(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流側シュートを自重で落下する被検査対象デバイスをシャトルシュートに取り込み、取り込んだ前記デバイスの方向を必要に応じて変換し、測定部を有する下流側シュートに前記デバイスを渡す方向変換シャトル手段を具備するデバイス方向変換機構において、
前記方向変換シャトル手段は、前記シャトルシュートを保持するスライド部材と、
前記スライド部材の両側に前記シャトルシュートの長手方向に取付けられている一対のスプリング手段を介して前記スライド部材に接続されたバランサーを中央部に有し、前記スライド部材を前記シャトルシュートの長手方向に移動可能に支持する回転ステージと、
前記回転ステージを前記シャトルシュートの長手方向と平行な軸線回りに回転可能に支持するとともに、上流側シュートおよび下流側シュートを支持する支持部材に前記シャトルシュートの長手方向と直交する水平方向の軸線回りに回転可能に支持された回転体と、
前記シャトルシュート又は前記スライド部材を長手方向に移動させ、シャトルシュートの入口を前記上流側シュートの出口に密着させると共に、シャトルシュートの出口を前記下流側シュートの入口に密着させるシャトルシュート移動手段を備え、
前記シャトルシュート移動手段は、前記支持部材に支持されていることを特徴とするデバイス方向変換機構。
【請求項２】
前記方向変換シャトル手段は、定常位置において取り込んだ前記デバイスの方向変換を実行することを特徴とする請求項１記載のデバイス方向変換機構。
【請求項３】
前記方向変換シャトル手段は、前記デバイスを取り込んだ前記上流側シュート位置より所定距離を隔てた下流側シュート位置に移動しながら取り込んだ前記デバイスの方向変換を実行することを特徴とする請求項１記載のデバイス方向変換機構。
【請求項４】
前記上流側シュートの出口及び前記下流側シュートの入口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凸部材並びに前記シャトルシュートの入口及び出口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凹部材を備え、
前記シャトルシュートの入口が前記上流側シュートの出口に密着した時に、前記第１のＶ型凸部材が前記第１のＶ型凹部材と係合し、前記シャトルシュートと前記上流側シュートとの密着位置関係が規制され、
前記シャトルシュートの出口が前記下流側シュートの入口に密着した時に、前記第２のＶ型凸部材が前記第２のＶ型凹部材と係合し、前記シャトルシュートと前記下流側シュートとの密着位置関係が規制されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【請求項５】
前記上流側シュートの出口及び前記下流側シュートの入口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凹部材並びに前記シャトルシュートの入口及び出口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凸部材を備え、
前記シャトルシュートの入口が前記上流側シュートの出口に密着した時に、前記第１のＶ型凹部材が前記第１のＶ型部凸材と係合し、前記シャトルシュートと前記上流側シュートとの密着位置関係が規制され、
前記シャトルシュートの出口が前記下流側シュートの入口に密着した時に、前記第２のＶ型凹部材が前記第２のＶ型凸部材と係合し、前記シャトルシュートと前記下流側シュートとの密着位置関係が規制されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【請求項６】
前記シャトルシュート内に前記被検査対象デバイスを取り込んで、前記シャトルシュートの出口を前記下流側シュートの入口に密着させた状態で、
前記シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグと、
前記フラグが前記シャトルシュートの出口を通過したことを検出するフラグ通過検出センサーと、
を備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【請求項７】
前記シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグは、前記シャトルシュートと密着する下流側シュート入口内部まで移動して停止操作されることを特徴とする請求項６に記載のデバイス方向変換機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上流側シュートを自重で落下する被検査対象デバイスをシャトルシュートに取り込み、取り込んだ前記デバイスの方向を必要に応じて変換し、測定部を有する下流側シュートに前記デバイスを渡す方向変換シャトル手段を具備するデバイス方向変換機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
傾斜したシュートに沿って被検査対象デバイス（ＩＣ等）を滑落させ、デバイス検査装置（テスター等）へ搬送し、検査後のデバイスを検査結果に基づいて自動的に分類収納する自重落下式ハンドラは、特許文献１に開示されている。
【０００３】
デバイスの電気的特性の検査に当たっては、ハンドラがデバイスをデバイス検査装置のテストヘッドに搬送し、デバイスのリードをテストヘッドのコンタクト部に接触させる。リードがコンタクト部に接触すると、検査装置は電流または電圧信号をデバイスに与え、このときのデバイスの出力電流値または電圧値を測定することにより電気的特性を検査する。その際、デバイスの向きをテスターで設定されている向きに合わせる必要がある。
【０００４】
図１６は、一般的な自重落下式ハンドラのシュート部分の構成例を示した模式図である。組立が完了した被検査対象のデバイス１は、上流側シュート２の入口２ａから挿入され、出口２ｂより方向変換シャトル手段３と連動するシャトルシュート４の入口４ａに取り込まれ、テスター７で当該デバイス１の電気的特性の検査ができる向きに方向変換され、出口４ｂから下流側シュート５の入り口５ａに渡されて下流側シュート５の出口５ｂ方向へ滑落する。
【０００５】
６は、下流側シュート５の途中に設けられた測定部であり、この測定部に到達したデバイス１のリードをテスター７のテストヘッドのコンタクト部に接触させ、電気的特性を検査する。検査が終了すると、デバイス１は、下流側シュート５を更に落下し、出口５ｂで検査結果に応じて複数の分類、例えば、良品、不良品、再検査品等に分類される。
【０００６】
図１７は、従来の方向変換シャトル手段３の構成図である。図１７（Ａ）は正面図、図１７（Ｂ）は側面図である。方向変換シャトル３は、デバイス１を取り込み収納できるシャトルシュート４を長手方向に取り付けた振り子状の回転ステージ３１と、この回転ステージ３１を回転可能に支持する回転体３２を備える。
【０００７】
回転ステージ３１は、軸にピニオン３３が形成され、回転体３２上のスライドレール３４に取り付けたラック３５がスライドすることで回転可能になっている。回転体３２は中空軸になっており、中空部にはラック３５をスライドさせるための軸３６が通っておりシリンダ３７に直結している。
【０００８】
回転ステージ３１は、シリンダ３７の動きに連動して回転することができる。回転体３２は、プーリ３８を備えており、ベルト３９を介して、モータ４０等により回転することができる。
【０００９】
デバイス１を取り込み収納するシャトルシュート４の入口４ａ及び出口４ｂに近接して、これら入口及び出口を開閉操作するストッパ４ｃ及び４ｄが取り付けられている。これらストッパは、シリンダ手段（図示せず）により開閉操作される。
【００１０】
図１８は、デバイス１の方向変換のパターンを説明する遷移図である。記号１Ｐはデバイス１の一番ピンを表す。図１８（Ａ）は、上流側シュート２よりデバイス１を取り込んだシャトルシュート４を紙面に平行に１８０度回転させて下流側シュート５に渡すパターンであり、落下方向が反転する。この回転操作は、ベルト３９を介して、モータ４０により回転体３２を回転させて実行する。この回転操作の場合、シャトルシュート４の入口４ａが出口４ｂとなる。
【００１１】
図１８（Ｂ）は、デバイス１の落下方向を変えたくないパターンであり、上流側シュート２よりデバイス１を取り込んだシャトルシュート４を図面垂直方向に１８０度回転させて下流側シュート５に渡す。この回転操作は、シリンダ３７を駆動させ、回転ステージ３１を回転させて実行する。
【００１２】
図１９乃至図２１により方向変換シャトル手段３の移動遷移を説明する。図１９は、方向変換シャトル手段３の移動経路を示す模式図である。上流側シュート２と下流側シュート５は所定距離を隔てて配置されており、方向変換シャトル手段３は、スライドレール４１に搭載されていて図示しないベルト駆動により上流側シュート２と下流側シュート５の間を往復移動する。レール同士の干渉が起こらない途中の回転ポジションＲにおいて、取り込んだデバイス１の方向変換を実行する。
【００１３】
図２０は、方向変換シャトル手段３が上流側シュート２の位置に移動している遷移図である。この状態では、上流側シュート２の出口２ｂとシャトルシュート４の入口４ａが極めて僅かな空隙を隔てて対向配置され、シャトルシュート４の入口側のストッパ４ｃが図示しないシリンダにより開に操作される。上流側シュート２を落下するデバイス１は、出口２ｂから入口４ａを経由してシャトルシュート４内に取り込まれる。
【００１４】
デバイス１をシャトルシュート４内に取り込んだ方向変換シャトル手段３は、スライドレール４１上を回転ポジションＲまで移動し、そこで、取り込んだデバイス１をテスター７で電気的特性が検査できる向きに変換するために、シリンダ３７やモータ４０により回転ステージ３１や回転体３２を回転操作する。
【００１５】
図２１は、方向変換シャトル手段３が下流側シュート５の位置に移動している遷移図である。この状態では、シャトルシュート４の出口４ｂが極めた僅かな空隙を隔てて下流側シュート５の入口５ａと対向配置され、シャトルシュート４の出口側のストッパ４ｄが図示しないシリンダにより開に操作される。
【００１６】
シャトルシュート４内に取り込まれて方向変換操作を終了したデバイス１は、出口４ｂから下流側シュート５の入口５ａを経由し下流側シュート５に渡され、測定部６の位置に落下移動する。
【００１７】
【特許文献１】特開２００３−２７９６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
従来のデバイス方向変換機構では、次のような問題点がある。
（１）方向変換シャトル手段３による方向変換のための回転操作は、回転時の上流側シュート２とシャトルシュート４のレール同士の干渉を避けるため、回転ポジションＲまで方向変換シャトル手段３を移動させる必要があった。そのため、回転ポジションまでの搬送時間と回転ポジションから下流側シュート５までの搬送時間を要し、デバイス処理能力の低下要因となっている。
【００１９】
（２）方向変換シャトル手段３は移動操作されるために、上流側シュート２の出口２ｂとシャトルシュート４の入口４ａのレール同士は密着させることができず、所定の空隙を必要とする。この空隙のため、レールの繋ぎ目でデバイスが傾くことが原因の搬送ジャムが頻発する。又、高温測定でレールが膨張することを考慮して、常温ではレール間に大きな空隙が必要なため、ジャムはより発生しやすい。
【００２０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、方向変換シャトル手段を回転ポジションまで移動することなく定常位置で任意に回転操作でき、レール間空隙によるデバイスの搬送ジャムを解消したデバイス方向変換機構を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
（１）上流側シュートを自重で落下する被検査対象デバイスをシャトルシュートに取り込み、取り込んだ前記デバイスの方向を必要に応じて変換し、測定部を有する下流側シュートに前記デバイスを渡す方向変換シャトル手段を具備するデバイス方向変換機構において、
前記方向変換シャトル手段は、前記シャトルシュートを保持するスライド部材と、
前記スライド部材の両側に前記シャトルシュートの長手方向に取付けられている一対のスプリング手段を介して前記スライド部材に接続されたバランサーを中央部に有し、前記スライド部材を前記シャトルシュートの長手方向に移動可能に支持する回転ステージと、
前記回転ステージを前記シャトルシュートの長手方向と平行な軸線回りに回転可能に支持するとともに、上流側シュートおよび下流側シュートを支持する支持部材に前記シャトルシュートの長手方向と直交する水平方向の軸線回りに回転可能に支持された回転体と、
前記シャトルシュート又は前記スライド部材を長手方向に移動させ、シャトルシュートの入口を前記上流側シュートの出口に密着させると共に、シャトルシュートの出口を前記下流側シュートの入口に密着させるシャトルシュート移動手段を備え、
前記シャトルシュート移動手段は、前記支持部材に支持されていることを特徴とするデバイス方向変換機構。
【００２４】
（２）前記方向変換シャトル手段は、定常位置において取り込んだ前記デバイスの方向変換を実行することを特徴とする（１）に記載のデバイス方向変換機構。
【００２５】
（３）前記方向変換シャトル手段は、前記デバイスを取り込んだ前記上流側シュート位置より所定距離を隔てた下流側シュート位置に移動しながら取り込んだ前記デバイスの方向変換を実行することを特徴とする（１）に記載のデバイス方向変換機構。
【００２６】
（４）前記上流側シュートの出口及び前記下流側シュートの入口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凸部材並びに前記シャトルシュートの入口及び出口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凹部材を備え、
前記シャトルシュートの入口が前記上流側シュートの出口に密着した時に、前記第１のＶ型凸部材が前記第１のＶ型凹部材と係合し、前記シャトルシュートと前記上流側シュートとの密着位置関係が規制され、
前記シャトルシュートの出口が前記下流側シュートの入口に密着した時に、前記第２のＶ型凸部材が前記第２のＶ型凹部材と係合し、前記シャトルシュートと前記下流側シュートとの密着位置関係が規制されることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【００２７】
（５）前記上流側シュートの出口及び前記下流側シュートの入口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凹部材並びに前記シャトルシュートの入口及び出口に夫々取り付けられた第１及び第２のＶ型凸部材を備え、
前記シャトルシュートの入口が前記上流側シュートの出口に密着した時に、前記第１のＶ型凹部材が前記第１のＶ型部凸材と係合し、前記シャトルシュートと前記上流側シュートとの密着位置関係が規制され、
前記シャトルシュートの出口が前記下流側シュートの入口に密着した時に、前記第２のＶ型凹部材が前記第２のＶ型凸部材と係合し、前記シャトルシュートと前記下流側シュートとの密着位置関係が規制されることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【００２８】
（６）前記シャトルシュート内に前記被検査対象デバイスを取り込んで、前記シャトルシュートの出口を前記下流側シュートの入口に密着させた状態で、
前記シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグと、
前記フラグが前記シャトルシュートの出口を通過したことを検出するフラグ通過検出センサーと、
を備えることを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載のデバイス方向変換機構。
【００２９】
（７）前記シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグは、前記シャトルシュートと密着する下流側シュート入口内部まで移動して停止操作されることを特徴とする（６）に記載のデバイス方向変換機構。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
（１）方向変換シャトル手段３を回転ポジションまで移動することなく任意に回転させることが可能となり、デバイス搬送処理能力を大幅に向上させることができる。
【００３１】
（２）デバイスの受け渡し時にレール同士を密着させることにより、レール間の受け渡し部の空隙をなくすことができるので、受け渡しの際にデバイスが傾く問題が解消され、搬送ジャムの発生を防止することができる。
【００３２】
（３）シャトルシュートの入口が上流側シュートの出口に密着した時に、第１のＶ型凸部材（凹部材）が第１のＶ型凹部材（凸部材）と係合し、シャトルシュートと上流側シュートとの密着位置関係が規制され、シャトルシュートの出口が下流側シュートの入口に密着した時に、第２のＶ型凸部材（凹部材）が第２のＶ型凹部材（凸部材）と係合し、シャトルシュートと下流側シュートとの密着位置関係が規制されるので、密着時のレール繋き目のジャムを著しく低下させ、装置の安全稼動に貢献することができる。
【００３３】
（４）シャトルシュート内に被検査対象デバイスを取り込んで、シャトルシュートの出口を下流側シュートの入口に密着させた状態で、シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグと、このフラグがシャトルシュートの出口を通過したことを検出するフラグ通過検出センサーとを備えることにより、シャトルシュート内を最後のデバイスが通過したことを確実に検知できるので、デバイス搬送処理能力を高め、検査時間の短縮に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明を適用したデバイス方向変換機構の一実施形態を示す模式図である。図９で説明した従来機構と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００３５】
図１において、１００は本発明が適用された方向変換シャトル手段であり、シャトルシュート２００を支持している。上流側シュート２の出口２ｂとシャトルシュート２００の入口２００ａとの間及び下流側シュート５の入口５ａとシャトルシュート２００の出口２００ｂとの間に所定長の空隙部Ｇ１及びＧ２が形成されている。
【００３６】
３００は、方向変換シャトル手段１００が具備しているシャトルシュート移動手段である。このシャトルシュート移動手段は、方向変換シャトル手段１００が定常位置において、シャトルシュート２００を長手方向に空隙部Ｇ１を移動操作してその入口２００ａを上流側シュート２の出口２ｂに密着させる。同様に、シャトルシュート２００を長手方向に空隙部Ｇ２を移動操作してその出口２００ｂを下流側シュート５の入口５ａに密着させる。
【００３７】
図２は、方向変換シャトル手段１００の実施形態を示す要部構成図である。１０１は回転ステージ、１０２は回転体である。これらの操作構造は、図１０で説明した従来機構と同一であり、説明を省略する。以下、シャトルシュート移動手段３００の実施形態を説明する。
【００３８】
３０１は、回転ステージ１０１の中央部に形成されたバランサーである。３０２及び３０３は、このバランサーの両側にシャトルシュート２００の長手方向に取り付けられている一対のスプリング手段である。
【００３９】
３０４は、シャトルシュート２００の長手方向に移動可能なスライド部材であり、前記スプリング手段３０２及び３０３を介して前記バランサーに接続されている。シャトルシュート２００は、このスライド部材３０４に保持されている。
【００４０】
３０５及び３０６は、支持部材（図示せず）に固定されたシリンダ手段であり、シャトルシュート２００の入口２００ａ及び出口２００ｂ又はスライド部材３０４の両端部を押圧し、シャトルシュート２００を長手方向に移動操作する。
【００４１】
シリンダ手段３０５及び３０６の押圧操作が解除されている待機状態では、シャトルシュート２００は、バランサー３０１及びスプリング手段３０２，３０３により回転ステージ１０１の中心に位置するようになっている。
【００４２】
バランサー３０１の位置は調整することができ、シャトルシュート２００を回転ステージ１０１の中心に位置するようにセットしておく。シャトルシュート２００には両端にストッパ２００ｃ及び２００ｄを備えている。
【００４３】
図３は、本発明を適用した方向変換シャトル手段１００の全体（シリンダ手段は図示せず）を示す構成図である。図３（Ａ）は正面図、図３（Ｂ）は側面図である。デバイス１を取り込んだシャトルシュート２００の方向変換操作は、図１０で説明した従来機構と同一であり、説明を省略する。
【００４４】
以下、図４乃至図８により方向変換シャトル手段１００の移動遷移を説明する。図４は、方向変換シャトル手段１００の待機状態を示す遷移図である。４００は固定配置されたコ字型の支持部であり、底部４０１に方向変換シャトル手段１００が固定されている。
【００４５】
一方の腕部４０２の途中に上流側シュート２が貫通して固定され、出口２ｂがシャトルシュート２００の入口２００ａと同軸で所定空隙を持って対向している。上流側シュート２の出口に形成されたカム２ｃは、シャトルシュート２００の入口側に形成されたストッパ２００ｃに対向配置されている。腕部４０２の上端にはシリンダ手段３０５が固定配置されている。
【００４６】
他方の腕部４０３の途中に、シャトルシュート２００と同軸にシリンダ手段３０６が貫通して固定されている。図の待機状態では、シリンダ手段３０６の操作端とシャトルシュート２００の出口２００ｂ間は所定の空隙が形成されている。腕部４０３上端には下流側シュート５が固定されている。
【００４７】
図５は、上流側シュート２からデバイス１をシャトルシュート２００に取り込む状態を示す遷移図である。シリンダ手段３０６の操作端が伸ばされてシャトルシュート２００の出口２００ｂを矢印Ｑで示す長手方向に移動操作し、入口２００ａを上流側シュート２の出口２ｂに密着させる。
【００４８】
この時上流側シュート２のカム２ｃによりシャトルシュート２００のストッパ２００ｃが開に操作され、上流側シュート２を落下するデバイス１がシャトルシュート２００内に取り込まれる。
【００４９】
図６は、方向変換シャトル手段１００の回転操作前の待機状態を示す遷移図である。シリンダ手段３０６のシャトルシュート２００への押圧操作が停止され、方向変換シャトル手段１００は、シャトルシュート２００内にデバイス１を収容した状態で図４と同じ状態に戻る。シャトルシュート２００は、２つのスプリング手段及びバランサーにより回転ステージの中心位置に戻る。
【００５０】
図７は、方向変換シャトル手段１００の回転操作後の状態を示す遷移図である。この状態では、下流側シュートの入口５ａがシャトルシュート２００の出口２００ｂと同軸で所定空隙を持って対向している。
【００５１】
下流側シュート５の出口側に形成されたカム５ｃは、シャトルシュート２００の出口側に形成されたストッパ２００ｄに対向配置されている。シリンダ手段３０５の操作端はシャトルシュート２００の入口２００ａと同軸で所定空隙を持って対向している。
【００５２】
図８は、シャトルシュート２００に取り込んだデバイス１を下流側シュート５に渡す状態を示す遷移図である。シリンダ手段３０５の操作端が伸ばされてシャトルシュート２００の入口２００ａを矢印Ｕで示す長手方向に移動操作し、シャトルシュート２００の出口２００ｂを下流側シュート５の入口５ａに密着させる。
【００５３】
この時下流側シュート５のカム５ｃによりシャトルシュート２００のストッパ２００ｄが開に操作され、シャトルシュート２００内に収容されて方向変換操作されデバイス１が下流側シュート５に挿入され、測定部６向かって落下移動する。このデバイス渡し操作が終了すると、方向変換シャトル手段１００は、図４に示した待機状態に戻され、次のデバイスの取り込みのために待機する。
次に、図９乃至図１５により、本発明のデバイス方向変換機構の機能を更に向上せしめるための付加的手段につき説明する。
【００５４】
図９は、上流側シュートの出口及び下流側シュートの入口にＶ型凸部材を取り付けると共に、シャトルシュートの入口及び出口にＶ型凸部材と係合するＶ型凹部材を取り付けた方向変換シャトル手段の全体構成を示す正面図である。
【００５５】
第１のＶ型凸部材２ｄは、上流側シュート２の出口２ｂにおいて、カム２ｃの反対側に取り付けられている。第２のＶ型凸部材５ｄは、下流側シュート５の入口５ａにおいて、カム５ｃの反対側に取り付けられている。
【００５６】
第１のＶ型凹部材２００ｅは、シャトルシュート２の入口２００ａにおいて、ストッパ２００ｃの反対側に取り付けられている。第２のＶ型凹部材２００ｆは、シャトルシュート２の出口２００ｂにおいて、ストッパ２００ｄの反対側に取り付けられている。
【００５７】
このような構成において、シャトルシュート２００の入口２００ａが上流側シュート２の出口２ｂに密着した時に、第１のＶ型凸部材２ｄが第１のＶ型凹部材２００ｅと係合し、シャトルシュート２００と上流側シュート２との密着位置関係が規制される。
【００５８】
同様に、シャトルシュート２００の出口２００ｂが下流側シュート５の入口５ａに密着した時に、第２のＶ型凸部材５ｄが第２のＶ型凹部材２００ｆと係合し、シャトルシュート２００と下流側シュート５との密着位置関係が規制される。
【００５９】
図１０は、第２のＶ型凸部材５ｄと第２のＶ型凹部材２００ｆとが係合前の待機状態を示す要部拡大図である。
【００６０】
図１１は、第２のＶ型凸部材５ｄと第２のＶ型凹部材２００ｆとが係合した状態を示す要部拡大図である。この状態では、シャトルシュート２００の入口２００ａは、シリンダ手段３０５によりＵ方向に押圧され、シャトルシュート２００の出口２００ｂは、下流側シュート５の入口５ａに密着される。
【００６１】
この時、シリンダ手段３０５によるＵ方向の押圧力を発生するエア圧を、方向変換シャトル手段１００を回転操作するシリンダ３７のエア圧よりも大とすることで、第２のＶ型凸部材５ｄと第２のＶ型凹部材２００ｆとの係合が、方向変換シャトル手段１００の回転操作力に抗して確実に係合される。
【００６２】
図示されていないが、第１のＶ型凸部材２ｄと第１のＶ型凹部材２００ｅとの係合も図１０及び図１１と同様である。
【００６３】
図９乃至図１１で説明した実施形態では、第１及び第２のＶ型凸部材が上流側シュート及び下流側シュートに取り付けられ、第１及び第２のＶ型凹部材がシャトルシュートの入口及び出口に取り付けられているが、この関係を逆転させ、第１及び第２のＶ型凸部材がシャトルシュートの入口及び出口に取り付けられ、第１及び第２のＶ型凹部材が上流側シュート及び下流側シュートに取り付けられる構成としても同一効果を期待することができる。
【００６４】
このような、Ｖ型凸部材とＶ型凹部材の採用による効果は次のようにまとめられる。
（１）密着時のレール繋ぎ目のジャムを著しく低下させ、装置の安全稼動に貢献することができる。
【００６５】
（２）位置出しにＶ型凹凸部材の係合を使用することで、ピン等によるガタによる密着位置誤差がなく、シュートとシャトルシュートのレール間の段差を極めて小さく規制することが可能となる。
【００６６】
（３）位置出しにＶ型凹凸部材の係合を使用することで、シュートとシャトルシュートのレール同士が傾いて密着することがなく、シュートとシャトルシュート間で安定したデバイスの受け渡しができる。
【００６７】
（４）位置出しにＶ型凹凸部材の係合を使用することで、上下両方向に誘い込み案内ができ、レール間のズレを容易に吸収することができる。
【００６８】
（５）位置出しにＶ型凹凸部材の係合を使用し、位置決めに押し込み係合方式を用いているために、位置決めガタが発生せず、位置の再現性を高めることができる。
【００６９】
図１２は、方向変換シャトル手段１００の上方に、フラグ手段５００を配置させた全体構成を示す正面図である。フラグ手段５００は、支持部材４０２を延長した取り付け部材４０４に支持され、方向変換シャトル手段１００の上方に、シャトルシュート２００と平行に配置されている。
【００７０】
図１３は、フラグ待機状態の要部拡大図である。この状態は、シャトルシュート２００内にデバイス１が取り込まれて、方向変換シャトル手段１００の回転操作が終了し、シャトルシュート２００の出口２００ｂが下流側シュート５の入口５ａと所定のギャップを介して対峙した状態である。
【００７１】
シャトルシュート２００と平行配置されたシリンダガイド５０１に嵌合して、シリンダ５０２がシリンダガイド５０１の上端部と下端部間をスライドして移動する。シリンダ５０２には、押し上げブロック５０３が固定されている。
【００７２】
シリンダガイド５０１に平行配置されたスライダガイド５０４に嵌合して、落下スライダ５０５がスライダガイド５０４の上端部と下端部間をスライドして移動する。この落下スライダ５０５は、押し上げブロック５０３に支えられて自重落下が阻止されている。
【００７３】
図示の待機状態では、シリンダ５０２がシリンダガイド５０１上端部に操作されており、従って、押し上げブロック５０３で支持されている落下スライダ５０５もスライダガイド５０４の上端部に押し上げられて位置規制されている。
【００７４】
落下スライダ５０５には、Ｌ型の支持部材５０６ａ及び５０６ｂを介して、その先端部にはフラグ５０７が取り付けられている。このフラグ７は、落下スライダ５０５がスライダガイド５０４の上端部と下端部間をスライド移動するときにシャトルシュート２００に形成されたスリット（図示せず）に沿ってシャトルシュート２００内を長手方向に移動できるように配置されている。
【００７５】
落下スライダ５０５の落下方向端部には、通過検出遮蔽板５０８ａが取り付けられ、スライダガイド５０４の下端部に取り付けられたフラグ通過検出センサー５０９ａにより、フラグ５０７のシャトルシュート通過が光学的に検出される。
【００７６】
落下スライダ５０５の落下反対方向の端部には、戻り検出遮蔽板５０８ｂが取り付けられ、スライダガイド５０４の上端部に取り付けられたフラグ戻りセンサー５０９ｂにより、フラグ５０７の待機位置（図示の位置）への戻りが光学的に検出され、シリンダ５０２への戻り操作を停止させる。
【００７７】
図１４は、フラグ落下状態の要部拡大図である。この状態では、シリンダ手段３０５によるシャトルシュート２００の入口２００ａの押圧操作により、シャトルシュート２００の出口２００ｂが下流側シュート５の入口に密着し、シャトルシュート２００内のデバイス１の落下がスタートする。
【００７８】
シリンダ手段３０５の操作に同期して、シリンダ５０２がシリンダガイド５０１の下端部まで操作される。この操作で、押し上げブロック５０３の支持を外された落下スライダ５０５は、スライダガイド５０４に沿って自重落下する。この自重落下により、フラグ５０７は、シャトルシュート２００内のデバイス１の最後部を追いかけるようにＰ方向に落下移動する。
【００７９】
図１５は、フラグ停止状態の要部拡大図である。この状態では、シャトルシュート２００内にあったデバイス１は下流側シュート５内に移動し、落下スライダ５０５はスライダガイド５０４の下端部に達する。
【００８０】
この時、フラグ５０７は、シャトルシュート２００内を通過し、更に下流シュート５の入口内まで移動しており、通過検出遮蔽板５０８ａとフラグ通過検出センサー５０９ａにより、フラグ５０７のシャトルシュート通過が検出される。
【００８１】
フラグ５０７のシャトルシュート通過がフラグ通過検出センサー５０９ａに検出された後、所定のシーケンス処理により、シリンダ５０２はシリンダガイド５０１の上端部に操作され、フラグ５０７は、図１３の待機状態に戻される。
【００８２】
フラグ５０７は、シャトルシュート内のデバイス１の最後部を追いかけるように落下移動するので、フラグ５０７の通過が検出された時には、シャトルシュート２００内に滞留しているデバイス１は存在しないことが確認される。このような、フラグ手段５００の採用による効果は次のようにまとめられる。
【００８３】
（１）シャトルシュート内に被検査対象デバイスを取り込んで、シャトルシュートの出口を下流側シュートの入口に密着させた状態で、シャトルシュート内を入口より出口方向に自重で落下するフラグと、このフラグがシャトルシュートの出口を通過したことを検出するフラグ通過検出センサーとを備えることにより、シャトルシュートを最後のデバイスが通過したことを確実に検知できるので、所定の待ち時間を設けて通過とみなす必要がなく、デバイス搬送処理能力を高め、検査時間を短縮することができる。
【００８４】
（２）シャトルシュート内の最後のデバイス通過を容易に検知できるようにしたことで、デバイス残留検知が極めて容易となり、デバイス残留に起因するデバイスオーバーフローによるジャムが解消され、装置の安全稼動が期待できる。
【００８５】
（３）フラグを、シャトルシュート内を自重落下により通過させ、更に下流側シュートの入口内まで移動させて停止させることで、下流側シュートの繋ぎ目のデバイス検出を兼ねることができ、従来の光学センサーによる光の回り込みによるデバイス検出誤差をなくすことができ、装置の安全稼動が期待できる。
【００８６】
（４）シャトルシュート内で、自重で落下しにくい軽薄短小デバイスの落下を助けることができ、装置の安全稼動が期待できる。
【００８７】
以上説明した実施形態では、方向変換シャトル手段１００が支持部材４００により定常位置に固定した状態で、上流側シュート２からのデバイス１の取り込み、方向変換、下流側シュート５への渡しが実行される。
【００８８】
本発明は、方向変換シャトル手段１００の固定配置に限定されるものではなく、方向変換シャトル手段１００を上流側シュート２から離れた場所にある下流側シュート５にスライドレールで移動させ、移動の途中で方向変換操作を実行する実施形態であってもよい。
【００８９】
実施形態では、シャトルシュート移動手段３００を形成するシリンダ手段３０５及び３０６は、シャトルシュート２００の入口２００ａ及び出口２００ｂを押圧操作する構成を示したが、シャトルシュート２００を支持しているスライド部材３０４の両端部を長手方向に押圧操作する実施形態であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明を適用したデバイス方向変換機構の一実施形態を示す模式図である。
【図２】方向変換シャトル手段の実施形態を示す要部構成図である。
【図３】方向変換シャトル手段の全体構成を示す正面図及び側面図である。
【図４】方向変換シャトル手段の待機状態を示す遷移図である。
【図５】上流側シュートからデバイスをシャトルシュートに取り込む状態を示す遷移図である。
【図６】方向変換シャトル手段の回転操作前の待機状態を示す遷移図である。
【図７】方向変換シャトル手段の回転操作後の状態を示す遷移図である。
【図８】シャトルシュートに取り込んだデバイスを下流側シュートに渡す状態を示す遷移図である。
【図９】上流側シュートの出口及び下流側シュートの入口にＶ型凸部材を取り付けると共に、シャトルシュートの入口及び出口にＶ型凸部材と係合するＶ型凹部材を取り付けた、方向変換シャトル手段の全体構成を示す正面図である。
【図１０】第２のＶ型凸部材と第２のＶ型凹部材の係合前の待機状態を示す要部拡大図である。
【図１１】第２のＶ型凸部材と第２のＶ型凹部材が係合した状態を示す要部拡大図である。
【図１２】方向変換シャトル手段の上方にフラグ手段を配置させた全体構成を示す正面図である。
【図１３】フラグ待機状態の要部拡大図である。
【図１４】フラグ落下状態の要部拡大図である。
【図１５】フラグ停止状態の要部拡大図である。
【図１６】一般的な自重落下式ハンドラのシュート部分の構成例を示した模式図である。
【図１７】従来の方向変換シャトル手段の全体構成を示す正面図及び側面図である。
【図１８】デバイスの方向変換のパターンを説明する遷移図である。
【図１９】方向変換シャトル手段の移動経路を示す模式図である。
【図２０】方向変換シャトル手段が上流側シュートの位置に移動している遷移図である。
【図２１】方向変換シャトル手段が下流側シュートの位置に移動している遷移図である。
【符号の説明】
【００９１】
１  デバイス
２  上流側シュート
２ａ  入口
２ｂ  出口
５  下流側シュート
５ａ  入口
５ｂ  出口
６  測定部
７  テスター
１００  方向変換シャトル手段
２００  シャトルシュート
２００ａ  入口
２００ｂ  出口
３００  シャトルシュート移動手段
【図１】
0004668861.tif 000002
【図２】
0004668861.tif 000003
【図３】
0004668861.tif 000004
【図４】
0004668861.tif 000005
【図５】
0004668861.tif 000006
【図６】
0004668861.tif 000007
【図７】
0004668861.tif 000008
【図８】
0004668861.tif 000009
【図９】
0004668861.tif 000010
【図１０】
0004668861.tif 000011
【図１１】
0004668861.tif 000012
【図１２】
0004668861.tif 000013
【図１３】
0004668861.tif 000014
【図１４】
0004668861.tif 000015
【図１５】
0004668861.tif 000016
【図１７】
0004668861.tif 000017
【図１８】
0004668861.tif 000018
【図１９】
0004668861.tif 000019
【図２０】
0004668861.tif 000020
【図２１】
0004668861.tif 000021
【図１６】
0004668861.tif 000022