(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被散布体と所定の間隔をおいて配置され、ガス体の気流と共に微粉体をその先端から放出する散布ノズル管を有する微粉体の散布装置において、
前記被散布体上の所定領域における前記散布ノズル管の延長線と被散布体の散布面とが交わる散布点の移動速度を制御する制御係数を入力する制御係数入力手段と、前記散布ノズル管の延長線と被散布体の散布面とが交わる前記散布点の前記所定領域における移動速度を前記制御係数入力手段により入力された制御係数に基づき制御する移動速度制御手段とを備え、
前記被散布体上の前記各所定領域は、前記被散布体の散布面が格子状に分割された領域であり、
前記制御係数入力手段は、前記被散布体上の各所定領域毎における前記散布ノズル管の延長線と被散布体の散布面とが交わる制御点が位置している前記所定領域に対応して入力される制御係数を前記散布ノズル管の延長線と被散布体の散布面とが交わる前記散布点の移動速度を制御する制御係数として入力するものであり、
前記移動速度制御手段は、前記微粉体の散布ノズル管の延長線が被散布体の散布面とが交わる制御点が前記各所定領域の中の何れの領域に位置するかにより、その領域に対して入力された前記制御係数に基づいて制御点間における前記散布ノズル管の散布点の移動速度を制御するものであり、
前記散布点の移動速度が、前記散布ノズル管の延長線と被散布体の散布面上に描く軌跡から制御点を決定し、制御点が位置している所定領域に対して入力された前記制御係数とテスト散布の時の散布点の移動速度（仮速度Ｖ）を乗算して、制御点間における散布点の移動速度として求めたものである
ことを特徴とする微粉体の散布装置。
【請求項２】
前記被散布体が液晶基板であり、前記微粉体が液晶用スペーサであることを特徴とする請求項１に記載の微粉体の散布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガス体の気流と共に微粉体を放出し、微粉体を基板などの被散布体上に散布する微粉体の散布装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、微粉体の散布装置としては、液晶表示装置等に使用される液晶表示板を構成する液晶基板の間、例えばガラス基板とガラス基板又はプラスチック系基板との間に、均一な粒子径の微粉体である液晶用スペーサ（スペーサビーズ）を単層で均一にかつ所定の量だけ散布する液晶用スペーサ散布装置が代表的な例として知られている。
【０００３】
液晶表示装置等の液晶表示板では、液晶基板となるガラス基板とガラス基板との間、あるいはガラス基板以外のプラスチック系（有機ガラス系など）の基板の間、もしくはこのプラスチック系基板とガラス基板との間（以下、ガラス基板を代表例として説明し、ガラス基板と称する）に液晶を注入する隙間を形成するために、粒子径が数ミクロン〜数十ミクロンの均一な径の粒子（各種プラスチック製の粒子やシリカ粒子からなるスペーサビーズ）をスペーサとして、１mm2当たり１０〜２０００個程度を、液晶用スペーサ散布装置を用いて出来るだけ均一に、単層となるように散布または塗布している。
【０００４】
このような液晶用スペーサ散布装置には、微細な液晶用スペーサの粒子を空気や窒素ガス等のガス体の気流にのせて細いパイプ（輸送管）内を輸送し、揺動する散布ノズル管から気流と共に液晶用スペーサの粒子を放出することによってガラス基板上に散布するものが存在する。ここで液晶用スペーサの粒子は、数ミクロン〜数十ミクロンの微細な粉体で浮遊しやすいものであり、また、液晶用スペーサの粒子は各種プラスチック製の粒子やシリカ粒子であるため帯電しやすく、ガラス基板上に一定の密度で再現性良く散布するのが困難であるため、液晶用スペーサの粒子を帯電極性（静電気極性）に応じて帯電させるとともに、ガラス基板および基台（テーブル）を接地（アース）してガラス基板上に液晶用スペーサの粒子を確実に一定の密度で散布することを可能にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年、液晶表示板が次第に大型化すると共に、１枚のガラス基板から多数個の液晶表示板を製造することも多くなり、液晶用スペーサ散布装置のチャンバ内に配置された基台上に大型のガラス基板を固定することが必要になっている。ところで基台上へのガラス基板の固定は、基台側からガラス基板を真空引きすることにより行うのが一般的である。しかしながらガラス基板を引付ける強さによっては、その部分の液晶用スペーサの密度が他の部分と異なりガラス基板上に液晶用スペーサを均一に散布することができない場合があった。また、ガラス基板の表面に電界差が生じた場合にも液晶用スペーサを均一散布できない場合があった。
この発明の課題は、ガラス基板などの被散布体上に液晶用スペーサなどの微粉体を散布する場合に部分的に微粉体の密度を変更することが可能な微粉体の散布装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の微粉体の散布装置は、被散布体と所定の間隔をおいて配置されガス体の気流と共に微粉体をその先端から放出する散布ノズル管を有する微粉体の散布装置において、前記被散布体上の所定領域における前記散布ノズル管の先端部の移動速度を制御する制御係数を入力する制御係数入力手段と、前記散布ノズル管の先端部の前記所定領域における移動速度を前記制御係数入力手段により入力された制御係数に基づき制御する移動速度制御手段を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２記載の微粉体の散布装置は、前記制御係数入力手段は前記被散布体上の各所定領域毎に制御係数を入力し、前記移動速度制御手段は前記微粉体の散布点が前記各所定領域の中の何れの領域に位置するかによりその領域に対して入力された制御係数に基づいて前記散布ノズル管の先端部の移動速度を制御することを特徴とする。
【０００８】
この請求項１及び２記載の微粉体の散布装置によれば、制御係数入力手段により被散布体上の各所定領域毎に制御係数を入力する。例えば、テスト散布の結果等に基づいて、散布密度が低かった所定領域に対しては散布ノズル管の先端部の移動速度を遅くするための制御係数を入力すると共に、散布密度が高かった所定領域に対しては散布ノズル管の先端部の移動速度を速くするための制御係数を入力する。そして、移動速度制御手段により散布ノズル管の先端部の移動速度を制御係数入力手段により入力された制御係数に基づき制御することにより、散布ノズル管の先端部の移動速度を被散布体上の所定領域において制御することができ被散布体の全体に対する散布密度を均一にすることができる。
【０００９】
また、請求項３記載の微粉体の散布装置は、前記被散布体上の前記各所定領域が前記被散布体の散布面を格子状に分割した領域であることを特徴とする。
この請求項３記載の微粉体の散布装置によれば、被散布体上の各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分割した領域であるため、各所定領域に対して行う制御係数の入力をタッチパネル等を用いて容易に行うことができる。
【００１０】
また、請求項４記載の微粉体の散布装置は、前記被散布体が液晶基板であり、前記微粉体が液晶用スペーサであることを特徴とする。
この請求項４記載の微粉体の散布装置によれば、散布ノズル管の先端部の移動速度を液晶基板上の所定領域において制御することができ液晶基板の全体に対する液晶用スペーサの散布密度を均一にすることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施の形態にかかる微粉体の散布装置について説明する。
図１は、微粉体の散布装置である液晶用スペーサ散布装置１０の断面図である。液晶用スペーサ散布装置１０においては、密閉されたチャンバ１２内の下部に配置された基台１４上に被散布体であるガラス基板（液晶ガラス基板）１６が載置され位置決め固定されている。この基台１４は、接地（アース）され、上部に載置されたガラス基板１６をアースし、帯電した微粉体である液晶用スペーサ２０をアースされたガラス基板１６に確実に付着させるようにされている。
基台１４の上方には、散布ノズル管１８を有する液晶用スペーサ２０の散布機構２２が配置されている。この散布ノズル管１８は、フレキシブルチューブ２４から空気や窒素等のガス体の気流とともに搬送されてくる液晶用スペーサ２０を放出して、ガラス基板１６上に散布するものであって、所定の第１の方向及びこれと直交する第２の方向、例えばＸ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動することが可能なものである。そして散布ノズル管１８を所定の方向に傾斜させてガス体の気流とともに液晶用スペーサ２０を放出することによって、ガラス基板１６上の所定の位置に液晶用スペーサ２０が散布される。
【００１２】
図２は、液晶用スペーサ散布装置１０における液晶用スペーサ２０の散布機構２２の概略を示す斜視図である。散布機構２２は、取付台２６上に２個の直動アクチュエータ２８，３０がＹ軸方向に平行にかつ相互に並行して設けられ、それぞれの直動アクチュエータ２８，３０の内側には、自在継手（球面継手）からなる第２のジョイント部３２，３４がそれぞれ設けられている。そして、２個の直動アクチュエータ２８，３０に挟まれた位置の奥側には、散布ノズル管１８がＸ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動可能であって、任意の方向に傾斜することが可能に設けられている。直動アクチュエータ２８，３０は、それぞれスライダ（移動子）２８ａ，３０ａと、Ｙ軸方向に平行に設けられているガイド２８ｂ，３０ｂとを有し、スライダ２８ａ，３０ａは、それぞれガイド２８ｂ，３０ｂに沿ってＹ軸方向に往復動する。なお、直動アクチュエータとしては、ＡＣサーボ駆動のリニアアクチュエータ、リニアステッピングモータ等を用いることができる。
散布ノズル管１８の上端部には、第１のジョイント部３５が設けられている。この第１のジョイント部３５は、Ｘ軸方向の両側に突出して設けられた自在継手（ユニバーサルジョイント）３６，３８を採用している。そして直動アクチュエータ２８，３０の内側にそれぞれ設けられた第２のジョイント部３２，３４と、散布ノズル管１８の上端部に設けられた第１のジョイント部３５の自在継手３６，３８とが、それぞれ２本のロッド４０，４２によって連結されている。
【００１３】
図３は、散布ノズル管１８を揺動させる揺動機構の詳細を示す図２のＡ−Ａ断面図、図４は、図３のＢ−Ｂ矢視図、図５は、図３のＣ−Ｃ矢視図である。図３において中央に設けられている散布ノズル管１８は中空の管からなっており、上端にフレキシブルチューブ２４（図３には図示せず）が接続され、ガス体の気流と共に供給される液晶用スペーサ２０（図３には図示せず）を下端の開口部から放出するものである。散布ノズル管１８は、その長手方向の中央付近に設けられた支持部（ユニバーサルジョイント部）５０を介して取付台２６に取り付けられ、図２に示すＸ軸方向およびＹ軸方向のいずれの方向にも揺動可能となっている。
散布ノズル管１８の支持部５０は、図３及び図４に示すように、取付台２６に固定されたジョイントベース５２の中央の穴部に、Ｙ軸と平行に設けられた２個の支持ピン５４とこの支持ピン５４が挿入されたボールベアリング５６を介して、Ｙ軸を回転中心として回動自在に支持されたジョイントリング５８が配置されている。更にこのジョイントリング５８は、中央の穴部に位置する散布ノズル管１８をＸ軸と平行に設けられた２個の支持ピン６０とこの支持ピン６０が挿入されたボールベアリング６２を介して、Ｘ軸を回転中心として回動自在に支持している。これにより散布ノズル管１８は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のいずれの方向にも揺動することが可能であり、かつ、散布ノズル管１８の中心線の回りには回転不能となっている。
【００１４】
散布ノズル管１８の上端部には、図２に示す直動アクチュエータ２８，３０の内側にそれぞれ設けられた第２のジョイント部３２，３４に、ロッド４０，４２によって散布ノズル管１８を連結する第１のジョイント部３５の自在継手３６，３８が設けられている。この自在継手（ユニバーサルジョイント）３６，３８は、図３及び図５に示すように、散布ノズル管１８の上端部にＸ軸方向の両側に突出して設けられているもので、散布ノズル管１８の上端部にボールベアリング６６を介して水平方向に回転自在に取り付けられた２個の回転リング６８と、この回転リング６８にボールベアリング７０を介して取り付けられたジョイントアーム７２からなっている。なお、散布ノズル管１８の傾斜角度をあまり大きくする必要がない場合には、第１のジョイント３５の自在継手３６及び３８としてユニバーサルジョイントの代わりに、球面軸受を用いた球面継手を採用してもよい。
そして、ジョイントアーム７２にロッド４０（４２）が固定され、このロッド４０（４２）によって直動アクチュエータ２８（３０）の第２のジョイント部３２（３４）に連結され、直動アクチュエータ２８（３０）の移動が散布ノズル管１８に伝達される。なお、直動アクチュエータ２８及び３０の第２のジョイント３２及び３４の自在継手も、この自在継手３６（３８）と同様のものを用いてもよいし、あるいは、球面継手等の任意の自在継手を用いてもよい。
【００１５】
ジョイントベース５２は、取付けリング７４を介して取付台２６に固定されている。この取付けリング７４は、散布ノズル管１８の位置を調整するための調整機構７６を有している。散布ノズル管１８の下端は、チャンバー１２を密閉するとともに散布ノズル管１８を揺動可能にするゴムカバー７８に嵌挿されており、ゴムカバー７８の外周部は、固定リング８０によって取付台２６に固定されている。散布機構２２が駆動されるときに、散布ノズル管１８の支持部５０等から僅かではあるがゴミや塵の類が発生する可能性がある。このため、ゴムカバー７８は、液晶用スペーサ以外のゴミや塵等がチャンバー１２内へ侵入しないようにするために取り付けられている。
以上のように構成されている液晶用スペーサ２０の散布機構２２においては、直動アクチュエータ２８（３０）の移動、詳細にはそのスライダ２８ａ（３０ａ）のガイド２８ｂ（３０ｂ）に沿った移動によって、散布ノズル管１８が次のように揺動する。
【００１６】
図６は、直動アクチュエータ２８（３０）の（スライダ２８ａ（３０ａ）の）移動による散布ノズル管１８の揺動を説明する図であって、図６（ａ）は、散布ノズル管１８が移動範囲の中央（垂直位置）にある状態を示す図、図６（ｂ）は、Ｙ軸方向に最大移動範囲まで揺動した際の直動アクチュエータ２８，３０の位置、詳細にはそのスライダ２８ａ，３０ａの位置を示す図、図６（ｃ）は、Ｘ軸方向に最大移動範囲まで揺動した際の直動アクチュエータ２８，３０の（スライダ２８ａ，３０ａの）位置を示す図、図６（ｄ）は、散布ノズル管１８が移動範囲の角部にある状態を示す図である。
【００１７】
図６（ａ）と図６（ｂ）及び図６（ｃ）とを比較すれば明らかなように、散布ノズル管１８がＹ軸方向に揺動する際には、２個の直動アクチュエータ２８，３０が同時に同じ方向に移動し、散布ノズル管１８がＸ軸方向に揺動する際には、直動アクチュエータ２８，３０が同時に逆の方向に移動することによって達成される。その他の角度に散布ノズル管１８を揺動するときには、この２個の直動アクチュエータ２８，３０の移動方向および移動速度を合成することによって、散布ノズル管１８をＸ軸方向及びＹ軸方向に任意の速度で移動可能であり、ガラス基板１６上の任意の位置に液晶用スペーサ２０を散布することができる。
【００１８】
図７は、液晶用スペーサ散布装置１０を含む微粉体散布システム９０のシステム構成図である。微粉体散布システム９０は、液晶用スペーサ散布装置１０と、液晶用スペーサ散布装置１０の散布機構２２の直動アクチュエータ２８及び３０に電気的に接続され、これらを制御するアクチュエータドライバ９２と、アクチュエータドライバ９２に電気的に接続されるシーケンサ９４と、シーケンサ９４に電気的に接続され液晶用スペーサ散布装置１０の動作、特に散布ノズル管１８の揺動に必要な指示や動作定数などの入力を行うタッチパネル９６とを有する。
次に、ガラス基板１６上への液晶用スペーサ２０の散布について説明する。ガラス基板１６上に液晶用スペーサ２０を散布する場合には、まず、テスト用のガラス基板１６上へ液晶用スペーサ２０のテスト散布を行う。この場合には、タッチパネル９６を用いて散布ノズル管１８を移動させるための軌跡及びガラス基板１６のサイズ（横×縦：例えば７２０cm×６００cm）及び液晶用スペーサ２０の散布条件の入力を行う。
【００１９】
図８は、テスト散布を行う場合の液晶用スペーサ２０の散布条件を説明するための図である。この図に示されるように、テスト散布を行う場合の散布条件は、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）の格子状の領域に分割し、各領域毎に制御係数Ｃの入力を行う。なお、制御係数「５」の場合は散布条件の補正なし、制御係数「６」〜「９」の場合は、数字が大きくなるに従い散布密度を高くする方向（散布ノズルの先端をゆっくり移動させる方向）の補正を行うことを示し、制御係数「１」〜「４」の場合は、数字が小さくなるに従い散布密度を低くする方向（散布ノズルの先端を速く移動させる方向）の補正を行うことを示す。ここでテスト散布の場合には、散布密度の補正を行わないことから、１２×１０個（横×縦）の格子状の領域の全てについて「５」の制御係数が入力されている。
【００２０】
入力された散布ノズル管１８を移動させるための軌跡、ガラス基板１６のサイズ及び液晶用スペーサ２０の散布条件は、シーケンサ９４を介してアクチュエータドライバ９２に入力され、アクチュエータドライバ９２により散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡が決定される。なお、Ｘ−Ｙ座標系は、ガラス基板１６上の位置を表す座標系であり散布ノズル管１８を鉛直方向に向けたときに、ガラス基板１６と交わる点が原点とされる。また、散布ノズル管１８の先端の延長線がガラス基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡は、複数の制御点の連続（（ｘ1，ｙ1），（ｘ2，ｙ2），（ｘ3，ｙ3），（ｘ4，ｙ4），………（ｘn，ｙn））として決定される。
【００２１】
アクチュエータドライバ９２は、このガラス基板１６上のＸ−Ｙ座標系に描く軌跡から、散布ノズル管１８のＸＹ方向の傾斜角を演算し、Ｘ−Ｙ座標系の各制御点を、この制御点に対応した直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａのＬ１−Ｌ２座標系の位置（（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ１n，Ｌ２n））に変換する。なお、Ｌ１−Ｌ２座標系は、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａのスライド位置を表す座標系である。
【００２２】
次に、アクチュエータドライバ９２は、液晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ１n，Ｌ２n）に移動させながら、決定された軌跡に沿った散布位置が仮速度Ｖで移動するように散布ノズル管１８の傾斜角を変更させてテスト用のガラス基板１６に液晶用スペーサ２０のテスト散布を行う。
【００２３】
次に、テスト散布が終了したテスト用のガラス基板１６上の液晶用スペーサ２０の密度をスペーサカウンタ（図示せず）を用いて測定する。ここで図９は、７２０cm×６００cmのガラス基板１６の全面におけるテスト散布による散布密度（個／mm2）の測定結果を、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個（横×縦）の格子状の領域に分割し各領域毎に示すものであり（散布密度は、格子状の各領域の中心部で測定）、図１０は、図９に示す散布密度の測定結果に基づいてガラス基板１６の全面における散布密度（個／mm2）の分布を表すグラフである。
【００２４】
次に、タッチパネル９６を用いて液晶用スペーサ２０の散布条件の入力を行う。この液晶用スペーサ２０散布条件の入力は、図１０に示すガラス基板１６の全面における散布密度の分布を表すグラフを参照して行う。この図１０の散布密度の分布を表すグラフによれば、ガラス基板１６の左右の部分の散布密度が低く、ガラス基板１６の上下の部分の散布密度が高いと判断することができるため、図１１に示すような散布条件の入力が行われる。即ち、ガラス基板１６の左右の部分の散布密度が低くいことから、この部分の散布密度を高くするように制御係数「８」（密度を大きくする方向（散布ノズルの先端をゆっくり移動させる方向）の補正を行うことを示す）が入力され、ガラス基板１６の上下の部分の散布密度が高いことから、この部分の散布密度を低くするように制御係数「４」（密度を小さくする方向（散布ノズルの先端を速く移動させる方向）の補正を行うことを示す）が入力される。
【００２５】
次に、アクチュエータドライバ９２は、Ｘ−Ｙ座標系における各制御点間の散布ノズル管１８の延長線とガラス基板１６とが交わる点、即ち散布点の移動速度を算出する。ここで制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間における散布点の移動速度は、制御点（ｘ1，ｙ1）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づいて定められる。即ち制御点（ｘ1，ｙ1）が位置している領域に対応して入力されている制御係数をテスト散布の時の散布点の移動速度（仮速度Ｖ）に乗算して、制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間における散布点の移動速度を求める。この場合に制御点（ｘ1，ｙ1）が位置している領域に対応して入力されている制御係数がＣ1（「１」〜「９」の中の何れかの値）であるとすれば、移動速度として（Ｃ1×Ｖ）が求められる。
【００２６】
同様に、制御点（ｘ2，ｙ2）と（ｘ3，ｙ3）との間における散布点の移動速度は、制御点（ｘ2，ｙ2）がガラス基板１６の散布面の１２×１０個の格子状の領域の中でどの領域に位置しているかに基づいて定められ、制御点（ｘ2，ｙ2）が位置している領域に対応して入力されている制御係数がＣ2（「１」〜「９」の中の何れかの値）であるとすれば（ｘ2，ｙ2）と（ｘ3，ｙ3）との間における散布点の移動速度（Ｃ2×Ｖ）が求められる。更に、同様にして（ｘ3，ｙ3）と（ｘ4，ｙ4）との間における散布点の移動速度（Ｃ3×Ｖ）、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）との間における散布点の移動速度（Ｃn-1×Ｖ）を求める。
【００２７】
次に、アクチュエータドライバ９２は、Ｘ−Ｙ座標系における各制御点間の距離及び散布点の移動速度に基づいて、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。即ち制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の距離、制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間の散布点の移動速度（Ｃ1×Ｖ）に基づいて、（Ｌ１1，Ｌ２1）と（Ｌ１2，Ｌ２2）との間における直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。同様にして、（Ｌ１2，Ｌ２2）と（Ｌ１3，Ｌ２3）との間、（Ｌ１3，Ｌ２3）と（Ｌ１4，Ｌ２4）との間、（Ｌ１n-1，Ｌ２n-1）と（Ｌ１n，Ｌ２n）との間のそれぞれについて、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの移動速度を求める。
【００２８】
次に、密閉されたチャンバ１２内の基台１４上に、実際に微粉体の散布を行うガラス基板１６を載置し位置決め固定する。この場合の固定位置は、液晶用スペーサ２０のテスト散布を行ったテスト用のガラス基板の位置と同一の位置とする。
【００２９】
次に、アクチュエータドライバ９２は、液晶用スペーサ散布装置１０を動作させ、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を求められた速度で、順次、（Ｌ１1，Ｌ２1），（Ｌ１2，Ｌ２2），（Ｌ１3，Ｌ２3），（Ｌ１4，Ｌ２4），………（Ｌ１n，Ｌ２n）に移動させながらガラス基板１６上に液晶用スペーサ２０の散布を行う。これにより制御点（ｘ1，ｙ1）と（ｘ2，ｙ2）との間においては移動速度（Ｃ1×Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ2，ｙ2）と（ｘ3，ｙ3）との間においては移動速度（Ｃ2×Ｖ）で散布点を移動させ、制御点（ｘ3，ｙ3）と（ｘ4，ｙ4）との間においては移動速度（Ｃ3×Ｖ）で散布点を移動させ、（ｘn-1，ｙn-1）と（ｘn，ｙn）との間においては、移動速度（Ｃn-1×Ｖ）で散布点を移動させながらガラス基板１６上に液晶用スペーサ２０の散布を行うことができる。
【００３０】
図１２は、入力された散布条件に基づいてガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を行なった場合のガラス基板１６の全面における散布密度（個／mm2）の測定結果を１２×１０個（横×縦）の格子状の各領域毎に示すものであり（散布密度は、格子状の各領域の中心部で測定）、図１３は、図１２に示す散布密度の測定結果に基づいてガラス基板１６の全面における散布密度（個／mm2）の分布を表すグラフである。この図１３の散布密度の測定結果に示されるように、散布ノズル１８の先端部の移動速度を局所的に制御するためガラス基板１６の全面にわたって均一に液晶用スペーサ２０の散布を行うことができる。なお、このガラス基板１６への液晶用スペーサ２０の散布が終了した場合には、次のガラス基板１６に液晶用スペーサ２０の散布を同様にして行う。
【００３１】
この液晶用スペーサ散布装置１０によれば、ガラス基板１６上の各所定領域毎に制御係数を入力するため、例えば、テスト散布の結果等に基づいて、散布密度が低かった所定領域に対しては散布ノズル管１８の先端部の移動速度を遅くするための制御係数を入力すると共に、散布密度が高かった所定領域に対しては散布ノズル管１８の先端部の移動速度を速くするための制御係数を入力することにより、散布ノズル管１８の先端部の移動速度をガラス基板１６の全体に対する散布密度を均一にすることができる。
【００３２】
なお、上述の実施の形態においては、基台１４に位置決めして水平に固定された液晶ガラス基板１６にその上方に配設された散布ノズル管１８を揺動させて液晶用スペーサ２０を下方に落下させて均一に散布する液晶用スペーサ散布装置１０について説明したが、これに限定されるものではなく、散布する微粉体は、均一に散布する必要があるものであれば何でもよく、例えば、液晶用スペーサの他、粉体塗料、トナー等を挙げることができる。また、微粉体が散布される被散布体も、均一散布が必要とされるものであれば何でもよく、液晶ガラス基板の他、粉体塗料を塗布する塗装面などを挙げることができる。また、これらの被散布体も基台１４に水平に配置されたものに限定されず、基台がなくてもよいし、垂直に立設された基板や塗装面や、傾斜して配置された基板や塗装面等であってもよい。また、散布方向も、水平または傾斜配置された披散布体への鉛直下方や斜め方向であってもよいし、垂直に立設されたまたは傾斜配置された被散布体への水平方向や斜め方向であってもよい。
【００３３】
また、上述の実施の形態においては、直動アクチュエータ２８及び３０のスライダ２８ａ及び３０ａの位置を制御することによりＸ軸方向及びＹ軸方向に散布ノズル管１８を揺動させているが、モータに連結されたクランク又は偏心カムによって散布ノズル管１８をＸ軸方向及びＹ軸方向に揺動させる液晶用スペーサ散布装置にこの発明を適用することも可能である。
また、上述の実施の形態においては、ガラス基板１６の散布面を１２×１０個の格子状の領域に分割し、各領域に対応させて散布のノズル１８の先端部の速度を制御するための制御係数の入力を行っているが、ガラス基板１６の散布面を分割する領域の数は適宜変更可能である。
【００３４】
【発明の効果】
この発明によれば、制御係数入力手段により被散布体上の各所定領域毎に制御係数を入力するため、被散布体上に微粉体を散布する場合に部分的に微粉体の密度を変更することができる。また、被散布体上の各所定領域が被散布体の散布面を格子状に分割した領域であるため、各所定領域に対して行う制御係数の入力をタッチパネル等を用いて容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置の断面図である。
【図２】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置に用いられる微粉体の散布機構の概略斜視図である。
【図３】この発明の実施の形態にかかる微粉体の散布機構に用いられる散布ノズル管を揺動させる揺動機構の詳細を示すＡ−Ａ線切断断面図である。
【図４】この発明の実施の形態にかかる揺動機構（図３）のＢ−Ｂ線矢視図である。
【図５】この発明の実施の形態にかかる揺動機構（図３）のＣ−Ｃ線矢視図である。
【図６】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置おける直動アクチュエータの移動による散布ノズル管の揺動を説明する図である。
【図７】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置を含む微粉体散布システムのシステム構成図である。
【図８】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置によりテスト散布を行う場合の散布条件を説明するための図である。
【図９】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置によりテスト散布を行った場合の散布密度の測定結果を格子状の各領域毎に示すものである。
【図１０】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置によりテスト散布を行ったガラス基板の全面における散布密度の分布を表すグラフである。
【図１１】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置により散布を行う場合の散布条件を説明するための図である。
【図１２】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置により散布を行った場合の散布密度の測定結果を格子状の各領域毎に示すものである。
【図１３】この発明の実施の形態にかかる液晶用スペーサ散布装置により散布を行ったガラス基板の全面における散布密度の分布を表すグラフである。
【符号の説明】
１０…液晶用スペーサ散布装置、１２…チャンバ、１４…基台、１６…ガラス基板、１８…散布ノズル管、２０…液晶用スペーサ、２２…散布機構、２４…フレキシブルチューブ、２６…取付台、２８，３０…直動アクチュエータ、３２，３４…第２のジョイント部、３５…第１のジョイント部、３６，３８…自在継手、４０，４２…ロッド、５０…支持部、９０…微粉体散布システム、９２…アクチュエータドライバ、９４…シーケンサ、９６…タッチパネル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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