(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤によって第１板状物体を第２板状物体に接着させる接着方法であって、前記接着剤を前記第１板状物体の少なくとも一方の側面に施し、
前記接着は、
前記板状物体の双方を回転させる第１フェーズと、
前記板状物体の双方を回転させつつ、前記第1板状物体の前記一方の側面と前記第２板状物体の一方の側面とを相互に押しつけて、少なくとも前記板状物体の双方が相互に押しつけられている間、前記第１板状物体および前記第２板状物体の前記側面の双方にほぼ垂直に延在する回転軸の周りに、前記板状物体の双方を同じ回転速度で回転させる第２フェーズと
を含み、
前記第１フェーズの間は、前記板状物体の双方を所定の回転速度で回転させ、所定の接近速度で互いに向かい移動させ、
前記第２フェーズの間は、前記板状物体の双方を前記所定の回転速度よりも速い他の所定の回転速度で回転させ、所定の圧縮力で相互に押しつけること
を特徴とする接着方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記第１板状物体の中心部に一定量の前記接着剤を施すことを特徴とする接着方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、前記板状物体の双方を、前記接着の前記第２フェーズにおいて時間の関数として変化する圧縮力によって、一緒に押しつけることを特徴とする接着方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法において、ディスク形状の半導体基板と前記半導体基板用のディスク形状の支持体とを、一緒に接着することを特徴とする接着方法。
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、接着剤によって第１板状物体を第２板状物体に接着する方法に関する。この方法に従い、接着剤はこの第１物体の２つの側面の一方に施され、その後、この第１物体の前記側面と第２物体の２つの側面の一方とが一緒に押しつけられる方法にも関する。
本発明は更に、接着剤によって第１板状物体を第２板状物体に接着する装置にも関する。この方法は、第１物体に関する支持表面を持つ第１ホルダ、第２物体に関する支持表面を持つ第２ホルダ、これら支持表面が互いに向くような両方のホルダの変位を可能にする変位ユニット及び両方のホルダの支持表面が一緒に押しつけられる圧力ユニットを具備する。
背景技術
冒頭の段落に述べられたような方法及び装置は、特開平７年２２６３５０号から既知である。この既知の方法及び既知の装置は、接着剤によって２つのディスク形状の半導体基板を一緒に接着するのに用いられる。この既知の装置の２つのホルダは、圧力チャンバに配され、動作時に、このチャンバ内において、気圧及び湿度が調整される。この既知の方法に従い、それらに供給される半導体基板を備える両方のホルダが、既知の装置の変位ユニットによって、両方の半導体基板が直接調節されるように配された位置に置かれ、その後、両方の半導体基板が、この装置の圧力ユニットによって圧力チャンバの既定の気圧及び既定の湿度で一緒に押しつけられる。両方の半導体基板が一緒に押しつけられるので、２つの半導体基板の一方に施された接着剤は、これら２つの半導体基板の面する側面の相当な部分に拡がることで、これら２つの半導体基板間の強固な接着が達成される。
既知の方法及び既知の装置の欠点は、２つの半導体基板間に存在する接着剤がこれら２つの半導体基板の面する側面に完全に且つ均質に拡がらないことである。結果として、既知の方法及び既知の装置を用いた場合、これら２つの半導体基板間の接着が不均質なものとなる。加えて、これら２つの半導体基板間に形成される接着剤の層が比較的大きな厚さを有し、よってこれら２つの半導体基板間に存在する接着力は制限される。
発明の開示
本発明の目的は、冒頭の段落に述べられたような形式の方法及び装置を供給することであり、既知の方法及び既知の装置と比較して、前記２つの板状物体間のより均質な接着と、これら２つの板状物体間の接着剤層の減少する厚さとを得ることを可能にする。
このことを達成するために、本発明に係る方法は、少なくとも、両方の板状物体が一緒に押しつけられている間、これら物体は当該物体の前記側面に実質的に垂直に延在する回転軸の周囲を等回転速度で回転することを特徴とする。
上述される物体を達成するために、本発明に係る装置は、この装置が両方のホルダに等回転速度で回転することを可能にする回転ユニットを具備することを特徴とする。
本発明の方法に従い、これら２つの板状物体が一緒に押しつけられている間、これら物体が、当該物体の前記側面と実質的に垂直に延在する回転軸の周囲を回転するので、遠心力が両方の物体の前記側面間に存在する接着剤に及ぼされる。この遠心力の影響下で、前記接着剤はこれら２つの物体の前記側面に均一に流れるので、比較的薄く、均質な接着剤の層がこれら２つの物体間に形成される。このやり方で、これら２つの物体間に比較的強固で均一な接着が達成される。加えて、この接着剤が遠心力の影響で均一に拡がるので、両方の物体を一緒に押しつけられるのに用いられる圧縮力が限定される。如何なる過剰な接着剤も両方の物体の外側端部から振り飛ばされるので、この過剰な接着剤は、接着された物体上に残らない。
本発明に係る方法の特有な実施例は、板状物体の回転速度がこの方法中に経過する時間の関数として変化することを特徴とする。
本発明に係る方法の特有な実施例は、両方のホルダが前記回転ユニットによって回転する回転速度が調節可能であることを特徴とする。
本発明に係る方法及び装置のこれら特有な実施例において、これら２つの板状物体間の接着剤の拡散と、両方の物体の外側端部からの如何なる過剰な接着剤の振り飛ばしとが、前記方法中に経過する時間の関数として適切なやり方で、両方の物体の回転速度を変化することで有利に影響する。
本発明に係る方法の他の実施例は、回転軸と平行に見る場合、板状物体がこの方法中に経過する時間の関数として変化する接近速度で互いに向かい移動することを特徴とする。
本発明に係る方法の他の実施例は、両方のホルダが、前記変位ユニットによって互いに向かい移動する接近速度が調節可能であることを特徴とする。
本発明に係る方法及び装置のこれら他の実施例において、これら２つの板状物体間の接着剤の拡散が、適当なやり方で、この方法中に経過する時間の関数として前記接近速度を変化することで有利に影響することを特徴とする。
本発明に係る方法の更に他の実施例は、前記板状物体がこの方法中に経過する時間の関数として変化する圧縮力で一緒に押しつけられることを特徴とする。
本発明に係る方法の更に他の実施例は、前記２つのホルダの支持表面が、圧縮ユニットによって一緒に押しつけられる圧縮力は、調節可能であることを特徴とする。
本発明に係る方法及び装置のこれら更に他の実施例において、２つの板状物体間の接着剤の拡散は、適当なやり方で、この方法中に経過する時間の関数として前記圧縮力を変化することによって有利に影響することを特徴とする。
本発明に係る方法の特有な実施例は、前記第２物体が前記第１物体に施された接着剤と既に接触している第１フェーズ中に、板状物体が既定の回転速度で回転し、既定の接近速度で互いに向かい移動するのに対し、後続する第２フェーズ中に、これら物体が他の既定の回転速度で回転し、既定の圧縮力で一緒に押しつけられることを特徴とする。
本発明に係る装置の特有な実施例は、動作時、第１フェーズ中に、２つのホルダは、回転ユニットによって既定の回転速度で回転可能となり、変位ユニットによって既定の接近速度で互いに向かい移動するのに対し、後続する第２フェーズ中に、両方のホルダは、回転ユニットによって他の既定の回転速度で回転され、圧縮ユニットによって既定の圧縮力で一緒に押しつけられることを特徴とする。
本発明に係る方法及び装置のこれら特有な実施例において、接着剤が過剰に第１板状物体に施される。前記第１フェーズ中に、これら板状物体が比較的低い回転速度で回転し、比較的低い接近速度で互いに向かい移動する。このやり方において、接着剤が両方の物体の面する側面に非常に均一に拡がり、前記側面に存在する如何なる凹凸にできる限り多く浸透することが達成される。第１物体に施された比較的多くの接着剤がこの物体の外側端部から振り飛ばされる。前記第２フェーズ中に、これら物体が比較的高い回転速度で回転し、比較的高い圧縮力で一緒に押しつけられる。この第２フェーズにおいて、物体間に存在する接着剤は、比較的薄く、均質な接着剤の層を形成するために更に拡がることで、これら２つの物体間に強固な接着を実現することが達成される。比較的高い回転速度によって、必要な圧縮力が制限される一方、一緒に接着されるべき物体の外側端部は、実質的に接着剤が無いまま残る。
本発明に係る方法の他の実施例は、この方法に従って、ディスク形状の半導体基板及びこの半導体基板用のディスク形状の支持体が一緒に接着されることを特徴とする。本発明に係る方法の他の実施例は、いわゆるＳＯＡ(Silicon-On-Anything)半導体装置の製造に用いられる。この製造プロセスにおいて、本発明に係る方法は、ディスク形状の半導体基板を例えばガラス又は合成樹脂の絶縁支持体に接着するのに用いられる。このようなディスク形状の半導体基板は、多くの同一の半導体装置を有し、この半導体基板がこの支持体に接着された後、この半導体装置が互いに分離される。よって得られた各個別のＳＯＡ半導体装置は、良好な品質となるべきなので、本来の半導体基板と支持体との接着は、できる限り均質となるべきである。従って、本発明に係る方法の利点は、この方法が、上述のやり方で前記ＳＯＡ半導体基板を製造するのに用いられる場合、特に明らかとなる。
本発明に係る装置の他の実施例は、この装置が接着剤用の受け取りチャンバを具備し、これが前記ホルダの少なくとも一方の周囲に配されていることを特徴とする。一緒に接着すべき２つの板状物体の回転中に、これら物体の外側端部から振り飛ばされる如何なる過剰な接着剤は、両方のホルダの回転速度が十分であるならば、関連するホルダの周囲に配される受け取りチャンバに取り込まれることで、この振り飛ばされた接着剤がこの装置の他の部品を汚すことはない。
本発明に係る装置の更にもう一つの実施例は、前記ホルダの少なくとも一方がその支持表面の周囲にブレードのリングを具備することを特徴とする。関連するホルダの支持表面の周囲に設けられたブレードのリングは、それに設けられた板状物体を備えるホルダの回転中に、これら物体の外側端部に沿って空気の流れを起こすことで、物体の外側端部から過剰な接着剤を放出することが改善される。
本発明に係る装置の特有な実施例は、ホルダの回転方向に見た場合、両方のホルダが互いに結合されることを特徴とする。回転方向に見た場合、両方のホルダが互いに結合されているので、それに設けられる板状物体を備えるホルダの回転中に、回転方向において互いに相対する物体の角変位をできなくすることで、物体間の接着剤は上記角変位で妨害されない。
本発明に係る装置の他の実施例は、両方のホルダが、回転ユニットによって回転するロータハウジングに収容され、回転方向に見た場合、両方のホルダがこのロータハウジングと結合されていることを特徴とする。前記ロータハウジングの使用が、両方のホルダに、容易且つ、実際的なやり方で、回転方向に互いに結合することを可能にする。
本発明のこれら及び他の特徴は、以下に示される実施例から及びこれを参照して明らかとなるであろう。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明に係る方法を実行した本発明に係る装置を示す。
第２ａから２ｊ図は、本発明に係る方法の多くの連続ステップを概略的に示す。
発明を実施するための最良の形態
第１図は、本発明に係る装置であり、この装置は床上に設けることが可能なフレーム１を有する。この装置は更に中心軸５と電気モータ７とを有する回転ユニット３を有する。ボールベアリング９を用いて、この中心軸５は垂直回転軸１３の周りをフレーム１に対して回転可能となるように取り付けられ、この軸はモータ７で駆動する。フランジ１５は中心軸５に固定されている。回転ユニット３は、接続ブシュ１９を介してフランジ１５に接続されるブシュ形状のロータハウジング１７を更に有する。ロータハウジング１７の側壁２１は、このロータハウジング１７内にあるチャンバ２５が外側から接触可能となるのに通過する開口２３を多数備える。このロータハウジング１７のチャンバ２５に、第１ホルダ２７と第２ホルダ２９とが配されている。第１ホルダ２７は回転軸１３と実質的に直交するように延在する支持表面３１を有する一方、第２ホルダ２９は回転軸１３と実質的に直交するように延在し、第１ホルダ２７の支持表面３１に向けられている支持表面３３を有する。これら支持表面３１，３３は、当該支持表面３１，３３上に置くべき物体の損傷を防ぐために、例えばゴムからなる保護層を具備する。第１ホルダ２７は、ロータハウジング１７の底部３５に固定され、第２ホルダ２９は、中心線が回転軸１３と一致する更なる軸３７に固定される。この更なる軸３７は、ベアリングブシュ４１で軸方向に移動可能となるようにこのブシュ内に誘導され、前記ベアリングブシュは、更なるフランジ４３によってロータハウジング１７に固定され、前記更なる軸は、更なるベアリング４５によって回転軸１３の周りをフランジ１に対して回転可能となるように取り付けられる。第２ホルダ２９は、更にロータハウジング１７において回転軸１３を横切るように延在する多数の板ばね４７によって懸架される。前記板ばね４７を用いることで、第２ホルダ２９及びこの第２ホルダ２９に接続される更なる軸３７は、中央軸５の回転方向から見た場合、容易且つ実用的なやり方で、中央軸５、ロータハウジング１７及び第１ホルダ２７に結合されるのに対し、第２ホルダ２９及びこの第２ホルダ２９に接続される更なる軸３７は、第１ホルダ２７に対し軸方向へ変位し、これによって板ばね４７が弾力的に変形する。
第１図に示されるように、本発明に係る装置は、前記支持表面３１，３３を備える２つのホルダ２７，２９が互いに向かい移動するための変位ユニット４９を有する。この変位ユニット４９は、回転軸１３と直交するように延在する更なる回転軸５３の周りをフレーム１に対し回転可能となるように取り付けられる駆動輪５１を有する。この駆動輪５１は更なる電気モータによって駆動され、このモータは簡素化のために第１図には示されず、円周５５の近くにカム・プロフィル(cam profile)５７を有する。変位ユニット４９は更にアーム５９を含み、このアームは更なる回転軸５３と平行に延在するスイベル軸６１の周りを旋回可能となるように取り付けられる。このアーム５９の端部６３の近くに、後続輪(follower wheel)６５があり、この後続輪は、アーム５９に対し、更なる回転軸５３と平行に延在する更にもう一つの回転軸６７の周りを旋回可能とするように取り付けられる。アーム５９は、後続輪６５を介して駆動輪５１のカム・プロフィル５７を係合させる。この目的のために、変位ユニット４９は、簡略化のために第１図には図示されないそれ自体は既知である例えば機械式ばね又はアーム５９に固定されるカウンターウェイトような通例のプレテンショニング手段(pretensioning means)を有する。加えて、円筒状圧力チャンバ６９はアーム５９に固定され、この圧力チャンバは、回転軸１３にほぼ平行に変位するピストン７１を収容している。この圧力チャンバ６９は調節可能なガス圧力源に接続され、このガス圧力源は簡略化のために第１図には図示しない。第１図は本発明に係る装置の開始位置を示す。この状態において、圧力チャンバ６９内のガス圧力の影響下で、ピストン７１はロータハウジング１７に面する最も遠い位置にある。この位置において、ピストン７１は圧力チャンバ６９の停止部７３に係合している。以下により詳細に述べられるように、２つのホルダ２７，２９の支持表面３１，３３が一緒に押しつけられることで、圧力チャンバ６９、ピストン７１及び前記調節可能なガス圧力源は一緒に圧力ユニット７５を形成する。二重の自在継手７９を介して更なるベアリングブシュ８１に結合される接続軸７７をピストン７１に接続し、更なる軸３７の端部８３は、このベアリングブシュにおいて回転可能となるように取り付けられる。駆動輪５１が第１図に示される開始位置から、更なる回転軸５３の周りを回転する場合、後続輪６５はカムプロフィル(cam profile)６１に続くことで、アーム５９はスイベル軸６１の周りを旋回可能であり、第２ホルダを備える更なる軸３７は、ロータハウジング１７及び第１ホルダ２７に関する軸方向に移動する。この二重の自在継手７９を用いることで、アーム５９の旋回中に、更なる軸３７が回転軸１３に直交な方向の機械的負荷を受けることを防ぐ。更なる軸３７が更なるベアリングブシュ８１内に回転可能となるように取り付けられるという事実によって、第２ホルダ２９及び更なる軸３７は、同時に回転軸１３の周りを回転し、軸方向に移動可能となる。
本発明に係る上述される装置は、接着剤によって第１板状物体８５を第２板状物体８７に接着する発明性のある方法を実行するのに適切に用いられる。上述される方法に従い、第２ａ図から２ｊ図は、第１板状物体８５が第１ホルダ２７の支持表面３１上に置かれるの一方、第２板状物体８７は第２ホルダ２９の支持表面３３上に置かれることを概略的に示す。このために、この装置はそれ自体は既知である通例の輸送ユニットとつり上げ機構８９とを具備するが、これらは簡略化のために第１図には図示されない。第１図に示されるように、つり上げ機構８９は、中心軸５に沿って軸方向に移動可能となるように誘導されるブシュ形状支持体９１を有する。３つの支持ピン９３は、三角形を形成するように配され、前記ブシュ形状支持体９１上に設けられる。第１図は前記ピンを２つだけ示す。支持ピン９３は、第１ホルダ２７に設けられる３つのチャネル９５内において軸方向に移動可能となるように誘導される。更に、つり上げ機構８９は、フレーム１に固定される第１アクチュエータ９７と、この第１アクチュエータ９７によって回転軸１３と平行な方向に移動可能となる第２アクチュエータ９９とを有する。前記第２アクチュエータ９９によって、つり上げ機構８９の結合ピン１０１は、接続ブシュ１９に形成される開口１０３を通り、回転軸１３に対し直角に移動可能である。板状物体８５及び８７を２つのホルダ２７及び２９上にそれぞれ置くために、最初に結合ピン１０１は、第２アクチュエータ９９を用いてブシュ形状支持体９１に結合される。次いで、第２ａ図に概略的に示されるように、第２板状物体８７は、ロータハウジング１７のチャンバ２５において、前記輸送ユニットのアーム１０５によって、ロータハウジング１７の側壁２１における開口２３の１つを通り２つのホルダ２７，２９間に配される。次に、つり上げ機構８９のブシュ形状支持体９１が第１アクチュエータ９７によって第１ホルダ２７に向かって軸方向に移動するので、第２ｂ図に概略的に示されるように、第２板状物体８７が支持ピン９３によって輸送ユニットのアーム１０５からつり上げられ、第２ホルダ２９の支持表面３３に押しつけられる。第２板状物体８７が支持表面３３に固定されることで、通例の真空チャンバ１０７が第２ホルダ２９の支持表面３３に供給される。次いで、つり上げ機構８９の第１アクチュエータ９７によって、支持ピン９３は第１ホルダ２７の窪みに置かれ、第２ｃ図に概略的に示されるように、第１板状物体８５は、ロータハウジング１７のチャンバ２５において、前記輸送ユニットによって、ロータハウジング１７の側壁２１における開口２３の１つを通り２つのホルダ２７，２９間に置かれる。第２ｄ図に概略的に示されるように、その後、支持ピン９３はつり上げ機構８９の第１アクチュエータ９７を用いて第２ホルダ２７に向かって前記軸方向に再び移動することで、第１板状物体８５が支持ピン９３によって輸送ユニットのアーム１０５からつり上げられる。次いで、第２ｅ図に示されるように、支持ピン９３は、つり上げ機構８９の第１アクチュエータ９７によって、再び第１ホルダ２７の窪みに置かれることで、第１板状物体８５は、第１ホルダ２７の支持表面３１上に置かれる。第１板状物体８５が支持表面３１に固定されることで、通例の真空チャンバ１０９が第１ホルダ２７の支持表面３１にも供給される。
上述されたように、前記輸送ユニット及びつり上げ機構８９によって、前記板状物体８５，８７が２つのホルダ２７，２９の支持表面３１，３３上に置かれた後、接着剤を供給する補助部品１１１が、第２ｆ図に概略的に示されるように、ロータハウジング１７の側壁２１における開口２３の１つを通りチャンバ２５内に挿入される。前記補助部品１１１を用いて、ある量の接着剤１１３が第１板状物体８５の中央部分に供給される。前記接着剤を供給する間、この補助部品１１１の出口開口１１２が第１物体８５の表面から比較的短い距離で配される場合に、最良の結果が達成されるので、接着剤の連続流出が出口開口１１２と前記物体８５との間に得られることに注意されたい。次いで、変位ユニット４９の駆動輪５１が第１図に示される開始位置から回転することで、後続輪６５はカム・プロフィル５７の第１の比較的急傾斜な部分１１５が続き、第２板状物体８７を備える第２ホルダ２９は、第２板状物体８７が第１板状物体８５上に供給される接着剤１１３が接触する第２ｇ図に概略的に示されるような位置に比較的高い速度ｖ1で移動する。第２ｇ図に示される位置は、第２ｈ図に概略的に示される接着プロセスの第１フェーズの開始を示している。前記第１フェーズにおいて、板状物体８５，８７を持つホルダ２７，２９は、回転ユニット３によって回転軸１３の周りを既定の回転速度ω1で回転する。前記第１フェーズにおいて、後続輪６５は、比較的小さな傾斜を持つカム・プロフィル５７の第２のスパイラル状部分１１７に続く。結果として、板状物体８５，８７を備えるホルダ２７，２９は、前記第１フェーズにおいて、カム・プロフィル５７の第２部分１１７の前記傾斜によって決定される比較的小さな接近速度で互いに向かい移動する。接着プロセスの第１フェーズにおいて、板状物体８５，８７が互いに向かい同時に移動し、回転軸１３の周りを回転するので、物体８５，８７間に存在する接着剤１１３が両方の物体８５，８７の面する側面１１９，１２１にわたり非常に均一に拡げられる。両方の物体８５，８７は、回転軸１３の周りを回転するので、遠心力が接着剤１１３に及ぼされ、この遠心力が前記接着剤１１３を両方の物体８５，８７の面する側面１１９，１２１にわたり非常に均一に拡げられる。このやり方で、比較的薄く均質な接着剤１１３の層がこれら２つの物体８５，８７間に形成される。補助部品１１１を用いて、過剰な接着剤１１３を第１物体８５に施すことに注意されたい。それによって、接着剤１１３が物体８５，８７の前記側面１１９，１２１上に存在する如何なる凹凸に、できる限り完全に浸透することが達成される。第１フェーズにおいて、施される接着剤１１３の比較的多くの部分が前記遠心力の影響下で物体８５，８７の出口端部１２３，１２５から振り飛ばされる。ホルダ２７，２９の十分に高い回転速度で、この振り飛ばされた接着剤１１３は、この装置の受け取りチャンバ１２７に受け止められる。このチャンバは第１図に見ることができ、ロータハウジング１７内に位置し、第１ホルダ２７の周りに配される。前記受け取りチャンバ１２７を用いることで、振り飛ばされた接着剤１１３によるこの装置の他の部品への汚れが実際的且つ、効果的なやり方で防��れる。第２ｈ図に概略的に示されるように、２つのホルダ２７，２９の各々の側壁１２９，１３１は、関連するホルダ２７，２９の支持表面３１，３３の周りに延在するブレード１３３，１３５のリングを具備する。第２ｈ図に示されるように、回転中に、第１ホルダ２７のブレード１３３のリングは、第２ホルダ２９に向かう空気の流れ１３７’を生じる一方、第２ホルダ２９のブレード１３５のリングは、第１ホルダ２７に向かう空気の流れ１３７”を生じる。よって、２つのホルダ２７，２９の回転中に、ブレード１３３，１３５の両方のリングは、ホルダ２７，２９に設けられる物体８５，８７の出口端部１２３，１２５に沿う空気の流れを増大するように生じることで、前記出口端部１２３，１２５からの余分な接着剤の除去が改善される。
後続輪６５がカム・プロフィル５７の第２部分１１７の端部１３９に到達した後、駆動輪５１は停止し、板状物体８５，８７を持つホルダ２７，２９は、第２ｉ図に示される位置となり、この位置において接着プロセスの第２フェーズが開始され、これは第２ｊ図で概略的に示される。前記第２フェーズにおいて、板状物体８５，８７を持つホルダ２７，２９は、回転ユニット３によって、既定の比較的早い回転速度ω2で回転軸１３の周りを回転する一方、板状物体８５，８７は、前記圧力ユニット７５による既定の圧縮力Ｆpで一緒に押しつけられる。この接着プロセスの第１フェーズの終わり頃に、圧力チャンバ６９上の変位ユニット４９のアーム５９によって及ぼされる力は、第１フェーズ中にピストン７１上に及ぼされるガス圧縮力を超過するので、前記ピストン７１は、停止部７３から外れ、圧力チャンバ６９内に移動する。このやり方において、第１フェーズの終わり及び第２フェーズ中に第２ホルダ２９に及ぼされる圧縮力は、圧力ユニット７５の前記ガス圧力源で調節可能な圧力チャンバ６９内のガス圧力によって決定されることを達成する。接着プロセスの第２フェーズ中に、この圧力チャンバ６９内に設定されるガス圧力は比較的高いので、両方の物体２７，２９は、圧力ユニット７５によって、比較的高い圧縮力Ｆpで一緒に押しつけられる。このやり方において、物体８５と８７との間に存在する接着剤は、非常に薄く、均質な接着剤の層を形成するように更に拡げられ、これら２つの物体８５，８７の間に非常に強固且つ、均質な接着を形成する。物体８５，８７の比較的高い回転速度が接着剤の拡がりを更に強めることで、圧力ユニット７５の必要な圧縮力Ｆpが制限される。この接着剤に及ぼされる比較的大きな遠心力の影響下で、実質的に、物体８５，８７間で、前記物体８５，８７の出口端部１２３，１２５の近くに拡がる接着剤の全てが出口端部１２３，１２５から振り飛ばされることで、実質的に、接着された物体８５，８７上に接着剤は残らず、きれいに仕上がった製品が得られる。回転ユニット３の回転方向から見る場合、両方のホルダ２７，２９が互いに結合されているので、それらに供給される物体８５，８７を備える両方のホルダ２７，２９は、等回転速度ω2で回転軸１３の周りを回転することを達成する。それによって、前記ホルダ２７，２９の回転中、互いに関する物体８５，８７の角変位が妨げられることで、前記物体８５、８７間の接着は、例えば互いに関する物体８５，８７の角変位によって乱されない。
前記接着プロセスの第２フェーズにおいて、上述されるように、両方の物体８５，８７が一緒に接着された後、前記第２ホルダ２９の真空チャンバ１０７内の真空が取り除かれるので、前記第２物体８７が第２ホルダから外れる。結果的に、前記カム・プロフィル５７の第２部分１１７の端点１３９から第１図に示される開始点へ駆動輪５１を回転することが、第２ホルダ２９をその上に供給される接着された物体８５，８７を備える第１ホルダ２７から離れさせる。結果的に、第１ホルダ２７の真空チャンバ１０９における真空も取り除かれるので、第１物体８５は、第１ホルダ２７から外れる。次に、前記接着された物体８５，８７は、つり上げ機構８９によって第１ホルダ２７からつり上げられ、前記輸送ユニットによってロータハウジング１７から取り除かれる。
本発明に係る上述される方法及び装置は、いわゆるＳＯＡ半導体装置の製造において、ディスク形状の半導体基板と前記半導体基板用のディスク形状の支持体とを一緒に接着するのに使用することに非常に適している。上記ＳＯＡ半導体装置の製造において、多数の同一な半導体装置が設けられるディスク形状の半導体基板は、例えばガラス又は合成樹脂のような絶縁支持体に接着される。この半導体基板が前記支持体に接着された後、個別の半導体装置が例えばカッティングプロセスによって互いに分離される。よって得られた個別のＳＯＡ半導体装置の各々の接着は、非常に高い質を表すべきであるから、前記支持体への本来の半導体基板の接着は、非常に均質であり、強固である。前述されるように、本発明に係る方法及び装置は、部分的に均質であり、強固な接着が２つの板状の物体間に得ることを可能にするので、前記方法及び装置は、ＳＯＡ半導体装置の製造において絶縁支持体に半導体基板を接着するのに極めて適当である。本発明に係る方法及び装置は、異なる形式の板状物体、例えばガラス又は透明な合成樹脂から作られる物体と一緒に接着するのに使用するのにも適する。
本発明に係る上述された方法及び装置において、前記接着プロセスの第１フェースにおいて、板状物体８５，８７は、既定の比較的低い回転速度ω1で回転軸１３の周りを回転し、既定の比較的低い接近速度ｖ2で互いに向かい移動する一方、この接着プロセスの第２フェーズにおいて、板状物体８５，８７は、既定の比較的高い回転速度ω2で回転軸１３の周りを回転し、既定の圧縮力Ｆpで一緒に押しつけられる。前記既定の回転速度ω1及びω2、既定の接近速度ｖ2並びに既定の圧縮力Ｆpは、一定である必要はないことに注意されたい。例えば、回転速度ω1及び接近速度ｖ2は、前記方法の第１フェーズ中に経過する時間の関数として変化するのに対し、回転速度ω2及び圧縮力Ｆpは、例えばこの方法の第２フェーズ中に経過する時間の関数として変化する。本発明に従って、板状物体８５，８７の回転速度は、前記方法中に経過する時間の関数として、異なるやり方で変化することも可能であり、前記板状の物体８５，８７の接近速度が前記方法中に経過する時間の関数として異なるやり方で変化することも可能であり、及び／又は物体８５，８７が一緒に押しつけられる圧縮力が前記方法中に経過する時間の関数として異なるやり方で変化することも可能である。このために、本発明に係る装置は、両方のホルダ２７，２９の回転速度を設定又は調節する既知且つ、慣例の手段、両方のホルダ２７，２９の接近速度を設定又は調節する既知且つ、慣例の手段及び／又は両方のホルダ２７，２９が前記圧力ユニット７５によって一緒に押しつけられる圧縮力を設定又は調節する既知且つ、慣例の手段を具備する。両方のホルダ２７，２９の回転速度、両方のホルダ２７，２９の接近速度及び／又は圧力ユニット７５の圧縮力が前記方法中に経過する時間の関数として変化すべきこのやり方は、例えば試験的に既定可能である。前記方法中に経過する時間の関数として前記回転速度、接近速度及び／又は圧縮力を適切に変化することで、前記２つの板状物体８５，８７間の接着剤の拡がりが有利に影響するので、これら２つの物体８５，８７間の接着の均質さが改善される。
最後に、本発明は、一緒に接着されるべき板状物体が互いに向かい移動するとき、これらが回転しない方法もまた有し、前記方法において、これら物体が一緒に押しつけられるまで回転されないことにも注意されたい。本発明に係る方法の上記実施例において、少量の接着剤が用いられ、これら物体が互いに向かい移動するとき、接着剤はこれら物体間に大きく拡がる。これら物体が一緒に押しつけられるとき、物体が回転し、これによって、接着剤の拡大を強め、必要な圧縮力を制限する。この理由のために、本発明は少なくともこれら２つの板状物体が一緒に押しつけられる時間に等回転速度で当該物体が回転する方法を本発明は有している。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図２Ｈ】
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【図２Ｉ】
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【図２Ｊ】
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