(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバと、
前記チャンバ内部に配置され、所定パターンの開口が形成されており、基板が載置されるマスクと、
前記マスクの下側に配置され、前記マスクの開口を通して前記基板に膜が形成されるように蒸着物質を前記マスク側に供給する蒸着物質供給源と、
前記基板の底面と前記マスクが密着するように前記基板の上面を前記マスク側に加圧し、前記基板の曲がった形状に沿って変形可能な基板−マスク密着ユニットと、
を含み、
前記基板−マスク密着ユニットは、前記基板の上面に配置され、自重により前記基板の上面を加圧し、前記基板の曲がった形状に沿って変形する板を含むことを特徴とする、有機電界発光表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記基板−マスク密着ユニットは、前記板を前記基板の上面に移送する移送機を含むことを特徴とする、請求項１に記載の有機電界発光表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記板は、金属材で形成され、柔軟性を有するように厚さＴ１を有する金属薄板であることを特徴とする、請求項２に記載の有機電界発光表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記金属薄板の厚さＴ１は、０．１〜０．６ｍｍであることを特徴とする、請求項３に記載の有機電界発光表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記マスクは磁性を有する金属材で形成され、
前記板の上部には、前記板が前記基板の上面を加圧する際に前記マスクに磁力が作用し、前記マスクを前記基板の底面側に引き寄せる磁石が配置され、
前記板は磁性を有しない金属薄板で形成されることを特徴とする、請求項２〜４の何れか１項に記載の有機電界発光表示装置の製造装置。
【請求項６】
所定パターンの開口が形成されたマスクをチャンバ内部にローディングするマスクローディング工程と、
前記マスクの上面に基板を配置する基板配置工程と、
前記基板の曲がった形状に沿って変形され、前記基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットを用いて前記基板の上面を前記マスク側に加圧して、前記基板の底面と前記マスクを密着させる基板加圧工程と、
前記マスクの下側に配置された蒸着物質供給源を用いて前記マスクの開口を通して、前記マスク側に蒸着物質を供給し、前記基板に膜が形成する蒸着物質供給工程と、
を含み、
前記基板−マスク密着ユニットは、前記基板の曲がった形状に沿って変形する板を含み、
前記基板加圧工程は前記板の自重により前記基板の上面が加圧されることを特徴とする、有機電界発光表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記基板−マスク密着ユニットは、前記板を移送する移送機を含み、
前記基板加圧工程は、前記板の自重により前記基板の上面が加圧されるように前記移送機を用いて前記板を前記基板の上面に配置する工程を含むことを特徴とする、請求項６に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記板は、金属材で形成され、柔軟性を有するように厚さＴ１を有する金属薄板であることを特徴とする、請求項７に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記金属薄板の厚さＴ１は、０．１〜０．６ｍｍであることを特徴とする、請求項８に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記マスクは、磁性を有した金属材で形成され、前記板は磁性を有しない金属薄板で形成され、前記板の上部には磁石を配置されており、
前記基板加圧工程は、前記板が自重により前記基板の上面を加圧する際に前記マスクが前記基板の底面側に引き寄せられるように前記磁石を用いて前記マスクに磁力を作用させる工程と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項７に記載の有機電界発光表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法に関し、より詳しくは、有機電界発光表示装置を製造するために基板上に膜を蒸着する有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法（Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  ｆａｂｒｉｃａｔｉｎｇ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
近来、陰極線管（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）のような従来の表示装置の短所を解決するための装置として、平板型表示装置（ＦｌａｔＰａｎｅｌＤｉｓｐｌａｙＤｅｖｉｃｅ）が開発され、発売、開示されている。
【０００３】
このような平板型表示装置としては、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｄｅｖｉｃｅ）、有機電界発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｄｅｖｉｃｅ）及びＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）などがある。
【０００４】
これらの平板型表示装置のうち有機電界発光表示装置は厚さが薄く、視野角が広く、応答速度が早いという長所とともに、製造工程が単純であり低価格化が可能であるという長所がある。よって、最近はこのような有機電界発光表示装置が平板型表示装置の一つとして平板型表示装置の一つとして注目を受けている。
【０００５】
一方、最近の平板型表示装置は大型化されて、有機電界発光表示装置も平板型表示装置の趨勢に合わせて大型化されている。
【０００６】
しかし、上述のような大型化には多様な問題点を抱えている。
【０００７】
一例として、有機電界発光表示装置の製造方法は、ガラスなどで製造された基板上に所定パターンを有する膜を蒸着する工程を含む。このとき、上記膜を蒸着する工程は、基板の底面に所定パターンの開口を形成したマスクを密着させた後、上記マスクの下部から上記マスク側に有機物質や電極物質などの所定蒸着物質を蒸発させることによって行われる。よって、上記蒸発された蒸着物質はマスクの開口を通して基板上に蒸着され、上記基板上に所定パターンを有する膜を形成する。
【０００８】
しかし、上述のような大型化は、膜が形成される基板の大型化と上記基板に密着されるマスクの大型化も伴うから、膜蒸着工程の際に基板と上記基板に密着されたマスクの一部、例えば、中央部の場合はその下方向に垂れるようになる。
【０００９】
したがって、上記マスクの一部領域はこのような垂れにより上記基板の底面に密着することができない。その結果、上記基板と上記マスクの一部領域との間には所定の離隔空間、すなわち浮き空間が形成される。よって、上記マスクの下部から上記マスク側に蒸発した蒸着物質は上記離隔空間にも流入され、上記基板上に形成するパターン膜の不良を発生させる。
【００１０】
特許文献１（名称；有機電界発光素子の製造方法、公開日；１９９８年２月１３日）にはマスクを基板に密着するための方法が開示されている。
【００１１】
特許文献１によれば、基板の一面には磁場により吸引力を有するマスクが配置され、その反対面である上記基板の他面には磁場発生源が配置されている。よって、上記マスクは上記磁場発生源から発生する磁場により基板に密着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開１９９８−０４１０６９号公報
【特許文献２】特開１９９７−２３９９５４号公報
【特許文献３】特開１９９７−００２５５６号公報
【特許文献４】特開２００３−３３２０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上述の方法も基板及びその密着するマスクが大型化されると、新たな問題を生じることになる。
【００１４】
すなわち、基板及びマスクの大型化は、膜蒸着工程において、上記基板と該基板に密着するマスクの一部、すなわち中央部が下方向に垂れた状態のまま、上記磁場発生源はマスクを基板に密着させようと強い磁場を発生する。しかし、このときの強い磁場は基板に密着するマスクに歪みを生じさせ、結局基板パターン膜の不良につながる。
【００１５】
したがって、本発明はかかる問題点を鑑みてなされたもので、本発明が解決しようとする課題は、膜蒸着工程において基板とマスクが大型化されてもマスクを基板に密着することのできる有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述の課題を解決するための本発明の第１観点によれば、有機電界発光表示装置の製造装置が提供される。上記有機電界発光表示装置の製造装置は、チャンバと、基板がその上面に載置されるように上記チャンバ内部に配置され、所定パターンの開口が形成されたマスクと、上記マスクの下側に配置され、上記マスクの開口を通して上記基板に膜が形成されるように蒸着物質を上記マスク側に供給する蒸着物質供給源及と、上記基板の底面に上記マスクが密着されるように上記基板の上面を上記マスク側に加圧し、上記基板の曲がった形状に沿って変形して上記基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットを含む。
【００１７】
上記基板−マスク密着ユニットは上記基板の上面に配置されて自重により上記基板の上面を加圧し、上記基板の曲がった形状に沿って変形する柔軟性板及び上記柔軟性板を上記基板の上面に移送する移送機を含むことができる。このとき、上記柔軟性板は金属材で形成され、柔軟性を有するように薄い厚さＴ１を有する金属薄板とすることができる。この場合、上記金属薄板の厚さＴ１は０．１〜０．６ｍｍとすることができる。
【００１８】
上記マスクは磁性を有した金属材で形成することができ、上記柔軟性板の上部には上記柔軟性板が上記基板の上面を加圧する際に上記マスクに磁力を作用して上記マスクを上記基板の底面側に引き寄せる磁石を配置することができ、上記柔軟性板は磁性を有しない金属薄板で形成することができる。
【００１９】
上記基板−マスク密着ユニットは上記基板の上面を加圧するために上記基板の上部に配置される加圧板と、上記加圧板の底面に設けられて上記加圧板が上記基板を加圧する際に上記基板の曲がった形状に沿って変形する弾性部材と、上記加圧板の上部に結合されて上記加圧板が上記基板を加圧するように上記加圧板を上記基板の上面側に移送する移送機とを含むことができる。このとき、上記弾性部材は上記基板の曲がった形状に沿って変形するように所定厚さＴ２を有し、弾力性材質であるシリコンゴム材質で形成することができる。この場合、上記弾性部材の厚さＴ２は、２〜５ｍｍとすることができる。
【００２０】
上記マスクは磁性を有した金属材で形成することができ、上記加圧板の上部には上記加圧板が上記基板の上面を加圧する際に上記マスクに磁力が作用されて上記マスクを上記基板の底面側に引き寄せる磁石を配置することができ、上記加圧板は磁性を有しない金属板で形成される。
【００２１】
一方、上述のような課題を解決するための本発明の第２観点によれば、有機電界発光表示装置の製造方法が提供される。上記有機電界発光表示装置の製造方法は所定パターンの開口が形成されたマスクをチャンバ内部にローディングするマスクローディング工程、上記マスクの上面に基板を配置する基板配置工程、上記基板の底面に上記マスクが密着されるように上記基板の曲がった形状に沿って変形され、上記基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットを用いて上記基板の上面を上記マスク側に加圧する基板加圧工程と、上記マスクの開口を通して上記基板に膜が形成されるように上記マスクの下側に配置された蒸着物質供給源を用いて上記マスク側に蒸着物質を供給する蒸着物質供給工程と、を含む。
【００２２】
上記基板−マスク密着ユニットは上記基板の曲がった形状に沿って変形する柔軟性板及び上記柔軟性板を移送する移送機を含むことができ、上記基板加圧工程は上記柔軟性板の自重により上記基板の上面が加圧されるように上記移送機を用いて上記柔軟性板を上記基板の上面で配置する工程を含むことができる。このとき、上記柔軟性板は金属材で形成されて柔軟性を有するように薄い厚さＴ１を有する金属薄板とすることができる。この場合、上記金属薄板の厚さＴ１は０．１〜０．６ｍｍとすることができる。
【００２３】
上記マスクは磁性を有した金属材で形成することができ、上記柔軟性板は磁性を有しない金属薄板で形成することができる。そして、上記柔軟性板の上部には磁石が配置されることができ、上記基板加圧工程は上記柔軟性板が自重により上記基板の上面を加圧する際に上記マスクが上記基板の底面側に引き寄せられるように上記磁石を用いて上記マスクに磁力を作用させる工程をさらに含むことができる。
【００２４】
上記基板−マスク密着ユニットは上記基板の上面を加圧するための加圧板と、上記加圧板の底面に設けられて上記加圧板が上記基板を加圧する際に上記基板の曲がった形状に沿って変形する弾性部材と、上記加圧板の上部に結合されて上記加圧板を移送する移送機とを含むことができ、上記基板加圧工程は上記加圧板と上記弾性部材により上記基板の上面が加圧されるように上記移送機を用いて上記加圧板を上記基板の上面側に移送する工程を含むことができる。このとき、上記弾性部材は上記基板の曲がった形状に沿って変形するように所定厚さＴ２を有し、弾力性材質であるシリコンゴム材質で形成することができる。この場合、上記弾性部材の厚さＴ２は２〜５ｍｍとすることができる。
【００２５】
上記マスクは磁性を有した金属材で形成することができ、上記加圧板は磁性を有しない金属板で形成することができる。そして、上記加圧板の上部には磁石が配置され、上記基板加圧工程は上記加圧板が上記基板の上面を加圧する際に上記マスクが上記基板の底面側に引き寄せられるように上記磁石を用いて上記マスクに磁力を作用させる工程をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明の有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法によれば、基板の曲がった形状に沿って変形して基板の上面を加圧する基板−マスク密着ユニットを用いて基板をマスク側に加圧するので、膜蒸着工程において基板とマスクが大型化されてもマスクを基板に密着することができる。その結果、マスクは基板の底面に密着されるので、基板の底面とマスクとの間には浮き空間が全く生じない。その結果、本発明有機電界発光表示装置の製造装置及び製造方法によれば、基板とマスクとの間の浮き空間が生じうるパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置に用いる金属薄板の弾性率を評価する装置の説明図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【図８】本発明の第３実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付した図面を参照して、本発明の好適な実施形態を詳細に説明する。しかしながら、本発明は、ここで説明する実施形態に限定されるわけではなく、他の形態で具体化することができ、ここに開示される実施形態は発明の開示を完全なものとすると共に、当業者に本発明の思想を十分に伝えるために提供されるものである。明細書の全体において同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
【００２９】
［有機電界発光表示装置の製造装置に関する実施例］
図１は本発明の第１実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【００３０】
図１に示すように、本発明の第１実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置は有機電界発光表示装置を製造するために、基板９０上に膜、例えば、有機膜や電極膜などを蒸着する装置であって、チャンバ１１０と、基板９０がその上面に載置されるように上記チャンバ１１０内部に配置されて所定パターンの開口１２５が形成されたマスク１２０と、上記マスク１２０の開口１２５を通して上記基板９０に膜が形成されるように、上記マスク１２０の下側から上記マスク１２０に蒸着物質を供給する蒸着物質供給源１３０と、上記基板９０とマスク１２０との間に浮き空間の形成を防止するために上記基板９０の上側から上記基板９０を加圧することで上記基板９０とマスク１２０とを密着する基板−マスク密着ユニット１７０ａとを含む。
【００３１】
さらに詳細に説明すると、上記チャンバ１１０は工程が行われる空間、すなわち工程進行空間１１１を限定する。よって、上記有機電界発光表示装置を製造するための膜蒸着工程は上記チャンバ１１０内部の工程進行空間１１１で行われる。
【００３２】
そして、上記チャンバ１１０には上記マスク１２０が上記チャンバ１１０内部の工程進行空間に配置できるようにマスク支持台１１３が設けられている。例えば、上記チャンバ１１０の中央部内壁には上記マスク支持台１１３が設けられている。このとき、上記マスク支持台１１３は上記チャンバ１１０内部に配置されるマスク１２０の端を支持するように上記チャンバ１１０の中央部内壁からその内側に所定長さ突出した形態で形成することができる。よって、上記マスク１２０は、上記チャンバ１１０の内部にローディングされて上記チャンバ１１０内部に設けられたマスク支持台１１３にその端が支持される形態に配置される。
【００３３】
一方、上記マスク１２０が上記チャンバ１１０内部に配置されると、上記マスク１２０の上面には基板９０が配置される。言い換えれば、上記チャンバ１１０内部にマスク１２０がローディングされてマスク支持台１１３に配置されると、上記基板９０は上記のように配置されたマスク１２０の上面に載置される。このとき、上記基板９０の移送は上記チャンバ１１０の内壁に沿って上下移動可能に設けられ上記マスク支持台１１３の上部に配置される基板移送機１１５によって行われることができる。
【００３４】
すなわち、外部からローディングされた基板９０がマスク支持台１１３の上部に配置された基板移送機１１５上に載置されると、上記基板移送機１１５は上記マスク支持台１１３の上部側から上記マスク支持台１１３側に移動することによって上記基板９０を上記マスク１２０の上面に載置することができる。参照番号１１６は基板９０の端を支持するために上記基板移送機１１５から延長する基板支持台である。
【００３５】
上記蒸着物質供給源１３０は、上記チャンバ１１０の内部空間において上記マスク１２０の下側空間に配置されていて上記マスク１２０側に蒸着物質を供給する。例えば、上記蒸着物質供給源１３０は上記マスク１２０の下部から上記マスク１２０側に有機物質や電極物質など所定蒸着物質を蒸発することで、上記マスク１２０側に蒸着物質を供給することができる。この場合、上記蒸着物質供給源１３０は高温で蒸着物質を加熱してその蒸着物質を蒸発させる蒸発源により実現することができる。
【００３６】
そして、上記蒸着物質供給源１３０は上記チャンバ１１０の内部において水平方向に所定距離移動可能に設けられている。言い換えれば、上記チャンバ１１０内部には上記蒸着物質供給源１３０を水平方向に所定距離移送するための移送ユニットが設けられている。このとき、上記移送ユニットはボールスクリュー軸１３２とモータ１３４などを備えてボールスクリュー方式に蒸着物質供給源１３０を移送することができる。
【００３７】
上記基板−マスク密着ユニット１７０ａは、上記基板９０の底面に上記マスク１２０が密着できるように上記基板９０の上面を上記マスク１２０側に加圧するが、上記基板９０の曲がった形状に沿って変形し上記基板９０の上面を加圧する。よって、膜蒸着工程などにおいて、大型化された基板９０とマスク１２０の中央部などがその下方向に垂れたり曲がったりする場合でも上記基板−マスク密着ユニット１７０ａは上記基板９０の上面を加圧することになるが、上記基板９０の曲がった形状に沿って変形しながら上記基板９０の上面を加圧するため、上記基板９０の底面は上記マスク１２０の上面に必ず密着して上記基板９０の底面と上記マスク１２０の上面との間には離隔空間、すなわち浮き空間が全く生じない。したがって、本発明基板−マスク密着ユニット１７０ａを用いることで、基板９０とマスク１２０との間の浮き空間により発生するパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板９０上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【００３８】
詳しくは、上記基板−マスク密着ユニット１７０ａは、上記基板９０の上面に配置されて自重により上記基板９０の上面を加圧することになるが、上記基板９０の曲がった形状に沿って変形する柔軟性板１７１と、上記チャンバ１１０の上部に設けられて上記マスク１２０の上面に上記基板９０が載置されたら上記柔軟性板１７１を上記基板９０の上面に移送する移送機１７２と、上記柔軟性板１７１を上記移送機１７２に連結する連結部材１７６とを含む。
【００３９】
このとき、上記柔軟性板１７１は自重により上記基板９０を加圧できるように比較的重い金属材で形成することができる。例えば、上記柔軟性板１７１はステインレス（ステンレス鋼（ＳＵＳ）：弾性率；１９７〜２００ＧＰａ）やタングステン材質（弾性率；４０７〜４１０ＧＰａ）などで形成することができる。そして、上記金属材で形成された柔軟性板１７１は、上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形できるように、すなわち柔軟性を有するように薄い厚さＴ１を有する金属薄板で形成することができる。例えば、上記柔軟性板１７１、すなわち金属薄板は０．１〜０．６ｍｍの厚さＴ１を有するように形成することができる。上記の金属薄板の厚さＴ１を０．１〜０．６ｍｍとすることで、パターン膜の不良を防止することができる。つまり、厚さＴ１をこのような範囲に設定することで、基板とマスクの密着不良を抑制できる。
【００４０】
なお、上記の弾性率は、図２に示すような装置によって評価される。図２は、弾性率を評価する装置である。図２に示すように、両端支持の板状試料（ｄ×ｄ×Ｌｍｍ３）の中央部に荷重Ｐ（Ｎ）をかけたときに生じたたわみｈ（ｍｍ）を差動トランスにて検出し、ヤング率Ｅ（Ｎ／ｍ２）を以下の数式（１）から算出することができる。本実施形態では、金属板が撓むことが重要であり、０．１ｍｍ〜０．６ｍｍの厚みの金属がその自重で撓む量が最適である。なお、以下の他の実施形態においても、全て弾性率は、上記の方法によって算出される。
【００４１】
【数１】
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【００４２】
また、上記移送機１７２は、上記柔軟性板１７１からその上側に所定間隔離隔するように配置される移送板１７３と、上記移送板１７３の上部に連結される移送ロード１７４と、上記移送ロード１７４を媒介として上記移送板１７３に連結されて上記移送ロード１７４を上下方向に移動することによって上記移送板１７３を上下方向に移送する移送本体１７５とで構成される。このとき、上記移送本体１７５は上記チャンバ１１０の外壁に設けることができ、シリンダやモータなどによって実現することができる。たとえ、上記移送本体１７５をシリンダで実現する場合、上記移送ロード１７４はピストンで実現することができる。そして、上記移送本体１７５をモータで実現する場合、上記移送ロード１７４は上記モータの回転から上下移動できるボールスクリュー軸で実現することができる。しかし、本発明に係る移送機１７２は、シリンダ方式やボールスクリュー方式以外に、他の方式により実現することができる。
【００４３】
上記連結部材１７６は、上記柔軟性板１７１を上記移送機１７２の移送板１７３に連結する役割をし、多様な形態で実現することができる。例えば、上記柔軟性板１７１が金属材の板で実現される場合、上記連結部材１７６は上記金属材の板に溶接されたボルトで実現することができる。この場合、上記ボルトとして実現された連結部材１７６は上記移送板１７３に形成されたホール１８１に嵌合された後、別途のナット１８２などで締結することで、上記柔軟性板１７１を上記移送機１７２の移送板１７３に連結することができる。
【００４４】
一方、本発明による有機電界発光表示装置の製造装置は図３に示すように実現することもできる。
【００４５】
図３は本発明の第２実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【００４６】
図３に示すように、本発明の第２実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置は図１に示す第１実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置とは異なった構造の基板−マスク密着ユニット１７０ｂを備える。
【００４７】
すなわち、本発明の第２実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置に備えられた基板−マスク密着ユニット１７０ｂは、上記柔軟性板１７１と移送機１７２及び連結部材１７６外に、上記柔軟性板１７１の上部に配置されて上記柔軟性板１７１が上記基板９０の上面を加圧する際に、上記マスク１２０に磁力を作用して上記マスク１２０を上記基板９０の底面側に引き寄せる磁石１７７をさらに含む。このとき、上記マスク１２０は上記磁石１７７から作用する磁力の影響を受けられるように磁性を有した金属材で形成することができる。
【００４８】
したがって、上記柔軟性板１７１を用いて上記基板９０を加圧するために、上記移送機１７２が上記柔軟性板１７１を上記基板９０の上面に移送する場合、上記柔軟性板１７１の上部に配置された磁石１７７の磁力は上記マスク１２０に作用することになる。その結果、上記マスク１２０は上記磁石１７７の磁力によって上記基板９０の底面側に密着される。
【００４９】
ここで、上記磁石１７７は板状で形成されて、上記移送機１７２の移送板１７３の底面に設けられている。そして、上記磁石１７７は過度な磁力が上記マスク１２０に作用することを防止するために上記柔軟性板１７１から所定間隔離隔されるように配置される。また、上記柔軟性板１７１は上記磁石１７７が上記マスク１２０に磁力を与える際に、その磁力の影響を受けないように磁性を有しない金属薄板で形成することができる。その理由は、上記柔軟性板１７１が上記磁石１７７の磁力に影響を受ける材質とした場合、上記柔軟性板１７１は上記磁力の影響を受けて上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形することができないからである。ここで、上記柔軟性板１７１は磁性を有しないステインレス（弾性率；１９７〜２００ＧＰａ）やタングステン材質（弾性率；４０７〜４１０ＧＰａ）などの金属薄板で形成される。
【００５０】
そして、上記磁石１７７は永久磁石や電磁石で実現することができる。また、上記磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する磁力は膜蒸着工程などにおいて必要な時間だけ作用させるように実現することができる。例えば、膜蒸着工程において磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する電磁力作動を上記膜蒸着工程の進行時間中、上記柔軟性板１７１が上記基板９０の上面に接触し始めた時から上記膜蒸着工程が終了する時までとすることがある。
【００５１】
また、本発明による有機電界発光表示装置の製造装置は図４に示すように実現することもできる。
【００５２】
図４は本発明の第３実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【００５３】
図４に示すように、本発明の第３実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置は、図１及び図３に示すような有機電界発光表示装置の製造装置とは異なった構造の基板−マスク密着ユニット１７０ｃを備える。
【００５４】
すなわち、本発明の第３実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置に備えられた基板−マスク密着ユニット１７０ｃは、上記基板９０の上面を加圧するために上記基板９０の上部に配置される加圧板１７８と、上記加圧板１７８の底面に設けられて上記加圧板１７８が上記基板９０を加圧する際に上記基板９０の曲がった形状に沿って変形する弾性部材１７９と、上記加圧板１７８の上部に配置されて上記加圧板１７８が上記基板９０を加圧するように上記加圧板１７８を上記基板９０の上面側に移送する移送機１７２と、上記加圧板１７８を上記移送機１７２に連結する連結部材１７６を含む。
【００５５】
上記加圧板１７８は上記基板９０と同様な大きさ及び形状で形成される。例えば、上記加圧板１７８は上記基板９０と同様な平板形状で形成される。そして、上記加圧板１７８は上記基板９０を加圧する際に曲げなどが発生しないように所定厚さを有する金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８はアルミニウムなどの材質で形成することができる。
【００５６】
上記弾性部材１７９は、上記基板９０の曲がった形状に沿って変形できるように弾力性材質で形成され、またその曲げの最大大きさは基板９０の最大垂れ量よりもさらに大きい厚さＴ２を有することができる。例えば、上記弾性部材１７９は弾力性材質であるシリコンゴム材質やシリコン系樹脂を用いた汎用品の熱伝導性シートで形成することができ、その厚さＴ２は２〜５ｍｍの厚さで形成することができ、上記のような弾力性材質及びその厚さは工程の種類や基板９０の種類に従って多様な形態で変更することができる。上記のように弾力性材質の厚さＴ２を２〜５ｍｍとすることで、パターン膜の不良を防止することができる。つまり、厚さＴ２をこのような範囲に設定することで、基板とマスクの密着不良を抑制できる。
【００５７】
上記移送機１７２は、上記加圧板１７８からその上側に所定間隔離隔するように配置される移送板１７３と、上記移送板１７３の上部に連結される移送ロード１７４と、上記移送ロード１７４を媒介として上記移送板１７３に連結されて上記移送ロード１７４を上下方向に移動することで上記移送板１７３を上下方向に移送する移送本体１７５とで構成される。このとき、上記移送本体１７５は上記チャンバ１１０の外壁に設けることができ、シリンダやモータなどで実現することができる。一方、上記移送本体１７５をシリンダで実現する場合、上記移送ロード１７４はピストンで実現することができる。そして、上記移送本体１７５をモータで実現する場合、上記移送ロード１７４は上記モータの回転により上下移動できるボールスクリュー軸で実現されることができ、本発明による移送機１７２は以上のようなシリンダ方式やボールスクリュー方式以外に、他の方式でも実現することができる。
【００５８】
上記連結部材１７６は上記加圧板１７８を上記移送機１７２の移送板１７３に連結する役割し、多様な形態で実現することができる。例えば、上記加圧板１７８を金属材の板で実現する場合、上記連結部材１７６は上記金属材の板に溶接されたボルトで実現することができる。この場合、上記ボルトで実現された連結部材１７６は上記移送板１７３に形成されたホール１８１に嵌合された後、別途のナット１８２などで締結することで、上記加圧板１７８を上記移送機１７２の移送板１７３に連結することができる。
【００５９】
また、本発明による有機電界発光表示装置の製造装置は図５に示すように実現することもできる。
【００６０】
図５は本発明の第４実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造装置を示す断面図である。
【００６１】
図５に示すように、本発明の第４実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置は、図４に示す第３実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置とは異なった構造の基板−マスク密着ユニット１７０ｄを備える。
【００６２】
すなわち、本発明の第４実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置に備えられた基板−マスク密着ユニット１７０ｄは、上記加圧板１７８と、弾性部材１７９と、移送機１７２及び連結部材１７６と、その外に、上記加圧板１７８の上部に配置されて上記加圧板１７８が上記基板９０の上面を加圧する際に上記マスク１２０に磁力を作用して上記マスク１２０を上記基板９０の底面側に引き寄せる磁石１７７とをさらに含む。このとき、上記マスク１２０は上記磁石１７７から作用する磁力の影響を受けるように、磁性を有した金属材で形成することができる。
【００６３】
したがって、上記加圧板１７８と弾性部材１７９を用いて上記基板９０を加圧するために、上記移送機１７２が上記加圧板１７８を上記基板９０の上面に移送する場合、上記加圧板１７８の上部に配置された磁石１７７の磁力は上記マスク１２０に作用される。その結果、上記マスク１２０は上記磁石１７７の磁力により上記基板９０の底面側に密着される。
【００６４】
ここで、上記磁石１７７は板状で形成され、上記移送機１７２の移送板１７３底面に設けられている。そして、上記磁石１７７は過度な磁力が上記マスク１２０に作用することを防止するために、上記加圧板１７８から所定間隔離隔するように配置することができる。また、上記加圧板１７８は上記磁石１７７が上記マスク１２０に磁力を与える際にその磁力の影響を受けないように磁性を有しない金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８は磁性を有しないアルミニウムの金属板で形成することができる。
【００６５】
そして、上記磁石１７７は永久磁石や電磁石で実現することができる。そこで、上記磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する磁力作動を膜蒸着工程などの工程進行時間において必要時間だけ作用させるように実現することもできる。例えば、上記膜蒸着工程で磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する電磁力作動は上記膜蒸着工程において上記弾性部材１７９が上記基板９０の上面に接触し始めた時から上記膜蒸着工程が終了する時までとすることができる。
【００６６】
［有機電界発光表示装置の製造方法に関する実施例］
図６は本発明の第１実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【００６７】
図６に示すように、本発明の第１実施例に係る有機電界発光表示装置の製造方法は、図１に示す本発明の第１実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置を利用した製造方法であって、所定パターンの開口１２５が形成されたマスク１２０をチャンバ１１０内部にローディングするマスクローディング工程（Ｓ１０）と、上記マスク１２０の上面に基板９０を配置する基板配置工程（Ｓ１１）と、上記基板９０上の素子パターンと上記マスク１２０の開口１２５との位置が相互合致できるように、上記マスク１２０と上記基板９０とをアライメントする基板−マスクアライメント工程（Ｓ１２）と、上記基板９０の底面に上記マスク１２０が密着されるように上記基板９０の曲がった形状に沿って変形して上記基板９０の上面を加圧する基板−マスク密着ユニット（図１の１７０ａ）を用いて上記基板９０の上面を上記マスク１２０側に加圧する基板加圧工程と、上記マスク１２０の開口１２５を通して上記基板９０に膜が形成されるように、上記マスク１２０の下側に配置された蒸着物質供給源１３０を用いて上記マスク１２０側に蒸着物質を供給する蒸着物質供給工程（Ｓ１６）とを含む。
【００６８】
このとき、上記基板−マスク密着ユニット１７０ａは、図１に示すように、基板９０の曲がった形状に沿って変形する柔軟性板１７１及び上記柔軟性板１７１を移送する移送機１７２を含んで構成されるので、上記基板加圧工程は上記柔軟性板１７１の自重により上記基板９０の上面が加圧されるように、上記移送機１７２を用いて上記柔軟性板１７１を上記基板９０の上面に配置する工程（Ｓ１４）を含むことができる。
【００６９】
したがって、膜蒸着工程において、大型化された基板９０とマスク１２０の中央部などがその下方向に垂れたり曲がったりしても上記基板−マスク密着ユニット１７０ａの柔軟性板１７１は上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形されて上記基板９０の上面を加圧するので、上記基板９０の底面は上記マスク１２０の上面に密着し、上記基板９０の底面と上記マスク１２０の上面との間には離隔空間、すなわち浮き空間が全く生じない。よって、上記柔軟性板１７１を含む本発明基板−マスク密着ユニット１７０ａを用いることで、基板９０とマスク１２０との間の浮き空間により発生するパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板９０上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【００７０】
このとき、上記柔軟性板１７１は、自重により上記基板９０を加圧できるように比較的重い金属材で形成することができる。例えば、上記柔軟性板１７１はステインレス（弾性率；１９７〜２００ＧＰａ）やタングステン材質（弾性率；４０７〜４１０ＧＰａ）などで形成することができる。そして、上記金属材で形成された柔軟性板１７１は上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形するように、すなわち柔軟性を有するように薄い厚さＴ１を有する金属薄板で形成することができる。例えば、上記柔軟性板１７１、すなわち金属薄板は０．１〜０．６ｍｍの厚さＴ１を有するように形成することができる。上記の金属薄板の厚さＴ１を０．１〜０．６ｍｍとすることで、パターン膜の不良を防止することができる。つまり、厚さＴ１をこのような範囲に設定することで、基板とマスクの密着不良を抑制できる。
【００７１】
一方、本発明による有機電界発光表示装置の製造方法は図７に示すように実現することもできる。
【００７２】
図７は本発明の第２実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【００７３】
図７に示すように、本発明の第２実施例に係る有機電界発光表示装置の製造方法は、図３に示す本発明の第２実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置を利用した製造方法であって、所定パターンの開口１２５が形成された金属マスク１２０をチャンバ１１０内部にローディングするマスクローディング工程（Ｓ２０）と、上記金属マスク１２０の上面に基板９０を配置する基板配置工程（Ｓ２１）と、上記基板９０上の素子パターンと上記マスク１２０の開口１２５との位置が相互合致するように上記金属マスク１２０と上記基板９０とをアライメントする基板−マスクアライメント工程（Ｓ２２）と、上記柔軟性板１７１の自重により上記基板９０の上面が加圧されるように、上記移送機１７２を用いて上記柔軟性板１７１を上記基板９０の上面に配置する工程（Ｓ２４）と、上記柔軟性板１７１が自重により上記基板９０の上面を加圧する際に、上記金属マスク１２０が磁力によって上記基板９０の底面側に引き寄せられるように上記柔軟性板１７１の上部に配置される磁石１７７を用いて上記マスク１２０に磁力を作用させる工程（Ｓ２５）と、上記金属マスク１２０の開口１２５を通して上記基板９０に膜が形成されるように、上記金属マスク１２０の下側に配置された蒸着物質供給源１３０を用いて上記金属マスク１２０側に蒸着物質を供給する蒸着物質供給工程（Ｓ２６）とを含む。
【００７４】
したがって、膜蒸着工程において、大型化された基板９０とマスク１２０の中央部などがその下方向に垂れたり曲がったりしても上記柔軟性板１７１が上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形されて上記基板９０の上面を加圧するだけでなく、上記磁石１７７の磁力を利用して上記金属マスク１２０を上記基板９０の底面側に引き寄せるので、上記基板９０の底面は上記マスク１２０の上面に密着して上記基板９０の底面と上記マスク１２０の上面との間には離隔空間、すなわち浮き空間が全く生じない。よって、上記柔軟性板１７１と上記磁石１７７を含む本発明基板−マスク密着ユニット１７０ｂを用いることで、基板９０とマスク１２０との間の浮き空間により発生するパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板９０上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【００７５】
ここで、上記磁石１７７は板状で形成され、上記移送機１７２の移送板１７３底面に設けることができる。そして、上記磁石１７７は過度な磁力が上記マスク１２０に作用することを防止するために上記加圧板１７８から所定間隔離隔するように配置することができる。また、上記加圧板１７８は上記磁石１７７が上記マスク１２０に磁力を与える際にその磁力の影響を受けないように磁性を有しない金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８は磁性を有しないアルミニウムの金属板で形成することができる。
【００７６】
そして、上記磁石１７７は永久磁石や電磁石で実現することができる。また、上記磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する磁力は膜蒸着工程などの工程において必要時間だけ作用するように実現することもできる。例えば、上記膜蒸着工程で磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する電磁力作動は上記膜蒸着工程において上記柔軟性板１７１が上記基板９０の上面に接触し始めた時から上記膜蒸着工程が終了する時までとすることができる。
【００７７】
また、本発明による有機電界発光表示装置の製造方法は図８に示すように実現することもできる。
【００７８】
図８は本発明の第３実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【００７９】
図８に示すように、本発明の第３実施例に係る有機電界発光表示装置の製造方法は、図４に示す本発明の第３実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置を利用した製造方法であって、所定パターンの開口１２５が形成されたマスク１２０をチャンバ１１０内部にローディングするマスクローディング工程（Ｓ３０）と、上記マスク１２０の上面に基板９０を配置する基板配置工程（Ｓ３１）と、上記基板９０上の素子パターンと上記マスク１２０の開口１２５との位置が相互合致するように上記マスク１２０と上記基板９０とをアライメントする基板−マスクアライメント工程（Ｓ３２）と、上記基板９０の底面に上記マスク１２０が密着できるように上記基板９０の曲がった形状に沿って変形する弾性部材１７９がその下部に付着された加圧板１７８を、移送機１７２を用いて上記基板９０の上面側に移送することで上記基板９０の上面を加圧する基板加圧工程（Ｓ３４）と、上記マスク１２０の開口１２５を通して上記基板９０に膜が形成されるように上記マスク１２０の下側に配置された蒸着物質供給源１３０を用いて上記マスク１２０側に蒸着物質を供給する蒸着物質供給工程（Ｓ３６）とを含む。
【００８０】
したがって、膜蒸着工程において、大型化された基板９０とマスク１２０の中央部などがその下方向に垂れたり曲がったりしても上記弾性部材１７９は上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状に変形されて上記基板９０の上面を加圧するので、上記基板９０の底面は上記マスク１２０の上面に必ず密着されて上記基板９０の底面と上記マスク１２０上面との間には離隔空間、すなわち浮き空間が全く生じない。よって、上記弾性部材１７９を含む本発明の基板−マスク密着ユニット１７０ｃを用いることで、基板９０とマスク１２０との間の浮き空間により発生しうるパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板９０上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【００８１】
ここで、上記加圧板１７８は上記基板９０を加圧する際に曲げなどが発生しないように、所定厚さを有する金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８はアルミニウムなどの材質で形成することができる。
【００８２】
そして、上記弾性部材１７９は上記基板９０の曲がった形状に沿って変形するように弾力性材質で形成され、その曲げ最大大きさ、すなわち基板９０の最大垂れ量よりさらに大きい厚さＴ２を有することができる。例えば、上記弾性部材１７９は弾力性材質であるシリコンゴム材質やシリコン系樹脂を用いた汎用品の熱伝導性シートで形成することができ、その厚さＴ２は２〜５ｍｍで形成することができる。しかし、上記のような弾力性材質及びその厚さは工程の種類や基板９０の種類によって多様な形態で変更することができる。上記のように弾力性材質の厚さＴ２を２〜５ｍｍとすることで、パターン膜の不良を防止することができる。つまり、厚さＴ２をこのような範囲に設定することで、基板とマスクの密着不良を抑制できる。
【００８３】
一方、本発明による有機電界発光表示装置の製造方法は図９に示すように実現することもできる。
【００８４】
図９は本発明の第４実施形態に係る有機電界発光表示装置の製造方法を示すブロック図である。
【００８５】
図９に示すように、本発明の第４実施例に係る有機電界発光表示装置の製造方法は、図５に示す本発明の第４実施例に係る有機電界発光表示装置の製造装置を利用した製造方法であって、所定パターンの開口１２５が形成された金属マスク１２０をチャンバ１１０内部にローディングするマスクローディング工程（Ｓ４０）と、上記金属マスク１２０の上面に基板９０を配置する基板配置工程（Ｓ４１）と、上記基板９０上の素子パターンと上記マスク１２０の開口１２５との位置が相互合致するように上記金属マスク１２０と上記基板９０とをアライメントする基板−マスクアライメント工程（Ｓ４２）と、上記基板９０の底面に上記マスク１２０が密着されるように、上記基板９０の曲がった形状に沿って変形する弾性部材１７９がその下部に付着した加圧板１７８を、移送機１７２を用いて上記基板９０の上面側に移送することで上記基板９０の上面を加圧する基板加圧工程（Ｓ４４）と、上記加圧板１７８と上記弾性部材１７９により上記基板９０が加圧される際に、上記金属マスク１２０が磁力によって上記基板９０の底面側に引き寄せられるように上記加圧板１７８の上部に配置された磁石１７７を用いて上記マスク１２０に磁力を作用させる工程（Ｓ４５）と、上記金属マスク１２０の開口１２５を通して上記基板９０に膜が形成されるように、上記金属マスク１２０の下側に配置された蒸着物質供給源１３０を用いて上記金属マスク１２０側に蒸着物質を供給する蒸着物質供給工程（Ｓ４６）とを含む。
そこで、膜蒸着工程において、大型化された基板９０とマスク１２０の中央部などがその下方向に垂れたり曲がったりしても上記弾性部材１７９が上記基板９０の曲がった形状に沿って同一形状で変形され、上記基板９０の上面を加圧するだけでなく上記磁石１７７の磁力を利用して上記金属マスク１２０を上記基板９０の底面側に引き寄せるので、上記基板９０の底面は上記マスク１２０上面に必ず密着されて上記基板９０の底面と上記マスク１２０の上面との間には離隔空間、すなわち浮き空間が全く生じない。そうするので、上記弾性部材１７９を含む本発明基板−マスク密着ユニット１７０ｄを用いることで、基板９０とマスク１２０との間の浮き空間により発生するパターン膜の不良をあらかじめ防止し、基板９０上に良好なパターン膜を蒸着することができる。
【００８６】
ここで、上記加圧板１７８は上記基板９０を加圧する際に曲げなどが発生しないように、所定厚さを有する金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８はアルミニウムなどの材質で形成することができる。
【００８７】
そして、上記弾性部材１７９は上記基板９０の曲がった形状に沿って変形するように弾力性材質で形成され、その曲げ最大大きさ、すなわち基板９０の最大垂れ量よりさらに大きい厚さＴ２を有することができる。例えば、上記弾性部材１７９は弾力性材質であるシリコンゴム材質やシリコン系樹脂を用いた汎用品の熱伝導性シートで形成することができ、その厚さＴ２は２〜５ｍｍの厚さで形成することができる。しかし、上記のような弾力性材質及びその厚さは工程の種類や基板９０の種類によって多様な形態で変更することができる。上記のように弾力性材質の厚さＴ２を２〜５ｍｍとすることで、パターン膜の不良を防止することができる。つまり、厚さＴ２をこのような範囲に設定することで、基板とマスクの密着不良を抑制できる。
【００８８】
また、上記磁石１７７は板状で形成されて、上記移送機１７２の移送板１７３底面に設けられている。このとき、上記磁石１７７は過度な磁力が上記マスク１２０に作用することを防止するために、上記加圧板１７８から所定間隔離隔されるように配置することができる。そして、上記加圧板１７８は上記磁石１７７が上記マスク１２０に磁力を与える際にその磁力の影響を受けないように磁性を有しない金属板で形成することができる。例えば、上記加圧板１７８は磁性を有しないアルミニウムの金属板で形成することができる。
【００８９】
また、上記磁石１７７は、永久磁石や電磁石で実現することができる。また、上記磁石１７７を電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する磁力は膜蒸着工程などの工程において必要時間だけ作用されるように実現することができる。例えば、上記膜蒸着工程で磁石１７７が電磁石とした場合、上記マスク１２０に作用する電磁力作動は、上記膜蒸着工程において上記弾性部材１７９が上記基板９０の上面に接触し始めた時から上記膜蒸着工程が終了する時までとすることができる。
【００９０】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００９１】
９０    基板
１１０    チャンバ
１１１    工程進行空間
１１３    マスク支持台
１１５    基板移送機
１１６    基板支持台
１２０    マスク
１２５    開口
１３０    蒸着物質供給源
１３２    ボールスクリュー軸
１３４    モータ
１７０ａ    基板−マスク密着ユニット
１７１    柔軟性板
１７２    移送機
１７３    移送板
１７４    移送ロード
１７５    移送本体
１７６    連結部材
１８１    ホール
１８２    ナット
【図１】
0004768838.tif 000003
【図２】
0004768838.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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