(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨要素を備えた固定研磨部材をコンディショニングする方法であって、
前記研磨要素が、上面を有し、バインダ中に分散した研磨粒子を含み、
前記研磨要素の上面の少なくとも一部分を研磨又は同一若しくは別の固定研磨要素を用いて除去して、前記研磨要素の単位面積当たりの平均研磨粒子数に一致する単位面積当たりの数の研磨粒子を露出させるコンディショニングステップ
を備える方法。
【請求項２】
前記研磨要素が、バッキングシートに付着し、バッキングシートから上方にある高さまで延びており、前記コンディショニングステップによって、前記研磨要素の１／２の高さにおける単位面積当たりの研磨粒子数に一致する単位面積当たりの数の研磨粒子を露出させる請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記研磨要素が、前記バッキングシートから上方に４０〜５０ミクロンの高さまで延びており、前記コンディショニングステップが、前記研磨要素の上面から１〜３ミクロンを除去するステップを備える請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記研磨粒子がアルミナまたは酸化セリウムを含んでおり、前記バインダがポリマーを含んでいる、請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記コンディショニングステップは、前記固定研磨部材を最初に使用する前に実施される請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記コンディショニングステップが、バインダ中に研磨粒子を含むツールに前記上面の前記一部分を接触させるステップを備える請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記コンディショニングステップが、別の研磨要素に前記上面の前記一部分を接触させるステップを備える請求項１記載の方法。
【請求項８】
ケミカルメカニカルポリシングのための方法であって、
バッキングシート上に配置されると共にバッキングシートから上方にある高さまで延びる研磨要素を備えた少なくとも一つの固定研磨ポリシングパッドを提供するステップであって、前記研磨要素が、上面を有し、バインダ中に分散した研磨粒子を含む、ステップと、
一枚以上のウェーハをケミカルメカニカルポリシングするステップと、
その後、前記研磨要素の上面の一部分を研磨又は同一若しくは別の固定研磨要素を用いて除去することによりポリシングパッドをコンディショニングして、前記研磨要素の単位面積当たりの平均研磨粒子数に一致する単位面積当たりの数の研磨粒子を露出させるコンディショニングステップと、
を備える方法。
【請求項９】
前記コンディショニングステップが、ウェーハ間ポリシング速度の均一性を増大させる請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記一枚以上のウェーハをケミカルメカニカルポリシングする前に、前記上面の一部分を研磨又は同一若しくは別の固定研磨要素を用いて除去し、所望の粗さを有する露出した上部を形成することにより、前記ポリシングパッドをコンディショニングする第２のコンディショニングステップを更に備える請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記第２のコンディショニングステップによって、前記研磨要素の上面から１〜３ミクロンを除去して、前記研磨要素の１／２の高さにおける単位面積当たりの研磨粒子数に一致する単位面積当たりの数の研磨粒子を露出させる請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記研磨要素が、前記バッキングシートから上方に４０〜５０ミクロンの高さまで延びている請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記研磨粒子がアルミナまたは酸化セリウムを含んでおり、前記バインダがポリマーを含んでいる、請求項１０記載の方法。
【請求項１４】
前記第２のコンディショニングステップが、バインダ中に研磨粒子を含むツールに前記上面の前記一部分を接触させるステップを備える請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記第２のコンディショニングステップが、別の研磨要素に前記上面の一部分を接触させるステップを備える請求項１３記載の方法。
【請求項１６】
各ウェーハをケミカルメカニカルポリシングした後、ポリシングパッドを前進させ、ポリシングパッドのうちケミカルメカニカルポリシングに使用されていない部分を露出させるステップを更に備える請求項１０記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の研磨要素を含む固定研磨部材をコンディショニングする方法、固定研磨部材によって製品をケミカルメカニカルポリシング（ＣＭＰ）する装置、および固定研磨部材を用いたＣＭＰ技術に関する。本発明は、半導体デバイスを製造するときに実施されるポリシング処理に特に適用される。
【０００２】
【従来の技術】
研磨部材は、種々の表面を削り、仕上げ、研磨する様々な工業的用途において使用されている。研磨部材の典型的な工業的利用には、半導体デバイスおよび磁気記録媒体の製造の様々な段階におけるように、基板の研磨が含まれる。半導体デバイスを製造する場合、ウェーハは、通常、デポジション、パターン形成、エッチングなどの多くの処理ステップを経る。様々な処理ステップの後は、正確なフォトリソグラフィ処理ができるように、表面のプラナリティおよびユニフォーミティを高い水準で達成しなければならない。従来の平坦化技術は、ＣＭＰによるようなポリシングを含んでおり、ここでは、ウェーハキャリヤアセンブリがＣＭＰ装置のポリシングパッドに接触した状態で回転させられる。ポリシングパッドは、外部からの駆動力で回転／移動するターンテーブルまたはプラテン上に取り付けられる。ウェーハは、通常、回転するポリシングパッドにウェーハを押しつける制御された力、すなわち圧力を加えるキャリヤまたはポリシングヘッド上に取り付けられる。したがって、ＣＭＰ装置は、ウェーハとポリシングパッドとの間に力を加える間、化学的作用と機械的作用の双方をもたらすように反応溶液中に研磨粒子を含む研磨スラリーを散布しながら、薄い半導体ウェーハの各々の表面とポリシングパッドとの間に研磨運動または摩擦運動を生じさせる。
【０００３】
研磨スラリー処理に使用される従来のポリシングパッドは、通常、溝付きの多孔質ポリマー面（例えば、ポリウレタン）を備え、研磨スラリーは、ＣＭＰを受ける特定の材料に応じて異なる。基本的には、研磨スラリーをポリマー表面の孔に浸み込ませ、溝が、ＣＭＰを受けるウェーハに研磨スラリーを運ぶ。ＣＭＰスラリー処理で使用されるポリシングパッドについては、Krywanczykらによる米国特許第５，８４２，９１０号に開示されている。一般的なＣＭＰは、シリコンウェーハ自体になされるだけでなく、シリコン酸化物などの様々な絶縁体層、アルミニウムおよび銅などの導電体層、あるいはダマシンプロセスの場合のように導電体および絶縁体の双方を含んだ層にもなされる。
【０００４】
上述した研磨スラリー型のポリシングパッドとは明らかに異なる種類の研磨部材は、固定研磨部材、例えば、固定研磨ポリシングシートやパッドである。このような固定研磨部材は、通常、複数の幾何学的な研磨複合要素が付着したバッキングを備えている。研磨要素は、通常、高分子バインダなどのバインダ中に複数の研磨粒子を備えている。固定研磨部材を用いたＣＭＰ中は、ＣＭＰを施される基板またはウェーハは、固定研磨要素を磨耗させ、それによって、研磨粒子を剥離させる。したがって、固定研磨部材を用いたＣＭＰでは、化学的な作用を提供するために化学薬剤が散布され、それと同時に、固定研磨要素と、ＣＭＰを施される基板に擦り合わせることによって研磨要素から剥離した研磨粒子とによって、機械的な作用が提供される。したがって、このような固定研磨部材は、剥離した研磨粒子を含むスラリーを使用する必要がなく、好適なことに、研磨スラリーを必要とするポリシングパッドと比較して、排水処理を簡素化し、消耗品にかかる経費を減少させ、ディッシングを抑制する。固定研磨ポリシングパッドを用いたＣＭＰでは、化学薬剤がパッドに塗布される。この薬剤は、ＣＭＰを施される特定の一または複数の材料に応じて決まる。しかしながら、化学薬剤は、研磨スラリー型ＣＭＰ処理の場合のように研磨粒子を含まない。固定研磨部材は、Rutherfordらによる米国特許第５，６９２，９５０号、Calhounによる米国特許第５，８２０，４５０号、Haasらによる米国特許第５，４５３，３１２号、およびHibbardらによる米国特許第５，４５４，８４４号に開示されている。
【０００５】
固定研磨要素は、通常、硬化バインダ先駆物質に分散する複数の砥粒を含むスラリーを型押キャリヤの凹部に充填し、バインダ先駆物質を硬化させて、バッキングシートに積層された個々の研磨複合要素を形成することによって形成され、そして、型押キャリヤが、取り除かれる。個々の研磨複合要素が付着したバッキングシートは、通常、弾性部材、およびバッキングシートと弾性部材との間にある硬質部材を含むサブパッドに取り付けられる。このような取り付けは、接着剤層を使用することも含めて、様々な種類の積層技術によって実行することができる。固定研磨要素を含むバッキングシートを形成する方法は、Rutherfordらによる米国特許第５，６９２，９５０号だけでなく、Calhounによる米国特許第５，４３７，７５４号にも開示されている。
【０００６】
従来のスラリーレス型ポリシングパッドの固定研磨要素は、Calhounによる米国特許第５，８２０，４５０号に開示されるように、通常、円柱、立方体、円錐台、角錐台形状など、様々な「凸」の幾何学的構造に形成される。また、従来の固定研磨部材は、Ravipatiらによる米国特許第５，０１４，４６８号に開示されるように、「凹」の研磨要素を備える。
【０００７】
ＣＭＰ中、研磨スラリー型ＣＭＰ処理に使用される従来の高分子ポリシングパッドの表面は、次第にグレージングされるので、研磨スラリーを収容し、および／または研磨スラリーを供給する能力が次第になくなり、さらには満足な速度で均一に研磨することができなくなる。したがって、従来の実施形態では、パッドの表面のコンディショニングが定期的になされ、それによって、パッドの表面はＣＭＰに要求される適切な形状に維持される。従来のコンディショニング手段は、ポリシングパッドをコンディショニングするために、ダイヤモンドまたは炭化ケイ素（ＳｉＣ）コンディショニングディスクを備える。コンディショニング処理が繰り返されると、やがてパッドが消尽して、満足な速度で均一に研磨することができなくなる。この時点で、ポリシングパッドを取り替えなければならない。交換中、ＣＭＰ装置は、ポリシングに使用できなくなり、それに付随して、生産スループットが相当に減少する。
【０００８】
一方、固定研磨パッドは、従来のポリマーパッドと同じ種類の不都合な平滑化を受けない。さらに、固定研磨パッドは、例えば約１０％〜約２５％のような小さい接触比（研磨要素上面の面積／パッド総面積）と、短い研磨要素とを有する。従来のコンディショニング手段による定期的なパッドのコンディショニングは、ＣＭＰ装置が円形の回転プラテンを有する場合、パッドの寿命を劇的に減少させる。プレコンディショニングは、ポリシング速度、およびユニフォーミティの安定度、すなわちウェーハ間の均一性に悪影響を及ぼす可能性があるだけである。なぜなら、従来のダイヤモンドまたはＳｉＣディスクによるプレコンディショニングは、パッド表面を、パッド−ウェーハの相互作用で生じるものとはかなり異なるものにすることが予想されるからである。したがって、固定研磨パッドの従来の実施形態は、プレコンディショニング、すなわち最初のＣＭＰの前のプレコンディショニング、または最初のＣＭＰの後の定期的なコンディショニングを含まない。しかしながら、ポリシングパッドなどの固定研磨部材の使用は、不都合にも、円形の回転プラテンを有するＣＭＰポリッシャ、あるいは０．５〜１．０インチ／分未満の割送り速度で前進するポリシングシートを備えたポリッシャでは、結果的にウェーハ間ポリシング速度の安定度が悪くなる。
【０００９】
１９９９年２月４日に出願され、本発明の譲受人に譲渡された同時係属出願第０９／２４４，４５６号は、回転プラテンと、プラテン上面に広がる露出部分を有する基板を研磨するための実質的に直線形のポリシングシートを備えたポリシングステーションと、ポリシングシートをプラテンの上面を横断するように直線方向に所定の量ずつ前進させる駆動機構と、を有するＣＭＰ装置を開示する。このポリシングシートは、プラテンとともに回転するようにプラテンに剥離可能に固定され、基板の直径よりも大きい幅を有する。したがって、ウェーハを研磨した後に、例えば、未使用のまたは新しいポリシングパッド表面を約０．５〜約１．０インチ／分の速度で露出させることによって、ポリシングシートの新しい部分が所定の量ずつ繰り出され、あるいは割り出される。このようにして、ウェーハ間ポリシング速度の安定度が改善される。なお、米国特許出願第０９／２４４，４５６号の全開示内容は、本明細書に援用される。しかしながら、０．５〜１．０インチ／分の速度でパッドを割り出すことは、固定研磨ポリシングシートの耐用寿命を相当に減少させ、研磨要素を十分に使いきる前に、それらのシートをごみとして廃棄処分にしてしまい、それによって、製造コストを相当に増加させる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ポリシングシートまたはポリシングパッドなどの固定研磨部材の耐用寿命を延ばし、それと同時に、ウェーハ間ポリシング速度の高い安定度を維持することが要求されている。また、長い寿命を有し、かつ、ウェーハ間ポリシング速度の高い安定度を達成する固定研磨ポリシングパッドを使用することのできるＣＭＰ装置が必要とされている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の利点は、固定研磨部材の耐用寿命を延ばす方法である。
【００１２】
本発明の別の利点は、固定研磨部材の耐用寿命を延ばすとともに、ウェーハ間ポリシング速度の高い安定度を達成する方法である。
【００１３】
本発明のさらなる利点は、固定研磨部材を用いて、ウェーハ間ポリシング速度を十分に安定させながら半導体ウェーハをＣＭＰする方法である。
【００１４】
また、本発明のさらなる利点は、固定研磨部材の耐用寿命を延ばし、ウェーハ間ポリシング速度を十分に安定させながらウェーハのＣＭＰを可能にする手段を備えた回転固定研磨部材を含むＣＭＰ装置である。
【００１５】
本発明のさらなる利点およびその他の特徴は、以下でその一部が説明されており、当業者には、さらなる一部が以下の説明を理解することによって明らかとなり、あるいは本発明を実施することによって理解されるであろう。本発明の利点は、特に特許請求の範囲に記載されるように実現または取得することができる。
【００１６】
本発明によれば、上述の利点およびその他の利点の一部が、上面を有し、バインダ中に分散した研磨粒子を含む複数の研磨要素を備えた固定研磨部材を、ワークピースの表面を研磨する際に最初に使用する前にプレコンディショニングする方法によって達成される。この方法は、研磨要素の中の研磨粒子を覆う上面の一部分を除去し、露出研磨粒子を増加させて所望の粗さにするステップを備えている。
【００１７】
本発明の別の態様は、バッキングシートに付着し、バッキングシートの上方の高さまで延びている複数の研磨要素を備えた固定研磨ポリシングパッドによって複数のウェーハをケミカルメカニカルポリシング（ＣＭＰ）する方法である。研磨要素は、上面を有し、バインダ中に複数の研磨粒子を含んでいる。この方法は、第１の一枚以上のウェーハをＣＭＰするステップと、これに続いて、研磨要素の上面の一部分を除去することによりポリシングパッドをコンディショニングするステップと、を備えている。
【００１８】
本発明の実施形態は、樹脂に覆われた研磨要素の最も高い部分を除去し、研磨要素の単位面積あたりの平均研磨粒子数（例えば、研磨要素の約１／２の高さにおける研磨粒子濃度のようなバルク濃度）にほぼ一致する数の研磨粒子を単位面積あたり露出させることによって、固定研磨部材を適切な表面粗さにプレコンディショニングするステップを備えている。本発明の実施形態は、さらに、固定研磨部材の研磨要素の上面部分を除去することによってプレコンディショニングするステップと、第一のウェーハ上でＣＭＰを実行するステップと、これに続いて、固定研磨要素の表面部分を除去することによって、固定研磨部材を定期的にコンディショニングするステップを含んでいる。
【００１９】
本発明の別の態様は、ウェーハをＣＭＰする装置である。この装置は、バッキングシートに付着した複数の研磨要素を備える固定研磨ポリシング部材であって、研磨要素が、上面を有し、バインダによって分散された複数の研磨粒子を備えている固定研磨ポリシング部材と、研磨要素の上面の一部分を除去して所望の粗さにすることによって、固定研磨ポリシング部材をコンディショニングする手段と、を備えている。
【００２０】
本発明の実施形態は、一以上の固定研磨ポリシングパッドまたはシートを含むプラテンを備えた複数のポリシングステーションを有するＣＭＰ装置を含み、各ステーションは、対応するコンディショニング手段を有している。実施形態はさらに、固定研磨ポリシングシートと、ポリシングシートを直線方向に所定の量ずつ繰り出して、ポリシングシートが取り付けられるプラテンの上面を横断させる駆動機構と、を有する少なくとも一つのポリシングステーションを含んでいる。
【００２１】
本発明のさらなる利点は、当業者であれば、以下の詳細な説明から容易に理解できる。以下の本発明の実施形態は、本発明を実施することを意図した好ましい実施形態を単に例として説明する。明らかなように、本発明は、別の異なる実施形態で実施することができ、それの多くの細かい部分は、本発明を逸脱することなく様々な点で変形することができる。したがって、図面および説明は、本質的に単なる例示とみなされるべきであり、それに限定されるものではない。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明は、固定研磨ポリシングパッドや固定研磨ポリシングシートなどの従来の固定研磨部材を用いたＣＭＰに付随する寿命に関する問題およびウェーハ間ポリシング速度の安定度に関する問題に対処して解決するものである。回転プラテンの上面上で直線方向に固定研磨ポリシングシートを割送りあるいは所定の量ずつ繰り出し、未使用のまたは新しいポリシングシート表面を露出させることは、速度の均一性に関する問題を緩和できることが知られているが、残念なことに、固定研磨ポリシングシートの耐用寿命を減少させ、交換すなわちＣＭＰの停止時間を必要とし、消耗品の経費を増加させ、それによって生産能力に悪影響を及ぼし、製造コストを増加させる。さらに、従来の割送り技術によれば、固定研磨ポリシングシートの耐用寿命は、固定研磨要素を完全に使いきらないうちに終了すると考えられる。さらに、本発明は、ＣＭＰ中の除去速度の変動から発生する問題に対処および解決し、それによって固定研磨ポリシングシートを使用する場合におけるウェーハ間ポリシング速度の安定度をさらに向上させる。
【００２３】
ポリシングシートなどの従来の固定研磨部材の耐用寿命を改善しようとする実験および研究の過程では、従来の割送りは、ＣＭＰの毎分あたり０．５インチ以下の速度に低減されるか、あるいは同時係属出願特許第０９／２４４，４５６号に開示された装置および技術を用いて割送りが完全に回避される。図１に示されるように、除去速度（ＲＲ）は、割送りなしで続行されるＣＭＰの時間（Ｔ）が経過するにつれて、初期速度Ａからより遅い速度Ｂまで低下することが観察された。その後、ＣＭＰを続行して時間が経過すると、除去速度は、許容できる速度Ｃまで増加した。例えばＣＭＰの毎分あたり約０．５〜約１．０インチの速度で従来の割送りを使用すれば、除去速度は、著しく減少することもなく点Ａの付近維持される。この現象が発見されたので、研究は、固定研磨ポリシングシートの寿命に関する問題の解決方法の開発を可能にするのに必要なメカニズムを突き止めることに向けられた。好ましくは、ＣＭＰは、図１の点Ｃと点Ｄとの間に維持され、それによって、割送り速度を相当に減少させ、パッド寿命を増加させ、ウェーハ間ポリシング速度の高い安定度を維持する。
【００２４】
さらなる研究および実験によって、シートなどの従来の未使用または新しい固定研磨ポリシング部材は、研磨要素内の研磨粒子の平均バルク分布よりも相当に少なく、むしろまばらに分布する表面研磨粒子を伴うポリマーに富んだ表面を備える研磨要素を含むことがわかった。例えば、図２を参照すると、従来の固定研磨要素２００は、高分子マトリックス２０２全体に配置された複数の研磨粒子２０１を備えている。研磨要素２００の大部分に分散する研磨粒子は、ほぼ均一のように見えるが、例えばウェーハなどのワークピースと向かい合う上面２０３すなわち作用面は、少数の表面粒子２０１′を含み、そして、そのすぐ下には、ほとんど高分子バインダ２０２′しか含まない領域が現れる。したがって、上部における研磨粒子２０１のバルク分布は、研磨要素の残りの部分全体のバルク分布よりも相当に少ない。従来の実施による速い割送り速度は、ＣＭＰを上部粒子２０１′だけに限定する。その結果として、従来の固定研磨ポリシングシートの耐用寿命は、固定研磨要素のかなりの部分を使いきらないうちに終了すると考えられる。固定研磨要素において研磨粒子が不均一な分布となる正確な理由は、はっきりとはわからない。しかしながら、製造過程において、金型は、上面に相当する部分に余分な量の高分子バインダを含み、そのために、結果として得られる成形部材は、ポリマーに富む上面を含むと考えられる。
【００２５】
固定研磨ポリシングシートの寿命問題を発生させる大きな原因と考えられるものを明らかにしたので、本発明の実施形態は、固定研磨ポリシングシートの表面を所望の粗さにプレコンディショニングすることを含み、点線２０４で示される上面の小さな部分Ｘ（図２）を除去し、研磨要素２００内の研磨粒子のバルク分布にほぼ一致する研磨粒子２０１の分布を、意図的な表面の粗さとして、研磨されるワークピースに与えることによって、高いウェーハ間均一性あるいはウェーハ間均一性の高い安定度を達成する。この課題は、通常、固定研磨部材の従来の研磨要素が付着したバッキングシートから約４０〜約５０ミクロンの高さを有する研磨要素の表面部分を、約１〜約３ミクロン、例えば約２ミクロンだけ除去することによって達成することができる。
【００２６】
本発明の実施形態によるプレコンディショニング、すなわち固定研磨要素上部の除去は、研磨などを用いた様々な方法で実施することができる。そのような研磨を行う場合、研磨スラリー型ＣＭＰのために高分子ポリシングパッドをコンディショニングする際に従来から使用されているもののような従来のプレコンディショニングプレートおよびダイヤモンドディスクが使用されてもよい。さらに、本発明の実施形態によるプレコンディショニングは、別の固定研磨部材を用いて、あるいは同じ固定研磨部材の一部分を用いて、加工面を向かい合わせて摩擦接触させることにより固定研磨要素の上面の一部を研磨することによって実施してもよい。
【００２７】
本発明の実施形態によれば、固定研磨要素の上面部分を除去することによるプレコンディショニングは、固定研磨部材を効果的にコンディショニングし、それによって、ＣＭＰは、実質的に図１に示される点Ｃから開始される。その結果として、ウェーハ間ポリシング速度の高い安定度を維持しながら、ＣＭＰの毎分あたり０．５インチという従来の最小値よりも相当に遅い速度で割送りを行うことが可能になる。なぜなら、プレコンディショニングがなされていない新しい固定研磨ポリシングシートを用いたＣＭＰを実施する場合のように、除去速度の急激な減少が発生しないからである。したがって、固定研磨ポリシングシートの耐用寿命は、ウェーハ間ポリシング速度の安定度を犠牲にすることなく増加する。
【００２８】
さらなる実験および研究では、割送りをほとんどあるいは全く行わない従来の固定研磨ポリシングシートを用いたＣＭＰにおいて、除去速度の変動が観察された。そのような除去速度の変動は、温度変化、使用した特定の化学薬剤、圧力変化による摩擦の変動に起因するものと考えられる。例えば、約３，０００〜約４，０００Å／分の適切な除去速度でＣＭＰを実施することが望ましい。しかしながら、摩擦の変動のために、除去速度が約８，０００Å／分に増大し、あるいは１，０００Å／分以下に低下することがある。その結果として、不都合なことに、ウェーハ間ポリシング速度の安定度が減少する。
【００２９】
本発明は、少なくとも一枚のウェーハをＣＭＰ処理した後に定期的なコンディショニングを実施することによって、このような除去速度の変動に対処し、それを解決する。本発明の実施形態によるコンディショニングによって除去速度の変動を緩和することに関する詳細なメカニズムは、はっきりとはわからないが、ＣＭＰにおいて、マトリックスバインダと研磨粒子は異なる速度で磨耗するので、摩擦面の摩擦特性が変化することが考えられる。ＣＭＰにおける定期的なコンディショニングは、固定研磨要素の摩擦面の所望の粗さを回復させ、それによって、除去速度の変動を発生させる摩擦の変動を抑制するものと考えられる。最初のＣＭＰに続くそのようなコンディショニングは、上述したプレコンディショニング処理と同じ方法で同じツールを用いて実施することができる。
【００３０】
したがって、本発明は、最初に研磨要素の上面部分を除去し、露出する研磨粒子の数を増加させることによって、固定研磨ポリシングシートまたはパッドなどの固定研磨粒子を適切な表面粗さにまでプレコンディショニングするステップと、少なくとも一枚のウェーハの最初のＣＭＰに続いて固定研磨ポリシングシートを定期的にコンディショニングして、研磨要素の表面を所望の粗さに維持するステップと、を備えるＣＭＰの方法を含んでいる。このようなコンディショニングは、in situに、すなわちＣＭＰ中に実行してもよいし、あるいはex situに、すなわちウェーハポリシングの合間に実行してもよい。
【００３１】
本発明の実施形態は、回転線形割送り固定研磨ポリシングステーションと共にダイヤモンドコンディショナヘッドなどのコンディショニング手段を提供することにより、および／または研磨スラリー型高分子ポリシングパッドの代わりに略円形の固定研磨ポリシングパッドを一つ以上の回転プラテンに取り付けることにより得られる同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号に開示された線形割送り型ＣＭＰ装置の変形を含んでいる。したがって、同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号に開示されたＣＭＰ装置全体が、固定研磨ポリシング部材を含んでいてもよい。
【００３２】
図３は、同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号の図１にほぼ一致しているが、ポリシングカートリッジ１０２の固定研磨ポリシングシートをプレコンディショニング／コンディショニングする追加手段３００を含んでいる。図１に開示されるＣＭＰ装置のこの追加要素は、同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号に開示されており、同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号の開示内容の全体が本明細書に援用されるので、ここでは詳細に説明しない。しかしながら、理解を容易にするために、この追加要素について簡単に説明する。このように、図３に示されるＣＭＰ装置２０は、ポリシングステーション２５ａ、２５ｂおよび２５ｃと、特に個々の基板１０を受け取ってそれらをロードし、それらの基板をローディング装置に搬送して戻す搬送ステーション２７とを支持するテーブルトップ２３を有するマシンベース２２を備えている。ポリシングステーション２５ａは、固定研磨ポリシングシートを含む線形割送り回転ポリシング装置を含む。したがって、ポリシングステーション２５ａは、回転可能な長方形のプラテン１００に取り付けられたポリシングカートリッジ１０２を含む。ポリシングカートリッジ１０２は、直線的に前進する固定研磨シートまたはベルトを含む。本発明による実施形態は、固定研磨ポリシングベルトを備えたポリシングカートリッジを含む一つ以上のポリシングステーション２５ａを備えたＣＭＰ装置を含む。また、本発明の実施形態は、一つ以上の直線ポリシングステーションを備えたＣＭＰ装置も含んでいる。
【００３３】
ポリシングステーション２５ｂおよびポリシングステーション２５ｃは、それぞれ「標準」のポリシングパッド３２および３４を含んでいてもよく、その各ポリシングパッドは、ほぼ円形のプラテン３０に接着される。このような「標準」ポリシングパッドは、多孔質の溝付き高分子材料から形成され、そこに供給される研磨材型スラリーと共に機能する。このほかに、本発明の実施形態によれば、ポリシングステーション２５ｂおよび２５ｃのどちらか一方かまたは両方が、対応するコンディショニング手段４０を備えたほぼ円形の固定研磨ポリシングパッドを備えていてもよい。各プラテンは、通常、約３０〜約２００回転／分でプラテンを回転させるプラテン駆動モータ（図示せず）に接続されるが、より遅いまたはより速い回転速度が使用されてもよい。適切な予想寸法としては、基板１０が直径が８インチ（約２００ミリメートル）のディスクの場合、方形プラテン１００は、横が約２０インチであってもよく、円形のプラテン３０ならびにポリシングパッド３２および３４は、直径が約３０インチであってもよい。
【００３４】
また、各ポリシングステーション２５ａ、２５ｂおよび２５ｃは、対応する研磨面上に突出したスラリー／リンス共用アーム５２を含んでいる。各スラリー／リンスアーム５２は、研磨液または洗浄液をポリシングシートまたはパッドの表面に供給するための二つ以上のスラリー供給管を含んでいてもよい。固定研磨ポリシングシートまたはパッド上にディスペンスされる研磨液は研磨粒子を含まないが、「標準」ポリシングパッドを使用する場合は、スラリーは研磨粒子を含む。通常は、ポリシングシートまたはパッドの全体を覆って湿潤させるのに十分な液体が提供される。また、各スラリー／リンスアームは、いくつかのスプレーノズル（図示せず）を含んでおり、これらのスプレーノズルは、ポリシングサイクルおよびコンディショニングサイクルが終了するたびに高圧のリンスを提供する。
【００３５】
本発明の実施形態によれば、ポリシングステーション２５ａは、対応するパッドコンディショナ装置３００を含む。対応するパッドコンディショナ４０を含むポリシングステーション２５ｂおよび２５ｃには、標準高分子ポリシングパッドが取り付けられていてもよいし、固定研磨ポリシングパッドが取り付けられていてもよい。基板がステーション間を移動するときにその基板を洗浄／リンスするめに、オプションの洗浄／リンスステーション４５がポリシングステーションと移動ステーションとの間に配置されてもよい。
【００３６】
回転マルチヘッドカルーセル６０は、センターポスト６２によってポリシングステーションの上方に支持され、カルーセルモータアセンブリ（図示せず）によってカルーセル軸６４を中心として回転させられる。カルーセル６０は、カルーセル軸６４のまわりに等角度間隔でカルーセル支持プレート６６に取り付けられた四つのキャリヤヘッドシステムを含む。三つのキャリヤヘッドシステムは、基板を収容および保持し、ステーション２５ａのポリシングシートおよびステーション２５ｂおよび２５ｃのポリシングパッドに押しつけることによって基板を研磨する。
【００３７】
各キャリヤヘッドシステムは、キャリヤまたはキャリヤヘッド８０と、カルーセルカバーの１／４を取り除くことによってキャリヤヘッド回転モデム７６（図示せず）をキャリヤヘッド８０に連結するキャリヤ駆動軸７８と、を含んでおり、各キャリヤヘッドが、自身の軸を中心として独立に回転できるようになっている。また、キャリヤヘッド８０は、カルーセル支持プレート６６に形成された径方向スロット７２内を独立して横方向に振動する。
【００３８】
同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号の図３Ｂにほぼ対応している図４を参照すると、ポリシングカートリッジ１０２は、ポリシングステーション２５ａの方形プラテン１００に着脱自在に取り付けられる。ポリシングカートリッジ１０２は、送りローラ１３０と、巻取りローラ１３２と、ポリシングパッド材料からなる略直線状のシートまたはベルト１１０と、を含んでいる。ポリシングシートの未使用または「新しい」部分１２０は、送りローラ１３０に巻きつけられており、ポリシングシートの使用済部分１２２は、巻取りローラ１３２に巻きつけられている。基板を研磨するのに使用されるポリシングシートの方形の露出部分１２４は、方形プラテン１００の上面１４０上で未使用部分１２０と使用済部分１２２との間に広がる。固定研磨ポリシングシート１１０は、幅が約２０インチで、厚さが約０．００５インチであってもよく、また、バインダ材料に保持または埋め込まれた砥粒からなる研磨複合体である上部層を含んでいてもよい。通常、砥粒は、約０．１〜約１，５００ミクロンの粒度を有する。このような砥粒は、酸化シリコン、溶融酸化アルミニウム、セラミックアルミニウム、グリーン炭化ケイ素、炭化ケイ素、クロム、アルミナジルコニア、ダイヤモンド、酸化鉄、酸化セリウム、立方晶窒化ホウ素、ガーネット、およびこれらの組み合わせを含んでいてもよい。バインダは、バインダ材料を形成するように硬化される重合性有機樹脂を含む先駆物質から誘導することができる。そのような樹脂の例としては、フェノール樹脂、ユリアホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、アクリル酸ウレタン樹脂、アクリル酸エポキシ樹脂、不飽和エチレン化合物、少なくとも一つのアクリレート従属基を有するアミノプラスチック誘導体、少なくとも一つのアクリレート側基を有するイソシアヌレート誘導体、ビニルエーテル樹脂、エポキシ樹脂、およびこれらの組み合わせがある。下部層は、高分子フィルム、紙、布、金属フィルムなどの材料からなるバッキング層である。
【００３９】
透明なストリップ１１８（図４）をポリシングシート１１０のほぼ中央にポリシングシート１１０の長さに沿って形成することができ、その幅は、約０．６インチであってもよい。この透明ストリップは、上記の領域から研磨粒子を取り除くことによって形成することができる。この透明ストリップは、方形プラテン１００にある開口または透明な窓１５４と位置合わせすることが可能であり、同時係属米国出願第０９／２４４，４５６号で説明されるように、終点検出のために、またはin situレートモニタリングのために、基板表面を光学的に監視することができる。
【００４０】
送りローラ１３０および巻取りローラ１３２は、ポリシングシート１００の幅よりもわずかに長いものとすべきである。ローラ１３０、１３２は、長さが約２０インチ、直径が約２インチのプラスチックまたは金属の円筒であってもよい。方形プラテン１００は、送りエッジ１４２、巻取りエッジ１４４、および二つの平行な側方エッジ１４６によって境界を規定されたほぼ平坦な方形の上面１４０を含んでいる。溝１５０が上面１４０に形成されており、この溝１５０は、エッジ１４２〜１４６に沿って延在する略方形とすることができる。プラテン１００を貫通する通路（図示せず）が溝１５０を真空ソース２００（図示せず）に接続して真空チャックを提供し、それによって、研磨中に基板とポリシングシートとの間の摩擦によって生じる横方向の力がポリシングシートをプラテンからずらさないようにし、また固定研磨パッド上にしわを発生させないようにする。ポリシングシートが溝に入り込んでゆがみ、均一に研磨できなくなることを防止するため、上面１４０の中央領域１４８には溝がない。フロアリテーナ１６０は、送りエッジ１４２および巻取りエッジ１４４において、それぞれ送りローラ１３０および巻取りローラ１３２を保持する。各リテーナ１６０は開口１６２を含んでおり、対応するピン１６４が開口１６２の中に入り、ローラ１３０および１３２をプラテン１００に回転自在に連結する。送りローラ１３０は、二つのリテーナ間の間隙に送りエッジ１４２に沿って滑り込まされており、二つのピン６４は、対向する開口１６２中に挿入されて送りローラの二つの対向凹部に係合する。巻取りローラ１３２は、それをリテーナ間の所定の位置に巻取りエッジ１４４に沿って滑り込ませ、二つのピン１６４を向かい合った開口１６２の中に挿入し、巻取りローラの二つの対向凹部に係合させることによって、プラテン１００に取り付けられる。
【００４１】
本発明のある実施形態は、送りローラ１３０の変形を含んでおり、固定研磨ポリシングシートは、自身が向かい合って摩擦接触する状態で供給され、それによってコンディショニングが行われるようになっている。このコンディショニングは、コンディショニング要素３００（図３）と組み合わせて行ってもよく、あるいはコンディショニング要素３００（図３）の代わりに行ってもよい。例えば、図５に示されるように、送りローラ１３０の代わりに、固定研磨ポリシングシート１１０を前進させる送りローラ５００、アイドルローラ５０１、および摩擦ローラ５０２の組合せを用いてもよい。送りローラ５００を摩擦ローラ５０２に向けて付勢するために付勢手段５０３を提供することで、固定研磨ベルト１１０の加工面の一部の間に摩擦研磨接触を形成することができる。
【００４２】
本発明は、固定研磨要素の表面の上部を除去して所望の粗さにし、露出する研磨粒子の数を、単位面積当たりの平均研磨粒子数にほぼ一致する数にまで増加させるプレコンディショニングによって、ポリシングシートやポリシングパッドなど、従来の固定研磨部材の耐用寿命を飛躍的に向上させる。プレコンディショニングは、時間のかかる割送りを必要とせず、そのため、ウェーハ間の均一性に悪影響を与えることなくシートの寿命を増大させる。さらに、本発明の実施形態は、ポリシング速度の変動を防止するために、ＣＭＰ後におけるin situかex situのコンディショニングを含んでおり、それによってウェーハ間の均一性をさらに改善する。
【００４３】
本発明は、略円形の回転ポリシングパッドや、直線割送りおよび直線ポリシングシートを伴う略方形の回転ポリシングシートや、このような固定研磨要素を用いた一つ以上のポリシングステーションを含む装置を含めて、あらゆる種類の固定研磨パッドおよび装置に適用することができる。本発明は、ＣＭＰのウェーハ間速度を安定させ、また、半導体デバイスを製造する様々な段階で使用することができる。したがって、本発明は、様々な工業的な用途に、とりわけ半導体産業におけるＣＭＰや、さらには磁気記録媒体産業で利用することができる。
【００４４】
この明細書では、本発明の好ましい実施形態およびいくつかの変形例だけを図示および説明したが、本発明は別の様々な組み合わせおよび環境で使用することができ、ここに記載された本発明の範囲内で様々に変更および変形することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の固定研磨ポリシングシートを用いたポリシング速度の変動を経時的に示すグラフである。
【図２】従来の固定研磨要素内の研磨粒子の分布を概略的に示す図である。
【図３】本発明の実施形態によるＣＭＰ装置の概略分解斜視図である。
【図４】方形プラテンおよびポリシングカートリッジの概略分解斜視図である。
【図５】本発明の実施形態による固定研磨ポリシングシートをコンディショニングするためのローラの配置を示す図である。
【符号の説明】
１０…基板、２０…ＣＭＰ装置、２２…マシンベース、２３…テーブルトップ、２５…ポリシングステーション、２７…搬送ステーション、３０…プラテン、３２…ポリシングパッド、４０…パッドコンディショナ、１００…方形プラテン、１０２…ポリシングカートリッジ、１１０…固定研磨ポリシングシート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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