(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを含む回路設計データと、前記パネル画像個々に係る識別情報（バリアブルデータ）とを組み合わせて前記パネル画像を複数配置してなる画像の描画データを生成するに際し、
少なくとも、前記パネル画像を表記するマスクデータと前記バリアブルデータとを個別に圧縮した後に、これらを合成して描画データを生成することを特徴とするデジタルデータ処理方法。
【請求項２】
前記バリアブルデータには当該バリアブルデータの回転，反転に関する情報が含まれ、描画データを生成する際に、前記回転，反転に関する情報に対応する合成処理を行う請求項１に記載のデジタルデータ処理方法。
【請求項３】
前記描画データの合成後に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行う請求項１または２に記載のデジタルデータ処理方法。
【請求項４】
前記描画データの合成前に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行っておく請求項１または２に記載のデジタルデータ処理方法。
【請求項５】
要求される処理速度と処理精度により、請求項３に記載のデジタルデータ処理方法または請求項４に記載のデジタルデータ処理方法のいずれかを選択使用するデジタルデータ処理方法。
【請求項６】
前記マスクデータのレイアウト時に、前記バリアブルデータのレイアウトを設定する請求項１〜５のいずれかに記載のデジタルデータ処理方法。
【請求項７】
パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを含む回路設計データと、前記パネル画像個々に係る識別情報（バリアブルデータ）とを組み合わせて前記パネル画像を複数配置してなる画像の描画データを生成する装置であって、
前記回路設計データから、前記パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを抽出する抽出手段と、
この抽出手段により抽出した前記マスクデータとバリアブルデータとを個別に圧縮した後に、これらを合成するデータ処理手段と、
このデータ処理手段により生成した描画データを用いて露光する露光手段を有することを特徴とするデジタル露光装置。
【請求項８】
前記バリアブルデータには当該バリアブルデータの回転，反転に関する情報が含まれ、前記データ処理手段は、描画データを生成する際に、前記回転，反転に関する情報に対応する合成処理を行うものである請求項７に記載のデジタル露光装置。
【請求項９】
前記データ処理手段は、前記描画データの合成後に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行うものである請求項７または８に記載のデジタル露光装置。
【請求項１０】
前記データ処理手段は、前記描画データの合成前に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行っておくものである請求項７または８に記載のデジタル露光装置。
【請求項１１】
要求される処理速度と処理精度により、請求項９に記載のデジタルデータ処理手段または請求項１０に記載のデジタルデータ処理手段のいずれかを選択使用するデジタルデータ処理装置。
【請求項１２】
前記データ処理手段は、前記マスクデータのレイアウト時に、前記バリアブルデータのレイアウトを設定するものである請求項７〜１１のいずれかに記載のデジタル露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はデジタル露光方法および装置に関し、特に、一部が互いに共通する複数バージョンの画像データを取り扱うのに好適な、デジタルデータ処理方法およびデジタル露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば多面付けで描画を行う、プリント配線基板や液晶ディスプレイ用パネルの製造分野等（以下、液晶ディスプレイ用パネルの製造分野で代表させる）においては、各基板上に、製品の主要部となる液晶ディスプレイ用パネルのパターン部分が所定の位置に配置されるとともに、通常、この各パターン部分に近接した位置に、当該パターン部分についての品種記号，製造番号その他の各パターン部分毎に固有の情報を示す文字，記号等（以下、識別子という）が記録される。
【０００３】
上述のパターン部分は、通常、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ ａｉｄｅｄ ｄｅｓｉｇｎ）で設計された基本パターン（ここでは、液晶ディスプレイ用パネルのパターン）であり、このパターン部分については、いわゆるフォトリソグラフィ技術を用いて作製したフォトマスクを作製し、このフォトマスク上の画像を液晶ディスプレイ用パネルとなる基板に転写する方式（アナログ方式）によって露光を行っていた。
また、上記識別子は、製造管理を担当する部門等において生成され、上記基本パターンと対応付けて管理されており、この識別子の露光は、上述のパターン部分の露光とは切り離して、別に、タイトラーと呼ばれる専用の露光機によって露光されていた。
【０００４】
すなわち、従来のアナログ方式による露光工程では、識別子露光部分をマスクした状態で、上述のフォトマスクを用いたパターン部分の露光を行った後に、未露光状態に保護されていた識別子露光部分のマスクをはずして、ここに、上述のタイトラーと呼ばれる専用の露光機によって識別子が露光されていた。
これは、アナログ方式による露光工程では、同一のマスクを繰り返し使用する関係で、このマスクには上述の識別子のデータを記録しておくことができず、個別の記録（露光）を行わざるを得ないことによる。
【０００５】
しかし、このように、パターン部分の露光と識別子のデータの露光とを別々に行うことは、タイトラーと呼ばれる専用の露光機を必要とするという根本的な問題に加えて、工程数が増加して非能率的であり、基板上におけるパターン部分の位置に対する識別子の位置付けの精度が得られにくいこと等、種々の問題があり、改善が要望されていた。
これに対しては、近年、レーザ光による直接露光（描画）方式であるデジタル露光方式が開発され、実用化されつつある。
【０００６】
このデジタル露光方式は、アナログ露光方式のようにフォトマスクを作製し、このフォトマスク上の画像を液晶ディスプレイ用パネルとなる基板に転写する方式とは異なり、データに応じて変調されたレーザ光による走査露光により基板上にレーザ光による直接描画を行うようにしたものである。
従って、この描画（露光）を行う対象を、パターン部分のみならず識別子の露光にまで拡張することにより、デジタル露光方式をより実用的なものとすることができる。
【０００７】
この種の先行技術としては、例えば、本出願人の出願に係る特願２００５−６３５９７号「画像データ変換装置、画像データ変換プログラム、および画像出力システム」（特開２００５−３１０１１５号公報（以下、特許文献１という）参照）が挙げられる。この技術は、一部が互いに共通した複数バージョンの画像における互いに共通の部分（上述のパターン部分に相当するもので、以下、これをマスタ部分という）と互いに異なる部分（上述の識別子に相当するもので、以下、これをバリアブル部分という）とのそれぞれを第１形式（設計時のデータ形式）で取得し、これらをそれぞれ第２形式（描画用のデータ形式）に変換して、画像出力装置に出力することにより、複数バージョンの画像を効率よく記録するというものである。
【０００８】
すなわち、デジタル露光方式による描画システムでは、ＣＡＤで設計された基本パターンを編集して液晶ディスプレイ用パネルとなる基板に割り付けてなる描画パターンを表記した描画パターンデータ（ベクトルデータまたはガーバデータ）に編集するＣＡＭ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）と、このＣＡＭで編集した描画パターンデータをラスタライズしてラスタデータを生成するＲＩＰ（Ｒａｓｔｅｒ Ｉｍａｇｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等の処理装置と、この処理装置でラスタライズしたラスタデータを用いて基板上に画像を描画（露光）するデジタル露光装置とを用いて、デジタル描画を行う。
【０００９】
この際に重要になるのは、上述の基本パターンの画像を基板上に割り付け・配置する段階において、前述の識別子を基板上に効率よく組み込み配置することである。
これには、上述の基本パターンの画像を基板上に割り付け・配置する際に用いるレイアウト情報と同様の情報を用いることができる。
【００１０】
【特許文献１】特開２００５−３１０１１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、ここで問題になるのは、例に挙げている液晶パネルの製造分野においては、近年、画像パターンの微細化、あるいは液晶ディスプレイ用パネルを用いる液晶ディスプレイ（いわゆる、ＬＣＤ）の大サイズ指向に伴って基板全体の大サイズ化が顕著であり、これに伴って扱うデータ量が飛躍的に増加しており、このようなデータ量の飛躍的な増加が、製造装置の画像処理部（具体的には、各種データの合成処理や、設計データから描画用データへの変換処理）への負担を著しく増大させていることである。
【００１２】
具体的には、例えば上述の液晶ディスプレイ用パネルの製造においては、近年、２．４ｍ×２．４ｍというような大サイズのガラス基板が用いられるようになっており、この場合、この基板上に記録されるブラックマトリクス（ＢＭ）や、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色フィルタ層等の記録データ（ラスタデータ）の総量は、２．４テラ バイト（２．４Ｔbyte ）を超えるようなものとなるため、このような大量のデータの取り扱いに関しては、その処理時間の効率化を含めてシステムの構成を基本的な部分から見直す必要が出てきている。
【００１３】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、従来技術に基づく問題点を解消し、ハンドリングする総データ量を、現状のデータ処理システムの能力内で処理できる程度のデータ量を超えない範囲に収めて、現状のデータ処理システムによる処理を可能とするデジタルデータ処理方法およびデジタル露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために、本発明に係るデジタルデータ処理方法は、パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを含む回路設計データと、前記パネル画像個々に係る識別情報（バリアブルデータ）とを組み合わせて前記パネル画像を複数配置してなる画像の描画データを生成するに際し、少なくとも、前記パネル画像を表記するマスクデータと前記バリアブルデータとを個別に圧縮した後に、これらを合成して描画データを生成することを特徴とする（請求項１）。
【００１５】
本発明に係るデジタルデータ処理方法においては、前記バリアブルデータには当該バリアブルデータの回転，反転に関する情報が含まれ、描画データを生成する際に、前記回転，反転に関する情報に対応する合成処理を行うことが好ましい（請求項２）。
【００１６】
また、本発明に係るデジタルデータ処理方法においては、前記描画データの合成後に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行うこと（請求項３）、もしくは、前記描画データの合成前に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行っておくことが好ましい（請求項４）。
なお、本発明に係るデジタルデータ処理方法においては、要求される処理速度と処理精度により、請求項３に記載のデジタルデータ処理方法または請求項４に記載のデジタルデータ処理方法のいずれかを選択使用することが好ましい（請求項５）。
さらに、本発明に係るデジタルデータ処理方法においては、前記マスクデータのレイアウト時に、前記バリアブルデータのレイアウトを設定することが好ましい（請求項６）。
【００１７】
また、上記目的を達成するために、本発明に係るデジタル露光装置は、パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを含む回路設計データと、前記パネル画像個々に係る識別情報（バリアブルデータ）とを組み合わせて前記パネル画像を複数配置してなる画像の描画データを生成する装置であって、前記回路設計データから、前記パネル画像を表記するマスクデータと前記パネル画像の個々のレイアウト情報とを抽出する抽出手段と、この抽出手段により抽出した前記マスクデータとバリアブルデータとを個別に圧縮した後に、これらを合成するデータ処理手段と、このデータ処理手段により生成した描画データを用いて露光する露光手段を有することを特徴とする（請求項７）。
【００１８】
本発明に係るデジタル露光装置においては、前記バリアブルデータには当該バリアブルデータの回転，反転に関する情報が含まれ、前記データ処理手段は、描画データを生成する際に、前記回転，反転に関する情報に対応する合成処理を行うものであるものであることが好ましい（請求項８）。
【００１９】
また、本発明に係るデジタル露光装置においては、前記データ処理手段は、前記描画データの合成後に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行うものであること（請求項９）、もしくは、前記データ処理手段は、前記描画データの合成前に、この描画データを用いて描画（露光）を行う露光装置固有のデータへの変換を行っておくものであることが好ましい（請求項１０）。
なお、本発明に係るデジタルデータ処理装置においては、要求される処理速度と処理精度により、請求項９に記載のデジタルデータ処理手段または請求項１０に記載のデジタルデータ処理手段のいずれかを選択使用することが好ましい（請求項１１）。
さらに、本発明に係るデジタル露光装置においては、前記データ処理手段は、前記マスクデータのレイアウト時に、前記バリアブルデータのレイアウトを設定するものであることが好ましい（請求項１２）。
【００２０】
なお、本発明の他の特徴的構成としては、下記のようなものが挙げられる。
（１）請求項１〜５のいずれかに記載のデジタルデータ処理方法において、さらに前記マスクデータのレイアウト時に、前記バリアブルデータの種類（英数字，バーコード，データマトリクス等）を設定するようにしたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置。
（２）請求項１〜６のいずれかに記載のデジタルデータ処理方法において、さらに任意のコメントを前記バリアブルデータとして露光可能としたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置。
（３）上述の任意のコメントとして日時を露光可能としたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置。
（４）前記各種のバリアブルデータ（英数字，バーコード，データマトリクス等）として、統合生産システム（いわゆる、ＣＩＭ：Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）から指定されるものを露光するようにしたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置。
【発明の効果】
【００２１】
従来のアナログ露光技術では、回路パターンは固定マスクを使用した露光装置により露光し、バリアブルパターンはタイトラー等の専用装置により露光していたが、本発明によれば、回路パターンとバリアブルパターンとを一度に露光するようにしたので、露光に要する時間を大幅に短縮することができる。また、バリアブル露光のための専用装置が不要になるため、コストダウンが可能になるとともに、装置を設置するためのスペースの削減が可能になるという効果を奏する。
【００２２】
また、本発明においては、圧縮データのままでバリアブルデータの生成，合成を行うようにしたので、使用するメモリ量を削減でき、また、高速に処理を行うことが可能になるという実用上大きな効果も得られる。
さらに、バリアブルデータ自体の生成，指定等の操作に関する自由度が増大するので、露光工程全般にわたっての自由度が格段に向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明に係る画像記録システムを詳細に説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係るデジタルデータ処理方法の概要を説明するための、圧縮マスクデータ合成方式のブロック構成図である。以下に、詳述するが、本実施形態に係る圧縮マスクデータ合成方式は、圧縮されたマスクデータに、圧縮されたバリアブルデータを合成する方式である。
【００２５】
図１に示されているのは、本実施形態に係る圧縮マスクデータ合成方式を実施する際の前提となるシステム構成例であり、このシステム１０は、レイアウト部１２，ＣＩＭ１４，マスクデータ圧縮部１６並びにデジタル露光装置１８から構成されている。
【００２６】
レイアウト部１２は、以下に示すＣＩＭ１４と協調して、パネルデータのレイアウト，バリアブルデータのレイアウトを行う機能を有するものであり、より詳細には、マスクデータのレイアウトに基づき、バリアブルデータのレイアウト（位置，サイズ，解像度，方向等）種類（英数字，バーコード，データマトリクス等），裏面走査の有無を指定する機能を有する。
【００２７】
ＣＩＭ１４は、生産工程の統合管理システムであり、生産計画，生産管理を行う機能を有するものである。また、ＣＩＭ１４は、生産される部品の識別ＩＤ等を管理する機能を有する。
【００２８】
マスクデータ圧縮部１６は、これもＣＩＭ１４と協調して、高速処理を可能とするための、マスクデータ圧縮を行う機能を有するものである。ここでのマスクデータ圧縮の方式等に付いては、後に詳述する。
【００２９】
また、デジタル露光装置１８は、ここでは、バリアブルデータ生成部１８Ａ，反転部１８Ｂ，回転部１８Ｃ，圧縮部１８Ｄ，バリアブルデータ合成部１８Ｅ，変換部１８Ｆ並びに露光部１８Ｇから構成されている。
バリアブルデータ生成部１８Ａは、レイアウト部１２から送られる各種のバリアブル情報およびＣＩＭ部１４から送られる製造番号等の情報に基づいて、各種のバリアブルデータの生成、すなわち英数字データの生成，バーコードの生成，データマトリクスの生成等を行う機能を有するものである。
【００３０】
反転部１８Ｂは、バリアブルデータ生成部１８Ａから送られた各種のバリアブルデータについて、ガラス基板等の光透過性材料から構成される基板に対する、裏面からの走査を可能とするためのバリアブルデータの鏡像を生成する機能を有するものであり、回転部１８Ｃは、これもバリアブルデータ生成部１８Ａから送られた各種のバリアブルデータについて（反転処理の後段で）、基板に対して上下左右の４方向のレイアウトを行うための、バリアブルデータの回転を行う機能を有するものである。
【００３１】
また、圧縮部１８Ｄは、反転部１８Ｂ，回転部１８Ｃにおける反転または／および回転処理が行われた各種のバリアブルデータについて、データ量を、合成可能な、すなわち本合成システムにおいて対応することが可能なデータ量に対応する解像度まで圧縮するための圧縮機能を有するものである。
【００３２】
そして、バリアブルデータ合成部１８Ｅは、圧縮部１８Ｄから送られた圧縮されたバリアブルデータと、前述のマスクデータ圧縮部１６から送られた圧縮されたマスクデータとを合成する（圧縮されたマスクデータに、圧縮されたバリアブルデータを組み込む）データ合成を行う機能を有するものである。
【００３３】
変換部１８Ｆは、バリアブルデータ合成部１８Ｅにおいて合成されたデータを、これを元に実際の露光を行うに用いる次段の露光部１８Ｇに適した装置固有のデータに変換する機能を有するものである。
露光部１８Ｇは、変換部１８Ｆにおいて変換されたデータを用いて、レーザー光による露光を行う機能を有するものである。
【００３４】
以下、上述の各部の機能のうち、本発明の特徴部分である、データ圧縮方式等について詳細に説明する。
【００３５】
まず、マスクデータ圧縮部１６における圧縮方式の概要を説明する。なお、ここでは、インデックス付き１バイト固定長ＲＬＥ（ランレングス圧縮）を例とする。
図２が、そのイメージである。
図２に示すように、１ラインは複数のセクションに分割されており、あるセクションサイズ毎に圧縮データへのオフセットを持つことにより、セクションサイズ毎のインデキシングを実現する。インデキシングにより、ＲＬＥデータ中の座標検索が高速化される。圧縮データは、固定長ＲＬＥにより圧縮される。ここでは、固定長ＲＬＥは１バイトで構成され、先頭ビットが白／黒を示し、残り７ビットで連長を示す。
【００３６】
データ配列が図３に示すようなものであったとすると、この総ビット数は３３３０ビットになる。これを最大連長１２０の固定長ＲＬＥで圧縮すると、以下のようになる。
0x78 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C
0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C
0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x46
【００３７】
次に、バリアブル露光のための前処理について説明する。
通常、露光毎にデータの合成を行うと、合成前データ領域と、合成後のデータ領域との２面分が必要になってしまう。ここでは、それを１面のみで実現するために、以下に説明するような前処理を行う。以下に、具体例を挙げて説明する。
【００３８】
バリアブルデータの合成位置，サイズ，解像度は、前述の、レイアウト部１２からの情報により与えられている。そのため、圧縮マスクデータのバリアブル該当領域を、圧縮後のバリアブルデータサイズとすることで、バリアブル領域データを上書き変更できるようになる。露光毎に、圧縮マスクデータのバリアブル該当領域を上書きすることで、データ領域が１面で済むようになる。
【００３９】
そのためには、
連長 ＝ バリアブルデータ解像度／入力データ解像度
で算出される連長単位で、圧縮マスクデータのバリアブル対象領域に０のＲＬＥデータを出力する。
例えば、バリアブルデータ解像度１２５μｍ、入力データ解像度１μｍの場合、連長が１２５となり、１２５の連長単位でＲＬＥデータを出力することになる。ＲＬＥの最大連長を１２０とすると、１２０連と５連でＲＬＥデータは出力される（図４参照）。
【００４０】
次に、バリアブルデータ生成部１８Ａ〜圧縮部１８Ｄについて補足説明する。
バリアブルデータ生成部１８Ａは、上述の、バリアブルデータ解像度を１画素とするバリアブルのラスタデータを生成する。生成する解像度，タイプ，値は、前述のように、レイアウト部１２から送られるバリアブル情報およびＣＩＭ部１４から送られる製造番号等の情報により既知である。
【００４１】
反転部１８Ｂでは、裏面からの走査が指定されている場合には、ここでバリアブルのラスタデータの左右反転を行う。
回転部１８Ｃでは、レイアウト部１２で指定される方向に従い、必要であればバリアブルのラスタデータを回転する。
【００４２】
また、圧縮部１８Ｄでは、圧縮マスクデータにバリアブルデータの合成を行うために、バリアブルのラスタデータの解像度変換と、ＲＬＥ圧縮を行う。
ここでは、固定長圧縮を用いているため、Ｘ方向に関してはバリアブル解像度データから直接入力データ解像度ＲＬＥデータが作成できる。１２５μｍ解像度データから１μｍ解像度のＲＬＥデータを作成する場合を、図５に示す（最大連長：１２０）。
【００４３】
Ｙ方向に関しては、バリアブル解像度を入力データ解像度に増やすことはせず、データピッチ解像度のままとする。データピッチ解像度が１２５μｍで、入力データ解像度が１μｍの場合、入力データ１２５ラインをバリアブルデータの１ラインで処理することにより、バリアブルデータ量を１／１２５と大幅に削減できる（図６参照）。
【００４４】
次に、バリアブルデータ合成部１８Ｅにおけるバリアブルデータの合成について、その詳細を説明する。
バリアブルデータの合成は、圧縮マスクデータ中のバリアブル対象領域データを圧縮されたバリアブルラスタデータで上書きすることで実現される。ただし、この際、前述のような前処理が行われている必要がある。
【００４５】
バリアブル対象領域の開始論理座標，論理サイズをそれぞれ（Ｘｖ，Ｙｖ），（Ｗｖ，Ｈｖ）、コピー開始セクションをＳｓ、コピー終了セクションをＳｅとすると、
Ｓｓ＝Ｘｖ／セクションサイズ
Ｓｅ＝（Ｘｖ＋Ｗｖ）／セクションサイズ
により、Ｓｓ，Ｓｅが算出される。
【００４６】
Ｓｓ＝Ｓｅであれば、バリアブル領域は単一のセクション内であり（図７参照）、Ｓｓ＜Ｓｅであればバリアブル領域は複数のセクションにわたる（図８参照）ことになる。
単一セクションにバリアブル領域が含まれる場合、コピーするデータは、バリアブル領域の始点と終点により分割された３ブロックで構成される。最初と最後のブロックは入力データの該当部をそのまま使用し、中間のブロックはバリアブルデータを上書きコピーする（図７参照）。
【００４７】
また、連続した複数セクションにバリアブル領域が含まれる場合、最初のセクションに関しては、バリアブル領域の始点により２つのブロックに分割される。そのデータを作成する場合、前半のブロックは入力データの該当部をそのまま使用し、後半のブロックはバリアブルデータを上書きコピーする。
最後のセクションは、バリアブル領域の終点により２つのブロックに分割される。そのデータを作成する場合、前半のブロックはバリアブルデータの該当部をコピーし、後半のブロックは入力データの該当部をそのまま使用する。
中間のセクションが存在する場合は、バリアブルデータの該当部をセクションサイズ分上書きコピーすることで、バリアブルデータが合成される（図８参照）。
【００４８】
上述のバリアブルデータの合成のためには、圧縮マスタデータの切断点の検出が必要となる。バリアブル領域の切断の座標点をｘとすると、切断データの該当セクションＮo.（これを、sect とする）は、以下のようにして算出される。
sect ＝ｘ／セクションサイズ
【００４９】
また、セクションの先頭からの切断座標ｃは、以下のようにして算出される。
ｃ＝ｘ−（セクションサイズ×sect ）
ｃの位置に該当するデータは、セクションの先頭からシーケンシャルに検索し、切断する必要がある。その検索手順は、図９に示すようになる。
【００５０】
図９において、ステップＳ９１では、ＲＬＥデータの先頭からの総連長をカウントするpos ，ＲＬＥデータの現在のバイト数（インデックス）をカウントするidx をリセットし、次に、ａに現在注目しているインデックスの連長を算出する（ステップＳ９３）。
【００５１】
ステップＳ９４では、pos ＋ａが現在の切り出し位置ｃ以上か否かを判断し、pos ＋ａが現在の切り出し位置ｃ以上の場合には、ＲＬＥデータの切断を行う（ステップＳ９８）。そうでない場合は、idx を１バイト増やし（ステップＳ９５）、pos にａを加える（ステップＳ９６）。
【００５２】
上述の一連の処理を、ＲＬＥデータの先頭から（ステップＳ９２）、切断点を検出する（ステップＳ９８）か、idx がＲＬＥデータの最大バイト数になるまで繰り返す（ステップＳ９７）。
【００５３】
ここで、ＲＬＥのデータ長ａは、 data［idx］ＡＮＤ（論理積） 0x7F により算出される。一例として、圧縮データを以下のようなものとする。
0x78 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C
この場合、ｃ＝５０を上の圧縮データに適用すると、先頭の0x78（120）が0x32（50）と0x46（70）に切断され、ブロックデータは、
0x32
0x46 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C 0xF8 0x8A 0x78 0x78 0x3C
の２ブロックに分割される。
【００５４】
上述のようにしてバリアブルデータの合成が終了すると、このデータは、変換部１８Ｆに送られる。変換部１８Ｆでは、前述のように、露光に適した装置固有のデータへの変換が行われる。
具体例としては、ＤＭＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｍｉｒｒｏｒ Ｄｅｖｉｃｅ）のミラー毎にサンプリングしたミラーデータが挙げられる。
変換時に、アライメント補正等の補正処理を同時に行うことで、露光の精度を向上させることが可能である。
【００５５】
上述の変換部１８Ｆにより変換されたデータは、露光部１８Ｇに送られ、前述のように、当該装置固有のデータにより露光が行われる。
具体例としては、ミラーデータをＤＭＤ駆動用データに変換し、ＤＭＤ駆動＋レーザー光照射による露光が挙げられる。
【００５６】
次に、マスクデータとバリアブルデータ合成に係る他の方式（実施形態）について説明する（図１０参照）。
先に説明した実施形態（図１参照）は、バリアブルデータ合成部１８Ｅにおいて、圧縮されたマスクデータに、これも圧縮されたバリアブルデータを合成した後、この合成されたデータを装置固有のデータに変換する方式であった。
【００５７】
これに対して、以下に説明する実施形態（図１０参照）は、バリアブルデータ合成部１８Ｅにおいて、圧縮されさらに装置固有のデータに変換されたマスクデータに圧縮されたバリアブルデータを合成するという方式である。
本方式は、上述の、圧縮されさらに装置固有のデータに変換されたマスクデータは、基本的には圧縮されたマスクデータと同様であるが、変換部１８Ｆにより装置固有のデータに変換された後に、バリアブルデータの合成を行う点が異なる。
【００５８】
本実施形態に係る方式では、変換部１８Ｆにおいて変換されたマスクデータを露光装置に適した装置固有のデータに変換する。具体例としては、ＤＭＤのミラー毎にサンプリングしたミラーデータが挙げられる。ミラーデータを固定長ＲＬＥデータで圧縮している場合、変換時にミラー毎にあるサイズ単位（セクションサイズ）でのインデキシングを行い、ミラーデータの座標検索を高速化する（図１１参照）。
【００５９】
また、バリアブルデータ合成部１８Ｅでは、露光に適した装置固有データに対し、バリアブルデータを合成する。ここでも、具体例としては、ミラー毎にサンプリングされ、固定長ＲＬＥされたミラーデータとする。
本実施形態に係るデータ合成方式は、基本的には、先の実施形態に係る圧縮マスクデータ合成方式と同様であるが、対象がマスクデータでなく、ビーム位置に応じたミラーデータである点が異なっている（多重度，座標オフセット）。
【００６０】
座標系を図１２に示すように定義し、ＤＭＤ素子のミラー数を１０２４×２４０とした場合、ミラー１〜１０２４×２４０の各ビーム論理座標をＰｎ＝（Ｘｎ，Ｙｎ）、バリアブル対象領域の論理座標とサイズをそれぞれ（Ｘｖ，Ｙｖ），（Ｗｖ，Ｈｖ）とすると、
Ｙｖ ≦ Ｙｎ ≦ Ｙｖ＋Ｈｖ
を満たすミラーデータの
Ｘｖ ≦ Ｘｎ＋（セクションＮo.×セクションサイズ）≦ Ｘｖ＋Ｗｖ
間のデータをバリアブルデータで合成する。
【００６１】
また、コピー開始セクションをＳｓ、コピー終了セクションをＳｅとすると、
Ｓｓ＝（−Ｘｎ＋Ｘｖ）／セクションサイズ
Ｓｅ＝（−Ｘｎ＋Ｘｖ＋Ｗｖ）／セクションサイズ
により、Ｓｓ，Ｓｅが算出される。
【００６２】
Ｓｓ＝Ｓｅであれば、バリアブル領域は単一のセクション内であり、Ｓｓ＜Ｓｅであればバリアブル領域は複数のセクションにわたることになる。このＳｓ，Ｓｅにより、領域の分割種が、段落〔００４６〕〜〔００４７〕に記載の方法と同様にして決定される。また、切断点の算出についても、段落〔００４８〕〜〔００５０〕に記載の方法と同様にして行うことができる。
【００６３】
ここで、上述の２つの実施形態に係る方式についての比較を示す。
図１３（ａ），（ｂ）は、両方式によるワークフローの差を示すものであり、（ａ）は圧縮マスクデータを合成する方式（すなわち、第１の実施形態に係る方式）、（ｂ）は装置固有のデータを合成する方式（同、第２の実施形態に係る方式）を示している。
【００６４】
一般に、露光は、ロット（処理単位という意味）単位に行われる（例えば、１ロットが１０枚の場合、図１３の指定処理数が１０となる）。
図１３（ａ）に示す圧縮マスクデータを合成する方式（第１の実施形態に係る方式）では、露光の度に毎回、装置固有データへの変換処理が必要である（つまり、ステップＳ１３１〜Ｓ１３４の繰り返し）ため、処理量が多いが、変換時にアライメント補正を同時に行うなど、高精度な出力が可能であるという利点がある。
【００６５】
また、図１３（ｂ）に示す装置固有のデータを合成する方式（同、第２の実施形態に係る方式）では、最初に一度だけ装置固有のデータへの変換を行い、露光時には、バリアブルデータの生成，反転，回転，合成のみを行う（つまり、ステップＳ１３７〜Ｓ１３９のみの繰り返し）ため、処理量が非常に少なく、高速に処理が可能となるが、アライメント補正などを露光毎に行うことはできない。
従って、実際上は、両方式をマスクデータの量などに応じて適宜使い分けるようにするのがよい。
【００６６】
以上、説明したように、本発明によれば、ハンドリングする総データ量を、現状のデータ処理システムの能力内で処理できる程度のデータ量を超えない範囲に収めて、現状のデータ処理システムによる処理を可能とするデジタルデータ処理方法およびデジタル露光装置を実現することが可能になった。
【００６７】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるべきものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更を行ってもよいことはいうまでもない。
【００６８】
例えば、上記デジタルデータ処理方法において、さらに任意のコメントを前記バリアブルデータとして露光可能としたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置、また、上述の任意のコメントとして日時を露光可能としたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置、前記各種のバリアブルデータ（英数字，バーコード，データマトリクス等）として、ＣＩＭから指定されるものを露光するようにしたデジタルデータ処理方法、並びにこの方法を具体化したデジタル露光装置が好適に実用化される。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係るデジタルデータ処理方法の概要を説明するための、圧縮マスクデータ合成方式のブロック構成図である。
【図２】実施形態に係るシステムにおける、マスクデータ圧縮部でのデータ圧縮方式の概要を説明するイメージ図である。
【図３】図２に示すデータ圧縮方式の具体例の元になるデータ配列を示す図である。
【図４】実施形態に係るシステムにおける、データ合成の前処理例を説明する図である。
【図５】実施形態に係るシステムにおける、データ圧縮部でのデータ圧縮処理例を説明する図（その１）である。
【図６】実施形態に係るシステムにおける、データ圧縮部でのデータ圧縮処理例を説明する図（その２）である。
【図７】実施形態に係るシステムにおける、バリアブルデータ合成処理例を説明する図（その１）図である。
【図８】実施形態に係るシステムにおける、バリアブルデータ合成処理例を説明する図（その２）図である。
【図９】実施形態に係るシステムにおける、圧縮マスクデータの切断点算出処理例を説明するフロー図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係るデジタルデータ処理方法の概要を説明するための、装置固有データ合成方式のブロック構成図である。
【図１１】実施形態に係るシステムにおける、装置固有データの一例を示す図である。
【図１２】実施形態に係るシステムにおける、ミラーデータの論理座標と座標系を示す図である。
【図１３】実施形態として示した２つのデータ合成処理を比較説明するフロー図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０，１０Ａ  （データ合成を行う）システム
１２  レイアウト部
１４  ＣＩＭ
１６  マスクデータ圧縮部
１８  デジタル露光装置
１８Ａ  バリアブルデータ生成部
１８Ｂ  反転部
１８Ｃ  回転部
１８Ｄ  圧縮部
１８Ｅ  バリアブルデータ合成部
１８Ｆ  変換部
１８Ｇ  露光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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