(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットを支持するべース部材と、該ベース部材の下方に配置され該ベース部材を傾動させる傾動手段とを備え、前記傾動手段を作動させて前記ベース部材及び前記バッファカセットを水平姿勢又は傾斜姿勢に移行可能とした無人搬送車において、
第一カバーを搬送車本体に設けて、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段を覆うとともに、
第二カバーを前記ベース部材に設けて、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに前記第一カバーと前記ベース部材との隙間を覆うように構成したことを特徴とする、
無人搬送車。
【請求項２】
請求項１に記載の無人搬送車において、
前記ベース部材の揺動中心は該ベース部材の一端寄りに配置させるとともに、
前記第二カバーは、そのベース部材の他端側に設けられる部分が、
・同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに平行となる、平板状の第一の部分と、
・同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに平行となる、平板状の第二の部分と、
を含むように構成し、また、
前記ベース部材の揺動中心から前記第一の部分までの距離よりも、該ベース部材の揺動中心から前記第二の部分までの距離が短いことを特徴とする、
無人搬送車。
【請求項３】
請求項２に記載の無人搬送車において、
前記傾動手段を、車体本体の取付部に取り付けて構成したアクチュエータで構成し、
前記ベース部材に固定したブラケットを該アクチュエータに回動自在に支持させ、
前記取付部の周辺には前記第一カバー内の空気を逃がす逃がし孔を設けたことを特徴とする、
無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場のステーション間で、半導体ウエハを自動搬送・移載する無人搬送車に関し、詳しくは、該無人搬送車に搭載したウエハを一時収納するバッファカセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、塵挨の発生が問題となる半導体製造工場では、半導体ウエハを移載・搬送するために、スカラーアーム式のロボットアームと、ウエハを一時収納するバッファカセットとを搭載した無人搬送車を自動走行させる技術が知られている。
この無人搬送車によってウエハが搬送されるのであるが、まず、無人搬送車を自動倉庫前に移動させ、そして、該自動倉庫からロボットアームでウエハを１枚ずつ取り出してバッファカセット内の各棚に収納していく。
このバッファカセットは、その棚が水平となるように載置されており、該棚の間にウエハを保持したロボットアームを挿入する。そして、保持していたウエハを放し、該ウエハを水平な位置姿勢でセットする。こうしてバッファカセットにウエハを１枚１枚収納していく。しかし、バッファカセットをこの状態にしたまま、無人搬送車を走行させると、ウエハが飛び出す恐れがある。無人搬送車は、前後両方向に走行するようになっており、特に、始動時や停止時は、その速度の変化が大きいため、飛び出す可能性も高い。
【０００３】
そこで、バッファカセットを斜めに傾けて、挿入口側を斜上方へ向けるということが行われている。
具体的構成を説明すると、車体本体上面に基部フレームを設けて、該基部フレームの上にバッファカセットを配設する。このとき、バッファカセットは基部フレームに対して回動自在に取り付ける。また、基部フレームには、バッファカセットを回動させるアクチュエータを内設するとともに、該バッファカセットの水平姿勢及び傾斜姿勢を規定するストッパ機構を配設する。
以上の構成で、無人搬送車を走行させる際には、アクチュエータを作動させてバッファカセットをその水平姿勢から傾斜姿勢へ移行させる。このように、走行中は、バッファカセットの入口が上方となるように傾斜させておき、カセット内部のウエハが飛び出さないようにしておく。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記基部フレームの内部にはアクチュエータの作動等で塵挨が溜まっており、バッファカセットを傾斜させると、該バッファカセットと基部フレームとの間に隙間ができて、該基部フレーム内部が露出されてしまう。また、このときは走行時でもあるため、該基部フレーム内部に外の空気が流れ込み、そうすると、該塵挨は該基部フレーム内部から飛散され巻き上げられることになる。
この走行時だけではなく、無人搬送車を停止させた後、該バッファカセットを元の水平状態に戻すときにも、基部フレーム内部の塵挨は風圧で外へ舞い散ることとなる。
このような塵挨の飛散は好ましくないものであり、特に、高いクリーン度が要求される半導体製造工場においてはなおさらである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するための手段を説明する。
【０００６】
すなわち、請求項１記載の如く、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットを支持するべース部材と、該ベース部材の下方に配置され該ベース部材を傾動させる傾動手段とを備え、前記傾動手段を作動させて前記ベース部材及び前記バッファカセットを水平姿勢又は傾斜姿勢に移行可能とした無人搬送車において、第一カバーを搬送車本体に設けて、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段を覆うとともに、第二カバーを前記ベース部材に設けて、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに前記第一カバーと前記ベース部材との隙間を覆うように構成する。
【０００７】
そして、請求項２記載の如く、前記ベース部材の揺動中心は該ベース部材の一端寄りに配置させるとともに、前記第二カバーは、そのベース部材の他端側に設けられる部分が、同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに平行となる、平板状の第一の部分と、同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに平行となる、平板状の第二の部分と、を含むように構成し、また、前記ベース部材の揺動中心から前記第一の部分までの距離よりも、該ベース部材の揺動中心から前記第二の部分までの距離が短くなるように構成する。
【０００８】
また、請求項３記載の如く、前記傾動手段を、車体本体の取付部に取り付けて構成したアクチュエータで構成し、前記ベース部材に固定したブラケットを該アクチュエータに回動自在に支持させ、前記取付部の周辺には第一カバー内の空気を逃がす逃がし孔を設ける。
【０００９】
【発明の実施の形態】
これより、本発明の実施の一形態を、図面を参照しながら説明する。
図１はクリーンルーム内の無人搬送車１の様子を示す斜視図、図２は無人搬送車１の側面断面図、図３はバッファカセット５の側面断面図であり、同図（ａ）はバッファカセット５の水平姿勢を、同図（ｂ）は傾斜姿勢を、それぞれ示す。
図４は移動カバーの形状を説明した側面図である。
【００１０】
まず、無人搬送車１の全体構成について説明する。
以下の説明では、図１における矢視Ｆ方向を前方として、各構造体の前後左右位置を説明する。また、その他の図面における各構造体の前後左右位置も図１に準ずるものとする。
【００１１】
図１に示すように、無人搬送車１は、走行レール２０・２０上を自動走行する有軌道台車であり、車体本体２が走行輪９・９・９・９により支持され、該走行輪９・９・９・９はそのそれぞれに対応した駆動モータ８・８・８・８（図２）で駆動させることで、走行レール２０・２０上を四輪駆動で走行させている。
尚、本実施の形態では、スリップを減らす為に全ての走行輪９・９・９・９に駆動を伝えるようにしており、各走行輪９・９・９・９にはそれぞれ駆動モータ８・８・８・８が取り付けられているが、全ての走行輪９・９・９・９に駆動を伝達する機構は、これに限定することなく、他の機構でもよい。また、駆動輪は車体前後にそれぞれ設けられていれば、４輪に限らず、その数は限定しない。
【００１２】
前記走行レール２０・２０に沿って、処理装置２１・２１・・・やストッカ２２が並べて配設され、該ストッカ２２上に複数のカセット２３・２３・・・が所定間隔を空けて並設されている。各カセット２３・２３・・・は、その開口を走行レール２０・２０側へ向けて配置され、該カセット２３内には上下に多数段の棚が設けられ、各棚にウエハ１０・１０・・・が水平に収納されている。
本実施の形態では、ストッカ２２を平置型のストッカとしているが、カセット２３の搬出入口と、多数の棚と、棚と搬出入口との間でカセット２３を移載するスタッカークレーンとを備えた自動倉庫であっても良い。
【００１３】
図２に示すように、前記無人搬送車１の車体本体２には、その中央にウエハ１０・１０・・・を移載する移載装置３が配設され、その前後に、ウエハ１０・１０・・・の方向及び中心位置を揃える姿勢合わせ装置４と、ウエハ１０・１０・・・を収納するバッファカセット５とが配設されている。
【００１４】
次に、前記移載装置３について説明する。
移載装置３は、移載アーム３０Ｍ・３０Ｓ、基台３８、ターンテーブル３９等から成り、基台３８は車体本体２中央に埋設され、該基台３８上にターンテーブル３９が枢設され、該ターンテーブル３９上に一対の移載アーム３０Ｍ・３０Ｓが取り付けられている。
【００１５】
前記基台３８は昇降可能に構成され、また、前記ターンテーブル３９は該基台３８に対して相対回転可能に構成されている。
前記移載アーム３０Ｍ（３０Ｓ）は、移載ハンド３１と、第１アーム３２と、第２アーム３３とでリンク機構が組まれたスカラーアーム式のロボットハンドであり、サーボモータ等から成るアクチュエータにより屈折自在に構成されている。
【００１６】
次に、前記姿勢合わせ装置４について説明する。
姿勢合わせ装置４は、ケーシング４０、載置台４１、オリフラセンサ４２・４２、オプティカルキャラクタリーダ（以下「ＯＣＲ」）４３等から成り、該ケーシング４０は移載装置３側が開口して、その入口付近には２組のオリフラセンサ４２・４２が配設され、それぞれ天井面に受光器４２ａ、床面に投光器４２ｂを埋設して構成されている。この２組のオリフラセンサ４２・４２は、外側（ケーシング４０の開口入口側）のオリフラセンサ４２で１２インチのウエハ１０のオリフラ位置（又はノッチ位置）を検出し、内側（ケーシング４０の開口奥側）のオリフラセンサ４２で８インチのウエハ１０Ｓのオリフラ位置（又はノッチ位置）を検出するように構成されている。
【００１７】
なお、１２インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２と、８インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２の配置は、載置台４１の回転中心から８インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２へ向けての延長線上で、ウエハ１０の縁部が検出可能な位置に、１２インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２を配置するようにしてもよい。あるいは、８インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２からの延長線上ではなく、９０°ずらした直交する方向で、ウエハ１０の縁部が検出可能な位置に、１２インチウエハ１０用のオリフラセンサ４２を配置するようにしてもよい。
【００１８】
また、ケーシング４０の開口の床面、奥側にはＯＣＲ４３が埋設され、該ケーシング４０内に、ＩＤマークの付された面を下側にしてウエハ１０をセットし、該ＩＤマーク１１を該ＯＣＲ４３で読み取る構成とする。尚、ＩＤマークの面を上側にしてウエハ１０をセットしてもよく、この場合、ＯＣＲ４３はケーシング４０の開口の天井面、奥側に配置し、あるいは、作業過程でウエハ１０の盤面が上下入れ替わることも考慮して、図２に示すように、ケーシング４０の開口の天井面、及び床面の奥側に、上下一対のＯＣＲ４３・４３を配置する構成することが好ましい。
【００１９】
また、ケーシング４０の開口の床面には、ウエハ１０を載置する載置台４１が設けられている。該載置台４１は円盤状の形状で、その回転中心には吸着孔が設けられ、該吸着孔から同心円状、並びに放射線状に複数の吸着溝が設けられている。この構成で、ウエハ１０を載置台４１上に載置した状態で吸着孔からエアポンプで吸引することによってウエハ１０を吸着・保持し、載置台４１を回転させたときに、ウエハ１０が遠心力で位置ズレしないようにしている。
【００２０】
次に、前記バッファカセット５について説明する。
図２及び図３に示すように、バッファカセット５は、その入口を前方（移載装置３側）へ向けて可動ベース部材５０上に固定され、該可動ベース部材５０は車体本体２より立設された基部フレーム（図外）上に配置されている。該バッファカセット５内には上下に多数段の棚が設けられ、この棚にウエハ１０・１０・・・が収納される。
【００２１】
詳しくは、該棚はバッファカセット５内の左右内側面から若干の幅だけ突出されるのみであって、ウエハ１０の両端下面を支持するだけである。各段の棚の間口の左右幅はウエハ１０の直径よりも適宜のマージンをもってやや広く形成されているので、ウエハ１０を吸着保持する移載ハンド３１が多少横方向へブレていても、あるいは、ウエハ１０の回転中心と移載ハンド３１の中心（左右中心）とが一致しないまま保持されていたとしても、該棚の間口からウエハ１０を挿し込むことが可能である。
各段の棚の間口はウエハ１０の直径よりもやや広く形成され、バッファカセット５の左右内側面は、入口側は互いに平行とする一方、奥側は「Ｖ」字状に徐々に狭めた形状とされている。この構成により、バッファカセット５が後述する機構により奥側が下となる傾斜姿勢とされたときには、ウエハ１０はその自重によって奥側へ滑り落ちるとともに、その両側は前記「Ｖ」字状の部分に案内される。この結果、ウエハ１０が最奥部まで落ち込んだときには、各ウエハ１０の回転中心がバッファカセット５の左右中心と一致する位置で綺麗に揃うことになる。
【００２２】
前記可動ベース部材５０下面の後端側寄りの位置には、その揺動中心としての回動支点軸５６が横設され、該回動支点軸５６は、搬送車本体上面に設けられた図示しない基部フレームの後部に軸支されている。バッファカセット５下方における車体本体２には傾動手段たるエアシリンダ５２が揺動可能に埋設され、そのシリンダロッド５２ａは前記基部フレーム内に突出し、該シリンダロッド５２ａ上端は、可動ベース部材５０下面に固定したブラケット５３に回動自在に連結される。
前記エアシリンダ５２の周囲には、エアシリンダ５２の直径より充分大きい直径の逃がし孔２ｂが設けられ、車体本体２下面へと連通されている。
【００２３】
この逃がし孔２ｂは、エアシリンダ５２の揺動を許容するとともに、詳しくは後述するが、可動ベース部材５０の傾動により生じる空気を車体本体２下方へと逃がす働きをする。なお、逃がし孔２ｂは、エアシリンダ５２の周囲に１つ設けてもよく、ストッパ機構５４Ｆ・５４Ｂが取り付けられている面の前面に渡って複数設けてもよい。
【００２４】
このエアシリンダ５２を作動させてシリンダロッド５２ａを進退させることによって、ブラケット５３を介して可動ベース部材５０が上昇／下降され、これによりバッファカセット５の可動ベース部材５０を該回動支点軸５６まわりに上下に傾動させることができる。
【００２５】
なお、空気によって作動する該エアシリンダ５２をアクチュエータとして採用することで、バッファカセット５内に収納されるウエハ１０・１０・・・に振動が極力伝わらないようにしたいという要請に配慮している。即ち、無人搬送車１から処理装置２１へ移載の際、常にウエハ１０・１０・・・の向きを一定にして受け渡し、検査処理の迅速化が図られているのであるが、そのために姿勢合わせ装置４でウエハ１０・１０・・・のＩＤマークを読み取るとともに、ウエハ１０・１０・・・のオリフラ位置（又はノッチ位置）を一定方向に揃え、その揃えた状態のままウエハをバッファカセット５内に収納しているのである。このようにいったん揃えたウエハ１０・１０・・・が位置ズレしたり回転してしまわないように、エアシリンダ５２の空気バネの如き作用によって車両走行中に発生する振動を緩衝させているのである。
【００２６】
また、基部フレームの内側にあっては、その前部位置、並びに後部位置にストッパ機構５４Ｆ・５４Ｂが設けられて、バッファカセット５の水平姿勢及び傾斜姿勢を規定している。本実施例において「水平姿勢」とは、図３（ａ）に示すように、ウエハ１０・１０・・・を載置する棚が水平となるときのバッファカセット５の位置姿勢を言い、「傾斜姿勢」とは、同図（ｂ）に示すように、該棚の入口側（前方）が上方へ傾いたときの位置姿勢を言う。
【００２７】
バッファカセット５の入口付近にはストッパロッド５５が設けられ、該入口を挟んで配置される上下のフレームの左端位置から中央位置にかけて溝部が形成されて、該溝部にストッパロッド５５の上下端が挿入され、該溝部に沿ってストッパロッド５５が移動可能となっている。
無人搬送車１の停止状態においては該ストッパロッド５５はバッファカセット５の入口の左端位置にある。無人搬送車１を走行させる際には（前述の如くバッファカセット５を傾斜させるとともに）、該ストッパロッド５５をバッファカセット５の入口の中央位置までスライドさせてウエハ１０・１０・・・の端部に接触させて保持し、ウエハ１０・１０・・・の飛び出しを確実に防止する。
【００２８】
図３（ａ）（ｂ）に示すように、回動支点軸５６を支持する前記基部フレームの周囲（前後左右）は、第一カバーたる固定カバー５１で覆われている。基部フレームの後面を覆う該固定カバー５１の部分は、その上部を階段状に後方へ膨出させて膨出部５１ｂとし、バッファカセット５を図３（ｂ）の傾斜姿勢としたときに可動ベース部材５０の後端下部が固定カバー５１と干渉しないようにしている。
【００２９】
また、可動ベース部材５０の前面及び左右側面には第二カバーたる移動カバー５７が設けられて、前記固定カバー５１内に向けて垂下される。そして、この該移動カバー５７の、可動ベース部材５０の遊端側（回動支点軸５６から遠い側）である前面に配置される部分５７ａは、可動ベース部材５０が水平姿勢のときに、前側固定カバー５１ａに対して図３（ａ）の如く平行となる第一の部分５７ａ１と、可動ベース部材５０が傾斜姿勢のときに前側固定カバー５１ａに対して図３（ｂ）の如く平行となる第二の部分５７ａ２とを含むように、側面視で一箇所だけ緩やかに折曲させた形状に構成している。
【００３０】
そして、回動支点軸５６から該第一の部分５７ａ１までの距離（図４に示す距離Ｌ１）よりも、該回動支点軸５６から該第二の部分５７ａ２までの距離（Ｌ２）が短くなるように構成している（Ｌ１＞Ｌ２）。これによって、移動カバー５７の前面配置部分５７ａにおいて折曲させている箇所（第一の部分５７ａ１と第二の部分５７ａ２とが連続している箇所）が、バッファカセット５を水平姿勢から傾斜姿勢（あるいはその逆）へ移行させる際に、固定カバー５０ａの内面とぶつからないようにすることができる。
ただし、該回動支点軸５６から該第二の部分５７ａ２までの距離Ｌ２があまりに短くなると、バッファカセット５の傾斜姿勢時において可動ベース部材５０前面の部分における移動カバー５７ａと固定カバー５１ａとの間にできる隙間が大きくなってしまう。従って、該回動支点軸５６から該第二の部分５７ａ２までの距離Ｌ２を短くさせる量は、前記折曲させている箇所が固定カバー５０ａの内面と干渉しない範囲で、できるだけ小さく設定するようにする。
【００３１】
もっとも、該移動カバー５７の前面配置部分５７ａを、該回動支点軸５６を円弧中心とした円弧面に形成するのが望ましいが、技術的に難しく、製造コストも増大する。
この点本実施例では、上述したように移動カバー５７の前面配置部分５７ａを折り曲げて、平板状の第一の部分５７ａ１と平板状の第二の部分５７ａ２とを形成する簡易な形状としたので、その製造コストや製造コストを減少させることができる。
【００３２】
このように固定カバー５１と移動カバー５７とを設けることで、搬送前にバッファカセット５を傾斜姿勢に移行させる際に、可動ベース部材５０下方に溜まっている塵挨の外部への放散を効果的に防ぐことができる。また、停車してバッファカセット５を元の水平状態に移行させるに伴って可動ベース部材５０下方空間の空気は圧縮され高圧状態が生じることとなるが、それによっても塵挨は、移動カバー５７ａと固定カバー５１ａとの隙間から上方へ噴出して飛散することは殆どなく、エアシリンダ５２の周囲に設けた逃がし孔２ｂから車体本体２下方へと送られる。その後、該塵挨は、無人搬送車１の軌道に沿って部屋の床面に設けられた排気ファンによって室外へと排出される。この排気ファンは、クリーンルーム内の各所で発生した塵挨を室外へ排出するものであり、該軌道に沿って複数設けられている。
このようにして、本発明では、エアシリンダ５２で発生した塵挨を巻き上げさせることなく効果的に除去しているのである。
【００３３】
【発明の効果】
本発明は以上の如く構成したので、次のような効果を奏するのである。
すなわち、請求項１のように、ウエハを移載する移載装置と、ウエハを一時収納するバッファカセットと、該バッファカセットを支持するべース部材と、該ベース部材の下方に配置され該ベース部材を傾動させる傾動手段とを備え、前記傾動手段を作動させて前記ベース部材及び前記バッファカセットを水平姿勢又は傾斜姿勢に移行可能とした無人搬送車において、第一カバーを搬送車本体に設けて、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに位置する前記傾動手段を覆うとともに、第二カバーを前記ベース部材に設けて、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに前記第一カバーと前記ベース部材との隙間を覆うように構成したので、
バッファカセットが水平姿勢及び傾斜姿勢のいずれであっても、ベース部材下方の空間の周囲は第一カバー（あるいは第一カバー及び第二カバー）によって覆われることとなる。従って、特にバッファカセットを傾斜姿勢としながら無人搬送車を走行させる際においても、ベース部材下方の空間（傾動手段の周囲の空間）は露出されず、そこに溜まっている塵挨が外へ放散されるのを防ぐことができる。
【００３４】
請求項２のように、前記ベース部材の揺動中心は該ベース部材の一端寄りに配置させるとともに、前記第二カバーは、そのベース部材の他端側に設けられる部分が、同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが水平姿勢にあるときに平行となる、平板状の第一の部分と、同じ側に配置される前記第一カバーの部分に対して、前記バッファカセットが傾斜姿勢にあるときに平行となる、平板状の第二の部分と、を含むように構成し、また、前記ベース部材の揺動中心から前記第一の部分までの距離よりも、該ベース部材の揺動中心から前記第二の部分までの距離が短いように構成することで、
第一カバーと第二カバーとの間の隙間を比較的狭くすることができ、傾動手段周囲で発生した塵挨の外への飛散を防止する効果は十分である。また、平板を折り曲げたシンプルな形状であるので、該第二カバーの製作も（ベース部材の揺動中心を円弧中心とした円弧面に形成したような形状に比べて）容易になる。
また、第二カバーの前面部分において、揺動中心から第一の部分までの距離よりも、該揺動中心から該第二の部分までの距離が短くなるから、第二カバーの前面部分の折曲箇所（第一の部分と第二の部分とが連続している箇所）が、バッファカセットを水平姿勢から傾斜姿勢（あるいはその逆）へ移行させる際に、第一カバーの内面とぶつからないようにすることができる。
【００３５】
また、請求項３のように、前記傾動手段を、車体本体の取付部に取り付けて構成したアクチュエータで構成し、前記ベース部材に固定したブラケットを該アクチュエータに回動自在に支持させ、前記取付部の周辺には第一カバー内の空気を逃がす逃がし孔を設けたことで、
ベース部材を傾斜状態から水平状態へ移行させるときに、ベース部材の下方部分（傾動手段の周囲）の空気は圧縮されて高圧が発生することとなるが、その高圧によっても、塵挨は、第一カバーと第二カバーとの隙間から飛散されたり巻き上げられたりすることなく、逃がし孔から車体本体下方へと送出される。塵挨を排出させる排気ファンは通例は部屋の床面（即ち、逃がし孔の下方）に設置されているので、塵挨は合理的かつ効果的に室外へと排出され除去されることになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】クリーンルーム内の無人搬送車１の様子を示す斜視図。
【図２】無人搬送車１の側面断面図。
【図３】バッファカセット５の側面断面図。（ａ）は水平状態にあるバッファカセット５を示し、（ｂ）は傾斜状態にあるバッファカセット５を示す。
【図４】移動カバーの形状を説明した側面図。
【符号の説明】
１        無人搬送車
２        車体本体
２ｂ      逃がし孔
５        バッファカセット
１０        ウエハ
５０        ベース部材
５１        固定カバー（第一カバー）
５１ａ      固定カバーの前面部分
５７        移動カバー（第二カバー）
５７ａ      移動カバーの前面部分
５７ａ１    第一の部分
５７ａ２    第二の部分
５２        エアシリンダ（傾動手段）
５６        回動支点軸（揺動支点）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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