【手続補正書】
【提出日】平成15年9月11日(2003.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、
前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、
前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスと、を備えることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項２】
請求項１において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項３】
請求項１又は２において、さらに、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、
前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする化学反応デバイス
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項５】
基板と、
前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、
前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、
前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項６】
請求項５において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスを備えることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項７】
請求項６において、さらに、
前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項８】
請求項5〜7のいずれかにおいて、
前記機械的振動膜は、ピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
【請求項９】
基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスとを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、
（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、
（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、
（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、
（Ｄ）前記光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、
（Ｅ）前記センサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えたことを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１０】
請求項9において、前記（Ａ）の工程の後に、前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１１】
請求項9又は10において、（Ｃ）の工程の後に、
前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、
前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えることを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１２】
基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、分析機器とを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、
（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、
（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、
（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、
（Ｄ）前記サンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、
（Ｅ）前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される前記分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えたことを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１３】
請求項12において、前記（Ｃ）の工程の後に、
（Ｆ）前記ピクセルポットの上方に設けられた光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、
（Ｇ）前記ピクセルポットの上方に設けられたセンサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えることを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１４】
請求項13において、前記（Ｃ）の工程と前記（Ｆ）の工程との間に、
（Ｈ）前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする生成物検出方法。
【請求項１５】
請求項9〜14のいずれかにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする生成物検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の化学反応デバイスは、基板と、前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスと、を備えることを特徴とする。
本構成によれば、反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
また、本発明の化学反応デバイスは、基板と、前記基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成された、溶液が導入されるピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、前記サンプリングノズルにより前記溶液が供給される分析機器と、を備えることを特徴とする。
本構成によれば、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、さらに、前記ピクセルポットの上方に設けられた透明なカバーを備えることを特徴とする。
また、本発明の化学反応デバイスは、上記化学反応デバイスにおいて、前記機械的振動膜は、ピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする化学反応デバイス。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本発明の生成物検出方法は、基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットの上方に設けられた光源及びセンサーデバイスとを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、（Ｄ）前記光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、（Ｅ）前記センサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えたことを特徴とする。
本構成によれば、短時間に、効率よく、化学材料を正確に導入する方法を提供し、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ａ）の工程の後に、前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、（Ｃ）の工程の後に、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備える。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明の生成物検出方法は、基板と、基板上に形成された機械的振動膜及び加熱ユニットと、前記機械的振動膜及び加熱ユニットの上方に形成されたピクセルポットと、前記ピクセルポットに設けられたサンプリングノズルと、分析機器とを用いて、生成物を検出する生成物検出方法であって、（Ａ）前記ピクセルポットに、複数の原料溶液をそれぞれ複数のインクジェットノズルにより供給する工程と、（Ｂ）前記機械的振動膜を用いて、前記複数の原料溶液を攪拌する工程と、（Ｃ）前記加熱ユニットを用いて、前記攪拌された原料溶液を加熱し、生成物を生成する工程と、（Ｄ）前記サンプリングノズルを用いて、前記生成物を採取する工程と、（Ｅ）前記サンプリングノズルにより前記採取された生成物が供給される前記分析機器を用いて、該採取された生成物の成分解析を行う工程と、を備えたことを特徴とする。
本構成によれば、短時間に、効率よく、化学材料を正確に導入する方法を提供し、それらの化学反応の制御及び生成物検出を効率よく出来るという効果を有する。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ｃ）の工程の後に、（Ｆ）前記ピクセルポットの上方に設けられた光源を用いて、前記ピクセルポットに光を照射する工程と、（Ｇ）前記ピクセルポットの上方に設けられたセンサーデバイスを用いて、前記光の反射光を解析する工程と、を備えることを特徴とする。
また、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記（Ｃ）の工程と前記（Ｆ）の工程との間に、（Ｈ）前記ピクセルポットに透明なカバーを密着させる工程を備えることを特徴とする。
さらに、本発明の生成物検出方法は、前記生成物検出方法において、前記機械的振動膜はピエゾ薄膜組成物であることを特徴とする。
本構成によれば、微小反応ポット内で進む化学反応を効率よく進行でいるという効果を有する。