(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、及び前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている基板と、
前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、前記第１接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムと、
前記基板に付着されており、前記第２接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムを含み、
前記ゲート信号用連結配線は、前記基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、
前記複数のゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線は、前記ゲート信号用第３配線によって隣接する前記ゲート信号伝送フィルムの前記ゲート信号用第２配線と連結され、
前記第１または第２ゲート信号用リードは少なくとも前記リードの長さ方向に前記第１または第２接触孔を完全に覆うように形成されている液晶表示装置。
【請求項２】
多数のゲート線、前記ゲート線と絶縁して交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線と前記ゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の前記絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されている基板と、
前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、前記第１接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムと、
前記基板に付着されており、前記第２接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムを含み、
前記ゲート信号用連結配線は、前記基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、
前記複数のゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線は、前記ゲート信号用第３配線によって隣接する前記ゲート信号伝送フィルムの前記ゲート信号用第２配線と連結され、
前記第１または第２ゲート信号用リードは少なくとも前記リードの長さ方向に前記第１または第２接触孔を完全に覆うように形成されている液晶表示装置。
【請求項３】
前記画素電極と同一な層に形成されて前記第１及び第２接触孔を覆っており、前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドをさらに含む、
請求項２に記載の液晶表示装置。
【請求項４】
前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を覆う保護膜とを含む、
請求項２又は３に記載の液晶表示装置。
【請求項５】
前記第１又は第２ゲート信号用リードは少なくとも前記長さ方向の前記接触孔の一辺を完全に覆うように形成されている、
請求項２から４のいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項６】
前記ゲート信号用連結配線は前記ゲート線と同一な層に形成されており、前記第１及び第２接触孔は前記ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている、
請求項２から５のいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項７】
前記ゲート信号用連結配線は前記データ線と同一な層に形成されており、前記第１及び第２接触孔は前記保護膜にだけ形成されている、
請求項４又は５に記載の液晶表示装置。
【請求項８】
前記ゲート信号用連結配線は、前記ゲート線と同一な層に形成されている第１ゲート信号用連結配線と、前記データ線と同一な層に形成されている第２ゲート信号用連結配線とを含む、
請求項２から７のいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項９】
前記第１及び第２ゲート信号用連結配線は、前記第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドを通じて連結されている、請求項８に記載の液晶表示装置。
【請求項１０】
前記信号伝送用フィルムは、データ用電気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されているデータ信号伝送用フィルムである、
請求項２から９のいずれかに記載の液晶表示装置。
【請求項１１】
前記データ信号伝送用フィルムと連結されており、前記ゲート駆動集積回路及び前記データ駆動集積回路に前記ゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基板をさらに含む、
請求項１０に記載の液晶表示装置。
【請求項１２】
多数のゲート線、前記ゲート線と交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線と前記ゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線及び前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている基板と、
前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、前記第１接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムとを含み、
前記ゲート信号用連結配線は、前記基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、
前記複数のゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線は、前記ゲート信号用第３配線によって隣接する前記ゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線と連結され、
前記第１または第２ゲート信号用連結パッドは前記データ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。
【請求項１３】
多数のゲート線、前記ゲート線と交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線と前記ゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の前記絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されているが形成されている基板と、
前記基板に付着されており、前記ゲート用電気信号の入力を受けて前記ゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、前記ゲート駆動集積回路及び前記ゲート線との間を接続するゲート信号線と、前記第１接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムとを含み、
前記ゲート信号用連結配線は、前記基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、
前記複数のゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線は、前記ゲート信号用第３配線によって隣接する前記ゲート信号伝送用フィルムの前記ゲート信号用第２配線と連結され、
前記第１または第２ゲート信号用連結パッドは前記データ線と同一な層に形成されている液晶表示装置。
【請求項１４】
前記画素電極と同一な層に形成されて前記第１及び第２接触孔を覆っており、前記第１及び第２ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドをさらに含む、請求項１３に記載の液晶表示装置。
【請求項１５】
前記絶縁膜は、前記ゲート線を覆うゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜の上部の前記データ線を覆う保護膜とを含む、請求項１３又は１４に記載の液晶表示装置。
【請求項１６】
前記基板に付着されており、データ用電気信号の入力を受けて前記データ線にデータ信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されており、前記第２接触孔において前記異方性導電膜を介して前記第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含む前記ゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムをさらに含む、
請求項１３から１５のいずれかに記載の液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置及びその製造方法に関し、さらに詳しくは、断線を防止するための構成を備える液晶表示装置及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置は、現在最も広く用いられている平板表示装置の中の一つであり、電気場を生成する多数の電極が形成されている二つの基板と、二つの基板の間の液晶層と、それぞれの基板の外側面に付着されて光を偏光させる二枚の偏光板とからなっており、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列することによって透過する光の量を調節する表示装置である。
【０００３】
このような液晶表示装置の一つの基板には薄膜トランジスタが形成されているが、これは電極に印加される電圧をスイッチングする役割を果たす。
薄膜トランジスタが形成される基板には多数の信号線、つまり多数のゲート線及びデータ線が各々行方向と列方向とに形成されている。ゲート線とデータ線との交差で定義される画素領域には画素電極が形成されており、薄膜トランジスタはゲート線を通じて伝達される走査信号に従ってデータ線を通じて伝達される画像信号を制御して画素電極に送る。画素と画素を囲む配線との集合からなる表示領域の外にはゲート線とデータ線とに各々連結されている多数のゲートパッド及びデータパッドが形成されており、これらのパッドは外部駆動集積回路と直接連結されて、外部からの走査信号及び画像信号の印加を受けて走査信号及び画像信号を該当する信号線に伝達する。
【０００４】
このように、薄膜トランジスタ基板に信号を伝達するためにゲート用印刷回路基板及びデータ用印刷回路基板が基板の外側に位置している。薄膜トランジスタ基板とデータ用印刷回路基板との間にはデータ用電気的信号をデータ信号に変換してデータパッド及びデータ線に出力するデータ駆動集積回路が実装されているデータ信号伝送用フィルムが連結されている。また、薄膜トランジスタ基板とゲート用印刷回路基板との間にはゲート用電気的信号を走査信号に変換してゲートパッド及びゲート線に出力するゲート駆動集積回路が実装されているゲート信号伝送用フィルムが連結されている。
【０００５】
このようなゲート及びデータ伝送用フィルムのゲート及びデータ信号用パッドと薄膜トランジスタ基板のゲート及びデータパッドとが各々一つずつ連結されるように整列した後には、異方性導電膜（ACF ; anisotropic conducting film）を利用した熱圧着工程を通じて薄膜トランジスタ基板と連結される。
【０００６】
この時、ゲート用印刷回路基板を使用せずにデータ用印刷回路基板からゲート用電気信号を出力し、この信号をゲート信号伝送用フィルムに伝達することもできる。この場合は、ゲート用電気信号を伝達するゲート信号用配線をデータ用印刷回路基板に連結されるデータ信号伝送用フィルムに形成し、薄膜トランジスタ基板にゲート信号伝送用フィルムのゲート信号線とゲート信号用配線とを連結させ得るゲート信号用連結配線を形成して、二つの配線を連結することによってデータ用印刷回路基板から印加されるゲート用電気信号をゲート駆動集積回路に伝達する。
【０００７】
しかしながら、このような構造においては、ゲート信号線とゲート信号用配線とを連結するゲート信号用連結配線の両端のパッド部が接触特性を有するためには腐食が発生してはならず、異方性導電膜を利用した熱圧着工程が完壁に行わなければならない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、液晶表示装置において、パッド部の接触特性を確保することである。
【０００９】
、また本発明の目的は、ゲート及びデータ信号伝送用フィルムのリードを用いてゲート信号用連結配線のパッドを完全に覆ったり、リードとパッドとが連結される接触部の段差を最小化することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
さらに詳しくは、本発明による液晶表示装置には、基板の上部にゲート線、これと絶縁して交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、及び第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている。基板にはゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線と、第１接触孔において異方性導電膜を介して第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムが付着されている。また、基板にはデータ用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されており、第２接触孔において異方性導電膜を介して第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムが付着されている。そして、ゲート信号用連結配線は、基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、複数のゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線は、ゲート信号用第３配線によって隣接するゲート信号伝送フィルムのゲート信号用第２配線と連結されている。この時、第１または第２ゲート信号用リードは、少なくともリードの長さ方向に第１または第２接触孔を完全に覆うように形成されている。
【００１１】
このような液晶表示装置は、データ信号伝送用フィルムと連結されており、ゲート駆動集積回路及びデータ駆動集積回路にゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基板をさらに含む。
【００１２】
また、画素領域の絶縁膜の上部に形成されている画素電極をさらに含み、画素電極と同一の層には、第１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの間に各々位置する第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドが形成されている。
【００１３】
ここで、絶縁膜はゲート線を覆うゲート絶縁膜とその上部に形成されているデータ線を覆う保護膜とを含む。第１または第２ゲート信号用リードは少なくとも長さ方向の接触孔の一辺を完全に覆うことが好ましい。また、ゲート信号用連結配線はゲート線と同一な層にすることができ、データ線と同一な層にすることができ、ゲート線と同一な層に形成されている第１ゲート信号用連結配線とデータ線と同一な層に形成されている第２ゲート信号用連結配線とを含むことができる。この時の第１及び第２ゲート信号用連結配線は第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドを通じて連結されている。
【００１４】
また、本発明に係る液晶表示装置は、多数のゲート線、ゲート線と絶縁して交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、及び第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている基板；基板に付着されており、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線と、第１接触孔において前記異方性導電膜を介して第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルム；基板に付着されており、第２接触孔において前記異方性導電膜を介して第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルム；を含んでいる。ゲート信号用連結配線は、基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、複数のゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線は、ゲート信号用第３配線によって隣接するゲート信号伝送フィルムのゲート信号用第２配線と連結されている。そして、第１または第２ゲート信号用リードは、少なくとも、リードの長さ方向に第１または第２接触孔を完全に覆うように形成されている。
【００１５】
また、本発明に係る液晶表示装置は、多数のゲート線、ゲート線と絶縁して交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されている基板；基板に付着されており、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線と、第１接触孔において前記異方性導電膜を介して第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルム；基板に付着されており、第２接触孔において前記異方性導電膜を介して第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルム；を含んでいる。ゲート信号用連結配線は、基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、複数のゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線は、ゲート信号用第３配線によって隣接するゲート信号伝送フィルムのゲート信号用第２配線と連結されている。そして、第１または第２ゲート信号用リードは、少なくとも、リードの長さ方向に第１または第２接触孔を完全に覆うように形成されている。
【００１６】
また、画素電極と同一な層に形成されて第１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドをさらに含む場合がある。
【００１７】
また、絶縁膜は、ゲート線を覆うゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜とを含む場合がある。
また、第１又は第２ゲート信号用リードは、少なくとも、長さ方向の接触孔の一辺を完全に覆うように形成されている場合がある。
【００１８】
また、ゲート信号用連結配線は、ゲート線と同一な層に形成されており、第１及び第２接触孔は、ゲート絶縁膜及び保護膜に形成されている場合がある。
また、ゲート信号用連結配線は、データ線と同一な層に形成されており、第１及び第２接触孔は、保護膜にだけ形成されている場合がある。
【００１９】
また、ゲート信号用連結配線は、ゲート線と同一な層に形成されている第１ゲート信号用連結配線と、データ線と同一な層に形成されている第２ゲート信号用連結配線とを含む場合がある。
【００２０】
また、第１及び第２ゲート信号用連結配線は、第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドを通じて連結されている場合がある。
また、信号伝送用フィルムは、データ用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されているデータ信号伝送用フィルムである場合がある。
【００２１】
また、データ信号伝送用フィルムと連結されており、ゲート駆動集積回路及びデータ駆動集積回路にゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基板をさらに含む場合がある。
【００２２】
また、本発明に係る液晶表示装置は、多数のゲート線、ゲート線と交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線及び第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜が形成されている基板と、基板に付着されており、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線と、第１接触孔において異方性導電膜を介して第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムとを含み、ゲート信号用連結配線は、基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、複数のゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線は、ゲート信号用第３配線によって隣接するゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線と連結され、第１または第２ゲート信号用連結パッドはデータ線と同一な層に形成されている。
【００２３】
また、本発明に係る液晶表示装置は、多数のゲート線、ゲート線と交差する多数のデータ線、ゲート用電気信号を伝達し、ゲート信号用第１配線とゲート信号用第２配線の両端に各々連結されており、導電性粒子と接着剤とから成る異方性導電膜を含む第１及び第２ゲート信号用連結パッドとを含むゲート信号用連結配線、第１及び第２ゲート信号用連結パッドを露出する第１及び第２接触孔を有する絶縁膜、及び画素領域の絶縁膜の上部に形成された画素電極が形成されているが形成されている基板と、基板に付着されており、ゲート用電気信号の入力を受けてゲート線にゲート信号を出力するゲート駆動集積回路が実装されており、ゲート駆動集積回路及びゲート線との間を接続するゲート信号線と、第１接触孔において異方性導電膜を介して第１ゲート信号用連結パッドと連結されている第１ゲート信号用リードを含むゲート信号用第２配線とが形成されている複数のゲート信号伝送用フィルムとを含み、ゲート信号用連結配線は、基板に形成されたゲート信号用第３配線を含み、複数のゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線は、ゲート信号用第３配線によって隣接するゲート信号伝送用フィルムのゲート信号用第２配線と連結され、第１または第２ゲート信号用連結パッドはデータ線と同一な層に形成されている。
【００２４】
また、画素電極と同一な層に形成されて第１及び第２接触孔を覆っており、第１及び第２ゲート信号用連結パッドと第１及び第２ゲート信号用リードとの間に各々形成されている第１及び第２ゲート信号用補助連結パッドをさらに含む場合がある。
【００２５】
また、絶縁膜は、ゲート線を覆うゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜の上部のデータ線を覆う保護膜とを含む場合がある。
【００２６】
また、基板に付着されており、データ用電気信号の入力を受けてデータ線にデータ信号を出力するデータ駆動集積回路が実装されており、第２接触孔において前記異方性導電膜を介して第２ゲート信号用連結パッドと連結されている第２ゲート信号用リードを含むゲート信号用第１配線が形成されているデータ信号伝送用フィルムをさらに含む場合がある。
【００２７】
【発明の実施の形態】
それでは、添付した図面を参照して本発明による液晶表示装置の実施例に対して、本発明の属する技術分野にて通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。
【００２８】
まず、図１を参照して本発明の実施例による液晶表示装置の構造について詳細に説明する。
図１は本発明の実施例による液晶表示装置を概略的に示した配置図である。まず、図１のように絶縁基板１０の上に横方向に多数のゲート線２１が形成されており、ゲート線２１と絶縁して交差して縦方向に多数のデータ線６１が形成されている。
【００２９】
ゲート線２１とデータ線６１とが交差して多数の画素領域Ｐが定義され、このような多数の画素領域Ｐが集まって画像を表示する表示領域Ｄを成す。それぞれの画素領域Ｐにはゲート線２１及びデータ線６１と連結されている薄膜トランジスタＴＦＴが形成されており、薄膜トランジスタＴＦＴと連結されている画素電極ＰＥも形成されている。表示領域Ｄの外側（斜線部分）にはブラックマトリックス１１が形成されていて表示領域Ｄの外部に漏洩する光を遮断している。
【００３０】
基板１０の上側には液晶表示装置を駆動するためのゲート用及びデータ用電気信号を出力する印刷回路基板１００が位置しており、基板１０と印刷回路基板１００とはデータ信号伝送用フィルム１１０を通じて互いに電気的に連結されている。データ信号伝送用フィルム１１０には映像信号を出力するデータ駆動集積回路１３０が実装されており、接触部Ｃ２を通じてデータ線６１と連結されており、データ駆動集積回路１３０からデータ線６１に映像信号を伝達する多数のデータ信号線１１４が形成されている。また、データ信号伝送用フィルム１１０には多数のゲート信号用第１配線１１５が形成されている。
【００３１】
基板１０の左側には多数のゲート信号伝送用フィルム１２０が基板１０に電気的に連結されており、ゲート信号伝送用フィルム１２０には走査信号またはゲート信号を出力するゲート駆動集積回路１４０が実装されている。また、ゲート信号伝送用フィルム１２０には、多数のゲート信号用第２配線１２４、及び連結部または接触部Ｃ１を通じてゲート線２１に連結されてゲート駆動集積回路１４０からゲート線２１にゲート信号を伝達するゲート信号線１２６が形成されている。
【００３２】
表示領域Ｄの外の左側角部分にはゲート信号用連結配線１３４が形成されており、ゲート信号用連結配線１３４は、接触部Ｃ４、Ｃ３を通じてデータ信号伝送用フィルム１１０のゲート信号用第１配線１１５とゲート信号伝送用フィルム１２０のゲート信号用第２配線１２４とを電気的及び物理的に連結する。
【００３３】
また、表示領域Ｄの外の基板１０の左側にはゲート信号用第３配線１３６が形成されており、それぞれのゲート信号用第３配線１３６は、接触部またはパッド部Ｃ５、Ｃ６を通じてゲート信号伝送用フィルム１２０のゲート信号用第２配線１２４と連結されている。
【００３４】
ここで、パッド部または接触部Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４、Ｃ５、Ｃ６は、基板１０のパッドと多数の信号線１１４、１１５、６１、２１、１３４、１２４、１２６、１３６の端部分に連結されている多数のパッドを含み、これらは異方性導電膜を通じて互いに連結されている。これについては後で具体的に説明する。
【００３５】
このような構造の液晶表示装置では、印刷回路基板１００から出力されたゲート用電気的信号は図面の矢印方向のようにゲート信号用第１配線１１５を通じてゲート信号用連結配線１３４に伝達されて、ゲート信号用第２配線１２４を通じてゲート駆動集積回路１４０に入力されたりゲート信号用第３配線１３６に伝達される。その後、一部のゲート用電気的信号はゲート駆動集積回路１４０でゲート信号に変換されてゲート信号線１２６を通じてゲート線２１に出力される。つまり、印刷回路基板１００から印加されたゲート用電気的信号の一部は、ゲート信号用第１乃至第３配線１１５，１２４，１３６とゲート信号用連結配線１３４とを通じてゲート線２１に印加される。
【００３６】
一方、データ信号伝送用フィルム１１０の他に印刷回路基板１００と基板１０とを連結する信号伝送用フィルムが別途に形成されることができ、多数のゲート信号用第１配線１１５は、複数の信号伝送用フィルムに形成されることができる。
【００３７】
それでは、このような液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の構造について図２乃至図６を参照して説明する。
図２は本発明の実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板を示した配置図であり、図１におけるＰ部分の画素部及びパッド部Ｃ１、Ｃ２を拡大して示したものであり、図３及び図４は本発明の実施例による液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の構造を示した配置図であって、図１におけるゲート信号用連結配線及び接触部（またはパッド部）を拡大して示した配置図であり、図５は図２におけるV−V'線に沿って切断して示した断面図であり、図６は図３及び図４におけるVI−VI'線に沿って切断して示した断面図である。
【００３８】
まず、図２乃至図５を参照して薄膜トランジスタ基板の画素領域Ｐ及び接触部Ｃ１、Ｃ２、ゲート信号用連結配線１３４及び接触部Ｃ３、Ｃ４について説明する。ここで、ゲート信号用第３配線１３６及びパッド部Ｃ５、Ｃ６はゲート信号用連結配線１３４及び接触部Ｃ３、Ｃ４と同一な構造を有するので、これに対する具体的な説明は省略する。
【００３９】
絶縁基板１０の上にアルミニウム（Al）またはアルミニウム合金（Al alloy）、モリブデン（Mo）またはモリブデン−タングステン合金（MoW）、クロム（Cr）、タンタル（Ta）などの金属または導電体からなるゲート配線２１、２２、２３とゲート信号用連結配線１３４（図１参照）とが形成されている。
【００４０】
ゲート配線は横方向に延びている多数のゲート線２１、ゲート線２１の分枝であるゲート電極２２、ゲート線２１の端に連結されて外部から走査信号の印加を受けてゲート線２１に伝達するゲートパッド２３を含み、ゲート信号用連結配線１３４は、ゲート信号用連結線２４及びゲート信号用連結線２４の両端に連結されているゲート信号用連結パッド２６を含む。図３、図４及び図６では二つの接触部Ｃ３、Ｃ４が同一な構造を有するので、一つのみを示した。
【００４１】
ゲート配線２１、２２、２３及びゲート信号用連結配線２４、２６は単一層に形成されることもできるが、二重層以上に形成されることもできる。この場合、一つの層は抵抗の小さい物質で、他の層は他の物質との接触特性の良い物質で形成するのが好ましく、その例としてはクロムとアルミニウム合金の二重膜またはモリブデンまたはモリブデン合金とアルミニウムの二重膜が挙げられる。
【００４２】
ゲート配線２１、２２、２３及びゲート信号用連結配線２４、２６は窒化ケイ素（SiNX）などからなるゲート絶縁膜３０で覆われている。
ゲート電極２２の上部のゲート絶縁膜３０の上には非晶質ケイ素などの半導体からなる半導体層４１が形成されており、半導体層４１の上にはリンＰのようなｎ型不純物がドーピングされている非晶質ケイ素などの半導体からなる抵抗性接触層５２、５３がゲート電極２２を中心に両側に分離されて形成されている。
【００４３】
抵抗性接触層５２、５３及びゲート絶縁膜３０の上には、アルミニウムまたはアルミニウム合金、モリブデンまたはモリブデン−タングステン合金、クロム、タンタルなどの金属または導電体からなるデータ配線６１、６２、６３、６４が形成されている。
【００４４】
データ配線は、縦方向に延びている多数のデータ線６１、データ線６１の分枝であるソース電極６２、ゲート電極２１を中心にソース電極６２と対向するドレーン電極６３、データ線６１に連結されて外部から画像信号の印加を受けてデータ線６１に伝達するデータパッド６４を含む。
【００４５】
データ配線６１、６２、６３、６４及びゲート配線２１、２２、２３と同様に単一層に形成されることもできるが、二重層以上に形成されることができる。二重層以上に形成する場合には、一つの層は抵抗の小さい物質で形成し、他の層は他の物質との接触特性の良い物質で形成するのが好ましい。
【００４６】
ここで、ゲート電極２２、半導体層４１、ソース電極６２及びドレーン電極６３は薄膜トランジスタＴＦＴをなしている。
データ配線６１、６２、６３、６４とこれらで遮られない半導体層４１及びゲート絶縁膜３０の上には窒化ケイ素または有機絶縁膜からなる保護膜７０が形成されている。保護膜７０は接触部Ｃ１でゲート絶縁膜３０とともにゲートパッド２３を露出する接触孔７３を有しているだけでなく、接触部Ｃ２でデータパッド６４を露出する接触孔７４を有しており、画素部Ｐでドレーン電極６３を露出する接触孔７２を有している。また、保護膜７０はゲート絶縁膜３０とともに接触部Ｃ３、Ｃ４でゲート信号用連結パッド２６を各々露出する接触孔７６を有している。
【００４７】
保護膜７０の上にはＩＴＯ（indium tin oxide）またはＩＺＯ（indium zinc oxide）などの透明導電物質からなる画素電極８０、補助ゲートパッド８３、補助データパッド８４、ゲート信号用補助連結パッド８６が形成されている。
【００４８】
画素電極８０は、接触孔７２を介してドレーン電極６３と連結されて画像信号の伝達を受ける。補助ゲートパッド８３及び補助データパッド８４は接触孔７３、７４を介してゲートパッド２３及びデータパッド６４と各々連結されており、これらはパッド２３、６４と外部回路装置との接着性を補完し、パッド２３、６４を保護する役割を果たす。
【００４９】
ゲート信号用補助連結パッド８６は、接触孔７６を介してゲート信号用連結パッド２６と連結されている。
一方、ゲート信号伝送用フィルム１２０には絶縁性樹脂膜１２１の上部にゲート信号用リード１２２が形成されており、ゲート信号用リード１２２は導電性粒子１５２と接着剤１５１とからなる異方性導電膜を通じて補助ゲートパッド８３と物質的及び電気的に連結されている。この時、ゲート信号用リード１２２は長さ方向に接触孔７３を完全に覆うように形成されており、幅方向にも接触孔７３を完全に覆うように形成されている。ここで、ゲート信号用リード１２２は接触孔７３または補助ゲートパッド８３を完全に覆うように形成することができ、そうしないこともできる。
【００５０】
また、データ信号伝送用フィルム１１０には絶縁性樹脂膜１１１の上部にデータ信号用リード１１２が形成されており、データ信号用リード１１２は導電性粒子１５２と接着剤１５１とからなる異方性導電膜を通じて補助データパッド８４と物質的及び電気的に連結されている。この時、データ信号用リード１１２は長さ方向に接触孔７４を完全に覆うように形成されており、幅方向にも接触孔７４を完全に覆うように形成されている。ここで、データ信号用リード１１２は接触孔７４または補助データパッド８４を完全に覆うように形成することができ、そうしないこともできる。
【００５１】
また、二つの接触部Ｃ３、Ｃ４のゲート及びデータ信号伝送用フィルム１１０、１２０には絶縁性樹脂膜１１１、１２１の上部にゲート信号用連結リード１２３が形成されており、ゲート信号用連結リード１２３は導電性粒子１５２と接着剤１５１とからなる異方性導電膜を通じてゲート信号用補助連結パッド８６と各々連結されていて、ゲート信号用第１及び第２連結配線１１５、１２４（図１参照）を電気的に互いに連結している。この時、ゲート信号用連結リード１２３は長さ方向に保護膜７０及びゲート絶縁膜３０の接触孔７６を完全に覆うように形成されており、幅方向にも接触孔７６を完全に覆うように形成されている。ここで、図４のように、ゲート信号用連結リード１２３は幅方向に接触孔７６またはゲート信号用補助連結パッド８６の長さ方向の両辺のうちの少なくとも一辺だけを覆うように形成することができ、ゲート信号用連結リード１２３はゲート信号用補助連結パッド８６を完全に覆うように形成することができ、そうしないこともできる。
【００５２】
このような本発明の液晶表示装置の構造では、ゲート及びデータ信号伝送用フィルム１１０、１２０のゲート信号用連結リード１２３または異方性導電膜を用いてゲート信号用補助連結パッド８６の上部の接触孔７６を完全に覆うように形成することによってパッド部Ｃ３、Ｃ４で発生する腐食を防止することができ、接着力を補強することができるので、パッド部Ｃ３、Ｃ４の接触特性を確保することができる。
【００５３】
一方、接触部Ｃ３、Ｃ４の接触特性を確保するために接触孔７６における段差を最小化することができ、このためにはゲート信号用連結配線１３４（図１参照）におけるゲート信号用連結線をデータ配線６１、６２、６３、６４と同一な層に形成することができ、混用して形成することもできる。以下では、図面を参照して具体的に説明する。
【００５４】
図７ａ乃至図８ｂは本発明の他の実施例によるゲート信号用連結配線の構造を示した図である。
図７ａ乃至図８ｂのように、大低の構造は図３、図４及び図６と同一である。
【００５５】
しかしながら、図７ａ及び図７ｂの場合には、ゲート信号用連結線６５とこれと連結されたゲート信号用連結パッド６６とがゲート絶縁膜３０の上部のデータ配線６１、６２、６３、６４と同一な層に形成されており、ゲート信号用連結パッド６６を露出する接触孔７５は保護膜７０のみに形成されている。この時、接触孔７５はゲート信号用連結パッド６６より小さく形成するのが好ましい。
【００５６】
また、図８ａ及び図８ｂの場合には、ゲート信号用連結線２４、６５が二重であり、それぞれゲート配線２１、２２、２３及びデータ配線６１、６２、６３、６４と同一な層に形成されており、ゲート絶縁膜３０及び保護膜７０はゲート信号用連結パッド２６を露出する接触孔７６を有しており、保護膜７０はゲート信号用連結パッド６６を露出する接触孔７５を有している。ゲート信号用補助連結パッド８６は接触孔７５、７６を介してゲート信号用連結パッド２６、６６と連結されていて、ゲート信号用連結線２４、６５を互いに電気的及び物理的に連結している。
【００５７】
このような場合には段差による接触不良を減らすと同時にゲート信号用連結線２４、６５の断線を補完することができ、配線抵抗を最小化することができる。この時、上部のゲート信号用連結パッド６６は下部のゲート信号用連結パッド２６の上部まで延びることができ、この場合には前で言及した効果のみならずパッド部Ｃ３、Ｃ４に流入する湿気を遮断することもできる。
【００５８】
このように、パッド２６、６６を二重に形成してパッド部Ｃ３、Ｃ４を補強する方法は、他のパッド部Ｃ１、Ｃ２、Ｃ５、Ｃ６にも同一に適用することができ、図７ａ乃至図８ｂのような構造は多数のゲート信号用連結配線１３４の中から選択的に適用することができる。
【００５９】
このような本発明の実施例による液晶表示装置における薄膜トランジスタ基板の製造方法を、図２及び図８ｂを参照して説明すると次のとおりである。
まず、絶縁基板１０の上にゲート配線用導電体層を蒸着し、パターニングしてゲート配線２１、２２、２３及びゲート信号用連結配線２４、２６を形成する。続いて、ゲート絶縁膜３０、非晶質ケイ素層及びｎ型不純物がドーピングされた非晶質ケイ素層を順次に蒸着し、上部の二つの層をパターニングしてゲート電極２２の上部に半導体層４１及び抵抗性接触層５１を形成する。この時、ゲート信号用連結線２４の上部にも半導体パターンを残すことができる。次に、データ配線用導電体層を蒸着し、パターニングしてデータ配線６１、６２、６３、６４を形成する。この時、図７ａ乃至図８ｂのようにゲート信号用連結配線６５、６６をともに形成することができる。続いて、ソース電極６２及びドレーン電極６３の間に露出された抵抗性接触層５１を除去して二つの部分５２、５３に分離し、半導体層４１を露出する。その後、保護膜７０を蒸着し、パターニングして接触孔７２、７３、７４、７５、７６を形成し、続いて、透明導電物質を蒸着し、パターニングして画素電極８０、補助ゲートパッド８３、補助データパッド８４、ゲート信号用補助連結パッド８６を形成する。
【００６０】
このような液晶表示装置用薄膜トランジスタ基板の製造方法では半導体層４１とデータ配線６１、６２、６３、６４を異なるエッチング工程で形成したが、一つのエッチング工程で形成することもできる。このような製造方法では部分的に異なる透過率を有するマスクを用いて中間の厚さを有する感光膜パターンを形成し、これをエッチングマスクとして用いて半導体層４１とデータ配線６１、６２、６３、６４とをともにパターニングする。この時、中間の厚さを有する部分はソース電極６２とドレーン電極６３との間のチャンネル部が形成される部分に位置するように形成し、厚い厚さを有する部分はデータ配線６１、６２、６３、６４が形成される部分に位置するように形成した後でパターニングする。このような方法で作られた構造では、データ配線６１、６２、６３、６４及びゲート信号用配線６５、６６の下部に抵抗性接触層パターンと半導体パターンとが形成され、抵抗性接触層５２、５３もデータ配線６１、６２、６３、６４の模様と同様形成される。また、半導体層４１も薄膜トランジスタのチャンネル部、つまり、ソース電極６２とドレーン電極６３との間の部分を除いてはデータ配線６１、６２、６３、６４の模様と同様に形成される。
【００６１】
【発明の効果】
このように、本発明では接触部をリードを用いて覆ったり接触部の段差を最小化し、ゲート信号用連結配線を二重に形成して配線の断線を防止したり湿気が流入することを防止することができるので、接触部の接触特性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による液晶表示装置を概略的に示した配置図。
【図２】図１における画素部とパッド部とをともに拡大して示した図。
【図３】図１におけるゲート信号用連結配線のＣ３付近を拡大して示したものである。
【図４】図１におけるゲート信号用連結配線のＣ４付近を拡大して示したものである。
【図５】図２におけるV−V'線に沿った断面図。
【図６】図３及び図４におけるVI−VI'線に沿って切断して示した断面図。
【図７ａ】本発明の他の実施例によるゲート信号用連結配線を示した図（その１）。
【図７ｂ】図７ａのVIIｂ−VIIｂ'線に沿った断面図。
【図８ａ】本発明の他の実施例によるゲート信号用連結配線を示した図（その２）。
【図８ｂ】図８ａのVIII−VIII'線に沿った断面図。
【符号の説明】
１０  絶縁基板
１１  ブラックマトリックス
２１  ゲート線
２２  ゲート電極
２３  ゲートパッド
２４  ゲート信号用連結線
２６、６６  ゲート信号用連結パッド
３０  ゲート絶縁膜
４１  半導体層
５１、５２、５３  抵抗性接触層
６１  データ線
６２  ソース電極
６３  ドレイン電極
６４  データパッド
６５  ゲート信号用連結線
７０  保護膜
７２、７３、７４、７５、７６  接触孔
８０  画素電極
８３  補助ゲートパッド
８４  補助データパッド
８６  ゲート信号用補助連結パッド
１００  印刷回路基板
１１０  データ信号伝送用フィルム
１１１、１２１  絶縁性樹脂膜
１１２、１２２  ゲート信号用リード
１１４  データ信号線
１１５  ゲート信号用第１配線
１２０  ゲート信号伝送用フィルム
１２３  ゲート信号用連結パッド
１２４  ゲート信号用第２配線
１２６  ゲート信号線
１３０  データ駆動集積回路
１３４  ゲート信号用連結配線
１３６  ゲート信号用第３配線
１４０  ゲート駆動集積回路
１５１  接着剤
１５２  導電性
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図８ａ】
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【図８ｂ】
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