(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープに一定間隔で設けられた回路パターン形成領域における複数の電極パッドに対し、プローブユニットに略垂直状態で配置された複数のプローブが略垂直方向からそれぞれ接触することにより電気的検査を行う方法であって、
前記各回路パターン形成領域に対応するようにテープ表面に形成されている位置合わせ用のアライメントマークと対応したマーク確認孔を前記プローブユニットに設け、プローブユニットにおけるテープとの反対側にカメラを配置した状態で、マーク確認孔の内部にアライメントマークが位置するようにカメラを介して観察しながらプローブユニットとテープとの相対位置を調整する際に、前記マーク確認孔を対となる大径孔及び小径孔によって形成し、前記大径孔を通じてプローブユニットとテープとの概略位置合わせを行い、その後、前記小径孔を通じてプローブユニットとテープとの微細な位置合わせを行うことを特徴とするチップ実装用テープの検査方法。
【請求項２】
監査対象の回路パターン形成領域に対するマーク確認孔と、次の回路パターン形成領域に対するマーク確認孔とを用いてプローブユニットとテープとの相対位置の調整を行うことを特徴とする請求項１記載のチップ実装用テープの検査方法。
【請求項３】
検査対象の回路パターン形成領域における対角位置のアライメントマークを用いてプローブユニットとテープとの相対位置の調整を行うことを特徴とする請求項１記載のチップ実装用テープの検査方法。
【請求項４】
テープに一定間隔で設けられた各回路パターン形成領域における複数の電極パッドに対し、略垂直方向からそれぞれ接触することにより電気的検査を行う複数のプローブが略垂直状態で配置されたプローブユニットであって、
前記各回路パターン形成領域に対応するようにテープに形成されている位置合わせ用のアライメントマークに対応し、当該アライメントマークが内部に位置するように観察するためのマーク確認孔が形成されており、前記マーク確認孔が、プローブユニット及びテープの概略位置決めを行うための大径孔とプローブユニット及びテープの微細な位置合わせを行うための小径孔との一対によって形成されていることを特徴とするチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニット。
【請求項５】
前記マーク確認孔が検査対象の回路パターン形成領域との対応位置及び次の検査対象の回路パターン形成領域との対応位置に設けられていることを特徴とする請求項４記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニット。
【請求項６】
前記マーク確認孔が回路パターン形成領域における対角位置となるように設けられていることを特徴とする請求項４記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニット。
【請求項７】
前記マーク確認孔は、テープ側が小径、他側が大径となった段付き孔であることを特徴とする請求項４ないし６のいずれか１項に記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）等のチップ実装用テープを電気的に検査する方法及びその検査方法に用いられる検査用のプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＡＢ、ＣＯＦ等のチップ実装用テープ（以下、テープ）に対しては、ＩＣチップやＬＳＩチップ等のチップを実装し、チップ実装部分を樹脂によって封止することによりパッケージが製造される。テープは長尺となっており、多数の回路パターン形成領域が長さ方向に一定間隔で連続するように形成されている。各回路パターン形成領域にはチップが実装されるため、チップの電極と接続されるインナリード及び外部電極となるアウタリードが各回路パターン形成領域に形成されている。このように形成されているインナリードやアウタリードの断線、抵抗値等の特性あるいはチップの作動特性等を把握する必要があり、このための電気的検査（プロービングテスト）がテープを１リールずつハンドラーに装着することによりチップ実装前或いは実装後に行われている。
【０００３】
電気的検査は、アウタリードと接続されたテストパッドを各回路パターン形成領域に平行配列したり、４列等で千鳥配列し、それぞれのテストパッドにプローブユニットから突出しているプローブを接触させてテスタと接続することにより行われる。この電気的検査において、プローブが略垂直となるようにプローブユニットに突出状に設けられてテストパッドに略垂直方向となって接触する場合においては、プローブユニットとテープとが重なり合ってプローブの先端部分が見えないため、プローブとテストパッドとの接触状態を確認することができず、プローブユニットのプローブとテープ上のテストパッドとの位置合わせに苦慮する場合がある。
【０００４】
このため、従来では、プローブユニットにおけるテープ側にミラーを配置すると共に、ミラーとの対応部位に透光用の開口部を板厚方向に貫通させ、この開口部を介してミラーからの画像を視認してプローブとテストパッドとの接触状態を確認する検査が行われている（例えば、特許文献１参照）。
しかしながら、従来の検査においては、プローブユニットにミラーを取り付けると共に、このミラー配置部位に位置するように開口部を形成する必要がある。このような加工は面倒であるばかりでなく、プローブユニットの構造が複雑となる。また、折り曲げＴＡＢ等の回路パターンによっては、ミラーを配置することがスペース的に困難となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】
特許第３３１０９３０号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、ミラー等の付属部品を不要とした簡単な構造で、プローブとテストパッドとの良好な接触を確実に行う検査方法及びこの検査方法に用いるプローブユニットを提供することを目的とする。
【発明の開示】
【０００７】
上記目的を達成するため、請求項１の発明のチップ実装用テープの検査方法は、テープに一定間隔で設けられた回路パターン形成領域における複数の電極パッドに対し、プローブユニットに略垂直状態で配置された複数のプローブが略垂直方向からそれぞれ接触することにより電気的検査を行う方法であって、前記各回路パターン形成領域に対応するようにテープ表面に形成されている位置合わせ用のアライメントマークと対応したマーク確認孔を前記プローブユニットに設け、プローブユニットにおけるテープとの反対側にカメラを配置した状態で、マーク確認孔の内部にアライメントマークが位置するようにカメラを介して観察しながらプローブユニットとテープとの相対位置を調整する際に、前記マーク確認孔を対となる大径孔及び小径孔によって形成し、前記大径孔を通じてプローブユニットとテープとの概略位置合わせを行い、その後、前記小径孔を通じてプローブユニットとテープとの微細な位置合わせを行うことを特徴とする。
請求項１の発明では、チップ実装時の位置合わせや液晶パネルへの取り付け時の位置合わせのためにテープに予め形成されているアライメントマークを利用するものである。アライメントマークはテープにおける回路パターン形成領域のぞれぞれに形成されていると共に、形成位置も高精度となっている。
この発明では、このアライメントマークに対応したマーク確認孔をプローブユニットに形成し、マーク確認孔の内部にアライメントマークが位置するように観察しながらプローブユニット及びテープのいずれかまたは双方を移動させ、この移動によりこれらの位置調整を行う。このような位置調整では、位置が高精度となっているアライメントマークを基準とした調整のため、精度の良い調整ができ、電極パッドとプローブとを確実に接触させることができ、信頼性のある検査を行うことができる。また、プローブユニットに対しては、マーク確認孔を貫通させるだけで良く、その他の面倒な加工や付属部品の取り付けも不要となり、プローブユニットの加工が簡単となる。
また、前記マーク確認孔を対となる大径孔及び小径孔によって形成し、大径孔を通じてプローブユニットとテープとの概略の位置合わせを行った後、小径孔を通じて微細な位置合わせを行う。
大径孔を通じたプローブユニットとテープとのおおよその位置合わせでは、視野が広いため、アライメントマークを簡単に探すことができる。そして、その後においては小径孔を通じた微細な位置決めを行うことができるため、精度の良い位置合わせを短時間で行うことができる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載のチップ実装用テープの検査方法であって、監査対象の回路パターン形成領域に対するマーク確認孔と、次の回路パターン形成領域に対するマーク確認孔とを用いてプローブユニットとテープとの相対位置の調整を行うことを特徴とする。
請求項２の発明では、隣接している２つの回路パターン形成領域に対するマーク確認孔を用いて位置調整を行うため、離れた位置のマーク確認孔を用いた位置調整となり、精度が良好な位置調整を行うことができる。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１記載のチップ実装用テープの検査方法であって、検査対象の回路パターン形成領域における対角位置のマーク確認孔を用いてプローブユニットとテープとの相対位置の調整を行うことを特徴とする。
請求項３の発明では、対角位置のマーク確認孔を用いて位置調整を行うため、離れた位置のマーク確認孔を用いた位置調整となり、精度が良好な位置調整を行うことができる。
【００１０】
請求項４の発明のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニットは、テープに一定間隔で設けられた各回路パターン形成領域における複数の電極パッドに対し、略垂直方向からそれぞれ接触することにより電気的検査を行う複数のプローブが略垂直状態で配置されたプローブユニットであって、前記各回路パターン形成領域に対応するようにテープに形成されている位置合わせ用のアライメントマークに対応し、当該アライメントマークが内部に位置するように観察するためのマーク確認孔が形成されており、前記マーク確認孔が、プローブユニット及びテープの概略位置決めを行うための大径孔とプローブユニット及びテープの微細な位置合わせを行うための小径孔との一対によって形成されていることを特徴とする。
請求項４の発明では、テープの検査に用いるプローブユニットにマーク確認孔を形成するため、テープに予め形成されているアライメントマークを介してプローブユニット及びテープの位置調整を行うことができる。これにより、高精度の位置調整ができるため、電極パッドとプローブとを確実に接触させることができ、精度の良い検査を行うことができる。また、マーク確認孔をプローブユニットに貫通させるだけで良いため、その他の面倒な加工や付属部品の取り付けも不要となり、簡単な構造とすることができる。
また、マーク確認孔が対となる大径孔及び小径孔によって形成され、マーク確認孔が対となった大径孔及び小径孔によって構成されているため、プローブユニットとテープとのおおよその位置合わせを大径孔を通じて行うことができる。この位置合わせでは、視野が広いため、アライメントマークを簡単に探すことができる。また、その後における微細な位置決めを小径孔を通じて行うことができる。従って、精度の良い位置合わせを短時間で行うことができる。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項４記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニットであって、前記マーク確認孔が検査対象の回路パターン形成領域との対応位置及び次の検査対象の回路パターン形成領域との対応位置に設けられていることを特徴とする。
請求項５の発明では、隣接している回路パターン形成領域にマーク確認孔が形成されるため、隣接位置における回路パターン形成領域のマーク確認孔を用いた位置調整を行うことができる。従って、離れた位置のマーク確認孔を用いた位置調整となり、精度が良好な位置調整を行うことができる。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項４記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニットであって、前記マーク確認孔が回路パターン形成領域における対角位置となるように設けられていることを特徴とする。
請求項６の発明では、回路パターン形成領域の対角位置にマーク確認孔が配置されるため、対角位置のマーク確認孔を用いた位置調整を行うことができる。従って、離れた位置のマーク確認孔を用いた位置調整となり、精度が良好な位置調整を行うことができる。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項４〜６のいずれかに記載のチップ実装用テープの検査に用いるプローブユニットであって、前記マーク確認孔は、テープ側が小径、他側が大径となった段付き孔であることを特徴とする。
請求項７の発明では、段付き孔となっているマーク確認孔における小径側がアライメントマーク観察の基準となる。一方、マーク確認孔における大径となっている他側にカメラが配置され、カメラを介してアライメントマークの観察が行われる。このようにカメラ側が大径となっていることにより、充分な光量をマーク確認孔に導入することができ、これによりカメラからの光を良好にアライメントマーク側に到達させることができるため、アライメントマークの観察を確実に行うことができる。さらに、カメラのレンズ径が大径の場合においても、マーク確認孔におけるカメラ側か大径となっていることによりマライメントマークの画像を鮮明に見ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態における検査状態を示す斜視図である。
【図２】検査状体の断面図である。
【図３】プローブユニットの内部の一例を示す断面図である。
【図４】プローブユニットの一例の平面図である。
【図５】テストパッドの一例の平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｅ）はアライメントマークとマーク確認孔との関係を示す底面図である。
【図７】別の実施の形態におけるマーク確認孔を示す断面図である。
【図８】本発明のさらに別の実施の形態におけるプローブユニットの下面図である。
【図９】画像処理エラーを示す拡大図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
第１図は、本発明の実施の形態における検査状態の斜視図、第２図はその断面図、第３図はプローブユニットを部分的にを示す断面図、第４図はプローブユニットの平面図である。これらの図において、テープ１とプローブユニット２とが対向しており、この対向状態でテープ１への電気的検査が行われる。
テープ１は、絶縁性樹脂をフィルム状に成形することにより形成されており、その長手方向には回路パターン形成領域が一定間隔で形成されている。１０，１０ａは長手方向で隣接するように形成された回路パターン形成領域である。１０，１０ａを始めとする各回路パターン形成領域には、インナリード及びアウタリードが形成されている。また、アウタリードにはテストパッドが連設される場合もある。テストパッドは、例えば２列等の平行状態で各回路パターン形成領域に形成される。これらのインナリード、アウタリード及びテストパッドは回路パターン形成領域における電極パッド１１を構成するものである。
【００１６】
各回路パターン形成領域には、チップ（図示省略）が実装され、チップの電極とインナリードとが接続される。この実施の形態においては、チップ実装前のテープ１を検査に供するものである。なお、テープ１は、幅方向両側に一定の間隔で設けられたスプロケットホール１２を介し、ハンドラーによる長手方向への移動が行われる。
さらに、１０，１０ａを始めとする各回路パターン形成領域には、アライメントマークが予め形成されている。アライメントマークは、チップ実装の際におけるチップとの相対的な位置決めを行ったり、液晶パネルへの取り付けの際の位置決めを行うために各回路パターン形成領域に形成されるものである。このアライメントマークは、電極パッド１１と同様に印刷によって形成されるため、形成位置が高精度となっていると共に、上述した位置決めを行うため、電極パッド１１との位置関係も高精度となるように形成されている。
【００１７】
第１図において、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄは、回路パターン形成領域１０に形成されたアライメントマークであり、１３ａ、１３ｂが近接し、１３ｃ、１３ｄが近接した状態で形成されている。１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは回路パターン形成領域１０ａに形成されたアライメントマークであり、１４ａ，１４ｂが近接し、１４ｃ、１４ｄが近接した状態で形成されている。これらのアライメントマークの内、いずれかの一つまたは一対が例えばチップ実装時の位置決めのためのマーク、その他の一つまたは一対が例えば液晶パネルへの取り付けの際の位置決めのためのマークとなっている。かかるアライメントマークは、丸形、四角形、十字形、Ｌ字形等の外形に成形されており、その外形によってどの位置決めに用いるかが判別されるようになっている。この実施の形態において、これらのアライメントマークを用いてプローブテープ１とプローブユニット２との位置調整を行うものである。
【００１８】
プローブユニット２は、第２図に示すように回路パターン形成領域１０における電極パッド１１（テストパッド１６）と個々に接触する複数のプローブ２１を備えている。プローブ２１はプローブユニット２に対して略垂直状態で配置され、略垂直状態のままでテープ１の電極パッド１１（テストパッド１６）に略垂直方向から接触するようになっている。
第３図及び第４図は、この実施の形態に用いられるプローブユニット２の一例を示す。絶縁性樹脂からなる板材を複数積層したホルダ２２と、ホルダ２２の厚さ方向に沿って形成された複数の収容孔２３とを備え、各収容孔２３にプローブ２１が挿入されている。収容孔２３は、検査対象となるテープ１の電極パッド１１に合わせて形成されるものであり、ＴＡＢ等のテープにおいては、電極パッド１１としてのテストパッドが列状に形成されるため、収容孔２３も列状に形成される。第５図はＴＡＢに形成されたテストパッド１６の配置の一列を示し、矩形状に成形されている。そして、各列で略等間隔となるように複数のテストパッド１６が３列となるように形成されており、それぞれのテストパッド１６にプローブ２１が接触するようになっている。各テストパッド１６は接続パターン１６ａを有し、接続パターン１６ａを介してアウタリードに接続される。
【００１９】
第３図に示すように、プローブ２１はホルダ２２から突出してテープ１に臨む導電性材料からなる細径の接触針２１ａと、接触針２１ａとの反対側となるように収容孔２３に挿入された導電性材料からなる接続針２１ｂと、これらの間に介挿された導電性材料からなるばね２１ｃとを備えている。接触針２１ａはホルダ２２から突出することにより、対応した電極パッド１１と接触し、この接触により電極パッド１１の電気的な検査を行う。なお、接触針２１ａにおける収容孔２３側の部分が大径となることにより、接触針２１ａの収容孔２３からの抜き差しが可能となっていると共にリード線２４との中心位置ずれを防止している。
収容孔２３には、エナメル線等からなるリード線２４の端部２４ａが挿入されて接続針２１ｂと接触している。これにより、リード線２４は接続針２１ｂ及びばね２１ｃを介して接触針２１ａと電気的に接続された状態となる。なお、この実施の形態において、リード線２４の端部２４ａが潰し加工されることにより、収容孔２３からの抜け止め防止構造となっている。
【００２０】
このようなプローブユニット２は、プローブ２１が略垂直状態となって配置され、かつテープ１の電極パッド１１に略垂直方向から接触するものであれば、図示する形態に限定されるものではない。例えば、接続針２１ｂを省略してばね２１ｃが直接にリード線２４の端部２４ａと接触する構造としても良く、接触針２１ａ、接続針２１ｂ、ばね２１ｃの３部品とすることなく、単一の針状体を用いても良い。
プローブユニット２は、プリント配線された基板３にセットされた状態でテープ１の検査に使用される。基板３の裏面（テープ１から離れた面）には、配線部３ａがパターン形成されており、各プローブ２１からのリード線２４が配線部３ａに半田付けされている。この配線部３ａには、テスタ（図示省略）からのテスタプローブ４が臨んでおり、テスタプローブ４が配線部３ａに接触することにより、各プローブ２１とテスタ（図示省略）との間で信号の授受を行うようになっている。
【００２１】
かかるプローブユニット２には、テープ１の回路パターン形成領域（例えば、回路パターン形成領域１０、１０ａ）のアライメントマークに対応したマーク確認孔２５、２６が厚さ方向に貫通するように形成されている（第２図参照）。マーク確認孔２５は、第１図の状態において、回路パターン形成領域１０のアライメントマーク１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄに対応するものであり、これらに対応した４つの確認孔２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄによって構成されている。また、マーク確認孔２６は、第１図の状態において、回路パターン形成領域１０ａのアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄに対応するものであり、これらに対応した４つの確認孔２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄによって構成されている。検査に際しては、回路パターン形成領域が順次、プローブユニット２と対向する位置となるようにテープ１が間欠的に送られるものであり、このため、回路パターン形成領域１０ａがプローブユニット２との対向位置に送られた場合には、マーク確認孔２５における４つの確認孔２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄがパターン形成領域１０ａのアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄと対応し、マーク確認孔２６における４つの確認孔２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄがパターン形成領域１０ａに続くパターン形成領域のアライメントマークと対応するようになる。
【００２２】
これらのマーク確認孔２５、２６は、プローブユニット２に対応している回路パターン形成領域のアライメントマークに基づいて、テープ１とプローブユニット２との相対位置を調整するために使用される。この調整は、対応しているアライメントマークがマーク確認孔の内部に位置するようにテープ１及びプローブユニット２の相対位置を変更することにより行われる。すなわち、マーク確認孔を通じてアライメントマークを視認し、そのアライメントマークがマーク確認孔内に位置するように調整するものである。この調整を行うため、カメラ３１が用いられる。
カメラ３１は、ＣＣＤカメラ等の小型カメラが用いられ、テープ１との反対側に位置した状態で一平面内で直交するＸＹ方向に移動可能となっている。このカメラ３１は、テープ１との間でプローブユニット２を挟んだ状態で、マーク確認孔２５、２６からアライメントマークを観察する。この実施の形態では、プローブユニット２が基板３上に支持されているところから、カメラ３１からの光をマーク確認孔２５、２６に導くための貫通孔３ｃがマーク確認孔２５、２６に対応するように基板３に形成されるものである。
【００２３】
次に、テープ１の検査手順を説明する。この実施の形態においては、マーク確認孔２５、２６における近接している２つの確認孔の径が異なっている。すなわち、第２図及び第４図に示すように、マーク確認孔２５においては、テープ１側において確認孔２５ｂ（２５ｄ）が大径で開口し、確認孔２５ａ（２５ｃ）が小径で開口している。同様に、マーク確認孔２６においては、テープ１側において確認孔２６ｂ（２６ｄ）が大径で開口し、確認孔２６ａ（２６ｃ）が小径で開口している。
このような実施の形態では、大径で開口している確認孔２５ｂ（または／及び確認孔２５ｄ）内に回路パターン形成領域１０における対応したアライメントマーク１３ｂ（または／及び確認孔１３ｄ）が位置するように調整することにより、テープ１とプローブユニット２との概略の位置合わせを行う。この位置合わせでは、視野が広いため、アライメントマーク１３ｂ（または／及びアライメントマーク１３ｄ）を簡単に見つけることができる。その後、小径で開口している確認孔２５ａ（または／及びアライメントマーク２５ｃ）内に対応したアライメントマーク１３ａが位置するように調整することにより、微細な位置合わせを行う。
【００２４】
この位置調整により、テープ１とプローブユニット２との初期の位置合わせが終了する。そして、プローブユニット２をテープ１に接近させることにより、対応した電極パッド１１にプローブ２１が略垂直方向から接触するため、その電気的検査を行うことができる。その後においては、テープ１とプローブユニット２との位置合わせが終了しているため、スプロケットホール１２を用いたテープ１の移動を行うことにより、次の回路パターン形成領域１０ａが定位置となるようにプローブユニット２と対向することができる。これにより、同様にしてプローブ２１を電極パッド１１に接触させる検査を行うことができる。
第６図は、以上の調整時におけるマーク確認孔２５、２６内部でのアライメントマークの画像を示す。同図において、１７はアライメントマーク、２７はマーク確認孔である。
アライメントマーク１７が四角形等の多角形の場合には、（ａ）で示すようにマーク確認孔２７が外接円となるように位置調整を行う。アライメントマーク１７がＬ字形の場合には、（ｂ）で示すようにマーク確認孔２７が各辺に外接するように位置調整する。アライメントマーク１７が十字形の場合には、（ｃ）で示すように、十字の中心がマーク確認孔２７の中心に位置するように位置調整する。アライメントマーク１７が円形の場合には、（ｄ）、（ｅ）で示すように、マーク確認孔２７との中心が一致するように位置調整する。その他の形状のアライメントマークにおいては、同様な位置調整を行うことにより、テープ１とプローブユニット２との位置調整を行うことができる。
【００２５】
このような位置調整では、テープ１に予め形成されているアライメントマークを利用して、テープ１とプローブユニット２との相対位置の調整を行うため、高精度な位置調整を行うことができる。また、プローブユニット２に対しては、マーク確認孔２５、２６を貫通するように形成するだけで良いため、面倒な加工が不要となるばかりでなく、ミラーやその支持用ブラケット等の付属部品を取り付ける必要もなく、簡単な構造とすることができる。
さらに、第２図に示すようにプローブ２１と接続されるリード線２４をプローブユニット２の裏面から引き出し、そのまま基板３裏面の配線部３ａに接続することができる。このため、片面にプリント配線した簡単な構造の基板３を使用することができ、両面にプリント配線した基板や、両面のプリント配線を接続するためにスルーホールを形成した基板を用いる必要がなく、安価な基板とすることができる。
【００２６】
さらにこの実施の形態では、大径及び小径による２段階の位置調整を行うため、テープ１とプローブユニット２との位置合わせを短時間でかつ、精度良く行うことができる。
第７図は、本発明の別の実施の形態を示す。この実施の形態では、マーク確認孔２８が段付き孔となっている。すなわち、マーク確認孔２８は、大径孔２８ａと小径孔２８ｂとが連通した構造となっており、小径孔２８ｂがテープ１側に位置し、大径孔２８ａがカメラ３１側に位置するように方向性が決定されて用いられる。テープ１がＴＡＢの場合、小径孔２８ｂの直径Ｒ２は０．２〜１．５ｍｍ、大径孔２８ａの直径Ｒ１は１．５〜５．０ｍｍ等に設定され、小径孔２８ｂの長さＬは０．５〜２．０ｍｍ等に設定される。
このような段付き孔では、テープ１のアライメントマークを小径孔２８ｂから視認するため、第４図に示すアライメントマークとの調整は小径孔２８ｂを通じて行われる。一方、カメラ３１の光は、大径孔２８ａから導入されて観察が行われる。この実施の形態では、カメラ側が大径孔２８ａとなっているため、充分な光量をマーク確認孔２８に導入することができる。このため、光を小径孔２８ｂを通じてアライメントマークに到達することができ、その観察を確実に行うことができる。
なお、第２図においては、マーク確認孔２５、２６における確認孔２５ａ及び２６ａがこの実施の形態と同様の段付き孔となっているが、他の確認孔を同様に段付き孔としても良い。
【００２７】
本発明においては、検査対象及び次の検査対象となるように隣接している回路パターン形成領域１０、１０ａのアライメントマークを用いてテープ１とプローブユニット２との位置合わせを行うことも可能である。すなわち、マーク確認孔２５における確認孔２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ内に回路パターン形成領域１０の対応しているアライメントマーク１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが位置するように調整すると共に、マーク確認孔２６における確認孔２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ内に回路パターン形成領域１０ａの対応しているアライメントマーク１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが位置するように調整を行う。
このような隣接した２つの回路パターン形成領域１０、１０ａに対する位置決めでは、回路パターン形成領域１０、１０ａの間でのアライメントマークが離れているため、精度の良い調整を行うことが可能となる。
【００２８】
さらに、本発明では、各回路パターン形成領域に対し、対角位置にアライメントマークを予め形成すると共に、対角位置のアライメントマークを観察するマーク確認孔をプローブユニットに貫通することもできる。この場合には、対角位置のマーク確認孔を通じて対角位置のアライメントマークを観察することにより、テープ１とプローブユニット２との位置調整を行うため、同様に離れた位置に対する位置調整となる。このため、精度の良い調整を行うことができる。
【００２９】
第８図は、本発明のさらに別の実施の形態におけるプローブユニット４１をカメラ３１側（下面側）から示すものであり、第１図〜第４図と同一の部材には同一の符号を付して対応させてある。
このプローブユニット４１には、大径孔４２ａ，４２ｂと、小径孔４３ａ，４３ｂとが厚さ方向に貫通するように形成されている。これらの大径孔４２ａ，４２ｂ及び小径孔４３ａ，４３ｂは、プローブ２１の配置領域（すなわち、収容孔２３の配置領域）の外側に位置するように形成されるものであり、大径孔４２ａ，４２ｂは、対角線上に位置するように形成され、小径孔４３ａ，４３ｂは、この対角線と交差する対角線上に位置するように形成されている。
【００３０】
大径孔４２ａ，４２ｂは、テープ１の回路パターン形成領域におけるアライメントマーク４５に比べて十分大きな径となるように形成されている。従って、大径孔４２ａ，４２ｂには、カメラ３１からの光が十分に入り込んで通過することができる。これにより、カメラ３１における画像処理を明確に行うことができる。小径孔４３ａ，４３ｂはアライメントマーク４５と同等か、幾分大きな径となるように形成されている。小径孔４３ａ，４３ｂは、テープ１の位置決めのために用いられる。
【００３１】
この実施の形態におけるテープ１とプローブユニット４１との位置合わせは、まず、大径孔４２ａ，４２ｂ内にテープ１のアライメントマーク４５が位置するように概略の位置合わせを行う。この位置合わせにより、小径孔４３ａ，４３ｂにアライメントマーク４５が略一致する。このため、小径孔４３ａ，４３ｂがアライメントマーク４５の外接円となるように位置合わせすることによりテープ１とプローブユニット４１とを正確に位置合わせすることができる。この位置合わせの後においては、アライメントマーク４５が大径孔４２ａ，４２ｂ内に位置するようにテープ１を間欠的に送ることにより、プローブユニット４１と位置決めした状態でテープ１を供給することができ、テープ１の電気的検査を連続的に行うことができる。
【００３２】
第９図は、小径孔４３ａだけによってテープ１の位置決めを行う場合の画像処理状態を示す。この場合には、小径孔４３ａからの光が十分でないため、影５０が発生して画像処理のエラーとなる。上記実施の形態は、このような画像処理エラーを効率的に防止することが可能となるものである。なお、大径孔４２ａ，４２ｂ及び小径孔４３ａ，４３ｂは、２つを配置する必要なく、それぞれが一つであっても良い。
【００３３】
本発明は以上の実施の形態に限定されることなく、種々変更が可能である。例えば、プローブユニット２を基板３に取り付けることなく、独立して検査に用いても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の検査方法によれば、テープに予め形成されているアライメントマークを基準とした調整を行うため、精度の良い調整ができ、しかも従来のハンドラーに変更を要することなく、電極パッドとプローブとを確実に接触させることができ、信頼性のある検査を行うことができる。
【００３５】
本発明のプローブユニットによれば、テープに予め形成されているアライメントマークに対応したマーク確認孔を形成し、このマーク確認孔を用いてテープとの位置調整を行うため、電極パッドとプローブとを確実に接触させることができ、精度の良い検査を行うことができ、しかもマーク確認孔を貫通させるだけで良いため、その他の面倒な加工や付属部品の取り付けも不要となり、簡単な構造とすることができる。
【符号の説明】
【００３６】
１  テープ
２、４１  プローブユニット
３  基板
３ａ  配線部    
３ｃ  貫通孔  
４  テスタプローブ
１０，１０ａ  回路パターン形成領域
１１  電極パッド
１２  スプロケットホール
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１７、４５  アライメントマーク
１６  テストパッド
１６ａ  接続パターン
２１  プローブ
２１ａ  接触針
２１ｂ  接続針
２１ｃ  ばね
２２  ホルダ
２３  収容孔
２４  リード線
２４ａ  端部
２５、２６、２７、２８  マーク確認孔
２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ、２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄ確認孔
２８ａ、４２ａ、４２ｂ  大径孔
２８ｂ，４３ａ、４３ｂ  小径孔  
３１  カメラ
５０  影
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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