(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
１辺の長さがマイクロメートルオーダーである微小部品のハンドリング方法であって、複数個の微小部品を配列して一時的に固定したり剥離するものにおいて、
ａ．ほぼ水平な面を有するジグ上に複数個の微小部品を並べて、熱溶融性のワックスで接着し、
ｂ．前記複数個の微小部品の内、剥離しようとする特定の微小部品に対してレーザを直接照射して加熱することにより、前記熱溶融性ワックスを溶融させ、
ｃ．該特定の微小部品に対して操作力を加えて移動させることを特徴とする、
微小部品のハンドリング方法。
【請求項２】
１辺の長さがマイクロメートルオーダーである微小部品のハンドリング装置において、複数個の微小部品を載置して熱溶融性のワックスで接着し得る構造の固定ジグと、上記固定ジグに載置、接着されている複数個の微小部品の内、特定の微小部品に対してレーザを直接照射する手段と、該特定の微小部品のみを選択的に移動せしめ得る搬送手段とを具備していることを特徴とする、微小部品のハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば磁気ヘッド用スライダのように辺長寸法がマイクロメートルオーダーである微小な部品をハンドリングするための技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロメートルオーダーの微小部品を加工したり測定，検査したりするとき、これらの操作を能率良く行なうため、多数の微小部品をジグに取付ける場合が多い。
このようなとき、ジグに対して該多数の微小部品を固定することは勿論必要であるが、
固定されている多数の微小部品の内、特定の微小部品のみを取り外さねばならなくなる場合が少なくない。
【０００３】
マイクロメートルオーダーの微小部品の例として、図２（Ａ）に示す磁気ヘッド用スライダ１が有る。
磁気ヘッド用スライダの製造工程の前半においては、ウエハ面上に多数のスライダを構成されるが、加工工程の進行に伴って数十個ずつバー状に切断され、更には１個ずつ切り離される。
本図２（Ｂ）は、個々に切り離された多数の磁気ヘッド用スライダ１をハンドリングするための従来技術を示している。
【０００４】
水平な頂面を有する固定ジグ２の上に、多数の磁気ヘッド用スライダ１が１列に並べられる。
上記の図（Ｂ）に鎖線楕円ｃで囲んだ部分を拡大して模式的に描くと本図２（Ｃ）のごとくである。隣接するスライダ相互の間隔は、５０〜１００マイクロメートルというように非常に狭い。
固定ジグ２に載せられた磁気ヘッド用スライダ１は、熱熔融性のワックス３によって接着されている。この例の熱熔融ワックスは、８０度（摂氏）で熔融する。また、スライダの耐熱性限度は１２０度である。
【０００５】
この例のハンドリング技術（従来例）において、接着されている磁気ヘッド用スライダを取り外す（剥離する）には、固定ジグ２をホットプレート（図示省略）に乗せて加熱する。
加熱されて熱熔融ワックスが熔融すると、微小なピンセットで所望の磁気ヘッド用スライダを挟んで持ち上げる。
【特許文献１】特開平０５−１５９２６０号公報
【特許文献１】特開２００５−８８１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図２に示した従来例において、固定ジグ２をホットプレート（図外）に乗せて加熱したとき、熱熔融性のワックスが熔融点に達するまでに若干の時間を要し、作業能率の低下を招く。
さらに、多数の磁気ヘッド用スライダ１のそれぞれを接着している熱熔融ワックス３が一斉に昇温して熔融する。こうした状態で、微小な磁気ヘッド用スライダを１個だけピンセットで挟み取る操作は、高度の熟練と多大な労力とを要する。
すなわち、取り上げようとするスライダに隣接しているスライダも、ワックスの熔融によって接着が緩んでいるから、ちょっと触れると動いてしまう。          
マイクロメートルオーダーの微小な多数の部品が動いてしまうと見分けがつかなくなるので、元の位置へ戻す操作は大変である。
【０００７】
本発明は以上に述べた事情に鑑みて為されたものであって、その目的とするところは、
多数の微小部品を固定ジグに配列して接着した場合、所望の微小部品だけを迅速容易に取り上げることができ、隣接する微小部品に悪影響を及ぼす虞れの無い、微小部品のハンドリング方法、および同装置を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために創作した本発明の基本技術を、その１実施形態に対応する図１（Ａ）を参照して略述すると次の通りである。多数の磁気ヘッド用スライダ（１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ）が固定ジグ（２）の上に配列されて、それぞれ熱溶融性ワックス（３）で接着されている場合、特定の磁気ヘッド用スライダ（例えば１ｃ）を剥離させて取り出すには、その標的である磁気ヘッド用スライダ（１ｃ）に対しレーザ（４）を直接照射する。
すると、多数の磁気ヘッド用スライダの中で標的の磁気ヘッド用スライダ（１ｃ）だけが加熱される。その結果、標的スライダ（１ｃ）を接着している熱溶融性ワックス（３）が融点に達し、外力を加えて取り出せるようになる。
【０００９】
請求項１に係る発明方法の構成は、
（図１参照）、１辺の長さがマイクロメートルオーダーである微小部品のハンドリング方法であって、複数個の微小部品を配列して一時的に固定したり剥離したりするものにおいて、
ａ．ほぼ水平な頂面を有するジグ（例えば固定ジグ２）の上に複数個の微小部品（例えば磁気ヘッド用スライダ１ａ〜同１ｅ）を並べて、それぞれを熱熔融性のワックス（３）で接着し、
ｂ．前記複数個の微小部品の内、剥離しようとする特定の微小部品（例えば磁気ヘッド用スライダ１ｃ）に対してレーザ（４）を照射して加熱することにより、前記熱熔融性ワックスを熔融させ、
ｃ．該特定の微小部品（磁気ヘッド用スライダ１ｃ）に対し操作力を加えて取り出すことを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明装置の構成は、
（図１参照）、１辺の長さがマイクロメートルオーダーである微小部品のハンドリング装置において、  複数個の微小部品（例えば磁気ヘッド用スライダ１ａ〜同１ｅ）を載置して熱熔融ワックス（３）で接着し得る構造の固定ジグ（２）と、  
上記の固定ジグ（２）に載置，接着されている複数個の微小部品（１ａ〜１ｅ）の内、特定の微小部品（１ｃ）に対してレーザ（４）を照射する手段と、
（図２参照）該特定の微小部品（１ｃ）のみを選択的に移動せしめ得る搬送手段（５）とを具備していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明方法を適用すると、熱熔融ワックスで接着固定されている多数の微小部品の中で、特定の微小部品だけをレーザで加熱するので、該特定の微小部品を接着している熱熔融ワックスだけが昇温して融解し、所望の微小部品だけを取り出すことができる。
この場合、熱容量の大きい固定ジグを加熱昇温させる必要が無く、標的とする微小部品付近だけを加熱するので、所要時間が短くて済み、所要エネルギーが少ない。
取出し目標の微小部品に隣接している微小部品を接着している熱熔融ワックスは未だ融点に達していないから強固に固定されており、過って軽く触れても移動しないから、操作が容易である。
【００１２】
請求項２の発明装置によると、（図１参照）微小部品（例えば磁気ヘッド用スライダ）を載置して熱熔融ワックスで接着し得る構造の固定ジグ（２）と、  
上記の固定ジグに載置，接着されている複数個の微小部品（１ａ〜１ｅ）の内、特定の微小部品（例えば１ｃ）に対してレーザ（４）を照射する手段と、
（図２参照）該特定の微小部品（１ｃ）のみを選択的に移動せしめ得る搬送手段（５）とを具備しているので、上記特定の微小部品だけを加熱することができる。従って、この特定の微小部品を接着している熱熔融ワックスだけを熔融させることができる。これにより、多数の微小部品の中から所望の微小部品を迅速容易に取り出すことができる。
すなわち、前記請求項１の発明方法を容易に実施して、その目的を充分に発揮せしめることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本発明装置の１実施形態を模式的に描いた斜視図である。
固定ジグ２の上に、複数の磁気ヘッド用スライダ１ａ，同１ｂ，同１ｃ，同１ｄ，同１ｅが配列され、それぞれ熱熔融ワックス３で接着されている（本実施形態に関する以上の構成は、前掲の図２に示した従来例と同様である。
本実施形態においては、剥離させて取り出そうとする磁気ヘッド用スライダ１ｃに、レーザ４を照射する。
【００１４】
レーザを照射された目標のスライダ１ｃは加熱されて昇温し、これを接着している熱熔融ワックスが熱伝導を受けて昇温する。このようにして、目標スライダの接着剤として機能している熱熔融ワックスだけが流動し得るようになる。
この状態の模式的な平面図を図１（Ｂ）に示す。この図（Ｂ）においても、多数の磁気ヘッド用スライダ１ａ〜同１ｆの中で磁気ヘッド用スライダ１ｃだけがレーザ加熱されてワックスが熔融している。  
【００１５】
説明の便宜上、図示のように水平な直交座標Ｘ−Ｙを想定する。固定ジグ２の頂面はＸ−Ｙ面に沿っており、多数の磁気ヘッド用スライダ１ａ〜同１ｆはＸ軸方向に配列されている。
プッシャ５によって「接着が緩んでいる磁気ヘッド用スライダ１ｃ」をＹ軸と平行に、すなわちスライダの配列方向と直角に押動する（矢印ａ）。
固結しているとき接着剤として作用する熱熔融ワックスであるが、熔融状態においては接着機能を失い、むしろ潤滑剤に近い作用を表して、実線位置の磁気ヘッド用スライダ１ｃを破線位置１Ｃに導く。
【００１６】
上記のように、目標の磁気ヘッド用スライダ１ｃをＹ軸方向に押すと、隣のスライダ（１ｂ、１ｄ）との間隔が狭くても、影響を与える虞れが無い。
破線位置１Ｃまで押し動かした後は、適宜の搬送手段を用いて真空吸着しようと、挟持しようと、他の磁気ヘッド用スライダ（１ａ，１ｂ、１ｄ〜１ｆ）に悪影響を及ぼす心配なく搬出することができる。
このとき、目標磁気ヘッド用スライダ１ｃを固定ジグ２から剥離させないうちに降温して、熱熔融ワックスが凝固してしまうと困るので、必要に応じて搬送用の部材（例えば挟持爪）を暖めておくことが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の１実施形態を示し、（Ａ）は磁気ヘッド用スライダにレーザを照射している状態を模式的に描いた斜視図、（Ｂ）はレーザ照射後の磁気ヘッド用スライダを搬出している状態を模式的に描いた平面図
【図２】磁気ヘッド用スライダの固定と剥離とに関する従来技術を説明するために示したもので、（Ａ）は磁気ヘッド用スライダの外観斜視図、（Ｂ）は固定ジグの上に多数の磁気ヘッド用スライダを配列した状態の外観斜視図、（Ｃ）は鎖線楕円で囲んだ部分の拡大断面図
【符号の説明】
【００１８】
１，１ａ〜１ｆ…磁気ヘッド用スライダ、２…固定ジグ、３…熱熔融ワックス、４…レーザ、５…プッシャ。
【図１】
0004793980.tif 000002
【図２】
0004793980.tif 000003