(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス製の封体の端部にシール部を有し、このシール部に埋設されたモリブデン製の金属箔と、一端がこの金属箔に接続され、他端が封体の外部に伸びるモリブデン製の外部リードとを備えてなる箔シールランプにおいて、
前記シール部に埋設される金属箔と外部リードの表面に、マグネシウムとナトリウムよりなるモリブデン酸複塩、および、マグネシウムとカリウムよりなるモリブデン酸複塩、の少なくとも一方からなる保護膜が形成されていることを特徴とする箔シールランプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール部にモリブデン製の金属箔とモリブデン製の外部リードが埋設された箔シールランプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、放電ランプや白熱ランプの給電部にはモリブデン等の金属箔を用いて、ランプ内部とランプ外部との気密性を保ち、内部の電極やフィラメントに給電可能とする、箔シールタイプのランプが一般的に知られている。以下に図面を参照して詳細に説明する。図５は直流点灯タイプの放電ランプの管軸に沿った断面で示す説明用図面であり、図６は図５におけるシール部を拡大して示す説明用図面である。
【０００３】
この放電ランプは楕円球形の発光管部１１と、該発光管部１１の両端部から外方に伸びるように連設されたシール部１２とを有する。放電容器１０内の発光管部１１内には、陽極１５１と陰極１５２がアークギャップをおいて近接した状態で配置されている。陽極１５１と陰極１５２はタングステンよりなり、共にそれぞれ電極棒１３１および電極棒１３２に固定されて構成されている。一方のシール部１２においては、電極棒１３１が管軸に沿って伸びてその一端がシール部１２に延在するとともに、このシール部１２内に気密に封止されたモリブデンよりなる電気導入体となる金属箔１４の内端部に溶接される。この金属箔は、モリブデンからなる金属箔であって、該金属箔の外端部は外方に突き出た外部リード棒１５の内端部に溶接されている。電極棒１３２に係わるシール部１２は一方のシール部１２と同じようにモリブデンからなる金属箔１４によって構成されている。
【０００４】
以上における寸法例を挙げると、発光管部１１の外径は９〜１３ｍｍ、内径は４．０〜５．０ｍｍ、アークギャップは０．９ｍｍ〜１．３ｍｍ、放電容器１０の管軸方向の長さが９．０〜１１ｍｍ、シール部１２の外径は５．８〜７．４ｍｍ、発光管部１１の内部容積は５０〜１００ｍｍ３である。また、電極棒１３１および１３２において、その外径は０．４〜１．０ｍｍ、好ましくは０．５〜０．８ｍｍとされる。また、モリブデンから成る金属箔１４はその厚みが２０〜３０μｍ、好ましくは２５μｍであり、その管軸方向の長さは１１ｍｍであり、その幅は１．０〜３．０ｍｍ、好ましくは１．５mｍである。
【０００５】
そして、このような放電ランプ１０のシール部１２においては、図６に拡大して示すように、外部リード１５の周囲にシール部１２の外端面３Aからモリブデン箔１４に至る微小な空隙Ｇが存在する。図６−ａ）は、該シール部１２の拡大図を示す説明図である。また、図６−ｂ）は、シュリンクシールの場合の該空隙Ｇの形状を示す断面図であって、金属箔上の該空隙部Ｇ（図面左）は図６−ａ）のＭ−Ｍ断面、リード棒とガラスのみの部分の該空隙部Ｇ（図面右）は図６−ａ）のＬ−Ｌ断面を示したものである。更に、ピンチシールの場合、該空隙部断面を同様に示したものが、図６−ｃ）である。金属箔上にできる空隙部は同様の形状であるが、リード棒１５とガラスのみの部分では、ピンチシールの場合、シュリンクシールのように該リード棒１５の周辺に形成されるのでは無く、ピンチされる方向に直交する方向に広がった形状になる。
【０００６】
この空隙Ｇができる理由を説明すると、シュリンクシールによってシール部１２を形成する場合、金属箔１４は十分に薄いためガラスに大きな引張り応力が発生せず金属箔１４とガラスは密着するが、ガラスの粘度が高いため比較的大きい形状の外部リード１５に対しては外部リード１５の形状に沿ってガラスが十分に流れないことと、外部リード１５とガラスの熱膨張率差が大きいことによって、外部リード１５とガラスは完全に密着せず空隙Ｇができるものであり、実際上空隙Ｇを完全になくすことは不可能である。
【０００７】
このような箔シールランプでは、点灯中、シール部１２の温度が上がり、金属箔１４や外部リード１５が３５０℃以上の温度になると、空隙Ｇ内に入り込んでいる空気によって金属箔１４と外部リード１５は急速に酸化が進行し、その表面にＭｏＯ２やＭｏＯ３が形成され、シール部１２内に埋設されている金属箔１４と外部リード１５の体積が膨張することになりシール部１２にクラックが入り、終にはランプが破壊することがあった。
【０００８】
なお、シュリンクシール構造のランプについて説明したが、図３に示すピンチシール型の白熱ランプでも、同様である。図６−ｃ）に示すように、シール部１２に埋設されたモリブデン製の金属箔１４とモリブデン製の外部リード１５とガラスとの間で空隙Ｇができ、上述した問題が発生しており、箔シールランプにおける共通の問題である。
【０００９】
このようなシール部内でのモリブデン製の金属箔とモリブデン製の外部リードの酸化を抑制するため、さまざまな技術が開発されてきた。古くは、米国特許３４２０９４４号にモリブデン製の金属箔のシール端部側半分を薄いクロムで被覆することが開示されている。しかしながら、該公報に開示された技術によれば、該金属箔の酸化の問題はある程度解消されるものの、ガラスとの密着強度の低下という別の問題が発生した。
【００１０】
そこで、米国特許３７９３６１５号では新たな試みがなされている。クロムメッキ層が、くさび形またはテーパ状をなしていて、外部リードの溶接点に近い外端ではクロム層は比較的厚く、気密シール部をなす金属箔においては薄くなっているためガラスとの密着性も改善されるというものである。このような構造により、モリブデン製の金属箔の酸化をかなり抑制することができた。
【００１１】
また、米国特許５０２１７１１号にはイオンインプランテーションによる方法で、ＣｒのほかＡｌ、Ｃｒ−Ａｌ、ＳＩＣ、Ｓｉ３Ｎ４を金属箔にコートする方法や、ドイツ特許３００６８４６号にはスパッタリング、ＣＶＤ、イオン注入などによる方法でＣｒのほかＴａ、Ｎｂ、Ｌａ、Ｓｃ、Ｈｆなどを金属箔にコートする方法が開示されている。しかし、これらの方法では、シール前に、コーティングを予め行う方法であるので製造コストがかかるという問題があった。
【００１２】
このように、金属箔や外部リードにクロムをコーティングする方法では、金属箔や外部リードにクロムをコーティングした後にシールをするものであり、製造工程が複雑になり、製造費が高くなるという問題があった。更には、最近、環境問題が深刻になるとともに、環境負荷の高い物質は規制を受ける傾向にあり、クロムも例外ではなくなっている。金属クロムはそれ自身、６価クロムに変化する可能性は低いが、メッキ工程の電解漕から発生する６価クロムを含むミストは肺がんを起こすとされている。すなわち、製造工程の環境影響も問題になる。さらに、米国特許３４２０９４４号にあるような、亜クロム酸や塩化クロムを分解させるクロメ−ト被膜は６価クロムの生成のためそれ自身環境への影響が問題となる。
【００１３】
一方、近年においては、クロムを使用しない方法も開示されている。例えば、特開平９−１２３３５号には５５〜８５％Ｓｂ２Ｏ３、５〜３０％Ｂ２Ｏ３のほか１〜１８％Ｔｌ２Ｏ３を含む溶融封着ガラスでシール部にできた空隙を塞ぐ方法が開示されている。しかし、本技術において使用される、Ｔｌ２Ｏ３は環境への影響が問題であり、Ｓｂ２Ｏ３も環境負荷は比較的高い物質である。
【００１４】
また、シール後に空隙から水溶液の形で封着物質を添加する方法として、米国特許４９１８３５３号ではアルカリ金属珪酸塩を空隙内に添加する方法が開示されている。更に、特公平６−５４６５７号にも、シール後に鉛または酸化鉛を主成分とする封着物質を空隙内に生成させる方法が開示されている。しかし、これらの方法においても、酸化鉛を使用するため環境への影響が問題になってきた。
【００１５】
これらの方法では、シール後に封着物質を形成する方法であるので、前述の米国特許３４２０９４４号、米国特許３７９３６１５号、米国特許５０２１７１１号、およびドイツ特許３００６８４６号に比べて比較的製造コストが安いという利点がある。
【００１６】
このような試みのうち、高温時の対酸化性を向上させようという技術として、例えば、特開２００４−１３９９５９号がある。該公報には、シール後にコーティングをモリブデン箔ならびにモリブデン製外部リードにモリブデン酸塩からなる保護膜を形成する方法であり、酸化を確実に防止でき、製造コストが安く、環境負荷の高い物質も使っていないという、これまでの問題を解決する優れた方法である。しかし、開示されたコーティング物質では、シール部の温度が約５００℃を越える環境下では、シール部の空隙中に暴露されるモリブデン製の金属箔とモリブデン製の外部リードの酸化を確実に防止することはできなかった。これを解決するために、次に開示された技術は特開２００５−２２８６６５であり、結晶性モリブデン酸塩よりなる第1の保護膜上にアルカリ珪酸塩よりなる第２の保護膜を形成してシール部寿命を格段に延長する技術であった。この発明によって、５００℃を超える高温においてもモリブデン製の箔と外部リードの酸化を確実に抑え、長い使用寿命が得られる箔シールランプを提供できるようになった。しかし、該方法では、生産時の工程が煩雑で、生産に時間がかかるといった問題があった。更には、市場からの要求としては、より長寿命であり、高いシール部温度でも酸化しないものが求められるようになってきた。
【特許文献１】米国特許３４２０９４４号
【特許文献２】米国特許３７９３６１５号
【特許文献３】米国特許５０２１７１１号
【特許文献４】ドイツ特許３００６８４６号
【特許文献５】米国特許４９１８３５３号
【特許文献６】特公平６−５４６５７号
【特許文献７】特開２００４−１３９９５９号
【特許文献８】特開２００５−２２８６６５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
以上のような事情に鑑み、本発明の課題は、簡便な生産方法であり、且つ、より高温でも長時間に渡ってシール部が酸化することなく、ランプとして長寿命のランプを実現できる箔シールランプを提供することにある。特に、５００℃以上の高温になってもシール部に埋設されるモリブデン製の金属箔と外部リードの酸化を確実に防止でき、確実に長寿命を実現するとともに、保護膜の製造方法が簡単な箔シールランプを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明に記載の箔シールランプは、ガラス製の封体の端部にシール部を有し、このシール部に埋設されたモリブデン製の金属箔と、一端がこの金属箔に接続され、他端が封体の外部に伸びるモリブデン製の外部リードとを備えてなる箔シールランプにおいて、前記シール部に埋設される金属箔と外部リードの表面に、マグネシウムとナトリウムよりなるモリブデン酸複塩、および、マグネシウムとカリウムよりなるモリブデン酸複塩、の少なくとも一方からなる保護膜が形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の箔シールランプは、シール部のガラスとモリブデン製の金属箔とモリブデン製の外部リードとの間に形成される空隙に保護膜となる保護膜構成用封着剤を充填し、この保護膜構成用封着剤と金属箔及び外部リードを構成するモリブデンとを反応させることによって、金属箔及び外部リードを構成するモリブデンの表面に、マグネシウムとナトリウムよりなるモリブデン酸複塩、または、マグネシウムとカリウムよりなるモリブデン酸複塩、および、それらの複数からなる保護膜が形成されているので、シール部の温度が５００℃以上の高温になっても金属箔及び外部リードが酸化することを確実に防止でき、シール部にクラックが発生せず、長寿命の箔シールランプを提供できるといった利点がある。更には、保護膜の製造方法が簡単になるという利点がある。
【００２０】
尚、ここでいう保護膜構成用封着剤とは、代表的には硝酸塩水溶液の封着剤のことである。この保護膜形成法としては、前記マグネシウム・アルカリよりなるモリブデン酸複塩からなる被膜を形成することにより、シール部の温度が約５００℃と高温になっても、シール部のモリブデン製の金属箔とモリブデン製の外部リードが酸化せず、良好な気密封止が得られるので、非常にシール部寿命の長い箔シールランプとなる。本発明の保護膜は、１価のアルカリ元素（カリウム等）を含む２価金属（マグネシウム等）とのモリブデン酸複塩である。また、その製造時においてアルカリ元素とマグネシウムの混合硝酸塩、またはマグネシウム硝酸塩とアルカリ珪酸塩からなる原料物質は塗布乾燥後に、モリブデンからなる金属箔および外部リードと直接反応させ、マグネシウム・アルカリよりなるモリブデン酸複塩となっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の箔シールランプは、マグネシウム系のモリブデン酸塩にアルカリとして、ナトリウムやカリウムを加え形成されるモリブデン酸複塩からなる保護膜を箔シールランプのシール部に埋設された金属箔と外部に伸びる外部リード棒に形成したものである。本発明においては、１価のアルカリ元素としてはカリウム、または、ナトリウムを、２価金属としては特にマグネシウムを選択した。その理由を以下の各項目において記載する。
【００２２】
＜モリブデン表面の保護膜の熱膨張係数＞
保護膜は金属箔や外部リードを構成するモリブデンと同じくらいの熱膨張係数を持つ結晶性モリブデン酸塩が望ましい。具体的には、保護膜である結晶性モリブデン酸塩の熱膨張係数が、金属箔や外部リードを構成するモリブデンの熱膨張係数である５．２×１０−６（２５０℃）に近いものが良い。該結晶性モリブデン酸塩を金属箔や外部リードを構成するモリブデンの表面に形成する場合、該結晶性モリブデン酸塩の熱処理工程では、応力が掛からないものの、該工程が終了してモリブデンが常温に戻ると、該モリブデン酸塩と該モリブデンとの間で応力が発生する。該結晶性モリブデン酸塩の熱膨張係数が金属箔や外部リードを構成するモリブデンの熱膨張係数である５．２×１０−６（２５０℃）より大きければ、金属箔や外部リードに対して引っ張り応力がかかるし、５．２×１０−６（２５０℃）より小さければ圧縮応力がかかる。また、該保護膜を形成したランプにおいて、使用条件によっては割と短い時間に点滅をくり返したりする使い方をするものがある。このように、短い時間に点滅をくり返すランプでは、保護膜である結晶性モリブデン酸塩にクラックが生じ、金属箔や外部リードを構成するモリブデンの酸化が進み、ひいてはシール部のガラスに応力が発生し、シール部のガラス破壊につながる頻度が高くなる。
【００２３】
＜モリブデン表面の保護膜の結晶構造＞
前述のように熱膨張率を合わせるという考えから、結晶性モリブデン酸塩を探索し候補を探した結果、鉄マンガン重石型構造とシーライト型構造を成すモリブデン酸塩で、熱膨張係数が金属箔や外部リードを構成するＭｏの熱膨張係数に近い値を持つ物質群を得た。ここで、結晶性モリブデン酸塩ＡＭｏＯ４において、Ａは２価イオンと限らず、Ａを１価と３価を１：１にするような複塩であってもよいし、Ｍｏの代わりに４価のＴｉと６価のＭｏで１：１に置き換え、かつＡを３価の希土類金属とする複塩であってもよい。
【００２４】
発明者らは、実際にそれらの結晶性モリブデン酸塩の熱膨張率を測定するため、燒結法によってこれらの結晶性モリブデン酸塩結晶の細長い直方体を作製し、熱膨張係数の測定をした結果、ＣｏＭｏＯ４、ＭｎＭｏＯ４、ＮｉＭｏＯ４およびMgＭｏＯ４それぞれの熱膨張係数が、いずれもモリブデンの熱膨張係数５．２×１０−６（２５０℃）に近い係数となり、有望な物質であるという考えを持った。
【００２５】
モリブデン箔上にモリブデン酸塩を形成した試料のX線回折から、上記の膜はいずれも鉄マンガン重石型構造（Ｗｏｌｆｒａｍｉｔｅ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ  単斜晶  空間群Ｃ２／ｍ）をもつモリブデン酸塩が主生成物であることが分かった。他の少量の化合物もＡＳＴＭ（Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｆｏｒ  Ｔｅｓｔｉｎｇ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）カードで同定すると、ＭｏＯ３とＭｎ２Ｏ３に合致した。それぞれの化合物の最も強いピーク強度の比をとると、例えばマンガン系の時はＭｎＭｏＯ４：Ｍｎ２Ｏ３：ＭｏＯ３＝７５：１５：１０であり、マグネシウム系の時はＭｇＭｏＯ４：ＭｇＯ：ＭｏＯ３＝８０：１５：５であった。ＭｏＯ３は反応生成物として形成された物質と金属箔のＭｏが空気中の酸素と熱処理中酸化したものの和であるので、耐酸化性の被膜の観点からは好ましいものではない。このことから主生成物のＭｎＭｏＯ４およびＭｇＭｏＯ４が耐酸化性にとって好ましい被膜であることが分かった。
【００２６】
更に、空気雰囲気中で電気炉の中にこれらの物質をシール部と外部リードとの間の間隙に形成したランプを投入し、該保護膜の寿命テストを行った。その結果、ＭｎＭｏＯ４またはMｇＭｏＯ４の生成率の大きな熱処理条件で反応させた保護膜を形成させると、ランプシール部の寿命を評価する一指標である、ニュートンリングによる虹形状が見える箔浮き状態が出るまでの時間が、最も長寿命であることが分かった。
【００２７】
＜モリブデン表面の保護膜の結晶変態＞
また、結晶性モリブデン酸塩にはシール部の使用温度以下で結晶変態が存在しないことが必要である。何故なら、結晶変態が存在する場合にはその変態点の上下で体積が大きく変化し、結晶性モリブデン酸塩には大きな応力が掛かることによって、シール部のガラス破壊につながるからである。このようなことを考え、実験的および理論的にモリブデン酸塩を調べた。
【００２８】
シーライト型ＡＭｏＯ４において、Ａ＝Ｓｒ、Ｃａ、Ｂａでは熱膨張係数は１０×１０−６を越えるものが多い。これに対して、鉄マンガン重石型構造（Ｗｏｌｆｒａｍｉｔｅ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ  単斜晶  空間群Ｃ２／ｍ）を持つＡＭｏＯ４において、Ａ＝Ｍｇ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉは４〜６．２×１０−６を持つことを、文献と実際に酸化物原料を使用し燒結法によって得たバーの熱膨張率測定を実行することにより確かめた。すなわち、金属箔や外部リードを構成するモリブデンの熱膨張率に実際的に近い結晶性モリブデン酸塩を得ることが出来た。
【００２９】
これら熱膨張係数の値は、同じＡＭｏＯ４を持つシーライト型構造のＡ＝Ｓｒ、Ca、Ｂａのモリブデン酸塩よりも小さいことが指摘される。格子定数の大きさと熱膨張係数の大きさとの間には正の相関があることが予想される。
【００３０】
しかるに、ＡＭｏＯ４、Ａ＝Ｃｏ、Ｎｉの結晶性モリブデン酸塩には結晶変態が存在することが熱分析から確認され、ＣｏＭｏＯ４には４００℃に、ＮｉＭｏＯ４には６８０℃に存在する。この時、変態点の上下で体積変化が起きるので、ＣｏＭｏＯ４は本発明の保護膜には使えない。しかし、(Ｃｏ０．４Ｎｉ０．６)ＭｏＯ４のような擬二元系とし、変態温度を上昇させれば５５０℃の温度以下では使えることが指摘される。
これに対して、ＡＭｏＯ４、Ａ＝Ｍｎ、Ｍｇであれば、熱膨張係数が金属箔と外部リードを構成するモリブデンに実際的に近いうえに、結晶変態がないので最適な結晶性モリブデン酸塩の保護膜になる。
【００３１】
＜酸素透過率＞
さらに、結晶性モリブデン酸塩の反応生成速度と酸素透過率を種々検討すると、さらに良好な物質を見出した。これらのモリブデン酸塩の中で、ＭｇＭｏＯ４系が特に優れた高温耐酸化性を示した。その理由は、熱膨張係数が金属箔や外部リードを構成するモリブデンに近いことと、結晶構造が温度や湿度などに影響されず安定した被膜が形成されることの他に、次に示すように、ＭｇＭｏＯ４が酸素を透過しにくいことが理由として挙げられる。
【００３２】
これらの保護膜の下には金属箔や外部リードを構成するモリブデンがあるので、被膜が酸素を透過する率が大きければ被膜の下にあるモリブデンは割合早く、酸化されＭｏＯ２やＭｏＯ３が形成され、被膜の早期破壊が発生すると考えられる。
従って、被膜の酸素透過率が低い結晶性モリブデン酸塩が好ましい。Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉは遷移金属であり、電子構造は結晶構造や原子配位によって代わりうるので、２価になったり３価になったりする。このような金属を相手元素に選ぶ結晶性モリブデン酸塩の酸素透過率は大きい傾向となる。すなわち、酸素が透過するとき、それらの陽イオンが周囲の陰イオンである酸素の多い少ないに従ってその価数を変えうるからである。逆にアルカリ土類金属およびＺｎ、Ｃｄと希土類金属はそれぞれ２価または３価以外はとり得ないから、陽イオン周囲の酸素イオンの多寡によって電子状態を変え得ないので陽イオンの周りの構造は自由になり得ない。従って、酸素の拡散速度が遅い。あるいは、周囲の酸素の多寡に従って柔軟に価数を変えられないほど、結晶性モリブデン酸塩の構造が安定している。
【００３３】
それは事実X線回折パターンにおいて証明された。回折角２θ＝５８．６０°、７３．６８°にピークが現れるが、これらは被膜の下のモリブデン箔からの回折線である。このピークの強さは上に密着している被膜であるモリブデン酸塩の厚さに依存する他に、モリブデン酸塩の酸化の度合いに強く影響される。結晶性モリブデン酸塩の厚さが一定であっても、モリブデン酸化が進むとこのピーク強度が低下することが酸化の程度と相関がある良い目安になることが分かっている。実際、遷移金属のＭｎ、Ｃｏ、Ｎｉ系の結晶性モリブデン酸塩の場合は、被膜を形成した基板を高温下に置くとかなり早くＭｏの回折ピークが低下するのに対して、ＭｇＭｏＯ４被膜の場合は高温下で格段に長い時間ピーク強度が低下しない。
【００３４】
すなわち、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ系は多価金属であることがそれを含む結晶性モリブデン酸塩の酸素の拡散速度が高い原因であり、酸素透過率が高い原因と考えられる。その結果、マグネシウムを含む結晶性モリブデン酸塩の保護膜である被膜は高温下の耐酸化作用が優れていることが予想される。即ち、ＭｇＭｏＯ４系が特に優れた高温耐酸化性を示す理由は、熱膨張係数が金属箔や外部リードを構成するモリブデンに近いことと、結晶構造が温度や湿度などに影響されず安定した被膜が形成されることの他に、上記のようにＭｇＭｏＯ４が酸素を透過しにくいことが理由として挙げられる。
【００３５】
しかし、それでも５００℃を越える高温の下ではぺスティングと呼ばれる現象のため、寿命が短い。さらに長寿命の保護膜を開発するため、特開２００５−２２８６６５ではぺスティングを抑える技術が開示された。この技術は、第１の保護膜として、最も有効な結晶性モリブデン酸塩として、ＭｇＭｏＯ４が形成されるが、ＭｇＭｏＯ４は５００℃を５０℃越えただけで、加速度的に酸化が進行する。ペスティングと呼ばれるカタストロフィー的な酸化がそれである。酸化の起点はポアやクラックや粒界である。即ち、ペスティングの起こる原因は、ＭｇＭｏＯ４はもともとは酸素の固溶率は極めて低いし、酸素透過率も低いが、いったん酸素が浸透すると、下地であるモリブデン製の金属箔や外部リードのＭｏの酸化によってくさび型にＭｏＯ３が生成し、２５０％もの体積膨張が生ずる。このあとできるポアやクラックでの酸素の吸着は表面エネルギーを下げ、ペスト的な酸化によってクラック成長を加速する。さらにＭｏＯ３の揮発は欠陥でのクラック成長の付加的な促進となる。即ち、ＭｏＯ３の生じた個所のウエイトはオリジナルのわずかな部分に過ぎないが、破壊は次々に周囲の保護膜に伝播し、終には保護膜の完全なる崩壊に導く。これがぺスティングである。特開２００５−２２８６６５はくさび形に形成したＭｏＯ３と、第二の保護膜から５００℃の点灯中の高温でできた、Ｎａ２Ｏがすぐさま反応しＮａ２ＭｏＯ４を作ることによってＭｇＭｏＯ４コーティングの破壊を修復し、ペスト的酸化を阻止する技術である。
【００３６】
しかし、特開２００５−２２８６６５に開示された二重コーティング膜とする以外に、ぺスティングを抑える方法がないかいろいろなモリブデン酸塩で試験してみたが、それらの性能は十分ではなかった。即ち、特開２００４−１３９９５９で開示された結晶性モリブデン酸塩のほかに試験したのは、直接には技術開示されていないアルカリを含むモリブデン酸塩を含むモリブデン酸塩であった。Ａがアルカリなど１価元素からなるＡ２ＭｏＯ４またはＭが２価元素からなるＭＭｏＯ４またはＲが希土類金属からなるＲ２（ＭｏＯ）３などをそれぞれ複数試験したが、いずれも単体のモリブデン酸塩ではシール部寿命は十分ではなかった。
【００３７】
そこで本発明では、２価の元素のうち最も性能のよかったマグネシウム系のＭｇＭｏＯ４なるモリブデン酸塩に代わって、マグネシウム・アルカリからなるモリブデン酸複塩を考えた。これは、このモリブデン酸塩に、アルカリを加えると金属箔ならびに外部リードのモリブデン基板に整合的に均一な膜が形成され、さらに酸素透過率が小さいことが予想されるからである。また、マグネシウムを固定してどのアルカリ元素との複塩が性能がよいか調べた。
【００３８】
モリブデン酸塩について一般的に言えることは、1価のアルカリ金属モリブデン酸塩も、２価金属からなるアルカリ土類金属モリブデン酸塩も、３価金属の希土類金属モリブデン酸塩のどれを取っても、単体ではその結晶構造は立方晶には成り得ないことである。上記の多くの単体モリブデン酸塩に見られる構造の結晶系は六方晶、三方晶、正方晶、斜方晶もしくは単斜晶であるが、それらの積み重ねのコーティング層を形成した時、非立方晶では不利である。即ち、他の寿命要因を無視すれば、立方晶の結晶構造の積み重ねの方がすきまが小さくなるので、コーティング層は酸化されにくく安定になることが予想される。ところで、１価と２価の混晶では立方晶を取る組み合わせが知られている。１価（例えばＬｉ、Ｋ、Ｎａ、Ｒｂ等の金属）と２価（例えばＭｇ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属）からできるモリブデン酸複塩の結晶構造の例を図１に示す。
【００３９】
２価元素のモリブデン酸塩ＭＭｏＯ４とＬｉ２ＭｏＯ４とが相互作用するとき、複合モリブデン酸塩Ｌｉ２Ｍ２（ＭｏＯ４）３が得られる。しかし、シーライト構造を持つ2価元素のモリブデン酸塩ＭＭｏＯ４とでは複合モリブデン酸塩を作らず、例外なく共晶になる。２価元素のモリブデン酸塩とＮａ２ＭｏＯ４とでの相互作用は、Ｌｉ系に比べて複雑な形で進行する。Ｋ、Ｒｂ、Ｃｓ系になると再び簡単な相互作用となり、１：１の複合モリブデン酸塩Ａ２Ｍ２（ＭｏＯ４）３が安定に形成される。結晶構造も立方晶が出現する。即ち、Ｎａでは1：1の存在は知られておらず、これに近い組成は非化学量論組成だけである。この結晶系は単斜晶とされている。一方、アルカリ元素がＫ、Ｒｂ、Ｃｓとイオン半径が大きくなると、２価元素との複塩でラングバイン石として知られる立方晶をとることが分かっている。それも、ＫではＭｇまたはＭｎが組み合わさる時だけ立方晶となるが、アルカリがＲｂ、Ｃｓとイオン半径が大きくなるに従って、Ｍｇ、Ｍｎ以外にもＣｏ、Ｎｉと立方晶を取る組み合わせが広がる。
【００４０】
さらに結晶系以外に、イオン半径の違いもモリブデン酸複塩の性質に関係する。Ｌｉ+１のイオン半径（０．６７Ａ）はＭｇ+2のイオン半径（０．６６Ａ）に最も近い。  Ｎａ+１（０．９７Ａ）、Ｋ+１（１．３３Ａ）、Ｒｂ+１（１．４７Ａ）の順に大きくなり、Ｃｓ+１のイオン半径（１．６６Ａ）は最も大きく、Ｍｇ+2のイオン半径との差は広がる。モリブデン酸複塩を作った時、結晶構造内の充填度はＭｇ／Ｌｉ系において最も高くて、結晶は安定していると考えられる。しかしその結果、充填度は高くなっても結晶系は非立方系になったとも考えられる。
【００４１】
以上のような考えから、マグネシウム系のＭｇＭｏＯ４よりなるモリブデン酸塩に代わる、アルカリを加えると金属箔ならびに外部リードのモリブデン基板に整合的に均一な膜が形成され、さらに酸素透過率が小さいことが予想される、マグネシウム・アルカリからなるモリブデン酸複塩の仕様をいろいろ変化させて試験を行った。その結果、マグネシウムとナトリウムからなるモリブデン酸複塩およびマグネシウムとカリウムからなるモリブデン酸複塩の保護膜が優れた試験結果を示した。
【００４２】
この優れたモリブデン酸塩のうち一例としてマグネシウム硝酸塩とカリウム硝酸塩の混合水溶液とＭｏ箔との反応物質をＸ線回折によって確認した。その結果、ＪＣＰＤＳのＰｏｗｄｅｒ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ  ＦｉｌｅのＫ２Ｍｇ２(ＭｏＯ４)３とよく一致する回折パターンを得た。そのほかに、少量のＫ２Ｍｏ２Ｏ７とＭｇ２Ｍｏ３Ｏ１１とが現れた。この少量の物質は大気中５００℃での時間経過が長くなると増える傾向になった。
【実施例１】
【００４３】
本発明の箔シールランプとしては、モリブデンから成る金属箔をシュリンクシールする放電ランプや、ピンチシールするハロゲンランプ等、種々のランプにおいて利用できる。本発明の第1の実施例としてシングルエンド型ハロゲンランプを用いて説明する。
図３−ａ）は、本発明におけるシングルエンド型ハロゲンランプ２０を示した概略説明図である。該シングルエンド型ハロゲンランプ２０は、石英ガラス製の封体２１の内部にタングステンから成るフィラメント２５を配置し、内部リード２６によってモリブデンから成る金属箔２２に接続されている。また、該封体２１内には、バッファガスとして、例えばアルゴン等の希ガスと、例えば臭素等のハロゲンガスが封入されている。これらのガスは封体２１の一端をピンチシールによりシールしたシール部２３によって封じられている。該シール部２３内には、該金属箔２２が埋設され、該金属箔２２に外部リード２４が接続されている。該外部リード２４の一方の端は、該シール部２３から外部に突出している。
【００４４】
図３−ｂ）は、該シングルエンド型ハロゲンランプ２０における該シール部２３の拡大説明図であって、図３−ａ）の一点鎖線で示した円Ａ部の拡大図である。該シール部２３に埋設された該金属箔２２の一端(外端部２９)に溶接されたモリブデン製の該外部リード２４と、該シール部２３の石英ガラスとの間には、微細な空隙部２７が形成されている。該空隙部２７には、保護膜構成用封着材２８が該空隙部２７を埋めるように注入されている。該保護膜構成用封着材２８は、該シール部２３の外端面２３ａに開口している空隙部端２７ａから、封着剤水溶液を滴下することにより、該空隙部２７内に浸透し、そしてモリブデン製の該金属箔２２の外端部２９にまで達している。
【００４５】
このように、該金属箔２２の外端部２９にまで達した保護膜構成用封着材２８は、５時間自然乾燥のあと、１３０℃の乾燥機中で１５分乾燥させ、続いて５１０℃の電気炉で１０分間ランプの中のＭｏ部材と反応させることによって、モリブデンから成る金属箔ならびに外部に突き出たモリブデン製外部リードにコーティングを施した。尚、電気炉中では、大気雰囲気で反応させた。
【００４６】
このようにして、寿命試験用のランプを作製した。比較試験用のサンプルも同様にして作製した。各種のサンプルの寿命試験には、ランプを点灯させて行う方法は採用せず、ランプを電気炉中に置いて、シール部に両方の金属箔を横断してクラックが入るまでの経過時間を観測した。また、石英ガラスにクラックが入る手前には必ず箔浮き現象が見えるのでこれも判定の参考とした。尚、このようなランプを点灯させない寿命試験は、実際のランプ点灯寿命試験とは一致しないが、相対的によく対応することが分かっており、簡便で確実な判定方法である。（実際のランプ点灯試験では、金属箔や外部リードには電流が流れ、自己発熱が加わるため、シール部に加わる温度負荷はより厳しくなる）。特に、該保護膜の物質仕様を変えて行う場合や、形成条件を変えて行う場合において寿命の長短を判定するには有用である。
【００４７】
図２に寿命試験用として用いた各種サンプルの塗布剤の仕様と予想されるコーティング物質のモリブデン酸塩を示す。これらの塗布剤は、マグネシウムまたはアルカリ単体のモリブデン酸塩ならびにマグネシウム／アルカリモリブデン酸複塩をコーティング層として形成するためのものである。以下に、各サンプルについて述べる。
【００４８】
Ｎｏ．１は、アルカリとしてナトリウム（Ｎａ）を添加したマグネシウム硝酸塩である。これは、マグネシウム硝酸塩とナトリウム硝酸塩（ＮａＮＯ３）の水溶液を１：１で混合したものである。この混合水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、マグネシウム・ナトリウム・モリブデン酸塩（Ｎａ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）が形成される。
【００４９】
Ｎｏ．２は、アルカリとしてナトリウム（Ｎａ）を添加したナトリウム珪酸塩（ＮａＯ・２．９１ＳｉＯ２）とマグネシウム硝酸塩とを併せて使用した場合である。ナトリウム珪酸塩の水溶液とマグネシウム硝酸塩の水溶液を混合すると、沈殿物が形成され、混合物は水溶液として使用できない。そこで、次のようにしてモリブデンと反応をさせた。マグネシウム硝酸塩（Ｍｇ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）を空隙に注入し乾燥させてモリブデン部材に塗布し、次にその上からナトリウム珪酸塩水溶液を空隙に注入し乾燥させたあと、５１０℃の大気中電気炉中でモリブデン部材と反応させた。乾燥はいずれも自然乾燥のあと、１３０℃の乾燥炉で１５分乾燥させた。ここで、原料は二層コーティングするが５１０℃でのモリブデン部材との反応生成物は一層のモリブデン酸塩となっている。生成されるのは、Ｎｏ．１の場合と同等のマグネシウム・ナトリウム・モリブデン酸塩（Ｎａ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）である。
【００５０】
Ｎｏ．３は、アルカリとしてカリウム（Ｋ）を添加したマグネシウム硝酸塩である。これは、マグネシウム硝酸塩とカリウム硝酸塩（ＫＮＯ３）の水溶液を１：１で混合したものである。この混合水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、マグネシウム・カリウム・モリブデン酸塩（Ｋ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）が形成される。
【００５１】
Ｎｏ．４は、アルカリとしてカリウム（Ｋ）を添加したカリウム珪酸塩（Ｋ２Ｏ・４ＳｉＯ２）とマグネシウム硝酸塩とを併せて使用した場合である。カリウム珪酸塩の水溶液とマグネシウム硝酸塩の水溶液を混合すると、Ｎｏ．２の場合と同様に沈殿物が形成され、混合物は水溶液として使用できない。そこで、次のようにしてモリブデンと反応をさせた。マグネシウム硝酸塩（Ｍｇ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）を空隙に注入し乾燥させてモリブデン部材に塗布し、次にその上からカリウム珪酸塩水溶液を空隙に注入し乾燥させたあと、５１０℃の大気中電気炉中でモリブデン部材と反応させた。乾燥はいずれも自然乾燥のあと、１３０℃の乾燥炉で１５分乾燥させた。ここで、原料は二層コーティングするが５１０℃でのモリブデン部材との反応生成物は一層のモリブデン酸塩となっている。生成されるのは、Ｎｏ．３の場合と同等のマグネシウム・カリウム・モリブデン酸塩（Ｋ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）である。
【００５２】
Ｎｏ．５は、アルカリとしてルビジウム（Ｒｂ）を添加したマグネシウム硝酸塩である。これは、マグネシウム硝酸塩とルビジウム硝酸塩（ＲｂＮＯ３）の水溶液を１：１で混合したものである。この混合水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、マグネシウム・ルビジウム・モリブデン酸塩（Ｒｂ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）が形成される。
【００５３】
Ｎｏ．６は、アルカリとしてリチウム（Ｌｉ）を添加したマグネシウム硝酸塩である。これは、マグネシウム硝酸塩とリチウム硝酸塩（ＬｉＮＯ３）の水溶液を１：１で混合したものである。この混合水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、マグネシウム・リチウム・モリブデン酸塩（Ｌｉ２Ｍｇ２（ＭｏＯ４）３）が形成される。
【００５４】
Ｎｏ．７は比較サンプルとしてのルビジウム硝酸塩（ＲｂＮＯ３）である。この水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、モリブデン酸塩（Ｒｂ２ＭｏＯ４、またはＲｂ２Ｍｏ２Ｏ７）が形成される。
【００５５】
Ｎｏ．８は、比較サンプルとしてのカリウム珪酸塩（Ｋ２Ｏ・４ＳｉＯ２・４５．５Ｈ２Ｏ）である。この水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、モリブデン酸塩（Ｋ２ＭｏＯ４、またはＫ２Ｍｏ２Ｏ７）が形成される。
【００５６】
Ｎｏ．９は、比較サンプルとしてのナトリウム硝酸塩（Ｎａ（ＮＯ３））である。この水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、モリブデン酸塩（Ｎａ２ＭｏＯ４、またはＮａ２Ｍｏ２Ｏ７）が形成される。
【００５７】
Ｎｏ．１０は、前記したＮｏ．６との比較サンプルであって、リチウム硝酸塩（ＬｉＮＯ３）の水溶液である。この水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、リチウム・モリブデン酸塩（Ｌｉ２ＭｏＯ４、または、Ｌｉ２Ｍｏ２Ｏ７）が形成される。
【００５８】
Ｎｏ．１１は比較サンプルとしてのマグネシウム硝酸塩（Ｍｇ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）である。この水溶液を該ランプの外部リードとその空隙に塗布乾燥させ、その後、５１０℃の電気炉で１０分間焼成することで、該ランプの中のＭｏ部材と反応し、モリブデン酸塩（ＭｇＭｏＯ４）が形成される。
【００５９】
上記の各サンプルについてまとめると、Ｎｏ．１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５、及び、Ｎｏ．６が、混合水溶液から生成されるマグネシウムとアルカリからなるモリブデン酸複塩である。Ｎｏ．１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５、Ｎｏ．６、の各々はマグネシウム硝酸塩の水溶液とアルカリ硝酸塩の水溶液を１：１の割合で混合して得た混合水溶液をモリブデン金属上に塗布、乾燥、焼成することによりモリブデン酸複塩が生成される。いずれのサンプルも、マグネシウム硝酸塩１．２モル／Ｌおよびアルカリ硝酸塩１．２モル／Ｌを溶かし混合水溶液とした。
【００６０】
また、Ｎｏ．２とＮｏ．４は、アルカリ元素としてアルカリ珪酸塩を使う仕様であり、各々の水溶液を混合すると、沈殿物が形成され混合水溶液にならない。そこで、前述したように、マグネシウム硝酸塩（Ｍｇ（ＮＯ３）２・６Ｈ２Ｏ）を空隙に注入し乾燥させてモリブデン部材に塗布し、次にその上からアルカリ珪酸塩水溶液を空隙に注入し乾燥させたあと、５１０℃の大気中電気炉中でモリブデン部材と反応させた。
【００６１】
これらのサンプルを用いて、シール部寿命試験を行った。その結果を図４に示す。Ｎｏ．１、Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎｏ．４、Ｎｏ．５およびＮｏ．６が、マグネシウムとアルカリからなるモリブデン酸複塩のシール部寿命試験結果である。このうち、Ｎｏ．２とＮｏ．４がマグネシウム硝酸塩に続いて塗布したナトリウム珪酸塩またはカリウム珪酸塩の結果である。他の、Ｎｏ．７、Ｎｏ．８、Ｎｏ．９、Ｎｏ．１０およびＮｏ．１１はモリブデン酸複塩の結果との比較のため行った単体モリブデン酸塩の寿命試験結果である。
【００６２】
試験の結果、マグネシウム／ナトリウム系モリブデン酸複塩（Ｎｏ．１、Ｎｏ．２）とマグネシウム／カリウム系モリブデン酸複塩（Ｎｏ．３、Ｎｏ．４）のコーティング結果が単体モリブデン酸塩（Ｎｏ．７、Ｎｏ．８、Ｎｏ．９、Ｎｏ．１０、およびＮｏ．１１）より良好な結果を示した。一方、マグネシウム／ルビジウムモリブデン酸複塩（Ｎｏ．５）とマグネシウム／リチウムモリブデン酸複塩（Ｎｏ．６）のコーティング結果は単体モリブデン酸塩（Ｎｏ．７、Ｎｏ．８、Ｎｏ．９、Ｎｏ．１０、およびＮｏ．１１）のコーティング結果より悪くなった。従って、本発明における有効な保護膜構成用封着材として推奨される保護膜は、Ｎｏ．１およびＮｏ．２に示したマグネシウム／ナトリウム系モリブデン酸複塩、及び、Ｎｏ．３．およびＮｏ．４に示したマグネシウム／カリウム系モリブデン酸複塩である。
【００６３】
複合モリブデン酸塩は単体モリブデン酸塩の中間組成のコーティングでありながら、それらの中間の寿命を取ることはなく、単体モリブデン酸塩のどれよりも長くなるか（Ｍｇ/Ｎａ、Ｍｇ/Ｋ複合モリブデン酸塩）、単体のどれよりも短くなった（Ｍｇ／Ｌｉ、Ｍｇ/Ｒｂ複合モリブデン酸塩）。この事実はＭｇモリブデン酸塩とアルカリモリブデン酸塩の単なる混合の結果ではなく、特別な構造と化学的結合を持つ複合モリブデン酸塩が生成し、機能を発揮したことの証左である。
【００６４】
その理由を考えると、Ｍｇ/Ｌｉモリブデン酸複塩を作った時、結晶構造内の充填度はＭｇ/Ｌｉ系において最も高くて、結晶は、陽イオン半径の最も近い元素同士が安定していると考えられる。しかしその結果、充填度は高くなっても結晶系は非立方系になり、コーティング堆積の矛盾が大きく、隙間が多くできる。一方、陽イオン半径の差が最も大きいＭｇ/Ｒｂモリブデン酸複塩を作った時は、結晶系は立方晶になってコーティング堆積の矛盾は最も低いが、逆に原子の充填度は最も低くなり、酸素透過率も大きくなったと考える。また、中間のＭｇ/Ｎａモリブデン酸複塩とＭｇ/Ｋモリブデン酸複塩を作った時、前者では陽イオン半径の差はそれほどの違いはなく、結晶系は非立方となっても、充填度は比較的大きく、後者でも陽イオン半径の差が大きいといってもそれほどではなく立方晶となり、充填度も比較的大きい。そのため、アルカリイオン半径の中間のＭｇ/Ｎａモリブデン酸複とＭｇ/Ｋモリブデン酸複塩で、結晶性と充填度共に良好で、酸素透過率の小さい膜質のコーティングが形成された、と考えられる。
【００６５】
前述のように、Ｍｇ/Ｋモリブデン酸複塩のコーティングでは、Ｋ２Ｍｇ２(ＭｏＯ４)３とよく一致するＸ線回折パターンを得たが、そのほかに、少量のＫ２Ｍｏ２Ｏ７とＭｇ２Ｍｏ３Ｏ１１とが現れた。この少量の物質は大気中５００℃での時間経過が長くなると増える傾向になった。このことは直接下地のＭｏが酸化されるより、Ｋ２Ｍｏ２Ｏ７とＭｇ２Ｍｏ３Ｏ１１となる反応が律速となると考えられる。即ち、コーティング膜は破れて下地がＭｏＯ３になる前に、Ｋ２Ｍｏ２Ｏ７とＭｇ２Ｍｏ３Ｏ１１に分解した膜が出来ることを意味する。Ｋ２Ｍｏ２Ｏ７はＫ２Ｏ−ＭｏＯ３系において最低の融点を持つモリブデン酸塩であり、また、Ｍｇ２Ｍｏ３Ｏ１１もＭｇ−ＭｏＯ３もおいて最低の融点を示すモリブデン酸塩であるので、この二つに分かれるということは反応律側として期待される。さらに、Ｋ２Ｍｏ２Ｏ７は融点が４９０℃であるから、５００℃近辺のランプのシール部温度において流体となり、ランプ寿命試験中、Ｍｏ部材表面を流れてＭｏが直接顔を出さないようにする都合のよい働きをしているかも知れない。このように考えると、請求項に挙げられた、モリブデン酸複塩のコーティングは下地のＭｏ箔やＭｏ外部リードを酸化から守る機構を備えている物質であることは当然のことである。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】１価と２価からできるモリブデン酸複塩の結晶構造の例を示す表。
【図２】モリブデン酸塩コーティングのシール部寿命試験に用いた塗布剤の仕様を示す表。
【図３】実施例として用いた一端封止白熱ランプ型の箔シールランプの説明図。
【図４】モリブデン酸塩コーティングのシール部寿命試験結果である。
【図５】箔シール部を持つ放電ランプの構成の一例を管軸に沿った断面で示す説明図。
【図６】図５の箔シールランプのシール部の空隙を示す拡大図。
【符号の説明】
【００６７】
１      放電ランプ
１０    放電容器
１１    発光管部
１２    シール部
１３    電極棒
１３１  電極棒
１３２  電極棒
１４    金属箔
１５    外部リード棒
１５１  陽極
１５２  陰極
Ｇ      空隙
Ｌ      保護膜
２０    シングルエンド型ハロゲンランプ
２１    封体
２２    金属箔
２３    シール部
２３ａ  外端面
２４    外部リード
２５    フィラメント
２６    内部リード
２７    空隙部
２７ａ  空隙部端
２８    保護膜構成用封着材
２９    外端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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