(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性のホルダに形成された複数の案内孔内のそれぞれに導電性接触子が収容されており、それぞれの導電性接触子の一端側の針状体がホルダから突出して被検査体と接触することにより導電性接触子の他端側から電気信号を取り出す構造であって、
前記ホルダが、前記案内孔を有した本体ブロックと、この本体ブロックに対し平面内の一方向に沿う往復方向へスライド可能に本体ブロックに積層され、一方向への相対的なスライドによって案内孔への導電性接触子の挿抜を許容する一方、反対方向への相対的なスライドによって導電性接触子を抜け止めする抜け止めブロックとを備え、
前記抜け止めブロックは、前記針状体が通過可能な径を有すると共に針状体の一部を外方に突出させ且つ支持する支持孔が各案内孔と連通するように形成されて前記被検査体側に位置するように前記本体ブロックに積層されており、
前記抜け止め方向への前記抜け止めブロックのスライドによって前記支持孔の内面が前記針状体に接触し、この接触によって針状体が一方向に揃えられることを特徴とする導電性接触子のホルダ構造。
【請求項２】
前記抜け止めブロックは、本体ブロックの片面または両面に積層されていることを特徴とする請求項１記載の導電性接触子のホルダ構造。
【請求項３】
前記本体ブロックは、導電性接触子を抜け止めする構造となっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の導電性接触子のホルダ構造。
【請求項４】
前記相対的なスライドを案内するガイド部材が、本体ブロック及び抜け止めブロックにかけて差し込まれていることを特徴とする請求項１乃至３記載のいずれかに記載の導電性接触子のホルダ構造。
【請求項５】
前記導電性接触子は、導電性のコイルばねの両端に導電性の一対の針状体が連結された構造となっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の導電性接触子のホルダ構造。
【請求項６】
前記導電性接触子は、導電性のコイルばねと、このコイルばねの一端側に連結された導電性の針状体とを備えた構造となっていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の導電性接触子のホルダ構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、導電性接触子の先端部をＩＣ、液晶ディスプレイ基板、プリント配線板等の被検査体に接触させることにより、被検査体の電気的な検査を行う導電性接触子に関し、特に、導電性接触子を収容するホルダ構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上述のようなＩＣなどの被検査体の電気的な検査を行う導電性接触子では、導電性の針状体及びコイルばね或いはコイルばねの単体をパイプ状のレセプタクルに組み込んだ構造となっている。そして、このレセプタクルを絶縁板に配設することにより、プローブユニットとしていたが、近年の被検査体の電極部のファインピッチ化（例えば、１５０〜２００μｍのピッチ）及び小径化（例えば、９０〜１１０μｍ）に対応させる必要があるところから、レセプタクルを省いて、針状体及びコイルばね或いはコイルばね単体を絶縁性のホルダに直接に組み込んだ構造が採用されている（特許第２５３２３３１号公報、特開平１１−６４３７８号公報）。
【０００３】
図１０は、このような公報に記載されている従来の導電性接触子１５０を組み込んだプローブユニット１００を示し、導電性の一対の針状体１１０，１２０と、導電性のコイルばね１３０と、絶縁性のホルダ１４０とを備えている。一対の針状体１１０，１２０がコイルばね１３０の両端に連結されることにより、導電性接触子１５０が構成されている。
【０００４】
ホルダ１４０は、中間絶縁体１４１と、中間絶縁体１４１を挟むように上下に積層された下側絶縁体１４２及び上側絶縁体１４３とによって形成されている。ホルダ１４０には、被検査体の電極部のピッチに相応する案内孔１６０が板厚方向に沿って形成されており、それぞれの案内孔１６０内に導電性接触子１５０が個々に収容されている。案内孔１６０に収容された導電性接触子１５０は、ホルダ１４０からの抜け止めがなされた状態で、各針状体１１０，１２０の先端部がホルダ１４０の外方に突出している。
【０００５】
また、各針状体１１０，１２０の抜け止め及び先端部の突出を行うため、上下の絶縁体１４２，１４３には、案内孔１６０よりも小径の支持孔１４２ａ、１４３ａが貫通している。
【０００６】
このようなプローブユニット１００では、導電性接触子１５０における上側の針状体１２０をホルダ１４０上に積層される配線基板の電極部やリード線（図示省略）に弾発的に接触させて電気的に接続した状態で、下側の針状体１３０の先端部を被検査体に弾発的に接触させることによって被検査体の電気的な検査を行う。
【０００７】
また、プローブユニット１００の組み立ては、いずれか一方の絶縁体１４２または１４３を中間絶縁体１４１から取り外して、それぞれの案内孔１６０に導電性接触子１５０を挿入し、他方の絶縁体１４３または１４２の支持孔に対して導電性接触子１５０の対応する針状体１１０または１２０を差し込み、その後、一方の絶縁体１４２または１４３を中間絶縁体１４１に積層する。この積層では、絶縁体１４２または１４３の支持孔に、対応している針状体１２０または１１０が挿入されるように位置合わせして行う。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した導電性接触子において、針状体１１０，１２０とホルダ１４０の案内孔１６０との間のクリアランスに異物が介在したり、針状体１１０，１２０やコイルばね１３０に折れや曲がりが発生すると、針状体１１０，１２０の出没ができなくなり、被検査体との接触不良や電気信号の伝送不良となる。このため、これらの場合には、不良となった導電性接触子１５０の交換を行う必要がある。
【０００９】
導電性接触子１５０の交換作業は、上下における一方の絶縁板１４２または１４３を取り外したホルダ１４０の解体状態で、不良の導電性接触子１５０を抜き取り、その後、新たな導電性接触子１５０を対応した案内孔１６０に挿入し、取り外した絶縁板１４２または１４３の積層及び再固定によって行われる。この交換作業においては、ホルダ１４０にセットされている導電性接触子１５０への損傷を防止する必要があるところから、取り外した絶縁板を正確に位置合わせして再固定しなければならない。
【００１０】
しかしながら、針状体のピッチが被検査体のピッチに合わせて狭くなっており（２００μｍ以下）、そのピッチに対応した状態下でホルダ１４０の解体、位置合わせ、さらには再固定を行う必要があるため、高度の熟練が要求される問題がある。また、ファインピッチに対応させる必要性から、極めて細い針状体やコイルばねを用いており、導電性接触子の強度が小さくなっている。従って、セット済みの導電性接触子が何らかの異常要因によって曲がる問題も有している。
【００１１】
本発明は、このような問題点を考慮してなされたものであり、熟練が要求されるホルダの解体、位置合わせを必要とすることなく、導電性接触子を簡単に交換することが可能な導電性接触子のホルダ構造を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明はの導電性接触子のホルダ構造は、絶縁性のホルダに形成された案内孔内に導電性接触子が収容されており、導電性接触子の一端側がホルダから突出して被検査体と接触することにより他端側から電気信号を取り出す構造であって、前記ホルダが、前記案内孔を有した本体ブロックと、この本体ブロックに対し平面内の一方向に沿う往復方向へ相対的にスライド可能に本体ブロックに積層され、一方向への相対的なスライドによって案内孔への導電性接触子の挿抜を許容する一方、反対方向への相対的なスライドによって導電性接触子を抜け止めする抜け止めブロックとを備えていることを特徴とする。
【００１３】
この発明では、平面内の一方向に沿って本体ブロックと抜け止めブロックとを相対的にスライドさせることにより、導電性接触子の案内孔への挿入及び引き抜きが可能となり、反対方向への相対的なスライドによって導電性接触子が抜け止めされる。従って、導電性接触子に欠陥が生じた場合には、抜け止めブロック及び本体ブロックを相対的にスライドさせて、案内孔からその導電性接触子を引き抜いて、新たな導電性接触子を案内孔に挿入し、その後、抜け止めブロック及び本体ブロックを反対方向に相対的にスライドさせることにより、導電性接触子が支持穴内に収容されて支持される。
【００１４】
このような発明では、本体ブロック及び抜け止めブロックの相対的なスライドを行うだけで、導電性接触子の交換を行うことができるため、ホルダを解体したり、再組み付けの際に位置合わせを行う必要がなくなり、導電性接触子の交換を簡単に行うことができる。また、導電性接触子の抜け止めのための反対方向への相対的なスライドでは、導電性接触子の端部を抜け止めブロックに概ね摺動させた状態とすることができるため、導電性接触子の位置精度も向上する。
【００１５】
また、この発明で前記抜け止めブロックは、導電性接触子が通過可能な径を有すると共に導電性接触子の一部を外方に突出させ且つ支持する支持孔が各案内孔と連通するように形成されていることを特徴とする。
【００１６】
また、この発明は、抜け止めブロックに形成した支持孔が導電性接触子の通過可能な径となっているため、導電性接触子の交換を確実に行うことができる。また、抜け止めブロックの反対方向への相対的なスライドによって抜け止めブロックが導電性接触子の抜け止めを行うため、抜け止めを行うための部材や構造物が不要となり、ホルダを簡単な構造とすることができる。
【００１７】
請求項２の発明は、請求項１記載の導電性接触子のホルダ構造であって、前記抜け止めブロックは、本体ブロックの片面または両面に積層されていることを特徴とする。
【００１８】
このように抜け止めブロックは本体ブロックの片面だけでなく、両面に積層することができる。両面に積層する場合には、導電性接触子の挿抜及び抜け止めをいずれの面からも行うことができる。このため、導電性接触子交換の自由度が増大する。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載の導電性接触子のホルダ構造であって、前記本体ブロックは、導電性接触子を抜け止めする構造となっていることを特徴とする。
【００２０】
このように本体ブロックが導電性接触子を抜け止する構造では、案内孔に挿入された導電性接触子が本体ブロックから抜け落ちることがなくなるため、導電性接触子を確実に収容することができる。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の導電性接触子のホルダ構造であって、前記相対的なスライドを案内するガイド部材が、本体ブロック及び抜け止めブロックにかけて差し込まれていることを特徴とする。
【００２２】
このようにガイド部材が本体ブロック及び抜け止めブロックの相対的なスライドを案内することにより、本体ブロック及び抜け止めブロックの平面内の一方向への相対的なスライドが安定し、一方向への相対的なスライドを確実に行うことができる。
【００２３】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の導電性接触子のホルダ構造であって、前記導電性接触子は、導電性のコイルばねの両端に導電性の一対の針状体が連結された構造となっていることを特徴とし、請求項６の発明の導電性接触子は、導電性のコイルばねと、このコイルばねの一端側に連結された導電性の針状体とを備えた構造となっていることを特徴としている。
【００２４】
このように導電性接触子としては、種々の構造を用いることができ、いずれの構造の導電性接触子を用いても、その交換を簡単に行うことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図示する実施の形態により具体的に説明する。なお、各実施の形態において、同一の部材は同一の符号を付して対応させてある。
【００２６】
（実施の形態１）
図１〜図４は、本発明の実施の形態１が適用されたプローブユニット１を示し、ホルダ２と、導電性接触子３とを備えており、ホルダ２は、本体ブロック４と、本体ブロック４の一面（下面）に積層された抜け止めブロック５とから構成されている。
【００２７】
本体ブロック４は下側から第１のプレート６、第２のプレート７、第３のプレート８が順に積層されることにより形成されている。これらのプレート６，７，８は相互の位置決め状態で積層され、ボルト等による締結、接着剤等による接合、その他の手段によって組み立てられている。また、これらのプレート６，７，８は、絶縁材料が用いられており、これにより本体ブロック４の全体が絶縁性となっている。
【００２８】
本体ブロック４には、複数の案内孔９が厚さ方向に貫通している。案内孔９は被検査体である検査基板１０にパターン形成された電極部１１に対応したピッチ及び数となるように設けられている。
【００２９】
それぞれの案内孔９は、導電性接触子３を収容するものであり、第１のプレート６及び第２のプレート７では、導電性接触子３の最大外径（この実施の形態では、針状体１２，１３の鍔部１２ｂ、１３ｂの外径またはコイルばね１４のコイル径）よりも大きな径となっており、第３のプレート８では、導電性接触子３の最大外径よりも小さな径となっている。なお、第３のプレート８では、小径の貫通孔８ａが形成されることにより、案内孔９の一部を構成している。この貫通孔８ａは、導電性接触子３における第２の針状体１３の鍔部１３ｂよりも小径となっており、これにより、第３のプレート８は第２の針状体１３の抜け止めを行う構造となっている。
【００３０】
本体ブロック４の下面に積層される抜け止めブロック５は絶縁材料によって板状に形成されており、絶縁材料からなる抜け止めブロック５が本体ブロック４に積層されることにより、ホルダ２の全体が絶縁性となっている。抜け止めブロック５には、支持孔１５が板厚方向に貫通している。支持孔１５は本体ブロック４の案内孔９と連通するように各案内孔９に対応して形成されている。
【００３１】
かかる抜け止めブロック５は、ボルト等の締結部材或いはフック等の係合部材（いずれも省略）によって本体ブロック４に固定されているが、これらの締結部材や係合部材を解除することにより、本体ブロック４に対してスライドすることが可能となるものである。
【００３２】
支持孔１５は導電性接触子３が通過可能な径に設定されるものであり、このため、導電性接触子３の最大外径よりも大きな径となっている。この実施の形態では、本体ブロック４の案内孔９と略同じ径となるように設定されている（図３参照）。
【００３３】
支持孔１５は、後述するように導電性接触子３の案内孔９への挿抜を許容すると共に、導電性接触子３おける第１の針状体１２の抜け止めを行うように作用する。すなわち、支持孔１５の中心線が案内孔９の中心線と一致した状態では、支持孔１５を介して案内孔９への導電性接触子３挿入または引き抜きを行うことができると共に、支持孔１５が案内孔９と位置ずれした状態では、抜け止めブロック５が案内孔９から抜け出ることを防止するように作用するものである。
【００３４】
この実施の形態において、導電性接触子３は、導電性のコイルばね１４の両端に第１及び第２の針状体１２，１３からなる導電性の一対の針状体が連結されることにより構成されている。
【００３５】
コイルばね１４は細い径の線材をコイル状に巻回することによって形成された圧縮コイルばねとなっている。この実施の形態において、自由状態におけるコイルばね１４の長さ及び針状体１２，１３の鍔部１２ａ、１３ａの厚さを加算した長さが、第１のプレート６及び第２のプレート７の厚さを加算した寸法よりも幾分短いか、略同じ長さとなるように設定されるものである。
【００３６】
第１の針状体１２はコイルばね１４の一端側に対しての針状体、第２の針状体１３は他端側に対しての針状体となっている。これらの針状体１２，１３は先端が先鋭となっている針状部１２ａ、１３ａと、針状部１２ａ、１３ａよりも大径となっている鍔部１２ｂ、１３ｂと、鍔部１２ａ、１３ｂよりも小径となって鍔部１２ｂ、１３ｂに連設されたボス部１２ｃ、１３ｃとが軸方向に一体的に形成されることにより構成されている。
【００３７】
一対の針状体１２，１３は、先鋭の針状部１２ａ、１３ａが反対方向を向くようにコイルばね１４の両端に連結される。この連結は、コイルばね１４の両端に各ボス部１２ｃ、１３ｃを圧入することにより行われるが、半田付け、接着等によって行うこともできる。
【００３８】
第２の針状体１３は、その鍔部１３ｂが第３のプレート８に抜け止めされた状態で、その針状部１３ａが第３のプレート８の貫通孔８ａ内に挿入されている。この針状部１３ａは、第３のプレート８に積層された配線基板２０の電極部２１と接触することにより、配線基板２０と電気的に接続される。また、このように第２の針状体１３が第３のプレート８によって抜け止めされることにより、導電性接触子３が案内孔９を通過して第３のプレート８側から抜け落ちることがないため、導電性接触子３を案内孔９に確実に収容することができる。
【００３９】
第１の針状体１２は、その針状部１２ａが抜け止めブロック５から外方に突出しており、検査基板１０の電極部１１の弾発的に接触する。この接触によって導電性接触子３を介して検査基板１０と配線基板２とが導通状態となり、検査基板１０に対する電気的な検査を行うことができる。
【００４０】
以上の実施の形態において、抜け止めブロック５は本体ブロック４に対し、平面（ＸＹ平面）内の一方向（例えば、図３の矢印Ｓ１方向）に沿って往復スライド可能となっている。抜け止めブロック５がスライドする平面内の一方向は、その往方向へのスライドによって支持孔１５が本体ブロック４の案内孔９に対して位置ずれすると共に、復方向へのスライドによって支持孔１５の中心線が案内孔９の中心線と一致する方向であり、この条件を満足する限り、任意の方向に設定することができる。
【００４１】
かかるスライドを案内するため、この実施の形態では、ガイド部材１７が配置されている。ガイド部材１７はピン状となっており、本体ブロック４及び配線基板２０を挿通して、これらを結合すると共に、その下端部が抜け止めブロック５内に侵入している。これに対し、抜け止めブロック５には、ガイド部材１７に対応したガイド孔１８が形成されており、ガイド部材１７の下端部はガイド孔１８内に遊挿されている。
【００４２】
図２はガイド孔１８を示し、同図（ａ）では、横長の長円のガイド孔１８となっている。ガイド部材１７はこのガイド孔１８が延びた方向に沿って相対的に移動する。これにより、抜け止めブロック５はガイド孔１８が延びた方向に往復スライドし、この往復スライドによって、抜け止めブロック５の支持孔１５が案内孔９に一致或いは位置ずれすることができる。
【００４３】
図２（ｂ）では、ガイド孔１８がガイド部材１７よりも大径の円形となっており、ガイド部材１７はガイド孔１８とのクリアランス部分内を相対的に移動する。この移動によって、抜け止めブロック５の支持孔１５が案内孔９に一致或いは位置ずれすることができる。
【００４４】
図４により、この実施の形態における抜け止めブロック５のスライド量の設定を説明する。同図においては、図１及び図３の状態を上下転倒して示しており、（ａ）は一方向へのスライド状態、（ｂ）は反対方向へのスライド状態である。
【００４５】
支持孔１５と案内孔９との径が略同一の場合において、第１の針状体１２における針状部１２ａの径と支持孔１５の径とのクリアランスを寸法ａ、鍔部１２ｂの径と案内孔９の径とのクラランスを寸法ｂとし、支持孔１５及び案内孔９の孔加工精度をｃとした場合、抜け止めブロック５のスライド量（案内孔９に対する支持孔１５のずれ量）Δｘは、Δｘ＝ａ＋ｂ＋２ｃを上限値とすることにより抜け止めブロック５からの導電性接触子３の挿入及び引き抜きができると共に、抜け止めブロック５による導電性接触子３の抜け止めを行うことができるものである。
【００４６】
図１は以上の構造のプローブユニット１によって検査基板１０の電気的な検査を行っている状態を示す。この検査において、第１の針状体１２の弾発的な出没が得られなくなったり、針状体１２，１３やコイルばね１４に折れや曲がりが生じた場合には、その導電性接触子３を交換する必要がある。
【００４７】
この場合には、上述した締結部材或いは係合部材を解除して、抜け止めブロック５を本体ブロック４との固定状態から解放する。そして、図３に示すように、抜け止めブロック５をガイド部材１７に沿って一方向Ｓ１にスライドさせ、その支持孔１５の中心線を案内孔９の中心線と一致させる。これにより、不良となった導電性接触子３を支持孔１５を介して案内孔９から引き抜くと共に、新たな導電性接触子３を支持孔１５を介してその案内孔９内に挿入する。その後、抜け止めブロック５を上述とは反対の方向にスライドして、支持孔１５を案内孔９から位置ずれさせて図１に状態に戻して導電性接触子３の交換を終了する。
【００４８】
このような導電性接触子３の交換では、本体ブロック４に対して抜け止めブロック５を往復方向にスライドさせるだけで、導電性接触子３の交換を行うことができる。このため、配線基板２０とホルダ２との組み付け状態を解体したり、その後にホルダ２を解体したり、正確な位置合わせな要求されるホルダ２の再組み付けを行う必要がなくなり、導電性接触子３の交換を簡単に行うことができる。従って、高度な熟練を要することなく導電性接触子３の交換を容易に行うことができる。
【００４９】
また、導電性接触子３の抜け止めのための抜け止めブロック５の反対方向への相対的なスライドでは、図１に示すように、第１の針状体１２の針状部１２ａに対して支持孔１５の内面が接触した状態となることができ、第１の針状体１２が一方向に揃い易いため、その位置精度が向上する。そして、この接触状態で第１の針状体１２が概ね摺動するため、検査基板１０の電極部１１に確実に接触することができる。
【００５０】
（実施の形態２）
図５は、実施の形態２を示す。この実施の形態のプローブユニット３０では、本体ブロック４及び配線基板２０にかけて固定ピン３１が差し込まれることにより、これらが位置決めされている。
【００５１】
また、ピン状のガイド部材３２が、配線基板２０、本体ブロック４及び抜け止めブロック５にかけて差し込まれている。ガイド部材３２は、配線基板２０側に配置したフレーム３３から延びることにより、これらに差し込まれており、下端部は抜け止めブロック５に密に嵌合している。従って、抜け止めブロック５はガイド部材３２に固定された状態となっている。
【００５２】
これに対し、本体ブロック４及び配線基板２０には、ガイド部材３２が遊挿されるガイド孔３４が連通状態で形成されている。ガイド孔３４は図２（ａ）、（ｂ）と同様な長円孔または円形孔となっており、ガイド部材３２はガイド孔３４に対して相対的に移動する。この相対移動によって、本体ブロック４及び配線基板２０が抜け止めブロック５及びフレーム３３に対して平面内の一方向Ｓ１に沿って往復方向にスライドすることができる。従って、実施の形態１と同様に、抜け止めブロック５の支持孔１５を介して導電性接触子３の交換を行うことができる。
【００５３】
このような実施の形態では、抜け止めブロック５に対して本体ブロック４が一方向に往復スライドすることによって、支持孔１５と案内孔９とが一致し或いは位置ずれするものであり、実施の形態１と同様に、高度の熟練を要求されることなく、導電性接触子３の交換を簡単に行うことができる。なお、本体ブロック４のスライドは、案内孔９に収容されたコイルばね１４によって本体ブロック４を横方向に押される力によっても行うことができるものである。
【００５４】
（実施の形態３）
図６は実施の形態３が適用されたプローブユニット４０を示す。この実施の形態では、第１の針状体１２及び第２の針状体４１がコイルばね１４の両端に連結されることにより導電性接触子３が形成されている。第２の針状体４１は胴部４１ｂの先端に先鋭の針状部４１ａが連設されて形成されており、実施の形態１及び２のような抜け止め用の鍔部１３ｂを備えていない。また、胴部４１ｂの他端には、コイルばね１４に結合されるボス部４１ｃが軸方向に連設されている。
【００５５】
また、ホルダ２は、本体ブロック４と抜け止めブロック５とが積層されることにより形成されるが、本体ブロック４は、２つの板状の絶縁性のプレート４４，４５が積層されて構成されている。導電性接触子３を収容する案内孔９は、プレート４４，４５を板厚方向に貫通している貫通孔４４ａ、４５ａの中心を一致させることによって形成されている。
【００５６】
さらに、本体ブロック４上には、配線基板２０が積層されている。配線基板２０には、案内孔９と連通する保持孔２２が形成されており、この保持孔２２にエナメル線などの単線からなるリード線２３が挿入されている。リード線２３は外部の検査回路（図示省略）に直接或いは間接的に接続されることにより信号の伝送を行う。このリード線２３における先端部には、素線よりも径が大きくなった扁平部２３ａが形成されている。
【００５７】
扁平部２３ａはリード線２３の先端を軸線と直行する方向にプレス加工することによって形成されるものであり、これにより配線基板２０からのリード線２３の抜け止めがなされている。導電性接触子３の第２の針状体４１は、コイルばね１４に付勢されることにより、その針状部４１ａが扁平部２３ａに弾発的に当接している。このような構造では、導電性接触子３はリード線２３の扁平部２３ａによって配線基板２０側からの抜け止めがなされていると共に、リード線２３に対して信号を伝送することが可能となっている。
【００５８】
この実施の形態においても、抜け止めブロック５には、導電性接触子３が通過可能な径を有した支持孔１５が案内孔９に対応して貫通している。また、抜け止めブロック５及び本体ブロック４が平面内の一方向に沿って相対的に往復スライド可能となっている。この相対的なスライドは、実施の形態１のように抜け止めブロック５をスライドさせても良く、実施の形態２のように本体ブロック４をスライドさせても良い。
【００５９】
このように、導電性接触子３が通過可能な支持孔１５が形成された抜け止めブロック５と、案内孔９を有した本体ブロック４とが一方向に相対的にスライド可能となっていることにより、導電性接触子３の交換を支持孔１５を介して行うことができる。従って、抜け止めブロック５及び本体ブロック４の相対的なスライドだけで導電性接触子３の交換を行うことができ、これにより、配線基板２０とホルダ２との組み付け状態を解体したり、その後にホルダ２を解体したり、さらには正確な位置合わせな要求されるホルダ２の再組み付けを行う必要がなくなるため、高度な熟練を要することなく導電性接触子３の交換を容易に行うことができる。
【００６０】
（実施の形態４）
図７は実施の形態４を示す。この実施の形態が適用されるプローブユニット５０では、本体ブロック４が単一の絶縁ブロックから構成されており、導電性接触子３を収容する案内孔９が板厚方向に貫通している。このように、本体ブロック４を単一のブロックとすることにより、部品点数が少なくなるばかりでなく、それぞれの貫通孔の中心が一致するように複数のプレートを位置決めしながら積層する必要がなくなるため、本体ブロック４を簡単に作製することができる。
【００６１】
この実施の形態では、本体ブロック４の上下の両面に対して、抜け止めブロック５及び５１が積層されることによりホルダ２が形成されている。下側の抜け止めブロック５は実施の形態１及び２と同様であり、導電性接触子３が通過可能な径を有した支持孔１５が案内孔９と連通するように形成されている。一方、上側の抜け止めブロック５１にも、導電性接触子３が通過可能な径を有した支持孔５２が案内孔９と連通するように形成されている。
【００６２】
これらの抜け止めブロック５及び５１は、本体ブロック４に対して平面内の一方向に沿って相対的に往復スライド可能となっている。すなわち下側の抜け止めブロック５は、矢印Ｓ２の方向に沿って本体ブロック４に対し相対的にスライド可能となっており、上側の抜け止めブロック５１は矢印Ｓ３の方向に沿って本体ブロック４に対し相対的にスライド可能となっている。なお、これらのスライド方向Ｓ２、Ｓ３は同一の方向であっても良く、交差する異なった方向であっても良いものである。
【００６３】
この実施の形態では、上下いずれの抜け止めブロック５、５１を本体ブロック４に対して相対的に往復スライドさせても、その支持孔１５，５２を介して導電性接触子３の交換を行うことが可能となっている。従って、導電性接触子３の交換を抜け止めブロック５，５１のスライドだけで行うことができるため、ホルダ２を解体したり、正確な位置合わせな要求されるホルダ２の再組み付けを行う必要がなくなり、高度な熟練を要することなく、導電性接触子３の交換を容易に行うことができる。
【００６４】
特に、この実施の形態では、本体ブロック４の上下の両面に対して、相対的にスライド可能な抜け止めブロック５，５１を設けているため、本体ブロック４の上下いずれの面からも導電性接触子３の交換を行うことができる。このため、導電性接触子３の交換の自由度が拡大し、交換作業性が飛躍的に向上する。
【００６５】
（実施の形態５）
図８は実施の形態５を示す。この実施の形態のプローブユニット６０では、２つの板状の絶縁性のプレート３１，３２を積層することにより、ホルダ２の本体ブロック４が形成されており、２つのプレート３１，３２には、導電性接触子３を収容する案内孔９が厚さ方向に貫通している。
【００６６】
本体ブロック４の上側のプレート３１における配線基板２０側の端部には、案内孔９の一部を構成する支持孔部３２ａが形成されている。支持孔部３２ａは案内孔９の他の部位よりも小径となるように形成されており、後述する導電性接触子３を抜け止めすると共に位置決め状態で支持するように作用する。この支持孔部３２ａは、埋め込み状にパターン形成された配線基板２０の電極部２１に対応するように形成されている。
【００６７】
この実施の形態において、導電性接触子３は、導電性のコイルばね３３と、１本の針状体３４とからなり、針状体３４がコイルばね３３の下側の端部に連結された構造となっている。針状体３４は抜け止めブロック５の支持孔１５から先端部分が突出して検査基板１０の電極部１１と接触する針状部３４ａと、針状体部３４ａの状部に形成された大径の鍔部３４ｂと、鍔部３４ｂから上方に延びる軸部３４ｃとが一体的に形成されることにより構成されている。そして、針状体３４はその軸部３４ｃが下側からコイルばね３３内に圧入され或いは挿入された後に半田付けされることにより、コイルばね３３の下側の端部に連結状態で取り付けられる。
【００６８】
コイルばね３３は、下側の連結部３３ａ及び上側の密着巻き部３３ｂを備えている。連結部３３ａは針状体３４の軸部３４ｃが連結される部位である。
【００６９】
密着巻き部３３ｂは隣接した線材が密着するように巻回された部分であり、その下部には、針状体３４の軸部３４ｃの上部が接触状態で差し込まれている。このように密着巻き部３３ｂに軸部３４ｃが接触するように差し込まれることにより、密着巻き部３３ｂと軸部３４ｃとが良好に導通するため、電気特性が良好となるメリットがある。
【００７０】
この実施の形態におけるコイルばね３３においては、密着巻き部３３ｂに接続部３３ｃが形成されている。接続部３３ｃは隣接した線材が密着した密着巻き部３３ｂの状態のままで、そのコイル径が密着巻き部３３ｂや連結部３３ａよりも小さくなるように巻回された部分であり、密着巻き部３３ｂの上部に形成されている。
【００７１】
接続部３３ｃはホルダ本体４における上側のプレート３２に形成されている支持孔部３２ａ内に進入可能な径となっており、支持孔部３２ａ内に進入した状態では、支持孔部３２ａによって抜け止めされると共に、支持孔部３２ａによって位置決めされる。また、支持孔部３２ａに進入することにより、接続部３３ｃは配線基板２０の電極部２１と接触して針状体３４からの電気信号を検査基板２０に取り出すように作用する。このとき、接続部３３ｃは線材が密着した状態となっているため、電気信号を確実に取り出すことができ、電気的な検査を信頼性のあるものとすることができる。
【００７２】
このような実施の形態においても、実施の形態１と同様に、導電性接触子３の最大外径よりも径が大きく導電性接触子３が通過可能な支持孔１５を抜け止めブロック５に形成し、しかも、この抜け止めブロック５を本体ブロック４に対して一方向に往復スライド可能としている。これにより、導電性接触子３の交換を抜け止めブロック５のスライドだけで行うことができるため、ホルダ２を解体したり、正確な位置合わせな要求されるホルダ２の再組み付けを行う必要がなくなり、高度な熟練を要することなく、導電性接触子３の交換を容易に行うことができる。
【００７３】
（実施の形態６）
図９は実施の形態６を示す。この実施の形態におけるホルダ２は、実施の形態５と同様な構造となっている。すなわち、上下２つの絶縁性のプレート３１，３２が積層されることにより本体ブロック４が形成され、この本体ブロック４の下面に対して抜け止めブロック５が一方向への往復スライド可能に積層されている。また、上側のプレート３２には、案内孔９よりも小径となっている支持孔部３２ａが配線基板２０の電極部２１と対応するように形成されている。
【００７４】
この実施の形態における導電性接触子３は、線材をコイル状に巻回して形成された単体のコイルばね７１だけによって構成されている。単体のコイルばね７１は、長さ方向の略中心部分に形成された密着巻き部７１ａと、密着巻き部７１ａの両側に所定のピッチで巻回されたピッチ部７１ｂと、各ピッチ部７１ｂの外側に形成された密着テーパ部７１ｃとによって構成されている。ピッチ部７１ｂはコイルばね７１の全体にばね力を付与するものである。
【００７５】
密着テーパ部７１ｃは線材が密着状態で巻回された状態で、コイルばね７１の長さ方向の両端部に位置している。また、密着テーパ部７１ｃは、外側に向かってコイル径が漸減しており、これにより、先端側では、コイル径が小さな接続部７１ｄとなっている。上側の接続部７１ｄは上側のプレート３２における支持孔部３２ａよりも径が小さくなっており、支持孔部３２ａ内に進入する。この進入により、配線基板２０の電極部２１と接触して電気信号を検査基板２０に取り出すように作用する。
【００７６】
コイルばね７１は自由状態で、その長さが本体ブロック４及び抜け止めブロック５を合わせた厚さよりも大きくなるように形成されている。このコイルばね７１の自由長は、荷重が負荷しないように設定されるものである。そして、コイルばね７１を本体ブロック４の案内孔９内に差し込んだ状態では、図９（ａ）で示すように、長さ方向両端部の接続部７１ｄがホルダ２の上下面から突出する。このとき、上側の接続部７１ｄはプレート３２の支持孔部３２ａ内に抜け止めされた状態で、支持孔部３２ａに位置決め状態で支持される。
【００７７】
図９（ｂ）は、配線基板２０をホルダ２の上面に積層して取り付けた状態を示す。配線基板２０の積層によって、上側の接続部７１ｄが案内孔９内に押し込まれて、コイルばね７１の全体が下方に移動し、下側の接続部７１ｄの突出量が幾分、増大する。
【００７８】
図９（ｃ）は同図（ｂ）の状態で、検査基板１０の電気的な検査を行う場合を示し、ホルダ２を検査基板１０に接近させて、ホルダ２の下面から突出しているそれぞれのコイルばね７１の接続部７１ｄを電極部１１と弾発的に接触させる。これにより、下側の接続部７１ｄ、下側のピッチ部７１ｂ、密着巻き部７１ａ、上側のピッチ部７１ｂ、上側の密着テーパ部７１ｃを介して上側の接続部７１ｄから配線基板２０に電気信号が出力される。
【００７９】
このような実施の形態においても、導電性接触子３（コイルばね７１）が通過可能な支持孔１５を抜け止めブロック５に形成し、抜け止めブロック５を本体ブロック４に対して一方向に往復スライド可能とすることにより、導電性接触子３の交換を抜け止めブロック５のスライドだけで行うことができる。このため、ホルダ２を解体したり、正確な位置合わせな要求されるホルダ２の再組み付けを行う必要がなくなり、高度な熟練を要することなく、導電性接触子３の交換を容易に行うことができる。
【００８０】
また、この実施の形態では、導電性接触子３を構成するコイルばね７１に対して、密着巻き部７１ａ及び密着テーパ部７１ｃを形成しているため、電気信号を確実に伝送することができ、信頼性のある電気検査を行うことができる。さらに、導電性接触子３をコイルばね７１の単体で構成しているため、針状体とコイルばねとを組み付ける必要がなく、このため安価な導電性接触子３とすることができる。
【００８１】
【発明の効果】
請求項１の発明によれば、平面内の一方向に本体ブロックと抜け止めブロックとを相対的に往復スライドさせることにより、導電性接触子の交換ができるため、ホルダを解体したり、再組み付けの際に位置合わせを行う必要がなくなり、高度な熟練を要することなく、導電性接触子の交換を簡単に行うことができる。また、これらの相対的なスライドでは、針状体を抜け止めブロックに概ね接触させた状態とすることができるため、導電性接触子の位置精度が向上し、確実な検査を行うことができる。
上記効果を有するのに加えて、導電性接触子の交換を簡単に行うことができる。
【００８３】
請求項２の発明によれば、請求項１の発明の効果を有するのに加えて、本体ブロックの片面だけでなく、両面からも導電性接触子の挿抜及び抜け止めを行うことができるため、導電性接触子交換の自由度が増大する。
【００８４】
請求項３の発明によれば、請求項１又は２の発明の効果を有するのに加えて、導電性接触子が本体ブロックから抜け落ちることがなくなるため、導電性接触子を確実に収容することができる。
【００８５】
請求項４の発明によれば、請求項１〜３の発明の効果を有するのに加えて、本体ブロック及び抜け止めブロックの相対的なスライドが案内されるため、スライドを安定して行うことができる。
【００８６】
請求項５及び６の発明によれば、請求項１〜３の発明の効果を有するのに加えて、導電性接触子として、種々の構造を用いることができ、しかも各種の導電性接触子の交換を簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１の断面図である。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は、ガイド部材の作用を示す図１におけるＡ−Ａ線端面図である。
【図３】導電性接触子の交換状態を示す断面図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、スライド量を説明する断面図である。
【図５】実施の形態２の断面図である。
【図６】実施の形態３の断面図である。
【図７】実施の形態４の断面図である。
【図８】実施の形態５の断面図である。
【図９】実施の形態６の断面図である。
【図１０】従来の導電性接触子の断面図である。
【符号の説明】
１，３０，４０，５０  プローブユニット
２  ホルダ
３  導電性接触子
４  本体ブロック
５  抜け止めブロック
９  案内孔
１２  第１の針状体
１３  第２の針状体
１４  コイルばね
１５  支持孔
１７  ガイド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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