(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子を基体の表面に付着して前記表面に誘電体膜を形成するステップを含み、各粒子は、粒子コアと、前記粒子コアに対して化学結合されて周囲に配置されたポリマーシェルとを有し、各粒子コアは比誘電率が１５以上の材料からなり、そして、
形成された前記誘電体膜は７以上の比誘電率を有する、ことを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記形成された誘電体膜の体積の少なくとも２０パーセントが前記粒子コアで占有される、ことを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法であって、前記誘電体膜は少なくとも１５以上の比誘電率を有する、ことを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、各ポリマーシェルはポリマー鎖からなり、各鎖が、前記粒子コアに共有結合された一端を有する、ことを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項２に記載の方法であって、各粒子コアの材料が金属酸化物及び半導体のいずれかからなる、ことを特徴とする方法。
【請求項６】
表面を有する基体と、
粒子からなる誘電体膜とを含み、前記膜は、前記表面に配置され、７以上の比誘電率を有し、
各粒子は、粒子コアと、前記粒子コアに対して化学結合され周囲に配置されたポリマーシェルとを有し、各粒子コアは比誘電率が１５以上の材料からなる、ことを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項６に記載の装置であって、前記誘電体膜の体積の少なくとも２０パーセントが前記粒子コアで占有される、ことを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項７に記載の装置であって、前記誘電体膜は少なくとも１５以上の比誘電率を有する、ことを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項６に記載の装置であって、各ポリマーシェルは複数のポリマー鎖からなり、各鎖が、前記粒子コアに共有結合された一端を有する、ことを特徴とする装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置であって、異なる粒子コアに結合された前記ポリマー鎖のある部分に、相互に樹枝化、絡み合い化、化学的架橋化のいずれか一つが施される、ことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は誘電体膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な無機化合物がまとまった量の誘電体を生成するものとして知られている。それらの化合物の中には低い比誘電率を有する大量の均一の物質を生成するものがある。例えば、二酸化ケイ素は一般に均一であり、その比誘電率は低く約４である。それらの化合物の中には高い比誘電率を有する大量の不均一の物質を生成するものがある。例えば、二酸化チタンは一般に粒子状であり、その比誘電率は大きく約８０かそれ以上である。
【０００３】
また、様々な有機化合物もまとまった量の誘電体を生成するものとして知られている。例えば、多くの有機ポリマーは均一の大量な誘電体を生成する。これらの材料は一般に小さい値の比誘電率を示す。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
様々な実施例によって大きな値の比誘電率を持つ均一な誘電体膜が提供される。誘電体膜は個々の粒子を囲み物理的に安定させる粒子コア及びポリマーの均一な分布を含む。粒子コアは１以上の大きい値の比誘電率の材料で作られる。粒子コアは全体の体積の大きな部分を占めるので、たとえポリマーが大きな比誘電率を有しなくても誘電体膜は大きな値の比誘電率を有する。ポリマーがそのような誘電体膜をより柔軟にし、もろくないようにするので、それらは従来の無機誘電体の膜よりも取り扱いが簡単になる。
【０００５】
ある実施例は、表面を有する基体及び表面に配置された誘電体膜を含む装置を提供する。誘電体膜は粒子の分布を含む。各粒子は粒子コア及び関連する該粒子コアに対して化学結合され周囲に配置されたポリマーシェルを有する。各粒子コアは比誘電率の値が約１５以上の材料を含む。誘電体膜は７以上の比誘電率を有する。
【０００６】
他の実施例は、表面を有する基体及び表面に配置された誘電体膜を含む装置を提供する。誘電体膜は粒子の分布を含む。各粒子は粒子コア及び関連する該粒子コアの外部表面に対して化学結合されたポリマー鎖を有する。各粒子コアは比誘電率が約１５以上の材料を含む。粒子コアは誘電体膜の体積の少なくとも２０％を占有する。
【０００７】
ある実施例は、実質的に均一で比較的大きい比誘電率を持つ誘電体膜を作製する方法を提供する。一つのそのような方法は、粒子を基体の表面に付着して前記表面に誘電体膜を形成するステップを含む。各粒子は粒子コア及び関連する粒子コアに対して化学結合され周囲に配置されたポリマーシェルを有する。各粒子コアは比誘電率が約１５以上の材料を含む。形成された誘電体膜は７以上の比誘電率を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
様々な実施例が付随する図面と詳細な説明を参照にしてより充分に記載される。しかしながら、本発明は様々な形態で具現化され、ここに記載される実施例に限定されるものではない。
【０００９】
図１は、基体１０及び基体１０の表面１１に配置された誘電体膜１２を含む装置８の一部を示すものである。基体１０は金属、有機若しくは無機誘電体、又は、有機若しくは無機半導体であればよい。誘電体膜１０は粒子コア１４の実質的に均一な分布を含む。各粒子コア１４は微小な無機物体である。しかし、粒子コア１４は表面の原子及び内部の原子、即ち、他の原子に完全に囲まれている同じ粒子コア１４の原子を含むのに充分大きい。内部原子は粒子コア１４において、同じ材質からなる集合体の特性と似たような特性の相を形成する。各粒子コア１４はまた有機ポリマーシェルで覆われていて、関連する粒子コア１４に化学的に結合している。ポリマーシェルは関連する粒子コア１４の表面の周囲に充分に高密度な被覆を与える場合も与えない場合もあるが、ポリマーシェルは誘電体膜１２の粒子コア１４間に母体を形成する。ポリマーシェルは粒子のコア１４が凝結し相分離するのを防止し、電気的に粒子コア１４を互いに絶縁し、結果としてできる誘電体膜１２が平らな表面を持つように粒子コア１４間の孔を埋める。誘電体膜１２は一表面から反対側の表面に通じるスルーホールをなくすのに充分な厚みを持つ。代表的な誘電体膜１２は約２０ｎｍから約２マイクロメータ(μｍ)の厚さであり、通常約１μｍより薄い。
【００１０】
誘電体膜１２において、誘電体膜１２の比誘電率は７かそれ以上の比較的大きい値である。従って、誘電体膜１２の比誘電率は従来のシリカガラスのような無機誘電体のものよりも大きくなる。誘電体膜１２において、比誘電率の値が大きいことは二つの特性に起因する。一つに、粒子コア１４は実質的に大きい値の比誘電率ε、即ち、εが粒子コア１４内で約１５以上の材料から形成される。粒子コア１４は実際には金属酸化物や半導体のような材料から形成される。代表的な材料は、εが８０より大きい酸化チタン、ＴｉＯ２、εが１６に近いチタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウムやゲルマニウムを含む。二つ目として粒子コア１４は誘電体膜１２の総体積の大きい部分を占有する。総体積の大部分が粒子コア１４の高い比誘電率材料であるので、誘電体膜１２自体が大きい比誘電率を持つ。
【００１１】
粒子コア１４は誘電体膜１２の総体積の少なくとも２０％を占有し、標準的には３０〜６０％かそれ以上を占有する。粒子コア１４が総体積の約２０〜４０％しか占有する実施例においては、ポリマーのシェルがより柔軟性のある誘電体膜１２を生成してそれによって総体積の大きな部分を占有する。粒子コア１４が総体積の約５０〜６０％かそれ以上占有しない実施例においては、粒子コア１４はより様々な材料で作られることになる。大きく占められた体積部分のために、ある程度高い比誘電率しかない材料でできた粒子コア１４はそれでも誘電体膜１２に対して大きい比誘電率となる。
【００１２】
代表的誘電体膜１２において、粒子コア１４はほぼ同一のＴｉＯ２の球体であり、球体半径と、隣接する球体間の中心間距離との比は約５：１２である。従って、関連するポリマーのシェルの厚さは球体半径の約１／５倍かそれ以上である。隣接するポリマーのシェルからのポリマー鎖１６は誘電体膜１２内で相互に樹枝化（inter-digitate）するので、シェルのポリマー鎖１６は球体半径の１／５倍より長くなる。任意のパッキング構成に対して、ＴｉＯ２粒子１４はそのような膜の総体積の約５０％を占める。従って、誘電体膜１２は、たとえポリマーのシェルの比誘電率が４程度、即ちシリカガラス程度であっても、比誘電率は７よりも充分大きくなる。そのような代表的誘電体膜１２は、例えばＳｉＯ２のような多くの従来の有機及び無機誘電体よりも充分大きな比誘電率を有する。
【００１３】
誘電体膜１２において、粒子コア１４の直線寸法は１μｍよりも小さく、即ち、粒子コア１４は微細な粒子である。粒子コア１４は、例えば、球体、長細くされた形又は不規則な形状といった様々な形状と様々な大きさであってもよい。代表的ＴｉＯ２の粒子コア１４は約１０〜４０ナノメートル(ｎｍ)の半径を有する球体となる。同じ誘電体膜１２の様々な粒子コア１４が異なる寸法、及び／又は、異なる形状の分布を持つことになる。
【００１４】
誘電体膜１２において、ポリマーシェルは、関連する粒子コア１４を一端で外側表面に化学的に結合するポリマー鎖１６を含む。その化学結合は強い共有結合又は中程度にしか強くない化学結合となる。その化学結合は、１モル当たり少なくとも約２０キロカロリー（Ｋｃａｌ）の解離エネルギーを有し、通常１モル当たり約４０〜１００Ｋｃａｌの解離エネルギーを持つ。代表的ポリマー鎖１６はスチレン、アクリレート及びアルキル置換スチレン又はアクリレートのようなモノマーから形成され、開環メタセシス重合する変形シクロアルカン、開環置換重合するエポキシド、及び／又は、そのようなモノマーのコポリマー（共重合体）から形成される。１つのシェルのポリマー鎖１６は長さの分布を有し、実質的に同じ長さとなる。シェルのポリマー鎖１６は関連する粒子コア１４の周囲に充分に高い密度の被覆で形成され、又は、関連する粒子コア１４の周囲に適度な密度の被覆で形成される。様々なポリマー鎖１６は粒子コア１４の合体や相分離を防止し、誘電体膜１２内で隣接する粒子コア１４を互いに電気的に絶縁するのに充分な密度がある。また、シェルのポリマー鎖１６は粒子コア１４間の空間を充填することによって平らな薄膜の生成を補助する母体を提供する。また、隣接するシェルのポリマー鎖１６は部分的に相互に樹枝化している。
【００１５】
実施例によっては、隣接するシェルから相互に樹枝化されたポリマー鎖１６はファンデア・ワールス力、物理的引っ掛け、絡み合い、及び／又は、化学的架橋でいくらか強く相互に作用する。異なるシェルのポリマー鎖１６間のそのような相互作用は誘電体膜１２の母体全体を物理的に安定化することができる。
【００１６】
異なるシェルのポリマー鎖１６間の相互作用は誘電体膜１２に構造的統一性を与える。特に、ポリマー鎖１６はそれ自体柔軟性があるので、ポリマー鎖１６の母体は柔軟性のある物体となる。また、異なるシェルのポリマー鎖１６間の相互作用は母体を亀裂や崩壊に対してもろくないようにする。また、異なるシェルのポリマー鎖１６間の相互作用は粒子コア１４の立体的分布を構造的に固定するので、コア１４が実質的に移動したり適度に印加された電界に反応して合体したりしないようになる。また、ポリマー鎖１６の相互の樹枝化は誘電体膜１２の形成中に粒子コア１４の密度の均一化を補助する。最後に、ポリマー鎖１６はそれによって空間を少なくとも部分的に充填して誘電体膜１２の平らな上表面を作る。平らな上表面はその上でのその後に続く有機半導体の成長にとって有利なことが多い。
【００１７】
図２は、例えば図１の誘電体膜１２のような比誘電率が７より大きい誘電体膜を作製する方法２０を示すものである。
【００１８】
方法２０は、実質的に高い比誘電率材料から形成される複数の微細な粒子コアを提供するステップ（ステップ２２）を含む。粒子コアは原理的には比誘電率１５以上、比誘電率４０以上の材質から形成されることが多い。粒子コアの代表的材料はＴｉＯ２のような金属酸化物及びゲルマニウムのような半導体を含む。微細な大きさのＴｉＯ２粒子はナノプロダクト社(Nanoproducts Corporation,14330 Long Peak Court, Longmont, CO80504 USA)から、メチル・イソブチルケトン（ＭＩＫ）又はテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）における２０％〜３０％の重量分散として市販されている。
【００１９】
方法２０は、ステップ２２の粒子コアに対して化学的に官能基化された粒子コアを生成するステップ（ステップ２４）を含む。官能基化された粒子コアは、粒子コアの外表面の選択されたシェル形成反応のための高密度な反応開始剤サイトを持つ。官能基化を与える一つの方法は原子転換ラジカル重合反応開始剤（ＡＴＲＰＩ）の部分に基づく。代表的な化学的官能基化ステップはＡＴＲＰＩ部分を外部表面に共有結合するために粒子コアの表面化学反応を行うステップを含む。
【００２０】
図３は、制御されたラジカル重合反応の反応を開始するのに適した代表的ＡＴＲＰＩ部分３０、３２及び３４を示す。ＡＴＲＰＩ部分３２と球体ＴｉＯ２粒子コアとを共有結合するための代表的な表面化学反応が図４に示される。化学反応はＡＴＲＰＩ部分３２の存在化で粒子コアの浮遊物の温度が上昇すると進行する。官能基化反応の標準的温度は約８５℃を含む。
【００２１】
方法２０は官能基化された個々の粒子コアの周りに誘電体ポリマーシェルを作る反応を行うステップ（ステップ２６）を含む。反応は粒子コアにある開始剤サイトからポリマー鎖を成長させる。代わりに、反応によって予め形成されたポリマー鎖が化学的に粒子コアの表面上の開始剤に結合する。最後に、実施例によっては、ステップ２４はなく、ステップ２６は実行されたポリマー鎖を粒子コアの表面に直接化学的に結合することを含む。
【００２２】
様々な実施例において、ステップ２６における誘電体ポリマーシェルを作製するための反応を起こすステップはポリマーシェルが予め選択された厚みとなったときに反応を停止するステップを含む。鎖の成長反応に基づいた代表的実施例は、粒子コアの外部表面上のＡＴＲＰＩ部分がそこに反応部分の追加の重合を開始する制御されたラジカル重合反応を利用する。図３のＡＴＰＲＩ部分３０、３２、３４によって開始された制御されたラジカル重合反応に対して、代表的反応モノマーは図５に示すスチレン３５、アルキル置換スチレン３６、アクリレート３７及びアルキルアクリレート３８を含む。制御されたラジカル重合反応はポリマーシェルが予め選択された厚さになるように時間が設定される。
【００２３】
また、方法２０は、高い比誘電率の誘電体膜を生成するためにステップ２６において形成された粒子の浮遊物を基体上の表面に付着させるステップ（ステップ２８）を含む。代表的付着ステップはＴＨＦ、ベンゼン、トルエン、キシレン、クロロベンゼン又はクロロホルムのような溶剤中の粒子の浮遊物を基体のプレーナ表面にスピンコーティング、ドロップキャスティング又は印刷するステップを含む。生成した誘電体膜において、ポリマーシェルに対する厚さを予め選択するために体積の多くの部分が粒子コアに占有される。特に、ポリマーシェルは粒子コアの通常の任意のパッキングが膜の体積の大部分を占めるほど充分に薄い。粒子コアによって占有される体積部分は最終的誘電体膜が確実に７以上の比誘電率を持つように予め大きく選択される。代表的な誘電体膜において、粒子コアは膜の全体積の少なくとも２０％、標準的には３０％以上、３５％以上、又は、４０％〜５０％以上を占める。従って、生成される誘電体膜は、シリカガラスのような無機誘電体や有機ポリマー誘電体の比誘電率よりも充分大きい比誘電率を有する。
【００２４】
ある実施例では、ポリマーシェルの厚さは最終誘電体膜が１５以上の比誘電率を持つ程に薄く選択される。
【００２５】
ある実施例では、形成するステップ２８はまた、架橋する固体を生成するために隣接するシェルのポリマー鎖を架橋するステップを含む。そのような実施例では、ステップ２６からキャスティング又は印刷に先立ってビニルアクリレートのような架橋剤及びフォト開始剤が粒子の浮遊物に混合される。また、キャスティング又は印刷された膜は、隣接するシェルからのポリマー鎖の一部分の化学的架橋を擬似するために紫外線又は熱処理で除去される。そのような架橋反応の条件は様々な架橋剤を扱う当業者には公知である。
【００２６】
（例）
いくつかの代表的実施例では、方法２０はステップ２２において半径が約１０〜１５ｎｍ以上の球体のＴｉＯ２粒子を粒子コアとして用いる。下記に示すように、球状のＴｉＯ２粒子は膜形成ステップ２８での使用のために準備される。
【００２７】
はじめに、表面官能基化反応が球状のＴｉＯ２粒子の表面に重合開始剤サイトを形成する。表面官能基化を行うための準備において、約１０〜３０重量パーセント（ｗｔ％）のＴｉＯ２を含む浮遊物を形成するためにＴｉＯ２粒子はテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）に混合される。次に、（３−（２−ブロモイソブチリル）プロピル）ジメチルエトキシシラン（(3-(2-bromoisobutyryl)propyl)dimethylethoxysilane）(ＢＩＤＳ)、即ち、ＡＴＲＰＩが浮遊物に混合され、生成された混合物はＴｉＯ２粒子の表面結合サイトの各モルに対して約１〜２モルのＢＩＤＳの等価物を含む。次に、表面官能基化反応を開始するために浮遊物は加熱され約１２時間沸騰される。標準的な加熱温度は５０℃〜１００℃の間、例えば８０℃である。加熱によってＢＩＤＳ部分とＴｉＯ２粒子の外部表面のサイトに化学結合する反応が促される。反応は浮遊物の温度を下げることによって停止する。そして、ヘキサンが浮遊物に付加され、表面官能基化ＴｉＯ２粒子を溶剤から除去するために遠心分離が行われる。次に、余分な重合開始剤を除去するために、即ち、ＴｉＯ２粒子に化学結合されなかった開始剤を除去するために、洗浄処理が行われる。この処理はＴｉＯ２粒子をヘキサンに繰り返し浮遊させ、ＴｉＯ２粒子を隔離するためにその浮遊物を遠心分離するステップを含む。
【００２８】
次に、重合反応がスチレン主体の又はアクリレート主体のポリマーシェルをＴｉＯ２粒子の官能基化された表面に成長させる。
【００２９】
スチレン主体の重合反応を実行する一つのプロセスは以下のステップを含む。
【００３０】
まず、円底フラスコに約１３３グラム(ｇ)の官能基化されたＴｉＯ２粒子、約７４．２ミリグラム(ｍｇ)のＣｕＢｒ、約０．３９８グラムの４，４´−ジ−（５−（５−ノニル）−２，２´−ビピリジン（4,4'-di-(5-(5-nonyl)-2,2'-bipyridine)（ｄＮｂｉｐｙ）及び撹拌棒が投入される。ＣｕＢｒ触媒の量は反応を速めるために約１〜４価増加してもよい。ｄＮｂｉｐｙはＣｕＢｒ触媒の銅イオンと水溶性複合物を形成し、レイリー・インダストリーズ社（Reilly Industries, Inc., 300 N. Meridian Street, Suite 1500, Indianapolis, IN 46204-1763 USA）から市販されている。
【００３１】
次に、フラスコは真空マニホールドに取り付けられ、約７．６４ｇの液体スチレン及び少量の体積パーセント、例えば約１体積％のドデカンがシリンジを介してフラスコに付加される。
【００３２】
次に、フラスコ内の混合物を脱酸素するために、約３サイクルの冷凍／注入(pump)／解凍及びガス抜き処理が、即ち、酸素と窒素の交換によって行われる。そのような脱酸素処理は当業者には公知である。３サイクルの処理の後に、その後に続く重合反応と干渉するほどの残存の酸素があってはならない。
【００３３】
次に、フラスコ内の液体は官能基化されたＴｉＯ２粒子の均一な浮遊物を形成するために撹拌される。
【００３４】
そして、浮遊物の温度は、スチレン主体の重合反応を開始させるために１００℃〜１３０℃の範囲、例えば１１０℃、に上げられる。ポリマーシェルが所望の厚さになると、浮遊物の温度は重合反応を停止するために下げられる。反応の進行は混合物の反応スチレンのモル数と反応しないドデカンのモル数の比を気体クロマトグラフィーによる測定を介してモニタしてもよい。スチレンの消失及びＴｉＯ２粒子上の重合サイトの推定数からポリマー鎖の長さとポリマーシェルの厚さが推定され、これにより、反応を停止するタイミングが決まる。半径３０ｎｍの球体のＴｉＯ２粒子に対しては、ポリマーシェルの厚さが約２ｎｍから約１０ｎｍになった時に重合反応は停止される。例えば、８ｎｍの厚さのシェルにおいて、ポリマー鎖は約１００個のスチレンのモノマーを有する。
【００３５】
最後に、関連するシェルを付帯するＴｉＯ２粒子コアは重合反応混合物から分離される。粒子を分離するために、関連するポリマーシェルが付帯した粒子コアはメタノールに対して溶解性が低いため、メタノールが浮遊物に混ぜられる。メタノールが加えられた時、関連するシェルを付帯するＴｉＯ２粒子コアは混合物に沈殿する。そして、ろ過によってコア及びシェルを有する粒子を残った溶剤から除去する。
【００３６】
アクリレート主体の重合を行う代替のプロセスは以下のステップを含む。
【００３７】
まず、フラスコに約２６７グラム(ｇ)の官能基化されたＴｉＯ２粒子、約８．５ｍｇのＣｕＢｒ、約２．５ｍｇのＣｕＢｒ２、約０．５８２グラムのｄＮｂｉｐｙ及び撹拌棒が投入される。ＣｕＢｒ触媒の量は反応を速めるために増加してもよい。
【００３８】
次に、フラスコは真空マニホールドに接続され、ｐ−キシレン又はＴＨＦ、例えば、１０モル水溶液において置換されたアクリレートモノマー水溶液をフラスコに加えるのにシリンジが使われる。代表的アリル、及び／又は、アルキル仕官アクリレートは１〜１５の炭素原子数を持つアルキル鎖を有する。
【００３９】
次に、上述の冷凍／注入(pump)／解凍及びガス抜き処理が密閉したフラスコを脱酸素するために行われる。そして、混合物は官能基化されたＴｉＯ２粒子の均一な浮遊物を形成するために撹拌される。
【００４０】
次に、浮遊物の温度は８０℃から１１０℃の範囲、例えば９０℃に上げられ、これにより重合反応が開始する。既に記載したように、重合反応の進行はガスクロマトグラフィー分析を介してモニタされる。反応によってポリマーシェルが所望の厚さになった時、浮遊物の温度はそれ以上の重合反応を停止するために下げられる。
【００４１】
最後に、スチレン主体のシェルを有する粒子コアに関して既に記載したように、アクリレート主体のシェルを持つＴｉＯ２粒子コアが反応混合物から沈殿及びろ過によって除去される。
【００４２】
スチレン又はアクリレート主体のポリマーシェルを持つＴｉＯ２粒子が、上記のステップ２８において、高誘電率の誘電体膜を形成するのに用いられる。
【００４３】
当業者には本願の明細書、図面及び特許請求の範囲を見れば本発明の他の実施例も明らかなものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
図及び文章において、同じ符号は機能として同種の特徴を表している。
【図１】図１は粒子コアの個々の周囲に設けられた粒子コア及びシェルで形成される誘電体膜の１部分の断面図である。
【図２】図２は図１の誘電体膜を作製するための方法を示すフローチャートである。
【図３】図３は制御されたラジカル重合反応を開始できる原子転換ラジカル重合開始剤（ＡＴＲＰＩ）部分を示す図である。
【図４】図４はＡＴＲＰＩ部分を粒子コアの表面に結合することによってＴｉＯ２粒子コアを官能基化する反応を示す図である。
【図５】図５は図１に示すポリマー鎖及びポリマーシェルを制御されたラジカル重合反応を介して形成するための代表的反応性モノマーを示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  基体
１１  表面
１２  誘電体膜
１４  粒子コア
１６  ポリマー鎖
３０、３２、３４  ＡＴＰＲＩ部分
【図１】
0004619706.tif 000002
【図２】
0004619706.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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