(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づき、制御部が各々のロットを各処理部で順次に処理するための各ロットの処理順序を決定してから処理を実行する基板処理装置のスケジュール実行方法において、
一つの処理工程を処理するために優先的に使用される処理部を優先処理部とし、前記優先処理部と同じ処理が可能であって、前記優先処理部とは異なる処理部を代替処理部とした場合に、レシピの処理工程に優先処理部と代替処理部とが指定可能にされ、
処理工程に指定されている優先処理部に異常が発生した場合に、異常が発生した優先処理部に対応する代替処理部が指定されているレシピで処理されるロットについては、前記代替処理部で処理を行うように前記制御部がスケジュールを変更するとともに、前記制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行し、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、前記制御部が前記ロットを待避部に待避させる処理を行うとともに、前記優先処理部が使用可能となった時点にて、そのロットについて再スケジュールを行ってから、そのロットの処理を再開することを特徴とする基板処理装置のスケジュール実行方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール実行方法において、
前記優先処理部は第１の薬液処理部であり、前記代替処理部は第２の薬液処理部であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール実行方法。
【請求項３】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール実行方法において、
前記優先処理部は第１の純水洗浄処理部であり、前記代替処理部は第２の純水洗浄処理部であることを特徴とする基板処理装置のスケジュール実行方法。
【請求項４】
基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づき、制御部が各々のロットを各処理部で順次に処理するための各ロットの処理順序を決定してから処理を実行する基板処理装置のスケジュール実行プログラムにおいて、
一つの処理工程を処理するために優先的に使用される処理部を優先処理部とし、前記優先処理部と同じ処理が可能であって、前記優先処理部とは異なる処理部を代替処理部とした場合に、レシピの処理工程に優先処理部と代替処理部とが指定可能にされ、
処理工程に指定されている優先処理部に異常が発生した場合に、異常が発生した優先処理部に対応する代替処理部が指定されているレシピで処理されているロットについては、前記代替処理部で処理を行うように前記制御部がスケジュールを変更するとともに、前記制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行し、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、前記制御部が前記ロットを待避部に待避させる処理を行うとともに、前記優先処理部が使用可能となった時点にて、そのロットについて再スケジュールを行ってから、そのロットの処理を再開するように制御する基板処理装置のスケジュール実行プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に所定の処理を施す基板処理装置のスケジュール実行方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、基板に処理を施すための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、制御部が、複数の処理工程を含むレシピに基づいて各々のロットを各処理部で順次に処理するために各ロットの処理順序を決定し、そのスケジュールに従って各ロットを搬送しつつ順次に処理を行うものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような基板処理装置のスケジュール実行方法は、実際にロットに対する処理を開始する前に、どのロットをどの処理部でどの時点において処理するか決めてゆくので、効率よくロットを配置することができ、基板処理装置の稼働率を向上させることができる。
【特許文献１】特開２００２−３４１９２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の方法は、ある処理工程で使用される処理部において異常が発生した場合には、その処理部を使用する予定となっているロットの全ての処理を停止させることになる。したがって、一つの処理部で異常が発生した場合に、基板処理装置の稼働率が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、代替処理部へのロットの乗り換えを許容することにより、処理部に異常が発生した場合であっても稼働率の低下を防止することができる基板処理装置のスケジュール実行方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づき、制御部が各々のロットを各処理部で順次に処理するための各ロットの処理順序を決定してから処理を実行する基板処理装置のスケジュール実行方法において、一つの処理工程を処理するために優先的に使用される処理部を優先処理部とし、前記優先処理部と同じ処理が可能であって、前記優先処理部とは異なる処理部を代替処理部とした場合に、レシピの処理工程に優先処理部と代替処理部とが指定可能にされ、処理工程に指定されている優先処理部に異常が発生した場合に、異常が発生した優先処理部に対応する代替処理部が指定されているレシピで処理されるロットについては、前記代替処理部で処理を行うように前記制御部がスケジュールを変更するとともに、前記制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行し、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、前記制御部が前記ロットを待避部に待避させる処理を行うとともに、前記優先処理部が使用可能となった時点にて、そのロットについて再スケジュールを行ってから、そのロットの処理を再開することを特徴とするものである。
【０００７】
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、異常が発生した優先処理部に代替処理部が指定されているレシピで処理されるロットについては、代替処理部に乗り換えてロットの処理を行うように制御部がスケジュールを変更するとともに、制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行する。したがって、処理部に異常が発生しても全てのロットについて処理を停止させる必要がないので、稼働率が低下することを防止することができる。
【０００８】
また、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、制御部がそのロットを待避部に待避させるとともに、優先処理部の異常が解消された時点にて、そのロットについてスケジュールをした後に処理を再開させる。したがって、優先処理部しかレシピに指定されていないロットの処理に不都合が生じることを防止できる。
【０００９】
また、本発明において、前記優先処理部は第１の薬液処理部であり、前記代替処理部は第２の薬液処理部であることが好ましい（請求項２）。基板処理装置は、処理効率を高めるために、薬液による処理を行う第１の薬液処理部と、同じ構成の第２の薬液処理部のように同じ処理部をペアで備えていることがある。両薬液処理部は、それぞれ同じ処理を行うように液種や温度などの条件を設定することが可能であるので、同じ条件となるように設定しておけば、一方を優先的に使用する優先処理部とし、他方を代替処理部として設定することができる。
【００１０】
また、本発明において、前記優先処理部は第１の純水洗浄処理部であり、前記代替処理部は第２の純水洗浄処理部であることが好ましい（請求項３）。基板処理装置は、処理効率を高めるために、純水による洗浄処理を行う第１の純水洗浄処理部と、同じ構成の第２の純水洗浄処理部のように同じ処理部をペアで備えていることがある。両純水処理部は、それぞれ同じ処理を行うように純水の温度や流量などの条件を設定することが可能であるので、同じ条件となるように設定しておけば、一方を優先的に使用する優先処理部とし、他方を代替処理部として設定することができる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、基板に処理を行うための処理部を複数個備えた基板処理装置によって複数のロットを処理するにあたり、複数の処理工程を含むレシピに基づき、制御部が各々のロットを各処理部で順次に処理するための各ロットの処理順序を決定してから処理を実行する基板処理装置のスケジュール実行プログラムにおいて、一つの処理工程を処理するために優先的に使用される処理部を優先処理部とし、前記優先処理部と同じ処理が可能であって、前記優先処理部とは異なる処理部を代替処理部とした場合に、レシピの処理工程に優先処理部と代替処理部とが指定可能にされ、処理工程に指定されている優先処理部に異常が発生した場合に、異常が発生した優先処理部に対応する代替処理部が指定されているレシピで処理されているロットについては、前記代替処理部で処理を行うように前記制御部がスケジュールを変更するとともに、前記制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行し、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、前記制御部が前記ロットを待避部に待避させる処理を行うとともに、前記優先処理部が使用可能となった時点にて、そのロットについて再スケジュールを行ってから、そのロットの処理を再開するように制御する基板処理装置のスケジュール実行プログラムである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール実行方法によれば、異常が発生した優先処理部に対応する代替処理部が指定されているレシピで処理されるロットについては、代替処理部に乗り換えてロットの処理を行うように制御部がスケジュールを変更するとともに、制御部がその変更したスケジュールでそのロットの処理を継続的に実行し、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、前記制御部が前記ロットを待避させる処理を行うとともに、前記優先処理部が使用可能となった時点にて、そのロットについて再スケジュールを行ってから、そのロットの処理を再開する。したがって、処理部に異常が発生しても全てのロットについて処理を停止させる必要がないので、稼働率が低下することを防止することができる。また、異常が発生した優先処理部だけが指定されているレシピで処理されるロットについては、制御部がそのロットを待避部に待避させるとともに、優先処理部の異常が解消された時点にて、そのロットについてスケジュールをした後に処理を再開させる。したがって、優先処理部しかレシピに指定されていないロットの処理に不都合が生じることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図２は、実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【００１４】
この基板処理装置は、基板Ｗに対して薬液処理、純水洗浄処理及び乾燥処理を行うための装置である。基板Ｗは、複数枚（例えば２５枚）がカセット１に対して積層して収納されている。未処理の基板Ｗを積層して収納したカセット１は、投入部３に載置される。投入部３は、カセット１が載置される載置台５を二つ備えている。基板処理装置のほぼ中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配設されている。払出部７は、処理済みの基板Ｗをカセット１に収納して装置外へカセット１ごと払い出す。払出部７は、投入部３と同様に、カセット１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００１５】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構１１が配設されている。この第１搬送機構１１は、投入部３に載置されたカセット１ごと複数枚の基板Ｗを第２搬送機構１３に対して搬送する。
【００１６】
第２搬送機構１３は、収納されている全ての基板Ｗをカセット１から取り出した後、第３搬送機構１５に対して全ての基板Ｗを搬送する。また、第３搬送機構１５から処理済みの基板Ｗを受け取った後、基板Ｗをカセット１に収容して第１搬送機構１１に対して搬送する。
【００１７】
第３搬送機構１５は、基板処理装置の長手方向に移動可能に構成され、その移動方向の最も手前側には、複数枚の基板Ｗをチャンバ内に収容して乾燥させるための乾燥処理部１７が配置されている。
【００１８】
第３搬送機構１５が移動する方向のうち、乾燥処理部１７に隣接する位置には、第１処理部１９が配置され、この第１処理部１９に隣接する奥側の位置には第２処理部２１が配置されている。
【００１９】
第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水洗浄処理を行うための純水洗浄処理部１９ａを備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液処理を行うための薬液処理部１９ｂを備えている。純水洗浄処理部１９ａと薬液処理部１９ｂを挟んだ第３搬送機構１５の反対側の位置には、純水洗浄処理部１９ａと薬液処理部１９ｂとの間でのみ複数枚の基板Ｗを受け渡すための副搬送機構１９ｃを備えている。
【００２０】
第２処理部２１は、上述した第１処理部１９と同様の構成を備えている。つまり、純水洗浄処理部２１ａと、薬液処理部２１ｂと、副搬送機構２１ｃとを備えている。
【００２１】
上記の第２搬送機構１３に隣接する位置には、カセット洗浄部２３が配置されている。このカセット洗浄部２３は、上述した第２搬送機構１３が全ての基板Ｗを取り出した後、空になった状態のカセット１を洗浄する機能を備えている。
【００２２】
なお、上述した第１搬送機構１１と、第２搬送機構１３と、第３搬送機構１５と、第１処理部１９（純水洗浄処理部１９ａと薬液処理部１９ｂ）と、第２処理部２１（純水洗浄処理部２１ａと薬液処理部２１ｂ）とが本発明における処理部に相当する。
【００２３】
上記構成の基板処理装置は、図２のブロック図に示すように制御部２５によって統括的に制御される。
【００２４】
制御部２５は、ＣＰＵ等から構成されており、スケジューリング部２７と、バッチ停止状態管理部２９と、処理実行指示部３１とを備えている。制御部２５に接続されている記憶部３３は、本基板処理装置のユーザによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピと、スケジュール作成プログラムと、作成されたスケジュールを実行する処理プログラムと、異常発生時に停止させるべきロットを判断したり、停止させたロットについての処理再開を判断したりするプログラムなどが予め格納されている。また、作成されたスケジュールも格納される。
【００２５】
スケジューリング部２７は、カセット１に収容されて投入部３に載置された複数枚の基板Ｗを一つのロットとして扱い、装置のオペレータにより指示された、記憶部３３に予め記憶されているレシピに応じて、実際に処理を開始する前に、ロット毎の処理工程を時系列的に効率よく配置できるようにスケジュールを作成する。また、詳細は後述するが、待避させたロットについて、待避させた理由が解消された場合に、再スケジューリングを行う機能も備えている。
【００２６】
なお、カセット１単位ではなく、複数のカセット１に収容されている複数枚の基板Ｗを一つのロットとしてもよい。
【００２７】
バッチ停止状態管理部２９は、スケジュールに基づき使用される処理部のいずれかに異常が発生した場合に、処理を停止させる必要があるロットとそうでないロットとを判別するとともに、そのロットを待避させるか代替処理部（詳細後述）で処理を継続するかを管理する。
【００２８】
処理実行指示部３１は、スケジューリング部２７が作成して記憶部３３に記憶されているスケジュールに基づいて、適切なタイミングで各処理部などの処理に係る動作指示を行う。
【００２９】
ここで、表１を参照しつつ具体的なレシピについて説明する。なお、説明の理解を容易にするために、実際のレシピよりも簡略化した例を挙げて説明する。
【００３０】
【表１】
0004845553.tif 000002
【００３１】
上の表１では、符号Ａ〜Ｆが処理部を表し、具体的には、処理部Ａが第１搬送機構１１、第２搬送機構１３、第３搬送機構１５を搬送に係る一つの処理部として扱ったものを表し、処理部Ｂが第１処理部１９の薬液処理部１９ｂを表し、処理部Ｃが第２処理部２１の薬液処理部２１ｂを表し、処理部Ｄが第１処理部１９の純水洗浄処理部１９ａを表し、処理部Ｅが第２処理部２１の純水洗浄処理部２１ｂを表し、処理部Ｆが乾燥処理部１７を表すものとする。第１処理部１９の薬液処理部１９ｂと第２処理部２１の薬液処理部２１ｂは、異なるレシピ用に異なる処理液や異なる液温、供給流量などに設定することも可能であるが、ここでは全く同じレシピ用に同じ設定にしてあるものとする。また、純水洗浄処理部１９ｂと純水洗浄処理部２１ｂについても、純水の温度や、供給流量などが同じに設定してあるものとする。なお、上記のレシピにおいては、副搬送機構１９ｃ、２１ｃを省略してある。
【００３２】
第１ロットＬ１のレシピは、第１処理工程〜第５処理工程の５つの処理工程からなり、第１処理工程が処理部Ａによる搬入であり、第２処理工程が処理部Ｂまたは処理部Ｃによる薬液処理であり、第３処理工程が処理部Ｄまたは処理部Ｅによる純水洗浄処理であり、第４処理工程が処理部Ｆによる乾燥処理であり、第５処理工程が処理部Ａによる搬出処理であるとする。また、第２ロットＬ２のレシピは、上述した第１ロットＬ２のレシピと同じである。
【００３３】
第３ロットＬ３のレシピは、第１〜第５処理工程の５つの処理工程からなり、第１処理工程が処理部Ａによる搬入処理であり、第２処理工程が処理部Ｂによる薬液処理であり、第３処理工程が処理部Ｄによる純水洗浄処理であり、第４処理工程が処理部Ｆによる乾燥処理であり、第５処理工程が処理部Ａによる搬出処理であるものとする。
【００３４】
なお、上述した第１ロットＬ１と第２ロットＬ２における第２処理工程では、処理部Ｂが、第２処理工程を実施するのに優先して使用される処理部であり、これを優先処理部と称する。また、優先処理部と同じ処理が可能な処理部であって、優先処理部とは相違する処理部を代替処理部と称する。この例では、第２処理工程における処理部Ｃが処理部Ｂの代替処理部であり、第３処理工程における処理部Ｅが処理部Ｄの代替処理部である。上述した第３ロットＬ２は、いずれの処理工程においても一つだけの処理部が指定されており、優先処理部と代替処理部とを規定されていないロットである。但し、この場合、その処理部を優先処理部と称することにする。
【００３５】
次に、図３〜図５を参照して上述した構成の基板処理装置による動作について説明する。なお、図３は、基板処理装置の動作を示すフローチャートであり、図４は、スケジュールされた状態の一例を示すタイムチャートであり、図５は、スケジュールの変更例を示すタイムチャートである。また、図６は、再スケジュールの一例を示すタイムチャートである。
【００３６】
ステップＳ１〜Ｓ３
装置のオペレータは、未処理の基板Ｗが収納されたカセット１を投入部３の載置台５に載置する（ステップＳ１）とともに、図示しない指示部からレシピを指示する（ステップＳ２）。すると、制御部２５は、記憶部３３に記憶されているレシピのデータを読み込み、さらに処理工程の時間計算を行う（ステップＳ３）。そして、スケジューリング部２７は、処理工程に要する時間に基づきスケジュールを作成する。ここでは、第１ロットＬ１から第３ロットＬ３までが順次に載置台５に載置され、オペレータによって上記表１のようにレシピが指定されたものとする。
【００３７】
ステップＳ４
スケジューリング部２７は、記憶部３３を参照し、上記表１に示す各レシピに基づいてスケジュールを作成する（ステップＳ４）。そのスケジューリング手法は様々であるが、例えば、図４に示すように、第１ロットＬ１と、第２ロットＬ２と、第３ロットＬ３のレシピに含まれている各処理工程（図中に第１処理工程Ｐ１と、第２処理工程Ｐ２と、第３処理工程Ｐ３と、第４処理工程Ｐ５と、第６処理工程Ｐ６と示す）が時系列的に配置されたものとする。なお、図４中における第１処理工程Ｐ１等は、その中央部が実質の処理を表し、その前が前作業（処理部を使用する前に行われる準備）であり、その後が後作業（処理部を使用した後に行われる片付け）として付加されている。本発明は、実際に処理を開始する前に予めスケジュールを作成する方式であるので、実際にロットが移動してくる前に次の処理部の前作業が開始され、次の処理部へロットが移動してから、そのロットが使用した処理部の後作業が行われる。
【００３８】
ステップＳ５、Ｓ６
スケジューリング部２７がスケジューリングを完了するとともに処理が開始され始め（ステップＳ５）、処理実行指示部３１は、図４に示すスケジュールにしたがって、各処理部に対する動作指令を順次に指示してゆく（ステップＳ６）。これにより各処理部でロットＬ１〜Ｌ３が処理される。
【００３９】
ステップＳ７、Ｓ８
バッチ停止状態管理部２９は、各処理部に異常が発生しているかを判断して（ステップＳ７）、処理を分岐する。異常が発生していない場合には、処理実行指示部３１により、他の指令があるか否かが判断され（ステップＳ８）、次なる指令があるとき、ステップＳ６に戻って次の動作指令を指示する。次なる指令がない場合には、処理を終了する。
【００４０】
ステップＳ９、Ｓ１０
ステップＳ７においてバッチ停止状態管理部２９がいずれかの処理部に異常が発生したことを検知した場合には、ステップＳ９に処理を移行して、異常が発生したことをオペレータに知らせるために報知を行う。そして、処理を停止すべきか否かを判断し（ステップＳ１０）、停止する必要がない場合にはステップＳ６に戻って処理指令を指示する。これは、例えば、現在処理している第１ロットＬ１〜第３ロットＬ３に関連がない処理部における異常が発生した場合にあたる。
【００４１】
ステップＳ１１、Ｓ１２
バッチ停止状態管理部２９がいずれかの処理部に異常が発生したことを検知し、かつ処理を停止すべきであると判断した場合には、まず対象となるロットを判断してそのロットを待避させる（ステップＳ１１）とともに、そのロットの処理が再開可能になった場合には再開指令を行って（ステップＳ１２）、そのロットについてのみスケジューリング部２７に再スケジューリングを行わせる。
【００４２】
ここで、図５に示すように、現在時点が時刻ｔ１であって、例えば、処理部Ｂ（第１処理部１９の薬液処理部１９ｂ）に異常が発生し、その処理部Ｂを使用しての処理（第２の処理工程Ｐ２）が行えない状態になったものとする。この時刻ｔ１においては、処理部Ｂによる第１ロットＬ１への処理は既に完了しているので、対象となるロットは第２ロットＬ２と第３ロットＬ３であると判断される。そこで、バッチ停止状態管理部２９は、第２ロットＬ２のレシピを参照し、代替処理部の指定がされているか否かを判断し、代替処理部があれば、第２ロットＬ２のスケジュールを変更し、優先処理部である処理部Ｂによる処理を、代替処理部である処理部Ｃ（第２処理部２１の薬液処理部２１ｂ）による処理に乗り換えさせる。そして、処理実行指示部３１は、それを受けて処理部Ｃに乗り換えた場合のスケジュールで処理指令を発し、第２ロットＬ２については処理を停止させることなく継続的に処理が行われる。
【００４３】
なお、処理を停止された第３ロットＬ３については、処理実行指示部３１が、一旦、図示しない待避部に待避させるとともに、第３ロットＬ３を待避部に待避させていることをバッチ停止状態管理部２９が管理する。処理部Ｂの異常が解消され、使用可能になった場合には、そのことがバッチ停止状態管理部２９に伝えられ、これを受けたバッチ停止状態管理部２９は、処理部Ｂを使用するスケジュールを再び行うようにスケジューリング部２７に伝える。これを受けたスケジューリング部２７は、再スケジューリングを行う。
【００４４】
例えば、図６における時刻ｔ２（第２ロットの処理部Ｆによる乾燥処理中）において、処理部Ｂの異常が解消されたとすると、当初、図中に点線で示す位置から処理が開始されるようにスケジュールされていた第３ロットＬ３は、第２ロットＬ２の搬送処理が終わった直後から処理が開始されるように再スケジュールが行われる。
【００４５】
上述したように、異常が発生した優先処理部Ｂに代替処理部Ｃが指定されているレシピで処理される第２ロットＬ２については、代替処理部Ｃに乗り換えて第２ロットＬ２の処理を行うように制御部２５がスケジュールを変更するとともに、制御部２５がその変更したスケジュールで第２ロットＬ２の処理を継続的に実行する。したがって、優先処理部Ｂに異常が発生しても第１ロットＬ１から第３ロットＬ３の全てのロットについて処理を停止させる必要がないので、基板処理装置の稼働率が低下することを防止することができる。
【００４６】
また、異常が発生した優先処理部Ｂだけが指定されているレシピで処理される第３ロットＬ３については、制御部２５が第３ロットＬ３を待避させるとともに、優先処理部Ｂの異常が解消された時点にて、第３ロットＬ３についてスケジュールをした後に処理を再開させる。したがって、優先処理部Ｂしかレシピに指定されていない第３ロットＬ３の処理に不都合が生じることを防止できる。
【００４７】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００４８】
（１）上述した実施例では、３つのロットを同時に処理してゆく場合を例示して説明したが、１〜２ロットまたは４ロット以上を同時に処理する場合であっても本発明を適用することが可能である。
【００４９】
（２）上述した実施例では、レシピ内において、一つの優先処理部に一つの代替処理部を規定している。しかし、基板処理装置において、上述した第１処理部１９と、第２処理部２１に加え、さらに第３処理部と、第４処理部とのように、同じ処理が可能な処理部が３台以上備えられている場合には、一つの優先処理部に複数の代替処理部を規定するようにしてもよい。その場合には、代替処理部の指定順にしたがって優先的に使用するようにスケジュールを行い、さらにその代替処理部に異常が発生している場合には、その次の代替処理部を使用するようにすればよい。
【００５０】
（３）実施例で例に採った基板処理装置は、基板に対して薬液処理と、純水洗浄処理と、乾燥処理とを順に行う装置であるが、これ以外の処理を行う基板処理装置であっても本発明を適用することができる。例えば、基板にフォトレジスト液を塗布し、回転処理によって薄膜化し、ベーク処理によって被膜を形成するような装置であってもよい。
【００５１】
（４）上述した実施例では、代替処理部を規定されたレシピで処理されているロットについては乗り換えを行わせ、そうでないロットについては待避させ、処理部の不具合が解消された時点で再スケジューリングさせている。しかし、代替処理部を規定されていないレシピで処理されているロットについては、全て待避させるだけとし、再度そのロットをオペレータが投入し直すように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図２】実施例に係る基板処理装置の概略構成を示したブロック図である。
【図３】基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】スケジュールされた状態の一例を示すタイムチャートである。
【図５】スケジュールの変更例を示すタイムチャートである。
【図６】再スケジュールの一例を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【００５３】
Ｗ  …  基板
１  …  カセット
１７  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
２１  …  第２処理部
１９ａ  …  純水洗浄処理部
１９ｂ  …  薬液処理部
１９ｃ  …  副搬送機構
２１ａ  …  純水洗浄処理部
２１ｂ  …  薬液処理部
２１ｃ  …  副搬送機構
２５  …  制御部
２７  …  スケジューリング部
２９  …  バッチ停止状態管理部
３１  …  処理実行指示部
３３  …  記憶部
【図１】
0004845553.tif 000003
【図２】
0004845553.tif 000004
【図３】
0004845553.tif 000005
【図４】
0004845553.tif 000006
【図５】
0004845553.tif 000007
【図６】
0004845553.tif 000008