(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
照射された光を各々変調する多数の画素部が２次元状に配列されてなる空間光変調素子と、
この空間光変調素子に光を照射する光源と、
前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記空間光変調素子により変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
前記マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、前記画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされていることを特徴とする画像露光装置。
【請求項２】
前記非球面がトーリック面であることを特徴とする請求項１記載の画像露光装置。
【請求項３】
照射された光を各々変調する多数の画素部が２次元状に配列されてなる空間光変調素子と、
この空間光変調素子に光を照射する光源と、
前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記空間光変調素子により変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
前記マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、前記画素部の面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を有するものとされていることを特徴とする画像露光装置。
【請求項４】
前記マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、前記画素部の周辺部からの光を入射させないレンズ開口形状を有するものとされていることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の画像露光装置。
【請求項５】
前記マイクロレンズが円形のレンズ開口形状を有するものであることを特徴とする請求項４記載の画像露光装置。
【請求項６】
前記マイクロレンズの開口形状が、そのレンズ面の一部に遮光部を設けることによって規定されていることを特徴とする請求項４または５記載の画像露光装置。
【請求項７】
前記結像光学系が少なくとも、前記空間光変調素子によって変調された光による像を前記マイクロレンズアレイに結像する一部の光学系を有し、
前記一部の光学系の結像位置が、前記マイクロレンズアレイのレンズ面に設定されていることを特徴とする請求項１から６いずれか１項記載の画像露光装置。
【請求項８】
前記結像光学系が、前記空間光変調素子により変調された光による像を前記マイクロレンズアレイに結像する第１の結像光学系と、前記マイクロレンズアレイで集光された光による像を感光材料上に結像する第２の結像光学系とを有し、
前記マイクロレンズアレイと前記第２の結像光学系との間に、前記マイクロレンズから出射した光を各々個別に絞る多数の開口をアレイ状に配列して有する開口アレイが配設されていることを特徴とする請求項１から７いずれか１項記載の画像露光装置。
【請求項９】
前記開口アレイが、前記マイクロレンズの焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項８記載の画像露光装置。
【請求項１０】
前記空間光変調素子が、前記画素部としての微小ミラーが２次元状に配列されてなるＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）であることを特徴とする請求項１から９いずれか１項記載の画像露光装置。
【請求項１１】
請求項１から１０いずれか１項記載の画像露光装置を用いて所定のパターンを感光材料に露光することを特徴とする画像露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は画像露光装置に関し、特に詳細には、空間光変調素子で変調された光を結像光学系に通し、この光による像を感光材料上に結像させて該感光材料を露光する画像露光装置に関するものである。
【０００２】
また本発明は、上述のような画像露光装置を用いる露光方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
従来、空間光変調素子で変調された光を結像光学系に通し、この光による像を所定の感光材料上に結像して該感光材料を露光する画像露光装置が公知となっている。この種の画像露光装置は、基本的に、照射された光を各々制御信号に応じて変調する多数の画素部が２次元状に配列されてなる空間光変調素子と、この空間光変調素子に光を照射する光源と、前記空間光変調素子により変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えてなるものである。なお、非特許文献１および本出願人による特願２００２−１４９８８６号明細書には、上記基本的構成を有する画像露光装置の一例が示されている。
【０００４】
この種の画像露光装置において、上記空間光変調素子としては、例えばＬＣＤ（液晶表示素子）やＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）等が好適に用られ得る。なお上記のＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度を変化させる多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に２次元状に配列されてなるミラーデバイスである。
【０００５】
上述のような画像露光装置においては、感光材料に投影する画像を拡大したいという要求が伴うことも多く、その場合には、結像光学系として拡大結像光学系が用いられる。そのようにする際、空間光変調素子を経た光をただ拡大結像光学系に通しただけでは、空間光変調素子の各画素部からの光束が拡大して、投影された画像において画素サイズが大きくなり、画像の鮮鋭度が低下してしまう。
【０００６】
そこで、上記特願２００２−１４９８８６号明細書にも示されるように、空間光変調素子で変調された光の光路に第１の結像光学系を配し、この結像光学系による結像面には空間光変調素子の各画素部にそれぞれ対応するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを配置し、そしてこのマイクロレンズアレイを通過した光の光路には、変調された光による像を感光材料やスクリーン上に結像する第２の結像光学系を配置して、これら第１および第２の結像光学系によって像を拡大投影することが考えられている。この構成においては、感光材料やスクリーン上に投影される画像のサイズは拡大される一方、空間光変調素子の各画素部からの光はマイクロレンズアレイの各マイクロレンズによって集光されるので、投影画像における画素サイズ（スポットサイズ）は絞られて小さく保たれるので、画像の鮮鋭度も高く保つことができる。
【０００７】
なお特許文献１には、空間光変調素子としてＤＭＤを用い、それとマイクロレンズアレイとを組み合わせてなる画像露光装置の一例が示されている。
【特許文献１】特開２００１−３０５６６３号公報
【非特許文献１】石川明人"マスクレス露光による開発短縮と量産適用化"、「エレクロトニクス実装技術」、株式会社技術調査会、Vol.18、No.6、2002年、p.74-79
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上述のように空間光変調素子とマイクロレンズアレイとを組み合わせてなる従来の画像露光装置においては、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズで集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうという問題が認められている。この問題は、特に空間光変調素子として前述のＤＭＤを用いた場合に顕著に認められる。
【０００９】
本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、空間光変調素子とマイクロレンズアレイとを組み合わせてなる画像露光装置において、マイクロレンズで集光されたビームの歪みを防止することを目的とする。
【００１０】
また本発明は、上記ビームの歪みを防止可能な画像露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明による第１の画像露光装置は、
先に述べたように、照射された光を各々変調する多数の画素部が２次元状に配列されてなる空間光変調素子と、
この空間光変調素子に光を照射する光源と、
前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記空間光変調素子により変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、前記画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされていることを特徴とするものである。
【００１２】
なお上記非球面としては、例えばトーリック面を好適に採用することができる。
【００１３】
また、本発明による第２の画像露光装置は、第１の画像露光装置におけると同様の空間光変調素子と、光源と、結像光学系とを備えた画像露光装置において、結像光学系に含まれるマイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、前記画素部の面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を有するものとされていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明による第３の画像露光装置は、
照射された光を各々変調する多数の矩形の画素部が２次元状に配列されてなる空間光変調素子と、
この空間光変調素子に光を照射する光源と、
前記空間光変調素子の各画素部からの光をそれぞれ集光するマイクロレンズがアレイ状に配されてなるマイクロレンズアレイを含み、前記空間光変調素子により変調された光による像を感光材料上に結像する結像光学系とを備えた画像露光装置において、
結像光学系に含まれるマイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の周辺部からの光を入射させないレンズ開口形状を有するものとされていることを特徴とするものである。
【００１５】
なお、この第３の画像露光装置は、前記第１の画像露光装置の特徴部分も兼ね備えて、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされていることが特に望ましい。その場合、上記非球面はトーリック面であることが望ましい。
【００１６】
また上記第３の画像露光装置は、前記第２の画像露光装置の特徴部分も兼ね備えて、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を有するものとされていることが特に望ましい。
【００１７】
また上記第３の画像露光装置において、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズは円形のレンズ開口を有するものであることが望ましい。
【００１８】
また、上記第３の画像露光装置において、マイクロレンズの開口形状は、そのレンズ面の一部に遮光部を設けることによって規定されていることが望ましい。
【００１９】
また、以上説明した本発明による第１〜３の画像露光装置において、前記結像光学系が、空間光変調素子によって変調された光による像をマイクロレンズアレイに結像する一部の光学系を有するものである場合は、その一部の光学系の結像位置が、マイクロレンズアレイのレンズ面に設定されていることが望ましい。
【００２０】
さらに、以上説明した本発明による第１〜３の画像露光装置において、前記結像光学系が、上述と同様の第１の結像光学系および第２の結像光学系とを有するものである場合は、マイクロレンズアレイと第２の結像光学系との間に、マイクロレンズから出射した光を各々個別に絞る多数の開口をアレイ状に配列して有する開口アレイが配設されていることが望ましい。その場合、上記開口アレイは、マイクロレンズの焦点位置に配置されていることが望ましい。
【００２１】
さらに、本発明による第１〜３の各画像露光装置は、画素部としての微小ミラーが２次元状に配列されてなるＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を空間光変調素子として用いる画像露光装置を前提として構成されることが望ましい。
【００２２】
他方、本発明による画像露光方法は、上述した本発明による画像露光装置を用いて所定のパターンを感光材料に露光することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２３】
本発明者の研究によると、マイクロレンズで集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうという前述の問題は、空間光変調素子の画素部の面の歪みに起因していることが判明した。特にＤＭＤにおいて、画素部となる微小ミラーの反射面は精度良く平坦に形成されているものと考えられて来たが、本発明者の分析によるとこの反射面はかなり歪んでおり、そこで、該ＤＭＤを空間光変調素子として用いて画像露光装置を構成した場合には上記の問題が発生しやすくなっている。
【００２４】
以上の知見に鑑みて、本発明による第１の画像露光装置においては、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされたものである。そこでこの本発明による第１の画像露光装置によれば、上記画素部の面の歪みに起因する問題、すなわち、集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうという問題を防止可能となる。
【００２５】
また本発明による第２の画像露光装置においては、上記の知見に鑑みて、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、画素部の面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を有するものとされている。そこでこの本発明による第２の画像露光装置においても、上記の問題すなわち、集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうという問題を防止可能となる。
【００２６】
以上のようにして、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズによって集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうことを防止できれば、歪みの無い、より高精細な画像を露光可能となる。
【００２７】
また本発明者の研究によると、特にＤＭＤにおいて、画素部となる矩形の微小ミラーの歪みの変化量は、画素部の中心から周辺に行くほど大きくなる傾向があり、そこで、該ＤＭＤを空間光変調素子として用いて画像露光装置を構成した場合には上記の問題が発生しやすくなっている。
【００２８】
以上の知見に鑑みて、本発明による第３の画像露光装置においては、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の矩形の画素部の周辺部からの光は入射させないレンズ開口形状を有するものとされている。そこでこの第３の画像露光装置によれば、歪みの変化量が大きい上記画素部の周辺部を通過した光はマイクロレンズによって集光されなくなり、集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまう問題を防止可能となる。
【００２９】
以上のようにして、マイクロレンズアレイの各マイクロレンズによって集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうことを防止できれば、歪みの無い、より高精細な画像を露光可能となる。
【００３０】
なお、この第３の画像露光装置において、特にマイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされている場合は、このように非球面形状としたことによる効果（第１の画像露光装置における効果）も相乗的に得ることができるので、さらに歪みの無い、より高精細な画像を露光可能となる。
【００３１】
また、この第３の画像露光装置において、特にマイクロレンズアレイの各マイクロレンズが、空間光変調素子の画素部の面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を有するものとされている場合は、このような屈折率分布を付与したことによる効果（第２の画像露光装置における効果）も相乗的に得ることができるので、さらに歪みの無い、より高精細な画像を露光可能となる。
【００３２】
また、上記第３の画像露光装置において、マイクロレンズの開口形状が、そのレンズ面の一部に遮光部を設けることによって規定されている場合は、空間光変調素子の画素部の周辺部を経た光がその遮光部で遮断されるので、集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうという問題がより確実に防止される。
【００３３】
また、以上説明した本発明による第１〜３の画像露光装置において、特に前記結像光学系が、空間光変調素子によって変調された光による像をマイクロレンズアレイに結像する一部の光学系を有するものであって、その一部の光学系の結像位置が、マイクロレンズアレイのレンズ面に設定されている場合には、該一部の光学系が結ぶ画素部の像が、該レンズ面上で最も小さい状態となる。そうであれば、感光材料上でビームを最も小さく絞ることができるのでより高精細の画像を露光可能になる。また、一般にＤＭＤの微小ミラー等の画素部は一般に中央近辺において歪みがより少なくなっているので、上述のように画素部の像がレンズ面上で最も小さくなるのであれば、画素部中央近辺からのより収差が少ない光だけがマイクロレンズを通過するようにして、該マイクロレンズによる集束性能を改善することも可能になる。
【００３４】
そして、上述のように第１の結像光学系の結像位置がマイクロレンズアレイのレンズ面に設定されている場合、特にマイクロレンズが、そのレンズ面の一部に遮光部を設けることによって、空間光変調素子の矩形の画素部の周辺部からの光は入射させないレンズ開口形状とされ、かつ、上記画素部の面の歪みによる収差を補正する非球面形状あるいは屈折率分布を有するものとされていると、特に光利用効率が高くなり、より高強度の光で感光材料を露光することができる。すなわちその場合は第１の結像光学系により、画素部の面の歪みによる迷光が該光学系の結像位置で１点に集束するように光が屈折するが、この位置に開口を制限する上記遮光部が形成されていれば、迷光以外の光が遮光されることがなくなり、光利用効率が向上する。
【００３５】
さらに、以上説明した本発明による第１〜３の画像露光装置において、特に前記結像光学系が、空間光変調素子により変調された光による像をマイクロレンズアレイに結像する第１の結像光学系と、マイクロレンズアレイで集光された光による像を感光材料上に結像する第２の結像光学系とを有するものであって、マイクロレンズアレイと第２の結像光学系との間に、マイクロレンズから出射した光を各々個別に絞る多数の開口がアレイ状に配列されてなる開口アレイが配設されている場合には、各開口に、それと対応しない隣接のマイクロレンズからの光が入射することが防止され、消光比が高められる。この効果は、上記開口アレイがマイクロレンズの焦点位置に配置されている場合には、特に顕著に得ることができる。
【００３６】
なお、本発明による上記第１〜３の画像露光装置が、微小ミラーが２次元状に配列されてなるＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）を空間光変調素子として用いる画像露光装置を前提として構成された場合は、その場合に特に発生しやすくなっている上記問題を防止できるので、特に好ましいと言える。
【００３７】
他方、本発明による画像露光方法は、上述した本発明による画像露光装置を用いて所定のパターンを感光材料に露光するものであるので、集光されたビームの集光位置における形状が歪んでしまうことを防止して、高精細なパターンを露光可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態による画像露光装置について説明する。
【００３９】
［画像露光装置の構成］
この画像露光装置は、図１に示すように、シート状の感光材料150を表面に吸着して保持する平板状の移動ステージ152を備えている。４本の脚部154に支持された厚い板状の設置台156の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド158が設置されている。ステージ152は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド158によって往復移動可能に支持されている。なお、この画像露光装置には、副走査手段としてのステージ152をガイド158に沿って駆動する後述のステージ駆動装置304（図１５参照）が設けられている。
【００４０】
設置台156の中央部には、ステージ152の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート160が設けられている。コ字状のゲート160の端部の各々は、設置台156の両側面に固定されている。このゲート160を挟んで一方の側にはスキャナ162が設けられ、他方の側には感光材料150の先端および後端を検知する複数（例えば２個）のセンサ164が設けられている。スキャナ162およびセンサ164はゲート160に各々取り付けられて、ステージ152の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ162およびセンサ164は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されている。
【００４１】
スキャナ162は、図２および図３（Ｂ）に示すように、ｍ行ｎ列（例えば３行５列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば１４個）の露光ヘッド166を備えている。この例では、感光材料150の幅との関係で、３行目には４個の露光ヘッド166を配置してある。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド166mnと表記する。
【００４２】
露光ヘッド166による露光エリア168は、副走査方向を短辺とする矩形状である。従って、ステージ152の移動に伴い、感光材料150には露光ヘッド166毎に帯状の露光済み領域170が形成される。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア168mnと表記する。
【００４３】
また、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域170が副走査方向と直交する方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッドの各々は、配列方向に所定間隔（露光エリアの長辺の自然数倍、本例では２倍）ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア16811と露光エリア16812との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア16821と３行目の露光エリア16831とにより露光することができる。
【００４４】
露光ヘッド16611〜166mnの各々は、図４および図５に示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、米国テキサス・インスツルメンツ社製のデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）50を備えている。このＤＭＤ50は、データ処理部とミラー駆動制御部とを備えた後述のコントローラ302（図１５参照）に接続されている。このコントローラ302のデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド166毎にＤＭＤ50の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。なお、制御すべき領域については後述する。また、ミラー駆動制御部では、画像データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド166毎にＤＭＤ50の各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。なお、反射面の角度の制御については後述する。
【００４５】
ＤＭＤ50の光入射側には、光ファイバの出射端部（発光点）が露光エリア168の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたレーザ出射部を備えたファイバアレイ光源66、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ上に集光させるレンズ系67、このレンズ系67を透過したレーザ光をＤＭＤ50に向けて反射するミラー69がこの順に配置されている。なお図４では、レンズ系67を概略的に示してある。
【００４６】
上記レンズ系67は、図５に詳しく示すように、ファイバアレイ光源66から出射した照明光としてのレーザ光Ｂを集光する集光レンズ71、この集光レンズ71を通過した光の光路に挿入されたロッド状オプティカルインテグレータ（以下、ロッドインテグレータという）72、およびこのロッドインテグレータ72の前方つまりミラー69側に配置された結像レンズ74から構成されている。集光レンズ71、ロッドインテグレータ72および結像レンズ74は、ファイバアレイ光源66から出射したレーザ光を、平行光に近くかつビーム断面内強度が均一化された光束としてＤＭＤ50に入射させる。このロッドインテグレータ72の形状や作用については、後に詳しく説明する。
【００４７】
上記レンズ系67から出射したレーザ光Ｂはミラー69で反射し、ＴＩＲ（全反射）プリズム70を介してＤＭＤ50に照射される。なお図４では、このＴＩＲプリズム70は省略してある。
【００４８】
またＤＭＤ50の光反射側には、ＤＭＤ50で反射されたレーザ光Ｂを、感光材料150上に結像する結像光学系51が配置されている。この結像光学系51は図４では概略的に示してあるが、図５に詳細を示すように、レンズ系52，54からなる第１結像光学系と、レンズ系57，58からなる第２結像光学系と、これらの結像光学系の間に挿入されたマイクロレンズアレイ55と、アパーチャアレイ59とから構成されている。
【００４９】
マイクロレンズアレイ55は、ＤＭＤ50の各画素に対応する多数のマイクロレンズ55ａが２次元状に配列されてなるものである。本例では、後述するようにＤＭＤ50の１０２４個×７６８列のマイクロミラーのうち１０２４個×２５６列だけが駆動されるので、それに対応させてマイクロレンズ55ａは１０２４個×２５６列配置されている。またマイクロレンズ55ａの配置ピッチは縦方向、横方向とも４１μｍである。このマイクロレンズ55ａは、一例として焦点距離が０．１９ｍｍ、ＮＡ（開口数）が０．１１で、光学ガラスＢＫ７から形成されている。なおマイクロレンズ55ａの形状については、後に詳しく説明する。そして、各マイクロレンズ55ａの位置におけるレーザ光Ｂのビーム径は、４１μｍである。
【００５０】
また上記アパーチャアレイ59は、マイクロレンズアレイ55の各マイクロレンズ55ａに対応する多数のアパーチャ（開口）59ａが形成されてなるものである。本実施形態において、アパーチャ59ａの径は１０μｍである。
【００５１】
上記第１結像光学系は、ＤＭＤ50による像を３倍に拡大してマイクロレンズアレイ55上に結像する。そして第２結像光学系は、マイクロレンズアレイ55を経た像を１．６倍に拡大して感光材料150上に結像、投影する。したがって全体では、ＤＭＤ50による像が４．８倍に拡大して感光材料150上に結像、投影されることになる。
【００５２】
なお本例では、第２結像光学系と感光材料150との間にプリズムペア73が配設され、このプリズムペア73を図５中で上下方向に移動させることにより、感光材料150上における像のピントを調節可能となっている。なお同図中において、感光材料150は矢印Ｆ方向に副走査送りされる。
【００５３】
ＤＭＤ50は図６に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）60上に、各々画素（ピクセル）を構成する多数（例えば１０２４個×７６８個）の微小ミラー（マイクロミラー）62が格子状に配列されてなるミラーデバイスである。各ピクセルにおいて、最上部には支柱に支えられたマイクロミラー62が設けられており、マイクロミラー62の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。なお、マイクロミラー62の反射率は９０％以上であり、その配列ピッチは縦方向、横方向とも一例として１３．７μｍである。また、マイクロミラー62の直下には、ヒンジおよびヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル60が配置されており、全体はモノリシックに構成されている。
【００５４】
ＤＭＤ50のＳＲＡＭセル60にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー62が、対角線を中心としてＤＭＤ50が配置された基板側に対して±α度（例えば±１２度）の範囲で傾けられる。図７（Ａ）は、マイクロミラー62がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図７（Ｂ）は、マイクロミラー62がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。したがって、画像信号に応じて、ＤＭＤ50の各ピクセルにおけるマイクロミラー62の傾きを、図６に示すように制御することによって、ＤＭＤ50に入射したレーザ光Ｂはそれぞれのマイクロミラー62の傾き方向へ反射される。
【００５５】
なお図６には、ＤＭＤ50の一部を拡大し、マイクロミラー62が＋α度又は−α度に制御されている状態の一例を示す。それぞれのマイクロミラー62のオンオフ制御は、ＤＭＤ50に接続された前記コントローラ302によって行われる。また、オフ状態のマイクロミラー62で反射したレーザ光Ｂが進行する方向には、光吸収体（図示せず）が配置されている。
【００５６】
また、ＤＭＤ50は、その短辺が副走査方向と所定角度θ（例えば、０．１°〜５°）を成すように僅かに傾斜させて配置するのが好ましい。図８（Ａ）はＤＭＤ50を傾斜させない場合の各マイクロミラーによる反射光像（露光ビーム）53の走査軌跡を示し、図８（Ｂ）はＤＭＤ50を傾斜させた場合の露光ビーム53の走査軌跡を示している。
【００５７】
ＤＭＤ50には、長手方向にマイクロミラーが多数個（例えば１０２４個）配列されたマイクロミラー列が、短手方向に多数組（例えば７５６組）配列されているが、図８（Ｂ）に示すように、ＤＭＤ50を傾斜させることにより、各マイクロミラーによる露光ビーム53の走査軌跡（走査線）のピッチＰ1が、ＤＭＤ50を傾斜させない場合の走査線のピッチＰ2より狭くなり、解像度を大幅に向上させることができる。一方、ＤＭＤ50の傾斜角は微小であるので、ＤＭＤ50を傾斜させた場合の走査幅Ｗ2と、ＤＭＤ50を傾斜させない場合の走査幅Ｗ1とは略同一である。
【００５８】
また、異なるマイクロミラー列により同じ走査線上が重ねて露光（多重露光）されることになる。このように、多重露光されることで、アライメントマークに対する露光位置の微少量をコントロールすることができ、高精細な露光を実現することができる。また、主走査方向に配列された複数の露光ヘッドの間のつなぎ目を微少量の露光位置制御により段差無くつなぐことができる。
【００５９】
なお、ＤＭＤ50を傾斜させる代わりに、各マイクロミラー列を副走査方向と直交する方向に所定間隔ずらして千鳥状に配置しても、同様の効果を得ることができる。
【００６０】
ファイバアレイ光源66は図９ａに示すように、複数（例えば１４個）のレーザモジュール64を備えており、各レーザモジュール64には、マルチモード光ファイバ30の一端が結合されている。マルチモード光ファイバ30の他端には、コア径がマルチモード光ファイバ30と同一で且つクラッド径がマルチモード光ファイバ30より小さい光ファイバ31が結合されている。図９ｂに詳しく示すように、マルチモード光ファイバ31の光ファイバ30と反対側の端部は副走査方向と直交する主走査方向に沿って７個並べられ、それが２列に配列されてレーザ出射部68が構成されている。
【００６１】
マルチモード光ファイバ31の端部で構成されるレーザ出射部68は、図９ｂに示すように、表面が平坦な２枚の支持板65に挟み込まれて固定されている。また、マルチモード光ファイバ31の光出射端面には、その保護のために、ガラス等の透明な保護板が配置されるのが望ましい。マルチモード光ファイバ31の光出射端面は、光密度が高いため集塵し易く劣化し易いが、上述のような保護板を配置することにより、端面への塵埃の付着を防止し、また劣化を遅らせることができる。
【００６２】
本例では図１０に示すように、クラッド径が大きいマルチモード光ファイバ30のレーザ光出射側の先端部分に、長さ１〜３０ｃｍ程度のクラッド径が小さい光ファイバ31が同軸的に結合されている。それらの光ファイバ30，31は、それぞれのコア軸が一致する状態で光ファイバ31の入射端面を光ファイバ30の出射端面に融着することにより結合されている。上述した通り、光ファイバ31のコア31ａの径は、マルチモード光ファイバ30のコア30ａの径と同じ大きさである。
【００６３】
マルチモード光ファイバ30および光ファイバ31としては、ステップインデックス型光ファイバ、グレーデッドインデックス型光ファイバ、および複合型光ファイバの何れも適用可能である。例えば、三菱電線工業株式会社製のステップインデックス型光ファイバを用いることができる。本例において、マルチモード光ファイバ30および光ファイバ31はステップインデックス型光ファイバであり、マルチモード光ファイバ30は、クラッド径＝１２５μｍ、コア径＝５０μｍ、ＮＡ＝０．２、入射端面コートの透過率＝９９．５％以上であり、光ファイバ31は、クラッド径＝６０μｍ、コア径＝５０μｍ、ＮＡ＝０．２である。
【００６４】
ただし、光ファイバ31のクラッド径は６０μｍには限定されない。従来のファイバ光源に使用されている多くの光ファイバのクラッド径は１２５μｍであるが、クラッド径が小さくなるほど焦点深度がより深くなるので、マルチモード光ファイバのクラッド径は８０μｍ以下が好ましく、６０μｍ以下がより好ましい。一方、シングルモード光ファイバの場合、コア径は少なくとも３〜４μｍ必要であることから、光ファイバ31のクラッド径は１０μｍ以上が好ましい。また、光ファイバ30のコア径と光ファイバ31のコア径を一致させることが、結合効率の点から好ましい。
【００６５】
レーザモジュール64は、図１１に示す合波レーザ光源（ファイバ光源）によって構成されている。この合波レーザ光源は、ヒートブロック10上に配列固定された複数（例えば７個）のチップ状の横マルチモード又はシングルモードのＧａＮ系半導体レーザＬＤ１，ＬＤ２，ＬＤ３，ＬＤ４，ＬＤ５，ＬＤ６，およびＬＤ７と、ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７の各々に対応して設けられたコリメータレンズ11，12，13，14，15，16および17と、１つの集光レンズ20と、１本のマルチモード光ファイバ30とから構成されている。なお、半導体レーザの個数は７個に限定されるものではなく、その他の個数が採用されてもよい。また、上述のような７個のコリメータレンズ11〜17に代えて、それらのレンズが一体化されてなるコリメータレンズアレイを用いることもできる。
【００６６】
ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７は、発振波長が総て共通（例えば、４０５ｎｍ）であり、最大出力も総て共通（例えばマルチモードレーザでは１００ｍＷ、シングルモードレーザでは５０ｍＷ程度）である。なお、ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７としては、３５０ｎｍ〜４５０ｎｍの波長範囲において、上記４０５ｎｍ以外の波長で発振するレーザを用いてもよい。
【００６７】
上記の合波レーザ光源は、図１２および図１３に示すように、他の光学要素と共に、上方が開口した箱状のパッケージ40内に収納されている。パッケージ40は、その開口を閉じるように作成されたパッケージ蓋41を備えており、脱気処理後に封止ガスを導入し、パッケージ40の開口をパッケージ蓋41で閉じることにより、それらによって形成される閉空間（封止空間）内に上記合波レーザ光源が気密封止されている。
【００６８】
パッケージ40の底面にはベース板42が固定されており、このベース板42の上面には、前記ヒートブロック10と、集光レンズ20を保持する集光レンズホルダー45と、マルチモード光ファイバ30の入射端部を保持するファイバホルダー46とが取り付けられている。マルチモード光ファイバ30の出射端部は、パッケージ40の壁面に形成された開口からパッケージ外に引き出されている。
【００６９】
また、ヒートブロック10の側面にはコリメータレンズホルダー44が取り付けられており、そこにコリメータレンズ11〜17が保持されている。パッケージ40の横壁面には開口が形成され、この開口を通してＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７に駆動電流を供給する配線47がパッケージ外に引き出されている。
【００７０】
なお、図１３においては、図の煩雑化を避けるために、複数のＧａＮ系半導体レーザのうちＧａＮ系半導体レーザＬＤ７にのみ番号を付し、複数のコリメータレンズのうちコリメータレンズ17にのみ番号を付している。
【００７１】
図１４は、上記コリメータレンズ11〜17の取り付け部分の正面形状を示すものである。コリメータレンズ11〜17の各々は、非球面を備えた円形レンズの光軸を含む領域を平行な平面で細長く切り取った形状に形成されている。この細長形状のコリメータレンズは、例えば、樹脂又は光学ガラスをモールド成形することによって形成することができる。コリメータレンズ11〜17は、長さ方向がＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７の発光点の配列方向（図１４の左右方向）と直交するように、上記発光点の配列方向に密接配置されている。
【００７２】
一方ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７としては、発光幅が２μｍの活性層を備え、活性層と平行な方向、直角な方向の拡がり角が各々例えば１０°、３０°の状態で各々レーザ光Ｂ１〜Ｂ７を発するレーザが用いられている。これらＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７は、活性層と平行な方向に発光点が１列に並ぶように配設されている。
【００７３】
したがって、各発光点から発せられたレーザ光Ｂ１〜Ｂ７は、上述のように細長形状の各コリメータレンズ11〜17に対して、拡がり角度が大きい方向が長さ方向と一致し、拡がり角度が小さい方向が幅方向（長さ方向と直交する方向）と一致する状態で入射することになる。つまり、各コリメータレンズ11〜17の幅が１．１ｍｍ、長さが４．６ｍｍであり、それらに入射するレーザ光Ｂ１〜Ｂ７の水平方向、垂直方向のビーム径は各々０．９ｍｍ、２．６ｍｍである。また、コリメータレンズ11〜17の各々は、焦点距離ｆ1＝３ｍｍ、ＮＡ＝０．６、レンズ配置ピッチ＝１．２５ｍｍである。
【００７４】
集光レンズ20は、非球面を備えた円形レンズの光軸を含む領域を平行な平面で細長く切り取って、コリメータレンズ11〜17の配列方向、つまり水平方向に長く、それと直角な方向に短い形状に形成されている。この集光レンズ20は、焦点距離ｆ2＝２３ｍｍ、ＮＡ＝０．２である。この集光レンズ20も、例えば樹脂又は光学ガラスをモールド成形することにより形成される。
【００７５】
次に図１５を参照して、本例の画像露光装置における電気的な構成について説明する。ここに示されるように全体制御部300には変調回路301が接続され、該変調回路301にはＤＭＤ50を制御するコントローラ302が接続されている。また全体制御部300には、レーザモジュール64を駆動するＬＤ駆動回路303が接続されている。さらにこの全体制御部300には、前記ステージ152を駆動するステージ駆動装置304が接続されている。
【００７６】
［画像露光装置の動作］
次に、上記画像露光装置の動作について説明する。スキャナ162の各露光ヘッド166において、ファイバアレイ光源66の合波レーザ光源を構成するＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７（図１１参照）の各々から発散光状態で出射したレーザ光Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５，Ｂ６，およびＢ７の各々は、対応するコリメータレンズ11〜17によって平行光化される。平行光化されたレーザ光Ｂ１〜Ｂ７は、集光レンズ20によって集光され、マルチモード光ファイバ30のコア30ａの入射端面上で収束する。
【００７７】
本例では、コリメータレンズ11〜17および集光レンズ20によって集光光学系が構成され、その集光光学系とマルチモード光ファイバ30とによって合波光学系が構成されている。すなわち、集光レンズ20によって上述のように集光されたレーザ光Ｂ１〜Ｂ７が、このマルチモード光ファイバ30のコア30ａに入射して光ファイバ内を伝搬し、１本のレーザ光Ｂに合波されてマルチモード光ファイバ30の出射端部に結合された光ファイバ31から出射する。
【００７８】
各レーザモジュールにおいて、レーザ光Ｂ１〜Ｂ７のマルチモード光ファイバ30への結合効率が０．９で、ＧａＮ系半導体レーザＬＤ１〜ＬＤ７の各出力が５０ｍＷの場合には、アレイ状に配列された光ファイバ31の各々について、出力３１５ｍＷ（＝５０ｍＷ×０．９×７）の合波レーザ光Ｂを得ることができる。したがって、１４本のマルチモード光ファイバ31全体では、４．４Ｗ（＝０．３１５Ｗ×１４）の出力のレーザ光Ｂが得られる。
【００７９】
画像露光に際しては、図１５に示す変調回路301から露光パターンに応じた画像データがＤＭＤ50のコントローラ302に入力され、そのフレームメモリに一旦記憶される。この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
【００８０】
感光材料150を表面に吸着したステージ152は、図１５に示すステージ駆動装置304により、ガイド158に沿ってゲート160の上流側から下流側に一定速度で移動される。ステージ152がゲート160下を通過する際に、ゲート160に取り付けられたセンサ164により感光材料150の先端が検出されると、フレームメモリに記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド166毎に制御信号が生成される。そして、ミラー駆動制御部により、生成された制御信号に基づいて各露光ヘッド166毎にＤＭＤ50のマイクロミラーの各々がオンオフ制御される。なお本例の場合、１画素部となる上記マイクロミラーのサイズは１４μｍ×１４μｍである。
【００８１】
ファイバアレイ光源66からＤＭＤ50にレーザ光Ｂが照射されると、ＤＭＤ50のマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、レンズ系54、58により感光材料150上に結像される。このようにして、ファイバアレイ光源66から出射されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料150がＤＭＤ50の使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア168）で露光される。また、感光材料150がステージ152と共に一定速度で移動されることにより、感光材料150がスキャナ162によりステージ移動方向と反対の方向に副走査され、各露光ヘッド166毎に帯状の露光済み領域170が形成される。
【００８２】
なお本例では、図１６（Ａ）および（Ｂ）に示すように、ＤＭＤ50には、主走査方向にマイクロミラーが１０２４個配列されたマイクロミラー列が副走査方向に７６８組配列されているが、本例では、コントローラ302により一部のマイクロミラー列（例えば、１０２４個×２５６列）だけが駆動するように制御がなされる。
【００８３】
この場合、図１６（Ａ）に示すようにＤＭＤ50の中央部に配置されたマイクロミラー列を使用してもよく、図１６（Ｂ）に示すように、ＤＭＤ50の端部に配置されたマイクロミラー列を使用してもよい。また、一部のマイクロミラーに欠陥が発生した場合は、欠陥が発生していないマイクロミラー列を使用するなど、状況に応じて使用するマイクロミラー列を適宜変更してもよい。
【００８４】
ＤＭＤ50のデータ処理速度には限界があり、使用する画素数に比例して１ライン当りの変調速度が決定されるので、一部のマイクロミラー列だけを使用することで１ライン当りの変調速度が速くなる。一方、連続的に露光ヘッドを露光面に対して相対移動させる露光方式の場合には、副走査方向の画素を全部使用する必要はない。
【００８５】
スキャナ162による感光材料150の副走査が終了し、センサ164で感光材料150の後端が検出されると、ステージ152は、ステージ駆動装置304により、ガイド158に沿ってゲート160の最上流側にある原点に復帰し、再度、ガイド158に沿ってゲート160の上流側から下流側に一定速度で移動される。
【００８６】
次に、図５に示したファイバアレイ光源66、集光レンズ71、ロッドインテグレータ72、結像レンズ74、ミラー69およびＴＩＲプリズム70から構成されてＤＭＤ50に照明光としてのレーザ光Ｂを照射する照明光学系について説明する。ロッドインテグレータ72は例えば四角柱状に形成された透光性ロッドであり、その内部をレーザ光Ｂが全反射しながら進行するうちに、該レーザ光Ｂのビーム断面内強度分布が均一化される。なお、ロッドインテグレータ72の入射端面、出射端面には反射防止膜がコートされて、透過率が高められている。以上のようにして、照明光であるレーザ光Ｂのビーム断面内強度分布を高度に均一化できれば、照明光強度の不均一を無くして、高精細な画像を感光材料150に露光可能となる。
【００８７】
ここで図１７に、ＤＭＤ50を構成するマイクロミラー62の反射面の平面度を測定した結果を示す。同図においては、反射面の同じ高さ位置を等高線で結んで示してあり、等高線のピッチは５ｎｍである。なお同図に示すｘ方向およびｙ方向は、マイクロミラー62の２つの対角線方向であり、マイクロミラー62はｙ方向に延びる回転軸を中心として前述のように回転する。また図１８の（Ａ）および（Ｂ）にはそれぞれ、上記ｘ方向、ｙ方向に沿ったマイクロミラー62の反射面の高さ位置変位を示す。
【００８８】
上記図１７および図１８に示される通り、マイクロミラー62の反射面には歪みが存在し、そして特にミラー中央部に注目してみると、１つの対角線方向（ｙ方向）の歪みが、別の対角線方向（ｘ方向）の歪みよりも大きくなっている。そのため、マイクロレンズアレイ55のマイクロレンズ55ａで集光されたレーザ光Ｂの集光位置における形状が歪むという問題が発生し得る。
【００８９】
本実施形態の画像露光装置においては上述の問題を防止するために、マイクロレンズアレイ55のマイクロレンズ55ａが、従来とは異なる特殊な形状とされている。以下、その点について詳しく説明する。
【００９０】
図１９の（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ、マイクロレンズアレイ55全体の正面形状および側面形状を詳しく示すものである。これらの図にはマイクロレンズアレイ55の各部の寸法も記入してあり、それらの単位はｍｍである。本実施形態では、先に図１６を参照して説明したようにＤＭＤ50の１０２４個×２５６列のマイクロミラー62が駆動されるものであり、それに対応させてマイクロレンズアレイ55は、横方向に１０２４個並んだマイクロレンズ55ａの列を縦方向に２５６列並設して構成されている。なお同図（Ａ）では、マイクロレンズアレイ55の並び順を横方向についてはｊで、縦方向についてはｋで示している。
【００９１】
また図２０の（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ、上記マイクロレンズアレイ55における１つのマイクロレンズ55ａの正面形状および側面形状を示すものである。なお同図（Ａ）には、マイクロレンズ55ａの等高線を併せて示してある。各マイクロレンズ55ａの光出射側の端面は、上述したマイクロミラー62の反射面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされている。より具体的に、本実施形態においてマイクロレンズ55ａはトーリックレンズとされており、上記ｘ方向に光学的に対応する方向の曲率半径Ｒx＝−０．１２５ｍｍ、上記ｙ方向に対応する方向の曲率半径Ｒy＝−０．１ｍｍである。
【００９２】
したがって、上記ｘ方向およびｙ方向に平行な断面内におけるレーザ光Ｂの集光状態は、概略、それぞれ図２１の（Ａ）および（Ｂ）に示す通りとなる。つまり、ｘ方向に平行な断面内とｙ方向に平行な断面内とを比較すると、後者の断面内の方がマイクロレンズ55ａの曲率半径がより小であって、焦点距離がより短くなっている。
【００９３】
マイクロレンズ55ａを上記形状とした場合の、該マイクロレンズ55ａの集光位置（焦点位置）近傍におけるビーム径を計算機によってシミュレーションした結果を図２２ａ、ｂ、ｃ、およびｄに示す。また比較のために、マイクロレンズ55ａが曲率半径Ｒx＝Ｒy＝−０．１ｍｍの球面形状である場合について、同様のシミュレーションを行った結果を図２３ａ、ｂ、ｃおよびｄに示す。なお各図におけるｚの値は、マイクロレンズ55ａのピント方向の評価位置を、該マイクロレンズ55ａのビーム出射面からの距離で示している。
【００９４】
また、上記シミュレーションに用いたマイクロレンズ55ａの面形状は、
【数１】
0004708785.tif 000002
【００９５】
である。なお上式において、Ｃx：ｘ方向の曲率（＝１／Ｒx）、Ｃy：ｙ方向の曲率（＝１／Ｒy）、Ｘ：ｘ方向に関するレンズ光軸Ｏからの距離、Ｙ：ｙ方向に関するレンズ光軸Ｏからの距離、である。
【００９６】
図２２ａ〜ｄと図２３ａ〜ｄとを比較すると明らかなように、本実施形態においてはマイクロレンズ55ａを、ｙ方向に平行な断面内の焦点距離がｘ方向に平行な断面内の焦点距離よりも小さいトーリックレンズとしたことにより、その集光位置近傍におけるビーム形状の歪みが抑制される。そうであれば、歪みの無い、より高精細な画像を感光材料150に露光可能となる。また、図２２ａ〜ｄに示す本実施形態の方が、ビーム径の小さい領域がより広い、すなわち焦点深度がより大であることが分かる。
【００９７】
なお、マイクロミラー62のｘ方向およびｙ方向に関する中央部の歪の大小関係が、上記と逆になっている場合は、ｘ方向に平行な断面内の焦点距離がｙ方向に平行な断面内の焦点距離よりも小さいトーリックレンズからマイクロレンズを構成すれば、同様に、歪みの無い、より高精細な画像を感光材料150に露光可能となる。
【００９８】
また、マイクロレンズアレイ55の集光位置近傍に配置されたアパーチャアレイ59は、その各アパーチャ59ａに、それと対応するマイクロレンズ55ａを経た光のみが入射するように配置されたものである。すなわち、このアパーチャアレイ59が設けられていることにより、各アパーチャ59ａに、それと対応しない隣接のマイクロレンズ55ａからの光が入射することが防止され、消光比が高められる。なおこのアパーチャアレイ59は、マイクロレンズアレイ55の焦点位置に配置しておくことが好ましい。そのようにすれば、各アパーチャ59ａと対応しない隣接のマイクロレンズ55ａからの光が入射してしまうことが、より確実に防止される。
【００９９】
本来、上記目的で設置されるアパーチャアレイ59のアパーチャ59ａの径をある程度小さくすれば、マイクロレンズ55ａの集光位置におけるビーム形状の歪みを抑制する効果も得られる。しかしそのようにした場合は、アパーチャアレイ59で遮断される光量がより多くなり、光利用効率が低下することになる。それに対してマイクロレンズ55ａを非球面形状とする場合は、光を遮断することがないので、光利用効率も高く保たれる。
【０１００】
なお本実施形態においては、マイクロミラー62の２つの対角線方向に光学的に対応するｘ方向およびｙ方向の曲率が異なるトーリックレンズであるマイクロレンズ55ａが適用されているが、マイクロミラー62の歪みに応じて、図２６（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ等高線付き正面形状、側面形状を示すように、矩形のマイクロミラー62の２つの辺方向に光学的に対応するｘｘ方向およびｙｙ方向の曲率が互いに異なるトーリックレンズからなるマイクロレンズ55ａ’が適用されてもよい。
【０１０１】
また本実施形態において、マイクロレンズ55ａは２次の非球面形状とされているが、より高次（４次、６次・・・）の非球面形状を採用することにより、ビーム形状をさらに良化することができる。さらには、マイクロミラー62の反射面の歪みに応じて、前述したｘ方向およびｙ方向の曲率が互いに一致しているようなレンズ形状を採用することも可能である。以下、そのようなレンズ形状の例について詳しく説明する。
【０１０２】
図２７の（Ａ）、（Ｂ）にそれぞれ等高線付き正面形状、側面形状を示すマイクロレンズ55ａ”は、ｘ方向およびｙ方向の曲率が互いに等しく、またその曲率は、球面レンズの曲率Ｃyをレンズ中心からの距離ｈに応じて補正したものとなっている。すなわち、このマイクロレンズ55ａ”のレンズ形状の基となる球面レンズ形状は、例えば下式（数２）でレンズ高さ（レンズ曲面の光軸方向位置）ｚを規定したものを採用する。
【数２】
0004708785.tif 000003
【０１０３】
なお上記曲率Ｃy＝（１／０．１ｍｍ）である場合の、レンズ高さｚと距離ｈとの関係をグラフにして図２８に示す。
【０１０４】
そして、上記球面レンズ形状の曲率Ｃyをレンズ中心からの距離ｈに応じて下式（数３）のように補正して、マイクロレンズ55ａ”のレンズ形状とする。
【数３】
0004708785.tif 000004
【０１０５】
この（数３）においても、ｚの意味するところは（数２）と同じであり、ここでは４次係数ａおよび６次係数ｂを用いて曲率Ｃyを補正している。なお、上記曲率Ｃy＝（１／０．１ｍｍ）、４次係数ａ＝１．２×１０3、６次係数ａ＝５．５×１０7である場合の、レンズ高さｚと距離ｈとの関係をグラフにして図２９に示す。
【０１０６】
また、以上説明した実施形態では、マイクロレンズ55ａの光出射側の端面が非球面（トーリック面）とされているが、２つの光通過端面の一方を球面とし、他方をシリンドリカル面としたマイクロレンズからマイクロレンズアレイを構成して、上記実施形態と同様の効果を得ることもできる。
【０１０７】
さらに、以上説明した実施形態においては、マイクロレンズアレイ55のマイクロレンズ55ａが、マイクロミラー62の反射面の歪みによる収差を補正する非球面形状とされているが、このような非球面形状を採用する代わりに、マイクロレンズアレイを構成する各マイクロレンズに、マイクロミラー62の反射面の歪みによる収差を補正する屈折率分布を持たせても、同様の効果を得ることができる。
【０１０８】
そのようなマイクロレンズ155ａの一例を図２４に示す。同図の（Ａ）および（Ｂ）はそれぞれ、このマイクロレンズ155ａの正面形状および側面形状を示すものであり、図示の通りこのマイクロレンズ155ａの外形形状は平行平板状である。なお、同図におけるｘ、ｙ方向は、既述した通りである。
【０１０９】
また図２５の（Ａ）および（Ｂ）は、このマイクロレンズ155ａによる上記ｘ方向およびｙ方向に平行な断面内におけるレーザ光Ｂの集光状態を概略的に示している。このマイクロレンズ155ａは、光軸Ｏから外方に向かって次第に増大する屈折率分布を有するものであり、同図においてマイクロレンズ155ａ内に示す破線は、その屈折率が光軸Ｏから所定の等ピッチで変化した位置を示している。図示の通り、ｘ方向に平行な断面内とｙ方向に平行な断面内とを比較すると、後者の断面内の方がマイクロレンズ155ａの屈折率変化の割合がより大であって、焦点距離がより短くなっている。このような屈折率分布型レンズから構成されるマイクロレンズアレイを用いても、前記マイクロレンズアレイ55を用いる場合と同様の効果を得ることが可能である。
【０１１０】
なお、先に図２０および図２１に示したマイクロレンズ55ａのように面形状を非球面としたマイクロレンズにおいて、併せて上述のような屈折率分布を与え、面形状と屈折率分布の双方によって、マイクロミラー62の反射面の歪みによる収差を補正するようにしてもよい。
【０１１１】
次に、本発明のさらに別の実施形態による画像露光装置について説明する。本実施形態の画像露光装置は、先に図１〜１５を参照して説明した画像露光装置と比べると、図５に示したマイクロレンズアレイ55に代えて図３０に示すマイクロレンズアレイ255が用いられている点のみが異なり、その他の点は基本的に同様に形成されたものである。以下、このマイクロレンズアレイ255について詳しく説明する。
【０１１２】
先に図１７および図１８を参照して説明した通り、ＤＭＤ50のマイクロミラー62の反射面には歪みが存在するが、その歪み変化量はマイクロミラー62の中心から周辺部に行くにつれて次第に大きくなる傾向を有している。そしてマイクロミラー62の１つの対角線方向（ｙ方向）の周辺部歪み変化量は、別の対角線方向（ｘ方向）の周辺部歪み変化量と比べて大きく、上記の傾向もより顕著となっている。
【０１１３】
本実施形態の画像露光装置は上述の問題に対処するために、図３０に示すマイクロレンズアレイ255が適用されたものである。このマイクロレンズアレイ255は、アレイ状に配設されたマイクロレンズ255ａが円形のレンズ開口を有するものとされている。そこで、上述のように歪みが大きいマイクロミラー62の反射面の周辺部、特に四隅部で反射したレーザ光Ｂはマイクロレンズ255ａによって集光されなくなり、集光されたレーザ光Ｂの集光位置における形状が歪んでしまうことを防止できる。そうであれば、歪みの無い、より高精細な画像を感光材料150に露光可能となる。
【０１１４】
また本実施形態においては、同図に示される通り、マイクロレンズアレイ255のマイクロレンズ255ａを保持している透明部材255ｂ（これは通常、マイクロレンズ255ａと一体的に形成される）の裏面、つまりマイクロレンズ255ａが形成されている面と反対側の面に、互いに離れた複数のマイクロレンズ255ａのレンズ開口の外側領域を埋める状態にして、遮光性のマスク255ｃが形成されている。このようなマスク255ｃが設けられていることにより、マイクロミラー62の反射面の周辺部、特に四隅部で反射したレーザ光Ｂはそこで吸収、遮断されるので、集光されたレーザ光Ｂの形状が歪んでしまうという問題がより確実に防止される。
【０１１５】
本発明において、マイクロレンズの開口形状は上に説明した円形に限られるものではなく、例えば図３１に示すように楕円形の開口を有するマイクロレンズ455ａを複数並設してなるマイクロレンズアレイ455や、図３２に示すように多角形（ここでは四角形）の開口を有するマイクロレンズ555ａを複数並設してなるマイクロレンズアレイ555等を適用することもできる。なお上記マイクロレンズ455ａおよび555ａは、通常の軸対称球面レンズの一部を円形あるいは多角形に切り取った形のものであり、通常の軸対称球面レンズと同様の集光機能を有する。
【０１１６】
さらに、本発明においては、図３３の（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）に示すようなマイクロレンズアレイを適用することも可能である。同図（Ａ）に示すマイクロレンズアレイ655は、透明部材655ｂのレーザ光Ｂが出射する側の面に、上記マイクロレンズ55ａ、455ａおよび555ａと同様の複数のマイクロレンズ655ａが互いに密接するように並設され、レーザ光Ｂが入射する側の面に上記マスク255ｃと同様のマスク655ｃが形成されてなるものである。なお、図３０のマスク255ｃはレンズ開口の外側部分に形成されているのに対し、このマスク655ｃはレンズ開口内に設けられている。また同図（Ｂ）に示すマイクロレンズアレイ755は、透明部材755ｂのレーザ光Ｂが出射する側の面に、互いに離して複数のマイクロレンズ755ａが並設され、それらのマイクロレンズ755ａどうしの間にマスク755ｃが形成されてなるものである。また同図（Ｃ）に示すマイクロレンズアレイ855は、透明部材855ｂのレーザ光Ｂが出射する側の面に、互いに接する状態にして複数のマイクロレンズ855ａが並設され、各マイクロレンズ855ａの周辺部にマスク855ｃが形成されてなるものである。
【０１１７】
なお、上記マスク655ｃ、755ｃおよび855ｃは全て、前述のマスク255ｃと同様に円形の開口を有するものであり、それによりマイクロレンズの開口が円形に規定されるようになっている。
【０１１８】
以上説明したマイクロレンズ255ａ、455ａ、555ａ、655ａおよび755ａのように、マスクを設ける等によって、ＤＭＤ50のマイクロミラー62の周辺部からの光を入射させないレンズ開口形状とする構成は、既述のマイクロレンズ55ａ（図２０参照）のようにマイクロミラー62の面の歪みによる収差を補正する非球面形状のレンズや、マイクロレンズ155ａ（図２４参照）のように上記収差を補正する屈折率分布を有するレンズに併せて採用することも可能である。そのようにすれば、マイクロミラー62の反射面の歪みによる露光画像の歪みを防止する効果が相乗的に高められる。
【０１１９】
特に、図３３（Ｃ）に示すようにマイクロレンズ855ａのレンズ面にマスク855ｃが形成される構成において、マイクロレンズ855ａが上述のような非球面形状や屈折率分布を有するものとされ、その上で、第１結像光学系（例えば図５に示したレンズ系52，54）の結像位置がマイクロレンズ855ａのレンズ面に設定されている場合は、特に光利用効率が高くなり、より高強度の光で感光材料150を露光することができる。すなわちその場合は第１の結像光学系により、マイクロミラー62の反射面の歪みによる迷光が該光学系の結像位置で１点に集束するように光が屈折するが、この位置にマスク855ｃが形成されていれば、迷光以外の光が遮光されることがなくなり、光利用効率が向上する。
【０１２０】
また上述した実施形態では、空問光変調素子に光を照射する光源としてレーザ光源を用いているが、本発明においてはそれに限らず、例えば水銀灯等のランプ光源を用いることも可能である。
【０１２１】
また上記の実施形態では、ＤＭＤ50を構成するマイクロミラー62の反射面の歪みによる収差を補正しているが、ＤＭＤ以外の空間光変調素子を用いる画像露光装置においても、その空間光変調素子の画素部の面に歪みが存在する場合は、本発明を適用してその歪みによる収差を補正し、ビーム形状に歪みが生じることを防止可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の一実施形態である画像露光装置の外観を示す斜視図
【図２】図１の画像露光装置のスキャナの構成を示す斜視図
【図３】（Ａ）は感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図
【図４】図１の画像露光装置の露光ヘッドの概略構成を示す斜視図
【図５】上記露光ヘッドの断面図
【図６】デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図
【図７】（Ａ）および（Ｂ）はＤＭＤの動作を説明するための説明図
【図８】（Ａ）および（Ｂ）は、ＤＭＤを傾斜配置しない場合と傾斜配置する場合とで、露光ビームの配置および走査線を比較して示す平面図
【図９ａ】ファイバアレイ光源の構成を示す斜視図
【図９ｂ】ファイバアレイ光源のレーザ出射部における発光点の配列を示す正面図
【図１０】マルチモード光ファイバの構成を示す図
【図１１】合波レーザ光源の構成を示す平面図
【図１２】レーザモジュールの構成を示す平面図
【図１３】図１２に示すレーザモジュールの構成を示す側面図
【図１４】図１２に示すレーザモジュールの構成を示す部分正面図
【図１５】上記画像露光装置の電気的構成を示すブロック図
【図１６】（Ａ）および（Ｂ）は、ＤＭＤの使用領域の例を示す図
【図１７】ＤＭＤを構成するマイクロミラーの反射面の歪みを等高線で示す図
【図１８】上記マイクロミラーの反射面の歪みを、該ミラーの２つの対角線方向について示すグラフ
【図１９】上記画像露光装置に用いられたマイクロレンズアレイの正面図（Ａ）と側面図（Ｂ）
【図２０】上記マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズの正面図（Ａ）と側面図（Ｂ）
【図２１】上記マイクロレンズによる集光状態を１つの断面内（Ａ）と別の断面内（Ｂ）について示す概略図
【図２２ａ】本発明の画像露光装置において、マイクロレンズの集光位置近傍におけるビーム径をシミュレーションした結果を示す図
【図２２ｂ】図２２ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２２ｃ】図２２ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２２ｄ】図２２ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２３ａ】従来の画像露光装置において、マイクロレンズの集光位置近傍におけるビーム径をシミュレーションした結果を示す図
【図２３ｂ】図２３ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２３ｃ】図２３ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２３ｄ】図２３ａと同様のシミュレーション結果を、別の位置について示す図
【図２４】本発明の別の画像露光装置に用いられるマイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズの正面図（Ａ）と側面図（Ｂ）
【図２５】図２４のマイクロレンズによる集光状態を１つの断面内（Ａ）と別の断面内（Ｂ）について示す概略図
【図２６】マイクロレンズのさらに別の例を示す正面図（Ａ）と側面図（Ｂ）
【図２７】マイクロレンズのさらに別の例を示す正面図（Ａ）と側面図（Ｂ）
【図２８】球面レンズ形状例を示すグラフ
【図２９】本発明に用いられるマイクロレンズの別のレンズ面形状例を示すグラフ
【図３０】マイクロレンズアレイの別の例を示す斜視図
【図３１】マイクロレンズアレイのさらに別の例を示す平面図
【図３２】マイクロレンズアレイのさらに別の例を示す平面図
【図３３】マイクロレンズアレイのさらに別の例を示す平面図
【符号の説明】
【０１２３】
ＬＤ１〜ＬＤ７    ＧａＮ系半導体レーザ
30、31    マルチモード光ファイバ
50    デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）
51    拡大結像光学系
53、54    第１結像光学系のレンズ
55、255、455、555、655、755、855    マイクロレンズアレイ
55ａ、55ａ’、55ａ”、155ａ、255ａ、455ａ、555ａ、655ａ、755ａ、855ａ    マイクロレンズ
57、58    第２結像光学系のレンズ
59    アパーチャアレイ
66    レーザモジュール
66    ファイバアレイ光源
68    レーザ出射部
72    ロッドインテグレータ
150    感光材料
152    ステージ
162    スキャナ
166    露光ヘッド
168    露光エリア
170    露光済み領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９ａ】
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【図９ｂ】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図２２ａ】
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【図２２ｂ】
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【図２２ｃ】
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【図２２ｄ】
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【図２３ａ】
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【図２３ｂ】
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【図２３ｃ】
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【図２３ｄ】
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