(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性体と、
該弾性体に接合され複数の電極を有する電気機械変換素子と、
前記複数の電極のうちの第１の電極に第１相の交流電圧を印加し、かつ、前記複数の電極のうちの前記第１の電極とは異なる第２の電極に前記第１相よりも位相の遅れた第２相の交流電圧を印加し、該弾性体に振動を発生させる制御部とから構成され、
該弾性体と該弾性体に対向する相対運動部材との間に相対運動を発生させて振動アクチュエータを駆動する際に、前記第２の電極による回路に流入する電流を前記第１の電極による回路に流入する電流よりも小さくすること
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記振動として前記相対移動の方向と略同方向に振動する１次の縦振動と該縦振動の振動面に略垂直な方向に振動する４次の屈曲振動とが組み合わされた振動を発生させることを特徴とする請求項１に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記交流電圧を印加される部分の面積と印加される電圧との少なくとも一方によって調整することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項４】
前記複数の電極は４個であり、前記第１相の交流電圧を前記４個の電極のうちの２個の電極に印加し、前記第２相の交流電圧を前記４個の電極のうちの１個の電極に印加することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記複数の電極のうち、前記第１相の交流電圧を印加する電極の数と、前記第２相の交流電圧を印加する電極の数とを異ならせることを特徴とする請求項１または２に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第２相の交流電圧を印加する電極の数を、前記第１相の交流電圧を印加する電極の数より少なくすることを特徴とする請求項５に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記第１相の交流電圧と前記第２相の交流電圧を増幅する増幅部を有し、前記増幅部による増幅率を、前記第１相の交流電圧と前記第２相の交流電圧とで異ならせることを特徴とする請求項１または２に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第２相の交流電圧の増幅率を、前記前記第１相の交流電圧の増幅率よりも低くすることを特徴とする請求項７に記載の振動アクチュエータの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、振動アクチュエータに関する。より具体的には交流電圧を電気機械変換素子（圧電素子、電歪素子など、以下代表して圧電素子と記す）に印加することにより発生する振動により相対運動を行う振動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種の振動アクチュエータとして、超音波の振動領域を利用した超音波アクチュエータが知られている。超音波アクチュエータでは弾性体に接合した圧電素子に交流電圧を印加して、弾性体に縦振動と屈曲振動を調和的に発生させることにより、駆動力を得る超音波アクチュエータが開発されており、例えば「光ピックアップ移動を目的とした圧電リニア・モータ」（富川義朗  他：第５回電磁力関連のダイナミックシンポジウム講演論文集ｐ３９３〜３９８）の中で構成と負荷特性が、「新版超音波モータ」（上羽貞行、富川義朗著、トリケップス刊、ｐ１４５〜１４６）には、自走式の装置が示されている。このアクチュエータは図１に示すように平板状の弾性体１１を有しており、弾性体は
【０００３】
【数１】
0004691752.tif 000002
【０００４】
【数２】
0004691752.tif 000003
【０００５】
で与えられる縦振動１次モードの共振周波数と屈曲振動４次モードの共振周波数が非常に近くなるように設計されている。
また、制御部は図６に示す構成となっている。各部について以下に説明する。発振器２１は前述の２つのモードの共振周波数に近いＡ相・Ｂ相の２つの駆動信号を出力する。Ｂ相駆動信号は、移相器２２で９０°（π／２）位相を遅らせた後、増幅器２３−２で増幅され、圧電素子上の電極１２ｂ、１２ｄ入力される。一方Ａ相駆動信号は、発振器２１から移相器２２に入るが、位相は変化することなく増幅器２３−１に出力され、増幅された後圧電素子上の電極１２ａ，１２ｃに入力される。
このように、共振周波数に近い周波数であって９０°の位相差を持つ２つの交流電圧を圧電素子上の電極１２ａ，１２ｃと圧電素子上の電極１２ｂ，１２ｄとにそれぞれ印加することで、弾性体には縦振動１次モードと屈曲振動４次モードが調和的に発生し、屈曲振動の４つある腹位置のうち外側の２カ所に設けられた突起部１３ａ，１３ｂの先端が楕円運動を行い駆動力を得ている。また、印加する２つの交流電圧の位相関係を逆転することで駆動方向を変えることが出来る。
図７は次の条件で振動アクチュエータを駆動したときの駆動特性を示す資料である。
（条件）弾性体形状
５０mm（相対移動方向長さ）×１０mm（幅）×３mm（厚さ）
弾性体材質  ステンレス
電気機械変換素子材  チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）
電極形状    １０mm×８mm、４個
入力電圧    約３０Vrms
駆動周波数  約４７KHz
図７(a)において電流とは超音波アクチュエータの電極に流入した電流の合計を示している。また、図７(b)において菱形の点を結んだ点線で示される特性は、電極に流入した電流の合計を示し、四角の点を結んだ破線で示される特性は、相対運動部材の移動速度を示し、三角の点を結んだ実線で示される特性は、駆動効率を示している。このように、従来において効率は最大約１６％であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来超音波アクチュエータを駆動する際、２つの交流電圧（駆動信号）は、位相に進遅関係を持つにもかかわらず、等しい電圧で圧電体に印加されていた。そのため必ずしも電気エネルギーを効率的に利用していたわけではなかった。一方、超音波アクチュエータを電池等で駆動する場合がある。電池駆動の超音波アクチュエータの場合、電気エネルギーを効率的に利用できないと電池の寿命が短くなり実用上支障をきたす恐れがあった。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために請求項１記載の発明では、弾性体１１と、弾性体１１に接合され複数の電極１２ａ〜１２ｄを有する電気機械変換素子１２と、複数の電極１２ａ〜１２ｄのうちの第１の電極に第１相の交流電圧を印加し、かつ、前記複数の電極１２ａ〜１２ｄのうちの前記第１の電極とは異なる第２の電極に前記第１相よりも位相の遅れた第２相の交流電圧を印加し、弾性体１１に振動を発生させる制御部とを有し、弾性体１１と弾性体１１に対向する相対運動部材１５との間に相対運動を発生させて振動アクチュエータを駆動する際に、前記第２の電極による回路に流入する電流を前記第１の電極による回路に流入する電流よりも小さくするようにした。
【０００８】
また、請求項２記載の発明では、制御部６０は振動として相対移動の方向と略同方向に振動する１次の縦振動と縦振動の振動面に略垂直な方向に振動する４次の屈曲振動とが組み合わされた振動であることとしている。
【０００９】
また、請求項３記載の発明では、請求項１または２記載の発明において制御部６０は交流電圧を印加される部分の面積と印加される電圧値の少なくとも一方によって調整を行っている。
【００１０】
また、請求項４記載の発明では、前記複数の電極が４個の場合第１相（位相が進んでいる相）の交流電圧を４個の電極のうちの２個に印加し、第２相（位相が遅れている相）の交流電圧を４個の電極のうちの１個に印加することにより交流電圧の印加力を調整している。
また、請求項５の発明では、請求項１または２記載の発明において、前記制御部は、前記複数の電極のうち、前記第１相の交流電圧を印加する電極の数と、前記第２相の交流電圧を印加する電極の数とを異ならせている。
また、請求項６の発明では、請求項５記載の発明において、前記制御部は、前記第２相の交流電圧を印加する電極の数を、前記第１相の交流電圧を印加する電極の数より少なくしている。
また、請求項７の発明では、請求項１または２記載の発明において、前記制御部は、前記第１相の交流電圧と前記第２相の交流電圧を増幅する増幅部を有し、前記増幅部による増幅率を、前記第１相の交流電圧と前記第２相の交流電圧とで異ならせている。
また、請求項８の発明では、請求項７記載の発明において、前記制御部は、前記第２相の交流電圧の増幅率を、前記前記第１相の交流電圧の増幅率よりも低くしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面などを参照しながら、実施の形態をあげ本発明をさらに詳細に説明する。なお、以下に説明する各実施形態では、振動アクチュエータとして超音波領域で作動する超音波アクチュエータを例にして説明するが、本発明は超音波アクチュエータに限られものではない。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の超音波アクチュエータの駆動部を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態による超音波アクチュエータの制御部の構成を示すブロック図である。
【００１２】
第１実施形態の超音波アクチュエータの駆動部１０は、弾性体１１と、弾性体に振動を発生させる圧電素子１２と、圧電素子１２に交流電圧を印加するための電極１２ａ〜１２ｄと、相対運動部材１５に駆動（相対運動）力を伝える突起部１３ａ，１３ｂとを備えている。
【００１３】
弾性体１１は本実施形態ではＳＵＳ３０４により矩形平板状に形成されているが、弾性体の材質としては鉄鋼、りん青銅、エリンバー材といった共振先鋭度が大きい金属材料により構成されていてもよい。また、弾性体１１の寸法は、発生する相対運動方向と略同一方向に振動する１次の縦振動Ｌ１および１次の縦振動Ｌ１の振動面に略垂直な方向に振動する４次の屈曲振動Ｂ４それぞれの固有振動数が略一致するように設定されている。
【００１４】
弾性体１１の一方の平面には、電気機械変換素子である圧電素子１２が接着される。また、弾性体１１の他方の平面には弾性体１１の幅方向に２つの角棒状の突起部１３ａ，１３ｂが接着されている。突起部１３ａ，１３ｂは高分子材等を主成分とした摺動部材である。高分子材としてはＰＴＦＥ、イリミド樹脂、ＰＥＮ、ＰＰＳ、ＰＥＥＫ等が例示される。また、弾性体１１に溝部を設け突起部１３ａ，１３ｂを嵌め込んでもよい。
【００１５】
この突起部１３ａ，１３ｂは、弾性体１１に発生する４次の屈曲振動Ｂ４の４つの腹位置のうちの外側の２つの腹位置に一致するように設けられている。なお、突起部１３ａ，１３ｂは、上記２つの腹位置に正確に一致する位置に設けられる必要はなく、この腹位置の近傍に設けられていてもよい。
圧電素子１２は、本実施形態では薄板状のＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）で構成されている。この圧電素子１２には４個の電極部１２ａ〜１２ｄが設けられており、各電極には駆動信号を印加するリード線がハンダ付けされている。そして、このリード線を介して、Ａ相（第１相）およびＢ相（第２相）の駆動信号が、圧電素子１２に印加されて振動を発生させている。なお、本実施例では、電極として銀電極を用いている。
【００１６】
この電極１２ａ〜１２ｄは、４次の屈曲振動Ｂ４の腹の位置に設けられ、これらの電極に９０°（π／２）位相のずれた駆動信号を印加することで、弾性体１１に１次の縦振動Ｌ１と４次の屈曲振動Ｂ４を調和的に発生させる構造となっている。４次の屈曲振動Ｂ４は相対運動部材１５と突起部１３ａ，１３ｂとの間でクラッチ的機能を持つ振動であり、１次の縦振動Ｌ１は駆動力を発生する機能を持つ振動であることが知られている。本実施形態では電極１２ａ〜１２ｄに加えられる信号の内小さいインピーダンスを有する回路に入力される位相の遅れた信号の電圧を小さくすることで効率的駆動を行っている。
弾性体１１に発生した調和的振動により、突起部１３ａ、１３ｂの先端に楕円運動が発生する。突起部１３は不図示の付勢部材により相対運動部材１５に加圧接触しており、発生した楕円運動によって相対運動部材１５を駆動している。
本実施形態の相対運動部材１５は、ステンレス鋼により帯板状に構成されているが、銅合金やアルミニウム合金さらには高分子材等によって構成されていてもよい。
【００１７】
図３に示すように本実施形態の駆動装置２０は、発振器２１と、移相器２２と、増幅器２３−１、２３−２と、スイッチ２４−１、２４−２とを有している。発振器２１は、駆動信号（交流電圧）を周波数可変に出力するものであり、可変出来る範囲は弾性体１１の１次の縦振動Ｌ１および４次の屈曲振動Ｂ４それぞれの共振周波数を含む範囲となっている。
発振器２１から出力された１次の縦振動Ｌ１および４次の屈曲振動Ｂ４いずれの固有振動数よりもわずかに高い周波数のＡ相、Ｂ相の駆動信号のうちＢ相の駆動信号は、移相器２２で−９０°（−π／２）位相がずらされ、増幅器２３−２に入力される。一方、Ａ相の駆動信号は、発振器２１から出力された後、移相器２２に入力されるが移相は変化せず増幅器２３−１に入力される。
【００１８】
増幅器２３−１，２３−２では、入力された駆動信号を圧電素子１２が振動し弾性体１１に所望の振動を起こさせる電圧に増幅している。なお、増幅器２３−１、２３−２の増幅率は同程度になっている。
【００１９】
増幅器２３−１、２３−２から出力された駆動信号は、スイッチ２４−１、２４−２で移動方向によって印加する電極位置が決められる。スイッチ２４−１とスイッチ２４−２は連動するスイッチであり、スイッチ２４−１が接点▲１▼の時はスイッチ２４−２も接点▲１▼となり（モード１）、スイッチ２４−１が接点▲２▼の時はスイッチ２４−２も接点▲２▼となる（モード２）構造になっている。このモード１とモード２との切換によって、相対移動方向の切換を行っている。
【００２０】
モード１が選択されているときスイッチ２４−１、２４−２は共に接点▲１▼と短絡しており、増幅されたＡ相の駆動信号は電極１２ａ、１２ｃに印加され、増幅されたＢ相の駆動信号は電極１２ｂのみに印加している。また、モード２が選択されているときスイッチ２４−１、２４−２は共に接点▲２▼と短絡しており、増幅されたＡ相の駆動信号は電極１２ｂ、１２ｄに印加され、増幅されたＢ相の駆動信号は電極１２ｃのみに印加している。つまり、モード１とモード２とを切換ることにより電極１２ａ、１２ｃと１２ｂ、１２ｄとに印加される駆動信号の位相関係を逆転させ、相対移動方向の切換を行っている。
【００２１】
このように本実施形態では、Ａ相に対して位相の遅れているＢ相の駆動信号は４個の電極うち１個の電極に印加され、Ａ相の駆動信号は４個の電極のうち２個の電極に印加される。また、実験的に判明したことであるが、遅れた位相が入力される回路のインピーダンスは、位相の進んだ回路のインピーダンスよりも小さくなる。そのため、同じ様に交流電圧を印加すると遅れた位相が入力される回路では大きな電圧が消費されてしまうことが判った。
【００２２】
本実施形態では、位相の進んだＡ相（第１相）の駆動信号を４個ある電極のうちの２個の電極に印加し、位相の遅れたＢ相（第２相）の駆動信号を１個の電極に印加している。このように、Ａ相とＢ相とで印加する電極の数を異ならせることにより、超音波アクチュエータの駆動効率向上がなされている。
【００２３】
（第１実施例）
図８(a)，(b)に本実施例の駆動特性であり、条件および図の見方は従来技術で説明した駆動特性と同じなので、説明を省略する。本実施例では位相の進んだ駆動信号は２つの電極に入力され、位相の遅れた駆動信号は１つの電極にのみ入力されている。図８(a)，(b)から判るように第１実施例の効率は、最大約２２％が得られた。従来の超音波アクチュエータの特性と本実施形態の超音波アクチュエータの特性を比較すると、本実施形態の超音波アクチュエータが従来の超音波アクチュエータに比べ駆動効率が４割程度向上していることが判る。
【００２４】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態を説明する。図４は第２実施形態の制御部の構成を示すブロック図である。なお、以降の各実施形態の説明は、前述した第１実施形態と相違する部分について行い、重複する説明を省略する。
本実施形態の超音波アクチュエータが、第１実施例の超音波アクチュエータと相違するのは、増幅率設定器３５−１、３５−２を設けた点である。
本実施形態では、移相器２２はＡ相とＢ相と間に９０°（π／２）の位相差を作り出している。Ａ相とＢ相の進遅関係は、相対移動部材１５の移動方向に応じて主制御装置６０によって設定される。
移相器２２から増幅器２３−１、２３−２に入力されたＡ相、Ｂ相の駆動信号は、所望される駆動状態に応じて増幅されるが、増幅率はＡ相とＢ相とで異なっている。つまり、増幅率設定器３５−１、３５−２は２つの駆動信号のうち位相の遅れている駆動信号の増幅率を、位相の進んでいる駆動信号の増幅率よりも低く設定するように指示を出している。なお、増幅率設定器３５−１、３５−２は、主制御装置６０から送られる最適な増幅率データに基づいて前記指示を出している。最適な増幅率は、弾性体、電気機械変換素子等の条件により異なるが、位相の進んでいる駆動信号の増幅率を１００とした場合、位相の遅れている駆動信号の増幅率は５〜５０の範囲とすることができ、２０〜４０の範囲が好ましい。
増幅器２３−１、２３−２で増幅された駆動信号は、電極１２ａ〜１２ｄに印加し、圧電素子１２を励振している。
【００２５】
本実施形態では、増幅率設定器３５−１、３５−２によって、増幅器２３−１、２３−２での駆動信号の増幅率を設定するため、より細かい調整が可能となる。
【００２６】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態を説明する。図５は本実施形態の制御部の構成を示すブロック図であり、図２は第１実施形態の電極１２ａ〜１２ｄに対応する本実施形態における電極１２ａ'〜１２ｄ'の構造を示す平面図である。本実施形態の超音波アクチュエータが、第１実施形態の超音波アクチュエータと相違するのは、第１実施形態では、駆動信号の印加する電極の数で流入する電流を調整していたのに対して、本実施形態では、印加する電極の面積を少なくすることで流入する電流を調整する点である。
【００２７】
本実施形態の圧電素子１２には、図２に示すような電極１２ａ'〜１２ｄ'が設けられている。電極１２ａ'は部分電極ａ１〜ａ３から、電極１２ｂ'は部分電極ｂ１〜ｂ３から、電極１２ｃ'は部分電極ｃ１〜ｃ３から、電極１２ｄ'は部分電極ｄ１〜ｄ３から構成されている。
【００２８】
部分電極ａ１〜ａ３、ｂ１〜ｂ３、ｃ１〜ｃ３、ｄ１〜ｄ３は、それぞれの部分電極間、例えばａ１とａ２の間に細い隙間を持った銀電極となっており、駆動信号を印加するリード線がハンダ付けされている。
部分電極のうちａ２、ｂ２、ｃ２、ｄ２は、それぞれ４次の屈曲振動Ｂ４の腹の位置に設けられている。また、電極１２ａ' では両脇の部分電極ａ１，ａ３を合わせたの面積と中央の部分電極ａ２の面積とは略一致するようになっており、他の電極１２ｂ'〜１２ｄ'においても、電極１２ａ' で例示したように、両脇の部分電極を合わせた面積と中央の部分電極の面積とは略一致している。
【００２９】
つぎに本実施形態の制御部４０の説明をする。制御部４０は、発振器２１で発生したＡ相・Ｂ相の駆動信号を移相器２２に入れている。移相器２２はＡ相とＢ相と間に９０°（π／２）の位相差を作り出している。なお、Ａ相とＢ相の進遅関係は、相対移動部材１５の移動方向に応じて主制御装置６０によって設定される。
【００３０】
移相器２２から出た駆動信号は、増幅器２３−１、２３−２で所望する駆動状態に応じて増幅し、スイッチ４４−１〜４４−４に入る。
【００３１】
スイッチ４４−１、４４−２、４４−３、４４−４は連動するスイッチとなっている。つまり、１つのスイッチが接点▲１▼に接続されているときは、残りの３つのスイッチも接点▲１▼に接続されており、１つのスイッチが接点▲２▼に接続されているときは、残りの３つのスイッチも接点▲２▼に接続する構成となっている。
【００３２】
また、Ｂ相の駆動信号がＡ相の駆動信号よりも遅れているときには、スイッチ４４−１〜４４−４は接点▲１▼に接続され、Ａ相の駆動信号がＢ相の駆動信号よりも遅れているときには、スイッチ４４−１〜４４−４は接点▲２▼に接続される。このようにスイッチ４４−１〜４４−４の切り替えは移相器２２と連動しており、不図示の主制御装置によって行われる。
【００３３】
Ａ相・Ｂ相の駆動信号は、スイッチ４４−１〜４４−４によって選択された部分電極に印加し、圧電素子１２を起振している。ここで、例えばスイッチ４４−１が接点▲１▼に接続されているときは、部分電極ａ１、ａ２、ａ３に駆動電圧が印加されている。部分電極ａ１、ａ２、ａ３は近接しており、同じ駆動信号が印加されるため、ａ１、ａ２、ａ３は連なり１つの電極として振動を引き起こす。また、スイッチ４４−１が接点▲２▼に接続されているときは、部分電極ａ２のみに駆動信号が印加されるため部分電極ａ２のみが電極として振動を引き起こしている。
【００３４】
また、部分電極ａ２、ｂ２、ｃ２、ｄ２は、４次の屈曲振動Ｂ４の腹の位置に設けられているため、電極の面積が小さくなっても効率的に起振することができる。
【００３５】
本実施形態ではこのように、圧電素子１２の交流電圧の印加する部分の面積によって印加力を調整することによって駆動効率向上をなしている。
本実施形態では、各電極において両脇の部分電極を合わせたの面積と中央の部分電極の面積とは略一致する構成としたが、本発明はこれに限られることなく、両脇の部分電極を合わせたの面積と中央の部分電極の面積の比を、１対２、１対３、２対１、３対１のように超音波アクチュエータにあわせて自由に設定できるものである。
【００３６】
さらに、本実施形態では各電極は３つの部分電極を有するが、本発明はこれに限定されるものではなく、２つまたは４つ以上の部分電極とすることもできる。要は各電極の面積を変えることによって電流の大きさを調整できることである。各実施形態の説明では、アクチュエータが、超音波の振動領域を利用した超音波アクチュエータである場合を例にとった。しかし、本発明は、超音波アクチュエータに限定されるものではなく、超音波以外の他の振動域を利用した振動アクチュエータについても同様に適用される。
【００３７】
また、各実施形態の説明では、略矩形平板状の外形を有し、１次の縦振動と４次の屈曲振動とを発生する弾性体（振動子）を用いた場合を例にとった。しかし、本発明は、この形態に限定されない。例えば、文献「VIBROMOTORS FOR PRECISION MICROROBOTS」の第３７頁における第２．８表に開示された各種の振動子や、「新版  超音波モータ」（上羽貞行氏、富川義朗氏共著、トリケプッス刊）に開示された円板状振動子、円環状振動子、棒状振動子、板状振動子さらにはリニア状振動子の各種の振動子についても、等しく適用される。
【００３８】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明によれば、第１の交流電力と第２の交流電力の調整が可能となり、振動アクチュエータを高い駆動効率で駆動できる。そのため、電池で振動アクチュエータを駆動させる場合は電池の寿命を延ばすことができる。また相対移動の方向と略同方向に振動する１次の縦振動と縦振動の振動面に略垂直な方向に振動する４次の屈曲振動とが組み合わされた振動の場合より効果的である。また交流電圧を入力する電極の数を変えることにより容易に交流電圧を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る振動アクチュエータの駆動部を示す斜視図である。
【図２】第３実施形態の電極を示す模式図である。
【図３】第１実施例の駆動回路の構成例を示すブロック図である。
【図４】第２実施例の駆動回路の構成例を示すブロック図である。
【図５】第３実施例の駆動回路の構成例を示すブロック図である。
【図６】従来の駆動回路の構成例を示すブロック図である。
【図７】従来の駆動効率を示す説明図である。
【図８】第１実施例の第１実施形態の駆動効率を示す説明図である。
【符号の説明】
１０    駆動部
１１    弾性体
１２    圧電素子
１２ａ〜１２ｄ  電極
１３ａ、１３ｂ  突起部
１５    相対運動部材
２１    発振器
２２    移相器
２３−１、２３−２  増幅器
２４−１、２４−２  スイッチ
３５−１、３５−２  増幅率設定器
【図１】
0004691752.tif 000004
【図２】
0004691752.tif 000005
【図３】
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【図４】
0004691752.tif 000007
【図５】
0004691752.tif 000008
【図６】
0004691752.tif 000009
【図７】
0004691752.tif 000010
【図８】
0004691752.tif 000011