(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブ内に往復移動可能な移動体を有するとともに、前記移動体によって前記シリンダチューブ内がヘッド側圧力作用室とロッド側圧力作用室とに区画された流体圧シリンダを２つ設け、前記ヘッド側圧力作用室又は前記ロッド側圧力作用室に流体を供給することにより、前記２つの流体圧シリンダに設けられた前記移動体を所定のタイミングで順次移動させるようにした順次動作シリンダシステムにおいて、
前記２つの流体圧シリンダのうち少なくともいずれか一方の流体圧シリンダに流体を供給する流体供給路を備え、
前記流体供給路は、流体の供給方向を切り換える切換弁を備え、
前記２つの流体圧シリンダの前記ヘッド側圧力作用室は、第１流路によって互いに連通されるとともに、前記２つの流体圧シリンダの前記ロッド側圧力作用室は、第２流路によって互いに連通され、
前記２つの流体圧シリンダのいずれか一方に設けられた前記移動体が所定の位置に移動したときに、前記第１流路及び前記第２流路のうち少なくともいずれか一方を機械的に開閉する開閉手段を設け、
前記開閉手段は、前記２つの流体圧シリンダのうちいずれか一方の前記ヘッド側圧力作用室に配置された給気パイプを備え、
前記給気パイプは、前記移動体の移動方向に沿って延設されるとともに前記移動体内に挿入可能とされ、
前記給気パイプの長さは、前記移動体がロッド側ストロークエンド付近に移動したときに、前記給気パイプの端部から前記移動体が離脱するように設定されていることを特徴とする順次動作シリンダシステム。
【請求項２】
前記開閉手段は、前記第２流路に設けられたメカニカルバルブを備え、
前記メカニカルバルブは、前記２つの流体圧シリンダのうちいずれか一方の流体圧シリンダに設けられた前記移動体がストロークエンド付近に移動したときに、前記いずれか一方の移動体との接触によって前記第２流路を機械的に開閉するものであることを特徴とする請求項１に記載の順次動作シリンダシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の流体圧シリンダを備え、ロッドを順次動作させる順次動作シリンダシステムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
順次動作シリンダシステムは、流体圧シリンダとしてのエアシリンダを複数備えている。各エアシリンダのシリンダチューブ内には、一体化された移動体が往復移動可能に収容されている。シリンダチューブの内部空間は、ピストンの存在によりヘッド側圧力作用室とロッド側圧力作用室とに区画されている。そして、シリンダチューブのヘッド側圧力作用室に加圧エアが供給されることによりロッドが突出し、ロッド側圧力作用室に加圧エアが供給されることによりロッドが没入するようになっている。
【０００３】
従来の順次動作シリンダシステムでは、各エアシリンダのロッドの動作が終了した後に、他のエアシリンダのロッドが動作するようになっている。この動作を得るために、従来の順次動作シリンダシステムでは、各エアシリンダごとにそれぞれ切換電磁弁を設け、各切換電磁弁をコントローラによって個別に開閉制御している。
【０００４】
例えば、エアシリンダが２つある場合について具体的に説明する。ロッドを突出させる前において各エアシリンダのロッドはいずれも没入された状態にあるものとする。この状態で、一方のエアシリンダのヘッド側圧力作用室に加圧エアを供給することにより一方のロッドを突出させる。そして、そのロッドがストロークエンドに到達したら、コントローラは、各切換弁を開閉制御し、一方のシリンダチューブに対する加圧エアの供給を停止し、他方のシリンダチューブに加圧エアを供給する。これにより、他方のエアシリンダのヘッド側圧力作用室に加圧エアを供給することにより他方のロッドを突出させる。又、各エアシリンダのロッドを没入する場合には、上述した動作と逆の動作で加圧エアを各シリンダチューブのロッド側圧力作用室に供給する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の順次動作シリンダシステムは、各エアシリンダの数量分だけ切換電磁弁が必要であるため、その切換電磁弁の設置工数がかかるとともに切換電磁弁の数も増加する。従って、製造コストが高くなるとともに順次動作シリンダシステムの構造が複雑化するという問題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、切換電磁弁の数を少なくすることで、低コストかつ構造が簡単な順次動作シリンダシステムを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、シリンダチューブ内に往復移動可能な移動体を有するとともに、前記移動体によって前記シリンダチューブ内がヘッド側圧力作用室とロッド側圧力作用室とに区画された流体圧シリンダを２つ設け、前記ヘッド側圧力作用室又は前記ロッド側圧力作用室に流体を供給することにより、前記２つの流体圧シリンダに設けられた前記移動体を所定のタイミングで順次移動させるようにした順次動作シリンダシステムにおいて、前記２つの流体圧シリンダのうち少なくともいずれか一方の流体圧シリンダに流体を供給する流体供給路を備え、前記流体供給路は、流体の供給方向を切り換える切換弁を備え、前記２つの流体圧シリンダの前記ヘッド側圧力作用室は、第１流路によって互いに連通されるとともに、前記２つの流体圧シリンダの前記ロッド側圧力作用室は、第２流路によって互いに連通され、前記２つの流体圧シリンダのいずれか一方に設けられた前記移動体が所定の位置に移動したときに、前記第１流路及び前記第２流路のうち少なくともいずれか一方を機械的に開閉する開閉手段を設け、前記開閉手段は、前記２つの流体圧シリンダのうちいずれか一方の前記ヘッド側圧力作用室に配置された給気パイプを備え、前記給気パイプは、前記移動体の移動方向に沿って延設されるとともに前記移動体内に挿入可能とされ、前記給気パイプの長さは、前記移動体がロッド側ストロークエンド付近に移動したときに、前記給気パイプの端部から前記移動体が離脱するように設定されていることを要旨とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の順次動作シリンダシステムにおいて、前記開閉手段は、前記第２流路に設けられたメカニカルバルブさらに備え、前記メカニカルバルブは、前記２つの流体圧シリンダのうちいずれか一方の流体圧シリンダに設けられた前記移動体がストロークエンド付近に移動したときに、前記いずれか一方の移動体との接触によって前記第２流路を機械的に開閉するものであることを要旨とする。
【００１１】
以下、本発明の「作用」について説明する。
請求項１又は２に記載の発明によると、複数ある流体圧シリンダのうち特定の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に流体が供給されると、特定の流体圧シリンダに設けられた移動体が移動を開始する。そして、移動体が所定の位置に到達すると、開閉手段によって流体圧シリンダ同士を接続する流路が開かれる。これにより、特定の流体圧シリンダから別の流体圧シリンダにも流体が供給され、別の流体圧シリンダに設けた移動体が移動を開始する。
【００１２】
請求項１に記載の発明によると、一方の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に流体が供給されると、一方の移動体はロッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。一方の移動体がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、給気パイプの端部から移動体が離間するため、給気パイプの端部が開放される。この開放に伴って両流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室が連通される。これにより、他方の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に流体が供給され、他方の移動体はロッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。
【００１４】
請求項２に記載の発明によると、一方の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に流体が供給されると、一方の移動体はロッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。一方の移動体がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、給気パイプの端部から移動体が離間するため、給気パイプの端部が開放される。この開放に伴って両流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室が連通される。これにより、他方の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に流体が供給され、他方の移動体はロッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。
【００１５】
続いて、両流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室のうちいずれか一方に流体が供給される。例えば、他方のヘッド側圧力作用室に流体が供給されると、他方の移動体はヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。そして、他方の移動体がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、メカニカルバルブが開かれ、両流体圧シリンダのロッド側圧力作用室が連通される。これにより、一方のロッド側圧力作用室に流体が供給され、一方の移動体はヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は、順次動作シリンダシステム１１の断面図であり、図２〜図７は順次動作シリンダシステム１１の動作を模式的に示す図である。
【００１７】
図１，図２に示すように、順次動作シリンダシステム１１は、流体シリンダとしての第１エアシリンダＡ１と第２エアシリンダＡ２とを備えている。まず、第１エアシリンダＡ１から説明する。第１エアシリンダＡ１のシリンダチューブ１２の一端開口部はヘッド側カバー１４によって閉塞され、他端開口部はロッド側カバー１５によって閉塞されている。
【００１８】
ヘッド側カバー１４には、第１エア給排ポート１６が形成されている。この第１エア給排ポート１６は、流路１７を介してシリンダチューブ１２の内部空間に連通している。ロッド側カバー１５には、第２エア給排ポート１８が形成されている。このポート１８は、流路１９を介して、シリンダチューブ１２の内部空間に連通している。
【００１９】
シリンダチューブ１２の内部空間には、第１ピストン２５がシリンダチューブ１２の長手方向に沿って往復移動可能に収容されている。第１ピストン２５の外周面には、ピストンパッキン２３及びウェアリング２４が装着されている。このピストンパッキン２３によって、第１ピストン２５の周面とシリンダチューブ１２の内周面とのシールが図られている。
【００２０】
シリンダチューブ１２の内部空間は、この第１ピストン２５の存在によって２つの圧力作用室２７，２８に区画されている。ヘッド側圧力作用室２７には、第１エア給排ポート１６から流体としての加圧エアが給排される。一方、ロッド側圧力作用室２８には、第２エア給排ポート１８から加圧エアが給排される。
【００２１】
第１ピストン２５の中心部には突部２５ａが形成され、その突部２５ａには第１ピストンロッド２６が螺合されている。その外端部はロッド側カバー１５に形成されたロッド挿通孔２１を貫通してシリンダチューブ１２の外部に突出されている。そして、第１ピストンロッド２６は、ロッド挿通孔２１の内端側周面に装着されたブッシュ３０を介してロッド側カバー１５に摺動可能に支持されている。このロッド挿通孔２１の外端側内周面には、環状のロッドパッキン３１が装着されている。このロッドパッキン３１によって、第１ピストンロッド２６の外周面とロッド挿通孔２１の内周面とのシールが図られている。
【００２２】
前記ヘッド側カバー１４の外端面中央部には第３エア給排ポート３２が形成され、この第３エア給排ポート３２と前記第１エア給排ポート１６とは流路３３を介して連通されている。流路３３上には逆止弁３４が設けられている。この逆止弁３４の働きにより、第１エア給排ポート１６に供給される加圧エアが流路３３を介して第３エア給排ポート３２から排出されないようになっている。
【００２３】
ヘッド側カバー１４の内端面中央部には、給気パイプ３５の基端部が挿入固定され、給気パイプ３５は、シリンダチューブ１２の軸線方向、つまり第１ピストン２５が移動する方向に沿って延びている。第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近の位置にないときに、第１ピストン２５の中央部に形成された挿通孔３６に給気パイプ３５が貫通するようになっている。第１ピストン２５から突出されている給気パイプ３５の一部分は、第１ピストンロッド２６の内部空間に挿入されるようになっている。なお、挿通孔３６の内周面にはパッキン３７が設けられ、このパッキン３７によって同挿通孔３６の内周面と給気パイプ３５の外周面との間のシールが図られている。
【００２４】
上記のことをより詳しく言うと、第１ピストン２５がロッド側のストロークエンド付近に位置するとき、給気パイプ３５の先端開口部は開放される。これに対して第１ピストン２５がロッド側のストロークエンド付近以外の位置にあるとき、給気パイプ３５の先端開口部は第１ピストン２５によって閉塞される。従って、給気パイプ３５の長さは、第１ピストン２５がロッド側のストロークエンド付近に到達するまで同給気パイプの他端を閉塞するように設定されている。
【００２５】
次に、第２エアシリンダＡ２について説明する。
図１，図２に示すように、第２エアシリンダＡ２のシリンダチューブ４０の一端開口部はヘッド側カバー４１によって閉塞され、他端開口部はロッド側カバー４２によって閉塞されている。ロッド側カバー４２には、第４エア給排ポート４３及び第５エア給排ポート４４が形成されている。各エア給排ポート４３，４４は、流路４５，４６を介してシリンダチューブ４０の内部空間に連通している。ヘッド側カバー４１には第６エア給排ポート４７が形成され、このポート４７は、流路４８を介して、シリンダチューブ４０の内部空間に連通している。
【００２６】
シリンダチューブ４０の内部空間には、第２ピストン５０がシリンダチューブ４０の長手方向に沿って往復移動可能に収容されている。第２ピストン５０の外周面には、ピストンパッキン５１及びウェアリング５２が装着されている。このピストンパッキン５１によって、第２ピストン５０の外周面とシリンダチューブ４０の内周面とのシールが図られている。
【００２７】
シリンダチューブ４０の内部空間は、この第２ピストン５０の存在によって２つの圧力作用室５３，５４に区画されている。ヘッド側圧力作用室５３には、第６エア給排ポート４７を介して加圧エアが給排される。一方、ロッド側圧力作用室５４には、第４エア給排ポート４３又は第５エア給排ポート４４を介して加圧エアが給排される。
【００２８】
第２ピストン５０の中心部には第２ピストンロッド５５が螺合固定されている。第２ピストンロッド５５の外端部はロッド側カバー４２に形成されたロッド挿通孔５６を貫通してシリンダチューブ４０の外部に突出されている。そして、第２ピストンロッド５５は、ロッド挿通孔５６の内端側周面に装着されたブッシュ５７を介してロッド側カバー４２に摺動可能に支持されている。このロッド挿通孔５６の外端側周面には、環状のロッドパッキン５８が装着されている。このロッドパッキン５８によって、第２ピストンロッド５５の外周面とロッド挿通孔５６の内周面とのシールが図られている。
【００２９】
図１，図２に示すように、前記ヘッド側カバー４１には、第２ピストン５０の位置変更に応じて開閉する２位置２ポートタイプのメカニカルバルブ６０が設けられている。メカニカルバルブ６０は、ヘッド側カバー４１において開口された第１接続ポート６０ａ及び第２接続ポート６０ｂを開閉するものである。第１ポート６０ａは、連通パイプ６２を介して前記第５エア給排ポート４４に接続されている。なお、本実施形態では、メカニカルバルブ６０及び給気パイプ３５によって開閉手段が構成されている。
【００３０】
前記メカニカルバルブ６０には作動部材６３が設けられている。この作動部材６３は、シリンダチューブ４０のヘッド側圧力作用室５３内に出没可能で、かつ第２ピストン５０に接触可能となっている。作動部材６３の先端部は、第２ピストン５０に接触されていないとき、復帰バネ６４の弾性力によってシリンダチューブ４０のヘッド側圧力作用室５３内に突出されている。そして、第２ピストン５０がヘッド側のストロークエンドに位置している場合には、作動部材６３が復帰バネ６４の弾性力に抗してヘッド側圧力作用室５３の外部へ押し出されることにより、第１接続ポート６０ａと第２接続ポート６０ｂとが連通される。
【００３１】
次に、上述した第１エアシリンダＡ１と第２エアシリンダＡ２との接続回路について説明する。
図１，図２に示すように、前記第１エアシリンダＡ１に設けられた第２エア給排ポート１８と、第２エアシリンダＡ２に設けられた第５エア給排ポート４４とは、第２流路としてのエア通路６６を介して連通されている。つまり、このエア通路６６によって、両ロッド側圧力作用室２８，５４は互いに連通されている。なお、既に説明した連通パイプ６２、メカニカルバルブ６０は、エア通路６６の上に配置されている。
【００３２】
第１エアシリンダＡ１に設けられた第３エア給排ポート３２と、第２エアシリンダＡ２に設けられた第６エア給排ポート４７とは、第１流路としてのエア通路６７を介して連通されている。第１エアシリンダＡ１に設けられた第１エア給排ポート１６と、第２エアシリンダＡ２に設けられた第４エア給排ポート４３とは、流体供給路としてのエア供給路６８に接続されている。
【００３３】
エア供給路６８には、２位置５ポートタイプの切換電磁弁（切換弁）６９が設けられている。そして、図２〜図４に示すように、切換電磁弁６９に備えられているソレノイド７０を励磁することにより、エア圧供給源７１からの加圧エアが第１エア給排ポート１６を介してシリンダチューブ１２内に供給され、第４エア給排ポート４３から排出されるようになっている。これに対して、図５〜図７に示すように、ソレノイド７０が消磁されることにより、エア圧供給源７１からの加圧エアがヘッド側圧力作用室５３を介してシリンダチューブ４０内に供給され、第１エア給排ポート１６から排出されるようになっている。
【００３４】
前記エア通路６６上には絞り弁７２が設けられている。この絞り弁７２を設けたのは、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５の移動速度が遅い場合に、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに到達するよりも前に切換電磁弁６９が切り換えられても、ロッド側圧力作用室２８に残っている背圧を確実に抜くようにするためにである。つまり、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに到達しなくなるのを防止するために、絞り弁７２が設けられている。
【００３５】
次に、上記のように構成された第１実施形態における順次動作シリンダシステム１１の作用について説明する。
図２に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５、及び第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０は、共にヘッド側ストロークエンドに位置するものとする。つまり、両ピストンロッド２６，５５はいずれも没入状態にあるものとする。この状態で切換電磁弁６９のソレノイド７０が励磁されると、エア圧供給源７１からの加圧エアが第１エア給排ポート１６、流路１７を介してヘッド側圧力作用室２７に供給され、同ヘッド側圧力作用室２７内の圧力が上昇する。すると、第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６がロッド側（図２の左側）に移動し始めるとともに、ロッド側圧力作用室２８内のエアが流路１９、第２エア給排ポート１８、エア通路６６を介して第２エアシリンダＡ２の第５エア給排ポート４４に供給される。そして、そのエアは流路４５、第４エア給排ポート４３を介して外部に排出される。
【００３６】
図３に示すように、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、第１ピストン２５によって閉塞されていた給気パイプ３５の先端開口部が開放される。この開放により、ヘッド側圧力作用室２７内の加圧エアは、給気パイプ３５、第３エア給排ポート３２、エア通路６７、第６エア給排ポート４７、流路４８を介して第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３に供給される。すると、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内の圧力が上昇し、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５がロッド側ストロークエンド（図３の右側）に移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５はロッド側ストロークエンドに到達する。
【００３７】
図４に示すように、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０が移動し始めると、メカニカルバルブ６０の作動部材６３が復帰バネ６４の弾性力によりヘッド側圧力作用室５３内に突出される。これにより、メカニカルバルブ６０が閉じられ、エア通路６６にエアが流れなくなる。つまり、第２ピストン５０がロッド側ストロークエンドに移動することによって、ロッド側圧力作用室５４内のエアは、流路４５を介して第４エア給排ポート４３のみから排出される。従って、第２エアシリンダＡ２内のエアが第２エア給排ポート１８を介して第１エアシリンダＡ１に供給されることがないため、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５はヘッド側ストロークエンドに戻ることはない。要するに、第１実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６の突出がほぼ終了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が突出を開始するという順序で動作する。
【００３８】
なお、第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに完全に到達する前において、メカニカルバルブ６０が切り換えられることがある。特に、第１ピストン２５の移動速度が遅い場合には上記のようなことが起こるおそれがある。この場合において、ロッド側圧力作用室２８内のエアは、エア通路６６、第５エア給排ポート４４、流路４６、ロッド側圧力作用室５４、第４エア給排ポート４３を介して外部に排出される。従って、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに到達する直前に停止することはない。
【００３９】
しかも、エア通路６６上に絞り弁７２が設けられているため、第２エア給排ポート１８から排出されたエアが再び第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に戻ることがない。従って、第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６は、ヘッド側ストロークエンドに保持されたままなる。
【００４０】
続いて、第１ピストンロッド２６と第２ピストンロッド５５とを没入させる場合について説明する。図５に示すように、ソレノイド７０の消磁によって切換電磁弁６９が切り換えられると、エア圧供給源７１からの加圧エアが第４エア給排ポート４３、流路４５を介して第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内に供給される。すると、ロッド側圧力作用室５４内の圧力が上昇し、第２ピストンロッド５５がヘッド側（図５の左側）に移動し始める。それとともに、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは、第６エア給排ポート４７、エア通路６７、第３エア給排ポート３２、給気パイプ３５を介して第１エアシリンダＡ１のヘッド側圧力作用室２７に供給される。更にそのエアは流路１７、第１エアシリンダＡ１の第１エア給排ポート１６を介して外部に排出される。
【００４１】
図６に示すように、第２ピストン５０がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、第２ピストン５０によって作動部材６３が押し出され、メカニカルバルブ６０が開く。すると、ロッド側圧力作用室５４内の加圧エアは、流路４６、第５エア給排ポート４４、エア通路６６、第２エア給排ポート１８、流路１９を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８内に供給される。
【００４２】
図７に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６は、ヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。すると、給気パイプ３５の先端部分は、第１ピストン２５を貫通し、更に第１ピストンロッド２６の内部空間に挿入される。これにより、給気パイプ３５の先端開口部が第１ピストン２５によって閉塞される。要するに、第１実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が没入した後に、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６が没入を開始するという順序で動作する。
【００４３】
なお、第２エアシリンダＡ２における第２ピストンロッド５５がヘッド側ストロークエンドに完全に到達する前において、メカニカルバルブ６０が切り換えられることがある。この場合には、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは第６エア給排ポート４７、エア通路６７、第３エア給排ポート３２、流路３３、第１エア給排ポート１６、エア供給路６８を介して外部に排出される。従って、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５がヘッド側ストロークエンドに到達する直前に停止することはない。
【００４４】
しかも、流路３３上に設けられている逆止弁３４によって、第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３内にエアが再び戻ることはない。従って、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５は、ヘッド側ストロークエンドに保持されたままとなる。
【００４５】
本実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）  流体供給路を構成するエア通路６６〜６８によって複数のエアシリンダＡ１，Ａ２が互いに接続されている。そして、それらのエア通路６６〜６８には１つの切換電磁弁６９が設けられ、その切換電磁弁６９によって各エア通路６６〜６８を流れるエアの方向が切り換えられる。そのため、各エアシリンダＡ１，Ａ２につき、切換電磁弁６９を必要としなくても、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６と、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５とを順次動作することができる。よって、切換電磁弁６９の設置工数が少なくなり、切換電磁弁６９の数も減少することができるので、製造コストを低くすることができる。
【００４７】
（２）エア通路６６上には絞り弁７２が設けられている。そのため、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに到達する直前に切換電磁弁６９が切り換えられても、第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に残っている背圧を確実に抜くことができる。従って、第１ピストン２５をロッド側ストロークエンドに確実に移動させることができる。
【００４８】
（３）第１エア給排ポート１６と第３エア給排ポート３２との間には流路３３が設けられ、その流路３３上には逆止弁３４が設けられている。そのため、第２ピストンロッド５５がヘッド側ストロークエンドに到達する直前に切換電磁弁６９が切り換えられても、第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３に残っている背圧を確実に抜くことができる。従って、第２ピストンロッド５５をヘッド側ストロークエンドに確実に移動させることができる。
【００４９】
（第２実施形態）
図８に示すように、第２実施形態において第１実施形態の構成と異なる点は、前記第１実施形態で示したメカニカルバルブ６０が第２エアシリンダＡ２ではなく第１エアシリンダＡ１のシリンダチューブ１２に設けられていることである。
【００５０】
メカニカルバルブ６０に設けられた作動部材６３は、第１エアシリンダＡ１におけるシリンダチューブ１２のヘッド側圧力作用室２７内に出没可能で、かつ第１ピストン２５に接触可能となっている。作動部材６３の先端部は、第１ピストン２５に接触されていないとき、復帰バネ６４の弾性力によってシリンダチューブ１２のヘッド側圧力作用室２７内に突出されている。そして、第１ピストン２５がヘッド側ストロークエンドに位置している場合には、作動部材６３が復帰バネ６４の弾性力に抗してヘッド側圧力作用室２７の外部へ押し出されることにより、両ロッド側圧力作用室２８，５４が連通される。
【００５１】
又、第１実施形態の構成と異なる構成として、前記第４エア給排ポート４３が第２エアシリンダＡ２のシリンダチューブ４０に設けられておらず、第１エアシリンダＡ１のシリンダチューブ１２に設けられている。つまり、第４エア給排ポート４３は流路４５を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に連通されている。更に、前記第１実施形態ではエア通路６６上に絞り弁７２が使用されているのに対して、本実施形態ではその代わりとして逆止弁７５が使用されている。この逆止弁７５の役割としては、基本的に前記絞り弁７２と同じである。
【００５２】
更に、第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５のロッド側端面には段差部２５ｂが形成されている。この段差部２５ｂの存在により、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに位置する場合に、シリンダチューブ１２の内壁面と第１ピストン２５との間には、エア通路（図９参照）２２が形成されている。そして、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに位置する場合に、第２エア給排ポート１８と第４エア給排ポート４３とは、エア通路２２によって形成される空間部を介して互いに連通されるようになっている。
【００５３】
第２の実施形態における順次動作シリンダシステム１１の動作について説明する。
図８に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５、及び第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０は、共にヘッド側ストロークエンドに位置するものとする。この状態で切換電磁弁６９のソレノイド７０が励磁されると、エア圧供給源７１からの加圧エアが第１エア給排ポート１６、流路１７を介してヘッド側圧力作用室２７に供給され、同ヘッド側圧力作用室２７内の圧力が上昇する。すると、第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６がロッド側に移動し始める。その移動とともに、メカニカルバルブ６０の作動部材６３が復帰バネ６４の弾性力によりヘッド側圧力作用室２７内に突出される。これにより、メカニカルバルブ６０が閉じられ、エア通路６６にエアが流れなくなる。つまり、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに移動することによって、ロッド側圧力作用室２８内のエアは、流路４５、第４エア給排ポート４３、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００５４】
図９に示すように、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、第１ピストン２５によって閉塞されていた給気パイプ３５の先端開口部が開放される。この開放により、ヘッド側圧力作用室２７内の加圧エアは、給気パイプ３５、第３エア給排ポート３２、エア通路６７、第６エア給排ポート４７、流路４８を介して第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３に供給される。すると、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内の圧力が上昇し、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５がロッド側ストロークエンドに移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５はロッド側ストロークエンドに到達する。
【００５５】
図１０に示すように、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０が移動し始めると、第２エアシリンダＡ２におけるロッド側圧力作用室５４内のエアは、流路４６、第５エア給排ポート４４、エア通路６６、逆止弁７５、第２エア給排ポート１８、流路１９、エア通路２２、流路４５、第４エア給排ポート４３、エア供給路６８を介して外部に排出される。要するに、第２実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６の突出がほぼ完了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が突出を開始するという順序で動作する。
【００５６】
続いて、第１ピストンロッド２６と第２ピストンロッド５５とを没入させる場合について説明する。図１１に示すように、ソレノイド７０の消磁によって切換電磁弁６９が切り換えられると、エア圧供給源７１からの加圧エアが第４エア給排ポート４３、流路４５を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に供給される。すると、ロッド側圧力作用室２８内の圧力が上昇し、第１ピストン２５はヘッド側に移動し始める。それとともに、第１エアシリンダＡ１におけるヘッド側圧力作用室２７内のエアは流路１７、第１エア給排ポート１６、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００５７】
なお、第４エア給排ポート４３からロッド側圧力作用室２８に供給されるエアは、逆止弁７５によってエア通路６６を介して第２エアシリンダＡ２に流れることはない。従って、第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５の移動中に、第２エアシリンダＡ２における第２ピストンロッド５５が移動することはない。
【００５８】
図１２に示すように、第１ピストン２５がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、第１ピストン２５によって作動部材６３が押し出され、メカニカルバルブ６０が開いて、エア通路６６にエアが流れるようになる。すると、ロッド側圧力作用室２８内の加圧エアは、流路１９、第２エア給排ポート１８、エア通路６６、第５エア給排ポート４４、流路４６を介して第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内に供給される。
【００５９】
図１３に示すように、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５は、ヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。すると、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは、流路４８、第６エア給排ポート４７、エア通路６７、流路３３、流路１７、第１エア給排ポート１６、エア供給路６８を介して外部へ排出される。要するに、第２実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６が没入した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が没入を開始するという順序で動作する。
【００６０】
（第１参考例）
図１４に示すように、第１参考例において第１実施形態と大きく異なる点は、前記第１実施形態で示した給気パイプ３５が省略されていることである。このような構成の相違により、エア供給路６８の途中にエア通路６７が接続されている。言い換えれば、エア供給路６８の一部と、エア通路６７との一部とが共用されている。エア通路６７上には、第１ピストン２５の位置変更に応じて伴って開閉する２位置２ポートタイプのメカニカルバルブ７７が設けられている。なお、本参考例では、両メカニカルバルブ６０，７７により開閉手段が構成されている。
【００６１】
このメカニカルバルブ７７には作動部材７７ａが設けられている。この作動部材７７ａは、第１エアシリンダＡ１におけるシリンダチューブ１２のロッド側圧力作用室２８内に出没可能で、かつ第１ピストン２５に接触可能となっている。作動部材７７ａの先端部は、第１ピストン２５に接触されていないとき、復帰バネ７７ｂの弾性力によってシリンダチューブ１２のロッド側圧力作用室２８内に突出されている。そして、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに位置している場合には、作動部材７７ａが復帰バネ７７ｂの弾性力に抗してロッド側圧力作用室２８の外部へ押し出されることにより、エア通路６７とエア供給路６８とが連通される。
【００６２】
又、本参考例においてエア通路６７及びエア供給路６８には、前記逆止弁３４を有する流路３３が接続されている。更に、前記第１実施形態ではエア通路６６に絞り弁７２が使用されているのに対して、本参考例ではその代わりとして逆止弁７５が使用されている。
【００６３】
第１参考例における順次動作シリンダシステム１１の動作について説明する。
図１４に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５、及び第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０は、共にヘッド側ストロークエンドに位置するものとする。この状態で、エア圧供給源７１からの加圧エアがヘッド側圧力作用室２７に供給されると、第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６がロッド側に移動し始める。この移動に伴って第１エアシリンダＡ１におけるロッド側圧力作用室２８内のエアは、流路１９、第２エア給排ポート１８、エア通路６６、第５エア給排ポート４４、流路４６、第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内に供給される。
【００６４】
図１５に示すように、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、第１ピストン２５によって作動部材７７ａが押し出され、メカニカルバルブ７７が開く。つまり、エア供給路６８の一部とエア通路６７とが連通した状態となる。すると、エア圧供給源７１から供給される加圧エアは、第６エア給排ポート４７、流路４８を介してヘッド側圧力作用室５３内に供給される。すると、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内の圧力が上昇し、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５がロッド側ストロークエンドに移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５はロッド側ストロークエンドに到達する。
【００６５】
図１６に示すように、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０が移動し始めると、メカニカルバルブ６０の作動部材６３が復帰バネ６４の弾性力によりヘッド側圧力作用室５３内に突出される。これにより、メカニカルバルブ６０が閉じられ、エア通路６６にエアが流れなくなる。従って、第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内のエアは、流路４５、第４エア給排ポート４３、エア供給路６８を介して外部に排出される。要するに、第１参考例の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６の突出がほぼ終了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が突出を開始するという順序で動作する。
【００６６】
続いて、第１ピストンロッド２６と第２ピストンロッド５５とを没入させる場合について説明する。図１７に示すように、切換電磁弁６９が切り換えられることにより、エア圧供給源７１からの加圧エアが第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内に供給される。すると、第２ピストンロッド５５がヘッド側（図５の左側）に移動し始める。それとともに、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは、エア通路６７、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００６７】
図１８に示すように、第２ピストン５０がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、メカニカルバルブ６０が開き、エア通路６６にエアが流れるようになるので、ロッド側圧力作用室５４内の加圧エアは、第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８内に供給される。
【００６８】
図１９に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６は、ヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。すると、メカニカルバルブ７７が閉じられ、エア通路６７とエア供給路６８とが非連通状態となる。よって、第１ピストン２５の移動に伴い第１エアシリンダＡ１のヘッド側圧力作用室２７内のエアは、エア供給路６８を介して外部に排出される。要するに、第１参考例の順次動作シリンダシステム１１では、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が没入した後に、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６が没入を開始するという順序で動作する。
【００６９】
（第３実施形態）
図２０に示すように、第３実施形態において第１実施形態と大きく異なる点は、前記第１実施形態で示したメカニカルバルブ６０が省略されていることである。従って、本実施形態では、給気パイプ３５のみによって開閉手段が構成されている。
【００７０】
又、第１実施形態の構成と異なる構成として、前記第４エア給排ポート４３が第２エアシリンダＡ２のシリンダチューブ４０に設けられておらず、第１エアシリンダＡ１のシリンダチューブ１２に設けられている。つまり、第４エア給排ポート４３は流路４５を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に連通されている。更に、前記第１実施形態ではエア通路６６上に絞り弁７２が使用されているのに対して、それが本実施形態では省略されている。
【００７１】
なお、本実施形態では、第１ピストン２５の端面に第２実施形態で説明した段差部２５ｂが形成され、この段差部２５ｂによって第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドにあるときにエア通路２２が形成されるようになっている。
【００７２】
第３実施形態における順次動作シリンダシステム１１の動作について説明する。
図２０に示すように、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５、及び第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０は、共にヘッド側ストロークエンドに位置するものとする。この状態で、エア圧供給源７１からの加圧エアが第１エアシリンダＡ１のヘッド側圧力作用室２７に供給されると、第１ピストン２５及び第１ピストンロッド２６がロッド側に移動し始める。それとともに、ロッド側圧力作用室２８内のエアが第４エア給排ポート４３、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００７３】
図２１に示すように、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、第１ピストン２５によって閉塞されていた給気パイプ３５の先端開口部が開放される。この開放により、ヘッド側圧力作用室２７内の加圧エアは、エア通路６７を介して第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３に供給される。すると、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５がロッド側ストロークエンドに移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５はロッド側ストロークエンドに到達する。
【００７４】
図２２に示すように、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０が移動し始めると、第２エアシリンダＡ２におけるロッド側圧力作用室５４内のエアは、流路４６、第５エア給排ポート４４、エア通路６６、第２エア給排ポート１８、流路１９を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８内に供給される。
更にそのエアはエア通路２２、流路４５、第４エア給排ポート４３、エア供給路６８を介して外部に排出される。要するに、第３実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６の突出がほぼ完了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が突出を開始するという順序で動作する。
【００７５】
続いて、第１ピストンロッド２６と第２ピストンロッド５５とを没入させる場合について説明する。図２３，２４に示すように、切換電磁弁６９が切り換えられると、エア圧供給源７１からの加圧エアが第４エア給排ポート４３、流路４５を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８に供給される。更に、そのエアは流路１９、第２エア給排ポート１８、エア通路６６、第５エア給排ポート４４、流路４６を介して第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４にも供給される。
【００７６】
すると、第１ピストン２５及び第２ピストン５０は、ヘッド側に向けて同時に移動し始める。これらの移動に伴い、第１エアシリンダＡ１におけるヘッド側圧力作用室２７内のエアは、流路１７、第１エア給排ポート１６、エア供給路６８を介して外部に排出される。又、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは、第６エア給排ポート４７、エア通路６７、ポート３２、逆止弁３４、流路３３、流路１７、第１エア給排ポート１６、エア供給路６８を介して外部に排出される。この結果、図２５に示すように、第３実施形態の順次動作シリンダシステム１１では、第１及び第２エアシリンダＡ１，Ａ２の両ピストンロッド２６，５５の没入が同時に開始され、両ピストンロッド２６，５５はヘッド側ストロークエンドに同時に到達する。
【００７７】
従って、本実施形態の順次動作シリンダシステム１１によれば、メカニカルバルブが用いられていないので、全体の構成を簡素化することができ、製造コストをいっそう低減することができる。
【００７８】
（第２参考例）
図２６に示すように、本参考例の順次動作シリンダシステム１１では、３つのエアシリンダＡ１〜Ａ３から構成されている。第１エアシリンダＡ１については、第１実施形態に示す第１エアシリンダＡ１と同じ構成となっている。
【００７９】
第２エアシリンダＡ２については、第１参考例で説明した第２エアシリンダＡ２と基本的に同じ構成となっている。第１参考例と異なる点としては、第４エア給排ポート４３が流路４５を介してヘッド側圧力作用室５３に連通していることである。そして、両流路４５，４８に通じる流路７８が形成され、その流路上には逆止弁７９が設けられている。
【００８０】
又、第１参考例と比較して異なることは、第２エアシリンダＡ２に給気パイプ３５が設けられていることである。そして、第２ピストン５０がロッド側のストロークエンド付近に位置するとき、給気パイプ３５の先端開口部は開放される。これに対して第２ピストン５０がロッド側のストロークエンド付近に位置しないとき、給気パイプ３５の先端開口部は第１ピストン２５によって閉塞される。
【００８１】
第３エアシリンダＡ３については、そのシリンダチューブ８０内に往復移動可能な第３ピストン８１及び第３ピストンロッド８２が往復移動可能に収容されている。シリンダチューブ８０の内部空間は、第３ピストン８１によりヘッド側圧力作用室８３と、ロッド側圧力作用室８４と区画されている。第３ピストン８１の端面には、第３ピストンロッド８２が一体的に固定されている。そして、第３ピストン８１の移動に伴い、シリンダチューブ８０から第３ピストンロッド８２が出没可能になっている。
【００８２】
シリンダチューブ８０には、第７エア給排ポート８５及び第８エア給排ポート８６が形成されている。第７エア給排ポート８５は、流路８７を介してヘッド側圧力作用室８３に連通されている。第８エア給排ポート８６は、流路８８を介してロッド側圧力作用室８４に連通されている。
【００８３】
シリンダチューブ８０には、第３ピストン８１のポジションが変わることによって開閉する２位置２ポートタイプのメカニカルバルブ８９が設けられている。
メカニカルバルブ８９に設けられた作動部材８９ａが第３ピストン８１にて押し込まれることにより、メカニカルバルブ８９は開く。これに対して、作動部材８９ａから第３ピストン８１が離れることにより、メカニカルバルブ８９に設けられた弾性バネ８９ｂの弾性力が働き、メカニカルバルブ８９は閉じる。なお、本参考例では、２つの給気パイプ３５及び２つのメカニカルバルブ６０，８９によって開閉手段が構成されている。
【００８４】
以上説明した、各エアシリンダＡ１〜Ａ３の接続関係について説明する。
切換電磁弁６９が設けられたエア供給路６８の一端は、第１エアシリンダＡ１の第１エア給排ポート１６に接続され、他端は、第３エアシリンダＡ３の第８エア給排ポート８６に接続されている。
【００８５】
第１エアシリンダＡ１の第３エア給排ポート３２と、第２エアシリンダＡ２の第４エア給排ポート４３とがエア通路６７を介して接続されている。よって、第１エアシリンダＡ１のヘッド側圧力作用室２７と、第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３とがエア通路６７によって連通されている。更に、第２エアシリンダＡ２の第６エア給排ポート４７と、ヘッド側圧力作用室８３の第７エア給排ポート８５とがエア通路９０を介して接続されている。よって、第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３と第３エアシリンダＡ３のヘッド側圧力作用室８３とがエア通路９０によって連通されている。従って、本参考例では、両エア通路６７、９０によって第１流路が構成されている。
【００８６】
第１エアシリンダＡ１の第２エア給排ポート１８と、第２エアシリンダＡ２の第５エア給排ポート４４と、第３エアシリンダＡ３の第８エア給排ポート８６とは、第２流路としてのエア供給路６６を介して接続されている。従って、第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８と、第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４と、第３エアシリンダＡ３のロッド側圧力作用室８４とはエア通路６６によって連通されている。なお、本参考例では、エア通路６６の一部とエア供給路６８の一部とが共用されている。
【００８７】
次に、上記のように構成された第２参考例における順次動作シリンダシステム１１の作用について説明する。
各エアシリンダＡ１〜Ａ３のピストン２５，５５，８２は、いずれもヘッド側ストロークエンドに位置するものとする。この状態で、エア圧供給源７１からの加圧エアが第１エア給排ポート１６、流路１７を介して第１エアシリンダＡ１のヘッド側圧力作用室２７に供給されると、第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに向けて移動する。このとき、第１エアシリンダＡ１におけるロッド側圧力作用室２８内のエアは、流路１９、第２エア給排ポート１８、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００８８】
第１ピストン２５がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、給気パイプ３５の先端開口部が開放され、ヘッド側圧力作用室２７内の加圧エアは、第３エア給排ポート３２、エア通路６７、第４エア給排ポート４３、流路４５を介して第２エアシリンダＡ２のヘッド側圧力作用室５３に供給される。すると、第２ピストン５０及び第２ピストンロッド５５がロッド側ストロークエンドに移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第１エアシリンダＡ１における第１ピストン２５はロッド側ストロークエンドに到達する。
【００８９】
第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０が移動し始めると、メカニカルバルブ６０が閉じられ、第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内のエアは、流路４６、第５エア給排ポート４４、エア通路６６の一部、エア供給路６８を介して外部に排出される。従って、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５はヘッド側ストロークエンドに保持されることとなる。
【００９０】
第２ピストン５０がロッド側ストロークエンド付近に到達すると、給気パイプ３５の先端開口部が開放され、ヘッド側圧力作用室５３内の加圧エアは、流路４８、第６エア給排ポート４７、エア通路９０、第７エア給排ポート８５、流路８７を介して第３エアシリンダＡ３のヘッド側圧力作用室８３に供給される。すると、第３ピストン８１がロッド側ストロークエンドに移動し始める。この移動開始とほぼ同時に第２エアシリンダＡ２における第２ピストン５０は、ロッド側ストロークエンドに到達する。
【００９１】
第３エアシリンダＡ３の第３ピストン８１が移動し始めると、メカニカルバルブ８９が閉じられる。よって、第３ピストン８１の移動により、第３エアシリンダＡ３のロッド側圧力作用室８４内のエアは、第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４に供給されることがない。つまり、ロッド側圧力作用室５４のエアは、流路８８、第８エア給排ポート８６、エア供給路６８を介して外部に排出される。従って、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５はヘッド側ストロークエンドに保持されることとなる。
【００９２】
要するに、第２参考例の順次動作シリンダシステム１１では、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６の突出がほぼ完了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が突出を開始する。更に第２ピストンロッド５５の突出がほぼ完了した後に、第３エアシリンダＡ３の第３ピストンロッド８２が突出を開始する。
【００９３】
続いて、第１ピストンロッド２６と第２ピストンロッド５５とを没入させる場合について説明する。切換電磁弁６９が切り換えられると、エア圧供給源７１からのエアは、第３エアシリンダＡ３のロッド側圧力作用室８４内に供給される。すると、第３ピストン８１がヘッド側に移動し始めるとともに、第３エアシリンダＡ３におけるヘッド側圧力作用室８３内のエアは、エア通路９０、第２エアシリンダＡ２、エア通路６７、第１エアシリンダＡ１、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００９４】
第３ピストン８１がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、メカニカルバルブ８９が開かれ、エア圧供給源７１の加圧エアは、エア供給路６８、エア通路６６の一部、第５エア給排ポート４４、流路４６を介して第２エアシリンダＡ２のロッド側圧力作用室５４内に供給される。すると、第２エアシリンダＡ２の第２ピストン５０は、ヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。このとき、第２エアシリンダＡ２におけるヘッド側圧力作用室５３内のエアは、エア通路６７、第１エアシリンダＡ１、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００９５】
第２ピストン５０がヘッド側ストロークエンド付近に到達すると、メカニカルバルブ６０が開かれ、エア圧供給源７１の加圧エアは、エア供給路６８、エア通路６６、第２エア給排ポート１８、流路１９を介して第１エアシリンダＡ１のロッド側圧力作用室２８内に供給される。すると、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５は、ヘッド側ストロークエンドに向けて移動し始める。このとき、第１エアシリンダＡ１におけるヘッド側圧力作用室２７内のエアは、エア供給路６８を介して外部に排出される。
【００９６】
要するに、第２参考例の順次動作シリンダシステム１１では、第３エアシリンダＡ３の第３ピストンロッド８２の突出がほぼ完了した後に、第２エアシリンダＡ２の第２ピストンロッド５５が没入を開始する。更に第２ピストンロッド５５の没入がほぼ完了した後に、第１エアシリンダＡ１の第１ピストンロッド２６が没入を開始する。
【００９７】
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。
・第１実施形態の別例として、エア通路６６上に設けられている絞り弁７２に代えて逆止弁を使用してもよい。
【００９８】
・第１実施形態の別例として、第１エア給排ポート１６と第３エア給排ポート３２との間の流路３３上に設けられた逆止弁３４に代えて、絞り弁にしてもよい。
【００９９】
・前記第２実施形態の別例として、第１ピストン２５の端面に設けた段差部２５ｂを省略してもよい。この構成を採用する場合には、軸線方向における給気パイプ３５の長さを短くする。この構成によれば、第１エアシリンダＡ１の第１ピストン２５がロッド側ストロークエンドに向けて移動した際に、給気パイプ３５の先端部が早く開放される。このような構成にすれば、第２ピストン５０が移動する際に排出される第２エアシリンダＡ２からのエアを、第１ピストン２５とシリンダチューブ１２との間から外部にスムーズに排出することができる。
【０１００】
次に、特許請求の範囲に記載された技術的思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技術的思想を以下に示す。
【０１０１】
（１）  シリンダチューブ内に往復移動可能な移動体を有し、かつその移動体によってシリンダチューブの内部空間がヘッド側圧力作用室とロッド側圧力作用室とに区画された流体圧シリンダを２つ設け、各ヘッド側圧力作用室又は各ロッド側圧力作用室に流体を供給することにより、各流体圧シリンダに設けたそれぞれの移動体を所定のタイミングで順次移動させるようにした順次動作シリンダシステムにおいて、流体圧シリンダに流体を供給する流体供給路を設け、その流体供給路に流体の供給方向を切り換える切換弁を１つ設け、前記各流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室を第１流路によって互いに連通するとともに、ロッド側圧力作用室を第２流路によって互いに連通し、両流路のうちいずれか一方に、移動体がストロークエンド付近に移動したときに、その流路を機械的に開閉するメカニカルバルブを設け、他方の流体圧シリンダのヘッド側圧力作用室に、他方の流体圧シリンダに設けられた移動体内に挿入可能な給気パイプを設け、その給気パイプの長さを、移動体がロッド側ストロークエンド付近に移動したときに、同給気パイプの端部から移動体が離脱するように設定したことを特徴とする順次動作シリンダシステム。
【０１０２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、切換弁の数を少なくすることで、低コストでかつ構造が簡単な順次動作シリンダシステムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態における順次動作シリンダシステムを示す断面図。
【図２】順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図３】図２に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図４】図３に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図５】図４に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図６】図５に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図７】図６に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図８】第２実施形態における順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図９】図８に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１０】図９に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１１】図１０に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１２】図１１に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１３】図１２に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１４】第１参考例における順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１５】図１４に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１６】図１５に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１７】図１６に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１８】図１７に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図１９】図１８に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２０】第３実施形態における順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２１】図２０に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２２】図２１に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２３】図２２に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２４】図２３に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２５】図２４に続く順次動作シリンダシステムの動作を示す回路図。
【図２６】第２参考例における順次動作シリンダシステムの回路図。
【符号の説明】
Ａ１…第１エアシリンダ（流体圧シリンダ）、Ａ２…第２エアシリンダ（流体圧シリンダ）、Ａ３…第３エアシリンダ（流体圧シリンダ）、１１…順次動作シリンダシステム、１２…シリンダチューブ、２５…第１ピストン、２６…第１ピストンロッド、３５…給気パイプ（開閉手段）、４０…シリンダチューブ、５０…第２ピストン、５５…第２ピストンロッド、６０…メカニカルバルブ（開閉手段）、６６…エア通路（第２流路）、６７…エア通路（第１流路）、６８…エア供給路（流体供給路）、６９…切換電磁弁（切換弁）、７７…メカニカルバルブ（開閉手段）、８１…第３ピストン、８２…第３ピストンロッド、８０…シリンダチューブ、８９…メカニカルバルブ（開閉手段）、９０……エア通路（第１流路）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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