(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板グループ及び第２基板グループに第１配向膜及び第２配向膜をそれぞれ形成する第１ユニットと、
前記第１ユニットと離隔されて配置され、前記第１ユニットを通過した前記第１基板グループ及び前記２基板グループを受納する第２ユニットと、
前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置され、第１経路を通じて前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記第２ユニットに移送する途中、前記第１基板グループの前記第１配向膜に液晶配向部を形成する配向ユニットと、
前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置され、第２経路を通じて前記第２基板グループを前記第１ユニットから前記第２ユニットに移送する移送装置と、を含み、
前記第１経路と前記第２経路の中の一つの経路は前記第１ユニットと前記第２ユニットを直線に連結し、残り経路は前記第１ユニットと前記第２ユニットを迂回して連結することを特徴とする液晶配向設備。
【請求項２】
前記移送装置は、前記第１ユニット及び第２ユニットを連結するガイドレール及び前記ガイドレールに設置されて前記第１基板グループを移送する移送ロボットを更に含むことを特徴とする請求項１記載の液晶配向設備。
【請求項３】
前記移送装置は、前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置されたコンベヤー移送ユニットであることを特徴とする請求項１記載の液晶配向設備。
【請求項４】
前記移送装置は、前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記コンベヤー移送ユニットに移送する第１ロボットアーム及び前記第１基板グループを前記コンベヤー移送ユニットから前記２ユニットに移送する第２ロボットアームを更に含むことを特徴とする請求項３記載の液晶配向設備。
【請求項５】
前記第１経路は、直線経路であることを特徴とする請求項１記載の液晶配向設備。
【請求項６】
前記第２経路は、Ｕ字状経路であることを特徴とする請求項５記載の液晶配向設備。
【請求項７】
前記第２経路は、直線経路であることを特徴とする請求項１記載の液晶配向設備。
【請求項８】
前記第１経路は、Ｕ字状経路であることを特徴とする請求項７記載の液晶配向設備。
【請求項９】
前記液晶配向ユニットは、前記第１配向膜に液晶配向部を形成するための液晶配向モジュールを含むことを特徴とする請求項１記載の液晶配向設備。
【請求項１０】
前記液晶配向モジュールは、パイル（ｐｉｌｅ）を有するラビング布が付着されたラビングローラー及び前記ラビングローラーを移送するラビングローラー移送装置を更に含むことを特徴とする請求項９記載の液晶配向設備。
【請求項１１】
前記液晶配向ユニットは、
前記第１基板グループを洗浄するための洗浄モジュールと、
前記液晶配向部の方向を調節するためのアラインユニットと、
を更に含むことを特徴とする請求項９記載の液晶配向設備。
【請求項１２】
前記液晶配向ユニットは、
前記第１基板グループを初期洗浄するための第１洗浄モジュールと、
前記第１配向膜に液晶配向部を形成するための液晶配向モジュールと、
前記液晶配向部が形成された前記第１基板グループを洗浄するための第２洗浄モジュールと、
を更に含むことを特徴とする請求項１１記載の液晶配向設備。
【請求項１３】
第１基板グループ及び第２基板グループにそれぞれ第１配向膜及び第２配向膜を形成する第１ユニットと、
前記第１基板グループ及び前記第２基板グループを受納する第１受納部と、
前記第１受納部と離隔されて配置され、前記第１受納部を通過した前記第１及び第２基板グループを受納する第２受納部と、
前記第１ユニットと離隔されて配置され、前記第２受納部を通過した前記第１基板グループ及び前記２基板グループを受納する第２ユニットと、
前記第１基板グループを前記第１受納部から第１経路を通じて前記第２受納部に移送して受納する移送装置と、
前記第２基板グループを第２経路に沿って移送しながら前記第２配向膜上に液晶配向部を形成する液晶配向ユニットと、を含み、
前記第１経路と前記第２経路の中の一つの経路は前記第１収納部とと前記第２収納部を直線に連結し、残り経路は前記第１収納部と前記第２収納部を迂回して連結することを特徴とする液晶配向設備。
【請求項１４】
前記メイン移送ユニットは、前記第１受納部及び前記第２受納部を連結するガイドレールと、前記ガイドレールに設置されて前記第１基板グループを移送する移送ロボットと、を含むことを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【請求項１５】
メイン移送ユニットは、前記第１受納部と前記第２受納部との間に設置されたコンベヤー移送ユニットを更に含むことを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【請求項１６】
前記メイン移送ユニットは、前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記コンベヤー移送ユニットに移送する第１ロボットアームと、前記第１基板グループを前記コンベヤー移送ユニットから前記第２ユニットに移送する第２ロボットアームと、を更に含むことを特徴とする請求項１５記載の液晶配向設備。
【請求項１７】
前記第１受納部は、前記第１基板グループがローディングされる第１ゲートと、前記第１基板グループを前記メイン移送ユニットにアンローディングするための第２ゲートと、前記第２基板グループを前記液晶配向ユニットにアンローディングするための第３ゲートと、を更に含むことを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【請求項１８】
前記第２受納部は、前記メイン移送ユニットから前記第１基板グループがローディングされる第４ゲートと、前記液晶配向ユニットから前記第２基板グループがローディングされる第５ゲートと、前記第２ユニットに前記第１基板グループまたは第２基板グループをアンローディングするための第６ゲートと、を更に含むことを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【請求項１９】
前記第１経路は、直線経路であることを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【請求項２０】
前記第２経路は、Ｕ字状経路であることを特徴とする請求項１３記載の液晶配向設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶配向設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ，ＬＣ）は、電界によって配列が変更される電気的特性及び配列によって光の透過率を変更させる光学的特性を共に有する。液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  ｄｅｖｉｃｅ，ＬＣＤ）は液晶で映像を表示する。
【０００３】
液晶表示装置は、液晶制御パート及び光供給パートに分かれる。液晶制御パートは液晶の配列を制御して映像を表示し、光供給パートは液晶制御パートに映像を表示するために必要な光を提供する。
【０００４】
液晶制御パートは液晶の種類によって非常に多様な構成を有する。  例えば、ＴＮモード液晶（Ｔｗｉｓｔ  Ｎｅｍａｔｉｃ  ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ，ＴＮ  ＬＣ）を用いるＴＮモード液晶表示装置は、第１基板グループ、ＴＮモード液晶及び第２基板グループを含む。第１基板グループは、第１電極及び第１電極をカバーして第１方向に第１配向溝が形成された第１配向膜を含む。第２基板グループは、第１基板グループと向い合い、第１電極と向い合う第２電極、第２電極をカバーして第２方向に第２配向溝が形成された第２配向膜を含む。
【０００５】
他の例を挙げると、垂直配向モード液晶（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ  ｍｏｄｅ  ｌｉｑｕｉｄ  ｃｙｓｔａｌ，ＶＡ  ｍｏｄｅ  ＬＣ）を使用する液晶表示装置はＶＡモード液晶表示装置及びＩＰＳ（ＩＮ−Ｐｌａｎｅ  Ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ）モード液晶表示装置が代表的である。
【０００６】
ＯＣＢ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｂｉｒｅｆｒｉｎｇｅｎｃｅ  ｍｏｄｅ）モード液晶表示装置は、第１基板グループ、ＯＣＢモード液晶及び第２基板グループを含む。第１基板グループは第１電極、第１電極に形成された第１配向膜を含む。第２基板グループは、第１電極と向い合う第２電極、第２電極に形成された第２配向膜を含む。ＯＣＢモード液晶表示装置は第１配向膜及び第２配向膜に同じ方向に配向溝を形成する。
【０００７】
ＩＰＳモード液晶表示装置は、第１基板グループ、ＶＡモード液晶及び第２基板グループを含む。第１基板グループは、第１電極、第１電極と同じレイヤー上に、互いに引接に配置された第２電極及び第１電極と第２電極をカバーして配向溝が形成された第１配向膜を含む。第２基板グループは、第１基板グループと向い合って第２配向膜が形成される。ＶＡモード液晶は第１基板グループ及び第２基板グループの間に配置される。
【０００８】
ＶＡモード液晶表示装置は、第１基板グループ、ＶＡモード液晶及び第２基板グループを含む。第１基板グループは、第１電極、第１電極に形成された第１配向膜を含む。第２基板グループは、第１電極と向い合う第２電極、第２電極に形成された第２配向膜を含む。ＶＡモード液晶表示装置はＶＡモード液晶を配向するために、第１電極または第２電極に溝または突起を形成する。従って、ＶＡモード液晶表示装置は第１配向膜及び第２配向膜に液晶を配向するための配向溝を形成しなくても良い。
【０００９】
このような構造を有するＴＮモード液晶表示装置、ＯＣＢモード液晶表示装置、ＩＰＳモード液晶表示装置及びＶＡモード液晶表示装置を構成する第１基板グループ及び第２基板グループは共通に配向膜を有する。従って、ＴＮモード液晶表示装置、ＩＰＳモード液晶表示装置及びＶＡモード液晶表示装置の第１基板グループまたは第２基板グループは液晶配向設備に混在された状態でローディングされ、第１基板グループまたは第２基板グループには１次に配向膜が形成される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
最近、多くの液晶配向設備は、配向膜を形成する配向膜形成装置と配向膜に配向溝を形成する配向溝形成装置がインライン方式に配置され、配向膜を形成する工程以後、２次に配向膜に配向溝を形成する工程を連続して進行できるように構成されている。従って、配向膜形成装置で１次に配向膜が形成されたＴＮ液晶表示装置、ＯＣＢモード液晶表示装置、ＩＰＳモード液晶表示装置及びＶＡモード液晶表示装置のうち、ＴＮ液晶表示装置、ＯＣＢモード液晶表示装置とＩＰＳモード液晶表示装置の第１基板グループ及び第２基板グループは配向溝形成装置に移送されて配向膜には２次に配向溝が形成される。
【００１１】
しかし、ＶＡモード液晶表示装置の第１基板グループ及び第２基板グループに形成された配向膜には配向溝が形成されない。従って、ＶＡモード液晶表示装置の第１基板グループ及び第２基板グループは配向溝形成装置をそのまま通過するか別の自動搬送台車（Ａｕｔｏ  Ｇｕｉｄｅ  Ｖｅｈｉｃｌｅ，ＡＧＶ）を通じて後続工程に移送される。
【００１２】
ＶＡモード液晶表示装置の第１基板グループ及び第２基板グループが配向溝形成装置をそのまま通過する場合、第１基板グループ及び第２基板グループは配向溝形成装置の内部に配置された各種ユニット、例えば、クリーニングユニット、整列ユニット、ラビングユニット、洗浄ユニットなどを順次通過する。従って、第１基板グループ及び第２基板グループが配向溝形成装置に沿って通過することに要する時間が非常に長くなり、ＶＡモード液晶表示装置が通過される時間のうちＴＮ液晶表示装置、ＯＣＢモード液晶表示装置、ＩＰＳモード液晶表示装置における配向溝形成工程が遅延される問題点を有する。
【００１３】
また、ＶＡモード液晶表示装置の第１基板グループ及び第２基板グループを別の自動搬送台車を通じて移送する場合、自動搬送台車が占める面積のため、液晶配向設備の全体面積が非常に大きくなり、自動搬送台車を設置及び制御することに相当費用が要する。
【００１４】
また、自動搬送台車が移送カセットを利用してＶＡモード液晶表示装置を移送する場合、自動搬送台車は移送カセットにＶＡモード液晶表示装置が全部満たされるまで待機するので、ＶＡモード液晶表示装置は待機中に長い時間のうち待機するようになる。従って、ＶＡモード液晶表示装置の配向膜には多数の異物質が付着され、これによってＶＡモード液晶表示装置を後続工程を始める以前に再び洗浄しなければならない問題点を有する。
【００１５】
このような問題点を解決するためには、ＴＮモード液晶表示装置、  ＯＣＢモード液晶表示装置、ＩＰＳモード液晶表示装置及びＶＡモード液晶表示装置のごとに専用配向膜形成設備を設置することが一番望ましいが、この場合、設備費用、設備が占める面積が大きく増加する問題点を有する。
【００１６】
従って、本発明はこのような従来の問題点を勘案したものとして、  本発明の目的は基板に液晶を配向するための配向膜または配向溝を形成することに要する時間及び設備面積までも共に減少させた液晶配向設備を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
このような本発明の目的を具現するために、本発明は
第１基板グループ及び第２基板グループに第１配向膜及び第２配向膜をそれぞれ形成する第１ユニットと、
前記第１ユニットと離隔されて配置され、前記第１ユニットを通過した前記第１基板グループ及び前記２基板グループを受納する第２ユニットと、
前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置され、第１経路を通じて前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記第２ユニットに移送する途中、前記第１基板グループの前記第１配向膜に液晶配向部を形成する配向ユニットと、
前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置され、第２経路を通じて前記第２基板グループを前記第１ユニットから前記第２ユニットに移送する移送装置と、を含み、
前記第１経路と前記第２経路の中の一つの経路は前記第１ユニットと前記第２ユニットを直線に連結し、残り経路は前記第１ユニットと前記第２ユニットを迂回して連結することを特徴とする液晶配向設備を提供する。
【００１８】
本発明によると、配向膜が形成された基板のうち、配向溝が形成される基板及び配向溝が形成されない基板を分類して移送し、配向溝が形成されない基板は後続工程に高速移送して基板に配向膜及び配向溝を形成することに必要な時間及び設備面積を大きく減少させることができる。
【００１９】
好ましくは、前記移送装置は、前記第１ユニット及び第２ユニットを連結するガイドレール及び前記ガイドレールに設置されて前記第１基板グループを移送する移送ロボットを更に含む。基板の位相時間を大きく短縮することができる。
【００２０】
また、前記移送装置は、前記第１ユニットと前記第２ユニットとの間に配置されたコンベヤー移送ユニットであってもよい。次第に大型化する基板を移送する時間を減少し、基板の位相過程で発生する基板の破損を減少することができる。
【００２１】
さらに、前記移送装置は、前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記コンベヤー移送ユニットに移送する第１ロボットアーム及び前記第１基板グループを前記コンベヤー移送ユニットから前記２ユニットに移送する第２ロボットアームを更に含んでいてもよい。基板の位相時間を短縮させることができる。
【００２２】
前記第１経路は、直線経路であってもよく、また前記第２経路は、Ｕ字状経路である。
【００２３】
逆に、前記第２経路は、直線経路であってもよく、前記第１経路は、Ｕ字状経路である。
【００２４】
前記液晶配向ユニットは、前記第１配向膜に液晶配向部を形成するための液晶配向モジュールを含むことが好ましい。
【００２５】
前記液晶配向モジュールは、パイルを有するラビング布が付着されたラビングローラー及び前記ラビングローラーを移送するラビングローラー移送装置を更に含んでいてもよい。
【００２６】
前記液晶配向ユニットは、前記第１基板グループを洗浄するための洗浄モジュールと、前記液晶配向部の方向を調節するためのアラインユニットと、を更に含むことができる。
【００２７】
ここで、前記液晶配向ユニットは、前記第１基板グループを初期洗浄するための第１洗浄モジュールと、前記第１配向膜に液晶配向部を形成するための液晶配向モジュールと、前記液晶配向部が形成された前記第１基板グループを洗浄するための第２洗浄モジュールと、を更に含むこともできる。
【００２８】
さらに本発明は、下記の構成の液晶配向設備を提供する。
・第１基板グループ及び第２基板グループにそれぞれ第１配向膜及び第２配向膜を形成する第１ユニット、
・前記第１基板グループ及び前記第２基板グループを受納する第１受納部、
・前記第１受納部と離隔されて配置され、前記第１受納部を通過した前記第１及び第２基板グループを受納する第２受納部、
・前記第１ユニットと離隔されて配置され、前記第２受納部を通過した前記第１基板グループ及び前記２基板グループを受納する第２ユニット、
・前記第１基板グループを前記第１受納部から第１経路を通じて前記第２受納部に移送して受納する移送装置、
・前記第２基板グループを第２経路に沿って移送しながら前記第２配向膜上に液晶配向部を形成する液晶配向ユニット。
ここで、前記第１経路と前記第２経路の中の一つの経路は前記第１収納部とと前記第２収納部を直線に連結し、残り経路は前記第１収納部と前記第２収納部を迂回して連結する。
【００２９】
前記メイン移送ユニットは、前記第１受納部及び前記第２受納部を連結するガイドレールと、前記ガイドレールに設置されて前記第１基板グループを移送する移送ロボットと、を含んでいてもよい。移送時間を短縮することができる。
【００３０】
メイン移送ユニットは、前記第１受納部と前記第２受納部との間に設置されたコンベヤー移送ユニットを更に含んでいてもよい。次第に大型化する基板を移送する時間を減少し、基板の位相過程で発生する基板の破損を減少することができる。
【００３１】
前記メイン移送ユニットは、前記第１基板グループを前記第１ユニットから前記コンベヤー移送ユニットに移送する第１ロボットアームと、前記第１基板グループを前記コンベヤー移送ユニットから前記第２ユニットに移送する第２ロボットアームと、を更に含むこともできる。基板の移送時間を短縮することができる。
【００３２】
前記第１受納部は、前記第１基板グループがローディングされる第１ゲートと、前記第１基板グループを前記メイン移送ユニットにアンローディングするための第２ゲートと、前記第２基板グループを前記液晶配向ユニットにアンローディングするための第３ゲートと、を更に含むことができる。
【００３３】
前記第２受納部は、前記メイン移送ユニットから前記第１基板グループがローディングされる第４ゲートと、前記液晶配向ユニットから前記第２基板グループがローディングされる第５ゲートと、前記第２ユニットに前記第１基板グループまたは第２基板グループをアンローディングするための第６ゲートと、を更に含むことができる。
【００３４】
前記第１経路は、直線経路であってもよく、前記第２経路は、Ｕ字状経路である。
【発明の効果】
【００３５】
本発明を用いれば、液晶を配向するための液晶配向工程が必要な基板及び液晶配向工程が必要ない基板を分類し移送して移送時間を大きく短縮させ、設備が占める空間を大きく減少させた液晶配向設備に関するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付した図を参照して本発明の望ましい実施例を詳細に説明する。
【００３７】
実施例１
図１は、本発明の第１実施例による液晶配向設備の概念図である。図２は、図１の第１ユニットを図示した概念図である。図３は、第１基板グループに形成された配向膜を図示した概念図である。図４は、第２基板グループに形成された配向膜を図示した概念図である。  
【００３８】
図１を参照すると、液晶配向設備６００は全体的に第１ユニット１００、第２ユニット２００、液晶配向ユニット３００及びメイン移送ユニット４００を含む。
【００３９】
本実施例で第１ユニット１００は基板１０に配向膜を形成する。図２を参照すると、第１ユニット１００は第１ローラーユニット１１０、第２ローラーユニット１２０、配向物質供給ユニット１３０及びサブ移送ユニット１４０を含む。
【００４０】
第１ローラーユニット１１０は第１ローラー１１２及び第１回転ユニット１１４を含む。第１ローラー１１２は第１直径を有する円柱形状であり、第１回転ユニット１１４は第１ローラー１１２を時計方向に回転させる。
【００４１】
第２ローラーユニット１２０は第２ローラー１２２、第２回転ユニット１２４及び転写プレート１２６を含む。第２ローラー１２２は第１直径より大きい第２直径を有する円柱形状であり、第２回転ユニット１２４は第２ローラー１２２を反時計方向に回転させる。転写プレート１２６は第２ローラー１２２の表面に設置される。転写プレート１２６は第２ローラー１２２と同じ曲率半径を有する曲面形状を有し、少なくとも基板１０を全部カバーすることができる面積を有する。
【００４２】
第１ローラー１１２の第１外周面１１２ａ及び第２ローラー１２２の第２外周面１２２ａは互いに平行に配置され、第１ローラー１１２の第１外周面１１２ａ及び第２ローラー１２２の第２外周面１２２ａは互いに所定間隔に離隔される。第１外周面１１２ａ及び第２外周面１２２ａの間の間隔は基板１０に形成される配向膜の厚さと実質的に同じである。
【００４３】
配向物質供給ユニット１３０は、第１ローラー１１２の第１外周面１１２ａに配向物質１３２を供給する。配向物質供給ユニット１３０は配向物質貯蔵タンク１３４、配向物質ディスペンサ１３６を含む。
【００４４】
サブ移送ユニット１４０は配向膜が形成される基板１０を移送する。サブ移送ユニット１４０は反時計方向に回転する転写プレート１２６とかみ合わさる方向に基板１０を移送する。  
【００４５】
配向物質供給ユニット１３０の配向物質貯蔵タンク１３４から吐出された配向物質１３２は配向物質ディスペンサ１３６によって第１ローラー１１２の第１外周面１１２ａに吐出される。第１ローラー１１２の第１外周面１１２ａに塗布された配向物質１３２は配向物質厚さ調節ユニット１３８によって厚さが調節された後、第２ローラー１２２に設置された転写プレート１２６に転写される。転写プレート１２６に転写された配向物質１３２は基板１０に転写され、基板１０には配向膜が形成される。
【００４６】
図１を再び参照すると、第１ユニット１００には多様な種類の基板１０が供給される。例えば、第１ユニット１０にはＴＮモード液晶表示装置を構成するＴＮモード基板１２、ＯＣＢモード基板１３、ＩＰＳモード液晶表示装置を構成するＩＰＳモード基板１４またはＶＡモード液晶表示装置を構成するＶＡモード基板１６が供給される。ＴＮモード基板１２、ＯＣＢモード基板１３、ＩＰＳモード基板１４及びＶＡモード基板１６は共通に第１ユニット１００によって配向膜が形成される。これのうち、ＴＮモード基板１２、ＯＣＢモード基板１３及びＩＰＳモード基板１４は配向膜に液晶を配向するための液晶配向部（ａｌｉｇｎｉｎｇ  ａｇｅｎｔ）が形成され、ＶＡモード基板１６には液晶配向部が形成されない。
【００４７】
本実施例では説明の便宜上、ＴＮモード基板１２、ＯＣＢモード基板１３、ＩＰＳモード基板１４を第１基板グループ１５と称することにし、ＶＡモード基板１６を第２基板グループ１７と新しく称することにする。図３を参照すると、第１ユニット１００は第１基板グループ１５の表面に第１配向膜１５ａを形成し、第２基板グループ１７の表面に第２配向膜１７ａを形成する。
【００４８】
本実施例では、望ましく第１ユニット１００から第１基板グループ１５の表面に第１配向膜１５ａ及び第２基板グループ１７の表面に第２配向膜１７ａを形成する。これとは異なり、第１基板グループ１５の表面にダイヤモンドライクカーボン薄膜（Ｄｉａｍｏｎｄ−Ｌｉｋｅ−Ｃａｒｂｏｎ  ｆｉｌｍ，ＤＬＣ  ｆｉｌｍ）を形成することができる。第１基板グループ１５の表面に形成されたダイヤモンドライクカーボン薄膜は非接触方式で液晶を配向することに使用される。
【００４９】
第２ユニット２００は第１ユニット１００と離隔されて配置される。第２ユニット２００は第１基板グループ１５及び第２基板グループ１７の供給を受ける。本実施例で、第２ユニット２００は第１基板グループ１５または第２基板グループ１７の供給を受ける基板カセットである。これとは異なり、第２ユニット２００は後続工程を進行する以前に第１基板グループ１５または第２基板グループ１７を洗浄する洗浄装置であることもできる。
【００５０】
液晶配向ユニット３００は、第１ユニット１００で図３に図示したように第１配向膜１５ａが形成された第１基板グループを第１経路２０に供給を受けて液晶配向部（ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｉｓｔａｌ  ａｌｉｇｎｉｎｇ  ａｇｅｎｔ）を形成する。
【００５１】
図５は、図１に図示された液晶配向ユニットを図示した概念図である。図６は、図５の液晶配向モジュールを具体的に図示した概念図である。
【００５２】
図５及び図６を参照すると、液晶配向ユニット３００は液晶配向モジュール３１０を含む。液晶配向モジュール３１０は、第１基板グループ１５に形成された第１配向膜１５ａに液晶配向部１５ｂを形成する。本実施例で液晶配向モジュール３１０は第１配向膜１５ａの表面に第１配向部１５ｂを形成するラビングモジュールである。ラビングモジュールに液晶配向モジュール３１０の参照符号３１０を新しく付与することにする。ラビングモジュール３１０はパイル３１１が植えられたラビング布３１２が付着されたラビングローラー３１３、ラビングローラー３１３を時計方向または反時計方向に回転させるラビングローラー回転ユニット３１４及びラビングローラー３１３を第１基板グループ１５に対して相対運動させるラビングローラー移送装置３１５を含む。
【００５３】
液晶配向ユニット３００は、液晶配向モジュール３１０の他に少なくとも一つの基板洗浄ユニット３２０及び基板整列ユニット３３０を含むことができる。基板洗浄ユニット３２０は第１配向膜１５ａが形成された第１基板グループ１５が液晶配向モジュール３１０に移送される以前に第１配向膜１５ａの表面についている汚染物をクリーニングする。望ましくは、基板洗浄ユニット３２０は乾式洗浄装置であり、本実施例で基板洗浄ユニット３２０は超音波を利用して第１基板グループ１５の第１配向膜１５ａについている汚染物質を洗浄する。本実施例で基板洗浄ユニット３２０は液晶配向モジュール３１０の両側に配置されることができる。基板洗浄ユニット３２０は第１基板グループ１５が液晶配向モジュール３１０に供給される前に第１基板グループ１５を１次洗浄及び液晶配向モジュール３１０で液晶配向部１５ｂが形成された第１基板グループ１５を２次洗浄することができる。
【００５４】
これとは異なり、液晶配向ユニット３００は、イオンビームまたは原子ビームを利用して第１基板グループ１５の表面に非接触方式で液晶配向部を形成することができる。これを具現するために第１ユニット１００は第１基板グループ１５にダイヤモンドライクカーボン薄膜を形成する。
【００５５】
望ましくは、液晶配向ユニット３００は、液晶配向モジュール３１０、基板洗浄ユニット３２０だけではなく、基板整列ユニット３３０を更に含むことができる。基板整列ユニット３３０は液晶配向部１５ｂの方向を変更させる。例えば、基板整列ユニット３３０は第１基板グループ１５の種類によって液晶配向部を平面上で回転させる。例えば、第１基板グループ１５がＩＰＳモード基板１４である場合、ＩＰＳモード基板１４は基板整列ユニット３３０によって基準線から約１５°程度回転され、第１基板グループ１５がＴＮモード基板１２である場合、ＴＮモード基板１２は基板整列ユニット３３０によって基準線から約４５°程度回転される。また、基板整列ユニット３３０は第１基板グループ１５を指定された一位置に正確にアラインさせて整列不良による液晶配向不良を防止する。
【００５６】
図５に図示された参照符号３４０はロボットアームである。
【００５７】
図７は、図１に図示されたメイン移送ユニットを図示した概念図である。
【００５８】
図３または図７を参照すると、メイン移送ユニット４００は第１ユニット１００から第２配向膜１７ａが形成された第２基板グループ１７を第２経路３０を通じて第２ユニット２００に移送する。本実施例で、第２経路３０は直線経路であり、前述の第１経路２０より短い動線を有する。例えば、第２経路３０は第１ユニット１００及び第２ユニット２００を直線に連結する経路であり、第１経路２０は第１ユニット１００及び第２ユニット２００を曲線に連結する経路である。
【００５９】
これを具現するために、メイン移送ユニット４００は第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間に介在される。この時、メイン移送ユニット４００は、第２基板グループ２００を液晶配向ユニット３００を経由しない第２経路３０を通じて第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送する。
【００６０】
メイン移送ユニット４００は、第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送することに要する時間を大きく短縮させるために、ガイドレール４１０及び移送ロボット４２０を含む。
【００６１】
ガイドレール４１０は、第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間に設置される。この時、ガイドレール４１０は単線方式または複線方式で設置されることができる。本実施例ではガイドレール４１０は複線方式で設置され、ガイドレール４１０の一部は曲線に形成されることができる。
【００６２】
移送ロボット４２０は、ガイドレール４１０に沿って第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間で第２基板グループ１７を移送する。この時、移送ロボット４２０は、第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に、第２基板グループ１７を第２ユニット２００から第１ユニット１００に移送することができる。本実施例で、移送ロボット４２０は１枚の第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送する。これとは異なり、移送ロボット４２０は複数枚の第２基板グループ１７を同時に移送することもできる。移送ロボット４２０は例えば約５００ｍｍ/ｓの速力で第２基板グループ１７を移送し、自動搬送台車などに比べて数〜数十倍の移送能力を有する。
【００６３】
本実施例で、第２基板グループ１７が第１基板グループ１５と共に移送されないようにすることで、第２基板グループ１７及び第１基板グループ１５が移送において互い干渉を受けないので、第１基板グループ１５及び第２基板グループ１７の移送時間を大きく短縮させることはできる。
【００６４】
例えば、第２基板グループ１７を第１基板グループ１５と同じ経路で移送する時に要する時間及び第２基板グループ１７を第１基板グループ１５と異なる経路で移送する時に要する時間を算出して比較すると次のようである。
【００６５】
第１基板グループ１５を第１経路２０で移送しながら液晶配向部を形成する場合、基板洗浄ユニット、整列ユニット、液晶配向モジュールを通過することに必要な総時間は第１基板グループ１５の移送速度が約５０ｍｍ/ｓ、設備の長さが１７ｍである時、工程進行時間を勘案して最小約３００秒以上が必要である。一方、第２基板グループ１７を第１基板グループ１５と同じく第１経路２０を通じて第２ユニット２００に供給する場合、基板洗浄、基板整列及び液晶配向部を形成することに要する時間を除いても第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送することに約２５０秒〜２９０秒必要である。第２基板グループ１７の場合、移送速度を約１００ｍｍ/ｓに向上させても第２基板グループ１７が第１ユニット１００から基板洗浄ユニット、整列ユニット及び液晶配向部を通過して第２ユニット２００まで到達することに約１４５秒〜１５０秒必要である。
【００６６】
反面、第１ユニット１００から排出された第２基板グループ１７を自動搬送台車を使用して第２経路に沿って移送して第２ユニット２００に移送する時、自動搬送台車が１７ｍ程度を動くことに約４００秒内外が所要され、自動搬送台車の場合、基板カセットに第２基板グループ１７が全部満たされた後、第１ユニット１００から第２ユニット２００に動くので、第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送することに最低５００秒以上必要である。
【００６７】
反面、第１ユニット１００から排出された第２基板グループ１７を本実施例によるメイン移送ユニット４００を使用して第２経路３０に沿って移送して第２ユニット２００に供給する場合、メイン移送ユニット４００は約５００ｍｍ/ｓで移送されるので理論的に第２基板グループ１７を約３４秒で約１７ｍ移送できる。
【００６８】
従って、第２基板グループ１７を本実施例によるメイン移送ユニット４００を利用して移送する場合、移送時間が従来に比べて約１/４〜１/１５に過ぎない長所を有する。
【００６９】
また、本実施例のようにメイン移送ユニット４００を使用して第２基板グループ１７を移送する場合、自動搬送台車を利用して第２基板グループ１７を移送する時に比べて液晶配向設備が占める面積をより減少させることができる。
【００７０】
本実施例によると、液晶配向設備に供給された基板を基板の種類によって互いに異なる経路で移送して移送に要する時間を短縮させることができる。また、基板を移送する方法を変更し、追加的に基板を移送することに要する時間を短縮し、設備が占める面積をより減少させることができる。
【００７１】
実施例２
図８は、本発明の第２実施例による液晶配向設備の概念図である。本実施例の液晶配向設備は、実施例１のメイン移送ユニットと本実施例のメイン移送ユニットとが異なることを除いては実施例１の液晶配向設備と同じである。従って、同じ部材に対しては実施例１と同じ参照番号で表示し、その重複された説明は省略する。
【００７２】
図８を参照すると、メイン移送ユニット４００は、第１ロボットアーム４３０、第２ロボットアーム４４５及びコンベヤー移送ユニット４４０を含む。
【００７３】
コンベヤー移送ユニット４４０は、第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間に配置される。コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００または第２ユニット２００から第１ユニット１００に移送する。本実施例で、コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に向って移送する。
【００７４】
第１ロボットアーム４３０は、コンベヤー移送ユニット４４０及び第１ユニット１００の間に配置され、第２基板グループ１７を第１ユニット１００からコンベヤー移送ユニット４４０に伝達する。
【００７５】
第２ロボットアーム４４５は、コンベヤー移送ユニット４４０及び第２ユニット２００の間に配置され、第２基板グループ１７をコンベヤー移送ユニット４４０から第２ユニット２００に伝達する。
【００７６】
本実施例で、第１ユニット１００とコンベヤー移送ユニット４４０の間に配置された第１ロボットアーム４３０、及び第２ユニット２００とコンベヤー移送ユニット４４０の間に配置された第２ロボットアーム４４５は選択的に形成される。
【００７７】
コンベヤー移送ユニット４４０は、第１ユニット１００から第２ユニット２００に向って一方向に第２基板グループ１７を連続移送することができるので、自動搬送台車またはガイドレールを利用する移送装置に比べて第２基板グループ１７を移送することに要する時間を追加的に短縮することができる。また、コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７の平面積がより増加しても安全に第２基板グループ１７を移送することができる長所を有する。
【００７８】
本実施例によると、コンベヤー移送ユニットを利用して基板を移送することで、次第に大型化される基板を移送することに必要な時間をより減少させることができ、基板を移送する過程で発生することができる基板の破損をより減少させることができる。
【００７９】
実施例３
図９は、本発明の第３実施例による液晶配向設備の概念図である。本実施例ではメイン移送ユニット及び液晶配向ユニットの配置を除くと、実施例１及び実施例２と同じである。従って、同じ部材に対しては実施例１及び実施例２と同じ参照番号で表示し、その重複された説明は省略する。
【００８０】
図９を参照すると、液晶配向ユニット３００は、第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間に配置され、メイン移送ユニット４００は液晶配向ユニット３００と並列方式に配置される。
【００８１】
第１ユニット１００から排出された第１基板グループ１５は、第１経路に沿って液晶配向ユニット３００を経由して第２ユニット２００に供給される。この時、第１経路２０は直線経路である。
【００８２】
第１ユニット１００から排出された第２基板グループ１７はメイン移送ユニット４００によって第２経路に沿って第２ユニット２００に移送される。この時、第２経路３０の第２長さは第１経路２０の第１長さより長い。
【００８３】
このように液晶配向ユニット３００を通過する第１基板グループ１５の第１経路２０をメイン移送ユニット４００によって移送される第２基板グループ１７の第２経路３０より短くするのは第１基板グループ１５及び第２基板グループ１７の混ざっている割合と連関がある。
【００８４】
例えば、第１ユニット１００から排出された第１基板グループ１５の個数が第１ユニット１００から排出された第２基板グループ１５の個数より顕著に少ない場合、第１基板グループ１５の第１経路２０を第２基板グループ１７の第２経路３０より短くすることで、第１基板グループ１５の移送に要する時間をより短縮させることができる。
【００８５】
本実施例によると、第１ユニット１００から排出される第１基板グループ１５及び第２基板グループ１７のうち、第１基板グループ１５の個数が第２基板グループ１７の個数より顕著に多い場合、第１基板グループ１５の第１経路２０を第２基板グループ１７の第２経路３０より短くし、第２基板グループ１７はメイン移送ユニット４００によって移送することで、第１基板グループ１５及び第２基板グループ１７の移送時間を追加的に短縮させることができる。
【００８６】
実施例４
図１０は、本発明の第４実施例による液晶配向設備の概念図である。本実施例では受納部を除くと実施例１及び実施例２と同じである。従って、同じ部材に対しては実施例１及び実施例２と同じ参照番号で表示してその重複された説明は省略する。
【００８７】
図１０を参照すると、第１ユニット１００及び第２ユニット２００の間には第１受納部４５０及び第２受納部４６０が配置される。この時、第１受納部４５０及び第２受納部４６０の間にはメイン移送ユニット４００が介在される。
【００８８】
第１受納部４５０は、第１ユニット１００から供給された第１基板グループ１５または第２基板グループ１７の供給を受け、臨時に積載するバッファカセットの役割をする。第１受納部４５０は第１ユニット１００から排出される第１基板グループ１５または第２基板グループ１７の個数がメイン移送ユニット４００または液晶配向ユニット３００が処理できる個数より多い時、特に有用である。第１ユニット１００から排出された第１基板グループ１５または第２基板グループ１７のうち、メイン移送ユニット４００または液晶配向ユニット３００であらかじめ処理されなかった第１基板グループ１５または第２基板グループ１７は第１受納部４５０に積載されて待機する。
【００８９】
第１受納部４５０は、第１基板グループ１５または第２基板グループ１７が受納されることに充分な空間を有する基板カセットであって、第１受納部４５０は第１受納本体４５２、第１ゲート４５４、第２ゲート４５６及び第３ゲート４５８を含む。
【００９０】
第１受納本体４５２は第１基板グループ１５または第２基板グループ１７を複数枚積層できるように複数個のスロットを含む。
【００９１】
第１ゲート４５４は第１受納本体４５２に形成され、第１ユニット１００から排出された第１基板グループ１５または第２基板グループ１７がスロットに受納されることができるように第１ユニット１００と向い合う位置に配置される。第２ゲート４５６はメイン移送ユニット４００が第２基板グループ１７をアンローディングして第２ユニット２００に移送することができるようにメイン移送ユニット４００と向い合うように配置される。第３ゲート４５８は第１基板グループ１５が液晶配向ユニット３００に移送されることができるように液晶配向ユニット３００と向い合う位置に配置される。
【００９２】
第２受納部４６０は、液晶配向ユニット３００から供給された第１基板グループ１５またはメイン移送ユニット４００から移送された第２基板グループ１７の供給を受けて臨時に積載するバッファカセットの役割をする。第２受納部４６０は、液晶配向ユニット３００から供給された第１基板グループ１５またはメイン移送ユニット４００から排出された第２基板グループ１７の個数が第２ユニット２００が処理することができる個数より多い時、特に有用である。従って、第２受納部４６０には液晶配向ユニット３００から排出された第１基板グループ１５またはメイン移送ユニット４００から移送された第２基板グループ１７のうち、第２ユニット２００であらかじめ処理されなかった第１基板グループ１５または第２基板グループ１７が積載されて臨時に待機する。
【００９３】
第２受納部４６０は、第１基板グループ１５または第２基板グループ１７が受納されることに充分な空間を有する基板カセットであって、第２受納部４６０は第２受納本体４６２、第４ゲート４６４、第５ゲート４６６及び第６ゲート４６８を含む。
【００９４】
第２受納本体４６２は第１基板グループ１５または第２基板グループ１７を複数枚に積層することができるように複数のスロットを含む。
【００９５】
第４ゲート４６４は、第２受納本体４６２に形成され、メイン移送ユニット４００から移送された第２基板グループ１７が第２受納本体４６２のスロットに積層されるようにメイン移送ユニット４００と向い合う位置に配置される。第５ゲート４６６は、第２受納本体４６２に形成され、液晶配向ユニット３００から排出された第１基板グループ１５を第２受納本体４６２のスロットに積層されるように液晶配向ユニット３００と向い合う位置に配置される。第６ゲート４６８は第２受納本体４６２のスロットに積層された第１基板グループ１５または第２基板グループ１７が第２ユニット２００に供給されることができるように第２ユニット２００と向い合う位置に配置される。
【００９６】
図１１は、図１０のメイン移送ユニットを図示した概念図である。
【００９７】
メイン移送ユニット４００は、第１受納部４５０から第２基板グループ１７を第２経路３０を通じて第２受納部４６０に移送する。本実施例で、第２経路３０は直線経路であり、前述の第１経路２０より短い動線を有する。例えば、第２経路３０は第１ユニット１００及び第２ユニット２００を直線に連結する経路であり、第１経路２０は第１ユニット１００及び第２ユニット２００を曲線に連結する経路であることもある。
【００９８】
これを具現するために、メイン移送ユニット４００は、第１受納部４５０及び第２受納部４６０の間に介在される。この時、メイン移送ユニット４００は、第２基板グループ１７を液晶配向ユニット３００を経由しない第２経路３０を通じて第１受納部４５０から第２受納部４６０に移送する。
【００９９】
メイン移送ユニット４００は、第２基板グループ１７を第１受納部４５０から第２受納部４６０に移送することに要する時間を大きく短縮させるために、ガイドレール４１０及び移送ロボット４２０を含む。
【０１００】
ガイドレール４１０は、第１受納部４５０及び第２受納部４６０の間に設置される。この時、ガイドレール４１０は単線方式または複線方式で設置されることができる。本実施例では、ガイドレール４１０は複線方式で設置され、ガイドレール４１０の一部は曲線に形成されることができる。
【０１０１】
移送ロボット４２０は、ガイドレール４１０に沿って第１受納部４５０から第２受納部４６０に第２基板グループ１７を移送する。この時、移送ロボット４２０は第２基板グループ１７を第１受納部４５０から第２受納部４６０に移送するか、第２基板グループ１７を第２受納部４６０から第１受納部４５０に移送することができる。本実施例で、移送ロボット４２０は一枚の第２基板グループ１７を第１ユニット１００から第２ユニット２００に移送する。
【０１０２】
図１２は、図１０のメイン移送ユニットの他の実施例を図示した概念図である。
【０１０３】
メイン移送ユニット４００は、第１ロボットアーム４３０、第２ロボットアーム４４５及びコンベヤー移送ユニット４４０を含む。
【０１０４】
コンベヤー移送ユニット４４０は、第１受納部４５０及び第２受納部４６０の間に配置される。コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７を第１受納部４５０から第２受納部４６０に移送または第２受納部４６０から第１受納部４５０に移送する。本実施例で、コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７を第１受納部４５０から第２受納部４６０に向って移送する。
【０１０５】
第１ロボットアーム４３０は、コンベヤー移送ユニット４４０及び第１受納部４５０の間に配置され、第２基板グループ１７を第１受納部４５０からコンベヤー移送ユニット４４０に伝達する。
【０１０６】
第２ロボットアーム４４５は、コンベヤー移送ユニット４４０及び第２受納部４６０の間に配置され、第２基板グループ１７をコンベヤー移送ユニット４４０から第２受納部４６０に伝達する。
【０１０７】
本実施例で、第１受納部４５０とコンベヤー移送ユニット４４０の間に配置された第１ロボットアーム４３０及び第２受納部４６０とコンベヤー移送ユニット４４０の間に配置された第２ロボットアーム４４５は選択的に形成されることができる。
【０１０８】
コンベヤー移送ユニット４４０は、第１受納部４５０から第２受納部４６０に向って一方向に第２基板グループ１７を連続して移送することができるので、自動搬送台車またはガイドレールを利用するメイン移送ユニット４００に比べて第２基板グループ１７を移送することに要する時間を追加的に短縮することができる。また、コンベヤー移送ユニット４４０は第２基板グループ１７の平面積がより増加しても安全に第２基板グループ１７を移送できる長所を有する。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
以上で詳細に説明したように、互いに異なる構造を有する第１基板グループ及び第２基板グループに共通的に配向膜を形成し、第１基板グループ及び第２基板グループのうち、第１基板グループにだけ液晶配向部を形成するために第１基板グループ及び第２基板グループの移送経路を分離し、液晶配向部が形成されない第１基板グループを高速に動く移送ロボットによって移送することで基板移送時間を大きく短縮させ、設備が占める面積も共に減少させる。
【０１１０】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】本発明の第１実施例による液晶配向設備の概念図である。
【図２】図１の第１ユニットを図示した概念図である。
【図３】第１基板グループに形成された配向膜を図示した概念図である。
【図４】第２基板グループに形成された配向膜を図示した概念図である。
【図５】図１に図示された液晶配向ユニットを図示した概念図である。
【図６】図５の液晶配向モジュールを具体的に図示した概念図である。
【図７】図１に図示されたメイン移送ユニットを図示した概念図である。
【図８】本発明の第２実施例による液晶配向設備の概念図である。
【図９】本発明の第３実施例による液晶配向設備の概念図である。
【図１０】本発明の第４実施例による液晶配向設備の概念図である。
【図１１】図１０に図示されたメイン移送ユニットを具体的に図示した概念図である。
【図１２】図１０に図示されたメイン移送ユニットの他の実施例を図示した概念図である。
【符号の説明】
【０１１２】
１０    基板
１２    ＴＮモード基板
１３    ＯＣＢモード基板
１４    ＩＰＳモード基板
１５    第１基板グループ
１６    ＶＡモード基板
１７    第２基板グループ
２０    第１経路
３０    第２経路
１００    第１ユニット
１１０    第１ローラーユニット
１１２    第１ローラー
１１４    第１回転ユニット
１２０    第２ローラーユニット
１２２    第２ローラー
１２４    第２回転ユニット
１２６    転写プレート
１３０    配向物質供給ユニット
１３２    配向物質
１３４    配向物質貯蔵タンク
１３６    配向物質ディスペンサ
１３８    配向物質厚さ調節ユニット
１４０    サブ移送ユニット
２００    第２ユニット
３００    液晶配向ユニット
３１０    液晶配向モジュール、ラビングモジュール
３１１    パイル（ｐｉｌｅ）
３１２    ラビング布
３１３    ラビングローラー
３１４    ラビングローラー回転ユニット
３１５    ラビングローラー移送装置
３２０    基板洗浄ユニット
３３０    基板整列ユニット
３４０    ロボットアーム
４００    メイン移送ユニット
４１０    ガイドレール
４２０    移送ロボット
４３０    第１ロボットアーム
４４０    コンベヤー移送ユニット
４４５    第２ロボットアーム
４５０    第１受納部
４５２    第１受納本体
４５４    第１ゲート
４５６    第２ゲート
４５８    第３ゲート
４６０    第２受納部
４６２    第２受納本体
４６４    第４ゲート
４６６    第５ゲート
４６８    第６ゲート
６００    液晶配向設備
【図１】
0004629376.tif 000002
【図２】
0004629376.tif 000003
【図３】
0004629376.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004629376.tif 000006
【図６】
0004629376.tif 000007
【図７】
0004629376.tif 000008
【図８】
0004629376.tif 000009
【図９】
0004629376.tif 000010
【図１０】
0004629376.tif 000011
【図１１】
0004629376.tif 000012
【図１２】
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