(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠の一対の対向する辺間に両端部に凹状連結部を備えた第１の桁材を所定の間隔で固定し、更に、両端部に凹状連結部を備えた第２の桁材を第１の桁材間に所定の間隔で固定し、前記空気清浄装置の底面に設けたＵ字状連結部材を介して、前記空気清浄装置を前記第１の桁材に固定し、前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部または前記底板にキャスターを設け、前記空気清浄装置を作動させるための電源を前記底板上に設け、前記空気清浄装置を作動させた状態で製品を搬送するものであることを特徴とする搬送用クリーンユニット。
【請求項２】
前記空気清浄装置が、給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成されたファンフィルタユニットであることを特徴とする請求項１に記載の搬送用クリーンユニット。
【請求項３】
前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の前記支柱と前記天井枠を構成するようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送用クリーンユニット。
【請求項４】
支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記清浄空間内に清浄空気を供給する空気清浄装置を備えるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠の一対の対向する辺間に両端部に凹状連結部を備えた第１の桁材を所定の間隔で固定し、更に、両端部に凹状連結部を備えた第２の桁材を第１の桁材間に所定の間隔で固定し、前記空気清浄装置のフィルタ及び吹出口からなる空気吹出部の底面に設けたＵ字状連結部材を介して、前記空気清浄装置を前記第１の桁材に固定し、前記清浄空間内に給気口及びファンから構成される給気部を設け、前記空気吹出部と給気部とを導管によって連結し、前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部または前記底板にキャスターを設け、前記空気清浄装置を作動させるための電源を前記底板上に設け、前記空気清浄装置を作動させた状態で製品を搬送するものであることを特徴とする搬送用クリーンユニット。
【請求項５】
前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の前記支柱と前記天井枠を構成するようにしたことを特徴とする請求項４に記載の搬送用クリーンユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、簡易的な清浄空間を提供するクリーンユニット及びそれを利用した半導体ウエハや配線板等の製品をクリーンルーム内で無塵状態で搬送するための搬送用クリーンユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の簡易的な清浄空間とするクリーンユニットとして、実開昭６３−１９６０３１号全文明細書にフィルタを内蔵した送風装置を載置する上枠とそれを支える脚柱パイプで形成されたクリーンユニットが開示されている。
しかしながら、前記クリーンユニットの上枠の天井部には、送風装置を載置するために予め井桁状に鋳型成型または溶接された枠体が使用されていた。前記枠体では、送風装置を載置する場所及び送風装置の大きさが限定されてしまいフレキシブル性がないという問題があった。
また、簡易的な清浄空間を提供するクリーンユニットを利用した被処理物を無菌または無塵状態で搬送する搬送用クリーンユニットとして、本出願人は特開平４−２１４１４１号公報に開示されるような、クリーンブースに底板とハンドルを設けて搬送可能とし、前記底板上に直方体のアングルを載置し、前記アングルの上に給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成したファンフィルタユニットを載置して、ユニットの底面全体から空気を排出せず側板の吹出口のみから側方へ排出するようにしていた。
しかしながら、前記搬出用クリーンユニットは、搬送中に排出した空気がユニット内に舞い戻ったり、移動中に巻き上げた汚染空気をユニット内に巻き込んだりする危険性はないため、ユニット内の被処理物が雑菌の付着を嫌う高温培養物には適しているものの、清浄空気が常に供給され続けていれば、仮に汚染塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても特に支障がない半導体ウエハや配線板等の製品を搬送する場合、空気の排出口が特定されているためユニット内の空気が滞ってしまい速やかに排出できない問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このため、本発明では、同じ機枠であっても、さまざまな大きさの空気清浄装置が固定可能なフレキシブル性を有し、しかも清浄空間内の空気の滞りの少ない簡易な搬送用クリーンユニットを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、本発明の搬送用クリーンユニットは、請求項１記載の通り、支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記天井枠に空気清浄装置を設けるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠の一対の対向する辺間に両端部に凹状連結部を備えた第１の桁材を所定の間隔で固定し、更に、両端部に凹状連結部を備えた第２の桁材を第１の桁材間に所定の間隔で固定し、前記空気清浄装置の底面に設けたＵ字状連結部材を介して、前記空気清浄装置を前記第１の桁材に固定し、前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部または前記底板にキャスターを設け、前記空気清浄装置を作動させるための電源を前記底板上に設け、前記空気清浄装置を作動させた状態で製品を搬送するものであることを特徴とする。
請求項２に記載の搬送用クリーンユニットは、請求項１に記載の搬送用クリーンユニットにおいて、前記空気清浄装置が、給気口、ファン、フィルタ及び吹出口で構成されたファンフィルタユニットであることを特徴とする。
請求項３に記載の搬送用クリーンユニットは、請求項１または２に記載の搬送用クリーンユニットにおいて、前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の前記支柱と前記天井枠を構成するようにしたことを特徴とする。
請求項４に記載の搬送用クリーンユニットは、支柱と天井枠とからなる機枠の外周をカーテン材で囲繞して、その内部を清浄空間として区画形成するとともに前記清浄空間内に清浄空気を供給する空気清浄装置を備えるようにしたクリーンユニットであって、前記天井枠の一対の対向する辺間に両端部に凹状連結部を備えた第１の桁材を所定の間隔で固定し、更に、両端部に凹状連結部を備えた第２の桁材を第１の桁材間に所定の間隔で固定し、前記空気清浄装置のフィルタ及び吹出口からなる空気吹出部の底面に設けたＵ字状連結部材を介して、前記空気清浄装置を前記第１の桁材に固定し、前記清浄空間内に給気口及びファンから構成される給気部を設け、前記空気吹出部と給気部とを導管によって連結し、前記機枠に底板を設け、前記機枠の底部または前記底板にキャスターを設け、前記空気清浄装置を作動させるための電源を前記底板上に設け、前記空気清浄装置を作動させた状態で製品を搬送するものであることを特徴とする。
請求項５記載の搬送用クリーンユニットは、請求項４に記載の搬送用クリーンユニットにおいて、前記機枠として、進行方向の前後方向に手すり部を備えた台車を用い、前記手すり部によって前記機枠の前記支柱と前記天井枠を構成するようにしたことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明の搬送用クリーンユニットは、桁材が天井枠の任意の位置に固定自在となるようにパイプ部材の一部にＵ字またはコ字状等の凹状部を備えるものであればよい。そして、前記桁材を構成するパイプ部材のＵ字またはコ字状等の凹状部を、天井枠の任意の位置に固定し、空気清浄装置を前記桁材の上方、或いは、前記桁材につり下げる等して固定する。
また、前記クリーンユニットの空気清浄装置のフィルタ及び吹出部から構成される空気吹出部と、空気清浄装置の給気口及びファンから構成される給気部とを分けて、空気吹出部のみを桁材を介して設け、導管を介して清浄空間内の前記給気部に連結する。
また、機枠に底板を設けてキャスターを連結するか、支柱に直接キャスターを連結するか、或いは市販の台車上に機枠を載置するようにすれば、搬送用クリーンユニットとなる。
【０００６】
【実施例】
本発明の搬送用クリーンユニットを、以下に図面を用いて説明する。
図１に示すように、本発明の搬送用クリーンユニットを構成するクリーンユニット１は、支柱を備えたコ字状枠２，２間にジョイントパイプ３，３を横架し、更に前記ジョイントパイプ３，３間に別のジョイントパイプ４，４を横架して天井部に桁材５を備えた機枠１０とし、その上方からビニールカーテン６で覆い、ビニールカーテン６の天井部に開口部７を設けるとともにその上方に空気清浄装置８を載置し、コ字状枠２，２の底部に、クリーンユニット１を搬送可能とするためのキャスター９を設けることにより製作した。
【０００７】
本実施例では、天井枠に桁材５を固定自在とするために、両端部にＵ字状連結部３ｂ、３ｂを備えたジョイントパイプ３，３を、コ字状枠２，２の水平部間に、空気清浄装置８を載置できるよう所定の間隔で固定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部４ｂ，４ｂを備えたジョイントパイプ４，４を、ジョイントパイプ３，３間に所定の間隔で固定した。そして、ジョイントパイプ３とコ字状枠２との固定部及びジョイントパイプ３とジョイントパイプ４の固定部をそれぞれ溶接によって固着した。
ビニールカーテン６は、開口部７を備えた天井部６ａ及び側周部６ｂ，６ｃ，６ｄ，６ｅから構成されたものを用いたが、機枠１０の側周部を囲繞し、空気清浄装置からの空気を機枠１０内部の清浄空間に送ることができるようなものであれば、特にこれに限定されるものではない。このビニールカーテン６は、側周部６ｂと６ｃ、６ｃと６ｄ、６ｄと６ｅ、６ｅと６ｂの境目を接着テープ等で固定することとした。
【０００８】
空気清浄装置８は、給気口８ａ、ファン８ｂ、フィルタ８ｃ、吹出口８ｄ及びＵ字状連結部材８ｅで構成され、桁材５の上にビニールカーテン６を介して載置するとともに空気清浄装置８の底面でビニールカーテン６の天井部６ａの開口部を被覆して、ビニールカーテン６の内側を清浄空間となるように密封化した。このとき、空気清浄装置８がずれ落ちないようにするために空気清浄装置８の底面に設けたＵ字状連結部８ｅを、ジョイントパイプ４に重ならない位置でビニールカーテン６を介してジョイントパイプ３に固定した。
尚、本実施例では電源について、特に図示していないが、使用場所付近の外部電源を用いることとした。
【０００９】
次に、本発明の他の実施例である搬送用クリーンユニットについて説明する。
図２及び図３に示すように、搬送用クリーンユニット１１は、市販台車１２の進行方向の前後方向に設けられたハンドル１２ａ，１２ａ間にジョイントパイプ１３，１３を横架し、更に前記ジョイントパイプ同士１３，１３間に別のジョイントパイプ１４，１４を横架して天井部に桁材１５を備えた機枠２０とし、その上方からビニールカーテン１６で覆い、ビニールカーテン１６の天井部に開口部１７を設けると共にその上方に空気清浄装置１８を載置し、ビニールカーテン１６の内側を清浄空間となるようにした。
本実施例も、前記実施例と同様に天井枠に桁材１５を固定自在とするために、両端部にＵ字状連結部１３ｂ、１３ｂを備えたジョイントパイプ１３，１３を、ジョイントパイプ１４，１４間に空気清浄装置８を載置できるように所定の間隔で固定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部１４ｂ、１４ｂを備えたジョイントパイプ１４，１４を、ジョイントパイプ１３，１３間に所定の間隔で固定した。
空気清浄装置１８は桁材１５とビニールカーテン１６とを介してＵ字状連結部１８ｅ，１８ｅで固定した。
ビニールカーテン１６についても、前記実施例と同様に、側周部１６ｂと１６ｃ、１６ｃと１６ｄ、１６ｄと１６ｅ、１６ｅと１６ｂの境目を接着テープ等で固定することとした。
尚、台車１２上には、空気清浄装置１８のバッテリー電源４０を設けたので、外部電源に左右されることなく自由にクリーンユニットを移動させることができるようにした。
【００１０】
次に、本発明の他の実施例の搬送用クリーンユニットについて説明する。
図４及び図５に示すように、搬送用クリーンユニット２１の空気清浄装置２８は、給気口２８ａ及びファン２８ｂを備える給気部２８Ａ、フィルタ２８ｃと吹出口２８ｄを備えるエアバッグ２８Ｂ、及びこれらを連結する導管２８ｆから構成した。そして、搬送用クリーンユニットは、市販台車２２の進行方向の前後方向に備えられたハンドル２２ａ，２２ａ間にジョイントパイプ２３，２３を横架し、更にジョイントパイプ同士２３，２３間に別のジョイントパイプ２４，２４を横架して天井部に桁材２５を備えた機枠３０とし、その上方からビニールカーテン２６で覆い、ビニールカーテン１６の天井部に開口部２７を設けるとともに、その上方にエアバッグ２８Ｂを載置した。尚、前記エアバッグ２８Ｂは、奔出願人が先に出願した特願平１１−５６１０３号に開示されたものである。
【００１１】
本実施例においても、前記実施例と同様に、両端部にＵ字状連結部２３ｂ、２３ｂを備えたジョイントパイプ２３，２３を、ジョイントパイプ２４，２４間にエアバッグ２８Ｂを載置できるよう所定の間隔で固定した。また、同様に両端部にＵ字状連結部２４ｂ、２４ｂを備えたジョイントパイプ２４，２４を、ジョイントパイプ２３，２３間に所定の間隔で固定した。
【００１２】
本実施例では、空気清浄装置２８を、ビニールカーテン２６の天井開口部２７の四周に設けたマジックテープ（登録商標）３１と、エアバッグ２８Ｂの下面四周に設けたマジックテープ３２を合わせて桁材２５の上方に固定した。
【００１３】
ビニールカーテン２６についても、前記実施例と同様に、側周部２６ｂと２６ｃ、２６ｃと２６ｄ、２６ｄと２６ｅ、２６ｅと２６ｂの境目を接着テープ等で固定することとした。
また、前記台車上には、空気清浄装置２８のバッテリー電源４０を搭載しており、特に外部電源に左右されることなく自由にクリーンユニットを移動させることができるようにした。
【００１４】
前記搬送用クリーンユニット２１によれば、製品５０を載せて搬送する際、空気清浄装置２８を作動させることで、空気清浄装置２８の給気口２８ａから外部の空気をファン２８ｂにより吸い込み、フィルタ２８ｃを通して清浄化した空気を吹出口２８ｄから、搬送用クリーンユニット２１の内部へ送風して、底板の周囲とビニールカーテン２６の間から外部へ空気を排出する。このような空気清浄装置２８によれば、常に清浄空気が製品５０に供給されて、塵埃等に汚染されることを防止することができた。
さらに、本実施例では、空気吹出部２８Ｂが軽量化され、ハンドル２２ａ及びジョイントパイプ２３，２４への荷重負担が軽減されることとなった。また、本実施例では給気部２８Ａをビニールカーテン内２６の清浄空間内に設けたので、清浄空間内の空気を再利用して循環させることができ、省エネ化及びフィルタの寿命が向上する。更に、給気部２８Ａからのファンの騒音はビニールカーテンによって若干抑えることができた。
【００１５】
【発明の効果】
本発明の搬送用クリーンユニットによれば、固定自在の桁材を天井枠の任意の位置に固定できるので、予め鋳型成型または溶接された井桁状の枠によって固定可能な空気清浄装置が限定されてしまうことがない。
半導体ウエハや配線板等のような製品については、仮に汚染塵埃が舞い戻ったり巻き込んだりしても、常に上方より清浄空気が供給されて下方全体から速やかに排出できるため、ユニット内の空気の滞留が生じることなく製品が汚染されることがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の搬送用クリーンユニットの一実施例の全体斜視図とその組立分解図
【図２】本発明の搬送用クリーンユニットの一実施例の使用状態を示す側面の説明図
【図３】（ａ）図２の本発明の搬送用クリーンユニットの側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
【図４】本発明の搬送用クリーンユニットの他実施例の使用状態を示す側面の説明図
【図５】（ａ）図４の本発明の搬送用クリーンユニットの側面の組立分解図，（ｂ）同正面からの組立分解図
【符号の説明】
１  クリーンユニット
２  コ字状枠
３  ジョイントパイプ
４  ジョイントパイプ
５  桁材
６  ビニールカーテン
７  天井開口部
８  空気清浄装置
９  キャスター
１０  機枠
１１  搬送用クリーンユニット
１２  台車
１３  ジョイントパイプ
１４  ジョイントパイプ
１５  桁材
１６  ビニールカーテン
１７  天井開口部
１８  空気清浄装置
１９  キャスター
２０  機枠
２１  搬送用クリーンユニット
２２  台車
２３  ジョイントパイプ
２４  ジョイントパイプ
２５  桁材
２６  ビニールカーテン
２７  天井開口部
２８  空気清浄装置
２９  キャスター
３０  機枠
３１  マジックテープ
３２  マジックテープ
４０  バッテリー電源
５０  製品
【図１】
0004693971.tif 000002
【図２】
0004693971.tif 000003
【図３】
0004693971.tif 000004
【図４】
0004693971.tif 000005
【図５】
0004693971.tif 000006