(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板上に撥インキ性を有する隔壁パターンを有し、該隔壁パターンの開口部に着色インキを充填しカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法において、
少なくとも、
前記透明基板上の隔壁パターンの開口部に着色インキを充填する工程と、
前記隔壁パターンの開口部の撥インキ性を除去する工程と、
前記充填した着色インキを乾燥する工程と、
を順次行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
透明基板上に撥インキ性を有する隔壁パターンを有し、該隔壁パターンの開口部に着色インキを充填するカラーフィルタの製造方法において、
少なくとも、
前記透明基板上の隔壁パターンの開口部に着色インキを充填する工程と、
前記充填した着色インキを仮乾燥する第１の乾燥工程と、
前記隔壁パターンの撥インキ性を除去する工程と、
前記充填した着色インキを本乾燥する第２の乾燥工程と、
を順次行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
前記隔壁パターンの撥インキ性を除去する処理方法が、コロナ放電処理、ＵＶ照射処理、エキシマＵＶ処理、酸素プラズマ処理、大気圧プラズマ処理またはアルカリ水溶液洗浄処理のいずれかの方法であることを特徴とする請求項１または２記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】
前記着色インキを充填する方法がインクジェット方式であることを特徴とする請求項１乃至３何れか１項記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラー液晶ディスプレイ等のカラー表示装置に使用されるカラーフィルタ基板の作製方法として、インクジェット方式が提案されている。このインクジェット方式を用いたカラーフィルタの製造方法としては、例えば、ブラックマトリックスに含フッ素化合物及び／または含ケイ素化合物を含有させ撥インキ性を有する隔壁とし、前記隔壁を着色工程における着色インキにじみ、混色を防止するための仕切り壁とするようにしたものがある（特許文献１、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平７−３５９１５号公報
【特許文献２】特開平７−３５９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
したがって、従来のカラーフィルタの製造方法では、遮光パターン全体が均一に撥インク機能を持つために、遮光パターン側面で着色インクがはじかれ、画素の平滑性が著しく悪くなり、色ムラ及び色抜け（白抜け）等が生じ易いという製造上および特性上の不具合が発生する課題があった。
【０００４】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、着色パターンを設けた際の白抜け及び色ムラ等の不具合をなくし、カラーフィルタとしての要求特性に優れ、特に平滑性、色特性を向上させたカラーフィルタの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述の目的を達成するために、本発明にかかるカラーフィルタの製造方法は、少なくとも、透明基板上の隔壁パターンの開口部に着色インキを充填する工程と、前記隔壁パターンの開口部の撥インキ性を除去する工程と、前記充填した着色インキを乾燥する工程とを順次行うことを特徴とする。
【０００６】
上述の目的を達成するために、本発明にかかるカラーフィルタの製造方法は、少なくとも、透明基板上の隔壁パターンの開口部に着色インキを充填する工程と、前記充填した着色インキを仮乾燥する第１の乾燥工程と、前記隔壁パターンの撥インキ性を除去する工程と、前記充填した着色インキを本乾燥する第２の乾燥工程とを順次行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
このような、本発明のカラーフィルタの製造方法によれば、着色パターンを設けた際の、白抜け及び色ムラ等の不具合がなく、カラーフィルタとしての要求特性に優れ、特に平滑性、色特性を向上させることが出来る効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて説明するが、本発明はこれにより限定されるものではない。図１は本発明のカラーフィルタの製造方法の一実施の形態を示す説明図である。
図１に示すカラーフィルタの製造方法では、同図（ａ）に示すように透明基板１上に撥インキ性を有する隔壁パターン２が形成される。次に、同図（ｂ）、（ｃ）に示すように隔壁パターン２間の開口部１１にインクジェット法を適用しインキジェット装置４により赤色Ｒ，緑色Ｇ，青色Ｂの着色インキを吐出する。次に、同図（ｄ）、（ｅ）に示すように隔壁パターン２またはその開口部１１の撥インキ性を除去した後に、着色インキを乾燥、硬化させることにより、着色パターン５Ｒ，５Ｇ，５Ｂを形成する。
図２は、本実施の形態のカラーフィルタの製造方法で製造されたカラーフィルタを示す説明図である。
【０００９】
本実施の形態においては、透明基板１上に撥インキ性を有する隔壁パターン２を形成する。この透明基板１には、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板等が使用できる。
また、本実施の形態における隔壁パターン２は、フォトリソグラフィ法、印刷法、転写法等公知の製法で形成される。
なお、隔壁パターン２に遮光材を含有し、ブラックマトリックスとして使用してもよい。
【００１０】
隔壁パターン２への撥インキ性の付与は公知の方法で発現させることができる。例えば、隔壁パターン材料にケイ素または/およびフッ素の原子を含む材料を添加することで隔壁パターン２に撥インキ性を付与することができる。
【００１１】
また、隔壁パターン２間へ着色インキＲ，Ｇ，Ｂを吐出した際に、隣接する画素への混色を減少させるためには、着色インキに対する隔壁パターン上面の接触角が２０°以上であるようにすることが好ましい。接触角が２０°以下の場合、隣接する着色パターン２への混色が起こりやすくなり、歩留まり減少の原因となる。
【００１２】
本実施の形態においては、隔壁パターン２の開口部１１にインクジェット法により複数の色要素を持つ着色インキを吐出する。この着色インキは、着色顔料を含有した熱硬化性もしくは感光性樹脂が用いられる。溶媒としては溶解性の他に経時安定性、乾燥性などが要求され、色素、樹脂との関係にて適宜選択される。着色インクに使用する溶剤種としてはインクジェット方式における適性の表面張力範囲５０ｍＮ／ｍ以下で、且つ、沸点が１３０℃以上のものが好ましい。表面張力が５０ｍＮ／ｍ以上であるとインクジェット吐出時のドット形状の安定性に著しい悪影響を及ぼし、また、沸点が１３０℃以下であるとノズル近傍での乾燥性が著しく高くなり、その結果、ノズル詰まり等の不良発生を招くので好ましくない。
【００１３】
使用するインキジェット装置４としては、インキ吐出方法の相違によりピエゾ変換方式と熱変換方式があり、特にピエゾ変換方式が好適である。インキの粒子化周波数は５〜１００ＫＨｚ程度、ノズル径としては５〜８０μｍ程度，ヘッドを３個配置し、１ヘッドにノズルを６０〜５００個組み込んだ装置が好適である。
【００１４】
着色インキを吐出した後に、隔壁パターン２の撥インキ性をコロナ放電処理、ＵＶ照射処理、エキシマＵＶ処理、酸素プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、アルカリ水溶液洗浄処理のいずれか好適な方法を用いて除去する。
【００１５】
撥インキ性を除去した後の隔壁パターン２の着色インキに対する接触角が２０°以下であるようにすることが好ましい。接触角が２０°以下の場合、着色インキの隔壁パターン２への塗れ性が良くなり、画素形状が平坦化する。接触角が２０°以上の場合、着色パターン５Ｒ，５Ｇ，５Ｂが凸状になり、着色パターン５Ｒ，５Ｇ，５Ｂの白抜けあるいは色ムラが発生する。
【００１６】
インクジェット方式で着色インキを隔壁パターン２へ吐出した後に、撥インキ性を除去しても混色は発生しなかった。混色が発生した場合には、撥インキ性を除去する工程を着色インキを仮乾燥させた後に行なっても良い。
【００１７】
撥インキ性を除去した後に、着色インキを本乾燥し、充分に乾燥、重合させて、カラーフィルタとする。
【００１８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、撥インキを有する隔壁パターン２に着色インキを吐出した後に、撥インキ除去処理を行い、充填されたインキと隔壁パターン２との塗れ性を向上させ、着色インキがレベリングされる。そのため、隔壁パターン２間に着色パターン５Ｒ，５Ｇ，５Ｂを設けた際の、白抜け及び色ムラ等の不具合がなく、カラーフィルタとしての要求特性に優れ、特に平滑性が良く、色特性に優れたカラーフィルタの製造方法およびその方法で製造されたカラーフィルタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態のカラーフィルタの製造方法を示す説明図である。
【図２】本発明のカラーフィルタを示す説明図である。
【符号の説明】
【００２０】
１……透明基板、２……隔壁パターン、４……インクジェット装置、５Ｒ……着色パターン（フィルタ部）、５Ｇ……着色パターン（フィルタ部）、５Ｂ……着色パターン（フィルタ部）、１１……開口部。
【図１】
0004793045.tif 000002
【図２】
0004793045.tif 000003