(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
感ガス材料としてフラーレンが含浸された多孔質のシート材と、シート材の両面にそれぞれ設けられた電極とから成ることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
多孔質のシート材を樹脂、天然繊維又はセラミックスにて形成して成ることを特徴とする請求項１に記載のガスセンサ。
【請求項３】
感ガス材料として複数種のフラーレンの混合物を用いることを特徴とする請求項１又は２に記載のガスセンサ。
【請求項４】
感ガス材料として金属含有フラーレンを用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のガスセンサ。
【請求項５】
電極を真空蒸着又はスパッタリングにて形成して成ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のガスセンサ。
【請求項６】
ガス検知結果を電極間の電気抵抗値の変化として出力することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のガスセンサ。
【請求項７】
ガス検知結果を電極間の電気容量の変化として出力することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスの検出を高感度で行なうことができるガスセンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ガスセンサは一般的にはセラミックス等からなる絶縁性の基板に感ガス材料を成膜して感ガス体を形成し、この感ガス体に検知用の電極を設けたり、あるいはバルク状に形成された感ガス体の内部に電極を埋設したりすることにより形成され、電極間の電気抵抗値の変化等に基づいてガス検知を行なっていた。
【０００３】
しかし、このようにして形成されるガスセンサでは、電極間の間隔が限定されてしまい、また電極と感ガス体との接触面積も限定されしまうために、ガス検知を感度良く行なうためには感ガス材料としてある程度の電気伝導性を有するものを使用する必要があり、電気伝導性が低い材料を感ガス材料として用いることは困難であった。また通常、充分な検知感度を得るためにはヒータ等を設けて感ガス体を加熱した状態でガスの検知を行なわなければならなかった。
【０００４】
一方、近年、ダイヤモンド、グラファイトに次ぐ第３の結晶炭素としてＣ６０に代表されるフラーレンの存在が明らかにされ、また炭素電極のアーク放電によるフラーレンの合成方法も確立されるようになってきた。
【０００５】
フラーレンは、炭素６０個からなるＣ６０及びそれ以上の炭素からなる巨大篭状分子の総称であり、幾何学的に球形構造を構成するＣ６０、Ｃ７０、Ｃ７６、Ｃ７８、Ｃ８０、Ｃ８２、Ｃ８４等やそれ以上の炭素数を有する巨大フラーレンが存在し、また球形に閉じていない炭素の篭状分子も含む場合がある。
【０００６】
またこれらのフラーレンの内部に金属原子が内包されたり、あるいはフラーレンの外側において炭素原子と金属原子とが結合された、金属含有フラーレンの存在も見出されている。
【０００７】
このようなフラーレンは、アンモニア、アルデヒド、カルボン酸、ＮＯX等のように、主として分子内に極性を有するガスが吸着すると電気伝導率が増大するため、室温で動作する感ガス材料として期待されるものである。
【０００８】
しかし、このフラーレンは電気伝導率が低く、上記のような従来のセンサ構造においてフラーレンを感ガス材料として用いても充分なセンサ感度が得られにくいものであった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、電気伝導率が低く、従来のセンサ構造では充分な感度が得られない材料を感ガス材料として適用しても、ガスの検知を高感度に行なうことができるガスセンサを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１に係るガスセンサは、感ガス材料としてフラーレンが含浸された多孔質のシート材２と、シート材２の両面にそれぞれ設けられた電極３とから成ることを特徴とするものである。
【００１１】
また請求項２の発明は、請求項１において、多孔質のシート材２を樹脂、天然繊維又はセラミックスにて形成して成ることを特徴とするものである。
【００１３】
また請求項３の発明は、請求項１又は２において、感ガス材料として複数種のフラーレンの混合物を用いることを特徴とするものである。
【００１４】
また請求項４の発明は、請求項１乃至３のいずれかにおいて、感ガス材料として金属含有フラーレンを用いることを特徴とするものである。
【００１５】
また請求項５の発明は、請求項１乃至４のいずれかにおいて、電極３を真空蒸着又はスパッタリングにて形成して成ることを特徴とするものである。
【００１６】
また請求項６の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、ガス検知結果を電極３間の電気抵抗値の変化として出力することを特徴とするものである。
【００１７】
また請求項７の発明は、請求項１乃至５のいずれかにおいて、ガス検知結果を電極３間の電気容量の変化として出力することを特徴とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
多孔質のシート材２は、絶縁性の薄肉材料で、かつ一面から他面側に連通する多数の通孔を有するものであれば、適宜のものを使用することができ、例えば、抄紙により得られる天然繊維からなる紙や、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等からなる多孔質の樹脂シート、あるいはアルミナゾルを乾燥又は焼成して得られる多孔質アルミナ成形体のような多孔質セラミックスを用いることができる。このシート材２の平面視寸法や厚みは、使用する感ガス材料の種類、シート材２の多孔質の程度、要求されるガスセンサ１の性能等に応じて、適宜設定されるものであり、特に電気伝導性の低い感ガス材料を用いる場合にはシート材２の厚みを薄くするほど良好な感度が得られるものであるが、あまりにも薄すぎると電極３間のショートが発生するおそれがあるために、厚みは２０μｍ以上とすることが好ましい。
【００２０】
シート材２の両面にはそれぞれ、検知用の電極３が形成される。電極３の材質としては金等が用いられ、この電極３はシート材２の両面の全面に形成しても良く、またシート材２の両面それぞれの特定の領域のみに形成しても良い。電極３はシート材２の表面に金属のスパッタリングや真空蒸着等により形成することができ、この場合は、電極３をシート材２の表面に密着性良く形成することができるものであり、またこのように多孔質のシート材２の表面に密着性良く形成されることから、電極３とシート材２との接触面積が大きくなるものである。
【００２１】
また、シート材２としてアルミナゾルの乾燥又は焼成等にて得られる多孔質アルミナ成形体のような、多孔質セラミック成形体を用いる場合には、まず基板上に電極３を真空蒸着等にて形成し、この電極３上にアルミナゾル等を塗布した後、乾燥又は焼成して多孔質セラミック成形体からなるシート材２を成形し、この多孔質シート材２の表面に真空蒸着等にて電極３を形成することもできる。
【００２２】
感ガス材料は、電極３間においてシート材２に含浸されている。感ガス材料の含浸量は、感ガス材料の種類、シート材２の材質、要求されるガスセンサ１の特性等に応じて、適宜設定されるが、少なくとも感ガス材料がシート材２の一面側から他面側にかけて連続的に存在するようにする。感ガス材料をシート材２に含浸させるにあたっては、例えば感ガス材料が分散された溶剤をシート材２に滴下したり、あるいはこの溶剤中にシート材２を浸漬したりして、シート材２中に感ガス材料が分散された溶剤を含浸させた後、溶剤を揮散させるものである。
【００２３】
このようして形成されるガスセンサ１は、検知用の電極３が両面に一体に形成されていることから、ガスセンサ１からの検知出力の取り出しは、図１（ｂ）に示すように両面の検知用の電極３に信号取り出し用の端子電極４を接触させてガスセンサ１を二つの端子電極４にて挟持するようにするだけで行なうことができ、検知出力取り出し用のリード線をガスセンサ１に接続しなくても良く、簡便な構成にて検知出力の取り出しを行なうことができる。尚、図１（ｃ）に示すようにガスセンサ１の両面の検知用の電極３にそれぞれリード線５を接続して、このリード線５にて検知出力の取り出しを行なっても良い。
【００２４】
このガスセンサ１によるガスの検知は、検知対象であるガス中にこのガスセンサ１を配置した際の検知出力に基づいて行なうことができる。この検知出力は、電極３間の電気抵抗値の変化（導電性の変化）として取り出すことができる。すなわち、電極３間の電気抵抗値を検出し、シート材２中の感ガス材料に検知対象であるガスが吸着することにより、感ガス材料の電気伝導率が変化して電極３間の電気抵抗値が変化した際に、この電気抵抗値の変化量に基づいてガスの検知を行なうものである。また検知出力は、電極３間の電気容量の変化として取り出すこともできる。すなわち、上記のガスセンサ１はコンデンサと同様の構造を有しており、電極３間の電気容量を検出し、シート材２中の感ガス材料に検知対象であるガスが吸着することによって感ガス材料の誘電率が変化して電極３間の電気容量が変化した際に、この電気容量の変化量に基づいてガスの検知を行なうものである。
【００２５】
このように構成されるガスセンサ１は、シート材２の厚みを適宜設定することにより電極３間の寸法を容易に制御することができ、使用する感ガス材料の種類や測定対象であるガスの種類等に応じて、所望の特性を有するガスセンサ１を容易に構成することができる。更にはこのガスセンサ１は多孔質のシート材２の表面に電極３が形成されることから、電極３とシート材２との接触面積が大きくなり、特に電極３を真空蒸着やスパッタリングにて形成すると電極３面積が著しく大きくなるものであり、このため、電極３間の電気抵抗値を低減することが容易なものである。このため、フラーレンのような電気伝導性の低い材料を感ガス材料として用いる場合であっても、シート材２の厚みを薄く形成することにより電極３間の寸法を小さくすると共に電極３とシート材２との接触面積を大きく形成して、電極３間の電気抵抗値を低減し、検知感度の高いガスセンサ１を得ることができるものである。
【００２６】
また特に感ガス材料としてフラーレンを用いると、アンモニア、アルデヒド、カルボン酸、ＮＯX等のように、主として分子内に極性を有するガスの検知を室温で行なうことができるガスセンサ１を得ることができるものである。
【００２７】
感ガス材料として用いることができるフラーレンは、既に確立された公知の製造方法によって得ることができる。このフラーレンの製造方法の一例を挙げる。
【００２８】
図２はフラーレンの製造装置を示すものであり、図中の符号のうち６はガラス製の真空容器（ガラスベルジャー）、７はヘリウムガスが充填されたガスボンベ、８は真空ポンプをそれぞれ示す。真空容器６にはガスボンベ７と真空ポンプ８とが接続されており、ガスボンベ７から真空容器６にヘリウムガスが供給されると共に、真空ポンプ８を作動させることにより真空容器６内が減圧されるようになっている。
【００２９】
真空容器６内には二つの電極１０，１１が配設されており、各電極１０，１１にはそれぞれ炭素棒１２，１３が接続されている。炭素棒１２，１３は真空容器６内において互いに端面同士が対向するように配設されており、少なくとも一方の炭素棒１３は、他方の炭素棒１２に対して近接離間自在に移動可能に形成されている。また電極１０，１１間には直流電源９が接続されている。
【００３０】
フラーレンを合成するにあたっては、まずガスボンベ７から真空容器６内にヘリウムガスを供給すると共に真空ポンプ８を作動させて、真空ポンプ８内の雰囲気を１０〜１００Ｔｏｒｒ（１．３３×１０3〜１．３３×１０4Ｐａ）のヘリウムガス雰囲気に維持する。
【００３１】
この状態で、炭素棒１２，１３を移動させて炭素棒１２，１３同士を近接させると共に、直流電源９によって電極３間に２０〜２５Ｖの電圧を印加して５０〜１００Ａ程度の電流を通電させ、炭素棒１２，１３間にアーク放電を生じさせる。このようにすると、アーク放電によって、高電位側の炭素棒１３から煤が生成し、この煤中には１０〜２０％程度のフラーレンが含有される。
【００３２】
この煤をトルエン等のような無極性溶媒中に分散させ、ソックスレー抽出器等を用いて溶媒抽出することにより、Ｃ６０、Ｃ７０、Ｃ７６等の各種のフラーレンの混合物が得られる。
【００３３】
またこのフラーレンの混合物をカラムクロマトグラフィー等にて分離すると、単一種のフラーレンを得ることができる。
【００３４】
更に、上記のようにしてフラーレンを生成するにあたって、少なくともアーク放電時に高電位側となる炭素棒１３として白金、ニッケル、バリウム等の金属を含有するものを用いると、金属含有フラーレンを得ることができる。
【００３５】
このようにして得られるフラーレンをシート材２に含浸させる際には、例えばこのフラーレンをトルエン等の無極性溶剤中に溶解させて、この溶剤をシート材２に滴下したり、あるいはこの溶剤中にシート材２を浸漬したりしてシート材２中にフラーレンが分散された溶剤を含浸させた後、溶剤を揮散させるものである。
【００３６】
【実施例】
以下、本発明を実施例によって詳述する。
【００３７】
（実施例１）
シート材２としては、平面視が直径８ｍｍの円形状に形成された厚み１８０μｍの紙（ワットマン製濾紙ＮＯ４４）を用いた。また、感ガス材料としては、純度９９．８％以上のＣ６０を用いた。
【００３８】
まずシート材２の両面に真空蒸着により厚み５μｍ以下の金電極３を形成した。
【００３９】
一方、トルエン２０ｃｍ3に対してＣ６０フラーレンを１００ｍｇ分散させた溶液を調製し、この溶液を電極３が形成されたシート材２に、電極３間の隙間から含浸させた後、トルエンを揮散させることにより、シート材２にＣ６０フラーレンを含浸させて、ガスセンサ１を作製した。
【００４０】
ここで、Ｃ６０フラーレンのトルエン溶液は１回につきシート材２に０．１ｃｍ3含浸させるものとして、Ｃ６０フラーレンのトルエン溶液をシート材２に１回、２回及び３回含浸させたガスセンサ１をそれぞれ形成した。
【００４１】
各ガスセンサ１を空気中と、空気中にアセトアルデヒドが１００ｐｐｍ混入された雰囲気中とに配置し、それぞれにおける電極３間の電気容量を検知出力として測定した。
【００４２】
この結果を表１に示す。
【００４３】
【表１】
0004653319.tif 000002
【００４４】
このように、電極３間の電気容量は空気中とアセトアルデヒド混入雰囲気中とで変化したものであり、このガスセンサ１によって、電気容量の変化からアセトアルデヒドが検出できることが確認できる。
【００４５】
（実施例２）
シート材２としては、平面視が直径８ｍｍの円形状に形成された厚み２５０μｍの紙（アドバンテック東洋製濾紙ＮＯ１３１）を用いた。
【００４６】
また、感ガス材料としては、図２に示すようなフラーレンの製造装置を用いて製造された、複数種のフラーレンの混合物を用いた。フラーレンの生成条件は、真空容器６内を１．０×１０4Ｐａのヘリウムガス雰囲気とし、一方の炭素棒１２の直径を３０ｃｍ、他方の炭素棒１３の直径を６ｃｍとし、小径の炭素棒１３が高電位側となるように２０Ｖの電圧を印加したものであり、このとき得られる煤をトルエンに分散してソックスレー抽出器にて溶媒抽出したものである。
【００４７】
ガスセンサ１を作製するにあたっては、まずシート材２の両面に真空蒸着により厚み５μｍ以下の金電極３を形成した。
【００４８】
一方、トルエン２０ｃｍ3に対して上記の複数種のフラーレンの混合物を１００ｍｇ分散させた溶液を調製し、この溶液を電極３が形成されたシート材２に、電極３間の隙間から含浸させた後、トルエンを揮散させることにより、シート材２に複数種のフラーレンの混合物を含浸させて、ガスセンサ１を作製した。
【００４９】
ここで、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液は１回につきシート材２に０．１ｃｍ3含浸させるものとして、この溶液をシート材２に５回含浸させたガスセンサ１を形成した。
【００５０】
このように形成されたガスセンサ１を、アセトアルデヒドが混入された雰囲気中に配置して、ガスセンサ１によるアセトアルデヒドの検知感度を調査した。ここで、空気雰囲気中におけるガスセンサ１の電極３間の電気抵抗値をＲａ、アセトアルデヒドが混入された雰囲気中における電極３間の電気抵抗値をＲｓとしたときの、Ｒａ／Ｒｓの値を検知感度とした。また電気抵抗値の測定は、ガスセンサ１の両面の電極３にそれぞれ端子電極４としてニッケル板を配置してガスセンサ１をニッケル板にて挟持した状態で行なった。この結果を表２及び図３に示す。
【００５１】
【表２】
0004653319.tif 000003
【００５２】
このように、アセトアルデヒド濃度が上昇するに従って高い検知感度が得られ、このガスセンサ１の電極３間の電気抵抗値を検知出力としてアセトアルデヒド濃度の検知を行なうことができることが確認される。
【００５３】
（比較例１）
平面視２ｍｍ×２ｍｍの寸法の平板状のアルミナ基板の上面に検知電極として電極間の間隔が９０μｍの櫛形電極を形成し、更にその上面に実施例２と同様の複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液を塗布した後、溶剤を揮散させることにより、アルミナ基板上に膜状の感ガス体を形成した。
【００５４】
ここで、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液は１回につき基板上に５×１０-6ｃｍ3塗布するものとして、この溶液を基板に１〜５回塗布したものをそれぞれ形成した。
【００５５】
このように形成されたガスセンサ１を、空気雰囲気中と１００ｐｐｍのアセトアルデヒドが混入された雰囲気中に配置して、ガスセンサ１の電極３間の電気抵抗値を検知出力として測定し、空気雰囲気中における電極３間の電気抵抗値と、アセトアルデヒドが混入された雰囲気中における検知感度とを調査した。この結果を表３に示す。
【００５６】
【表３】
0004653319.tif 000004
【００５７】
このように、感ガス体に検知電極３として櫛形電極３を形成したものでは、電極３間の電気抵抗値が大きく、またアセトアルデヒドの検知感度が小さいものであった。
【００５８】
（実施例３）
実施例２と同様に形成されたガスセンサ１につき、比較例１と同様の測定を行なった結果を表４に示す。
【００５９】
ここで、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液は１回につきシート材２に０．１ｃｍ3含浸させるものとして、この溶液をシート材２に１〜８回含浸させたガスセンサ１をそれぞれ形成した。
【００６０】
また、表４には参考として、シート材２にフラーレンを含浸させなかったものについての空気雰囲気中における電極３間の電気抵抗値の測定結果も併せて示す。
【００６１】
【表４】
0004653319.tif 000005
【００６２】
このように、実施例３では、比較例１の場合よりも電極３間の電気抵抗値が遙かに小さくなり、またアセトアルデヒドの検知感度も大きく向上した。
【００６３】
（実施例４）
平面視２ｍｍ×２ｍｍの寸法の平板状のアルミナ基板上に真空蒸着にて厚み５μｍ以下の膜状の金電極３を形成した。この電極３上に、アルミナゾル（多木化学製）を塗布した後、５００℃で焼成して、平面視寸法が直径１．５ｍｍの円形状で、厚み２０μｍの多孔質アルミナ成形体（シート材２）を形成した。
【００６４】
このシート材２の上面に、真空蒸着により厚み５μｍ以下の膜状の金電極３を形成した。
【００６５】
次に、実施例２と同様の複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液を電極３が形成されたシート材２に、電極３間の隙間から含浸させた後、トルエンを揮散させることにより、シート材２に複数種のフラーレンの混合物を含浸させて、ガスセンサ１を作製した。
【００６６】
ここで、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液は１回につきシート材２に０．１ｃｍ3含浸させるものとして、この溶液をシート材２に１〜８回含浸させたガスセンサ１をそれぞれ形成した。
【００６７】
これらのガスセンサ１につき、比較例１と同様の測定を行なった結果を表５に示す。
【００６８】
また、表５には参考として、シート材２にフラーレンを含浸させなかったものについての空気雰囲気中における電極３間の電気抵抗値の測定結果も併せて示す。
【００６９】
【表５】
0004653319.tif 000006
【００７０】
このように、実施例４では、比較例１の場合よりも電極３間の電気抵抗値が遙かに小さくなり、またアセトアルデヒドの検知感度も大きく向上した。
【００７１】
（実施例５）
シート材２としてはポリテトラフルオロエチレン製のメンブレンフィルターにて形成された平面視寸法が直径８ｍｍの円形状で膜厚が８０μｍのものを用いた。
【００７２】
それ以外の条件は実施例３と同様にして、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液をシート材２に１〜７回含浸させたガスセンサ１をそれぞれ形成し、これらのガスセンサ１につき、比較例１と同様の測定を行なった。この結果を表６に示す。
【００７３】
【表６】
0004653319.tif 000007
【００７４】
このように、実施例６では、比較例１の場合よりも電極３間の電気抵抗値が遙かに小さくなり、またアセトアルデヒドの検知感度も大きく向上した。
【００７５】
（実施例６〜９）
感ガス材料として、図２に示すフラーレンの生成装置において、アーク放電時の高電位側となる小径の炭素棒１３として炭素のみからなるもの、２％の白金が混入されているもの、２％のバリウムが混入されているもの、２％のニッケルが混入されているものをそれぞれ用い、それ以外の条件は実施例２と同様にして得られる複数種のフラーレンの混合物を用いた。
【００７６】
これらの各感ガス材料を用いて、それぞれ実施例２と同様の条件で、ガスセンサ１を形成した。
【００７７】
ここで、複数種のフラーレンの混合物のトルエン溶液は１回につきシート材２に０．１ｃｍ3含浸させるものとして、この溶液をシート材２に３回含浸させたガスセンサ１を形成した。
【００７８】
このように形成された各ガスセンサ１を、空気雰囲気中と１００ｐｐｍのアセトアルデヒドが混入された雰囲気中に配置して、ガスセンサ１の電極３間の電気抵抗値を検知出力として測定し、空気雰囲気中における電極３間の電気抵抗値と、アセトアルデヒドが混入された雰囲気中における検知感度とを調査した。この結果を表７に示す。
【００７９】
【表７】
0004653319.tif 000008
【００８０】
このように、感ガス材料として、金属含有フラーレンを用いた実施例７〜９でも、金属を含有していないフラーレンを用いた実施例６と同様に、電極３間の電気抵抗値が遙かに小さくなり、またアセトアルデヒドの検知感度も大きく向上した。
【００８１】
【発明の効果】
以上のように本発明に係るガスセンサは、感ガス材料が含浸された多孔質のシート材と、シート材の両面にそれぞれ設けられた電極とから構成されるため、電極の面積が大きくなると共に電極間の寸法はシート材の厚みを適宜設定することにより任意の寸法に形成することができ、感ガス材料として電気伝導性の低い材料を用いる場合であっても、電極間の電気抵抗値を低減して、検知感度を向上して、高感度なガスセンサを得ることができるものである。またシート材の両面の電極に検知出力測定用の端子電極を接触させるだけで、検知出力を容易に検出することができ、ガスセンサに検知用のリード線を設けなくても検知出力の測定を容易に行なうことができるものである。更には、センサ構造が非常に簡便となって、低コストでガスセンサを得ることができ、使い捨てタイプのガスセンサとして用いることもできるものである。
【００８２】
多孔質のシート材は樹脂、天然繊維又はセラミックスにて形成することが好ましく、このような多孔質のシート材には感ガス材料を容易に含浸させると共にその両面に電極を形成することができる。
【００８３】
感ガス材料としては、フラーレンを用いることができ、これにより、アンモニア、アルデヒド、カルボン酸、ＮＯX等のように、主として分子内に極性を有するガスの検知を室温で行なうことができるガスセンサを得ることができ、例えば悪臭源となる物質や、環境汚染物質等を選択的に測定するために好適に用いることができるものである。
【００８４】
このようなフラーレンとしては、複数種のフラーレンの混合物を用いることもでき、この場合はフラーレンの生成過程において単一種のフラーレンを分離することなく、感ガス材料として用いることができ、感ガス材料であるフラーレンを簡易な工程で得ることができるものである。
【００８５】
またこのようなフラーレンとしては、金属含有フラーレンを用いることもでき、このような金属含有フラーレンを用いる場合であっても、アンモニア、アルデヒド、カルボン酸、ＮＯX等のように、主として分子内に極性を有するガスの検知を室温で行なうことができるガスセンサを得ることができるものである。
【００８６】
また、シート材の両面に形成される電極は、真空蒸着又はスパッタリングにて形成することが好ましく、このようにすると電極をシート材に対して密着性良く形成することができ、しかもこのように多孔質のシート材の表面に密着性良く形成されることから電極面積を著しく増大させることができて、電極間の電気抵抗値を更に低減し、更に高感度なガスセンサを得ることができるものである。
【００８７】
このようなガスセンサにおいて、検知出力は、電極間の電気抵抗値の変化として出力するようにすることができ、このようにすると、上記のように電極間の電気抵抗値が低減されていることから、検知対象であるガスが感ガス材料に吸着した場合の感ガス材料の電気伝導率の変化に基づく電極間の電気抵抗値の変化によって、検知出力を高感度かつ高精度で得ることができるものである。
【００８８】
また、検知出力を、電極間の電気容量の変化として出力するようにすることもでき、この場合は検知対象であるガスが感ガス材料に吸着した場合の感ガス材料の誘電率の変化に基づく電極間の電気容量の変化から、ガスの検知を行なうことができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の実施の形態の例を示す断面図である。
【図２】フラーレンの生成装置の一例を示す概略図である。
【図３】実施例２における、アセトアルデヒド濃度とガスセンサの検知感度との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１  ガスセンサ
２  シート材
３  電極
【図１】
0004653319.tif 000009
【図２】
0004653319.tif 000010
【図３】
0004653319.tif 000011