(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に表面パターンの形成された電子部品が載置される予備認識ステージと、
この予備認識ステージの上方に設けられ、前記電子部品を撮像し、該画像データを出力する電子部品用撮像装置と、
四角錐台状の凹部が形成してあり、前記電子部品を、前記四角錐台の対向する傾斜面に接触させた状態でピックアップする角錐コレット，この角錐コレットの位置修正を行う位置修正装置，及び，前記角錐コレットに設けられ、ピックアップされた前記電子部品の位置を認識するための位置認識部を備えた、前記電子部品を被搭載物に搭載する搭載ヘッドユニットと、
前記被搭載物の載置された搭載ステージと、
この搭載ステージの上方に設けられ、当該搭載ステージ上に移動してきた前記位置認識部及び前記被搭載物を撮像し、該画像データを出力する被搭載物用撮像装置と、
前記電子部品用撮像装置及び前記被搭載物用撮像装置と接続され、前記電子部品の画像データを入力し、前記電子部品の位置、前記電子部品の表面パターン、及び、前記電子部品の位置と前記該電子部品の表面パターンとのパターン位置ずれを計測し、また、前記位置認識部及び前記被搭載物の画像データを入力し、前記位置認識部及び前記被搭載物の位置を計測する画像処理装置と、
前記画像処理装置及び前記搭載ヘッドユニットと接続され、前記画像処理装置が計測した前記電子部品の位置データを入力し、この電子部品の位置データにもとづいて、前記搭載ヘッドユニットの前記角錐コレットが、前記電子部品に対する相対的な位置修正を行ってから、前記電子部品をピックアップするように制御し、また、前記画像処理装置が計測した前記位置認識部及び前記被搭載物の位置データ、並びに、前記パターン位置ずれのデータを入力し、前記位置認識部の位置データ，前記被搭載物の位置データ，前記角錐コレットにピックアップされた前記電子部品と前記位置認識部との位置関係データ，及び，前記パターン位置ずれのデータにもとづいて、前記搭載ヘッドユニットの前記角錐コレットが、前記被搭載物に対する相対的な位置修正を行ってから、前記電子部品を前記被搭載物に搭載するように制御するコントローラと、
を具備した電子部品位置決め装置。
【請求項２】
予備認識ステージに載置され上面に表面パターンの形成された電子部品を、搭載ステージに載置された被搭載物に位置決めして搭載する、電子部品位置決め方法であって、
電子部品用撮像装置が、前記電子部品を撮像して、画像データを画像処理装置に出力し、
前記画像処理装置が、前記画像データを入力して、前記電子部品の位置、前記電子部品の表面パターン、及び、前記電子部品の位置と前記電子部品の表面パターンとのパターン位置ずれを計測し、
搭載ヘッドユニットをコントロールするコントローラが、前記画像処理装置が計測した前記予備認識ステージに載置された前記電子部品の位置データを入力し、前記電子部品の位置データにもとづいて、前記電子部品をピックアップする角錐コレットの位置を求め、
前記搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、前記電子部品をピックアップする角錐コレットの位置に、位置修正されてから、前記電子部品をピックアップし、前記被搭載物の載置された前記搭載ステージに移動し、
被搭載物用撮像装置が、前記角錐コレットに設けられた位置認識部及び前記被搭載物を撮像して、前記位置認識部及び前記被搭載物の画像データを前記画像処理装置に出力し、
前記画像処理装置が、前記位置認識部及び前記被搭載部の画像データを入力して、前記位置認識部と前記被搭載物の位置を計測し、
前記搭載ヘッドユニットをコントロールする前記コントローラが、前記画像処理装置が計測した前記位置認識部及び前記被搭載物の位置データ、並びに、前記パターン位置ずれのデータを入力し、前記位置認識部の位置データ，前記被搭載物の位置データ，前記角錐コレットにピックアップされた前記電子部品と前記位置認識部との位置関係データ，及び，前記パターン位置ずれのデータにもとづいて、前記電子部品を搭載する角錐コレットの位置を求め、
前記搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、前記電子部品を搭載する角錐コレットの位置に、位置修正されてから、前記電子部品を前記被搭載物に搭載する
ことを特徴とする電子部品位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品位置決め装置およびその方法に関し、特に、半導体素子などのチップ部品を、基板などの被搭載物に対して位置決めする電子部品位置決め装置およびその方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置や電子部品などは、高性能化されるとともに、小型化され続けてきた。そして、半導体装置や電子部品が、高性能化されかつ小型化されるにつれて、これら半導体装置や電子部品を、被搭載物に実装するために、高密度実装技術も進歩してきた。
つまり、半導体装置や電子部品が、高性能化されかつ小型化されるにつれて、様々な電子部品位置決め装置や、電子部品位置決め方法に関する技術が開発され、実用化されてきた。
【０００３】
このような電子部品位置決め装置や、電子部品位置決め方法に関する技術の一つとして、たとえば、特開平０４−０１０５５１号公報に開示された、透明な材料からなる、吸着穴の穿設された平板状のコレットを用いた技術がある。
この技術は、チップ部品を吸着保持した状態で、コレットを透過してチップ部品の表面パターンを撮像装置により観察し、画像処理装置により表面パターンの位置を計測し、表面パターンの位置がずれている場合に、この位置ずれを補正して、チップ部品を精度良く位置決めする技術である。
【０００４】
このコレットは、透明な材料からなる平板に真空発生装置と連通する吸着穴を穿設した構造としてあり、真空発生装置の真空度および吸着穴の面積に比例した吸着力で、チップ部品を吸着保持する。
そして、このコレットを用いた電子部品位置決め装置は、通常、チップ部品を吸着保持した状態で被搭載物上に半田付けしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このコレットは、たとえば、半田の溶融時に生じる表面張力などにより、コレットの平面部分に対して平行方向のずれ力がチップ部品に加わった場合、このずれ力が、コレットとチップ部品との接触部分に生じる摩擦力より大きくなると、チップ部品がコレットの平面を移動してしまい、チップ部品の位置がずれるといった問題があった。
【０００６】
また、通常、コレットの材料として、石英ガラスが用いられ、チップ部品の表面パターンの材料として、石英ガラスより硬度の低い金が用いられてきた。
このため、コレットがチップ部品を吸着保持し、コレットとチップ部品の表面の一部が接触しているときに、コレットとチップ部品表面との接触部分に過大な圧力が加わると、チップ部品の表面パターンが変形してしまうといった問題があった。
【０００７】
さらに、たとえば、金より硬度の高いガリウム砒素化合物からなるチップ部品の砕片などが、コレットとチップ部品との間に挟みこまれた状態で、コレットとチップ部品表面との接触部分に過大な圧力が加わると、砕片などにより、チップ部品の表面パターンが圧痕状に変形してしまうといった問題があった。
【０００８】
また、コレットの材料として、透明な材料を使用しているものの、チップ部品を半田付けする際のフラックスやチップ部品の砕片などの付着物が、チップ部品の表面パターンとこの表面パターンを観察する撮像装置との中間位置に付着すると、表面パターンの一部または全部が付着物により隠れて観察できなくなり、チップ部品の表面パターンを正確に位置計測できないといった問題があった。
さらにまた、電子部品の位置決め精度をより向上させる、あるいは、位置決め精度の信頼性をより向上させるといった要求に応えなければならないといった問題があった。
【０００９】
本発明は、上述した従来の技術が有する問題を解決するために提案されたものであり、電子部品を半田付けする際に位置ずれを起こさず、かつ、電子部品の表面パターンにダメージを与えることなく、精度良く電子部品の位置決めを行う電子部品の位置決め装置及びその方法の提供を目的とする。
【００１０】
なお、特開平８−４５９７０号公報において、テーパ面を形成したコレットに半導体チップを吸着し、半導体チップを吸着した状態で撮像したコレット端部のパターン画像と基準パターンとの位置ずれ量を算出し、この位置ずれ量だけコレットの移動量を補正して、半導体チップを位置決めするダイボンディング装置の技術が提案されている。
ところが、この技術は、半導体チップが正確にコレットに吸着されなくても、あるいは、コレットの製作精度が不十分な場合であっても、精度良く被搭載物に半導体チップを被着できるものの、半導体チップが正確にコレットに吸着されないために、すなわち、半導体チップが傾いてコレットに吸着されるために、搭載精度をさらに向上させたり、搭載精度の信頼性を向上させる上で、改善の余地があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の電子部品位置決め装置は、上面に表面パターンの形成された電子部品が載置される予備認識ステージと、この予備認識ステージの上方に設けられ、前記電子部品を撮像し、該画像データを出力する電子部品用撮像装置と、四角錐台状の凹部が形成してあり、前記電子部品を、前記四角錐台の対向する傾斜面に接触させた状態でピックアップする角錐コレット，この角錐コレットの位置修正を行う位置修正装置，及び，前記角錐コレットに設けられ、ピックアップされた前記電子部品の位置を認識するための位置認識部を備えた、前記電子部品を被搭載物に搭載する搭載ヘッドユニットと、前記被搭載物の載置された搭載ステージと、この搭載ステージの上方に設けられ、当該搭載ステージ上に移動してきた前記位置認識部及び前記被搭載物を撮像し、該画像データを出力する被搭載物用撮像装置と、前記電子部品用撮像装置及び前記被搭載物用撮像装置と接続され、前記電子部品の画像データを入力し、前記電子部品の位置、前記電子部品の表面パターン、及び、前記電子部品の位置と前記該電子部品の表面パターンとのパターン位置ずれを計測し、また、前記位置認識部及び前記被搭載物の画像データを入力し、前記位置認識部及び前記被搭載物の位置を計測する画像処理装置と、前記画像処理装置及び前記搭載ヘッドユニットと接続され、前記画像処理装置が計測した前記電子部品の位置データを入力し、この電子部品の位置データにもとづいて、前記搭載ヘッドユニットの前記角錐コレットが、前記電子部品に対する相対的な位置修正を行ってから、前記電子部品をピックアップするように制御し、また、前記画像処理装置が計測した前記位置認識部及び前記被搭載物の位置データ、並びに、前記パターン位置ずれのデータを入力し、前記位置認識部の位置データ，前記被搭載物の位置データ，前記角錐コレットにピックアップされた前記電子部品と前記位置認識部との位置関係データ，及び，前記パターン位置ずれのデータにもとづいて、前記搭載ヘッドユニットの前記角錐コレットが、前記被搭載物に対する相対的な位置修正を行ってから、前記電子部品を前記被搭載物に搭載するように制御するコントローラと、を具備した構成としてある。
【００１２】
このようにすると、予備認識ステージに載置された電子部品の位置データにもとづいて位置修正された角錐コレットが、電子部品を精度良く位置決め可能な状態でピックアップし、さらに、位置認識部の位置データ，被搭載物の位置データ，及び，角錐コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データにもとづいて位置修正された角錐コレットが、電子部品を被搭載物に搭載するので、電子部品の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００１３】
また、電子部品用撮像装置は、角錐コレットに吸着保持されていない電子部品を直接観察するため、たとえば、角錐コレットに付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識する際の悪影響を排除することができる。
【００１４】
また、電子部品の吸着部に四角錐台状の凹部を形成した角錐コレット（適宜、角錐コレットと略称する。）が、電子部品を、四角錐台の対向する傾斜面に接触させた状態でピックアップするので、たとえば、電子部品を半田付けする際、半田の溶融時に生じる表面張力などにより、水平方向のずれ力が電子部品に加わった場合であっても、このずれ力に対する反力を、角錐コレットの傾斜面により生じさせることができ、電子部品の位置ずれ（移動）を効果的に防止することができる。
また、電子部品の表面パターンと角錐コレットとの接触がないため、電子部品の表面パターンにダメージを与えるといった不具合を確実に防止することができる。
【００１５】
また、ピックアップされる電子部品の近くに、位置認識部を設けることにより、角錐コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データの精度を高めることができる。
【００１６】
また、電子部品の表面パターンが、電子部品の外形に対して、位置ずれしている場合（適宜、パターン位置ずれと略称する。）であっても、表面パターンを基準として、電子部品を被搭載物に位置決めすることができる。
【００１７】
なお、電子部品用撮像装置は、電子部品の表面パターンを直接観察するため、たとえば、コレットに付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識における悪影響を受けずに、表面パターンの位置を正確に計測できる。
【００１８】
また、本発明の電子部品位置決め装置は、前記位置認識部を、位置認識ピンとしてもよい。
このようにすると、位置認識部を、単純な形状（ピン形状）とすることができるので、製造コストのコストダウンを図ることができるとともに、角錐コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データを容易に算出することができる。
【００１９】
なお、この位置認識部から、電子部品のＸ方向及びＹ方向の座標位置と、電子部品のθ方向の回転角度とを認識する必要があるので、一本の位置認識ピンを用いるときは、位置認識ピンを水平方向に倒して設け、位置認識ピンの面積重心位置や先端部で、Ｘ方向及びＹ方向の座標位置を認識し、位置認識ピンの突出した方向から、θ方向の回転角度を認識する。
【００２０】
また、本発明の電子部品位置決め装置は、前記搭載ステージに、前記電子部品と被搭載物を接続する半田片を溶融させるための、加熱手段を設けてもよい。
このようにすると、電子部品を位置決めした状態で、被搭載物に半田付けでき、生産効率を向上させることができる。
【００２１】
また、本発明の電子部品位置決め方法は、予備認識ステージに載置され上面に表面パターンの形成された電子部品を、搭載ステージに載置された被搭載物に位置決めして搭載する、電子部品位置決め方法であって、電子部品用撮像装置が、前記電子部品を撮像して、画像データを画像処理装置に出力し、前記画像処理装置が、前記画像データを入力して、前記電子部品の位置、前記電子部品の表面パターン、及び、前記電子部品の位置と前記電子部品の表面パターンとのパターン位置ずれを計測し、搭載ヘッドユニットをコントロールするコントローラが、前記画像処理装置が計測した前記予備認識ステージに載置された前記電子部品の位置データを入力し、前記電子部品の位置データにもとづいて、前記電子部品をピックアップする角錐コレットの位置を求め、前記搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、前記電子部品をピックアップする角錐コレットの位置に、位置修正されてから、前記電子部品をピックアップし、前記被搭載物の載置された前記搭載ステージに移動し、被搭載物用撮像装置が、前記角錐コレットに設けられた位置認識部及び前記被搭載物を撮像して、前記位置認識部及び前記被搭載物の画像データを前記画像処理装置に出力し、前記画像処理装置が、前記位置認識部及び前記被搭載部の画像データを入力して、前記位置認識部と前記被搭載物の位置を計測し、前記搭載ヘッドユニットをコントロールする前記コントローラが、前記画像処理装置が計測した前記位置認識部及び前記被搭載物の位置データ、並びに、前記パターン位置ずれのデータを入力し、前記位置認識部の位置データ，前記被搭載物の位置データ，前記角錐コレットにピックアップされた前記電子部品と前記位置認識部との位置関係データ，及び，前記パターン位置ずれのデータにもとづいて、前記電子部品を搭載する角錐コレットの位置を求め、前記搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、前記電子部品を搭載する角錐コレットの位置に、位置修正されてから、前記電子部品を前記被搭載物に搭載する方法としてある。
【００２２】
このように、本発明は、電子部品位置決め方法としても有効であり、予備認識ステージに載置された電子部品の位置データにもとづいて位置修正されたコレットが、電子部品を精度良く位置決め可能な状態でピックアップし、さらに、位置認識部の位置データ，被搭載物の位置データ，及び，コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データにもとづいて位置修正されたコレットが、電子部品を被搭載物に搭載するので、電子部品の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
また、電子部品の表面パターンが、電子部品の外形に対して、位置ずれしている場合（適宜、パターン位置ずれと略称する。）であっても、表面パターンを基準として、電子部品を被搭載物に位置決めすることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態について、図面を参照して説明する。
まず、本発明に係る電子部品位置決め装置の実施形態について説明する。
【００２４】
「電子部品位置決め装置」
図１は、本発明に係る電子部品位置決め装置を説明するための概略構成図を示している。
同図において、電子部品位置決め装置１は、電子部品２０が載置される予備認識ステージ２と、被搭載物３０の載置される搭載ステージ３と、予備認識ステージ２の上方に設けられた電子部品用撮像装置４と、搭載ステージ３の上方に、上下移動装置５により上下移動自在に設けられた被搭載物用撮像装置６と、電子部品用撮像装置４および被搭載物用撮像装置６から画像データを入力し画像処理する画像処理装置７と、電子部品２０をピックアップし搭載する搭載ヘッドユニット８と、予備認識ステージ２，搭載ステージ３，上下移動装置５及び搭載ヘッドユニット８を制御するコントローラ９とからなっており、予備認識ステージ２上の電子部品２０をピックアップし、搭載ステージ３上の被搭載物３０に位置決めする。
【００２５】
ここで、電子部品２０は、上面から見ると正方形の平板状の形状であり、上面に表面パターンが形成され、かつ、下面に外部電極が配設された構造としてある。なお、電子部品２０の構造は、この構造に限定するものではないことは勿論である。
また、電子部品２０は、一個だけ予備認識ステージ２上に載置される構成としてあるが、たとえば、トレイにセットされた状態でまとめて載置する構成としてもよい。
さらにまた、電子部品２０は、通常、半導体チップなどの半導体素子であるが、たとえば、抵抗やコンデンサなどのチップ部品，基板，コネクタなどの電子部品であればよく、特に、半導体素子に限定するものではない。
【００２６】
予備認識ステージ２は、電子部品２０が載置される上面を回転移動させる、角度制御用モータ（図示せず）が取り付けてあり、このモータが、コントローラ９からの制御信号により回転し、載置された電子部品２０を回転方向（θ方向）に位置調整する構成としてある。
なお、本実施形態においては、角度制御用モータを予備認識ステージ２に設ける構成としてあるが、たとえば、搭載ヘッドユニット８に設ける構成としてもよい。
また、予備認識ステージ２は、図示してないが、電子部品２０を固定するための吸着式固定装置や、水平方向から押さえつけて固定するクランプなどを設けた構成としてもよい。
【００２７】
電子部品用撮像装置４は、予備認識ステージ２の上方に設けられ、電子部品２０を撮像し、画像データを出力する構成としてある。
ここで、電子部品用撮像装置４は、電子部品２０の外形を認識するとともに、電子部品２０の表面パターンをも認識できる撮像能力を有する構成とするとよく、このようにすると、電子部品位置決め装置１は、外形に対し表面パターンが位置ずれしている電子部品２０に対しても、電子部品２０の表面パターンを基準に位置決めすることができる。
【００２８】
画像処理装置７は、電子部品用撮像装置４と電気的に接続してあり、電子部品用撮像装置４が撮像した電子部品２０の画像データを入力し、電子部品２０の位置を計測する構成としてある。
なお、本実施形態において、画像処理装置７は、後述する被搭載物用撮像装置６からの画像データをも入力し処理する構成としてあり、このようにすることにより、画像処理装置を、電子部品用撮像装置４および被搭載物用撮像装置６ごとに設ける必要がなくなるので、画像処理装置費用のコストダウンを図ることができる。また、画像処理装置を、電子部品用撮像装置４および被搭載物用撮像装置６ごとに設ける構成としてもよいことは、勿論である。
【００２９】
搭載ヘッドユニット８は、電子部品２０をピックアップする角錐コレット８１，角錐コレット８１のＸ方向及びＹ方向の位置修正を行う水平移動装置８２，角錐コレット８１を上下方向に移動させる昇降装置８３，ピックアップされた電子部品２０の位置を認識するための位置認識ピン８４，及び，電子部品２０を真空吸着するための真空発生装置８５を備えた構成としてあり、予備認識ステージ２上の電子部品２０をピックアップし、被搭載物３０に位置決めして搭載する。
【００３０】
ここで、水平移動装置８２が、角錐コレット８１のＸ方向及びＹ方向の位置修正を行い、さらに、上述した予備認識ステージ２が、電子部品２０の回転方向（θ方向）の位置を調整するので、電子部品位置決め装置１は、角錐コレット８１を、電子部品２０のＸ方向，Ｙ方向及びθ方向に対して位置修正することができる。つまり、本実施形態においては、水平移動装置８２と予備認識ステージ２が、角錐コレット８１の位置修正を行う位置修正装置としての機能を果たしている。
なお、水平移動装置８２は、予備認識ステージ２および搭載ステージ３の位置を含む水平方向の可動ストロークを有しており、また、昇降装置８３は、電子部品２０を吸着保持し、ピックアップするための上下方向の可動ストロークを有している。
【００３１】
コントローラ９は、画像処理装置７，搭載ヘッドユニット８の水平移動装置８２，昇降装置８３，真空発生装置８５及び予備認識ステージ２と電気的に接続され、画像処理装置７が計測した予備認識ステージ２に載置された電子部品２０の位置データ（Ｘ方向，Ｙ方向及びθ方向の位置データ）を入力し、電子部品２０の位置データにもとづいて、角錐コレット８１が、電子部品２０に対する相対的な位置修正を行ってから、電子部品２０をピックアップするように制御する。
なお、相対的な位置修正としたのは、予備認識ステージ２によって、θ方向の位置修正が行われるからである。
【００３２】
なお、本実施形態において、コントローラ９は、後述する被搭載物用撮像装置６からの被搭載物３０および位置認識ピン８４の位置データをも入力し処理する構成としてあり、このようにすることにより、コントローラを、電子部品用撮像装置４および被搭載物用撮像装置６ごとに設ける必要がなくなるので、コントローラ費用のコストダウンを図ることができる。また、コントローラを、電子部品用撮像装置４および被搭載物用撮像装置６ごとに設ける構成としてもよいことは、勿論である。
【００３３】
このように、電子部品位置決め装置１は、予備認識ステージ２に載置された電子部品２０を、電子部品２０の位置データにもとづいて位置修正された角錐コレット８１が、精度良く位置決め可能な状態でピックアップする。つまり、電子部品２０が角錐コレット８１の吸着位置（精度良く位置決め可能な吸着位置）に正確に吸着されるので、たとえば、電子部品２０が傾いて角錐コレット８１に吸着されるといった不具合を防止でき、搭載精度をさらに向上させ、かつ、搭載精度の信頼性を向上させることができる。
また、電子部品用撮像装置４は、角錐コレット８１に吸着保持されていない電子部品２０を直接観察するため、たとえば、角錐コレット８１に付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識する際の悪影響を排除することができる。
【００３４】
被搭載物３０は、搭載ステージ３上に載置されている。
ここで、被搭載物３０は、通常、被搭載基板などであるが、たとえば、半導体装置などの電子部品であってもよく、特に、被搭載基板に限定するものではない。
また、被搭載物３０の上面には、半田片４０が載置してあり、このようにすると、電子部品２０を被搭載物３０に位置決めして搭載し、さらに、半田付けを要領よく行うことができる。
【００３５】
つまり、電子部品位置決め装置１は、搭載ステージ３に、電子部品２０と被搭載物３０を接続する半田片４０を溶融させるための、加熱手段（図示せず）を設けた構成とするとよく、このようにすると、電子部品２０を位置決めした状態で、被搭載物３０に要領よく半田付けできる。
【００３６】
また、搭載ステージ３は、予備認識ステージ２と同様に、被搭載物３０が載置される上面を回転移動させる、角度制御用モータ（図示せず）が取り付けてあり、このモータが、コントローラ９からの制御信号により回転し、載置された被搭載物３０を回転方向（θ方向）に位置調整する構成としてある。
なお、角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０に対して、θ方向の位置ずれがない状態で、被搭載物３０がセット可能なときや、θ方向の位置ずれを無視できる場合などには、上記モータを設けなくてもよい。
また、搭載ステージ３は、図示してないが、被搭載物３０を固定するための吸着式固定装置や、水平方向から押さえつけて固定するクランプなどを設けた構成としてもよい。
【００３７】
被搭載物用撮像装置６は、搭載ステージ３の上方に設けられ、搭載ステージ３上に移動してきた位置認識ピン８４および被搭載物３０（被搭載物３０の表面パターンを含む。）を撮像し、これらの画像データを画像処理装置７に出力する構成としてある。
ここで、被搭載物用撮像装置６は、コントローラ９により制御される上下移動装置５によって、上下移動することにより、焦点距離のことなる位置認識ピン８４と被搭載物３０を撮像することができる。
また、被搭載物用撮像装置６は、被搭載物３０を撮像する際、被搭載物３０の被搭載位置を認識できるように撮像することは勿論である。
【００３８】
画像処理装置７は、被搭載物用撮像装置６と電気的に接続してあり、被搭載物用撮像装置６が撮像した、位置認識ピン８４および被搭載物３０の画像データを入力し、位置認識ピン８４および被搭載物３０（被搭載物３０の表面パターンを含む。）の位置を計測する構成としてある。
【００３９】
コントローラ９は、上下移動装置５および搭載ステージ３とも電気的に接続され、画像処理装置７が計測した位置認識ピン８４および被搭載物３０の位置データ（Ｘ方向，Ｙ方向及びθ方向の位置データ）を入力し、位置認識ピン８４の位置データ，被搭載物３０の位置データ，及び，角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０と位置認識ピン８４との位置関係データにもとづいて、搭載ヘッドユニット８の角錐コレット８１が、被搭載物３０に対する相対的な位置修正を行ってから、電子部品２０を被搭載物３０に位置決めして搭載するように制御する。
なお、相対的な位置修正としたのは、搭載ステージ３によって、θ方向の位置修正が行われるからである。
【００４０】
このようにすると、電子部品位置決め装置１は、位置認識ピン８４の位置データ，被搭載物３０の位置データ，及び，角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０と位置認識ピン８４との位置関係データにもとづいて位置修正された角錐コレット８１が、電子部品２０を被搭載物３０に位置決めして搭載するので、電子部品２０の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００４１】
また、電子部品位置決め装置１は、画像処理装置７が、電子部品２０の位置と電子部品２０の表面パターンとのパターン位置ずれデータを計測し、画像処理装置７と接続されたコントローラ９が、パターン位置ずれデータをも考慮して、搭載ヘッドユニット８に、被搭載物３０に対する角錐コレット８１の位置修正を行わせる構成とするとよく、このようにすると、電子部品２０の表面パターンが、電子部品２０の外形に対して、位置ずれしている場合、あるいは、被搭載物３０の表面パターンが、被搭載物３０の外形に対して、位置ずれしている場合であっても、表面パターンを基準として、電子部品２０を被搭載物３０に精度良く位置決めすることができる。
なお、電子部品２０が半導体素子の場合、通常、表面パターンと外部接続電極との位置ずれは無視できることから、表面パターンを基準とすることにより、電子部品２０の外部接続電極を被搭載物３０により精度良く位置決めすることができる。
【００４２】
また、電子部品用撮像装置１は、直接電子部品２０の表面パターンを観察するため、たとえば、角錐コレット８１に付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識の際の悪影響を受けずに、表面パターンの位置を正確に計測できる。
【００４３】
次に、角錐コレット８１について、図面を参照して説明する。
図２は、本発明に係る電子部品位置決め装置の角錐コレットを説明するための概略図を示しており、（ａ）は電子部品を被搭載物に搭載した状態を説明するための上面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図を、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図を示している。
【００４４】
なお、同図（ａ）において、理解しやすいように、角錐コレット８１を省略してあり、長方形平板状の被搭載物３０に、正方形平板状の電子部品２０が位置決めされ搭載してある。
【００４５】
また、角錐コレット８１は、同図（ｂ），（ｃ）に示すように、９０°の半分の４５°で傾斜した傾斜面８１２，８１４を有する四角錐台状の凹部８１１が形成してあり、かつ、電子部品２０を、四角錐台の対向する傾斜面８１２に接触させた状態で、ピックアップする構成としてある。
また、角錐コレット８１は、四角錐台の上面に、真空発生装置８５と連通した吸着孔８１３が穿設してあり、真空発生装置８５によって真空引きされると、電子部品２０を吸着保持することができる。
【００４６】
このように、角錐コレット８１は、電子部品２０の吸着部として、四角錐台状の凹部８１１が形成してあり、この四角錐台の対向する傾斜面８１２に、電子部品２０の上面外周縁を接触させた状態でピックアップする。
したがって、角錐コレット８１は、たとえば、電子部品２０を半田付けする際、半田の溶融時に生じる表面張力などにより、水平方向のずれ力が電子部品に加わった場合であっても、その力に対する反力を、傾斜面８１２を介して生じさせることができ、電子部品２０の位置ずれを防止することができる。
また、角錐コレット８１は、電子部品２０の表面パターンとの接触がないため、電子部品２０の表面パターンにダメージを与えるといった不具合を確実に防止することができる。
【００４７】
なお、本実施形態においては、傾斜面８１２の開口距離Ｈ２を傾斜面８１４の開口距離Ｈ１より短く形成して、一組の対向する傾斜面８１２を利用して、電子部品２０をピックアップしているが、開口距離Ｈ２と開口距離Ｈ１を同じ長さに形成して、残りもう一組の対向する傾斜面８１４にも、電子部品２０の上面外周縁を接触させた状態でピックアップする構成としてもよいことは、勿論である。
また、対向する傾斜面８１２と電子部品２０の上面外周縁との接触状態は、点接触ではなく、接触部が平行な二直線からなる線接触とするとよく、このようにすると、より大きな力で、電子部品２０を保持することができる。
【００４８】
また、電子部品位置決め装置１は、位置認識部である位置認識ピン８４を、角錐コレット８１に設けた構成としてもよく、このようにすると、ピックアップされる電子部品２０の近くに、位置認識部である位置認識ピン８４を設けることができるので、角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０と位置認識ピン８４との位置関係データの精度を高めることができ、結果的に、電子部品２０の位置決め精度を高め、かつ、位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００４９】
なお、好ましくは、電子部品位置決め装置１は、位置認識部を、位置認識ピン８４とするとよく、このようにすると、位置認識部を、単純な形状（ピン形状）とすることができるので、製造コストのコストダウンを図ることができ、また、角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０と位置認識部との位置関係データを容易に算出することができる。
また、電子部品２０と位置認識部との位置関係データは、あらかじめ精度良く実測し、測定された位置関係データは、画像処理装置７及び／又はコントローラ９に記憶してある。
【００５０】
なお、位置認識部から、電子部品２０のＸ方向及びＹ方向の座標位置と、電子部品２０のθ方向の回転角度とを認識する必要があるので、一本の位置認識ピン８４を用いて、同図（ｂ）に示すように、位置認識ピン８４を水平方向に突設する構成とするとよく、このようにすると、位置認識ピン８４の面積重心位置や先端部で、Ｘ方向及びＹ方向の座標位置を認識し、位置認識ピン８４の向きで、θ方向の回転角度を認識することができる。
つまり、画像認識を精度良く、かつ、高い信頼性で実施するには、撮像対象が単純な形状、たとえば、本発明のようにピン形状とすることが有効である。
【００５１】
次に、上記構成の電子部品位置決め装置１の動作及び作用について、説明する。
まず、電子部品位置決め装置１は、図１に示すように、電子部品２０が、予備認識ステージ２に固定される。
続いて、電子部品用撮像装置４が、電子部品２０を撮像し、画像データを出力する。そして、画像処理装置７が、電子部品２０の画像データを入力し、電子部品２０の位置を計測する（すなわち、位置データを作成する。）。
【００５２】
コントローラ９は、画像処理装置７が計測した予備認識ステージ２に載置された電子部品２０の位置データ（Ｘ方向，Ｙ方向及びθ方向の位置データ）を入力し、電子部品２０の位置データにもとづいて、搭載ヘッドユニット８が、電子部品２０に対して角錐コレット８１の位置修正を行ってから、電子部品２０をピックアップするように制御する。
これにより、角錐コレット８１は、電子部品２０が位置のずれた状態で予備認識ステージ２に載置されても、電子部品２０を吸着位置に正確に吸着保持できるので、たとえば、電子部品２０が傾いて角錐コレット８１に吸着保持されるといった不具合を防止でき、搭載精度をさらに向上させ、かつ、搭載精度の信頼性を向上させることができる。
【００５３】
ここで、上述したように、電子部品位置決め装置１は、画像処理装置７が、電子部品２０の位置と電子部品２０の表面パターンとのパターン位置ずれデータを計測し、画像処理装置７と接続されたコントローラ９が、パターン位置ずれデータをも考慮して、搭載ヘッドユニット８に、被搭載物３０に対する角錐コレット８１の位置修正を行わせる。
ただし、コントローラ９は、電子部品２０がピックアップされると、この時点以降、電子部品２０の表面パターン及び外形を観察できなくなることから、パターン位置ずれを算出し記憶する。
次に、この場合の制御方法について、説明する。
【００５４】
コントローラ９は、先ず、図３に示すように、画像処理装置７の内部に記憶される基準パターン９１に対する観察された表面パターン（適宜、観察パターン９２と略称する。）の角度θおよび観察パターン９２の面積重心位置（Ｇｘ，Ｇｙ）を求める。
ここで、基準パターン９１の角度は、角錐コレット８１の位置修正を行わなくても、電子部品２０の上面外周縁が、傾斜面８１２と平行な二直線で接触する角度である。
【００５５】
次に、コントローラ９は、観察パターン９２の角度を基準パターン９１の角度に一致させるため、予備認識ステージ２を角度θだけ回転する。また、回転後の観察パターン９３の面積重心位置を（Ｇｘ´，Ｇｙ´）とする。
この値は、観察パターン９２の面積重心位置（Ｇｘ，Ｇｙ）と予備認識ステージ２の回転中心位置（Ｃｔｘ，Ｃｔｙ）から、演算により求めることができる。
また、この角度θの回転移動は、コントローラ９により制御された予備認識ステージ２が行う。
【００５６】
次に、コントローラ９は、回転後の観察パターン９３の面積重心位置（Ｇｘ´，Ｇｙ´）と基準パターン９１の面積重心位置（Ｇｂｘ，Ｇｂｙ）との差、すなわちｄｘ＝Ｇｘ´−Ｇｂｘおよびｄｙ＝Ｇｙ´−Ｇｂｙを求める。
【００５７】
なお、同様の制御方法により、コントローラ９は、画像処理装置７が計測した電子部品２０の外形の位置データにもとづいて、搭載ヘッドユニット８に、電子部品２０に対する角錐コレット８１の位置修正を行わせてから、電子部品２０をピックアップするように制御することもできる。
【００５８】
また、コントローラ９は、上述したように、電子部品２０がピックアップされると、この時点以降、電子部品２０の表面パターン及び外形を観察できなくなることから、上記パターン位置ずれを記憶しておき、電子部品２０を搭載するときは、このパターン位置ずれを考慮して電子部品２０を位置決めして搭載する。
【００５９】
つまり、コントローラ９は、たとえば、図３，図４に示すように、電子部品２０の外形と観察パターン９２の面積重心位置が、Ｙ方向にずれているときは、電子部品２０のＹ方向の位置決めに関わる外形周縁の座標Ｅ１およびＥ２の位置データを画像処理装置７により計測する。
【００６０】
続いて、コントローラ９は、角錐コレット８１に吸着保持された状態における、電子部品２０の表面パターン面積重心のＹ方向位置は、角錐コレット８１の中心軸に対して、δｙ＝（Ｅ１＋Ｅ２）／２−Ｇｙ´の距離だけ位置がずれていることを算出し記憶する。
そして、電子部品位置決め装置１は、後述するように、コントローラ９が、水平移動装置８２にδｙを補正値として加えることにより、搭載ヘッドユニット８に、被搭載物３０に対する角錐コレット８１の位置修正を行わせる。
【００６１】
次に、コントローラ９は、その位置で昇降装置８３を作動させ、角錐コレット８１を降下させ、電子部品２０と傾斜面８１２が接触したときに、角錐コレット８１の吸着孔８１３と連通している真空発生装置８５を作動させ、電子部品２０を吸着保持する。
【００６２】
次に、電子部品位置決め装置１は、上下移動装置５により下方位置に移動した被搭載物用撮像装置６が、被搭載物３０を撮像し、被搭載物３０の画像データを画像処理装置７に出力する。
図示してないが、電子部品２０に行ったのと同様の方法で、コントローラ９は、画像処理装置７からの被搭載物３０の位置データにより、観察された被搭載物３０画像の面積重心位置を計測し、画像処理装置７の内部に記憶されている基準画像の面積重心位置との差、ｄｃｘ，ｄｃｙ及び基準画像に対する観察された被搭載物３０画像の角度ｄｃθを演算により求める。
なお、角度ｄｃθを無視できる場合は、コントローラ９は、ｄｃｘとｄｃｙのみを演算により求める。
【００６３】
さらに、電子部品位置決め装置１は、水平移動装置８２が、電子部品２０をピックアップした角錐コレット８１の位置認識ピン８４を被搭載物用撮像装置６の直下に移動させ、上下移動装置５により上方位置に移動した被搭載物用撮像装置６が、位置認識ピン８４を撮像し、位置認識ピン８４の画像データを画像処理装置７に出力する。
【００６４】
図示してないが、電子部品２０に行ったのと同様の方法で、コントローラ９は、画像処理装置７からの位置認識ピン８４の位置データにより、観察された位置認識ピン８４画像の面積重心位置を計測し、画像処理装置７の内部に記憶された基準画像の面積重心位置との差、ｄｐｘ，ｄｐｙ及び基準画像に対する観察された位置認識ピン８４画像の角度ｄｐθを演算により求める。
なお、角度ｄｐθを無視できる場合は、コントローラ９は、ｄｐｘとｄｐｙのみを演算により求める。
【００６５】
次に、電子部品位置決め装置１は、水平移動装置８２が電子部品２０を搭載する位置に、ｄｃｘ,ｄｃｙ，ｄｃθ，ｄｐｘ，ｄｐｙ及びｄｐθを補正値として加えることで、被搭載物３０の搭載ステージ３への搭載位置ずれや、水平移動装置８２の位置決め誤差および昇降装置８３の熱膨張などによる位置認識ピン８４位置の微小変化に起因する電子部品２０の搭載位置誤差を吸収し、電子部品２０を被搭載物３０に対し精度よく位置決めして搭載することができる。
なお、角度ｄｃθ，ｄｐθを無視できる場合は、電子部品位置決め装置１は、ｄｃｘ,ｄｃｙ，ｄｐｘ及びｄｐｙを補正値として加える。
また、電子部品２０の外形と観察パターン９２が、たとえば、上述したようにδｙの距離だけ位置がずれているときは、δｙをも補正値として加える。さらに、被搭載物３０の外形と、被搭載物３０の表面パターンの観察パターンとが位置ずれているときは、この位置ずれ量をも補正値として加える。
【００６６】
このように、電子部品位置決め装置１は、位置認識ピン８４の位置データ，被搭載物３０の位置データ，角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０と位置認識ピン８４との位置関係データ，及び，前記パターン位置ずれのデータにもとづいて位置修正された角錐コレット８１が、電子部品２０を被搭載物３０に搭載するので、電子部品２０の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００６７】
＜実施例＞
次に、上記電子部品位置決め装置の実施例について、説明する。
電子部品２０は、ガリウム砒素化合物を主材とした、寸法が縦約０．３ｍｍ×横約０．３ｍｍ×厚さ約０．１５ｍｍおよび縦約０．４ｍｍ×横約０．４ｍｍ×厚さ約０．１５ｍｍの２種類のチップ部品を使用した。
また、被搭載物３０は、セラミックを主材とした、寸法が縦約１．０ｍｍ×横約２．０ｍｍ×厚さ約０．５ｍｍの基板を使用した。
【００６８】
角錐コレット８１は、上記縦横寸法の異なる２種類のチップ部品を、同一の角錐コレットで吸着保持するため、凹部８１１の傾斜面８１２，８１４の開口寸法をＸ方向約５５０μｍ，Ｙ方向約５００μｍ、開口角度をＸ方向，Ｙ方向共に約９０°、深さ寸法を約１５０μｍとした。
また、角錐コレット８１は、傾斜面８１２の加工容易性およびチップ部品との接触による磨耗抑制のため、材料をステンレス材とし、加工後に焼入れ処理を行った。
さらに、角錐コレット８１は、位置認識ピン８４を、角錐コレット８１の中心軸に対して直角方向外側に突出した。
【００６９】
ここで、チップ部品の要求搭載精度は、Ｘ方向±３０μｍ以内に比べてＹ方向±１０μｍ以内と高精度であった。これに対し、角錐コレット８１のＸ方向の開口寸法を、Ｙ方向の開口寸法より約５０μｍ大きくし、チップ部品のＹ方向の位置決めに関わる側のチップ部品の上面外周縁を、確実に傾斜面８１２に接触させて吸着保持することで、Ｙ方向の位置決め精度を非常に精度良く行うことができ、上記高精度の位置決めを高い信頼性で実現することができた。
【００７０】
また、搭載ステージ３が、角錐コレット８１にピックアップされた電子部品２０に対して、θ方向の位置ずれを無視できるレベルで、被搭載物３０をセット可能なことから、搭載ステージ３に、角度制御用モータを設けない構成とした。
その他の構造及び作用は、上記実施形態における電子部品位置決め装置１と同様とした。
【００７１】
この実施例における電子部品位置決め装置は、チップ部品の要求搭載精度（Ｘ方向±３０μｍ以内及びＹ方向±１０μｍ以内）を満足することができた。
なお、Ｘ方向の位置決めについては、±約２５μｍの範囲内でずれる可能性があるが、要求搭載精度以内であり、特に、問題はなかった。
【００７２】
「電子部品位置決め方法」
また、本発明は、予備認識ステージに載置され上面に表面パターンの形成された電子部品を、搭載ステージに載置された被搭載物に位置決めして搭載する、電子部品位置決め方法としても有効である。
次に、この電子部品位置決め方法について、図５を参照して説明する。
図５は、本発明に係る電子部品位置決め方法を説明するための概略フローチャート図を示している。
【００７３】
同図において、先ず、電子部品が載置される予備認識ステージの上方に設けられた電子部品用撮像装置が、電子部品を撮像し、画像データを画像処理装置に出力する（ステップＳ１）。
続いて、画像処理装置が、電子部品の画像データを入力し、電子部品の位置、電子部品の表面パターン、及び、電子部品の位置と電子部品の表面パターンとのパターン位置ずれを計測する（ステップＳ２）。
【００７４】
次に、搭載ヘッドユニットをコントロールするコントローラが、画像処理装置が計測した予備認識ステージに載置された電子部品の位置データを入力し、電子部品の位置データにもとづいて、電子部品をピックアップする角錐コレットの位置を求める（ステップＳ３）。
続いて、搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、電子部品をピックアップする角錐コレットの位置に、位置修正されてから、電子部品をピックアップし、被搭載物の載置された搭載ステージに移動する（ステップＳ４）。
【００７５】
ここで、本発明に係る電子部品位置決め装置方法によると、予備認識ステージに載置された電子部品を、電子部品の位置データにもとづいて位置修正された角錐コレットがピックアップするので、電子部品が角錐コレットのピックアップ位置に正確に位置した状態でピックアップされ、電子部品の位置決め精度が向上し、かつ、位置決め精度の信頼性も向上する。
また、電子部品用撮像装置は、角錐コレットに保持されていない電子部品を直接観察するため、たとえば、角錐コレットに付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識する際の悪影響を排除することができる。
【００７６】
次に、搭載ステージの上方に設けられた被搭載物用撮像装置が、角錐コレットに設けられた位置認識部および被搭載物を撮像し、これら位置認識部および被搭載物の画像データを画像処理装置に出力する（ステップＳ５）。
続いて、この画像処理装置が、位置認識部および被搭載物の画像データを入力し、位置認識部と被搭載物の位置を計測する（ステップＳ６）。
【００７７】
次に、搭載ヘッドユニットをコントロールするコントローラが、画像処理装置が計測した位置認識部及び被搭載物の位置データ、並びに、パターン位置ずれのデータを入力し、位置認識部の位置データ，被搭載物の位置データ，角錐コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データ，及び，パターン位置ずれのデータにもとづいて、電子部品を搭載する角錐コレットの位置を求める（ステップＳ７）。
続いて、搭載ヘッドユニットの角錐コレットが、電子部品を搭載する角錐コレットの位置に、位置修正されてから、電子部品を被搭載物に搭載する（ステップＳ８）。
【００７８】
このように、電子部品位置決め方法によると、位置認識部の位置データ，被搭載物の位置データ，及び，コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データにもとづいて位置修正されたコレットが、電子部品を被搭載物に搭載するので、電子部品の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００７９】
なお、本発明に係る電子部品位置決め装置において、角錐コレットを用いた電子部品位置決め装置，位置認識部をコレットに設けた電子部品位置決め装置，位置認識部を位置認識ピンとした電子部品位置決め装置，及び，加熱手段を有する電子部品位置決め装置は、それぞれ単独で実施することができるとともに、これらの組み合わせとしても実施することができ、それぞれの効果を発揮することができることは勿論である。
また、電子部品位置決め装置として説明したが、電子部品位置決め方法としても、同様の効果を発揮できる。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明における電子部品位置決め装置及び電子部品位置決め方法によれば、予備認識ステージに載置された電子部品の位置データにもとづいて位置修正されたコレットが、電子部品を精度良く位置決め可能な状態でピックアップし、さらに、位置認識部の位置データ，被搭載物の位置データ，及び，コレットにピックアップされた電子部品と位置認識部との位置関係データにもとづいて位置修正されたコレットが、電子部品を被搭載物に搭載するので、電子部品の位置決め精度及び位置決め精度の信頼性を向上させることができる。
【００８１】
また、電子部品用撮像装置は、コレットに吸着保持されていない電子部品を直接観察するため、たとえば、コレットに付着物が付着した場合であっても、付着物による画像認識する際の悪影響を排除することができる。
また、角錐コレットを用いることにより、電子部品の位置ずれ（移動）を効果的に防止することができ、電子部品の表面パターンと角錐コレットとの接触がないため、電子部品の表面パターンにダメージを与えるといった不具合を確実に防止することができる。
【００８２】
また、ピックアップされる電子部品の近くに、位置認識部を設けることにより、電子部品と位置認識部との位置関係データの精度を高めることができ、また、位置認識部を、位置認識ピンとすることにより、製造コストのコストダウンを図ることができる。
さらにまた、パターン位置ずれデータにもとづいて、被搭載物に対するコレットの位置修正を行うことにより、電子部品の表面パターンが、電子部品の外形に対して、位置ずれしている場合であっても、表面パターンを基準として、電子部品を被搭載物に精度良く位置決めすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明に係る電子部品位置決め装置を説明するための概略構成図を示している。
【図２】  図２は、本発明に係る電子部品位置決め装置の角錐コレットを説明するための概略図を示しており、（ａ）は電子部品を被搭載物に搭載した状態を説明するための上面図を、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図を、（ｃ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図を示している。
【図３】  図３は、電子部品の表面パターンにもとづく角錐コレットの位置修正を説明するための概略図を示している。
【図４】  図４は、パターン位置ずれの電子部品に対する角錐コレットの位置修正を説明するための概略図を示しており、（ａ）は電子部品の外形及び観察パターンの概略図を、（ｂ）は電子部品をピックアップした状態を説明するための断面図を示している。
【図５】  図５は、本発明に係る電子部品位置決め方法を説明するための概略フローチャート図を示している。
【符号の説明】
１  電子部品位置決め装置
２  予備認識ステージ
３  搭載ステージ
４  電子部品用撮像装置
５  上下移動装置
６  被搭載物用撮像装置
７  画像処理装置
８  搭載ヘッドユニット
９  コントローラ
２０  電子部品
３０  被搭載物
４０  半田片
８１  角錐コレット
８２  水平移動装置
８３  昇降装置
８４  位置認識ピン
８５  真空発生装置
９１  基準パターン
９２  観察パターン
９３  回転後の観察パターン
８１１  凹部
８１２，８１４  傾斜面
８１３  吸着孔
【図１】
0004617607.tif 000002
【図２】
0004617607.tif 000003
【図３】
0004617607.tif 000004
【図４】
0004617607.tif 000005
【図５】
0004617607.tif 000006