(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対応する接点（３）に導電トラック（４）を介して各々が接続された複数の電極（２）を提供する、長く実質的に平坦な、組織に印加される電気信号を伝送するための、電極キャリアガイドであって、前記電極キャリアガイドは、少なくとも２個の重なり合う基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）を備え、各セルは、導電材料から作られた層（１２）が配置された、電気絶縁材料から作られたベース層（１１）を備え、前記導電材料は、前記電極（２）と前記導電トラック（４）と前記接点（３）とを形成し、
前記各基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）は、その下に在る前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）の長さより短い長さを有し、一端の電極領域と他端の接点領域とを除いて、その下に在る前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）を被覆することを特徴とする電極キャリアガイド。
【請求項２】
少なくとも１つの前記基本セルでは、
前記電極（２）は前記基本セルの長手方向に配置され、
前記接点（３）は前記基本セルの短手方向に配置され、
複数のトラック（４）は前記基本セルの長手方向に配置され、対応する前記電極（２）と接点（３）とを接続することを特徴とする請求項１に記載のガイド。
【請求項３】
前記接点（３）が前記基本セルの短手方向に配置される前記基本セルの一端は、前記電極（２）が前記基本セルの長手方向に配置される反対側の一端より幅が広いことを特徴とする請求項２に記載のガイド。
【請求項４】
前記各基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）は、前記導電層（１２）上に配置された絶縁層（１３）を備え、前記絶縁層（１３）は、前記各電極（２）と前記各接点（３）とに対応するアクセス開口部を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項５】
前記各基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）の前記絶縁層（１３）は、重なり合う前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）の前記ベース層（１１）を構成することを特徴とする請求項４に記載のガイド。
【請求項６】
少なくともいくつかの前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）は、前記基本セルの長手方向に本質的に整列した３個の前記電極（２）を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項７】
前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）は、０．３ｍｍ乃至２．５ｍｍの範囲の幅を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項８】
前記各基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）の前記ベース層（１１）は、２μｍ乃至５μｍの範囲の厚さを有し、前記導電層（１２）は、０．１μｍ乃至０．５μｍの範囲の厚さを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項９】
１個の前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）の前記電極（２）間の距離は、０．２５μｍ乃至１０μｍの範囲にあることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項１０】
前記ベース層（１１）の材料は、ＰＴＦＥ、ＰＥＴ、ポリイミド、シリコーン、パラキシレン系ポリマーのなかから選択されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項１１】
前記導電層（１２）は、金、白金、又は、白金イリジウム合金のなかから選択された材料から作られることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項１２】
前記各基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）は、接着力を向上させるために適した材料から作られ、前記ベース層（１１）と前記導電層（１２）との間に配置された膜を備えることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載のガイド。
【請求項１３】
前記接着性生体適合材料は、チタン、タンタル、クロムのなかから選択されることを特徴とする請求項１２に記載のガイド。
【請求項１４】
請求項１乃至１３に記載の電極キャリアガイド（Ｇ）を備えていることを特徴とする蝸牛移植体。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれかに記載の、組織に印加される電気信号を伝送するための電極キャリアガイドの製造方法であって、少なくとも一つのガイド（Ｇ）の一つの基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）を形成する第１のステップを含み、前記第１のステップは、
（ａ）犠牲ウェーハ（１５）を準備するサブステップと、
（ｂ）前記ウェーハ（１５）上に電気絶縁材料から作られたベース層（１１）を堆積するサブステップと、
（ｃ）前記電気絶縁層（１１）上に感光性樹脂層を堆積し、電極（２）とトラック（４）と接点（３）との幾何学形状をフォトリソグラフィ的に設計するサブステップと、
（ｄ）前記樹脂層上に導電材料から作られた層（１２）を堆積した後、前記樹脂と、前記フォトリソグラフィ的に設計された幾何学形状の領域外部に堆積された前記導電材料とを除去するサブステップと、
（ｅ）前記導電層（１２）を完全に被覆する第２の電気絶縁層（１３）を堆積するサブステップと、
（ｆ）フォトリソグラフィ技術を用いてアクセス窓を開口し、ケミカルアタック（化学的攻撃）を実行することにより、前記第２の電気絶縁層（１３）に、その下に在る前記電極（２）と前記接点（３）とへのいくつかのアクセスを形成するサブステップと、
を有し、
前記サブステップ（ｃ）乃至（ｆ）は、前記基本セル（ＣＢ，ＣＢ’；ＣＢ１，ＣＢ２，．．．ＣＢ１１）が前記各ガイド（Ｇ）上に積み重ねられようとしている数と同じ回数だけ繰り返され、最後に前記犠牲ウェーハ（１５）が除去されることを特徴とする電極キャリアガイドの製造方法。
【請求項１６】
少なくとも２個の前記電極キャリアガイド（Ｇ）が前記ウェーハ（１５）上に形成され、前記方法は、前記ウェーハ（１５）を切断することにより前記ガイド（Ｇ）を相互に分離するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも２個の前記電極キャリアガイド（Ｇ）が前記ウェーハ（１５）上に形成され、前記サブステップ（ｆ）において、前記ガイド（Ｇ）の形態を画定し、これらを前記ウェーハ（１５）上において相互に分離するために、総ての隣接する２個のガイド（Ｇ）間に存在する電気絶縁材料を除去するために開口されるアクセス窓も設計されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記サブステップ（ｂ）、（ｃ）、（ｅ）及び（ｆ）のうちの少なくともいくつかは、
前記材料を硬化するプロセスを含むことを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記サブステップ（ｄ）は、前記樹脂層と前記導電層（１２）との間の接着力を向上させる材料の膜を堆積することを含むことを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に蝸牛移植体のために設計され、長く実質的に平坦な形状を有し、各電極が対応する接点にトラックを介して接続された複数の電極を提供する電極キャリアガイドに関する。
【０００２】
本発明はまた、蝸牛移植体、及び、電極キャリアガイドの製造方法にも関する。
【背景技術】
【０００３】
技術の現状においては、いくつかのタイプの蝸牛移植体が知られている。これらの移植体は、蝸牛が音響信号を神経インパルスに変換できない患者の聴力を改善すると考えられている。
【０００４】
基本的に蝸牛移植体は、音響信号を、聴覚神経組織に印加される電気信号に電極によって変換するトランスデューサ（変換器）である。
【０００５】
蝸牛移植体は、通常、ガイドに沿って整列した一連の電極を有する丸い形状の電極キャリアガイドを含む。このキャリアガイドは、電極が蝸牛の蝸牛軸の近くに留まることができるように鼓室階に移植される。
【０００６】
蝸牛移植体で処置された患者は、蝸牛移植体から大きな恩恵を受けている。しかしながら、上述の従来の電極キャリアガイドは、いくつかの限界を示している。
【０００７】
先ず第一に、その蝸牛内挿入は、その解剖学的構造とその機能とを危険にさらすことによって蝸牛を損傷する結果を招く可能性がある。我々は、これらのシステムを必要としている患者が例えば１００歳の余命を有する２歳の子供であることを忘れてはならないので、非外傷性システムの使用が必要である。従って、他の治療的処置の潜在的な利用は制限されることはなく、それは残された聴力を維持することを可能にする。これは、現在より重度でない知覚神経性難聴を有する人々に移植の必要性を拡大することを可能にするであろう。
【０００８】
従来の電極キャリアガイドのもう一つの限界は、最大２２個までの能動電極しか扱えないことであり、これは聴覚神経組織のより鋭敏で正確な多様な刺激を再生する可能性を制限している。
【０００９】
さらに、従来のキャリアガイドは、高度に資質のある経験豊かなスタッフによって手作りされる。明らかな理由から製造システムは低速で高価であり、さらに結果として得られるキャリアガイドは比較的多くの不具合を有する可能性が高い。
【００１０】
最近、例えば特許出願の国際公開公報第０２／０８０，８１７号（特許文献１）に、鼓室階に外部的に、正確にはらせん靱帯と骨内膜との間に移植されようとする平坦な電極キャリアガイドを有する蝸牛移植体が提案されている。
【００１１】
この文献に記載のもののような移植体は、従来の管内移植体に関して有利な特徴を有している。即ち、それは、聴覚神経組織の形態構造と機能とを損傷することなく挿入され得ることである。しかしながら、この文献が電極キャリアガイドに関して最大サイズを推奨したとしても、それは、従来のキャリアガイドが有する構造とは異なる、又は、自動的に製造され得ない構造とは異なる構造をこのキャリアガイドが有する可能性があることを示唆するものではない。
【特許文献１】国際公開公報第０２／０８０，８１７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の主要な目標は、より多くの電極を扱うことができて、より効率的に製造される電極キャリアガイドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この目標に従って、本発明は、各セルが導電性ベース層を備える少なくとも２個の積み重ねられた基本セルを備える蝸牛移植体のための電極キャリアガイドを提供する。これらの層の上に導電層が配置されて電極とトラックと接点とを形成する。
【００１４】
これらの特徴は、電極をこれらの接点に接続するトラックが相互に絶縁された状態にしておき、所定のキャリアガイド長に、より多くのトラック、従ってより多くの電極を配置することを可能にする。さらにこのキャリアガイドは、電極数を増加させ、隣接電極の信号へのその電極の影響を低減するために小型化手法を使用して自動的に製造され得る。
【００１５】
電極数の増加は、新しい体系化戦略の実現、蝸牛の神経集合状態への刺激の適応、より鋭敏で正確な刺激、及び、不応期の短縮を可能にするので、要するに、より用途の広い移植可能なシステムを我々に与えるので、重要な因子である。
【００１６】
さらにこの電極キャリアガイドは、非外傷性手術によってらせん靭帯と骨内膜との間に移植されるために適切なサイズを与えられ得る。従って、これは、より重くない知覚神経性難聴を有する患者のためにも使用でき、蝸牛移植体の適用分野を拡大し、双峰性刺激のハイブリッドシステム、例えば補聴器と蝸牛移植体とを含む又は中耳移植体と蝸牛移植体とを含むハイブリッドシステムでのその使用を可能にする。この理由から、これは、将来のより強力で精巧な移植体を使用する可能性を維持しながら、幼い患者にも移植され得る。平坦な電極キャリアガイドのこの設計によって提供される真新しい代替手段は、それを蝸牛の鼓室階の管内レベルに配置することによって、聴覚がほとんど残っていない深刻な難聴の通常の場合にそれを使用することである。
【００１７】
有利な実施の形態においては、各基本セルは、その下に在る基本セルより短く、また好適には、各基本セルは、一端では電極領域を除いて、他端では接点領域を除いて、その下に在るセルを被覆する。
【００１８】
従って、これらのセルの各々の電極と接点とは、他のいかなる作業もせずに露出されたままの状態になっている。
【００１９】
あるいくつかの実施の形態では、各基本セルは、導電層上に配置された絶縁層を備えている。この絶縁層は、アクセス開口部を提供する。これらの各々は、一つの電極と一つの接点とに対応する。絶縁層は、対応しない電極とトラックと接点との間に起こり得るいかなる干渉をも防止する。
【００２０】
各セルの絶縁層は、好ましくは、単一の層が両機能を遂行して全厚が低減されるように、重ね合わせられるセルのベース層を構成する。
【００２１】
電極の数は、キャリアガイドの用途と形状寸法とに依存する。実施の一形態では、複数の基本セルのうちの少なくとも一部は、基本的にセルに沿って整列した３個の電極を提供する。電極の形状は、用途の必要に依存して変わり得るが、特に以下の形状、即ち、円形、正方形、矩形又は長円形が推奨される。電極の面積は、それがキャリアガイドの全体サイズによって課せられる制限と、本実施の形態では同じ図形に描かれている接点及び相互接続部のために確保してある面積とに整合する限り、用途によって必要とされる電流密度のレベルに依存することになる。
【００２２】
あるいくつかの予想される実施の形態では、基本セルは、幅が０．３ｍｍ乃至２．５ｍｍの間であり、各基本セルのベース層は、厚さが２μｍ乃至５μｍの間であり、導電層は、厚さが０．１μｍ乃至０．５μｍの間であり、基本セルの電極間の距離は、長さが０．２５μｍ乃至１０μｍの間である。
【００２３】
生体臨床医学的観点から特に適切な実施の形態によれば、基本セルは、少なくとも、電極がそれに沿って配置される側では、より狭くなっている。このセルの形状は、ランセット（乱切刀、柳葉刀）形と記述され得る。
【００２４】
あるいくつかの実施の形態によれば、ベース層材料は、ＰＴＦＥ、ＰＥＴ、ポリイミド、シリコーン、及び、パラキシレンから作られたポリマーのなかから選択され、また、導電層は、金、白金、又は、白金イリジウム合金のなかから選択された材料により作られる。
【００２５】
好ましくは、各セルは、より良好な接着のための生物分解性材料の薄層を含む。この層は、ベース層と導電層との間に存在すべきである。このようにして、ベース層からの電極、接点、トラックの剥離は回避される。この薄層の接着材料は、用途が必要とする生体適合性基準に従って選択されなければならない。
【００２６】
第２の態様によれば、本発明は、前述のものと同様の電極キャリアガイドを備える蝸牛移植体に関する。
【００２７】
第３の態様によれば、本発明は、少なくとも一つのガイドの一つの基本セルを形成する第１のステップを含む電極キャリアガイドの製造方法であって、前記第１のステップは、
（ａ）犠牲ウェーハを準備するサブステップと、
（ｂ）前記ウェーハ上に電気絶縁材料から作られたベース層を堆積するサブステップと、
（ｃ）前記電気絶縁層上に感光性樹脂層を堆積し、電極とトラックと接点との幾何学形状をフォトリソグラフィ的に設計するサブステップと、
（ｄ）前記樹脂層上に導電材料から作られた層を堆積した後、前記樹脂と、前記フォトリソグラフィ的に設計された幾何学形状の領域外部に堆積された前記導電材料とを除去するサブステップと、
（ｅ）前記導電層を完全に被覆する第２の電気絶縁層を堆積するサブステップと、
（ｆ）フォトリソグラフィ技術によりアクセス窓を開口してケミカルアタック（化学的攻撃）を実行することによって、前記第２の電気絶縁層上に、その下に在る電極及び接点へのいくつかのアクセスを形成するサブステップと、
を有し、
前記サブステップ（ｃ）乃至（ｆ）は基本セルが各ガイド上に積み重ねられようとしている数と同じ回数だけ繰り返され、最後に前記犠牲ウェーハが除去されることを特徴とする方法に関する。
【００２８】
このキャリアガイドの製造方法は、これらのガイドの自動化された並行生産を可能にする。従って、これは低コストである。高度の小型化の可能性は、前述の利点によって電極数の増加を可能にする。
【００２９】
好適には、ウェーハ上には少なくとも２個の電極キャリアガイドが形成され、前記方法が前記ウェーハを切断することによって前記ガイドを相互に分離するステップをさらに含む。
【００３０】
このようにして、単一のウェーハ上において同一構造を有する数個のキャリアガイドが同時に製造され得る。
【００３１】
実施の一形態においては、前記ウェーハ上には少なくとも２個の電極キャリアガイドが形成され、前記サブステップ（ｆ）において、前記ガイドの形態を画定し、これらを前記ウェーハ上において相互に分離するために、総ての隣接する２個のガイド間に存在する電気絶縁材料を除去するために開口されるアクセス窓も設計される。
【００３２】
このシステムは、いかなる形態の、例えばランセット形のキャリアガイドでも製造することを可能にする。ウェーハを切断することによってこれらを分離することは不必要になる。
【００３３】
好ましくは、サブステップ（ｂ）、（ｃ）、（ｅ）、（ｆ）のうちの少なくともいくつかは、前記材料を硬化するプロセスを含む。
【００３４】
あるいくつかの好都合な実施の形態によれば、前記サブステップ（ｄ）は、前記樹脂層と前記導電層との間の接着力を向上させる材料の膜を堆積することを含む。
【００３５】
開示事項のよりよい理解を提供するために、以下の各ページにおいて実施の一形態の実際の場合を表すいくつかの図面が示される。これらは概略的であって単なる一例であり、限定ではないことに留意されたい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
本発明に係る電極キャリアガイドは、各基本セルが少なくとも一つの電極を提供する一連の基本セルの重ね合わせによって形成される。
【００３７】
図１、図２は、基本セルＣＢの実施の一形態を概略的に示す。下記の図面が、より明確な表現を提供するために実際のセルと電極キャリアガイドとに比例していないことは強調されなくてはならない。特に厚さは、総ての構成要素の構造を示すために、他の寸法と比較して著しく誇張されている。
【００３８】
図示した実施の形態においては、基本セルＣＢは、一端に３個の電極２を提供する伸長した平坦な主構造を有する、電気絶縁材料の本体１を有している。各電極２は、トラック４を介してセルの他端に配置された接点３に接続される。
【００３９】
電極２と接点３とは、総て導電材料から作られており、セルの本体１に露出している、即ち、本体の絶縁材料はこれらを被覆していない。
【００４０】
以下の各頁において、基本セルの物理的及び幾何学的特徴とその製造方法とが正確に説明される。
【００４１】
図３、図４に示すように、本発明の実施の一形態に係る電極キャリアガイドＧは、前述のものと同様に基本セルＣＢ１、ＣＢ２、ＣＢ３，．．．ＣＢ１１の重ね合わせによって形成され、それらの各々は電極２と接点３とを備えている。その長さが与えられた上位のセルＣＢ１１だけは、２個の電極を有している。
【００４２】
キャリアガイドＧを構成する各総ての基本セルは、おおよそ同じ幅及び厚さを有しているが、同じ長さは有していない。これらはピラミッド型に重なり合っているので、基本セルの電極２及び接点３は露出されているが、各電極とその接点との間のトラック４はセルの材料に捕捉された状態になっており、セルは相互に絶縁されている。
【００４３】
この例では、基本セルＣＢ１乃至ＣＢ１１は、約４５ｍｍ乃至１２．５ｍｍの範囲の長さと約２ｍｍの幅とを有している。電極間の長さは、約０．７５μｍである。分離された基本セルの厚さ（図２）は、約８μｍである。しかしながら、キャリアガイドＧを作製するために基本セルを重ね合わせるとき、実際には、キャリアガイドＧを作製するために積み重ねられる基本セルが４０μｍだけの厚さになるような方法で、その下に在るセルの本体上に直接、各セルの電極及び接点を配置している。これについての更なる説明は、製造方法を説明するときに開示される。
【００４４】
約４４μｍの電極キャリアガイドＧは、図３、図４からのキャリアガイドに示されるように、１１個の基本セルを重ね合わせることによって製造される。長さが２５ｍｍのこのキャリアガイドは３２個の電極を提供する。移植可能なシステムのサイズ及び柔軟性によりこのキャリアガイドは、増加した数の電極を提供しながら、らせん靱帯と骨内膜との間に挿入され得る移植体に適している。
【００４５】
図５は、本発明に係る基本セルＣＢ’のもう一つの実施の形態を示しており、セルＣＢ’は、この場合においては、セルの本体１’がランセット形であることを除いて図１、図２のセルと同様である。この形状は、キャリアガイドの幅が、蝸牛のらせん靱帯のレベルに配置されようとしている領域で０．５ｍｍにまで低減され得るので、患者の蝸牛への移植のために最も適している。
【００４６】
電極キャリアガイドＧの製造方法の一例を説明する前に、図１、図２を再度参照して基本セルの構造及び材料について説明する。
【００４７】
セルＣＢは、シリコーン、ＰＴＦＥ（Ｔｅｆｌｏｎ(Ｒ)（登録商標）（テフロン））、ＰＥＴ（Ｍｙｌａｒ(Ｒ)（登録商標）（マイラー））、及び、パラキシレン系ポリマー（Ｐａｒｙｌｅｎｅ(Ｒ)（登録商標）（パリレン））等の他の材料も使用可能であるが、この場合はポリイミド（Ｐｙｒａｌｉｎ(Ｒ)（登録商標）（ピラリン））という柔軟な導電材料から作られたベース層１１を与える。
【００４８】
ベース層１１の上に、電極２とトラック４と接点３とを備える金属被覆層１２が示されている。この層に適したいくつかの材料は、金、白金、又は、白金と例えば１０％のイリジウムとの合金である。この合金は、より良好な耐腐食材料である。
【００４９】
ベース層１１と金属被覆層１２との間には、チタン、タンタル、クロム、又は、ベース層への金属被覆層の接着力を向上させる他の任意の材料から作られた薄層（図示せず）が存在する。
【００５０】
最後に金属被覆層上には、電極２及び接点３だけを露出したままにしているベース層１１と同じ材料から作られた絶縁層１３が存在する。
【００５１】
前述のようにキャリアガイドＧを製造するとき、下位の基本セルの絶縁層１３は次のセルのベース層になり、その上に金属被覆層が置かれる。
【００５２】
ここで、本発明の実施の一形態に係るキャリアガイドＧの製造方法を簡単に説明する（図６乃至図１１）。
【００５３】
ａ）先ず、その上にキャリアガイドＧが作製されるシリコンの犠牲ウェーハ１５を準備する（図６）。準備は、トリクロロエチレン、アセトン、アルコール及び水にウェーハを浸漬する各々５分間の超音波浴に加えて、スピナーにおけるすすぎ落とし（リンスオフ）及び乾燥（ドライオフ）を必要とする。
【００５４】
ｂ）ウェーハ１５の上に、スピナーによってＰｙｒａｌｉｎ(Ｒ)（登録商標）から作られた４μｍのベース層１１（図７）を配置した後、それを１２０℃で３０分間、ソフトベークして、より良好な化学特性をそれに与え、それを部分的にポリマー化し（重合させ）、そして最後に、それを３００℃でハードベークして、移植体に適用されるために必要とされる高い化学的機械的抵抗力をこの材料に与える。
【００５５】
ｃ）次のステップの間に、このウェーハをもう一度洗浄し、スピナーによって感光性樹脂層を配置し、この樹脂をソフトベークし（９０℃で３０分）、フォトリソグラフィを使用して電極とトラックと接点との幾何学形状を画定し、そして、１１０℃で３５分間、樹脂の完全なハードベークを実施する。
【００５６】
ｄ）この樹脂の上に接着性を補助するためのクロムの薄層と厚さ約２００μｍの白金の金属被覆層１２とをスパッタリングし、その後、引き下ろして４５℃のアセトンと超音波とにより希釈する。樹脂は除去され、フォトリソグラフィによって画定された幾何学形状領域外部のクロム及び白金も除去される。このようにして、ベース層１１上の電極２と接点３とトラック４とが画定される（図８）。
【００５７】
ｅ）第１の段階と同じ手順でウェーハを再度洗浄し、スピナーによってＰｙｒａｌｉｎ(Ｒ)（登録商標）を再度配置した後、１２０℃で３０分間、それをソフトベークする。このようにして、絶縁層１２（図９）が作製される。それは、金属被覆層を完全に被覆する。この絶縁層は、厚さ４μｍである。
【００５８】
ｆ）ここで、フォトリソグラフィ技術によりアクセス窓を描き、ケミカルアタック（化学的攻撃）によって、絶縁層１３の材料を貫通して電極と接点とへのアクセスを作製しなくてはならない。この結果が、ウェーハ１５上における完全な基本セルとなる（図１０）。今度は、それを３００℃でハードベークしなくてはならない。
【００５９】
第１の基本セルの上で、ステップ（ｃ）から先へこのプロセスを連続的に繰り返すことによって、ウェーハ１５上においてキャリアガイドを完成させるまで、より多くの積み重ねられた基本セルを作製し得る。図１１には、３個のセルを備えるキャリアガイドの例が示されている。
【００６０】
１個のウェーハ１５上に相互に隣接する複数の電極キャリアガイドを同時に作製することができる。この場合、一旦キャリアガイドの作製が終了すると、例えば自動のこぎりを用いてウェーハを切断することによって各キャリアガイドが得られる。
【００６１】
図５に示すようなランセット形のセル及びキャリアガイドを作製している場合には、プロセスのステップ（ｆ）の間に、アクセス窓は、総ての余分なＰｙｒａｌｉｎ(Ｒ)（登録商標）が除去されてキャリアガイドのランセット形状が画定されるような方法で設計され得る。その結果得られるキャリアガイドは、ウェーハ１５上で相互に分離されることになる。しかしながら、もしセルが矩形であれば、キャリアガイドを分離するためにウェーハを切断しなくてはならない。
【００６２】
両方の場合とも、プロセスの最後の段階は、完成したキャリアガイドを得るために、それをＨＦ−ＨＮＯ３（１：１）内で希釈することによってシリコンウェーハを除去することである。
【００６３】
請求者らは、両幾何学形状（矩形セル及びランセット形セル）を有する、前述のプロセスを通じて得られた基本セルとキャリアガイドとについて分析を遂行した。これらの分析は、各電極とその接点との間の柔軟性及び電気的導通と、トラック間の絶縁と、結果として得られた製品の層間の接着性とを確認した。
【００６４】
矩形の形状は、トラック間の絶縁を保証するために、より適しているという結果であった。
【００６５】
絶縁に関しては、トラックを形成するためのいくつかの方法がある。トラックは、各総ての基本セルにおいて類似の位置を持たなくてはならないので、隣接セルのトラックは相互に重ね合わせられる。これに対して、３個のトラックを相互に近接させて配置し、こうしてセルのちょうど半分を使用し、一つのセルのトラックの位置が隣接セルのトラックの位置と一致しないように、互い違いのセルを重ね合わせて、異なる２種類のセルを作製することができる。この解決法は層の絶縁を改善するが、１個のセルのトラック間の接触の危険を増加させる。
【００６６】
本発明の表現及び説明された実施の形態がいかに具体的であっても、専門家が添付の請求項に記載の保護の範囲から大きく逸脱せずに、他の技術的同等手段によって細部の変更又は代替手段を導入し得ることは明らかである。
【００６７】
例えば、各基本セルの材料及び数並びにトラックの位置及びセルの幾何学形状は、各場合の生体臨床医学的要件と基準とに従って、これらの表現されたものとは異なることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の一形態に係る電極キャリアガイドのための基本セルを示す上面図である。
【図２】図１からのセルの正面図である。
【図３】一連の基本セルを積み重ねることによって作製された電極キャリアガイドの上面図である。
【図４】一連の基本セルを積み重ねることによって作製された電極キャリアガイドの正面図である。
【図５】基本セルの代替の実施の形態の上面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る電極キャリアガイドの製造方法を示す正面図である。
【図１】
0004828124.tif 000002
【図２】
0004828124.tif 000003
【図３】
0004828124.tif 000004
【図４】
0004828124.tif 000005
【図５】
0004828124.tif 000006
【図６】
0004828124.tif 000007
【図７】
0004828124.tif 000008
【図８】
0004828124.tif 000009
【図９】
0004828124.tif 000010
【図１０】
0004828124.tif 000011
【図１１】
0004828124.tif 000012