(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項２】
被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項３】
被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする漏洩試験装置。
【請求項４】
被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする漏洩試験装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被試験体内又はチャンバ内にトレーサガス（Ｈｅ等）を導入し、被試験体のトレーサガスの漏れの有無又は許容限度以上の漏れがあるか否かを判定する漏洩試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、漏洩試験装置（リークテスタ）として、以下に示すものがある。図９は、従来の漏洩試験装置を示す模式図である。図９に示すように、従来の漏洩試験装置においては、真空チャンバ１１２はその内側に、被試験体（ワーク）１１１を気密的に格納することができる。この被試験体１１１はパイプ１１７に連結されており、このパイプ１１７はチャンバ１１２の外側に気密的に導出されている。そして、このパイプ１１７を介して被試験体１１１が排気ポンプ１１６に連結されている。このパイプ１１７にはバルブＶ１２が設けられている。また、このパイプ１１７には、空気源１２１及びトレーサガス供給源１２２が夫々パイプ１２３及び１２４を介して接続されており、被試験体１１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ１２３及びパイプ１２４には、夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５が設けられており、被試験体１１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ１４及びバルブＶ１５の開度及び開閉時間により調整することができる。
【０００３】
一方、真空チャンバ１１２はパイプ１１８に連結されており、このパイプ１１８は排気ポンプ１１５に連結されている。また、このパイプ１１８にはバルブＶ１１が設けられている。更に、パイプ１１８には空気源１２５がパイプ１２６を介して接続されており、チャンバ１１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ１２６にはバルブＶ１３が設けられており、チャンバ１１２に導入するエアの流量をバルブＶ１３の開度及び開閉時間により調整することができる。圧力センサ１１４は、パイプ１１７に接続されており、被試験体１１１内の圧力を検出する。また、チャンバ１１２には、パイプ１２８によりトレーサガス検知器１１３に連結されている。このパイプ１２８には、センシングバルブ（センサ配管）Ｖ１６が設けられている。
【０００４】
次に、このように構成された従来の漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体１１１内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【０００５】
先ず、チャンバ１１２内に被試験体１１１を装入し、被試験体１１１とパイプ１１７とを連結する。次に、排気ポンプ１１５，１１６を駆動し、バルブＶ１１，Ｖ１２を開にして、チャンバ１１２内及び被試験体１１１内を排気する。このとき、被試験体１１１の内の圧力を圧力センサ１１４で検出しながら、被試験体１１１内の圧力がトレーサガス検知器１１３が正常に動作する規定の圧力（最大許容値）以下になるように真空引きし、バルブＶ１１を閉じる。次に、センシングバルブＶ１６を開け、チャンバ１１２と検出器１１３を接続する。その後、バルブＶ１２を閉じ、バルブＶ１５を開いて、被試験体１１１内にトレーサガスを導入する。そして、トレーサガス検知器１１３により被試験体１１１から漏れて出たトレーサガスを検出する。ここで、被試験体１１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブＶ１６を通じてトレーサガス検知器１１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１１が合格か否かが決定される。
【０００６】
試験の終了後は、以下のようにして大気圧まで戻す。先ず、バルブＶ１５、Ｖ１６を閉じ、バルブＶ１２を開け、被試験体１１１内のトレーサガスを排気する。そして、バルブＶ１３，Ｖ１４を開け、被試験体１１１及びチャンバ１１２内へ大気を導入して、被試験体１１１及びチャンバ１１２の圧力を大気圧にまで戻す。その後、チャンバ１１２内から被試験体１１１を取り出す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の技術においては、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４により、被試験体１１１内の圧力を検出していたため、空気の排気及びトレースガス導入時に気体の流動が生じ、この気体の流動による圧力損失により、ワーク内の圧力が正確に検出できないという問題点がある。
【０００８】
また、被試験体内の圧力を正確に検出するために、パイプ１１７に接続された圧力センサ１１４とは別に、図９に示すように、被試験体１１１に連結され、チャンバ１１２の外側へ気密的に導出されたパイプ１２０と、このパイプ１２０に連結された圧力センサ１２７とを設け、被試験体１１１内の圧力を検出することもできるが、この場合、毎回、漏洩試験の度にパイプ１２０を被試験体１１１に接続する必要がある。更に、被試験体１１１に、パイプ１２０を接続するための連通口を設ける必要があるという問題点がある。
【０００９】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、被試験体内の圧力を、試験工数を増加することなく正確に計測し、被試験体の漏れを極めて高い精度で検出することができる漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本願第１発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記被試験体内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【００１１】
本願第２発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、このチャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバ内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバの外部に設けられ前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体の内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記被試験体と前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記被試験体との接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記被試験体内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出結果をもとに前記被試験体内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記被試験体内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記被試験体内に前記トレーサガスを導入するために前記被試験体内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【００１２】
本願第３発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記チャンバ内排気手段とを連結する排気配管と、一端部が前記排気配管内に挿入されその先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置され他端部が前記圧力センサに接続されたセンサ配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記センサ配管は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置にて前記排気配管から外部に出て、前記圧力センサに接続されている
ことを特徴とする。
【００１３】
本願第４発明に係る漏洩試験装置は、被試験体を気密的に格納可能のチャンバと、前記被試験体内を排気する被試験体内排気手段と、前記被試験体内のトレーサガスを検出するトレーサガス検出手段と、前記チャンバ内を排気するチャンバ内排気手段と、前記チャンバの内部にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバの外部に設けられた圧力センサと、前記チャンバと前記圧力センサとを連結するセンサ配管と、一端部が前記センサ配管内に挿入されてその先端が前記センサ配管と前記チャンバとの接続部又はそれより手前に配置され他端部が前記チャンバ内排気手段に接続された排気配管と、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出結果をもとに前記チャンバ内排気手段による排気を制御する制御手段と、を有し、
前記センサ配管と前記排気配管とはその一部において二重構造を有し、
前記制御手段は、前記圧力センサによる前記チャンバ内の圧力検出値が所定値以下に達した後、前記チャンバ内に前記トレーサガスを導入するために前記チャンバ内排気手段及び前記トレーサガス供給部を制御し、
前記トレーサガス供給部は、前記排気配管内にトレーサガスを供給するものであり、
前記排気配管が前記センサ配管から外部に出る位置は、前記排気配管における前記トレーサガスの供給位置よりも前記被試験体よりの位置である
ことを特徴とする。
【００１５】
本発明においては、圧力センサが、先端が前記被試験体の排気部又は前記被試験体内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記被試験体に連結されたセンサ配管か、又は、先端が前記チャンバの排気部又は前記チャンバ内部に配置されたセンサ配管か、若しくは、前記チャンバに連結されたセンサ配管に接続されているため、被試験体内又はチャンバ内の気体排気時における気体流動による圧力損失の影響を受けずに、被試験体内又はチャンバ内の圧力を極めて正確に検出することができる。そして、この圧力センサによる被試験体内又はチャンバ内の圧力検出結果をもとに、前記被試験体内排気手段又は前記チャンバ内排気手段による排気を制御するため、トレーサガスの導入前に、被試験体内又はチャンバ内を極めて高精度で排気でき、被試験体の漏れ検出精度が極めて高い。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明の第１の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【００１７】
図１に示すように、真空チャンバ１２はその内側に、検査対象である被試験体１１を気密的に格納可能になっている。この被試験体１１はパイプ（排気配管）１７に連結されており、このパイプ１７はチャンバ１２の外側に気密的に導出され、排気ポンプ１６に連結されている。このパイプ１７にはバルブＶ２が設けられており、このバルブＶ２の開度により被試験体１１内から排気する気体の流量を調整することができる。また、また、このパイプ１７には、空気源２１及びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ２３及び２４を介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ２３及びパイプ２４には、夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。更に、パイプ１７の直径Ｄ１よりも径が小さい直径Ｄ２のパイプ（センサ配管）１９の一端部がパイプ１７内に挿入されており、このパイプ１９の先端が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ１９の他端部はパイプ１７から導出されている。パイプ１９を導出するため、パイプ１７にはパイプ２３、２４の接続位置よりもチャンバ１２から離隔した位置に貫通穴が設けられ、この貫通穴からパイプ１９が気密的に導出されており、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されている。なお、被試験体１１の排気部とは、被試験体１１とパイプ１７との連結部である。また、パイプ１９の先端は、被試験体１１内部に延出されていてもよい。更に、パイプ１９を導出する貫通穴は、いずれの位置に形成してもよく、例えば、パイプ１７及び２３の接続部と、パイプ１７及び２４の接続部との間に形成してもよい。
【００１８】
一方、真空チャンバ１２はパイプ１８に連結されており、このパイプ１８は排気ポンプ１５に連結されている。パイプ１８にはバルブＶ１が設けられ、このバルブＶ１の開度により、チャンバ１２内から排気される気体の流量を調整することができる。更に、パイプ１８には空気源２５がパイプ２６を介して接続されており、チャンバ１２内にエアーを導入するようになっている。このパイプ２６にはバルブＶ３が設けられており、チャンバ１２に導入するエアの流量をバルブＶ３の開度及び開閉時間により調整することができる。なお、パイプ１８に接続するパイプ２６及びバルブＶ３を設けず、チャンバ１２にパイプ２７を接続し、このパイプ２７にバルブＶ７を設けて、このバルブＶ７の開閉により、チャンバ１２内に大気を導入してもよい。更に、チャンバ１２にパイプ２８が接続され、このパイプ２８にトレーサガス検知器１３が連結されている。パイプ２８には、センシングバルブＶ６が設けられている。
【００１９】
以下、本参考例に係る漏洩試験装置を使用した漏洩試験方法について説明する。なお、予め、トレーサガス検知器が正常に作動して確実に漏れを検出するための被試験体１１内の圧力の最大許容値が求められているとする。
【００２０】
先ず、チャンバ１２に被試験体１１を配置する。トレーサガス導入管１７の先端部を被試験体１１のトレーサガス供給口に直接又はカプラー等を介して接続し、チャンバ１２の扉を閉めて密閉状態にする。
【００２１】
次に、チャンバ真空引きバルブＶ１を開け、チャンバ１２内の気体を所定の圧力まで真空引きすると同時に、試験体真空引きバルブＶ２を開け、被試験体１１に接続された配管１７から被試験体１１内の気体を所定の圧力まで真空引きする。このとき、圧力センサ１４で被試験体１１内の圧力を検出しつつ、被試験体１１内の圧力が規定の圧力（最大許容値）以下になるまで真空引きする。
【００２２】
バルブＶ１を閉た後、センシングバルブＶ６を開け、チャンバ１２とトレーサガス用検出器１３とを接続する。そして、バルブＶ２を閉じ、バルブＶ５を開けてトレーサガス供給源から所定圧力のトレーサガスを被試験体１１内へ供給する。ここで、もし、被試験体１１に漏れがあれば、漏れ出てきたトレーサガスはセンシングバルブＶ６を通じてトレーサガス検知器１３で検出される。そして、所定時間経過後の値（リークレート値）と、予め決められたしきい値とが比較され、リークレート値がしきい値以下か否かにより、被試験体１１が合格か否かが決定される。
【００２３】
合否の判定が終わると、以下の手順で被試験体１１及びチャンバ１２を大気圧まで戻す。先ず、チャンバ１２とトレーサガス検知器１３とを接続するバルブＶ６と、トレーサガスを被試験体１１に導入するバルブＶ５とを閉じる。そして、バルブＶ２を開けて、被試験体１１内のトレーサガスを排気ポンプ１６により排出し、次いでバルブＶ４及びバルブＶ３を開け、夫々被試験体１１及びチャンバ１２に大気を導入する。また、バルブＶ３を設けず、チャンバ１２にバルブＶ７を設けた場合は、バルブＶ７を開けることにより、チャンバ１２内に大気を導入してもよい。その後、チャンバ１２の扉を開けて被試験体１１を取り出し、リークテストを終了する。その後、別の被試験体１１をチャンバ内に置き、同様のリークテストを繰り返す。
【００２４】
なお、本参考例においては、圧力センサ１４は、被試験体１１内の圧力を検出するものとしたが、圧力センサ１４をチャンバ１２に接続されたパイプ１８に接続し、被試験体内の圧力とチャンバ１２内の圧力差を検出できるものとしてもよい。
【００２５】
このように、漏洩試験においては、被試験体１１内の大気を所定の圧力以下に真空引きした後、トレーサガスを導入する。この際、被試験体１１に漏れがあると被試験体１１からトレーサガスがチャンバ１２内へ漏れだすため、この漏れだしたトレーサガスをトレーサガス検知器１３により検出するが、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定の圧力値以下になるように排気されていないと、被試験体１１からトレーサガスと共に大気がチャンバ内に漏れだしてしまい、トレーサガス検知器１３によるトレーサガス検出精度が低下してしまう。トレーサガス検出精度を向上させて、漏洩試験の精度を向上させるためには、トレーサガスの導入に先立ち、被試験体１１内の圧力が規定値以下になるように排気することが必要である。
【００２６】
本参考例においては、被試験体１１内に大気及びトレーサガスを供給するため及び被試験体１１から大気及びトレーサガスを排出するためのパイプ１７とは別に、パイプ１９を被試験体１１の排気部に配置し、このパイプ１９に被試験体１１内の圧力を検出するための圧力センサ１４を接続したため、大気及びトレーサガスの気体流動による圧力損失の影響を受けずに圧力センサ１４により被試験体１１内の圧力を高精度で検出できる。従って、被試験体１１内を排気する際には、排気ポンプ１６の排気をバルブＶ２の開閉により正確に制御して被試験体１１内の圧力を正確に規定圧力以下に真空引きすることができるため、被試験体１１に漏れがある場合に被試験体１１からのトレーサガスの漏れを正確に検出することができ、漏洩試験の精度が極めて高いものとなる。
【００２７】
次に、本発明の第１の実施例について説明する。図２は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図２に示す第１の実施例において、図１に示す第１の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００２８】
第１の参考例においては、被試験体に対して大気及びトレーサガスの導入及び排気を行うパイプ１７内に圧力検出用のパイプ１９を挿入したものであったが、本実施例においては、図２に示すように、パイプ３７の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ３のパイプ３９が、パイプ３７内に挿入され、その一端部が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ３９の他端部は、パイプ３７に設けられた貫通孔からパイプ３７の外側へ気密的に導出され、被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４に接続されている。パイプ３７には、空気源２１及びトレーサガス供給源２２が夫々パイプ３３及び３４を介して接続されており、被試験体１１の内部に夫々エアー（空気）及びトレーサガス（Ｈｅ等）を導入するようになっている。パイプ３３及びパイプ３４には、夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられており、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成は、第１の参考例と同様である。
【００２９】
このように構成された本実施例の漏洩装置を使用して漏洩試験を行うと、パイプ３９がパイプ３７から導出される貫通孔が、パイプ３３、３４よりもチャンバ１２に近い位置に形成されており、被試験体１１と圧力センサ１４とを連結するパイプ３９が短いため、圧力センサ１４の応答性が高くなり、また、被試験体１１内の圧力検出精度が向上する。
【００３０】
また、本実施例においても、第１の参考例と同様に、被試験体１１内の気体を排気し、被試験体１１内へ気体を供給するためのパイプ３７とは別に、圧力検出用のパイプ３９を設けたため、パイプ３７内の気体流動に関係なく被試験体１１内の圧力を高精度で検出でき、漏洩試験の精度が極めて高い。
【００３１】
次に、本発明の第２の参考例について説明する。図３は、本参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。本参考例においては、図３に示すように、チャンバ１２には直径Ｄ１のパイプ４９が連結されている。このパイプ４９はチャンバ１２の外側に気密的に導出され、圧力センサ１４に接続されている。また、パイプ４９の直径Ｄ１より径が小さい直径Ｄ４のパイプ４７の一端部がパイプ４９の内部に挿入され、その先端が被試験体１１内まで延出され被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ４７の他端部はパイプ４９に設けられた貫通孔からパイプ４９の外側へ気密的に導出され排気ポンプ１６に接続されている。パイプ４７は、パイプ４９の外側に気密的導出されているため、パイプ４９内に大気が流入しない。また、このパイプ４７には、パイプ４３及びパイプ４４が接続され、パイプ４９の外側に気密的に導出されている。そして、パイプ４９の外側において、パイプ４３及びパイプ４４が夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に連結されて、被試験体１１に夫々大気及びトレーサガスを導入するようになっている。このパイプ４３及びパイプ４４には夫々バルブＶ４及びバルブＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成は、第１の参考例と同様である。
【００３２】
このように構成された本参考例においては、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ４９の直径が大きいため、圧力センサ１４の応答性が高く、被試験体１１内の圧力を精度よく検出できる。また、本実施例においても、第１の参考例と同様の効果を奏する。
【００３３】
次に、本発明の第２の実施例について説明する。図４は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。図４に示すように、被試験体１１に連結され、チャンバ１２の外側へ気密的に導出される直径Ｄ１のパイプ５９に被試験体１１内の圧力を検出する圧力センサ１４が接続されている。また、パイプ５９の直径Ｄ１より小さい直径Ｄ５のパイプ５７の一端部がパイプ５９の内部に挿入され、その先端が被試験体１１の排気部に配置されている。パイプ５７の他端部は、パイプ５９に設けられた貫通孔からパイプ５９の外側に気密的に導出され、被試験体１１内の気体を吸引する排気ポンプ１６に接続されている。更に、パイプ５９から導出されたパイプ５７には、パイプ５９の外側でパイプ５３及び５４を介して夫々空気源２１及びトレーサガス源２２に接続されている。パイプ５３及び５４には、夫々バルブＶ４及びＶ５が設けられ、被試験体１１に導入するエアー及びトレーサガスの流量を夫々バルブＶ４及びバルブＶ５の開度により調整することができる。その他の構成及び漏洩試験方法は、第１の参考例と同様である。
【００３４】
このように構成された本実施例においては、圧力センサ１４と被試験体１１とを連結するパイプ５９が第２の参考例よりも短いため、更に圧力センサ１４の応答性が高く、被試験体１１内の圧力検出精度が向上する。更に、パイプ５９の外側に導出されたパイプ５７にパイプ５３及び５４を接続し、これに夫々空気源２１及びトレーサガス源２２を接続するため、パイプ５９にパイプ５３及び５４の貫通穴を設けてパイプ５９から気密的に導出する必要がなく、装置が簡便になる。また、本実施例においても、第１の参考例と同様の効果を奏する。
【００３５】
なお、上述の第１及び第２の実施例、並びに第１及び第２の参考例は、いずれも、被試験体１１にトレーサガスを導入し、チャンバ１２内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するものとしたが、以下に示す第３及び第４実施例、並びに第３及び第４の参考例のように、チャンバ１２内にトレーサガスを導入し、被試験体１１内へ漏れ出てくるトレーサガスを検出するようにしてもよい。この場合、被試験体１１とトレーサガス検知器とを接続し、チャンバと圧力センサとを接続する。また、チャンバには、チャンバ内の大気及びトレーサガスを排気する排気ポンプ、チャンバ内へトレーサガス及び大気を導入する夫々トレーサガス供給源及び空気供給源を接続する。
【００３６】
次に、本発明の第３の参考例について説明する。図５は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図５に示す第３の参考例において、図１に示す第１の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３７】
本参考例においては、図５に示すように、図１に示す第１の参考例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ１７、１９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第１の参考例と同様である。即ち、本参考例では、排気ポンプ１６はチャンバ１２内を排気し、空気源２１及びトレーサガス供給源２２はチャンバ１２内にエアー及びトレーサガスを導入し、排気ポンプ１５は被試験体１１内を排気し、空気源２５は被試験体１１内にエアーを供給する。本参考例においても、第１の参考例と同様の効果を得ることができる。
【００３８】
次に、本発明の第３の実施例について説明する。図６は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図６に示す第３の実施例において、図２に示す第１の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００３９】
本実施例においては、図６に示すように、第１の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ３７、３９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第１の実施例と同様である。本実施例においても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００４０】
次に、本発明の第４の参考例について説明する。図７は、本参考例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図７に示す第４の参考例において、図３に示す第２の参考例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４１】
本参考例においては、図７に示すように、第２の参考例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ４７、４９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第２の参考例と同様である。本参考例においても、第２の参考例と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
次に、本発明の第４の実施例について説明する。図８は、本実施例の漏洩試験装置を示す模式図である。なお、図８に示す第４の実施例において、図４に示す第２の実施例と同一の構成要素には、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００４３】
本実施例においては、図８に示すように、第２の実施例と比較して、被試験体１１とトレーサガス検知器１３とがパイプ２８により接続され、パイプ５７、５９がチャンバ１２に接続されており、更に、パイプ１８が被試験体１１に接続されている点が異なり、それ以外の構成は第２の実施例と同様である。本実施例においても、第２の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、被試験体内にトレーサガスを導入する場合は、被試験体内の排気を行う排気配管とは別に、一端部が被試験体の排気部又は被試験体内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、被試験体内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとに被試験体内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【００４５】
一方、チャンバ内にトレーサガスを導入する場合は、排気配管とは別に、一端部がチャンバの排気部又はチャンバ内部に配置され他端部が圧力センサに接続されたセンサ配管を設けたため、チャンバ内の圧力を正確に検出でき、この正確な圧力検出結果をもとにチャンバ内の排気を制御するため、漏洩試験の精度を著しく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図２】  本発明の第１の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図３】  本発明の第２の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図４】  本発明の第２の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図５】  本発明の第３の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図６】  本発明の第３の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図７】  本発明の第４の参考例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図８】  本発明の第４の実施例に係る漏洩試験装置を示す模式図である。
【図９】  従来の漏洩試験装置を示す模式図である。
【符号の説明】
１１、１１１；被試験体 、１２、１１２；チャンバ、 １７、１８、２７、２９、３７、３９、４７、４９、５７、５９、１１７、１１８；パイプ、 １５、１６、１１５、１１６；排気ポンプ、 １３、１１３；トレーサガス検知器、Ｖ１〜Ｖ７、Ｖ１１〜Ｖ１６；バルブ、 １４、１１４；圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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