(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
混合溶媒と機能材料とを含有する塗液であって、
吐出装置を用いてパターン塗布し、膜を形成するためのものであり、
該機能材料は、有機エレクトロルミネセンス素子の発光材料、金属配線の導電性材料、又は、カラーフィルターの着色材料であり、
該混合溶媒は、２以上の芳香環を有し、かつ対称構造を有する化合物により構成される第一溶媒と他の溶媒とを含み、
該第一溶媒を構成する化合物は、２回回転軸を有する構造をもち、
該第一溶媒は、ジフェニルスルフィド及びジフェニルメタンからなる群より選択された少なくとも１種の化合物により構成され、
該他の溶媒は、ベンゼン、トルエン、ｍ−キシレン、ｏ−キシレン、ｐ−キシレン、１，３，５−トリメチルベンゼン、１，２，４−トリメチルベンゼン、１，２，３，４−テトラメチルベンゼン、１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン、シメン、ジュレン、クメン、デカリン、及び、シクロヘキシルベンゼンからなる群より選択された少なくとも１種の化合物により構成され、
該第一溶媒の容量割合は、混合溶媒中４０％以上、９５％以下である
ことを特徴とする塗液。
【請求項２】
前記第一溶媒の容量割合は、混合溶媒中４０％以上、７０％以下であることを特徴とする請求項１記載の塗液。
【請求項３】
前記第一溶媒は、１．０×１０５Ｐａ、２５℃で液体であり、かつ１．０×１０５Ｐａで沸点が２５０℃以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の塗液。
【請求項４】
前記他の溶媒は、１．０×１０５Ｐａで沸点が１３０℃以上であり、第一溶媒の沸点よりも低いことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の塗液。
【請求項５】
前記第一溶媒は、ジフェニルメタンであり、前記他の溶媒は、ｍ−キシレンであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の塗液。
【請求項６】
前記機能材料は、ポリジオクチルフルオレンであり、前記第一溶媒は、ジフェニルメタンであり、前記他の溶媒は、ｍ−キシレンであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の塗液。
【請求項７】
前記塗液は、更に、前記機能材料の分散剤を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の塗液。
【請求項８】
前記塗液は、更に、界面活性剤を含むことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の塗液。
【請求項９】
前記塗液は、前記混合溶媒と、前記機能材料のみからなることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の塗液。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の塗液をパターン塗布し、膜を形成する工程を含んでなることを特徴とする膜の製造方法。
【請求項１１】
前記塗液のパターン塗布は、吐出装置を用いて行われることを特徴とする請求項１０記載の膜の製造方法。
【請求項１２】
前記吐出装置は、インクジェット装置であることを特徴とする請求項１１記載の膜の製造方法。
【請求項１３】
前記吐出装置のノズルヘッドから一度に吐出される量は、０を超えて１０ｐｌ以下であることを特徴とする請求項１１又は１２記載の膜の製造方法。
【請求項１４】
前記膜の製造方法は、塗液をパターン塗布した後、自然乾燥、加熱、加圧、減圧又はこれらを組み合わせて処理することにより、膜を形成する工程を含んでなることを特徴とする請求項１０〜１３のいずれかに記載の膜の製造方法。
【請求項１５】
前記塗液を用いて形成された膜の、最も厚い点の膜厚と最も薄い点の膜厚との比は、１．１以内であることを特徴とする請求項１０〜１４のいずれかに記載の膜の製造方法。
【請求項１６】
請求項１０〜１５のいずれかに記載の膜の製造方法により膜を形成する工程を含んでなることを特徴とする機能素子の製造方法。
【請求項１７】
請求項１０〜１５のいずれかに記載の膜の製造方法により有機層を形成する工程を含んでなることを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法。
【請求項１８】
請求項１７記載の有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法により有機エレクトロルミネセンス素子を形成する工程を含んでなることを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１０〜１５のいずれかに記載の膜の製造方法によりカラーフィルター層を形成する工程を含んでなることを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。
【請求項２０】
請求項１９記載のカラーフィルター基板の製造方法によりカラーフィルター基板を形成する工程を含んでなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２１】
請求項１０〜１５のいずれかに記載の膜の製造方法により配線パターンを形成する工程を含んでなることを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項２２】
請求項２１記載の配線基板の製造方法により配線基板を形成する工程を含んでなることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２３】
請求項２１記載の配線基板の製造方法により配線基板を形成する工程を含んでなることを特徴とする有機エレクトロルミネセンス表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗液、それを用いた膜の製造方法、機能素子の製造方法、機能素子、有機エレクトロルミネセンス素子、有機エレクトロルミネセンス表示装置、カラーフィルター基板、液晶表示装置、及び、配線基板に関する。より詳しくは、インクジェット装置を用いた機能性膜の製造に好適な塗液、それを用いた膜の製造方法、機能素子の製造方法、機能素子、有機エレクトロルミネセンス素子、有機エレクトロルミネセンス表示装置、カラーフィルター基板、液晶表示装置、及び、配線基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
製膜技術は、半導体層の形成をはじめ、ディスプレイ等の製造に多用されている。特にインクジェット装置を用いた製膜技術（インクジェット法）は、例えば、有機エレクトロルミネセンス（ＥＬ）表示装置の有機層、カラーフィルター基板のカラーフィルター層、金属配線基板の配線パターンといった機能性膜の製造に用いられている。インクジェット法によれば、膜の厚みを容易に調整することができるとともに、スピンコート法等の製膜技術と異なり、フォトリソグラフィー法等を行わないため、簡便かつ安価に機能性膜を製造することができる。【０００３】
インクジェット法で用いられる塗液は、一般的に、機能材料と溶媒とを含有する。インクジェット法による機能性膜の製造に際して、塗液の吐出中に溶媒がヘッド部で揮発して機能材料等が析出すると、基板上での着弾位置のずれや吐出量のバラツキといった吐出不良の要因となることから、溶媒の選定は重要な課題となっている。特に現在の高精細なディスプレイの製造においては、機能性膜の製造に際し、１回あたりにヘッド部から吐出される塗液の量が１０ｐｌ以下と少量であるため、ヘッド部のノズル径が小さく設計されており、溶媒が揮発して機能材料等が析出した場合にヘッド部での目詰まりによる吐出不良が生じやすくなっている。【０００４】
そこで、吐出不良の軽減に関し、従来のインクジェット法で用いられる塗液としては、１以上の置換基を有し、構成原子として酸素原子を含有する複素環式化合物の少なくとも１種を含む溶媒を含有する組成物の組成が開示されており、該複素環式化合物として、特にフラン環、オキサゾール環等を有する化合物が開示されている（例えば、特開２００２−３７１１９６号公報（第１−４頁）参照。）。しかしながら、これらの複素環式化合物は、一般に熱や光等の外部刺激による開環を起こしたり、機能材料等と反応したりしやすく、安定性において改善の余地があった。また、吐出後の基板上での乾燥環境の違いにより、膜の両端と中央部とで膜厚差を生じやすく、更に各膜間においても膜厚バラツキを生じやすかったため、これを軽減させるという点においても工夫の余地があった。【０００５】
従来、吐出不良や膜厚バラツキの軽減に関しては、２０℃で１０ｍｍＨｇ以下の蒸気圧を有し、有機材料の変質温度以下又は前駆体の変換温度以下の沸点を有する低揮発性の液状の溶媒を少なくとも１種含む溶媒を含有する有機層形成用塗液の組成や、１以上の置換基を有し、その置換基の炭素の総数が３以上のベンゼン誘導体の少なくとも１種を含む溶媒を含有する組成物の組成が開示されている（例えば、特開２００１−５２８６１号公報（第１−３頁）、国際公開第００／５９２６７号パンフレット（第１、３９頁）参照。）。その他、沸点が２００℃以上である高沸点溶媒を含有する有機ＥＬ装置用インク組成物を用いた有機ＥＬ装置の製造方法が開示されている（例えば、特開２００３−２２９２５６号公報（第１、２頁）参照。）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、幅広い用途への適用に際し、安定性に優れ、また、塗布性にも優れ、膜内、各膜間での膜厚バラツキの抑制が可能な塗液、それを用いた膜の製造方法、機能素子の製造方法、機能素子、有機エレクトロルミネセンス素子、有機エレクトロルミネセンス表示装置、カラーフィルター基板、液晶表示装置、及び、配線基板を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、機能材料と溶媒とを含有する塗液について種々検討したところ、熱、光等の外部刺激や機能材料等に対する溶媒の安定性に着目した。そして、塗液の溶媒を、２以上の芳香環を有し、かつ対称構造を有する化合物により構成される第一溶媒と他の溶媒とを含む混合溶媒とすることにより、塗液の安定性を向上させることができ、更に、他の溶媒の容量割合を、混合溶媒中５〜９０％とすることにより、塗液の塗布性を向上させて膜内及び各膜間での膜厚バラツキを効果的に軽減することができることを見出し、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。【０００８】
すなわち、本発明は、混合溶媒と機能材料とを含有する塗液であって、上記混合溶媒は、２以上の芳香環を有し、かつ対称構造を有する化合物により構成される第一溶媒と他の溶媒とを含み、上記他の溶媒の容量割合は、混合溶媒中９０％以下である塗液である。
以下に本発明を詳述する。【０００９】
本発明の塗液は、混合溶媒と機能材料とを含有するものである。なお、塗液とは、塗布による膜形成に用いることができる液状体を意味する。また、混合溶媒とは、２種以上の成分から構成される溶媒を意味し、機能材料を溶解又は分散させることができるものが好ましい。更に、機能材料とは、その電気的、化学的、光学的、機械的な性質等を利用して、何らかの刺激により機能を発現する材料を意味し、例えば、有機ＥＬ材料等の発光材料、金属配線材料等の導電性材料、カラーフィルター材料等の着色材料等が挙げられる。
なお、塗液に含有される機能材料は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。本発明の塗液としては、混合溶媒と機能材料とを必須成分として含有するものである限り、その他の成分を含んでいても含んでいなくてもよく、特に限定されるものではない。本発明の塗液に含まれ得るその他の成分としては、インクジェット装置による塗布に適した物性に調整するための添加剤等が挙げられ、例えば、機能材料の分散剤、界面活性剤等が挙げられる。本発明の塗液の好ましい形態としては、混合溶媒と機能材料のみからなる形態が挙げられる。【００１０】
上記混合溶媒は、２以上の芳香環を有し、かつ対称構造を有する化合物により構成される第一溶媒と他の溶媒とを含む。すなわち、本発明において、第一溶媒は、混合溶媒中において、２以上の芳香環を有し、かつ対称構造を有する化合物により構成される成分であり、他の溶媒は、混合溶媒中において、第一溶媒を構成する化合物を除く化合物により構成されることになる。なお、本願明細書における「以上」、「以下」は、当該数値を含むものである。第一溶媒及び他の溶媒を構成する化合物は、それぞれ１種であってもよく、２種以上であってもよい。また、第一溶媒と他の溶媒とは、均一に混合されていることが好ましい。第一溶媒を構成する化合物の芳香環としては、（１）ベンゼン環、（２）ナフタレン環、ピレン環等の縮合ベンゼン環、（３）トロピリウム環、シクロプロぺニウム環等の非ベンゼン系芳香環、（４）ピリジン環、ピロール環等の複素芳香環等が挙げられる。対称構造としては、線（軸）対称構造、点対称構造、面対称構造等が挙げられる。
本発明の塗液は、第一溶媒を構成する化合物が上述の構造を有するため、使用することができる機能材料が特に制限されず、特に非極性又は極性の弱い機能材料を用いた場合において、その機能を損なうことなく、機能性膜形成用の塗液として好適に用いることができる。また、熱、光等の外部刺激や機能材料等に対する溶媒の安定性が高く、機能性膜形成用の塗液として幅広い条件下で好適に用いることができる。【００１１】
上記他の溶媒の容量割合は、混合溶媒中（０を超えて）９０％以下である。なお、本明細書において、他の溶媒の容量割合とは、１．０×１０５Ｐａ（１気圧）、２５℃の条件下における、混合していない状態での第一溶媒の容量と他の溶媒の容量との和に対する他の溶媒の容量割合を意味する。すなわち、第一溶媒と他の溶媒とを混合したときに、混合前（混合していない状態）の容量の和と、混合後（混合溶媒の状態）の総容量とが異なる場合があるため、本発明においては、混合前後で容量割合が異なる場合には、混合していない状態を基準にして容量割合を算出する。他の溶媒の容量割合が、混合溶媒中９０％を超えると、本発明の作用効果を充分に得られなくなるおそれがある。【００１２】
以下、本発明の塗液の好適な形態について説明する。
上記他の溶媒の容量割合は、混合溶媒中５％以上であることが好ましい。混合溶媒中５％未満であると、塗液の物性値を膜の製造に適した値に調整することができなくなるおそれがある。本発明においては、他の溶媒の容量割合を５〜９０％の範囲内で変更することにより、塗布方法に応じて塗液の物性値を膜の製造に適した値に調整することができ、機能材料の種類に関わらず、幅広い条件下で吐出装置による安定な吐出が可能となるため、機能性膜の設計が容易である。【００１３】
上記他の溶媒の容量割合は、混合溶媒中３０〜６０％であることがより好ましい。これにより、吐出後の液滴の平坦性を向上させ、膜内及び各膜間の膜厚バラツキをより効果的に軽減することができるので、例えば、有機ＥＬ素子における発光層を形成した場合には、画素内及び画素間の膜厚バラツキの少ない表示品位の優れた有機ＥＬ素子を得ることができる。【００１４】
上記第一溶媒を構成する化合物は、２回回転軸を有する構造をもつことが好ましい。すなわち第一溶媒を構成する化合物は、対称要素として２回の回転軸を有する構造（Ｃ２対称構造）をもつことが好ましい。また、第一溶媒を構成する化合物は、その分子構造の中心軸に対して左右対称構造をもつことが好ましい。第一溶媒を構成する化合物が、このような対称な構造をもつことにより、熱、光等の外部刺激や機能材料等に対する溶媒の安定性をより効果的に向上することができるため、本発明の塗液を機能性膜形成用の塗液として、より幅広い条件下で用いることが可能となる。【００１５】
上記第一溶媒は、１．０×１０５Ｐａ、２５℃で液体であり、かつ１．０×１０５Ｐａで沸点が２５０℃以上であることが好ましい。なお、第一溶媒の上記性質については、第一溶媒が１種の化合物により構成される成分であるときには、当該１種の化合物の性質であり、第一溶媒が２種以上の化合物により構成される成分であるときには、当該２種以上の化合物を混合溶媒中に含まれる割合で混合したときの性質である。第一溶媒が上記性質を有する場合、その揮発性が充分に低くなるため、機能材料等の析出が抑制され、塗布装置の塗液出口での目詰まりによる着弾精度の低下、吐出量のバラツキといった吐出不良をより効果的に軽減することができる。また、塗液吐出後、基板上に高沸点溶媒である第一溶媒が直ちに揮発せずに残りやすくなるため、塗液の乾燥過程を容易に制御することができ、基板上での乾燥環境の違い等に起因する膜の両端部と中央部とで膜厚差が生じる現象を防止して膜内の膜厚バラツキをより効果的に軽減することができるとともに、膜全体、すなわち各膜間の膜厚バラツキをより効果的に軽減することができる。【００１６】
上記第一溶媒は、ジフェニルスルフィド、ジフェニルメタン、ジフェニルエーテル、ジフェニルエチレン、ジベンジルエーテル及びジフェニルアセトンからなる群より選択された少なくとも１種の化合物により構成されることが好ましい。中でも、ジフェニルスルフィド、ジフェニルメタン、ジフェニルエーテルが好適に用いられる。これらの化合物は、１．０×１０５Ｐａ、２５℃で液体であり、かつ沸点が高いため、機能材料等の析出による吐出不良や膜厚バラツキをより効果的に軽減することができる。また、これらの化合物は、対称構造をもつため、熱、光等の外部刺激や機能材料等に対する溶媒の安定性が高く、本発明の塗液を機能性膜形成用の塗液としてより幅広い条件下で用いることが可能となる。なお、これらの化合物の構造式を下記式（１）〜（６）により示す。下記式（１）は、ジフェニルスルフィドを表し、下記式（２）は、ジフェニルメタンを表し、下記式（３）は、ジフェニルエーテルを表し、下記式（４）は、ジフェニルエチレンを表し、下記式（５）は、ジベンジルエーテルを表し、下記式（６）は、ジフェニルアセトンを表す。【００１７】
【化１】
0004707658.tif 000002
【００１８】
【化２】
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【００１９】
【化３】
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【００２０】
【化４】
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【００２１】
【化５】
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【００２２】
【化６】
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【００２３】
上記他の溶媒は、芳香環を有する化合物を含むことが好ましい。他の溶媒に含まれる芳香環を有する化合物としては、第一溶媒を構成する化合物以外であれば特に限定されず、例えば、ベンゼン、トルエン、ｍ−キシレン、ｏ−キシレン、ｐ−キシレン、１，３，５−トリメチルベンゼン、１，２，４−トリメチルベンゼン、１，２，３，４−テトラメチルベンゼン、１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン、シメン、ジュレン、クメン、デカリン、シクロヘキシルベンゼン等が挙げられる。なお、他の溶媒に含まれる芳香環を有する化合物の芳香環の数は、１つであってもよく、２以上であってもよい。また、他の溶媒に含まれる芳香環を有する化合物は、１種であってもよく、２種以上であってもよい。他の溶媒が芳香環を有する化合物を含むことにより、他の溶媒と第一の溶媒との相溶性が高くなり、塗液作製後の機能材料の析出や、吐出装置における溶媒の揮発による吐出時の目詰まりをより効果的に軽減することができ、安定な吐出が可能な塗液にすることができる。【００２４】
上記他の溶媒は、１．０×１０５Ｐａで沸点が１３０℃以上であり、第一溶媒の沸点よりも低いことが好ましい。なお、他の溶媒の上記性質については、他の溶媒が１種の化合物により構成される成分であるときには、当該１種の化合物の性質であり、他の溶媒が２種以上の化合物により構成される成分であるときには、当該２種以上の化合物を混合溶媒中に含まれる割合で混合したときの性質である。他の溶媒の沸点が１．０×１０５Ｐａで１３０℃未満であると、膜の製造に際し、他の溶媒の揮発による機能材料等の析出により、吐出不良や膜厚バラツキを生じるおそれがあり、第一溶媒の沸点を超えると、基板上に高沸点溶媒である第一溶媒のみならず他の溶媒までが揮発せずに残り、塗液の乾燥過程の制御が難しくなるおそれがある。他の溶媒の沸点が１．０×１０５Ｐａで１３０℃以上であり、かつ第一溶媒の沸点よりも低いことにより、塗液吐出後の乾燥過程で生じる膜厚ムラや塗液内容物の相分離等をより効果的に軽減することができ、膜内及び各膜間ともに膜厚ムラの少ない均一な膜を形成することができる。【００２５】
本発明はまた、上記塗液をパターン塗布し、膜を形成する工程を含んでなる膜の製造方法でもある。なお、「塗液をパターン塗布する」とは、所定のパターン形状に塗液を塗布することを意味する。パターン塗布としては、基板上に形成された塗液を塗布すべき所定のパターン形状を有する凹部等に対して行うことが好ましい。膜を形成する工程では、パターン塗布後、必要に応じて塗布された塗液から混合溶媒等の一部又は全部を除去する処理を行う。本発明の膜の製造方法は、例えば、有機発光層、金属配線膜、カラーフィルター層等の機能性膜の形成に好適に用いることができる。本発明の膜の製造方法によれば、本発明の塗液を用いることから、幅広い用途に適用することができ、膜内及び各膜間ともにムラの少ない均一な膜を形成することができる。
なお、本発明の膜の製造方法としては、本発明の塗液をパターン塗布し、膜を形成する工程を必須工程として含んでなるものである限り、その他の工程を含んでいても含んでいなくてもよく、特に限定されるものではない。【００２６】
上記塗液のパターン塗布は、吐出装置を用いて行われることが好ましい。なお、吐出装置としては、塗液を吐出することにより、膜を形成する部位に塗液を塗布する装置であれば特に限定されない。吐出装置を用いて、塗液を連続的にパターン塗布することにより、簡便かつ安価にパターニングされた膜を製造することができる。吐出装置は、インクジェット装置であることが好ましい。インクジェット装置を用いると、塗液を微細なパターン形状に、正確に塗布することができ、簡便かつ安価に微細パターニングされた膜を製造することができる。【００２７】
上記吐出装置のノズルヘッドから一度に吐出される量は、０を超えて１０ｐｌ以下であることが好ましい。すなわち、吐出装置により吐出される塗液の液滴１滴あたりの体積が１０ｐｌ以下であることが好ましい。これにより、膜厚バラツキの軽減等の本発明の作用効果を充分に発揮することができるとともに、高精細にパターニングされた膜を製造することができる。【００２８】
上記膜の製造方法は、塗液を塗布した後、自然乾燥、加熱、加圧、減圧又はこれらを組み合わせて処理することにより、膜を形成する工程を含んでなることが好ましい。このような処理を混合溶媒の特性に応じて行うことにより、膜厚ムラや溶質の相分離を防ぎながら、均一かつ均質な膜を製造することができる。【００２９】
本発明は更に、上記膜の製造方法により膜を形成する工程を含んでなる機能素子の製造方法でもあり、上記塗液を用いて形成される機能素子でもある。本発明の機能素子の製造方法及び本発明の機能素子によれば、全面にわたってムラがなく、均一な特性を有する機能素子を得ることができる。なお、本発明の機能素子の製造方法としては、本発明の膜の製造方法により膜を形成する工程を必須工程として含んでなるものである限り、その他の工程を含んでいても含んでいなくてもよく、特に限定されるものではない。【００３０】
上記機能素子としては特に限定されず、例えば、有機ＥＬ素子、カラーフィルター、金属配線パターン等が挙げられる。したがって、（１）本発明の塗液を用いて有機層が形成された有機エレクトロルミネセンス素子、（２）本発明の塗液を用いてカラーフィルター層が形成されたカラーフィルター基板、（３）本発明の塗液を用いて配線パターンが形成された配線基板、（４）本発明の塗液を用いて配線パターンが形成された有機エレクトロルミネセンス表示装置もまた本発明の１つである。なお、上記有機層としては、例えば、発光層、正孔注入層、正孔輸送層等が挙げられる。本発明はまた、上記（１）の有機エレクトロルミネセンス素子を備える有機エレクトロルミネセンス表示装置、上記（２）のカラーフィルター基板を備える液晶表示装置、上記（３）の配線基板を備える液晶表示装置でもある。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の塗液によれば、上述したような構成であることから、熱、光等の外部刺激や機能材料等に対して溶媒が安定性に優れ、また、塗布性に優れ、膜内、各膜間での膜厚バラツキの抑制が可能であり、機能性膜の形成に好適に用いることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に実施例を掲げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。すなわち、本発明は、以下の実施例で説明するボトムエミッション型有機ＥＬ表示装置の製造のみならず、インクジェット装置を用いたカラーフィルター基板の製造や、金属配線のパターニング等を行う際にも適用することができるものである。なお、以下の実施例における混合溶媒の容量比は、１．０×１０５Ｐａ（１気圧）、２５℃で測定されたものである。【００３３】
（実施例１）
１５０ｎｍの膜厚をもつＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ；酸化インジウム錫）膜付きのガラス基板上を、フォトリソグラフィー法によりパターニングし、ＩＴＯ透明ストライプ電極付きガラス基板を作製した。このＩＴＯ透明ストライプ電極付きガラス基板を、例えばイソプロピルアルコール、アセトン、純水等を用いたウエットプロセスによる洗浄方法と、ＵＶ／オゾン処理、プラズマ処理等のドライプロセスによる洗浄方法とにより洗浄した。
次に、ジフェニルメタン（第一溶媒）：ｍ−キシレン（他の溶媒）＝６０：４０（混合前容量比）の混合溶媒と、有機発光材料（機能材料）としてＰＤＦ｛Ｐｏｌｙ（９，９−ｄｉｏｃｔｙｌｆｌｕｏｒｅｎｅ）；ポリジオクチルフルオレン｝を７mｇ／mｌの濃度で含有する有機ＥＬ用塗液（塗液１）を作製した。この塗液１を、一度に吐出される量が８ｐｌ又は２０ｐｌのヘッドを有するインクジェット装置を用いて、ＩＴＯ透明ストライプ電極付きガラス基板上に吐出した。そして、塗液１が吐出された基板を室温（２５℃）で６０分間減圧乾燥した後、２００℃で６０分間加熱処理することにより、混合溶媒を蒸発させて製膜した。なお、以下に、塗液１の組成を示す。
＜塗液１組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）       ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）          ６０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                          ４０ｍｌ【００３４】
（実施例２）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝７０：３０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液２）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液２の組成を示す。
＜塗液２組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）       ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）          ７０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                          ３０ｍｌ【００３５】
（実施例３）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝４０：６０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液３）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液３の組成を示す。
＜塗液３組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）       ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）          ４０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                          ６０ｍｌ【００３６】
（比較例１）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝９：９１（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液４）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液４の組成を示す。
＜塗液４組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）       ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）            ９ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                          ９１ｍｌ【００３７】
（比較例２）
混合溶媒として１，２，３，４−テトラヒドロナフタレン（テトラリン）：ｍ−キシレン＝６０：４０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液５）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液５の組成を示す。
＜塗液５組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）       ７００ｍｇ
溶媒    ：テトラリン（沸点２０７．６℃）                   ６０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                          ４０ｍｌ【００３８】
（実施例４）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝９０：１０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液６）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液６の組成を示す。
＜塗液６組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    ９０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                  １０ｍｌ
【００３９】
（比較例３）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝９６：４（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液７）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液７の組成を示す。
＜塗液７組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    ９６ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                  ４ｍｌ
【００４０】
（実施例５）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝９５：５（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液８）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液８の組成を示す。
＜塗液８組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    ９５ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                  ５ｍｌ
【００４１】
（比較例４）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝１０：９０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液９）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液９の組成を示す。
＜塗液９組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    １０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                  ９０ｍｌ
【００４２】
（比較例５）
混合溶媒としてジフェニルメタン：ｍ−キシレン＝３０：７０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液１０）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液１０の組成を示す。
＜塗液１０組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    ３０ｍｌ
ｍ−キシレン（沸点１３９．３℃）                  ７０ｍｌ
【００４３】
（実施例６）
混合溶媒としてジフェニルメタン：トルエン（他の溶媒）＝６０：４０（混合前容量比）を含有する有機ＥＬ用塗液（塗液１１）を用いた以外は、実施例１と同様の方法で塗布して製膜した。以下に、塗液１１の組成を示す。
＜塗液１１組成＞
機能材料：ポリジオクチルフルオレン（ＰＤＦ）      ７００ｍｇ
溶媒    ：ジフェニルメタン（沸点２６４．５℃）    ６０ｍｌ
トルエン（沸点１１０．６℃）                      ４０ｍｌ
【００４４】
（評価試験）
実施例１〜６、比較例１〜５にて得られた塗液１〜１１を使用して、インクジェット装置による吐出試験を行った。その結果を下記表１に示した。なお、吐出試験の評価基準は、１０００回で吐出不良が生じなかった塗液を○とし、１０００回未満で吐出不良が生じた塗液を×とした。また、実施例１〜６、比較例１〜５にて、一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いて得られた膜の膜厚プロファイルを段差計で測定した。膜厚は、５ｍｍ間隔で２０点測定し、最厚な点の膜厚と最薄な点の膜厚の差（最厚な点の膜厚／最薄な点の膜厚）を平坦性として求めた。その結果についても下記表１に示した。
【００４５】
【表１】
0004707658.tif 000008
【００４６】
表１に示すように、吐出試験では、一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いた場合に、実施例１〜６の結果と、比較例１〜５の結果との比較から、ジフェニルメタンを５〜９５％（混合前容量比）含む塗液では、インクジェット装置のヘッドで目詰まりが発生せず、安定に吐出することができることが分かった。また、実施例１の結果と比較例２の結果との比較から、ジフェニルメタンの代わりに沸点が２５０℃以下のテトラリンを用いた場合には、目詰まりが発生することが分かった。一方、一度に吐出される量が２０ｐｌのヘッドを用いた場合には、溶媒の組成に関わらず、全ての実施例及び比較例で良好に吐出することができた。
【００４７】
膜厚測定では、最も厚い点の膜厚と最も薄い点の膜厚との比 （最も厚い点の膜厚／最も薄い点の膜厚）が１．１以内である場合、画素内・膜全体の平坦性が特に良いと判断することができるが、表１に示すように、一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いた場合に、実施例１〜３の結果では平坦性（膜厚ムラ）が１．１以内であるのに対し、その他の例の結果では膜厚ムラが大きくなることが分かった。
また、実施例１、６、比較例２の結果の比較から、ジフェニルメタンの代わりに沸点が２５０℃以下のテトラリンを、ｍ−キシレンの代わりに沸点が１３０℃以下のトルエンを用いることで、平坦性が低下することが分かった。
【００４８】
以上の結果をまとめると、実施例１〜３では、塗液の吐出性、及び、得られた塗膜の平坦性の両方において、充分な改善効果を得ることができ、塗液の塗布性に優れていた。一方、比較例１〜２では、塗液の吐出性、及び、塗膜の平坦性の両方において、良好な結果を得ることができなかった。
また、実施例４〜６、比較例３では、比較例１〜２に比べ、塗膜の平坦性において改善効果を得ることができ、塗液の塗布性が向上していた。更に、実施例４〜６、比較例４、５では、比較例１〜２に比べ、塗液の吐出性において改善効果を得ることができ、塗液の塗布性が向上していた。
【００４９】
更に、得られた膜を顕微鏡で観察したところ、比較例１〜５、実施例６ではいずれも両側で膜厚が大きく、いわゆるコーヒーステイン状の膜厚ムラが観察された。また、実施例４、５では、中央部分が凸になった形状となっていた。
なお、実施例１、比較例２にて一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いて得られた膜の膜厚プロファイルの測定結果を図１、２に示した。図１、２において、膜厚方向は、１目盛りで１ｎｍであり、膜幅方向は、膜厚方向に対して１／１０００に縮小して図示されている。
【００５０】
（実施例７）
＜有機ＥＬ素子の製造＞
実施例１と同様の方法にて作製、洗浄したＩＴＯ透明ストライプ電極付きガラス基板上に、インクジェット装置を用いてＰＥＤＯＴ（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉｏｘｙｔｈｉｏｐｈｅｎｅ；ポリエチレンジオキシチオフェン）とＰＳＳ（Ｐｏｌｙｓｔｙｌｅｎｅｓｕｌｆｏｎｉｃ  ａｃｉｄ；ポリスチレンスルホン酸）とを含む混合水溶液を吐出させた後、加熱乾燥処理することにより、溶媒を除去して正孔注入／輸送層を形成した。次に、塗液１を作製し、一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを有するインクジェット装置を用いて、正孔注入／輸送層上に吐出した。塗液１が吐出された基板を室温（２５℃）で６０分間減圧乾燥した後、２００℃で６０分間加熱処理することにより、発光層（膜）を形成した。この発光層上に、ＩＴＯ透明ストライプ電極と直交する向きにシャドウマスクを固定した後、真空蒸着装置内で、カルシウム（Ｃａ）を５ｎｍ、アルミニウム（Ａｌ）を１００ｎｍの厚さで真空蒸着させ、ボトムエミッション型有機ＥＬ素子（機能素子）を製造した。
【００５１】
（比較例６）
塗液１の代わりに、塗液５を用いた以外は、実施例７と同様の方法で塗布して有機ＥＬ素子を製造した。
（比較例７）
塗液１の代わりに、塗液９を用いた以外は、実施例７と同様の方法で塗布して有機ＥＬ素子を製造した。
（比較例８）
塗液１の代わりに、塗液１０を用いた以外は、実施例７と同様の方法で塗布して有機ＥＬ素子を製造した。
（実施例８）
塗液１の代わりに、塗液１１を用いた以外は、実施例７と同様の方法で塗布して有機ＥＬ素子を製造した。  
【００５２】
実施例７、８、比較例６〜８にて製造された有機ＥＬ素子の輝度ムラ検査を行った。その結果を下記表２に示した。なお、輝度ムラ検査の評価基準は、有機ＥＬ素子に５Ｖの電圧を印加したとき、輝度ムラが小さいものから順に○、△、×とした。
【００５３】
【表２】
0004707658.tif 000009
【００５４】
表２に示すように、実施例７では、有機ＥＬ素子は、均一に発光したが、比較例６では不均一な膜が原因となって、輝度ムラが大きかった。
【００５５】
なお、本願は、２００４年６月１７日に出願された日本国特許出願第２００４−１７９７７３号を基礎として、（合衆国法典３５巻第１１９条に基づく）優先権を主張するものである。該出願の内容は、その全体が本願中に参照として組み込まれている。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】実施例１にて一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いて得られた膜の膜厚プロファイルの代表例を示す図である。
【図２】比較例２にて一度に吐出される量が８ｐｌのヘッドを用いて得られた膜の膜厚プロファイルの代表例を示す図である。
【図１】
0004707658.tif 000010
【図２】
0004707658.tif 000011