(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗液が塗布される基板を吸着固定するテーブルと、
前記基板と対向する位置において基板に塗布する塗布ヘッドと、
前記テーブルと塗布ヘッドを相対移動する移動手段と、
前記基板テーブル上に載置するとともにテーブル上から離間させる基板昇降手段とを有する塗布液の塗布装置において、
前記テーブルに厚み方向に貫通する検出孔を形成するとともに、該検出孔に、テーブル上または基板昇降手段上の基板の有無を検知する基板検知手段の検出ヘッド部を内挿し、前記基板検知手段の検出ヘッド部を基板昇降手段に支持させ、該検出ヘッド部を基板昇降手段とともに昇降可能に構成したことを特徴とする塗液の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば基板の表面上にストライプ状に形成された凹部に塗液を塗布する塗液の塗布装置および方法に関し、とくにプラズマディスプレイ用発光基板の製造装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、テーブル上に載置され塗液が塗布される基板として、たとえばプラズマディスプレイ用発光基板やＬＣＤ用発光基板等がある。プラズマディスプレイ用発光基板には、基板の表面に塗布方向に延びる複数の縦リブが形成されたものや、近年、輝度やコントラスト向上、低消費電力化の要請に応えるべく、基板表面に格子状の凹部が形成された基板も採用されている（たとえば、特開平１１−２１３８９６号公報、特開２０００−１２３７４７号公報）。また、テーブル上に載置された基板に塗液を塗布する装置としては、特開平１１−２７４２７４号公報記載のようなものが知られている。また、塗布装置等における基板の位置を確認するためのアライメントマーク検出手段としては、特開平５−２９４４０５号公報の基板検出装置の基板検出方法と同様に一般的には、基板の上面側、つまり、塗液の塗布面よりテーブル側へ向けてマーク検出手段を配置している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平１１−２７４２７４号公報のような装置においては、基板昇降手段のピン上の基板の検知は可能であるが、テーブル上の基板の検知は行えず、なおかつ基板検知手段が投受光式のものであるため、基板の上方に受光部または投光部を設ける必要がある。とくに、基板の上方には、塗布ヘッドやそれらを動作させるための機構が備わっているため、基板の上方側への基板検知手段の配設は、装置を大型化するおそれがある。また、誤作動時等においては、塗布ヘッドとの干渉も懸念され装置の破損を招来するおそれがある。
【０００４】
また、基板サイズの種類についても、作業者が現在投入中の基板サイズの種類を把握しているのみであり、もし、何かのミスで他の種類のサイズの基板が投入された場合、たとえば、小さいサイズの基板に塗液を塗布するのに誤って大きいサイズの基板が投入された場合、塗液が塗布されない領域がでてくる。
【０００５】
一方、アライメントマーク検出手段についても同様に、塗布ヘッドとの干渉も懸念されるし、一連の動作上、基板をテーブルに載置し、吸着手段により基板を吸着後、マーク検出手段が基板に付設されたマークを検出しに行く動作となる。したがって、マーク検出手段が基板に付設されたマークを検出しに行く時間が、本装置のタクトタイムのロスとなり、生産性の向上が望めない。
【０００６】
本発明の課題は、装置の大型化を防止しつつ、テーブル上または基板昇降手段上の基板の有無を確実に検知するとともに、基板表面のアライメントマークを検出し、装置の誤作動を防止でき、さらに生産性を向上することのできる塗液の塗布装置および方法並びにプラズマディスプレイ用部材の製造装置および方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の塗液の塗布装置は、塗液が塗布される基板を吸着固定するテーブルと、前記基板と対向する位置において基板に塗液を塗布する塗布ヘッドと、前記テーブルと塗布ヘッドを相対移動する移動手段と、前記基板をテーブル上に載置するとともにテーブル上から離間させる基板昇降手段とを有する塗液の塗布装置において、前記テーブルに厚み方向に貫通する検出孔を形成するとともに、該検出孔に、テーブル上または基板昇降手段上の基板の有無を検知する基板検知手段の検出ヘッド部を内挿し、前記基板検知手段の検出ヘッド部を基板昇降手段に支持させ、該検出ヘッド部を基板昇降手段とともに昇降可能に構成したことを特徴とするものからなる。
【００１０】
上記の如く、上記基板検知手段の検出ヘッド部は基板昇降手段に支持されている。つまり、基板昇降手段が降下した状態においては検出ヘッド部がテーブルの検出孔に内設されるように、また基板昇降手段が上昇した場合には、検出孔からテーブルの基板載置面よりも突出するように構成することが可能である。この場合、基板と検出ヘッド部との間隔を常に一定に保つことができるので、基板の有無検知の信頼度を向上することができる。
【００１２】
上記基板検知手段の検出ヘッド部は、たとえばＣＣＤカメラ、光ファイバ光電センサ等を用いることができる。また、基板は、一般的に透明（無色透明、着色透明、無色半透明、着色半透明を含む。）なガラスが用いられる。したがって、検出ヘッド部としてＣＣＤカメラを用いれば、基板の反塗布面側からでもアライメントマークを検出することもできるので、基板検知手段にアライメントマーク検出機能を付与することができる。一方、アライメントマーク検出手段の検出ヘッド部にＣＣＤカメラを用いれば、アライメントマークの検出と併せて基板の有無も検知することができるので、アライメントマーク検出手段に基板検知機能を付与することもできる。上記のように基板検知手段にアライメントマーク検出機能を付与するか、あるいはアライメントマーク検出手段に基板検知機能を付与すれば、基板検知とアライメントマークの検出を同時に行うことができるので、装置のタクトタイムのロスを大幅に低減し生産性を向上することができる。
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の塗液の塗布方法は、前記基板をテーブル上に移動するステップと、前記基板を基板昇降手段により支持し、前記テーブル上に載置するステップと、前記基板を基板検知手段の検出ヘッド部により検知するステップと、前記基板と対向する位置に配した塗布ヘッドにて、塗液を前記基板上に塗布するステップとを有し、前記検出ヘッド部は、前記基板に対して前記テーブル側に配され、前記基板昇降手段の昇降とともに、昇降することを特徴とする。
また、前記基板昇降手段の上昇時に、該手段と前記塗布ヘッドとが干渉し合う位置関係にある場合には、基板昇降手段の上昇を停止するようにしてもよい。
【００１６】
また、上記のような塗液の塗布方法においては、テーブル上又は基板昇降手段上の基板の有無が検知され、基板が存在する場合には、基板供給手段による新たな基板の供給が停止されるので、装置の誤作動を防止し、不良基板の発生を確実に防止することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の望ましい実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の第１実施態様に係る塗液の塗布装置の斜視図である。この塗布装置は、被塗布基板１（本実施態様においては、プラズマディスプレイ用発光基板）の表面に所定の方向に複数列のストライプ状の塗液の塗着部を形成する装置である。図１において、塗布装置は、機台２上にＸ軸方向に延びるＸスライドレール３ａ、３ｂを有している。Ｘスライドレール３ａ、３ｂ上にはＸ軸方向にスライド走行可能にＸスライドテーブル４が設けられている。Ｘスライドテーブル４には、該テーブル４をＸ軸方向にスライドさせるための駆動軸５が係合されている。Ｘスライドテーブル４はＸ軸モータ６によりＸ軸方向にスライドされるようになっている。基板１は、Ｘスライドテーブル４上に位置決めされ着脱自在に吸着支持される。
【００１８】
機台２の上方には、該機台２を跨ぐように門型の支持機台７が設けられている。支持機台７は手前側の側面７ａに、Ｙ軸方向に延びるＹスライドレール８ａ、８ｂを有している。Ｙスライドレール８ａ、８ｂ上にはＹ軸方向にスライド走行可能にＹスライドテーブル９が設けられている。Ｙスライドテーブル９には、該テーブル９をＹ軸方向にスライドさせるための駆動軸１０が係合されている。Ｙスライドテーブル９はＹ軸モータ１１によりＹ軸方向にスライドされるようになっている。Ｘスライドテーブル４、Ｙスライドテーブル９等により塗布ヘッド１８と被塗布基板１とを塗布方向（Ｘ軸、Ｙ軸方向）に相対移動させる第１の移動手段２９ａが構成されている。
【００１９】
Ｙスライドテーブル９上には、Ｚ軸方向に延びるＺスライドレール１２ａ、１２ｂが設けられている。Ｚスライドレール１２ａ、１２ｂ上にはＺ軸方向にスライド走行可能にＺスライドテーブル１３が設けられている。Ｚスライドテーブル１３には該テーブル１３をＺ軸方向にスライドさせるための駆動軸１４が係合されている。Ｚスライドテーブル１３は、Ｚ軸方向位置制御手段４１に連結されるＺ軸モータ１５によりＺ軸方向、すなわち塗布ヘッド１８を基板１に接近、離間させる方向にスライドされるようになっている。このようにして、第２の移動手段２９ｂが構成されている。
【００２０】
Ｚスライドテーブル１３には、塗布ヘッド１８が取り付けられている。Ｙスライドテーブル９には、塗布ヘッド１８のＹ軸方向の位置を検出するための位置センサ１７が取り付けられている。位置センサ１７は、支持機台７の上面においてＹ軸方向に設けられたセンサ支持軸１６に移動自在に支持されている。Ｙ軸モータ１１には、Ｙスライドテーブル９の移動速度を変更するためのＹ軸方向速度制御手段２０が連結されている。
【００２１】
塗布ヘッド１８は図１のＹ軸方向に移動され、塗布ヘッド１８の下面板３２に所定の間隔にて設けられている複数個のノズル孔１８ａから塗液を吐出し、基板１上に、複数列の塗着ストライプ１９を形成するようになっている。
【００２２】
図２は図１に示した塗布装置をＸ軸方向から見た塗布ヘッド１８周辺をあらわしている。Ｚスライドテーブル１３に取り付けられているカメラ２２にて基板１の中の代表となる凹部２１を撮像し、画像位置処理部２３を介してＸ軸位置制御部２４にてＸスライドテーブル４を移動し、代表となる凹部２１の中央と該代表となる凹部２１に対応する塗布ヘッド１８の中の代表となるノズル孔１８ａの中央がほぼ一致するよう制御される。つまり、図３に示すように、基板１の代表となる凹部２１の画像と画像処理のカーソル５０の中央との差異ΔＸをＸスライドテーブル４をＸ軸方向に移動して補正するようになっている。
【００２３】
なお、上記代表となる凹部２１は、凹部配列方向中央の凹部２１である。また、代表となるノズル孔１８ａは、その配列方向中央のノズル孔１８ａである。代表となる凹部２１および代表となるノズル孔１８ａをそれぞれその配列方向中央の凹部２１、ノズル孔１８ａに設定すれば、配列方向端部における凹部２１とノズル孔１８ａとの中央の位置ずれを最小限に抑制することができる。
【００２４】
図４は、図１に示した塗布装置の塗布ヘッド１８への塗液の供給制御装置の概略縦断面図である。図４において、塗布ヘッド１８は、筐体３１からなり、筐体３１の下面板３２には、多数個の塗液を吐出するノズル孔１８ａが、一列に所定の間隔をもって穿設されている。筐体３１の内部の空間３３は、塗液３０（蛍光体ペースト２７）が貯留される塗液貯留部３４とその上部に位置する気体空間３５から形成されている。筐体３１の上面板３６には、気体圧力導通孔３７が設けられ、気体圧力導通孔３７には、管路からなる気体圧力導通路３８の一端が連結されている。気体圧力導通路３８の他端は、設定圧に維持された圧力を有する気体圧力源４０に開口されている。気体圧力導通路３８には、方向切替弁からなる開閉手段３９が設けられ、開閉手段３９の開閉切り替えにより、気体空間３５と気体圧力源４０との連通と遮断が行われる。開閉手段３９は各塗布ヘッドの１８のノズル孔１８ａの位置と基板１の相対位置を検出し、開閉手段３９のタイミングを制御する図示しない位置検出、吐出制御手段にて開閉のタイミングが制御されるようになっている。なお、本実施態様においては、ペースト２７はＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のうち、いずれか一色が塗布されるようになっている。
【００２５】
図５は、基板１上に形成された凹部２１を上面から見た詳細である。１面目の凹部２１に蛍光体ペースト２７が充填されており、塗液の塗布方向に延びる複数の縦リブ２５ａの間に所定のピッチでストライプ状に形成される凹部２１は表示部の端部でとぎれ非表示部２６には形成されていない。本実施態様においては、図６に示すように同一色の塗液が２つおきの凹部２１に塗布できるようになっている。したがって、ノズル孔１８ａのピッチは、縦リブ２５ａのピッチの３倍になっている。なお、基板１としては、図７に示すように縦リブ２５ａと該縦リブ２５ａに直交する方向に延びる複数の横リブ２５ｂにより格子状に形成される凹部２１を有するものであってもよい。
【００２６】
本実施態様においては図８に示すようにＸスライドテーブル４の下方には、Ｘスライドテーブル４の基板載置面４ａ上に基板１を載置するとともに面４ａから基板１を離間させる基板昇降手段５３と、該手段５３のピン５４上または面４ａ上の基板１の有無を検知する基板検知手段５１が設けられている。基板検知手段５１の検出ヘッド部５２（本実施態様では光ファイバ光電センサ）は、テーブル４の厚さ方向に貫通する検出孔４ｃに内挿されており、該検出孔４ｃを介して基板１を検知するようになっている。検出ヘッド部５２は面４ａよりも下になるようにＸスライドテーブル４に内挿されている。なお、図８においては、基板検知手段５１はＸスライドテーブル４に内挿されているが、本発明では基板昇降手段５３に支持される。例えば、図９に示すように基板検知手段５１は基板昇降手段５３と一体に構成することも可能である。図９においては、基板検知手段５１の検出ヘッド部５２は基板昇降手段５３の支持部材５５に部材６０を介して支持されており、基板昇降手段５３の上昇、降下に伴って上下方向に移動するようになっている。つまり、基板昇降手段５３が降下した状態においては、検出ヘッド部５２は検出孔４ｃに内蔵され面４ａよりも下に位置しているが、基板昇降手段５３が上昇した際には、検出ヘッド部５２は面４ａから突出するようになっている。このように、検出ヘッド部５２を移動可能に構成すれば、検出ヘッド部５２と基板１との間隔を常に一定に保つことができるので、基板検知の信頼性を向上することができる。
【００２７】
基板昇降手段５３は、複数のピン５４と該ピン５４を支持する支持部材５５と、該支持部材５５の昇降をガイドするガイド手段５６および駆動源５７とを有している。駆動源５７からの動力により部材５５およびピン５４が昇降するようになっている。ピン５４が上昇しＸスライドテーブル４の挿通孔４ｂを挿通され面４ａよりも突出した状態で基板供給排出手段５９から基板１がピン５４上に供給されると、ピン５４は次第に降下し、面４ａ上に基板１が載置される。また、基板１へのペースト２７の塗布が終了した際には、再びピン５４が上昇し面４ａから基板１が離間されるようになっている。そして、塗布が終了し面４ａから離間された基板１は基板供給排出手段５９により次工程（たとえば、他色の塗布工程等）に送られるようになっている。
【００２８】
また、基板昇降手段５３はＸスライドテーブル４とともにＸ軸方向にスライド可能になっている。基板昇降手段５３の駆動源５７の駆動・停止は制御手段５８により制御されるようになっている。
【００２９】
制御手段５８には、基板検知手段５１からの基板検知信号が送られるようになっている。また、制御手段５８には、塗布ヘッド１８のＸ軸、Ｙ軸方向の位置信号が送信されるようになっている。基板昇降手段５３が上昇した際に、ピン５４または基板１と塗布ヘッド１８が干渉し合う位置関係にある場合には、基板昇降手段５３の上昇が禁止されるようになっている。このため、とくに面４ａ上に基板１が載置され塗布ヘッド１８によるペースト２７の塗布が行われている途中に基板昇降手段５３が誤って上昇するような不具合が確実に防止されるようになっている。
【００３０】
また、制御手段５８は上記基板供給排出手段５９の制御も司るようになっている。そして、上記と同様に面４ａ上またはピン５４上の基板１の存在が検知されている際には、ピン５４上への新たな基板１の供給が停止されるようになっている。
【００３１】
本実施態様の塗液の塗布装置および方法においては、Ｘスライドテーブル４上または基板昇降手段５３上の基板１の有無を検知する基板検知手段５１が設けられているので、Ｘスライドテーブル４上等における基板１の存在を確実に検知することができる。そして、Ｘスライドテーブル４上等に基板１が存在する場合には、基板供給排出手段５９による新たな基板１の供給が禁止されるので、Ｘスライドテーブル４上等に基板１が存在するにもかかわらず新たな基板１を供給する誤作動を確実に防止できる。また、基板昇降手段５３の上昇時に基板１等と塗布ヘッド１８が干渉し合う位置にある場合には、基板昇降手段５３の上昇が禁止されるので、塗布ヘッド１８によるペースト２７の塗布中に基板昇降手段５３が誤って上昇し、基板１と塗布ヘッド１８とが衝突する不都合を確実に防止することができる。
【００３２】
また、本実施態様においては、基板検知手段１の検出ヘッド部５２は検出孔４ｃ内に内挿されている。つまり、面４ａよりも下に設けられているので、たとえば受光部等を面４ａよりも上方に設ける必要のあった従来装置に比べて装置の小型化を促進することができる。
【００３３】
なお、本実施態様においては、検出ヘッド部５２は光ファイバ光電センサが用いられているが、たとえばＣＣＤカメラを用いることも可能である。
【００３４】
図１０、図１１は、本発明の第２実施態様に係る塗液の塗布装置を示している。なお、上記第１実施態様と同一の部材には同一の番号を付しその説明を省略することとする。本実施態様においては、Ｘスライドテーブル４の下方には基板昇降手段６１が設けられている。基板昇降手段６１は、ピン６２と、該ピン６２を支持する支持部材６３と、該支持部材６３を昇降させる駆動源５７と、支持部材６３の昇降をガイドするガイド手段６４を有している。駆動源６５からの動力により、支持部材６３が昇降するとＸスライドテーブル４の挿通孔４ｂに挿通されたピン６２が昇降するようになっている。
【００３５】
Ｘスライドテーブル４の検出孔４ｄ、４ｅ、４ｆ、４ｇには、基板検知手段６６の検出ヘッド部として光ファイバ光電センサ６７またはＣＣＤカメラ６８が内挿されている。センサ６７は部材６０により基板昇降手段６１の支持部材６３に支持されている。昇降手段６１が降下した際にはセンサ６７は検出孔４ｄ、４ｅに内蔵され面４ｃよりも下に位置するようになっている。一方、昇降手段６１が上昇した際にはセンサ６７は、面４ｃよりも上に突出するようになっている。
【００３６】
また、検出孔４ｄ、４ｇは、大型基板１ａが正しくテーブル４上に載置された場合にアライメントマーク６９が存在する直下に対応する位置、一方、検出孔４ｅ、４ｆは小型基板１ｂのアライメントマーク７０の直下に対応する位置に穿設されている。
【００３７】
したがって、本実施態様においては、Ｘスライドテーブル４上に載置される基板が大型基板１ａである場合には、検出孔４ｇ内のカメラ６８により基板１ａの有無およびアライメントマーク６９が検出されるとともに検出孔４ｄ、４ｅ内のセンサ６７および検出孔４ｆ内のＣＣＤカメラ６８により基板１ａの有無が検知される。一方、Ｘスライドテーブル４上に載置される基板が小型基板１ｂである場合には、４ｅ内のセンサ６７により基板１ｂの有無が検出されるとともに、４ｆ内のＣＣＤカメラ６８により基板１ｂの有無とアライメントマーク７０が検出されるようになっている。なお、センサ６７、カメラ６８による検出信号は、逐次制御手段５８に送られ、上記第１実施態様と同様に駆動源５７、基板供給排出手段５９が制御されるようになっている。
【００３８】
本実施態様においても、上記第１実施態様の作用に準じて、装置の誤作動を防止しつつ、装置の小型化を促進することができる。また、本実施態様においては、カメラ６８がアライメントマーク検出手段として機能している。つまり、基板検知手段６１によりアライメントマークの検出が可能になっている。このように基板検知とアライメントマークの検出を同時に行うようにすれば装置のタクトタイムのロスを大幅に抑制できる。さらに、本実施態様においては、サイズの異なる基板１ａ、１ｂの検知が可能になっているが、これは検出孔４ｃ内に検出ヘッド部を内挿する本願発明を実施することにより得られる優れた効果である。たとえば、従来装置において、サイズの異なる２種以上の基板を検知しようとする際には複数のセンサをテーブルの上方に配設する必要があるが、スペース的な制約から極めて困難になるからである。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の塗液の塗布装置および方法によるときは、装置の大型化を防止しつつ、テーブル上または基板昇降手段上における基板の有無を確実に検知することができる。また、テーブル上等に基板が存在する場合には新たな基板の供給が停止されるので、装置トラブルや不良基板の発生を防止することができる。さらに、基板昇降手段の上昇時に塗布ヘッドと基板等とが干渉し合う位置にある場合には、基板昇降手段の上昇が禁止されるので、塗布ヘッドと基板昇降手段との衝突を防止でき、誤作動による装置の破損のおそれを解消することができる。
【００４０】
また、基板検知手段はサイズの異なる２種以上の基板の有無を検知することもできるので、異種サイズの基板の混入による塗布不良や装置の誤作動を防止することができる。また、基板検知手段に、アライメントマークの検出機能を付与すれば、基板の検知とアライメントマークの検出を同時に行うことができるので、装置のタクトタイムのロスを低減し大幅に生産性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明係る塗液の塗布装置の斜視図である。
【図２】図１に示した塗布装置をＸ軸方向から見た塗布ヘッド周辺の概略図である。
【図３】凹部の画像と画像処理のカーソルを示す概略図である。
【図４】図１に示した塗布装置の塗布ヘッドへの塗液の供給制御装置の概略縦断面図である。
【図５】基板上の凹部を上面から見た概略図である。
【図６】ノズル孔と凹部の位置関係を示す概略図である。
【図７】図５とは別の態様の基板の平面図である。
【図８】第１の装置の基板検知手段の概略構成図である。
【図９】  図８の装置において基板検知手段が基板昇降手段に支持される一形態を示した概略構成図である。
【図１０】本発明の第２実施態様に係る塗液の塗布装置の基板検知手段の概略構成図である。
【図１１】図９の装置のテーブルの平面図である。
【符号の説明】
１  被塗布基板
１ａ  大型基板
１ｂ  小型基板
２  機台
３ａ、３ｂ  Ｘスライドレール
４  Ｘスライドテーブル
４ａ  基板載置面
４ｂ  挿通孔
４ｃ  検出孔
５  駆動軸
６  Ｘ軸モータ
７  支持機台
７ａ  側面
８ａ、８ｂ  Ｙスライドレール
９  Ｙスライドテーブル
１０  駆動軸
１１  Ｙ軸モータ
１２ａ、１２ｂ  Ｚスライドレール
１３  Ｚスライドテーブル
１４  駆動軸
１５  Ｚ軸モータ
１６  センサ支持軸
１７  位置センサ
１８  塗布ヘッド
１８ａ  ノズル孔
１９  塗着ストライプ
２０  Ｙ軸方向速度制御手段
２１  凹部
２２  カメラ
２３  画像位置処理部
２４  Ｘ軸位置制御部
２５ａ  縦リブ
２５ｂ  横リブ
２６  非表示部
２７  蛍光体ペースト
２９ａ  第１の移動手段
２９ｂ  第２の移動手段
３０  塗液
３１  筺体
３２  下面板
３３  空間
３４  塗液貯留部
３５  気体空間
３６  上面板
３７  気体圧力導通孔
３８  気体圧力導通路
３９  開閉手段
４０  気体圧力源
４１  Ｚ軸方向位置制御手段
５０  カーソル
５１、６６  基板検知手段
５２  検出ヘッド部
５３、６１  基板昇降手段
５４、６２  ピン
５５、６３  支持部材
５６、６４  ガイド手段
５７、６５  駆動源
５８  制御手段
５９  基板供給排出手段
６０  部材
６７  光ファイバ光電センサ
６８  ＣＣＤカメラ
６９、７０  アライメントマーク
【図１】
0004765166.tif 000002
【図２】
0004765166.tif 000003
【図３】
0004765166.tif 000004
【図４】
0004765166.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004765166.tif 000007
【図７】
0004765166.tif 000008
【図８】
0004765166.tif 000009
【図９】
0004765166.tif 000010
【図１０】
0004765166.tif 000011
【図１１】
0004765166.tif 000012