(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、バスバー電極および互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第１電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された、互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第２電極指を有する補助反射器電極と、を備え、
前記補助反射器電極は、前記複数の第２電極指の並び方向が、前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されており、
前記補助反射器電極の複数の第２電極指の並び方向と、前記ＩＤＴ電極の複数の第１電極指の並び方向との成す角度θが０度を超え、２０度以下である弾性表面波共振子。
【請求項２】
前記補助反射器電極は、前記複数の第２電極指の一方の端部同士および他方の端部同士がそれぞれ電気的に短絡されている請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項３】
前記補助反射器電極は、前記複数の第２電極指の一方の端部同士が電気的に開放され、他方の端部同士が電気的に短絡されている請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項４】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、バスバー電極および互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第１電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された、互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第２電極指を有する補助反射器電極と、を備え、
前記補助反射器電極が、前記反射器電極の斜め外側の四箇所の位置に配置され、かつ、前記複数の第２電極指の並び方向が前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されている弾性表面波共振子。
【請求項５】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、バスバー電極および互いに間隔をあけて並んで配置された
複数の第１電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された、互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第２電極指を有する補助反射器電極と、を備え、
前記補助反射器電極の前記複数の第２電極指の両端部が短絡されており、
前記補助反射器電極は、前記複数の第２電極指の並び方向が前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されている弾性表面波共振子。
【請求項６】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、バスバー電極および互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第１電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された、互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第２電極指を有する補助反射器電極と、を備え、
前記補助反射器電極の前記複数の第２電極指の片端部が電気的に開放された形状を有し、 前記補助反射器電極は、前記複数の第２電極指の並び方向が前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されている弾性表面波共振子。
【請求項７】
前記補助反射器電極の前記複数の第２電極指の両端部が電気的に開放されている請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項８】
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成され、バスバー電極および互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第１電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、
前記圧電基板上に形成され、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された補助反射器電極と、を備え、
前記補助反射器電極は、２本のバスバー電極と、前記バスバー電極からほぼ直角方向に延びて互いに噛み合うようにして配置された複数の第２電極指と、を有し、かつ、前記複数の第２電極指の並び方向が前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されている弾性表面波共振子。
【請求項９】
前記補助反射器電極の前記複数の第２電極指のピッチが、前記反射器電極のピッチと異なる請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項１０】
前記補助反射器電極の前記複数の第２電極指のピッチが、前記ＩＤＴ電極のピッチと異なる請求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項１１】
前記反射器電極の外側の位置に形成された２つの補助反射器電極の間に、互いに間隔をあけて並んで配置された複数の第３電極指を有する第二の補助反射器電極が形成されている請求項４に記載の弾性表面波共振子。
【請求項１２】
前記第二の補助反射器電極と前記補助反射器電極とが接続されて一体に形成されている請求項１１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載の弾性表面波共振子を複数含んで成り、前記圧電基板を共通の基板として用いた弾性表面波フィルタ。
【請求項１４】
基板上に送信用フィルタ領域及び受信用フィルタ領域を具備した弾性表面波デュプレクサであって、
前記送信用フィルタ領域又は前記受信用フィルタ領域の少なくとも一方に請求項１から１２のいずれかに記載の弾性表面波共振子を設け、前記圧電基板を前記基板として用いた弾性表面波デュプレクサ。
【請求項１５】
請求項１から１２のいずれかに記載の弾性表面波共振子を搭載している通信装置。
【請求項１６】
請求項１３に記載の弾性表面波フィルタを搭載している通信装置。
【請求項１７】
請求項１４に記載の弾性表面波デュプレクサを搭載している通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｑを改善した弾性表面波共振子、挿入損失を改善した弾性表面波フィルタ、アイソレーション特性と挿入損失と耐電力性を改善した弾性表面波デュプレクサならびに、これらの弾性表面波フィルタ、弾性表面波デュプレクサ又は弾性表面波共振子を用いた通信装置に関するものである。このような弾性表面波共振子、弾性表面波フィルタ、弾性表面波デュプレクサを総称して「弾性表面波素子」と言う。弾性表面波素子は、例えば、移動体通信分野において、携帯電話機のＲＦ段及びＩＦ段のフィルタとして多用されるようになって来ている。
【背景技術】
【０００２】
近年、電波を利用する電子機器のフィルタ，遅延線，発振器等の構成素子として、小型・軽量で遮断性能が急峻な弾性表面波素子が用いられている。
【０００３】
弾性表面波素子の一種として、同一圧電基板上に複数個の一端子対で構成される弾性表面波共振子を直並列に梯子状に接続したラダー型（梯子型）弾性表面波フィルタが知られている。
【０００４】
通常、一端子対で構成される弾性表面波共振子は、図３２に示すように、バスバー電極１２ａと電極指１３を含むＩＤＴ（InterDigital Transducer）電極１と、ＩＤＴ電極１から励振された弾性表面波の主たる伝搬方向である電極指の繰り返し方向の両側にＩＤＴ電極１に隣接して配置された反射器電極２とからなる。
【０００５】
ラダー型弾性表面波フィルタは小型であるとともに通過帯域内では低損失であり、通過帯域外では高減衰なフィルタが実現できるため、携帯電話機等のＲＦ段フィルタとして広く使用されている。
【０００６】
このような、ラダー型弾性表面波フィルタを、送信側用と受信側用に計２個使用することによって、アンテナ共用器（デュプレクサ）を構成することができる。
【０００７】
デュプレクサとは、送信側周波数帯（例えば低周波側周波数帯）の信号と受信側周波数帯（例えば高周波側周波数帯）の信号とを分離する機能を持つ高周波部品である。
【０００８】
デュプレクサの送信用フィルタには通常１Ｗを超える大電力が印加されるが、送信用フィルタを構成する弾性表面波共振子のＩＤＴ電極で励振した弾性表面波の一部が弾性表面波共振子内に充分に閉じこめられずに弾性表面波共振子外に漏洩して圧電基板上を伝搬し、受信用フィルタを構成する弾性表面波共振子のＩＤＴ電極にて受信される。この漏洩した弾性表面波が再び電気信号に変換されてしまうため、送信用フィルタの入力端子からアンテナ端子へ向かう信号の一部が、受信用フィルタ内へと漏洩してしまい、これが受信信号のＳ／Ｎ（信号／ノイズ）比を悪化させていた。この送信用フィルタの入力端子から受信用フィルタへの漏洩電力比を「アイソレーション」と呼ぶ。
【特許文献１】実開平６−９２２９号公報
【非特許文献１】松田聡、斉藤康之、川内治、宮本晶規，「弾性波観測によるＳＡＷ弾性表面波素子特性の改善」，第３３回ＥＭシンポジウム予稿集，２００４年５月２０日，ｐ．７７−８２
【非特許文献２】J.Tsutsumi,S.Inoue, and Y.Iwamoto,”Extremly Low-Loss SAW Filter and Its Application to Antenna Duplexer for The 1.9GHz PCS Full-Band”,Proc. IEEE International Frequency Control Sympo. pp.861-867,(2003)
【非特許文献３】J.V.Knuuttila, J.Koskela, P.T.Tikka, and M.M.Salomaa, 1999 IEEE Ultrasonics Sympo., p83
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、通信システム側の要求スペックも、厳しいものになっており、従来よりもアイソレーション特性の優れた（漏洩電力比の小さな）デュプレクサが切望されている。
【００１０】
また、通信装置の更なる高機能化に伴い、通信装置を構成する部品点数が増加しているため、部品に対する小型化要求は常に存在する。
【００１１】
従来は、アイソレーション特性を改善するために、圧電基板そのものを送信側フィルタと受信側フィルタの２つに切断・分離して漏洩した弾性表面波が音響的に結合することによるアイソレーション特性の劣化を抑えていた（例えば、非特許文献１，２を参照）。
【００１２】
しかしながら、このように構成したアンテナ共用器は、２つに切断するための切り代の面積分だけ１枚のウェハーあたりの取れ個数が少なくなってしまい、製造コストを下げることが難しかった。また、チップをパッケージ内に実装する際に必要な実装マージンがチップ２個分必要になるためパッケージのサイズが大きくなってしまい、顧客の小型化要求を満足することは困難であった。
【００１３】
また、弾性表面波素子は電気信号を機械的な波（＝弾性表面波）に変換して信号処理する素子であるが、弾性表面波フィルタに入力された電気信号が弾性表面波共振子により電気信号から変換された弾性表面波の状態で漏洩するということは、弾性表面波フィルタに入力された電気信号の電力が弾性表面波に変換された状態で損失するということであり、このため、弾性表面波共振子から弾性表面波の漏洩が起こるとフィルタの挿入損失が増大するという問題もあった。このため、通信装置にこのような挿入損失の大きなアンテナ共用器を搭載した場合、必要な送信電力で電気信号を送信するためには、より大きな出力電力が必要となり、近年の低消費電力化の要求に応えることができないという問題もあった。
【００１４】
また、フィルタの挿入損失が大きいために、送信側フィルタに大電力が印加された場合、送信側フィルタで発生する熱量が大きく、これによって耐電力寿命が加速度的に短くなるという不具合もあった。
【００１５】
また、良好な挿入損失を実現するためには、ラダー型を構成する直列共振子と並列共振子それぞれの等価的容量（＝くし歯状電極指の電極対数、交差幅、電極ピッチ等によって決まる電気容量）の比で決定される容量比を小さくすることが効果的である。しかしながら、従来の弾性表面波フィルタの減衰量は、この容量比によってほぼ決まるため、良好な挿入損失を実現するために容量比を小さくすると減衰量が悪化し、Ｓ／Ｎ比を悪化させてしまうという問題があった。
【００１６】
ここで、弾性表面波共振子の外部に弾性表面波が漏洩する原因について説明する。
【００１７】
ＩＤＴ電極により励振された弾性表面波は概ね電極指の長手方向と直交する方向へと伝搬する。この方向を主伝搬方向という。電極指が長手方向に無限の長さを持つ理想状態であれば、主伝搬方向のみに伝搬する弾性表面波が励振されるが、現実の素子は有限のサイズを持つため、実際に励振される弾性表面波は主伝搬方向から逸れた成分を含んでしまう。
【００１８】
従来の弾性表面波共振子を図３２に示すように、ＩＤＴ電極１の両端の反射器電極２の長手方向の長さが、ＩＤＴ電極１の長手方向の長さと概ね同じサイズで形成されるため、反射器電極２は、主伝搬方向から逸れた成分を効率よく反射することができず、主伝搬方向から逸れた成分は、弾性表面波共振子の外部へと漏洩してしまう。
【００１９】
また、ＩＤＴ電極１で励振される弾性表面波は、複数の周波数成分を含むが、通常、反射器電極２は、ＩＤＴ電極１で励振される周波数成分のうち、ある周波数に対して最も反射効率が良くなるよう繰り返し電極（グレーティング電極ともいう）の周期を設計するため、それ以外の周波数成分の弾性表面波は反射器で効率よく反射されずに弾性表面波共振子の外部へと漏洩してしまう。
【００２０】
また、弾性表面波共振子内の主伝搬路に存在する伝搬モードとバスバー電極１２ａに存在する伝搬モードとが結合できる場合、電極指の交差部で励振された弾性表面波がバスバー電極１２ａへと漏洩し、バスバー電極１２ａの端部には弾性表面波を閉じこめる構造が無いため、弾性表面波はバスバー電極の端部から弾性表面波共振子の外部へと漏洩してしまう（例えば非特許文献３参照）。
【００２１】
このようにして弾性表面波共振子の外部へと漏洩した弾性表面波が、前述のような問題を引き起こすのである。デュプレクサにおいて、このような漏洩は、従来は問題とされていなかったが、近年の特性に対する厳しい要求により問題となってきたものである。
【００２２】
なお、特許文献１には、反射器の形状を屈曲もしくは湾曲した形状とすることにより、ＩＤＴ電極の主伝搬方向に対してある角度を持った弾性表面波が、屈曲もしくは湾曲した形状の反射器電極により効率的に反射され、ＩＤＴ電極へ再び戻されるために、共振子外への弾性表面波の漏洩を防止できるという構造が提案されている。
【００２３】
しかし、特許文献１に記載された構造の反射器電極は従来の反射器の端部をそのまま延長した形状となっているため、グレーティング電極周期が帯域内の周波数に対して最も反射効率が高くなるように設計せざるを得ない。このため、フィルタの通過帯域内での損失は改善されるものの、アンテナ共用器で問題となっている通過帯域外の隣接する周波数帯（つまり送信側周波数帯に隣接する受信側周波数帯）でのアイソレーション特性に影響を与える周波数の弾性表面波が漏洩するのを防止することはできなかった。
【００２４】
以上の課題に鑑み、本発明の目的は、弾性表面波の弾性表面波共振子外部への漏洩を防ぐことにより、高Ｑの弾性表面波共振子を実現することである。
【００２５】
また本発明の目的は、本発明の弾性表面波共振子を用いることにより、小型であり、且つ、低挿入損失な弾性表面波フィルタを実現することである。
【００２６】
また本発明の目的は、本発明の弾性表面波共振子を用いることにより、小型であり、且つ、アイソレーション特性に優れ、低挿入損失で、また、耐電力性にも優れた弾性表面波デュプレクサを実現することである。
【００２７】
また本発明の目的は、このような本発明の弾性表面波共振子や弾性表面波フィルタや弾性表面波デュプレクサを用いることにより、より低消費電力で、通話品質の良好な通信装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
本発明の弾性表面波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成され、バスバー電極を有するＩＤＴ電極と、前記圧電基板上に形成され、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向の両端に隣接して配置された反射器電極と、前記圧電基板上に形成され、繰り返し形成された電極を有し、前記反射器電極の外側の位置であって、前記ＩＤＴ電極のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置された補助反射器電極とを備えている。
【００２９】
この構造の弾性表面波共振子によれば、前記ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向以外の方向へ漏洩する弾性表面波や、前記バスバー電極から漏洩する弾性表面波を、前記補助反射器電極によって反射させ、弾性表面波共振子内に閉じこめることができるため、弾性表面波の漏洩損失の少ない、高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【００３０】
前記補助反射器電極は、前記繰り返し形成された電極の繰り返し方向（図１、図１１に示されるＧ）が、前記ＩＤＴ電極に向かうように形成されていることが望ましい。
【００３１】
特に、前記補助反射器電極の前記繰り返し形成された電極の繰り返し方向と、前記ＩＤＴ電極の電極指の繰り返し方向との成す角度θが０度を超え、２０度以下であることが望ましい。
【００３２】
また、前記ＩＤＴ電極１個あたりの前記補助反射器電極の数は限定されないが、例えば、前記反射器電極の斜め外側の四箇所の位置に配置されていてもよい。
【００３３】
なお、前記補助反射器電極が２本のバスバー電極を有し、前記補助反射器電極の前記繰り返し形成された電極の両端部が、前記バスバー電極に接続されている、いわゆる梯子型電極であってもよい。
【００３４】
また、前記補助反射器電極は、前記繰り返し形成された電極の片端部が電気的に開放された形状を有する櫛歯型の電極であってもよい。
【００３５】
また、前記補助反射器電極は、前記繰り返し形成された電極の両端部が電気的に開放された電極であってもよい。
【００３６】
また、前記補助反射器電極は、２本のバスバー電極を有し、前記バスバー電極からほぼ直角方向に延びる電極指を噛み合わせた形状を有するＩＤＴ型の電極でも構わない。
【００３７】
また、前記構成において、前記補助反射器電極のピッチを前記反射器電極のピッチと異なるようにすることができる。これにより、前記補助反射器電極を、前記反射器電極とは異なる波長で反射効率が高くなるように設計することができるため、前記反射器電極で反射されなかった波長の弾性表面波であっても補助反射器電極で効率よく反射させるようにすることができ、弾性表面波共振子の外側に弾性表面波が漏洩するのを、いっそう抑制することができる。
【００３８】
また、本発明の弾性表面波共振子によれば、前記補助反射器電極のピッチを前記ＩＤＴ電極のピッチと異なるようにすることができる。このようにすることにより、補助反射器電極とＩＤＴ電極との間で発生する不要な共振を押さえることが可能となり、スプリアス共振の少ない弾性表面波共振子を実現することができる。なお、ここでＩＤＴ電極のピッチとは、一方の櫛歯状電極の電極指と、この櫛歯状電極に噛み合わされた他方の櫛歯状電極の電極指のうち、前記一方の櫛歯状電極の前記電極指に隣接する電極指との中心間距離を指すものとする。
【００３９】
また、前記反射器電極の外側であって２つの補助反射器電極の間に、第二の補助反射器電極が形成されていることによって、前記反射器によって完全に反射されることのなかった弾性表面波を反射させ、ＩＤＴ電極内に閉じこめることができる。これにより、より弾性表面波の漏洩損失の少ない高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【００４０】
また、前記第二の補助反射器電極と前記補助反射器電極とが接続されて一体に形成されていることにより、前記第二の補助反射器電極と前記補助反射器電極との間を漏洩する弾性表面波をさらに反射し、弾性表面波共振子内に閉じこめることができ、さらに高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。また、前記第二の補助反射器電極と前記補助反射器電極との電位を等しくすることができるため、圧電基板の持つ焦電性によって電位の異なる部分の間で発生する場合があるスパークによる微細電極の破壊を防止することができ、且つ高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【００４１】
また、本発明の弾性表面波共振子を用いた弾性表面波フィルタによれば、高Ｑな弾性表面波共振子を備えていることにより、小型でありながら挿入損失が小さい弾性表面波フィルタを実現することができる。従来は、送信フィルタから漏洩した弾性表面波が受信フィルタと結合するのを防止するため、送信フィルタと受信フィルタで基板を２つに分けるなどしていた。そのため、実装のためのマージンを必要としていたが、本発明によれば、送信フィルタからの弾性表面波の漏洩を防止できるので、基板を２つに分ける必要がなく、上述したような実装のマージンが必要なくなるため、小型化できるのである。
【００４２】
また、本発明の弾性表面波共振子を用いた弾性表面波デュプレクサによれば、基板上に送信用フィルタ領域及び受信用フィルタ領域を具備した弾性表面波デュプレクサにおいて、前記記載の弾性表面波共振子を前記送信用フィルタ領域又は前記受信用フィルタ領域の少なくとも一方に設け、圧電基板を共通の基板として用いていることにより、小型でありながらアイソレーション特性に優れ、挿入損失が小さく、またこのため、耐電力性に優れた弾性表面波デュプレクサを実現することができる。
【００４３】
そして、本発明の弾性表面波デュプレクサを備えた本発明の通信装置によれば、フィルタが低挿入損失であることにより、同じ出力パワーを得るために必要な入力パワーを低減することができるため、パワーアンプの消費電力を削減でき、従って消費電力を抑えた通信装置を実現することができる。また、この弾性表面波デュプレクサは小型であるため他の部品の実装面積を確保することができ、このため、高機能な通信装置を実現することができる。しかも高いアイソレーション特性のため、高い通話品質を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明の弾性表面波素子の実施の形態の例について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、図面において同様の箇所には同じ符号を付すものとする。また、各電極の大きさや電極間の距離等、あるいは電極指の本数や間隔等については、説明のために模式的に図示したものであるので、これらに限定されるものではない。
【００４５】
図１に弾性表面波共振子の平面図を示す。
【００４６】
この弾性表面波共振子は、圧電基板（図２の”１９”参照）の一主面に、金属薄膜からなる複数の電極を形成した素子である。形成されている電極は、ＩＤＴ電極１、反射器電極２、及び補助反射器電極３等である。
【００４７】
ＩＤＴ電極１は、弾性表面波の主伝搬方向Ｆに平行に伸びる２本のバスバー電極１２ａ及び各バスバー電極１２ａから内側方向に直角に延びて形成された、互いに噛み合う電極指１３を有する。
【００４８】
反射器電極２は、ＩＤＴ電極１の主伝搬方向Ｆの両端に隣接して配置されている。反射器電極２は、平行に伸びる２本のバスバー電極１２ｂと、各バスバー電極１２ｂから内側方向に直角に延びて形成されたグレーティング電極１４ａを備えている。グレーティング電極１４ａは、対向するバスバー電極１２ｂにも接続され、短絡されている点で、対向するバスバー電極１２ｂに接続されていない電極指１３と異なっている。
【００４９】
補助反射器電極３は、反射器電極２のＩＤＴ電極１と隣接していない側、すなわち、反射器電極２の外側の四箇所の位置に、４つ配置されている。これらの四箇所の位置は、ＩＤＴ電極１の２本のバスバー電極１２ａをそれぞれ仮想的に延長した直線Ｈ上である。補助反射器電極３も、反射器電極２と同様、短絡されたグレーティング電極１４ｂを備えている。
【００５０】
なお、補助反射器電極３の設置位置は反射器電極２の外側の四箇所に限定されるものではない。前記四箇所のうち、一箇所にのみ設置してもよく、二箇所又は三箇所に設置してもよい。一〜三箇所に設置しても、弾性表面波の外部への漏洩を防ぎ、Ｑを高めるという本発明の効果を達成することができる。
【００５１】
補助反射器電極３は、いずれも、グレーティング電極１４ｂの繰り返し方向（以下「補助反射器電極３の方向Ｇ」という）がＩＤＴ電極１に向かうように傾斜して配置されている。すなわち、ＩＤＴ電極１から見れば、４つの補助反射器電極３は、それぞれ外側に広がる方向に配置されている。その傾斜角をθで図示している。
【００５２】
補助反射器電極３のない従来の構造（図３２）では、反射器電極２よりも外側に漏洩する弾性表面波が存在する。これは、反射器電極２は単一の電極ピッチにより構成されているため、このピッチで反射される波長以外の波長の弾性表面波が漏洩するためである。
【００５３】
また、ＩＤＴ電極１のバスバー電極１２ａから、弾性表面波が漏洩する場合があるが、その漏洩した弾性表面波が反射器電極２のバスバー電極１２ｂからの伝搬モードと結合すると、結局、バスバー電極１２ｂの端部から弾性表面波が漏洩することとなる。
【００５４】
そこで、図１のように補助反射器電極３を形成することにより、このような漏洩する主伝搬方向Ｆから斜めθ方向へ漏洩する漏れ  弾性表面波を反射させ、その漏れるエネルギーを低減することができる。
【００５５】
したがって、弾性表面波共振子のＱ値をより高くでき、弾性表面波フィルタの挿入損失改善、弾性表面波デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【００５６】
図２は、図１の構造の弾性表面波共振子を用いた送信用フィルタ、受信用フィルタを同一圧電基板１９上に形成した弾性表面波デュプレクサの上面模式図である。図２中、上半分が送信用フィルタ領域、下半分が受信用フィルタ領域を示す。
【００５７】
送信用フィルタの入力端子１５から入った信号は、ラダー型に組み合わされた３個の直列弾性表面波共振子と２個の並列弾性表面波共振子を通って出力端子１６から出力される。
【００５８】
また、受信用フィルタの入力端子１７から入った信号は、ラダー型に交互に組み合わされた２個の直列弾性表面波共振子と３個の並列弾性表面波共振子を通って出力端子１８から出力される。
【００５９】
また、送信側及び受信用フィルタのそれぞれの弾性表面波共振子には、前記補助反射器電極３が付加されており、主伝搬方向Ｆに対して、斜めに傾いた方向へ漏洩する弾性表面波が低減される構造となっている。
【００６０】
なお、圧電基板１９には環状電極２１が設けられているが、この環状電極２１は圧電基板１９を実装用基板（図示せず）にフリップチップ実装で気密封止するためのものである。この環状電極２１が存在していても、弾性表面波共振子から漏洩した弾性表面波の伝搬がほとんど妨げられないことが実験によって分かっている。
【００６１】
図２の構造において、特に、送信用フィルタを構成する弾性表面波共振子のうち直列弾性表面波共振子に、本発明の構成を用いると効果が高い。
【００６２】
これは、送信用フィルタに印加された大電力信号は直列弾性表面波共振子を透過するが、この際に励振された強い強度の弾性表面波を本発明により効率よく閉じこめることができるためである。
【００６３】
一方、受信用フィルタの並列弾性表面波共振子に本発明の弾性表面波共振子を用いた場合、送信用フィルタの直列弾性表面波共振子から漏洩した弾性表面波が、受信用フィルタの並列弾性表面波共振子に用いた前記補助反射器電極３により反射される。この結果、受信用フィルタの並列弾性表面波共振子を構成するＩＤＴ電極１で受信されにくくなるため、アイソレーション改善の効果がある。
【００６４】
なお、補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂのピッチを、反射器電極２のグレーティング電極１４ａのピッチと異ならせることもできる。
【００６５】
例えば、送信用フィルタに使用する弾性表面波共振子の補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂのピッチを、受信用フィルタに使用する弾性表面波共振子のＩＤＴ電極１の電極指１３のピッチに合わせることで、受信周波数帯域でのアイソレーション特性を向上させることができる。この理由は、反射器電極２で完全に反射できなかった受信周波数帯域の波長の弾性表面波が補助反射器電極３によって反射され、送信用フィルタの弾性表面波共振子内に閉じこめられ、受信周波数帯域での弾性表面波が漏洩しなくなるためである。
【００６６】
さらに、補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂにおいて複数の異なったピッチを混在させて構成しても良い。このようにすることで、特定の周波数帯域だけでなく、より広い帯域において弾性表面波素子から漏洩する弾性表面波を抑制することができるために、弾性表面波共振子のＱが向上する。この場合、複数のピッチの空間的並び方は特に重要ではなく自由に設定することができる。
【００６７】
なお、図１等において前記ＩＤＴ電極１は、一方のバスバー電極１２ａに形成された電極指１３の先端と相対する部位の他方のバスバー電極１２ａに短いダミー電極８が形成されている場合を示したが、このようにすることによって、より主伝搬路の伝搬モードとバスバー電極の伝搬モードを結合し難くすることができるため、弾性表面波共振子の主伝搬路からバスバー電極を通って外部へ漏洩する弾性表面波を低減することができ、高Ｑの弾性表面波共振子とすることができる。そしてこの弾性表面波共振子を用いてフィルタを構成した場合、より低挿入損失なフィルタとすることができる。さらに同一基板上に送信用フィルタ領域及び受信用フィルタ領域を設けたデュプレクサを構成した場合、よりアイソレーション特性に優れたものとなる。
【００６８】
また、図１等では補助反射器電極３の構造として、グレーティング電極１４ｂを両端部で電気的にショートさせた梯子状の電極（ショート反射器）を用いたが、このような形に限定せず、例えば両端部又は片端部を電気的に開放した形状（オープン反射器）であってもアイソレーション特性を同様に向上させることができる。
【００６９】
図３に片端部を電気的に開放したオープン反射器の例を示し、図４に両端部を電気的に開放したオープン反射器の例を示す。
【００７０】
さらに、補助反射器電極３の形状は、ＩＤＴ電極のように電極指が交互にかみ合った形状（ＩＤＴ型反射器）であってもよい。この構造は、後に図面を用いて詳しく説明する。
【００７１】
また、補助反射器電極３の形状は、直線形状の電極指からなるグレーティング電極でなく一定の曲率を持った円弧、もしくは屈曲もしくは湾曲した形状、又は台形等の形状で構成したグレーティング電極から構成することもできる。このようにすることで広範囲な角度範囲で漏洩する弾性表面波を反射することができるため、より共振子のＱ値向上、フィルタの挿入損失改善、デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【００７２】
本発明の弾性表面波共振子において、圧電基板としてはタンタル酸リチウム単結晶やニオブ酸リチウム単結晶や四ホウ酸リチウム単結晶等を用いることができる。
【００７３】
また、ＩＤＴ電極、反射器電極及び本発明にかかる補助反射器電極には、アルミニウム，アルミニウム合金，銅，銅合金，金，金合金，タンタル，タンタル合金、又はこれらの材料から成る層の積層膜やこれらの材料とチタン，クロム等の材料から成る層との積層膜を用いることができる。これら積層膜の成膜方法としては、スパッタリング法や電子ビーム蒸着法を用いることができる。
【００７４】
これらの電極をパターニングする方法としては、電極膜の成膜後にフォトリソグラフィを行い、次いでＲＩＥ（Reactive Ion Etching）やウェットエッチングを行う方法がある。又は、電極膜の成膜前に圧電基板上にフォトレジストを塗布しフォトリソグラフィを行って所望のＩＤＴ電極や反射器電極等のパターンを形成した後、前記アルミニウム等の材料からなる単層膜又は積層膜を成膜し、その後レジストを不要部分に成膜された単層膜又は積層膜ごと除去するリフトオフプロセスを行ってもよい。
【００７５】
以下、圧電基板に形成される弾性表面波共振子の電極形状の変形例を説明する。
【００７６】
図５に示すように、反射器電極２のＩＤＴ電極１と反対側に隣接した位置に、グレーティング電極１４ｃを有する第二の補助反射器電極４を配置してもよい。
【００７７】
第二の補助反射器電極４によって、ＩＤＴ電極１の電極指とほぼ垂直方向、すなわち前述したような弾性表面波の主伝搬方向Ｆに沿って伝搬し、第一の反射器電極２で完全には反射することができない弾性表面波を反射させることができる。
【００７８】
第二の補助反射器電極４のグレーティング電極１４ｃのピッチは、反射器電極２のグレーティング電極１４ａのピッチと異なっていることが望ましい。このようにすることにより、反射器電極２で反射できなかった弾性表面波を効率良く反射させることができる。
【００７９】
なお、図５では第二の補助反射器電極４をバスバー電極とグレーティング電極とからなる梯子型電極（ショート反射器）で示したが、バスバー電極と電極指とからなるＩＤＴ電極（ＩＤＴ型反射器）でも、グレーティング電極のみ（オープン反射器）からなっても構わない。
【００８０】
また、この第二の補助反射器電極４のグレーティング電極１４ｃに複数の異なったピッチを混在させて構成しても良い。このようにすることで、特定の周波数帯域だけでなく、より広い帯域において弾性表面波共振子から漏洩する弾性表面波を抑制することができるために、弾性表面波共振子のＱ値が向上する。この場合、複数のピッチの空間的並び方は特に重要ではなく自由に設定することができる。
【００８１】
また、図６に示すように、互いに隣接する補助反射器電極３と第二の補助反射器電極４とを、接続部５で接続して一体に形成しても良い。このようにすることにより、補助反射器電極３と第二の補助反射器電極４の電位を等しくすることができるため、圧電基板の持つ焦電性によって電位の異なる部分の間で発生するスパークによる微細電極の破壊を防止することができ、且つ高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【００８２】
なお、補助反射器電極３と第二の補助反射器電極４とを接続して一体に形成する場合、接続する構造がいろいろ考えられる。例えば図６に示すようにもともと図５において対向して存在していた部分をそのまま延長して接続することもできる。
【００８３】
また、図７に示すように補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂと第二の補助反射器電極４のグレーティング電極１４ｃとを延長し、一体としても良い。その際、接続部５の領域にグレーティング電極を短絡するための反射器バスバー電極２５を設けても良いし、図８に示すように設けなくとも良い。
【００８４】
また、図９のように、補助反射器電極３と第二の補助反射器電極４の間にあたる領域にグレーティング電極１４ｄを設けた構造としても良い。このような構造とすることにより、更に補助反射器電極３と第二の補助反射器電極４との間を漏洩する弾性表面波を反射させ、弾性表面波共振子内に閉じこめることができ、更に高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【００８５】
以上の構造の中で、特に、図７に示した構造と図９の構造は各方向に対して、最適なグレーティング電極のピッチとすることができるため有利である。
【００８６】
また、第二の補助反射器電極４の形状は、直線形状の電極指からなるグレーティング電極でなく一定の曲率を持った円弧、もしくは屈曲もしくは湾曲した形状で構成したグレーティング電極から構成することもでき、このようにすることで広範囲な角度範囲で漏洩する弾性表面波を反射することができるため、より高い弾性表面波共振子のＱ値改善、フィルタの挿入損失改善、デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【００８７】
また、図１０に示すように、図１に示した長方形の外形形状を有する反射器電極２に代えて、反射器電極のバスバー電極１２ｂをＩＤＴ電極１に向かって傾斜させるようにして、反射器電極のグレーティング電極１４ａの端部を屈曲させた形状の反射器電極２′を用いてもよい。
【００８８】
さらに、図１０では反射器電極２′は屈曲した形状で示したが、滑らかに湾曲した形状でも良い。
【００８９】
このような屈曲したもしくは湾曲した形状にすることにより、ＩＤＴ電極１から弾性表面波の主伝搬方向Ｆ以外の方向に漏洩する弾性表面波を、屈曲もしくは湾曲した形状の反射器電極２′により反射することができ、より高い効果が得られる。
【００９０】
図１１は、図１の補助反射器電極３に代えて、バスバー電極１２ｃ及び電極指１３ｂを有し、電極指１３ｂを交互に噛み合わせたＩＤＴ型補助反射器電極３′を配置した例を示す平面図である。
【００９１】
これらのＩＤＴ型補助反射器電極３′が配置されている四箇所の位置は、ＩＤＴ電極１のバスバー電極１２ａを仮想的に延長した直線上である。
【００９２】
ＩＤＴ型補助反射器電極３′は、いずれも、各々のＩＤＴ型補助反射器電極３′の繰り返し方向（以下「ＩＤＴ型補助反射器電極３′の方向」という）ＧがＩＤＴ電極１に向かうように傾斜して配置されている。
【００９３】
なお、ＩＤＴ型補助反射器電極３′には、信号線が接続されていないので、それ自体で弾性表面波を励振することはない。
【００９４】
この図１１に示した弾性表面波共振子を複数用いて作製したラダー型フィルタを２個圧電基板１９上に形成して、本発明の弾性表面波素子である弾性表面波デュプレクサを構成することが出来る。その構造を図１２に示す。図１の補助反射器電極３に代えて、ＩＤＴ型補助反射器電極３′を配置しているところが違っているだけである。
【００９５】
なお、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂのピッチと、反射器電極２のグレーティング電極１４ａのピッチとを異ならせるようにしても良い。こうすれば、ＩＤＴ型補助反射器電極３′を反射器電極２とは異なる波長で反射効率が高くなるように設計することができるため、反射器電極２で反射されなかった波長の弾性表面波であってもＩＤＴ型補助反射器電極３′で効率よく反射させるようにすることができ、弾性表面波共振子の外側に弾性表面波が漏洩するのをより抑制することができるからである。
【００９６】
また、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂのピッチと、ＩＤＴ電極１の電極指１３ａのピッチとを異ならせるようにしても良い。これにより、ＩＤＴ型補助反射器電極３′とＩＤＴ電極１との間で発生する不要な共振を押さえることが可能となり、リップルの少ない弾性表面波共振子を実現することができる。
【００９７】
また、図１２のデュプレクサの場合、送信用フィルタに使用する弾性表面波共振子のＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂのピッチを、受信用フィルタに使用する弾性表面波共振子のＩＤＴ電極１の電極指１３ａのピッチに合わせるようにすれば、受信周波数帯域でのアイソレーション特性を向上させることができる。この理由は、反射器電極２で完全に反射できなかった受信周波数帯域の波長の弾性表面波がＩＤＴ型補助反射器電極３′によって反射され弾性表面波共振子内に閉じこめられることにより、送信用フィルタの弾性表面波共振子から、受信用フィルタへ弾性表面波が漏洩しなくなるためである。
【００９８】
さらに、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂに複数の異なったピッチを混在させて構成しても良い。このようにすることで、特定の周波数帯域だけでなく、より広い帯域において弾性表面波共振子から漏洩する弾性表面波を抑制することができるために、弾性表面波共振子のＱ値が向上する。この場合、複数のピッチの空間的並び方は特に重要ではなく自由に設定することができる。
【００９９】
また、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の形状は、直線形状の電極指でなく一定の曲率を持った円弧や、屈曲もしくは湾曲した形状、又は台形等の形状で構成した電極指から構成することもでき、このようにすることで広範囲な角度範囲で漏洩する弾性表面波を反射することができるため、より高い弾性表面波共振子のＱ値改善、フィルタの挿入損失改善、デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【０１００】
また、ＩＤＴ型補助反射器電極３′において、図１１に示したＩＤＴ電極１のようにダミー電極８を設けたり、電極指１３ａやダミー電極８の長さを場所によって異なるようにする、いわゆるアポダイズを行ったりしても良い。このようにすることでより広範囲な波長の漏洩する弾性表面波を反射したり、ある周波数での反射効率をより向上させたりすることができるため、より高い弾性表面波共振子のＱ値改善，フィルタの挿入損失改善、デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【０１０１】
また、２つの近接するＩＤＴ型補助反射器電極３′の間、すなわち、反射器電極２の両外側に第二の補助反射器電極４を配置してもよい。図１３は、第二の補助反射器電極４の配置例を示す図である。
【０１０２】
この第二の補助反射器電極４によって、前述したようなＩＤＴ電極１の電極指１３ａとほぼ垂直方向に伝搬し反射器電極２では完全に反射することができない弾性表面波を反射させることができる。
【０１０３】
なお、第二の補助反射器電極４をグレーティング電極１４ｂとした場合、そのピッチは、反射器電極２のグレーティング電極１４ａのピッチと異なっていてもよいこと、ＩＤＴ電極（ＩＤＴ型反射器）でもグレーティング電極のみ（オープン反射器）からなってもよいこと、複数の異なったピッチを混在させて構成しても良いことは、すでに図５を用いた説明したとおりである。
【０１０４】
また、互いに隣接するＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４とを接続して一体に形成しても良い。
【０１０５】
例えば図１４に示すように、ＩＤＴ型補助反射器電極３′のバスバー電極と第二の補助反射器電極４のバスバー電極とをそのまま延長した領域に接続部５ａを設けて接続することができる。
【０１０６】
また、図１５に示すようにＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂに接触するまで、第二の補助反射器電極４のグレーティング電極１４ｂを延長した領域である接続部５ｂを設け、それらを一体としても良い。その際、グレーティング電極１４ｂを短絡する反射器バスバー電極２５を設けても良いし、図１６に示すように設けなくとも良い。
【０１０７】
また、図１７のように、図１３のＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４の間にあたる領域である接続部５ｄにさらにグレーティング電極１４ｃを設けた構造としても良い。グレーティング電極１４ｃに代えてＩＤＴ電極を設けた構造としても良い。
【０１０８】
このような構造とすることにより、さらに図１３のＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４との間を漏洩する弾性表面波を反射し、弾性表面波共振子内に閉じこめることができ、さらに高Ｑな弾性表面波共振子を実現することができる。
【０１０９】
このような構造の中で、図１５に示した構造と図１７の構造は各方向に対して、最適なグレーティング電極のピッチとすることができるため有利である。
【０１１０】
また、第二の補助反射器電極４の形状は、直線形状の電極指でなく一定の曲率を持った円弧や、屈曲もしくは湾曲した形状、又は台形等の形状で構成した電極指から構成することもでき、このようにすることで広範囲な角度範囲で漏洩する弾性表面波を反射することができるため、より高い弾性表面波共振子のＱ値改善、フィルタの挿入損失改善、デュプレクサのアイソレーション改善等の効果を得ることができる。
【０１１１】
また、図１１に示した直方体の外形形状を有する反射器電極２に代えて、図１０に示したのと同様、反射器電極２のバスバー電極１２ｂの部分を、ＩＤＴ電極１に向かって傾斜させるように、反射器電極のグレーティング電極１４ａの端部を屈曲させた形状の反射器電極を用いてもよい。
【０１１２】
以上説明を行った、本発明の弾性表面波共振子又は弾性表面波素子は、挿入損失の良好な通過帯域内特性を有するものであるので、これらを、通信装置に適用することができる。
【０１１３】
すなわち、受信回路又は送信回路の一方又は両方を備える通信装置において、本発明の弾性表面波共振子又は弾性表面波素子を、バンドパスフィルタやデュプレクサに搭載することができる。
【０１１４】
前記送信回路は、送信信号をミキサでキャリア周波数にのせて、不要信号をバンドパスフィルタで減衰させ、その後、パワーアンプで送信信号を増幅して、デュプレクサを通ってアンテナより送信する回路である。
【０１１５】
前記受信回路は、受信信号をアンテナで受信し、デュプレクサを通った受信信号をローノイズアンプで増幅し、その後、バンドパスフィルタで不要信号を減衰して、ミキサでキャリア周波数から信号を分離し、この信号を取り出す回路である。
【０１１６】
前記デュプレクサやバンドパスフィルタが組み込まれた通信装置は、フィルタが低挿入損失であることにより、同じ出力パワーを得るために必要な入力パワーを低減することができる。このため、パワーアンプの消費電力を削減でき、従って消費電力を抑えた通信装置を実現することができる。
【０１１７】
また、圧電基板上に送信用フィルタ領域及び受信用フィルタ領域を具備する本発明の弾性表面波デュプレクサを用いることにより、該弾性表面波デュプレクサは小型であるため他の部品の実装面積を確保することができ、このため、小型で高機能な通信装置を実現することができる。しかも高いアイソレーション特性のため、高い通話品質を得ることができる。
【０１１８】
なお、本発明の実施形態は上述の例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得る。
【０１１９】
例えば、図１８に示すように、更にバスバー電極１２ａや反射器電極２のバスバー電極１２ｂ上に厚膜部６を設けても良い。このようにすることにより、主伝搬路とバスバー電極とのモードが結合することを抑制することができるため、より弾性表面波の漏洩による損失を抑制することができる。なお、図１８では電極指１３及び反射器電極２のグレーティング電極を挟んで上下対称に厚膜部６を設けた形状を示したが、形状は上下で異なっていても構わない。
【０１２０】
また、ＩＤＴ電極の外形は、図１、図１１等に示した長方形でなく、例えば三角形，菱形，台形等の形状にアポダイズされていても構わない。
【０１２１】
また反射器電極のグレーティング電極領域の形状も、三角形、菱形、台形等であってもかまわない。
【０１２２】
また、補助反射器電極の位置については、反射器電極のＩＤＴ電極と隣接していない側のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置すればよく、傾斜角度θについては０°を超え、２０°以下であれば効果があるが、効果のある角度は、基板方位，ＩＤＴ電極膜厚，電極指１３のピッチ等に依存するパラメータであるので、この範囲に限定するものではない。
【０１２３】
また、ラダー型フィルタの場合について説明したが、ＤＭＳ型フィルタ，トランスバーサル型フィルタ，ＩＩＤＴ型フィルタ等、弾性表面波を扱う弾性表面波素子であれば本発明の適用が可能である。
【実施例】
【０１２４】
まず、３８．７°ＹカットＸ伝搬タンタル酸リチウム単結晶基板から成る圧電基板（基板厚みは２５０μｍ）の一方主面に、スパッタリング法により基板側からＴｉ／Ａｌ−１質量％Ｃｕ／Ｔｉ／Ａｌ−１質量％Ｃｕからなる４層の下地導体膜を成膜した。膜厚はそれぞれ６ｎｍ／１０４ｎｍ／６ｎｍ／１０４ｎｍである。
【０１２５】
次に、この下地導体膜をフォトリソグラフィとＲＩＥとによりパターニングして、それぞれ電極指及びバスバー電極を有するＩＤＴ電極と、反射器電極、補助反射器電極とを具備する弾性表面波共振子を複数有し、それらをラダー型に接続し、入出力電極を有する、図２、図１２に示した本発明の弾性表面波デュプレクサを作製した。このときのエッチングガスにはＢＣｌ３及びＣｌ２の混合ガスを用いた。電極指の線幅及び隣り合う電極指間の距離はどちらも約０．５μｍである。
【０１２６】
また、従来構造の比較例として図１９に示した構造の弾性表面波デュプレクサについても同時に作製した。
【０１２７】
次に、入力端子１５，１７及び出力端子１６，１８及び環状電極２１の上に新たなＣｒ／Ｎｉ／Ａｕからなる導体層を積層して、入力端子１５，１７の上及び出力端子１６，１８上にそれぞれ入力パッド及び出力パッドを形成した。
【０１２８】
この新たな導体層の厚みはそれぞれ１０ｎｍ／１０００ｎｍ／１００ｎｍである。
【０１２９】
その後、圧電基板にダイシング線に沿ってダイシング加工を施し、弾性表面波デュプレクサのチップごとに分割した。
【０１３０】
次に、本発明の実施例の弾性表面波デュプレクサ及び比較例の弾性表面波デュプレクサを、それぞれＬＴＣＣ（Low Temperature Co-fired Ceramics）基板からなる実装用基体上に一方主面を対面させて実装した。
【０１３１】
ここで、ＬＴＣＣ基板は、圧電基板１９の一方主面に形成した環状電極２１に対応する基体側環状導体及び弾性表面波デュプレクサの入出力パッドと接続されるパッド電極を有しており、予めこれら基体側環状導体及びパッド電極には半田を印刷しておいた。
【０１３２】
これに弾性表面波デュプレクサを実装するにおいては、これら半田パターンに一致するように弾性表面波デュプレクサを配置して超音波を印加することにより仮固定し、その後、加熱することにより半田を溶融することによって環状電極２１と基体側環状導体とを、及び入出力パッドとパッド電極とを接続した。
【０１３３】
これにより、弾性表面波デュプレクサの各ＩＤＴ電極，反射器電極，及び入出力パッドは、ＬＴＣＣ基板の基体側環状導体とこれに接続された環状電極２１とによって完全に気密封止された。
【０１３４】
なお、以上の弾性表面波素子の実装工程は窒素雰囲気下で行った。
【０１３５】
次に、弾性表面波素子の他方主面（裏面）をモールド樹脂で保護し、最後にＬＴＣＣ基板を各弾性表面波デュプレクサ間でダイシングすることにより、本発明の実施例の弾性表面波デュプレクサ及び比較例の弾性表面波デュプレクサを有する弾性表面波素子を得た。
【０１３６】
（１）補助反射器電極３（図２）を有する場合
図２０は、図２の構造のデュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【０１３７】
図２０のグラフにおいて、横軸は規格化した周波数を、縦軸はアイソレーション（単位：ｄＢ）を表す。点線の特性曲線は従来の補助反射器電極３を有しない図１９に示す従来の弾性表面波デュプレクサの結果を示し、実線の特性曲線は、従来の弾性表面波デュプレクサに対して補助反射器電極３を付加した場合の本発明の実施例の結果を示している。
【０１３８】
図２０に示す結果から分かるように、この本発明の実施例の弾性表面波デュプレクサは、たとえば規格化周波数０．９５において、アイソレーション特性が比較例のものに比べて最大で５ｄＢと、大きな改善が見られた。
【０１３９】
比較例の構成のデュプレクサは、送信用フィルタを構成する弾性表面波共振子からは、漏れて伝搬する漏洩弾性表面波が存在するため、良好な特性が得られなかったものと思われる。
【０１４０】
図２１は、本発明の弾性表面波共振子を用いて作製した１端子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性（実線）を、従来の弾性表面波共振子によるインピーダンス特性（破線）と比較した例を示すグラフである。
【０１４１】
図２１において、横軸は任意の周波数で規格化した周波数を、縦軸はインピーダンスの絶対値｜Ｚ｜（単位：Ω）を表す。インピーダンス｜Ｚ｜のピークの部分は、反共振抵抗といわれる。
【０１４２】
図２１のように本発明では、反共振抵抗値１１と呼ばれるピーク値を大きくし、高Ｑにすることができる。反共振抵抗値１１は、ラダー型フィルタを構成した場合、通過帯域内の挿入損失に影響を及ぼすパラメータで、このラダー型フィルタの並列腕の共振子の反共振抵抗値１１が大きいほど挿入損失を低減することができる。具体的には、本発明の反共振抵抗値１１は約９００Ωであるのに対して、補助反射器電極３を持たない従来の反共振抵抗値１０は８４０Ωであり、本発明により約６０Ωと大きく改善されている。
【０１４３】
また、図２２は、補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂの繰り返し方向Ｇと、ＩＤＴ電極１の弾性表面波の主伝搬方向Ｆとのなす角度θ（単位：°）を横軸とした場合の、反共振抵抗値（単位：Ω）を縦軸に示した図である。
【０１４４】
この実験ではθを０°から２０°まで変化させることで、反共振抵抗値が約６２Ω向上することが分かった。
【０１４５】
なお、補助反射器電極３の方向Ｇと、ＩＤＴ電極１の弾性表面波の主伝搬方向Ｆとのなす角度は、所望の特性に応じて、２０°以上にしてもよい。
【０１４６】
また、図２３は送信用フィルタの通過帯域内特性の拡大図である。図２３において、横軸は任意の周波数で規格化した周波数を、縦軸は減衰量（単位：ｄＢ）を表している。
【０１４７】
パラメータとして補助反射器電極３の方向Ｇと、ＩＤＴ電極１の弾性表面波の主伝搬方向Ｆとのなす角度θ（単位：°）をとっており、破線は５°、一点鎖線は１０°、点線は１５°、実線は２０°を示している。図２３ではθが２０°の場合が最も挿入損失が改善され、５°の場合に比べると約０．１ｄＢの改善が見られる。
【０１４８】
また、上述の実施例において説明したものと全く同様の方法で、補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂのピッチとＩＤＴ電極１の電極指１３のピッチとを異ならせた、本発明の弾性表面波共振子を用いた弾性表面波デュプレクサを作製し、前記の評価を行った。
【０１４９】
その結果を図２４に示す。図２４は、上面概略図は図２と同じであるが、補助反射器電極３のグレーティング電極１４ｂのピッチがＩＤＴ電極１の電極指１３のピッチと異なる場合のアイソレーション特性をグラフで示したものである。
【０１５０】
図２４のグラフにおいて、横軸は規格化した周波数を、縦軸はアイソレーション（単位：ｄＢ）を表す。点線の特性曲線は従来の補助反射器電極３を有しない比較例の結果を示し、破線及び実線の特性曲線はそれぞれ、従来の弾性表面波共振子に対してグレーティング電極１４ｂのピッチがＩＤＴ電極１の電極指１３のピッチと同一である補助反射器電極３を有する場合と、グレーティング電極１４ｂのピッチがＩＤＴ電極１の電極指１３のピッチの２倍である補助反射器電極３を有する場合の本発明の実施例の結果を示している。
【０１５１】
図２４に示す結果から分かるように、この実施例の弾性表面波共振子は、比較例のものに比べて最大で約６ｄＢと大きなアイソレーション特性の改善が見られた。
【０１５２】
（２）ＩＤＴ型補助反射器電極３′（図１２）を有する場合
作製した本発明の実施例と比較例について、そのアイソレーション特性を、図２５にグラフで示す。
【０１５３】
図２５のグラフにおいて、横軸は規格化した周波数を、縦軸はアイソレーション（単位：ｄＢ）を表す。破線の特性曲線は従来のＩＤＴ型補助反射器電極３′を有しない図１９の比較例の結果を示し、実線の特性曲線は、従来の弾性表面波デュプレクサに対してＩＤＴ型補助反射器電極３′を付加した場合の本発明の実施例の結果を示している。
【０１５４】
図２５に示す結果から分かるように、この実施例の弾性表面波デュプレクサは、比較例の場合に比べてたとえば規格化周波数１．００５において約９ｄＢと大きなアイソレーション特性の改善が見られた。比較例のデュプレクサは、送信用フィルタを構成する弾性表面波共振子から漏れて伝搬する漏洩弾性表面波が存在するため、良好な特性が得られなかったものと思われる。
【０１５５】
また、本発明の弾性表面波共振子を用いて作製した１端子対弾性表面波共振子のインピーダンス特性（実線）を、従来の弾性表面波共振子によるインピーダンス特性（破線）と比較した場合、図２６に示したようなグラフが得られる。実線に示すように、  反共振抵抗値１１と呼ばれるピーク値を大きくすることができることが確認できる。具体的には、本発明の反共振抵抗値は約８１９Ωであるのに対して、従来のＩＤＴ型補助反射器電極３′を持たない弾性表面波共振子の反共振抵抗値１０は８１２Ωであり、本発明により約７Ω改善することができる。
【０１５６】
また、図２７は、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の方向ＧとＩＤＴ電極１の弾性表面波の主伝搬方向Ｆとのなす角度θ（単位：°）を横軸とした場合の、反共振抵抗値（単位：Ω）を縦軸に示した図である。
【０１５７】
実験ではθを０°から１０°変化させることで、反共振抵抗値が約１４Ω向上することがわかる。なお、角度θを１０°前後とした場合、最も改善することがわかる。
【０１５８】
したがって、反共振抵抗値を最適にするという観点から見れば、ＩＤＴ電極型補助反射器電極３′の電極指の繰り返し方向Ｇと、ＩＤＴ電極１の弾性表面波の主伝搬方向Ｆとのなす角度θとしては、５°から１０°の範囲とすることが望ましい。
【０１５９】
なお、この角度が１０°よりも大きいときには、反共振抵抗値の値が小さくなる。しかし、図２９の説明で後述するように、アイソレーション特性は、角度に拘わらず向上する。
【０１６０】
また、図２８は、図１２で示したデュプレクサの送信用フィルタの通過帯域内特性を示す拡大図である。
【０１６１】
図２８において、横軸は任意の周波数で規格化した周波数を、縦軸は減衰量（単位：ｄＢ）を表している。
【０１６２】
パラメータとして角度θ（単位：°）をとっており、破線は角度θ＝０°のグラフであるのに対して、実線は、角度θが１０°の場合を示している。図２８ではθ＝１０°の場合、従来にくらべ約０．１ｄＢ挿入損失が改善されることがわかる。
【０１６３】
また、ＩＤＴ電極型補助反射器電極の位置について、反射器電極のＩＤＴ電極と隣接していない側のバスバー電極を仮想的に延長した直線上に配置し、傾斜角度θを変えた場合の、アイソレーション特性に与える影響を図２９のグラフに示す。
【０１６４】
パラメータとして角度θ（単位：°）をとり、横軸は規格化した周波数を、縦軸はアイソレーション（単位：ｄＢ）を表す。
【０１６５】
ＩＤＴ電極型補助反射器電極の傾斜角度θが０°〜２０°の範囲で大きくなるにつれ、広い周波数範囲でアイソレーション特性が改善し、θが２０°の場合、θが０°の場合にくらべて最大で約２ｄＢ程度の改善が見られた。
【０１６６】
また、上述の実施例において説明したものと全く同様の方法で、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂのピッチとＩＤＴ電極１の電極指１３ａのピッチとを異ならせた弾性表面波デュプレクサを作製し、前記の評価を行った。
【０１６７】
結果は図３０に示すように、ＩＤＴ型補助反射器電極３′の電極指１３ｂのピッチをＩＤＴ電極１の電極指１３ａのピッチの２倍にした場合に、送信用フィルタの通過帯域内にあたる１．００の周波数において、従来に比べて約９ｄＢ程度アイソレーション特性が改善した。
【０１６８】
図３１は、図１４に示したＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４とを接続して一体に形成する場合における、デュプレクサのアイソレーション特性を示したグラフである。破線はＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４の接続がない図１３に示した構造の場合であり、実線はＩＤＴ型補助反射器電極３′と第二の補助反射器電極４の接続がある図１４に示した構造の場合である。実線では、接続がない場合にくらべると、規格化周波数が０．９８〜１．０２の広い範囲に渡って、約１ｄＢ改善されることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【０１６９】
【図１】本発明の弾性表面波共振子の実施の形態を示す平面図である。
【図２】本発明の弾性表面波素子の一例である弾性表面波デュプレクサの上面概略図である。
【図３】片端部を電気的に開放した補助反射器電極を示す模式図である。
【図４】両端部を電気的に開放した補助反射器電極を示す模式図である。
【図５】本発明の弾性表面波共振子の他の実施の形態を示す平面図である。
【図６】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図７】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図８】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図９】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１０】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１１】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１２】本発明の弾性表面波素子の一例である弾性表面波デュプレクサの上面概略図である。
【図１３】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１４】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１５】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１６】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１７】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１８】本発明の弾性表面波共振子のさらに他の実施の形態を示す平面図である。
【図１９】従来の弾性表面波デュプレクサの上面概略図である。
【図２０】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図２１】本発明の効果を説明するための弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示すグラフである。
【図２２】本発明の実施例で作製した弾性表面波共振子の反共振抵抗値を示すグラフである。
【図２３】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサの通過帯域特性を示すグラフである。
【図２４】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図２５】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図２６】本発明の効果を説明するための弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示すグラフである。
【図２７】本発明の実施例で作製した弾性表面波共振子の反共振抵抗値を示す図である。
【図２８】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサの通過帯域特性を示すグラフである。
【図２９】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図３０】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図３１】本発明の実施例で作製した弾性表面波デュプレクサのアイソレーション特性を示すグラフである。
【図３２】従来の弾性表面波共振子を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１７０】
１：ＩＤＴ電極
２：反射器電極
３：補助反射器電極（グレーティング電極型）
３′：ＩＤＴ型の補助反射器電極
４：第２の補助反射器電極
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ：接続部
６：厚膜部
８：ダミー電極
１０：反共振抵抗値（従来）
１１：反共振抵抗値（本発明）
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ：バスバー電極
１３，１３ａ，１３ｂ：電極指
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ：グレーティング電極
１５，１７：入力端子
１６，１８：出力端子
１９：圧電基板
２１：環状電極
２５：反射器バスバー電極
Ｆ：ＩＤＴ電極の弾性表面波の主伝搬方向
Ｇ：補助反射器電極の繰り返し形成された電極の繰り返し方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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