(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動源と、
前記駆動源が固定されるボディと、
前記ボディの内部に配設され、前記駆動源の駆動作用下に円弧状に所定角度回動する回動部と、
弁箱の開口部を閉塞するシール部材が装着される弁ディスクと、
前記回動部に一体的に連結され、圧力流体の作用下に前記弁ディスクを前記開口部に向かって進退自在に変位させる変位機構と、
を備え、
前記ボディの内部には、前記弁ディスクを前記開口部に着座させる際に圧力流体が供給される第１流路が形成され、前記回動部の内部には、第２流路が形成され、前記駆動源の駆動作用下に前記弁ディスクが前記開口部に対向する位置に回動したときのみ、前記第１流路と前記第２流路とが相互に連通して圧力流体が前記変位機構に導入されることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、
前記回動部は、前記ボディに支持される軸部と、
一端部が前記軸部に連結され、前記軸部と一体的に回動する弁ロッドと、
を有することを特徴とするゲートバルブ。
【請求項３】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、
前記変位機構は、内部に別個独立に形成された複数のシリンダ室を有し、
前記第２流路から圧力流体が複数のシリンダ室のそれぞれに略同時に供給され、前記圧力流体は、前記複数のシリンダ室のそれぞれの受圧面に略同時に且つ略同一方向に作用することを特徴とするゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、集積回路（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流体、気体等の流通通路もしくは排気通路等を開閉することが可能なゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、例えば、半導体ウェハや液晶基板等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われ、前記通路には、それぞれ、該通路を開閉するゲートバルブが設けられている。
【０００３】
この種のゲートバルブは、例えば、モータ等の回転駆動源の作用下に変位する弁ロッドの回動運動によって、弁ディスクが弁箱の開口部に対向する位置に到達した後、圧力流体の作用下に前記弁ディスクを開口部に押圧して着座させることにより、弁箱に形成された通路が閉塞されるように設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来技術に係るゲートバルブでは、弁ディスクが開口部に対向していない状態において、トラブル等の何らかの原因により誤って圧力流体が供給されると、弁ディスクが変位して弁箱の内壁面に押し付けられるため、弁ディスクに装着されるシール部材が内壁面と接触してしまい、弁ディスクおよびシール部材を損傷するおそれがある。
【０００５】
本発明は、前記の種々の問題等を考慮してなされたものであり、何らかの原因により誤って圧力流体が供給された際において、弁ディスクおよびシール部材の損傷を防止することが可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、駆動源と、
前記駆動源が固定されるボディと、
前記ボディの内部に配設され、前記駆動源の駆動作用下に円弧状に所定角度回動する回動部と、
弁箱の開口部を閉塞するシール部材が装着される弁ディスクと、
前記回動部に一体的に連結され、圧力流体の作用下に前記弁ディスクを前記開口部に向かって進退自在に変位させる変位機構と、
を備え、
前記ボディの内部には、前記弁ディスクを前記開口部に着座させる際に圧力流体が供給される第１流路が形成され、前記回動部の内部には、第２流路が形成され、前記駆動源の駆動作用下に前記弁ディスクが前記開口部に対向する位置に回動したときのみ、前記第１流路と前記第２流路とが相互に連通して圧力流体が前記変位機構に導入されることを特徴とする。
【０００７】
また、前記回動部に前記ボディに支持される軸部と、一端部が前記軸部に連結され、前記軸部と一体的に回動する弁ロッドとを設けるとよい。
【０００８】
さらに、前記変位機構の内部に別個独立に形成された複数のシリンダ室を設け、前記第２流路から圧力流体を複数のシリンダ室のそれぞれに略同時に供給し、前記圧力流体を前記複数のシリンダ室のそれぞれの受圧面に略同時に且つ略同一方向に作用させるとよい。
【０００９】
本発明では、駆動源の作用下に回動部を回動させ、弁ディスクが開口部に対向する位置に変位したときのみ、ボディの第１流路と前記回動部の第２流路とが連通し、変位機構に圧力流体が供給されることにより前記弁ディスクが前記開口部を閉塞する。従って、弁ディスクが開口部に対向する位置以外の状態において、誤って圧力流体が供給された場合においても弁ディスクが変位することがなく、弁ディスクおよびシール部材が損傷することが阻止される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に係るゲートバルブについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１１】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係るゲートバルブを示す。
【００１２】
このゲートバルブ１０は、基本的には、駆動源として機能する、例えば、ロータリーアクチュエータ１２（以下、単にアクチュエータ１２という）（図７参照）と、前記アクチュエータ１２が上部に固定されるボディ１４と、前記ボディ１４の上部に支持され、アクチュエータ１２の駆動作用下に所定角度回動する回転軸（軸部）１６と、一端部が前記回転軸１６に連結され、前記回転軸１６の軸心を回動中心として所定角度回動する弁ロッド１８とからなる回動部１９と、前記弁ロッド１８の他端部に設けられるピストン２０を含む変位機構２１と、前記ピストン２０の外周に挿入され、変位機構２１の作用下に変位する弁ディスク２２とを備える。
【００１３】
なお、アクチュエータ１２の駆動軸には歯車２３が連結され、アクチュエータ１２の駆動作用下に前記歯車２３が矢印Ａ１またはＡ２方向に回転するように設けられている（図７参照）。
【００１４】
前記ボディ１４は、弁箱２６の上部に固定され一組の軸受部材２８ａ、２８ｂを介して回転軸１６を回動自在に軸支する軸受ブロック２５と、前記回転軸１６の一端部を保持し、後述する第１流体ポート３８および第２流体ポート４０がそれぞれ形成されたポートブロック２７と、前記軸受ブロック２５の開口部を閉塞するカバープレート２９とを含む。なお、前記ポートブロック２７には、第１流体ポート３８に連通し、回転軸１６側に延在する第１連通路（第１流路）３１と、第２流体ポート４０に連通し、回転軸１６側に延在する第２連通路３３とが形成されている。
【００１５】
前記回転軸１６と軸受ブロック２５の摺動部位には、環状溝部を介して一組のシール部材３０ａ、３０ｂが装着され、また、軸受ブロック２５と弁箱２６の合わせ面にはシール部材３０ｃが装着され、シール部材３０ａ、３０ｂ、３０ｃによって大気と弁箱２６の内部との気密を保持している。
【００１６】
また、ポートブロック２７には、後述する第１開口部３２を閉塞する際に圧力流体が供給される第１流体ポート（第１流路）３８と、閉塞された第１開口部３２を開口する際に圧力流体が供給され、第１流体ポート３８より所定間隔離間した第２流体ポート４０とが形成され、ポートブロック２７の内部には、前記回転軸１６の一端部を支持する支持部３６が形成されている。
【００１７】
また、図１に示されるように、ポートブロック２７と回転軸１６の一端部との間には、ポートブロック２７側の第１連通路３１と回転軸１６側の後述する第１流体通路（第２流路）４２との接続部位を気密に保持する一組の第１パッキン４４ａ、４４ｂが装着されている。
【００１８】
また、前記第１パッキン４４ａ、４４ｂに近接するポートブロック２７と回転軸１６の一端部との間には、ポートブロック２７側の第２連通路３３と回転軸１６側の後述する第２流体通路４８との接続部位を気密に保持する第２パッキン４６が装着されている。
【００１９】
図３および図４に示されるように、略長円状に形成される弁箱２６の内部空間の一方には、両端面に図示しないガス等の排気やワークを出し入れするための第１開口部３２および第２開口部３４（図１、図２参照）が形成され、他方には、第１開口部３２および第２開口部３４とが連通した状態において、弁ディスク２２が配置される空間５２（図４参照）が形成される。
【００２０】
図１および図２に示されるように、アクチュエータ１２（図７参照）の駆動作用下に回転する回転軸１６は、アクチュエータ１２の駆動力を弁ロッド１８を介して弁ディスク２２に伝達する機能を有し、回転軸１６の一端部には、アクチュエータ１２の駆動軸に連結された歯車２３と噛合して駆動力を伝達する歯車５４がナット５６を介して固定されている。
【００２１】
第１流体通路４２の一端部は第１流体ポート３８に連通する第１連通路３１と接続されるように半径外方向に延在し、その他端部は回転軸１６の略中央から屈曲して弁ロッド１８の軸線方向に沿って延在する第３流体通路６０と連通するように設けられる。
【００２２】
第２流体通路４８の一端部は回転軸１６の軸線Ｔ上に沿って第２流体ポート４０に連通する第２連通路３３と接続されるように延在し、他端部は回転軸１６の略中央から屈曲して弁ロッド１８の軸線方向に沿って延在する第４流体通路６２と連通するように設けられる。
【００２３】
また、回転軸１６の軸線Ｔに沿って形成された第１呼吸通路５８の一端部は、回転軸１６の一端面側に開口して大気と連通するように設けられ、その他端部は、回転軸１６の略中央から屈曲して弁ロッド１８の軸線方向に沿って延在する第２呼吸通路６４と連通するように設けられる。
【００２４】
図３および図５に示されるように、弁ディスク２２が第１開口部３２と対向する位置以外の状態においては、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが連通していない状態にある。
【００２５】
すなわち、第１流体ポート３８に連通する第１連通路３１の端部と第１流体通路４２の端部との位置が一致していないため、第１連通路３１の端部が回転軸１６の外周面によって閉塞されるとともに、第１流体通路４２の端部がポートブロック２７の支持部３６の内周壁面により閉塞される。
【００２６】
また、図４および図６に示されるように、弁ディスク２２が第１開口部３２と対向する位置に回動したときのみ、第１連通路３１の端部と第１流体通路４２の端部との位置が一致するため、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが連通した状態となる。
【００２７】
さらに、第２流体ポート４０に連通する第２連通路３３の端部と第２流体通路４８との接続部位は、回転軸１６の軸線Ｔに位置しているため、第２流体ポート４０と内部に形成される第２流体通路４８とが常に連通した状態にある。
【００２８】
さらに、図１乃至図４に示されるように、回転軸１６と弁ロッド１８との接触部位には、弁ロッド１８に形成される環状溝部を介して第３パッキン６５がそれぞれ装着され、前記第３パッキン６５によって第１流体通路４２、第２流体通路４８および第２呼吸通路６４に供給される圧力流体の気密が保持される。
【００２９】
図３および図４に示されるように、断面略Ｔ字状に形成された弁ロッド１８の一端部には回転軸１６が係合される略半円形状の係合溝６６ａが形成され、係合溝６６ａの底部は略平面状に形成されている。すなわち、回転軸１６の周面の一部に形成される平面部６８と係合溝６６ａの底部とが当接して嵌合することにより、回転軸１６に対する弁ロッド１８の回り止め機能を有する。また、係合溝６６ａから所定間隔離間する両側には、複数の貫通孔７０（図８参照）が形成されている。
【００３０】
さらに、軸支部材７２には、回転軸１６に係合する略半円形状の係合溝６６ｂが形成され、前記係合溝６６ｂから所定間隔離間する両側には、図示しない複数のねじ孔が形成されている。
【００３１】
前記弁ロッド１８および軸支部材７２の係合溝６６ａ、６６ｂによって回転軸１６の外周面を囲繞し、複数の貫通孔７０および前記ねじ孔に対してねじ部材７６を螺入することにより、回転軸１６と弁ロッド１８が一体的に固定される。
【００３２】
また、弁ロッド１８の内部には、回転軸１６の第１流体通路４２と連通し、弁ディスク２２を第１開口部３２の内壁面に着座させる際に圧力流体が供給される第３流体通路６０と、回転軸１６の第２流体通路４８と連通し、弁ディスク２２を第１開口部３２の内壁面より離間させる際に圧力流体が供給される第４流体通路６２と、回転軸１６の第１呼吸通路５８と連通し、後述するベローズ１１０内の流体を大気開放するための第２呼吸通路６４とが形成される。
【００３３】
図８に示されるように、弁ロッド１８の内部に形成される第３流体通路６０、第４流体通路６２および第２呼吸通路６４は、図８中の矢印Ｘ方向に向かって第４流体通路６２、第３流体通路６０、第２呼吸通路６４の順序で所定間隔離間して配置され、且つ矢印Ｙ方向に向かって第３流体通路６０、第４流体通路６２、第２呼吸通路６４の順序で配置される。また、第４流体通路６２は、回転軸１６の軸線Ｔ上に形成される。
【００３４】
なお、第３流体通路６０、第４流体通路６２および第２呼吸通路６４の配列は、相互に所定間隔離間して形成されていればよく、この配列に限定されるものではない。
【００３５】
変位機構２１は、図１および図２に示されるように、断面略Ｔ字状に形成されるピストン２０と、前記ピストン２０の一端部側の外周に嵌合されるロッドカバー９２と、フランジ部８０の内周面に係合され、一体的に変位するスナップリング１１２と、弁ディスク２２のフランジ部８０の外周に挿入されるベローズホルダー１０４と、ベローズホルダー１０４とプレート部材１０２との間に介装されるベローズ１１０とからなる。
【００３６】
ピストン２０は、ねじ部材７８を介して弁ロッド１８の他端部に連結され、前記第３流体通路６０および前記第４流体通路６２から供給される圧力流体を受圧する受圧部８４と、ピストン２０の弁ロッド１８側に円筒状に形成されるロッド部８８とからなる。なお、ピストン２０の受圧部８４の直径は、ピストン２０のロッド部８８の直径より大きく形成される。
【００３７】
また、ピストン２０の受圧部８４の弁ディスク２２に当接する一端面には、溝部を介して環状のダンパ９１が装着され、ピストン２０が弁ディスク２２に当接した際の衝撃が緩和される。受圧部８４の外周面には、環状溝部を介してピストンパッキン９０が装着され、受圧部８４の外周面に挿入されるフランジ部８０の内周面に当接することにより、後述する第１シリンダ室１１６および復帰シリンダ室１２０の気密が保持される。
【００３８】
さらに、ロッド部８８の一端面が弁ロッド１８に形成される凹部に挿入され、ねじ部材７８を介して弁ロッド１８に固定されている。また、ロッド部８８の外周面には、ロッドカバー９２が嵌合され、ロッドカバー９２の内周面に形成される溝部にはロッドパッキン９４およびブッシュ９６が装着され、後述する第２シリンダ室１１８および復帰シリンダ室１２０の気密が保持される。
【００３９】
弁ディスク２２には、第１開口部３２の内壁面に着座する一端面の環状溝部に沿ってシール部材９８が装着され、前記シール部材９８によって弁ディスク２２が第１開口部３２の内壁面に着座した際の気密が保持される。また、弁ディスク２２の他端面側に所定間隔離間して突出する一組のフランジ部８０の弁ディスク２２側には、弁ディスク２２の他端面に形成される凹部にねじ部材１００によってプレート部材１０２が固定されている。
【００４０】
フランジ部８０の外周には、ベローズホルダー１０４が挿入され、弁ロッド１８に対してねじ部材１０６によって一体的に固定されている。ベローズホルダー１０４の内周面に形成される環状溝部には摺動パッキン１０８が装着されている。
【００４１】
また、プレート部材１０２とベローズホルダー１０４との間にはベローズ１１０が設けられ、第２シリンダ室１１８から弁ロッド１８のフランジ部８０と摺動パッキン１０８との間を介して圧力流体が漏出した際に、第２呼吸通路６４から第１呼吸通路５８を介して大気へと導出される。
【００４２】
さらに、第２シリンダ室１１８より漏出した圧力流体がベローズ１１０内に流入して蓄積されることにより生じるベローズ１１０の破損を防止するために、ベローズ１１０内に連通する第２呼吸通路６４が弁ロッド１８の内部に形成される。
【００４３】
すなわち、第２呼吸通路６４は、第１呼吸通路５８を介して大気開放されているため、ベローズ１１０内に流入した圧力流体がベローズ１１０内に蓄積されることなく好適に大気に排出され、ベローズ１１０の破損を防止することができる。
【００４４】
また、前記ロッドカバー９２の他端面には、環状に形成されるスナップリング１１２が連接され、前記スナップリング１１２は、外周部が弁ディスク２２のフランジ部８０の内周側に形成される環状溝部に嵌合され、内周部はロッドカバー９２の小径部に挿入されているため、ロッドカバー９２と弁ディスク２２とが一体的に変位する。
【００４５】
弁ディスク２２の他端面とピストン２０の受圧部８４の一端面との間に第１シリンダ室１１６が画成され、フランジ部８０の内部に形成される連通路１１７と連通している。また、弁ロッド１８とロッドカバー９２との間に第２シリンダ室１１８が画成され、第３流体通路６０と連通している。
【００４６】
さらに、ピストン２０の受圧部８４の他端面とロッドカバー９２の一端面との間に復帰シリンダ室１２０が画成され、第４流体通路６２と連通している。
【００４７】
なお、図１乃至図４において、第１流体ポート３８、第２流体ポート４０、第１呼吸通路５８、第１流体通路４２、第２流体通路４８、第２呼吸通路６４、第３流体通路６０および第４流体通路６２は便宜上、実線で表している。
【００４８】
本発明の実施の形態に係るゲートバルブ１０は、基本的に以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４９】
なお、以下の説明では、弁ディスク２２が空間５２に配置された状態であり、また、図５に示されるように、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが連通していない状態を初期位置として説明する。
【００５０】
図３に示されるように、初期位置において、駆動源であるアクチュエータ１２に、図示しない圧力流体供給源から図示しないチューブを介して圧力流体が供給される。圧力流体の作用下に図７に示されるように、アクチュエータ１２が時計回り（矢印Ａ１方向）に回動することにより、アクチュエータ１２に歯車２３および歯車５４を介して噛合している回転軸１６が反時計回り（矢印Ｂ１方向）に一体的に回動する。
【００５１】
回転軸１６が前記反時計回りに回動することにより、回転軸１６に連結される弁ロッド１８を介して弁ディスク２２が空間５２に配置された状態（図３参照）から第１開口部３２の方向（矢印Ｃ１方向）へ回動する。
【００５２】
図４に示されるように、弁ディスク２２がボディ１４の下部に形成される第１開口部３２（図３参照）に対向し、図１に示されるように、第１開口部３２の内壁面より所定間隔離間する位置に到達すると、第１連通路３１の端部と第１流体通路４２の端部とが接続され、ボディ１４の上部に形成される第１流体ポート３８と回転軸１６の内部に形成される第１流体通路４２とが連通した状態となる（図６参照）。
【００５３】
なお、この場合、第２流体ポート４０、第２流体通路４８および第４流体通路６２に連通する復帰シリンダ室１２０は、大気開放状態にあるものとする。
【００５４】
そして、第１流体ポート３８に、図示しない圧力流体供給源から図示しないチューブを介して圧力流体が供給される。
【００５５】
供給された圧力流体は、第１流体ポート３８から回転軸１６の第１流体通路４２、弁ロッド１８およびフランジ部８０の内部に形成される連通路１１７を介して第１シリンダ室１１６へ連通されるとともに、第２シリンダ室１１８へと導入され、第１シリンダ室１１６に供給される圧力流体の作用下に弁ディスク２２が第１開口部３２の内壁面の方向に略水平に押圧されるのと略同時に、第２シリンダ室１１８に供給された圧力流体がスナップリング１１２を介して、ロッドカバー９２を弁ディスク２２の方向に押圧することにより、第１シリンダ室１１６と第２シリンダ室１１８とに導入された圧力流体の押圧作用下に弁ディスク２２が第１開口部３２の内壁面の方向に略水平方向に押圧される（図２参照）。
【００５６】
すなわち、第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８からなる複数のシリンダ室を並列に設け、略同時に圧力流体を供給することにより複数のシリンダ室の受圧面積が加算されるため、第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８による略同一方向の押圧力が得られ、第１開口部３２の内壁面に対して弁ディスク２２を押圧する力を増大させることができる。
【００５７】
その結果、圧力流体の押圧作用下に略水平方向に変位された弁ディスク２２が、第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８に供給される圧力流体の作用下に第１開口部３２の内壁面に着座することにより、第１開口部３２が閉塞され、第１開口部３２と第２開口部３４との連通が遮断される。
【００５８】
また、第２シリンダ室１１８に供給された圧力流体が、弁ロッド１８のフランジ部８０と摺動パッキン１０８との間から漏出した場合であっても、ベローズ１１０内に流入されることにより好適に気密が保持され、圧力流体が第１開口部３２および第２開口部３４内に漏出することが阻止される。
【００５９】
さらに、第２シリンダ室１１８からベローズ１１０内に流入した圧力流体は、ベローズ１１０に連通している第２呼吸通路６４と、弁ロッド１８に形成される第１呼吸通路５８を介して大気中に排出されることにより、ベローズ１１０が破損することが防止される。
【００６０】
次に、弁ディスク２２を第１開口部３２の内壁面より離間させて、初期位置に復帰させる場合には、図示しない切換弁の作用下に第２流体ポート４０に圧力流体を供給することにより、圧力流体が第２流体ポート４０から回転軸１６の第２流体通路４８、弁ロッド１８の内部に形成される第４流体通路６２を通って、復帰シリンダ室１２０へと導入される。なお、この場合、第１流体ポート３８、第１流体通路４２、第３流体通路６０、第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８は、大気開放状態にあるものとする。
【００６１】
復帰シリンダ室１２０に供給された圧力流体の押圧作用下にロッドカバー９２が弁ロッド１８側へと押圧され、弁ロッド１８と一体的にスナップリング１１２も変位する。
【００６２】
その結果、弁ディスク２２のフランジ部８０に嵌合されたスナップリング１１２が変位することにより、弁ディスク２２が第１開口部３２の内壁面より略水平方向に離間する（図１参照）。
【００６３】
次に、図示しない切換弁の作用下にアクチュエータ１２に図示しないチューブを介して圧力流体が供給され、圧力流体の作用下にアクチュエータ１２が反時計回り（矢印Ａ２方向）に回動することにより、アクチュエータ１２に歯車２３および歯車５４を介して噛合している回転軸１６が時計回り（矢印Ｂ２方向）に一体的に回動する。
【００６４】
そして、回転軸１６が時計回り（矢印Ｂ２方向）に回動することにより、回転軸１６に連結される弁ロッド１８および弁ディスク２２が一体的に第１開口部３２および第２開口部３４から空間５２方向（矢印Ｃ２方向）へ回動し、弁ディスク２２が空間５２に配置された状態（図３参照）である初期位置に復帰し、弁箱２６の第１開口部３２と第２開口部３４とが連通した状態となる。
【００６５】
なお、この際、誤って第１流体ポート３８に圧力流体が供給されても、第１流体ポート３８と第１流体通路４２とが連通されていないため、圧力流体が第１シリンダ室１１６および第２シリンダ室１１８に導入されることがない。すなわち、弁ディスク２２が略水平に変位することがなく、空間５２の内壁面に接触することがないため、弁ディスク２２およびシール部材９８が損傷することが防止される（図５参照）。
【００６６】
以上により、本実施の形態では、ボディ１４に形成される第１流体ポート３８と回転軸１６の内部に形成される第１流体通路４２とが、弁ディスク２２が第１開口部３２に対向した位置でのみ連通するため、弁ディスク２２が第１開口部３２に対向した位置以外（例えば、弁ディスク２２が空間５２に配置された状態）において、誤って第１流体ポート３８に圧力流体が供給されても弁ディスク２２が変位することがない。そのため、弁ディスク２２およびシール部材９８がボディ１４の内壁面等に接触することがなく、弁ディスク２２およびシール部材９８が損傷することを防止することができる。
【００６７】
また、ボディ１４、回転軸１６および弁ロッド１８の内部に弁ディスク２２を変位させるための第１流体ポート３８、第２流体ポート４０、第１流体通路４２および第２流体通路４８を形成することにより外部に配管が不要となるため、設置スペースが少なくて済むとともに、配管作業等の煩雑さを解消することができる。
【００６８】
さらに、弁ロッド１８と弁ディスク２２との間に、弁ディスク２２を変位させるためのシリンダ室を複数、且つ並列に設けることにより、受圧面積を増大させることができ、弁ディスク２２を第１開口部３２の内壁面に着座させる際の推力を増大させることができるため、１つのシリンダ室の受圧面積を小さく形成することができるとともに、シリンダ室内の気密を保持しているベローズ１１０も小型化することができる。
【００６９】
すなわち、シリンダ室を小さくできることにより、弁ディスク２２およびピストン２０等を小型化することができるとともに、高価なベローズ１１０を小型化できることによって、効果的にコストを低減することができる。
【００７０】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００７１】
すなわち、ボディの内部に形成される第１流路と回動部の内部に形成される第２流路とが、弁ディスクが開口部に対向した位置でのみ連通するように構成することにより、誤って圧力流体が供給された際においても弁ディスクが変位することがないため、弁ディスクおよびシール部材の損傷を好適に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの初期位置における縦断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスクが開口部に対向した際の縦断面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスクが空間に配置された際の部分縦断面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの弁ディスクが開口部に対向した際の部分縦断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの第１流体ポートと第１流体通路とが連通していない状態を表す拡大縦断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの第１流体ポートと第１流体通路とが連通した状態を表す拡大縦断面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るゲートバルブのアクチュエータおよび回転軸の拡大縦断面図である。
【図８】図１のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った横断面図である。
【符号の説明】
１０…ゲートバルブ                １４…ボディ
１６…回転軸                      １８…弁ロッド
１９…回動部                      ２０…ピストン
２１…変位機構                    ２２…弁ディスク
２５…軸受ブロック                ２６…弁箱
２８ａ、２８ｂ…軸受部材          ３１…第１連通路
３３…第２連通路                  ３８…第１流体ポート
４０…第２流体ポート              ４２…第１流体通路
４８…第２流体通路                ５８…第１呼吸通路
６０…第３流体通路                ６２…第４流体通路
６４…第２呼吸通路                ６６ａ、６６ｂ…係合溝
８８…ロッド部                    ９２…ロッドカバー
９８…シール部材                  １１０…ベローズ
１１６…第１シリンダ室            １１８…第２シリンダ室
１２０…復帰シリンダ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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