(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着剤を収容する水素精製装置内を加圧状態に維持して前記吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素を取り出し、水素取り出しラインを用いて水素貯蔵タンクへ貯蔵する水素取り出し工程と、前記水素精製装置内を減圧状態に維持して前記吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すオフガス取り出し工程を繰り返しながら、水素リッチガスから高純度の製品水素を製造する水素製造方法であって、
前記水素取り出し工程完了後、前記水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を、前記水素貯蔵タンクに、前記水素取り出しラインを用いて回収する水素回収工程を実行し、その水素回収工程完了後に前記オフガス取り出し工程へ移行するよう構成され、
前記水素精製装置が複数設けられ、前記複数の水素精製装置のうちの１が前記水素取り出し工程を実行している際に、他の水素精製装置が前記水素回収工程を実行し、
前記水素取り出し工程で取り出した前記製品水素を、前記水素貯蔵タンクに貯蔵するとともに、前記水素回収工程で回収した前記製品水素を同時に前記水素貯蔵タンクに貯蔵する水素製造方法。
【請求項２】
前記水素精製装置内の圧力が所定の設定圧にまで減圧した時点で、前記水素回収工程を完了する請求項１に記載の水素製造方法。
【請求項３】
吸着剤を収容する水素精製装置と、高純度の製品水素を貯蔵する水素貯蔵タンクと、前記水素精製装置から製品水素を取り出して前記水素貯蔵タンクへ搬送する水素取り出しラインを備え、前記水素精製装置内を加圧状態に維持して前記吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素に精製し、その製品水素を前記水素取り出しラインを介して前記水素貯蔵タンクへ搬送し、前記水素精製装置内を減圧状態に維持して前記吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すように構成してある水素製造装置であって、
前記水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を回収して前記水素貯蔵タンクへ搬送する水素回収ラインを設けてあり、
前記水素精製装置が複数設けられ、その複数の水素精製装置のそれぞれが、
前記水素精製装置内を所定の加圧状態に維持する水素取り出し用調圧機構と水素取り出し用開閉機構を備えた前記水素取り出しラインで並列に前記水素貯蔵タンクに接続されるとともに、
前記水素精製装置内を減圧させる水素回収用調圧機構と水素回収用開閉機構を備えた前記水素回収ラインに並列に接続され、
前記水素回収ラインが、前記水素取り出し用調圧機構より前記水素貯蔵タンク側の位置で、前記水素取り出しラインに接続されている水素製造装置。
【請求項４】
前記水素回収ラインの一部が、各水素精製装置内の圧力を均圧化する均圧ラインに兼用されている請求項３に記載の水素製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着剤を収容する水素精製装置内を加圧状態に維持して前記吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素を取り出す水素取り出し工程と、前記水素精製装置内を減圧状態に維持して前記吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すオフガス取り出し工程を繰り返しながら、水素リッチガスから高純度の製品水素を製造する水素製造方法とその方法の実施に直接使用する水素製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水素は、燃料電池の燃料やバーナの燃料をはじめとして不飽和結合への添加用などの各種の用途に供されるもので、燃料ガスの変成法、液体燃料のガス化法、水の電解法、石炭やコークスのガス化法、コークス炉ガスの液化分離法、メタノールやアンモニアの分解法などの各種方法により製造される。
しかし、製造後の水素中に多量の不純物が含まれていると、用途によっては使用不能になる可能性があるため、水素中に含まれる不純物を除去して高純度の水素に精製する必要がある。
【０００３】
例えば、原料として都市ガスや天然ガスを使用して燃料ガス変成法により水素を製造する場合、主成分である水素の他にＣＯやＣＯ2などの不純物が含まれている。そして、燃料電池のうち、リン酸型燃料電池（ＰＡＦＣ）の燃料として水素を使用する場合には、ＣＯ含有量は１％が限度であり、固体高分子型燃料電池（ＰＥＦＣ）の燃料として使用する場合には、１００ｐｐｍが限度であって、それを越えると電池性能が著しく劣化することになる。
また、不飽和結合への添加用として水素を使用する場合にも、５規定（Ｎ）以上の純度が要求され、したがって、上述した水素精製方法によって水素リッチガスを高純度の水素に精製する必要がある。
【０００４】
ところで、従来の水素製造方法では、水素取り出し工程とオフガス取り出し工程を繰り返しながら、水素リッチガスから高純度の製品水素を製造していた。
具体的には、一般に吸着工程と称される水素取り出し工程において、吸着剤を収容する水素精製装置内を加圧状態に維持してその吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素を取り出し、その後、均圧工程を経た後、減圧工程および洗浄工程と称されるオフガス取り出し工程において、水素精製装置内を減圧状態に維持して吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出し、その後、昇圧工程を経て再び吸着工程を実行しながら製品水素を製造していた（実際に実施してはいるが、この点について詳しく言及した特許文献などは見当たらない）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、従来の水素製造方法では、吸着工程と称される水素取り出し工程完了後、水素精製装置内の圧力を減圧しながら直ちにオフガス取り出し工程へと移行していたので、製品水素の回収率が低くて水素の製造効率に問題があった。
すなわち、本発明者らが各種の実験などを繰り返して追求したところ、水素精製装置から高純度の製品水素を取り出した後、次に水素精製装置内の圧力を減圧する段階においても、その水素精製装置内に製品水素として回収可能な高純度の水素が残存していることが判明した。
しかし、従来の水素精製方法では、そのような残存水素を製品水素として回収していなかったので、製品水素の回収率が低くて製造効率が悪いという欠点があった。
【０００６】
本発明は、このような従来の欠点を解消するもので、その目的は、水素リッチガスから高純度の製品水素を製造するに際し、製品水素回収率の向上を図って効率良く製品水素を製造することの可能な水素製造方法とそのための装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の特徴構成は、吸着剤を収容する水素精製装置内を加圧状態に維持して前記吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素を取り出し、水素取り出しラインを用いて水素貯蔵タンクへ貯蔵する水素取り出し工程と、前記水素精製装置内を減圧状態に維持して前記吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すオフガス取り出し工程を繰り返しながら、水素リッチガスから高純度の製品水素を製造する水素製造方法であって、前記水素取り出し工程完了後、前記水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を、前記水素貯蔵タンクに、前記水素取り出しラインを用いて回収する水素回収工程を実行し、その水素回収工程完了後に前記オフガス取り出し工程へ移行するよう構成され、前記水素精製装置が複数設けられ、前記複数の水素精製装置のうちの１が前記水素取り出し工程を実行している際に、他の水素精製装置が前記水素回収工程を実行し、前記水素取り出し工程で取り出した前記製品水素を、前記水素貯蔵タンクに貯蔵するとともに、前記水素回収工程で回収した前記製品水素を同時に前記水素貯蔵タンクに貯蔵するところにある。
【０００８】
本発明の第１の特徴構成によれば、水素精製装置内を加圧状態に維持して吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素を取り出す水素取り出し工程完了後、水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を回収する水素回収工程を実行した後に、水素精製装置内を減圧状態に維持して吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すオフガス取り出し工程へ移行するので、従来の方法では未回収であった高純度の残存水素をも、製品水素として確実に回収することができ、その結果、製品水素回収率の向上を図って効率良く製品水素を製造することができる。
【０００９】
本発明の第２の特徴構成は、上述の水素製造方法において、前記水素精製装置内の圧力が所定の設定圧にまで減圧した時点で、前記水素回収工程を完了するところにある。
【００１０】
本発明の第２の特徴構成によれば、水素精製装置内の圧力が所定の設定圧にまで減圧した時点で、前記水素回収工程を完了するので、従来未回収であった残存水素を回収するに際し、より一層確実に高純度の製品水素を回収することができる。
すなわち、水素回収工程を完了するには、例えば、水素取り出し工程完了後、所定時間経過後に完了することもできるが、時間が短すぎると、水素精製装置内の圧力が高くて未だ高純度の製品水素を回収できるにもかかわらず、未回収に終わる可能性があり、逆に時間が長すぎると、水素精製装置内の圧力が低くなって吸着剤から不純物が脱着して、回収する水素の純度が低下する可能性がある。
その点、水素精製装置内の圧力に基づいて水素回収工程を完了すれば、所望どおりの高純度水素を効率良く回収することができる。
【００１１】
本発明の第３の特徴構成は、吸着剤を収容する水素精製装置と、高純度の製品水素を貯蔵する水素貯蔵タンクと、前記水素精製装置から製品水素を取り出して前記水素貯蔵タンクへ搬送する水素取り出しラインを備え、前記水素精製装置内を加圧状態に維持して前記吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素に精製し、その製品水素を前記水素取り出しラインを介して前記水素貯蔵タンクへ搬送し、前記水素精製装置内を減圧状態に維持して前記吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すように構成してある水素製造装置であって、前記水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を回収して前記水素貯蔵タンクへ搬送する水素回収ラインを設けてあり、前記水素精製装置が複数設けられ、その複数の水素精製装置のそれぞれが、前記水素精製装置内を所定の加圧状態に維持する水素取り出し用調圧機構と水素取り出し用開閉機構を備えた前記水素取り出しラインで並列に前記水素貯蔵タンクに接続されるとともに、前記水素精製装置内を減圧させる水素回収用調圧機構と水素回収用開閉機構を備えた前記水素回収ラインに並列に接続され、前記水素回収ラインが、前記水素取り出し用調圧機構より前記水素貯蔵タンク側の位置で、前記水素取り出しラインに接続されているところにある。
【００１２】
本発明の第３の特徴構成によれば、水素精製装置内を加圧状態に維持して吸着剤に水素リッチガス中の不純物を吸着させて高純度の製品水素に精製し、その製品水素を水素取り出しラインを介して水素貯蔵タンクへ搬送し、水素精製装置内を減圧状態に維持して吸着剤から不純物を脱着させてオフガスを取り出すように構成してある水素製造装置であって、水素精製装置内の減圧に伴って水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を回収して水素貯蔵タンクへ搬送する水素回収ラインを設けてあるので、上記第１の特徴構成に関連して記述したように、水素取り出し工程完了後、オフガス取り出し工程へ移行する前に、水素精製装置内に残存する高純度の製品水素を回収する水素回収工程を実行して、その回収した製品水素を水素回収ラインにより水素貯蔵タンクへ搬送することができ、製品水素回収率の向上を図って効率良く製品水素を製造することができる。
【００１４】
さらに、本発明の第３の特徴構成によれば、水素取り出しラインが、水素精製装置内を所定の加圧状態に維持する水素取り出し用調圧機構と水素取り出し用開閉機構を備え、水素回収ラインが、水素精製装置内を減圧させる水素回収用調圧機構と水素回収用開閉機構を備えているので、水素取り出し用開閉機構と水素回収用開閉機構を適宜開閉操作することによって、水素取り出し工程から水素回収工程への移行を円滑に行うことができる。
そして、水素取り出し用調圧機構により水素精製装置内を所望の加圧状態に維持して、確実に水素取り出し工程を実行し、かつ、水素回収用調圧機構により水素精製装置内を所望どおりに減圧しながら水素回収工程を実行することができ、その結果、製品水素回収率をより一層向上させることができる。
【００１６】
さらに、本発明の第３の特徴構成によれば、水素精製装置が複数設けられ、その複数の水素精製装置のそれぞれが、水素取り出し用開閉機構を備えて水素取り出しラインに並列に接続され、かつ、水素回収用開閉機構を備えて水素回収ラインに並列に接続されているので、各水素精製装置の水素取り出し用開閉機構と水素回収用開閉機構を順次開閉操作することにより、複数の水素精製装置を使用して製品水素を効率良くかつ連続的に製造することが可能となる。
【００１８】
さらに、本発明の第３の特徴構成によれば、水素回収ラインが、水素取り出し用調圧機構をバイパスして水素取り出しラインに接続されているので、水素回収ラインと水素取り出しラインの共用化が可能となり、上述したように、製品水素を効率良くかつ連続的に製造することができるのに加えて、ラインの共用化により水素製造装置の低廉化も可能となる。加えて、水素回収ラインが、水素取り出し用調圧機構をバイパスして水素取り出しラインに接続されているので、水素取り出しラインを流れる水素を調圧した後、水素回収ラインを流れる水素と混合することができる。
【００１９】
本発明の第４の特徴構成は、上述の水素製造装置において、前記水素回収ラインの一部が、各水素精製装置内の圧力を均圧化する均圧ラインに兼用されているところにある。
【００２０】
本発明の第４の特徴構成によれば、水素回収ラインの一部が、各水素精製装置内の圧力を均圧化する均圧ラインに兼用されているので、上述した水素回収ラインと水素取り出しラインの共用化に加えて、水素回収ラインと均圧ラインの共用化も可能となり、水素製造装置のより一層の低廉化が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明による水素製造方法とその装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
この水素製造方法は、例えば、原料である炭化水素として１３Ａなどの都市ガスを使用して高純度の水素を製造するもので、そのための装置は、図１に示すように、コンプレッサ１、第１熱交換器２ａ、脱硫器３、第２熱交換器２ｂ、バーナ４ａを有する改質器４、変成器５、第３熱交換器２ｃ、気液分離器６、水素精製装置７、水素貯蔵タンク８、オフガス用タンク９などを備えて構成されている。
コンプレッサ１は、第１配管ラインＬ１から供給される原料としての炭化水素ガスを圧縮して昇圧するもので、例えば、都市ガスにおける中圧ラインからのガスを原料とする場合であれば、０．１ＭＰａあるいはそれ以上の圧力を有する炭化水素ガスを０．９８ＭＰａ程度にまで昇圧し、昇圧後の炭化水素ガスは、第１熱交換器２ａを有する第２配管ラインＬ２を通って脱硫器３に送られる。
【００２２】
脱硫器３は、昇圧後の炭化水素ガスから硫黄分をｐｐｂレベルにまで除去し、硫黄分除去後の炭化水素ガスは、第２熱交換器２ｂを有する第３配管ラインＬ３を通って改質器４に送られ、かつ、その改質器４には、第４配管ラインＬ４から水蒸気（スチーム）または改質器４内で水蒸気となる純水が供給される。
改質器４は、バーナ４ａの燃焼により７５０℃程度の高温に維持され、０．８５ＭＰａ程度の圧力下で水蒸気改質用の触媒により炭化水素ガスに水蒸気を反応させて水素リッチなガスに改質し、改質後の水素リッチガスは、第５配管ラインＬ５を通って第１と第２熱交換器２ａ，２ｂにより炭化水素ガスを予熱して変成器５に送られる。
変成器５は、変成用の触媒により水素リッチガス中の一酸化炭素（ＣＯ）を二酸化炭素（ＣＯ2）に変成し、変成後の水素リッチガスは、第３熱交換器２ｃを有する第６配管ラインＬ６を通って気液分離器６に送られ、気液分離器６が、水素リッチガスを常温程度にまで冷却して余分な水分を凝縮除去し、その後、水素リッチガスは、第１電磁バルブＶ１を有する第７配管ラインＬ７を通って水素精製装置７に送られる。
【００２３】
水素精製装置７は、例えば、活性アルミナ、カーボンモレキュラーシーブ（ＣＭＳ）、ゼオライトなどの吸着剤を収容する圧力スイング式水素精製装置で、加圧状態下において水素リッチガスから水、二酸化炭素（ＣＯ2）、一酸化炭素（ＣＯ）、メタン（ＣＨ4）、窒素（Ｎ2）などの不純物を吸着除去して高純度の製品水素に精製し、その吸着した不純物を減圧状態下において吸着剤から脱着させるものである。
その水素精製装置７は、図２に詳しく示すように、例えば、３塔の水素精製装置７、つまり、第１水素精製装置７ａ、第２水素精製装置７ｂ、および、第３水素精製装置７ｃにより構成されて、それら第１〜第３の水素精製装置７ａ〜７ｃが並列に接続され、後に詳しく説明するように、各水素精製装置７ａ〜７ｃにおいて、吸着（水素取り出し工程）、均圧（水素回収工程）、均圧（１）、減圧（１）と（２）、洗浄、均圧（２）、昇圧の各工程を順番に繰り返すことにより水素リッチガスから高純度の製品水素を連続的に製造するように構成されている。
【００２４】
各水素精製装置７ａ〜７ｃからの高純度水素は、水素取り出し用調圧機構ＰＶ１を備えた水素取り出しラインとしての第８配管ラインＬ８を通って水素貯蔵タンク８へ搬送され、供給側と需要側での流量変動を吸収して常時一定量の製品水素として供給できるように水素貯蔵タンク８に貯蔵され、需要に応じて、第９配管ラインＬ９から供給される。
そのため、各水素精製装置７ａ〜７ｃは、水素取り出し用開閉機構としての第２電磁バルブＶ２ａ〜Ｖ２ｃを備えた第８補助配管ラインＬ８ａ〜Ｌ８ｃを介してそれぞれ第８配管ラインＬ８に並列に接続されている。
さらに、各水素精製装置７ａ〜７ｃは、水素回収用開閉機構としての第３電磁バルブＶ３ａ〜Ｖ３ｃを備えた第１０補助配管ラインＬ１０ａ〜Ｌ１０ｃを介してそれぞれ水素回収ラインとしての第１０配管ラインＬ１０に並列に接続されている。
【００２５】
その第１０配管ラインＬ１０は、水素回収用調圧機構ＰＶ２と第４電磁バルブＶ４を備えていて、水素取り出し用調圧機構ＰＶ１よりも下手側において第８配管ラインＬ８に接続され、換言すると、水素回収ラインとしての第１０配管ラインＬ１０は、水素取り出し用調圧機構ＰＶ１をバイパスして水素取り出しラインとしての第８配管ラインＬ８に接続されている。
第１０配管ラインＬ１０の途中には、均圧用調圧機構ＰＶ３を備えた第１１補助配管ラインＬ１１ａが分岐接続され、その第１１補助配管ラインＬ１１ａが水素取り出し用調圧機構ＰＶ１よりも上手側において第８配管ラインＬ８に接続され、その第１１補助配管ラインＬ１１ａ、第１０配管ラインＬ１０の一部、ならびに、第１０補助配管ラインＬ１０ａ〜Ｌ１０ｃが、各水素精製装置７ａ〜７ｃ内の圧力を均圧化する均圧ラインとしての第１１配管ラインＬ１１を構成している。言い換えると、水素回収ラインとしての第１０配管ラインＬ１０の一部が、均圧ラインＬ１１に兼用されている。
【００２６】
また、各水素精製装置７ａ〜７ｃからのオフガスは、第１２配管ラインＬ１２を通って改質器４用のバーナ４ａ側に送られるように構成され、そのため、各水素精製装置７ａ〜７ｃは、第５電磁バルブＶ５ａ〜Ｖ５ｃを有する第１２補助配管ラインＬ１２ａ〜Ｌ１２ｃを介してそれぞれ第１２配管ラインＬ１２に接続され、その第１２配管ラインＬ１２にオフガス用タンク９が介装されるとともに、第１２補助配管ラインＬ１２ａ〜Ｌ１２ｃに対し、第１電磁バルブＶ１を構成する電磁バルブＶ１ａ〜Ｖ１ｃを有する第７補助配管ラインＬ７ａ〜Ｌ７ｃを介して第７配管ラインＬ７がそれぞれ接続されている。
各水素精製装置７ａ〜７ｃからのオフガスは、バーナ４ａに供給され、燃焼後の排ガスは、第１４配管ラインＬ１４を通って装置外へ排出される。
【００２７】
第１２配管ラインＬ１２に介装のオフガス用タンク９は、各水素精製装置７ａ〜７ｃから供給されるオフガスを一時的に貯蔵して常時一定量のオフガスをバーナ４ａに供給するためのもので、オフガス用タンク９の前後には、第６電磁バルブＶ６と第１流量調整バルブＦＶ１が配設されている。
その第１２配管ラインＬ１２において、オフガス用タンク９を含んで前後の第６電磁バルブＶ６と第４圧力調整バルブＰＶ４をバイパスする第１５配管ラインＬ１５が設けられ、その第１５配管ラインＬ１５には、第７電磁バルブＶ７と第５圧力調整バルブＰＶ５が配設され、かつ、第１５配管ラインＬ１５より下手側の第１２配管ラインＬ１２には流量計Ｆが配設されている。
そして、第７配管ラインＬ７における第１電磁バルブＶ１の上手側には、第８電磁バルブＶ８を備えたパージ用の第１６配管ラインＬ１６と、気液分離器６からの水素リッチガスの一部を第１配管ラインＬ１に戻す第１７配管ラインＬ１７が接続されている。
【００２８】
つぎに、この水素製造装置の作動を説明して水素製造方法に言及する。
まず、装置の循環系全体を所定の温度にまで昇温する起動運転を実行した後、水素精製運転を行って製品水素を製造するのであり、水素精製運転では、原料である炭化水素ガスが、第１配管ラインＬ１から導入されてコンプレッサ１により所定の圧力にまで昇圧され、第１熱交換器２ａを通過した後、脱硫器３において硫黄分が除去され、その後、第２熱交換器２ｂを通過し、改質器４において、バーナ４ａの燃焼による高温下で、水蒸気改質用の触媒により水蒸気と反応して水素リッチガスに改質される。
改質後の水素リッチガスは、第１と第２熱交換器２ａ，２ｂを通過して原料である炭化水素ガスを予熱し、変成器５において含有一酸化炭素が二酸化炭素に変成され、気液分離器６で余分な水分が除去された後、３塔ある水素精製装置７ａ〜７ｃのいずれかにおいて不純物が吸着除去されて高純度の水素に精製される。
【００２９】
例えば、図３の上段に示すように、水素リッチガスが第１水素精製装置７ａにおいて精製される場合であれば、図３の下段に示すように、ステップ１〜５（時間ｔ１〜ｔ５）の間、第１電磁バルブＶ１ａの開弁によって第１水素精製装置７ａに水素リッチガスが供給され、第１水素精製装置７ａ内を所定の加圧状態に維持して、吸着剤に水素リッチガス中に含まれる水、二酸化炭素、一酸化炭素、メタン、窒素などの不純物を吸着させ、第２電磁バルブＶ２ａの開弁により、高純度の製品水素を取り出す吸着工程、つまり、水素取り出し工程を実行する。
この水素取り出し工程の間、第１水素精製装置７ａ内は、例えば、圧力調整バルブからなる水素取り出し用調圧機構ＰＶ１によって０．８５ＭＰａ程度の所定圧に維持され、高純度の製品水素は、水素取り出しラインとしての第８配管ラインＬ８を介して水素貯蔵タンク８へ搬送されて貯蔵される。
【００３０】
その際、第２水素精製装置７ｂは、洗浄工程が終了した直後の均圧（２）工程にあり、第３水素精製装置７ｃは、吸着工程（水素取り出し工程）が終了した直後の均圧工程、つまり、第３水素精製装置７ｃ内に残存する高純度の製品水素を回収する水素回収工程にあって、ステップ１（時間ｔ１）の間、第３電磁バルブＶ３ｃ，Ｖ４ｂ，Ｖ１０の開弁によって、第２と第３水素精製装置７ｂ，７ｃ内の圧力を均圧化すると同時に、第３水素精製装置７ｃ内の減圧に伴って第３水素精製装置７ｃ内に残存する高純度の製品水素を回収し、その製品水素は、水素回収ラインとしての第１０配管ラインＬ１０を介して水素貯蔵タンク８へ搬送されて貯蔵される。
なお、その水素回収工程の前に、第３水素精製装置７ｃ内は、例えば、水素貯蔵タンク８の圧力を調整する圧力調整バルブＰＶ９の設定圧力が０．６５ＭＰａであるとき、圧力調整バルブからなる水素回収用調圧機構ＰＶ２によって０．６５ＭＰａ以上の所定圧に維持され、所定の設定圧である０．６５ＭＰａにまで減圧した時点で、その水素回収工程を完了する。
【００３１】
その後、ステップ２（時間ｔ２）において、第２水素精製装置７ｂが昇圧され、さらに、ステップ３と４（時間ｔ３とｔ４）においても昇圧され、同時に、第３水素精製装置７ｃが減圧されて、その減圧下において吸着剤に吸着された不純物が脱着されてオフガスが排出される。
第３水素精製装置７ｃの減圧工程において、その初期の段階では、図４（ａ）に示すように、第６電磁バルブＶ６の開弁によって、比較的多量の一酸化炭素を含むオフガスがオフガス用タンク９に貯蔵され、後期の段階では、図４（ｂ）に示すように、第６電磁バルブＶ６が閉弁され、第７電磁バルブＶ７が開弁されて、比較的多量の水素を含むオフガスがバイパス路Ｌ１５を通り、オフガス用タンク９からのオフガスと混合されて改質器４のバーナ４ａに供給されて燃焼される。
【００３２】
引き続いて、ステップ５（時間ｔ５）において、第２水素精製装置７ｂが昇圧され、第３水素精製装置７ｃには、例えば、水素貯蔵タンク８内の水素が供給されて洗浄され、図４（ｂ）に示すように、その洗浄後のオフガスがバイパス路Ｌ１５を通り、オフガス用タンク９からのオフガスと混合され、改質器４のバーナ４ａに供給されて燃焼される。
そして、第１〜第３の水素精製装置７ａ〜７ｃにおいて、このような工程を順次繰り返すことによって高純度の水素を連続的に精製して製品水素を製造するのである。
【００３３】
〔別実施形態〕
（１）先の実施形態では、燃料ガスの変成法により水素リッチガスを製造し、その水素リッチガスから高純度水素を精製して製品水素を製造する例を示したが、水素リッチガスの製造に関しては、燃料ガスの変成法以外にも、液体燃料のガス化法、水の電解法、石炭やコークスのガス化法、コークス炉ガスの液化分離法、メタノールやアンモニアの分解法などの各種方法により製造することができる。
【００３４】
（２）先の実施形態では、３塔の水素精製装置７ａ〜７ｃを並列に接続して水素精製装置７を構成した例を示したが、例えば、水素精製装置を２塔使用する水素製造装置においても、また、４塔以上の水素精製装置を並列に接続して使用する水素製造装置においても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】水素製造装置の全体を示す概略構成図
【図２】水素製造装置の要部を示す概略構成図
【図３】水素精製装置の作動を示す説明図
【図４】水素精製装置の作動を示す説明図
【符号の説明】
【００３６】
７（７ａ〜７ｃ）  水素精製装置
８                水素貯蔵タンク
Ｌ８              水素取り出しライン
Ｌ１０            水素回収ライン
Ｌ１１            均圧ライン
ＰＶ１            水素取り出し用調圧機構
ＰＶ２            水素回収用調圧機構
Ｖ２ａ〜Ｖ２ｃ    水素取り出し用開閉機構
Ｖ３ａ〜Ｖ３ｃ    水素回収用開閉機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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