(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動される回転体に保持された基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液および気体をそれぞれ噴射するスピン処理装置において、
前記基板の下面側に配置され、その径方向中心部を前記基板の回転中心に合わせられたノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドにおける、前記径方向中心部を中心とした周方向に設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液を噴射する複数の下部処理液用ノズルと、
前記ノズルヘッドにおける前記周方向上に位置し、前記複数の下部処理液用ノズルの各々に対して、前記周方向における右側または左側の少なくとも一方における隣位置且つ近傍に少なくとも１つが位置するように設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して気体を噴射する複数の下部気体用ノズルと、
前記複数の下部処理液用ノズルの一から前記基板の下面の径方向中心部に向けて前記処理液を噴射するときに、当該一の下部処理液用ノズルの近傍に位置する下部気体用ノズルから前記処理液を噴射方向に付勢するための気体を噴射させる制御手段と、
を備えることを特徴とするスピン処理装置。
【請求項２】
上記制御手段は、上記各下部処理液用ノズルから噴射される処理液の流量を調節する複数の処理液流量調節弁と、
上記各下部気体用ノズルから噴射される気体の流量を調節する複数の気体流量調節弁と、
上記複数の処理液流量調節弁と複数の気体流量調節弁の開度を制御する制御装置と
からなることを特徴とする請求項１記載のスピン処理装置。
【請求項３】
回転駆動される回転体に保持された基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液および気体をそれぞれ噴射して前記基板を処理するスピン処理方法において、
前記基板の下面側に配置されその径方向中心部を前記基板の回転中心に合わせられたノズルヘッドにおける、前記径方向中心部を中心とした周方向に設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液を噴射する複数の下部処理液用ノズルの一から、前記基板の径方向中心部に向って処理液を噴射し、
前記ノズルヘッドにおける前記周方向上に位置し、前記複数の下部処理液用ノズルの各々に対して、前記周方向における右側または左側の少なくとも一方における隣位置且つ近傍に少なくとも１つが位置するように設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して気体を噴射する複数の下部気体用ノズルのうち、前記処理液を噴射する一の前記下部処理液用ノズルの近傍に位置する前記下部気体用ノズルから前記処理液を噴射方向に付勢するための気体を噴射する
ことを特徴とするスピン処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は基板を周方向に回転させながらこの基板を処理するスピン処理装置およびスピン処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、半導体装置や液晶表示装置の製造過程においては、基板としての半導体ウエハや液晶用ガラス基板に回路パターンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、上記基板に対して成膜処理と洗浄処理とが繰り返し行なわれる。基板に各処理を行うためにはスピン処理装置が用いられる。このスピン処理装置はカップ体を有し、このカップ体内には回転駆動される回転体が設けられている。この回転体には保持機構が設けられ、この保持機構には基板が着脱可能に保持されている。
【０００３】
上記保持機構に保持された基板は回転体とともに回転しながら順次処理されることになる。基板を処理する場合、回路パターンが形成される上面に向けて上部処理液用ノズルから処理液が噴射される。また、基板は上面だけでなく、下面の清浄度が要求されることがあるので、そのような場合には基板の下面に向けて洗浄用の処理液を噴射する下部処理液用ノズルが配置される。上記基板の下面側に下部処理液用ノズルを配置する場合、上記回転体に保持された基板の下面に対向する位置にノズルヘッドを設け、このノズルヘッドに下部処理液用ノズルや基板の下面を乾燥処理するための気体を噴射する下部気体用ノズルを設けるようにしている。
【０００４】
基板の処理工程では、複数種の処理液が用いられることがあるため、上記ノズルヘッドには複数の下部処理液用ノズルが設けられており、これら下部処理液用ノズルからは各処理工程で噴射する処理液が基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して噴射されるようになっている。
【０００５】
各処理工程で噴射された処理液は、その都度上記気体用ノズルから基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して噴射される気体と、上記基板の回転により生じる遠心力によって乾燥処理されることになる。
【０００６】
従来、下部気体用ノズルは、上記複数の下部処理液用ノズルのうちの１つと基板の回転中心を挟んで対向するよう周方向に１８０度ずれた位置に設けられている。そのため、基板を処理液によって処理する際、気体用ノズルに下部処理液用ノズルから噴射された処理液が浸入することがある。その結果、この下部処理液用ノズルから処理液を噴射して基板を処理した後にこの基板を乾燥処理するために下部気体用ノズルから気体を噴射させると、この下部気体用ノズルに浸入した処理液が基板に向かって飛散しその一部が基板の下面に付着して基板の汚れや乾燥ムラの原因になることがある。そこで、基板を処理液で処理する間、下部気体用ノズルから終始気体を噴射させ、この下部気体用ノズルに処理液が浸入するのを防止している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、下部気体用ノズルと対向する位置に設けられた下部処理液用ノズルから処理液を噴射する場合に、処理液の噴射方向が気体の噴射方向と反対になる。つまり、下部処理液用ノズルから噴射された処理液に下部気体用ノズルから噴射された気体が衝突する。そのため、基板の下面に噴射された処理液は下部気体用ノズルから噴射された気体によって干渉され基板の下面の径方向に迅速かつ十分に行きわたらない。その結果、基板の下面の処理が全面にわたって均一に行なわれないことがある。
【０００８】
この発明は下部処理液用ノズルから噴射された処理液が基板の下面全体に迅速かつ十分に行きわたるとともに、下部気体用ノズルに処理液が浸入するのを防止できるようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、回転駆動される回転体に保持された基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液および気体をそれぞれ噴射するスピン処理装置において、
前記基板の下面側に配置され、その径方向中心部を前記基板の回転中心に合わせられたノズルヘッドと、
前記ノズルヘッドにおける、前記径方向中心部を中心とした周方向に設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液を噴射する複数の下部処理液用ノズルと、
前記ノズルヘッドにおける前記周方向上に位置し、前記複数の下部処理液用ノズルの各々に対して、前記周方向における右側または左側の少なくとも一方における隣位置且つ近傍に少なくとも１つが位置するように設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して気体を噴射する複数の下部気体用ノズルと、
前記複数の下部処理液用ノズルの一から前記基板の下面の径方向中心部に向けて前記処理液を噴射するときに、当該一の下部処理液用ノズルの近傍に位置する下部気体用ノズルから前記処理液を噴射方向に付勢するための気体を噴射させる制御手段と、
を備えることを特徴とするスピン処理装置にある。
【００１０】
請求項２の発明は、上記制御手段は、上記各下部処理液用ノズルから噴射される処理液の流量を調節する複数の処理液流量調節弁と、上記各下部気体用ノズルから噴射される気体の流量を調節する複数の気体流量調節弁と、上記複数の処理液流量調節弁と複数の気体流量調節弁の開度を制御する制御装置とからなることを特徴とするスピン処理装置にある。
【００１１】
請求項３の発明は、回転駆動される回転体に保持された基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液および気体をそれぞれ噴射して前記基板を処理するスピン処理方法において、
前記基板の下面側に配置されその径方向中心部を前記基板の回転中心に合わせられたノズルヘッドにおける、前記径方向中心部を中心とした周方向に設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して処理液を噴射する複数の下部処理液用ノズルの一から、前記基板の径方向中心部に向って処理液を噴射し、
前記ノズルヘッドにおける前記周方向上に位置し、前記複数の下部処理液用ノズルの各々に対して、前記周方向における右側または左側の少なくとも一方における隣位置且つ近傍に少なくとも１つが位置するように設けられ、前記基板の下面の径方向中心部に向って傾斜して気体を噴射する複数の下部気体用ノズルのうち、前記処理液を噴射する一の前記下部処理液用ノズルの近傍に位置する前記下部気体用ノズルから前記処理液を噴射方向に付勢するための気体を噴射する
ことを特徴とするスピン処理方法にある。
【００１４】
この発明によれば、基板の下面の径方向中心部に処理液を噴射する下部処理液用ノズルと、気体を噴射する下部気体用ノズルを、基板の回転中心を通る径方向に対してずらして設けたため、上記下部処理液用ノズルから噴射された処理液が上記下部気体用ノズルから噴射された気体によって干渉され難くなるから、上記処理液は基板の下面に全面にわたって均一に供給されることになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら発明の実施の形態を説明する。
【００１６】
図２に示すこの発明のスピン処理装置はカップ体１を有する。このカップ体１は載置板２上に設けられた下カップ３と、この下カップ３の上側に図示しない上下駆動機構によって上下駆動自在に設けられた上カップ４とからなる。
【００１７】
上記下カップ３の底壁の中心部と載置板２とにはこれらを貫通する通孔５が形成されており、また上記下カップ３の周壁３ａは上記上カップ４の二重構造の周壁４ａにスライド自在に嵌挿し、これら周壁によってラビリンス構造をなしている。
【００１８】
上記上カップ４の上面は開口していて、この上カップ４が下降方向に駆動されることで、後述するようにカップ体１内で処理された基板としてのたとえば半導体ウエハＵを取り出したり、未処理の半導体ウエハＵを供給できるようになっている。さらに、上記下カップ３の底壁には周方向に所定間隔で複数の排出管６の一端が接続され、他端は図示しない吸引ポンプに連通している。それによって、上記半導体ウエハＵを洗浄処理したり、乾燥処理することで上記カップ体１内で飛散する処理液が排出されるようになっている。
【００１９】
上記カップ体１の下面側には板状のベース７が配置されている。このベース７には上記カップ体１の通孔５と対応する位置に取付孔８が形成されていて、この取付孔８には駆動手段を構成するパルス制御モータ９の固定子９ａの上端部が嵌入固定されている。
【００２０】
上記固定子９ａは筒状をなしていて、その内部には同じく筒状の回転子９ｂが回転自在に嵌挿されている。この回転子９ｂの上端面には筒状の連結体１１が下端面を接合させて一体的に固定されている。この連結体１１の下端面には上記固定子９ａの内径寸法よりも大径な鍔部１１ａが形成されている。この鍔部１１ａは上記固定子９ａの上端面に摺動自在に接合しており、それによって回転子９ｂの回転を阻止することなくこの回転子９ｂが固定子９ａから抜け落ちるのを規制している。
【００２１】
上記連結体１１は上記カップ体１の通孔５からその内部に突出し、上端面には円板状の回転体１２が取り付け固定されている。この回転体１２は図１に示すように下板１３ａと上板１３ｂとを接合させた二重板構造をなしていて、その中心部には通孔１４が形成されている。
【００２２】
図２に示すように、上記下カップ３の通孔５の周辺部には環状壁３ｂが突設され、上記回転体１２の外周面には上記環状壁３ｂの外周面に内周面を対向させた環状壁１２ｂが垂設され、これら環状壁３ｂ、１２ｂによって処理液が回転体１２の下面側に回り込むのを防止するラビリンス構造をなしている。
【００２３】
上記回転体１２の上面には周方向に所定間隔、この実施の形態では６０度間隔で６つのボス部１５（図１に２つだけ示す）が突設されている。このボス部１５には滑り軸受１６が嵌入されていて、この滑り軸受１６には保持部材１７が回転自在に挿入支持されている。
【００２４】
上記保持部材１７は、図１に示すように上部が上記ボス部１５の外形寸法とほぼ同径の大径部１８に形成され、この大径部１８の下面に上記滑り軸受１６に支持される軸部１９が一体形成されてなる。上記大径部１８の上面には中心部に円錐状の支持ピン２１が突設され、径方向周辺部である偏心位置には逆テーパ状のロックピン２２が突設されている。
【００２５】
上記６本の保持部材１７の支持ピン２１上には上記半導体ウエハＵが下面を支持されて載置される。その状態で上記ロックピン２２が半導体ウエハＵの外周面に当接することで、その半導体ウエハＵは回転体１２と一体的に保持されるようになっている。
【００２６】
図２に示すように、上記回転子９ｂの内部には中空状の固定軸４１が挿通されている。この固定軸４１の下端部は上記パルス制御モータ９の下方に配置された支持部材４２の取付孔４２ａに嵌入固定されている。
【００２７】
上記固定軸４１の上端部は上記回転体１２の通孔１４に対向位置する。図１に示すように、この固定軸４１の上端には径方向中心部を上記半導体ウエハＵの回転中心と合わせてノズルヘッド４６が嵌入固定されている。このノズルヘッド４６は回転体１２の上面側に突出していて、その外周部には上記通孔１４の周辺部に突設された環状壁４７を内部に収容する環状溝４８が下面に開放して形成されている。つまり、環状壁４７と環状溝４８とでラビリンス構造を形成しており、回転体１２の上面側で飛散する処理液が通孔１４を通り、固定軸４１に沿ってカップ体１の外部へ流出するのを阻止している。
【００２８】
上記ノズルヘッド４６には図３と図４に示すように、その上面に開放した凹部５１が形成されている。この凹部５１は上部から下部に行くに連れて小径となる円錐形状に形成されている。ノズルヘッド４６の上面の上記凹部５１の周辺部は径方向外方に向って低く傾斜した傾斜面５２に形成されている。
【００２９】
上記凹部５１の底部には排液部を形成する排液孔５３の一端が開口している。この排液孔５３の他端には排液管５４（図１に示す）の一端が接続されている。この排液管５４の他端は上記排出管６と同様、図示しない吸引ポンプに接続されている。
【００３０】
上記ノズルヘッド４６には、先端を上記凹部５１の内面に開口させた、３つの下部処理液用ノズル５５（第１、第２、第３の下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ）と２つの下部気体用ノズル５６（第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂ）とが上記凹部５１の周方向に一定間隔、この実施の形態ではこれら５つのノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５６Ａ、５６Ｂが正５角形の各頂点に位置するように周方向に７２度の間隔で設けられている。
【００３１】
その結果、第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂは、第１、第２、第３の下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃとノズルヘッド４６の径方向中心部を通る各径方向に対して周方向に位置をずらして配置されている。それによって、各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂから噴射される気体と各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃから噴射される処理液とが正面衝突しないようになっている。
【００３２】
また、上記各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂは、上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃの周方向隣り側、つまり各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃの右側又は、左側のどちらか一方に少なくとも１つが位置するように配置されている。
【００３３】
上記各ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５６Ａ、５６Ｂは、図４に示すように上記ノズルヘッド４６に穿設された管路からなり、各先端が凹部５１の内面に開口させたノズル孔５５ａ、５５ｂ、５５ｃ、５６ａ、５６ｂとなっている。また、各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃおよび各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂの各基端は、図３と図４に示すように上記ノズルヘッド４６の下面にそれぞれ開口して設けられた、第１、第２、第３の処理液用ノズル接続孔５７Ａ、５７Ｂ、５７Ｃおよび第１、第２の気体用ノズル接続孔５８Ａ、５８Ｂにそれぞれ連通している。
【００３４】
各処理液用ノズル接続孔５７Ａ、５７Ｂ、５７Ｃにはそれぞれ処理液供給管５９が接続され、各気体用ノズル接続孔５８Ａ、５８Ｂにはそれぞれ気体供給管６０接続されている。
【００３５】
基板処理時には各処理液供給管５９を通じて所定の下部処理液用ノズル５５から所定の処理液が保持部材１７に保持された半導体ウエハＵの下面に向けて噴射され、乾燥処理時には所定の下部気体用ノズル５６から各気体供給管６０を通じて窒素ガスやアルゴンガスなどの気体が噴射されるようになっている。
【００３６】
上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃは、各処理工程で使用される異なった処理液を半導体ウエハＵの下面に向けてそれぞれ噴射する。つまり、一処理工程において、各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃのうちの１つからその時の処理に応じた種類の処理液が半導体ウエハＵの下面に向けて噴射されるようになっている。
【００３７】
上記各ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５６Ａ、５６Ｂの噴射方向はノズルヘッド４６の軸線Ｏに対して所定の角度で傾斜している。すなわち、上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃは、保持部材１７に保持された半導体ウエハＵの回転中心つまり半導体ウエハＵの径方向中心部に向って傾斜して処理液を噴射するようになっている。また、上記各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂからは半導体ウエハＵの回転中心に向って傾斜して気体を噴射されるようになっている。
【００３８】
半導体ウエハＵの下面に処理液を噴射して処理した後、半導体ウエハＵの下面に付着した処理液は上記各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂからの気体の噴射と半導体ウエハＵの回転によって乾燥される。乾燥処理時、上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃからの処理液の噴射は停止している。
【００３９】
半導体ウエハＵの下面に向けて上記所定の下部処理液用ノズル５５から処理液を噴射して半導体ウエハＵの下面を処理するとき、上記所定の下部処理液用ノズル５５の側方、つまりこの下部処理液用ノズル５５の左側または右側に位置する一方の下部気体用ノズル５６から、半導体ウエハＵの下面に向けて気体を噴射する。この気体の噴射方向は上記処理液を噴射する所定の下部処理液用ノズル５５からの処理液の噴射方向とほぼ同方向なので、その気体は噴射された処理液をその噴射方向に付勢するから、半導体ウエハＵの下面全体に迅速かつ十分に処理液を拡散させることができる。
【００４０】
一方、他方の下部気体用ノズル５６からは、上記一方の下部気体用ノズル５６から噴射される気体よりも十分に低い圧力で気体を噴射する。それによって、上記下部処理液用ノズル５５から半導体ウエハＵの下面に向けて噴射された処理液が他方の下部気体用ノズル５６に浸入するのが防止される。
【００４１】
他方の下部気体用ノズル５６から噴射される気体の噴射方向も処理液の噴射方向とノズルヘッド４６の径方向に対してずれているので、上記各下部処理液用ノズル５５から噴射される処理液の流れを妨げることがほとんどない。
【００４２】
なお、上記第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂに挟まれた下部処理液用ノズル５５Ｃから半導体ウエハＵの下面に向けて処理液を噴射するときは、上記第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂの両方から気体を十分な圧力で噴射させ、その勢いによって上記処理液用ノズル５５Ｃから噴射される処理液を付勢するようにしてもよい。
【００４３】
各ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５６Ａ、５６Ｂからの処理液および気体の上記のような噴射制御は制御手段６１によって行なわれる。
【００４４】
この制御手段６１は、図４に示すように上記各処理液供給管５９の中途部にそれぞれ設けられた各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃからの処理液の供給量を調節する処理液流量調節弁６２（１つのみ図示）と、上記各気体供給管６０の中途部にそれぞれ設けられた各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂからの気体の供給量を調節する気体流量調節弁６３（１つのみ図示）と、これら各流量調節弁６２、６３の開度を制御する制御装置６４によって構成されている。
【００４５】
なお、処理液は半導体ウエハＵの回転中心からわずかにずれた位置に向けて噴射するようにしてもよく、その場合半導体ウエハＵの裏面で反射した処理液が凹部５１内に滴下する角度で処理液を噴射することが好ましい。同様に、気体も半導体ウエハＵの回転中心からわずかにずれた位置に向けて噴射するようにしてもよい。
【００４６】
図３に示すように上記凹部５１の内面には上下方向に沿う複数の案内溝６４が周方向に所定間隔で形成されている。この案内溝６４は半導体ウエハＵで反射して凹部５１に滴下した処理液を、凹部５１の内面に沿って排液孔５３へ円滑に案内することになる。
【００４７】
さらに、ノズルヘッド４６の上面には、周方向に１８０度間隔で、一対の取付溝６５が径方向に沿って形成されている。この取付溝６５の先端は上記凹部５１の内面に連通している。この取付溝６５にはそれぞれ羽根６６が先端部を上記凹部５１内に突出させて設けられている。
【００４８】
上記羽根６６は、上記半導体ウエハＵが回転体１２とともに回転したときに、この半導体ウエハＵの下面に生じる気流を凹部５１内へ導入する形状になっている。それによって、とくに乾燥処理時に半導体ウエハＵの下面側に浮遊するミスト状の処理液を効率よく凹部５１内へ導入して排出できるようになっている。
【００４９】
図１に示すように、上記回転体１２の上面側には乱流防止カバー６７が設けられている。この乱流防止カバー６７は上記保持部材１７に保持された半導体ウエハＵの下面側に位置し、周辺部には上記保持部材１７の上部を露出させる第１の開口部６８が形成され、中心部には上記ノズルヘッド４６の凹部５１に連通する第２の開口部６９が形成されている。第２の開口部６９の周辺部は凹部５１内に入り込むよう折り曲げられた遮蔽部７０に形成されている。なお、遮蔽部７０
はノズルヘッド４６の凹部５１内面に対して非接触となっている。
【００５０】
上記乱流防止カバー６７によって回転体１２の凹凸状の上面が覆われている。それによって、回転体１２の回転に伴う乱流の発生が抑制されるから、半導体ウエハＵを洗浄した塵埃を含む処理液がカップ体１内であらゆる方向に飛散し、たとえば半導体ウエハＵの下面側に舞い込んで付着するのを防止できるようになっている。とくに、上記乱流防止カバー６７の上面と半導体ウエハＵの下面との隙間を所定の寸法に設定すると、乱流の抑制効果が高くなる。
【００５１】
さらに、乱流防止カバー６７にノズルヘッド４６の凹部５１内に入り込む遮蔽部７０を形成したことで、第２の開口部６９によって生じるノズルヘッド４６と乱流防止カバー６７との隙間を閉塞することができる。
【００５２】
それによって、洗浄処理時にカップ体１内に飛散する処理液が乱流防止カバー６７の内面側に入り込んで付着し、その処理液が乾燥処理時に飛散して半導体ウエハＵに付着するということを防止できる。
【００５３】
回転体１２の保持部材２２によって保持された半導体ウエハＵの上方には、上部処理液用ノズル７１および上部気体用ノズル７２が配置されている。上部処理液用ノズル７１からは上記半導体ウエハＵの上面に向けて処理液が噴射され、上部気体用ノズル７２からは窒素ガスやアルゴンガスなどの乾燥用の気体が噴射されるようになっている。
【００５４】
つぎに、上記構成のスピン処理装置によって半導体ウエハＵの下面を処理する場合について説明する。
【００５５】
回転体１２に半導体ウエハＵを保持したならば、半導体ウエハＵの下面の径方向中心部に向けて下部処理液用ノズル５５から処理を噴射して、半導体ウエハＵの下面を処理する。この実施の形態では、半導体ウエハＵの処理形態に適した処理液が上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃのうちの１つから噴射される。
【００５６】
つまり、上記制御装置６４によって各処理液供給管５９の中途部にそれぞれ設けられた各処理液流量調節弁６２の開度を制御することで、上記各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃのうちの１つから所望する処理液を半導体ウエハＵの下面に向って噴射し、半導体ウエハＵの下面を処理することになる。
【００５７】
半導体ウエハＵの下面に第１の下部処理液用ノズル５５Ａから処理液を噴射させる場合、制御装置６４によって、上記第１の下部処理液用ノズル５５Ａに処理液を供給する処理液供給管５９の中途部に設けられた処理液流量調節弁６２の開度を制御して第１の下部処理液用ノズル５５Ａに処理液を供給する。
【００５８】
これと同時に、制御装置６４によって上記第１の下部気体用ノズル５６Ａに気体を供給する気体供給管６０の中途部に設けられた気体流量弁６３の開度を制御して、上記第１の下部処理液用ノズル５５Ａの周方向右側に配置された第１の下部気体用ノズル５６Ａから半導体ウエハＵの下面に向けて気体を噴射させる。
【００５９】
それによって、上記第１の下部気体用ノズル５６Ａから噴射された気体は第１の下部処理液用ノズル５５Ａから噴射された処理液を噴射方向に付勢するから、処理液は半導体ウエハＵの下面の径方向中心部から外方に向って迅速かつ十分に流れることになる。
【００６０】
その結果、半導体ウエハＵの下面全体を処理液によって確実に処理することができる。また、半導体ウエハＵの下面に第２の下部処理液用ノズル５５Ｂまたは第３の下部処理液用ノズル５５Ｃから処理液を噴射させる場合は、これらノズル５５Ｂ、５５Ｃの間に位置する第２の下部気体用ノズル５６Ｂから気体を噴射させれば良い。
【００６１】
なお、第３の下部処理液用ノズル５５Ｃから処理液を噴射させる場合は第１の下部気体用ノズル５６Ａから気体を噴射させても良い。
【００６２】
各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃから噴射されて半導体ウエハＵの下面で反射した処理液のほとんどはノズルヘッド４６の凹部５１内に滴下する。この凹部５１の形状は円錐状であり、しかも内面には上下方向に沿って案内溝６２が形成されている。
【００６３】
そのため、凹部５１に滴下した処理液はその底部に形成された排液孔５３へ円滑に導かれ、排液管５４から排出されることになる。
【００６４】
半導体ウエハＵの下面を第１の下部処理液用ノズル５５Ａから処理液を噴射して処理する際、上記第１の下部気体用ノズル５６Ａからは処理液を噴射方向に付勢する圧力で気体を噴射するが、第２の下部気体用ノズル５６Ｂからは気体を十分に低い圧力で噴射させておく。
【００６５】
それによって、第１の下部気体用ノズル５６のノズル孔５６ａはもちろんのこと、第２の下部気体用ノズル５６Ｂのノズル孔５６ｂにも処理液が入り込むのを防止できる。
【００６６】
そのため、処理液による処理の後、半導体ウエハＵの下面を乾燥処理するために第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂから半導体ウエハＵの下面に向って気体を噴射したとき、各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂから半導体ウエハＵの下面に向って処理液が飛散し半導体ウエハＵの下面が汚染されるのを防止することができる。
【００６７】
各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂは、各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃとノズルヘッド４６の各径方向に対し位置をずらして設けられている。
そのため、各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃによって半導体ウエハＵの下面を処理する際、各下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂから気体を噴射しても、気体が各下部処理液用ノズル５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃから噴射される処理液に干渉されずらくなっている。
【００６８】
その結果、処理液が半導体ウエハＵの下面の径方向中途部で滞留し難くなるから、半導体ウエハＵの下面全体をほぼ均一に処理することが可能となる。
【００６９】
半導体ウエハＵの下面の処理液による処理が終了したならば、第１、第２の下部気体用ノズル５６Ａ、５６Ｂのうち、少なくとも１つから乾燥用の気体を噴射しながら回転体１２とともに半導体ウエハＵを高速回転させる。
【００７０】
それによって、半導体ウエハＵの上下面に付着した処理液を遠心力と気体の流れとによって除去できるから、この半導体ウエハＵの下面が乾燥処理される。
【００７１】
図５はこの発明の第２の実施の形態を示す。
【００７２】
この実施の形態は、上記第１の実施の形態におけるノズルヘッド４６の変形例であって、図５に示すようにこの実施の形態のノズルヘッド４６Ａには、上記凹部５１の内面に開口させた、５つの下部処理液用ノズル７３（第１乃至第５の下部処理液用ノズル７３Ａ〜７３Ｅ）と３つの下部気体用ノズル７４（第１乃至第３の下部気体用ノズル７４Ａ〜７４Ｃ）とが周方向に一定間隔、つまりこれら８つのノズルは正８角形の各頂点に位置するように、周方向に４５度の間隔で設けられている。
【００７３】
また、各下部気体用ノズル７４Ａ〜７４Ｃは、各下部処理液用ノズル７３Ａ〜７３Ｅの周方向隣り側、つまり各下部処理液用ノズル７３Ａ〜７３Ｅの左側又は右側に少なくとも１つが位置するように設けられる。
【００７４】
このため、半導体ウエハＵの下面に処理液を噴射している各下部処理液用ノズル７３Ａ〜７３Ｅとその左側又は右側に配置された第１乃至第３の下部気体用ノズル７４Ａ〜７４Ｃとの周方向の角度を上記第１の実施の形態に比べて小さくできるから、上記気体の噴射によって上記処理液の噴射を付勢する際により大きな効果が得られる。
【００７５】
なお、この第２の実施の形態において、各下部処理液用ノズル７３Ａ〜７３Ｅへの処理液の供給量と、下部気体用ノズル７４Ａ〜７４Ｃへの気体の供給量の制御は、第１の実施の形態と同様に行われる。
【００７６】
この発明は上記各実施の形態に限定されず、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、基板としては半導体ウエハに限られず、液晶表示装置用のガラス基板であってもよく、要は高精度に洗浄処理することが要求される基板であれば、この発明を適用することができる。
【００７７】
また、下部処理液用ノズルおよび下部気体用ノズルの数は上記各実施の形態に示された数に限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で変えることができる。
【００７８】
さらに、下部液体用ノズルから噴射される処理液を下部気体用ノズルから噴射される気体によって付勢する場合、下部液体用ノズルに対する下部気体用ノズルの周方向における角度は小さい方が好ましいが、第１の実施の形態に示された７２度以上であってもよく、たとえば９０度程度であっても処理液を噴射方向に付勢することは可能である。
【００７９】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、下部処理液用ノズルから基板の下面に向けて噴射された処理液の流れが下部気体用ノズルから噴射される気体によって妨げられるのを防止したから、処理液を基板の下面全面に迅速かつ十分に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示すスピン処理装置の側面断面図。
【図２】回転体の部分の拡大断面図。
【図３】ノズルヘッドの平面図。
【図４】図３のＸ―Ｘ線に沿う断面図。
【図５】この発明の第２の実施の形態を示すノズルヘッドの平面図。
【符号の説明】
１…カップ体
１２…回転体
１７…保持部材
４６…ノズルヘッド
５５Ａ…第１の下部処理液用ノズル
５５Ｂ…第２の下部処理液用ノズル
５５Ｃ…第３の下部処理液用ノズル
５６Ａ…第１の下部気体用ノズル
５６Ｂ…第２の下部気体用ノズル
５９…処理液供給管
６０…気体供給管
６２…処理液流量調節弁
６３…気体流用調節弁
６４…制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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