(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被観察物に照明光を照射するため、観察光学系の光軸の軸外位置に設けられる光源と、
前記光源から出射される照明光を反射して被観察物に導くとともに、前記反射された照明光によって励起された前記被観察物から発せられる蛍光を透過して観察部に導く複数の導光手段とを備える落射蛍光顕微鏡において、
前記複数の導光手段のうち、前記被観察物の種類に応じていずれかを前記観察光学系の光軸の位置に位置決め可能に保持し、前記観察光学系の光軸とほぼ平行に延在する回動中心回りに回動可能で、前記回動中心を中心とする円弧に沿って前記複数の導光手段が放射状に装着されるターレット装置と、
前記光軸の位置に位置決めされている前記導光手段に入射する照明光のうち、反射されずに透過して進む透過光が反射されて前記導光手段に向かって逆行するのを抑止する光減衰手段とを有し、
前記ターレット装置の回動中心には、前記透過光を導き入れる開口部が形成された固定筒部が配設され、
前記光減衰手段は、前記固定筒部内に収容されていることを特徴とする落射蛍光顕微鏡。
【請求項２】
請求項１に記載の落射蛍光顕微鏡において、
前記透過光を反射して前記透過光の光路を折り曲げるように設けられる反射手段をさらに備えることを特徴とする落射蛍光顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２に記載の落射蛍光顕微鏡において、
前記光減衰手段は、前記照明光が前記導光手段で反射されずに透過して進む透過光の光路上に配設され、前記透過光の光量を減衰させる第１の光減衰手段と、
前記第１の光減衰手段で減衰された光の進む光路上において、前記減衰された光の光量をさらに減衰させるために一つまたは複数設けられる第２の光減衰手段とを備えることを特徴とする落射蛍光顕微鏡。
【請求項４】
被観察物に照明光を照射するため、観察光学系の光軸の軸外位置に設けられる光源と、
前記光源から出射される照明光を反射して被観察物に導くとともに、前記反射された照明光によって励起された前記被観察物から発せられる蛍光を透過して観察部に導く複数の導光手段とを備える落射蛍光顕微鏡において、
開口部が形成され、該開口部を介して入射された光を減衰する光減衰手段を収容する固定筒部と、
前記固定筒部の周りを回動可能に配設され、前記複数の導光手段をそれぞれ収容する複数の枠体とを備え、
前記複数の枠体の各々は、前記回動によって前記観察光学系の光軸上に位置し、
前記光減衰手段は、前記光源から出射され、前記光軸上に位置した枠体の導光手段を透過して前記開口部を介して前記固定筒部に入射した前記照明光を減衰することを特徴とする落射蛍光顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主に生物、医学分野で使用される顕微鏡に関し、たとえば、励起光で落射照明された被観察物から発せられる蛍光で被観察物を観察するために用いられる落射蛍光顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光色素を結合させた試薬で被観察物中の特定の組織を染色し、そこへ励起光を照射して試薬から発せられる蛍光により特定の組織を観察する蛍光顕微鏡法が知られている。蛍光顕微鏡法で用いられる落射蛍光顕微鏡の照明光学系は、光源と、励起フィルタと、ダイクロイックミラーと、吸収フィルタとで構成される。励起フィルタは、光源から発せられた光のうち、被観察物中の蛍光色素から蛍光を発するのに有効な波長成分の光（励起光）のみを透過するフィルタである。ダイクロイックミラーは、落射蛍光顕微鏡の対物光学系と接眼光学系とで構成される観察光学系の光軸に対して４５度の傾きを有して配置されており、励起光はこのダイクロイックミラーで反射されて被観察物へと導かれる。被観察物に導かれた励起光により、特定の組織中の染色物質が蛍光を発する。この蛍光の波長は励起光の波長に比して長く、上述したダイクロイックミラーはこの蛍光を透過する分光透過特性を有している。ダイクロイックミラーと接眼光学系との間の観察光学系の光路上には吸収フィルタが配置されており、被観察物等で反射されて接眼光学系に向かう余分な励起光成分が取り除かれる。
【０００３】
上述した落射蛍光顕微鏡によれば、特定の組織が暗黒の視野中で光を放って見えるので、明瞭な観察像を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した励起光の一部が接眼光学系に導かれてしまい、観察像のコントラストが低下する場合がある。たとえば、励起光の一部はダイクロイックミラーを透過して直進し、このダイクロイックミラーの後方の壁面で反射された後、ダイクロイックミラーの裏面で反射されて接眼光学系に導かれる。以下、本明細書中ではこのようにダイクロイックミラーで反射されずに透過し、接眼光学系に導かれる励起光を「迷光」と称する。
【０００５】
この迷光は、本来吸収フィルタで吸収されて接眼光学系に入射するのが抑制されるようになっている。ところが、この吸収フィルタの分光透過特性がいわゆる色素フィルタでなく、干渉膜の膜厚により設定されている干渉フィルタタイプのものでは、吸収フィルタの光入射面に対して斜めに入射する光に対しては所望の分光透過特性が得られない。上述した壁面で反射された励起光は、この壁面で乱反射されるので、吸収フィルタの入射面に入射する励起光は必ずしもこの入射面と直交する方向に進む訳ではない。この結果、一部の励起光は吸収フィルタを透過し、迷光となって接眼光学系に向かって進む。
【０００６】
染色物質から発する蛍光の光量は、励起光の光量を１としたときに１０−６〜１０−９程度と非常に微弱なものである。このため、上述したように接眼光学系に向かって進む迷光が観察像に及ぼす影響は無視できないものがある。
【０００７】
本発明の目的は、照明用の光が接眼光学系に入射して観察像のコントラストが低下するのを抑止可能な顕微鏡を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
（１）  請求項１に記載の発明は、被観察物に照明光を照射するため、観察光学系の光軸の軸外位置に設けられる光源と、前記光源から出射される照明光を反射して被観察物に導くとともに、前記反射された照明光によって励起された前記被観察物から発せられる蛍光を透過して観察部に導く複数の導光手段とを備える落射蛍光顕微鏡において、前記複数の導光手段のうち、前記被観察物の種類に応じていずれかを前記観察光学系の光軸の位置に位置決め可能に保持し、前記観察光学系の光軸とほぼ平行に延在する回動中心回りに回動可能で、前記回動中心を中心とする円弧に沿って前記複数の導光手段が放射状に装着されるターレット装置と、前記光軸の位置に位置決めされている前記導光手段に入射する照明光のうち、反射されずに透過して進む透過光が反射されて前記導光手段に向かって逆行するのを抑止する光減衰手段とを有し、前記ターレット装置の回動中心には、前記透過光を導き入れる開口部が形成された固定筒部が配設され、前記光減衰手段は、前記固定筒部内に収容されていることを特徴とする。
（２）  請求項４に記載の発明は、被観察物に照明光を照射するため、観察光学系の光軸の軸外位置に設けられる光源と、前記光源から出射される照明光を反射して被観察物に導くとともに、前記反射された照明光によって励起された前記被観察物から発せられる蛍光を透過して観察部に導く複数の導光手段とを備える落射蛍光顕微鏡において、開口部が形成され、該開口部を介して入射された光を減衰する光減衰手段を収容する固定筒部と、前記固定筒部の周りを回動可能に配設され、前記複数の導光手段をそれぞれ収容する複数の枠体とを備え、前記複数の枠体の各々は、前記回動によって前記観察光学系の光軸上に位置し、前記光減衰手段は、前記光源から出射され、前記光軸上に位置した枠体の導光手段を透過して前記開口部を介して前記固定筒部に入射した前記照明光を減衰することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
−  第１の実施の形態  −
図１は、本発明の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡の概略的構成を示す図である。この落射蛍光顕微鏡は、光源ユニット１２から発せられる光を蛍光フィルタ装置２０で励起光に変換してステージ２に載置される試料Ｓを落射照明し、対物レンズ４および接眼レンズ１０によって試料Ｓの拡大像を得るものである。
【００１１】
光源ユニット１２には超高圧水銀ランプ１４が組み込まれており、この超高圧水銀ランプ１４から発せられた光は不図示の集光光学系を経て平行光とされた後、光路Ｐに沿って進む。
【００１２】
レボルバ２４は回転軸Ｓを中心として回動可能に落射蛍光顕微鏡本体に取り付けられており、このレボルバ２４に複数のフィルタカセット（図１ではフィルタカセット２２Ａ、２２Ｃが図示されている）が着脱自在に取り付けられている。顕微鏡の観察者がレボルバ２４を回転操作することにより、いずれかのフィルタカセットを観察光学系の光軸ＡＸの位置に位置決めすることができる。図１においてはフィルタカセット２２Ａが光軸ＡＸの位置に位置決めされている様子が示されている。
【００１３】
図２は、図１の断面II−IIを部分的に示し、４つのフィルタカセット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄが９０度間隔で放射状に配列されている様子を示している。また、図３は、図２の断面III−IIIを示している。
【００１４】
ここで蛍光フィルタ装置２０の詳細について説明する。蛍光フィルタ装置２０は、図１に示されるように接眼レンズ１０と対物レンズ４との間に配置されており、励起光を対物レンズ４に向けて導く。図３に示されるように、固定板２７は筒部２５とともに本体３０に固定されている。円盤状のレボルバ２４は、ベアリングユニット３２を介して図１に示す回転軸Ｓ回りに回転自在に固定板２７に保持されている。ベアリングユニット３２のボールは、固定板２７およびレボルバ２４と直接接触した状態では転動しない。これについて説明すると、固定板２７の外周およびレボルバ２４の内周にそれぞれ設けられた矩形断面を有する円周溝の隅部に沿って合計４本の円環状のピアノ線が配置されており、これがボール転動用のレールとなる。したがって、固定板２７、レボルバ２４は被削性に優れて錆びにくいアルミや真鍮等を材料とすることができ、また熱処理等も不要となる。レボルバ２４の下面には４組のスロット２４ｓが９０度間隔で放射状に形成されており、それぞれのスロットにフィルタカセット２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄが着脱自在に装着されている。
【００１５】
フィルタカセット２２Ａについて説明する。立方体に近い外形形状を有するフィルタ枠２８Ａは中空の構造を有しており、そのうちの４面に開口部が設けられている。この開口部は、光源ユニット１２の光路Ｐおよび光路Ｐの延長線と交わる２面と、観察光学系の光軸ＡＸと交わる２面とに設けられている。
【００１６】
開口部２８Ａａには超高圧水銀ランプ１４から発せられる光のうち、励起光成分のみを後方に透過する励起フィルタ２６Ａが装着され、押さえ環２７Ａで固定されている。励起フィルタ２６Ａと対向する面に設けられる開口部２８Ａｂは素通しとなっている。図３の上側の面に設けられる開口部２８Ａｃには、接眼レンズ１０やカメラ８等に本来導かれるべきではない成分の光を吸収するための吸収フィルタ２３Ａが装着され、押さえ環２４Ａで固定されている。吸収フィルタ２３Ａと対向する面に設けられる開口部２８Ａｄは素通しとなっている。フィルタ枠２８Ａの内部には光軸ＡＸおよび光路Ｐのそれぞれに対して４５度の傾きを有するようにダイクロイックミラー２５Ａが設けられている。
【００１７】
他のフィルタカセット２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄについても、フィルタカセット２２Ａと同様の構造を有しており、レボルバ２４を操作することによっていずれかのフィルタカセットを図３におけるフィルタカセット２２Ａの存在位置に移動させることが可能である。これらのフィルタカセット２２Ａ〜２２Ｄでは、励起フィルタ２６Ａ〜２６Ｄ、吸収フィルタ２３Ａ〜２３Ｄ、およびダイクロイックミラー２５Ａ〜２５Ｄの分光特性が互いに異なるものとなっている。たとえば細胞組織内のミトコンドリアやゴルジ体等、異なる部位を異なる蛍光色素で染色し、上述のように分光特性の互いに異なる複数のフィルタカセットを切り換えながら観察することで、所望の部位のみを観察することが可能となる。
【００１８】
レボルバ２４の回転中心近傍に設けられている筒部２５について説明する。筒部２５には開口部２５ａが設けられている。この開口部２５ａは、使用の対象となっているフィルタカセット（図３においてはフィルタカセット２２Ａ）のダイクロイックミラー２５Ａをはさんで光源ユニット１２と対向する位置にある開口２８Ａｂと連通するように設けられている。筒部２５の下部には、ダイクロイックミラー２５Ａを透過して進む光ＬＳの一部を吸収するとともに、残りを反射して図３に示す光路Ｑに沿って進むように導く第１吸光部材２９Ａが設けられている。この第１吸光部材２９Ａの材料としては、例えば色ガラスによるＮＤフィルタを用いることができる。ＮＤフィルタの有する高い吸光特性により、入射する光の大半を第１吸光部材２９Ａで吸収することができる。この第１吸光部材２９Ａでの光吸収特性をさらに高めるためには、表面に反射防止膜を形成することが効果的である。加えて、第１吸光部材２９Ａの光入射面は、ダイクロイックミラー２５Ａを透過して進む光ＬＳの光路に対して傾斜していることにより、第１吸光部材２９Ａで吸収されずに反射された光がダイクロイックミラー２５Ａに向かって逆行することがない。
【００１９】
上述のようにダイクロイックミラー２５Ａを透過して進む光ＬＳの光路に対して傾斜して設けられている第１吸光部材２９Ａで反射された光が進む光路Ｑ上には、第２吸光部材２９Ｂが設けられている。第２吸光部材２９Ｂとしては、ベルベットや植毛紙を用いることができる。あるいはこれらの部材を用いずに、筒部２５に直接遮光線を切り、艶消し塗装をするものであってもよい。
【００２０】
第１吸光部材２９Ａで反射された光はもともと減衰されているのに加え、第２吸光部材２９Ｂでさらに減衰される。第２吸光部材２９Ｂで反射された僅かな量の光は光路Ｑを逆行し、第１吸光部材２９Ａで反射される際にさらに減衰される。このため、開口部２８Ａｂに向けて逆行する光の量はごく僅かとなる。
【００２１】
ここでフィルタカセットに組み込まれるダイクロイックミラーおよび吸収フィルタの分光特性を示す図である図４を参照し、何故ダイクロイックミラー２５Ａを上述したように光が透過するのかについて説明する。図４では横軸に波長をとり、縦軸に透過率をとってグラフが示されている。ここでは、図４に示される分光特性がフィルタカセット２２Ａに組み込まれるダイクロイックミラー２５Ａおよび吸収フィルタ２３Ａのものであるとして説明をする。
【００２２】
図４において二点鎖線ＴＤでダイクロイックミラー２５Ａの分光特性が、破線ＴＡで吸収フィルタ２３Ａの分光特性がそれぞれ示されている。このグラフ中にはまた、励起光ＴＥおよび蛍光ＦＬの波長分布（波長帯域）も示されている。
【００２３】
ダイクロイックミラー２５Ａの分光特性は、長波長側で透過率が増し、短波長側で透過率が低下、すなわち反射率が増す特性を有している。しかし、図４に示されるように励起光ＬＥの波長帯域においてダイクロイックミラー２５Ａの分光透過率はゼロではない。これが原因で励起光ＬＥ中の一部の光ＬＳはダイクロイックミラー２５Ａを透過する。一方、励起光ＬＥのうちダイクロイックミラー２５Ａで反射された成分の光は対物レンズ４を経て試料Ｓに導かれる。
【００２４】
この励起光によって試料Ｓ中の蛍光色素から蛍光ＬＦが発せられ、対物レンズ４中を図３の上方に向かって進む。この蛍光ＬＦの有する波長帯域においてダイクロイックミラー２５Ａおよび吸収フィルタ２３Ａは十分に高い透過特性を有している。このため、蛍光ＬＦはダイクロイックミラー２５Ａおよび吸収フィルタ２３Ａを透過し、図１に示される接眼レンズ１０またはカメラ８に導かれる。このように、蛍光ＬＦの波長分布は励起光ＬＥの波長分布よりも長波長側にシフトする特性を有していることを利用してダイクロイックミラー２５Ａにより励起光ＬＥおよび蛍光ＬＦが所望の方向に導かれる。
【００２５】
ここで、フィルタ枠２８Ａに開口部２８Ａｂがなく、壁面がある場合について考える。ダイクロイックミラー２５Ａで反射されずに透過した光ＬＳが上述した壁面で反射されてダイクロイックミラー２５Ａに向けて逆行すると、この光ＬＳはダイクロイックミラー２５Ａの裏面で反射され、図３の上方に向けて進む。この光ＬＳは、図４に示すような分光特性を有する吸収フィルタ２３Ａによって吸収される筈である。しかし、上述した壁面で反射された光ＬＳは乱反射されて平行光束ではなくなり、吸収フィルタ２３Ａの入射面に対して傾いた（直交していない）状態で入射する。ところで、吸収フィルタ２３Ａは薄膜の厚みによって分光特性が制御される干渉フィルタである。したがって、上述のように吸収フィルタ２３Ａを斜めに透過する光は薄膜中を斜めに透過することになり、膜厚が厚くなったのと同じ状態となる。すると、吸収フィルタ２３Ａを斜めに透過しようとする光に対しては分光特性が変化し、うまく吸収されずに吸収フィルタ２３Ａを透過してしまう。この光が迷光となってフレア成分となり、観察像のコントラストを低下させる。
【００２６】
この点、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡によれば、フィルタ枠２８Ａの後方、すなわちダイクロイックミラー２５Ａを挟んで光源ユニット１２と対向する面に開口部２８Ａｂが設けられているので、上述した迷光の光量を大幅に減じることができ、観察像のコントラストが低下するのを抑制することができる。
【００２７】
加えて、開口部２８Ａｂの後方に設けられる第１吸光部材２９Ａにより、迷光の光量を大幅に減じることができるのに加え、第１吸光部材２９Ａで吸収しきれなかった光は第２吸光部材２９Ｂに向けて反射され、この第２吸光部材２９Ｂでさらに吸収される。さらに、第２吸光部材２９Ｂで吸収されずに反射され、第１吸光部材２９Ａに向かう光は再度第１吸光部材２９Ａで吸収されるので迷光の光量がさらに減じられる。
【００２８】
以上に説明した蛍光フィルタ装置２０は、対物レンズ４とは別体に設けられているため、対物レンズ４の倍率を変更することが容易であり、複数の対物レンズをレボルバに装着し、観察者がこのレボルバを回転させることで容易に倍率を変更することができる。また、対物レンズ４の倍率に応じて試料Ｓ上の照明範囲も変化するので、高倍率時にも十分な光量の光を試料Ｓに導くことが可能となる。
したがって、常に明瞭な観察像を得ることができる。
【００２９】
また、複数のフィルタカセット２２Ａ〜２２Ｄのうち、選択された何れかのフィルタカセット内のダイクロイックミラーを透過した光は第１吸光部材２９Ａおよび第２吸光部材２９Ｂに導かれる。すなわち、筒部２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂは複数のフィルタカセット２２Ａ〜２２Ｄのいずれかを用いる場合においても共用されるので蛍光フィルタ装置２０が大型化するのを抑止することができる。さらに、レボルバ２４の回転中心近傍に筒部２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂを設けるようにしたので、デッドスペースを有効に活用して蛍光フィルタ装置２０が大型化するのを抑止でき、ひいては落射蛍光顕微鏡全体の大型化を抑止できる。
【００３０】
−  第２の実施の形態  −
図５は、本発明の第２の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置１２０の構成を説明する図であり、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡の蛍光フィルタ装置２０を示す図３と同様の断面を示している。図５に示す蛍光フィルタ装置１２０において、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０（図３）のものと同じ構成要素には同じ符号を付してその説明を省略し、第１の実施の形態との差異を中心に説明する。
【００３１】
第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０（図３）では、レボルバ２４がその外周近傍に配置されるベアリングユニット３０を介して固定板２７により支持されている。これに対し、第２の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置１２０では、図５に示されるようにレボルバ１２４Ａ、１２４Ｂがその回転中心近傍に配置されるベアリングユニット１３２Ａ、１３２Ｂを介し、それぞれ図１に示す回転軸Ｓ回りに回転自在に筒部１２５および本体３０Ａで支持されている。この点についてさらに詳しく説明すると、筒部１２５は本体１３０に固定されており、レボルバ１２４Ａはベアリングユニット１３２Ａを介してこの筒部１２５で回転自在に支持されている。一方、レボルバ１２４Ｂはベアリングユニット１３２Ｂを介して本体１３０の下部で回転自在に支持されている。これらのレボルバ１２４Ａおよび１２４Ｂは、回転軸Ｓ（図１）まわりに一体に回転する。
【００３２】
四つのフィルタカセット１２２Ａ、１２２Ｂ、１２２Ｃ、１２２Ｄ（図５においてはフィルタカセット１２２Ａ、１２２Ｃのみが図示されている）は、レボルバ１２４Ａとレボルバ１２４Ｂとの間の空間に９０度間隔で放射状に装着されている。観察者がレボルバ１２４Ａを操作することにより、いずれかのフィルタカセットを観察光学系の光軸ＡＸ中に位置させることができる。
【００３３】
上述した四つのフィルタカセット１２２Ａ〜１２２Ｄのうち、フィルタカセット１２２Ａを例にとって説明する。フィルタカセット１２２Ａを構成する立方体状のフィルタ枠１２８Ａには、図５の紙面に直交する四つの面に、第１の実施の形態で説明したのと同様に四つの開口部１２８Ａａ、１２８Ａｂ、１２８Ａｃ、１２８Ａｄが設けられている。開口部１２８Ａａには励起フィルタ２６Ａが装着され、押さえ環２７Ａで固定されている。開口部１２８Ａｃには吸収フィルタ２３Ａが装着され、押さえ環２４Ａで固定されている。フィルタ枠１２８Ａの内部には、光源ユニット１２から出射される照明光の光路Ｐに対して４５度傾斜させた状態でダイクロイックミラー２５Ａが組み込まれており、励起光ＬＥはダイクロイックミラー２５Ａで反射されて開口部１２８Ａｄを通って対物レンズ４に向かって進む。
【００３４】
筒部１２５には、励起光ＬＥのうち、ダイクロイックミラー２５Ａで反射されずに透過し、開口部１２８Ａｂを抜けて進む光ＬＳを筒部１２５内に導き入れる開口１２５ａが設けられている。この開口１２５ａの奥には、第１吸光部材２９Ａがその入射面を光ＬＳの光路に対して４５度傾けた状態で固定されている。光ＬＳの大半は第１吸光部材２９Ａで吸収され、残りは反射されて光路Ｑに沿って進み、筒部１２５に接着固定されている第２吸光部材２９Ｂに入射する。このようにして、観察像のコントラストを低下させる原因となる光ＬＳは第１吸光部材２９Ａおよび第２吸光部材２９Ｂで吸収され、減衰される。
【００３５】
以上に説明した蛍光フィルタ装置１２０も、第１の実施の形態で説明したのと同様に対物レンズ４とは別体に設けられているため、対物レンズ４の倍率を変更することが容易であり、複数の対物レンズをレボルバに装着し、観察者がこのレボルバを回転させることで容易に倍率を変更することができる。また、対物レンズ４の倍率に応じて試料Ｓ上の照明範囲も変化するので、高倍率時にも十分な光量の光を試料Ｓに導くことが可能となり、常に明瞭な観察像を得ることができる。
【００３６】
また、複数のフィルタカセット１２２Ａ〜１２２Ｄのうち、選択された何れかのフィルタカセット内のダイクロイックミラーを透過した光は第１吸光部材２９Ａおよび第２吸光部材２９Ｂに導かれる点も第１の実施の形態で説明したのと同様である。すなわち、筒部１２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂは複数のフィルタカセット１２２Ａ〜１２２Ｄのいずれかを用いる場合においても共用されるので蛍光フィルタ装置１２０が大型化するのを抑止することができる。さらに、レボルバ１２４Ａ、１２４Ｂの回転中心近傍に筒部１２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂを設けるようにしたので、デッドスペースを有効に活用して蛍光フィルタ装置１２０が大型化するのを抑止でき、ひいては落射蛍光顕微鏡全体の大型化を抑止できる。
【００３７】
−  第３の実施の形態  −
図６は、本発明の第３の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２２０の構成を説明する図であり、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡の蛍光フィルタ装置２０を示す図３と同様の断面を示している。図６に示される蛍光フィルタ装置２２０において、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０（図３）のものと同じ構成要素には同じ符号を付してその説明を省略し、第１および第２の実施の形態のものとの差異を中心に説明する。
【００３８】
第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０（図３）では、本体３０に固定される固定板２７にベアリングユニット３２を介していわば吊られた状態で取り付けられている。これに対し、図６に示す蛍光フィルタ装置２２０では本体２３０の内側下面に固定板２７Ａが固定され、これにレボルバ２２４が覆い被さるように組み付けられている。このレボルバ２２４は、ベアリングユニット３２を介して図１に示す回転軸Ｓ回りに回転自在に支持されている。レボルバ２２４には４組のスロット２２４ｓが９０度間隔で放射状に設けられており、これらのスロット２２４ｓにフィルタカセット２２２Ａ、２２２Ｂ、２２２Ｃ、２２２Ｄ（図６においてはフィルタカセット２２２Ａ、２２２Ｃのみが図示されている）が取り付けられている。そして、観察者がレボルバ２２４を操作することにより、いずれかのフィルタカセットを観察光学系の光軸ＡＸ中に位置させることができる。
【００３９】
上述した四つのフィルタカセット２２２Ａ〜２２２Ｄのうち、フィルタカセット２２２Ａを例にとって説明する。フィルタカセット２２２Ａを構成する立方体状のフィルタ枠２２８Ａには、図６の紙面に直交する四つの面に、第１の実施の形態で説明したのと同様に四つの開口部２２８Ａａ、２２８Ａｂ、２２８Ａｃ、２２８Ａｄが設けられている。開口部２２８Ａａには励起フィルタ２６Ａが装着され、押さえ環２７Ａで固定されている。開口部２２８Ａｃには吸収フィルタ２３Ａが装着され、押さえ環２４Ａで固定されている。フィルタ枠２２８Ａの内部には、光源ユニット１２から出射される照明光の光路Ｐに対して４５度傾斜させた状態でダイクロイックミラー２５Ａが組み込まれており、励起光ＬＥはダイクロイックミラー２５Ａで反射されて開口部２２８Ａｄを通って対物レンズ４に向かって進む。
【００４０】
筒部２２５は、固定板２７Ａとともに本体２３０に固定されている。この筒部２２５には、励起光ＬＥのうち、ダイクロイックミラー２５Ａで反射されずに透過し、開口部２２８Ａｂを抜けて進む光ＬＳを筒部２２５内に導き入れる開口２２５ａが設けられている。この開口２２５ａの奥には、第１吸光部材２９Ａがその入射面を光ＬＳの光路に対して４５度傾けた状態で固定されている。また、本体２３０の下部には開口部２３０ａが設けられている。この開口部２３０ａを経て筒部２２５の内部と連通する状態で箱４０が本体２３０の下部に光密に固定され、この箱４０の開口部分に第２吸光部材２９Ｂが固定されて暗箱が形成される。
【００４１】
ダイクロイックミラー２５Ａを透過する光ＬＳの大半は第１吸光部材２９Ａで吸収され、残りは図６の下方に向かって反射されて光路Ｑに沿って進み、第２吸光部材２９Ｂに入射する。この第２吸光部材２９Ｂも第１吸光部材２９Ａと同様、例えば色ガラスによるＮＤフィルタを用いることができる。ただし、第２吸光部材２９Ｂの外から入射する光を絶つため、第２吸光部材２９Ｂの外側（反射面と対向する面）は遮光性の材料で覆うことが望ましい。この第２吸光部材２９Ｂでの光吸収特性をさらに高めるために、表面に反射防止膜を形成することが効果的なのは第１吸光部材２９Ａと同様である。
【００４２】
第２吸光部材２９Ｂで吸収されずに反射された光は光路Ｒに沿って進む。この光路Ｒと交わる位置には第３吸光部材２９Ｃが固定されている。第３吸光部材２９Ｃとしては、ベルベットや植毛紙を用いることができる。あるいはこれらの部材を用いずに、箱４０内の光路Ｒと交わる壁面に直接遮光線を切り、艶消し塗装をするものであってもよい。
【００４３】
以上のような構成により、第３の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡においても、観察像のコントラストを低下させる原因となる光ＬＳは第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂおよび第３吸光部材２９Ｃで吸収され、減衰される。
【００４４】
以上に説明した蛍光フィルタ装置２２０も、第１あるいは第２の実施の形態で説明したのと同様に対物レンズ４とは別体に設けられているため、対物レンズ４の倍率を変更することが容易であり、複数の対物レンズをレボルバに装着し、観察者がこのレボルバを回転させることで容易に倍率を変更することができる。また、対物レンズ４の倍率に応じて試料Ｓ上の照明範囲も変化するので、高倍率時にも十分な光量の光を試料Ｓに導くことが可能となり、常に明瞭な観察像を得ることができる。
【００４５】
また、上述した複数のフィルタカセット２２２Ａ〜２２２Ｄのうち、選択された何れかのフィルタカセット内のダイクロイックミラーを透過した光は第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂおよび第３吸光部材２９Ｃに導かれる。すなわち、筒部２２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂ、第３吸光部材２９Ｃおよび箱４０は複数のフィルタカセット２２２Ａ〜２２２Ｄのいずれかを用いる場合においても共用されるので蛍光フィルタ装置２２０が大型化するのを抑止することができる。さらに、レボルバ２２４の回転中心近傍に筒部２２５、第１吸光部材２９Ａを設けるようにしたので、デッドスペースを有効に活用して蛍光フィルタ装置２２０が大型化するのを抑止でき、ひいては落射蛍光顕微鏡全体の大型化を抑止できる。
【００４６】
−  第４の実施の形態  −
図７は、本発明の第４の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置３２０の構成を説明する図であり、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡の蛍光フィルタ装置２０を示す図３と同様の断面を示している。図８は、図７の断面VIII−VIIIを示す図である。図７および図８に示す蛍光フィルタ装置３２０において、第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０（図３）のものと同じ構成要素には同じ符号を付してその説明を省略し、第１〜第３の実施の形態のものとの差異を中心に説明する。
【００４７】
第１〜第３の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置２０では、観察者がレボルバを回転操作することにより、複数取り付けられるフィルタカセットのうちの何れかを観察光学系の光軸ＡＸ中に位置させるものであった。これに対し、第４の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置３２０は、図７の紙面に直交する方向（図８の矢印Ａに沿う方向）に直動する切換枠４２に複数のフィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂが取り付けられている。観察者は、この切換枠４２を紙面に直交する方向に沿って切換操作することにより、いずれかのフィルタカセットを光軸ＡＸ中に位置させることができる。図７および図８においては、フィルタカセット３２２Ａが光軸ＡＸ中に位置する様子が示されている。
【００４８】
図７に示されるように、本体３３０の内面上部には２本のレール部材４４Ａおよび４４Ｂが図７の紙面に直交する方向に延在するように取り付けられている。レール部材４４Ａ、４４Ｂには、矩形断面形状を有する溝がこれらのレール部材４４Ａ、４４Ｂの延在方向に沿って形成されており、溝の隅部に沿うようにピアノ線が固定されている。
【００４９】
切換枠４２は図７に示す断面形状を有しており、レール部材４４Ａ、４４Ｂと同様に図７の紙面に直交する方向に延在している。切換枠４２には、レール部材４４Ａ、４４Ｂに設けられている溝と対向するように延在して矩形断面形状を有する二本の溝が形成されており、溝の隅部に沿うようにピアノ線が固定されている。
【００５０】
レール部材４４Ａに設けられる溝と、この溝に対向するように切換枠４２に設けられた溝とによって形成される矩形断面の空間およびレール部材４４Ａに設けられる溝と、この溝に対向するように切換枠４２に設けられた溝とによって形成される矩形断面の空間にはそれぞれ直動式のベアリングユニット３３２が組み込まれる。つまり、切換枠４２はベアリングユニット３３２を介して図７の紙面直角方向に移動自在にレール部材４４Ａ、４４Ｂに懸垂支持される。このとき、ベアリングユニット３３２のボールは上述したピアノ線で形成されるレール上を転動する。このため、レール部材４４Ａ、４４Ｂそして切換枠４２は上述したボールと直接接触することがないので、アルミや真鍮等の比較的柔らかく、加工の容易な材料を用いることができる。また、レール部材４４Ａ、４４Ｂや切換枠４２を炭素鋼等で製作する場合にも、ボール転動面の硬度を高めるための熱処理を省くことができる。
【００５１】
切換枠４２の下面にはあり溝４２ａが図７の紙面に直交する方向に延在するように設けられており、フィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂの上部にはこのあり溝に係合する形状の部分が形成されている。これにより、切換枠４２に対してフィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂを図７の紙面に直交する方向にスライドさせて装着することができる。
【００５２】
上述した二つのフィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂのうち、フィルタカセット３２２Ａを例にとって説明する。フィルタカセット３２２Ａを構成する立方体状のフィルタ枠３２８Ａには、図７の紙面に直交する四つの面に、第１の実施の形態で説明したのと同様に四つの開口部３２８Ａａ、３２８Ａｂ、３２８Ａｃ、３２８Ａｄが設けられている。開口部３２８Ａａには励起フィルタ２６Ａが装着され、押さえ環２７Ａで固定されている。開口部３２８Ａｃには吸収フィルタ２３Ａが観察光学系ＡＸに対して所定の傾きを有する状態で固定されている。フィルタ枠３２８Ａの内部には、光源ユニット１２から出射される照明光の光路Ｐに対して４５度傾斜させた状態でダイクロイックミラー２５Ａが組み込まれており、励起光ＬＥはダイクロイックミラー２５Ａで反射されて開口部３２８Ａｄを通って対物レンズ４に向かって進む。
【００５３】
筒部３２５は、図８に示されるように光路Ｐの延長線上に位置するように本体３３０に固定されている。筒部３２５には、励起光ＬＥのうち、ダイクロイックミラー２５Ａで反射されずに透過し、開口部３２８Ａｂを抜けて進む光ＬＳを筒部３２５内に導き入れる開口３２５ａが設けられている。この開口３２５ａの奥には、第１吸光部材２９Ａがその入射面を光ＬＳの光路に対して４５度傾けた状態で固定されている。光ＬＳの大半は第１吸光部材２９Ａで吸収され、残りは反射されて光路Ｑに沿って進み、筒部３２５に接着固定されている第２吸光部材２９Ｂに入射する。このようにして、観察像のコントラストを低下させる原因となる光ＬＳは第１吸光部材２９Ａおよび第２吸光部材２９Ｂで吸収され、減衰される。
【００５４】
以上に説明した蛍光フィルタ装置３２０も、第１〜第３の実施の形態で説明したのと同様に対物レンズ４とは別体に設けられているため、対物レンズ４の倍率を変更することが容易である。つまり、複数の対物レンズをレボルバに装着し、観察者がこのレボルバを回転させることで容易に倍率を変更することができる。また、対物レンズ４の倍率に応じて試料Ｓ上の照明範囲も変化するので、高倍率時にも十分な光量の光を試料Ｓに導くことが可能となり、常に明瞭な観察像を得ることができる。
【００５５】
また、第４の実施の形態においても、複数のフィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂのうち、選択された何れかのフィルタカセット内のダイクロイックミラーを透過した光は第１吸光部材２９Ａおよび第２吸光部材２９Ｂに導かれる。すなわち、筒部３２５、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂは複数のフィルタカセット３２２Ａ、３２２Ｂのいずれかを用いる場合においても共用されるので蛍光フィルタ装置３２０が大型化するのを抑止することができ、製造コストの上昇も抑制することができる。
【００５６】
以上の第１〜第４の実施の形態では、いわゆるシングルバンドフィルタが用いられる例について説明したが、近年は二つまたは三つの波長帯域を有する励起光を試料に照射する、マルチバンドフィルタが使用されるようになってきている。マルチバンドフィルタは、多重染色された染色体を観察するのに適した観察法であるＦＩＳＨ（Fluorescence in situ Hybridization）法に用いられることが多い。ＦＩＳＨ法では観察像のコントラスト（明暗比）が一般的な蛍光観察法による観察像のそれよりも高いことが求められる。その一方で、マルチバンドフィルタを用いるものでは、観察像のコントラスト低下がシングルバンドフィルタを用いるものに比べて顕著になりやすい。ここで図９を参照し、マルチバンドフィルタを用いるもので観察像のコントラスト低下が顕著になりやすい理由について説明する。
【００５７】
図９は、フィルタカセットに組み込まれるマルチバンドのダイクロイックミラーおよび吸収フィルタの分光特性を図４と同様にして示す図である。図９においても、横軸には波長をとり、縦軸には透過率をとってグラフが示されている。
【００５８】
図９において、二点鎖線ＴＤ１でダイクロイックミラーの分光特性が、破線ＴＡ１、ＴＡ２、ＴＡ３で吸収フィルタの分光特性がそれぞれ示されている。図９のグラフ中で、ＴＥ１１、ＴＥ１２、ＴＥ１３、ＴＥ２、ＴＥ３は励起光の波長帯域を示している。これらの励起光のうち、ダイクロイックミラーで反射されずに透過する成分の光ＬＳ１１、ＬＳ１２、ＬＳ１３、ＬＳ２、ＬＳ３が図９中でクロスハッチされて示されている。このように、ダイクロイックミラーで反射しきれず、ダイクロイックミラーを透過して進む光の量が増すことにより、従来は観察像のコントラスト低下を免れなかった。この点、本発明に係る落射蛍光顕微鏡によればダイクロイックミラーを透過する成分の光ＬＳ１１、ＬＳ１２、ＬＳ１３、ＬＳ２、ＬＳ３が吸収され、ダイクロイックミラーに向けて逆行する光の量が大幅に減じられる。したがって、観察像のコントラスト低下を抑制することができる。
【００５９】
以上に説明した第１〜第３の実施の形態において、ダイクロイックミラー２５Ａで反射されずに透過して進む光ＬＳの光路に対して第１吸光部材２９Ａの入射面が４５度傾斜して設けられる例について説明したが、この傾斜角度（入射角）は４５度に限定されるものではなく、光ＬＳを導きたい方向に応じて傾斜角度を変えればよい。
【００６０】
また、図２などに示される第２吸光部材２９Ｂとしては、上述したベルベットや植毛紙、あるいは筒部２５に直接遮光線を切り、艶消し塗装をするもの等の他に、針山を用いるものであってもよい。また、ダイクロイックミラーを透過した光ＬＳの光路の周囲を囲う壁面に遮光線を切って艶消し塗料を塗布するか、あるいは植毛紙等を貼り付けることも光ＬＳの減衰のためには有効である。
【００６１】
以上の実施の形態では、ダイクロイックミラーを透過した光ＬＳを吸収するための吸光部材が二つまたは三つ設けられるものについて説明したが、吸光部材の数、光ＬＳの光路に対する傾斜角度、吸光部材の種類（材質）やその組み合わせ等については以上に説明した以外のものであってもよい。
【００６２】
また、以上の実施の形態では複数のフィルタカセットがターレット等の切換部に着脱（交換）可能に取り付けられる例について説明したが、フィルタカセットが一つだけ装着されるものであっても、複数のフィルタカセットが固定されるものであってもよい。また、これらのフィルタカセットが切換部と一体に形成されるものであってもよい。加えて、フィルタカセットを複数有する場合において、それぞれのフィルタカセットに上述した吸光部材が設けられるものであってもよい。さらに、蛍光フィルタ装置の取り付け位置は以上で説明した場所に限定されるものではない。
【００６３】
以上では、落射蛍光顕微鏡に本発明を適用する例について説明したが、通常の光を試料に導く反射照明顕微鏡に本発明を適用することができる。すなわち、反射照明顕微鏡では以上に説明した落射蛍光顕微鏡においてダイクロイックミラーに代えてハーフミラーが配置され、励起フィルタおよび吸収フィルタは用いられない。この場合、光源ユニットから出射される光のうち、約半分の光量の光がハーフミラーで反射されて試料に向けて導かれ、残りの光量の光はハーフミラーを透過して観察像のコントラストを低下させる要因の光となる。この透過光を上述したように減衰することにより、金属標本や半導体チップ製造用のウエハ等の観察像を明瞭にすることが可能となる。また、以上に説明した顕微鏡以外に倒立型の顕微鏡、コンフォーカル顕微鏡等、さまざまな形式の顕微鏡に本発明を適用することができる。
【００６４】
図１０はその一例を概略的に示す図である。図１０に示す顕微鏡は、被観察物に照明光を照射する光源５０１と、光源５０１から出射される照明光を照射して被観察物Ｓを照明するように導くとともに、被観察物Ｓから観察部５０２に導く導光手段（たとえばハーフミラー）５０３とを備える。そして、導光手段５０３の光路に対して傾斜した面を有する部材５０４を観察光路外にさらに有する。導光手段５０３は、被観察物Ｓを照射する対物レンズ群５０５に照明光を導くとともに、照明光の一部を対物レンズ群５０５以外の場所に導き迷光を発生し、迷光は、対物レンズ群５０５に入射する前段で、傾斜面５０５ａを有する部材５０５により排除される。
【００６５】
以上の発明の実施の形態と請求項との対応において、光源ユニット１２が光源を、ダイクロイックミラー２５Ａ〜２５Ｄが導光手段を、対物レンズ４が対物レンズ群を、試料Ｓが被観察物を、第１吸光部材２９Ａが傾斜した面を有する部材を、フィルタ枠２８Ａ〜２８Ｄ、１２８Ａ〜１２８Ｄ、２２８Ａ〜２２８Ｄ、３２８Ａ、３２８Ｄが枠体を、第１吸光部材２９Ａ、第２吸光部材２９Ｂが光減衰手段を、第１吸光部材２９Ａが反射手段を、第１吸光部材２９Ａが第１の光減衰手段を、第２吸光部材２９Ｂおよび第３吸光部材２９Ｃが第２の光減衰手段を、ターレット２４、１２４Ａおよび１２４Ｂ、２２４、切換枠４２が切換保持装置を、回転軸Ｓが回動中心をそれぞれ構成する。
【００６６】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば以下の効果を奏する。
（１）  請求項１に記載の発明によれば、光源から出射される照明光を対物レンズ群に入射するように導く導光手段を透過して進む透過光の光路上において、この光路に対して傾斜した面を有する部材が配置されることにより、透過光はこの部材で光路を折り曲げられる。このため、透過光が導光手段に向かって逆行するのを抑止して落射蛍光顕微鏡の観察像のコントラスト低下を抑止することができる。
（２）  請求項２に記載の発明によれば、光源から出射される照明光を対物レンズ群に入射するように導く導光手段を保持する枠体において、導光手段を透過して進む透過光の光路と交わる部分に存する壁面に開口部が設けられることにより、この壁面で透過光が反射されて導光手段に向かって逆行するのを抑止することができる。
（３）  請求項３に記載の発明によれば、上記開口部の後方において、透過光が反射されて導光手段に向かって進むのを抑止するように設けられる光減衰手段をさらに備えることにより、導光手段に向かって逆行する透過光の量をさらに減じることが可能となり、観察像のコントラストをさらに高めることが可能となる。
（４）  請求項４に記載の発明によれば、上記開口部の後方において、透過光を反射してこの透過光の光路を折り曲げることにより、導光手段に向かって逆行するのを抑止することができる。
（５）  請求項５に記載の発明によれば、導光手段で反射されずに透過して進む透過光の光路上に配設される第１の光減衰手段により透過光の光量を減衰させ、減衰された光を第２の光減衰手段でさらに減衰させることにより、導光手段に向かって逆行する光の量を大幅に減じることが可能となる。
（６）  請求項６に記載の発明によれば、光源から出射される照明光を反射して被観察物を落射照明するように導くために設けられる複数の導光手段のうち、被観察物の種類に応じて観察光学系の光軸の位置に位置決めされるいずれかの導光手段を透過して進む透過光が反射されて導光手段に向かって進むのを抑止する光減衰手段とを備えることにより、位置決めされている導光手段に向かって逆行する透過光の量を減じることが可能となる。このとき、光減衰手段は複数の導光手段に対して共用されるので、落射蛍光顕微鏡が大型化するのを抑止することができ、加えて製造コストが上昇するのを抑止することが可能となる。
（７）  請求項７に記載の発明によれば、光減衰手段をターレットの回動中心近傍に設けることによりターレットのデッドスペースを有効に活用することができ、落射蛍光顕微鏡が大型化するのを抑止することが可能となる。
（８）  請求項８に記載の発明によれば、光源から出射される照明光を照射して被観察物を照明するように導くとともに、被観察物から観察部に導く導光手段の光路に対して傾斜した面を有する部材を観察光路外に有し、照明光の一部を対物レンズ群以外の場所に導き迷光を発生させ、この迷光を、対物レンズ群に入射する前段で上記傾斜面を有する部材により排除するようにしたので、顕微鏡の観察像のコントラスト低下を抑止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  図１は、本発明の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡の構成を概略的に説明する図である。
【図２】  図２は、本発明の第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図であり、図１の断面II−IIを示す図である。
【図３】  図３は、本発明の第１の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図であり、図２の断面III−IIIを示す図である。
【図４】  図４は、ダイクロイックミラーおよび吸収フィルタの分光特性を説明する図である。
【図５】  図５は、本発明の第２の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図である。
【図６】  図６は、本発明の第３の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図である。
【図７】  図７は、本発明の第４の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図である。
【図８】  図８は、本発明の第４の実施の形態に係る落射蛍光顕微鏡に組み込まれる蛍光フィルタ装置の構成を概略的に説明する図であり、図７の断面VIII−VIIIを示す図である。
【図９】  図９は、マルチバンドフィルタの分光特性を説明する図である。
【図１０】  図１０は、本発明を適用した他の顕微鏡の一例を概略的に示す図である。
【符号の説明】
２  …  ステージ            ４  …  対物レンズ
８  …  カメラ            １０  …  接眼レンズ
１２  …  光源ユニット      １４  …  超高圧水銀ランプ
２０、１２０、２２０  …  蛍光フィルタ装置
２２Ａ〜２２Ｄ、１２２Ａ〜１２２Ｄ、２２２Ａ〜２２２Ｄ、
３２２Ａ、３２２Ｂ  …  フィルタカセット
２３Ａ〜２３Ｄ  …  吸収フィルタ
２４、１２４Ａ、１２４Ｂ、２２４  …  レボルバ
２５Ａ〜２５Ｄ  …  ダイクロイックミラー
２６Ａ〜２６Ｄ  …  励起フィルタ
２９Ａ  …  第１吸光部材      ２９Ｂ  …  第２吸光部材
２９Ｃ  …  第３吸光部材
３２、１３２Ａ、１３２Ｂ、２３２  …  ベアリングユニット
３０、１３０Ａ、１３０Ｂ、２３０  …  本体
【図１】
0004604300.tif 000002
【図２】
0004604300.tif 000003
【図３】
0004604300.tif 000004
【図４】
0004604300.tif 000005
【図５】
0004604300.tif 000006
【図６】
0004604300.tif 000007
【図７】
0004604300.tif 000008
【図８】
0004604300.tif 000009
【図９】
0004604300.tif 000010
【図１０】
0004604300.tif 000011