(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶から構成された水晶振動子であって、
前記水晶振動子の中央部に配置された基部と、
光軸を法線とする平面内で前記基部より互いに１２０°の角度をなす電気軸の方向に各々延在する３つの脚部と、
前記平面内で前記脚部の間に架設された同一の長さの３つの梁部と
を少なくとも備え、
各々の前記梁部は、前記平面内で互いに１２０°の角度をなす機械軸の方向に沿って配置され、
各々の前記脚部は、前記電気軸に線対称に配置されて前記電気軸の側より前記平面内で凸に曲がる２つの脚部材から構成され、
前記脚部材により、前記基部と各々の前記梁部の接続部とが連結されている
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項２】
請求項１記載の水晶振動子において、
前記脚部材に設けられ、前記法線の方向に貫通して前記脚部材の延在方向に延在する脚部貫通孔を備える
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項３】
請求項２記載の水晶振動子において、
前記脚部貫通孔は、各々の前記脚部を構成する両方の前記脚部材に設けられている
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項４】
請求項１記載の水晶振動子において、
前記脚部材に設けられ、前記法線の方向に進入して前記脚部材の延在方向に延在する凹部を備える
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項５】
請求項４記載の水晶振動子において、
前記凹部は、各々の前記脚部を構成する両方の前記脚部材に設けられている
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の水晶振動子において、
各々前記梁部の前記接続部側に設けられ、前記法線の方向に貫通して各々の前記梁部の延在方向に延在する２つの梁部貫通孔を備える
ことを特徴とする水晶振動子。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の水晶振動子において、
各々の前記梁部の中央部に設けられたおもり部
を備えることを特徴とする水晶振動子。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の水晶振動子において、
前記各々の前記脚部を構成する前記２つの脚部材の間の電気軸方向に直線的に配設された中間脚部材を備えることを特徴とする水晶振動子。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の水晶振動子において、
前記各々の前記脚部を構成する前記２つの脚部材の間の機械軸方向に直線的に配設されて前記２つの脚部材を連結する連結脚部材を備えることを特徴とする水晶振動子。
【請求項１０】
水晶振動子より構成された角速度センサであって、
前記水晶振動子の中央部に配置された基部と、
光軸を法線とする平面内で前記基部より互いに１２０°の角度をなす電気軸の方向に各々延在する３つの脚部と、
前記平面内で前記脚部の間に架設された同一の長さの３つの梁部と、
各々の前記梁部に設けられた励振電極と、
各々の前記脚部に設けられた検出電極と
を少なくとも備え、
各々の前記梁部は、前記平面内で互いに１２０°の角度をなす機械軸の方向に沿って配置され、
各々の前記脚部は、前記電気軸に線対称に配置されて前記電気軸の側より前記平面内で凸に曲がる２つの脚部材から構成され、
前記脚部材により、前記基部と各々の前記梁部の接続部とが連結されている
ることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１１】
請求項１０記載の角速度センサにおいて、
各々の前記脚部の前記平面に平行な上面に設けられた前記検出電極を備えることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１２】
請求項１０記載の角速度センサにおいて、
前記脚部材に設けられ、前記法線の方向に貫通して前記脚部材の延在方向に延在する脚部貫通孔と、
前記脚部貫通孔が配置された前記脚部材の前記平面に直交する側面及びこの側面に対向する前記脚部貫通孔の内側側面に設けられた前記検出電極と
を備えることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１３】
請求項１２記載の角速度センサにおいて、
前記脚部貫通孔は、各々の前記脚部を構成する両方の前記脚部材に設けられている
ことを特徴とする角速度センサ。
【請求項１４】
請求項１０記載の角速度センサにおいて、
前記脚部材に設けられ、前記法線の方向に進入して前記脚部材の延在方向に延在する凹部と、
前記凹部が配置された前記脚部材の前記平面に直交する側面及びこの側面に対向する前記凹部の内側側面に設けられた前記検出電極と
を備えることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１５】
請求項１４記載の角速度センサにおいて、
前記凹部は、各々の前記脚部を構成する両方の前記脚部材に設けられている
ことを特徴とする角速度センサ。
【請求項１６】
請求項１０〜１５のいずれか１項に記載の角速度センサにおいて、
各々前記梁部の前記接続部側に設けられ、前記法線の方向に貫通して各々の前記梁部の延在方向に延在する２つの梁部貫通孔と、
前記梁部貫通孔が配置された前記梁部の前記平面に直交する側面及びこの側面に対向する前記梁部貫通孔の内側側面に設けられた励振電極と
を備える
ことを特徴とする角速度センサ。
【請求項１７】
請求項１０〜１６のいずれか１項に記載の角速度センサにおいて、
各々の前記梁部の中央部に設けられたおもり部
を備えることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１８】
請求項１０〜１７のいずれか１項に記載の角速度センサにおいて、
前記各々の前記脚部を構成する前記２つの脚部材の間の電気軸方向に直線的に配設された中間脚部材を備えることを特徴とする角速度センサ。
【請求項１９】
請求項１０〜１８のいずれか１項に記載の角速度センサにおいて、
前記各々の前記脚部を構成する前記２つの脚部材の間の機械軸方向に直線的に配設されて前記２つの脚部材を連結する連結脚部材を備えることを特徴とする角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、航空機，船舶，自動車などの姿勢制御や位置検出などに利用される回転系内の回転角速度を検出するセンサに適用可能な水晶振動子及び角速度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
角速度センサには様々な種類があるが、組み込むために薄く小型にし、かつ軽量にするという要求を満たすものとして、振動型の角速度センサがある。従来よりある振動型の角速度センサは、四角柱に加工した振動子を振動させて回転に伴って働くコリオリ力を検出するものである。
【０００３】
このような従来の角速度センサとして、音叉型振動子を用いたものがある（特許文献１参照）。また、回転軸に対して交差する面内に延在する複数の支持部と、各支持部の先端に支持された複数の屈曲振動片とを備えた振動子も提案されている（特許文献２参照）。特許文献２の振動子によれば、上記面内の回転の回転速度が検出でき、ジャイロスコープの低背化を可能としている。
【０００４】
一方、検出すべき運動の自由度に多軸化が求められるようになり、直交する３軸の各成分（角速度）を検出する角速度センサが提案されている。例えば、振動子により３軸化を図ろうとする場合、角速度の検出原理であるコリオリ力を３軸のすべてについて発生させるため、素子は、駆動変位速度として少なくとも直交する２方向成分を有する必要がある。これを実現する技術として、１つの慣性体要素を、時間的にも直交した２相駆動により円運動させる方式が提案されている（非特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、上述した角速度センサでは、複数の振動子を組み合わせることで、３軸の各成分検出するようにしているため、角速度センサの構成が複雑になる。また、１つの慣性体要素を時間的にも直交した２相駆動により円運動させる方式では、圧電振動材料の板（振動子）に均整な円運動を与えることが困難であり、他軸信号との直交性が乱れ、異なる成分の信号の分離が容易ではない。
【０００６】
これらの問題を解消する技術として、Ｚ軸（光軸）を法線とする同一の平面内で一端が互いに連結されてＸ軸（電気軸）に沿って各々１２０°異なる方向に延在する３つの脚部と、脚部の間に架設されている３つの梁部とを備えた水晶振動子を用い、各々の梁部の平面に直交する側面に励振電極を設け、各々の脚部の平面に平行な上面に検出電極を設けた角速度センサが提案されている（特許文献３参照）。この技術によれば、１つの振動子により、異なる成分の信号が容易に分離可能な状態で、３軸方向の角速度が検出可能となる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−３４０５５９号公報
【特許文献２】特開平１１−２８１３７２号公報
【特許文献３】特開２００６−０１７５３８号公報
【非特許文献１】田村英樹、市村敏也、富川義朗、「２相駆動による３軸角速度検出ジャイロセンサ」、超音波ＴＥＣＨＮＯ、２００２．１−２、ｐｐ．６−１３、（２００２−０１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、特許文献３の技術による水晶振動子は、水晶板（Ｚ板）を、緩衝フッ酸などを用いたエッチングなどにより加工することで形成されることになる。ところが、よく知られているように、このような水晶のエッチング速度は、結晶軸に依存する。このため、３つの脚部がＸ軸に沿って各々１２０°異なるように形成された水晶振動子の場合、エッチングにより形成される各側面に、＋Ｘ方向へと残渣が生じ、非対称な状態となる。このように非対称に残渣が生じる状態では、梁部における重心のずれなどが発生し、また、励振モードと他のモードとの結合が発生し、振動漏れの増大などが発生するようになる。この結果、Ｑ値の低下、駆動インピーダンスの増大、０点ドリフトの悪化、他軸感度への影響など、角速度センサの性能に大きな悪影響を及ぼすようになる。
【０００９】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、高い対称性が得られた状態で、Ｚ軸を法線とする同一の平面内で各々１２０°異なる方向に延在する３つの脚部を備えた水晶振動子及び角速度センサが形成できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る水晶振動子は、水晶から構成された水晶振動子であって、水晶振動子の中央部に配置された基部と、光軸を法線とする平面内で基部より互いに１２０°の角度をなす電気軸の方向に各々延在する３つの脚部と、平面内で脚部の間に架設された同一の長さの３つの梁部とを少なくとも備え、各々の梁部は、平面内で互いに１２０°の角度をなす機械軸の方向に沿って配置され、各々の脚部は、電気軸に線対称に配置されて電気軸の側より平面内で凸に曲がる２つの脚部材から構成され、脚部材により、基部と各々の梁部の接続部とが連結されているようにしたものである。
【００１１】
上記水晶振動子において、脚部材に設けられ、法線の方向に貫通して脚部材の延在方向に延在する脚部貫通孔を備えるようにしてもよい。また、脚部貫通孔は、各々の脚部を構成する両方の脚部材に設けられているようにしてもよい。また、脚部材に設けられ、法線の方向に進入して脚部材の延在方向に延在する凹部を備えるようにしてもよい。この凹部は、各々の脚部を構成する両方の脚部材に設けられているようにしてもよい。
【００１２】
上記水晶振動子において、各々梁部の接続部側に設けられ、法線の方向に貫通して各々の梁部の延在方向に延在する２つの梁部貫通孔を備えるようにしてもよく、また、各々の梁部の中央部に設けられたおもり部を備えるようにしてもよい。また、上記水晶振動子において、各々の脚部を構成する２つの脚部材の間の電気軸方向に直線的に配設された中間脚部材を備えるようにしてもよく、また、各々の脚部を構成する２つの脚部材の間の機械軸方向に直線的に配設されて２つの脚部材を連結する連結脚部材を備えるようにしてもよい。
【００１３】
また、本発明に係る角速度センサは、水晶振動子より構成された角速度センサであって、水晶振動子の中央部に配置された基部と、光軸を法線とする平面内で基部より互いに１２０°の角度をなす電気軸の方向に各々延在する３つの脚部と、平面内で脚部の間に架設された同一の長さの３つの梁部と、各々の梁部に設けられた励振電極と、各々の脚部に設けられた検出電極とを少なくとも備え、各々の梁部は、平面内で互いに１２０°の角度をなす機械軸の方向に沿って配置され、各々の脚部は、電気軸に線対称に配置されて電気軸の側より平面内で凸に曲がる２つの脚部材から構成され、脚部材により、基部と各々の梁部の接続部とが連結されているものである。
【００１４】
上記角速度センサにおいて、各々の脚部の平面に平行な上面に設けられた検出電極を備えればよい。また、脚部材に設けられ、法線の方向に貫通して脚部材の延在方向に延在する脚部貫通孔と、脚部貫通孔が配置された脚部材の平面に直交する側面及びこの側面に対向する脚部貫通孔の内側側面に設けられた検出電極とを備えるようにしてもよい。なお、脚部貫通孔は、各々の脚部を構成する両方の脚部材に設けられているとよい。
【００１５】
上記角速度センサにおいて、脚部材に設けられ、法線の方向に進入して脚部材の延在方向に延在する凹部と、凹部が配置された脚部材の平面に直交する側面及びこの側面に対向する凹部の内側側面に設けられた検出電極とを備えるようにしてもよい。ここで、凹部は、各々の脚部を構成する両方の脚部材に設けられているとよい。また、上記角速度センサにおいて、各々梁部の接続部側に設けられ、法線の方向に貫通して各々の梁部の延在方向に延在する２つの梁部貫通孔と、梁部貫通孔が配置された梁部の平面に直交する側面及びこの側面に対向する梁部貫通孔の内側側面に設けられた励振電極とを備えるようにしてもよい。
【００１６】
なお、上記角速度センサにおいて、各々の梁部の中央部に設けられたおもり部を備えるようにしてもよい。また、各々の脚部を構成する２つの脚部材の間の電気軸方向に直線的に配設された中間脚部材を備えるようにしてもよく。加えて、各々の脚部を構成する２つの脚部材の間の機械軸方向に直線的に配設されて２つの脚部材を連結する連結脚部材を備えるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明では、まず梁部は、平面内で互いに１２０°の角度をなす機械軸の方向に沿って配置され、また、脚部は、平面内で互いに１２０°の角度をなす電気軸の方向に沿って配置され、各々の脚部は、電気軸に線対称に配置されて電気軸の側より平面内で凸に曲がる２つの脚部材から構成され、脚部材により、基部と各々の梁部の接続部とが連結されているようにした。この結果、本発明によれば、エッチング残渣の非対称性が解消されて高い対称性が得られた状態で、Ｚ軸を法線とする同一の平面内で各々１２０°異なる方向に延在する３つの脚部を備えた水晶振動子及び角速度センサが形成できるという優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態における振動子の構成例を示す平面図である。図１に示す水晶振動子は、まず、中央部（基部）１０１より、互いに１２０°の角度をなす水晶の電気軸（Ｘ軸）に沿って各々延在する３つの脚部１２１，１２２，１２３を備える。また、図１に示す水晶振動子は、各脚部の外側部分に架設され、互いに１２０°の角度をなす水晶の機械軸（Ｙ軸）に沿って各々延在する３つの梁部１３１，１３２，１３３とを備える。これらは、水晶の光軸（Ｚ軸）を法線とする平面内に配置されている。
【００１９】
また、脚部１２１は、これが延在しているＸ軸に線対称に配置されてＸ軸の側より上記平面内で凸に曲がる２つの脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂから構成されている。同様に、脚部１２２は、これが延在しているＸ軸に線対称に配置されてＸ軸の側より上記平面内で凸に曲がる２つの脚部材１２２ａ及び脚部材１２２ｂから構成され、脚部１２３は、これが延在しているＸ軸に線対称に配置されてＸ軸の側より上記平面内で凸に曲がる２つの脚部材１２３ａ及び脚部材１２３ｂから構成されている。これらの脚部材により、基部１０１と各々の梁部の接続部とが連結されている。図１に例示する水晶振動子では、各脚部１２１，１２２，１２３が、略菱形とされている。また、図１に例示する水晶振動子では、支持接続部１４１，１４２，１４３を備え、所定のパッケージの内部に設けた台座などに、支持接続部１４１，１４２，１４３を固定することができる。
【００２０】
図１に示す水晶振動子は、例えば板厚０．３５８ｍｍの水晶板（Ｚ板）を、例えば緩衝フッ酸水溶液や、フッ化アンモニウム水溶液を用いたウエットエッチングにより加工することで形成可能である。また、各脚部や各梁部は、幅０．２〜０．７ｍｍ程度に形成されていればよい。また、各梁部は、長さ５〜６ｍｍ程度に形成されていればよい。図１に示す水晶振動子では、３つの梁部はすべて同一の長さに形成されている。また、各脚部は、基部１０１と各々の梁部の接続部との間隔が１．５〜２ｍｍ程度に形成されていればよい。なお、各脚部材は、すべて同一の長さに形成されている。
【００２１】
ここで、上述したウエットエッチングでは、エッチング速度が結晶面により異なり、エッチングにより加工される脚部や梁部などの側部にエッチング残渣が発生しやすい。しかしながら、図１に示す水晶振動子では、梁部がＹ軸に沿うようにし、脚部や梁部などの各要素の結晶の方位が３回対称となるように構成したので、エッチング残渣が各要素において対称に発生する。この結果、図１に示す水晶振動子によれば、梁部１３１，１３２，１３３における重心のずれなどが発生せず、また、梁部１３１，１３２，１３３を励振したときに、励振モードと他のモードとの結合が発生せず、振動漏れが発生しにくい状態となる。
【００２２】
図１に示す水晶振動子は、図２に示す振動モードを有している。図１に示す水晶振動子によれば、図２（ａ）に示す特に安定な振動モードにより、各梁部１３１，１３２，１３３を、図２の紙面の平面方向に放射状に屈曲振動させるように駆動（励振）することで、図２（ｂ），（ｃ），（ｄ）に示す角速度Ωｚ，Ωｙ，Ωｘの変位速度成分を同時に得ることができる。
【００２３】
図２（ｂ），図２（ｃ），図２（ｄ）は、図１に示す水晶振動子を駆動させたときに、角速度Ωが印加された場合に生じるコリオリ力（Ｆ＝−２ｍΩ×ｖ）から誘起され得る、各部分の変位の方向を示している。本水晶振動子が駆動している状態で回転角速度Ωｚ，Ωｘ，Ωｙが印加されると、コリオリ力（Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３）が各々図２（ｂ），図２（ｃ），図２（ｄ）に示すように各梁部に生じ、各々の振動変位成分が誘起される。例えば、Ｚ軸周りのコリオリ力は、Ｆ１＝２ｍΩｚ×ｖ１，Ｆ２＝２ｍΩｚ×ｖ２，Ｆ３＝２ｍΩｚ×ｖ３となる。また、Ｘ軸周りのコリオリ力は、Ｆ１＝０，Ｆ２＝２ｍΩｘ×ｖ２×cos３０°，Ｆ３＝２ｍΩｘ×ｖ３×cos３０°となる。また、Ｙ軸周りのコリオリ力は、Ｆ１＝２ｍΩｙ×ｖ１，Ｆ２＝２ｍΩｙ×ｖ２×cos６０°，Ｆ３＝２ｍΩｙ×ｖ３×cos６０°となる。
【００２４】
図１に示す水晶振動子は、３回対称性を有する結晶である水晶から構成されているので、基部１０１より互いに１２０°の角度をなすＸ軸に沿って各々延在する３つの脚部１２１，１２２，１２３は、振動特性が等しくなる。従って、単相駆動による励振が可能となる。また、３回の対称形状により、各脚の検出振動特性が等しくなるため、検出時の信号処理が容易となる。なお、各振動モードの振動周波数はほぼ等しい状態とした方がよく、モードを近接させるためには、水晶振動子の厚さ，梁及び脚の幅や長さを適宜設計すればよい。
【００２５】
次に、上述した励振と検出を行うための電極配置例について説明する。図３は、図１に示した水晶振動子を用いて角速度センサを構成するための電極の配置を示した斜視図（ａ），（ｂ）及び断面図（ｃ），（ｄ）である。図３（ｂ）は、図３（ａ）の反対側の面を示している。また、図３（ｃ）は梁部の断面を示し、図３（ｄ）は、脚部材の断面を示している。
【００２６】
図３に示すように、梁部１３１に励振電極３１１，３１２，３１３，３１４が配設され、梁部１３２に励振電極３２１，３２２，３２３，３２４が配設され、梁部１３３に励振電極３３１，３３２，３３３，３３４が配設されている。例えば、励振電極３１２，３１３は、脚部及び梁部が配置されている平面に直交する梁部１３１の側面に設けられている。また、励振電極３１１，３１４は、上記平面に平行な梁部１３１の上面及び裏面に設けられている。
【００２７】
例えば、図３（ｃ）に示すように、上面及び裏面の励振電極３１１と両側面の励振電極３１２との間，及び上面及び裏面の励振電極３１４と両側面の励振電極３１３との間に交流電圧（励振信号）ＶDを印加することで、梁部１３１を、上記平面（Ｘ）方向に屈曲振動させることができる。同様に、上面及び裏面の励振電極３２１，３２３と励振電極３２２，３２４との間，及び上面及び裏面の励振電極３２４と両側面の励振電極３２３との間に励振信号ＶDを印加することで、梁部１３２を屈曲振動させることができる。また、上面及び裏面の励振電極３３１と両側面の励振電極３３２との間，及び上面及び裏面の励振電極３３４と両側面の励振電極３３３との間に励振信号ＶDを印加することで、梁部１３３を屈曲振動させることができる。これら、各梁部に屈曲振動を起こさせることで、前述したように、図３に示す角速度センサを励振したことになる。
【００２８】
また、脚部材１２１ａに検出電極３４１ａ，３０１が配設され、脚部材１２１ｂに検出電極３４１ｂ，３０１が配設され、脚部材１２２ａに検出電極３５１ａ，３０１が配設され、脚部材１２２ｂに検出電極３５１ｂ，３０１が配設され、脚部材１２３ａに検出電極３６１ａ，３０１が配設され、脚部材１２３ｂに検出電極３６１ｂ，３０１が配設されている。なお、検出電極３０１は、各脚部材に共通とされている。また、電極部３４２ａ，３４２ｂ、電極部３５２ａ，３５２ｂ、及び電極部３５２ａ，３５２ｂは、検出電極３４１ａ，３４１ｂ、検出電極３５１ａ，３５１ｂ、及び検出電極３６１ａ，３６１ｂに対して、重量のバランスをとるために配置されたものである。
【００２９】
このように構成された検出電極において、検出電極３０１の電位を基準とし、これ以外の各検出電極に生じる電圧が検出される。各検出電極３４１ａ，３４１ｂ、検出電極３５１ａ，３５１ｂ、及び検出電極３６１ａ，３６１ｂは、各脚部及び各梁部が配置されている平面に平行な上面に設けられている。
【００３０】
次に、上述した各検出電極により、励振状態とした図３に示す角速度センサによる角速度の検出について説明する。各検出電極は、図４に示すように検出回路に接続すればよい。例えば、検出電極３４１ａ，３４１ｂは、差動増幅回路４０１の２つの入力端に接続される。差動増幅回路４０１は、例えばオペアンプを含み、このオペアンプの非反転入力端及び反転入力端に、検出電極３４１ａ及び検出電極３４１ｂが、各々接続される。差動増幅回路４０１により、検出電極３４１ａと検出電極３４１ｂとの出力差が検出される。
【００３１】
差動増幅回路４０１から出力された信号は、同期検波回路４１１の一方の入力端に入力される。同期検波回路４１１の他方の入力端には、位相回路４２１が接続される。同期検波回路４１１は、水晶振動子を励振するために発振回路４３０から出力される励振信号に同期して、差動増幅回路４０１の出力を検波する。なお、図４において、便宜上、発振回路４３０を複数に示しているが、これらはすべて同一である。さらに、同期検波回路４１１から出力された信号は、整流増幅回路４４１により整流されて増幅される。
【００３２】
また、検出電極３５１ａ，３５１ｂは、差動増幅回路４０２の２つの入力端に接続され、検出電極３６１ａ，３６１ｂは、差動増幅回路４０３の２つの入力端に接続される。差動増幅回路４０２から出力された信号と差動増幅回路４０３から出力された信号とは、差動増幅回路４０４に入力し、差動増幅回路４０４から出力された信号は、同期検波回路４１２の一方の入力端に入力される。同期検波回路４１２他方の入力端には、位相回路４２２が接続される。同期検波回路４１２は、水晶振動子を励振するために発振回路４３０から出力される励振信号に同期して、差動増幅回路４０４の出力を検波する。さらに、同期検波回路４１２から出力された信号は、整流増幅回路４４２により整流されて増幅される。
【００３３】
また、検出電極３４１ａ，３４１ｂ，３５１ａ，３５１ｂ，３６１ａ，３６１ｂは、加算器４０５の入力単に接続され、加算器４０５から出力された信号は、同期検波回路４１３の一方の入力端に入力される。同期検波回路４１３の他方の入力端には、位相回路４２３が接続される。同期検波回路４１３は、水晶振動子を励振するために発振回路４３０から出力される励振信号に同期して、加算器４０５の出力を検波する。さらに、同期検波回路４１３から出力された信号は、整流増幅回路４４３により整流されて増幅される。
【００３４】
上述した検出回路により、まず、整流増幅回路４４１から出力された信号により、図２（ｃ）に示す角速度Ωｘが得られる。また、整流増幅回路４４２から出力された信号により、図２（ｄ）に示す角速度Ωｙが得られる。また、整流増幅回路４４３から出力された信号により、図２（ｂ）に示す角速度Ωｚが得られる。
【００３５】
ところで、図１に例示した水晶振動子では、各脚部が、略菱形とされた２つの脚部材から構成されているようにしたが、これに限るものではない。例えば、図５（ａ）に省略して示すように、互いに１２０°の角度をなすＹ軸の方向に各々延在する３つの梁部１３１，１３２，１３３に囲われた領域に配置される各脚部５２１，５２２，５２３が、矩形とされた２つの脚部材から構成されていてもよい。ただし、各々の脚部において、これが延在しているＸ軸に対し、２つの脚部材が線対称な関係に形成されている必要がある。また、図５（ｂ）に省略して示すように、楕円形とされた２つの脚部材から、各脚部５２１，５２２，５２３が構成されていてもよい。また、図５（ｃ）に示すように、外側に凸とされた曲線により、各梁部５３１，５３２，５３３が構成されていてもよい。
【００３６】
ここで、脚部材（脚部）がＸ軸に沿っていると、ＸＹ平面に垂直な方向の振動の検出を可能とする電極構成が容易ではない。また、一部が振動するようなスプリアスモードとの分離が回避しにくくなる。これに対し、上述したように各脚部の各脚部材を構成することで、検出電極が設けられる脚部においては、いずれもＸ軸に沿うことがないため、上記の問題が回避できる。
【００３７】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図６は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。図６に示す振動子は、まず、梁部１３１に、貫通孔１３１ａ，１３１ｂを設け、これら貫通孔形成部の外側側面及び内側側面に、励振電極６１１，６１２，及び励振電極６１３，６１４を備えるようにした。図６（ｃ）は、励振電極６１１，６１２が設けられている貫通孔１３１ａの部分における断面図である。
【００３８】
同様に、梁部１３２に、貫通孔１３２ａ，１３２ｂを設け、これら貫通孔形成部の外側側面及び内側側面に、励振電極６２１，６２２，及び励振電極６２３，６２４を備える。また、梁部１３３に、貫通孔１３３ａ，１３３ｂを設け、これら貫通孔形成部の外側側面及び内側側面に、励振電極６３１，６３２，及び励振電極６３３，６３４を備える。図示するように、各梁部の両端部の領域に各々貫通孔を備える。なお、他の構成は、図３と同様である。
【００３９】
このように、開口部を設けて励振電極を配設することで、対向配置された励振電極により、励振のための電界を電気軸に対して平行に与えることができる。また、励振電極を設けた全域に電界を無駄なく与えることができ、電界効率が高くなる。この結果、Ｒ１（直列抵抗）が減少し、Ｑ値が大きくなるという効果が得られるようになる。また、実効的な電極間距離が短縮されるようになり、駆動インピーダンスを低下させることが可能となり、駆動回路のゲインを下げることが可能となる。また、開口部を備えることで、梁部根元の剛性が小さくなり、より容易に振動するようになり、励振信号の周波数を低下させることが可能となる。また、ひずみの中心部に開口部が設けられるので、共振周波数を低下させることが可能となり、感度の上昇が見込める。
【００４０】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図７は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。図７に示す振動子は、梁部１３１の中央部にも、励振電極７１１，７１２を設けるようにした。励振電極７１１は、ＸＹ平面に平行な梁部１３１の上面及び裏面に設けられている。また、これに直交する梁部１３１の両方の側面に、励振電極７１２が設けられている。なお、図７（ｃ）は、梁部１３１の中央部の断面を示している。
【００４１】
同様に、梁部１３２の中央部のＸＹ平面に平行な上面及び裏面に励振電極７２１が配設され、これに直交する梁部１３２の中央部の両側面に、励振電極７２２が配設されている。また、梁部１３３の中央部のＸＹ平面に平行な上面及び裏面に励振電極７３１が配設され、これに直交する梁部１３３の中央部の両側面に、励振電極７３２が配設されている。なお、他の構成は、図６と同様である。図７に示すように、１つの梁部に３つの励振電極を設けることで、励振振動の電気機械結合係数ｋを向上させることができる。例えば、１つの両部に２つの励振電極を設ける場合の電気機械結合係数ｋが０．０５３であるのに対し、図６に示す振動子を用いた場合に比較して、電気機械結合係数ｋが０．０６０と向上する。
【００４２】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図８は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。図８に示す振動子は、脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂにも、各々貫通孔８２１ａ及び貫通孔８２１ｂを備え、この領域において、脚部材の側面及び貫通孔の内側側面に検出電極を備える。同様に、脚部材１２２ａ及び脚部材１２２ｂに貫通孔８２２ａ及び貫通孔８２２ｂが設けられ、脚部材１２３ａ及び脚部材１２３ｂに貫通孔８２３ａ及び貫通孔８２３ｂが設けられている。
【００４３】
このように構成された各脚部において、例えば、図８（ｃ）の断面図に示すように、脚部材１２３ａでは、これが延在する方向に平行な貫通孔８２３ａの内部側面に、検出電極８０１が設けられている。また、貫通孔８２３ａが形成されている領域の脚部材１２３ａの外側側面に、検出電極８６１ａ及び検出電極８６１ａが設けられている。ここで、検出電極８６１ａ及び検出電極８６１ａは、一方の面の側の半分の領域に形成されている。なお、他の脚部１２１ａ、脚部１２１ｂ、脚部１２２ａ、脚部１２２ｂ、及び脚部１２３ｂも同様であり、検出電極８４１ａ，８４２ａ、検出電極８４１ｂ，８４２ｂ、検出電極８５１ａ，８５２ａ、検出電極８５１ｂ，８５２ｂ、及び検出電極８６１ｂ，８６２ｂを備え、また、これらすべてにおいて、検出電極８０１は共通とされている。他の構成は、図６と同様である。
【００４４】
このように構成された図８に示す振動子によれば、脚部材に貫通孔を設けるようにしたので、まず、脚部材がより容易に変形するようになり、角速度の発生によるコリオリ力で脚部における変形がより大きくなる。この結果、図８に示す振動子による角速度センサによれば、角速度の検出感度が大きくなる。また、貫通孔を設けたことにより、脚部材の側部のより広い領域に検出電極が形成できるので、角速度の検出感度が大きくなる。
【００４５】
ここで、貫通孔が形成されている方向に脚部が変形した場合（Ｘ軸，Ｙ軸周りに角速度が発生した場合）と、これに垂直な平面方向に変形した場合（Ｚ軸周りに角速度が発生した場合）とで、発生する電界の向きが異なる。このため、脚部材の外側側面の検出電極が側面の高さ方向全域に配置されていると、貫通孔が形成されている方向に脚部が変形した場合、発生する電荷が打ち消しあってしまい、角速度が検出できない。このため、検出電極８４１ａ，８４２ａ、検出電極８４１ｂ，８４２ｂ、検出電極８５１ａ，８５２ａ、検出電極８５１ｂ，８５２ｂ、検出電極８６１ａ，８６１ａ、及び検出電極８６１ｂ，８６２ｂは、一方の面の側の半分の領域に形成されている。なお、Ｚ軸周りの角速度を検出することに限っては、脚部材の外側側面の検出電極が側面の高さ方向全域に配置されていた方が、検出感度は大きくなる。
【００４６】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図９は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。図９に示す振動子は、脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂに、各々溝部９２１ａ及び溝部９２１ｂを備え、この領域において、脚部材の側面及び溝部の内側側面に検出電極を備える。同様に、脚部材１２２ａ及び脚部材１２２ｂに溝部９２２ａ及び溝部９２２ｂが設けられ、脚部材１２３ａ及び脚部材１２３ｂに溝部９２３ａ及び溝部９２３ｂが設けられている。各溝部は、各検出部材の延在する方向に延在して形成されている。
【００４７】
このように構成された各脚部において、例えば、図９（ｃ）の断面図に示すように、脚部材１２３ａでは、これが延在する方向に平行な溝部９２３ａの内面に、検出電極９０１が設けられている。また、溝部９２３ａが形成されている領域の脚部材１２３ａの外側側面に、検出電極９６１ａ及び検出電極９６１ａが設けられている。ここで、検出電極９６１ａ及び検出電極９６１ａは、一方の面の側の半分の領域に形成されている。これは、前述したように、発生する電荷の打ち消しあいを抑制するためである。なお、他の脚部１２１ａ、脚部１２１ｂ、脚部１２２ａ、脚部１２２ｂ、及び脚部１２３ｂも同様であり、検出電極９４１ａ，９４２ａ、検出電極９４１ｂ，９４２ｂ、検出電極９５１ａ，９５２ａ、検出電極９５１ｂ，９５２ｂ、及び検出電極９６１ｂ，９６２ｂを備え、また、これらすべてにおいて、検出電極９０１は共通とされている。他の構成は、図８と同様である。
【００４８】
このように構成された図９に示す振動子によれば、脚部材に溝部を設けるようにしたので、まず、脚部材がより容易に変形するようになり、角速度の発生によるコリオリ力で脚部における変形がより大きくなる。この結果、図９に示す振動子による角速度センサによれば、角速度の検出感度が大きくなる。また、溝部を設けたことにより、脚部材の側部のより広い領域に検出電極が形成できるので、角速度の検出感度が大きくなる。これらのことは、図８に示す振動子及び角速度センサと同様である。
【００４９】
また、図９に示した振動子及び角速度センサにおいて、図１０に示すように、両方の面側から溝部が形成されているようにしてもよい。図１０において、図１０（ａ）の斜視図は、図９（ｂ）の斜視図に対応し、この面の側にも、溝部１０２１ａ，１０２１ｂ、溝部１０２２ａ，１０２２ｂ、及び溝部１０２３ａ，１０２３ｂが形成されていてもよい。このように溝部を設けることで、図１０（ｂ）の断面図に示すように、溝部９２３ａ及び溝部１０２３ａが形成されている領域において、脚部材１２３ａの対称性が向上し、より安定した駆動振動及び検出振動が得られるようになる。
【００５０】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図１１は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図である。図１１に示す振動子は、図６に示す振動子に、新たに３つの貫通孔１１０１，貫通孔１１０２，及び貫通孔１１０３が形成されているようにしたものである。貫通孔１１０１，１１０２，１１０３は、梁部１３１，１３２，１３３と同じ３回対称の状態で、基部１０１に設けられている。また、図１１に示す角速度センサは、図１１には示していない側に設けられている電極に接続する配線が、貫通孔１１０１，１１０２，１１０３を経由し、図１１に示す面側に引き出されている。なお、他の構成は、図６に示す振動子及び角速度センサに同様である。
【００５１】
このように構成された図１１に示す振動子によれば、異なる脚部への振動の伝搬、及び支持接続部１４１，１４２，１４３に接続される支持部への振動の伝播が抑制されるようになる。この結果、支持固定による特性の変化が小さくなり、安定した支持が可能となり、０点ドリフトや感度ドリフトなどの温度特性が小さくなり、他軸感度の影響が抑制できるようになる。
【００５２】
次に、本発明の実施の形態における振動子及び角速度センサについて説明する。図１２は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図である。図１２に示す振動子は、３つの梁部１３１，梁部１３２，及び梁部１３３の中央部に、各々同じ質量のおもり部１２０１，おもり部１２０２，及びおもり部１２０３を備えるようにしたものである。なお、他の構成は、図６に示す振動子及び角速度センサと同様である。図１２に示す振動子では、例えば梁部１３１の中央部の幅を他の領域より広くすることで、おもり部１２０１が構成されているようにした。同様に、梁部１３２の中央部の幅を他の領域より広くすることで、おもり部１２０２が構成され、梁部１３３の中央部の幅を他の領域より広くすることで、おもり部１２０３が構成されている。
【００５３】
これらのように、励振部となる梁部におもりを設けることで、回転しているときのコリオリ力が増大し、角速度検出感度が増大するようになる。前述したように、コリオリの力Ｆは、「Ｆ＝−２ｍΩ×ｖ」で示され、絶対値は質量に比例して大きくなる。このコリオリ力は、励振の速度成分の方向と回転角速度の回転軸とに直交する方向に加わる。ここで、図１２に示すように、励振振動の速度が最も大きい梁部の中央部が、他より大きい質量となっていれば、上記コリオリ力の式より、コリオリ力が増大する。
【００５４】
また、おもり部１２０１，１２０２，１２０３を備えることで、励振による梁部の振動の周波数が低下する。角速度の検出感度は、励振振動の周波数が小さい方が大きく、励振モードの周波数と各検出モードの周波数との差（検出モードとの離調度）が、励振モードの周波数に合致するように、脚部（脚部材）の幅，長さ，厚みを適宜設計することで、角速度の検出感度を大きくすることができる。また、おもり部の上面裏面あるいは側面に、さらに金属膜などを形成して質量を付加することで、おもり部の質量のバラツキを抑制するようにしてもよい。例えば、真空蒸着法，スパッタ法などにより金属膜を付着させた後、レーザ商社などによるトリミングによる調整を行えばよい。
【００５５】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図１３は、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ）、及び断面図（ｂ），（ｃ）である。図１３に示す振動子は、脚部１２１が、脚部材１２１ａ，脚部材１２１ｂ，及び脚部材（中間脚部材）１２１ｃから構成されている。脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂは、図３に示す振動子と同様に、脚部１２１が延在しているＸ軸に線対称に配置され、各々Ｘ軸の側より上記平面内で凸に曲がる形状に形成されている。このように構成された脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂの間を通るＸ軸上に配置されるように、脚部材１２１ｃが設けられている。
【００５６】
同様に、脚部１２２は、脚部材１２２ａ及び脚部材１２２ｂと、これらの間を通るＸ軸上に配置されるように設けられた脚部材（中間脚部材）１２２ｃから構成され、脚部１２３は、脚部材１２３ａ及び脚部材１２３ｂと、これらの間を通るＸ軸上に配置されるように設けられた脚部材（中間脚部材）１２３ｃから構成されている。また、図１３に示す角速度センサは、例えば、図１３（ｂ）に示すように、脚部材１２１ａの側部に、検出電極１３１１ａ，検出電極１３１２ａ，検出電極１３１３ａ，及び検出電極１３１４ａが設けられている。また、新たに設けられた脚部材１２１ｃの側部に、検出電極１３１１ｃ及び検出電極１３１２ｃが設けられている。
【００５７】
これは、他の脚部材においても同様であり、脚部材１２１ｂは、この一方の側部に、検出電極１３１３ｂ，検出電極１３１４ｂを備え、これらに対向するように他方の側部にも図示しない２つの検出電極を備える。また、脚部材１２２ａは、この一方の側部に、検出電極１３２１ａ，検出電極１３２２ａを備え、これらに対向するように他方の側部にも図示しない２つの検出電極を備える。また、脚部材１２２ｂは、この一方の側部に、検出電極１３２１ｂ，検出電極１３２１ｂを備え、これらに対向するように他方の側部にも図示しない２つの検出電極を備える。また、脚部材１２２ｃの一方の側部に、検出電極１３２１ｃが設けられ、他方の側部にも図示しない検出電極が設けられている。
【００５８】
また、脚部材１２３ａは、この一方の側部に、検出電極１３３３ａ，検出電極１３３４ａを備え、これらに対向するように他方の側部にも図示しない２つの検出電極を備える。また、脚部材１２３ｂは、この一方の側部に、検出電極１３３１ｂ，検出電極１３３１ｂを備え、これらに対向するように他方の側部にも図示しない２つの検出電極を備える。また、脚部材１２３ｃは、この一方の側部に検出電極１３３２ｃが設けられ、他方の側部にも図示しない検出電極が設けられている。なお、他の構成は、図６と同様である。
【００５９】
上述した図１３に示す水晶振動子は、２つの脚部材で構成されている脚部の、Ｘ軸方向の両端部を連結する新たな脚部材を設けるようにしたものである。このように加えた新たな脚部材により、図１３に示す角速度センサでは、水晶振動子の平面（ＸＹ面）内の振動を検出する。これは、Ｚ軸周りの回転角速度に応じた振動の検出である。図１３に示す角速度センサでは、例えば、脚部材１２１ｃにおいて、ＸＹ面内のすべりひずみをＹ軸方向の電界に変換して角速度の検出を行う。このようにすることで、ＸＹ面に垂直方向（Ｚ方向）の振動と、Ｘ方向及びＹ方向の振動とが、各々異なる脚部材で検出されるようになり、回転軸の識別がより容易に行えるようになる。また、図１３に示す角速度センサにおいても、検出電極の面積を大きくすることができるので、検出感度の向上が見込める。
【００６０】
なお、図１４の斜視図に示す水晶振動子のように、２つの脚部材１２１ａ及び１２１ｂの間の基部１０１の側に接続されてＸ軸方向に延在する新たな脚部材１４２１ｃを備えるようにしてもよい。同様に、図１４に示す水晶振動子は、脚部材１２２ａ及び１２２ｂの間の基部１０１の側に接続されてＸ軸方向に延在する脚部材１４２２ｃを備え、脚部材１２３ａ及び１２３ｂの間の基部１０１の側に接続されてＸ軸方向に延在する脚部材１４２３ｃを備える。これらの脚部材１４２１ｃ，１４２２ｃ，１４２３ｃは、梁部側が接続されていない自由端とされている。なお、他の構成は、図１３に示す水晶振動子と同様であり、図１３に示す角速度センサと同様に電極を配置して用いればよい。このように構成された図１４に示す水晶振動子によれば、図１３に示す水晶振動子に比較して、基部１０１にに伝わる応力が減少し、洩れ振動を改善できるようになる。
【００６１】
次に、本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサについて説明する。図１５は、本発明の実施の形態における他の振動子（角速度センサ）の構成例を示す斜視図である。図１５に示す振動子は、脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂの間に架橋された脚部材（連結脚部材）１５２１ｃを備えるようにしたものである。脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂは、図３に示す振動子と同様に、各Ｘ軸に線対称に配置され、各々Ｘ軸の側より上記平面内で凸に曲がる形状に形成されている。このように構成された脚部材１２１ａ及び脚部材１２１ｂの屈曲部の間に架橋し、Ｙ軸に沿うように脚部材１５２１ｃが形成されている。
【００６２】
同様に、脚部材１２２ａ及び脚部材１２２ｂの間に架橋された脚部材（連結脚部材）１５２２ｃと、脚部材１２３ａ及び脚部材１２３ｂの間に架橋された脚部材（連結脚部材）１５２３ｃとを備える。また、図１５に示す角速度センサは、新たに設けらた脚部材１５２１ｃの２つの端部に貫通孔を設け、これらの貫通孔の内側側面及びこれに対向する脚部材の外側側面に、各々検出電極を備えている。同様に、脚部材１５２２ｃは、この２つの端部に貫通孔を設け、これらの貫通孔の内側側面及びこれに対向する脚部材の外側側面に、各々検出電極を備えている。また、脚部材１５２３ｃも、この２つの端部に貫通孔を設け、これらの貫通孔の内側側面及びこれに対向する脚部材の外側側面に、各々検出電極を備えている。なお、図１５に灰色に示す部分が各電極であり、他の構成は図１３に示した角速度センサと同様である。
【００６３】
上述した図１５に示す水晶振動子は、２つの脚部材で構成されている脚部の屈曲部の間を、Ｙ軸方向に連結する新たな脚部材を設けるようにしたものである。このように加えた新たな脚部材により、図１５に示す角速度センサでは、水晶振動子の平面方向に発生する振動を検出する。図１５に示す水晶振動子では、新たに加えた脚部材１５２１ｃ，１５２２ｃ，１５２３ｃが、端部に貫通孔を備えてここに検出電極を配置し、Ｙ軸に沿って配置されているので、効率よくＺ軸周りの回転角速度が検出できるようになる。
【００６４】
ところで、図８に例示した水晶振動子及び角速度センサは、１組の脚部を構成する２つの脚部材の両方に貫通孔を設けるようにしたが、これに限るものではなく、例えば、図１６の斜視図に示すように、１組の脚部を構成する２つの脚部材の一方に貫通孔を設けるようにしてもよい。図１６に示す水晶振動子では、脚部材１２１ｂに貫通孔８２１ｂを設け、脚部材１２２ｂに貫通孔８２２ｂを設け、脚部材１２３ｂに貫通孔８２３ｂを設けるようにした。
【００６５】
また、例えば、脚部材１２１ｂにおいては、図１６（ｂ）の断面図に示すように、これが延在する方向に平行な貫通孔８２１ｂの内部側面に、検出電極１６０１を備え、また、貫通孔８２１ｂが形成されている領域の脚部材１２１ｂの外側側面に、検出電極１６６１ａ及び検出電極１６６１ａを備える。また、図１６（ｃ）の断面図に示すように、脚部材１２１ａの両側面に、検出電極１６６１ａ，検出電極１６６２ａ，検出電極１６６３ａ，及び検出電極１６６３ａを備える。なお、図１６には示していないが、他の脚部材においても同様に検出電極を備え、各梁部においては、図８に示した角速度センサと同様に
励振電極を備える。
【００６６】
これらのように検出電極を設けることで、脚部材１２１ａ，１２２ａ，１２３ａにおいては、Ｘ軸周り及びＹ軸周りの角速度を検出し、脚部材１２１ｂ，１２２ｂ，１２３ｂにおいては、Ｚ軸周りの角速度を検出する角速度センサとすることができる。このように、図１６に示すように構成することで、ＸＹ面の方向の振動と、これに垂直なＺ方向の振動とを、異なる脚部材と異なる検出電極とにより検出が行えるので、各々の検出脚に最適な形状の検出電極を設けることができる。また、ＸＹ面の方向の振動と、これに垂直なＺ方向の振動とを異なる脚部材で検出するようにしたので、検出回路の構成をより簡略にすることが可能となる。
【００６７】
なお、上述では、１つの振動子を用いてＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の３つの軸周りの角速度を検出するようにしたが、これに限るものではない。例えば、Ｘ軸とＹ軸の２つの軸周りの角速度を検出する角速度センサとして用いてもよく、Ｘ軸とＺ軸の２つの軸周りの角速度を検出する角速度センサとして用いてもよく、また、Ｘ軸周りの角速度のみを検出する角速度センサとして用いるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態における振動子の構成例を示す平面図である。
【図２】図１に示す水晶振動子の振動モードを説明するための平面図である。
【図３】図１に示した水晶振動子を用いて角速度センサを構成するための電極の配置を示した斜視図（ａ），（ｂ）及び断面図（ｃ），（ｄ）である。
【図４】図３に示した各検出電極と検出回路との接続関係を示す概略的な回路図である。
【図５】本発明の実施の形態における他の振動子の構成例を示す平面図である。
【図６】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。
【図７】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。
【図８】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。
【図９】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ），（ｂ）、及び断面図（ｃ）である。
【図１０】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ）、及び断面図（ｂ）である。
【図１１】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ）、及び断面図（ｂ），（ｃ）である。
【図１４】本発明の実施の形態における他の振動子の構成例を示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施の形態における他の振動子及び角速度センサの構成例を示す斜視図（ａ）、及び断面図（ｂ），（ｃ）である。
【符号の説明】
【００６９】
１０１…中央部（基部）、１２１，１２２，１２３…脚部、１２１ａ，１２１ｂ，１２２ａ，１２２ｂ，１２３ａ，１２３ｂ…脚部材、１３１，１３２，１３３…梁部。
【図１】
0004777806.tif 000002
【図２】
0004777806.tif 000003
【図３】
0004777806.tif 000004
【図４】
0004777806.tif 000005
【図５】
0004777806.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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