(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形の薄板状のワーク（３）をその外周で把持して枚葉搬送する枚葉式ワーク把持装置（１）であって、
一対の薄板状のブレード（２）、（２）と、
前記一対の薄板状のブレード（２）、（２）の各々の上面側における前記ブレード（２）の先端部及び根元部のそれぞれに、前記ブレード（２）に対して回動可能に軸支され、前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持することが可能な支持部材（４）と、
前記ブレード（２）の先端部に軸支された支持部材（４）と前記ブレード（２）の根元部に軸支された支持部材（４）とを連結し、かつ、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段と、
を備え、
前記支持部材（４）は、その平面視円形の受け座上の所定の回動角度位置に、前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持するための第１の把持部（９）と、第２の把持部（１０）とを、有し、
前記両支持部材（４）、（４）を連結し、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段は、これら両支持部材（４）、（４）を前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との間で回動駆動して、これら両支持部材（４）、（４）が前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持する位置を切り替えるものである
ことを特徴とする枚葉式ワーク把持装置。
【請求項２】
前記両支持部材（４）、（４）を連結し、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段は、
前記ブレード（２）の内部に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に軸支された支持部材（４）と前記ブレード（２）の根元部に軸支された支持部材（４）とを連結し、かつ、これら両支持部材（４）、（４）を前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との間で回動させる駆動連結部材（８）と、
前記駆動連結部材（８）に接続され、前記駆動連結部材（８）を前記ブレード（２）の長手方向に沿って往復動させる手段と、
を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の枚葉式ワーク把持装置。
【請求項３】
前記ブレード（２）の根元側に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）と共に前記ワーク（３）をその外周で把持する第１のクランプ部材（１２）と、
前記第１のクランプ部材（１２）に並列させられて、前記ブレード（２）の根元側に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）と共に前記ワーク（３）をその外周で把持する第２のクランプ部材（１３）と、
前記第１のクランプ部材（１２）の前後動駆動と前記第２のクランプ部材（１３）の前後動駆動とを、前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との切り替えに応じて、切り替える切替手段と、
を更に備える
ことを特徴とする請求項１に記載の枚葉式ワーク把持装置。
【請求項４】
前記支持部材（４）は、前記ワーク（３）の外周部を把持する円柱状の把持部（４ａ）と、前記把持部（４ａ）の長さ方向中間部の周囲に設けられ、前記ワーク（３）の外周部下面を支持する偏平な支持部（４ｂ）と、をそれぞれ有し、
前記ブレード（２）は、その上面の前記先端部及び前記根元部に孔（２ａ）をそれぞれ有し、
前記孔（２ａ）に、前記把持部（４ａ）の前記支持部（４ｂ）より下方の部分を回動自在に嵌入し、
前記把持部（４ａ）及び前記支持部（４ｂ）の各表面上の領域を連ねて、前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）とを所定の回動角度を隔ててそれぞれ設けた
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の枚葉式ワーク把持装置。
【請求項５】
前記一対のブレード（２）、（２）の両外側に並列させて、前記第２のクランプ部材（１３）、前記第１のクランプ部材（１２）をそれぞれ順に設けた
ことを特徴とする請求項３に記載の枚葉式ワーク把持装置。
【請求項６】
前記第１のクランプ部材（１２）及び前記第２のクランプ部材（１３）は、それらの先端部に、前記ワーク（３）を前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）に向かって押す可動爪（１２ａ）、（１３ａ）をそれぞれ有する
ことを特徴とする請求項３又は５に記載の枚葉式ワーク把持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、半導体基板や液晶基板等の円形の薄板状のワークをその外周で把持して、枚葉搬送する枚葉式ワーク把持装置に関し、特にワークの処理装置に対する受け渡しに適した枚葉式ワーク把持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カセット内に収容された複数枚のウエハを、１枚毎にその外周を把持して、カセットから取り出し、これを処理装置へ枚葉で受け渡すロボットハンドが用いられている。通常、このようなロボットハンドは、ウエハの外周を複数個所でクランプするための複数個の爪を有し、例えば、特開２０００−２１９５１号公報や特開平１１−１６５８６６号公報に記載のものでは、ハンド先端側もしくは手首側（根元側）へ可動爪を片寄らせ、固定爪との間でウエハを把持するようになっている。ウエハへの塵付着として考えられるのは、一般的に、ウエハのハンドリング装置との接触によることが多く、これらのものは、ウエハとの接触個所をピンもしくは爪にすることにより、接触個所を最小限にしている。
【０００３】
また、通常、移載ハンドによりカセットからウエハを取り出す場合、各棚に載置されたウエハを、ハンドが下から掬い上げるような動作を行わせるため、必ず最下段からウエハを取り出すようになっている。もし、任意の棚にハンドをアクセスさせる必要がある場合、ハンドは、上下ウエハ間の狭い隙間に進入し、ウエハを取り出さなければならないため、特開２００１−２１０７０７号公報に記載のもののように、カセット進入時には、ハンド先端を平坦にしておき、カセットに進入後、ウエハの後端に接近した時に、ハンド先端の把持爪を９０度起こす可動爪を設けるようにしている。
【０００４】
ところで、ハンドがウエハの外周を把持する場合には、ウエハの裏面を吸着・保持する場合に比べ、ウエハへの接触個所は少ないが、矢張り、同じ部材によって把持を行うので、前回把持したウエハに塵が付着していた場合、把持爪を介して次に把持するウエハに塵を移転させてしまう虞がある。特にウエハの洗浄前と洗浄後とでは、同じハンドでウエハを把持するのを避ける必要がある。しかし、洗浄前、洗浄後のウエハを各々別のハンドで把持するために、複数のハンドを用意すると、制御面での複雑さが増し、設置スペースが広くなってしまうなどで、好ましくない。そこで、特許第２８６４３２６号公報では、複数のウエハを洗浄装置に投入する前と後とで把持位置を変えるバッチ式移載ハンドが提案されている。しかし、従来、１枚毎のウエハを洗浄装置に投入する前と後とで把持位置を変える枚葉式把持ハンドは提案されていなかった。
【０００５】
また、ハンド自体をランダムアクセスが可能なものにするためには、ハンドは、薄くてコンパクトに製作される必要がある。例えば、前掲の特開２００１−２１０７０７号公報に記載のものは、カセット進入時、ハンド先端の把持爪（可動爪）を折り畳んで薄くなるようにしている。しかし、このものにおいて、把持位置を切り替えるために、このものの把持爪を、特許第２８６４３２６号公報に開示されたように、１８０度反転式の爪にするには、どうしても爪の厚みが大きくなり、ランダムアクセス自体を困難にしてしまう。
【特許文献１】特開２０００−２１９５１号公報
【特許文献２】特開平１１−１６５８６６号公報
【特許文献３】特開２００１−２１０７０７号公報
【特許文献４】特許第２８６４３２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本願の発明は、従来の枚葉式ウエハ把持装置が有する前記のような問題点を解決して、ウエハ間の塵移転を防止することができ、しかも、カセットの任意の棚にもアクセスが可能なように薄くて、コンパクトで、ウエハ以外にも、一般に基板状のワークに適用が可能な、枚葉式ワーク把持装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記のような課題は、本願の各請求項に記載された次のような発明により解決される。  すなわち、その請求項１に記載された発明は、円形の薄板状のワーク（３）をその外周で把持して枚葉搬送する枚葉式ワーク把持装置（１）であって、一対の薄板状のブレード（２）、（２）と、前記一対の薄板状のブレード（２）、（２）の各々の上面側における前記ブレード（２）の先端部及び根元部のそれぞれに、前記ブレード（２）に対して回動可能に軸支され、前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持することが可能な支持部材（４）と、前記ブレード（２）の先端部に軸支された支持部材（４）と前記ブレード（２）の根元部に軸支された支持部材（４）とを連結し、かつ、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段と、を備え、前記支持部材（４）は、その平面視円形の受け座上の所定の回動角度位置に、前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持するための第１の把持部（９）と、第２の把持部（１０）とを、有し、前記両支持部材（４）、（４）を連結し、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段は、これら両支持部材（４）、（４）を前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との間で回動駆動して、これら両支持部材（４）、（４）が前記ワーク（３）を把持もしくは少なくとも支持する位置を切り替えるものであることを特徴とする枚葉式ワーク把持装置である。
【０００８】
また、その請求項２に記載された発明は、前記両支持部材（４）、（４）を連結し、これら両支持部材（４）、（４）を所定の角度範囲で回動駆動する手段は、前記ブレード（２）の内部に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に軸支された支持部材（４）と前記ブレード（２）の根元部に軸支された支持部材（４）とを連結し、かつ、これら両支持部材（４）、（４）を前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との間で回動させる駆動連結部材（８）と、前記駆動連結部材（８）に接続され、前記駆動連結部材（８）を前記ブレード（２）の長手方向に沿って往復動させる手段と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の枚葉式ワーク把持装置である。
【０００９】
また、その請求項３に記載された発明は、前記ブレード（２）の根元側に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）と共に前記ワーク（３）をその外周で把持する第１のクランプ部材（１２）と、前記第１のクランプ部材（１２）に並列させられて、前記ブレード（２）の根元側に設けられ、前記ブレード（２）の先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）と共に前記ワーク（３）をその外周で把持する第２のクランプ部材（１３）と、前記第１のクランプ部材（１２）の前後動駆動と前記第２のクランプ部材（１３）の前後動駆動とを、前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）との切り替えに応じて、切り替える切替手段と、を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の枚葉式ワーク把持装置である。
【００１０】
さらに、その請求項４に記載された発明は、前記支持部材（４）は、前記ワーク（３）の外周部を把持する円柱状の把持部（４ａ）と、前記把持部（４ａ）の長さ方向中間部の周囲に設けられ、前記ワーク（３）の外周部下面を支持する偏平な支持部（４ｂ）と、をそれぞれ有し、前記ブレード（２）は、その上面の前記先端部及び前記根元部に孔（２ａ）をそれぞれ有し、前記孔（２ａ）に、前記把持部（４ａ）の前記支持部（４ｂ）より下方の部分を回動自在に嵌入し、前記把持部（４ａ）及び前記支持部（４ｂ）の各表面上の領域を連ねて、前記第１の把持部（９）と前記第２の把持部（１０）とを所定の回動角度を隔ててそれぞれ設けたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載の枚葉式ワーク把持装置である。
【００１１】
また、その請求項５に記載された発明は、前記一対のブレード（２）、（２）の両外側に並列させて、前記第２のクランプ部材（１３）、前記第１のクランプ部材（１２）をそれぞれ順に設けたことを特徴とする請求項３に記載の枚葉式ワーク把持装置である。
【００１２】
また、その請求項６に記載された発明は、前記第１のクランプ部材（１２）及び前記第２のクランプ部材（１３）は、それらの先端部に、前記ワーク（３）を前記ブレード（２）の先端部側の前記支持部材（４）に向かって押す可動爪（１２ａ）、（１３ａ）をそれぞれ有することを特徴とする請求項３又は５に記載の枚葉式ワーク把持装置である。
【発明の効果】
【００１３】
本願の発明は、前記のように構成されているので、一対の薄板状のブレードの各々に設けられた第１の把持部と第２の把持部とを、ブレードの先端部と根元部とにそれぞれ軸支されて連動連結された両支持部材を回動駆動して、切り替えることにより、例えば、第１の把持部に未洗浄ウエハを把持させ、第２の把持部に洗浄ウエハを把持させるように用いることができ、これにより、未洗浄ウエハを把持した第１の把持部に付着した塵が、第１の把持部を介して洗浄ウエハに移転されるのを防止することができる。また、洗浄ウエハを把持した第２の把持部に付着したウオータマークが、第２の把持部を介して未洗浄ウエハに移転されるのを防止することができる。このようにして、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能な枚葉式ワーク把持装置を提供することができる。
【００１４】
また、その第１の把持部と第２の把持部とが、いずれも、ブレードの根元部と先端部とにそれぞれ回転可能に取り付けられた支持部材上にそれぞれ設けられるので、第１の把持部と第２の把持部とを同一の支持部材上に集約することができ、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能なワーク把持部の構造を極めて簡単な構成により得ることができる。
【００１５】
また、ブレードの根元側に、第１のクランプ部材と第２のクランプ部材とが、それぞれ進退（前後動）可能に備えられ、該クランプ部材は、ブレードの先端部側の支持部材と共にワークをその外周で把持するようにされ、第１の把持部と第２の把持部との切り替え（この切り替えは、ブレードの先端部と根元部とにそれぞれ軸支されて連動連結された両支持部材の回動位置の切り替えによる。）に応じて、該第１のクランプ部材と該第２のクランプ部材とがさらに切り替えられるようにされる場合には、ワークは、ブレードの先端部に取り付けられた支持部材上に設けられたワーク把持部（第１の把持部又は第２の把持部）とクランプ部材（第１のクランプ部材又は第２のクランプ部材）の先端部とにより外周で挟み付けられて把持されることが可能になるので、ワークを確実に安定して保持することができる。各クランプ部材が、その先端部に可動爪を有する場合には、その効果が一層助長される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
円形の薄板状のワークをその外周で把持して枚葉搬送する枚葉式ワーク把持装置が、一対の薄板状のブレードと、前記一対の薄板状のブレードの各々の上面側における前記ブレードの先端部及び根元部のそれぞれに、前記ブレードに対して回動可能に軸支され、前記ワークを把持もしくは少なくとも支持することが可能な支持部材と、前記ブレードの先端部に軸支された支持部材と前記ブレードの根元部に軸支された支持部材とを連結し、かつ、これら両支持部材を所定の角度範囲で回動駆動する手段と、を備えるものとする。
ここで、前記支持部材は、その平面視円形の受け座上の所定の回動角度位置に、前記ワークを把持もしくは少なくとも支持するための第１の把持部と、第２の把持部とを、有し、前記両支持部材を連結し、これら両支持部材を所定の角度範囲で回動駆動する手段は、これら両支持部材を前記第１の把持部と前記第２の把持部との間で回動駆動して、これら両支持部材が前記ワークを把持もしくは少なくとも支持する位置を切り替えるものとする。
【００１７】
また、その枚葉式ワーク把持装置は、前記ブレードの根元側に設けられ、前記ブレードの先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレードの先端部側の前記支持部材と共に前記ワークをその外周で把持する第１のクランプ部材と、前記第１のクランプ部材に並列させられて、前記ブレードの根元側に設けられ、前記ブレードの先端部に対して進退自在で、かつ、前記ブレードの先端部側の前記支持部材と共に前記ワークをその外周で把持する第２のクランプ部材と、前記第１のクランプ部材の前後動駆動と前記第２のクランプ部材の前後動駆動とを、前記第１の把持部と前記第２の把持部との切り替えに応じて、切り替える切替手段と、を更に備えるものとする。
【００１８】
さらに、前記支持部材は、前記ワークの外周部を把持する円柱状の把持部と、前記把持部の長さ方向中間部の周囲に設けられ、前記ワークの外周部下面を支持する偏平な支持部と、をそれぞれ有し、前記ブレードは、その上面の前記先端部及び前記根元部に孔をそれぞれ有し、前記孔に、前記把持部の前記支持部より下方の部分を回動自在に嵌入し、前記把持部及び前記支持部の各表面上の領域を連ねて、前記第１の把持部と前記第２の把持部とを、所定の回動角度を隔てて、それぞれ設けるようにする。
【実施例１】
【００１９】
次に、本願の発明の一実施例（実施例１）について説明する。
図１は、本実施例１の枚葉式ワーク把持装置の全体斜視図、図２は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置先端部分の側面図、図３は、ブレード先端部分に取り付けられる支持部材（受け座）の平面図、図４は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置先端部分の断面図、図５は、同枚葉式ワーク把持装置先端部分の底面図であって、ブレード底面のカバーを取り除いて示す図、図６は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを第１の把持部で把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置の平面図、図７は、図６の部分拡大図、図８は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを第２の把持部で把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置の平面図、図９は、図８の部分拡大図である。なお、これらの図において、前後左右とは、枚葉式ワーク把持装置の手首部分からブレードが伸長する方向に見た場合の前後左右を意味するものとする。
【００２０】
本実施例１の枚葉式ワーク把持装置は、円形の薄板状のワークをなすウエハ（半導体基板）をその外周で把持して、１枚毎にカセットから取り出し、洗浄処理装置に搬送するとともに、処理を終えたウエハを洗浄処理装置からカセットに搬送・収容するのに適した枚葉式ワーク把持装置である。ワークとしては、ウエハに限られず、液晶基板等、その他の同様の形状のものであっても良い。また、処理は、洗浄処理に限られず、各種の処理が含まれて良い。
【００２１】
本実施例１の枚葉式ワーク把持装置１は、図１に図示されるように、左右一対の薄板状のブレード２、２の各々の上部に、ウエハ３を支持する支持部材をなす平面視円形の受け座４、４を２個ずつ備えている。これら２個の受け座４、４は、各ブレード２の先端部の上部と根元部の上部とに、それぞれ設けられている。受け座４は、塵が出にくいＶＩＣＴＲＥＸ  ＰＥＥＫ（登録商標。ビクトレックス・エムシー株式会社製のポリマー。）製であり、図２〜図４に図示されるように、中央のボス部４ａの周囲に偏平なそろばん玉状のテーパ部４ｂを一体に備え、このテーパ部４ｂでウエハ３の外周部下面を支持して、ウエハ３の裏面がブレード２に接触するのを回避するようになっている。
【００２２】
ボス部４ａのテーパ部４ｂより下方の部分の径は、上方の部分の径よりも小さくされており、このボス部４ａの下方の縮径された部分は、ブレード２に形成された孔２ａに、回転が可能な程度のわずかの隙間を置いて回動自在に嵌入されている。このように、受け座４のブレード２より上側の部分とブレード２とが接触しない構造にされることにより、塵の発生が低減されて、好ましい。
【００２３】
ブレード２の厚さは２ｍｍであるが、裏面から見ると、図５に部分的に図示されるように、凹構造となっていて、そこにカバー７（図４参照）が被せられることにより、その内部に中空部Ｓが形成されている。受け座４の高さは、ブレード２より上部に出た部分の高さで１．５ｍｍあり、したがって、ワーク把持装置１のハンド部分（ブレード２が伸長する部分）の実質厚みは、３．５ｍｍとなる。
【００２４】
ボス部４ａの下方の縮径された部分は、中空部Ｓにまで達していて、その先端部分の外周面には、平面視略楕円形のカム５が嵌合されて取り付けられている。カム５は、下方から当てがわれた押え治具６により補強的に支えられ、これと中空部Ｓの内壁面との間に挟み込まれている。押え治具６の中央円筒部は、ボス部４ａの中央孔内に嵌入され、皿ネジ１４により、そこに固着されているので、カム５は、ボス部４ａの縮径部分から抜け止めされている。また、このように、押え治具６の中央円筒部がボス部４ａの中央孔に固着されることにより、これら受け座４とカム５と押え治具６とは、一体として組み付けられ、ブレード２に抜け止め不能に取り付けられて、一体として回動するようになっている。
【００２５】
ブレード２の内部の中空部Ｓには、前記のとおり、ボス部４ａの縮径部分の先端部分、カム５及び押え治具６が収容されるとともに、カム５を駆動源に連結して、これを回転駆動する駆動連結部材８が収容されている。この駆動連結部材８は、細長い金属ベルトから成っており、その両端部には、その長軸方向に直交する方向に長円孔８ａがそれぞれ形成されている。そして、この長円孔８ａには、カム５の一方端部側に形成された凸部５ａが係合させられていて、駆動連結部材８が、中空部Ｓ内で、その長軸方向に往復動（前後移動）することにより、凸部５ａが、この長円孔８ａ内を往復動して、カム５を所定角度範囲（本実施例においては、約８０度）にわたって往復回動させるようになっている。
【００２６】
カム５が所定角度範囲にわたって往復回動させられると、それと一体に組み付けられた受け座４が、同一角度範囲を往復回動する。受け座４の外表面には、図３に部分的に図示されるように、ウエハ３を、その外周部下面で支持するとともに、その外周（この「外周」は、外周面である場合もあれば、外周線である場合もある。）で把持する第１の把持部９と第２の把持部１０とがそれぞれ設けられている。
【００２７】
これら第１の把持部９と第２の把持部１０とは、受け座４が対応する所定の回動角度位置にあって、ウエハ３の外周部下面が受け座４のテーパ部４ｂの上表面に線接触して支持されるとともに、ウエハ３の外周が受け座４のボス部４ａの外周面に当接して把持されることとなる可能性のある面領域であり、これらは、前記のようにして受け座４が往復回動することにより、交互にウエハ３を把持する位置、把持しない位置に回動変位せしめられる。したがって、これら第１の把持部９と第２の把持部１０とは、図３に格子及び砂粒模様でそれぞれ図示されるテーパ部４ｂの上表面上の領域に加えて、これらの領域が垂直に立ち上げられてボス部４ａの外周面上に延びる領域（図示されず）をも含むものとして定義されるものである。
【００２８】
図２〜図５には、一対のブレード２、２のうちの左方のブレード２の先端部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造が図示されている。左方のブレード２の根元部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造も、先端部の上部に設けられた受け座４のそれらと略同様であり、詳細な説明を省略する。
【００２９】
ただ１つ異なるのは、詳細な図示を省略するが、ブレード２の根元部の受け座４に設けられた第１の把持部９と第２の把持部１０とは、ブレード２の先端部の受け座４に設けられた第１の把持部９と第２の把持部１０と、位相を所定角度異ならせてそれぞれ設けられていることである。この「所定角度」は、両受け座４、４間の距離及びウエハ３の径が定まることにより、幾何学的に定まる。しかしながら、両受け座４、４とも、駆動連結部材８が往復動することにより、カム５、５の往復回動を介して往復回動して、ブレード２の先端部の受け座４に設けられた第１の把持部９と同根元部の受け座４に設けられた第１の把持部９とを同期させ、同様に、ブレード２の先端部の受け座４に設けられた第２の把持部１０と同根元部の受け座４に設けられた第２の把持部１０とを同期させつつ、これらを交互にウエハ３を把持する位置、把持しない位置に回動変位させることに変わりはない。
【００３０】
右方のブレード２の先端部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造、及び右方のブレード２の根元部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造は、前記した、左方のブレード２の先端部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造、及び左方のブレード２の根元部の上部に設けられた受け座４の構造、そのブレード２への取付け構造及びその駆動連結構造と面対称に構成されることは、当業者に容易に理解されるであろう。この面は、両方のブレード２、２間の中心線を通り、これら両方のブレード２、２を含む水平面に直交する平面である。
【００３１】
両方のブレード２、２の中空部Ｓ、Ｓ内に収容されている駆動連結部材８、８は、ワーク把持装置１の手首部分で連結されており、その連結部材（図示されず）が、図示されないエアシリンダにより前後移動させられることにより、これら両駆動連結部材８、８が、その長軸方向にそれぞれ往復動して、４個のカム５がそれぞれ往復回動し、これら４個のカム５の往復回動を介して、４個の受け座４がそれぞれ往復回動するようになっている。これら連結部材及びエアシリンダは、ワーク把持装置１の手首部分に設けられた駆動部収容室１１内に収容されている。なお、中空部Ｓと駆動部収容室１１とを連通させ、吸引排気を行うようにすると、それらの内部において作動する各部分から発生する塵がウエハ３を汚染する虞が解消されて、好ましい。
【００３２】
このようにして、４個の受け座４、すなわち、左方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４、右方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４、は、両駆動連結部材８、８が往動した時、往動して、例えば、それらの受け座４に設けられた第１の把持部９を、ウエハ３を把持する位置に回動変位させると同時に、第２の把持部１０を、ウエハ３を把持しない位置に回動変位させる。また、両駆動連結部材８、８が復動した時、復動して、例えば、それらの受け座４に設けられた第１の把持部９を、ウエハ３を把持しない位置に回動変位させると同時に、第２の把持部１０を、ウエハ３を把持する位置に回動変位させる。
【００３３】
このワーク把持装置１におけるウエハ３の把持動作は、ブレード２の根元側に備えられた第１のクランプ部材１２、第２のクランプ部材１３により行われる。
これら第１のクランプ部材１２、第２のクランプ部材１３は、水平面内に並列させられ、第１のクランプ部材１２は外方に、第２のクランプ部材１３は内方に配置されて、一対のブレード２、２の各根元側に備えられている。左方のブレード２の根元側に備えられた第１のクランプ部材１２、第２のクランプ部材１３の組合せと、右方のブレード２の根元側に備えられた第１のクランプ部材１２、第２のクランプ部材１３の組合せとは、面対称の関係にある。ここで、この面は、先に述べたと同じ、両方のブレード２、２間の中心線を通り、これら両方のブレード２、２を含む水平面に直交する平面である。このように、第１のクランプ部材１２と第２のクランプ部材１３とがセットで設けられる理由は、ウエハ３の洗浄前、洗浄後など、把持するワークの状態に応じて把持部分を異ならせるとともに、ワークの外周での把持を確実に行い、ワークを安定して保持するためである。
【００３４】
左右一対の第１のクランプ部材１２、１２は、左方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４、右方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４の各第１の把持部９により支持されたウエハ３をその外周で前方に押して、該ウエハ３を、これら左右一対の第１のクランプ部材１２、１２の先端部に設けられた可動爪１２ａ、１２ａと、左右のブレード２、２の先端部の上部に設けられた受け座４、４のボス部４ａ、４ａの各外周面（この外周面上にあって、ここでの把持に供される面部分は、第１の把持部９に属する。）との間で把持する。
【００３５】
また、左右一対の第２のクランプ部材１３、１３は、左方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４、右方のブレード２の先端部の上部及び根元部の上部に設けられた受け座４、４の各第２の把持部１０により支持されたウエハ３をその外周で前方に押して、該ウエハ３を、これら左右一対の第２のクランプ部材１３、１３の先端部に設けられた把持爪１３ａ、１３ａと、左右のブレード２、２の先端部の上部に設けられた受け座４、４のボス部４ａ、４ａの各外周面（この外周面上にあって、ここでの把持に供される面部分は、第２の把持部１０に属する。）との間で把持する。
【００３６】
これら左右一対の第１のクランプ部材１２、１２、左右一対の第２のクランプ部材１３、１３の選択的駆動は、ワーク把持装置１の手首部分に設けられた駆動部収容室１１内に収容された図示されない駆動機構により制御されている。
【００３７】
次に、以上に説明したような枚葉式ワーク把持装置１によるウエハ３の把持動作について説明する。
図示されないカセット内に収容されたウエハ３の下空間に左右のブレード２、２を進入させ、それらの各先端部の受け座４、４がウエハ３の後端よりも遠くに達すると（この進入距離は、予めワーク把持装置１に教示されている。）、ブレード２、２は、数ｍｍ上昇する。そして、それらの各先端部及び各根元部の上部にそれぞれ設けられた合計４個の受け座４のテーパ部４ｂ上の第１の把持部部分で洗浄処理前のウエハ３を受け取る。この時、ウエハ３は、その外周でテーパ部４ｂの上面と線接触して支持されている。
【００３８】
次いで、左右一対の第１のクランプ部材１２、１２の先端部の可動爪１２ａ、１２ａが前進してウエハ３をその外周で押圧すると、図２の側面図位置でウエハ３が把持される。すなわち、これらの把持爪１２ａ、１２ａと、左右のブレード２、２の先端部の受け座４、４のボス部４ａ、４ａの各外周面上の第１の把持部部分との間でウエハ３が把持される。この状態が、図６及び図７に図示されている。なお、この時、ウエハ３は、左右のブレード２、２の根元部の受け座４、４のテーパ部４ｂ、４ｂ上の各第１の把持部部分で支持されている。
このようにして、ワーク把持装置１によるウエハ３の把持が完了すると、ワーク把持装置１は、カセットからウエハ３を抜き取り、これを洗浄処理装置へと搬送する。
【００３９】
洗浄処理が完了したウエハ３を取り出す場合には、受け座４の把持位置を切り替えるため、図６に矢印で示される左方向にブレード２、２内の駆動連結部材（金属ベルト）８、８が移動させられる。そうすると、ブレード２、２上の４個の受け座４の全てが約８０度回転して、それらの把持位置（受け座４がウエハ３を把持する位置）が第１の把持部９から第２の把持部１０へと切り替えられる。受け座４は、通常、約６０度も回転させられれば、そのウエハ３との接触位置は全く異なってしまう。このようにして、ブレード２、２上に洗浄処理後のウエハ３を受け取る準備が完了する。
【００４０】
次いで、ブレード２、２上に洗浄処理前のウエハ３を受け取った時と同じ要領にして、それらの上に洗浄処理後のウエハ３を受け取ると、左右一対の第２のクランプ部材１３、１３の先端部の可動爪１３ａ、１３ａが前進してウエハ３をその外周で押圧して、ウエハ３が把持される。すなわち、これらの把持爪１３ａ、１３ａと、左右のブレード２、２の先端部の受け座４、４のボス部４ａ、４ａの各外周面上の第２の把持部部分との間でウエハ３が把持される。なお、この時、ウエハ３は、左右のブレード２、２の根元部の受け座４、４のテーパ部４ｂ、４ｂ上の各第２の把持部部分で支持されている。この状態が、図８及び図９に図示されている。
このようにして、ワーク把持装置１による洗浄処理後のウエハ３の把持が完了すると、ワーク把持装置１は、洗浄処理装置からウエハ３を搬出して、これをカセットへと搬送する。
【００４１】
本実施例１の枚葉式ワーク把持装置１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
一対の薄板状のブレード２、２の各々に設けられた第１の把持部９と第２の把持部１０とを切替手段により切り替えることにより、第１の把持部９に未洗浄ウエハ３を把持させ、第２の把持部１０に洗浄ウエハ３を把持させるように用いることができ、これにより、未洗浄ウエハ３を把持した第１の把持部９に付着した塵が洗浄ウエハ３に移転されるのを防止することができる。また、洗浄ウエハ３を把持した第２の把持部１０に付着したウオータマークが未洗浄ウエハ３に移転されるのを防止することができる。このようにして、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能な枚葉式ワーク把持装置を提供することができる。
【００４２】
また、第１の把持部９と第２の把持部１０とが、いずれも、ブレード２の根元部と先端部とにそれぞれ回転可能に取り付けられた、ブレード２より突出する部分の高さがブレード２の厚さよりも短い受け座（支持部材）４上にそれぞれ設けられているので、第１の把持部９と第２の把持部１０とを同一の受け座４上に集約することができ、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能なワーク把持部の構造を極めて簡単な構成により得ることができるとともに、ワーク把持装置１においてカセットに対して挿脱される部分、すなわち、ブレード２が伸長する部分の寸法を薄くすることができ、カセットの任意の棚にもアクセスが可能で、コンパクトな枚葉式ワーク把持装置を提供することができる。
【００４３】
また、第１の把持部９と第２の把持部１０とは、切替手段がこれらを切り替えることにより、受け座４上でウエハ３を把持もしくは支持する位置が切り替えられるようになっているので、第１の把持部９がウエハ３を把持もしくは支持する位置と第２の把持部１０がウエハ３を把持もしくは支持する位置とが、同一の受け座４上に存し、切替手段が第１の把持部９と第２の把持部１０とを切り替えることにより、これらの位置が切り替えられるだけであるので、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能なワーク把持部の構造をさらに簡単な構成により得ることができる。
【００４４】
さらに、ブレード２の根元側には、第１のクランプ部材１２と第２のクランプ部材１３とが、それぞれ進退可能に備えられ、これらクランプ部材１２、１３は、その先端部に、ウエハ３をその外周で押す可動爪１２ａ、１３ａを有し、切替手段が第１の把持部９と第２の把持部１０とを切り替えることにより、第１のクランプ部材１２と第２のクランプ部材１３とがさらに切り替えられるようにされているので、ウエハ３は、ブレード２の先端部の受け座４上に設けられたワーク把持部（第１の把持部９又は第２の把持部１０）とクランプ部材の先端部に備えられた可動爪（第１のクランプ部材１２の先端部に備えられた可動爪１２ａ又は第２のクランプ部材１３の先端部に備えられた可動爪１３ａ）とにより挟み付けられて把持されることが可能になり、ワークを確実に安定して保持することができる。
【実施例２】
【００４５】
次に、本願の発明の他の実施例（実施例２）について説明する。
図１０は、本実施例２の枚葉式ワーク把持装置の全体斜視図、図１１〜図１４は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを第１の把持部で把持する場合の動作をそれぞれ説明するための図、図１５〜図２０は、同枚葉式ワーク把持装置がワークを第２の把持部で把持する場合の動作をそれぞれ説明するための図である。
【００４６】
本実施例２の枚葉式ワーク把持装置２１は、実施例１の枚葉式ワーク把持装置１と異なり、第１の把持部と第２の把持部とが設けられる基材としての受け座４に類するものを備えていない。代わりに、本実施例２の枚葉式ワーク把持装置２１においては、第１の把持部と第２の把持部の各々は、ウエハ３をその外周で押す一対の可動爪と、一対の固定爪と、一対の可動爪の近傍でウエハ３をそれぞれ補助的に下方から支える一対の支持ブロックとの３種６点の部品要素の組合せにより構成されており、この組合せが、両把持部のために２組用意されているものである。そして、これらの組合せが選択的に切り替えられて可動させられることにより、ウエハ３の把持位置が切り替えられるようになっている。
【００４７】
ここで、一対の可動爪は、左右一対のブレード２２、２２の根元部に、それぞれ設けられており、一対の固定爪は、左右一対のブレード２２、２２の先端部に、それぞれ設けられており、一対の支持ブロックは、一対の可動爪の近傍で左右一対のブレード２２、２２の根元部に、それぞれ設けられている。可動爪は、ウエハ３を下面から支持する機能を備えていない。
【００４８】
したがって、第１の把持部と第２の把持部の各々の構成を、図１０及び図１１を参照して、具体的に説明すると、次のようになる。
第１の把持部は、ウエハ３をその外周で押す一対の可動爪２６、２６と、一対の固定爪２４、２４と、一対の可動爪２６、２６の近傍でウエハ３をそれぞれ補助的に下方から支える一対の支持ブロック２７、２７との３種６点の部品要素の組合せにより構成されており、これらの部品要素が、一対のブレード２２、２２の各根元部、一対のブレード２２、２２の各先端部、一対の可動爪２６、２６の各近傍で一対のブレード２２、２２の各根元部に、同種部品同志が互いに向き合うようにして対称関係で配設されている。
【００４９】
また、第２の把持部は、ウエハ３をその外周で押す一対の可動爪２８、２８と、一対の固定爪２５、２５と、一対の可動爪２８、２８の近傍でウエハ３をそれぞれ補助的に下方から支える一対の支持ブロック２９、２９との３種６点の部品要素の組合せにより構成されており、これらの部品要素が、一対のブレード２２、２２の各根元部、一対のブレード２２、２２の各先端部、一対の可動爪２８、２８の各近傍で一対のブレード２２、２２の各根元部に、同種部品同志が互いに向き合うようにして対称関係で配設されている。
【００５０】
次に、これら可動爪２６、２８、固定爪２４、２５、支持ブロック２７、２９の構成、作用をさらに詳細に説明する。
第１の把持部に属する可動爪２６は、左右一対のブレード２２、２２間の中心線を基準にして見て、より内側に設けられ、第２の把持部に属する可動爪２８は、より外側に設けられている。可動爪２６、２８の各々は、それらが作動させられた時、ウエハ３に向けて移動し、ウエハ３の外周に当接して、これを前方に押す。これら可動爪２６、２８の作動切替手段（エアシリンダ等）は、駆動部収容室３１内に収容されている。
【００５１】
第１の把持部に属する固定爪２４は、前記のとおり、ブレード２２の先端部の上部に設けられ、図１０及び図１４に図示されるように、ウエハ３と接する側に円弧状縁を有する平面視略凹状のブロック形状をなしている。円弧状縁部は、図１４に図示されるように、段構成にされており、段平坦面部２４ａは、テーパを付されて傾斜面とされ、ここでウエハ３の外周部下面が支持されるようになっている。また、段垂直面部２４ｂは、平面視円弧状の湾曲面をなし、可動爪２６がウエハ３を押した時、ここにウエハ３の外周が当接して、ウエハ３は、これら可動爪２６と固定爪２４とにより把持される。
【００５２】
第２の把持部に属する固定爪２５も、前記のとおり、ブレード２２の先端部の上部に設けられているが、図１０、図１６、図１７及び図２０に図示されるように、同じくそこに設けられた固定爪２４の凹状部に嵌まり合うようにして、スライド可能に設けられており、ウエハ３と接する側に円弧状縁を有する平面視略矩形状のブロック形状をなしている。円弧状縁部は、図２０に図示されるように、段構成にされており、段平坦面部２５ａは、テーパを付されて傾斜面とされ、ここでウエハ３の外周部下面が支持されるようになっている。また、段垂直面部２５ｂは、平面視円弧状の湾曲面をなし、可動爪２８がウエハ３を押した時、ここにウエハ３の外周が当接して、ウエハ３は、これら可動爪２８と固定爪２５とにより把持される。
【００５３】
固定爪２５は、ブレード２２の中空部Ｓ内で、実施例１の受け座４と同様、金属ベルト（図示されず）に連結されており、駆動部収容室３１内のエアシリンダの作動により、該金属ベルトがワーク把持装置２１の手首側に引き寄せられるのに伴い、固定爪２５も、同手首側に向けて移動する。
【００５４】
固定爪２５の段平坦面部２５ａの高さは、固定爪２４の段平坦面部２４ａの高さよりも側面視わずかに高くされている（図１４、図２０参照）。このため、可動爪２８と固定爪２５とがウエハ３を把持していない状態においては、固定爪２５は、固定爪２４よりウエハ３の中心位置から遠くに退避させられている。これにより、可動爪２６と固定爪２４とがウエハ３を把持する時、ウエハ３が固定爪２５に接触することが防がれる。
【００５５】
第１の把持部に属する支持ブロック２７は、可動爪２６の近傍でブレード２２の根元部上部に設けられており、第２の把持部に属する支持ブロック２９は、可動爪２８の近傍でブレード２２の根元部上部に設けられている。支持ブロック２９の高さは、支持ブロック２７の高さよりも側面視わずかに高くされている（図１３、図１９参照）。また、支持ブロック２７は、支持ブロック２９よりもウエハ３の中心寄りに設けられており、このため、第１の把持部の可動爪２６と固定爪２４とがウエハ３を把持する時、ウエハ３が第２の把持部の支持ブロック２９に接触することはない。
【００５６】
次に、以上に説明したような枚葉式ワーク把持装置２１によるウエハ３の把持動作について説明する。
洗浄処理前のウエハ３は、第１の把持部により把持される。図示されないカセット内に収容されたウエハ３の下空間に一対のブレード２２、２２を進入させ、それらの各先端部に設けられた固定爪２４、２５がウエハ３の後端よりも遠くに達すると（この進入距離は、予めワーク把持装置２１に教示されている。）、ブレード２２、２２は、数ｍｍ上昇する。そして、それらの上に洗浄処理前のウエハ３を受け取る（図１１参照）。この時、ウエハ３は、一対の固定爪２４、２４の段平坦面部２４ａ、２４ａ及び一対の支持ブロック２７、２７により支持されている。
【００５７】
次いで、第１の把持部に属する一対の可動爪２６、２６が前進してウエハ３をその外周で押圧すると、図１２〜図１４に図示されるように、これらの可動爪２６、２６と、同じく第１の把持部に属する一対の固定爪２４、２４との間で、ウエハ３が把持される。この時、第１の把持部に属する一対の支持ブロック２７、２７は、ウエハ３の前端寄りの外周部下面２個所を支持している。
このようにして、ワーク把持装置２１によるウエハ３の把持が完了すると、ワーク把持装置２１は、カセットからウエハ３を抜き取り、これを洗浄処理装置へと搬送する。
【００５８】
洗浄処理後のウエハ３は、第２の把持部により把持される。第２の把持部により洗浄処理後のウエハ３の把持を開始するに先立っては、必ず、金属ベルトを移動させて、第２の把持部に属する一対の固定爪２５、２５を前進させておく。この状態において、ブレード２２、２２上に洗浄処理前のウエハ３を受け取った時と同じ要領にして、それらの上に洗浄処理後のウエハ３を受け取る（図１５〜図１７参照）。この時、ウエハ３は、一対の固定爪２５、２５の段平坦面部２５ａ、２５ａ及び一対の支持ブロック２９、２９により支持されている。
【００５９】
次いで、第２の把持部に属する一対の可動爪２８、２８が前進してウエハ３をその外周で押圧すると、図１８〜図２０に図示されるように、これらの可動爪２８、２８と、同じく第２の把持部に属する一対の固定爪２５、２５との間で、ウエハ３が把持される。この時、第２の把持部に属する一対の支持ブロック２９、２９は、ウエハ３の前端寄りの外周部下面２個所を支持している。固定爪２５は、固定爪２４よりウエハ支持部が高くされている（段平坦面部２５ａの高さ＞段平坦面部２４ａの高さ）ので、ウエハ３が固定爪２４に接触することはない。
このようにして、ワーク把持装置２１による洗浄処理後のウエハ３の把持が完了すると、ワーク把持装置２１は、洗浄処理装置からウエハ３を搬出して、これをカセットへと搬送する。
【００６０】
本実施例２の枚葉式ワーク把持装置２１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
第１の把持部と第２の把持部とは、いずれも、ワーク３をその外周で押す一対の可動爪と、該可動爪に対応して設けられる一対の固定爪と、該可動爪の近傍にあってワークを補助的に下方から支える一対の支持ブロックとの３種６点の部品要素の組合せにより構成されており、この組合せが、両方の把持部のために２組、すなわち、第１の把持部のために可動爪２６、２６、固定爪２４、２４、支持ブロック２７、２７の３種６点の部品要素の組合せと、第２の把持部のために可動爪２８、２８、固定爪２５、２５、支持ブロック２９、２９の３種６点の部品要素の組合せとの合計２組、用意されているので、これら第１の把持部と第２の把持部とを切替手段により切り替えることにより、例えば、第１の把持部に未洗浄ウエハ３を把持させ、第２の把持部に洗浄ウエハ３を把持させるように用いることができる。そして、これにより、未洗浄ウエハ３を把持した第１の把持部に付着した塵が洗浄ウエハ３に移転されるのを防止することができ、また、洗浄ウエハ３を把持した第２の把持部に付着したウオータマークが未洗浄ウエハ３に移転されるのを防止することができる。このようにして、ワーク間で塵やウオータマークが移転するのを防止することが可能な枚葉式ワーク把持装置を提供することができる。
【００６１】
また、第１の把持部と第２の把持部とが、いずれも、前記のとおり、３種６点の部品要素の組合せにより構成されているので、枚葉式ワーク把持装置２１においてカセットに対して挿脱されるハンド部分、すなわち、ブレード２２、２２が伸長する部分の寸法を薄くすることができ、カセットの任意の棚にもアクセスが可能で、コンパクトな枚葉式ワーク把持装置を提供することができる。
【００６２】
また、ウエハ３は、可動爪２６、２８と固定爪２４、２５とにより挟み付けられて把持されるので、ウエハ３を確実に安定して保持することができる。
さらに、第１の把持部のための固定爪２４及び支持ブロック２７の高さと、第２の把持部のための固定爪２５及び支持ブロック２９の高さとが、異ならされており、一方の把持部がウエハ３を把持する時に、該ウエハ３が、他方の把持部のための固定爪及び支持ブロックに干渉することがないようにされているので、ワークを安全に保持することができる。
【００６３】
なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、実施例１において、ワーク把持装置１におけるウエハ３の把持動作は、ブレード２の根元側に備えられた第１のクランプ部材１２、第２のクランプ部材１３により行われることとされたが、これに限定されず、第１の把持部９、第２の把持部１０にそれぞれ属する受け座４のボス部４ａの外周面部分の平面視形状を、図２１に図示されるように、回転方向に向かって漸次起立し、やがて降伏する膨出部３２、３３を有する形状にしても良い。このようにしても、４個の受け座４の同期回動により、それらの４個の第１の把持部９間、第２の把持部１０間で、ウエハ３を当初支持し、次いで把持するように、ワーク把持装置１を作動させることが可能である。
【００６４】
また、例えば、本実施例１、２の枚葉式ワーク把持装置１、２１の使用分野としては、洗浄処理装置のほかに、半導体製造プロセスにおいて、ウエハ表面を平坦化したり、ウエハ表面から過剰物質を除去したりするための処理装置であるＣＭＰ（Chemical and Mecha-nical Polishing）装置、特殊環境下で処理が行われる装置、薬液等を使用する処理装置等の種々の処理装置とカセット間のワーク搬送を挙げることができる。これらの場合におけるワーク把持位置の切替えは、塵やウオータマークの移転防止だけではなく、化学物質の移転防止の点からも必要とされるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本願の発明の一実施例（実施例１）の枚葉式ワーク把持装置の全体斜視図である。
【図２】同枚葉式ワーク把持装置がワークを把持した状態におけるブレード先端部分の側面図である。
【図３】同ブレード先端部分に取り付けられた支持部材の平面図である。
【図４】同ブレード先端部分の断面図であって、支持部材の取付け構造を示す図である。
【図５】同ブレード先端部分の底面図であって、ブレード底面のカバーを取り除いて示す図である。
【図６】同枚葉式ワーク把持装置の作動部分の概略平面図であって、第１の把持部がワークを把持するように切り替えられた状態を示す図である。
【図７】図６の部分拡大図である。
【図８】同枚葉式ワーク把持装置の作動部分の概略平面図であって、第２の把持部がワークを把持するように切り替えられた状態を示す図である。
【図９】図８の部分拡大図である。
【図１０】本願の発明の他の実施例（実施例２）の枚葉式ワーク把持装置の全体斜視図である。
【図１１】同枚葉式ワーク把持装置がワークを第１の把持部で把持する直前の状態における同枚葉式ワーク把持装置の斜視図である。
【図１２】同枚葉式ワーク把持装置がワークを第１の把持部で把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置の斜視図である。
【図１３】図１２の状態における第１の把持部（可動側）の概略断面図である。
【図１４】図１２の状態における第１の把持部（固定側）の概略断面図である。
【図１５】同枚葉式ワーク把持装置がワークを第２の把持部で把持する直前の状態における同枚葉式ワーク把持装置の斜視図である。
【図１６】図１５の状態における第２の把持部（固定側）の斜視図である。
【図１７】図１６と同様の図であって、第２の把持部（固定側）でワークが支持された状態を示す図である。
【図１８】同枚葉式ワーク把持装置がワークを第２の把持部で把持した状態における同枚葉式ワーク把持装置の斜視図である。
【図１９】図１８の状態における第２の把持部（可動側）の概略断面図である。
【図２０】図１８の状態における第２の把持部（固定側）の概略断面図である。
【図２１】図３と同様の図であって、実施例１の枚葉式ワーク把持装置におけるブレード先端部分に取り付けられた支持部材の変形例の平面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１…枚葉式ワーク把持装置、２…ブレード、２ａ…孔、３…ウエハ、４…受け座、４ａ…ボス部（把持部）、４ｂ…テーパ部（支持部）、５…カム、５ａ…凸部、６…押え治具、７…カバー、８…駆動連結部材（金属ベルト）、８ａ…長円孔、９…第１の把持部、１０…第２の把持部、１１…駆動部収容室、１２…第１のクランプ部材、１２ａ…把持爪（可動爪）、１３…第２のクランプ部材、１３ａ…把持爪（可動爪）、１４…皿ネジ、２１…枚葉式ワーク把持装置、２２…ブレード、２４…固定爪、２４ａ…段平坦面部、２４ｂ…段垂直面部、２５…固定爪、２５ａ…段平坦面部、２５ｂ…段垂直面部、２６…可動爪、２７…支持ブロック、２８…可動爪、２９…支持ブロック、３１…駆動部収容室、３２、３３…膨出部、Ｓ…中空部。
【図１】
0004679307.tif 000002
【図２】
0004679307.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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