(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光素子の発光面を基板の裏面に配設して固定し、その基板の表面に沿わせて光ファイバを配線し、この光ファイバに４５°ミラーを形成してこの光ファイバを上記光素子に光結合させる光配線部材の製造方法において、上記光ファイバを嵌め込み、その溝深さが上記光ファイバの直径より小さい角溝を少なくとも１本有し、その角溝を上記基板に向かせて上記基板の表面に重ねる光ファイバホルダを形成し、この光ファイバホルダを上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内するガイドを上記基板の表面に形成し、上記ガイドとして、上記光ファイバのダイシングされた先端に接して角溝長手方向の位置決めをする先端ストッパ部と、上記光ファイバホルダの角溝幅方向の端面に接して角溝幅方向の位置決めをする幅ストッパ部とを形成し、上記光ファイバを上記角溝に嵌め込んだ状態で上記光ファイバホルダを上記光ファイバと共にダイシングして上記光ファイバに上記４５°ミラーを形成し、この光ファイバホルダを上記基板の表面に重ね、その光ファイバホルダを上記ガイドにより上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内させて位置決めすることを特徴とする光配線部材の製造方法。
【請求項２】
上記光ファイバホルダに上記角溝を複数本平行に上記光素子の個数よりも多く形成し、光ファイバが光素子に結合されない位置の角溝にダミー光ファイバを嵌め込むことを特徴とする請求項１記載の光配線部材の製造方法。
【請求項３】
上記光ファイバホルダに上記角溝を複数本平行に上記光素子の個数よりも多く形成し、光ファイバが光素子に結合されない位置の角溝に電線を嵌め込むことを特徴とする請求項１又は２記載の光配線部材の製造方法。
【請求項４】
基板と、その基板の裏面に発光面が配設された光素子と、その基板の表面に沿わせて配線された光ファイバと、その光ファイバに形成され、その光ファイバを上記光素子に光結合させる４５°ミラーとを備えた光配線部材において、
上記光ファイバを嵌め込み、その溝深さが上記光ファイバの直径より小さい角溝を少なくとも１本有し、その角溝を上記基板に向かせて上記基板の表面に重ねられた光ファイバホルダと、
上記基板の表面に形成され、上記光ファイバホルダを上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内し、上記光ファイバのダイシングされた先端に接して角溝長手方向の位置決めをする先端ストッパ部と、上記光ファイバホルダの角溝幅方向の端面に接して角溝幅方向の位置決めをする幅ストッパ部とを有するガイドと、
上記光ファイバを上記角溝に嵌め込んだ状態で上記光ファイバホルダを上記光ファイバと共にダイシングして上記光ファイバに形成された上記４５°ミラーとを備えたことを特徴とする光配線部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低コストで精度の高い位置合わせが可能な光配線部材の製造方法及び光配線部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信機器やそれに用いる光トランシーバなどにおいて、発光素子や受光素子（以下、光素子と総称する）を搭載した基板に、その光素子に光結合された光ファイバを固定した部材（以下、光配線部材という）を作る場合がある。
【０００３】
光ファイバと光素子との光結合を確実に図る光配線部材の製造方法として、実際に光ファイバに光を伝送させ、その受光信号をモニタしながら位置調整を行うアクティブ方式と、視覚的な目印や機械的な位置決め手段を用いることで、実際に光を伝送させることなく位置を決めるパッシブ方式とがある。試行錯誤の工程が省かれているパッシブ方式のほうが量産に適している。
【０００４】
従来、パッシブ方式による光配線部材の製造方法として、特許文献１の方法、非特許文献１の方法が知られている。
【０００５】
特許文献１の方法では、シリコン基板に異方性エッチングで素子設置部位となる凹部と光ファイバを嵌め込むＶ溝を形成し、その凹部に光素子を実装し、Ｖ溝に光ファイバを嵌め込んで光素子に光ファイバ先端を突き当てて正しい位置に設置し、接着剤により固定する。
【０００６】
非特許文献１の方法では、あらかじめダイシングにより４５°ミラーを形成した光ファイバを、上部構造体に形成したＶ溝に嵌め込んで固定し、一方、下部構造体には光素子を固定し、上部構造体と下部構造体とを重ね合わせることにより、光素子が４５°ミラーを介して光ファイバと光結合するようにする。このとき、上部構造体と下部構造体との位置合わせのために、下部構造体に上部構造体のＶ溝と対向するＶ溝を形成し、これらＶ溝間に丸棒状のガイドピンを挟み込んでＶ溝幅方向の位置を合わせる。Ｖ溝長手方向はスライド調整することで、光ファイバと光素子をセミパッシブで位置合わせする。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−３３７７７７号公報
【非特許文献１】「１０Ｇｂ／ｓ×４ｃｈ光インターコネクションモジュールの新規実装構造」鈴木ほか、２００５年電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ大会報、２６５頁、２００５年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１の方法は、ＶＣＳＥＬ（面発光レーザ）と光ファイバとの接続が困難である。ＶＣＳＥＬは、他の光素子に比べてコストが安いため、光配線部材を安価にするには、ＶＣＳＥＬを採用するのが好適であるが、光ファイバとの接続が困難であるため、ＶＣＳＥＬを採用できない。
【０００９】
特許文献１の方法及び非特許文献１の方法は、いずれもＶ溝を必要とする。Ｖ溝はダイシングにより形成するため時間がかかる。Ｖ溝が長くなる、あるいはＶ溝の本数が多くなると、ダイシング時間は多大となる。
【００１０】
非特許文献１の方法は、Ｖ溝長手方向の位置合わせのために調心する必要がある。
【００１１】
また、非特許文献１の方法は、ガイドピンという余分な部材が必要になる。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、低コストで精度の高い位置合わせが可能な光配線部材の製造方法及び光配線部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために本発明の光配線部材の製造方法は、光素子の発光面を基板の裏面に配設して固定し、その基板の表面に沿わせて光ファイバを配線し、この光ファイバに４５°ミラーを形成してこの光ファイバを上記光素子に光結合させる光配線部材の製造方法において、上記光ファイバを嵌め込み、その溝深さが上記光ファイバの直径より小さい角溝を少なくとも１本有し、その角溝を上記基板に向かせて上記基板の表面に重ねる光ファイバホルダを形成し、この光ファイバホルダを上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内するガイドを上記基板の表面に形成し、上記ガイドとして、上記光ファイバのダイシングされた先端に接して角溝長手方向の位置決めをする先端ストッパ部と、上記光ファイバホルダの角溝幅方向の端面に接して角溝幅方向の位置決めをする幅ストッパ部とを形成し、上記光ファイバを上記角溝に嵌め込んだ状態で上記光ファイバホルダを上記光ファイバと共にダイシングして上記光ファイバに上記４５°ミラーを形成し、この光ファイバホルダを上記基板の表面に重ね、その光ファイバホルダを上記ガイドにより上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内させて位置決めするものである。
【００１５】
上記光ファイバホルダに上記角溝を複数本平行に上記光素子の個数よりも多く形成し、光ファイバが光素子に結合されない位置の角溝にダミー光ファイバを嵌め込んでもよい。
【００１６】
上記光ファイバホルダに上記角溝を複数本平行に上記光素子の個数よりも多く形成し、光ファイバが光素子に結合されない位置の角溝に電線を嵌め込んでもよい。
【００１７】
また、本発明の光配線部材は、基板と、その基板の裏面に発光面が配設された光素子と、その基板の表面に沿わせて配線された光ファイバと、その光ファイバに形成され、その光ファイバを上記光素子に光結合させる４５°ミラーとを備えた光配線部材において、上記光ファイバを嵌め込み、その溝深さが上記光ファイバの直径より小さい角溝を少なくとも１本有し、その角溝を上記基板に向かせて上記基板の表面に重ねられた光ファイバホルダと、上記基板の表面に形成され、上記光ファイバホルダを上記光ファイバと上記光素子とが光結合するべき位置に案内し、上記光ファイバのダイシングされた先端に接して角溝長手方向の位置決めをする先端ストッパ部と、上記光ファイバホルダの角溝幅方向の端面に接して角溝幅方向の位置決めをする幅ストッパ部とを有するガイドと、上記光ファイバを上記角溝に嵌め込んだ状態で上記光ファイバホルダを上記光ファイバと共にダイシングして上記光ファイバに形成された上記４５°ミラーとを備えたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は次の如き優れた効果を発揮する。
【００１９】
（１）低コストである。
【００２０】
（２）精度の高い位置合わせが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００２２】
図１に示されるように、本発明に係る光配線部材１は、基板２と、その基板２の裏面（図示下面）に発光面が配設された光素子３と、その基板２の表面に沿わせて配線された光ファイバ４と、その光ファイバ４に形成され、その光ファイバ４を光素子３に光結合させる４５°ミラー５とを備えた光配線部材１において、光ファイバ４を嵌め込む角溝６を少なくとも１本有し、その角溝６を基板２に向かせて基板２の表面に角溝６に嵌め込まれた光ファイバ４を介して重ねられた光ファイバホルダ７と、基板２の表面に形成され、光ファイバホルダ７を光ファイバ４と光素子３とが光結合する位置に案内するガイド８と、光ファイバ４を角溝６に嵌め込んだ状態で光ファイバホルダ７を光ファイバ４と共にダイシングして光ファイバ４に形成された上記４５°ミラー５とを備えたものである。
【００２３】
光ファイバホルダ７には角溝６を複数本平行に形成し、各々の角溝６に光ファイバ４を嵌め込んでもよく、ここでは４本の角溝６を形成して４本の光ファイバ４を嵌め込んでいる。光ファイバ４は、図では基板２の端までしか描かれていないが、実際は必要な長さまで延長していることは言うまでもない。
【００２４】
図１の光配線部材１を製造する方法、すなわち本発明の光配線部材の製造方法を手順に従い説明する。
【００２５】
図２（ａ）〜（ｆ）に、直接露光法を用いて光ファイバホルダ７を作成する手順を示す。まず、図２（ａ）に示されるように、青板ガラス（一般的なソーダガラス）２１を光ファイバホルダ７の基礎となる固形材料として用意する。図２（ｂ）に示されるように、青板ガラス２１の片面に光硬化性材料からなる層（光硬化性材料層）２２を形成する。ここでは、光硬化性材料として紫外線により硬化するＵＶ硬化性アクリル樹脂を用いる。図２（ｃ）に示されるように、角溝に相当する部分を遮光膜２３とし、角溝の幅方向両脇の山に相当する部分を光透過窓２４としたパターンマスク２５を光硬化性材料層２２に重ね、パターンマスク２５の反対側から紫外線を照射する。図２（ｄ）に示されるように、硬化した部分だけが残るように硬化しなかった部分を除去すると、硬化部分が山２６として残り、山２６と山２６の間の非硬化部分が除去されて角溝６が形成される。図２（ｅ）に示されるように、外側の余分な青板ガラス２１を除去すると、光ファイバホルダ７が出来上がる。図２（ｆ）に示されるように、光ファイバホルダ７は、溝６に光ファイバ４が揺るぎなく嵌るよう、溝幅が光ファイバ径とほぼ同じであり、溝深さが光ファイバ半径より大きく、光ファイバ直径より小さい。
【００２６】
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示されるように、光素子３を固定するための基板２には、表面にガイド８を設ける。ガイド８は、光ファイバホルダ７を光ファイバ４と光素子３とが光結合するべき位置に案内するものである。この実施形態では、ガイド８は、光ファイバホルダ７のダイシングされた先端（詳しくは後述する）に接して角溝長手方向の位置決めをする先端ストッパ部３１と、光ファイバホルダ７の角溝幅方向の端面に接して角溝幅方向の位置決めをする幅ストッパ部３２とを有する。なお、この実施形態では、光素子３を取り付ける工程を後回しにしているので、図３（ａ）及び図３（ｂ）の基板２には未だ光素子３は取り付けられていない。
【００２７】
この実施形態では、基板２はＦＰＣ（フレキシブル基板）である。また、基板２には裏面に銅配線３３が施される。銅配線３３は、光素子３のための電源、アース、信号線となる。
【００２８】
この実施形態では、基板２は、長方形に形成される。先端ストッパ部３１は、基板２の一方の短辺に平行となるよう直線的に設けられ、側断面が四角形の部材である。幅ストッパ部３２は、基板２の一方の長辺に平行となるよう直線的に設けられ、縦断面（図示せず）が四角形の部材である。ここでは、幅ストッパ部３２が先端ストッパ部３１の両端に接する２箇所に設けられ、ガイド８全体が平面視でコ字状をなしている。２つの幅ストッパ部３２間の間隔は、光ファイバホルダ７の幅とほぼ同じに形成される。従って、このガイド８は、光ファイバホルダ７を幅方向両側から規制して位置決めすることになる。
【００２９】
ガイド８は、光ファイバホルダ７と同様に直接露光法あるいは金型を用いた方法で作成するとよい。
【００３０】
図４（ａ）に示されるように、光ファイバ４を光ファイバホルダ７の角溝６に嵌め込む。このときの光ファイバホルダ７の縦断面は、図２（ｆ）のようになる。この状態で、図４（ｂ）に示されるように、光ファイバホルダ７を光ファイバ４と共にダイシングして共通斜面４１を形成する。この共通斜面４１は光ファイバ４において４５°ミラー５となるものである。
【００３１】
図４（ｃ）に示されるように、この光ファイバホルダ７を基板２の表面に重ねる。このとき、光ファイバホルダ７をガイド８により、光ファイバ４と光素子３とが光結合するべき位置に案内させて位置決めする。円Ｂで囲んで示すように、ガイド８の先端ストッパ部３１に対して光ファイバホルダ７のダイシングされた先端が当たることで位置が決まる。なお、光素子３は未実装であるが、光素子３を実装するべき位置とガイド８の位置との関係があらかじめ基板２において精密に作製されているので、光ファイバホルダ７をガイド８に対して位置決めすることは、光素子３に対して位置決めすることに等しい。
【００３２】
その後、図４（ｄ）に示されるように、光ファイバホルダ７、ガイド８及び光ファイバ４をカバー部材用接着剤層４２で埋め込み、そのカバー部材用接着剤層４２にフィルム又はリジッド基板からなるカバー部材４３を被せて接着する。基板２の裏面では、銅配線３３に対して光素子３をハンダバンプ４４により溶接する。これにより、光配線部材１が完成する。
【００３３】
完成した光配線部材１は、図５（ａ）に示されるように、基板２の裏面には、光素子（図示せず）が実装されていると共に、光素子の受光／発光領域は基板２に面して固定されている。ただし、図５（ａ）の実施形態では、４個の光素子３を個別に実装するのでなく、４個の光素子３が所定ピッチで一列に配置された光素子アレイ５１を基板２に実装している。基板２の表面には、この基板２の表面に沿わせて光ファイバ４が光素子３と同一ピッチで配線され、この光ファイバ４に４５°ミラー５が形成される。また、図５（ｂ）に示されるように、４５°ミラー５を含む光ファイバホルダ７の共通斜面４１の先端がガイド８の先端ストッパ部３１に接している。
【００３４】
以上説明したように、本発明の光配線部材の製造方法は、基板２にガイド８を設けておき、一方、光ファイバホルダ７の角溝６に光ファイバ４を嵌め込んだ状態で一括にダイシングして４５°ミラー５を作成し、この光ファイバホルダ７をガイド８に合わせることで、パッシブ方式による光結合を図る。
【００３５】
この方法によれば、光ファイバホルダ７に形成する溝が角溝６であるため、露光法や金型を用いた方法で光ファイバホルダ７及びガイド８を作成することができ、従来のＶ溝に比べて寸法精度が高くなる。その結果、位置合わせ精度が高くなる。また、Ｖ溝をダイシングで形成するという手間が省かれ、製造コストを低減することができる。
【００３６】
また、本発明の光配線部材の製造方法は、ガイド８の先端ストッパ部３１に対して光ファイバホルダ７のダイシングされた先端を当てつけて角溝長手方向の位置決めをするので、実質的には４５°ミラー５が直接、位置決めされることになり、従来の上部構造体の下向き突起による位置決めに比べて位置合わせ精度が高くなる。
【００３７】
また、本発明の光配線部材の製造方法は、光素子３として価格が安いＶＣＳＥＬを採用することができる。このため、光配線部材１のコストを低くすることができる。
【００３８】
次に、光ファイバホルダ７を基板２の表面に重ねたときに光ファイバホルダ７と基板２とを接合する方法について説明する。
【００３９】
図５（ａ）に示されるように、基板２の表面にはガイド８で囲まれた範囲内に、基板２と光ファイバ４及び光ファイバホルダ７とを接着するための光ファイバ用接着剤層５２が設けられている。光ファイバホルダ７の角溝６（図２（ｆ）参照）が光ファイバ４の直径よりも浅いことにより、基板２の表面に光ファイバ４が接したとき、光ファイバホルダ７の山２６（図２（ｄ）参照）と基板２との間に隙間ができるので、光ファイバ用接着剤層５２は、この隙間を埋めて基板２と光ファイバ４及び光ファイバホルダ７とを接着する。
【００４０】
光ファイバ用接着剤層５２には、光ファイバ４のクラッドよりも屈折率の小さい接着剤を使用する。これは、光ファイバ４に導かれて４５°ミラー５で反射した光が光ファイバ４の中心を通る垂下線に集まる効果を有する。よって、光素子アレイ５１の光素子と光ファイバ４との光結合が確実になる。
【００４１】
ここで、図１３を説明すると、この図は屈折率と、光ファイバ光素子間距離と、損失との関係を示したものである。横軸に屈折率をとり、縦軸に損失をとり、光ファイバ光素子間距離８７．５μｍ、１０７．５μｍ、１２７．５μｍの場合を描いてある。図から分かるように、光ファイバ光素子間距離が短いときは屈折率の増大に対して損失があまり増大しないが、光ファイバ光素子間距離が長いときは屈折率の増大に対して損失が顕著に増大する。
【００４２】
次に、他の実施形態を説明する。
【００４３】
上記実施形態では、光素子３を４個実装する基板２に対して、光ファイバホルダ７には角溝６を４本形成し、それぞれの角溝６に光ファイバ４を嵌め込んだ。これに限らず、光素子３の個数に応じて、角溝６は１本〜３本、５本以上形成し、それぞれの角溝６に光ファイバ４を嵌め込んでもよい。また、角溝６と光素子３の個数は同じでなくとも良い。
【００４４】
図６に示した光配線部材６１は、角溝（図示せず）を光素子（図示せず）の個数よりも多く形成し、光ファイバ４が光素子に結合されない位置の角溝にダミー光ファイバ６２を嵌め込んだものである。光ファイバ４が図示よりも実際は長く延長されているのに対し、ダミー光ファイバ６２は基板２の端のあたりで切断されている。
【００４５】
この光配線部材６１に実装される光素子は１個である。にもかかわらず、光ファイバホルダ６３には角溝を２本形成してある。図５（ｂ）の光配線部材１の光ファイバホルダ７に比べて図６の光ファイバホルダ６３は幅が狭く、これに応じてガイド６４も幅が狭く形成されている。
【００４６】
ここで、もし角溝が１本だけとし、光ファイバホルダ６３を光ファイバ４を１本だけ嵌められる程度の幅に形成すると、図６の場合より光ファイバホルダの幅がさらに狭くなる。すると、基板２に対して光ファイバホルダ６３のロール角（光ファイバ４を軸とした回転角）方向、ピッチ角方向、ヨー角方向へのがたつきが生じやすくなる。また、１本だけの光ファイバ４に捻りの応力が生じていると、光ファイバホルダ６３がロール角方向に捻られやすい。
【００４７】
そこで、図６のように余剰な角溝を形成して光ファイバホルダ６３の幅を増やすと、ロール角方向、ピッチ角方向、ヨー角方向へのがたつきが低減されて基板２やガイド６４と平行になりやすい。また、光ファイバホルダ６３の幅が広いためロール角等が低減されるが、ダミー光ファイバ６２を入れたことにより、よりロール角をなくす効果がある。さらに、光ファイバホルダ６３をガイド６４に嵌め込むとき、基板２上に光ファイバホルダ６３を置き、その光ファイバホルダ６３をスライドさせてガイド６４に嵌め込む。このとき、ガイド６４に嵌め込む以前から光ファイバホルダ６３が光ファイバ４とダミー光ファイバ６２の２本で支えられて傾きがないため、よりスムーズに嵌め込むことができる。
【００４８】
上記実施形態では、ホルダ８に２つの幅ストッパ部３２を形成してホルダ８をコ字状としたが、幅ストッパ部３２を１つにしてホルダ８をＬ字状としても長手方向と幅方向の位置を決めることが可能である。
【００４９】
図７に示した光配線部材７１は、図４（ｄ）の光配線部材１に光ファイバ保護材７２を設けたものである。光配線部材１の基板２の端から延長されている光ファイバ４には、その光ファイバ４の周囲を覆うファイバ被覆７３が設けられている。しかし、基板２に配線する光ファイバ４は、ファイバ被覆７３を除去してある。このため、基板２、光ファイバホルダ７などと一体化され、さらにはカバー部材４３を被せてある光ファイバ４の端末部分とファイバ被覆７３との間に、機械的強度を補うものがなにもない光ファイバ４の単体部分ができてしまう。
【００５０】
そこで、この単体部分に応力が集中するのを避けるため、光ファイバ保護材７２を設けた。光ファイバ保護材７２は、基板２及びカバー部材４３の端部にかかる位置からファイバ被覆７３の端部にかかる位置まで、光配線部材１の周囲を覆って形成される。これにより、光ファイバ４の単体部分が保護される。
【００５１】
図８に示した光配線部材８１は、光ファイバホルダ８２に角溝（図示せず）を光素子（図示せず）の個数３個よりも多く４本形成し、光ファイバ４が光素子に結合されない位置の角溝に電線８３を嵌め込んだものである。図では省略しているが、電線８３は基板２の両端から先に延長されている。ガイド８４には、電線８３を通す穴又は溝が形成される。
【００５２】
この光配線部材８１では、光ファイバ４により高速信号を伝送し、電線８３により低速信号を伝送する伝送方法が可能になる。
【００５３】
図９に示した光配線部材９１は、電気コネクタ９２により他の電気配線などと接続し、ＰＤで光電変換した電気信号、ＶＣＳＥＬへ光電変換する前の電気信号データをやり取りする。電気コネクタ９２を用いることにより、取り扱いやすくなる。
【００５４】
図１０に示した光配線部材１０１は、基板として、フレキ部分１０２とリジッド部分１０３とを有するフレキリジッド基板を用いる。そのフレキ部分１０２に本発明の光配線部材の製造方法により光素子３と光ファイバ４を実装する。リジッド部分１０３には、曲げ応力がかかるフレキ部分１０２に置くことができない電気部品などを実装する。
【００５５】
図１の光配線部材１の製造手順中、光ファイバホルダは、図２（ａ）〜（ｆ）のように、直接露光法を用いて形成するものとしたが、角溝の凹型を有する金型を用いて形成してもよい。
【００５６】
すなわち青板ガラス、フレキシブル基板に紫外線硬化性の樹脂を塗布し、石英などの透明材からなり、角溝となる凹凸形状を有する型を、紫外線硬化性樹脂を塗布した青板ガラス、フレキシブル基板に押し付ける。その後、紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化し、型を外して完成する。
【００５７】
又は、青板ガラス、フレキシブル基板上に熱可塑性樹脂を塗布し、熱可塑性樹脂が溶ける程度の温度に加熱した角溝となる凹凸形状を有する型を、熱可塑性樹脂を塗布した青板ガラス、フレキシブル基板に押し付ける。それを冷却し熱可塑性樹脂を固めた後、型を外して完成する。
【００５８】
図１１（ａ）〜（ｅ）に、金型法を用いて光ファイバホルダ７を作成する手順を示す。まず、図１１（ａ）に示されるように、青板ガラス１１１の片面に光硬化性材料層１１２を形成する。一方、金型１１３は、凸部１１５を成形する溝状凹部１１４を有する。図１１（ｂ）に示されるように、光硬化性材料層１１２に金型１１３を重ねることにより、光硬化性材料からなる凸部１１５を金型１１３内に形成する。この状態で、金型１１３の反対側から紫外線（光硬化性材料がＵＶ硬化性アクリル樹脂の場合。また、金型１１３は紫外線を透過する材料で形成する）を照射する。これにより凸部１１５が硬化される。図１１（ｃ）に示されるように、金型１１３を除去すると、硬化した凸部１１５が残り、凸部１１５と凸部１１５と間に角溝１１６が形成される。図１１（ｄ）に示されるように、外側の余分な青板ガラス１１１を除去すると、光ファイバホルダ７が出来上がる。図１１（ｅ）に示されるように、光ファイバホルダ７は、角溝１１６に光ファイバ４が揺るぎなく嵌るよう、溝幅が光ファイバ径とほぼ同じであり、溝深さが光ファイバ半径より大きく、光ファイバ直径より小さい。
【００５９】
図１２（ａ）〜（ｅ）に、金型法を用いて光ファイバホルダ７を作成する別の手順を示す。まず、図１２（ａ）に示されるように、青板ガラス１２１の片面に熱可塑性材料層１２２を形成する。一方、金型１２３は、凸部１２５を成形する溝状凹部１２４を有する。図１２（ｂ）に示されるように、熱可塑性材料層１２２が溶ける程度の温度に加熱した金型１２３を熱可塑性材料層１２２を形成した青板ガラス１２１に押し付けることにより、熱可塑性材料からなる凸部１２５を金型１２３内に形成する。この状態で、全体を冷却する。これにより凸部１２５が硬化される。図１２（ｃ）に示されるように、金型１２３を除去すると、硬化した凸部１２５が残り、凸部１２５と凸部１２５と間に角溝１２６が形成される。図１２（ｄ）に示されるように、外側の余分な青板ガラス１２１を除去すると、光ファイバホルダ７が出来上がる。図１２（ｅ）に示されるように、光ファイバホルダ７は、角溝１２６に光ファイバ４が揺るぎなく嵌るよう、溝幅が光ファイバ径とほぼ同じであり、溝深さが光ファイバ半径より大きく、光ファイバ直径より小さい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の一実施形態を示す光配線部材の斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｆ）は本発明の光ファイバホルダを作成する手順を示すファイバホルダ及びその材料の縦断面図である。
【図３】（ａ）は本発明の基板及びガイドのＡＡ線に沿った側断面図、（ｂ）はその平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｆ）は本発明の光配線部材を組み立てる手順を示すファイバホルダ、基板及びホルダの側断面図である。
【図５】（ａ）は図１の光配線部材の縦断面図、（ｂ）はその平面図である。
【図６】本発明の他の実施形態を示す光配線部材の平面図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す光配線部材の側断面図である。
【図８】本発明の他の実施形態を示す光配線部材の平面図である。
【図９】本発明の他の実施形態を示す光配線部材の側断面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態を示す光配線部材の側断面図である。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は本発明の光ファイバホルダを作成する手順を示すファイバホルダ及びその材料の縦断面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｅ）は本発明の光ファイバホルダを作成する手順を示すファイバホルダ及びその材料の縦断面図である。
【図１３】屈折率と光ファイバ光素子間距離と損失との関係を示す特性図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  光配線部材
２  基板
３  光素子
４  光ファイバ
５  ４５°ミラー
６  角溝
７  光ファイバホルダ
８  ガイド
【図１】
0004609375.tif 000002
【図２】
0004609375.tif 000003
【図３】
0004609375.tif 000004
【図４】
0004609375.tif 000005
【図５】
0004609375.tif 000006
【図６】
0004609375.tif 000007
【図７】
0004609375.tif 000008
【図８】
0004609375.tif 000009
【図９】
0004609375.tif 000010
【図１０】
0004609375.tif 000011
【図１１】
0004609375.tif 000012
【図１２】
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【図１３】
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