(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの天井にファンフィルタユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィルタユニットを設置する工法であって，
前記ファンフィルタユニットの載置面において格子状または短冊状に枠部材が組み合わされてなり，少なくとも前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架台を，床面に設置する工程と，
前記床面に設置した架台上でフレームを組み上げる工程と，
前記フレームに吊りボルトを固定する工程と，
前記フレーム上にファンフィルタユニットを搭載する工程と，
昇降機で前記架台を持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，
前記揚重機によって前記フレームを架台ごとクリーンルームの所定位置に揚重する工程と，
前記クリーンルーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程と，を有することを特徴とする，ファンフィルタユニットの設置工法。
【請求項２】
クリーンルームの天井にファンフィルタユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィルタユニットを設置する工法であって，
前記ファンフィルタユニットの載置面において少なくとも前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架台を床面に設置する工程と，
前記床面に設置した架台上でフレームを組み上げる工程と，
前記フレームに吊りボルトを固定する工程と，
昇降機で前記架台ごとフレームを持ち上げ，前記架台下面に支持脚を取り付ける工程と，
その後前記支持脚で前記架台を支持させる工程と，
前記フレームに照明器具を取り付け，電気配線を施す工程と，
昇降機で前記架台ごとフレームを持ち上げ，前記架台下面の支持脚を取りはずし，前記架台を床面に設置する工程と，
前記フレーム上にファンフィルタユニットを搭載する工程と，
昇降機で前記架台を持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，
前記揚重機によって前記フレームを前記架台ごとクリーンルームの所定位置に揚重する工程と，
前記クリーンルーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程と，を有することを特徴とする，ファンフィルタユニットの設置工法。
【請求項３】
照明器具を取り付け，電気配線を施す工程の後に少なくともフレーム又はフレームに取り付けた機器，部材等を清掃する工程を有することを特徴とする，請求項２に記載のファンフィルタユニットの設置工法。
【請求項４】
ファンフィルタユニットの搭載の前または後に，前記フレームに少なくともブランクパネル，レタンチャンバ又は高性能フィルタのいずれかを取り付ける工程を有することを特徴とする，請求項１，２又は３のいずれかに記載のファンフィルタユニットの設置工法。
【請求項５】
前記架台は，格子状または短冊状に枠部材が組み合わされてなることを特徴とする，請求項２，３又は４のいずれかに記載のファンフィルタユニットの設置工法。
【請求項６】
前記揚重機は，前記架台を載置可能でかつ昇降可能なステージを有し，
前記ステージ上には，前記架台の下面に接触してこれを支持する回転自在な球体を有することを特徴とする，請求項１〜５のいずれかに記載のファンフィルタユニットの設置工法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，ファンフィルタユニットの設置工法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルームの天井にファンフィルタユニットを設置するにあたっては，例えば特開平７−４２９７９号工法に開示されているように，揚重機上で碁盤目状の天井枠(いわゆるフレーム)を組み立てるとともに，ファンフィルタユニットを該天井枠に搭載し，ファンフィルタユニット搭載天井枠を形成し，その後前記揚重機を伸長させて，天井枠に予め取り付けてあった吊りボルトを，クリーンルームの天井に固定された吊りボルトと連結するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，前記従来の工法は，天井枠の組み立て，ならびに組み上がった天井枠へのファンフィルタユニットの搭載をすべて揚重機の上で行っていたため，一回で揚重する天井枠の大きさが限られていた。すなわち，揚重機のステージよりも大きい天井枠をくみ上げると，ファンフィルタユニットを搭載するにあたりバランスに留意しないと転倒するおそれがあり，また搭載地点に注意しないと天井枠自体が大きくしなり，後の作業に悪影響をおよぼすおそれがある。
【０００４】
そのため前記従来の工法では，揚重機上で組み立てる天井枠は揚重機のステージとほぼ同じ大きさに限られている。その結果，一回で揚重する天井枠の大きさ，つまりは一回で揚重するファンフィルタユニットの台数が限られてしまい，施工時間，工期が長くなってしまうという問題があった。
【０００５】
仮に天井枠を床面に直接置いて，天井枠の組み立てやファンフィルタユニットの搭載作業を実施しようとすると，天井枠下面から行う作業ができなくなり，またファンフィルタユニット搭載済みの天井枠を揚重機で揚重することがそのままでは困難である。
【０００６】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり，従来よりも施工時間，工期が短縮できる新規なファンフィルタユニットの設置工法を提供して，前記問題の解決を図ることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため，請求項１によれば，クリーンルームの天井にファンフィルタユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィルタユニットを設置する工法であって，前記ファンフィルタユニットの載置面において格子状または短冊状に枠部材が組み合わされてなり，少なくとも前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架台を，床面に設置する工程と，前記床面に設置した架台上でフレームを組み上げる工程と，前記フレームに吊りボルトを固定する工程と，
前記フレーム上にファンフィルタユニットを搭載する工程と，昇降機で前記架台を持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，前記揚重機によって前記フレームを架台ごとクリーンルームの所定位置に揚重する工程と，前記クリーンルーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程とを有することを特徴とする，ファンフィルタユニットの設置工法が提供される。
【０００８】
このようなファンフィルタユニットの設置工法によれば，少なくとも前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，前記フレームを支持する架台を床面に設置し，この架台上でフレームを組み上げたり，ファンフィルタユニットを搭載するようにしたので，揚重機のステージの大きさに左右されないサイズのフレームを選択することが可能である。それによってフレームに搭載できるファンフィルタユニットの台数を増加させることが可能である。そして前記架台は，フレームの対向する端部２辺を複数箇所で支持する形状であるから，フレーム自体を安定して支持できる。さらにまた架台自体は床面との間に高さ方向に一部空隙を有する形態であるから，フレームの下面からの作業が可能で，また昇降機の昇降部を進入させて持ち上げることも容易である。
なおここで使用する昇降機は後述の実施の形態で使用する小型リフトが適しているが，一般のフォークリフトも使用できる。またリフタとも呼ばれている揚重機も既存のものを使用できる。
またほぼ納まるとは，例えばフレーム外周の骨材，枠材は，架台から外れてはいるものの，フレームの外周の骨材，枠材に掛け渡されている横フレーム，縦フレームなどの内側鋼材，桟等は架台上に納まって架台に支持されている構成も含むものである。またフレームの端部２辺がすべて架台上に載置される必要はなく，前記２辺のうち，４／５以上が架台上に載置される構成であればよい。
また少なくとも前記フレームの対向する端部２辺が複数箇所で支持される載置面を持った架台としてもよい。
【０００９】
請求項２の発明は，クリーンルームの天井にファンフィルタユニットを搭載したフレームを取り付けてファンフィルタユニットを設置する工法であって，
前記ファンフィルタユニットの載置面において少なくとも前記フレームの対向する端部２辺がその載置面にほぼ納まるように構成され，かつ床面との間に高さ方向に一部空隙を有する架台を床面に設置する工程と，前記床面に設置した架台上でフレームを組み上げる工程と，前記フレームに吊りボルトを固定する工程と，昇降機で前記架台ごとフレームを持ち上げ，前記架台下面に支持脚を取り付ける工程と，その後前記支持脚で前記架台を支持させる工程と，前記フレームに照明器具を取り付け，電気配線を施す工程と，昇降機で前記架台ごとフレームを持ち上げ，前記架台下面の支持脚を取りはずし，前記架台を床面に設置する工程と，前記フレーム上にファンフィルタユニットを搭載する工程と，昇降機で前記架台を持ち上げ，前記架台下面に揚重機をセットする工程と，前記揚重機によって前記フレームを前記架台ごとクリーンルームの所定位置に揚重する工程と，前記クリーンルーム天井における所定の部材に前記吊りボルトを連結する工程とを有し，することを特徴とする，ファンフィルタユニットの設置工法が提供される。
【００１０】
クリーンルームの天井には，清浄空気を供給するファンフィルタユニットの他に，その下面（室内側）に照明器具が取り付けられている。請求項２の発明では，そのような照明器具の取付，及び必要な配線が支持脚によって支持されている架台上で行える。したがって，面倒なこの種の作業が天井への取り付け前に行え，しかも無理のない姿勢でかかる作業が行えるので作業性が良好である。
【００１１】
そして請求項２の発明によれば，揚重機のステージの大きさに左右されないサイズのフレームを選択することができるから，フレームに搭載できるファンフィルタユニットの台数を増加させることが可能である。また架台は，フレームの対向する端部２辺を複数箇所で支持する形状であるから，フレーム自体を安定して支持でき，さらにまた架台自体は請求項１の場合と同様，床面との間に高さ方向に一部空隙を有する形態であるから，フレームの下面からの作業が可能で，また昇降機の昇降部を進入させて持ち上げることも容易である。
【００１２】
照明器具を取り付け，電気配線を施す工程の後にフレームやフレームに取り付けた機器，部材等を清掃する工程を採り入れてもよい。またファンフィルタユニットの取り付けの前または後に，前記フレームに少なくともブランクパネル，レタンチャンバ又は高性能フィルタのいずれかを取り付ける工程を付加してもよい。ブランクパネルとは，碁盤目状に構成されているフレームにおいて，ファンフィルタユニットを搭載していないエリアを塞ぐパネルであり，かかる作業も架台上で行えるから，作業性が良好である。
またブランクパネルに替えて，特許第２５１５５９３号に示された吸込ユニットや高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ，ＵＬＰＡフィルタ）を載置したり，取り付けて，気流を天井に還流させる方式としてもよい。
【００１３】
前記架台は，格子状または短冊状に枠部材が組み合わされていることが好ましい。これによって架台下面からフレームに対する作業がしやすくなり，また重量も軽減できるからである。
【００１４】
前記揚重機は，前記架台を載置可能でかつ昇降可能なステージを有し，このステージ上には，前記架台の下面に接触してこれを支持する回転自在な球体を有するものであってもよい。かかる揚重機を使用すると，揚重しようとする架台の下面とステージ上面との間に回転自在な球体が介在することになるので，ファンフィルタユニット搭載済みのフレームの位置合わせの微調整が容易に行える。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下，本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は，実施の形態ににかかるファンフィルタユニットの設置工法に使用する架台１を示しており，この架台１はアルミ製の角パイプやアングル材によって全体が構成されており，上面の載置部２の外形は四角形をなし，その四辺は枠材２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄによって構成されている。そして対向する１組の枠材２ａ，２ｃ間には，アルミ製の角パイプからなる縦桟２ｅが複数本，平行に渡されている。
【００１６】
枠材２ａ，２ｃの下面両端部には，各々支持脚取り付け部３が垂直に固定されている。この支持脚取り付け部３は，例えば長さが４００ｍｍの長さを有する角パイプで構成されており，図１に示したように，例えば長さが８００ｍｍの長さを有する角パイプで構成された支持脚４の上端部を挿入して連結することが可能である。連結後の固定にあたっては，バースストップを外側から差し込むことによって実現でき，支持脚４は支持脚取り付け部３に対して取り付け自在である。
【００１７】
次に設置工法のプロセスについて説明する。まず図２に示したように，施工対象のクリーンルームの床面Ｆに，架台１を設置する。このとき，支持脚４は支持脚取り付け部３から取り外した状態で設置する。したがって，架台１の下面は，床面Ｆから４００ｍｍの高さに位置している。すなわち架台１の下面と床面との間には，空隙が生じている。
【００１８】
その後架台１上に，ファンフィルタユニットを搭載するフレーム１１を組み立てる。フレーム１１の全体構成は，図３に示したように，縦フレーム材１２と横フレーム材１３とを縦横に組み合わせて碁盤目状に構成される。縦フレーム材１２，横フレーム材１３はいずれも断面がＴ字型のいわゆるＴバー形状を為している。また特に横フレーム材１３については，長手方向に沿って形成されている中空の挿通部１３ａと，この挿通部１３ａの上面に形成された挿通部１３ａに通ずるスリット形状の通過部１３ｂとを上部に有している（図４）。
【００１９】
架台１上でフレーム１１を組み立てた後の平面の様子を図５に示した。図５からもわかるように，架台１は，フレーム１１の両側端部の２辺，すなわち縦フレーム１２，１２を複数の縦桟２ｅで複数箇所で支持する構成となっている。したがって，フレーム１１は，架台１上で安定して支持される。
【００２０】
フレーム１１の組立が終わると，前出図４に示したように，吊りボルト１４を所定位置にセットする。この吊りボルト１４の下端部は，前記挿通部１３ａ内で係止される形状を有し，通過部１３ｂに沿って長手方向にスライド自在で，かつ任意の位置に固定自在である。そしてフレーム１１の構成が前記したようにいずれも断面がＴ字型の縦フレーム材１２と横フレーム材１３を用い，さらに横フレーム材１３の高さを従来よりも高くしたため，吊りボルト１４の配設ピッチｐは，従来の３倍の距離をおくことが可能になっている。
すなわち，本実施の形態では図４に示したように，横フレーム材１３の高さＨを従来よりも長くとることで上下に押される力（圧縮，引っ張り）に抗して，たわみを押さえるようにした。例えば高さＨを従来の８５ｍｍから１２０ｍｍにすると，断面二次モーメントが２３５．５４３ｃｍ４となり，吊りボルト等の吊り金物で本設する前の小型リフトによる高さ位置の設定，揚重機による揚重時にも，従来既存のフレームを使用した場合と比べ，約１．７倍のたわみに耐える強度が付与される。その結果，大規模な天井ユニットの揚重が可能になっている。
したがって，例えば長期荷重が４０ｋｇ／ｍ２のとき，たわみ量を０．１ｃｍに抑える場合でも，配設ピッチｐを従来の３倍の２２５０ｍｍとすることが可能になった。そしてそのように配設ピッチｐを従来よりも大きくとることができるから，吊り元鋼材に吊りボルトを装着する作業の作業量を低減させることが可能になり，作業の迅速化が図れる。
【００２１】
以上のフレーム１１の組立作業，並びに吊りボルト１４のセットは，地上高４００ｍｍ以上の架台１上で行えるから，作業がしやすい。また架台１自体も，いわゆる短冊状の枠構成となっているから，下面からの締め付け作業や縦フレーム材１２，横フレーム材１３の配置，微調整を行いやすい。
【００２２】
次に図６に示したように，小型リフト２１によって架台１ごとフレーム１１を持ち上げる。この小型リフト２１は，いわゆるフォークリフトを小型化した構成を有し，バッテリ，モータによって駆動されて昇降する昇降部２１ａを前方に備えている。そして該昇降部２１ａを架台１の端部から下面に進入させ，その後昇降部２１ａを上昇させて，図６のように，架台１ごとフレーム１１を持ち上げる。この場合，既述したように，架台１は支持脚取り付け部３によって支持されているから，昇降部２１ａの架台１下面への進入は容易である。なお本実施の形態では，４台の小型リフトを用いて，架台１を持ち上げるようにした。
【００２３】
そしてそのように小型リフト２１によって架台１をフレーム１１ごと持ち上げた状態で，架台１下面の支持脚取り付け部３に支持脚４を取り付ける。支持脚４を取り付けた後は，小型リフト２１の昇降部２１ａを降下させ，フレーム１１を載置した架台１を支持脚４で支持させる。したがって，この状態では，架台１の下面は，地上高１２００ｍｍの高さに位置している。
【００２４】
その後図７に示したように，照明器具や配線をフレーム１１に対して行う。従来の工法では天井にフレームを設置した後に，この種の工事を実施していたが，かかる従来方法と比較すると，作業性が極めて良好である。また架台１自体は短冊状に構成されたフレーム構成であるから，架台１を通しての下面からの作業に支障はない。配線後は，適宜結線したり，さらにはそのようなフレーム１１，照明器具周りを清掃するようにしてもよい。クリーンアップと呼ばれている塵埃の吸引，清拭などの清掃作業も地上にて行えるので，従来よりも効率よく，かつ迅速に行える。
【００２５】
前記清掃作業等が終了した後，再び小型リフト２１によって架台１を持ち上げ，架台１下面の支持脚取り付け部３から支持脚４を取り外した後，図８に示したように，架台１を降下させ，支持脚取り付け部３で架台１を支持させるようにして架台１を床面Ｆに置く。その後図９に示したように，フレーム１１の所定の位置にファンフィルタユニット３１を搭載する。ファンフィルタユニット３１への配線，結線（通信線，動力線）等もこのときに実施する。また天井全面にファンフィルタユニットを設置するほどの高い清浄度を求める設備はそれほど多くなく，所望の清浄度に応じてファンフィルタユニットを間引いて設置する。その場合，間引きされた区画，すなわちフレーム１１においてファンフィルタユニット３１を搭載しない区画については，ブランクパネル３２を設置する。
一方，室内の空気の一部を室内から天井に循環させてダクトスペースを低減させる方式では，吸い込みユニットや高性能フィルタを載置する。
【００２６】
ファンフィルタユニット３１の搭載，並びにブランクパネル３２を取り付けた後，図１０に示したように，小型リフト２１を用いて，ファンフィルタユニット３１搭載済みのフレーム１１を架台１ごと持ち上げ，揚重機としてのリフタ４１を架台１下面の所定位置にセットする。
【００２７】
このリフタ４１は，基台部４２と，この基台部４２上に設けられている，いわゆるパンタグラフ構造などの伸縮自在な伸縮部４３と，伸縮部４３の上に設けられているステージ４４とを有しており，伸縮部４３の伸長により，ステージ４４上に支持している物体を揚重することができる構成を有している。また基台部４２の下面には，キャスタ４５が設けられており，任意の位置にリフタ４１を移動させることが可能になっている。
【００２８】
ステージ４４上には，図１１に示したようなスライド調整板５１を設けることが好ましい。このスライド調整板５１は，基板５２上に，ボール型のローラ５３を回転自在に支持している支持部５４を複数有している。そしてこのスライド調整板５１を図１２に示したように，例えばステージ４４上の四隅に設置する。この状態で，ステージ４４を架台１下面の中心に移動させる。
【００２９】
後は，その状態でリフタ４１の伸縮部４３を伸長させて，ファンフィルタユニット３１搭載済みのフレーム１１を架台１ごと持ち上げて，図１３に示したように，天井部Ｃの所定位置まで揚重する。次いで作業員６１が高所作業車６２に乗って，フレーム１１に取り付けた吊りボルト１４を天井部Ｃの所定の部材，例えばターンバックルを装着した吊りボルトに連結する作業を行えばよい。したがって，これまでの一連の作業のなかで，高所で行う作業はそのような吊りボルト１４の連結作業だけであり，他の作業は全て地上で行える。
【００３０】
なおフレーム１１を架台１ごと持ち上げて，天井部Ｃの所定位置まで揚重した場合，フレーム１１の位置合わせの微調整が必要なときでも，スライド調整板５１がステージ４４上に設けてあるので，作業員６１がフレーム１１を手で動かしてかかる微調整を容易に実施できる。
【００３１】
そのようにしてフレーム１１を天井部Ｃの所定の位置に取り付けた後は，リフタ４１の伸縮部４３を収縮させて架台１を降ろし，小型リフト２１で持ち上げた後，リフタ４１を移動させて架台１の下面から待避させ，次いで小型リフト２１によって架台１を床面に降ろして，支持脚取り付け部３で架台１を支持させる。なお以上の工程では，クリーンルーム全域又はフレーム１１の設置されるされる複数の区画で行われる。そこでリフタ４１又は小型リフト２１で次の施工位置まで架台１を移動させることが好適である。これによって再び図２に示したフレーム１１の組立作業が直ちに実施できる。
【００３２】
以上のように，本実施の形態によれば，フレーム１１を架台１上で組み立て，さらに架台１に支持されたフレーム１１にファンフィルタユニット３１を搭載するようにし，リフタ４１による揚重もファンフィルタユニット３１の搭載後のフレーム１１を架台１ごと行うので，リフタ４１のステージ４４の大きさに左右されないサイズのフレーム１１を選択することができる。したがって，フレーム１１に搭載できるファンフィルタユニット３１の台数を増加させることが可能である。
【００３３】
また架台１には，予め支持脚取り付け部３が取り付けてあり，さらにこの支持脚取り付け部３に対して支持脚４が取り付け自在であるから，作業内容によって高さを変更することが可能で，地組作業での各種作業の作業性が極めて良好である。また小型リフト２１の昇降部２１ａを進入させて持ち上げることも容易である。架台１自体はフレーム１１の対向する端部２辺を複数箇所で支持する形態であるから，フレーム１１の下面からの作業が可能で，かつフレームを安定して支持できる。
【００３４】
さらにまた従来高所で行われていた，照明器具の取り付け，各社配線，結線等も全て地組作業の中で実施できるので，全体として従来よりも高所での作業量が減少しており，工期の短縮化も図れる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明のファンフィルタユニットの設置工法によれば，従来よりも作業性が良好でかつ工期の短縮化が図れる。また本発明のリフタを使用すれば，ファンフィルタユニット搭載済みのフレームを天井部に取り付ける際の微調整が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態にかかる設置工法において使用した架台の斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，床面に設置した架台上でフレームを組み立てた様子を示す側面図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかる設置工法において使用したフレームの平面図である。
【図４】図３のフレームの縦フレーム材と横フレーム材の斜視図である。
【図５】架台上載置されたのフレームの平面図である。
【図６】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，小型リフトによってフレームを架台ごと持ち上げた様子を示す側面図である。
【図７】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，架台の下面に支持脚を取り付けて支持させた様子を示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，照明器具を取り付けた後に支持脚を取り外して架台を床面に設置した様子を示す側面図である。
【図９】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，架台上のフレームにファンフィルタユニットを搭載した様子を示す側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，小型リフトによって架台を持ち上げ，架台下面の所定位置にリフタを移動させた様子を示す側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態にかかる設置工法において使用したスライド調整板の斜視図である。
【図１２】リフタによって架台を揚重する際の，架台，フレーム及びステージの平面図である。
【図１３】本発明の実施の形態にかかる設置工法の施工手順を示し，フレームを揚重後，作業員が吊りボルトを連結している様子を示す側面図である。
【符号の説明】
１    架台
３    支持脚取り付け部
４    支持脚
１１    フレーム
１２    縦フレーム材
１３    横フレーム材
１４    吊りボルト
２１    小型リフト
２１ａ  昇降部
３１    ファンフィルタユニット
３２    ブランクパネル
４１    リフタ
４３    伸縮部
４４    ステージ
５１    スライド調整板
５３    ローラ
【図１】
0004684450.tif 000002
【図２】
0004684450.tif 000003
【図３】
0004684450.tif 000004
【図４】
0004684450.tif 000005
【図５】
0004684450.tif 000006
【図６】
0004684450.tif 000007
【図７】
0004684450.tif 000008
【図８】
0004684450.tif 000009
【図９】
0004684450.tif 000010
【図１０】
0004684450.tif 000011
【図１１】
0004684450.tif 000012
【図１２】
0004684450.tif 000013
【図１３】
0004684450.tif 000014