(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを収納する収容部を有するインクカートリッジ筐体と、
前記インクカートリッジ筐体内に設けられており、集積回路が形成された半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられ且つ前記集積回路に電気的に接続されており、外部と情報の授受を行うアンテナと、
前記半導体基板上に設けられており、前記アンテナの少なくとも一部を覆う保護層と、
前記半導体基板上に設けられ且つ前記集積回路に電気的に接続されており、前記保護層内に位置する開口部を介して少なくとも一部が前記保護層から露出した状態に設けられた検出電極と、
前記半導体基板と前記検出電極との間及び前記半導体基板と前記アンテナとの間に設けられた誘電体層と、を備え、
前記検出電極は、前記開口部から突出しているバンプと、前記バンプ表面に設けられたメッキ膜と、を含み、
前記検出電極の一部が前記収容部内へ露出しており、
前記検出電極は、前記インクに接液することで前記インクの量を検出することを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項２】
前記保護層上における前記検出電極の前記半導体基板面方向の断面積は、前記開口部の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のインクカートリッジ。
【請求項３】
前記検出電極が前記収容部の深さ方向に沿って複数設けられ、複数の前記検出電極が前記収容部の底面に沿って並ぶようにして配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクカートリッジ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のインクカートリッジと、
アンテナを備えたプリンタ本体と、を備えてなることを特徴とするプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置、インクカートリッジ及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクによって記録を行うプリンタ等におけるインクカートリッジのインク消費の管理方法としては、記録ヘッドでのインク滴の吐出数やメンテナンスにより吸引されたインク量をソフトウェアにより積算してインク消費を計算により管理する方法などがある。
【０００３】
しかしながら、ソフトウェアによりインク消費を計算上管理する上記の方法には、次のような問題がある。ヘッドの中には吐出インク滴に重量バラツキを有するものがある。このインク滴の重量バラツキは画質に影響を与えることなないものの、バラツキによるインク消費量の誤差がインクカートリッジ内に累積してしまう。そのため、計算上で得られたインク残量と実際のインク残量とが異なり、インク残量がゼロと表示された場合にも、実際には、インクカートリッジ内にインクが余っているという問題があった。
【０００４】
上記の課題を解決すべく、特許文献１には、圧電装置を用いてインクカートリッジ内のインク残量を監視する技術が開示されている。この方法によれば、圧電装置の振動部の残留振動に起因して発生する残留振動信号の共振周波数が変化することを利用して、インクカートリッジ内のインク残量を監視することができる。
【特許文献１】特開２００２−２８３５８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、この特許文献１は、センサ構造が複雑で、それに伴いシステムも複雑化していることから製造コストが掛かってしまっていた。また、圧電装置に接続された電極端子は、カートリッジをホルダ内にセットした際に、ホルダ内に設けられた接触端子に接触することにより電気的に接続されるようになっている。そのため、インクカートリッジと本体機器との電気的接点の信頼性が問われることあり、インクの無駄遣いが発生しユーザーが問題意識を持つ場合があった。
さらに、従来技術においては、インク情報を検出する検出手段とインク情報を記憶する記憶手段とがそれぞれ独立したシステムで本体を介してインク検出情報を記憶手段に記憶させるシステムとなっていることが多く、双方の情報を統合し、例えば本体にセットしない状態で機能させることができないなど簡便で詳細な情報管理は難しいものとなっていた。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、インクカートリッジ内のインク情報を簡易な構成で正確かつ確実に検出及び管理することができ、インクの無駄遣いを防止しユーザーの満足度を向上させることのできる半導体装置、インクカートリッジ及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、アンテナを備えた電子機器本体に用いられるインクカートリッジに設けられ、インクカートリッジ筐体の収容部に収容されるインクの情報を検出する半導体装置であって、半導体基板に、前記インクに接液することで該インクの残量を検出する検出電極と、前記電子機器本体側の前記アンテナとの間で情報の授受を行うアンテナと、前記インクの情報を記憶する記憶回路と、前記検出電極、前記アンテナ及び前記記憶回路を制御する制御回路と、を有することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、検出電極、アンテナ、制御回路及び記憶回路を統合して一体型の半導体装置としたことにより、インクカートリッジに組み込む際にも手間が掛からず製造が容易となるとともに製造コストを削減できる。また、インクに接液する検出電極間の抵抗・電流を測定することによって収容部内のインクの残量（実量）等を検出できることから、インクカートリッジ内のインクの有無を確実に把握でき、これにより、インクを収容部に残すことなくインクカートリッジを交換することが可能となるので、ユーザーのインクに掛かるコストを削減できるようになり、ユーザーの満足度を向上させることができる。このことは、以下に説明するすべての作用効果にも共通する重要な内容である。
また、電子機器本体側からのインク情報（例えば、色、吐出液滴カウント数等）と、インクカートリッジ側の検出電極からのインク情報（例えば、残量，実量等）と、を統合して記憶回路に記憶させることにより、インクに対する幅広い情報管理が可能となる。
さらに、アンテナを用いることで電子機器本体とインクカートリッジとの間の無線伝送が可能となり、インクカートリッジが電子機器本体にセットされていない状態であっても、記憶回路の内容情報の参照や該記憶回路への書き込み等を非接触で容易に行うことができる。これにより、従来のように電子機器本体とインクカートリッジとの電気的接点が心配される虞がなくなるので、信頼性が向上する。このように、非接触で情報の授受を行うことにより、情報管理コストを削減することが可能となる。
【０００９】
また本発明の半導体装置は、アンテナ及び検出電極は、半導体基板の能動素子形成面側に同層で形成されていることも好ましい。
この構成によれば、アンテナと検出電極とを同一面上に同層で形成することから双方を同時に形成することができるので、製造工程が削減されるとともに製造コストの削減が可能となる。
【００１０】
また、検出電極及びアンテナは、能動素子形成面上にパッシベーション膜を介して形成される導電層からなることも好ましい。
この構成によれば、検出電極及びアンテナを導電層により形成することで、能動素子形成面上を有効に活用することができ、実装効率を向上させることができる。また、パッシベーション膜により、能動素子を保護できるとともに能動素子形成面上を平滑にすることができるため、導電層を形成し易くなる。
【００１１】
また、導電層を覆うようにして形成される保護膜と、該保護膜に形成され且つ導電層の少なくとも一部を露出させる開口部と、を備え、開口部から露出する導電層の一部を検出電極とすることも好ましい。
【００１２】
この構成によれば、開口部から露出する導電層の一部を検出電極としているため、能動素子形成面上に設けられる集積回路の電極との物理的な位置をずらして配置することができるので、集積回路がインクの影響を受けることを阻止することができる。また、開口部の大きさによって検出電極の大きさが決定されるため、検出電極を所望の大きさ（範囲）で形成することができる。
【００１３】
また、開口部より露出した導電層上にバンプを形成し、該バンプを検出電極とすることも好ましい。
この構成によれば、導電層上に形成するパンプを検出電極とすることにより、能動素子形成面と検出電極との距離をかせぐことができるので、能動素子形成面に対するインクの影響を防止することができる。
【００１４】
また、検出電極の表面にメッキ層が形成されていることも好ましい。
この構成によれば、インクに接触する検出電極を、例えば耐薬品性に優れた金属によってメッキすることにより、検出電極の腐食が防止され内部へのインクの浸入を防止することができ、能動素子に対するインクの影響を防止することができる。一般的にインクは、強アルカリ性を有するものが殆どであるため、メッキ材料に耐薬品性の金属を用いることにより、インクの浸入を確実に阻止することができる。
【００１５】
また、検出電極及びアンテナの下層側に、誘電体層が形成されていることも好ましい。
この構成によれば、アンテナの下層側に誘電体層を形成することによって、アンテナ特性を向上させることができる。また、検出電極の下層側に誘電体層を形成することによって、能動素子形成面からの距離をさらにかせぐことができるので、能動素子に対するインクの化学的なダメージを防止することができる。
【００１６】
また、アンテナ及び検出電極が、半導体基板上の能動素子を構成する導電材料と同一の導電材料によって能動素子形成面上に直接形成されていることも好ましい。
この構成によれば、能動素子からなる集積回路、アンテナ及び検出電極を一度に形成することができるので、製造が容易となる。
【００１７】
本発明の半導体装置は検出電極が、３つ以上形成されていることが好ましい。
この構成によれば、仮に２つの検出電極間の間に気泡やごみが存在して、検出電極による検出精度が低下しても、それ以外の検出電極間で検出精度を補うことができ、正確なインクの有無情報を得ることができる。
【００１８】
本発明のインクカートリッジは、インクを収納する収容部を有するインクカートリッジ筐体と、前記インクカートリッジ筐体内に設けられており、集積回路が形成された半導体基板と、前記半導体基板上に設けられ且つ前記集積回路に電気的に接続されており、外部と情報の授受を行うアンテナと、前記半導体基板上に設けられており、前記アンテナの少なくとも一部を覆う保護層と、前記半導体基板上に設けられ且つ前記集積回路に電気的に接続されており、前記保護層内に位置する開口部を介して少なくとも一部が前記保護層から露出した状態に設けられた検出電極と、前記半導体基板と前記検出電極との間及び前記半導体基板と前記アンテナとの間に設けられた誘電体層と、を備え、前記検出電極は、前記開口部から突出しているバンプと、前記バンプ表面に設けられたメッキ膜と、を含み、前記検出電極の一部が前記収容部内へ露出しており、前記検出電極は、前記インクに接液することで前記インクの量を検出することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、検出電極を収容部内に露出させるようにして設けることで、インクに直接接することになり、収容部内のインクの残量（有無）を確実に検出することができる。また、例えば、インク充填の有無、インクの充填日、インクの終了日及びインク充填回数など、予め記憶回路に記憶させておくことができ、上記したようなインク情報とともにインクに関する詳細な情報を記憶回路にて一括管理することができるようになる。これらにより、インクを収容部内に残すことなくインクカートリッジを交換することが可能となる。このように、きめ細かい情報管理が行えるとユーザーに有益な情報をユーザーにきめ細かく伝達するシステムを組むことができる。
また、インクカートリッジがプリンタ本体にセットされていない状態であっても、記憶回路の内容情報の参照や該記憶回路への書き込み等を行うことができる他、検出電極からのインク情報を、プリンタ本体を通さずに記憶回路に記憶させることができるようになり、よって、インクカートリッジ単体でインク情報を検出及び管理することを可能にし、インクカートリッジの汎用性を高められる。
このようにして、インクカートリッジ側に管理検出機能を持たせることができるため、電子機器本体側の配線数が減り、構造を簡易なものとすることができる。したがって、電子機器本体の設計レイアウトの自由度向上の実現を図れるようになる。また、検出電極以外の半導体装置の他の部分をインクカートリッジ内に埋設させるようにしたので、インクが半導体基板へと浸入することが防止され、他の部分に形成された能動素子に対するインクの化学的なダメージが阻止される。また、インクカートリッジ筐体内に埋設されているので、不用意なインク液漏れを防止できるから、ユーザー満足度も向上する。
【００２０】
本発明のインクカートリッジは、半導体装置の検出電極が収容部の深さ方向に沿って複数設けられ、検出電極が収容部の底面に沿うようにして配置されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、インク量の低下に伴って、上方の検出電極間から順に、検出電極間のインク無しの情報（液位）が検出され、底面に沿った検出電極でインク無しの情報が検出されると、インクカートリッジから完全にインクがなくなったという情報も得ることができるので、正確なインクの有無情報のみならず、次第に減少するインク量の情報を経時的に的確に得ることができる。このような構成をとることによって、特にユーザー側で気になるインク残量小の領域で、タイムリーなインク残量情報を得ることができるから、ユーザー満足度は大いに向上する。
【００２２】
また、半導体装置が収容部の深さ方向に沿って複数設けられ、複数の半導体装置のうちの少なくとも一つの半導体装置の検出電極が収容部の底面に沿うようにして配置されていることも好ましい。
この構成によれば、収容部の深さ方向に沿って複数の半導体装置を設けることにより、インクの液位を検出することができ、インク残量を正確に把握することができるようになる。また、少なくとも一つの半導体装置の検出電極を収容部の底面に沿うようにして設けることにより、収容部内のインクの有無を確実に検出することができてインクを残すことなく使用することができる。このような構成をとることによっても、特にユーザー側で気になるインク残量小の領域で、タイムリーなインク残量情報を得ることができるから、ユーザー満足度は大いに向上する。
【００２３】
本発明の電子機器本体は、本発明のインクカートリッジと、アンテナを備えた電子機器本体と、を備えてなることを特徴とする。
この構成によれば、上記したようなインクの情報を確実に検出、管理することができるため、例えば、インクカートリッジの適正な交換時期を決定することができる。そのため、収容部にインクを余すことなくインクカートリッジを交換できるので、インクカートリッジの交換サイクルが延長されてインクに掛かるコストダウンが図れるようになる。このように、インクの詳細な情報管理を実現することによって、効率的で無駄のないインクカートリッジのリサイクルが可能となる。また、例えば、インク充填回数の情報から、インクカートリッジのリサイクル回数を決定することができるなど、ユーザー側にとってのサービスに欠かすことのできない機能となり得るだけでなく、リサイクルを推進する環境側面からも有益な情報となる。当然、高信頼性、高品質の製品を提供することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の半導体装置、インクカートリッジ及び電子機器の実施の形態を、図１から図１０を参照して説明する。以下に説明する半導体装置１，４１は、後述する、第１のアンテナ２２を備えたプリンタ本体２３（電子機器本体）に装着されるインクカートリッジ７に内蔵されるものである。
【００２５】
［半導体装置］
図１は本発明の電子機器の概念を示すブロック図であり、図２は本発明の半導体装置の第１実施形態を示す断面図であり、図３は本発明の半導体装置の第１実施形態を示す外観図であり、これらの図において符号１は、ウエハレベルＣＳＰ（Ｗ−ＣＳＰ）構造の半導体装置である。この半導体装置１は、矩形状の半導体基板１０上に、インクの残量を検出する接液電極９，９（検出電極）と、プリンタ本体２３側の第１のアンテナ２２との間で情報の授受を行う第２のアンテナ３と、インクの情報を記憶するＥＥＰＲＯＭ（記憶回路）４と、これら接液電極９、第２のアンテナ３及びＥＥＰＲＯＭ４を一括して制御するコントローラ５（制御回路）と、を有して構成されている。
【００２６】
半導体基板１０は、シリコンからなっており、その半導体基板１０の能動素子形成面１０ａ上に、トランジスタ等の能動素子から構成される上記コントローラ５及びＥＥＰＲＯＭ４を有する集積回路（不図示）が形成されている。集積回路は、少なくとも配線パターンが形成されており、ＥＥＰＲＯＭ４やコントローラ５（制御回路）、その他のアクティブコンポーネントを相互に接続する配線等によって構成されている。
【００２７】
本実施形態においては、記憶回路として、読み出し書き込み可能な記憶媒体であるＥＥＰＲＯＭ（不揮発性メモリ）４が用いられており、コントローラ５によって、インクカートリッジ７に残っているインク情報に基づいて当該ＥＥＰＲＯＭ４の記憶するインク情報の更新などが行われる。
なお、半導体基板１０は、シリコンの他、ガラス、石英、水晶等から構成してもよい。
【００２８】
一方、半導体基板１０における能動素子形成面１０ａの周縁部には、集積回路を導通させるための素子電極１１が一対形成されている。素子電極１１は、半導体基板１０の前記集積回路に直接導通して形成されたもので、矩形状の半導体基板１０の周縁部に配列して設けられている。素子電極１１は、チタン（Ｔｉ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、アルミニウム（Ａｌ）、銅（Ｃｕ）、あるいは、これらを含む合金等によって形成することができるが、本実施形態では素子電極１１をアルミニウム（Ａｌ）で形成している。
【００２９】
これら集積回路及び素子電極１１は、前記能動素子形成面１０ａ上に形成されるパッシベーション膜１４によって覆われて保護されている。このパッシベーション膜１４は電気絶縁性材料からなるものであって、例えばポリイミド樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ＢＣＢ（ｂｅｎｚｏｃｙｃｌｏｂｕｔｅｎｅ）及びＰＢＯ（ｐｏｌｙｂｅｎｚｏｘａｚｏｌｅ）等により形成される。または、酸化珪素（ＳｉＯ２）、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）等の無機絶縁材料によって形成することもできる。本実施形態においては、ポリイミド樹脂を用いて形成されている。
【００３０】
このようなパッシベーション膜１４には、前記素子電極１１上に開口部１４ａが形成されている。このような構成によって素子電極１１は、前記開口部１４ａ内にて外側に露出した状態となっている。
【００３１】
パッシベーション膜１４上には、前記素子電極１１を避けた位置、本実施形態では半導体基板１０の中央部に、絶縁樹脂からなる誘電体層１５が形成されている。この誘電体層１５は、感光性ポリイミド樹脂、シリコン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコン変性エポキシ樹脂等から構成される。
【００３２】
また、前記素子電極１１には、前記パッシベーション膜１４の開口部１４ａ内にて再配置配線１６（導電層）が電気的に接続されている。この再配置配線１６は、前記集積回路の素子電極１１の再配置を行うためのもので、半導体基板１０の周辺部に配置された素子電極１１から半導体基板１０の中央部側に延びて形成され、さらに誘電体層１５上にまで引き回されて形成されたものである。この再配置配線１６は、半導体基板１０の素子電極１１と後述する接液電極９との間を配線することから一般的には再配置配線と呼ばれ、微細設計されることの多い半導体基板１０の素子電極１１の位置と、ラフピッチの接液電極９，９との物理的な位置をずらして配置するための重要な手段である。
【００３３】
また、半導体基板１０上に形成された集積回路には、素子電極１１以外に、図５に示すように、該素子電極１１と同様の材料を用いて形成される電極２０ａ，２０ｂが形成されている。そして、素子電極１１の場合と同じく、この電極２０ａ，２０ｂに再配置配線１９（導電層）が接続されている。この再配置配線１９は、電極２０ａ，２０ｂから中央部に延びて形成されるとともに誘電体層１５上にまで引き回されて形成されたものである。誘電体層１５上まで引き回された再配置配線１９は、前記再配置配線１６（図２参照）とは干渉しない位置に配置され、前記プリンタ本体２３側の第１のアンテナ２２と通信を行う第２のアンテナ３となっている。
【００３４】
接液電極９，９間の抵抗や電流を測定することによって、インクの有無を検出することができる。例えば、一つの接液電極９は、コントローラ回路のトランジスタゲートに接続され、もう一つの接液電極９は、電源に接続されるようにすると、インクの有の時にＯＮになっていたトランジスタは、インク無しの時にＯＦＦとなる。これを検出すれば、インクの有無を検出することができる。インク組成物の電気分解による劣化を防止するために、接液電極９，９間に流れる電流はなるべく少なく、しかもパルス状であることが好ましい。
【００３５】
この第２のアンテナ３は、上述したように、半導体基板１０の略中央部に位置し、平面型インダクタ素子（スパイラルインダクタ素子）から構成されている。図６に示すように、誘電体層１５の表面に形成された再配置配線１９は、側面視において同一平面上に、図５に示す平面図において渦巻き状（スパイラル状）に形成されている。
【００３６】
第２のアンテナ３は、半導体基板１０の電極２０ａから電極２０ｂに亘って配設される再配置配線１９で形成され、図６に示すように、誘電体層１５の下側に配設される下層配線２５と、誘電体層１５の上側に配設される上層配線２６とを有して構成されている。これら下層配線２５と上層配線２６とは、誘電体層１５に形成された孔１５ａ内にＣｕを埋め込んでなる接続部２７を介して接続されている。これにより、上層配線２６は、パッシベーション膜１４上に形成された下層配線２５と短絡しないように配置されている。
【００３７】
また、下層配線２５及び上層配線２６のうち、半導体基板１０から相対的に離間している上層配線２６によって、図５に示すようなスパイラル部２８が形成されている。そのため、スパイラル部２８と半導体基板１０との間に誘電体層１５が存在することになり、スパイラル部２８と半導体基板１０とをより離間させることができる。したがって、第２のアンテナ３の特性を向上させることが可能となる。
【００３８】
この第２のアンテナ３の内側端部は、再配置配線１９の下層配線２５を介して電極２０ａに連結されている。一方、外側端部は、上層配線２６を介して電極２０ｂに連結されている。
【００３９】
なお、図６に示すように、第２のアンテナ３の下側に、Ｃｕからなるスパッタ層２１が存在するが、このスパッタ層２１は、第２のアンテナ３を形成する際に用いられるものである。
【００４０】
このように、誘電体層１５上に第２のアンテナ３を形成することにより、電磁波吸収体である半導体基板１０とのクリアランスを取れるので、第２のアンテナ３からの漏れ電流は少なくなり、伝送効率が向上する。また、誘電体層１５の誘電率を上げると、狭面積で短い長さの第２のアンテナ３を形成することができるので、半導体装置１の小型化を促進できる他、製造コストの削減にも繋がる。
【００４１】
また、これら再配置配線１６及び再配置配線１９は、同一工程で形成するため、互いに同じ材料となる。再配置配線１６及び再配置配線１９の材料としては、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）、チタンタングステン（ＴｉＷ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、ニッケル（Ｎｉ）、ニッケルバナジウム（ＮｉＶ）、クロム（Ｃｒ）、アルミニウム（Ａｌ）、パラジウム（Ｐｄ）等の単層膜や複層膜、その合金膜を用いることができるが、本実施形態では、Ｃｕメッキ膜で形成されている。このようにして、再配置配線１６と再配置配線１９とを同時に形成することにより、双方を同一面（能動素子形成面１０ａ）上に同層をなすよう形成することから、製造工程を削減できて製造コストが削減される。
【００４２】
そして、半導体基板１０の能動素子形成面１０ａ側には、再配置配線１６や第２のアンテナ３、誘電体層１５、パッシベーション膜１４を覆ってソルダーレジストからなる耐熱性の保護層１７が形成されている。この保護層１７を形成するための樹脂としては、例えば、耐アルカリ性を有する樹脂として、ポリイミド樹脂、ＰＰＳ、ＰＥ等が用いられる。或いは、ＳｉＮ、ＳｉＯ２、ＳｉＯＮ等を用いて無機膜としてもよい。保護層１７は、インクが減少したときにその表面にインクが残留して接液電極９，９間の抵抗値を下げないように（接液センサーのＳ／Ｎ比を向上させるために）、インクに対して發液性を有しているものを採用することが好ましい。本実施形態においては、ポリイミド樹脂が用いられる。このような保護層１７には、前記誘電体層１５の各再配置配線１６上にそれぞれ開口部１７ａが形成されている。このような構成によって再配置配線１６は、前記開口部１７ａ内にて外側に一部露出した状態となっている。また、保護層１７は、表面がフッ化処理やシリコーン処理等の發液加工されていてもよく、そうすれば保護層１７全体がインクに対して發液性を有していなくとも良く、樹脂選択の幅が広がる。また、保護層１７は半導体装置１の側面、裏面を覆うようにしても良い。こうすれば、半導体装置１がインクによってダメージを受けることは皆無となる。
【００４３】
そして、図２に示すように、それぞれの開口部１７ａから露出する再配置配線１６上には、高速メッキ可能なＣｕで形成されたコアの表面にＡｕメッキ膜１８（メッキ層）が成膜されてなるバンプが形成されており、インクに接液することによってインク情報を検出する接液電極９，９として機能する。Ｃｕコア表面にＡｕメッキ膜１８を形成しておくことにより、半導体基板１０へのインクの浸入を確実に阻止することができる。メッキ膜としては、強アルカリ性のインク成分による影響を受けることのない耐薬品性に優れた金属が好ましく、前記したＡｕメッキ膜の他、例えば、Ｐｔメッキ膜、Ｎｉ−ｐメッキ膜、或いはＮｉ−ｐ＋Ａｕメッキ膜等を用いてもよい。また、これら接液電極９，９の下方に誘電体層１５が既存していることから、能動素子形成面１０ａからの距離を稼ぐことができるので、能動素子に対するインクの影響をさらに防止することができる。
【００４４】
このようにして構成される半導体装置１は、ＥＥＰＲＯＭ４において、後述するプリンタ本体２３側から第１のアンテナ２２を介して取得するインク情報と、接液電極９，９によって検出されたインク情報と、を統括したインクに対する幅広い情報管理が行えるようになっている。プリンタ本体２３側からのインク情報としては、例えば吐出液滴カウント数や、インクカートリッジ７の使用可否等が挙げられ、接液電極９からのインク情報としては、インク残量（インクの有無）等が挙げられる。なお、ＥＥＰＲＯＭ４には、インクの種類（色）、インクの使用期限、インクの充填日、インクの充填回数（履歴情報）等が、工場出荷時に予め書き込まれていることが好ましい。また、本実施形態においては記憶回路としてＥＥＰＲＯＭ４を用いる例を示したが、Ｆｌｕｓｈ  ＭＥＭＯＲＹ等他の記憶素子を用いてもよい。
【００４５】
このように、接液電極９，９、第２のアンテナ３、コントローラ５及びＥＥＰＲＯＭ４を統合して一体型の半導体装置１としたことにより、インクカートリッジ７に組み込む際にも手間が掛からず製造が容易となるとともに製造コストを削減できる。また、インクに接液する接液電極９，９によって、インクタンク６（収容部）内のインクの残量（実量）等を検出できることから、インクカートリッジ７内のインクの有無を確実に把握することができる。これにより、インクをインクタンク６に残すことなくインクカートリッジ７を交換することが可能となるので、ユーザーのインクに掛かるコストを削減することができる。
【００４６】
なお、本発明において第２のアンテナ３は、接液電極９，９の位置に干渉せず、したがって設計自由度を損なわない位置であれば、電極２０ａ，２０ｂから再配置配線によって任意の位置にまで引き回して配置し、再配置配線１９や電極２０ａ，２０ｂとは別に、パッドなどによって第２のアンテナ３を形成してもよい。また、第２のアンテナ３を再配置配線１９で形成するのではなく、集積回路形成時に使用される配線（Ａｌ，Ｃｕ）等で形成してもよい。これは、再配置配線１６にも言えることである。
【００４７】
図３には、図２の断面図で示される本発明の半導体装置１の外観図の一例を示す。この例では、検出電極は一組２つの接液電極９，９で構成され、この間の抵抗や電流を測定することによって、インクの有無を検出することができる。また、図４には、図２の断面図で示される本発明の半導体装置１の外観図の別の一例を示す。この例では、接液電極９が、６つ形成されている。こうすれば、仮に一組の接液電極９，９間に気泡やごみが存在して、接液電極９，９による検出精度が低下しても、それ以外の組の接液電極９，９間で検出精度を補うことができ、正確なインクの有無情報を得ることができる。この場合、１組以上の接液電極９，９で精度低下は防止することができ、接液電極９が多いほど検出精度を向上させることができる。
【００４８】
次に、第２実施形態について図７を参照して説明する。
符号４１は、本実施形態の半導体装置を示すもので、上記第１実施形態と異なる点は、保護層１７に設けられた開口部１７ａから露出する再配置配線１６の一部を接液電極１２（検出電極）としたことである。本実施形態は、開口部１７ａ内に浸入するインクが再配置配線１６に接液することによってインク情報を検出するものである。そのため、開口部１７ａから露出する再配置配線１６上には、上記同様、耐薬品性に優れた金属でＡｕメッキ膜（不図示）が施されている。このＡｕメッキ膜を形成しておくことによって該開口部１７ａから半導体装置４１内にインクが浸入することが防止される。これにより、半導体装置４１の能動素子形成面１０ａ上の能動素子（集積回路）にインクの影響が及ぶことを阻止することができる。
このように、再配置配線１６の一部を接液電極１２にすることによって簡易な構成で第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４９】
なお、上記実施例では、第２のアンテナ３と接液電極９，９とが半導体基板１０上に形成された半導体装置１について説明してきたが、例えば、さらに第２のアンテナ単体の性能を向上させたい場合は、本半導体装置１を高性能な別体のアンテナ上に実装した一体型モジュール構造の半導体装置であっても良く、また中継用のアンテナと一体型モジュール構造の半導体装置であっても良い。
【００５０】
［インクカートリッジ］
図１及び図９において符号７は、上記した半導体装置１を内蔵し、後述する、第１のアンテナ２２を備えたプリンタ本体２３（電子機器本体）に装着されるインクカートリッジである。この半導体装置１は、インクカートリッジ７内のインク情報を管理及び検出する液センサの機能を果たす。
【００５１】
インクカートリッジ７は、図９に示すように、インクを収容するインクタンク６を備えたインクカートリッジ筐体８内に上記半導体装置１を内蔵すべく、例えば、樹脂の射出成形により一体形成されている。一対の接液電極９，９をインクが収容されたインクタンク６内に露出させるようにして、接液電極９，９以外の半導体装置１の他の部分をインクカートリッジ筐体８内に埋設してなる。
【００５２】
また、半導体装置１は、一対の接液電極９，９がインクタンク６の底面に沿うように、インクカートリッジ筐体８の壁部下方に設けられている。このインクカートリッジ７のインクタンク６内には所定のインクが収容されており、該インクカートリッジ７の所定箇所からインクを導出できるようになっている。
【００５３】
このように、接液電極９，９をインクタンク６内に露出させるようにして設けることで、インクに接液するようになり、インクタンク６内のインクの情報（残量等）を確実に検出することができる。また、接液電極９，９以外の半導体装置１の他の部分をインクカートリッジ７内に埋設させることにより、他の部分に形成されたコントローラ５及びＥＥＰＲＯＭ４に対するインクによるダメージを阻止することができ、これらコントローラ５及びＥＥＰＲＯＭ４の信頼性が向上する。
【００５４】
さらに、インクカートリッジ７内に半導体装置１を、例えば、射出成形により一体に組み込むと、インクタンク６に収容されたインクとインクカートリッジ７の外部との気密が確保される。よって、半導体装置１を埋め込んだ部分からインクが漏れ出すことはなく、インクカートリッジ７からのインク漏れは回避される。また、埋設させることで接液電極９，９間が樹脂で覆われることになるので、インク残量が少なくなったときの誤判定を防止することができる。
なお、インクカートリッジ７の形成後に半導体装置１を、インクカートリッジ７内に接着するようにしても良い。
【００５５】
また、インクカートリッジ７は、半導体装置１を複数内蔵したものとして構成してもよく、この場合、例えば、インクカートリッジ筐体８の壁部に、インクタンク６の深さ方向に沿って所定の間隔をおいて接液電極９，９が並ぶように連設させる。これにより、インクの液位を検出することができ、インク残量や消費経過を正確に把握することができる。またこのとき、少なくとも一つの半導体装置１の接液電極９，９をインクタンク６の底面に沿うようにして設けることにより、インクの有無を確実に検出することもできるようにすることもできる。
【００５６】
本実施例では、第２のアンテナ３と接液電極９，９が半導体基板１０上に一体に形成された構成について説明してきたが、例えば、さらに第２のアンテナ単体の性能を向上させる場合は、さらに中継用のアンテナを配設し、一体型モジュール構造のシステムとしても良い。
【００５７】
図１０には、本発明の別のインクカートリッジ７の実施例を示す。ここで用いられる半導体装置１は、図４に示すように一対の接液電極９，９が３組設けられている。インクカートリッジ筐体８の内壁部の底部付近に、インクタンク６の深さ方向に沿って半導体装置１を配置する。接液電極９，９が、３組（この場合は６つ）あるので、どの組の接液電極９，９にインクが接しているかを測定すれば、インクの液位を検出することができ、インク残量や消費経過を正確に把握することができる。またこのとき、少なくとも一組の接液電極９，９をインクタンク６の底面に沿うようにして設けることにより、インクの有無を確実に検出することもできるようにすることもできる。こうすれば、１つの半導体装置１で上記の情報を検出でき、簡略な構成で高性能な検出を行うことができる。なお、接液電極９，９を３組以上設けても良く、これにより詳細なインク情報を得ることができる。
【００５８】
次に、プリンタ本体について図１、図８及び図９を参照して説明する。図９は、図８におけるＡ−Ａ断面図である。
プリンタ本体２３は、図８に示すように、上記したインクカートリッジ７を着脱可能に複数備えるとともに、各インクカートリッジ７からのインクの供給を受ける記録ヘッドと、記録用紙１３を記録ヘッドに対して相対的に移送させる紙送り手段と、を備えて構成されており、印刷データに基づいて記録ヘッドを移動させながら記録用紙１３にインクを吐出させることで記録を行うものである。
さらに、図９に示すように、各インクカートリッジ７に設けられている第２のアンテナ３と通信を行う第１のアンテナ２２を有しており、第２のアンテナ３と対向するように配置されている。
【００５９】
また、インクカートリッジ７から突出されるインク滴をカウントする突出液滴カウンタ部（不図示）をさらに備え、インクタンク６内のインクの残量を算出するようになっている。
【００６０】
このような構成のプリンタ本体２３には、図８に示すように、複数のインクカートリッジ７が装着されるが、各インクカートリッジ７に収容されているインクの種類によって予め決められた配列にしたがって並列状態に装着されることになる。
【００６１】
そして、プリンタ本体２３及びインクカートリッジ７間におけるインク情報の授受は、第１のアンテナ２２と第２のアンテナ３との間の無線通信により行われる。また、アンテナ３，２２を用いることで、インクカートリッジ７とプリンタ本体２３との間で、非接触により情報の授受が行われる。これにより、従来のように電子機器本体とインクカートリッジ７との電気的接点が心配される虞がなくなるので信頼性が向上する。よって情報管理コストを削減することが可能となる。
【００６２】
本実施形態のインクカートリッジ７は、プリンタ本体２３に装着されると、半導体装置１の駆動電源として、プリンタ本体２３の第１のアンテナ２２から出力されるインク情報の搬送波として利用する電磁波から必要な電力を取り出すように構成されていることが好ましい。このようにすれば、第２のアンテナ３は、情報授受機能と電力受信機能とを兼ねることができる。また、インクカートリッジ７側の第１のアンテナ２２と第２のアンテナ３との通信を利用してプリンタ本体２３にインクカートリッジ７が正確に装着されたか否かを判断することができ、このとき、例えばインクカートリッジ７がプリンタ本体２３に正確に装着されていない場合には、その旨、表示部或いはコンピュータに表示されるようになっている。さらに、上述した半導体装置１を設けることによりインクカートリッジ７側に管理検出機能を持たせることができるため、プリンタ本体２３側の配線数が減り、構造を簡易なものとすることができる。これにより、プリンタ本体２３の設計レイアウトの自由度向上を実現することができる。
【００６３】
上記した構成のインクカートリッジ７によれば、インクカートリッジ７がプリンタ本体２３にセットされていない状態であっても、ＥＥＰＲＯＭ４の内容情報の参照や該ＥＥＰＲＯＭ４への書き込み等を行うことができる他、接液電極９，９からのインク情報を、プリンタ本体２３を通さずにＥＥＰＲＯＭ４に記憶させることができる。例えば、インクカートリッジ７の製造時に、インクカートリッジ７の一梱包単位毎にインク製造情報等の授受を一括して行うことができるようになる。
【００６４】
また、インクカートリッジ７のＥＥＰＲＯＭ４に格納されたインク情報は、プリンタ本体２３の電源を切ったり、プリンタ本体２３からインクカートリッジ７を取り外したりしたとしてもその格納情報は保持されるため、インクカートリッジ単体でインク情報を検出及び管理することが可能となり、インクカートリッジ７の汎用性が高められる。
【００６５】
なお、インクカートリッジ７に表示部を設け、ＥＥＰＲＯＭ４に格納されたインク情報を表示部に反映させるようにしてもよい。
また、色毎等に独立したインクカートリッジ７を用いる場合は、独立したインクカートリッジ７毎の情報をやり取りするように、インクカートリッジ７毎に半導体装置１が組み込まれていることが好ましい。プリンタ本体２３側の第１のアンテナ２２は、インクカートリッジ７毎の個数を配設するとしてもよいし、プリンタ本体２３側の第１のアンテナ２２の数を減らすために、後述するようにキャリッジ３１の移動ごとに個々のインクカートリッジ７の情報授受を行うように一つ以上のアンテナを配設するようにしても良い。
このような構成をとることにより、接液電極からのアナログの接液信号は、コントローラを介してデジタル信号としてアンテナから直接出力することができ、機械的な接続接点を減らすことができるとともに、ノイズの載りやすい不安定なアナログ信号ではなく、安定したデジタル信号で出力することができる。
【００６６】
［電子機器］
次に、本発明に係るインクジェット式プリンタ３０（電子機器）の主要構成について、図８に示す実施の形態に基づいて説明する。このインクジェット式プリンタ３０は、プリンタ本体２３に複数のインクカートリッジ７を着脱可能に備えたプリンタである。
図８において符号３１はキャリッジであり、このキャリッジ３１は、キャリッジモータ３２により駆動されるタイミングベルト３３を介し、ガイドロッド３４に案内されてプラテン３５の軸方向に往復移動されるように構成されている。
【００６７】
前記キャリッジ３１が走査される走査領域には、記録用紙１３が配置され、この記録用紙１３はキャリッジ３１の走査方向に直交するように搬送されるように構成されている。そして、キャリッジ３１における前記記録用紙１３と対向する面には、記録ヘッドが設けられ、またその上部には前記記録ヘッドにインクを供給するブラック、イエロー、シアン、マゼンタの各インクがそれぞれ貯留されたインクカートリッジ７Ｂ，７Ｙ，７Ｃ，７Ｍが着脱可能となるように装着されている。
【００６８】
また、非印字領域外であるホームポジションには、キャッピング手段３６が配置されており、このキャッピング手段３６は、キャリッジ３１がホームポジション側へ移動した場合、キャリッジ３１の移動に伴い、キャリッジ３１に搭載された記録ヘッドのノズル形成面を封止できるように構成されている。ここで、ホームポジション上にある場所に対応した、インクカートリッジ７の個々の第２のアンテナ３上に対応したプリンタ本体対向部上に第１のアンテナ２２が配置されていると、インクカートリッジ７がホームポジションに戻る度にインク情報の授受をプリンタ本体２３側とやり取りできる。また、本実施例によれば、通信手段を無線で行うこととしたので、必ずしも前述の設計である必要はなく、個々の第２のアンテナ３上に対応しないプリンタ本体対向部上に第１のアンテナ２２が配置されていてもよく、本体設計の自由度も向上させることができる。
【００６９】
また前記キャッピング手段３６は、前記キャリッジ３１が印字領域側へ移動するに伴って降下し、記録ヘッドの封止状態を解くことができるように構成されている。そして、前記キャッピング手段３６の下方には、キャッピング手段３６の内部空間に対して負圧を与えるための吸引ポンプ３７が配置されている。
【００７０】
前記キャッピング手段３６は、インクジェット式プリンタ３０の休止期間中における記録ヘッドのノズル開口の乾燥を防止する蓋体として機能する他、記録ヘッドに印刷とは関係のない駆動信号を印加してインク滴を吐出させるフラッシング動作時のインク受けとして機能し、さらに前記吸引ポンプ３７からの負圧を記録ヘッドに作用させて、記録ヘッドよりインクを吸引排出させるクリーニング手段としての機能も兼ね備えている。
【００７１】
そして、キャッピング手段３６の印字領域側に隣接して、ゴムなどの弾性板からなるワイピング部材３８が配置されていて、キャリッジ３１がキャッピング手段３６側に往復移動する際に、必要に応じて記録ヘッドのノズル形成面を払拭して清掃するワイピング動作がなされるように構成されている。
【００７２】
インクジェット式プリンタ３０は、各インクカートリッジ７からのインクの供給を受けるインクジェット式記録ヘッドに対して記録用紙１３を相対的に移送させるようになっており、印刷データに基づいて記録ヘッドを移動させながら、記録用紙１３にインク滴を吐出させることで記録を行うように構成されている。
【００７３】
このようにして構成されるインクジェット式プリンタ３０は、インクカートリッジ７がプリンタ本体２３にセットされると、まず、図１１に示すように、ステップＳ１において、装着されたインクカートリッジ７が使用可能か否かを検出するようにしており、これには、第１のアンテナ２２及び第２のアンテナ３間の信号の授受が利用される。そして、第１のアンテナ２２からの信号によりプリンタ本体２３側から電力が供給されることによって半導体装置１のＩＣが起動し、接液電極９，９に所定の電圧が印加される。すると、インクタンク６内にインクが収容されている場合には、接液電極９，９に接しているインクを通じて接液電極９，９間に電流が流れる。
【００７４】
このような接液電極９，９により検出された信号（電流値）はコントローラ５へと出力される。コントローラ５は、検出された信号が、接液電極９，９間で通電するという場合にはインク有りと判定し、この判定結果に基づくインク情報（インクの有無）をＥＥＰＲＯＭ４へと格納する。そして、インクカートリッジ７が使用可能であることが判明すると、その情報がプリンタ本体２３に送信され、プリンタ本体２３は印字待機状態に入り、印字信号を受け次第、ステップＳ２に示すように、印字データの記録を実行する。
【００７５】
一方、検出信号が接液電極９，９間で通電しないという信号の場合には、コントローラ５はインク無し（インクエンド状態）と判定する。そして、この判定結果に基づくインク情報（インクの有無）をＥＥＰＲＯＭ４へと格納し、ステップＳ６に移行して、インクカートリッジ７の交換を促す信号をプリンタ本体２３へと出力する。このように、接液電極９，９間の通電状態を検知することでインクタンク６内のインクの有無を確認し、インクカートリッジ７の使用可否を判定する。
【００７６】
プリンタ本体２３を駆動して印字を実行している際、インクカートリッジ７は、ステップＳ３に示すように、これら接液電極９，９間の通電状態を所定時間毎に検出する。接液電極９，９により検出された検出信号（電流値）はコントローラ５へと出力される。このインク情報の検出周期は適宜設定される。コントローラ５は、この判定結果に基づいてＥＥＰＲＯＭ４のインク情報を随時更新する。このようにしてインク残量（インクの有無）の管理が行われる。そして、ＥＥＰＲＯＭ４に格納されたインク情報は、コントローラ５により第２のアンテナ３を介してプリンタ本体２３側へ出力され、表示部或いはコンピュータからユーザーへと提供される。
【００７７】
一方、プリンタ本体２３側では、ステップＳ３に示すように、インク滴の吐出液滴カウント数やメンテナンスにより使用されたインク量をソフトウェアにより積算して、インクの消費量を計算する。その結果が所定時間毎に第１のアンテナ２２を介してインクカートリッジ７のＥＥＰＲＯＭ４へと伝送され、該ＥＥＰＲＯＭ４においてインク残量（消費量）の管理が行われる。このように、プリンタ本体２３の第１のアンテナ２２より出力された出力信号に基づいて、ＥＥＰＲＯＭ４のインクに関する情報が随時更新される。そして、ＥＥＰＲＯＭ４に格納されたインク情報は、ＥＥＰＲＯＭ４から第２のアンテナ３を介してプリンタ本体２３側の表示部或いはコンピュータへと出力されてユーザーへ提供される。これによりユーザーは、インクの消費経過を監視したり、インク残量等を確認したりすることができる。
【００７８】
印字をスタートしてしばらくすると、例えば、コントローラ５に、プリンタ本体２３側からインク残量がゼロとなった計算結果が送信されてくる。しかしながら、ステップＳ４に示すように、接液電極９，９による検出信号がインク有りの信号、つまり、接液電極９，９間が通電状態である場合には、インクタンク６内にインクが残留していることが明らかであるため、この時点ではインクタンク６内のインクが無くなったという判断はなされず、ステップＳ２に戻って印字データの記録が続行される。
【００７９】
その後、インクカートリッジ７側において、接液電極９，９間で通電しなくなったという信号が検出されると、ステップＳ４において、コントローラ５がその信号に基づいて今度はインクエンドの判定を行い、ＥＥＰＲＯＭ４のインク情報を更新する。一対の接液電極９，９は、それぞれインクタンク６の底面に沿って設けられていることから、接液電極９，９間で通電しなくなったということはインクタンク６内にインクがなくなったことを意味する。これは、吐出液滴カウンタ部において計算で算出されるインク残量よりも確かであるため、コントローラ５では、あくまでもインクに接液している接液電極９，９からの信号を優先して制御する。
【００８０】
その理由は、吐出液滴カウンタ部から得られるインク残量と実際にインクタンク６に存在するインクの実量との間で生じる差は、インク滴の重量バラツキや、製造時のインク注入量のバラツキに起因するものであってよく起こりうる現象であり、吐出液滴カウンタ部によるインク残量がゼロになった時点でインクカートリッジ７をインクエンド状態と判断した場合、実際にはインクタンク６内にインクが累積しているにも関わらず、インクカートリッジ７の交換の指示がなされるという問題を避けるためである。
【００８１】
接液電極９，９の信号に基づいてインクエンドの判定を行ったコントローラ５は、ステップＳ５において、インクカートリッジ７の交換を促す信号を第２のアンテナ３を介してプリンタ本体２３側へと出力し、プリンタ本体２３の表示部（不図示）或いはコンピュータを通じてユーザーへと警告する。これによりユーザーは、インクカートリッジ７を交換する時期を知ることができる。そして、ステップＳ６に示すように、インクエンド状態となったインクカートリッジ７はプリンタ本体２３から取り外され、新たなインクカートリッジ７と交換される。
【００８２】
ここで、例えば、インクカートリッジ７の接液電極９，９によってインクタンク６内がインクエンド状態であることが判明しているにも関わらず、プリンタ本体２３側の吐出液滴カウンタ部によって算出されるインク残量がインク有りとされているとするならば、プリンタ本体２３側の異常とみられるため、プリンタ本体２３の表示部或いはコンピュータに、異常内容を示すエラーメッセージが表示されるようになっている。
【００８３】
また、プリンタ本体２３側でインク残量ゼロと算出された時点で、インクカートリッジ７内に残留しているインクの量が、インク滴の重量バラツキから生じるインク残量よりもはるかに多いと判定される場合、通常吐出されるインク滴の量よりも少ない量で吐出されていると考えられるため、例えばインク吐出ヘッドのクリーニング等を促すメッセージを表示部或いはコンピュータに出力させるようにする。
【００８４】
このように、プリンタ本体２３側のインク情報と、インクカートリッジ７の接液電極９，９によって検出されたインク情報とを、ＥＥＰＲＯＭ４において統合管理を行うことにより、双方を比較することでプリンタ本体２３及びインクカートリッジ７における異常が検出される。
【００８５】
本実施形態のインクジェット式プリンタ３０によれば、インクの情報を簡易な構成で確実に検出及び管理することができるため、例えば、インクカートリッジ７の適正な交換時期を決定することができる。そのため、インクを余すことなくインクカートリッジ７を交換することができるので、インクカートリッジ７の交換サイクルが延長されインクに掛かるコストダウンを図ることができる。このように、インクの詳細な情報管理を実現することにより、効率的で無駄のないインクカートリッジ７のリサイクルが可能となる。また、例えば、インク充填回数の情報から、インクカートリッジ７のリサイクル回数を決定することができるなど、ユーザーだけでなくリサイクル業者（製造者）側にとっても有益な情報となる。
以上のことから、インクカートリッジ７内のインク情報を簡易な構成で正確かつ確実に検出及び管理することができ、高信頼性、高品質の製品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の一例に係るインクジェット式プリンタの概念を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す側断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る半導体装置の外観を示す平面図である。
【図４】半導体装置の他の実施形態における外観を示す平面図である。
【図５】第２のアンテナの概略構成を示す平面図である。
【図６】第２のアンテナの概略構成を示す側断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す側断面図である。
【図８】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図９】半導体装置を内蔵したインクカートリッジをプリンタ本体に装着したインクジェット式プリンタの主要構成を示す斜視図である。
【図１０】インクカートリッジの一変形例を示す平面図である。
【図１１】インクジェット式プリンタのシステムを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８７】
１…半導体装置、３…第２のアンテナ、４…ＥＥＰＲＯＭ（記憶回路）、５…コントローラ（制御回路）、６…インクタンク（収容部）７…インクカートリッジ、８…インクカートリッジ筐体、９…接液電極（検出電極）、１０…半導体基板、１０ａ…能動素子形成面、１１…素子電極、１２…接液電極（検出電極）、１４…パッシベーション膜、１５…誘電体層、１６…再配置配線（導電層）、１７…保護層、１９…再配置配線（導電層）、２０ａ…電極、２０ｂ…電極、２２…第１のアンテナ、２３…プリンタ本体（電子機器本体）、２５…下層配線、２６…上層配線、２７…接続部、２８…スパイラル部、３０…インクジェット式プリンタ（電子機器）、３１…キャリッジ、３２…キャリッジモータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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