(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂成形体の表面に膜厚が５〜２０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性樹脂成形体であって、前記樹脂成形体の表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍ以下であり、フィルム状に成形された場合の全光線透過率が８２％以上であり、着色度（ｂ＊値）が３以下であることを特徴とするガスバリア性樹脂成形体。
【請求項２】
請求項１記載のガスバリア性樹脂成形体の製造方法であって、樹脂成形体の表面にプラズマエッチング処理を施すことにより表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下にする工程、次にプラズマＣＶＤ法により樹脂成形体の表面に膜厚が５〜２０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程からなるガスバリア性樹脂成形体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスバリア性樹脂成形体及びその製造方法に係り、詳しくはダイヤモンドライクカーボン膜が被覆されたガスバリア性樹脂成形体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば飲食品、医薬品及び化粧品等の収容容器として合成樹脂成形体が使用されている。かかる樹脂成形体は、金属成形体及びガラス成形体に比べ、透明性が高く、軽量で加工成形性が容易という長所がある一方、ガス透過性が高いという問題があった。そのため、例えば炭酸ガスが発生する飲料、酸素や水（水蒸気）との接触を嫌う医薬品・食品等においては容易に利用することはできなかった。その一方、単にプラスチック容器の厚みを厚くしたり、さらに金属皮膜を積層させる等の方法を用いることによりガスバリア性を高めようとすると上述した樹脂成形体の長所が失われるという問題があった。
【０００３】
したがって、従来より特許文献１，２に記載されるようなプラスチック容器の表面にダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎ、以下「ＤＬＣ」という）被膜を形成することによりガスバリア性を高めた樹脂成形体が知られている。ＤＬＣ被膜は例えば減圧条件下において炭素源ガス導入後、高周波印加することにより樹脂成形体の表面に被覆することができる。ＤＬＣ被膜は、ナノメートル単位の皮膜であるため樹脂成形体の重量を上げることなく且つガスバリア性を向上させることができた。
【特許文献１】特許第３５４５３０５号公報
【特許文献２】特開２００３−３２１０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＤＬＣ被膜は一般に茶色から黒色を呈するため、ＤＬＣ被膜の膜厚を厚くすると樹脂成形体の透明性が低下するという問題があった。その一方、ＤＬＣ被膜の膜厚を薄くしたのでは樹脂成形体のガスバリア性が低下してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、本発明者らの鋭意研究の結果、被覆対象である樹脂成形体の表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を所定値以下にしてＤＬＣ被膜を形成することによりガスバリア性を低下させることなく透明性が向上することを見出したことによりなされたものである。本発明の目的とするところは、ＤＬＣ被膜により被覆される樹脂成形体において、ガスバリア性を低下させることなく透明性を高めることができる樹脂成形体及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、請求項１記載の発明は、樹脂成形体の表面に膜厚が５〜２０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜が形成されたガスバリア性樹脂成形体であって、前記樹脂成形体の表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍ以下であり、フィルム状に成形された場合の全光線透過率が８２％以上であり、着色度（ｂ＊値）が３以下であることを特徴とする。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のガスバリア性樹脂成形体の製造方法であって、樹脂成形体の表面にプラズマエッチング処理を施すことにより表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下にする工程、次にプラズマＣＶＤ法により樹脂成形体の表面に膜厚が５〜２０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程からなる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ＤＬＣ被膜により被覆される樹脂成形体において、ガスバリア性を低下させることなく透明性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明のガスバリア性樹脂成形体を具体化したガスバリア性樹脂フィルムの一実施形態を詳細に説明する。
本実施形態のガスバリア性樹脂フィルム（以下、「樹脂フィルム」という）は、合成樹脂によりフィルム状に成形された基材と、その表面に所定厚みを有するＤＬＣ被膜が被覆された構成を有している。樹脂フィルムの樹脂材料としては、特に限定されず樹脂成形品に適用される公知の合成樹脂材料が適用される。具体的には、ポリエチレン樹脂（ＰＥ）、ポリプロピレン樹脂（ＰＰ）、ポリスチレン樹脂（ＰＳ）、シクロオレフィンコポリマ樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート樹脂（ＰＥＮ）、エチレン−ビニルアルコール共重合樹脂（ＥＶＯＨ）、ポリ−４−メチルペンテン−１ 樹脂、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、アクリロニトリル樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂（ＰＶＣ）、ポリ塩化ビニリデン樹脂（ＰＶＤＣ）、アクリロニトリル・スチレン樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（ＡＢＳ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリアミドイミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリカーボネート樹脂（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ）、アイオノマ樹脂、ポリスルホン樹脂及び４−フッ化エチレン樹脂（ＴＦＥ）等が挙げられる。これらのうちで、ＤＬＣ被膜との密着性及び成形性が良好であり、透明性が高く飲食品等の収容容器に好適に使用することができるポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）が好ましい。
【００１１】
樹脂フィルムは、上記合成樹脂材料を原料として公知の方法により製造することができる。合成樹脂フィルムは、未延伸でもよいが、機械強度を向上させるために好ましくは延伸フィルムが適用される。延伸倍率は、一方向に２〜１０倍が好ましく、二軸延伸が好ましい。フィルムの厚さは、目的・用途、機械強度、可撓性、透明性等の観点より適宜設定することができる。樹脂フィルムが、例えば飲食品、医薬品及び化粧品等の収容容器として使用される場合、厚みは好ましくは５〜５００μｍ、より好ましくは１０〜２００μｍの範囲に設定される。また、フィルムの幅や長さは特に制限はなく、適宜用途に応じて選択することができる。
【００１２】
樹脂フィルムの表面（ＤＬＣ被膜の被覆面）は、二乗平均粗さ（Ｒｍｓ（Ｒｑ）、「自乗平均平方根粗さ」ともいう）が３ｎｍ以下、好ましくは２ｎｍ以下、より好ましくは１．５ｎｍ以下になるように形成されている。二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍを超えるとガス透過度が増加するおそれがある。また、着色度（ｂ＊値）が上昇するとともに全光線透過率が低下するおそれがある。二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）の下限はガス透過度の低下、着色度（ｂ＊値）の低下及び全光線透過率の向上の観点より特に限定されないが、加工性、製造コストの観点より０．５ｎｍ以上が好ましく、１．０ｎｍ以上がより好ましい。
【００１３】
二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）は、通常市販されている原子間力顕微鏡（以下「ＡＦＭ」という。）により測定したＡＦＭ凹凸像を粗さ解析により求めた粗さ（Ｒｍｓ）の値である。ＡＦＭとしては、Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社、セイコー電子工業社 Ｔｏｐｏｍｅｔｒｉｘ社等から市販されている装置をそのまま使用することができる。この粗さＲｍｓの測定では、Ｑ．Ｚｏｎｇ，Ｄ．Ｉｎｎｉｓ，Ｋ．Ｋｊｏｌｌｅｒ ａｎｄ Ｖ．Ｂ．Ｅｌｉｎｇｓ、 Ｓｕｒｆ．Ｓｃｉ．Ｌｅｔｔｅｒ，（１９９３） Ｖｏｌ．２９０，ｐ６８８〜６９２に説明のある共振モードに相当する測定モードが採用される。例えば、Ｄｉｇｉｔａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製の装置ＮａｎｏＳｃｏｐｅ（ｃ）を使用した場合にはタッピングモードで、また、セイコー電子工業社製ＳＰＩ３８００Ｎを使用した場合にはダイナミックフォースモードで測定を実施することができる。
【００１４】
表面の粗さの測定では、フィルム表面を基準長さ（ｌ）１μｍ×１μｍの面積を測定したＡＦＭ凹凸像についてフラット処理を行った後、粗さ解析を行って粗さ（Ｒｍｓ）の値を求める。フラット処理とは、２次元データにつき、基準面に対して１次、２次又は３次元の関数で傾きの補正を処理することをいう。粗さ解析により求めた粗さ（Ｒｍｓ）は以下の式（１）により求めることができる。走査速度、１測定領域中の測定点数、傾斜補正は、表面状態を明確に測定できる条件を適宜選択することができる。例えば、走査速度０．１Ｈｚ、数式（１）において、Ｚｉ＝ｆ（ｘ，ｙ）で、ｘ，ｙの座標は０から５１１の５１２点ずつ、即ち、Ｎ＝５１２×５１２、約２５万点で、高さ（粗さ）の粗さ（Ｒｍｓ）を求めることができる。
【００１５】
【数１】
0004823747.tif 000002
樹脂フィルムにおける被コーティング面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下とする具体的な方法としては、プラズマエッチングにより表面処理を施すことにより可能となる。
【００１６】
プラズマエッチングの手法としては、真空中において希ガスを放電させてプラズマ状態にし、この時発生する ラジカル（反応種）とイオンを基材表面に衝突させることにより行うことができる。プラズマエッチング法は、通常基材表面の粗面化に用いられるが、その処理条件をコントロールすることにより平滑化も可能となる。プラズマエッチングに用いられる希ガスとしては、ヘリウム（Ｈｅ）、ネオン（Ｎｅ）、アルゴン（Ａｒ）が好ましい。
【００１７】
その他表面粗さ（Ｒｍｓ）の増大に起因する要因を取り除くことにより、表面粗さ（Ｒｍｓ）を低下させることができる。例えば、表面粗さ（Ｒｍｓ）を低下させる方法としては、樹脂フィルムに添加剤が配合されることにより表面粗さ（Ｒｍｓ）が増大する場合は、添加剤の配合量の低減等の方法が挙げられる。また、鏡面加工により表面粗さ（Ｒｍｓ）を低減させた金型を転写させることによっても表面粗さ（Ｒｍｓ）を低下させることができる。
【００１８】
樹脂フィルムは、二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍ以下になるように施された面にＤＬＣ被膜が被覆される。ＤＬＣ被膜は、炭素間のＳＰ３結合を主体としたアモルファな炭素膜で、高ガスバリア性、高硬度、高耐食性等の特性を有する硬質炭素膜である。ＤＬＣ被膜を樹脂フィルム上に形成する方法の一例として、プラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法が挙げられる。プラズマＣＶＤ法を用いたＤＬＣ被膜の形成は、市販のプラズマＣＶＤ装置を用いて行なうことが可能である。プラズマＣＶＤ装置を用いた具体的なＤＬＣ被膜の形成方法は、まず真空チャンバー内にプラスチック成形体をセットする。真空チャンバー内には二対の電極があり、片方に所定（例えば１３．５６ＭＨｚ）の高周波（ＲＦ）電源が接続され、もう一方はアースとなる。この真空チャンバー内を真空ポンプを用いて所定の圧力（例えば１〜５０Ｐａ）まで減圧し、ガス導入口から原料ガスを真空チャンバー内に導入する。高周波電力を印加することにより樹脂フィルム表面にプラズマを発生させガスバリア性薄膜を形成させる。尚、ＤＬＣ被膜の形成方法はこれに限定されるものではなく樹脂フィルムの種類・大きさ、厚み等に応じ公知の方法を適宜用いることができる。
【００１９】
また、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ被膜形成の際に使用される原料ガスとしては、アセチレン、エチレン、プロピレン等の不飽和炭化水素化合物、メタン、エタン、プロパン等の飽和炭化水素化合物、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族系炭化水素化合物等を挙げることができる。前記原料ガスは、前記各化合物を単独で用いてもよく、２種以上混合して用いてもよい。また、原料ガスをアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等の希ガスで希釈して使用してもよい。
【００２０】
樹脂フィルムに被覆されるＤＬＣ被膜の膜厚は、５〜２０ｎｍ、好ましくは１０〜１８ｎｍ、より好ましくは１３〜１７ｎｍである。ＤＬＣ被膜の膜厚が５ｎｍ未満であるとガス透過度の上昇を招くおそれがある。一方、ＤＬＣ被膜の膜厚が２０ｎｍを超えると着色度が上昇するとともに全光線透過率の低下を招くおそれがある。ＤＬＣ被膜の膜厚は、プラズマＣＶＤ法を使用する場合、出力、原料ガスの圧力・濃度、プラズマ発生時間等を調節することにより変化させることができる。
【００２１】
本実施形態の樹脂フィルムは、好ましくは全光線透過率が８２％以上に設定される。全光線透過率が８２％以上であると、ガスバリア性樹脂フィルムを飲食品、医薬品、化粧品等の収容容器に適用した場合に内容物の確認及び変色等を容易且つ正確に確認することができる。全光線透過率は樹脂フィルムを構成する合成樹脂材料、膜厚、樹脂フィルムの二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）、ＤＬＣ被膜の膜厚に依存する。例えば、厚み１００〜１５０μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルムを使用した場合、樹脂フィルムの二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下に規定するとともにＤＬＣ被膜の膜厚を５〜２０ｎｍとすることにより全光線透過率を８２％以上とすることができる。全光線透過率（％）は、ＪＩＳＫ７１０５に準じて分光光度計を用いて測定することができる。
【００２２】
本実施形態の樹脂フィルムは、好ましくは着色度（ｂ＊値）が３以下に設定される。着色度（ｂ＊値）は、ＪＩＳＺ８７３０の参考１に記載されるＬａｂ座標系におけるハンターの色座標ｂ値によって表わされ、市販の色差計によって測定することができる。着色度（ｂ＊値）はプラス値が大きいほど黄色が強くなることを示し、マイナス値が大きいほど青みが強くなることを示す。したがって、着色度（ｂ＊値）は０に近いことが好ましい。例えば、透明合成樹脂を原料として樹脂フィルムを成形した場合、着色度（ｂ＊値）が低いことはＤＬＣ被膜由来の着色が少ないことを示す。着色度（ｂ＊値）が３以下であると、ガスバリア性樹脂フィルムを飲食品、医薬品、化粧品等の収容容器に適用した場合に内容物の確認及び変色等を容易且つ正確に確認することができる。着色度（ｂ＊値）は樹脂フィルムを構成する合成樹脂材料、膜厚、樹脂フィルムの二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）、ＤＬＣ被膜の膜厚に依存する。例えば、厚み１００〜１５０μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルムを使用した場合、樹脂フィルムの二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下に規定するとともにＤＬＣ被膜の膜厚を５〜２０ｎｍとすることにより着色度（ｂ＊値）を３以下とすることができる。
【００２３】
本実施形態のガスバリア性樹脂フィルムによれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、樹脂フィルムについて表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）を３ｎｍ以下に形成するとともに、その表面に膜厚が５〜２０ｎｍのＤＬＣ膜を被覆することによりガスバリア性を付与した。したがって、ガスバリア性を維持した状態で樹脂フィルムの透明性を高めることができる。
【００２４】
また、ＤＬＣ被膜の膜厚が５〜２０ｎｍと薄いため、基材としての樹脂フィルムとの密着性が低下することがない。
（２）本実施形態では、ガスバリア性樹脂フィルムについて好ましくは全光線透過率が８２％以上である。また、好ましくは着色度（ｂ＊値）が３以下である。したがって、飲食品、医薬品、化粧品等の収容容器に適用した場合に内容物の確認及び変色等を容易且つ正確に確認することができる。
【００２５】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、ガスバリア性樹脂成形体を樹脂フェルムとして具体化した。しかしながら、ガスバリア性樹脂成形体の形状は特に限定されずフィルム・シート形状以外の成形体であってもよい。
【００２６】
・上記実施形態のガスバリア性樹脂フィルムの用途は、特に限定されず、ガスバリア性が要求される飲食品、医薬品及び化粧品等の収容容器等に適用することができる。
・上記実施形態では、本発明の効果を損なわない範囲において基材としての樹脂フィルムに添加剤として酸化防止剤、光安定剤、可塑剤、増感剤等を配合してもよい。
【実施例】
【００２７】
次に、実施例及び比較例を挙げて前記実施形態をさらに具体的に説明する。
（実施例１）
基材として厚さ約１２５μｍの二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）を使用した。ＰＥＴフィルムの表面は、１３．５６ＭＨｚの高周波プラズマ装置を用い、１０Ｐａの減圧下において放電出力１００Ｗ、処理ガスＡｒの条件において３０秒間プラズマエッチング処理することにより平坦化した。その後、１３．５６ＭＨｚの高周波プラズマ装置を用いＤＬＣ被膜形成処理を行なった。具体的には表面処理を行ったＰＥＴフィルムを大気に暴露することなく真空中（１０Ｐａの減圧下）、放電出力５０Ｗの条件下において行なった。原料ガスとしてアセチレン（Ｃ２Ｈ２）を使用した。プラズマＣＶＤ法の原理により２秒間プラズマを照射してＤＬＣ膜を形成し、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。実施例１の得られたガスバリア性ＰＥＴフィルムについて、酸素透過率、全光線透過率、ＤＬＣ被膜の膜厚、密着性、着色度及び耐アルカリ性について測定した。また、ＤＬＣ被膜形成前及び形成剥離後のＰＥＴフィルムの表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）について測定した。各測定及び評価の方法は以下の通りである。尚、以下の実施例及び比較例も同様の測定及び評価方法にて行なった。測定結果を表１に示す。
【００２８】
（二乗平均粗さ（Ｒｍｓ））
走査型プローブ顕微鏡（セイコーインスツルメンツ社製ＳＰＩ３８００Ｎ）の非接触モード（ダイナミックフォースモード）で測定した。走査速度、１測定領域中の測定点数、傾斜補正は、表面状態を明確に測定できる条件を選択した。フィルムの表面形状の表面粗さ（Ｒｍｓ）は、走査型プローブ顕微鏡ＳＰＩ３８００Ｎ付属ソフトの「ＣＲＯＳＳＳＥＣＴＩＯＮ」解析のＡＲＥＡ解析で求めた。
【００２９】
実施例で得られたＰＥＴフィルムのＤＬＣ被膜形成面を１μｍ×１μｍ の面積を測定したＡＦＭ凹凸像について、フラット処理を行った後、粗さ解析を行って、Ｒｍｓを求めた。また、測定する箇所は、フィルム中の滑剤やフィラー等による高さ数１０ｎｍの突起のない箇所とした。
【００３０】
（ＤＬＣ被膜剥離後の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ））
また、ＤＬＣ製膜後１日放置したものについて、１ｍｏｌ／Ｌの水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬した状態で、室温に４８時間放置することにより、ＰＥＴフィルム表面からＤＬＣ被膜を剥離して、ＰＥＴフィルムの表面粗さ（Ｒｍｓ）を同様に測定した。
【００３１】
（酸素透過度）
酸素透過測定装置（米国モダンコントロール製、ＯＸＴＲＡＮを使用し、温度２５℃、相対湿度８０％の条件下で測定した。１日当たり１平方メートルでいくら透過したかを表わした。
【００３２】
（全光線透過率）
ＪＩＳＫ７１０５に準じて光度計（日本電色社製ＮＤＨ−３００Ａ）を用いて全光線透過率を測定した。
【００３３】
（ＤＬＣ被膜の膜厚）
予めＰＥＴフィルムを用いて成型したＰＥＴ容器の内面に黒色インキ等でマスキングを行って、ＤＬＣ被膜を被覆した後、ジエチルエーテル等でマスキングを除去し、米国ｓｌｏａｎ社製、表面形状測定器ＤＥＫＴＡＫ３０３０によって膜厚を測定した。
【００３４】
（密着性）
ＤＬＣ被膜形成後のガスバリア性ＰＥＴフィルムについて、ＤＬＣ被膜形成面を碁盤の目状にナイフで切り込みを入れ、粘着テープによる剥離試験を行った。１ｍｍ×１ｍｍのマス目１００個のうち、剥離せずに残ったマス目の個数により下記の判定を行った。剥離せずに残ったマス目の個数１００個；〇、９９〜７５個；△、７４〜０個；×として評価した。
【００３５】
（着色度）
色差計（日本電色社製ＺＥ２０００）により垂直に光を通過させてｂ＊値を測定することにより、前記被膜による着色の程度を評価した。
【００３６】
（耐アルカリ性）
水酸化ナトリウムを１０ｗｔ％となるように添加したアルカリ溶液をガスバリア性ＰＥＴフィルムを用いて成形した容器内部に充填し、７５℃の湯浴中に２４時間浸漬し、ＤＬＣ被膜の形状変化、剥離の有無を確認した。結果は２４ 時間以上浸漬して変化のないものを○、２４時間未満１２時間以上の浸漬で変化のないものを△として評価した。
【００３７】
（実施例２）
プラズマエッチング処理時間を１２０秒間、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ被膜の形成条件を４秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００３８】
（実施例３）
プラズマエッチング処理時間を１２０秒間、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を６秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００３９】
（実施例４）
プラズマエッチング処理時間を１２０秒間、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を８秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００４０】
（実施例５）
プラズマエッチング処理時間を１８０秒間、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を８秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００４１】
（比較例１）
プラズマエッチング処理を実施せずに二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）表面上に直接、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を８秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００４２】
（比較例２）
プラズマエッチング処理時間を１８０秒間、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を４０秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００４３】
（比較例３）
プラズマエッチング処理を実施せずに二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）表面上に直接、プラズマＣＶＤ法によるＤＬＣ膜の形成条件を１０秒間とした以外は実施例１と全く同一として、ガスバリア性ＰＥＴフィルムを得た。
【００４４】
（比較例４）
プラズマエッチング処理、ＤＬＣ製膜を実施せずに二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴ）の各物性の評価を行った。
【００４５】
【表１】
0004823747.tif 000003
表１の各実施例及び比較例に示されるように、二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍ以下にすると２０ｎｍ以下のガスバリア性薄膜（ＤＬＣ被膜）であっても高いガスバリア性を有すると同時にガスバリア性プラスチック（ＰＥＴ）フィルムの透明度が向上することができる。特に実施例１の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が１．５ｎｍの場合、比較例２の膜厚１００ｎｍのＤＬＣ被膜を有するＰＥＴフィルムよりも高いガスバリア性を発揮すると同時に、比較例４のＤＬＣ被膜を形成しないＰＥＴフィルムに近い透明度を有することが確認された。また、比較例１，３に示されるように二乗平均粗さが３ｎｍを超えると急激に酸素透過量が上昇することが確認される。フィルム表面の二乗平均粗さが３ｎｍを超える場合、十分なガスバリア性を得るためにはＤＬＣ被膜の膜厚をさらに高くする必要があると思料される。それにより、ガスバリア性プラスチック（ＰＥＴ）フィルムの透明度が低下することが予想される。
【００４６】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、それらの効果とともに以下に追記する。
（ａ）ＰＥＴ樹脂フィルムの表面に膜厚が５〜２０ｎｍであるＤＬＣ膜が形成されたガスバリア性ＰＥＴ樹脂フィルムであって、前記ＰＥＴ樹脂フィルムの表面の二乗平均粗さ（Ｒｍｓ）が３ｎｍ以下であることを特徴とするガスバリア性ＰＥＴ樹脂フィルム。従って、この（ａ）に記載の発明によれば、ガスバリア性が要求される飲食品等のＰＥＴ容器に好適に使用することができる。