(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱源ランプと、この熱源ランプを包囲すると共に、一端に有機溶剤を含む被加熱流体の流入口を有し、他端に被加熱流体の流出口を有する流路管と、を具備し、有機溶剤の蒸気を生成する流体加熱装置であって、
上記流路管は、螺旋状の管にて形成されると共に、少なくとも上記熱源ランプと対向する面に輻射光吸収塗料が塗布され、
上記熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲され、上記筒状容器中にはガス供給部から不活性ガスを供給してなり、上記筒状容器の外側の上記流出口側付近に、上記流路管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項２】
請求項１記載の流体加熱装置において、
上記筒状容器の両開口端部は、それぞれ断熱材を固定した端部材によって閉塞されており、上記流路管の一端は、上記筒状容器の一方の上記端部材及び上記断熱材を貫通して上記流入口を形成し、上記流路管の他端は、上記筒状容器の他方の上記端部材及び上記断熱材を貫通して上記流出口を形成してなる、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の流体加熱装置において、
上記流路管は、上記熱源ランプの同心円上において接触する螺旋状の管にて形成されている、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項４】
熱源ランプと、この熱源ランプを包囲すると共に、一端に有機溶剤を含む被加熱流体の流入口を有し、他端に被加熱流体の流出口を有する流路管と、を具備し、有機溶剤の蒸気を生成する流体加熱装置であって、
上記流路管は、上記熱源ランプの同心円上に接触して配列された複数の直状管群にて形成されると共に、少なくとも上記熱源ランプと対向する面に輻射光吸収塗料が塗布され、
上記熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲され、上記筒状容器中にはガス供給部から不活性ガスを供給してなり、上記筒状容器の外側の上記流出口側付近に、上記流路管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項５】
請求項４記載の流体加熱装置において、
上記筒状容器の内壁には断熱材が固定され、上記流出口は上記筒状容器の内部に配置されており、上記筒状容器の内壁及び上記断熱材を貫通して上記流入口に接続される管路に、温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の流体加熱装置において、
上記被加熱流体は、上記流路管の流入口に接続された混合流体生成手段によって生成される有機溶剤と不活性ガスの混合流体である、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の流体加熱装置において、
上記流路管を耐薬品性の合成樹脂で形成する、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項８】
請求項７記載の流体加熱装置において、
上記流路管の表面を被覆する伝熱性金属部材を更に具備すると共に、この伝熱性金属部材上に上記輻射光吸収塗料が塗布される、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載の流体加熱装置において、
上記筒状容器の内壁面に配設される光反射部材を更に具備する、ことを特徴とする流体加熱装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載の流体加熱装置において、
上記熱源ランプの発熱量を調整する電流調整手段と、
上記温度検出手段によって検出された温度に基づいて上記電流調整手段に制御信号を伝達して上記流体の温度を制御する制御手段と、を更に具備することを特徴とする流体加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体加熱装置に関するもので、更に詳細には、例えば光エネルギを熱エネルギに変換して被加熱流体を加熱する流体加熱装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体ウエハ等の被処理体に処理流体を接触させて処理を施す方法として、例えば、処理槽内に貯留（供給）された薬液を含む所定温度に設定された処理流体例えばフッ化水素（フッ酸）の希釈液（ＤＨＦ）やリンス液等に浸漬して処理する処理方法や、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）と窒素ガス（Ｎ2ガス）の混合流体の蒸気を被処理体に接触させるＩＰＡ乾燥処理方法が知られている。
【０００３】
また、処理流体等の流体を加熱する手段の一つとして、光エネルギを熱源として直接流体を加熱する技術が知られている。この技術は、例えば石英製の透明筒内に熱源ランプを配置し、透明筒を囲繞する筒状容器と透明筒との間に形成された空間に流体入口と流体出口を設けると共に、内側空間内にこの内側空間のほぼ全域に分散された内側フィンを具備し、熱源ランプの放射熱（輻射熱）により直接流体を加熱する、いわゆる直接加熱方式である（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−２１０５７７号公報（特許請求の範囲、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のこの種の直接加熱方式のものにおいては、熱源ランプ付近と熱源ランプから離れた部位を流れる被加熱流体との間に温度差が生じ、均一な加熱ができないという問題がある。また、ＩＰＡのような有機溶剤を加熱する場合は、加熱温度に十分な注意が必要となる。また、直接加熱方式のものは、加熱源である熱源ランプは石英製の透明筒内に配置されており、流体が流れる部分が石英にて構成されているため、被加熱流体がフッ酸であると、フッ酸によって石英が溶解される虞があるので、流体と接触する部分に石英を使用することができないという問題があった。
【０００５】
また、特開平９−２１０５７７号公報に記載のものは、流体の温度むらを抑制するために、内側空間のほぼ全域に分散された内側フィンを流体の流れ方向に沿って設ける構造であるため、構造が複雑となり、しかも、フィンの先端、後端において流体の流れに変化が生じて、加熱の均一性が損なわれる虞がある。
【０００６】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、被加熱流体の種類や性質に関係なく、加熱源の光エネルギを効率よく熱エネルギに変換すると共に、間接的に被加熱流体に伝熱して流体の加熱効率の向上を図れるようにした流体加熱装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１記載の流体加熱装置は、熱源ランプと、この熱源ランプを包囲すると共に、一端に有機溶剤を含む被加熱流体の流入口を有し、他端に被加熱流体の流出口を有する流路管と、を具備し、有機溶剤の蒸気を生成する流体加熱装置であって、  上記流路管は、螺旋状の管にて形成されると共に、少なくとも上記熱源ランプと対向する面に輻射光吸収塗料が塗布され、  上記熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲され、上記筒状容器中にはガス供給部から不活性ガスを供給してなり、上記筒状容器の外側の上記流出口側付近に、上記流路管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする。
【０００８】
このように構成することにより、熱源ランプから放射（輻射）される光エネルギを輻射光吸収塗料が吸収し、吸収したエネルギが螺旋状の管にて形成される流路管内を流れる流体に伝熱されて流体を間接的に加熱することができる。また、熱源ランプから放射される光エネルギを螺旋状の管に均一に与えることができる。更に、熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲されることにより、熱源ランプから放射される光エネルギが外部へ漏れるのを防止することができると共に、熱源ランプ及び流路管が外部雰囲気によって受ける影響を抑制することができる。また、筒状容器中にガス供給部から不活性ガスを供給することにより、筒状容器内を不活性ガスの雰囲気に置換することができると共に、外部雰囲気が筒状容器内へ侵入するのを防止することができる。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の流体加熱装置において、上記筒状容器の両開口端部は、それぞれ断熱材を固定した端部材によって閉塞されており、上記流路管の一端は、上記筒状容器の一方の上記端部材及び上記断熱材を貫通して上記流入口を形成し、上記流路管の他端は、上記筒状容器の他方の上記端部材及び上記断熱材を貫通して上記流出口を形成してなる、ことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の流体加熱装置において、上記流路管は、上記熱源ランプの同心円上において接触する螺旋状の管にて形成されている、ことを特徴とする。
【００１１】
このように構成することにより、熱源ランプから放射される光エネルギを螺旋状の管に均一に与えることができる。
【００１２】
また、請求項４記載の流体加熱装置は、熱源ランプと、この熱源ランプを包囲すると共に、一端に有機溶剤を含む被加熱流体の流入口を有し、他端に被加熱流体の流出口を有する流路管と、を具備し、有機溶剤の蒸気を生成する流体加熱装置であって、  上記流路管は、上記熱源ランプの同心円上に接触して配列された複数の直状管群にて形成されると共に、少なくとも上記熱源ランプと対向する面に輻射光吸収塗料が塗布され、  上記熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲され、上記筒状容器中にはガス供給部から不活性ガスを供給してなり、上記筒状容器の外側の上記流出口側付近に、上記流路管内を流れる流体の温度を検出する温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする。
【００１３】
このように構成することにより、熱源ランプから放射（輻射）される光エネルギを輻射光吸収塗料が吸収し、吸収したエネルギが複数の直状管群にて形成される流路管内を流れる流体に伝熱されて流体を間接的に加熱することができる。また、熱源ランプから放射される光エネルギを各直状管に均一に与えることができる。更に、熱源ランプと流路管は筒状容器によって包囲されることにより、熱源ランプから放射される光エネルギが外部へ漏れるのを防止することができると共に、熱源ランプ及び流路管が外部雰囲気によって受ける影響を抑制することができる。また、筒状容器中にガス供給部から不活性ガスを供給することにより、筒状容器内を不活性ガスの雰囲気に置換することができると共に、外部雰囲気が筒状容器内へ侵入するのを防止することができる。
【００１４】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の流体加熱装置において、上記筒状容器の内壁には断熱材が固定され、上記流出口は上記筒状容器の内部に配置されており、上記筒状容器の内壁及び上記断熱材を貫通して上記流出口に接続される管路に、温度検出手段を配設してなる、ことを特徴とする。
【００１５】
また、請求項６記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の流体加熱装置において、上記被加熱流体は、上記被加熱流体は、上記流路管の流入口に接続された混合流体生成手段によって生成される有機溶剤と不活性ガスの混合流体である、ことを特徴とする。
【００１６】
このように構成することにより、有機溶剤と不活性ガスの混合流体を被加熱流体として使用することができる。
【００１７】
また、請求項７記載の発明は、請求項１ないし６のいずれかに記載の流体加熱装置において、上記流路管を耐薬品性の合成樹脂で形成する、ことを特徴とする。
【００１８】
このように構成することにより、薬品を含む被加熱流体に対しても流路管は腐食することがない。
【００１９】
また、請求項８記載の発明は、請求項７記載の流体加熱装置において、上記流路管の表面を被覆する伝熱性金属部材を更に具備すると共に、この伝熱性金属部材上に上記輻射光吸収塗料が塗布される、ことを特徴とする。
【００２０】
このように構成することにより、輻射光吸収塗料が吸収した熱エネルギが伝熱性金属部材を介して合成樹脂で形成される流路管に均一に伝熱される。
【００２１】
また、請求項９記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載の流体加熱装置において、上記筒状容器の内壁面に配設される光反射部材を更に具備する、ことを特徴とする。
【００２２】
このように構成することにより、熱源ランプから放射される光エネルギの一部を光反射部材にて反射させて流路管に照射して伝熱することができる。
【００２３】
加えて、請求項１０記載の発明は、請求項１ないし９のいずれかに記載の流体加熱装置において、上記熱源ランプの発熱量を調整する電流調整手段と、上記温度検出手段によって検出された温度に基づいて上記電流調整手段に制御信号を伝達して上記流体の温度を制御する制御手段と、を更に具備することを特徴とする。
【００２４】
このように構成することにより、流路管内を流れる流体の温度を温度検出手段によって検出し、その検出温度を制御手段に伝達し、制御手段からの制御信号に基づいて電流調整手段を制御して熱源ランプの発熱量を調整すると共に、流体の加熱温度を調整することができる。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、上記のように構成されているので、以下のような優れた効果が得られる。
【００２６】
（１）請求項１，２，４，５記載の発明によれば、熱源ランプから放射（輻射）される光エネルギを輻射光吸収塗料が吸収し、吸収したエネルギが流路管内を流れる流体に伝熱されて流体を間接的に加熱することができるので、有機溶剤を含む被加熱流体を効率よく均一に加熱することができると共に、装置の寿命の増大を図ることができる。
【００２７】
また、熱源ランプから放射される光エネルギが外部へ漏れるのを防止することができると共に、熱源ランプ及び流路管が外部雰囲気によって受ける影響を抑制することができるので、光エネルギの有効利用が図れると共に、装置の寿命の増大及び信頼性の向上が図れる。
【００２８】
更に、筒状容器内を不活性ガスの雰囲気に置換することができると共に、外部雰囲気が筒状容器内へ侵入するのを防止することができるので、安全性の向上が図れる。
【００２９】
（２）請求項３記載の発明によれば、熱源ランプから放射される光エネルギを螺旋管に均一に与えることができるので、上記（１）に加えて、更に加熱効率の向上を図ることができる。
【００３０】
（３）請求項６記載の発明によれば、有機溶剤と不活性ガスの混合流体を被加熱流体として使用することができるので、上記（１），（２）に加えて、被加熱流体が混合流体であっても効率よく加熱することができる。
【００３１】
（４）請求項７記載の発明によれば、薬品を含む流体に対しても流路管は腐食することがないので、上記（１）〜（３）に加えて、更に装置の寿命の増大及び信頼性の向上が図れる。
【００３２】
（５）請求項８記載の発明によれば、輻射光吸収塗料が吸収した熱エネルギが伝熱性金属部材を介して合成樹脂で形成される流路管に均一に伝熱されるので、上記（１）〜（４）に加えて、更に加熱効率の向上が図れる。
【００３３】
（６）請求項９記載の発明によれば、熱源ランプから放射される光エネルギの一部を光反射部材にて反射させて流路管に照射して伝熱することができるので、上記（１）〜（５）に加えて、更に加熱効率の向上を図ることができる。
【００３４】
（７）請求項１０記載の発明によれば、流路管内を流れる流体の温度を温度検出手段によって検出し、その検出温度を制御手段に伝達し、制御手段からの制御信号に基づいて電流調整手段を制御して熱源ランプの発熱量を調整すると共に、流体の加熱温度を調整することができるので、上記（１）〜（６）に加えて、更に流体の温度制御を確実にすることができると共に、装置の信頼性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に、この発明の最良の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３６】
◎第１実施形態
図１は、この発明に係る流体加熱装置の第１実施形態を適用した洗浄処理システムの全体を示す概略断面図、図２は、第１実施形態の流体加熱装置の要部を示す断面図、図３は、図２のＩ−Ｉ線に沿う断面図（ａ）及び（ａ）のII部拡大断面図（ｂ）である。
【００３７】
上記洗浄処理システムは、洗浄液Ｌ｛例えば、フッ酸（ＨＦ）の希釈液（ＤＨＦ）やリンス液（純水）等｝を貯留する内槽１１と、この内槽１１の上部開口部の外側を包囲し、内槽１１からオーバーフローした洗浄液Ｌを受け止める外槽１２とからなる洗浄槽１０と、内槽１１の下部に配設される洗浄液供給ノズル１４と、この洗浄液供給ノズル１４と外槽１２の底部に設けられた排出口１２ａとを接続する循環管路１５に、排出口側から順に介設される循環ポンプ１６，フィルタ１７及びこの発明に係る流体加熱装置２０とを具備してなる。なお、洗浄槽１０の内槽１１内には複数枚例えば５０枚の半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）を保持するウエハボート１３が配設されている。また、内槽１１の底部には、ドレイン弁を介設したドレイン管（図示せず）が接続されている。なお、外槽１２に向かって図示しない洗浄液供給源から洗浄液Ｌが供給されるようになっている。
【００３８】
上記流体加熱装置２０は、図２及び図３に示すように、例えばステンレス製部材にて形成され、内壁に断熱材２１を固定した筒状容器２２と、この筒状容器２２内の中心軸に沿って配置される熱源ランプ例えばハロゲンランプ２３と、ハロゲンランプ２３を包囲すると共に、一端に洗浄液Ｌの流入口２４を有し、他端に洗浄液Ｌの流出口２５を有する流路管２６とを具備している。なお、筒状容器２２の両開口端部は、それぞれ断熱材２１を固定した端部材２２ａ，２２ｂによって閉塞されている。
【００３９】
この場合、流路管２６は、ハロゲンランプ２３の同心円上に配列されて互いに接触する複数の耐薬品性に富み、フッ酸によって溶解しない例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の合成樹脂製管部材にて形成される直状管２６ａ群にて形成されている。この場合、複数の直状管２６ａを、ハロゲンランプ２３からの輻射光を外側に漏らさない程度に互いに近接して配列してもよいが、加熱効率を高めるためには、互いに接触して配列する方が好ましい。また、流路管２６を形成する各直状管２６ａの表面における少なくともハロゲンランプ２３と対向する面（ここでは外周全面）に輻射光吸収塗料である黒色塗料２７が塗装等によって施されている。この黒色塗料２７は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、流路管２６を構成する直状管２６ａの外周面に被覆される伝熱性に富む材料例えばアルミニウムあるいはステンレス製の金属部材２８の表面に塗布されている。
【００４０】
このように、流路管２６を形成する各直状管２６ａの表面における少なくともハロゲンランプ２３と対向する面に輻射光吸収塗料である黒色塗料２７が施されることにより、ハロゲンランプ２３から放射された光エネルギが黒色塗料２７に吸収され、黒色塗料２７が吸収した熱エネルギが金属部材２８を介して流路管２６を構成する直状管２６ａに均一に伝熱される。
【００４１】
なお、流路管２６の流入口２４及び流出口２５は、それぞれ各直状管２６ａの端部に連通する中空ドーナツ状部材２９ａ，２９ｂによって形成されており、流入口２４側の中空ドーナツ状部材２９ａは、筒状容器２２の一方の端部側を貫挿する循環管路１５を介してフィルタ１７側に接続され、流出口２５側の中空ドーナツ状部材２９ｂは、筒状容器２２の他方の端部側を貫挿する循環管路１５を介して洗浄液供給ノズル１４に接続されている。
【００４２】
また、流路管２６の流出口２５側付近には、流体加熱装置２０によって加熱されて流出口２５から流出される洗浄液Ｌの温度を検出する温度検出手段である温度センサ３０が配設されている。また、ハロゲンランプ２３には、このハロゲンランプ２３の発熱量を調整する電流調整手段である電流調整器４０が接続されている。これら温度センサ３０と電流調整器４０はそれぞれ制御手段である中央演算処理装置５０（以下にＣＰＵ５０という）に電気的に接続されており、温度センサ３０によって検出された温度がＣＰＵ５０に伝達され、ＣＰＵ５０からの制御信号が電流調整器４０に伝達されて、洗浄液Ｌが所定の温度例えば８０℃に制御されるように構成されている。
【００４３】
なお、図２に二点鎖線で示すように、筒状容器２２の内壁面に光反射部材６０を配設してもよい。このように、筒状容器２２の内壁面に筒状の光反射部材６０を配設することにより、ハロゲンランプ２３から放射される光エネルギの一部を光反射部材６０にて反射させて流路管２６に照射して伝熱することができる。
【００４４】
上記のように構成されるこの発明に係る流体加熱装置２０によれば、循環ポンプ１６の駆動によって内槽１１からオーバーフローした洗浄液Ｌを循環管路１５に接続する流入口２４を介して流路管２６に流す一方、ハロゲンランプ２３から放射（輻射）される光エネルギが流路管２６を構成する複数の直状管２６ａの各黒色塗料２７に吸収され、黒色塗料２７が吸収した熱エネルギが金属部材２８を介して各直状管２６ａに均一に伝熱される。これにより、洗浄液Ｌは所定の処理温度（８０℃）に加熱され、洗浄液供給ノズル１４から内槽１１内のウエハＷに向かって供給（噴射）されて処理に供される。この際、流路管２６から流出する加熱された洗浄液Ｌの温度が温度センサ３０によって検出されてＣＰＵ５０に伝達され、ＣＰＵ５０からの制御信号が電流調整器４０に伝達されて、洗浄液Ｌが所定の温度例えば８０℃に制御されるので、洗浄液Ｌの温度制御を確実にすることができる。
【００４５】
◎第２実施形態
図４は、この発明に係る流体加熱装置の第２実施形態を示す断面図（ａ）及び（ａ）のIII−III線に沿う断面図（ｂ）、図５は、第２実施形態の流体加熱装置の要部を示す断面図（ａ）及び（ａ）のIV部拡大断面図である。
【００４６】
第２実施形態は、流路管２６Ａを、ハロゲンランプ２３の同心円上において接触する螺旋状の管７０（以下に螺旋管７０という）にて形成した場合である。
【００４７】
すなわち、第２実施形態の流体加熱装置２０Ａは、図４に示すように、筒状容器２２の中心軸部に架設されるハロゲンランプ２３との間に隙間をおいてハロゲンランプ２３を包囲すると共に隣接同士が互いに接触する螺旋状をなす螺旋管７０を具備している。この場合、螺旋管７０の一端は筒状容器２２の一方の端部材２２ａを貫通して流体の流入口２４を形成し、他端は筒状容器２２の他方の端部材２２ｂを貫通して流体の流出口２５を形成している。この場合、螺旋管７０を、ハロゲンランプ２３からの輻射光を外側に漏らさない程度に互いに近接して配列してもよいが、加熱効率を高めるためには、互いに接触して配列する方が好ましい。
【００４８】
また、螺旋管７０は、図５に示すように、耐薬品性に富みフッ酸によって溶解しない例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の合成樹脂製管部材からなる内装管７１と、この内装管７１の外周面に被覆される伝熱性に富む材料例えばアルミニウムあるいはステンレス製の管状金属部材からなる外装管７２との二重管構造となっている。また、螺旋管７０は、外装管７２の表面に輻射光吸収塗料である黒色塗料２７が塗装等によって施されている。
【００４９】
上記のように、螺旋管７０の表面に輻射光吸収用の黒色塗料２７を塗装することにより、ハロゲンランプ２３から放射された光が黒色塗料２７に吸収されて熱エネルギに変換されて、伝熱性の金属部材からなる外装管７２を介して螺旋管７０に伝熱されて間接的に螺旋管７０内を流れる洗浄液Ｌに均一かつ効率良く伝熱することができる。
【００５０】
上記のように構成される流体加熱装置２０Ａによれば、ハロゲンランプ２３から放射（輻射）される光エネルギが流路管２６Ａを構成する螺旋管７０の各黒色塗料２７に吸収され、黒色塗料２７が吸収した熱エネルギが金属部材からなる外装管７２を介して内装管７１に均一に伝熱される。これにより、洗浄液Ｌは所定の処理温度（８０℃）に加熱され、洗浄液供給ノズル１４から内槽１１内のウエハＷに向かって供給（噴射）されて処理に供される。この際、第１実施形態と同様に、螺旋管７０から流出する加熱された洗浄液Ｌの温度が温度センサ３０によって検出されてＣＰＵ（図示せず）に伝達され、ＣＰＵからの制御信号が電流調整器（図示せず）に伝達されて、洗浄液Ｌが所定の温度例えば８０℃に制御されるので、洗浄液Ｌの温度制御を確実にすることができる。
【００５１】
なお、第２実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して、説明は省略する。
【００５２】
◎その他の実施形態
なお、上記実施形態では、この発明に係る流体加熱装置を半導体ウエハの洗浄処理システムに適用した場合について説明したが、この発明に係る流体加熱装置は、半導体ウエハ以外の被処理体例えばＬＣＤ基板等の被処理体の洗浄処理システムにも適用でき、また、その他の処理流体を用いた処理システムにも適用できる。例えば、ＩＰＡとＮ2ガスの混合流体（被加熱流体）の蒸気を用いたＩＰＡ乾燥処理システムにも適用できる。
【００５３】
上記ＩＰＡ乾燥処理システムは、図６及び図７に示すように、被処理体であるウエハＷを収容する処理容器８０と、この処理容器８０内のウエハＷに向かって乾燥用蒸気を供給（噴射）する蒸気供給ノズル８１と、ＩＰＡとＮ2ガスの混合流体の蒸気を生成するこの発明に係る流体加熱装置２０Ｂと、ＩＰＡとＮ2ガスの混合流体すなわちとＮ2ガス中に霧状のＩＰＡを混合した混合流体を生成する混合流体生成手段である２流体ノズル８２を具備している。
【００５４】
上記流体加熱装置２０Ｂは、図６及び図７に示すように、筒状容器２２の中心軸部に架設されるハロゲンランプ２３との間に隙間をおいてハロゲンランプ２３を包囲すると共に、隣接同士が互いに接触する螺旋状の螺旋管７０Ａを具備している。この場合、螺旋管７０Ａの一端の流入口２４は、２流体ノズル８２の吐出口８３に混合流体供給管路８４を介して接続されており、螺旋管７０Ａの他端の流出口２５は、蒸気供給管路８５を介して蒸気供給ノズル８１に接続されている。
【００５５】
また、螺旋管７０Ａは、伝熱性に富むステンレス製のパイプ部材にて形成されており、その表面には輻射光吸収用の黒色塗料２７が塗装されている（図７（ｂ）参照）。このように螺旋管７０Ａの表面に輻射光吸収用の黒色塗料２７を塗装することにより、ハロゲンランプ２３から照射された光が黒色塗料２７に吸収されて熱エネルギに変換されて螺旋管７０Ａを介して間接的に螺旋管７０Ａ内を流れる流体に均一かつ効率良く加熱してＩＰＡとＮ2ガスの混合流体を蒸発させて蒸気を生成することができる。
【００５６】
なお、筒状容器２２の一端側の側壁には、Ｎ2ガス供給口８６が設けられており、図示しないＮ2ガス供給源から供給されるＮ2ガスを筒状容器２２内に供給することにより、筒状容器２２内をＮ2ガスでパージすると共に、外部雰囲気例えばＩＰＡ雰囲気が筒状容器２２内に侵入するのを防止することができ、流体加熱装置２０Ｂの安全性の向上が図られている。
【００５７】
なお、図６及び図７に示す第３実施形態において、その他の部分は第１及び第２実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。
【００５８】
なお、第３実施形態において、流路管２６Ｂの表面に黒色塗料２７を塗装したステンレス製の螺旋管７０Ａにて形成した場合について説明したが、この螺旋管７０Ａに代えて、表面に黒色塗料２７を塗装した直状のステンレス製管をハロゲンランプ２３の同心円上に互いに接触させて配置した構造としてもよい。
【００５９】
上記第３実施形態の説明では一つの流体加熱装置２０Ｂによって蒸気を生成する場合について説明したが、複数の流体加熱装置２０Ｂを直列に接続して、蒸発させる気化部と蒸発された流体を処理温度まで昇温する昇温部とを分担させるようにしてもよい。
【００６０】
なお、上記実施形態では、熱源ランプにハロゲンランプ２３を使用する場合について説明したが、ハロゲンランプ２３に代えて例えば赤外線ランプ等の熱輻射式のランプを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】この発明に係る流体加熱装置の第１実施形態を適用した洗浄処理システムの概略断面図である。
【図２】この発明に係る流体加熱装置の第１実施形態を示す断面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線に沿う断面図（ａ）及び（ａ）のII部拡大断面図（ｂ）である。
【図４】この発明に係る流体加熱装置の第２実施形態を示す断面図（ａ）及び（ａ）のIII−III線に沿う断面図（ｂ）である。
【図５】第２実施形態の流体加熱装置の要部を示す断面図（ａ）及び（ａ）のIV部拡大断面図（ｂ）である。
【図６】この発明に係る流体加熱装置の第３実施形態を適用したＩＰＡ乾燥処理システムの要部を示す概略断面図（ａ）及び（ａ）のＶ−Ｖ線に沿う断面図（ｂ）である。
【図７】第３実施形態の流体加熱装置の要部を示す断面図（ａ）及び（ａ）のVI部拡大断面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【００６２】
２０，２０Ａ，２０Ｂ  流体加熱装置
２３  ハロゲンランプ（熱源ランプ）
２４  流入口
２５  流出口
２６，２６Ａ，２６Ｂ  流路管
２６ａ  直状管
２７  黒色塗料（輻射光吸収塗料）
２８  伝熱性金属部材
３０  温度センサ（温度検出手段）
４０  電流調整器（電流調整手段）
５０  ＣＰＵ（制御手段）
６０  光反射部材
７０，７０Ａ  螺旋管
７１  内装管（耐薬品性合成樹脂製部材）
７２  外装管（伝熱性金属部材）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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