【手続補正書】
【提出日】平成16年1月29日(2004.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象を照明する照明手段と、
この照明手段により照明された各被検査対象のマクロ画像を取込む撮像手段と、
前記撮像手段に取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像を重ね合わせた重ね合わせ画像を作成する画像処理手段と、
前記画像処理手段から送られた前記重ね合わせ画像の濃度分布を解析処理し、前記製造プロセスの異常検出もしくは異常発生を判定するプロセスモニタリング手段とを備えたことを特徴とするマクロ検査装置。
【請求項２】
前記プロセスモニタリング手段は、前記画像処理手段で処理された前記重ね合わせ画像をパソコンで受け取り、このパソコンで前記重ね合わせ画像に対して解析処理することを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項３】
前記プロセスモニタリング手段を構成するパソコンは、前記重ね合わせ画像に対して前記製造プロセスの異常検出もしくは異常発生を判定する自動解析機能を有することを特徴とする請求項２記載のマクロ検査装置。
【請求項４】
前記自動解析機能は、前記重ね合わせ画像の濃度ヒストグラムに対する最大濃度と最小濃度の差が設定値以上の場合に欠陥発生を予測して製造装置に注意信号を出力することを特徴とする請求項３記載のマクロ検査装置。
【請求項５】
前記画像処理手段は、前記撮像手段により取込まれた前記各被検査対象に対して合否判定を行い、ＮＧと判定されたマクロ画像を除いて重ね合わせすることを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項６】
前記画像処理手段は、前記撮像手段により取り込まれた前記各検査対象に対して合否判定を行い、良品と判定された前記各検査対象のマクロ画像を重ね合わせた重ね合わせ画像を作成し、前記プロセスモニタリング手段は前記重ね合わせ画像を解析し前記製造プロセスの変調を統計的に捕らえ、この製造プロセスにおける欠陥の発生を検出もしくは欠陥発生を予測することを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項７】
前記画像処理手段は、前記撮像手段から取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像を加算した後に、この加算した画像の平均濃度を減算して前記重ね合わせ画像を作成することを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項８】
前記画像処理手段は、前記撮像手段から取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像をシェーディング補正することを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項９】
前記画像処理手段は、前記各検査対象の前記各マクロ画像をスムージング処理してシェーディング画像を作成し、このシェーディング画像を前記マクロ画像から引いた画像を加算することを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
【請求項１０】
前記フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象に対して照明手段で照明し、
前記照明手段により照明された前記各検査対象に対して撮像手段によりマクロ画像を撮像し、
この撮像手段で撮像された各被検査対象の各マクロ画像を画像処理手段に取込んで重ね合わせ画像を作成し、
この重ね合わせ画像をパソコンに取込んで統計処理し、前記製造プロセスの異常検出もしくは異常発生を判定することを特徴とするプロセスモニタリング方法。
【請求項１１】
前記フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象に対して照明手段で照明し、
前記照明手段により照明された前記各検査対象に対して撮像手段によりマクロ画像を撮像し、
この撮像手段で撮像された各被検査対象のマクロ画像を画像処理手段に取込み前記各検査対象に対して合否判定した結果から良品と判定された前記各検査対象のマクロ画像を重ね合わせて重ね合わせ画像を作成し、
この重ね合わせ画像をパソコンに取込んで解析し前記製造プロセスの変調を統計的に捕らえ、この製造プロセスにおける欠陥の発生を検出若しくは欠陥発生を予測することを特徴とするプロセスモニタリング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
現在、マクロ検査はいまだ目視検査が主流ではあるが、自動検査も行われるようになってきた。この自動検査の方法には、被検査基板１枚毎に画像処理を施して合否判定をおこなうものがあり、特開平０７−０２７７０９号にこのような技術が開示されている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題の解決は、より具体的には以下のような解決手段により実現される。発明は、フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象を照明する照明手段と、この照明手段により照明された各被検査対象のマクロ画像を取込む撮像手段と、前記撮像手段に取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像を重ね合わせた重ね合わせ画像を作成する画像処理手段と、前記画像処理手段から送られた前記重ね合わせ画像の濃度分布を解析処理し、前記製造プロセスの異常検出もしくは異常発生を判定するプロセスモニタリング手段とを備えたことを特徴とするマクロ検査装置である。
また、本発明は、前記フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象に対して照明手段で照明し、前記照明手段により照明された前記各検査対象に対して撮像手段によりマクロ画像を撮像し、この撮像手段で撮像された各被検査対象の各マクロ画像を画像処理手段に取込んで重ね合わせ画像を作成し、この重ね合わせ画像をパソコンに取込んで統計処理し、前記製造プロセスの異常検出もしくは異常発生を判定することを特徴とするプロセスモニタリング方法である。
また、前記フォトリソグラフィ製造プロセスからの各被検査対象に対して照明手段で照明し、前記照明手段により照明された前記各検査対象に対して撮像手段によりマクロ画像を撮像し、この撮像手段で撮像された各被検査対象のマクロ画像を画像処理手段に取込み前記各検査対象に対して合否判定した結果から良品と判定された前記各検査対象のマクロ画像を重ね合わせて重ね合わせ画像を作成し、この重ね合わせ画像をパソコンに取込んで解析し前記製造プロセスの変調を統計的に捕らえ、この製造プロセスにおける欠陥の発生を検出若しくは欠陥発生を予測することを特徴とするプロセスモニタリング方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
次に、本発明の画像処理手段は、前記撮像手段から取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像を加算した後に、この加算した画像の平均濃度を減算して前記重ね合わせ画像を作成することを特徴とする。
また、本発明の画像処理手段は、前記撮像手段から取込まれた前記各被検査対象のマクロ画像をシェーディング補正することを特徴とする。
また、本発明の画像処理手段は、前記各検査対象の前記各マクロ画像をスムージング処理してシェーディング画像を作成し、このシェーディング画像を前記マクロ画像から引いた画像を加算することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の画像処理手段は、このような構成を設けたことで、重ね合わせ画像の作成時にそれぞれ平滑化画像を減算するようにしているので、重ね合わせ画像の平均濃度レベルを所定値に保つことができる。したがって、重ね合わせ画像の濃度値が直ぐに飽和することなく、より効果的に重ね合わせ画像の作成を行うことができる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】