(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の導電性部を備える第１の面を有する配線基板と、複数の第２の導電性部を備える第２の面を有するプローブ基板であって前記第２の面が前記第１の面と対向されたプローブ基板と、前記配線基板及び前記プローブ基板を着脱可能に結合する複数のねじ部材と、前記第１及び第２の導電性部を電気的に接続する接続器とを含み、
前記接続器は、前記第１の導電性部に電気的に接続された複数の第１の配線を一方の面に備える第１のシート状部材であって前記第１の配線が前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１及び第２の面に交差する第１の方向へ伸びる状態に配置された第１のシート状部材と、前記第２の導電性部に電気的に接続された複数の第２の配線を一方の面に備える第２のシート状部材であって前記第２の配線が前記第１の配線に対向されかつ前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１の方向へ伸びる状態に配置された第２のシート状部材と、前記第１及び第２のシート状部材を前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１及び第２の面と平行の面内にあって前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に変位させて前記第１及び第２の配線を相対的に押圧する押圧装置とを含む、電気的接続装置。
【請求項２】
前記接続器は、前記第１の面に配置された第１の板状体と、前記第２の面に配置された第２の板状体と、前記第２の方向へ移動可能に前記第１及び第２の板状体の間に配置された板状の可動体と、前記可動体を前記第１及び第２の板状体に対して前記第２の方向に移動させる押圧具とを含み、
前記第１の板状体、前記第２の板状体及び前記可動体は、前記第１及び第２の面の間を前記第２の方向と交差する前記第３の方向へ伸びるスロットを共同して形成するスロット部分を有しており、
前記第１及び第２の配線は、前記スロット内において、前記第１の方向へ伸びていると共に互いに接触されている、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記接続器は、さらに、前記第１の面に配置された第１の凸部材であって前記第１の面から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる第１の凸部材と、前記第２の面に配置された第２の凸部材であって前記第２の面から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる第２の凸部材とを含み、
前記第１及び第２の凸部材の他方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方を受け入れるように前記第３の方向へ伸びる結合溝であって前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方に向けられた内面を有する結合溝を含み、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方の２つの側面であって前記結合溝の前記内面に向けられた２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は、前記結合溝の前記内面に沿って伸びている、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記第２のシート状部材は、前記結合溝内にあって前記第３の方向に隣り合う配線の間にスリットを有している、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記第１及び第２のシート状部材のいずれか一方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方を覆っており、
前記第１及び第２のシート状部材の他方は、さらに、前記第１及び第２の凸部材の他方の側面と、前記結合溝の第１及び第２の凸部材のいずれか一方に向けられた内面とを覆っている、請求項３に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記接続器は、さらに、前記第１及び第２の面のいずれか一方に配置された凸部材であって前記第１及び第２の面のいずれか一方から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる凸部材を含み、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部材の２つの側面であって前記スロットの前記第２の方向に向く内面に向けられた２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は、前記スロットの２つの内面であって前記凸部材に向けられた２つの内面の少なくとも一方に沿って伸びている、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、さらに、前記凸部材の前記２つの側面の他方に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は、さらに、前記スロットの前記２つの内面の他方に沿って伸びている、請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記２つの内面の一方を覆う部材と、前記２つの内面の他方を覆う部材とを有する、請求項７に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記接続器は、さらに、前記第１及び第２の面のいずれか一方に配置された凸部材であって前記第１及び第２の面のいずれか一方から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる凸部材を含み、
前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体のいずれか１つは、前記スロット内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部を備え、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部材の２つの側面であって前記凸部に向く２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びており、
前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記凸部の側面であって前記凸部材に向く側面に沿って伸びている、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項１０】
前記可動体は前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する第１の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第１の凸部を備え、
前記第１及び第２の板状体のいずれか一方は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する第２の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第２の凸部を備え、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は前記凸部材に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は前記第１及び第２の凸部の側面に沿って伸びている、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項１１】
前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記第１及び第２の凸部の一方を覆う部材と、前記第１及び第２の凸部の他方を覆う部材とを有する、請求項１０に記載の電気的接続装置。
【請求項１２】
前記可動体は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する第１の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第１の凸部を備え、
前記第１及び第２の板状体のいずれか一方は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する第２の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第２の凸部を備え、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記第１の凸部の側面であって前記第２の凸部に向く側面に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は、前記第２の凸部の側面であって前記第１の凸部に向く側面に沿って伸びている、請求項１１に記載の電気的接続装置。
【請求項１３】
前記第１又は第２の凸部は、これの側面に配置された弾性部材を備える、請求項１０に記載の電気的接続装置。
【請求項１４】
前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体のいずれか１つは、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部、又は前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部を備え、
前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部の側面であって前記第３の方向に向く側面に沿って伸びており、
前記第１及び第２の配線の他方は、前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体の残りのいずれか１つのスロット部分の内面であって前記凸部に向く内面に沿って伸びている、請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項１５】
前記凸部は、これの側面に配置された弾性部材を備える、請求項１４に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体としての集積回路とその検査装置の電気回路とを電気的に接続するプローブカードのような電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気的接続装置の１つとして、セラミック製のいわゆるプローブ基板と、プローブ基板の一方の面側に配置された樹脂層とを備え、複数の接触子を樹脂層に形成したものがある（特許文献１及び２）。
【０００３】
【特許文献１】特開平  ６−１４０４８４号公報
【特許文献２】特開平１１−１６０３５６号公報
【０００４】
特許文献１に記載された発明においては、樹脂層は、配線や接触子等をホトリソグラフィ技術によりプローブ基板に形成した多層配線層とされており、したがって樹脂層はプローブ基板に接着されている。
【０００５】
特許文献２に記載された発明においては、プローブ基板は多数の配線を有する多層配線基板とされ、樹脂層は、樹脂薄膜と銅薄膜とを積層したフィルムに複数の穴をあけ、それらの穴に電解メッキにより金属材料を埋め込んで接触子とし、銅薄膜の不要な箇所をエッチングで除去することにより製作されている。樹脂層は、異方導電性ゴムシートによりプローブ基板に接着されている。
【０００６】
一方、被検査体としての集積回路は、その電極の、位置、機能、大きさ、配置ピッチ等が集積回路の種類に応じて異なる。
【０００７】
しかし、上記いずれの従来技術も、製造が難しいプローブ基板を集積回路の種類毎に製造し、準備しなければならず、プローブ基板自体が高価である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、プローブ基板の標準化を可能にして、廉価なプローブ基板とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る電気的接続装置は、複数の第１の導電性部を備える第１の面を有する配線基板と、複数の第２の導電性部を備える第２の面を有するプローブ基板であって前記第２の面が前記第１の面と対向されたプローブ基板と、前記配線基板及び前記プローブ基板を着脱可能に結合する複数のねじ部材と、前記第１及び第２の導電性部を電気的に接続する接続器とを含む。
【００１０】
本発明に係る電気的接続装置における前記接続器は、前記第１の導電性部に電気的に接続された複数の第１の配線を一方の面に備える第１のシート状部材であって前記第１の配線が前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１及び第２の面に交差する第１の方向へ伸びる状態に配置された第１のシート状部材と、前記第２の導電性部に電気的に接続された複数の第２の配線を一方の面に備える第２のシート状部材であって前記第２の配線が前記第１の配線に対向されかつ前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１の方向へ伸びる状態に配置された第２のシート状部材と、前記第１及び第２のシート状部材を前記配線基板及び前記プローブ基板の間において前記第１及び第２の面と平行の面内にあって前記第１の方向と交差する第２の方向に相対的に変位させて前記第１及び第２の配線を相対的に押圧する押圧装置とを含む。
【００１１】
本発明のいずれの実施例においても、前記接続器は、前記第１の面に配置された第１の板状体と、前記第２の面に配置された第２の板状体と、前記第２の方向へ移動可能に前記第１及び第２の板状体の間に配置された板状の可動体と、前記可動体を前記第１及び第２の板状体に対して前記第２の方向に移動させる押圧具とを含み、前記第１の板状体、前記第２の板状体及び前記可動体は、前記第１及び第２の方向と交差する前記第３の方向へ伸びるスロットを共同して形成するスロット部分を有しており、前記第１及び第２の配線は、前記スロット内において、前記第１の方向へ伸びていると共に互いに接触されている。
【００１２】
本発明の第１の実施例において、前記接続器は、さらに、前記第１の面に配置された第１の凸部材であって前記第１の面から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる第１の凸部材と、前記第２の面に配置された第２の凸部材であって前記第２の面から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる第２の凸部材とを含むことができ、前記第１及び第２の凸部材の他方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方を受け入れるように前記第３の方向へ伸びる結合溝であって前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方に向けられた内面を有する結合溝を含むことができ、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方の２つの側面であって前記結合溝の前記内面に向けられた２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びていてもよく、前記第１及び第２の配線の他方は、前記結合溝の前記内面に沿って伸びていてもよい。
【００１３】
上記第１の実施例において、前記第１及び第２のシート状部材のいずれか一方は、前記第１及び第２の凸部材のいずれか一方を覆っていてもよく、前記第１及び第２のシート状部材の他方は、さらに、前記第１及び第２の凸部材の他方の側面と、前記結合溝の第１及び第２の凸部材のいずれか一方に向けられた内面とを覆っていてもよい。
【００１４】
上記第１の実施例において、前記第２のシート状部材は、前記結合溝内にあって前記第３の方向に隣り合う配線の間にスリットを有していてもよい。
【００１５】
本発明の第２の実施例において、前記接続器は、さらに、前記第１及び第２の面のいずれか一方に配置された凸部材であって前記第１及び第２の面のいずれか一方から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる凸部材を含み、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部材の２つの側面であって前記スロットの前記第２の方向に向く内面に向けられた２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びており、前記第１及び第２の配線の他方は、前記スロットの２つの内面であって前記凸部材に向けられた２つの内面の少なくとも一方に沿って伸びている。
【００１６】
上記第２の実施例において、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、さらに、前記凸部材の前記２つの側面の他方に沿って伸びていてもよく、前記第１及び第２の配線の他方は、さらに、前記スロットの前記２つの内面の他方に沿って伸びていてもよい。
【００１７】
上記第２の実施例において、前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記２つの内面の一方を覆う部材と、前記２つの内面の他方を覆う部材とを有することができる。
【００１８】
本発明の第３の実施例において、前記接続器は、さらに、前記第１及び第２の面のいずれか一方に配置された凸部材であって前記第１及び第２の面のいずれか一方から前記スロット内に突出すると共に前記第３の方向へ伸びる凸部材を含み、前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体のいずれか１つは、前記スロット内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部を備え、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部材の２つの側面であって前記凸部に向く２つの側面の少なくとも一方に沿って伸びており、前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記凸部の側面であって前記凸部材に向く側面に沿って伸びている。
【００１９】
上記第３の実施例において、前記可動体は前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する第１の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第１の凸部を備えていてもよく、前記第１及び第２の板状体のいずれか一方は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する第２の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第２の凸部を備えていてもよく、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は前記凸部材に沿って伸びていてもよく、前記第１及び第２の配線の他方は前記第１及び第２の凸部の側面に沿って伸びていてもよい。
【００２０】
上記第３の実施例において、前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記第１及び第２の凸部の一方を覆う部材と、前記第１及び第２の凸部の他方を覆う部材とを有していてもよい。
【００２１】
上記第３の実施例において、前記可動体は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する第１の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第１の凸部を備えていてもよく、前記第１及び第２の板状体のいずれか一方は、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する第２の凸部であって前記第３の方向へ伸びる第２の凸部を備えていてもよく、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記第１の凸部の側面であって前記第２の凸部に向く側面に沿って伸びていてもよく、前記第１及び第２の配線の他方は、前記第２の凸部の側面であって前記第１の凸部に向く側面に沿って伸びていてもよい。
【００２２】
上記第３の実施例において、前記第１又は第２の凸部はこれの側面に配置された弾性部材を備えていてもよい。
【００２３】
本発明の第４の実施例において、前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体のいずれか１つは、前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部、又は前記第１及び第２の板状体のスロット部分のいずれか一方を経て前記可動体のスロット部分内に突出する凸部であって前記第３の方向へ伸びる凸部を備え、前記第１及び第２の配線のいずれか一方は、前記凸部の側面であって前記第３の方向に向く側面に沿って伸びており、前記第１及び第２の配線の他方は、前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体の残りのいずれか１つのスロット部分の内面であって前記凸部に向く内面に沿って伸びている。
【００２４】
上記第４の実施例において、前記第１及び第２のシート状部材のいずれか一方は、前記凸部の側面であって前記第３の方向に向く側面を覆っていてもよく、また前記第１及び第２のシート状部材の他方は、前記可動体、前記第１の板状体及び前記第２の板状体の残りのいずれか１つのスロットの内面であって前記凸部に向く内面を覆っていてもよい。
【００２５】
上記第４の実施例において、記凸部は、これの側面に配置された弾性部材を備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の電気的接続装置においては、配線基板及びプローブ基板の相互の結合及びその解除は、複数のねじ部材により行うことができる。また、第１及び第２のシート状部材が押圧装置に押圧されることにより、第１及び第２の配線が電気的に接続され、それにより第１及び第２の導電性部は電気的に接続される。
【００２７】
このため、プローブ基板の第２の導電性部の配列パターン及び接続パターンを共通化しておき、集積回路の種類に応じた樹脂基板を製作することにより、プローブ基板を標準化することができる。そのようにしても、第１及び第２の導電性部は電気的に接続される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下の説明においては、各基板の厚さ方向を上下方向又はＺ方向といい、各基板に対する接触子の針先の側（半導体ウエーハの側）を下方といい、各基板に平行な水平の直角座標における２つの方向をＸ方向及びＹ方向という。しかし、電気的接続装置の実際の使用に際しては、各基板の厚さ方向を斜め又は横の方向として使用してもよいし、上下方向を逆にして使用してもよい。
【００２９】
[第１の実施例]
【００３０】
図１〜図１１を参照するに、電気的接続装置１０は、半導体ウエーハに形成された未切断の集積回路又はチップ状に切断された集積回路のように、電源用、アース用及び信号用等の複数の電極を備えた集積回路を被検査体としている。
【００３１】
図１から図５に示すように、電気的接続装置１０は、検査装置に取り付けられる配線基板１２と、配線基板１２のに下側に配置されかつ後に説明する複数の接触子３２を備えるプローブ基板１４と、配線基板１２とプローブ基板１４との間にあって後に説明する配線基板１２及びプローブ基板１４の導電性部２２及び３６を電気的に接続する接続器１６と、配線基板１２の上側に配置された補強部材１８と、接続器１６を間にして配線基板１２及びプローブ基板１４を補強板１８に結合する複数のねじ部材２０とを含む。
【００３２】
配線基板１２は、複数の導電性部２２（図８及び１１参照）を下面に有すると共に、それら導電性部２２に電気的に接続された複数の配線（図示せず）を多層に有する円形の多層配線基板とされている。
【００３３】
導電性部２２は、それぞれが水平のＸ方向に間隔をおいた複数の導電性部２２を含む複数のメイングループに分けられている。それらメイングループは、Ｘ方向と交差する水平のＹ方向に間隔をおいている。
【００３４】
図示の例では、各メイングループの導電性部２２は、Ｙ方向に間隔をおいた２つのサブグループにさらに分けられており、またサブグループ毎にＸ方向に間隔をおいている。しかし、各メイングループの導電性部２２をそのようなサブグループに分けなくてもよい。
【００３５】
集積回路の電極及び導電性部２２は、１対１の形に対応されている。そのような配線基板１２は、ガラス入りエポキシ樹脂を用いて製作することができる。
【００３６】
配線基板１２の上面の中央には、リレーや抵抗器のような複数の電子部品２４（図１参照）が平面から見てほぼ矩形の領域に配置されている。各電子部品２４は、電源用又は信号用の電極に対応されており、半田のような導電性接着材により接続用ランド（図示せず）に接着されて、配線基板１２に形成された前記配線に電気的に接続されている。
【００３７】
配線基板１２の上面には、また、検査装置の電気回路に接続される複数のコネクタ２６（図１参照）が配置されている。各コネクタ２６は、それぞれが配線基板１２の前記配線及び電子部品２４を介して導電性部２２に電気的に接続されている。
【００３８】
プローブ基板１４は、ほぼ矩形のセラミック基板２８の下面に矩形の樹脂基板３０を形成し、集積回路の電極に個々に対応された複数の接触子３２を樹脂基板３０の下面に取り付けている。
【００３９】
セラミック基板２８は、図８及び１１に示すように、これの上下両面に複数の導電性部３６及び３８を備えており、導電性部３６及び３８を導電性の筒状部材４０により１対１の形に電気的に接続している。導電性部３８３３は、筒状部材４０の下端とされている。導電性部３６は、筒状部材４０の上端であってもよい。
【００４０】
筒状部材４０は、セラミック基板２８を厚さ方向に貫通している。セラミック基板２８に補強材を設けてもよい。
【００４１】
上記の代わりに、筒状部材４０を上下２つの部材に分けて、ある筒状部材の上部材と他の筒状部材４０の下部材とを図示しない配線により電気的に接続してもよい。この場合、それらの配線は補強材としても作用する。
【００４２】
導電性部３６は、導電性部２２に対応されている。このため、導電性部３６は、導電性部２２と同様に、それぞれがＸ方向に間隔をおいた複数の導電性部３６を含む複数のメイングループに分けられていると共に、メイングループ毎に複数のサブグループに分けられている。各サブグループの導電性部３６は、サブメイングループの導電性部２２に個々に対応されている。
【００４３】
導電性部３８は、導電性部３６と同様にグループに分けてもよいし、分けなくてもよい。したがって、導電性部３８は、適宜な配列パターンすなわち配置パターンとすることができる。
【００４４】
樹脂基板３０は、ポリイミドのような電気絶縁性樹脂を用いてセラミック基板２８の下面に直接形成されている。樹脂基板３０は、これの上下両面に接続用パッドとして作用する複数の導電性部（図示せず）を備えており、それら上下の導電性部を配線４２（図８参照）により１対１の形に電気的に接続している。
【００４５】
樹脂基板３０の上面に設けられた導電性部は、導電性部２２、３６及び３８に対応されている。しかし、樹脂基板３０の下面に設けられた導電性部は、集積回路の電極の配置パターンに対応して配置されている。
【００４６】
各接触子３２は、樹脂基板３０の下面の導電性部に取り付けられた取付部と、取付部からＹ方向へ伸びるアーム部と、アーム部の先端側から取付部と反対側の方向（下方）へ伸びる針先部とを含む板状の接触子（プローブ）とされている。
【００４７】
そのような接触子３２は、マイクロカンチレバータイプの接触子（プローブ）として公知である。しかし、接触子３２は、そのようなマイクロカンチレバータイプの接触子の代わりに、金属細線から製作されたニードルタイプの接触子のよな他のタイプのプローブであってもよい。
【００４８】
各接触子３２は、これが樹脂基板３０から下方に伸びる状態に、取付部において半田のような導電性接着材により樹脂基板３０の下面に設けられた導電性部に接着されて、片持ち梁状に支持されている。
【００４９】
接続器１６は、配線基板１２の下面に配線基板の下側に配置された第１の板状体４４と、第１の板状体４４から下方に間隔をおいた状態にセラミック基板２８の上面に配置された第２の板状体４６と、少なくともＹ方向に移動可能に第１及び第２の板状体４４及び４６の間に配置された板状の可動体４８と、第１及び第２の板状体４４及び４６を移動不能に囲む矩形のフレーム５０と、可動体４８を板状体４４及び４６に対しＹ方向へ押圧する一対の押圧具５１とを含む（図７参照）。
【００５０】
第１及び第２の板状体の４４及び４６は、図６に示すように、可動体４８を両者で移動可能に挟んだ状態に、フレーム５０に配置されている。接続器１６は、セラミック基板２８を下方から貫通してフレーム５０に螺合された複数のねじ部材５３によりプローブ基板１４に結合されている。
【００５１】
各押圧具５１は、可動体４８を第１及び第２の板状体４４及び４６に対しＹ方向へ押圧する押圧ねじ５２と、可動体４８を押圧ねじ５２による押圧方向と逆の方向に付勢する押圧ピン５４と、押圧ピン５４を付勢する圧縮コイルバネ５６と、圧縮コイルバネ５６を受ける止めねじ５８とを含む（図７参照）。
【００５２】
押圧ねじ５２は、フレーム５０のＹ方向における一方側の部材に形成されたねじ穴６０にフレーム５０の外側から螺合されてフレーム５０の内側に貫通している。
【００５３】
押圧ピン５４、圧縮コイルバネ５６及び止めねじ５８は、フレーム５０のＹ方向における他方側の部材に形成された穴６２にその順に配置されている。穴６２のＹ方向における一端部は、押圧ピン５４の一部が貫通する細い穴とされている。穴６２のＹ方向における他端部は、止めねじ５８が螺合されたねじ穴とされている。
【００５４】
接続器１６は、また、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる状態に配線基板１２の下面に配置された複数の第１の凸部材６４と、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる状態にセラミック基板２８の上面に配置された複数の第２の凸部材６６と、第１の凸部材６４及び導電性部２２を覆うように第１の凸部材６４毎に配線基板１２に配置された複数の第１のシート状部材６８と、第２の凸部材６６の露出面及び導電性部３６を覆うように第２の凸部材６６毎にセラミック基板２８に配置された複数の第２のシート状部材７０とを含む（図７から１１参照）。
【００５５】
図示の例では、第１及び第２の板状体４４及び４６、可動体４８、フレーム５０、押圧具５１並びに第１及び第２の凸部材６４及び６６は押圧装置の一部として作用する。
【００５６】
各第１の凸部材６４は、配線基板１２の下面から突出してＸ方向へ伸びる凸の形状を有する。各第１の凸部材６４は、弾性変形可能の硬質ゴム材から製作されており、またＸ方向と直角の縦断面において弧状の頂面（下面）とされている。
【００５７】
各第１の凸部材６４は、導電性部２２のＹ方向に隣り合うグループの間をＸ方向へ伸びる状態に、配線基板１２に接着やビス等により配線基板１２の下面に取り付けられている。
【００５８】
各第１のシート状部材６８は、Ｙ方向へ伸びる複数の配線７２をセラミック基板２８の側の面に有するＦＰＣとされており、また配線基板１２及び第１の凸部材６４に接着されている。
【００５９】
各第１のシート状部材６８の配線７２は、導電性部２２と同様に、Ｙ方向に間隔をおいたメイングループに分けられていると共に、メイングループ毎に複数のサブグループに分けられている。配線７２は、またサブグループ毎にＸ方向に間隔をおいている。
【００６０】
各配線７２は、図９に示すように、導電性部２２に接触された電極７２ａを一端部に有しており、また対応する導電性部２２から第１の凸部材６４の頂部付近まで伸びている。
【００６１】
各第２の凸部材６６は、第１の凸部材６４を受け入れるように上方に開放すると共にＸ方向へ伸びる逆Ｕ字状の結合溝７４を有しており、また結合溝７４が導電性部３６の隣り合うグループの間をＸ方向へ伸びる状態に、セラミック基板２８の上面に接着やビス等により取り付けられている。各第２の凸部材６６は、弾性変形可能の硬質ゴム材から製作されている。
【００６２】
各第２のシート状部材７０は、Ｙ方向へ伸びる複数の配線７６を配線基板１２の側に有するＦＰＣとされており、またセラミック基板２８の上面、第２の凸部材６６及び結合溝７４の内面を含む範囲にわたって覆うようセラミック基板２８及び第２の凸部材６６に接着されている。各配線７６は、対応する導電性部３６に電気的に接続されている。
【００６３】
各第２のシート状部材７０の配線７６は、導電性部２２と同様に、Ｙ方向に間隔をおいたメイングループに分けられていると共に、メイングループ毎に複数のサブグループに分けられている。配線７２は、またサブグループ毎にＸ方向に間隔をおいている。
【００６４】
各配線７６は、図１０に示すように、導電性部３６に接触された電極７６ａを一端部に有しており、また対応する導電性部３６から結合溝７４の底付近まで伸びている。
【００６５】
結合溝７４の幅寸法は、図示の例では、第１の凸部材６４の厚さ寸法とほぼ同じであるか、やや大きいが、第１の凸部材６４の着脱を容易にしてもよい。各第２のシート状部材７０は、結合溝７４内にあってＸ方向に隣り合う配線７６の間にスリット７５を形成している。
【００６６】
第１及び第２の板状体４４及び４６並びに可動体４８は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ伸びる複数のスロット７８を共同して形成している。各スロット７８は、第２の凸部材６６を受け入れることができる大きさを有している。
【００６７】
第１及び第２の凸部材６４及び６６は、第１及び第２のシート状部材６８及び７０により覆われた状態で、スロット７８に差し込まれている。
【００６８】
第１の凸部材６４は、スロット７８内において、結合溝７４に嵌合されている。このため、配線７２及び７６は、スロット７８内において、対向した状態で上下方向に伸びて、互いに接触されて電気的に接続されている。
【００６９】
図８及び１１に示すように、各第２の凸部材６６には、複数の位置決め部材８０がＸ方向に間隔をおいて移動不能に取り付けられている。
【００７０】
図８及び図１０に示すように、各第１の凸部材６４には、複数の凹所８２が位置決め部材８０を受け入れるようにＸ方向に間隔をおいて形成されている。
【００７１】
第１及び第２のシート状部材６８及び７０、第１及び第２の板状体４４及び４６並びに可動体４８は、それぞれ、位置決め部材８０を受け入れることができるように、凹所８２に対応する箇所を除去されている。
【００７２】
図１に示すように、補強部材１８は、電子部品２４の周りに位置するほぼ矩形の枠部８４と、枠部８４から仮想的な円の半径方向へ伸びる複数のアーム部８６とを備える。これにより、配線基板１２の上側の領域を有効に利用することができる。
【００７３】
配線基板１２及びフレーム５０のそれぞれは、均一な厚さ寸法を有している。フレーム５０の上下両面は研磨されて同じ高さレベルの面とされている。補強板１８の下面及びセラミック基板２８の上面も、同様に研磨されて同じ高さレベルの面とされている。
【００７４】
導電性部２２及び３６の下面及び上面、並びに電極７２ａ、７６ａも、同様に研磨されて同じ高さレベルの面とされている。接触子３２の下端も、同様に研磨されて同じ高さレベルの面に位置されている。
【００７５】
図１、５及び６に示すように、配線基板１２と補強板１８とは、補強板１８を貫通して配線基板１２に螺合された複数のねじ８８により結合されている。これにより、配線基板１２は補強される。
【００７６】
各ねじ部材２０は、プローブ基板１４、接続器１６及び配線基板１２を貫通して補強板１８に螺合されている。
【００７７】
プローブ基板１４と補強板１８との間隔は、各ねじ部材２０の周りにあって接続器１６及び配線基板１２を貫通する筒状のスペーサ９０により一定に維持されている。このため、各スペーサ９０の上端及び下端がそれぞれ補強板１８の下面及びセラミック基板２８の上面に当接するように、全てのねじ部材２０を補強板１８にねじ込むことにより、プローブ基板１４、配線基板１２、接続器１６及び補強板１８が堅固に結合されると共に、接触子３２の下端の高さ位置が同じに維持される。
【００７８】
上記のように組み立てられる際、第１の凸部材６４は、第１のシート状部材６８により覆われた状態で、第２のシート状部材７０により覆われた第２の凸部材６６の結合溝７４に挿入される。第１及び第２の配線７２及び７６は、スロット７４内で対向される。
【００７９】
上記のように組み立てられた状態において、可動板４８は、押圧ねじ５２をフレーム５０にねじ込むことにより、図７において左方へ移動される。これにより、図１１に示すように、第１及び第２の凸部材６４及び６６が弾性変形されて、第１及び第２の配線７２及び７６が確実に接触する。
【００８０】
プローブ基板１４を交換するとき、先ず可動板４８が押圧具５１により図７において右方に移動された状態で、ねじ部材２０が取り外される。これにより、プローブ基板１４と接続器１６とが、配線基板１２及び補強板１８から取り外される。
【００８１】
次いで、ねじ部材５３が接続器１６から外される。これにより、プローブ基板１４が第２の凸部材６６及び第２のシート状部材７０と共に、接続器１６から取り外される。
【００８２】
次いで、新たな第２の凸部材６６及び第２のシート状部材７０を備えた新たなプローブ基板１４が接続器１６に取り付けられ、それらプローブ基板１４及び接続器１６がねじ部材２０により前記のように配線基板１２及び補強板１８に取り付けられる。
【００８３】
配線基板１２、プローブ基板１４及び接続器１６の相対的な位置決めは、配線基板１２からフレーム５０を貫通して伸びてセラミック基板２８に差し込まれた複数の位置決めピン（図示せず）により、行うことができる。
【００８４】
検査時、電気的接続装置１０は、接触子３２の下端（針先）を集積回路の電極に押圧される。このとき、接触子３２の下端の高さレベルが同じであるから、全ての接触子３２が集積回路の電極に確実に接触される。
【００８５】
電気的接続装置１０によれば、配線基板１２及びプローブ基板１４の相互の結合及びその解除は、複数のねじ部材２０により行うことができる。また、シート状部材６８及び７０が押圧具５１により押圧されることにより、配線７２及び７６が電気的に接続され、その結果導電性部２２及び３６は電気的に接続される。
【００８６】
このため、プローブ基板１４の導電性部３６の配列パターン及び接続パターンを共通化しておき、集積回路の種類に応じた樹脂基板を製作することにより、プローブ基板１４を標準化することができる。そのようにしても、導電性部２２及び３６は電気的に接続される。
【００８７】
標準化されたセラミック基板２８は、これを大量に生産することにより、廉価にすることができるし、集積回路の種類に応じた樹脂基板３０を在庫のセラミック基板２８に形成することにより、電気的接続装置１０の生産期間を短縮することができる。
【００８８】
プローブ基板１４としてセラミック基板２８と樹脂基板３０とを用いると、セラミック基板２８に形成する配線数を少なくすることができるし、極端な場合配線をセラミック基板２８に形成しなくてもよいから、セラミック基板２８の製造が容易になるし、セラミック基板２８が廉価になる。
【００８９】
上記第１の実施例において、第１及び第２のシート状部材６８及び７０を、それぞれ、配線７２及び７６の２つのメイングループの境界近傍（第１の凸部材６４の下端及び上端近傍）において２つの部材に分割してもよい。この場合、一方のメイングループの配線７２及び７６を有する部材を省略してもよい。
【００９０】
[第２の実施例]
【００９１】
図１２を参照するに、接続器１６は、第２の凸部材６６を省略している。凸部材６４は、配線基板１２の下面からスロット７８内に突出すると共にＸ方向へ伸びている。
【００９２】
第２のシート状部材７０は、図１２に示す第２の実施例では、配線７６の２つのメイングループの境界近傍（第１の凸部材６４の上端近傍）において２つの部材に分割されている。
【００９３】
配線７２は、凸部材６４の側面であってスロット７８のＹ方向に向く内面に向けられた側面に伸びている。配線７６は、スロット７８の２つの内面であって凸部材６４に向けられた内面に伸びている。
【００９４】
スロット７８の幅寸法は、凸部材６４の両側面及びスロット７８の両内面を、それぞれ、第１及び第２のシート状部材６８及び７０で覆った状態で、凸部材６４を受け入れることができる大きさであればよい。
【００９５】
第２の実施例においては、可動体４８が第１及び第２の板状体４４及び４６に対し図１２において左方へ移動されることにより、凸部材６４が弾性変形されて、配線７６が配線７２に押圧される。
【００９６】
上記第２の実施例において、上記とは逆に、第１の凸部材６４をセラミック基板２８の上面に配置し、スロット７８の前記内面を第１のシート状部材６８で覆い、第１の凸部材６４を第２のシート状部材７０で覆ってもよい。
【００９７】
また、上記第２の実施例において、第１のシート状部材６８を配線７２の２つのメイングループの境界近傍（第１の凸部材６４の下端近傍）において２つの部材に分割してもよい。
【００９８】
いずれの場合も、第２の実施例においては、一方のメイングループの配線７２及び７６を有する部材を省略してもよい。
【００９９】
[第３の実施例]
【０１００】
図１３を参照するに、接続器１６は、第２の凸部材６６の代わりに、スロット７８内に突出すると共にＸ方向へ伸びる凸部９２及び９４を、それぞれ、可動体４８及び第１の板状体４４に設けている。
【０１０１】
第２のシート状部材７０は、図１３に示す第３の実施例では、配線７６の２つのメイングループの境界近傍（第１の凸部材６４の上端近傍）において２つの部材に分割されている。
【０１０２】
凸部９２及び９４の内向きの面は、第２のシート状部材７０の上記分割された部材により覆われている。
【０１０３】
一方のサブグループの各配線７６は、凸部９２のＹ方向に向く側面に伸びており、他方のサブグループの各配線７６は、凸部９４のＹ方向に向く側面に伸びている。
【０１０４】
第３の実施例においても、可動体４８が第１及び第２の板状体４４及び４６に対し図１３において左方へ移動されることにより、凸部材６４が弾性変形されて、配線７６が配線７２に押圧される。
【０１０５】
上記第３の実施例において、上記とは逆に、凸部９４を第２の板状体４６に配置してもよいし、また凸部材６４をセラミック基板２８の上面に配置してもよい。
【０１０６】
また、上記第３の実施例においても、第１のシート状部材６８を配線７２の２つのメイングループの境界近傍（第１の凸部材６４の下端近傍）において２つの部材に分割してもよい。
【０１０７】
いずれの場合も、第３の実施例においては、一方のメイングループの配線７２及び７６を有する部材を省略してもよい。
【０１０８】
[第４の実施例]
【０１０９】
図１４を参照するに、第４の実施例は、図１３に示す第３の実施例における凸部材６４を省略している。このため、第１及び第２のシート状部材６８及び７０は、それぞれ、一方のサブグループの配線７２及び７６を有する領域を備えるが、他方のサブグループの配線７２及び７６を有する領域を省略している。
【０１１０】
第１及び第２のシート状部材６８及び７０は、凸部９４及び９２の対向する面を覆っており、また配線７２及び７６は、それぞれ、凸部９４及び９２の対向する面まで伸びている。
【０１１１】
一方のサブグループの各配線７２は凸部９４のＹ方向に向く側面に伸びており、他方のサブグループの各配線７６は凸部９２のＹ方向に向く側面に伸びている。
【０１１２】
凸部９２の上記側面には、ゴムのような板状の弾性部材９８が配置されており、シート状部材７０は弾性部材９８の面を覆っている。そのような弾性部材９８を、図１２におけるスロット７８のＹ方向に向く一対の内面の少なくとも一方に設けてもよいし、図１３における凸部９２又は９４に設けてもよい。
【０１１３】
第４の実施例においても、可動体４８が第１及び第２の板状体４４及び４６に対し図１４において左方へ移動されることにより、弾性部材９８が弾性変形されて、配線７６が配線７２に押圧される。
【０１１４】
上記第４の実施例において、上記とは逆に、凸部９４を第２の板状体４６に配置してもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１１５】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明に係る電気的接続装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示す電気的接続装置の底面図である。
【図３】図１に示す電気的接続装置の正面図である。
【図４】図１に示す電気的接続装置の一部を分解してを下方から見た斜視図である。
【図５】図１に示す電気的接続装置の一部を分解して上方から見た斜視図である。
【図６】図１における６−６線に沿って得た断面図であって一部を省略して示す断面図である。
【図７】図１に示す電気的接続装置で用いる押圧具を説明するための縦断面図である。
【図８】接続器を説明するための拡大断面図である。
【図９】第１の凸部材及び第１のシート状部材の一実施例の一部を示す斜視図である。
【図１０】第２の凸部材及び第２のシート状部材の一実施例の一部を示す斜視図である。
【図１１】可動体を第１及び第２の板状体に対し変位させた状態を示す縦断面図である。
【図１２】本発明に係る電気的接続装置の第２の実施例を示す、図１１と同様の断面図である。
【図１３】本発明に係る電気的接続装置の第３の実施例を示す、図１１と同様の断面図である。
【図１４】本発明に係る電気的接続装置の第４の実施例を示す、図１１と同様の断面図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１０  電気的接続装置
１２  配線基板
１４  プローブ基板
１６  接続器
１８  補強部材
２０  ねじ部材
２２、３６、３８  導電性部
２４  電子部品
２６  コネクタ
２８  セラミック基板
３０  樹脂基板
３２  接触子
４０  筒状部材
４４、４６  板状体
４８  可動体
５０  フレーム
５１  押圧具
５２  押圧ねじ
５３、８８  ねじ部材
５４  押圧ピン
５６  圧縮コイルバネ
５８  止めねじ
６０  ねじ穴
６２  穴
６４、６６  凸部材
６８、７０  シート状部材
７２、７６  配線
７４  結合溝
７８  スロット
８０  位置決め部材
８２  凹所
８４  枠部
８６  アーム部
９０  スペーサ
９２、９４  凸部
【図１】
0004746035.tif 000002
【図２】
0004746035.tif 000003
【図３】
0004746035.tif 000004
【図４】
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【図５】
0004746035.tif 000006
【図６】
0004746035.tif 000007
【図７】
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【図８】
0004746035.tif 000009
【図９】
0004746035.tif 000010
【図１０】
0004746035.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0004746035.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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