(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプルを通るように光ビームを向ける光学装置内に前記サンプルを支持する方法であって、
一対のビーム組立体を前記光ビームが通過する第１の平面内に第１の方向に間隔をおいて配置すること、
前記ビーム組立体に複数の細長い部材を配置し、該ビーム組立体により複数の細長い部材を支持すること、
前記細長い部材により前記第１の平面と平行な第２の平面を形成すること、
前記細長い部材により前記サンプルを前記第２の平面に支持することを含み、
前記複数の細長い部材を支持することは、該細長い部材を前記第１の方向と直交する第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ延びる状態、互いに交差しない状態、及び緊張させた状態に支持することを含む、支持方法。
【請求項２】
前記サンプルの異なる部分を通るように前記光ビームを向けるために前記光学装置の光源と検出器とを前記サンプルに関して移動することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
複屈折測定が光源と検出器とを必要とする、ラージフォーマットサンプルの領域上の前記複屈折を測定するための方法であって、
一対のビーム組立体を前記光ビームが通過する第１の平面内に第１の方向に間隔をおいて配置すること、
前記ビーム組立体に複数の細長い部材を配置し、該ビーム組立体により複数の細長い部材を支持すること、
前記細長い部材により前記第１の平面と平行な第２の平面を形成すること、
前記細長い部材により前記サンプルを前記第２の平面に静止するように支持すること、
前記光源及び検出器を共に、前記サンプルの領域を横切るように前記サンプルに関して移動させることを含み、
前記複数の細長い部材を支持することは、該細長い部材を前記第１の方向と直交する第２の方向に間隔をおいて前記第１の方向へ延びる状態、互いに交差しない状態、及び緊張させた状態に支持することを含む、測定方法。
【請求項４】
前記細長い部材としてワイヤを提供することを含む、請求項１又は３に記載の方法。
【請求項５】
前記複数のワイヤを同時に張り又は緩めることを含む、請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、光学素子の複屈折特性の測定に関し、主として、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）に用いられる材料の大きなシートのようなラージフォーマット(large-format)の要素複屈折特性の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの重要な光学材料が複屈折を示す。複屈折とは、異なる速度で前記材料を通過する光の異なる直線偏光を意味する。これらの異なる偏光は、一の成分が他の成分に対して直交する偏光の２つの成分と考えられている。複屈折は多くの光学材料の固有の特性であり、また前記材料に与えられた外力により導入される。
【０００３】
遅れすなわちリターデーション(retardation)又はリターダンス(retardance)は、前記サンプルを通過する光ビームの経路に沿って起こる複屈折の統合された結果を示す。入射光ビームが直線偏光されると、前記偏光の２つの直交成分が前記リターダンスと呼ばれる位相差をもって前記サンプルを出る。リターダンスの基本単位は、ナノメートル（ｎｍ）のような長さである。しかし、前記光の波長（ｎｍ）で除されたリターダンス（ｎｍ）に比例する位相角（波、ラジアン又は度）の単位でリターダンスを表すことが便利であることがしばしばある。サンプルについての「平均」の複屈折が、前記サンプルの厚さで被測定リターデーションの大きさを除することにより計算されることがある。
【０００４】
しばしば、用語「複屈折」が用語「リターダンス」と交互に用いられ、また同じ意味を含む。したがって、別に述べなければ、これらの用語は以下に交互に使用される。
【０００５】
前記した２つの直交する偏光成分は２つの直角な軸線に平行であり、前記光学軸線の「早い軸線」及び「遅い軸線」として言及される。前記早い軸線は、前記サンプルを通る偏光のより早い移動成分と整列する前記材料の軸線である。したがって、所与の光路に沿ったサンプルの前記リターダンスの完全な記述は、前記リターダンスの大きさとその前記サンプルの早い（遅い）軸線の相対角度方向との双方を明示することを必要とする。
【０００６】
複屈折の正確な測定の必要性が多くの技術的適用において益々重要になってきている。例えば、半導体又は他の産業で採用される高精度の測定において用いられる光学素子の線形複屈折を特定することが重要である。
【０００７】
さらに、ある適用においては、前記リターデーション測定がラージフォーマットの光学素子又はサンプルの表面を横切ってなされることが求められる。例えば、メーカーは、このような材料の大きいシートの領域を横切る前記リターダンスを検査し、これにより、前記パネルを複数のユニットに加工するのにさらなる経費をかける前に前記材料が申し分のないもの（複屈折の観点から）であるどうかを決定することを希望する。
【０００８】
このようなラージフォーマットサンプルを横切る複屈折の測定は、前記サンプルと、このような測定に採用される器具との正確な取り扱いに関する問題を生じさせる。例えば、複屈折測定装置に関してこのようなラージフォーマットサンプルを移動させることは実際的でない。代わりに、システムの必要な光学素子を静止したサンプルに対して移動させることができる。このようなシステムで生じる１つの問題は、前記複屈折測定システムの要素が互いに関して及び前記サンプルに関して正確に移動することを確実にし、これにより、ラージフォーマットサンプルを横切って移動される必要のある前記システムの要素の総量に拘わらず一貫して正確な複屈折測定データを提供する必要があることである。
【０００９】
前記したように、前記光学素子又はサンプルに働く外力は複屈折を導入する。このような力は、例えばサンプルが曲げられ、あるいは保持の間に緊張されるときに生じる。前記サンプルの質量は、重力の結果として、特に前記サンプルが縦方向に整列されたその質量の相当な総量により向けられる場合、複屈折が導入されることがある。したがって、ラージフォーマットサンプルの固有の複屈折の正確な測定は、前記固有の複屈折の間違った測定を生じさせる、前記光学素子又は問題のサンプルがこれに複屈折を導入しないような方法で保持又は支持されることを必要とする。特に、このような支持は、前記サンプルに及ぼされる力なしに平面に実質的に均一に支持されることを必要とする。
【００１０】
平面に前記サンプルを適切に支持するという要求に加えて、前記サンプルを支持するための機構は光ビームと干渉することなしに前記サンプルを通る前記光ビームの通過を許すものでなければならない。前記サンプルを通りかつ関連の検出器組立体に至る光ビームの妨害されない経路は、正確な複屈折測定の重要な面である。さらに、前記サンプルを横切る近接した間隔の位置において前記サンプルの複屈折を測定することはしばしば望まれることである。したがって、大きいサンプルホルダの設計は、複屈折を導入する力を回避するように前記サンプルを適切に支持する一方で、複屈折測定のための光の妨害されない経路に対する前記サンプルの大きい領域をなお呈することとの間でバランスを取る必要がある。
【００１１】
もちろん、製造の容易性及びコスト、並びにラージフォーマットサンプルホルダを含む複屈折測定システムを輸送し、組み立てるための要求条件も重要な設計考慮事項である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、光学素子のラージフォーマットサンプルの複屈折特性を正確に測定するためのシステム及び方法に向けられている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
一の好ましい実施例において、サンプルに関する複屈折測定システム要素の正確なＹ方向移動のためにガントリー(gantry)のような形状が採用される。前記要素は正確なＸ方向移動のために据えられている。したがって、前記サンプルの全領域が前記複屈折測定要素により横断される。
【００１４】
また、複屈折測定システムの光ビームの妨害されていない経路に前記サンプルの大きい領域を表している間に複屈折の導入を防止するための前記サンプルを適切に支持する効果的なラージフォーマットサンプルホルダが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１及び図２を参照すると、複屈折を測定するためのシステムの一実施例が記載されている。このシステムは、光学素子中の低レベル線形複屈折を測定するための二重の光弾性変調器（ＰＥＭ）装置を用いる。この実施例は複屈折の大きさ及び角度方向を決定し、また非常に高感度の下において低レベル線形複屈折を測定するための特別に設定された信号処理、データ収集体系及びアルゴリズムを有する。
【００１６】
図１に示すように、この実施例の二重光弾性変調器装置２０は２つのモジュールを含む。ソースモジュールは光源２２と、４５度に向けられた偏光子２４と、０度に向けられた光弾性変調器２６とを含む。光源２２は、６３２．８ｎｍの波長と約１ｍｍのスポットサイズ（直径）とを有するビームを発生する偏光されたＨｅ−Ｎｅレーザからなる。
【００１７】
検出器モジュールは第１の光弾性変調器２６の変調周波数と異なる変調周波数に設定された第２の光弾性変調器２８を含む。第２の光弾性変調器２８は、４５度に向けられている。また、この検出器モジュールは０度の検光子３０と検出器３２とを含む。
【００１８】
前記ソースモジュールと前記検出器モジュールとの間に、光学素子又はサンプル３６を支持するサンプルホルダ３４（図１に概略的に示す。）があり、これは後に詳述する。図１に示す縦に整列された矢印は、光源２２から発出し、サンプル３６（及び前記システムの他の光学素子）を通過して検出器３２に至る光ビームの経路を示す。
【００１９】
図１の参照を続けると、偏光子２４及び検光子３０はそれぞれグラントムソン型である。この実施例では、Ｓｉフォトダイオード検出器３２が用いられている。両光弾性変調器２６，２８は、２つの変換器（トランスデューサ）を有する棒形状の融解石英モデルからなる。これらの変換器は、柔軟な接着剤で前記融解石英光学素子に取り付けられている。前記光学素子に導入される複屈折を最小にするため、前記変換器のみが前記光弾性変調器のハウジングに据えられている。２つの光弾性変調器２６，２８は５０及び５５ＫＨｚの公称共振周波数を有する。
【００２０】
図２を参照すると、検出器３２で発生された電子信号は「ＡＣ」及び「ＤＣ」の両信号を含み、異なる処理をされる。前記ＡＣ信号は２つのロックイン増幅器４０，４２に与えられる。各ロックイン増幅器は、光弾性変調器の基本変調周波数（１Ｆ）を参照して、検出器３２により与えられた前記１Ｆ信号を復調する。好ましい実施例では、前記ロックイン増幅器は、ＥＧ＆Ｇモデル７２６５である。
【００２１】
前記ＤＣ信号は、前記検出器信号がアナログ−デジタル変換器４４とローパス電子フィルタ４６とを通過する。前記ＤＣ信号は、検出器３２に到達する平均の光強度を示す。前記ＤＣおよびＡＣ信号は異なる光弾性変調器のリタデーション設定値で記録される。
【００２２】
この実施例におけるサンプル３６の複屈折特性測定の基礎となる理論分析は、ミュラー行列分析と、前記複屈折の大きさと角度方向とを表すデータを与えるための関連する光強度信号処理とに基づく。このような処理は本発明の一部を構成しない。
【００２３】
図３を参照して、本発明のラージフォーマット複屈折測定システムの詳細を説明する。前記複屈折測定システムは、頂部５１を有するキャビネット４９を含む。サンプル３６はホルダ３４により前記キャビネットの頂部５１上に支持されている。サンプル３６はラージフォーマットであり、例えば、約０．５ｍｍの厚さを有する液晶ディスプレイ材料の１２５０ｍｍ×１１００ｍｍのシートからなる。図３において、前記サンプルの厚さは非常に誇張されている。
【００２４】
サンプル36はホルダ３４により支持され、静止状態にある。好ましい実施例において、前記ホルダは、２つの支持ビーム組立体３９，４１間に張られた複数の間隔を置かれた緊張ワイヤ３７を含み、１のビーム組立体が前記キャビネットの頂面の開口６３の各側部上にある。前記ホルダの詳細は以下に詳述する。
【００２５】
光路「Ｐ」は、ソースモジュール５０と検出器モジュール５２（図３）との間に設けられている。ソースモジュール５０は、前記したように前記モジュールを作る構成要素の容器であり、また検出器モジュール５２は該モジュールを作る前記した構成要素の容器である。
【００２６】
ソースモジュール５０は、サンプルホルダ３４（したがってサンプル３６）の幅、すなわちＸ方向に架かる上ビーム部材５６に据えられている。この上ビーム部材は、垂直なガントリー柱５８により、その相対する端部において支持されている。ビーム部材５６は前記柱と共にＹ方向へ移動するように固定されている。各柱は、前記キャビネットの頂部５１の側縁の近傍に形成された細長い隙間のスロット６０を経て伸びている。
【００２７】
検出器モジュール５２は、サンプルホルダ３４の下方にありかつガントリー柱５８間に（これらと共に移動するように）接続された下ビーム部材６２に据えられている。
【００２８】
スロット６０はガントリー柱５８がサンプル３６の長さにわたって前記Ｙ方向へ移動することを許す。終わりに、前記ガントリー柱の下方の端部は、前記サンプルの長さを通過するように十分な長さのボールねじ直線アクチュエータのような一致又は調和する一対のアクチュエータ６４（図３に１つのみ見える）に据えられている。適当な位置センサとプロセッサ制御のモータとが前記ガントリー柱の同期した移動、したがって前記Ｙ方向への前記ソース及び検出器のモジュールの一様な移動を確保するために設けられている。
【００２９】
上ビーム部材５６及び下ビーム部材６２は、共に、各モジュール５０，５２が連結されたサーボ運動制御ユニット６６を運ぶように構成されている。ユニット６６は適当なエンコーダと、前記Ｘ方向運動に関連して、両モジュール５０，５２が一致して移動することを確保するための関連のある運動の制御装置とを含む。
【００３０】
前記したように、前記ソース及び検出器の両モジュールの正確に制御されたＸ−Ｙ運動が繰り返しの複屈折測定を確実にするであろう。例えば、このような運動は、光路「Ｐ」が前記検出器開口に関して変化しないことを確実にし、さもなければ変化は前記複屈折測定結果に系統的誤差を導入することになろう。
【００３１】
図３〜図５を参照すると、ホルダ３４は、キャビネット４９の頂部５１に取り付けられた平坦なベースプレート７０を含む固定されたビーム組立体３９を含む。ベースプレート７０は、頂部５１の開口６３の縁の近傍に取り付けられている。多数のスペーサプレート７２（図３参照）がベースプレート７０の上面に固定され、ここから伸びかつベースプレート７０の上方のアンカープレート７４を支持する。アンカープレート７４は、平坦な足７６と上方に突出するフランジ７８とを有する全体に「Ｌ」形の形状を有する。足７６の裏面がスペーサプレート７２の頂部に固定されている。フランジ７８の上端の縁７７は角を取られて丸くされている。
【００３２】
前記した各ワイヤ３７の一端部はアンカープレート７４に固定されている。特に、前記ワイヤの両端部（単一のワイヤの端部のみが図４及び図５に表れている。）は足７６に形成された開口８０と中空の円筒状の止めスリーブ８２を通っている。スリーブ８２は前記ワイヤの端部に前記スリーブを固定するためにひだが付けられており、前記スリーブの直径が開口８０の直径を超えるため、ワイヤ３７はその後は前記ワイヤの端部を固定するためにアンカープレート７４の足７６に隣接する前記スリーブで緊張される。ワイヤ３７は、後述するように、丸い縁７７を超えて他のビーム組立体４１に引張られている。
【００３３】
好ましい実施例において、ワイヤ３７は、テフロン（登録商標）のような低摩擦コーティング材料が塗布され又は塗布されていないステンレス鋼製のワイヤロープからなる。ナイロン塗布のワイヤロープ及び多数の他の材料もまた前記ワイヤに使用可能である。
【００３４】
好ましくは、ワイヤ３７の直径は、前記ワイヤにより占められ（また光路「Ｐ」を妨げる  図３）開口６３を横切るスペースの大きさを最小にするに十分な小ささ（例えば１又は２ｍｍ）であるように選択される。前記ワイヤの材料と、各ワイヤ間の均一な間隔とが選択され、その結果、前記サンプルの重量に応じて、前記サンプルが沈下することが許される場合に導入される任意の曲げ応力なしに前記サンプルが平面内に保持されことを確実にするために（後に詳述するように）各ワイヤ上に十分な緊張がおかれる。
【００３５】
前記ホルダ内の個々のワイヤ３７間の間隔はできる限り大きく（前記ユニットの重量及び前記サンプルの柔軟性に応じて）、このため、前記したように、前記ワイヤによって占められる開口６３を横切るスペースは最小にされる。前記ワイヤ間の間隔は、前記したように、前記サンプルの物理的特性に応じて、数ミリメートルから数センチメートルとすることができる。好ましくは、前記光ビームを遮ることがある汚染物（ガラス粒、塗装片等）が前記ワイヤ間にはまることにならないように各ワイヤ間に十分に大きいすき間が残ることを確実にすべく、最小の間隔（例えば５ｍｍ）が維持される。
【００３６】
図解目的で図１に示した比較的厚いサンプル３６と違い、図４及び図５には、サンプル３６の厚さが、前記した０．５ｍｍの液晶ディスプレイ材料のようなホルダ３４により使用される少なくとも数タイプのサンプルの比較的薄い種類を反映するサイズで示されている。
【００３７】
図５に示すように、各ワイヤ３７の他端部が、前記ワイヤの緊張がもたらされかつ維持されるようにする緊張ビーム組立体４１に接続されている。緊張ビーム組立体４１は、キャビネット４９の頂部５１に取り付けられた平坦なベースプレート９０を含む。ベースプレート９０は頂部５１の開口６３の縁に近接して取り付けられている。多数の円筒状のスペーサポスト９２が、ベースプレート９０から伸びかつベースプレート９０上にアンカープレート９４を支持するように、ベースプレートの上面に間隔を置いて固定されている。アンカープレート９４は、平坦なフランジ９６と上方へ突出するフランジ９８とを有する全体に「Ｌ」形を呈する。脚９６がその下側でスペーサポスト９２の頂部に固定されている。フランジ９８の最上端部は角を取られて丸くされている。
【００３８】
各ワイヤ３７の端部が、両者が前記端部を固定しかつ前記ワイヤに対する引張りの付与を許すように、丸い端部９７を超えて引張られかつアンカープレート９４の脚９６に接続されている。この接続を行うための一つの方法は、図５に示されたスタッド端部取り付け部品１００のような従来のワイヤ端取り付け部品を用いることである。スタッド端部取り付け部品１００は、端部が六角形のスタッド１０４にねじ込まれた外部にねじが設けられたスリーブ１０２内に前記ワイヤの端部を捉える。前記スタッドのねじ山が設けられたシャフト１０６が、脚９６の開口を通り、かつ前記脚の下側に位置するロックナット１０８を通っている。前記ナットが締め付けられ、一旦十分な引張り又は緊張がワイヤ３７に付与される。
【００３９】
ビーム組立体３９，４１は、これらの組立体間でぴんと張られたワイヤが曲げ応力なしに前記サンプルを平坦に保持するように、丸くされた各縁７７，９７の最上端部（図４及び図５）が共通の面上にあり、これにより、前記サンプルを通過する前記光ビームがさもなければこのような曲げにより前記サンプル内に導入される複屈折により影響されないことを確保する。
【００４０】
前記ホルダの製造の間に、前記ビーム組立体の頂縁７７，９７が共通の平面内にあり、また前記ホルダが支持する前記サンプルの平坦性を正確に維持するために前記ワイヤに適当な緊張が与えられることを確実にすることのみを必要とすることは理解されよう。これは、例えば光の通過を許すための機械加工された開口を有する大きくて、剛性があり正確に平坦な支持プレートの製造の複雑さに対比することができる。
【００４１】
緊張したワイヤ３７に代えて、他の薄く、細長い部材を採用することが考えられる。例えば、図５に示すように、小径の円筒状のロッド１１０が開口６３に架かるようにすることができる。このような１の実施例において、前記ロッドは、開口６３の相対する縁部に据えられた前記したアンカー７４，９４のような部材間に軸受１１２において回転可能に据えられる。回転可能の前記ロッドは前記ホルダと前記サンプルとの間の接触を最小にし、また前記ホルダ上に及び前記ホルダかのサンプルが容易に転がるようにする方法を提供する。
【００４２】
また、前記サンプルホルダが前記ワイヤに対する緊張の比較的迅速な付与と対応する迅速な解除とを許す方法で構成され、これにより船積みのために望まれる前記ホルダの組み立て及び分解を容易にすることが考えられる。本発明のこの面に向けられた１の実施例が図６に示されている。
【００４３】
図６は、一揃いのワイヤが緊張されかつ支持ワイヤ３７の端部が固定された可動のテンションプレート１９０を調節することにより開放され得るように前記端部を固定する方法を示す。この実施例では、ビーム組立体１３９が頂部５１の開口６３の縁の近くに取り付けられたベースプレート１７０を含む。このプレートは、例えばキャビネット４９から組立体１３９の全部の取り外しを許すように取り外し可能である取り付けボルト１７１により取り付けられている。この点において、図４の固定されたビーム組立体３９と実質的に同一、又は図５の組立体４１に似たビーム組立体が、前記ワイヤの他の端部を固定するために開口６３の相対する縁に用いることができる。
【００４４】
多数のスペーサプレート１７２が、ベースプレート１７０から伸びかつベースプレート１７０上にアンカープレート１７４を支持するようにベースプレート１７０の上面に固定されている。アンカープレート１７４は、スペーサ１７２を超えて内方に伸びる脚１７６を有し、上方へ突出するフランジ１７８に終わる全体に「Ｌ」形を呈する。
【００４５】
フランジ１７８の最上端の縁１７７は角を取られて丸くされている。前記した各ワイヤ３７の一端部は、脚１７６の前記内方に突出する部分に形成された開口１８０を経て、前記キャビネットの頂部５１とアンカープレート１７４の前記内方に突出する部分との間に位置する剛性を有するテンションプレート１９０の中央部に設けられた穴を通る。前記ワイヤの両端部は、前記ワイヤの端部に前記スリーブを固定するためにひだを付けられた先に記載した実施例におけるスリーブ８２のように、止めスリーブ１８２に捉えられている。同様に、前記スリーブの直径が前記テンションプレートの穴の直径を超えるため、ワイヤ３７は、その後、プレート１９０の下側に隣接する前記スリーブにより緊張させることができる。
【００４６】
図６に符号１７９で示されているような溝が、前記ビーム組立体の頂縁１７７（及び先に議論した縁７７，９７）に形成され、またワイヤ３７を受け入れるように寸法が定められ、これにより前記ワイヤの適当な空間を与えかつ維持するようにすることができる。
【００４７】
わずかな間隔をおかれた緊張を調節する複数の肩付き型ボルト１９２が前記テンションプレートの穴に通され、またベースプレート１７０に螺合されている。したがって、これらの少ないボルト１９２の進退がそれぞれ全てのワイヤ３７の緊張を増大及び減少させることが理解されよう。また、単一の剛性バー部材等に単一セットとして捉えられた前記ワイヤの端部をもって、多数の急激解放締め機構のうちの任意のものを前記セットのワイヤの緊張及び解除のために用いることができる。さらに、多数の機構のうちの任意のものを、前記テンションプレートの運動を許す間にアンカープレート１７４を前記キャビネットに固定するために用いることができる。例えば、ボルト１９０の使用をやめて、ヒンジを介して、プレート１９０の長い縁を前記キャビネット又はベースプレート１７０に結合することができる。全てのワイヤを同時にぴんと張りまた緩めるために前記ヒンジの回りに前記プレートを運動させるために前記プレートにハンドルを取り付けることができる。前記ワイヤがぴんと張られた位置において前記プレートを固定するためにトグル又はラッチ機構を含むものとすることができる。
【００４８】
本発明の好ましい及び代わりの実施例を記述したが、本発明の精神及び範囲がこれらの実施例に限定されず、種々の変更及び等価物に及ぶことは理解されよう。例えば、前記サンプルホルダが複屈折測定システムの文脈において議論されたが、前記ホルダは種々の光学装置又はシステムのうちの任意のものへの使用のために適合可能である。
【００４９】
さらに、ここでの焦点はラージフォーマットサンプルにあるが、本発明のホルダは、また、前記ホルダを変更する必要なしに、非常に小さいサンプルを含む任意のサイズのサンプルに使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に従うラージフォーマットの光学素子を測定するために用いられる複屈折測定システムの光学要素の好ましい配列を示す１実施例の図である。
【図２】図１に示すシステムの信号処理要素のブロック線図である。
【図３】ラージフォーマットの光学素子（サンプル）を保持し、並びにサンプルの領域を横切る場所における複屈折を測定するための図１及び図２のシステムの要素のいくつかを固定し及び動かすための好ましい装置の一つを示す図である。
【図４】図３の装置のサンプルホルダ部分の一部の拡大した詳細な断面図である。
【図５】図３の装置のサンプルホルダ部分の一部の拡大した詳細な断面図である。
【図６】本発明のサンプルホルダの一部分の他の実施例を示す拡大した詳細な断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
２２  光源
３２  検出器
３６  サンプル
３７  ワイヤ
５０  ソース（光源）モジュール
５２  検出器モジュール
７４，９４  アンカープレート
【図１】
0004778314.tif 000002
【図２】
0004778314.tif 000003
【図３】
0004778314.tif 000004
【図４】
0004778314.tif 000005
【図５】
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【図６】
0004778314.tif 000007