(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板を載置する載置面を有し液体供給孔及び複数の吸引孔を配設した保持定盤と、該液体供給孔に通じて液体を載置面に流出させる液体供給手段と、該吸引孔に通じる排気手段とを備え、
前記載置面は、前記液体供給孔が開口するとともに端部が開放した溝を備え、
前記液体供給孔から流出させた液体を前記溝を介して前記載置面に供給しながら、該載置面の吸引孔から吸引してガラス板を吸着保持することを特徴とするガラス板の吸着保持装置。
【請求項２】
ガラス板を載置する載置面を有し、液体供給孔が開口するとともに端部が開放した溝を該載置面に設け、複数の吸引孔を配設した保持定盤を備えておき、
該液体供給孔から液体を流出させて載置面に液体を供給し、
該載置面にガラス板を載置し、
該液体供給孔から液体を流出させながら該載置面の吸引孔から吸引してガラス板を吸着保持し、
所定時間経過後に該吸引を停止してガラス板の吸着保持を解除する、
ことを特徴とするガラス板の吸着保持方法。
【請求項３】
前記ガラス板の吸着保持を解除するときに、前記液体供給孔からの液体の流出流量を増大させることを特徴とする請求項２に記載するガラス板の吸着保持方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス板の外周部の面取り加工を行う面取り装置等に使用するガラス板の吸着保持装置及び吸着保持方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、ガラス板の面取り装置等に使用する種々のガラス板の吸着保持装置が案出されて出願されている（例えば、特開平８−４３８０７、特開２０００−７３６２等）。一例として、図２に、吸着保持装置１を示す。この吸着保持装置１は、ガラス板を保持定盤２の載置面３に載置して位置決めし、載置面３に配設した吸引孔４から吸引することにより、ガラス板を載置面３に吸着保持するように構成されている。なお、ガラス板の吸着保持は、図２に示すように、排気ポンプ５を作動させ、空気を吸引経路７からマニホールド６を介して排気ポンプ５へ吸引することによって行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような吸着保持装置１によれば、ガラス板を載置面３に載置して位置決めする場合に、ガラス板と保持定盤２との間に摩擦力が作用するため、位置決めが困難であるだけでなく、ガラス板に擦れ傷が発生する要因となっている。また、吸着保持装置１によれば、ガラス板に付着させていた水分が吸引孔４に吸引されて、ガラス板が乾燥し、水分に含まれるミネラル分や不純物が析出してガラス板の表面に表れる汚れ、いわゆるウォーターマークが発生することがある。また、吸着保持装置１によれば、ガラス板を保持定盤２から離隔させる場合に、排気手段へ高圧空気を送ることによってガラス板を保持定盤２から解除させていたが、高圧空気がガラス板に付着させていた水分を剥離させ、ガラス板が乾燥してウォーターマークが発生することもある。
【０００４】
本発明の目的は、ガラス板を保持定盤上に載置して容易に位置決めが可能であり、ガラス板に擦れ傷が発生せず、ガラス板が乾燥してウォーターマークが発生することのないガラス板の吸着保持装置及び吸着保持方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明のガラス板の吸着保持装置は、ガラス板を載置する載置面を有し液体供給孔及び複数の吸引孔を配設した保持定盤と、該液体供給孔に通じて液体を載置面に流出させる液体供給手段と、該吸引孔に通じる排気手段とを備え、前記載置面は、前記液体供給孔が開口するとともに端部が開放した溝を備え、前記液体供給孔から流出させた液体を前記溝を介して前記載置面に供給しながら、該載置面の吸引孔から吸引してガラス板を吸着保持することを特徴とする。
【０００６】
上記において、液体とは、水、水溶性溶液、又はその他のガラス板の乾燥を防止できる液体を言う。また、液体供給手段とは、液体配管をマニホールドにより複数本のホースに分岐させた液体供給手段、吸入孔へ流入した液体をドレン及び水圧ポンプ等を介して巡回させて液体供給孔から供給する液体供給手段、又は液体配管のみから成る液体供給手段等を言う。また、排気手段とは、シリンダの往復運動又は羽根車の回転運動等により吸引孔内の圧力を保持定盤の外部の圧力より小さく減圧する手段を言う。
【０００７】
上記本発明のガラス板の吸着保持装置によれば、載置面に液体供給孔が配設されており、載置面に液体を供給することができる。このため、ガラス板を載置面に位置決めする時に、ガラス板を載置面に沿って円滑に摺動させることができるので、ガラス板の表面に擦れ傷が発生することを防止できる。また、ガラス板の吸着保持時に、所定流量の液体を載置面の液体供給孔から流出させるため、ガラス板の表面が乾燥せず、ウォーターマークが発生することを防止できる。また、吸入孔の開口部周辺を液体によりシールすることができるので、開口部周辺でのガラス板と載置面との密閉度を高めて、ガラス板を載置面に強固に吸着保持できる。
【０００８】
また、このような本発明のガラス板の吸着保持装置によれば、液体供給孔から流出した液体を溝に流して載置面に吸着保持されたガラス板と載置面との略全界面に液体を分配して供給することができるので、ガラス板の乾燥を防止するだけでなく、液体の分配によってガラス板の洗浄度を維持することができる。また、均等にガラス板に液体を供給できるため、ガラス板の表面にウォーターマークが発生することを防止するという効果が顕著になる。また、液体供給孔から流出する液体が直接ガラス板に当たらず溝を介して載置面に吸着保持しているガラス板に当たるので、液体の膜が薄くなり液体の押圧力が分散されて、ガラス板を載置面に強固に吸着保持でき、吸着保持によるガラス板のクラック発生を防止することができる。
【０００９】
また、本発明のガラス板の吸着保持方法は、ガラス板を載置する載置面を有し、液体供給孔が開口するとともに端部が開放した溝を該載置面に設け、複数の吸引孔を配設した保持定盤を備えておき、該液体供給孔から液体を流出させて載置面に液体を供給し、該載置面にガラス板を載置し、該液体供給孔から液体を流出させながら該載置面の吸引孔から吸引してガラス板を吸着保持し、所定時間経過後に該吸引を停止してガラス板の吸着保持を解除する、ことを特徴とする。
【００１０】
上記において、吸引孔からの吸引により吸引力を負荷されるのは、ガラス板、液体及び空気であり、ガラス板は吸引力により載置面に吸着保持され、液体及び空気は吸引力により吸引孔へ流入する。また、所定時間とは、面取り加工等に要する時間を言う。
【００１１】
このようなガラス板の吸着保持方法によれば、吸引を停止してガラス板の吸着保持を解除するので、ガラス板と載置面との間に常に液体を介在させることにより、ガラス板が円滑に摺動可能となり、ガラス板の表面に擦れ傷が発生することを防止できる。また、ガラス板の吸着保持時及び解除時に液体供給孔から流出した液体が吸引孔へ完全に流入することを防止して、ガラス板の乾燥を防止できる。
【００１２】
また、本発明のガラス板の吸着保持方法は、前記ガラス板の吸着保持を解除するときに、前記液体供給孔からの液体の流出流量を増大させることを特徴とする。
【００１３】
上記において、流出流量とは、液体が液体供給孔から載置面へ単位時間当たりに流出する質量又は体積を言い、流量の単位は、ｋｇ／ｓｅｃ等である。また、流出流量を制御する流量制御手段は、止め弁若しくは絞り弁等の流量制御弁、手動切換弁若しくは電磁切換弁等の切換弁、又は水圧ポンプ等、特に限定されない。また、電磁切換弁又は水圧ポンプ等の制御を行う制御手段は、シーケンサー、ＣＰＵを使用した専用機、汎用コンピューター等、特に限定されない。
【００１４】
このような本発明のガラス板の吸着保持方法によれば、液体供給孔から流出させる液体の流出流量を増大させることによりガラス板を保持定盤の載置面から解除することができるので、従来のように、高圧空気を送ることによってガラス板を保持定盤から解除する方法と異なり、高圧空気がガラス板に付着させていた水分を剥離させることがなく、ガラス板の表面が乾燥せず、ウォーターマークが発生することを防止できる。また、ガラス板と載置面との界面に十分な液体が供給されるので、ガラス板の表面に擦れ傷が生じることなく迅速な離隔が可能となる。
【００１５】
また、本発明のガラス板の吸着保持方法は、ガラス板を載置する載置面を有し、該載置面の溝に液体供給孔を配設し該載置面に吸引孔を配設した保持定盤を備えておき、保持定盤の載置面を複数の孔を有するシート又は布で被覆し、該シート又は布上にガラス板を載置し、該液体供給孔から液体を流出させて載置面に液体を供給し、該載置面にガラス板を載置し、該液体供給孔から液体を流出させながら該載置面の吸引孔から吸引してガラス板を吸着保持し、所定時間経過後に該吸引を停止してガラス板の吸着保持を解除することを特徴とする。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るガラス板の吸着保持装置及び吸着保持方法について、図面に基づいて詳しく説明する。
【００１７】
図１において、符号１０は、本発明のガラス板の吸着保持装置である。この吸着保持装置１０は、例えば、面取り装置等によってガラス板１２の外周部の面取り加工を行うために使用する装置であり、ガラス板１２を載置する載置面１６に液体供給孔２０及び複数の吸引孔１８を配設した保持定盤１４と、液体供給孔２０に通じて水（液体）を載置面１６に流出させる液体供給手段４２と、吸引孔１８に通じる排気手段４０とを備えた吸着保持装置である。
【００１８】
載置面１６には溝２６が設けられ、溝２６内に液体供給孔２０が開口しており、液体供給孔２０から流出させた水を溝２６を介して載置面１６に供給することにより、載置面１６に吸着保持されるガラス板１２に水を供給するように構成されている。
【００１９】
また、吸引孔１８は、排気ポンプ２８を作動させることにより、空気を、吸引孔１８から、保持定盤１４内の吸入経路４６、複数のホース３０、一のマニホールド３２、及びドレン３４を介して排気ポンプ２８まで吸引することにより、載置面１６に載置したガラス板１２を吸着保持するように構成されている。また、排気ポンプ２８を作動させた場合、液体供給孔２０から流出させた水が吸引孔１８から配管へ流入するが、その流入した水をドレン３４において空気と分離して止め弁３６を介して外部へ排出するように構成されている。また、排気ポンプ２８は吸引孔１８に流入する空気及び水の混合流体の流量を制御することが可能であり、排気ポンプ２８は、吸引孔１８へ流入する水の流入流量を制御する流入流量制御手段としての機能を有している。なお、図１に示すように、保持定盤１４内の供給経路４４及び吸入経路４６は、互いに導通しないように配置されている。
【００２０】
このような吸着保持装置１０を使用した本発明の吸着保持方法について、以下に説明する。
【００２１】
ガラス板１２の外周の面取りを行うために、本発明の吸着保持装置１０によってガラス板１２を保持定盤１４に位置決めして吸着保持する場合には、まず、水供給源から送られた微量の水をマニホールド２２を介して液体供給孔２０から流出させて溝２６内を流し、載置面１６の全表面に十分な水を供給する。次に、ガラス板１２を載置面１６に載置して位置決めする。次に、排気ポンプ２８を作動させることにより、吸引孔１８から吸引してガラス板１２を載置面１６に吸着保持する。次に、吸引力を損なわずかつ表面の乾燥を防止可能な流量の水をガラス板１２に供給しつつ吸着保持して、面取り装置によるガラス板１２の面取り加工を行う。なお、保持定盤１４の載置面１６を複数の孔を有するシートや布等で被覆し、このシート上にガラス板１２を載置して吸着保持することが望ましい。本発明者が実際に試験を行った結果、シートの外周辺に沿って水が行き渡ること及びクラック防止や傷防止の効果があることが確認されたからである。
【００２２】
なお、排気ポンプ２８を作動させているため、液体供給孔２０から流出した水は吸引孔１８へ流入していく。液体供給孔２０から流出した水が吸引孔１８へ流入していくため、水が溝２６から吸引孔１８へ絶えず流れており、ガラス板１２の乾燥を防止できるとともに、ガラス板１２全体に渡って水を供給できる。
【００２３】
次に、面取り加工を終了して、ガラス板１２の保持定盤１４への吸着保持を解除する場合には、流量制御弁等によって液体供給孔２０から流出する水の流量を増大させるとともに、流入流量制御手段によって排気手段４０を閉鎖する。これにより、溝２６内の水の量が増大してガラス板１２と載置面１６との間に水が浸入し、ガラス板１２の保持定盤１４への吸着保持が解除される。
【００２４】
このような吸着保持装置１０及び吸着保持方法によれば、ガラス板１２に水を供給しながらガラス板１２の面取り加工を行うため、吸引孔１８への水の吸引によってガラス板１２が乾燥することがないので、ガラス板１２が乾燥してガラス板１２の表面にウォーターマークが発生することを防止できる。また、供給経路４４から吸入経路４６へ水を循環させることにより保持定盤１４を略一定の温度に維持できるため、面取り加工を安定した環境下で行うことができる。
【００２５】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の吸着保持装置及び吸着保持方法は、その他の形態でも実施し得るものである。また、本発明の技術的範囲には、その趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良，修正，変形を加えた態様も含まれる。また、発明の本質的特徴部分を変更せず同一の作用又は効果が生じる範囲内で、いずれかの発明特定事項を他の技術に置換した態様で実施してもよい。また、一体に構成されている発明特定事項を複数の部材から構成して実施しても、複数の部材から構成されている発明特定事項を一体に構成して実施してもよい。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように本発明のガラス板の吸着保持装置及び吸着保持方法によれば、載置面に液体供給孔が配設されているため、ガラス板の保持定盤への位置決め時に、ガラス板を載置面に沿って円滑に摺動させて位置決めできるとともに、ガラス板に擦れ傷が発生することを防止できる。また、ガラス板の面取り加工時に、ガラス板が乾燥してガラス板の表面にウォーターマークが発生することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吸着保持装置を示す斜視図である。
【図２】従来の吸着保持装置を示す平面図である。
【符号の説明】
１０ 吸着保持装置
１２ ガラス板
１４ 保持定盤
１６ 載置面
１８ 吸引孔
２０ 液体供給孔
２６ 溝
４０ 排気手段
【図１】
0004756295.tif 000002
【図２】
0004756295.tif 000003