(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能に支持されたバレルと、通電部と、カバーとを備えるバレルめっき装置であって、
前記通電部は、前記バレル内に延出する部分と、引出部とを有しており、
前記バレル内に延出する部分は、被めっき物に通電し、
前記引出部は、長さ寸法を有し、前記バレルの外に位置し、且、延長方向の端部が前記バレル内に延出する部分の端部に固定されており、
前記カバーは、前記引出部をその延長方向に沿って被覆しており、
前記カバー及び前記引出部の間には、該引出部の延長方向に気体の流通を促す気体流通路と、該引出部をその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部とが設けられている、
バレルめっき装置。
【請求項２】
前記カバーと前記引出部とは、該引出部の延長方向と直交する断面においてみて、一部が相互に当接すると共に残部が相互に離隔している、請求項１に記載のバレルめっき装置。
【請求項３】
前記引出部の外面には、該引出部の延長方向に沿って連続溝が形成されており、
前記気体流通路は、前記連続溝の内面と、前記カバーの内面とによって画定されており、
前記支持部は、前記引出部における前記連続溝以外の外面と当接する前記カバーの内面によって構成されている、
請求項１又は２に記載のバレルめっき装置。
【請求項４】
前記カバーの内面には、該引出部の延長方向に沿って連続溝が形成されており、
前記気体流通路は、前記連続溝の内面と、前記引出部の外面とによって画定されており、
前記支持部は、前記引出部の外面と当接する前記カバーにおける前記連続溝以外の内面によって構成されている、
請求項１又は２に記載のバレルめっき装置。
【請求項５】
前記引出部の外面には、凸部が形成されており、
前記支持部は、前記凸部と当接する前記カバーの内面によって構成されており、
前記気体流通路は、相互に離隔する前記カバーの内面と前記引出部の外面との間に存在する空間によって構成されている、
請求項１又は２に記載のバレルめっき装置。
【請求項６】
前記カバーの内面には、凸部が形成されており、
前記支持部は、前記引出部の外面と当接する前記凸部によって構成されており、
前記気体流通路は、相互に離隔する前記カバーの内面と前記引出部の外面との間に存在する空間によって構成されている、
請求項１又は２に記載のバレルめっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バレルめっき装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えばセラミック電子部品における外部電極のめっき形成など、小型電子部品にめっき加工を施す装置として、バレルめっき装置がある（特許文献１参照）。バレルめっき装置は回転可能に支持された筒状のバレルを備えており、バレルの内部においては、バレルの回転軸の近傍から陰極端子が延出している。また、バレル外に引き出された陰極端子の部分は、絶縁カバーで被覆されていた。
【０００３】
めっきを行うに際しては、バレルの内部に多数の被めっき物を入れ、バレルをめっき液に浸漬させる。そして、めっき液中でバレルを回転させると共に、陰極端子を介して被めっき物に通電してその表面にめっきを行う。
【０００４】
しかしながら、近年、バレル内に投入する電子部品の小型化傾向、投入量増加傾向に伴って、陰極端子を覆っている絶縁カバーの変形等の損傷が見られるようになってきた。
【特許文献１】特開平２−１３３６００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、電極端子の被覆カバーの変形を防止することができる、バレルめっき装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述した課題を解決するため、本発明に係るバレルめっき装置は、回転可能に支持されたバレルと、前記バレル内に延出し、被めっき物に通電する通電部と、前記通電部のうち前記バレルの外に位置する部分を被覆するカバーとを備え、前記カバー及び前記通電部の間には、該通電部の延長方向に気体の流通を促す気体流通路と、該通電部をその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部とが設けられている。
【０００７】
前記カバーと前記通電部とは、該通電部の延長方向と直交する断面においてみて、一部が相互に当接すると共に残部が相互に離隔しているように構成してもよい。
【０００８】
その場合、前記通電部の外面には、該通電部の延長方向に沿って連続溝が形成されており、前記気体流通路は、前記連続溝の内面と、前記カバーの内面とによって画定されており、前記支持部は、前記通電部における前記連続溝以外の外面と当接する前記カバーの内面によって構成されているようにすることができる。
【０００９】
あるいは、前記カバーの内面には、該通電部の延長方向に沿って連続溝が形成されており、前記気体流通路は、前記連続溝の内面と、前記通電部の外面とによって画定されており、前記支持部は、前記通電部の外面と当接する前記カバーにおける前記連続溝以外の内面によって構成されているようにすることができる。
【００１０】
あるいは、前記通電部の外面には、凸部が形成されており、前記支持部は、前記凸部と当接する前記カバーの内面によって構成されており、前記気体流通路は、少なくとも前記凸部の近傍において相互に離隔する前記カバーの内面と前記通電部の外面との間に存在する空間によって構成されているようにすることができる。
【００１１】
あるいは、前記カバーの内面には、凸部が形成されており、前記支持部は、前記通電部の外面と当接する前記凸部によって構成されており、前記気体流通路は、少なくとも前記凸部の近傍において相互に離隔する前記カバーの内面と前記通電部の外面との間に存在する空間によって構成されているようにすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
上述した本発明によれば、カバーの熱変形を防止しながら、尚且つ、通電部が挿通されているカバーの取り付け時の位置ずれも回避することができる。
【００１３】
なお、本発明の他の特徴及びそれによる作用効果は、添付図面を参照し、実施の形態によって更に詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る実施の形態を添付図面に基づいて説明する。なお、図中、同一符号は同一又は対応部分を示すものとする。
【００１５】
図１は、本実施の形態に係るバレルめっき装置の構成を示す正面図である。バレルめっき装置１は、バレル３と、通電部５と、カバー７とを少なくとも備えている。
【００１６】
通電部５は、本実施の形態では、陰極端子として機能するものであって、幹部５ａと、枝部５ｂと、引出部５ｃとを有している。幹部５ａは、その両端がそれぞれ軸支部１１に支持されることによって、フレーム９に回転可能に取り付けられている。枝部５ｂは、複数（図示例では４本）設けられており、それぞれ、幹部５ａから延びており、すなわち幹部５ａによって片持ち態様で支持されている。
【００１７】
幹部５ａ及び枝部５ｂは、各枝部５ｂの先端部を除いて、外周を連続的に絶縁被覆されている。各枝部５ｂの先端部だけは、被覆がされてなく導電部分が露出している。
【００１８】
引出部５ｃは、通電部のうちバレル３の外に位置する部分であって、概ね板状断面の細長い部材である。引出部５ｃの下端は、ボルト又はねじによって、絶縁被覆されていない幹部５ａの露出した一端に固定されている。また、引出部５ｃの上端は、図示省略する給電源へ導通する部分に固定されている。
【００１９】
バレル３は、多角形状の筒部材であって、両端それぞれにおいて、通電部５の幹部５ａの周囲に設けられたベアリング等の軸受１３によって回転自在に支持されている。また、バレル３の一端側には、歯車１５が一体的に設けられている。さらに、かかる歯車１５の上流側には、図示省略する歯車群及び回転動力源が接続されている。これによって、図示省略する回転動力源のトルクが歯車１５を介してバレル３に伝達され、バレル３が回転される。
【００２０】
バレル３内には、通電部５の前述した幹部５ａ及び枝部５ｂが延出している。幹部５ａは、バレル３の回転軸にほぼ沿って延長している。
【００２１】
図１及び図２を参照しながら、カバー及びそれに覆われる通電部の部分に関する構成を説明する。図２は、カバーに関して、図１の矢印II方向からみた図である。
【００２２】
カバー７は、本実施の形態では、円環状部分７ａと、キャップ部分７ｂと、パイプ部分７ｃとを有している。円環状部分７ａは、その外周１７・穴１９共に軸芯方向からみて円形形状を有している。キャップ部分７ｂは、円盤状の部材である。
【００２３】
また、円環状部分７ａの軸芯方向の両端面は、平面状に形成されており、一方の端面は、軸支部１１に接続され、他方の端面には、キャップ部分７ｂが接続される。それらは、ボルト又はねじなどによって連結される。また、円環状部分７ａの一方の端面と軸支部１１との間、及び、円環状部分７ａの他方の端面とキャップ部分７ｂとの間には、ぞれぞれ、図示省略するパッキンなどのシール手段が介在されている。これにより、キャップ部分７ｂの内側と、円環状部分７ａの穴１９の内面と、軸支部１１の外側とによって、密閉された接続室２１が画定されている。
【００２４】
少なくとも円環状部分７ａとパイプ部分７ｃとは、塩化ビニルなどの絶縁樹脂から構成されている。円環状部分７ａの上部には、パイプ部分７ｃの下端が溶接等によって接続されている。パイプ部分７ｃは、軸芯方向に細長く延長する管状部材である。パイプ部分７ｃの内側の穴には通電部５の引出部５ｃが収容され、すなわち、引出部５ｃがパイプ部分７ｃにより被覆される。
【００２５】
パイプ部分７ｃは両端が開口しており、一方、円環状部分７ａにも外周１７から穴１９まで貫通する縦穴２３が設けられており、パイプ部分７ｃの下端の開口が円環状部分７ａの縦穴２３につながるように、パイプ部分７ｃは円環状部分７ａに接合されている。これによって、通電部５の引出部５ｃの下端２５は、カバー７の円環状部分７ａの上部を貫通して、接続室２１内へと突出している。また、パイプ部分７ｃは、引出部５ｃの上端２７が被覆されずに露出できる長さに構成されている。
【００２６】
引出部５ｃの下端２５には、貫通孔２９が設けられている。この貫通孔２９を介してボルト又はねじ３０を幹部５ａに螺合させることによって、接続室２１内において、引出部５ｃと幹部５ａとは相互接続される。
【００２７】
続いて、図３に基づいて通電部の引出部とカバーのパイプ部分との当接状態について説明する。図３は、図２のIII−IIIに沿う切断面を示す。ここで、まず概念的に述べると、本発明では、カバー及び通電部の間に、通電部の延長方向に気体の流通を促すための気体流通路と、通電部をその延長方向の位置ずれを抑えて支持するための支持部とが設けられ、カバーと通電部とは、通電部の延長方向と直交する断面においてみて、一部が相互に当接すると共に残部が相互に離隔している。すなわち、かかる概念的構成を実際の具体例として説明すると、次のようになる。
【００２８】
図３に示されるように、本実施の形態では、引出部５ｃは、横断面において概ね矩形となる外面３１を有する細長い板状の部材である。パイプ部分７ｃは、横断面において概ね矩形となり引出部５ｃの外面３１と当接する穴内面３３を有する。また、引出部５ｃの外面３１には、引出部５ｃ（通電部５）の延長方向に沿って連続溝３５が形成されている。
【００２９】
連続溝３５の内面と、パイプ部分７ｃの穴内面３３とは、引出部５ｃの延長方向に気体の流通を促すための気体流通路３７を画定し、引出部５ｃの連続溝３５以外の外面３１と当接するパイプ部分７ｃの穴内面３３は、引出部５ｃをその延長方向の位置ずれを抑えて支持するための支持部３９を構成する。すなわち、パイプ部分７ｃと引出部５ｃとの間には、気体流通路３７と支持部３９とが設けられる。
【００３０】
図２及び図３に例示されるように、本実施の形態では、連続溝３５は、引出部５ｃの対向する２面のそれぞれに１本ずつ、合計２本設けられている。各連続溝３５は、その上端がパイプ部分７ｃを越えて露出した引出部５ｃの部分に達しており、下端は、円環状部分７ａを越えて露出した引出部５ｃの部分にまで達している。さらに、各連続溝３５は、その上端から下端まで途切れることなく連続して延びている。連続溝３５は、本発明としては屈曲や湾曲して延びていてもよいが、本実施の形態の例示としては直線的に延びている。また、各連続溝３５は、通電部の延長方向と直交する断面すなわち図３においてみて、矩形断面の溝として構成されている。さらに、各連続溝３５は、その深さ方向に他の連続溝３５が位置しないように相互にずらされて配置されている。
【００３１】
なお、図２及び図３の図示はあくまでも例示であり、連続溝３５の本数、延長方向、位置、断面形状、溝の分岐・合流の有無などは適宜改変することができる。本実施の形態の連続溝３５としては、引出部５ｃの上下の露出部分に亙って連続して延びている溝が少なくとも１本用意されていれば、図２及び図３の図示に限定されるものではない。
【００３２】
次に、以上のように構成されたバレルめっき装置の作用について説明する。被めっき物、例えばセラミック電子部品などをバレル３内に入れ（さらに必要に応じてダミーボールも入れ）、バレル３をめっき液に浸漬させる。そして、めっき液中でバレル３を回転させると共に、通電部５を介して被めっき物に通電し、その表面にめっきを行う。
【００３３】
ところで、近年、バレルへの給電を行う端子を覆っているカバーの変形等が見られるようになってきた。これに関し、本発明者等は、検討を重ね、変形の要因分析並びに具体的手段の完成に至った。すなわち、バレル内に投入するめっき対象部品の小型化傾向と、大量処理要求に応じた投入量増加傾向とに伴って、めっき対象の総表面積の増大が生じる。さらに、これに応えるべく、めっき時の端子への大電流化が進行し、大電流による発熱が顕著に生じる。そして、最終的には、給電を行う端子を覆っている絶縁樹脂からなるカバーが高熱の影響で変形してしまう。
【００３４】
このような点に鑑みれば、本実施の形態でもカバー７の円環状部分７ａやパイプ部分７ｃの熱変形が問題になりうるが、本実施の形態では、気体流通路３７が設けられているため、接続室２１内の熱や引出部５ｃの熱が気体流通路３７を介してパイプ部分７ｃの上端から外部へと排熱される。これにより、円環状部分７ａやパイプ部分７ｃの熱変形を防止することができる。その一方で、パイプ部分７ｃの穴内面３３を引出部５ｃの外面３１から離隔させ、パイプ部分７ｃの穴内面３３と引出部５ｃの外面３１との間に環状の隙間を確保して、排熱を促す態様も検討した。しかしながら、その場合には、パイプ部分７ｃ内における引出部５ｃの位置が定まらないこととなる。よって、引出部５ｃが挿通されているパイプ部分７ｃ及び円環状部分７ａを、軸支部１１に取り付ける際、引出部５ｃと幹部５ａの接合を基準にすると、円環状部分７ａと軸支部１１の位置ずれが問題となったり、円環状部分７ａと軸支部１１の接合を基準にすると、引出部５ｃと幹部５ａの位置ずれが問題となったりするおそれがある。これに対し、本実施の形態では、熱変形を防止する気体流通路３７は前述した連続溝３５によって構成され、引出部５ｃとパイプ部分７ｃとの間には、前述した支持部３９が設けられているため、引出部５ｃの延長方向の位置ずれを抑制することができる。よって、引出部５ｃが挿通されているパイプ部分７ｃ及び円環状部分７ａを、軸支部１１に取り付ける際にも、円滑且つ容易確実に、引出部５ｃを幹部５ａに接合し、且つ、円環状部分７ａを軸支部１１に接合することができる。このように、本実施の形態によれば、カバー７の熱変形を防止しながら、尚且つ、通電部５が挿通されているカバー７の取り付け時の位置ずれも回避することができる。
【００３５】
以上、好ましい実施の形態を参照して本発明の内容を具体的に説明したが、本発明の基本的技術思想及び教示に基づいて、当業者であれば、種々の改変態様を採り得ることは自明である。
【００３６】
本発明では、カバー及び通電部の間に、通電部の延長方向に気体の流通を促す気体流通路と、通電部をその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部とを有していればよい。かかる気体流通路と支持部との形成態様は、図３の態様に限定されるものではなく、例えば、少なくとも以下のような改変態様が挙げられる。
【００３７】
図４及び図５それぞれに、本発明の改変された実施の形態に関する図３と同態様の図を示す。これらの改変実施の形態は、通電部に連続溝を設けることに代えて、カバーに連続溝を設けたものである。図４において、パイプ部分７ｃの穴内面３３には、引出部５ｃの延長方向に沿って連続溝１３５が形成されている。
【００３８】
連続溝１３５の内面と、引出部５ｃの外面３１とは、引出部５ｃの延長方向に気体の流通を促す気体流通路１３７を画定し、カバー７の穴内面３３のうち連続溝１３５以外の引出部５ｃの外面３１と当接する部分の穴内面３３は、引出部５ｃをその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部１３９を構成する。すなわち、パイプ部分７ｃと引出部５ｃとの間には、気体流通路１３７と支持部１３９とを有する。
【００３９】
図４に例示されるように、本改変形態では、連続溝１３５は、矩形断面の穴内面３３の対向する２面のそれぞれに１本ずつ、合計２本設けられている。なお、連続溝１３５は、連続溝３５の場合と同様、その上端から下端まで途切れることなく連続して延びていれば、屈曲や湾曲して延びていてもよい。本例としては直線的に延びている。さらに、各連続溝１３５は、連続溝３５の場合と同様、通電部の延長方向と直交する断面においてみて、矩形断面の溝として構成され、その深さ方向に他の連続溝１３５が位置しないように相互にずらされて配置されている。
【００４０】
図５において、パイプ部分７ｃの穴内面３３には、引出部５ｃの延長方向に沿って連続溝２３５が形成されている。
【００４１】
連続溝２３５の内面と、引出部５ｃの外面３１とは、引出部５ｃの延長方向に気体の流通を促す気体流通路２３７を画定し、カバー７の穴内面３３のうち連続溝２３５以外の引出部５ｃの外面３１と当接する部分の穴内面３３は、引出部５ｃをその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部１３９を構成する。すなわち、パイプ部分７ｃと引出部５ｃとの間には、気体流通路２３７と支持部２３９とを有する。
【００４２】
図５に例示されるように、連続溝２３５は、対向するように２つ設けられている。なお、連続溝２３５は、連続溝３５の場合と同様、その上端から下端まで途切れることなく連続して延びていれば、屈曲や湾曲して延びていてもよい。本例としては直線的に延びている。さらに、通電部の延長方向と直交する断面においてみて、連続溝２３５は、円弧状の溝として構成され、且つ、引出部５ｃを境に線対称に形成されている。
【００４３】
なお、図４及び図５の図示は、カバーに連続溝を設けた態様に関するあくまでも例示であり、連続溝１３５や連続溝２３５の本数、延長方向、位置、断面形状、溝の分岐・合流の有無などは適宜改変することができる。
【００４４】
図３、図４及び図５に例示したように連続溝を設けることで気体流通路を形成することに代えて、凸部を設けることで気体流通路や支持部を形成することも可能である。図６及び図７それぞれに、そのように改変された実施の形態に関する図３等と同態様の図を示す。
【００４５】
図６において、引出部５ｃは、横断面において概ね矩形となる外面３１を有する細長い板状の部材である。パイプ部分７ｃは、横断面において概ね矩形となり引出部５ｃの外面３１よりも一回り大きな穴内面３３３を有する。引出部５ｃの外面３１には、引出部５ｃの延長方向に沿って凸部３４１が形成されている。パイプ部分７ｃの穴内面３３３は、凸部３４１と当接し且つ凸部３４１の形成されていない引出部５ｃの外面３１とは離隔するような形状・大きさに形成されている。
【００４６】
引出部５ｃの凸部３４１と当接するパイプ部分７ｃの穴内面３３３の部分は、引出部５ｃをその延長方向の位置ずれを抑えて支持するための支持部３３９を構成する。また、相互に離隔するパイプ部分７ｃの穴内面３３３と引出部５ｃの外面３１との間に存在する空間は、気体流通路３３７を構成する。すなわち、パイプ部分７ｃと引出部５ｃとの間には、気体流通路３３７と支持部３３９とが設けられている。
【００４７】
図６に例示されるように、本実施の形態では、凸部３４１は、引出部５ｃの対向する２面のそれぞれに２本ずつ、合計４本設けられている。各凸部３４１は、その上端から下端まで途切れることなく連続して延びており、また、直線的に延びている。しかしながら、凸部３４１の形態は、これに限定されるものではなく、通電部の延長方向に連続して延びるのではなく、途中で途切れ、或いは、点在するように設けられていてもよく、さらに、連続する部分は屈曲や湾曲して延びていてもよい。また、各凸部３４１は、通電部の延長方向と直交する断面すなわち図６においてみて、矩形断面に構成されている。さらに、各凸部３４１は、その高さ方向に他の凸部３４１が位置するように配置されている。
【００４８】
通電部に凸部を設けることに代えて、カバーに凸部を設けてもよい。図７に示されるように、引出部５ｃは、横断面において概ね矩形となる外面３１を有する細長い板状の部材である。パイプ部分７ｃは、横断面において概ね矩形となり引出部５ｃの外面３１よりも一回り大きな穴内面３３３を有する。パイプ部分７ｃの穴内面３３３には、引出部５ｃの延長方向に沿って凸部４４１が形成されている。パイプ部分７ｃの穴内面３３３は、凸部４４１以外の部分において引出部５ｃの外面３１とは離隔するような形状・大きさに形成されており、凸部４４１は引出部５ｃの外面３１と当接するような高さに形成されている。
【００４９】
引出部５ｃの外面３１と当接するパイプ部分７ｃの凸部３４１は、引出部５ｃをその延長方向の位置ずれを抑えて支持する支持部４３９を構成する。また、相互に離隔するパイプ部分７ｃの穴内面３３３と引出部５ｃの外面３１との間に存在する空間は、気体流通路４３７を構成する。すなわち、パイプ部分７ｃと引出部５ｃとの間には、気体流通路４３７と支持部４３９とが設けられている。
【００５０】
図７に例示されるように、本実施の形態では、凸部４４１は、パイプ部分７ｃの穴内面３３３における対向する２面のそれぞれに２本ずつ、合計４本設けられている。各凸部４４１は、その上端から下端まで途切れることなく連続して延びており、また、直線的に延びている。しかしながら、凸部４４１の形態は、これに限定されるものではなく、通電部の延長方向に連続して延びるのではなく、途中で途切れ、或いは、点在するように設けられていてもよく、さらに、連続する部分は屈曲や湾曲して延びていてもよい。また、各凸部４４１は、図７においてみて、矩形断面に構成されている。さらに、各凸部４４１は、その高さ方向に他の凸部４４１が位置するように配置されている。
【００５１】
なお、図６及び図７の図示はあくまでも例示であり、凸部３４１や凸部４４１の数、延長方向、位置、断面形状、凸部の分岐・合流の有無などは適宜改変することができる。
【００５２】
その他、気体流通路や支持部の形成態様以外の点に関し、次のような改変形態の例を挙げることができる。
【００５３】
まず、通電部のバレル内への延出態様は、様々に考えられる。例えば、通電部は、バレルの一端側から分枝部分を持たない一本の棒として片持ち態様で延出していてもよい。あるいは、バレルの両端側から、それぞれ、分枝部分を持たない一本の棒として片持ち態様で、合計二本延出していてもよい。
【００５４】
また、通電部のバレル内の部分は、水平に延長していることには限定されず、湾曲あるいは屈曲などにより高さが変化している態様であってもよい。
【００５５】
通電部は、複数の部材を接続して構成されている態様でも、一体成形部材又は一本の部材として構成されている態様でもよい。カバーもまた、複数の部材を接続して構成されている態様でも、一体成形部材として構成されている態様でもよい。
【００５６】
通電部における引出部の断面形状は矩形に限定されるものではない。
【００５７】
また、本バレルめっき装置の用途としては、セラミック電子部品における外部電極のめっき工程を例示したが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、セラミック部品であるか否かは問わず、また、めっき工程としては導電部であればいかなる部位を形成する工程であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態に係るバレルめっき装置の構成を示す正面図である。
【図２】カバーに関して、図１の矢印II方向からみた図である。
【図３】図２のIII−IIIに沿う切断面を示す。
【図４】カバーに矩形の溝を設けた改変実施の形態に関する図３と同態様の図を示す。
【図５】カバーに弧状の溝を設けた改変実施の形態に関する図３と同態様の図を示す。
【図６】通電部に凸部を設けた改変実施の形態に関する図３と同態様の図を示す。
【図７】カバーに凸部を設けた改変実施の形態に関する図３と同態様の図を示す。
【符号の説明】
【００５９】
１                                        バレルめっき装置
３                                        バレル
５                                        通電部
５ｃ                                      引出部（通電部）
７                                        カバー
７ｃ                                      パイプ部分（カバー）
３１                                      外面
３５、１３５、２３５                      連続溝
３７、１３７、２３７、３３７、４３７      気体流通路
３９、１３９、２３９、３３９、４３９      支持部
３４１、４４１                            凸部
【図１】
0004605403.tif 000002
【図２】
0004605403.tif 000003
【図３】
0004605403.tif 000004
【図４】
0004605403.tif 000005
【図５】
0004605403.tif 000006
【図６】
0004605403.tif 000007
【図７】
0004605403.tif 000008