(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、
（ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応し、剥離廃液からアミン化合物をアミン−酸化合物として析出させる酸を添加する工程；
（ｂ）前記（ａ）工程で析出したアミン−酸化合物を剥離廃液からフィルタリングする工程；および
（ｃ）前記（ｂ）工程のアミンが除去された剥離廃液を分別蒸留させて有機溶媒のみを収得する工程
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液の再生方法。
【請求項２】
前記酸の添加量は、剥離廃液に含まれているアミン化合物の当量と同一以上である請求項１に記載のレジスト剥離廃液の再生方法。
【請求項３】
前記酸は、安息香酸、クエン酸、蟻酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、酢酸、シュウ酸、燐酸、硝酸、塩酸、硫酸および過塩素酸からなる群より選択される１種以上の化合物である請求項１に記載のレジスト剥離廃液の再生方法。
【請求項４】
（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
（ｂ）酸貯蔵槽；
（ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；
（ｄ）前記反応槽から移送される剥離廃液から析出したアミン−酸化合物をフィルタリングするフィルター；
（ｅ）前記フィルタリングされた剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および
（ｆ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置。
【請求項５】
前記蒸留槽は、水分を捕集するための１次蒸留槽および有機溶媒を捕集するための２次蒸留槽を含む請求項４に記載のレジスト剥離廃液再生装置。
【請求項６】
前記蒸留槽は減圧装置を備える請求項４に記載のレジスト剥離廃液再生装置。
【請求項７】
（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
（ｂ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された被処理レジスト剥離廃液が通過し、終端にフィルターが設けられた酸充填コラム；
（ｃ）前記酸充填コラムを通過した剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および
（ｄ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置。
【請求項８】
前記酸充填コラムに使用される酸は、安息香酸、クエン酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸およびシュウ酸からなる群より選択される１種以上の化合物である請求項７に記載のレジスト剥離廃液再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置に関する。
係わり、特に、水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法において、いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程といろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合に発生したレジスト剥離廃液を経済性良く再生するに特に適したレジスト剥離廃液再生方法および再生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）、高集積回路（ＬＳＩ）、超高集積回路（ＶＬＳＩ）等の半導体素子と液晶表示素子などディスプレイ装置を製造するためには多くの工程のフォトエッチング工程およびレジスト剥離工程が反復的に実施され、これによって多量のレジスト剥離廃液が発生する。特に、液晶表示素子などディスプレイ基板面積の急速な大型化によって剥離液の使用量が大幅に増加しており、剥離廃液の再利用に関する要請がますます増大している。
【０００３】
レジスト剥離工程に使用された剥離液廃液はレジスト、水分、いろいろな種類の有機アミン化合物および有機溶媒を含んでいる。従来のこのような剥離液廃液を廃棄処理する方法としては焼却処理する方法が一般的であった。しかし、このような方法では、焼却ガスを大気中に放出することによって環境に悪い影響を与えるだけでなく、剥離液廃液中の再利用の可能な成分まで廃棄してしまうことになる。そのため、経済性の面でも好ましくなく、剥離廃液の再生に関する多くの研究が試みられている。
【０００４】
また、最近、半導体およびディスプレイ製造工程で精密性および特性化がさらに要求されることによって、それぞれの工程に最適のフォトレジストの細分化が多く行われており、それぞれの剥離工程で使用されるレジスト剥離液の成分もいろいろな種類の有機アミンと有機溶媒の種類および含有量が細分化されて使用されている。
【０００５】
レジスト剥離廃液の再生に対する試みの一例として特許文献１には、アルカノールアミン、有機溶媒およびレジストを含有するレジスト剥離廃液を再生するレジスト剥離廃液の再生装置であって、分画分子量１００〜１５００の膜を有し、前記レジスト剥離廃液を前記膜を用いて濃縮液と透過液に分離する膜分離装置と、前記透過液を貯油し、前記透過液中のアルカノールアミンおよび有機溶媒の濃度を調整するための濃度調整槽と、前記濃度調整槽にアルカノールアミンを供給するアルカノールアミン供給手段と、前記濃度調整槽に有機溶媒を供給する有機溶媒供給手段とを備えるレジスト剥離廃液の再生装置を開示している。この再生装置で採用されている方法は、レジスト剥離廃液に含まれているアルカノ−ルアミンと有機溶媒はナノ膜を通過し、レジストは通過しない性質を利用して剥離液を再生する方法である。
【０００６】
また、これとは別に、レジスト剥離廃液の再生に関するいろいろな試みが進められているが、特化されたアミン化合物を使用するそれぞれ細分化されたフォトエッチング及び剥離工程で発生した剥離廃液において、有機溶媒といろいろな種類のアミン化合物とを一度に分離・再生することは容易でない。また、半導体およびディスプレイ製造工程でいろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合に、有機溶媒といろいろな種類のアミン化合物とを一度に分離するには、既存のレジスト剥離液再生方法では限界があり、レジスト剥離廃液中のレジスト、水分および有機アミン化合物を除去して有機溶媒のみを経済的に再生することができる方法がさらに要請されている。
【特許文献１】大韓民国特許出願第１０−２００２−００７５２３５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような従来の技術の問題点を解決するために、本発明はレジスト剥離液に含まれているアミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによって、製造コストを低減することができるとともに、レジスト剥離廃液による環境汚染を低減させることができるレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明の他の目的は、いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程、いろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合等、レジスト剥離廃液を経済性良く同時に再生するのに適したレジスト剥離廃液の再生方法および再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明は、
水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、
（ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応し、剥離廃液からアミン化合物をアミン−酸化合物として析出させる酸を添加する工程；
（ｂ）前記（ａ）工程で析出したアミン−酸化合物を剥離廃液からフィルタリングする工程；および
（ｃ）前記（ｂ）工程のアミンが除去された剥離廃液を分別蒸留させて有機溶媒のみを収得する工程
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液の再生方法を提供する。
【００１０】
また、本発明は、
（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
（ｂ）酸貯蔵槽；
（ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；
（ｄ）前記反応槽から移送される剥離廃液から析出されたアミン−酸化合物をフィルタリングするフィルター；
（ｅ）前記フィルタリングされた剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および
（ｆ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置を提供する。
【００１１】
また、本発明は、
（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；
（ｂ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された被処理レジスト剥離廃液が通過し、終端にフィルターが設けられた酸充填コラム；
（ｃ）前記酸充填コラムを通過した剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および
（ｄ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽
を含むことを特徴とするレジスト剥離廃液再生装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によるレジスト剥離液再生方法および再生装置は、レジスト剥離液に含まれているアミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによって、レジスト剥離廃液による環境汚染を低減することができるとともに、高価の有機溶媒を再使用することによってさらに製造コストを低減させることができ、特にいろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液を使用する剥離工程、いろいろな種類のレジストと剥離液が使用される場合等、レジスト剥離廃液を経済性良く同時に再生するに適した効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明者は、既存のレジスト剥離廃液の再生方法では、アミン化合物と有機溶媒との混合物が収集されるため、いろいろな特化されたアミン化合物を含む剥離液をいろいろな種類のレジストの剥離のために使用した場合に、レジスト剥離廃液を再生しても、実際に使用しようとする剥離液とは、必要とするアミン化合物が異なることがあり、このような再生した混合物は、剥離液として使用することができないのを発見し、必要な組成で、レジスト剥離廃液を再生する方法を研究していたところ、経済的な方法で、レジスト剥離廃液中のレジスト、水分およびアミン化合物を除去し、有機溶媒のみを捕集することにより、再びそれぞれの特化された剥離液に適したアミン化合物を、再生された有機溶媒に添加してレジスト剥離液を製造することができ、上記の全ての問題点が解決されることができるのを確認し、本発明を完成するに至った。
【００１４】
本発明は、水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含むレジスト剥離廃液を再生する方法であって、（ａ）レジスト剥離廃液のアミン化合物と反応して剥離廃液からアミン化合物をアミン−酸化合物として析出させる酸を添加する工程；（ｂ）前記（ａ）工程で析出したアミン−酸化合物を剥離廃液からフィルタリングする工程；および（ｃ）前記（ｂ）工程のアミンが除去された剥離廃液を分別蒸留させて有機溶媒のみを収得する工程を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記レジスト剥離廃液は、剥離液が使用されるそれぞれの工程によって、いろいろな種類のアミン化合物またはいろいろな種類の有機溶媒を含んでいてもよい。前記アミン化合物は第１級、２級または３級アミンのいずれでもよく、脂肪族アミン、脂環族アミン、芳香族アミン、ヘテロサイクリックアミン、ヒドロキシルアミンであり得る。また、前記有機溶媒はグリコール類のエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、またはジプロピレングリコールモノブチルエーテルを含むことができ、ジメチルスルホキシド、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルイミダゾリジノン、スルホラン、またはＮ−メチルピロリドンのようなアルキルピロリドンを含むことができる。
【００１６】
本発明のレジスト剥離廃液再生方法の前記（ａ）工程で使用される酸は、剥離廃液中のアミン化合物と反応して剥離廃液のアミン化合物を剥離廃液から析出させることができる酸であれば特に限定されず、安息香酸、クエン酸、蟻酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、酢酸、シュウ酸、燐酸、硝酸、塩酸、硫酸、過塩素酸などが使用されることができる。使用量は少なくとも剥離廃液に含まれているアミン化合物の当量と同一か、その当量以上の酸を添加することが適しており、残留するアミン化合物がないように過量の酸を添加することが好ましい。さらに好ましくは、有機溶媒分別蒸留時に残存する酸が混合されないような酸を使用するのが好ましい。
【００１７】
前記（ａ）工程によって、被処理レジスト剥離廃液の成分はレジスト、水分、アミンと酸との反応物、残存する酸および有機溶媒を含むようになる。
本発明のレジスト剥離廃液の再生方法は（ｂ）工程として前記（ａ）工程で析出したアミン−酸の反応物をフィルタリングする工程を含む。前記フィルタリングに使用されるフィルターは通常の液体から固体成分をフィルタリングすることができるいずれのフィルターをも使用することができる。本工程によって、剥離廃液からアミン化合物が分離除去される。
【００１８】
また、本発明のレジスト剥離廃液の再生方法は（ｃ）工程としてアミン化合物がフィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して有機溶媒のみを捕集する工程を含む。本工程で分別蒸留によって水分と有機溶媒とが分別蒸留されて有機溶媒のみを捕集することができ、蒸留されないレジストと反応に関与せず、分解されない酸を分離排出することができる。
【００１９】
前記分別捕集された有機溶媒は、凝縮器によって再び液体化することができ、前記有機溶媒に特別に要請されるアミン化合物を添加して再び剥離液として再使用できるようになる。
本発明の剥離廃液再生方法は、アミン化合物の種類に関係なく、高価の有機溶媒を再生してレジスト剥離液として再使用することによってレジスト剥離廃液による環境汚染をさらに減らすことができ、高価の有機溶媒を再使用することによってさらに費用を節減することができる。
【００２０】
実施の形態１
以下、本発明の具体的な一実施形態として、酸成分としてシュウ酸（Ｃ2Ｈ2Ｏ4）を使用していろいろなレジスト剥離工程で発生したＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡを含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液を再生する方法を説明する。前記シュウ酸は常温で２水和物として存在するので、シュウ酸２水和物（Ｃ2Ｈ2Ｏ4Ｈ2Ｏ）を使用する。
ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡを含むアミン化合物、グリコールおよびアルキルピロリドンを含む有機溶媒、水分およびレジストから構成された剥離廃液に、前記アミン化合物の総当量より過量のシュウ酸２水和物を添加する。シュウ酸２水和物が添加されると、シュウ酸２水和物はアミン化合物と反応してアミン−シュウ酸反応物を固体状態で析出させる。
【００２１】
フィルタリングによって固体状態のアミン−シュウ酸反応物は剥離廃液からフィルタリングされる。その後、レジスト、水分、有機溶媒の混合物は分別蒸留によって水分が先に蒸留され、その次に有機溶媒のグリコールとアルキルピロリドンとが蒸留され、残留するレジストと分離され、目的する有機溶媒のみを捕集することができる。その後、捕集された有機溶媒に特別に要請されるアミン化合物のＭＥＡ、ＭＩＰＡまたはｎ−ＭＥＡなどを選択的に添加して剥離液として再使用することができる。
【００２２】
実施の形態２
また、本発明のレジスト剥離廃液再生装置は、（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；（ｂ）酸貯蔵槽；（ｃ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽から移送された剥離廃液に前記酸貯蔵槽から移送された酸を添加して剥離廃液のアミン化合物を酸と反応させる反応槽；（ｄ）前記反応槽から移送される剥離廃液から析出されたアミン−酸化合物をフィルタリングするフィルター；（ｅ）前記フィルタリングされた剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および（ｆ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽を含むことを特徴とする。
【００２３】
以下、本発明のレジスト剥離廃液再生装置の一実施形態である図１に表示された模式図を通して本発明を具体的に説明する。
それぞれのレジスト剥離工程で収去された被処理レジスト剥離液は被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１１０に貯蔵される。前記被処理レジスト剥離廃液はレジスト、ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡなどのいろいろな種のアミン化合物、水分および有機溶媒を含む。
【００２４】
前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１１０に貯蔵された被処理レジスト剥離廃液はポンプ１１１を通じて配管に沿って反応槽１３０に移送される。前記剥離廃液の移送時に剥離廃液の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ１１２を備えることができる。
また、レジスト剥離廃液に含まれているアミン化合物と反応する酸を貯蔵する酸貯蔵槽１２０が別途に備えられる。前記酸は安息香酸、クエン酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、シュウ酸などが単独または２種以上混合して使用するのが好ましい。
【００２５】
前記酸貯蔵槽１２０から酸は配管に沿って反応槽１３０に移送される。前記剥離廃液の移送時に酸の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ１２２を備えることができる。移送された酸の量は剥離廃液に含まれているアミン化合物の総当量と同一であるか、過量で移送するのが好ましい。
被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽１１０から移送された剥離廃液と酸貯蔵槽１２０から移送された酸は、反応槽１３０で反応してアミン−酸反応物（一例にアミン−シュウ酸反応物）を析出させ、この時、剥離廃液にはレジスト、酸−塩基析出物、水分、有機溶媒を含むようになる。
【００２６】
前記反応が完結した剥離廃液は反応槽１３０から移送されてフィルター１４０を通じて剥離廃液内の固形分（アミン−シュウ酸析出物）が除去される。前記剥離廃液の移送時に剥離廃液の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ１３２を備えることができる。
前記フィルター１４０を通じて固形分が除去された剥離廃液は配管に沿って蒸留槽１５０に移送される。前記蒸留槽１５０では温度上昇によって剥離廃液に含まれている成分が分別蒸留されて捕集される。好ましくは、前記蒸留槽１５０は水分を捕集するための１次蒸留槽１５３、有機溶媒を捕集するための２次蒸留槽１５４、残留成分排出槽１５５に分けられて設置されることができる。
【００２７】
酸としてシュウ酸２水和物を使用する場合、剥離廃液内に含まれている水分は１次蒸留槽１５３を通じて捕集され、有機溶媒は２次蒸留槽１５４を通じて捕集され、レジストは蒸留されず残留成分排出槽１５５に排出されることができる。
好ましくは、前記蒸留槽１５０は減圧装置１５６を別途に備えることができ、この場合、蒸留温度を低減することができる。
【００２８】
前記２次蒸留槽１５４を通じて捕集された有機溶媒は、有機溶媒貯蔵槽１６０に移送される。前記有機溶媒貯蔵槽１６０は凝縮器１６３を備えて、捕集された有機溶媒を液体状態にすることができる。前記有機溶媒貯蔵槽１６０には所定のアミン化合物を添加できるアミン化合物槽１７０が連結されているのが好ましく、所定のアミン化合物の添加によって個別レジスト剥離工程に適したアミン化合物のみを添加して再生剥離液を製造することができる。
【００２９】
実施の形態３
また、本発明のレジスト剥離廃液再生装置は、（ａ）水、レジスト、アミン化合物、有機溶媒を含む被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽；（ｂ）前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽に移送された被処理レジスト剥離廃液が通過し、終端にフィルターが設けられた酸充填コラム；（ｃ）前記酸充填コラムを通過した剥離廃液から有機溶媒を分別蒸留する蒸留槽；および（ｄ）前記分別蒸留槽で分別蒸留された有機溶媒を捕集して貯蔵する有機溶媒貯蔵槽を含むことを特徴とする。
【００３０】
以下、本発明のレジスト剥離廃液再生装置の一実施形態である図２に表示された模式図を通して本発明を具体的に説明する。
それぞれのレジスト剥離工程で収去された被処理レジスト剥離液は被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽２１０に貯蔵される。前記被処理レジスト剥離廃液はレジスト、ＭＥＡ、ＭＩＰＡ、ｎ−ＭＥＡなどのいろいろな種のアミン化合物、水分および有機溶媒を含む。
前記被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽２１０に貯蔵された被処理レジスト剥離廃液はポンプ２１１を通じて配管に沿って酸充填コラム２２０に移送される。前記剥離廃液の移送時に剥離廃液の量を調節するために配管の所定の部分に自動調節バルブ２１２を備えることができる。
【００３１】
前記酸充填コラム２２０はレジスト剥離廃液に含まれているアミン化合物と反応してアミン−酸の反応物を剥離廃液から析出させることができる酸で充填されたコラムである。前記酸は安息香酸、クエン酸、マレイン酸、リンゴ酸、サリチル酸、酒石酸、シュウ酸などを単独または２種以上混合して使用するのが好ましい。
前記酸充填コラム２２０を通過しながら剥離廃液に含まれているアミン化合物と反応してアミン−酸の反応物が剥離廃液から析出されて酸充填コラム２２０の終端に備えられたフィルター２２１によってフィルタリングされ、アミン化合物が除去された剥離廃液のみがフィルター２２１を通過するようになる。
【００３２】
前記フィルター２２１を通じて固形分が除去された剥離廃液は配管に沿って蒸留槽２３０に移送される。前記蒸留槽２３０では温度上昇によって剥離廃液に含まれている成分が分別蒸留されて捕集される。好ましくは、前記蒸留槽２３０は水分を捕集するための１次蒸留槽２３３、有機溶媒を捕集するための２次蒸留槽２３４、残留成分排出槽２３５に分けて設置することができる。
酸としてシュウ酸２水和物を使用する場合、剥離廃液内に含まれている水分は１次蒸留槽２３３通じて捕集され、有機溶媒は２次蒸留槽２３４を通じて捕集され、レジストは蒸留されず、残留成分排出槽２３５に排出することができる。
【００３３】
好ましくは、前記蒸留槽２３０は減圧装置２３６を別途に備えることができ、この場合、蒸留温度を低減させることができる。前記２次蒸留槽２３４を通じて捕集された有機溶媒は、有機溶媒貯蔵槽２４０に移送される。前記有機溶媒貯蔵槽２４０は凝縮器２４３を備えて、捕集された有機溶媒を液体状態にすることができる。前記有機溶媒貯蔵槽２４０には所定のアミン化合物を添加できるアミン化合物槽２５０が連結されているのが好ましく、所定のアミン化合物の添加によって個別レジスト剥離工程に適したアミン化合物のみを添加して再生剥離液を製造することができる。
【００３４】
以下、本発明の理解のために好ましい実施例を提示するが、下記の実施例は本発明を例示するものに過ぎず、本発明の範囲が下記の実施例に限定されるわけではない。
実施例１
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ５重量部、ＭＩＰＡ５重量部、ｎ−ＭＥＡ５重量部、水分１０重量部、有機溶媒７２重量部（グリコール５０重量部およびアルキルピロリドン２２重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物１０．６重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成して析出させた。
【００３５】
反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。
前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液をフィルターでフィルタリングして固形分を除去した。前記フィルタリングによって析出されたアミン−シュウ酸化合物と反応に関与しないシュウ酸２水和物が除去され、フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。
【００３６】
前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して、水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６７．４重量部、アルキルピロリドンが３２．６重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００３７】
実施例２
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ４重量部、ＭＩＰＡ４重量部、ｎ−ＭＥＡ４重量部、水分２０重量部、有機溶媒６５重量部（グリコール４５重量部およびアルキルピロリドン２０重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物８．５重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成して析出させた。
【００３８】
反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。
前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液をフィルターでフィルタリングして固形分を除去した。前記フィルタリングによって析出されたアミン−シュウ酸化合物と反応に関与しないシュウ酸２水和物が除去され、フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。
【００３９】
前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６６．５重量部、アルキルピロリドンが３３．５重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００４０】
実施例３
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ３重量部、ＭＩＰＡ３重量部、ｎ−ＭＥＡ３重量部、水分３０重量部、有機溶媒５９重量部（グリコール４１重量部およびアルキルピロリドン１８重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物６．４重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成して析出させた。
【００４１】
反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液をフィルターでフィルタリングして固形分を除去した。前記フィルタリングによって析出されたアミン−シュウ酸化合物と反応に関与しないシュウ酸２水和物が除去され、フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。
【００４２】
前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６７．５重量部、アルキルピロリドンが３２．５重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００４３】
実施例４
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ２重量部、ＭＩＰＡ２重量部、ｎ−ＭＥＡ２重量部、水分４０重量部、有機溶媒５２重量部（グリコール３６重量部およびアルキルピロリドン１６重量部）を含む剥離廃液にシュウ酸２水和物４．３重量部を添加してアミン−シュウ酸化合物を形成して析出させた。
反応に関与しないシュウ酸２水和物は剥離廃液に固形分として残っていた。前記アミン−シュウ酸化合物が形成された剥離廃液をフィルターでフィルタリングして固形分を除去した。
【００４４】
前記フィルタリングによって析出されたアミン−シュウ酸化合物と反応に関与しないシュウ酸２水和物が除去され、フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。
前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６７．４重量部、アルキルピロリドンが３２．６重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００４５】
実施例５
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ５重量部、ＭＩＰＡ５重量部、ｎ−ＭＥＡ５重量部、水分１０重量部、有機溶媒７２重量部（グリコール５０重量部およびアルキルピロリドン２２重量部）を含む剥離廃液をシュウ酸２水和物１９．５重量部が充填され終端にフィルターが設けられたコラムを通過させてアミン化合物をアミン−シュウ酸化合物を析出してフィルタリングした。
【００４６】
前記フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
【００４７】
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６７．０重量部、アルキルピロリドンが３３．０重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００４８】
実施例６
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト３重量部、アミン化合物ＭＥＡ４重量部、ＭＩＰＡ４重量部、ｎ−ＭＥＡ４重量部、水分２０重量部、有機溶媒６５重量部（グリコール４５重量部およびアルキルピロリドン２０重量部）を含む剥離廃液をシュウ酸２水和物１５．６重量部が充填され終端にフィルターが設けられたコラムを通過させてアミン化合物をアミン−シュウ酸化合物を析出してフィルタリングした。前記フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
【００４９】
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６６．７重量部、アルキルピロリドンが３３．３重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００５０】
実施例７
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ３重量部、ＭＩＰＡ３重量部、ｎ−ＭＥＡ３重量部、水分３０重量部、有機溶媒５９重量部（グリコール４１重量部およびアルキルピロリドン１８重量部）を含む剥離廃液をシュウ酸２水和物１１．７重量部が充填され終端にフィルターが設けられたコラムを通過させてアミン化合物をアミン−シュウ酸化合物を析出してフィルタリングした。
【００５１】
前記フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
【００５２】
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６７．２重量部、アルキルピロリドンが３２．８重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【００５３】
実施例８
いろいろなレジスト剥離工程で収去されたレジスト２重量部、アミン化合物ＭＥＡ２重量部、ＭＩＰＡ２重量部、ｎ−ＭＥＡ２重量部、水分４０重量部、有機溶媒５２重量部（グリコール３６重量部およびアルキルピロリドン１６重量部）を含む剥離廃液をシュウ酸２水和物７．８重量部が充填され終端にフィルターが設けられたコラムを通過させてアミン化合物をアミン−シュウ酸化合物を析出してフィルタリングした。
【００５４】
前記フィルタリングされた剥離廃液１００重量部に対して総アミン化合物が０．１重量部未満であった。
前記フィルタリングされた剥離廃液を分別蒸留して水分と有機溶媒を捕集し残留するレジストとアミン−シュウ酸および分解されないシュウ酸２水和物を分離排出した。
【００５５】
前記捕集された有機溶媒を冷却して液体化し、液体化された有機溶媒の成分を分析した結果、有機溶媒１００重量部中のグリコールが６６．５重量部、アルキルピロリドンが３３．５重量部であり、水分は０．１重量部未満、総アミン化合物０．１重量部未満であり、樹脂は検出されなかった。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態による反応槽を利用したレジスト剥離廃液再生装置の模式図である。
【図２】本発明の他の一実施形態による酸充填コラムを利用したレジスト剥離廃液再生装置の模式図である。
【符号の説明】
【００５７】
１１０      被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽
１１１      ポンプ
１１２      自動調節バルブ
１２０      酸貯蔵槽
１２２      自動調節バルブ
１３０      反応層
１３２      自動調節バルブ
１４０      フィルター
１５０      蒸留槽
１５３      １次蒸留槽
１５４      ２次蒸留槽
１５５      残留成分排出槽
１５６      減圧装置
１６０      有機溶媒貯蔵槽
１６３      凝縮器
１７０      アミン化合物槽
２１０      被処理レジスト剥離廃液貯蔵槽
２１１      ポンプ
２１２      自動調節バルブ
２２０      酸充填コラム
２２１      フィルター
２３０      蒸留槽
２３３      １次蒸留槽
２３４      ２次蒸留槽
２３５      残留成分排出槽
２３６      減圧装置
２４０      有機溶媒貯蔵槽
２４３      凝縮器
２５０      アミン化合物槽
【図１】
0004833113.tif 000002
【図２】
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