【手続補正書】
【提出日】平成16年1月30日(2004.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びその装置における基板位置決め方法、並びにこれにより製造されたフラットディスプレイパネル及びその製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクホルダに保持されたパターン形成用のマスクよりも大きな露光対象基板を露光チャックに保持し、該露光チャックを該マスクに対して所定の軸によって所定方向にステップ移動することにより、該露光対象基板を該マスクに対して複数回に分けて所定位置に順次位置決めし、位置決めされた各所定位置でそれぞれ露光処理を行う露光装置において、
前記マスクホルダに前記マスクが保持される前に、前記マスクの位置補正を行う補正手段と、
前記マスクホルダに前記マスクが保持される前に、前記マスクと前記露光チャックとにそれぞれ設けられた位置合わせ用のマークを前記各所定位置で検出し、該マークの位置に応じた検出信号を出力する検出手段と、
前記検出信号に基づき前記各所定位置における前記露光チャックに対する前記マスクの位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて該各所定位置で前記マスクを前記軸に対して所定角度に設定するための補正量を算出する演算手段と、
前記補正量に基づき前記各所定位置で前記マスクを前記軸に対して所定角度に設定するよう前記補正手段の駆動を制御する制御手段と
を具えた露光装置。
【請求項２】
前記補正手段は、前記軸の軸方向において、前記マスクに少なくとも２箇所で接して該マスクの位置補正を行う第１及び第２の位置補正機構と、前記軸の軸方向と該軸方向と直角をなす直角方向において、前記マスクに少なくとも１箇所で接して該マスクの位置補正を行う第３の位置補正機構とを具えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
マスクホルダに保持されたパターン形成用のマスクよりも大きな露光対象基板を露光チャックに保持し、該露光チャックを該マスクに対して所定の軸によって所定方向にステップ移動することにより、該露光対象基板を該マスクに対して複数回に分けて所定位置に順次位置決めし、位置決めされた各所定位置でそれぞれ露光処理を行う露光装置において、
前記マスクが前記マスクホルダに保持された状態で、前記マスクホルダの位置補正を行う補正手段と、
前記マスクが前記マスクホルダに保持された状態で、前記マスクと前記露光チャックとにそれぞれ設けられた位置合わせ用のマークを前記各所定位置で検出し、該マークの位置に応じた検出信号を出力する検出手段と、
前記検出信号に基づき前記各所定位置における前記露光チャックに対する前記マスクの位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて該各所定位置で前記マスクを前記軸に対して所定角度に設定するための補正量を算出する演算手段と、
前記補正量に基づき前記各所定位置で前記マスクホルダを前記軸に対して所定角度に設定するよう前記補正手段の駆動を制御する制御手段と
を具えた露光装置。
【請求項４】
前記補正手段は、前記軸の軸方向に前記マスクホルダの位置補正を行う第１の位置補正テーブルと、前記軸と直角をなす直角方向に前記マスクホルダの位置補正を行う第２の位置補正テーブルと、前記軸の軸方向と前記直角方向とが交わる交点回り方向に前記マスクホルダの位置補正を行う第３の位置補正テーブルとを具えることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
マスクホルダに保持されたパターン形成用のマスクよりも大きな露光対象基板を搬入して露光チャックに保持し、該露光チャックを該マスクに対して所定の軸によって所定方向にステップ移動することにより、該露光対象基板を該マスクに対して複数回に分けて所定位置に順次位置決めし、位置決めされた各所定位置でそれぞれ露光処理を行う露光装置において、
前記露光チャックを所定の方向に移動して、前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行うテーブルと、
前記露光チャック上に搬入される前記露光対象基板の位置を検出し、検出信号を出力する検出手段と、
前記検出信号に基づき前記軸に対する前記露光対象基板の位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて前記露光チャックを前記軸に対して所定角度に設定するための補正量を算出する演算手段と、
前記補正量に基づき前記露光チャックが前記露光対象基板を保持する前に該露光チャックを前記軸に対して所定角度に位置決めするよう前記テーブルの駆動を制御する制御手段と
を具えた露光装置。
【請求項６】
前記テーブルは、前記軸の軸方向に移動して、前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行う第１のテーブルと、前記軸と直角をなす直角方向に移動して、前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行う第２のテーブルと、前記軸の軸方向と前記直角方向とが交わる交点回り方向に移動して、前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行う第３のテーブルとを具えることを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
マスクホルダに保持されたパターン形成用のマスクよりも大きな露光対象基板を搬入して露光チャックに保持し、該露光チャックを該マスクに対して所定の軸によって所定方向にステップ移動することにより、該露光対象基板を該マスクに対して複数回に分けて所定位置に順次位置決めし、位置決めされた各所定位置でそれぞれ露光処理を行う露光装置において、前記露光チャックを所定の方向に移動して前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行うテーブルを用いて、前記露光対象基板を前記露光チャックに保持する前に、該露光対象基板を前記軸に対して位置決めする基板位置決め方法であって、
前記露光チャック上に搬入される前記露光対象基板の位置を検出し、検出信号を出力する工程と、
前記検出信号に基づき前記軸に対する前記露光対象基板の位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて前記露光チャックを前記軸に対して所定角度に設定するための補正量を算出する工程と、
前記補正量に基づき前記露光チャックを前記軸に対して所定角度に位置決めするよう前記テーブルの駆動を制御する工程と
を具えた露光装置における基板位置決め方法。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載の露光装置を用いてフラットパネルディスプレイを製造することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の基板位置決め方法を用いてフラットパネルディスプレイを製造することを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載のフラットパネルディスプレイの製造方法を用いて製造されるフラットパネルディスプレイ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明に係る露光装置における基板位置決め方法は、マスクホルダに保持されたパターン形成用のマスクよりも大きな露光対象基板を搬入して露光チャックに保持し、該露光チャックを該マスクに対して所定の軸によって所定方向にステップ移動することにより、該露光対象基板を該マスクに対して複数回に分けて所定位置に順次位置決めし、位置決めされた各所定位置でそれぞれ露光処理を行う露光装置において、前記露光チャックを所定の方向に移動して前記マスクに対する前記露光対象基板の位置合わせを行うテーブルを用いて、前記露光対象基板を前記露光チャックに保持する前に、該露光対象基板を前記軸に対して位置決めする基板位置決め方法であって、前記露光チャック上に搬入される前記露光対象基板の位置を検出し、検出信号を出力する工程と、前記検出信号に基づき前記軸に対する前記露光対象基板の位置ずれを求め、該位置ずれに基づいて前記露光チャックを前記軸に対して所定角度に設定するための補正量を算出する工程と、前記補正量に基づき前記露光チャックを前記軸に対して所定角度に位置決めするよう前記テーブルの駆動を制御する工程とを具えたものである。これによれば、露光対象基板が露光チャック上に搬入される前に、テーブルによって軸に対する露光対象基板の変位に応じた位置ずれを補正することができるので、露光対象基板を軸に対して位置ずれを生じることなく露光チャックに保持することができる。これによって、露光チャックに対する露光対象基板の面付け精度を向上でき、露光処理を高精度に行えるようになる。
更に、本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造方法は、上記露光装置を用いてフラットパネルディスプレイを製造することを特徴とする。
更に、本発明に係るフラットパネルディスプレイの製造方法は、上記基板位置決め方法を用いてフラットパネルディスプレイを製造することを特徴とする。
また、本発明に係るフラットパネルディスプレイは、上記フラットパネルディスプレイの製造方法を用いて製造されることを特徴とする。