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(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼材表面を銀鏡反応により銀で被覆して耐塩化物イオン処理を施したことを特徴とする鋼材の保護方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部に露出する鋼材の保護方法の技術分野に属するものである。
【背景技術】
【０００２】
こんにち、海岸に近いところや地下水面、海面より低い位置にトンネルやボックスカルバート等の各種構造物を築造することが頻繁に行われ、このような構造物に鋼材がそのまま外部に露出する状態で設けられることがある。そしてこのような鋼材のなかには、例えば地下水に海水を含有する漏水が継続的に付着するものがあり、このような場合、鋼材は、漏水含有物である海水が付着することにより、さらに詳しくは、海水中の塩分の付着により劣化（腐食）していくことになる。そして塩分が鋼材に付着した場合における腐食の電気化学的な仕組みは次のものと考えられる。まず鋼材が腐食するには、付着溶液中に酸化剤である溶存酸素の存在が前提で、該存在する溶存酸素により水が付着している部分の鋼材の表面に電気的な偏りが生じ、付着している水によって電子が輸送され、これにより鉄イオン（鉄（ＩＩ）イオン（Ｆｅ２＋）、鉄（ＩＩＩ）イオン（Ｆｅ３＋））が鋼材表面に生成する。ここで付着水に塩分が含まれると、塩分中の塩化物イオンがが前記生成した鉄イオンに配位して鉄のクロロコンプレックスを生成することになって水に溶けにくい鉄の水酸化物の生成を妨害する。鉄のクロロコンプレックスは水に溶け易く、かつ、水に安定的に存在することから、前記生成した鉄のクロロコンプレックスは付着水に溶け出していくことになり、この結果、鋼材は、鉄の水酸化物により表面被覆がなされて保護されるようなことがなく、常に新鮮な腐食表面が腐食環境中に暴露され続けることになる。そして通常の環境下では付着水中には溶存酸素が十分に存在していることから、結果的に、塩分を含有する水に曝露され続ける鋼材は、前記生成した鉄のクロロコンプレックスが継続的（連続的）に漏水に溶け出すことになって痩せ細り状態で腐食し、劣化が進行していくことになる。
そこで鋼材の表面処理について、例えば鍍金による金属被覆や防錆塗料の被覆が従来から知られている（非特許文献１）。
【非特許文献１】「金属表面工学」、昭和３７年４月２７日、日刊工業新聞社、初版発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、前記金属を被覆した場合、該被覆には鍍金や溶射等の面倒、かつ、煩雑な処理が必要になるだけでなく、該被覆した金属が塩化物イオンと反応して溶解してしまうため、長時間の保護効果を期待できないという問題がある。また塗料を塗膜した場合、鋼材が、擦過、振動、あるいは打撃等の負荷が働くものである場合、塗料が早期のうちに剥離したり破損してしまうことになって、鋼材の有効な保護手段にはなり得ないという問題があり、これらに本発明の解決すべき課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、上記の如き実情に鑑みこれらの課題を解決することを目的として創作されたものであって、請求項１の発明は、鋼材表面を銀鏡反応により銀で被覆して耐塩化物イオン処理を施したことを特徴とする鋼材の保護方法である。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１の発明とすることにより、高い耐塩化物イオンの効果が、鍍金等の面倒な処理をすることなく簡単に得られることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、塩化銀は、その溶解度が３０ｍｇ／ｄｍ３（ミリグラム  デシメートルのマイナス３乗）と難溶性であり、しかも銀は、鉄（鋼）よりもイオン化傾向が小さいため、例えば硝酸銀水溶液として銀イオンを鋼材表面に塗布しておくと酸化還元による銀鏡反応が容易に促進して銀が鋼材表面に鏡状に析出し、これによって鋼材表面が銀で被覆されることになる。そして該鋼材表面を被覆する銀が、海水含有水に接触すると前記難溶の塩化銀となって鋼材表面を覆う状態となり、これによって鋼材の塩化物イオンとの直接的な接触を回避して鋼材の保護がなされ鋼材劣化を防止できることになる。
【０００７】
鋼材表面への銀の被覆作業は、鋼材を現場施工する前に施しても良いが、施工後に施しても良く、また被覆している銀の消費状態をみて再塗布することもできる。銀イオンを得るための銀塩としては、水溶性である硝酸銀が入手しやすく一般的である。そしてこのような銀塩の鋼材表面への付着は、刷毛による塗布、スプレーによる噴霧が例示される。また銀塩は、水溶液として用いることが簡便であるが、エタノールやグリセリン等の極性溶媒に溶解させたものを用いることができ、さらにはポリビニルアルコールのような極性ポリマーに溶解させたものを用いることもできる。
【０００８】
＜実験例１＞
１００ｍｌの水に硝酸銀５０ｇを溶解させて硝酸銀水溶液を作成する。該作成した硝酸銀水溶液を、縦、横および高さが１０ｍｍ、１０ｍｍおよび２ｍｍの鋼板の１表面のみに刷毛を用いて塗布して放置しておくと、鋼板表面に銀鏡が生じた。このように表面に銀鏡が生じた鋼板を飽和食塩水に３０分間浸漬した。銀鏡が生じている表面は銀色になっていたが、裏面は赤錆が発生した状態になっていた。表面の銀色部分の一部を軽く擦って除去すると、再び銀鏡が露出し、銀皮膜による保護状態であることが確認された。
【０００９】
＜実験例２＞
次に、０．４重量％の食塩水と、該食塩水を１０倍および１０００倍に希釈したものとの３種類の食塩水を用意した。そしてこれらの食塩水に、縦、横および高さが何れも１０ｍｍの鋼材について、前記実験例１で作成したと同じ濃度の硝酸銀水溶液に１昼夜（２４時間）浸漬して全面に銀鏡を施した試料（以下「銀鏡処理試料」という）と、銀鏡処理をしていない試料（以下「無処理試料」という）とをそれぞれ浸漬して重量の減少割合について経時的な観察をした。その結果を図１の表図に示す。これによると、銀鏡処理試料は、何れの濃度の食塩水に浸漬したものについて、６０日を経過しても重量の減少は何れも認められなかった（重量減少が何れの濃度の食塩水に浸漬しても認められなかったので、図面では一つの線で纏めて記載した）が、無処理試料は何れの濃度の食塩水に浸漬したものについて重量減少が認められ、本発明の鋼材を銀鏡処理して銀で被覆したものは、その耐塩化物イオン特性が優れていて、塩化物イオンを含有する水に触れて痩せ細ってしまうことを防止できることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】鋼材を食塩水に浸漬したときの重量減少割合を示す表図である。
【図１】
0004652247.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化型グルタチオンを、鉄化合物、硫黄及び硫化水素存在下、還元することを特徴とする、還元型グルタチオンの製造法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化型グルタチオンを還元する還元型グルタチオンの製造法に関する。
【背景技術】
【０００２】
還元型グルタチオンの製造方法として、従来より、酸化型グルタチオンを還元する方法が行われている。一般に、ジスルフィド結合を還元してチオール基とする反応は種々知られており、代表的なものとして、メルカプトエタノールなどのチオール性還元剤を用いる方法、電解還元する方法、ナトリウムボロハイドライドなどの還元剤を用いる方法、グルタチオンレダクターゼなどの酵素を用いる方法、等が知られている。
酸化型グルタチオンの還元についても、これらの方法について、ペプチドである特性、光学活性等、を考慮した適用が検討され、例えば、メルカプト低級アルコール及び二価の水溶性鉛塩を反応させる方法、液体アンモニア中でナトリウムと反応させる方法、亜鉛などの金属と鉱酸による方法、硫化ナトリウム、シアン化ナトリウム、ヨウ化ホスホニウムあるいは水素化ホウ素アルカリ金属塩などによる方法、接触還元方法、電解還元方法、水素貯蔵合金による還元方法（特許文献１、非特許文献１）、などが報告されている。
【０００３】
しかしながら、これら方法を食品や医薬品に応用する場合は、試薬が高価であったり、反応装置に多額に費用を要したり、水溶液中での反応が十分に進行しなかったり、反応中に生成する副生物の除去が困難であったりする、という問題点を有しており、更にすぐれた方法の開発が望まれていた。
【特許文献１】特公昭４０−１６５２９号公報、同４６−３３９３８号公報、同４６−３３９３９号公報、同４７−８０５３号公報、同５７−１６１９６号公報、特開平４−１５４７３０号公報
【非特許文献１】J.Biol.Chem.  1946  116  469、Biochem.J.  1921  15  292、Biochem.J.  1935  29  1622、Biochem.Z.  1931  230  353、J.Org.Chem.  1957  22  805
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、特殊な設備を必要とすることなく、水溶液中でも収率よく反応が進行する、簡便で工業的に有利な酸化型グルタチオンの還元方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、かかる課題を解決すべく研究の結果、硫黄、鉄化合物及び硫化水素を用いることで課題を解決できることを見いだし、本発明に到達した。
すなわち本発明は、
（１）酸化型グルタチオンを、鉄化合物、硫黄及び硫化水素存在下、還元することを特徴とする、還元型グルタチオンの製造法、
を提供するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、高価な試薬、特殊な設備等を使用することなく、副生物がほとんどなく高収率で、簡便で、工業的に有利な製造法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の出発物質である酸化型グルタチオンは、その由来は特に限定されず、また、精製品でも粗精製品でも用いることが出来る。更に、本反応は水溶液中で好適に進行するため、酸化型グルタチオンを含む水溶液もそのまま用いることができる。
【０００８】
還元は、鉄化合物、硫黄及び硫化水素存在下実施される。
用いられる鉄化合物としては、鉄の二価、三価の無機化合物が好適に用いられる。例えば、酸化第一鉄、水酸化第一鉄、硫酸第一鉄、酸化第二鉄、水酸化第二鉄、硫酸第二鉄、等を例示することができる。
鉄化合物は、酸化型グルタチオン１００重量部に対して、５〜２００重量部、好ましくは１０〜１００重量部程度用いることが好ましい。これ未満であると反応が十分に進行せず、また、これを越えて用いても収率の向上には寄与しない。
【０００９】
本発明で用いられる硫黄は、室温で最も安定なα硫黄が好ましいが、他の同素体でもよい。また、その製法も制限はなく、自然硫黄、元素硫黄含有鉱を乾留法、融解法等によって分離したもの、硫黄化合物から変換したもの等、いずれでもよい。
硫黄は、酸化型グルタチオン１００重量部に対して、５〜２００重量部、好ましくは１０〜１００重量部程度用いることが好ましい。これ未満であると反応が十分に進行せず、また、これを越えて用いても収率の向上には寄与しない。
【００１０】
反応は、酸化型グルタチオン、鉄化合物、硫黄及び硫化水素を、溶媒存在下、撹拌することにより実施される。
硫化水素の導入は、硫化水素の飽和溶液を用いることにより、あるいは溶液中に、直接、硫化水素ガスを導入しながら反応させることもできる。
用いられる溶媒としては、反応を阻害しないものであれば制限はないが、特に水が好ましい。
反応温度は室温から若干高められた温度、具体的には１０〜５０℃程度、反応時間は、反応条件にもよるが、３０分から１０時間程度で十分である。反応時間が長くなる場合、副生物の生成は認められないものの、生成した還元型グルタチオンが酸化され、酸化型グルタチオンに変換される場合があり、好ましくない。
【００１１】
反応終了後、目的物の単離は、公知の方法、例えば、沈殿物を慮去し、濾液を脱気後、銅塩にすることにより、容易に単離・精製することができる。
【実施例】
【００１２】
以下実施例を挙げて、本発明を詳細に説明する。
実施例１
水４００ｍｌに、酸化第一鉄２．０ｇ、硫黄０．９３２ｇ及び酸化型グルタチオン４ｇを添加し、３５℃、撹拌下、硫化水素を徐々に吹き込んだ。
そのまま硫化水素を吹き込みながら３時間反応し、高速液体クロマトグラフィーで分析を行ったところ、還元型グルタチオン６．８４ｍｇ／ｍｌ、酸化型グルタチオン２．７０ｇ／ｍｌであった（転換率６８．５％）。なお、高速液体クロマトグラフィーで、他のピークは観察されなかった。
反応終了後、反応液を濾過し、得られた濾液を撹拌し残存している硫化水素を脱気した。本溶液に亜酸化銅を添加し、還元型グルタチオンを銅塩として単離し、以下、常法により還元型グルタチオンを得た。
融点：１８４℃    旋光度：［α］Ｄ＝−１５．９°（Ｃ＝４、Ｈ２Ｏ）
本化合物は、標品との赤外線吸収スペクトルの比較により、その構造を同定した。
【００１３】
比較例１
実施例１において、硫黄を加えることなく、他は実施例１と同様に反応を実施した。
３時間反応し、高速液体クロマトグラフィーで分析を行ったところ、酸化型グルタチオンが減少していることが観察されたが、還元型グルタチオンへの変換ではなく、構造未確認の化合物への分解が生じていた。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
以上説明してきたように、本発明は、特殊な設備を必要とすることなく、水溶液中でも収率よく反応が進行する、簡便で工業的に有利な酸化型グルタチオンの還元方法であり、食品、医薬品、化粧品等に使用される還元型グルタチオンを有利に製造することができる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示画面が設けられた上部と、前記上部よりも幅寸法が小さい下部と、前記上部と前記下部とを連続させる連結部とからなるケースと、
一端が前記ケースの前記上部の前記連結部近傍の側部に連結され、他端が前記ケースの前記下部の側部に連結された把持用バンドと、
少なくとも一部が、前記把持用バンドの前記一端の近傍で且つ前記下部の側部よりも幅方向外側に配設された４方向入力キーと、を有している
ことを特徴とする、産業用ロボットの手持操作器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、産業用ロボットを操作するための各種操作スイッチを配置した手持操作器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、手持操作器は、例えば、図５（ａ）の平面図および（ｂ）要部を拡大した側断面図に示すような構成をしている。図において、１はプラスチック等の樹脂材よりなるケースで、中央部が窪んでいる上ケース１１と、上ケース１１を覆う下ケース１２からなっている。２は上ケース１１に設けた取付座、３は上ケース１１の正面に設けた切欠き穴で、４個の切欠き穴３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが十字状に配置されている。４は各切欠き穴３の中に挿入されたタクトキーで、４個のタクトキー４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからなり、人の指が接触するタッチ面４１が各切欠き穴３から露出している。５はタクトキー４が取り付けられている基板で、取付座２に固定されている。したがって、タクトキー４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄがそれぞれ上下左右の方向に対応しており、上下左右の移動指令がし易く配置されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記従来技術では、上下左右の方向を選択するタクトキー４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが、それぞれ分離されているため、連続的な操作が難しく、特に斜め方向の移動指令の操作をするとき、同時に２個のタクトキー４を押さなければならないため、円滑な操作が難しく、片手による操作は更に難しいという問題があった。本発明は、片手でも上下左右および斜め方向の移動指令の円滑な操作ができる手持操作器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、前記上部よりも幅寸法が小さい下部と、前記上部と前記下部とを連続させる連結部とからなるケースと、一端が前記ケースの前記上部の前記連結部近傍の側部に連結され、他端が前記ケースの前記下部の側部に連結された把持用バンドと、少なくとも一部が、前記把持用バンドの前記一端の近傍で且つ前記下部の側部よりも幅方向外側に配設された４方向入力キーと、を有していることを特徴とするものである。
したがって、前記カーソルキーを操作することにより、目的のタクトキーを動作させ、他のタクトキーが誤動作することなく、確実に上下左右と斜め方向の移動指令を出すことができる。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、タクトキーを十字状に配置し、各タクトキーに対向する突起部と中央部に支点を形成する突起部とを形成したカーソルキーを設け、かつカーソルキーを片手で操作できる位置に設けてあるので、片手でも上下左右および斜め方向の移動指令の円滑な操作ができる手持操作器を提供できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
【実施例１】
【０００７】
以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
図１（ａ）は本発明の実施例を示す平面図、（ｂ）はその側面図で、一部を断面で示してある。図２は要部を拡大して示した平面図、図３（ａ）、（ｂ）はその側断面図である。図において、１はプラスチック等の樹脂材よりなるケースで、中央部が窪んでいる上ケース１１と、上ケース１１を覆う下ケース１２からなっている。２は上ケース１１に設けた取付座、３は上ケース１１の正面の左側中央部に設けた円形の切欠き穴である。４は切欠き穴３の中に挿入されたタクトキーで、十字状に配置された４個のタクトキー４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄからなっている。５はタクトキー４が取り付けられている基板で、取付座２に固定されている。６は切欠き穴３の内側からに挿入されたカーソルキーで、４個のタクトキー４を覆っている。６１はカーソルキー６の切欠き穴３から露出する円板部、６２は円板部６１の外周の、円周方向に等間隔で４か所の位置に、切欠き穴３より大きい直径の位置まで突出する係合部である。６３は４個のタクトキー４（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）にそれぞれ対向して突出する突起部（６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ）、６４は中央部に設けた突起部で、基板５に対向している。７は上ケース１１の切欠き穴３の周囲に設けた係合凹部で、カーソルキー６の係合部６２が係合し、カーソルキー６のタクトキー４の方向への移動を許し、円周方向の回動を止める回り止めの役割を果たしている。８はカーソルキー６の近傍で、上ケースの左側面に取り付けられた把持用バンドで、左手でケース１を把持しながら左手の親指でカーソルキー６を操作できるようにしてある。
【０００８】
ここで、実施例の動作を説明する。
ケース１から露出したカーソルキー６の一つのタクトキー４（例えばタクトキー４ｃ）側を押すと、図３（ｂ）に示すように、係合部６２が係合凹部７の中を摺動してカーソルキー６が傾き、タクトキー４ｃに対向する突起部６３ｃがタクトキー４ｃのタッチ面４１を押し、タクトキー４ｃからの信号が出力される。同様に、隣り合う二つのタクトキー４の間の斜め方向、例えば４ａと４ｂとの間の方向にカーソルキー６を押すと、突起部６３ａと６３ｂがタクトキー４ａ，４ｂのタッチ面を押し、同時に二つのタクトキー４ａ，４ｂからの信号が出力される。このとき、中央部の突起部６４が基板５に接触するので、その接触点が支点となり、突起部６３ａ，６３ｂ以外の突起部６３ｃ，６３ｄはタクトキー４ｃ，４ｄには接触しない。
このような構成により、図４に示すように、手持操作器を左手で把持し、左手の親指でカーソルキー６を操作することにより、他のタクトキーが誤動作することなく、目的のタクトキーを動作させて、確実に上下左右と斜め方向の移動指令を出すことができる。なお上記実施例では、左手で手持操作器を把持する場合について説明したが、右手で操作するものについても右勝手の構成にすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施例を示す（ａ）平断面図および（ｂ）一部を断面で示した側面図である。
【図２】本発明の実施例を示す一部を断面で示した要部平面図である。
【図３】本発明の実施例の要部を示す（ａ）側断面図および（ｂ）動作中の側断面図である。
【図４】本発明の実施例の手持ちした状態を示す平面図である。
【図５】従来例を示す（ａ）平断面図および（ｂ）要部側断面図である。
【符号の説明】
【００１０】
１：ケース、１１：上ケース、１２：下ケース、２：取付座、３、３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ：切欠き穴、４、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ：タクトキー、４１：タッチ面、５：基板、６：カーソルキー、６１：円板部、６２：係合部、６３、６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ：突起部、６４：突起部、７：係合凹部、８：把持用バンド
【図１】
0004640712.tif 000002
【図２】
0004640712.tif 000003
【図３】
0004640712.tif 000004
【図４】
0004640712.tif 000005
【図５】
0004640712.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の本体を有し、該本体の側面には内外を連通する通気孔が形成され、前記本体内における前記通気孔の開口縁部には、前記通気孔を囲繞する筒状の雨避け部が水平方向に対して３０度以上４５度以下の範囲の角度をつけて斜め上方に向けて突設されていることを特徴とする照明用ポール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポール灯（照明ポール）に用いられる照明用ポールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、屋外に設置されるポール灯（照明ポール）に用いられる中空の照明用ポールが提供されており、この種の照明用ポールでは、内部に湿気が発生し結露し易いため、照明用ポールの内外を連通する通気孔を設けて空気を循環させて結露等が生じないようにしている。さらに、前記通気孔を介して内部に雨水等が浸入することを防止するために、照明用ポールの外面における前記通気孔近傍には、雨避け用のひさし部が設けられている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１−３４９０９５号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来例の照明用ポールでは、雨避け用のひさし部が照明用ポールの外側面に設けられているために、このようなひさし部が照明用ポールから突出しており、これによって歩行者が不意にひさし部に衝突するおそれがあり、その結果、照明用ポールが歩行者の歩行の邪魔になってしまうおそれがあった。
【０００４】
本発明は上述の点に鑑みて為されたもので、その目的は、通気孔を介して内部に雨水等が浸入することを防止でき、且つ歩行の邪魔になることがなくなり、しかも美感を向上できる照明用ポールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、請求項１の照明用ポールでは、筒状の本体を有し、該本体の側面には内外を連通する通気孔が形成され、前記本体内における前記通気孔の開口縁部には、前記通気孔を囲繞する筒状の雨避け部が水平方向に対して３０度以上４５度以下の範囲の角度をつけて斜め上方に向けて突設されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、本体内における通気孔の開口縁部に、通気孔を囲繞する筒状の雨返し部が斜め上方に向かって突設されているから、通気孔を介して内部に雨水等が浸入することを防止でき、且つ歩行の邪魔になることがなくなり、しかも美感を向上できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に、本発明の照明用ポールの一実施形態について図１を参照して説明する。照明用ポール１は、例えば、街路灯、庭園灯等に利用されるポール灯（照明ポール）に用いられるものであって、図１に示すように、筒状の本体１０を有し、該本体１０の側面には内外を連通する通気孔２が形成され、前記本体１０内における前記通気孔２の開口縁部３には、前記通気孔２を囲繞する筒状の雨返し部４が斜め上方に向けて突設されている。尚、図１では、ポールの先端側（上端側）の図示を省略している。
【０００８】
本体１０は、例えば円筒状の鋼管であって、その基端部（下端部）には、本体１０を路面等に設置する際に用いられる鍔状の基盤部１０ａが形成されており、本体１０には、必要に応じて防錆用の塗装等が施される。一方、図示を省略している本体１０の上端側には、蛍光灯等の照明負荷（図示せず）用のソケット（図示せず）等を備える照明器具（図示せず）等が取り付けられるようになっている。そして、本体１０の下端側の側面には、本体１０の内外を連通する直径２７ｍｍ〜３４ｍｍ（φ２７ｍｍ〜φ３４ｍｍ）の円形状の通気孔２が形成されており、これにより本体１０内の空気を循環させて結露等が生じないようにしている。
【０００９】
尚、本体１０の形状としては、円筒状のものに限らず、断面形状が多角形（４角形、６角形、８角形等）の筒状のものであってもよいし、その他様々な断面形状のものであってもよい。また尚、本体１０の材料としては、鋼を用いたものに限られるものではなく、この他、錆に強いステンレス鋼等を用いてもよい。
【００１０】
雨返し部４は、図１に示すように、本体１０と同様の材料を用いて通気孔２の直径と略同じ内径の円筒状に形成されたパイプからなり、雨返し部４の一端部（図１における左端部）には、雨返し部４の軸方向に対して斜め（９０−θ度）方向に切断されてなる接続用端面を有している。そして、この雨返し部４は、前記接続用端面を本体１０内における通気孔２の開口縁部３に接続することで本体１０に取り付けられ、これにより本体１０内における通気孔２の開口縁部３には、斜め上方、すなわち水平方向に対して角度θだけ上方に向けて雨返し部４が突設されることになる。ここで、雨返し部４の開口縁部３への取り付けは、照明用ポール１の本体１０の内側から雨返し部４を開口縁部３に部分溶接した後に、照明用ポール１の本体１０の外側から雨返し部４を開口縁部３に全周溶接することにより行っており、これにより雨返し部４と、開口縁部３との隙間から雨水等が本体１０内に浸入することを防止している。
【００１１】
尚、本実施形態では、上記の角度θ＝４５度としているが、このような角度θは、３０度以上４５度以下であればよい。また尚、雨返し部４の長さ寸法は、照明用ポール１の本体１０内への雨水の浸入（吹き込み）をほとんど防止できる程度の大きさであればよいが、完全に防止できる程度の大きさが好ましい。
【００１２】
以上により構成された照明用ポール１は、蛍光灯等の照明負荷（図示せず）が先端部（図示せず）に取り付けられるとともに、前記照明負荷に動作電源を供給するための安定器（図示せず）や、該安定器に商用電源から給電を行うための配線（図示せず）等が本体１０内に収納された状態で基盤部１０ａを用いて路面等に設置される。これにより、街路灯や、庭園灯等のポール灯として使用に供される。
【００１３】
そして、以上述べた本発明の照明用ポール１によれば、通気孔２を備えているので、本体１０内の空気が循環し、これにより本体１０内で結露することを防止できるという効果を奏する。しかも、本体１０内における通気孔２の開口縁部３に、通気孔２を囲繞する筒状の雨返し部４を斜め上方に向かって突設しているから、通気孔２を介して本体１０内部に雨水等が浸入することを防止できるという効果を奏する。また、雨返し部４は、ポール１の本体１０内に設けられているので、このような雨返し部４が歩行者の歩行の邪魔になることがなくなり、さらには、このような雨返し部４に歩行者が不意に衝突してしまうこともなくなる。加えて、本体１０外部からは雨返し部４が見え難いので、このような雨返し部４によって照明用ポール１の美感を損ねることがなく、照明用ポール１の美感を向上できるという効果を奏する。
【００１４】
尚、ポール１の通気孔２の位置や数は上記の例に限られるものではなく、状況に応じて好適な位置に、好適な数だけ形成すればよい。また、通気孔２の形状の円形状に限らず、その他の形状（例えば、多角形等）であってもよく、この場合、雨返し部４の形状も通気孔２に応じて変更すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態の照明用ポールの要部の部分切欠図である。
【符号の説明】
【００１６】
１    照明用ポール
１０  本体
２    通気孔
３    開口縁部
４    雨返し部
【図１】
0004640182.tif 000002
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の周壁と、該周壁の中間部に設けられた天壁とからなり、該周壁内面のうち天壁の下側部分に雌ネジ部を備えており、該雌ネジ部を容器の口部に螺合し締め付けるキャップにおいて、
前記周壁の下側部分に、その下端から上方に向かって環状の溝部が形成され、
該溝部が形成されたことにより、外周壁と、該外周壁の内側の内周壁とが設けられ、
該内周壁の内面に前記雌ネジが設けられ、
該溝部を深く形成することにより、外周壁と天壁とが交差する部位に、他の天壁の部位の肉厚より薄肉に形成した薄肉部を形成し、
前記外周壁、内周壁および天壁を連結するように、複数の補強リブを形成したことを特徴とするキャップ。
【請求項２】
前記天壁の上面に針体が形成されている請求項１に記載のキャップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、医薬品、化粧品を充填するチューブ、ボトル等の容器の口部に螺合されるキャップに関し、キャップの成形後に発生するキャップ外周面のヒケを防止すると共に、外観上、美しいキャップに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のキャップ５０は、図５に示すように、筒状の外周壁５１の中間部に天壁５２が設けられ、外周壁５１の内面のうち、天壁５２より下側部分に雌ネジ部５３を備えていた。そして、このようなキャップ５０は、通常射出成形法で、金型により量産していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のキャップ５０にあっては、図５に示す外周壁５１と天壁５２との交差する部位５４の外周壁５１の側面に、ヒケ５５が発生し、キャップ５０の見栄えが頗る悪くなるという問題があった。これは、キャップ５０が金型から取出された後、自然冷却された場合に、天壁５２がその中心方向に収縮しようとして外周壁５１の素材を引張るために発生するもので、交差する部位５４の天壁５２の肉厚が厚い（断面積が大きい）場合に、収縮力が大きくなり、より顕著に素材を引張るため、大きなヒケが発生することが判明している。
【０００４】
この発明は、このような従来の課題に着目してなされたもので、外周壁と天壁との交差する部位の、外周壁の側面に発生するヒケを防止したキャップを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するため、請求項１記載の発明に対応する手段は、筒状の周壁と、該周壁の中間部に設けられた天壁とからなり、該周壁内面のうち天壁の下側部分に雌ネジ部を備えており、該雌ネジ部を容器の口部に螺合し締め付けるキャップにおいて、前記周壁の下側部分に、その下端から上方に向かって環状の溝部が形成され、該溝部が形成されたことにより、外周壁と、該外周壁の内側の内周壁とが設けられ、該内周壁の内面に前記雌ネジが設けられ、該溝部を深く形成することにより、外周壁と天壁とが交差する部位に、他の天壁の部位の肉厚より薄肉に形成した薄肉部を形成し、前記外周壁、内周壁および天壁を連結するように、複数の補強リブを形成したことを特徴とするキャップである。
【０００６】
請求項２記載の発明に対応する手段は、前記天壁の上面に針体を形成したことを特徴とするキャップである。
【０００７】
【発明の実施の形態】
次に、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図３は、この発明に係る第１実施の形態を示す図面である。外周壁１ａは筒状の外周壁であり、この外周壁１ａの略中間には、天壁２が形成されている。そして、外周壁１ａと天壁２とが交差する部位（天壁２の基部）には、溝部３を深く切込むことにより、薄肉部２ａが形成されている。この薄肉部２ａの肉厚は、天壁２の中央部付近の厚肉部２ｂより薄肉に形成されている。薄肉部２ａ（Ｈ）／厚肉部２ｂ（Ｋ）×１００＝２０〜８０％に構成されるのが好ましい。
【０００８】
そして、天壁２は、外周壁１ａに薄肉部２ａで連結されているから、キャップ１を構成する素材によっては、薄肉部２ａ近辺の強度が弱くなるおそれがある。すなわち、キャップ１の雌ネジ部４が、チューブ容器またはボトル容器等の口部に螺合される際に、不用意にキャップ１を締め付けた場合、天壁２の薄肉部２ａにクラックが発生するおそれがある。
【０００９】
そこで、外周壁１と天壁２とが交差する薄肉部２ａ近辺を補強するために、外周壁１ａ、内周壁１ｂ及び天壁２を連結するように、溝部３には、複数の補強リブ５が設けられている。図１〜図３に示す第１実施の形態においては、溝部３の天面の円周を６等分して、６箇所に補強リブ５が形成されている。この補強リブ５の数については、キャップ１を構成する素材の剛性、薄肉部２ａの強度を考慮して任意に決定することができる。また、補強リブ５の形状は、縦断面台形、縦断面長方形、縦断面三角形状等である。
【００１０】
図４は、この発明に係る第２実施の形態を示す図面である。この実施の形態の特徴は、キャップ１の天壁２の上面中央に、チューブ容器等の口部に形成された封緘蓋を破るための針体６が形成されている点にある。その他の構成は、第１実施の形態の構成と同一である。
【００１１】
次に、この発明の作用について説明する。第１実施の形態において、外周壁１ａと天壁２とが交差する部位には、薄肉部２ａが形成されたから、キャップ１を金型で成形した後、自然冷却した場合、天壁２の薄肉部２ａの収縮力が小さく、外周壁１ａの側面の肉厚を、天壁２の中心方向に引張る力が小さい。したがって、外周壁１ａの側面が引張られてヒケが発生するのを防止できる。また、外周壁１ａと天壁２とを連結するように、複数の補強リブ５を形成したから、薄肉部２ａが補強され、キャップ１の不用意な容器口部への締め付けによって、薄肉部２ａにクラックが発生するの防止することができる。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明してきたように、この発明によれば、キャップの外周壁１ａと天壁２とが交差する部位において、外周壁の側面に発生するヒケを完全に防止でき、外観上美しいキャップを量産化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る第１実施の形態を示す断面図（図２のＡ−Ａ線断面図）。
【図２】この発明に係る第１実施の形態を示す底面図。
【図３】この発明に係る第１実施の形態を示す断面図（図２のＢ−Ｂ線断面図）。
【図４】この発明に係る第２実施の形態を示す断面図。
【図５】従来のキャップを示す断面図。
【符号の説明】
１  キャップ
１ａ  外周壁
１ｂ  内周壁
２  天壁
２ａ  薄肉部
３  溝部
４  雄ネジ部
５  補強リブ
【図１】
0004729156.tif 000002
【図２】
0004729156.tif 000003
【図３】
0004729156.tif 000004
【図４】
0004729156.tif 000005
【図５】
0004729156.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
不要紙葉類を投入側から投入して、一対の横長に配設したカッター部によって、細断する紙葉細断装置において、
投入側に不要紙葉類を抱持する補助広幅紙材を供給する手段が具備されていて、
補助広幅紙材を供給する手段は、カッター部への投入口に対して手前側と対向側に支持回転輪を装備して、それぞれ補助広幅紙材のロールを支持させていて、該手前側と対向側の補助広幅紙材をカッター部へ平行状に引き込むとともに、手前側と対向側の補助広幅紙材の間に不要紙葉類を投入して、サンドイッチ状に挾持させて細幅状に不要紙葉類を切断することを特徴とした紙葉細断装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、紙葉細断装置の不要紙書類の新規な切断方法と切断装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、用済み後の機密文書や重要な書類を細長に細断したり、その細長に細断した紙葉をさらに短く切断して細切れ状態に寸断する構造は、オフィス用シュレッダーとして周知である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが近年、簡易な印刷機として、サーマルヘッド（熱電対）によるデジタル製版方式のマスター版付けして、油性インクによって印刷する複写機が普及してきたが、この印刷の後に発生するインクの浸みた使用済みマスター紙も同様の機密性を有するが、従来の紙葉細断装置では円盤状カッター間にひばりついたり、粘って引きちぎれた切断屑がカッターの周縁に付着して成長し、切断機能を損なって連続的な細断作用が困難になる等の問題があった。従って、前記した使用済みのインクの浸みたマスター紙は別途の廃棄処理をしていた。同様に機密性の有する薄い軟質状のフィルム材等においても、同様に切断作業が困難であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
前記した問題を解決するために、不要紙葉類を投入側から投入して、一対の横長に配設したカッター部によって、細断する紙葉細断装置において、投入側に不要紙葉類を抱持する補助広幅紙材を供給する手段が具備されていて、補助広幅紙材を供給する手段は、カッター部への投入口に対して手前側と対向側に支持回転輪を装備して、それぞれ補助広幅紙材のロールを支持させていて、該手前側と対向側の補助広幅紙材をカッター部へ平行状に引き込むとともに、手前側と対向側の補助広幅紙材の間に不要紙葉類を投入して、サンドイッチ状に挾持させて細幅状に不要紙葉類を切断することを特徴とした紙葉細断装置を提供したものである。
【０００５】
【作用】
紙葉細断装置の投入側に不要紙類を抱持する補助広幅紙を供給する装置を設けたので、簡易印刷機等のインク等を浸み込んで付着性があり、軟質になっているマスター紙や、薄い軟質性のフィルム等は投入口に投入すると補助広幅紙材によって連続的に上下に挾持され、広幅状に圧扁成形された時は普通紙と同様に細断効果を発揮するものである。補助広幅紙の供給装置に強制送り機構を設けると、なおスムーズな供給が可能である。
【０００６】
【実施例】
発明を実施した図面に基づいて構成を説明する。
図１は、本発明を実施した紙葉細断装を使用している状態を示す側面図、図２はその平面図、図３は背面図、図４は要部を断面とした側面図を示し、図５はカッター部の伝達を示す説明図である。
【０００７】
図１と図２において、１は紙葉細断装置の外観を示し、上層部にカッター部２を配置する。カッター部２は一対の横長に配設したカッターからなり、その一対のカッターの歯合面上方に投入口が設置される。
【０００８】
８はサイド板を示し、投入口３に対して、手前側と対抗側に支持回転輪６を装備している。この前後の支持回転輪６には、補助広幅紙材５のロールを装着してなる。補助広幅紙材は、複写機用普通紙程度又は同等程度で、安価入手しやすい紙材で乾燥状態であればよい。
【０００９】
１３は不要紙を示し、本実施例では、簡易事務用印刷機のデジタル製版方式でマスター付けして、油性インクを使って複写した使用済マスター紙である。又、軟質性フィルム等で機密性を有する不要紙も同一要旨に属するものである。
【００１０】
図４は要部を側面とした側面図を示し、一対の横長に配設したカッター部２を駆動モータ９によって駆動して、不要紙１３を細断した細断片（屑）は収納室１４へ堆積される。
図５のカッター部２は、一対の円盤状のカッターが相互に周縁が重合して複数列に亘って横長に配設され、それぞれをギヤ１５によって駆動する。
【００１１】
使用にあたっては、前後の補助広幅紙５の端部を平行状に引き込んで、投入口３から挿入して、カッター部２へ接合されるとセッティングが終わる。必要によって、不要紙１３を補助広幅紙５の間へ幅広に平行状に搭載して運転する。カッター部２では、不要紙１３が面上で補助広幅紙にサンドイッチ状に圧ぺん保持されて細幅状に切断され、収納室へ堆積され、機密性は確保される。
【００１２】
【効果】
以上のように構成したので、従来の普通シュレッダーでは困難だった機密性を有する簡易印刷機のインクの浸みた使用済みマスターや、軟質性フィルム材も容易に細断が可能になった。補助広幅紙をセッティングしない時は、従来の使い方ができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明を実施した紙葉細断装置を使用している状態の側面図
【図２】  平面図
【図３】  背面図
【図４】  要部を断面とした側面図
【図５】  カッター部の伝達説明図
【符号の説明】
１  紙葉細断装置
２  カッター部
３  投入口
４  補助広幅紙供給装置
５  補助広幅紙
６  支持回転輪
７  ガイドローラー
８  サイド板
９  駆動モータ
１０  円盤状カッター
１１  スプロケット
１２  チェーン
１３  不要紙
１４  収納室
１５  ギヤ
【図１】
0004729139.tif 000002
【図２】
0004729139.tif 000003
【図３】
0004729139.tif 000004
【図４】
0004729139.tif 000005
【図５】
0004729139.tif 000006
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アスピリンとゲル化炭化水素および／またはワセリンのみからなる実質的に無水の安定な軟膏製剤。
【請求項２】
アスピリンとゲル化炭化水素およびワセリンのみ、またはアスピリンとゲル化炭化水素のみからなる実質的に無水の安定な軟膏製剤。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアスピリンを含有する安定な軟膏製剤に関する。更に詳しくは、基剤としてゲル化炭化水素および／又はワセリンを用いた、アスピリンが長期間安定に保存できる、実質的に無水である軟膏製剤に関する。
【０００２】
【従来の技術】
アスピリンは、抗炎症性解熱鎮痛作用を持つ薬物として古くから賞用されており、一般的には経口製剤として錠剤、顆粒剤等の形で用いられている。しかし、アスピリンの持つ胃腸障害作用のため、近年アスピリンの外用製剤が検討され、経皮的に吸収させる試みがなされている。そして、その成果が、特開平３−７２４２６においては神経痛治療用軟膏製剤として、特開平６−７２８７９においてはアスピリン含有貼付剤として、また特開平６−１８３９８０においてはアスピリン含有貼付剤におけるアスピリンの安定化方法として、開示されている。更に、特開平８−１１３５３１においては、アスピリンを含有する貼付剤についての技術が開示がされている。しかし、これらの文献においては、経皮吸収性の改善やテープ剤におけるアスピリンの安定化技術の開示等が主体であり、アスピリンを軟膏製剤中で長期間安定に存在させる技術については何ら開示されていない。
外用製剤以外の製剤において、アスピリンの安定化方法を開示した文献としては、特開昭５６−３２４２５、特開昭６２−８９６１９、特開平４−３４６９３０等がある。これらの文献においては、アスピリンが、水分のわずかな量の存在下でも容易に加水分解を起こし、かつ、添加物の種類によってはその加水分解が促進されるため、添加物との接触を避ける保護層を用いたり、結合剤の水分を極力除いたものを用い、水素化油の潤滑剤を添加する技術が開示されているが、このような技術を軟膏剤へ応用することはきわめて困難である。このように、アスピリンの外用製剤において、アスピリンの安定性を確保し得る軟膏製剤を作製しうる技術については、未だ示されていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、安定性に優れ、長期間保存に耐え得るアスピリン軟膏製剤を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
すなわち、ゲル化炭化水素および／又はワセリンを基剤とする軟膏製剤に、アスピリンを加えた実質的に無水の軟膏製剤が、上記問題点を解決することを見いだし、本発明を完成した。
本発明におけるゲル化炭化水素(プラスチベース)およびワセリンは、実質的に無水のものが使用できる。ワセリンは、黄色ワセリン、白色ワセリンおよびこれらの混合物など通常軟膏製剤用基剤として使用されるものが使用できる。
本発明における軟膏製剤のアスピリン含有量は、０．００１重量％ないしは３０重量％であり、好ましくは０．０１重量％ないしは２０重量％、より好ましくは０．０５重量％ないしは１５重量％である。アスピリン含有量が３０重量％以上では、軟膏製剤物性を保つことが困難となる上に、基剤によるアスピリンの保護作用の低下を招き、アスピリンの加水分解が起こるため、好ましくない。また、含有量が０．００１％未満では、アスピリンの持つ薬効薬理作用が十分発揮されないため、好ましくない。
本発明のアスピリン軟膏製剤は、通常の軟膏製剤と同様の方法で作製される。すなわち、基剤成分を加温して溶融した後に、攪拌下アスピリンの微粉末を投入、混和し、軟膏製剤を作製する。
この軟膏作製にあたり、アスピリンを溶解させる目的等の理由で水を添加することは、好ましくなく、避けるべきである。
更には、アスピリンの安定性を損なう添加物、例えば有機酸、アルコール類、多価アルコール類、界面活性剤等を添加することも、好ましくない。
【０００５】
【実施例】
以下に本発明の実施例を示し、更に具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
実施例１
下記に示す組成に従って、真空乳化機（特殊機化工業製、Ｔ．Ｋ．ＲＯＢＯ  ＭＩＸＥＲ）に白色ワセリンをとり、５５℃で加温融解した。これにアスピリンを加えて真空下２，０００ｒｐｍで１５分間攪拌した後、２５℃まで冷却し、アスピリン含有軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000002
【０００６】
実施例２
下記に示す組成に従って、擂潰機に黄色ワセリンとアスピリンとを投入し、１００ｒｐｍで攪拌し、アスピリン含有軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000003
【０００７】
実施例３
下記に示す組成に従って、擂潰機にゲル化炭化水素とアスピリンとを投入し、８０ｒｐｍで攪拌してアスピリン含有軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000004
【０００８】
実施例４
下記に示す組成に従って、プラネタリーミキサーにゲル化炭化水素とアスピリンとを投入し、真空下１３０ｒｐｍにて２０分間攪拌してアスピリン含有軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000005
【０００９】
実施例５
下記に示す組成に従って、実施例４と同様に操作し、アスピリン含有軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000006
【００１０】
比較例１
下記に示す処方に従って、ポリアクリル酸をプロピレングリコールに加え、水浴上で加温して溶かし、かき混ぜ、アスピリンを加えて溶解し、これにトリエタノールアミンを加えて混和撹拌してゲル軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000007
【００１１】
比較例２
下記に示す処方に従って、カルボキシメチルセルロースをエタノールに分散し、グリセリンおよびプロピレングリコールの混液に投入して攪拌し、アスピリンを加えて均一に溶解分散させた後、精製水を加えて均一に混和攪拌してゲル軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000008
【００１２】
比較例３
下記に示す処方に従って、第１３改正日本薬局方収載の親水軟膏基剤を作製し、これにアスピリンを含有させた軟膏製剤を得た。
0004729149.tif 000009
【００１３】
実験例１
実施例１、５で作製した本発明の軟膏製剤および比較例１〜４で作製した軟膏製剤につき、４０℃７５％ＲＨおよび５０℃の各保存条件下における保存安定性につき検討した。各保存条件下で１ヶ月および２ヶ月保存した後にサンプリングし、残存するアスピリン含有量を測定し、初期含有量に対する残存率を求めた。結果を表１に示す。
【００１４】
実験例２
実施例１、２、３、４、５で作製した本発明の軟膏製剤および比較例１で作製した軟膏製剤の含水率について、カールフィッシャー水分測定器を使用し、各製剤中に含まれる水分量を測定した。結果を表２に示す。
表１  アスピリン含有軟膏製剤安定性試験結果
【表１】
0004729149.tif 000010
表２  アスピリン含有軟膏製剤水分含有率測定結果
【表２】
0004729149.tif 000011
【００１５】
【発明の効果】
本発明のアスピリン軟膏製剤は、基剤としてゲル化炭化水素および／又はワセリンを用い、実質的に無水の軟膏製剤とすることにより、アスピリンを長期間安定に保つことができる。
(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハの電気特性測定方法であって、
ａ）半導体ウェハのシリコン表面における被測定領域を露光する露光工程と、
ｂ）交流電圧に重畳させた直流電圧を第1の電圧から第2の電圧まで変化させる電圧変化工程と、
ｃ）前記第2の電圧に達したとき、前記シリコン表面への露光を停止させる露光停止工程と、
ｄ）前記被測定領域が平衡状態になるまで前記第２の電圧を一定に維持する電圧維持工程と、
ｅ）前記半導体ウェハの静電容量を前記電圧維持工程で印加される前記第２の電圧の関数として測定する測定工程と、
ｆ）前記測定工程における測定結果に基づいて前記半導体ウェハの電気特性を演算する演算工程と、を備えることを特徴とする電気特性測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電気特性測定方法において、前記電気特性は閾値電圧及びドーパント濃度であることを特徴とする電気特性測定方法。
【請求項３】
請求項１に記載の電気特性測定方法において、前記第２の電圧は、前記半導体ウェハがｎ型シリコンから形成される場合、負の最大電圧であり、前記半導体ウェハがｐ型シリコンから形成される場合、正の最大電圧であることを特徴とする電気特性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体ウェハの電気特性測定方法に関し、詳しくは閾値電圧及びドーパント濃度の高速測定方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
半導体ウェハのシリコン表面上に形成された誘電体の性質を特定するための方法として静電容量−電圧（Ｃ−Ｖ）測定方法がある。閾値電圧及びドーパント濃度はこの方法を用いて測定される。Ｃ−Ｖ測定方法においては、まず半導体ウェハのシリコン表面上及びその近傍の被測定領域を大きく空乏状態にバイアスさせる、つまり非平衡状態とすることが求められる。そして、閾値電圧及びドーパント濃度を測定する前に、被測定領域を熱力学的平衡状態にしなければならない。平衡状態にするためには、被測定領域を強空乏状態にした後、被測定領域を露光する。
【０００３】
図１において、従来方法により得られるＣ−Ｖ曲線８は、交流信号に重畳させて被測定領域に印加される直流信号を、第１の極性を示す初期電圧からこの第1の極性と反対の第２の極性を示す最終電圧へと変化させ、ここで得られる静電容量を測定することにより得られるものである。初期電圧が印加されると、略一定の静電容量を示す蓄積領域が計測される（参照番号１０）。電圧がゼロに達した後、極性が変化すると、被測定領域が空乏領域へとバイアスされるのに伴って静電容量は減少し（１２）、最終的に静電容量は最も強い空乏状態１４に至る。最も強い空乏状態１４では、被測定領域が露光されるとともに被測定領域が平衡状態１８に至るまで一定の電圧が保持される（１６）。被測定領域が平衡状態１８に至ると、露光が停止され、電圧がゼロに向かって下げられる（２０）。電圧を下げる間、静電容量は一定である。このようにして得られたＣ−Ｖ曲線に基づき、当該技術分野において公知の方法を用いて閾値電圧及びドーパント濃度が判定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記方法は測定速度が遅く、平衡状態に到達するまでにおよそ０．５分の測定時間を要する。製造工程に用いるためには、高速、即ち、数秒間で閾値電圧及びドーパント濃度を測定する必要がある。このため、閾値電圧及びドーパント濃度をより高速に測定する方法が求められていた。
【０００５】
本発明の目的は、より速く平衡状態に到達させることで、閾値電圧及びドーパント濃度を従来方法よりも高速に（即ち、数秒間で）演算可能な方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る電気特性測定方法は、測定動作の開始直前に高輝度光により被測定領域を露光する露光工程を備える。ゼロボルトから正または負の最大値まで電圧を変化させながらＣ−Ｖ測定を行う。ここで、正の最大値はｐ型半導体に用いられ、負の最大値はｎ型半導体に用いられる。電圧が最大値に達すると露光が停止され、静電容量が平衡状態になるまで露光停止に伴う被測定領域の反応が測定される。
【０００７】
前記電気特性測定方法によれば、Ｃ−Ｖ測定における熱力学的平衡状態へと非常に速く到達するため、閾値電圧及びドーパント濃度を高速に測定可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
参照番号を対応付けた添付の図面とともに以下の説明を読めば本発明を完全に理解できるであろう。
【０００９】
図２において、本発明に係る電気特性測定方法を実行する装置は、半導体ウェハ１００を保持するチャック１０２と、半導体ウェハ１００のシリコン表面１０８における被測定領域１０６と接触または近接する測定プローブ１０４と、半導体ウェハ１００の被測定領域１０６に光１１２を照射するよう配置されたキセノンランプなどの光源１１０とを備える。プローブ１０４とチャック１０２との間には、Ｃ−Ｖの刺激を半導体ウェハ１００に付与し、この刺激に対する半導体ウェハ１００の反応を測定する測定手段１１４が接続される。
【００１０】
図３において、本発明に基づくＣ−Ｖ曲線２８は以下の方法により得られる。即ち、半導体ウェハ１００のシリコン表面１０８における被測定領域１０６を露光させた状態で、Ｃ−Ｖの刺激を被測定領域１０６に付与する（参照番号３２）。半導体ウェハ１００がｎ型シリコンから形成されている場合、電圧をゼロボルト（３０）から負の最大電圧へと変化させ、ｐ型シリコンから形成されている場合、ゼロボルトから正の最大電圧へと変化させる。この変化の間、静電容量は一定である。最大電圧に達したら光源１１０の電源を切り（３４）、電圧を一定に維持する（３６）。平衡状態３８に達するまで被測定領域１０６の静電容量を測定する。ここで得られたＣ−Ｖ曲線に基づいて閾値電圧及びドーパント濃度を判定する。この方法によれば、空乏領域に大きく入り込むことがなくなる。
【００１１】
図４には、本発明により得られるＣ−Ｖ曲線２８と従来方法により得られるＣ−Ｖ曲線８とが合わせて表示される。半導体ウェハのシリコン表面の平衡状態は参照番号４４として示される。
【００１２】
当業者であれば、本発明の好適な実施形態に関する上記説明から、本発明の精神及び範囲から離れない変形、追加、変更が可能であることを理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体ウェハの閾値電圧及びドーパント濃度に関する従来の電気特性測定方法に基づくＣ−Ｖ曲線を示すグラフである。
【図２】本発明に係る測定方法を実行する装置の概略正面図である。
【図３】半導体ウェハの閾値電圧及びドーパント濃度に関する本発明の電気特性測定方法に基づくＣ−Ｖ曲線を示すグラフである。
【図４】図１及び図３に示されたＣ−Ｖ曲線を重ね合わせたグラフである。
【符号の説明】
８            従来方法により得られるＣ−Ｖ曲線
２８          本発明により得られるＣ−Ｖ曲線
１００        半導体ウェハ
１０２        チャック
１０４        測定プローブ
１０６        被測定領域
１０８        シリコン表面
１１０        光源
１１２        光
１１４        測定手段
【図１】
0004729246.tif 000002
【図２】
0004729246.tif 000003
【図３】
0004729246.tif 000004
【図４】
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