(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続波光を生成する連続波光源と、
前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段と、
前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定手段と、
を備え、
前記特性測定手段は、
前記合波光検出手段の検出結果の余弦成分icosを導出する余弦成分導出手段と、
前記合波光検出手段の検出結果の直交成分isinを導出する直交成分導出手段と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、(icos2+isin2)1/2に基づき前記被測定物の振幅特性を導出する振幅特性導出手段と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、tan-1(isin/icos)に基づき前記被測定物の位相特性を導出する位相特性導出手段と、
を有する伝達特性測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の伝達特性測定装置であって、
前記合波光検出手段は、前記合波光と、前記連続波光が前記被測定物に向かって進む光路から前記被測定物を無くした状態において得られる応答光である基準応答光および前記遅延光を合波した基準合波光とを検出する、
伝達特性測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の伝達特性測定装置であって、
前記合波光検出手段は、前記合波光と、振幅特性および位相特性が既知である基準被測定物を前記可変波長光が透過または反射したものである基準応答光および前記遅延光を合波した基準合波光とを検出する、
伝達特性測定装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の伝達特性測定装置であって、
前記連続波光源は、
可変波長光を生成する可変波長光源と、
固定波長光を生成する固定波長光源と、
前記可変波長光および前記固定波長光を受け、前記可変波長光の光周波数および前記固定波長光の光周波数の差の光周波数を有する前記連続波光を生成する光生成器と、
を有する伝達特性測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の伝達特性測定装置であって、
前記可変波長光および前記固定波長光は、共に赤外光である、
伝達特性測定装置。
【請求項６】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の伝達特性測定装置であって、
前記連続波光源は後進波管である、
伝達特性測定装置。
【請求項７】
連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性を測定する方法であって、
前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定工程、
を備え、
前記特性測定工程は、
前記合波光検出手段の検出結果の余弦成分icosを導出する余弦成分導出工程と、
前記合波光検出手段の検出結果の直交成分isinを導出する直交成分導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、(icos2+isin2)1/2に基づき前記被測定物の振幅特性を導出する振幅特性導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、tan-1(isin/icos)に基づき前記被測定物の位相特性を導出する位相特性導出工程と、
を有する伝達特性測定方法。
【請求項８】
連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定処理、
をコンピュータに実行させるためのプログラムであり、
前記特性測定処理は、
前記合波光検出手段の検出結果の余弦成分icosを導出する余弦成分導出工程と、
前記合波光検出手段の検出結果の直交成分isinを導出する直交成分導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、(icos2+isin2)1/2に基づき前記被測定物の振幅特性を導出する振幅特性導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、tan-1(isin/icos)に基づき前記被測定物の位相特性を導出する位相特性導出工程と、
を有するプログラム。
【請求項９】
連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、
前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定処理、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であり、
前記特性測定処理は、
前記合波光検出手段の検出結果の余弦成分icosを導出する余弦成分導出工程と、
前記合波光検出手段の検出結果の直交成分isinを導出する直交成分導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、(icos2+isin2)1/2に基づき前記被測定物の振幅特性を導出する振幅特性導出工程と、
導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、tan-1(isin/icos)に基づき前記被測定物の位相特性を導出する位相特性導出工程と、
を有する記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物のテラヘルツ領域の伝達特性の測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物のテラヘルツ領域の伝達特性を測定することが知られている。
【０００３】
例えば、非特許文献１のFig.4(a)を参照して、フェムト秒レーザを用いて、ポンプ・プローブ法によるサンプリングによって被測定物の時間領域における透過または反射波形を取得し、高速フーリエ変換(FFT)により伝達特性を得る装置が知られている。
【０００４】
また、特許文献１の図１を参照して、強度変調されたテラヘルツ光を用いて、被測定物の伝達特性を得る装置も知られている。
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０３／００５００２号パンフレット
【非特許文献１】阪井清美、「テラヘルツ時間領域分光法」、分光研究、２００１年、第５０巻、第６号、ｐ．２６１−２７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、フェムト秒レーザを用いた場合、フェムト秒パルスの再現性がよくないことがある。このような場合、測定結果を得るために複数回の測定を行い、測定データの平均化処理を行わなければならず、測定に時間を要する。また、フェムト秒パルス光源を必要とするため、装置が高価で大型になる。さらに、周波数分解能はポンプ光の光遅延の逆数によって決定されるが、最高でも数GHzの分解能である。
【０００７】
また、強度変調されたテラヘルツ光を用いる装置は、構成が複雑であり、しかもかかる装置は大型かつ高価となる。
【０００８】
そこで、本発明は、被測定物の伝達特性を簡単な構成により得ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる伝達特性測定装置は、連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段と、前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定手段とを備えるように構成される。
【００１０】
上記のように構成された伝達特性測定装置によれば、連続波光源は、連続波光を生成する。合波光検出手段は、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する。特性測定手段は、前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する。
【００１１】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記合波光検出手段が、前記合波光と、前記連続波光が前記被測定物に向かって進む光路から前記被測定物を無くした状態において得られる応答光である基準応答光および前記遅延光を合波した基準合波光とを検出するようにしてもよい。
【００１２】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記合波光検出手段が、前記合波光と、振幅特性および位相特性が既知である基準被測定物を前記可変波長光が透過または反射したものである基準応答光および前記遅延光を合波した基準合波光とを検出するようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記連続波光源が、可変波長光を生成する可変波長光源と、固定波長光を生成する固定波長光源と、前記可変波長光および前記固定波長光を受け、前記可変波長光の光周波数および前記固定波長光の光周波数の差の光周波数を有する前記連続波光を生成する光生成器とを有するようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記可変波長光および前記固定波長光が、共に赤外光であるようにしてもよい。
【００１５】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記連続波光源が後進波管であるようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明にかかる伝達特性測定装置は、前記特性測定手段が、前記合波光検出手段の検出結果の余弦成分icosを導出する余弦成分導出手段と、前記合波光検出手段の検出結果の直交成分isinを導出する直交成分導出手段と、導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、(icos2+isin2)1/2に基づき前記被測定物の振幅特性を導出する振幅特性導出手段と、導出された前記余弦成分icosおよび前記直交成分isinを受け、tan-1(isin/icos)に基づき前記被測定物の位相特性を導出する位相特性導出手段とを有するようにしてもよい。
【００１７】
本発明は、連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性を測定する方法であって、前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定工程を備えるように構成される。
【００１８】
本発明は、連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００１９】
本発明は、連続波光を生成する連続波光源と、前記連続波光が被測定物を透過または反射したものである応答光および前記連続波光を遅延させた遅延光を合波した合波光を検出する合波光検出手段とを有する伝達特性測定装置により伝達特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、前記合波光検出手段の検出結果に基づき、前記被測定物の伝達特性を測定する特性測定処理をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、本発明の実施形態にかかる伝達特性測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。伝達特性測定装置１は、被測定物（DUT : Device Under Test）２にテラヘルツ光を与えたときに、被測定物２を透過する光または被測定物２により反射された光を測定し、被測定物２の伝達特性（例えば、振幅特性および位相特性）を測定するための装置である。伝達特性測定装置１は、連続波光源１０、分波器２２、合波器２４、ミラー２６、２８、テラヘルツ光遅延回路３０、テラヘルツ光検出器（合波光検出手段）３２、特性測定部４０を備える。
【００２２】
連続波光源１０は、CW（連続波：Continuous Wave）テラヘルツ光を生成する。すなわち、時間的に連続したテラヘルツ光を生成する。時間的に離散しているパルス光とは異なる。連続波光源１０は、可変波長光源１２、固定波長光源１４、光生成器１６を有する。
【００２３】
可変波長光源１２は、可変波長光を生成する。可変波長光は赤外光である。また、可変波長光は、光周波数f1のCW光である。
【００２４】
固定波長光源１４は、固定波長光を生成する。固定波長光は赤外光である。また、固定波長光は、光周波数f2のCW光である。
【００２５】
なお、光周波数f1は、f2＋Δflowからf2＋Δfhighまで変化する（Δflow＜Δfhigh）。
【００２６】
光生成器１６は、光合波器１６ａ、テラヘルツ光発生器１６ｂを有する。光合波器１６ａは、可変波長光および固定波長光を受けて合波して出力する。テラヘルツ光発生器（光生成器）１６ｂは、光合波器１６ａから出力を受け、可変波長光の光周波数f1および前記固定波長光の光周波数f2の差（f1−f2）の光周波数を有する連続波光L0を生成する。この連続波光L0の光周波数は、ΔflowからΔfhighまで変化することになる。なお、連続波光L0はCWテラヘルツ光すなわち、時間的に連続したテラヘルツ光である。
【００２７】
なお、テラヘルツ光発生器１６ｂはフォトミキサとも呼ばれる。フォトミキサは、低温成長ガリウム砒素(LT-GaAs)の光伝導膜上にアンテナを兼ねる金属の平行伝送線路を形成した光スイッチにより実現できる。また、フォトミキサは、単一キャリア走行フォトダイオード(UTC-PD)にアンテナを集積した素子により実現できる。
【００２８】
分波器２２は、連続波光L0をテラヘルツ光遅延回路３０に進む第一連続波光L1と、被測定物２に進む第二連続波光L2とに分波する。なお、第二連続波光L2は、被測定物２を透過し、または被測定物２により反射される。第二連続波光L2が、被測定物２を透過し、または被測定物２により反射されたものを応答光という。応答光は、合波器２４に与えられる。
【００２９】
ミラー２６は、第一連続波光L1を反射してテラヘルツ光遅延回路３０に与える。テラヘルツ光遅延回路３０は、第一連続波光L1を遅延させる。ミラー２８は、テラヘルツ光遅延回路３０の出力を合波器２４に与える。テラヘルツ光遅延回路３０により、第一連続波光L1を遅延させた光を遅延光という。
【００３０】
合波器２４は、応答光および遅延光を合波する。応答光および遅延光を合波した光を合波光という。なお、第二連続波光L2が被測定物２に向かって進む光路から被測定物２を取り外した状態で得られる応答光を基準応答光という。すなわち、基準応答光は、第二連続波光L2をそのまま（被測定物２を経由しないで）合波器２４に与えたものである。合波器２４は基準応答光および遅延光を合波する。基準応答光および遅延光を合波した光を基準合波光という。
【００３１】
テラヘルツ光検出器（合波光検出手段）３２は、合波光および基準合波光を検出する。テラヘルツ光検出器３２は、テラヘルツ光に対して感度を有するボロメータやショットキーバリアダイオード（SBD）などにより実現できる。テラヘルツ光検出器３２は、合波光および基準合波光をホモダイン検波し、合波光および基準合波光をアナログ電気信号に変換して出力する。
【００３２】
特性測定部４０は、テラヘルツ光検出器３２の検出結果に基づき、被測定物２の伝達特性を測定する。特性測定部４０は、Ａ／Ｄ変換器４２、データ処理部４４を有する。Ａ／Ｄ変換器４２は、テラヘルツ光検出器３２の出力するアナログ電気信号をデジタル信号に変換して出力する。データ処理部４４は、Ａ／Ｄ変換器４２の出力したデジタル信号を処理して被測定物２の伝達特性（本実施形態では、振幅特性および位相特性）を求める。
【００３３】
図２は、データ処理部４４の構成を示す機能ブロック図である。特性測定部４０は、余弦成分導出部４４２ｃ、直交成分導出部４４２ｓ、基準特性記録部４４４、実測特性記録部４４６、特性導出部４４８を有する。
【００３４】
余弦成分導出部４４２ｃは、テラヘルツ光検出器３２の検出結果をデジタル信号に変換したものの余弦成分icosを導出する。
【００３５】
直交成分導出部４４２ｓは、テラヘルツ光検出器３２の検出結果をデジタル信号に変換したものの直交成分isinを導出する。具体的には、余弦成分icosをヒルベルト変換して求める。
【００３６】
基準特性記録部４４４は、基準応答光をテラヘルツ光検出器３２が検出した場合における、余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。すなわち、被測定物２を取り外した状態で、第二連続波光L2をそのまま（被測定物２を経由しないで）合波器２４に与えた場合における余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。
【００３７】
実測特性記録部４４６は、応答光をテラヘルツ光検出器３２が検出した場合における、余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。すなわち、被測定物２を伝達特性測定装置１に取り付けた状態における余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。
【００３８】
特性導出部４４８は、余弦成分導出部４４２ｃにより導出された余弦成分icosおよび直交成分導出部４４２ｓにより導出された直交成分isinを、基準特性記録部４４４および実測特性記録部４４６から受け、(icos2+isin2)1/2に基づき被測定物２の振幅特性を導出する。
【００３９】
さらに、特性導出部４４８は、余弦成分導出部４４２ｃにより導出された余弦成分icosおよび直交成分導出部４４２ｓにより導出された直交成分isinを、基準特性記録部４４４および実測特性記録部４４６から受け、tan-1(isin/icos)に基づき被測定物２の位相特性を導出する。
【００４０】
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。
【００４１】
図４は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。まず、伝達特性測定装置１に被測定物２を取り付けた状態で測定を行う（Ｓ１０）。
【００４２】
まず、可変波長光源１２が可変波長光を出力する。固定波長光源１４が、固定波長光を出力する。可変波長光および固定波長光は光合波器１６ａにより合波され、テラヘルツ光発生器１６ｂに与えられる。テラヘルツ光発生器１６ｂは、可変波長光の光周波数f1および前記固定波長光の光周波数f2の差（f1−f2）の光周波数を有する連続波光L0を生成する。この連続波光の光周波数は、ΔflowからΔfhighまで変化することになる。
【００４３】
分波器２２は、連続波光L0をテラヘルツ光遅延回路３０に進む第一連続波光L1と、被測定物２に進む第二連続波光L2とに分波する。第一連続波光L1の電界をe1i(t)、第二連続波光L2の電界をe2i(t)とすると、e1i(t)およびe2i(t)は下記の式（１）のように表される。ただし、tは時間、ωTHzは連続波光L0の角周波数（テラヘルツの領域にある）である。
【００４４】
【数１】
0004819466.tif 000002
第二連続波光L2は、被測定物２を透過し、または被測定物２により反射され、応答光となる。応答光は合波器２４に与えられる。また、第一連続波光L1はミラー２６により反射され、テラヘルツ光遅延回路３０に与えられる。テラヘルツ光遅延回路３０により、第一連続波光L1は遅延され、遅延光となる。遅延光は、ミラー２８により反射され、合波器２４に与えられる。
【００４５】
ここで、被測定物２の伝達関数をY(ω)とすると、Y(ω)は下記の式（２）のように表される。なお、被測定物２の振幅特性がA(ω)、位相特性がΦ(ω)となる。ただし、ωは、被測定物２に与えられる光の角周波数である。
【００４６】
【数２】
0004819466.tif 000003
また、テラヘルツ光遅延回路３０の遅延時間をTsとすると、Tsは下記の式（３）のように表される。ただし、Lはテラヘルツ光遅延回路３０の光路長、cは光速、nはテラヘルツ光遅延回路３０の屈折率である。
【００４７】
【数３】
0004819466.tif 000004
そこで、テラヘルツ領域の角周波数ωTHzにおける応答光の電界e1o(t)および遅延光の電界e2o(t)は下記の式（４）のように表される。
【００４８】
【数４】
0004819466.tif 000005
合波器２４は、応答光および遅延光を合波し、合波光を出力する。合波光はテラヘルツ光検出器３２により、ある比例定数η1をもって二乗検波される。テラヘルツ光検出器３２の検波結果io(t)は下記の式（５）のように表される。検波結果io(t)はアナログ電気信号であり、Ａ／Ｄ変換器４２に与えられる。
【００４９】
【数５】
0004819466.tif 000006
Ａ／Ｄ変換器４２は、テラヘルツ光検出器３２の出力するアナログ電気信号をデジタル信号に変換して出力する。
【００５０】
余弦成分導出部４４２ｃは、Ａ／Ｄ変換器４２の出力の余弦成分icosを導出する。余弦成分icosは下記の式（６）のように表される。
【００５１】
【数６】
0004819466.tif 000007
直交成分導出部４４２ｓは、余弦成分icosをヒルベルト変換し、Ａ／Ｄ変換器４２の出力の直交成分isinを導出する。直交成分isinは下記の式（７）のように表される。
【００５２】
【数７】
0004819466.tif 000008
実測特性記録部４４６は、余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。
【００５３】
特性導出部４４８は、余弦成分icosおよび直交成分isinを実測特性記録部４４６から受ける。そして、下記の式（８）のようにして、被測定物２の振幅特性Magsamを導出する。
【００５４】
【数８】
0004819466.tif 000009
さらに、特性導出部４４８は、下記の式（９）のようにして、被測定物２の振幅特性Θsamを導出する。
【００５５】
【数９】
0004819466.tif 000010
次に、伝達特性測定装置１から被測定物２を取り外した状態で測定を行う（Ｓ２０）。測定の際の動作は、被測定物２を取り付けた状態と同様である。ただし、基準特性記録部４４４が、余弦成分icosおよび直交成分isinを記録する。そして、被測定物２を取り付けないため、被測定物２を取り外した状態の振幅特性Magrefは、振幅特性MagsamにおけるA(ωTHz)を１としたものに等しく、下記の式（１０）のように表される。
【００５６】
【数１０】
0004819466.tif 000011
また、被測定物２を取り外した状態の位相特性Θrefは、位相特性ΘsamにおけるΦ(ωTHz)を０としたものに等しく、下記の式（１１）のように表される。
【００５７】
【数１１】
0004819466.tif 000012
最後に、特性導出部４４８が、被測定物２を取り付けた状態の振幅特性Magsam、位相特性Θsamおよび被測定物２を取り外した状態の振幅特性Magref、位相特性Θrefに基づき、テラヘルツ領域における被測定物２の振幅特性A(ωTHz)、位相特性Φ(ωTHz)を導出する（Ｓ３０）。テラヘルツ領域における被測定物２の振幅特性A(ωTHz)、位相特性Φ(ωTHz)は、下記の式（１２）のようにして導出する。
【００５８】
【数１２】
0004819466.tif 000013
本発明の実施形態によれば、被測定物２の伝達特性を簡単な構成により得ることができる。しかも、連続波光L0の線幅は、可変波長光と固定波長光との光周波数安定度（kHzオーダである）で決まる。よって、kHzオーダの周波数分解能で被測定物２の伝達特性が可能となる。すなわち周波数分解能が高い測定が実施できる。
【００５９】
なお、連続波光源１０のかわりにＣＷテラヘルツ光源を使用しても上記の実施形態を実現できる。図３は、連続波光源１０のかわりにＣＷテラヘルツ光源１９を利用した場合の伝達特性測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。ＣＷテラヘルツ光源１９は、例えば、ＢＷＯ（後進波管 ： Backward-Wave Oscillator）により実現できる。また、ＣＷテラヘルツ光源１９は、光周波数がΔflowからΔfhighまで変化する連続波光を生成する。他の部分の構成は上記の実施形態と同様である。
【００６０】
また、被測定物２を取り外す（Ｓ２０）かわりに、振幅特性および位相特性が既知の基準被測定物を被測定物２にかえて接続してもよい。
【００６１】
特性導出部４４８は、下記のようにして被測定物２の振幅特性A(ωTHz)および位相特性Φ(ωTHz)を導出する。
【００６２】
基準被測定物を接続した状態の振幅特性Magrefおよび位相特性Θrefは、基準被測定物を連続波光L0が透過または反射したものである基準応答光をテラヘルツ光検出器３２が検波した結果により求めることができる。基準被測定物を接続した状態の振幅特性Magrefは、振幅特性MagsamにおけるA(ωTHz)を既知の振幅特性に置き換えたものとなるので、2E1E2を振幅特性Magrefおよび既知の振幅特性から求めることができる。基準被測定物を接続した状態の位相特性Θrefは、位相特性ΘsamにおけるΦ(ωTHz)を既知の位相特性に置き換えたものとなるので、−ωTHzTsを位相特性Θrefおよび既知の位相特性から求めることができる。
【００６３】
よって、2E1E2および振幅特性Magsamから被測定物２の振幅特性A(ωTHz)を、−ωTHzTsおよび位相特性Θsamから被測定物２の位相特性Φ(ωTHz)を導出できる。
【００６４】
さらに、被測定物２を取り付けた状態での測定（Ｓ１０）を行う前に、被測定物２を取り外した状態での測定（Ｓ２０）を行ってもよい。なお、被測定物２を取り外した状態での測定結果を予め基準特性記録部４４４に記録しておけば、被測定物２を取り付けた状態での測定（Ｓ１０）の直後に、被測定物２の振幅特性A(ωTHz)、位相特性Φ(ωTHz)の導出（Ｓ３０）が可能となる。
【００６５】
なお、上記の実施形態において、ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータに、上記の各部分（例えば、データ処理部４４の各部分）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の実施形態を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施形態にかかる伝達特性測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図２】データ処理部４４の構成を示す機能ブロック図である。
【図３】連続波光源１０のかわりにＣＷテラヘルツ光源１９を利用した場合の伝達特性測定装置１の構成を示す機能ブロック図である。
【図４】本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６７】
１  伝達特性測定装置
１２  可変波長光源
１４  固定波長光源
１６  光生成器
１６ａ  光合波器
１６ｂ  テラヘルツ光発生器
２  被測定物
１０  連続波光源
１９  ＣＷテラヘルツ光源
２２  分波器
２４  合波器
３０  テラヘルツ光遅延回路
３２  テラヘルツ光検出器
４０  特性測定部
４４  データ処理部
４４２ｃ  余弦成分導出部
４４２ｓ  直交成分導出部
４４４  基準特性記録部
４４６  実測特性記録部
４４８  特性導出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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