(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第Ｎ工程（Ｎは正の整数）及び第Ｎ＋１工程を実施するインライン搬送システムであって、
同一平面上に配設される複数個の第Ｎ工程設備及び複数個の第Ｎ＋１工程設備と、
前記複数個の第Ｎ工程設備と前記複数個の第Ｎ＋１工程設備との間に位置し、それぞれの前記第Ｎ工程設備及び前記第Ｎ＋１工程設備の入口及び出口と連結され、搬送部材を移動させるループ状に形成された第１回転コンベアと、
前記第１回転コンベアと鉛直方向に所定間隔離隔されて位置する第２回転コンベアと、
前記第Ｎ工程設備の出口と前記第２回転コンベアとを連結し、前記搬送部材を前記第２回転コンベアに移動させる第１搬送部材昇降機と、
前記第２回転コンベアと前記第Ｎ＋１工程設備の入口を連結し、前記搬送部材を前記第Ｎ＋１工程設備に移動させる第２搬送部材昇降機と、
を含み、
前記第１回転コンベア、第２回転コンベアは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置された支持板と、前記支持板上に配設されており、エアーを噴射または吸入して前記搬送部材を移送させるために前記搬送部材の移送方向に対して所定の傾斜角度を有する複数個のエアーノズルとを含み、前記エアーノズルは、前記第１回転コンベアと前記第Ｎ工程設備及び第Ｎ＋１工程設備の入口及び出口との分岐部分、前記第２回転コンベアと前記第１搬送昇降機及び第２搬送昇降機との分岐部分において、それぞれ搬送部材の移送方向に応じて異なる方向に傾斜角度を有し、
前記搬送部材が複数個の前記第Ｎ工程設備及び第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つに搬入されず、前記第１回転コンベア及び前記第２回転コンベアに乗って移動する時間が所定時間になる場合、臨時に前記搬送部材を保存し、前記第１回転コンベア及び前記第２回転コンベアの一部に連結されたオフラインバッファーをさらに含むインライン搬送システム。
【請求項２】
前記インライン搬送システムは、第Ｌ層（Ｌは正の整数）において第Ｎ工程及び第Ｎ＋１工程を実施し、第Ｌ＋１層において第Ｎ+２工程及び第Ｎ+３工程を実施し、
第Ｌ層の搬送部材を第Ｌ＋１層に搬送する第１層間昇降機と、
第Ｌ＋１層の搬送部材を第Ｌ層に搬送する第２層間昇降機と、
をさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項３】
前記第１回転コンベアは、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部と、前記第１及び第２搬送部の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部とを含んで回転ルート形状をなす請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項４】
前記第１回転コンベアの経路を短縮するために、前記第１回転コンベアの前記第３及び第４搬送部の間に位置し、前記第１及び第２搬送部を互いに連結し、前記第３及び第４搬送部と平行な第１直送コンベアを複数個さらに含む請求項３に記載のインライン搬送システム。
【請求項５】
前記複数個の第Ｎ工程設備及び第Ｎ＋１工程設備は、前記第１回転コンベアの第１及び第２搬送部に沿って一列に配設されている請求項３または４に記載のインライン搬送システム。
【請求項６】
前記第２回転コンベアの経路を短縮するために、前記第２回転コンベアの内部に設けられている第２直送コンベアを複数個さらに含む請求項５に記載のインライン搬送システム。
【請求項７】
前記第１直送コンベア及び第２直送コンベアは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置された支持板と、前記支持板上に配設されており、エアーを噴射または吸入して前記搬送部材を移送させる複数個のエアーノズルとを含む請求項６に記載のインライン搬送システム。
【請求項８】
前記第１回転コンベアと前記第Ｎ工程設備の入口との間に配設された第１インラインバッファーをさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項９】
前記第２搬送部材昇降機と前記第Ｎ＋１工程設備の入口との間に配設された第２インラインバッファーをさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項１０】
複数個の前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足しない場合には、前記搬送部材を前記第１回転コンベアに乗せて移動させる制御手段をさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項１１】
前記第１回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項１２】
前記第Ｎ工程設備において第Ｎ工程を終えた前記搬送部材が、前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第１直送コンベアに乗せて前記第Ｎ＋１工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項４に記載のインライン搬送システム。
【請求項１３】
前記第Ｎ工程設備において第Ｎ工程を終えた前記搬送部材が、前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、が満足しない場合には、前記搬送部材を前記第１搬送部材昇降機に乗せて前記第２回転コンベアに搬送し、前記第２回転コンベアに乗せて移動させる制御手段をさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項１４】
前記第２回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第２搬送部材昇降機に乗せて前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に搬入させる制御手段をさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【請求項１５】
前記第２回転コンベアと所定間隔離隔されて設けられた複数個の回転コンベアをさらに含む請求項１に記載のインライン搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインライン方式の搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、搬送システムは、コンベア上に搬送部材を乗せ、駆動モータに連結された駆動ローラを利用してコンベアをスリップさせることによって搬送部材を移動させるコンベアシステムである。
【０００３】
既存のコンベアシステムは、物品を移送するための動力としてモータを利用し、動力伝達用としてチェーン、ギヤ、ベルトなどを利用するシステムである。
【０００４】
液晶表示装置の製造においても、搬送システムを利用してガラス基板を搬送する。液晶表示装置は現在最も広く用いられている平板表示装置の１つであって、電界生成電極が形成されている２枚の表示板とその間に挿入されている液晶層からなり、電極に電圧を印加して液晶層の液晶分子を再配列させることによって、液晶層を通過する光の透過率を調節する表示装置である。
【０００５】
このような液晶表示装置の２枚の表示板は、搬送システムを通じて各製造工程の工程設備に搬送され液晶表示装置に組み立てられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来より、複数個のガラス基板を、カセット、ストーカ及びインデクサを用いて各製造工程の工程設備に搬送している。液晶表示装置製造工程の搬送システムでも、複数個のガラス基板をカセットに受納してストーカに保管し、これをロボットインデクサを用いて各製造工程の工程設備に搬入及び搬出している。しかしながら、ガラス基板の大型化に伴い、このような搬送手段でガラス基板を搬送させることに困難が生じている。
【０００７】
そこで本発明の目的は、ガラス基板を１枚単位で管理し搬送して、仕掛品を最小化しかつ搬送所要時間を短縮するインライン搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるインライン搬送システムは、第Ｎ工程（Ｎは正の整数）及び第Ｎ＋１工程を実施するインライン搬送システムであって、複数個の第Ｎ工程設備及び複数個の第Ｎ＋１工程設備と、前記複数個の第Ｎ工程設備と前記複数個の第Ｎ＋１工程設備との間に位置し、それぞれの前記第Ｎ工程設備及び前記第Ｎ＋１工程設備の入口及び出口と連結され、搬送部材を移動させる回転ルート形状の第１回転コンベアと、前記第１回転コンベアと所定間隔離隔して位置する第２回転コンベアと、前記第Ｎ工程設備の出口と前記第２回転コンベアとを連結し、前記搬送部材を前記第２回転コンベアに移動させる第１搬送部材昇降機と、前記第２回転コンベアと前記第Ｎ＋１工程設備の入口とを連結し、前記搬送部材を前記第Ｎ＋１工程設備に移動させる第２搬送部材昇降機とを含む。
【０００９】
前記インライン搬送システムは、第Ｌ層（Ｌは正の整数）において第Ｎ工程及び第Ｎ＋１工程を実施し、第Ｌ＋１層において第Ｎ＋２工程及び第Ｎ＋３工程を実施し、第Ｌ層の搬送部材を第Ｌ＋１層に搬送する第１層間昇降機と、第Ｌ＋１層の搬送部材を第Ｌ層に搬送する第２層間昇降機とをさらに含む。
【００１０】
前記第１回転コンベアは、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部と、前記第１及び第２搬送部の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部を含んで回転ルート形状をなす。
【００１１】
前記第１回転コンベアの経路を短縮するために、前記第１回転コンベアの前記第３及び第４搬送部の間に位置し、前記第１及び第２搬送部を互いに連結し、前記第３及び第４搬送部と平行な第１直送コンベアを複数個さらに含む。
【００１２】
前記複数個の第Ｎ工程設備及び第Ｎ＋１工程設備は、前記第１回転コンベアの第１及び第２搬送部に沿って１列に配設されている。
【００１３】
前記第２回転コンベアの経路を短縮するために、前記第２回転コンベアの内部に形成されている第２直送コンベアを複数個さらに含む。
【００１４】
前記第１回転コンベア、第２回転コンベア、第１直送コンベア及び第２直送コンベアは、前記搬送部材の移送方向に沿って設置された支持板と、前記支持板上に配設され、エアーを噴射または吸入して前記搬送部材を移送させる複数個のエアーノズルを含む。この場合、前記搬送部材は前記エアーノズルと接触することなしにエアーにより移動するため、接触により生じるクラックやパーティクル及び化学汚染の防止ができ、収率が向上する。また、摩擦力が発生しないため搬送速度も向上する。
【００１５】
前記第１回転コンベアと前記第Ｎ工程設備の入口との間には第１インラインバッファーが、また、前記第２搬送部材昇降機と前記第Ｎ＋１工程設備の入口の間には第２インラインバッファーが配設されている。これは、前記第Ｎ工程設備および前記第Ｎ＋１工程設備に前記搬送部材が多い場合、緩衝作用をして第１工程設備および第２工程設備に搬入されている前記搬送部材の量を調節するためである。
【００１６】
複数個の前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足されない場合には、前記搬送部材を前記第１回転コンベアに乗せて移動させる制御手段を含む。
【００１７】
前記第１回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を、前記第Ｎ工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ工程設備に搬入させる制御手段を含む。
【００１８】
前記第Ｎ工程設備において、第Ｎ工程を終えた前記搬送部材が、前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足される場合には、前記搬送部材を前記第１直送コンベアに乗せて前記第Ｎ＋１工程設備に搬入させる制御手段を含む。
【００１９】
前記第Ｎ工程設備において第Ｎ工程を終えた前記搬送部材が、前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に直接搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足しされない場合には、前記搬送部材を前記第１搬送部材昇降機に乗せて前記第２回転コンベアに搬送し、前記第２回転コンベアに乗せて移動させる制御手段を含む。
【００２０】
前記第２回転コンベアに乗せて前記搬送部材を移動する途中、前記複数個の前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に前記搬送部材が搬入される条件を満足するか否かを判断し、満足する場合には、前記搬送部材を前記第２搬送部材昇降機に乗せて前記第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つの第Ｎ＋１工程設備に搬入させる制御手段を含む。
【００２１】
これらにより特定の製造工程ラインに異常が生じた場合、他の製造工程設備ラインに影響を及ぼすことなく柔軟に製造工程を対応できる。また、搬送部材を１枚単位で管理して搬送することにより製造工程内搬送部材の仕掛品の画期的な減少ができ、かつ製造工程間直結による搬送所要時間の短縮が実現する。
【００２２】
前記搬送部材が、複数個の前記第Ｎ工程設備及び第Ｎ＋１工程設備のうちのいずれか１つに搬入されず、前記第１回転コンベア及び前記第２回転コンベアに乗って移動する時間が所定時間になる場合、臨時に前記搬送部材を保存し、前記第１回転コンベア及び前記第２回転コンベアの一部に連結されたオフラインバッファーをさらに含む。
【００２３】
前記第２回転コンベアと所定間隔隔離されて設けられた複数個の回転コンベアをさらに含むことが好ましい。
【００２４】
また、本発明によるインライン搬送システムは、複数個の第１検査設備及び複数個の第２検査設備と、前記複数個の第１検査設備と前記複数個の第２検査設備との間に位置し、それぞれの前記第１検査設備及び前記第２検査設備の入口と連結され、搬送部材を移動させる回転ルート形状の回転コンベアを含む。
【００２５】
また、本発明によるインライン搬送システムは、前記搬送部材が前記回転コンベアに乗って移動する途中、前記複数個の第１検査設備及び前記第２検査設備のうちのいずれか１つに前記搬送部材が搬入される条件を満たすか否かを判断し、条件が満足される場合に、前記複数個の第１検査設備及び前記第２検査設備のうちのいずれか１つに前記搬送部材を搬入させて検査を行なう搬送手段をさらに含む。
【００２６】
前記第１検査設備及び第２検査設備の出口と連結され、前記搬送部材を分類する複数個の搬送部材分類器と連結されている分類コンベアをさらに含む。
【００２７】
前記回転コンベアは、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部と、前記第１及び第２搬送部の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部とを含んで回転ルート形状をなす。
【００２８】
前記第３及び第４搬送部の間に位置し、前記第１及び第２搬送部を互いに連結し、前記第３及び第４搬送部と平行な直送コンベアをさらに含む。
【００２９】
前記複数個の第１検査設備及び複数個の第２検査設備のそれぞれは互いに対向し、前記回転コンベアの第１及び第２搬送部に沿って１列に配設される。
【００３０】
これらにより特定の検査工程ラインに異常が生じた場合、他の検査設備に影響を及ぼすことなく柔軟に検査工程を対応でき、かつ搬送所要時間の短縮が実現する。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によるインライン搬送システムは、ガラス基板を１枚単位で管理し搬送することにより、工程内ガラス基板の仕掛品の画期的減少ができ、製造工程間の直結により搬送所要時間の短縮ができる。また、特定の製造工程設備ラインに異常が生じた場合、他の工程設備ラインへの影響なく生産可能であり、工程の柔軟性が確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例に対して、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。しかし、本発明は多様な形態で実現することができ、ここで説明する実施例に限定されない。
＜第１実施例＞
[構造]
本発明の第１実施例によるインライン搬送システムについての構造を、図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１は本発明の第１実施例によるインライン搬送システムの概略図である。図２は本発明の第１実施例によるインライン搬送システムの概略的な平面図である。また、図３はコンベアの具体的な構造を示すものである。
【００３４】
図１乃至図３を参照すると、本発明の第１実施例によるインライン搬送システムは、複数層に設けられている複数個の工程設備１００、２００と、複数個の工程設備１０、２０の間に位置する複数個の回転コンベア３００、４００とを含む。回転コンベアは２つ以上が好ましい。
【００３５】
Ｎを正の整数とし、液晶表示装置の製造工程において、第Ｎ工程から順次に第Ｎ+３工程に進む際に、本発明の一実施例では、第１層１に複数個の第Ｎ工程設備及び複数個の第Ｎ＋１工程設備が設けられており、第２層２に複数個の第Ｎ+２工程設備及び第Ｎ+３工程設備が設けられている。例えば、第１層１では、第１工程としてＣＶＤ工程が実施され、第２工程としてフォト工程が実施され、第２層２では、第３工程としてスパッタリング工程が実施され、第４工程としてエッチング工程が実施される。
【００３６】
第１層１において、ＣＶＤ工程及びフォト工程が実施される搬送部材、即ちガラス基板３０を１枚単位で第２層２に搬送する第１層間昇降機１０１が、第１層１と第２層２の間に配設されている。
【００３７】
そして、第２層２に位置しているガラス基板３０を１枚単位で第１層１に搬送する第２層間昇降機２０１が、第１層１と第２層２の間に配設されている。
【００３８】
以下、説明の便宜のために、図１に第２層２に配設されている工程設備を第１工程設備１００及び第２工程設備２００という。
【００３９】
図１に示すように、複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０と複数個の第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０が互いに対向し一列に配設されている。
【００４０】
そして、複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０と複数個の第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０の間に回転ルート形状の第１回転コンベア３００が位置している。第１回転コンベア３００は、それぞれの第１工程設備の入口１１０a、１２０a、１３０a、１４０a、１５０a及び出口１１０b、１２０b、１３０b、１４０b、１５０bと連結されている。さらに第１回転コンベア３００は、それぞれの第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０a及び出口２１０b、２２０b、２３０b、２４０b、２５０bと連結されており、ガラス基板３０を１枚単位で移動させる。
【００４１】
第１回転コンベア３００とそれぞれの第１工程設備の入口１１０a、１２０a、１３０a、１４０a、１５０aとの間には、第１インラインバッファー５１０が配設されている。また、第１回転コンベア３００とそれぞれの第１工程設備の出口１１０b、１２０b、１３０b、１４０b、１５０bとの間には、第１搬送部材昇降機６１０が配設されている。そして、第１搬送部材昇降機６１０は、第２回転コンベア４００とも連結されている。したがって、第１工程を終えたガラス基板３０は、条件に応じて第１回転コンベア３００に搬送されるか、または第１搬送部材昇降機６１０に乗って第２回転コンベア４００に搬送される。
【００４２】
第１回転コンベア３００とそれぞれの第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aとの間には、第２搬送部材昇降機６２０及び第２インラインバッファー５２０が配設されている。そして、第２搬送部材昇降機６２０は、第２回転コンベア４００とも連結されている。したがって、第１回転コンベア３００に乗って移動していたガラス基板３０は、条件に応じて第２搬送部材昇降機６２０と第２インラインバッファー５２０とを経由して第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aに搬入される。または、第２回転コンベア４００に乗って移動していたガラス基板３０は、条件に応じて第２搬送部材昇降機６２０に乗って下降し、第２インラインバッファー５２０を経由して第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aに搬入される。
【００４３】
図１及び図２に示すように、第１回転コンベア３００は、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部３１０、３２０と、第１及び第２搬送部３１０、３２０の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部３３０、３４０とを含み、回転ルート形状をなす。
【００４４】
第１回転コンベア３００に乗って移送されるガラス基板３０の経路を短縮するために、第１回転コンベア３００の内部には複数個の第１直送コンベア３５０が形成されている。即ち、第１直送コンベア３５０は、第３及び第４搬送部３３０、３４０の間に複数個が設けられており、第１及び第２搬送部３１０、３２０を互いに連結する。そして、第１直送コンベア３５０は、第３及び第４搬送部３３０、３４０と平行に配設されている。
【００４５】
複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０及び第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０は、第１回転コンベア３００の第１及び第２搬送部３１０、３２０に沿って一列に配設されている。そして、第１回転コンベア３００の上部には第２回転コンベア４００が配設されおり、第１回転コンベア３００と第２回転コンベア４００の間は所定間隔隔離されている。この第２回転コンベア４００の構造は、第１回転コンベア３００と同様である。即ち、第２回転コンベア４００は、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部４１０、４２０と、第１及び第２搬送部４１０、４２０の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部４３０、４４０とを含み、回転ルート形状をなす。
【００４６】
第２回転コンベア４００に乗って移送されるガラス基板３０の経路を短縮するために、第２回転コンベア４００の内部には複数個の第２直送コンベア４５０が形成されている。即ち、第２直送コンベア４５０は、第３及び第４搬送部４３０、４４０の間に複数個が形成されており、第１及び第２搬送部４１０、４２０を互いに連結する。そして、第２直送コンベア４５０は、第３及び第４搬送部４３０、４４０と平行に配設されている。
【００４７】
第２回転コンベア４００の上部に、第２回転コンベア４００と所定間隔離隔した複数個の回転コンベア（図示せず）をさらに配設することも可能である。このような複数個の回転コンベアの各々の構造は、第１回転コンベア３００と同一であることが好ましい。
【００４８】
図３に、第１回転コンベア３００、第２回転コンベア４００、第１直送コンベア３５０及び第２直送コンベア４５０の具体的な構造であって、ガラス基板３０が移動する状態を示す。図４は、図３のIV-IV´線による断面図である。
【００４９】
図３及び図４に示すように、第１回転コンベア３００、第２回転コンベア４００、第１直送コンベア３５０及び第２直送コンベア４５０は、支持板１０と、支持板１０上に設置され、エアーを噴射または吸入して搬送部材を移送させる複数個のエアーノズル２０とを含む。
【００５０】
支持板１０は、搬送部材であるガラス基板３０の移送方向に沿って設置されている。つまり、支持板１０はガラス基板３０の直進移送方向（A）に沿って設置されており、ガラス基板３０が分岐点で分岐され移送される分岐方向（B）に沿っても設置されている。そして、支持板１０上に設けられた複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０の直進移送方向（A）及び分岐方向（B）に沿って設置され、そして、ガラス基板３０が移送される際に、エアーノズル２０はガラス基板３０の下部に位置する。
【００５１】
複数個のエアーノズル２０とガラス基板３０は接触せず所定間隔を維持して位置している。そのため、エアーノズル２０はエアーを噴射の際に、ガラス基板３０がエアーの噴射によって設定された位置から離れることを防止するために、エアーノズル２０の内部を真空にしてガラス基板３０とエアーノズル２０との間隔を一定に保つ。エアーがエアーノズル２０内部を通過する場合、エアーはエアーノズル２０内部の壁面に沿って螺旋を描きながら急速に流動する。このとき、エアーはエアーノズル２０内部の壁面付近のみにしか存在しないため、エアーノズル２０内部の中心に近い部分はエアーが流れていない状態となる。つまり、エアーノズル２０内部の壁面以外の空間では瞬間的に真空状態となり、エアーを吸入する。そして、エアーノズル２０内部を通じて噴射されたエアーは、エアーノズル２０の噴射方向にそって直線状に噴射されるのではなく、エアーノズル２０の噴射方向にそって螺旋状に噴射する。従って、エアーノズル２０内部の壁面付近ではエアーを噴射する。
【００５２】
そして、複数個のエアーノズル２０は、ガラス基板３０の直進移送方向（A）を含みガラス基板３０に垂直な面内において、ガラス基板３０の直進移送方向（A）と所定の角度（θ）をなしてエアーを噴射する。したがって、ガラス基板３０は直進移送方向（A）にスライドして移送される。
【００５３】
この場合、エアーノズル２０とガラス基板３０が非接触なため、摩擦による力の損失がなく、搬送速度が向上し、騷音が発生しない。また、ガラス基板３０とエアーノズル２０が非接触でガラス基板３０を搬送することによって、接触によるクラックやパーティクル及び化学汚染などを防止し、収率を向上させることができる。さらに、エアーの噴射のみを使用してのガラス基板３０の搬送であり、ストーカ、カセット及びインデクサを用いないことから、初期製造工程設備に対するコストが大幅削減できる。
【００５４】
図１乃至図３に示すように、第１工程設備の出口１１０b、１２０b、１３０b、１４０b、１５０bと第２回転コンベア４００との間には第１搬送部材昇降機６１０が配設され、第１工程設備の出口１１０b、１２０b、１３０b、１４０b、１５０bと第２回転コンベア４００とを連結している。即ち、第１搬送部材昇降機６１０は、第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０において第１工程を終えたガラス基板３０を第２回転コンベア４００に移動させる。
【００５５】
そして、第２回転コンベア４００と第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aとの間には、第２搬送部材昇降機６２０が配設され、第２回転コンベア４００と第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aとを連結している。即ち、第２搬送部材昇降機６２０は、ガラス基板３０を第２回転コンベア４００から第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０に移動させる。
【００５６】
第１回転コンベア３００と第１工程設備の入口１１０a、１２０a、１３０a、１４０a、１５０aとの間には、第１インラインバッファー５１０が配設されている。これは、第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０に搬入されるガラス基板３０が多くなる場合、緩衝作用をして第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０に搬入するガラス基板３０の量を調節する。また、ガラス基板３０の検査により不良が発見された場合、第１インラインバッファー５１０は不良のガラス基板３０を除去する役割もする。      
【００５７】
そして、第２搬送部材昇降機６２０と第２工程設備の入口２１０a、２２０a、２３０a、２４０a、２５０aの間には、第２インラインバッファー５２０が配設されている。これは、第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０に搬入するガラス基板３０が多くなる場合、緩衝作用をして第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０に搬入するガラス基板３０の量を調節する。
【００５８】
また、複数個の工程設備１００、２００と、複数個の回転コンベア３００、４００と、１および第２層間昇降機１０１、２０２と、第１および第２インラインバッファー５１０、５２０と、第１および第２搬送部材昇降機６１０、６２０と、第１および第２直送コンベア３５０、４５０と、エアーノズル２０は、これらを制御するためのコンピュータ（図示せず）に接続されている。このコンピュータ（図示せず）により、すべての工程の移送手段は制御される。
[作用]
前述したような本発明の第１実施例によるインライン搬送システムの作用を、図１乃至図６を参照して説明する。
【００５９】
図５は本発明の第１実施例によるインライン搬送システムの一部の斜視図である。図６は本発明の第１実施例によるインライン搬送システムの制御順を示したフローチャートである。
【００６０】
第１層間昇降機１０１に乗って第２層２に移動したガラス基板３０は、第１回転コンベア３００に乗って移動する（S１１０）。
【００６１】
そして、ガラス基板３０が第１回転コンベア３００に乗って移動する途中、複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０のうちのいずれか１つにガラス基板３０が搬入される条件を満足するか否かを判断する（S１２０）。
【００６２】
第１工程設備に搬入される条件を満足する場合には、第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０のうちのいずれか１つの第１工程設備にガラス基板３０は搬入される（S１３０）。
【００６３】
しかし、複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０のうちのいずれか１つにガラス基板３０が搬入される条件を満足しない場合には、ガラス基板３０は第１回転コンベア３００に乗って引き続き移動する（S１１０）。
【００６４】
例えば、図１には５個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０が示しされている。このような５個の第１工程設備を各々第１-１ライン１１０、第１-２ライン１２０、第１-３ライン１３０、第１-４ライン１４０、第１-５ライン１５０と定義する。
【００６５】
図５に示すように、ガラス基板３０が第１回転コンベア３００に乗って移動する途中、第１-１ライン１１０にガラス基板３０が搬入される条件を満足する場合には、ガラス基板３０は第１-１ライン１１０に搬入される。
【００６６】
ガラス基板３０が搬入される条件とは、第１-１ライン１１０に他のガラス基板３０が搬入されず、かつ第１-１ライン１１０が新たなガラス基板３０の第１工程を実施する準備が整っていることを意味する。
【００６７】
しかし、第１-１ライン１１０に他のガラス基板３０が搬入されて第１工程が実施中であるか、もしくは第１-１ライン１１０が点検中のような、ガラス基板３０が第１-１ライン１１０に搬入される条件を満足しない場合には、ガラス基板３０は第１回転コンベア３００に乗って引き続き移動する。移動中に、再び複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０にガラス基板３０を搬入するか否かの判断を行う。第１-１ライン１１０、第１-２ライン１２０、第１-３ライン１３０、第１-４ライン１４０、第１-５ライン１５０のうちのいずれか１つにおいてガラス基板３０が搬入される条件を満足すると、ガラス基板３０はその該当ラインに搬入されて第１工程が実施される。
【００６８】
これにより、特定の製造工程設備ラインの異常時にも、他の工程設備ラインに影響を及すことなく生産が行われるため、工程の柔軟性が確保できる。
【００６９】
そして、第１工程設備において第１工程を終えたガラス基板３０は、次に第２工程設備のうちのいずれか１つに直接搬入される条件を満足するか否かを判断される（S１４０）。
【００７０】
第２工程設備のうちのいずれか１つにおいて、ガラス基板３０が直接搬入される条件を満足する場合には、ガラス基板３０は第１直送コンベア３５０に乗せられて第２工程設備に搬入される（S１５０）。
【００７１】
しかし、第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０において第１工程を終えたガラス基板３０が、第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つに直接搬入される条件を満足しない場合には、ガラス基板３０は第１搬送部材昇降機６１０に乗って第２回転コンベア４００に上昇し、第２回転コンベア４００に乗って移動する（S１６０）。
【００７２】
そして、ガラス基板３０は第２回転コンベア４００に乗って移動する途中、複数個の第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つに、ガラス基板３０が搬入される条件を満足するか否かを判断する（S１７０）。
【００７３】
第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つにガラス基板３０が搬入される条件を満足する場合には、ガラス基板３０は、第２搬送部材昇降機６２０に乗って第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つの第２工程設備に搬入される（S１８０）。
【００７４】
しかし、第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つにガラス基板３０が搬入される条件を満足しない場合には、ガラス基板３０は引き続き第２回転コンベア４００に乗って移動する（S１６０）。
【００７５】
そして、第１直送コンベア３５０に乗って第２工程設備に搬入されたり、第２搬送部材昇降機６２０に乗って第２工程設備に搬入されたガラス基板３０は、第２工程設備において第２工程を実施する（S１９０）。
【００７６】
例えば、図１には５個の第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０が示されている。このような５個の第２工程設備を各々第２-１ライン２１０、第２-２ライン２２０、第２-３ライン２３０、第２-４ライン２４０、第２-５ライン２５０と定義する。
【００７７】
第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０において第１工程を終えたガラス基板３０は、第２-１ライン２１０、第２-２ライン２２０、第２-３ライン２３０、第２-４ライン２４０、第２-５ライン２５０のうちのいずれか一つに搬入される。例えば、第２-１ライン２１０に直接搬入される条件を満たす場合には、ガラス基板３０は第１直送コンベア３５０に乗って第２-１ライン２１０に搬入される。第１工程を第１-１ライン１１０にて終えたガラス基板３０が第２-１ライン２１０に搬入される場合は、ガラス基板３０は、図５に示すように複数個の第１直送コンベア３５０のうちの、第１工程を終えた第１-１ライン１１０と第２-１ライン２１０との経路に最も近く位置する第１直送コンベア３５１に乗って第２-１ライン２１０に搬入されることが好ましい。
【００７８】
しかし、第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０において第１工程を終えたガラス基板３０が、第２-１ライン２１０、第２-２ライン２２０、第２-３ライン２３０、第２-４ライン２４０、第２-５ライン２５０のうちのいずれにも直接搬入される条件を満足しない場合には、ガラス基板３０は、第１搬送部材昇降機６１０に乗って第２回転コンベア４００に搬送され、第２回転コンベア４００に乗って移動する。
【００７９】
そして、第２回転コンベア４００に乗って移動する途中、第２-１ライン２１０、第２-２ライン２２０、第２-３ライン２３０、第２-４ライン２４０、第２-５ライン２５０のうちのいずれか一つにガラス基板３０が搬入される条件を満足するか否かを判断する。
【００８０】
条件が満たされた場合、例えば第２-３ライン２３０に搬入される条件を満たす場合には、ガラス基板３０は、第２搬送部材昇降機６２０に乗って下降して第２-３ライン２３０に搬入される。
【００８１】
そして、第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０において第２工程を終えたガラス基板３０は、第２層間昇降機２０１や他の層間昇降機に乗って後続工程に移動する。
【００８２】
一方、図１に示すように、本発明によるインライン搬送システムはオフラインバッファー９００を含む。オフラインバッファーは、これを制御するためのコンピュータ（図示せず）に接続されている。このコンピュータ（図示せず）により、オフラインバッファー９００の移送手段は制御される。
【００８３】
このオフラインバッファー９００は、ガラス基板３０が搬入条件を満足しないために、複数個の第１工程設備１１０、１２０、１３０、１４０、１５０及び第２工程設備２１０、２２０、２３０、２４０、２５０のうちのいずれか１つにも搬入されず第１回転コンベア３００及び第２回転コンベア４００に乗って長い時間移動する場合に、臨時にガラス基板３０を保存する役割を持つ。このようなオフラインバッファー９００は、第１回転コンベア３００及び第２回転コンベア４００の一部に連結されて配設されている。
【００８４】
したがって、特定の製造工程設備ラインに異常が生じても、他の工程設備ラインに影響を及ぼさず生産が行われるために工程の柔軟性が確保でき、またガラス基板３０を１枚単位で管理し搬送することによって工程内ガラス基板３０の仕掛品を画期的に減少させることができる。さらに、製造工程間直結による搬送所要時間の短縮の実現などの利点がある。
【００８５】
ここで、仕掛品とは、工場で生産過程中にある物品を称するものであり、一般に工場では同一物品が連続的に製造されているため各工程ごとに仕掛品が存在する。各製造工程で所有している仕掛品は、各工程ごとに金額に換算されて在庫資産に含まれる。本発明の第１実施例のように、特定の製造工程ラインの異常時にも他の工程ラインに影響を及ぼさず搬送システムが円滑に行われるようにすることによって仕掛品を減少させることができる。
＜第２実施例＞
[構造]
次に、本発明の第２実施例によるインライン搬送システムの構造を、図を用いて詳細に説明する。
【００８６】
本発明の第２実施例によるインライン搬送システムが図７に示されている。ここで、既に図示したものと同一参照符号は同じ機能をもつ同一部材を指す。
【００８７】
図７に示すように、本発明の第２実施例によるインライン搬送システムは、複数個の第１検査設備７１、７２、７３、７４と複数個の第２検査設備８１、８２、８３、８４とが互いに対向して一列に配設されている。
【００８８】
そして、複数個の第１検査設備７１、７２、７３、７４と複数個の第２検査設備８１、８２、８３、８４との間に、回転ルート形状の回転コンベア９０が位置している。回転コンベア９０は、それぞれの第１検査設備の入口７１a、７２a、７３a、７４a及びそれぞれの第２検査設備の入口（図示せず）と連結されており、ガラス基板３０を１枚単位で移動させる。
【００８９】
回転コンベア９０は、第１検査設備の入口７１a、７２a、７３a、７４aの前で分岐されそれぞれの第１検査設備の入口７１a、７２a、７３a、７４aと連結されている。また、回転コンベア９０は、第２検査設備の入口（図示せず）の前で分岐されそれぞれの第２検査設備の入口（図示せず）と連結される。
【００９０】
回転コンベア９０は、互いに対向する長いライン状の第１及び第２搬送部９１、９２と、第１及び第２搬送部９１、９２の両端部を連結する短いライン状の第３及び第４搬送部９３、９４とを含んで回転ルート形状をなす。複数個の第１検査設備７１、７２、７３、７４及び複数個の第２検査設備８１、８２、８３、８４は、各々回転コンベアの第１及び第２搬送部９１、９２に沿って一列に設置されている。
【００９１】
回転コンベア９０に乗って移動するガラス基板３０の経路を短縮するために、回転コンベア９０の内部には複数個の直送コンベア９５が設けられている。即ち、直送コンベア９５は、第３及び第４搬送部９３、９４の間に複数個が設けられており、第１及び第２搬送部９１、９２を互いに連結する。そして、第３及び第４搬送部９３、９４と平行に設置されている。
【００９２】
分類コンベア６０は、第１検査設備の出口（図示せず）及び第２検査設備の出口８１b、８２b、８３b、８４bと連結されており、検査を終えたガラス基板３０を分類する複数個の搬送部材分類器１７０の入口と連結されている。
【００９３】
また、複数個の第１検査設備７１、７２、７３、７４と複数個の第２検査設備８１、８２、８３、８４と、回転コンベア９０と、直送コンベア９５と、分類コンベア６０は、これらを制御するためのコンピュータ（図示せず）に接続されている。このコンピュータ（図示せず）により、すべての工程の移送手段は制御される。
[作用]
前記のような本発明の第２実施例によるインライン搬送システムの作用を、図７を参照して説明する。
【００９４】
液晶表示装置の製造工程を通して製造されたガラス基板３０は、複数個の第１検査設備７０および第２検査設備８０における検査工程を実施するために、複数個の第１検査設備７０と複数個の第２検査設備８０とに連結された回転コンベア９０に乗って移動する。
【００９５】
ガラス基板３０が複数個の第１検査設備７０と複数個の第２検査設備８０との間に位置する回転コンベア９０に乗って移動する途中、ガラス基板３０が複数個の第１検査設備７０及び複数個の第２検査設備８０のうちのいずれか１つに搬入される条件を満足するか否かを判断する。
【００９６】
ガラス基板３０が検査設備７０、８０に搬入される条件とは、複数個の第１検査設備７０および複数個の第２検査設備８０に他のガラス基板３０の搬入がなく検査工程が実施されないことと、複数個の第１検査設備７０と複数個の第２検査設備８０とが新たなガラス基板３０の検査工程を実施する準備が整っていることの両方を満たす場合を意味する。
【００９７】
複数個の第１検査設備７１、７２、７３、７４及び第２検査設備８１、８２、８３、８４のうち搬入される条件を満足する検査設備に、ガラス基板３０が搬入され検査が行われる。
【００９８】
この時、回転コンベア９０の第１及び第２搬送部９１、９２に乗って移動したガラス基板３０は、複数個の第１検査設備の入口７１a、７２a、７３a、７４aと複数個の第２検査設備の入口（図示せず）とに連結されている回転コンベア９０に乗って、搬入条件を満足する検査設備に搬入される。
【００９９】
複数個の第１及び第２検査設備７０、８０において検査工程を終えたガラス基板３０は、第１検査設備の出口（図示せず）及び第２検査設備の出口８１b、８２b、８３b、８４bと連結されている分類コンベア６０に乗って、複数個のガラス基板分類器１７０に移動する。
【０１００】
そして、ガラス基板３０は、検査工程において判定された検査等級に応じて複数個のガラス基板分類器１７０のうちのいずれか１つに搬入されて分類される。
【０１０１】
この場合、ガラス基板３０の検査工程を１枚単位で実施する際に、回転コンベア９０及び分類コンベア６０によるインライン搬送システムを利用することにより、特定の検査設備に異常がある場合にも他の検査設備に影響を及ぼすことなく検査を行うことが可能である。これによって実施される工程が柔軟性に行われ、搬送所要時間も短縮する。
【０１０２】
以上、添付の図面を参照して本発明の一実施例について説明したが、これは本発明の例示にすぎず、当該技術分野の通常の知識を有する者であればこれによる様々な変形及び均等な他の実施例が可能である。よって、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲の技術的思想によって決まらなければならない。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】一実施例によるインライン搬送システムの全体的な概略図
【図２】一実施例によるインライン搬送システムの概略的な平面図
【図３】コンベアの具体的な構造図
【図４】図３のIV-IV´線による断面図
【図５】一実施例によるインライン搬送システムの一部の斜視図
【図６】一実施例によるインライン搬送システムの制御順を示すフローチャート
【図７】他の実施例によるインライン搬送システムの全体的な概略図
【符号の説明】
【０１０４】
３０  ガラス基板
１００  第１工程設備
２００  第２工程設備
３００  第１回転コンベア
３５０  第１直送コンベア
４００  第２回転コンベア
４５０  第２直送コンベア
５１０  第１インラインバッファー
５２０  第２インラインバッファー
６１０  第１搬送部材昇降機
６２０  第２搬送部材昇降機
【図１】
0004833530.tif 000002
【図２】
0004833530.tif 000003
【図３】
0004833530.tif 000004
【図４】
0004833530.tif 000005
【図５】
0004833530.tif 000006
【図６】
0004833530.tif 000007
【図７】
0004833530.tif 000008