(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディに形成された弁座と、該弁座に対して当接または離間する弁体と、該弁体をロッドを介して摺動させるハンドルと、該弁体を該弁座に対して所定の力で当接させるバネ部材とを有する手動式開閉弁において、
前記ハンドルが中空形状であって、その内側に前記バネ部材が収納されており、前記ボディから他の部分を分解したときに、前記バネ部材が露出しないこと、
弁を閉めているときには、前記ハンドルが前記バネ部材を押圧し、前記バネ部材が前記ロッドを介して、前記弁体を所定の力で前記弁座に対して当接させ、
弁を開いているときには、前記ハンドルが直接、前記ロッドを引き上げることを特徴とする手動式開閉弁。
【請求項２】
ボディに形成された弁座と、該弁座に対して当接または離間する弁体と、該弁体をロッドを介して摺動させるハンドルと、該弁体を該弁座に対して所定の力で当接させるバネ部材とを有する手動式開閉弁において、
前記ハンドルが中空形状であって、その内側に前記バネ部材が収納され、
弁を閉めているときには、前記ハンドルが前記バネ部材を押圧し、前記バネ部材が前記ロッドを介して、前記弁体を所定の力で前記弁座に対して当接させ、
弁を開いているときには、前記ハンドルが直接、前記ロッドを引き上げること、
前記バネ部材が圧縮バネであって、その一端が、前記ハンドル中空部の回転可能な蓋部材に当接され、他の一端が、前記ロッドの端部に固設され前記ハンドルに対してスラスト軸受で回転可能に取り付けられていたバネ受け部材に当接されており、
弁を閉めているときには、前記バネ部材の付勢力を、バネ受け部材を介して直接前記ロッドに伝え、
弁を開いているときには、前記ハンドルの移動力を、前記スラスト軸受、前記バネ受け部材を介して、前記ロッドに伝えることを特徴とする手動式開閉弁。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する手動式開閉弁において、
前記ハンドルまたは前記ロッドにマグネットが取り付けられ、
前記ハンドルがねじ込まれるカバーの外面に、前記マグネットの磁気を検出する磁気近接スイッチを有し、
前記磁気近接スイッチが、弁を閉めているときの前記マグネットの位置または、弁を開いているときの前記マグネットの位置に対応して配置されることを特徴とする手動式開閉弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体製造工程の真空処理装置に用いられ、バネの付勢力が弁体を弁座に当接させる弁閉荷重となる手動式開閉弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、例えば、半導体製造工程の真空処理装置の排気系において、排気ポンプと真空処理槽との遮断用開閉弁として、弁閉荷重用バネを内蔵させた真空用手動式開閉弁が使用されている。この種の手動式開閉弁として、図６に断面図を示す手動式開閉弁１００がある。
【０００３】
この手動式開閉弁１００は、ボディ１０１に略円筒状のカバー１０２が取り付けられ、カバー１０２の内周にはハンドル１０３がねじ込まれている。また、ハンドル１０３とカバー１０２を貫通して、ロッド１０４が軸方向移動可能に取付けられ、ロッド１０４の先端部はボディ１０１の内部へ挿入されている。ボディ１０１は、２つのポート１０５，１０６が外部へ開口し、第１ポート１０５には、後述する弁体１１０が当接・離間する弁座１０７が設けられる。
【０００４】
ロッド１０４は、ハンドル１０３に対してスラスト軸受１１１によって回転可能に保持され、ハンドル１０３がカバー１０２に対して締め込みまたは緩めるために回転されても、ロッド１０４には、ハンドル１０３のカバー１０２に対する軸方向の移動のみが伝達される。また、ハンドル１０３の図中下部において、ロッド１０４の外周にはバネ受け１１２と第２スラスト軸受１１３が装着され、バネ受け１１２とロッド１０４との間に装着されたバネ１１４によって、ロッド１０４は先端方向（図中下方）へ付勢されている。さらに、ハンドル１０３はロッド１０４の外周に沿って凸部１１５を有し、第２スラスト軸受１１３は、凸部１１５と接離可能にされている。また、ロッド１０４の先端部には、弁座１０７に接離可能に設けられた弁体１１０が、弁体カバー１１６を介してロッド１０４にネジ止めされている。
【０００５】
この手動式開閉弁１００では、一般に、薬ガス等の腐食性流体が流通されるので、流路内にバネ１１４やロッド１０４などの金属製摺動部材が露出することは好ましくない。そのため、ボディ１０１内のロッド１０４の周囲には、ベローズ１２０が設けられ、弁室１２１内に摺動部分が露出しないようにされている。ベローズ１２０は、その一端部は弁体カバー１１６に固着され、他端部はベローズ取付部材１２２によって、ボディ１０１とカバー１０２との間に取り付けられている。
【０００６】
図６に示したのは、手動式開閉弁１００の閉弁状態であり、ハンドル１０３がカバー１０２に対してねじ込まれ、ロッド１０４が押し下げられて弁体１１０が弁座１０７に当接することで流体の流通を閉止している。このとき、凸部１１５は第２スラスト軸受１１３を介してバネ受け１１２を押し下げ、バネ１１４によってロッド１０４に働く付勢力が、弁体１１０の弁座１０７に対する弁閉荷重となっている。また、ハンドル１０３がカバー１０２に当接して、ハンドル１０３の図中下方への締め込み範囲が規定されている。
【０００７】
ここで、ハンドル１０３を緩めると、スラスト軸受１１１を介してロッド１０４が図中上方へ持ち上げられ、弁体１１０が弁座１０７から離間して、開弁される。このとき、ロッド１０４の移動に伴ってバネ受け１１２も移動するので、バネ１１４は全体として移動し、大きく伸縮することはない。その一方で、ロッド１０４は、図７に示すように、ハンドル１０３の移動に伴って大きく移動するので、弁体のストローク量は充分確保される。また、バネ受け１１２がカバー１０２の先端部とロッド１０４とに当接することで、ハンドル１０３の上方への移動範囲が規定されている。
【０００８】
従って、この手動式開閉弁１００では、ロッド１０４の移動の大部分はハンドル１０３の移動が直接伝達されている。そして、バネ１１４は、所定の弁閉荷重を発生させるためだけであり、その伸縮長さは小さいものでよいので、小さなバネ１１４で構成することができる。また、ベローズ１２０によって、ロッド１０４の先端部が覆われていて流体が可動部に接しないので、半導体製造工程等で使用される薬ガスや薬液を流通させる開閉弁として使用されていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の手動式開閉弁１００では、ベローズ１２０の交換等のメンテナンスのために、配管系からボディ１０１以外の部分を取り外し、ベローズ１２０を取り外したときには、バネ１１４が外部に露出することになる。バネ１１４の周辺には、伸縮の繰り返しによる他の部品との接触等によって、摩耗粉が多量に発生しているので、バネ１１４が露出することは、半導体製造工場等の清浄な環境を汚染するおそれがある。
【００１０】
また、手動式開閉弁１００からボディ１０１以外の弁部を取り外し、清浄な環境の外部へ持ち出してベローズ１２０の交換を行うとしても、交換作業中に埃やバネ１１４からの摩耗粉等によって、手動式開閉弁１００が汚染されるおそれがある。そのため、その手動式開閉弁１００を再び清浄な環境内へ持ち込む前には、消毒等を行って清浄にする必要があり、手間がかかるものであった。
【００１１】
そこで、本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、メンテナンスのためにベローズ部を取り外したときでもバネが露出せず、清浄な環境内でベローズの交換作業が可能な手動式開閉弁を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の手動式開閉弁は、ボディに形成された弁座と、該弁座に対して当接または離間する弁体と、該弁体をロッドを介して摺動させるハンドルと、該弁体を該弁座に対して所定の力で当接させるバネ部材とを有する手動式開閉弁において、前記ハンドルが中空形状であって、その内側に前記バネ部材が収納されており、前記ボディから他の部分を分解したときに、前記バネ部材が露出しないこと、弁を閉めているときには、前記ハンドルが前記バネ部材を押圧し、前記バネ部材が前記ロッドを介して、前記弁体を所定の力で前記弁座に対して当接させ、弁を開いているときには、前記ハンドルが直接、前記ロッドを引き上げることを特徴とする。
【００１３】
本発明の手動式開閉弁によれば、弁体がハンドルによってロッドを介して摺動され、ボディに形成された弁座に対して当接または離間する。弁を閉めているときには、バネ部材はハンドルによって押圧され、弁体はロッドを介してバネ部材によって押圧されるので、弁体は、バネ部材の付勢力によって所定の力で弁座に対して当接される。弁を開いているときは、ハンドルによって直接ロッドが引き上げられるので、バネ部材の付勢力によらず、ハンドルの移動によって開弁される。さらに、バネ部材は、ハンドルの中空部の内側に収納されるので、メンテナンス等のためにロッド先端部の弁体周辺を露出させた場合でも、バネ部材は露出しない。
【００１４】
また、本発明の手動式開閉弁は、ボディに形成された弁座と、該弁座に対して当接または離間する弁体と、該弁体をロッドを介して摺動させるハンドルと、該弁体を該弁座に対して所定の力で当接させるバネ部材とを有する手動式開閉弁において、前記ハンドルが中空形状であって、その内側に前記バネ部材が収納され、弁を閉めているときには、前記ハンドルが前記バネ部材を押圧し、前記バネ部材が前記ロッドを介して、前記弁体を所定の力で前記弁座に対して当接させ、弁を開いているときには、前記ハンドルが直接、前記ロッドを引き上げること、前記バネ部材が圧縮バネであって、その一端が、前記ハンドル中空部の回転可能な蓋部材に当接され、他の一端が、前記ロッドの端部に固設され前記ハンドルに対してスラスト軸受で回転可能に取り付けられていたバネ受け部材に当接されており、弁を閉めているときには、前記バネ部材の付勢力を、バネ受け部材を介して直接前記ロッドに伝え、弁を開いているときには、前記ハンドルの移動力を、前記スラスト軸受、前記バネ受け部材を介して、前記ロッドに伝えることを特徴とする。
【００１５】
本発明の手動式開閉弁によれば、バネ部材の一端がハンドル中空部の回転可能な蓋部材に当接され、他の一端がロッドの端部に固設されハンドルに対してスラスト軸受で回転可能に取り付けられたバネ受け部材に当接されているので、ハンドルの回転に拘わらず、その軸方向の位置移動のみがバネ部材に伝えられる。そして、弁を閉めているときには、バネ部材の付勢力が、バネ受け部材を介して直接ロッドに伝えられるので、この付勢力が、弁体を弁座に当接させる弁閉荷重となる。また、弁を開いているときには、ハンドルの移動力が、スラスト軸受、バネ受け部材を介してロッドに伝えられるので、バネ部材の付勢力によらず、ハンドルの移動力がロッドに伝えられる。
【００１６】
また、本発明の手動式開閉弁は、請求項１または請求項２に記載する手動式開閉弁において、前記ハンドルまたは前記ロッドにマグネットが取り付けられ、前記ハンドルがねじ込まれるカバーの外面に、前記マグネットの磁気を検出する磁気近接スイッチを有し、前記磁気近接スイッチが、弁を閉めているときの前記マグネットの位置または、弁を開いているときの前記マグネットの位置に対応して配置されることを特徴とする。
【００１７】
本発明の手動式開閉弁によれば、ハンドルまたはロッドにマグネットが取り付けられるので、マグネットはハンドルやロッドの移動につれて移動する。また、マグネットの磁気を検出する磁気近接スイッチが、ハンドルがねじ込まれるカバーの外面に備えられるので、カバーに対してハンドルが所定の位置に達したとき、磁気近接スイッチがマグネットを検出する。従って、磁気近接スイッチの位置を弁を閉めているときのマグネットの位置あるいは弁を開いているときのマグネットの位置に配置することで、開弁状態または閉弁状態を検出することができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図１、図２は、本発明の第１の実施の形態の手動式開閉弁を示す断面図である。手動式開閉弁１は、ボディ１０と、略円筒状のカバー２０とが連結され、カバー２０を貫通して軸方向に摺動可能に設けられたロッド３０には、その先端部（図中下部）には弁体部４０が、また、基端部（図中上部）にはハンドル５０がそれぞれ取り付けられている。
【００１９】
ボディ１０は、耐食性のある材質で形成され、内部に弁室１１を有し、弁室１１と連通して第１ポート１２と第２ポート１３とが外部に開口している。また、ボディ１０には、弁室１１と第１ポート１２との連通路を開閉する弁座１４が形成されている。ボディ１０の図中上端部の外周にはネジ部１５が形成され、ボディ１０とカバー２０とを係止する係止部材１６の内周面に設けられたネジ部１７と噛み合うようにされている。また、係止部材１６には固定用のネジ（図示しない）をはめ込むための貫通ネジ孔１８が形成されている。
【００２０】
カバー２０は、ハンドル５０がはめ込まれる大径部２１とロッド３０が貫通する小径部２２とが一体的に略多段円筒形に形成されている。大径部２１の内周面にはハンドル５０と噛み合うためのネジ部２３が設けられ、また、大径部２１の壁面を貫通して空気抜きのための貫通孔２４が設けられている。また、小径部２２の内周面にはロッド３０を摺動させるための軸受２５が設けられている。さらに、係止部材１６と係止させるための凸部を有するカバー係止部材２６がカバー２０にネジ止めされて固定されている。
【００２１】
ロッド３０は、カバー２０の軸受２５に沿って、図中上下方向に摺動可能な多段円柱形であり、基端部（図中上部）にはバネ受け３１が固定部材３２によって固定されている。また、ロッド３０の先端部（図中下部）に設けられた弁体部４０は、ゴム製で円環状の弁体４１が弁体押さえ４２と弁体カバー４３とによって挟み込まれ、その全体がネジ４４によってロッド３０にネジ止めされている。ここで、弁体押さえ４２、弁体カバー４３、ネジ４４の頭部は、いずれも耐食性のある材質で形成される。さらに、ロッド３０の先端部は、耐食性のある材質で形成されているベローズ３３で覆われる。ベローズ３３の一端部は弁体カバー４３に固定されて、ロッド３０及び弁体４１の移動につれて図中上下方向に移動する。また、ベローズ３３の他端部はベローズ係止部材３４に固定され、ベローズ係止部材３４は、ボディ１０とカバー係止部材２６とによって挟み込まれて、係止部材１６によって固定されている。このベローズ係止部材３４も耐食性のある材質で形成されている。
【００２２】
ハンドル５０は、略筒状であり、カバー２０の大径部２１にねじ込まれるために、外周面の図中下部にネジ部５１が設けられている。外周面の図中上部には滑りどめが形成され、ねじ回しやすくされている。ハンドル５０の内径は多段に形成され、小径の下部にはロッド３０が貫通している。さらに、ハンドル５０の内径図中上部の中空部には、ロッド３０の基端部とバネ受け３１が配置され、バネ受け３１は中蓋５２との間に設けられたバネ５３によってロッド３０の先端方向（図中下方）へ付勢されている。中蓋５２の上面は略球面状となっていて、外蓋５４の内面に対し、ごく小面積のみが接している。この中蓋５２が、請求項２に記載の回転可能な蓋部材に相当する。外蓋５４は、ハンドル５０の中空部の開口付近に設けられたネジ部にねじ込んで固定されている。また、ロッド３０のバネ受け３１とハンドル５０との間にはスラスト軸受５５が配置されて、ハンドル５０とロッド３０とが、互いに回転可能で、ロッド３０の軸方向移動のみが伝達されるように取り付けられている。
【００２３】
図１は、手動式開閉弁１の閉弁状態を示したものであり、弁体４１が弁座１４に当接して、第１ポート１２は閉止されている。この閉弁状態では、図１に示すように、バネ５３は、中蓋５２とバネ受け３１とによって圧縮されてバネ受け３１を図中下方に付勢している。バネ受け３１はロッド３０に固定されているので、バネ５３の付勢力は直接ロッド３０に伝達され、この付勢力で弁体４１は弁座１４に当接される。また、このとき、ハンドル５０がカバー２０の図中上端部に当接して移動範囲を規定し、ロッド３０に無理な力が加わることを防止している。
【００２４】
この閉弁状態から、開弁へ向けて少しづつハンドル５０を回転させ、カバー２０から抜きはじめると、まず、バネ５３が伸びて、バネ受け３１がスラスト軸受５５に当接する。このとき、中蓋５２は、ごく小面積のみが外蓋５４に接しているので、外蓋５４に対して回転可能であり、ハンドル５０の回転がバネ５３あるいはバネ受け３１に伝えられることはない。続いて、ハンドル５０をさらに回転させて図中上方へ移動させると、その移動力はスラスト軸受５５を介してバネ受け３１を移動させる力となる。スラスト軸受５５によってハンドル５０の回転力は吸収されるので、バネ受け３１へは軸方向の移動力のみが伝わる。従って、ハンドル５０の移動力はスラスト軸受５５とバネ受け３１とを介してロッド３０に伝えられる。そして、図２に示すように、ロッド３０の段差部分がカバー２０の小径部２２に当接して移動範囲が規定され、開弁状態となる。
【００２５】
このように、この手動式開閉弁１では、弁体４１のストローク量と比較して、バネ５３の長さの変化量が非常に少ない。従って、例えば、真空処理装置の排気系に用いられる遮断用開閉弁のように大きい開弁量が必要な弁においても、バネ５３は、長さの短いものを使用できるので、ハンドル５０の中空部に組み込むことは容易である。
【００２６】
次に、この手動式開閉弁１のメンテナンスのために、ベローズ３３を露出させる場合、一般に、第１ポート１２や第２ポート１３は他の機器と接続されているので、ボディ１０を残してそのほかの部分を取り外すことになる。貫通ネジ孔１８に固定用のネジが取り付けられているときはそれを緩め、係止部材１６を回転させてボディ１０へのネジ込みを離し、ボディ１０からカバー２０やロッド３０等を取り外す。これによってベローズ３３が露出するので、ネジ４４を外してベローズ３３を交換することができる。ここで、交換のためにベローズ３３を取り外した場合でも、露出するのはロッド３０のみであり、摩耗粉の原因となるバネ５３はハンドル５０によって覆われているので露出しない。従って、清浄な環境でこのベローズ３３の交換作業を行っても、環境を汚染するおそれはない。
【００２７】
よって、第１の実施の形態の手動式開閉弁１によれば、バネ５３がハンドル５０の中空部に収納されているので、メンテナンス等のためにボディ１０からそのほかの部分を取り出し、ベローズ３３を取り外して弁体４１周辺のロッド３０を露出させた場合でも、バネ５３は露出しない。従って、清浄な環境内でベローズ３３の交換作業が可能となった。
【００２８】
また、第１の実施の形態の手動式開閉弁１によれば、バネ５３の一端が回転可能な中蓋５２に当接され、他の一端がバネ受け３１に当接されている。また、バネ受け３１はロッド３０の端部に固設され、ハンドル５０に対してスラスト軸受５５で回転可能に取り付けられている。そのため、ハンドル５０の回転に拘わらず、軸方向の位置移動のみがバネ５３に伝えられる。そして、弁を閉めているときには、バネ５３の付勢力が、バネ受け３１を介して直接ロッド３０に伝えられるので、このバネ５３の付勢力によって弁体４１が弁座１４に当接される。また、弁を開いているときには、ハンドル５０の移動力が、スラスト軸受５５、バネ受け３１を介してロッド３０に伝えられるので、バネ５３の付勢力によらず、ハンドル５０の移動力がロッド３０に伝えられる。従って、弁体のストローク量が大きく必要であっても、バネ５３の伸縮量は非常に小さくてすみ、小さいバネ５３を使用することができるので、バネ５３をハンドル５０の中空部に収納することは容易である。
【００２９】
次に、本発明の第２の実施の形態を図面を参照して説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態の断面図である。この手動式開閉弁６０は、ハンドル５０の図中下部にマグネット６１を設けたことと、カバー２０の外面に位置検出手段７０を設けたこと以外は第１の実施の形態の手動式開閉弁１と同様であり、同じ部分には同じ符号を付して、説明を省略する。
【００３０】
手動式開閉弁６０では、ハンドル５０の下部に円環状のマグネット６１が設けられている。マグネット６１は上保持部材６２と下保持部材６３とによって挟み込まれ、上保持部材６２と下保持部材６３とが係止部材６４によってロッド３０に係止されている。これによって、マグネット６１は、カバー２０の大径部２１の内周面の近くに配置される。また、マグネット６１はロッド３０に係止されているので、ロッド３０の軸方向移動に伴って、図中上下方向に移動する。
【００３１】
また、カバー２０の外面には、図４に示すように、位置検出手段７０である閉位置検出用スイッチ７１と開位置検出用スイッチ７２が設けられている。閉位置検出用スイッチ７１と開位置検出用スイッチ７２とは、同様の構成であり、磁気近接スイッチ７３，７４と、ＬＥＤランプ７５，７６、ケーブル７７，７８をそれぞれ有している。ケーブル７７，７８は、遠隔地の処理装置に接続され、閉位置検出用スイッチ７１、開位置検出用スイッチ７２の検出結果を遠隔地で得ることができる。閉位置検出用スイッチ７１と開位置検出用スイッチ７２とは、カバー２０の外面に設けられた溝（図示しない）にはめ込まれ、その溝に沿ってスライドさせて固定することで、位置決めできるようにされている。
【００３２】
図３、図４に示したのは手動式開閉弁６０の閉弁状態であり、この状態では閉位置検出用スイッチ７１の磁気近接スイッチ７３は、マグネット６１に対応する位置にある。そのため、ＬＥＤランプ７５が点灯し、遠隔地においてもケーブル７７を介して検出信号が検出される。ここで、手動式開閉弁６０を開弁すると、ハンドル５０とロッド３０とがカバー２０に対して図中上方向へ移動し、それにつれてマグネット６１も移動する。マグネット６１が磁気近接スイッチ７４に対応する位置へ到達すると、磁気近接スイッチ７４がマグネット６１を検出する。従って、ＬＥＤランプ７６が点灯し、ケーブル７８を介して検出信号が検出される。
【００３３】
よって、第２の実施の形態の手動式開閉弁６０によれば、第１の実施の形態の効果に加えて、磁気近接スイッチ７３，７４によって閉弁状態と開弁状態をそれぞれ検出して、ＬＥＤランプ７５，７６が点灯されるので、その時の手動式開閉弁６０が開弁状態であるか、閉弁状態であるか、あるいはどちらでもないかが容易に判断できる。また、ケーブル７７，７８によって、磁気近接スイッチ７３，７４の検出信号が伝送されるので、遠隔地においても、手動式開閉弁６０の状態を得ることができる。さらに、マグネット６１は、ロッド３０に固定されているので、ロッド３０の移動位置を直接検出でき、従って、弁体４１の位置を検出できる。
【００３４】
次に、本発明の第３の実施の形態を図面を参照して説明する。図５は、本発明の第３の実施の形態の断面図である。この手動式開閉弁８０は、マグネット８１の取付方が第２の実施の形態の手動式開閉弁６０と異なるのみであり、その他の部分には同じ符号を付して、説明を省略する。
【００３５】
手動式開閉弁８０では、マグネット８１は、係止部材８２と取付ネジ８３によって、ハンドル５０の図中下部に取り付けられている。すなわち、このマグネット８１は、ハンドル５０に固定されているので、位置検出手段７０によって、ハンドル５０の軸方向位置が検出される。
【００３６】
よって、第３の実施の形態の手動式開閉弁８０によれば、第２の実施の形態の手動式開閉弁６０と同様の効果を得ることができる。さらに、マグネット８１がハンドル５０に取り付けられているので、交換が容易であり、ロッド３０の異なるタイプの手動式開閉弁にも使用することができる。
【００３７】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、第２、第３の実施の形態の手動式開閉弁６０，８０では、カバー２０に閉位置検出用スイッチ７１と開位置検出用スイッチ７２との２つの位置検出手段７０を取り付けたが、必要に応じてどちらか一方のみにしたり、あるいは、マグネット６１，８１を内蔵させるのみで位置検出手段７０を設けないでおくこともできる。位置検出手段７０を後から取り付けることは容易なので、必要に応じて取り付ければよい。
また、例えば、第１から第３の実施の形態の手動式開閉弁１，６０，８０では、中蓋５２の上面が略球面状であるとしたが、中蓋５２が外蓋５４に対して回転可能であれば良く、中蓋５２と外蓋５４との間にスラスト軸受を設けて回転可能とすることもできる。
【００３８】
【発明の効果】
本発明の手動式開閉弁によれば、バネ部材は、ハンドルの中空部分に収納されるので、メンテナンス等のために弁体周辺のロッド部分を露出させた場合でも、バネ部材は露出しない。従って、清浄な環境内で、ベローズの交換作業等のロッド部分を露出させる作業をすることが可能な手動式開閉弁を提供することが可能となった。
【００３９】
また、本発明の手動式開閉弁によれば、弁を閉めているときには、バネ部材の付勢力が、バネ受け部材を介して直接ロッドに伝えられるので、このバネ部材の付勢力によって弁体が弁座に当接される。また、弁を開いているときには、ハンドルの移動力が、スラスト軸受、バネ受け部材を介してロッドに伝えられるので、バネ部材の付勢力によらず、ハンドルの移動力がロッドに伝えられる。従って、弁体のストローク量を大きくしても、バネ部材の伸縮量は小さく、小さいバネを用いることができる。従って、バネ部材をハンドルの中空部分に収納することは容易である。
【００４０】
さらに、本発明の手動式開閉弁によれば、ハンドルまたはロッドにマグネットが取り付けられ、マグネットの磁気を検出する磁気近接スイッチが、ハンドルがねじ込まれるカバーの外面に備えられるので、磁気近接スイッチの位置を弁を閉めているときのマグネットの位置あるいは弁を開いているときのマグネットの位置に配置することで、開弁状態または閉弁状態を検出することができる。従って、その時の手動式開閉弁の状態を容易に検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態にかかる手動式開閉弁の閉弁状態の断面図である。
【図２】同じく、開弁状態の断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態にかかる手動式開閉弁の閉弁状態の断面図である。
【図４】カバー部分の外観図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態にかかる手動式開閉弁の閉弁状態の断面図である。
【図６】従来の手動式開閉弁にかかる閉弁状態の断面図である。
【図７】従来の手動式開閉弁にかかる開弁状態の断面図である。
【符号の説明】
１  手動式開閉弁
１０  ボディ
１４  弁座
２０  カバー
３０  ロッド
３１  バネ受け
４１  弁体
５０  ハンドル
５２  中蓋
５３  バネ
５５  スラスト軸受
６０  手動式開閉弁
６１  マグネット
７３  磁気近接スイッチ
７４  磁気近接スイッチ
８０  手動式開閉弁
８１  マグネット
【図１】
0004754730.tif 000002
【図２】
0004754730.tif 000003
【図３】
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【図４】
0004754730.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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