(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の本体部と、
前記本体部の一端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第１フィンガと、
前記本体部の他端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第２フィンガとを備え、
第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に突出する突出部を有し、
第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フィンガ及び第２フィンガの先端よりも前記本体部に近い位置に設けられるＲＦコンタクト。
【請求項２】
第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に向かって斜め方向に延びる請求項１に記載のＲＦコンタクト。
【請求項３】
第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、前記本体部から延びる基部と、前記基部に対して軸直角方向外側に折り曲げられた先端部とを備え、第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フィンガ及び第２フィンガの前記先端部に設けられている請求項１又は２に記載のＲＦコンタクト。
【請求項４】
第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、接続部を有する環状切り抜き部を軸直角方向外側に向かって押し出すことによって形成される請求項１〜３の何れか１つに記載のＲＦコンタクト。
【請求項５】
筒状の蛇腹部と、
前記蛇腹部の両端の設けられた筒状の第１フランジ及び第２フランジを有するベローズと、
請求項１〜４の何れか１つのＲＦコンタクトとを備えるＲＦコンタクト付きベローズであって、
前記ＲＦコンタクトは、前記第１フランジ及び第２フランジを有するベローズの内部に配置され、
第１フランジ及び第２フランジは、それぞれ、軸直角方向内側に突出する突出部を備え、
第１フィンガの前記先端部と第１フィンガの前記突出部の少なくとも一方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第１フィンガに加わるように第１フランジの内壁に接触し、
第２フィンガの前記先端部と第２フィンガの前記突出部の少なくとも一方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第２フィンガに加わるように第２フランジの内壁に接触し、
第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フランジ及び第２フラン
ジの前記突出部よりも軸方向外側に配置され且つ軸方向から見て第１フランジ及び第２フ
ランジの前記突出部と重なっているＲＦコンタクト付きベローズ。
【請求項６】
第１フィンガの前記先端部と第１フィンガの前記突出部の両方は、第１フランジの前記内壁に接触し、
第２フィンガの前記先端部と第２フィンガの前記突出部の両方は、第２フランジの前記内壁に接触する請求項５に記載のＲＦコンタクト付きベローズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＲＦコンタクトと、このＲＦコンタクトを有するベローズに関する。
【背景技術】
【０００２】
加速器等に使用されるベローズは、一般に、筒状の蛇腹部（山谷の繰り返しがある部位）と、前記蛇腹部の両端の設けられた一対のフランジを有している。また、ベローズ内部には、ＲＦコンタクトと呼ばれる部品が設置される。ＲＦコンタクトは、蛇腹部をビームから見て滑らかにつなぎ、高調波成分の発生を防ぎ、ビームインピーダンスを下げる役割を持つ。
【０００３】
従来のＲＦコンタクトでは、筒状の本体部の一端をベローズの一方のフランジに固定し、筒状の本体部の他端に設けられたフィンガをバネ力によってベローズの他方のフランジに接触させていた（例えば、特許文献１〜５を参照）。
【特許文献１】特開２００３−２０２０７８号公報
【特許文献２】特開２００４−２８２０９号公報
【特許文献３】特開２００４−５５３９９号公報
【特許文献４】特開平６−６８９８７号公報
【特許文献５】登録実用新案第３１０１１７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のＲＦコンタクトでは、ＲＦコンタクトの本体部の一端をベローズのフランジに固定する必要であるので、小型小径ベローズへＲＦコンタクトを取り付けることが困難であった。また、軸直角方向の変位に対し、片持ち構造のフィンガが追従するため、フィンガ内で発生する応力がバネ限界を超えやすかった。そのため、バネの接触力を大きく取れなかった。
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、小型小径のベローズ内への設置が容易であり且つベローズの軸直角方向の変位に対する許容量が大きいＲＦコンタクトを提供するものである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明のＲＦコンタクトは、筒状の本体部と、前記本体部の一端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第１フィンガと、前記本体部の他端から延び且つ前記本体部の外周に沿って配置された複数の第２フィンガとを備え、第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に突出する突出部を有する。
【０００７】
本発明のＲＦコンタクトは、本体部の両端にそれぞれ第１及び第２フィンガを有している。本発明のＲＦコンタクトをベローズ内に設置する場合、第１及び第２フィンガの何れもベローズに固定する必要がない。従って、本発明のＲＦコンタクトは、小型小径のベローズ内への設置が容易である。
【０００８】
ＲＦコンタクトの両端を何れも固定しない場合、ＲＦコンタクトがベローズから抜け落ちることが懸念されるが、本発明のＲＦコンタクトでは、第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に突出する突出部を有しているので、軸直角方向内側に突出する突出部をベローズのフランジに設けることによって、ＲＦコンタクトの軸方向の移動が制限され、ＲＦコンタクトがベローズから抜け落ちることが防止される。
【０００９】
また、本発明のＲＦコンタクトは、ベローズの管内で自由に移動・回転・傾くことができる。このため、ベローズが軸直角方向に変位した場合でも、（１）ある特定のフィンガ内に大きな応力が発生することなく、応力が全体に分散され、（２）ベローズのフランジの内面へのフィンガの接触力が比較的均一になるためフィンガの浮き上がりが抑制され、（３）フィンガ同士の重なりが起きにくい。従って、ベローズの軸直角方向の変位に対する許容量が大きくなる。
【００１０】
なお、本発明のＲＦコンタクトは、ベローズ内に設置して用いるのが一般的であるが、これ以外にも利用可能である。例えば、真空槽の内部でベローズを用いないで配管と配管を接続する場合、配管と配管との接続部でのビームインピーダンスを下げるために、接続部に本発明のＲＦコンタクトを配置することができる。この場合、軸直角方向内側に突出する突出部を配管に設けることによってＲＦコンタクトの軸方向の移動を制限する。
以下、本発明の種々の実施形態を例示する。
【００１１】
第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、軸直角方向外側に向かって斜め方向に延びてもよい。
【００１２】
第１フィンガ及び第２フィンガは、それぞれ、前記本体部から延びる基部と、前記基部に対して軸直角方向外側に折り曲げられた先端部とを備え、第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フィンガ及び第２フィンガの前記先端部に設けられていてもよい。
【００１３】
第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フィンガ及び第２フィンガの先端よりも前記本体部に近い位置に設けられてもよい。
【００１４】
第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、接続部を有する環状切り抜き部を軸直角方向外側に向かって押し出すことによって形成されてもよい。
【００１５】
また、本発明は、筒状の蛇腹部と、前記蛇腹部の両端の設けられた筒状の第１フランジ及び第２フランジを有するベローズと、上記記載のＲＦコンタクトとを備えるＲＦコンタクト付きベローズであって、前記ＲＦコンタクトは、前記ベローズの内部に配置され、第１フランジ及び第２フランジは、それぞれ、軸直角方向内側に突出する突出部を備え、第１フィンガの前記先端と前記突出部の少なくとも一方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第１フィンガに加わるように第１フランジの内壁に接触し、第２フィンガの前記先端と前記突出部の少なくとも一方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第２フィンガに加わるように第２フランジの内壁に接触し、第１フィンガ及び第２フィンガの前記突出部は、それぞれ、第１フランジ及び第２フランジの前記突出部よりも軸方向外側に配置され且つ軸方向から見て第１フランジ及び第２フランジの前記突出部と重なっているＲＦコンタクト付きベローズも提供する。
【００１６】
また、第１フィンガの前記先端と前記突出部の両方は、第１フランジの前記内壁に接触し、第２フィンガの前記先端と前記突出部の両方は、第２フランジの前記内壁に接触していてもよい。
【００１７】
ここで示した種々の実施形態等は、互いに組み合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下，本発明の実施形態を図面を用いて説明する。図面や以下の記述中で示す内容は，例示であって，本発明の範囲は，図面や以下の記述中で示すものに限定されない。また、
【００１９】
１．ＲＦコンタクト
図１（ａ）及び（ｂ）、図２、図３（ａ）及び（ｂ），図４（ａ）及び（ｂ）を用いて、本発明の一実施形態のＲＦコンタクトについて説明する。図１（ａ）は、本実施形態のＲＦコンタクトの構造を示す斜視図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＲＦコンタクトを第１フィンガ側から見た側面図である。図２は、図１（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である。図３（ａ）及び図４（ａ）は、第１フィンガ又は第２フィンガの先端部の平面図であり、図３（ｂ）及び図４（ｂ）は、それぞれ、図３（ａ）及び図４（ａ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【００２０】
本実施形態のＲＦコンタクト１は、筒状の本体部３と、本体部３の一端から延び且つ本体部３の外周に沿って配置された複数の第１フィンガ５と、本体部３の他端から延び且つ前記本体部３の外周に沿って配置された複数の第２フィンガ７とを備え、第１フィンガ５及び第２フィンガ７は、それぞれ、軸直角方向外側に突出する突出部５ａ，７ａを有する。
【００２１】
ＲＦコンタクト１は、一般に、電子ビームが通過する配管と配管をベローズを用いて接続する場合に、配管と配管との接続部でのビームインピーダンスを下げるために、接続部に配置される。一例では、ＲＦコンタクト１は、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、ベローズ１５内に配置される。また、ＲＦコンタクト１は、例えば、真空槽の内部でベローズを用いないで配管と配管を接続する場合にも、配管と配管との接続部でのビームインピーダンスを下げるために、接続部に配置することができる。
電子ビームは、図１（ａ），（ｂ）及び図２の矢印又は点Ｘの位置を通過する。電子ビームが通過する方向（別の表現では、ＲＦコンタクト１の長手方向）が軸方向であり、軸方向に直交する方向が軸直角方向である。
以下、詳細に説明する。
【００２２】
１−１．本体部について
本体部３は、筒状であり、その断面形状（軸に垂直な断面）は、本実施形態では円形であるが、特に限定されず、例えば、楕円形や長円形等であってもよい。
【００２３】
１−２．第１フィンガ及び第２フィンガについて
第１フィンガ５及び第２フィンガ７は、それぞれ、軸直角方向外側に向かって斜め方向に延びている。また、第１フィンガ５及び第２フィンガ７は、それぞれ、本体部３から延びる基部５ｂ，７ｂと、基部５ｂ，７ｂに対して軸直角方向外側に折り曲げられた先端部５ｃ、７ｃとを備える。このような構成により、複数の第１フィンガ５の先端５ｄに外接する円（図１（ｂ）の円Ｙ）の直径は、本体部３の断面形状の直径よりも大きくなり、ＲＦコンタクト１をベローズ等内に配置したときに軸直角方向外側に向かうバネ力が第１フィンガ５に働き易くなっている。第２フィンガ７についても同様である。第１フィンガ５及び第２フィンガ７の本数や形状は、特に限定されず、ＲＦコンタクト１が設置されるベローズ等の形状に合わせて適宜決定すればよい。
【００２４】
突出部５ａ，７ａは、ＲＦコンタクト１がベローズ等から抜け落ちることを防止するために利用される。突出部５ａ，７ａは、それぞれ、先端部５ｃ、７ｃに設けられている。
突出部５ａ，７ａは、それぞれ、先端５ｄ、７ｄよりも本体部３に近い位置に設けられている。これによって、第１フィンガ５及び第２フィンガ７が突出部５ａ，７ａと先端５ｄ、７ｄの２点でベローズ等の内壁に接触することが容易になっている。
先端５ｄ、７ｄの角は、ベローズ等の内壁を傷つけないように、図１（ｂ）に示すように、丸められている。突出部５ａ，７ａの構成は、特に限定されず、ＲＦコンタクト１がベローズ等から抜け落ちることを防止できる構成であればよい。
【００２５】
１−３．製造方法について
次に、ＲＦコンタクト１の製造方法について説明する。ＲＦコンタクト１は、一例では、ベリリウム銅（Ｂｅ−Ｃｕ）のような導電性に優れた材料からなる筒部材（例：厚さ０．２ｍｍ）を加工することによって製造することができる。具体的には、筒部材の両端から本体部３となる部分を残して切れ目を形成することによって筒部材の両端に複数のストリップを作成し、これらのストリップを図１（ａ）に示すような形状に曲げ加工することによって第１フィンガ５及び第２フィンガ７を形成することができる。また、板材をレーザーやワイヤカット、プレス等によりスリット加工した後、筒状に曲げスポット溶接等により接合してもよい。筒部材や板材の厚さや材料は、ＲＦコンタクト１がベローズ等に設置されたときに第１フィンガ５及び第２フィンガ７に十分なバネ力が加わるように適宜決定する。
【００２６】
突出部５ａ，７ａは、図３（ａ），（ｂ）に示すように、先端部５ｃ、７ｃに接続部５ｅ，７ｅを有する環状切り抜き部５ｆ、７ｆを形成し、図４（ａ），（ｂ）に示すように、この環状切り抜き部５ｆ、７ｆを軸直角方向外側に向かって押し出すことによって形成することができる。この場合、突出部５ａ，７ａは、返し爪形状になる。このような方法で、突起部５ａ，７ａを形成すると、突起部５ａ，７ａがバネ状になる。なお、突起部５ａ，７ａは、図５（ａ），（ｂ）に示すように、第１フィンガ５及び第２フィンガ７の幅方向の端の一方又は両方に設けてもよい。
【００２７】
２．ＲＦコンタクト付きベローズ
図６（ａ）〜（ｃ）、図７（ａ）及び（ｂ）、図８及び図９を用いて、本発明の一実施形態のＲＦコンタクト付きベローズについて説明する。図６（ｂ）は、本実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの図１（ｂ）に対応した側面図（軸方向から見た図）である。図６（ａ）は、図６（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である。図６（ｃ）は、図６（ｂ）中の点線で囲った領域の拡大図である。図７（ａ）及び（ｂ）は、本実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの第１フィンガが軸直角方向外側に折り曲げられた先端部を有することの利点を説明するための図６（ａ）に対応した断面図であり、図７（ａ）は、第１フィンガが先端部を有する場合を示し、図７（ｂ）は、第１フィンガが先端部を有さずに直線状である場合を示す。図８は、ＲＦコンタクトが第１フランジに対して軸方向に相対的に移動したときの状態を示す図６（ａ）に対応した断面図である。図９は、ベローズが軸直角方向に変位したときの状態を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【００２８】
本実施形態のＲＦコンタクト付きベローズは、筒状の蛇腹部９と、蛇腹部９の両端の設けられた筒状の第１フランジ１１及び第２フランジ１３を有するベローズ１５と、上記実施形態のＲＦコンタクト１とを備えるＲＦコンタクト付きベローズであって、ＲＦコンタクト１は、ベローズ１５の内部に配置され、第１フランジ１１及び第２フランジ１３は、それぞれ、軸直角方向内側に突出する突出部１１ａ、１３ａを備える。
第１フィンガ５の先端５ｄと突出部５ａの両方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第１フィンガ５に加わるように第１フランジ１１の内壁に接触する。第２フィンガ７の先端７ｄと突出部７ａの両方は、軸直角方向外側に向かうバネ力が第２フィンガ７に加わるように第２フランジ１３の内壁に接触する。
第１フィンガ５及び第２フィンガ７の突出部５ａ，７ａは、それぞれ、第１フランジ１１及び第２フランジ１３の突出部１１ａ，１３ａよりも軸方向外側に配置され且つ軸方向から見て第１フランジ１１及び第２フランジ１３の突出部１１ａ，１３ａと重なっている。なお、軸方向外側とは、ＲＦコンタクト付きベローズの軸方向の中央から遠い側を意味する。
【００２９】
２−１．ベローズについて
ベローズ１５は、筒状の蛇腹部９と、蛇腹部９の両端の設けられた筒状の第１フランジ１１及び第２フランジ１３を有する。蛇腹部９は、山と谷が繰り返す部分であり、伸縮可能である。蛇腹部９の形成方法は、特に限定されず、成形によって形成してもよく（成形ベローズ）、リング状の薄肉金属板を、内縁・外縁を交互に溶接しながら繋ぎ合わせることによって形成してもよい（溶接ベローズ）。
第１フランジ１１及び第２フランジ１３は、それぞれ、電子ビームが通過する第１配管及び第２配管に固定される。第１フランジ１１及び第２フランジ１３は、それぞれ、貫通穴１１ｂ，１３ｂを利用してボルト等で第１配管側のフランジ及び第２配管側のフランジに固定することができるが、別の方法で固定してもよい。貫通穴１１ｂ、１３ｂは、不要な場合には、省略可能である。
第１フランジ１１は、蛇腹部９に固定されている固定部１１ｃと、固定部１１ｃに対して回転可能な回転部１１ｄとを備える。第２フランジ１３は、蛇腹部９に固定されている。固定部と回転部は、第２フランジ１３のみに設けてもよく、第１フランジ１１と第２フランジ１３の両方に設けてもよい。
蛇腹部９は、ステンレス、アルミ、チタン等で形成することができる。第１フランジ１１及び第２フランジ１３は、ステンレス、アルミ、チタン等で形成することができる。
【００３０】
以下、第１フィンガ５と第１フランジ１１を例にとって詳細な説明を行う。以下の説明は、第２フィンガ７と第２フランジ１３についても当てはまる。
【００３１】
２−２．ＲＦコンタクトの第１フィンガにバネ力が働く作用について
ＲＦコンタクト１の第１フィンガ５にバネ力が働く作用について説明する。ＲＦコンタクト１とベローズ１５とをそれぞれの軸が一致するように配置すると、第１フィンガ５の先端５ｄが第１フランジ１１内に配置されていない状態（フリーな状態）では、第１フィンガ５の先端５ｄは、第１フランジ１１の内壁よりも軸直角方向外側に位置する。すなわち、フリーな状態では、複数の第１フィンガ５の先端５ｄに外接する円（図１（ｂ）の円Ｙ）の直径が第１フランジ１１の内径よりも大きい。このため、第１フィンガ５の先端５ｄは、複数の第１フィンガ５の先端５ｄに外接する円の直径を小さくする力、すなわち、軸直角方向内側に向かう力が加えられた状態で第１フランジ１１内に配置され、従って、第１フィンガ５には、軸直角方向外側に向かうバネ力（復元力、弾性力）が働く。このバネ力によって、第１フィンガ５の先端５ｄが、第１フランジ１１の内壁に接触し、第１フランジ１１と第１フィンガ５とが電気的に接続される。
本実施形態では、第１フィンガ５に働くバネ力によって第１フィンガ５の先端５ｄと突出部５ａの両方が第１フランジ１１の内壁に接触しており、より高い信頼性が確保されている。
【００３２】
また、本実施形態では、第１フィンガ５が基部５ｂに対して軸直角方向外側に折り曲げられた先端部５ｃを有しているので、その分だけ、フリーな状態において、複数の第１フィンガ５の先端５ｄに外接する円の直径が大きくなる。このため、第１フィンガ５の先端５ｄが第１フランジ１１内に配置された状態において、第１フィンガ５に働くバネ力が大きくなり、第１フィンガ５が第１フランジ１１の内壁から離れることがさらに抑制される。
ここで、図７（ａ）及び（ｂ）を用いて、第１フィンガ５が軸直角方向外側に折り曲げられた先端部５ｃを有することの利点をさらに詳しく説明する。図７（ａ）は、第１フィンガ５が先端部５ｃを有する場合を示し、図７（ｂ）は、第１フィンガ５が先端部５ｃを有さずに直線状である場合を示す。図７（ａ）と図７（ｂ）を比較すると、図７（ａ）の場合の方が、本体部３の内径Ｄ（電子ビームが通る領域）が大きい（別の観点では、第１フランジ１１の内径と本体部３の外径の差が小さい）ことが分かる。これは、図７（ｂ）では、第１フランジ１１の突起部１１ａと第１フィンガ５との干渉を避けるために、本体部３の内径Ｄを大きくすることができないのに対し、図７（ａ）では、第１フィンガ５が先端部５ｃを有しているので、第１フランジ１１の突起部１１ａと第１フィンガ５との干渉が避けられて本体部３の内径Ｄを大きくすることができるためである。
また、図７（ａ）の場合、第１フランジ１１の突起部１１ａと第１フィンガ５との干渉による第１フィンガ５の浮き上がりを避けることができる。また、図７（ａ）の場合、第１フィンガ５の根元の位置（本体部３に最も近い位置）と第１フランジ１１との軸方向の位置関係によらずに、第１フランジ１１の突起部１１ａと第１フィンガ５の間に隙間を確保することができるので、図７（ｂ）の場合よりも、ベローズ１５の伸縮が起きたときの第１フィンガ５の許容スライド量が大きくなる。
なお、ここで説明した内容は、第１フィンガ５の先端５ｄが第１フランジ１１の内壁に接触せず、第１フィンガ５の突出部５ａのみが第１フランジ１１の内壁に接触する場合にも、基本的に当てはまり、その場合、上記説明中の「先端５ｄ」を「突出部５ａ」と読み替える。
【００３３】
２−３．ＲＦコンタクトの抜け落ちが防止される作用について
ＲＦコンタクト１の抜け落ちが防止される作用について説明する。第１フィンガ５の突出部５ａは、図６（ｃ）に示すように、軸方向から見て第１フランジ１１の突出部１１ａと重なっている。この構成により、ＲＦコンタクト１が第１フランジ１１に対して軸方向に相対的に移動したときに図８に示すように、第１フィンガ５の突出部５ａと第１フランジの突出部１１ａとが当接する。第１フィンガ５には軸直角方向外側に向かうバネ力が働いているので突出部５ａと突出部１１ａとの当接によりＲＦコンタクト１の軸方向の移動が制限され、ＲＦコンタクト１がベローズ１５から抜け落ちることが防止される。本実施形態では、第１フィンガ５の突出部５ａが第１フランジ１１の内壁に接触しており、信頼性がより高くなっている。
【００３４】
以上のように、本実施形態では、第１フィンガ５に働くバネ力と、第１フィンガ５の突出部５ａと第１フランジ１１の突出部１１ａとの当接によってＲＦコンタクト１がベローズ１５から抜け落ちることが防止されるので、ＲＦコンタクト１をベローズ１５に固定する必要がない。従って、ＲＦコンタクト１は、小型小径のベローズ内に容易に設置することができる。
【００３５】
ところで、本実施形態では、第１フィンガ５がバネ状であることに加えて、第１フィンガ５の突起部５ａもバネ状である。従って、第１フィンガ５が浮き気味の場合は、突起部５ａが飛び出して第１フランジ１１の突出部１１ａとの引っ掛かりが確実になり、第１フィンガ５が第１フランジ１１の内壁に押し付けられた場合、第１フィンガ５の突起部５ａも引っ込む。従って、第１フィンガ５の突起部５ａが存在することによって第１フィンガ５の先端５ｄが浮き上がって第１フィンガ５の先端５ｄと第１フランジ１１の内壁との間に隙間ができることが防止される。
【００３６】
２−４．ベローズの軸直角方向の変位に対する許容量が大きくなる作用について
ベローズ１５の軸直角方向の変位に対する許容量が大きくなる作用について説明する。図９に示すように、ベローズ１５が軸直角方向に変位（つまり、第１フランジ１１と第２フランジ１３が軸直角方向に相対的に移動）した場合、ＲＦコンタクト１は、第１フィンガ５の変形、第２フィンガ７の変形及びＲＦコンタクト１の傾き、回転、滑りによってベローズ１５の変位に追従する。従って、一端のフィンガのみでベローズの軸直角方向の変位に追従する従来のＲＦコンタクトと比較して、本実施形態のＲＦコンタクト１は、ベローズ１５の軸直角方向の変位に対する許容量が大きい。また、本実施形態では、ＲＦコンタクト１の歪みが小さいので、フィンガ同士の重なりが起こりにくい。また、各フィンガの変形量が比較的小さいので、フィンガに発生する応力がバネ限界を超えにくいことや、フィンガの浮き上がりが起こりにくいといった利点がある。
【００３７】
３．その他
３−１．第１フィンガの別の実施形態
上記実施形態では、第１フィンガ５は、基部５ｂから軸直角方向外側に折れ曲がる先端部５ｃを備えていたが、第１フィンガ５は、先端部５ｃを有していなくてもよい。この場合、第１フィンガ５は、図１０（ａ）〜（ｄ）に示すように、本体部３から延びる基部５ｂを備え、基部５ｂに突出部５ａが設けられる。
【００３８】
基部５ｂは、図１０（ａ）に示すように、軸直角方向外側に湾曲していてもよく、図１０（ｂ）に示すように直線状であってもよい。図１０（ａ）の構成の場合、第１フィンガ５に働くバネ力が大きくなりやすい等の利点が得られる。
【００３９】
また、上記実施形態では、突出部５ａは、先端５ｄよりも本体部３に近い位置に設けられていたが、突出部５ａは、図１０（ｃ）に示すように、先端５ｄに設けてもよい。
【００４０】
また、上記実施形態では、突出部５ａは、接続部５ｅを有する環状切り抜き部５ｆを軸直角方向外側に向かって押し出すことによって形成されていたが、突出部５ａは、図１０（ｄ）に示すように、基部５ｂを変形させることによって形成してもよい。また、突出部５ａは、別の部材を基部５ｂに取り付けることによって形成してもよい。
なお、図１０（ｃ）や（ｄ）に示す構成の突出部５ａは、上記実施形態の第１フィンガ５の先端部５ｃに設けてもよい。
【００４１】
３−２．第１フランジの別の実施形態
上記実施形態では、第１フランジ１１の突出部１１ａは、第１フランジ１１の軸方向内側の端に設けられていたが、突出部１１ａは、図１１（ａ）に示すように、端以外の位置に設けられていてもよい。
【００４２】
また、上記実施形態では、突出部１１ａは、第１フランジ１１の内壁から鋭く突き出した形状であるが、図１１（ｂ）に示すように、なだらかな坂状であってもよい。この場合、第１フィンガ５の突起部５ａが坂を登るにつれて（軸方向内側に移動するにつれて）第１フィンガ５に働く軸直角方向外側に向かうバネ力が強くなり、その結果、ＲＦコンタクト１の軸方向の移動が制限される。
【００４３】
また、第１フランジ１１は、図１２に示すように、第１フィンガ５が接触する部分での内径がそれ以外の部分よりも大きくなっていてもよい。また，第１フランジ１１は、図１２に示すように、軸方向外側の端での内径が第１フィンガ５が接触する部分での内径よりも小さくなっていてもよい。また、第１フランジ１１は、図１２に示すように、貫通穴１１ｂが設けられている部分での厚さが比較的薄くなっていてもよい。
また、第１フランジ１１は、図１３に示すように、配管への固定に利用される本体部１１ｅと、本体部１１ｅから軸方向内側に延びるパイプ状の延長部１１ｆとを有するように構成されていてもよい。
【００４４】
３−３．第１配管と第２配管内にＲＦコンタクトを配置する場合について
上述したように、ＲＦコンタクト１は、第１配管と第２配管内に配置してもよい。この場合、軸直角方向内側に突出する突出部を第１配管と第２配管に設け、第１フィンガ５及び第２フィールド７をそれぞれ第１配管及び第２配管内に配置する。上記実施形態において第１フランジ１１と第２フランジ１３について述べた内容は、第１配管と第２配管についても当てはまる。
【００４５】
以上の実施形態で示した種々の特徴は，互いに組み合わせることができる。１つの実施形態中に複数の特徴が含まれている場合，そのうちの１又は複数個の特徴を適宜抜き出して，単独で又は組み合わせて，本発明に採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】図１（ａ）は、本発明の一実施形態のＲＦコンタクトの構造を示す斜視図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＲＦコンタクトを第１フィンガ側から見た側面図である。
【図２】図１（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の一実施形態のＲＦコンタクトの第１フィンガ又は第２フィンガの先端部の平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の一実施形態のＲＦコンタクトの第１フィンガ又は第２フィンガの先端部の平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の別の実施形態のＲＦコンタクトの第１フィンガ又は第２フィンガの先端部の平面図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）中のＩ−Ｉ断面図である。
【図６】図６（ｂ）は、本発明の一実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの図１（ｂ）に対応した側面図（軸方向から見た図）である。図６（ａ）は、図６（ｂ）中のＩ−Ｉ断面図である。図６（ｃ）は、図６（ｂ）中の点線で囲った領域の拡大図である。
【図７】図７（ａ）及び（ｂ）は、本発明の一実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの第１フィンガが軸直角方向外側に折り曲げられた先端部を有することの利点を説明するための図６（ａ）に対応した断面図であり、図７（ａ）は、第１フィンガが先端部を有する場合を示し、図７（ｂ）は、第１フィンガが先端部を有さずに直線状である場合を示す。
【図８】図８は、ＲＦコンタクトが第１フランジに対して軸方向に相対的に移動したときの状態を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【図９】図９は、ベローズが軸直角方向に変位したときの状態を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【図１０】図１０（ａ）〜（ｄ）は、本発明の別の実施形態のＲＦコンタクトの第１フィンガの構成を示す図２に対応した断面図である。
【図１１】図１１（ａ）〜（ｂ）は、本発明の別の実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの第１フランジの構成を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【図１２】本発明の別の実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの第１フランジの構成を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【図１３】本発明の別の実施形態のＲＦコンタクト付きベローズの第１フランジの構成を示す図６（ａ）に対応した断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１：ＲＦコンタクト  ３：本体部  ５：第１フィンガ  ５ａ：第１フィンガの突出部  ５ｂ：第１フィンガの基部  ５ｃ：第１フィンガの先端部  ５ｄ：第１フィンガの先端  ５ｅ：第１フィンガの接続部  ５ｆ：第１フィンガの環状切抜き部  ７：第２フィンガ  ７ａ：第２フィンガの突出部  ７ｂ：第２フィンガの基部  ７ｃ：第２フィンガの先端部  ７ｄ：第２フィンガの先端  ７ｅ：第２フィンガの接続部  ７ｆ：第２フィンガの環状切り抜き部  ９：蛇腹部  １１：第１フランジ  １１ａ：第１フランジの突出部  １１ｂ：第１フランジの貫通穴  １１ｃ：第１フランジの固定部  １１ｄ：第１フランジの回転部  １１ｅ：第１フランジの本体部  １１ｆ：第１フランジの延長部  １３：第２フランジ  １３ａ：第２フランジの突出部  １３ｂ：第２フランジの貫通穴  １５：ベローズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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