(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料層と電極層とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層された圧電素子と、複数の圧電素子の一端部側が一方面に接合される固定基板とを具備する圧電素子ユニットを形成する際に、前記圧電素子と前記固定基板とを位置決め接合する加圧接合装置であって、
前記固定基板を保持すると共に装置本体に着脱自在に固定される保持治具と、前記装置本体に前記固定基板の面方向に移動自在に設けられると共に、前記固定基板の一側面に当接する当接部と、前記圧電素子の側面に嵌合する位置決め用凹部とが設けられて、前記当接部に前記固定基板を当接すると共に前記位置決め用凹部に前記圧電素子を嵌合して前記圧電素子と前記固定基板とを位置決めする位置決め治具と、前記圧電素子及び前記固定基板の前記位置決め治具とは反対側の側面に当接して、前記圧電素子及び前記固定基板を前記位置決め治具側に押圧する押し込み手段と、前記装置本体に設けられて前記圧電素子を前記固定基板側に押圧する加圧手段とを具備することを特徴とする加圧接合装置。
【請求項２】
前記保持治具が、前記固定基板が載置される基台部と、前記基台部の前記固定基板に相対向する領域に前記基台部側に移動自在に設けられると共に、前記基台部との間で前記固定基板と前記圧電素子とを挟持する押圧部とで構成されていることを特徴とする請求項１記載の加圧接合装置。
【請求項３】
前記位置決め治具の前記当接部が、前記固定基板の側面に嵌合する凹形状を有することを特徴とする請求項１又は２記載の加圧接合装置。
【請求項４】
前記保持治具には、前記固定基板が当接されて位置決めされると共に、前記位置決め治具によって当接状態が解除される基準ピンが設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の加圧接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子と圧電素子が保持される固定基板とを位置決め接合して圧電素子ユニットを形成する際に用いられる加圧接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク等の液体を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインクを吐出させる液体噴射ヘッドには、圧電材料層と電極層とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層した圧電素子が実用化されている。
【０００３】
そして、圧電材料層と電極層とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層された圧電素子を用いた液体噴射ヘッドとしては、複数の圧電素子と、複数の圧電素子の一端部側が固定された固定基板とで構成された圧電素子ユニットが用いたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような圧電素子ユニットは、圧電素子と固定基板とを相対的に位置決めして加圧接合する加圧接合装置によって形成されていた。この加圧接合装置としては、例えば、固定基板を保持する保持治具と、圧電素子の側面に嵌合する凹部が設けられ、この凹部に圧電素子を嵌合することで圧電素子の位置決めを行う位置決め治具とを具備し、保持治具を装置本体に位置決めした後、位置決め手段によって圧電素子を固定基板に対して位置決めしていた。
【０００５】
しかしながら、保持治具及び位置決め治具はそれぞれ装置本体に位置決めされて固定されるため、保持治具の精度によって圧電素子と固定基板との位置決めを高精度に行うことができないという問題がある。
【０００６】
また、圧電素子ユニットを量産するには、数百個の保持治具を用意しなくてはならず、複数の保持治具の精度を管理するのが困難であると共に、保持治具と位置決め手段との位置決め誤差にバラツキが生じ、高精度な位置決めを行うことができないという問題がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１２９４７４号公報（第３〜４頁、第１〜２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、位置決め精度を向上して精度のばらつきを減少させると共にコストを低減した加圧接合装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、圧電材料層と電極層とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層された圧電素子と、複数の圧電素子の一端部側が一方面に接合される固定基板とを具備する圧電素子ユニットを形成する際に、前記圧電素子と前記固定基板とを位置決め接合する加圧接合装置であって、前記固定基板を保持すると共に装置本体に着脱自在に固定される保持治具と、前記装置本体に前記固定基板の面方向に移動自在に設けられると共に、前記固定基板の一側面に当接する当接部と、前記圧電素子の側面に嵌合する位置決め用凹部とが設けられて、前記当接部に前記固定基板を当接すると共に前記位置決め用凹部に前記圧電素子を嵌合して前記圧電素子と前記固定基板とを位置決めする位置決め治具と、前記圧電素子及び前記固定基板の前記位置決め治具とは反対側の側面に当接して、前記圧電素子及び前記固定基板を前記位置決め治具側に押圧する押し込み手段と、前記装置本体に設けられて前記圧電素子を前記固定基板側に押圧する加圧手段とを具備することを特徴とする加圧接合装置。
かかる第１の態様では、固定基板と圧電素子とは、位置決め治具の当接部及び位置決め用凹部によって位置決めすることができ、位置決め治具に位置決め基準を持たせて両者の位置決めを高精度に行うことができる。また、複数の保持治具を用いても、圧電素子と固定基板との位置決めを位置決め治具を用いて行うことができるため、複数の保持治具による精度のばらつきを減少させることができ、歩留まりを向上してコストを低減することができると共に、高精度な保持治具が不要となりコストを低減することができる。
【００１０】
本発明の第２の態様は、前記保持治具が、前記固定基板が載置される基台部と、前記基台部の前記固定基板に相対向する領域に前記基台部側に移動自在に設けられると共に、前記基台部との間で前記固定基板と前記圧電素子とを挟持する押圧部とで構成されていることを特徴とする第１の態様の加圧接合装置にある。
かかる第２の態様では、保持治具を装置本体から取り外しても、保持治具による圧電素子を固定基板に押圧した状態を保持することができるため、製造時間を短縮してコストを低減することができる。
【００１１】
本発明の第３の態様は、前記位置決め治具の前記当接部が、前記固定基板の側面に嵌合する凹形状を有することを特徴とする第１又は２の態様の加圧接合装置にある。
かかる第３の態様では、当接部を凹形状とすることで、固定基板と圧電素子との幅方向の位置決めも高精度に行うことができる。
【００１２】
本発明の第４の態様は、前記保持治具には、前記固定基板が当接されて位置決めされると共に、前記位置決め治具によって当接状態が解除される基準ピンが設けられていることを特徴とする第１〜３の何れかの態様の加圧接合装置にある。
かかる第４の態様では、固定基板が基準ピンによって保持治具上に位置決めされることで、固定基板への接着剤の塗布を容易に且つ高精度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、圧電素子ユニットの概略斜視図であり、図２は、図１のＡ−Ａ′断面図である。図１及び図２に示すように、本実施形態の圧電素子ユニット１０は、複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列１２を有する圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が接着剤２０を介して接着される固定基板１４とを有し、例えば、液体噴射ヘッドに搭載される。
【００１４】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、電極層１６、１７とを交互にサンドイッチ状に挟んで積層することにより形成され、例えば、ワイヤソー等によって複数の切り込み部１８を形成することにより櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１の列１２が形成されている。また、圧電素子１１の列１２の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子ユニット１０を液体噴射ヘッドに組み込む際に、圧電素子ユニット１０を高精度に位置決めするために設けられている。
【００１５】
一方、固定基板１４は、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる板状部材からなり、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が接着剤２０を介して接着されている。
【００１６】
そして、このような圧電素子ユニット１０は、液体噴射ヘッドに搭載される。以下に、その一例を説明する。なお、図３は、液体噴射ヘッドの概略を示す断面図である。図３に示すように、流路形成基板３０はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁によって画成された圧力発生室３２がその幅方向に並設されている。また、各圧力発生室３２の長手方向一端部側には、各圧力発生室３２にインクを供給するためのリザーバ３３がインク供給口３４を介して連通されている。また、流路形成基板３０の圧力発生室３２の開口面側は振動板３５で封止され、他方面側にはノズル開口３６が穿設されたノズルプレート３７が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。
【００１７】
振動板３５上には、図示しない複数インクカートリッジに接続されるインク供給路を有するヘッドケース３８が固定されており、且つこのヘッドケース３８には、上述した圧電素子ユニット１０が高精度に位置決めされて固定されている。すなわち、圧電素子ユニット１０は、各圧電素子１１の先端が振動板３５上の各圧力発生室３２に対応する領域に設けられた各アイランド部３９に当接されて固定されている。
【００１８】
このように構成された液体噴射ヘッドでは、インクカートリッジに連通されるインク供給路を介してリザーバ３３にインクが供給され、インク供給口３４を介して各圧力発生室３２に分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板３５が圧電素子１１と共に引き上げられて圧力発生室３２の容積が広げられ、圧力発生室３２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口３６に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路からの記録信号に従い、圧電素子１１に印加していた電圧を解除すると、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻る。これにより、振動板３５も変位して元の状態に戻るため圧力発生室３２が収縮され、内部圧力が高まりノズル開口３６からインク滴が吐出される。
【００１９】
ここで、圧電素子形成部材１３と固定基板１４とを位置決め接着する加圧接合装置について説明する。なお、図４は、加圧接合装置の概略斜視図であり、図５は、加圧接合装置の平面図及びそのＢ−Ｂ′断面図である。
【００２０】
図示するように、加圧接合装置４０は、固定基板１４を保持すると共に装置本体４１に着脱自在に固定された保持治具５０と、装置本体４１に固定基板１４の面方向に移動自在に設けられて、圧電素子１１と固定基板１４との位置決めを行う位置決め治具６０と、圧電素子１１及び固定基板１４を位置決め治具６０側に押圧する押し込み手段７０と、圧電素子１１を固定基板１４側に所定の圧力で押圧する加圧手段８０とを具備する。
【００２１】
保持治具５０は、固定基板１４が載置される基台部５１と、基台部５１の一方面の両側に一端が固定された押圧用軸５２と、押圧用軸５２に移動自在に設けられた押圧部５３と、基台部５１と押圧部５３との間の押圧用軸５２の外周に設けられた付勢ばね５４とを具備する。
【００２２】
基台部５１は、矩形状の板状部材からなるステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなり、その一方面には、複数の固定基板１４、本実施形態では、４つの固定基板１４が載置されるようになっている。
【００２３】
また、基台部５１には、各固定基板１４が載置された際に、固定基板１４の側面が当接されて固定基板１４を位置決めする固定基板用基準ピン５５が設けられている。固定基板用基準ピン５５は、一端が固定基板１４に固定されて、他端側が固定基板１４の厚さよりも短く突出した円柱形状を有する。また、固定基板用基準ピン５５は、各固定基板１４に対してそれぞれ２本設けられている。本実施形態では、基台部５１上に４つの固定基板１４が載置されるため、固定基板用基準ピン５５は、合計８本設けられている。
【００２４】
さらに、基台部５１は、その一側面側に矩形状に切り欠いた凹部５６ａと、Ｖ字形状に切り欠いたＶ字部５６ｂとが設けられている。この凹部５６ａとＶ字部５６ｂとが装置本体４１に設けられた治具用基準ピン４２に嵌合されることで、保持治具５０は、装置本体４１に対して位置決めされた状態で着脱自在に固定される。
【００２５】
押圧部５３は、基台部５１に一端が固定された２本の押圧用軸５２に移動自在に設けられている。詳しくは、押圧用軸５２は、一端が基台部５１の一方面の長手方向端部側に固定された円柱形状を有する。また、押圧部５３は、押圧用軸５２の外径よりも若干大きな内径を有する挿通孔５７が設けられたステンレス鋼（ＳＵＳ）等の板状部材からなり、挿通孔５７を押圧用軸５２に挿通することで、押圧部５３は、基台部５１に対して押圧用軸５２の軸方向に移動自在に設けられている。
【００２６】
また、押圧部５３の基台部５１に相対向する面には、基台部５１上に保持された固定基板１４に接合される圧電素子１１を押圧する凸部５８が設けられている。
【００２７】
さらに、基台部５１と押圧部５３との間の押圧用軸５２の外周には、付勢ばね５４が設けられている。付勢ばね５４は、一端が基台部５１に当接すると共に他端が押圧部５３に当接することで、押圧部５３を基台部５１とは反対側に向かって付勢する。また、押圧用軸５２の外周には、押圧部５３の挿通孔５７の内径よりも大きな外径を有する規制部５９が螺合されている。この規制部５９は、押圧部５３が押圧用軸５２から外れるのを防止すると共に、規制部５９を基台部５１側に移動することで、押圧部５３と基台部５１との間で固定基板１４と圧電素子１１とを挟持させた状態で保持させるものである。
【００２８】
位置決め治具６０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる板形状を有し、装置本体４１に、固定基板１４の面方向に移動自在に設けられている。
【００２９】
また、位置決め治具６０には、固定基板１４の側面に当接する当接部６１と、圧電素子１１の側面に嵌合する位置決め用凹部６２とが設けられている。
【００３０】
当接部６１は、本実施形態では、例えば、固定基板１４の側面に嵌合するように厚さ方向に矩形状に切り欠いた凹形状を有する。また、位置決め用凹部６２は、当接部６１の側面に開口し、当接部６１よりも幅狭で且つ厚さ方向に貫通しない深さで形成された凹形状を有する。
【００３１】
このような位置決め治具６０は、詳しくは後述するが、固定基板１４の一方面の面方向に移動することで、当接部６１が固定基板１４の側面に当接して、固定基板１４と固定基板用基準ピン５５との間に隙間を形成して、当接状態を解除する（セットバック）。また、位置決め治具６０の移動によって、位置決め用凹部６２を圧電素子１１の側面に嵌合させて、固定基板１４と圧電素子１１との位置決めを行う。このため、位置決め治具６０の当接部６１及び位置決め用凹部６２は、固定基板１４と圧電素子１１との位置合わせができる大きさ及び位置で適宜設けられている。
【００３２】
押し込み手段７０は、装置本体４１に設けられて固定基板１４及び圧電素子１１の位置決め治具６０が当接する側面とは反対側の側面に当接して、固定基板１４及び圧電素子１１を位置決め治具６０側に押し込むものである。本実施形態では、押し込み手段７０として、各固定基板１４のそれぞれに対して固定基板１４を押し込む２本の固定基板用押し込みプローブ７１と、各圧電素子１１のそれぞれに対して各圧電素子１１を押し込む圧電素子用押し込みプローブ７２とを設けた。なお、固定基板用押し込みプローブ７１及び圧電素子用押し込みプローブ７２としては、特に限定されないが、例えば、先端が固定基板１４又は圧電素子１１に当接するプローブピンと、プローブピンの基端部側に嵌合してプローブピンを付勢ばねの力で付勢する嵌合部とで構成したものが挙げられる（図示なし）。
【００３３】
そして、このような押し込み手段７０によって圧電素子１１及び固定基板１４を位置決め治具６０側に押し込むことで、位置決め治具６０の当接部６１及び位置決め用凹部６２に固定基板１４及び圧電素子１１を当接させて、固定基板１４及び圧電素子１１の位置決めを行うことができる。
【００３４】
このように、固定基板１４と圧電素子１１とは、位置決め治具６０の当接部６１及び位置決め用凹部６２によって位置決めされるため、位置決め治具６０に位置決め基準を持たせて両者の位置決めを高精度に行うことができる。すなわち、従来のように、保持治具に固定基板１４を位置決め保持させて、保持治具を装置本体に対して位置決めすると共に、圧電素子１１を装置本体に設けられた位置決め治具によって位置決めする場合、固定基板１４と圧電素子１１との位置決めを行う位置決め基準を装置本体に持たせることになるため、保持治具による固定基板１４の位置決めや、保持治具と装置本体との位置決めなど、複数箇所で精度を保たなくてはならず困難である。また、従来構成では、保持治具を複数個設け、連続して圧電素子１１と固定基板１４との位置決めを行わせる場合など、全ての保持治具を高精度にするのが困難であると共に、複数の保持治具の精度を均一に保つのが困難であり、高コストになってしまうからである。なお、本実施形態では、当接部６１を固定基板１４の側面に嵌合する凹形状としたため、固定基板１４と圧電素子１１との幅方向の位置決めも位置決め治具６０によって高精度に行うことができる。
【００３５】
加圧手段８０は、装置本体４１に設けられて押圧部５３を介して圧電素子１１を固定基板１４側に押圧するものであり、例えば、駆動モータを用いた駆動装置、油圧ポンプや電磁ポンプ等が挙げられる。また、押圧部５３は、加圧手段８０によって押圧されていない状態では、付勢ばね５２の付勢力によって基台部５１から離れた方向に付勢されるため、基台部５１上の固定基板１４及び圧電素子１１が押圧部５３によって押圧されることがない。
【００３６】
そして、加圧手段８０によって押圧部５３を介して圧電素子１１を固定基板１４側に所定の圧力で押圧した状態で、規制部５９の位置を変更することで、圧電素子１１と固定基板１４とが押圧部５３と基台部５１との間で挟持された状態で維持される。
【００３７】
このような状態で、保持治具５０を装置本体４１から取り外しても、保持治具５０は固定基板１４と圧電素子１１とを挟持した状態を維持するため、次の保持治具５０を装置本体４１に取り付けて、次の固定基板１４及び圧電素子１１の位置決め接合を行うことができる。また、取り外された保持治具５０は、一定時間放置することで接着剤２０を硬化させて、圧電素子１１と固定基板１４とが接合される。このように、複数の保持治具５０を用いることで、製造時間を短縮して、製造コストを低減させることができる。また、複数の保持治具５０を用いても、固定基板１４と圧電素子１１との位置決めが装置本体４１に設けられた位置決め治具６０によって行われるため、保持治具５０の精度が不要となると共に、複数の保持治具５０による精度のばらつきを減少させることができ、歩留まりを向上してコストを低減させることができる。
【００３８】
ここで、このような加圧接合装置４０を用いた圧電素子ユニット１０の製造方法について図６〜図１０を参照して詳細に説明する。なお、図６及び図７は、圧電素子ユニットの製造方法を示す平面図であり、図８〜１０は、圧電素子ユニットの製造方法を示す断面図である。
【００３９】
図６（ａ）及び図８（ａ）に示すように、保持治具５０の基台部５１上に固定基板１４を載置する。このとき、固定基板１４の一側面を基台部５１に設けられた固定基板用基準ピン５５に当接させて位置決めする。また、基台部５１上に載置された固定基板１４の圧電素子１１が接合される領域に接着剤２０を塗布する。この接着剤２０の塗布は、固定基板１４が固定基板用基準ピン５５によって保持治具５０にある程度の精度で位置決めされているため、容易に且つ高精度に行うことができる。
【００４０】
次に、図６（ｂ）及び図８（ｂ）に示すように、位置決め治具６０を移動し、位置決め治具６０の当接部６１を固定基板１４の固定基板用基準ピン５５に当接している側面に当接させる。このとき、位置決め治具６０の当接部６１が固定基板１４に当接することで、固定基板１４と固定基板用基準ピン５５との当接状態が解除される（セットバック）。
【００４１】
次に、図７（ａ）及び図９（ａ）に示すように、固定基板１４上の接着剤２０が設けられた領域に圧電素子１１を載置する。このとき、圧電素子１１は、位置決め治具６０の位置決め用凹部６２に嵌合される。
【００４２】
次に、図７（ｂ）及び図９（ｂ）に示すように、押し込み手段７０によって、圧電素子１１及び固定基板１４を位置決め治具６０側に押し込む。これにより、位置決め治具６０によって圧電素子１１と固定基板１４とが位置決めされる。
【００４３】
このように、固定基板１４と圧電素子１１とは、位置決め治具６０の当接部６１及び位置決め用凹部６２によって位置決めされるため、位置決め治具６０に位置決め基準を持たせて両者の位置決めを高精度に行うことができる。これにより、歩留まりを向上してコストを低減させることができる。
【００４４】
次に、図１０に示すように、加圧手段８０によって、保持治具５０の押圧部５３を介して圧電素子１１を固定基板１４側に所定の圧力で押圧する。これにより、圧電素子１１と固定基板１４とが位置決めされた状態で、基台部５１と押圧部５３との間で所定の圧力で狭持される。
【００４５】
その後は、保持治具５０の規制部５９を押圧部５３の上部まで移動させ、保持治具５０を装置本体４１から取り外す。このとき、規制部５９によって押圧部５３が基台部５１から離れる方向への移動が規制されているため、押圧部５３と基台部５１との間で圧電素子１１と固定基板１４とが狭持された状態が維持される。そして、この状態で所定時間放置することで、接着剤２０を硬化させ、圧電素子１１と固定基板１４とを位置決めした状態で接合することができる。また、保持治具５０を装置本体４１から取り外した後、次の保持治具５０によって圧電素子１１と固定基板１４との位置決めを行っても、位置決め治具６０によって他の保持治具５０に保持された固定基板１４及び圧電素子１１の位置決めを行うことができるため、位置決め精度のばらつきを減少させることができる。
【００４６】
（実施例）
上述した実施形態１の加圧接合装置を用いて、圧電素子と固定基板とを接合した圧電素子ユニットを同時に４個形成する工程を繰り返し約４０回行い、約１６０個の圧電素子ユニットを形成した。
【００４７】
（比較例）
比較例として、固定基板を保持治具に固定し、保持治具を装置本体に位置決めすると共に、装置本体に設けられた位置決め治具によって圧電素子の位置決めを行う従来の加圧接合装置を用いて、圧電素子と固定基板とを接合した圧電素子ユニットを同時に４個形成する工程を繰り返し約１０００回繰り返し行い、約４０００個の圧電素子ユニットを形成した。
【００４８】
（試験例）
実施例及び比較例の圧電素子ユニットの固定基板の圧電素子が接合された端部と圧電素子の自由端となる端部との距離を圧電素子の幅方向両側（圧電素子の左右）でそれぞれ測定した。この結果を目標値（０）からの誤差（μｍ）として図１１に示す。また、固定基板の圧電素子が接合された端面と圧電素子の自由端となる端面との距離を圧電素子の幅方向両側（圧電素子の左右）で測定し、圧電素子右側の寸法値から圧電素子左側の寸法値を引いた値（平行度）を算出した。この結果を図１２に示す。なお、図１１及び図１２の位置Ａ〜Ｄは、各保持治具の固定基板が保持される位置である。
【００４９】
図１１に示すように、従来の加圧接合装置によって位置決め接合した比較例の圧電素子ユニットの寸法は、目標値（０）に対して誤差が大きくなってしまっていると共にばらつきが大きくなってしまっている。これに対して、実施形態１の加圧接合装置４０によって位置決め接合した実施例の圧電素子ユニットの寸法は、目標値（０）に対して誤差が小さく、ばらつきが減少していることが分かる。
【００５０】
また、図１２に示すように、従来の加圧接合装置によって位置決め接合した比較例の圧電素子ユニットの平行度は、目標値（０μｍ）に対して大きく、固定基板の圧電素子が接合された端面と圧電素子の自由端の端面とが平行になっていないと共に、平行度のばらつきも大きくなってしまった。これに対して、実施形態１の加圧接合装置４０によって位置決め接合した実施例の圧電素子ユニットの平行度は、目標値（０μｍ）に対して小さく、固定基板の圧電素子が接合された端面と圧電素子の自由端の端面とが平行になっていると共に、平行度のばらつきも減少していることが分かる。
【００５１】
このように、実施形態１の加圧接合装置４０によって圧電素子ユニット１０を位置決め接合することによって、固定基板の圧電素子が形成された端部と圧電素子の自由端となる端部との距離を所望の値の範囲とすることができると共に、固定基板の圧電素子が接合された端面と圧電素子の自由端の端面とを平行にすることができ、高精度な圧電素子ユニット１０を形成することができる。そして、このような高精度に形成された圧電素子ユニット１０を用いた液体噴射ヘッドは、液滴吐出特性のばらつきを減少させて、液滴吐出特性を向上させることができる。
【００５２】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、位置決め治具６０に当接部６１として、固定基板１４の側面に嵌合する凹部を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、位置決め治具６０によって少なくとも圧電素子１１と固定基板１４との長さ方向の位置決めが高精度に行えればいいため、当接部６１が固定基板１４の一側面に当接する形状としてもよい。
【００５３】
また、上述した実施形態１では、位置決め治具６０に凹形状の当接部６１及び位置決め用凹部６２を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、当接部及び位置決め用凹部が、それぞれ固定基板１４及び圧電素子１１に点接触するように、当接部及び位置決め用凹部の角部を切り欠くようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施形態１に係る圧電素子ユニットの概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る圧電素子ユニットの断面図である。
【図３】実施形態１に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係る加圧接合装置の概略斜視図である。
【図５】実施形態１に係る加圧接合装置の平面図及び断面図である。
【図６】実施形態１に係る圧電素子ユニットの製造方法を示す平面図である。
【図７】実施形態１に係る圧電素子ユニットの製造方法を示す平面図である。
【図８】実施形態１に係る圧電素子ユニットの製造方法を示す断面図である。
【図９】実施形態１に係る圧電素子ユニットの製造方法を示す断面図である。
【図１０】実施形態１に係る圧電素子ユニットの製造方法を示す断面図である。
【図１１】試験例に係る測定結果を示すグラフである。
【図１２】試験例に係る測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５５】
１０  圧電素子ユニット、  １１  圧電素子、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定基板、  ２０  接着剤、  ４０  加圧接合装置、  ４１  装置本体、  ５０  保持治具、  ６０  位置決め治具、  ６１  当接部、  ６２  位置決め用凹部、  ７０  押し込み手段、  ８０  加圧手段
【図１】
0004793564.tif 000002
【図２】
0004793564.tif 000003
【図３】
0004793564.tif 000004
【図４】
0004793564.tif 000005
【図５】
0004793564.tif 000006
【図６】
0004793564.tif 000007
【図７】
0004793564.tif 000008
【図８】
0004793564.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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