(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、
トレイと、
当該トレイの蓋となるカバーと、
を有し、
上記トレイおよび上記カバーのそれぞれの外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部を備え、上記トレイに上記カバーを被せた状態において、上記トレイの外周部と上記カバーの外周部によって平面部を形成する構成とすると共に、
上記各平面折曲部は、互いに逆方向に向かって延出し、上記平面部を形成している、
ことを特徴とするペリクル用収納容器。
【請求項２】
前記平面部の幅は２０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１記載のペリクル用収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ペリクル膜とペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体回路パターンの製造工程におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの防塵を目的に、ペリクルが用いられている。ペリクルは、一般的に、ニトロセルロース等の透明な高分子膜から成る厚さ１０ミクロン程度のペリクル膜と、それを一方の周端面にて支持する厚さ数ミリ程度の支持枠とを備えている。フォトマスク上に異物が付着すると、その異物のパターンが半導体回路上に転写され、半導体チップの多くを不良品としてしまう危険性がある。このため、フォトマスクの上方をペリクル膜にて覆うようにペリクルを配置し、フォトマスク上に異物が入ることを防止するようにしている。
【０００３】
また、ペリクルは、ペリクル膜等に異物が付着することで、ペリクルが損傷するのを防ぐために、ペリクル用収納容器に収納されて運搬される。このペリクル用収納容器は、ペリクルを載置するためのトレイと、蓋とから構成されている。ペリクル用収納容器には、当該収納容器の内部に異物が混入しないような密封性が要求される。このような要求に鑑み、特許文献１に開示される発明では、ペリクル用収納容器を構成するトレイおよび蓋のコーナー部にテープシールを取り付けて密封性を確保している。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３６１７０５号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されているペリクル用収納容器では、ペリクル用収納容器を構成するトレイおよび蓋の両端部で形成された面には、幅の狭い領域しかないため、テープシールによりトレイと蓋を固定する場合、テープシールを折り曲げながら両端部を貼り付けなければならない。したがって、テープシールが貼りにくくなると共に、トレイと蓋との固定強度が弱くなるという問題を有している。また、テープシールが折り曲げて貼られるため、テープシールを貼った状態では、当該シールにしわが発生し、ペリクル用収納容器の密封性を十分確保することができないといった問題も有している。
【０００６】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、トレイと蓋との固定をテープを用いて容易にかつ強固に行うことができる構成を有するペリクル用収納容器を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とを有するペリクルを輸送するためのペリクル用収納容器であって、トレイと、当該トレイの蓋となるカバーと、を有し、トレイおよびカバーのそれぞれの外周部に、平面を形成するように折り曲げた平面折曲部を備え、トレイにカバーを被せた状態において、トレイの外周部とカバーの外周部によって平面部を形成する構成とすると共に、各平面折曲部は、互いに逆方向に向かって延出し、平面部を形成しているものである。
【０００８】
このように構成した場合には、トレイまたはカバーの外周部に平面折曲部が設けられているため、平面部にテープを貼ることにより容易にかつ強固にトレイとカバーを固定することが可能となる。また、平面折曲部は外周部に対して全周に亘って、平面を形成するように折り曲げられているため、外周部の剛性が増し、ペリクル用収納容器全体の強度が向上する。さらに、ペリクル用収納容器の外周部に平面部が存在するため、ペリクル用収納容器を把持しやすくなる。ここで平面部は、完全に平滑な平面のみならず、若干の段差を有するものを含むように広義に解釈される。当該段差は、５ｍｍ以下とするのが好ましい。
【０００９】
また、このように構成した場合には、各平面折曲部は、外周部から互いに逆方向に向かって延出し、平面部を構成している。そのため、カバーおよびトレイの外周部にテープを貼るための十分に広い面積を確保できる。また、平面部は１つの平坦な平面を形成しているため、当該平面部にテープを容易に貼ることが可能となる。
【００１３】
さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、平面部の幅を２０ｍｍ以上としたものである。このように構成した場合には、汎用のテープを用いて支障なく、カバーとトレイを固定することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、ペリクル用収納容器を構成するトレイと蓋とをテープを用いて容易にかつ強固に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の各実施の形態に係るペリクル用収納容器について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納容器１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すペリクル用収納容器１を示す斜視図である。
【００１７】
図１に示すように、ペリクル用収納容器１は、トレイ３と、その蓋であるカバー２とを備えている。
【００１８】
カバー２は、外形が略長方形であって、一方に開口部を有する蓋部材である。カバー２の外周には、後述するカバー２の外方延出部２１ｃから全周に亘って略垂直方向上向きに延出する平面折曲部２１ｄが設けられている。
【００１９】
また、トレイ３は、一方に開口部を有する略長方形の箱型部材である。カバー２とトレイ３の外形は共に同じ形状となっている。また、トレイ３の外周には、後述するトレイ３の外方延出部３１ｃから全周に亘って略垂直方向下向きに延出する平面折曲部３１ｄが設けられる。さらに、トレイ３には、カバー２およびトレイ３によって形成される内部空間において、ペリクルを載置するための載置部３ｂが設けられている。載置部３ｂは、図１に示すように、四角枠形状に形成されており、ペリクル用収納容器１の内部空間において底面３０ａ側からトレイ３の開口側に向かって突出している。
【００２０】
カバー２およびトレイ３は、後述するように、元板の厚さが約３ｍｍのＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種の単量体からなる共重合体）を真空成型用金型を用いて真空成形することにより製造される。ただし、カバー２およびトレイ３の材料はＡＢＳ樹脂に限られるものではない。また、元板の厚みは３ｍｍに限定されず、３ｍｍより薄くしても良いし、３ｍｍより厚くしても良い。さらに、成形方法としては、真空成形に限ることなく、圧空成形あるいは圧空真空成形等の他の成形方法を採用しても良い。
【００２１】
ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状に膨らませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型につき降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００２２】
図２に示すように、カバー２は、トレイ３の上に配置され、その後、平面折曲部２１ｄと平面折曲部３１ｄとで形成される平面部４に、両平面折曲部２１ｄ，３１ｄの境界となる境界部４ａを跨ぐようにテープ３３が貼り付けられる（図６参照）。この結果、カバー２とトレイ３は密封した状態で固定される。このように、ペリクル用収納容器１にペリクルが収納された状態でカバー２とトレイ３とをテープ３３で密封し、ペリクルの輸送が行われる。
【００２３】
図３は、図２に示すペリクル用収納容器１をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【００２４】
図３に示すように、カバー２は、トレイ３と対向する側に開口部を有する凹状のカバー本体２０と、当該カバー本体２０の外周縁部の外方に形成される外延部２１とを有している。カバー本体２０の上面２０ａからは、トレイ３の載置部３ｂと対向するように、カバー２の開口部に向かって突出する突起部２０ｂが形成されている。突起部２０ｂは、載置部３ｂと同様、四角枠形状に形成されている。
【００２５】
外延部２１は、カバー本体２０の外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部２１ａと、当該外周延出部２１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部２１ａに対して略垂直上方に延出する上方延部２１ｂと、当該上方延部２１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部２１ｃと、当該外方延出部２１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部２１ｃに対して略垂直上方に向かって延出する平面折曲部２１ｄとから構成されている。平面折曲部２１ｄの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。
【００２６】
図３に示すように、トレイ３は、カバー２と対向する側に開口部を有するトレイ本体３０と、当該トレイ本体３０の底面３０ａから開口部側に向かって突出する載置部３ｂと、当該載置部３ｂの外縁部の外方に形成される外延部３１とを有している。載置部３ｂは、底面３０ａにトレイ本体３０の外形に沿った四角枠形状に形成されており、ペリクル５を載置する構成部として機能する。
【００２７】
図３に示すように、載置部３ｂは、突出した側に水平の上側底面３ｃを有している。これは、後述するペリクル５を構成する支持枠７の底面と上側底面３ｃの上面とを隙間なく接触させ、支持枠７の底面に均一の荷重がかかるようにするためである。なお、上側底面３ｃの裏側は、トレイ３の外側から見て、開口部側にへこむ凹部となっている。
【００２８】
外延部３１は、載置部３ｂの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部３１ａと、当該外周延出部３１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部３１ａに対して略垂直上方に向かって延出する上方延部３１ｂと、当該上方延部３１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部３１ｃと、当該外方延出部３１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部３１ｃに対して略垂直下方に向かって延出する平面折曲部３１ｄとから構成されている。平面折曲部３１ｄの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。
【００２９】
カバー２がトレイ３上に被せられた状態では、図３に示すように、外周延出部２１ａと外周延出部３１ａ、上方延出部２１ｂと上方延出部３１ｂおよび外方延出部２１ｃと外方延出部３１ｃとは、それぞれ対向面全面に渡って接触している。また、平面折曲部２１ｄは、外方延出部２１ｃに対して略垂直上方に向かって延出し、かつ平面折曲部３１ｄは、外方延出部３１ｃに対して垂直下方に向かって延出している。また、平面折曲部２１ｄと平面折曲部３１ｄの外面は１つの平坦な平面部４を形成している。
【００３０】
図４は、図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクル５を、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【００３１】
ペリクル５は、ニトロセルロース等の材質からなる厚さ１０ミクロン以下のペリクル膜６を、四角枠形状の支持枠７における一方の端面に展張して貼り付けた構成を有している。支持枠７の高さは約５ミリメートルである。ただし、ペリクル膜５の材質および厚さ並びに支持枠７の高さは、上記に限定されない。
【００３２】
図４におけるＸで示す部分の拡大図に示すように、ペリクル膜６が貼り付けられている支持枠７の周端面と反対側の周端面には粘着材８が備えられている。粘着材８の表面には薄い剥離シート（不図示）が貼られている。ペリクル５を使用する場合には、当該剥離シートを粘着材８から剥がして、粘着材８が粘着力を発揮し得る状態としてから、支持枠７をフォトマスクに貼り付けて固定する。この粘着材８の厚みが不均一になると、フォトマスクとの間に隙間が生じるおそれがあるため、粘着材８の厚みを不均一な状態としないように、ペリクル５を輸送する必要がある。
【００３３】
図５は、図３に示すペリクル用収納容器１内に、図４に示すペリクル５を収納した状態を示す図である。図６は、図５におけるＹで示す部分を拡大して示した斜視図である。
【００３４】
ペリクル５は、載置部３ｂと突起部２０ｂとによって支持枠７を狭持されることにより、ペリクル用収納容器１内に固定される。ペリクル５が固定された状態では、当該ペリクル５はその支持枠７の底面が上側底面３ｃに接しており、支持枠７の上端面は突起部２０ｂの先端部と接している。このように、ペリクル５は、ペリクル用収納容器１内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に載置部３ｂから脱落することはない。また、図５および図６に示すように、平面部４には、境界部４ａを跨ぐようにテープ３３が全周に亘って貼られている。また、テープ３３を貼ることにより、ペリクル用収納容器１を密閉することができる。したがって、ペリクル用収納容器１内に塵挨が入るのを防止できる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄの存在により、ペリクル用収納容器１の強度は増し、ゆがみ、反り等の変形が生じにくくなる。
【００３５】
以上のようにして構成されたペリクル用収納容器１では、平面折曲部２１ｄ，３１ｄが設けられているため、平面部４にテープ３３を貼ることにより容易にかつ強固にカバー２とトレイ３とを固定することが可能となる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは、外方延出部２１ｃ，３１ｃに対して全周に亘って略垂直方向に延出するように凹凸を有するため、ペリクル用収納容器１の強度が向上する。さらに、平面折曲部２１ｄ，３１ｄがペリクル用収納容器１の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器１を把持しやすくなる。
【００３６】
また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは、外方延出部２１ｃ，３１ｃに対して逆方向に向かって垂直に延出している。したがって、カバー２およびトレイ３の外周部にテープ３３を貼ることができる面積を十分に確保することができる。また、平面折曲部２１ｄ，３１ｄは１つの平坦な平面部４を形成しているため、当該平面部４にテープ３３を容易に貼ることができる。さらに、平面部４の幅を２０ｍｍ以上としているため、支障なく汎用のテープ３３を用いることができる。平面部４の幅を２０ｍ未満とすることもできるが、トレイ３とカバー２の両板厚の和よりも広い面積とする方が、テープ３３を貼りやすい。
【００３７】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器４０について説明する。なお、第２の実施の形態では、第１の実施の形態と多くの共通部分を有しているため、主として第１の実施の形態との相違部分について説明する。また、第１の実施の形態と同一の部材、同一の部分には同一の符号を付すと共にその説明を省略または簡略化する。
【００３８】
図７は、第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器４０を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの断面図である。
【００３９】
ペリクル用収納容器４０は、カバー２とトレイ３とを有している。カバー２は、カバー本体２０と外延部４１とから構成され、カバー２の内側に突起部２０ｂを有している。本実施の形態では、カバー本体２０と、突起部２０の構成は、第１の実施の形態と同様な構成となっているため、カバー２に関して、外延部４１についてのみ説明する。
【００４０】
外延部４１は、カバー本体２０の外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部４１ａと、当該外方延出部４１ａの外縁から全周に亘って当該外方延出部４１ａに対して略垂直下方に向かって延出する平面部４１ｂとから構成されている。平面部４１ｂの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。
【００４１】
トレイ３は、トレイ本体３０と、トレイ本体３０の外縁部にあって、トレイ３の開口側に突出する載置部３ｂと、載置部３ｂの外縁から全週に亘って延出して形成される外延部５１とを有している。本実施の形態では、トレイ本体３０と、載置部３ｂの構成は、第１の実施の形態と同様な構成となっているため、トレイ３に関しては、外延部５１についてのみ説明する。
【００４２】
外延部５１は、載置部３ｂの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部５１ａと、当該外周延出部５１ａの外縁から全周に亘って当該外周延出部５１ａに対して略垂直上方に向かって延出する上方延部５１ｂと、当該上方延部５１ｂの外縁から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外方延出部５１ｃと、当該外方延出部５１ｃの外縁から全周に亘って当該外方延出部３１ｃに対して略垂直下方に向かって延出する下方延出部５１ｄと、下方延出部５１ｄの外縁部から全周に亘って外方に向かって水平に延出する外周延出部５１ｅと、当該外周延出部５１ｅの外縁から全周に亘って略垂直下方に向かって延出する平面折曲部５１ｆとから構成されている。平面折曲部５１ｆの高さは約１０ｍｍ以上となるように形成されているが、これに限定されるものではない。
【００４３】
カバー２がトレイ３上に被せられた状態では、図７に示すように、外方延出部４１ａの下面は、外方延出部５１ａの上面と接している。また、下方延出部５１ｄの外周面は、平面折曲部４１ｂの内周面と接している。また、平面折曲部５１ｆの上方には、平面折曲部４１ｂの下端面４１ｃが接している。平面折曲部４１ｂと平面折曲部５１ｆとの接触面は、境界部５２を形成している。平面折曲部４１ｂと平面折曲部５１ｆとによって形成される外表面は、１つの平坦な平面部５４を形成している。
【００４４】
ペリクル用収納容器４０にはペリクル５が収納される。ペリクル５は、第１の実施の形態と同様、載置部３ｂと突起部２０ｂとによって狭持されることによりペリクル用収納容器４０内に固定される。このようにペリクル５は、ペリクル用収納容器４０内に固定された状態で収納されるため、ペリクル５が輸送時に載置部３ｂから脱落することはない。また、平面部５４には、境界部５２を跨ぐようにテープ３３が全周に亘って貼られる。テープ３３を貼ることにより、ペリクル用収納容器４０を密閉することができる。したがって、ペリクル用収納容器４０内に塵挨が入るのを防止できる。また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆの存在により、ペリクル用収納容器４０の強度は増し、ゆがみ、反り等の変形が生じにくくなる。
【００４５】
以上のようにして構成されたペリクル用収納容器４０では、平面折曲部４１ｂ，５１ｆが設けられているため、平面部５４にテープ３３を貼ることにより容易にかつ強固にカバー２とトレイ３とを固定することが可能となる。また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは外方延出部４１ａ，５１ｃに対して全周に亘って略垂直方向に延出しているため、ペリクル用収納容器４０の強度が向上する。さらに、平面折曲部４１ｂ，５１ｆがペリクル用収納容器４０の外周部に存在するため、ペリクル用収納容器４０を把持しやすくなる。
【００４６】
また、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、それぞれ外方延出部４１ａおよび外周延出部５１ｅに対して垂直下方に延出し、平面部５４を構成するように配置されている。したがって、カバー２およびトレイ３の外周部にテープ３３を貼ることができる十分に広い面積を確保できる。さらに、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、１つの平坦な平面部５４を形成しているため、当該平面部５４にテープ３３を容易に貼ることができる。さらに、平面部５４の幅を２０ｍｍ以上としているため、支障なく汎用のテープ３３を用いることができる。平面部５４の幅を２０ｍ未満とすることもできるが、トレイ３とカバー２の両板厚の和よりも広い面積とする方が、テープ３３を貼りやすい。
【００４７】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【００４８】
上述の各実施の形態では、平面折曲部２１ｄ，３１ｄおよび平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、外方延出部２１ｃ，３１ｃおよび外方延出部４１ａ，５１ｃに対してそれぞれ垂直方向に延出しているが、これに限ることなく、例えば、図８に示すように、トレイ３の外周部のみから垂直下方に向かって平面折曲部６１を延出させて平面部６２を形成するようにしても良い。また、平面折曲部６１を垂直上方に延出してカバー２の外周端と平面部６２を形成するようにしても良い。さらに、図９に示すように、カバー２の外周部のみから垂直上方に向かって平面折曲部６３を延出させて平面部６４を形成するようにしても良い。この場合にも、平面折曲部６３を垂直下方に延出して、トレイ３の外周端と平面部６４を形成するようにしても良い。また、図１０に示すように、カバー２およびトレイ３の外周部から当該カバーおよびトレイに対して傾斜するように平面折曲部６５，６６を延出させて平面部６７を設けるようにしても良い。なお、平面折曲部６５，６６を同一方向に折り曲げて平面部６７を形成するようにしても良い。
【００４９】
また、上述の第２の実施の形態では、平面折曲部４１ｂ，５１ｆは、外方延出部４１ａ，５１ｃに対して、略垂直下方に向かって延出しているが、垂直上方に向かって延出させるようにしても良い。
【００５０】
また、上述の第２の実施の形態では、上方延部５１ｂは、外周延出部５１ａの外縁から略垂直方向上方に向かって全周に亘って延出しているが、外周延出部５１ａの外縁から傾斜させて延出するようにしても良い。
【００５１】
また、上述の各実施の形態では、突起部２０ｂによりペリクル５を保持しているが、これに限ることなく、上面２０ａに、下方に向かってくぼんだくぼみ部を形成し、当該くぼみ部と載置部３ｂによりペリクル５を保持するようにしても良い。
【００５２】
また、上述の各実施の形態では、載置部３ｂの上側底面３ｃ全体が平坦な面となっているが、上側底面３ｃの内周側および外周側に直角に切り欠くような段差部を設けることにより、当該段差部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。また、上側底面３ｃに凹部を形成して、当該凹部に支持枠７を嵌め込む構成としても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、ペリクルを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るペリクル用収納器の分解斜視図である。
【図２】図１に示すペリクル用収納容器の斜視図である。
【図３】図２に示すペリクル用収納容器をＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図４】図３に示すペリクル用収納容器１に収納されるペリクルを、図２に示すＡ−Ａ線で切断したときの断面図である。
【図５】図３に示すペリクル用収納容器内に、図４に示すペリクルを収納した状態を示す図である。
【図６】図５におけるＹで示す部分を拡大して示した斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るペリクル用収納容器を、図２に示すＡ−Ａ線と同様の線で切断したときの断面図である。
【図８】本発明の変形例を示す図であり、トレイの外周部のみから垂直下方に向かって平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。
【図９】本発明の変形例を示す図であり、カバーの外周部のみから垂直上方に向かって平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。
【図１０】本発明の変形例を示す図であり、カバーおよびトレイの外周部から傾斜するように平面折曲部を延出させた場合を示す外縁部近傍の断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１，４０…ペリクル用収納容器
２…カバー
３…トレイ
４，５４，６２，６４，６７…平面部
５…ペリクル
６…ペリクル膜
７…支持枠
２１ｄ，３１ｄ，４１ｂ，５１ｆ，６１，６３，６５，６６…平面折曲部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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