(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に向けて配置され、複数のＸ線透過部を有して面にほぼ垂直に入射した散乱Ｘ線を透過させるコリメート部と、
このコリメート部の背面側に設けられ、前記散乱Ｘ線の入射により電子を生成するシンチレータ部と、
前記コリメート部のＸ線透過部に対応して設けられ、前記シンチレータ部の生成した電子を増幅する複数の電子増幅部を備えた増幅ユニットと、
この増幅ユニットの前記電子増幅部に対応して設けられ、前記電子増幅部の増幅した電子を検出する複数の電子検出部を備えた検出ユニットと、
この検出ユニットの前記複数の電子検出部を直交変調パターンに基づいて動作させる動作制御部と、
この動作制御部の制御信号と前記電子検出部の出力信号とに基づいて、前記検査対象の前記散乱Ｘ線による像を求める映像演算部と、
を有することを特徴とするＸ線映像装置。
【請求項２】
前記コリメート部と前記シンチレータ部と前記増幅ユニットと前記検出ユニットとは一体に形成され、直交する２軸の回りに回転可能であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線映像装置。
【請求項３】
前記検査対象にＸ線を照射するＸ線源は、線状のＸ線を放射可能に形成してあることを特徴とする請求項１または２に記載のＸ線映像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を検出して映像化する装置に係り、特にコンプトン散乱などの様に、極めて微弱なＸ線に基づいた映像を得るのに好適なＸ線映像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線は、医療や工業計測などの分野において広く利用されている。そして、Ｘ線は、物質に対する透過能が大きく、散乱Ｘ線が極めて微弱であって検出することが困難であるところから、一般に透過Ｘ線を利用し、被検査物（検査対象）の内部構造や内部欠陥などを検出するようにしている。図９は、従来のＸ線を利用した電子部品検査用のＸ線映像装置の要部を示す模式図である。
【０００３】
図９において、Ｘ線映像装置１０は、図示しない検査室に電子部品である検査対象１２を配置する検査テーブル１４が設けられており、マニピュレータ１６によって検査対象１２を検査テーブル１４の上に配置できるようにしている。検査テーブル１４の下方には、マイクロフォーカス型のＸ線源１８が配設してあって、検査テーブル１４越しに検査対象１２にＸ線２２を照射できるようになっている。
【０００４】
検査テーブル１４の上方には、Ｘ線イメージインテンシファイヤと呼ばれるイメージセンサ２０がＸ線源１８に対向するように設けてあって、検査対象１２を透過したＸ線２２が入射する。そして、イメージセンサ２０は、検査対象１２を透過したＸ線量の差を可視光に変換するように構成してあり、イメージセンサ２０の出力する可視光がＣＣＤカメラ２４などの撮像装置によって撮影され、図示しないモニタ画面に画像（映像）として表示される。
【０００５】
また、Ｘ線源１８とイメージセンサ２０とは、矢印２６、２８のように昇降可能となっていて、これらを昇降させることにより、鮮明な画像が得られるようにしてある。また、マニピュレータ１６を操作することにより、検査対象１２の向きを変え、検査対象１２をあらゆる方向から検査することができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように、従来の一般的なＸ線検査装置やＸ線映像装置は、検査対象１２の一側にＸ線源１８を配置し、検査対象１２の他側にＸ検出部となるイメージセンサ２０を配置する構造となっている。このため、検査対象が大型の構造物、例えば飛行機の翼などである場合、大型構造物をＸ線源とＸ線検出部とで挟み込んだり、両者を同期させて移動させる装置が必要となり、検査のための特別の工場を必要とする。しかも、飛行機の翼などは、翼の表面を覆っているジュラルミンと、これを支持するハニカム構造の梁との接合状態や、ジュラルミンの金属疲労によるクラックの検出など、翼の表面に近い部分の検査が主であって、Ｘ線源とＸ線検出部とによって翼を挟み込む構造では欠陥を検出できないこともある。このため、Ｘ線源とＸ線検出部とを検査対象の一側に配置し、極めて微弱なＸ線の後方散乱（コンプトン散乱）を検出できるようなＸ検査装置、Ｘ線映像装置が望まれる。
【０００７】
本発明は、上記の要請に鑑みてなされたもので、極めて微弱なＸ線の後方散乱による映像を得られるようにすることを目的としている。
また、本発明は、大型の構造物であっても容易に検査できるようにすることを目的としている。
そして、本発明は、三次元映像が得られるようにすることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係るＸ線映像装置は、検査対象に向けて配置され、複数のＸ線透過部を有して面にほぼ垂直に入射した散乱Ｘ線を透過させるコリメート部と、このコリメート部の背面側に設けられ、前記散乱Ｘ線の入射により電子を生成するシンチレータ部と、前記コリメート部のＸ線透過部に対応して設けられ、前記シンチレータ部の生成した電子を増幅する複数の電子増幅部を備えた増幅ユニットと、この増幅ユニットの前記電子増幅部に対応して設けられ、前記電子増幅部の増幅した電子を検出する複数の電子検出部を備えた検出ユニットと、この検出ユニットの前記複数の電子検出部を直交変調パターンに基づいて動作させる動作制御部と、この動作制御部の制御信号と前記電子検出部の出力信号とに基づいて、前記検査対象の前記散乱Ｘ線による像を求める映像演算部と、を有することを特徴としている。
【０００９】
コリメート部とシンチレータ部と増幅ユニットと検出ユニットとは一体に形成し、これらを直交する２軸の回りに回転可能に構成することが望ましい。また、検査対象にＸ線を照射するＸ線源は、線状のＸ線を放射可能に形成するとよい。
【００１０】
【作用】
上記のようになっている本発明のＸ線映像装置は、検出ユニットを構成している複数の電子検出部を、直交変調パターン（例えば、アダマール行列に基づいて変調）によって動作させることにより、個々の電子検出部から検出信号を得る場合より、散乱Ｘ線に基づいた到来電子を効率よく検出でき、検出効率が大幅に向上して微弱な後方散乱によるＸ線に基づいた映像を容易に得ることができる。しかも、Ｘ線の後方散乱に基づいた映像が得られるため、Ｘ線源と、Ｘ線を検出するためのコリメート部やシンチレータ部、増幅ユニット、検出ユニットなどのＸ線検出部とを検査対象に対して同じ側に配置することができ、飛行機の翼などの大型構造物の検査を容易に行なうことが可能となる。
【００１１】
コリメート部、シンチレータ部、増幅ユニット、検出ユニットを一体とし、これらを直交する２軸の回りに回転可能とすると、二次元的に得たデータから３次元の映像を容易に求めることができる。また、検査対象にＸ線を照射するＸ線源を、線状のＸ放射できるようにすると、検査対象のある断面の映像を見たい場合に、線状のＸ線を照射することにより、断面映像を求める処理が容易となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明に係るＸ線映像装置の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るＸ線映像装置の概略ブロック図である。図１において、Ｘ線映像装置３０は、Ｘ線検出部５０と信号処理部６０とを有し、Ｘ線検出部５０がステージ３２の上に配置した検査対象３４によって散乱されたＸ線を検出するようになっている。
【００１３】
Ｘ線検出部５０は、詳細を後述するＸ線検出器５２と、このＸ線検出器５２を直交する２軸の回りに回転（回動）させる駆動部５４と、Ｘ線検出器５２と駆動部５４とを制御する動作制御部５６とを備えている。そして、Ｘ線検出器５２は、この実施形態の場合、検査対象３４にＸ線３６を照射するＸ線源３８と同じ側に配置してあって、検査対象３４に向けられており（図２参照）、検査対象３４に内部に存在する内部欠陥４０などによって散乱されたＸ線（散乱Ｘ線）４２が入射する。また、Ｘ線検出器５２は、図２の矢印５７、５９に示したように、直交した２軸、Ｘ軸とＹ軸との回りに回転可能に形成してあって、動作制御部５６から制御信号を受けた駆動部５４によりＸ軸とＹ軸との回りに回動させられる。
すなわち、Ｘ線検出器５２は、Ｘ軸とＹ軸との回りに走査可能となっている。
【００１４】
なお、図２に示した符号３８ａは、検査対象３４のある断面だけを見たいときに、幅の狭い線状（または帯状）のＸ線を放射するために、Ｘ線源３８のＸ線出射部に装着するアダプタである。このＸ線源３８は、実施形態の場合、拡大映像が得られるようにマイクロフォーカス型となっている。
【００１５】
信号処理部６０は、Ｘ線検出器５２の出力信号が入力するデータ読取り部６２と、このデータ読取り部６２の出力側に設けたアナログ・ディジタル変換部（Ａ／Ｄ変換部）６４と、Ａ／Ｄ変換部６４の出力が入力する映像作成部６６とを有する。出力読取り部６２は、Ｘ線検出部５０の動作制御部５６がＸ検出器５２に与える動作制御信号が入力すようになっていて、この動作制御信号に同期してＸ線検出器５２の出力信号を読み込むようになっている。
【００１６】
映像作成部６６は、映像演算部６８とメモリ７０とを備えている。そして、映像演算部６８には、Ａ／Ｄ変換部６４の出力信号とともに、Ｘ線検出部５０の動作制御部５６が出力するＸ線検出器５２の走査角度信号が入力するようになっている。また、映像演算部６８は、詳細を後述するように、Ａ／Ｄ変換部６４の出力信号を動作制御部５６からの走査角度信号に対応させてメモリ７０に書き込み、メモリ７０に書き込まれたデータに基づいてＸ線３６の検査対象３４による散乱Ｘ線４２による映像を求め、表示装置８０やプリンタ８２、ハードディスクなどの外部記憶装置８４に出力する。
【００１７】
Ｘ線検出部５０のＸ線検出器５２は、図３に示したように、Ｘ線コリメート部９０と、シンチレータ部９２と、増幅ユニット９４と、検出ユニット９６とからなっている。そして、これらのＸ線コリメート部９０、シンチレータ部９２、増幅ユニット９４、検出ユニット９６は、図４に示したように、相互に積層された状態で一体化され、真空容器９７の内部に封入してある。
【００１８】
Ｘ線コリメート部９０は、Ｘ線を遮蔽可能な金属から形成してあって、Ｘ線透過部となるマトリックス状に配置された複数の微細孔９０ａを有している。すなわち、Ｘ線コリメート部９０は、実施形態の場合、金属箔をエッチングして直径が５〜１５μｍ程度の複数の微細孔９０ａを設け、この微細孔９０ａを有する複数の金属箔を、Ｘ線を遮蔽可能なように積層して厚さ１〜２ｃｍ程度の積層体９０ｂとして形成してある。そして、Ｘ線コリメート部９０は、入射側（図３の上側）が検査対象３４に向けられ、散乱Ｘ線４２を受けるようになっている。Ｘ線コリメート部９０に入射する散乱Ｘ線４２は、面とほぼ垂直に入射するものだけが微細孔９０ａを介してＸ線コリメート部９０を透過する。
【００１９】
シンチレータ部９２は、Ｘ線コリメート部９０の背面側（図３の下側）に配設してあって、Ｘ線コリメート部９０を透過した散乱Ｘ線４２の入射により蛍光を発するシンチレータ９２ａと、このシンチレータ９２ａの発する蛍光が入射すると電子（光電子）１００を生成する光電変換部９２ｂとを積層した構造となっている。
【００２０】
増幅ユニット９４は、いわゆるマイクロチャンネルプレートであって、Ｘ線コリメート部９０に設けた微細孔９０ａに対応して設けた複数のマイクロキャピラリー（マイクロチャンネル）９４ａを一体化したものである。マイクロキャピラリ９４ａは、図５に示したように、例えば直径が６μｍ、長さが１ｃｍ程度の加速管１０２と、この加速管１０２の両端に設けたカソード１０４、アノード１０６からなっている。そして、マイクロキャピラリー９４ａは、カソード１０４とアノード１０６とが直流電源１０８に接続され、１０００〜１００００Ｖの直流高電圧がカソード１０４とアノード１０６との間に印加してある。このため、カソード１０４側から加速管１０２内に入射した電子１００は、カソード１０４とアノード１０６との間に印加された高電圧によって加速され、加速管１０２の内壁に衝突するたびに二次電子を生じて雪崩的に数が増幅され、増幅電子１１０としてアノード１０６側から出射される。
【００２１】
検出ユニット９６は、図６に示したようになっている。すなわち、検出ユニット９６は、実施形態の場合、ＭＯＳトランジスタからなる複数の検出トランジスタ１１２（１１２ij）と、ＭＯＳトランジスタからなる複数の読み出しトランジスタ１１４（１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃ……… ）とを備えている。検出トランジスタ１１２ij（ｉ＝１、２、３、………ｎ、ｊ＝１、２、３、………ｎ）は、増幅ユニット９４を構成しているマイクロキャピラリー９４ａに対応してｎ×ｎ個がマトリックス状に配置してある。また、読み出しトランジスタ１１４は、マトリックス状に配置した検出トランジスタ１１２の各列に対応してｎ個設けてある。
【００２２】
検出トランジスタ１１２は、各行ごとにゲートがゲート制御線１１６（１１６ａ、１１６ｂ、１１６ｃ、………）に接続され、これらのゲート制御線１１６が動作制御部５６を構成しているゲート切替回路１１８に接続してある。また、検出トランジスタ１１２は、ドレインが各列ごとにデータ線１２０（１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、………）を介して読み出しトランジスタ１１４のソースに接続してある。そして、各読み出しトランジスタ１１４は、ドレインが信号処理部６０のデータ読取り部６２に接続してあり、それぞれのゲートが対応する読み出し線１２２（１２２ａ、１２２ｂ、１２２ｃ、………）に接続してある。また、検出トランジスタ１１２のソースには、マイクロキャピラリー９４ａの出力側に対面して設けた検出電極１２４が接続してある。
【００２３】
各読み出し線１２２は、動作制御部５６を構成している読み出し線切替回路１２６に接続してある。動作制御部５６は、ゲート切替回路１１８、読み出し線切替回路１２６、切替制御部１２８などから構成してある。そして、切替制御部１２８は、詳細を後述するように、２値直交変調パターン（直交変調パターン）に基づいて切替制御信号を生成し、この切替制御信号をゲート切替回路１１８と読み出し線切替回路１２６とに与え、各検出トランジスタ１１２を直交変調パターンに基づいて切替動作させるようになっている。
【００２４】
このように構成した実施形態に係るＸ線映像装置３０の作用は、次のとおりである。Ｘ線検出部５０の動作制御部５６は、駆動部５４にリセット信号を与えてＸ線検出器５２の向きを初期位置にセットする。一方、Ｘ線源３８からＸ線３６が検査対象３４に照射される。検査対象３４に照射されたＸ線３６は、大部分が検査対象３４を透過するが、一部が検査対象３４やその内部の欠陥４０などによって散乱され、散乱Ｘ線４２としてＸ線３６の入射側に反射される。この散乱Ｘ線４２は、Ｘ線検出部５０を構成しているＸ線検出器５２のＸ線コリメート部９０に入射する。
【００２５】
Ｘ線コリメート部９０は、Ｘ線透過部となっている微細孔９０ａとほぼ平行な散乱Ｘ線４２のみを透過させる。Ｘ線コリメート部９０を透過した散乱Ｘ線４２は、シンチレータ部９２に入射し、シンチレータ９２ａに蛍光を発生させ、この蛍光が光電子変換部９２ｂによって電子１００に変換される。この電子１００は、増幅ユニット９４を構成しているマイクロキャピラリー９４ａの増幅管１０２に入射しする。マイクロキャプラリー９４ａは、増幅管１０２の両端に印加されている高圧直流電圧によって入射した電子１００を加速し、個数を１０6 〜１０7 倍程度に増幅して増幅電子１１０として出力する。この増幅電子１１０は、検出ユニット９６の検出電極１２４に入射し、検出電極１２４を帯電させる。従って、検出トランジスタ１１２を順次切り替えて動作させることにより、どの検出トランジスタ１１２の検出電極１２４に増幅電子１１０が入射したかを知ることができる。
【００２６】
ところで、検査対象３４に照射されたＸ線３６は、ほとんどが検査対象３４を透過する。このため、検査対象３４からの散乱Ｘ線４２は、わずかであって極めて微弱である。従って、検出ユニット９４の各マイクロキャピラリー９４ａには、電子１００が希にしか入射しない。すなわち、検出ユニット９６の各検出電極１２４には、増幅電子１１０が希にしか入射しない。このため、ゲート１チャンネル（１つのゲート制御線１１６）、読み出し１チャンネル（１つの読み出し線１２２）を選択してデータを読み出す場合、まばらにしかパルスが出力されない。しかも、マイクロキャピラリー９４ａの数を例えば１万個〜１００万個にすると、多大な読み出し時間を必要とする。
【００２７】
そこで、この実施形態においては、複数のゲート制御線１１６と複数の読み出し線１２２とを選択し、複数の検出トランジスタ１１２を同時に駆動するようにしている。これにより、検出トランジスタ１１２を個々に駆動したときより多くの検出パルス（出力パルス）が得られる。しかし、このままでは、どの検出トランジスタ１１２の出力によって得られた検出パルスであるかを知ることができない。すなわち、散乱Ｘ線４２がＸ線コリメート部９０のどの位置の微細孔９０ａを通過し、増幅ユニット９４のどの位置のマイクロキャピラリー９４ａによって増幅されたものであるかを特定することができない。このため、この実施形態においては、直交変調パターンに基づいた駆動信号を生成して検出トランジスタ１１２を駆動するようにしている。
【００２８】
直交変調パターンとしては、２値直交変調パターンであるアダマール行列の各行に対応した変調パターンが適している。アダマール行列は、要素が「＋１」と「−１」とからなっていて、対角線に沿って対称位置にある要素が同じである対称行列となっている。例えば、一次のアダマール行列Ｈ(1) を具体的に書くと、
【数１】
0004653914.tif 000002
のようになる。また、二次、三次のアダマール行列Ｈ(2) 、Ｈ(3) は、数式２、数式３のように書くことができる。
【数２】
0004653914.tif 000003
【数３】
0004653914.tif 000004
すなわち、アダマール行列は、一般的に次の漸化式によって定義することができる。
【数４】
0004653914.tif 000005
ただし、数式４において、ｋは次数を示す。
【００２９】
そこで、実施形態においては、検出部５０の動作制御部５６を構成している切替制御部１２８が、スイッチをオンにする場合を「＋１」、スイッチをオフにする場合を「−１」に対応したアダマール行列に基づいて、検出トランジスタ１１２の切替動作信号を作成し、切替制御信号としてゲート切替回路１１８と読み出し線切替回路１２６とに与える。例えば、検出ユニット９６が８×８個の検出トランジスタ１１２で構成されている場合、検出トランジスタ１１２の動作信号は、図７のようになる。この図７において斜線を施した部分が動作電圧を与えられてオンとなる＋１に相当し、白抜きの部分がオフである−１に相当している。
【００３０】
すなわち、切替制御部１２８は、ゲート切替回路１１８にアダマール行列に従った切替制御信号を与え、ゲート制御線１１６を介して各検出トランジスタ１１２のゲートにアダマール行列に従ってゲート電圧を切り替えて印加するとともに、読み出し線切替回路１２６にアダマール行列に基づいた切替信号を与え、読み出しトランジスタ１１４をアダマール行列に従って切り替えて動作させる。例えば、検出トランジスタ１１２が８×８個である場合、切替制御部１２８は、アダマール行列に基づいて図７の下部に示した８個の変調モードを生成する。そして、まず、ゲート切替回路１１８に図７の下部右側に示した０次の動作信号（切替信号）を与え、すべてのゲート制御線１１６をゲート電源に接続し、すべての検出トランジスタ１１２のゲートにゲート電圧を印加するとともに、読み出し線切替回路１２６に図７の下部左側の０次から７次の切替信号を順次与え、読み出しトランジスタ１１４をアダマール行列に基づいて順次切り替えて駆動する。
【００３１】
そして、切替制御部１２８は、読み出しトランジスタ１１４に対して０次から７次までの切り替えが終了したならば、ゲート切替回路１１８に１次の駆動信号を与え、第１行、第３行、第５行、第７行のゲート制御線１１６に接続した検出トランジスタ１１２のゲートに電圧を印加し、この状態で読み出しトランジスタ１１４を０次から７次まで切り替える。このようにして、切替制御部１２８は、検出トランジスタ１１２のゲートに対して印加する電圧を、０次から７次まで順に切り替えるごとに、読み出しトランジスタ１１４を０次から７次まで切り替える。これにより、検出トランジスタ１１２は、常に半分がゲート電圧を印加され、半分のデータ線１２２がオン状態となり、全体の１／４の検出トランジスタ１１２から出力信号が信号処理部６０のデータ読取り部６２に入力する。
【００３２】
データ読取り部６２は、Ｘ線検出部５０の動作制御部５６が出力するトランジスタの動作切替信号に同期して検出トランジスタ１１２の出力信号を読み込む。そして、データ読取り部６２は、検出トランジスタ１１２の出力信号として入力する電流を電圧に変換して増幅し、図６の下部に示したような出力パルス１３０をアナログ電圧として出力する。この出力パルス１３０は、図１に示したように、信号処理部６０のＡ／Ｄ変換部６４に入力し、Ａ／Ｄ変換部６４によってディジタル信号に変換される。
【００３３】
Ａ／Ｄ変換部６４の出力するディジタルデータは、映像作成部６６の映像演算部６８に入力する。映像演算部６８は、Ｘ線検出部５０の動作制御部５６が出力するＸ線検出器５２の向きの情報に基づいて、Ａ／Ｄ変換部６４から入力した検出データ、すなわちＸ線検出器５２のコリメート部９０に到来した散乱Ｘ線４２の入射方向を求め、２値変調情報とともにメモリ７０に書き込む。
【００３４】
このようにして映像演算部６８は、Ｘ線検出器５２がＸ軸とＹ軸との回りに回動させられ、Ｘ線検出器５２による所定の範囲の走査が終了すると、メモリ７０に書き込まれているデータを読み出し、検査対象３４のＸ線映像を演算し、表示装置８０などに出力する。
【００３５】
すなわち、検出トランジスタ１１２のゲートをアダマール行列に基づいて順次切り替えて電圧を印加し、読み出しトランジスタ１１４をアダマール行列によって順次切り替えて動作させた場合、データ読取り部６２の出力するパルス１３０（アダマール行列に基づいて変調したデータ）から、アダマール逆変換して復調することにより、パルス１３０を出力した検出トランジスタ１１２を求めることができる。すなわち、ゲート制御線１１６を行、読み出し線１２２（データ線１２０）を列とする頻度データ行列を考えた場合、この行方向と列方向とにアダマール逆変換（二次元アダマール逆変換）を行うことにより、任意に選択した１つのゲート制御線１１６と１つの読み出し線１２２との組み合わせにより検出トランジスタ１１２を特定することができる。
【００３６】
従って、映像演算部６８は、メモリ７０に格納されているデータに対してアダマール逆変換をすることにより、増幅電子１１０が入射した検出トランジスタ１１２を求めることができ、電子１０が入力したマイクロキャピラリー９４ａの位置、および散乱Ｘ線４２が入射したＸ線コリメート部９０の微細孔９０ａの位置を特定することができる。また、映像演算部６８は、Ｘ線検出部５０の動作制御部５６からのＸ線検出器５２の走査角度情報に基づいて、検査対象３４に存在する内部欠陥４０などの三次元的位置を求め、表示装置８０に映像（画像）として表示する。
【００３７】
すなわち、図８に示したように、例えばＸ線検出器５２をＹ軸の回りに矢印１３２のように回転させた場合、Ｘ線の方向ベクトル（検出ユニット９６の出力信号）が変化する。そして、Ｘ線検出器５２を矢印１３２のように回転（回動）すると、Ｘ線コリメート部９０によって形成される平行線からなる受信系が回転し、直線と直線との交点として空間におけるＸ線３６の散乱位置を決定することができる。従って、図２に示したように、Ｘ線検出器５２を直交するＸ軸とＹ軸との回りに回転させることにより、三次元映像を合成することができる。
【００３８】
このようにして、映像演算部６８が求めたＸ線映像は、例えば図２に示した内部欠陥４０のＸ線散乱係数が検査対象３４より大きな場合、内部欠陥４０が検査対象３４より色の濃い映像そして映像化され、内部欠陥４０が空洞などのように検査対象３４よりＸ線透過率が大きく、散乱係数が小さい場合、検査対象３４より色の薄い映像として表示装置８０に表示される。
【００３９】
このように、実施の形態に係るＸ線映像装置３０は、ｎ×ｎ個の検出トランジスタ１１２を二次元アダマール行列に従いオン、オフして直交変調しているため、個々のランジスタ１１２について出力信号を読み出すより到来する散乱Ｘ線４２を効率よく受信、転送することができ、原理的に効率をｎ2 ／２倍向上させることができる。従って、極めて微弱なＸ線コンプトン散乱に基づく映像を高速に得ることができる。
【００４０】
そして、実施形態においては、Ｘ線検出器５２を直交する２軸の回りに回転させることにより、二次元的に得たデータから三次元映像を求めることができる。しかも、Ｘ線の後方散乱に基づいた映像が得られるため、Ｘ線源３８とＸ線検出部５０のＸ線検出器５２とを検査対象３４に対して同じ側に配置することができ、飛行機の翼などの大型構造物の検査を容易に行なうことが可能となる。
【００４１】
なお、検査対象３４のある断面の深さ方向を見たい場合には、図２に示したアダプタ３８ｂをＸ線源３８のＸ線出射部に装着して線状のＸ線を検査対象３４に照射するとよい。これにより、映像演算部６８による映像を求める演算を簡略化することができる。
【００４２】
また、前記実施の形態においては、Ｘ線源３８とＸ線検出器５２とを検査対象３４に対して同じ側に配置した場合について説明したが、Ｘ線源３８を検査対象３４の一側に、Ｘ線検出器５２を検査対象３４の他側に配置してもよい。このようにＸ線源３８とＸ線検出器５２とを検査対象３４の反対側に配置すると、検査対象３４に照射するＸ線の強度を従来より大幅に小さくすることができ、Ｘ線による検査、分析の安全性を大幅に向上することができる。
【００４３】
なお、前記した実施の形態は、本発明の一態様を説明したものであって、これに限定されるものではない。すなわち、前記実施形態においては、Ｘ線検出器５２を直交する２軸の回りに回転させる場合について説明したが、必要に応じて１つの軸の回りに回転させてもよく、また二次元の平面的な映像を求める場合には、Ｘ線検出器５２を回転させる必要はない。また、前記実施の形態においては、Ｘ線検出器５２の検出ユニット９６の出力信号（検出トランジスタ１１２の出力信号）をＡ／Ｄ変換する場合について説明したが、検出ユニット９６の出力信号をカウンタによって計数し、係数値を映像演算部６８に入力するようにしてもよい。
【００４４】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、検出ユニットを構成している複数の電子検出部を、直交変調パターンによって動作させることにより、個々の電子検出部から検出信号を得る場合より、散乱Ｘ線に基づいた到来電子を効率よく検出でき、検出効率が大幅に向上して微弱な後方散乱によるＸ線に基づいた映像を容易に得ることができる。しかも、Ｘ線の後方散乱に基づいた映像が得られるため、Ｘ線源と、Ｘ線を検出するためのコリメート部やシンチレータ部、増幅ユニット、検出ユニットなどのＸ線検出部とを検査対象に対して同じ側に配置することができ、飛行機の翼などの大型構造物の検査を容易に行なうことが可能となる。
【００４５】
そして、本発明は、コリメート部、シンチレータ部、増幅ユニット、検出ユニットを一体とし、これらを直交する２軸の回りに回転可能としたことにより、二次元的に得たデータから３次元の映像を容易に求めることができる。また、検査対象にＸ線を照射するＸ線源を、線状のＸ放射できるようにすると、検査対象のある断面の映像を見たい場合に、線状のＸ線を照射することにより、断面映像を求める処理が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係るＸ線映像装置の概略ブロック図である。
【図２】実施の形態に係るＸ線映像装置のＸ線源とＸ線検出器との配置関係を示す斜視図である。
【図３】実施の形態に係るＸ線検出器の分解斜視図である。
【図４】実施の形態に係るＸ線検出器の真空容器の一部を切り欠いた斜視図である。
【図５】実施の形態に係るマイクロキャピラリーの詳細説明図である。
【図６】実施の形態に係るＸ線検出器の検出ユニットの詳細説明図である。
【図７】実施の形態に係る検出ユニットを構成している検出トランジスタの作動方法を説明する図である。
【図８】実施の形態に係るＸ線検出器により三次元映像を求める原理を説明する図である。
【図９】従来のＸ線映像装置の説明図である。
【符号の説明】
３０……Ｘ線映像装置、３４……検査対象、３６……Ｘ線、３８……Ｘ線源、４２……散乱Ｘ線、５０……Ｘ線検出部、５２……Ｘ線検出器、５４……駆動部、５６……動作制御部、６０……信号処理部、６２……データ読取り部、６６……映像作成部、６８……映像演算部、９０……Ｘ線コリメート部、９２……シンチレータ部、９４……増幅ユニット、９６……検出ユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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