(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、
前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸に対し、一体的に回転可能に設けられるとともに前記回転軸の軸線の方向に並設した複数の油侵入防止部と、
複数の前記油侵入防止部の外周側を別々に包囲する複数の環状の油回収室とを備え、
前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受けを収容する領域であり、
前記油侵入防止部は、前記軸受けを介することで前記油侵入防止部に付着することとなった油を前記回転軸の回転に基づく遠心力で前記油回収室へ向けて飛ばして回収させるものであり、
複数の前記油侵入防止部のそれぞれの半径は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側に向かう順に小さくなるようにしてあり、複数の前記油回収室のそれぞれの半径は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側に向かう順に小さくなるようにしてある真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項２】
隣合う一対の油侵入防止部のうちの前記ポンプ室側にある油侵入防止部の端面のうち、前記油存在領域側の端面の中心部側は、隣合う一対の油侵入防止部のうちの前記油存在領域側にある油侵入防止部に対する油回収室に露出している請求項１に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項３】
前記油回収室の形成壁面に付着した油が前記形成壁面を伝って集合する箇所に接続する油回収通路を備え、前記油存在領域へ導くように、前記油回収室と前記油存在領域とを前記油回収通路によって連通した請求項１又は請求項２に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項４】
前記回転軸は横向き配置されており、前記油回収通路は、前記油回収室の最下部に接続されていると共に、水平又は下り傾斜の経路で油存在領域に接続されている請求項３に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項５】
前記油回収室に前記油侵入防止部の周縁部を突出させた請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項６】
前記油侵入防止部は、前記油存在領域側から前記ポンプ室側に向けて前記油回収室に至る油侵入経路の末端部を狭めるように配設されている請求項５に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項７】
前記回転軸の軸線に対して略直交するように前記油侵入防止部に設けられた油侵入防止端面と、前記油侵入防止端面に隣接し、かつ前記油侵入防止端面に対して前記油存在領域側にあるように設けられたテーパ周面とを備え、
前記テーパ周面は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ向かうに連れて前記回転軸の軸線から離間してゆくようにした請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項８】
横向き配置された前記回転軸を中心として少なくとも前記回転軸より上側の前記油侵入防止部の外周側を包囲するように設けられた油回収用周壁面を備え、
前記油回収用周壁面は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ向かうにつれて前記回転軸の軸線に近づいてゆくようにした請求項４に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項９】
前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えたルーツポンプであり、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容する領域である請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【請求項１０】
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、
前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸に対し、一体的に回転可能に設けられるとともに前記回転軸の軸線の方向に並設した複数の油侵入防止部と、
複数の前記油侵入防止部の外周側を別々に包囲する複数の環状の油回収室とを備え、
前記油侵入防止部は、前記油存在領域から侵入して前記油侵入防止部に付着することとなった油を前記回転軸の回転に基づく遠心力で前記油回収室へ向けて飛ばして回収させるものであり、
前記油回収室に前記油侵入防止部の周縁部を突出させ、前記油侵入防止部は、前記油存在領域側から前記ポンプ室側に向けて前記油回収室に至る油侵入経路の末端部を狭めるように配設されている真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおける油洩れ防止構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
特開昭６３−１２９８２９号公報、特開平３−１１１９３号公報に開示される真空ポンプでは、真空ポンプ内の潤滑必要部位を潤滑するための油を存在させたくない領域に油を侵入させないようにする対策が施されている。
【０００３】
特開昭６３−１２９８２９号公報の装置では、油が発電機室に侵入しないようにプレートが回転軸に止着されている。回転軸の周面に沿って発電機室に侵入しようとする油はプレートに付着し、プレートに付着した油はプレートの回転に伴う遠心力によってプレートの周囲の環状溝に飛ばされる。環状溝内に跳ばされた油は、環状溝の下部に接続された排出油路を経由して外部に排出される。
【０００４】
特開平３−１１１９３号公報の装置では、軸受けに油を供給するための環状室内にスリンガが配設されている。環状室から回転軸の周面に沿って渦流ポンプ要素側へ侵入しようとする油はスリンガによってはね飛ばされ、スリンガによってはね飛ばされた油は環状室に繋がる排油孔を経由してモータ室側に排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
回転軸と一体的に回転するプレート（スリンガ）は、油の侵入を阻止するための機構の１つである。プレート（スリンガ）の回転に伴う遠心力を利用した油侵入防止作用は、プレート（スリンガ）の形状、プレート（スリンガ）を包囲する周囲の壁面形状等に左右される。
【０００６】
本発明は、真空ポンプにおけるポンプ室への油洩れを防止するために用いられる油侵入防止部による油侵入防止作用を向上することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
そのために本発明は、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸に対し、一体的に回転可能に設けられるとともに前記回転軸の軸線の方向に並設した複数の油侵入防止部と、複数の前記油侵入防止部の外周側を別々に包囲する複数の環状の油回収室とを備え、前記油存在領域は、前記回転軸を回転可能に支持するための軸受けを収容する領域であり、前記油侵入防止部は、前記軸受けを介することで前記油侵入防止部に付着することとなった油を前記回転軸の回転に基づく遠心力で前記油回収室へ向けて飛ばして回収させるものであり、複数の前記油侵入防止部のそれぞれの半径は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側に向かう順に小さくなるようにしてあり、複数の前記油回収室のそれぞれの半径は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側に向かう順に小さくなるようにしてある。
【０００８】
油侵入防止部の個数が増えれば、油侵入防止部の全体における油付着面積が増える。油侵入防止部の全体における油付着面積が増えるほど、油侵入防止部の回転に伴う遠心力によって飛ばされる油量が多くなる。即ち、油侵入防止部による油侵入防止作用が向上する。
【０００９】
油侵入防止部に付着した油は、この油侵入防止部を包囲する油回収室に向けて飛ばされる。油回収室に向けて飛ばされた油は、油回収室の形成壁面に付着する。即ち、油侵入防止部によって飛ばされた油の行き所が確定され易い。また、軸受けは、油存在領域の油によって潤滑される。
【００１０】
請求項２の発明では、請求項１において、隣合う一対の油侵入防止部のうちの前記ポンプ室側にある油侵入防止部の端面のうち、前記油存在領域側の端面の中心部側は、隣合う一対の油侵入防止部のうちの前記油存在領域側にある油侵入防止部に対する油回収室に露出しているようにした。
【００１１】
隣合う一対の油侵入防止部のうちの前記ポンプ室側にある油侵入防止部の端面は、油存在領域側にある油侵入防止部に対する油回収室を区画する壁面を兼ねる。
【００１２】
請求項３の発明では、請求項１又は請求項２において、前記油回収室の形成壁面に付着した油が前記形成壁面を伝って集合する箇所に接続する油回収通路を備え、前記油存在領域へ導くように、前記油回収室と前記油存在領域とを前記油回収通路によって連通した。
【００１３】
油回収室の形成壁面に付着した油は、油回収通路を経由して油存在領域へ回収される。
請求項４の発明では、請求項３において、前記回転軸は横向き配置されており、前記油回収通路は、前記油回収室の最下部に接続されていると共に、水平又は下り傾斜の経路で油存在領域に接続されているようにした。
【００１４】
環状の油回収室の形成壁面に付着した油は、自重によって油回収室の最下部に向けて伝い落ちてゆく。油回収室の最下部に伝い落ちた油は、油回収通路を経由して油存在領域へ回収される。
【００１５】
請求項５の発明では、請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、前記油回収室に前記油侵入防止部の周縁部を突出させた。
油回収室内に突出する油侵入防止部は、油回収室内におけるミスト状の油が油存在領域側からポンプ室側へ簡単に流れないようにする。
【００１６】
請求項６の発明では、請求項５において、前記油侵入防止部は、前記油存在領域側から前記ポンプ室側に向けて前記油回収室に至る油侵入経路の末端部を狭めるように配設した。
【００１７】
油侵入経路の末端部を狭めた構成は、油存在領域側から油回収室への油侵入を防止する上で有効である。
請求項７の発明では、請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、前記油侵入防止部に設けられた油侵入防止端面と、前記油侵入防止端面に隣接し、かつ前記油侵入防止端面に対して前記油存在領域側にあるように設けられたテーパ周面とを備え、前記テーパ周面は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ向かうにつれて前記回転軸の軸線から離間してゆくようにした。
【００１８】
油侵入防止端面に付着した油は、油侵入防止部の回転に伴う遠心力によって半径方向へ飛ばされる。油侵入防止端面から飛ばされてテーパ周面に落下して付着した油は、油侵入防止部の回転に伴う遠心力によってテーパ周面の小径側から大径側へ移動してゆく。この移動方向は、ポンプ室から離れる方向である。ポンプ室から離れる方向へ油を移動させる作用は、ポンプ室への油侵入防止に寄与する。
【００１９】
請求項８の発明では、請求項４において、横向き配置された前記回転軸を中心として少なくとも前記回転軸より上側の前記油侵入防止部の外周側を包囲するように設けられた油回収用周壁面を備え、前記油回収用周壁面は、前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ向かうにつれて前記回転軸の軸線に近づいてゆくようにした。
【００２０】
油侵入防止部に付着した油は、油侵入防止部の回転に伴う遠心力により油回収用周壁面に向けて飛ばされる。油回収用周壁面に向けて飛ばされた油は、油回収用周壁面に付着する。回転軸よりも上側の油回収用周壁面に付着した油は、自重によってポンプ室側から油存在領域側へ向けて伝い落ちてゆく。この伝い落ちの方向は、ポンプ室から離れてゆく方向である。油回収用周壁面を経由してポンプ室側から油存在領域側へ向けて油を伝わせる構成は、油存在領域側からポンプ室側への油侵入の防止に寄与する。
【００２２】
請求項９の発明では、請求項１乃至請求項８のいずれか１項において、前記真空ポンプは、複数の前記回転軸を平行に配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配置し、隣合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の複数のロータを１組として収容する複数のポンプ室、又は単一のポンプ室を備えたルーツポンプであり、複数の前記回転軸は、歯車機構を用いて同期して回転され、前記油存在領域は、前記歯車機構を収容する領域とした。
請求項１０の発明では、回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、前記ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸に対し、一体的に回転可能に設けられるとともに前記回転軸の軸線の方向に並設した複数の油侵入防止部と、複数の前記油侵入防止部の外周側を別々に包囲する複数の環状の油回収室とを備え、前記油侵入防止部は、前記油存在領域から侵入して前記油侵入防止部に付着することとなった油を前記回転軸の回転に基づく遠心力で前記油回収室へ向けて飛ばして回収させるものであり、前記油回収室に前記油侵入防止部の周縁部を突出させ、前記油侵入防止部は、前記油存在領域側から前記ポンプ室側に向けて前記油回収室に至る油侵入経路の末端部を狭めるように配設されている。
【００２３】
歯車機構は、油存在領域の油によって潤滑される。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をルーツポンプに具体化した第１の実施の形態を図１〜図８に基づいて説明する。
【００２５】
図１（ａ）に示すように、多段ルーツポンプ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング１３が接合されており、フロントハウジング１３には封鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の室形成壁１６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シリンダブロック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、室形成壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図１（ａ）に示すように、フロントハウジング１３と室形成壁１６との間の空間、隣合う室形成壁１６の間の空間、及びリヤハウジング１４と室形成壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，４１，４２，４３となっている。
【００２６】
フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリング２１，３７，２２，３８を介して回転可能に支持されている。両回転軸１９，２０は、横向き、かつ互いに平行に配置されている。回転軸１９，２０は室形成壁１６に通されている。ラジアルベアリング３７，３８は、ベアリングホルダ４５，４６に支持されている。ベアリングホルダ４５，４６は、リヤハウジング１４の端面１４４に凹設された嵌入孔４７，４８に嵌合して固定されている。
【００２７】
回転軸１９には複数のロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されており、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２５，２６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚みはこの順に小さくなってゆくようにしてある。ロータ２３，２８は互いに噛合した状態でポンプ室３９に収容されており、ロータ２４，２９は互いに噛合した状態でポンプ室４０に収容されている。ロータ２５，３０は互いに噛合した状態でポンプ室４１に収容されており、ロータ２６，３１は互いに噛合した状態でポンプ室４２に収容されている。ロータ２７，３２は互いに噛合した状態でポンプ室４３に収容されている。ポンプ室３９〜４３内は無潤滑状態にされる。そのため、各ロータ２３〜３２は、シリンダブロック１５、室形成壁１６、フロントハウジング１３及びリヤハウジング１４との間で摺接しないようになっている。又、噛合するロータ同士の間でも摺接しないようになっている。
【００２８】
図２（ａ）に示すように、ロータ２３，２８は、ポンプ室３９内に吸入領域３９１と、吸入領域３９１よりも高圧となる圧力領域３９２とを区画する。同様に、ロータ２４，２９はポンプ室４０内に、ロータ２５，３０はポンプ室４１内に、ロータ２６，３１はポンプ室４２内に、それぞれ吸入領域３９１及び圧力領域３９２と同様の吸入領域及び圧力領域を区画する。図３（ａ）に示すように、ロータ２７，３２はポンプ室４３内に、吸入領域３９１及び圧力領域３９２と同様の吸入領域４３１及び圧力領域４３２を区画する。
【００２９】
図１（ａ）に示すように、リヤハウジング１４にはギヤハウジング３３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハウジング１４における貫通孔１４１，１４２及び嵌入孔４７，４８を通ってギヤハウジング３３内に突出している。各回転軸１９，２０の突出部位１９３，２０３には歯車３４，３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手４４を介して回転軸１９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ１の方向に回転される。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介して回転軸２０に伝えられ、回転軸２０は図２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。即ち、回転軸１９，２０は、歯車３４，３５を用いて同期して回転される。
【００３０】
図４（ａ）及び図５（ａ）に示すように、ギヤハウジング３３内のギヤ収容室３３１には潤滑油Ｙが貯留されており、この潤滑油Ｙが歯車３４，３５を潤滑する。歯車機構を構成する歯車３４，３５を収容するギヤハウジング３３のギヤ収容室３３１は、多段ルーツポンプ１１の本体の外部に連通しないように密封された油存在領域である。ギヤハウジング３３及びリヤハウジング１４は、ポンプ室４３と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングを構成する。ギヤ収容室３３１内の貯留油は、歯車３４，３５の回転動作によってかき上げられる。歯車３４，３５の回転動作によってかき上げられた潤滑油Ｙは、軸受けであるラジアルベアリング３７，３８を潤滑する。
【００３１】
図２（ｂ）に示すように、室形成壁１６内には通路１６３が形成されている。室形成壁１６には通路１６３の入口１６４及び出口１６５が形成されている。隣合うポンプ室３９，４０，４１，４２，４３は、通路１６３を介して連通している。
【００３２】
図２（ａ）に示すように、ブロック片１８には導入口１８１がポンプ室３９の吸入領域３９１に連通するように形成されている。図３（ａ）に示すように、ブロック片１７には排出口１７１がポンプ室４３の圧力領域４３２に連通するように形成されている。導入口１８１からポンプ室３９の吸入領域３９１に導入されたガスは、ロータ２３，２８の回転に伴って圧力領域３９２へ移行する。圧力領域３９２へ移行したガスは、吸入領域３９１での状態よりも圧縮されて増圧された状態となる。圧力領域３９２のガスは、室形成壁１６の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から隣のポンプ室４０の吸入領域へ移送される。以下、同様にガスは、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室４０，４１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３の吸入領域４３１へ移送されたガスは、ロータ２７，３２の回転によって圧力領域４３２へ移行した後、排出口１７１から外部へ排出される。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体である。
【００３３】
排出口１７１は、真空ポンプの本体のハウジングの外部へ前記ガスを吐出する吐出通路である。ポンプ室４３は、吐出通路である排出口１７１に連なる最終のポンプ室であり、最終のポンプ室４３内の圧力領域４３２は、ポンプ室３９〜４３内で最大の圧力となる最大圧力領域である。排出口１７１は、ロータ２７，３２によってポンプ室４３内に区画される最大圧力領域４３２に連通している。
【００３４】
図１（ａ）に示すように、嵌入孔４７，４８内における回転軸１９，２０には環状の軸封環体４９，５０が嵌合して固定されている。軸封環体４９，５０の内周面と回転軸１９，２０の周面１９２，２０２との間にはシールリング５１，５２が介在されている。軸封環体４９，５０と回転軸１９，２０との間に介在されたシールリング５１，５２は、潤滑油Ｙが回転軸１９，２０の周面１９２，２０２に沿って嵌入孔４７，４８からポンプ室４３側へ洩れるのを阻止する。
【００３５】
図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、軸封環体４９，５０の最大径部６０の外周面４９１，５０１と嵌入孔４７，４８の円周面４７１，４８１との間には間隙がある。軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２と嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２との間には間隙がある。従って、軸封環体４９，５０は、回転軸１９，２０と一体的に回転可能である。
【００３６】
嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２には複数の環状突条５３，５４が同心円状に形成されている。底形成面４７２，４８２に対向する軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２には複数の環状溝５５，５６が同心円状に形成されている。環状突条５３，５４は、環状溝５５，５６に対向するように入り込んでいる。環状溝５５，５６に入り込んでいる環状突条５３，５４の先端は、環状溝５５，５６の底面に近接している。環状溝５５は、環状突条５３によってラビリンス室５５１，５５２に区画されており、環状溝５６は、環状突条５４によってラビリンス室５６１，５６２に区画されている。環状突条５３と環状溝５５とは、回転軸１９側におけるラビリンスシール５７を構成し、環状突条５４と環状溝５６とは、回転軸２０側におけるラビリンスシール５８を構成する。軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２は、軸封環体４９，５０側のシール用対向面となり、嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２は、リヤハウジング１４側のシール用対向面となる。本実施の形態では、端面４９２，５０２及び底形成面４７２，４８２は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１と直交する平面である。即ち、シール用対向面である端面４９２，５０２及び底形成面４７２，４８２は、軸封環体４９，５０の半径方向の方向成分のみを有する。
【００３７】
図４（ｂ）及び図７に示すように、軸封環体４９の最大径部６０の外周面４９１には螺旋溝６１が形成されている。図５（ｂ）及び図８に示すように、軸封環体５０の最大径部６０の外周面５０１には螺旋溝６２が形成されている。螺旋溝６１の螺旋の向きは、回転軸１９の回転方向Ｒ１に辿るにつれてギヤ収容室３３１側からポンプ室４３側へ移行する向きとなっている。螺旋溝６２の螺旋の向きは、回転軸２０の回転方向Ｒ２に辿るにつれてギヤ収容室３３１側からポンプ室４３側へ移行する向きとなっている。従って、螺旋溝６１，６２は、回転軸１９，２０の回転に伴って流体をポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ移送するポンプ作用をもたらす。即ち、螺旋溝６１，６２は、軸封環体４９，５０の外周面４９１，５０１と嵌入孔４７，４８の円周面４７１，４８１との間における油をポンプ室４３側から油存在領域側へ付勢するポンピング手段を構成する。嵌入孔４７，４８の円周面４７１，４８１はシール面となり、円周面４７１，４８１に対向する外周面４９１，５０１は、シール面に対する対向面となる。
【００３８】
図３（ｂ）に示すように、最終のポンプ室４３を形成するリヤハウジング１４の室形成壁面１４３には排気圧波及溝６３，６４が形成されている。図４（ａ）に示すように、排気圧波及溝６３は、ロータ２７，３２の回転に伴って容積変化する最大圧力領域４３２に通じている。又、排気圧波及溝６３は、貫通孔１４１に通じている。図５（ａ）に示すように、排気圧波及溝６４は、最大圧力領域４３２に通じ、かつ貫通孔１４２に通じている。
【００３９】
図１（ａ）、図４（ａ）及び図５（ａ）に示すように、リヤハウジング１４には環状の冷却室６５が軸封環体４９，５０を包囲するように形成されている。冷却室６５には冷却水が還流可能に供給される。冷却室６５に供給された冷却水は、嵌入孔４７，４８内の潤滑油Ｙを冷却する。潤滑油Ｙの冷却は、潤滑油Ｙのミスト化を抑制する。
【００４０】
図１（ｂ）及び図６に示すように、軸封環体４９の最小径部５９の外周面には環状の油侵入防止リング６６が嵌合して固定されている。油侵入防止リング６６は、小径の油侵入防止部６７と大径の油侵入防止部６８とからなる。ベアリングホルダ４５の奥壁６９には環状の第１の油回収室７０と環状の第２の油回収室７１とが油侵入防止リング６６を包囲するように形成されている。環状の第１の油回収室７０は、小径の油侵入防止部６７を包囲しており、環状の第２の油回収室７１は、大径の油侵入防止部６８を包囲している。
【００４１】
小径の油侵入防止部６７の周面はテーパ周面６７１にしてある。テーパ周面６７１は、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ向かうにつれて回転軸１９の軸線１９１から離間してゆく形状である。
【００４２】
小径の油侵入防止部６７の周縁部となるテーパ周面６７１は、第１の油回収室７０内に突出しており、大径の油侵入防止部６８の周縁部となる周壁面６８１は、第２の油回収室７１内に突出している。小径の油侵入防止部６７のテーパ周面６７１は、半径方向において第１の油回収室７０の形成壁面である油回収用周壁面７０２と対向している。大径の油侵入防止部６８の周壁面６８１は、半径方向において第２の油回収室７１の形成壁面である油回収用周壁面７１２と対向している。
【００４３】
小径の油侵入防止部６７の端面６７２は、第１の油回収室７０の形成壁面である油回収用端面７０１に近接して対向している。大径の油侵入防止部６８の一方（図６において右方）の油侵入防止端面６８２は、第２の油回収室７１の形成壁面である油回収用端面７１１に近接して対向している。大径の油侵入防止部６８の他方（図６において左方）の端面６８３は、軸封環体４９の最大径部６０の端面６０１から大きく離間して対向している。
【００４４】
端面６８２は、回転軸１９の軸線１９１に対して直交するように油侵入防止リング６６に設けられた油侵入防止端面である。テーパ周面６７１は、油侵入防止端面６８２に隣接し、かつ油侵入防止端面６８２に対してギヤ収容室３３１側にあるように設けられている。テーパ周面６７１は、油侵入防止端面６８２の基部６８４から始まっている。テーパ周面６７１の延長面は、第１の油回収室７０の端面７０１と交差する。
【００４５】
軸封環体４９の最大径部６０には油侵入防止部７２が一体形成されている。嵌入孔４７の円周面４７１には環状の第３の油回収室７３が油侵入防止部７２を包囲するように形成されている。油侵入防止部７２の周縁部となる周壁面７２１は、第３の油回収室７３内に突出している。油侵入防止部７２の周壁面７２１は、半径方向において第３の油回収室７３の形成壁面である周壁面７３３と対向している。油侵入防止部７２の一方（図６において右方）の端面６０１は、第３の油回収室７３の形成壁面である油回収用端面７３１に近接して対向している。油侵入防止部７２の他方（図６において左方）の端面７２２は、第３の油回収室７３の形成壁面である端面７３２に近接して対向している。
【００４６】
油侵入防止部６７，６８，７２のそれぞれの半径は、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１に向かう順に小さくなるようにしてある。同様に、油回収室７０，７１，７３のそれぞれの半径は、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側に向かう順に小さくなるようにしてある。隣合う一対の油侵入防止部６７，６８のうちのポンプ室４３側にある油侵入防止部６８の油侵入防止端面６８２の中心部側は、ギヤ収容室３３１側にある油侵入防止部６７に対する油回収室７０に露出している。隣合う一対の油侵入防止部６８，７２のうちのポンプ室４３側にある油侵入防止部７２の端面６０１の中心部側は、ギヤ収容室３３１側にある油侵入防止部６８に対する油回収室７１に露出している。即ち、油侵入防止部６８の油侵入防止端面６８２は、油回収室７０を区画する壁面を兼ね、油侵入防止部７２の端面６０１は、油回収室７１を区画する壁面を兼ねる。
【００４７】
嵌入孔４７の周面の最下部及びリヤハウジング１４の端面１４４には油回収通路７４が形成されている。油回収通路７４は、嵌入孔４７の周面の最下部に形成された水平経路７４１と、端面１４４に形成された垂直経路７４２とからなる。水平経路７４１は、第３の油回収室７３に連通しており、垂直経路７４２はギヤ収容室３３１に連通している。即ち、第３の油回収室７３とギヤ収容室３３１とは、油回収通路７４によって連通している。
【００４８】
軸封環体５０の最小径部５９にも油侵入防止リング６６が設けられており、軸封環体５０の最大径部６０にも油侵入防止部７２が設けられている。又、ベアリングホルダ４６にも油回収室７０，７１が形成されており、嵌入孔４８にも油回収室７３が形成されている。さらに、嵌入孔４８の最下部にも油回収通路７４が形成されている。軸封環体５０側における第３の油回収室７３とギヤ収容室３３１とは、軸封環体５０側における油回収通路７４によって連通している。
【００４９】
ギヤ収容室３３１に貯留された潤滑油Ｙは、歯車３４，３５及びラジアルベアリング３７，３８を潤滑する。ラジアルベアリング３７，３８を潤滑した潤滑油Ｙは、ラジアルベアリング３７，３８のリング間隙３７１，３８１を介してベアリングホルダ４５，４６の奥壁６９に形成された挿通孔６９１へ侵入する。挿通孔６９１へ侵入した潤滑油Ｙは、軸封環体４９，５０の最小径部５９の周面と挿通孔６９１の周面との間の間隙、及び油侵入防止部６７の端面６７２と第１の油回収室７０の油回収用端面７０１との間の間隙ｇ１を経由して第１の油回収室７０に侵入しようとする。このとき、端面６７２に付着した潤滑油Ｙは、油侵入防止部６７の回転に伴う遠心力によって第１の油回収室７０の油回収用周壁面７０２あるいは油回収用端面７０１に向けて飛ばされる。油回収用周壁面７０２あるいは油回収用端面７０１に向けて飛ばされた潤滑油Ｙの少なくとも一部は、油回収用周壁面７０２あるいは油回収用端面７０１に付着する。油回収用周壁面７０２あるいは油回収用端面７０１に付着した潤滑油Ｙは、自重によって油回収用周壁面７０２あるいは油回収用端面７０１を伝い落ちて第１の油回収室７０の最下部に達する。第１の油回収室７０の最下部に達した潤滑油Ｙは、第２の油回収室７１の最下部へ伝い落ちる。
【００５０】
第１の油回収室７０に侵入した潤滑油Ｙは、大径の油侵入防止部６８の油侵入防止端面６８２と第２の油回収室７１の油回収用端面７１１との間の間隙ｇ２を経由して第２の油回収室７１に侵入しようとする。このとき、油侵入防止端面６８２に付着した潤滑油Ｙは、油侵入防止部６８の回転に伴う遠心力によって第２の油回収室７１の油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１に向けて飛ばされる。油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１に向けて飛ばされた潤滑油Ｙの少なくとも一部は、油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１に付着する。油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１に付着した潤滑油Ｙは、自重によって油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１を伝い落ちて第２の油回収室７１の最下部に達する。
【００５１】
第２の油回収室７１の最下部に達した潤滑油Ｙは、第３の油回収室７３の最下部へ伝い落ちる。
第２の油回収室７１に侵入した潤滑油Ｙは、油侵入防止部７２の端面６０１と第３の油回収室７３の油回収用端面７３１との間の間隙ｇ３を経由して第３の油回収室７３に侵入しようとする。このとき、端面６０１に付着した潤滑油Ｙは、油侵入防止部７２の回転に伴う遠心力によって第３の油回収室７３の周壁面７３３あるいは油回収用端面７３１に向けて飛ばされる。周壁面７３３あるいは油回収用端面７３１に向けて飛ばされた潤滑油Ｙの少なくとも一部は、周壁面７３３あるいは油回収用端面７３１に付着する。周壁面７３３あるいは油回収用端面７３１に付着した潤滑油Ｙは、自重によって周壁面７３３あるいは油回収用端面７３１を伝い落ちて第３の油回収室７３の最下部に達する。
【００５２】
回転軸１９，２０よりも上方において、小径の油侵入防止部６７の端面６７２から周壁面７０２あるいは端面７０１に向けて飛ばされた潤滑油Ｙのうちの一部がテーパ周面６７１上に落下することもある。又、油侵入防止端面６８２から油回収用周壁面７１２あるいは油回収用端面７１１に向けて飛ばされた潤滑油Ｙの一部がテーパ周面６７１上に落下することもある。テーパ周面６７１上に落下した潤滑油Ｙは、油侵入防止リング６６の回転に伴う遠心力によって周壁面７０２に向けて飛ばされたり、あるいはテーパ周面６７１上を油侵入防止端面６８２側から端面７０１に向けて移動してゆく。油侵入防止端面６８２側から端面７０１に向けてテーパ周面６７１上を移動してゆく潤滑油Ｙは、端面７０１に向けて飛ばされたり、あるいは油侵入防止部６７の端面６７２に移行する。従って、テーパ周面６７１上に付着した潤滑油Ｙは、最終的には第２の油回収室７１の最下部に達する。
【００５３】
第３の油回収室７３の最下部に達した潤滑油Ｙは、油回収通路７４を経由してギヤ収容室３３１に還流する。
第１の実施の形態では以下の効果が得られる。
【００５４】
（１-1）真空ポンプを運転しているときには、ポンプ室３９〜４３内の圧力は、大気圧相当の圧力領域であるギヤ収容室３３１内の圧力よりも低くなる。そのため、特にミスト状の潤滑油Ｙが油侵入防止リング６６の表面及び軸封環体４９，５０の表面に沿ってポンプ室４３側へ侵入しようとする。ミスト状の潤滑油Ｙがポンプ室４３側へ侵入するのを防止するには、ミスト状の潤滑油Ｙを固定壁面に付着させて液化させるのがよい。又、回転軸１９，２０の周面あるいは回転軸１９，２０と一体的に回転する部材の壁面に付着している潤滑油Ｙは、前記した固定壁面に移して付着させるのがよい。
【００５５】
油侵入防止部６７，６８，７２は、油回収室７０，７１，７３の形成壁面に潤滑油Ｙを効率良く付着させる役割を果たす。油侵入防止部の個数が増えれば、油侵入防止部の全体における油付着面積が増える。油侵入防止部の全体における油付着面積が増えるほど、油侵入防止部の回転に伴う遠心力によって飛ばされる油量が多くなる。即ち、複数の油侵入防止部６７，６８，７２を回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に並設した構成は、油侵入防止作用を向上する。
【００５６】
（１-2）油侵入防止部６７，６８，７２に付着した潤滑油Ｙは、各油侵入防止部６７，６８，７２を包囲する油回収室７０，７１，７３に向けて飛ばされる。油回収室７０，７１，７３に向けて飛ばされた潤滑油Ｙは、油回収室７０，７１，７３の形成壁面に付着する。油回収室７０，７１，７３の形成壁面に付着した潤滑油Ｙは、最終的には油回収通路７４に達する。即ち、油侵入防止部６７，６８，７２を油回収室７０，７１，７３によって別々に包囲する構成は、油侵入防止部６７，６８，７２によって飛ばされた潤滑油Ｙの行き所をギヤ収容室３３１に確定し易くする。
【００５７】
（１-3）ミスト状の潤滑油Ｙは、隣合う油回収室をギヤ収容室３３１側からポンプ室４３側へと移動しようとする。個々の油回収室７０，７１，７３の閉鎖性は、この移動を抑制する上で重要である。
【００５８】
油侵入防止部６８の油侵入防止端面６８２は、隣合う一対の油侵入防止部６７，６８のうちのギヤ収容室３３１側にある油侵入防止部６７に対する油回収室７０を区画する壁面の一部として利用される。同様に、油侵入防止部７２の端面６０１は、隣合う一対の油侵入防止部６８，７２のうちのギヤ収容室３３１側にある油侵入防止部６８に対する油回収室７１を区画する壁面の一部として利用される。このような利用構成は、隣合う油回収室７０，７１間及び隣合う油回収室７１，７３間の独立性、即ち個々の油回収室７０，７１，７３の閉鎖性を高める構成として簡便である。
【００５９】
（１-4）第１の油回収室７０及び第２の油回収室７１は、ベアリングホルダ４５，４６の奥壁６９に形成されている。ラジアルベアリング３７，３８を支持するためのベアリングホルダ４５，４６に油回収室７０，７１を設ける構成は、閉鎖性の高い油回収室７０，７１を構成する上で簡便である。
【００６０】
（１-5）真空ポンプを運転しているときには、ポンプ室３９〜４３内の圧力は、大気圧相当の圧力領域であるギヤ収容室３３１内の圧力よりも低くなる。そのため、特にミスト状の潤滑油Ｙが油侵入防止リング６６の表面及び軸封環体４９，５０の表面に沿ってポンプ室４３側へ侵入しようとする。ミスト状の潤滑油Ｙは、直線的な経路においてよりも屈曲経路において液化させ易い。即ち、ミスト状の潤滑油Ｙは、屈曲経路を形成する壁面に衝突させることによって液化させ易い。第１の油回収室７０内にテーパ周面６７１を突出させた油侵入防止部６７は、第１の油回収室７０内でのミスト状の潤滑油Ｙに対する経路の屈曲化をもたらす。第２の油回収室７１内に周壁面６８１を突出させた油侵入防止部６８は、第２の油回収室７１内でのミスト状の潤滑油Ｙに対する経路の屈曲化をもたらす。第３の油回収室７３内に周壁面７２１を突出させた油侵入防止部７２は、第３の油回収室７３内でのミスト状の潤滑油Ｙに対する経路の屈曲化をもたらす。従って、油回収室７０，７１，７３内に油侵入防止部６７，６７，７２のテーパ周面６７１及び周壁面６８１，７２１を突出させた構成は、油回収室７０，７１，７３内におけるミスト状の潤滑油Ｙがポンプ室４３側に向けて簡単に流れないように働く。
【００６１】
（１-6）ベアリングホルダ４５，４６における挿通孔６９１から油侵入防止部６７の端面６７２と油回収用端面７０１との間の間隙ｇ１に至る経路は、ギヤ収容室３３１側から第１の油回収室７０に至る油侵入経路となる。油侵入防止部６７は、この油侵入経路の末端部である間隙ｇ１を狭めるように配設されている。
【００６２】
第１の油回収室７０から油侵入防止部６８の油侵入防止端面６８２と油回収用端面７１１との間の間隙ｇ２に至る経路は、ギヤ収容室３３１側から第１の油回収室７０を経由して第２の油回収室７１に至る油侵入経路となる。油侵入防止部６８は、この油侵入経路の末端部である間隙ｇ２を狭めるように配設されている。
【００６３】
第２の油回収室７１から油侵入防止部７２の端面７２２と油回収用端面７３１との間の間隙ｇ３に至る経路は、ギヤ収容室３３１側から第１の油回収室７０及び第２の油回収室７１を経由して第３の油回収室７３に至る油侵入経路となる。油侵入防止部７２は、この油侵入経路の末端部である間隙ｇ３を狭めるように配設されている。
【００６４】
前記した油侵入経路の末端部（即ち、間隙ｇ１，ｇ２，ｇ３）を狭めた構成は、ギヤ収容室３３１側から各油回収室７０，７１，７３へのミスト状の潤滑油Ｙの侵入を防止する上で有効である。
【００６５】
（１-7）潤滑油Ｙは、油侵入防止リング６６の表面及び軸封環体４９，５０の表面に沿ってポンプ室４３側へ侵入しようとする。油侵入防止端面６８２に付着した油は、油侵入防止リング６６の回転に伴う遠心力によって半径方向へ飛ばされる。油侵入防止端面６８２から飛ばされてテーパ周面６７１上に落下した潤滑油Ｙの少なくとも一部は、油侵入防止リング６６の回転に伴う遠心力によってテーパ周面６７１の小径側から大径側へ移動してゆく。この移動方向は、ポンプ室４３から離れる方向である。ポンプ室４３から離れる方向へ潤滑油Ｙを移動させる作用は、ポンプ室４３側への油侵入防止に寄与する。即ち、油侵入防止端面６８２と隣接してテーパ周面６７１を設けた構成は、潤滑油Ｙがポンプ室４３側に向けて移動することを抑制するように働く。
【００６６】
（１-8）テーパ周面６７１の最小径部は、油侵入防止端面６８２の基部６８４に直接連なっている。油侵入防止端面６８２の基部６８４にストレート周面が接続しているとすると、油侵入防止端面６８２から飛ばされた潤滑油Ｙの一部がストレート周面に付着し、ストレート周面に付着した潤滑油Ｙが油侵入防止端面６８２に戻ってしまうおそれがある。このような潤滑油Ｙの戻りは、ポンプ室４３側への油侵入を防止する上で好ましくない。油侵入防止端面６８２にテーパ周面６７１を直接繋げた構成は、油侵入防止端面６８２から飛ばされた潤滑油Ｙが油侵入防止端面６８２に戻ることを抑制するように働く。
【００６７】
（１-9）回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１よりも上側では、軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２は、軸封環体４９，５０の外周面４９１からポンプ室４３へ移行する過程では下り端面である。しかし、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１よりも下側では、軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２は、軸封環体４９，５０の外周面４９１からポンプ室４３へ移行する過程では昇り端面である。従って、軸封環体４９，５０の表面に沿ったポンプ室４３側への潤滑油Ｙの侵入は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１よりも上側で生じ易い。
【００６８】
油侵入防止リング６６の回転に伴う遠心力によって油回収用周壁面７０２，７１２に向けて飛ばされた潤滑油Ｙの少なくとも一部は、油回収用周壁面７０２，７１２に付着する。回転軸１９，２０よりも上方における油回収室７０，７１の油回収用周壁面７０２，７１２は、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側に向かうにつれて下方に向かう。即ち、回転軸１９，２０よりも上方における油回収用周壁面７０２，７１２に付着した潤滑油Ｙは、ポンプ室４３から離れながら回転軸１９，２０の下方に向けて伝い落ちる。ポンプ室４３から離れる方向へ、かつ回転軸１９，２０の下方に向けて潤滑油Ｙを伝い落とす油回収用周壁面７０２，７１２は、ポンプ室４３側への油侵入防止に寄与する。
【００６９】
（１-10)回転軸１９，２０よりも上側の油回収用周壁面７０２，７１２に付着した潤滑油Ｙの一部は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１に対して直交する油回収用端面７０１，７１１に向けて伝い落ちる。油回収用端面７０１，７１１に伝った潤滑油Ｙは、垂直な油回収用端面７０１，７１１を経由して回転軸１９，２０よりも下側へ円滑に伝い落ちる。油回収用周壁面７０２，７１２に連なる垂直な油回収用端面７０１，７１１は、回転軸１９，２０よりも上側の油回収用周壁面７０２，７１２に付着した潤滑油Ｙを回転軸１９，２０よりも下側へ円滑に伝い落とすのに寄与する。
【００７０】
（１-11)回転軸１９，２０を横向き配置したルーツポンプ１１では、環状の油回収室７０，７１，７３の形成壁面に付着した潤滑油Ｙは、自重によって第３の油回収室７３の最下部に向けて伝い落ちてゆく。第３の油回収室７３の最下部は、油回収室７０，７１，７３の形成壁面に付着した潤滑油Ｙがこの形成壁面を伝って集合する箇所である。従って、油回収室７０，７１，７３の形成壁面に付着した潤滑油Ｙは、第３の油回収室７３の最下部に接続された油回収通路７４を経由してギヤ収容室３３１へ確実に回収される。
【００７１】
（１-12)回転軸１９，２０に嵌合された軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２の径は、回転軸１９，２０の周面１９２，２０２の径よりも大きい。従って、軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２と嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２との間のラビリンスシール５７，５８の径は、回転軸１９，２０の周面１９２，２０２とリヤハウジング１４との間に設けられるラビリンスシールの径よりも大きくなる。ラビリンスシール５７，５８の径が大きくなるほど圧力変動波及抑制用のラビリンス室５５１，５５２，５６１，５６２の容積が大きくなり、ラビリンスシール５７，５８におけるシール機能が向上する。即ち、軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２と嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２との間は、ラビリンス室５５１，５５２，５６１，５６２の容積を増やしてシール機能を向上する上で、ラビリンスシール５７，５８の設定領域として好適である。
【００７２】
（１-13)嵌入孔４７，４８と軸封環体４９，５０との間の間隙が小さいほど、潤滑油Ｙは嵌入孔４７，４８と軸封環体４９，５０との間の間隙へ入り難くなる。円周面４７１，４８１を有する嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２と、軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２とは、全面にわたって均等に近接させ易い。従って、環状突条５３，５４の先端と環状溝５５，５６の底面との間の間隙、及び嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２と軸封環体４９，５０の端面４９２，５０２との間の間隙を可及的に小さくし易い。これらの間隙が小さいほど、ラビリンスシール５７，５８におけるシール機能が向上する。即ち、嵌入孔４７，４８の底形成面４７２，４８２は、ラビリンスシール５７，５８の設定領域として好適である。
【００７３】
（１-14)ラビリンスシール５７，５８は、ガスに対してもシール性を有する。多段ルーツポンプ１１の運転開始時にはポンプ室３９〜４３内は大気圧よりも高くなる。ラビリンスシール５７，５８は、ポンプ室４３からギヤ収容室３３１側への軸封環体４９，５０の表面に沿った排ガス洩れを防止する。油洩れ及び排ガス洩れを共に防止するラビリンスシール５７，５８は、非接触型シール手段として最適である。
【００７４】
（１-15)非接触型シール手段は、リップシールのような接触型シール手段における経時的な劣化（シール性の低下）を生じないが、接触型シール手段に比べてシール性では幾分劣る。油侵入防止部６７，６８，７２は、これを補償するものである。油回収室７０，７２，７３内に油侵入防止部のテーパ周面６７１及び周壁面６８１，７２１を突出させた構成は、前記の補償を更に確実にする。
【００７５】
（１-16)油侵入防止端面６８２に隣接するように油侵入防止リング６６に設けられたテーパ周面６７１は、前記の補償を更に高める。
（１-17)軸封環体４９に設けられた螺旋溝６１は、回転軸１９の回転に伴い、嵌入孔４７の円周面４７１を掃過してゆく。螺旋溝６１の掃過領域にある潤滑油Ｙは、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ掃き移される。又、軸封環体５０に設けられた螺旋溝６２は、回転軸２０の回転に伴い、嵌入孔４８の円周面４８１を掃過してゆく。螺旋溝６２の掃過領域にある潤滑油Ｙは、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ掃き移される。即ち、ポンピング手段である螺旋溝６１，６２を備えた軸封環体４９，５０は、潤滑油Ｙに対して高いシール性を発揮する。
【００７６】
（１-18)螺旋溝６１，６２を設けた外周面４９１，５０１は、軸封環体４９，５０の最大径部６０の外周面であり、軸封環体４９，５０における周速度が最大となる箇所である。軸封環体４９，５０の外周面４９１，５０１と嵌入孔４７，４８の円周面４７１，４８１との間にあるガスは、高速で周回する螺旋溝６１，６２によってポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ効率よく付勢される。軸封環体４９，５０の外周面４９１，５０１と嵌入孔４７，４８の円周面４７１，４８１との間にある潤滑油Ｙは、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ効率よく付勢されるガスに追随する。軸封環体４９，５０の外周面４９１，５０１は、外周面４９１，５０１と円周面４７１，４８１との間を経由した嵌入孔４７，４８側からポンプ室４３側への油洩れを阻止する性能、即ち潤滑油Ｙに対する軸封環体４９，５０のシール性を高める上で、螺旋溝６１，６２の設定箇所として好適である。
【００７７】
（１-19)螺旋溝６１，６２によってポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ掃き移される潤滑油Ｙの一部は、油侵入防止部７２の端面７２２に付着する。端面７２２に付着した潤滑油Ｙは、油侵入防止部７２の回転に伴う遠心力よって第３の油回収室７３の周壁面７３３に向けて飛ばされる。周壁面７３３に向けて飛ばされた潤滑油Ｙは、周壁面７３３に付着する。即ち、油侵入防止部７２は、螺旋溝６１，６２によってポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ掃き移された潤滑油Ｙを第３の油回収室７３を経由してギヤ収容室３３１に回収する役割を果たす。
【００７８】
（１-20)回転軸１９の周面１９２と貫通孔１４１との間には僅かな間隙があり、ロータ２７，３２とリヤハウジング１４の室形成壁面１４３との間には僅かな間隙がある。そのため、最終のポンプ室４３の圧力が前記の僅かな間隙を介してラビリンスシール５７に波及する。同様に、回転軸２０の周面２０２と貫通孔１４２との間にも僅かな間隙があるため、最終のポンプ室４３の圧力がラビリンスシール５８に波及する。排気圧波及溝６３，６４のない場合には、吸入領域４３１の圧力と最大圧力領域４３２の圧力とがラビリンスシール５７，５８に同程度に波及する。
【００７９】
本実施の形態における排気圧波及溝６３，６４は、ラビリンスシール５７，５８に対する最大圧力領域４３２の圧力の波及効果を高める。即ち、排気圧波及溝６３，６４を介した最大圧力領域４３２の圧力の波及効果が吸入領域４３１の圧力の波及効果を大きく上回る。従って、排気圧波及溝６３，６４がある場合にポンプ室４３からラビリンスシール５７，５８に波及する圧力は、排気圧波及溝６３，６４がない場合に比べて大きく上回ることになる。その結果、排気圧波及溝６３，６４がある場合のラビリンスシール５７，５８の前後の圧力差は、排気圧波及溝６３，６４がない場合に比べて大きく下回る。即ち、排気圧波及溝６３，６４は、ラビリンスシール５７，５８における油洩れ防止効果を高める。
【００８０】
（１-21)ドライポンプ型のルーツポンプ１１では、ポンプ室３９〜４３内での潤滑油Ｙの使用は行われない。ポンプ室３９〜４３内に潤滑油Ｙを存在させたくないルーツポンプ１１は、本発明の適用対象として好適である。
【００８１】
本発明では、図９の第２の実施の形態、図１０の第３の実施の形態、図１１の第４の実施の形態、図１２の第５の実施の形態及び図１３の第６の実施の形態も可能である。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が用いてある。第２〜第６の実施の形態では、回転軸１９側についてのみ説明するが、回転軸２０側にも同様の構成が設けられている。
【００８２】
図９の第２の実施の形態では、軸封環体４９の最大径部６０に肉取り凹部４９３が設けられている。肉取り凹部４９３の大径周面４９４は、ポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側に向かうにつれて拡径してゆくテーパ周面である。
【００８３】
大径周面４９４に付着した潤滑油Ｙは、軸封環体４９の回転に伴う遠心力によってポンプ室４３側からギヤ収容室３３１側へ移動してゆく。大径周面４９４を移動してゆく潤滑油Ｙは、油回収用端面７３１に移り、油回収用端面７３１に移った潤滑油Ｙは、第３の油回収室７３の周壁面７３３に向けて飛ばされる。軸封環体４９の軽量化をもたらす肉取り凹部４９３は、第３の油回収室７３の手前における軸封環体４９の部分への潤滑油Ｙの付着量を増やす。
【００８４】
図１０の第３の実施の形態では、一対の油侵入防止リング７５，７６が軸封環体４９の最小径部５９に嵌合して固定されており、嵌入孔４７には区画リング７７，７８が嵌入されている。一対の油侵入防止リング７５，７６は、ベアリングホルダ４５の奥壁６９と嵌入孔４７の底形成面４７２との間の空間を３つの油回収室７９，８０，８１に区画している。
【００８５】
図１１の第４の実施の形態では、油侵入防止部８２，８３，７２が軸封環体４９に一体形成されている。
図１２の第５の実施の形態では、軸封環体４９に一体形成された油侵入防止部８４，８５，７２の半径は、この順に大きくなるようにしてある。油侵入防止部８４，８５，７２を包囲する油回収室８６，８７，８８の半径は、この順に大きくなるようにしてある。各油回収室８６，８７，８８の周壁面８６１，８７１，８８１は、テーパ周面にはなっていない。この実施の形態においても、第１の実施の形態における（１-1）〜（１-5）項、（１-8）〜（１-14)項、（１-15)〜（１-20)項と同様の効果が得られる。
【００８６】
図１３の第６の実施の形態では、回転軸１９及びロータ２７の端面に軸封環体４９Ａが一体形成されている。軸封環体４９Ａは、ロータハウジング１２に対向する側のリヤハウジング１４の端面に凹設された嵌入孔８９に嵌入されている。軸封環体４９Ａの端面と嵌入孔８９の底形成面８９１との間にはラビリンスシール９０が設けられている。
【００８７】
回転軸１９には一対の油侵入防止リング９１，９２が止着されている。嵌入孔４７の底形成面４７２とベアリングホルダ４５の奥壁６９との間には環状の油回収室９３が形成されている。
【００８８】
本発明では以下のような実施の形態も可能である。
（１）４つ以上の油侵入防止部を回転軸の軸線の方向に並設すること。
（２）第１の実施の形態において、軸封環体４９，５０と油侵入防止リング６６とを一体形成すること。
【００８９】
（３）第３の実施の形態において、区画リング７７，７８を一体形成すること。
（４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用すること。
【００９０】
前記した実施の形態から把握できる請求項記載以外の発明について以下に記載する。
〔１〕前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体的に回転可能に前記油侵入防止部よりも前記ポンプ室側に設けられた環状の軸封環体と、前記軸封環体と前記オイルハウジングとの各々に対して設けられたシール用対向面と、前記一対のシール用対向面の間に非接触型シール手段を設けた真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【００９１】
〔２〕前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の突出部位に対し、一体的に回転可能に前記油侵入防止部よりも前記ポンプ室側に設けられた環状の軸封環体と、前記軸封環体に対向するように前記オイルハウジングに形成されたシール面と、前記シール面に対向する前記軸封環体の対向面に設けられたポンピング手段とを備え、前記ポンピング手段は、前記回転軸の回転に伴い、前記対向面と前記シール面との間における油を前記ポンプ室側から前記油存在領域側へ付勢するようにした真空ポンプにおける油洩れ防止構造。
【００９２】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明では、回転軸と一体的に回転可能する複数の油侵入防止部を前記回転軸の軸線の方向に並設したので、真空ポンプにおけるポンプ室への油洩れを防止するために用いられる油侵入防止部による油侵入防止作用を向上し得るという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は多段ルーツポンプ１１全体の平断面図。（ｂ）は要部拡大平断面図。
【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断面図。
【図３】（ａ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。（ｂ）は図１のＤ−Ｄ線断面図。
【図４】（ａ）は図３（ｂ）のＥ−Ｅ線断面図。（ｂ）は要部拡大側断面図。
【図５】（ａ）は図３（ｂ）のＦ−Ｆ線断面図。（ｂ）は要部拡大側断面図。
【図６】要部拡大側断面図。
【図７】分解斜視図。
【図８】分解斜視図。
【図９】第２の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１０】第３の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１１】第４の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１２】第５の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図１３】第６の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【符号の説明】
１１…真空ポンプであるルーツポンプ。１４…オイルハウジングを構成するリヤハウジング。１９，２０…回転軸。１９１，２０１…軸線。１９３，２０３…突出部位。２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２…ガス移送体となるロータ。３３…オイルハウジングを構成するギヤハウジング。３３１…油存在領域となるギヤ収容室。３４，３５…歯車機構を構成する歯車。３７，３８…軸受けとなるラジアルベアリング。４３…ポンプ室。６７，６８，７２…油侵入防止部。６７１…周縁部となるテーパ周面。６８１，７２１…周縁部となる周壁面。６８２…油侵入防止端面。７０２，７１２…油回収用周壁面。７０，７１，７３…油回収室。７４…油回収通路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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