(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ）光重合性化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含有する着色感光性樹脂組成物であり、
（Ｄ）光重合開始剤の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、質量分率で４％以上１０％以下であり、
基板上に形成された該着色感光性樹脂組成物からなる厚さ０．８μｍ以上２．５μｍ以下の層の表面に、
線状で線幅１００μｍのｉ線平行光を照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2で照射し、現像し、加熱して形成された着色パターンの線幅（Ｗ300）と、
線状で線幅１００μｍのｉ線平行光を照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2で照射し、現像し、加熱して形成された着色パターンの線幅（Ｗ50）との比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
着色感光性樹脂組成物の固形分に対して、質量分率で、（Ａ）着色剤の含有量が１５％以上５０％以下、（Ｂ）バインダーポリマーの含有量が２０％以上５５％以下、（Ｃ）光重合性化合物の含有量が１０％以上４５％以下、（Ｄ）光重合開始剤の含有量が４％以上１０％以下である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ｂ）バインダーポリマーの酸価が９０以上１６０以下であり、かつ重量平均分子量（Ｍｗ）が２００００以上４００００以下である請求項１又は２記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物からなる層を基板（２）の上に形成し、該層を露光したのち、現像することを特徴とする着色パターンの形成方法。
【請求項５】
着色パターンを請求項４記載の方法で形成するカラーフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は着色感光性樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
着色感光性樹脂組成物（カラーレジスト）は、着色剤を含有していて着色している感光性樹脂組成物（レジスト）であって、(Ａ)着色剤、(Ｂ)バインダーポリマー、(Ｃ)光重合性化合物および(Ｄ)光重合開始剤を含有するものが知られており、例えばカラーフィルターを構成する着色パターンを形成するための材料として有用である。ここで、カラーフィルターとは、例えばカラー液晶表示装置に組み込まれて表示画像をカラー化するために用いられたり、カラー固体撮像素子に組み込まれてカラー画像を得るために用いられる光学素子である。着色パターン(２)とは、例えば赤色画素(２Ｒ)、緑色画素(２Ｇ)、青色画素(２Ｂ)などの色画素などであって、かかる着色パターン(２)は通常、基板(３)上に形成されて、カラーフィルター(１)を構成している（図１）。色画素は、着色された透明な層であり、これを透過する光はそれぞれの色画素の色を呈する。
【０００３】
かかる着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターン(２)を形成する方法としては、基板(３)上に形成された着色感光性樹脂組成物からなる層〔以下、着色感光性樹脂組成物層ともいう〕(４)に（図２(a)）、光線(６)を照射して露光した後（図２(b)）、現像する方法が知られている（図２(c)）。露光において、着色感光性樹脂組成物層(４)には、光線(６)が照射されなかった未照射領域(４１)と、光線が照射された照射領域(４２)とが生ずる（図２(b)）。未照射領域(４１)は、次の現像において除去される（図２(c)）。その一方で、照射領域(４２)は、次の現像においてそのまま残って着色パターン(２)が形成される。かくして着色パターン(２)は、その断面形状が基板側の幅（Ｗ0）が上側の幅（Ｗ1）よりも広い順テーパー状（図５(a)）であるか、基板(３)側の幅（Ｗ0）が上側の幅（Ｗ1）と等しい矩形状であることが好ましい（図５(b)）。
【０００４】
かかる着色パターンの形成方法において、照射領域に照射される光線の照射光量は少ないことが、少ない照射時間で着色パターンを形成し得るため好ましい。このため、着色感光性樹脂組成物としては少ない照射光量でも十分に着色パターンを形成し得る高感度のものが使用されている。かかる高感度の着色感光性樹脂組成物は、照射光量が過剰となっても目的とする着色パターンを形成し得ることが好ましい。
【０００５】
しかし、従来の高感度の着色感光性樹脂組成物は、照射光量を多くすると、形成される着色パターン(２)の断面形状が、基板(３)側の幅（Ｗ0）が上側の幅（Ｗ1）よりも狭い逆テーパー状になり易いという問題があった（図５(c)）。このため、高感度の着色移管構成樹脂組成物を用いる場合には、照射光量が過剰とならないように調整する必要があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者は、高感度であると共に、照射光量が過大となっても断面形状が順テーパー状ないし矩形状の着色パターンを形成し得る着色感光性樹脂組成物を開発するべく鋭意検討した結果、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2で形成される着色パターンの線幅（Ｗ300）と、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2で形成される着色パターンの線幅（Ｗ50）との比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下である着色感光性樹脂組成物は、照射光量を多くしても、順テーパー状の着色パターンを形成し得ることを見出し、本発明に至った。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】
すなわち本発明は、(Ａ)着色剤、(Ｂ)バインダーポリマー、(Ｃ)光重合性化合物および(Ｄ)光重合開始剤を含有する着色感光性樹脂組成物であり、
基板上に形成された該着色感光性樹脂組成物からなる厚さ０．８μｍ以上２．５μｍ以下の層の表面に、
線状で線幅１００μｍのｉ線平行光を照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2で照射し、現像し、加熱して形成された着色パターンの線幅（Ｗ300）と、
線状で線幅１００μｍのｉ線平行光を照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2で照射し、現像し、加熱して形成された着色パターンの線幅（Ｗ50）と
の比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、(Ａ)着色剤、(Ｂ)バインダーポリマー、(Ｃ)光重合性化合物および(Ｄ)光重合開始剤を含有する。
【０００９】
(Ａ)着色剤は、有機物である有機着色剤であってもよいし、無機物である無機着色剤であってもよい。有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であってもよい。また、着色剤は、天然色素であってもよいし、合成色素であってもよい。無機着色剤は、金属酸化物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩（体質顔料）などの無機顔料であってもよい。かかる着色剤の中でも、有機着色剤、特には有機顔料が好ましく用いられる。
【００１０】
有機顔料として具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されている顔料が挙げられる。具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３などの黄色顔料、
【００１１】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３などのオレンジ色顔料、
【００１２】
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５などの赤色顔料、
【００１３】
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０などの青色顔料、
【００１４】
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８などのバイオレット色顔料、
【００１５】
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６などの緑色顔料、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などのブラウン色顔料、
【００１６】
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などの黒色顔料などが挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１７】
かかる有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよい。かかる有機顔料の粒径は概ね１０ｎｍ以上１５０ｎｍ以下程度である。
【００１８】
着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に含まれる揮発成分（溶剤）が揮発した後の固形分に対して質量分率で通常５％以上であり、十分に着色された着色パターンを形成し得る点で１０％以上、さらには２０％以上、特には３０％以上であり、通常６０％以下、好ましくは５０％以下の範囲である。また、着色剤として有機顔料を用いる場合、該有機顔料の使用量は着色剤の全量に対して質量分率で通常５０％以上、好ましくは５５％以上であって、着色剤の全量（１００％）が有機顔料であってもよい。
【００１９】
(Ｂ)バインダーポリマーとしては、例えば（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸ベンジルとの共重合体が用いられ、（メタ）アクリル酸単位の含有量がモル分率で２５％以上４０％以下であり、酸価が９０以上１６０以下、重量平均分子量（Ｍｗ）が２００００以上４００００以下程度のものが好ましく用いられる。バインダーポリマーの酸価は、バインダーポリマー１ｇを水１０ｃｍ3とアセトン４０ｃｍ3との混合溶媒に溶解し、ｐＨを測定しながら、これに水酸化カリウム水溶液を加えて滴定することで求められる。重量平均分子量（Ｍｗ）は、ポリスチレンを基準としてゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定される値である。
【００２０】
着色感光性樹脂組成物におけるバインダーポリマーの含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上、好ましくは２０％以上であり、通常９０％以下、好ましくは７０％以下程度である。
【００２１】
(Ｃ)光重合性化合物は、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００２２】
かかる光重合成化合物は、４官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。４官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えばペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。
【００２３】
着色感光性樹脂組成物における光重合性化合物の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常１％以上６０％以下、好ましくは３％以上５０％以下である。
【００２４】
(Ｄ)光重合開始剤としては、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、酸を発生する酸発生剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えばアセトフェノン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤などが挙げられる。
【００２５】
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えばジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【００２６】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００２７】
トリアジン系光重合開始剤としては、例えば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００２８】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００２９】
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００３０】
活性ラジカル発生剤として、例えば２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００３１】
酸発生剤としては、例えば４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００３２】
また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えばトリアジン系光重合開始剤などの活性ラジカル発生剤は、酸発生剤としても使用される。
【００３３】
これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。かかる光重合開始剤のなかでも、アセトフェノン系光重合開始剤、とりわけ２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンや、トリアジン系光重合開始剤、とりわけ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジンなどが好ましく用いられる。
【００３４】
着色感光性樹脂組成物における光重合開始剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常１％以上２５％以下、好ましくは３％以上２０％以下である。
【００３５】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光重合開始剤と組合わせて用いられ、光重合成化合物の重合を促進するために含有される化合物である。光重合開始助剤としては、例えばアミン系光重合開始助剤、アルコキシアントラセン系光重合開始助剤などが挙げられる。
【００３６】
アミン系光重合開始助剤としては、例えばトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〔「ＥＡＢ−Ｆ」、（保土谷化学工業(株)製）として市販されている〕、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００３７】
アルコキシアントラセン系光重合開始助剤としては、例えば９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００３８】
かかる光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００３９】
着色感光性樹脂組成物は、着色剤として顔料を含有する場合には、顔料分散剤を含有していてもよい。顔料分散剤を含有することにより、顔料を均一に分散された状態で含有することができ、均一に着色された着色パターンを得ることができる。かかる顔料分散剤としては、例えばポリエステル系高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤などの分散剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組合わせて用いられる。かかる顔料分散剤を含有する場合、その含有量は着色剤１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好ましくは０．５質量部以下である。
【００４０】
着色感光性樹脂組成物は、充填剤、(Ｂ)バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００４１】
充填剤としては、例えばガラス、アルミナなどの微粒子などが挙げられる。
(Ｂ)バインダーポリマー以外の高分子化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００４２】
密着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００４３】
酸化防止剤としては、例えば２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４４】
凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
有機酸としては、例えば蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸類、
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸類、
安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸類、
トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げられる。
【００４５】
有機アミノ化合物としては、例えばｎ―プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミン、メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類、
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、
ジエタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、
トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン類、
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類、
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノール、１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類、
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類、
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類、
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００４６】
硬化剤としては、例えば加熱されることによってバインダーポリマー（Ｂ）中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。かかる化合物としては、例えばエポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００４７】
エポキシ化合物としては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００４８】
オキセタン化合物としては、例えばカーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００４９】
本発明の着色感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。かかる化合物としては、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００５０】
多価カルボン酸類としては、例えばフタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００５１】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００５２】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。かかるエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば商品名「アデカハードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)）、商品名「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)）、商品名「ＭＨ−７００」（新日本理化(株)）などが挙げられる。
【００５３】
かかる硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は通常、(Ｅ)溶剤で希釈された状態で製造され、保存される。(Ｅ)溶剤としては、通常の着色感光性樹脂組成物に用いられると同様の溶剤、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、
【００５５】
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、
【００５６】
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、
【００５７】
ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類、
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類、
【００５８】
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール類、
３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類、
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類などが挙げられる。
【００５９】
かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができ、その使用量は溶剤で希釈された状態の着色感光性樹脂組成物における含有量が質量分率で通常５０％以上９０％以下、好ましくは６０％以上８５％以下となる程度である。
【００６０】
溶剤で希釈された着色感光性樹脂組成物において、(Ａ)着色剤として顔料を用いた場合には、かかる顔料は通常、組成物中に分散されている。また、(Ａ)着色剤として染料を用いた場合には、かかる染料は組成物中に分散されていてもよいし、(Ｅ)溶剤に溶解されていてもよい。(Ｂ)バインダーポリマー、(Ｃ)光重合性化合物および(Ｄ)光重合開始剤は、(Ｅ)溶剤に溶解されている。
【００６１】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、基板(３)上に形成された該着色感光性樹脂組成物からなる厚み０．８μｍ以上２．５μｍ以下の層(４)の表面に、線状で線幅（ｗ）１００μｍのｉ線平行光(６)を照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2で照射し（図２(b)）、現像し、加熱して形成された着色パターン(２)の線幅（Ｗ300）と（図２(c)）、
前記層(４)の表面に線状で線幅（ｗ）１００μｍのｉ線平行光(６)を照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2で照射し（図２(b)）、現像し、加熱して形成された着色パターン(２)の線幅（Ｗ50）と
の比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下である。
【００６２】
基板(３)としては、例えばガラス基板、プラスチック板などのような表面が平坦な基板が挙げられる。
【００６３】
本発明の着色感光性樹脂組成物からなる層(４)を基板(３)上に形成するには、例えば(Ｅ)溶剤で希釈された本発明の着色感光性樹脂組成物を基板(３)上に塗布し、(Ｅ)溶剤を除去すればよい。着色感光性樹脂組成物を塗布するには、均一な厚みで基板上に塗布し得る方法、例えば回転塗布法（スピンコート法）などの方法で塗布すればよい。塗布後、(Ｅ)溶剤を除去するには、例えば加熱すればよい。加熱温度は、例えば６０℃以上１２０℃以下の範囲である。かくして形成される着色感光性樹脂組成物層(４)は、着色感光性樹脂組成物から(Ｅ)溶剤などの揮発成分を除いた固形分からなる層である。
【００６４】
かかる着色感光性樹脂組成物層(４)は、厚さが０．８μｍ以上２．５μｍ以下となるように形成されるが、かかる厚さで着色感光性樹脂組成物層を形成するには、例えば着色感光性樹脂組成物を希釈する溶剤の使用量、回転塗布法で着色感光性樹脂組成物を塗布する際の回転速度、温度などを適宜選択すればよく、例えば厚さを厚くするには、溶剤の使用量を少なくしたり、回転数を低くしたり、温度を低くすればよく、薄くするには溶剤の使用量を多くしたり、回転数を高くしたり、温度を高くしたりすればよい。
【００６５】
照射されるｉ線は、波長３６５ｎｍの光である。ｉ線平行光は、カラーフィルターの製造に用いられる露光機によって照射することができる。線幅（ｗ）が１００μｍの線状のｉ線平行光を照射するには、例えば線幅１００μｍのスリットを介してｉ線平行光を照射すればよい。
【００６６】
ｉ線平行光を照射した後の現像は、アルカリ性水溶液に浸漬する方法により行なわれる。アルカリ性水溶液としては、水酸化カリウムとブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムとを含む水溶液が用いられ、かかる水溶液１００質量部に対する水酸化カリウムの含有量は０．０５質量部であり、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムの含有量は０．０５質量部である。アルカリ性水溶液の温度は、２３℃である。浸漬時間は４０秒以上３６０秒以下、好ましくは１２０秒以下程度である。浸漬したのち、通常は水洗して現像液を除去する。
【００６７】
現像したのち加熱する。加熱温度は２２０℃であり、加熱時間は２０分である。かくして着色パターンが形成されるが、かかる着色パターンは線状である。
【００６８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、上記露光におけるｉ線平行光の照射光量を３００ｍＪ／ｃｍ2としたときに形成される着色パターンの線幅（Ｗ300）と、５０ｍＪ／ｃｍ2としたときに形成される着色パターンの線幅（Ｗ50）との比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下である。比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５を超えると、照射光量を多くして形成された着色パターンの断面形状が逆テーパー状となり易い。また、該比（Ｗ300／Ｗ50）は通常、１．００以上である。
【００６９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、上記比（Ｗ300／Ｗ50）が１．０５以下であるが、かかる着色感光性樹脂組成物としては、例えば着色感光性樹脂組成物の固形分に対する(Ａ)着色剤の含有量が質量分率で１５％以上５０％以下、(Ｂ)バインダーポリマーの含有量が質量分率で２０％以上５５％以下、(Ｃ)光重合性化合物の含有量が質量分率で１０％以上４５％以下、(Ｄ)光重合開始剤の含有量が質量分率で３％以上２０％以下である着色感光性樹脂組成物が挙げられる。
【００７０】
本発明の着色感光性樹脂組成物から着色パターンを形成するには、本発明の着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよい。具体的には、基板(２)の上に本発明の着色感光性樹脂組成物からなる層(４)を形成し（図２(a)）、かかる着色感光性樹脂組成物層(４)を露光したのち（図２(b)）、現像すればよい（図２(c)）。
【００７１】
基板(３)としては、例えばガラス基板、シリコンウェハー、プラスチック板などの表面が平坦な基板が挙げられる。基板は透明であってもよい。また基板としてシリコンウェハーなどを用いる場合、該シリコンウェハーなどの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ、Thin Film Transistor）などが形成されていてもよい。
【００７２】
着色感光性樹脂組成物層(４)を形成するには、例えば(Ｅ)溶剤で希釈されている本発明の着色感光性樹脂組成物を基板(３)の上に塗布すればよい。塗布方法は、着色感光性樹脂組成物を均一な厚みで基板上に塗布し得る方法であればよく、例えば回転塗布法（スピンコート法）などの方法が挙げられる。塗布後、溶剤を除去する。溶剤を除去するには、例えば加熱すればよい。かくして形成される着色感光性樹脂組成物層(４)は、着色感光性樹脂組成物から(Ｅ)溶剤などの揮発成分を除いた固形分からなる層であり、その厚さは通常０．８μｍ以上３μｍ以下程度である。
【００７３】
次いで、着色感光性樹脂組成物層(４)を露光する（図２(b)）。露光するには、例えばフォトマスク(５)を介して光線(６)を照射すればよい。光線(６)としては通常、ｉ線（波長３６５ｎｍ）と呼ばれる紫外線などが用いられる。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここでフォトマスク(５)は、例えばガラス板(５１)の表面に光線を遮蔽する遮光層(５２)が設けられたものである。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光部(５３)であって、この透光部のパターンに従ったパターンで着色感光性樹脂組成物層(４)が露光されて、光線が照射されなかった未照射領域(４１)と、光線が照射された照射領域(４２)とが生ずる。照射領域(４２)における光線の照射量は、用いた(Ａ)着色剤の種類や含有量、(Ｂ)バインダーポリマーの重量平均分子量、含有量、単量体単位組成、(Ｃ)光重合性化合物の種類、含有量、(Ｄ)光重合開始剤の種類、含有量などによって適宜選択される。
【００７４】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、高感度であるので、光線の照射光量が５０ｍＪ／ｃｍ2程度であっても着色パターンを形成することができる。また、多くの光線を照射しても、得られる着色パターンの断面形状は、順テーパー状ないし矩形状である。
【００７５】
露光後、現像する（図２(c)）。現像するには、例えば露光後の着色感光性樹脂組成物層(４)を現像液と接触させればよく、具体的にはその表面上に着色感光性樹脂組成物層(４)が形成された状態の基板(３)を現像液に浸漬すればよい。現像液としては通常、アルカリ性水溶液が用いられる。アルカリ性水溶液としては、例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。現像によって、着色感光性層のうちの光線が照射されなかった未照射領域(４１)は除去される。その一方で、光線照射領域(４２)はそのまま残って着色パターン(２)を構成する。
【００７６】
現像後、通常は水洗し、乾燥することにより、目的とする着色パターン(２)を得る。乾燥後、加熱してもよい。着色パターンを加熱することによって硬度が増して、その機械的強度が向上する傾向にあり、着色感光性樹脂組成物として硬化剤を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向上することができる。加熱温度は通常１８０℃以上、好ましくは２００℃以上であり、通常２５０℃以下である。
【００７７】
かくして形成される着色パターン(２)は、その断面形状が順テーパー状ないし矩形である。
【００７８】
かくして着色パターン(２)が形成された基板(３)の上に、さらに異なる色の着色剤を含有して異なる色に着色された着色感光性樹脂組成物からなる層(４’)を形成し（図３(a)）、該層(４’)を露光したのち（図３(b)）、現像することによって（図３(c)）、さらに着色パターン(２’)を形成することができる。さらに、異なる色に着色された着色感光性樹脂組成物を用いて上記操作を繰り返し行なうことによって、順次着色パターン(２”)を形成することができ（図４）、着色パターン(２)を有するカラーフィルター(１)を製造することができる（図１）。
【００７９】
【発明の効果】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、高感度であると共に、露光における照射光量を多くしても断面が順テーパー状ないし矩形の着色パターンを形成することができるので、照射光量の変動が大きくても、断面形状が順テーパー状ないし矩形の着色パターンを安定して形成することができる。
【００８０】
【実施例】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はかかる実施例によって限定されるものではない。
なお、以下の実施例および比較例において形成した着色パターン（赤色画素、緑色画素、青色画素）の線幅は、該着色パターンの断面形状が順テーパー状ないし矩形状である場合には（図５(a)、(b)）、基板(３)側の幅（Ｗ0）とし、逆テーパー状である場合には（図５(c)）、上側の幅（Ｗ1）とした。
【００８１】
実施例１
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は２５０００〕０．８６２質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５７４質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０８６質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０８６質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０８６質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．８４９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７４７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９〕０．１９８質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５９質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．１３８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００８２】
〔赤色画素の形成〕
ガラス基板〔コーニング社製、「＃７０５９」〕(３)の表面上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布したのち、１００℃で３分間乾燥して揮発分を揮発させて、着色感光性樹脂組成物層〔厚さは１．１μｍ〕(４)を形成した。
【００８３】
冷却後、この着色感光性樹脂組成物層(４)にフォトマスク(５)を介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕(６)を照射して露光した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は５０ｍＪ／ｃｍ2とした。ｉ線(６)は、フォトマスクを介して線幅１００μｍの線状に照射した。
【００８４】
次いで露光後のガラス基板を現像液〔質量分率で水酸化カリウムを０．０５％、ブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％それぞれ含む水溶液、２３℃〕に８０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄したのち、２２０℃で２０分間加熱して、赤色画素(２)を形成した（図２(c)）。形成された赤色画素のうち、線幅１００μｍの線状の色画素に対応する赤色画素の線幅は１００．８μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００８５】
照射光量を３００ｍＪ／ｃｍ2とする以外は上記と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層を形成し、露光し、現像し、加熱して線状の赤色画素を形成した。この赤色画素の線幅は１０３．９μｍであり、断面形状は順テーパー状であった。
【００８６】
比較例１−１
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は２５０００〕０．８６２質量部、
（Ｃ）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５７４質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０２２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０２２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０２２質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．８４９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７４７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９〕０．１９８質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５９質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．１３８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００８７】
〔赤色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作て着色感光性樹脂組成物層（厚み１．１μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、赤色画素を形成することができなかった。
【００８８】
比較例１−２
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
（Ｂ）メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は２５０００〕０．８６２質量部、
（Ｃ）ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５７４質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．１７２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．１７２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．１７２質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．８４９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７４７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９〕０．１９８質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５９質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．１３８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００８９】
〔赤色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．１μｍ）を形成し、赤色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１０１．４μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１１１．９μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【００９０】
実施例２
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は３００００〕０．８６０質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５４６質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０８２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０８２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０８２質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．５２２質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７９４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．２１１質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．４６４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００９１】
〔赤色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、赤色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１００．３μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１０３．９μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９２】
比較例２−１
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は３００００〕０．８６０質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５４６質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０２１質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０２１質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０２１質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．５２２質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７９４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９〕０．２１１質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．４６４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００９３】
〔赤色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、赤色画素を形成することができなかった。
【００９４】
比較例２−２
〔赤色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で２７：７３、酸価は１０２、重量平均分子量は３００００〕０．８６０質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５４６質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．１６４質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．１６４質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．１６４質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．５２２質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４〕０．７９４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９〕０．２１１質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３５２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．４６４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【００９５】
〔赤色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作し、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成して、赤色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１００．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１０９．８μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【００９６】
実施例３
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．７６３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．１２７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．７１８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６３７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５０３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．２６８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【００９７】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１００．８μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０６．８μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【００９８】
比較例３−１
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．７６３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０３２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．７１８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６３７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５０３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．２６８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【００９９】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、緑色画素を形成することができなかった。
【０１００】
比較例３−２
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．７６３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．５８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．２５４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．７１８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６３７質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５０３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．２６８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１０１】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０１．８μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１１２．８μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【０１０２】
実施例４
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６５１質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４７２質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．１８９質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０６３質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３１５質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．０８３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．７４０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３４０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１８質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３６質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．６８４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１０３】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０２．９μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０７．５μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１０４】
比較例４−１
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６５１質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４７２質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．０４７質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０１６質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３１５質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．０８３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．７４０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３４０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１８質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３６質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．６８４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１０５】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、緑色画素を形成することができなかった。
【０１０６】
比較例４−２
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６５１質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４７２質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．３７８質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０６３質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３１５質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．０８３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．７４０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３４０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１８質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３６質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．６８４質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１０７】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０３．０μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１１２．５μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【０１０８】
実施例５
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６３７質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４６１質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．１８５質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０６２質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３０８質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１２３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６００質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３３０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２８５質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．８７０質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１０９】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された赤色画素の線幅は１０１．５μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０６．２μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１０】
比較例５−１
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６３７質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４６１質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．０４６質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０１６質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３０８質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１２３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６００質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３３０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２８５質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．８７０質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１１１】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、緑色画素を形成することができなかった。
【０１１２】
比較例５−２
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６３７質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．４６１質量部、
(Ｄ)２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン０．７４０質量部、
光重合開始助剤〔４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン〕０．０６２質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．３０８質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１２３質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６００質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０〕０．３３０質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２８５質量部、
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．１３２質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．８７０質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１１３】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．２μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０２．１μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１１１．９μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【０１１４】
実施例６
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６４２質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．３８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．１２８質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．３５９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６１８質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５８２質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８６質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．６２８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１１５】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は９８．９μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０３．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１１６】
比較例６−１
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６４２質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．３８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．０３２質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．３５９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６１８質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５８２質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８６質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．６２８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１１７】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、緑色画素を形成することができなかった。
【０１１８】
比較例６−２
〔緑色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３５：６５、酸価は１３５、重量平均分子量は３００００〕０．６４２質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．３８５質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕０．２５６質量部、
エポキシ化合物〔オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、「スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０」（住友化学工業(株)製）〕０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．３５９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６〕０．６１８質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８〕０．５８２質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３８６質量部、および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．６２８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（緑色）を得た。
【０１１９】
〔緑色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、緑色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１００．１μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された緑色画素の線幅は１０９．３μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【０１２０】
実施例７
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７５６質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．８８７質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．１９７質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０９９質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．１２９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕１．０３０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１６質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．５５８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
【０１２１】
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、青色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１０３．６μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１０７．８μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。
【０１２２】
比較例７−１
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７５６質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．８８７質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０５０質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０２５質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．１２９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕１．０３０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１６質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．５５８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
【０１２３】
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、青色画素を形成することができなかった。
【０１２４】
比較例７−２
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７５６質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．８８７質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．３９４質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．１９８質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート６．１２９質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕１．０３０質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１６質量部、
ノニオン系界面活性剤０．３１４質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５．５５８質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
【０１２５】
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、青色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１０３．７μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１１２．８μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【０１２６】
実施例８
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７９３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．９３１質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．２０７質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．１０３質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１０８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕０．８４４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．７３９質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
【０１２７】
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、青色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１００．９μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１０３．８μｍであり、その断面形状は順テーパ−状であった。
【０１２８】
比較例８−１
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７９３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．９３１質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．０５２質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．０２６質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１０８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕０．８４４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．７３９質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は、実施例１と同様に操作して着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、次いで着色パターンを形成しようとしたところ、照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射した場合には、次の現像において着色感光性樹脂組成物層がすべて溶解してしまって、青色画素を形成することができなかった。
【０１２９】
比較例８−２
〔青色の着色感光性樹脂組成物の製造〕
(Ｂ)メタクリル酸とベンジルメタクリル酸との共重合体〔メタクリル酸単位とベンジルメタクリル酸単位との比は物質量比（モル比）で３０：７０、酸価は１１３、重量平均分子量は２５０００〕０．７９３質量部、
(Ｃ)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート０．９３１質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕０．４１４質量部、
(Ｄ)光重合開始剤〔２，４−ジエチルチオキサントン〕０．２０７質量部および(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７．１０８質量部を混合して混合物１を得た。
この混合物１と、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６〕０．８４４質量部、
(Ａ)顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３〕０．０１３質量部、
ノニオン系界面活性剤０．２５７質量部および
(Ｅ)プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４．７３９質量部の混合物２とを混合して着色感光性樹脂組成物（青色）を得た。
【０１３０】
〔青色画素の形成〕
実施例１で得た着色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を用いる以外は実施例１と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物層（厚みは１．６μｍ）を形成し、青色画素を形成した。照射光量５０ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１００．９μｍであり、その断面形状は順テーパー状であった。また、照射光量３００ｍＪ／ｃｍ2でｉ線を照射して形成された青色画素の線幅は１０９．８μｍであり、その断面形状は逆テーパー状であった。
【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルターの一例を示す模式図である。
【図２】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【図３】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【図４】着色パターンの形成工程を示す模式図である。
【図５】着色パターンの断面形状を示す模式図である。
【符号の説明】
１  ：カラーフィルター
２  ：着色パターン                  ２Ｒ：赤色画素
２’：着色パターン                  ２Ｇ：緑色画素
２”：着色パターン                  ２Ｂ：青色画素
３  ：基板
４  ：着色感光性層
４’：着色感光性層
４”：着色感光性層
５  ：フォトマスク                ５１：ガラス板
５２：遮光層
５３：透光部
６  ：光線
【図１】
0004815726.tif 000002
【図２】
0004815726.tif 000003
【図３】
0004815726.tif 000004
【図４】
0004815726.tif 000005
【図５】
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