(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸気を噴射させて液晶表示パネルを洗浄するための蒸気噴射ノズル構造であって、外ノズル内に前記蒸気の噴射口を臨ませてなる内ノズルが配設されており、前記内ノズルの外周壁と外ノズルの内周壁との間には、負圧を生じさせるための間隙空間部が形成されており、前記内ノズルおよび外ノズルはともに同心の円筒形状であり、前記外ノズルの内径は均一であることを特徴とする蒸気噴射ノズル構造。
【請求項２】
前記外ノズルの内周壁は平滑面である請求項１に記載の蒸気噴射ノズル構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸気を噴射して洗浄を行なう洗浄装置の蒸気噴射ノズル構造であって、特に、液晶表示パネルの製造工程における基板洗浄に好適な蒸気噴射ノズル構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程における基板の洗浄としては、従来は、溶剤を浸した綿棒で払拭する方法が採用されていたが、この方法によっては汗や唾液などの人体分泌物を完全に除去することが困難であり、また、端子形成部に形成された端子を傷つけ、破損させてしまうことがあった。さらに、液晶表示パネルを構成する２枚の基板を貼り合わせるシール部材のシール際などには、前記綿棒が行き届かず、払拭洗浄できないという問題があった。
【０００３】
そこで、近年は、洗浄対象の基板に対し、溶剤を含ませた蒸気を噴射させて非接触で洗浄する洗浄方法が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４９４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述した従来の蒸気を噴射させる洗浄方法は、唾液やシリコーン汚染などに対しては洗浄効果が高く、シール際の洗浄も容易に行うことができるが、指紋や汗等を完全に除去することが困難であり、洗浄後に皮膚片が残留し、その残留した皮膚片が電食の原因となることがあった。
【０００６】
そこで、本発明は、電食の原因となっている指紋や汗等の人体分泌物を含む塵埃を除去し、十分満足の得られる洗浄効果を得ることのできる蒸気噴射ノズル構造を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するため、本発明の蒸気噴射ノズル構造は、蒸気を噴射させて液晶表示パネルを洗浄するための蒸気噴射ノズル構造であって、外ノズル内に前記蒸気の噴射口を臨ませてなる内ノズルが配設されており、前記内ノズルの外周壁と外ノズルの内周壁との間には、負圧を生じさせるための間隙空間部が形成されており、前記内ノズルおよび外ノズルはともに同心の円筒形状であり、前記外ノズルの内径は均一であることを特徴とする。また、前記外ノズルの内周壁は平滑面であることが好ましい。
【０００８】
本発明の蒸気噴射ノズル構造によれば、内ノズルの噴射口から噴射される蒸気を前記間隙空間部に発生している負圧により外ノズルの内周壁に沿って引くことで、外ノズルの噴射口から噴射される蒸気を拡散させることなく、洗浄対象物方向へ加速度をつけて直線的に押し出し、高い衝撃力を以て洗浄対象物に向けて噴射させることが可能となる。
【発明の効果】
【０００９】
このように構成され、作用する本発明の蒸気噴射ノズル構造によれば、除去が困難である指紋や汗等の人体分泌物を含む塵埃を除去し、十分満足の得られる洗浄効果を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の蒸気噴射ノズル構造は、円筒状とされた外ノズル２内に蒸気の噴射口３ａを臨ませた内ノズル３が前記外ノズル２と同心に配設されており、前記内ノズル３の外周壁３ｂと外ノズル２の内周壁ｃとの間には、内ノズル３の噴射口３ａから外ノズル２内に噴射された蒸気により負圧を生じさせるための間隙空間部４が形成されている。前記内ノズル３と外ノズル２とを同心とすることで、間隙空間部４が周方向で均一となり、蒸気の噴射力をさらに向上させることができる。
【００１１】
図１は、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズル１の第１実施形態を説明するための要部断面図であり、図２は図１のII−II断面図である。
【００１２】
本実施形態の蒸気噴射ノズル１は、図示しない蒸気製造装置の給気ホースの先端部に配設されたノズルを前記内ノズル３とし、この内ノズル３に対して、着脱可能に形成された円筒状のアタッチメントが前記外ノズル２として内ノズル３の外周に嵌着されている。
【００１３】
本実施形態において、前記内ノズル３は、例えば、金属材等により形成されており、噴射口３ａとなる部分の外周壁３ｂを該内ノズル３と同心の円筒状に切欠いて、外向きのフランジ部３ｄが形成された形状とされている。
【００１４】
また、前記外ノズル２は、例えば、プラスチック樹脂材等により形成されており、前記内ノズル３の先端部を外ノズル２内の中心部に位置させるようにして、前記内ノズル３の外周に嵌着されている。
【００１５】
これにより、本実施形態の蒸気噴射ノズル１は、内ノズル３と外ノズル２とを有する２重構造とされ、前記内ノズル３の外周壁３ｂと外ノズル２の内周壁２ｃとの間に、内ノズル２に形成された前記外向きのフランジ部３ｄによって間隙空間部４が形成され、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有するものとなる。
【００１６】
そして、本実施形態の蒸気噴射ノズル１によれば、前述の蒸気噴射ノズル構造を有することにより、図３に示すように、内ノズル３の噴射口３ａから噴射される蒸気を前記間隙空間部４に発生している負圧により外ノズル２の内周壁２ｃに沿って引くことで、外ノズル２の噴射口２ａから噴射される蒸気を、外ノズル２の噴射口２ａを通過直後に拡散させることなく、洗浄対象物方向へ加速度をつけて直線的に押し出し、高い衝撃力を以て洗浄対象物に向けて噴射させることが可能となる。また、蒸気をより直線的に押し出すために、外ノズル２の内周壁２ｃは平滑な面であることが好ましい。抵抗をなるべく少なくすることで層流が発生しやすくなるためである。
【００１７】
このようにして気流の調整がされた蒸気を用いることにより、従来の蒸気洗浄の方法では除去が困難であった指紋や汗等の人体分泌物を含む塵埃を除去し、十分満足の得られる洗浄効果を得ることができる。
【００１８】
実施例：
蒸気噴射ノズル１の前記内ノズル３の内径寸法をφ４ｍｍ（変更可能寸法φ３〜５ｍｍ）、前記内ノズル３の噴射口３ａの外径寸法をφ５．５ｍｍ（変更可能寸法φ５〜９ｍｍ）、前記内ノズル３の噴射口３ａの長さ寸法を６ｍｍ（変更可能寸法４〜８ｍｍ）、外向きのフランジ部３ｄの外径寸法及び前記外ノズル２の内径寸法をφ７ｍｍ（変更可能寸法５〜９ｍｍ）とし、前記内ノズル３の先端部を、外ノズル２の先端部から８ｍｍ（変更可能寸法５〜１０ｍｍ）程、内側に位置させるように構成した。
【００１９】
そして、その蒸気噴射ノズル１を用い、蒸気圧力を０．３ＭＰａ、洗浄対象物としての液晶表示パネルの端子面に対する仰角を３０°、離間距離を１０ｍｍとする条件下で蒸気を噴射して、液晶表示パネルの洗浄を試みたところ、従来の方法では残留していた皮膚片の塵埃までも除去することができ、十分満足の得られる洗浄効果を得ることができた。
【００２０】
また、図４は、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズル１の第２実施形態を説明するための要部断面図である。以下、第１実施形態の蒸気噴射ノズル１と異なる構成点のみを説明する。
【００２１】
この第２実施形態の蒸気噴射ノズル１は、前記内ノズル３の先端部は、例えば、金属材等により形成されており、噴射口３ａとなる部分は円筒状に形成されている。
【００２２】
また、前記外ノズル２は、例えば、プラスティック樹脂材等により形成されており、円筒状とされた本体の後端部には、内向きのフランジ部２ｄが形成されている。そして、前記内ノズル３の先端部を外ノズル２内の中心部に位置させるようにして、前記内向きのフランジ部２ｄの内径端面を以て、前記内ノズル３の外周に嵌着されている。
【００２３】
これにより、本実施形態の蒸気噴射ノズル１は、内ノズル３と外ノズル２とを有する２重構造とされ、前記内ノズル３の外周壁３ｂと外ノズル２の内周壁２ｃとの間には、外ノズル２に形成された前記内向きのフランジ部２ｄによって間隙空間部４が形成され、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有するものとなる。
【００２４】
そして、本実施形態の蒸気噴射ノズル１によっても、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有することにより、前述のように、従来の蒸気洗浄の方法では除去が困難であった指紋や汗等の人体分泌物を含む塵埃を除去し、十分満足の得られる洗浄効果を得ることができる。また、本実施形態においても、外ノズル２の内周壁２ｃは溝などが形成されていない平滑な面であることが好ましい。
【００２５】
なお、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズル１は、図５に示すように、前記内ノズル３と外ノズル２とを一体に形成することも可能である（第３実施形態）。
【００２６】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。
【００２７】
例えば、蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルの各部材の材料や寸法等は、前述した材料や寸法に限らない。また、本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルを用いた洗浄条件も、前述の実施例の洗浄条件に限らない。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルの第１実施形態を説明する要部断面図
【図２】図１のII−II断面図
【図３】本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルにおける蒸気噴射イメージ（作用）を示す説明図
【図４】本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルの第２実施形態を説明する要部断面図
【図５】本発明の蒸気噴射ノズル構造を有する蒸気噴射ノズルの第３実施形態を説明する要部断面図
【符号の説明】
【００２９】
１  蒸気噴射ノズル
２  外ノズル
２ａ  （外ノズルの）噴射口
２ｃ  （外ノズルの）内周壁
２ｄ  （外ノズルの内向き）フランジ部
３  内ノズル
３ａ  （内ノズルの）噴射口
３ｂ  （内ノズルの）外周壁
３ｄ  （内ノズルの外向き）フランジ部
４  間隙空間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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