(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理容器内に配置されたシリコン基板に対して，プラズマを用いて窒化処理又は酸化処理を行うプラズマ処理装置であって，
プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に，前記シリコン基板の形状に対応した領域内に配置された多数の開口部を有する仕切り板が配置され，
前記仕切り板は石英又はアルミナからなり，各開口部がスリット状である場合，開口面積は，１３ｍｍ２〜４５０ｍｍ２であり，各開口部が円形の場合，直径は，２．５ｍｍ〜１０ｍｍであり，
前記開口部を通過したガスのガス流速を，前記シリコン基板表面において１ｅ−２（ｍ・ｓｅｃ−１）〜１ｅ＋１（ｍ・ｓｅｃ−１）となるように制御する制御手段を有することを特徴とする，プラズマ処理装置。
【請求項２】
前記仕切り板の厚さは，３ｍｍ〜７ｍｍであることを特徴とする，請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記シリコン基板表面における電子密度が１ｅ＋７（個・ｃｍ−３）〜１ｅ＋９（個・ｃｍ−３）となるように制御する制御手段を有することを特徴とする，請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
処理容器内に配置されたシリコン基板に対して，プラズマを用いて窒化処理又は酸化処理を行うプラズマ処理装置であって，
プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に，開口部を有する仕切り板が配置され，
前記仕切り板は石英又はアルミナからなり，
前記仕切り板の厚さは，３ｍｍ〜７ｍｍであり，各開口部がスリット状である場合，開口面積は，１３ｍｍ２〜４５０ｍｍ２であり，各開口部が円形の場合，直径は，２．５ｍｍ〜１０ｍｍであり，
前記シリコン基板表面における電子密度が１ｅ＋７（個・ｃｍ−３）〜１ｅ＋９（個・ｃｍ−３）となるように制御し，前記開口部を通過したガスのガス流速を，前記シリコン基板表面において１ｅ−２（ｍ・ｓｅｃ−１）〜１ｅ＋１（ｍ・ｓｅｃ−１）となるように制御する制御手段を有することを特徴とする，プラズマ処理装置。
【請求項５】
前記仕切り板の位置は，前記シリコン基板の表面から２０〜４０ｍｍ上方であることを特徴とする，請求項１または４のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記仕切板における各開口部の径は，全て同一であることを特徴とする，請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記仕切板における中央部の開口部の径は，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さいことを特徴とする，請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記仕切板における中央部の開口部の径は，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きいことを特徴とする，請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
多数の孔が形成され，アンテナとして機能するスロット板を有することを特徴とする，請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は，プラズマを用いてシリコン基板を窒化処理したり，あるいは酸化処理するプラズマ処理装置に関するものである。
発明の背景
プラズマを用いたシリコン基板の窒化処理に際しては，例えば，マイクロ波励起されたアルゴンあるいはクリプトンのような希ガスプラズマ中に，窒素あるいは窒素と水素，あるいはＮＨ３ガスのような窒素を含んだガスを導入する。これにより，ＮラジカルあるいはＮＨラジカルを発生させ，シリコン酸化膜表面を窒化膜に変換する。また，シリコン基板表面をマイクロ波プラズマにより直接に窒化する方法もある。
従来の装置及び方法によると，シリコン酸化膜（シリコン基板）上に入射したイオンにより，下地膜（Ｓｉ
，ＳｉＯ２）又は，成膜している膜（ＳｉＮ）がダメージを受けることがある。膜のダメージにより，基板が劣化し，リーク電流の増大，界面特性の劣化によるトランジスタ特性の劣化等の不都合を招く場合がある。
また，別の問題として，シリコン酸化膜とシリコン窒化膜との界面への酸素の拡散により，シリコン窒化膜の膜厚が必要以上に増大することがあった。
発明の開示
本発明は，上記のような状況に鑑みてなされたものであり，シリコン基板（シリコン酸化膜）及び窒化膜の劣化を効果的に抑制可能なプラズマ処理装置を提供することを第１の目的とする。
また，シリコン窒化膜の膜厚増大を効果的に抑制可能なプラズマ処理装置を提供することを第２の目的とする。
上記目的を達成するために，本発明の第１の態様に係るプラズマ処理装置は，プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に，前記シリコン基板の形状に対応した領域内に配置された多数の開口部を有する仕切り板が配置され，前記仕切り板は石英又はアルミナからなり，各開口部がスリット状である場合，開口面積は，１３ｍｍ２〜４５０ｍｍ２であり，各開口部が円形の場合，直径は，２．５ｍｍ〜１０ｍｍであり，前記開口部を通過したガスのガス流速を，前記シリコン基板表面において１ｅ−２（ｍ・ｓｅｃ−１）〜１ｅ＋１（ｍ・ｓｅｃ−１）となるように制御する制御手段を有することを特徴としている。
このように処理容器内に仕切り板を配置することにより，シリコン基板上に到達するイオンエネルギーが緩和され，シリコン基板や窒化膜自体へのダメージを効果的に抑制可能となる。また，仕切り板の開口部を透過してシリコン基板に達したガスの基板上での流速が増すことになり，シリコン基板表面の酸素分圧が低下し，窒化膜からシリコン基板の表面側に抜ける酸素の量が増加する。その結果，窒化膜の厚さ増大を効果的に抑制可能となる。
仕切り板としては，シリコン基板の形状に対応した領域内に配置された多数の開口部を有するものを使用し，この際，各開口部がスリット状である場合，開口面積は，１３ｍｍ２〜４５０ｍｍ２，各開口部が円形の場合，直径は，２．５ｍｍ〜１０ｍｍであるため，ガス流速を１ｅ−２（ｍ・ｓｅｃ−１）〜１ｅ＋１（ｍ・ｓｅｃ−１）となるように制御することができる。したがって，上述のように，シリコン基板上のガス流速が増すと，シリコン基板表面の酸素分圧が低下し，窒化膜からシリコン基板の表面側に抜ける酸素の量が増加する。その結果，窒化膜の厚さ増大を効果的に抑制することができる。この際，前記仕切り板の厚さは，３ｍｍ〜７ｍｍ，仕切り板の位置は，シリコン基板の表面から２０〜４０ｍｍ上方とすることが好ましい。
また，シリコン基板表面における電子密度が１ｅ＋７（個・ｃｍ−３）〜１ｅ＋９（個・ｃｍ−３）となるように制御する制御手段を有していてもよい。
また開口部の大きさについていうと，各開口部は全て同一の大きさであってもよいが，前記仕切板における中央部の開口部の径を，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さく設定してもよい。これによって，シリコン基板の中央部の窒化膜の厚さ増大を，その外側よりもさらに抑制することができる。例えば中央部の開口部の直径を９．５ｍｍ，該中央部の外側に位置する開口部の直径を１０ｍｍとすることができる。さらにまた前記仕切板における中央部の開口部の径を，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きく設定した場合には，シリコン基板の中央部の窒化膜の厚さ増大を，その外側よりも促進することができる。
また本発明は，プラズマを用いて酸化処理する装置にも適用できる。すなわち，処理容器内に配置されたシリコン基板に対して，プラズマを用いて酸化処理を行うプラズマ処理装置において，プラズマ発生部と前記シリコン基板との間に，開口部を有する仕切板が配置された装置も提案できる。この場合も，仕切板における中央部の開口部の径は，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも小さく設定してもよい。例えば中央部の開口部の直径は２ｍｍ，該中央部の外側に位置する開口部の直径は２．５ｍｍに設定してもよい。さらにまたその逆に仕切板における中央部の開口部の径を，該中央部の外側に位置する開口部の径よりも大きく設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
図１は，本発明の実施例に係るプラズマ処理装置の構成を示す概略図である。
図２は，実施例に使用されるプラズマバッフルプレートの平面図である。
図３の（Ａ）〜（Ｃ）は，実施例のプラズマ処理工程の一部を示す概略図である。
図４は，窒化処理の時間の経過に伴う膜中の窒素含有割合の変化を示すグラフである。
図５は，処理圧力の変化に伴う電子密度の変化を示すグラフである。
図６は，処理圧力の変化に伴う電子温度の変化を示すグラフである。
図７は，開口部の大きさが中央部とその外周とでは異なったプラズマバッフルプレートの平面図である。
発明を実施するための最良の形態
図１は，本発明の実施例に係るプラズマ処理装置１０の概略構成を示す。プラズマ処理装置１０は，被処理基板としてのシリコンウエハＷを保持する基板保持台１２が形成された処理容器１１を有し，処理容器１１内の空気（ガス）は排気ポート１１Ａ，１１Ｂを介して排気される。なお，基板保持台１２は，シリコンウエハＷを加熱するヒータ機能を有している。
処理容器１１の上方は，基板保持台１２上のシリコンウエハＷに対応して開口部が形成されている。この開口部は，石英やＡｌ２Ｏ３からなる誘電体板１３によって塞がれている。誘電体板１３の上（外側）には，アンテナとして機能するスロット板１４が配置されている。このスロット板１４は，導電性を有する材質，たとえば銅の薄い円板からなり，多数の長孔１４ａが形成されている。これら長孔１４ａは，全体として同心円状，あるいは略渦巻状に配列されている。
スロット板１４の上（外側）には，石英，アルミナ，窒化アルミニウム等からなる誘電体板１５が配置されている。この誘電体板１５は，遅波板又は波長短縮板と呼ばれることがある。誘電体板１５の上（外側）には，冷却プレート１６が配置されている。冷却プレート１６の内部には，冷媒が流れる冷媒路１６ａが設けられている。また，処理容器１１の上端中央には，マイクロ波供給装置１７で発生させた例えば２．４５ＧＨｚのマイクロ波を導入する同軸導波管１８が設けられている。
処理容器１１内のシリコンウエハＷの上方には，石英，アルミナ又は金属からなる，仕切板としてのプラズマバッフルプレート２０が配置される。プラズマバッフルプレート２０は，処理容器１１の内壁に設けられた石英製のライナー２１によって保持されている。プラズマバッフルプレート２０の詳細については，後述する。基板保持台１２の周囲には，アルミニウムからなるガスバッフル板２６が配置されている。ガスバッフル板２６の下面には石英カバー２８が設けられている。
処理容器１１の内壁には，ガスを導入するためのガスノズル２２が設けられている。ガスノズルから供給されるガスの流量は，マスフローコントローラ２３によって制御される。処理容器１１の内壁の内側には，容器全体を囲むように冷媒流路２４が形成されている。
図２は，プラズマバッフルプレート２０の構造を示す。プラズマバッフルプレート２０は，厚さ３ｍｍ〜７ｍｍ（例えば，約５ｍｍ）の円盤状のプレートの中央付近に多数の開口部２０ａを形成することによって構成される。なお，図中の開口部２０ａの大きさ，配置等は模式的に示したものであり，実際に使用するものとは異なる場合があることは言うまでもない。
プラズマバッフルプレート２０は，例えば，石英，アルミニウム，アルミナ，シリコン，金属等から成形することができる。プラズマバッフルプレート２０の位置は，シリコンウエハＷの表面から高さＨ２（２０ｍｍ〜５０ｍｍ，例えば３０ｍｍ）とし，シャワープレート１４の下面から距離Ｈ１（４０ｍｍ〜１１０ｍｍ，例えば８０ｍｍ）とする。プラズマバッフルプレート２０がシリコンウエハＷ表面に近すぎると，均一な酸化・窒化処理の妨げになる。一方，プラズマバッフルプレート２０がシリコンウエハＷの表面から遠すぎると，プラズマ密度が低下し，酸化・窒化が進行し難くなる。
直径約２００ｍｍのシリコンウエハＷを処理する場合には，プラズマバッフルプレート２０の直径Ｄ１を３６０ｍｍ，開口部２０ａが配置される領域の直径Ｄ２を２５０ｍｍとすることができる。直径約３００ｍｍのシリコンウエハＷを扱う場合には，ウエハの大きさに応じて，Ｄ１，Ｄ２の大きさを適宜変更する。また，シリコンウエハＷ表面の均一な処理を図るため，Ｄ２の値は，プラズマバッフルプレート２０のシリコンウエハＷからの距離Ｈ２に応じて設定することが好ましいが，例えば１５０mm以上あることが好ましい。
プラズマバッフルプレート２０に形成される開口部２０ａの直径としては，２．５ｍｍ〜１０ｍｍに設定することができる。例えば，開口部２０ａの直径を２．５ｍｍとした場合には，その数は，１０００〜３０００程度とすることができる。また，開口部２０ａの直径を５．０ｍｍ又は１０．０ｍｍとした場合には，その数は，３００〜７００程度とすることができる。開口部２０ａの成形にはレーザ加工法を採用することができる。なお，開口部２０ａの形状は円形に限らず，スリット状であってもよい。この時，各開口部２０ａの開口面積を３ｍｍ２〜４５０ｍｍ２とすることが好ましい。開口部２０ａの開口面積が大きすぎると，イオン密度が高くなり，ダメージを低減できない。一方，開口面積が小さすぎると，プラズマ密度が低下し，酸化・窒化が進行し難くなる。また，開口部２０ａの開口面積は，プラズマバッフルプレート２０の厚さを考慮して設定することが好ましい。
上記のような構成のプラズマ処理装置１０を用いてプラズマ処理を行う際には，まず，排気ポート１１Ａ，１１Ｂを介して処理容器１１内部の排気が行われ，処理容器１１が所定の処理圧に設定される。その後，ガスノズル２２からアルゴン，Ｋｒ等の不活性ガスと共に酸化ガスや窒化ガスが導入される。
また，同軸導波管１８を通って供給される周波数が，数ＧＨｚ，例えば２．４５ＧＨｚのマイクロ波を，誘電体板１５，スロット板１４，誘電体板１３を介して処理容器１１中に導入する。処理容器１１内での高密度マイクロ波プラズマ励起によって形成されたラジカルは，プラズマバッフルプレート２０を介してシリコンウエハＷの表面に達する。シリコンウエハＷに到達したラジカル（ガス）は，ウエハ表面に沿って径方向（放射方向）に流れ，速やかに排気される。これにより，ラジカルの再結合が抑制され，効率的で非常に一様な基板処理が，低温において可能になる。
図３（Ａ）〜（Ｃ）は，図１のプラズマ処理装置１０を使った本実施例による基板処理プロセスを示す。
シリコン基板３１（シリコンウエハＷに対応）を処理容器１１中に導入し，ガスノズル２２からＫｒと酸素の混合ガスを導入する。このガスをマイクロ波プラズマで励起することにより原子状酸素（酸素ラジカル）Ｏ＊が形成される。そうすると，図３（Ａ）に示すように，かかる原子状酸素Ｏ＊は，プラズマバッフルプレート２０を介してシリコン基板３１の表面に達する。
原子状酸素によってシリコン基板３１の表面を処理することにより，図３（Ｂ）に示すように，シリコン基板３１の表面に厚さが１．６ｎｍのシリコン酸化膜３２が形成される。このようにして形成されたシリコン酸化膜３２は，４００℃程度の非常に低い基板温度で形成されたにもかかわらず，１０００℃以上の高温で形成された熱酸化膜に匹敵するリーク電流特性を有する。
次に，図３（Ｃ）に示す工程において，処理容器１１中にアルゴンと窒素の混合ガスを供給し，基板温度を４００℃に設定してマイクロ波を供給することによりプラズマを励起する。
図３（Ｃ）の工程では，処理容器１１の内圧を０．７Ｐａに設定し，アルゴンガスを例えば１０００ＳＣＣＭの流量で，また窒素ガスを例えば４０ＳＣＣＭの流量で供給する。その結果，シリコン酸化膜３２の表面がシリコン窒化膜３２Ａに変換される。なお，シリコン酸化膜３２は，熱酸化膜であってもよい。
図３（Ｃ）の工程は，２０秒間以上，例えば４０秒間継続され，その結果，シリコン窒化膜３２Ａは成長し，ターンアラウンド点を過ぎるとシリコン窒化膜３２Ａの下のシリコン酸化膜３２中の酸素がシリコン基板３１中に侵入を開始する。
本実施例においては，処理容器１１内にプラズマバッフルプレート２０を配置しているため，シリコンウエハＷ上に到達するイオンエネルギーとプラズマ密度が減少する。具体的には，シリコンウエハＷ表面における電子密度が１ｅ＋７（個・ｃｍ−３）〜１ｅ＋９（個・ｃｍ−３）となるように制御される。これにより，シリコン酸化膜３２や窒化膜３２Ａへのダメージを与えると思われるイオン密度が減少し，シリコン酸化膜３２や窒化膜３２Ａへのダメージが緩和される。
シリコンウエハＷの表面の電子密度を制御する場合，例えば（ａ）プラズマバッフルプレート２０の径を小さくする，（ｂ）プラズマバッフルプレート２０とウエハＷ表面との間隔を大きくする，（ｃ）ラズマバッフルプレート２０の厚さを大きくする，ことにより電子密度を下げることができる。
また，プラズマバッフルプレート２０の開口部２０ａを通過してシリコンウエハＷに達したガスは，ウエハＷ上での流速が増加する。具体的には，シリコンウエハＷ表面におけるガス流速が１ｅ−２（ｍ・ｓｅｃ−１）〜１ｅ＋１（ｍ・ｓｅｃ−１）となるように制御される。その結果，シリコンウエハＷ表面の酸素分圧が低下し，窒化膜３２ＡからシリコンウエハＷの表面側に抜ける酸素の量が増加するため，窒化膜３２Ａの膜厚増大が緩和される。そのようなガス流速の制御は，開口部２０ａの大きさの調整によってなされ，小さくするほど流速は増加する。
さらにまたプラズマ処理装置１０は，スロット板１４を使用してマイクロ波によるプラズマを発生させているので，低いパワーで高密度のプラズマを発生させることができ，この点からも基板に対するダメージが極めて少ない処理を実施することが可能である。
次にプラズマ処理装置１０を用いて，シリコン基板に対して実際に窒化処理を行った結果を図４〜図６に示す。本発明の効果を明らかにするため，プラズマバッフルプレート２０を持たない従来のプラズマ処理装置との比較も併せて示されている。なお処理の条件は，次の通りである。
すなわち，基板温度は４００℃，マイクロ波のパワーは１５００Ｗ，処理容器内の圧力は５０〜２０００ｍＴｏｒｒ，窒素ガスの流量は４０〜１５０ｓｃｃｍ，アルゴンガスの流量は１０００〜２０００ｓｃｃｍである。
図４は，処理時間−膜中の窒素の割合を示しており，プラズマバッフルプレートを持たない従来の装置では，１０秒間に約３０％の窒素の割合増加をみるが，本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置によれば，時間の経過に伴う膜中の窒素の割合増加が緩やかである。したがって本発明の方が，窒化レートを制御しやすくなっている。
図５は，処理圧力を変えた際の電子密度の変化を示しており，本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置の方が，全ての圧力値で，従来よりも電子密度が低くなっていることが確認できる。したがって，本発明によれば，窒化膜に対するダメージを抑えることが確認できた。
図６は，処理圧力を変えた際の電子温度の変化を示しており，本発明のようにプラズマバッフルプレートを持った装置の方が，全ての圧力値で，従来よりも電子温度が低くなっていることが確認できる。したがって，本発明によれば，チャージアップに起因する基板に対するダメージを従来よりも抑えることが可能である。
なお前記した実施例で使用したプラズマバッフルプレート２０は，開口部２０ａの大きさが全て同一のものを使用したが，図７に示したように，直径Ｄ３で示される円形の中央部領域の開口部２０ｂの大きさを，直径Ｄ２で示されるその外側の領域の開口部２０ｂよりも小さく設定してもよい。例えば開口部２０ａの直径が１０ｍｍの場合，中央部の開口部２０ｂの直径は，それより小さい，例えば９．５ｍｍに設定してもよい。
このように中央部の開口部２０ｂの大きさを，その外側の領域に位置する開口部２０ａよりも小さくすることで，当該中央部を通過する窒素ラジカルの量を減少させることができ，それによって基板中央部での窒化を抑えることができる。したがって，例えば中央部の膜厚が増大するような傾向にある装置特性，処理特性があった場合には，図７に示したような中央部の開口部２０ｂの径が小さいプラズマバッフルプレート２０を使用することによって，中央部の膜厚の成長を抑制し，結果的に基板全体として均一な窒化処理を行ない，均一な膜厚を実現できる。
逆に中央部の開口部２０ｂの大きさを，その外側の領域に位置する開口部２０ａよりも大きくすると，当該中央部を通過する窒素ラジカルの量を他よりも増加させて基板中央部での窒化を促進させることができる。したがって，例えば中央部の膜厚が他よりも減少するような傾向にある装置特性，処理特性があった場合には，そのように中央部の開口部２０ｂの大きさが，その外側の領域に位置する開口部２０ａよりも大きいプラズマバッフルプレート２０を使用することで，均一な膜厚を実現できる。
またプラズマバッフルプレート２０自体の厚さを変化させることにより，窒化レートの制御できる。すなわちプラズマバッフルプレート２０の厚さを大きくすると窒化レートをより抑制することができる。
さらにまた前記実施の形態におけるプラズマ処理装置は，窒化処理を行う装置として構成されていたが，装置構成自体はそのままで，これを酸化処理の装置としても使用できる。
既述した窒化処理の場合と同様，プラズマバッフルプレートを採用することで，イオンエネルギーとイオン密度を減少させ，シリコン酸化膜へのダメージを緩和させることができる。
産業上の利用可能性
本発明は，半導体デバイスの製造工程における窒化膜，酸化膜の形成にとって非常に有効である。
【符号の説明】
１０  プラズマ処理装置
１１  プラズマ処理容器
１２  基板保持台
２０  プラズマバッフルプレート
２０ａ  開口部
３１  シリコン基板
３２  シリコン酸化膜
３２Ａ  シリコン窒化膜
Ｗ  シリコン基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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