利点がある。【００５４】
＜第３実施形態＞
上記実施形態では、突起部１５ａ、１５ｂ及び当接部１４ａ、１４ｂを移動させる移動手段としてベルトコンベア１１、１２を用いたが、他の種類の移動手段を用いることもできる。以下、図１７乃至図２５を参照して、他の種類の移動手段の採用例について説明する。なお、これらの各図において上述した基板搬送システムＡと同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。また、特に説明しないが、上記第１実施形態及び第２実施形態における制御内容、装置のレイアウト等はこの第３実施形態の構成例についても適用可能である。【００５５】
＜ボールネジ機構の採用例１＞
図１７は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＢの平面図である。基板搬送システムＢはベルトコンベアユニット１０に代えてボールネジ機構を備えた駆動ユニット２１０を採用したものである。【００５６】
２つの駆動ユニット２１０は、それぞれ第１のボールネジ機構２１１と、第２のボールネジ機構２１２と、から構成されている。第１のボールネジ機構２１１は、Ｙ方向に延びる直線状のネジ軸２１１１及びガイド部材２１１２と、ガイド部材２１１２に案内されてネジ軸２１１１に沿って移動する移動ユニット２１１３と、を備える。ネジ軸２１１１はその両端部近傍において軸受２１１１ａにより回転自在に支持されている。【００５７】
第２のボールネジ機構２１２は、第１のボールネジ機構２１１に対してＸ方向に離間して配設されており、第１のボールネジ機構２１１と同様の構成である。つまり、第２のボールネジ機構２１２は、Ｙ方向に延びる直線状のネジ軸２１２１及びガイド部材２１２２と、ガイド部材２１２２に案内されてネジ軸２１２１に沿って移動する移動ユニット２１２３と、を備える。ネジ軸２１２１はその両端部近傍において軸受２１２１ａにより回転自在に支持されている。【００５８】
各ネジ軸２１１１、２１２１の一方の端部にはかさ歯車２２１がそれぞれ取り付けられている。かさ歯車２２１はモータ２２３ａ、２２３ｂにより回転駆動されるかさ歯車２２２と噛合しており、モータ２２３ａ、２２３ｂの正転・逆転により各ネジ軸２１１１、２１２１が正転・逆転する。２つの駆動ユニット２１０のうち、各ボールネジ機構２１１はモータ２２３ａにより同期制御され、各ボールネジ機構２１２はモータ２２３ｂにより同期制御される。なお、ボールネジ機構２１１とボールネジ機構２１２とはそれぞれ個別に独立して制御されることは言うまでもない。【００５９】
図１８は移動ユニット２１１３、２１２３近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット２１２３は上述した突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが上面に設けられた支持板２１２３ａと、支持板２１２３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック２１２３ｂと、を備える。支持ブロック２１２３ｂはネジ軸２１２１に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸２１２１が貫通している。また、支持ブロック２１２３ｂの下面にはガイド部材２１２２に噛合う溝が形成されている。【００６０】
しかして、ネジ軸２１２１が回転すると移動ユニット２１２３はネジ軸２１２１の回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂをＹ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００６１】
移動ユニット２１１３は移動ユニット２１２３と同様の構成であり、上述した突起部１５ａ及び当接部１４ａが上面に設けられた支持板２１１３ａと、支持板２１１３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック２１１３ｂと、を備える。支持ブロック２１１３ｂはネジ軸２１１１に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸２１１１が貫通している。また、支持ブロック２１２３ｂの下面にはガイド部材２１２２に噛合う溝が形成されている。【００６２】
しかして、ネジ軸２１１１が回転すると移動ユニット２１１３はネジ軸２１１１の回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ａ及び当接部１４ａを、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが移動する直線軌道と平行な、Ｙ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００６３】
このような構成からなる基板搬送システムＢにおいても、基板搬送システムＡと同様の基板の搬送制御が可能である。【００６４】
＜ボールネジ機構の採用例２＞
図１９は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＣの平面図である。基板搬送システムＣはベルトコンベアユニット１０に代えてボールネジ機構を備えた駆動ユニット３１０を採用したものである。駆動ユニット３１０は駆動ユニット２１０とは異なる形式のボールネジ機構を採用したものである。【００６５】
２つの駆動ユニット３１０は、それぞれ第１のボールネジ機構３１１と、第２のボールネジ機構３１２と、から構成されている。第１のボールネジ機構３１１は、Ｙ方向に延びる直線状のネジ軸３１１１及びガイド部材３１１２と、ガイド部材３１１２に案内されてネジ軸３１１１に沿って移動する移動ユニット３１１３と、を備える。ネジ軸３１１１はその両端部近傍において軸受３１１１ａにより固定されている。つまり、本例ではネジ軸３１１１は回転しない。【００６６】
第２のボールネジ機構３１２は、第１のボールネジ機構３１１に対してＸ方向に離間して配設されており、第１のボールネジ機構３１１と同様の構成である。つまり、第２のボールネジ機構３１２は、Ｙ方向に延びる直線状のネジ軸３１２１及びガイド部材３１２２と、ガイド部材３１２２に案内されてネジ軸３１２１に沿って移動する移動ユニット３１２３と、を備える。ネジ軸３１２１はその両端部近傍において軸受３１２１ａにより固定されている。【００６７】
図２０は移動ユニット３１１３、３１２３近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット３１２３は上述した突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが上面に設けられた支持板３１２３ａと、支持板３１２３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック３１２３ｂと、を備える。【００６８】
支持ブロック３１２３ｂは、モータ３１２３１と、摺動部３１２３２と、から構成されている。モータ３１２３１は、その出力軸３１２３１ａが円筒状をなしており、その内部にネジ軸３１２１に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸３１２１が貫通している。また、摺動部３１２３２はモータ３１２３１の下面に固定されており、ガイド部材３１２２に噛合う溝が形成されている。【００６９】
しかして、一対の支持ブロック３１２３ｂの各モータ３１２３１は、互いに同期制御される。出力軸３１２３１ａが回転すると、移動ユニット３１２３は出力軸３１２３１ａの回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂをＹ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００７０】
移動ユニット３１１３は移動ユニット３１２３と同様の構成であり、上述した突起部１５ａ及び当接部１４ａが上面に設けられた支持板３１１３ａと、支持板３１１３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック３１１３ｂと、を備える。【００７１】
支持ブロック３１１３ｂは、モータ３１１３１と、摺動部３１１３２と、から構成されている。モータ３１１３１は、その出力軸３１１３１ａが円筒状をなしており、その内部にネジ軸３１１１に螺合するボールナットを有しており、ネジ軸３１１１が貫通している。また、摺動部３１１３２はモータ３１１３１の下面に固定されており、ガイド部材３１１２に噛合う溝が形成されている。【００７２】
しかして、一対の支持ブロック３１１３ｂの各モータ３１１３１は、互いに同期制御される。出力軸３１１３１ａが回転すると、移動ユニット３１１３は出力軸３１１３１ａの回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ａ及び当接部１４ａを、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが移動する直線軌道と平行な、Ｙ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００７３】
このような構成からなる基板搬送システムＣにおいても、基板搬送システムＡと同様の基板の搬送制御が可能である。【００７４】
＜ラック−ピニオン機構の採用例＞
図２１は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＤの平面図である。基板搬送システムＤはベルトコンベアユニット１０に代えてラック−ピニオン機構を備えた駆動ユニット４１０を採用したものである。【００７５】
２つの駆動ユニット４１０は、それぞれ第１のラック−ピニオン機構４１１と、第２のラック−ピニオン機構４１２と、から構成されている。第１のラック−ピニオン機構４１１は、Ｙ方向に延びる直線状のラック４１１１及びガイド部材４１１２と、ガイド部材４１１２に案内されてラック４１１１に沿って移動する移動ユニット４１１３と、を備える。【００７６】
第２のラック−ピニオン機構４１２は、第１のラック−ピニオン機構４１１に対してＸ方向に離間して配設されており、第１のラック−ピニオン機構４１１と同様の構成である。つまり、第２のラック−ピニオン機構４１２は、Ｙ方向に延びる直線状のラック４１２１及びガイド部材４１２２と、ガイド部材４１２２に案内されてラック４１２１に沿って移動する移動ユニット４１２３と、を備える。【００７７】
図２２は移動ユニット４１１３、４１２３近傍の構成を示す斜視図である。移動ユニット４１２３は上述した突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが上面に設けられた支持板４１２３ａと、支持板４１２３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック４１２３ｂと、を備える。支持ブロック４１２３ｂはモータを備えており、その出力軸（−Ｘ方向に延びる）にはピニオン４１２３ｂ’が取り付けられている。また、支持ブロック４１２３ｂの下面にはガイド部材４１２２に噛合う溝が形成されている。【００７８】
しかして、一対の支持ブロック４１２３ｂの各モータは、互いに同期制御される。これらのモータの駆動によりピニオン４１２３ｂ’が回転すると、移動ユニット４１２３はピニオン４１２３ｂ’の回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂをＹ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００７９】
移動ユニット４１１３は移動ユニット４１２３と同様の構成であり、上述した突起部１５ａ及び当接部１４ａが上面に設けられた支持板４１１３ａと、支持板４１１３ａの両端部下面に固定された一対の支持ブロック４１１３ｂと、を備える。支持ブロック４１１３ｂはモータを備えており、その出力軸（＋Ｘ方向に延びる）にはピニオン（不図示）が取り付けられている。また、支持ブロック４１１３ｂの下面にはガイド部材４１１２に噛合う溝が形成されている。【００８０】
しかして、一対の支持ブロック４１１３ｂの各モータは、互いに同期制御される。これらのモータの駆動により不図示のピニオンが回転すると、移動ユニット４１１３は当該ピニオンの回転方向によって＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ａ及び当接部１４ａを、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが移動する直線軌道と平行な、Ｙ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００８１】
このような構成からなる基板搬送システムＤにおいても、基板搬送システムＡと同様の基板の搬送制御が可能である。【００８２】
＜リニアモータの採用例＞
図２３は本発明の他の実施形態に係る基板搬送システムＥの平面図である。基板搬送システムＥはベルトコンベアユニット１０に代えてリニアモータを備えた駆動ユニット５１０を採用したものである。【００８３】
２つの駆動ユニット５１０は、それぞれ第１のリニアモータ５１１と、第２のリニアモータ５１２と、から構成されている。第１のリニアモータ５１１は、Ｙ方向に延びる直線状の固定子ユニット５１１１と、固定子ユニット５１１１に沿って移動する移動ユニット５１１３と、を備える。【００８４】
第２のリニアモータ５１２は、第１のリニアモータ５１１に対してＸ方向に離間して配設されており、第１のリニアモータ５１１と同様の構成である。つまり、第２のリニアモータ５１２は、Ｙ方向に延びる直線状の固定子ユニット５１２１と、固定子ユニット５１２１に沿って移動する移動ユニット５１２３と、を備える。【００８５】
第１のリニアモータ５１１と第２のリニアモータ５１２との間には、ガイド部材５１３が配設されている。ガイド部材５１３は、移動ユニット５１１３、５１２３の移動を案内する。【００８６】
図２４は移動ユニット５１１３、５１２３近傍の構成を示す斜視図である。図２５は図２４の線ＩＶ−ＩＶに沿う断面図（端面図）である。移動ユニット５１２３は上述した突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが上面に設けられた支持板５１２３ａと、支持板５１２３ａの下面に固定されたヨーク５１２３ｂと、を備える。ヨーク５１２３ｂはその断面がコの字型をなしており、その左右の側壁の内面には、それぞれ、複数の永久磁石５１２３ｂ’がヨーク５１２３ｂの長手方向（Ｙ方向）に配列されている。また、ヨーク５１２３ｂの左右の側壁のうち、一方の側壁の外面にはガイド部材５１３の側面に形成された溝に噛合う摺動部５１２３ｂ”が設けられている。【００８７】
固定子ユニット５１２１はその断面が逆Ｔ字型をなしており、その上方に延びる部分は、ヨーク５１２３ｂ内に挿入される位置に位置しており、また、当該上方に延びる部分には電機子コイル５１２１ａが内蔵されている。電機子コイル５１２１ａは固定子ユニット５１２１の長手方向（Ｙ方向）に複数配列されている。【００８８】
しかして、固定子ユニット５１２１の複数の電機子コイル５１２１ａの励磁を順次切り替えていくことにより、その切り替え態様に従って移動ユニット５１２３は＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂをＹ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００８９】
移動ユニット５１１３は移動ユニット５１２３と同様の構成であり、上述した突起部１５ａ及び当接部１４ａが上面に設けられた支持板５１１３ａと、支持板５１１３ａの下面に固定されたヨーク５１１３ｂと、を備える。ヨーク５１１３ｂはその断面がコの字型をなしており、その左右の側壁の内面には、それぞれ、複数の永久磁石５１１３ｂ’がヨーク５１１３ｂの長手方向（Ｙ方向）に配列されている。また、ヨーク５１１３ｂの左右の側壁のうち、一方の側壁の外面にはガイド部材５１３の側面に形成された溝に噛合う摺動部５１１３ｂ”が設けられている。【００９０】
固定子ユニット５１１１はその断面が逆Ｔ字型をなしており、その上方に延びる部分は、ヨーク５１１３ｂ内に挿入される位置に位置しており、また、当該上方に延びる部分には電機子コイル５１１１ａが内蔵されている。電機子コイル５１１１ａは固定子ユニット５１１１の長手方向（Ｙ方向）に複数配列されている。【００９１】
しかして、固定子ユニット５１１１の複数の電機子コイル５１１１ａの励磁を順次切り替えていくことにより、その切り替え態様に従って移動ユニット５１１３は＋Ｙ方向又は−Ｙ方向に移動し、突起部１５ａ及び当接部１４ａを、突起部１５ｂ及び当接部１４ｂが移動する直線軌道と平行な、Ｙ方向に沿う直線軌道上で移動させることができる。【００９２】
このような構成からなる基板搬送システムＥにおいても、基板搬送システムＡと同様の基板の搬送制御が可能である。
【図１】
0004629731.tif 000002
【図２】
0004629731.tif 000003
【図３】
0004629731.tif 000004
【図４】
0004629731.tif 000005
【図５】
0004629731.tif 000006
【図６】
0004629731.tif 000007
【図７】
0004629731.tif 000008
【図８】
0004629731.tif 000009
【図９】
0004629731.tif 000010
【図１０】
0004629731.tif 000011
【図１１】
0004629731.tif 000012
【図１２】
0004629731.tif 000013
【図１３】
0004629731.tif 000014
【図１４】
0004629731.tif 000015
【図１５】
0004629731.tif 000016
【図１６】
0004629731.tif 000017
【図１７】
0004629731.tif 000018
【図１８】
0004629731.tif 000019
【図１９】
0004629731.tif 000020
【図２０】
0004629731.tif 000021
【図２１】
0004629731.tif 000022
【図２２】
0004629731.tif 000023
【図２３】
0004629731.tif 000024
【図２４】
0004629731.tif 000025
【図２５】
0004629731.tif 000026