(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の加圧アンビルと該複数の加圧アンビルを保持する保持部材とを有する上下一対のアンビルセットから構成され、前記複数の加圧アンビルの加圧面に囲まれた空間に被加圧物を配置し該上下一対のアンビルセットを接近させることによって前記被加圧物を加圧する超高圧発生工具であって、
前記加圧アンビルが前記保持部材に保持されたときに、隣接する前記加圧アンビル間における互いに対向する対向側面同士の間に隙間が形成されると共に、
前記加圧アンビルを前記保持部材に対して位置決めして固定する位置決め固定手段を有する
ことを特徴とする超高圧発生工具。
【請求項２】
前記加圧アンビルには、前記対向側面と前記加圧面とによって形成される第１の稜線が切り取られることによって該加圧面から凹んだ第１の凹部と、前記対向側面と該加圧アンビルの上面とによって形成される第２の稜線が切り取られることによって前記上面から凹んだ第２の凹部と、が形成されており、
隣接する前記加圧アンビル間における前記対向側面同士の間に形成されている隙間を覆うように互いに対向する前記第１の凹部間及び前記第２の凹部間に配設されるカバー部材を備えている
ことを特徴とする請求項１記載の超高圧発生工具。
【請求項３】
前記被加工物は正多面体であり、
隣接する前記加圧アンビル間における互いに対向する前記第１の凹部及び前記第２の凹部間の上端の距離が、前記複数の加圧アンビルの前記加圧面によって形成される空間に前記被加圧物を取り付けたときに、隣接する前記加圧アンビルの前記第１の凹部及び前記第２の凹部同士の間に突出している前記被加工物の長さと、前記加圧面の上端縁から突出している前記被加工物の長さとが等しくなるように形成されている
ことを特徴とする請求項２記載の超高圧発生工具。
【請求項４】
前記保持部材は、前記複数の加圧アンビルが収容される円筒状の収容部を有し、
前記加圧アンビルは、底面が略扇形の柱状体であって、前記保持部材の前記収容部に複数の該加圧アンビルを前記対向側面同士を対向させた状態で取り付けると略円筒状となるように形成されたものであり、前記保持部材の前記収容部の内面と対向する面には平面が形成されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の超高圧発生工具。
【請求項５】
前記保持部材は、前記複数の加圧アンビルが収容される円筒状の収容部を有し、
前記加圧アンビルは、底面が略扇形の柱状体であって、前記保持部材の前記収容部の内面と対向する面の高さを前記底面の半径で除した値が０．８〜１．２となるように形成されている
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の超高圧発生工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超高圧発生工具に関する。超高圧発生装置では、試料が収容されたセルを超高圧発生工具（アンビル）によって加圧しセル内の試料に数十万気圧以上の圧力を加えることができる。
本発明は、超高圧発生装置において、かかるセルの加圧に使用される超高圧発生工具に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料を収容するセルとして、キュービックアンビルセルがある。図６に示すように、キュービックアンビルセル100は、８個のキュービック状のアンビル101を組み合わせて形成されるものである。各キュービックアンビルは、１つの角がその切断面101Sが正三角形となるように切り取られているものであり、切断面101Sが中央に位置するように組み立てられ、８つの切断面101Sに囲まれた空間に試料ｍが配置される。この試料ｍは８つの切断面101Sから形成される正８面体よりも大きい体積を有しているため、試料ｍを配置したことによって各キュービックアンビル101同士の間に隙間ができるのであるが、この隙間を埋めるように、ガスケット102が配置される。したがって、キュービックアンビルセル100を、８つの切断面101Sで形成される空間が相似的に小さくなるように加圧すればガスケット102が押しつぶされ、試料ｍも加圧圧縮されるのである。
【０００３】
キュービックアンビルセル100を加圧するアンビルとして、従来例１（特許文献１）の技術が開発されている。
従来例１の技術では、上下各３つの分割台３、つまり、合計６個の分割台３によってキュービックアンビルセル100を加圧するように構成されており、各分割台３はいずれも正方形のアンビル受面Ｆを備えている（図７参照）。上下３つの分割台３は、それぞれ、圧入バンド２に嵌入されており、隣接するアンビル受面Ｆ同士が互いに直交するように配置される。このため、下側圧入バンド２に嵌入された３つの分割台３の３つのアンビル受面Ｆ上に上記のごときキュービックアンビルセル100を配置し、上方から３つの分割台が嵌入された上側圧入バンド２を下降させれば、上下３つの分割台３の６つのアンビル受面Ｆによってキュービックアンビルセル100の６つの面をそれぞれ均等な圧力で加圧することができる。
【０００４】
ところで、上記のごときキュービックアンビルセル100およびその内部に収容されている試料ｍには数十万気圧という圧力が加わるため、キュービックアンビルセル100の各面に加わる圧力に差が生じると、試料ｍや各キュービックアンビル101内における応力のバランスがくずれてしまい、試料ｍやキュービックアンビル101が破損してしまう可能性がある。かかる破損を防ぐために各分割台３を精度良く加工することはもちろん、圧入バンド２内に３つ分割台３を嵌入することによって、アンビル受面Ｆ同士を正確な配置にしている。つまり、３つの分割台３を、隣接する分割台３同士を密着させた状態で圧入バンド２内に配置することによって、アンビル受面Ｆ同士の相対的な位置を合わせているのである。
【０００５】
しかるに、従来例１の技術では、各分割台３を圧入バンド２内に嵌入した時点ではアンビル受面Ｆ同士の相対的な位置を正確に配置できるのであるが、上下の圧力バント３を接近させて加圧を開始すると、キュービックアンビルセル100に加わる力の反力がアンビル受面Ｆに加わり各分割台３を外方（半径方向）に押す力が加わる。すると、分割台３によって圧入バンド２が押し広げられてしまい、隣接する分割台３同士の間に隙間ができてしまう。かかる隙間ができた状態で試料ｍ等の破損が生じると、試料ｍ等の破片が隣接する分割台３同士の間の隙間に入ってしまうおそれがある。破片が隙間に入れば、加圧をやめて破片を取り除かなければならないのであるが、分割台３は圧入バンド２に嵌入されているため、加圧を停止すると加圧時には存在していた隙間がしまってしまい、破片が隣接する分割台３間にはさまれたままとなり、破片を取り除くことが非常に困難になる。しかも、破片を取り除くことができたとしても、隣接する分割台３の接触する面が損傷してしまうため、分割台３を再利用できなくなってしまう。
【０００６】
【特許文献１】特公昭５０−３２３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記事情に鑑み、試料等の破損が生じても、加圧アンビルが使用不可能となることを防ぐことができ、試料の破片等を容易に取り除くことができ再加圧作業までの時間を短縮でき、しかも、加圧アンビルの加工も容易である超高圧発生工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１発明の超高圧発生工具は、複数の加圧アンビルと該複数の加圧アンビルを保持する保持部材とを有する上下一対のアンビルセットから構成され、前記複数の加圧アンビルの加圧面に囲まれた空間に被加圧物を配置し該上下一対のアンビルセットを接近させることによって前記被加圧物を加圧する超高圧発生工具であって、前記加圧アンビルが前記保持部材に保持されたときに、隣接する前記加圧アンビル間における互いに対向する対向側面同士の間に隙間が形成されると共に、前記加圧アンビルを前記保持部材に対して位置決めして固定する位置決め固定手段を有することを特徴とする。
第２発明の超高圧発生工具は、第１発明において、前記加圧アンビルには、前記対向側面と前記加圧面とによって形成される第１の稜線が切り取られることによって該加圧面から凹んだ第１の凹部と、前記対向側面と該加圧アンビルの上面とによって形成される第２の稜線が切り取られることによって前記上面から凹んだ第２の凹部と、が形成されており、隣接する前記加圧アンビル間における前記対向側面同士の間に形成されている隙間を覆うように互いに対向する前記第１の凹部間及び前記第２の凹部間に配設されるカバー部材を備えていることを特徴とする。
第３発明の超高圧発生工具は、第２発明において、前記被加工物は正多面体であり、隣接する前記加圧アンビル間における互いに対向する前記第１の凹部及び前記第２の凹部間の上端の距離が、前記複数の加圧アンビルの前記加圧面によって形成される空間に前記被加圧物を取り付けたときに、隣接する前記加圧アンビルの前記第１の凹部及び前記第２の凹部同士の間に突出している前記被加工物の長さと、前記加圧面の上端縁から突出している前記被加工物の長さとが等しくなるように形成されていることを特徴とする。
第４発明の超高圧発生工具は、第１〜第３発明のいずれか一項において、前記保持部材は、前記複数の加圧アンビルが収容される円筒状の収容部を有し、前記加圧アンビルは、底面が略扇形の柱状体であって、前記保持部材の前記収容部に複数の該加圧アンビルを前記対向側面同士を対向させた状態で取り付けると略円筒状となるように形成されたものであり、前記保持部材の前記収容部の内面と対向する面には平面が形成されていることを特徴とする。
第５発明の超高圧発生工具は、第１〜第４発明のいずれか一項において、前記保持部材は、前記複数の加圧アンビルが収容される円筒状の収容部を有し、前記加圧アンビルは、底面が略扇形の柱状体であって、前記保持部材の前記収容部の内面と対向する面の高さを前記底面の半径で除した値が０．８〜１．２となるように形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
第１発明によれば、加圧アンビルが、最初から互いに対向する側面間に隙間が形成された状態で保持部材に取り付けられるので、被加工物等の破損が生じても加圧アンビルが使用不可能となることを防ぐことができ、被加工物等の破片を容易に取り除くことができる。更に、加圧アンビルにおける側面の加工誤差の許容範囲を広くすることができるので、加圧アンビルの加工が容易になり、かつ、コストも抑えることができる。そして、各加圧アンビルは、位置決め固定手段によって保持部材に対して位置決めして固定されているので、隣接する加圧アンビルの対向側面間に隙間が形成されていた状態で保持部材に取り付けられていても、各加圧アンビルの加圧面の相対的な位置を所定の配置に保っておくことができる。
第２発明によれば、カバー部材によってすき間が蓋された状態となっているので、被加圧物等が破損しても、その破片等をカバー部材が受け止めて、破片がすき間に入ることを防ぐことができる。しかも、カバー部材上に落ちた破片はその除去が容易であるから、再度加工作業を開始するまでの時間を短くすることができる。そして、破片等によって加圧アンビルが損傷しないので、加圧アンビルを何度でも再利用することができる。
第３発明によれば、被加工物を加圧面で加圧したときに、均等に加圧することができるので、加圧力がバラツクことによる被加工物の損傷を防ぐことができる。
第４発明によれば、加圧アンビルと保持部材との接触面圧を均一化できるので、加圧時における保持部材の変形や、この変形に起因する加圧不良を防ぐことができる。
第５発明によれば、被加圧物から加わる反力によって加圧アンビルの倒れが発生することを防ぐことができる。よって、圧力発生効率の低下を防ぐことができ、加圧バランスが崩れることによる被加圧物の損傷も防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
つぎに、本発明の実施形態を図面に基づき説明する。
図５は本実施形態の超高圧発生工具の概略説明図である。なお、図５では、上下一対のアンビルセット１０の構造を把握しやすくするために、下方のアンビルセット１０における手前の１個の加圧アンビル１５および上方のアンビルセット１０における手前の２個の加圧アンビル１５を省いて記載している。
【００１１】
図５において、符号１００は、被加圧物であるキュービックアンビルセルを示している。図６に示すように、キュービックアンビルセル100は、８個のキュービック状のアンビル101を組み合わせて形成されるものである。各キュービックアンビル101は、１つの角がその切断面101Sが正三角形となるように切り取られているものであり、切断面101Sが中央に位置するように組み立てられ、８つの切断面101Sに囲まれた空間に試料ｍが配置される。この試料ｍは８つの切断面101Sから形成される正８面体よりも大きい体積を有しているため、試料ｍを配置したことによって各キュービックアンビル同士の間に隙間ができるのであるが、この隙間を埋めるように、ガスケット102が配置される。したがって、キュービックアンビルセル101を、８つの切断面101Sで形成される空間が相似的に小さくなるように加圧すればガスケット102が押しつぶされ、試料ｍも加圧圧縮されるのである。
【００１２】
図５において、符号１０は、本実施形態の超高圧工具のアンビルセットを示しており、本実施形態の超高圧発生工具は、上下一対のアンビルセット１０，１０を備えている。各アンビルセット１０は、いずれも３つの加圧アンビル１５と、３つの加圧アンビル１５を保持する保持部材１１とを備えている。そして、３つの加圧アンビル１５は加圧面15aをそれぞれ備えており（図１参照）、上下一対のアンビルセット１０を上下に配置すると、６つの加圧面15aによって、キュービックアンビルセル100を加圧するための空間が形成されるように保持部材１１に取り付けられている。しかも、各加圧アンビル１５は、保持部材１１に取り付けられた状態において、その加圧面15aがキュービックアンビルセル100の６つの面をそれぞれ垂直に加圧するように形成されている。
したがって、前記空間にキュービックアンビルセル100を配置して上下一対のアンビルセット１０を接近させれば、加圧アンビル１５の加圧面15aによってキュービックアンビルセル100を加圧することができる。しかも、各加圧アンビル１５は、保持部材１１に取り付けられた状態において、その加圧面15aがキュービックアンビルセル100の各面をそれぞれ垂直に加圧するので、キュービックアンビルセル100に数十万気圧という高圧が加わっても、試料ｍやキュービックアンビル101が損傷することを防ぐことができるのである。
【００１３】
なお、被加圧物はキュービックアンビルセルに限られないが、被加圧物には数十万気圧という高圧が加わるため、被加圧物は正多面体に形成されたものが使用される。そして、キュービックアンビルセル以外の被加圧物を加圧する場合には、以下に示される本発明の技術思想に基づいてアンビルセットを形成すればよいのは、いうまでもない。
【００１４】
つぎに、アンビルセット１０について詳細に説明する。
図１はアンビルセット１０の概略平明図である。図１において、符号１１はアンビルセット１０の保持部材１１を示している。この保持部材１１は、断面円形に形成され、その内部に円筒状の空間を有するものであり、この円筒状の空間（以下、収容部11aという）に３つの加圧アンビル１５が配設される。
なお、加圧アンビルはキュービックアンビルを被加圧物とする場合には３つであるが、例えば、被加圧物が正八面体等の場合には加圧アンビルが４個になるのはいうまでもない。
【００１５】
図２は加圧アンビル１５の概略斜視図である。図３は加圧アンビル１５の（Ａ）正面図であり、（Ｂ）側面図である。図１〜図３に示すように、加圧アンビル１５は、３つの加圧アンビル１５を保持部材１１の収容部11aに配置すると（図１の状態）、平面視で略円筒状になるように形成されたものであり、１つの加圧アンビル１５はその底面が略扇形、言い換えれば、平面視で略扇形に形成されている。具体的には、中心角が１２０°である扇形に形成されている。この３つの加圧アンビル１５は、その直径が保持部材１１の円筒状の空間の円径とほぼ同じである円柱状の部材を、部材の中心軸周りに回転対称となるように３分割することによって形成されている。
【００１６】
この加圧アンビル１５は、平面視で扇形の半径にあたる部分に一対の対向側面15b，15bが形成されており、平面視で扇形の円弧にあたる部分に背面15cが形成されている。また、加圧アンビル１５は、その上面中央部が上方に凸となっており、その凸となっている部分から一対の対向側面15b，15bに向かって下傾した一対の斜面15d，15dと、その凸となっている部分から背面15cに向かって下傾した斜面15fを有している。
【００１７】
また、加圧アンビル１５は、一対の斜面15d,15dと一対の対向側面15b,15bにより形成される頂点が切り取られて、正方形の加圧面15aが形成されている。この加圧面15aは、底面15gと直交し、かつ、底面15gの中心角α（図１参照）の２等分線を含む基準平面と直交するように形成されている。別な見方をすれば、加圧アンビル１５が保持部材１１に保持されたときに、保持部材１１の収容部11aの中心軸、および、底面15gの中心角αの２等分線を含む基準平面と直交するように形成されている。しかも、加圧面15aは、保持部材１１の収容部11aに配置したときに、この収容部11aの中心軸に対してなす角θ、言い換えれば、底面15gに中心軸に対してなす角θが、cosθ＝√６／３となり（図３参照）、かつ、隣接する加圧アンビル１５における加圧面15a同士のなす角が９０°となるように形成されている。
つまり、加圧アンビル１５の加圧面15aは、３つの加圧アンビル１５の３つの加圧面15aによって形成される空間にキュービックアンビルセル100を配置すると、キュービックアンビルセル100の対角に位置する頂点を結ぶ線分が保持部材１１の収容部11aの中心軸と一致するように形成されているのである。
【００１８】
上記のごとき形状に加圧アンビル１５が形成されているから、３つの加圧アンビル１５を保持部材１１の収容部11aにその背面15cが収容部11aの内面に接するように配置すれば、３つの加圧面15aによって囲まれた空間を形成することができる。そして、上下一対のアンビルセット１０を、各保持部材１１に保持されている加圧アンビル１５の上面同士が対向するように配置し、各保持部材１１の収容部11aの中心軸が同軸となり、しかも、上下対称な位置から中心軸周りに加圧アンビル１５の加圧面15aの位相が６０°ずれた状態に配置すれば、６つの加圧面15aによって囲まれた略正方形の空間が形成される。この状態で、略正方形の空間にキュービックアンビルセル100を配置し、上下一対のアンビルセット１０を接近させれば、空間に配置されたキュービックアンビルセル100の各面を垂直かつ均一に加圧することができるのである。
【００１９】
しかも、３つの加圧アンビル１５は、１つの円筒状の部材をその中心軸周りに回転対称となるように３分割することによって形成されているから、３つの加圧アンビル１５の総断面積は、元の円筒状の部材の断面積、つまり、収容部11aの断面積よりも小さくなる。よって、３つの加圧アンビル15aを収容部11aの内面に沿って等間隔に配置すれば、隣接する加圧アンビル１５の対向側面15b間には同じ幅を有する溝状の隙間がそれぞれ形成される。言い換えれば、加圧アンビル１５は互いに対向する対向側面15b間にすき間が形成されていた状態で保持部材１１に取り付けられる。すると、加圧アンビル１５における対向側面15bの加工精度をそれほど高くしなくても、３つの加圧面15aの相対的な位置の精度が低下することを防ぐことができるので、加圧アンビル１５の加工が容易になり、かつ、加圧アンビル１５の加工コストも抑えることができる。
【００２０】
なお、従来の加圧アンビルは通常１つの円筒状の部材から１つの加圧アンビルを形成していたのに対し、本発明の加圧アンビル１５は１つの円筒状の部材から３つの加圧アンビル１５を形成することができるので、加圧アンビル１５の加工が容易になり、加工コストをさらに低減することができる。もちろん、本発明の加圧アンビル１５を従来の方法によって製造できるのは、いうまでもない。
【００２１】
さらになお、隣接する加圧アンビル１５の対向側面15b間に隙間が形成されるため、３つの加圧面15aの相対的な位置を所定の配置に保っておくには、各加圧アンビル１５を保持部材１１に対して位置決めして固定する必要がある。各加圧アンビル１５を保持部材１１に対して位置決め固定する方法はとくに限定されないが、例えば、保持部材１１の上面に所定の角度毎にキー溝11hを設け、また加圧アンビル15bの背部上面15fにキー溝15hを設けておき、キー溝11h，15hの位置をあわせた状態で両者の内部にキー１２を配置するようにすれば、加圧アンビル１５を保持部材１１に位置決めすることができ、加圧中における位置ズレも防ぐことができる。また、固定は、図３（Ｂ）に示すように、ボルト等によって保持部材１１と加圧アンビル１５を固定してもよいが、保持部材１１と加圧アンビル１５を固定する方法はとくに限定されない。
さらになお、加圧アンビル１５をキー１２によって位置決めする場合、キー溝11h,15hを形成するのは保持部材１１および加圧アンビル１５の下面でもよいが、保持部材１１および加圧アンビル１５の上面にキー溝11h,15hを設けておけば、加圧アンビル１５の取り付け位置を微調整することも可能となるので好適である。
【００２２】
また、図３に示すように、加圧アンビル１５には、加圧面15aと対向側面15bとによって形成される稜線、および対向側面15bと前方の上面15dとによって形成される稜線が切り取られて、凹部１６が形成されている。この凹部１６は、その底面16hが略平面となるように形成されている（図４参照）。
そして、図４に示すように、隣接する加圧アンビル１５において、対向する凹部１６の底面16h間には、対向側面15b間に形成された隙間を覆うように、カバー部材１７が配置されている。カバー部材１７は、例えば、エポキシプレート等によって形成された略板状の部材である。このカバー部材１７は、その幅が、対向側面15b間に形成された隙間の幅Ｄよりも広くかつキュービックアンビルセル100を加圧したときに隙間が広くなってもその隙間内に落下しない程度に形成されている。
【００２３】
このため、カバー部材１７によって対向側面15b間に形成された隙間が常に蓋された状態とすることができるから、キュービックアンビルセル100等が破損しても、その破片等をカバー部材１７が受け止めて、破片がすき間に入ることを防ぐことができる。しかも、カバー部材１７を取り除けば、カバー部材１７とともに破片を取り除くことができるし、また、カバー部材１７を取り除かなくても、加圧アンビル１５の上面からカバー部材１７までの距離が短いのでカバー部材１７上の破片は簡単に取り除くことができる。
よって、キュービックアンビルセル100等が破損しても、再度加工作業を開始するまでの時間を短くすることができる。そして、対向側面15b間に形成された隙間に破片等が入らないので、破片等による加圧アンビル１５の損傷を防ぐことができ、加圧アンビル１５の再利用を可能とすることができる。
なお、カバー部材１７に代えて、対向する凹部１６間に隙間を埋める材料を充填してもよい。充填する材料としては、シリコンや樹脂系接着剤等が使用できる。
【００２４】
そして、図５に示すように、凹部１６は、加圧アンビル１５の加圧面15aによって形成される空間にキュービックアンビルセル100を取り付けたときに、凹部１６の上端から間に突出しているキュービックアンビルセル100の長さをＢとし、加圧アンビル１５の加圧面15aの上端縁から突出しているキュービックアンビルセル100の長さをＡとすると、Ａ＝Ｂとなるように形成されている。
すると、キュービックアンビルセル100を加圧したときに、加圧面15aの中心とキュービックアンビルセル100の中心を一致させることができるから、キュービックアンビルセル100の各面を均等に加圧することができ、加圧力のバラツきによるキュービックアンビルセル100等の損傷を防ぐことができる。
【００２５】
また、加圧アンビル１５の加圧面15aは、加圧アンビル１５の上部に形成されており、また、背面15cや底面に対して傾斜している。このため、キュービックアンビルセル100を加圧したときに、キュービックアンビルセル100から加圧面15aに加わる反力によって、加圧アンビル１５の上部を外方に押して倒れさせようとする力が発生する。
しかし、加圧アンビル１５の背面15cの高さＨ１を、加圧アンビル１５の底面の半径Ｌで除した値が、０．８〜１．２となるようにしておけば、加圧アンビル１５の倒れが発生することを防ぐことができるから、キュービックアンビルセル100に対する圧力発生効率の低下を防ぐことができ、加圧アンビル１５の倒れに起因する加圧バランスが崩れることによるキュービックアンビルセル100の損傷も防ぐことができる。
【００２６】
さらに、加圧アンビル１５の背面15cには、平坦面15eが形成されている。この平坦面15eは保持部材１１の収容部の内面に沿った方向の中央部に設けられており、前記基準平面に対して直交するように形成されている。
キュービックアンビルセル100を加圧したときに、キュービックアンビルセル100から加圧面15aに加わる反力によって加圧アンビル１５が外方に押されるが、この平坦面15eがない場合、背面15cの中央部と保持部材１１の接触部に最も強い圧力が発生する。すると、保持部材１１は、背面15cの中央部と接触する部分の変形が他の部分よりも大きくなり、その形状が円形からの歪みが大きくなる。すると、加圧面15aの相対的な位置のズレや加圧力のバラつきが発生することになる。
しかし、本実施形態の加圧アンビル１５は、平坦面15eを形成したことによって最も強い圧力背面15cの中央部が保持部材１１の内面に接触しないから、加圧時における保持部材１１の変形、つまり、保持部材１１の円形からの歪みを抑えることができる。よって、保持部材１１の変形に起因する加圧面15aの相対的な位置のズレや加圧力のバラつきを抑えることができ、加圧不良を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】アンビルセット１０の概略平明図である。
【図２】加圧アンビル１５の概略斜視図である。
【図３】加圧アンビル１５の（Ａ）正面図であり、（Ｂ）側面図である。
【図４】加圧アンビル１５の要部拡大図である。
【図５】本実施形態の超高圧発生工具の概略説明図である。
【図６】キュービックアンビルセル100の概略説明図である。
【図７】従来例のアンビルの概略説明図である。
【符号の説明】
【００２８】
１０        アンビルセット
１１        保持部材
１１ａ      収容部
１５        加圧アンビル
１５ａ      加圧面
１５ａ      対向側面
１６        凹部
１７        カバー部材
【図１】
0004680791.tif 000002
【図２】
0004680791.tif 000003
【図３】
0004680791.tif 000004
【図４】
0004680791.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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