(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、
撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、良品を回転テーブル表面から吸引して回収する良品回収ノズルと、
良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。
【請求項２】
自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、
撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、不良品を回転テーブル表面から吸引して除去する不良品除去ノズルと、
不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収する良品回収ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。
【請求項３】
自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、
回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、
良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっており、
不良品除去ノズルが、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。
【請求項４】
自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、
表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、
回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、
回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、
回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、
回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの逆の順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、
不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっており、
良品回収ノズルが、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収するようになっていることを特徴とする粉体検査装置。
【請求項５】
表側撮影機構の、カメラ及び上側照明が、フードで囲まれて密閉されている請求項３又は４に記載の粉体検査装置。
【請求項６】
フードが、フード本体とそれを下から塞ぐ下面とからなっており、下面の周縁がフード本体に対して防滴構造となっている請求項５記載の粉体検査装置。
【請求項７】
表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項５又は６に記載の粉体検査装置。
【請求項８】
表側撮影機構の下側照明が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有している請求項３ないし７のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項９】
表側撮影機構の下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし８のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１０】
表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体と、下側照明とが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている請求項５ないし９のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１１】
表側撮影機構の下側照明の上面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられている請求項３ないし１０のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１２】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１１のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１３】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明及び下側照明の少なくとも一方が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有している請求項３ないし１２のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１４】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明とカメラとの間に隔離板が設けられており、隔離板のカメラに対向した部分が透明板となっている請求項３ないし１３のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１５】
透明板の周縁が隔離板に対して防滴構造となっている請求項１４記載の粉体検査装置。
【請求項１６】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１５のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１７】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、カメラが、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１６のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１８】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明と、下側照明と、カメラとが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている請求項３ないし１７のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項１９】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられている請求項３ないし１８のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２０】
表側撮影機構において、カメラ及び上側照明を密閉して囲むよう設けられたフードの下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられている請求項３ないし１９のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２１】
撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられている請求項３ないし２０のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２２】
透明板の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルが設けられている請求項１４又は１５に記載の粉体検査装置。
【請求項２３】
回転テーブル表面の粉体を上方から近接して覆う平板と、平板で覆われた空間に舞上った粉体を吸引する吸引機構と、を備えた粉体舞上り防止装置が、供給装置と撮影装置との間に設けられている請求項３ないし２２のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２４】
平板の、回転テーブルの回転方向側の一辺に、下方に延びた延在部が設けられており、延在部によって、平板で覆われた空間が仕切られている請求項２３記載の粉体検査装置。
【請求項２５】
平板が回転テーブルの上方から外れた位置まで移動可能となっている請求項２３又は２４に記載の粉体検査装置。
【請求項２６】
粉体検査装置は密閉ケースに収納されており、該密閉ケースの一部には、内外の気圧差を解消するためのフィルターが設けられている請求項１ないし２５のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２７】
供給装置が、粉体を、多孔板を通過させた後に回転テーブル表面に供給するようになっており、多孔板の孔の大きさは、大きな不良品を通過させない大きさに設定されている請求項１ないし２６のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２８】
回転テーブルが、その表面に、供給装置により供給されてきた粉体が嵌り込む環状の溝を有しており、該溝の幅は、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう設定されており、該溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であり、両側面と底面との交差部はＲを有している請求項１ないし２７のいずれかに記載の粉体検査装置。
【請求項２９】
回転テーブルの周辺に、少なくとも、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル、回転テーブル表面の粉体の静電気を除去する静電除去機、及び回転テーブル表面の粉体中から金属異物を除去する金属除去機の内のいずれかを備えている請求項１ないし２８のいずれかに記載の粉体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば医薬品、食品原料、樹脂原料、粉砕物等の粉体について、自動で少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置に関するものである。ここで、不良品とは、良品とされる粉体以外の粉体と、粉体に混入しているゴミ等の異物と、を含む概念である。
【０００２】
【従来の技術】
粉体を回転テーブル表面に載せて運搬させながら、ＣＣＤカメラで撮影して粉体中の不良品を検出し、該不良品を吸引して除去する粉体検査装置としては、例えば本件出願人の実用新案登録番号第２５０２３２９号に公知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような粉体検査装置では、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、例えばその順番で続けて配設していた。これらのノズルは、高速で流す空気流によって生じる負圧によって吸引を行うものである。そして、上記粉体検査装置では、両ノズルは装置の作動時において空気流を常時流しており、良品回収ノズルの直下に不良品が来た時に良品回収ノズルの空気流の流れを止め、それによって良品回収ノズルで不良品を吸引しないようにしていた。また、不良品除去ノズルを良品回収ノズルの後に配置して、良品回収ノズルを通過して来た粉体を吸引し続けるようにしたので、不良品除去ノズルによりクリーナー機能が発揮されていた。
【０００４】
しかし、上記のように良品回収ノズルの空気流の流れを止めて制御する方法では、空気流の流れを止めた時に、いわゆる吹き戻しが生じ、回転テーブル表面の粉体が飛散してしまうという問題があった。
【０００５】
また、良品回収ノズルは、その吸い込み口が回転テーブル表面に近接して設けられており、吸い込み口と回転テーブル表面との間の隙間の寸法は、粉体を吸引するのに最適な大きさに設定されている。そのため、上記隙間の寸法より大きな不良品が運搬されて来た際には、不良品が吸い込み口前で詰まってしまうという問題があった。
【０００６】
更に、上記粉体検査装置において、粉体を、例えば５０ｍｍ幅で回転テーブル表面に載せようとすると、図１７に示すように、その両縁に位置する粉体が崩れて拡がって５０ｍｍ幅を越えることとなり、そのため、５０ｍｍ幅を前提として設けていたＣＣＤカメラ６０や除去ノズルでは十分な検出・除去が行えなくなるという問題があった。これを回避するために作動有効範囲Ｓの大きなＣＣＤカメラ６０等を予め設定しておくことが考えられるが、それでは無駄が生じ、効率が悪くなる。
【０００７】
なお、不良品除去ノズルを良品除去ノズルの前に配置した粉体検査装置においても、不良品除去ノズルの直下に良品が来た時に不良品除去ノズルの空気流の流れを止めて良品を吸引しないようにする場合には、上述したのと同様に、吹き戻しが生じ、回転テーブル表面の粉体が飛散してしまうという問題があった。
【０００８】
また、粉体の種類や粒径によっては、粉体がＣＣＤカメラ等の撮影装置に付着し、検査精度を低下させるという問題があった。そのような問題はメンテナンスによって解決できるものではあるが、従来の装置では、撮影装置の構成部品であるＣＣＤカメラ等の全てが固定されたものであるために、メンテナンスを十分に行うのが困難であり、また、メンテナンス時に構成部品や回転テーブルを傷付けることがあった。
【０００９】
更には、検査精度の向上が要望されていた。
【００１０】
本発明は、吹き戻しによる粉体の飛散を防止でき、また、検査精度の向上を図ることができる、粉体検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、良品を回転テーブル表面から吸引して回収する良品回収ノズルと、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっていることを特徴としている。
【００１２】
請求項２記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの少なくとも表側から撮影して不良品を検出する撮影装置と、撮影後の回転テーブル表面の粉体の内、不良品を回転テーブル表面から吸引して除去する不良品除去ノズルと、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収する良品回収ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっていることを特徴としている。
【００１３】
【００１４】
請求項３記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順で備えており、
撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、良品回収ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようになっており、不良品除去ノズルが、良品が回収された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して除去するようになっていることを特徴としている。
【００１５】
請求項４記載の発明は、自動で粉体について少なくとも不良品検査を行って良品を回収する粉体検査装置において、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する透明な又は半透明な回転テーブルの周辺に、回転テーブル表面に粉体を供給する供給装置と、回転テーブル表面の粉体を撮影して不良品を検出する撮影装置と、回転テーブル表面の粉体を吸引して回収する回収装置とを、回転テーブルの回転方向に向かってこの順番で備え、回収装置が、回転テーブル表面の粉体の内、良品を吸引して回収する良品回収ノズルと、不良品を吸引して除去する不良品除去ノズルとを、回転テーブルの回転方向に向かってこの逆の順で備えており、撮影装置が、回転テーブル表面の粉体を回転テーブルの表側から撮影する表側撮影機構及び同じく裏側から撮影する裏側撮影機構の内の少なくとも表側撮影機構を備えており、表側撮影機構は、回転テーブルの表側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、裏側撮影機構は、回転テーブルの裏側から粉体を撮影するカメラと、表側から照らす上側照明と、裏側から照らす下側照明とを備えており、不良品除去ノズルが、不良品がノズル直下に来るまでは不良品除去ノズルが作動していてもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置しており、不良品がノズル直下に来た時にノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで吸引作動状態で移動するようになっており、良品回収ノズルが、不良品が除去された後の回転テーブル表面の粉体を全て吸引して回収するようになっていることを特徴としている。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項３又は４に記載の発明において、表側撮影機構の、カメラ及び上側照明が、フードで囲まれて密閉されているものである。
【００１７】
請求項６記載の発明は、請求項５記載の発明において、フードが、フード本体とそれを下から塞ぐ下面とからなっており、下面の周縁がフード本体に対して防滴構造となっているものである。
【００１８】
請求項７記載の発明は、請求項５又は６に記載の発明において、表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００１９】
請求項８記載の発明は、請求項３ないし７のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有しているものである。
【００２０】
請求項９記載の発明は、請求項３ないし８のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２１】
請求項１０記載の発明は、請求項５ないし９のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構のフードで囲まれたカメラ及び上側照明の全体と、下側照明とが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているものである。
【００２２】
請求項１１記載の発明は、請求項３ないし１０のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構の下側照明の上面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられているものである。
【００２３】
請求項１２記載の発明は、請求項３ないし１１のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２４】
請求項１３記載の発明は、請求項３ないし１２のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明及び下側照明の少なくとも一方が収納ケースに密閉されており、収納ケースが防滴構造を有しているものである。
【００２５】
請求項１４記載の発明は、請求項３ないし１３のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、下側照明とカメラとの間に隔離板が設けられており、隔離板のカメラに対向した部分が透明板となっているものである。
【００２６】
請求項１５記載の発明は、請求項１４記載の発明において、透明板の周縁が隔離板に対して防滴構造となっているものである。
【００２７】
請求項１６記載の発明は、請求項３ないし１５のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明が、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２８】
請求項１７記載の発明は、請求項３ないし１６のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、カメラが、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの下方から外れた位置まで旋回可能となっているものである。
【００２９】
請求項１８記載の発明は、請求項３ないし１７のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明と、下側照明と、カメラとが、それぞれ、支持ポールにて片持ち支持され、支持ポールを中心として回転テーブルの上方から外れた位置まで旋回可能となっており、しかも、それぞれが、平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているものである。
【００３０】
請求項１９記載の発明は、請求項３ないし１８のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に、粉体と同色の板又は白色板又は乳白色板が設けられているものである。
【００３１】
請求項２０記載の発明は、請求項３ないし１９のいずれかに記載の発明において、表側撮影機構において、カメラ及び上側照明を密閉して囲むよう設けられたフードの下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられているものである。
【００３２】
請求項２１記載の発明は、請求項３ないし２０のいずれかに記載の発明において、撮影装置が裏側撮影機構も備えており、裏側撮影機構において、上側照明の下面に対して斜め下方からエアーを吹き付けるエアーノズル及び下側照明の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルの少なくとも一方が設けられているものである。
【００３３】
請求項２２記載の発明は、請求項１４又は１５に記載の発明において、透明板の上面に対して斜め上方からエアーを吹き付けるエアーノズルが設けられているものである。
【００３４】
請求項２３記載の発明は、請求項３ないし２２のいずれかに記載の発明において、回転テーブル表面の粉体を上方から近接して覆う平板と、平板で覆われた空間に舞上った粉体を吸引する吸引機構と、を備えた粉体舞上り防止装置が、供給装置と撮影装置との間に設けられているものである。
【００３５】
請求項２４記載の発明は、請求項２３記載の発明において、平板の、回転テーブルの回転方向側の一辺に、下方に延びた延在部が設けられており、延在部によって、平板で覆われた空間が仕切られているものである。
【００３６】
請求項２５記載の発明は、請求項２３又は２４に記載の発明において、平板が回転テーブルの上方から外れた位置まで移動可能となっているものである。
【００３７】
請求項２６記載の発明は、請求項１ないし２５のいずれかに記載の発明において、粉体検査装置は密閉ケースに収納されており、該密閉ケースの一部には、内外の気圧差を解消するためのフィルターが設けられているものである。
【００３８】
請求項２７記載の発明は、請求項１ないし２６のいずれかに記載の発明において、供給装置が、粉体を、多孔板を通過させた後に回転テーブル表面に供給するようになっており、多孔板の孔の大きさは、大きな不良品を通過させない大きさに設定されているものである。
【００３９】
請求項２８記載の発明は、請求項１ないし２７のいずれかに記載の発明において、回転テーブルが、その表面に、供給装置により供給されてきた粉体が嵌り込む環状の溝を有しており、該溝の幅は、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう設定されており、該溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であり、両側面と底面との交差部はＲを有しているものである。
【００４０】
請求項２９記載の発明は、請求項１ないし２８のいずれかに記載の発明において、回転テーブルの周辺に、少なくとも、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル、回転テーブル表面の粉体の静電気を除去する静電除去機、及び回転テーブル表面の粉体中から金属異物を除去する金属除去機の内のいずれかを備えているものである。
【００４１】
【発明の実施の形態】
（実施形態１）
図１は本実施形態の粉体検査装置１の平面図である。この粉体検査装置１は、表面に粉体を載せた状態で回転して粉体を運搬する回転テーブル２の周辺に、回転テーブル２表面に粉体を連続して供給する供給装置３と、粉体中から繊維状の異物を吸引除去する繊維異物除去ノズル４１と、粉体の静電気を除去する第１静電除去機５１と、粉体中から鉄等の金属異物を除去する金属除去機４２と、粉体中の不良品を回転テーブル２の表側から撮影して検出する表側撮影機構６と、粉体の静電気を除去する第２静電除去機５２と、粉体中の不良品を回転テーブル２の裏側から撮影して検出する裏側撮影機構７と、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて粉体中の良品のみを吸引して回収する良品回収ノズル８と、良品が回収された後の回転テーブル２表面の粉体を全て吸引して除去する不良品除去ノズル９とを、回転テーブルの回転方向（矢印Ｙ方向）に向かってこの順番で備えている。
【００４２】
回転テーブル２は、無色透明な樹脂、例えばメタクリル樹脂、又は無色透明なガラスで形成されており、表面が平坦な円板状のものであり、水平に設けられている。回転テーブル２の表面には、図１の回転テーブル２のII−II断面図である図２に示すように、粉体１０が嵌り込む溝２０が回転テーブル２と同心の環状に形成されている。なお、図２では粉体１０の溝２０における状態を強調するために粉体１０を大きく示している。また、図１の一点鎖線Ｍは溝２０の中心を示している。溝２０の幅Ｗは、表側撮影機構６、裏側撮影機構７、良品回収ノズル８、及び不良品除去ノズル９の全ての作動有効範囲内となるよう設定されている。溝２０は、底面２０１と両側面２０２とで構成されている。底面２０１は水平な平坦面である。両側面２０２は、回転テーブル２表面から底面２０１に向けて溝２０の幅Ｗが狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面２０１に対して４５°未満の角度αで傾斜した平面である。両側面２０２と底面２０１との交差部ＸはＲを有している。
【００４３】
図３は供給装置３の平面図、図４は図３のIV−IV断面図である。供給装置３は、電磁コイル３１と、基端部が電磁コイル３１上に設けられ、先端部が回転テーブル２上に位置している、トラフ３２と、トラフ３２上に重なるように設けられた多孔板３３とを備えており、上方のホッパ（図示せず）に連結した投入口３４から投入された粉体を、図４の矢印に示すように、電磁コイル３１による振動によって、多孔板３３を通過させた後にトラフ３２によって少しずつ回転テーブル２表面に連続して供給するようになっている。多孔板３３の孔の大きさは、不良品とされる大きさのものを通過させない大きさに設定されている。図３のＶ−Ｖ断面図である図５及び図３のVI−VI断面図である図６に示すように、水平な多孔板３３の先端部は外に通じる傾斜面３３１となっている。
【００４４】
繊維異物除去ノズル４１は、下方に大きく開き且つ回転テーブル２表面に近接した吸い込み口から、回転テーブル２表面の粉体中の繊維状の異物を吸い込んで除去するようになっている。金属除去機４２は、マグネットを有しており、回転テーブル２表面の粉体中の鉄等の金属異物を吸着除去するようになっている。
【００４５】
第１及び第２静電除去機５１，５２は、回転テーブル２表面の粉体が帯びている静電気を除去するようになっている。
【００４６】
表側撮影機構６は、回転テーブル２の上方に設置されたＣＣＤカメラ６１と、回転テーブル２の上下両方に設置された２つの照明（図示せず）とを備えている。なお、ＣＣＤカメラ６１及び２つの照明は高さ調節可能となっている。
【００４７】
裏側撮影機構７は、回転テーブル２の下方に設置されたＣＣＤカメラ７１と、回転テーブル２の上下両方に設置された２つの照明（図示せず）とを備えている。なお、ＣＣＤカメラ７１及び２つの照明は高さ調節可能となっている。
【００４８】
図７は良品回収ノズル８の平面図、図８は図７のVIII矢視図、図９は図７のIX矢視図である。良品回収ノズル８は、本体８１と、ノズル管８２と、カバー８３とで構成されており、図８に示すように、本体８１内を矢印Ａのように高速で空気を流すことによって生じる負圧によって、ノズル管８２の吸い込み口８２１から矢印Ｂのように吸い込むようになっている。カバー８３は、回転テーブル２の周縁に沿って円弧状に延び且つノズル管８２の前後に渡って設けられており、良品回収ノズル８の作動有効範囲以上即ち吸い込み口８２１の長手方向の寸法以上の幅Ｗ１を有している。吸い込み口８２１は、スカート部８２２で囲まれて構成され、回転テーブル２表面に近接して配置されており、スカート部８２２の先端縁（下端縁）と回転テーブル２表面の溝２０の底面２０１及び両側面２０２との間には、隙間が設けられている。該隙間の寸法は、粉体１０の平均粒径が０．３ｍｍの場合は０．５ｍｍに設定されている。
【００４９】
そして、良品回収ノズル８は、移動機構８０によって、回転テーブル２に対して上下動可能となっている。移動機構８０は、図９に示すように、基台８００の下方にフレーム８０１を介して固定支持された空気圧シリンダ８０２と、空気圧シリンダ８０２のロッド８０３の先端にアーム８０４を介して固定支持された２本のロッド８０５とを有しており、ロッド８０５は、基台８００を摺動可能に貫通して良品回収ノズル８を支持している。８０６はスリーブ、８０７はショックアブソーバーである。移動機構８０による良品回収ノズル８の上下動のストローク距離は、良品回収ノズル８が上昇した場合において良品回収ノズル８が作動していても吸い込み口８２１直下の粉体を吸引し得ない大きさに、設定されている。
【００５０】
不良品除去ノズル９は、良品回収ノズル８によって良品が回収された後の回転テーブル２表面の粉体を全て吸引除去するようになっている。その構成は良品回収ノズル８と同様である。なお、移動機構８０は備えていない。
【００５１】
次に、作動について説明する。
生産ラインから取り出され、ホッパ（図示せず）を経由して投入口３４から供給装置３に投入された粉体は、供給装置３において、多孔板３３及びトラフ３２が電磁コイル３１により振動している状況の下で、まず多孔板３３上に落下し、多孔板３３の孔を通過してトラフ３２上に落下し、トラフ３２上を回転テーブル２に向けて徐々に且つ連続して送られる。このとき、電磁コイル３１による振動によって、多孔板３３からの粉体の落下は円滑に行われ、また、トラフ３２上の粉体は均一に拡がった状態となってトラフ３２先端から回転テーブル２表面の溝２０内に供給される。このようにして供給装置３により供給された粉体は、図２に示すように、溝２０内に整列された状態となる。
【００５２】
一方、供給装置３において、多孔板３３の孔の大きさは、不良品とされる大きさのものを通過させない大きさに設定されているので、そのような不良品は、多孔板３３を通過せず、多孔板３３の上を先端に向けて徐々に送られ、傾斜面３３１に至り、図６の矢印に示すように外部へ排出される。従って、供給装置３においては、回転テーブル２表面へ供給される粉体中から大きな不良品が確実に除去される。
【００５３】
回転テーブル２表面の溝２０内の粉体は、所定の速度で矢印Ｙ方向（図１）に回転する回転テーブル２によって運搬される。
【００５４】
回転テーブル２によって運搬される粉体は、まず、繊維異物除去ノズル４１の下を通る。このとき、粉体中からは繊維状の異物が吸引除去される。次に、粉体は第１静電除去機５１の下を通り、粉体の静電気が除去される。次に、粉体は金属除去機４２の下を通り、粉体中から鉄等の金属異物が吸着除去される。
【００５５】
次に、粉体は、表側撮影機構６のＣＣＤカメラ６１の下を通り、上方から撮影される。このとき、粉体は回転テーブル２の上下両方から照明によって照らされながら撮影され、粉体中の不良品が検出される。次に、粉体は第２静電除去機５２の下を通り、粉体の静電気が除去される。次に、粉体は、裏側撮影機構７のＣＣＤカメラ７１の上を通り、下から撮影される。このとき、粉体は回転テーブル２の上下両方から照明によって照らされながら撮影され、粉体中の不良品が検出される。
【００５６】
ところで、回転テーブル２の溝２０において、側面２０２の底面２０１に対する角度α（図２）が４５°以上の急なものであると、回転テーブル２の下から見た場合に側面２０２が鏡面のように光を反射してしまい、側面２０２の部分に載っている粉体がＣＣＤカメラ７１により撮影されないこととなる。しかし、本発明では、角度αが４５°未満に設定されているので、側面２０２が鏡面のように光を反射する程度が低くなり、側面２０２の部分に載っている粉体は回転テーブル２の下からＣＣＤカメラ７１によって十分に撮影される。従って、溝２０内の粉体は、回転テーブル２の下からＣＣＤカメラ７１によって漏れなく撮影される。
【００５７】
しかも、溝２０の側面２０２と底面２０１との交差部ＸがＲを有しているので、溝２０の形成時に交差部Ｘに傷が残ることはなく、このため、傷を不良品と間違えて検出することもない。
【００５８】
次に、粉体は良品回収ノズル８の下に運ばれる。良品回収ノズル８では、図８の矢印Ａに示す空気流が粉体検査装置１の作動中には常時流されており、良品回収ノズル８は常に吸引作動状態にある。また、良品回収ノズル８は、通常の状態では、吸い込み口８２１を回転テーブル２表面に近接させて配設されている。そして、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて、ノズル管８２の吸い込み口８２１の直下に良品のみが来たと判断された時には、良品回収ノズル８は上記通常の状態で作動し、これにより良品が吸引回収される。一方、表側及び裏側撮影機構６，７の撮影データに基づいて、ノズル管８２の吸い込み口８２１の直下に不良品が来たと判断された時には、良品回収ノズル８は、移動機構８０の作動によって、即ち、空気圧シリンダ８０２の作動によるロッド８０３及びロッド８０５の上昇作動によって、不良品を吸引し得ない高さ位置まで上昇し、これによって不良品は吸引回収されることなく良品回収ノズル８の下を通過する。そして、不良品が通過して良品のみが来たと判断された時には、移動機構８０が作動して、良品回収ノズル８は元の高さ位置即ち回転テーブル２表面に近接した位置に戻る。このように、良品回収ノズル８の直下に不良品が来た時には、良品回収ノズル８が、移動機構８０によって、良品回収ノズル８が作動していても吸い込み口８２１直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、上昇するので、次のような作用効果を奏する。（１）良品回収ノズル８では確実に良品のみが吸引される、（２）良品回収ノズル８の作動を止めなくても良品回収ノズル８による不良品の吸引が阻止されるので、良品回収ノズル８の作動を止めた状態から再開した場合に生じる吹き戻しが防止される、（３）大きな不良品が来ても、それが吸い込み口８２１前で詰まることはない。
【００５９】
そして、良品回収ノズル８の下を通過して来た粉体は、その全てが不良品除去ノズル９によって回転テーブル２表面から吸引除去される。これにより、不良品除去ノズル９は回転テーブル２表面に対するクリーナー機能を発揮する。
【００６０】
以上のように、上記構成の粉体検査装置によれば、自動で粉体について不良品検査が行われ、良品のみが良品回収ノズル８によって確実に回収される。
【００６１】
（実施形態２）
実施形態１において、不良品除去ノズル９を良品回収ノズル８の前に配置し、良品回収ノズル８の移動機構８０を無くして、良品回収ノズル８を回転テーブル２表面に近接して配置し、不良品除去ノズル９に移動機構８０に類似の移動機構を設け、その他は実施形態１と同じとしてもよい。この場合において、不良品除去ノズル９に設ける移動機構は、次のようになっている。即ち、不良品がノズル直下に来るまでは、不良品除去ノズル９を、不良品除去ノズル９が作動してもノズル直下の良品を吸引し得ない高さに位置させ、不良品がノズル直下に来た時に、不良品除去ノズル９を、ノズル直下の不良品を吸引し得る位置まで移動するようになっている。なお、不良品除去ノズル９は、下降する際には吸引作動状態となっている。
【００６２】
上記構成によっても、実施形態１と同様に、不良品除去ノズル９の作動を止めた場合に生じる吹き戻しが防止される。
【００６３】
（実施形態３）
図１０は本実施形態の粉体検査装置１００の平面図である。この粉体検査装置１００において、実施形態１の粉体検査装置１（図１）と同一符号のものは同じものであり、同じ作用効果を発揮する。そして、本実施形態では、粉体舞上り防止装置４３が設けられており、また、表側撮影機構６０及び裏側撮影機構７０が特殊な構造を有している。
【００６４】
図１１は図１０のＸＩ−ＸＩ断面図であり、表側撮影機構６０を示す。表側撮影機構６０は、回転テーブル２表面の粉体を表側から撮影して不良品を検出するものであり、３台のＣＣＤカメラ６２と、上側照明６３と、下側照明６４と、２個のエアーノズル６５１，６５２と、支持ポール６６とを、備えている。
【００６５】
ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は回転テーブル２の上方に位置している。上側照明６３はリング状のものであり、ＣＣＤカメラ６２は上側照明６３の内部空間を通して下方を撮影するようになっている。そして、ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は、回転テーブル２の上方にてフード６７で囲まれて密閉されている。フード６７は、上から覆い隠すフード本体６７１と、フード本体６７１を下から塞ぐ下面６７２とで構成されている。下面６７２の周縁はフード本体６７１に対して防滴構造となっている。フード本体６７１はステンレス鋼からなり、下面６７２は透明ガラス板である。更に、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３は、一体として、回転テーブル２の周辺に立設された支持ポール６６に支持アーム６６４を介して片持ち支持されており、図１１のＸII矢視図である図１２に示すように支持ポール６６を中心に回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回可能となっている。
【００６６】
下側照明６４は回転テーブル２の下方に位置している。下側照明６４は、平板状のものであり、収納ケース６４０で密閉されている。収納ケース６４０の周縁は支持アーム６６５に対して防滴構造となっている。収納ケース６４０の上面６４１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。下側照明６４も、支持ポール６６に支持アーム６６５を介して片持ち支持されており、図１２に示すように支持ポール６６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。なお、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３と、下側照明６４とは、図１２に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている。
【００６７】
支持ポール６６における旋回構造は、次のようになっている。即ち、第１円筒柱６６１に第２円筒柱６６２が摺動自在に外嵌し、第２円筒柱６６２に第３円筒柱６６３が摺動自在に外嵌しており、第２円筒柱６６２に、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３の支持アーム６６４が固定されており、第３円筒柱６６３に、下側照明６４の支持アーム６６５が固定されている。なお、ロックレバー６６６は第１円筒柱６６１に対して第２円筒柱６６２を摺動不能に固定し、ロックレバー６６７は第２円筒柱６６２に対して第３円筒柱６６３を摺動不能に固定するようになっている。
【００６８】
支持アーム６６５には、２個のエアーノズル６５１，６５２が取り付けられている。エアーノズル６５１はフード６７の下面６７２に対して斜め下方からエアーを吹き付けるようになっており、エアーノズル６５２は下側照明６４の上面６４１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。
【００６９】
図１３は図１０のＸIII−ＸIII断面図であり、裏側撮影機構７０を示す。裏側撮影機構７０は、回転テーブル２表面の粉体を裏側から撮影して不良品を検出するものであり、３台のＣＣＤカメラ７２と、上側照明７３と、下側照明７４と、３個のエアーノズル７５１，７５２，７５３と、支持ポール７６とを、備えている。
【００７０】
上側照明７３は回転テーブル２の上方に位置している。上側照明７３は、平板状のものであり、収納ケース７３０で密閉されている。収納ケース７３０の周縁は支持アーム７６５に対して防滴構造となっている。収納ケース７３０の下面７３１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。上側照明７３は、支持アーム７６５を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１３のＸIV矢視図である図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回可能となっている。
【００７１】
下側照明７４及びＣＣＤカメラ７２は回転テーブル２の下方に位置している。また、下側照明７４とＣＣＤカメラ７２との間には、隔離板７７が設けられている。下側照明７４は収納ケース７４０で密閉されている。収納ケース７４０の周縁は支持アーム７６６に対して防滴構造となっている。収納ケース７４０の上面７４１は帯電防止機能付アクリル樹脂からなる白色板である。下側照明７４はリング状のものであり、隔離板７７の、下側照明７４の内部空間に対向する部分には、透明ガラス板７７１が設けられている。ガラス板７７１の周縁は隔離板７７に対して防滴構造となっている。防滴構造としては、例えばパッキンを介在させた構造がある。ＣＣＤカメラ７２は下側照明７４の内部空間を通して上方を撮影するようになっている。
【００７２】
下側照明７４も、支持アーム７６６を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。また、ＣＣＤカメラ７２も、支持アーム７６７を介して支持ポール７６に片持ち支持されており、図１４に示すように支持ポール７６を中心に回転テーブル２の下方から外れた位置まで旋回可能となっている。なお、上側照明７３と、下側照明７４と、ＣＣＤカメラ７２とは、図１４に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっている。
【００７３】
支持ポール７６における旋回構造は、次のようになっている。即ち、支柱７６１の第１細部７６１１に第１円筒柱７６２が摺動自在に外嵌しており、第２細部７６１２に第２円筒柱７６３が摺動自在に外嵌しており、第３細部７６１３に第３円筒柱７６４が摺動自在に外嵌しており、支持アーム７６５が第１円筒柱７６２に固定されており、支持アーム７６６が第２円筒柱７６３に固定されており、支持アーム７６７が第３円筒柱７６４に固定されている。なお、ロックレバー７８１は第１円筒柱７６２を第１細部７６１１に摺動不能に固定し、ロックレバー７８２は第２円筒柱７６３を第２細部７６１２に摺動不能に固定し、ロックレバー７８３は第３円筒柱７６４を第３細部７６１３に摺動不能に固定するようになっている。
【００７４】
第２円筒柱７６３には、２個のエアーノズル７５１，７５２が取り付けられている。エアーノズル７５１は上側照明７３の下面７３１に対して斜め下方からエアーを吹き付けるようになっており、エアーノズル７５２は下側照明７４の上面７４１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。また、支持アーム７６６の裏側にはエアーノズル７５３が取り付けられている。エアーノズル７５３は隔離板７７の透明ガラス板７７１に斜め上方からエアーを吹き付けるようになっている。
【００７５】
粉体舞上り防止装置４３は、図１０に示すように、供給装置３と表側撮影機構６０との間に設けられており、ここでは、第１静電除去機５１と金属除去機４２との間に設けられている。図１５は防止装置４３の斜視図である。防止装置４３は、回転テーブル２表面の粉体を上方から近接して覆う矩形の平板４３１と、平板４３１で覆われた空間を吸引する吸引機構４３２とを、備えている。平板４３１の回転テーブル２の上方から外れた辺部には、水平軸４３３が設けられており、平板４３１は、吸引機構４３２を伴ったまま、水平軸４３３を中心として、図１５中の一点鎖線で示すように、回転テーブル２の上方から外れた位置まで旋回するようになっている。また、平板４３１の、回転テーブル２の回転方向（矢印Ｙ方向）側の一辺には、延在部４３１１が辺部を下方に折り曲げて形成されている。延在部４３１１は回転テーブル２の溝２０上に位置している。
【００７６】
次に、作動について説明する。
実施形態１の粉体検査装置１の場合と同様に、投入口３４から供給装置３に投入された粉体は、トラフ３２先端から回転テーブル２表面の溝２０内に供給され、溝２０内に整列された状態となり、矢印Ｙ方向（図１０）に回転する回転テーブル２によって運搬される。そして、粉体は、まず、繊維異物除去ノズル４１の下を通り、ここで粉体中の繊維状の異物が吸引除去され、次に、第１静電除去機５１の下を通り、ここで粉体の静電気が除去される。
【００７７】
そして、粉体は、粉体舞上り防止装置４３の下を通る。このとき、粉体は、平板４３１により上方から近接して覆われた状態となるので、上下に狭い空間に存在することとなり、その舞上りが抑制される。しかも、吸引機構４３２により、平板４３１で覆われた空間が吸引されるので、舞上った粉体は吸引除去されることとなり、これによっても、舞上りが抑制される。更に、延在部４３１１により、平板４３１で覆われた空間の回転方向側が仕切られているので、吸引される空間が確定され、それ故、吸引が効率良く行われ、舞上りの抑制効果が向上する。このように、粉体の舞上りが抑制されることにより、粉体に対する検査が円滑に且つ精度良く行われることとなり、また、粉体による周辺の汚染が防止される。
【００７８】
舞上りが抑制された粉体は、金属除去機４２の下を通り、ここで粉体中の金属異物が吸着除去される。
【００７９】
次に、粉体は、表側撮影機構６０のＣＣＤカメラ６２の下を通り、上方から撮影され、ここで粉体の内の不良品が検出される。このとき、粉体は、上側照明６３及び下側照明６４によって回転テーブル２の上下両方から照らされながら撮影されるので、粉体の影を不良品として検出してしまうことが防止され、従って、検出精度が向上する。しかも、下側照明６４の上面６４１が白色板であるので、下側照明６４の光が均一に分散し、粉体は下側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、上面６４１が帯電防止機能を有しているので、上面６４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。また、ＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３がフード６７で囲まれて密閉されているので、ＣＣＤカメラ６２や上側照明６３への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、エアーノズル６５１によってフード６７の下面６７２にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル６５２によって下側照明６４の上面６４１にエアーが吹き付けられるので、下面６７２や上面６４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。
【００８０】
次に、粉体は第２静電除去機５２の下を通り、ここで粉体の静電気が除去される。
【００８１】
次に、粉体は、裏側撮影機構７０のＣＣＤカメラ７２の上を通り、下から撮影され、ここで粉体の内の不良品が検出される。このとき、粉体は、上側照明７３及び下側照明７４によって回転テーブル２の上下両方から照らされながら撮影されるので、粉体の影を不良品として検出してしまうことが防止され、従って、検出精度が向上する。しかも、上側照明７３の下面７３１が白色板であるので、上側照明７３の光が均一に分散し、粉体は上側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、下面７３１が帯電防止機能を有しているので、下面７３１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、下側照明７４の上面７４１が白色板であるので、下側照明７４の光が均一に分散し、粉体は下側から均一に照らされることとなり、従って、この点からも検出精度が向上する。また、上面７４１が帯電防止機能を有しているので、上面７４１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。また、透明ガラス板７７１の周縁が隔離板７７に対して防滴構造となっているので、粉体が隔離板７７を通過してＣＣＤカメラ７２に付着することが防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。更に、エアーノズル７５１によって上側照明７３の下面７３１にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル７５２によって下側照明７４の上面７４１にエアーが吹き付けられ、また、エアーノズル７５３によって透明ガラス板７７１にエアーが吹き付けられるので、下面７３１、上面７４１、及び透明ガラス板７７１への粉体の付着が防止され、従って、この点からも検出精度が向上する。
【００８２】
次に、粉体は、実施形態１の粉体検査装置１の場合と同様に、良品回収ノズル８の下に運ばれ、ここで粉体の内の良品が吸引回収され、次いで、不良品除去ノズル９の下に運ばれ、ここで全ての粉体が回転テーブル２表面から吸引除去される。
【００８３】
なお、上記構成の粉体検査装置１００においては、上記作動中に、表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０がこれらの構成部品を傷付ける程度の巨大な異物を確認した場合には、装置全体の運転を停止するよう制御されるようになっており、これによって表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０の保護が図られている。また、常時検出される不良品がある場合、それは表側撮影機構６０又は裏側撮影機構７０に付着した汚れと考えられ、連続して検出される不良品がある場合、それは回転テーブル２に付着した汚れと考えられるので、その場合も、装置全体の運転を停止するよう制御されるようになっており、これによって歩留まりの向上及び検査の安定化が図られている。
【００８４】
こうして、上記構成の粉体検査装置１００によれば、実施形態１の粉体検査装置１と同様に、自動で粉体について不良品検査が行われ、良品のみが良品回収ノズル８によって確実に回収される。しかも、上記構成の粉体検査装置１００によれば、粉体の舞上りが抑制されることによって検査の円滑化、高精度化、及び周囲環境の汚染防止が図られ、また、表側撮影機構６０及び裏側撮影機構７０による検出精度が向上する。
【００８５】
更に、上記構成の粉体検査装置１００によれば、表側撮影機構６０、裏側撮影機構７０、及び回転テーブル２に対するメンテナンスを容易且つ確実に行うことができる。即ち、表側撮影機構６０においては、フード６７で囲まれたＣＣＤカメラ６２及び上側照明６３と、下側照明６４とが、それぞれ、回転テーブル２から外れた位置まで旋回可能となっているので、それぞれに対して回転テーブル２を傷付けることなく、メンテナンスを施すことができ、しかも、それぞれが、図１２に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているので、それぞれを相互に傷付けることなく、メンテナンスを施すことができる。また、裏側撮影機構７０においては、上側照明７３と、下側照明７４と、ＣＣＤカメラ７２とが、それぞれ、回転テーブル２から外れた位置まで旋回可能となっているので、それぞれに対して回転テーブル２を傷付けることなく、メンテナンスを施すことができ、しかも、それぞれが、図１４に示すように平面視で重ならない位置まで旋回可能となっているので、それぞれを相互に傷付けることなく、メンテナンスを施すことができる。
【００８６】
なお、上記構成の粉体検査装置１００は、図１６に示すような密閉ケース１１０内に収納されている。これは、検査中の粉体に外部から異物が侵入するのを防ぐためである。そして、密閉ケース１１０は、一部の扉がケース内外の気圧差を解消するためのフィルター１１１で構成されている。これにより、良品回収ノズル８や不良品除去ノズル９の作動によってケース内が負圧となるのが、防止される。従って、吸引能力及び除去能力の安定化が図られる。
【００８７】
（別の実施形態）
（１）実施形態３は、実施形態１の良品回収ノズル８及び不良品除去ノズル９を備えたものであるが、その代わりに、実施形態２の良品回収ノズル８及び不良品除去ノズル９を備えてもよく、更には、実施形態１，２の良品回収ノズル８又は不良品除去ノズル９の代わりに、従来一般の構成の良品回収ノズル又は不良品除去ノズルを備えてもよい。
【００８８】
（２）実施形態１，２の粉体検査装置をフィルター１１１を備えた密閉ケース１１０に収納してもよい。
【００８９】
（３）実施形態１ないし３において、裏側撮影機構７，７０は省略してもよい。即ち、回転テーブル２表面の粉体は回転テーブル２の表側のみから撮影してもよい。そして、この場合の回転テーブル２は、半透明、例えば乳白色の、樹脂又はガラスで形成されたものでよい。
【００９０】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、良品回収ノズルを、不良品がノズル直下に来るまでは、ノズル直下の良品を吸引し得る高さ位置にあり、不良品がノズル直下に来た時には、良品回収ノズルが作動していてもノズル直下の不良品を吸引し得ない高さ位置まで、移動するようにしたので、次のような効果を奏する。
（１）良品回収ノズルにより確実に良品のみを吸引できる。
（２）良品回収ノズルの作動を止めなくても良品回収ノズルによる不良品の吸引を阻止できるので、良品回収ノズルの作動を止めた場合に生じる吹き戻しを防止できる。従って、吹き戻しにより回転テーブル上の粉体が飛散してしまうのを防止できる。
（３）大きな不良品が良品回収ノズルの吸い込み口前で詰まるのを防止できる。
（４）不良品除去ノズルが良品回収ノズルの下を通過して来た粉体の全てを吸引除去し続けるので、不良品除去ノズルは回転テーブル表面に対するクリーナー機能を発揮できる。従って、検査室内における粉体の飛散や粉体の吸い残しを防止できる。
【００９１】
請求項２記載の発明によれば、不良品除去ノズルの作動を止めた場合に生じる吹き戻しを防止でき、吹き戻しにより回転テーブル上の粉体が飛散してしまうのを防止できる。
【００９２】
【００９３】
請求項３記載の発明によれば、請求項１と同様の効果を発揮できる。
【００９４】
請求項４記載の発明によれば、請求項２と同様の効果を発揮できる。
【００９５】
請求項５記載の発明によれば、表側撮影機構のカメラ及び上側照明への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【００９６】
請求項６記載の発明によれば、表側撮影機構のカメラ及び上側照明への粉体の付着を確実に防止できる。
【００９７】
請求項７記載の発明によれば、表側撮影機構のフード、カメラ、及び上側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【００９８】
請求項８記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【００９９】
請求項９記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１００】
請求項１０記載の発明によれば、表側撮影機構のフード、カメラ、及び上側照明と、下側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、相互に傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０１】
請求項１１記載の発明によれば、表側撮影機構の下側照明の光を均一に分散させて粉体を下側から均一に照らすことができ、従って、検出精度を向上できる。
【０１０２】
請求項１２記載の発明によれば、裏側撮影機構の下側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０３】
請求項１３記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明又は下側照明への粉体の付着を確実に防止でき、従って、検出精度を向上できる。
【０１０４】
請求項１４記載の発明によれば、カメラへの粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、メンテナンスを容易に行うことができる。
【０１０５】
請求項１５記載の発明によれば、カメラへの粉体の付着を確実に防止できる。
【０１０６】
請求項１６記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０７】
請求項１７記載の発明によれば、裏側撮影機構のカメラと回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０８】
請求項１８記載の発明によれば、裏側撮影機構のカメラと、上側照明と、下側照明と、回転テーブルとに対するメンテナンスを、相互に傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１０９】
請求項１９記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明の光を均一に分散させて粉体を上側から均一に照らすことができ、従って、検出精度を向上できる。
【０１１０】
請求項２０記載の発明によれば、表側撮影機構のフードの下面及び下側照明の上面の少なくとも一方への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１１】
請求項２１記載の発明によれば、裏側撮影機構の上側照明の下面及び下側照明の上面の少なくとも一方への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１２】
請求項２２記載の発明によれば、裏側撮影機構の透明ガラス板の上面への粉体の付着を防止でき、従って、検出精度を向上できるとともに、クリーナー効果を発揮して長時間運転を可能にできる。
【０１１３】
請求項２３記載の発明によれば、供給装置と撮影装置との間における粉体の舞上りを抑制でき、従って、検査の円滑化、高精度化、及び周囲環境の汚染防止を図ることができる。
【０１１４】
請求項２４記載の発明によれば、吸引機構による吸引効率を向上でき、粉体の舞上りの抑制効果を向上できる。
【０１１５】
請求項２５記載の発明によれば、粉体舞上り防止装置と回転テーブルとに対するメンテナンスを、回転テーブルを傷付けることなく、容易且つ確実に行うことができる。
【０１１６】
請求項２６記載の発明によれば、検査の安定化を図ることができる。
【０１１７】
請求項２７記載の発明によれば、回転テーブル表面に粉体を供給する前に、大きな不良品を確実に除去でき、その結果、大きな不良品が良品回収ノズルや不良品除去ノズルの吸い込み口前で詰まるのを防止できる。
【０１１８】
請求項２８記載の発明によれば、次のような効果を奏する。
（１）撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルの全ての作動有効範囲内となるよう幅が設定された溝内に粉体を入れ、溝内の粉体について検出・除去を行うようになっているので、撮影装置、良品回収ノズル、及び不良品除去ノズルを有効に使用でき、効率の良い検査を行うことができる。
（２）回転テーブルが透明であり、溝は底面と両側面とで構成されており、底面は水平な平坦面であり、両側面は、回転テーブル表面から底面に向けて溝幅が狭くなるよう傾斜し且つそれぞれ底面に対して４５°未満の角度で傾斜した平面であるので、溝内の粉体を回転テーブルの裏側から照明で照らして撮影する際において、溝の側面が鏡面のように光を反射する程度は低くなり、側面の部分に載っている粉体を回転テーブルの裏側からＣＣＤカメラにより十分に撮影できる。従って、溝内の粉体を、回転テーブルの表裏両側から漏れなく撮影でき、検査データの信頼性を高めることができる。
（３）溝の側面と底面との交差部がＲを有しているので、溝の形成時に交差部に傷が残ることはなく、このため、傷を不良品と間違えて検出するのを防止でき、この点からも検査データの信頼性を高めることができる。
（４）回転テーブルが、その表面に、粉体が嵌り込む溝を有しているので、回転テーブルの遠心力によって粉体が外に飛散してしまうのを防止できる。
【０１１９】
請求項２９記載の発明によれば、回転テーブル表面の粉体中から繊維状の異物又は金属異物を除去でき、又は粉体の静電気を除去できるので、検査精度を更に向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  実施形態１の粉体検査装置の平面図である。
【図２】  図１の回転テーブルのII−II断面図である。
【図３】  供給装置の平面図である。
【図４】  図３のIV−IV断面図である。
【図５】  図３のＶ−Ｖ断面図である。
【図６】  図３のVI−VI断面図である。
【図７】  良品回収ノズルの平面図である。
【図８】  図７のVIII矢視図である。
【図９】  図７のIX矢視図である。
【図１０】  実施形態３の粉体検査装置の平面図である。
【図１１】  図１０のＸＩ−ＸＩ断面図である。
【図１２】  図１１のＸII矢視図である。
【図１３】  図１０のＸIII−ＸIII断面図である。
【図１４】  図１３のＸIV矢視図である。
【図１５】  粉体舞上り防止装置の斜視図である。
【図１６】  粉体検査装置を収納した密閉ケースの斜視図である。
【図１７】  従来の粉体検査装置における粉体の検査状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１，１００  粉体検査装置
１１０  密閉ケース
１１１  フィルター
２  回転テーブル
２０  溝
２０１  底面
２０２  側面
３  供給装置
３３  多孔板
４３  粉体舞上り防止装置
４３１  平板
４３２  吸引機構
４３１１  延在部
６，６０  表側撮影機構
７，７０  裏側撮影機構
６２，７２  ＣＣＤカメラ
６３，７３  上側照明
６４，７４  下側照明
６５１，６５２，７５１，７５２，７５３  エアーノズル
６６，７６  支持ポール
６７  フード
６７２  下面
６４１，７３１  白色板
７７  隔離板
７７１  透明ガラス板
８  良品回収ノズル
８０  移動機構
９  不良品除去ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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