(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送レールの内側に凹設された搬送部にワークを配置して、クランプアームのワーククランプを下降して押さえるワーククランプ装置において、
前記クランプアームは、前記ワーククランプを配置した一端が前記搬送レールの上部を閉鎖するカバーに格納され、かつ、他端が前記搬送レールの側面方向に向けて前記カバーに設けられたアーム挿入穴より前記カバー外部へ突出するとともに、
前記アーム挿入穴を閉塞し、中心部の矩形穴より前記クランプアームが貫通するシャッターを前記搬送レールに摺接するように配置したことを特徴とするワーククランプ装置。
【請求項２】
前記カバーは、前記搬送レールの上面に設けて開口したプロセス用開口部の下方領域と、前記クランプアームが配置されたアーム配置領域とにより各々構成され、
前記下方領域と前記アーム配置領域との間を前記カバーの天面より下方へ向けて延出する壁により区画したことを特徴とする請求項１記載のワーククランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送路上のワークを押さえるワーククランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークとしてのリードフレームのパッド上にチップをボンディングするダイボンダにおいては、搬送されるリードフレームを押さえるワーククランプ装置が設けられている。
【０００３】
図６は、ワーククランプ装置８０１を備えた搬送レール８０２を示す断面図であり、該搬送レール８０２は、下部を構成するレール部８０３と、該レール部８０３上に設けられたカバー８０４とによって構成されており、前記レール部８０３に形成された搬送部８０５は、前記カバー８０４で閉鎖されている。前記搬送部８０５には、還元ガスが充満されており、当該搬送部８０５を搬送されるリードフレーム（図示省略）の酸化を防止できるように構成されている。
【０００４】
前記カバー８０４には、内部に連通する開口部８１１が設けられており、チップを吸着した図外のボンディングヘッドを前記開口部８１１から挿入できるように構成されている。これにより、前記ボンディングヘッドで移送されたチップを、前記搬送部８０５のリードフレームにボンディングできるように構成されている。
【０００５】
前記開口部８１１は、前記ボンディングヘッドより大きめに形成されており、クランプアーム８２１に設けられたワーククランプ８２２，８２２を挿入できるように構成されている。これにより、前記クランプアーム８２１を上下作動することにより、前記搬送部８０５上のリードフレームを前記ワーククランプ８２２，８２２で押さえた状態で、当該リードフレームにチップをボンディングできるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような従来のワーククランプ装置８０１にあっては、ワーククランプ８２２の挿入を可能とする為に、リードフレームの上方に開口した前記開口部８１１の開口面積を大きくしなければならなかった。
【０００７】
また、前記リードフレームが搬送される前記搬送部８０５に前記ワーククランプ８２２，８２２が出入りするため、前記搬送部８０５内の容積が変動してしまう。
【０００８】
これらから、前記開口部８１１より外気が流入し易く、還元ガスによるリードフレームの酸化防止効果が低下する恐れがあった。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、外気の流入を抑えることができるワーククランプ装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のワーククランプ装置にあっては、搬送レールの内側に凹設された搬送部にワークを配置して、クランプアームのワーククランプを下降して押さえるワーククランプ装置において、前記クランプアームは、前記ワーククランプを配置した一端が前記搬送レールの上部を閉鎖するカバーに格納され、かつ、他端が前記搬送レールの側面方向に向けて前記カバーに設けられたアーム挿入穴より前記カバー外部へ突出するとともに、前記アーム挿入穴を閉塞し、中心部の矩形穴より前記クランプアームが貫通するシャッターを前記搬送レールに摺接するように配置した。
【００１１】
すなわち、搬送部のワークを押さえる際には、クランプアームを作動してワーククランプを下降する。このとき、前記クランプアームは、前記アーム挿入穴より前記搬送部内に挿入されており、前記ワーククランプは、前記搬送部内に配置されている。
【００１２】
このため、前記ワーククランプの上下動による前記搬送部内の容積変化が防止される。
【００１４】
また、前記カバーの前記側面には、前記クランプアームを挿通するためのアーム挿入穴が開設されている一方、前記クランプアームには、前記搬送レールに摺接して前記アーム挿入穴を閉鎖するシャッターが設けられている。
【００１５】
このため、前記アーム挿入穴は、前記シャッターで閉鎖される。
【００１６】
また、請求項２のワーククランプ装置では、前記カバーは、前記搬送レールの上面に設けて開口したプロセス用開口部の下方領域と、前記クランプアームが配置されたアーム配置領域とにより各々構成され、前記下方領域と前記アーム配置領域との間を前記カバーの天面より下方へ向けて延出する壁により区画した。
【００１７】
すなわち、前記クランプアームが配置された前記アーム配置領域では、前記クランプアームの作動に伴って脈動が発生する。
【００１８】
しかし、前記プロセス用開口部の下方領域と、前記クランプアームが配置された前記アーム配置領域との間には、前記カバーの天面より下方へ向けて延出する壁が設けられており、前記脈動の前記プロセス用開口部の下方領域への伝達が防止される。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように本発明の請求項１のワーククランプ装置にあっては、クランプアームは、前記アーム挿入穴より搬送部内に挿入されている。
【００２０】
このため、搬送レール上面の開口部の開口面積を前記ワーククランプを挿入できる大きさまで広げなければならなかった従来と比較して、リードフレーム上方に開口する前記開口部の開口面積を小さくすることができる。これにより、前記開口部からの外気の流入を抑えることができる。
【００２１】
また、前記クランプアームに設けられたワーククランプは、搬送部内に配置されており、前記搬送部のワークを押さえる為にワーククランプを上下作動した場合であっても、この押さえ動作による前記搬送部内の容積変化を防止することができる。
【００２２】
このため、前記搬送部のワークを押さえる際に前記ワーククランプを前記開口部から前記搬送部へ出し入れする度に該搬送部が容積変化する従来と比較して、容積変化に起因した前記プロセス用開口部からの外気の流入を防止することができる。
【００２３】
したがって、前記搬送部内への外気の流入を抑えることができ、前記搬送部内の還元ガスが乱れ前記ワークが酸化を引き起こすといった不具合を解消することができる。
【００２４】
また、前記アーム挿通穴を、前記クランプアームに設けられたシャッターで閉鎖することができる。
【００２５】
このため、前記アーム挿通穴からの外気の流入も防止することができる。
【００２６】
さらに、請求項２のワーククランプ装置では、前記プロセス用開口部の下方領域と、前記クランプアームが配置された前記アーム配置領域との間に、前記カバーの天面より下方へ向けて延出する壁を設けることによって、前記脈動の前記プロセス用開口部の下方領域への伝達を防止することができる。
【００２７】
このため、前記クランプアームの作動に伴う脈動が前記プロセス用開口部の下方領域に伝達される場合と比較して、前記脈動による前記プロセス用開口部からの外気の巻き込みを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるワーククランプ装置１を示す図であり、該ワーククランプ装置１は、ワークとしてのリードフレームＲ（図４参照）のパッド上にチップをボンディングするダイボンダの搬送レール２に設けられている。
【００２９】
この搬送レール２では、前記リードフレームＲが上流から下流へ向けて搬送されるように構成されており、当該搬送レール２は、下部を構成する長尺状のレール部１１と、該レール部１１上に並設された複数のカバー１２とによって構成されている（一つのカバー１２のみ図示）。前記レール部１１には、前記リードフレームＲが搬送される搬送部１３が凹設されており、該搬送部１３は、前記カバー１２で閉鎖されている。この搬送部１３には、還元ガスが充満されるように構成されており、当該搬送部１３内を搬送されるリードフレームＲの酸化を防止できるように構成されている。
【００３０】
前記カバー１２には、内部に連通するプロセス用開口部２１，・・・が三カ所に設けられており、上流側のプロセス用開口部２１から半田供給ヘッドを挿入して前記搬送部１３内のリードフレームＲのボンディングポイントに半田を塗布できるように構成されている。また、中央のプロセス用開口部２１からスパンカツールを挿入することにより、前記リードフレームＲに塗布された半田を成型できるよう構成されている。そして、下流のプロセス用開口部２１からボンディングヘッドを挿入することにより、該ボンディングヘッドで移送したチップを前記半田上に載置してボンディングできるうように構成されている。
【００３１】
この搬送レール２の側面３１からは、図２及び図３にも示すように、前記ワーククランプ装置１を構成するクランプアーム３２が延出している。
【００３２】
すなわち、前記カバー１２の裏面には、図３及び図４に示すように、当該カバー１２の幅方向に延在するアーム挿入穴４１が凹設されており、該アーム挿入穴４１は、当該カバー１２のカバー側面４２に開口している。これにより、該カバー側面４２及び前記レール部１１のレール側面４３からなる前記搬送レール２の前記側面３１には、前記アーム挿入穴４１が開口しており、該アーム挿入穴４１には、前記クランプアーム３２が挿入されている。
【００３３】
前記アーム挿入穴４１の高さ寸法は、前記クランプアーム３２の高さより大きく設定されており、該クランプアーム３２が上下作動した際に、当該クランプアーム３２が前記搬送レール２と干渉しないように構成されている。
【００３４】
このアーム挿入穴４１より外部に延出した前記クランプアーム３２の部位には、図２に示したように、矩形ブロック状のシャッター５１が設けられている。このシャッター５１は、図４の（ｂ）に示したように、当該シャッター５１に設けられた矩形穴５２に前記クランプアーム３２が挿入されており、当該シャッター５１は、前記搬送レール２の前記側面３１に密接して配置されている。また、前記シャッター５１には、ストッパーネジ５３が側部から挿通されており、該ストッパーネジ５３のネジ部は、前記クランプアーム３２の側面に螺入されている。
【００３５】
また、前記シャッター５１には、スプリング保持部６１が凹設されており、該スプリング保持部６１には、コイルスプリング６２の一端が挿入された状態で固定されている。該コイルスプリング６２は、その他端が前記ストパーネジ５３の側面に当接されており、当該シャッター５１は、このコイルスプリング６２からのバネ力によって前記側面３１に付勢されている。
【００３６】
そして、前記側面３１に摺接する前記シャッター５１の摺接面５１ａは、前記クランプアーム３２を上下作動した際に、前記カバー側面４２及び前記レール側面４３に常に摺接するように構成されている。これにより、前記搬送レール２の前記側面３１に設けられた前記アーム挿入穴４１は、前記シャッター５１によって閉鎖されるように構成されている。
【００３７】
このアーム挿入穴４１の奥側には、図３及び図５に示すように、手前側より幅広の幅広部７１が形成されており、該幅広部７１は、前記プロセス用開口部２１の側部に設けられている。この幅広部７１には、前記クランプアーム３２の先端部が挿入されており、当該幅広部７１内には、前記クランプアーム３２が配置されたアーム配置領域７２が設定されている。
【００３８】
この幅広部７１に挿入された前記クランプアーム３２の先端部には、一対のワーククランプ８１，８１がボルト８２で固定されており、両ワーククランプ８１，８１は、図４の（ａ）及び図５に示したように、前記搬送部１３内であって、前記プロセス用開口部２１下部の下方領域８３まで延出している。各ワーククランプ８１，８１は、前記クランプアーム３２の側面に固定される固定部８４と、該固定部８４の下端より側方へ延出する延出部８５とによってＬ字状に形成されており、前記固定部８４が上方へ向けて延出した状態で固定されている。これにより、前記延出部８５の高さ位置が低くなるように構成されている。
【００３９】
この延出部８５の先端部には、下方へ突出した突出部９１が形成されており、該突出部９１の下面は、前記リードフレームＲを押圧する押圧面９２を構成している。これにより、前記クランプアーム３２を上下駆動する図外の駆動装置で下降した際に、前記延出部８５に設けられた前記突出部９１の前記押圧面９２で前記搬送部１３内の前記リードフレームＲに押圧し、該リードフレームＲを押さえられるように構成されている（図４参照）。
【００４０】
前記下方領域８３と前記アーム配置領域７２との間には、図４の（ａ）及び図５に示したように、前記搬送部１３の天面１０１より下方へ向けて延出する区画壁１０２が設けられており、前記クランプアーム３２作動時に前記アーム配置領域７２で発生する脈動が前記下方領域８３側に伝達されないように構成されている。この区画壁１０２の下縁には、図３及び図５に示したように、前記各ワーククランプ８１，８１を挿通する為の切欠部１０３，１０３が設けられており、前記各ワーククランプ８１，８１は、この切欠部１０３，１０３を介して前記下方領域８３に延出するように構成されている（図５参照）。
【００４１】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記搬送レール２に設けられた搬送部１３のリードフレームＲを押さえる際には、図外の駆動装置によって前記クランプアーム３２を作動してワーククランプ８１，８１を下降する。このとき、前記クランプアーム３２は、前記搬送レール２の側面３１に設けられたアーム挿入穴４１より前記搬送部１３内に挿入されており、前記ワーククランプ８１，８１は、前記搬送部１３を構成する前記アーム挿入穴４１内に配置されている。
【００４２】
このため、前記搬送レール２上面のプロセス用開口部２１の開口面積を前記ワーククランプ８１，８１を挿入できる大きさまで広げなければならなかった従来と比較して、リードフレームＲ上方に開口する前記プロセス用開口部２１の開口面積を小さくすることができる。これにより、前記プロセス用開口部２１からの外気の流入を抑えることができる。
【００４３】
また、前記クランプアーム３２に設けられた前記ワーククランプ８１，８１は、前記搬送部１３内に配置されており、該搬送部１３のリードフレームＲを押さえる為に前記ワーククランプ８１，８１を上下作動した場合であっても、この押さえ動作による前記搬送部１３内の容積変化を防止することができる。
【００４４】
このため、前記搬送部１３のリードフレームＲを押さえる際に前記ワーククランプ８１，８１を前記プロセス用開口部２１から前記搬送部１３へ出し入れする度に該搬送部１３が容積変化する従来と比較して、容積変化に起因した前記プロセス用開口部２１からの外気の流入を防止することができる。
【００４５】
これらによって、前記搬送部１３内への外気の流入を抑えることができ、前記搬送部１３内の還元ガスが乱れ前記リードフレームＲが酸化を引き起こすといった不具合を解消することができる。
【００４６】
また、前記搬送レール２の前記側面３１には、前記クランプアーム３２を挿通するためのアーム挿入穴４１が開設される一方、前記クランプアーム３２には、前記搬送レール２の前記側面３１に摺接して前記アーム挿入穴４１を閉鎖さするシャッター５１が設けられている。
【００４７】
これにより、前記搬送レール２の前記側面３１に開口した前記アーム挿通穴４１を、前記クランプアーム３２に設けられた前記シャッター５１で閉鎖することができる。このため、前記アーム挿通穴４１からの外気の流入も防止することができる。
【００４８】
さらに、前記クランプアーム３２が配置された前記アーム配置領域７２では、前記クランプアーム３２の作動に伴って脈動が発生する。
【００４９】
しかし、前記搬送レール２の上面に設けられた前記プロセス用開口部２１の下方領域８３と、前記クランプアーム３２が配置された前記アーム配置領域７２との間には、前記搬送部１３の１０１天面より下方へ向けて延出する区画壁１０２が設けられており、前記脈動の前記プロセス用開口部２１の下方領域８３への伝達を防止することができる。
【００５０】
このため、前記クランプアーム３２の作動に伴う脈動が前記プロセス用開口部２１の下方領域８３に伝達される場合と比較して、前記脈動による前記プロセス用開口部２１からの外気の巻き込みを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】同実施の形態の要部を示す斜視図である。
【図３】同実施の形態のカバーの裏面を示す斜視図である。
【図４】（ａ）は同実施の形態の横断面を示す図であり、（ｂ）はシャッター部分を示す断面図である。
【図５】同実施の形態の搬送レールを示す断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１    ワーククランプ装置
２    搬送レール
１２    カバー
１３    搬送部
２１    プロセス用開口部
３１    側面
３２    クランプアーム
４１    アーム挿入穴
４２    カバー側面
４３    レール部側面
５１    シャッター
５２    矩形穴
７２    アーム配置領域
８１    ワーククランプ
８３    下方領域
１０１    天面
１０２    区画壁
【図１】
0004694381.tif 000002
【図２】
0004694381.tif 000003
【図３】
0004694381.tif 000004
【図４】
0004694381.tif 000005
【図５】
0004694381.tif 000006