(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶板ガラスを成形するに際して、炉内の上方に存する成形体に導かれた溶融ガラスが流下して板状に成形されつつ炉の下方開口部を通じて引き抜かれるまでの過程で、溶融ガラスに加熱処理を施すために用いられる液晶板ガラス用加熱装置であって、
前記溶融ガラスの少なくとも幅方向における加熱温度を調整することにより前記溶融ガラスの幅方向における温度分布が均一化されるように、
単一の加熱器に設けられる線状発熱体を、並列に配列され且つその配列領域の上下方向全長に亘って連続して延びる複数の直線部が、両端で折り返されてなる波形状に曲折し、且つそれら複数の直線部の幅方向における配設密度に粗密を存在させると共に、その加熱器を複数個備えてなることを特徴とする液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項２】
前記複数の加熱器の相互間に対応する領域の温度変化が抑制されることにより前記溶融ガラスの幅方向における温度分布が均一化されるように、前記単一の加熱器に設けられる線状発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度に粗密が存在すると共に、その加熱器が複数個備えられていることを特徴とする請求項１に記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項３】
前記線状発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度は、前記加熱器の幅方向中央部で粗となり且つ幅方向端部で密となるように構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項４】
前記加熱器の加熱温度は、前記線状発熱体が密である部位の最高温度と、粗である部位の最低温度との差が、１５℃未満であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項５】
前記板状ガラス成形体の少なくとも上下方向における加熱温度を調整することにより反りや残留歪が低減された板ガラスを得るための徐冷処理が施されるように、単一の第２の加熱器に設けられる発熱体の上下方向における配設密度に粗密を存在させると共にその加熱器を複数個備えてなることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項６】
前記線状発熱体の材質が、カンタル合金、ニッケルクロム合金、モリブデンまたは炭化珪素であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項７】
前記線状発熱体が耐熱性背面板に固定されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置を、炉壁の内側に配設したことを特徴とする液晶板ガラス用炉。
【請求項９】
請求項１〜７の何れかに記載の液晶板ガラス用加熱装置を使用して、オーバーフローダウンドロー法により板ガラスを成形することを特徴とする液晶板ガラスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶板ガラス、すなわち液晶ディスプレイのパネルの製作に使用される板ガラスの成形時に、成形体を通じて流下する溶融ガラスに対して加熱処理を施すための加熱装置、及びその加熱装置が配設された炉、ならびにその加熱装置を用いた液晶板ガラスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、各種フラットパネルディスプレイの普及、とりわけ液晶ディスプレイの普及に伴って、例えば肉厚が０．３〜１．２ｍｍ程度の薄肉の液晶板ガラスが多量に製造されるに至っている。この液晶板ガラスは、オーバーフローダウンドロー法やスロットダウンドロー法に代表される各種の方法で成形されているのが実情であるが、その成形により得られた板ガラスは、表面のうねりや粗さが小さく且つ表面品位に優れていることが要求される。
【０００３】
例えば、上記のオーバーフローダウンドロー法は、断面が略くさび形の成形体の上部に形成されたオーバーフロー槽に溶融ガラスを連続して供給し、この溶融ガラスをオーバーフロー槽から溢れさせて成形体の両側の側壁面に沿って流下させた後、成形体の下頂部で融合させて一枚の板状形態にし、この形態になった板状ガラス成形体が冷却ローラ（エッジローラ）により幅方向両端部を挟持されて固化した段階で、これを引張りローラが挟持しつつ下方に引き抜くことによって、最終的に製品となるべき液晶板ガラスを得る方法である（例えば特許文献１、２参照）。
【０００４】
この種の成形方法によれば、成形体の近傍における溶融ガラスは未だ固化していない状態であるため、粘性流体としての性質を有しており、したがって溶融ガラスは成形体の近傍における温度の影響を受けやすい。特に、成形体の近傍において、幅方向（オーバーフロー溝の長手方向）の温度分布が均一でなければ、溶融ガラスの幅方向に粘性力の異なる箇所が発生し、幅方向の引張りに対する溶融ガラスの応答に差が生じる。その結果、幅方向において板ガラスの厚みに偏析（偏肉と称される）が生じると共に、この偏肉が大きい場合には、液晶ガラス基板とカラーフィルタ用ガラス基板とを張り合わせる際に、ガラス基板の寸法に不整合が生じ、これに起因して、アライメントマークの位置ずれ、ひいては液晶デバイスの歩留まりの低下を招く。具体例として、ＴＦＴ液晶ディスプレイの製造工程では、３〜１５μｍのパターンずれを惹き起こし、輝度の低下による表示ムラが発生する。
【０００５】
更に、このように成形体の近傍における幅方向の温度分布が均一でなければ、幅方向において板ガラスの応力（歪）偏析が生じ、この応力の偏析が大きい場合には、板ガラスに割れ等が発生しやすくなり、品位面において致命的な欠陥を招くおそれがある。また、このように応力偏析の大きな板ガラスは、液晶ディスプレイの組立工程で局所的に加熱や冷却を行った場合に、再び局所的に引き延ばされることになるため、表面の平坦度等の精度に悪影響を及ぼすばかりでなく、割れの発生をも惹き起こす虞がある。
【０００６】
しかも、近年における液晶板ガラスの大板化に伴って、その幅方向寸法が長尺化（例えば２０００ｍｍ程度に長尺化）していることから、溶融ガラスの幅方向寸法も長尺にせざるを得ず、このような状況の下では、従来に増して、幅方向における温度制御の重要度が高くなっているのが実情である。
【０００７】
一方、例えば上記のスロットダウンドロー法は、溶融ガラスが供給される溶融ガラス収納槽の底壁にスリット状の開口部が形成され、この開口部を通じて溶融ガラスを流下させることにより一枚の板状形態にし、この形態になった板状ガラス成形体を引張りローラが引き抜く方法である（例えば特許文献３参照）。このスロットダウンドロー法においても、上述のオーバーフローダウンドロー法と同様に、幅方向における温度制御の重要度が高くなっている。
【０００８】
以上のような温度制御に関連した技術として、既述の特許文献１によれば、成形用と徐冷用とを含む炉の内部空間（炉室）を、隔壁により上下方向に複数の室に分離すると共に、その分離した各室毎に、室温制御装置により室温を制御する構成が開示されている。尚、この炉室には、オーバーフローダウンドロー法を実行すべく、溶融ガラスを溢れさせて流下させる成形体と、溶融ガラスの直下方に連なる板状ガラス成形体を引き抜く引張りローラとが配設され、上記の室温制御装置によって、成形時もしくは徐冷時におけるガラスのガラス転移点から歪点までの平均冷却速度を１．２℃／秒に調整するように構成されている。
【０００９】
また、既述の特許文献２によれば、成形用の炉の内部空間における溶融ガラスの近傍に、複数の加熱器を幅方向に隣接させて配置し、幅方向の所定区画毎に各加熱器により温度分布を調整する構成が開示されている。更に、既述の特許文献３によれば、徐冷用の炉の内部空間における溶融ガラスの直下方に連なる板状ガラス成形体の近傍に、幅方向のみならず、上下方向にも複数の加熱器を配置し、上下方向に対しても温度分布を調整することにより、適切な徐冷温度条件とすることが開示されている。
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−５３４２６号公報
【特許文献２】特開２００１−３１４３４号公報
【特許文献３】特開２００１−３１４３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記の特許文献１に開示された温度制御方法は、炉室を複数に分離してなる各室毎に雰囲気温度を調整できるに留まるため、つまり１つの室を１単位として温度を調整できるに留まるため、１つの室についてはその全域が実質的に同温度となり、したがって異なる室毎に段階的に温度が異なるという態様で温度制御がなされることになる。そのため、各室の容積が大きければ、炉室内の温度制御を緻密に行うことが極めて困難となるのに対して、各室の容積を小さくすれば、室の数が不当に多くなり、各室相互間の温度コントロールが複雑になると共に、炉内の施工時間の長期化や炉のコストの高騰を招き、更にはメンテナンスの困難化を余儀なくされる。尚、この温度制御方法は、炉室を隔壁で上下方向に分離したものであるため、幅方向の温度分布を調整できないのは当然の事であるが、仮に炉室を幅方向に分離したとしても、上記と同様の問題が生じる。
【００１２】
一方、特許文献２、３に開示された温度制御方法は、複数の加熱器を幅方向に隣接して配置しているものの、近年における液晶板ガラスの大板化を勘案すれば、板ガラスの偏肉や応力偏析の問題解決には到底至らない。即ち、この種の用途に頻繁に使用されている例えば線状発熱体（発熱素線）を備えてなる加熱器を例に挙げて説明すると、図８に示すように、この加熱器１７は、背面板１７ｂに、発熱素線１７ａが一定のピッチＰで複数列に配列される形態の波形状となるように曲折されて取り付けられている。換言すれば、発熱素線１７ａは、幅方向（同図左右方向）において一定の分布密度で配列されていることになる。尚、この種の加熱器１７としては、幅方向の寸法が、１５０〜５００ｍｍ程度、好ましくは３００〜４００ｍｍ程度のものを使用するのが通例である。
【００１３】
このような状態で発熱素線１７ａが配列された加熱器１７の温度分布は、図４に特性曲線Ｂで示すように、加熱器１７の幅方向端部よりも中央部が必然的に高くなることから、この加熱器１７を、上述のように幅方向に複数隣接させて配置した場合には、図９にその特性曲線ＢＸを模式的に示すように、各加熱器１７の幅方向中央部に高温の山部Ｆ１が形成され、且つ、各加熱器１７の幅方向端部の相互間に低温の谷部Ｈ１が形成される。尚、これらの谷部Ｈ１は、施工上の理由から、各加熱器１７を相互に一定間隔（３〜５ｍｍ程度）を空けて設置せざるを得ない事と相俟って、一層低温となる。
【００１４】
このような特性を備えた単一の加熱器１７を、その加熱器１７の幅方向と溶融ガラスの幅方向とを一致させて成形体の近傍に配置すれば、溶融ガラスに対する加熱温度は、幅方向中央部と両端部とで不当に異なることから、液晶板ガラスの偏肉等の問題を確実に回避し得る程度までに溶融ガラスの幅方向における温度分布を均一にすることは不可能であると言わざるを得ない。また、液晶板ガラスの大板化に対処すべく、このような特性を備えた複数個の加熱器１７を、幅方向に隣接させて配置したとしても、これらの加熱器１７の集合によるトータルの温度分布は、上記の図９に示す特性曲線ＢＸのように複数の山部Ｆ１と谷部Ｈ１との温度差が不当に大きくなることから、これによっても、当然の事ながら溶融ガラスの幅方向における温度分布の均一化を図ることが極めて困難となる。その結果、図１０に示すように、液晶板ガラスＧＸの幅方向における各加熱器１７相互間に対応する複数箇所に、致命的な欠陥となり得る偏肉部Ｚ１が発生する。尚、上記の加熱器１７を小型にしてその設置個数を多くしたならば、幅方向における溶融ガラスの温度分布をある程度均一化することは可能である。しかしながら、そのようにした場合には、多数の制御回路等が必要になるばかりでなく、各加熱器の温度コントロールの複雑化、炉内の施工時間の長期化、炉のコストの高騰、更にはメンテナンスの困難化等を招来し、実質的には、既述のように炉室を複数に分離した場合と同様の致命的な問題が生じる。
【００１５】
また、特許文献３に開示されているように、成形体から流下する溶融ガラスが板状ガラス成形体となった後に、徐冷炉内でその板状ガラス成形体に徐冷処理を施すべく、上記の加熱器１７を複数個配置しても、一個の加熱器の加熱温度分布が既に述べたように適切でないことから、反りが少なく且つ残留歪の小さな液晶板ガラスを製造し得る徐冷条件（加熱条件）に正確に合致するような温度分布とすることは極めて困難である。
【００１６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、単一の加熱器の加熱温度分布が好適となるように改良を加えることにより、溶融ガラスの幅方向における温度分布を効果的に均一化して液晶板ガラスの偏肉等の問題を回避することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するためになされた本発明は、液晶板ガラスを成形するに際して、炉内の上方に存する成形体に導かれた溶融ガラスが流下して板状に成形されつつ炉の下方開口部を通じて引き抜かれるまでの過程で、溶融ガラスに加熱処理を施すために用いられる液晶板ガラス用加熱装置であって、前記溶融ガラスの少なくとも幅方向における加熱温度を調整することにより前記溶融ガラスの幅方向における温度分布が均一化されるように、単一の加熱器に設けられる線状発熱体を、並列に配列され且つその配列領域の上下方向全長に亘って連続して延びる複数の直線部が、両端で折り返されてなる波形状に曲折し、且つそれら複数の直線部の幅方向における配設密度に粗密を存在させると共に、その加熱器を複数個備えてなることに特徴づけられる。ここで、溶融ガラスの幅方向と、加熱器の幅方向とは、同方向である（以下、同様）。
【００１８】
このような構成によれば、成形体に供給された溶融ガラスが流下していく際に、単一の加熱器に設けられる線状発熱体（以下、単に発熱体ともいう）の幅方向における配設密度、詳しくは当該発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度が従来のように一定であるならば、溶融ガラスに対する加熱温度が幅方向で不当にばらつくような場合であっても、本発明によれば、単一の加熱器に設けられる発熱体の幅方向における配設密度に粗密が存在していることから、この発熱体の配設密度の粗密によって、つまり単一の加熱器自体が有している温度調整機能によって、上記の溶融ガラスに対する加熱温度のばらつきを吸収することが可能となる。その結果、溶融ガラスの幅方向における加熱温度を従来よりも均一にすることが可能となり、従来において上記の加熱温度が幅方向に不当なばらつきを生じていたことによる液晶板ガラスの偏肉や応力偏析が抑制され、高品位の液晶板ガラスを得ることができる。しかも、近年における液晶板ガラスの大板化に伴って、単一の加熱器も大型（幅方向寸法が３００ｍｍ以上）になっている現状に照らせば、複数の加熱器が配置される場合における加熱器の個数の削減や個々の加熱器に対する温度コントロールの簡素化の観点から、単一の加熱器に設けられる発熱体の幅方向における配設密度に粗密を存在させることの意義は大きい。尚、この加熱器は、溶融ガラスに加熱処理を施すことが可能な位置、つまり成形体の近傍に設けることが好ましいが、その僅か下方のエッジローラの近傍に設けてもよい。
更に、この構成においては、前記複数の加熱器の相互間に対応する領域の温度変化が抑制されることにより前記溶融ガラスの幅方向における温度分布が均一化されるようにするという観点から、前記単一の加熱器に設けられる線状発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度に粗密を存在させると共に、その加熱器を複数個備えるようにしてもよい。
【００１９】
この場合、前記線状発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度は、前記加熱器の幅方向中央部で粗となり且つ幅方向端部で密となるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、単一の加熱器に設けられる発熱体の幅方向における配設密度が従来のように一定であるならば、加熱器の幅方向中央部が高温となり且つ幅方向端部が低温となる場合であっても、その高温部及び低温部を均一化するように、発熱体の配列密度に粗密が存在していることになる。すなわち、単一の加熱器自体の適切な温度調整機能によって、溶融ガラスの幅方向における温度分布を均一化できることになる。したがって、液晶板ガラスの偏肉や応力偏析の抑制ひいては液晶板ガラスの品位向上がより確実化されると共に、液晶板ガラスの大板化に対してもより確実に対処可能となる。
【００２０】
更に、溶融ガラス及び板状ガラス成形体の温度分布のばらつきをより確実に抑制する上で、加熱器の加熱温度は、前記発熱体が密である部位の最高温度と、粗である部位の最低温度との差が、１５℃未満であることが好ましく、より好ましくは１０℃未満とされる。
【００２１】
また、上記の構成において、前記板状ガラス成形体の少なくとも上下方向における加熱温度を調整することにより反りや残留歪が低減された板ガラスを得るための徐冷処理が施されるように、単一の第２の加熱器に設けられる発熱体の上下方向における配設密度に粗密を存在させると共にその加熱器を複数個備えてなることが好ましい。ここで、溶融ガラスの上下方向と、第２の加熱器の上下方向とは、同方向である（以下、同様）。
【００２２】
このような構成によれば、成形体に供給された溶融ガラスが流下して板状ガラス成形体となって下方に移動していく際に、単一の第２の加熱器に設けられる発熱体の上下方向における配設密度が従来のように一定であるならば、板状ガラス成形体に徐冷処理を施すための加熱温度条件が上下方向で緻密に調整できない場合であっても、本発明によれば、単一の第２の加熱器に設けられる発熱体の上下方向における配設密度に粗密が存在していることから、この発熱体の配設密度の粗密によって、つまり単一の第２の加熱器自体が有している温度調整機能によって、上記の板状ガラス成形体に対する加熱温度条件の上下方向における緻密な調整をなし得ることになる。したがって、板状ガラス成形体の上下方向における徐冷条件を従来よりも緻密に調整することが可能となり、反りや残留歪が低減された液晶板ガラスを得る上で有利になるばかりでなく、複数の第２の加熱器が配置される場合には、個々の第２の加熱器に対する温度コントロールの簡素化等が図られる。尚、この第２の加熱器は、エッジローラから引張りローラに至るまでの部位に配置される。
【００２３】
この場合においては、周辺の温度雰囲気等に応じて、発熱体の配設密度が、第２の加熱器の上部が密で下部が粗となるか、或いは上部が粗で下部が密となるように構成されていることが好ましい。このようにすれば、単一の第２の加熱器に設けられる発熱体の上下方向における配設密度が従来のように一定であるならば、板状ガラス成形体に徐冷処理を施すための加熱温度条件が上下方向で緻密に調整できない場合であっても、そのような不具合を回避し得るように、発熱体の配設密度に粗密が存在していることになる。すなわち、単一の第２の加熱器自体の適切な温度調整機能によって、上記の緻密な調整を行うことができるようになり、液晶板ガラスの反りや残留歪の低減がより確実化される。
【００２５】
この場合、既述の利点をより一層確実に得るには、線状発熱体の材質は、カンタル合金、ニッケルクロム合金、モリブデンまたは炭化珪素であることが好ましい。
【００２６】
更に、液晶板ガラスの大板化に適切に対処するには、溶融ガラスまたは板状ガラス成形体の少なくとも幅方向に、以上の構成を備えた加熱器を複数個隣接させて配置することが好ましい。
【００２７】
尚、以上の構成において、加熱器は、熱による弊害を除去して効率よく加熱を行う上で、発熱体が耐熱性背面板に固定されていることが好ましい。
【００２８】
そして、以上の構成を備えてなる液晶板ガラス用加熱装置を、炉壁の内側に配設することにより、液晶板ガラス用炉として提供することができる。
【００２９】
また、以上の構成を備えてなる液晶板ガラス用加熱装置を使用して、オーバーフローダウンドロー法により板ガラスを成形する液晶板ガラスの製造方法を提供することができる。尚、この場合においては、以上の構成を備えてなる液晶板ガラス用加熱装置を使用して、スロットダウンドロー法により板ガラスを成形することが排除されるわけではない。
【発明の効果】
【００３０】
以上のように本発明によれば、単一の加熱器に設けられる線状発熱体の複数の直線部の幅方向における配設密度に粗密が存在していることから、この線状発熱体のそれら直線部の配設密度の粗密によって、つまり単一の加熱器自体の温度調整機能によって、溶融ガラスの幅方向における加熱温度のばらつきを吸収して均一化を図ることが可能となり、従来において上記の加熱温度が幅方向に不当なばらつきを生じていたことによる液晶板ガラスの偏肉や応力偏析が抑制され、高品位の液晶板ガラスを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００３３】
図１は、本発明の実施形態に係る液晶板ガラス用加熱装置が配設された成形装置の内部状態を模式的に示す概略縦断側面図、図２は、その成形装置の内部状態を模式的に示す概略縦断正面図である。これらの各図に示すように、この成形装置１の基本的構成は、断面形状が略くさび状をなし且つ上部にオーバーフロー溝２ａが形成された成形体２と、この成形体２の上部から溢れ出た溶融ガラスＹを板状ガラス成形体Ｇとして引き抜く引張りローラ３と、成形体２の下頂部２ｂから引張りローラ３に至るガラス成形経路の途中に配置された冷却ローラ（エッジローラ）４とを備えている。これらの各構成要素２、３、４、Ｙ、Ｇは、耐火煉瓦からなる炉５により取り囲まれている。
【００３４】
そして、炉５の内面における成形体２の近傍、即ち、炉５を構成している両側壁５ａの上部内面にはそれぞれ、成形体２の両側壁面２ｃ（溶融ガラスＹ）に対面するように、第１加熱装置６が配設されている。また、炉５の内面における冷却ローラ４と引張りローラ３との間、即ち、炉５を構成している両側壁５ａの下部内面にはそれぞれ、板状ガラス成形体Ｇに対面するように、第２加熱装置８が配設されている。そして、第１加熱装置６は、各側壁５ａ毎に、幅方向に４個が隣接し且つ上下２段に隣接して配置された計８個の第１加熱器７を備えると共に、第２加熱装置８は、各側壁５ａ毎に、幅方向に隣接して配置された３個の第２加熱器９を備えている。
【００３５】
したがって、この成形装置１によれば、成形体２に供給されてその上部から側壁面２ｃに沿って流下する溶融ガラスＹは、第１加熱装置６により加熱されて粘度を調整されつつ、成形体２の下頂部２ｂで融合して一枚の板状となり、この板状ガラス成形体Ｇが第２加熱装置８により加熱されて徐冷されつつ、引張りローラ３により挟持されて下方に引き抜かれていく。
【００３６】
この場合、第１加熱装置６の構成要素である第１加熱器７は、図３に示すように、線状発熱体（発熱素線）７ａの配設密度が一様ではなく粗密が存在する状態、つまり幅方向中央部で粗となり且つ幅方向両端部で密となっている。詳述すると、この発熱素線７ａは、並列に配列され且つその発熱素線７ａの配列領域の上下方向全長に亘って連続して延びる複数の直線部７ａ１を、両端で折り返してなる波形状に曲折された状態で、耐熱性背面板７ｂに数ｍｍ離隔して固定されると共に、発熱素線７ａの直線部７ａ１の間隔（ピッチ）は、幅方向中央領域Ｃで広くなり且つ各端部領域Ｄで狭くなっている。更に、その間隔は、幅方向中央領域Ｃの両側部Ｃ２がその中央部Ｃ１よりも相対的に広くなっている。具体的には、発熱素線７ａは、幅方向中央領域Ｃの中央部Ｃ１における直線部７ａ１の間隔が１８ｍｍ、その両側部Ｃ２における直線部７ａ１の間隔が２３ｍｍ、幅方向両端部領域Ｄにおける直線部７ａ１の間隔が１６ｍｍであって、それらの両端から耐熱性背面板７ｂの両端までの距離Ｅが１４ｍｍとされている。尚、発熱素線７ａの中央領域Ｃは、その全領域の１／２〜１／３を占めている。
【００３７】
この場合、発熱素線７ａは、カンタル合金、ニッケルクロム合金、モリブデンまたは炭化珪素で形成され、発熱素線７ａから発生する発塵等が溶融ガラスＹに付着することを抑制するために、この発熱素線７ａは、発塵性を有しないセラミック製耐火物で覆われている。また、耐熱性背面板７ｂは、溶融ガラスＹの成形に適した温度（例えば１５００℃、更には１６００℃）に対して耐久性があり且つ熱線を反射する特性を有する材質で形成されていることが好ましく、その形状は矩形に限られず、三角形、多角形、円形、楕円形またはこれらの組み合わせであってもよい。
【００３８】
このような構成からなる単一の加熱器７による加熱温度分布は、図４に示す特性曲線Ａから把握できるように、幅方向中央部からその両側周辺までの領域Ｆが略変化がなく平坦であるのに対して、幅方向両端部の領域Ｈが両側方に移行するに連れて僅かながら徐々に低温となっている。これを、従来の加熱器１７（発熱素線１７ａの配列密度が幅方向に一定のもの）が示す特性曲線Ｂと比較すれば、高温の山部が消失して平坦部Ｆが長くなり且つ徐々に温度低下する領域Ｈが狭くなると共に、最高温度が低下し且つ最低温度が高くなっており、全体的に見れば温度高低変化量が１／２以下、或いは１／３以下となっている。しかも、この加熱器７の最高加熱温度と最低加熱温度との差は、この実施形態では８℃であり、因みに従来の加熱器１７の場合には、その温度差が２２℃であった。
【００３９】
そして、このような特性を示す加熱器７を計８個備え且つこれらを幅方向に４個ずつ上下２段に隣接配置してなる第１加熱装置６による加熱温度分布、つまり溶融ガラスＹの幅方向全域に対する加熱温度分布は、図５に実線で示す特性曲線ＡＸから把握できるように、各加熱器７の幅方向中央領域Ｃに対応する高温の山部が相対的に低温の平坦部Ｆとなり、且つ各加熱器７の相互間隙間に対応する低温の谷部Ｈの温度低下が緩やかとなる。尚、この加熱器７における発熱素線７ａの配列状態を変更した場合、或いは変更しない場合であっても、加熱量の相違や周辺温度の相違等によって、図５に点線で示す特性曲線のように、上記の平坦部Ｆが全体的に低温となり且つ上記の谷部Ｈが山部となることもあり得る。以上のような特性であれば、この加熱装置６によって加熱される溶融ガラスＹの幅方向における温度分布が均一化され、図６に示すように、最終的に得られる液晶板ガラスＧＸに、各加熱器７の相互間部位に対応する偏肉部Ｚが殆ど出現しなくなる（図６は、偏肉部Ｚを誇張して示している）。従って、従来において図９に示すように複数の加熱器の相互間に対応する領域に存在していた温度変化が抑制される。
【００４０】
一方、溶融ガラスＹが流下して冷却ローラ４を通過した後に板状形態となった板状ガラス成形体Ｇは、第２加熱装置８によって加熱されて徐冷処理を受ける。この第２加熱装置８の構成要素である第２加熱器９は、図７に示すように、線状発熱体（発熱素線）９ａの配設密度が上下方向に粗密を有する状態、図例では上部が密であり且つ下部が粗になっている。詳述すると、この発熱素線９ａは、並列に配列され且つ幅方向に延びる複数の直線部９ａ１を両端で折り返してなる波形状に曲折された状態で、耐熱性背面板９ｂに数ｍｍ離隔して固定されると共に、発熱素線９ａの直線部９ａ１の間隔は、上部から下方に移行するに連れて徐々に広くなっている。尚、この第２加熱器９は、板状ガラス成形体Ｇが下方に移行する際の不当な温度低下を阻止することを重視すれば、上記とは逆に、線状発熱体（発熱素線）９ａの配設密度を、上部が粗となり且つ下部が密となるようにしてもよい。この場合、発熱素線９ａ及び耐熱性背面板９ｂの材質或いは特性は、上述の第１加熱器７の場合と同様である。
【００４１】
このような加熱器９を幅方向に３個隣接配置してなる第２加熱装置８による加熱温度分布、つまり板状ガラス成形体Ｇに対する加熱温度分布は、板状ガラス成形体Ｇが上方から下方に移行するに連れて徐々に温度条件が変化するようになっている。したがって、板状ガラス成形体Ｇに対しては、上下方向に緻密な温度調整をすることによりガラスの転移点から歪点付近の温度を調節しながら徐冷処理を施すことが可能となり、反りや残留歪が低減された高品位の液晶板ガラスを得ることができる。
【００４２】
尚、上記実施形態では、第１加熱器７及び第２加熱器９の発熱体として線状発熱体を使用したが、既に述べた高温に耐え得る発熱体であれば、線状のものでなくてもよく、また線状発熱体である場合に、その配列状態は上記例示の状態である必要はなく、線状発熱体の配設密度の粗密の状態が同等であれば、他の配列状態であってもよい。
【００４３】
更に、上記実施形態は、オーバーフローダウンドロー法で成形される液晶板ガラスに本発明を適用したが、これ以外に、例えばスロットダウンドロー法で成形される液晶板ガラスについても同様にして本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶板ガラス用加熱装置が配設された成形装置を示す概略縦断側面図である。
【図２】前記成形装置の概略縦断正面図である。
【図３】前記液晶板ガラス用加熱装置の構成要素である第１加熱器を示す正面図である。
【図４】前記第１加熱器の温度特性を示すグラフである。
【図５】前記第１加熱器により構成された第１加熱装置の温度特性を示すグラフである。
【図６】前記第１加熱装置を使用して製造された液晶板ガラスを誇張して示す平面図である。
【図７】前記液晶板ガラス用加熱装置の構成要素である第２加熱器を示す正面図である。
【図８】従来の加熱器を示す正面図である。
【図９】従来の加熱器により構成された加熱装置の温度特性を示すグラフである。
【図１０】従来の加熱装置を使用して製造された液晶板ガラスを示す平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  成形装置
２  成形体
５  炉
５ａ  炉の側壁（炉壁）
６  第１加熱装置（液晶板ガラス用加熱装置）
７  第１加熱器
７ａ  発熱素線（線状発熱体）
７ｂ  耐熱性背面板
８  第２加熱装置（液晶板ガラス用加熱装置）
９  第２加熱器
９ａ  発熱素線（線状発熱体）
９ｂ  耐熱性背面板
Ｙ  溶融ガラス
Ｇ  板状ガラス成形体
【図１】
0004821260.tif 000002
【図２】
0004821260.tif 000003
【図３】
0004821260.tif 000004
【図４】
0004821260.tif 000005
【図５】
0004821260.tif 000006
【図６】
0004821260.tif 000007
【図７】
0004821260.tif 000008
【図８】
0004821260.tif 000009
【図９】
0004821260.tif 000010
【図１０】
0004821260.tif 000011