(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物（６）から金属を除去するための金属加工装置であって、
１）被加工物のためのホルダーと、
２）加工界面（１９）に沿って前記被加工物（６）と係合して前記被加工物から金属を除去するように構成された金属加工工具（２）と、
３）入口（２８）及び出口（２９）を有する流路（２７）とレーザ穿孔（２２）とを備えたノズル本体（２１）を含む、冷却剤流体の流れ（１８）を放出するための冷却剤ノズル（２０）と、
４）前記金属加工工具（２）に対して前記ノズルを目視的に位置決めするために前記ノズル本体（２１）と協働することによって前記冷却剤流体の放出された流れ（１８）を前記加工界面（１９）へ配向することができる、前記レーザ穿孔（２２）内に着脱自在に挿入された可視光レーザ装置（４０）と、
を含み、
前記レーザ穿孔（２２）は、該レーザ穿孔（２２）から前記流路（２７）の前記出口（２９）まで直線で見通せるように構成され、
前記冷却剤ノズル（２０）が、前記可視光レーザ装置（４０）を除去して着脱自在プラグ（５０）を前記レーザ穿孔（２２）内に挿入するように構成されている
ことを特徴とする金属加工装置。
【請求項２】
前記加工界面（１９）が加工基準点（１５）を含み、前記流路出口（２９）が流れ基準点（２５）を有し、前記可視光レーザ装置から放出される可視レーザ光線を前記流れ基準点（２５）と前記加工基準点（１５）とを通るライン（２３）に沿って位置合わせすることによって前記冷却剤ノズル（２０）を位置決めすることができることを特徴とする請求項１に記載の金属加工装置。
【請求項３】
加工界面（１９）において被加工物（６）から金属を除去するための加工装置（２）に冷却剤流体を供給する際に使用するレーザ目標設定冷却剤ノズル（２０）であって、
１）入口（２８）及び出口（２９）を有する流路（２７）と、ノズル本体（２１）の外側表面にアクセス孔（２４）を形成するレーザ穿孔（２２）とを備えた冷却剤ノズル本体（２１）と、
２）前記加工装置（２）に対して前記冷却剤ノズル（２０）を目視的に位置決めするために前記ノズル本体（２１）と協働することによって、冷却剤流体の流れ（１８）を前記加工界面（１９）へ配向することができる、前記レーザ穿孔（２２）内に着脱自在に挿入された可視光レーザ装置（４０）と、
を含み、
前記レーザ穿孔（２２）は、該レーザ穿孔（２２）から前記流路（２７）の前記出口（２９）まで直線で見通せるように構成され、
前記冷却剤ノズルが更に、前記流路（２７）との流体連通から前記アクセス孔（２４）を密閉するために、前記可視光レーザ装置の代わりに前記レーザ穿孔（２２）内に挿入することができる着脱自在プラグ（５０）を備えている
ことを特徴とするレーザ目標設定冷却剤ノズル（２０）。
【請求項４】
前記レーザ穿孔（２２）が前記流路（２７）と連通していることを特徴とする請求項３に記載のレーザ目標設定冷却剤ノズル（２０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却剤流体を使用する研削の方法及び装置に関する。特に、本発明は、これにより極めて高度の材料除去率が達成されるクリープフィード研削と呼ばれる加工法の機能向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリープフィード研削は、多くの場合１回のパスで固体物から完全な断面深さを切削することができるフルデプス又はフルカット作業である。機械加工しようとする被加工物は、回転研削ホイールに一定速度で送られる定盤に固定される。材料除去率は、他の多くの要因と組み合わさった研削ホイール表面のチップキャビティのサイズ及び数によって設定される。高い材料除去率は達成可能であるが、このプロセスは、被加工物表面を焼き付けて研削ホイールを損傷させるのに十分な熱を発生させる可能性がある。これまでは、研削ホイールによる切削深さを増大させるには、被加工物の送り速度を低下するか、又は２度又はそれ以上のパスで作業を行うことが必要であった。
【０００３】
研削ホイール接触領域に十分な冷却剤流を供給して被加工物及び研削ホイールの冷却及び効率的な洗浄を確実にすることにより改善が認められた。ジェット洗浄ノズルを使用して、研削ホイール表面の近くに大量の冷却剤を送出することがよく知られている。研削ホイールの種類及び組成は、材料除去率と研削ホイール磨耗との間に最善の許容可能な均衡を得るために、研削しようとする材料の種類は慎重に選択される。
【０００４】
被加工物から金属材料をより高速度に除去するには、金属加工工具と被加工物との間の界面の全プロファイルにわたって正確に且つ十分な量を供給される必要がある相当な量の冷却剤を要する。通常冷却剤ノズルは、経験並びに金属加工工具に冷却剤流を供給する配向と位置の推測に基づいて、オペレータにより手動的に位置決めされる。例えば、研削作業中における冷却剤流の相当な量及び圧力は、研削域に溢れて、冷却剤流の正確な衝突位置及び加工界面の正確な位置のどのような視界をも見えなくする。冷却剤流が加工界面に対して正確に供給されない場合には、加工された被加工物は、過度の発熱又は材料除去に起因する欠陥を有し、再加工するか又は廃棄する必要がある場合が多い。
【特許文献１】特開２００１−００９７２０号公報
【特許文献２】特開２００１−２９３６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、金属加工工具と被加工物との間の加工界面のプロファイルにわたり冷却剤の適切な流れが正確且つ十分な量だけ供給されることを保証するために更なる改良が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、被加工物から金属を除去するための金属加工装置であって、１）被加工物のためのホルダーと、２）加工界面に沿って被加工物と係合して被加工物から金属を除去するように構成された金属加工工具と、３）入口及び出口を有する流路と流路出口の見通し線を有するレーザ穿孔とを備えたノズル本体を含む、冷却剤流体の流れを放出するための冷却剤ノズルと、４）金属加工工具に対してノズルを目視的に位置付けるためにノズル本体と協働することによって冷却剤流体の放出された流れを加工界面へ配向することができる、レーザ穿孔内に着脱自在に挿入された可視光レーザとを含む金属加工装置に関する。
【０００７】
本発明はまた、被加工物から金属を除去するための金属研削装置であって、１）被加工物のためのホルダーと、２）界面プロファイルを有する加工界面において被加工物と係合して被加工物から金属を除去するように構成された回転研削工具と、３）界面プロファイルと実質的に同一の断面プロファイルを有する冷却剤流体の流れを放出するための冷却剤ノズルと、４）金属加工工具に対してノズルを目視的に位置決めするために冷却剤ノズルと協働することによって、冷却剤流体の流れを加工界面に向けることができ、冷却剤流体の流れの断面プロファイルが加工面の界面プロファイルと整合する可視光レーザとを含む金属研削装置に関する。
【０００８】
更に本発明は、加工界面において被加工物から金属を除去するための加工装置に冷却剤流体を供給する際に使用するレーザ目標設定冷却剤ノズルであって、１）入口及び出口を有する流路と、ノズル本体の外側表面にアクセス孔を形成し且つ流路出口の見通し線を有するレーザ穿孔とを備えた冷却剤ノズル本体と、２）加工装置に対して冷却剤ノズルを目視的に位置決めするためにノズル本体と協働することによって、冷却剤流体の流れを加工界面へ配向することができ、レーザ穿孔内に着脱自在に挿入された可視光レーザとを含むレーザ目標設定冷却剤ノズルに関する。
【０００９】
本発明はまた、被加工物を機械加工する時に、金属研削工具の加工界面に向けて冷却剤ノズルから放出される冷却剤流を整列させるために可視光レーザを使用する方法であって、１）テーブル及び金属研削工具を有する金属加工装置と該テーブルに固定された被加工物とを準備する段階と、２）前記金属研削工具上の加工界面へ冷却剤流体の流れを配向するための、流れ基準点を有する流体出口を備えた冷却剤ノズルを準備する段階と、３）可視光レーザ光線を放出するための可視光レーザを準備する段階と、４）前記放出されたレーザ光線が前記流れ基準点を通過して前記流体出口からの冷却剤流体の流れの目標を表示するように前記可視光レーザを前記冷却剤ノズルと関係付ける段階と、５）前記可視レーザ光線が加工基準点に配向されるように前記冷却剤ノズルを前記関係付けられた可視光レーザと位置決めする段階と、６）前記冷却剤ノズルを移動しないように固定する段階と、７）前記冷却剤流体の流れが前記金属研削工具の加工界面に衝突するように前記冷却剤ノズルを通して前記冷却剤流体を送る段階と、８）前記被加工物を加工する段階とを含む方法に関する。
【００１０】
更に本発明は、加工工具により被加工物から金属を除去する際に、冷却剤ノズルの向きを目標設定することにより、該被加工物と加工工具との加工界面に冷却剤流体の流れを配向するための可視光レーザの使用に関する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
被加工物から材料を除去するために、種々の金属加工工具を使用することができる。材料を除去するための１つの典型的な金属加工工具は、研削機であり、より具体的には研削ホイールである。研削ホイールは、該ホイールの外周縁のプロファイルに基づいて被加工物から材料を除去するのに使用される。１つの典型的な研削ホイールは、平坦なプロファイルを有することができるが、該プロファイルは、曲線状、直線状、又はこれら両方の組合せであってもよい。通常、研削ホイールのプロファイルは、その全周縁にわたって同一である。機能強化が達成された使用されるタイプの研削ホイールの表面速度値は、毎秒約１０ｍから最大約８０ｍまでの範囲であった。
【００１２】
図１及び図２は、矢印４の方向へ回転して被加工物６と係合する研削ホイール２として示されている金属加工工具を含む金属加工組立体を示しており、該被加工物は矢印８の相対的方向で回転する研削ホイール２へ向かって移動することができる。図に示す作業は、当技術分野では研削ホイールの接触領域での「下方」研削として知られている。本発明は、「上方」研削の場合も同様に機能することが分かっている。本発明のプロセスは、本質的にはクリープフィード研削として知られるプロセスの発展形態であるが、機能拡張の結果被加工物材料の除去が極めて速くなるので、このクリープフィードという呼称は、幾分不適切であると考えることができる。
【００１３】
研削ホイール２は、標準的な多軸機械の一部である工具ヘッド又はチャック１２によって支持される回転スピンドル１０に装着される。被加工物６は、１対の取付けブラケット１４ａ及び１４ｂとして図示された取付け治具１４によって、機械加工テーブル１６の表面上の機械加工位置に固定される。本発明は「ワンパス」研削プロセスを意図したものであるから、研削ホイールの幅は、要求される研削面の幅に対応するように構成される。被加工物は、回転する研削ホイールへ移動され、機械加工界面１９において加工される。
【００１４】
典型的な研削作業には、ガスタービンエンジンで使用されるタービンブレードの遠位先端の研削が含まれる。
【００１５】
研削作業中、図２に示すように、典型的には水溶性オイルを含む液体冷却剤流１８が研削ホイール２の周縁の加工面１９にノズル２０から放出されて配向される。ノズル２０は、閉ループ型冷却剤送出、回収、及び濾過システムの出口である。研削ホイールから排出された使用済み冷却剤は、機械の下方部分にあるサンプ（図示せず）内に回収され、典型的には少なくとも約１０ミクロンの粒子サイズまでの研削屑を除去するために効率的な濾過システムを介して抜き取られる。
【００１６】
冷却剤を加圧下でノズル２０の入口２８へ送出する高圧ポンプシステム（図示せず）が、濾過システム（同様に図示せず）と一体化される。図３に示すように、冷却剤は、最高１００ｂａｒまでの圧力、通常は７０ｂａｒの圧力、及び最高毎分約６０リットルの流量で入口２８に固定された入口ポート３２までの高圧ホース３１を介して入口２８に供給される。
【００１７】
冷却剤ノズルは、高速及び高圧で冷却剤流を放出する。冷却剤流は、研削作業中に高速度で研削ホイールに衝突する。高速回転する研削ホイールに高速度の冷却剤流が衝突する結果、衝突した冷却剤流体はあらゆる方向へ四散及び飛散して冷却剤のミスト及び小滴の雲を形成し、これが機械加工作業の視界をほぼ完全に妨げることになる。
【００１８】
それにもかかわらず、冷却剤流を加工界面に正確に狙うことは、効果的で正確な研削を行うために重要である。冷却剤が研削ホイールの全ての必要部分に適切に配向されていない場合には、被加工物の過熱及び過度な金属除去により研削不良を生じる可能性がある。
【００１９】
研削作業が開始された後は、作業が高速で行われることにより冷却剤流を研削ホイールの目標部分へ向けて照準とし或いは配向することが阻害されることから、本発明は、冷却剤流及び研削作業を開始する前にノズル組立体を正確に位置付けるように開発された。図１は、研削作業開始以前の金属加工組立体を示す。ノズル２０が冷却剤流１８（図２に示す）を加工界面１９として示された研削ホイール２上の適正位置へ確実に配向するために、ノズル２０は、内部に可視光レーザ４０を位置付けることができるレーザ穿孔２２を備えて構成される。レーザ穿孔２２は、レーザ４０を受け入れて固定位置で着脱自在に固定するように構成される。この固定位置において、可視光レーザ４０は、ライン２３に沿って可視光線を発光することができる。
【００２０】
レーザ穿孔２２は、レーザ装置４０を出口２９と協働するよう位置付けるためにノズル２０内に構成される。より具体的には、ライン２３に沿って放出されるレーザ光線は、出口２９の周縁上の流れ基準点２５と協働して、ノズル２０からの冷却剤１８の後続の流れを研削ホイール２に目視により位置合わせして配向する目標設定手段を提供する。金属加工作業は、典型的には放出された冷却剤流１８のプロファイルが研削ホイール２の周縁上の加工界面１９と整合することが必要とされる。ノズルの適正な方向付け及び冷却剤流のプロファイルと加工界面のプロファイルとの位置合わせを確実にするために、加工界面１９のプロファイルは少なくとも１つの加工基準点１５を有することになる。通常、加工基準点１５及び流れ基準点２５は、これらのそれぞれの加工界面１９及びノズル出口２９上の協働し実質的に同様の位置に配置される。このようにして加工基準点１５が選択され、レーザ目標設定されたノズル２０から放出されたライン２３に沿った可視光線が加工基準点１５と整合され、すなわち加工基準点１５上に位置する時、冷却剤ノズル２０は、後続の金属加工作業に対して適正に標的設定されて配向される。
【００２１】
図１に示すように、レーザ穿孔２２内に挿入されたレーザ４０を有するノズル２０は手動で位置決めされ、これによりライン２３に沿った可視レーザ光線が、流れ基準点２５を通って加工基準点１５まで通過するか、又はこの両方に沿って通過する。この位置において、冷却剤ノズルは、後続の金属加工作業のために適切且つ最適に事前位置付けされたことになる。次に、事前位置付けされ且つ目標設定された冷却剤ノズルは、研削作業中に冷却剤流体流１８を加工界面１９に向けて適切且つ効果的に放出することが保証される。
【００２２】
冷却剤ノズル２０は、研削ホイール２の周縁の近傍に位置付けられ、冷却剤の高圧流１８を加工界面１９の前方の一点に当たるように研削ホイール周縁に対して実質的に半径方向に送出する。典型的には、冷却剤ノズルが固定される支持台（図示せず）が設けられる。この支持台は、最適な冷却剤性能を得るために、冷却剤ノズルの上下、前後、左右、及び旋回運動を提供するように構成される。ノズルは通常、被加工物及び研削ホイールに対し独立して移動できるように構成される。好ましくは、ノズル組立体は、あらゆる方向へ移動又は回転させることができ、被加工物と干渉することなく研削ホイールに対して冷却剤流を排出するように配向し又は位置付けできる。
【００２３】
図２に示す実施形態においては、ノズル流路は、冷却剤流１８を研削ホイール周縁にシート状又は扇状形状で配向し、該冷却剤を研削ホイールの加工界面１９上に実質的に均等に分配する。或いは、ノズルは、放出される冷却剤流が種々の形のプロファイルを有するように構成することもできる。通常の作業において、冷却剤流のプロファイル及びサイズは、金属加工工具の加工界面のプロファイル及びサイズと一致するよう構成され、その結果、被加工物から金属を除去する研削ホイールなどの金属加工工具の該当部分に冷却剤流体が一定して供給されるようになる。典型的なノズル流のプロファイルは、線状、直線状、円形状、楕円形状、又は曲線状であってよい。
【００２４】
ノズル２０は、研削ホイールの周縁への冷却剤流体流１８を研削ホイールの幅全体にわたる衝突点に向けて配向するように構成及び配置される。幾つかの作業においては、研削ホイールの周縁に実質的に垂直な方向で冷却剤流体を配向することが好ましい。
【００２５】
図１に示す冷却剤ノズル２０は、ノズル出口から外方に扇状に広がる冷却剤流を放出するように構成されているが、ノズルはまた、図６に示すように放出される冷却剤流１８のプロファイルを一定の断面サイズ及び形状に規制するように構成することができる。図５には、上述のようにノズル２０を適正に目標設定し且つ位置付けするために、レーザ穿孔２２内に配置された可視光レーザ４０を備えた実施形態が示されている。ノズル２０は、幅と高さとを有するほぼ矩形断面の出口２９プロファイルを有する。出口２９に通じる流路２７は、平行な側壁と一定の断面プロファイルとを有するように構成され、これと同じ幅及び高さを備えたプロファイルを有する冷却剤流１８を放出する。
【００２６】
図３には、典型的なレーザ目標設定冷却剤ノズルが断面で示される。この冷却剤ノズル２０は、入口２８、出口２９、及び入口と出口とを接続する流路２７を有するノズル本体を含む。入口２８、流体通路２７の内表面、及び出口２９の幾何学的形状は、放出される冷却剤流１８にプロファイルパターン（図２に示す）を形成するように構成される。設計基準は、ノズル通過時の流体の乱流を制限し、これにより冷却剤の流れが特定の冷却剤流プロファイルに一致するように流体通路の内表面を構成することを含む。一実施形態において、ノズルは、冷却剤がノズルを通過して該ノズルから流出する時に冷却剤液体を層流の形でノズルを通過させるように構成される。
【００２７】
冷却剤ノズル２０の本体２１はレーザ穿孔２２を有し、該レーザ穿孔２２は、ノズル本体の外側表面２６を貫通し且つ流路２７と流体連通した孔２４を形成する。レーザ穿孔２２は通常、ノズル２０の冷却剤流路２７との境界面３０に向かってテーパが付けられ且つ該境界面で冷却剤流路２７と交差する。レーザ穿孔２２は、図１及び図３に示すようにレーザ装置４０を受けるように構成される。
【００２８】
典型的にはノズル２０は、レーザ穿孔２２からレーザ４０を取り外し可能に構成され、図２、４、及び６に示すように、研削作業中にレーザ穿孔２２内に着脱自在なプラグ５０を挿入できるように構成される。通常着脱自在プラグ５０は、レーザ穿孔２２を貫通して突出する遠位端５２を有する。着脱自在プラグ５０の遠位端５２は通常、流路２７とレーザ穿孔２２との間の境界面３０に沿ったノズル２０の流路２７の内表面と協働するプラグ表面５６を有する。プラグ表面５６は、ノズル本体２１内にレーザ穿孔２２が形成された時に除去された流路２７の内表面の形状に類似する。
【００２９】
レーザ穿孔２２は、該レーザ穿孔から流路出口２９まで少なくとも1つの見通し線を形成するように構成される。通常レーザ穿孔２２及びレーザ装置４０は、円筒形状であるが、他の形状も使用可能である。同様にプラグ５０は、レーザと実質的に同じ形状の本体部分５１を有し、レーザ穿孔２２内に配置される密閉部材（図示せず）と共形であるように構成される。プラグ５０は通常、レーザ穿孔２２内の対応するネジ３８と螺合するネジ５８のセットなどのレーザ穿孔２２の内表面と係合する手段を有する。取り外しを容易にするため、プラグ５０は通常、プラグの挿入と取り外しを容易にするためのノズル本体から延びる近位端５４上にハンドル５９を有する。
【００３０】
本発明の典型的な冷却剤ノズルは、ミシガン州ロチェスターのＩｎｎａｔｅｃｈ，ＬＬＣから入手可能である。
【００３１】
レーザ装置４０は、可視レーザ光線を放出する任意のレーザとすることができる。放出されるレーザ光線の色及びサイズは、約２ｍよりも近い距離から目視可能な任意種類のものとすることができる。典型的にはレーザは、赤色の可視レーザ光線を放出する赤色ダイオードレーザである。レーザは、バッテリ及び手動オン／オフスイッチを備えているような自己給電形とすることができ、又は遠隔電源への電力コードを介して給電及び制御することができる。
【００３２】
可視光線レーザの１つの典型的な実施例は、カナダ国ケベック州カバノのＦＰ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓから入手可能なＭＬＭ（直径３／４インチ）である。
【００３３】
本発明はまた、被加工物に加工作業を行う時にノズルから金属切削工具の加工界面に向けて放出される冷却剤流を位置合わせするために可視光線レーザを使用する方法を含む。１つの典型的な方法においては、被加工物は、金属研削装置のテーブル上のホルダー内に固定される。被加工物と回転する研削工具とは、加工界面において係合し、被加工物から金属を除去するように構成される。加工界面は、研削ホイールの外周縁のプロファイルと一致する特定の界面プロファイルを有しており、加工完了時には、被加工物に加工プロファイルを形成することになる。被加工物と研削工具との互いに関連する位置決め移動は、典型的にはコンピュータ化された制御装置によって制御される。冷却剤流体の流れを配向するためのノズルは、金属加工作業中に加工界面への冷却剤流体の流れを形成するように装着される。ノズルは、該ノズルを位置付けるために可視光レーザを挿入することができるレーザ穿孔を形成するように構成される。オペレータが作業に先立って可視光レーザを挿入し、該可視光レーザはノズルと協働して、これによってレーザから放出されるレーザ光線の配向及び位置付けが、作業中にフローノズルから放出される結果として得られる冷却剤流の目標を示すことになる。レーザ光線は、位置付けされた冷却剤ノズルから放出される冷却剤流の配向を正確に再現するように形成される。ノズルが適正に配向され位置付けされて、定位置に固定された後、オペレータがレーザ穿孔からレーザ装置を取り外し、研削作業中にレーザ穿孔を密閉するプラグを挿入して、作業中に冷却剤流体が冷却剤ノズルから漏出するのを防止する。オペレータは、プラグを取り外してレーザを再挿入することによりノズルの位置及び配向を何時でも確認することができる。
【００３４】
この方法は、上述のように流れ基準点と加工基準点とを通るラインに沿ってレーザ光線を位置合わせする段階を含む。このことは、冷却剤流のプロファイルが加工界面のプロファイルと一致又は整合されるようにフローノズルを位置付け且つ配向することを可能とする。
【００３５】
別の実施形態においては、ノズルに該ノズルの流体通路と接続又は連通しない別個のレーザ穿孔を設けることができる。この実施形態においては、レーザ穿孔は、ノズルの後方部分を貫通し、且つ典型的にはノズル内の出口孔に直近のノズルの前方部分を完全に貫通することになる。レーザ穿孔内に挿入されたレーザから放出される可視光線は、レーザ穿孔の出口孔を通過して、金属加工機械に向けて配向される。放出されるレーザ光線の角度は、ノズルから放出される冷却剤流体の流れの角度と平行にすることができる。
【００３６】
上記の実施形態においては、レーザオリフィスの放出口又は出口孔は、レーザ光線を透過させることはできるが、冷却剤流体がレーザ穿孔の孔に飛散して戻されることを防ぐ透明なガラス材料で覆うことができる。
【００３７】
本発明は、通常のミリングカッタの代わりに研削ホイールを用いて操作される多軸フライス盤を使用して実施される。この種の多軸機械を使用する主な理由は、これが被研削加工物上に複雑な表面プロファイルを再現できるという点にあるが、この特定の問題は本発明の範囲外の事柄である。従って、研削ホイール及び被加工物の相対運動は、複合的な運動であるが、単純化するために添付図面ではこのような相対運動を直線的に示していることは理解されるべきである。なお、特許請求の範囲に記載された符号は、理解容易のためであってなんら発明の技術的範囲を実施例に限縮するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】可視光レーザが配置されたレーザ目標設定冷却剤ノズルを有する、被加工物から金属を除去するための研削ホイールとして図示された本発明の金属加工装置の概略図。
【図２】冷却剤流体の流れを放出している冷却剤ノズルを示す図１の概略図。
【図３】配置された可視光レーザを有する本発明のレーザ目標設定冷却剤ノズルの断面図。
【図４】可視光レーザが取り外されて密閉プラグで置き換えられた図２の冷却剤ノズルの断面図。
【図５】可視光レーザが配置された本発明の別のレーザ目標設定冷却剤ノズルの概略図。
【図６】冷却剤流体の流れを放出していると冷却剤ノズルを示す図５の概略図。
【符号の説明】
【００３９】
２  研削ホイール
６  被加工物
１０  回転スピンドル
１２  工具ヘッド、チャック
１４  取付け治具
１５  加工基準点
１６  加工テーブル
１９  加工界面
２０  冷却剤ノズル
２２  レーザ穿孔
２５  流れ基準点（出口２９の周縁上の）
２７  冷却剤流路
２８  ノズル入口
２９  流路出口
４０  可視光レーザ装置
【図１】
0004837273.tif 000002
【図２】
0004837273.tif 000003
【図３】
0004837273.tif 000004
【図４】
0004837273.tif 000005
【図５】
0004837273.tif 000006
【図６】
0004837273.tif 000007