【手続補正書】
【提出日】平成15年8月19日(2003.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク（２）をその一方のディスク面において保持するディスク保持部（１）と、ディスク内径側面に光を照射する光出射部（４）と、ディスク内径側面からの反射光を受光する受光部（７）と、受光部からの信号を処理して欠陥を検出する画像処理部（９）と、ディスク（２）を保持した際のディスク（２）の中心軸を軸としてディスク保持部（１）を回転させる回転機構（８）とを備えたディスク内径側面の欠陥検査装置であって、
ディスク保持部（１）は保持されたディスク（２）の中空部に隣接する位置に空間部（３）を有し、光出射部（４）はディスク保持部（１）の空間部内からディスク内径側面を照射可能な構造を有し、回転機構（８）は受光部（７）がディスク（２）の内径側面上の被検査範囲を全て走査するようにディスク保持部（１）を回転させるように構成されているディスク内径側面の欠陥検査装置。
【請求項２】
光出射部（４）が、保持されたディスク（２）の中空部を通過して空間部（３）の内と外を往復するように、ディスク保持部（１）と光出射部（４）の少なくとも一方を相対的に移動させる移動装置（１０）を有することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
受光部（７）としてポイントセンサを用いた請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
受光部（７）としてラインセンサを用い、その受光範囲の長手方向と、ディスク内径側面の厚さ方向とが一致するようにラインセンサが設置されている請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
回転機構（８）がディスク保持部（１）を連続的に回転させるように構成され、光出射部（４）がディスク内径側面に連続的に光を照射するように構成されている請求項３又は請求項４に記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
ディスク（２）をディスク保持部（１）により保持し、ディスク保持部（１）の空間部の内にある光出射部（４）からディスク内径側面に光を照射し、受光部（７）によりディスク内径側面からの反射光を受光し、受光部（７）からの信号を画像処理部（９）により処理して欠陥を検出し、回転機構（８）により受光部（７）がディスクの内径側面を全て走査するようにディスク保持部（１）を回転させるディスク内径側面の欠陥検査方法。
【請求項７】
移動装置（１０）により光出射部（４）がディスク（２）の中空部を通過してディスク保持部（１）の空間部（３）の外から内に移動するように光出射部（４）とディスク保持部（１）の少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項６記載の欠陥検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の要旨は、ディスクをその一方のディスク面において保持するディスク保持部１と、ディスク内径側面に光を照射する光出射部４と、ディスク内径側面からの反射光を受光する受光部７と、受光部からの信号を処理して欠陥を検出する画像処理部９と、ディスクを保持した際のディスクの中心軸を軸としてディスク保持部を回転させる回転機構８とを備えたディスク内径側面の欠陥検査装置であって、ディスク保持部１は保持されたディスクの中空部に隣接する位置に空間部３を有し、光出射部４はディスク保持部１の空間部内からディスク内径側面を照射可能な構造を有し、回転機構８は受光部がディスクの内径側面上の被検査範囲を全て走査するようにディスク保持部を回転させるように構成されているディスク内径側面の欠陥検査装置にある。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
又、本発明の要旨は、ディスク２をディスク保持部１により保持し、ディスク保持部１の空間部の内にある光出射部からディスク内径側面に光を照射し、受光部７によりディスク内径側面からの反射光を受光し、受光部からの信号を画像処理部９により処理して欠陥を検出し、回転機構８により受光部がディスクの内径側面を全て走査するようにディスク保持部を回転させるディスク内径側面の欠陥検査方法にある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図３に示すように検査していないときは、光出射部４は、ディスク面よりも上方に位置しているので、ディスクを容易に設置又は交換することができる。検査対象となるディスクをディスク保持部に保持させた後、光出射部がディスク内径の中空部を通過してディスク保持部の空間部内に移動するように、移動装置１０はディスク保持部と光出射部との相対的位置関係を変更する。即ち移動装置はディスク保持部と光出射部の少なくとも一方を上方又は下方に移動させる。移動後の状態を図１に示す。装置を簡便に構成するためには光出射部を移動させる構成とすることが好ましい。移動装置としては公知の駆動装置が使用可能である。
本実施形態においては、図１、３に示すように、光出射部４はライトガイド６により光源５に支持され、移動装置１０は光源５を保持する構成となっており、移動装置により光源を移動させることにより光出射部を上下方向に移動させることができるようになっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
又、本発明においては、光出射部がディスクの中空部内であるディスク保持部の空間部から光を照射するとともに、ディスク保持部がディスク面においてディスクを保持しているため、ディスク内周側面と共にディスク外周側面の検査を同時に行うことができる。この場合はディスク外周側面を照射する光出射部とその反射光を受光する受光部を更に用いる。外周側面の検査を行う場合は光出射部は固定して配置することが可能であるので、外周側面の検査用の移動装置は特に必要ない。外周側面の検査を行うための光出射部の出射角や受光部の受光角はディスクの内周端面の検査の場合と同様の角度とすることが可能である。光出射部や受光部としては前述したものなどが使用可能である。又、外周側面の検査を行う場合も、受光部がディスクの外周側面の被検査範囲を全て走査するようにディスクの中心軸を軸としてディスク保持部を回転させる回転機構を用いる。この回転機構はディスク内周側面の検査に用いる回転機構を共通に用いることができる。また、受光部としてディスク内周側面及び外周側面からの反射光を受光する共通の受光部を用いることもできる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【発明の効果】
本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法は、ディスク保持部がディスク面においてディスクを保持し、光出射部がディスク保持部の空間部から光を照射するので、内径側面と外径側面の検査を同時に行うことが可能である。又、本発明の装置及び方法において、受光部としてラインセンサまたはポイントセンサを使用することで、ディスク内径側面の曲率の影響が検査結果に及ぼす影響を小さくし、より正確な検査を行うことが可能となり、更にディスク保持部を連続的に回転させる回転機構、及びディスク内径側面に連続的に光を照射する光出射部を用いて連続的な検査を行うことにより効率よい検査が可能となる。