(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムの不良を検査する装置であって、
前記フィルムに透過させる光を発光する光源および複数の受光部が並んだセンサを有し、該センサで前記フィルムをスキャンするカメラと、
前記センサでスキャンして得た電荷信号を電圧信号に変換し、該電圧信号からフィルムの不良部分を分析するために、前記電圧信号を微分する手段、前記フィルムの不良部分であるか否かを判定するための判断用閾値を記憶する手段、および微分された前記電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定する手段を含む分析する手段と、
前記電圧信号からフィルムの不良部分の大きさを分別するための複数の大きさ閾値を記憶する手段と、
分析された前記電圧信号と前記複数の大きさ閾値を比較し、該電圧信号がいずれの大きさ閾値に一致するかを求める手段と、
前記フィルムの不良部分をスキャンした回数、スキャン間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求める手段と、
前記不良部分の長さと前記微分された電圧信号の波形とから不良部分の種類を分類する手段と、
を含むフィルム検査装置。
【請求項２】
前記フィルムの不良部分の大きさを分別するための基準数を記憶する手段と、
前記不良部分をスキャンした受光部の数と基準数とを比較し、該受光部の数が基準数以上であるか否かを求める手段と、
を含む請求項１のフィルム検査装置。
【請求項３】
前記閾値ごとに基準数が異なる請求項２のフィルム検査装置。
【請求項４】
前記フィルムが加熱延伸によって製造されたものであり、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向または斜め方向に移動させる手段を含む請求項１乃至３のいずれかのフィルム検査装置。
【請求項５】
フィルムの不良を検査する方法であって、
前記フィルムに光を透過させるステップと、
複数の受光部が並んだセンサで前記フィルムを透過した光を受光するステップと、
受光した前記光に応じて電圧信号を生成し、該電圧信号から不良部分を分析するために、前記電圧信号を微分し、微分された前記電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定することにより、不良部分を分析するステップと、
分析された前記電圧信号が複数の大きさ閾値のいずれに一致するかを求めるステップと、
前記フィルムの不良部分を透過した光を受光した回数、受光間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求めるステップと、
前記不良部分の長さと前記微分された電圧信号の波形とから不良部分の種類を分類するステップと、
を含むフィルム検査方法。
【請求項６】
前記不良部分を透過した光を受光した受光部の数と基準数とを比較するステップを含む請求項５のフィルム検査方法。
【請求項７】
前記大きさ閾値ごとに基準数が異なる請求項６のフィルム検査方法。
【請求項８】
前記フィルムが加熱延伸によって製造されたものであり、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向または斜め方向に移動させるステップを含む請求項５乃至７のいずれかフィルム検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムにできる微小な不良、特にフィッシュアイ（ＦＥ）を検査するフィルム検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フィルムの製造時にフィッシュアイと呼ばれる微小な不良が発生する場合がある。フィッシュアイは、フィルムの製造時にフィルムの材料が完全に溶融されなかったり、その材料に不純物が混入したりすることによって発生するものである（特許文献１参照）。
【０００３】
フィルムの使用用途によっては、フィッシュアイがフィルムの機能および外観を損ねる場合がある。例えば、半導体ウェハーのダイシング用のシートとして使用するフィルムがある。そのフィルムにフィッシュアイがある場合、フィルムの上に半導体ウェハーを平坦に載置できず、半導体ウェハーのダイシングを失敗するおそれがある。
【０００４】
そのためフィルムの使用用途によって許容されるフィッシュアイの大きさや単位面積当たりの数を決めるのが一般的である。そこでフィッシュアイを検査する装置が種々開発され、開示されている（特許文献２〜６参照）。これらの装置は、フィルムをラインセンサで撮影し、ラインセンサで得られたデータを画像処理した後、２値化等によりフィッシュアイを検出するものである。
【０００５】
画像処理のフローの一例を図１５に示す。ラインセンサのデータから異常を検出すると、フィルムの進行方向から異常部分の長さを計算する。その長さが長ければひっかき傷などであり、重欠点と判定する。長さが短ければ、フィッシュアイであるか否かの判定をおこなう。フィッシュアイでなければ、ノイズと判定する。フィッシュアイであれば、大きさを求めて分類をおこなう。
【０００６】
しかし、従来の検査装置は、ラインセンサの分解能によってフィッシュアイの大きさを正確に算出できない場合がある。例えば、フィッシュアイが微小であると、フィッシュアイの存在を確認できても、フィッシュアイの大きさまでを正確に求めることができない場合がある。このような場合、許容できるフィッシュアイであるか否かの判断ができない。すなわち、図１５の大きさのｎ段階分類がラインセンサの分解能に制約されるおそれがある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−１５０４２９号公報
【特許文献２】特許第３２２４６２３号公報
【特許文献３】特許第３２２４６２４号公報
【特許文献４】特開平８−１０５８４２号公報
【特許文献５】特開平６−８２３８５号公報
【特許文献６】特許第２７３６５２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、フィルムの製造時に発生するフィッシュアイを検査する検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の検査装置は、フィルムの不良を検査する装置であって、前記フィルムに透過させる光を発光する光源および複数の受光部が並んだセンサを有し、該センサで前記フィルムをスキャンするカメラと、前記センサでスキャンして得た電荷信号を電圧信号に変換し、該電圧信号からフィルムの不良部分を分析する手段と、前記電圧信号からフィルムの不良部分の大きさを分別するための複数の大きさ閾値を記憶する手段と、分析された前記電圧信号と複数の大きさ閾値を比較し、該電圧信号がいずれの大きさ閾値に一致するかを求める手段と、を含む。
【００１０】
前記フィルムの不良部分の大きさを分別するための基準数を記憶する手段と、前記不良部分をスキャンした受光部の数と基準数とを比較し、該受光部の数が基準数以上であるか否かを求める手段と、を含む。
【００１１】
前記閾値ごとに基準数が異なる。
【００１２】
前記フィルムが加熱延伸によって製造されたものであり、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向または斜め方向に移動させる手段を含む。
【００１３】
前記分析する手段が、前記電圧信号を微分する手段と、前記フィルムの不良部分であるか否かを判定するための判断用閾値を記憶する手段と、微分された前記電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定する手段と、を含む。
【００１４】
前記フィルムの不良部分をスキャンした回数、スキャン間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求める手段と、前記不良部分の長さと前記微分された電圧信号の波形とから不良部分の種類を分類する手段と、を含む。
【００１５】
本発明の検査方法は、フィルムの不良を検査する方法であって、前記フィルムに光を透過させるステップと、複数の受光部が並んだセンサで前記フィルムを透過した光を受光するステップと、受光した前記光に応じて電圧信号を生成し、該電圧信号から不良部分を分析するステップと、分析された前記電圧信号が複数の大きさ閾値のいずれに一致するかを求めるステップと、を含む。
【００１６】
前記不良部分を透過した光を受光した受光部の数と基準数とを比較するステップを含む。
【００１７】
前記大きさ閾値ごとに基準数が異なる。
【００１８】
前記フィルムが加熱延伸によって製造されたものであり、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向または斜め方向に移動させるステップを含む。
【００１９】
前記分析するステップが、前記電圧信号を微分するステップと、微分された前記電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定するステップと、を含む。
【００２０】
前記フィルムの不良部分を透過した光を受光した回数、受光間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求めるステップと、前記不良部分の長さと前記微分された電圧信号の波形とから不良部分の種類を分類するステップと、を含む。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、フィルムのフィッシュアイをレンズのようにして利用し、正常部分と不良部分の差でフィッシュアイの有無を検出している。その差の値によってフィッシュアイの大きさがわかる。また、フィッシュアイの部分を透過した光を受光した受光素子の数によってフィッシュアイが流れ状になっているか否かも判別できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明に係るフィルム検査装置および検査方法の実施形態について図面を使用して説明する。本発明で検査されるフィルムは半導体ウェハーのダイシングシートをはじめ種々のものである。また、種々の不良（または欠点という）があるが、本発明は特にフィッシュアイ（ＦＥ）を検査するものである。なお、図１において、後述する種々の記憶手段を記憶される内容で示している場合がある。また、図２以降の各波形は一例であり、実際と異なる場合がある。
【００２３】
図１に示す本発明のフィルム検査装置１０は、フィルムに透過させる光を発光する光源および複数の受光部が並んだセンサを有し、センサでフィルムをスキャンするカメラ１２と、センサでスキャンして得た電荷信号を電圧信号に変換し、電圧信号からフィルムの不良部分を分析する分析手段１４と、電圧信号からフィルムの不良部分の大きさを分別するための複数の大きさ閾値を記憶する記憶手段１６と、分析された電圧信号と複数の大きさ閾値を比較し、電圧信号がいずれの大きさ閾値に一致するかを求めるコンパレータ（比較手段）１８とを含む。
【００２４】
フィルム検査装置１０は、ホストコンピュータ１１によって全体が制御されて動作する。すなわち、ホストコンピュータ１１が種々の手段に指令を与える。
【００２５】
カメラ１２はラインセンサカメラであり、カメラ駆動部１３によって制御される。例えば受光部としてフォトダイオードが用いられ、フォトダイオードに蓄積された電荷を順次取り出すためにＣＣＤ（charge coupled device）を用いる。上述のスキャンは、フィルムを透過した光を受光部で受光することである。
【００２６】
分析手段１４は、電圧信号の中に異常信号があるか否かを求める手段である。その手段は、回路、ソフト、またはその両方で構成する。不良部分を透過する光は、図２のように突出した電圧（異常信号）になる。これは、例えばフィッシュアイがレンズとして働き、フォトダイオードに集光したりするためである。異常信号を検出することによって、不良部分の存在を求めることができる。
【００２７】
大きさ閾値を記憶する記憶手段１６は、コンピュータなどで使用されるハードディスクやメモリなどのデータを記憶する手段である。
【００２８】
コンパレータ１８は、各閾値に対して設けられる。分析された電圧信号がどの大きさ閾値と一致するかを求めることによって、フィルムの不良部分の大きさを求めることができる。なお、コンパレータ１８は電圧信号を２値化して、その電圧信号を処理するものであっても良い。
【００２９】
１スキャン形状判断にて欠点と判断すれば、長さ計測中にゲートを開き、コンパレータ１８で比較の結果をホールドして補正手段２４に送る。図中のゲート１９ａ、ホールド１９ｂ、大きさ１９ｃのブロックは、上述したデータの流れを示している。
【００３０】
従来と異なり電圧信号によって大きさを求めることができ、カメラ１２の分解能によって制限される不良部分の大きさの分類も可能である。
【００３１】
本発明のフィルム検査装置１０は、フィルムの不良部分の大きさを分別するために設定された基準数を記憶する記憶手段２０と、不良部分をスキャンした受光部の数と基準数とを比較する手段２２と、比較によって受光部の数が基準数より多いか否かを求める補正手段２４とを含む。
【００３２】
基準数は、不良部分を透過した光を受光した受光部の数である。フィッシュアイが円形であっても楕円形であっても同じ電圧信号となる場合がある。これは、フィッシュアイをスキャンする方向の幅に比例するためであると考えられる。その場合に、不良部分の大きさが異なっても大きさが同じと判定してしまうこととなる。このため、基準数を設け、例えば、不良部分をスキャンしたフォトダイオードの数が基準数より多ければ、不良部分の大きさを大きくするようにする。
【００３３】
基準数を記憶する記憶手段２０は、コンピュータなどで使用されるハードディスクやメモリなどのデータを記憶する手段である。
【００３４】
補正手段２４は、回路、ソフト、またはその両方で構成する。補正手段は、上述したように、例えば、不良部分をスキャンしたフォトダイオードの数が基準数以上であれば、不良部分の大きさを大きくするようにする。不良部分の大きさを大きくする方法の一例としては、コンパレータ１８で求められた大きさよりも１つ大きな大きさ、すなわち１つ大きな大きさ閾値の大きさに変更するようにする。
【００３５】
フィルムの製造時にフィッシュアイがフィルムの引き出し方向に流れても（楕円形の長軸が引き出し方向を向いても）、フィッシュアイを適正な大きさに分類することができる。
【００３６】
大きさ閾値ごとに基準数が異なるようにする。フィッシュアイの大きさによってそのフィッシュアイを透過した光を受光する受光部の数が異なるからである。
【００３７】
フィルムが加熱延伸によって製造されたものであり、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向に移動させるフィルム送り装置を本発明は含む。フィルムの移動方向を上述のようにすることによって、楕円形のフィッシュアイの長軸が、フィルムの移動方向に対して垂直方向になる。これは、フィルムの製造時にフィッシュアイがフィルムの引き出し方向に流れるためである。したがって、補正手段２４は、不良部分をスキャンしたフォトダイオードの数が基準数以上であれば、不良部分の大きさ分類を1ランク上げるなど、大きさの分類を大きくする。
【００３８】
分析手段１４は、電圧信号を微分する微分手段２６と、フィルムの不良部分であるか否かを判定するための判断用閾値を記憶する記憶手段２８と、微分された電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定する判定手段３０とを含む。
【００３９】
微分手段２６は、回路、ソフト、またはその両方で構成する。電圧信号を微分することによって、正常部分と不良部分との差を絶対的な差から相対的な差にすることができる。相対的な差になることにより、フィルムによる光の透過の違いを考慮しなくてもよい。
【００４０】
判断用閾値を記憶する記憶手段２８は、他の記憶手段と同様に、コンピュータなどで使用されるハードディスクやメモリなどのデータを記憶する手段である。
【００４１】
判定手段３０は、微分された電圧信号の中の異常信号が判定用閾値よりも大きいまたは小さければ不良と判定する手段である。判定手段は、他の手段と同様に、回路、ソフト、またはその両方で構成する。
【００４２】
フィルム検査装置１０は、フィルムの不良部分をスキャンした回数、スキャンの時間間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求める手段３２と、不良部分の長さと微分された電圧信号の波形形状とから不良部分の種類を分類する手段３４とを含む。また、微分された信号の波形から１スキャンの波形形状を判断する手段３１を含む。
【００４３】
フィルム検査装置１０は、フィルムのスキャンする時間間隔が一定であり、スキャンした回数およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求めることができる。なお、単位長さ当たりの受光部の数がフィルムの幅方向の分解能となるが、スキャンの時間間隔とフィルムの移動速度によってフィルムの移動方向の分解能が求められる。本発明は、この分解能によっても不良部分の大きさの判定に影響されることはない。
【００４４】
不良部分はフィッシュアイだけではなく色が異なる欠点や傷も不良である。微分された信号の波形から、図４〜７に示すように１スキャンの信号よりわかる不良を４つに分類することができる。この分類と不良部分の長さとから不良部分の種類を判断することができる。なお、種々の波形はフィルム検査装置１０の任意の記憶手段に記憶しておく。
【００４５】
また、最終的に不良部分の形状をコンピュータのディスプレイなどに表示するのであれば、欠点画像生成手段３５を設ける。エンコーダを設け、フィルムのＸ方向およびＹ方向の同期信号を欠点画像生成手段３５に入力し、その信号に同期して欠点画像を生成する。フィルムのＸ方向およびＹ方向は、フィルムの幅方向および進行方向である。
【００４６】
さらに、上述した各手段によって検出したフィッシュアイの数をカウントする手段を検査装置１０に設けても良い。フィルムに形成されてしまったフィッシュアイの数によって許容範囲のフィッシュアイ数であるか否かを判別する。この判別を自動的におこなう手段（回路および／またはプラグラム）を検査装置１０に設けても良い。また、フィッシュアイの数を単位面積当たりでカウントする手段（回路および／またはプラグラム）を検査装置１０に設けても良い。さらには、上記のフィッシュアイの数のカウントは、フィッシュアイの大きさごとにおこなうようにしても良く、そのための手段（回路および／またはプラグラム）を検査装置１０に設けても良い。
【００４７】
次に、上述したフィルム検査装置１０を使用したフィルム検査方法について説明する。
【００４８】
検査方法は、次の（１）〜（４）のステップを含む。（１）フィルムに光を透過させる。（２）複数の受光部が並んだセンサでフィルムを透過した光を受光する。（３）受光した光に応じて電圧信号を生成し、電圧信号から不良部分を分析する。（４）分析された信号が複数の大きさ閾値のいずれに一致するかを求める。
【００４９】
（１）のステップでは、フィルムを移動させながらおこなう。センサの種類がラインセンサであるからである。なお、センサが順次フィルムをスキャンするのであれば、フィルムの代わりにセンサが移動してもよい。
【００５０】
（２）のステップで光を受光したときにフィルムに不良部分があると、（３）のステップで図２に示すように電圧信号に突出した部分が発生したりする。この突出した部分によってフィルムに不良部分があることがわかる。
【００５１】
（３）の分析は、電圧信号を微分するステップと、微分された電圧信号と判断用閾値とを比較し、フィルムの不良であるか否かを判定するステップとを含む。
【００５２】
図３に示すように、電圧信号を微分することにより不良部分と正常部分との電圧の差を、絶対値から相対値に変更している。フィルムの違いによる光の透過率などの違いの影響を除去している。
【００５３】
判断用閾値は、図３に示すように、上限値と下限値を設定する。微分された電圧信号において、判断用閾値の上限値を超える又は下限値を割る箇所があればフィルムに不良部分があると判定する。
【００５４】
フィルムの不良部分はフィッシュアイだけではないため、不良の種類を分類する必要もある。そこで、検査方法は、フィルムの不良部分を透過した光を受光した回数、受光した時間間隔、およびフィルムの移動速度から不良部分の長さを求めるステップと、不良部分の長さと微分された電圧信号の波形とから不良部分の種類を分類するステップとを含む。
【００５５】
センサは一定時間ごとに光を受光するため、不良部分を受光した回数とフィルムの移動速度から不良部分の長さを求めることができる。
【００５６】
不良部分の種類によって微分された電圧信号の波形が異なる。例えば、図４〜７に不良部分の種類による波形の違いを示す。図４は不良部分を透過した光が明るく、幅が狭いことを示し、不良部分の長さが短ければフィッシュアイである（図９（ａ）参照）。図９（ａ）はフィルム５０にフィッシュアイ５２ａがあることを示している。フィッシュアイであれば、上記（４）のステップをおこなう。
【００５７】
図５は不良部分を透過した光が暗く、幅が狭いことを示し、フィルムの精製時に混入した不純物によってフィルムに発生した着色による不良である（図９（ｂ）参照）。図９（ｂ）はフィルム５０に着色された不良５２ｂがあることを示している。このような不良であっても上記（４）のステップに移行し、大きさの分類をおこなってもよい。
【００５８】
不良部分を透過した光の明るさが明るいまたは暗く、不良部分の幅が狭く、不良部分の長さが長ければ、図９（ｃ）のような筋状の不良５２ｃと判定する。上記（４）のステップに移行しないか、移行したとしても大きさの値は無効にする。これは、筋状の不良であれば数ｍｍ連続で発生することがほとんどであり、面積算出ができない場合があるためである。
【００５９】
図６は不良部分を透過した光が明るく、幅が広い。図７は不良部分を透過した光が暗く、幅が広い。不良部分を透過した光の明るさが明るいまたは暗く、不良部分の幅が広く、不良部分の長さが長ければ、不良部分がかなり大きいと判定する（図９（ｄ）参照）。図９（ｄ）はフィルム５０に大きな欠点５２ｄがあることを示している。上記（４）のステップに移行しないか、移行したとしても大きさの値は無効にする。
【００６０】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、上記（４）のステップで分析された信号がどの大きさ閾値に一致するかを求めることによって、不良部分の大きさを求めることができる。なお、微分された信号電圧の値の最大値が大きさ閾値ｎ以上ｎ＋１未満にある場合、大きさ閾値ｎに一致するとする（ｎは１以上の整数）。すなわち、不良部分の大きさを求めるときの大きさ閾値は一定の幅を有する値となっている。図１０（ａ）であれば、大きさ閾値１と２との間に微分された信号電圧があるため、大きさ閾値１と一致していることとなる。上述した大きさ閾値の幅および大きさ閾値の数は任意である。フィッシュアイの検査に求められる精度などによって大きさ閾値の幅および大きさ閾値の数を決定する。
【００６１】
なお、光の明るさが明るいまたは暗く、不良部分の幅が広く、不良部分の長さが短い場合は発生しない。また、図８のような波形であればノイズと判定し、この信号は無視して、以降の処理はおこなわないようにする。ノイズは１スキャンのみで判定することができるが、数スキャンの信号から判定し、ノイズと判定する精度を上げても良い。
【００６２】
上記（４）のステップは複数の大きさ閾値を記憶手段１６に記憶させおく。この大きさ閾値は、上述したように一定の幅を有する。図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、微分された電圧信号がいずれの大きさ閾値の範囲に入るかを求めることによって、簡単に不良部分の大きさが求められる。
【００６３】
以上のように、微分された電圧信号を用いて不良部分の大きさを判定しており、センサの分解能に影響されない。従来ではセンサの分解能によって判定できなかった不良部分の大きさを判定することができる。
【００６４】
フィルムを加熱延伸で製造したときにフィッシュアイが楕円形になる場合がある。この場合、上述した工程だけでは大きさの判定を誤る可能性がある。図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、センサがスキャンするフィッシュアイ５２ａの幅に応じて電圧信号が変化する。図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、センサがスキャンする方向に同じ幅のフィッシュアイ５２ａであれば、円形であっても楕円形であっても最大の信号電圧が同じとなってしまう。これは、信号電圧の大きさがフィッシュアイ５２ａのスキャンする幅方向に影響されているためであると考えられる。したがって、楕円形のフィッシュアイ５２ａが実際の大きさよりも小さく判定されてしまう。そこで本発明の検査方法は、上記（４）のステップの後、不良部分を透過した光を受光した受光部の数と基準数と比較するステップを含める。上記の数が基準数よりも多ければ、１つ大きな大きさ閾値の大きさになるようにする。大きさの分類のフローを簡単に示すと、図１３に示すようになる。図１３は、従来技術で示した図１５の大きさのｎ段階分類を新たに示していることとなる。なお、図１１、１２において、丸で囲んだ数字は受光部を示しており、縦軸は電圧であり、横軸は時間となるが、各受光部がどのように変化するのか並べて示している。
【００６５】
また、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して垂直方向に移動させる。楕円形になったフィッシュアイの長軸がセンサの受光部の並びに平行になるようにするためである。長軸と受光部の並びの方向が一致することにより、楕円形であれば円形のフィッシュアイよりもフィッシュアイを透過した光を受光する受光部の数が多くなる。したがって、上述した比較するステップによってフィッシュアイの大きさを１つ大きな大きさと判定することができる。
【００６６】
大きさ閾値ごとに基準数が異なるようにする。フィッシュアイの大きさが異なるからである。
【００６７】
上述したように、本発明はセンサの分解能に影響されずにフィッシュアイの大きさを判定することができ、フィッシュアイが楕円形であっても大きさを分類することができる。
【００６８】
最後に必要に応じて不良部分の画像を生成し、コンピュータのディスプレイなどに表示する。信号電圧を微分した信号が欠点信号として画像生成手段３５に入力され、Ｘ方向およびＹ方向の同期信号に同期して画像を生成する。
【００６９】
また、本発明の検査方法は、上述したステップで検出されたフィッシュアイの数をカウントするステップを含めても良い。フィルムの使用目的などによってフィッシュアイの許容数が異なるからである。フィッシュアイの数を単位面積当たりでカウントするステップを含めても良い。さらには、上述のフィッシュアイのカウントは、フィッシュアイの大きさごとにおこなっても良い。
【００７０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されることはない。例えば、フィルムに光を透過させるときに、フィルムを加熱延伸時の引き出し方向に対して斜め方向に移動させてもよい。斜め方向にフィルムを移動させることにより、円形と楕円形のフィッシュアイの電圧信号が異なるようになる。したがって、不良部分を透過した光を受光した受光部の数と基準数と比較するステップをおこなわなくても良くなる。この場合、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、円形のフィッシュアイと楕円形のフィッシュアイとで信号電圧の大きさが異なるため、比較する手段や補正手段は含めずに、直接ホストコンピュータに大きさが入力されるようにする。
【００７１】
その他、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々の改良、修正、変更を加えた態様で実施できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】フィルムに不良部分があった場合に信号電圧に異常部分が発生している図である。
【図３】信号電圧を微分した図である。
【図４】不良部分を透過した光が明るく、不良部分の幅が狭い場合の信号電圧を微分した図である。
【図５】不良部分を透過した光が暗く、不良部分の幅が狭い場合の信号電圧を微分した図である。
【図６】不良部分を透過した光が明るく、不良部分の幅が広い場合の信号電圧を微分した図である。
【図７】不良部分を透過した光が暗く、不良部分の幅が広い場合の信号電圧を微分した図である。
【図８】ノイズが発生した場合の信号電圧を微分した図である。
【図９】フィルムの不良部分を示す図であり、（ａ）はフィッシュアイの図であり、（ｂ）はフィルムに色が付いた不良の図であり、（ｃ）はフィルムに付いた筋状の傷の図であり、（ｄ）はフィルムにできた大きな欠点の図である。
【図１０】フィッシュアイの大きさを判定する図であり、（ａ）は大きさ閾値１の場合の図であり、（ｂ）は大きさ閾値２の場合の図である。
【図１１】フィッシュアイの大きさによって信号電圧が異なることを示す図であり、（ａ）は３つの受光部がフィッシュアイを透過した光を受光する場合であり、（ｂ）は５つの受光部がフィッシュアイを透過した光を受光する場合である。
【図１２】フィッシュアイの大きさが異なっても信号電圧が同じになることを示す図であり、（ａ）は円形のフィッシュアイであり、（ｂ）は楕円形のフィッシュアイである。
【図１３】フィッシュアイの大きさを判定するためのフローを示す図である。
【図１４】フィッシュアイを斜めにスキャンした場合の図であり、（ａ）は５つの受光部がフィッシュアイを透過した光を受光する場合であり、（ｂ）は７つの受光部がフィッシュアイを透過した光を受光する場合である。
【図１５】従来のフィッシュアイの検査方法のフローを示す図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０：検査装置
１１：ホストコンピュータ
１２：カメラ
１３：カメラ駆動部
１４：分析手段
１６：大きさ閾値の記憶手段
１８：コンパレータ
２０：基準数の記憶手段
２２：比較器
２４：補正手段
２６：微分手段
２８：判定用閾値の記憶手段
３０：判定手段
３２：長さを計測する手段
３４：不良部分の種類の判定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0004829542.tif 000008
【図８】
0004829542.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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