(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空生成手段に接続された真空吸引可能な吸引穴が、搭載面に複数設けられた露光テーブルと、
前記登載面の上に設置され、前記吸引穴の大きさより小さくかつ前記吸引穴と連通して真空吸引可能な貫通穴が複数設けられたアダプタシートと、
前記貫通穴による真空吸引によって、前記アダプタシート及び前記露光テーブルに保持された被露光物に、投影露光を行なう投影露光部と、
を備え、
前記貫通穴が、前記被露光物の接触面に対応する領域に設けられ、
かつ投影パターンが存在する領域の前記貫通穴の大きさが、投影パターンが存在しない領域の前記貫通穴の大きさより小さく設けられ、
前記吸引穴が、前記貫通穴が設けられた領域を包含する領域に設けられることを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記吸引穴による真空吸引によって、前記アダプタシートと前記被露光物とを同時に吸着することを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記吸引穴が同一の真空生成ラインに接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の投影露光装置。
【請求項４】
前記吸引穴が、投影露光を行なう前記被露光物のうち最も大きい前記被露光物の接触面に対応する領域に設けられることを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項５】
前記貫通穴の大きさ及び設置数が、前記被露光物の接触面の面積、厚み、材質、及び／または平面度に基づいて定められることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項６】
前記吸引穴による真空吸着とは別途の手段で、前記アダプタシートを前記露光テーブルに固定することを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記吸引穴が接続された前記真空生成ラインとは別途の真空生成ラインを用いて前記アダプタシートの外周部を吸着して、前記アダプタシートを前記露光テーブルに固定することを特徴とする請求項７項に記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記アダプタシートが、前記被露光物との接触面に帯電防止膜を備えることを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の投影露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大きさの異なる被露光物を露光テーブルに保持して、保持した被露光物に所望のパターンを投影露光する投影露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被露光物、特に、板状またはシート状の被露光物を露光テーブルに保持し、保持した被露光物に、露光部によって所望の回路パターンを投影露光する投影露光装置が普及している。この被露光物を露光テーブルに保持する方法として、真空吸引によって吸着保持させる方法が広く用いられている。
真空吸引による吸着保持方法では、真空ポンプや吸引ブロアを備えた真空生成手段と接続された吸引穴が、露光テーブルの搭載面に多数設けられていて、この吸引穴からの吸引力によって、露光テーブルの上に載せられた被露光物を吸着保持する。
【０００３】
この場合、大きさの異なる被露光物を吸着するときには、被露光物に対応する領域だけに吸引力が生じるように、被露光物の大きさに合わせて吸引を行なう領域を変更して、真空ポンプや吸引ブロアによる過剰な吸引が起こらないようにする必要がある。
このような吸引領域を変更するために、通常、露光テーブルに設けられた吸引穴は複数のゾーンに区分けされており、オペレータが切替バルブを操作することにより、吸引するゾーンの変更を行なっている。また、オペレータの手動操作に代わって、保持装置により自動的に吸引するゾーンを変更することも提案されている。（例えば、特許文献１、２参照。）
【０００４】
【特許文献１】特開平３−７３２８９号
【特許文献２】特開平６−３４５２７９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１においても、特許文献２においても、吸引するゾーンを変更するためには、各ゾーンごとに吸引する系統を分離する構造が必要となり、更に、各ゾーンごとに制御バルブや複雑な配管を設置する必要がある。従って、被露光物の大きさを変更するたびに、様々な調整が必要となるので稼動効率は低下し、装置の構造が複雑になるので装置の製造コストが上昇し、メンテナンス性も悪化する問題が生じる。
【０００６】
従って、本発明の目的は上述の問題を解決して、簡単な構造を用いて、様々な大きさの被露光物を効率よく吸着保持することのできるメンテナンス性に優れた被露光物の保持機構を備えた投影露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上術の問題を解決するため、本発明の投影露光装置の１つの実施態様は、真空生成手段に接続された真空吸引可能な吸引穴が、搭載面に複数設けられた露光テーブルと、前記登載面の上に設置され、前記吸引穴と連通して真空吸引可能な貫通穴が複数設けられたアダプタシートと、前記貫通穴による真空吸引によって、前記アダプタシート及び前記露光テーブルに保持された被露光物に、投影露光を行なう投影露光部と、を備え、前記貫通穴が、前記被露光物の接触面に対応する領域に設けられ、前記吸引穴が、前記貫通穴が設けられた領域を包含する領域に設けられることを特徴とする。
【０００８】
ここで、「露光テーブル」は、被露光物を載せて保持することができる架台であって、投影露光を行なうための投影露光部に対向した位置に設置される。この露光テーブルは、水平に設置される場合だけでなく、垂直、斜めを含むあらゆる方向に設置することができる。
露光テーブルの搭載面の上に設置される「アダプタシート」は、樹脂、金属を始めとするあらゆる材料を用いることができ、被露光物を吸着した状態において、投影露光に適した所定の平面度を有するものであれば、あらゆる厚みのシートを用いることができる。また、被露光物と接触する面の摩擦係数を小さくすることによって、被露光物に塗布されたレジスト等の付着を防止することも考えられる。
【０００９】
投影露光により所望の回路パターンが投影露光される「被露光物」は、感光性を有する母材であって、通常、板状またはシート状の形状を有しており、ロール状に巻かれた連続シートを用いることもできる。また、被露光物の厚みについては、ミクロンオーダーのものから、ミリオーダーのものまであらゆる厚みのものを用いることができる。
また、「真空形成手段」は、真空ポンプや吸引ブロアを備え、吸引穴及び貫通穴を通して被露光物を吸引する吸引力を生成し、被露光物をアダプタシート及び露光テーブルに吸着する。
【００１０】
「貫通穴が、被露光物の接触面に対応する領域に設けられる」とは、原則として、過剰な吸引が起こらないように、貫通穴が被露光物に覆われる領域に設けられ、また、被露光物のそりが生じないように、貫通穴が被露光物の外周部の近傍に設けられていることを意味する。ただし、若干の貫通穴が被露光物に覆われる領域の外に設けられる場合もあり、その場合には、大気開放状態となった貫通穴が、過剰な吸引の問題を引き起こすほどの数は存在しないことを意味する。
【００１１】
また、「吸引穴が、貫通穴が設けられた領域を包含する領域に設けられる」とは、吸引穴が、貫通穴が設けられた領域と同一の領域に設けられる場合と、貫通穴が設けられた領域とそれ以外の領域とを含む領域に設けられる場合が考えられる。
なお、吸引穴、貫通穴の断面形状は、円形、楕円形、多角形を始めとするあらゆる形状を有することができる。
【００１２】
本実施態様によれば、アダプタシートを各々の被露光物に適合したものに交換することによって、真空吸引を行なうゾーンの変更等を行なうことなく、様々な大きさ、厚み、材質、平面度を有する被露光物を吸着して投影露光を行なうことができるので、投影露光の稼動効率を向上させることができる。また、装置の構造も複雑にならないので、装置の製造コストを低減し、メンテナンス性を向上させることもできる。
【００１３】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記吸引穴による真空吸引によって、前記アダプタシートと前記被露光物とを同時に吸着することを特徴とする。
【００１４】
ここで、吸引穴によりアダプタシートを吸引するためには、例えば、アダプタシートに設けられた貫通穴の大きさが吸引穴の大きさより小さい場合や、吸引穴が設けられているが貫通穴が設けられていない領域がある場合が考えられる。貫通穴の大きさが吸引穴の大きさより小さい場合には、吸引穴による真空吸引により、アダプタシートが吸引穴に吸い込まれて変形することが無いように、アダプタシートが所定の厚みを有する必要がある。ただし、厚みが増すとシートの平面度が低下する恐れもあるので、両方の要素を考慮して最適なアダプタシートの厚みを定める必要がある。
【００１５】
本実施態様によれば、吸引穴による真空吸引によって、被露光物だけでなくアダプタシートも吸着されるので、アダプタシートの位置ずれ、しわの発生等の問題を解消することができる。
【００１６】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記吸引穴が同一の真空生成ラインに接続されていることを特徴とする。
本実施態様によれば、露光テーブルに、異なる吸引ゾーンを設けるための構造が不要であり、異なる真空生成ラインを形成するための切替バルブや複雑な配管が不要なので、装置の製造コストを低減し、メンテナンス性を向上させることができる。
【００１７】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記吸引穴が、投影露光を行なう前記被露光物のうち最も大きい前記被露光物の接触面に対応する領域に設けられることを特徴とする。
【００１８】
「吸引穴が、最も大きな被露光物の接触面に対応する領域に設けられる」とは、原則として、過剰な吸引が起こらないように、吸引穴が、最も大きい被露光物に覆われる領域に設けられ、また、被露光物のそりが生じないように、吸引穴が、最も大きい被露光物の外周部の近傍に設けられていることを意味する。ただし、吸引穴が、最も大きい被露光物に覆われる領域の外に設けられている場合も含まれ、その場合には、大気開放状態になった貫通穴が、過剰な吸引の問題を引き起こすほどの数は存在しないことを意味する。なお、被露光物から外れた吸引穴をアダプタシートで覆うことによって、過剰吸引を防ぐことができる。
【００１９】
本実施態様によれば、最も大きな被露光物に応じた無駄のないコンパクトな投影露光装置を実現することができる。
【００２０】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記貫通穴の大きさ及び設置数が、前記被露光物の接触面の面積、厚み、材質、及び／または平面度に基づいて定められることを特徴とする。
本実施態様では、被露光物に応じて、被露光物を変形させることなく確実に吸着することができるので、あらゆる種類の被露光物に適合したアダプタシートを提供することができる。
【００２１】
なお、被露光物の変形を防ぐため、原則として、貫通穴は均等なピッチで設けられるが、例えば、被露光物に吸引で変形し易い領域がある場合には、その領域だけ、貫通穴を設けないようにすることもできる。また、貫通穴の大きさも、全て同じ大きさにする必要はなく、用途に応じて、任意の大きさの貫通穴を組み合わせることができる。例えば、投影パターンの形状に合わせて、投影パターンの存在する領域には小さな貫通穴を開けて、被露光物の変形を防ぎ、投影パターンの存在しない領域には大きな貫通穴を開けて、被露光物を強く吸引保持することが考えられる。
【００２２】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記吸引穴による真空吸着とは別途の手段で、前記アダプタシートを前記露光テーブルに固定することを特徴とする。
【００２３】
本実施態様では、例えば、ネジ、ビス、ボルトナットのような取付部品を用いて、アダプタシートを露光テーブルに固定することもできるし、クランプ装置のような機構を用いて固定することもできるし、真空吸引や電磁的な力を用いて固定することもできるし、その他のあらゆる固定方法を用いることができる。
本実施形態によれば、被露光物を吸着している場合でも吸着していない場合でも、被露光物の吸引状態に影響されることなく、確実にアダプタシートを露光テーブルに固定することができる。
【００２４】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記吸引穴が接続された前記真空生成ラインとは別途の真空生成ラインを用いて前記アダプタシートの外周部を吸着して、前記アダプタシートを前記露光テーブルに固定することを特徴とする。
本実施態様によれば、確実にアダプタシートを露光テーブルに固定し、短時間にアダプタシートの交換を行なうことができる。
【００２５】
本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記アダプタシートが、前記被露光物との接触面に帯電防止膜を備えることを特徴とする。
本実施態様によれば、静電気による問題を起こさずに、確実に被露光物を露光テーブルにセットすることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の投影露光装置では、アダプタシートを各々の被露光物に適合したものに交換することによって、真空吸引を行なうゾーンの変更等を行なうことなく、様々な大きさ、厚み、材質、平面度を有する被露光物を吸着して投影露光を行なうことができるので、投影露光の稼動効率を向上させることができる。また、装置の構造も複雑にならないので、装置の製造コストを低減し、メンテナンス性を向上させることもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明の投影露光装置について、以下に図面を用いながら詳細に説明する。
【００２８】
（投影露光装置全体の説明）
まず、図１を用いて、本発明の投影露光装置の１つの実施形態の概要を説明する。図１は、この投影露光装置の露光テーブル廻りの構造を示す斜視図である。投影露光装置１は、主に、露光テーブル４と、露光テーブル４の上に設置されたアダプタシート８と、アダプタシート８の上方に設置された投影露光部と、被露光物２を搬送する搬送装置（図示せず）から構成される。
【００２９】
搬送装置は、矢印Aに示すように、被露光物２をアダプタシート６上の露光位置まで搬送する入側搬送装置（図示せず）と、矢印Bに示すように、投影露光が行なわれた被露光物２を露光位置から搬出する出側搬送装置（図示せず）から構成される。本実施形態では、被露光物２として板状の基板が用いられているが、ロール状に巻かれた連続シートを用いることもできる。また、被露光物２は、ミクロンオーダーの厚みのものからミリオーダーの厚みのものまで、あらゆる厚みのものを用いることができる。
【００３０】
投影露光部は、光源（図示せず）と、レチクルステージ(図示せず)に取り付けられたレチクル１２と、投影レンズ１４とを備え、露光位置に搬送された被露光物２に投影露光を行なう。投影露光に際しては、被露光物２は、アダプタシート８及び露光テーブル４に保持された状態になっている。なお、被露光物２を保持する保持機構については、追って詳述する。
【００３１】
投影露光部による投影露光を更に詳しく説明すると、レチクル１２には所定の回路パターンが描かれており、光源から出力された光がレチクル１２へ照射され、その透過光が投影レンズ１４を通過して被露光物２に照射される。これにより、レチクル１２に描かれた回路パターンが被露光物２上に投影露光され、被露光物２に投影パターンが形成される。なお、投影露光に際しては、レチクルステージまたは露光テーブル４を動かすことによって、被露光物２の位置決め調整を行なう。
【００３２】
（被露光物の保持機構の説明）
次に、図２から図５を用いて、本発明に係る被露光物の保持機構の実施形態について説明する。まず、図２を用いて、本発明に係る保持機構の１との実施形態の構造を説明する。
【００３３】
ここで、図２（ａ）は、搭載面４ａの上にアダプタシート８が設置される前の状態を示す。図２（ａ）に示すように、露光テーブル４の搭載面４ａには、複数の吸引穴６が設けられており、各吸引穴６は、真空ポンプを備えた真空生成手段（図示せず）に接続されている。真空生成手段によって発生する最大吸引力は、原則として、投影露光を行なう被露光物２のうち、最も大きな被露光物２を確実に吸着保持することができるように設定される。
ただし、厚みの厚い被露光物や、硬い材質の被露光物や、そりの大きい被露光物は、より大きな吸引力を要するので、真空生成手段の最大吸引力は、被露光物２の接触面の面積、厚み、材質、平面度を総合的に考慮して定められる。
【００３４】
露光テーブル４の搭載面４ａに設けられた吸引穴６は、投影露光を行なう被露光物２のうち、最も大きい被露光物２の接触面に対応する領域に設けられる。つまり、吸引穴６は、原則として、最も大きい被露光物２に覆われる領域に均等なピッチで設けられ、特に、吸引穴６を被露光物２の接触面の外周部の近傍にも設けて、被露光物２のそりを防止することが望ましい。
【００３５】
また、若干の吸引穴６が、最の大きい被露光物２から外れる領域に設けられる場合も考えられるが、その場合であっても、真空ポンプの容量を越えた過剰な吸引が生じることがないようにする必要がある。
本実施形態では、吸引穴６は、最も大きい被露光物２の接触面よりもやや広い領域に設けられているが、アダプタシート８によって、最も大きい被露光物２から外れた吸引穴６を覆うことができるようになっている。この設定によって、もし、当初の計画よりも大きな被露光物２を投影露光する必要が生じた場合であっても、新たな被露光物２に対応した領域に貫通穴１０を有するアダプタシート８を用意することによって、適切に対応することができる。
【００３６】
また、吸引穴６の大きさ、設置個数に関しては、真空生成手段の最大吸引力の場合と同様に、被露光物２の接触面の面積、厚み、材質、平面度を総合的に考慮して定められる。なお、本実施形態では、各吸引穴６は同一の真空生成ラインに接続されており、異なる真空の状態を形成するためのゾーン分け等は一切行なわれていない。
【００３７】
吸引穴６が設けられた搭載面４ａの上には、複数の貫通穴１０が設けられたアダプタシート８が設置される。図２（ｂ）は、搭載面４ａの上にアダプタシート８が設置された状態を示す。図２（ｂ）に示すように、貫通穴１０は露光テーブル４に設けられた吸引穴６と連通しており、真空生成手段による吸引力を伝達して、アダプタシ−ト８の上に載せられた被露光物２を吸着保持することができる。
【００３８】
つまり、入側搬送装置によって露光位置へ搬送された被露光物２は、必要に応じて位置決め調整を行なわれた後、貫通穴１０による吸着によって、アダプタシート８及び露光テーブル４に保持される。そして、被露光物２は、露光部によって投影露光を行なわれた後、貫通穴１０による吸着保持が解除され、出側搬送装置によって露光位置から搬出される。
【００３９】
アダプタシ−ト８は、樹脂、金属を始めあらゆる材料を用いることができる。また、アダプタシ−ト８の厚みは、吸引穴６による真空吸引によって、吸引穴６の内部へ吸い込まれて変形することがない強度を有するだけの厚みを有する必要がある。一般的に、厚みが厚い方が強度が増すが、厚みが増すと平面度が低下する恐れもあるので、両方の観点から最適な厚みを定める必要がある。
【００４０】
アダプタシート８に設けられた貫通穴１０は、投影露光を行なう被露光物２の接触面に対応する領域に設けられ、吸引穴６が設けられた領域は、貫通穴１０が設けられた領域を包含することになる。なお、この「包含する」には、吸引穴６が設けられた領域と、貫通穴１０が設けられた領域が同一の領域となる場合も含まれる。
【００４１】
ここで、「被露光物２の接触面に対応する領域」を、更に詳細に説明すれば、例えば、貫通穴１０が設けられる領域が被露光物２の接触面よりかなり小さい場合には、被露光物２の端部が吸着されないので、そりが発生する恐れがある。一方、貫通穴１０が設けられる領域が、被露光物２の接触面よりも広い場合には、被露光物２から外れた大気開放状態の貫通穴１０が多数あると、真空生成手段の吸引能力を超えた過剰な吸引が生じる恐れがある。
従って、「被露光物２の接触面に対応した領域」とは、貫通穴１０が、被露光物２の接触面の外周部近傍にまで設けられ、被露光物２を外れる貫通穴１０が、真空生成手段の吸引能力を超えた過剰な吸引を引き起こすほど存在しないことを意味する。
【００４２】
図２〜５に示すように、アダプタシート８は、投影露光を行なう被露光物２の大きさ、厚み等が異なるごとに、貫通穴１０が設けられた領域、貫通穴１０の大きさ、設定数の異なる複数種類のアダプタシート８が備えられる。大きさや厚みの異なる被露光物２を投影露光する場合には、その被露光物２に適合したアダプタシート８を露光テーブル４の搭載面４ａ上に設置する。本実施形態では、アダプタシート８は、その周囲部が、図示されない押え板で押さえられており、その上からビス止めで露光テーブル４の搭載面４ａに固定されている。
【００４３】
また、図２〜５に示すアダプタシート８は、被露光物２との接触面の摩擦係数を小さくすることによって、被露光物２に塗布されたレジスト等の付着を防止するようになっており、更に、被露光物２との接触面に帯電防止膜を備えて、静電気による問題を起こさずに、確実に被露光物２を露光テーブル４にセットすることができるようになっている。
【００４４】
以下に、図２〜５を用いて、様々な大きさ、厚みの被露光物２を投影露光する場合の実施形態を説明する。なお、露光テーブル４、露光テーブル４の搭載面４ａに設けられた吸引穴６は、図２〜５において全て同一である。被露光物２に対応して、各々、異なるアダプタシート８が用いられている。
図２、３は、共にサイズの大きな被露光物２に投影露光を行なう場合を示した実施形態であり、被露光物２の接触面の形状（寸法）は同一である。ただし、図２に示す被露光物２の方が、図３に示す被露光物２よりも、平面度が悪くそりが大きいため、より強い吸引力を要する基板である点が異なる。また、図３には、サイズの小さい被露光物２を投影露光する実施形態を示し、図４には、連続シート状の被露光物２を投影露光する実施形態を示す。
【００４５】
＜サイズの大きな被露光物を投影露光する場合＞
まず、図２及び図３を用いて、サイズの大きな被露光物２を投影露光する場合の実施形態の説明を行なう。なお、図２、３（ａ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置される前の状態を示し、図２、３（ｂ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置された状態を示す。
【００４６】
本実施形態で用いる被露光物２は比較的サイズの大きな基板であって、図２に示す被露光物２も、図３に示す被露光物２も、アダプタシート８との接触面の形状（寸法）は同一である。ただし、図２に示す被露光物２は、図３に示す被露光物２に比べて、平面度が悪くそりが大きいため、より強い吸引力を要する基板である。また、被露光物２の平面度だけでなく、被露光物２の厚みが厚い場合や、硬い材質の場合においても、より強い吸引力を要することになる。
【００４７】
貫通穴１０が設けられた領域については、図２に示すアダプタシート８も図３に示すアダプタシート８も、貫通穴１０が被露光物２の接触面とほぼ同一の領域に設けられていて、被露光物２にそりが生じたり、過剰な吸引が生じるのを防ぐようになっている。また、個々の貫通穴１０の大きさについては、被露光物２の厚み、材質、及び平面度に基づいて定められるが、図２に示すアダプタシート８の方が、図３に示すアダプタシート８に比べてより大きな穴が設けられている。
【００４８】
ここで、貫通穴１０の大きさの違いによる被露光物２の吸引の影響を、図４に示す。図４（ａ）は、適切な大きさの貫通穴１０により被露光物２が吸引されているところを示し、図４（ｂ）は貫通穴１０の大きさが小さすぎた場合を示し、図４（ｃ）は貫通穴１０の大きさが大きすぎた場合を示す。
図４（ｂ）では、十分な吸引力が得られないので、被露光物２のそりが残ったままになっており、均一な露光距離が得られず適切な投影露光が行なえない状態を示している。一方、図４（ｃ）では、吸引力により被露光物２が貫通穴１０の内部へ吸い込まれるため、やはり均一な露光距離が得られず適切な投影露光が行なえない状態を示している。なお、図２、３に示す実施形態では、図４（ａ）に示すように、それぞれの被露光物２に対して最適な大きさの貫通穴１０が設けられている。
【００４９】
なお、図２に示すアダプタシート８においても、図３に示すアダプタシート８においても、貫通穴１０の大きさは、吸引穴６の大きさより小さくなっている。従って、吸引穴６による吸引力によって、被露光物２だけでなくアダプタシート８も、露光テーブル４に吸着保持される。また、アダプタシート８の被露光物２を外れた領域では貫通穴１０が設けられていないので、この領域においても、吸引穴６による吸引力によって、アダプタシート８が露光テーブル４に吸着保持される。
【００５０】
一方、貫通穴１０の設置個数については、図２に示す被露光物２の方がより強い吸引力を要するので、図２に示すアダプタシートは、図３に示すアダプタシートに比べて約３倍の貫通穴１０が設けられている。なお、貫通穴１０の設置個数については、被露光物２の接触面の面積、厚み、材質、平面度に基づいて最適な個数が定められる。また、被露光物２の変形を防ぐため、原則として、貫通穴１０は均等なピッチで設けられるが、例えば、被露光物２に吸引で変形し易い領域がある場合には、その領域だけ、貫通穴１０を設けないようにすることもできる。
【００５１】
＜サイズの小さな被露光物を投影露光する場合＞
次に、図５を用いて、サイズの小さな被露光物２を投影露光する場合の実施形態を説明する。なお、図５（ａ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置される前の状態を示し、図５（ｂ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置された状態を示す。
本実施形態で用いる被露光物２は、比較的サイズの小さな基板である。貫通穴１０の設置領域については、貫通穴１０が被露光物２の接触面とほぼ同一の領域に設けられていて、被露光物２にそりが生じたり、過剰な吸引が生じるのを防ぐようになっている。また、貫通穴１０の大きさと設置数は、被露光物２の接触面の面積、厚み、材質、平面度等に基づいて、最適な値が定められている。なお、被露光物２の変形を防ぐため、原則として、貫通穴１０は均等なピッチで設けられるが、例えば、被露光物２に吸引で変形し易い領域がある場合には、その領域だけ、貫通穴１０を設けないようにすることもできる。
【００５２】
＜連続シート状の被露光物を投影露光する場合＞
次に、図６を用いて、連続シート状の被露光物２を投影露光する場合の実施形態を説明する。なお、図６（ａ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置される前の状態を示し、図６（ｂ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置された状態を示す。
本実施形態で用いる被露光物２は、連続ワークシートである。貫通穴１０が設けられた領域については、貫通穴１０が、連続シート状の被露光物２の露光領域に該当する領域に設けられており、この露光領域において、被露光物２にそりが生じたり、過剰な吸引が生じるのを防ぐようになっている。また、貫通穴１０の大きさと設置数は、被露光物２の接触面の面積、厚み、材質、平面度に基づいて最適な値が定められている。なお、被露光物２の変形を防ぐため、原則として、貫通穴１０は均等なピッチで設けられるが、例えば、被露光物２に吸引で変形し易い領域がある場合には、その領域だけ、貫通穴１０を設けないようにすることもできる。
【００５３】
以上のように、本発明に係る被露光物２の保持機構を用いれば、露光テーブル４、露光テーブル４の搭載面４ａに設けられた吸引穴６、真空生成手段といった装置自体は一切変更せずに、搭載面４ａに設置するアダプタシート８を交換するだけで、様々な大きさ、厚み、材質、平面度を有する被露光物２を最適な状態で吸着保持し、投影露光を行なうことができるので、高い稼動効率を得ることができる。また、露光テーブル４でゾーン分けのための構造を有さず、１つの真空生成ラインを用いているので、切替バルブや複雑な配管を要さず、装置の製造コストを低減し、メンテナンス性にも優れている。
【００５４】
＜アダプタシートのその他の実施形態＞
上述の実施形態では、原則として、アダプタシートに同じ大きさの貫通穴が設けられているが、例えば、被露光物２に投影される投影パターンの形状に合わせて、大きさの異なる貫通穴を設けることもできる。図７には、被露光物２に投影される投影パターン１６の形状に合わせて、大きさの異なる貫通穴１０ａ及び１０ｂが設けられたアダプタシート８の実施形態を示す。
【００５５】
図７に示す被露光物２では、露光パターン１６が存在しない領域、つまり回路パターンの投影露光がなされない領域が、被露光物２の周囲部、及び矢印Ａに示す部分に存在する。
この領域では、図４（ｃ）に示すような吸引よる変形に関して、露光パターン１６が存在する領域のような繊細な管理を要しないので、より強い吸引を行なって、被露光物２を強く保持することができる。
つまり、投影パターン１６が存在する領域に、小さな径の貫通穴１０ａ（着色した穴）を設け、投影パターン１６が存在しない領域に、大きな径の貫通穴１０ｂ（着色しない穴）を設けることにより、被露光物２を確実に保持しながら、適切な投影露光を行なうことができる。
【００５６】
（アダプタシートの固定機構のその他の実施形態の説明）
上述の実施形態においては、押え板とビスを用いてアダプタシート８を露光テーブル４に固定しているが、次に、図８を用いて、アダプタシートの固定機構のその他の実施形態を説明する。本実施形態では、真空吸引を用いてアダプタシート８を露光テーブル４に固定する。
【００５７】
図８に示すように、本実施形態では、露光テーブル４の搭載面４ａにおいて、アダプタシート８の外周部に当る領域に、上述の吸引穴６とは別途に、アダプタシート固定用吸引穴２０が設けられている。ここで、アダプタシート８に設けられた貫通穴１０を介して被露光物２を吸引する吸引穴６は、真空ポンプ２２ａ、制御バルブ２２ｂを含む第１の真空生成ラインと接続されている。一方、アダプタシート固定用吸引穴２０は、第１の真空生成ラインとは別途の、真空ポンプ２４ａ、制御バルブ２４ｂを含む第２の真空生成ラインと接続されている。
【００５８】
従って、吸引穴６に接続された第１の真空生成ラインは、被露光物２の投影露光が終了するたびに吸引を停止する必要があるが、アダプタシート固定用吸引穴２０に接続された第２の真空生成ラインは、第１の真空生成ラインとは個別に、常に真空吸引を行なってアダプタシート８を露光テーブル４に固定することができる。本実施形態によれば、ビス等を用いてアダプタシート８を露光テーブル４に固定する場合に比べて、短時間にアダプタシート８の交換を行なうことができる。
なお、本実施形態では、第１の真空生成ラインと第２の真空生成ラインで別個の真空ポンプを備えているが、１つの真空ポンプを用いて制御バルブの切り替えによって、独立した真空生成系統を形成することもできる。
【００５９】
（本発明の投影露光装置のその他の実施形態の説明）
なお、本発明の投影露光装置は、上述の実施形態だけでなく、その他の様々な実施形態が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の投影露光装置の露光テーブル廻りの構造を示す斜視図である。
【図２】サイズの大きな被露光物を保持する場合の実施形態を示す斜視図であり、（ａ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置される前の状態を示し、（ｂ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置された状態を示す。
【図３】サイズの大きな被露光物を保持する場合の実施形態を示す斜視図であり、（ａ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置される前の状態を示し、（ｂ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置された状態を示す。
【図４】吸引される被露光物２に対する貫通穴の大きさの違いの影響を示す模式図であり、（ａ）は適切な大きさの貫通穴により被露光物２が吸着されているところを示し、（ｂ）は貫通穴の穴が小さすぎた場合を示し、（ｃ）は貫通穴１０の穴が大きすぎた場合を示す。
【図５】サイズの小さな被露光物を保持する場合の実施形態を示す斜視図であり、（ａ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置される前の状態を示し、（ｂ）は、露光テーブルの搭載面にアダプタシートが設置された状態を示す。
【図６】連続シート状の被露光物を保持する場合の実施形態を示す斜視図であり、（ａ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置される前の状態を示し、（ｂ）は、露光テーブル４の搭載面４ａにアダプタシート８が設置された状態を示す。
【図７】アダプタシートのその他の実施形態を示す斜視図である。
【図８】本発明に係るアダプタシートの固定機構のその他の実施形態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６１】
１        投影露光装置
２        被露光物
４        露光テーブル
４ａ      搭載面
６        吸引穴
８        アダプタシート
１０      貫通穴
１２      レチクル
１４      投影レンズ
１６      投影パターン
２０      アダプタシート固定用吸引穴
２２      第１の真空生成手段
２２ａ    真空ポンプ
２２ｂ    制御バルブ
２４      第２の真空生成手段
２４ａ    真空ポンプ
２４ｂ    制御バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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