(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査試料を含む空洞共振器にマイクロ波を入力し、前記空洞共振器の反射波を前記マイクロ波の一部を用いて検波し、前記検波が行われた検波波形から前記検査試料の電子スピン共鳴信号を取得するＥＳＲ装置であって、
前記マイクロ波の発振周波数を電圧により制御する高周波発振器と、
前記電圧に、前記マイクロ波をＦＭ変調させる交流電圧および前記マイクロ波の中心周波数を調整する直流バイアス電圧を加算し、前記検波波形に含まれる前記ＦＭ変調と同一のＦＭ周波数成分を抽出し、前記ＦＭ周波数成分の振幅の大きさに基づいて前記直流バイアス電圧を制御するＡＦＣ回路と、
前記直流バイアス電圧を用いて、前記電子スピン共鳴信号の補正を行う共鳴信号補正手段と、
を備えることを特徴とするＥＳＲ装置。
【請求項２】
前記ＡＦＣ回路は、前記ＦＭ周波数成分から前記直流バイアス電圧を出力するロックインアンプを備えることを特徴とする請求項１に記載のＥＳＲ装置。
【請求項３】
前記ＥＳＲ装置は、前記検査試料に印加される磁場を磁場変調する磁場変調手段を備えることを特徴とする請求項１または２に記載のＥＳＲ装置。
【請求項４】
前記ＥＳＲ装置は、前記検波波形から前記磁場変調と同一の磁場変調周波数成分を抽出し、前記磁場変調周波数成分の振幅の大きさを求める共鳴信号抽出部を備えることを特徴とする請求項３に記載のＥＳＲ装置。
【請求項５】
前記共鳴信号抽出部は、前記振幅の大きさに比例する直流電圧を出力するロックインアンプを備えることを特徴とする請求項４に記載のＥＳＲ装置。
【請求項６】
前記共鳴信号補正手段は、前記直流電圧に、前記直流バイアス電圧を加算する加算手段を備えることを特徴とする請求項５に記載のＥＳＲ装置。
【請求項７】
前記共鳴信号補正手段は、前記加算の際に、前記直流バイアス電圧の大きさを調整する利得調整手段を備えることを特徴とする請求項６に記載のＥＳＲ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、検査試料を含む空洞共振器にマイクロ波を入力し、この空洞共振器の反射波をマイクロ波の一部を用いて検波し、検波が行われた検波波形から検査試料の電子スピン共鳴信号を取得するＥＳＲ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子スピン共鳴装置（以下、ＥＳＲ装置と称する）では、高感度および高安定度の測定を実現するために、ＡＦＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）回路が用いられる。
【０００３】
このＡＦＣ回路は、ＥＳＲ装置の高いＱ値を有する空洞共振器に、ＦＭ変調されたマイクロ波を入力し、空洞共振器の共振周波数とこのマイクロ波の中心周波数を一致させる。空洞共振器内部には、検査試料が配設されている。ここで、ＡＦＣ回路は、７０ｋＨｚのＦＭ変調信号により、マイクロ波の周波数をＦＭ変調する。そして、空洞共振器から出力されるこのマイクロ波の反射波は、この７０ｋＨｚで振動する周波数成分を有し、この周波数成分の振幅の大きさは、マイクロ波の中心周波数と空洞共振器の共振周波数とのずれを反映したものとなる。ここで、ＡＦＣ回路は、この振幅の大きさに基づいて、入力されるマイクロ波の中心周波数を補正し、共振周波数と一致させる（例えば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】大矢博昭、山内淳、「電子スピン共鳴」、講談社、１９８９年９月２０日、ｐ．２５―３３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記背景技術によれば、ＡＦＣ回路によりマイクロ波の中心周波数が変化される場合に、空洞共振器の反射波から取り出される電子スピン共鳴信号も変化する。すなわち、電子スピン共鳴信号に含まれる直流のベースライン成分は、反射波のＦＭ変調成分の振幅に比例する大きさの成分を含み、マイクロ波の中心周波数の変化により変化する誤差を含んだものとなる。
【０００５】
特に、検査試料によっては、誘電損失等による発熱あるいは環境温度の変化により、空洞共振器の共振周波数が大きく変化する。そして、ＡＦＣ回路によるマイクロ波の中心周波数と空洞共振器の共振周波数との一致が取れないＡＦＣバランスが崩れた場合が生じる。このＡＦＣバランスが崩れた場合には、反射波に含まれるＦＭ変調周波数成分の振幅が大きく変化するものとなる。その結果、電子スピン共鳴信号は、ベースライン成分に大きくしかも変化する誤差を含んだものとなる。
【０００６】
これらのことから、ＡＦＣバランスが崩れた際に、電子スピン共鳴信号に生じるベースライン変動を低減させるＥＳＲ装置をいかに実現するかが重要となる。
この発明は、上述した背景技術による課題を解決するためになされたものであり、ＡＦＣバランスが崩れた際に、電子スピン共鳴信号に生じるベースライン変動を低減させるＥＳＲ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するためにＥＳＲ装置は、検査試料を含む空洞共振器にマイクロ波を入力し、前記空洞共振器の反射波を前記マイクロ波の一部を用いて検波し、前記検波が行われた検波波形から前記検査試料の電子スピン共鳴信号を取得するＥＳＲ装置であって、前記マイクロ波の発振周波数を電圧により制御する高周波発振器と、前記電圧に、前記マイクロ波をＦＭ変調させる交流電圧および前記マイクロ波の中心周波数を調整する直流バイアス電圧を加算し、前記検波波形に含まれる前記ＦＭ変調と同一のＦＭ周波数成分を抽出し、前記ＦＭ周波数成分の振幅の大きさに基づいて前記直流バイアス電圧を制御するＡＦＣ回路と、前記直流バイアス電圧を用いて、前記電子スピン共鳴信号の補正を行う共鳴信号補正手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
この請求項１に記載の発明では、共鳴信号補正手段により、ＡＦＣ回路の直流バイアス電圧を用いて、電子スピン共鳴信号に含まれるＦＭ変調成分の補正を行う。
また、請求項２に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項１に記載のＥＳＲ装置において、前記ＡＦＣ回路が、前記ＦＭ周波数成分から前記直流バイアス電圧を出力するロックインアンプを備えることを特徴とする。
【０００９】
この請求項２に記載の発明では、ＡＦＣ回路は、ロックインアンプにより、高い精度でＦＭ変調成分の振幅の大きさを検出する。
また、請求項３に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項１または２に記載のＥＳＲ装置において、前記ＥＳＲ装置が、前記検査試料に印加される磁場を磁場変調する磁場変調手段を備えることを特徴とする。
【００１０】
この請求項３に記載の発明では、磁場変調手段により、磁場変調を行い、検査資料の電子スピン共鳴周波数を変化させる。
また、請求項４に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項３に記載のＥＳＲ装置において、前記ＥＳＲ装置が、前記検波波形から前記磁場変調と同一の磁場変調周波数成分を抽出し、前記磁場変調周波数成分の振幅の大きさを求める共鳴信号抽出部を備えることを特徴とする。
【００１１】
この請求項４に記載の発明では、共鳴信号抽出部により、反射波から磁場変調周波数成分の振幅を求める。
また、請求項５に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項４に記載のＥＳＲ装置において、前記共鳴信号抽出部が、前記振幅の大きさに比例する直流電圧を出力するロックインアンプを備えることを特徴とする。
【００１２】
この請求項５に記載の発明では、共鳴信号抽出部は、ロックインアンプにより、高い精度で磁場変調周波数成分の振幅の大きさを検出する。
また、請求項６に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項５に記載のＥＳＲ装置において、前記共鳴信号補正手段が、前記直流電圧に前記直流バイアス電圧を加算する加算手段を備えることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項７に記載の発明にかかるＥＳＲ装置は、請求項６に記載のＥＳＲ装置において、前記共鳴信号補正手段が、前記加算の際に、前記直流バイアス電圧の大きさを調整する利得調整手段を備えることを特徴とする。
【００１５】
この請求項７に記載の発明では、利得調整手段により、補正の量を最適なものとする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、共鳴信号補正手段により、ＡＦＣ回路の直流バイアス電圧を用いて、電子スピン共鳴信号に含まれるＦＭ変調成分の補正を行うこととしているので、ＦＭ変調に起因する電子スピン共鳴信号のベースライン変動を無くし、ひいては高い信頼性の電子スピン共鳴信号を取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかるＥＳＲ装置を実施するための最良の形態について説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
まず、本実施の形態にかかるＥＳＲ装置２の全体構成について説明する。図２は、ＥＳＲ装置２の全体構成を示すブロック図である。ＥＳＲ装置２は、検査試料１、高周波発振器１０、方向性結合器３０、移相器５０、サーキュレータ４０、空洞共振器９０、マグネット１００、コイル８０、磁場変調手段１２０、ミキサー６０、増幅器６１、ＥＳＲ信号抽出部７０、記録部１１０、ＡＦＣ回路２０および共鳴信号補正手段２１を含む。
【００１８】
高周波発振器１０は、ＡＦＣ回路２０からの入力電圧に比例する周波数で、一定振幅のマイクロ波を発生する。ここで、高周波発振器１０は、ガン発振器等を用いて構成される。なお、発生されるマイクロ波は、９ＧＨｚ近傍の周波数を有し、サーキュレータ４０に入力される。
【００１９】
方向性結合器３０は、サーキュレータ４０に入力されるマイクロ波の進行波を抽出し、移相器５０に入力する。移相器５０は、抽出されたマイクロ波の位相を遅らせ、サーキュレータ４０から出力される反射波と位相を一致させる。
【００２０】
サーキュレータ４０は、例えば３つの開口部を有するＹ字型の導波管からなり、各開口部から入射したマイクロ波は、隣接する一方の開口部、例えば右側の開口部に出力される。ここで、サーキュレータ４０に高周波発振器１０から入力されたマイクロ波は、空洞共振器９０に入力される。また、空洞共振器９０からのこのマイクロ波の反射波は、ミキサー６０に出力される。
【００２１】
空洞共振器９０は、入力されたマイクロ波を用いて、内部に載置される検査試料１に高周波磁場を印加し、検査試料１を電子スピン共鳴状態とする。なお、検査試料１を含む空洞共振器９０は、マグネット１００により発生される静磁場中に存在し、検査試料１の電子状態を、ゼーマン分裂した２状態系とする。また、空洞共振器９０およびマグネット１００の間には、コイル８０が存在する。
【００２２】
コイル８０は、検査試料１に変動磁場を印加する。この変動磁場により、検査試料１の電子スピン共鳴周波数を変化させ、電子スピン共鳴信号を取得する。なお、コイル８０で形成される変動磁場は、磁場変調手段１２０からの電流信号により駆動および制御され、１００ｋＨｚの変調周波数を有する。
【００２３】
空洞共振器９０で反射されたマイクロ波は、サーキュレータ４０を介してミキサー６０に入力される。ミキサー６０は、反射波を移相器５０の出力を用いて検波し、増幅器６１は、ミキサー６０の出力を増幅する。これにより、反射波は、マイクロ波成分が除去され、上述した変動磁場の１００ｋＨｚ成分および後述するＡＦＣ回路の７０ｋＨｚ成分が残留される。
【００２４】
ＥＳＲ信号抽出部７０は、ミキサー６０の出力から、電子スピン共鳴信号を抽出する。電子スピン共鳴信号には、様々の形態が存在するが、例えば、ミキサー６０の出力から１００ｋＨｚの磁場変調周波数成分を取り出し、この周波数で検波を行うことにより微分型の共鳴信号が取得される。
【００２５】
記録部１１０は、ＥＳＲ信号抽出部７０で取得された電子スピン共鳴信号を、レコーダ等に記録したり、あるいはＬＣＤ等に表示する。
ＡＦＣ回路２０は、空洞共振器９０に入力されるマイクロ波の中心周波数を、空洞共振器９０の共振周波数に一致させる。また、共鳴信号補正手段２１は、ＡＦＣ回路２０によるＦＭ変調に付随してＥＳＲ信号抽出部７０の出力に生じるベースライン成分を補正する。
【００２６】
図２は、ＡＦＣ回路２０、共鳴信号補正手段２１およびＥＳＲ信号抽出部７０の詳細を示すブロック図である。ＡＦＣ回路２０は、ＦＭ発振器２４、増幅器２３、バンドパスフィルタ２８、増幅器２７、ＰＳＤ２６、ローパスフィルタ２５および加算器２２を含む。
【００２７】
高周波発振器１０は、上述した様に入力電圧に比例した周波数を有する、一定振幅のマイクロ波を発生する。ここで、入力電圧は、マイクロ波の中心周波数を決定する直流バイアス電圧成分と、ＦＭ変調成分とからなる。ここで、直流バイアス電圧成分は、ロックインアンプ２９の出力電圧で、後述するＦＭ変調されたマイクロ波の空洞共振器９０からのの反射波に基づいて決定される、空洞共振器９０の共振周波数およびマイクロ波の中心周波数のずれを反映する量である。
【００２８】
ＦＭ発振器２４は、高周波発振器１０で発生されるマイクロ波のＦＭ変調を行う際に用いられる７０ｋＨｚの交流電圧信号を発生する。この交流電圧信号は、増幅器２３で増幅され加算器２２に入力される。そして、この交流電圧信号は、高周波発振器１０の入力電圧のＦＭ変調成分として用いられる。
【００２９】
バンドパスフィルタ２８は、７０ｋＨｚ成分を通過させる帯域フィルタで、増幅器６１の出力からＦＭ変調成分である７０ｋＨｚ成分のみを取り出す。この７０ｋＨｚ成分の振幅は、後述するように空洞共振器９０の共振周波数およびマイクロ波の中心周波数のずれを反映している。
【００３０】
ＰＳＤ２６は、フェーズディテクタ（Ｐｈａｓｅ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）とも呼ばれる乗算器である。ここで、増幅器２７は、この７０ｋＨｚ成分を増幅し、ＰＳＤ２６およびローパスフィルタ２５は、この７０ｋＨｚ成分を、ＦＭ発振器２４の出力を用いて検波し、７０ｋＨｚ成分の振幅に比例する直流バイアス電圧を生成する。なお、バンドパスフィルタ２８、増幅器２７、ＰＳＤ２６およびローパスフィルタ２５は、ＦＭ発振器２４の出力を参照波とする、いわゆるロックインアンプ２９を構成する。そして、ローパスフィルタ２５の出力である直流バイアス電圧成分は、抵抗アレイを含む加算器２２に入力されＦＭ変調成分に電流加算される。
【００３１】
ＥＳＲ信号抽出部７０は、バンドパスフィルタ７１、増幅器７５、ＰＳＤ７２、ローパスフィルタ７３および加算器７４を含む。バンドパスフィルタ７１は、１００ｋＨｚ成分を通過させる帯域フィルタで、増幅器６１の出力から磁場変調周波数成分である１００ｋＨｚ成分のみを取り出す。この磁場変調周波数成分の振幅は、電子スピン共鳴信号を含んでいる。そして、増幅器７５は、この磁場変調周波数成分を増幅し、ＰＳＤ７２に出力する。
【００３２】
ＰＳＤ７２は、ＰＳＤ２６と同様のフェーズディテクタと呼ばれる乗算器である。ここで、ＰＳＤ７２およびローパスフィルタ７３は、上述した１００ｋＨｚ成分を磁場変調手段１２０からの参照波を用いて検波し、磁場変調周波数成分の振幅に比例する直流電圧であるベースライン成分を取得する。この直流電圧は、加算器７４に入力され、さらに記録部１１０に送られる。なお、バンドパスフィルタ７１、増幅器７５、ＰＳＤ７２およびローパスフィルタ７３は、磁場変調手段１２０の出力を参照波とする、いわゆるロックインアンプを構成する。
【００３３】
また、このベースライン成分の直流電圧には、空洞共振器９０の反射波に含まれる７０ｋＨｚのＦＭ変調成分も一部混入する。すなわち、バンドパスフィルタ７１による７０ｋＨｚ成分のフィルタリング特性は完全なものではなく、ＦＭ変調成分の振幅に比例する大きさの直流電圧がベースライン成分に含まれる。そして、この成分は、電子スピン共鳴信号の誤差となる。
【００３４】
共鳴信号補正手段２１は、可変利得増幅器２９および抵抗アレイを含む加算器７４を含み、ローパスフィルタ２５の出力である直流バイアス電圧成分に手動で利得調整を行った後に、ローパスフィルタ７３の出力と電流加算を行い、電子スピン共鳴信号を含むベースライン成分の補正を行う。
【００３５】
つぎに、ＡＦＣ回路２０を中心とする共鳴信号補正手段２１の動作について、図３を用いて説明する。図３は、ＡＦＣ回路２０によりマイクロ波にＦＭ変調を行う際に、空洞共振器９０へ入力されるマイクロ波および空洞共振器９０から出力される反射波の様子を模式的に示した図である。
【００３６】
図３は、横軸を入力されるマイクロ波の周波数、縦軸を空洞共振器９０から反射されるこのマイクロ波の出力信号として示した空洞共振器９０の共振曲線である。なお、共振曲線は共振周波数ｆｃに共振点を有し、出力信号としてはミキサー６０で検波された後の検波波形を意味している。また、横軸である周波数軸の上方には、空洞共振器９０に入力されるマイクロ波の複数の状態Ａ〜Ｅが示されている。
【００３７】
ここで、状態Ａ〜Ｅで示されている個々のＦＭ変調波は、各々、横軸を周波数、縦軸を時間とした周波数の時間変化を示している。そして、状態Ａ〜Ｅで示されている個々のＦＭ変調波形は、図に示すように周波数が７０ｋＨｚで振動するマイクロ波である。
【００３８】
また、状態Ａ〜Ｅで示されている個々のＦＭ変調波形は、ローパスフィルタ２５の出力である直流バイアス電圧が異なる場合を示している。ここで、状態Ａ〜Ｅは、直流バイアス電圧が大きいものから小さいものを順次示しており、従ってＦＭ変調波形の中心周波数ｆ0が高いものから低いものへ順次低下する場合を示している。
【００３９】
また、上述した状態Ａ〜Ｅのマイクロ波が入力された空洞共振器９０から反射される出力波形は、図３の縦軸である出力信号軸の左横に示されている。ここで、空洞共振器９０に入力したマイクロ波に対する反射出力波形は、空洞共振器９０の共振曲線に基づいて決定される。
【００４０】
状態Ａのマイクロ波が空洞共振器９０に入力した場合には、マイクロ波は、中心周波数ｆ0が共振曲線の共振周波数ｆCから大きく離れ、共振曲線の勾配が小さい部分にあるので、ＦＭ変調による周波数変動に起因する反射波形の振幅変化は小さくなる。
【００４１】
また、状態Ｂのマイクロ波が空洞共振器９０に入力した場合には、マイクロ波は、中心周波数ｆ0が共振曲線の共振周波数ｆCから若干離れ、共振曲線の勾配が大きい部分にあるので、ＦＭ変調による周波数変動に起因する反射波形の振幅変化は大きくなる。
【００４２】
また、状態Ｃのマイクロ波が空洞共振器９０に入力した場合には、マイクロ波は、中心周波数ｆ0が共振曲線の共振周波数ｆCと一致し、共振曲線の勾配が小さい部分にあるので、ＦＭ変調による周波数変動に起因する反射波形の振幅変化は小さくなる。
【００４３】
また、状態Ｄおよび状態Ｅのマイクロ波が空洞共振器９０に入力した場合には、状態Ｂおよび状態Ａのマイクロ波が入力した場合と出力波形の位相を除いて同様のものとなる。なお、出力波形は、入力されたマイクロ波のＦＭ変調周波数の変化と同一の７０ｋＨｚの周波数を有する。
【００４４】
従って、ＡＦＣ回路は、ロックインアンプ２９を構成するバンドパスフィルタ２８、増幅器２７、ＰＳＤ２６およびローパスフィルタ２５を用いて、空洞共振器９０の出力信号である反射波形の振幅に比例する直流バイアス電圧を取り出すことにより、入力されるマイクロ波の中心周波数ｆ0と、空洞共振器９０の共振周波数ｆｃのずれを求めることができる。また、ＡＦＣ回路は、直流バイアス電圧をこのずれを補正する電圧極性で加算器２２を介して高周波発振器１０に入力し、高周波発振器１０で発生されるマイクロ波の中心周波数ｆ0と、共振周波数ｆCとが近似する値とする。
【００４５】
一方、共鳴信号補正手段２１は、ＦＭ変調を行った際の反射波形の振幅に比例する直流バイアス電圧を、磁場変調を行った際の反射波形の振幅に比例する電子スピン共鳴信号、すなわちＥＳＲ信号抽出部７０のローパスフィルタ７３から出力される直流電圧に、利得調整の後に加算する。これにより、電子スピン共鳴信号に含まれるＦＭ変調に起因するベースライン成分、特にマイクロ波の中心周波数ｆ0と空洞共振器９０の共振周波数ｆｃとが大きく異なるＡＦＣバランスが崩れた際に発生するベースライン成分の変動であるＡＦＣリークを補正する。なお、マイクロ波の中心周波数ｆ0と空洞共振器９０の共振周波数ｆｃとが近似するＡＦＣバランスが崩れていない場合には、図３の状態Ｃに示す様に、反射波の振幅は小さく、ベースライン成分へのＦＭ変調による誤差の寄与は小さい。
【００４６】
上述してきたように、本実施の形態では、空洞共振器９０により入力されるマイクロ波の中心周波数ｆｏと空洞共振器９０の共振周波数ｆｃとをＦＭ変調により一致させる際に用いられる、ローパスフィルタ２５の出力である直流バイアス電圧を、共鳴信号補正手段２１により、ローパスフィルタ７３の出力である直流電圧に加算することとしているので、電子スピン共鳴信号に含まれるＦＭ変調に起因するベースライン成分の変動を除去し、信頼性の高い電子スピン共鳴信号を取得することができる。
【００４７】
また、本実施の形態では、直流バイアス電圧をローパスフィルタ７３の出力に加算することとしたが、ＰＳＤ７２で参照波と乗算を行う前のバンドパスフィルタ７１の出力に加算することもできる。
【００４８】
また、本実施の形態では、可変利得増幅器２９の利得は手動により調整することとしたが、自動で調整することもできる。例えば、記録部１１０に出力される電子スピン共鳴信号をＡ／Ｄ変換されたデジタル情報として取り込み、検査試料を含む空洞共振器９０の共振曲線を取得する。そして、この共振曲線のＱ値に基づいて、可変利得増幅器２９の利得を自動で調整する。これにより、異なる検査試料ごとのベースライン成分の変動を、自動的に補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施の形態のＡＦＣ回路、ＥＳＲ信号抽出部および補正手段の詳細を示すブロック図である。
【図２】ＥＳＲ装置の全体構成を示すブロック図である。
【図３】空洞共振器に入力されるＦＭ変調されたマイクロ波および反射波である出力信号の関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  検査試料
２  ＥＳＲ装置
１０  高周波発振器
２０  ＡＦＣ回路
２１  共鳴信号補正手段
２２、７４  加算器
２３、２７、６１、７５  増幅器
２４  ＦＭ発振器
２５、７３  ローパスフィルタ
２６，７２  ＰＳＤ
２８、７１  バンドパスフィルタ
２９  ロックインアンプ
２９  可変利得増幅器
３０  方向性結合器
４０  サーキュレータ
５０  移相器
６０  ミキサー
７０  ＥＳＲ信号抽出部
８０  コイル
９０  空洞共振器
１００  マグネット
１１０  記録部
１２０  磁場変調手段
【図１】
0004791128.tif 000002
【図２】
0004791128.tif 000003
【図３】
0004791128.tif 000004