【手続補正書】
【提出日】平成15年10月30日(2003.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法、および前記液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口と、
該吐出口に前記液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路と、
該液流路に充填された前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、
前記吐出口側を自由端とし、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられる可動部、前記基板に支持固定される支持固定部、及び前記可動部の該支持固定部近傍に設けられる支持部を有する可動部材と、を少なくとも有し、
前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の支点部を中心として前記吐出口側に変位されることにより、前記液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記可動部材は、シリコン系の材料で形成され、かつ、前記間隙を形成する屈曲部を有しているとともに前記支点部は曲面形状を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記可動部材の材料は、窒化シリコンまたは酸化シリコンまたは炭化シリコンである請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記可動部材は、支点部の内側に曲面形状を有している請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記可動部材は、支点部の外側に曲面形状を有している請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記基板は前記発熱体上に無機絶縁保護層を有している請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記基板の表面には耐キャビテーション層が設けられている請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記可動部材の支持固定部と前記基板との間に、密着層が設けられている請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記密着層の材料にはタンタルが含まれている請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記密着層の材料は五酸化タンタルである請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記可動部材は、定常状態において流路の基板と対面する面に対しても間隙を有する請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記可動部材の厚みは１〜５μｍである請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
液体を吐出するための吐出口と、
該吐出口に前記液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路と、
該液流路に充填された前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、
前記吐出口側を自由端とし、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられる可動部、前記基板に支持固定される支持固定部、及び前記可動部の該支持固定部近傍に設けられる支持部を有する可動部材と、を備え、
前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位されることにより、前記液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記基板の上に前記間隙を形成するための間隙形成部材を形成する工程と、
前記基板および前記間隙形成部材の上に、前記可動部材をなすシリコン系の材料からなる可動部材用基材層を成膜する工程と、
前記可動部材用基材層をパターニングして前記可動部材を形成する工程と、
前記間隙形成部材を除去する工程とを有し、
前記基板および前記間隙形成部材の上に、前記可動部材をなす可動部材用基材層を形成する工程の前には、前記間隙形成部材の、前記可動部材の支点部を形成する部分を曲面形状に形成する工程を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記間隙形成部材の、前記可動部材の支点部を形成する部分を曲面形状に形成する工程は、前記間隙形成部材の上に前記間隙形成部材をパターニングするためのレジストを形成する工程と、
前記間隙形成部材の前記レジストが覆われていない部分をエッチングにより除去する工程とを有する請求項１２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記間隙形成部材と前記レジストとの密着性を、前記間隙形成部材と前記基板との密着性よりも弱く設定する請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記レジストの材料として前記間隙形成部材とのエッチングの選択比が略１：１である材料を用いる請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記間隙形成部材の、前記可動部材の支点部を形成する部分を曲面形状に形成する工程の後には、前記間隙形成部材の表面と前記可動部材の支点部を形成する部分との境界に形成される角部を除去するための工程を有する請求項１２から１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記間隙形成部材の表面と前記可動部材の支点部を形成する部分との境界に形成される角部を除去するための工程は、前記間隙形成部材の角部を融解するための熱処理を行う工程からなる請求項１６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記間隙形成部材の材料には、露光および現像処理が行われる端部に凸型曲面状の斜面が形成される特徴を有する高耐熱性レジストを用いる請求項１２から１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記可動部材の材料に、窒化シリコンまたは酸化シリコンまたは炭化シリコンを用いる請求項１２から１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２０】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段とを有する液体吐出装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱エネルギーを液体に作用させることで起こる気泡の発生によって所望の液体を吐出する液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法、および前記液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置に関する。特に、気泡の発生を利用して変位する可動部材を有する液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法、および前記液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明は、上述の課題に鑑みなされたものであって、インク供給特性および信頼性を向上させることができ、かつ製造工程を簡易化することができる液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法、及び該液体吐出ヘッドが搭載された液体吐出装置を提供することを目的とするものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に前記液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記吐出口側を自由端とし、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられる可動部、前記基板に支持固定される支持固定部、及び前記可動部の該支持固定部近傍に設けられる支持部を有する可動部材と、を少なくとも有し、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の支点部を中心として前記吐出口側に変位されることにより、前記液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記可動部材は、シリコン系の材料で形成され、かつ、前記間隙を形成する屈曲部を有しているとともに前記支点部は曲面形状を有していることを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための吐出口と、該吐出口に前記液体を供給するために前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された前記液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記吐出口側を自由端とし、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて設けられる可動部、前記基板に支持固定される支持固定部、及び前記可動部の該支持固定部近傍に設けられる支持部を有する可動部材と、を備え、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位されることにより、前記液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記基板の上に前記間隙を形成するための間隙形成部材を形成する工程と、前記基板および前記間隙形成部材の上に、前記可動部材をなすシリコン系の材料からなる可動部材用基材層を成膜する工程と、前記可動部材用基材層をパターニングして前記可動部材を形成する工程と、前記間隙形成部材を除去する工程とを有し、前記基板および前記間隙形成部材の上に、前記可動部材をなす可動部材用基材層を形成する工程の前には、前記間隙形成部材の、前記可動部材の支点部を形成する部分を曲面形状に形成する工程を有することを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】