(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に接着性を有するシートを設置し、該シートの接着面に複数のチップを接着させて収容するチップ収容トレイであって、
前記シートの裏面と接触する状態で該シートが載置される台座部と、
該台座部の側方に配置され、該台座部からはみ出たシートを巻き取る巻き取り部とを備えることを特徴とするチップ収容トレイ。
【請求項２】
前記巻き取り部は、前記台座部からはみ出たシートを巻き取るローラと、該ローラを外側へ引き出し自在に保持する保持部材とを備え、前記台座部と前記ローラとの間隙を拡縮可能に構成されることを特徴とする請求項１に記載のチップ収容トレイ。
【請求項３】
前記台座部と前記ローラとの間隙を拡げた状態で、前記はみ出たシートを前記間隙に挿通させるとともに、該間隙を挿通させたシートを前記ローラに接着させ、
その後、前記ローラを回転させて前記はみ出たシートを巻き取るとともに、前記台座部と前記ローラとの間隙を縮めることを特徴とする請求項２に記載のチップ収容トレイ。
【請求項４】
前記台座部は、該台座部上に載置されたシートを吸着する吸着部を備えることを特徴とする請求項１、２又は３に記載のチップ収容トレイ。
【請求項５】
前記台座部を有する下部テーブルと、
前記台座部に対応する大きさの中空部と、該中空部の側方に配置される前記巻き取り部とを有し、前記台座部を前記中空部内に位置させた状態で、前記下部テーブル上に載置される中間フレームと、
前記複数のチップを収容する収容面に対応する大きさの開口部を有し、裏面に前記シートが接着された状態で前記中間フレーム上に載置される上部プレートとを備え、
前記下部テーブル、中間フレーム及び上部プレートが着脱自在に構成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のチップ収容トレイ。
【請求項６】
前記中間フレームは、前記上部プレートの位置決めを行うための位置決め部を備えることを特徴とする請求項５に記載のチップ収容トレイ。
【請求項７】
前記上部プレートに対応する凸部が表面上に形成された貼付治具上に、該上部プレートに接着前の前記シートを該シートの裏面が接触する状態で載置し、
その後、前記凸部と対応させて前記上部プレートを前記接着前のシートの表面上に載置し、該上部プレートの裏面に該シートを接着させることを特徴とする請求項５又は６に記載のチップ収容トレイ。
【請求項８】
前記貼付治具は、前記上部プレートの位置決めを行うための位置決め部を備えることを特徴とする請求項７に記載のチップ収容トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造された半導体チップやＬＥＤチップ等（以下、「チップ」という）を収容するチップ収容トレイに関し、特に、チップの電気特性や光量特性を測定した際に、測定が終了したチップを特性別に再配列しながら回収するチップ収容トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップを収容するチップ収容トレイにおいて、接着性を有する弾性体シート（以下、「シート」という）をトレイ本体に固定するため、シートをトレイに押え込む枠体を備えるとともに、その枠体に、シートをトレイの側面に沿って折り畳むための折り畳み部材を付設し、トレイ表面に収まらない余分なシートを折り畳んでトレイに固定するものがある。
【０００３】
また、特許文献１には、回収すべきチップと同等寸法の凹部が多数配列された格子状トレイを備え、各凹部にチップを１枚ずつ収容する半導体チップの収容トレイが記載されている。さらに、特許文献２には、多数のチップを配置可能な表面積を有する平板と、接続部材により平板上に固定された接着性シートとを備え、接着性シートにチップを接着させて収容する半導体チップの収容トレイが記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１７６１６２号公報
【特許文献２】特開２００７−１８４４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記の従来の技術並びに特許文献１、２に記載の収容トレイにおいては、次に述べるような問題が生じていた。
【０００６】
従来の技術では、シート及び枠体をトレイに押し付ける際に、シートとトレイの間に撓みが生じないようにする必要があるため、シートの取り付けに手間がかかり、収容トレイを使用可能な状態にセッティングするのに時間がかかるという問題があった。また、シートに皺が生じた場合には、皺を延ばすための時間も必要になり、さらには、シートの再利用を困難にするという問題も生じる。
【０００７】
また、特許文献１に記載の収容トレイにおいては、チップと同等寸法の凹部にチップを収容するため、種々の寸法のチップが存在する場合には、各々のチップ寸法に対応した凹部を有するトレイが必要になる。このため、凹部の寸法が異なる複数のトレイが必要となり、不経済であるという問題があった。
【０００８】
さらに、特許文献２に記載の収容トレイにおいては、平板とシートを接続部材で一体的に成形するため、セッティング時間の短縮化を図ることができるが、接着面にゴミが付着するなどして接着力が弱まると、チップが脱落して損傷するなどの問題が生じ得る。また、一度接着力が弱まると、その後、収容トレイとして使用できなくなるという問題もある。
【０００９】
そこで、本発明は、上記従来の技術における問題点に鑑みてなされたものであって、シートの取り付け作業の手間を軽減しながら、シートに皺や撓みが生じるのを防止し、また、チップの脱落事故等を防止し、経済的にも優れたチップ収容トレイを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明は、表面に接着性を有するシートを設置し、該シートの接着面に複数のチップを接着させて収容するチップ収容トレイであって、前記シートの裏面と接触する状態で該シートが載置される台座部と、該台座部の側方に配置され、該台座部からはみ出たシートを巻き取る巻き取り部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
そして、本発明によれば、余分なシートを巻き取る巻き取り部を台座部の側方に設けたため、余分なシートを簡単に収容することができ、また、巻き取り部でシートを巻き取ることにより、シートに引張荷重を付与することもできる。このため、シートの取り付け作業の手間を軽減しながら、シートに皺や撓みが生じるのを防止することが可能になる。さらに、取り付け作業の手間を軽減し得ることから、シートの交換作業も容易となるため、シートの接着性が弱まった場合には、直ちにシートを交換することができ、チップの脱落事故等を防止することが可能になる。加えて、複数のチップをシートの接着面に接着させて収容するため、チップの寸法に応じて複数のチップ収容トレイを準備する必要がなく、経済的にも優れたチップ収容トレイを提供することができる。
【００１２】
上記チップ収容トレイにおいて、前記巻き取り部が、前記台座部からはみ出たシートを巻き取るローラと、該ローラを外側へ引き出し自在に保持する保持部材とを備え、前記台座部と前記ローラとの間隙を拡縮可能に構成することができる。これによれば、ローラと台座部の間隙に余分なシートを挿通させ易くなり、簡単にシートをローラに接着することが可能になる。これにより、シートの巻き取りに要する手間を軽減することができ、作業時間の更なる短縮化を図ることができる。
【００１３】
上記チップ収容トレイにおいて、前記台座部と前記ローラとの間隙を拡げた状態で、前記はみ出たシートを前記間隙に挿通させるとともに、該間隙を挿通させたシートを前記ローラに接着させ、その後、前記ローラを回転させて前記はみ出たシートを巻き取るとともに、前記台座部と前記ローラとの間隙を縮めることができる。
【００１４】
上記チップ収容トレイにおいて、前記台座部が、該台座部上に載置されたシートを吸着する吸着部を備えることができ、これによれば、シートを台座部に載置した後に、外力によるシートのずれや撓み等を軽減することが可能になる。
【００１５】
上記チップ収容トレイにおいて、前記台座部を有する下部テーブルと、前記台座部に対応する大きさの中空部と、該中空部の側方に配置される前記巻き取り部とを有し、前記台座部を前記中空部内に位置させた状態で、前記下部テーブル上に載置される中間フレームと、前記複数のチップを収容する収容面に対応する大きさの開口部を有し、裏面に前記シートが接着された状態で前記中間フレーム上に載置される上部プレートとを備え、前記下部テーブル、中間フレーム及び上部プレートを着脱自在に構成することができる。これによれば、上部プレートや中間フレームを取り外した状態で、シートの取り付け、取り外し及び交換等の作業を行うことができ、作業性を向上させることが可能になる。
【００１６】
上記チップ収容トレイにおいて、前記中間フレームが、前記上部プレートの位置決めを行うための位置決め部を備えることができ、これによれば、上部プレート及び中間フレーム間の位置合わせを容易に行うことが可能になる。
【００１７】
上記チップ収容トレイにおいて、前記上部プレートに対応する凸部が表面上に形成された貼付治具上に、該上部プレートに接着前の前記シートを該シートの裏面が接触する状態で載置し、その後、前記凸部と対応させて前記上部プレートを前記接着前のシートの表面上に載置し、該上部プレートの裏面に該シートを接着させることができる。これによれば、上部プレートとシートの位置関係やシートの張り状態等に固体差が生じるのを抑制することができ、再現性を向上させることが可能になる。
【００１８】
上記チップ収容トレイにおいて、前記貼付治具が、前記上部プレートの位置決めを行うための位置決め部を備えることができ、これによれば、上部プレートとシートの位置関係にずれが生じるのを更に抑制することが可能になる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように、本発明によれば、シートの取り付け作業の手間を軽減しながら、シートに皺や撓みが生じるのを防止し、また、チップの脱落事故等を防止し、経済的にも優れたチップ収容トレイを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１、２は、本発明にかかるチップ収容トレイの斜視図及び分解斜視図であり、このチップ収容トレイ１は、上部プレート２、中間フレーム４及び下部テーブル５の３部材から構成され、上部プレート２と中間フレーム４の間にシート３が設置される。
【００２２】
上部プレート２は、シート３を上方から押さえるとともに、シート３の端部を保護するために備えられ、図３に示すように、その中央部には、所定の大きさを有する開口部２ａが設けられる。この開口部２ａは、図１に示すように、複数のチップ６を収容するチップ収容部を構成するためのものである。また、図３に示すように、上部プレート２の両短側部２ｂには、上部プレート２の側方に突出し、上部プレート２の位置決めのための突出部２ｃが設けられる。
【００２３】
シート３は、チップ６を接着固定するための弾性シートであり、図３に示すように、その表面（上部プレート２と対向する側の面）には、接着性を有する接着面３ａが形成される。尚、シート３の裏面は、接着剤等が塗布されることはなく、接着性を有しない状態とされる。また、シート３は、長方形状を有し、その幅Ｄ２は、上部プレート２の幅Ｄ１に比して大きく、一方、長さＬ２は、上部プレート２の長さＬ１と同一又は長さＬ１に比して僅かに短い。
【００２４】
中間フレーム４は、余分なシート３を収容しつつ、シート３をチップ収容トレイ１に固定するために備えられ、図４（ａ）に示すように、その両長側部には、シート３を巻き取るためのローラ４ａが配置される。また、中間フレーム４の両短側部には、上部プレート２及びシート３を支持するための支持ブロック４ｂが設けられ、これら支持ブロック４ｂ間の距離Ｌ３は、上部プレート２の長さＬ１（図３参照）と同一長とされる。
【００２５】
各支持ブロック４ｂの外側側面には、上部プレート２の突出部２ｃ（図２参照）に対応する大きさの凹部４ｃを有する位置決め板４ｄと、ローラ４ａを支持ブロック４ｂに連結する連結アーム４ｅと、ローラ４ａを回転させるための回転ノブ４ｆとが設けられる。また、各支持ブロック４ｂの上面には、上部プレート２を磁気的に固定するためのマグネット４ｉが設けられる。
【００２６】
上記のうち、連結アーム４ｅは、図５に示すように、所定の長さのスリット４ｇを長軸上に有し、支持ブロック４ｂの長軸方向に沿って移動自在に構成される。このため、ローラ４ａ及び回転ノブ４ｆは、チップ収容トレイ１の外側に向けて引き出し自在に支持ブロック４ｂに連結される。尚、連結アーム４ｅの動きは、スリット４ｇ上に設けられたアームロック４ｈによって規制され、アームロック４ｈを操作することにより、連結アーム４ｅの状態が固定状態と自由状態の間で切り替えられる。
【００２７】
さらに、図４（ｂ）に示すように、中間フレーム４の裏面には、下面視額縁状の支持プレート４ｊが配置され、取付ねじ４ｋを介して支持ブロック４ｂと連結される。尚、中間フレーム４の中央部には、何も設けられず、下部テーブル５に対応する大きさの中空部４ｍが構成される。
【００２８】
下部テーブル５は、シート３を裏面側から支持するために備えられ、図６に示すように、平板状の支持板５ａと、支持板５ａ上に形成された角柱状の台座部５ｂと、台座部５ｂの上面に配置された天板５ｃとを備える。天板５ｃの表面積は、上部プレート２の開口部２ａ（図３参照）の開口面積に比して若干小さく、また、台座部５ｂ及び天板５ｃの合計高さは、下部テーブル５上に中間フレーム４を載置した状態で、天板５ｃの表面が中間フレーム４の支持ブロック４ｂ（図４（ａ）参照）の上面よりも僅かに下方に位置するように設定される。
【００２９】
また、天板５ｃには、図７に示すように、天板５ｃを貫通する複数の微細な吸着孔５ｄが穿設され、これら吸着孔５ｄは、台座部５ｂ内に設けられる通気管（不図示）と接続される。さらに、図６に示すように、支持板５ａの両短側部には、下部テーブル５をベース（不図示）に固定するための取付孔５ｅと、吸引ホースを接続するための配管ポート５ｆと、中間フレーム４の載置の有無を検出するセンサ５ｇとが設けられる。
【００３０】
次に、上記チップ収容トレイ１におけるシート３の取り付け手順について、図８〜図１０を中心に参照しながら説明する。
【００３１】
シート３の取り付けにあたっては、先ず、図８に示すように、接着面３ａを上方にした状態で、シート３を貼付治具７の表面上に載置する。尚、貼付治具７は、上部プレート２とシート３の位置関係やシート３の張り状態等に固体差が生じるのを抑制するためのものである。この貼付治具７は、平板状の治具本体７ａと、治具本体７ａ上に形成され、上部プレート２に対応する表面積を有する凸部７ｂと、治具本体７ａの両短側面に配置され、中間フレーム４の凹部４ｃ（図４（ａ）参照）と同一寸法の凹部７ｃが設けられた位置決め板７ｄとを備える。
【００３２】
そして、シート３の四方を軽く引っ張って皺や弛みを引き延ばし、その状態で、上部プレート２を貼付治具７の上方から被せる。この際、上部プレート２の突出部２ｃが貼付治具７の凹部７ｃと係合するように上部プレート２の位置を調整し、上部プレート２の位置決めを行う。これにより、貼付治具７の凸部７ｂにおいて、上部プレート２の裏面とシート３の接着面３ａとが密着し、上部プレート２にシート３が接着される。尚、治具本体７ａからはみ出すシート３に関しては、この時点で切除するのが好ましい。
【００３３】
次いで、図９に示すように、下部テーブル５の上方から中間フレーム４を被せ、下部テーブル５の台座部５ｂ及び天板５ｃが中間フレーム４の中空部４ｍ（図４参照）内に位置するように、中間フレーム４を下部テーブル５上に載置する。この際、中間フレーム４と下部テーブル５を係合させて両者を止着させてもよいし、中間フレーム４を下部テーブル５上に載置するのみで済ませ、両者を遊着するようにしてもよい。
【００３４】
次に、中間フレーム４の連結アーム４ｅを外側に移動させてローラ４ａ及び回転ノブ４ｆを引き出し（図５参照）、ローラ４ａと下部テーブル５の長側面５ｈ（図６参照）との間隙を拡げる。次いで、貼付治具７から上部プレート２及びシート３を取り外すとともに、図１０に示すように、取り外した上部プレート２及びシート３を下部テーブル５上に載置する。この際、上部プレート２の突出部２ｃが中間フレーム４の凹部４ｃ（図４（ａ）参照）と係合するように上部プレート２の位置を調整し、上部プレート２及びシート３の位置決めを行う。
【００３５】
次に、下部テーブル５の天板５ｃからはみ出たシート３（余分なシート）を、ローラ４ａと下部テーブル５の長側面５ｈとの間隙に挿通させ、ローラ４ａの下方において、シート３の接着面３ａがローラ４ａ側を向く状態とする。かかる作業を下部テーブル５の両長側部において行い、余分なシート３の先端部をローラ４ａに貼り付ける。
【００３６】
次いで、ローラ４ａを回転させてシート３を巻き取り、下部テーブル５の天板５ｃからはみ出たシート３を収容する。それと併行して、連結アーム４ｅを内側に移動させ、ローラ４ａ及び回転ノブ４ｆを内側に押し戻す。これらにより、上部プレート２及びシート３を中間フレーム４に固定するとともに、シート３に引張荷重を与えて皺や撓みが生じるのを防止する。
【００３７】
最後に、天板５ｃの吸着孔５ｄを通じてシート３を吸着し、シート３を天板５ｃに密着させた状態で保持する。これにより、外力によってシート３のずれや撓み等が生じるのを抑制する。以上より、シート３の取り付けが終了し、チップ６が収容可能な状態となる（図１参照）。
【００３８】
その後、シート３を取り外す場合には、シート３の吸着を解除した後、ローラ４ａを巻き取り方向と反対側に回転させ、上部プレート２及びシート３を中間フレーム４から取り外す。また、シート３を交換する必要が生じた場合には、同様の手順で上部プレート２及びシート３を取り外した後、新たなシート３を装着する。この際、上部プレート２及び中間フレーム４をもう１組準備するとともに、それらに新しいシート３を予め装着しておき、新しいシート３を装着した上部プレート２及び中間フレーム４を、古いシート３が付された上部プレート２及び中間フレーム４と交換するようにしてもよい。
【００３９】
以上のように、本実施の形態によれば、余分なシート３を巻き取るローラ４ａを中間フレーム４に設けたため、余分なシート３を簡単に収容することができ、また、ローラ４ａでシート３を巻き取ることにより、シート３に引張荷重を付与することもできる。このため、シート３の取り付け作業の手間を軽減しながら、シート３に皺や撓みが生じるのを抑制することが可能になる。
【００４０】
さらに、取り付け作業の手間を軽減し得ることから、シート３の交換作業も容易となるため、シート３の接着性が弱まった場合には、直ちにシート３を交換することができ、チップ６の脱落事故等を防止することが可能になる。加えて、複数のチップ６をシート３の接着面３ａに接着させて収容するため、チップ６の寸法に応じて複数のチップ収容トレイ１を準備する必要がなく、経済的にも優れたチップ収容トレイを提供することができる。
【００４１】
また、連結アーム４ｅによってローラ４ａを外側へ引き出し自在に連結し、ローラ４ａと下部テーブル５の台座部５ｂとの間隙を拡縮可能としたため、それらの間隙に余分なシート３を挿通させ易くなり、簡単にシート３をローラ４ａに接着することが可能になる。これにより、シート３の巻き取りに要する手間を軽減することができ、作業時間の更なる短縮化を図ることができる。
【００４２】
さらに、チップ収容トレイ１を上部プレート２、中間フレーム４及び下部テーブル５の３部材から構成し、それらを着脱自在に構成したため、上部プレート２や中間フレーム４を取り外した状態で、シート３の取り付け、取り外し及び交換等の作業を行うことができ、作業性を向上させることが可能になる。
【００４３】
尚、上記実施の形態においては、中間フレーム４を下部テーブル５上に載置した後に、上部プレート２及びシート３を中間フレーム４に装着するが、上部プレート２及びシート３を中間フレーム４に装着した後に、それらを下部テーブル５上に載置するようにしてもよい。
【００４４】
また、上記実施の形態においては、外力によるシート３のずれや撓み等を抑制するため、天板５ｃの吸着孔５ｄによってシート３を吸着保持するが、中間フレーム４の支持ブロック４ｂの高さ、又は下部テーブル５の台座部５ｂ及び天板５ｃの合計高さを調整し、天板５ｃの表面を中間フレーム４の支持ブロック４ｂの上面よりも高くすることで対処してもよい。この場合、シート３の張りを強くすることができ、吸着孔５ｄを設けずとも、同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明にかかるチップ収容トレイの一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】図１のチップ収容トレイの分解斜視図である。
【図３】上部プレート及びシートの斜視図である。
【図４】（ａ）は、中間フレームの斜視図であり、（ｂ）は、中間フレームの裏面図である。
【図５】（ａ）は、ローラを内側に押し戻した状態の中間フレームの側面図であり、（ｂ）は、ローラを外側に引き出した状態の中間フレームの側面図である。
【図６】下部テーブルの斜視図である。
【図７】天板の断面図である。
【図８】シートの取り付け工程を示す分解斜視図である。
【図９】シートの取り付け工程を示す斜視図である。
【図１０】シートの取り付け工程を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  チップ収容トレイ
２  上部プレート
２ａ  開口部
２ｂ  短側部
２ｃ  突出部
３  シート
３ａ  接着面
４  中間フレーム
４ａ  ローラ
４ｂ  支持ブロック
４ｃ  凹部
４ｄ  位置決め板
４ｅ  連結アーム
４ｆ  回転ノブ
４ｇ  スリット
４ｈ  アームロック
４ｉ  マグネット
４ｊ  支持プレート
４ｋ  取付ねじ
４ｍ  中空部
５  下部テーブル
５ａ  支持板
５ｂ  台座部
５ｃ  天板
５ｄ  吸着孔
５ｅ  取付孔
５ｆ  配管ポート
５ｇ  センサ
５ｈ  長側面
６  チップ
７  貼付治具
７ａ  治具本体
７ｂ  凸部
７ｃ  凹部
７ｄ  位置決め板
【図１】
0004697615.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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