(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャンク部の一端に超砥粒を砥材とする砥石部が形成された軸付超砥粒砥石であって、該シャンク部が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成され、シャンク部の金属材料が、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択され、シャンク部にニッケルストライク処理後に更に銅めっきが施され、砥石部が超砥粒砥材をメタルボンド結合材により結合して構成され、砥石部焼結後シャンク部の硬さはＨＲＣスケールで３５〜２０であることを特徴とする前記軸付超砥粒砥石。
【請求項２】
請求項１に記載の軸付超砥粒砥石の製造方法であって、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部を形成し、シャンク部の金属材料を、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択し、該シャンク部にニッケルストライク処理後に更に銅めっきを施し、砥石部を、超砥粒砥材をメタルボンド結合材により結合して構成し、該シャンク部の軸方向上部に超砥粒砥材及び結合材を含む砥石部原料を配置し、該砥石部原料を上部押圧金型により該シャンク部の軸方向下向きに押圧するホットプレス法により、該砥石部及び該シャンク部を接合させることを含み、砥石層焼結前シャンク部の硬さをＨＲＣスケールで４５以上とし、砥石部焼結後シャンク部の硬さをＨＲＣスケールで３５〜２０とし、その際、該上部押圧金型が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されたものであることを特徴とする、前記製造方法。
【請求項３】
上部押圧金型の金属材料を、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択する、請求項２に記載の軸付超砥粒砥石の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸付超砥粒砥石とその製造方法に関するものである。本発明は、特に、シリコンウエハーのノッチ加工等に用いる軸付超砥粒砥石に好適に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
近時の半導体業界の技術発展に伴い、シリコンウエハーの直径は拡大し、ＩＣチップの集積度と配線密度は大きくなり、それにより位置決め精度の重要性が増している。また、１枚のシリコンウエハーからできるだけ多くのＩＣチップを得るなど、半導体製造効率の向上も要求されている。従来、シリコンウエハーには、シリコンウエハー加工時の位置決めのため、その円形形状の一部分を直線的に切ったオリエンタルフラットとよばれる部分が設けられてきたが、位置決め精度と半導体製造効率の観点から、図１に示すように、ウエハー（１１）の一部にノッチ（１２）と呼ばれる小さな切り欠き部分を設ける方法が多く使用されるようになっている。ノッチは、その大きさに対応した軸付超砥粒砥石を使用して形成される。
【０００３】
図２に、軸付超砥粒砥石の模式図を示す。軸付超砥粒砥石（１３）は、一般的な構成として、軸（シャンク部）（１４）の一方の先端部に超砥粒層（砥石部）（１５）を固着した軸付砥石であり、軸の他端部分を研削盤のチャックなどで掴持し、機械の回転軸を中心に回転させて研削に供するものである。砥石部には被研削体加工用の溝（１６）が設けられる。
【０００４】
軸付超砥粒砥石の例は、特許文献１に、超砥粒砥石部とシャンク部とを小径棒を介して接合させた軸付超砥粒砥石であって、小径棒の一端がシャンク部に設けられている軸方向の挿入穴に挿入されて固定されており、その他端側が超砥粒砥石部に軸止されたものが開示されている。また、特許文献２には、超砥粒層が、軸（シャンク部）と一体に設けられた軸心部に固着された軸付超砥粒砥石であって、軸心部がテーパー状に形成されているものが開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２５２３４号公報
【特許文献２】特開２００５−１４１６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
軸付超砥粒砥石は、シリコンウエハーノッチの加工生産性向上の観点から、その切れ味の向上と高寿命化は従来よりも重要性を増している。
また、１つの軸付超砥粒砥石で多くの加工を行えるよう、砥石部により多くの加工用溝を形成すること、そのために砥石部の高さを高くすることが求められている。
【０００６】
この軸付超砥粒砥石は、一般的にはホットプレスにより製造される。具体的には、予め成型したシャンク部の軸方向上部に砥石部材料混合物を配置し、この混合物を押圧金型により軸方向下向きにホットプレス（熱間圧縮）することにより、砥石部において所望の密度が達成され、砥石部とシャンク部とが接合される。
【０００７】
一方、シャンク部の材料は、一般的には、焼きを入れていない生材が使用される。生材は硬さが低く軟らかいため、ホットプレス後の仕上げ加工は容易であるが、ホットプレス時の高い押圧により、シャンク部が太鼓型に変形してしまうという問題がある。また、押圧金型が生材で形成されている場合、押圧金型も同様に太鼓型に変形するという問題もある。
【０００８】
図３に、従来技術の軸付超砥粒砥石の製造の一態様を概略的に示す。図３において、軸付超砥粒砥石（２１）はシャンク部（２２）の一端に砥石部（２３）が形成された構成を有する。軸付超砥粒砥石（２１）は以下の手順で製造される。すなわち、予め生材を使用して成型したシャンク部（２２）をモールドバンド（２４）に配置し、シャンク部（２２）の軸方向上部に超砥粒を含む砥石部材料混合物（２３）を配置する。次いで、この混合物（２３）を生材により形成された上部押圧金型（２５）により軸方向下向きにホットプレス（熱間圧縮）する。このホットプレスの間に、押圧（成型圧力）の増加と共に上部押圧金型（２５）の軸方向に応力がかかり、特に、硬さの低い生材から形成されたシャンク部（２２）及び上部押圧金型（２５）とモールドバンド（２４）との境界部に応力が集中し、結果として太鼓型の変形（２６、２７）が形成されてしまう。このような変形が起こると、シャンク部（２２）及び上部押圧金型（２５）はモールドバンド（２４）内に収まらなくなり、押圧による力が砥石部（２３）に伝わらず、結果として砥石部（２３）において所望の密度が得られず、設計より軟らかい砥石となり、研削時砥石寿命が低下するという不具合が発生する。
【０００９】
シャンク部は、上述のようにホットプレスの際に太鼓型に変形しない高い硬さであることを要する。また一方では、通常、ホットプレス後に超砥粒砥石層とともに仕上げ加工を行うことから、あまりに硬さが高く仕上げ加工に時間と手間がかからないよう、加工容易性にすぐれた低い硬さであることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記従来技術の課題に鑑み鋭意研究した結果、本発明者らは、シャンク部の一端に超砥粒を砥材とする砥石部が形成された軸付超砥粒砥石であって、該シャンク部が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成され、シャンク部の金属材料が、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択され、シャンク部にニッケルストライク処理後に更に銅めっきが施され、砥石部が超砥粒砥材をメタルボンド結合材により結合して構成され、砥石部焼結後シャンク部の硬さはＨＲＣスケールで３５〜２０を使用することにより、シャンク部及び上部押圧金型の変形を回避でき、かつ、シャンク部においてホットプレス後の加工容易性を確保できることを発見し本発明を完成させた。
【００１１】
すなわち、本発明は、シャンク部の一端に超砥粒を砥材とする砥石部が形成された軸付超砥粒砥石であって、該シャンク部が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されたものであることを特徴とする。
【００１２】
本発明の軸付超砥粒砥石において、シャンク部の金属材料は、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択されることが好ましい。また、シャンク部にニッケルストライク処理後銅めっきが施されたものであることが好ましく、かつ、砥石部焼結後シャンク部の硬さはＨＲＣスケールで３５〜２０が好ましい。更に、砥石部は超砥粒砥材をメタルボンド結合材により結合して構成されたものであることが好ましい。
【００１３】
また、本発明は、軸付超砥粒砥石の製造方法であって、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部を形成し、シャンク部の金属材料を、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択し、該シャンク部にニッケルストライク処理後に更に銅めっきを施し、砥石部を、超砥粒砥材をメタルボンド結合材により結合して構成し、該シャンク部の軸方向上部に超砥粒砥材及び結合材を含む砥石部原料を配置し、該砥石部原料を上部押圧金型により該シャンク部の軸方向下向きに押圧するホットプレス法により、該砥石部及び該シャンク部を接合させることを含み、砥石層焼結前シャンク部の硬さをＨＲＣスケールで４５以上とし、砥石部焼結後シャンク部の硬さをＨＲＣスケールで３５〜２０とし、その際、該上部押圧金型が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されたものであることを特徴とする。
【００１４】
本発明の軸付超砥粒砥石の製造方法において、上部押圧金型の金属材料は、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明にしたがえば、所望の密度を有する軸付超砥粒砥石が提供される。
【発明の実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の軸付超砥粒砥石及びその製造方法の好適な実施形態について説明する。
まず、本発明の軸付超砥粒砥石の好適な実施形態について説明する。
本発明の軸付超砥粒砥石は、シャンク部の一端に超砥粒を砥材とする砥石部が形成された軸付超砥粒砥石であって、該シャンク部が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されたものであることを特徴とする。
【００１７】
図４に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の一態様を概略的に示す。
図４において、軸付超砥粒砥石（１０１）はシャンク部（１０２）の一端に砥石部（１０３）が形成された構成を有する。
【００１８】
本発明において、砥石部の砥材は超砥粒であるものとする。超砥粒は、ＣＢＮ砥粒及びダイヤモンド砥粒から選択される。シリコンウエハーのノッチ加工のためにはダイヤモンド砥粒を使用することが好ましい。
【００１９】
砥石部の結合材は、レジンボンド、メタルボンド、又はこれらの複合ボンドを用いることができる。一般的には、メタルボンドを使用することが好ましい。
本発明において、シャンク部は焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されるものとする。
【００２０】
シャンク部は、ホットプレスの際の温度上昇に伴いその硬さが低下する。硬さ低下の度合いは、シャンク部の材質、焼入れ温度、焼き戻し温度、ホットプレスの際の焼結温度、焼結時間などに依存して変化する。シャンク部に用いる金属材料に焼入れを施し、その硬さを向上させておけば、砥石部との接合のためにホットプレスしても、その硬さが過度に低下することはなく、一般的には生材よりも高い硬さが維持される。その結果、従来技術においてみられたようにホットプレス時の成型圧力によりシャンク部が太鼓型に変形することはない。
【００２１】
シャンク部は、上述のようにホットプレスの際に太鼓型に変形しない高い硬さであることを要する。また一方では、通常、ホットプレス後に超砥粒砥石層とともに仕上げ加工を行うことから、あまりに硬さが高く仕上げ加工に時間と手間がかからないよう、加工容易性にすぐれた低い硬さであることが望ましい。したがって、シャンク部の硬さは、砥石層焼結前にＨＲＣ４５以上であり、砥石層焼結後後にＨＲＣ３５〜２０であることが好ましい。
【００２２】
シャンク部の金属材料は、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択されることが好ましいが、本発明の趣旨を逸脱しない限り例示した材質以外の材料も使用することができる。
【００２３】
また、シャンク部はニッケルストライク処理後銅めっきが施されたものであることが好ましい。これにより、シャンク部と超砥粒を含む砥石部との接着性を確保することができる。
【００２４】
本発明の別の態様において、軸付超砥粒砥石は、シャンク部及び砥石部が小径棒を介して接合され、該小径棒の一端が該シャンク部に設けられた軸方向の挿入穴に挿入されて固定され、その他端が該砥石部に軸止されてもよい。小径棒は、その径がシャンク部及び砥石部よりも小さいものとする。軸付超砥粒砥石をこのような構造にすることにより、軸に対して横方向からの力に対する強度を確保することができ、曲げに強くすることができる利点がある。
【００２５】
図５に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の別の態様を概略的に示す。
図５において、軸付超砥粒砥石（１１１）は、シャンク部（１１２）及び砥石部（１１３）が小径棒（１１６）を介して接合され、該小径棒（１１６）の一端が該シャンク部（１１２）に設けられた軸方向の挿入穴に挿入されて固定され、該小径棒（１１６）の他端が該砥石部（１１３）に軸止された構成を有する。かかる構成は、特開２００３−２５２３４号公報（特許文献１）に記載されたものと同様である。
【００２６】
軸付超砥粒砥石（１１１）の軸中心に小径棒（１１６）が存在することにより、ノッチ加工において側圧がかかることが多い使用条件において、側圧に対して砥石の折れを防止するのに役立つ。小径棒（１１６）は、シャンク部（１１２）と同様に、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されることが望ましく、具体的には、高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択される金属材料から構成されることが好ましい。また、本発明の趣旨を逸脱しない限り例示した以外の材料も使用することができる。必ずしもシャンク部と同一の材料を使用する必要はない。
【００２７】
また、本発明の更に別の態様において、軸付超砥粒砥石は、シャンク部が、砥石部と接する一端においてテーパー状に形成されていてもよい。
図６に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の更に別の態様を概略的に示す。
【００２８】
図６において、軸付超砥粒砥石（１２１）はシャンク部（１２２）の一端に砥石部（１２３）が形成され、シャンク部（１２２）が、砥石部（１２３）と接する一端においてテーパー状に形成された構成を有する。シャンク部（１２２）をテーパー状に加工することによりシャンク部（１２２）と超砥粒砥石部（１２３）の間に強い固着力を確保することが可能となる。
【００２９】
また、シャンク部（１２２）は、テーパー状の加工を施さなくとも超砥粒砥石部との十分な接着性を確保することができる。
次に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造方法の好適な実施形態について説明する。以下、軸付超砥粒砥石の製造方法については、上述の軸付超砥粒砥石と重複する内容についてはその説明を省略する。
【００３０】
本発明の軸付超砥粒砥石の製造方法は、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部を形成し、該シャンク部にニッケルストライク処理後銅めっきを施し、該シャンク部の軸方向上部に超砥粒砥材及び結合材を含む砥石部原料を配置し、該砥石部原料を上部押圧金型により該シャンク部の軸方向下向きに押圧するホットプレス法により、該砥石部及び該シャンク部を接合させることを含み、その際、該上部押圧金型が焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成されたものであることを特徴とする。
【００３１】
本発明においては、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部を形成することにより、ホットプレスの際に高い圧力がかかりシャンク部が太鼓型に変形し、超砥粒を含む砥石部において所望の密度が得られないという従来技術の問題を克服することが可能となる。シャンク部金属材料について、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを行う際の条件（焼入れ温度、焼き戻し温度、時間等）は、焼入れ又は焼入れ・焼き戻し後にシャンク部において所望の硬さが得られることを条件とし、金属材料の材質、ホットプレスの際の焼結温度、焼結時間等に依存して適宜決定することができる。シャンク部の硬さは、砥石層焼結前にＨＲＣ４５以上であり、砥石層焼結後にＨＲＣ３５〜２０であることが好ましい。
【００３２】
また、同様に、ホットプレスの際に、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成された上部押圧金型を使用することにより、従来技術においてみられたようにホットプレス時の成型圧力により上部押圧金型が太鼓型に変形することはない。上部押圧金型について、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを行う際の条件（焼入れ温度、焼き戻し温度、時間等）は、材質、ホットプレスの際の焼結温度、焼結時間等に依存して適宜決定することができる。
【００３３】
本発明においては、シャンク部にニッケルストライク処理後銅めっきを施すことにより、シャンク部と超砥粒を含む砥石部との接着性を確保することができる。
上部押圧金型に使用する金属材料は、ニッケルストライク処理や銅めっきを行う必要はない。そもそも超砥粒砥石部と接合する必要はなく、むしろホットプレス後にすんなりと離型できるものであることが望ましいからである。
【００３４】
本発明の軸付超砥粒砥石の製造方法において、上部押圧金型の金属材料は、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した高速度鋼、熱間ダイス鋼、ステンレス鋼及び耐熱鋼からなる群から選択されることが好ましいが、本発明の趣旨を逸脱しない限り例示した以外の材料も使用することができる。必ずしもシャンク部と同一の材料を使用する必要はない。
【００３５】
図４に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の一態様を概略的に示す。
図４において、軸付超砥粒砥石（１０１）はシャンク部（１０２）の一端に砥石部（１０３）が形成された構成を有する。軸付超砥粒砥石（１０１）は以下の手順で製造される。すなわち、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部（１０２）を形成し、モールドバンド（１０４）に配置する。次いで、シャンク部（１０２）の軸方向上部にニッケルストライク処理後銅めっきを施し、超砥粒を含む砥石部材料混合物（１０３）を配置する。次いで、この混合物（１０３）を、熱処理を施した金属材料から構成された上部押圧金型（１０５）により軸方向下向きにホットプレス（熱間圧縮）する。このホットプレスの間に、押圧（成型圧力）の増加と共に上部押圧金型（１０５）の軸方向に応力がかかり、特に、シャンク部（１０２）及び上部押圧金型（１０５）とモールドバンド（１０４）との境界部に応力が集中するが、本発明においてはシャンク部（１０２）及び上部押圧金型（１０５）はどちらも、従来技術と比較して硬さが高いため太鼓型の変形が生じることはない。したがって、更なる加圧が可能であり、シャンク部（１０２）及び上部押圧金型（１０５）は企図されるようにモールドバンド（１０４）に挿入され、砥石部（１０３）に押圧力が伝達される。ホットプレス後には、所望の密度を有する超砥粒砥石部が形成され、研削時砥石寿命が低下するという従来技術の不具合が解消される。
【００３６】
次に、図５に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の別の態様を概略的に示す。
図５において、軸付超砥粒砥石（１１１）は、シャンク部（１１２）及び砥石部（１１３）が小径棒（１１６）を介して接合され、該小径棒（１１６）の一端が該シャンク部（１１２）に設けられた軸方向の挿入穴に挿入されて固定され、該小径棒（１１６）の他端が該砥石部（１１３）に軸止された構成を有する。軸付超砥粒砥石（１１１）は以下の手順で製造される。すなわち、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料からシャンク部（１１２）を形成し、モールドバンド（１１４）に配置する。シャンク部（１１２）の軸中心には小径棒（１１６）用の小径穴を設け、この小径穴にシャンク部（１１２）及び小径棒（１１６）の固着を助けるため少量の金属紛を入れたあと、小径棒（１１６）を挿入する。金属粉はシャンク部金属材料よりも融点の低いものであればよい。次いで、シャンク部（１１２）の軸方向上部にニッケルストライク処理後銅めっきを施し、超砥粒を含む砥石部材料混合物（１１３）をその上に配置する。次いで、この混合物（１１３）を、焼入れ又は焼入れ・焼き戻しを施した金属材料から構成され、その中心に小径棒（１１６）用の貫通穴が設けられた上部押圧金型（１１５）により軸方向下向きにホットプレス（熱間圧縮）する。図４に示した態様と同様に、ホットプレスの間に、シャンク部（１１２）及び上部押圧金型（１１５）とモールドバンド（１１４）との境界部に応力が集中するが、本発明においてはシャンク部（１１２）及び上部押圧金型（１１５）はどちらも、従来技術と比較して硬さが高いため太鼓型の変形が生じることはない。したがって、更なる加圧が可能であり、シャンク部（１１２）及び上部押圧金型（１１５）は企図されるようにモールドバンド（１１４）に挿入され、砥石部（１１３）に押圧力が伝達される。小径棒（１１６）は加圧によりシャンク部（１１２）に固定される。ホットプレス後には、所望の密度を有する超砥粒砥石部が形成され、研削時砥石寿命が低下するという従来技術の不具合が解消される。
【００３７】
次に、図６に、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の更に別の態様を概略的に示す。
図６において、軸付超砥粒砥石（１２１）はシャンク部（１２２）の一端に砥石部（１２３）が形成され、シャンク部（１２２）が、砥石部（１２３）と接する一端においてテーパー状に形成された構成を有する。軸付超砥粒砥石（１２１）は、シャンク部（１２２）をテーパー状に形成した以外は、図４に関して説明した手順と同様に製造される。
【００３８】
以下、本発明の実施例を比較例とともに説明するが、これらは本発明の実施可能性及び有用性を例証するものであり、本発明の構成を何ら限定するものではない。
【実施例】
【００３９】
１．砥石製造試験
（実施例）
（ａ）砥石部材料混合比
砥粒：ダイヤモンド＃８００   ０．１７５ｇ
結合材：メタルボンド １．１２６ｇ
（Ｃｏ＝６０ｗｔ％、Ｃｕ＝２８ｗｔ％、Ｓｎ＝１２ｗｔ％）
集中度＝１２５
（ｂ）軸付超砥粒砥石の寸法
砥石外径： ３．８ｍｍ
加工用溝外径： １．６ｍｍ
砥石厚さ： ７．０ｍｍ
シャンク部（研削盤保持部）外径： ３．０ｍｍ
シャンク部長さ： ２５ｍｍ
（ｃ）砥石製造手順
ニッケルストライク処理後に銅めっきを施したＳＫＤ６１焼入れ材を使用してシャンク部を形成した。次いで、砥石部材料をそれぞれ所定量計量し、均一に混合した。次いで、図４に示すように、シャンク部をモールドバンドに配置し、その上部に砥石部材料混合物を充填してから、ＳＫＤ６１焼入れ材から構成された上部押圧金型をセットし、ホットプレスを行った。０．２Ｔの圧力をかけて最高保留温度７００℃で６０分保留した。
（比較例）
シャンク部及び上部押圧金型の材料としてＳＫＤ６１生材を使用した以外は、上記実施例と同様にして軸付超砥粒砥石を製造した。
２．砥石物性の評価
（ａ）外観
実施例において、シャンク部及び上部押圧金型に特段の異常はみられなかった。一方、比較例においては、シャンク材及び上部押圧金型とモールドバンドとの境界部に太鼓型の変形が観察された。
（ｂ）硬さ
【００４０】
【表１】
0004787615.tif 000002
【００４１】
同じ組成の材料を使用した結果、シャンク部と上部押圧金型に焼入れ材を使用した実施例では、生材を使用した比較例よりも砥石硬さが高く、砥石部において高い密度が得られたことがわかる。また、シャンク部においては、実施例及び比較例ともにホットプレスにより硬さが低下したが、比較例では変形がみられるほどに硬さが低下したのに対して、実施例では加工容易性を確保でき、かつ変形がみられない程度の所望の硬さ値までの低下にとどまった。
（ｃ）ホットプレス時の金型温度とシャンク部硬さの関係
上記実施例において、ホットプレス時金型温度とシャンク硬さの関係について検討した。結果を次表に示す。
【００４２】
【表２】
0004787615.tif 000003
【００４３】
上表中、「炉中時間」とは、ホットプレスを開始した時点からの積算時間である。
上表から、シャンク部の硬さは低下していくが、最高保留温度７００℃で最終硬さは３２．４となった。実施例においては、ホットプレスの間に変形が起こらず、且つホットプレス後にシャンク部の外径を削り落とすなどの加工も支障なく行うことができた。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】図１は、軸付超砥粒砥石の模式図である。
【図２】図２は、ノッチが形成されたシリコンウエハーの模式図である。
【図３】図３は、従来技術の軸付超砥粒砥石の製造の一態様を概略的に示す図である。
【図４】図４は、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の一態様を概略的に示す図である。
【図５】図５は、シャンク部及び砥石部が小径棒を介して接合された、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の別の態様を概略的に示す図である。
【図６】図６は、シャンク部がテーパー状に形成された、本発明の軸付超砥粒砥石の製造の更に別の態様を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１１ シリコンウエハー； １２ ノッチ； １３軸付超砥粒砥石； １４ 軸（シャンク部）； １５ 超砥粒層（砥石部）； １６ 加工用溝； ２１軸付超砥粒砥石； ２２ シャンク部（生材）； ２３ 砥石部； ２４ モールドバンド； ２５上部押圧金型（生材）； ２６シャンク部太鼓型変形； ２７上部押圧金型太鼓型変形； １０１軸付超砥粒砥石； １０２ シャンク部； １０３ 砥石部；１０４ モールドバンド； １０５ 上部押圧金型； １１１軸付超砥粒砥石； １１２ シャンク部； １１３ 砥石部；１１４ モールドバンド； １１５ 上部押圧金型； １１６小径棒； １２１ 軸付超砥粒砥石； １２２ シャンク部（テーパー状）；１２３ 砥石部； １２４ モールドバンド； １２５上部押圧金型
【図１】
0004787615.tif 000004
【図２】
0004787615.tif 000005
【図３】
0004787615.tif 000006
【図４】
0004787615.tif 000007
【図５】
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【図６】
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