(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃｏバインダー相にＴｉ、Ｗ及びＴａを基本とする硬質成分を含有するチタン基炭窒化物合金の部材を液相焼結によって製造する方法であって、
原子比Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が２５〜５０ａｔ％であって、Ｔａ含有量が少なくとも２ａｔ％、Ｗ含有量が少なくとも２ａｔ％、Ｃｏ含有量が５〜２５ａｔ％であり、且つ
液状バインダー相が、先ず前記部材の中央部に形成され、その後、溶融前端部が、マクロ的なバインダー相勾配を発生することなく表面に向かって外側に伝播するような条件のもとで、焼結が実施され、
１２５０〜１３５０℃の温度から１３７０〜１５５０℃の最終焼結温度まで温度を上昇させる際に、温度上昇速度が０．５〜５℃／ｍｉｎであり、
最終焼結温度と≦１２００℃との間を冷却する際に、温度降下速度が０．５〜５℃／ｍｉｎであり、
１２５０〜１３５０℃の温度から最終焼結温度まで温度を上昇させる際に、Ｎ２とＣＯとの分圧を一定に保持するか、またはＮ２とＣＯとのそれぞれの分圧を滑らかに或いは段階的に上昇させ、
前記Ｎ２とＣＯとのそれぞれの分圧は、１３００℃で２５〜３００Ｐａであり、且つ
最終焼結温度に到達したときには、前記Ｎ２の分圧は、５０〜３００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、１００〜１０００Ｐａであり、
最終焼結温度に保持する際に、前記Ｎ２の分圧は、２５〜３００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、５０〜５００Ｐａであり、
最終焼結温度と≦１２００℃との間を冷却する際に、前記Ｎ２の分圧は、２５〜３００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、２５〜３００Ｐａであり、
最終焼結温度の保持時間は３０〜１２０分である、
ことを特徴とするチタン基炭窒化物合金の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項２】
原子比Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）が２５〜５０ａｔ％であって、Ｔａ含有量が４〜７ａｔ％、Ｗ含有量が３〜８ａｔ％、Ｃｏ含有量が５〜２５ａｔ％であることを特徴とする請求項１に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項３】
前記部材の気孔率が、等級Ａ０６以下であり、且つ前記部材の中央部に気孔が集中することなく容積全体を通して均一に分布することを特徴とする請求項１または２に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項４】
前記部材の気孔率が、等級Ａ０４以下であり、且つ前記部材の中央部に気孔が集中することなく容積全体を通して均一に分布することを特徴とする請求項１または２に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項５】
前記Ｎ２とＣＯとのそれぞれの分圧は、１３００℃で５０〜１５０Ｐａであり、且つ
最終焼結温度に到達したときには、前記Ｎ２の分圧は、１００〜２００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、２００〜６００Ｐａである、
ことを特徴とする請求項１に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項６】
最終焼結温度に保持する際に、前記Ｎ２の分圧は、５０〜２００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、１００〜３００Ｐａである、
ことを特徴とする請求項１に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【請求項７】
最終焼結温度と≦１２００℃との間を冷却する際に、前記Ｎ２の分圧は、５０〜２００Ｐａであり、且つ前記ＣＯの分圧は、５０〜２００Ｐａである、
ことを特徴とする請求項１に記載の部材を液相焼結によって製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、焼結後に組成勾配と中心の気孔集中とのいずれもがなくて、主成分としてチタン（Ｔｉ）及びバインダー相としてコバルト（Ｃｏ）を含む炭窒化物合金の焼結部材の製造方法に関する。このことは、表面と比較して部材の内側の液相を低溶融点にするために、液相焼結の全ての工程の際に、この部材の外側のガス雰囲気とこの合の組成とを平衡にする特別な状態でこの材料を処理することによって達成される。
【０００２】
【従来の技術】
チタン基炭窒化物合金は、サーメットと呼ばれ、金属切削加工工業においてインサート材料として確立されており、特に仕上げ加工に使用される。これらの合金は金属バインダー相中に入り込んだ炭窒化物硬質成分を含む。この硬質成分粒は、別の組成のリムによって囲まれたコアーを有する一般的に複雑な組織である。チタンに加えて、ＶＩａ族元素で通常はモリブデンとタングステンの双方及び時にはクロムを、バインダーと硬質成分との間のぬれ性を促進し且つ固溶体強化によってバインダーを強化するために添加する。また、ＩＶａ族及び／またはＶａ族の元素、例えば、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、及びタンタルが、今日入手できる市販合金の全てに添加される。これらのすべての追加元素が、一般的に炭化物、窒化物及び／または炭窒化物として添加される。この硬質元素の粒径は一般的に＜２μｍである。バインダー相は、主にコバルトとニッケルとの双方の固溶体である。バインダー相の量は、一般的に３〜２５質量％（ｗｔ％）である。ときには、その他の元素が、たとえば、アルミニウムがさらに添加され、アルミニウムにたいしては、バインダー相を強化させること、及び／または硬質成分とバインダー相との間のぬれ性を改良することがいえる。もちろん、市販入手できる原材料粉末は、不可避不純物を含有する。
【０００３】
もっとも重要な不純物は、チタンとのその親近性により酸素である。一般的な酸素の不純物レベルは、歴史的に＜０．３ｗｔ％である。最近、チタン基原材料の製造方法を改良するために、このレベルは、特に低窒素含有量の等級に対しては＜０．２ｗｔ％に減少された。非常に高レベルの酸素が一般的に避けられるのは、これは液晶焼結の際に気孔が封鎖されたのちに、一酸化炭素（ＣＯ）を形成するとができ、それが同様に過剰な気孔率をもたらすからである。
【０００４】
サーメットインサートが、硬質成分とバインダー層との粉末を混練すること、所望の形状のグリーン部材に加圧成形すること、及び最後のこのグリーン部材を液相焼結することによる粉末冶金法によって製造されることは、全てのサーメットインサートに対してはごく普通のことである。良好なぬれ性が液体と固体との硬質相粒子との間で得られるならば、強い毛細管力が得られる。この力の作用が、気孔部材を等方等質に収縮させることになり、それによって、気孔が取り除かれる。この線収縮は典型的には１５〜３０％である。
【０００５】
チタン炭窒化物基サーメットの焼結は複雑な工程であり、この工程は、焼結部材が所望の輪郭を備えるために、全ての工程を正確に制御する必要がある。一般的に、脱蝋後、この材料は、真空中または不活性ガス中で１２５０〜１３５０℃に加熱されて、材料の脱酸及び脱窒を可能にする。さらに、最終焼結温度までの加熱とその後の冷却は、真空中、または不活性或いは反応性のガスを含む雰囲気中で行われる。それぞれの工程の各々が、焼結された材料の性質に影響を及ぼすので注意深く最適にする必要がある。
【０００６】
従来の焼結方法は、強度及び耐摩耗性の欠陥のような幾つかの欠点を有する焼結材料が生産された。一般的に、焼結された部材は、バインダー相の豊富化または枯渇の変化する程度とともに中心部及び表面に気孔の集中がある。焼結の際のガス雰囲気を変化させることによって、気孔の制御を改良する多くの試みが成された。
【０００７】
幾つかの方法で達成された窒素（Ｎ2 ）中での焼結が脱窒を制限する手段を提供し、これは高窒素含有量のサーメットに対して有効である。
米国特許第４，９９０，４１０号は、１３．３〜２６６６、４Ｐａ（０．１〜２０ｔｏｒｒ）のＮ2 中で≧１３００℃の温度で液晶焼結することによって、サーメットを製造する方法を開示する。窒素雰囲気は、焼結されたサーメット部材の表面近くの性質の改良に有効である。米国特許第５，０５９，４９１号は、Ｎ2 中で液相焼結しそして真空中で冷却することによって、表面から５〜５０μｍの深さで最大の硬さを備えるサーメットの製造方法を開示する。米国特許第４，９８５，０７０号は、高強度サーメットを製造する方法を開示し、このサーメットは、次第に増加させたＮ2 圧力中で材料を焼結することによって達成される。米国特許第５，１４５，５０５号は、６６６．５〜３９９９．６Ｐａ（５〜３０ｔｏｒｒ）のＮ2 中で焼結することによってバインダー枯渇表面を備えた強靱なサーメットを製造する方法を開示する。
【０００８】
Ｃｏ中で焼結することは、焼結されたサーメット部材の表面に渡って改良された制御を達成するために有効であることが判明した。国際公開ＷＯ９９／０２７４６号は、ＣＯ中で１００〜８０００Ｐａ（１〜８０ｍｂａｒ）の圧力で表面上に１〜２μｍの厚みの通常のバインダー相の層を備えることなく、焼結部材を製造する方法を開示する。
【０００９】
ＣＯ−Ｎ2 混合物中で焼結することが、焼結部材の改良された性質を得るために試みられた。米国特許第５，８５６，０３２号は、ＣＯ−Ｎ2 混合物中で液相焼結することによって、Ｔｉ（Ｃ、Ｎ）基サーメットを製造する方法を開示する。このガス混合物は、焼結部材の表面近くの領域、６００μｍの深さの下方までを改良するために使用される。ガス混合物の所望の組成は、硬質成分の窒素含有量に依存する一方で、必要とする全ガス圧力がバインダー含有量によって決定される。この焼結された部材は、下側のコアに対して０．０１〜３μｍの深さの表面層の中のＣｏ及び／またはＮｉのバインダーの含有量が、全ての場合に体積で≦９０％の分量であった。
【００１０】
米国特許第６，０１７，４８８号は、Ｃｏバインダーを有する焼結サーメット部材を製造する方法を開示する。焼結はＣＯ−Ｎ2 混合物中で実施され、この混合物の分圧は２０００Ｐａ（２０ｍｂａｒ）以下に保持される。焼結された部材は、独特な性質を備え、それらはマクロ的なＣｏ勾配を有し、Ｃｏ含有量が部材の中心からその表面まで実質的に単純に減少し、表面から０〜１０μｍの深さでのＣｏ含有量は中心の含有量の５０〜９９％に達した。
【００１１】
Ｃｏバインダーを有するチタン炭窒化物基合金の系統が、これとともに同時に出願されたスウェーデン特許出願第９９０１５８２−８８号、第９９０１５８３−６号及び第９９０１５８４−４号に開示される。これらは、チタンの炭化物または窒化物及び／またはアルミニウム酸化物の単一または多重層の耐摩耗性被膜を双方備えるかまたは備えないで、金属切削加工の適用において優れた性能を有する。これら、焼結の際に、Ｎｉ−Ｃｏバインダーを有する従来のサーメットとは全く異なる独特な挙動を示した。一つの特徴は、高含有量、すなわち、≧２ａｔ％好ましくは４〜７ａｔ％のＴｉであり、これは、焼結の際に、材料中の窒素の活性を増加する。もう一つの特徴は、金属切削加工において著しく性能が改良できる原材料に最適化することである。これらの二つの特徴により、これらの材料は従来のものと実質的に異なり、したがって、これらの材料は、通常使用されるものと異なる焼結方法を必要とする。これらの材料が、米国特許第６，０１７，４８８号または第５，８５６，０３２号に開示される方法にしたがって焼結されるならば、これらの材料は通常の状態で溶融し、すなわちこの溶融は表面から内側に向かってであり、ガスの取り込みと不満足な気孔性をもたらし、これらのことはこの材料の潜在能力を十分に利用するためには回避する必要がある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、バインダーとしてＣｏを含有し及び高Ｔａ含有量の上記の等級のチタン炭窒化物基合金を製造するための方法を提供することである。
本発明の一つの態様において、発明された方法はこの合金の硬質相に対して有効であり、この硬質相は２５〜５０ａｔ％の原子比Ｎ／（Ｃ＋Ｎ）を有する。Ｔａ含有量は、少なくとも２ａｔ％、好ましくは４〜７ａｔ％である。Ｗ含有量は、少なくとも２ａｔ％、好ましくは３〜８ａｔ％である。Ｃｏ含有量は、５〜２５ａｔ％である。本発明したがって製造された焼結部材は、部材全体に渡って実質的に組成勾配がない。さらにその上に、このような部材は、体積全体に渡って均一に分布する気孔率は等級Ａ０６以下好ましくはＡ０４以下であり、すなわち、部材の中心部に気孔の集中がない。この幾分高い気孔率は、高Ｔａ含有量のために、合金中の非常に高い窒素活性をもたらす。
【００１３】
本発明の別の態様において、焼結炭窒化物合金の製造方法を提供し、この合金は、炭化物、炭窒化物及び／または窒化物の粉末は、Ｃｏとともに規定された組成比に混合され、所望の形状のグリーン部材に加圧成形される。このグリーン部材は制御されたガス雰囲気中で１３７０〜１５５０℃の温度で液相焼結される。
【００１４】
【課題を解決するための手段及び発明の実施の形態】
上記に具体的に示した合金の等級に対して、全く驚くべき次のことが判明した。すなわち、本発明の方法を利用することによって、マクロ的なＣｏ勾配のない焼結合金が、好ましい溶融、すなわち表面に向かって伝播する核生成を維持する状態で得ることができる。この好ましい成果は、グリーン部材を脱蝋すること、及び、硬質相粒の脱酸及び制御された脱窒を可能にするために、引き続き真空の下で１２５０〜１３５０℃まで温度を上昇させことによって達成される。この脱窒は、温度上昇と適切なレベルでの温度平坦域とによって制御される。その結果として焼結は、前もって規定したガス雰囲気で実施する。種々のガス組成が、次のことに対して必要である。すなわち、
（１）  最終焼結温度に達するまでの温度上昇、
（２）  最終温度での平坦部、及び
（３）  ≦１２００℃までの温度降下。
【００１５】
（１）  ＣＯとＮ2 とのそれぞれの分圧は、一定に保持するか、または段階的或いは滑らかに上昇させて、最終焼結温度まで温度を上昇させる際に、グリーン部材内の増加するガス発生速度を釣り合わせる必要がある。余りにも低い分圧はマクロ的なＣｏ勾配を生じ、一方余りにも高い分圧は溶融工程が再発し、中央に気孔の集中をもたらす。焼結開始のためのＣＯとＮ2 とのレベルは、２５〜３００Ｐａ（０．２５〜３０ｍｂａｒ）、好ましくは５０〜１５０Ｐａ（０．５〜１．５ｍｂａｒ）である。最終焼結温度に到達したときは、ＣＯの分圧レベルは、１００〜１０００Ｐａ（１〜１０ｍｂａｒ）、好ましくは２００〜６００Ｐａ（２〜６ｍｂａｒ）であり、且つＮ2 の分圧レベルは、５０〜３００Ｐａ（０．５〜３ｍｂａｒ）、好ましくは１００〜２００Ｐａ（１〜２ｍｂａｒ）である。
【００１６】
（２）  １２５０〜１３５０℃から最終焼結温度までの上昇の際のガス雰囲気の制御を、マクロ的なＣｏ勾配を除去するために行う。しかしながら、この材料に対して最近発明された方法が使用され、この材料は、Ｃｏの枯渇がおこる≦５００μｍの深さの表面領域においてＷ及びＴａを含有する硬質成分の豊富化が強いいられ。この豊富化は、ある場合に、表面から０〜１０μｍの範囲におけるＷとＣｏの含有量を、部材の中央におけるそれより≧２０％高くするようになる。この豊富化は、最終焼結時の平坦部の間じゅう、ガス雰囲気の組成を制御することによって除去できることが驚くべきことに判明した。部材の表面から≦５００μｍの深さで組成的な勾配の除去を達成するために、ＣＯとＮ2 との双方を制御する必要がある。最終焼結時の平坦部の間じゅう、ＣＯの分圧は、５０〜５００Ｐａ（０．５〜５ｍｂａｒ）好ましくは１００〜３００Ｐａ（１〜３ｍｂａｒ）であり、且つＮ2 の分圧は、２５〜３００Ｐａ（０．２５〜３ｍｂａｒ）好ましくは５０〜２００Ｐａ（０．５〜２ｍｂａｒ）にする。
【００１７】
（３）  温度上昇と最終焼結温度の平坦部との間の、ガス雰囲気の制御では、焼結部材の実際の表面に適切な性質を備えるために不十分である。バインダー相の液相温度以下の十分なレベルまで温度を低下するときに、適切にＣＯとＮ2 との圧力を選択することによって、０〜１０μｍの深さでの表面組成はバルクと実質的に同一となることが判明した。最終焼結温度から≦１２００℃まで冷却する際に、ＣＯ分圧は、２５〜３００Ｐａ（０．２５〜３ｍｂａｒ）好ましくは５０〜２００Ｐａ（０．５〜２ｍｂａｒ）とし、且つＮ2 の分圧は、２５〜３００Ｐａ（０．２５〜３ｍｂａｒ）好ましくは５０〜２００Ｐａ（０．５〜２ｍｂａｒ）にする。
【００１８】
【実施例及び発明の効果】
実施例１
ＴＮＭＧ１６８４０８−ＰＦインサートは、３７．１のＴｉ、３．６のＷ、４．５のＴａ、３０．７のＣ、１４．５のＮ及び９．６のＣｏの標準組成（ａｔ％）の粉末混合物を用いて加圧成形した。グリーン部材は、３５０℃以下の温度のＨ2 中で脱蝋した。その後炉は排気され、吸引は３５０〜１３００℃の間中維持された。３５０から１０５０℃までは、１０℃／ｍｉｎの温度勾配が維持された。１０５０から１３００℃までは、２℃／ｍｉｎの温度勾配が維持された。温度は１３００℃で３０分間真空中で保持された。その後、真空バルブが閉じられ温度を２℃／ｍｉｎの温度勾配で１４８０℃に上昇させた。１３１０℃まで、炉の圧力は、気孔性の部材からの脱ガスのために増加することができる。最終焼結温度までのその後の加熱、引き続く１２００℃までの冷却の際に、混合ガスを炉に流すことができ、一方で８００Ｐａ（８ｍｂａｒ）の一定圧力に維持される。１３１０から１４８０℃までは、混合ガスは８．３ｖｏｌ％のＣＯ、８．３ｖｏｌ％のＮ2 を含有し、アルゴン（Ａｒ）で平衡が保たれた。９０分で１４８０℃の液相焼結の際には、混合ガスは２９．２ｖｏｌ％のＣＯ、１２．５ｖｏｌ％のＮ2 を含有し、アルゴン（Ａｒ）で平衡が保たれた。１４８０から１２００℃までは、３．５℃／ｍｉｎの冷却速度が適用され、そして１６．７ｖｏｌ％のＣＯ、１２．５ｖｏｌ％のＮ2 の組成の混合ガスが使用され、平衡はアルゴン（Ａｒ）で保たれた。
【００１９】
研磨されたインサートの横断面は標準的な金属組織学的な技術で準備され、光学顕微鏡と電子マイクロプローブ分析装置（ＥＭＰＡ）を使用して特徴付けた。光学顕微鏡は、インサートが焼結された部材全体に渡って等級Ａ０４より優れた気孔率で均一に分布する残留気孔を有することを示した。この気孔は、部材の中央部から気孔が集中することなく、均一に分布する。図１は、インサートの一方の側面から材料の内側を通って反対側の面までの範囲の、Ｃｏ、Ｗ、Ｎ及びＣのＥＭＰＡの線走査分析を示す。全ての元素の濃度は、明らかにインサート全体を通して、理に適った測定範囲と統計的な変動内で一定である。
【００２０】
実施例２（比較例）
第２の実施態様において、３５．９のＴｉ、３．６のＷ、４．３のＴａ、２７．２のＣ、１６．６のＮ及び１２．４のＣｏの標準組成（ａｔ％）のインサートを、１３１０〜１４８０℃の温度上昇の際に炉を通して流すことができるガスがアルゴンであることを除き、実施例１に記載する同一の方法で製造した。この場合に、典型的なマクロなＣｏ勾配が観察され、ＥＭＰＡの線走査分析を示す図２で観察できるように放物線状の形状である。表面から０〜１０μｍの深さのＣｏ含有量は、インサート中央部のそれより少なかった。光学顕微鏡は、焼結された部材全体に渡って等級Ａ０４より優れた気孔率で均一に分布する残留気孔を有することを示した。
【００２１】
実施例３（比較例）
第３の実施例において、３７．１のＴｉ、３．６のＷ、４．５のＴａ、３０．７のＣ、１４．５のＮ及び９．６のＣｏの標準組成（ａｔ％）のインサートを、実施例１に記載する同一の方法で製造したが、１３１０〜１４８０℃の温度上昇の際に、炉を通して流すことができるガスが５０ｖｏｌ％のＣｏと５０ｖｏｌ％のＮ2 の組成で２０００Ｐａ（２０ｍｂａｒ）の炉圧力であることが異なった。光学顕微鏡によるインサートの横断面は、インサートの中央部に気孔の集中が見られ、気孔率はＡ０８より悪く、気孔率は表面から≦５００μｍの領域では気孔率等級Ａ０４であった。ＡＭＰＡの線走査分析は、インサートの中央部でＣｏ含有量の最小を示した。これらの二つの観察は、バインダー相は外から内に向かって溶融し、温度上昇の際に発生した滞留ガスが好ましくない気孔率と、望ましくない組成的な勾配を生じるという結論をもたらした。
【００２２】
実施例４（比較例）
第４の実施例において、３７．１のＴｉ、３．６のＷ、４．５２のＴａ、３０．７のＣ、１４．５のＮ及び９．６のＣｏの標準組成（ａｔ％）のインサートを、実施例１に記載する同一の方法で製造したが、変化する炉圧力で１３１０〜１４８０℃の温度上昇の際に、炉を通して流すことができる混合ガスが変化できる組成であることが異なった。さらにその上に、ガスの組成は液相焼結と≦１２００℃までの冷却の際に、ガス組成は異なった。
【００２３】
以下の表は焼結の際の、ガス組成の要約である。
0004777498.tif 000002
比較として、４０．２のＴｉ、３．６のＷ、２７．２のＣ、１６．６のＮ及び１２．４のＣｏで、Ｔａなしの標準組成（ａｔ％）のインサートを、同一の方法で製造した。
【００２４】
図３及び図４は、Ｔａを含む新しい合金、及びＴａを含まない比較例の合金で作られたのそれぞれインサートのＥＭＰＡの線走査分析を示す。マクロ的なＣｏの勾配が図２に示す形式の観察でないことが図３から結論される。すなわち、１３１０〜１４８０℃の温度上昇の際のガス雰囲気は、十分に釣り合っている。しかしながら、双方の表面から≦５００μｍの領域には明確なＣｏの枯渇がある。表面から０〜１０μｍの深さでのＣｏ含有量は、インサートの中央部のそれより１２％低かった。これは焼結温度の平坦部の間でガス雰囲気が不均衡であることを示す。比較例の材料は実質的に組成勾配のないことを示す。光学顕微鏡は、Ｔａを含有する材料のインサートは全体に渡って、等級Ａ０４より優れた残留気孔率を示した。Ｔａを含有しない材料のインサートは全体に渡って、等級Ａ００の気孔率である残留気孔率を示した。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の方法において焼結されたＴｉ（Ｃ、Ｎ）−（Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）（Ｃ、Ｎ）−Ｃｏ合金のインサートを横断するＥＭＰＡ（電子マイクロプローブ分析）の線走査である。
【図２】図２は、比較例の方法において焼結されたＴｉ（Ｃ、Ｎ）−（Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）（Ｃ、Ｎ）−Ｃｏ合金のインサートを横断するＥＭＰＡの線走査である。
【図３】図３は、比較例の方法において焼結されたＴｉ（Ｃ、Ｎ）−（Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）（Ｃ、Ｎ）−Ｃｏ合金のインサートを横断するＥＭＰＡの線走査である。
【図４】図４は、比較例の方法において焼結されたＴｉ（Ｃ、Ｎ）−（Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）（Ｃ、Ｎ）−Ｃｏ合金のインサートを横断するＥＭＰＡの線走査である。
【図１】
0004777498.tif 000003
【図２】
0004777498.tif 000004
【図３】
0004777498.tif 000005
【図４】
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