(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を載置する搬送治具であって、
中央プラットフォームと、
前記搬送物を補助的に支持する第１のトレイと、
前記搬送物を補助的に支持する第２のトレイと、を備え、
前記第１のトレイ及び前記第２のトレイは、それぞれ前記中央プラットフォームの両側に配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、前記第１のトレイ及び前記第２のトレイが相対的に移動調整され、前記搬送物を補助的に支持することを特徴とする搬送治具。
【請求項２】
前記第１のトレイ及び前記第２のトレイの各々は、前記中央プラットフォームに対応した箇所に、切欠き部がそれぞれ設けられ、
前記切欠き部は、前記搬送物を補助的に支持する前記第１のトレイ及び前記第２のトレイの部分よりも短いことを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項３】
前記第１のトレイ及び前記第２のトレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、前記搬送物の長辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項４】
前記第１のトレイ及び前記第２のトレイのうちの少なくとも１つの表面には、孔が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項５】
前記中央プラットフォームは、円形構造であることを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項６】
前記中央プラットフォームは、十字形構造であることを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項７】
前記第１のトレイ及び前記第２のトレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、
前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、前記搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする請求項１に記載の搬送治具。
【請求項８】
基板を載置する搬送治具と、該搬送治具の両側にそれぞれ配置された２つの研磨砥石と、を備える研磨機であって、
前記搬送治具は、
中央プラットフォームと、
前記基板を補助的に支持し、前記中央プラットフォームの両側にそれぞれ配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、相対的に移動調整されて前記基板を補助的に支持する２つのトレイと、を有することを特徴とする研磨機。
【請求項９】
前記２つのトレイは、前記中央プラットフォームに対応した箇所に切欠き部をそれぞれ有し、
前記切欠き部は、前記基板を補助的に支持する前記トレイの部分よりも短いことを特徴とする請求項８に記載の研磨機。
【請求項１０】
前記トレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、
前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする請求項８に記載の研磨機。
【請求項１１】
前記搬送治具の両側にそれぞれ配置され、前記基板の載置方向にずれが発生したか否かを検出する２つの電荷結合素子をさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は搬送治具に関し、特に基板を載置して研磨工程を行う搬送治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置の製造工程では、まず、液晶表示装置のガラス基板に研磨工程を行い、後続の工程でガラス基板に応力が集中することを防ぐ。一般にガラス基板を載置するのに用いる搬送治具は、一定サイズのガラス基板をステージ（ｓｔａｇｅ）で搬送し、研磨工程を行っていた。しかし、ステージのサイズは固定されていたため、サイズが異なる基板に研磨工程を行う場合、対応するステージと交換しなければならず、余計なコストがかかった。その他、ステージは手作業により交換しなければならないため、多くの時間が浪費されるだけでなく、交換後に水平度にずれが発生し、研磨の精度が低減してしまうことがあった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
そのため、ステージの交換に必要な時間及びコストを節減し、ステージを交換した後に水平度にずれが発生することがなく、サイズが異なる基板に対し、効率的かつ簡便に研磨工程を行うことが可能な搬送治具が求められていた。
【０００４】
本発明の目的は、基板のサイズに応じて幅を調整し、製造工程の必要に応じて基板を回転させることが可能な搬送治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）  搬送物を載置する搬送治具であって、中央プラットフォームと、前記搬送物を補助的に支持する第１のトレイと、前記搬送物を補助的に支持する第２のトレイと、を備え、前記第１のトレイ及び前記第２のトレイは、それぞれ前記中央プラットフォームの両側に配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、前記第１のトレイ及び前記第２のトレイが相対的に移動調整され、前記搬送物を補助的に支持することを特徴とする搬送治具を提供する。
【０００６】
（２）  前記第１のトレイ及び前記第２のトレイの各々は、前記中央プラットフォームに対応した箇所に、切欠き部がそれぞれ設けられ、前記切欠き部は、前記搬送物を補助的に支持する前記第１のトレイ及び前記第２のトレイの部分よりも短いことを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【０００７】
（３）  前記第１のトレイ及び前記第２のトレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、前記搬送物の短辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【０００８】
（４）  前記第１のトレイ及び前記第２のトレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、前記搬送物の長辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【０００９】
（５）  前記第１のトレイ及び前記第２のトレイのうちの少なくとも１つの表面には、孔が密集して配置されていることを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【００１０】
（６）  前記中央プラットフォームは、円形構造であることを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【００１１】
（７）  前記中央プラットフォームは、十字形構造であることを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【００１２】
（８）  前記第１のトレイ及び前記第２のトレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、前記搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする（１）に記載の搬送治具を提供する。
【００１３】
（９）  基板を載置する搬送治具と、該搬送治具の両側にそれぞれ配置された２つの研磨砥石と、を備える研磨機であって、前記搬送治具は、中央プラットフォームと、前記基板を補助的に支持し、前記中央プラットフォームの両側にそれぞれ配置され、前記中央プラットフォームに隣接したそれぞれの一側が互いに対応した相補構造に形成され、相対的に移動調整されて前記基板を補助的に支持する２つのトレイと、を有することを特徴とする研磨機を提供する。
【００１４】
（１０）  前記２つのトレイは、前記中央プラットフォームに対応した箇所に切欠き部をそれぞれ有し、前記切欠き部は、前記基板を補助的に支持する前記トレイの部分よりも短いことを特徴とする（９）に記載の研磨機を提供する。
【００１５】
（１１）  前記トレイは、支持幅まで相対的に移動調整され、搬送物の短辺をそれぞれ補助的に支持することを特徴とする（９）に記載の研磨機を提供する。
【００１６】
（１２）  前記トレイにより構成された互いに対応した相補構造の各々は、櫛歯状構造であり、前記櫛歯状構造の各々は、相対的に移動調整して互いに組合され、搬送物を補助的に支持する互いに対応したフランジ構造及び凹部構造を含むことを特徴とする（９）に記載の研磨機を提供する。
【００１７】
（１３）  前記搬送治具の両側にそれぞれ配置され、前記基板の載置方向にずれが発生したか否かを検出する２つの電荷結合素子をさらに備えることを特徴とする（９）に記載の研磨機を提供する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の研磨機及びその搬送治具は、従来、ステージの交換にかかっていた費用及び時間を低減させることができ、且つ様々なサイズの基板に対し、研磨工程を柔軟に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。
【００２０】
図１Ａを参照する。図１Ａは、本発明の一実施形態による研磨機を示す平面図である。研磨機１００は、搬送治具１０２及び２つの研磨砥石１０４を含む。搬送治具１０２は、中央プラットフォーム１０８、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２を含み、搬送物１０６（例えば、液晶表示装置のガラス基板）を載置して研磨工程を行う。中央プラットフォーム１０８は、搬送物１０６の昇降及び回転を行うために用いられる。本実施形態の中央プラットフォーム１０８は円形構造であるが、他の実施形態では十字構造にしてもよい。第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の各々は、中央プラットフォーム１０８の両側に配置され、搬送物１０６を補助的に支持し、中央プラットフォーム１０８に隣接する一側を互いに対応した相補構造に形成することにより、相対的に移動調整を行い、搬送物１０６を補助的に支持する。２つの研磨砥石１０４は、搬送治具１０２の両側にそれぞれ配置され、搬送物１０６に対し研磨を行う。図１Ｂは、図１Ａの研磨機を示す側面図である。図１Ｃは、本発明のもう一つの実施形態による研磨機を示す平面図である。図１Ａに示す研磨機と異なり、図１Ｃに示す中央プラットフォーム１０８ａは十字形構造である。
【００２１】
また、研磨機１００は、搬送治具１０２の両側にそれぞれ配置され、搬送物１０６の載置方向にずれが発生したか否かを検知する２つの電荷結合素子（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ：ＣＣＤ）１２２を含んでもよい。搬送物１０６の載置方向がずれているときは、中央プラットフォーム１０８を僅かに回転させ、搬送物１０６の載置方向を修正する。このように、ずれを全く無くしてから搬送物１０６の研磨工程を行う。
【００２２】
また、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２は、中央プラットフォーム１０８（又は１０８ａ）に対応した箇所に切欠き部１１４がそれぞれ形成され、第１のトレイ１１０又は第２のトレイ１１２が互いに対向するように形成されたこの切欠き部１１４は、搬送物１０６を補助的に支持する部分よりも短くすることにより（凹部構造に類似した構造）、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２が相対的に移動調整されるときに中央プラットフォーム１０８（又は１０８ａ）と干渉しないようにすることができる。第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の表面には、搬送物１０６の縁部分を吸着して固定するための真空孔１１６が密集して配置され、電磁弁の段階的な制御により搬送物１０６の縁部分が吸着される範囲を決定する。
【００２３】
図１Ａに示すように、本実施形態による第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２により構成された対応した相補構造は、それぞれ櫛歯状構造であり、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の櫛歯状構造は、複数のフランジ構造１１８と、各２つのフランジ構造１１８の間に形成された凹部構造１２０とを含み、第１のトレイ１１０の櫛歯状構造である複数のフランジ構造１１８は、第２のトレイ１１２の櫛歯状構造である複数の凹部構造１２０に対応するため、相対的に移動調整させた後、それぞれの櫛歯状構造を互いに組合せて搬送物１０６の補助的な支持を行うことができる。この延伸平面を有する櫛歯状構造によって、２つのトレイを相対的に移動調整しても、搬送物１０６は、中央プラットフォーム１０８とで搬送物が支持されることにより、応力を受けて曲がることがない。
【００２４】
図２Ａは、図１Ａの研磨機が中央プラットフォームの上昇及び回転により、２つのトレイを相対的に移動調整させた後の状態を示す平面図である。図２Ｂは、図２Ａの研磨機を示す側面図である。図１Ａ及び図２Ａを参照する。図１Ａに示すように、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２は、支持幅まで相対的に移動調整され、搬送物１０６の短辺を各々補助的に支持し、２つの研磨砥石１０４により搬送物１０６の短辺に対して研磨を行う。図２Ａに示すように、搬送物１０６の長辺に対して研磨を行う時は、まず、中央プラットフォーム１０８を一定の高さまで上昇させてから回転させ、搬送物１０６の方向を９０度回転させる。第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２は、もう一つの支持幅まで相対的に移動調整させることにより、搬送物１０６の長辺を各々補助的に支持し、２つの研磨砥石１０４により搬送物１０６の長辺に対し研磨を行う。続いて、図２Ｃを参照する。図２Ｃは、図２Ｂの研磨機の中央プラットフォームが下降された状態を示す側面図である。図２Ｃに示すように、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２を相対的に移動調整してから中央プラットフォーム１０８を下降させ、中央プラットフォーム１０８、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２上に載置された搬送物１０６の長辺に対し、２つの研磨砥石１０４により研磨を行う。
【００２５】
図３を参照する。図３は、図１Ａの研磨機により研磨を行う時の搬送治具の操作を示すフローチャートである。まず、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２を第１の支持幅まで移動調整し（ステップ３００）、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の各々により搬送物１０６の第１の辺（例えば、搬送物１０６の短辺）を補助的に支持する。続いて、中央プラットフォーム１０８、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２上に研磨を行う搬送物１０６を載置し（ステップ３０２）、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の各々により搬送物１０６の第１の辺を補助的に支持し、２つの研磨砥石１０４により研磨を行う（図１Ａに示す）。
【００２６】
搬送物１０６の第１の辺に対する研磨工程が完了した後、中央プラットフォーム１０８により搬送物１０６を一定の高さに上昇させてから（ステップ３０４）、中央プラットフォーム１０８を回転させ（ステップ３０６）、搬送物１０６の方向を変える（図２Ｂに示す）。本実施形態では、中央プラットフォームを９０度回転させてから、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２を第２の支持幅まで移動調整し（ステップ３０８）、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の各々により搬送物１０６の第２の辺（例えば、搬送物１０６の長辺）を補助的に支持する（図２Ａに示す）。その後、中央プラットフォーム１０８を下降させて搬送物１０６を下げ（ステップ３１０）、第１のトレイ１１０及び第２のトレイ１１２の各々により搬送物１０６の第２の辺を補助的に支持し、２つの研磨砥石１０４により研磨を行う。もう一つの実施形態では、搬送物１０６の長辺に対して研磨を行った後、同様の方法で搬送治具を操作し、搬送物１０６の短辺に対して研磨を行ってもよい。
【００２７】
また、搬送物１０６の載置方向にずれが発生したか否かを電荷結合素子により検知して判別してもよい。搬送物１０６の載置方向にずれが発生したときは、中央プラットフォーム１０８を僅かに回転させ、搬送物１０６の載置方向を修正してもよい。そして、ずれが無くなった後、搬送物１０６に対して研磨を行う。
【００２８】
上述の実施形態から分かるように、本発明の研磨機及びその搬送治具は、ステージの交換にかかる費用及び時間を節減し、サイズが異なる基板に対して研磨工程を柔軟に行うことができる。そのため、ステージを交換した後に水平度にずれが発生し、調整が困難となる問題が発生することを防ぐことができる。また、トレイを互いに対応した相補構造にすることにより、トレイと中央プラットフォームとで搬送物が支持されることになり、搬送物が応力の影響を受けて曲がることがない。
【００２９】
当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施の形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と範囲を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１Ａ】本発明の一実施形態による研磨機を示す平面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの研磨機を示す側面図である。
【図１Ｃ】本発明のもう一つの実施形態による研磨機を示す平面図である。
【図２Ａ】図１Ａの中央プラットフォームにより上昇及び回転を行い、２つのトレイを相対的に移動調整させた時の状態を示す平面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの研磨機を示す側面図である。
【図２Ｃ】図２Ｂの中央プラットフォームが下降された時の状態を示す側面図である。
【図３】図１Ａの搬送治具の操作方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３１】
１００  研磨機
１０２  搬送治具
１０４  研磨砥石
１０６  搬送物
１０８  中央プラットフォーム
１０８ａ  中央プラットフォーム
１１０  第１のトレイ
１１２  第２のトレイ
１１４  切欠き部
１１６  真空孔
１１８  フランジ構造
１２０  凹部構造
１２２  電荷結合素子
【図１Ａ】
0004672715.tif 000002
【図１Ｂ】
0004672715.tif 000003
【図１Ｃ】
0004672715.tif 000004
【図２Ａ】
0004672715.tif 000005
【図２Ｂ】
0004672715.tif 000006
【図２Ｃ】
0004672715.tif 000007
【図３】
0004672715.tif 000008