(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの搬送方向とほぼ直交する方向に移動して前記ワークと係合する係合部を介して前記ワークを搬送するピッチ送り機構において、
前記係合部を備える保持体と、前記保持体に前記搬送方向に沿った往動動作を付与する搬送駆動部と、前記保持体に前記搬送方向とほぼ直交する方向に沿った往動動作を付与する上下駆動部と、前記搬送駆動部による搬送経路上にある前記ワークに対して所定の測定を行う測定プローブと、この測定プローブを前記搬送方向とほぼ直交する方向に沿って往動させるプローブ駆動部と、前記保持体及び前記測定プローブを各々の往動方向に沿って往動自在に支持する支持台とを備え、
前記保持体は、前記搬送方向に沿って並んで、其の各々が、前記ワーク側に設けられた係合穴に挿抜自在な対を成す二本の送りピンから構成された複数の係合部を有し、
前記搬送方向に沿って並んだ複数対の送りピンの互いに隣接するいずれか二対の送りピンの間に前記測定プローブを配置すると共に、当該測定プローブの両側に位置する前記二対の送りピンを他の送りピンと比較して，自在な挿抜を妨げない範囲で外径を大きく設定したことを特徴とするピッチ送り機構。
【請求項２】
少なくとも前記搬送駆動部と前記上下駆動部及びプローブ駆動部とは個別に動力源を備えることを特徴とする請求項１記載のピッチ送り機構。
【請求項３】
前記上下駆動部と前記プローブ駆動部とを、前記保持体の往動用の保持体用カムと前記測定プローブの往動用のプローブ用カムとこれら各カムを駆動せしめる単一の動力源とを有するカム機構部から構成することを特徴とする請求項２記載のピッチ送り機構。
【請求項４】
前記支持台に前記搬送方向とほぼ直交する方向に沿って往動自在に支持された中間部材を介して前記保持体が前記保持体用カムに従動し、
前記保持体は、前記中間部材に対して前記搬送方向に沿って滑動自在に当接するカムフォロアを備えることを特徴とする請求項３記載のピッチ送り機構。
【請求項５】
前記プローブ駆動部の動力源をサーボモータとしたことを特徴とする請求項２，３又は４記載のピッチ送り機構。
【請求項６】
前記搬送駆動部の動力源をステッピングモータとしたことを特徴とする請求項２，３，４又は５記載のピッチ送り機構。
【請求項７】
前記搬送駆動部の動力源をエアーシリンダとしたことを特徴とする請求項２，３，４又は５記載のピッチ送り機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ピッチ送り機構に係り、特にワークに対する検査を行う測定プローブを備えたピッチ送り機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
実開平01-004087号公報に開示された従来のピッチ送り機構１００は、図１５に示すように、ガイドレール１０１上のワークＷに設けられた係合穴Ｗ１に対して挿抜自在のピン１０２を備えた駆動軸１０３と、この駆動軸１０３をガイドレール１０１の下方において上下動自在に支持する小スライダ１０４と、このスライダ１０４をワークＷの搬送方向に沿って往動自在に支持する大スライダ１０５と、この大スライダ１０５をワークＷの搬送方向に沿って往動自在に支持する基台１０６と、この大スライダ１０５上において小スライダ１０４をその搬送方向に沿った一方の方向に常時付勢する原位置復帰バネ１０７と、大スライダ１０５上において一定方向の回動を付勢されることによりその上端部で小スライダ１０４を原位置復帰バネ１０７に抗して押圧する揺動軸１０８と、この揺動軸１０８の下端部及び駆動軸１０３の下端部をそれぞれ従節とするカム部材１０９と、基台１０６上における大スライダ１０５の往動を一定範囲に制限する二つのストッパ１１０と、これら二つのストッパ１１０間で大スライダ１０５の位置を切り換える二つのエアシリンダ１１１とを備えている。
【０００３】
上記構成では、カム部材１０９の回転駆動により当該カム部材１０９の大径部が揺動軸１０８を揺動せしめて小スライダ１０４を図１５における左方向に押圧する。さらに、カム部材１０９の大径部により駆動軸１０３が上方に押圧されてピン１０２がワークＷの係合穴Ｗ１に侵入する。さらに、カム部材１０９が回転すると揺動軸１０８の下端部がカム部材１０９の小径部に当接した状態となるので、小スライダ１０４は原位置復帰バネ１０７により元の位置に戻される。これにより、ピン１０２が係合穴Ｗ１に侵入した状態にあるワークＷは小スライダ１０４と等しい移動量だけ右方向に送られる。さらに、カム部材１０９が回転すると駆動軸１０３の下端部がカム部材１０９の小径部に当接した状態となるので、ピン１０２はワークＷの係合穴から抜脱される。なお、係合穴Ｗ１はワークの搬送方向に送りピッチで無数に設けられているので、カム部材１０９のさらなる回転により、ピン１０２は次の係合穴に侵入し、上述の搬送動作が繰り返されることとなる。
【０００４】
また、前述した各エアシリンダ１１１は、ワークＷの送りピッチを変更調節するためのものであり、ピン１０２が係合穴Ｗ１に侵入しているときに作動して、各ストッパ１１０の離間距離と大スライダ１０５の搬送方向長さとの差の分だけ送りピッチが変更される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記各従来例には以下のような不都合があった。
【０００６】
第１の問題点としては、上記ピッチ送り機構１００はワークＷと係合するピン１０２を一つしか備えていないため、複数のワークＷの搬送に不適である。即ち、複数のワークＷを搬送する場合には、ピッチ送り機構１００を出発点として常時出発点位置にあるワークＷが先行するワークＷを全て上流側に押圧して搬送しなければならず、複数のワークを円滑に搬送することができなかった。
【０００７】
第２の問題点としては、搬送動作をカム部材１０９と揺動軸１０８の構成によりワークＷを搬送するので、カム部材１０９の大径部と小径部との外径差の単位で搬送が行われ、それより微小な任意の距離単位で搬送距離の制御を行うことが困難であった。また、ストッパ１１０とエアーシリンダ１１１の構成により搬送距離の調節を行っているが、かかる構成でも搬送距離を任意に設定することはできず、二種類の搬送ピッチを切り換えることが可能となるに過ぎなかった。
【０００８】
第３の問題点としては、搬送動作をカム部材１０９と揺動軸１０８と原位置復帰バネ１０７の構成でカム部材１０９の外径落差によりワークＷの搬送が行われるので、搬送時におけるワークＷに対する振動が発生しやすいという不都合があった。
【０００９】
第４の問題点としては、一つのカム部材１０９によりピン１０２の上下動と搬送方向に沿った往動とを行うので、これらの動作が常に一定の順番及び一定のタイミングに従ってしか行うことができず、カム部材１０９の形状に設定された動作以外を行うことができず、また各動作の最短又は最適に設定変更することができないという不都合があった。さらに、単一のカム部材しか備えていないので、新たな往動する構成を加えることは困難であった。
【００１０】
【発明の目的】
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善し、特に、複数のワークに対応し、また、複数種の動作を独立して行いうるピッチ送り機構を提供することを、その目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記した目的を達成するために、本発明は、ワークの搬送方向とほぼ直交する方向に移動してワークと係合する係合部を介してワークを搬送するピッチ送り機構において、係合部を備える保持体と、保持体に前記搬送方向に沿った往動動作を付与する搬送駆動部と、保持体に搬送方向とほぼ直交する方向に沿った往動動作を付与する上下駆動部と、搬送駆動部による搬送経路上にあるワークに対して所定の測定を行う測定プローブと、この測定プローブを搬送方向とほぼ直交する方向に沿って往動させるプローブ駆動部と、保持体及び測定プローブを各々の往動方向に沿って往動自在に支持する支持台とを備え、保持体は、搬送方向に沿って並んで、其の各々が、前記ワーク側に設けられた係合穴に挿抜自在な対を成す二本の送りピンから構成された複数の係合部を有し、搬送方向に沿って並んだ複数対の送りピンの互いに隣接するいずれか二対の送りピンの間に測定プローブを配置すると共に、当該測定プローブの両側に位置する二対の送りピンを他の送りピンと比較して，自在な挿抜を妨げない範囲で外径を大きく設定する、という構成を採っている。
【００１２】
かかる構成の場合、予め保持体を退避させた状態において、所定間隔で複数並んだワークに対して、搬送駆動部の駆動により保持体を位置決めし、上下駆動部の駆動により保持体を搬送方向とほぼ直交する方向に移動せしめて各々のワークの被係合部に保持体の各係合部を係合させる。そして、再び搬送駆動部を駆動させて予め決められた搬送方向に保持体を移動せしめて複数のワークを同時に搬送する。しかる後には、再び上下駆動部を駆動して保持体の各係合部を各ワークの被係合部から外し且つ保持体を退避させる。さらに、搬送駆動部の駆動により、保持体を搬送前の位置に戻して、上記と同様に係合部の係合，搬送，保持体の退避及び原位置復帰を繰り返すことで、複数のワークは順次搬送される。
【００１３】
また、上記過程において、測定プローブによりワークの所定の測定を行う際には、複数のワークの配列間隔（ワークに測定対象箇所が複数ある場合には測定対象箇所の間隔）を一単位として搬送を行い、各ワークごとに測定プローブに対して位置決めを行うと共に、プローブ駆動部により測定プローブを退避位置からワークに向かって移動させ、測定後再び測定プローブを退避させてから、新たに搬送動作を行い、次のワーク（測定個所）について測定プローブに位置決めを行う。
【００１４】
ここで、上記の構成に加えて、少なくとも搬送駆動部と上下駆動部及びプローブ駆動部とは個別に動力源を備えることとしても良い。この場合、上下駆動部とプローブ駆動部については、それぞれ個別に動力源を備えても良いし、一つの動力源を共用しても良い。
【００１５】
さらに、上下駆動部とプローブ駆動部とを、保持体の往動用の保持体用カムと測定プローブの往動用のプローブ用カムとこれら各カムを駆動せしめる単一の動力源とを有するカム機構部から構成しても良い。また、この場合には、支持台に搬送方向とほぼ直交する方向に沿って往動自在に支持された中間部材を介して保持体が保持体用カムに従動し、保持体は、中間部材に対して搬送方向に沿って滑動自在に当接するカムフォロアを備えること構成としても良い。
【００１６】
また、プローブ駆動部の動力源をサーボモータとしても良い。また、搬送駆動部の動力源をステッピングモータ或いはエアーシリンダとしても良い。
【００１８】
本発明は、上述した各構成によって前述した目的を達成しようとするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
［全体概要］
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態であるピッチ送り機構１０を示す斜視図であり、図２は図１と異なる方向から見た斜視図であり、図３はピッチ送り機構１０の正面図である。
【００２０】
このピッチ送り機構１０は、水平面を備えるガイドレールＧ上に並んだ複数のワークＷ（図３参照）をその搬送方向（ガイドレールＧに沿った水平方向）と直交する方向（垂直下方向）に搬送する。ワークＷについては特に限定はないが、本実施形態では半導体素子を例として説明する。かかるピッチ送り機構１０及びガイドレールＧは一定の低温下に維持された恒温槽（図示略）内に配備されており、また、ワークＷはガイドレールＧの途中に設けられた図示しないワークＷの温度調節部において検査温度に加温又は冷却され、かかる検査温度における電気的な特性（周波数，抵抗値等）が後述する測定プローブ１１により測定される。即ち、ピッチ送り機構１０は、複数のワークを順次温度調節部及び測定プローブ１１に搬送し且つ上記測定を行うものである。
【００２１】
ピッチ送り機構１０は、係合部としての送りピン２３を備える二つの保持体２１，２２と、保持体２１，２２に水平な搬送方向に沿った往動動作を付与する搬送駆動部３０と、搬送駆動部３０による搬送経路上にある各ワークＷに対して所定の測定を行う測定プローブ１１と、保持体２１，２２及び測定プローブ１１に個別に上下方向に沿った往動を付与するカム機構部４０と、保持体２１，２２及び測定プローブ１１を各々の往動方向に沿って往動自在に支持する支持台５０とを備えている。以下各部を詳説する。
【００２２】
［支持台］
図１乃至図４に基づいて支持台５０について説明する。図４はピッチ送り機構の一部を省略した分解斜視図である。かかる支持台５０は、水平面上に載置したときにその上面も水平となる基台５１と、この基台５１の上面に設けられた四つの搬送ガイド５２と、搬送ガイド５２を介して基台５１上に装備された搬送台５４と、搬送台５４に設けられた保持体２１，２２の上下動を案内する保持体ガイド５５と、測定プローブ１１を支持するプローブ支持部５６とを備えている。
【００２３】
基台５１の水平な上面に設けられた搬送ガイド５２が自在とする滑動方向とが平行となるように基台５１は配置される。そして、搬送ガイド５２の滑動により、搬送台５４はワークＷの搬送方向に沿って自在に往動することができる。搬送台５４は基台５１の上面に対向する底板とその上面に立設した壁面部とからなり、かかる壁面部が上下方向に沿った往動を案内する複数の保持体ガイド５５を介して各保持体２１，２２を支持している。
【００２４】
プローブ支持部５６（図４では図示略）は、上下方向に沿った往動を案内するプローブガイド５７を介して測定プローブ１１を支持している。そして、搬送台５４の底板を貫通して設けられた搬送方向に沿った長穴を介して基台５１の上面に立設装備されており、搬送台５４の往動を妨げないようになっている。なお、このプローブ支持部５６は、支持する測定プローブ１１が後述する保持体２２に設けられた複数の送りアーム２４の内の互いに隣接する二つの間となる配置で搬送台５４の底板上に固定されている。
【００２５】
［搬送駆動部］
搬送駆動部３０について図４に基づいて説明する。搬送駆動部３０は、動力源となるステッピングモータ３１と、ステッピングモータ３１の回転動作を搬送方向に沿った往復動作に変換するボールネジ３１とを備えている。ステッピングモータ３１は、基台５１の上面端部に固定装備されている。このステッピングモータ３１はその出力軸の中心線が搬送方向に沿って基台５１上に装備されている。ボールネジ３２は、ステッピングモータ３１の回転動作を直線方向の往復動作に変換する。また、その直線方向の往復動作が搬送方向に沿うように搬送台５４に装備されている。従って、ステッピングモータ３１の回転動作により微細な送りピッチ単位での搬送方向における基台５１上での搬送台５４の位置決めが可能である。
【００２６】
［カム機構部］
カム機構部４０について図２乃至図６に基づいて説明する。図５は図２の要部拡大図であり、図６はカム機構４０の一部省略した斜視図である。このカム機構部４０は、上下駆動部及びプローブ駆動部として機能する。カム機構部４０は、サーボモータ４１と、このサーボモータ４１により駆動する駆動軸４２と、この駆動軸４２に設けられた各保持体２１，２２の往動用の保持体用カム４３，４４と測定プローブ１１の往動用のプローブ用カム４５と、各保持体２１，２２と各保持体用カム４３，４４との間に介挿される中間部材４６，４７とを備えている。
【００２７】
サーボモータ４１は基台５１上に固定装備され、駆動軸４２は基台５１上において回転自在且つ搬送方向に沿った状態で支持されている。
【００２８】
各保持体用カム４３，４４は各中間部材４６，４７を介して各保持体２１，２２に上下動を付与し、プローブ用カム４５は測定プローブ１１の下面に当接して上下動を付与する。これら各カム４３，４４，４５は駆動軸上に固定装備されると共に、圧力角をできるだけ小さくし、慣性モーメントを小さく、つまり、各々のカム直径を小さくするために、停留点の角度は20[°]に設定されている。サーボモータ４１は通常一定の正回転方向にのみ駆動するものとして、かかる正回転方向を基準に保持体用カム４３，４４及びプローブ用カム４５の大径及び小径の停留点の配置関係を説明する。各保持体用カム４３，４４及びプローブ用カム４５は大径の停留点の配置が一致しており、かかる大径の停留点から120[°]回転した位置に各保持体用カム４３，４４の小径の停留点が配置されている。また、プローブ用カム４５の小径の停留点はさらに120[°]回転させた位置に配置されている。即ち、駆動軸４２が回転角度0[°]のときには各保持部２１，２２及び測定プローブ１１は基台５１から最も上方に位置し、駆動軸４２の回転角度が120[°]のときに各保持部２１，２２は最も下方に位置し、駆動軸４２の回転角度が240[°]のときに測定プローブ１１は最も下方に位置することとなる。
【００２９】
中間部材４６，４７は、それぞれ基台５１の上面に上下動自在に支持されており、各々が保持体用カム４３，４４に従って上下動する。さらに、かかる中間部材４６，４７の上面部は搬送方向に沿って平滑に形成されており、各保持体２１，２２に設けられた小円柱状のカムフォロア２７，２８が搬送方向に沿って滑動自在に当接している。従って、かかる中間部材４６，４７により、各保持体２１，２２は各保持体用カム４３，４４に従動して上下動すると共に搬送方向に移動する場合であってもその移動を円滑に行うことができる。また、中間部材４６，４７を基台５１上に支持させているので、かかる中間部材４６，４７の重量分だけ各保持体２１，２２の重量の軽減がなされ、これにより、保持体２１，２２の搬送方向及び上下方向の往動を迅速に行うことができ、ひいてはピッチ送り機構１０の作業時間の迅速化を図ることが可能となる。
【００３０】
［保持体］
各保持体２１，２２について図１乃至図５に基づいて説明する。各保持体２１，２２は、それぞれ垂直方向に沿った板状の本体２４，２５と、これら本体２４，２５から垂直に延設された複数の送りアーム２６と、各送りアーム２６の先端部に下方を向いて垂設された対を成す二本の送りピン２３と、前述した各中間部材４６，４７の上面に当接するカムフォロア２７，２８とを備えている。
【００３１】
各本体２４，２５は、同一平面上に沿うようにして、それぞれ保持体ガイド５５を介して搬送台５４に上下動自在に支持されている。また、各本体２４，２５の板面上における各中間部材４６，４７に対応する位置には小円柱状のカムフォロア２７，２８が板面と垂直方向に立設されている。
【００３２】
さらに、各本体２４，２５の板面上からはそれぞれ三本の送りアーム２６が延設されている。合計六本の送りアーム２６は全て均等な間隔で整列し、図４における左から二番目と三番目の送りアーム２６，２６の間に前述した測定プローブ１１が配置されることとなる。また、各送りアーム２６の先端部には二本の送りピン２３が装備され、これら対を成す二本の送りピン２３の並び方向が搬送方向と平行に設定されている。
【００３３】
各送りピン２３は全て同一面上内で平行となるように各送りアーム２６に装備されており、また全ての先端高さが同一となるように設定されている。さらに、各送りピン２３の先端部は先細り形状に形成され、その下降動作によりワークＷに設けられた係合穴と係合し、その上昇動作により係合穴との係合状態が解除される。
【００３４】
また、上述した測定プローブ１１の両側に位置する送りアーム２６，２６の送りピン２３については、他の各送りアーム２６の送りピン２３と比較して若干外径が大きく設定されている。即ち、通常の送りピン２３はワークＷに設けられた係合穴に対して隙間を生じた状態で余裕をもって挿入可能な径に設定されているが、大径の送りピン２３は係合穴に対して円滑な挿抜を妨げない範囲で隙間を狭くなる程に外径を大きく設定した。これは、測定プローブ１１に対して各ワークＷの位置決めを精度良く行うためである。
【００３５】
［測定プローブ］
測定プローブ１１は、前述の如くプローブ支持部５６により上下動自在に支持され且つプローブ用カム４５により上下動が付与されるが、保持体２１，２２のように搬送方向の移動は行われない。そして、測定プローブ１１の下面側には、図示しないワークＷに対する検査用の素子が設けられている。
【００３６】
［実施形態の動作］
図７乃至図１２に基づいてピッチ送り機構１０の動作を説明する。まず、カム機構部４０のサーボモータ４１及び搬送駆動部３０のステッピングモータ３１の原点復帰を行う（これらは図７乃至図１２では図示略）。かかる状態を図７に示す。まず、上下機構部４０について、各保持体２１，２２の送りピン２３及び測定プローブ１１の位置を最上点にすべく各カム４３，４４，４５を前述した回転角度0[°]の状態（大径の停留点が上位位置にくる状態）に位置決めする。また、搬送駆動部３０の原点復帰、つまり、各保持体２１，２２を右側（搬送上流側）に移動させる。
【００３７】
次に、図８に示すように、サーボモータ４１を120[°]回転させて各保持体用カム４３，４４の小径の停留点を上位位置に位置決めし、各送りピン２３を最下点に移動させる。これにより、各送りピン２３の先端部が各ワークＷの係合穴に挿入される。さらに、図９に示すように、搬送駆動部３０のステッピングモータ３１を駆動して各保持体２１，２２を8[mm]（１ピッチ分）左側に移動させる。これにより、各ワークＷも同様に１ピッチ分左側に搬送される。
【００３８】
その後、図１０に示すように、サーボモータ４１をさらに同じ方向に120[°]回転させてプローブ用カム４５の小径の停留点を上位位置に位置決めし、測定プローブ１１を最下点まで下降させて、ワークＷを測定する。
【００３９】
測定が完了したならば、図１１に示すように、サーボモータ４１をもう一度同じ方向に120[°]回転させ、各カム４３，４４，４５の大径の停留点を上位位置に位置決めする。これにより、測定プローブ１１，保持体２１，２２及び各送りピン２３を最上点まで上昇させる。従って、各送りピン２３はワークＷの係合穴から抜かれ係合状態が解除される。
【００４０】
続いて、図１２に示すように、ステッピングモータ３１を回転させ、各保持体２１，２２を最初の位置、つまり、右側へ8[mm]（１ピッチ分）戻す。ワークＷとの係合状態は解除されているので、ワークＷのみが搬送方向下流側に残留し、各保持体２１，２２は原位置に戻されることとなる。これにより、各ワークＷが１ピッチ分搬送されたことを除いて初期の状態（図７の状態）に戻されることになる。そして、図７から図１１に示した動作が繰り返されることにより、各ワークＷが順次搬送されると共にワークＷに対する測定が行われる。
【００４１】
［その他］
上記実施形態では、搬送駆動部としてステッピングモータ３１とボールネジ３２からなる構成を例示したが、特にこれに限定されるものではない。例えば、図１３，１４に示すように搬送駆動部として、基台５１に対する搬送台５４の往動を付与するエアーシリンダ３１Ａと搬送台５４の往動を規制するストッパ３２Ａとを備える構成としても良い。図１３はエアーシリンダ３１Ａを装備したピッチ送り機構の斜視図であり、図１４は他方向から見た斜視図である。
【００４２】
かかるエアシリンダ３１Ａはその可動部の往動する方向が搬送方向と平行となるように基台５１に固定装備され、その可動部は搬送台５４に固定されている。一方、ストッパ３２Ａは、基台５１上における搬送台５４を挟んでエアーシリンダ３１Ａと反対側に固定装備にされている。従って、搬送台５４をストッパ３２Ａに規制される範囲内で搬送方向に往動させることが可能である。かかる、構成の場合には、ステッピングモータ３１を装備する構成と比較して若干の振動を生じるが、おおよそ同様の効果を得ることが可能である。
【００４３】
【発明の効果】
本発明は、ワークと係合する係合部を複数備えているので、各係合部に予め設定された間隔を維持して複数のワークを同時に円滑に搬送することが可能であり、かつ、測定プローブの両側に位置する保持体の送りピンを他の送りピンと比較して，自在な挿抜を妨げない範囲で外径を大きく設定したので、測定プローブに対してワークの位置決めを精度良く行うことができる。
【００４４】
また、搬送駆動部と上下駆動部及びプローブ駆動部とがそれぞれ個別に動力源を有する構成として場合には、従来の如く単一のカム部材の形状により搬送動作と上下移動動作が規制されてしまう場合と比較して、これらの動作を個別に自由な順番で，また自由なタイミングで，さらに自由な移動距離に設定して行うことが可能である。従って、種々のワークに対応することができ、また種々の検査目的に対応することが可能となり、例えば、ワークの搬送動作に合わせて測定プローブを上下させて、キャリア上に配置されたワークを測定することが可能である。また、作動距離を自由に設定できるので、例えば、ピッチ送り機構を恒温槽等の内部で使用する場合に、ピッチ送り機構の周囲に各部の可動量を適宜設定し、周囲との衝突を容易に回避できるため、周囲の構成及びピッチ送り機構の保守性を向上することも可能である。
【００４５】
また、上下駆動部とプローブ駆動部とを、保持体用カムとプローブ用カムと単一の動力源とを有するカム機構部にて一体化することにより、装置の備品点数を低減し、装置の生産性の向上を図ることが可能である。
【００４６】
また、支持台に支持された中間部材を介して保持体が保持体用カムに従動し且つ保持体が中間部材に対して搬送方向に沿って滑動自在のカムフォロアを備えることにより、保持体は搬送動作時にあっても保持体用カムとの係合状態を維持することができ、搬送動作と上下方向動作の双方に常時対応することが可能となる。さらに、中間部材を支持台により支持することにより、かかる中間部材の重量分の保持体の軽量化が図ることができ、従って、保持体及び係合部の迅速な移動を円滑に行うことが可能となる。従ってピッチ送り機構の作業全体の高速化を図ることが可能となる。
【００４７】
また、プローブ駆動部の動力源をサーボモータとすることにより、その上下動作の瞬間的な停止や駆動等の動作を自在に行うことが可能である。
【００４８】
また、搬送駆動部の動力源をステッピングモータとしたことによりその加減速を調節することにより、ワークの搬送時の振動の発生を従来と比較して低減することが可能である。従って、ワークの搬送不良等の発生を有効に回避し、機構の信頼性を向上することが可能である。
【００４９】
本発明は、以上のように構成され機能するので、これにより従来にない優れたピッチ送り機構を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態であるピッチ送り機構を示す斜視図である。
【図２】図１と異なる方向から見たピッチ送り機構を示す斜視図である。
【図３】ピッチ送り機構の正面図である。
【図４】ピッチ送り機構の一部を省略した分解斜視図である。
【図５】図２の要部拡大図である。
【図６】図１，２に開示したカム機構の一部省略した斜視図である。
【図７】ピッチ送り機構の動作説明図であり、動作開始時の状態を示している。
【図８】ピッチ送り機構の動作説明図であり、図７に続く動作状態を示している。
【図９】ピッチ送り機構の動作説明図であり、図８に続く動作状態を示している。
【図１０】ピッチ送り機構の動作説明図であり、図９に続く動作状態を示している。
【図１１】ピッチ送り機構の動作説明図であり、図１０に続く動作状態を示している。
【図１２】ピッチ送り機構の動作説明図であり、図１１に続く動作状態を示している。
【図１３】エアーシリンダを装備したピッチ送り機構の斜視図である。
【図１４】図１３のピッチ送り機構を他方向から見た斜視図である。
【図１５】従来例の正面図である。
【符号の説明】
１０  ピッチ送り機構
１１  測定プローブ
２１，２２  保持体
２３  送りピン（係合部）
２７，２８  カムフォロア
３０  搬送駆動部
３１  ステッピングモータ
３１Ａ  エアーシリンダ
４０  カム機構部
４１  サーボモータ
４３，４４  保持体用カム
４５  プローブ用カム
４６，４７  中間部材
５０  支持台
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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