(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転カムと摺動する摺動面を有する内燃機関用フォロワの表面処理方法において，
上記フォロアの材料には，熱処理を行った浸炭焼入れ鋼，窒化鋼又は合金鋼を用い，
上記フォロワの摺動面にバレル研磨加工を施した後，
リン酸イオンとモリブデンの酸素酸イオン及び／又はタングステンの酸素酸イオンとを含有すると共に，リンの含有量が０．０５〜１ｍｏｌ／リットル，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が０．１〜５０ｍｍｏｌ／リットルである酸性水溶液に，上記摺動面を接触させることにより，上記摺動面にモリブデン又はタングステンの少なくとも一方を含むＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成することを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【請求項２】
請求項１において，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，モリブデン及び／又はタングステンの酸化物の付着量が０．３〜３ｇ／ｍ２であることを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【請求項３】
請求項２において，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，上記モリブデン及び／又はタングステンの酸化物の合計含有量が１〜２０重量％であることを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において，上記酸性水溶液はｐＨが３〜４に調整されていることを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において，上記酸性水溶液の温度は５０〜８０℃とすることを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において，上記酸性水溶液と上記摺動面との接触時間は１０〜１５分とすることを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は，回転カムと摺動する摺動面を有する内燃機関用フォロワの表面処理方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
内燃機関の燃費性能を向上させるためには，内燃機関の各部における摩擦抵抗を低減させることが有効である。特に，バルブの開閉を行う回転カムと，該回転カムと摺動を行うフォロアとの間の摩擦抵抗を適切な範囲まで低減させることが有効である。
【０００３】
例えば，特開平６−２４８９１５号公報に開示されているように，フォロアの摺動面にバレル研磨加工を施した後，該摺動面にリン酸塩皮膜を形成する方法がある。この方法においては，リン酸塩皮膜により，組付後の運転初期において回転カムとフォロアの摺動面とが直接接触することを避けて，それらが馴染みやすくしている。そして，ある程度，それらが摺動した後にリン酸塩皮膜は剥離し，バレル研磨仕上げを行った表面が摺動面となり，回転カムと摺動をさせるというものである。
【０００４】
【解決しようとする課題】
しかしながら，上記従来の表面処理方法においては，以下のような問題点がある。
即ち，上記バレル研磨加工後にリン酸塩皮膜を形成したものは，リン酸塩皮膜が剥離した後においては，必ずしも十分な摩擦抵抗低減の効果を得ることができない。この理由は，バレル研磨仕上げを行った摺動面は，リン酸塩皮膜を形成するときに，その表面粗さが変化し，粗くなってしまうためであると考えられる。特に，これは，マンガン系のリン酸塩皮膜の形成を行った場合に顕著である。そのため，上記摺動における摩擦抵抗を確実に低減することが困難になっている。
【０００５】
本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので，潤滑油の保持性能に優れ，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる内燃機関用フォロワの表面処理方法を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題の解決手段】
請求項１に記載の発明は，回転カムと摺動する摺動面を有する内燃機関用フォロワの表面処理方法において，
上記フォロアの材料には，熱処理を行った浸炭焼入れ鋼，窒化鋼又は合金鋼を用い，
上記フォロワの摺動面にバレル研磨加工を施した後，
リン酸イオンとモリブデンの酸素酸イオン及び／又はタングステンの酸素酸イオンとを含有すると共に，リンの含有量が０．０５〜１ｍｏｌ／リットル，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が０．１〜５０ｍｍｏｌ／リットルである酸性水溶液に，上記摺動面を接触させることにより，上記摺動面にモリブデン又はタングステンの少なくとも一方を含むＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成することを特徴とする内燃機関用フォロワの表面処理方法にある。
【０００７】
本発明において最も注目すべきことは，上記フォロワの摺動面にバレル研磨加工を施した後に，上記摺動面にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成することである。
上記フォロアの材料には，熱処理を行った浸炭焼入れ鋼，窒化鋼又は合金鋼を用いることができる。例えば，それらには，ＪＩＳ規格のＳＣＭ，ＳＣＲ，ＳＵＪ，ＳＫＤ及びＳＫＨ等の材料を用いることができる。
また，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，モリブデン（Ｍｏ）又はタングステン（Ｗ）の少なくとも一方を含む無機複合皮膜である。
【０００８】
また，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成するためには，上記のごとく，上記酸性水溶液に上記摺動面を接触させる。このときの酸性水溶液においては，リンの含有量を０．０５〜１ｍｏｌ／リットルとする。
上記リンの含有量が０．０５ｍｏｌ／リットル未満の場合は，皮膜形成反応が十分に起こらないおそれがある。
一方，リンの含有量が１ｍｏｌ／リットルを超える場合は，皮膜形成反応におけるエッチング反応が激しく起こり，摺動面を粗くしてしまうおそれがある。
【０００９】
また，上記酸性水溶液においては，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量を０．１〜５０ｍｍｏｌ／リットルとする。
上記モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が０．１ｍｍｏｌ／リットル未満の場合は，形成された皮膜中のモリブデン及び／又はタングステンの酸化物が不足して，十分な耐摩耗性が得られないおそれがある。
一方，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が５０ｍｍｏｌ／リットルを超える場合は，フォロアの鉄鋼素材に対する皮膜の密着性が劣化するおそれがある。
【００１０】
次に，本発明の作用効果につき説明する。
本発明においては，まずは，フォロアの摺動面にバレル研磨加工を施す。このバレル研磨加工により，十点平均粗さＲｚが約０．４μｍ以下という平滑な表面を形成することができると共に，その表面には微小な凹部であるディンプルを一面に形成することができる。
【００１１】
そして，上記バレル研磨加工を行った後，上記摺動面にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成する。具体的には，リン酸イオンとモリブデンの酸素酸イオン及び／又はタングステンの酸素酸イオンとを含有すると共に，リンの含有量が０．０５〜１ｍｏｌ／リットル，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が０．１〜５０ｍｍｏｌ／リットルである酸性水溶液に，上記摺動面を接触させることにより形成する。
【００１２】
このＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜により，組付後の運転初期において回転カムとフォロアの摺動面とが直接接触することを避けて，それらが馴染みやすくすることができる。そして，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，適度に摺動が行われた後に剥離し，バレル研磨加工を行った表面が摺動面となる。
【００１３】
ここに，注目すべきことは，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後に，バレル研磨加工後の摺動面の表面粗さにほとんど変化がないということである。つまり，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，皮膜形成前の表面粗さをほぼ保ったまま，摺動面に形成される。そのため，上記バレル研磨加工により形成したディンプルの凹凸形状を保持したまま，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が形成される。
【００１４】
そのため，フォロアの摺動面においては，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離する前後のいずれにおいても，同様のディンプルを有する微小な凹凸形状が維持される。そして，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離する前後のいずれにおいても，ディンプルに潤滑油が溜まることにより，潤滑油の保持性能を向上させることができる。
それ故，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が存在する間は勿論，これが剥離した後においても，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる。
【００１５】
以上，本発明によれば，潤滑油の保持性能に優れ，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる内燃機関用フォロワの表面処理方法を提供することができる。
【００１６】
次に，請求項２に記載の発明のように，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，モリブデン及び／又はタングステンの酸化物の付着量が０．３〜３ｇ／ｍ２であることが好ましい。
これにより，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，組付後の運転初期において馴染みに必要な期間は十分に皮膜として維持され，その後，適切な時期に剥離することができる。
【００１７】
なお，上記付着量が０．３ｇ／ｍ２未満の場合には，組付後の運転初期におけるＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が形成された摺動面と回転カムとの摩擦抵抗を小さくすることが難しくなる。
一方，上記付着量が３ｇ／ｍ２を超える場合には，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後に，皮膜形成前の表面粗さをほぼ保ったまま摺動面を形成することが困難になる。
【００１８】
次に，請求項３に記載の発明のように，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，上記モリブデン及び／又はタングステンの酸化物の合計含有量が１〜２０重量％であることが好ましい。
これにより，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，組付後の運転初期において適度に摺動が行われた後，一層適切な時期に剥離することができる。
【００１９】
なお，上記酸化物の合計含有量が１重量％未満の場合には，組付後の運転初期におけるＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が形成された摺動面と回転カムとの摩擦抵抗を小さくすることが難しくなる。
一方，上記酸化物の合計含有量が２０重量％を超える場合には，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後に，皮膜形成前の表面粗さをほぼ保ったまま摺動面を形成することが困難になる。
【００２０】
次に，請求項４に記載の発明のように，上記酸性水溶液はｐＨが３〜４に調整されていることが好ましい。
これにより，上記摺動面にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を効率よく形成することができる。
上記ｐＨの調整は，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩に対して適量のアルカリ金属の水酸化物又はアンモニア水を添加することで行うことができる。
なお，ｐＨが３よりも小さいときには，酸性が強すぎて，皮膜形成反応におけるエッチング反応が激しく起こり，摺動面を粗くしてしまうおそれがある。
一方，ｐＨが４よりも大きいときは，酸性が弱くて，皮膜形成反応が十分に起こらないおそれがある。
【００２１】
次に，請求項５に記載の発明のように，上記酸性水溶液の温度は５０〜８０℃とすることが好ましい。
これにより，上記摺動面にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を効率よく形成することができる。
なお，温度が５０℃よりも低いときには，形成される皮膜の付着量が不足するおそれがある。
一方，温度が８０℃よりも高いときには，皮膜形成反応におけるエッチング反応が激しく起こり，摺動面を粗くしてしまうおそれがある。
【００２２】
次に，請求項６に記載の発明のように，上記酸性水溶液と上記摺動面との接触時間は１０〜１５分とすることが好ましい。
これにより，上記摺動面にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を効率よく形成することができる。
なお，接触時間が１０分よりも短いときには，形成される皮膜の付着量が不足するおそれがある。
一方，接触時間が１５分よりも長いときには，皮膜形成反応におけるエッチング反応が激しく起こり，摺動面を粗くしてしまうおそれがある。
【００２３】
【発明の実施の形態】
実施形態例１
本発明の実施形態例にかかる内燃機関用フォロワの表面処理方法につき，図１を用いて説明する。
図１（ａ）に示すごとく，本例における表面処理方法においては，内燃機関における回転カム２と摺動する内燃機関用フォロワ３の摺動面３０に対して処理を行う。
まずは，上記フォロワ３の摺動面３０に，バレル研磨加工を施す。その後，リン酸イオンとモリブデンの酸素酸イオン及び／又はタングステンの酸素酸イオンとを含有すると共に，リンの含有量が０．０５〜１ｍｏｌ／リットル，モリブデン及び／又はタングステンの合計含有量が０．１〜５０ｍｍｏｌ／リットルである酸性水溶液に，摺動面３０を接触させて，摺動面３０にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成する。
【００２４】
以下に，これを詳説する。
図１（ａ）に示すごとく，内燃機関において回転カム２の回転による摺動を受けて，エンジンバルブ４１の開閉を行うリフト部１は，フォロア３，バルブスプリングリテーナ４２，バルブスプリング４３等により構成されている。
フォロア３は，回転カム２と摺動する外側端面にアウターシム３１を設けてなり，フォロア３の側壁３２は，バルブスプリング４３等の外周を囲んでいる。
【００２５】
バルブスプリング４３は，エンジンバルブ４１を閉じる方向に付勢しており，バルブスプリングリテーナ４２を介してフォロア３を回転カム２に押さえ付けている。また，回転カム２は，バルブスプリング４３の付勢力に抗してエンジンバルブ４１を開けるようになっている。
本例においては，アウターシム３１の摺動面３０に，表面処理として，バレル研磨加工とＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜の形成を行う。
【００２６】
図１（ｂ）に示すごとく，上記表面処理は，回転カム２との摺動面３０にはアウターシム３１を有しておらず，エンジンバルブ４１の先端とフォロア３の内側面との間にインナーシム３３を有している場合にも行うことができる。この場合には，回転カム２と摺動する摺動面３０は，フォロア３の外側端面となり，表面処理は，この外側端面に直接行うことになる。
【００２７】
次に，バレル研磨加工について説明する。
まずは，材料に冷間鍛造，鉄板打抜きあるいは丸棒切断等を行い，形成するアウターシム３１の大きさよりも大きめな外形の中間品を形成する。
なお，アウターシム３１の材料には，熱処理を行った浸炭焼入れ鋼，窒化鋼又は合金鋼を用いることができる。例えば，それらには，ＪＩＳ規格のＳＣＭ，ＳＣＲ，ＳＵＪ，ＳＫＤ及びＳＫＨ等の材料を用いることができる。
【００２８】
次に，アウターシム３１の摺動面３０となる上記中間品の表面に荒研磨を行い，その後熱処理をして，硬度，靱性等を向上させる。
次に，上記中間品の全体に仕上げ研磨を行い，外形を整える。
次に，上記中間品に荒バレルと仕上げバレルとの２段階で遠心流動バレル研磨加工を行う。このバレル研磨加工は，合計で約４０分間行う。
【００２９】
具体的には，荒バレルは，研磨材であるメディアにＨＢＳ−５（チップトン製），コンパウンドにＡＬ−２０３（武山技術製），添加剤にスチールパウダー（チップトン製）を用い，約３０分間行った。また，仕上げバレルは，メディアにＰＳ−５（チップトン製），コンパウンドにＴＨ３３Ｌ（チップトン製），添加剤にスチールパウダー（チップトン製）を用い，約１０分間行った。
【００３０】
上記のように，バレル研磨加工を行うことにより，十点平均粗さＲｚが約０．４μｍ以下という平滑な表面を形成することができると共に，その表面には微小な凹部であるディンプルを一面に形成することができる。
【００３１】
次に，無機複合皮膜であるＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜の形成方法について説明する。
まずは，アルカリ脱脂工程において，アウターシム３１を温度が６０〜７０℃のアルカリタイプの脱脂剤の溶液に約１０分間浸して，バレル研磨加工後のアウターシム３１の摺動面３０から油，塵等の付着物を取り除く。そして，常温の水で，約１〜２分間洗浄する。
なお，アルカリタイプの脱脂剤には，例えば，日本パーカ製ファインクリーナー３０１等がある。
【００３２】
次に，化成工程として，アウターシム３１の摺動面３０を温度が６８〜７２℃でｐＨが３〜４に調整された酸性水溶液に約１５分間接触させて，摺動面３０にＭｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成する。そして，常温の水で，約１〜２分間洗浄する。
次に，防錆工程として，アウターシム３１を８５〜９５℃のトリアゾールタイプの防錆剤等の溶液に約３〜５分間浸して，摺動面３０の防錆処理を行う。その後，アウターシム３１を１００〜１２０℃の恒温槽の中に約１０分間放置して，全体の表面を乾燥させる。
【００３３】
このようにして，形成を行った上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，モリブデン及びタングステンの酸化物の付着量が約１．５ｇ／ｍ２であった。また，上記酸化物の合計含有量は，１．９６重量％であった。
また，上記のごとく，アウターシム３１に表面処理を行った後には，該アウターシム３１をフォロア３に組み付ける。そして，該フォロア３をリフト部１に組み付けて使用をする。
【００３４】
次に，本例における作用効果につき説明する。
本例においては，上記Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜により，組付後の運転初期において回転カム２とアウターシム３１の摺動面３０とが直接接触することを避けて，それらが馴染みやすくすることができる。また，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，適度に摺動が行われた後に剥離し，バレル研磨加工を行った表面が摺動面となる。
【００３５】
また，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後に，バレル研磨加工後の摺動面３０の表面粗さにほとんど変化がなく，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜は，皮膜形成前の表面粗さをほぼ保ったまま，摺動面３０に形成される。そのため，上記バレル研磨加工により形成したディンプルの凹凸形状を保持したまま，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が形成される。
【００３６】
そのため，アウターシム３１の摺動面３０においては，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離する前後のいずれにおいても，同様のディンプルを有する微小な凹凸形状が維持される。そして，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離する前後のいずれにおいても，ディンプルに潤滑油が溜まることにより，潤滑油の保持性能を向上させることができる。
それ故，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が存在する間は勿論，これが剥離した後においても，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる。
【００３７】
実施形態例２
上記実施形態例１におけるアウターシム３１は，上述のごとく，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離した後には，バレル研磨加工を行った表面が摺動面３０となる。
そのため，本例においては，バレル研磨加工後のアウターシム３１（発明品）の摺動面３０の摩擦抵抗が，砥石研磨仕上げ後のアウターシム３１（比較品）の摺動面３０の摩擦抵抗に比べて，どれだけ低減されているかを確認する試験を行った。
【００３８】
具体的には，それらのアウターシム３１の摺動面３０と回転カム２との間の摩擦トルクを測定し，比較を行った。
なお，アウターシム３１の材料には，発明品，比較品共にＳＣＭ４１５の浸炭焼入れ焼戻し材を使用した。
【００３９】
また，上記摩擦トルクの測定は，アウターシム３１の摺動面３０と回転カム２の接触表面との合成粗さを０．２〜２μｍと変化させて行った。なお，この合成粗さは，アウターシム３１の摺動面３０の十点平均粗さをＲｚｓ，回転カム２の接触表面の十点平均粗さをＲｚｃとして，（Ｒｚｓ２＋Ｒｚｃ２）１／２で表わされる値としている。
【００４０】
上記測定の結果を図２に示す。
同図からわかるように，発明品は，比較品に比べて，上記合成粗さの違いに関係なく，全体的に摩擦トルクが小さいことがわかる。これは，合成粗さが同じであっても，バレル研磨加工を行った発明品においては，摺動面に微小な凹部であるディンプルを一面に有しており，このディンプルに潤滑油が溜まって，摩擦トルクを低減しているものと考えられる。
【００４１】
実施形態例３
本例においては，上記実施形態例１におけるアウターシム３１の摺動面３０に，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成する場合（発明品）と，マンガン系リン酸塩皮膜を形成する場合（従来品）とについて，摺動面３０の表面粗さの測定を行い，比較を行った。
【００４２】
図３（ａ）に示すごとく，発明品における上記バレル研磨加工を行った後のアウターシム３１の摺動面３０の十点平均粗さＲｚは，０．２８μｍであった。
そして，図３（ｂ）に示すごとく，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後のアウターシム３１の摺動面３０の十点平均粗さＲｚも，０．２８μｍであった。
また，図３（ｃ）に示すごとく，皮膜形成後のアウターシム３１の上記皮膜を剥離させて，その下地の十点平均粗さＲｚを測定したところ，皮膜形成前とほとんど変化がなく，０．２９μｍであった。
【００４３】
一方，図４（ａ）に示すごとく，従来品における上記砥石研磨仕上げを行った後のアウターシム３１の摺動面３０の十点平均粗さＲｚは，０．２０μｍであった。
そして，図４（ｂ）に示すごとく，マンガン系リン酸塩皮膜を形成した後のアウターシム３１の摺動面３０の十点平均粗さＲｚは，粗くなって１．４０μｍであった。
また，図４（ｃ）に示すごとく，皮膜形成後のアウターシム３１の上記皮膜を剥離させて，その下地の十点平均粗さＲｚを測定したところ，更に粗くなって１．６５μｍであった。
なお，従来品のこのような結果は，上記砥石研磨仕上げに替えて，バレル研磨加工を行った摺動面３０に上記マンガン系リン酸塩皮膜を形成したときでも同様の結果となった。
【００４４】
上記のように，発明品は，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜の形成を行った後においても，摺動面３０の表面粗さがほとんど変わることがない。そのため，回転カム２とアウターシム３１の摺動面３０との摺動により，Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜が剥離した後においても，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる。
【００４５】
これに対して，従来品においては，上記マンガン系リン酸塩皮膜を形成したときに，砥石研磨仕上げを行った摺動面３０の表面粗さが著しく粗くなってしまっていることがわかる。つまり，従来の皮膜形成の方法では，研磨加工後の平滑な表面を維持することができない。
【００４６】
なお，発明品の皮膜形成処理をイメージ図として表すと，図５（ａ），（ｂ）のようになる。つまり，図５（ａ）に示すごとく，皮膜形成前におけるアウターシム３１の摺動面３０の表面粗さは，図５（ｂ）に示すごとく，皮膜形成後においてもほとんど変化していないことを表している。
【００４７】
【発明の効果】
上述のごとく，本発明によれば，潤滑油の保持性能に優れ，小さな摩擦抵抗で優れた摺動を行うことができる内燃機関用フォロワの表面処理方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態例１における，内燃機関における回転カム及びリフト部を示す図で，（ａ）フォロアにアウターシムを設けた場合，（ｂ）フォロアにアウターシムを設けていない場合を示す説明図。
【図２】実施形態例２における，合成粗さと摩擦トルクの関係を示すグラフ。
【図３】実施形態例３における，発明品におけるアウターシムの摺動面の表面粗さを示す図で，（ａ）バレル研磨加工を行った後，（ｂ）Ｍｏ・Ｗ含有鉄系リン酸塩皮膜を形成した後，（ｃ）皮膜形成後の皮膜を剥離させた後の摺動面の表面粗さを示す説明図。
【図４】実施形態例３おける，従来品におけるアウターシムの摺動面の表面粗さを示す図で，（ａ）砥石研磨仕上げを行った後，（ｂ）マンガン系リン酸塩皮膜を形成した後，（ｃ）皮膜形成後の皮膜を剥離させた後の摺動面の表面粗さを示す説明図。
【図５】実施形態例３おける，アウターシムの摺動面を示す図で，（ａ）皮膜形成前，（ｂ）皮膜形成後を示す説明図。
【符号の説明】
１．．．リフト部，
２．．．回転カム，
３．．．フォロア，
３０．．．摺動面，
３１．．．アウターシム，
【図１】
0004673963.tif 000002
【図２】
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【図３】
0004673963.tif 000004
【図４】
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【図５】
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