(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台に該基台を垂直方向に表裏貫通するとともに該垂直方向と直角な平面内で互いに直角な縦方向および横方向に延在する複数のスリットが形成され、
前記スリットは、
前記横方向に延在する一対の横スリットと、
前記一対の横スリットの内側であって前記縦方向に延在し、前記一対の横スリットに対して接続しない一対の縦スリットと、
前記一対の縦スリットのそれぞれの両端部に接続され、前記一対の横スリットの両端部内側にそれぞれ対向する複数の横連結スリットと、
前記一対の縦スリットの内側であり前記横連結スリットの内側に、前記横スリットに平行な一対の内スリットと、
前記一対の内スリットのそれぞれの両端部に接続され、前記一対の縦スリットの両端部内側にそれぞれ対向する複数の縦連結スリットと、
を備え、
前記一対の横スリットと前記一対の縦スリットにより外周枠を形成し、
それぞれの前記横スリットとそれぞれの前記内スリットとにより、前記横方向に延在する一対の中間部を形成し、
前記横スリットの両端部と前記横連結スリットにより、前記外周枠の対向する両縦辺部の両端部に対して前記中間部を前記縦方向に可撓可能に連結する複数の横リンクを形成し、
前記一対の内スリットと前記縦連結スリットにより微動台を形成し、
前記縦スリットの両端部と前記縦連結スリットにより、それぞれの前記中間部に対して前記微動台を前記横方向に可撓可能に連結する複数の縦リンクを形成し、
前記外周枠の両横辺部の一方に設けられ前記中間部のうち前記スリットにより形成された面に押し付けることにより前記中間部を縦方向に微動させる縦微動装置と、前記両縦辺部の一方に設けられ前記微動台のうち前記スリットにより形成された面に押し付けることにより前記微動台を横方向に微動させる横微動装置と、を備えたことを特徴とする微動位置調整装置。
【請求項２】
請求項１において、前記横リンクの両端および前記縦リンクの両端を形成する前記スリットには、弧状に屈曲する屈曲部が形成されていることを特徴とする微動位置調整装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、前記縦微動装置および横微動装置は、入力部材の回転を減速する減速機と、該減速機の回転を出力部材の縦方向および横方向微動に変換する変換機構と、前記出力部材の微動範囲を前記中間部および前記微動台が自由状態から所定量押込まれた位置と該位置から一定量さらに押込まれた位置との間に規制するように前記入力部材の回転を規制する規制装置と、を夫々備えることを特徴とする微動位置調整装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項において、前記縦方向および横方向に夫々粗動される粗動台上、又は、互いに直角な前記縦方向、横方向および垂直方向に夫々粗動される粗動台上に前記基台が載置されていることを特徴とする微動位置調整装置。
【請求項５】
工作物を回転駆動可能に支持する工作物支持台と、該工作物支持台に対し互いに直角なＸ軸、Ｚ軸およびＹ軸方向に相対移動される工具テーブルと、工具を支持する工具台が固定されＹ軸と平行なＢ軸回りに回転駆動可能に前記工具テーブル上に装架された回転テーブルとを備え、前記工作物支持台と前記工具テーブルとを少なくともＸ軸およびＺ軸方向に相対移動させるとともに、前記工具の先端がＢ軸と一致する状態で前記工具の軸線が前記工作物の法線と一致するように前記回転テーブルをＢ軸回りに旋回させて前記工作物を前記工具により加工する超精密加工装置において、前記工具台が請求項１乃至４のいずれか１項に記載された微動位置調整装置を介して前記回転テーブルに設けられていることを特徴とする超精密加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工具等を微動させて位置調整する微動位置調整装置およびこの微動位置調整装置を用いた超精密加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、可動部を微動させて可動部に取り付けられた工作物等を微動位置調整することが行われている。このため、特許文献１に記載された微動ステージでは、特許文献１の図１に示されるように可動部１と、外枠２と、剛体１０と、可動部１と剛体１０および剛体１０と外枠２とを連結する一対の２重平行ばね機構３とが一枚の厚板から切出して形成されている。外枠２の中心軸上にボールねじ機構が設けられ、可動部１と外枠２との間に介在された圧縮ばね６のばね力により可動部１はねじ軸４２の先端に当接されている。モータ９によりねじ軸４２がベローズカップリング８を介して回転されると、ねじ軸４２が僅かに軸動され、可動部１が圧縮ばね６のばね力に抗して中心線に沿って真直に移動されるようになっている。
【特許文献１】特開２０００−１９４１５号公報（第２，３頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近時、レンズの機能、形状が複雑化し、レンズやレンズ用の金型は、極めて高い形状精度に加工されることが要求される。工具Ｔが固定された工具台５５を互いに直角なＸ軸およびＺ軸方向に移動させ、回転駆動される工作物Ｗの端面に金型面を加工する超精密加工装置では、図４のように、工具Ｔの先端ＲをＢ軸線と一致させた状態で、工具Ｔの軸線方向Ｌが加工面ＷＳの法線方向Ｎと一致するように工具台５５をＢ軸回りに旋回させて加工が行われる。工具Ｔの先端ＲをＢ軸線と正確に一致させるために、工具Ｔが取り付けられた工具台５５をＸ軸およびＺ軸方向に微動させて位置調整する必要がある。しかしながら、上記従来の微動ステージでは、可動部１は１軸方向にしか位置調整できないので、工具Ｔの先端ＲをＢ軸線と一致させるためには、２個の微動ステージを積層する必要があり、装置が複雑かつ大型化し、組付け調整に労力を要しコスト高となる。
【０００４】
本発明は係る従来の不具合を解消するためになされたもので、可動部を互いに直角な２軸方向に微動させて可動部に取り付けられた工具等を微動位置調整可能とした構成が簡素で小型化可能な微動位置調整装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、請求項１に記載の発明の構成上の特徴は、基台に該基台を垂直方向に表裏貫通するとともに該垂直方向と直角な平面内で互いに直角な縦方向および横方向に延在する複数のスリットが形成され、前記スリットは、前記横方向に延在する一対の横スリットと、前記一対の横スリットの内側であって前記縦方向に延在し、前記一対の横スリットに対して接続しない一対の縦スリットと、前記一対の縦スリットのそれぞれの両端部に接続され、前記一対の横スリットの両端部内側にそれぞれ対向する複数の横連結スリットと、前記一対の縦スリットの内側であり前記横連結スリットの内側に、前記横スリットに平行な一対の内スリットと、前記一対の内スリットのそれぞれの両端部に接続され、前記一対の縦スリットの両端部内側にそれぞれ対向する複数の縦連結スリットと、を備え、前記一対の横スリットと前記一対の縦スリットにより外周枠を形成し、それぞれの前記横スリットとそれぞれの前記内スリットとにより、前記横方向に延在する一対の中間部を形成し、前記横スリットの両端部と前記横連結スリットにより、前記外周枠の対向する両縦辺部の両端部に対して前記中間部を前記縦方向に可撓可能に連結する複数の横リンクを形成し、前記一対の内スリットと前記縦連結スリットにより微動台を形成し、前記縦スリットの両端部と前記縦連結スリットにより、それぞれの前記中間部に対して前記微動台を前記横方向に可撓可能に連結する複数の縦リンクを形成し、前記外周枠の両横辺部の一方に設けられ前記中間部のうち前記スリットにより形成された面に押し付けることにより前記中間部を縦方向に微動させる縦微動装置と、前記両縦辺部の一方に設けられ前記微動台のうち前記スリットにより形成された面に押し付けることにより前記微動台を横方向に微動させる横微動装置と、を備えたことである。
【０００６】
請求項２に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１において、前記横リンクの両端および前記縦リンクの両端を形成する前記スリットには、弧状に屈曲する屈曲部が形成されていることである。
請求項３に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１又は請求項２において、前記縦微動装置および横微動装置は、入力部材の回転を減速する減速機と、該減速機の回転を出力部材の縦方向および横方向微動に変換する変換機構と、前記出力部材の微動範囲を前記中間部および前記微動台が自由状態から所定量押込まれた位置と該位置から一定量さらに押込まれた位置との間に規制するように前記入力部材の回転を規制する規制装置と、を夫々備えることである。
【０００７】
請求項４に記載の発明の構成上の特徴は、請求項１乃至３のいずれか１項において、前記縦方向および横方向に夫々粗動される粗動台上、又は、互いに直角な前記縦方向、横方向および垂直方向に夫々粗動される粗動台上に前記基台が載置されていることである。
【０００９】
請求項５に記載の発明の構成上の特徴は、工作物を回転駆動可能に支持する工作物支持台と、該工作物支持台に対し互いに直角なＸ軸、Ｚ軸およびＹ軸方向に相対移動される工具テーブルと、工具を支持する工具台が固定されＹ軸と平行なＢ軸回りに回転駆動可能に前記工具テーブル上に装架された回転テーブルとを備え、前記工作物支持台と前記工具テーブルとを少なくともＸ軸およびＺ軸方向に相対移動させるとともに、前記工具の先端がＢ軸と一致する状態で前記工具の軸線が前記工作物の法線と一致するように前記回転テーブルをＢ軸回りに旋回させて前記工作物を前記工具により加工する超精密加工装置において、前記工具台が請求項１乃至４のいずれか１項に記載された微動位置調整装置を介して前記回転テーブルに設けられていることである。
【発明の効果】
【００１０】
上記のように構成した請求項１に係る発明においては、外周枠と、該外周枠の対向する両縦辺部の両端部に縦方向に可撓可能に夫々連結された一対の中間部と、一対の中間部の両端部に横方向に可撓可能に連結された微動台とが、基台を垂直方向に表裏貫通するスリットにより一体の基台から切出して形成され、中間部が縦微動装置により縦方向に微動され、微動台が横微動装置により横方向に微動される。
【００１１】
これにより、位置調整が必要な物体を極めて正確に２軸方向に位置調整することができ、構成が簡素で小型化可能な微動位置調整装置を容易に低コストで提供することができる。
【００１２】
上記のように構成した請求項３に係る発明においては、縦微動装置および横微動装置の出力部材の微動範囲は、中間部および微動台が自由状態から所定量押込まれた位置と該位置から一定量さらに押込まれた位置との間に規制されるので、縦微動装置および横微動装置のバックラッシが除去されるとともに、中間部および微動台が適切な微動範囲で高精度に微動されて正確に位置調整される。
【００１３】
上記のように構成した請求項４に係る発明においては、微動台がスリットにより切出された基台が、互いに直角な縦方向および横方向に夫々粗動される粗動台上に載置されているので、微動台上に固定された位置調整が必要な物体を粗動台の粗動により所定位置近傍、例えば位置調整用顕微鏡の視野内に迅速かつ確実に粗位置調整することができる。
【００１４】
また、上記のように構成した請求項４に係る他の発明においては、微動台がスリットにより切出された基台が、互いに直角な縦方向、横方向および垂直方向に夫々粗動される粗動台上に載置されているので、微動台上に固定された位置調整が必要な物体を粗動台の粗動により３次元方向から所定位置近傍、例えば位置調整用顕微鏡の視野内に迅速かつ確実に粗位置調整することができる。
【００１５】
上記のように構成した請求項５に係る発明においては、工具の先端がＹ軸と平行なＢ軸と一致する状態で工具の軸線が工作物の法線と一致するように回転テーブルが工具テーブル上でＢ軸回りに旋回され、工作物支持台と工具テーブルとが少なくともＸ軸およびＺ軸方向に相対移動されて工具により工作物を加工する超精密加工装置において、回転テーブルに設けられた工具台を請求項１乃至３のいずれか１項に記載された微動位置調整装置により位置調整することにより、工具台に設けられた工具の先端を回転テーブルの回転中心であるＢ軸と容易かつ確実に一致させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る微動位置調整装置およびそれを用いた超精密加工装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１，２において、超精密加工装置ＭＴのベッド１は台座２上に除振台３を介して設置されている。ベッド１の前面には工具テーブル４が案内機構５により上下のＹ軸方向に直線移動可能に装架されている。工具テーブル４はリニアモータによりＹ軸方向に直線移動されリニアスケールにより移動量が検出されてフィードバックされ位置制御される。
【００１７】
ベッド１の水平上面にはスライドテーブル６が案内機構７により左右のＸ軸方向に直線移動可能に装架されている。スライドテーブル６はリニアモータ８によりＸ軸方向に直線移動されリニアスケール９により移動量が検出されてフィードバックされ位置制御される。スライドテーブル６には工作物支持台１０が案内機構１１により前後のＺ軸方向に直線移動可能に装架されている。工作物支持台１０はリニアモータによりＺ軸方向に直線移動されリニアスケール１２により移動量が検出されてフィードバックされ位置制御される。
【００１８】
工具テーブル４には回転テーブル１５がＹ軸と平行なＢ軸回りに回転可能に装架され、図示しないサーボモータにより回転駆動される。回転テーブル１５上には案内プレート１８が固定され、案内プレート１８上に中間スライド２０が案内機構１９により横方向に案内されている。この横方向は、回転テーブル１５が原位置に割出されているときＺ軸方向と平行になる。案内プレート１８に軸動を規制されて回転可能に軸承された送りねじ２１が中間スライド２０に螺合され、送りねじ２１の回転により中間スライド２０が横方向に粗動される。中間スライド２０上に粗動テーブル１７が案内機構２２により縦方向に案内されている。この縦方向は、回転テーブル１５が原位置に割出されているときＸ軸方向と平行になる。中間スライド２０に軸動を規制されて回転可能に軸承された送りねじ２３が粗動テーブル１７に螺合され、送りねじ２３の回転により粗動テーブル１７が縦方向に粗動される。これにより、縦方向および横方向に夫々粗動される粗動テーブル１７が回転テーブル１５の上に設けられる。
【００１９】
粗動テーブル１７上には、ガイド２４が固定され、ガイド２４に傾斜体２５が案内機構２６により横方向に案内されている。傾斜体２５の横方向に傾斜された上面には粗動台２７が案内機構２８により案内されて載置されている。粗動台２７とガイド２４との間には垂直案内機構２９が設けられ、粗動台２７は垂直案内機構２９により案内されて縦方向および横方向と直角な垂直方向にのみ移動可能となっている。ガイド２４に軸動を規制されて回転可能に軸承された送りねじ３０が傾斜体２５に螺合され、送りねじ３０の回転により傾斜体２５が横方向に移動されると、粗動台２７が傾斜体２５上面の傾斜によって垂直方向に微動される。このように、回転テーブル１５の上面には、縦方向、横方向および垂直方向に夫々粗動される粗動台２７が設けられている。
【００２０】
粗動台２７上に基台３０が載置され、基台３０には、図３に示すように基台３０を垂直方向に表裏貫通するスリット３１によって基台３０内に外周枠３２と、外周枠３２の対向する両縦辺部３２ａの両端部に縦方向に可撓可能に夫々連結された一対の中間部３５と、対向する一対の中間部３５の両端部に横方向に可撓可能に連結された微動台３６とが形成されている。即ち、基台３０には、垂直方向と直角な平面内で互いに直角な縦方向および横方向に延在するスリット３１ａ，３１ｂにより外周枠３２が形成されている。横方向に延在する各横スリット３１ｂには、対向する一対の横辺部３２ｂの両端部において夫々内側に円弧状に屈曲する屈曲部３１ｃが所定間隔で８箇所設けられている。縦方向に延在する各縦スリット３１ａの両端には、横スリット３１ｂの両端部と夫々対向する横連結スリット３１ｄが接続され、横連結スリット３１ｄには各屈曲部３１ｃと対向して外側に円弧状に屈曲する屈曲部３１ｅが８箇所設けられている。横スリット３１ｂの両端部と横連結スリット３１ｄとの間には、所定間隔で８個設けられた屈曲部３１ｃと屈曲部３１ｅとによって両端に可撓部３３が形成された４個の横リンク３４ｂが切出されている。
【００２１】
縦方向に延在する各縦スリット３１ａには、対向する一対の縦辺部３２ａの両端部において夫々内側に円弧状に屈曲する屈曲部３１ｃが所定間隔で８箇所設けられている。横連結スリット３１ｄの内側で横方向に延在する各内スリット３１ｆの両端には、縦スリット３１ａの両端部と夫々対向する縦連結スリット３１ｇが接続され、縦連結スリット３１ｇには各屈曲部３１ｃと対向して外側に円弧状に屈曲する屈曲部３１ｅが８箇所設けられている。縦スリット３１ａの両端部と縦連結スリット３１ｇとの間には、所定間隔で８個設けられた屈曲部３１ｃと屈曲部３１ｅとによって両端に可撓部３３が形成された４個の縦リンク３４ａが切出されている。
【００２２】
横スリット３１ｂの中央部と内スリット３１ｆとによって一対の中間部３５が切出され、一対の中間部３５の両端が可撓部３３により横リンク３４ｂに連結され、横リンク３４ｂが外周枠３２の対向する両縦辺部３２ａの両端部に可撓部３３で連結されることにより、一対の中間部３５は、外周枠３２の対向する両縦辺部３２ａの両端部に縦方向に可撓可能に夫々連結されている。内スリット３１ｆと縦連結スリット３１ｇとによって微動台３６が切出され、微動台３６の横方向両端中央部が可撓部３３により縦リンク３４ａに連結され、縦リンク３４ａが一対の中間部３５の対向する両端部に可撓部３３で連結されることにより、微動台３６は、一対の中間部３５の両端部に横方向に可撓可能に夫々連結されている。
【００２３】
外周枠３２の一方の横辺部３２ｂおよび一方の縦辺部３２ａの外壁面には、縦微動装置３７および横微動装置３８が夫々設けられている。縦微動装置３７および横微動装置３８は同じ構成であるので、縦微動装置３７について説明する。一方の横辺部３２ｂの中央部分には段付き穴３９が縦方向に貫設され、大径穴が外壁面に開口し、小径穴が中間部３５に対向する内壁面に開口している。縦微動装置３７のベース４０の小径円筒部４０ａが大径穴に嵌合されて位置決めされ、大径円筒部４０ｂが横辺部３２ｂの外壁面にボルト４１で固定されている。小径円筒部４０ａの内周面には、出力部材４２の外周面に刻設された雄ねじ４２ａと螺合する雌ねじが刻設され、出力部材４２の先端に突設された当接部４２ｂが中間部３５の中央部分に当接されている。
【００２４】
ベース４０の大径円筒部４０ｂの後端面に雌ねじと同軸に形成された嵌合穴には、超小型のハーモニックドライブ（登録商標）減速機４３のハウジング４４の先端面に突設された嵌合部が嵌着され，先端面が大径円筒部４０ｂの端面に当接しピンにより回り止めされて固定されている。大径円筒部４０ｂの後端部には、ケーシング４５の先端に形成された重合穴が嵌合され、ケーシング４５は重合穴底面が大径円筒部４０ｂの後端面に密着してボルトにより固定されている。ケーシング４５に形成された収納穴４５ａには、ハウジング４４が嵌装されている。ハーモニックドライブ減速機４３はハウジング４４の両端から入力軸４６および出力軸４７が縦方向に突設され、入力軸４６の回転がハーモニック機構により百分の一に減速されて出力軸４７が回転されるようになっている。
【００２５】
入力軸４６の後端には、入力部材４８の前端面に穿設された有底穴が嵌合され、入力部材４８が後端面から挿入されたボルト４９により同心に固定されている。出力軸４７は、出力部材４２の中心穴に回転を規制されて軸線方向に相対移動可能に嵌合されている。これにより、ハーモニックドライブ減速機４３等が入力部材４８の回転を減速する減速機を構成し、出力部材４２に刻設された雄ねじ４２ａおよび小径円筒部４０ａに刻設された雌ねじ等が出力軸４７の回転を出力部材４２の縦方向微動に変換する変換機５０を構成している。
【００２６】
入力部材４８とケーシング４５との間には、出力部材４２の微動範囲を中間部３５が自由状態から所定量押込まれた位置と該位置から一定量さらに押込まれた位置との間に規制するように、入力部材４８の回転を規制する規制装置５１が設けられている。入力部材４８には、大径のハンドル部４８ａと小径の外周面に雄ねじが刻設された雄ねじ部４８ｂが形成され、雄ねじ部４８ｂに規制部材５２の環状部５２ａの内周面に刻設された雌ねじが螺合されている。環状部５２ａの前端面から係合部５２ｂが突設され、ケーシング４５の後端面に凹設された係合溝４５ｂに回転を規制され軸線方向に移動可能に嵌合されている。これにより規制部材５２は入力部材４８の回転方向に応じて軸線方向に移動される。係合部５２ｂには、係合溝４５ｂの底面に当接して規制部材５２の前進位置を調整するためのねじ部材５３が螺合され、入力部材４８は、規制部材５２が入力部材４８の段部に当接するときの回転位置と、ねじ部材５３が係合溝４５ｂの底面に当接するときの回転位置との間で回転される。そして、出力部材４２は、規制部材５２が入力部材４８の段部に当接するときの入力部材４８の回転位置において、中間部３５を自由状態から所定量押込み、ねじ部材５３が係合溝４５ｂの底面に当接するときの入力部材４８の回転位置において、中間部３５を自由状態から所定量押込んだ位置から一定量さらに押込むように調整されている。環状部５２ａの外周にはロックナット５４が螺合され、入力部材４８が調整回転された後にロックナット５４が締め付けられてケーシング４５の後端面に圧着されることにより、規制部材５２の軸動が規制されて入力部材４８は調整された回転位置にロックされる。
【００２７】
横微動装置３８では、出力部材４２の先端に突設された当接部４２ｂが微動台３６の中央部分に当接され、規制装置５１は、出力部材４２の微動範囲を微動台３６が自由状態から所定量押込まれた位置と該位置から一定量さらに押込まれた位置との間に規制するように入力部材４８の回転を規制する。
【００２８】
微動台３６上には工具台５５が固定され、工具台５５には工具Ｔが、工具先端ＲがＢ軸と一致し工具軸線が横方向を向くように取付けられている。工作物支持台１０にはモータ５６により回転駆動される主軸５７がＺ軸と平行なＣ軸回りに回転可能に軸承され、主軸５７の先端には工作物Ｗがチャックにより着脱可能に装着される。
【００２９】
５８はＸ軸方向と平行な平行光線を発する光源で、工具先端Ｒを照射するようにベッド１の前面に固定されている。５９は光源５８に照射された工具先端Ｒの位置を拡大して測定する顕微鏡で、工具台５５に取付けられた工具Ｔを挟んで光源５８の反対側で光軸がＸ軸と平行になるようにベッド１に固定されている。Ｃ軸を含むＸＺ面とＢ軸との交点が顕微鏡５９の視野に描かれた水平基準線と垂直基準線との交点と一致するように位置調整されている。
【００３０】
工具台５５に取付けられた工具Ｔの先端ＲをＢ軸と一致させるために、工具テーブル４、スライドテーブル６および回転テーブル１５が原位置に移動された状態で、送りねじ２１が回転されて中間スライド２０が横方向に粗動され、送りねじ２３が回転されて粗動テーブル１７が縦方向に粗動され、送りねじ３０が回転されて粗動台２７が垂直方向に粗動される。この粗動台２７の横方向、縦方向および垂直方向の移動により工具Ｔの先端Ｒが確実かつ迅速に顕微鏡５９の視野内に移動される。
【００３１】
工具Ｔの先端Ｒのすくい面が水平基準線と一致するように工具テーブル４がリニアモータによりＹ軸方向に微動され、工具先端Ｒのすくい面がＣ軸を含むＸＺ面に一致される。次に、工具先端Ｒを垂直基準線と一致させるために、横微動装置３８の入力部材４８が回転されると、入力部材４８の回転がハーモニックドライブ減速機４３により減速されて出力部材４２が回転され、出力部材４２がベース４０に螺合する雄ねじ４２ａのねじ作用により軸線方向に微動される。これにより、微動台３６が出力部材４２の当接部４２ｂにより押動され、微動台３６の横方向両端中央部を一対の中間部３５の両端部に夫々連結する４個の縦リンク３４ａの各両端に形成された可撓部３３が屈曲され、微動台３６は横方向に正確に微動され、微動台３６上に固定された工具台５５に取付けられた工具Ｔの先端ＲがＺ軸方向に微動されて垂直基準線と一致される。この状態でロックナット５４が締め付けられ入力部材４８は回転をロックされる。
【００３２】
縦微動装置３７の入力部材４８が回転されると、出力部材４２が軸線方向に微動され、一方の中間部３５が出力部材４２の当接部４２ｂにより押動され、一対の中間部３５の両端を対向する両縦辺部３２ａの両端部に夫々連結する４個の横リンク３４ｂの各両端に形成された可撓部３３が屈曲され、一対の中間部３５延いては微動台３６は縦方向に正確に微動され、工具先端Ｒがピントずれなく顕微鏡５９の視野に結像するようにＸ軸方向に微動され、工具先端ＲがＢ軸と一致される。この状態でロックナット５４が締め付けられ入力部材４８は回転をロックされる。
【００３３】
工具Ｔの先端Ｒにより工作物Ｗに曲面を加工するために、スライドテーブル６はリニアモータ８によりＸ軸方向に直線移動され、工作物支持台１０はリニアモータによりＺ軸方向に直線移動される。このとき、工具Ｔの先端ＲがＢ軸と一致する状態で工具Ｔの軸線が工作物Ｗの法線と一致するように、回転テーブル１５はサーボモータによりＢ軸回りに旋回される。これにより、工具Ｔの法線方向が工作物Ｗの加工面の法線方向と一致し、工具先端Ｒの加工面と接触する切削点が変わらなくなるので、高い形状精度で所望の曲面を工作物Ｗの端面に加工することができる。
【００３４】
上記実施の形態では、工具台５５に工具Ｔが固定されているが、工具台５５にスピンドルをＺ軸に対し傾斜させて回転駆動可能に軸承し、スピンドルの先端に砥石車等の回転工具を取付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係る精密加工装置の全体を示す図。
【図２】本発明の実施の形態に係る微動位置調整装置の断面図。
【図３】図２の３−３線に沿って切断した断面図。
【図４】加工状態を示す図。
【符号の説明】
【００３６】
１…ベッド、２…台座、４…工具テーブル、５，７，１１，１９，２２，２６，２８，２９…案内機構、６…スライドテーブル、８…リニアモータ、９，１２…リニアスケール、１０…工作物支持台、１５…回転テーブル、１７…粗動テーブル、１８…案内プレート、２０…中間スライド、２１，２３，３０…送りねじ、２４…ガイド、２５…傾斜体、２７…粗動台、３１…スリット、３２…外周枠、３２ａ…縦辺部、３２ｂ…横辺部、３３…可撓部、３４ａ…縦リンク、３４ｂ…横リンク、３５…中間部、３６…微動台、３７…縦微動装置、３８…横微動装置、４０…ベース、４２…出力部材、４２ａ…雄ねじ、４２ｂ…当接部、４３…ハーモニックドライブ減速機、４４…ハウジング、４５…ケーシング、４６…入力軸、４７…出力軸、４８…入力部材、５０…変換機、５１…規制装置、５２…規制部材、５３…ねじ部材、５４…ロックナット、５５…工具台、５６…モータ、５７…主軸、５８…光源、５９…顕微鏡、ＭＴ…超精密加工装置、Ｔ…工具、Ｗ…工作物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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