(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に支持された円板形状のチャック台盤の周縁部に沿ってリング状のウェハ受座が設けられ、前記ウェハ受座に載置されたウェハの周縁部を複数の固定手段によって前記ウェハ受座に固定することにより前記ウェハを保持可能なウェハ保持装置であって、
前記チャック台盤の回転速度を検出する検出手段を備え、
前記ウェハ受座には、前記各固定手段が周回り方向に間隔を置いて設けられ、
該各固定手段の間には、前記ウェハ受座に固定の前記ウェハと前記チャック台盤との間の対向空間を外部に連通させる複数の連通孔が、前記チャック台盤の周縁部であって前記チャック台盤の半径方向で見て前記ウェハ受座よりも内方に設けられ、
前記各連通孔には、前記対向空間の空気を吸引する吸引手段が接続され、
該吸引手段は、前記チャック台盤の回転速度に応じて吸引量が調節されることを特徴とするウェハ保持装置。
【請求項２】
前記各固定手段と前記各連通孔とは、前記ウェハの周回り方向で見て等しい間隔で交互に配置され、前記各連通孔は、前記ウェハの半径方向で見て等しい位置とされていることを特徴とする請求項１に記載のウェハ保持装置。
【請求項３】
前記チャック台盤には、前記対向空間を外部に連通させる吹出孔が半径方向で見て前記各連通孔よりも中心側に設けられ、前記吹出孔には、前記対向空間に空気を供給する供給手段が接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウェハ保持装置。
【請求項４】
前記供給手段は、前記検出手段により検出された前記チャック台盤の回転速度に応じて供給量が調節されることを特徴とする請求項３に記載のウェハ保持装置。
【請求項５】
前記チャック台盤には、該チャック台盤の回転に伴う遠心力の働きによって前記対向空間の空気が前記チャック台盤の前記周縁部へ向かうことを抑制するための補助羽が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のウェハ保持装置。
【請求項６】
前記補助羽は、前記チャック台盤の前記ウェハと対向される対向面に少なくとも１つ設けられた突条により形成され、該各突条は、前記チャック台盤の回転中心へ向けた螺旋状とされていることを特徴とする請求項５に記載のウェハ保持装置。
【請求項７】
前記各固定手段は、前記ウェハの周縁端に当接可能な保持爪であり、該各保持爪は、前記チャック台盤の半径方向に移動可能に該チャック台盤に設けられ、それぞれが前記ウェハの周縁端に当接することにより該ウェハが前記ウェハ受座に押し付けられつつ挟持されることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のウェハ保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造工程において、ウェハを回転させて表面を検査する表面検査装置でウェハを保持するウェハ保持装置、ウェハを回転させて表面に膜を生成するまたは塗布する装置でウェハを保持するウェハ保持装置等のように、ウェハを保持することができかつ保持状態で回転可能なウェハ保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、ウェハを回転させて表面を検査する表面検査装置、光を照射することによりウェハの表面に成膜または塗布された光感光剤（フォトレジスト）に回路パターンを露光・転写する半導体露光装置、ウェハを保持した状態で搬送するウェハ搬送装置等において、ウェハを保持することができかつ保持した状態で回転可能なウェハ保持装置が知られている。
【０００３】
このようなウェハ保持装置として、図８に示すように、ウェハ１の中央近傍を裏面側で真空排気による吸着力を利用して円形のチャック台盤２に吸着させて保持する構成のウェハ保持装置がある。このものでは、チャック台盤２とウェハ１との接触面積が大きくなりかつウェハ１の周縁近傍に撓みが生じることから、チャック台盤の周縁部にリング状のウェハ受座を設け、真空排気による吸着力でウェハの周縁近傍をウェハ受座に吸着させて（ウェハ受座への固定手段。）、ウェハを保持する構成のウェハ保持装置が考えられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この特許文献１のウェハ保持装置では、真空排気による吸着力を利用してウェハ受座がウェハの周縁近傍を吸着することによりウェハを保持する構成であることから、ウェハとチャック台盤とウェハ受座とにより区画された対向空間の圧力が、ウェハ受座での真空排気により低下してウェハに撓みが生じる虞がある。このため、対向空間を外部に開放する開放用通路がチャック台盤に設けられたウェハ保持装置が考えられている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
特許文献１および特許文献２のウェハ保持装置のように、真空排気による吸着力でウェハをチャック台盤またはウェハ受座に吸着させる構成のものには、ウェハの表面に空気を吹き付けることにより、ウェハが撓むことを防止して確実にチャック台盤またはウェハ受座に吸着させる構成のウェハ保持装置が考えられている（例えば、特許文献３参照。）。
【０００６】
また、一般にウェハ保持装置では、ウェハとの接触により塵埃等を巻き上げる虞があることから、チャック台盤の周縁に複数の保持爪（ウェハ受座への固定手段。）を周回り方向で間隔を置いて設け、この保持爪でウェハの周縁端を複数の方向から挟持してウェハとの接触面積を低減しつつウェハを保持することができるウェハ保持装置が考えられている（例えば、特許文献４、特許文献５および特許文献６参照。）。
【０００７】
ここで、上記したように、チャック台盤に設けたウェハ受座にウェハが固定される構成のウェハ保持装置では、互いに対向されるチャック台盤とウェハとの間に対向空間が形成されることとなるが、ウェハを回転させるべくチャック台盤が回転駆動されると、対向空間に存在する空気に遠心力が働き、ウェハの周縁近傍が高圧となりかつウェハの中央近傍が低圧となる圧力偏差が生じる。この対向空間の圧力偏差は、ウェハに中央近傍が最も台盤に近接しかつ周縁近傍が台盤から最も離隔するような撓みを生じさせてしまう。
【０００８】
このため、対向空間の圧力偏差によるウェハの撓みを無くすことを目的として、裏面側からウェハに空気を吹き入れるためのエア供給口と、対向空間と外部とを連通させるエア排気口とがチャック台盤に設けられたウェハ保持装置が考えられている（例えば、特許文献７参照。）。なお、特許文献７のウェハ保持装置では、真空排気による吸着力を利用してウェハ受座にウェハを固定する構成（固定手段。）とされており、この固定の際の真空排気量を低減すべく複数の吸着口をウェハ受座に点在させ、各吸着口でウェハを吸着する構成とされている。
【特許文献１】特開２００３−３２４１４３号公報
【特許文献２】特開平１０−２１８３６４号公報
【特許文献３】特開２０００−２４３８１４号公報
【特許文献４】特開２００２−３１９６１３号公報
【特許文献５】特開２００４−１１１９０３号公報
【特許文献６】特開２００４−２６７４０４号公報
【特許文献７】特開２００１−２４３８１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献７のウェハ保持装置では、対向空間において、ウェハの周縁近傍が高圧となりかつウェハの中央近傍が低圧となる圧力偏差を低減することはできるが、圧力偏差を無くすことは困難である。
【００１０】
このため、ウェハでは、複数の固定手段（特許文献７では複数の吸着口からの真空排気であるが、複数の保持爪であっても同様である。）でウェハ受座に固定された個所の近傍が所定の間隔でチャック台盤と対向することに対し、各固定手段でウェハ受座に固定されていない個所の近傍が上記した所定の間隔よりも大きな間隔でチャック台盤と対向されることとなる。すなわち、ウェハの周縁部近傍には、周回り方向で見てチャック台盤との間隔が増減する波のような撓みが形成されてしまうこととなる。この撓みは、例えば、光学的に見ると、光軸をウェハの表面と直交する方向（Ｚ方向とする。）とした場面では焦点距離のズレを生じさせ、光軸をウェハの表面と傾斜する方向とした場面では照射位置にＸ−Ｙ方向でのズレを生じさせてしまう虞がある。このため、例えば、螺旋走査によりウェハの表面を検査すると検査結果に誤差が生じてしまい、半導体露光を行うと適切な位置に回路パターンを露光・転写させることができなくなってしまう。
【００１１】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、ウェハを回転させるべくチャック台盤を回転駆動させてもウェハに撓みを生じさせることなくウェハを保持することができるウェハ保持装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した課題を解決するために、請求項１に記載のウェハ保持装置は、回転可能に支持された円板形状のチャック台盤の周縁部に沿ってリング状のウェハ受座が設けられ、前記ウェハ受座に載置されたウェハの周縁部を複数の固定手段によって前記ウェハ受座に固定することにより前記ウェハを保持可能なウェハ保持装置であって、前記チャック台盤の回転速度を検出する検出手段を備え、前記ウェハ受座には、前記各固定手段が周回り方向に間隔を置いて設けられ、該各固定手段の間には、前記ウェハ受座に固定の前記ウェハと前記チャック台盤との間の対向空間を外部に連通させる複数の連通孔が、前記チャック台盤の周縁部であって前記チャック台盤の半径方向で見て前記ウェハ受座よりも内方に設けられ、前記各連通孔には、前記対向空間の空気を吸引する吸引手段が接続され、該吸引手段は、前記チャック台盤の回転速度に応じて吸引量が調節されることを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載のウェハ保持装置は、請求項１に記載のウェハ保持装置であって、前記各固定手段と前記各連通孔とは、前記ウェハの周回り方向で見て等しい間隔で交互に配置され、前記各連通孔は、前記ウェハの半径方向で見て等しい位置とされていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載のウェハ保持装置は、請求項１または請求項２に記載のウェハ保持装置であって、前記チャック台盤には、前記対向空間を外部に連通させる吹出孔が半径方向で見て前記各連通孔よりも中心側に設けられ、前記吹出孔には、前記対向空間に空気を供給する供給手段が接続されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載のウェハ保持装置は、請求項３に記載のウェハ保持装置であって、前記供給手段は、前記検出手段により検出された前記チャック台盤の回転速度に応じて供給量が調節されることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載のウェハ保持装置は、請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のウェハ保持装置であって、前記チャック台盤には、該チャック台盤の回転に伴う遠心力の働きによって前記対向空間の空気が前記チャック台盤の前記周縁部へ向かうことを抑制するための補助羽が設けられていることを特徴とする。
【００１８】
請求項６に記載のウェハ保持装置は、請求項５に記載のウェハ保持装置であって、前記補助羽は、前記チャック台盤の前記ウェハと対向される対向面に少なくとも１つ設けられた突条により形成され、該各突条は、前記チャック台盤の回転中心へ向けた螺旋状とされていることを特徴とする。
【００１９】
請求項７に記載のウェハ保持装置は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のウェハ保持装置であって、前記各固定手段は、前記ウェハの周縁端に当接可能な保持爪であり、該各保持爪は、前記チャック台盤の半径方向に移動可能に該チャック台盤に設けられ、それぞれが前記ウェハの周縁端に当接することにより該ウェハが前記ウェハ受座に押し付けられつつ挟持されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に記載の発明によれば、ウェハとチャック台盤との間の対向空間のウェハの周縁部近傍において、周回り方向で見た各固定手段の間の空気を吸引手段が連通孔を経て吸引することができるので、チャック台盤が回転駆動された場合であっても、各固定手段の間の空気の圧力が高くなることを防止できる。このため、ウェハの周縁近傍に、周回り方向で見てチャック台盤との間隔が増減するような撓みが形成されることを防止することができる。
【００２１】
請求項１に記載の発明によれば、チャック台盤の回転速度に応じてすなわち対向空間の空気に働く遠心力に応じて吸引手段による空気の吸引量を調節することができるので、対向空間において、ウェハの周縁部近傍の各固定手段の間の空気の圧力が高くなることをより適切に防止できる。
【００２２】
請求項２に記載の発明によれば、吸引手段が対向空間のウェハの周縁部近傍において各固定手段の中間位置の空気を吸引して圧力を下げることができるので、ウェハの周縁部近傍をより平坦な状態とすることができる。
【００２３】
請求項３に記載の発明によれば、対向空間においてウェハの中心近傍の圧力を高めることができるので、ウェハをより平坦な状態とすることができる。
【００２４】
請求項４に記載の発明によれば、供給手段からの供給量がチャック台盤の回転量に応じてすなわち対向空間の空気に働く遠心力に応じて供給手段による空気の供給量が調節されるので、ウェハをより適切に平坦な状態とすることができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明によれば、チャック台盤が回転駆動された際に対向空間でウェハの周縁近傍の圧力が高くなりかつウェハの中央近傍の圧力が低くなる圧力偏差を補助羽が低減させる。このため、補助羽は、各吸引手段および各固定手段の働きを補助することができる。
【００２６】
請求項６に記載の発明によれば、チャック台盤の対向面で螺旋を描く突条により求心力形成手段が形成されているので、各吸引手段および各固定手段の妨げとなることなく容易に求心力形成手段を設けることができる。
【００２７】
請求項７に記載の発明によれば、各保持爪によりウェハをチャック台盤のウェハ受座に容易に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【実施例】
【００２９】
図１には、ウェハ保持装置１０が模式的な斜視図で示されている。ウェハ保持装置１０は、円板形状を呈するチャック台盤１１と、チャック台盤１１を回転可能に支持する回転軸１２とを備え、チャック台盤１１および回転軸１２は同心上に位置されている。以下では、回転軸１２の延在方向を上下方向とする。なお、図２は、上方からウェハ保持装置１０を見た正面図であるが後述する補助羽２２を省略して示している。また、図３は、図１のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面図であり、図４は、回転軸１２および後述する吹出孔２１等の構成の説明のためにチャック台盤１１の中心Ｏの近傍を部分的に示す模式的な斜視図である。
【００３０】
チャック台盤１１は、ウェハ受座１３と、４つの保持爪１４とを有する。
【００３１】
ウェハ受座１３は、チャック台盤１１の上面１１ａの周縁部１１ｂで全周に渡り上方へ立ち上がる（図３参照。）環状の突条で構成されたリング状を呈しており、上面１３ａが水平な面とされている。
【００３２】
４つの保持爪１４は、互いに等しい構成とされており、図２に示すように、上方から見ると、チャック台盤１１の周縁部１１ｂに沿うように湾曲している。各保持爪１４は、互いが直行する位置でかつ互いに等しい間隔を置いて設けられている。各保持爪１４は、図３に示すように、突起部１４ａと、延在部１４ｂと、連結部１４ｃとを有する。
【００３３】
突起部１４ａは、チャック台盤１１の周縁部１１ｂの外方からチャック台盤１１の中心側へ向けて突起され、下側が傾斜面１４ｄとされている。延在部１４ｂは、チャック台盤１１の裏面に沿って延在され、連結部１４ｃは、チャック台盤１１の周縁部１１ｂの外方で上下方向に延在されている。各保持爪１４は、連結部１４ｃにより突起部１４ａと延在部１４ｂとが連結されて構成され、図示は略すが駆動機構によりチャック台盤１１の半径方向に移動自在とされている。
【００３４】
ウェハ保持装置１０では、チャック台盤１１のウェハ受座１３の上面１３ａに載置されたウェハ１５の周縁端１５ａに４つの保持爪１４が当接されると、各保持爪１４が半径方向でウェハ１５を挟持すると共に、各保持爪１４が上下方向でウェハ１５をウェハ受座１３の上面１３ａに押し当るので、ウェハ受座１３に固定しつつウェハ１５を保持することができる。このとき、チャック台盤１１の上面１１ａがウェハ１５に対向される対向面となり、ウェハ１５の下方には、チャック台盤１１（の上面１１ａ）およびウェハ受座１３により区画された対向空間Ｓが形成される。
【００３５】
本発明に係るウェハ保持装置１０では、上記した構成に加えて、連通孔２０と、吹出孔２１と、補助羽２２と、爪位置吸引孔２３とがチャック台盤１１に設けられている。
【００３６】
連通孔２０は、本実施例では、図２に示すように、チャック台盤１１の上面１１ａで４個所に設けられている。各連通孔２０は、開放孔部２０ａと、連通孔部２０ｂと、軸孔部２０ｃとで構成されている。各開放孔部２０ａ（各連通孔２０。）は、チャック台盤１１の周縁部１１ｂの近傍で、かつチャック台盤１１の周回り方向で見て両隣に位置する保持爪１４からそれぞれ等しい間隔となる位置に設けられている。各開放孔部２０ａは、チャック台盤１１の上面１１ａから上下方向にチャック台盤１１を穿孔して形成されている（図３参照。）。
【００３７】
各連通孔部２０ｂは、各開放孔部２０ａに対応して設けられており、各開放孔部２０ａと軸孔部２０ｃとを連通すべくチャック台盤１１が半径方向に穿孔されて形成されている。なお、各連通孔部２０ｂは、本実施例では、チャック台盤１１が半径方向に穿孔された後に各開放孔部２０ａよりもチャック台盤１１の周縁部１１ｂ側に位置する個所が埋められて形成されている。
【００３８】
軸孔部２０ｃは、チャック台盤１１の中心Ｏを中心とする筒形状を呈し、回転軸１２の内部で上下方向に延在しており、吹出孔２１を取り巻きつつ吹出孔２１と区画されている（図２、図３および図４参照。）。このため、各開放孔部２０ａおよび各連通孔部２０ｂは、軸孔部２０ｃで合流されており（図２および図４参照。）、共通の軸孔部２０ｃを経て対向空間Ｓをその外部に連通されている。軸孔部２０ｃは、対向空間Ｓの外部側で吸引装置（真空装置。）Ｐ１に接続されている。この各連通孔２０と吸引装置Ｐ１とは、対向空間Ｓの空気を吸引可能な吸引機構として機能する。
【００３９】
吹出孔２１は、チャック台盤１１の中心Ｏを中心とする円柱形状を呈し、連通孔２０の軸孔部２０ｃよりも内側で回転軸１２の内部で上下方向に延在している（図２、図３および図４参照。）。この回転軸１２の構成は、例えば、チャック台盤１１を穿孔して連通孔２０の軸孔部２０ｃの外径に等しい貫通孔を形成し、この貫通孔に吹出孔２１に等しい内径の筒体を設けることで形成することができる。吹出孔２１は、塵埃等が取り除かれたクリーンエアを吹き付け可能な供給装置（圧縮装置。）Ｐ２に接続されている。この吹出孔２１と供給装置Ｐ２とは、対向空間Ｓに空気を供給可能な供給機構として機能する。
【００４０】
補助羽２２は、本実施例では、図１に示すように、チャック台盤１１の上面１１ａから突出する複数の突条２２ａが、チャック台盤１１の中心Ｏへ向けて螺旋を描くように設けられて（放射状でかつそれぞれが螺旋を描くように）、形成されている。各突条２２ａの断面は、本実施例では矩形状を呈している（図３参照。）。補助羽２２は、チャック台盤１１が回転軸１２により回転駆動（図１矢印Ｄ参照。）されると、対向空間Ｓの空気にチャック台盤１１の周縁部１１ｂから中心Ｏへ向けた求心力（図３矢印Ｅ参照。）を付与することができるように、すなわちチャック台盤１１の周縁部１１ｂから中心Ｏへ向けた空気の流れを生じさせることができるように、チャック台盤１１の中心Ｏへ向かう放射状でかつ螺旋を描くように形成されている。このため、補助羽２２は、チャック台盤１１が回転駆動された際、遠心力の働きにより対向空間Ｓの空気がチャック台盤１１の周縁部１１ｂ側へ向かうことを抑制することができる。
【００４１】
爪位置吸引孔２３は、各保持爪１４に対応して４個所に設けられており、４つの爪位置吸引孔部２３ａを有する。各爪位置吸引孔部２３ａは、一端が各保持爪１４とチャック台盤１１の周縁部１１ｂとの間の隙間Ｇに連通し、他端が回転軸１２に形成された連通孔２０の軸孔部２０ｃに連通している。この各爪位置吸引孔２３と吸引装置Ｐ１とは、隙間Ｇの空気を吸引可能な爪位置吸引機構として機能する。なお、爪位置吸引機構は、各爪位置吸引孔部２３ａ以外の構成個所、すなわち軸孔部２０ｃおよび吸引装置Ｐ１が前述した吸引機構とは別体で設けられる構成であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００４２】
また、本実施例のウェハ保持装置１０には、図示は略すが、回転軸１２により回転駆動された際のチャック台盤１１の回転速度を検出可能な検出手段が設けられている。この検出手段は、吸引装置Ｐ１と、供給装置Ｐ２との運転を制御する制御装置（図示せず。）と電気的に接続されている。この制御装置は、チャック台盤１１の回転速度に応じて、すなわち回転速度に応じて変化する遠心力を考慮して、吸引装置Ｐ１による吸引量、および上記した供給装置Ｐ２による供給量を調整するように設定されている。このため、ウェハ保持装置１０では、チャック台盤１１の回転速度に応じて、連通孔２０を経る対向空間Ｓの空気の吸引量および吹出孔２１を経る対向空間Ｓへの空気の供給量が変化される。
【００４３】
ウェハ保持装置１０は、例えば、図５に示すように、表面検査装置１６に用いられる。表面検査装置１６では、ウェハ１５の表面１５ｂに斜め方向からレーザ光Ｌを照射（符号Ｉ参照。）し、表面１５ｂの照射位置Ｉに塵埃等の異物が付着している際に発生する散乱光をＰＭＴ（光電子増倍管）１７で検出することにより、ウェハ１５の表面１５ｂ上の異物を検出することができる。この際、表面検査装置１６は、ウェハ１５を高速で回転させつつ、ウェハ１５の半径方向に沿ってウェハ１５の表面１５ｂへのレーザ光Ｌの照射位置Ｉをずらすことで、ウェハ１５の表面１５ｂを全面に渡り検査することができる。
【００４４】
本実施例に係るウェハ保持装置１０では、以下の効果を得ることができる。
【００４５】
（１）チャック台盤１１のウェハ受座１３の上面１３ａに位置されたウェハ１５を４つの保持爪１４でウェハ受座１３に固定することによりウェハ１５を保持することができ、この保持状態での回転軸１２の回転駆動によりチャック台盤１１と共にウェハ１５を回転させることができる。この際、ウェハ１５の下方の対向空間Ｓでは、チャック台盤１１の回転駆動に伴って空気に遠心力が働くことにより、周縁部１１ｂの近傍の圧力が最も高く、かつ中心Ｏの圧力が最も低くなるような圧力偏差が生じ得る。対向空間Ｓにおいて周縁部１１ｂの圧力が高くなると、ウェハ１５の周縁端１５ａの近傍には、各保持爪１４の傾斜面１４ｄによりウェハ受座１３に押し付けられた個所ではチャック台盤１１との間隔が保持状態に等しい所定のものとされているが、保持爪１４が設けられていない個所ではチャック台盤１１との間隔が上記所定のものよりも大きくなり、周回り方向で見て上下にうねる波のような撓みが生じ得る。ところが、本発明のウェハ保持装置１０では、対向空間Ｓの空気が連通孔２０を経て吸引装置Ｐ１により吸引される（図３矢印Ａ参照。）。このため、対向空間Ｓにおいて周縁部１１ｂの近傍では、各保持爪１４の間の位置の圧力が上昇することを局部的に防止することができ、ウェハ１５の周縁端１５ａの近傍に撓みが生じることを防止することができる。
【００４６】
（２）ウェハ１５には、対向空間Ｓにおいて周縁部１１ｂの圧力が最も高くかつ中心Ｏの圧力が最も低くなる圧力偏差により、中心Ｏの位置でチャック台盤１１の上面１１ａとの間隔が保持状態の一定のものよりも小さくなるような、すなわち中心Ｏの近傍が凹むような撓み変形が生じ得る。ところが、チャック台盤１１の中心Ｏでは、吹出孔２１を経て供給装置Ｐ２により対向空間Ｓへと空気が吹き出されているので（図３矢印Ｂ参照。）、対向空間Ｓの中心Ｏ近傍の圧力が低下することを防止することができる。このため、対向空間Ｓでは、ウェハ１５の中心Ｏ´の圧力が低下することが局部的に防止され、ウェハ１５の中心Ｏ´の近傍が凹むような撓みが生じることを防止することができる。
【００４７】
（３）連通孔２０への吸引量および吹出孔２１からの供給量は、チャック台盤１１の回転速度に応じて調節されているので、対向空間Ｓの空気に働く遠心力による圧力偏差に適合するように対向空間Ｓの圧力を局部的に調整することができる。
【００４８】
（４）チャック台盤１１の上面１１ａには、補助羽２２が設けられており、チャック台盤１１が回転軸１２により回転駆動されると、対向空間Ｓの空気には、補助羽２２によりチャック台盤１１の周縁部１１ｂから中心Ｏへ向けた求心力が付与されるので、対向空間Ｓにおいて周縁部１１ｂの圧力が最も高くかつ中心Ｏの圧力が最も低くなるような圧力偏差を小さくすることができる。このため、本実施例のように、連通孔２０および吹出孔２１が回転軸１２の内部を通る構成とされて流量に制限がある場合であっても、連通孔２０および吹出孔２１の働きを補助羽２２で補助することができるので、適切にウェハ１５に生じ得る撓みを防止することができる。
【００４９】
（５）ウェハ１５を高速で回転させる、すなわちチャック台盤１１を高速で回転駆動させた場合であっても、ウェハ１５に撓みが生じることを防止することができるため、上記した表面検査装置１６に用いられた場合、ウェハ１５の撓みに起因するレーザ光Ｌの照射位置および焦点位置のズレを防止することができるので、正確な表面検査を行うことができる。
【００５０】
（６）各保持爪１４がウェハ１５に当接した際に塵埃等を巻き上げた場合であっても、爪位置吸引孔２３から隙間Ｇ（各保持爪１４とチャック台盤１１の周縁部１１ｂとの間。）の空気が吸引されるので、巻き上げられた塵埃等がウェハ１５の表面１５ｂに付着することを防止することができる。
【００５１】
（７）対向空間Ｓでは、連通孔２０から空気が吸引され、吹出孔２１から綺麗な空気（クリーンエア）が吹き出されている。このため、対向空間Ｓでは、塵埃等が存在した場合であっても、綺麗な空気に入れ替えられるような還流が絶えず生じていることとなるので、ウェハ１５の裏面１５ｃに塵埃等が付着することを防止することができる。
【００５２】
したがって、本実施例に係るウェハ保持装置１０では、ウェハ１５を回転すべくチャック台盤１１を回転駆動させても、ウェハ１５に撓みを生じさせることなくウェハ１５を保持することができる。
【００５３】
なお、上記した実施例では、各保持爪１４がチャック台盤１１のウェハ受座１３にウェハ１５を固定する固定手段として機能していたが、例えば、空気の吸引により吸着する構成であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００５４】
また、上記した実施例では、ウェハ保持装置１０は、表面検査装置１６に用いられていたが、例えば、光を照射することによりウェハの表面に成膜または塗布された光感光剤（フォトレジスト）に回路パターンを露光・転写する半導体露光装置、ウェハを保持した状態で搬送するウェハ搬送装置等に用いてもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００５５】
上記した実施例では、図１に示すように、補助羽２２が放射状でかつ螺旋を描くように設けられた複数の突状２２ａにより形成されていたが、チャック台盤１１が回転駆動された際、対向空間Ｓの空気が遠心力の働きによりチャック台盤１１の周縁部１１ｂ側へ向かうことを抑制することができる、すなわち対向空間Ｓの空気にチャック台盤１１の周縁部１１ｂから中心Ｏへ向けた求心力を付与するものであれば、例えば、図６に示すように単一の螺旋状（渦巻状。）の突状２２ａ´で形成してもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００５６】
上記した実施例では、各連通孔２０が回転軸１２の内部に設けられた軸孔部２０ｃで合流する構成とされていたが、対向空間Ｓをその外部に連通させるものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【００５７】
上記した実施例では、補助羽２２を形成する各突条２２ａが矩形断面（図３参照。）とされていたが、チャック台盤１１が回転駆動された際、対向空間Ｓの空気にチャック台盤１１の周縁部１１ｂから中心Ｏへ向けた求心力を付与するものであれば、例えば、図７（ａ）に示すように、湾曲する形状（２２ａ´´）であってもよく、図７（ｂ）に示すように、傾斜された形状（２２ａ´´´）であってもよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明に係るウェハ保持装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】本発明に係るウェハ保持装置を示す正面図であり、求心力形成手段を省略して示している。
【図３】図１のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面図である。
【図４】回転軸および後述する吹付孔等の構成の説明のためにチャック台盤の中心の近傍を部分的に示す模式的な斜視図である。
【図５】本発明に係るウェハ保持装置が用いられた表面検査装置を模式的に示す正面図である。
【図６】本発明に係るウェハ保持装置の他の例の求心力形成手段を示す正面図である。
【図７】本発明に係るウェハ保持装置の他の例の求心力形成手段を一部拡大して示す断面図であり、（ａ）は湾曲された例であり、（ｂ）傾斜された例である。
【図８】従来のウェハ保持装置を模式的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５９】
１０  ウェハ保持装置
１１  チャック台盤
１１ｂ  周縁部
１３  ウェハ受座
１４  （固定手段としての）保持爪
１５  ウェハ
１５ａ  周縁端
２０  連通孔
２１  吹出孔
２２  補助羽
２２ａ  突条
Ｐ１  吸引手段
Ｐ２  供給手段
Ｓ  対向空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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