(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、
上記容器本体に対して容易に固定及び固定解除して着脱できる簡易着脱機構を備え、
当該簡易着脱機構が、延出して上記容器本体側に係止する係止部材と、当該係止部材に連結して出没動させる繰り出し部材と、当該繰り出し部材によって上記係止部材が繰り出される際に上記係止部材の先端側を、上記容器本体を塞いだ蓋体を上方へ向けた状態で上方へ押しやる先端側カムと、上記係止部材が繰り出される際に上記係止部材の基端側を下方へ押しやる基端側カムとを備えて構成され、
上記先端側カムが、上記係止部材の先端側を上方へ押しやる斜面を備えて構成されると共に、上記係止部材の先端側に係止部材の回動の支点部を設け、
当該支点部が、上記斜面に摺接して、上記係止部材の繰り出しによりその先端側を支持して上方へ押しやると共に、上記基端側カムで上記係止部材の基端側が下方へ押しやられて当該係止部材が回動する際に上記支点部が上記係止部材の回動中心となることを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記基端側カムが、上記係止部材の基端側を下方へ押しやる斜面を備えて構成されたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄板支持容器用蓋体において、
上記簡易着脱機構が、着脱自在に設けられると共に、構成部品を分解可能に組み付けたことを特徴とする薄板支持容器用蓋体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管、輸送、製造工程等において使用できるようにした薄板支持容器用蓋体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の薄板を収納して保管、輸送するための薄板支持容器は一般に知られている。
【０００３】
この薄板支持容器は主に、容器本体と、この容器本体の上部開口を塞ぐ蓋体とから構成されている。容器本体の内部には、半導体ウエハ等の薄板を支持するための部材が設けられている。このような薄板支持容器では、内部に収納した半導体ウエハ等の薄板の表面の汚染等を防止するために、容器内を清浄に保って輸送する必要がある。このため、容器内は密封されている。即ち、蓋体を容器本体に固定して、容器本体内を密封している。この蓋体を容器本体に固定する構造としては種々のものがある。
【０００４】
半導体製造工場等に輸送された薄板支持容器は、製造ラインに載せられて蓋体が専用装置によって自動的に着脱される。
【０００５】
この専用装置に対応した蓋体としては特許文献１に記載のものがある。この蓋体１は、図２に示すように、本体２と、カム部材３と、ラッチ用アーム４と、支点５とから構成されている。
【０００６】
カム部材３は本体２に回転可能に取り付けられている。カム部材３にはカム部分６が設けられている。このカム部分６には、長穴状の連結開口部７が設けられている。
【０００７】
ラッチ用アーム４は、その基端部にＳ字型カムフォロワ部分８が設けられ、このＳ字型カムフォロワ部分８が連結開口部７に嵌合して捕捉されている。
【０００８】
支点５は、本体２に設けられた突起部材によって構成され、ラッチ用アーム４を支持している。
【０００９】
この構成により、カム部材３が回転することで、連結開口部７に捕捉されたＳ字型カムフォロワ部分８が、図中の右方向に移動されながら、上方へ押し上げられる。これにより、ラッチ用アーム４が、本体２から延出されながら、支点５を中心に回動して、ラッチ用アーム４の先端が下方へ押し下げられる。
【００１０】
このとき、ラッチ用アーム４の先端は、容器本体側の穴部に嵌合しており、下方へ押し下げられることで、蓋体を容器本体側に押し付けて固定する。
【特許文献１】特開２００１−５１２２８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、上述のような蓋体１では、ラッチ用アーム４の基端部がカム部材３で捕捉されて延出されながら上方へ持ち上げられることで、ラッチ用アーム４が支点５を中心に回動する構成であるため、てこの原理に置き換えると、ラッチ用アーム４の基端が力点、先端が作用点、支点５が支点となっている。
【００１２】
この場合において、容器本体内の機密性を高めるために蓋体１を容器本体に強く押し付けるには、ラッチ用アーム４の先端を、容器本体側の穴部に強く押し付けることが必要である。
【００１３】
これを実現するためには、カム部材３とラッチ用アーム４の強度を高める必要がある。これは、ラッチ用アーム４の先端部と支点５との間隔が長いためである。この場合、支点５をラッチ用アーム４の先端側にずらせば、カム部材３とラッチ用アーム４の強度を高めなくても、ラッチ用アーム４の先端を容器本体側の穴部に強く押し付けることができる。
【００１４】
しかし、支点５を先端側にずらすと、ラッチ用アーム４の基端部を上方へ持ち上げる距離を長くしなければならず、この持ち上げる距離を確保しようとすると、蓋体１が厚くなってしまうという問題がある。
【００１５】
また、蓋体の裏面には通常ウエハ押えが設けられ、容器本体に収納された半導体ウエハを上側から押さえて支持しているが、半導体ウエハの直径が大きくなると各半導体ウエハを支持する力も大きくする必要がある。このため、ウエハ押えが受ける半導体ウエハからの反発力が大きくなる。また、半導体ウエハの収納枚数が増える場合も同様に、半導体ウエハからの反発力が大きくなる。この結果、反発力によって蓋体及びウエハ押えが外側へ撓んでウエハ押えの中央部の押圧力が弱くなるため、外部から振動が伝わると、半導体ウエハが回転してしまうという問題がある。
【００１６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、嵩張ることなく、強い力で確実に固定することができ、外部から振動が伝わっても薄板の回転を防止することができる薄板支持容器用蓋体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
第１の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体に対して容易に固定及び固定解除して着脱できる簡易着脱機構を備え、当該簡易着脱機構が、延出して上記容器本体側に係止する係止部材と、当該係止部材に連結して出没動させる繰り出し部材と、当該繰り出し部材によって上記係止部材が繰り出される際に上記係止部材の先端側を、上記容器本体を塞いだ蓋体を上方へ向けた状態で上方へ押しやる先端側カムと、上記係止部材が繰り出される際に上記係止部材の基端側を下方へ押しやる基端側カムとを備えて構成され、上記先端側カムが、上記係止部材の先端側を上方へ押しやる斜面を備えて構成されると共に、上記係止部材の先端側に係止部材の回動の支点部を設け、当該支点部が上記斜面に摺接して、上記係止部材の繰り出しによりその先端側を支持して上方へ押しやると共に、上記基端側カムで上記係止部材の基端側が下方へ押しやられて当該係止部材が回動する際に上記支点部が上記係止部材の回動中心となることを特徴とする。
【００１８】
上記構成により、繰り出し部材によって係止部材が繰り出される際に、先端側カムが係止部材の先端側を一方へ押しやると共に、基端側カムが係止部材の基端側を他方へ押しやる。これにより、蓋体が容器本体側に固定される。また、係止部材が繰り出される際に、上記支点部が先端側カムの斜面に摺接して、係止部材の先端側が上方へ押しやられて容器本体側に係止すると共に、上記基端側カムで上記係止部材の基端側が下方へ押しやられて当該係止部材が回動する際に上記支点部が上記係止部材の回動中心となる。これにより、支点部を中心にして係止部材が回動する。支点部は係止部材の先端側に設けられているため、てこの原理により、蓋体を容器本体に強い力で押し付けることができる。
【００２１】
第２の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１の発明に係る薄板支持容器用蓋体において、上記基端側カムが、上記係止部材の基端側を下方へ押しやる斜面を備えて構成されたことを特徴とする。
【００２２】
上記構成により、基端側カムの斜面で、係止部材の基端側が下方へ押しやられて、容器本体側に係止する。
【００２５】
第３の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１又は２の発明のいずれかに係る薄板支持容器用蓋体において、上記簡易着脱機構が、着脱自在に設けられると共に、構成部品を分解可能に組み付けたことを特徴とする。
【００２６】
上記構成により、洗浄する場合は、取り外して、各構成部品に分解して、個々に洗浄する。これにより、隅々まで洗浄できると共に、速やかに乾燥させることができる。
【００２７】
第６の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが互い違いに配設された支持片を備えたことを特徴とする。
【００２８】
上記構成により、互い違いに配設された支持片が薄板の周縁を支持する。このとき、薄板の周縁は、各支持片が互い違いに当接して、確実に支持する。
【００２９】
第７の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、互い違いに配設された支持片を備えた２つの当接片と、当該各当接片を弾性的に支持する弾性支持板部とからなり、上記弾性支持板部が各当接片の間及び両側を支持して取り付けられると共に、各当接片の間の弾性支持板部が、僅かに浮いた状態で各当接片を支持することを特徴とする。
【００３０】
上記構成により、各当接片の間の弾性支持板部を、取付面より僅かに浮いた状態で当接片を支持するため、通常はあまり強くない力で薄板を支持する。薄板支持容器が誤って落下した場合等のように、外部から大きな衝撃が加わると、各当接片の間の弾性支持板部が支持面に当接して、各当接片を強く支持する。これにより、薄板を強い衝撃から守る。
【００３１】
第８の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体に取り付けられた状態でその外側から覆って固定する蓋体ホルダーを備えたことを特徴とする。
【００３２】
上記構成により、蓋体ホルダーを容器本体に取り付けて蓋体を支持する。これにより、落下等により強い衝撃が加わっても容器本体から蓋体が外れることがなくなる。
【００３３】
第９の発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された複数の薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、並列に複数配設されて上記複数の薄板にそれぞれ直接に当接される当接片を備え、上記並列の各当接片が、その両側に位置するものに比べて中央側に位置するものを上記薄板側へ隆起させて配設されたことを特徴とする。
【００３４】
上記構成により、両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて配設された各当接片が、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００３５】
第１０発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第９発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記薄板押えが、蓋体裏面側に固定される基端支持部と、当該基端支持部に支持されて上記各当接片の一端をそれぞれ支持する複数の弾性支持板部とを備え、上記各当接片を支持する各弾性支持板部が、両側に位置する上記当接片に比べて中央側に位置する上記当接片を上記薄板側へ隆起させるように、形成されたことを特徴とする。
【００３６】
上記構成により、各弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００３７】
第１１発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第９発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記薄板押えが、蓋体裏面側に固定される基端支持部と、上記基端支持部に支持されて上記各当接片の一端をそれぞれ支持する複数の一側弾性支持板部と、上記各当接片の他端をそれぞれ支持して上記蓋体裏面側に当接する複数の他側弾性支持板部とを備え、上記各当接片を支持する一側弾性支持板部又は他側弾性支持板部の一方又は両方が、両側に位置する上記当接片に比べて中央側に位置する上記当接片を上記薄板側へ隆起させるように、形成されたことを特徴とする。
【００３８】
上記構成により、一側弾性支持板部又は他側弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００３９】
第１２発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第９発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記薄板押えが、蓋体裏面側に固定される基端支持部と、上記基端支持部に支持されて上記各当接片の一端をそれぞれ支持する複数の一側弾性支持板部と、上記各当接片の他端をそれぞれ支持して上記蓋体裏面側に当接する複数の他側弾性支持板部と、上記蓋体裏面側に設けられ上記他側弾性支持板部に当接して当該他側弾性支持板部を支持する支持用凸条とを備え、上記支持用凸条又は他側弾性支持板部の一方又は両方を、両側に位置する上記当接片に比べて中央側に位置する上記当接片を上記薄板側へ隆起させるように、形成されたことを特徴とする。
【００４０】
上記構成により、支持用凸条又は他側弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００４１】
第１３発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第９ないし第１２の発明のいずれかに記載の薄板支持容器用蓋体において、上記当接片が、４０°〜４４°の傾斜を有するＶ字溝を備えたことを特徴とする。
【００４２】
上記構成により、薄板の縁部が４０°〜４４°の傾斜を有するＶ字溝に嵌合すると、当該Ｖ字溝が薄板の縁部を掴み、各薄板を確実に支持することができる。
【００４３】
第１４発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、蓋体裏面側に固定される２つの基端支持部と、上記薄板の周縁に沿って複数個配設されて当該薄板に直接に当接される当接片と、上記各基端支持部にそれぞれ支持されて上記複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を支持する２つの弾性支持板部と、上記各当接片の間を互いに連接して各当接片を支持する連接支持板部と、当該連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する支持用部材とを備えて構成されたことを特徴とする。
【００４４】
上記構成により、複数の当接片のうち両端の当接片の外側端を弾性支持板部で支持され、各当接片の間を連接支持板部で支持されると共にこの連接支持板部が支持用部材で支持されることで、各当接片が薄板の周縁を確実に支持する。特に、各当接片の間が、支持用部材に支持された連接支持板部によって支持されるので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００４５】
第１５発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１４発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記支持用部材が、上記各連接支持板部を上記蓋体裏面に沿ってズレないように個別に支持する支持用リブを備えて構成されたことを特徴とする。
【００４６】
上記構成により、支持用リブが連接支持板部を支持するので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００４７】
第１６発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１４発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記支持用部材が、上記連接支持板部に設けられた嵌合穴に嵌合することで、上記連接支持板部の上記蓋体裏面に沿うズレを防止して上記蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する嵌合突起を備えて構成されたことを特徴とする。
【００４８】
上記構成により、連接支持板部に設けられた嵌合穴に嵌合突起が嵌合して連接支持板部を支持するので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００４９】
第１７発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１４発明にかかる薄板支持容器用蓋体において、上記弾性支持板部が上記当接片を支持する弾性力よりも、上記連接支持板部が上記当接片を支持する弾性力を強くしたことを特徴とする。
【００５０】
上記構成により、連接支持板部が当接片を支持する弾性力を強くすることで、薄板押えの中央部と端部とでの弾性力（支持力）の違いを解消して、薄板を押さえる力を全体に均等化させることができ、薄板を確実に支持することができる。
【００５１】
第１８発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された上記薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、上記薄板に直接に当接して当該薄板を支持する当接片を備え、当該当接片が、上記薄板の縁部に嵌合するＶ字溝を備え、当該Ｖ字溝の傾斜角が２０°〜６０°に設定したことを特徴とする。
【００５２】
上記構成により、上記当接片のＶ字溝に薄板が嵌合すると、この薄板の縁部がＶ字溝に食い込む。このとき、Ｖ字溝の傾斜角を２０°〜６０°に設定していると、薄板の縁部がＶ字溝に食い込んで支持される。さらに、当接片を薄板から引き離すときも、Ｖ字溝に食い込んだ薄板は、Ｖ字溝に引っかかることなく、スムーズに離れる。Ｖ字溝の傾斜角を２０°以下に設定すると、当接片を薄板から引き離すときに、薄板がＶ字溝に引っかかって引っ張り出されてしまう。Ｖ字溝の傾斜角を６０°以上に設定すると、当接片のＶ字溝への薄板の食い込みが足りずに回転してしまう。Ｖ字溝の傾斜角を２０°〜６０°に設定すると、薄板のＶ字溝への食い込みによる回転防止と、スムーズな引き離しを両立できる。
【００５３】
第１９発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第１８発明に係る薄板支持容器用蓋体であって、上記Ｖ字溝に、上記薄板の縁部が嵌合した状態で当該薄板の縁部と当該Ｖ字溝の底部との間に隙間を有することを特徴とする。
【００５４】
上記構成により、当接片のＶ字溝に薄板が嵌合すると、この薄板の縁部がＶ字溝に食い込むが、このとき、薄板の縁部とＶ字溝の底部との間には隙間があって互いに接触していないため、薄板の縁部とＶ字溝の傾斜面とが強く押し付けられる。これにより、薄板がＶ字溝に食い込んで確実に支持される。
【００５５】
第２０発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された上記薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが、上記薄板に直接に当接して当該薄板を支持する当接片を備え、当該当接片が、上記薄板の縁部のエッジ角と同じ傾斜角度を有するＶ字溝を備えると共に、当該Ｖ字溝に上記薄板の縁部が嵌合した状態で当該薄板の縁部と上記Ｖ字溝の底部との間に隙間を有することを特徴とする。
【００５６】
上記構成により、当接片のＶ字溝に薄板が嵌合すると、この薄板の縁部のエッジ角とＶ字溝の傾斜角度とが整合して、広い面積で接触する。このとき、薄板の縁部とＶ字溝の底部との間には隙間があって互いに接触していないため、薄板の縁部とＶ字溝の傾斜面とが広い面積で接触した状態で強く押し付けられる。
【００５７】
第２１発明に係る薄板支持容器用蓋体は、第２０発明に係る薄板支持容器用蓋体において、上記当接片のＶ字溝の傾斜角度が４４°に設定されたことを特徴とする。
【００５８】
上記構成により、エッジ角が４４°に設定された薄板が、４４°の傾斜角度に設定された当接片のＶ字溝に嵌合すると、薄板の縁部とＶ字溝とが整合して、広い面積で接触した状態で強く押し付けられる。
【００５９】
第２２発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された上記薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが上記薄板に当接して当該薄板を支持する際に、その反発力で外側へ撓む中央部を、その撓みを打ち消すように予め上記容器本体側へ窪ませて形成されたことを特徴とする。
【００６０】
上記構成により、薄板支持容器用蓋体の中央部を窪ませることで、薄板押えが薄板に当接して当該薄板を支持する際に、その反発力を吸収することができる。薄板を支持する際の反発力で薄板支持容器用蓋体の中央部が外側へ撓むが、この撓みによって予め窪まされた中央部が平らな状態になって打ち消され、薄板全体を均一な力で支持する。
【００６１】
第２３発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、上記容器本体内に収納された上記薄板を支持するための薄板押えを備え、当該薄板押えが上記薄板に当接して当該薄板を支持する際に、その反発力で外側へ撓む周囲の補強用フランジを、その撓みを打ち消すように予め上記容器本体側へ湾曲させて形成されたことを特徴とする。
【００６２】
上記構成により、薄板支持容器用蓋体の周囲の補強用フランジを予め湾曲させておくことで、薄板押えが薄板に当接して当該薄板を支持する際に、その反発力を吸収することができる。薄板を支持する際の反発力で補強用フランジが外側へ撓むが、この撓みによって予め湾曲させて形成された補強用フランジが直線状になって打ち消され、薄板全体を均一な力で支持する。
【００６３】
第２４発明に係る薄板支持容器用蓋体は、内部に薄板を複数枚収納して搬送される薄板支持容器の容器本体を塞ぐ薄板支持容器用蓋体であって、周囲を形成する補強用フランジに補強部材を入れてインサート成形したことを特徴とする。
【００６４】
上記構成により、薄板支持容器用蓋体の周囲を形成する補強用フランジに補強用部材を入れてインサート成形したので、薄板押えが薄板に当接して当該薄板を支持する際に、その反発力に耐えることができ、薄板全体を均一な力で支持する。
【発明の効果】
【００６５】
以上詳述したように、本発明の薄板支持容器によれば、次のような効果を奏する。
【００６６】
（１）  てこの原理を用いて係止部材を繰り出すので、製造ライン用蓋体を容器本体に強い力で確実に固定することができる。
【００６７】
（２）  簡易着脱機構は各構成部品に容易に分解することができるため、洗浄する場合は、取り外して各構成部品に分解して、隅々まで洗浄できると共に、速やかに乾燥させることができる。
【００６８】
（３）  支持片を互い違いに配設したので、薄板の周縁に各支持片が互い違いに当接して、確実に支持することができる。
【００６９】
（４）  並列の各当接片のうち、その両側に位置するものに比べて中央側に位置するものを薄板側へ隆起させて配設したので、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００７０】
（５）  各弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００７１】
（６）  一側弾性支持板部又は他側弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００７２】
（７）  支持用凸条又は他側弾性支持板部が、並列に配設された各当接片のうち両側に比べて中央側を薄板側へ隆起させて支持するため、蓋体の撓みを吸収して、各薄板を均等な力で支持することができる。
【００７３】
（８）  各当接片の間の連接支持板部が支持用部材に支持されるので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００７４】
（９）  連接支持板部が支持用リブに支持されるので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００７５】
（１０）  連接支持板部に設けられた嵌合穴に嵌合突起が嵌合して連接支持板部を支持するので、各当接片が蓋体裏面に沿ってズレるのを防止することができ、薄板を確実に支持することができる。
【００７６】
（１１）  連接支持板部が当接片を支持する弾性力を強くすることで、薄板押えの中央部と端部とでの支持力の違いを解消して、薄板を押さえる力を全体に均等化させることができ、薄板を確実に支持することができる。
【００７７】
（１２）  当接片のＶ字溝の傾斜角を２０°〜６０°に設定するため、薄板の縁部がＶ字溝に食い込んで支持され、薄板の回転が防止される。さらに、当接片を薄板から引き離すときも、Ｖ字溝に食い込んだ薄板は、Ｖ字溝に引っかかることなく、スムーズに離れる。これにより、薄板を確実に支持できると共に、蓋体の着脱が容易になる。
【００７８】
（１３）  薄板の縁部と当接片のＶ字溝の底部との間に隙間を有するため、Ｖ字溝に薄板が嵌合したときに、薄板の縁部とＶ字溝の底部とが互いに接触せず、薄板の縁部とＶ字溝の傾斜面とが強く押し付けられる。これにより、薄板がＶ字溝に食い込んで確実に支持される。
【００７９】
（１４）  当接片が、薄板の縁部のエッジ角と同じ傾斜角度を有するＶ字溝を備えると共に、当該Ｖ字溝に上記薄板の縁部が嵌合した状態で当該薄板の縁部と上記Ｖ字溝の底部との間に隙間を有するため、薄板の縁部のエッジ角とＶ字溝の傾斜角度とが整合して広い面積で接触し、薄板の縁部とＶ字溝の底部との隙間によって、薄板の縁部とＶ字溝とが強く押し付けられる。即ち、当接片を薄板に強く押し付けなくても、薄板の縁部をＶ字溝の傾斜面に強く押し付けることができる。この結果、薄板押えを薄板にあまり強く押し付けなくても、この薄板押えで薄板を確実に支持することができ、振動等による薄板の回転を防止することができる。これにより、蓋体を容器本体にあまり強く取り付けなくても薄板を確実に支持することができ、蓋体の強度を増す必要もなくなる。
【００８０】
（１５）  当接片のＶ字溝の傾斜角度を４４°に設定したため、このＶ字溝と、エッジ角が４４°に設定された薄板とが整合し、広い面積で接触して強く押し付けられる。この結果、薄板押えを薄板にあまり強く押し付けなくても、この薄板押えで薄板を確実に支持することができ、振動等による薄板の回転を防止することができる。これにより、蓋体を容器本体にあまり強く取り付けなくても薄板を確実に支持することができ、振動等による薄板の回転を防止することができる。これにより、蓋体を容器本体にあまり強く取り付けなくても薄板を確実に支持することができ、蓋体の強度を増す必要もなくなる。
【００８１】
（１６）  薄板支持容器用蓋体の中央部を窪ませて、薄板押えが薄板に当接して当該薄板を支持する際の反発力による薄板支持容器用蓋体の中央部の撓みを上記窪みによって打ち消して、全体を均一な力で支持することができるため、振動等による薄板の回転を防止することができる。
【００８２】
薄板支持容器用蓋体の周囲の補強用フランジを上記容器本体側への撓ませる場合も、薄板押えが薄板に当接して当該薄板を支持する際の反発力による補強用フランジの撓みを上記容器本体側への撓みによって打ち消して、全体を均一な力で支持することができるため、振動等による薄板の回転を防止することができる。
【００８３】
（１７）  本体部の周囲の補強用フランジに補強用部材を入れてインサート成形して補強し、薄板押えが薄板を支持する際に、その反発力に耐えて全体を均一な力で支持するため、振動等による薄板の回転を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００８４】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板支持容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して、保管、輸送、製造ライン等における使用に供するための容器である。なお、ここでは、半導体ウエハを収納する薄板支持容器を例に説明する。薄板支持容器を塞ぐ蓋体として、輸送用の蓋体と、製造ラインで使用する蓋体とを使い分けている。
【００８５】
［第１実施形態］
本実施形態に係る薄板支持容器１１は、図３〜８に示すように、内部に半導体ウエハ（図示せず）を複数枚収納する容器本体１２と、この容器本体１２内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された半導体ウエハを両側から支持する２つの薄板支持部１３と、容器本体１２を塞ぐ輸送用蓋体１４及び製造ライン用蓋体１５と、工場内の搬送装置（図示せず）の腕部で把持されるトップフランジ１６と、作業者が手で薄板支持容器１１を持ち運ぶときに掴む持ち運び用ハンドル１７とから構成されている。
【００８６】
容器本体１２は、図３，４に示すように、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体１２は縦置き状態（図３，４の状態）で、周囲の壁となる４枚の側壁部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄと底板部１２Ｅとから構成され、その上部に開口１２Ｆが設けられている。この容器本体１２は、半導体ウエハの製造ライン等においてウエハ搬送用ロボット（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横置き状態で底部となる側壁部１２Ａの外側には、薄板支持容器１１の位置決め手段（図示せず）が設けられている。横置き状態で天井部となる側壁部１２Ａの外側にはトップフランジ１６が着脱自在に取り付けられている。横置き状態で横壁部となる側壁部１２Ｃ，１２Ｄの外側には持ち運び用ハンドル１７が着脱自在に取り付けられている。
【００８７】
容器本体１２の各側壁部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄの上端部には、図５及び図６に示すように、蓋体４が嵌合するための蓋体受け部２１が設けられている。この蓋体受け部２１は容器本体１２の上端部を、蓋体４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体４は、蓋体受け部２１の垂直板部２１Ａの内側に嵌合し、水平板部２１Ｂに当接することで、蓋体受け部２１に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部２１Ｂには、その全周にシール溝２１Ｃが設けられ、輸送用蓋体１４の下側面に取り付けられたガスケット２２が嵌合して薄板支持容器１１の内部を密封するようになっている。蓋体受け部２１の四隅の垂直板部２１Ａの内側面には、後述する輸送用簡易着脱機構２６の蓋体係止爪（図示せず）が嵌合して輸送用蓋体１４を容器本体１２側に固定するための第１被嵌合部２３が設けられている。この第１被嵌合部２３は、垂直板部２１Ａを四角形状に窪ませて形成され、その内側上面に蓋体係止爪が嵌合するようになっている。
【００８８】
さらに、各第１被嵌合部２３の近傍には、第２被嵌合部２４が設けられている。この第２被嵌合部２４は、製造ラインで使用するためのものである。第２被嵌合部２４は、製造ライン用蓋体１５の簡易着脱機構３２の係止部材４２が嵌合されて、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２側に固定するようになっている。
【００８９】
輸送用蓋体１４は、公知の蓋体である。この輸送用蓋体１４は、皿状に形成され、その中央部が、内部に収納される半導体ウエアの上部に接触しないように、円筒状に盛り上げて形成されている。
【００９０】
輸送用蓋体１４の四隅には、図３、４に示すように、輸送用蓋体１４を容器本体１２に対して着脱自在に固定する輸送用簡易着脱機構２６が設けられている。この輸送用簡易着脱機構２６は主に、輸送用蓋体１４の周縁部から突出した状態で設けられた蓋体係止爪（図示せず）を備えて構成されている。この蓋体係止爪が第１被嵌合部２３に嵌合するようになっている。
【００９１】
製造ライン用蓋体１５は、輸送されてきた薄板支持容器１１の容器本体１２をそのまま工場内の製造ラインに使用できるようにするための蓋体である。この製造ライン用蓋体１５は、上記薄板支持容器１１とは独立した単体の製品として半導体製造工場等に置かれる。製造ライン用蓋体１５は図７，８に示すように、本体部３０と、カバー板（図示せず）と、簡易着脱機構３２とから構成されている。
【００９２】
本体部３０は、全体を薄肉のほぼ四角形状に形成されると共にその周囲に補強用フランジが形成され、容器本体１２の蓋体受け部２１に装着された状態で外部にはみ出さないようになっている。本体部３０の下部の周囲にはガスケット受け部３１が取り付けられている。このガスケット受け部３１には、ガスケット（図示せず）が設けられ、本体部３０が蓋体受け部２１に装着された状態で、シール溝２１Ｃに嵌合して容器本体１２内をシールするようになっている。なお、ガスケットは、輸送用蓋体１４のガスケット２２と同様に、シール溝２１Ｃの形状に合わせて適宜形成される。
【００９３】
製造ライン用蓋体１５の本体部３０のうち長手方向両側（図７中の左上、右下方向両側）の端部には、簡易着脱機構３２が取り付けられる凹部３３がそれぞれ設けられている。この凹部３３は、本体部３０の端部をほぼ長方形状に窪ませて形成されている。凹部３３の長手方向両端部（図７中の右上、左下方向両端部）には、後述する係止部材４２の先端嵌合部５６が出没する開口３４が設けられている。この開口３４は、本体部３０が蓋体受け部２１に嵌合された状態で、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に整合する位置に設けられている。凹部３３の底部には、回転支持軸３６と、ストッパ３７と、係止爪３８と、基端下側カム３９と、先端側カム４０とがそれぞれ設けられている。凹部３３には、カバー板が着脱自在に取り付けられている。このカバー板は、凹部３３内に設けられる簡易着脱機構３２を洗浄する際に取り外される。
【００９４】
回転支持軸３６は、後述する繰り出し部材４３を回転可能に支持するための部材である。回転支持軸３６は、底部から円柱状に隆起させて設けられている。この回転支持軸３６が、繰り出し部材４３の回転筒部６３に嵌合されて、繰り出し部材４３を回転可能に支持する。ストッパ３７は、繰り出し部材４３を所定角度に回動した状態で支持するための部材である。このストッパ３７は、回転支持軸３６の周囲２カ所に、底部から立ち上げた板状部材によって構成されている。この板状部材を湾曲させて受け部３７Ａが形成されている。この受け部３７Ａに、繰り出し部材４３の係合片６５の突起部６５Ａが嵌合することで、繰り出し部材４３を所定角度で支持する。
【００９５】
係止爪３８は、後述するカバー押え４６を凹部３３の底部に固定するための部材である。カバー押え４６は、凹部３３の長手方向両側にそれぞれ取り付けられるため、それに合わせて係止爪３８も、凹部３３の長手方向両側に６個ずつそれぞれ取り付けられている。係止爪３８は、Ｌ字状の部材で構成され、カバー押え４６の下側支持板片８８が嵌合するようになっている。
【００９６】
基端下側カム３９と先端側カム４０は後述するカム機構４４を構成する部材である。また、基端下側カム３９と後述する基端上側カム５３は、係止部材４２が繰り出される際に係止部材４２の基端側を下方へ押し下げる基端側カムを構成している。
【００９７】
基端下側カム３９は、図１及び図７に示すように、係止部材４２の繰り出しに伴って、その基端側を他方（図１の下方）へ押しやる（押し下げる）ための部材である。この基端下側カム３９は、回転支持軸３６の両側にそれぞれ設けられている。基端下側カム３９は、その側面断面形状をほぼ三角形状に形成されて、係止部材４２の基端側を上下させる斜面３９Ａを備えて構成されている。この斜面３９Ａは、係止部材４２の基端側摺接面５２との摩擦抵抗を小さくするために鏡面仕上げがされている。
【００９８】
先端側カム４０は、係止部材４２の繰り出しに伴って、その先端嵌合部５６を一方（図１の上方）へ押しやる（持ち上げる）ための部材である。この先端側カム４０は、凹部３３の長手方向両端部に、開口３４に臨ませた状態で設けられている。先端側カム４０は、その側面断面形状を三角形状に形成されて、係止部材４２の先端側を上方へ持ち上げる斜面４０Ａを備えて構成されている。この斜面４０Ａは、係止部材４２の支点部５５の先端側摺接面５５Ａとの摩擦抵抗を小さくするために鏡面仕上げがされている。斜面４０Ａの上端部には、嵌合凹部４０Ｂが設けられている。この嵌合凹部４０Ｂは、係止部材４２の支点部５５が嵌合する部分である。
【００９９】
凹部３３内には簡易着脱機構３２が設けられている。この簡易着脱機構３２は、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に対して容易に着脱できるようにするための装置である。簡易着脱機構３２は、図１に示すように、係止部材４２と、繰り出し部材４３と、カム機構４４と、保持カバー４５と、カバー押え４６とから構成されている。
【０１００】
係止部材４２は、製造ライン用蓋体１５が容器本体１２の蓋体受け部２１に装着された状態で、本体部３０の開口３４から延出して、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合するための部材である。この係止部材４２は、図１、図９〜１１に示すように、連結軸５１と、基端側摺接面５２と、基端上側カム５３と、上側溝部５４と、支点部５５と、先端嵌合部５６と、基端側板部５７と、先端側板部５８とから構成されている。
【０１０１】
連結軸５１は、後述する繰り出し部材４３の長穴部６４に嵌合して、繰り出し部材４３と係止部材４２とを互いに連結するための部材である。連結軸５１は、丸棒状に形成され、係止部材４２の基端部に上側へ向けて設けられている。
【０１０２】
基端側摺接面５２は、基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接して、係止部材４２の基端部を上下動させるための部分である。この基端側摺接面５２は、係止部材４２の基端部の下側を斜めに削って形成されている。基端側摺接面５２は、基端下側カム３９の斜面３９Ａとの摩擦抵抗を小さくするために鏡面仕上げがされている。この基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の基端部が下方へ押し下げられ、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の基端部が上方へ押し上げられるようになっている。
【０１０３】
基端上側カム５３は、基端下側カム３９と共に、係止部材４２の基端部を上下動させるための部分である。この基端上側カム５３は、てこの原理で力点になる部分である。なお、連結軸５１は、てこの原理の力点とはならず、単に係止部材４２を出没動させる際の長手方向の力を受ける部分である。
【０１０４】
基端上側カム５３は、係止部材４２の基端部の近傍に上側へ向けて設けられている。基端上側カム５３は、その側面断面形状を三角形状に形成されて、係止部材４２の基端側を上下させる斜面５３Ａを備えて構成されている。この基端上側カム５３の斜面５３Ａは、基端下側カム３９の斜面３９Ａと同様に、鏡面仕上げされ、後述する保持カバー４５側のカム押え突起６９と摺接するようになっている。基端上側カム５３の斜面５３Ａは、基端下側カム３９の斜面３９Ａとほぼ平行になるように設定されている。これにより、カム押え突起６９と基端上側カム５３の斜面５３Ａとが摺接した状態で係止部材４２が繰り出されると、カム押え突起６９で基端上側カム５３が押されて係止部材４２の基端部が下方へ押し下げられるようになっている。また、係止部材４２が引き込まれると、基端下側カム３９の斜面３９Ａで基端側摺接面５２が押されて係止部材４２の基端部が上方へ押し上げられるようになっている。
【０１０５】
支点部５５は、係止部材４２の先端部を支持して回動中心になる部分である。この支点部５５は、てこの原理での支点となる部分である。支点部５５は、係止部材４２の先端近傍の下側に、ほぼ直角に角張らせて形成されている。この角張った支点部５５の頂点部分には先端側摺接面５５Ａが形成されている。この先端側摺接面５５Ａは、先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して、係止部材４２の先端嵌合部５６を上下動させるための部分である。先端側摺接面５５Ａは、支点部５５の頂点部分を斜めに削って形成されている。先端側摺接面５５Ａは、先端側カム４０の斜面４０Ａとの摩擦抵抗を小さくするために鏡面仕上げがされている。この先端側摺接面５５Ａが先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接した状態で、係止部材４２が繰り出されることによって、係止部材４２の先端嵌合部５６が上方へ押し下げられ、係止部材４２が引き込まれることによって、係止部材４２の先端部が下方へ押し上げられるようになっている。
【０１０６】
さらに、支点部５５は、先端側カム４０の嵌合凹部４０Ｂに嵌合することで、この嵌合凹部４０Ｂを中心にして回動するようになっている。
【０１０７】
先端嵌合部５６は、凹部３３の開口３４から外部に延出して、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に直接に嵌合するための部分である。この先端嵌合部５６が、てこの原理の作用点になっている。先端嵌合部５６は、蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合した状態で十分な力を発揮できるように、支点部５５から僅かな距離を隔てて設けられている。
【０１０８】
基端側板部５７及び先端側板部５８は、係止部材４２を支持して往復動を許容するための部材である。
【０１０９】
繰り出し部材４３は、係止部材４２に連結して係止部材４２を出没動させるための部材である。この繰り出し部材４３は、凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に取り付けられている。繰り出し部材４３は、図１，７，１２〜１５に示すように、天板部６１と、キー溝６２と、回転筒部６３と、長穴部６４と、係合片６５とから構成されている。
【０１１０】
天板部６１は、ほぼ円盤状に形成されている。この天板部６１の対向する２カ所には、係合片６５を設けるための切り欠き６６が設けられている。
【０１１１】
キー溝６２は、蓋体着脱装置（図示せず）で製造ライン用蓋体１５を自動的に着脱する際に装置のラッチキーが嵌合するための溝である。このキー溝６２は、天板部６１の上側面の中心に設けられている。
【０１１２】
回転筒部６３は、繰り出し部材４３を凹部３３の回転支持軸３６に回転可能に取り付けるための部材である。この回転筒部６３は、天板部６１の下側面の中央部に設けられている。この回転筒部６３の中心に、キー溝６２が位置するようになっている。
【０１１３】
長穴部６４は、繰り出し部材４３の回転を係止部材４２の出没動作に変換するための部分である。長穴部６４は、天板部６１の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。この長穴部６４は、その一端部６４Ａが天板部６１の中心に近く、他端部６４Ｂが遠くなるように、螺旋の一部で構成されている。係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の一端部６４Ａで嵌合しているときに、係止部材４２は引き込まれ、他端部６４Ｂで嵌合しているときに、係止部材４２は繰り出されるようになっている。
【０１１４】
この長穴部６４のうち天板部６１の下側面には、なだらかに傾斜した壁面６４Ｃが設けられている。この壁面６４Ｃは、長穴部６４の一端部６４Ａで天板部６１の下側面と同じ高さに、他端部に行くに従って次第に高くなるように設定されている。これは、係止部材４２と繰り出し部材４３とを確実に連結するためである。即ち、係止部材４２の連結軸５１が長穴部６４の他端部６４Ｂで嵌合して繰り出されている状態では、係止部材４２の基端部は下方へ押し下げられているため、その基端部が押し下げられた状態でも連結軸５１が長穴部６４に確実に嵌合できるようにするためである。
【０１１５】
係合片６５は、繰り出し部材４３を所定角度だけ回動させた状態で支持するための部材である。係合片６５は、天板部６１の周縁の対向する２カ所にそれぞれ設けられている。係合片６５は、天板部６１から周縁に沿って延びた板状部材で構成されている。係合片６５の先端部は、ストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合する突起部６５Ａが設けられている。さらに、係合片６５は弾性を有し、突起部６５Ａを弾性的に支持している。この突起部６５Ａがストッパ３７の受け部３７Ａに嵌合することで、繰り出し部材４３が所定角度（係止部材４２を延出させて製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に固定した角度）回動したところで支持されるようになっている。
【０１１６】
カム機構４４は、繰り出し部材４３で繰り出された係止部材４２の先端嵌合部５６が蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合された状態で、その第２被嵌合部２４の上面に当接して、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２側に押し下げて固定するための部材である。このカム機構４４によって、繰り出し部材４３で繰り出される係止部材４２の先端嵌合部５６を押し上げて第２被嵌合部２４の上面に当接させると共に、基端部を押し下げることでてこの原理により製造ライン用蓋体１５を容器本体１２側に押し下げて固定するようになっている。カム機構４４は、基端下側カム３９と、基端上側カム５３と、基端側摺接面５２と、カム押え突起６９と、先端側カム４０と、先端側摺接面５５Ａとから構成されている。なお、基端下側カム３９、基端上側カム５３、基端側摺接面５２、先端側カム４０及び先端側摺接面５５Ａは上述した通りである。
【０１１７】
カム押え突起６９は、基端上側カム５３の斜面５３Ａに当接して、係止部材４２の繰り出しに伴って係止部材４２の基端部を押し下げるための部材である。このカム押え突起６９は、保持カバー４５の下側面に設けられている。具体的には、基端下側カム３９の斜面３９に係止部材４２の基端側摺接面５２が摺接した状態で、カム押え突起６９と基端上側カム５３の斜面５３Ａとが隙間なく摺接する位置に設けられている。
【０１１８】
保持カバー４５は、係止部材４２と繰り出し部材４３とを保持するための部材である。保持カバー４５は、図１６，１７に示すように、繰り出し部材保持部７１と、係止部材保持部７２とから構成されている。
【０１１９】
繰り出し部材保持部７１は、繰り出し部材４３をその回転を許容した状態で支持するための部材である。この繰り出し部材保持部７１は、周縁板７４と、天板７５とから構成されている。周縁板７４は、繰り出し部材４３の周縁を覆って形成されている。天板７５は、繰り出し部材４３の上側を覆って形成されている。天板７５の中央部には、繰り出し部材４３のキー溝６２と同じ大きさのキー穴７６が設けられている。このキー穴７６は、天板７５が繰り出し部材４３を覆った状態で繰り出し部材４３のキー溝６２と整合するようになっている。これにより、係止部材４２が引き込まれた状態で、キー溝６２とキー穴７６とが整合するようになっている。
【０１２０】
係止部材保持部７２は、係止部材４２をその往復動を許容した状態で支持するための部材である。この係止部材保持部７２は、繰り出し部材保持部７１の左右両側にそれぞれ設けられている。各係止部材保持部７２は、側板７８と、天板７９とから構成されている。
【０１２１】
側板７８は、係止部材４２の基端付近をその左右から支持するための部材である。側板７８は、広幅部７８Ａと、狭幅部７８Ｂとから構成されている。広幅部７８Ａは、係止部材４２の基端側板部５７がはめ込まれる部分である。狭幅部７８Ｂは、係止部材４２の基端側板部５７と先端側板部５８との間がはめ込まれる部分である。
【０１２２】
天板７９は、係止部材４２をその上側から支持するための部材である。この天板の下側面の基端部には、上述したカム押え突起６９が設けられている。天板７９の下側面の先端部には、係止部材４２の上側溝部５４に嵌合する支持用突起８０が設けられている。天板の先端側には、スリット８１が設けられ、そのスリット８１の先端に隆起部８２が設けられている。この隆起部８２は、中央隆起片８２Ａと、左右係止片８２Ｂとから構成され、スリット８１で弾性支持されている。この隆起部８２の中央隆起片８２Ａ及び左右係止片８２Ｂが、カバー押え４６の十字状切り欠き８６Ａと嵌合することで、保持カバー４５とカバー押え４６との間の位置決めがなされるようになっている。
【０１２３】
カバー押え４６は、図１，１８，１９に示すように、保持カバー４５を製造ライン用蓋体１５の凹部３３に固定するための部材である。具体的には、２つのカバー押え４６が各係止部材保持部７２をそれぞれ支持して、保持カバー４５を凹部３３に固定するようになっている。このカバー押え４６は、側板８５と、天板８６と、上側支持板片８７と、下側支持板片８８とから構成されている。
【０１２４】
各側板８５は、係止部材４２の左右を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。天板８６は、各側板８５を一体的に支持すると共に、係止部材４２の上側を覆って、係止部材４２の往復動を許容する。上側支持板片８７は、保持カバー４５の係止部材保持部７２の天板７９を、その下側から支持するための部材である。係止部材保持部７２の天板７９は、カバー押え４６の天板８６と上側支持板片８７とで、上下から支持される。下側支持板片８８は、カバー押え４６を凹部３３に固定するための部分である。下側支持板片８８は、各側板８５の下端部に３つずつ設けられている。各下側支持板片８８が、凹部３３に設けられた係止爪３８に嵌合することで、カバー押え４６を凹部３３に固定する。各下側支持板片８８には、係止爪３８に嵌合しやすいように、テーパ８８Ａが設けられている。
【０１２５】
輸送用蓋体１４及び製造ライン用蓋体１５の下側面には、図２０，２１，２２に示すように、薄板押えとしてのウエハ押え９１が設けられている。このウエハ押え９１は、容器本体１２内に収納された複数枚の半導体ウエハを、その上側から支持するための部材である。ウエハ押え９１は、基端支持部９２と、弾性支持板部９３と、当接片９４とから構成されている。
【０１２６】
基端支持部９２は、弾性支持板部９３及び当接片９４を支持するための部材である。基端支持部９２は、ウエハ押え９１の全長に亘って四角棒状に形成されて、蓋体の下側面に固定されている。
【０１２７】
弾性支持板部９３は、当接片９４を弾性的に支持するための部材である。弾性支持板部９３は、容器本体１２内に収納される半導体ウエハの枚数分だけ並べて設けられている。各弾性支持板部９３は、横一列に並べられた状態で基端支持部９２にそれぞれ固定されている。弾性支持板部９３は、側面形状をＳ字状に折り曲げられて第１支持板片９３Ａと、Ｕ字状に折り曲げた第２支持板片９３Ｂとから構成されている。第１支持板片９３Ａはその基端部を基端支持部９２に固定され、先端部に第１当接片９４Ａが固定されている。第２支持板片９３Ｂは、その基端部が第１当接片９４Ａを介して第１支持板片９３Ａに一体的に接続され、先端部に第２当接片９４Ｂが固定されている。
【０１２８】
当接片９４は、各半導体ウエハを直接的に支持するための部材である。各当接片９４は、第１当接片９４Ａと、第２当接片９４Ｂとからなり、半導体ウエハを２カ所で支持するようになっている。各当接片９４は、２つのブロック９６と、互い違いに配設された支持片としての支持爪９７とから構成されている。
【０１２９】
ブロック９６は、傾斜面９６Ａと、当接面９６Ｂとを備えている。傾斜面９６Ａは、２つのブロック９６が互いに対向して取り付けられた状態で外側へ開くように形成され、半導体ウエハの周縁部が２つのブロック９６の間に挿入しやすいようになっている。当接面９６Ｂは、２つのブロック９６が互いに対向して取り付けられた状態で、一定幅（半導体ウエハの厚さよりも僅かに広い幅）の溝を構成するように形成されている。
【０１３０】
支持爪９７は、半導体ウエハの周縁部に直接に接触して支持するための部材である。この支持爪９７は、各ブロック９６の当接面９６Ｂにそれぞれ設けられている。支持爪９７は縦長の凸条によって構成されている。この支持爪９７は、対向する各当接面９６Ｂに互い違いに配設されている。具体的には、支持爪９７が、一方の当接面９６Ｂの両端に２つ、他方の当接面９６Ｂの中央に１つ設けられることで、対向する各支持爪９７が互い違いに配設されている。各支持爪９７は弾性部材で成形され、半導体ウエハの周縁部を弾性的に支持するようになっている。２つの当接面９６Ｂの間の幅は半導体ウエハの厚さよりも僅かに広い幅であるため、各当接面９６Ｂに配設される支持爪９７の先端の間隔は半導体ウエハの厚さよりも狭くなる。このため、半導体ウエハは、互い違いに配設された弾性部材からなる各支持爪９７を少し押し潰しながら各支持爪９７の間に挿入されるようになっている。これにより、半導体ウエハの周縁部を、互い違いに配設された支持爪９７が確実に支持するようになっている。
【０１３１】
製造ライン用蓋体１５の外側には、図２３に示すように、蓋体ホルダー１００が設けられている。この蓋体ホルダー１００は、製造ライン用蓋体１５が容器本体１２から外れるのを防止するための部材である。蓋体ホルダー１００は、支持板部１０１と、フック部１０２と、嵌合突起１０３とから構成されている。
【０１３２】
支持板部１０１は、フック部１０２及び嵌合突起１０３を支持するための部材である。支持板部１０１の両端部にフック部１０２がそれぞれ設けられている。このフック部１０２は、容器本体１２のフランジに引っ掛かるようになっている。
【０１３３】
嵌合突起１０３は、支持板部１０１の一側面に設けられている。嵌合突起１０３は、キー溝６２と同じ形状に形成され、キー穴７６を介してキー溝６２に嵌合するようになっている。嵌合突起１０３は、２つのキー溝６２に整合する位置に２つ設けられている。これにより、フック部１０２を容器本体１２のフランジに引っ掛けた状態で、各嵌合突起１０３が各キー溝６２に嵌合して繰り出し部材４３を固定するようになっている。これは、薄板支持容器の輸送中に、振動や衝撃等によって繰り出し部材４３が回動して、製造ライン用蓋体１５の容器本体１２への固定が緩んでしまうのを防止するためである。
【０１３４】
以上のように構成された薄板支持容器１１は、次のようにして使用される。
【０１３５】
製造ライン用蓋体１５を容器本体１２から取り外す場合は、ラッチキーをキー溝６２に嵌合して回転させる。これにより、図２４（Ａ）の状態から、繰り出し部材４３が回転して係止部材４２が徐々に引き込まれる。これにより、係止部材４２の支点部５５の先端側摺接面５５Ａが先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して、図２４（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）のように、先端嵌合部５６が下方へ押し下げられる。これと同時に、係止部材４２の基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接して、係止部材４２の基端部が押し上げられる。これにより、先端嵌合部５６は、本体部３０内部に完全に収納される。そして、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２から取り外す。
【０１３６】
製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に取り付ける場合は、蓋体受け部２１に製造ライン用蓋体１５を取り付けて、ラッチキーをキー溝６２に嵌合して回転させる。これにより、上記の場合と逆に、係止部材４２が本体部３０が押し出される。このとき、係止部材４２の支点部５５が先端側カム４０の斜面４０Ａに摺接して先端嵌合部５６が上方へ押し上げられる。さらに、基端上側カム５３の斜面５３Ａにカム押え突起６９が当接して、係止部材４２の基端部を押し下げる。これにより、係止部材４２の基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに沿って下方へ押し下げられる。
【０１３７】
係止部材４２の支点部５５では、先端側摺接面５５Ａが嵌合凹部４０Ｂに嵌合して、係止部材４２が嵌合凹部４０Ｂを中心に回動する。
【０１３８】
係止部材４２の基端部では、基端側摺接面５２が基端下側カム３９の斜面３９Ａに摺接すると共に、カム押え突起６９が基端上側カム５３の斜面５３Ａに当接して、係止部材４２の基端部を押し下げる。
【０１３９】
これにより、係止部材４２は、嵌合凹部４０Ｂに嵌合した支点部５５を支点にしたてことして機能し、先端嵌合部５６が蓋体受け部２１の第２被嵌合部２４に嵌合した状態で、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２側へ強く押し下げて固定する。
【０１４０】
製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に取り付けた状態で、蓋体ホルダー１００を取り付ける。具体的には、フック部１０２を容器本体１２のフランジ部に引っ掛ける。これにより、嵌合突起１０３がキー溝６２に嵌合して繰り出し部材４３を固定する。
【０１４１】
容器本体１２の内部では、半導体ウエハの周縁部が当接片９４に嵌合される。当接片９４では、半導体ウエハの周縁部は互い違いに配設された支持爪９７の間にはまり込み、各支持爪９７で確実に支持される。
【０１４２】
薄板支持容器１１の外部から強い衝撃が加わった場合は、係止部材４２がてこの原理で製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に強く押し付けているため、製造ライン用蓋体１５が容器本体１２から外れることはない。さらに、蓋体ホルダー１００で繰り出し部材４３を固定しているため、繰り出し部材４３が回転して係止部材４２が第２被嵌合部２４から外れることもない。
【０１４３】
一方、薄板支持容器１１内の半導体ウエハは、ウエハ押え９１の当接片９４に嵌合して、互い違いに配設された支持爪９７で両側から支持されているため、半導体ウエハが当接片９４から外れることはない。さらに、当接片９４は弾性支持板部９３で支持しているため、第１支持板片９３Ａ及び第２支持板片９３Ｂが自己の弾力で、また製造ライン用蓋体１５の下側面に当たって半導体ウエハを支持し、半導体ウエハの破損を防止する。
【０１４４】
洗浄する場合は、カバー押え４６をずらして係止爪３８から外すことで、簡易着脱機構３２は、係止部材４２、繰り出し部材４３、カム機構４４、保持カバー４５及びカバー押え４６がバラバラになり、個別に洗浄して乾燥させることができる。
【０１４５】
以上のように、薄板支持容器１１によれば、次のような効果を奏する。
【０１４６】
（１）  てこの原理を用いて係止部材４２を繰り出すので、製造ライン用蓋体１５を容器本体１２に強い力で確実に固定することができる。
【０１４７】
（２）  簡易着脱機構は各構成部品に容易に分解することができるため、洗浄する場合は、取り外して各構成部品に分解して、隅々まで洗浄できると共に、速やかに乾燥させることができる。
【０１４８】
（３）  支持爪９７を互い違いに配設したので、半導体ウエハの周縁に各支持爪９７が互い違いに当接して、確実に支持することができる。
【０１４９】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、ウエハ押えを改良したものである。
【０１５０】
薄板支持容器は搬送中等の種々の要因により振動することがある。この振動が半導体ウエハに伝わると、その振動によって半導体ウエハが回転してしまうことがあり、望ましくない。このため、薄板支持容器が振動に晒される態様で使用される場合は、本実施形態のウエハ押え（薄板押え）を用いる。図３４〜図４３に基づいて、本実施形態のウエハ押え１２１を説明する。なお、ウエハ押え１２１以外は上記第１実施形態の薄板支持容器１１と同様であるため、同様の部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【０１５１】
ウエハ押え１２１は、図４０に示すように、基端支持部１２２と、弾性支持板部１２３と、当接片１２４と、連接支持板部１２５と、支持用リブ１２６とから構成されている。
【０１５２】
基端支持部１２２は、ウエハ押え１２１の両端にそれぞれ設けられて２つの弾性支持板部１２３を直接的に支持するための部材である。基端支持部１２２は、四角棒状に形成されると共に、ウエハ押え１２１の長手方向全長（図３５の上下方向）に亘って形成されている。蓋体１２７の下側面には２つの鈎状支持部１２８がそれぞれ設けられている。基端支持部１２２は、各鈎状支持部１２８にはめ込まれて、蓋体裏面側に固定されている。
【０１５３】
弾性支持板部１２３は、当接片１２４の外側端を弾性的に支持するための部材である。２つの弾性支持板部１２３は、容器本体１２内に収納される半導体ウエハ１２０の枚数分だけ並べて設けられている。各弾性支持板部１２３は、横一列に並べられた状態で基端支持部１２２にそれぞれ固定されている。弾性支持板部１２３は、側面形状をＳ字状に折り曲げられて構成されている。２つの弾性支持板部１２３は、その基端部を２つの基端支持部１２２にそれぞれ固定され、先端部に当接片１２４がそれぞれ取り付けられて、各当接片１２４を弾性的に支持している。
【０１５４】
当接片１２４は、各半導体ウエハ１２０の周縁部に直接に当接して各半導体ウエハ１２０を直接的に支持するための部材である。各当接片１２４の一側面には、図４２及び図４３に示すように、半導体ウエハ１２０が嵌合するＶ字状の嵌合溝１２４Ａが設けられている。この嵌合溝１２４Ａは２段階のＶ字溝になっている。１段目は、角度１２４°のなだらかな傾斜を有する溝となっている。２段目は、角度４４°の傾斜を有する溝となっている。これにより、１段目の溝に半導体ウエハ１２０の縁が接触した場合は、この半導体ウエハ１２０の縁がなだらかな傾斜に案内されて２段目の溝に落ち込み、この２段目の溝で半導体ウエハ１２０が支持されるようになっている。２段目の溝の底部は、半導体ウエハ１２０の厚さとほぼ同じ幅で平坦面状に形成されている。この２段目の溝の傾斜角度及び底部の幅は、半導体ウエハ１２０の縁部の寸法に合わせて形成されている。半導体ウエハ１２０の縁部は４４°のエッジ角でカットされているため、溝の傾斜角度を４４°に設定している。さらに、溝の底部の幅も、半導体ウエハ１２０の縁部の幅に合わせて設定している。これにより、２段目の溝が、半導体ウエハ１２０の縁部を掴むことで、半導体ウエハ１２０を広い面積で接触しながら確実に支持し、振動に対して半導体ウエハ１２０の回転を抑えることができるようになっている。なお、２段目の溝は、半導体ウエハ１２０のエッジ角に合わせて４４°に設定したが、当接片１２４の材質との関係で多少狭い角度でもよい。具体的には、弾性力の違いに応じて４０°〜４４°程度の範囲で適宜設定する。２段目の溝の角度があまり狭いと、半導体ウエハ１２０の縁部を挟んでしまい、蓋体１２７を持ち上げるときに半導体ウエハ１２０が一緒に持ち上がってしまうことがあるため、半導体ウエハ１２０を挟まない程度の角度に設定する。また、半導体ウエハ１２０のエッジ角度が異なる場合や、半導体ウエハ１２０以外の他の薄板の場合等においては、それに合わせて２０°〜６０°程度の範囲で適宜設定する。
【０１５５】
嵌合溝１２４Ａの底部は、図４０及び図４１に示すように、半導体ウエハ１２０の外周縁形状に沿った角度、即ち半導体ウエハ１２０の外周縁の接線方向になるように設定され、後述するようにウエハ押え１２１の撓み量に比例して弾性力が強くなるため、各当接片１２４が半導体ウエハ１２０を押さえる力を全体に均等化させている。即ち、２つの当接片１２４の一方の変化量が大きくなると、その変化量に応じて弾性力が強くなって他方の当接片１２４側に半導体ウエハ１２０を僅かに押しやり、２つの当接片１２４の弾性力が同じ強さになる点で落ち着くため、結果的に左右が同じ弾性力になるように自動的に調整されるようになっている。さらに、容器本体１２に蓋体１２７が取り付けられた状態で、嵌合溝１２４Ａのほぼ中央部付近（図４１中の接点Ａ）で底部と接触するように設定されている。
【０１５６】
連接支持板部１２５は、２つの当接片１２４の間を互いに連接して支持するための部材である。連接支持板部１２５の両端部が各当接片１２４にそれぞれ接続されて各当接片１２４を弾性的に支持している。連接支持板部１２５は、側面形状をほぼＵ字状に折り曲げて形成されている。具体的には、両側の縦板部１２５Ａ，１２５Ｂと、横板部１２５Ｃとから構成されている。縦板部１２５Ａ，１２５Ｂは、蓋体１２７の裏面に垂直な方向に配設され、ほとんど撓むことなく、各当接片１２４を支持する。
【０１５７】
横板部１２５Ｃは、弾性的に撓むようになっている。連接支持板部１２５が各当接片１２４を弾性的に支持する機能は主に横板部１２５Ｃが担っている。横板部１２５Ｃは、その両端に縦板部１２５Ａ，１２５Ｂがそれぞれ接続された状態で、蓋体１２７の裏面に沿う方向に配設されている。横板部１２５Ｃは、その中央部を後述する支持用凸条１３１に支持され、この支持用凸条１３１を中心にして両端部が撓むようになっている。
【０１５８】
横板部１２５Ｃの変形によって発生する弾性力（連接支持板部１２５が当接片１２４を支持する弾性力）は、弾性支持板部１２３が当接片１２４を支持する弾性力よりも強く設定されている。これにより、２つの当接片１２４は、その内側端が強い弾性力で支持され、外側端が弱い弾性力で支持されている。さらに、２つの当接片１２４の嵌合溝１２４Ａの底部は、上述のように、半導体ウエハ１２０の外周縁の接線方向に配設されている。これにより、ウエハ押え１２１による半導体ウエハ１２０の支持力が、半導体ウエハ１２０の移動量（振動量）に比例して強くなるように設定されている。即ち、通常の状態では、図４１中の実線のように、半導体ウエハ１２０は嵌合溝１２４Ａの底部にそのほぼ中央部付近（図４１中の接点Ａ）で接触して支持されている。半導体ウエハ１２０が振動すると、連接支持板部１２５の強い弾性力で支持された当接片１２４の内側端は余り変化せず、弾性支持板部１２３の弱い弾性力で支持された外側端が大きく変化して図４１中の仮想線のように、半導体ウエハ１２０は嵌合溝１２４Ａの底部に内側端側（図４１中の接点Ｂ側）に移動して支持される。これにより、半導体ウエハ１２０の振動量が小さい（ウエハ押え１２１の撓み量が小さい）ときには、半導体ウエハ１２０は嵌合溝１２４Ａの底部にその外側端側（図４１中の接点Ａ側）で接触して弱い弾性力で支持され、半導体ウエハ１２０の振動量が大きくなってくる（ウエハ押え１２１の撓み量が大きくなってくる）と、半導体ウエハ１２０の接触点が嵌合溝１２４Ａの内側端側（図４１中の接点Ｂ側）に移動して強い弾性力で支持される。さらに、半導体ウエハ１２０の接触点の内側端側への移動量が大きくなればなるほど、弾性支持板部１２３よりも連接支持板部１２５へかかる力が大きくなって弾性力が強くなり、半導体ウエハ１２０の振動を効率的に抑えるようになっている。
【０１５９】
支持用リブ１２６は、連接支持板部１２５を支持して蓋体裏面に沿った方向にズレるのを防止するための支持用部材である。支持用リブ１２６は、図３４〜図４０に示すように、蓋体１２７の裏面の中央部に設けられている。支持用リブ１２６は、多数配設されるウエハ押え１２１の連接支持板部１２５の全部を覆うように設けられている。具体的には、収納される半導体ウエハ１２０の枚数分だけ並べて設けられる連接支持板部１２５を全て嵌合できる長さに設定されている。支持用リブ１２６は、２つの支持壁部１２９，１３０で構成されている。
【０１６０】
各支持壁部１２９，１３０は互いに対向して平行に設けられている。各支持壁部１２９，１３０は、支持板片１３３と、仕切り板片１３４とから構成されている。
【０１６１】
支持板片１３３は、連接支持板部１２５の縦板部１２５Ａ，１２５Ｂを、半導体ウエハ１２０の円周方向（図４０の左右方向）にずれないように支持するための部材である。支持板片１３３は、連接支持板部１２５の縦板部１２５Ａ，１２５Ｂを直接的に支持することで、間接的に各当接片１２４を、半導体ウエハ１２０の円周方向にずれないように支持している。
【０１６２】
仕切り板片１３４は、多数配設される連接支持板部１２５を個別に仕切るための板片である。各仕切り板片１３４は、最外側及び各連接支持板部１２５の間にそれぞれ位置して設けられている。これにより、各仕切り板片１３４が各連接支持板部１２５をその幅方向両側から支持している。これにより、各仕切り板片１３４は、連接支持板部１２５を直接的に支持することで、間接的に各当接片１２４を、半導体ウエハ１２０の円周方向と直交する方向にずれないように支持している。
【０１６３】
上記支持板片１３３と仕切り板片１３４とで、連接支持板部１２５を周囲（容器本体１２内に収納された半導体ウエハ１２０の円周方向と直交する方向）から挟んで個別に支持することで、連接支持板部１２５の蓋体裏面に沿う方向のズレを防止し、蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容するようになっている。
【０１６４】
支持板片１３３及び仕切り板片１３４と、連接支持板部１２５との間は、僅かな隙間が空くように設定され、小さい振動のとき接触しないようになっている。即ち、半導体ウエハ１２０が僅かに振動する程度のときには、連接支持板部１２５は、支持板片１３３及び仕切り板片１３４と接触しないで撓んで振動を吸収するようになっている。振動が激しくなったときには、各当接片１２４を介して連接支持板部１２５も激しく振動するため、連接支持板部１２５は支持板片１３３及び仕切り板片１３４に接触して支持されるようになっている。
【０１６５】
支持用リブ１２６の２つの支持壁部１２９，１３０の間には、図３４、図３７〜図３９に示すように、支持用凸条１３１が設けられている。支持用凸条１３１は、各連接支持板部１２５に直接当接して支持するための部材である。具体的には、各連接支持板部１２５の横板部１２５Ｃの中央部が支持用凸条１３１に当接して支持され、横板部１２５Ｃの両端部が自由に撓むことができるようになっている。支持用凸条１３１は、互いに対向して平行に設けられた２つの支持壁部１２９，１３０の間の中央部にこれら支持壁部１２９，１３０と平行でかつほぼ同じ長さに設けられている。
【０１６６】
支持用凸条１３１は、図３８及び図３９に示すようになっている。即ち、両側に位置する当接片１２４に比べて中央側に位置する当接片１２４を半導体ウエハ１２０側へ隆起させるように、両側（図３８のｂ側）を薄く、中央側（図３８のａ側）を厚く成形されている。本実施形態では、全体を弓なりに湾曲して形成されている。これにより、ウエハ押え１２１が蓋体１２７に取り付けられた状態で、各連接支持板部１２５との間隔が、図３９に示すように、両側で広く、中央側で狭くなるように設定されている。この支持用凸条１３１の具体的な寸法は、蓋体１２７の撓み量に応じて適宜設定される。
【０１６７】
支持用凸条１３１をこのように形成するのは次の理由による。容器本体１２内に複数枚の半導体ウエハ１２０を収納した状態で蓋体１２７を取り付けると、蓋体１２７に一定の反発力が作用する。蓋体裏面に取り付けられたウエハ押え１２１は、各半導体ウエハ１２０を１枚ずつ一定の力で支持するため、半導体ウエハ１２０の直径が大きくなってその１枚の半導体ウエハ１２０を支持する力が大きくなればなるほど、また枚数が多くなればなるほど、ウエハ押え１２１を押し返す反発力も大きくなる。この反発力により、ウエハ押え１２１が取り付けられた蓋体１２７が外側へ多少撓むようになる。そして、蓋体１２７が外側へ撓むと、ウエハ押え１２１で半導体ウエハ１２０を支持する力が中央部で弱くなってしまう。この半導体ウエハ１２０を支持する力の不均一を解消するために、支持用凸条１３１が設けられている。中央側を厚くした支持用凸条１３１によって蓋体１２７の撓みが吸収され、ウエハ押え１２１が各半導体ウエハ１２０を均等な力で支持するようになっている。
【０１６８】
以上のように構成された薄板支持容器は次のように作用する。
【０１６９】
容器本体１２内に複数枚の半導体ウエハ１２０が収納された状態で、蓋体１２７が取り付けられると、ウエハ押え１２１が各半導体ウエハ１２０に嵌合する。具体的には、各当接片１２４の嵌合溝１２４Ａが各半導体ウエハ１２０の周縁に個別に嵌合し、各半導体ウエハ１２０の周縁を嵌合溝１２４Ａの底部に案内する。このとき、半導体ウエハ１２０の縁部が２段目の溝に嵌合した状態で、２段目の溝が、半導体ウエハ１２０の縁部を掴んで、半導体ウエハ１２０を広い面積で接触しながら確実に支持する。各当接片１２４は、弾性支持板部１２３と連接支持板部１２５とで支持される。
【０１７０】
弾性支持板部１２３は、その基端部を蓋体１２７の裏面に固定された基端支持部１２２に支持された状態で、その先端部で各当接片１２４の外側端を弾性的に支持している。連接支持板部１２５は、その中央部を支持用リブ１２６に支持された状態で、その両側端部で各当接片１２４の内側端を弾性的に支持している。
【０１７１】
さらに、弓なりに湾曲した支持用凸条１３１が、蓋体１２７の撓みを吸収した状態で、各当接片１２４を支持している。これにより、各当接片１２４が各半導体ウエハ１２０を均等な力で支持している。
【０１７２】
また、各当接片１２４は、その内側端が比較的強い力で弾性的に支持され、その外側端が比較的弱い力で弾性的に支持されている。このとき、各当接片１２４は、その嵌合溝１２４Ａの底部が各半導体ウエハ１２０の周縁の接線方向に沿った状態で各半導体ウエハ１２０に接触していると共に、２つの当接片１２４の弾性力が同じ強さになるように自動的に調整されて半導体ウエハ１２０を押さえる力を全体に均等化させ、半導体ウエハ１２０は安定して支持されている。
【０１７３】
薄板支持容器の搬送中等において、薄板支持容器に振動が加わると、各半導体ウエハ１２０も振動することになる。さらに、半導体ウエハ１２０の振動に応じて各当接片１２４も振動する。
【０１７４】
このとき、振動が緩やかな場合は、各当接片１２４の振幅は小さいため、半導体ウエハ１２０と各当接片１２４との接点は外側（例えば図４１の接点Ａ近傍）にあって主に弾性支持板部１２３が撓み、弱い弾性力で支持する。
【０１７５】
振動が激しい場合は、各当接片１２４の振幅は大きくなるが、当接片１２４が大きく振れるに従って半導体ウエハ１２０と各当接片１２４との接点が内側（例えば図４１の接点Ｂ近傍）へ移動し、その移動量に応じて、弾性支持板部１２３より連接支持板部１２５にかかる力が大きくなり、弾性力が強くなる。このため、半導体ウエハ１２０が大きく振動しようとすると当接片１２４が強い弾性力で押し戻して半導体ウエハ１２０の振動を抑える。これにより、振動の激しさに応じて、半導体ウエハ１２０を支持する力を自動的に変化させて、半導体ウエハ１２０を確実に支持している。
【０１７６】
この結果、全ての半導体ウエハ１２０が均一な力で支持されると共に、外部からの振動に対して半導体ウエハ１２０の振動を最小限に抑えることができ、半導体ウエハ１２０が回転するのを防止することができる。
【０１７７】
［変形例］
（１）  上記第１実施形態では、ウエハ押え９１を、基端支持部９２と、弾性支持板部９３と、当接片９４とから構成したが、図２５，２６，２７に示すように、基端支持部１１０と、弾性支持板部１１１と、当接片１１２とから構成されている。弾性支持板部１１１は、基端部を基端支持部１１０に固定された状態で当接片１１２の一端を支持している。さらに、当接片１１２の他端から弾性支持板部１１１を製造ライン用蓋体１５の下側面に延ばして形成されている。当接片１１２には、傾斜面１１２Ａと当接面１１２Ｂは、上記実施形態の傾斜面９６Ａ及び当接面９６Ｂとほぼ同様の機能を備えている。支持爪１１３は、対向して３個ずつ互い違いに配設されている。この支持爪１１３の数は、必要に応じて設定する。
【０１７８】
この構成の場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１７９】
（２）  上記第１実施形態では、ウエハ押え９１を片持ち構成としたが、図２８，２９に示すように、両持ち構成にしてもよい。弾性支持板部が当接片の間及び両側を支持して取り付けられると共に、各当接片の間の弾性支持板部が、製造ライン用蓋体１５の下側面から隙間Ｓだけ僅かに浮いた状態で各当接片を支持するようになている。
【０１８０】
これにより、各当接片の間の弾性支持板部を、取付面より僅かに浮いた状態で当接片を支持するため、通常はあまり強くない力で薄板を支持する。薄板支持容器が誤って落下した場合等のように、外部から大きな衝撃が加わると、隙間Ｓがなくなって各当接片の間の弾性支持板部が支持面に当接して、各当接片を強く支持する。これにより、薄板を強い衝撃から守る。
【０１８１】
（３）  上記第１実施形態では、半導体ウエハを支持爪９７で支持するようにしたが、ブロックで支持するようにしてもよい。図３０，３１に示すように、上記実施形態と同様にブロック１１５を２つ突き合わせた状態で、互い違いに配設する。即ち、２つ突き合わせた一組のブロック１１５を互いの間隔を一定に保ったまま４組ずつ並べると共に、それらを互い違いにずらす。さらに、一組のブロック１１５のうちの各当接面１１５Ａを、垂直に対して２０°と４°に設定した。そして、半導体ウエハが当接する側を４°に設定した。これにより、半導体ウエハの周縁を片側４°（両側で８°）の角度で挟み持つことで、半導体ウエハをずらすことなく、確実に支持することができる。
【０１８２】
この場合、各ブロックを、図３２，３３に示すように設けてもよい。これは、上記図２８，２９を基に説明したものとほぼ同様の構成であり、同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８３】
（４）  上記第１実施形態では、薄板支持容器用蓋体を製造ラインにおいて使用した例を説明したが、保管や輸送等に用いる場合に使用することもできる。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８４】
（５）  上記第１実施形態では、簡易着脱機構３２を製造ライン用蓋体１５に２つ設けたが、規格等に応じて、１つ、３つ以上でもよい。
【０１８５】
（６）  上記第１実施形態では、薄板支持容器用蓋体を半導体ウエハの収納容器に適用した場合を例に説明したが、半導体ウエハに限らず、他の薄板の収納容器にも適用することができる。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８６】
（７）  上記第１実施形態及び変形例では、容器本体内に収納された薄板を支持するための薄板押えとしてのウエハ押えを上記実施形態の薄板支持容器１１に適用したが、本発明はこれに限らず、他の構造の薄板支持容器にも適用することができる。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８７】
（８）  上記第１実施形態では、蓋体ホルダー１００を薄板支持容器１１に適用したが、本発明はこれに限らず、他の構造の薄板支持容器にも適用することができる。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８８】
（９）  上記第２実施形態では、ウエハ押え１２１の当接片１２４を２つ設けたが、３つ以上設けてもよい。当接片１２４を３つ以上設ける場合は、各当接片１２４の間に連接支持板部１２５及び支持用リブ１２６を設けることになる。この場合も、上記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
【０１８９】
（１０）  上記第２実施形態では、横板部１２５Ｃを支持用凸条１３１で支持するようにしたが、横板部１２５Ｃの中央部に支持用突起を設けてもよい。支持用突起を設ける場合は、支持用凸条１３１は設けても設けなくてもよい。支持用突起は、支持用凸条１３１を設けている場合、支持用凸条１３１に当接して、支持用凸条１３１を設けていない場合、蓋体１２７の裏面に当接して、横板部１２５Ｃを支持する。
【０１９０】
支持用凸条１３１を設けない場合は、横板部１２５Ｃの中央部の支持用突起の高さを、上記第２実施形態のように、両側よりも中央側が高くなるように設定する。支持用凸条１３１を設ける場合は、横板部１２５Ｃの中央部の支持用突起と支持用凸条１３１とを合わせた高さを、両側よりも中央側が高くなるように設定する。この場合も、上記第２実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１９１】
（１１）  上記第２実施形態では、当接片１２４の嵌合溝１２４ＡをＶ字状に成形したが、上記第１実施形態の当接片９４のように、当接片１２４に、互い違いに配設された支持片を備えてもよい。即ち、第２実施形態の当接片１２４を第１実施形態の当接片９４のように、２つのブロック９６と、互い違いに配設された支持爪９７（支持片）とから構成してもよい。これにより、互い違いに配設された支持片が半導体ウエハ１２０の周縁に互い違いに当接して、半導体ウエハ１２０が確実に支持される。この結果、外部からの振動に対して半導体ウエハ１２０の振動を最小限に抑えることができることと相まって、半導体ウエハ１２０が回転するのをより確実に防止することができる。
【０１９２】
（１２）  ウエハ押え１２１の当接片１２４を支持する構成は、第２実施形態に限らず他の構成でもよい。当接片１２４を、その両側に位置するものに比べて中央側に位置するものを半導体ウエハ１２０側へ隆起させて配設することができる構成であればよい。
【０１９３】
例えば、弾性支持板部１２３を、両側に位置する当接片１２４に比べて中央側に位置する当接片１２４を半導体ウエハ１２０側へ隆起させて配設するように、形成してもよく、弾性支持板部１２３又は連接支持板部１２５の一方又は両方を、両側に位置する当接片１２４に比べて中央側に位置する当接片１２４を半導体ウエハ１２０側へ隆起させて配設するように、形成してもよい。
【０１９４】
（１３）  上記第２実施形態では、連接支持板部１２５を支持用リブ１２６で支持するようにしたが、突起で支持してもよい。具体的には、図４４に示すように、連接支持板部１２５に設けた嵌合穴１４１に嵌合することで、連接支持板部１２５の蓋体裏面に沿うズレを防止して蓋体裏面に垂直な方向の変動を許容する嵌合突起１４２によって、連接支持板部１２５を支持してもよい。この場合も、上記第２実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１９５】
（１４）  上記第２実施形態では、当接片１２４のＶ字状の嵌合溝１２４Ａの底部を、半導体ウエハ１２０の厚さとほぼ同じ幅で平坦面状に形成したが、図４５に示すように底部を細くしても良い。具体的には、当接片１５１は、半導体ウエハ１５２の縁部のエッジ角４４°と同じ傾斜角度４４°を有するＶ字溝１５１Ａを備える。なお、このＶ字溝１５１Ａは、２段階に角度を設定しているが、角度を１段階に設定してもよい。
【０１９６】
このＶ字溝１５１Ａの底部は、半導体ウエハ１５２の暑さよりも薄く形成されている。これにより、Ｖ字溝１５１Ａに半導体ウエハ１５２が嵌合した状態で、この半導体ウエハ１５２の縁部と上記Ｖ字溝１５１Ａの底部との間に隙間１５３が形成されて、半導体ウエハ１５２が上記Ｖ字溝１５１Ａの傾斜面で支持される。このとき、半導体ウエハ１５２の縁部のエッジ角と当接片１５１のＶ字溝１５１Ａの傾斜角とが共に４４°であるため、半導体ウエハ１５２の縁部とＶ字溝１５１Ａの傾斜面とが広い面積で接触する。
【０１９７】
さらに、半導体ウエハ１５２の縁部とＶ字溝１５１Ａの底部との間に隙間１５３があるため、半導体ウエハ１５２の縁部が直接支持されず、結果的に半導体ウエハ１５２の縁部がＶ字溝１５１Ａにくさびのように食い込む。これにより、半導体ウエハ１５２の縁部がＶ字溝１５１Ａの傾斜面に強く押し付けられる。
【０１９８】
この結果、薄板押えの当接片１５１を半導体ウエハ１５２にあまり強く押し付けなくても、この薄板押えの当接片１５１で半導体ウエハ１５２を確実に支持することができ、振動等による半導体ウエハ１５２の回転を防止することができる。これにより、蓋体を容器本体にあまり強く取り付けなくても半導体ウエハ１５２を確実に支持することができ、振動等による半導体ウエハ１５２の回転を防止することができる。これにより、蓋体の強度を増す必要もなくなる。これにより、蓋体の着脱作業の自動化も容易になる。
【０１９９】
なお、当接片１５１のＶ字溝１５１Ａの傾斜角は２０°〜６０°に設定することで、ほぼ上記同様の作用、効果を奏することができる。この場合、当接片１５１のＶ字溝１５１Ａに半導体ウエハ１５２が嵌合すると、この半導体ウエハ１５２の縁部がＶ字溝１５１Ａに食い込む。このとき、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を２０°〜６０°に設定していると、半導体ウエハ１５２の支持及び着脱が確実かつ容易になる。即ち、半導体ウエハ１５２をＶ字溝１５１Ａに嵌合させると、半導体ウエハ１５２の縁部がＶ字溝１５１Ａに食い込んで支持される。このとき、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を６０°以上に設定すると、このＶ字溝１５１Ａへの半導体ウエハ１５２の食い込みが足りずに回転してしまうことがある。実際に、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を６０°に設定して実験してみたところ、外部からの振動により少し回転した。傾斜角が６０°を超えると、外部からの振動により回転がひどくなった。
【０２００】
さらに、当接片１５１を半導体ウエハ１５２から引き離すときも、Ｖ字溝１５１Ａに食い込んだ半導体ウエハ１５２は、Ｖ字溝１５１Ａに引っかかることなく、スムーズに離れる。このとき、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を２０°以下に設定すると、当接片１５１を半導体ウエハ１５２から引き離すときに、半導体ウエハ１５２がＶ字溝１５１Ａに引っかかってその半導体ウエハ１５２が引っ張り出されてしまうことがある。実際に、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を２０°に設定して実験してみたところ、半導体ウエハ１５２がＶ字溝１５１Ａに引っかかっりぎみになり、半導体ウエハ１５２が容器本体から引っぱり出された。傾斜角が２０°を下回ると、引っかかっりがひどくなった。
【０２０１】
このため、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を２０°〜６０°に設定することが望ましい。これにより、半導体ウエハ１５２のＶ字溝１５１Ａへの食い込みによる回転防止と、スムーズな引き離しを両立させることができる。
【０２０２】
これにより、半導体ウエハ１５２を確実に支持することができると共に、蓋体の着脱が容易になり、蓋体の着脱の自動化も容易になる。
【０２０３】
また、Ｖ字溝１５１Ａの傾斜角を２０°〜６０°に設定すると共に、半導体ウエハ１５２の縁部と当接片１５１のＶ字溝１５１Ａの底部との間に隙間を設けることが望ましい。この場合、Ｖ字溝１５１Ａに半導体ウエハ１５２が嵌合したときに、半導体ウエハ１５２の縁部とＶ字溝１５１Ａの底部とが互いに接触せず、半導体ウエハ１５２の縁部とＶ字溝１５１Ａの傾斜面とが強く押し付けられ、半導体ウエハ１５２がＶ字溝１５１Ａに食い込んで確実に支持される。また、着脱も上述のように容易になる。
【０２０４】
（１５）  上記第２実施形態では、蓋体１２７の支持用凸条１３１の中央側を厚くして蓋体１２７の撓みを吸収し、ウエハ押え１２１が各半導体ウエハ１２０を均等な力で支持するようにしたが、蓋体１２７自体を改良してもよい。
【０２０５】
具体的には、平板状の蓋体１２７の中央部を容器本体側へ窪ませて、各半導体ウエハ１２０による撓みを打ち消す。即ち、蓋体１２７を容器本体に取り付けると、各半導体ウエハ１２０によって、蓋体１２７が押し返されてその中央部が外側へ撓むが、その撓みを打ち消すように予め蓋体１２７の中央部を上記容器本体側へ窪ませて形成しておく。これにより、蓋体１２７の中央部が外側へ撓むと、その撓みを窪みが吸収して平らな状態になって打ち消し、ウエハ押え１２１が各半導体ウエハ１２０の全体を均等な力で支持することができる。
【０２０６】
この蓋体１２７の中央部を容器本体側へ窪ませる寸法は、半導体ウエハ１２０の枚数等によって異なる反発力等の諸条件に応じて設定する。また、窪みの形状も、球面状、楕円状、非球面状等の反発力等による変形の状態に応じて、それを打ち消して均等な力で半導体ウエハ１２０を支持できる状態に適宜設定する。これにより、各半導体ウエハ１２０全体を均等な力で支持することができ、振動等による半導体ウエハ１２０の回転を防止することができる。なお、この場合、蓋体１２７の支持用凸条１３１は、両端側と中央側とで同じ厚さに設定しておく。また、蓋体１２７の撓みを、蓋体１２７の中央部の窪みと支持用凸条１３１の厚みの両方で吸収するように、これら蓋体１２７の中央部の窪みと支持用凸条１３１の厚みの両方を調整するようにしてもよい。
【０２０７】
また、蓋体１２７の周囲の補強用フランジを湾曲させてもよい。即ち、各半導体ウエハ１２０による反発力で、蓋体１２７の周囲を形成する補強用フランジが撓むことがあるが、この補強用フランジの撓みを打ち消すように予め容器本体側へ湾曲させて形成してもよい。
【０２０８】
薄板押えが半導体ウエハ１２０に当接して半導体ウエハ１２０を支持する際に、その反発力で蓋体１２７の周囲を形成する補強用フランジも外側へ撓むが、その補強用フランジを予め容器本体側へ湾曲させておくことで、この外側への撓みを吸収する。即ち、予め湾曲させた補強用フランジが外側への撓みによって直線状になって撓みを打ち消し、各半導体ウエハ１２０全体を均一な力で支持する。補強用フランジの具体的な寸法は、蓋体１２７の中央部の場合と同様に、撓みを吸収して打ち消すことができる寸法及び形状に適宜設定する。この補強用フランジを湾曲させる態様と、上記蓋体１２７の中央部を窪ませる態様と、支持用凸条１３１の厚みを調整する態様を適宜組み合わせてもよい。
【０２０９】
また、蓋体１２７の周囲を形成する補強用フランジに補強部材を入れてインサート成形してもよい。これにより、補強用フランジの強度が増して、各半導体ウエハ１２０による反発力に耐えることができ、各半導体ウエハ１２０全体を均一な力で支持することができる。この場合も、補強用フランジに補強部材を入れて補強する態様と、補強用フランジを湾曲させる態様と、上記蓋体１２７の中央部を窪ませる態様と、支持用凸条１３１の厚みを調整する態様とを適宜組み合わせてもよい。
【０２１０】
これらの場合も、上記各実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【０２１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る製造ライン用蓋体を示す部分斜視図である。
【図２】従来の薄板支持容器用蓋体を示す側面断面である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器を示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器を蓋体を外した状態で示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器の蓋体受け部を示す部分斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係る薄板支持容器の蓋体受け部の部分断面図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係る製造ライン用蓋体を示す上面斜視図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係る製造ライン用蓋体を示す下面斜視図である。
【図９】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す上面斜視図である。
【図１０】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す下面斜視図である。
【図１１】本発明の第１実施形態に係る係止部材を示す側面断面図である。
【図１２】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す上面斜視図である。
【図１３】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す下面斜視図である。
【図１４】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す平面図である。
【図１５】本発明の第１実施形態に係る繰り出し部材を示す裏面図である。
【図１６】本発明の第１実施形態に係る保持カバーを示す上面斜視図である。
【図１７】本発明の第１実施形態に係る保持カバーを示す下面斜視図である。
【図１８】本発明の第１実施形態に係るカバー押えを示す上面斜視図である。
【図１９】本発明の第１実施形態に係るカバー押えを示す上面斜視図である。
【図２０】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す側面図である。
【図２１】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２２】本発明の第１実施形態に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２３】本発明の第１実施形態に係る蓋体ホルダーを示す斜視図である。
【図２４】本発明の第１実施形態に係る簡易着脱機構の動作を示す模式図である。
【図２５】本発明の第１実施形態の第１変形例に係るウエハ押えを示す側面図である。
【図２６】本発明の第１実施形態の第１変形例に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２７】本発明の第１実施形態の第１変形例に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２８】本発明の第１実施形態の第２変形例に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図２９】本発明の第１実施形態の第２変形例に係るウエハ押えを示す正面図である。
【図３０】本発明の第１実施形態の第３変形例に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図３１】本発明の第１実施形態の第３変形例に係るウエハ押えを示す要部断面図である。
【図３２】本発明の第１実施形態の第４変形例に係るウエハ押えを示す斜視図である。
【図３３】本発明の第１実施形態の第４変形例に係るウエハ押えを示す正面図である。
【図３４】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えを示す要部斜視図である。
【図３５】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えを含む蓋体の裏面を示す斜視図である。
【図３６】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えを含む蓋体の裏面を示す部分斜視図である。
【図３７】本発明の第２実施形態に係る蓋体の裏面をウエハ押えを除いた状態で示す要部斜視図である。
【図３８】本発明の第２実施形態に係る蓋体の裏面をウエハ押えを除いた状態で示す部分斜視図である。
【図３９】本発明の第２実施形態に係る支持用リブを断面状態で示す斜視図である。
【図４０】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えを示す要部拡大図である。
【図４１】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えの当接片を示す要部拡大図である。
【図４２】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えの当接片を示す要部拡大図である。
【図４３】本発明の第２実施形態に係るウエハ押えの当接片を示す要部断面図である。
【図４４】本発明の第２実施形態の変形例を示す要部斜視図である。
【図４５】本発明の第２実施形態の変形例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【０２１２】
１１：薄板支持容器、１２：容器本体、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ：側壁部、１２Ｅ：底板部、１２Ｆ：開口、１３：薄板支持部、１４：輸送用蓋体、１５：製造ライン用蓋体、１６：トップフランジ、３０：本体部、３２：簡易着脱機構、３４：開口、３６：回転支持軸、３７：ストッパ、３９：基端下側カム、４０：先端側カム、４２：係止部材、４３：繰り出し部材、４４：カム機構、４５：保持カバー、４６：カバー押え、５３：基端上側カム、５５：支点部、５５Ａ：先端側摺接面、５６：先端嵌合部、６９：カム押え突起、１２０：半導体ウエハ、１２１：ウエハ押え、１２２：基端支持部、１２３：弾性支持板部、１２４：当接片、１２４Ａ：嵌合溝、１２５：連接支持板部、１２５Ａ，１２５Ｂ：縦板部、１２５Ｃ：横板部、１２６：支持用リブ、１２７：蓋体、１２８：鈎状支持部、１２９，１３０：支持壁部、１３１：支持用凸条、、１３３：支持板片、１３４：仕切り板片、１３６：連接支持板部嵌合部、１４１：嵌合穴、１４２：嵌合突起。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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