(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、
前記筒体の内部に収容される前記メディアと、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、円筒状の本体と、前記本体における軸方向の両端開口部に装着されて前記めっき液を筒体内部に流通させるための一対のメッシュとを有し、
前記本体の下端開口部に取り付けられる前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記筒体の内部で前記メディアが前記メッシュの表面に接触した状態で、当該メディアが前記カソード電極の頭部と接触する接触点のメッシュ表面からの高さに比較して、
前記メッシュ表面からの前記絶縁部分の高さは同等以上である
ことを特徴とするめっき装置。
【請求項２】
前記絶縁部分は、前記カソード電極の頭部に着脱自在に一体化される絶縁性のリング部材で構成してある請求項１に記載のめっき装置。
【請求項３】
前記リング部材の外周面は、前記電気接続部分の外周面に対して滑らかに繋がっている請求項２に記載のめっき装置。
【請求項４】
前記電気接続部分では、前記カソード電極自体が露出している請求項１〜３のいずれかに記載のめっき装置。
【請求項５】
前記絶縁部分では、前記カソード電極の表面に絶縁膜が形成してある請求項１に記載のめっき装置。
【請求項６】
めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、円筒状の本体と、前記本体における軸方向の両端開口部に装着されて前記めっき液を筒体内部に流通させるための一対のメッシュとを有し、
前記本体の下端開口部に取り付けられる前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記絶縁部分は、前記カソード電極の頭部に着脱自在に一体化される絶縁性のリング部材で構成してあり、
前記リング部材の外周面は、前記電気接続部分の外周面に対して滑らかに繋がっていることを特徴とするめっき装置。
【請求項７】
めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、
前記筒体の内部に収容される前記メディアと、
前記カソード電極が着脱自在に固定されるシャフトと、
前記シャフトを前記筒体と共に上下移動させる昇降手段と、
を有するめっき装置であって、
前記筒体は、前記めっき液を筒体内部に流通させるためのメッシュを有し、
前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成され、
前記筒体の内部で前記メディアが前記メッシュの表面に接触した状態で、当該メディアが前記カソード電極の頭部と接触する接触点のメッシュ表面からの高さに比較して、
前記メッシュ表面からの前記絶縁部分の高さは同等以上である
ことを特徴とするめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばチップ部品の端子電極などを形成するためのめっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のバレルめっき方法においては、被めっき物が小さくなればなるほど、めっきが不完全に施される被めっき物が増加する傾向にある。また、ドラムの内壁には、被めっき物を効果的に攪拌するための凹凸が設けられる場合があり、被めっき物が、この凹凸に入り込んでしまう場合もある。また、回転するドラムの内壁によって被めっき物が掻き上げられるため、被めっき物に必要以上の外力が加わる場合も想定される。
【０００３】
そこで、被めっき物に発生する不具合を効果的に低減できるめっき装置として、下記の特許文献１に示すめっき装置が提案されている。この装置では、ポッドなどの筒体の内部にカソード電極の頭部を配置し、ポッドの内部に被めっき物と共に収容されるメディアを通して被めっき物に電流を流しめっき処理を行う。このめっき装置によれば、ポッド内に配された被めっき物周辺に気泡が残留することはなくなり、それが原因となる不完全めっきなどの不具合を解消できる。
【０００４】
しかしながら、このめっき装置では、ポッドの内部に突出しているカソード電極の頭部の表面に、メディアが接触しない領域表面が形成され、その電極表面にめっきが析出して成長することがある。特に、カソード電極の頭部において、メッシュとの接触部分では、電極角部となり、その部分でめっき用電流が集中し、めっき析出部分が生じやすかった。また、その部分には、メディアが接触することができず、めっき析出部分が成長し続けるおそれがあった。
【０００５】
その電極表面に形成されためっき析出部分に、チップ部品などの被めっき物が付着するおそれがある。そのチップ部品がめっき析出部分から剥がれると、めっき膜が形成されない不良品となる。
【０００６】
また、そのめっき析出部分がカソード電極から剥がれると、ポッド内を浮遊し、被めっき物やメディアに付着する。このためめっき不良を引き起こすことがある。さらに、カソード電極に形成されためっき析出部分が成長すると、カソード電極付近に位置するメッシュの孔を塞ぎ、ポッド内部へのめっき液の流通が困難になる。その結果として、めっきの効率が低下する。そこで、カソード電極に形成されためっき析出部分を取り除くために、頻繁にカソード電極を掃除するなどのメンテナンスが必要となる。
【特許文献１】特開２００７−５６３５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、不良品の発生が少なく、しかも頻繁にメンテナンスを行う必要がないめっき装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るめっき装置は、
めっき液が貯留してあるめっき槽と、
前記めっき槽の内部に配置されるアノード電極と、
前記アノード電極に対して前記めっき液を介して導通可能なカソード電極と、
前記めっき槽の内部に配置され、内部に被めっき物およびメディアが着脱自在に収容される筒体と、を有するめっき装置であって、
前記筒体は、前記めっき液を筒体内部に流通させるためのメッシュを有し、
前記メッシュには、前記カソード電極の頭部が、前記筒体の内側に位置するように取り付けられ、
前記カソード電極の頭部は、全体として、前記筒体の内部に向けて凸の曲面を有し、
前記カソード電極の頭部には、
前記メディアまたは被めっき物が接触して電気的導通可能な可能な電気接続部分と、
前記電気接続部分と前記メッシュとの間に形成され電気的導通が生じない絶縁部分と、が形成されている。
【０００９】
本発明に係るめっき装置では、メッシュの表面から筒体の内部に露出しているカソード電極の頭部には、電気接続部分とメッシュとの間に形成されて被めっき物が接触しても電気的導通が生じない絶縁部分が形成してある。そのため、その絶縁部分には、めっきが析出することはなく、めっき析出部分は形成されない。その結果、チップ部品がめっき析出部分から剥がれて、めっき膜が形成されない不良品となることはない。また、めっき析出部分がカソード電極から剥がれて、筒体内を浮遊してめっき不良を生じさせることもない。
【００１０】
さらに、カソード電極の絶縁部分では、めっき析出部分が成長してカソード電極付近に位置するメッシュの孔を塞ぐこともない。そのため、頻繁にカソード電極やメッシュなどを掃除する必要が無くなり、メンテナンスが容易になる。
【００１１】
好ましくは、前記筒体の内部で前記メディアが前記メッシュの表面に接触した状態で、当該メディアが前記カソード電極の頭部と接触する接触点のメッシュ表面からの高さに比較して、前記メッシュ表面からの前記絶縁部分の高さは同等以上である。カソード電極の表面にめっき析出部が形成されやすい部分は、カソード電極の頭部において、メディアとの接触点からメッシュ表面までの間である。その部分を絶縁部分にすることで、その部分では、めっきが析出して成長することが無くなる。
【００１２】
好ましくは、前記絶縁部分は、前記カソード電極の頭部に着脱自在に一体化される絶縁性のリング部材で構成してある。被めっき物と共に筒体の内部に収容されるメディアの外径は、被めっき物の大きさなどに応じて変更される。メディアの外径が変化すれば、カソード電極の頭部において、メディアとの接触点からメッシュ表面までの高さも変化する。そのため、それに合わせて、絶縁部分の高さも調整することが好ましい。絶縁部分をリング部材で構成することにより、リング部材を交換することで、絶縁部分の高さも容易に調整することができる。
【００１３】
好ましくは、前記リング部材の外周面は、前記電気接続部分の外周面に対して滑らかに繋がっている。その場合には、めっき液がカソード電極の頭部に沿って滑らかに流れ、被めっき物が滞留することが無い。
【００１４】
もし、滑らかに繋がっていない場合には、リング部材と電気接続部分との接続部分に凸状段差または凹状段差が生じる。凸状段差の場合には、凸状段差の上に被めっき物が滞留し、その状態でめっき析出物が成長し、その中に複数の被めっき物が取り込まれるおそれがあり好ましくない。また、凹状段差の場合には、凹状段差の中に被めっき物が入り込み停滞し、その部分でめっき析出物が成長し、その中に複数の被めっき物が取り込まれるおそれがあり好ましくない。
【００１５】
好ましくは、前記電気接続部分では、前記カソード電極自体が露出している。カソード電極自体を露出させることで、電気接続部分の面積を可能な限り大きくすることができ、めっきのための通電効率を向上させることができる。
【００１６】
なお、絶縁部分は、前記カソード電極の表面を絶縁膜で覆うことでも形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るめっき装置の全体概略図、
図２は図１に示すポッドの分解斜視図、
図３（Ａ）〜図３（Ｃ）は図２に示すポッドの縦断面図、横断面図および要部縦断面図、
図４は図２に示すポッドにおける下部取付リングの斜視図、
図５はカソード電極の頭部を示す要部断面図、
図６〜図１１は図１に示すめっき装置の動きを示す概略図、
図１２および図１３はそれぞれ本発明の別の実施形態に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図、
図１４〜図１６は本発明の比較例に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
めっき装置
【００１８】
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るめっき装置２は、めっき槽４を有する。めっき槽４の内部には、仕切り壁４ａが形成してあり、めっき槽４の内部を、めっき液６が貯留される槽本体４ｂと、槽本体４ｂから溢れためっき液６を外部に流出させるオーバーフロー流路４ｃとに区分けしてある。槽本体４ｂの底部には、めっき液供給口４ｄが形成してあり、そこから槽本体４ｂの内部にめっき液が供給されて槽本体４ｂの内部がめっき処理に必要なイオン濃度に保たれる。
【００１９】
槽本体４ｂの内部には、シリンジ８の下端部が上下方向に移動自在に配置される。シリンジ８を上下方向に移動させるには、シリンジ保持部材１０をアクチュエータなどで上下方向に駆動すればよい。シリンジ８の下端部内部には、収容空間８ａが形成してある。その収容空間８ａの下端は槽本体４ｂの内部に対して開口している。
【００２０】
シリンジ８の上内部には、その長手方向に沿って供給通路８ｂが形成してある。供給通路８ｂは、収容空間８ａに連絡してあるが、収容空間８ａよりも流路断面積が小さい。収容空間８ａと供給通路８ｂとの境界部には、テーパ部８ｃが形成してあり、流路断面を、収容空間８ａから供給通路８ｂに向けて徐々に狭くしてある。めっき液のスムーズな流れを実現するためである。
【００２１】
供給通路８ｂには、供給パイプ８ｄが接続してあり、供給パイプ８ｄには、バルブ１２およびポンプ１４が装着してあり、図示省略してある供給タンクから供給通路８ｂへ向けてめっき液を供給可能になっている。バルブ１２は、たとえば制御信号により制御されるコントロールバルブであり、供給通路８ｂと供給タンクとの連絡を確保および遮断可能になっている。
【００２２】
なお、ポンプ１４の種類によっては、バルブを兼ねることも可能であり、バルブ１２は必ずしも無くても良い。すなわち、ポンプ１４を駆動するときには、供給通路８ｂへ向けて供給タンクからめっき液を供給し、ポンプ１４の駆動を停止すれば、自動的に、供給通路８ｂと供給タンクとの連絡を遮断するようになっていても良い。
【００２３】
収容空間８ａには、ポッド（筒体）２０が、収容空間８ａの長手方向に沿って相対移動自在に配置してある。ポッド２０は、図２に示すように、円筒状の本体２２と、この本体２２における軸方向の両端開口部に装着されるメッシュ２３，２４と、各メッシュ２３，２４を本体２２に着脱自在に取り付ける取付リング２５，２６と、を有する。これらの本体２０、メッシュ２３，２４および取付リング２５，２６は、少なくとも外表面が絶縁性部材で構成してあることが好ましい。
【００２４】
本体２２の下端開口部に取り付けられるメッシュ２４の中央部には、カソード電極３０が取り付けられ、その頭部３０ａは、メッシュ２４に対して、本体２２の内側に位置するようになっている。カソード電極３０は、導電性部材で構成してあり、その頭部３０ａは、導電性部材の表面が露出している。メッシュ２４の外側（本体２２の外部）では、カソード電極３０の外周を絶縁性の保持筒３４が覆っている。
【００２５】
保持筒３４は、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）および図４に示すように、取付リング２６における内側開口部２６ａの円周方向略等間隔に配置してある複数（図では４つ）の棒状連結部材２７により取付リング２６に一体化してある。取付リング２６における内側開口部２６ａには、メッシュ２４が張り巡らされ、取付リング２５における内側開口部２５ａには、メッシュ２３が張り巡らされる。そのため、図１に示すように、ポッド２０の内部は、その上下に取り付けられたメッシュ２３および２４を通して、めっき液６の流通が可能になっている。
【００２６】
メッシュ２３，２４の目の粗さは、ポッド２０の内部に取り出し自在に収容されるワーク５０をポッド２０の外部に漏出させず、しかもめっき液の流通がスムーズに行えるように決定される。なお、ポッド２０の内部には、被めっき物としてのワーク５０と共に、ワーク５０とカソード電極３０との電気的導通を確保するための多数の導電性メディア５２が収容してある。
【００２７】
図５に示すように、本実施形態では、カソード電極３０の頭部３０ａは、全体として、ポッド２０の内部に向けて凸の曲面を有する。また、この頭部３０ａは、メディア５２またはワーク５０が接触して電気的導通可能な可能な電気接続部分である傘部３０ａ１と、傘部３０ａ１とメッシュ２４との間に装着されて電気的導通が生じない絶縁部分であるリング部材（カラー部材）３０ｂ１とを有する。
【００２８】
リング部材３０ｂ１は、たとえば合成樹脂などの絶縁部材で構成される。傘部３０ａ１は、棒状のカソード電極３０の頭部に一体的に形成され、カソード電極自体が露出する構成であり、たとえば金属などの導電性部材で構成される。傘部３０ａ１の外周面とリング部材３０ｂ１の外周面とは、全体として半球状となるように滑らかに繋がっている。
【００２９】
傘部３０ａ１の外表面の半径Ｒ１は、メディア５２の半径Ｒ２に比較して、好ましくは１〜４倍の大きさである。リング部材３０ｂ１のメッシュ２４の表面からの高さｈ１は、メディア５２がメッシュ２４の表面に接触した状態で、メディア５２がカソード電極の頭部３０ａと接触する接触点５２ａのメッシュ表面からの高さｈ２と同等以上である。
【００３０】
図１に示すように、ポッド２０における取付リング２５および２６の外周は、シリンジ８に形成してある収容空間８ａの内壁に対して摺動可能になっており、シリンジ８が、ポッド２０に対して上下方向に相対移動することが容易になっている。
【００３１】
カソード電極３０および保持筒３４は、シャフト３２の上端に着脱自在に固定される。シャフト３２には、昇降手段３６と、シャフト３２を通してポッド２０の内部を振動させるための加振手段３８が連結してある。
【００３２】
昇降手段３６としては、特に限定されないが、たとえばモータアクチュエータ、流体駆動アクチュエータなどが例示される。加振手段３８としては、特に限定されないが、超音波振動印加装置、圧電素子、カム機構付モータアクチュエータなどが例示される。
【００３３】
昇降手段３６を駆動することで、シャフト３２は、たとえば図６に示すように、ポッド２０と共に上下方向に移動可能になっている。なお、図６に示すポッド２０の上方位置は、ポッド２０の内部へワーク５０を収容する位置、あるいは、ポッド２０の内部からワーク５０を取り出す位置である。
【００３４】
図１に示すように、槽本体４ｂの内底部には、円盤状のアノード電極４０が配置してあり、アノード電極４０に形成してある中央開口部４０ａを貫通して、シャフト３２が上下方向に延びている。アノード電極４０は、アノード支持部４２で槽本体４ｂの内底部に保持され、導線４２ａを通して電力供給が可能になっている。
めっき方法
【００３５】
次に、図１に示すめっき装置２を用いる本実施形態のめっき方法について説明する。まず、図１に示す昇降手段３６が駆動されて、図６に示すように、シャフト３２がポッド２０と共に上方に移動させ、ポッド２０を、槽本体４ｂのめっき液６の液面よりも高くする。
【００３６】
シリンジ８は、シリンジ保持部材１０により、ポッド２０よりもさらに上方に持ち上げられており、ポッド２０は、シリンジ８の収容空間８ａの下端開口からさらに下方に位置する。その位置で、ポッド２０の内部に、ワーク５０をメディア５２と共に収容する。ポッド２０の内部に、ワーク５０をメディア５２と共に収容するには、たとえば取付リング２５およびメッシュ２３を、本体２２から取り外せばよい。
【００３７】
その後に、取付リング２５およびメッシュ２３を、本体２２に取り付ければ、ポッド２０の内部は、ワーク５０を収容した状態で、メッシュ２３，２４を介してポッドの外部と連通する。その後に、図７に示すように、ポッド２０がシリンジ８の収容空間８ａの内部に収容された状態で、シリンジ８の下端部を、ポッド２０と共に下方に移動させ、めっき槽４のめっき液６の内部に完全に浸す。
【００３８】
めっき液６は、シリンジ８の収容空間８ａにも入り込む。なお、シリンジ８の下降移動に際しては、バルブ１２を開けておくことが好ましい。また、シリンジ８の下降移動に際しては、バルブ１２を開け、しかもポンプ１４により供給通路８ｂを通してめっき液６を収容空間８ａに向けて流し込みながら下降移動を行っても良い。
【００３９】
その後に、図７に示すバルブ１２を閉じて供給通路８ｂを閉塞し、その状態で、図８に示すように、シリンジ８をポッド２０に対して上方向に移動させ、ポッド２０の内部に存在していた気泡６ａを、シリンジ８の収容空間８ａの上部に向けて吸い上げる。
【００４０】
ポッド２０の上下端には、メッシュ２３，２４が装着してあるが、このメッシュ２３，２４の編み目が細かい場合に、ポッド２０の内部に気泡が残りやすい。この方法によれば、ポッド２０の内部に存在していた気泡６ａを、シリンジ８の収容空間８ａの上部に向けて吸い上げることが容易である。その際に、シリンジ８の上方移動による吸い上げ圧力のために、ワーク５０は、ポッド２０の内部で舞い上がり撹拌される。その時には、めっき液６中に浸されたアノード電極４０とカソード電極１０との間には、電力は供給せずに、めっき処理は行わない。
【００４１】
次に、図１に示すバルブ１２を閉じて、図８に示す状態から図９に示すように、ポッド２０に対してシリンジ８を下降移動させ、シリンジ８の収容空間８ａにおいて、ポッド２０の内部で下方向に向かうめっき液の流れを作る。その時には、めっき液６中に浸されたアノード電極４０とカソード電極１０との間に、電圧を印加して第１めっき処理を行う。
【００４２】
図９に示すように、ポッド２０に対してシリンジ８が最下限位置まで下降移動した後、次に、図１に示すバルブ１２を開けてポンプ１４を起動し、タンクからめっき液を供給通路８ｂを通して収容空間８ａに流し込む。その状態で、図９に示す位置から図１０に示すように、シリンジ８をポッド２０に対して上方向に移動させる。また、その際には、カソード電極３０とアノード電極４０との間に電圧を印加する。
【００４３】
すなわち、シリンジ８の内部に形成してある供給通路８ａからめっき液を供給してポッド２０の内部で下方向に向かうめっき液６の流れを作りつつ、ワーク５０への第２めっき処理を行う。また、同時に、この第２めっき工程では、図１に示す加振手段３８を用いて、ポッド２０を振動させながらワーク５０のめっき処理を行う。
【００４４】
図１０に示すように、シリンジ８をポッド２０に対して、めっき途中の上限位置まで移動させた場合には、次に、図１に示すバルブ１２を閉じて、図１０から図１１および図９に示すように、前述した第１めっき処理を行い、その後に、上述した第２めっき処理を行う。これらの第１めっき処理と第２めっき処理を所定時間交互に繰り返した後毎に所定のタイミングで、図８に示す気泡除去処理を行っても良い。
【００４５】
本実施形態に係る第２めっき工程では、シリンジ８をポッド２０に対して上方向に移動させる際に、シリンジ８の内部に形成してある供給通路８ｂからポッド２０に向けてめっき液を供給する。そのため、ポッド２０の内部で下方向に向かうめっき液の流れを作ることが可能になり、シリンジ８をポッド２０に対して上方向に移動させる際に発生するワーク５０の舞い上がり（図８参照）が抑制され、ワーク５０に対するカソード電極３０との電気的導通が確保され、めっきが可能になる。
【００４６】
また第２めっき工程では、ポッド２０が振動させられているため、ポッド２０内部のワーク５０も適度に撹拌されながらめっき処理される。したがって、本実施形態の方法では、第１めっき工程のみでなく、第２めっき工程でもめっき処理が成され、めっき処理時間の短縮を図ることができると共に、所定時間では、めっき膜厚を厚く形成することが可能になり、生産効率が向上する。
【００４７】
しかも、第１めっき工程および第２めっき工程の双方において、ポッド２０の内部には、下向きのめっき液の流れが形成され、めっき処理に際しては、ワーク５０の周囲には、常に新鮮なめっき液が供給される。そのため、めっき処理に必要なイオン濃度がワーク５０の周囲において低下することはない。その結果、めっき膜の品質が向上すると共に、めっきの効率も向上する。
【００４８】
特に、第１めっき工程では、シリンジ８をポッド２０に対して下降移動させる際に発生するめっき液の下向きの流れが強く、そのめっき液の流れによりポッド２０内のワーク５０が相互に押し付けられるので、ワーク５０間の通電効率が向上する。その点でもめっき効率が向上する。
【００４９】
また、本実施形態のめっき方法では、第１めっき工程の前に、気泡除去工程を行うため、気泡によるめっき物の浮きや、気泡付着部分がめっきされないことなどを効果的に防止することができる。
【００５０】
本実施形態のめっき装置２では、図５に示すように、メッシュ２４の表面からポッド８の内部に露出しているカソード電極の頭部３０ａには、傘部３０ａ１とメッシュ２４との間に、電気的導通が生じない絶縁性のリング部材３０ｂ１が装着してある。そのため、その絶縁性のリング部材３０ｂ１の外周面には、めっきが析出することはなく、めっき析出部分は形成されない。その結果、チップ部品などのワーク５０がめっき析出部分に入り込み、その後にそこから剥がれることはなくなり、めっき膜が形成されない不良品となることはない。また、めっき析出部分がカソード電極から剥がれて、ポッド内を浮遊してめっき不良を生じさせることもない。
【００５１】
さらに、リング部材３０ｂ１の外周面には、めっき析出部分が成長することが無く、カソード電極付近に位置するメッシュ２４の孔を塞ぐこともない。そのため、頻繁にカソード電極３０やメッシュ２４などを掃除する必要が無くなり、メンテナンスが容易になる。
【００５２】
もし仮に、図１４に示すように、カソード電極３０の頭部３０ａを、カソード電極３０に一体化されている傘部３０ａ２のみで構成した場合には、メディア５２との接触点５２ａからメッシュ２４の表面にかけて、めっきが析出して成長し、めっき析出部分５４が形成される。その理由としては、メディア５２が接触しないためと考えられる。そのめっき析出部分５４には、チップ部品などのワーク５０が入り込むおそれがあり好ましくない。また、そのめっき析出部分５４はメッシュ２４の孔を塞ぐおそれもあり好ましくない。
【００５３】
また本実施形態では、図５に示すように、リング部材３０ｂ１は、カソード電極３０の頭部に形成してある傘部３０ａ１に着脱自在に一体化される。ワーク５０と共にポッド２０の内部に収容されるメディア５２の外径は、ワーク５０の大きさなどに応じて変更される。メディア５２の外径が変化すれば、カソード電極の頭部３０ａにおいて、メディア５２との接触点からメッシュ表面までの高さｈ２も変化する。そのため、それに合わせて、リング部材３０ｂ１の高さく１も調整することが好ましい。本実施形態では、リング部材３０ｂ１を交換することで、絶縁部分の高さｈ１も容易に調整することができる。
【００５４】
また、リング部材３０ｂ１の外周面は、傘部３０ａ１の外周面に対して滑らかに繋がっているので、めっき液がカソード電極の頭部３０ａに沿って滑らかに流れ、被めっき物が滞留することが無い。
【００５５】
もし、滑らかに繋がっていない場合には、次に示すような不都合を生じる。すなわち、図１５に示すように、導電性の傘部３０ａ１に比較して、リング部材３０ｂ４の外径が大きすぎると、リング部材３０ｂ４と傘部３０ａ１との接続部分に、凸状段差が生じ、その凸状段差の上にワーク５０が滞留し、その状態でめっき析出物５４が成長し、その中に複数のワーク５０が取り込まれるおそれがあり好ましくない。
【００５６】
また、図１６に示すように、導電性の傘部３０ａ１に比較して、リング部材３０ｂ５の外径が小さすぎると、リング部材３０ｂ５と傘部３０ａ１との接続部分に、凹状段差が生じ、その凹状段差の中にワーク５０が入り込み停滞し、その部分でめっき析出物５４が成長し、その中に複数のワーク５０が取り込まれるおそれがあり好ましくない。
【００５７】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００５８】
たとえば、図１２に示すように、リング部材３０ｂ２の外周面を、メッシュ２４に向けて直線状、あるいは多少凹形状に広がるような形状であっても良い。あるいは、図１３に示すように、カソード電極３０の頭部３０ａを、カソード電極３０に一体化されている傘部３０ａ２のみで構成し、図５に示すリング部材３０ｂ１に対応する高さｈ１の範囲で、導電性の傘部３０ａ２を絶縁膜３０ｂ３で覆うように構成しても良い。これらの実施形態でも、上述した実施形態と同様な作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係るめっき装置の全体概略図である。
【図２】図２は図１に示すポッドの分解斜視図である。
【図３】図３（Ａ）〜図３（Ｃ）は図２に示すポッドの縦断面図、横断面図および要部縦断面図である。
【図４】図４は図２に示すポッドにおける下部取付リングの斜視図である。
【図５】図５はカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【図６】図６は図１に示すめっき装置の動きを示す概略図である。
【図７】図７は図６の続きの動きを示す概略図である。
【図８】図８は図７の続きの動きを示す概略図である。
【図９】図９は図８の続きの動きを示す概略図である。
【図１０】図１０は図８の続きの動きを示す概略図である。
【図１１】図１１は図１０の続きの動きを示す概略図である。
【図１２】図１２は本発明の別の実施形態に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【図１３】図１３は本発明の別の実施形態に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【図１４】図１４は本発明の比較例に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【図１５】図１５は本発明の比較例に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【図１６】図１６は本発明の比較例に係るめっき装置におけるカソード電極の頭部を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
２…  めっき装置
４…  めっき槽
６…  めっき液
８…  シリンジ
８ａ…  収容空間
８ｂ…  供給通路
１２…  バルブ
１４…  ポンプ
２０…  ポッド
３０…  カソード電極
３０ａ…  頭部
３０ａ１，３０ａ２…  傘部（電気接続部分）
３０ｂ１，３０ｂ２…  リング部材（絶縁部分）
３０ｂ３…  絶縁膜（絶縁部分）
４０…  アノード電極
５０…  ワーク（被めっき物）
５２…  メディア
５４…  めっき析出部分
【図１】
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【図２】
0004793380.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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