(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の粒子を含む試料から各粒子ごとに粒子の特徴を表す少なくとも２種類のパラメータを検出する検出部と、前記検出部で検出されたパラメータを処理する処理部と、前記処理部による処理結果を出力する出力部を備えた粒子分析装置であって、
前記処理部は検出されたパラメータに基づいて粒子のスキャッタグラムを作成する分布図作成部と、作成されたスキャッタグラム中に予め所定の粒子分布領域を設定する領域設定部と、設定された粒子分布領域の粒子分布状態に対応する分画用放物線を算出し、算出した分画用放物線によってスキャッタグラム上の粒子を分画する分画部を備えた粒子分析装置。
【請求項２】
前記分画部は、設定された粒子分布領域内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこからΣの固有ベクトル及びΣの固有値を求め、さらにΣの固有ベクトルとΣの固有値から分画用放物線を算出する請求項１に記載の粒子分析装置。
【請求項３】
前記分画部は、Σの固有ベクトルから放物線の傾きを、Σの固有値から放物線の広がりの度合いを求めて分画用放物線を算出する請求項２に記載の粒子分析装置。
【請求項４】
複数の粒子を含む試料から各粒子ごとに粒子の特徴を表す少なくとも２種類のパラメータを検出し、検出されたパラメータに基づいてスキャッタグラムを作成し、スキャッタグラム中に予め設定した粒子分布領域内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこからΣの固有ベクトル及びΣの固有値を求め、さらにΣの固有ベクトルとΣの固有値から分画用放物線を算出し、算出した分画用放物線によってスキャッタグラム上の粒子を分画する工程からなる粒子分画方法。
【請求項５】
分画用放物線を算出する工程は、Σの固有ベクトルから放物線の傾きを求める工程と、Σの固有値から放物線の広がりの度合いを求める工程と、求めた傾きと広がりの度合いとから分画用放物線を算出する工程を含む請求項４に記載の粒子分画方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、液体試料中の粒子（例えば血球）を分類し、その数や特徴を測定して分析する粒子分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこのような粒子分析装置においては、例えば、血液試料中の赤血球、白血球や血小板などの各細胞の数を計数するために、それらの特徴を表わすパラメータを電気的又は光学的に測定し、得られたパラメータによって２次元スキャッタグラムを作成して粒子を分画（グループ分け）するようにしている。そして、スキャッタグラム上に分布する粒子は、各方向に正規分布して集団を形成するものと考えて、分画する方法が各種知られている。例えば、特開平５−１４９８６３号では、各クラスタの粒子が必ず分布すると想定される固定領域を予め求めた情報に基づいて設定し、その固定領域内の初期重心位置を求め、固定領域外の各粒子の各クラスタへの帰属度を算出し、重み付き重心位置を算出して各クラスタに属する粒子を決定する方法が開示されている。この方法では各クラスタに近接した粒子の各クラスタへの割り当てができるため、分離が良くない場合にも有効である。又、各クラスタの重心位置、分布の広がりを計算するので正常でないパターンを検知することもできる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら粒子の種類によっては、必ずしも各方向に正規分布して集団を形成するとは限らない。例えばある種の細胞においては、頻度は少ないものの、その細胞の一般的な大きさよりもかなり大型の細胞が存在することがある。このような場合では、粒子の大半はクラスタの重心付近に集まっているものの、特定の方向には重心からかなり離れた位置にも同種の粒子が存在している、といった分布をすることになる。その例を図１４に示す。図１４はある種の粒子がスキャッタグラム上に分布する様子を示すものである。大半の粒子は図中の重心Ｇ付近に分布しているが、重心の右上方向に向かって同種の粒子が延びるように広がって分布していることがわかる。この種の粒子を従来方法で分画しようとすると、同種の粒子が存在しない他の方向にまでクラスタを広げなくてはならず、各クラスタを正確に分画することは困難である。
【０００４】
また、試料の種類や保存状態などによっては、２次元スキャッタグラムを作成する２種類のパラメータの一方の値が変動してしまうことが見受けられる。この場合、従来方法では各クラスタの分布の傾きは一定であることを前提に各クラスタの重心位置、分布の広がりを計算しているため、クラスタの分布における傾きの変動に対応することは難しく、正確な分画に支障を来たす。
【０００５】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、個々のスキャッタグラム上の粒子分布状態に合った分画線を算出し、正規分布しない粒子に対しても精度よく計数することが可能な粒子分析装置とその粒子分画方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は、複数の粒子を含む試料から各粒子ごとに粒子の特徴を表す少なくとも２種類のパラメータを検出する検出部と、検出されたパラメータを処理する処理部と、処理部による処理結果を出力する出力部を備え、処理部は検出されたパラメータに基づいて粒子のスキャッタグラムを作成する分布図作成部と、作成されたスキャッタグラム中に予め所定の粒子分布領域を設定する領域設定部と、設定された粒子分布領域の粒子分布状態に対応する分画用放物線を算出し算出した分画線によってスキャッタグラム上の粒子を分画する分画部を備えた粒子分析装置を提供するものである。
【０００７】
またこの発明は、複数の粒子を含む試料から各粒子ごとに粒子の特徴を表す少なくとも２種類のパラメータを検出し、検出されたパラメータに基づいてスキャッタグラムを作成し、スキャッタグラム中に予め設定した粒子分布領域内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこからΣの固有ベクトル及びΣの固有値を求め、さらにΣの固有ベクトルとΣの固有値から分画用放物線を算出し、算出した分画線によってスキャッタグラム上の粒子を分画する工程からなる粒子分画方法を提供するものである。
【０００９】
またこの発明は、上記各発明において、設定した粒子分布領域内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこからΣの固有ベクトル及びΣの固有値を求め、さらにΣの固有ベクトルから分画用放物線の傾きとΣの固有値から求めた分画用放物線の広がりの度合いとから分画用放物線を算出し、その放物線によってスキャッタグラム上の粒子を分画する粒子分析装置および粒子分画方法を提供するものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
この発明において分析対象となる粒子は、例えば、ヒトを含む哺乳動物の血液や尿などの体液に含まれる有形物である。赤血球や白血球などの細胞などがこれに含まれる。
【００１１】
粒子の特徴を表わすパラメータを検出する検出部には、対象粒子を含む液体試料をシースフローセルに流して光を照射し、得られる透過光や散乱光や蛍光などの光信号を特徴パラメータとして検出する光学式の検出装置や、対象粒子を含む液体試料を細孔に通し、それによって生じる細孔内の電気抵抗又はインピーダンスの変化を特徴パラメータとして検出する電気式の検出装置のような公知のものを用いることができる。
【００１２】
また、検出されたパラメータを処理する処理部は、マイクロコンピュータやパーソナルコンピュータによって構成できる。処理部による処理結果を出力する出力部は、ＣＲＴやＬＣＤのような表示装置やレーザプリンタのようなプリンタであってもよい。
【００１３】
処理部の分布図作成部が作成するスキャッタグラムとは、検出された粒子の度数を２種類のパラメータに基づいて作成される２次元座標上に表した度数分布図である。
【００１４】
また、領域設定部によってスキャッタグラム中に予め設定される所定の粒子分布領域とは、対象の種類の粒子が必ず分布すると想定される固定の領域であり、それは例えば、多角形の領域として設定される。
【００１５】
この発明の分画部は、前記領域設定部により設定された所定の粒子分布領域固定領域における粒子分布状態を分析することによって当該領域外における同種の粒子の分布状態を予想し、設定された粒子分布領域の粒子分布状態に対応する適切な分画線を算出する。その方法としては例えば、設定された粒子分布領域における粒子の最大分散方向や、その方向に直交する方向での分散を分析することが考えられる。図１５は前記図１４に示した粒子の分布状態において、粒子分布領域Ｒを設定した様子を示す。また同図中の矢印Ａは、領域Ｒ内に分布する粒子群の最大分散方向を示すものである。ここから、領域Ｒ外に分布する粒子は、前記最大分散方向へ分布していることが窺える。すなわち、所定の粒子分布領域内の最大分散方向から、スキャッタグラム上で分画すべき粒子が分布する方向（傾き）を予想できる。また、同図中の矢印Ｂは、前記矢印Ａに直交する方向を示す。所定の粒子分布領域内における粒子の最大分散方向に直交する方向（矢印Ｂの方向）の分散値を用いれば、当該方向につきスキャッタグラム上で粒子が分布する範囲を予想できる。
【００１６】
さらに具体的には、所定の粒子分布領域に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、Σの固有ベクトルと固有値を求めてもよい。ここでスキャッタグラムを構成するパラメータが２次元であるとの前提で考えると、Σの固有ベクトルと固有値はそれぞれ２通り求められ、一の固有ベクトルと一の固有値が対応する関係にある。２つの固有値のうち大きい方の固有値に対応する固有ベクトルの方向は、所定の粒子分布領域に分布する粒子の最大分散方向を示す。もう一方の固有ベクトルは、前記の固有ベクトルに直交する方向を有するものであり、このベクトルに対応する固有値（分散を示す）をもって、最大分散方向に直交する方向についての粒子の分布範囲を決定する要素とすることができる。
【００１７】
この発明の分画部は、所定の粒子分布領域内に分布する粒子の分布状態に対応してスキャッタグラム上に引く分画線を算出する。分画線がいかなる態様をとるか、すなわち、直線であるか曲線であるか、あるいはどのような平面図形を構成するか、といったことは格別限定されないが、例えば図１６に示すように、長方形状の分画線によってスキャッタグラム上の粒子を分画することも可能である。この場合、固定領域Ｒ内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこから求められた２通りのΣの固有ベクトルのうち大きい方の固有ベクトルの方向を長方形の長手方向とし、もう一方の固有ベクトルに対応するΣの固有値をもとに長方形の短辺の長さを決定し、長方形状の分画線を算出してもよい。
【００１８】
あるいはこの発明の分画部は図１７に示すように、分画線に放物線を用いてもよい。この場合、所定の粒子分布領域Ｒ内に分布する粒子の分散共分散行列Σを求め、そこから求められた２通りのΣの固有ベクトルのうち大きい方の固有ベクトルの方向を放物線の軸の傾きとし、もう一方の固有ベクトルに対応するΣの固有値を分画用放物線の広がりの度合いとして放物線を算出してもよい。
【００１９】
上記のように分画線に放物線を用いる場合、この発明の分画部は、スキャッタグラムがＸ−Ｙ直交座標上に表されるとき、放物線ｙ＝ａｘ2（ａ＞０）を、所定の粒子分布領域内の粒子の分散最大方向に傾け、所定の粒子分布領域内の粒子の最頻値位置から前記分散最大方向に標準偏差のｎ倍だけ離れた座標にｙ＝ａｘ2の最小値座標が一致し、かつ前記最頻値位置から前記分散最大方向と直交する方向に標準偏差のｎ倍だけ離れた座標を通るように平行移動させることによって得られる放物線を分画用放物線として算出してもよい。ここでｎとは、スキャッタグラム上に分布する粒子群と放物線とをフィットさせるために設定される数値であり、傾きと広がり具合が決定された放物線を平行移動させてスキャッタグラム上での最終的な位置を決めるのに用いられる。具体的にいかなる数値を代入すべきかは粒子の種類等によって適宜決定されるが、例えば、２．５を代入してもよい。また、上記分画部は、ｙ＝ａｘ2と、算出された分画用放物線との座標上の関係から、分画用放物線がｙ＝ａｘ2となるようにスキャッタグラムの座標変換を行う機能をさらに備えてもよい。
【００２０】
実施例
以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。これによってこの発明が限定されるものではない。
【００２１】
この実施例は、血液分析装置にこの発明を実施したもので、図１に示すように検出部１を有している。この検出部１は、測定のために、希釈、溶血剤の添加等の前処理が施された検体である懸濁液をサンプルとして各血球を測定するものである。この検出部１では、各血球が個々に測定され、個々の血球に対してそれぞれ複数種類のパラメータが検出される。検出部１においては、チャンバ１ａに懸濁液を収容し、電極１ｃ、１ｄを介して直流定電流電源１ｅと高周波定電流電源１ｆからチャンバ１ａの細孔１ｂに直流電流と高周波電流とを同時に供給し、細孔１ｂに各血球を通過させ、各血球ごとに抵抗の変化に基づく信号と、インピーダンスの変化に基づく信号とを得るものを使用している。直流電流を細孔１ｂに流しておいた場合、細孔１ｂを血球が通過すると、その細胞質の大きさに比例した信号Ｓ１が得られる。
【００２２】
また、高周波電流を細孔１ｂに流しておいた場合、血球の細胞質のような密度の低い物質のインピーダンスは小さくなり、核や顆粒のような密度の高い物質のインピーダンスは高くなるので、細孔１ｂを通過した血球の核や顆粒の密度と大きさを総合した信号Ｓ２が得られる。なお、ローパスフィルタ１ｋは電極１ｃ、１ｄ間の電圧から直流成分のみを検出して信号Ｓ１を得るために高周波成分を除去するものであり、ハイパスフィルタ１ｎは逆に、電極１ｃ、１ｄ間の電圧から直流成分を除去して交流成分のみを得るためのものである。また、検波回路１ｍは電極１ｃ、１ｄ間の電圧の交流成分を検波して信号Ｓ２を得るためのものである。
【００２３】
２種類の信号Ｓ１、Ｓ２は、増幅器１ｇ、１ｈで増幅された後、Ａ／Ｄ変換器１ｉ、１ｊでそれぞれディジタル信号のパラメータＰ１、Ｐ２に変換され、処理部２に供給される。なお、処理部２は、パーソナルコンピュータまたはマイクロコンピュータによって構成され、出力部３と入力部４が付属しているものである。ここで、出力部３にはＣＲＴが、入力部４にはキーボードが用いられる。処理部２は、分布図作成部２ａ、領域設定部２ｂ、分画部２ｃおよび制御部２ｄを備え、制御部２ｄは分布図作成部２ａ、領域設定部２ｂ、分画部２ｃにおける処理を制御する。
【００２４】
分布図作成部２ａにおいて、血球の細胞質の大きさを表しているパラメータＰ１は、０から２５５までの合計２５６個のチャンネルのいずれか（以下これをｉチャンネルと称する。）に分類され、同様に血球の核や顆粒の密度と大きさを総合したパラメータＰ２も０から２５５までの合計２５６個のチャンネルのいずれか（以下これをｊチャンネルと称する。）に分類される。これらのパラメータＰ１、Ｐ２に基づいて、図２に示すように、ｉチャンネルをｘ軸とし、ｊチャンネルをｙ軸とする分布図を得る。
【００２５】
この分布図は、ｘ軸、ｙ軸が共に２５６のチャンネルを持つので、合計２５６×２５６の血球の状態を表す基本要素からなり、各基本要素には、その基本要素に該当する血球の数が記憶されている。例えばｘ軸が１チャンネルで、ｙ軸が２チャンネルの基本要素の値が６であるとすると、血球の細胞質の大きさのパラメータＰ１が１で、核や顆粒の密度と大きさを総合したパラメータＰ２が２である血球が６個存在することを表している。そして、分布図作成部２ａで作成された分布図は、出力部３によって図３に示すような２次元スキャッタグラムとして出力される。
【００２６】
このような構成における動作について、幼若白血球測定用チャネル（シスメックス（株）製ＸＥ−２１００等に搭載）を例に説明する。まずコントロール血液（ｅ−ＣＨＥＣＫ）を幼若球測定用試薬で希釈し、赤血球を溶血させると共に、幼若球以外の白血球を裸核化、縮小させた後、図１に示す装置のチャンバ１ａに収容して測定を行う。それによって、図２と図３に対応する分布図と２次元スキャッタグラムとがそれぞれ得られる（以下、説明を簡単にするために２次元スキャッタグラムのみを用いて説明する）。そこで、領域設定部２ｂは、コントロール血液の内、未成熟顆粒球が確実に存在すると想定される粒子分布領域（以下、便宜的に「固定領域」という。）Ｒ１（６角形）を図４に示すようにスキャッタグラム中に設定する。
【００２７】
次に、分画部２ｃは、図５に示すフローチャートに基づいてスキャッタグラムの分画処理を行う。まずステップＳ１で、固定領域Ｒ１内の粒子の分散共分散行列Σを求める。分散共分散行列は次のように定義される。
【００２８】
【数１】
0004708605.tif 000002
【００２９】
ここで、sx2は固定領域Ｒ１内の粒子のｘ軸方向の分散、sy2は固定領域Ｒ１内の粒子のｙ軸方向の分散、sxyは固定領域Ｒ１内の粒子の共分散をあらわしている。sx2、sy2、sxy、xm、ymはそれぞれ以下の式のように定義される。なお以下の式でNとは固定領域Ｒ１内の総粒子数である。またxiとは固定領域Ｒ１内の粒子ｉ（ｉ=1,2,…,N）のｘ座標であり、yiとは固定領域Ｒ１内の粒子ｉ（ｉ=1,2,…,N）のｙ座標である。
【００３０】
【数２】
0004708605.tif 000003
【００３１】
次に分散共分散行列Σの固有値と固有ベクトルを求める。まず、
【数３】
0004708605.tif 000004
を解いてλ1、λ2を得る。
【００３２】
そしてλ1、λ2からそれぞれに対応する固有ベクトルを求め、長さ１に正規化したものをe1、e2とする。λ1＞λ2のとき、λ1に対応する固有ベクトルe1は、図６に示すように、固定領域Ｒ１内の粒子の分散最大方向を示し、λ1はその方向の分散を示す。この方向から後述の放物線の傾きを求める。また、λ2に対応する固有ベクトルe2はe1と直交する方向を示し、λ2はその方向の分散を示す。λ2を放物線の広がり度合いのパラメータとする。このようにe1、e2およびλ1、λ2の算出がステップＳ２で行われる。
【００３３】
本実施例では、ステップＳ２で求めた傾き方向e1と放物線の広がり度合いλ2から放物線を算出し、それを分画用放物線として用い図４に示すスキャッタグラムの未成熟顆粒球領域を分画するものとする。この分画用放物線は、図７に示すようにｙ＝ａｘ2を、行列Ａによって角度θだけ時計回りに回転させ、図８中に矢印で示したベクトルＴ（tx，ty）だけ平行移動させたものである。前記行列Ａの算出は、ステップＳ３においてなされる。
【００３４】
行列Ａの算出に際し、放物線の傾きを表わす角度θはe1から求める。e1は単位ベクトルなので図１３より、
【数４】
0004708605.tif 000005
となる。
【００３５】
また行列Ａは以下のように定義される。
【数５】
0004708605.tif 000006
【００３６】
これらに基づき、行列Ａが算出される。
【００３７】
次に、ステップＳ４において、固定領域Ｒ１のＭＦＶ（最頻値）の位置Ｃに基づき、分画用放物線が通過する２点Ｐ、Ｑを算出する。ここで点Ｐは、図８に示すように原点をＴ（tx，ty）だけ平行移動した点であって、点Ｐ＝（tx，ty）tであるとし、また図９に示すように固定領域Ｒ１のＭＦＶ位置Ｃ＝（xc，yc）tから分散最大方向の原点に近い方へ2.5SD＝2.5√λ1だけ移動した位置にあるとすると（ＳＤ：標準偏差）、
【数６】
0004708605.tif 000007
【００３８】
一方、点Ｑは、固定領域Ｒ１内のＭＦＶ位置Ｃ＝(xc，yc)tを通りe2方向へ延びる直線と、分画用放物線とが交わる点であるとする。前記点Ｐに加え、点Ｑの位置が決定すれば分画用放物線が決定されることになるが、この点Ｑは分画用放物線の広がり度合いを決めるものでもある。なおλ2が放物線の広がり度合いのパラメータとなることは前述した通りであり、点Ｑの算出にλ2が用いられる。ここで点ＱはＣからe2方向へ2.5SD＝2.5√λ2移動した位置、（xq，yq）tを通るものとする。e2＝（xe2，ye2）tとすると、点Ｑは次のように計算できる。
【００３９】
【数７】
0004708605.tif 000008
【００４０】
これらによって、点Ｐ・点Ｑが算出されて分画用放物線が決定される。またそれに伴って、放物線を(tx，ty)だけ平行移動させる行列Ｔ（このベクトルは図８中に矢印で示されている）が算出される（ステップＳ５）。
【００４１】
以上のようにして求められた、放物線ｙ＝ａｘ2を回転させて傾けるための行列Ａ、および行列Ａによって傾けられた放物線を平行移動させて分画用放物線とする行列Ｔに基づいて、図１０に示すように、放物線を回転・平行移動させる変換行列Ｘが求められる（ステップＳ６）。行列Ｘは次の通りである。
【００４２】
【数８】
0004708605.tif 000009
【００４３】
行列Ｘから次のようなことがいえる。分画用放物線は図１０に示すようにｙ＝ａｘ2を行列Ｘで写像したものである。ということは、図１１に示すように、行列Ｘの逆行列Ｘ-1を用いてスキャッタグラムを逆変換することによってスキャッタグラム上の粒子を写像すれば、ｙ＝ａｘ2の内側に入る粒子はすべて分画したい領域内に入るということになる。そこでステップＳ７で行列Ｘの逆行列Ｘ-1を次のように求める。
【数９】
0004708605.tif 000010
【００４４】
次に、ステップＳ８において、放物線ｙ＝ａｘ2を決定するパラメータとなるａを算出する。ここで、放物線が図９に示すように固定領域Ｒ１内のＭＦＶ位置Ｃ＝(xc，yc)tからe2方向へ2.5SD＝2.5√λ2移動した位置、つまり点Ｑ＝（xq，yq）tを通ることを利用する。図１２に示すように、前記で求めたＱを行列Ｘ-1で変換した位置をＱ'＝(x'q，y'q)tとすると、Ｑ'は放物線ｙ＝ａｘ2を満たすことから、以下のようにａが求められる。
【００４５】
【数１０】
0004708605.tif 000011
【００４６】
さて、逆行列Ｘ-1を用いてスキャッタグラムを逆変換することによってスキャッタグラム上の粒子を写像すれば、ｙ＝ａｘ2の内側に入る粒子はすべて分画したい領域内に入るということは前述した。この逆変換をステップＳ９にて行う。ここでスキャッタグラム上の任意の点をp(x，y)とし、行列Ｘ-1によって写像した点をp'(x'，y')とすると次のように計算できる。
【００４７】
【数１１】
0004708605.tif 000012
【００４８】
ステップＳ９によって逆変換された結果である点p'(x'，y')につき、次の判別式によって、ＩＭＩ領域として分画される領域の内・外いずれに存在するかの判定が可能である。
【００４９】
【数１２】
0004708605.tif 000013
【００５０】
なお、上記判別式を用いるためには、放物線の広がりの度合いを表すａを決定する必要があるが、それは前記ステップＳ８で算出した通りである。
【００５１】
ステップＳ１０において上記判別式を用いた判定がスキャッタグラム上の各粒子に対して行われ、ｙ≧ａｘ2を満たす場合には、その粒子はＩＭＩ領域内に分布しているとみなされる（ステップＳ１１）。
【００５２】
以上より、放物線ｙ＝ａｘ2による分画が可能となる。そして、さらに他の集団を分画する場合には（ステップＳ１２）、分画対象となる粒子の種類などに応じてスキャッタグラム上に適宜固定領域を設定し、ステップＳ１〜Ｓ１１までの工程を繰り返す。分画処理が終了すると、制御部２ｄは各分画領域内の粒子数を計数し、計数結果を出力部３に出力させる。
【００５３】
【発明の効果】
この発明によれば、スキャッタグラム中で各方向に正規分布しない粒子群、例えばクラスタの重心付近に分布が集中せず、特定の方向にも広がって分布するような粒子群に対しても正確な分画が可能となる。また、所定の粒子分布領域内の粒子の分布状態に基づいて分画線を算出するため、クラスタの分布における傾きの変動に対応した正確な分画も可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施例の分布図を示す説明図である。
【図３】この発明の実施例のスキャッタグラムである。
【図４】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図５】この発明の実施例の分画手順を示すフローチャートである。
【図６】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図７】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図８】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図９】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図１０】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図１１】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図１２】この発明の実施例の分画方法を示す説明図である。
【図１３】実施例における分散共分散行列の固有ベクトルを示す説明図である。
【図１４】粒子がスキャッタグラム上に分布する様子の一例を示す図である。
【図１５】この発明の実施の形態の分画方法を示す説明図である。
【図１６】この発明の実施の形態の分画方法を示す説明図である。
【図１７】この発明の実施の形態の分画方法を示す説明図である。
【符号の説明】
１    検出部
１ａ  チャンバ
１ｂ  細孔
１ｃ  電極
１ｄ  電極
１ｅ  直流定電流電源
１ｆ  高周波定電流電源
１ｇ  増幅器
１ｈ  増幅器
１ｉ  Ａ／Ｄ変換器
１ｊ  Ａ／Ｄ変換器
１ｋ  ローパスフィルタ
１ｍ  検波回路
１ｎ  ハイパスフィルタ
２    処理部
２ａ  分布図作成部
２ｂ  領域設定部
２ｃ  分画部
２ｄ  制御部
３    出力部
４    入力部
【図１】
0004708605.tif 000014
【図２】
0004708605.tif 000015
【図３】
0004708605.tif 000016
【図４】
0004708605.tif 000017
【図５】
0004708605.tif 000018
【図６】
0004708605.tif 000019
【図７】
0004708605.tif 000020
【図８】
0004708605.tif 000021
【図９】
0004708605.tif 000022
【図１０】
0004708605.tif 000023
【図１１】
0004708605.tif 000024
【図１２】
0004708605.tif 000025
【図１３】
0004708605.tif 000026
【図１４】
0004708605.tif 000027
【図１５】
0004708605.tif 000028
【図１６】
0004708605.tif 000029
【図１７】
0004708605.tif 000030