(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を発生する回転ターゲットが固定された回転軸と、円筒状部分および底部を有し、前記底部に前記回転軸が連結された有底円筒状の第１回転体と、この第１回転体に連結され、前記回転軸が回転する軸と同じ軸上に位置した第２回転体と、前記第１回転体と前記第２回転体間に位置する固定体と、この固定体と前記第２回転体間に配置された、同心の２つの円筒部材が間にある２つのベアリングと、前記第２回転体の先端に取り付けられ、前記２つのベアリングの内輪及び内側に位置する前記円筒部材を前記第２回転体の径大部との間で挟み込む形で支持するナットと、前記２つのベアリングの外輪及び外側に位置する前記円筒部材を、前記固定体の段部との間で挟み込む形で前記固定体に固定する止めねじとを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１回転体の円筒状部分に前記止めねじを締め付ける貫通した開口を設けたことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
第１回転体と第２回転体がねじで固定され、前記第１回転体および前記第２回転体それぞれとねじとがろう接されている請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
開口が、第１回転体が回転する回転軸に対して対称の位置に複数設けられた請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項４】
貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し、Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体の回転バランスを取る工程と、前記第１回転体に連結される第２回転体の回転バランスを取る工程と、回転バランスが取られた前記第１回転体、および回転バランスが取られた前記第２回転体、および前記回転軸を一体化する工程と、前記第１回転体および前記第２回転体と一体化された前記回転軸に前記回転ターゲットを固定する工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある同心の２つの円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより、前記２つのベアリングの内輪及び内側に位置する前記円筒部材を前記第２回転体の径大部との間で挟み込む形に支持し、その後、前記２つのベアリング及び同心の２つの前記円筒部材を取り付けた前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリングの外輪及び外側に位置する前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける工程とからなる回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項５】
Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸、および貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し前記回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体、および前記第１回転体に連結される第２回転体を一体化する工程と、一体化された前記回転軸および前記第１回転体および前記第２回転体の回転バランスを取る工程と、前記第１回転体および前記第２回転体と一体化して回転バランスが取られた前記回転軸に回転ターゲットを固定する工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある同心の２つの円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより、前記２つのベアリングの内輪及び内側に位置する前記円筒部材を前記第２回転体の径大部との間で挟み込む形に支持し、その後、前記２つのベアリング及び同心の２つの前記円筒部材を取り付けた前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリングの外輪及び外側に位置する前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける工程とからなる回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項６】
第１回転体と第２回転体の一体化をねじによる固定とろう接で行い、その際、前記第１回転体および前記第２回転体それぞれと前記ねじとを同時にろう接する請求項５記載の回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【請求項７】
Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸、および貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し前記回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体、および前記第１回転体に連結される第２回転体を一体化する第１工程と、前記回転軸に前記回転ターゲットを固定する第２工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある同心の２つの円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより、前記２つのベアリングの内輪及び内側に位置する前記円筒部材を前記第２回転体の径大部との間で挟み込む形に支持し、その後、前記２つのベアリング及び同心の２つの前記円筒部材を取り付けた前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリングの外輪及び外側に位置する前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける第３工程とからなる回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転ターゲットからＸ線を発生する回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の回転陽極型Ｘ線管について図５を参照して説明する。図５は、回転陽極型Ｘ線管の回転ターゲット部分および回転ターゲットを回転させる回転機構部分を抜き出して示している。符号５１は、回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器で、その一部が図示されている。真空容器５１内に回転ターゲット５２が配置されている。回転ターゲット５２は回転軸５３にねじ５４で固定され、回転軸５３は第１回転体５５に連結されている。第１回転体５５は有底円筒状をしており、第１回転体５５の底部５５ａ中央の透孔部分に回転軸５３がねじ込まれ連結されている。
【０００３】
また、第１回転体５５内部の底部５５ａに第２回転体５６が固定されている。第２回転体５６は、回転軸５３が回転する軸と同じ軸上で回転し、鍔状に広がった上端部５６ａが第１回転体５５の底部５５ａにねじ５７で固定されている。また、第１回転体５５とねじ５７は、例えば符号Ａで示すようにねじ５７の頭の部分が溶接されている。
【０００４】
第１回転体５５の円筒状部分５５ｂの内部で、第１回転体の５５と第２回転体５６で挟まれた空間に固定体５８の筒状部分が配置されている。固定体５８の下方は円柱状に構成されている。また、固定体５８と第２回転体５６間に、所定の間隔でベアリング５９ａ、５９ｂが配置されている。ベアリング５９ａ、５９ｂは同心の２つの円筒部材６０ａ、６０ｂで固定され、図の下方に位置するベアリング６０ｂは固定体５８の段部５８ａに接触している。
【０００５】
上記した構成の回転陽極型Ｘ線管において、外部から回転磁界が加えられと、第１回転体５５および第２回転体５６が回転し、これらに連結された回転ターゲット５２が回転する構成になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来の回転陽極型Ｘ線管は、その陽極部分は、回転ターゲット５２や回転軸５３、第１回転体５５などから構成されている。この場合、回転ターゲット５２を固定する回転軸５３には、回転ターゲット５２の熱が直接伝わるため、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、またはこれらの合金など高融点金属が使用されている。また、第１回転体５５の底部５５ａにはＦｅ（鉄）やＦｅ系金属が使用されている。底部５５ａから連続する第１回転体５５の円筒状部分５５ｂは、例えば同心状の二層構造になっており、内層にはＦｅやＦｅ系金属が使用され、外層にはＣｕ（銅）やＣｕ合金が使用されている。
【０００７】
ところで、第１回転体５５の底部５５ａには、第２回転体５６との接合のため、あるいは、第１回転体５５と第２回転体５６を固定するねじ５７を第１回転体５５や第２回転体５６と溶接するために、ＦｅやＦｅ系金属が使用されている。ＦｅやＦｅ系金属は熱伝導率が低いため、回転軸５３の熱が第１回転体５５の円筒状部分５５ｂに伝わりにくく、放熱特性を低下させる。また、回転軸５３の熱が、第２回転体５６を経てベアリング５９ａに流れ、ベアリング５９ａの温度を上昇させ回転性能を劣化させる。
【０００８】
また、回転軸５３と第１回転体５５の接合部分、および、第１回転体５５の底部５５ａと円筒状部分５５ｂとの接合部分の温度が高くなり、接合部分の強度が劣化する。また、これらの接合部分には、ＣｕやＡｇ（銀）を主としたろう材を使用したろう接が行われている。このため、温度が上昇すると、ろう材の蒸気圧特性から蒸発劣化を起こすことがある。
【０００９】
上記したように、従来の回転陽極型Ｘ線管は、放熱特性が低く、また、回転性能が劣化し、接合部分の強度が弱くなるなど信頼性に欠ける場合があった。
【００１０】
本発明は、上記した欠点を解決するもので、信頼性を向上した回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明の回転陽極型Ｘ線管は、Ｘ線を発生する回転ターゲットが固定された回転軸と、円筒状部分および底部を有し、前記底部に前記回転軸が連結された有底円筒状の第１回転体と、この第１回転体に連結され、前記回転軸が回転する軸と同じ軸上に位置した第２回転体と、前記第１回転体と前記第２回転体間に位置する固定体と、この固定体と前記第２回転体間に配置された、円筒部材が間にある２つのベアリングと、前記第２回転体の先端に取り付けられ、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を前記第２回転体に固定するナットと、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を、前記固定体の段部との間で挟み込む形で前記固定体に固定する止めねじとを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記第１回転体の円筒状部分に前記止めねじを締め付ける貫通した開口を設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、Ｘ線を発生する回転ターゲットが固定された回転軸と、この回転軸が連結された有底円筒状の第１回転体と、この第１回転体に連結された第２回転体と、前記第１回転体と前記第２回転体間に位置する固定体とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、前記回転軸と前記第１回転体との連結、および、前記第１回転体と前記第２回転体との連結を、それぞれろう材としてＮｉ合金を使用したろう接で行ったことを特徴としている。
【００１３】
また、第１回転体と第２回転体がねじで固定され、前記第１回転体および前記第２回転体それぞれとねじとがろう接されていることを特徴としている。
【００１４】
また、第２回転体が回転する軸に対し、第１回転体の振れまわりを２００μｍ以下にしたことを特徴としている。
【００１６】
また、開口が、第１回転体が回転する軸に対して対象の位置に複数設けられたことを特徴としている。
【００１７】
また、本発明の回転陽極型Ｘ線管の製造方法は、貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し、Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体の回転バランスを取る工程と、前記第１回転体に連結される第２回転体の回転バランスを取る工程と、回転バランスが取られた前記第１回転体、および回転バランスが取られた前記第２回転体、および前記回転軸を一体化する工程と、前記第１回転体および前記第２回転体と一体化された前記回転軸に前記回転ターゲットを固定する工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより固定し、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を固定した前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける工程とからなっている。
【００１８】
また、本発明の回転陽極型Ｘ線管の製造方法は、Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸、および貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し前記回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体、および前記第１回転体に連結される第２回転体を一体化する工程と、一体化された前記回転軸および前記第１回転体および前記第２回転体の回転バランスを取る工程と、前記第１回転体および前記第２回転体と一体化して回転バランスが取られた前記回転軸に回転ターゲットを固定する工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより固定し、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を固定した前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける工程とからなっている。
【００１９】
また、本発明の回転陽極型Ｘ線管の製造方法は、Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸、および貫通する開口を設けた円筒状部分および底部を有し前記回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体、および前記第１回転体に連結される第２回転体を一体化する第１工程と、前記回転軸に前記回転ターゲットを固定する第２工程と、前記第２回転体に、２つのベアリングとこの２つのベアリング間にある円筒部材とを取り付け、その後、前記第２回転体の先端にナットを取り付けることにより固定し、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を固定した前記第２回転体と前記第１回転体との間に固定体を組み込み、その後、前記第１回転体の開口を利用して、前記固定体の段部と止めねじとで、前記２つのベアリング及び前記円筒部材を、挟み込む形で前記固定体に固定するように、前記止めねじを締め付ける第３工程とからなっている。
【００２０】
また、第１回転体と第２回転体との一体化の前に、前記第１回転体と前記第２回転体をねじで固定する工程と、前記第１回転体と前記第２回転体をろう接で一体化し、その際、前記第１回転体および前記第２回転体それぞれとねじとを同時にろう接する工程とを設けたことを特徴としている。
【００２１】
上記した構成によれば、第１回転体をＣｕあるいはＣｕ合金で形成し、回転軸と第１回転体との連結、および第１回転体と第２回転体との連結を、それぞれろう接で行っている。この場合、回転機構を構成する回転軸や第１回転体、第２回転体がろう接で強固に固着され、回転等に対する強度が向上する。また、回転軸が連結される第１回転体がＣｕあるいはＣｕ合金で形成されているため、放熱特性が向上する。
【００２２】
また、回転軸や第１回転体、第２回転体間をろう接するろう材としてＮｉ合金を使用している。この場合、Ｎｉ合金は高温での強度が強く、蒸気圧特性が優れているため、十分な接合強度を得ることができる。なお、上記した特性を考慮した場合、ろう材としてはＮｉ合金のうち、例えばＮｉ−Ｐ合金が有効である。
【００２３】
また、第１回転体と第２回転体をろう接する際に、予め、第１回転体と第２回転体をねじで固定している。この場合、第１回転体と第２回転体を精度よくろう接することができる。そして、第２回転体が回転する軸に対し、第１回転体の振れまわりを２００μｍ以下にすることによって、その後、空気中において回転バランスを取る必要がなくなる。したがって、固定潤滑剤の酸化を防げ、回転機構の信頼性や寿命を向上できる。
【００２４】
また、第１回転体の円筒状部分に、その円筒状部分の壁を貫通する開口を、例えば、第１回転体が回転する軸に対して対称の位置に複数設けている。この場合、開口を利用して、回転機構を構成するベアリングの止めねじを締め付けることができ、締め付け作業が簡単になる。また、開口を通して、ベアリングの熱を放出できるため、温度上昇による回転劣化を防止できる。
【００２５】
また、Ｘ線を発生する回転ターゲットを固定するための回転軸が連結される有底円筒状の第１回転体の回転バランスを取り、あるいは、第１回転体に接合される第２回転体の回転バランスを取り、あるいは、回転軸や第１回転体、第２回転体を一体化した状態で回転バランスを取っている。そして、その後、回転軸や第１回転体、第２回転体をそれぞれ一体化し、あるいは、固定体やベアリングなどに組み込んでいる。この場合は、ろう接後の再加工などの工程が必要でなくなるため、組み立てが簡素化する。また、空気中での回転バランスの調整が必要でなくなる。したがって、固体潤滑剤の酸化を防止でき、潤滑特性の低下という問題が解消される。また、回転機構の信頼性や寿命が向上する。
【００２６】
また、第１回転体と第２回転体をねじで固定する場合、第１回転体と第２回転体をろう接する際に、第１回転体および第２回転体それぞれとねじとを同時にろう接している。この場合、これらのろう接を同時に行うため、ろう接時間が短縮する。
【００２７】
上記したように、この発明によれば、放熱特性や機械的強度、回転特性などの向上で、信頼性の高い回転陽極Ｘ線管を実現できる。
【００２８】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図１を参照して説明する。
【００２９】
符号１１は、Ｘ線管を構成する真空容器で、真空容器１１内の一端に電子ビームを発生する陰極１２が配置され、真空容器の他端に陽極１３が配置されている。陽極１３の先端部分には、Ｘ線を発生する回転ターゲット１４が設けられ、回転ターゲット１４は回転軸１５を介して回転機構１６に連結されている。また、真空容器１１外の陽極１３近くにステータ１７が配置されている。ステータ１７は回転磁界を発生し、これによって回転機構１５を回転させ、さらに回転ターゲット１４を回転させる。
【００３０】
ここで、回転ターゲット１４および回転機構１６部分の構造について図２を参照して説明する。図２では、図１に対応する部分には同一の符号を付してある。符号１１は、Ｘ線管を構成する真空容器で、図ではその一部が示されている。真空容器１１内に回転ターゲット１４が配置され、回転ターゲット１４は回転軸１５にねじ２１で固定されている。また、回転軸１５は第１回転体２２に連結されている。
【００３１】
第１回転体２２は有底円筒状をしており、全体がＣｕあるいはＣｕ合金で形成されている。第１回転体２２の底部２２ａ中央の透孔部分に回転軸１５がねじ込まれ、さらにろう接されている。第１回転体２２の円筒状部分２２ｂには、その壁部分を貫通するように開口２３が設けられている。開口２３は第１回転体２２の回転バランスを考慮して、第１回転体２２の周囲に軸と対称に複数個、例えば、１８０度間隔に２個あるいは９０度間隔に４個と偶数設けている。また、第１回転体２２内部の底部２２ａに第２回転体２４が固定されている。第２回転体２４は、回転軸１５が回転する軸と同じ軸上に位置し、筒状部分から鍔状に広がった上端部２４ａが第１回転体２２の底部２２ａにねじ２５で固定され、さらにろう接されている。なお、第１回転体２２および第２回転体２４それぞれとねじ２５はろう接されている。
【００３２】
第１回転体２２の筒状部分２２ｂの内部で、第１回転体２２と第２回転体２４間の空間に固定体２６の筒状部分が配置されている。固定体２６の下方は円柱状に構成されている。そして、固定体２６と第２回転体２４の間に、所定の間隔でベアリング２７ａ、２７ｂが配置されている。ベアリング２７ａ、２７ｂ間は同心の２つの円筒部材２８ａ、２８ｂで固定され、図の下方に位置するベアリング２７ｂは固定体２６の段部２６ａに接触している。なお、符号２９は、ベアリング２７ａ、２７ｂを止めるねじである。
【００３３】
ここで、上記した構造の回転陽極型Ｘ線管において、回転軸１５や第１回転体２２、第２回転体２４を接合する方法について図３を参照して説明する。なお、図３では、図２に対応する部分には同一の符号を付してある。
【００３４】
回転軸１５は、例えば、高融点金属のＭｏ、Ｗ、または、ＭｏやＷの合金が使用され、第１回転体２２の底部２２ａ中央の透孔部分にねじ込まれている。なお、第１回転体２２や、第１回転体２２に連結される第２回転体２４は、予め、独自に回転バランスが調整されている。回転バランスを調整した後に、第１回転体２２と第２回転体２４を複数のねじ２５で固定している。
【００３５】
そして、符号Ａで示すように回転軸１５と第１回転体２２間の垂直方向の環状接合部分、また、符号Ｂで示すように、ねじ２５の周囲を含む第１回転体２２と第２回転体２４間の水平方向の環状接合部分、また、符号Ｃで示すように第１回転体２２に接するねじ２５の頭の周囲に、それぞれＮｉ合金の同じろう材を配置し、各部分を同時にろう接する。この場合、ろう材としてはＮｉ−Ｐ合金が高温で軟化しにくいため適している。
【００３６】
上記した接合方法によれば、第１回転体２２と第２回転体２４はろう接する前に、予め、ねじ２５で仮固定されている。このため、第１回転体２２と第２回転体２４を精度よくろう接できる。また、回転軸１５は第１回転体２２と直接ろう接されているため、回転軸１５の熱はすみやかに第１回転体２２に伝わり、回転軸１５の放熱特性がよくなる。また、第１回転体２２や第２回転体２４は、予め、独自に回転バランスを調整している。したがって、第１回転体２２や第２回転体２４はすべて最終加工が終了した状態になっている。このため、第１回転体２２と第２回転体２４をねじ２５で仮止めすれば、精度のよいろう接が行え、第２回転体が回転する軸に対する第１回転体の軸の振れ、いわゆる軸の振れまわりを２００μｍ以下にできる。このような場合、ろう接後は、再加工せずに回転体として組み上げることができる。また、回転機構を組み上げた後に、空気中での回転調整作業がなくなる。したがって、ベアリングなどに通常使用される固体潤滑剤の劣化がなくなり、回転特性を向上できる。
【００３７】
上記した実施の形態では、第１回転体２２や第２回転体２４を、一体化する前に、予め、独自に回転バランスを調整している。しかし、図４に示すように、回転軸１５や第１回転体２２、第２回転体２４をそれぞれろう接によって一体化し、さらに、回転軸１５にターゲット１４を固定し、この状態で回転バランスを取るようにすることもできる。そして、その後、固定体と組み合わせ、また、ベアリングを組み込み回転機構に組み上げるようにする。
たとえば図２に示すように、第２回転体２４に、２つのベアリング２７ａ、２７ｂとこの２つのベアリング２７ａ、２７ｂの間にある同心の２つの円筒部材２８ａ、２８ｂを取り付け、その後、第２回転体２４の先端にナット３０を取り付けることにより支持する。
２つのベアリング２７ａ、２７ｂは内輪ａ、外輪ｂおよび球体ｃを有し、２つのベアリング２７ａ、２７ｂの内輪ａ及び内側に位置する円筒部材２８ａが、第２回転体２４の先端側よりも径が大きい径大部２４１とナット３０との間で挟み込まれる形で支持される。
その後、２つのベアリング２７ａ、２７ｂ及び円筒部材２８ａ、２８ｂを取り付けた第２回転体２４と第１回転体２２との間に固定体２６を組み込む。その後、第１回転体２２の開口２３を利用して、固定体２６の段部２６ａと止めねじ２９とで、２つのベアリング２７ａ、２７ｂの外輪ｂ及び外側に位置する円筒部材２８ｂを、挟み込む形で固定体２６に固定するように、止めねじ２９を締め付ける。
この場合も、回転機構を組み上げた後に、空気中での回転調整作業が必要とされない。したがって、ベアリングなどに使用される固体潤滑剤の劣化がなく、回転特性が向上する。なお、図４には、図１ないし図３に対応する部分には同一の符号が付してある。
【００３８】
【発明の効果】
本発明によれば、信頼性を向上した回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を説明する概略の構造図である。
【図２】本発明の実施の形態を説明する概略の断面図である。
【図３】本発明の実施の形態を説明する概略の断面図で、回転機構の組み立て方法を説明する図である。
【図４】本発明の他の実施形態を説明する概略の断面図である。
【図５】従来例を説明する概略の構造図である。
【符号の説明】
１１…真空容器
１２…陰極
１３…陽極
１４…回転ターゲット
１５…回転軸
１６…回転機構
１７…ステータ
２１…ねじ
２２…第１回転体
２２ａ…第１回転体の底部
２２ｂ…第１回転体の筒状部分
２３…開口
２４…第２回転体
２４ａ…第２回転体の鍔状部分
２５…ねじ
２６…固定体
２７ａ、２７ｂ…ベアリング
【図１】
0004791615.tif 000002
【図２】
0004791615.tif 000003
【図３】
0004791615.tif 000004
【図４】
0004791615.tif 000005
【図５】
0004791615.tif 000006