(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直軸回りに並ぶとともに、それぞれが昇降自在な複数の吸着ノズルと、
前記複数の吸着ノズルの上方で前記複数の吸着ノズルそれぞれに対応して前記鉛直軸回りに並ぶ複数のノズル上方位置のいずれかから下降して、当該ノズル上方位置に対応する前記吸着ノズルを押し下げるノズル押圧部材と、
前記ノズル押圧部材と一体的に、前記鉛直軸方向に移動自在に設けられた移動体と、
前記鉛直軸方向に往復移動を行なう前記移動体を案内して、前記鉛直軸回りに回転させるガイド体と、
前記移動体を前記鉛直軸方向に駆動する移動体駆動手段と
を備え、
前記移動体駆動手段は、前記移動体を前記鉛直軸下方に移動させることで、前記ノズル上方位置から当該ノズル上方位置に対応する前記吸着ノズルにまで前記ノズル押圧部材を下降させて当該吸着ノズルを押し下げる押下動作と、前記移動体に前記往復移動を実行させることで、前記移動体を前記ガイド体に案内させて前記鉛直軸回りに回転させるとともに、前記移動体に伴って前記ノズル押圧部材を前記鉛直軸回りに回転させて前記各ノズル上方位置の間で移動させる切換動作とを実行可能であることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記移動体駆動手段は、前記複数の吸着ノズルより前記鉛直軸方向上側の区間に前記ノズル押圧部材を保ちつつ前記切換動作を実行する一方、当該区間よりも前記鉛直軸方向の下方から前記吸着ノズルにまで前記ノズル押圧部材を下降させて前記押下動作を実行する請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記複数の吸着ノズルは前記ガイド体によって支持されており、前記ガイド体は、前記複数の吸着ノズル、前記移動体および前記ノズル押圧部材を伴って前記鉛直軸回りに回転自在である請求項１または２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記ガイド体を前記鉛直軸回りに回転駆動するガイド体駆動手段をさらに備える請求項３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
前記複数の吸着ノズル、前記ノズル押圧部材、前記移動体および前記ガイド体で構成される実装用ヘッドが水平方向に一列に複数並ぶとともに、前記複数の実装用ヘッドそれぞれに対して前記移動体駆動手段および前記ガイド体駆動手段が配置された請求項４に記載の部品実装装置において、前記複数の移動体駆動手段が前記水平方向に一列に並んでかつ前記複数のガイド体駆動手段が前記水平方向に一列に並ぶとともに、前記複数の移動体駆動手段の列と前記複数のガイド体駆動手段の列とが前記鉛直軸方向から見て互いに並列に配置されている部品実装装置。
【請求項６】
前記移動体駆動手段は、前記鉛直軸方向に延びるボールネジ軸と、当該ボールネジ軸を回転駆動するモータと、前記ボールネジ軸に螺合するとともに前記移動体を支持する支持部材とを有する請求項１ないし５のいずれか一項に記載の部品実装装置。
【請求項７】
前記ガイド体は、中心軸が前記鉛直軸方向に平行な円筒形であって、前記複数のノズル上方位置毎に対応して設けられて前記鉛直軸方向に長さを有する案内路と、鉛直軸回りに隣接する２つの案内路を連結する連結路がその周面に形成されたガイド部材を有し、
前記移動体は、中心軸が前記鉛直軸方向に平行でかつ円筒形状の中空部が形成されており当該中空部に前記ガイド部材が嵌った状態で前記ガイド部材に対して前記鉛直軸方向に移動自在であるとともに、前記案内路および前記連結路に添って移動する移動子をその内壁に設けた移動部材を有し、
前記移動体の往復移動のうち前記移動体が鉛直軸方向の一方側に移動する往路において、前記移動子は一の前記案内路に沿って前記連結路あるいは当該連結路を通過する位置にまで移動する一方、前記移動体が鉛直軸方向の他方側に移動する復路において、前記移動子は一の前記案内路から前記連結路に分岐して一の前記案内路に隣接する他の前記案内路に移動する請求項１ないし６のいずれか一項に記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の吸着ノズルから選択した吸着ノズルを下降させて部品吸着に用いる部品実装装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、昇降自在な複数の吸着ノズルを備えるとともに、複数の吸着ノズルから選択した一の吸着ノズルを下降させて、この吸着ノズルによって部品の吸着を行なう部品実装装置が知られている。また、複数の吸着ノズルのうちから下降させる吸着ノズルを選択的に切り換えるために、種々の機構が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１の部品実装装置では、ノズルホルダの上方に、吸着ノズルに係合して当該吸着ノズルの下降を規制する係合フックが、吸着ノズル毎に設けられている。そして、複数の吸着ノズルのうち、部品吸着に供しない吸着ノズルは係合フックに係合して上方に維持される一方、部品吸着に供する吸着ノズルは係合フックへの係合が解除されて下降する。さらに、この部品実装装置には、係合フックと吸着ノズルの係合を解除するための係合阻止部材が設けられており、この係合阻止部材によって係合フックへの係合を解除する吸着ノズルを変更することで、部品吸着のために下降させる吸着ノズルが選択的に切り換えられる。詳しくは、係合解除対象となる吸着ノズルの係合フックを係合阻止部材に臨ませて、この状態から係合阻止部材およびノズルホルダを上昇させる。これにより、係合解除対象となる吸着ノズルの係合フックに係合阻止部材が下方から当接し、当該係合フックが回動する。こうして、吸着ノズルが係合フックから外れて下降する。一方、それまで部品吸着に供していた吸着ノズルは、ノズルホルダと一緒に上昇して、その上方にある係合フックに係合して下降が規制される。以上のようにして、特許文献１では、部品吸着のために下降させる吸着ノズルを選択的に切り換えている。
【０００４】
また、特許文献２の部品実装装置は、複数の吸着ノズルのうちから下降させる吸着ノズルを切り換えるために、押圧部材を備えている。この押圧部材は、昇降回転装置によって昇降・回転されるＺ軸の下端に固定されており、昇降回転装置の駆動力を受けてＺ軸と一体的に昇降・回転可能である。すなわち、昇降回転装置は、押圧部材をＺ軸と一緒に回転させて水平方向に移動させ、下降対象となる吸着ノズルの上方に押圧部材を位置させるのに続いて、押圧部材をＺ軸と一緒に下降させてこの吸着ノズルを押し下げる。つまり、特許文献２では、下降対象となる吸着ノズルの上方に押圧部材を選択的に移動させることで、部品吸着のために下降させる吸着ノズルを選択的に切り換え可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−２７０５９５号公報
【特許文献２】特開２００４−３１１８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１では、部品吸着に供するために下降させる吸着ノズルを切り換えるにあたって、複数の吸着ノズルを支持するノズルホルダや係合阻止部材等の各部を上昇させる必要がある。そのため、これらを上昇させるために大きな駆動力を発生する駆動手段（アクチュエータ等）が必要となり、駆動手段が大型化してしまうという問題があった。
【０００７】
また、特許文献２では、部品吸着に供するために吸着ノズルを切り換えるにあたっては、押圧部材をＺ軸と一体的に回転・昇降させる必要がある。そのため、これらを駆動する駆動手段（昇降回転装置）は、Ｚ軸を回転させるサーボモータおよびＺ軸を昇降させるサーボモータの２つのサーボモータを備えている。その結果、駆動手段が大型化してしまうという問題があった。
【０００８】
この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、複数の吸着ノズルを選択的に下降させて部品吸着に用いる部品実装装置において、下降させる吸着ノズルの切り換えに必要となる駆動手段の小型化を可能とする技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる部品実装装置は、上記目的を達成するために、鉛直軸回りに並ぶとともに、それぞれが昇降自在な複数の吸着ノズルと、複数の吸着ノズルの上方で複数の吸着ノズルそれぞれに対応して鉛直軸回りに並ぶ複数のノズル上方位置のいずれかから下降して、当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズルを押し下げるノズル押圧部材と、ノズル押圧部材と一体的に、鉛直軸方向に移動自在に設けられた移動体と、鉛直軸方向に往復移動を行なう移動体を案内して、鉛直軸回りに回転させるガイド体と、移動体を鉛直軸方向に駆動する移動体駆動手段とを備え、移動体駆動手段は、移動体を鉛直軸下方に移動させることで、ノズル上方位置から当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズルにまでノズル押圧部材を下降させて当該吸着ノズルを押し下げる押下動作と、移動体に往復移動を実行させることで、移動体をガイド体に案内させて鉛直軸回りに回転させるとともに、移動体に伴ってノズル押圧部材を鉛直軸回りに回転させて各ノズル上方位置の間で移動させる切換動作とを実行可能であることを特徴としている。
【００１０】
このように構成された発明（部品実装装置）では、鉛直軸回りに複数の吸着ノズルが並ぶとともに、鉛直軸方向に移動自在に設けられた移動体と一体的に移動するノズル押圧部材が複数の吸着ノズルの上方に設けられている。このノズル押圧部材は、複数の吸着ノズルの上方で複数の吸着ノズルそれぞれに対応して鉛直軸回りに並ぶ複数のノズル上方位置のいずれかから下降して、当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズルを押し下げるものである。具体的には、移動体を鉛直軸方向に駆動する移動体駆動手段が、移動体を鉛直軸下方に移動させることで、ノズル上方位置から当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズルにまでノズル押圧部材を下降させて当該吸着ノズルを押し下げる押下動作を実行する。
【００１１】
さらに、この発明では、鉛直軸方向に往復移動を行なう移動体を案内して、鉛直軸回りに回転させるガイド体が設けられている。したがって、移動体駆動手段は、移動体に往復移動を実行させることで、ノズル押圧部材を移動体に伴って回転させて各ノズル上方位置の間で移動させる切換動作を実行することができる。言わば、この発明では、移動体を鉛直軸方向に往復移動させるだけで、各ノズル上方位置の間でノズル押圧部材を移動させて、下降させる吸着ノズルを選択的に切り換えることが可能となっている。したがって、下降させる吸着ノズルの切り換えに必要となる移動体駆動手段としては、この移動体を往復移動させる程度の駆動力を発揮するもので足りるため、移動体駆動手段を小型化できる。また、この発明では、吸着ノズルの下降動作および切換動作の両動作を、移動体（およびノズル押圧部材）を鉛直軸方向に駆動するだけで実行可能である。したがって、移動体駆動手段としては、移動体を鉛直軸方向に駆動するものであれば足り、移動体駆動手段を小型化することが可能となる。
【００１２】
また、移動体駆動手段は、複数の吸着ノズルより鉛直軸方向上側の区間にノズル押圧部材を保ちつつ切換動作を実行する一方、当該区間よりも鉛直軸方向の下方から吸着ノズルにまでノズル押圧部材を下降させて押下動作を実行するように構成しても良い。このような構成では、吸着ノズルの切換動作は、複数の吸着ノズルより鉛直軸方向上側の区間にノズル押圧部材を維持したまま、ノズル押圧部材により吸着ノズルを押下することなく実行できる。したがって、吸着ノズルの押下動作を無用に行うことなく、吸着ノズルの切換動作のみを適切に実行することができる。そのため、吸着ノズルの切換動作の際に、吸着ノズルが意図せず降下して周囲の他の部材に干渉する等の不都合を防止することができる。
【００１３】
ところで、複数の吸着ノズルを鉛直軸回りに回転自在に構成する場合がある。例えば、上記特許文献２では、複数の吸着ノズルを支持するノズルホルダと、このノズルホルダを回転駆動する回転装置とを備え、この回転装置の駆動力によって複数の吸着ノズルをノズルホルダと一緒に回転させている。しかしながら、このような構成では、回転装置によって回転移動した吸着ノズルの上方に、この吸着ノズルを押下する押圧部材を移動させる必要がある。したがって、押圧部材を駆動する駆動手段（昇降回転装置）は、回転に伴う吸着ノズルの変位を考慮しつつ、押圧部材を吸着ノズル上方に駆動せねばならず、当該駆動手段の構成が複雑化するおそれがあった。
【００１４】
そこで、複数の吸着ノズルはガイド体によって支持されており、ガイド体は、複数の吸着ノズル、移動体およびノズル押圧部材を伴って鉛直軸回りに回転自在であるように構成しても良い。このような構成では、ガイド体が複数の吸着ノズルを伴って回転することで、複数の吸着ノズルのうち下降させる吸着ノズルを部品の上方位置に移動させることができる。しかも、ガイド体は、吸着ノズルのほか、移動体およびノズル押圧部材も伴って回転する。したがって、吸着ノズルの回転によって、吸着ノズルとノズル押圧部材の相対的な位置関係が変わることは無い。よって、ノズル押圧部材を駆動する移動体駆動手段は、回転に伴う吸着ノズルの変位を考慮することなく、下降させる吸着ノズルに対応するノズル上方位置にノズル押圧部材を適切に移動させることができ、移動体駆動手段の構成の簡素化を図ることができる。
【００１５】
この際、ガイド体を鉛直軸回りに回転駆動するガイド体駆動手段をさらに備えるように構成しても良い。このような構成では、移動体駆動手段とガイド体駆動手段とを別個独立に駆動できるので、移動体駆動手段による吸着ノズルの切換・押下動作と、ガイド体駆動手段による吸着ノズルの回転動作とを平行して実行でき、作業効率を向上することができる。
【００１６】
また、複数の吸着ノズル、ノズル押圧部材、移動体およびガイド体で構成される実装用ヘッドが水平方向に一列に複数並ぶとともに、複数の実装用ヘッドそれぞれに対して移動体駆動手段およびガイド体駆動手段が配置された部品実装装置においては、複数の移動体駆動手段が水平方向に一列に並んでかつ複数のガイド体駆動手段が水平方向に一列に並ぶとともに、複数の移動体駆動手段の列と複数のガイド体駆動手段の列とが鉛直軸方向から見て互いに並列に配置されているように構成しても良い。このような構成では、部品実装装置の各構成部材をコンパクトに配置することができ、部品実装装置を小型化できる。特に、複数の移動体手段の列と複数のガイド体手段の列とを並列に配置するレイアウトとしたため（移動体手段とガイド体手段が一つずつ隣り合って一列に並ぶ直列配置と比べて）、水平方向に隣り合う実装用ヘッドの間の距離、延いては、実装用ヘッドが備えるノズル群（複数の吸着ノズルからなる群）の間の距離を狭めることができる。
【００１７】
また、移動体駆動手段は、鉛直軸方向に延びるボールネジ軸と、当該ボールネジ軸を回転駆動するモータと、ボールネジ軸に螺合するとともに移動体を支持する支持部材とを有するように構成しても良い。これにより、単純かつ安価な構成で、移動体を鉛直軸方向に往復移動させることができる。
【００１８】
また、ガイド体は、中心軸が鉛直軸方向に平行な円筒形であって、複数のノズル上方位置毎に対応して設けられて鉛直軸方向に長さを有する案内路と、鉛直軸回りに隣接する２つの案内路を連結する連結路がその周面に形成されたガイド部材を有し、移動体は、中心軸が鉛直軸方向に平行でかつ円筒形状の中空部が形成されており当該中空部に前記ガイド部材が嵌った状態でガイド部材に対して鉛直軸方向に移動自在であるとともに、案内路および連結路に添って移動する移動子をその内壁に設けた移動部材を有し、移動体の往復移動のうち移動体が鉛直軸方向の一方側に移動する往路において、移動子は一の案内路に沿って連結路あるいは当該連結路を通過する位置にまで移動する一方、移動体が鉛直軸方向の他方側に移動する復路において、移動子は一の案内路から連結路に分岐して一の案内路に隣接する他の案内路に移動するように構成しても良い。これにより、単純かつ安価な構成で、往復移動を行なう移動体を鉛直軸回りに回転させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
下降させる吸着ノズルの切り換えに必要となる移動体駆動手段としては、この移動体を往復移動させる程度の駆動力を発揮するもので足りるため、移動体駆動手段を小型化できる。また、吸着ノズルの下降動作および切換動作の両動作を、移動体（およびノズル押圧部材）を鉛直軸方向に駆動するだけで実行可能であるため、移動体駆動手段としては、移動体を鉛直軸方向に駆動するものであれば足り、移動体駆動手段を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明にかかる部品実装装置の一実施形態の概略構成を示す平面図である。
【図２】ヘッドユニットの部分斜視図である。
【図３】ヘッドユニットの部分等角投影図である。
【図４】ヘッドユニットの部分側面図である。
【図５】実装用ヘッドの部分断面図である。
【図６】ガイド部材および移動部材を示す斜視図（上段）と、同上段の破線で囲まれた部分を拡大した部分拡大斜視図（下段）とを併せて示す図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線部分断面図（上段）と、図６のＢ−Ｂ線部分断面図（下段）とを併せて示す図である。
【図８】ガイド部材および移動部材の変形例を示す分解図である。
【図９】ガイド部材および移動部材の変形例の動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は本発明にかかる部品実装装置の一実施形態の概略構成を示す平面図である。なお、図１および後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。
【００２２】
この部品実装装置１では、基台１１上に基板搬送機構２が配置されており、基板３を所定の搬送方向Ｘに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構２は、基台１１上において基板３を図１の右側から左側へ搬送する一対のコンベア２１、２１を有している。そして、コンベア２１、２１は基板３を搬入し、所定の実装作業位置（同図に示す基板３の位置）で停止させ、図略の保持装置で基板３を固定し保持する。そして部品供給部４から供給される電子部品がヘッドユニット６に搭載された実装用ヘッド８により基板３に移載される。そして、基板３に実装すべき部品の全部について実装処理が完了すると、基板搬送機構２は基板３を搬出する。なお、基台１１上には、部品認識用カメラ７が配設されている。この部品認識用カメラ７は、照明部およびＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラなどから構成されており、ヘッドユニット６の各実装用ヘッド８に保持された電子部品をその下側から撮像するようになっている。
【００２３】
このように構成された基板搬送機構２の前方側（＋Ｙ軸方向側）および後方側（−Ｙ軸方向側）には、上記した部品供給部４が配置されている。これらの部品供給部４は多数のテープフィーダ４１を備えている。また、各テープフィーダ４１には、電子部品を収納・保持したテープを巻回したリール（図示省略）が配置されており、電子部品をヘッドユニット６に供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品が所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ４１がリールからテープをヘッドユニット６側に送り出すことによって該テープ内の電子部品が間欠的に繰り出され、その結果、ヘッドユニット６の実装用ヘッド８による電子部品の吸着が可能となる。
【００２４】
このヘッドユニット６は、実装用ヘッド８により部品供給部で吸着した電子部品を保持したまま基板３に搬送するとともに、ユーザより指示された位置に移載するものである。続いて、このヘッドユニット６およびヘッドユニット６が備える実装用ヘッド８の詳細について、図２〜図５を用いて説明する。ここで、図２は、ヘッドユニットの部分斜視図であり、図３は、ヘッドユニットの部分等角投影図であり、図４は、ヘッドユニットの部分側面図である。また、図５は、実装用ヘッドの部分断面図である。
【００２５】
ヘッドユニット６は、４本の実装用ヘッド８をＸ方向（水平方向）に一列に並べるとともに、これらを後方（−Ｙ方向）から支持フレーム６１で支持した概略構成を備える。具体的には、これら実装用ヘッド８は、支持フレーム６１から前方（＋Ｙ方向）に延びる２つのアーム６１ａ、６１ｂによって支持されている。なお、４本の実装用ヘッド８は、互いに略共通の構成を有するため、以下の実装用ヘッド８の説明は、基本的に１つの実装用ヘッド８で代表して行い、その他の実装用ヘッド８については相当符号を付して説明を適宜省略する。
【００２６】
実装用ヘッド８は、鉛直軸（Ｚ軸）方向に延びる長尺のシャフト８１を備える。このシャフト８１の鉛直軸方向（Ｚ方向）の下部には、ノズルホルダ８２が配置されている。ノズルホルダ８２には、鉛直軸（Ｚ軸）の回りに一定間隔を空けて円周状に並ぶ８本の吸着ノズル８３が、鉛直軸方向（Ｚ方向）に昇降自在に支持されている。
【００２７】
一方、これら８本の吸着ノズル８３の鉛直軸方向（Ｚ方向）の上方には、これらのうちの一つの吸着ノズル８３を選択的に押し下げて部品吸着に供させるための機構が設けられている。具体的には、この機構は、ガイド部材８４と、ガイド部材８４に対して移動自在な移動部材８５と、移動部材８５と一体的に移動するノズル押圧部材８６と、移動部材８５にノズル押圧部材８６を結合するリンク部材８７とで実現されている。
【００２８】
つまり、シャフト８１の鉛直軸方向（Ｚ方向）の上部には、その中心軸が鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行な円筒形状を有するガイド部材８４が配置されている。このガイド部材８４は、その中心軸がシャフト８１の中心軸と一致するように取り付けられており、さらにその周面には溝Ｃが形成されている。
【００２９】
ガイド部材８４の鉛直軸方向（Ｚ方向）の下方（図５）には、ガイド部材８４に対して鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動自在な移動部材８５が設けられている。この移動部材８５は、その中心軸が鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行な円筒形状であるとともに、鉛直軸方向（Ｚ方向）に貫通する円柱状の孔が中空部ＳＰとして形成されている。移動部材８５の中空部ＳＰの直径はガイド部材８４の直径よりやや大きく、移動部材８５は、その中空部ＳＰにガイド部材８４が嵌った状態で、ガイド部材８４に対して鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動自在となっている。
【００３０】
また、移動部材８５（の中空部ＳＰ）の内壁から内向きに突出するピン形状の２つの移動子８５１が、移動部材８５の中心軸を中心として互いに１８０°だけずれた位置に設けられている。具体的には、各移動子８５１に対応して、移動部材８５の外壁から内壁までを貫通する小径孔が形成されており、各移動子８５１は対応する小径孔に移動自在に嵌っている。さらに、各移動子８５１の両端のうち移動部材８５外壁側の端は、当該移動子８５１を付勢する板バネ８５２に当接している。つまり、板バネ８５２の下端部は移動部材８５の外壁に固定される一方、板バネ８５２の上端は自由端となっており、この自由端に移動子８５１が当接している。そして、この板バネ８５２によって、移動子８５１が内向き（ガイド部材８４側）に付勢されている。
【００３１】
このように構成された移動部材８５の移動子８５１はガイド部材８４の溝Ｃに嵌りながら、板バネ８５２の付勢力によって溝Ｃに押圧されている。そして、この状態で、移動部材８５がガイド部材８４に対して鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動する。この際、移動子８５１が溝Ｃに沿って移動するように、移動部材８５の移動はガイド部材８４によって案内される。これにより、移動部材８５は、鉛直軸方向（Ｚ方向）に直線的に下降する動作の他、鉛直軸方向（Ｚ方向）へ往復移動した際にはガイド部材８４の案内により鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転動作を行なう。なお、この案内動作を実現する構成の詳細は、図６および図７を用いて後述する。
【００３２】
移動部材８５の鉛直軸方向（Ｚ方向）の下端にはリンク部材８７を介してノズル押圧部材８６が固定されている。このノズル押圧部材８６は、鉛直軸方向（Ｚ方向）に延びる棒状の部材で、移動部材８５と一体的に移動する。したがって、移動部材８５と一体的に鉛直軸方向（Ｚ方向）に下降する動作の他、移動部材８５と一体的に鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転する動作も実行可能である。そして、このノズル押圧部材８６によって、８本の吸着ノズル８３の一つが選択的に鉛直軸方向（Ｚ方向）に押し下げられて、部品吸着に供する。
【００３３】
つまり、８本の吸着ノズル８３のそれぞれは、部品吸着に供しない場合は、バネ部材（不図示）の付勢力によって鉛直軸方向の上方（＋Ｚ方向）に引き上げられる一方、部品吸着に供する場合は、ノズル押圧部材８６によって付勢力に抗して鉛直軸方向の下方（−Ｚ方向）に押し下げられる。この際、ノズル押圧部材８６は、鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転することで、８本の吸着ノズル８３の上方で８本の吸着ノズル８３それぞれに対応して鉛直軸（Ｚ軸）回りに並ぶ８個のノズル上方位置（ここでは、各吸着ノズル８３の鉛直軸方向（Ｚ方向）真上の位置）に選択的に移動する。そして、選択された吸着ノズル８３に対応するノズル上方位置からノズル押圧部材８６が下降して、当該吸着ノズル８３を押し下げる。こうして押し下げられた吸着ノズル８３がその先端部で部品を吸着する。ちなみに、図２、図３では、これらの図の左側から３本目の実装用ヘッド８が備える８本の吸着ノズル８３の１本が押し下げられている。
【００３４】
また、これら８本の吸着ノズル８３は、鉛直軸ＶＡ（Ｚ軸）回りに回転自在に構成されている。このように構成する利点をいくつか例示すると次のとおりである。つまり、吸着ノズル８３先端部（の開口）が長方形状であるような場合には、吸着ノズル８３先端部の長手方向と部品の長手方向とを一致させた状態で、吸着ノズル８３により部品を吸着することが好適となる。なぜなら、吸着ノズル８３の吸引力を十分に発揮させて、部品をしっかりと吸着保持することができるからである。これに対して、８本の吸着ノズル８３を回転自在に構成すれば、部品吸着に先立って吸着ノズル８３を適宜回転させて、吸着ノズル８３先端部と部品の各長手方向を一致させることができる。あるいは、吸着した部品を基板３に実装するにあたっては、基板３表面のパターンに吸着部品の回転角度を合わせる必要があるが、８本の吸着ノズル８３は回転自在に構成すれば、このような吸着部品の角度調整を容易に行なうことができる。さらには、複数の吸着ノズル８３をＸ−Ｙ面内で移動させつつ、これら吸着ノズル８３を適宜回転させることで、吸着ノズル８３を吸着対象部品の鉛直軸方向（Ｚ方向）の上方に位置させることが、簡便かつ高精度に行なうことができる。
【００３５】
また、吸着ノズル８３の回転によって吸着ノズル８３とノズル押圧部材８６の位置関係がずれてしまわないように、複数の吸着ノズル８３に伴ってノズル押圧部材８６も回転する。具体的には、移動部材８５、リンク部材８７、ノズル押圧部材８６および複数の吸着ノズル８３を伴ってシャフト８１が鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転するように構成されている。そして、シャフト８１が回転することで、吸着ノズル８３が回転するとともに、この吸着ノズル８３に伴ってノズル押圧部材８６も回転する。
【００３６】
以上が、実装用ヘッド８の構成である。続いて、実装用ヘッド８を駆動する２種類の駆動手段（Ｚ軸駆動手段６２、Ｒ軸駆動手段６３）について説明する。上述のとおり、実装用ヘッド８では、移動部材８５がノズル押圧部材８６と一体的に鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動することで、吸着ノズル８３の押下動作・切換動作が実行される。そこで、Ｚ軸駆動手段６２は、この移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に駆動する手段として設けられたものである。このＺ軸駆動手段６２は、支持フレーム６１と実装用ヘッド８の間に設けられるとともに、支持フレーム６１から前方（＋Ｙ方向）に延びる２つのアーム６１ｂ、６１ｃによって支持されている。
【００３７】
より具体的には、Ｚ軸駆動手段６２では、鉛直軸方向（Ｚ軸方向）に延びるボールネジ軸６２１と、ボールネジ軸６２１の鉛直軸方向（Ｚ方向）上方に配置されてボールネジ軸６２１を回転駆動するＺ軸モータ６２２と、ボールネジ軸６２１に螺合する可動部材６２３とが設けられている。そして、Ｚ軸モータ６２２がボールネジ軸６２１を鉛直軸（Ｚ軸）回りに正逆回転させることで、可動部材６２３が鉛直軸方向（Ｚ方向）に昇降する。この可動部材６２３は、移動部材８５とノズル押圧部材８６を結合するリンク部材８７を、ボールベアリング８８を介して支持している。具体的には、内輪８８１と外輪８８２でボール８８３を挟んだ構成を備えるボールベアリング８８が可動部材６２３とリンク部材８７の間に配置されており、ボールベアリング８８の内輪８８１がリンク部材８７に固定される一方、ボールベアリング８８の外輪８８２が可動部材６２３に固定されている。こうして、可動部材６２３が、移動部材８５、ノズル押圧部材８６およびリンク部材８７を鉛直軸ＶＡ（Ｚ軸）回りに回転自在に支持するとともに、可動部材６２３が鉛直軸方向（Ｚ方向）に昇降するのに伴って、移動部材８５、ノズル押圧部材８６、ボールベアリング８８およびリンク部材８７が鉛直軸方向（Ｚ方向）に昇降する。このように、Ｚ軸駆動手段６２によって、移動部材８５およびノズル押圧部材８６を一体的に鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動させることができる。
【００３８】
また、上述のとおり、実装用ヘッド８では、移動部材８５、リンク部材８７、ノズル押圧部材８６および複数の吸着ノズル８３を伴ってシャフト８１が鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転するように構成されている。そこで、Ｒ軸駆動手段６３は、シャフト８１を鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転駆動するために設けられたものである。具体的には、Ｒ軸駆動手段６３は、シャフト８１の上端に取り付けられたＲ軸モータ６３１を備えており、Ｒ軸モータ６３１の回転駆動力によってシャフト８１が鉛直軸（Ｚ軸）回りに正逆回転可能となっている。
【００３９】
また、ヘッドユニット６では、４本の実装用ヘッド８が水平方向（Ｘ方向）に一列に並ぶとともに、これら実装用ヘッド８それぞれに対して、Ｚ軸駆動手段６２およびＲ軸駆動手段６３が配置されている。この際、４個のＺ軸駆動手段６２も水平方向（Ｘ方向）に一列に並んで、かつ４個のＲ軸駆動手段６３も水平方向（Ｘ方向）に一列に並ぶ。しかも、４個のＺ軸駆動手段６２の列と４個のＲ軸駆動手段６３の列とは鉛直軸方向（Ｚ方向）から見て互いに並列に配置されている。このような構成では、部品実装装置１の各構成部材（実装用ヘッド８、Ｚ軸駆動手段６２、Ｒ軸駆動手段６３）をコンパクトに配置することができ、部品実装装置１を小型化できる。特に、４個のＺ軸駆動手段６２の列と４個のＲ軸駆動手段６３とを並列に配置するレイアウトとしたため（Ｚ軸駆動手段６２とＲ軸駆動手段６３を一つずつ隣り合わせて一列に並べた直列配置と比べて）、水平方向（Ｘ方向）に隣り合う実装用ヘッド８の距離、延いては、各実装用ヘッド８が備えるノズル群（８本の吸着ノズル８３からなる群）の間の距離を狭めることができる。
【００４０】
ところで、上述のとおりこの実施形態の実装用ヘッド８は、移動部材８５を案内するための溝Ｃが形成されたガイド部材を備えている。続いては、このガイド部材８４の詳細について説明する。図６は、ガイド部材および移動部材を示す斜視図（上段）と、同上段の破線で囲まれた部分を拡大した部分拡大斜視図（下段）とを併せて示す図である。なお、同図上段では、ガイド部材８４の大部分が移動部材８５より鉛直軸方向（Ｚ方向）上方に突出している状態が示されているとともに、鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転座標軸Ｒが示されている。図７は、図６のＡ−Ａ線部分断面図（上段）と、図６のＢ−Ｂ線部分断面図（下段）とを併せて示す図である。
【００４１】
図６に示すとおり、円柱状のガイド部材８４の周面の溝Ｃは、それぞれ鉛直軸方向（Ｚ方向）に延びて鉛直軸方向（Ｚ方向）に所定の長さを有する８本の案内溝Ｃaと、鉛直軸（Ｚ軸）回りに隣接する案内溝Ｃa同士を連結する８本の連結溝Ｃbとで構成されている。これら８本の案内溝Ｃaは、実装用ヘッド８の８本の吸着ノズル８３（換言すれば、８個のノズル上方位置）に対して一対一の対応関係で設けられたものであり、鉛直軸（Ｚ軸）回りに（Ｒ軸方向に）４５°（＝３６０°／８）の間隔を空けて形成されている。また、各案内溝Ｃaには、連結溝Ｃbとつながる分岐開口Ｐ1、Ｐ2が形成されている。これらのうち、下側分岐開口Ｐ1は案内溝Ｃaの逆回転側（−Ｒ側）の側壁に形成される一方、上側分岐開口Ｐ2は案内溝Ｃaの正回転側（＋Ｒ側）の側壁であって下側分岐開口Ｐ1よりも鉛直軸方向（Ｚ方向）上側に形成されている。そして、回転軸方向（Ｒ方向）に隣接する２つの案内溝Ｃaのうち、逆回転側（−Ｒ側）の案内溝Ｃaの下側分岐開口Ｐ1から正回転側（＋Ｒ側）の案内溝Ｃaの上側分岐開口Ｐ2までを直線的に連結するようにして、連結溝Ｃbが形成されている。つまり、回転軸方向（Ｒ方向）に隣接する２つの案内溝Ｃaは、正回転方向（＋Ｒ方向）に向かって上がる斜め状の連結溝Ｃbによって連結される。こうして、ガイド部材８４の周面には、案内溝Ｃaおよび連結溝ＣbがＲ軸方向に４５°の周期で周期的に形成されている。
【００４２】
そして、移動部材８５は、移動子８５１を介して案内溝Ｃaおよび連結溝Ｃbによる案内を受けて、上述の吸着ノズル８３の切換・押下動作を実行する。以下では、移動子８５１の動作を説明しつつ、これら切換・押下動作について述べる。また、上述のとおり、移動部材８５には２つの移動子８５１が設けられているが、これらの移動子８５１の動作は共通するので、以下の説明は１つの移動子８５１について行なう。
【００４３】
上述した吸着ノズル８３の切換のためにノズル押圧部材８６を回転させる動作は次のように実行される。すなわち、移動部材８５の内壁から突出する移動子８５１が板バネ８５２の付勢力を受けて溝Ｃa、Ｃbに嵌った状態で、移動部材８５がガイド部材８４に対して鉛直軸方向（Ｚ方向）に往復移動することで、移動子８５１が溝Ｃa、Ｃbの案内を受けて一の案内溝Ｃa（Ｃa1）からこれに隣接する他の案内溝Ｃa（Ｃa2）に移動するとともに、これに伴って移動部材８５およびノズル押圧部材８６が正回転側（＋Ｒ側）に回転する。これについて、移動子８５１が案内溝Ｃa1からＣa2に移動する場合で代表して詳述する。
【００４４】
まず、往路ＦＷでは、移動子８５１が、鉛直軸方向（Ｚ方向）に案内溝Ｃa1の上端から下側分岐開口Ｐ1（あるいは下側分岐開口Ｐ1を過ぎた位置）にまで下降する。この往路ＦＷにおいて、移動子８５１は、進行方向に対して上るように案内溝Ｃa1に形成された上り坂ＵＳ1を板バネ８５２の付勢力に抗して超えた後に、下側分岐開口Ｐ1に差し掛かる位置に形成された段差ＢＰ1を板バネ８５２の付勢力に従って落ちる（図６および図７のＡ−Ａ線部分断面図）。
【００４５】
続く復路ＢＷでは、移動子８５１は、鉛直軸方向（Ｚ方向）に上昇して、案内溝Ｃa1から案内溝Ｃa2に移動する。つまり、この復路ＢＷにおいて、移動子８５１は、案内溝Ｃa1に沿って上昇して下側分岐開口Ｐ1にまで到着すると、段差ＢＰ1に衝突する。段差ＢＰ1に衝突した移動子８５１は、案内溝Ｃa1に沿ってそれ以上は上昇できないため、連結溝Ｃbに分岐して、この連結溝Ｃbに沿いながら鉛直軸方向（Ｚ方向）上方に移動し、案内溝Ｃa2に到達する。このとき、移動子８５１は、進行方向に対して上るように連結溝Ｃbに形成された上り坂ＵＳ2を板バネ８５２の付勢力に抗して超えた後に、案内溝Ｃa2の上側分岐開口Ｐ2の位置に形成された段差ＢＰ2を板バネ８５２の付勢力に従って落ちる（図６および図７のＢ−Ｂ線部分断面図）。
【００４６】
このように移動子８５１が一の案内溝Ｃa1からこれに隣接する他の案内溝Ｃa2に移動するのに伴って、移動部材８５およびこれに固定されたノズル押圧部材８６が回転する。これにより、一の案内溝Ｃa1に対応する一のノズル上方位置から、他の案内溝Ｃa2に対応する他のノズル上方位置にまでノズル押圧部材８６が移動する。したがって、Ｚ軸駆動手段６２は、移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に往復移動させることで、吸着ノズル８３の切換動作を実行することができる。
【００４７】
一方、吸着ノズル８３の押下動作は、基本的には、案内溝Ｃaに沿って移動子８５１を任意の高さから下降させることで実行できる。ちなみに、この実装用ヘッド８では、ノズル切換動作における移動子８５１の往復移動範囲から鉛直軸方向（Ｚ方向）の下方に離れた押下開始位置Ｐ3に移動子８５１が来たときに、ノズル押圧部材８６が吸着ノズル８３の上端に当接して、吸着ノズル８３の押下を開始するように構成されている。この理由は次のとおりである。
【００４８】
つまり、吸着ノズル８３は、部品を吸着するために下降した後に、吸着した部品を保持したまま上昇する動作を適宜実行する。このとき、吸着ノズル８３を上昇させるために、ノズル押圧部材８６および移動部材８５は鉛直軸方向（Ｚ方向）上方に移動する。しかしながら、この移動部材８５の上方への移動によって、吸着ノズル８３の切換動作時の往復移動範囲にまで移動子８５１が到達すると、吸着ノズル８３の切換動作が意図せず実行されるおそれがある。そこで、この実装用ヘッド８では、当該往復移動範囲よりも下方に押下開始位置Ｐ3を設定しておき、押下開始位置Ｐ3にまで移動子８５１を上昇させれば、吸着ノズル８３の上昇を完了できるように構成されている。そして、Ｚ軸駆動手段６２は、吸着ノズル８３の切換動作時の往復移動範囲より下方でかつノズル押下開始位置Ｐ3より上方に移動子８５１がある状態から移動部材８５を下降させて、吸着ノズル８３の押下動作を実行することとしている。
【００４９】
さらに言えば、この実施形態では、Ｚ軸駆動手段６２は、８本の吸着ノズル８３より鉛直軸方向上側（＋Ｚ方向）の区間にノズル押圧部材８６を保ちつつ切換動作を実行する一方、当該区間よりも鉛直軸方向の下方（−Ｚ方向）から吸着ノズル８３にまでノズル押圧部材８６を下降させて押下動作を実行する。これにより、吸着ノズル８３の切換動作は、８本の吸着ノズル８３より鉛直軸方向上側（＋Ｚ方向）の区間にノズル押圧部材８６を維持したまま、ノズル押圧部材８６により吸着ノズルを押下することなく実行できる。したがって、吸着ノズル８３の押下動作を無用に行うことなく、吸着ノズル８３の切換動作のみを適切に実行することができる。そのため、吸着ノズル８３の切換動作の際に、吸着ノズル８３が意図せず降下して周囲の他の部材に干渉する等の不都合を防止することができる。
【００５０】
以上のように、この実施形態にかかる部品実装装置１では、鉛直軸（Ｚ軸）回りに８本の吸着ノズル８３が並ぶとともに、鉛直軸（Ｚ軸）方向に移動自在に設けられた移動部材８５と一体的に移動するノズル押圧部材８６が８本の吸着ノズル８３の上方に設けられている。このノズル押圧部材８６は、８本の吸着ノズル８３の上方で８本の吸着ノズル８３それぞれに対応して鉛直軸（Ｚ軸）回りに並ぶ８個のノズル上方位置のいずれかから下降して、当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズル８３を押し下げるものである。具体的には、移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に駆動するＺ軸駆動手段６２が、移動部材８５を鉛直軸下方（−Ｚ方向）に移動させることで、ノズル上方位置から当該ノズル上方位置に対応する吸着ノズル８３にまでノズル押圧部材８６を下降させて当該吸着ノズル８３を押し下げる押下動作を実行する。
【００５１】
さらに、この部品実装装置１では、鉛直軸方向（Ｚ方向）に往復移動を行なう移動部材８５を案内して、鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転させるガイド部材８４が設けられている。したがって、Ｚ軸駆動手段６２は、移動部材８５に往復移動を実行させることで、ノズル押圧部材８６を移動部材８５に伴って回転させて各ノズル上方位置の間で移動させる切換動作を実行することができる。言わば、この部品実装装置１では、移動部材８５を鉛直軸（Ｚ軸）方向に往復移動させるだけで、各ノズル上方位置の間でノズル押圧部材８６を移動させて、下降させる吸着ノズル８３を選択的に切り換えることが可能となっている。したがって、下降させる吸着ノズル８３の切り換えに必要となるＺ軸駆動手段６２としては、この移動部材８５を往復移動させる程度の駆動力を発揮するもので足りるため、Ｚ軸駆動手段６２を小型化できる。また、この部品実装装置１、吸着ノズル８３の下降動作および切換動作の両動作を、移動部材８５（およびノズル押圧部材８６）を鉛直軸（Ｚ軸）方向に駆動するだけで実行可能である。したがって、これの駆動手段としては、移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に駆動するものであれば足り、当該駆動手段を小型化することが可能となる。
【００５２】
また、上記実施形態では、各実装用ヘッド８において８本の吸着ノズル８３はシャフト８１によって支持されており、シャフト８１は、８本の吸着ノズル８３、移動部材８５およびノズル押圧部材８６を伴って鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転自在であるように構成されている。このような構成では、シャフト８１が８本の吸着ノズル８３を伴って回転することができる。しかも、シャフト８１は、吸着ノズル８３のほか、移動部材８５およびノズル押圧部材８６も伴って回転する。したがって、吸着ノズル８３の回転によって、吸着ノズル８３とノズル押圧部材８６の相対的な位置関係が変わることは無い。よって、ノズル押圧部材８６を駆動するＺ軸駆動手段６２は、回転に伴う吸着ノズル８３の変位を考慮することなく、下降させる吸着ノズル８３に対応するノズル上方位置にノズル押圧部材８６を適切に移動させることができ、Ｚ軸駆動手段の構成の簡素化を図ることができる。
【００５３】
また、上記実施形態の部品実装装置１は、シャフト８１を鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転駆動するＲ軸駆動手段６３をさらに備えている。このような構成では、Ｚ軸駆動手段６２とＲ軸駆動手段６３とを別個独立に駆動できるので、Ｚ軸駆動手段６２による吸着ノズル８３の切換・押下動作と、Ｒ軸駆動手段による吸着ノズル８３の回転動作とを平行して実行でき、作業効率を向上することができる。
【００５４】
また、Ｚ軸駆動手段は、鉛直軸方向（Ｚ方向）に延びるボールネジ軸６２１と、当該ボールネジ軸６２１を回転駆動するＺ軸モータ６２２と、ボールネジ軸６２１に螺合するとともに移動部材８５をボールベアリング８８を介して支持する可動部材６２３（支持部材）とで構成されている。これにより、単純かつ安価な構成で、移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に往復移動させることができる。
【００５５】
また、上記実施形態では、案内溝Ｃaおよび連結溝Ｃbが形成されたガイド部材８４に対して、これらの溝Ｃa、Ｃbに嵌る移動子８５１を有する移動部材８５を往復移動させるといった単純かつ安価な構成で、往復移動を行う移動部材８５の鉛直軸（Ｚ軸）回りへの回転を実現しており、好適である。
【００５６】
以上のように、本実施形態では、８本の吸着ノズル８３が本発明の「複数の吸着ノズル」に相当し、ノズル押圧部材８６が本発明の「ノズル押圧部材」に相当し、移動部材８５およびリンク部材８７が本発明の「移動体」に相当し、ガイド部材８４、シャフト８１およびノズルホルダ８２が本発明の「ガイド体」に相当し、Ｚ軸駆動手段６２が本発明の「移動体駆動手段」に相当し、Ｒ軸駆動手段が本発明の「ガイド体駆動手段」に相当し、実装用ヘッド８が本発明の「実装用ヘッド」に相当し、ガイド部材８４が本発明の「ガイド部材」に相当し、案内溝Ｃaが本発明の「案内路」に相当し、連結溝Ｃbが本発明の「連結路」に相当し、移動部材８５が本発明の「移動部材」に相当し、移動子８５１が本発明の「移動子」に相当する。
【００５７】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行なうことが可能である。例えば、上記実施形態では、移動部材８５の鉛直軸方向（Ｚ方向）への往復動作を一回実行すれば、ノズル押圧部材８６が、一のノズル上方位置からこれに隣接する他のノズル上方位置へ移動するように構成されていた。しかしながら、２回あるいはそれ以上の移動部材８５の往復動作をかけて、ノズル押圧部材８６が、一のノズル上方位置からこれに隣接する他のノズル上方位置へ移動するように構成しても良い。
【００５８】
また、上記実施形態では、移動部材８５に２つの移動子８５１が設けられていたが、移動部材８５に設ける移動子８５１の数はこれに限られない。
【００５９】
また、上記実施形態では、本発明にかかる「案内路」および「移動子」を「案内溝」および「ピン」で構成していた。しかしながら、「案内路」を凸形状の「突条」で構成するとともに「移動子」をこの「突条」に係合する凹形状の溝からなる「ガイド」あるいは「ローラ」で構成しても良い。
【００６０】
また、上記実施形態では、本発明にかかる「案内路」をガイド部材８４に設けるとともに本発明にかかる「移動子」を移動部材８５に設けていた。しかしながら、これらの関係を逆転させて、言うなれば、「案内路」を移動部材８５に設けるとともに「移動子」をガイド部材８４に設けても良い。
【００６１】
また、上記実施形態では、移動子８５１は、案内溝Ｃａを鉛直軸方向（Ｚ方向）の下方から上方に移動し、案内溝Ｃａの途中から連結溝Ｃbに沿って斜め上方に移動して当該案内溝Ｃａに隣接する案内溝Ｃａの上部側に移動するように構成していた。しかしながら、移動子８５１は、案内溝Ｃａを鉛直軸方向（Ｚ方向）の上方から下方に移動し、案内溝Ｃａの途中から連結溝Ｃbに沿って斜め下方に移動して当該案内溝Ｃａに隣接する案内溝Ｃａの下部側に移動するように構成しても良い。
【００６２】
また、上記実施形態では、案内溝Ｃａは鉛直軸方向（Ｚ方向）に直線的に形成されていた。しかしながら、案内溝Ｃaの形状はこれに限られず、湾曲したり蛇行したりといった種々の形状を適宜採用することができる。また、連結溝Ｃbの形状についても、上述の物に限られず、適宜変更可能である。
【００６３】
また、上記実施形態では、ノズル上方位置は対応する吸着ノズル８３の鉛直軸方向（Ｚ方向）真上に設けられており、ノズル押圧部材８６はノズル上方位置から吸着ノズル８３まで鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行に下降して当該吸着ノズル８３を押下していた。しかしながら、ノズル上方位置は対応する吸着ノズル８３の鉛直軸方向（Ｚ方向）の斜め上方に位置し、ノズル押圧部材８６はノズル上方位置から吸着ノズル８３まで鉛直軸方向（Ｚ方向）に対して斜めに下降して当該吸着ノズル８３を押下するように構成しても良い。
【００６４】
また、ガイド部材８４および移動部材８５の構成についても種々の変形が可能であり、例えば図８のような構成を採用することもできる。ここで、図８は、ガイド部材および移動部材の変形例を示す分解図である。この変形例では、ガイド部材８４は、第１ガイド部品８４１および第２ガイド部品８４２より構成されている。第１ガイド部品８４１は、その中心軸が鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行な中空の略円筒形状を有しており、その底面の円周に鉛直軸下方（−Ｚ方向）に向いたのこぎり形状の第１案内歯８４１ａが等ピッチで複数並んでいる。また、第２ガイド部品８４２は、その中心軸が鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行な略円筒形状を有しており、その底面の円周に鉛直軸下方（−Ｚ方向）に向いた山形の第２案内歯８４２ａが等ピッチで複数並んでいる。また、移動部材８５は、その中心軸が鉛直軸方向（Ｚ方向）に平行な略円筒形状を有しており、その上面の円周に鉛直軸上方（＋Ｚ方向）を向いた移動子８５ａが２つ並んでいる。これら２つの移動子８５ａは、移動部材８５の中心軸を中心として互いに１８０°だけずれた位置に配置されている。
【００６５】
第１ガイド部品８４１は、その第１案内歯８４１ａを鉛直軸下方（−Ｚ方向）にある移動部材８５の移動子８５ａに臨ませる。第２ガイド部品８４２は、第１ガイド部品８４１の中空部に鉛直軸方向（Ｚ方向）から嵌って、その第２案内歯８４２ａを鉛直軸下方（−Ｚ方向）にある移動部材８５の移動子８５ａに臨ませる。一方、移動部材８５の移動子８５ａは、鉛直軸方向（Ｚ方向）に移動することで、第１案内歯８４１ａおよび第２案内歯８４２ａに当接可能となっている。
【００６６】
ガイド部材８４（第１・第２移動部材８４１、８４２）は鉛直軸（Ｚ軸）回りに固定されている一方、移動部材８５は鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転自在に設けられている。そして、移動部材８５が鉛直軸方向（Ｚ方向）に往復移動することで、移動子８５ａが一の第１案内歯８４１ａからこれに隣接する他の第１案内歯８４１ａに移動し、これに伴って、移動部材８５が第１案内歯８４１ａの１ピッチ分だけ鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転する。これについて、図９を用いて説明する。ここで、図９は、ガイド部材および移動部材の変形例の動作説明図である。なお、以下の説明は、図９で符号８５ａが付された移動子８５ａに注目して行なうものとする。
【００６７】
動作1の状態では、移動子８５ａが一の第１案内歯８４１ａに完全に奥まで噛み合う位置にまで上昇している。なお、第２案内歯８４２ａに対しては移動子８５ａは部分的に当接している（完全には噛み合っていない）。この状態から、移動部材８５が下降して（動作2）、移動子８５ａが第１案内歯８４１ａから完全に下方に外れる（動作3）。また、この移動部材８５の下降に伴なって第２ガイド部品８４２も下降して、第２ガイド部品８４２の第２案内歯８４２ａに移動子８５ａを完全に噛み合わせる（動作3）。これにより、移動子８５ａは鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転して、第１ガイド部品８４１に対して同図左側に少しずれる。続いて、この状態から、移動部材８５および第２ガイド部品８４１が上昇すると、移動子８５ａは第１案内歯８４１ａに当接するとともに（動作4）、当該第１案内歯８４１の案内を受けて鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転する（動作5）。こうして、鉛直軸方向（Ｚ方向）へ往復移動する移動部材８５を、第１案内歯８４ａの１ピッチ分だけ鉛直軸（Ｚ軸）回りに回転させることができる。
【００６８】
そして、この変形例においても、下降させる吸着ノズル８３の切り換えに必要となる駆動手段６２としては、移動部材８５を往復移動させる程度の駆動力を発揮するもので足りるため、駆動手段６２を小型化できる。また、吸着ノズル８３の下降動作および切換動作の両動作を、移動部材８５（およびノズル押圧部材８６）を鉛直軸方向（Ｚ方向）に駆動するだけで実行可能であるため、駆動手段６２としては、移動部材８５を鉛直軸方向（Ｚ方向）に駆動するものであれば足り、駆動手段６２を小型化することができる。
【００６９】
また、上記実施形態では、実装用ヘッド８を水平方向（Ｘ方向）に直線的に並べていた。しかしながら、実装用ヘッド８の配列態様はこれに限られず、例えば、水平方向（Ｘ方向）に千鳥状に並べても良い。
【００７０】
また、上記実施形態では、Ｚ軸駆動手段６２およびＲ軸駆動手段６３を制御する制御機構については特に説明しなかったが、当該制御機構は、例えば部品実装装置１が内蔵する電気的構成等によって実現することができる。
【００７１】
また、ヘッドユニット６が備える実装用ヘッド８の本数や、実装用ヘッド８が備える吸着ノズル８３の本数等、その他の構成についても種々の変形が適宜可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１…部品実装装置、  ６…ヘッドユニット、  ６１…支持フレーム、  ６２…Ｚ軸駆動手段、  ６２１…ボールネジ軸、  ６２２…Ｚ軸モータ、  ６２３…可動部材、  ６３…Ｒ軸駆動手段、  ６３１…Ｒ軸モータ、  ８…実装用ヘッド、  ８１…シャフト、  ８２…ノズルホルダ、  ８３…吸着ノズル、  ８４…ガイド部材、  ８５…移動部材、  ８５１…移動子、  ８５ａ…移動子、  ８６…ノズル押圧部材、  ８７…リンク部材、  Ｃ…溝、  Ｃa…案内溝、  Ｃb…連結溝、  Ｐ1…下側分岐開口、  Ｐ2…上側分岐開口、  Ｐ3…ノズル押下開始位置Ｐ3
【要約】
【課題】複数の吸着ノズルを選択的に下降させて部品吸着に用いる部品実装装置において、下降させる吸着ノズルの切り換えに必要となる駆動手段を小型化する。
【解決手段】ノズル押圧部材８６と一体的に移動する移動部材８５を鉛直軸（Ｚ軸）方向に往復移動させるだけで、各ノズル上方位置の間でノズル押圧部材８６を移動させて、下降させる吸着ノズル８３を選択的に切り換え可能とする。これにより、下降させる吸着ノズル８３の切り換えに必要となる駆動手段としては、この移動部材８５を往復移動させる程度の駆動力を発揮するもので足りるため、駆動手段を小型化できる。さらに、吸着ノズル８３の下降動作および切換動作の両動作を、移動部材８５およびノズル押圧部材８６を鉛直軸（Ｚ軸）方向に駆動するだけで実行可能として、駆動手段の小型化を図る。
【選択図】図５【図１】
0004729645.tif 000002
【図５】
0004729645.tif 000003
【図６】
0004729645.tif 000004
【図７】
0004729645.tif 000005
【図２】
0004729645.tif 000006
【図３】
0004729645.tif 000007
【図４】
0004729645.tif 000008
【図８】
0004729645.tif 000009
【図９】
0004729645.tif 000010