(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と第２基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第１基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置であって、
一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを有し、
前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる３つの類型に分類した場合に、前記キャリッジに配列された複数の前記液滴吐出ヘッドはいずれも同じ類型に属し、かつ、該同じ類型は前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかであることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記液滴吐出ヘッドは前記キャリッジにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを備え、
第１基板と第２基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第１基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置の製造方法であって、
前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を、複数の類型に分類する工程と、
複数の前記液滴吐出ヘッドに対して、前記液滴の吐出量の分布を測定し、前記複数の類型の内、いずれの類型に属するかを判断する工程と、
前記複数の類型の内、第１の類型に属する前記液滴吐出ヘッドを、複数の前記液滴吐出ヘッドの中から選択し、該選択した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに取り付ける工程と、
を有し、
前記第１の類型は、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる３つの類型に分類した際に、前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかに属することを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出方法、ベタ膜形成方法、配向膜形成方法、液晶表示装置の形成方法、ヘッドユニット、液滴吐出装置及び電子機器に係り、特に膜厚の分散を小さくする方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表示部に液晶表示装置を備える電子機器が広く用いられている。この液晶表示装置は、液晶を介して一対の基板を貼り合わせて形成されている。これらの基板には、配向処理が施された配向膜が形成されている。そして、基板に配向膜を成膜する方式として、例えば、特許文献１にインクジェット方式を用いた塗布方法が開示されている。これは、複数のノズルが配列された吐出ヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を基板に対して相対移動させながら、各ノズルから配向膜形成材料を含む配向膜溶液を液滴にして吐出することにより、基板の表面に配向膜溶液を塗布する方法である。
【０００３】
このノズルから吐出される液滴の吐出量は、ノズルの場所により異なっている。そして、この吐出量を均一化する方法が特許文献２に開示されている。それによると、液滴吐出ヘッドを駆動する駆動信号を制御することにより、吐出量を均一化している。例えば、吐出量の大きい場所の駆動電圧を小さくして、吐出量の小さい場所の駆動電圧を大きくする。そして、液滴吐出ヘッドを複数の駆動信号を用いて駆動することにより、吐出量を均一化している。つまり、液滴吐出ヘッドにおいて各ノズルの吐出量を均一にして吐出することにより膜厚が均一な膜を形成していた。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１８６３３号公報
【特許文献２】特開２００２−１９６１２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の方法では、膜厚が均一な膜を形成するために、液滴吐出ヘッド毎に複数の駆動電圧を供給する駆動回路が必要であった。そして、複数の駆動電圧を供給する駆動回路がないときには、膜厚が均一な膜を形成することが難しかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置は、第１基板と第２基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第１基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置であって、一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを有し、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる３つの類型に分類した場合に、前記キャリッジに配列された複数の前記液滴吐出ヘッドはいずれも同じ類型に属し、かつ、該同じ類型は前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかであることを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドは前記キャリッジにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
また、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置の製造方法は、一列に配列された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドが、前記複数のノズルの配列方向に複数配列されたキャリッジを備え、第１基板と第２基板との間に液晶が挟持されてなる液晶表示装置の前記第１基板に膜を形成するために用いられる液滴吐出装置の製造方法であって、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を、複数の類型に分類する工程と、複数の前記液滴吐出ヘッドに対して、前記液滴の吐出量の分布を測定し、前記複数の類型の内、いずれの類型に属するかを判断する工程と、前記複数の類型の内、第１の類型に属する前記液滴吐出ヘッドを、複数の前記液滴吐出ヘッドの中から選択し、該選択した前記液滴吐出ヘッドを前記キャリッジに取り付ける工程と、を有し、前記第１の類型は、前記複数のノズルにおける液滴の吐出量の分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算した時に得られる近似式線を、右上がりの直線、略平行な直線および左上がりの直線からなる３つの類型に分類した際に、前記右上がりの直線または左上がりの直線のいずれかに属することを特徴とする。
【０００７】
［適用例１］
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と第２ノズル群とに分類する分類工程と、前記第１ノズル群からなる第１ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群からなる第２ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第１ノズル構成体又は、前記第２ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
【０００８】
この吐出方法によれば、吐出量の分布を演算して、第１ノズル群と第２ノズル群とに分類する。そして、第１ノズル構成体は、第１ノズル群の隣に第１ノズル群が配置される。そして、一つの第１ノズル群の第２の端部と、別の第１ノズル群の第１の端部と、が隣合って配置される。このとき、第１ノズル群は第１の端部側の吐出量より第２の端部側の吐出量が大きくなっている。つまり、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。
【０００９】
第１ノズル構成体のノズルから液状体を吐出する。そして、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第４ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第５ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第４ノズル構成体又は、前記第５ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００１１】
この吐出方法によれば、吐出量の分布を演算して、第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する。そして、第４ノズル構成体は、第１ノズル群の隣に第１ノズル群又は、第３ノズル群が配置される。そして、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、前記第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。このとき、第１ノズル群は第１の端部側の吐出量より第２の端部側の吐出量が大きくなっている。そして、第３ノズル群は、第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量とが略同量となっている。つまり、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。
【００１２】
第４ノズル構成体のノズルから液状体を吐出する。そして、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００１３】
［適用例３］
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第３ノズル群を分類する分類工程と、前記第３ノズル群からなる第３ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第３ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００１４】
この吐出方法によれば、吐出量の分布を演算して、第３ノズル群を分類する。そして、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、ノズル群両端の吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液状体の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００１５】
［適用例４］
本適用例にかかる吐出方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する吐出方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第６ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第６ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されることを特徴とする。
【００１６】
この吐出方法によれば、吐出量の分布を演算して、第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する。そして、第６ノズル構成体は、第１ノズル群の隣に第１ノズル群又は、第３ノズル群が配置される。そして、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、前記第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。このとき、第１ノズル群は第１の端部側の吐出量より第２の端部側の吐出量が大きくなっている。そして、第３ノズル群は、第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量とが略同量となっている。つまり、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算し、前記第１の端部側と前記第２の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
【００１８】
この吐出方法によれば、最小二乗法を用いて吐出量の分布における１次近似式を演算している。最小二乗法は、精度良く１次近似式を演算することができるので、第１の端部と第２の端部との吐出量を精度良く比較することができる。
【００１９】
［適用例６］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記分類工程では、前記第１の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第２の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
【００２０】
この吐出方法によれば、第１の端部側における複数のノズルから吐出される吐出量の和を演算している。同様に、第２の端部側における複数のノズルから吐出される吐出量の和を演算している。そして、第１の端部側の吐出量と、第２の端部側の吐出量と、を比較している。この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
【００２１】
［適用例７］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【００２２】
この吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドは第１の端部側と第２の端部側とを交換することにより、第１ノズル群を第２ノズル群に変更することができる。同様に、第２ノズル群を第１ノズル群に変更することができる。従って、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを総て第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを総て第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【００２３】
［適用例８］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
【００２４】
この吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドを交換するとき、ヘッドユニット毎交換している。従って、液滴吐出ヘッドを１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッドを交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッドを交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【００２５】
［適用例９］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークに前記液状体を塗布する領域の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
【００２６】
この吐出方法によれば、作業者はワークを一方向に移動して、ノズル群から液状体を吐出することにより、液状体を塗布する予定の領域に塗布することができる。このとき、吐出装置はノズル群をノズルが配列されている方向に移動して改行することなく、ワークに液状体を塗布することができる。従って、ワーク又はノズル群を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【００２７】
［適用例１０］
上記適用例にかかる吐出方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【００２８】
この吐出方法によれば、液滴吐出ヘッドは千鳥状に配置されている。つまり、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、ノズルが配列している方向と略直交する方向又は斜めの方向に、ノズルとワークとを相対移動して液状体を塗布する。まず、第１配列の液滴吐出ヘッドが液滴を吐出して線を形成する。次に、第１配列の液滴吐出ヘッドにより形成された線上に、第２配列の液滴吐出ヘッドが液滴を吐出して線を形成する。このとき、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。従って、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体が乾燥等により固化する前に、第２配列の液滴吐出ヘッドが液状体を塗布することができる。そして、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【００２９】
［適用例１１］
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と第２ノズル群とに分類する分類工程と、前記第１ノズル群からなる第１ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群からなる第２ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第１ノズル構成体又は、前記第２ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
【００３０】
このベタ膜形成方法によれば、第１ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００３１】
［適用例１２］
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第４ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第５ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第４ノズル構成体又は、前記第５ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００３２】
このベタ膜形成方法によれば、第４ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、第３ノズル群の吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００３３】
［適用例１３］
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第３ノズル群を分類する分類工程と、前記第３ノズル群からなる第３ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第３ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００３４】
このベタ膜形成方法によれば、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液状体の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００３５】
［適用例１４］
本適用例にかかるベタ膜形成方法は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出してベタ膜を形成するベタ膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第６ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第６ノズル構成体を用いて前記ワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を放置する平坦化工程と、前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されることを特徴とする。
【００３６】
このベタ膜形成方法によれば、第６ノズル構成体では、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００３７】
［適用例１５］
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と第２ノズル群とに分類する分類工程と、前記第１ノズル群からなる第１ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群からなる第２ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第１ノズル構成体又は、前記第２ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
【００３８】
この配向膜形成方法によれば、第１ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液晶配向膜形成用組成物が吐出されて、吐出された液晶配向膜形成用組成物はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液晶配向膜形成用組成物の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００３９】
［適用例１６］
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第４ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第５ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第４ノズル構成体又は、前記第５ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００４０】
この配向膜形成方法によれば、第４ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、第３ノズル群の吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液晶配向膜形成用組成物が吐出され、吐出された液晶配向膜形成用組成物はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液晶配向膜形成用組成物の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００４１】
［適用例１７］
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第３ノズル群を分類する分類工程と、前記第３ノズル群からなる第３ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第３ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００４２】
この配向膜形成方法によれば、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００４３】
［適用例１８］
本適用例にかかる配向膜形成方法は、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成方法であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第６ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第６ノズル構成体を用いてワークに吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されることを特徴とする。
【００４４】
この配向膜形成方法によれば、第６ノズル構成体では、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００４５】
［適用例１９］
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と第２ノズル群とに分類する分類工程と、前記第１ノズル群からなる第１ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群からなる第２ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第１ノズル構成体又は、前記第２ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きいことを特徴とする。
【００４６】
この液晶表示装置の形成方法によれば、第１ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液晶配向膜形成用組成物が吐出されて、吐出された液晶配向膜形成用組成物は基板上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液晶配向膜形成用組成物の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００４７】
［適用例２０］
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第４ノズル構成体、又は、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第５ノズル構成体、を形成する構成工程と、前記第４ノズル構成体又は、前記第５ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００４８】
この液晶表示装置の形成方法によれば、第４ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、第３ノズル群の吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液晶配向膜形成用組成物が吐出され、吐出された液晶配向膜形成用組成物は基板上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液晶配向膜形成用組成物の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００４９】
［適用例２１］
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布を用いて、前記ノズル群から第３ノズル群を分類する分類工程と、前記第３ノズル群からなる第３ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第３ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であることを特徴とする。
【００５０】
この液晶表示装置の形成方法によれば、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００５１】
［適用例２２］
本適用例にかかる液晶表示装置の形成方法は、液晶を一対の基板が挟持してなる液晶表示装置の形成方法であって、複数のノズル群から液晶配向膜形成用組成物を前記基板に吐出して配向膜を形成する配向膜形成工程を有し、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記配向膜形成工程は、前記ノズルの吐出量を測定して、前記吐出量の分布を演算する分布演算工程と、前記吐出量の前記分布から、前記ノズル群を第１ノズル群と、第２ノズル群と、第３ノズル群と、に分類する分類工程と、前記第１ノズル群、前記第２ノズル群及び前記第３ノズル群からなる第６ノズル構成体を形成する構成工程と、前記第６ノズル構成体を用いて前記基板に吐出する吐出工程と、吐出された前記液晶配向膜形成用組成物を放置する平坦化工程と、前記液晶配向膜形成用組成物を固化する固化工程と、を有し、前記第１ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きく、前記第２ノズル群は、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きく、前記第３ノズル群は、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量であり、前記構成工程において、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されることを特徴とする。
【００５２】
この液晶表示装置の形成方法によれば、第６ノズル構成体では、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液晶配向膜形成用組成物は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液晶配向膜形成用組成物の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００５３】
［適用例２３］
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群から構成される第１ノズル構成体と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群から構成される第２ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
【００５４】
このヘッドユニットによれば、第１ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００５５】
［適用例２４］
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群及び、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群、から構成される第４ノズル構成体と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群及び、前記第３ノズル群、から構成される第５ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
【００５６】
このヘッドユニットによれば、第４ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、第３ノズル群の吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００５７】
［適用例２５］
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群から構成される第３ノズル構成体を用いて形成されていることを特徴とする。
【００５８】
このヘッドユニットによれば、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液状体の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００５９】
［適用例２６］
本適用例にかかるヘッドユニットは、液状体をワークに吐出する複数のノズル群が配置されたヘッドユニットであって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群と、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群と、から構成される第６ノズル構成体を用いて形成され、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されていることを特徴とする。
【００６０】
このヘッドユニットによれば、第６ノズル構成体では、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００６１】
［適用例２７］
上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【００６２】
このヘッドユニットによれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを、総て、第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを、総て、第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【００６３】
［適用例２８］
上記適用例にかかるヘッドユニットにおいて、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【００６４】
このヘッドユニットによれば、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。このとき、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【００６５】
［適用例２９］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群から構成される第１ノズル構成体と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群から構成される第２ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
【００６６】
この液滴吐出装置によれば、第１ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。第２ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００６７】
［適用例３０］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群及び、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群、から構成される第４ノズル構成体と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群及び、前記第３ノズル群、から構成される第５ノズル構成体と、のいずれか一方を用いて形成されていることを特徴とする。
【００６８】
この液滴吐出装置によれば、第４ノズル構成体では、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、第３ノズル群の吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。そして、ノズルから液状体が吐出されて、吐出された液状体はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合うとき、液状体の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。第５ノズル構成体を用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００６９】
［適用例３１］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群から構成される第３ノズル構成体を用いて形成されていることを特徴とする。
【００７０】
この液滴吐出装置によれば、第３ノズル構成体では、第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部側の吐出量と第２の端部側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された液状体の膜厚は、略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００７１】
［適用例３２］
本適用例にかかる液滴吐出装置は、複数のノズル群から液状体をワークに吐出する液滴吐出装置であって、前記ノズル群を構成するノズルが第１の端部から第２の端部へ配列して形成され、前記第１の端部側の吐出量より前記第２の端部側の前記吐出量が大きい第１ノズル群と、前記第２の端部側の前記吐出量より前記第１の端部側の前記吐出量が大きい第２ノズル群と、前記第１の端部側の前記吐出量と前記第２の端部側の前記吐出量とが略同量の第３ノズル群と、から構成される第６ノズル構成体を用いて形成され、前記第１ノズル群の隣には、前記第１ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置され、前記第２ノズル群の隣には、前記第２ノズル群又は、前記第３ノズル群が配置されていることを特徴とする。
【００７２】
この液滴吐出装置によれば、第６ノズル構成体では、一つの第１ノズル群の第２の端部側と、別の第１ノズル群の第１の端部側又は、第３ノズル群の第１の端部側が隣合って配置される。第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所又は、吐出量が略中間の場所とが隣合って配置される。又、第２ノズル群の隣に第２ノズル群又は第３ノズル群が配置されるときも同様に配置される。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された液状体は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された液状体の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【００７３】
［適用例３３］
本適用例にかかる電子機器は、表示部を備える電子機器であって、前記表示部に上記適用例に記載の液晶表示装置の形成方法を用いて形成された液晶表示装置を備えることを特徴とする。
【００７４】
この電子機器によれば、電子機器は表示部に上記の液晶表示装置を備えている。この液晶表示装置は上記の方法を用いて製造されているので、膜厚の分散が少なく形成されている。従って、膜厚の分散の少ない膜が形成されている液晶表示装置を備えた電子機器とすることができる。
【００７５】
［適用例３４］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算し、前記第１の端部側と前記第２の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
【００７６】
このベタ膜形成方法によれば、最小二乗法を用いて吐出量の分布における１次近似式を演算している。最小二乗法は、精度良く１次近似式を演算することができるので、第１の端部と第２の端部との吐出量を精度良く比較することができる。
【００７７】
［適用例３５］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記分類工程では、前記第１の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第２の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
【００７８】
このベタ膜形成方法によれば、この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
【００７９】
［適用例３６］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【００８０】
このベタ膜形成方法によれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを総て第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを総て第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【００８１】
［適用例３７］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
【００８２】
このベタ膜形成方法によれば、液滴吐出ヘッドを交換するとき、ヘッドユニット毎交換している。従って、液滴吐出ヘッドを１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッドを交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッドを交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【００８３】
［適用例３８］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークの幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
【００８４】
このベタ膜形成方法によれば、作業者はワークを一方向に移動して、ノズル群から液状体を吐出することにより、液状体を塗布する予定の領域に塗布することができる。このとき、吐出装置はノズル群をノズルが配列されている方向に移動して改行することなく、ワークに液状体を塗布することができる。従って、ワーク又はノズル群を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【００８５】
［適用例３９］
上記適用例にかかるベタ膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【００８６】
このベタ膜形成方法によれば、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。このとき、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【００８７】
［適用例４０］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算し、前記第１の端部側と前記第２の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
【００８８】
この配向膜形成方法によれば、最小二乗法を用いて吐出量の分布における１次近似式を演算している。最小二乗法は、精度良く１次近似式を演算することができるので、第１の端部と第２の端部との吐出量を精度良く比較することができる。
【００８９】
［適用例４１］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記分類工程では、前記第１の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第２の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
【００９０】
この配向膜形成方法によれば、この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
【００９１】
［適用例４２］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【００９２】
この配向膜形成方法によれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを、総て、第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを、総て、第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【００９３】
［適用例４３］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
【００９４】
この配向膜形成方法によれば、液滴吐出ヘッドを交換するとき、ヘッドユニット毎交換している。従って、液滴吐出ヘッドを１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッドを交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッドを交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【００９５】
［適用例４４］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記基板の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
【００９６】
この配向膜形成方法によれば、作業者は基板を一方向に移動して、ノズル群から液晶配向膜形成用組成物を吐出することにより、液晶配向膜形成用組成物を塗布する予定の領域に塗布することができる。このとき、吐出装置はノズル群をノズルが配列されている方向に移動して改行することなく、基板に液晶配向膜形成用組成物を塗布することができる。従って、基板又はノズル群を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【００９７】
［適用例４５］
上記適用例にかかる配向膜形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【００９８】
この配向膜形成方法によれば、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。このとき、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【００９９】
［適用例４６］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記液晶配向膜形成用組成物を電極形成材料に換え、配向膜形成工程を電極形成工程に換えて、電極膜を形成することを特徴とする。
【０１００】
この液晶表示装置の形成方法によれば、塗布された電極形成材料の膜厚は、平均化される為、電極膜における膜厚の分散を小さくすることができる。
【０１０１】
［適用例４７］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記分類工程では、前記分布を最小二乗法を用いて１次近似式を演算し、前記第１の端部側と前記第２の端部側との前記吐出量を比較することを特徴とする。
【０１０２】
この液晶表示装置の形成方法によれば、最小二乗法を用いて吐出量の分布における１次近似式を演算している。最小二乗法は、精度良く１次近似式を演算することができるので、第１の端部と第２の端部との吐出量を精度良く比較することができる。
【０１０３】
［適用例４８］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記分類工程では、前記第１の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、前記第２の端部側における複数の前記ノズルから吐出される前記吐出量と、を比較することを特徴とする。
【０１０４】
この液晶表示装置の形成方法によれば、この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
【０１０５】
［適用例４９］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【０１０６】
この液晶表示装置の形成方法によれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを、総て、第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを、総て、第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【０１０７】
［適用例５０］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
【０１０８】
この液晶表示装置の形成方法によれば、液滴吐出ヘッドを交換するとき、ヘッドユニット毎交換している。従って、液滴吐出ヘッドを１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッドを交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッドを交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【０１０９】
［適用例５１］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記基板の幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
【０１１０】
この液晶表示装置の形成方法によれば、作業者は基板を一方向に移動して、ノズル群から液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料を吐出することにより、液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料を塗布する予定の領域に塗布することができる。このとき、吐出装置はノズル群をノズルが配列されている方向に移動して改行することなく、基板に液状体を塗布することができる。従って、基板又はノズル群を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【０１１１】
［適用例５２］
上記適用例にかかる液晶表示装置の形成方法において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【０１１２】
この液晶表示装置の形成方法によれば、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。このとき、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液晶配向膜形成用組成物又は電極形成材料の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【０１１３】
［適用例５３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とが対称に形成され、前記第２ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第１ノズル群として用い、又は、前記第１ノズル群は前記第１の端部側と前記第２の端部側とを交換して、前記第２ノズル群として用いることを特徴とする。
【０１１４】
この液滴吐出装置によれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッドを、総て、第１ノズル群からなる第１ノズル構成体とすることができる。同様に、液滴吐出ヘッドを、総て、第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【０１１５】
［適用例５４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドはヘッドユニットに複数配置され、前記液滴吐出ヘッドを交換するときは、前記ヘッドユニット毎に交換することを特徴とする。
【０１１６】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドを交換するとき、ヘッドユニット毎交換している。従って、液滴吐出ヘッドを１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッドを交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッドを交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【０１１７】
［適用例５５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群からなるノズル構成体は前記ワークの幅以上の長さに形成されていることを特徴とする。
【０１１８】
この液滴吐出装置によれば、作業者はワークを一方向に移動して、ノズル群から液状体を吐出することにより、液状体を塗布する予定の領域に塗布することができる。このとき、吐出装置はノズル群をノズルが配列されている方向に移動して改行することなく、ワークに液状体を塗布することができる。従って、ワーク又はノズル群を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【０１１９】
［適用例５６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記ノズル群は液滴吐出ヘッドに形成され、前記液滴吐出ヘッドは前記ヘッドユニットにおいて千鳥状に配置されていることを特徴とする。
【０１２０】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドは交互に２つの列に配列して形成されている。この配列を第１配列と第２配列とする。そして、同一線上に第１配列の液滴吐出ヘッドと第２配列の液滴吐出ヘッドとが吐出する時間間隔は短い間隔とすることができる。このとき、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体とが混合する。その結果、第１配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体による膜と第２配列の液滴吐出ヘッドが塗布した液状体の膜とが隣接する場所では、膜厚の分散の少ない膜とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０１２１】
以下、実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
（第１の実施形態）
本実施形態では液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いて液状体を液滴にして吐出する場合の特徴的な例について図１〜図９に従って説明する。
【０１２２】
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図３に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【０１２３】
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【０１２４】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【０１２５】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【０１２６】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワークとしての基板７を載置すると、基板チャック機構によって、その基板７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【０１２７】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。
【０１２８】
案内部材９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【０１２９】
案内レール１１に沿って移動可能にキャリッジ１２が配置されている。このキャリッジ１２は第１キャリッジ１２ａ〜第３キャリッジ１２ｃの３個のキャリッジから構成され、各キャリッジ１２ａ〜１２ｃは底面が略平行四辺形の角柱形状に形成されている。その各キャリッジ１２ａ〜１２ｃは直動機構を備え、個別に移動可能となっている。その直動機構は、ステージ４が備える直動機構と同様なネジ式直動機構である。この直動機構は、ネジ軸（駆動軸）と同ネジ軸と螺合するボールナットと同ボールナットを駆動するステップ式の図示しないＸ軸モータを備えている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、各キャリッジ１２ａ〜１２ｃの位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１４が凸設されている。
【０１３０】
基台２の上側であって、ステージ４の一方（図中右側）の近くには、クリーニングユニット１５が配置されている。クリーニングユニット１５は、保守ステージ１６と、保守ステージ１６の上に配置されている第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１等の保守装置とにより構成されている。
【０１３１】
保守ステージ１６は案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。そして、主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し直動機構で移動することにより、保守ステージ１６は所望の場所に移動し停止することが可能となっている。そして、保守ステージ１６が案内レール３ａ，３ｂに沿って移動することにより液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。
【０１３２】
液滴吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、第１フラッシングユニット１７及び第２フラッシングユニット１８は液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１４内の機能液が揮発するとき機能液の粘度が高くなるので、液滴吐出ヘッド１４は機能液を吐出し難くなる。この場合に、粘度の高くなった機能液を液滴吐出ヘッド１４から排除するため、液滴吐出装置１は液滴吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能を第１フラッシングユニット１７及び第２フラッシングユニット１８が行っている。
【０１３３】
キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１４に蓋をする機能と、液滴吐出ヘッド１４の機能液を吸引する機能とを有する装置である。液滴吐出ヘッド１４から吐出する液滴は揮発性を有する場合がある。そして、液滴吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発するとき、機能液の粘度が変わることによりノズルが目詰まりすることがある。液滴吐出ヘッド１４に蓋をすることによりキャッピングユニット１９はノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【０１３４】
さらに、液滴吐出ヘッド１４の内部に固形物が混入して液滴を吐出できなくなったとき、液滴吐出ヘッド１４の内部の機能液と固形物とを吸引して除去する。そして、ノズルの目詰まりを解消するようになっている。
【０１３５】
ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１４において、基板７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板７とが接触することにより、基板７の予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。
【０１３６】
さらに、ノズル周辺に液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と吐出する液滴とが接触して、吐出する液滴の軌道が曲がる。そして、塗布する場所が、塗布する予定の場所と異なってしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【０１３７】
重量測定装置２１には、電子天秤が千鳥状に４台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１４から受け皿に液滴が吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定する。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。液滴吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、この電子天秤は受け皿の重量を測定する。そして、吐出前後における受け皿の重量の差分を演算することにより、重量測定装置２１は吐出する液滴の重量を測定可能となっている。
【０１３８】
重量測定装置２１の両側には第１フラッシングユニット１７と第２フラッシングユニット１８とが配置されている。そして、一部の液滴吐出ヘッド１４から吐出される吐出量を測定している間、第１フラッシングユニット１７又は第２フラッシングユニット１８と対向する場所に他の液滴吐出ヘッド１４が位置して、液滴を吐出することが可能となっている。
【０１３９】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ａ）に示すように、１個のキャリッジ１２には４個の液滴吐出ヘッド１４が千鳥状に配置されている。この液滴吐出ヘッド１４を左側から順に第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄとする。そして、液滴吐出ヘッド１４の左側の端部を第１の端部１４ｅとし、液滴吐出ヘッド１４の右側の端部を第２の端部１４ｆとする。そして、液滴吐出ヘッド１４の表面にはノズルプレート２５が配置され、ノズルプレート２５にはノズル２６が複数、形成されている。ノズル２６の数は、吐出するパターンと基板７の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２５にはノズル２６の配列が１列形成され、１５個のノズル２６が第１の端部１４ｅから第２の端部１４ｆにかけて１列に並んで形成されている。
【０１４０】
第２の液滴吐出ヘッド１４ｂと第４の液滴吐出ヘッド１４ｄに形成されているノズル２６は同一線上に配列されており、この配列を第１配列２６ａとする。同様に、第１の液滴吐出ヘッド１４ａと第３の液滴吐出ヘッド１４ｃに形成されているノズル２６は同一線上に配列されており、この配列を第２配列２６ｂとする。このとき、第１配列２６ａと第２配列２６ｂが近い場所に配置されている。基板７がＹ方向に進行するとき、第１配列２６ａのノズル２６から液滴を吐出した後、第２配列２６ｂのノズル２６から液滴を吐出することにより、同一直線状に液滴を塗布することができる。そして、第１配列２６ａのノズル２６から吐出した液滴が乾燥する前に、第２配列２６ｂのノズル２６から吐出された液滴が着弾する。そして、第１配列２６ａのノズル２６から吐出した液滴と、第２配列２６ｂのノズル２６から吐出された液滴とが混合するように塗布される。
【０１４１】
図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図であり、図２（ａ）に示すキャリッジをＹ方向から見た図である。図２（ｂ）に示すように、キャリッジ１２はベース板２７を備えている。ベース板２７の上側には移動機構２８が配置されており、キャリッジ１２が案内レール１１に沿って移動するための機構が収納されている。
【０１４２】
ベース板２７の下側には支持部２９を介して駆動回路基板３０が配置されている。そして、駆動回路基板３０の下側にはヘッド駆動回路３１が配置されている。さらに、ベース板２７には支持部３２を介してヘッド取付板３３が配置され、ヘッド取付板３３の下面には液滴吐出ヘッド１４が配置されている。ヘッド取付板３３と液滴吐出ヘッド１４等によりヘッドユニット３４が構成されている。ヘッド駆動回路３１と液滴吐出ヘッド１４とは図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路３１が出力する駆動信号が液滴吐出ヘッド１４に入力されるようになっている。
【０１４３】
ベース板２７の下側には供給装置３５が配置され、収容タンク１０と供給装置３５との間及び供給装置３５と液滴吐出ヘッド１４との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク１０から供給される機能液がチューブを通って供給装置３５から液滴吐出ヘッド１４に供給されるようになっている。
【０１４４】
図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１４はノズルプレート２５を備え、ノズルプレート２５にはノズル２６が形成されている。ノズルプレート２５の上側であってノズル２６と相対する位置にはノズル２６と連通するキャビティ３６が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１４のキャビティ３６には収容タンク１０に貯留されている液状体としての機能液３７が供給される。
【０１４５】
キャビティ３６の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動してキャビティ３６内の容積を拡大縮小する振動板３８と、上下方向に伸縮して振動板３８を振動させる圧電素子３９が配設されている。圧電素子３９が上下方向に伸縮して振動板３８を加圧して振動し、振動板３８がキャビティ３６内の容積を拡大縮小してキャビティ３６を加圧する。それにより、キャビティ３６内の圧力が変動し、キャビティ３６内に供給された機能液３７はノズル２６を通って吐出されるようになっている。
【０１４６】
そして、液滴吐出ヘッド１４が圧電素子３９を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３９が伸張して、振動板３８がキャビティ３６内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１４のノズル２６からは、縮小した容積分の機能液３７が液滴４０として吐出される。
【０１４７】
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４３と各種情報を記憶するメモリ４４とを有する。
【０１４８】
主走査駆動装置４５、副走査駆動装置４６、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３、液滴吐出ヘッド１４を駆動するヘッド駆動回路３１は、入出力インターフェース４７及びデータバス４８を介してＣＰＵ４３に接続されている。さらに、入力装置４９、ディスプレイ装置５０、重量測定装置２１、第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース４７及びデータバス４８を介してＣＰＵ４３に接続されている。同じく、クリーニングユニット１５において、保守ステージ１６を駆動する保守ステージ駆動装置５１及び保守ステージ１６の位置を検出する主走査位置検出装置５も入出力インターフェース４７及びデータバス４８を介してＣＰＵ４３に接続されている。
【０１４９】
主走査駆動装置４５はステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４６はキャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５がステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４５がステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３がキャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４６がキャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
【０１５０】
入力装置４９は液滴４０を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板７に液滴４０を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置５０は加工条件や作業状況を表示する装置であり、ディスプレイ装置５０に表示される情報を基に、操作者は入力装置４９を用いて操作を行う。
【０１５１】
重量測定装置２１は電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド１４が吐出する液滴４０と液滴４０を受ける受け皿との重量を測定する装置である。重量測定装置２１は液滴４０が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をＣＰＵ４３に送信する。
【０１５２】
保守ステージ駆動装置５１は第１フラッシングユニット１７、第２フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量測定装置２１から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に位置するように、保守ステージ１６を移動する装置である。そして、主走査位置検出装置５が保守ステージ１６の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置５１が保守ステージ１６を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド１４と対向する場所に移動可能となっている。
【０１５３】
メモリ４４は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５２を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５３を記憶するための記憶領域も設定される。
【０１５４】
他にも、ノズル２６から吐出される液滴４０の重量を測定するときに、圧電素子３９を駆動する測定用駆動データ５４を記憶するための記憶領域が設定される。そして、重量測定装置２１が測定した重量測定データ５５を記憶するための記憶領域も設定される。さらに、基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４３のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【０１５５】
ＣＰＵ４３はメモリ４４内に記憶されたプログラムソフト５２に従って、基板７における表面の所定位置に機能液を液滴４０にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部５６を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１４を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部５７を有する。
【０１５６】
他に、液滴吐出ヘッド１４において液滴４０を吐出するための演算を行う吐出演算部５８などを有する。吐出演算部５８を詳しく分割すれば、吐出演算部５８は基板７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５９を有する。加えて、吐出演算部５８は液滴吐出ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査移動量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６０を有する。さらに、吐出演算部５８は液滴吐出ヘッド１４内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行う吐出制御演算部６１等といった各種の機能演算部を有する。
【０１５７】
（吐出方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板７に機能液を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する吐出方法について図４〜図９にて説明する。図４は、基板に液滴を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する製造工程を示すフローチャートである。図５〜図９は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。
【０１５８】
ステップＳ１は分布演算工程に相当し、液滴吐出ヘッドのノズル毎の吐出量を測定する。そして、ノズル列における吐出量の分布を演算する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は分類工程に相当し、ノズル列に対する吐出量の分布を基にして液滴吐出ヘッドを分類する工程である。次にステップＳ３に移行する。ステップＳ３はノズル構成工程に相当し、分類した液滴吐出ヘッドを用いてヘッドユニットを形成する工程である。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４はヘッド配置工程に相当し、ヘッドユニットを液滴吐出装置に配置する工程である。次にステップＳ５に移行する。ステップＳ５は吐出工程に相当し、基板に液滴を吐出する工程である。次にステップＳ６に移行する。ステップＳ６は平坦化工程に相当し、ステップＳ５にて塗布した機能液が平坦になるまで待機する工程である。次にステップＳ７に移行する。ステップＳ７は固化工程に相当し、塗布した機能液を乾燥させることにより固化させる工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する製造工程を終了する。
【０１５９】
次に、図５〜図８を用いて、図４に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出して膜厚の分散の小さいベタ膜を形成する製造方法を詳細に説明する。図５及び図６は、ステップＳ１に対応する図であり、図５は液滴吐出ヘッドの吐出量を測定する工程を説明するための図である。そして、図６は吐出量の分布を示すグラフである。図５に示すように、重量測定装置２１は電子天秤６４を備え、電子天秤６４の上側には受皿６５が配置されている。受皿６５の上部には吸収体６６が配置され、液滴吐出ヘッド１４から吐出された液滴４０は吸収体６６を通過した後、受皿６５の内部に機能液３７が溜まるようになっている。キャリッジ１２には液滴吐出ヘッド１４が４個配置され、保守ステージ１６には重量測定装置２１が４個配置されている。尚、図５は理解し易くするため簡略して記載されているので、各１個の液滴吐出ヘッド１４及び重量測定装置２１が記載されている。
【０１６０】
キャリッジ１２と保守ステージ１６とを稼動することにより、液滴吐出ヘッド１４が受皿６５と対向する場所に、吐出演算部５８が液滴吐出ヘッド１４及び受皿６５を移動する。そして、電子天秤６４が受皿６５の重量を測定する。次に、１つのノズル２６から所定の回数の吐出を行う。電子天秤６４が精度良く測定可能な吐出量に相当する吐出回数を設定すれば良く、例えば、本実施形態では１００回を採用している。
【０１６１】
次に、電子天秤６４が受皿６５の重量を測定する。そして、吐出前の受皿６５の重量と吐出後の受皿６５の重量との差分を演算した後、この演算値を吐出回数で除算することにより１回当たりの吐出量を算出する。液滴４０の吐出と演算とを液滴吐出ヘッド１４の総てのノズル２６に対して順次行う。１つの保守ステージ１６には４個の重量測定装置２１が配置されていることから、４個の液滴吐出ヘッド１４の各ノズル２６の吐出量を同時に測定して演算する。
【０１６２】
図６（ａ）〜図６（ｃ）は吐出量の分布の例を示している。図６（ａ）〜図６（ｃ）において縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル番号を用いてノズル位置７０を示している。ノズル番号は第１の端部１４ｅ側から第２の端部１４ｆ側に向けて付番されている。図６（ａ）において、１番〜１５番の各ノズル位置７０に対する吐出量６９の測定値７１がプロットしてある。そして、重量測定演算部５６が測定値７１に対する１次近似式を演算する。この演算には最小二乗法を用いる。そして演算した１次の近似式が示す線が近似式線７２である。
【０１６３】
１番〜４番のノズル位置７０では、１番側のノズル位置７０の方が吐出量が大きくなっている。そして、５番〜１５番のノズル位置７０では、１５番側のノズル位置７０の方が吐出量が大きくなっている。従って、近似式線７２は右上がりの直線により表される。
【０１６４】
図６（ｂ）は吐出量６９の分布が略左右対称となる例を示している。このとき、演算した１次の近似式が示す線が近似式線７２である。吐出量６９の分布が略左右対称なので、近似式線７２は横軸と略平行な直線となっている。
【０１６５】
図６（ｃ）は左側の吐出量６９が大きい分布の例を示している。１番〜１１番のノズル位置７０では、１番側のノズル位置７０の方が吐出量が大きくなっている。そして、１２番〜１５番のノズル位置７０では、１５番側のノズル位置７０の方が吐出量が大きくなっている。従って、近似式線７２は左上がりの直線により表される。
【０１６６】
図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す吐出量６９の分布の類型を第１ノズル群〜第３ノズル群に分類する。吐出量６９の分布において第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４は第１の端部１４ｅ側より第２の端部１４ｆ側の吐出量６９が大きい液滴吐出ヘッド１４とする。第１ノズル群は図６（ａ）における分布の液滴吐出ヘッド１４が該当する。第２ノズル群の液滴吐出ヘッド１４は第２の端部１４ｆ側より第１の端部１４ｅ側の吐出量６９が大きい液滴吐出ヘッド１４とする。第２ノズル群は図６（ｃ）における分布の液滴吐出ヘッド１４が該当する。第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４は第２の端部１４ｆ側と第１の端部１４ｅ側との吐出量６９が略同量の液滴吐出ヘッド１４とする。第３ノズル群は図６（ｂ）における分布の液滴吐出ヘッド１４が該当する。
【０１６７】
ステップＳ２において、液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群〜第３ノズル群に分類する。このとき、近似式線７２の傾きを用いて分類する。予め、第１ノズル群〜第３ノズル群とを分類するときに、近似式線７２の傾きの閾値を決めておく。第１ノズル群と第３ノズル群とを分類する閾値を第１閾値とし、第２ノズル群と第３ノズル群とを分類する閾値を第２閾値とする。そして、各液滴吐出ヘッド１４の近似式線７２の傾きを閾値と比較して、近似式線７２の傾きが第１閾値より大きい液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群に分類する。同様に、近似式線７２の傾きが第２閾値より小さい液滴吐出ヘッド１４を第２ノズル群に分類し、近似式線７２の傾きが第１閾値と第２閾値との間となる液滴吐出ヘッド１４を第３ノズル群に分類する。
【０１６８】
図７（ａ）はステップＳ３に対応する図であり、ノズル構成工程を説明する図である。作業者は第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４を並べて、図２（ｂ）に示すヘッド取付板３３に配置する。第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４により構成されたヘッドユニット３４を第１ノズル構成体３４ａとする。図７（ａ）において、縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル位置７０を示し、右側がＸ方向となっている。そして、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの近似式線７２は右上がりの直線で表される。このとき、近似式線７２は第１の液滴吐出ヘッド１４ａと第２の液滴吐出ヘッド１４ｂとの間で吐出量６９の差が生じている。同様に、近似式線７２は第２の液滴吐出ヘッド１４ｂと第３の液滴吐出ヘッド１４ｃとの間及び第３の液滴吐出ヘッド１４ｃと第４の液滴吐出ヘッド１４ｄとの間で吐出量６９の差が生じている。つまり、近似式線７２が鋸歯状の形態に形成される。
【０１６９】
ステップＳ４において、図２（ｂ）に示すように、作業者は液滴吐出ヘッド１４が配置されているヘッド取付板３３をキャリッジ１２に配置する。そして、機能液３７を供給するチューブ及び圧電素子３９を駆動する駆動信号を伝達するケーブルが液滴吐出ヘッド１４に接続される。
【０１７０】
図７（ｂ）はステップＳ５に対応する図であり、吐出工程を説明する図である。図７（ｂ）に示すように、吐出演算部５８はキャリッジ１２とステージ４とを相対移動することにより、液滴吐出ヘッド１４を基板７と対向する場所に移動させる。次に、吐出演算部５８はステージ４を走査しながら液滴吐出ヘッド１４から液滴４０を吐出させて、基板７に機能液３７を塗布する。
【０１７１】
図８（ａ）〜図８（ｃ）はステップＳ６に対応する図であり、基板７に塗布された機能液３７の塗布量の分布を示す図である。縦軸は塗布量７３を示し、上側が下側より塗布量７３が大きくなっている。横軸は基板におけるＸ方向の位置７４を示している。そして、分布曲線７５〜分布曲線７７がＸ方向の位置７４に対する塗布量７３の分布を示している。
【０１７２】
図８（ａ）における分布曲線７５は基板７に機能液３７を塗布した直後の分布を示している。そして、図８（ｂ）における分布曲線７６は、機能液３７を塗布して暫らく経た後の分布を示している。図８（ｃ）における分布曲線７７は、さらに時間が経た後の分布を示している。
【０１７３】
図８（ａ）に示すように、分布曲線７５には凸部７５ａと凹部７５ｂとが形成されている。そして、凸部７５ａと凹部７５ｂとが隣接しているので、機能液３７にかかる重力及び表面張力の作用により凸部７５ａの機能液３７が凹部７５ｂに流動する。
【０１７４】
その結果、図８（ｂ）に示すように、分布曲線７６では凸部７６ａ及び凹部７６ｂにおける塗布量７３の差が小さくなっている。さらに、時間が経過すると、図８（ｃ）に示すように、分布曲線７７では凸部７７ａ及び凹部７７ｂにおける塗布量７３の差が小さくなる。
【０１７５】
図８（ｄ）はステップＳ７に対応する図であり、乾燥装置を示す模式図である。図８（ｄ）に示すように、作業者は基板７を乾燥装置７８の内部に配置する。乾燥装置７８は上側が開放された矩形の本体部７９を備えている。本体部７９の内部には支持部８０を介して載置台８１が配置され、載置台８１の上面に基板７が配置される。本体部７９の上側には蝶番８２により開閉可能に配置された蓋部８３を備え、本体部７９及び蓋部８３によりチャンバ８４が形成されている。蓋部８３には取っ手８５が形成され、作業者は取っ手８５を用いて蓋部８３を開閉可能となっている。
【０１７６】
蓋部８３には供給口８６が形成され、供給口８６は図示しない乾燥ガス供給装置と接続されている。本体部７９には排気口８７が形成されている。そして、温度、湿度、気圧が制御された気体を乾燥ガス供給装置が供給口８６を介してチャンバ８４内に供給する。供給された気体はチャンバ８４内で基板７を乾燥させた後、排気口８７から排気される。基板７に塗布された機能液３７がチャンバ８４内にて乾燥することにより固化して、ベタ膜８８が形成される。以上の工程により、基板に機能液を吐出して塗布することによりベタ膜８８を形成する製造工程を終了する。
【０１７７】
（比較例）
次に、第１ノズル群と第２ノズル群との液滴吐出ヘッド１４を交互に配置して機能液３７を塗布する場合の塗布量７３の変化を説明する。図９（ａ）は第１の液滴吐出ヘッド１４ａ及び第３の液滴吐出ヘッド１４ｃに第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４を配置して、第２の液滴吐出ヘッド１４ｂ及び第４の液滴吐出ヘッド１４ｄに第２ノズル群の液滴吐出ヘッド１４を配置した例を示している。
【０１７８】
第１の液滴吐出ヘッド１４ａと第２の液滴吐出ヘッド１４ｂとが隣接する場所及び第３の液滴吐出ヘッド１４ｃと第４の液滴吐出ヘッド１４ｄとが隣接する場所では、吐出量６９が大きくなるように液滴吐出ヘッド１４を配置している。そして、第２の液滴吐出ヘッド１４ｂと第３の液滴吐出ヘッド１４ｃとが隣接する場所では、吐出量６９が小さくなるように液滴吐出ヘッド１４を配置している。
【０１７９】
図９（ｂ）における分布曲線８９は、このように配置した液滴吐出ヘッド１４を用いて、ステップＳ５にて基板７に機能液３７を塗布したときの塗布量７３の分布を示している。そして、図９（ｃ）における分布曲線９０は、機能液３７を塗布して暫らく経た後の分布を示している。
【０１８０】
図９（ｂ）に示すように、分布曲線８９には凸部８９ａと凹部８９ｂとが形成されている。そして、凸部８９ａと凹部８９ｂとが離れているので、機能液３７にかかる重力及び表面張力の作用が凸部８９ａ及び凹部８９ｂに影響し難くなっている。その結果、図９（ｃ）に示すように、機能液３７を塗布して暫らく経た後においても分布曲線９０は平坦になり難くなっている。
【０１８１】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、吐出量の分布を演算して、第１ノズル群〜第３ノズル群に分類している。そして、第１ノズル群の隣に第１ノズル群が配置されているヘッドユニット３４が形成され、このヘッドユニット３４が第１ノズル構成体３４ａとなっている。このとき、第１ノズル群の吐出量が大きい場所と吐出量が小さい場所とが隣合って配置されている。次に、第１ノズル構成体３４ａのノズル２６から機能液３７を吐出する。そして、吐出された機能液３７は基板７上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所とが隣合うとき、機能液３７の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された機能液３７は、吐出量が小さく塗布された場所へ流動する。従って、塗布された機能液３７の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【０１８２】
（２）本実施形態によれば、ステップＳ１において、最小二乗法を用いて吐出量の分布における１次近似式を演算している。最小二乗法は、精度良く１次近似式を演算することができるので、第１の端部１４ｅと第２の端部１４ｆとの吐出量を精度良く比較することができる。
【０１８３】
（３）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド１４を交換するとき、ヘッドユニット３４毎交換している。従って、液滴吐出ヘッド１４を１個毎交換する方法に比べて、少ない回数で液滴吐出ヘッド１４を交換可能である為、生産性良く液滴吐出ヘッド１４を交換することができる。その結果、生産性良く保守することができる。
【０１８４】
（第２の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図１０に従って説明する。図１０は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第２のノズル群に替えて、第３のノズル群を用いる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１８５】
すなわち、本実施形態では、ステップＳ３において、作業者は第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４を並べて、図２（ｂ）に示すヘッド取付板３３に配置する。第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４により構成されたヘッドユニット３４を第３ノズル構成体３４ｂとする。図１０において、縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル位置７０を示し、右側がＸ方向となっている。そして、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの近似式線７２は横軸と略平行な直線で表される。このとき、近似式線７２は第１の液滴吐出ヘッド１４ａと第２の液滴吐出ヘッド１４ｂとの間で吐出量６９の差が少なくなっている。同様に、近似式線７２は第２の液滴吐出ヘッド１４ｂと第３の液滴吐出ヘッド１４ｃとの間及び第３の液滴吐出ヘッド１４ｃと第４の液滴吐出ヘッド１４ｄとの間で吐出量６９の差が少なくなっている。つまり、近似式線７２が横軸と略平行な形態になり、吐出量６９の分散が小さくなっている。
【０１８６】
ステップＳ５では、この第３ノズル構成体３４ｂを用いて機能液３７を塗布する。第３ノズル構成体３４ｂは吐出量の分散が少なく形成されているので、第３ノズル構成体３４ｂを用いて塗布された機能液３７は膜厚の分散が小さくなる。そして、ステップＳ７にて固化した膜の膜厚の分散も小さくなる。
【０１８７】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、吐出量の分布を演算して、第３ノズル群を分類する。そして、第３ノズル構成体３４ｂでは第３ノズル群の隣に第３ノズル群が配置される。このとき、第３ノズル群は第１の端部１４ｅ側の吐出量と第２の端部１４ｆ側の吐出量が略同量となっている。つまり、吐出量が略同量のノズル群が配置される。従って、塗布された機能液の膜厚は略同量の厚さとなる為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【０１８８】
（第３の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図１１に従って説明する。図１１は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１ノズル群に加えて第３ノズル群を用いる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１８９】
すなわち、本実施形態では、ステップＳ３において、作業者は第１ノズル群及び第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４を並べて、図２（ｂ）に示すヘッド取付板３３に配置する。第１ノズル群及び第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４により構成されたヘッドユニット３４を第４ノズル構成体３４ｃとする。図１１において、縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル位置７０を示し、右側がＸ方向となっている。そして、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの近似式線７２は右上がりの直線及び略Ｘ軸と平行な直線により構成される。このとき、近似式線７２は第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの各液滴吐出ヘッド１４の間で吐出量６９の差が生じることがある。
【０１９０】
ステップＳ５では、この第４ノズル構成体３４ｃを用いて機能液３７を塗布する。第４ノズル構成体３４ｃでは第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４と第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されることがある。このとき、第１の実施形態と同様に吐出量６９の大きい場所と小さい場所とが隣接する場所では機能液３７が流動するので、塗布量が平均化される。同じく、第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されることがある。このとき、吐出量６９の大きい場所と吐出量６９が平均に近い場所とが隣接する場所でも機能液３７が流動するので、塗布量が平均化される。吐出量６９の小さい場所と吐出量６９が平均に近い場所とが隣接する場所でも機能液３７が流動するので、塗布量が平均化される。第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されることがある。このとき、第２の実施形態と同様に塗布量の分散が小さくなる。従って、塗布量が平均化されるので、膜厚の分散が小さくなる。そして、ステップＳ７にて固化した膜の膜厚の分散も小さくなる。
【０１９１】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第４ノズル構成体３４ｃのノズル２６から機能液３７を吐出する。そして、吐出された機能液はワーク上に広がる。吐出量の大きい場所と吐出量の小さい場所又は吐出量が略中間の場所とが隣合うように液滴吐出ヘッド１４が配置される。このとき、機能液３７の表面張力が働くことにより、吐出量が大きく塗布された機能液３７は吐出量が小さく塗布された場所又は吐出量が平均に近い場所へ流動する。第４ノズル構成体３４ｃを用いて塗布する場合も同様に、吐出量が大きく塗布された機能液３７は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が平均に近い場所へ流動する。従って、塗布された機能液３７の膜厚は平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【０１９２】
（第４の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図１２に従って説明する。図１２は吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフである。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、第１のノズル群に加えて、第２ノズル群及び第３のノズル群を用いる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１９３】
すなわち、本実施形態では、ステップＳ３において、作業者は第１ノズル群、第２ノズル群及び第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４を並べて、図２（ｂ）に示すヘッド取付板３３に配置する。第１ノズル群、第２ノズル群及び第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４により構成されたヘッドユニット３４を第６ノズル構成体３４ｄとする。図１２（ａ）〜図１２（ｃ）において、縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル位置７０を示し、右側がＸ方向となっている。
【０１９４】
図１２（ａ）において、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの各液滴吐出ヘッド１４に、第１ノズル群、第３ノズル群、第２ノズル群、第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４が配置してある。この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されているので、第３の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。同様に、第２ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されている場所においても、第３の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。従って、この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、塗布量が平均化されるので膜厚の分散が小さくなる。
【０１９５】
図１２（ｂ）において、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの各液滴吐出ヘッド１４に、第２ノズル群、第３ノズル群、第１ノズル群、第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４が配置してある。この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されているので、第１の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。第１ノズル群及び第２ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されている場所においても、第３の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。従って、この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、塗布量が平均化されるので膜厚の分散が小さくなる。
【０１９６】
図１２（ｃ）において、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの各液滴吐出ヘッド１４に、第２ノズル群、第２ノズル群、第３ノズル群、第１ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４が配置してある。この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、第２ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第２ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されている。このときにも、第１の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。第１ノズル群及び第２ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４と第３ノズル群に属する液滴吐出ヘッド１４とが隣接して配置されている場所においても、第３の実施形態と同様に、塗布された機能液３７の膜厚が平均化される。従って、この第６ノズル構成体３４ｄを用いて塗布するとき、塗布量が平均化されるので膜厚の分散が小さくなる。
【０１９７】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１ノズル群同士の液滴吐出ヘッド１４が隣接する場合、第２ノズル群同士の液滴吐出ヘッド１４が隣接する場合、第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４の隣に第１ノズル群又は第２ノズル群の液滴吐出ヘッド１４が配置される場合がある。そして、塗布するとき、吐出量が大きく塗布された機能液は、吐出量が小さく塗布された場所又は、吐出量が略中間の場所へ流動する。従って、塗布された機能液の膜厚は、平均化される為、膜厚の分散を小さくすることができる。
【０１９８】
（第５の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図１３に従って説明する。図１３は吐出量の分布を示すグラフである。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、近似式を演算する方法に替えて吐出量の積分を演算する点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１９９】
すなわち、本実施形態では、ステップＳ１において吐出量の分布を測定する。図１３（ａ）〜図１３（ｃ）は吐出量の分布の例を示している。図１３（ａ）〜図１３（ｃ）において縦軸は吐出量６９を示し、上側が下側より吐出量が大きくなっている。横軸はノズル番号を用いてノズル位置７０を示している。ノズル番号は第１の端部１４ｅ側から第２の端部１４ｆ側に向けて付番されている。そして、ノズル番号が１番〜１５番の各ノズル位置７０に対する吐出量６９の測定値７１がプロットしてある。ノズル番号が１番〜７番の各ノズル位置７０に対する吐出量６９を積分した演算値を第１の積分値９１とする。同様に、ノズル番号が９番〜１５番の各ノズル位置７０に対する吐出量６９を積分した演算値を第２の積分値９２とする。そして、第２の積分値９２から第１の積分値９１を引いた値を吐出差分指数とする。
【０２００】
ステップＳ２において、液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群〜第３ノズル群に分類するとき、ＣＰＵ４３は吐出差分指数を用いて分類する。図１３（ａ）において、第１の積分値９１より第２の積分値９２の方が吐出量６９が大きいので、吐出差分指数が正の値となる。この液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群に分類する。図１３（ｂ）において、第１の積分値９１と第２の積分値９２との吐出量６９が略同等なので、吐出差分指数が零に近い値となる。この液滴吐出ヘッド１４を第３ノズル群に分類する。図１３（ｃ）において、第１の積分値９１の方が第２の積分値９２より吐出量６９が大きいので、吐出差分指数が負の値となる。この液滴吐出ヘッド１４を第２ノズル群に分類する。
【０２０１】
予め、第１ノズル群〜第３ノズル群とを分類するときに、吐出差分指数の閾値を決めておく。第１ノズル群と第３ノズル群とを分類する閾値を第１閾値とし、第２ノズル群と第３ノズル群とを分類する閾値を第２閾値とする。そして、各液滴吐出ヘッド１４の吐出差分指数を閾値と比較して、吐出差分指数が第１閾値より大きい液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群に分類する。同様に、吐出差分指数が第２閾値より小さい液滴吐出ヘッド１４を第２ノズル群に分類し、吐出差分指数が第１閾値と第２閾値との間となる液滴吐出ヘッド１４を第３ノズル群に分類する。ステップＳ３以降のステップは第１の実施形態と同様に行う。
【０２０２】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１の積分値９１と第２の積分値９２とを演算している。そして、第２の積分値９２から第１の積分値９１を引き算することにより、吐出差分指数を演算している。その後、吐出差分指数を用いて液滴吐出ヘッド１４を第１ノズル群〜第３ノズル群とに分類している。この演算は簡便な方法である為、短時間で演算を終了することができる。その結果、生産性良く分類することができる。
【０２０３】
（第６の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置を用いて塗布する特徴的な例について図１４に従って説明する。図１４（ａ）は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図であり、図１４（ｂ）は液滴吐出ヘッドを示す模式平面図である。図１４（ｃ）は液滴吐出ヘッドを示す模式側面図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド１４が左右対称に形成されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０２０４】
すなわち、本実施形態では、図１４（ａ）に示すように液滴吐出ヘッド９４はノズル２６が形成されたノズルプレート２５を備えている。ノズルプレート２５の下側には第１ケース９５が形成され、第１ケース９５の内部には図２（ｃ）に示すキャビティ３６が形成されている。第１ケース９５の下側には第２ケース９６が形成され、第２ケース９６の内部にはキャビティ３６と連通する流路や圧電素子３９等が形成されている。第２ケース９６の上面には取付孔９６ａが形成され、取付孔９６ａには雌ねじが形成されている。
【０２０５】
第２ケース９６の中段には回路基板９７が配置され、第２ケース９６の両側側面からＸ方向に延在して形成されている。回路基板９７の下面には一対のコネクタ９８が配置されており、回路基板９７に形成されている配線を介してコネクタ９８と圧電素子３９とが電気的に接続されている。
【０２０６】
第２ケース９６の下側には一対の供給口９９が突出して形成されている。供給口９９に図示しないチューブを接続した後、チューブを通して供給される機能液３７が第２ケース９６の内部に形成されている流路を通ってキャビティ３６に供給されるようになっている。そして、液滴吐出ヘッド９４はＸ方向及びＹ方向において左右対称に形成されており、Ｚ方向の中心線９４ａを中心に１８０度回転して用いることが可能となっている。
【０２０７】
図１４（ｂ）及び図１４（ｃ）は液滴吐出ヘッド９４をヘッド取付板３３に配置した状態を示している。液滴吐出ヘッド９４は第１支持板１００及び第２支持板１０１を介してヘッド取付板３３に固定されている。この液滴吐出ヘッド９４、第１支持板１００、第２支持板１０１、ヘッド取付板３３はねじ１０２により固定されているので、ねじ１０２を外すことにより液滴吐出ヘッド９４の着脱が可能となっている。ヘッド取付板３３には孔部３３ａが形成され、孔部３３ａは回路基板９７が配置可能な大きさに形成されている。そして、液滴吐出ヘッド９４を中心線９４ａを中心に１８０度回転して配置することが可能となっている。
【０２０８】
第１の実施形態のステップＳ３において、分類された液滴吐出ヘッド９４は中心線９４ａを中心に回転することにより、吐出量の分布を変更することができる。例えば、第１の端部側の１番目のノズル２６と第２の端部側の１５番目のノズル２６とを入れ替えることにより、第１ノズル群に分類された液滴吐出ヘッド９４は第２ノズル群に切り換えることができる。同様に、第２ノズル群に分類された液滴吐出ヘッド９４は第１ノズル群に切り換えることができる。そして、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッド９４を第１ノズル群に揃えることができる。その後、ステップＳ４以降のステップを行うことができる。
【０２０９】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、第１ノズル群と第２ノズル群とが混在する液滴吐出ヘッド９４を、総て、第１ノズル群からなる第１ノズル構成体３４ａとすることができる。同様に、液滴吐出ヘッド９４を、総て、第２ノズル群からなる第２ノズル構成体とすることができる。その結果、簡便に第１ノズル構成体３４ａ又は、第２ノズル構成体を形成することができる。
【０２１０】
（第７の実施形態）
次に、本実施形態では、液滴吐出装置の特徴的な例について図１５に従って説明する。図１５は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド１４が基板７の幅以上の長さに渡って配置されている点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０２１１】
すなわち、本実施形態では、図１５に示すように、液滴吐出装置１０５は基台２を備えている。そして、基台２の上側にはＹ方向に移動可能なステージ４が配置されている。
【０２１２】
基台２のＸ方向両側には一対の支持台１０６ａ，１０６ｂが立設され、その一対の支持台１０６ａ，１０６ｂにはＸ方向に延びる架橋部材１０７が架設されている。架橋部材１０７の下側にはヘッドユニット１０８が配置され、ヘッドユニット１０８の下面には複数の液滴吐出ヘッド１４が配置されている。この液滴吐出ヘッド１４は千鳥状にヘッドユニット１０８の全幅に渡って配置されている。そして、液滴吐出ヘッド１４から吐出して塗布可能な幅は基板７の幅より長くなるように配置されている。従って、ステージ４がＹ方向に移動して、液滴吐出ヘッド１４から液滴４０を吐出することにより、基板７の全面に機能液３７を塗布可能となっている。
【０２１３】
基台２の上にはＹ方向に移動可能な保守ステージ１０９が配置されている。そして、保守ステージ１０９の上面にはフラッシングユニット１１０、重量測定装置１１１、キャッピングユニット１１２、ワイピングユニット１１３等から構成されるクリーニングユニット１１４を備えている。このクリーニングユニット１１４は液滴吐出ヘッド１４と対応して配置されていることから、液滴吐出ヘッド１４をＸ方向に移動することなく、液滴吐出ヘッド１４を保守することが可能となっている。
【０２１４】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、液滴吐出装置１０５はステージ４をＹ方向に移動して、液滴吐出ヘッド１４のノズル２６から機能液３７を吐出することにより、機能液３７を塗布する予定の領域に塗布することができる。従って、液滴吐出装置１０５はノズル２６をＸ方向に移動することなく、基板７に機能液３７を塗布することができる。そして、基板７又は液滴吐出ヘッド１４の移動回数は少ない回数で、基板７に塗布することができる。その結果、生産性良く塗布することができる。
【０２１５】
（２）本実施形態によれば、液滴吐出装置１０５はノズル２６をＸ方向に移動することなく、基板７に機能液３７を塗布することができる。
このとき、液滴吐出装置１０５は液滴吐出ヘッド１４をノズル２６が配列されている方向に移動して改行することなく、基板７に機能液３７を塗布することができる。従って、基板７又は液滴吐出ヘッド１４を改行することによるスジ模様の発生を防止することができる。その結果、品質良く膜を形成することができる。
【０２１６】
（第８の実施形態）
次に、上記の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図１６を用いて説明する。
【０２１７】
まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図１６は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。
【０２１８】
図１６に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置１２０は、透過型の液晶表示パネル１２１と、液晶表示パネル１２１を照明する照明装置１２３とを備えている。液晶表示パネル１２１は、液晶１２２を基板としての素子基板１２４と基板としての対向基板１２５とで挟持して配置されている。そして、素子基板１２４における下側の表面には、下偏光板１２６が配置され、対向基板１２５における上側の表面には、上偏光板１２７が配置される。
【０２１９】
素子基板１２４は光透過性のある材料からなる基板１２８を備え、基板１２８の上側には、絶縁膜１２９が形成されている。絶縁膜１２９上には、マトリクス状に画素電極１３０が形成され、各画素電極１３０には、スイッチング機能を有するＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）素子１３１が形成されている。そして、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に画素電極１３０が接続されている。
【０２２０】
各画素電極１３０及びＴＦＴ素子１３１を囲んで、格子状に、走査線１３２及びデータ線１３３が形成されている。そして、走査線１３２は、ＴＦＴ素子１３１のゲート端子と接続され、データ線１３３は、ＴＦＴ素子１３１のソース端子と接続されている。
【０２２１】
そして、画素電極１３０、ＴＦＴ素子１３１、走査線１３２、データ線１３３などからなる素子層１３４の液晶１２２側には、配向膜１３５が形成されている。
【０２２２】
対向基板１２５は光透過性のある材料からなる基板１３７を備えている。基板１３７の下側には、遮光性を有する材料からなる下層バンク１３８が格子状に形成され、下層バンク１３８の下側には、有機化合物などからなる上層バンク１３９が形成されている。そして、下層バンク１３８及び上層バンク１３９により隔壁部１４０が構成されている。
【０２２３】
隔壁部１４０によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層１４１として、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂが形成されている。そして、隔壁部１４０とカラーフィルタ１４１Ｒ，１４１Ｇ，１４１Ｂとを覆うオーバーコート層１４２が形成されている。このオーバーコート層１４２を覆うようにＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などの透明導電膜からなる電極膜としての対向電極１４３が形成されている。さらに、対向電極１４３の液晶１２２側には、配向膜１４４が形成されている。配向膜１４４と配向膜１３５とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶１２２が凹凸に沿って配列して形成されている。
【０２２４】
液晶１２２は、該液晶１２２を挟持する画素電極１３０と対向電極１４３とに電圧を印加すると液晶１２２の傾き角度が変化する性質を持っており、ＴＦＴ素子１３１のスイッチング動作により、液晶１２２にかける電圧をコントロールして液晶１２２の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶１２２により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにＴＦＴのスイッチング動作により、液晶１２２をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。
【０２２５】
画素電極１３０は、ＴＦＴ素子１３１のドレイン端子に電気的に接続されており、ＴＦＴを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線１３３から供給される画素信号が各画素電極１３０に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極１３０に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板１２５の対向電極１４３と画素電極１３０との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶１２２の光透過量が変化する。
【０２２６】
照明装置１２３は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル１２１に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等を備えている。光源には、白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。
【０２２７】
尚、下偏光板１２６及び、上偏光板１２７は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル１２１は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子１３１に限らずＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。
【０２２８】
液晶表示装置１２０を製造する工程として、基板１２８に画素電極１３０やＴＦＴ素子１３１などの素子層１３４を形成する素子形成工程が行われる。次に、配向膜１３５を形成する配向膜形成工程が行われて素子基板１２４が完成する。一方、基板１３７に着色層１４１及びオーバーコート層１４２を形成するカラーフィルタ形成工程が行われる。次に、オーバーコート層１４２の下面に対向電極１４３を形成する電極形成工程が行われる。続いて、対向電極１４３の下面に配向膜１４４を形成する配向膜形成工程が行われて対向基板１２５が完成する。次に、素子基板１２４に液晶１２２を塗布する液晶配置工程が行われる。続いて、素子基板１２４又は対向基板１２５に接着剤を塗布した後、素子基板１２４と対向基板１２５とを接着する組立工程が行われる。次に、下偏光板１２６と上偏光板１２７とを貼り付ける偏光板貼付工程が行われて、液晶表示パネル１２１が完成する。
【０２２９】
対向基板１２５において、オーバーコート層１４２の下側に対向電極１４３を形成する電極形成工程において、第１の実施形態〜第７の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、対向電極１４３の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極形成材料としての電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この電極膜の材料液をオーバーコート層１４２の表面に吐出して塗布する。
【０２３０】
このとき、第１の実施形態〜第７の実施形態における分布演算工程、分類工程、ノズル構成工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４又は液滴吐出ヘッド９４の吐出分布を揃えた後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより対向電極１４３を形成する。
【０２３１】
さらに、対向基板１２５において、対向電極１４３の下側に配向膜１４４を形成する配向膜形成工程において、第１の実施形態〜第７の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１４４の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、液晶配向膜形成用組成物としての配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を対向電極１４３の下側に吐出して塗布する。
【０２３２】
このとき、第１の実施形態〜第７の実施形態における分布演算工程、分類工程、ノズル構成工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４又は液滴吐出ヘッド９４の吐出分布を揃えた後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１４４を形成する。
【０２３３】
さらに、素子基板１２４において、素子層１３４の上側に配向膜１３５を形成する配向膜形成工程において、第１の実施形態〜第７の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜１３５の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、液晶配向膜形成用組成物としての配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置１を用いて、この配向膜の材料液を素子層１３４の上側に吐出して塗布する。
【０２３４】
このとき、第１の実施形態〜第７の実施形態における分布演算工程、分類工程、ノズル構成工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド１４又は液滴吐出ヘッド９４の吐出分布を揃えた後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜１３５を形成する。
【０２３５】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、配向膜１３５，１４４を製造する工程において、第１の実施形態〜第７の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料が塗布された膜厚の分散を小さくしている。従って、膜厚の分散の小さい配向膜１３５，１４４を製造することができる。
【０２３６】
（２）本実施形態によれば、対向電極１４３を製造する工程において、第１の実施形態〜第７の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料が塗布された膜厚の分散を小さくしている。従って、膜厚の分散の小さい対向電極１４３を製造することができる。
【０２３７】
（３）本実施形態によれば、配向膜１３５，１４４及び対向電極１４３の膜厚の分散が小さく形成されている。従って、液晶１２２が駆動信号に対して忠実に動作し、見易い液晶画面を形成することができる。
【０２３８】
（第９の実施形態）
次に、第８の実施形態の液晶表示装置１２０を備えた電子機器について説明する。図１７は、パーソナルコンピュータに液晶表示装置を搭載した例を示す概略斜視図である。図１７に示すように、電子機器としてのパーソナルコンピュータ１５０の本体は情報を表示する表示部に表示装置１５１を備えている。この表示装置１５１に、第８の実施形態により製造された液晶表示装置１２０が配設されている。パーソナルコンピュータ１５０に配置されている表示装置１５１は上記の実施形態により製造され、表示装置１５１における配向膜１３５，１４４及び対向電極１４３の膜厚の分散が小さく形成されている。従って、パーソナルコンピュータ１５０は、液晶１２２が駆動信号に対して忠実に動作し、見易い液晶画面となっている表示装置１５１を、表示部に備えた電子機器となっている。
【０２３９】
尚、上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、第１ノズル群の液滴吐出ヘッド１４を用いて第１ノズル構成体３４ａを構成した。同様に、第２ノズル群の液滴吐出ヘッド１４から構成される第２ノズル構成体を用いて塗布してもよい。第１ノズル構成体３４ａと第２ノズル構成体とは吐出量の分布において鋸歯状の向きが異なるだけであるので、同様な効果を得ることができる。そして、第２ノズル群の液滴吐出ヘッド１４を用いる方法にて、前記第５の実施形態〜前記第８の実施形態を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４０】
（変形例２）
前記第３の実施形態においては、第１ノズル群と第３ノズル群との液滴吐出ヘッド１４から構成される第４ノズル構成体３４ｃを用いて機能液３７を吐出して塗布した。同様に、第２ノズル群と第３ノズル群との液滴吐出ヘッド１４から構成される第５ノズル構成体を用いて機能液３７を吐出して塗布しても良い。この場合にも、前記第１の実施形態と同様な工程を行うことにより、同様な効果を得ることができる。尚、この変形例を前記第４の実施形態〜前記第８の実施形態を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４１】
（変形例３）
前記第１の実施形態において、ステップＳ５の吐出工程の次にステップＳ６の平坦化工程を行った。ステップＳ５とステップＳ６とは同時に行っても良い。例えば、機能液３７の粘度が低くて広がり易いとき、機能液３７の吐出と、吐出された機能液３７が広がる工程とが同時に進行する。このとき、ステップＳ６はステップＳ５と同時に行われる。そして、ステップＳ６を別に行う場合に比べて、短い時間で製造することができる為、生産性良く製造することができる。尚、この変形例を前記第２の実施形態〜前記第８の実施形態、前記変形例１、前記変形例２を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４２】
（変形例４）
前記第１の実施形態において、液滴吐出ヘッド１４にノズル２６が１列に配列して形成されていた。ノズル２６の配列は２列以上の配列でも良い。この場合にも２列のノズル列のノズルをノズル群として捉え、第１ノズル群〜第３ノズル群に分類して構成することができる。この場合にも、前記第１の実施形態と同様な工程を行うことにより、同様な効果を得ることができる。尚、この変形例を前記第２の実施形態〜前記第８の実施形態、前記変形例１、前記変形例２を適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４３】
（変形例５）
前記第５の実施形態は、前記第１の実施形態と異なる点を説明した。前記第５の実施形態は、前記第２の実施形態〜前記第４の実施形態、前記変形例１、前記変形例２にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４４】
（変形例６）
前記第６の実施形態は、前記第１の実施形態と異なる点を説明した。前記第６の実施形態は、前記第２の実施形態、前記第４の実施形態、前記変形例１、前記変形例２にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４５】
（変形例７）
前記第７の実施形態は、前記第１の実施形態と異なる点を説明した。前記第７の実施形態は、前記第２の実施形態、前記第４の実施形態、前記変形例１、前記変形例２にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４６】
（変形例８）
前記第８の実施形態は、前記第１の実施形態〜前記第７の実施形態を用いる方法を説明した。前記第８の実施形態は、前記変形例１、前記変形例２にも適用しても良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４７】
（変形例９）
前記第３の実施形態では、第１の液滴吐出ヘッド１４ａ〜第４の液滴吐出ヘッド１４ｄの順に第１ノズル群、第３ノズル群、第１ノズル群、第３ノズル群の液滴吐出ヘッド１４を並べたが、これに限らない。第１ノズル群、第１ノズル群、第３ノズル群、第３ノズル群の順番でも良く、第３ノズル群、第３ノズル群、第３ノズル群、第１ノズル群の順番でも良い。第１ノズル群及び第３ノズル群の組合せであれば良い。同様な効果を得ることができる。
【０２４８】
（変形例１０）
前記第１の実施形態〜前記第５の実施形態では、ヘッドユニット３４に４個の液滴吐出ヘッド１４が配置されていたが、２個以上のヘッドユニット３４で有ればよい。
【０２４９】
（変形例１１）
前記第１の実施形態〜前記第５の実施形態では、キャビティ３６を加圧する加圧手段に、圧電素子３９を用いたが、他の方法でも良い。例えば、コイルと磁石とを用いて振動板３８を変形させて、加圧しても良い。他に、キャビティ３６内にヒータ配線を配置して、ヒータ配線を加熱することにより、機能液３７を気化させたり、機能液３７に含む気体を膨張させたりして加圧しても良い。他にも、静電気の引力及び斥力を用いて振動板３８を変形させて、加圧しても良い。
【０２５０】
（変形例１２）
前記第９の実施形態では、液晶表示装置１２０をパーソナルコンピュータ１５０の表示部に用いたが、これに限定されない。例えば、電子ブック、携帯電話、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネル等の電子機器の画像表示手段として好適に用いることができる。いずれの場合でも、表示部に膜厚の分散が小さく形成された液晶表示装置１２０を備えた電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２５１】
【図１】第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】基板に液滴を吐出して塗布することによりベタ膜を形成する製造工程を示すフローチャート。
【図５】液滴吐出ヘッドの吐出量を測定する工程を説明するための図。
【図６】吐出量の分布を示すグラフ。
【図７】（ａ）は、ノズル構成工程を説明する図、（ｂ）は、吐出工程を説明する図。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、基板に塗布された機能液の塗布量の分布を示す図、（ｄ）は、乾燥装置を示す模式図。
【図９】比較例に係る吐出方法を説明する図。
【図１０】第２の実施形態に係る吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフ。
【図１１】第３の実施形態に係る吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフ。
【図１２】第４の実施形態に係る吐出量の分布を近似した近似線を示すグラフ。
【図１３】第５の実施形態に係る吐出量の分布を示すグラフ。
【図１４】（ａ）は、第６の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す概略斜視図、（ｂ）は、液滴吐出ヘッドを示す模式平面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドを示す模式側面図。
【図１５】第７の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図１６】第８の実施形態に係る液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図。
【図１７】パーソナルコンピュータを示す概略斜視図。
【符号の説明】
【０２５２】
１，１０５…液滴吐出装置、７…ワークとしての基板、１４，９４…液滴吐出ヘッド、１４ｅ…第１の端部、１４ｆ…第２の端部、２６…ノズル、３４，１０８…ヘッドユニット、３４ａ…第１ノズル構成体、３４ｂ…第３ノズル構成体、３４ｃ…第４ノズル構成体、３４ｄ…第６ノズル構成体、８８…ベタ膜、１２０…液晶表示装置、１２８，１３７…基板、１４３…電極膜としての対向電極、１５０…電子機器としてのパーソナルコンピュータ。
【図１】
0004609472.tif 000002
【図２】
0004609472.tif 000003
【図３】
0004609472.tif 000004
【図４】
0004609472.tif 000005
【図５】
0004609472.tif 000006
【図６】
0004609472.tif 000007
【図７】
0004609472.tif 000008
【図８】
0004609472.tif 000009
【図９】
0004609472.tif 000010
【図１０】
0004609472.tif 000011
【図１１】
0004609472.tif 000012
【図１２】
0004609472.tif 000013
【図１３】
0004609472.tif 000014
【図１４】
0004609472.tif 000015
【図１５】
0004609472.tif 000016
【図１６】
0004609472.tif 000017
【図１７】
0004609472.tif 000018