(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
方形板状の複数のワークを水平姿勢でその下面側から支持すると共に、当該複数のワークを搬送方向と直交する水平方向に並べて搬送する搬送手段と、
上下方向に複数段に形成され、前記搬送手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送手段の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記搬送手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、
前記搬送手段及び前記昇降手段の駆動を制御する制御部と、
を備え、
前記搬送手段は、前記制御部の制御により独立して駆動される複数の搬送部を、前記搬送方向及び前記水平方向に間隔を設けてマトリクス状に配設して構成される
ことを特徴とするワーク搬入出システム。
【請求項２】
前記搬送手段は、前記複数のワークを、前記搬送方向及び前記水平方向に並べて搬送することを特徴とする請求項１に記載のワーク搬出入システム。
【請求項３】
前記複数の搬送部の各々は、搬送される前記複数のワークの大きさをそれぞれ検出するセンサを備え、
前記センサにより検出された前記ワークの大きさに基づいて、前記制御部にて前記搬送部の各々の駆動を制御する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク搬入出システム。
【請求項４】
前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送手段を前記収納カセット内に進入させ、前記搬送手段により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセット外部へ、及び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出させ、
前記ワークを搬入出させる際に、前記センサにより検出された前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、に基づいて、前記制御部にて前記搬送部を選択的に駆動させる
ことを特徴とする請求項３に記載のワーク搬入出システム。
【請求項５】
前記搬送手段は、
複数の前記搬送部を含む第１の搬送部と、
前記水平方向の幅が、前記第１の搬送部の幅の半分である第２の搬送部と、を含み、
平行に排出される２つの前記第１の搬送部の間に、２つの前記第２の搬送部が平行に配設されている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載のワーク搬入出システム。
【請求項６】
前記昇降手段は前記収納カセットを上下に昇降させ、前記搬送手段は固定して配設され、
前記収納カセットは直方体形状をなし、
前記昇降手段は、
前記収納カセットを挟むように前記収納カセットの互いに対向する両側部にそれぞれ配設され、前記収納カセットを片持ち支持する一対の昇降ユニットから構成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載のワーク搬入出システム。
【請求項７】
前記昇降ユニットは、互いの昇降高さのずれを検出する検出手段を備えたことを特徴とする請求項６に記載のワーク搬入出システム。
【請求項８】
複数の方形板状のワークを水平姿勢でその下面側から支持すると共に、当該複数のワークを搬送方向と直交する水平方向に並べて搬送する搬送装置と、
上下方向に複数段に形成され、前記搬送装置が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送装置が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送装置の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記搬送装置とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記搬送装置を前記収納カセット内に進入させ、前記搬送装置により前記載置部上の前記ワークを前記収納カセット外部へ、及び、前記収納カセット外部から前記載置部上へ、前記ワークを搬入出させるワーク搬入出システムを構成する前記搬送装置において、
独立して駆動される複数の搬送部を前記搬送方向及び前記水平方向に間隔を設けてマトリクス状に配設して構成される
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項９】
前記複数の搬送部は、
前記ワークの大きさを検出するセンサをそれぞれ有し、
搬送する前記ワークの大きさと、当該ワークの搬送元又は搬送先である前記載置部上の位置と、に基づいて選択的に駆動されることを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記搬送手段は、一つの前記載置部上に複数の前記ワークを互いに重ならないように搬入し、また、一つの前記載置部上に載置された前記複数のワークを搬出することを特徴とする請求項１から３のいずれか１つに記載のワーク搬入出システム。
【請求項１１】
一つの前記載置部上に載置される複数の前記ワークは、互いに大きさの異なるワークを含むことを特徴とする請求項１０に記載のワーク搬入出システム。
【請求項１２】
前記搬送手段は、一つの前記載置部上に複数の前記ワークを同時に搬入し、また、一つの前記載置部上に載置された前記複数のワークを同時に複数搬出することを特徴とする請求項１０に記載のワーク搬入出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットから搬出或いはこれに搬入するシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納カセット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから一枚ずつ取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのワークは再び収納カセットへ搬入される。このような設備では、ワークを収納カセットから搬出し、また、搬入する搬入出システムが必要となる。【０００３】
この種の搬入出システムとしては、例えば、特開２００２−１６７０３８号公報や特開２００４−１５５５６９号公報に記載されるように、収納カセットの下方にローラコンベアを配設し、収納カセットを昇降することで、下段側から順次ワークをローラコンベアにて収納カセット外へ搬出し、また、搬入するものが知られている。【０００４】
しかし、従来の搬入出システムでは、同じ大きさのワークしか扱えず、異なる大きさのワークを扱うためには、システム全体の見直しが必要となる。
【発明の開示】
【０００５】
本発明の目的は、複数種類の大きさのワークを取り扱える搬入出システム及び搬送装置を提供することにある。
【０００６】
本発明によれば、方形板状の複数のワークを水平姿勢でその下面側から支持すると共に、当該複数のワークを搬送方向と直交する水平方向に並べて搬送する搬送手段と、上下方向に複数段に形成され、前記搬送手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬入出口を形成する側部と、前記搬送手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記搬送手段の上方に配設される収納カセットと、前記収納カセットと前記搬送手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、前記搬送手段及び前記昇降手段の駆動を制御する制御部と、を備え、前記搬送手段は、前記制御部の制御により独立して駆動される複数の搬送部を、前記搬送方向及び前記水平方向に間隔を設けてマトリクス状に配設して構成されることを特徴とするワーク搬入出システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク搬入出システムＡを用いた、ワーク処理設備のレイアイトを示す平面図である。
【図２】ワーク搬入出システムＡの外観斜視図である。
【図３】収納カセット２０の外観斜視図、及び、１段分の載置部を示す図である。
【図４】異なる大きさのガラス基板の載置状態を示す図である。
【図５】昇降装置３０の外観斜視図である。
【図６】昇降装置３０の分解斜視図である。
【図７】搬送装置１０の外観斜視図である。
【図８】ワーク搬入出システムＡの制御部４０の構成を示すブロック図である。
【図９】ワーク搬入出システムＡの動作説明図である。
【図１０】ワーク搬入出システムＡの動作説明図である。
【図１１】空の収納カセット２０と搬送装置１０との平面視図、及び、各ローラコンベアユニット１１、１２の平面視の位置を特定するＮｏ．を示す図である。
【図１２】最大の大きさのガラス基板Ｗを搬出する場合の動作説明図である。
【図１３Ａ】ガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ１及びＷ２を搬出する場合の動作説明図である。
【図１３Ｂ】ガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ１及びＷ２を搬出する場合の動作説明図である。
【図１４Ａ】１／４の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４を搬出する場合の動作説明図である。
【図１４Ｂ】１／４の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４を搬出する場合の動作説明図である。
【図１４Ｃ】１／４の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４を搬出する場合の動作説明図である。
【図１５Ａ】１／６の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ６を搬出する場合の動作説明図である。
【図１５Ｂ】１／６の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ６を搬出する場合の動作説明図である。
【図１６】１段の載置部に異なる大きさのガラス基板を載置した例を示す図である。
【図１７Ａ】大きさの異なるガラス基板Ｗ１乃至３と、Ｗ４及びＷ５とを搬出する場合の動作説明図である。
【図１７Ｂ】大きさの異なるガラス基板Ｗ１乃至３と、Ｗ４及びＷ５とを搬出する場合の動作説明図である。
【図１７Ｃ】大きさの異なるガラス基板Ｗ１乃至３と、Ｗ４及びＷ５とを搬出する場合の動作説明図である。
【図１８Ａ】ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。
【図１８Ｂ】ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
＜設備の全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係るワーク搬入出システムＡを用いた、ワーク処理設備１００のレイアイトを示す平面図である。なお、各図においてＸ、Ｙは相互に直交する水平方向、Ｚは鉛直方向を示す。ワーク処理設備１００はワークとして方形板状のガラス基板を処理する設備であって、ワーク搬入出システムＡと、処理装置Ｂと、ベルトコンベアＣと、移載装置Ｄと、を備える。本実施形態では、大きさが異なるガラス基板Ｗ１、Ｗ２を同じワーク処理設備１００で扱えるものである。また、ワークとしてはガラス基板以外のワークについても適用可能である。【００１５】
ベルトコンベアＣはワーク搬入出システムＡのＸ方向両側にそれぞれ２基ずつ配設され、各ベルトコンベアＣはその走行方向がＹ方向に設定された２本の無端ベルト１と、無端ベルト１が巻き回される駆動プーリを回転駆動するモータ２と、無端ベルト１が巻き回される従動プーリを回転自在に支持する支持部３と、を備え、＋Ｙ方向、−Ｙ方向に無端ベルト１の上側の部分が往復走行するように制御される。【００１６】
ワーク搬入出システムＡはＸ方向にガラス基板を搬入出可能である。本実施形態の場合、そのＸ方向両側にそれぞれ２基ずつ配設された、２組のベルトコンベアＣのそれぞれとの間でガラス基板を搬入出可能であり、＋Ｘ方向、−Ｘ方向の双方にガラス基板を搬入出できる。ワーク搬入出システムＡの詳細については後述する。処理装置Ｂは本実施形態の場合、ベルトコンベアＣの−Ｘ側に配設され、ベルトコンベアＣにより搬送されるガラス基板を受け取り、所定の処理を施した後ベルトコンベアＣへ受け渡す。図１では複数の処理装置Ｂが図示されているが、各処理装置Ｂの処理内容は異なる内容としてもよいし、同じ内容であってもよい。【００１７】
移載装置ＤはベルトコンベアＣと、ワーク搬入出システムＡ又は処理装置Ｂと、の間にそれぞれ設けられ、各無端ベルト１間又は無端ベルトとワーク搬入出システムＡ及び処理装置Ｂとの間に配設された複数の昇降型のローラコンベアユニット４ａ、４ｂとから構成される。各ローラコンベアユニット４ａ、４ｂは後述するワーク搬入出システムＡの搬送装置１０を構成するローラコンベアユニット１１、１２と同様の構成であって、それぞれ独立して制御可能であり、ローラの回転により＋Ｘ方向及び−Ｘ方向にガラス基板を搬送可能なユニットであると共に、不図示の昇降装置によりＺ方向に昇降可能なユニットである。ワーク搬入出システムＡ又は処理装置ＢからベルトコンベアＣへガラス基板を移載する場合、移載装置Ｄは上昇してガラス基板を＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に搬送し、その後、降下して無端ベルト１上へガラス基板を載置する。その後、ベルトコンベアＣを作動して無端ベルト１を走行させ、ガラス基板が搬送される。また、ベルトコンベアＣからワーク搬入出システムＡ又は処理装置Ｂへガラス基板を移載する場合、移載装置Ｄは上昇して無端ベルト１上のガラス基板を持ち上げ、その後、ワーク搬入出システムＡ又は処理装置Ｂへ＋Ｘ方向又は−Ｘ方向にガラス基板を搬送する。【００１８】
係る構成からなるワーク処理設備１００では、未処理のガラス基板がワーク搬入出システムＡから移載装置Ｄ及びベルトコンベアＣを介して処理装置Ｂへ搬送され、また、処理済のガラス基板が処理装置Ｂから移載装置Ｄ及びベルトコンベアＣを介してワーク搬入出システムＡへ戻されることになる。【００１９】
＜ワーク搬入出システムＡの構成＞
図２はワーク搬入出システムＡの外観斜視図である。ワーク搬入出システムＡは、搬送装置１０と、搬送装置１０の上方に配設される収納カセット２０と、昇降装置３０と、を備える。【００２０】
＜収納カセット＞
図３において、図３−１は収納カセット２０の外観斜視図である。収納カセット２０はガラス基板を上下方向（Ｚ方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図２及び図３−１はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット２０は複数の柱部材２１ａ、２１ｂと、梁部材２２ａ乃至２２ｇと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。【００２１】
柱部材２１ｂは、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数配設され、Ｙ方向の各柱部材２１ｂ間には上下方向（Ｚ方向）に所定のピッチで複数のワイヤ２３が張設されている。このワイヤ２３によりガラス基板が略水平姿勢で載置される載置部が上下方向に複数段形成される。図３−２は１段分の載置部を示す図である。各段の載置部は、同じ高さにてＸ方向に離間して複数配設されたワイヤ２３により形成される。各ワイヤ２３間と、Ｘ方向両端のワイヤ２３の外方とは、それぞれ後述する搬送装置１０が通過可能な開口部２３ａを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット２００の収納効率を高めることができる。【００２２】
図３において、図３−２は収納カセット２０が収納可能な最大の大きさのガラス基板Ｗ（破線にて示す。）がワイヤ２３上に載置されている態様を示すが、本実施形態では、１段の載置部につき複数種類のガラス基板が載置可能である。図４は異なる大きさのガラス基板の載置状態を示す図である。図４−１は図３−２の１／２の大きさのガラス基板Ｗが載置された状態を示しており、各ガラス基板Ｗは２本のワイヤ２３上に載置されている。図４−２は図３−２の１／４の大きさのガラス基板Ｗが載置された状態を示しており、各ガラス基板Ｗは２本のワイヤ２３上に載置されている。図４−３は図３−２の１／６の大きさのガラス基板Ｗが載置された状態を示しており、各ガラス基板Ｗは２本のワイヤ２３上に載置されている。【００２３】
図３−１に戻り、収納カセット２０の互いに対向するＸ方向の両側部は、それぞれ張り部材２２ａと柱部材２１ａとにより門型に開放してガラス基板の搬入出口２４を形成している。本実施形態では収納カセット２０のＸ方向の両側部を搬入出口２４とし、各々の搬入出口を介してガラス基板を搬送可能としているが、いずれか一方の側部のみ搬入出口とすることも可能である。尤も、収納カセット２０が２つの搬入出口を有することで、それぞれの搬入出口からガラス基板の搬入出ができ、ガラス基板の搬入出の効率を高められる。次に、収納カセット２０の底部は、一対の梁部材２２ｄ、複数の梁部材２２ｂ及び一つの梁部材２２ｆにより構成されており、これらの間が後述する搬送装置１０が通過可能な進入口２５を形成している。【００２４】
＜昇降装置＞
図５は昇降装置３０の外観斜視図、図６は昇降装置３０の分解斜視図である。昇降装置３０は収納カセット２０と搬送装置１０とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態では搬送装置１０を固定とし、収納カセット２０を昇降させるが、収納カセット２０を固定とし、搬送装置１０を昇降させる構成も採用できる。【００２５】
本実施形態の場合、昇降装置３０は収納カセット２０を挟むように収納カセット２０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット２０を片持ち支持する一対の昇降ユニット３１から構成される。この構成によれば、昇降ユニット３１をより薄型化でき、ワーク搬入出システムＡ全体の設置スペースをより小さくできる。また、ガラス基板の搬入出口、搬送装置１０のスペースをより広く確保できる。【００２６】
昇降ユニット３１は、収納カセット２０の底部の梁部材２２ｄが載置されるビーム部材３１１を備える。各昇降ユニット３１の各ビーム部材３１１が同期的に上下方向（Ｚ方向）に移動することで収納カセット２０が昇降される。昇降ユニット３１は上下方向に延びる支柱３１２を備え、支柱３１２の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材３１３及びラック３１４が固定されている。各昇降ユニット３１間には、支柱３１２の上端に梁部材３２が架設されている。【００２７】
ビーム部材３１１は支持板３１５の一側面にブラケット３１５ａを介して固定されて支持される。支持板３１５の他側面にはレール部材３１３に沿って移動可能な４つのスライド部材３１６が固定され、ビーム部材３１１及び支持板３１５はレール部材３１３の案内により上下に移動する。駆動ユニット３１７はモータ３１７ａと減速機３１７ｂとから構成されており、支持板３１８の一側面に固定されて支持されている。減速機３１７ｂの出力軸は支持板３１８を貫通して支持板３１８の他側面に配設されたピニオン３１９ａに接続されている。【００２８】
支持板３１５と支持板３１８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板３１５と支持板３１８との空隙にはピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄが配設されている。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは支持板３１５と支持板３１８との間で回転可能に軸支され、ピニオン３１９ｂ及びピニオン３１９ｄは、ピニオン４１９ａの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｃはピニオン３１９ｂの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン３１９ｃ及び３１９ｄは各ラック３１４と噛み合っている。【００２９】
しかして、駆動ユニット３１７を駆動するとピニオン３１９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット３１７、支持板３１５及び３１８、スライド部材３１６、及び、ビーム部材３１１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材３１１上に載置された収納カセット２０を昇降することができる。各昇降ユニット３１には、互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれを検出するセンサ３１１ａがビーム部材３１１の端部に設けられている。【００３０】
センサ３１１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図５に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ３１１ａで検出されると、モータ３１７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ３１１ａを設けてビーム部材３１１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット２０が傾くことを防止し、収納カセット２０をより安定して昇降することができる。【００３１】
なお、各ビーム部材３１１に設けられる２つのセンサ３１１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。【００３２】
＜搬送装置＞
図７は搬送装置１０の外観斜視図である。本実施形態において搬送装置１０は独立して駆動される搬送部を構成する複数のローラコンベアユニット１１、１２がＸ−Ｙ平面上において平面的に配設して構成されている。本実施形態ではローラコンベア方式を採用するが、他の搬送方式、例えば、ベルトコンベア方式でもよい。各ローラコンベアユニット１１、１２は、それぞれ駆動ボックス１１ａ、１２ａと、軸受パネル１１ｂ、１２ｂと、駆動ボックス１１ａ、１２ａと軸受パネル１１ｂ、１２ｂとの間で回転自在に支持された複数のローラ１１ｃ、１２ｃと、を備える。各ローラ１１ｃ、１２ｃは軸部と円盤部とから構成されており、その軸方向がガラス基板の搬送方向（Ｘ方向）に直交するＹ方向に設定され、Ｙ方向の軸芯回りに正転、逆転される。【００３３】
各ローラ１１ｃ、１２ｃの円盤部の上面はガラス基板を搬送する搬送面を形成し、ガラス基板を略水平姿勢でその下面側から支持すると共にその回転によりガラス基板を略水平方向（本実施形態では＋Ｘ方向、−Ｘ方向）に搬送する。駆動ボックス１１ａ、１２ａには不図示のモータと、該モータの駆動力を各ローラ１１ｃ、１２ｃに伝達する動力伝達機構が内蔵される。また、駆動ボックス１１ａ、１２ａの上面のＸ方向両端部にはガラス基板を検出するセンサ１１ａ’、１２ａ’が設けられている。センサ１１ａ’、１２ａ’は例えば反射型の光センサであり、センサ１１ａ’、１２ａ’によるガラス基板の検出結果に応じてこれを契機として、ローラ１１ｃ、１２ｃの回転が開始又は停止される。【００３４】
各ローラコンベアユニット１１、１２は、それぞれ収納ボックス２０と干渉しないように適宜空隙を設けて配設されており、昇降装置３０による収納ボックス２０の降下により、収納ボックス２０の進入口２５から収納ボックス２０内に進入し、また、ワイヤ２３により形成される各載置部の開口部２３ａを通過して搬送対象となる段の載置部へ到達する。【００３５】
また、ローラコンベアユニット１２は、ガラス基板の搬送方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向の幅が、ローラコンベアユニット１１のＹ方向の幅の略半分に設定され、ローラコンベアユニット１１とローラコンベアユニット１２とは、ガラス基板の搬送方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向に、２つのローラコンベアユニット１１の間に２つのローラコンベアユニット１２が位置するよう配設されている。＋Ｙ方向に見ると、ローラコンベアユニット１１⇒ローラコンベアユニット１２⇒ローラコンベアユニット１２⇒ローラコンベアユニット１１という配列である。【００３６】
これにより、図３−２及び図４−１乃至図４−３に示したように、Ｙ方向の幅が異なる各種の大きさのガラス基板を一つの搬送装置１０で搬送することができ、少なくとも３種類のＹ方向の幅のワークを取り扱うことができる。つまり、全てのローラコンベアユニット１１、１２を駆動すれば、図３−２や図４−１に示すＹ方向の幅のガラス基板が搬送できる。次に、Ｙ方向に２つに分割して、ローラコンベアユニット１１及び１２の２つの組合せでそれぞれ独立して駆動すれば、図４−２に示すＹ方向の幅のガラス基板が個別に搬送できる。【００３７】
更に、Ｙ方向に３つに分割して、ローラコンベアユニット１１と、２つのローラコンベアユニット１２と、ローラコンベアユニット１１と、でそれぞれ独立して駆動すれば、図４−３に示すＹ方向の幅のガラス基板が個別に搬送できる。また、ガラス基板に接触するローラの数が同じとなり、均等な搬送力で各ガラス基板を搬送することができ、各ガラス基板を安定して搬送できる。【００３８】
＜制御部＞
図８はワーク搬入出システムＡの制御部４０の構成を示すブロック図である。制御部４０はワーク搬入出システムＡの全体の制御を司るＣＰＵ４１と、ＣＰＵ４１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ４２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ４３と、を備える。ＲＡＭ４２、ＲＯＭ４３は他の記憶手段を採用可能である。【００３９】
入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４４は、ＣＰＵ４１と各種のセンサ（センサ３１１ａ、１１ａ’、１２ａ’）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ４４を介してＣＰＵ４１は各種のセンサの検出結果を取得する。【００４０】
出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５は、ＣＰＵ４１と各種のモータ（モータ３１７ａ、駆動ボックス１１ａ及び１２ａ内のモータ）とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ４５を介してＣＰＵ４１は各種のモータを制御する。【００４１】
ここで、ローラコンベアユニット１１、１２のローラ１１ｃ、１２ｃの回転速度制御、つまり、駆動ボックス１１ａ及び１２ａ内のモータの回転速度制御は、インバータ制御やサーボ制御を採用できる。インバータ制御やサーボ制御を採用することで、各モータの回転速度を微調整することが可能であり、各ローラコンベアユニット１１、１２の機械的誤差を制御により補正することができる。これにより、ローラコンベアユニット１１、１２のローラ１１ｃ、１２ｃの回転速度をより正確に同期制御することができる。【００４２】
また、昇降ユニット３１のモータ３１７ａの回転速度制御も、インバータ制御やサーボ制御が採用できる。一対の昇降ユニット３１は収納カセット２０の各載置部に対応した複数の停止位置に対して頻繁に同期的に停止、移動を繰り返す同期制御が要求されるため、特に空間上の連続した線に沿って移動する制御方法（いわゆるＣＰ（Continuous Path）制御）を採用することが望ましい。なお、本実施形態では昇降ユニット３１の駆動源としてモータを用いているが、油圧又は空気圧等の流体圧で作動するアクチュエータを用いることもできる。【００４３】
通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）４６はワーク処理設備１００全体を制御するホストコンピュータ５とＣＰＵ４１とのインターフェースであり、ＣＰＵ４１はホストコンピュータ５からの指令に応じてワーク搬入出システムＡを制御することになる。【００４４】
＜ワーク搬入出システムＡの動作＞
ワーク搬入出システムＡによるガラス基板の搬入出動作について説明する。まず、昇降装置３０による収納カセット２０の昇降動作と、昇降動作に伴う搬送装置１０によるガラス基板の搬入出動作について説明する。本実施形態では昇降装置３０による昇降動作によって搬送装置１０を収納カセット２０内に進入させ、搬送装置１０により載置部上（つまり、各段のワイヤ２３上）のガラス基板を収納カセット２０外部へ、及び、収納カセット２０外部から載置部上へガラス基板を搬入出させる。図９−１及び図１０はワーク搬入出システムＡの動作説明図である。ここでは、ガラス基板の搬出動作について説明するが、搬入動作については概ねその逆の手順となる。【００４５】
図９−１は収納カセット２０が搬送装置１０の上方に位置しており、未だ搬送装置１０が収納カセット２０内に進入していない状態を示す。収納カセット２０の各段にはガラス基板Ｗが載置されている。ガラス基板Ｗは、より下段のものから搬出される。図９−１の状態の場合、最下段のガラス基板Ｗが最初に搬出される。【００４６】
そこで、昇降装置３０により収納カセット２０を図９−２に示すように降下させて搬送装置１０を収納カセット２０内に進入させ、搬送装置１０の搬送面が最下段の載置部より若干高い位置に位置するようにする。これにより、最下段のガラス基板は最下段の載置部から搬送装置１０により持ち上げられて搬送装置１０上に載置されることになる。その後、搬送装置１０のローラ１１ｃ、１２ｃを回転させてガラス基板を略水平姿勢で搬送する。図９−３はガラス基板を＋Ｘ方向に、図９−４はガラス基板を−Ｘ方向に、搬出する途中の態様を示す。【００４７】
同様の手順により、各段単位で収納カセット２０の降下、ガラス基板の搬出を繰り返す。図１０−１は収納カセット２０の降下、ガラス基板の搬出が繰り返されて、収納カセット２０の中程の位置に搬送装置１０が進入するまで収納カセット２０が降下された態様を示し、図１０−２は図１０−１の位置にてガラス基板を−Ｘ方向に搬出する途中の態様を示す。【００４８】
また、図１０−３は収納カセット２０の降下、ガラス基板の搬出が更に繰り返されて、収納カセット２０の上方の位置に搬送装置１０が進入するまで収納カセット２０が降下された態様を示し、図１０−４は図１０−３の位置にてガラス基板を＋Ｘ方向に搬出する途中の態様を示す。こうして最上段のガラス基板まで搬出されることになる。空の収納カセット２０にガラス基板を搬入する場合は、最上段の載置部から順にガラス基板が搬入され、収納カセット２０は順次上昇させることになる。【００４９】
次に、大きさの異なる各種のガラス基板の搬入出時の動作について説明する。本実施形態では、搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬送元（搬出時）又は搬送先（搬入時）である載置部上の位置と、当該ガラス基板を通過させる搬入出口と、に基づいて、各ローラコンベアユニット１１、１２が選択的に駆動される。なお、搬入出口を１箇所とした場合は搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬送元（搬出時）又は搬送先（搬入時）である載置部上の位置と、に基づいて、各ローラコンベアユニット１１、１２が選択的に駆動される。【００５０】
ここでは、ガラス基板の搬出動作について説明するが、搬入動作については概ねその逆の手順となる。図１１において、図１１−１は空の収納カセット２０と搬送装置１０との平面視図である。なお、梁部材２２ｃの位置が平面視でのワイヤ２３の配設位置である。説明の便宜上、各ローラコンベアユニット１１、１２に図１１−２のようにＮｏ．１１〜１６（ローラコンベアユニット１１）、Ｎｏ．２１〜２６（ローラコンベアユニット１２）、Ｎｏ．３１〜３６（ローラコンベアユニット１２）、Ｎｏ．４１〜４６（ローラコンベアユニット１１）を付し、以下、各ローラコンベアユニット１１、１２を図１１−２のＮｏ．にて特定して説明する。【００５１】
図１２は最大の大きさのガラス基板Ｗを搬出する場合の動作説明図である。図１２−１はガラス基板Ｗが、ある段の載置部（ワイヤ２３）上に載置されている状態を示す。ガラス基板Ｗは全てのＮｏ．のローラコンベアユニット上に位置しているため、その搬出には全てのローラコンベアユニットが駆動対象となる。図１２−２はガラス基板Ｗを＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出する場合の搬送途中の動作を示し、図１２−３はガラス基板Ｗを−Ｘ方向側の搬入出口から搬出する場合の搬送途中の動作を示す。搬送方向に応じてローラコンベアユニットのローラの回転方向が決まる。ガラス基板Ｗが通過したローラコンベアユニットは順次その駆動を停止することができる。例えば、図１２−２の場合、Ｎｏ．１１、２１、３１及び４１のローラコンベアユニットは駆動を停止できる。【００５２】
図１３Ａ及び図１３Ｂは図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ１及びＷ２を搬出する場合の動作説明図である。図１３Ａにおいて、図１３−１は２枚のガラス基板Ｗ１及びＷ２が、ある段の載置部（ワイヤ２３）上に載置されている状態を示し、ガラス基板Ｗ１が載置部の左半分の位置に、ガラス基板Ｗ２が載置部の右半分の位置に、それぞれ位置している。そして、このため、ガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニット上に、それぞれ位置している。【００５３】
搬出の方式としては、ガラス基板Ｗ１及びＷ２を＋Ｘ方向側の搬入出口と−Ｘ方向側の搬入出口とでそれぞれ別々に搬出する方式（逆方向搬送）と、ガラス基板Ｗ１及びＷ２をいずれか一方の搬入出口から搬出する方式（同方向搬送）と、に大別される。また、ガラス基板Ｗ１及びＷ２を１枚ずつ搬出する方式（逐次搬送）と、ガラス基板Ｗ１及びＷ２を同時に搬出する方式（同時搬送）と、にも大別される。これらの搬出方式は任意に組合せられる。【００５４】
図１３Ａにおいて、図１３−２及び図１３−３は逆方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この場合、まず、いずれかのガラス基板Ｗ１及びＷ２をいずれかの方向（＋Ｘ方向、−Ｘ方向）に搬送する。図１３−２の例ではＮｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ１が−Ｘ方向に搬出されている。ガラス基板Ｗ１の搬出が終わると図１３−３の例に示すように、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ２が＋Ｘ方向に搬出される。同時搬送とする場合は、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、を同時に駆動し、かつ、ローラの回転方向を逆にすることになる。【００５５】
図１３Ｂにおいて、図１３−４及び図１３−５は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この場合、まず、いずれかのガラス基板Ｗ１及びＷ２をいずれかの方向（＋Ｘ方向、−Ｘ方向）に搬送する。図１３−４の例ではＮｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ１が−Ｘ方向に搬出されている。ガラス基板Ｗ１の搬出が終わると図１３−５の例に示すように、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、が、つまり全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ２も−Ｘ方向に搬出される。同時搬送とする場合は、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、を同時に駆動し、かつ、ローラの回転方向を同じにすることになる。【００５６】
図１４Ａ乃至図１４Ｃは図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／４の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４を搬出する場合の動作説明図である。図１４Ａにおいて、図１４−１は４枚のガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４が、ある段の載置部（ワイヤ２３）上に載置されている状態を示し、ガラス基板Ｗ１が載置部の左上半分の位置に、ガラス基板Ｗ２が載置部の左下半分の位置に、ガラス基板Ｗ３が載置部の右上半分の位置に、ガラス基板Ｗ４が載置部の右下半分の位置に、それぞれ位置している。そして、ガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ３はＮｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ４はＮｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニット上に、それぞれ位置している。【００５７】
搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送がある。同時搬送は更に、４枚全てを同時に搬送する場合と、２枚又は３枚を同時に搬送する場合に分類される。【００５８】
図１４Ａにおいて、図１４−２及び図１４−３は逆方向搬送で２枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、まず、図１４−２に示すようにガラス基板Ｗ１が−Ｘ方向の搬入出口から、ガラス基板Ｗ４が＋Ｘ方向の搬入出口から、それぞれ搬出される。このため、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ１が−Ｘ方向に、また、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ４が＋Ｘ方向に、それぞれ搬出されている。【００５９】
続いて、図１４−３に示すように、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ２が−Ｘ方向に、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ３が＋Ｘ方向に、それぞれ搬出される。【００６０】
図１４Ｂにおいて、図１４−４は逆方向搬送で４枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、かつ、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、でローラが逆方向に回転駆動される。ガラス基板Ｗ１及びＷ２は−Ｘ方向側の搬入出口から搬出され、ガラス基板Ｗ３及びＷ４は＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出される。【００６１】
図１４Ｂの図１４−５及び図１４Ｃの図１４−６は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ３⇒ガラス基板Ｗ４⇒ガラス基板Ｗ１⇒ガラス基板Ｗ２の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出し、ガラス基板Ｗ１の搬出途中でガラス基板Ｗ２の搬出が開始されている。そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ３が搬出される。次に、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ４が搬出される。続いて、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１が搬出される。その搬出途中で、更に、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ２が搬出される。【００６２】
図１４Ｃの図１４−７は同方向搬送で２枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ３及びＷ４⇒ガラス基板Ｗ１及びＷ２の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出している。そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ３及びＷ４が同時に搬出される。続いて、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１及びＷ２が同時に搬出される。【００６３】
図１５Ａ及び図１５Ｂは図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／６の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ６を搬出する場合の動作説明図である。図１５Ａにおいて、図１５−１は６枚のガラス基板Ｗ１乃至Ｗ６が、ある段の載置部（ワイヤ２３）上に載置されている状態を示し、ガラス基板Ｗ１が載置部の左上段の位置に、ガラス基板Ｗ２が載置部の左中段の位置に、ガラス基板Ｗ３が載置部の左下段の位置に、ガラス基板Ｗ４が載置部の右上段の位置に、ガラス基板Ｗ５が載置部の右中段の位置に、ガラス基板Ｗ６が載置部の右下段の位置に、それぞれ位置している。【００６４】
そして、ガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．２１〜２３、３１〜３３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ３はＮｏ．４１〜４３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ４はＮｏ．１４〜１６のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ５はＮｏ．２４〜２６、３４〜３６のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ６はＮｏ．４４〜４６のローラコンベアユニット上に、それぞれ位置している。【００６５】
搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送がある。同時搬送は更に、６枚全てを同時に搬送する場合と、２枚乃至５枚を同時に搬送する場合に分類される。【００６６】
図１５Ａにおいて、図１５−２は逆方向搬送で２枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、まず、ガラス基板Ｗ１とＷ４とが、次にガラス基板Ｗ２とＷ５とが、最後にガラス基板Ｗ３とＷ６とが、それぞれ２枚同時に逆方向に搬送される。このため、まず、Ｎｏ．１１〜１３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ１が−Ｘ方向に、ガラス基板Ｗ４が＋Ｘ方向に、それぞれ搬出される。次に、Ｎｏ．２１〜２３及びＮｏ．３１〜３３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．２４〜２６及びＮｏ．３４〜３６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ２が−Ｘ方向に、ガラス基板Ｗ５が＋Ｘ方向に、それぞれ搬出される。最後に、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ３が−Ｘ方向に、ガラス基板Ｗ６が＋Ｘ方向に、それぞれ搬出される。【００６７】
図１５Ｂにおいて、図１５−３は逆方向搬送で６枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が−Ｘ方向に、ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６が＋Ｘ方向に同時に搬出される。このため、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択されて、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットと、でローラが逆方向に回転駆動される。【００６８】
図１５Ｂにおいて、図１５−４は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ４⇒ガラス基板Ｗ５⇒ガラス基板Ｗ６⇒ガラス基板Ｗ１⇒ガラス基板Ｗ２⇒ガラス基板Ｗ３の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出し、一つ前のガラス基板の搬出途中で次のガラス基板の搬出が開始されている。【００６９】
そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ４が搬出される。次に、Ｎｏ．２４〜２６及びＮｏ．３４〜３６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ５が搬出される。次に、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ６が搬出される。続いて、Ｎｏ．１１〜１６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１が搬出される。次に、Ｎｏ．２１〜２６及びＮｏ．３１〜３６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ２が搬出される。最後に、Ｎｏ．４１〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ３が搬出される。【００７０】
図１５Ｂにおいて、図１５−５は同方向搬送で３枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ４乃至６⇒ガラス基板Ｗ１乃至３の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出している。そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、Ｎｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６が同時に搬送される。続いて、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が同時に搬送される。【００７１】
次に、上記各例では、１段の載置部につき同じ大きさのガラス基板を搬出する例を示したが、１段の載置部につき異なる大きさのガラス基板を載置し、それぞれ搬出することもできる。図１６は１段の載置部に異なる大きさのガラス基板を載置した例を示す図であり、図１６−１乃至図１６−３は２種類、図１６−４は３種類の場合を示す。【００７２】
図１６−１の例では、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／６の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３と、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／４の大きさのガラス基板Ｗ４及びＷ６が１段の載置部に混在して載置されている。図１６−２の例では、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／６の大きさのガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３と、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ４が１段の載置部に混在して載置されている。図１６−３の例では、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ１と、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／４の大きさのガラス基板Ｗ２及びＷ３が１段の載置部に混在して載置されている。図１６−４の例では、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／６の大きさのガラス基板Ｗ１と、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／４の大きさのガラス基板Ｗ２と、図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／２の大きさのガラス基板Ｗ３が１段の載置部に混在して載置されている。【００７３】
このように１段の載置部につき異なる大きさのガラス基板を載置した場合の搬出動作について、図１７Ａ乃至図１７Ｃを参照して説明する。ここでは図１６−１の場合を例に挙げて説明する。【００７４】
図１７Ａにおいて、図１７−１に示すようにガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ３はＮｏ．４１〜４３のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ４はＮｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニット上に、ガラス基板Ｗ５はＮｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニット上に、それぞれ位置している。【００７５】
搬出の方式としては、上述した逆方向搬送、同方向搬送、逐次搬送、同時搬送がある。同時搬送は更に、５枚全てを同時に搬送する場合と、２枚乃至４枚を同時に搬送する場合に分類される。【００７６】
図１７Ａにおいて、図１７−２は逆方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が−Ｘ方向に逐次搬送され、ガラス基板Ｗ４及びＷ５が＋Ｘ方向に逐次搬送される。駆動対象として選択されるローラコンベアユニットは、ガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、ガラス基板Ｗ３はＮｏ．４１〜４３、ガラス基板Ｗ４はＮｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、ガラス基板Ｗ５はＮｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６である。【００７７】
図１７Ｂにおいて、図１７−３は逆方向搬送で同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が−Ｘ方向に同時搬送され、ガラス基板Ｗ４及びＷ５が＋Ｘ方向に同時搬送される。駆動対象として選択されるローラコンベアユニットは、ガラス基板Ｗ１はＮｏ．１１〜１３、ガラス基板Ｗ２はＮｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３、ガラス基板Ｗ３はＮｏ．４１〜４３、ガラス基板Ｗ４はＮｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、ガラス基板Ｗ５はＮｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６である。【００７８】
図１７Ｂにおいて、図１７−４は同方向搬送で逐次搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ４⇒ガラス基板Ｗ５⇒ガラス基板Ｗ１⇒ガラス基板Ｗ２⇒ガラス基板Ｗ３の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出し、一つ前のガラス基板の搬出途中で次のガラス基板の搬出が開始されている。【００７９】
そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６及び２４〜２６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ４が搬出される。次に、Ｎｏ．３４〜３６及びＮｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ５が搬出される。続いて、Ｎｏ．１１〜１６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１が搬出される。次に、Ｎｏ．２１〜２６及びＮｏ．３１〜３６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ２が搬出される。最後に、Ｎｏ．４１〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ３が搬出される。【００８０】
図１７Ｃにおいて、図１７−５は同方向搬送で２枚、３枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ４及び５⇒ガラス基板Ｗ１乃至３の順に＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出している。そして、まず、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６、３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ４及びＷ５が同時に搬送される。続いて、全てのローラコンベアユニットが駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が同時に搬送される。【００８１】
図１７Ｃにおいて、図１７−６は逆方向搬送で、４枚同時搬送の例を示す図である。この例の場合、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４⇒ガラス基板Ｗ５の順に、ガラス基板Ｗ１乃至３及びＷ５は−Ｘ方向側の搬入出口から、ガラス基板Ｗ４は＋Ｘ方向側の搬入出口から搬出している。そして、まず、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３、Ｎｏ．３１〜３３及びＮｏ．４１〜４３のローラコンベアユニットと、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６のローラコンベアユニットと、が駆動対象として選択され、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ４が搬送される。続いて、Ｎｏ．３１〜３６及びＮｏ．４１〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択されてガラス基板Ｗ５が搬送される。【００８２】
このように、本実施形態では、搬送するガラス基板の大きさと、当該ガラス基板の搬送元である載置部上の位置と、当該ガラス基板を通過させる搬入出口と、に基づいて、各ローラコンベアユニット１１、１２を選択的に駆動することで、各種の大きさのガラス基板の搬出ができ、その搬送方式も種々の方式が選択できる。ガラス基板を収納カセット２０へ搬入する際も、ガラス基板の大きさと搬送先となる載置部上の位置と、搬入出口とが決まれば、ガラス基板が通過すべき各ローラコンベアユニット１１、１２が決定し、決定した各ローラコンベアユニット１１、１２を選択的に駆動することで、各種の大きさのガラス基板の搬入ができる。【００８３】
次に、ガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合について説明する。図１８Ａ及び図１８Ｂはガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の動作説明図である。ここでは図１２−１に示したガラス基板Ｗの１／６の大きさのガラス基板を例に挙げて説明する。【００８４】
図１８Ａにおいて、図１８−１は、ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６が載置部上に載置され、これから収納カセット２０外へ搬出されるガラス基板を示し、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３がこれから収納カセット２０内の左半分の位置へ搬入される態様を示している。【００８５】
ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６は、それぞれ、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．２４〜２６及びＮｏ．３４〜３６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニット上に載置されている。ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３はそれぞれ、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３及びＮｏ．３１〜３３、Ｎｏ．４１〜４３のローラコンベアユニット上に搬入される。【００８６】
まず、同時搬送により搬送する場合について説明すると、駆動対象として全てのローラコンベアユニットが選択され、同方向に回転駆動する。図１８Ａにおいて、図１８−２は＋Ｘ方向にガラス基板を搬送することにより、ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６を搬出し、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３を搬入する途中の態様を示す。図１８Ａにおいて、図１８−３は搬送後の態様を示しており、ガラス基板Ｗ４乃至Ｗ６が収納カセット２０外へ搬出され、ガラス基板Ｗ１乃至Ｗ３が収納カセット２０内へ搬入されている。【００８７】
図１８Ｂにおいて、図１８−４及び図１８−５はガラス基板の搬出と搬入とを同時に行なう場合の他の動作例を示しており、ガラス基板Ｗ１、Ｗ２、Ｗ４及びＷ６を搬出し、ガラス基板Ｗ３を左下段に、ガラス基板Ｗ５を右中段に搬入する。【００８８】
この例の場合、ガラス基板Ｗ１、Ｗ２、Ｗ４及びＷ６を搬出するために、Ｎｏ．１１〜１３、Ｎｏ．２１〜２３及びＮｏ．３１〜３３、Ｎｏ．１４〜１６、Ｎｏ．４４〜４６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択される。また、ガラス基板Ｗ３及びＷ５を搬入するために、Ｎｏ．４１〜４３、Ｎｏ．２４〜２６及びＮｏ．３４〜３６のローラコンベアユニットが駆動対象として選択される。【００８９】
そして、ガラス基板Ｗ１、Ｗ２及びＷ５は−Ｘ方向に搬送され、ガラス基板Ｗ３、Ｗ４及びＷ６は＋Ｘ方向に搬送される。これにより、ガラス基板Ｗ１及びＷ２は−Ｘ方向に搬出され、ガラス基板Ｗ４及びＷ６は＋Ｘ方向に搬出される。また、ガラス基板Ｗ３及びＷ５がそれぞれ左下段、右中段に搬入される。【００９０】
以上述べた通り、本実施形態では搬送装置１０が、独立して駆動される複数のローラコンベアユニット１１、１２を平面的に配設して構成され、複数のローラコンベアユニット１１、１２は、搬送するガラス基板の大きさと、ガラス基板の搬送元（搬出時）又は搬送先（搬入時）である載置部上の位置と、に基づいて選択的に駆動されるため、異なる大きさのガラス基板の搬入出ができる。従って、複数種類の大きさのワークを取り扱うことができる。また、収納カセット２０の各載置部には、図４−１乃至図４−３に示したように小さな大きさのワークを複数載置させ、それぞれ個別に搬入出することも可能となり、収納カセット２０のガラス基板の収納効率を高められる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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