(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本をｘｙ方向に移動させるステージと、
観察者から前記ステージの移動目標位置の入力を受け付ける受付部と、
前記受付部にて入力された前記移動目標位置に前記ステージを駆動制御する駆動部と、
前記駆動部で駆動された前記ステージの移動後の位置を検出する検出部と、
前記移動目標位置に存在する前記標本の拡大像を結像する結像光束を形成する光学系と、
前記拡大像を撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された表示画像をシフトするシフト手段と、を有し、
前記撮像部は、有効画素範囲および該有効画素範囲内に含まれる表示に使われる表示画素範囲を有し、
前記シフト手段は、前記検出部の検出した位置と前記受付部が受け付けた移動目標位置とが不一致の場合、前記不一致に相当するシフト量分に応じて前記有効画素範囲に対して前記表示画素範囲をシフトさせること
を特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡システムにおいて、
前記検出部は、前記ステージの駆動後の位置を検出するとともに、前記移動目標位置との差を検出して前記シフト手段に出力し、
前記シフト手段は、前記差が規定値よりも大きければ、前記駆動部に対して前記ステージを前記移動目標位置に駆動指示し、前記差が規定値以下であれば、前記前記シフト手段に前記差に相当する前記シフト量を出力すること
を特徴とする顕微鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動ステージを備えた顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電動ステージを備えた顕微鏡において、電動ステージの位置決め方法は大別して２つある。
【０００３】
第１の方法は、オープンループ制御法であり、目標点に到達するために必要なモータの回転量を予め計算し、これに基づいてモータを回転させるものである。一般的にはステッピングモータがよく用いられれる。
【０００４】
第２の方法は、クローズドループ制御法であり、駆動用のモータの他にステージの位置を検出するリニアエンコーダ等のセンサを持ち、目標点の位置と現在位置とを比較しながら目標点の位置に到達するまでモータを駆動するものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
電動ステージの位置決めにおいては、画像モニタ上において観察者が移動させようとした位置、すなわち「移動目標位置」と、実際に移動完了したときの位置、すなわち「ステージ位置」とは完全には一致せず、２つの位置の間には微小な誤差が存在する。移動目標位置とステージ位置との誤差は物体面においては微小量であっても、観察倍率が大きい場合は、モニタ等の表示手段上では大きな差となり、必ずしも観察者の意図する観察視野が得られない場合がある。例えば、ステージの移動量精度が１０ミクロンであった場合には、モニタ等の表示装置上で１０ミクロンの整数倍以外の量を含む移動目標位置が指示されると正確な移動制御ができない。特に、上述のオープンループ制御法を用いる電動ステージの場合、構造および制御が簡単で低コストであるが、モータの回転量のみを制御するので、モータの回転量がステージの移動量に変換される際のリードねじのバックラッシュ等によって誤差が生じやすく、位置決め精度を高くすることが難しい。このため、移動目標位置とステージ位置との誤差が生じやすい。
【０００６】
一方、上述のクローズドループ制御法は、リニアエンコーダ等の位置検出センサにより、ステージの位置をリアルタイムで検出し、移動目標位置との差が予め定めた許容範囲内に入るまでステージの位置を補正しながら位置決めすることができるため、比較的高い精度で位置決めすることができる。しかしながら、あまりに高い位置決め精度を要求すると、上記許容範囲が小さくなるため、移動目標位置の前後をステージが往復する、いわゆるハンチングを生じ、位置決めに時間がかかったり、ハンチングが止まらないといった現象が起きることがある。
【０００７】
本発明は、このような問題を鑑みてなされたものであり、高精度で迅速に目標位置の像を表示することのできる顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願によれば以下のような電動ステージを備えた顕微鏡が提供される。
【０００９】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明によれば、標本をｘｙ方向に移動させるステージと、観察者から前記ステージの移動目標位置の入力を受け付ける受付部と、前記受付部にて入力された前記移動目標位置に前記ステージを駆動制御する駆動部と、前記駆動部で駆動された前記ステージの移動後の位置を検出する検出部と、前記移動目標位置に存在する前記標本の拡大像を結像する結像光束を形成する光学系と、前記拡大像を撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された表示画像をシフトするシフト手段と、を有し、前記撮像部は、有効画素範囲および該有効画素範囲内に含まれる表示に使われる表示画素範囲を有し、前記シフト手段は、前記検出部の検出した位置と前記受付部が受け付けた移動目標位置とが不一致の場合、前記不一致に相当するシフト量分に応じて前記有効画素範囲に対して前記表示画素範囲をシフトさせることを特徴とする顕微鏡システムが提供される。
【００１０】
上記請求項１に記載の顕微鏡システムにおいて、前記検出部は、前記ステージの駆動後の位置を検出するとともに、前記移動目標位置との差を検出して前記シフト手段に出力し、前記シフト手段は、前記差が規定値よりも大きければ、前記駆動部に対して前記ステージを前記移動目標位置に駆動指示し、前記差が規定値以下であれば、前記前記シフト手段に前記差に相当する前記シフト量を出力する。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１４】
(第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態の電動ステージを備えた顕微鏡システムについて、図１，図２、図５，図６、図８、図９（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
【００１５】
この顕微鏡システムは、顕微鏡１０、制御装置５０、および、モニタ４０を備えている。顕微鏡１０は、電動ステージ３０と、レボルバ１１と、対物レンズ１２と、鏡筒１０１と、ＴＶカメラ２０とを有している。ＴＶカメラ２０は、鏡筒１０１の上部に連結されている。ＴＶカメラ２０は、図２のように撮像素子としてＣＣＤ２１を含む。鏡筒１０１の内部には、標本の観察像をＣＣＤ２１上に結像させるための結像レンズ１３が配置されている。制御装置５０は、画像処理部５１と演算処理部５２とを有し、ＣＣＤ２１の出力は、画像処理部５１に入力される。レボルバ１１，電動ステージ３０は、演算処理部５２に接続されている。また、制御装置５０には、マウス６０と、モニタ４０とが接続されている。
【００１６】
電動ステージ３０は、図９（ａ）のように標本１２０を搭載するためのｘステージ１２１と、ｘステージ１２１をｘ方向に移動させるためのステッピングモータ３１およびリードねじ部１２４と、ｘステージ１２１を搭載するｙステージ１２６と、ｙステージをｙ方向に移動させるためのステッピングモータ３２およびリードねじ部１２５とを含んでいる。また、ｘステージ１２１およびｙステージ１２６には、リニアエンコーダ１２２，１２３のリニアスケール１２２ａ，１２３ａがそれぞれ取り付けられている。リードねじ部１２４および１２５には、リニアエンコーダ１２２，１２３のセンサ１２２ｂ，１２３ｂがそれぞれ取り付けられている。ステッピングモータ３１、３２の回転運動は、リードねじ部１２４，１２５内のリードねじによって直線運動に変換され、ｘステージ１２１およびｙステージ１２６をそれぞれｘ方向ｙ方向に駆動する（図９（ｂ））。このとき、センサ１２２ｂ，１２３ｂは、リニアスケール１２２ａ、１２３ａの位置をそれぞれ検出する。これにより、ｘおよびｙステージ１２１，１２６の座標（ｘ、ｙ）が検出される。ステッピングモータ３１，３２は、演算処理部５２に接続されており、演算処理部５２の指示した回転量にしたがって動作する。また、センサ１２２ｂ、１２３ｂの出力は、演算処理部５２に入力される。
【００１７】
ＣＣＤ２１は、図５のように、撮像画素が縦横に配列された有効画素範囲Ａを有している。ＣＣＤ２１は、この有効画素範囲Ａに結像した観察像を撮像可能である。ＣＣＤ２１の出力は、画像処理部５１に入力される。画像処理部５１は、有効画素範囲Ａの内側の予め定めた４つの座標（Ｘ１，Ｙ１）（Ｘ２，Ｙ２）（Ｘ３，Ｙ３）（Ｘ４，Ｙ４）で囲まれる表示画素範囲Ｂ内の画像を、モニタ４０に出力し、表示させる。
【００１８】
レボルバ１１は、複数の対物レンズ取付穴を有しており、複数の対物レンズを装着可能である。レボルバ１１内には、レボルバ１１の回転角度を検出するセンサが内蔵されている。センサの出力は、制御装置５０の演算処理部５２に入力される。演算処理部５２は、内蔵するメモリに、予め複数の対物レンズ取付穴に付された番地とセンサの出力とを対応させるテーブルを格納している。また、このテーブルには、対物レンズ取付穴の番地を、その対物レンズ取付穴に取り付けられている対物レンズの倍率と結像レンズ１３とその他リレーレンズ等の倍率とを掛け合わせた観察倍率Ｍに対応させる情報も含まれている。演算処理部５２は、センサの出力した回転角度から光軸上に配置されている対物レンズ取付穴の番地を前述のテーブルを参照して特定し、さらに観察倍率Ｍを求めることができる。
【００１９】
演算処理部５２は、内蔵されているメモリに格納されているプログラムを読み込んで実行することにより、図８のフローチャートのように電動ステージ３０を制御する。まず、演算処理部５２は、リニアエンコーダ１２２，１２３より現在位置（ｘ０，ｙ０）を取り込み（ステップ８１）。つぎに、標本１２０の移動目標位置（ｘｄ、ｙｄ）の入力を観察者に促す表示をモニタ４０に表示させ、モニタ４０に表示されている現在の表示画像上で、観察者からマウス６０のクリック操作により指定した目標位置を受け付ける。また、レボルバ１１のセンサから受けとった回転角度を、メモリ内のテーブルに参照することにより、観察倍率Ｍを求め、この観察倍率Ｍとモニタ上の目標位置とにより、モニタ上の移動目標位置を標本１２０上（電動ステージ３０上）の目標位置の座標（ｘｄ、ｙｄ）に変換する（ステップ８２）。つぎに、上記ステップ８１，８２で取り込んだ現在位置（ｘ０，ｙ０）と目標位置（ｘｄ、ｙｄ）とにより、ｘＭ＝（ｘｄ−ｘ０）、ｙＭ＝（ｙｄ−ｙ０）を計算し、電動ステージ３０の移動量ｘＭ、ｙＭを求める（ステップ８３）。
【００２０】
求めた移動量ｘＭ、ｙＭに対応するステッピングモータ３１，３２の回転量を、予め求めておいたステージ移動量とモータ回転量との比を用いて計算し、求めた回転量をステッピングモータ３１，３２に出力する（ステップ８４）。これにより、ステッピングモータ３１，３２は、指示された回転量だけ回転し、回転運動はリードねじ部１２４，１２５内のリードねじによって直線運動に変換され、ｘステージ１２１およびｙステージ１２６がそれぞれｘ方向ｙ方向に駆動される（図９（ａ）、（ｂ））。駆動完了後に、演算処理部５２は、リニアエンコーダ１２２，１２３より再び現在位置（ｘｚ，ｙｚ）を取り込み（ステップ８６）、移動目標位置（ｘｄ、ｙｄ）との差（ｘｚ−ｘｄ）、（ｙｚ−ｙｄ）が予め定めておいた規定値ｘｓ、ｙｓ以下かどうか（ｘｓ≧（ｘｚ−ｘｄ）、ｙｓ≧（ｙｚ−ｙｄ））を求める（ステップ８８）。前記差が規定値ｘｓ、ｙｓより大きければステップ８３に戻り、再び電動ステージ３０を駆動してステージを移動させる。一方、前記差が規定値ｘｓ、ｙｓ以下であれば、つぎのステップ８９に進み、つぎの演算式により、表示画像のシフト量を算出する。ただし、下記演算式においてＭは、ステップ８２で求めておいた観察倍率Ｍである。
ＸΔ＝（ｘｄ−ｘｚ）×Ｍ
ＹΔ＝（ｙｄ−ｙｚ）×Ｍ
演算処理部５２は、画像処理部５１に対し、表示画素範囲Ｂの領域を定める４つの座標（Ｘ１，Ｙ１）（Ｘ２，Ｙ２）（Ｘ３，Ｙ３）（Ｘ４，Ｙ４）を、ステップ８９で求めたＸΔ、ＹΔだけシフトさせるように指示する。これにより、画像処理部５１は、シフト後の表示画素範囲Ｂとして、図６のように４つの座標（Ｘ１＋ＸΔ，Ｙ１＋ＹΔ）（Ｘ２＋ＸΔ，Ｙ２＋ＹΔ）（Ｘ３＋ＸΔ，Ｙ３＋ＹΔ）（Ｘ４＋ＸΔ，Ｙ４＋ＹΔ）で囲まれた領域内の画像をモニタ４０に出力し、表示させる。これにより、物体面（標本面）上で残った誤差ｘｄ−ｘｚ、ｙｄ−ｙｚは、像面側で補正され、モニタ４０上には、目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像が映し出される。
【００２１】
なお、ＣＣＤ２１の表示画素範囲Ｂのシフト可能な範囲は、ＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａであるので、シフト量ＸΔ、ＹΔには上限がある。そのため、上述の規定値ｘｓ、ｙｓをシフト量ＸΔ、ＹΔの上限に設定しておくことにより、現在位置（ｘｚ，ｙｚ）と移動目標位置（ｘｄ、ｙｄ）との差が表示画素範囲Ｂのシフトで対応可能な値ｘｓ、ｙｓ以下である場合には、表示画素範囲Ｂのシフトで対応し、前記差が値ｘｓ、ｙｓ以上である場合には、ステップ８８でステップ８３まで戻り電動ステージ３０をさらに移動させる構成となり、効率よく移動目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像を表示できる。なお、有効画素範囲ＡのＸＹ方向の幅をＸＡ、ＹＡで表し、表示画素範囲ＢのＸＹ方向の幅をＸＢ、ＹＢで表すと、シフト量ＸΔ、ＹΔの上限は以下のように表される（図５参照）。なお、ＣＣＤ２１のＸＹ方向は、電動ステージ３０のｘｙ方向に対応している。
（ＸΔの上限）＝（ＸＡ−ＸＢ）／２
（ＹΔの上限）＝（ＹＡ−ＹＢ）／２
よって、規定値ｘｓ、ｙｓを、
ｘｓ＝（ＸＡ−ＸＢ）／（２Ｍ）
ｙｓ＝（ＹＡ−ＹＢ）／（２Ｍ）
に設定して置くことにより、効率よく移動目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像を表示できる。なお、上記規定値ｘｓ，ｙｓは、電動ステージ３０の移動制御量の最小単位量として定義してもよい。
【００２２】
なお、画像処理部５１がモニタ４０上に画像を表示させる際に、予め定めた倍率に拡大する電子ズームを併用することも可能である。この場合、上記観察倍率Ｍには電子ズームの倍率を加味する。また、電子ズームを用いる場合、例えば電子ズーム２倍とすると図７のように表示画素範囲Ｂは、電子ズーム１倍の場合よりも表示画素範囲Ｂが小さくなり、シフト量ＸΔ、ＹΔを大きく取ることができる。したがって、電子ズームを用いる場合は、シフト量ＸΔ、ＹΔを大きくとることができるため、観察像側をシフトさせる本実施の形態の標本画像の移動方法は非常に有効である。なお、電子ズームを用いる場合は、規定値ｘｓ、ｙｓを電子ズームの倍率毎に用意しておくことが望ましい。
【００２３】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態の顕微鏡システムは、ＣＣＤ２１を図３のようなアクチュエータ１３９に搭載し、ＣＣＤ２１自体をＸＹ方向にシフトさせ、モニタ４０に表示される画像をＸＹ方向にシフトさせる構成である。なお、ＣＣＤ２１のＸＹ方向は、電動ステージ３０のｘｙ方向に対応している。よって、第２の実施の形態では、第１の実施の形態の図８のフローのステップ９０において、表示画素範囲Ｂをシフトさせる代わりに、アクチュエータ１３９の駆動源であるピエゾ素子１３４，１３５を駆動させ、ＣＣＤ２１自体をＸΔ、ＹΔだけ移動させる。
【００２４】
アクチュエータ１３９は、図３のように可撓性のある板状部材をワイヤカットで加工して形成したＸプレート１３０と、Ｘプレート１３０を２本の板バネ１３１によって片持ち支持するＹプレート１３３と、Ｙプレート１３３を２本板バネ１３２によって片持ち支持する本体１３６とを有する。ＣＣＤ２１は、Ｘプレート１３０に搭載されている。板バネ１３１の長手方向はＹ方向であり、板ばね１３２の長手方向はＸ方向である。Ｘプレート１３０の側面には、Ｘ方向に伸縮するピエゾ素子１３４が配置されている。ピエゾ素子１３４はＹプレート１３３により支持されている。また、Ｙプレート１３３の側面には、Ｙ方向に伸縮するピエゾ素子１３５が配置されている。ピエゾ素子１３５は、本体１３６により支持されている。これにより、演算処理部５２の指示により、ピエゾ素子１３４を伸長させると、Ｘプレート１３０がＸ方向に移動し、ピエゾ素子１３５を伸長させると、Ｙプレート１３３がＸプレート１３０ごとＹ方向に移動する。これにより、ＣＣＤ２１をＸΔ、ＹΔだけシフトさせることができる。
【００２５】
第２の実施の形態では、各部の動作は、図８のステップ８９のＸΔ、ＹΔのシフト量算出までは第１の実施の形態と同じである。ステップ９０において、演算処理部５２は、アクチュエータ１３９のピエゾ素子１３４，１３５を伸長させ、ＣＣＤ２１自体をＸＹ方向に移動させ、標本１２０（物体面）で残った誤差（ｘｄ−ｘｚ）、（ｙｄ−ｙｚ）を補正する。これにより、モニタ４０上には観察者が入力した目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像が映し出される。
【００２６】
第２の実施の形態の構成では、ＣＣＤ２１の表示画素範囲Ｂは、有効画素範囲Ａと同じ範囲にすることができる。したがって、ＣＣＤ２１の画素すべてを使用できるので、画質面において有利である。
【００２７】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態の顕微鏡システムは、結像レンズ１３を図４のようなアクチュエータ１４９に搭載し、結像レンズ１３をＸＹ方向にシフトさせることにより、ＣＣＤ２１上の結像される像自体をＸＹ方向にシフトさせる。これにより、モニタ４０に表示される画像をＸＹ方向にシフトさせる構成である。アクチュエータ１４９の構成は、第２の実施の形態のアクチュエータ１３９と同じであるので説明を省略する。
【００２８】
よって、第３の実施の形態でも、第２の実施の形態と同様に、図８のフローのステップ８９までは第１の実施の形態と同じであるが、ステップ９０において、表示画素範囲Ｂをシフトさせる代わりに、アクチュエータ１４９の駆動源であるピエゾ素子１３４，１３５を駆動させ、結像レンズ１３をＸΔ、ＹΔだけ移動させ、ＣＣＤ２１上の観察像をシフトさせる。これにより、モニタ４０上には観察者が入力した目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像が映し出される。
【００２９】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態の顕微鏡システムを図１０，図１１を用いて説明する。第４の実施の形態の顕微鏡システムは、第１の実施の形態と同様であるが、結像レンズ１３とＣＣＤ２１との間の光軸１００上に平行平板１４を配置し、平行平板１４を傾斜させることにより、ＣＣＤ２１上に結像する像の位置をＸＹ方向にシフトさせる構成である。平行平板１４は枠１４１によって支持された外径が円形の透明な平行平板ガラスである。枠１４１は、周方向の３カ所に貫通孔１４５を有し、貫通孔１４５に挿入されたビス１４３により鏡筒１０１に取り付けられている。ビス１４３には、バネ１４２が挿入されており、バネ１４２は枠１４１を結像レンズ１３の方向に向かって付勢している。また、鏡筒１０１には、枠１４１の３カ所の貫通孔１４５の光軸１００寄りの位置にピエゾ素子１４４がそれぞれ配置されている。よって、３カ所のピエゾ素子１４４を伸長させることにより、枠１４１の３カ所を所望量だけ押し上げることができるため、平行平板１４を所望の方向に傾斜させることができる。これにより、ＣＣＤ２１上に結像する像の位置をＸＹ方向にシフトさせることができる。
【００３０】
よって、第４の実施の形態でも、図８のフローのステップ８９までは第１の実施の形態と同じであるが、ステップ９０において、像をシフト量ＸΔ、ＹΔだけシフトさせるための平行平板１４のＸＹ方向の傾斜角度を算出し、この傾斜角度を付けるための３カ所のピエゾ素子１４４の伸長量を求め、求めた伸長量だけピエゾ素子１４４を伸長させる構成とする。これにより、ＣＣＤ２１上の観察像をシフト量ＸΔ、ＹΔだけシフトさせる。これにより、モニタ４０上には観察者が入力した目標位置（ｘｄ、ｙｄ）を中心とした画像が表示させることができる。
【００３１】
上述の第１〜第４の実施の形態においては、標本上の所望の座標の像を表示させる際の位置決め動作を物体面側（ステージ側）のみで行うのではなく、像面側で補正をかけることにより最終的に位置決めしている。これにより、物体面側では微小で難しい位置決めでも、像面側では拡大倍率がかかって拡大されているので比較的簡単に補正をかけることができる。よって、物体面における位置決めがある程度ラフでも、高い位置決め精度を確保できるので、結果として高精度かつ迅速な位置決めを実現できる。特に、第１の実施の形態の構成では、像面側での補正の際に機械的な可動部分がいっさいないので、スピードおよび信頼性を特に効果的に向上させることができる。
【００３２】
なお、上述してきた第１〜第４の実施の形態においては、顕微鏡システムとして、顕微鏡１０、ＴＶカメラ２０、電動ステージ３０をそれぞれ独立した製品として、制御装置５０に接続した構成を説明したが、本発明はこの構成に限定されるものではなく、制御装置５０を顕微鏡１０内に内蔵し、ＴＶカメラ２０、電動ステージ３０が顕微鏡１０と一体化した構成の顕微鏡システムも実現可能である。
【００３３】
また、第１の実施の形態では、電動ステージ３０の駆動源としてステッピングモータ３１，３２を用いたが、ＤＣモータを用いることも可能である。この場合、リニアエンコーダ１２２，１２３で現在位置を検出しながら移動させるクローズドループ制御とすることが望ましい。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の請求項１に記載の顕微鏡システムによれば、物体面側での位置ずれを像面側で補正でき、しかも、機械的な稼働部がないため、高精度かつ迅速な位置決めを実現可能な顕微鏡システムが提供できる。
【００３５】
また、請求項２、３、４、５に記載の顕微鏡システムによれば、物体面側での位置ずれを像面側で補正できるため、高精度かつ迅速な位置決めを実現可能な顕微鏡システムが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの全体構成を示す説明図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムのＣＣＤ２１付近の構成を示す切り欠き断面図。
【図３】本発明の第３の実施の形態の顕微鏡システムのＣＣＤ２１を搭載するアクチュエータ１３９の構成を示す上面図。
【図４】本発明の第４の実施の形態の顕微鏡システムの結像レンズ１３を搭載するアクチュエータ１４９の構成を示す上面図。
【図５】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムのＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａと表示画素範囲Ｂの位置関係を示す説明図。
【図６】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムのＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａと表示画素範囲Ｂのシフト後の位置関係を示す説明図。
【図７】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの電子ズームを用いる場合の、ＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａと表示画素範囲Ｂの位置関係を示す説明図。
【図８】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの表示像を移動させる場合の演算処理部の動作を示すフローチャート。
【図９】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの電動ステージ３０の（ａ）移動前の構成を示すための説明図、（ｂ）移動後の構成を示す示す説明図。
【図１０】本発明の第４の実施の形態の顕微鏡システムの鏡筒１０１に配置された平行平板１４を示す切り欠き断面図。
【図１１】図１０の平行平板１４を傾斜させる機構を示す断面図。
【符号の説明】
１０…顕微鏡、１１…レボルバ、１２…対物レンズ、１３…結像レンズ、１４…平行平板、２０…ＴＶカメラ、２１…ＣＣＤ、３０…電動ステージ、３１，３２…ステッピングモータ、４０…モニタ、５０…制御装置、５１…画像処理部、５２…演算処理部、６０…マウス。
【図１】
0004670194.tif 000002
【図２】
0004670194.tif 000003
【図３】
0004670194.tif 000004
【図４】
0004670194.tif 000005
【図５】
0004670194.tif 000006
【図６】
0004670194.tif 000007
【図７】
0004670194.tif 000008
【図８】
0004670194.tif 000009
【図９】
0004670194.tif 000010
【図１０】
0004670194.tif 000011
【図１１】
0004670194.tif 000012