(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、
該ノズルと基板とを該基板の表面に沿う方向に相対的に移動させる第１の移動装置と、
該ノズルを基板の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置と、
該ノズルの長さに関する情報を検出する検出装置と、
該検出したノズルの長さに関する情報に基づいて当該ノズルによるペーストの塗布を行なうか否かを決定する制御装置と、を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項２】
前記検出装置は前記ノズルの長さを非接触で検出する請求項１に記載のペースト塗布装置。
【請求項３】
ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、
該ノズルと基板とを該基板の表面に沿う方向に相対的に移動させる第１の移動装置と、
該ノズルを基板の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置と、
該ノズルと一体的に設けられ、該基板の表面までの距離を測定する距離検出器と、
該距離検出器から該ノズルの先端までの距離を該ノズルの中心軸に沿う方向において検出する検出装置と、
該検出装置の検出結果に基づいて該ノズルの適否を判別する判別装置と、
該判別装置による判別結果を出力する出力装置と、を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。
【請求項４】
前記検出装置は、前記ノズルの先端と対向する第１の平面と、該ノズルの先端が該第１の平面に対向した状態において前記距離検出器と対向する第２の平面とを有する測定治具と、
該測定治具の第１の平面と該第１の平面に対向するノズルの先端とを該ノズルの中心軸方向と直交する方向から撮像する撮像装置と、
該撮像装置の撮像画像を画像処理して前記第１の平面と該ノズルの先端との間の距離を測定する画像処理装置と、を有し、
該画像処理装置にて測定した第１の平面と該ノズルの先端との間の距離と、
前記距離検出器で測定した該距離検出器から前記第２の平面までの距離と、
該第１の平面と該第２の平面との間の距離と、から、
該距離検出器から該ノズルの先端までの距離を該ノズルの中心軸方向において求める請求項３に記載のペースト塗布装置。
【請求項５】
前記第２の平面に前記ノズルの先端と直径がほぼ等しい突起部を設け、該突起部の上面に前記第１の平面が形成される請求項４に記載のペースト塗布装置。
【請求項６】
前記ノズルの移動量を記憶させる記憶部を有し、
前記判別装置は、前記第２の移動装置が前記記憶部に記憶された移動量で前記ノズルを移動させたときの該移動装置の移動量とこの移動による前記距離検出器の測定値の変化量に基づいて、前記距離検出器の良否を判別し、
前記出力装置は該判別結果を出力する請求項３〜５のいずれかに記載のペースト塗布装置。
【請求項７】
ノズルと一体的に設けられた距離検出器にて基板の表面までの距離を測定し、この測定結果に基づいて前記ノズルの先端と基板の表面との間の距離を予め設定された距離に保ちつつ前記ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布方法において、
前記距離検出器から前記ノズルの先端までの距離を前記ノズルの中心軸方向において検出し、この検出結果に基づいて該ノズルによるペーストの塗布を行なうか否かを決定することを特徴とするペースト塗布方法。
【請求項８】
前記距離検出器から前記ノズルの先端までの距離を前記ノズルに非接触で検出する請求項７に記載のペースト塗布方法。
【請求項９】
前記ノズルを設定された距離だけその中心軸方向において移動させたときの移動量とこの移動による前記距離検出器の測定値の変化量とに基づいて、前記距離検出器の良否を判別する請求項７又は８に記載のペースト塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペースト塗布装置及びペースト塗布方法、特に液晶表示パネルの製造に用いられるガラス基板にペーストとしてのシール剤を塗布するに用いて好適なペースト塗布装置及びペースト塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造に用いられるガラス基板にペーストとしてのシール剤を塗布する塗布装置は、設定されたパターンでシール剤を基板上面に描画するとき、ノズルの先端と基板上面との間の高さ方向の距離（ギャップ）を一定に保つように制御（ギャップ制御）している。この制御は、ノズルと一体的に設けたレーザ変位計で基板上面までの距離を測定し、測定した距離が予め設定した値となるようにノズルの高さ方向の位置を調整することで行なっている。シール剤を塗布する場合、シール剤の塗布量が一定しないと、２枚の基板間に封入された液晶が漏れることがある。そのため、ギャップ制御を行なって、シール剤を全長に渡って一定の塗布量で塗布して、塗布精度を向上している。
【０００３】
一方、シリンジに収容されたシール剤がなくなった場合には、シール剤が充填された新たなノズル体（シリンジとノズルが一体となったもの）に交換される。ノズル体が交換されると、ノズルの先端の高さ位置がずれることがある。そのため、ノズル体を交換したときには、レーザ変位計の測定値の基準（０（ゼロ）ポイントと称する）を新たに設定する。特許文献１には、このようなレーザ変位計の測定値の基準（０ポイント）を設定する方法が開示されている。即ち、基板を載置したＸ−Ｙテーブルをギャップ設定ポジションへ移動させ、次いで、スコープ上下機構のスコープを下降させ、ノズル体下端部と基板とを側方から撮像し、スコープからの画像を目盛りが付されたモニタ上に表示し、ノズル体下端面と基板上面との距離（ギャップ）を予め定められた値（例えば、50μm）に設定している。
【０００４】
次いで、キャリブレーションスイッチをオンして、ノズル体下端面と基板上面との距離（ギャップ）が50μmのときの距離検出センサの０ポイント（基板上面の第１の高さ位置）を自動的に捜して、制御装置に記憶させている。
【０００５】
そして、基板にシール剤を塗布する際、距離検出センサから基板までの距離（基板上面の第２の高さ位置）を検出し、この第２の高さ位置を制御装置に設定された上記０ポイント（基板上面の第１の高さ位置）に一致するように、ノズル体の高さを制御してシール剤を塗布している。
【０００６】
しかしながら、このような方法では、基板上面がレーザ変位計の測定範囲から外れる場合が生じ、正確なギャップ制御が行なえなくなるという不具合が起こることが考えられる。つまり、レーザ変位計は、その構造上、許容される誤差範囲内で有効に距離を測定できる範囲（測定範囲）が限られ、例えば、シール剤塗布装置で用いているレーザ変位計では、その測定範囲は200μm強である。そこで、理想的なノズル体（基準ノズル体）を保持具に対してストッパ等のメカ的な位置決め機構を介して取付けた際に、基準ノズルの先端と基板の上面との間のギャップがシール剤を塗布するときの所定のギャップに設定された状態で、基板の上面がレーザ変位計の測定範囲のほぼ中心に位置するようになっている。しかし、実際には、ノズルの先端の位置はノズルの製造誤差やシリンジに対する取付け誤差により高さ方向にばらつく。
【０００７】
特許文献１の方法では、ノズル体の交換後に、レーザ変位計の測定値の基準を設定するだけなので、ノズル体の交換に因りノズルの先端の高さ方向の位置がずれた結果、基板の上面がレーザ変位計の測定範囲の端付近に位置してしまったとしても、それを知ることができない。このような状態でレーザ変位計の０ポイントが設定されてしまったときには、基板の上面は、測定範囲の端付近で測定されることになる。基板の厚みのバラツキや基板の上面のうねり等で基板の上面の高さが変化すると、基板の上面がレーザ変位計の測定範囲から外れてしまうおそれがある。ちなみに、測定範囲を越えると、測定精度が極端に低下したり、悪い場合は測定ができなくなり、ギャップ制御を正確に行なうことができなくなる。ギャップ制御が正確に行なえないと、シール剤の塗布量にバラツキが生じ、塗布精度が低下する。
【特許文献１】特開2003-177411
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の課題は、ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布装置及びペースト塗布方法において、ペーストの塗布精度を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、該ノズルと基板とを該基板の表面に沿う方向に相対的に移動させる第１の移動装置と、該ノズルを基板の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置と、該ノズルの長さに関する情報を検出する検出装置と、該検出したノズルの長さに関する情報に基づいて当該ノズルによるペーストの塗布を行なうか否かを決定する制御装置と、を備えたものである。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記検出装置は前記ノズルの長さを非接触で検出するようにしたものである。
【００１１】
請求項３の発明は、ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布装置において、該ノズルと基板とを該基板の表面に沿う方向に相対的に移動させる第１の移動装置と、該ノズルを基板の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置と、該ノズルと一体的に設けられ、該基板の表面までの距離を測定する距離検出器と、該距離検出器から該ノズルの先端までの距離を該ノズルの中心軸に沿う方向において検出する検出装置と、該検出装置の検出結果に基づいて、該ノズルの適否を判別する判別装置と、該判別装置による判別結果を出力する出力装置と、を備えたものである。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、検出装置は、前記ノズルの先端と対向する第１の平面と、該ノズルの先端が該第１の平面に対向した状態において前記距離検出器と対向する第２の平面とを有する測定治具と、該測定治具の第１の平面と該第１の平面に対向するノズルの先端とを該ノズルの中心軸方向と直交する方向から撮像する撮像装置と、該撮像装置の撮像画像を画像処理して前記第１の平面と該ノズルの先端との間の距離を測定する画像処理装置と、を有し、該画像処理装置にて測定した第１の平面と該ノズルの先端との間の距離と、前記距離検出器で測定した該距離検出器から前記第２の平面までの距離と、該第１の平面と該第２の平面との間の距離とから、該距離検出器から該ノズルの先端までの距離を該ノズルの中心軸方向において求めるようにしたものである。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、第２の平面に前記ノズルの先端と直径がほぼ等しい突起部を設け、該突起部の上面に前記第１の平面が形成されるようにしたものである。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項３〜５のいずれかの発明において更に、前記ノズルの移動量を記憶させる記憶部を有し、前記判別装置は、前記第２の移動装置が前記記憶部に記憶された移動量で前記ノズルを移動させたときの該移動装置の移動量とこの移動による前記距離検出器の測定値の変化量に基づいて、前記距離検出器の良否を判別し、前記出力装置は該判別結果を出力するようにしたものである。
【００１５】
請求項７の発明は、ノズルと一体的に設けられた距離検出器にて基板の表面までの距離を測定し、この測定結果に基づいて前記ノズルの先端と基板の表面との間の距離を予め設定された距離に保ちつつ前記ノズルから吐出されるペーストを基板に塗布するペースト塗布方法において、前記距離検出器から前記ノズルの先端までの距離を前記ノズルの中心軸方向において検出し、この検出結果に基づいて当該ノズルによるペーストの塗布を行なうか否かを決定するものである。
【００１６】
請求項８の発明は、請求項７の発明において更に、前記距離検出器から前記ノズルの先端までの距離を前記ノズルに非接触で検出するようにしたものである。
【００１７】
請求項９の発明は、請求項７又は８の発明において更に、前記ノズルを設定された距離だけその中心軸方向において移動させたときの移動量とこの移動による前記距離検出器の測定値の変化量とに基づいて、前記距離検出器の良否を判別するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ペーストの塗布精度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１はペースト塗布装置を示す斜視図、図２は図１の塗布ヘッドの正面を示す模式図、図３は検出装置の要部を示す斜視図、図４はノズルの長さを測定する方法を説明するための模式図、図５は撮像装置の画像を示す模式図、図６はノズルの長さの適否及びレーザ変位計の異常を判定する動作を説明するためのフローチャートである。
【実施例】
【００２０】
以下、図面を参照しながらこの発明の一実施例を説明する。
図１はペースト塗布装置１０の概略的構成を示す斜視図であって、ペースト塗布装置１０は直方体状のベース１１を備えている。ベース１１の上面にＹテーブル１２が、図１に示すように、Ｙ軸方向に沿って移動可能に設けられ、Ｙテーブル１２は図示しないボールねじとナット及びボールねじを回動するサーボモータ１３からなる駆動手段によって駆動される。Ｙテーブル１２の上面に図示しないθ回転機構を介して載置テーブル１４が設けられる。載置テーブル１４はθ回転機構によって、図１に示すＺ軸方向に沿うＺ軸回りに水平面内で回転可能となっている。載置テーブル１４の上面には、例えば液晶ディスプレイパネルの製造に用いられるガラス基板１５が載置され、真空吸着などの手段によって吸着固定される。
【００２１】
ベース１１の上面には、Ｙテーブル１２を跨ぐ状態で門型の支持体１６が設けられている。この支持体１６の水平な梁部１６Ａの前面にガイドレール２０がＸ軸方向に沿って固定され、ガイドレール２０上に２つの塗布ヘッド２１がＸ軸方向に併設される。各塗布ヘッド２１は、図２、３に示すように、ガイドレール２０上をＸ軸方向に移動可能なＸテーブル２２を備える。Ｘテーブル２２は、リニアモータ２７からなる駆動手段によって駆動され、リニアモータ２７はガイドレール２０上に設けられたマグネットとＸテーブル２２に設けられたコイルからなる。
【００２２】
各塗布ヘッド２１は、Ｘテーブル２２の前面上に、図２に示すように、Ｘテーブル２２上をＺ軸方向（上下方向）に移動可能なＺテーブル２３を備える。Ｚテーブル２３は図示しないボールねじとナット及びボールねじを回動するサーボモータ２４からなる駆動手段によって駆動される。
【００２３】
各塗布ヘッド２１は、Ｚテーブル２３上にノズル体２５を保持する保持具２６を固定して備える。ノズル体２５は図示しないストッパ等のメカ的な位置決め機構を介して保持具２６に着脱可能に取付けられる。ノズル体２５はシリンジ３０とシリンジ３０の先端部にねじ込み結合され先端に向かって縮径する円筒状のノズル３１からなり、シリンジ３０内にはペーストとしてのシール剤Ｓが充填され、シリンジ３０は配管２８を介して図示しない加圧気体源に接続される。
【００２４】
ベース１１上に移動可能に設けたＹテーブル１２と、門型の支持体１６のガイドレール２０上に移動可能に設けた塗布ヘッド２１のＸテーブル２２は、ノズル３１と基板１５とを基板１５の表面に沿う水平方向に移動させる第１の移動装置３３を構成する。そして、Ｘテーブル２２上にＺ軸方向（上下方向）に移動可能に設けた塗布ヘッド２１のＺテーブル２３は、ノズル３１と基板１５とを基板１５の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置３４を構成する。加圧気体によって、ノズル３１の先端からシール剤Ｓが吐出されてガラス基板１５の周辺部にシール剤Ｓが矩形状に描画塗布される。
【００２５】
図２に示すように、塗布ヘッド２１のＺテーブル２３上にはレーザ変位計３５からなる距離検出器がノズル体２５と一体的に設けられる。レーザ変位計３５は、ノズル体２５を保持具２６にセットした状態で、Ｚ軸方向（上下方向）に一定の位置関係を持ってＺテーブル２３に一体的に取付けられ、レーザ変位計３５とノズル体２５はＺ軸方向に一体的に移動する。レーザ変位計３５は載置テーブル１４上に載置された基板１５との間の距離Ｌａを測定する。
【００２６】
上記ベース１１の一側には制御装置３６が設けられている。制御装置３６はYテーブルを駆動するサーボモータ１３、Ｘテーブル２２を駆動するリニアモータ２７、Ｚテーブル２３を駆動するサーボモータ２４を制御する。
【００２７】
図１、３に示すように、ベース１１上のＹテーブル１２の右側に隣接して、Ｚ１テーブル４０が、ベース１１に対してＺ軸方向（上下方向）に移動可能に設けられる。Ｚ１テーブル４０はＹ軸方向に長い形状をなし、矩形状のテーブルとテーブルの右辺に下方に垂設する側壁４０Ａを一体に備える。取付ブラケット４１は断面Ｌ字状でＹ軸方向に長い形状をなし、側壁４１Ａと側壁４１Ａの下端部にベース１１上に固定される基部４１Ｂを一体に備える。Ｚ１テーブル４０の側壁４０Ａが取付ブラケット４１の側壁４１Ａに、図３に示すように、Ｙ軸方向に離隔して設けられた２つのガイド部４２を介してＺ軸方向に摺動可能に取付けられる。２つのガイド部４２は、Ｚ１テーブル４０の側壁４０Ａに上下方向に設けられた凹溝４２Ａと、取付ブラケット４１の側壁４１Ａに上下方向に設けられた突部４２Ｂからなり、Ｚ１テーブル４０側の凹溝４２Ａが取付ブラケット４１側の突部４２Ｂに嵌め合わされて摺動する。
【００２８】
取付ブラケット４１の側壁４１Ａの中央部に、ボールねじ４３の上端部を回転軸支する支持部４１Ｃが一体に突設される。一方、取付ブラケット４１の側壁４１Ａに対向するＺ１テーブル４０の側壁４０Ａにはボールねじ４３に螺合するナット４４が固定される。取付ブラケット４１の側壁４１Ａの右側の下部にサーボモータ４５の取付部４１Ｄが形成される。取付ブラケット４１の側壁４１Ａの下部には開口部４１Ｅが形成され、開口部４１Ｅを介して、サーボモータ４５の駆動軸とボールねじ４３との間にベルト４６が巻回される。
【００２９】
Ｚ１テーブル４０は、ボールねじ４３とナット４４及びボールねじ４３を回動するサーボモータ４５からなる駆動手段によって駆動され、Ｚ軸方向に移動する。
【００３０】
Ｚ１テーブル４０上には、図３に示すように、検出装置５０が設けられる。検出装置５０は、Ｚ１テーブル４０のＹ軸方向の前方側に取付けられたＣＣＤカメラ５１からなる撮像装置と、Ｚ１テーブル４０の中央部の四角形状の台５２上に載置され中心部に突起部５３Ａを設けた円柱状の測定治具５３と、測定治具５３を挟んでＣＣＤカメラ５１と対向する反射板５４と、更に、画像処理装置５６を備える。
【００３１】
検出装置５０は、塗布ヘッド２１に固定されたノズル体２５のノズル３１の先端が測定治具５３の突起部５３Ａの真上に位置する状態で、塗布ヘッド２１に固定されたノズル体２５のノズル３１の先端と測定治具５３の上面との間の距離を測定する。
【００３２】
ＣＣＤカメラ５１は、測定治具５３の第１の平面６０と、第１の平面６０に対向するノズル３１の先端をノズル３１の中心軸方向と直交する方向から撮像する。
【００３３】
ＣＣＤカメラ５１は画像処理装置５６に接続され、ＣＣＤカメラ５１からの撮像信号が画像処理装置５６に入力される。制御装置３６には出力装置としてのモニタ５７が接続され、ＣＣＤカメラ５１が撮像した画像６２は制御装置３６を介してモニタ５７上に写し出される。ＣＣＤカメラ５１が撮像した画像は画像処理装置５６にて画像処理され、ノズル体２５のノズル３１の先端と測定治具５３の突起部５３Ａの上面との間の距離が測定される。Ｚ１テーブル４０を駆動するサーボモータ４５とＺテーブル２３を駆動するサーボモータ２４は、それぞれドライバ５５を介して制御装置３６に接続される。
【００３４】
測定治具５３は円盤状のガラス基板５３Ｂからなり、図４に示すように、ガラス基板５３Ｂの中心部にノズル３１の先端の直径とほぼ等しい直径の突起部５３Ａが設けられる。突起部５３Ａの上面はノズル３１の先端と対向する第１の平面６０を構成し、円盤状のガラス基板５３Ｂの上面はノズル３１の先端が第１の平面６０に対向した状態においてレーザ変位計３５と対向する第２の平面６１を構成する。
【００３５】
突起部５３Ａは、ノズル３１と測定治具５３の両方にＣＣＤカメラ５１のピントを合わせるために設けられる。ＣＣＤカメラ５１が図４における左方向から測定治具５３とノズル３１を撮像するとする。突起部５３Ａが無いとすると、ＣＣＤカメラ５１は測定治具５３の左端の縁とノズル３１とを同時に撮像しなければならない。ＣＣＤカメラ５１の撮像方向から見ると、測定治具５３の左端の縁とノズル３１の左端の縁との間には、測定治具５３のほぼ半径分Ｒの距離の差がある。
【００３６】
ところで、ノズル３１の先端と測定治具５３の突起部５３Ａの上面との間の距離の測定は、0.5μm以上の分解能が必要になり、ＣＣＤカメラ５１の性能としては４００万画素以上のものが使用される。分解能0.5μmという高い分解能が要求される高倍率のＣＣＤカメラ５１は、焦点深度が浅いので、図４に示すように、測定治具５３左端の縁とノズル３１の左端の縁との距離Ｒの差が大きいほど、測定治具５３とノズル３１とを同時にピントを合わせることが困難になる。そのため、測定治具５３とノズル３１のどちらかにピントが合わなくなるおそれがある。そこで、測定治具５３にノズル３１の先端の直径とほぼ同じ大きさの直径を有する突起部５３Ａを設けて、この差を小さくするようにしている。
【００３７】
しかしながら、突起部５３Ａを設けなくても、測定治具５３の左端の縁とノズル３１の左端の縁の距離の差を小さくした状態で撮像することができるのなら、突起部５３Ａは必ずしも必要ではない。
【００３８】
測定治具５３を挟んでＣＣＤカメラ５１と対向させて、図３に示すように、反射板５４が設けられる。反射板５４を設けているのは、ノズル３１と測定治具５３の突起部５３Ａの撮像画像を良好に得るためである。図３に示したＣＣＤカメラ５１は、同軸照明を内蔵した構造になっている。ノズル３１と測定治具５３の突起部５３Ａの表面は曲面なので、照射された同軸光がＣＣＤカメラ５１に戻り難く、反射板５４がないと、背景との境界が分かり難くなる。反射板５４を設けることで、ノズル３１と突起部５３Ａの画像６２を反射板５４からの反射光のシルエット像として捉えることができるので、ノズル３１と突起部５３Ａを鮮明に撮像することができる。尚、反射板５４の代わりに照明を配置して、ＣＣＤカメラ５１の同軸照明を省いても良い。
【００３９】
Ｚ１テーブル４０は測定治具５３を上下動させるために設けられ、ノズル３１の先端と測定治具５３の上面との間の距離を測定する時以外は、塗布動作の妨げにならないように、載置テーブル１４より下方の位置に退避させておく。このようにすることは、ベース１１上にＸテーブル２２が設けられる場合は、特に有効である。しかしながら、Ｚ１テーブル４０を下方に退避させなくても、塗布動作の妨げにならないのであれば、Ｚ１テーブル４０は必要ない。
【００４０】
次に、ペースト塗布装置１０によって、基板１５上にシール剤Ｓを塗布する動作について説明する。
【００４１】
まず、矩形状のガラス基板からなる基板１５が載置テーブル１４上に、不図示の搬送ロボット等により供給される。
【００４２】
基板１５が載置テーブル１４に供給されると、制御装置３６は、各リニアモータ２７の駆動を制御して各塗布ヘッド２１を基板１５上におけるシール剤Ｓの塗布開始位置へと移動させる。この実施例においては、図１に示すように、基板１５にはシール剤Ｓを矩形状のパターンでＸ方向及びＹ方向にそれぞれ２列に塗布する。塗布開始位置は、基板上における塗布パターンの各塗布予定位置に関して同じ位置に設定される。そこで、各塗布ヘッド２１は、まず、Ｙ方向に並ぶ一方の塗布パターンの塗布予定位置における塗布開始位置上にそれぞれ位置付けられる。
【００４３】
制御装置３６は、塗布ヘッド２１を塗布開始位置に位置付けた後、サーボモータ１３及び各リニアモータ２７の駆動を制御して、塗布ヘッド２１のノズル３１が基板１５上を予め設定された矩形状のパターンで移動するようにノズル３１と基板１５をＸＹ方向において相対的に移動させる。
【００４４】
このノズル３１と基板１５との相対移動中、制御装置３６は、不図示の加圧気体源からシリンジ３０内に供給する供給圧力を制御し、ノズル３１から設定量のシール剤Ｓを吐出させる。
【００４５】
また、制御装置３６は、ノズル３１と基板１５との相対移動中、レーザ変位計３５による基板１５の上面までの距離の測定値Ｌaを取り込み、ノズル３１の先端と基板１５の上面との間の距離Ｇが予め設定された値Ｇoを維持するようにＺテーブル２３のサーボモータ２４の駆動を制御する。
【００４６】
Ｙ方向に並ぶ一方の塗布パターンの塗布予定位置におけるシール剤Ｓの塗布が完了したら、各塗布ヘッド２１をＹ方向に並ぶ他方の塗布パターンの塗布予定位置における塗布開始位置上にそれぞれ位置付け、上述と同様の動作にてシール剤Ｓの塗布を行なう。
【００４７】
基板１５に対するシール剤Ｓの塗布が完了すると、シール剤Ｓが塗布された基板１５は、不図示の搬送ロボットにより、載置テーブル１４上から次の工程へと搬出されるとともに、載置テーブル１４には、次の基板１５が供給される。
【００４８】
ところで、基板１５に対するシール剤Ｓの塗布を繰り返すことで、シリンジ３０内のシール剤Ｓが消費される。そこで、シリンジ３０内のシール剤Ｓが無くなった、或いは残り少なくなった時点で、ノズル体２５をシリンジ３０内にシール剤Ｓが充填された新たなノズル体２５に交換する。ノズル体２５を交換すると、ノズル３１の製造誤差やノズル３１のシリンジ３０に対する取付け（ねじ込み）誤差等により、ノズル３１の先端の高さ位置がずれることがある。そのため、ノズル体２５を交換したときには、後述の手順によりレーザ変位計３５から新しいノズル３１の先端までの距離Ｌを検出し、ノズル３１の先端の高さ位置が許容範囲内か否かを判別する。
【００４９】
次に、このノズル３１の先端の高さ位置が許容範囲内か否かを判別する動作を詳細に説明する。
【００５０】
まず、「準備動作」として次の動作を行なう。この準備作業は、上述したシール剤Ｓを塗布する動作の前に行なう。図４、図５を参照して、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌの基準値Ｌoを設定する「準備動作」について説明する。
【００５１】
まず、説明中で用いる符号について、図４を用いて説明する。図４中には、７つの符号（測定基準距離Ｌ4、測定範囲Ａ、距離Ｌ、Ｌ1、Ｌ2、Ｌ3、Ｌ5）が記入されている。測定範囲Ａは、レーザ変位計３５が被測定物までの距離を許容される誤差の範囲内で正確に測定できる範囲である。
【００５２】
測定基準距離Ｌ4は、レーザ変位計３５の投光口から測定範囲Ａの中心Ｏまでの距離である。
【００５３】
Ｌは、レーザ変位計３５の投光口からノズル３１の先端までの距離である。以下の説明中では、「レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離」と称する。
【００５４】
Ｌ1は、ノズル３１の先端と測定治具５３の突起部５３Ａの上面との間の距離である。ＣＣＤカメラ５１を用いて測定する。
【００５５】
Ｌ2は、レーザ変位計３５の投光口から測定治具５３の第２の平面６１までの距離で、レーザ変位計３５によって測定する。
【００５６】
Ｌ3は、測定治具５３の第１の平面６０と第２の平面６１の段差の距離で、突起部５３Ａの設計データから得られる値である。
【００５７】
Ｌ5は、Ｌ1を測定した後にノズル３１を上昇させる距離で、測定範囲Ａの半分以下の大きさの値が設定される。
【００５８】
尚、Ｌ及びＬ1〜Ｌ5は、いずれもノズル３１の軸方向（Ｚ軸方向）に沿う方向の距離である。
【００５９】
工程１：基準ノズル体の取付け。
まず、作業者は、基準ノズル体２５を塗布ヘッド２１の保持具２６に固定する。尚、保持具２６に対して設けられた図示しないストッパ等のメカ的な位置決め機構は、基準ノズル体２５を位置決めして保持具２６に固定したときに、ノズル３１の先端がレーザ変位計３５の測定範囲Ａの中心Ｏよりも所定高さ上方に位置するように調整されている。また、所定高さとは、シール剤Ｓを塗布するときにおけるノズル３１の先端と基板１５の上面との距離Ｇｏと同じ高さである。このようにして、ギャップ制御の際に、基板１５の上面をレーザ変位計３５の測定範囲Ａのほぼ中心で検出できるように調整している。
【００６０】
基準ノズル体２５を保持具２６に固定した後、作業者は、不図示の操作パネルの準備動作開始ボタンを押圧操作する。この操作に基づいて、制御装置は工程２の動作を行なう。
【００６１】
工程２：塗布ヘッド２１の測定治具５３上の位置への移動。
制御装置３６は、基準ノズル体２５を固定した塗布ヘッド２１のＸテーブル２２を、図１に示すように、ガイドレール２０上のＸ軸方向の原点位置から予め設定された方向へ予め設定された距離移動させ、塗布ヘッド２１のノズル体２５をＺ１テーブル４０上の測定治具５３の真上に来るように移動させる。測定治具の位置は設計データ等から知ることができるので、このデータをもとに原点位置からの移動距離を設定することができる。
【００６２】
尚、手動操作によりＸテーブル２２を測定治具５３の真上に来るように移動させ、このときの塗布ヘッド２１の原点位置からの移動距離を制御装置３６の記憶部３６ａに記憶するようにしても良い。
【００６３】
ノズル体２５が測定治具５３の突起部５３Ａの真上に位置した状態で、レーザ変位計３５の測定点が測定治具５３の第２の平面６１上に位置するように、測定治具５３は作られている。
【００６４】
次いで、制御装置３６は、Ｚ１テーブル４０を退避位置から予め設定した距離だけＺ軸方向に上昇させて測定位置に位置付け待機させる。
【００６５】
ここで、作業者は、不図示の操作パネルを操作して、基準ノズル体２５を固定した塗布ヘッド２１のＺテーブル２３を、図５に示すように、Ｚ軸方向の原点位置からノズル３１の先端がＣＣＤカメラ５１の撮像視野Ｖ内に入る位置まで下降させる。
【００６６】
ノズル３１の先端が撮像視野Ｖに入ったら、ノズル３１の先端と測定治具５３の第１の平面６０との間の距離Ｌ1が予め設定した値になるようにノズル３１の高さ位置を調整する。ノズル３１の先端と測定治具５３の第１の平面６０との間の距離Ｌ1は、画像処理装置５６によって検出する。距離Ｌ１の検出手順は、工程３として後述する。
【００６７】
作業者は、ノズル３１の高さ位置の調整を終えると、不図示の操作パネルの調整完了ボタンを押圧操作する。制御装置３６は、この操作を受けて、調整を終えたときのＺテーブル２３のＺ軸方向の原点位置からの移動距離を、ノズル３１の先端を測定治具５３の第１の平面６０に近接させるための下降距離として設定し、制御装置３６内の記憶部３６ａに記憶する。
【００６８】
工程３：基準ノズル体２５のノズル３１の先端と測定治具５３の第１の平面６０との間の距離Ｌ1を画像処理により検出。
【００６９】
ＣＣＤカメラ５１が撮像した撮像画像６２の処理は、検出装置５０の画像処理装置５６が行なう。ＣＣＤカメラ５１は、円盤状の測定治具５３の中心部に設けられた突起部５３Ａの上面（第１の平面６０）が、図５に示すように、撮像視野Ｖの下半分に位置するように、その光軸を水平方向に向けて配置される。図５は、測定治具５３の突起部５３Ａの真上にノズル３１を対向させた状態での撮像画像（二値化画像）６２を示している。６２Ａはノズル３１の画像で、６２Ｂは測定治具の突起部５３Ａの画像である。
【００７０】
画像処理装置５６は、この画像６２から予め設定された範囲（ウインドウ）Ｗ内の画像６２を切り出し、ウインドウＷ内において画像６２を走査して、白画像と黒画像の境界を抽出するエッジ抽出処理を行なう。そして、抽出したエッジのうち、上下方向において最も近接して位置するエッジ間の間隔を、ノズル３１の先端と突起部５３Ａの上面（第１の平面）６０との間の距離Ｌ1として求める。
【００７１】
工程４：距離Ｌ2の測定。
制御装置３６が、工程２でノズル３１の高さ位置の調整を終えた状態において、レーザ変位計３５による測定治具５３の第２の平面６１までの距離Ｌ2の測定値を取り込む。
【００７２】
工程５：距離Ｌの基準値Ｌoの設定。
工程４でレーザ変位計３５にて測定したレーザ変位計３５から測定治具５３の第２の平面６１までの距離Ｌ2と、工程３で画像処理装置５６にて測定した測定治具５３の第１の平面６０とノズル３１の先端との間の距離Ｌ1と、測定治具５３の第１の平面６０と第２の平面６１との間の距離Ｌ3とから、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌをノズル３１の中心軸方向において求める。
【００７３】
即ち、測定治具５３の第２の平面６１に対する第１の平面６０の高さの寸法は設計データから得られる値Ｌ3であるから、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌを、Ｌ＝Ｌ2−Ｌ1−Ｌ3より求めることができる。制御装置３６にて、距離ＬをＬ＝Ｌ2−Ｌ1−Ｌ3により算出する。
【００７４】
そして、制御装置３６は、この基準ノズル体２５を使用して算出した距離Ｌを基準値Ｌoとして制御装置３６内の記憶部３６ａに記憶する。
【００７５】
この後、他方の塗布ヘッド２１についても、同様に工程１〜工程５の動作を行ない、基準値Ｌoを設定する。
【００７６】
最後に、制御装置３６は、Ｚ１テーブル４０を退避位置へと下降させる。これにより、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌの基準値Ｌoを設定する「準備動作」が終了する。
【００７７】
ところで、上述したように、シール剤Ｓを塗布する動作が行なわれることでシリンジ３０内のシール剤Ｓが消費され、シリンジ３０内のシール剤Ｓが無くなる、又は、残り少なくなると、ノズル体２５が新しいものと交換される。このように、ノズル体２５を新しいものと交換した場合におけるノズル３１の長さの適否の判別について、図６のフローチャートを参照して説明する。
【００７８】
ステップ１（図６中、Ｓ１と記述する。以下同様）；作業者が新しいノズル体２５を保持具２６にセットする。作業者は、セットが完了すると、不図示の操作パネルの適否判別開始ボタンを押圧操作する。この適否判別開始ボタンの押圧操作によって、制御装置３６は、ステップ２〜１４を実行する。
【００７９】
ステップ２；塗布ヘッド２１のＸテーブル２２を駆動して、原点位置からＸ軸方向へ予め設定された距離移動させ、塗布ヘッド２１のノズル３１を測定治具５３の真上に位置付ける。
【００８０】
ステップ３；Ｚ１テーブル４０を退避位置からＺ軸方向へ予め設定された距離上昇させる。
【００８１】
ステップ４；塗布ヘッド２１のＺテーブル２３を駆動して、塗布ヘッド２１を原点位置からＺ軸方向へ「準備動作」の工程２で設定して記憶させた下降距離だけ下降させる。
【００８２】
ステップ５；ノズル体２５のノズル３１の先端と測定治具５３の第１の平面６０との間の距離Ｌ１を検出装置５０のＣＣＤカメラ５１が撮像した画像６２の画像処理により測定する。
【００８３】
ステップ６；レーザ変位計３５による測定治具５３の第２の平面６１までの距離Ｌ2の測定値を取り込む。
【００８４】
ステップ７；レーザ変位計３５から新しいノズル３１の先端までの距離Ｌを、制御装置３６にて演算式Ｌ＝Ｌ2−Ｌ1−Ｌ3により算出する。ここでは、この距離Ｌをノズル３１の長さに関する情報として用いる。
【００８５】
ステップ８；レーザ変位計３５から新しいノズル体２５のノズル３１の先端までの距離Ｌを、基準ノズル体２５を使用して測定した基準値Ｌoと比較する。
【００８６】
検出したＬの値が基準値Ｌoに対して許容範囲を超えるか否かで、ノズル３１の適否を制御装置３６の判別装置３６ｂにて判定する。ノズル３１の適否とは、保持具２６に対するノズル体２５の取付け不良やノズル３１自体の不良（加工誤差によるノズル３１の長さの長短、曲がり等）の有無である。
【００８７】
新しいノズル体２５における距離Ｌが許容範囲内の長さであれば良品であるとしてステップ９に進み、許容範囲内に入っていなければ不良品としてステップ１４に進み警報により知らせる。
【００８８】
尚、保持具２６におけるノズル体２５の取付け状態が良好であるにもかかわらず、新しいノズル体２５における距離Ｌが基準値Ｌoと異なる場合、新しいノズル体２５のノズル３１の長さが基準ノズル体２５のノズル３１の長さと異なることが考えられる。
【００８９】
このような場合、新しいノズル体２５における距離Ｌが基準値Ｌoの許容範囲内であったとしても、ノズル３１の長さが異なる分だけノズル３１の流路抵抗が変わるので、その分ノズル３１からのシール剤Ｓの吐出量が増減することがある。
【００９０】
そこで、このノズル３１の長さの差分だけ、シリンジ３０内に供給する吐出圧力等の吐出条件を補正して、ノズル３１の長さの差に起因する吐出量の増減分を修正するようにしても良い。
【００９１】
この場合、吐出圧力を一定とした条件において、ノズル３１の長さとノズル３１から吐出されるシール剤Ｓの吐出量との関係を実験により予め求めておき、この関係に基づいてシリンジ３０内に供給する吐出圧力を補正するようにすることで対応することができる。
【００９２】
尚、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌの基準値Ｌoを設定する代わりに、図４に示すように、測定基準距離Ｌ4を設定しても良い。この場合、ステップ７で求めた距離Ｌと、測定基準距離Ｌ4から距離Ｇoを減じた距離とを比較して、距離Ｌが測定基準距離Ｌ4から距離Ｇoを減じた距離の許容範囲を超えるか否かを判定する。
【００９３】
また、上述の「準備動作」の際に測定したノズル３１の先端と測定治具５３の第１の平面６０との間の距離Ｌ1と新しいノズル体２５を取付けた場合のその距離Ｌ1との比較で、ノズル３１の適否を判定することもできる。但し、上述の実施例のステップ８のように、距離Ｌを基準値Ｌoと比較した方が、レーザ変位計３５の機械的な取付誤差や経時的な取付位置の変動等の要素を加味することができるので、判定をより正確に行なうことができ好ましい。
【００９４】
次に、レーザ変位計３５が距離の測定を正常に行なうことができるか否かについて、フローチャートを参照して、レーザ変位計３５の良否を判別する方法について説明する。
【００９５】
ステップ９で、Ｚテーブル２３を駆動してノズル体２５を、図４に示すように、予め設定された距離Ｌ5上昇させる。この距離Ｌ5は、シール剤Ｓを塗布するときのノズル３１の先端と基板１５の上面との間との距離Ｇoよりも大きく、レーザ変位計３５の測定範囲Ａの半分以内の距離とするのが好ましい。また、この距離Ｌ5は、記憶部３６ａに記憶させておく。
【００９６】
ステップ１０；Ｚテーブル２３の移動量（これはＺテーブル２３を駆動するサーボモータ２４が有するエンコーダ等の位置検出器で検出することができる）とＺテーブル２３の移動前後におけるレーザ変位計３５の測定値の変化量が、許容される差の範囲内で一致するか否かを判定する。一致した場含、レーザ変位計３５は距離を正常に測定できる良品として、塗布動作に備える。不一致の場合、レーザ変位計３５は何らかの原因で正常に測定できない不良品として、ステップ１４に進みレーザ変位計３５の異常を、警報を鳴らして作業者に知らせる。
【００９７】
尚、Ｚテーブル２３がノズル体２５を所定距離Ｌ5上昇させる間、Ｚテーブル２３の単位移動量毎にレーザ変位計３５の測定値を取り込み、レーザ変位計３５の測定値の直線性（リニアリティ）を判定し、直線性が許容値内である場合に、レーザ変位計３５は距離を正常に測定できると判定するようにしても良い。
【００９８】
また、この判別工程は、前述のステップ６が終わった後、ステップ７、８と並行して行なうことができる。
【００９９】
ステップ１１；他方のヘッド２１の新しいノズル体２５について、ノズル３１の長さの適否の判定が完了しているか否かを判別し、完了していれば、ステップ１２へ進み、完了していなければステップ２に戻り、他方の塗布ヘッド２１についてステップ２〜１０を実行する。尚、このときには、Ｚ１テーブル４０は、退避位置から上昇された状態にあるので、ステップ３の動作は省略する。
【０１００】
ステップ１２；Ｚ１テーブル４０を退避位置へ下降させる。
【０１０１】
ステップ１３；Ｚテーブル２３を上昇させる。
【０１０２】
以上で、レーザ変位計３５の良否を判別する工程が終了する。
以上のステップが完了した後、シール剤Ｓを基板１５に対して塗布することとなる。このとき、レーザ変位計３５の測定値が、予め設定された距離Ｇoとステップ７にて求めたレーザ変位計３５から新しいノズル３１の先端までの距離Ｌを加えた値と等しくなるようにノズルの高さを制御、即ち、ギャップ制御する。
【０１０３】
尚、上記の実施例において、ステップ９〜１０に示したレーザ変位計３５の良否を判別する工程は、省略しても構わない。この場合、ステップ８の後、ステップ１１へ移行するようにすると良い。
【０１０４】
本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)ノズル３１の長さに関する情報を測定することで、基準のノズル体２５に対し、新たに交換したノズル３１の長さの差を知ることができる。長さの差に基づいてシール剤Ｓの吐出圧等の吐出条件を一定の塗布量がえられるように補正することにより、シール剤Ｓの塗布精度を向上させることができる。従って、ノズル３１の長さのバラツキに起因して、ノズル３１の流路抵抗（シール剤Ｓの流れ易さ）が変わったとしても、一定のシール剤Ｓ塗布量を得ることができる。
【０１０５】
また、ノズル３１の長さの差が許容できる以上に大きいときには、別のノズル３１に交換するなどの対応をとる。その結果、ノズル３１の長さのバラツキに起因するシール剤Ｓの塗布精度の低下を防止することができる。また、レーザ変位計３５の測定範囲の端付近で測定することにより、ギャップ制御が不正確となり、シール剤Ｓの塗布量にバラツキが生じ、不良品が発生することを未然に阻止することができる。
【０１０６】
従って、シール剤Ｓの塗布量のバラツキに起因する表示ムラや液晶漏れ、気泡混入が防止された品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
【０１０７】
(b)検出装置５０は非接触でノズル３１の長さを測定するため、接触方式で見られるノズル３１の変形による測定精度の悪化を防止できる。また、非接触であるため、ノズル３１の先端の変形及び欠けを防げる。
【０１０８】
(c)塗布装置は、検出装置５０にてレーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離を測定する。
【０１０９】
そして、塗布装置は判別装置３６ｂにて、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌに基づいてノズル３１の適否を判別する。その結果、距離Ｌが許容範囲を外れたノズル３１を使用することにより、レーザ変位計３５の測定範囲Ａから基板１５の上面が外れて、レーザ変位計３５の測定精度が極端に低下したり、測定ができなくなったりするようなことがなくなる。従って、シール剤Ｓの吐出量を一定にして、塗布精度を向上させることができる。
【０１１０】
また、塗布装置は判別装置３６ｂによる判別結果を出力するモニタ５７等の出力装置を備えるので、長さのバラツキの大きなノズル３１が混入した場合においても、モニタ５７により、ノズル３１の長さについての適否の情報を容易に知ることができる。これにより、使用に適さないノズル３１が使用されることを防ぐことができ、シール剤Ｓの塗布精度を向上させることができる。
【０１１１】
(d)検出装置５０は、測定治具５３における第１の平面６０とノズル３１の先端との間の距離Ｌ1をＣＣＤカメラ５１を用いて測定し、第２の平面６１とレーザ変位計３５との間の距離Ｌ2をレーザ変位計３５を用いて測定するようにした。このため、レーザ変位計３５からノズル３１の先端までの距離Ｌを、演算式Ｌ＝Ｌ2−Ｌ1−Ｌ3（Ｌ3は、第１の平面６０と第２の平面６１との段差の距離）により容易に求めることができる。従って、ノズル３１の適否を容易に判定することができる。
【０１１２】
(e)測定治具５３の第２の平面６１にノズル３１の先端と直径がほぼ等しい突起部５３Ａを設け、突起部５３Ａの上面にノズル３１の先端を対向させるので、ノズル３１の先端の周縁部と突起部５３Ａの上面（第１の平面６０）がＣＣＤカメラ５１からほぼ同じ距離に位置することになる。これにより、ノズル３１の先端と突起部５３Ａとを共にＣＣＤカメラ５１の焦点深度内におさめることができるので、ノズル３１の先端と測定治具５３の突起部５３Ａの両方に高精度でピントを合わせることができる。
【０１１３】
従って、高い分解能を要求される高倍率のＣＣＤカメラ５１を使用した場合にも、ピントがぼけることがないので、ノズル３１の先端と測定治具５３の間の距離を高精度で検出することができる。
【０１１４】
(f)ノズル３１を基板１５の表面に直交する方向に移動させる第２の移動装置（Ｚ軸テーブル）にて、ノズル３１を設定された距離だけ移動させたときのＺ軸テーブルの移動量とレーザ変位計３５の測定値の変化量に基づいて、レーザ変位計３５の良否を判別する。その結果、レーザ変位計３５の異常やリニアリティを検出することができる。
【０１１５】
これにより、異常を生じて測定を正確に行なえなくなったレーザ変位計３５が用いられることにより塗布精度が低下する問題を未然に防ぐことができるので、シール剤Ｓの塗布精度を安定して得ることができる。
【０１１６】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、上記実施例ではレーザ変位計の先端からノズルの先端の距離（基準となるものとノズル先端との間の距離）を測定するようにしたが、ノズルの長さそのものを測定するようにしても良い。これは例えば、ノズル体を側方から撮像装置で撮像した画像を画像処理し、シリンジの下端からノズルの先端までの長さを測定することで行なうことができる。また、画像処理装置を設けたが、制御装置で兼用するようにしても良い。また、レーザ変位計をノズルの中心軸と平行にＺ軸方向に沿って取付けたが、レーザ変位計を斜めに取付けて、ノズルの中心軸が測定治具の上面と交わる点との距離を測定するように取付けても良い。
【０１１７】
また、距離検出器としてレーザ変位計を用いたが、これに限らず、超音波式距離検出器等の他の距離検出器を用いても良い。
【０１１８】
また、ペーストとしてシール剤を用いた例で説明したが、導電性ペースト等の他のペーストであっても良い。
【０１１９】
また、基板が、液晶表示パネルの製造に用いるガラス基板として説明したが、これに限らず、有機ＥＬパネル等の他のディスプレイパネルの製造に用いる基板やプリント基板等に用いる基板であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】図１はペースト塗布装置を示す斜視図である。
【図２】図２は図１の塗布ヘッドの正面を示す模式図である。
【図３】図３は検出装置の要部を示す斜視図である。
【図４】図４はノズルの長さを測定する方法を説明するための模式図である。
【図５】図５は撮像装置の画像を示す模式図である。
【図６】図６はノズルの長さの適否及びレーザ変位計の異常を判定する動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【０１２１】
１０    ペースト塗布装置
１２    Ｙテーブル
１５    基板
２２    Ｘテーブル
２３    Ｚテーブル
３１    ノズル
３３    第１の移動装置（Ｘテーブル、Ｙテーブル）
３４    第２の移動装置（Ｚテーブル）
３５    レーザ変位計（距離検出器）
３６    制御装置
５０    検出装置
５１    ＣＣＤカメラ（撮像装置）
５３    測定治具
５３Ａ  突起部
６０  第１の平面
６１  第２の平面
Ｌ  レーザ変位計からノズルの先端までの距離
Ｌ1  第１の平面とノズルの先端との間の距離
Ｌ2  レーザ変位計から第２の平面までの距離
Ｌ3  第１の平面と第２の平面との間の距離
【図１】
0004668023.tif 000002
【図２】
0004668023.tif 000003
【図３】
0004668023.tif 000004
【図４】
0004668023.tif 000005
【図５】
0004668023.tif 000006
【図６】
0004668023.tif 000007