(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の金属材料から成る金属部材及び第２の金属材料から成る金属部材を一体化する工程であって前記第２の金属材料よりも機械的強度に優れた前記第１の金属材料からなる金属部材および該金属部材よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い前記第２の金属材料からなる金属部材の相互に対向する面を接合して両金属部材を一体化する工程と、
接合により一体化された前記金属部材を所望の厚さの金属板に圧延する工程と、
少なくとも前記第２の金属材料部分がプローブの先端部の端面に位置するように、圧延された前記金属板からプローブを形作る工程とを含み、
前記第１の金属材料からなる前記金属部材は第１の金属板部材であり、前記第２の金属材料からなる前記金属部材は第２の金属板部材であり、当該両金属板部材はそれらの厚さ方向へ互いに重なり合うことなく、相互に対向する側面を突き合わせて接合された後、所望の厚さに圧延されて前記金属板が形成され、該金属板はその厚さ方向への単層構造を有する、プローブの製造方法。
【請求項２】
前記両金属部材の接合による一体化の工程は、圧接により行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属板からプローブを形作る工程は、型抜き加工、レーザ光を用いたレーザ加工、高圧水を用いたウォータジェット加工、ワイヤー放電加工およびワイヤソー加工のいずれか一つを用いて行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第２の金属部材の両側に前記第１の金属部材を接合して、前記金属板が形成され、前記第２の金属部材の長手方向中心線に関して線対称となるように複数のプローブが相互に対をなして形作られる、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の金属部材の両側に前記第２の金属部材を接合して、前記金属板が形成され、各プローブの両先端部分が両側の前記第２の金属部材で形成される、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルや半導体ウエハに形成された電気回路の電気的検査に用いられるプローブ組立体のような電気的接続装置に好適なプローブおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ上に形成された集積回路のような電気回路あるいは液晶表示パネルのような電気回路の電気的検査を行うために、テスタと電気回路の接続端子とを接続する電気的接続装置が用いられている。
このような電気的接続装置には、一般的に、被検査体の電気回路の電極パッドに当接される多数のプローブが設けられている。このプローブの先端が被検査体の前記電極パッドに押圧されることにより、前記被検査体とテスタとが接続され、所定の電気的検査が行われる（特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、このようなプローブは、機械的強度に優れた薄い金属板にプローブ形状をエッチングで形作ることにより形成することができる。これにより、機械的強度に優れたプローブを得ることができる。しかしながら、このような金属は、大気との接触によって表面酸化膜が形成され易く、この表面酸化膜の形成は電気抵抗体として作用することから、電気的接続の安定性に欠ける。そこで、機械的強度に優れたプローブの先端部の端面を耐腐食性に優れた金属材料で覆うためにプローブの針先をメッキすることが考えられる。しかし、このようなメッキ層は薄いことから、プローブ先端が電極パッドに押厚されたとき該電極パッド上を摺動することによる摩耗によって消失し易い。このメッキ層の摩耗によって下地であるプローブ本体が露出すると、その酸化によって電気的接続が不安定となることから、適正な電気的検査のために、プローブの取り換えが必要となる。
【０００４】
このような薄膜のメッキに代えて、針状のタングステンからなる各プローブ本体の一端に、導電性に優れかつ接触抵抗の低いパラジウム合金のような金属線を抵抗溶接により接合し、各プローブ本体の一端に接合された接合金属線を所定の長さに切断した後、プローブ本体の接合金属線部分をプローブ先端に最適な形状となるように、研磨することが提案されている（特許文献２参照）。
また、プローブ用タングステン線の先端に導電性に優れた金属球体を接合するためにパルス放電を用いることが提案されている（特許文献３参照）。
【０００５】
プローブ本体に異種金属を接合するこれらの従来技術は、接合された異種金属がプローブ先端の表面をメッキ層のように薄く覆うのではなく、プローブの先端自体を構成することから、このプローブ先端を構成する異種金属が摩耗によってメッキ層のように早期に消失することはなく、メッキを施したプローブに比較して、耐久性に優れる。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１３２８５３号公報
【特許文献１】特開２０００−１３７０４２号公報
【特許文献２】特開２００５−１０６６９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、プローブ本体は、外径が数百μｍ以下という微細な線材であり、この微細なプローブ本体の端部に、外径が数十μｍの異種金属を接合するこれら従来技術は、極めて高精度な溶接技術が必要となり、さらには繊細な加工技術が必要となることから、容易ではなく、また、プローブ毎に溶接作業が必要であることから、プローブの製造に手間取る。そのため、多数のプローブを効率的に製造する新規な方法が望まれていた。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、電気的接続性能の劣化を招くことなく耐久性に優れたプローブを従来に比較して効率的に製造する方法および新規な構成のプローブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るプローブの製造方法は、第１の金属材料から成る金属部材及び第２の金属材料から成る金属部材を一体化すべく前記第２の金属材料よりも機械的強度に優れた第１の金属材料からなる金属部材および該金属部材よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い第２の金属材料からなる金属部材の相互に対向する面を接合して両金属部材を一体化し、この接合により一体化された前記金属部材を所望の厚さの金属板に圧延した後、少なくとも前記第２の金属材料部分がプローブの先端部の端面に位置するように、圧延された前記金属板からプローブが形作られ、前記第１の金属材料からなる前記金属部材は第１の金属板部材であり、前記第２の金属材料からなる前記金属部材は第２の金属板部材であり、当該両金属板部材はそれらの厚さ方向へ互いに重なり合うことなく、相互に対向する側面を突き合わせて接合された後、所望の厚さに圧延されて前記金属板が形成され、該金属板はその厚さ方向への単層構造を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る前記製造方法では、プローブに必要な相互に異なる性質をそれぞれに有する少なくとも２種類の金属部材を一体化し、この一体化された金属部材をプローブに必要な所望の厚さ寸法に圧延することにより、プローブ材料となる所望厚さの金属板が得られる。この圧延により得られた金属板から前記第２の金属材料部分がプローブ先端部の端面に位置するように、プローブが形作られる。
【００１１】
したがって、本発明に係る前記方法によれば、従来のように、プローブ毎に微細なプローブ本体の先端に異種金属を溶接することなく、電気抵抗が低くかつ酸化し難い金属材料部分を先端部の端面に露出させることができるので、電気特性に優れかつ耐久性に優れたプローブを効率的に形成することができる。
【００１２】
また、圧延により得られた所望厚さの単一の前記金属板から複数のプローブを形成することが可能となるので、必要に応じて、プローブ材料となる所望厚さの金属板から、複数のプローブを一括的に形成することも可能となり、多数のプローブを一層効率的に形成することができる。
【００１３】
前記両金属部材の接合による一体化には、摩擦圧接のような圧接技術を用いることができる。
【００１４】
また、プローブ形状の形成のために、型抜き加工、レーザ光を用いたレーザ加工、高圧水を用いたウォータジェット加工、ワイヤー放電加工およびワイヤソー加工のような加工法を採用することができる。
【００１５】
前記第２の金属部材の両側に前記第１の金属部材を接合して、前記金属板を形成し、前記第２の金属部材の長手方向中心線に関して線対称となるように複数のプローブを相互に対をなして形作くることができる。
【００１６】
前記第１の金属部材の両側に前記第２の金属部材を接合して、前記金属板を形成し、各プローブの両先端部分を両側の前記第２の金属部材で形成することができる。
【００１７】
本発明に係るプローブは、機械的強度に優れた金属材料からなる第１の金属層および該第１の金属層よりも電気抵抗が低くかつ酸化し難い金属材料からなる第２の金属層を含む積層構造金属板から形成され、その一端から他端に連続して前記第２の金属層が伸長しかつ該第２の金属層部分の一部が前記両端面で露出することを特徴とする。
【００１８】
本発明に係るプローブによれば、前記第１の金属層が主として機械的強度を担う。他方、前記第２の金属層は、第１の金属層よりも電気抵抗が低く、プローブの一端から他端に伸び、該プローブの電気接続点となる両端に露出することから、主としてプローブ内の電路として作用する。この電路として機能する前記第２の金属層は、酸化し難い金属材料で構成されていることから、プローブの電気的接続点が酸化することによる電気特性の劣化を防止することができる。また、この電気接続点を構成する第２の金属層は、該電気接続点を覆うのみではなく、プローブの両端間に伸びることから、従来の前記メッキ層のような摩耗による消失を生じることはなく、耐久性の向上を図ることができる。
【００１９】
前記第２の金属層を一対の第１の金属層間に挟むサンドイッチ構造の金属板から前記プローブを形成することができる。この場合、機械的強度に優れた前記一対の第１の金属層によって、前記第２の金属層により形成された電路を保護することができる。
【００２０】
また、逆に、前記第１の金属層を一対の第２の金属層間に挟むサンドイッチ構造の金属板から前記プローブを形成することができる。この場合、一対の第２の金属層間の第１の金属層は、機械的なコア部材として作用する。
【００２１】
前記第１の金属層を前記第２の金属層を構成する金属材料よりもばね性および耐摩耗性に優れた金属材料で構成することができ、また、前記第２の金属層を前記第１の金属層を構成する前記金属材料よりも電気特性に優れた金属材料で構成することができる。
【００２２】
具体的には、前記第１の金属層はベリリウム合金で構成するこができ、前記第２の金属層は、貴金属またはその合金で構成することができる。
【００２３】
前記第２の金属層は、貴金属のうちの金合金またはパラジウム合金で構成することができる。
【００２４】
より具体的には、前記第１の金属層は、ＢｅＮｉまたはＢｅＣｕで構成し、前記第２の金属層をＡｕＮｉ、ＰｄＮｉまたはＰｄＣｏで構成することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の方法によれば、少なくとも２種類の金属部材を一体化して形成された金属部材をプローブに必要な所望の厚さ寸法に圧延し、これにより得られた金属板から前記第２の金属材料部分がプローブ先端部の端面に位置するように、プローブを形作ることにより、微細なプローブ本体への異種金属の溶接作業をプローブ毎に施すことなく、電気特性に優れかつ耐久性に優れたプローブを形成することが可能となるので、従来に比較して電気特性に優れかつ耐久性に優れたプローブを効率的に形成することができる。
【００２６】
また、本発明に係るプローブによれば、第２の金属層が該プローブの一端から他端に伸び、該プローブの電気接続点となる両端に露出することにより、この第２の金属層がプローブ内の良好な導電路として作用し、しかも第２の金属層が酸化し難い耐腐食性を示す金属材料で構成されていることから、プローブの電気的接続点の酸化による電気特性の劣化を防止することができ、また、この第２の金属層は前記メッキ層のような摩耗による消失を生じることがないので、プローブの耐久性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１は、本発明に係るプローブ組立体１０を示す。プローブ組立体１０は、ブロック本体１２と、該ブロック本体の両側に固定される一対の側板１４と、ブロック本体１２の下面に互いに平行に配列された多数のプローブ１６とを備える。各プローブ１６は、それぞれの両端１６ａ、１６ｂをブロック本体１２に設けられた各スリット１２ａ、１２ｂからブロック本体１２の両端へ突出させて配置されている。
【００２８】
プローブ組立体１０は、図２に示すように、例えば液晶表示パネルのような平板状の被検査体１８である電気回路の電気検査のために、検査装置の検査ヘッド２０に取り付けられる。
【００２９】
プローブ組立体１０のプローブ１６は、図２に示されているように、全体に矩形の細長い板状のプローブ本体１６ｃと、該本体の両端に一体的に形成されそれぞれが本体１６ｃの長手方向外方へ伸びる伸長部１６ｄ、１６ｅとを有し、該伸長部のそれぞれがプローブ１６の両端１６ａ、１６ｂである各先端部の端面に終端する。図示の例では、プローブ本体１６ｃの一端に伸長部１６ｄを経て形成された各一方の先端部分１６ａが図中下方に向けて形成され、他方、プローブ本体１６ｃの他端に伸長部１６ｅを経て形成された各他方の先端部分１６ｂが図中上方へ向けて形成されている。
【００３０】
また、図示の例では、プローブ本体１６ｃには、その長手方向へ相互に間隔をおいて形成された一対の貫通孔１６ｆが形成されており、該各貫通孔１６ｆには、電気絶縁材料からなる支持バー２２が挿通される。一対の貫通孔１６ｆ間には、隣接するプローブ１６間でのクロストークを抑制するための複数の長穴１６ｇが形成されている。相互に並列的に配列された各プローブ１６の対応する各貫通孔１６ｆを貫通する支持バー２２は、その両端を図１に示した前記側板１４に支持されている。
【００３１】
これにより、プローブ組立体１０のブロック本体１２が検査ヘッド２０の取付け体２０ａに取り付けられたとき、各プローブ１６は、その一方の先端部分１６ａを被検査体１８の電極に当接可能である。また、他方の先端部分１６ｂは取付け体２０ａに支持された回路基板２４の電極２４ａに接続される。この回路基板２４は、テスタ回路（図示せず）に接続されており、これにより、各プローブ１６の一方の先端部分１６ａを被検査体１８の前記電極に押し付けることにより、被検査体１８が前記テスタ回路に接続され、所定の電気的検査が可能となる。
【００３２】
図３に沿って本発明に係るプローブ１６の製造方法を説明する。一対の第１の金属部材３０と、第２の金属部材３２とが用意される。図３（ａ）に示される例では、両金属部材３０、３２は、ほぼ同一矩形の平板状を呈する。また、両金属部材３０、３２として、例えば１０μｍあるいはそれを僅かに超えるほぼ等しい厚さ寸法を有する金属板部材３０、３２が用いられているが、プローブ１６の必要とされる特性に応じて、第１の金属板部材３０および第２の金属板部材３２の厚さ寸法を適宜選択することができる。
【００３３】
この平板状の第１の金属部材すなわち第１の金属板部材３０は、例えばＢｅＮｉまたはＢｅＣｕのようなベリリウム合金からなり、平板状の第２の金属部材である第２の金属板部材３２は、例えばＡｕＮｉのような金合金またはＰｄＮｉ、ＰｄＣｏのようなパラジウム合金からなる。これら第１の金属板部材３０は、第２の金属板部材３２に比較してばね性および耐摩耗性に優れることから、この第２の金属板部材３２よりも機械的強度に優れる。他方、第２の金属板部材３２は、第１の金属板部材３０に比較して電気抵抗が低くかつ酸化し難いことから、第１の金属板部材３０に比較して電気特性に優れる。
【００３４】
一対の第１の金属板部材３０は、その間に第２の金属板部材３２を挟み込むように、それらの厚さ方向へ相互に重ね合わされて、これらは一体的に接合される。この両金属板部材３０、３２の接合には、例えば抵抗溶接または摩擦接合のような一体化技術を用いることができる。この一体化により、図３（ｂ）に示すように第１の金属板部材３０からなる一対の第１の金属層３０ａ（図４参照）と該層間の第２の金属板部材３２からなる第２の金属層３２ａ（図４参照）とのサンドイッチ構造を有する金属板３４が形成される。両金属層３０ａ、３２ａからなるサンドイッチ構造を有し、３０μｍを超える厚さの金属板３４は、圧延加工を受けることにより、プローブ１６に適した例えば約１５〜３０μｍの厚さに圧延される。この圧延には、必要に応じて熱間圧延あるいは冷間圧延等の圧延技術を採用することができる。
【００３５】
図３（ｃ）に示されているように、所望厚さに圧延された金属板３４の平面上に両先端部分１６ａ、１６ｂが設けられたプローブ１６の平面形状を描くように、金属板３４からプローブ１６が形成される。図３（ｃ）に示す例では、一枚の金属板３４に単一のプローブ１６が形成されているが、製造効率をより高めるために、後述するように、一枚の金属板３４から複数のプローブ１６を形成することが望ましい。この金属板３４からプローブ１６を形成するための加工には、型抜き加工、レーザ光を用いたレーザ加工、高圧水を用いたウォータジェット加工、ワイヤ放電加工およびワイヤソー加工のような種々の加工法を採用することができる。
【００３６】
図４は、図３に示した製造方法により得られたプローブ１６の一部を拡大して示す斜視図であり、一方の先端部分１６ａの近傍が示されている。図３に示したように、厚さ方向に積層されたサンドイッチ構造の金属板３４の平面上にプローブ１６の平面形状が形作られることから、該プローブの第２の金属層３２ａは、一対の第１の金属層３０ａ間で、プローブ１６の一方の先端部分１６ａから他方の先端部分１６ｂにわたって連続して存在し、かつ両先端部１６ａ、１６ｂの端面、すなわち、プローブ１６の両電気的接続点で露出する。
【００３７】
この第２の金属層３２ａを構成する第２の金属板部材３２は、前記したように、第１の金属層３０ａを構成する第１の金属板部材３０よりも、電気抵抗が低い金属材料からなることから、導電性に優れる。また第２の金属板部材３２は、第１の金属層３０ａに比較して酸化し難いことから、その表面に絶縁体として作用する金属酸化膜を生じ難い。
【００３８】
したがって、プローブ１６の一方の先端部分１６ａから他方の先端部分１６ｂにわたって連続して存在しかつプローブ１６の両電気的接続点で露出する第２の金属層３２ａは、プローブ１６の電気的に良好な主電路として機能する。また、この両先端部分１６ａ、１６ｂの端面である両電気的接続点で露出する第２の金属層３２ａは、前記電気的接続点の表面をメッキ層のように膜状に覆うのではなく、電気的接続点自体を構成すべく先端部分１６ａ、１６ｂの端面からプローブ１６の内部に沿って該プローブの長手方向に伸長する。そのため、プローブ１６の一方の先端部分１６ａは、被検査体１８の検査毎に、該被検査体の前記電極に押し付けられるが、前記したように、第２の金属層３２ａが電気的接続点自体を形成していることから、先端部分１６ａの端面の摩耗によっても、該端面から第２の金属層３２ａが消失することはなく、単に針先を覆うメッキ層に比較して、長期にわたって良好な電路が確保される。
【００３９】
また、第２の金属層３２ａの両側面を覆う第１の金属層３０ａは、第２の金属板部材３２に比較して機械的強度に優れ、ばね性および耐摩耗性を示すことから、第２の金属層３２ａを良好に保護すると共に、プローブ１６に適正なばね力を与え、プローブ１６の損傷を確実に防止する。
【００４０】
したがって、本発明に係る前記プローブ１６の製造方法によれば、予め第１の金属層３０ａおよび第２の金属層３２ａを有する積層構造の金属板３４を形成し、該金属板を所望厚さに圧延した後、この圧延された金属板からプローブ１６を形作ることにより、微細な個々のプローブの先端に従来のような異種金属を接合することなく、機械的強度および電気特性に優れ、また耐久性に優れた従来と同様な微細なプローブ１６を容易に形成することができる。
【００４１】
図５に示すように、金属板３４からプローブ１６の形状の形成後、該プローブの先端部分１６ａにおける両第１の金属層３０ａを部分的に除去することにより、先端部分１６ａで、第２の金属層３２ａの両側部分を第１の金属層３０ａから露出させることができる。これにより、第２の金属層３２ａを先端部分１６ａで該先端部分の長手方向へ突出させることができることから、先端部分１６ａと被検査体１８の前記電極との一層確実な電気的接続を得ることができる。この両金属層３０ａの前記した部分的な除去には、例えば第１の金属層３０ａを選択的に除去するエッチング液を用いることができ、またエッチング液に代えて、機械的研磨を用いることができる。
【００４２】
また、図３（ａ）ないし図３（ｃ）に示した例に代えて、一対の第２の金属板部材３２間に第１の金属板部材３０を接合することにより、第２の金属層３２ａ間に第１の金属層３０ａを有するサンドイッチ構造の金属板（図示せず）を形成することができる。この金属板に、図３（ｃ）におけると同様な加工工程を施すことにより、図６に示したプローブ１６を形成することができる。図６に示されたプローブ１６では、導電路として機能する一対の第２の金属層３２ａ間に機械的強度を担う第１の金属層３０ａがコア部材として配置されていることから、図４に示した例におけると同様に、機械的強度および電気特性に優れ、また耐久性に優れたプローブ１６が提供される。
【００４３】
本発明を３層構造の金属板３４からプローブ１６を形成した例を図３ないし図６に沿って説明したが、第１の金属板部材３０および第２の金属板部材３２からなる２層構造の金属板あるいは４層以上の多層の金属板を用いてプローブ１６を形成することができる。また、第１の金属板部材３０および第２の金属板部材３２に加えて、さらにこれらと異なる金属板部材を前記金属板の積層構造に付加することができる。
【００４４】
さらに、積層構造を有する単一の金属板３４から複数のプローブ１６を一括的に形成することができ、これにより多数のプローブ１６を一層効率的に形成することができる。
【００４５】
図７（ａ）ないし図７（ｃ）は、厚さ方向に単層を構成する金属板からプローブを形成する例を示す。図７（ａ）に示すように、矩形の第１の金属板部材１３０と、該金属板部材の厚さ寸法にほぼ等しい厚さ寸法を有する細長い第２の金属板部材１３２とを、それらの側面を対向させる。第１の金属板部材１３０および第２の金属板部材１３２は、前記した第１の金属部材３０および第２の金属板部材３２の金属材料とそれぞれ同様な金属材料から成る。したがって、第１の金属板部材１３０は、第２の金属板部材１３２に比較してばね性および耐摩耗性に優れることから、この第２の金属板部材１３２よりも機械的強度に優れる。他方、第２の金属板部材１３２は、第１の金属板部材１３０に比較して電気抵抗が低くかつ酸化し難いことから、第１の金属板部材１３０に比較して電気特性に優れる。
【００４６】
第１の金属板部材１３０および第２の金属板部材１３２は、それらの互いに対向する側面が前記したと同様な接合により結合され、一体化される。この一体化により、図７（ｂ）に示されているように、第１の金属板部材１３０で構成された第１の金属板部分１３０ａと、該金属板部分の一側縁部に第２の金属板部材１３２で構成された第２の金属板部分１３２ａとを有する単層の金属板１３４が形成される。
【００４７】
この金属板１３４は、図３に示した例におけると同様に、プローブに適正な厚さに圧延される。また、図７（ｃ）に示されているように、この圧延後の金属板１３４の平面上に図３（ｃ）に示した例におけると同様なプローブ１１６の平面形状を描くように、金属板１３４からプローブ１１６が形作られる。この場合、被検査体１８の前記電極に当接される一方の先端部分１１６ａが第２の金属板部分１３２ａで形成されるように、前記したと同様な加工方法によって、プローブ１１６が形成される。
【００４８】
このように、先端部分１１６ａが予め第１の金属板部分１３０ａに接合された第２の金属板部分１３２ａで形成されることから、従来のようにプローブ毎にその先端に異種金属を溶接することなく、耐久性および電気特性に優れたプローブ１１６を比較的容易に形成することができる。
【００４９】
また、図８に示すように、第２の金属板部材１３２の両側に第１の金属板部材１３０を接合して金属板を形成することができる。この金属板に、前記したと同様な圧延工程を施すことにより、図９に示すように、第２の金属板部分１３２ａを間に位置させて一対の第１の金属板部分１３０ａを有する単層の所望厚さの金属板１３４が形成される。この金属板１３４に、第２の金属板部分１３２ａの長手方向中心線に関して線対称となるように複数のプローブ１１６が相互に対をなすように該プローブを形作ることができ、これにより貴金属を含む第２の金属板部分１３２ａの少ない使用量で多数のプローブ１１６を効率的に形成することができる。なお、図９以降に示すプローブ１１６は、その全体的な平面形状、長穴１６ｇの形状およびその配置等が先に示されたプローブ１１６と異なるが、本発明の特徴とするところに、基本的な差違はない。
【００５０】
図１０に示すように、第２の金属板部分１３２ａを図９に示すそれよりも幅広とし、この第２の金属板部分１３２ａからその両側の第１の金属板部分１３０ａのそれぞれに組をなして形成される両プローブ１１６を第２の金属板部分１３２ａの長手方向に相互にずらして形成することができる。これにより、前記したと同様に、貴金属を含む第２の金属板部分１３２ａの使用量の増大を抑制し、また必要に応じてプローブ１１６の先端部分１１６ａに与えられるばね力の低減のために該先端部分１１６ａとプローブ本体１１６ｃとの間に位置する伸長部１６ｄの大部分をも第２の金属板部分１３２ａで形成することができる。
【００５１】
図１１に示すように、第１の金属板部材１３０の両側に一対の第２の金属板部材１３２を接合し、金属板１３４を形成した後、これを所望厚さに圧延し、図１２に示すように、第１の金属板部分１３０ａの両側に一対の第２の金属板部分１３２ａを有する金属板１３４を形成し、該金属板からプローブ１１６を形成することができる。この場合、図１２に示すように、所望厚さに圧延された金属板１３４の平面上にそれぞれ両先端部分１１６ａ、１１６ｂが位置するように、プローブ１１６を形成することができる。これにより、両端部が耐久性および電気特性に優れた第２の金属板部分１３２ａで形成されたプローブ１１６が得られる。また、単一の金属板１３４から複数のプローブ１１６を一括的に形成することにより、より効率的に多数のプローブ１１６を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。例えば、第２の金属板部材３２、１３２として前記した以外の貴金属あるいはその合金を用いることができ、また第１の金属板部材３０、１３０と第２の金属板部材３２、１３２として、種々の金属材料の組み合わせを適宜採用することができる。
さらに、接合されかつ圧延された前記金属板からニードル状のプローブを形作ることにより、ニードルタイプのプローブおよびその製造に本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係るプローブが組み込まれたプローブ組立体を示す斜視図である。
【図２】図１に示したプローブ組立体を検査用ヘッドの取付け体に取り付けた状態で示すプローブ組立体の断面図である。
【図３】本発明に係るプローブの製造方法の一実施例を模式的に示し、図３（ａ）は、接合前の各金属板部材の斜視図であり、図３（ｂ）は接合により形成された積層金属板を示し、図３（ｃ）は所望厚さに圧延された前記金属板からプローブが形作られる状態を示す前記金属板の平面図である。
【図４】図３に示した方法により形成されたプローブを部分的に示す斜視図である。
【図５】図３に示した方法により形成されたプローブの他の例を部分的に示す図４と同様な図面である。
【図６】本発明に係るプローブの製造方法の他の実施例により形成されたプローブを部分的に示す図４と同様な図面である。
【図７】本発明に係るプローブの製造方法のさらに他の実施例を示し、図７（ａ）は、接合前の各金属板部材の斜視図であり、図７（ｂ）は接合により形成された単層金属板を示し、図７（ｃ）は所望厚さに圧延された前記金属板からプローブが形作られる状態を示す前記金属板の平面図である。
【図８】本発明に係る製造方法の他の実施例の変形例を示す図７（ｂ）と同様な図面である。
【図９】本発明に係る製造方法の他の実施例の変形例を示す図７（ｃ）と同様な図面である。
【図１０】本発明に係る製造方法の他の実施例のさらに他の変形例を示す図７（ｃ）と同様な図面である。
【図１１】本発明に係る製造方法の他の実施例のさらに他の変形例を示す図７（ｂ）と同様な図面である。
【図１２】本発明に係る製造方法の他の実施例のさらに他の変形例を示す図７（ｃ）と同様な図面である。
【符号の説明】
【００５４】
１６、１１６  プローブ
１６ａ、１６ｂ  プローブの先端部分
１８  被検査体
３０、１３０  第１の金属部材（第１の金属板部材）
３０ａ、１３０ａ  第１の金属層（第１の金属板部分）
３２、１３２  第２の金属部材（第２の金属板部材）
３４、１３４  金属板
【図１】
0004684855.tif 000002
【図２】
0004684855.tif 000003
【図３】
0004684855.tif 000004
【図４】
0004684855.tif 000005
【図５】
0004684855.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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