(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上にＴｉＳｉの炭窒化物にて形成された最外層が被覆され、基材と内層との間に０．０５〜０．５μｍのＴｉＳｉＮで形成された最内層が形成されている、表面被覆切削工具。
【請求項２】
最外層の厚みが０．１〜２μｍである、請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項３】
ＴｉＳｉの炭窒化物の平均結晶粒径が０．１μｍ以下である、請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項４】
前記内層は、（Ａｌ1-a-bＣｒaＶb）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）と炭素、窒素、酸素のいずれか１種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものである、請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項５】
前記ａ＋ｂが０．３＜ａ＋ｂ＜０．４５を満たすことを特徴とする請求項４に記載の表面被覆切削工具。
【請求項６】
前記ａの値が０＜ａ＜０．３５、前記ｂの値が０＜ｂ＜０．３５を満たすことを特徴とする請求項４に記載の表面被覆切削工具。
【請求項７】
前記ａ，ｂの値が、２０＜ａ／ｂ＜１００を満たすことを特徴とする請求項４に記載の表面被覆切削工具。
【請求項８】
内層が原子％で５％未満のＴｉを含有することを特徴とする請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項９】
内層が原子％で３０％以下のＳｉおよび／またはＢを含有することを特徴とする請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項１０】
内層がＴｉＳｉＣxＮ1-x（ここで０≦ｘ≦０．５）層で分割されていることを特徴とする、請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【請求項１１】
前記ＴｉＳｉＣxＮ1-xがＴｉＳｉＮであることを特徴とする請求項１０に記載の表面被覆切削工具。
【請求項１２】
基材を被覆する層の総厚みが０．５〜８μｍであることを特徴とする請求項１に記載の表面被覆切削工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、ドリル、エンドミル、フライス加工用または旋削加工用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどの切削工具に関し、特にその表面に耐摩耗性被膜を形成した切削工具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  近年の切削加工では、高速・高精度・高能率加工への追求に加え、環境対策としてドライ加工も志向されている。加えて、工業技術の進歩に伴い、航空機、宇宙開発、原子力発電などに使用される難削材や新素材を多く使用する産業の活動がますます活発化し、質的な多様化と量的な拡大が一層進むとみられ、これらの切削加工についても当然対応が求められている。これまで、このような課題に対して、表面被覆切削工具が数多く提案され、実用化されてきた。【０００３】  たとえば、特許文献１には、耐摩耗性および表面保護機能改善のため、ＷＣ基超硬合金、サーメット、高速度鋼などの切削工具や耐摩耗工具などの硬質基材の表面に、硬質被覆層として、（ＡｌｘＴｉ１−ｘ−ｙＳｉｙ）（ＮｚＣ１−ｚ）（ただし、０．０５≦ｘ≦０．７５、０．０１≦ｙ≦０．１、０．６≦ｚ≦１）のようなＡｌＴｉＳｉ系の膜が被覆されてなる硬質皮膜被覆工具、硬質皮膜被覆部材が開示されている。【０００４】  また特許文献２には、Ｓｉを適量含有したＴｉを主成分とする窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物とＴｉとＡｌを主成分とする窒化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物を、ＴｉＳｉ系化合物などの微細組織構造が、Ｔｉを主成分とする炭窒化物、酸窒化物、酸炭窒化物中に、Ｓｉ３Ｎ４およびＳｉが独立相として存在するようにそれぞれ一層以上交互に被覆すると、乾式の高速切削加工において、切削工具の性能が極めて良好となることが開示されている。特許文献２によれば、従来のＴｉＡｌＮ膜では切削加工において起こる表面酸化で形成されるアルミナ層は酸素の内向拡散に対し酸化保護膜として機能するものの、動的な切削加工においては、最表面のアルミナ層は、その直下のポーラスなＴｉ酸化物層より容易に剥離してしまい酸化の進行に対して十分でないが、特許文献２に記載された発明のＴｉＳｉ系被膜は膜自体の耐酸化性が極めて高いだけはでなく、最表面にＳｉを含む非常に緻密なＴｉとＳｉの複合酸化物が形成されるので、従来問題となっていたポーラスなＴｉ酸化物層が形成されないので性能が向上すると示されている。【０００５】  また、特許文献３には、ＡｌＣｒＶの炭窒化物、窒化物を用いることで、ＴｉＡｌＮ膜と比較して高硬度で耐摩耗性に優れた切削工具用膜質を形成することができることが記載されている。
【特許文献１】特許第２７９３７７３号
【特許文献２】特許第３３４７６８７号
【特許文献３】特開２００３−３４８５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  しかし、切削過程において高速・高能率加工や完全に潤滑油剤を使わないドライ加工を行うためには、上述の高温での被膜の安定性だけでは不十分である。すなわち、如何に特性の優れる膜を、剥離や欠損を発生させずに密着性よく長時間にわたって基材表面に維持させるかが問題である。【０００７】  つまり、低炭素鋼やステンレス材料、ダクタイル鋳鉄などの刃先に被削材が溶着しやすい材料の切削では、被削材の溶着が原因となって膜剥離が起こり易く、膜剥離が原因の欠損も発生しやすい。このため、剥離を防ぐには、如何に被削材の溶着を防止するかが重要であり、同時に耐摩耗性に優れた膜質とするかが重要な課題となっている。【０００８】  本発明は、前記課題を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどに好適に使用される表面被覆切削工具であって、従来よりも耐剥離性、耐摩耗性が向上された表面被覆切削工具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】  本発明者らは、前記課題に対して種々の工具表面被覆膜を検討した結果、基材上に、Ａｌと、ＣｒまたはＶのいずれかまたは両方の元素と、窒素、炭素、酸素のいずれか１種類以上の元素とからなる化合物にて形成される内層が被覆され、さらに内層上にＴｉＳｉの炭窒化物にて形成される最外層が被覆されてなる構造を備える表面被覆切削工具が、膜剥離の抑制が可能で優れた耐摩耗性および耐チッピング性を示すことを見出し、本発明に至った。【００１０】  すなわち、本発明は以下のとおりである。【００１１】  本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上にＴｉＳｉの炭窒化物にて形成された最外層が被覆されてなることを特徴とする。【００１２】  本発明の表面被覆切削工具において、最外層の厚みは０．１〜２μｍであるのが好ましい。【００１３】  また、前記最外層を形成するＴｉＳｉの炭窒化物は、その平均結晶粒径が０．１μｍ以下であるのが好ましい。【００１４】  本発明の表面被覆切削工具における内層は、（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）と炭素、窒素、酸素のいずれか１種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものであるのが好ましい。ここにおいて、ａ＋ｂが０．３＜ａ＋ｂ＜０．４５を満たすことがより好ましい。ａの値が０＜ａ＜０．３５、前記ｂの値が０＜ｂ＜０．３５を満たすことがさらに好ましい。またａ，ｂの値が、２０＜ａ／ｂ＜１００を満たすことが特に好ましい。【００１５】  本発明の表面被覆切削工具における内層は、原子％で５％未満のＴｉを含有することが好ましい。【００１６】  また本発明の表面被覆切削工具における内層は、原子％で３０％以下のＳｉおよび／またはＢを含有することが好ましい。【００１７】  また本発明の表面被覆切削工具においては、基材と内層との間、および／または、内層と最外層との間に、ＴｉＳｉＮ層が介されたものであるのが好ましい。【００１８】  前記内層は、ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ（ここで０≦ｘ≦０．５）層で分割されているのが好ましく、ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘがＴｉＳｉＮであることがより好ましい。【００１９】  本発明の表面被覆切削工具において、基材を被覆する層の総厚みが０．５〜８μｍであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】  本発明に従えば、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどにおける耐剥離性、耐摩耗性の向上が図れるため、寿命の長い表面被覆切削工具を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】  本発明の表面被覆切削工具は、基材上に、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層が被覆され、さらに内層上にＴｉＳｉの炭窒化物（ＴｉＳｉＣＮ）にて形成された最外層が被覆されてなる構造を備える。ここで、内層は、基材表面を直接覆うように形成されてもよいし、他の層（たとえば後述する最内層）が介された状態で基材を覆うように形成されてもよい。同様に最外層も、内層を直接覆うように形成されてもよいし、他の層（たとえば後述する中間層）が介された状態で内層を覆うように形成されてもよい。【００２２】  本発明の表面被覆切削工具は、化学的安定性に優れ、金属材料の切削において優れた耐摩耗性を示すＡｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層にて基材を被覆したことを特徴の１つとする。また本発明の表面被覆切削工具は、金属材料に対して低い摩擦係数、潤滑性を有し、高い化学的安定性を示すほか、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成された内層と優れた密着力を有するＴｉＳｉの炭窒化物にて、前記内層を被覆して、高い化学安定性を示す最外層を形成したこともその特徴とする。これらの特徴を兼ね備えた本発明により、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップなどにおける耐剥離性、耐摩耗性の向上が図れるため、寿命の長い表面被覆切削工具を提供することが可能となる。【００２３】  ここで、Ａｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物（たとえばＡｌＣｒＮ）にて層を形成した場合、硬度、耐酸化性の高さでは良好な性能を有するが、切削評価では耐チッピング性が低く、チッピングの発生に基づく耐剥離性の弱さが確認された。この弱点を克服するため、種々の研究を行った結果、本発明のように、上記化合物で形成された層を内層とし、この内層上にＴｉＳｉの炭窒化物（ＴｉＳｉＣＮ）にて最外層を形成することで、耐チッピング性と耐剥離性とが改善された表面被覆切削工具を実現することができる。これは、最外層を形成するＴｉＳｉＣＮが微粒の組織を形成するため、切削時の衝撃に強く、衝撃を緩和して内層に伝えるため性能改善されたものと考えられる。また、ＴｉＳｉＣＮまたはＴｉＳｉＮ層とＡｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物で形成された層との間の密着力は非常に優れたものであるため、切削工具用膜質として特に優れた剥離性を得ることができたものと考えられる。この密着力は、後述するように（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）にて規定される場合において、０．３＜ａ＋ｂ＜０．４５であるときに特に優れた性能を発揮する。【００２４】  本発明の表面被覆切削工具���おいて、最外層の厚みは特に制限されるものではないが、０．１〜２μｍであるのが好ましく、０．２〜１μｍであるのがより好ましい。最外層の厚みが０．１μｍより薄い場合には、最外層としての優れた効果を発揮できない虞があるためであり、また、最外層の厚みが２μｍを越えると、膜剥離を起こしやすくなる虞があるためである。最外層の厚みは、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いて観察して測定することができる。【００２５】  本発明の表面被覆切削工具における最外層は、好ましくは平均結晶粒径が０．１μｍ以下、より好ましくは０．０５μｍ以下のＴｉＳｉの炭窒化物により形成されてなるのが好ましい。これによって、特に優れた潤滑性、および内層との密着強度を有する最外層を実現することができる。また、耐摩耗性の観点からは、最外層を形成するＴｉＳｉの炭窒化物の平均結晶粒径は、１ｎｍ以上であるのが好ましく、３ｎｍ以上であるのがより好ましい。表面被覆切削工具の最外層におけるＴｉＳｉの炭窒化物の平均結晶粒径は、たとえば、膜断面もしくは破面をＳＥＭまたはＴＥＭを用いて観察して測定することができる。【００２６】  このような好適な平均結晶粒径を有するＴｉＳｉの炭窒化物にて形成された最外層を備える表面被覆切削工具は、後述するようにたとえばカソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、基材バイアス電圧を−１５０〜−１０Ｖの範囲とする条件にて最外層を形成することが好ましい。【００２７】  本発明の表面被覆切削工具は、上述したようにＡｌと、ＣｒおよびＶのうちの少なくともいずれかの元素と、窒素、炭素、酸素から選ばれる１種以上の元素とを少なくとも含む化合物にて内層が形成される。この内層を形成する化合物は、上記以外の元素（たとえば後述するＴｉ、Ｓｉ、Ｂ）を、本発明の効果を阻害しない範囲で含有していてもよい。本発明においては、内層がＡｌを含有することで、耐酸化特性が向上するとともに熱伝導率が高くなり、切削加工時の発熱を工具表面から逃がすことができるという効果を有する。【００２８】  本発明における内層を形成する化合物において、Ａｌを除くＣｒとＶの量は、（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）にて規定されることが好ましい。すなわち、本発明の表面被覆切削工具における内層は、（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）と炭素、窒素、酸素のいずれか１種類以上の元素とを少なくとも含む化合物にて形成されたものであることが好ましい。（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）において、ａおよびｂの少なくともいずれかが０．５を越えると、内層の硬度が低下してしまい十分な耐摩耗性を発揮できなくなる虞があるためである。特に好ましい耐摩耗性が得られるのは０．３＜ａ＋ｂ＜０．４５のときであり、ａ＋ｂの値がこの範囲にあると最外層のＴｉＳｉＣＮ膜もしくは中間層のＴｉＳｉＮ膜との密着性が向上し、優れた膜の耐剥離性が得られるため、特に好ましい。さらに（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）において、ａの値が０＜ａ＜０．３５、前記ｂの値が０＜ｂ＜０．３５であるのがより��ましい。ＣｒとＶが同時に含まれ、かつ、ａおよびｂの値が共に０，３５未満であることによって優れた耐剥離性を期待できるためである。この理由は明らかではないが、Ｃｒは低温での潤滑性、Ｖは比較的高温域での潤滑性を向上でき、同時に存在することで幅広い切削条件で優れた耐剥離性を示すためと考えられる。また、さらに前記ａ，ｂの値は２０＜ａ／ｂ＜１００の関係を有するものであることが特に好ましい。表面被覆切削工具において、内層を形成する化合物の組成は、Ｘ線光電子分光装置（ＸＰＳ）やオージェ電子分光装置（ＡＥＳ）によって確認することができる。【００２９】  このようにＡｌを除くＣｒとＶの量が（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）（ここで、０≦ａ≦０．５、０≦ｂ≦０．５、０≠ａ＋ｂ≦０．５）で表される好適な化合物にて形成された内層を備える表面被覆切削工具は、後述するようにたとえばカソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、たとえば基材バイアス電圧を−３００〜−２０Ｖの範囲内とする条件にて内層を形成することで実現することができる。また、中でも好適なａ，ｂの値が２０＜ａ／ｂ＜１００の関係を有する（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）で表される好適な化合物にて形成された内層を備える表面被覆切削工具は、上記表面被覆切削工具を製造する際に基材バイアス電圧を−２５０〜−４０Ｖの範囲内とすることで、実現することができる。【００３０】  本発明の表面被覆切削工具において、内層の厚みは特に制限されるものではないが、０．４〜８μｍであるのが好ましく、１〜６μｍであるのがより好ましい。内層の厚みが０．４μｍ未満である場合には、耐摩耗性が不十分となってしまう虞があるためであり、また、内層の厚みが８μｍを越えると、耐欠損性が低下する虞があるためである。内層の厚みは、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭを用いて観察して測定することができる。【００３１】  なお、最外層と内層の密着力をさらに向上させる観点からは、内層がＴｉを少量含むことが好ましい。具体的には、内層は、原子％で好ましくは５％未満、より好ましくは３％以下のＴｉを含むことが好ましい。内層に原子％で５％以上のＴｉが含有されると、内層の耐摩耗性が低下する傾向にある。また、前記最外層と内層との前記密着力向上の効果を充分に発揮し得る観点からは、内層中に含有されるＴｉは、原子％で０．０１％以上であるのが好ましく、０．１％以上であるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層におけるＴｉ含有量は、たとえばＸＰＳを用いて測定することができる。【００３２】  また、内層と最外層との間にＴｉＳｉＮ層（中間層）が介されていてもよい。このような中間層が内層と最外層との間に介されることによっても最外層と内層の密着力がさらに向上される。中間層の厚みは特に制限されるものではないが、０．０５〜２．０μｍであるのが好ましく、０．１〜１．５μｍであるのがより好ましい。中間層の厚みが０．０５μｍ未満である場合には、前記密着力の向上の効果が充分に発揮されない虞があるためであり、また中間層の厚みが２．０μｍを越える場合には、耐摩耗性が低下する虞があるためである。前記中間層の厚��は、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭを用いて観察して測定することができる。なお、上述のように内層がＴｉを原子％で５％未満含有し、かつ、ＴｉＳｉＮで形成された中間層が内層と最外層との間に介されてなるのが、前記密着性の向上の観点からは特に好適である。【００３３】  さらに本発明の表面被覆切削工具においては、内層と基材との密着力を向上させるために、内層と基材との間にＴｉＳｉＮ層（最内層）が介されていてもよい。最内層の厚みは特に制限されるものではないが、０．０１〜１．０μｍであるのが好ましく、０．０５〜０．５μｍであるのがより好ましい。最内層の厚みが０．０１μｍ未満である場合には、前記密着力の向上の効果が充分に発揮されない虞があるためであり、また最内層の厚みが１．０μｍを越える場合には、耐摩耗性が低下する虞があるためである。前記最内層の厚みは、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭまたはＴＥＭを用いて観察して測定することができる。【００３４】  また本発明の表面被覆切削工具においては、前記内層がＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ（ここで０≦ｘ≦０．５）層で多層に分割されている場合も、優れた耐剥離性を実現できる。ここで内層を分割するとは、該分割された各々の内層が基材表面と略平行な状態で存在するような状態に分割されることをいう。内層が前記ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層で分割されていることによって、切削時に突発的に大応力が付加されたとき、結合力の弱い多層膜界面で膜破壊が起こるため、切削時の内層の破壊単位を多層化により小さくでき、突発的な膜の大破壊現象を抑制できることから、結果として安定長寿命の表面被覆切削工具を実現することができる。ここで、ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘのｘを０≦ｘ≦０．５としたのは、ｘが０．５を越えるとＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘと内層膜との密着力が低下しすぎて、耐摩耗性の低下を招くためである。特に好ましいのはｘの値が０のとき（すなわち、ＴｉＳｉＮ）である。これは、ＴｉＳｉＮ層と内層間の密着力は比較的優れており、比較的優れた耐摩耗性を維持できるためである。【００３５】  内層が前記ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層にて多層に分割されてなる場合、内層の分割数に特に制限はなく、分割された内層の各部分は、互いに均等な厚みを有していてもよく、不均等な厚みであってもよい。なお、不均等な厚みに分割すると、様々な破壊応力に対応可能となるという利点がある。内層の各部分の厚みは特に制限されるものではないが、分割された内層の各部分のいずれもが０．０１〜１．０μｍの範囲内にあり、かつ、内層の各部分の厚みの総計が、上述した内層の好適な厚みの範囲内にあるのが好ましい。内層の各部分のいずれかの厚みが０．０１μｍ未満であると、耐摩耗性が不十分となる虞があるためであり、また内層の各部分のいずれかの厚みが１．０μｍを越えると、内層を多層に分割することによる効果が低下する虞があるためである。前記内層の各部分の厚みも、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭまたはＴＥＭを用いて観察して測定することができる。【００３６】  また内層が前記ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層にて多層に分割され���なる場合、ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層の厚み（複数層形成される場合には、そのいずれもの厚み）は、１〜２００ｎｍであるのが好ましく、１０〜１００ｎｍであるのがより好ましい。ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層の厚みが１ｎｍ未満であると、内層を多層に分割することによる効果が低下する虞があるためであり、またＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層の厚みが２００ｎｍを越えると、耐摩耗性が低下する虞があるためである。前記ＴｉＳｉＣｘＮ１−ｘ層の厚みも、上述した最外層の場合と同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭまたはＴＥＭを用いて観察して測定することができる。【００３７】  なお、表面被覆切削工具における耐酸化性や耐摩耗性、耐剥離性を向上させる観点から、内層はＳｉを原子％で好ましくは３０％以下、より好ましくは２０％以下、さらに好ましくは１５％以下含んでいてもよい。内層中にＳｉが存在すると、内層の組織が微細化するとともに、内層の硬度が向上されるためである。さらに、Ｓｉが内層に含有されることで、内層とＴｉＳｉＣＮにて形成される最外層との密着性が向上される。ただし、内層が原子％で３０％を越えてＳｉを含有すると、内層が脆くなり逆に摩耗が促進されてしまう傾向にあるため、好ましくない。また、内層がＳｉを含有する場合、組織の微細化効果を得るためには、Ｓｉは原子％で１％以上含有されてなるのが好ましく、５％以上含有されてなるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層におけるＳｉ含有量は、たとえばＸＰＳまたはＡＥＳを用いて測定することができる。【００３８】  また内層には、Ｂを原子％で好ましくは３０％以下、より好ましくは１５％以下、さらに好ましくは１０％以下含んでいてもよい。内層にＢが存在すると、高硬度な被膜が得られ、切削中の表面酸化によって形成されるＢの酸化物が特にＡｌの酸化物を緻密化するという利点がある。さらに、Ｂの酸化物は低融点であるので切削時の潤滑油として作用し、優れた耐剥離性を示すという利点もある。ただし、内層が原子％で３０％を越えてＢを含有すると、逆に耐摩耗性が低下する傾向にあるため、好ましくない。また、内層がＢを含有する場合、耐摩耗性と耐剥離性を向上させるためには、Ｂは原子％で１％以上含有されてなるのが好ましく、５％以上含有されてなるのがより好ましい。ここで、表面被覆切削工具の内層におけるＢ含有量は、たとえばＸＰＳを用いて測定することができる。【００３９】  本発明の表面被覆切削工具において、内層の残留応力は−６〜０ＧＰａであるのが好ましく、−４〜−１ＧＰａであるのがより好ましい。前記残留応力が−６ＧＰａ未満であると、表面被覆膜中の圧縮残留応力が大きくなりすぎ、基材との密着強度が低下する傾向にある。また、前記残留応力が０ＧＰａを越えると、被膜には引張応力が残留することとなり、膜に亀裂が入りやすくなるとともにチッピング性、欠損性が低下してしまう虞がある。なお、前記残留応力は、たとえばＸ線残留応力測定装置を用いて、あるいは、Ｓｉｎ２ψ法によって測定することができる。【００４０】  このような好適な残留応力を有する表面被覆切削工具は後述するようにたとえばカソードアークイオンプレーティング法にて表面被覆切削工具を製造する場合には、たとえば基材バイアス電圧を−３００〜−２０Ｖの範囲内とする条件にて内層を形成することで実現することができる。【００４１】  さらに、本発明の表面被覆切削工具は、基材を被覆する層（内層および最外層、ならびに後述するように中間層が形成される場合には中間層も含む）の総厚みが０．５〜８μｍであるのが好ましく、１．０〜６．０μｍであるのがより好ましい。前記総厚みが０．５μｍ未満であると、充分な耐摩耗性の向上がみられない虞があり、また前記総厚みが８μｍを越えると、基材を被覆する層中の残留応力が大きくなり、基材との密着強度が低下してしまう虞があるためである。前記総厚みについても、上述した最外層の厚みと同様に、表面被覆切削工具を切断し、その断面をＳＥＭを用いて観察して測定することができる。【００４２】  本発明の表面被覆切削工具において用いられる基材としては、当分野において従来より広く用いられてきたものを適宜用いることができ、特に制限されるものではないが、高温でも高い硬度を有することから、ＷＣ基超硬合金、サーメット、高速度鋼、セラミックス（炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、炭化珪素、炭化チタンおよびそれらの複合材料など）、立方晶型窒化硼素焼結体、ダイヤモンド焼結体からなる基材のいずれかであることが好ましい。中でも特に、ＷＣ基超硬合金、サーメット、立方晶型窒化硼素焼結体を基材として用いるのが好適である。【００４３】  本発明の表面被覆切削工具は、切削加工に用いられる従来公知の様々な切削工具に適用することができる。特に、本発明の被覆切削工具は、ドリル、エンドミル、フライス加工用および旋削用刃先交換型チップ、メタルソー、歯切工具、リーマ、タップであることが好ましい。【００４４】  本発明の表面被覆切削工具は、結晶性の高い化合物を形成することができる公知の成膜プロセスにて基材を、内層、最外層（場合によってはさらに最内層、中間層など）によって被覆することで製造することができる。かかる成膜プロセスとしては、膜中に圧縮応力を与えることができるという理由から、物理的蒸着法が好ましい。物理的蒸着法としては、たとえば、イオンプレーティング法、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法などが挙げられるが、本発明の表面被覆切削工具を製造するに際しては、イオンプレーティング法を採用する場合には、アーク式イオンプレーティング法を用いるのが基材との密着力を確保しやすいという理由により好ましく、スパッタリング法を採用する場合には、マグネトロンスパッタリング法（バランスドおよびアンバランスドマグネトロンスパッタリング法）を用いるのが非導電性材料を被覆するのに優れているという理由により好ましい。これらの中でも、原料元素のイオン率が高いカソードアークイオンプレーティング法を用いるのが、特に好ましい。カソードアークイオンプレーティング法を用いると、内層を形成する前に、基材表面に対して金属のイオンボンバードメント処理が可能となるため、内層の密着性が格段に向上されるためである。【００４５】  次に、実施例を用いて被覆切削工具の耐摩耗性が如何に改善されるかを具体的に説明する。実施例の組成はＸＰＳ（Ｘ線光電子分光装置）、ＡＥＳ（オージェ電子分光装置）により確認した。【００４６】  ＜実施例１〜８、比較例１〜３＞
基材として、グレードがＪＩＳ規格Ｋ２０の超硬合金、チップ形状がＪＩＳ規格のＳＰＧＮ１２０３０８のものを用い、カソードアークイオンプレーティング装置に装着した。【００４７】  まず、真空ポンプによりチャンバー内を減圧するともに、装置内に設置されたヒーターにより基材を温度６５０℃に加熱し、チャンバー内の圧力が１．０×１０−４Ｐａとなるまで真空引きを行った。次に、アルゴンガスを導入してチャンバー内の圧力を３．０Ｐａに保持し、基材バイアス電源の電圧を徐々に上げながら、−１５００Ｖとし、基材の表面のクリーニングを１５分間行った。その後、アルゴンガスを排気した。【００４８】  次いで、内層の化合物組成として、それぞれ表１に示す化合物となるように、金属蒸発源である合金製ターゲットをセットし、反応ガスとして窒素、メタン、酸素のうち、本発明の被膜が得られるガスを導入させながら、基材温度６５０℃、反応ガス圧２．０Ｐａ、基材バイアス電圧を−１００Ｖに維持したまま、カソード電極に１００Ａのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、被膜（内層）を形成した。内層がそれぞれ表１に示す所定の厚みとなったとき、蒸発源に供給する電流を停止した。【００４９】  引き続き、内層上に、最外層としてＴｉＳｉＣＮ膜を形成した。具体的には、チャンバー内にＴｉおよびＳｉをセットし、反応ガスとして窒素および酸素を導入させながら、基材温度６５０℃、反応ガス圧２．０Ｐａ、基材バイアス電圧を−５０Ｖにして、カソード電極に１００Ａのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、平均結晶粒径０．０５μｍのＴｉＳｉの炭窒化物からなる最外層を形成した。最外層が所定の厚みとなったとき、蒸発源に供給する電流を停止し、徐冷した。【００５０】  なお、実施例５〜７、比較例２については、内層の形成前に、基材上に最内層としてＴｉＳｉＮ膜を形成した。具体的には、チャンバー内にＴｉおよびＳｉをセットし、反応ガスとして窒素を導入させながら、基材温度６５０℃、反応ガス圧２．０Ｐａ、基材バイアス電圧を−１００Ｖに維持したまま、カソード電極に１００Ａのアーク電流を供給し、アーク式蒸発源から金属イオンを発生させ、最内層を形成した。最内層が所定の厚みとなったとき、蒸発源に供給する電流を停止した。【００５１】  また、実施例７については、内層の形成後、最外層を形成する前に、上記最内層の形成と同様にして、内層上に中間層としてＴｉＳｉＮ膜を形成した。【００５２】  さらに、実施例８については、最外層の形成に際し、基材バイアス電圧を−３０Ｖとして、平均結晶粒径が０．３μｍのＴｉＳｉの炭窒化物からなる最外層（ＴｉＳｉＣＮ膜）とした。【００５３】  前記の工程で製造した実施例１〜８、比較例１〜３について、以下に示す条件による乾式のフライス試験を行い、刃先の逃げ面摩耗幅が０．２ｍｍを越える時間を測定した。切削条件は、被削材をステンレス鋼ＳＵＳ３０４（ＨＢ＝１８０）とし、切削速度７０ｍ／ｍｉｎ、送り量０．２ｍｍ／ｒｅｖ、切り込み１ｍｍとした。結果を表１に示す。【００５４】
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【００５５】  表１から明らかなように、本発明において、実施例１〜８の切削工具寿命は膜剥離の発生しやすいＳＵＳ３０４の切削において比較例１〜３と比較して大きく向上したことが確認された。【００５６】  ＜実施例９〜１２＞
表２に示すような組成の内層、最外層を形成した以外は、上述した実施例１と同様にして、本発明の表面被覆切削工具を作成した。上述と同様に、実施例９〜１２について切削試験を行った結果、表２に示す性能を得た。【００５７】
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【００５８】  表２より、内層を形成する化合物（Ａｌ１−ａ−ｂＣｒａＶｂ）において、ａ，ｂの値が５＜ａ／ｂ＜１００の範囲にある実施例９〜１２は、特に優れた切削工具寿命を得ることができた。
【実施例１３】
【００５９】  実施例６と同じ組成の内層を形成するに際し、内層の形成工程と最内層の形成と同様のＴｉＳｉＮ層の形成工程を交互に行った以外は同様に行い、内層が０．０５μｍの厚みのＴｉＳｉＮ層で１５層に分割されてなる表面被覆切削工具を作製した。分割された内層の各部分は、いずれも均一な厚み０．２μｍを有するようにした。こうして得られた実施例１３について、上述と同様に切削試験を行った結果、表３に示す性能を得た。【００６０】
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【００６１】  表３より、内層をＴｉＳｉＮ層にて分割した実施例１３は、非常に優れた切削工具寿命を有することが確認できた。【００６２】  今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。