(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の配列パターンにボール挿入部が設けられた配列治具と、
配列治具の上面に対向する開口部を下面に有し、多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、
配列治具とボールカップとを相対移動させる移動手段とを備え、
移動手段により多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動して、配列治具のボール挿入部に導電性ボールを落とし込んでいく導電性ボールの配列装置において、
ボールカップの相対移動方向後方にボールカップと配列治具との間から漏出した導電性ボールを検出する検出手段を設けたことを特徴とする導電性ボールの配列装置。
【請求項２】
検出手段は２組設けられ、相対移動方向によって切り換えられることを特徴とする請求項１記載の導電性ボールの配列装置。
【請求項３】
検出手段により導電性ボールの漏出を検出するとアラームの発信または配列動作を停止することを特徴とする請求項１または２記載の導電性ボールの配列装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性ボールの収容されたボールカップが、所定パターンにボール挿入部が設けられた配列治具上を相対移動することにより、導電性ボールを配列する装置の改良に関するもので、特に、ボールカップと配列治具の間から漏出した導電性ボールの検出を目的に開発された導電性ボールの配列装置である。
【背景技術】
【０００２】
搭載対象物上に所定の配列パターンで形成された各電極に、半田ボールを搭載する半田ボール搭載装置は、近年、半田ボールが微小化し、ウエハ等の搭載対象製品が大型化したこともあり、１回に搭載する半田ボール数が増大した。このような状況において、半田ボールの配列の欠陥や搭載時の欠陥を減少させるため、特許文献１に示すようなフラックスが印刷された搭載対象物である電子基板上に配列マスク等の配列治具（特許文献１ではテンプレート）を設け、配列治具上をボールカップ（特許文献１では半田ボール収納部）が移動し、直接電子基板の電極上に半田ボールを落とす装置が提供されていた。
【０００３】
しかし、この種の導電性ボールの配列装置では、配列治具の張力が不適正な場合や、平面精度が不良であった場合や、ボールカップの配列治具に対する高さ位置設定が不適正であった場合等に、ボール配列動作中においてボールカップ内の導電性ボールが、ボールカップと配列治具の間から漏出してしまうことがあった。導電性ボールが漏出してしまうと、導電性ボールを搭載する製品は不良となってしまうので、漏出を検出する必要があった。
【０００４】
【特許文献１】特許第３２７１４８２号特許公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、導電性ボールの配列装置におけるボールカップと配列治具の間から漏出した導電性ボールを検出する導電性ボールの配列装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、上記課題を解決するため、導電性ボールの配列装置に次の手段を採用する。
第１に、所定の配列パターンにボール挿入部が設けられた配列治具と、配列治具の上面に対向する開口部を下面に有し、多数の導電性ボールを収容可能なボールカップと、配列治具とボールカップとを相対移動させる移動手段とを備え、移動手段により多数の導電性ボールを収容したボールカップを配列治具上面に沿って相対移動して、配列治具のボール挿入部に導電性ボールを落とし込んでいく導電性ボールの配列装置とする。
第２に、ボールカップの相対移動方向後方にボールカップと配列治具との間から漏出した導電性ボールを検出する検出手段を設ける。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明における検出手段が２組設けられ、相対移動方向によって切り換えられることを付加した導電性ボールの配列装置である。第３の発明は、第１の発明または第２の発明に、検出手段により導電性ボールの漏出を検出するとアラームの発信または配列動作を停止することを付加した導電性ボールの配列装置である。
【発明の効果】
【０００８】
第１の発明は、ボールカップの相対移動方向後方に設けた検出手段により、ボールカップと配列治具との間から漏出した導電性ボールを検出することができるようになった。更に、第２の発明では検出手段が２組設けられ、相対移動方向によって切り換えられること付加した導電性ボールの配列装置であるので、ボールカップが往復移動する場合などにも漏出した導電性ボールを検出することができるものとなった。第３の発明では、漏出を検出するとアラームの発信または配列動作を停止するので、事後の対応に役立つものとなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面に従って、実施例と共に本発明の実施の形態について説明する。実施例は、半田ボール搭載装置であり、半田ボール搭載装置は、搬入用のウエハ受渡部、フラックス印刷部、ボール搭載部、および搬出用のウエハ受渡部を有するもので、本発明にかかる導電性ボールの配列装置は、ボール搭載部を構成するものである。本発明において、導電性ボールの搭載対象物としては、半導体ウエハ（以後、単にウエハと表記する）や、電子回路基板や、セラミックス基板などがあるが、実施例ではウエハを用いている。また、粘着材料としては、フラックスや半田ペーストや導電性の接着剤などが用いられるが、実施例ではフラックスが用いられており、導電性ボールが載置されるウエハ上の電極にはフラックスが塗布されている。
【００１０】
ボール搭載部には、半田ボール供給装置と、所定の配列パターンにボール挿入部が設けられた配列治具が配備されている。配列治具としてはボール配列マスク１が用いられており、図１および図３に示されるボール配列マスク１の挿入部形成領域２には、ボール挿入部４が、図４および図５に示されるように、ウエハ３上の電極のパターンに合わせて配列されて形成されている。
【００１１】
ボール配列マスク１の厚みは供給される半田ボール５の径と略同等であり、ボール挿入部４の径は半田ボール５の径より若干大きく形成してある。ボール配列マスク１でのボール挿入部４の横方向の配列ピッチは、一般にボール挿入部４の孔径の約２倍とされている。尚、ボール配列マスク１は、図１および図３に示されるように型枠６に張力をかけて張り付けられ、フレームなどの固定部に保持されている。
【００１２】
半田ボール供給装置は、図１および図６に示されるように、多数の半田ボール５を貯留したボールホッパ７と、ボール配列マスク１のボール挿入部４に半田ボール５を落とし込むボールカップ８と、ボールカップ８を前進および後退移動させるボールカップ移動手段１１と、ボールカップをＺ軸方向に変移させる昇降手段１２を有している。
【００１３】
このボールカップ８の水平面での移動手段１１は、昇降手段１２を介してボールカップ８が取り付けられたベース部材１３を、前後駆動モータ１６で回転するボールねじ１４により、ガイド１５に沿ってボール配列マスク１上面で前後に移動させるものである。尚、図１中矢印方向が前方向であり、この移動により、その際にボールカップ８よりボール配列マスク１のボール挿入部４に半田ボール５を落とし込む。実施例での移動手段１１は、前後方向のみのものであるが、ボールカップ８の下面開口部１０がボール配列マスク１の挿入部形成領域２より狭い場合などには、必要に応じ左右方向への移動手段が設けられるものである。
【００１４】
ボールカップ昇降手段１２は、ボールカップ８の移動手段１１のベース部材１３に装備されたＺ軸駆動モータ１７（図１では省略されており図６に示される。）により回転するボールねじ１８に取付ベース１９をナット部材２０を介して取り付け、該取付ベース１９が昇降ガイドレール２１に沿って上下動できるようになっている。
【００１５】
ボールカップ８は、上部にボール供給用の長方形をした開口部９が形成され、下面にボール落下用の長方形をした開口部１０が形成されており、ボールカップ８は、図４および図５に示されるように、上部の開口部９より下面の開口部１０に向かって狭くなるように傾斜して形成されている。尚、下面の開口部１０は、ボール配列マスク１の挿入部形成領域２の幅より広い幅で形成されており、ボールカップ８とボール配列マスク１の上面とで多数の半田ボール５を収容可能としている。
【００１６】
ボールカップ８には上限センサ２２Ａ，２２Ｂ、下限センサ２３Ａ，２３Ｂおよび漏出センサ２５Ａ，２５Ｂが装着されている。これらのセンサには反射型ファイバーセンサが利用されている。勿論、投受光型ファイバーセンサ等他のセンサであってもよい。図３および図４に示されるようにボール配列動作中に作用する上限センサ２２Ａは、ボールカップ８の進行方向後壁２４の内側上に装着される。尚、図３および図４の矢印がボールカップ８の進行方向を示している。実施例ではボールカップ８の進行方向が反転した場合にも作用するので上限センサ２２Ａ，２２Ｂは、ボールカップ８内側の中央部の前後とも装着されており、上限センサ２２Ｂが、ボールカップ８が後退移動している際に作用する。すなわち、上限センサ２２Ａ，２２Ｂは、前進用と後退用の２組が存在する。
【００１７】
下限センサ２３Ａ，２３Ｂは、逆方向移動時の上限センサ２２Ａ（ボールカップ８前進時作用の上限センサ），２２Ｂ（ボールカップ８後退時作用の上限センサ）を挟んで、左右２個を鉛直方向に対して傾斜して下方を向くようにボールカップ８の内側に装着されている。上限センサ２２Ｂを挟んで左右２個存在する下限センサ２３Ａがボールカップ８の前進時作用の下限センサであり、上限センサ２２Ａを挟んで左右２個存在する下限センサ２３Ｂがボールカップ８の後退時作用の下限センサである。すなわち下限センサ２３Ａ，２３Ｂも、前進用と後退用の２組が存在する。
【００１８】
尚、下限センサ２３Ａ，２３Ｂは、傾斜して下方を向けて設置されているため、下限センサ２３Ａ，２３Ｂ，を真下に向けた場合に生じる配列治具からの反射光の受光を防止し、半田ボール５の有無を的確に判別している。また、下限センサ２３Ａ，２３Ｂもボールカップ８の進行方向が反転した場合にも作用するため、上限センサ２２Ａ，２２Ｂ同様ボールカップ８の進行方向前後とも装着されている。
【００１９】
上限センサ２２Ａ，２２Ｂおよび下限センサ２３Ａ，２３Ｂともに、ボールカップ８内の半田ボール５からの反射光を感知する。上限センサ２２Ａ，２２Ｂおよび下限センサ２３Ａ，２３Ｂともに半田ボール５があるとＯＮとなる。
【００２０】
上限センサ２２Ａ，２２Ｂの検出エリアは、図４の上限センサ２２Ａのみが示されているが、ボールカップ８内の下方開口部１０付近の進行方向後壁２４の斜面内に設定した位置である。他方下限センサ２３Ａ，２３Ｂの検出エリアも図４に示されるように、ボールカップ８の進行方向前方側内壁近傍の下面開口部内の導電性ボールが積層していない部分である。尚、上限センサ２２Ａ，２２Ｂも下限センサ２３Ａ，２３Ｂも、検出エリアを前後方向に調節可能とする調節具２７を介して、ボールカップ８に取り付けられている。
【００２１】
上限センサ２２Ａ，２２Ｂによるボールカップ８内の半田ボール５の上限の検出は、上限センサ２２Ａ，２２Ｂの検出エリア内での光量の差により行う。上限センサ２２Ａ，２２Ｂによる検出エリア内に多数の半田ボール５が存在する場合（半田ボール５の量が多すぎる場合）には、大きな光量が検出される。他方、半田ボール５が適正量の状態では、検出エリアに半田ボール５が存在しないため上限センサ２２Ａ，２２Ｂは、半田ボール５からの反射光を検出せず、小さな光量しか検出されない。この光量の差で半田ボール５が上限に達しているか否かを判断するのである。
【００２２】
下限センサ２３Ａ，２３Ｂによるボールカップ８内の半田ボール５の下限の検出も、下限センサ２３Ａ，２３Ｂの検出エリア内での光量の差により行う。半田ボール５が適正量の場合には検出エリア内に多数の半田ボールが存在するので、下限センサ２３Ａ，２３Ｂでは大きな光量が検出される。他方、該検出エリアの半田ボール５が少なくなると、半田ボール５のない部分が増大し、小さな光量しか検出されない。この光量の差でボールカップ８内の半田ボール５の下限を検出するのである。
【００２３】
漏出センサ２５Ａ，２５Ｂは、ボールカップ８の相対移動方向の後方、すなわち進行方向後壁の外側で、長手方向では上限センサ２２Ａ、２２Ｂおよび下限センサ２３Ａ，２３Ｂを挟んだ２カ所に、下限センサ２３Ａ，２３Ｂと同様鉛直方向に対して傾斜して下方を向くよう装着されている。更に、漏出センサ２５Ａ，２５Ｂもボールカップ８の進行方向が反転した場合にも作用させるため、上限センサ２２Ａ，２２Ｂや下限センサ２３Ａ，２３Ｂと同様ボールカップ８の進行方向前後ともに装着されている。すなわち漏出センサ２５Ａ，２５Ｂも前進用と後退用の２組が存在し、漏出センサ２５Ａが、前進時の検出センサであり、漏出センサ２５Ｂが後退時の検出センサである。
【００２４】
ボールカップ８からの半田ボール５の流出は１個だけではなく、多数が広い帯状に流れるように漏出するので、検出位置をボールカップ８の長手方向全幅をカバーするように設ける必要はなく、実施例でも前後各２個の設置で十分である。
【００２５】
漏出センサ２５Ａ，２５Ｂによる漏出の検出は、漏出センサ２５Ａ，２５Ｂの検出エリア内での光量の差により行う。漏出センサ２５Ａ，２５Ｂによる検出エリアは、半田ボール５の径より大きい。半田ボール５の漏出時には、検出エリア内に多数の半田ボールが存在するので、漏出センサ２５Ａ，２５Ｂでは、大きな光量が検出される。他方、漏出がない正常な状態では、漏出センサ２５Ａ，２５Ｂは、ボール挿入部４に挿入されている半田ボール５からの反射光を検出するのみであるが、小さな光量しか検出されない。この光量の差で半田ボール５の漏出を検出するのである。
【００２６】
ボールカップ８のボール供給用の開口部９の上方には、長手方向に３個のボールホッパ７が配置されている。
【００２７】
ボールホッパ７は、内部空間に多数の半田ボール５を貯留すると共に貯留した半田ボール５をボールカップ８へと排出する供給口と、該供給口を開放閉鎖可能とする開閉手段たるシャッタ２９を有しており、ボールホッパ７も、ボールカップ８と同じ取付ベース１９に取り付けられている。図中３０は、シャッタ２９を作動させるためのシリンダであり、３個のボールホッパ７の各シリンダ３０は同期して作動されるようになっている。
【００２８】
ボールホッパ７のボール供給口の下方には、ボール検出機構付きの受け部３２が配置されている。ボールホッパ７から受け部３２を通過してボールカップ８へ供給される半田ボール５はボールカップ８内の長手方向で、ほぼ均一に分散されるようになっている。受け部３２に設けられたボール検出センサ３１は、ボールホッパ７のボール供給口から供給される半田ボール５の供給の有無とボール詰まりを検出するもので、実施例では透過型ファイバーセンサを用いている。
【００２９】
ボールホッパ７のシャッタ２９の開でボール補給動作となるが、シャッタ２９開の作動時間に対する半田ボール５の供給量を事前につかんでおく。ボールカップ８内には予め適量を供給しておく。上限センサ２２Ａ、２２Ｂおよび下限センサ２３Ａ，２３Ｂは、ボールホッパ７よりボールカップ８への半田ボール供給時や、ボールカップ８の移動が停止している時には動作しないように設定してある。
【００３０】
生産中に下限センサがＯＮからＯＦＦに変わる（下限を検出する）と、ボールホッパ７からボールカップ８に半田ボール５が補給される。シャッタ２９を開にするとボールホッパ７内の半田ボール５が、供給口から受け部３２へと落下する。このとき受け部３２へ落下した半田ボール５は、ボール検出センサ３１で検出される。
【００３１】
予め定めておいた所定時間経過後、シャッタ２９を閉とし、半田ボール５の供給を停止する。３つのボールホッパ７のシャッタ２９の開閉は同時に制御される。受け部３２へ落下した半田ボール５は、ボール導入部を経て、ボールカップ８へと補給される。この繰り返しにより半田ボール５の補給は行われる。
【００３２】
他方、上限センサ２２Ａ，２２Ｂにより、設定した上限より上に半田ボール５ありを検出すると、ボールカップ８は移動端まで移動して、一旦停止し、その後アラームを発信する。オペレータによりボールカップ８内の半田ボール５が適量となるように図示しない吸引ノズルで吸い上げて回収し運転を再開する。漏出センサ２５Ａ，２５Ｂが、半田ボール５のボールカップ８からの漏出を検出した場合も、アラームを発信して、装置は停止する。勿論、アラームの発信または配列動作の停止のいずれかを行うだけのものでもよい。その場合、ボールカップ８は一旦上方に退避させられ、半田ボール５を吸引ノズルで吸い上げて、回収する。尚、配列治具の交換時も同様に回収される。
【００３３】
尚、ボールカップ８の移動方向が反転すると、有効とするセンサを上限センサ２２Ａ、下限センサ２３Ａ、漏出センサ２５Ａから上限センサ２２Ｂ、下限センサ２３Ｂ、漏出センサ２５Ｂへと切り換える。尚、実施例では、ボールカップ８が移動して、半田ボール５を配列治具に配列していくものであるが、本発明は、配列治具とボールカップは相対移動関係にあればよいので、ボールカップが固定で配列治具が移動する場合も同様に利用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施例にかかる配列装置の全体を示す概略平面図
【図２】ボールカップ部分の平面図
【図３】作動検出センサを示すボールカップの説明図
【図４】上限および下限検知位置を示すボールカップの断面説明図
【図５】漏出検知位置を示すボールカップの断面説明図
【図６】ボールカップとボールホッパの関係を示す側断面説明図
【図７】同正面説明図
【符号の説明】
【００３５】
１．．．．．．ボール配列マスク
２．．．．．．挿入部形成領域
３．．．．．．ウエハ
４．．．．．．ボール挿入部
５．．．．．．半田ボール
６．．．．．．型枠
７．．．．．．ボールホッパ
８．．．．．．ボールカップ
９，１０．．．．．．開口部
１１．．．．．移動手段
１２．．．．．昇降手段
１３．．．．．ベース部材
１４，１８．．．．．ボールねじ
１５．．．．．ガイド
１６．．．．．前後駆動モータ
１７．．．．．Ｚ軸駆動モータ
１９．．．．．取付ベース
２０．．．．．ナット部材
２１．．．．．昇降ガイドレール
２２Ａ，２２Ｂ．．．．．上限センサ
２３Ａ，２３Ｂ．．．．．下限センサ
２４．．．．．後壁
２５Ａ，２５Ｂ．．．．．漏出センサ
２７．．．．．調節具
２９．．．．．シャッタ
３０．．．．．シリンダ
３１．．．．．検出センサ
３２．．．．．受け部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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