(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと、光束を射出する単色光励起レーザ光源（２１）と、前記光束を測定すべき材料に向けて垂直に導く光学手段（２３、２４）と、ラマン効果によって散乱された光のうち垂直に散乱した光を集める（２４）と共に選択する（２７、２８）手段とを備え、励起レーザ光束を試料に向けて導く前記光学手段内で、前記レーザと前記試料の間に、数十平方ミクロンの最小面積にわたって単位表面当りのエネルギ分布を均一にする手段（２２）が配置された後方散乱ラマン分光測光法によって薄膜材料を測定する装置において、前記試料の領域にわたって材料の誘電体関数ε（ω）の測定を可能にする反射計的測定のための手段（３−１４）がラマン測定手段と一体的に設けられ、前記反射計的測定のための手段が、前記ラマン励起手段と試料の同じ領域に向けられる反射計的測定手段（３−５）を備えていることを特徴とする薄膜材料を測定する装置。
【請求項２】
前記反射計的測定手段が、測光的測定手段である請求項１に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項３】
前記反射計的測定手段が、楕円偏光計的測定手段である請求項１に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項４】
エネルギ分布を均一にする手段が、マルチモード光学繊維（２２）である請求項１〜３のいずれかに記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項５】
前記光学繊維（２２）の直径が、照明されるべき試料の表面に適応するようにした請求項４に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項６】
前記光学繊維（２２）が、交換可能であるようにした請求項４および５のいずれかに記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項７】
前記分光計のスロットにわたる焦点調節可能な領域上で試料を照明することを可能にするか、あるいは測光法により分析される表面に対してラマン励起面を適応させることを可能にする数本の光学繊維を備えるようにした請求項４〜６のいずれかに記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項８】
前記反射計的測定手段が、変調された反射計的測定手段である請求項１〜３のいずれかに記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項９】
前記変調が、光学的に行なわれる請求項８に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項１０】
前記変調が、電気的に行なわれる請求項８に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項１１】
前記変調が、前記ラマン励起光源によって保証されるようにした請求項９に記載の薄膜材料を測定する装置。
【請求項１２】
反射計的測定光源が、光学繊維によって、請求項１〜３のいずれかに記載の前記装置のその他の部分に接続されているようにした薄膜材料を測定する装置。
【請求項１３】
前記ラマン受光手段および前記反射計的受光手段の少なくとも一方が、光学繊維によって、請求項１〜１２のいずれかに記載の前記装置のその他の部分に接続されているようにした薄膜材料を測定する装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、薄膜材料を光学的に測定する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような測定は非破壊的なものであるとともに製造中にもあるいは最終製品の検査のためにも原位置において使えるので、分析すべき材料を構成している少なくとも或る部材についての測定が行なえるとともにその濃度も測定できる。また、薄膜の厚さに対応することもできる。
【０００３】
測定を行なうために、現在までに、一面では、ラマン分光測定装置が、他面では、反射計、測光器、あるいは、分光計であることができる楕円偏光計が知られている。
【０００４】
ラマン効果が、照明光束としての波長λｅで拡散されるレイリー光の強度に関して非常に小さな強度を有する波長λｅに近い波長λｒにおいてラマン光束を拡散する所定の波長λｅにおいて照明される試料により発生するは、公知である。ラマン分光計が顕微鏡と組み合わせられるとき、照明光束は、試料に関して直角に入射し、従って、ラマン散乱が、一定の広角度でその強度およびそのスペクトルによって測定される。
【０００５】
また、反射計測定も公知である。その目的は、通常、小さな（試料に対して直交することから大きく外れている）角度で試料を照明することにあり、試料によって鏡面のように反射される光を分析することにある。次ぎに、測光的測定における光束強度と、楕円偏光計的測定における偏光の様々な成分の振幅とが、特に興味深い。
【０００６】
特に、変調器が入射光束の偏光状態に作用する位相変調楕円偏光計、反射光の波長スペクトルが分析される分光計的楕円偏光計、および、例えば、試料に作用する電気的なあるいは光学的な励起である周期的な外部励起により発生される変調の効果を考慮した変調された反射計が、周知である。変調された分光計的楕円偏光計的測定は、例えば、参考文献であるヨーロッパ特許ＥＰ−０６６３５９０に開示されている。
【０００７】
試料の光学的な測定におけるそれらの大きな変形のそれぞれが、それ自身の利点を持っている。
【０００８】
一般的に、ωを電磁的な励起の周波数としたとき、テンソルε（ω）による電磁的な励起に対する薄膜材料の巨視的応答がある。等方性固体の場合、このテンソルε（ω）は、スカラに落され、ε０を真空の電気的な誘電率とし、Ｄを電気的な変位ベクトルとし、および、Ｅを加えられた電場としたとき、関係Ｄ＝ε０εＥが得られる。
【０００９】
分極率αが、次いで、ローカルバイポーラモーメントｐ（原子あるいは原子群当り）に基づいて定められる。実際には、ｐはローカルな電場Ｅｌｏｃに関連している（それ自身、関係Ｐ＝αε０Ｅｌｏｃによる外部の電場Ｅの関数である）
【００１０】
容積単位当りの巨視的ダイポーラモーメントあるいは偏光ベクトルは、Ｎをダイポールにおける空間密度としたとき、Ｐ＝Ｎｐにより与えられる。偏光は、関係Ｐ＝ε０（ε−１）Ｅによってその他の巨視的な量に関連させられる。
【００１１】
反射計的測定、さらに詳しくは、分光計的楕円偏光計的測定は、誘電体関数ε（ω）を取り扱うことができる。紫外線から可視光線の波長範囲において、吸収は、しばしば、電子的な転移に優位を占められる（例えば、半導体の場合において）。赤外線の範囲において、楕円偏光計的測定は、振動吸収、すなわち、ダイポール励起に感度を有する。調べられた厚さは、通常、紫外線において大きな吸収を有し、赤外線において準透明である半導体の場合におけるように波長に関係して非常に変化する。
【００１２】
ラマン散乱それ自身は、励起Δα（ω）の存在するとき分極性変化に感度を有している。
【００１３】
関係する物理値の決定に関して、楕円偏光計的測定およびラマン散乱が、性質の異なる技術であることに留意すべきである。特に、量子力学の観点から、ある種の振動の有効部分が、ケースバイケースで非常に異なっている。
【００１４】
反射計的な測定は、一般的に反射を用いて、スペクトル的におよび弾性的に実行される（波長の保存）。結果として、薄膜の厚さ測定を可能にする干渉原理に感度を有している。さらに一般的に、楕円偏光計的測定は、多層膜材料（厚さ発散度を示す）を測定するのに特に適している。楕円偏光計的測定の通常のアプリケーションにおいて、入射角度は、約５５°〜８０°の間を変化し、これは、ほとんどの材料のブルースター角度に相当し、最適の感度を与える。通常、二つの波長範囲が使われ、その第１の波長は、近紫外線（０．２５μｍ）から近赤外線（１．７μｍ）までのいわゆる「可視紫外線」であり、第２の波長は、約２．５から１２あるいは１６μｍまでのより離れた赤外線であるいわゆる「赤外線」である。より大きな波長を用いた測定は、光源とディテクタによる実験室的な制約のために困難である。ヨーロッパ特許出願ＥＰ−０６６３５９０は、特に、変調された分光計的楕円偏光計的測定を開示している。
【００１５】
ε（ω）は、楕円偏光計的測定において実行できる二つの独立したパラメータの測定をその決定に必要とする複素数によって表現される。しかしながら、いわゆるクレーマーズケーニッヒ関係の使用に依存している測光的測定は、また、ε（ω）を可能にしている。変調された反射計的測定技術は、相補的な情報をもたらす外部励起の存在においてε（ω）の変化を測定する。特に半導体材料において、変調された外部励起は、その測定に同調する負荷キャリヤを発生させる。
【００１６】
逆に、ラマン散乱は、非弾性的である。測定は、通常、直角入射において行なわれ、紫外線、可視光線あるいは近赤外線範囲にある光線を発生させるレーザが、励起を行なう。ラマンフォトンが、入射光の波長に近い波長で一定の広角度で集められる。従って、励起光とラマンスペクトル間の波長における正の差あるいは負の差を分光計的に測定できる。比較から、遠隔反射計の赤外線は、ラマンにおける励起波長に最も近い波長に対応することがわかる。このような測定は、従って、ラマン分光法において技術的に容易に測定できる。測定された厚さは、所定の材料についてラマンにおいてはほとんど変調できない入射光の波長において材料の吸収に関係していることに注目すべきである。
【００１７】
薄膜は、６０年代の末期にラマン分光法による検討を受けた。第一に、金属面上に付着させられた薄膜の研究が提案された。７０°以下の入射角度で照明されて、得られたラマン光束は、６０°付近で最大の強度を示した。光束がプリズムあるいは格子により結合される光学的な導波路として薄膜を用いることが提案された。入射角度と偏光のきびしい条件の下で、一つあるいは複数の電気的なあるいは磁気的な横モードが、後方散乱によって通常発生される光束強度の２千倍に相当する強度のラマン光束を発生させつつ、薄膜内を伝播可能である。このような場合、励起波長に関係する薄膜の最小厚さは、数ナノメータよりも薄くはできない。多層構造とすることでのみ、この限界を下げることができる。いずれにしても、すべてのこれらの方法は、薄膜の特別の準備を必要とするもので、これは、製造の手順を進めている間に、産業材料の調査、および、その場所における測定あるいはリアルタイム測定と両立しない道具の整備や調節における特別の支援を意味している。ヨーロッパ特許出願ＥＰ−０５０８２５７は、測定により影響を受けたサンプルの点を可視化することのできる共焦点顕微鏡（ｃｏｎｆｏｃａｌ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を備えたラマン分光法測定装置を開示している。
【００１８】
一方でラマン効果によるおよび他方で反射計的測定、楕円偏光計的測定あるいは測光的測定による測定のこれらのプレゼンテーションは、これらが異なる効果、従って、異なる光源の知識および測定が得られるように構成されており、材料が薄膜化されているときは特に困難に遭遇する。
【００１９】
反射計的測定およびラマン分光測光による同一の試料に対する測定の実施は、その他の困難を示している。実際のところ、これらの測定におけるそれぞれの入射角度の相違、波長の相違は、技術のそれぞれに対して特に適合している光学的な装置を必要とし、照明のために同じ光源の使用を可能にしないばかりかそれぞれの場合において受光に同じ波長の検出システムの使用を可能にしない。
【００２０】
その上、長い間、これらの両技術の同時展開がそれぞれの測定の質にダメージを与える傾向にあることが考察されてきた。このようにして、後方散乱ラマン分光測定は、反射計的測定をアニールされ、結晶化され、あるいは、融解される（例えば、水素原子の抽出）故障や危険に曝しつつ、試料を変調できる光束強度で照明するものである。
【００２１】
これらのいずれかの測定中に試料によって照明される領域の大きさが非常に異なることに特に注目すべきである。
【００２２】
単一のタイプの測定を行なうことは、例えば、光学的なマイクロサンプルと材料のスペクトル分析方法に関する文献ＷＯ−９７／０５４７３に記述されている。特別な実施例において、マルチモードの光学繊維が、光源と試料を切り離している。試料は、また、光の方向に関して所定の角度により照明された試料によって反射された光を検出するセンサに接続されている。
【００２３】
薄膜に重ね合わされた領域におけるラマン−反射計的測定の実現は、一方で、測定材料に関して直接に大きな利点があり、他方で、このような測定モードを実行できる検査準備方法に関して大きな利点がある。測定はリアルタイムに同時に実行できるので、測定されるパラメータの速度に対する変形と改善が引き続いて可能になる。以下に述べるように、非常に詳細な物理化学的な層に関する説明が行なえるようになった。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
この発明の目的は、従って、測定中に層を変調するという危険を冒さずに、上述した種々の困難を解決し、後方散乱ラマン効果によって薄膜の測定を可能にする装置を提案することにある。
【００２５】
この発明のその他の目的は、ラマン効果および反射計的測定による同時測定を可能にした装置を提案することにある。
【００２６】
上述したように、反射計的測定は、光束エネルギのみが測定される測光的測定と、光束の異なる偏光成分が考慮される楕円偏光計的測定を包含するものである。両方の場合において、反射計的測定は、分光計的測定であることができ、すなわち、測定される光束のスペクトル分析が実行されることができる。
【００２７】
この目的のために、この発明は、フレーム、単色励起レーザ光源、測定されるべき材料に向けて光束を導く光学手段、および、ラマン効果によって散乱された光を集めるとともに選択する手段を有している後方散乱ラマン分光測定により薄膜材料を測定する装置に関するものである。
【００２８】
試料に向けて励起レーザ光束を導く光学手段において、前記レーザおよび前記試料の間に数十平方ミクロンの最小面積にわたって、単位表面当りのエネルギ分布を均一にする手段が、配置されている
【００２９】
この発明によれば、装置は、反射計的測定のための手段をラマン測定手段と一体的に設け、これに対して、この反射計的測定のための手段が、ラマン励起手段と試料の同じ領域に向けられる反射率計測定励起手段を備えている。
【００３０】
この発明の装置は、以下のように使える。
・純正なラマン分光測定、
・あるいは、純正な反射計的測定のいずれか、
・あるいは、ラマン分光測定と反射計的測定の組み合わせ
【００３１】
異なる特定の実施例において、それぞれは、多数の技術的に可能な組み合わせにおいて展開されるそれら自身の利点および傾向を示している。
−反射計的測定手段は、測光的な測定手段である。
−反射計的測定手段は、楕円偏光計的測定手段である。
−エネルギ分布を均一化する手段は、マルチモード光学繊維を有している。
−光学繊維の直径は、照明される試料の表面に適応する。
−光学繊維は交換可能であるので、直径の異なる光学繊維を用いて交換できる。
−装置は、分光計のスロットにわたる焦点調節可能な領域上で試料を照明することを可能にするかあるいは測光法により分析される表面に対してラマン励起面を適応させることを可能にする数本の光学繊維を備える。
−反射計的測定手段は、変調された反射計的測定手段である。
−前記変調が、光学的である。
−前記変調が、電気的である。
−前記変調が、ラマン励起光源により保証されている。
−反射計的測定光源は、光学繊維によって装置のその他に接続されている。
−ラマンおよび反射計的測定受光手段の少なくとも一方が、光学繊維によって装置のその他に接続されている。
【００３２】
【発明の実施の形態】
この発明の装置は、試料２の点１におけるラマン測定の実行を可能にするものである。そのために、光源２１が、マルチモード光学繊維２２によって射出されるラマン励起波長λｅにおける光束を発生させる。光束は、ブレード２３によって反射され、レンズ２４方向に導かれ、試料の点１において焦点調節される。ラマン効果による後方散乱光束２６の一部分は、波長λｒを有している。フィルタ２７が、波長λｒにおけるこのラマン光束を選択し、励起波長λｅにおいて散乱される光束を除外する。かくして、フィルタ２７から出た光束は、励起波長λｅにおけるいかなるコンポーネントも含まない。この光束は、センサ２９に接続された分光計２８によって分析される。制御ユニット３０が、分光計２８を作動させてセンサ２９によって発生された情報を受ける。
【００３３】
従来公知の固有のやり方において、分光計２８の制御情報およびセンサ２９によって供給された情報を処理して、制御ユニット３０は、試料２のラマン測定データの準備を可能にする。
【００３４】
マルチモード光学繊維２２のこのような使用が、光源２１から到達する光束に含まれている光エネルギの横方向への分布を大きく変調することが指摘されている。
【００３５】
通常、レーザである光源２１の出力において光分布の形状は、ガウス分布であることが知られている。これは、試料の比較的大きな表面を照射しようとしたときの後方散乱ラマン分光計的測定に問題を生じる。顕微鏡レンズによりガウス光束を焦点調節することは、その直径が回折限界、すなわち、１．２λ／ｎａに近い光点を発生させる。ここで、λは、波長であり、ｎａはレンズのデジタル開口であり、すなわち、レンズのｎａ＝０．９およびλ＝０．５μｍを用いてサブミクロン点を発生させ、試料が薄膜であるとき、試料に損傷を与えるか破壊するような単位面積当りで非常に高い強度を発生させる。
【００３６】
この欠点を補正するために、エネルギは維持するが、試料に対する焦点を外すということが考えられた。このようにして、エネルギの横方向の分布は、増強されたが、常に均一ではなく、上述したガウス光束と同じ問題を発生させる山と谷を有している。
【００３７】
この事実は、Ｂｏｒｎ  Ｗｏｌｆによる書籍“Ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ  ｏｆ  Ｏｐｔｉｃｓ”Ｐｅｒｇａｎｏｎ  Ｐｒｅｓｓ−ＮＹ１９９３において分析されている。実際には、球面、円筒、あるいは、非球面光学系によるガウス光束の焦点外しは、発散であり、従って、層の変調はもはや中心においては自動的には行なわれず、層は、やはり、破壊されるか部分的に変化させられる。
【００３８】
この欠点を補正し、検討される薄膜の一体性を維持するために、マルチモード光学繊維が、単色光源と薄膜の間に挿入される。このマルチモード光学繊維の挿入は、エネルギのガウス分布を破壊しつつ、照明光束点の中心と周辺とでほぼ同一である光学繊維による均一なエネルギ密度分布の出力の獲得を可能にする。
【００３９】
図２は、光束を介したこの光エネルギ密度Ｅ／ΔＳの分布比較を示すもので、それぞれ、レーザから出力されたガウス光束による分布（図２ａ）と、マルチモード光学繊維の出力における同じ光束の分布（図２ｂ）を示している。
【００４０】
マルチモード光学繊維は、１００ミクロンのオーダの直径Ｄと、少なくとも数十センチメートルの長さを備えていることが好ましい。
【００４１】
ラマン顕微鏡法において、×５０レンズを用いてほぼ２０ミクロンの直径Ｄを備えた円板上の試料を励起できる。
【００４２】
従って、１ｍＷオーダの電力でこの試料に対して３．３Ｗ／ｍｍ２のオーダのレーザエネルギ密度が得られる。
【００４３】
光学繊維の直径を変化させると、エネルギ密度が変調できる。
【００４４】
数本の光学繊維を用いてエネルギを生じさせることも可能であり、このとき、励起点は、直線的に配分され、集められた光束は、分析分光計の入力スロットに焦点調節される。
【００４５】
目的は、試料２の領域１を測定することである。この測定は、楕円偏光計的測定によって実行できる。楕円偏光計的測定光源３は、カプラ４によって光学繊維５に接続され、この光学繊維は、光源によって発生された光束を搬送してカプラ６を介して入射角度αで試料１に送られる光束８を発生させるポラライザに導く。
【００４６】
ポラライザ７と試料の間には、従来周知のように、光束８の偏光状態を変調する位相変調器９が配置されている。
【００４７】
光束８は試料２によって反射され、ポラライザ１１によって分析されるとともに光学系１２によって光学繊維１３に接続される反射光１０となり、この光は、波長に関係する選択構成である受光手段１４に導かれる。制御ユニット１５が、接続１６を介して位相変調器９を動作させる。この制御ユニット１５は、ライン１７を介して受光手段１４により発生された信号を受け取る。
【００４８】
このデータを処理することによって、制御ユニット１５は、試料２に重要な楕円偏光計的測定情報を供給することができ、その楕円偏光計的測定を可能にする。
【００４９】
一方の楕円偏光計的測定制御ユニットと他方のラマン制御ユニット３０は、装置全体を使用するインターフェースであるとともに試料２の点１の完全な物理化学的な測定を可能にするグローバル制御コンピュータ４０にデータに電気的に接続されている。
【００５０】
上述した楕円偏光計的測定手段は、位相変調楕円偏光計であり、この発明の装置は、楕円偏光計、分光計、反射された光束１０をその偏光状態とは関係なく分析する測光計などのいかなるタイプのものとも波長との関係において協働できる。位相変調楕円偏光計は、測光計と楕円偏光計の同時測定を可能にする。
【００５１】
楕円偏光計的測定手段は、所定の周波数において試料に電気的、光学的あるいは温度的な効果を生じさせる外部の変調手段と有利に協働する。これらの手段は、例えば、変調周波数および位相を決定するその位置がライン４４を介しての制御ユニット１５によって作動される回転スクリーンあるいはシャッタ４３であることができる。
【００５２】
好都合なことに、ラマン励起手段、すなわち、ラマン励起光源２１によって発生される光束２５は、楕円偏光計的変調手段を構成する。
【００５３】
ラマン測定中に測定される試料の領域は、正確に位置決めされるとともに楕円偏光計的測定によって定められる範囲に位置していることが望ましい。これらの二つの測定は、同時に実行される。
【００５４】
この発明の装置は、これまで困難とされてきた測定動作を実行できる以下のアプリケーションに特に適している。
【００５５】
ａ）薄膜化された多結晶（あるいはマイクロ結晶）シリコン
部分的に結晶化されたシリコンは、半導体産業において極めて多く使われている。これは、非晶質利得接続に関連した種々の大きさの結晶である。
【００５６】
この材料は、しばしば厚さにばらつきを生じ、特に、結晶の大きさに関連した面粗さを示す。紫外線から可視域に延びている波長の範囲における楕円偏光計的測定は、ラマン測定では到底得られない全体の厚さと粗さ（≦５０ｎｍ）の非常な精度（約１％）を与える。一般的に、ＵＶ−可視域楕円偏光計的測定は、層の形態（密度、．．．）に対して非常に感度が高い。
【００５７】
両方の技術は、層の平均的な構成（結晶片）の測定を可能にするが、楕円偏光計的測定は、どのような厚さにおける発散度の測定でも可能である。
【００５８】
逆に、粒子の大きさは、ラマン分光計測定によって決定できるが、反射計的測定ではほとんど測定できない。同様に、ラマン分光計測定は、測定光線の波長のずれに基づいて材料内に存在している応力を測定できる。これらの応力には、反射計的測定によってはほとんど取り扱うことができず、例えば、楕円偏光計的測定はほとんど使えない。
【００５９】
楕円偏光計的測定（ここでは主としてＵＶ−可視域範囲）およびラマン測定は、従って、相補的なものである。
【００６０】
ｂ）薄膜化された炭素
炭素薄膜は、多くのアプリケーションを有する。上述の実施例に関連して展開された考察は、厚さおよび形態（密度、粗さ）に関して明らかに薄膜化された炭素の場合にも同様に当てはまる。
【００６１】
炭素は、結晶およびアモルファスであることができる。二つの結晶形が、天然に存在しており、非常に異なる性質（硬度、．．．）を持ったダイヤモンド（混成ＳＰ３）あるいは黒鉛（混成ＳＰ２）である。これらをラマン分光測定および楕円偏光計的測定によって識別することが可能である。
【００６２】
アモルファス形において、実際の性質（硬度、．．．）に非常に影響を与える二つの相が共存する。“アダマンタン”炭素は、例えば、相ＳＰ３が豊富である。しかしながら、これらの相の両方は、前述の場合のように全体を識別可能にしないで原子スケールで互いに連携しているように見える。これらの薄い層は、しばしば、プラズマによって付着され、同様に性質（これにより層はしばしば重合体に見える）に影響を与える水素を大きな比率で含む。
【００６３】
ＣＨｎ振動は、有効な部分における差のためにラマン分光測定よりも赤外線楕円偏光計的測定によってより容易に識別される。さらに、一般に、水素は、相ＳＰ３に本質的に一体化される。ＩＲ楕円偏光計的測定は、従って、相ＳＰ３の測定に非常に適している。前述の例のように、ラマン分光測定および反射計的測定によってリアルタイムで、同じ点における測定を可能にするこの発明の装置は、このような試料の完全な測定を保証する。
【００６４】
ｃ）ポリマ
ポリマの場合、ＩＲ楕円偏光計的測定およびラマン分光測定の相補性は、発散振動における二つの技術の様々な感度によるが、ラマン分光測定は、Ｃ＝Ｃグルーピングに非常に鋭敏であり、ＩＲ楕円偏光計的測定は、ポリカーボネートのような種々のポリマに存在するＣ＝０グルーピングに非常に鋭敏である。これら二つのタイプにおける実施を可能にするこの発明の装置は、同時にかつ同一点において、この相補性の完全な利点を享受することができる。一般的に言って、ラマン分光測定は、ベンゼンコア変形検出測定を可能にしつつ、遠隔ＩＲ楕円偏光計的測定に対して相補的である。
【００６５】
ある種のポリマ処理は、例えば、プラズマによって、ラマン分光測定およびＵＶ−可視域楕円偏光計的測定の相補正をさらに説明するものである。クロスリンク現象は、増加した屈折率（高密度化）あるいはＵＶ（発色団の出現）範囲における吸収によって、楕円偏光計的測定によって容易に証明される。アナログ的には、デグラデーション処理を明確に施すことができよう。変調に関連したポリマ厚さは、多層形式のために楕円偏光計的測定によって処理できる。逆に、ＵＶ−可視域楕円偏光計的測定は、材料の構造にはほとんど感度を持たず、クロスリンクあるいはデグラデーション顕微鏡的メカニズムを説明するのには向いていない。ポリマあるいはポリマ化状態の構造的な変調は、ラマン分光測定によって容易に測定できよう。
【００６６】
この発明の装置におけるこれらの実施例は、その利点を説明するためのものであり、これに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
この発明は、添付の図面に従って詳細に説明される。
【図１】  この発明による装置の概略図である。
【図２ａ】  この発明によるガウス光束を用いた、および、マルチモード光学繊維による変調後の単色光束におけるエネルギの横方向の分布を示す。
【図２ｂ】  この発明によるガウス光束を用いた、および、マルチモード光学繊維による変調後の単色光束におけるエネルギの横方向の分布を示す。
【符号の説明】
３−１４  反射率測定手段
２１  単色光励起レーザ光源
２２  エネルギ分布を均一化する手段
２３  光学手段
２４  集光光学手段
２７、２８  選択光学手段
【図１】
0004653311.tif 000002
【図２ａ】
0004653311.tif 000003
【図２ｂ】
0004653311.tif 000004