(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍機を駆動させることにより、気体の凝縮及び吸着作用を利用して被排気対象である容器内の気体を排気する複数のクライオポンプと、当該複数のクライオポンプと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラとを有するクライオポンプ装置であって、
前記複数のクライオポンプのそれぞれにおいて、クライオポンプ内における温度を検出する温度センサ及び圧力を検出する圧力センサの少なくともいずれか一方を有する検出手段と、
前記複数のクライオポンプのそれぞれに設けられ、クライオポンプ内の温度または圧力を制御するための被制御機器を動作させて、前記複数のクライオポンプのうち、当該被制御機器を動作させたクライオポンプにおいて、温度または圧力の変化が基準となる時間内に生じたことを、前記検出手段が検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記被制御機器を接続するための被制御機器用ケーブル、および、前記温度センサおよび前記圧力センサの少なくともいずれか一方を接続するためのセンサ用ケーブルが正しく接続されていることを確認する判定手段と、
前記判定手段の確認の結果を、前記クライオポンプ装置の操作者が認知できるように表示する表示手段と、
を有することを特徴とするクライオポンプ装置。
【請求項２】
前記被制御機器には、冷凍機が含まれ、
前記判定手段は、前記冷凍機の運転前および運転後における前記クライオポンプ内の温度が基準となる時間内に基準となる温度差分下がることを、前記温度センサが検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記冷凍機を接続するための前記被制御機器用ケーブルとしての冷凍機駆動用ケーブルと、前記温度センサを接続するための前記センサ用ケーブルとしての温度センサ用ケーブルと、が正しく接続されていることを確認することを特徴とする請求項１に記載のクライオポンプ装置。
【請求項３】
前記被制御機器には、粗引きポンプに通じる配管に接続されている粗引き弁と、パージガス供給配管に接続されているパージ弁と、が含まれ、
前記判定手段は、
前記粗引き弁を開ける前および前記粗引き弁を開けた後における前記クライオポンプ内の圧力が基準となる時間内に基準となる圧力差分下がることを、前記圧力センサが検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記粗引き弁を接続するための前記被制御機器用ケーブルとしての粗引き弁開閉用ケーブルと、前記圧力センサを接続するための前記センサ用ケーブルとしての圧力センサ用ケーブルと、が正しく接続されていることを確認し、
前記パージ弁を開ける前および前記パージ弁を開けた後における前記クライオポンプ内の圧力が基準となる時間内に基準となる圧力差分上がることを、前記圧力センサが検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記パージ弁を接続するための前記被制御機器用ケーブルとしてのパージ弁開閉用ケーブルと、前記圧力センサを接続するための前記センサ用ケーブルとしての圧力センサ用ケーブルと、が正しく接続されていることを確認することを特徴とする請求項１または２に記載のクライオポンプ装置。
【請求項４】
前記被制御機器には、ヒータが含まれ、
前記判定手段は、前記ヒータの運転前および運転後における前記クライオポンプ内の温度が基準となる時間内に基準となる温度差分上がることを、前記温度センサが検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記ヒータを接続するための前記被制御機器用ケーブルとしてのヒータケーブルと、前記温度センサを接続するための前記センサ用ケーブルとしての温度センサ用ケーブルと、が正しく接続されていることを確認することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のクライオポンプ装置。
【請求項５】
前記被制御機器には、クライオポンプ内の気体もしくは液体を外部に放出するための放出弁が含まれ、
前記判定手段は、
前記パージガス供給配管に接続されたパージ弁を開け圧力を上昇させた後、前記パージ弁を閉じ、前記放出弁を開けた後における前記クライオポンプ内の圧力が基準となる時間内に基準となる圧力差分下がることを、前記圧力センサが検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記放出弁を接続するための前記被制御機器用ケーブルとしての放出弁開閉用ケーブルと、前記圧力センサを接続するための前記センサ用ケーブルとしての圧力センサ用ケーブルと、が正しく接続されていることを確認することを特徴とする請求項３に記載のクライオポンプ装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のクライオポンプ装置を備えたことを特徴とする真空処理装置。
【請求項７】
冷凍機を駆動させることにより、気体の凝縮及び吸着作用を利用して被排気対象である容器内の気体を排気する複数のクライオポンプと、当該複数のクライオポンプと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラと、前記複数のクライオポンプのそれぞれにおいて、クライオポンプ内における温度を検出する温度センサおよび圧力を検出する圧力センサの少なくともいずれか一方を有する検出手段と、を具備するクライオポンプ装置の動作方法であって、
前記検出手段により前記複数のクライオポンプのそれぞれにおいて、クライオポンプ内における温度及び圧力の少なくともいずれか一方を検出する検出工程と、
前記複数のクライオポンプのそれぞれに設けられ、クライオポンプ内の温度または圧力を制御するための被制御機器を動作させて、前記複数のクライオポンプのうち、当該被制御機器を動作させたクライオポンプにおいて、温度または圧力の変化が基準となる時間内に生じたことを、前記検出工程が検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記被制御機器を接続するための被制御機器用ケーブル、および、前記温度センサおよび前記圧力センサの少なくともいずれか一方を接続するためのセンサ用ケーブルが正しく接続されていることを確認する判定工程と、
前記判定工程の確認の結果を、前記クライオポンプ装置の操作者が認知できるように表示手段に表示する表示工程と、
を有することを特徴とするクライオポンプ装置の動作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷凍機を駆動させることにより、気体の凝縮及び吸着作用を利用して被排気対象である容器内の気体を排気するクライオポンプと、クライオポンプと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラとを有するクライオポンプ装置、真空処理装置及びクライオポンプ装置の動作方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クライオポンプもしくはクライオトラップとコントローラから構成される真空排気システムは、半導体製造装置に代表される真空処理装置に多く利用されている。特に、半導体製造用の真空処理装置は、多数の真空室がバルブで仕切られた構造が一般的で、これら多数の真空室には、それぞれ一台のクライオポンプもしくはクライオトラップが搭載される。このため、装置１台あたりでは、数台から十数台のクライオポンプもしくはクライオトラップを搭載することになる。
【０００３】
クライオポンプもしくはクライオトラップには、冷凍機のほかに内部の温度を測定するための温度センサ、内部空間の圧力を測定するための圧力センサが取り付けてあり、それぞれに対しての電力供給やセンサの出力値を読み取るためのケーブルが必要である。
【０００４】
また、クライオポンプもしくはクライオトラップは、溜め込み式の真空ポンプである。このため、溜め込んだガスを放出させるいわゆる再生が必要であり、また再生後、粗引きポンプで一旦ある程度の圧力まで粗引きしないと、真空排気可能な温度まで冷却させられない性質を持っている。そのため、クライオポンプには、再生時にパージガスを内部に導入するためのパージ弁、そして粗引きを行う際の粗引き弁、必要に応じて再生で気化したガスを外部へ放出させるための放出弁といった複数の弁が取り付けられている。そして、これら弁を開閉させるためのケーブルが必要である。
【０００５】
また、クライオポンプもしくはクライオトラップには、再生時間を短縮するために内部にヒータを取り付けることも行われ、この場合、ヒータへ電力を供給するためのケーブルも必要となる。
【０００６】
これら配線は、クライオポンプもしくはクライオトラップとコントローラ間で真空処理装置の中を引き回されて接続される。この様子を図１１および図１２に示す。
【０００７】
図１１に示すクライオポンプ装置は、１台のクライオポンプ２ａと、これを制御するコントローラ１とから構成されている。
【０００８】
クライオポンプ２ａには、温度センサ３と、ヒータ４と、圧力センサ５と、パージガス供給配管に接続されるパージ弁６と、粗引きポンプ１７に通じる配管に接続される粗引き弁７と、冷凍機９とが組み込まれている。また、クライオポンプ２ａ内部の気体もしくは液体を外部に放出するための放出弁８が組み込まれている。
【０００９】
クライオポンプ２ａとコントローラ１との間には、次のような各ケーブル１０〜１６が接続されている。すなわち、温度センサ３により温度を測定するための温度センサケーブル１０と、ヒータ４に電力を供給するためのヒータケーブル１１と、圧力センサ５により圧力を測定するための圧力センサケーブル１２とが接続されている。また、パージ弁６を開閉させるためのパージ弁開閉用ケーブル１３と、粗引き弁７を開閉させるための粗引き弁開閉用ケーブル１４とが接続されている。さらに、放出弁８を開閉させるための放出弁開閉用ケーブル１５と、冷凍機９を駆動するための冷凍機駆動用ケーブル１６とが接続されている。このうち、粗引き弁７に接続された粗引き配管には、粗引きポンプ１７が接続されている。
【００１０】
図１２に示すクライオポンプ装置は、２台のクライオポンプ２ａ、２ｂと、これを制御するコントローラ１とから構成されている。２台のクライオポンプ２ａ、２ｂの構成は上記と同様であり、それぞれ上記と同様の各ケーブル１０〜１６がコントローラ１に接続されている。
【００１１】
なお、上記のクライオポンプ装置及びその運転方法に関しては、例えば特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開２００１−３１７４５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記複数台のクライオポンプとコントローラから構成されるクライオポンプ装置を搭載する真空処理装置は、大型で複雑な構造であることが多い。また、クライオポンプとコントローラがかなり離れた場所に設置されることもあり、配線は困難となる。
【００１３】
配線は、通常、誤接続のないよう両端に配線名称を記載し配線図に従って行われるが、膨大な本数の似通った形状の配線を行う際には配線ミスが生じることもある。
【００１４】
配線作業後、本クライオポンプ装置を起動させるが、複数台のクライオポンプを同時に起動させた場合、配線ミスが見つからないままクライオポンプを立ち上げてしまうことがある。そうすると、その後の再生時に正常な制御を行うことができずに機器を損傷させてしまう恐れがある。
【００１５】
図１２のように２台のクライオポンプ２ａ、２ｂ間で温度センサケーブル１０が入れ違いになっている場合を考える。このとき、これらクライオポンプ２ａ、２ｂを同時に起動させた時に、２台のクライオポンプ２ａ、２ｂの温度変化等に大きな違いがなかった場合には、誤配線に気付かないまま稼動を続けることになる。この後、温度センサ３の配線が逆であることに気付かないまま、たとえば２台のクライオポンプ２ａ、２ｂのうち１台のみをヒータ４等の加熱手段を用いて再生を行う。そうすると、再生したクライオポンプの実際の温度は上昇しているにも関わらず、温度測定は温度の低いクライオポンプに対して行われる。このため、コントローラ１が検知する温度は低いままとなる。この状態が長時間続くと、加熱手段を用いて再生されているクライオポンプは、過昇温となり損傷を受ける恐れがある。
【００１６】
その他、配線ミスがあった場合でも、意図しないタイミングで弁が開いてしまったり、クライオポンプが再生動作に入ってしまったり、また停止してしまったり等、支障をきたす可能性がある。
【００１７】
上記の事情は、クライオポンプを用いた場合であるが、クライオトラップを用いた場合もこれと同様である。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、上記課題を解決するもので、複数台のクライオポンプとコントローラとを有するクライオポンプ装置の誤配線を見つけ出すことで、誤配線から生じる故障や誤動作等を未然に防ぐことを目的とする。
【００１９】
上記の目的を達成する本発明に係るクライオポンプ装置は、冷凍機を駆動させることにより、気体の凝縮及び吸着作用を利用して被排気対象である容器内の気体を排気する複数のクライオポンプと、当該複数のクライオポンプと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラとを有するクライオポンプ装置であって、
前記複数のクライオポンプのそれぞれにおいて、クライオポンプ内における温度を検出する温度センサ及び圧力を検出する圧力センサの少なくともいずれか一方を有する検出手段と、
前記複数のクライオポンプのそれぞれに設けられ、クライオポンプ内の温度または圧力を制御するための被制御機器を動作させて、前記複数のクライオポンプのうち、当該被制御機器を動作させたクライオポンプにおいて、温度または圧力の変化が基準となる時間内に生じたことを、前記検出手段が検知した場合、前記コントローラと前記クライオポンプとの間に前記被制御機器を接続するための被制御機器用ケーブル、および、前記温度センサおよび前記圧力センサの少なくともいずれか一方を接続するためのセンサ用ケーブルが正しく接続されていることを確認する判定手段と、
前記判定手段の確認の結果を、前記クライオポンプ装置の操作者が認知できるように表示する表示手段と、
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、複数台のクライオポンプとコントローラとを有するクライオポンプ装置の誤配線を見つけ出すことで、誤配線から生じる故障や誤動作等を未然に防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施例に係るクライオポンプ装置及びその動作方法について、図面を参照して詳細に説明する。本実施例では、冷凍機を駆動させることにより、気体の凝縮及び吸着作用を利用して被排気対象である容器内の気体を排気するクライオポンプと、そのクライオポンプと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラとを有するクライオポンプ装置に適用している。しかしながら、本発明はこれに限定されず、クライオトラップとそのクライオトラップと接続して運転及び排気性能を制御するコントローラとを有する真空排気システムに適用してもよい。なお、従来例のクライオポンプ装置と同様の構成については、同様の符号を付しその説明を簡略又は省略する。
【００２２】
図１は、本実施例に基づく複数台のクライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃとこれらと接続してその運転及び排気性能を制御するコントローラ１とを有するクライオポンプ装置の接続図である。このクライオポンプ装置は、クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内に、温度及び圧力の少なくとも一方を検出する検出手段（温度センサ及び圧力センサ）を具備する。コントローラ１は、その検出手段によりクライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内の温度及び圧力の少なくともいずれか一方の変化を検知することで、コントローラ１と所定のクライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃとの間の接続状態を判定する。以下、その詳細を説明する。また、コントローラ１は、上述の判定結果から、所定のクライオポンプに関して推定される異常箇所を表示装置１００に表示することが可能である。
【００２３】
各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃには、温度センサ３と、ヒータ４と、圧力センサ５と、パージガス供給配管に接続されるパージ弁６と、粗引きポンプ１７に通じる配管に接続される粗引き弁７と、冷凍機９とが組み込まれている。このうち、温度センサ３と圧力センサ５が、検出手段を構成している。また、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内（真空ポンプ内）の気体もしくは液体を外部に放出するための放出弁８が組み込まれている。
【００２４】
各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃとコントローラ１との間には、次のような各ケーブル１０〜１６が接続されている。すなわち、温度センサ３により温度を測定するための温度センサケーブル１０と、ヒータ４に電力を供給するためのヒータケーブル１１と、圧力センサ５により圧力を測定するための圧力センサケーブル１２とが接続されている。また、パージ弁を開閉させるためのパージ弁開閉用ケーブル１３と、粗引きポンプ１７に接続された粗引き弁７を開閉させるための粗引き弁開閉用ケーブル１４とが接続されている。さらに、放出弁８を開閉させるための放出弁開閉用ケーブル１５と、冷凍機９を駆動するための冷凍機駆動用ケーブル１６とが接続されている。このうち、粗引き弁７に接続された粗引き配管には、粗引きポンプ１７が接続されている。これらの構成は、前述した図１１及び図１２の構成と同様である。
【００２５】
すなわち、コントローラ１は、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内部の温度センサ３との間で温度センサケーブル１０を介して、またヒータ４との間でヒータケーブル１１を介して、それぞれ接続されている。また、コントローラ１は、圧力センサ５との間で圧力センサケーブル１２を介して、またパージ弁６との間でパージ弁開閉用ケーブル１３を介して、さらに粗引き弁７との間で粗引き弁開閉用ケーブル１４を介して、それぞれ接続されている。さらに、コントローラ１は、放出弁８との間で放出弁開閉用ケーブル１５を介して、また冷凍機９ととの間で冷凍機駆動用ケーブル１６を介して、それぞれ接続されている。
【００２６】
温度センサ３は、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内部の温度を測定し、その温度測定値を、温度センサケーブル１０を介してコントローラ１に供給する。これにより、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内部の温度がコントローラ１によりモニタ可能となっている。
【００２７】
ヒータ４は、ヒータケーブル１１を介して通電されることで、ヒータ４のＯＮ／ＯＦＦ動作がコントローラ１により電気的に制御可能となっている。
【００２８】
圧力センサ５は、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内部の圧力を測定し、その圧力測定値を、圧力センサケーブル１２を介してコントローラ１に供給する。これにより、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃ内部の圧力がコントローラ１によりモニタ可能となっている。
【００２９】
パージ弁６は、パージ弁開閉用ケーブル１３を介してコントローラ１からの制御信号を入力する。これにより、パージ弁６の弁開閉動作（ＯＮ／ＯＦＦ動作）がコントローラ１により電気的に制御可能となっている。
【００３０】
粗引き弁７は、粗引き弁開閉用ケーブル１４を介してコントローラ１からの制御信号を入力する。これにより、粗引き弁７の弁開閉動作（ＯＮ／ＯＦＦ動作）がコントローラ１により電気的に制御可能となっている。
【００３１】
放出弁８は、放出弁開閉用ケーブル１５を介してコントローラ１からの制御信号を入力する。これにより、放出弁８の弁開閉動作（ＯＮ／ＯＦＦ動作）がコントローラ１により電気的に制御可能となっている。
【００３２】
冷凍機９は、冷凍機駆動用ケーブル１６を介して通電されることで、冷凍機９の冷却動作がコントローラ１により電気的に制御可能となっている。
【００３３】
以上の構成のうち、ヒータ４、パージ弁６、粗引き弁７、放出弁８、冷凍機９が本発明のコントローラにより動作が制御される被制御機器に対応し、温度センサ３、圧力センサ５が本発明の検出手段に対応する。また、ヒータケーブル１１、パージ弁開閉用ケーブル１３、粗引き弁開閉用ケーブル１４、放出弁開閉用ケーブル１５、冷凍機駆動用ケーブル１６が被制御機器用ケーブルに対応する。さらに、温度センサケーブル１０、圧力センサケーブル１２が本発明のセンサ用ケーブルに対応する。
【００３４】
本実施例では、コントローラ１には、複数台のクライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃとの間に誤配線の無いことを確認するための制御プログラムが予めインストールされている。そして、コントローラ１は、クライオポンプ装置の設置時やその改造時等、接続を変更した際に、制御プログラムを実行することにより、各ケーブル１０〜１６が入れ違いなくまた不足なく接続されていることを確認する機能を実現する。その確認結果は、操作者が認知できるように図示しない表示装置等の出力装置に供給可能となっている。
【００３５】
次に、図２〜図１０を参照して、本実施例の動作について説明する。なお、以下の説明では、便宜上、複数台のクライオポンプ２ａ、２ｂ、・・・、２ｃとして、３台のクライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃを対象として説明する。
【００３６】
図２〜図９は、コントローラ１により上記３台のクライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃとの間の各ケーブル１０〜１６の接続状態を判定する（誤配線等のないことを確認する）動作方法の一例を示すフローチャートである。図示のフローチャートで示される接続状態を判定するための制御プログラム（動作プログラム）は、コントローラ１内部のメモリ（ＲＯＭ：Read Only Memory等）に予め格納されている。
【００３７】
図１０は、コントローラ１の上記動作で検出可能な複数（同図の例では７つ）の異常ステータスＡ１〜Ａ７（後述参照）の検出結果（ＯＮ状態）から異常個所を推測するための異常ステータス表を示す図である。同図に示す異常ステータス表は、コントローラ１内部のメモリ（ＲＡＭ：Random Access Memory等）に書き換え可能に記憶される。コントローラ１は、判定手段として機能し、クライオポンプ内の温度及び圧力の少なくともいずれか一方の変化を検出手段を構成するセンサの検知結果に基づき検知することで、コントローラと所定のクライオポンプとの間の接続状態を判定する。コントローラ１は、表示制御手段として機能し、上述の判定結果から、所定のクライオポンプに関して推定される異常箇所を表示装置１００に表示することが可能である。
【００３８】
まず、図２において、コントローラ１は、制御プログラムの実行を開始すると、クライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃの温度センサ３の温度および圧力センサ５の圧力をモニタする（ステップＳ１）。そして、クライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃの順にそれぞれ接続状態を判定する動作を実施していく（ステップＳ２〜Ｓ４）。
【００３９】
以下、図３〜図９を参照して、クライオポンプ２ａの動作について説明するが、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃについても同様の動作が行われる。
【００４０】
図３において、コントローラ１は、上記の接続状態を判定する制御プログラムの実行を開始し、クライオポンプ２ａの動作を開始する。この開始に際し、コントローラ１は、まず、温度センサケーブル１０を介してクライオポンプ２ａの温度センサ３の温度を測定しながら、冷凍機駆動用ケーブル１６を介してクライオポンプ２ａの冷凍機９をＯＮにして、冷却運転を開始する（ステップＳ１１）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００４１】
次いで、コントローラ１は、予め設定された基準値となるタイマー時間ｔ１内にクライオポンプ２ａのみの温度が予め設定された基準値となる温度差ΔＴ１下がるかどうか確認する（ステップＳ１２）。ここで、タイマー時間ｔ１及び温度差ΔＴ１は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００４２】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサケーブル１０と冷凍機駆動用ケーブル１６とは正しく接続されていると判断し（ステップＳ１３）、クライオポンプ２ａの冷凍機９をＯＦＦにして、冷却運転を停止する（ステップＳ１４）。
【００４３】
一方、ＮＯの場合は、タイマー時間ｔ１内にクライオポンプ２ａの温度がΔＴ１下がらない、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの温度がΔＴ１下がっている（ステップＳ１５）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサケーブル１０か冷凍機駆動用ケーブル１６に誤配線が有ると判断する（ステップＳ１６）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ１をＯＮ状態にし（ステップＳ１７）、上記ステップＳ１４に移行する。
【００４４】
このようにして、コントローラ１によりクライオポンプ２ａの温度センサ３に検知される温度が下がっていくことを監視することで、温度センサケーブル１０と冷凍機駆動用ケーブル１６とが同一のクライオポンプ２ａに接続されていることが確認できる。
【００４５】
次に、図４において、コントローラ１は、圧力センサケーブル１２を介してクライオポンプ２ａに取り付けられた圧力センサ５の圧力を測定しながら粗引き弁開閉用ケーブル１４に接続された粗引き弁７をＯＮにして開ける（ステップＳ２１）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００４６】
次いで、コントローラ１は、予め設定された基準値となるタイマー時間ｔ２内にクライオポンプ２ａのみの圧力が予め設定された基準値となる圧力差ΔＰ１下がるかどうか確認する（ステップＳ２２）。ここで、タイマー時間ｔ２及び圧力差ΔＰ１は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００４７】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２と粗引き弁開閉用ケーブル１４は正しく接続されており、粗引き弁７が正常に動作し、粗引きポンプ１７が正常に動作していると判断する（ステップＳ２３）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの粗引き弁７をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ２４）。
【００４８】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ２内にクライオポンプ２ａの圧力がΔＰ１下がらない、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの圧力がΔＰ１下がっている（ステップＳ２５）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２か粗引き弁開閉用ケーブル１４に誤配線が有るか、粗引き弁７が故障しているか、または粗引きポンプ１７が正常に動作していないと判断する（ステップＳ２６）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ２をＯＮ状態にし（ステップＳ２７）、上記ステップＳ２４に移行する。
【００４９】
このようにして、コントローラ１により所定時間内に圧力センサ５の圧力が下がっていくこと（圧力降下）を監視することで、次のことを確認できる。すなわち、圧力センサケーブル１２と粗引き弁開閉用ケーブル１４が同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、粗引き弁７が正常に動作すること、また粗引きポンプ１７が正常に動作していることが確認できる。
【００５０】
次に、図５において、コントローラ１は、粗引き弁７を閉じた後、圧力センサケーブル１２を介しクライオポンプ２ａに取り付けられた圧力センサ５の圧力を測定しながらパージ弁開閉用ケーブル１３に接続されたパージ弁６をＯＮにして開ける（ステップＳ３１）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００５１】
次いで、コントローラ１は、予め設定された基準値となるタイマー時間ｔ３内にクライオポンプ２ａのみの圧力が予め設定された基準値となる圧力差ΔＰ２上がるかどうか確認する（ステップＳ３２）。ここで、タイマー時間ｔ３及び圧力差ΔＰ２は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００５２】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２とパージ弁開閉用ケーブル１３は正しく接続されており、パージ弁６が正常に動作し、パージ弁６の一次側にパージガスが供給されていると判断する（ステップＳ３３）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａのパージ弁６をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ３４）。
【００５３】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ３内にクライオポンプ２ａの圧力がΔＰ２上がらない、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの圧力がΔＰ２上がっている（ステップＳ３５）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２かパージ弁開閉用ケーブル１３に誤配線が有るか、パージ弁６が故障しているか、またはパージ弁６の一次側にパージガスが供給されていないと判断する（ステップＳ３６）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ３をＯＮ状態にし（ステップＳ３７）、上記のステップＳ３４に移行する。
【００５４】
このようにして、コントローラ１により所定時間内に圧力センサ５の圧力が上がっていくこと（圧力上昇）を監視することで、次のことを確認できる。すなわち、圧力センサケーブル１２とパージ弁開閉用ケーブル１３が同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、パージ弁６が正常に動作すること、またパージ弁６の一次側にパージガスが供給されていることが確認できる。
【００５５】
次に、図６において、コントローラ１は、クライオポンプ２ａに放出弁８が取り付けられている場合は、パージ弁６をＯＮにして開け、クライオポンプ２ａ内を十分パージした後、パージ弁６をＯＦＦにして閉じる。そして、コントローラ１は、圧力センサケーブル１２を介してクライオポンプ２ａに取り付けられた圧力センサ５の圧力を測定しながら放出弁開閉用ケーブル１５に接続された放出弁８をＯＮにして開ける（ステップＳ４１）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００５６】
次いで、コントローラ１は、予め設定されたタイマー時間ｔ４内にクライオポンプ２ａのみの圧力が予め設定された圧力差ΔＰ３下がるかどうか確認する（ステップＳ４２）。ここで、タイマー時間ｔ４及び圧力差ΔＰ３は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００５７】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２と放出弁開閉用ケーブル１５は正しく接続されており、放出弁８が正常に動作し、放出弁８の二次側が大気圧以下になっていると判断する（ステップＳ４３）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの放出弁８をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ４４）。
【００５８】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ４内にクライオポンプ２ａの圧力がΔＰ３下がらない、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの圧力がΔＰ３下がっている（ステップＳ４５）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの圧力センサケーブル１２か放出弁開閉用ケーブル１５に誤配線が有るか、放出弁８が故障しているか、または放出弁８の二次側が大気圧以下になっていないと判断する（ステップＳ４６）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ４をＯＮ状態にし（ステップＳ４７）、上記ステップＳ４４に移行する。
【００５９】
このようにして、コントローラ１により圧力センサ５の圧力が下がることを監視することで、次のことを確認できる。すなわち、圧力センサケーブル１２と放出弁開閉用ケーブル１５が同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、放出弁８が正常に動作すること、また放出弁８の二次側が大気圧以下であることが確認できる。
【００６０】
次に、図７において、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの運転を停止して、温度センサケーブル１０を介してクライオポンプ２ａの温度センサ３の温度を測定しながら、ヒータケーブル１１を介してヒータ４をＯＮにして通電させる（ステップＳ５１）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００６１】
次いで、コントローラ１は、予め設定されたタイマー時間ｔ５内にクライオポンプ２ａのみの温度が予め設定された温度差ΔＴ２上がるかどうか確認する（ステップＳ５２）。ここで、タイマー時間ｔ５及び温度差ΔＴ２は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００６２】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサケーブル１０とヒータケーブル１１は正しく接続されており、ヒータ４が正常に動作していると判断する（ステップＳ５３）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａのヒータ４をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ５４）。
【００６３】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ５内にクライオポンプ２ａの温度がΔＴ２上がらない、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの圧力がΔＴ２上がっている（ステップＳ５５）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサケーブル１０かヒータケーブル１１に誤配線が有るか、ヒータ４が故障していると判断する（ステップＳ５６）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ５をＯＮ状態にし（ステップＳ５７）、上記ステップＳ４４に移行する。
【００６４】
このようにして、コントローラ１により温度センサ３の測定値が上昇することを監視することで、温度センサケーブル１０とヒータケーブル１１が同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、ヒータ４が正常に動作することを確認できる。
【００６５】
次に、図８において、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの内部温度を本クライオポンプ装置が設置されている環境温度に対し予め設定された温度差ΔＴ３を生じさせる（ステップＳ６１）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサ３の温度を測定しながら粗引き弁７をＯＮにして開ける（ステップＳ６２）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００６６】
次いで、コントローラ１は、予め設定されたタイマー時間ｔ６内にクライオポンプ２ａの温度変化が予め設定された温度差ΔＴ４以下かどうか確認する（ステップＳ６３）。ここで、タイマー時間ｔ６及び温度差ΔＴ４は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００６７】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの粗引き弁開閉用ケーブル１４と温度センサケーブル１０とは正しく接続されており、粗引き弁７が正常に動作し、粗引きポンプ１７が正常に動作していると判断する（ステップＳ６４）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの粗引き弁７をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ６５）。
【００６８】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ６内にクライオポンプ２ａの温度変化がΔＴ４より大きい、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの温度変化がΔＴ４以下となっている（ステップＳ６６）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの粗引き弁開閉用ケーブル１４か温度センサケーブル１０に誤配線が有るか、粗引き弁７または粗引きポンプ１７が故障していると判断する（ステップＳ６７）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ６をＯＮ状態にし（ステップＳ６８）、上記ステップＳ６５に移行する。
【００６９】
このようにして、コントローラ１によりその後の温度変化が早いもしくは遅いことを監視することで、次のことを確認できる。すなわち、粗引き弁開閉用ケーブル１４と温度センサケーブル１０とが同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、粗引き弁７が正常に動作することと、粗引き弁７が接続されている粗引きポンプ１７が正常に動作していることを再確認できる。
【００７０】
次に、図９において、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの内部温度を本クライオポンプ装置が設置されている環境温度に対し予め設定された温度差ΔＴ３を生じさせる（ステップＳ７１）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａの温度センサ３の温度を測定しながらパージ弁６をＯＮにして開ける（ステップＳ７２）。このとき、コントローラ１は、他のクライオポンプ２ｂ、２ｃに対し同様の動作をさせない。
【００７１】
次いで、コントローラ１は、予め設定されたタイマー時間ｔ７内にクライオポンプ２ａの温度変化が予め設定された温度差ΔＴ５以上かどうか確認する（ステップＳ７３）。ここで、タイマー時間ｔ７及び温度差ΔＴ５は、例えばコントローラ１内部のメモリに予め記憶されている。
【００７２】
その結果、ＹＥＳの場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａのパージ弁開閉用ケーブル１３と温度センサケーブル１０とは正しく接続されており、パージ弁６が正常に動作し、パージ弁６の一次側にパージガスが供給されていると判断する（ステップＳ７４）。そして、コントローラ１は、クライオポンプ２ａのパージ弁６をＯＦＦにして閉じる（ステップＳ７５）。
【００７３】
一方、ＮＯの場合、タイマー時間ｔ７内にクライオポンプ２ａの温度変化がΔＴ５より小さい、あるいは他のクライオポンプ２ｂ、２ｃの温度変化がΔＴ５以上となっている（ステップＳ７６）。この場合、コントローラ１は、クライオポンプ２ａのパージ弁開閉用ケーブル１３か温度センサケーブル１０に誤配線が有るか、パージ弁６が故障しているか、またはパージ弁６の一次側にパージガスが供給されていないと判断する（ステップＳ７７）。そして、コントローラ１は、図１０に示す異常ステータス表のクライオポンプ２ａに対応する異常ステータスＡ７をＯＮ状態にし（ステップＳ７８）、上記ステップＳ７５に移行する。
【００７４】
このようにして、コントローラ１によりその後の温度変化が早いもしくは遅いことを監視することで、次のことを確認できる。すなわち、パージ弁開閉用ケーブル１３と温度センサケーブル１０とが同一のクライオポンプ２ａに接続されていることと、パージ弁６が正常に動作することと、パージ弁６の一次側にパージガスが供給されていることを再確認できる。
【００７５】
図２に戻り説明を続けると、上記動作をクライオポンプ装置に搭載されたコントローラ１から各クライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃに対して重複することなく行う（ステップＳ２〜Ｓ４）。その後、コントローラ１は、得られた異常ステータス表に基づいて異常を判別する（ステップＳ５）。
【００７６】
図１０は、以上の動作で得られた各クライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃの異常ステータスＡ１〜Ａ７の検出状態（有り：ＯＮ、無し：−）と、それらの組み合わせパターンＮｏ．１〜Ｎｏ．１９から推測される異常箇所を示す。以下、その内容を順次説明する。
【００７７】
Ｎｏ．１の場合は、各クライオポンプ２ａ、２ｂ、２ｃの異常ステータスＡ１〜Ａ７は検出されていないため、システム全体で異常無しと推測される。
【００７８】
Ｎｏ．２の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ１が検出されているため、クライオポンプ２ａの温度センサ３か、温度センサケーブル１０か、冷凍機駆動用ケーブル１６の異常が推測される。
【００７９】
Ｎｏ．３の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ１が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの温度センサケーブル１０か冷凍機駆動用ケーブル１６の誤配線が推測される。
【００８０】
Ｎｏ．４の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ２が検出されているため、クライオポンプ２ａの圧力センサ５か、圧力センサケーブル１２か、粗引き弁開閉用ケーブル１４か、粗引き弁７の異常が推測される。
【００８１】
Ｎｏ．５の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ２が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの圧力センサケーブル１２か、粗引き弁開閉用ケーブル１４の誤配線が推測される。
【００８２】
Ｎｏ．６の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂとクライオポンプ２ｃの異常ステータスＡ２が検出されているため、粗引きポンプ１７の故障が推測される。
【００８３】
Ｎｏ．７の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ３が検出されているため、クライオポンプ２ａの圧力センサ５か、圧力センサケーブル１２か、パージ弁開閉用ケーブル１３か、パージ弁６の異常が推測される。
【００８４】
Ｎｏ．８の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ３が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの圧力センサケーブル１２か、パージ弁開閉用ケーブル１３の誤配線が推測される。
【００８５】
Ｎｏ．９の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂとクライオポンプ２ｃの異常ステータスＡ３が検出されているため、パージ弁６の一次側にパージガスが供給されていないことが推測される。
【００８６】
Ｎｏ．１０の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ４が検出されているため、クライオポンプ２ａの圧力センサ５か、圧力センサケーブル１２か、放出弁開閉用ケーブル１５か、放出弁８の異常が推測される。
【００８７】
Ｎｏ．１１の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ４が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの圧力センサケーブル１２か、放出弁開閉用ケーブル１５の誤配線が推測される。
【００８８】
Ｎｏ．１２の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂとクライオポンプ２ｃの異常ステータスＡ４が検出されているため、放出弁８の二次側が大気圧以下になっていないことが推測される。
【００８９】
Ｎｏ．１３の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ５が検出されているため、クライオポンプ２ａのヒータ４か、ヒータケーブル１１か、温度センサ３か、温度センサケーブル１０の異常が推測される。
【００９０】
Ｎｏ．１４の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ５が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂのヒータケーブル１１か、温度センサケーブル１０の誤配線が推測される。
【００９１】
Ｎｏ．１５の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ６が検出されているため、クライオポンプ２ａの温度センサ３か、温度センサケーブル１０か、粗引き弁開閉用ケーブル１４か、粗引き弁７の異常が推測される。
【００９２】
Ｎｏ．１６の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ６が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの温度センサケーブル１０か、粗引き弁開閉用ケーブル１４かの誤配線が推測される。
【００９３】
Ｎｏ．１７の場合は、クライオポンプ２ａの異常ステータスＡ７が検出されているため、クライオポンプ２ａの温度センサ３か、温度センサケーブル１０か、パージ弁開閉用ケーブル１３か、パージ弁６の異常が推測される。
【００９４】
Ｎｏ．１８の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの異常ステータスＡ７が検出されているため、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂの温度センサケーブル１０か、パージ弁開閉用ケーブル１３の誤配線が推測される。
【００９５】
Ｎｏ．１９の場合は、クライオポンプ２ａとクライオポンプ２ｂとクライオポンプ２ｃの異常ステータスＡ７が検出されているため、パージ弁６の一次側にパージガスが供給されていないことが推測される。
【００９６】
従って、上記の異常ステータス表を用いると、どの異常ステータスがＯＮ状態にあるかによって、どことどこが誤配線か、あるいは誤配線か故障か等、どのような異常が生じたのかをコントローラ１により絞り込むことが可能になる。これにより、複数台のクライオポンプとコントローラから構成されるクライオポンプ装置の誤配線や機器の異常の有無を判断し、各クライオポンプの動作不良や故障を未然に防ぐことができる。
【００９７】
なお、上記の異常ステータスＡ１〜Ａ７及びその組み合わせのパターンＮｏ．１〜Ｎｏ．１９はあくまで一例であり、実際に使用するクライオポンプ装置の機器構成等によって、適宜変更してもよい。
【００９８】
また、本実施例では、コントローラ１が各ケーブル１０〜１６の誤配線のほか、これらに接続された被制御機器の異常の有無を判別可能な構成としているが、本発明は必ずしもこれに限定されるものではない。要するに、検出手段によりクライオポンプ内の温度及び圧力の少なくとも一方の変化を検知することにより、複数台のクライオポンプとコントローラとの間の接続状態を判定できるものではあれば、いずれの構成でも適用可能である。
【００９９】
また、コントローラは、次のような機能を有してもよい。
【０１００】
まず、コントローラは、１台のクライオポンプの冷凍機を運転し、これの内部温度をクライオポンプ装置が設置されている環境温度に対し差を生じさせる。この後に、コントローラは粗引き弁もしくはパージ弁を開ける。そして、コントローラは、粗引き弁を開けたときには、その後の温度変化が遅く、パージ弁を開けたときには、その後の温度変化が早いことを検知する。こうすることで、コントローラは、粗引き弁開閉用ケーブルもしくはパージ弁開閉用ケーブルと温度センサケーブルとが同一のクライオポンプに接続されていることを確認する。そして、冷凍機駆動用ケーブルおよび温度センサケーブルと、粗引き弁開閉用ケーブルとパージ弁開閉用ケーブルと圧力センサケーブルとが、全て同一のクライオポンプに接続されていることを確認する。これを複数台のクライオポンプとの間で１台毎に行う。こうすることにより、コントローラは、複数台のクライオポンプとの間の、冷凍機駆動用ケーブルと、温度センサケーブルと、粗引き弁開閉用ケーブルと、パージ弁開閉用ケーブルと、圧力センサケーブルとが入れ違いなく接続されていることを確認する。
【０１０１】
あるいは、コントローラは、次のような機能を有してもよい。
【０１０２】
まず、コントローラは、１台のクライオポンプのヒータを発熱させ、これらの内部温度が、クライオポンプ装置が設置されている環境温度に対し高くなる状態を生じさせる。この時に、コントローラは、粗引き弁もしくはパージ弁を開け、粗引き弁を開けたときには、その後の温度降下が遅く、パージ弁を開けたときには、その後の温度降下が早いことを検知する。こうすることで、コントローラは、粗引き弁開閉用ケーブルもしくはパージ弁開閉用ケーブルと温度センサケーブルが同一のクライオポンプに接続されていることを確認する。そして、コントローラは、冷凍機駆動用ケーブルおよびヒータケーブルと温度センサケーブルと、パージ弁開閉用ケーブルと圧力センサケーブルとが、全て同一のクライオポンプに接続されていることを確認する。これを複数台のクライオポンプとの間で１台毎に行う。こうすることにより、コントローラは、複数台のクライオポンプとの間の、冷凍機駆動用ケーブルと、温度センサケーブルと、粗引き弁開閉用ケーブルと、パージ弁開閉用ケーブルと、圧力センサケーブルとが入れ違いなく接続されていることを確認する。
【０１０３】
以上説明したように、本発明は、複数台のクライオポンプとコントローラとを有するクライオポンプ装置及びその動作方法に利用可能である。また、本発明は、クライオトラップとコントローラとを有する真空排気システム及びその動作方法に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の実施例に係る複数台のクライオポンプとコントローラとで構成されるクライオポンプ装置の接続図である。
【図２】図１に示すコントローラによりクライオポンプとの間の接続状態を判定する動作を示すフローチャートである。
【図３】図２に続いてコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図４】図３に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図５】図４に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図６】図５に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図７】図６に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図８】図７に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図９】図８に続くコントローラの動作を示すフローチャートである。
【図１０】図２〜図９に示すコントローラの動作で得られる異常ステータスを説明する図である。
【図１１】従来例の１台のクライオポンプとコントローラとで構成されるクライオポンプ装置の接続図である。
【図１２】従来例の２台のクライオポンプとコントローラとで構成されるクライオポンプ装置の接続図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１    コントローラ
２ａ  クライオポンプ
２ｂ  クライオポンプ
２ｃ  クライオポンプ
３    温度センサ  
４    ヒータ
５    圧力センサ
６    パージ弁
７    粗引き弁
８    放出弁
９    冷凍機
１００  表示装置
【図１】
0004791520.tif 000002
【図２】
0004791520.tif 000003
【図３】
0004791520.tif 000004
【図４】
0004791520.tif 000005
【図５】
0004791520.tif 000006
【図６】
0004791520.tif 000007
【図７】
0004791520.tif 000008
【図８】
0004791520.tif 000009
【図９】
0004791520.tif 000010
【図１０】
0004791520.tif 000011
【図１１】
0004791520.tif 000012
【図１２】
0004791520.tif 000013