(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
個別電極と共通電極とが圧電材料層を挟んで交互に複数積層されてなりその先端部側が複数のスリットによって櫛歯状に切り分けられて圧電素子の列が形成されると共にこの列の両側に位置決め部が形成される圧電素子形成部材と該圧電素子形成部材の基端部側が接合される固定基板とを具備する圧電素子ユニットを形成する際に用いられて、前記圧電素子形成部材と前記固定基板とを位置決め接合する加圧接合装置であって、
前記固定基板を保持すると共に基台上に着脱自在に戴置される固定治具と、
前記固定基板の面方向に移動自在に設けられ前記圧電素子の列方向における前記圧電素子形成部材の両端面にその先端部側から係合する係合部を有すると共に前記圧電素子形成部材の前記位置決め部となる部分の先端部側の端面に当接する突出部を有する係合部材と、前記圧電素子形成部材の基端部側の端面に当接して当該圧電素子形成部材を前記係合部材側に押圧する押圧部材とを具備して当該圧電素子形成部材を所定位置に位置決めした状態で前記基台上に保持する保持治具と、
前記基台に立設されるスライド軸に上下方向に移動可能に固定されるスライド部材と、該スライド部材に設けられるスリット状のガイド孔に挿通されて先端部が前記基台側に突出した状態で上下方向移動可能に当該スライド部材に係合保持されるコマ部材と、前記スライド部材に固定され前記コマ部材の先端面を前記圧電素子形成部材に当接させた状態で前記コマ部材を前記圧電素子形成部材側に押圧する付勢部材とを具備する加圧部材と
を有することを特徴とする加圧接合装置。
【請求項２】
少なくとも前記コマ部材、前記スライド部材及び前記基台が同一材料からなることを特徴とする請求項１に記載の加圧接合装置。
【請求項３】
少なくとも前記コマ部材、前記スライド部材及び前記基台が鋼材で形成されていることを特徴とする請求項２に記載の加圧接合装置。
【請求項４】
前記押圧部材が、前記圧電素子形成部材の基端部側の端面の全面に当接することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の加圧接合装置。
【請求項５】
前記コマ部材の長手方向に所定間隔で並設された複数の前記付勢部材を具備し、これら複数の付勢部材によって前記コマ部材を押圧することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の加圧接合装置。
【請求項６】
前記付勢部材の先端部の形状が球状であり、当該付勢部材が前記コマ部材と点接触することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の加圧接合装置。
【請求項７】
前記付勢部材がボールプランジャであることを特徴とする請求項６に記載の加圧接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の圧電素子が一体的に形成される圧電素子形成部材と有する圧電素子ユニットの製造に用いられる加圧接合装置、すなわち、圧電素子形成部材と固定基板とを位置決めした状態で接合する加圧接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子の変位を利用した装置としては、例えば、インク等の液滴をノズル開口から吐出させる液体噴射ヘッドが挙げられる。具体的には、ノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室に供給された液体に圧力を付与することでノズル開口から液滴として吐出させている。そして、このような液体噴射ヘッド等に利用される圧電素子としては、例えば、個別電極と共通電極とが圧電材料を挟んで交互に積層形成されたものがある。具体的には、例えば、電極と圧電材料とを交互に積層した圧電振動板（圧電素子形成部材）の非振動領域を固定基板に接合すると共に、圧電振動板の振動領域を櫛歯状に切り分けることによって複数の圧電振動子（圧電素子）を有する圧電振動子ユニット（圧電素子ユニット）として構成されたものがある（例えば、特許文献１参照）。そして、このような圧電素子ユニットは、各圧電素子の先端面を振動板に当接させた状態で固定されて使用される。
【０００３】
ここで、このような圧電素子ユニットは、一般的に、加圧接合装置によって圧電素子形成部材と固定基板とを相対的に位置決めした状態で接合することによって形成される。具体的には、加圧接合装置の基台上に固定基板と圧電素子形成部材とを接着剤を介して位置決め固定し、圧電素子形成部材を固定基板側に押圧した状態で加熱することで接着剤を硬化させて両者を接合している。このように固定基板と圧電素子形成部材とを接合する際には、接着剤を加熱によって硬化させているため、例えば、固定基板、圧電素子形成部材を固定するための治具等、加圧接合装置を構成する各部材がこの熱によって変形する場合がある。そして、このような加圧装置を構成する各部材の変形等に伴って、例えば、図１０に示すように、圧電素子ユニット１００を構成する圧電素子形成部材１３０と接合基板１４０とが、圧電素子形成部材１３０の先端部側の端面１３０ａが凸又は凹となるように変形した状態で接合されてしまう虞がある。そして、このように圧電素子形成部材が変形した状態で固定基板に接合された結果、圧電素子形成部材を櫛歯状に切り分けることによって形成される圧電素子の先端面の高さにばらつきが生じ、圧電素子ユニットを液体噴射ヘッド等に搭載する際に、全ての圧電素子の先端面を振動板に当接させることができず、例えば、ドット抜け等の吐出不良が発生してしまう虞がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１２９４７４号公報（第３〜４頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明はこのような事情に鑑み、圧電素子形成部材の変形を抑えて圧電素子形成部材と固定基板と良好に接合することができる加圧接合装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、個別電極と共通電極とが圧電材料層を挟んで交互に複数積層されてなりその先端部側が複数のスリットによって櫛歯状に切り分けられて圧電素子の列が形成されると共にこの列の両側に位置決め部が形成される圧電素子形成部材と該圧電素子形成部材の基端部側が接合される固定基板とを具備する圧電素子ユニットを形成する際に用いられて、前記圧電素子形成部材と前記固定基板とを位置決め接合する加圧接合装置であって、前記固定基板を保持すると共に基台上に着脱自在に戴置される固定治具と、前記固定基板の面方向に移動自在に設けられ前記圧電素子の列方向における前記圧電素子形成部材の両端面にその先端部側から係合する係合部を有すると共に前記圧電素子形成部材の前記位置決め部となる部分の先端部側の端面に当接する突出部を有する係合部材と、前記圧電素子形成部材の基端部側の端面に当接して当該圧電素子形成部材を前記係合部材側に押圧する押圧部材とを具備して当該圧電素子形成部材を所定位置に位置決めした状態で前記基台上に保持する保持治具と、前記基台に立設されるスライド軸に上下方向に移動可能に固定されるスライド部材と、該スライド部材に設けられるスリット状のガイド孔に挿通されて先端部が前記基台側に突出した状態で上下方向移動可能に当該スライド部材に係合保持されるコマ部材と、前記スライド部材に固定され前記コマ部材の先端面を前記圧電素子形成部材に当接させた状態で前記コマ部材を前記圧電素子形成部材側に押圧する付勢部材とを具備する加圧部材とを有することを特徴とする加圧接合装置にある。
かかる第１の態様では、係合部材及び押圧部材からなる保持治具によって圧電素子形成部材を良好に保持して、圧電素子形成部材と固定基板とを接合することができる。このため、圧電素子形成部材と固定基板とを接合するための接着剤を硬化させる際の熱により、圧電素子形成部材が変形した状態で固定基板に接合されてしまうのを防止することができる。すなわち、圧電素子形成部材を、その先端部側の端面が略平坦な状態のまま固定基板に接合することができる。
【０００７】
本発明の第２の態様は、少なくとも前記コマ部材、前記スライド部材及び前記基台が同一材料からなることを特徴とする第１の態様の加圧接合装置にある。
かかる第２の態様では、接着材を硬化させる際の熱によるコマ部材等、各部材の変形を抑えることができるため、圧電素子形成部材の変形がより確実に抑えられる。
【０００８】
本発明の第３の態様は、少なくとも前記コマ部材、前記スライド部材及び前記基台が鋼材で形成されていることを特徴とする第２の態様の加圧接合装置にある。
かかる第３の態様では、線膨張係数の比較的低い材料でコマ部材等の各部材を形成することで熱による各部材の変形が小さく抑えられ、圧電素子形成部材の変形がより確実に抑えられる。
【０００９】
本発明の第４の態様は、前記押圧部材が、前記圧電素子形成部材の基端部側の端面の全面に当接することを特徴とする第１〜３の何れかの態様の加圧接合装置にある。
かかる第４の態様では、押圧部材によって圧電素子形成部材が支持されることで、圧電素子形成部材の変形がより確実に抑えられる。また、押圧部材が圧電素子形成部材の基端部側に当接するため、圧電素子に欠け等が発生することがない。
【００１０】
本発明の第５の態様は、前記コマ部材の長手方向に所定間隔で並設された複数の前記付勢部材を具備し、これら複数の付勢部材によって前記コマ部材を押圧することを特徴とする第１〜４の何れかの態様の加圧接合装置にある。
かかる第５の態様では、圧電素子形成部材の表面状態に拘わらず、圧電素子形成部材をコマ部材によって良好に加圧することができる。
【００１１】
本発明の第６の態様は、前記付勢部材の先端部の形状が球状であり、当該付勢部材が前記コマ部材と点接触することを特徴とする第１〜５の何れかの態様の加圧接合装置にある。
かかる第６の態様では、圧電素子形成部材の表面状態に拘わらず、圧電素子形成部材をコマ部材によってさらに良好に加圧することができる。
【００１２】
本発明の第７の態様は、前記付勢部材がボールプランジャであることを特徴とする第６の態様の加圧接合装置にある。
かかる第７の態様では、圧電素子形成部材の表面状態に拘わらず、圧電素子形成部材をコマ部材を所定の圧力でさらに良好に加圧することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る加圧接合装置を用いて製造した圧電素子ユニットの概略斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ′断面図である。図１及び図２に示すように、圧電素子ユニット１０は、複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列１２を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部側が自由端となるようにその基端部側が接着剤２０によって接着される固定基板１４とを有する。
【００１４】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、共通電極又は個別電極となる電極層１６、１７とを交互に積層することにより形成され、例えば、ワイヤソー等によって複数の切り込み部１８を形成することにより櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成されている。また、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子ユニット１０を液体噴射ヘッドに組み込む際に、圧電素子ユニット１０を高精度に位置決めするために設けられていて、圧電素子１１と同様の圧電材料層１５と電極層１６、１７を有するが外部電極と接続しないため駆動することのないダミー素子である。一方、固定基板１４は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる板状部材からなり、圧電素子形成部材１３の振動領域である先端部側が自由端となるように、圧電素子形成部材１３の非振動領域である基端部側が接着剤２０によって接着されている。
【００１５】
そして、このような圧電素子ユニット１０は、例えば、液体噴射ヘッドに搭載される。以下に、その一例としてインクジェット式記録ヘッドについて説明する。なお、図３は、インクジェット式記録ヘッドの概略を示す断面図である。図３に示すように、流路形成基板３０には圧力発生室３１が形成されており、この圧力発生室３１はその幅方向で複数並設されている。また、各圧力発生室３１の長手方向一端部側には、各圧力発生室３１にインクを供給するためのリザーバ３２がインク供給口３３を介して連通されている。また、流路形成基板３０の圧力発生室３１の開口面側は振動板３４で封止され、他方面側にはノズル開口３５が穿設されたノズルプレート３６が接合されている。振動板３４上には、図示しないインクカートリッジやメインタンクからのインク供給を受けるサブタンクなどのインク貯留部に接続されるインク供給路３７を有するヘッドケース３８が固定されており、且つこのヘッドケース３８には、上述した圧電素子ユニット１０が高精度に位置決めされて固定されている。すなわち、圧電素子ユニット１０は、各圧電素子１１の先端面が振動板３４上の各圧力発生室３２に対応する領域に設けられた各アイランド部３９に当接した状態で固定されている。
【００１６】
このように構成されたインクジェット式記録ヘッドでは、インク貯留部に連通されるインク供給路を介してリザーバ３２にインクが供給され、インク供給口３３を介して各圧力発生室３１に分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板３４が圧電素子１１と共に引き上げられて圧力発生室３１の容積が広げられ、圧力発生室３１内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口３５に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧電素子１１に印加していた電圧を解除すると、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板３４も変位して元の状態に戻るため圧力発生室３１が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口３５からインク滴が吐出される。
【００１７】
そして、このようにインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドでは、圧電素子１１の極めて微小な変形（伸縮）を利用してノズル開口３５からインク滴を吐出させているため、液体噴射ヘッド等に用いられる圧電素子ユニット１０は、極めて高精度に形成する必要がある。すなわち、固定基板１４と圧電素子形成部材１３とを高精度に接合する必要がある。
【００１８】
以下、固定基板１４と圧電素子形成部材１３とを接合に用いる本発明の加圧接合装置について説明する。図４は、加圧接合装置の概略斜視図であり、図５は、加圧接合装置の正面方向の一部断面図であり、図６は、図４のＢ−Ｂ′断面図である。図示するように、本発明に係る加圧接合装置４０は、装置本体４１上に設けられる基台４２を有し、基台４２上には固定基板１４を保持する固定治具４３が着脱自在に戴置されている。本実施形態に係る固定治具４３には、複数、例えば、４つの固定基板１４が保持される。すなわち、本実施形態に係る加圧接合装置４０は、４つの圧電素子ユニット１０を同時に形成することができるようになっている。
【００１９】
また、装置本体４１上には、圧電素子形成部材１３を所定位置に位置決めした状態で基台上に保持する保持治具４４が設けられている。本実施形態に係る保持治具４４は固定基板１４の面方向に移動自在に設けられ、圧電素子形成部材１３の先端部側に配されて圧電素子形成部材１３が係合保持される係合部材４５と、圧電素子形成部材１３の基端部側に配されて圧電素子形成部材１３を係合部材４５側に押圧する押圧部材４６とで構成されている。
【００２０】
係合部材４５は、圧電素子形成部材１３の先端部側に係合する係合部４７を有し、圧電素子形成部材１３の先端部側の端面に対向する領域には、係合部４７の内側に突出し圧電素子形成部材１３の先端部側の端面に当接する突出部４８が設けられている。この突出部４８は、圧電素子形成部材１３の両端部近傍に対応する部分、すなわち、圧電素子形成部材１３の位置決め部１９が形成される部分に対応して設けられている。これにより、圧電素子形成部材１３の圧電素子１１が形成される領域に、係合部材４５が当接することがなく、圧電素子１１の先端部の欠けや割れ等の発生が防止される。一方、押圧部材４６は、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面に対向して設けられて圧電素子形成部材１３の端面に当接する当接部４９を有し、この当接部４９は、本実施形態では、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面と同一又はそれ以上の面積で形成されている。すなわち、押圧部材４６の当接部４９は、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面のほぼ全面に接触する大きさを有する。これにより、圧電素子形成部材１３と固定基板１４を接合する際に、圧電素子形成部材１３がこの押圧部材４６（当接部４９）によって確実に支持され圧電素子形成部材１３の変形が防止される。
【００２１】
また、固定治具４３が固定される基台４２の両端部には、一対のスライド軸５０が立設されており、この一対のスライド軸５０には、圧電素子形成部材１３を固定基板１４側に押圧するための加圧部材５１がスライド可能に固定されている。この加圧部材５１は、スライド軸５０に上下方向に移動可能に固定されるスライド部材５２と、スライド部材５２に設けられるスリット状のガイド孔５３に挿通されて先端部が基台４２側に突出した状態でこのスライド部材５２に係合保持されるコマ部材５４と、スライド部材５２に固定されてコマ部材５４の先端面を圧電素子形成部材１３に当接させた状態でコマ部材５４を圧電素子形成部材１３側に押圧する付勢部材５５とを具備する。
【００２２】
ここで、本実施形態に係るスライド部材５２は、スライド軸５０に上下方向に移動可能に固定される支持板５６と、この支持板５６の下面側に固定されてコマ部材５４が挿通されるガイド孔５３が設けられたガイド板５７と、支持板５６の上面側に設けられて支持板５６と共に付勢部材５５を固定する固定板５８とで構成されている。
【００２３】
コマ部材５４は、各固定治具４３に固定された各固定基板１４に対応して設けられており、例えば、本実施形態では、４つのコマ部材５４が設けられている。すなわち、ガイド板５７には、各固定基板１４に対応して４つのガイド孔５３が設けられており、各コマ部材５４は、各ガイド孔５３に挿通されてガイド板５７に係合保持されている。具体的には、各コマ部材５４は、基端部（上端部）側にフランジ部５９を有し、ガイド孔５３に挿通されるとその先端部がガイド板５７の下側（基台側）に突出した状態で、フランジ部５９がガイド板５７の表面に係止されるようになっている。このようにコマ部材５４が挿通されるガイド孔５３は、コマ部材５４との間に、例えば、２０μｍ程度の若干のクリアランスが確保される大きさで形成されており、各コマ部材５４は、図７に示すように、上下方向の移動が許容されていると共に、前後方向（図中左右方向）への多少の傾斜が許容されている。なお、コマ部材５４の固定治具４３側の先端面には、弾性材料からなる弾性層６０が設けられている。この弾性層６０は、コマ部材５４を圧電素子形成部材１３に良好に当接させるために設けたものであり、その材質は、特に限定されないが、例えば、本実施形態では、厚さ約０．２ｍｍ、硬度Ｈｓ５０のシリコーンゴムを用いている。この弾性膜６０を設けることで、圧電素子形成部材１３を傷付けるリスクを僅かにすることができる。
【００２４】
付勢部材５５は、各コマ部材５４に対応してそれぞれ独立して設けられている。また、付勢部材５５は、各コマ部材５４に対してそれぞれ複数設けられていることが好ましく、例えば、本実施形態では、各コマ部材５４に対してそれぞれ２つの付勢部材５５が所定間隔で設けられている。また、付勢部材５５のコマ部材５４と接触する先端部は、コマ部材５４と点接触する形状となっていることが好ましい。例えば、本実施形態に係る付勢部材５５は、筒状体６１内に挿入された球状体６２が、例えば、コイルばね等からなる弾性部材６３によって付勢され筒状体６１の先端部の開口から若干突出した状態で保持されてなる。すなわち、本実施形態に係る付勢部材５５はいわゆるボールプランジャであり、その先端（球状体６２）はコマ部材５４に点接触するようになっている。
【００２５】
また、この付勢部材５５とコマ部材５４との間にも、例えば、コイルばね等からなる弾性部材６４が介装されている。コマ部材５４が圧電素子形成部材１３に当接されていない状態では、コマ部材５４と付勢部材５５との間には所定の間隔が確保されており、コマ部材５４はこの弾性部材６４のみで付勢されている。この弾性部材６４は、コマ部材５４を下方に向かって加圧する役割と共にコマ部材５４の必要以上の傾斜を抑える役割も果たしている。
【００２６】
このようなコマ部材５４、スライド部材５２及び基台４２は、同一材料で形成されていることが好ましく、特に、線膨張係数が比較的小さい材料、例えば、鋼材等によって形成されていることが好ましい。本実施形態では、これらコマ部材５４等の材料として、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を用いている。このようにコマ部材５４等を同一材料で形成することで、各部材は、固定基板１４と圧電素子形成部材１３とを接合する際の熱による変形が比較的小さく抑えられる。これにより、例えば、固定基板１４と圧電素子形成部材１３との相対位置のずれ等を小さく抑えることができる。特に、線膨張係数が比較的小さい、例えば、Ｓ４５Ｃ等の鋼材を用いれば、各部材の熱による変形がさらに小さく抑えられるため、上記相対位置のずれ等の発生をより確実に小さく抑えることができる。
【００２７】
以下、このような加圧接合装置４０を用いた圧電素子ユニット１０の製造手順について図８及び図９を参照して詳細に説明する。なお、図８は、圧電素子ユニットの製造工程を示す平面図であり、図９は、圧電素子ユニットの製造工程を示す断面図である。
【００２８】
図８（ａ）に示すように、まず、固定基板１４が所定位置に固定された固定治具４３を基台４２上に位置決め固定する。なお、上述したように本実施形態では、固定治具４３には４つの固定基板１４が保持されている。この固定治具４３の位置決め方法は、特に限定されず、例えば、本実施形態では、基台４２上に基準となる基準ピン（図示なし）を設けておき、固定治具４３をこの基準ピンに当接させることによって位置決めしている。このとき、圧電素子形成部材１３を位置決め保持するための保持治具４４、すなわち、係合部材４５及び押圧部材４６は、各固定基板１４に対応して基台４２の外側に位置している。
【００２９】
次に、図８（ｂ）に示すように、係合部材４５を固定基板１４に対向する領域の所定位置に移動して固定した後、係合部材４５の係合部４７に係合されるように圧電素子形成部材１３を固定基板１４上に載置する。このとき、固定基板１４又は圧電素子形成部材１３の何れか一方に接着剤を塗布しておき、固定基板１４上に接着剤を介して圧電素子形成部材１３を載置する。
【００３０】
次いで、図８（ｃ）に示すように、押圧部材４６を移動させ、押圧部材４６の当接部４９を圧電素子形成部材１３の基端部側の端面に当接させて係合部材４５側に所定の圧力で押圧する。そして、圧電素子形成部材１３の先端部側の端面を係合部材４５の突出部４８に当接させる。すなわち、圧電素子形成部材１３を押圧部材４６によって押圧して、この押圧部材４６の当接部４９と係合部材４５の突出部４８との間に圧電素子形成部材１３を挟み込むことで圧電素子形成部材１３を所定位置に位置決めして保持する。このとき、突出部４８を、圧電素子形成部材１３の位置決め部１９に当接させ、圧電素子１１の先端は突出部４８に当接させないようにしているため、圧電素子形成部材１３の位置決め精度は確保することができ、且つ圧電素子１１の先端を傷つけることがない。
【００３１】
次に、図９に示すように、例えば、駆動モータを用いた駆動装置、油圧ポンプあるいは電磁ポンプ等で構成される加圧手段（図示なし）によって加圧部材５１（スライド部材５２）を所定位置まで下降させ、コマ部材５４によって各圧電素子形成部材１３を固定基板１４側に所定圧力で加圧する。すなわち、コマ部材５４が付勢部材５５の先端部の球状体６２に当接するまでスライド部材５２を下降させて固定すると、コマ部材５４が付勢部材５５及び弾性部材６４によって圧電素子形成部材１３側に付勢され、その結果、圧電素子形成部材１３はコマ部材５４によって固定基板１４側に所定圧力で加圧された状態で保持される。そして、このように圧電素子形成部材１３を固定基板１４側に加圧したまま、例えば、１５０℃〜２００℃程度の温度下で接着剤２０（図２参照）を加熱硬化させる。
【００３２】
ここで、上述したようにコマ部材５４は若干の傾斜が許容されていると共に、点接触する複数の付勢部材５５によって付勢されている。このため、例えば、圧電素子形成部材１３の表面が若干傾斜している場合等であっても、コマ部材５４によって圧電素子形成部材１３全体を略均一な圧力で加圧することができる。したがって、本発明に係る加圧接合装置４０によって圧電素子形成部材１３と固定基板１４とを接合することにより、両者を高精度に位置決めした状態で常に良好に接合することができる。
【００３３】
その後は、図示しないが圧電素子形成部材１３と固定基板１４との接合体を加圧接合装置４０から取り外し、例えば、ワイヤソー等によって圧電素子形成部材１３の先端部側を櫛歯状に切り分けることによって図１に示すような圧電素子ユニット１０を製造する。
【００３４】
そして、このように本発明に係る加圧接合装置４０を用いて圧電素子ユニット１０を製造することにより、圧電素子ユニット１０をインクジェット式記録ヘッドに組み込む際、各圧電素子１１の先端部を振動板３４のアイランド部３９に確実に当接させることができ、例えば、ドット抜け等の印刷不良が発生するのを防止することができる（図３参照）。
【００３５】
特に本実施形態では、上述したように圧電素子形成部材１３の先端面側の端面には、係合部材４５の突出部４８のみが当接するようにし、圧電素子１１が形成される領域に欠けや割れ等が発生するのを防止している。また、圧電素子形成部材１３の基端部側の端面には、その略全面に押圧部材４６の当接部４９を当接させ、圧電素子形成部材１３の変形（図１０参照）、特に、圧電素子形成部材１３の先端側が凹となる変形を防止している。さらに、コマ部材５４、スライド部材５２及び基台４２を同一材料（Ｓ４５Ｃ）で形成し、接着剤２０を硬化させる際の熱によるこれら各部材の変形を抑えている。したがって、本実施形態に係る加圧接合装置４０を用いて圧電素子ユニット１０を製造すれば、圧電素子形成部材１３の変形、すなわち、その先端部側の凹凸量をさらに小さく抑えることができる。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、勿論、本発明はこの実施形態に限定されるものでないことは言うまでもない。例えば、本実施形態では、スライド部材が、支持板、ガイド板及び固定板からなるものを例示したが、これに限定されるものではない。すなわち、スライド部材は、コマ部材及び付勢部材を所定の条件で保持できるものであればよく、例えば、支持板とガイド板とが一体的に形成されていてもよい。また、例えば、本実施形態では、係合部材及び押圧部材が、各圧電素子形成部材に対応してそれぞれ独立して設けられた構成を例示したが、勿論、係合部材及び押圧部材は、それぞれ、複数の圧電素子形成部材に対応して一体的に形成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】圧電素子ユニットの一例を示す概略斜視図である。
【図２】圧電素子ユニットの一例を示す断面図である。
【図３】圧電素子ユニットが搭載された液体噴射ヘッドの概略を示す断面図である。
【図４】一実施形態に係る加圧接合装置の概略斜視図である。
【図５】一実施形態に係る加圧接合装置の一部断面図である。
【図６】一実施形態に係る加圧接合装置の断面図である。
【図７】コマ部材を説明する概略図である。
【図８】一実施形態に係る圧電素子ユニットの製造工程を示す平面図である。
【図９】一実施形態に係る圧電素子ユニットの製造工程を示す断面図である。
【図１０】圧電素子形成部材の変形状態を示す概略図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  圧電素子ユニット、  １１  圧電素子、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定基板、  ２０  接着剤、  ４０  加圧接合装置、  ４１  装置本体、  ４２  基台、  ４３  固定治具、  ４４，  保持治具、  ４５  係合部材、  ４６  押圧部材、  ４７  係合部、  ４８  突出部、  ４９  当接部、  ５０  スライド軸、  ５１  加圧部材、  ５２  スライド部材、  ５３  ガイド孔、  ５４  コマ部材、  ５５  付勢部材、  ５６  支持板、  ５７  ガイド板、  ５８  固定板、  ５９  フランジ部、  ６０  弾性層、  ６１  筒状体、  ６２  球状体、  ６３，６４  弾性部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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