(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
除去対象物質を含有する被処理空気に第１の洗浄液を接触させる上流側気液接触部と；
前記上流側気液接触部を通過した前記被処理空気に、前記被処理空気に接触していない第２の洗浄液を接触させる下流側気液接触部と；
前記下流側気液接触部で前記被処理空気から前記除去対象物質を奪った前記第２の洗浄液である第２の処理済洗浄液中の前記除去対象物質の濃度を検出する検出器と；
前記上流側気液接触部で前記被処理空気から前記除去対象物質を奪った前記第１の洗浄液である第１の処理済洗浄液と、前記第２の処理済洗浄液とを含んだ混合洗浄液を、前記第１の洗浄液として前記上流側気液接触部に供給する循環管と；
前記検出器の検出結果が所定の範囲に収束するように前記混合洗浄液中の前記除去対象物質の濃度を希釈する混合洗浄液希釈手段とを備える；
空気洗浄器。
【請求項２】
前記混合洗浄液希釈手段が、
前記第１の処理済洗浄液を前記第２の処理済洗浄液に混合させずに系外に排出する排出管と、
前記排出管に配設され、前記検出器の検出結果に応じて系外に排出する前記第１の処理済洗浄液の量を調節するバルブと、
前記被処理空気に接触していない第３の洗浄液を前記混合洗浄液に供給する供給管とを含んで構成された；
請求項１に記載の空気洗浄器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は空気洗浄器に関し、特に洗浄液の消費量を削減した空気洗浄器に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場においては、製品の歩留まりを低下させる原因となる汚染物質の侵入を防ぐため、空気を洗浄水と接触させて汚染物質を除去したうえで導入している。汚染物質を除去する洗浄水は、空気の清浄度を維持するために、長らく一度空気に接触させた後の再利用はされずに捨てられていたため、大量に消費されていた。近年、省資源化が強く求められている実情に応えるべく、洗浄水の使用量を抑制したものとして、吸収液（洗浄液）を被処理空気に循環供給し、被処理空気に供給される吸収液（洗浄液）のｐＨ値を検出して、流通する吸収液（洗浄液）のｐＨ値が所定の範囲内になるように新たな（汚染されていない）吸収液（洗浄液）を循環している吸収液（洗浄液）に供給するように構成した装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０−３０９４３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述の特許文献１に記載された装置は、洗浄液を循環利用しているため洗浄液の消費量削減に一定の効果があるものの、被処理空気に供給される洗浄液のｐＨ値が所定の範囲内になるように制御しているので、被処理空気を洗浄する負荷が小さくなれば洗浄後の空気の清浄度が必要以上に高くなる場合があった。
【０００４】
本発明は上述の課題に鑑み、処理後の空気の清浄度を必要以上に高めることなく洗浄液の消費量をさらに削減することができる空気洗浄器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様に係る空気洗浄器は、例えば図１に示すように、除去対象物質を含有する被処理空気ＰＡに第１の洗浄液ｓｗ１を接触させる上流側気液接触部１２Ａと；上流側気液接触部１２Ａを通過した被処理空気ＱＡに、被処理空気ＰＡ、ＱＡに接触していない第２の洗浄液ｓｗ２を接触させる下流側気液接触部１２Ｂと；下流側気液接触部１２Ｂで被処理空気ＱＡから除去対象物質を奪った第２の洗浄液ｗ２である第２の処理済洗浄液ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を検出する検出器３６と；上流側気液接触部１２Ａで被処理空気ＰＡから除去対象物質を奪った第１の洗浄液ｗ１である第１の処理済洗浄液ｔｗ１と、第２の処理済洗浄液ｔｗ２とを含んだ混合洗浄液ｍｗを、第１の洗浄液ｓｗ１として上流側気液接触部１２Ａに供給する循環管２１と；検出器３６の検出結果が所定の範囲に収束するように混合洗浄液ｍｗ中の除去対象物質の濃度を希釈する混合洗浄液希釈手段２３、２９、３３、３９とを備える。
【０００６】
このように構成すると、下流側気液接触部で被処理空気から除去対象物質を奪った第２の洗浄液である第２の処理済洗浄液中の除去対象物質の濃度を検出する検出器の検出結果が所定の範囲に収束するように混合洗浄液中の除去対象物質の濃度を希釈するので、処理後の空気の清浄度を所定の範囲に収束させることができて必要以上に高めることがなく、洗浄液の消費量を抑制することができる。
【０００７】
また、本発明の第２の態様に係る空気洗浄器は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様に係る空気洗浄器１０において、前記混合洗浄液希釈手段が、第１の処理済洗浄液ｔｗ１を第２の処理済洗浄液ｔｗ２に混合させずに系外に排出する排出管２９と、排出管２９に配設され、検出器３６の検出結果に応じて系外に排出する第１の処理済洗浄液ｔｗ１の量を調節するバルブ３９と、被処理空気ＰＡ、ＱＡに接触していない第３の洗浄液ｗ３を混合洗浄液ｍｗに供給する供給管２３とを含んで構成されている。
【０００８】
このように構成すると、除去対象物質の濃度が比較的高い第１の処理済洗浄液を系外に排出し、これによって不足した分の第３の洗浄液を混合洗浄液に供給することとなり、除去対象物質の濃度の希釈効率を向上させることができる。
【０００９】
また、本発明の第３の態様に係る空気洗浄器は、例えば図１に示すように、上記本発明の第１の態様又は第２の態様に係る空気洗浄器１０において、検出器３６で検出した除去対象物質の濃度が所定の濃度以下のときに下流側気液接触部１２Ｂに供給される第２の洗浄液ｓｗ２を減少させる流量調節手段３２を備える。
【００１０】
このように構成すると、混合洗浄液中の除去対象物質の濃度を希釈することを要しなくなった後でさらに洗浄液の消費量を削減することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、下流側気液接触部で被処理空気から除去対象物質を奪った第２の洗浄液である第２の処理済洗浄液中の除去対象物質の濃度を検出する検出器の検出結果が所定の範囲に収束するように混合洗浄液中の除去対象物質の濃度を希釈するので、処理後の空気の清浄度を所定の範囲に収束させることができて必要以上に高めることがなく、洗浄液の消費量を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において互いに同一又は相当する部材には同一あるいは類似の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００１３】
まず図１を参照して、本発明の実施の形態に係る空気洗浄器１０の構成を説明する。図１は、空気洗浄器１０の概略構成図である。空気洗浄器１０は、典型的には、半導体製造工場等に設置されるクリーンルームに供給される、空気を浄化する機器である。空気洗浄器１０は、例えば、半導体製造工場の集積回路を形成する工程において空気中のケミカルガス（例えば、硫黄酸化物（ＳＯｘ）や窒素酸化物（ＮＯｘ）等を含むガス）に起因する歩留まりの低下を回避すべく、クリーンルームに供給される空気中から製品の歩留まりを低下させるようなケミカルガスを除去するために設置される。この場合、歩留まりを低下させるようなケミカルガスが除去対象物質であり、クリーンルームに供給される前のケミカルガスを含む空気が被処理空気となる。
【００１４】
空気洗浄器１０は、除去対象物質が含まれた被処理空気としての処理前空気ＰＡを導入して浄化するチャンバー１１を備えている。チャンバー１１には、処理前空気ＰＡを導入する導入口１１ａと、処理後の浄化された清浄空気ＳＡを導出する導出口１１ｂとが形成されている。チャンバー１１内には、上流側気液接触部としての第１洗浄部１２Ａと下流側気液接触部としての第２洗浄部１２Ｂとが空気の流れ方向の上流側から下流側に向かってこの順に配設されている。
【００１５】
第１洗浄部１２Ａは、第１の洗浄液と処理前空気ＰＡとの接触面積を広げる第１気液接触エレメント１３Ａと、供給循環純水ｓｗ１を滴下する第１滴下ノズル１４Ａとを有している。供給循環純水ｓｗ１は、第１の洗浄液としての循環純水ｗ１のうち処理前空気ＰＡと接触する前の循環純水ｗ１である。第１気液接触エレメント１３Ａは、板状に形成された部材であり、面（面に垂直に交わる直線）が水平方向かつ処理前空気ＰＡの流れ方向に直交する方向を向くように、チャンバー１１内に配設されている。第１洗浄部１２Ａは、典型的には複数の第１気液接触エレメント１３Ａを有しており、複数の第１気液接触エレメント１３Ａの面と面とが対向するように配設され、複数の第１気液接触エレメント１３Ａの間を処理前空気ＰＡが通過するように構成されている。
【００１６】
第１滴下ノズル１４Ａは、図では簡易に表しているが、第１気液接触エレメント１３Ａの表面を循環純水ｗ１で満遍なく濡らすために第１気液接触エレメント１３Ａの幅と少なくともほぼ同じ幅を有し、各第１気液接触エレメント１３Ａの上方にそれぞれ配設されている。複数の第１気液接触エレメント１３Ａの下方には、第１気液接触エレメント１３Ａの表面に沿って流下して処理前空気ＰＡと接触した第１の処理済洗浄液としての処理済循環純水ｔｗ１を受ける第１パン１５Ａが設けられている。処理済循環純水ｔｗ１は、第１の洗浄液としての循環純水ｗ１のうち処理前空気ＰＡと接触した後の循環純水ｗ１である。したがって、処理済循環純水ｔｗ１には、典型的には、除去対象物質が含有されている。第１気液接触エレメント１３Ａは、処理前空気ＰＡが循環純水ｗ１に接触せずに第１洗浄部１２Ａを通過してしまうことを抑制するために、上端がチャンバー１１の天板に接し、下端が第１パン１５Ａ内の処理済循環純水ｔｗ１の水面下に没する高さを有するように構成されていてもよい。
【００１７】
第２洗浄部１２Ｂは、第１洗浄部１２Ａと同様に構成されており、第１洗浄部１２Ａにおける第１気液接触エレメント１３Ａ、第１滴下ノズル１４Ａ、第１パン１５Ａが、それぞれ第２洗浄部１２Ｂにおける第２気液接触エレメント１３Ｂ、第２滴下ノズル１４Ｂ、第２パン１５Ｂに相当する。他に第２洗浄部１２Ｂが第１洗浄部１２Ａと異なる点は、第２滴下ノズル１４Ｂから滴下されるのが供給新鮮純水ｓｗ２であり、供給新鮮純水ｓｗ２と接触するのは処理前空気ＰＡが循環純水ｗ１と接触した後の１次処理空気ＱＡであり、第２パン１５Ｂが受けるのが第２の処理済洗浄液としての処理済新鮮純水ｔｗ２である点である。ここで供給新鮮純水ｓｗ２は、第２の洗浄液としての新鮮純水ｗ２のうち除去対象物質を含む被処理空気（典型的には処理前空気ＰＡ及び１次処理空気ＱＡ）と接触する前の新鮮純水ｗ２である。また、処理済新鮮純水ｔｗ２は、第２の洗浄液としての新鮮純水ｗ２のうち１次処理空気ＱＡと接触した後の新鮮純水ｗ２である。
【００１８】
供給新鮮純水ｓｗ２は、空気洗浄器１０外で生成され、第２洗浄部１２Ｂに供給される。供給新鮮純水ｓｗ２は、典型的には水道水から不純物を除去した純度の高い水である。ここでいう不純物は、除去対象物質、塩類、残留塩素等（塩類、残留塩素等が除去対象物質に含まれる場合もある）の、洗浄後の空気である清浄空気ＳＡに含まれるべきでない物質であり、清浄空気ＳＡの用途によって異なる場合がある。また、清浄空気ＳＡの用途によって、供給新鮮純水ｓｗ２中に残留する不純物の濃度の許容値が異なる場合もある。
【００１９】
空気洗浄器１０は、混合タンク１６を備えている。混合タンク１６は、第１パン１５Ａに収集された処理済循環純水ｔｗ１及び第２パン１５Ｂに収集された処理済新鮮純水ｔｗ２を受け入れるタンクである。混合タンク１６は、ＦＲＰ製や鋼板製等、用途に適した材質のものを用いることができる。
【００２０】
第１パン１５Ａには、収集された処理済循環純水ｔｗ１を流す第１回収管２４が接続されている。第１回収管２４は、下流側で、タンク誘導管２５と排出管２９とに分岐している。タンク誘導管２５の下流側は、混合タンク１６に導かれている。他方、排出管２９の下流側は、空気洗浄器１０外に導かれている。排出管２９には、排出管２９内を流れる処理済循環純水ｔｗ１の流れを遮断する排水遮断弁３９が挿入配置されている。排水遮断弁３９は、制御装置３０と信号ケーブルで接続されており、制御装置３０からの開閉信号を受信して弁の開閉が行われるように構成されている。排出管２９は、第１回収管２４との接続部から鉛直方向に延びるように配設されている。他方、タンク誘導管２５は、第１回収管２４との接続部から水平方向に延びるように配設されている。第１回収管２４に対してタンク誘導管２５及び排出管２９がこのように配設されていることにより、第１回収管２４内を流れてきた処理済循環純水ｔｗ１は、排水遮断弁３９が開のときに排出管２９を介して空気洗浄器１０外に排出され、排水遮断弁３９が閉のときにタンク誘導管２５を介して混合タンク１６内に導かれるようになっている。
【００２１】
第２パン１５Ｂには、収集された処理済新鮮純水ｔｗ２を流す第２回収管２６が接続されている。第２回収管２６は、下流側が混合タンク１６に導かれている。第２回収管２６には、第２回収管２６内を流れる処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を検出する検出器としての電気伝導率計３６が挿入配置されている。一般に、不純物の含有量が少ない水の電気伝導率は小さく、不純物の含有量が多い水の電気伝導率は大きくなる。したがって、処理済新鮮純水ｔｗ２の電気伝導度を検出することにより、処理済新鮮純水ｔｗ２中の不純物の濃度を間接的に検出することができる。このように、検出器は、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を間接的に検出するものであってもよい。電気伝導率計３６は、制御装置３０と信号ケーブルで接続されており、検出した電気伝導率を信号として制御装置３０に送信することができるように構成されている。
【００２２】
混合タンク１６には、第３の洗浄液としての希釈純水ｗ３を導入する供給管としての希釈純水管２３が配設されている。希釈純水ｗ３は、典型的には供給新鮮純水ｓｗ２と同じ純水である。つまり、希釈純水ｗ３と供給新鮮純水ｓｗ２とは、同じ純水生成装置（不図示）から供給を受けたもので、用途（導入先）によって呼称を変えて区別を容易にしたものである。希釈純水管２３の下流側の先端は、混合タンク１６内に位置しており、当該先端にはボールタップ３３が取り付けられている。ボールタップ３３が取り付けられていることにより、混合タンク１６内の水位が下がると混合タンク１６内の水位が所定の水位（ボールタップ３３からの流入水の停止水位）になるまで希釈純水ｗ３が混合タンク１６内に流入するようになっている。混合タンク１６内の混合洗浄液としての混合純水ｍｗ中の除去対象物質の希釈は、排水遮断弁３９を開にして処理済循環純水ｔｗ１を排出管２９を介して空気洗浄器１０外に排出し、排出により水位が低下した混合タンク１６内に希釈純水管２３及びボールタップ３３を介して希釈純水ｗ３が導入されることにより行われる。排出管２９、排水遮断弁３９、希釈純水管２３、ボールタップ３３は、混合洗浄液希釈手段を構成する。なお、ボールタップ３３の頻繁な開閉動作を回避するために、ボールタップの開閉に水位差が取れるタイプのものを用いるとよい。混合タンク１６には、第１パン１５Ａから回収された処理済循環純水ｔｗ１と第２パン１５Ｂから回収された処理済新鮮純水ｔｗ２とが混合された純水に、必要に応じて希釈純水ｗ３が混合された、混合洗浄液としての混合純水ｍｗが貯留されることとなる。
【００２３】
混合タンク１６の下部には循環管２１の一端が接続されている。循環管２１の他端は第１滴下ノズル１４Ａに接続されている。循環管２１には、混合タンク１６内の混合純水ｍｗを第１滴下ノズル１４Ａに向けて圧送する循環ポンプ３１が挿入配置されている。上述のように、第１滴下ノズル１４Ａからは供給循環純水ｓｗ１が滴下されるところ、供給循環純水ｓｗ１と混合純水ｍｗとは物質としては同じ純水を呼称を変えて区別したものである。つまり、混合純水ｍｗは、供給循環純水ｓｗ１として第１滴下ノズル１４Ａから滴下されるように構成されている。
【００２４】
第２滴下ノズル１４Ｂには、供給新鮮純水ｓｗ２を流す新鮮純水管２２の一端が接続されている。新鮮純水管２２の他端は、空気洗浄器１０外の純水生成装置（不図示）に接続されている。新鮮純水管２２には、新鮮純水管２２内を流れる供給新鮮純水ｓｗ２の流量を変えることができる流量調節手段としての流量調整弁３２が挿入配置されている。流量調整弁３２は、制御装置３０と信号ケーブルで接続されており、制御装置３０から開閉信号を受信して弁の開度の調整（全開及び全閉を含む）が行われるように構成されている。
【００２５】
制御装置３０は、空気洗浄器１０の運転を制御する。制御装置３０は、電気伝導率計３６から検出値の信号を受信して、電気伝導率計３６における検出結果から、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が所定の濃度以上と判断した場合は排水遮断弁３９に開信号を送信して処理済循環純水ｔｗ１を混合タンク１６に流入させずに空気洗浄器１０外に排出させ、逆に処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が所定の濃度以下と判断した場合は流量調整弁３２に信号を送信して第２滴下ノズル１４Ｂに流入させる供給新鮮純水ｓｗ２の流量を減少させるように構成されている。ここで「所定の濃度」は、第２洗浄部１２Ｂで新鮮純水ｗ２と接触して浄化された清浄空気ＳＡの清浄度が許容範囲内に収束する際の処理済新鮮純水ｔｗ２の除去対象物質の濃度である。所定の濃度は、典型的には幅を有する。また、制御装置３０は、循環ポンプ３１の発停を制御することができるように構成されている。
【００２６】
引き続き図２を参照して、空気洗浄器１０の作用を説明する。図２は、空気洗浄器１０の動作を説明するフローチャートである。なお、以下の説明において言及する空気洗浄器１０の構成の符号については適宜図１を参照することとする。空気洗浄器１０は、稼働していないときでも混合タンク１６内にボールタップ３３の停止水位まで混合純水ｍｗが入っている。空気洗浄器１０が稼働していないときは、流量調整弁３２及び排水遮断弁３９が閉になっている。空気洗浄器１０を稼働させるに際し、制御装置３０は、循環ポンプ３１を起動して混合純水ｍｗを供給循環純水ｓｗ１として第１滴下ノズル１４Ａに導入し（Ｓ１）、流量調整弁３２を開にして供給新鮮純水ｓｗ２を第２滴下ノズル１４Ｂに導入する（Ｓ２）。この状態で処理前空気ＰＡをチャンバー１１内に導入する（Ｓ３）。なお、処理前空気ＰＡのチャンバー１１内への導入は、空気洗浄器１０外の送風機（不図示）を起動することにより行われる。
【００２７】
第１滴下ノズル１４Ａに導入された供給循環純水ｓｗ１は、第１気液接触エレメント１３Ａに滴下され、第１気液接触エレメント１３Ａの面に沿って鉛直下方に流下する。第２滴下ノズル１４Ｂに導入された供給新鮮純水ｓｗ２は、第２気液接触エレメント１３Ｂに滴下され、第２気液接触エレメント１３Ｂの面に沿って鉛直下方に流下する。他方、チャンバー１１内に導入された処理前空気ＰＡは、まず複数の第１気液接触エレメント１３Ａの間を通過し、このとき循環純水ｗ１と接触して、処理前空気ＰＡ中に含まれる除去対象物質が循環純水ｗ１に補足され、処理前空気ＰＡよりも除去対象物質の含有量が少ない１次処理空気ＱＡとなる。次に１次処理空気ＱＡは、複数の第２気液接触エレメント１３Ｂの間を通過し、このとき新鮮純水ｗ２と接触して、１次処理空気ＱＡ中に含まれる除去対象物質が新鮮純水ｗ２に補足され、１次処理空気ＱＡよりも除去対象物質の含有量が少ない清浄空気ＳＡとなる。処理前空気ＰＡから除去対象物質を奪った循環純水ｗ１は、処理済循環純水ｔｗ１として第１パン１５Ａに流入し、第１回収管２４及びタンク誘導管２５を介して混合タンク１６に流入する。１次処理空気ＱＡから除去対象物質を奪った新鮮純水ｗ２は、処理済新鮮純水ｔｗ２として第２パン１５Ｂに流入し、第２回収管２６を介して混合タンク１６に流入する。混合タンク１６に流入した処理済循環純水ｔｗ１及び処理済新鮮純水ｔｗ２は、混合されて混合純水ｍｗとなり、循環ポンプ３１によって第１滴下ノズル１４Ａに導入される。このように、チャンバー１１内に導入される空気の流れに対して上流側に位置する第１滴下ノズル１４Ａに、一旦除去対象物質の補足に用いた循環純水ｗ１を導入するので、常に新鮮な純水で除去対象物質を補足する場合に比べて空気洗浄器１０に新たに導入する新鮮純水ｗ２の量を削減することができる。なお、混合タンク１６内で混合純水ｍｗの水位が上昇した場合は、ボールタップ３３の停止水位よりも上方に接続されたオーバーフロー管（不図示）を介して余剰分の混合純水ｍｗが空気洗浄器１０外に排出される。空気洗浄器１０は、上記のような定常運転を行う（Ｓ４）。
【００２８】
空気洗浄器１０が定常運転を行っているときに、制御装置３０は、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断することにより、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が所定の濃度か否かを判断している（Ｓ５）。電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であれば定常運転を継続する（Ｓ４）。他方、検出結果が所定の値でなければ、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値を超えているかを判断することにより、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が所定の濃度を超えているか否かを判断する（Ｓ６）。電気伝導率計３６の検出結果が所定の値を超えている場合は、流量調整弁３２が全開になっているか否かを判断する（Ｓ７）。全開になっていない場合は、流量調整弁３２を全開にし（Ｓ８）、その後電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断する工程（Ｓ５）に戻る。
【００２９】
流量調整弁３２が全開になっているか否かを判断する工程（Ｓ７）において全開になっている場合は、排水遮断弁３９を所定の時間だけ開にする（Ｓ９）。排水遮断弁３９を開にすると、第１回収管２４を流れる処理済循環純水ｔｗ１は、タンク誘導管２５に流入せずに排出管２９を介して空気洗浄器１０外に排出される。処理済循環純水ｔｗ１が空気洗浄器１０外に排出されると混合タンク１６内の水位が低下し、水位の低下によりボールタップ３３が開となって希釈純水ｗ３が混合タンク１６内に供給される。希釈純水ｗ３が混合タンク１６内に供給されると、混合純水ｍｗ（供給循環純水ｓｗ１）中の除去対象物質の濃度が低下するため第１洗浄部１２Ａにおける除去対象物質の補足がより多くなされるようになり、１次処理空気ＱＡの清浄度が向上して第２洗浄部１２Ｂにおける除去対象物質の補足負荷が小さくなるため処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が低くなる。なお、空気洗浄器１０外に排出する処理済循環純水ｔｗ１の量は、排水遮断弁３９を開にしている時間により調節する。制御装置３０には、電気伝導率計３６の検出結果と排水遮断弁３９を開にしている時間との関係（典型的には電気伝導率が大きいほど排水遮断弁３９を開にしている時間を長くする）がテーブルとしてあらかじめ記憶されていることが好ましい。排水遮断弁３９を所定の時間だけ開にして（Ｓ９）再び閉としたら、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断する工程（Ｓ５）に戻る。
【００３０】
電気伝導率計３６の検出結果が所定の値を超えているかを判断する工程（Ｓ６）において所定の値を超えていなければ、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値未満かを判断することにより、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度が所定の濃度未満か否かを判断する（Ｓ１０）。所定の値未満でない場合は、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値となっている可能性が高いため、再び電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断する工程（Ｓ５）に戻って確認する。他方、所定の値未満の場合は、流量調整弁３２の開度を調節して第２滴下ノズル１４Ｂに導入する供給新鮮純水ｓｗ２の流量を減少させる（Ｓ１１）。制御装置３０には、電気伝導率計３６の検出結果と流量調整弁３２の開度との関係（典型的には電気伝導率が小さいほど流量調整弁３２の開度を小さくする）がテーブルとしてあらかじめ記憶されていることが好ましい。流量調整弁３２の開度を調節したら、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断する工程（Ｓ５）に戻る。以降は、上述したフローにしたがって運転される。
【００３１】
なお、空気洗浄器１０において、排出管２９からの処理済循環純水ｔｗ１の排出が定期的に行われる程度に第２滴下ノズル１４Ｂへ導入する供給新鮮純水ｓｗ２の流量を少なめに設定して流量調整弁３２が全開の状態を維持するように流量設定することにより、図２に示すフローチャートにおいて、工程Ｓ１０及び工程Ｓ１１を省略するように構成してもよい。この場合、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値を超えているかを判断する工程（Ｓ６）において所定の値を超えていなければ、電気伝導率計３６の検出結果が所定の値となっている可能性が高いため、再び電気伝導率計３６の検出結果が所定の値であるかを判断する工程（Ｓ５）に戻って確認することとなる。
【００３２】
以上で説明したように、空気洗浄器１０は、チャンバー１１内の空気の流れの下流側で除去対象物質を補足した処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を所定の濃度にするように制御するので、処理した後の清浄空気ＳＡの清浄度を所定の範囲に収束することができ、清浄空気ＳＡの清浄度が過剰に高くなることを抑制することができる。これにより、気液接触部に供給される洗浄液中の除去対象物質の濃度を所定の濃度にする従来のものよりも、空気洗浄器１０に導入する新鮮純水ｗ２の量を削減することができる。
【００３３】
また、空気洗浄器１０は、混合タンク１６内の混合純水ｍｗを希釈する際に、処理済循環純水ｔｗ１を処理済新鮮純水ｔｗ２と混合させずに空気洗浄器１０外に排出して、清浄空気ＳＡが持ち去られる分を含む空気洗浄器１０外に排出された分に相当する除去対象物質が含まれていない希釈純水ｗ３を混合タンク１６に流入させるので、希釈純水を混合タンクに流入させて余剰分を混合タンクから排出する従来のものよりも、希釈効率（混合純水ｗｍ中の除去対象物質の濃度を所定の濃度まで希釈するのに必要な希釈純水ｗ３の割合であって必要な希釈純水ｗ３の量が少ないほど希釈効率が高い）を高めることができる。
【００３４】
以上の説明では、検出器が電気伝導率計３６であるとしたが、これ以外に、ｐＨ値検出器等の、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を間接的に検出することができる計側器でもよく、処理済新鮮純水ｔｗ２中の除去対象物質の濃度を直接的に検出する計測器であってもよい。
【００３５】
以上の説明では、混合タンク１６内の混合純水ｍｗの水位を調節するためにボールタップ３３を用いているが、混合純水ｍｗに電気を流すことができる程度の電気伝導率があれば混合タンク１６内の水位を検出する電極棒と、電極棒が低液位を検出したときに水位を維持すべき水位まで弁を開にする電磁弁とをボールタップ３３に代えて設けてもよい。しかしながらボールタップ３３とすると、混合タンク１６内の混合純水ｍｗの電気伝導率が低下しても維持すべき水位にすることができるため好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態に係る空気洗浄器の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る空気洗浄器の動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００３７】
１０    空気洗浄器
１２Ａ  第１洗浄部
１２Ｂ  第２洗浄部
２１    循環管
２３    希釈純水管
２９    排出管
３２    流量調整弁
３３    ボールタップ
３６    電気伝導率計
３９    排水遮断弁
ＰＡ    処理前空気
ＱＡ    １次処理空気
ｍｗ    混合純水
ｓｗ１  供給循環純水
ｓｗ２  供給新鮮純水
ｔｗ１  処理済循環純水
ｔｗ２  処理済新鮮純水
ｗ１    循環純水
ｗ２    新鮮純水
ｗ３    希釈純水
【図１】
0004845909.tif 000002
【図２】
0004845909.tif 000003