(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれて使用される、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板であって、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けていることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルター基板であって、プラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であり、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前記前面板側にして、配置されるものであることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項３】
請求項１ないし２のいずれか１項に記載のカラーフィルター基板であって、カラーフィルターは樹脂を染色した、あるいは樹脂中に顔料を分散させた感光性の着色層からなることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載のカラーフィルター基板であって、良好な導電性材料が、金属膜または金属粒子からなることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のカラーフィルター基板であって、第１の電磁遮蔽層の少なくとも一方の表面が黒色であることを特徴とするカラーフィルター基板。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載のカラーフィルター基板をディスプレイの表示面側に設けたことを特徴とするディスプレイ装置。
【請求項７】
発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれる、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板で、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けているカラーフィルター基板の製造方法であって、透明基板上に前記良好な導電性材料により第１の電磁遮蔽層を形成させた後に、各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設するもので、第１の電磁遮蔽層の形成の前または後で、且つ各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設する前に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
【請求項８】
発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれる、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板で、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けているカラーフィルター基板の製造方法であって、透明基板上に各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設した後に、前記良好な導電性材料により第１の電磁遮蔽層を形成するもので、各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設した後、第１の電磁遮蔽層の形成の前または後に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
【請求項９】
請求項７ないし８のいずれか１項に記載のカラーフィルター基板の製造方法であって、カラーフィルター基板がプラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であって、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前記前面板側にして、配置されるものであることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有害となる電磁波を発生させるカラーディスプレイ装置で、且つ、発光セルの発光色に対応して発光セル単位にカラーフィルターセルを設けたディスプレイ装置と、該ディスプレイ装置に用いられるカラーフィルターに関するものである。そして、特に、有害な電磁波を遮蔽することができるカラーフィルターと、該カラーフィルターを用いたディスプレイ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
各種放電型ディスプレイ、例えばブラウン管（ＣＲＴとも言う）、電子表示管、プラズマディスプレイ（ＰＤＰとも言う）や、その他のディスプレイにおいては、発色性能を向上させ、表示色を美麗に且つ色再現領域を広くする試みが種々為されている。
例えば、発光色のＲ、Ｇ、Ｂのみで色表示するＣＲＴやＰＤＰ、その他のフルカラーディスプレイにおいては、３原色（ＲＧＢ）蛍光体の改良等でそれ自体高度な色表現機能を有するが、発光色のＲ、Ｇ、Ｂをそれぞれ、さらにフィルタリングしてカラー表示するために、カラーフィルターを併用する方法も提案されている。
このカラーフィルターを併用する方法には、以下のような利点がある。
各種ディスプレイに用いられる蛍光体等の発光材料は、一般に、未発光時には白色又は薄い着色をしており、入射する外光を反射する為、発光色の彩度を低下させるが、カラーフィルターを併用することによりこれを防止でき、結果として、ハイコントラストなカラー表示が得られる。
又、各色蛍光体が発する不要な光をフィルターで選別除去し、より純粋なＲＧＢ３原色光を使用することができ、各色蛍光体の発色が著しく改善されて一層の高品質カラー表示が可能である。
近年では、ＲＧＢ発光型デバイスにカラーフィルターを組み込んだ構成のディスプレイも市販される段階となってきた。
【０００３】
一方、ＣＲＴやＰＤＰ、その他の放電型ディスプレイには、人体やシステムへの影響が懸念される有害な電磁波の漏洩があり、これらのディスプレイ装置に対して、有害と懸念される電磁波の遮蔽が求められるようになってきた。
このため、ディスプレイ前面に電磁波遮蔽板を設置して漏洩電磁波を吸収除去する方法も行われている。
電磁波遮蔽板は、透明導電膜もしくはメッシュ状の金属スクリーンをガラス等の透明基板面に形成させたもので、ディスプレイ前面に設置して漏洩電磁波を吸収させ除去している。
尚、一般に、電磁波遮蔽板は、ディスプレイパネルの前面に近接又は接触する形で設置されるので、独立部品としてカラーフィルターとは別に、任意の設計のもとに製造されるのが普通である。
【０００４】
更に、発光型ディスプレイのカラー表示品質を向上させ、有害な電磁波の遮蔽を行う為に、図９（ａ）に示すように、ディスプレイ装置にカラーフィルター、電磁波遮蔽板を付加させる方法もある。
図９（ａ）は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰとも言う）６１０にカラーフィルター６２０を組込み、更に電磁波遮蔽板６４０を付けたディスプレイ装置の断面構造を示すものであるが、これを簡単に説明しておく。
ＰＤＰ６１０には、基本的に、電極及び放電空間を形成する為のリブ（障壁とも言う）６１７と発光用蛍光体とで構成されるバックプレート６１１と、透明基板面に透明導電膜（ＩＴＯ）その他）の対抗電極を形成させたフロントプレート６１５とを用い、両者を重ねて生じる空間に発光ガスを封入し、赤色発光セルＲＬ、緑色発光セルＧＬ、青色発光セルＢＬの各色発光セルが形成されている。
通常は、この基本構造だけで一般的品質のＰＤＰが完成するが、図９（ａ）に示す方式のものは、この基本構造をもつパネルＰＤＰ６１０にカラーフィルター６２０を付加してカラー発色品質を向上させ、外光の反射の影響を除去するものである。
図９（ａ）に示すディスプレイ装置では、さらに、保護用プレート６３０をカラーフィルター６２０の観察者側に覆うように配設し、電磁波遮蔽板６４０を該保護プレート６３０に近接または接触して観察者側に配設されている。
尚、電磁波遮蔽板６４０は、ベース基板６４１の一面ないし両面にメッシュ状、マトリックス状の導電性層６４５を設けているもので、所定の透明性を有し、且つ、有害な電磁波を遮蔽するメッシュ場の導電性層６４５を配設しているものであり、例えば、図９（ｂ）に示すようにメッシュ状に導電性層６４５を設けている。尚、図９（ｂ）は図９（ａ）のＦ１側から見た図である。
【０００５】
しかし、図９（ａ）に示す方式のディスプレイ装置の場合、ＰＤＰ６１０（図９（ａ））単体からなるディスプレイ装置に比べ、そのカラー表示品質の向上、有害な電磁波の遮蔽の点でその効果は極めて大きいが、ＰＤＰ６１０単体にカラーフィルターを付加することによってパネルコストが高くなるが、更に電磁波遮蔽板を併用する為に、より製造価格が上昇せざるを得ないという問題がある。
また、電磁波遮蔽板がＩＴＯのような透明導電体膜で構成されている場合には発生しない問題ではあるが、金属メッシュ等で構成されている場合にはパネルのセル配列構造（及び走査線）とメッシュライン（又はメッシュ目）との関係で光の干渉によってモアレが発生し易いという問題もある。
尚、上記モアレはパネルのセル配列とメッシュラインとの角度を適正に組み合わせると最小限の発生度合とすることが出来るが、原理的に皆無にすることは出来ず、如何に視認性を低下させない（目立たせない）ような発生度合いに押さえるかが重要になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、カラー表示品質の面、有害な電磁波の遮蔽の面で優れたディスプレイ装置を、生産性の面で優れ、比較的安価に提供できる方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、具体的には、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の表示面側に置かれて使用されるカラーフィルター基板であって、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けた構造の、生産性の面で優れ、比較的安価で、且つ、品質的にも実用的であるカラーフィルター基板を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のカラーフィルター基板は、発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれて使用される、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板であって、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けていることを特徴とするものである。
そして、上記のカラーフィルター基板であって、プラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であり、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前記前面板側にして、配置されるものであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのカラーフィルター基板であって、カラーフィルターは樹脂を染色した、あるいは樹脂中に顔料を分散させた感光性の着色層からなることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのカラーフィルター基板であって、良好な導電性材料が、金属膜または金属粒子からなることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのカラーフィルター基板であって、第１の電磁遮蔽層の少なくとも一方の表面が黒色であることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のディスプレイ装置は、上記いずれかのカラーフィルター基板をディスプレイの表示面側に設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のカラーフィルター基板の製造方法は、発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれる、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板で、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けているカラーフィルター基板の製造方法であって、透明基板上に前記良好な導電性材料により第１の電磁遮蔽層を形成させた後に、各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設するもので、第１の電磁遮蔽層の形成の前または後で、且つ各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設する前に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けることを特徴とするものである。
また、本発明のカラーフィルター基板の製造方法は、発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の発光面の観察者側に置かれる、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板で、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は、各色を分離するための色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられており、前記第１の電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域および光透過領域を含む全面に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けているカラーフィルター基板の製造方法であって、透明基板上に各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設した後に、前記良好な導電性材料により第１の電磁遮蔽層を形成するもので、各色のフィルター材料を発光セル単位にあわせて配設した後、第１の電磁遮蔽層の形成の前または後に、第２の電磁遮蔽層である透明導電層を設けることを特徴とするものである。
そして、上記いずれかのカラーフィルター基板の製造方法であって、カラーフィルター基板がプラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であって、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前記前面板側にして、配置されるものであることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】
本発明のカラーフィルター基板は、このような構成にすることにより、ディスプレイ装置の表示面側に置かれ使用された場合、ディスプレイ装置の表示色画質を良くし、且つ、電磁波遮蔽効果を有し、更に、生産性の面で優れ、比較的安価に作製することができるカラーフィルター基板の提供を可能とした。
具体的には、発光セル単位にカラーフィルターの各セルを合わせて、有害となる電磁波を発生させるディスプレイ装置の表示面側に置かれて使用される、ベース基板の一面上にカラーフィルターと電磁遮蔽層を設けたディスプレイの表示面側のカラーフィルター基板であって、少なくとも第１の電磁遮蔽層は、良好な導電性材料からなり、その開口部および、その下側ないし上側にカラーフィルターを設けており、第１の電磁遮蔽層は各色を分離するための色分離領域を含みマトリクス状に、あるいは、色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域を含みマトリクス状に、且つ、光透過領域にメッシュ状に設けられていることにより、ディスプレイ装置の表示色画質を良くし、且つ、有害な電磁波の観察者側への漏洩を防止している。
【００１１】
更に具体的には、プラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であって、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前面板側にして、配置されるものであることにより、図１０に示すプラズマディスプレイパネル自体とは、独立して、本発明のカラーフィルター基板を作製できるものとしており、プラズマディスプレイパネル自体の作製における熱処理等の条件に影響されずに、カラーフィルターの材質を選ぶことができる。
このため、その作製は容易で、生産性の良いものとでき、結果、プラズマディスプレイ装置の表示色画質を向上、およびプラズマディスプレイ装置へ電磁遮蔽効果の付与を、安価にできるものとしている。
尚、このようなプラズマディスプレイ用のカラーフィルター基板は、図１０に示すプラズマディスプレイパネルの前面板７１０を通し、各発光セルの発光色が、それぞれ各同色のカラーフィルターに入射され、カラーフィルターにより発光色の不純色光を除去して良質化する様に色分布領域が制限されるものであるが、発光セルからの光の一部は、前面板通過中で拡散されて同色のカラーフィルターを通らないものもある。
しかし、拡散光は他のカラーフィルターに吸収されるので、色の特性を悪化させることはない。
通常の観察条件下では、殆どの色光が各色発光に対応した色のカラーフィルターを通るため、カラーフィルターを設けてあることにより、表示色画質は設けていない場合に比べ、向上する。
特に、前面板の厚さを薄くすることにより、この効果は大きくなり、ディスプレイ装置の前面板の内部の発光セル側に設けた場合に近づく。
即ち、本発明のプラズマディスプレイ用のカラーフィルターは、効果的に表示色品質を上げることができる。
また、前面板の発光セル側にカラーフィルターを設ける場合には、その材質は、熱処理（焼成）を必要とするため、顔料、低融点ガラスフリットを主とするものが用いられるが、本発明のカラーフィルター基板は、図１０に示すプラズマディスプレイ自体とは別体で、前面板の観察者側に配設されるもので、顔料、低融点ガラスフリットを主とするものに限定されず、樹脂を染色した、あるいは樹脂中に顔料を分散させた感光性の着色層からなるものでも良い。
このため、その作製方法においても、感光性の着色層材料を塗布した後に、フォトリソグラフィーを用いて所定形状に形成する方法や、着色層材料を直接印刷方法による形成方法、感光性の樹脂を塗布した後に、フォトリソグラフィーを用いて所定形状に形成し、且つ、樹脂層を染色する方法を採ることができる。
基本的に高い精度は必要としないため、量産性に向いた作製方法を採ることができる。
【００１２】
また、良好な導電性材料からなる電磁遮蔽層を、カラーフィルターの各色を分離するための色分離領域に色分離用遮光性部を兼ねてマトリクス状に、あるいは、カラーフィルターの色分離領域および光透過領域にメッシュ状に、あるいは、前記色分離領域に色分離用遮光性部を兼ねてマトリクス状に、且つ、それ以外の光透過領域にメッシュ状に設けられており、ディスプレイ装置の表示面側に置かれることにより、表示色画質に影響を与えることなく、ディスプレイ装置からの電磁波の観察者側への漏洩を防止できるものとしている。
そして、電磁遮蔽層の上あるいは下に直接接触させて、色分離領域およびそれ以外の光透過領域に、全面にわたり透明導電層を設けていることにより、電磁遮蔽層全体の面積抵抗を低くすること及び遮蔽電磁波の吸収波長帯をより広範囲とすることを可能としている。
【００１３】
光透過領域にメッシュ状に電磁遮蔽層を設けた場合のモアレむらについては、発光セルの各光は、対応する色のカラーフィルター領域に設けられたメッシュを透過するため、図９に示すような別体の電磁遮蔽板６４０を用いた場合とは異なり、モアレむらは認識しにくい。
【００１４】
第１の電磁遮蔽層としての良好な導電性材料には、金属膜または金属粒子からなるもの等が挙げられる。
また、メッシュ状の導電層の少なくとも一方の表面が黒色とすることにより、観察者側からのディスプレイパネルへの光の入射（外光の入射）に際し、外光の影響によるコントラストの低下を防止できるものとしている。
尚、各カラーフィルターセル領域の境界部に導電性層を設け、且つ、該導電性層と電磁波遮蔽用のメッシュ状の導電層とを電気的に接続させていることにより、メッシュ状の導電層の電気的な接地を容易な構造としている。
更に、各カラーフィルターセル領域の境界部にに設けられている導電性層を、該境界に沿う直線形状ないしマトリクス形状を有するものとすることにより、各カラーフィルターセル領域の境界部にに設けられている導電性層に対し、各色のカラーフィルターセル間の色分離機能を持たせることもできる。
【００１５】
本発明のディスプレイ装置は、このように、本発明のカラーフィルター基板を用いていることにより、表示色品質の面で優れ、且つ電磁波遮蔽を有するディスプレイ装置を安価に提供できるものとしている。
また、その量産にも対応できるものとしている。
【００１６】
本発明のカラーフィルター基板の製造方法としては、上記のような方法が挙げられるが、特にカラーフィルター基板がプラズマディスプレイパネル用のカラーフィルター基板であって、使用の際には、プラズマディスプレイパネルの前面板の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前面板側にして、配置される、図１０に示すプラズマディスプレイ自体とは別体のものである場合には、カラーフィルター材質の自由度は大きく、、処理の制約も少なく、カラーフィルターの形成方法としては、量産向きのものを選ぶことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に関わる形態例と本発明の実施の形態例を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は、本発明に関わるカラーフィルター基板の例１の全体を示す概略平面図で、図１（ｂ）はその一部（Ａ０部）を拡大して示した平面図で、図１（ｃ）は、図１（ｂ）のＡ１−Ａ２における断面図で、図２（ａ）、図２（ｂ）、図２（ｃ）は、それぞれ、図１に示す例１のカラーフィルター基板の変形例を示した特徴部の断面図で、図２（ｂ）が本発明のカラーフィルター基板の実施の形態の１例を示しており、図３（ａ）は、本発明に関わるカラーフィルター基板の例２のカラーフィルター形成領域の一部の概略平面図で、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ１−Ｂ２における拡大断面図で、図３（ｃ）は、図３（ｂ）のＢ３−Ｂ４間の一部領域における電磁遮蔽層を示した拡大平面図で、図４は、図３に示す例２のカラーフィルター基板の変形例を示した特徴部の断面図で、図５（ａ）は本発明に関わるカラーフィルター基板の例３のカラーフィルター形成領域の一部の概略断面図で、図５（ｂ）はそのＤ１−Ｄ２間の一部領域における電磁遮蔽層を示した平面図で、図６（ａ）、図６（ｂ）はそれぞれ、本発明に関わるディスプレイ装置の１例を示した概略図である。
また、図７、図８は、それぞれ、本発明に関わるカラーフィルター基板の製造方法の１例を示した工程図である。
図１〜８中、１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃはカラーフィルター基板、１１１はＲフィルター、１１２はＧフィルター、１１３はＢフィルター、１１５はベース基板（ベース基材）、１１６カラーフィルター形成部、１２０は色分離帯兼用導電性層、１３０は導電性層、１４０は樹脂層、１４１は保護用樹脂層、２１０はカラーフィルター基板、２１１はＲフィルター、２１２はＧフィルター、２１３はＢフィルター、２１５はベース基板（ベース基材）、２２０は色分離帯兼用導電性層、２３０、２３０Ａは導電性層、２４０は樹脂層、２４１は保護用樹脂層、３１１はＲフィルター、３１２はＧフィルター、３１３はＢフィルター、３１５はベース基板（ベース基材）、３３０は導電性層、４１０はプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰとも言う）、４１１はＲ色発光セル、４１２はＧ色発光セル、４１３はＢ色発光セル、４１５は背面板、４１６は前面板、４１７は障壁（リブとも言う）、４４０、４４１は接着剤層である。
尚、図１（ｂ）、図３（ａ）中の、Ｒ、Ｇ、Ｂは、それぞれ、Ｒ色、Ｇ色、Ｂ色の各色を表したものである。
また、ここでは、カラーフィルターの各セル（カラーフィルターセルとも言う）とは、図３（ａ）に示すＲ、Ｇ、Ｂの最小単位の発色領域、あるいは、図１（ａ）に示すＲ、Ｇ、Ｂのストライプ領域を言う。
また、図３（ｃ）のＢ５−Ｂ６位置における断面の状態が図３（ｂ）のＢ３−Ｂ４間の断面状態に相当し、図５（ｂ）のＤ３−Ｄ４位置における断面の状態が図４（ａ）のＤ１、Ｄ２間の断面状態に相当する。
【００１８】
はじめに、本発明に関わるカラーフィルター基板の例と本発明のカラーフィルターの実施の形態例を説明する。
先ず、本発明に関わるカラーフィルター基板の例１を挙げ、図１に基づいて説明する。  図１に示す例１のカラーフィルター基板１１０は、有害となる電磁波を発生させるプラズマディスプレイに用いられるカラーフィルター基板で、使用の際には、図１０に示すプラズマディスプレイパネルの前面板７１０の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前面板側にして、配設されるものである。
プラズマディスプレイパネルの各色の発光セルに対応した位置に、対応した色のカラーフィルターを対応させるように設けている。
図１（ａ）に示すように、透明な基板からなるベース基板１１５の一面に、カラーフィルター（１１１、１１２、１１３）と、金属膜からなる遮光性の導電性層１３０をマトリックス状にした電磁遮蔽層とを設けたものであるが、図１（ｂ）にその一部拡大図を示すように、カラーフィルターの各色の分離領域、およびストライプ状のカラーフィルターを跨ぐように、マトリックス状に導電性層１３０を設けている。
カラーフィルターの各色の分離領域に設けられた導電性層１３０は、各色の色分離を兼ねる為、これを、ここでは特に色分離帯兼用導電性層１２０としている。
尚、図示していないが、とマトリックス状の導電性層１３０を電気的に接続するアース端子を設けている。
図１（ｃ）にその断面を示すように、ベース基板１１５側から電磁遮蔽層となる導電性層１３０（１２０も含む）とカラーフィルター１１１、１１２、１１３を設けており、導電性層１３０（１２０）間には、樹脂層１４０が設けられている。
【００１９】
ベース基板１１５としては、透明なもので、ガラス基板や樹脂基板が挙げられる。
樹脂基板の材質としては、通常アクリル樹脂基板、ポリエステル樹脂基板その他があり、更に混合樹脂基板や複合基板等が挙げられる。
導電性層１３０としては、銅等の金属膜または銅、銀等の金属粒子が挙げられるが、導電性が良いものが好ましい。
そして、導電性層１３０の少なくとも一方の表面が黒色であることが、外光による表示のコントラストの低下の防止の面からは好ましい。
導電性層１３０の材質として銅を用いた場合には、銅の表面を酸化ないし硫化して黒化する黒化処理を施しておくと良い。
本例のカラーフィルター基板１１０は、これが用いられるプラズマディスプレイ自体（図１０に示すＰＤＰ単体）とは別体であり、カラーフルター１１１、１１２、１１３の材質については、プラズマディスプレイ自体の製造工程条件に左右されないため、顔料、低融点ガラスフリットを主とするもの、樹脂を染色した、あるいは樹脂中に顔料を分散させた感光性の着色層からなるもの等が適用できる。
Ｒフィルター１１１、Ｇフィルター１１２、Ｂフィルター１１３としては、用いられるプラズマディスプレイの各発光色に対応した、所定の透過率特性を有するものが用いられる。
【００２０】
次いで、本例の変形例を挙げておく。
図２（ａ）に示す第１の変形例は、ベース基板１１５上にカラーフィルター１１１、１１２、１１３を設け、その上に保護用樹脂層１４１を設け、さらにその上に、本例と同様、電磁遮蔽層を設けたものである。
図２（ｂ）に示す第２の変形例は、第１の変形例の表面部にＩＴＯ膜を形成させたもので、ＩＴＯ膜も電磁遮蔽効果を有する。
導電性層１３０からなる第１の電磁遮蔽層に対し、第２の電磁遮蔽層とも言える。図２（ｃ）に示す第３の変形例は、例１で、樹脂層１４０を設けず、導電性層１３０間にもカラーフィルター１１１、１１２、１１３を設けたものである。
【００２１】
次に、本発明に関わるカラーフィルター基板の例２を挙げ、図３に基づいて説明する。  図１に示す例２のカラーフィルター２１０も、第１の例と同様、有害となる電磁波を発生させるプラズマディスプレイに用いられるカラーフィルター基板で、使用の際には、図１０に示すプラズマディスプレイパネルの前面板７１０の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前面側にして、配設されるものである。
そして、プラズマディスプレイパネルの各色の発光セルに対応した位置に、対応した色のカラーフィルターを対応させるように設けている。
本例では、図３（ａ）にその一部拡大図を示すように、カラーフィルターの配列は、各色を交互に配列した所定の配列で、そのカラーフィルターの各色の色分離領域に沿い、遮光性の金属膜からなる導電性層２３０が設けられており、且つ、各カラーフィルター（２１１、２１２、２１３）の光透過領域にはメッシュ状に導電性層２３０が設けられている。
色分離領域に沿いマトリックス状に設けられた導電性層２３０は、各色の色分離帯を兼ねるもので、ここでは特に色分離帯兼用導電性層２２０とも言う。
メッシュ状の導電性層２３０とマトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０とは電気的に接続し、両者により、有害な電磁波の遮蔽機能を有するものである。
尚、図示していないが、メッシュ状の導電層２３０とマトリックス状の色分離帯兼用導電性層１２０とを電気的に接続するアース端子を設けている。
【００２２】
本例では、図３（ｃ）に示すように、メッシュ状の導電層２３０は、Ｒフィルター２１１、Ｇフィルター２１２、Ｂフィルター２１３の下側（ベース基板２１５側）に設けられており、導電性、且つ、遮光性の色分離帯兼用導電性層２２０と電気的に接続している。
樹脂層２４０は、透明樹脂からなり、マトリックス状の導電性層２３０（色分帯兼用導電性層２２０でもある）、メッシュ状の導電層２３０の隙間を埋めるもので、各色のフィルター（２１１〜２１３）の作製の際における平坦化層の役割をするものである。
図３（ｃ）は、メッシュ状の導電性層２３０とマトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０とを一部拡大して示した平面図で、メッシュは、直線状の２方向の導電性層２３０が、所定の角度で互いに交叉しているものであるが、形状は、これに限定はされない。
【００２３】
各部の材質としては、例１と同様のものが適用可能である。
光透過領域に設けられるメッシュ状の導電性層２３０の少なくとも一方の表面が黒色であることが、表示のコントラストの低下の防止の面からは好ましい。
【００２４】
例２の変形例を挙げる。
図４に示す第１の変形例は、例２とは異なり、ベース基板２１５側から順に、各色のフィルター、保護用樹脂層２４１、そしてメッシュ状の導電性層２３０とマトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０を設配したものである。
第２の変形例は、図示していないが、例２において、樹脂層２４０を設けない構造で、マトリックス状の導電性層２３０（色分離帯兼用導電性層２２０）、メッシュ状の導電性層２３０間の隙間に、各色のフィルターを埋め込んだ状態のものである。
尚、図２のＣ１−Ｃ２から見た、メッシュ状の導電層２３０とマトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０の形状は、例２と同様に図２（ｃ）のようになる。
【００２５】
次に、本発明に関わるカラーフィルター基板の例３を挙げ、図５に基づいて説明する。  図５に示す例３のカラーフィルター基板３１０も、第１の例、第２の例と同様、有害となる電磁波を発生させるプラズマディスプレイに用いられるカラーフィルター基板で、使用の際には、図１０に示すプラズマディスプレイパネルの前面板７１０の観察者側に、カラーフィルター形成面側を前面側にして、配設されるものである。
例３は、図５に示すように、カラーフィルターの各色の色分離領域におよび、光透過透過領域全体にメッシュ状の導電性層３３０を設けたものである。
例１の樹脂層１４０や例２の樹脂層２４０に相当するものを設けず、メッシュ状の導電性層３３０の隙間、および上に各色フィルターを設けたものである。
尚、図５（ａ）のＤ１−Ｄ２から見た、メッシュ状の導電性層３３０の形状は、図５（ｂ）のようになる。
また、図５（ｂ）のＤ３−Ｄ４位置における断面の状態が図Ｄ（ａ）の断面状態に相当する。
【００２６】
次に、本発明に関わるディスプレイ装置の１例を挙げる。
図６に示す本例は、有害となる電磁波を発生させるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）４１０の前板面４１６の観察者側面に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）４１０の発光セル（４１１、４１２、４１３）の発光色に対応して発光セル単位に、図３に示す例２のカラーフィルタ基板２１０を配設したディスプレイ装置である。
このような構成にすることにより、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）単体４１０の構成に比べ、表示画質の向上、有害な電磁波の遮蔽ができる。
【００２７】
尚、ここで、ＡＣ型のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰとも以下言う）単体（図６のＰＤＰ４１０に相当）の１例を図１０に挙げて、もう少しだけ説明しておく。
図１０はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板７１０）、背面板（ガラス基板７２０）とを実際より離して示してある。
図１０に示すように、２枚のガラス基板７１０、７２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板７２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）７３０により、一定の間隔に保持されている。
前面板となるガラス基板７１０の背面側には、放電維持電極である透明電極７４０とバス電極である金属電極７５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層７６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）７７０が形成されている。
また、背面板となるガラス基板７２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁７３０間に位置してアドレス電極７８０が互いに平行に形成されており、更に障壁７３０の壁面とセル底面を覆うように螢光面７９０が設けられている。
障壁７３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加して、放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体７９０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。
尚、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図１０に示すものは、ガラス基板７２０の一面に下地層７６７を設けその上に誘電体層７６５を設けた構造となっているが、下地層７６７、誘電体層７６５は必ずしも必要としない。
【００２８】
変形例としては、図１に示す本発明に関わるカラーフィルター基板の例１を、図５に示す例３、あるいは、これらの変形例、および例２の変形例を、図６におけるカラーフィルター基板２１０に置き代えたディスプレイ装置が挙げられる。
変形例も、基本的に、表示画質、電磁波遮蔽機能の点では図６に示す例と同様となる。
【００２９】
次いで、本発明に関わるカラーフィルター基板の製造方法の例を挙げる。
図３に示す例２のカラーフィルター基板の製造方法の１例を図７に基づいて説明する。  先ず、ベース基板２１５の一面に無電解めっきにより導電性層を薄く付け、更にその上に電解めっきにより導電性層を薄く付けて、所定の厚さに導電性層２３０Ａを形成する。（図７（ａ））
尚、必要に応じて、無電解めっきによる導電性層形成前に、蒸着、スパッタ等により、金属薄膜を形成しておいても良い。
導電性層２３０Ａとしては、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｕ等の金属めっき層が挙げられるが、価格の面から、通常、Ｃｕめっき層が用いられる。
導電性層２３０ＡをＣｕめっき層とした場合、次いで、市販の電解黒化液を用いてＣｕ面を黒色化する黒化処理を行ない、ベース基板２１５上にＣｕ層、黒化層を順に形成しておく。
尚、導電性層２３０ＡをＣｕめっき層とした場合、メッシュ状の導電層２３０の厚みは総厚で５〜５０μｍ程度とする。
導電性層２３０Ａを形成した後、黒化処理を行う理由は、表示デバイスの観察者側からの光によるコントラストの低下を防止するためである。
次いで、導電性層２３０Ａ上に耐エッチング性のレジストを塗布、乾燥し、所定の形状に開口部を有するレジスト膜を作製した後、製版したレジスト膜を耐エッチングマスクとしてエッチングし、メッシュ状の導電層２３０、マトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０を形成する。（図７（ｂ  ））
レジスト膜の製版は、導電性層２３０Ａ表面の黒化層上に塗布されたフォトレジストに所定の原版を用いて密着露光し、現像したもので、ＰＤＰの障壁（リブとも言う）（図６の４１７）位置に相当する色分離帯兼用導電性層２２０位置に、障壁幅よりやや狭い線で、且つ、発光セルに対応したカラーフィルターセル領域内では、メッシュ状の導電性層２３０の線幅をより狭い線幅とする。
【００３０】
次いで、透明な樹脂層２４０を塗布し、硬化させておく。（図７（ｃ））
これは、次に行う各色のカラーフィルターの形成における各色の市販の感光性材料の膜厚が、導電性層２３０により、薄くなる場合があるためである。
感光性材料の膜厚の塗布が、品質的に問題なく行なわれれば、透明な樹脂層２４０を設ける必要はない。
尚、導電性層２３０とほぼ同じ厚さに透明な樹脂層２４０を塗布した場合には、硬化後、透明な樹脂層２４０は導電性層２３０の上面よりも下側にくる。
【００３１】
次いで、各色のフィルターの形成行う。
カラーフィルター材料としてはＲ、Ｇ、Ｂ各色の市販の感光性材料を用いることができる。
予め、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色用のセルパターンを持つ３枚の原板を用意し、この原版のカラーフィルターセルのパターンサイズをメッシュ状の導電性層２３０を形成する領域のサイズよりも５〜１０μｍ大きく設計して位置合わせが容易になるように配慮しておくと良い。
先ず、Ｒ色用の感光性材料をメッシュ状の導電性層２３０形成側に全面に塗布し、所定の原版を用いて、これを露光、現像し、Ｒ用カラーフィルター２１１を形成する。（図７（ｄ））
この後、同様にして、Ｇ用カラーフィルター２１２を形成し（図７（ｅ））、Ｂ用カラーフィルター２１３を形成する。（図７（ｆ））
このようにして、カラーフィルター基板２１０が作製される。
尚、工程は以上の通りであるが、電磁波遮蔽により発生した電流をリークする為、メッシュ状の導電性層２３０や、マトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０に電気的に接続するアース端子部を、メッシュ状の導電性層２３０、マトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０を形成する際に、形成しておく。
【００３２】
次に、図４に示す例２の変形例のカラーフィルター基板の、製造方法の１例を図８に基づいて説明する。
ベース基板２１５（図８（ａ））の一面に、図７に示す例と同様にして、Ｒ用カラーフィルター２１１を形成し（図８（ｂ））、Ｇ用カラーフィルター２１２を形成し（図８（ｃ））、Ｂ用カラーフィルター２１３を形成する。（図８（ｄ））
図８（ｄ）に示すように、各色のカラーフィルターは、隣接するように接近させて形成する。
各色のカラーフィルターを作製するための各色の感光材料を製版するための原版を予めこのようになるように作成しておく。
また、各色のカラーフィルターを作製するための各原版の位置合わせを容易とする位置合わせマーク、あるいは後工程のマトリックス状、メッシュ状の導電層２３０を作成する際のレジスターマーク等、適宜必要に応じ作成して使用する。
【００３３】
次いで、各色のカラーフィルターの保護層としてアクリル樹脂等の保護用の樹脂層２４１を形成しておく。（図８（ｅ））
【００３４】
次いで、無電解めっきにより、薄い導電性層を形成し、更にその上に電解めっきにより、所定の厚さに導電性層２３０Ａを形成する。（図８（ｆ））
導電性層２３０Ａについては、例１と同様である。
【００３５】
この後、感光性レジスト（例えば、ＯＭＲ、東京応用化株式会社製）を塗布し、メッシュ状の導電層を作製するためのパターン原版を用い、作成してあるレジスターマークと位置合わせして、露光、現像、乾燥、ポストベーキングし、感光性レジストから露出した部分を塩化第２鉄液でエッチング、水洗し、所定形状のメッシュ状の導電性層２３０、およびマトリックス状の色分離帯兼用導電性層２２０を得る。（図８（ｇ））
このようにして、カラーフィルター基板２１０Ａが作製される。
この後、めっきＣｕの表面部を、例１と同様にして黒化する黒化処理を施しておく。
【００３６】
［参考実施例］
（参考実施例１）
参考実施例１はプラズマディスプレイ用のカラーフィルター基板であり、図７に示すに示す製造方法により本発明に関わるカラーフィルター基板（図３の例２のカラーフルター基板２１０）を作製したものである。
そして、更に作製されたカラーフィルター基板を、図１０に示すようなプラズマディスプレイパネルに付加して、図６に示す本発明に関わるディスプレイ装置を作製した。
本参考実施例を、以下、図７に基づいて、説明する。
先ず、厚さ３ｍｍの透明な清浄なガラス基板の一面に、黒色の酸化クロム層（ＣｒＯｘ）を１５００Åの厚さに形成した。
酸化クロム層は、Ｃｒターゲット及び酸素混在のＡｒ雰囲気で通常条件でのスパッタリング法で形成したものである。
次いで、酸化クロム層面を活性化処理した後、以下の条件にて、約２μｍの厚さに無電解Ｃｕめっきを行い、次いで電解Ｃｕめっきを行い、Ｃｕの総厚を５μｍ程度とした。（図７（ａ））
【００３７】
無電解Ｃｕめっき条件、電解Ｃｕめっき条件は、それぞれ、以下の通りである。
0004685995.tif 000002
【００３８】
次いで、ＯＭＲ感光性レジスト（東京応化株式会社製）を導電性層２３０Ａ上に塗布、乾燥した後、所定形状の写真原版を用いて所定領域を露光して、メッシュ状およびマトリックス状にパターニングを行い、これを耐エッチングマスクとして、塩化第２鉄液（比重３８度ボーメ）でＣｕ層とＣｒＯｘ層を同時にエッチングし、更に、残留レジストを剥膜除去した。（図７（ｂ））
写真原板は、プラズマディスプレイパネルの発光セルの障壁（図１０の７９０で幅６０μｍ）上の位置に相当する部分では、障壁（リブ）幅よりやや狭い線幅４０μｍとなるようにし、また、発光セル領域に対応する部分では、より狭い線幅２０μｍとした。
尚、写真原板は電子ビーム描画して作製した。
【００３９】
次いで、ＣｕのエッチングパターンをコパーブラックＣｕｏ（商品名：株式会社アイソレート化学研究所製）のＡ液（２０％液）、Ｂ液（１０％液）を含む水溶液中で６０〜８０°Ｃ、２〜３分間浸漬して化成処理し、Ｃｕ表面及びエッチング断面を黒色化した。
このようにして、メッシュ状の導電性層２２０（２３０）とマトリックス状の導電性層１３０を形成した。
実用的には、電磁波遮蔽により発生した電流をリークする為のアース端子部を形成させておく必要があり、メッシュ状の導電性層２２０（２３０）とマトリックス状の導電性層２３０を形成する際に、これらの周辺部に、アース端子部を、同時に形成した。
尚、アース端子部は表示部外の目視できない場所にある為、表面黒化処理は不要であり、黒化層はかえってアース接続の弊害となるからＣｕ面のままが好ましい。
【００４０】
次いで、メッシュ状の導電性層２２０（２３０）とマトリックス状の導電性層２３０の隙間（凹部）にＲ、Ｇ、Ｂ、の３色カラーフィルターを形成させる為に、予め凹部全面に透明な感光性アクリル樹脂をスキージ法で充填し、紫外線露光と熱処理（１５０°Ｃ、３０分）で完全に硬化し、樹脂層２４０を形成した。（図７（ｃ））
この処理によって導電性層２３０形成面がほぼ平坦化されるが、アクリル樹脂の硬化収縮によって導電性層２３０の面より１μｍ程度低くなり、若干凹部として残った。
【００４１】
次いで、全面に顔料分散タイプの感光性のカラーフィルター材料（カラーレジストとも言う）をスピンコートで充填し、露光、現像、加熱処理を行って、Ｒ色カラーフィルター２１１を形成し（図７（ｄ））、更に同様にして、、Ｇ色カラーフィルター２１２を形成し（図７（ｅ））、Ｂ色カラーフィルター２１３を形成した。（図７（ｆ））
以下、各色のフィルターの形成方法を述べる。
カラーフィルター材料としてはＲ、Ｇ、Ｂ各色共に市販の感光性材料、ＪＳＲ（日本合成ゴム株式会社の略）製の感光性色材、Ｃｏｌｏｒ  Ｒｅｓｉｓｔ：ＣＲ２０００Ｒ（赤色）、ＣＲ２０００Ｇ（緑色）、ＣＲ２０００Ｂ（青色）を使用した。
先ず、予め、Ｒ、Ｇ、Ｂ各色用のセルパターンを持つ３枚の写真原板を用意し、この原版のセルパターンサイズを導電性メッシュよりも５〜１０μｍ大きく設計して位置合わせが容易になるように配慮した。
次いで、まず、導電性マトリクス形成面に赤色感光性色材ＣＲ２００００Ｒを塗布し乾燥した。
この時、導電性層２３０と樹脂層２４０とで形成される面は高さが５μｍの凹版形状を持っているので、感光性色材はこの凹部に充填される形となる。
一般に色材層は１〜２μｍあれば十分な必要濃度が得られるので、感光性色材を予め溶剤で希釈し、塗布（充填）、乾燥後所定の透過濃度１．２〜２．０を示すように調整した。
塗布法は、硬質ゴム製のスキージ板を用いたスキージ法を採用したが、回転塗布法やバーコート法でもよい。
次いで、Ｒカラーフィルター用写真原板を用いて、導電性メッシュのＲセル部に位置合わせして密着露光し、処方に従って現像、乾燥、加熱処理（１８０°Ｃ、３０分以上）を行いＲ色カラーフィルター２１１を形成した。
加熱処理を付加したのは、感光性色材の硬化を十分に完了させ、後続する他の色のフィルター形成における耐溶剤性を強化する為の処置である。これによって安定な赤色フィルター層が形成された。
引き続き同様な処理によって、緑色カラーフィルター２１２を形成し、次い青色カラーフィルター２１３を形成した。
これにより、Ｒ色カラーフィルター２１１、Ｇ色カラーフィルター２１２、Ｂ色カラーフィルター２１３が形成された。
【００４２】
この後、さらに透明なアクリル系樹脂を約２０μｍ塗布し保護膜として電磁波遮蔽効果を有する本発明のカラーフィルター基板２１０を完成させた。
【００４３】
更に、このようにして作製されたカラーフィルター基板２１０のプラズマディスプレイパネルへの付加は、以下のようにして行ない、図６に示す形態の本発明のディスプレイ装置を作製した。
上記のように作製されたカラーフィルター基板２１０を、プラズマディスプレイパネルの前面板（図１０の７１０に相当）に取り付けるに当たり、前面板の透明ガラス基板（図１０の７１０）の観察者側面に、透明な熱接着性アクリル系樹脂を約２０μｍの厚さに塗布した後、作製されたカラーフィルター基板２１０を、障壁（図１０の７９０）線上に相当する太い導電性層（色分離体兼用導電性層１２０）をプラズマディスプレイパネルの発光セル形成障壁の線上に正確に位置合わせし、圧着しながら熱接着して装着した。
これにより、図６に示す形態の本発明に関わるディスプレイ装置が作製された。
【００４４】
ここで用いたプラズマディスプレイパネルについて、簡単に説明しておく。
前面板（図１０の７１０に相当）の透明ガラス基板の厚さ２ｍｍ、放電維持電極である透明電極（図１０の７４０に相当）はＩＴＯ、バス電極である金属電極（図１０の７５０に相当）はＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒの３層構造、誘電体層（図１０の７６０に相当）は低融点ガラスペースト、保護層（図１０の７７０に相当）はＭＧＯ膜である。
また、背面板（図１０の７２０に相当）は、透明ガラス基板（図１０の７２０に相当）の厚さは２ｍｍで、障壁（図１０の７３０に相当）は、ガラスペーストからなる。
４２インチ表示で、発光セルのピッチ０．３６ｍｍ、幅６０μｍ、高さ１２０μｍで、封入ガスは、Ｎｅ＋Ｘｅ（ペニング混合ガス、５００〜６００Ｔｏｒｒで封入）である。
そして、蛍光面（図１０の７９０に相当）を形成する蛍光体は、Ｒ蛍光体、Ｇ蛍光体、Ｂ蛍光体を、それぞれ、株式会社化成オプトニクス社製のＫＸ−５０４Ａ（（Ｙ、Ｃｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ３＋）、ＰＩ−ＧＩＳ（Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ）、ＫＸ−５０１Ａ（ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ２＋）とし、アドレス電極（図１０の７８０に相当）は、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ（Ａｇでも良い）で厚さ数μｍ〜１０μｍで、電極ピッチは、０．１３ｍｍである。
尚、前面板（フロントプレートとも言う）、背面板（バックプレートとも言う）自体の製造方法、およびプラズマディスプレイパネルの製造方法については、一般に良く知られており、ここでは省略する。
【００４５】
本参考実施例のカラーフィルター基板２１０の製造方法では、カラーフィルター部をプラズマディスプレイパネルのとは独立的に製造できる為、カラーフィルターの製造方法では、工程内で重量のあるプラズマディスプレイパネル自体を取り扱う必要がなく製造が楽であった。
【００４６】
（参考実施例２）
参考実施例２も、参考実施例１と同様、プラズマディスプレイ用のカラーフィルター基板であり、図８に示すに示す製造方法により本発明に関わるカラーフィルター基板（図４のカラーフルター基板２１０Ａ）を作製したものである。
そして、更に作製されたカラーフィルター基板２１０Ａを、図１０に示すようなプラズマディスプレイパネルにに付加して、図６に示す本発明に関わるディスプレイ装置を作製した。
本参考実施例を、以下、図８に基づいて、説明する。
先ず、厚さ３ｍｍの透明な清浄なガラス基板であるベース基板２１５の一面に、実施例１で用いた感光性色材（カラーレジスト）を用い、同様にして、Ｒ色カラーフィルター２１１を形成し（図８（ｂ））、Ｇ色カラーフィルター２１２を形成し（図８（ｃ））、Ｂ色カラーフィルター２１３を形成した。（図８（ｄ））
所定の写真原版を用い、製版、現像を行い、各色のカラーフィルターが、それぞれ隣接するように作製した。
尚、カラーフィルターとして有効面積の外側に、各色の原版のパターン境界部の位置を示すレジスターマークを入れておいた。
また、メッシュ状の導電層を作製する際に用いる写真原版は、メッシュ状のパターンの太い線の部分が各色のカラーフィルターの境界と合致するようにその位置を検出し調整できるように考慮して設計しておいた。
【００４７】
次いで、紫外線硬化性透明アクリル樹脂を保護層として２〜５μｍの厚さに塗布し、紫外線硬化させ、更に１８０°Ｃ、３０分熱硬化させ、保護樹脂層２４１を形成した。（図８（ｅ））
【００４８】
次いで、以下の条件にて、２μｍの厚さに無電解Ｃｕめっきをカラーフィルター上に施し、更に、電解Ｃｕめっきを行い、総厚５μｍにＣｕ層を形成した。（図８（ｆ））
次いで、感光性レジストＯＭＲを塗布、乾燥し、このレジストに所定形状のパターン原版を用い、上記カラーフィルター作製時に設けたレジスターマークと位置合わせして、露光、現像、乾燥、ポストベーキングの各処理を施し、所定形状にレジストパターンを形成した後、レジストを耐エッチングマスクとして、塩化第２鉄液でめっきＣｕ層からなる導電性層２３０Ａをエッチング、水洗した。（図８（ｇ））
0004685995.tif 000003
【００４９】
次いで、以下の条件でＣｕ表面の黒化処理を行い、水洗乾燥した。
［黒化処理条件］
黒色ニッケルめっき浴使用
硫酸ニッケルアンモン              ６０  ｇ／ｌ
硫酸亜鉛                        ７．５  ｇ／ｌ
チオシアン酸ナトリウム          １５    ｇ／ｌ
温度                            ３０°Ｃ
電流密度（通電時間３分）        初期０．１Ａ／ｄｍとし、電流を
漸次増し終期１Ａ／ｄｍとした。
更に、表面に保護膜として紫外線硬化性透明アクリル樹脂を約２０μｍの厚さに塗布し、硬化させて表面を平坦化して本発明に関わるカラーフィルター基板２１０Ａを完成させた。
【００５０】
次いで、このようにして作製されたカラーフィルター基板２１０Ａをプラズマディスプレイパネルに装着して、本発明に関わるディスプレイ装置を作製した。
装着は、プラズマディスプレイパネルの前面板（図１０の７１０に相当）の観察者側に透明アクリル樹脂からなる接着剤を２０〜３０μｍの厚さに塗布してのち、作製されたカラーフィルター基板２１０Ａを正確に位置合わせして行った。
本参考実施例では観察者側のメッシュ状の導電層の面の黒化を省いたが、この導電層上に一層カラーフィルター層が形成されるので、Ｃｕの赤褐色は弊害にならないからである。
勿論、本例の導電性層２３０Ａに代え、参考実施例１と同様に３層の導電性層（ＣｒＯｘ−Ｃｕ−黒化銅）としても良い。
また、カラーフィルター面にブラックマトリクスを、色分離帯兼導電性層２２０とは別に予め形成させておいてもよい。
【００５１】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ディスプレイ装置の表示面側に置かれ使用された場合、ディスプレイ装置の表示色画質を良くし、且つ、電磁波遮蔽効果を有し、更に、生産性の面で優れ、比較的安価に作製することができるカラーフィルター基板の提供を可能とした。
詳しくは、図９に示すような従来のカラーフィルターと電磁波遮蔽板とを別個に併用する方式と比べ、構成が簡単となり製造も容易となり、結果、より薄型でより安価なディスプレイを提供することを可能とした。
【図面の簡単な説明】
【図１】        本発明に関わるカラーフィルター基板の例１の概略図である。
【図２】        図２（ａ）〜図２（ｃ）は本発明に関わる例１のカラーフィルター基板の変形例で、図２（ｂ）は本発明のカラーフィルター基板の実施の形態の１例である。
【図３】        本発明に関わるカラーフィルター基板の例２の概略図である。
【図４】        例２のカラーフィルター基板の変形例である。
【図５】        本発明に関わるカラーフィルター基板の例３の概略図である。
【図６】        本発明に関わるディフスプレイ装置の概略断面図である。
【図７】        本発明に関わるカラーフィルター基板の製造方法の１例の製造工程図である。
【図８】        本発明に関わるカラーフィルター基板の製造方法の別の１例の製造工程図である。
【図９】        カラーフィルター構成有する従来のＰＤＰを説明するための概略断面図である。
【図１０】        ＰＤＰ単体の構成を説明するための概略図である。
【符号の説明】
１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ    カラーフィルター基板
１１１                      Ｒフィルター
１１２                      Ｇフィルター
１１３                      Ｂフィルター
１１５                      ベース基板（ベース基材）
１１６                      カラーフィルター形成部
１２０                      色分離帯兼導電性層
１３０                      導電性層
１４０                      樹脂層
１４１                      保護用樹脂層
１５０                      ＩＴＯ
２１０、２１０Ａ            カラーフィルター基板
２１１                      Ｒフィルター
２１２                      Ｇフィルター
２１３                      Ｂフィルター
２１５                      ベース基板（ベース基材）
２２０                      色分離帯兼導電性層
２３０、２３０Ａ            導電性層
２４０                      樹脂層
２４１                      保護用樹脂層
３１０                      カラーフィルター基板
３１１                      Ｒフィルター
３１２                      Ｇフィルター
３１３                      Ｂフィルター
３１５                      ベース基板（ベース基材）
３３０                      導電性層
４１０                      プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）
４１１                      Ｒ色発光セル
４１２                      Ｇ色発光セル
４１３                      Ｂ色発光セル
４１５                      背面板
４１７                      障壁（リブ）
４３０                      保護用基板
４４０、４４１              接着剤層
６１０                      プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰとも言う）
６１１                      バックプレート（背面板）
６１５                      フロントプレート（前面板）
６１７                      障壁（リブ）
６２０                      カラーフィルター
６３０                      保護用プレート
６４０                      電磁波遮蔽板
６４１                      ベース基板
６４５                      導電性層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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