(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付ける方法において、
前記上定盤および前記下定盤に前記研磨パッドを仮貼付する工程と、
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸および該シャフト軸周りに回転可能に設けられ、外表面に所要幅を有する螺旋状の突出部が形成されたローラ体を有するローラ装置を、前記取付部により前記太陽ギアと前記内歯ギアに取り付けて、前記下定盤上にラジアル方向に装着する工程と、
前記支持装置により前記上定盤を前記ローラ体に当接する位置まで下降させる工程と、
前記上定盤により前記ローラ体を加圧しながら前記上定盤と前記下定盤を互いに反対方向に等速で回転させ、前記上定盤と前記下定盤に前記研磨パッドを同時に貼り付ける工程とを含むことを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法。
【請求項２】
研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付ける方法において、
前記上定盤および前記下定盤に前記研磨パッドを仮貼付する工程と、
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸および該シャフト軸周りに回転可能に設けられた複数の分割ローラ体からなるローラ体を有するローラ装置を、前記取付部により前記太陽ギアと前記内歯ギア間に複数個セットし、一のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡が、他のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡と重複しないように取り付けて、前記下定盤上にラジアル方向に装着する工程と、
前記支持装置により前記上定盤を前記ローラ体に当接する位置まで下降させる工程と、
前記上定盤により前記ローラ体を加圧しながら前記上定盤と前記下定盤を互いに反対方向に等速で回転させ、前記上定盤と前記下定盤に前記研磨パッドを同時に貼り付ける工程とを含むことを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法。
【請求項３】
前記ローラ装置を、前記下定盤に対し上下方向に移動可能に装着することを特徴とする請求項１または２記載の両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法。
【請求項４】
前記複数のローラ装置は互いに同一構造であり、前記太陽ギアと前記内歯ギアへの、前記一のローラ装置のセット方向を前記他のローラ装置のセット方向と逆にすることにより、前記一のローラ装置の分割ローラ体の端縁部の軌跡が、前記他のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡と重複しないように設定されていることを特徴とする請求項２記載の両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法。
【請求項５】
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアは、ピンギア装置であり、前記シャフト軸の取付部が、対応する前記太陽ギアおよび前記内歯ギアの所要ギアピンに上方から嵌合する筒体に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項記載の両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法。
【請求項６】
研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付けする際に用いられる研磨パッド貼り付け用治具であって、
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸と、該シャフト軸周りに回転可能に設けられ、外表面に所要幅を有する螺旋状の突出部が形成されたローラ体とを有するローラ装置から成り、
前記キャリアを外した下定盤上にラジアル方向にセット可能になっていることを特徴とする研磨パッド貼り付け用治具。
【請求項７】
研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付けする際に用いられる研磨パッド貼り付け用治具であって、
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸と、該シャフト軸周りに回転可能に設けられた複数の分割ローラ体からなるローラ体とを有し、前記下定盤上に取り付けられる複数のローラ装置から成り、
少なくとも一のローラ装置における各分割ローラ体の端縁部の位置が、他のローラ装置における各分割ローラ体の端縁部の位置と一致しないように設けられ、
前記キャリアを外した下定盤上にラジアル方向にセット可能になっていることを特徴とする研磨パッド貼り付け用治具。
【請求項８】
前記太陽ギアおよび前記内歯ギアは、ピンギア装置であり、前記シャフト軸の取付部が、対応する前記太陽ギアおよび前記内歯ギアの所要ギアピンに上方から嵌合する筒体に形成されていることを特徴とする請求項６または７記載の研磨パッド貼り付け用治具。
【請求項９】
前記複数のローラ装置は同一構造であって、
一のローラ装置の一方の取付部からの各分割ローラ体の端縁部の位置が、他のローラ装置の他方の取付部からの各分割ローラ体の端縁部の位置と一致しないように設定されていることを特徴とする請求項７記載の研磨パッド貼り付け用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、両面研磨装置の研磨パッドの貼り付け方法とこれに用いて好適な研磨パッド貼り付け用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハ等のワークの両面を同時に研磨する両面研磨装置では、互いに独立して回転する下定盤と上定盤との間で、ワークを保持するキャリアを回転駆動させることにより、上定盤と下定盤に貼り付けられた研磨パッドよってワークの両面を同時に研磨する。
キャリア２０８を回転駆動する機構としては、図７に示すような内歯ギア２０４と、そのほぼ中央に配置される太陽ギア２０６とを用いた構成が使用されているものがある。
【０００３】
板状のキャリア２０８は、その外周縁に沿って外歯が形成されており、この外歯が内歯ギア２０４の内歯と太陽ギア２０６の外歯に歯合することで、自転しながら太陽ギア２０６の周りを公転する。
内歯ギア２０４と太陽ギア２０６との間には、上記構成からなるキャリア２０８が複数個配置され、さらに各々のキャリア２０８には、研磨対象であるワークを保持するための透孔２０７が複数個設けられて、１度に多数のワークを研磨できるように構成されている。このような両面研磨装置としては、例えば、特許文献１に開示されているような両面研磨装置が使用されている。
なお、特許文献１に記載の両面研磨装置では、太陽ギアの作用をなすものとして内側ピン歯車が、内歯ギアの作用をなすものとして外側ピン歯車が用いられている。
【０００４】
このような両面研磨装置において、上下定盤の研磨面に貼り付けられた研磨パッドは定期的に交換しなければならない。両面研磨装置の研磨パッドの交換を行うことを目的とした技術として、例えば特許文献２に記載の研磨パッド貼り付け方法および装置が知られている。特許文献２には、上定盤および下定盤の研磨面に研磨パッドを貼り付けする際において、研磨パッドを研磨面に仮貼り付けし、上下定盤間で回転自在に支持されたローラを上下定盤により挟み込み、上下定盤をそれぞれ反対方向に回転させることにより研磨パッドを上下定盤の研磨面に貼り付けする方法および装置が開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２３９６５７号公報
【特許文献２】特開昭５９−５３１５１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、研磨パッドを貼り付けする定盤の大きさが大きくなると、定盤の内周側と外周側とでは周速度が異なってくる。定盤の大きさが小さい場合には定盤の内周側と外周側の周速度差は研磨パッドの貼り付け作業において特に問題とするまでもなかったものの、近年における定盤の大径化により、定盤の内周側と外周側との周速度差は無視できない大きさになっており、場合によっては、ローラにより研磨パッドをこじってしまい、特に内周側の研磨パッドを損傷してしまうといった課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、両面研磨装置の研磨パッドの貼り付け作業において、研磨パッドを損傷することなくその貼り付け作業を容易に行うことができる研磨パッドの貼り付け方法とこれに用いて好適な研磨パッドの貼り付け用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明は、研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付ける方法において、前記上定盤および前記下定盤に前記研磨パッドを仮貼付する工程と、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸および該シャフト軸周りに回転可能に設けられ、外表面に所要幅を有する螺旋状の突出部が形成されたローラ体を有するローラ装置を、前記取付部により前記太陽ギアと前記内歯ギアに取り付けて、前記下定盤上にラジアル方向に装着する工程と、前記支持装置により前記上定盤を前記ローラ体に当接する位置まで下降させる工程と、前記上定盤により前記ローラ体を加圧しながら前記上定盤と前記下定盤を互いに反対方向に等速で回転させ、前記上定盤と前記下定盤に前記研磨パッドを同時に貼り付ける工程とを含むことを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法である。
【０００９】
また、本発明は、研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付ける方法において、前記上定盤および前記下定盤に前記研磨パッドを仮貼付する工程と、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸および該シャフト軸周りに回転可能に設けられた複数の分割ローラ体からなるローラ体を有するローラ装置を、前記取付部により前記太陽ギアと前記内歯ギア間に複数個セットし、一のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡が、他のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡と重複しないように取り付けて、前記下定盤上にラジアル方向に装着する工程と、前記支持装置により前記上定盤を前記ローラ体に当接する位置まで下降させる工程と、前記上定盤により前記ローラ体を加圧しながら前記上定盤と前記下定盤を互いに反対方向に等速で回転させ、前記上定盤と前記下定盤に前記研磨パッドを同時に貼り付ける工程とを含むことを特徴とする両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法である。
【００１０】
また、前記ローラ装置を、前記下定盤に対し上下方向に移動可能に装着することを特徴とする。
これにより、上定盤と下定盤によりローラ体を適切な押圧力で挟持することができるため、上下定盤への研磨パッドの貼り付けをより正確かつ確実に行うことができる。
【００１１】
また、前記複数のローラ装置は互いに同一構造であり、前記太陽ギアと前記内歯ギアへの、前記一のローラ装置のセット方向を前記他のローラ装置のセット方向と逆にすることにより、前記一のローラ装置の分割ローラ体の端縁部の軌跡が、前記他のローラ装置における分割ローラ体の端縁部の軌跡と重複しないように設定されていることを特徴とする。
これによれば、分割ローラ体に継ぎ目部分があっても確実に研磨パッドを研磨面に貼付することができる。
【００１２】
また、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアは、ピンギア装置であり、前記シャフト軸の取付部が、対応する前記太陽ギアおよび前記内歯ギアの所要ギアピンに上方から嵌合する筒体に形成されていることを特徴とする。
これによれば、太陽ギアと内歯ギアへの装着が容易になると共に、太陽ギアと内歯ギアの磨耗を抑えることができ、長期にわたって好適な状態を維持することができる。
【００１３】
また、他の発明は、研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付けする際に用いられる研磨パッド貼り付け用治具であって、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸と、該シャフト軸周りに回転可能に設けられ、外表面に所要幅を有する螺旋状の突出部が形成されたローラ体とを有するローラ装置から成り、前記キャリアを外した下定盤上にラジアル方向にセット可能になっていることを特徴とする研磨パッド貼り付け用治具である。
【００１４】
また、他の発明は、研磨面に研磨パッドが貼付された下定盤と、研磨面に研磨パッドが貼付され、前記下定盤の上方に配置されると共に、支持装置に支持された上定盤と、前記下定盤上に配置され、太陽ギアと内歯ギアとにそれぞれ噛合すると共にワークを保持するキャリアとを具備し、前記キャリアが自転しながら公転し、上定盤および下定盤が回転することにより、上下定盤間に挟まれた前記ワークの上下面を同時に研磨する両面研磨装置の、前記上定盤および前記下定盤の各々の研磨面に、前記研磨パッドを貼り付けする際に用いられる研磨パッド貼り付け用治具であって、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアへの取付部を有するシャフト軸と、該シャフト軸周りに回転可能に設けられた複数の分割ローラ体からなるローラ体とを有し、前記下定盤上に取り付けられる複数のローラ装置から成り、少なくとも一のローラ装置における各分割ローラ体の端縁部の位置が、他のローラ装置における各分割ローラ体の端縁部の位置と一致しないように設けられ、前記キャリアを外した下定盤上にラジアル方向にセット可能になっていることを特徴とする研磨パッド貼り付け用治具である。
【００１５】
また、前記太陽ギアおよび前記内歯ギアは、ピンギア装置であり、前記シャフト軸の取付部が、対応する前記太陽ギアおよび前記内歯ギアの所要ギアピンに上方から嵌合する筒体に形成されていることを特徴とする。
これによれば、太陽ギアと内歯ギアへの装着が容易になると共に、太陽ギアと内歯ギアの磨耗を抑えることができ、長期にわたって好適な状態を維持することができる。
【００１７】
また、前記複数のローラ装置は同一構造であって、一のローラ装置の一方の取付部からの各分割ローラ体の端縁部の位置が、他のローラ装置の他方の取付部からの各分割ローラ体の端縁部の位置と一致しないように設定されていることを特徴とする。
これにより、研磨パッドを確実に定盤の研磨面に貼り付けすることが可能なローラ装置を低コストで提供することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の研磨パッドの貼り付け方法および研磨パッド貼り付け用治具によれば、上下各定盤の研磨面に対して研磨パッドを損傷することなく、かつ精度良く貼り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は本実施形態における両面研磨装置の全体図であり、図２はキャリアの回転駆動機構の説明図である。
両面研磨装置１００は、図１に示すように、研磨面に研磨パッド１０が貼付された下定盤２０と上定盤３０がそれぞれ独立して互いに逆方向に回転し、上下各定盤３０，２０の間で、ワーク４０を保持するキャリア５０を遊星運動させることにより、上定盤３０と下定盤２０に貼付された研磨パッド１０によってワーク４０の両面を同時に研磨するものである。上定盤３０は、シリンダ装置等により構成される支持装置６０に支持され、下定盤２０の研磨面に対して接離動自在に設けられている。
【００２０】
キャリア５０を遊星運動させる機構として、図２に示すような内歯ギア７０と、その中央に配置される太陽ギア８０とを用いた機構が使用される。
内歯ギア７０と太陽ギア８０は、各々独立して回転する。円板状のキャリア５０は、その外周に外歯５０ａが形成されており、この外歯５０ａが内歯ギア７０の内歯７０ａと太陽ギア８０の外歯８０ａにそれぞれ噛合することで、自転しながら太陽ギア８０の周りを公転する。
内歯ギア７０と太陽ギア８０との間には、キャリア５０が複数個配置されており、それぞれのキャリア５０には、研磨対象であるワーク４０を保持するための透孔５０ｂが複数個設けられて、１度に多数のワーク４０を研磨できるように構成されている。
【００２１】
本実施の形態において太陽ギア８０は公知のピンギア装置に構成されている。すなわち、図２に示されるように太陽ギア８０は、歯車本体である外周が円形で板状に形成された内側ピンリング（ピンリング）８０ｂを有し、その外歯８０ａは、複数個の歯部８２で構成されている。歯部８２は、ギアピンに構成され、複数個の歯部８２は、内側ピンリング８０ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられている。
【００２２】
内歯ギア７０も公知のピンギア装置に構成されている。すなわち、図２に示されるように、内歯ギア７０は、歯車本体である内側が円形に刳り貫かれた板状の外側ピンリング（ピンリング）７０ｂを有し、ギアピンからなる複数個の歯部７２は外側ピンリング７０ｂに周方向に一定間隔をおいて設けられる。
【００２３】
次に研磨パッド貼り付け用治具であるローラ装置２００について説明する。図３は、下定盤にローラ装置をセットした状態を示す平面図である。図４は、図３におけるＡ方向矢視図である。図４は、一部が透視図になっている。
図３に示すように、ローラ装置２００は、シャフト軸２２０と、シャフト軸２２０周りに回転可能に設けられたローラ体２３０と、シャフト軸２２０の両端側に設けられ、シャフト軸２２０を内歯ギア７０と太陽ギア８０に取り付ける取付部２１０とにより構成されている。
【００２４】
図４に示すように、ローラ体２３０の表面には、所要幅を有する螺旋状の突出部２３２が形成されている。ローラ体２３０に設けられた螺旋状の突出部２３２は、ローラ体２３０の回転により上下各定盤３０，２０の研磨面に仮貼付された各研磨パッド１０と研磨面との間に侵入した空気を上下各定盤３０，２０の外周方向に排出させる作用をなし、上下各定盤３０，２０と各研磨パッド１０とを高精度に密着させることができる。
また、螺旋状の突出部２３２は、上下定盤３０，２０の内周側と外周側との周速差を緩和する機能を有する。すなわち、上下定盤３０，２０の外側の周速の方が内周側の周速よりも大きく、これに接するローラ体２３０は上下定盤３０，２０の外周側と内周側とでこすれる度合いが相違するが、突出部２３２間の溝部により、その接触による摩擦力が開放されるからである。
【００２５】
前記取付部２１０には、内歯ギア７０および太陽ギア８０に設けられたそれぞれの歯部（ギアピン）７２，８２が差し込まれる差込孔２４０が設けられている。ローラ装置２００は、各々の差込孔２４０に内歯ギア７０および太陽ギア８０のそれぞれの歯部（ギアピン）７２，８２を下側から差し込むようにすることにより両ギア７０，８０に橋渡し状態にセットされる。
取付部２１０は具体的には、それぞれの歯部（ギアピン）７２，８２が差し込み可能な筒体に形成されており、これによりローラ装置２００は、下定盤２０に対して上下方向に移動（接離動）可能に取り付けられる。これにより、支持装置６０により上定盤３０を下定盤２０に接近させる際において、ローラ装置２００は上定盤３０により下定盤２０に押圧されることになる。したがってローラ装置２００は、上定盤３０と下定盤２０の中間に位置して、上定盤３０と下定盤２０間に所定の圧力で挟持される状態になる。
なお、シャフト軸２２０の両端部分に形成された取付部２１０は、内歯ギア７０に取り付ける側と太陽ギア８０に取り付ける側とでそれぞれ形状を異ならせる他、識別子を設ける等、取り付け先が識別可能に形成されていることがより好ましい。
【００２６】
次に、両面研磨装置における研磨パッドの貼り付け方法について説明する。以下は、研磨パッド１０の交換作業について説明している。
まず、支持装置６０のシリンダを伸縮させることにより、上定盤３０を下定盤２０から離反させる。次に、下定盤２０の上面において内歯ギア７０と太陽ギア８０に噛合しているキャリア５０を取り外す。上定盤３０と下定盤２０の研磨面に貼付されている磨耗した研磨パッド１０を取り外し、各研磨面を清掃した後、新しい研磨パッド１０を上定盤３０および下定盤２０の研磨面に仮貼り付けする。研磨パッド１０の貼り付け面には両面テープ等の接着手段が取り付けられている。
なお、両面研磨装置に研磨パッド１０を新規に取り付ける場合には、上定盤３０と下定盤２０から研磨パッド１０を取り外す作業と、各研磨面の清掃作業が省略可能である。
【００２７】
上下各定盤３０，２０の各研磨面に研磨パッド１０が仮貼り付けされた後、下定盤２０の上面にローラ装置２００を前記のようにラジアル方向にセットする。このように、下定盤２０の上面に、キャリア５０の代わりにローラ装置２００をセットした後、支持装置６０のシリンダを伸縮させることにより、上定盤３０を下定盤２０（ローラ装置２００）に接近させる。上定盤３０がローラ装置２００のローラ体２３０を所定の力で下定盤２０に押圧する状態（ローラ体２３０が上定盤３０と下定盤２０により挟持された状態）にした後、上定盤３０と下定盤２０をモータ等の回転駆動手段により、それぞれを等速度で互いに反対方向に回転させる。なお、内歯ギア７０と太陽ギア８０は回転させない。
【００２８】
これにより、ローラ装置２００のローラ体２３０は、互いに逆方向に等速で回転する上下定盤３０，２０で挟まれた状態でセットされた位置で回転する。ローラ体２３０の回転に伴って、ローラ体２３０の表面に形成された螺旋状の突出部２３２が回転するので、上下各定盤３０，２０の研磨面とそれぞれに仮貼り付けされた研磨パッド１０との間に溜まった空気が上下各定盤３０，２０の外周方向に排出される。このようにして、上下各定盤３０，２０に仮貼り付けされていた研磨パッド１０がそれぞれの研磨面に密着して貼り付けられる。
また、前記したように、ローラ体２３０に形成された螺旋状の突出部２３２は、上下定盤３０，２０の内周側と外周側との周速差を緩和する機能を有する。
【００２９】
上下各定盤３０，２０に研磨パッド１０がそれぞれ貼り付けられた後、再び支持装置６０のシリンダを伸縮させて、上定盤３０を下定盤２０（ローラ装置２００）から離反させる。そして下定盤２０の上面にセットされたローラ装置２００を取り外し、ローラ装置２００の代わりにキャリア５０をセットする。キャリア５０のセット方法は、キャリア５０の取り外しの逆の手順で行われるため説明は省略する。
【００３０】
（第２実施形態）
本実施の形態では、上下各定盤３０，２０の内周側と外周側における周速差によるローラ体２３０のすべりを防止するため、シャフト軸２２０の軸線方向の長さが分割された分割ローラ体２３４を複数個用いて形成されたローラ体２３０を採用している。複数のローラ装置２００は、内歯ギア７０と太陽ギア８０のラジアル方向にセットされるのは第１実施形態と同様である。
【００３１】
図５は、本実施形態におけるローラ装置の構造を示す説明図である。図６は、図５に示したローラ装置と、図５に示したローラ装置の取り付け方向を逆にした状態を示す説明図である。
分割ローラ体２３４は、図５に示すように、シャフト軸２２０の長さに対して大幅に短い円筒体からなる。この分割ローラ体２３４をシャフト軸２２０上に複数個回転自在に装着してローラ装置２００に構成している。
本実施形態におけるローラ体２３０によれば、大径の定盤であっても定盤の内周側と外周側における周速差は、各々の分割ローラ体２３４の軸線方向の長さのみとなるため、一本もののローラ体２３０における周速差によるすべり量に比較して、大幅に少ないすべり量にすることができる。これにより、ローラ体２３０のすべり（こじり）によって研磨パッド１０が損傷されてしまうことがなく、高精度で定盤の研磨面に研磨パッド１０を貼り付けすることができる。
【００３２】
この反面、複数の分割ローラ体２３４によりローラ体２３０を構成すると、ローラ体２３０に、分割ローラ体２３４どうしのつなぎ目部分が生じてしまうといった課題が生じる。これに対処するためには、複数個のローラ装置２００をセットすればよい。この場合に、複数のローラ装置２００のうち、少なくともひとつのローラ装置２００におけるローラ体２３０のつなぎ目部分の位置が他のローラ装置２００におけるローラ体２３０のつなぎ目部分の位置とずれるようにローラ装置２００を構成するようにするのである。このようにすることで、一のローラ装置２００における分割ローラ体２３４の端縁部の軌跡が、他のローラ装置２００における分割ローラ体２３４の端縁部の軌跡と重複しなくなり、研磨パッド１０を万遍なく押圧するので、精度良く研磨パッド１０を研磨面に貼り付けることができる。
【００３３】
ところで、上記のように分割ローラ体２３４の端縁部の位置を異ならせるためには、例えば、複数の分割ローラ体２３４のうち１つの分割ローラ体（以下、スペーサ用ローラ体という）２３６の長さを他の分割ローラ体２３４の長さと異なる長さ（整数倍とならないようにする）のものに設定した同一構造のローラ装置２００を複数準備すればよい。そして、この複数のローラ装置２００のうち、あるローラ装置２００の下定盤２０へのセット方向を他のローラ装置２００の下定盤へのセット方向と逆にしてセットすればよい。具体的には、図６に示すように、複数のローラ装置２００において、ある一のローラ装置２００は、他のローラ装置２００において内歯ギア７０の歯部７２に取り付けられている一方の取付部２１０を太陽ギア８０の歯部８２に取り付け、他のローラ装置２００において太陽ギア８０の歯部８２に取り付けられている他方の取付部２１０を内歯ギア７０の歯部７２に取り付けることにより下定盤２０にセットすればよい。
このようにしてローラ装置２００をセットすれば、ある一のローラ装置２００におけるローラ体２３０のつなぎ目の位置が他のローラ装置２００におけるローラ体２３０のつなぎ目の位置とずれるため、研磨パッド１０は、各ローラ体２３０により全体が確実に押圧されることになる。
【００３４】
この他にも、それぞれのローラ装置２００毎にスペーサ用ローラ体２３６の長さを変更すれば、製造コストは上昇するものの、ローラ装置２００の向きを考慮することなく下定盤２０の上にセットすることができる。
なお、研磨パッドの貼り付け方法については、第１実施形態と同様の手順で行うことができるため、ここではその詳細についての説明は省略する。
【００３５】
以上、本発明につき好適な実施形態を挙げて種々説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
例えば、下定盤２０と上定盤３０をそれぞれ独立して互いに等速に逆方向に回転する例を挙げて説明したが、必ずしも上下定盤３０，２０の回転速度は等速でなくともよく、太陽ギア８０と内歯ギア７０も回転させることによって、同じような構成とすることもできる。要は、上定盤３０と下定盤２０がローラ体２３０に対して相対的に同じ速度で反対方向に回転し、研磨パッド１０の貼り付け時におけるローラ体２３０の回転を妨害しない形態であれば、上定盤３０と下定盤２０を回転させる方式は特に制限されるものではない。
【００３６】
また、両面研磨装置１００は、上定盤３０、下定盤２０、内歯ギア７０及び太陽ギア８０の駆動源は、各々別個に設けられたモータ等の駆動源（図示せず）によって回転駆動する構成であってもよいし、１個の駆動源の回転力をギア及びクラッチを介してそれぞれに伝達し回転駆動する構成であってもよい。
さらには、内歯ギア７０および太陽ギア８０をピンギア方式のもので説明したが、これに限定されるものでもないのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】第１実施形態における両面研磨装置の全体図である。
【図２】キャリアの回転駆動機構の説明図である。
【図３】下定盤にローラ装置をセットした状態を示す平面図である。
【図４】図３中におけるＡ方向矢視図である。
【図５】本実施形態におけるローラ装置の構造を示す説明図である。
【図６】図５に示したローラ装置と、図５に示したローラ装置の取付方向を逆にした状態を示す説明図である。
【図７】従来技術の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  研磨パッド
２０  下定盤
３０  上定盤
４０  ワーク
５０  キャリア
６０  支持装置
７０  内歯ギア
８０  太陽ギア
７２，８２  歯部（ギアピン）
１００  両面研磨装置
２００  ローラ装置
２２０  シャフト軸
２３０  ローラ体
２３２  螺旋状の突出部
２３４  分割ローラ体
２３６  スペーサ用ローラ体
【図１】
0004777727.tif 000002
【図２】
0004777727.tif 000003
【図３】
0004777727.tif 000004
【図４】
0004777727.tif 000005
【図５】
0004777727.tif 000006
【図６】
0004777727.tif 000007
【図７】
0004777727.tif 000008