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【手続補正書】
【提出日】平成16年1月15日(2004.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムを主成分とする第１膜を形成する第１工程と、
該第１膜上にIVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て部分的に相互に連結されているか或いは点在する多数の島状部分からなる不完全な第２膜を形成する第２工程と、
前記第２膜上からのアルミニウム用のエッチングにより前記第２膜及び前記第１膜を一括してパターニングする第３工程と
を含むことを特徴とする配線の製造方法。
【請求項２】
アルミニウムを主成分とする第１膜を形成する第１工程と、
該第１膜上にIVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て前記第１膜を覆う完全な第２膜を形成する第２工程と、
前記第２膜上からのアルミニウム用のエッチングにより前記第２膜及び前記第１膜を一括してパターニングする第３工程と
を含むことを特徴とする配線の製造方法。
【請求項３】
前記第１工程及び前記第２工程では、真空状態を維持しつつターゲットを交換しての連続スパッタリングにより前記第１膜及び前記第２膜を連続的に形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の配線の製造方法。
【請求項４】
前記第２膜は、２０ｎｍ以下の膜厚を有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の配線の製造方法。
【請求項５】
前記第１膜は、Ａｌ単体、ＡｌとＣｕ、Ｔｉ又はＮｂとの合金並びに該Ａｌ単体又は該合金のシリサイドのうちいずれか一つからなることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の配線の製造方法。
【請求項６】
前記第２膜は、前記IVA族に属する元素としてＴｉ、Ｚｒ又はＨｆ、前記VA族に属する元素としてＶ、Ｎｂ又はＴａ、若しくは前記VIA族に属する元素としてＣｒ、Ｍｏ又はＷを主成分とすることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の配線の製造方法。
【請求項７】
前記第１膜を、ＴＦＴ基板上、半導体基板上又はマイクロマシン用基板上に形成することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の配線の製造方法。
【請求項８】
アルミニウムを主成分とする第１膜と、
該第１膜上に配置されており、IVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て部分的に相互に連結されているか或いは点在する多数の島状部分からなる不完全な第２膜と
を備えたことを特徴とする配線。
【請求項９】
アルミニウムを主成分とする第１膜と、
該第１膜上に配置されており、IVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て前記第１膜を覆う完全な第２膜と
を備えたことを特徴とする配線。
【請求項１０】
前記第１膜と前記第２膜との間には、酸化膜が形成されていないことを特徴とする請求項８又は９に記載の配線。
【請求項１１】
前記第２膜は、２０ｎｍ以下の膜厚を有することを特徴とする請求項８から１０のいずれか一項に記載の配線の製造方法。
【請求項１２】
前記第１膜は、Ａｌ単体、ＡｌとＣｕ、Ｔｉ又はＮｂとの合金並びに該Ａｌ単体又は該合金のシリサイドのうちいずれか一つからなることを特徴とする請求項８から１１のいずれか一項に記載の配線。
【請求項１３】
前記第２膜は、前記IVA族に属する元素としてＴｉ、Ｚｒ又はＨｆ、前記VA族に属する元素としてＶ、Ｎｂ又はＴａ、若しくは前記VIA族に属する元素としてＣｒ、Ｍｏ又はＷを主成分とすることを特徴とする請求項８から１２のいずれか一項に記載の配線。
【請求項１４】
前記第２膜上に絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項８から１３のいずれか一項に記載の配線。
【請求項１５】
当該配線のコンタクト部分が、前記第２膜からなることを特徴とする請求項８から１４のいずれか一項に記載の配線。
【請求項１６】
前記第１膜は、ＴＦＴ基板上、半導体基板上又はマイクロマシン用基板上に形成されていることを特徴とする請求項８から１５のいずれか一項に記載の配線。
【請求項１７】
請求項８から１６のいずれか一項に記載の配線を信号線として備えたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１８】
アルミニウムを主成分とする第１膜を形成する第１工程と、
該第１膜上にIVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て部分的に相互に連結されているか或いは点在する多数の島状部分からなる第２膜を形成する第２工程と、
前記第２膜上からのアルミニウム用のエッチングにより前記第２膜及び前記第１膜を一括してパターニングする第３工程と
を含むことを特徴とする配線の製造方法。
【請求項１９】
アルミニウムを主成分とする第１膜を形成する第１工程と、
該第１膜上にIVA族、VA族又はVIA族に属する元素を含むと共に前記第１膜に比べて膜厚が薄く且つ前記第１膜上で平面的に見て部分的に相互に連結されているか或いは点在する多数の島状部分からなる第２膜を形成する第２工程と、
前記第２膜上からのアルミニウム用のエッチングにより前記第２膜及び前記第１膜を一括してパターニングする第３工程と
を含むことを特徴とする配線。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月20日(2004.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路メモリの製造方法において、
表面を有する第１導電型の半導体基板内に、第１導電型の導電性とは反対の第２導電型の、周辺を有する第１ウェル領域を形成するステップと、
第１ウェル領域の周辺内に、かつ表面の近傍に第１導電型の第２ウェル領域を形成するステップと、
第１ウェル領域の周辺内に、第２ウェル領域から間隔を隔てて第２導電型であって、第１ウェルよりも導電率が高い第１接点領域を形成するステップと、
基板表面上に第１の厚さの第１の絶縁層を配設するステップと、
上記第２ウェル領域上の上記第１の絶縁層の第１の部分をエッチングするステップと、
上記第２ウェル領域の上記エッチングされた第１の部分に第１の厚さと異なる第２の厚さの第２の絶縁層を配設するステップと、
第２の絶縁層上に第１導電層を堆積してフローティングゲートを設け、かつ第１の絶縁層上に第１導電層を堆積して第１の周辺ゲートを設け、上記フローティングゲートが上記第２ウェル領域の上に配置され、上記第１の周辺ゲートが、上記フローティングゲートから間隔を隔てた基板表面上に設置されるステップと、
上記第１の絶縁層の第２の部分をエッチングするステップと、
上記エッチングされた第２の部分に第１及び第２の厚さと異なる第３の厚さの第３の絶縁層を配設するステップと、
第１導電層上方に第２導電層を堆積して、上記フローティングゲートの上に、フローティングゲートから電気的に絶縁された制御ゲートを設け、かつ第３の絶縁層上に第２導電層を堆積して、上記フローティングゲートと上記第１の周辺ゲートから間隔を隔てた基板表面上に第２の周辺ゲートを設けるステップと、からなることを特徴とする製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月8日(2003.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
回転カム２４の外周には、上記４個の係合ブロック２２、２２、…にそれぞれ対応して４つの駆動カム突起２４ａ、２４ａ、…が９０°ピッチで設けられており、これら駆動カム突起２４ａ、２４ａ、…に、係合ブロック２２、２２、…が摺接可能に係合する構造とされている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
なお、６０は回転カム４４に対してロック部４３を装着支持するための支持板を示しており、この支持板６０は、両係合ブロック４２、４２の底面にそれぞれ取付け固定されている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
また、連れ回り防止機構４８は、実施形態１の連れ回り防止機構８と同様、ワーク支持装置４１のロック部４３をワークＷの円筒内径内に位置させた際の仮止め機構としても作用する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月30日(2004.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテレビカメラからの映像信号を記録する画像記録方法において、前記複数の映像信号には、前記各テレビカメラを区別する情報をつけ、記録に際しては該情報に従い、前記各テレビカメラ別に記録するようにしたことを特徴とする画像記録方法。
【請求項２】
複数のテレビカメラからの映像信号を入力する入力端子と、第一の出力は該複数のテレビカメラからの映像入力信号を選択すると共に選択したテレビカメラを区別する情報をつけ記録用映像信号として出力し、第二の出力は少なくとも前記テレビカメラからの映像入力信号を監視用映像信号として出力する少なくとも前記第一と第二の二つの出力端子を有するフレームスイッチャと、
該フレームスイッチャから出力される前記第一の映像信号から前記テレビカメラを区別する情報を抽出するカメラ情報取り出し手段と、
該カメラ情報取り出し手段により抽出された前記情報に対応した前記テレビカメラの映像を記録する記録手段と、
前記フレームスイッチャから出力される第二の出力または前記記録手段の出力のいずれかを選択して出力する切換スイッチとを有することを特徴とする画像記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
より詳しく本発明を装置としてとらえると、複数のテレビカメラからの映像信号を入力する入力端子と、第一の出力は該複数のテレビカメラからの映像入力信号を選択すると共に選択したテレビカメラを区別するための情報をつけ記録用映像信号として出力し、第二の出力は少なくとも前記テレビカメラからの映像入力信号を監視用映像信号として出力する少なくとも前記第一と第二の二つの出力端子を有するフレームスイッチャと、該フレームスイッチャから出力される前記第一の映像信号から前記テレビカメラを区別する情報を抽出するカメラ情報取り出し手段と、該カメラ情報取り出し手段により抽出された前記情報に対応して前記テレビカメラの映像を記録する記録手段と、前記フレームスイッチャから出力される第二の出力または前記記録手段の出力のいずれかを選択して出力する切換スイッチとを有するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月7日(2003.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロトコルデータユニット（ＰＤＵ）を送受する高速パターンプロセッサおよびルーティングスイッチプロセッサを採用する音声アプリケーションと共に用いる音声パケットプロセッサであって：
前記高速パターンプロセッサから前記ＰＤＵを受信し、前記ＰＤＵを処理のためにキューイングするように構成された音声パケットコントローラ；
前記音声パケットコントローラから音声データを含む非同期転送モード（ＡＴＭ）アダプテーション層２（ＡＡＬ２）セルから成る前記ＰＤＵを受信し、前記ＡＡＬ２セルを少なくとも一つの共通部サブ層（ＣＰＳ）パケットにパーシングし、この少なくとも一つのＣＰＳパケットを前記ルーティングスイッチプロセッサに送信するように構成された音声パケットパーサ；および
前記音声パケットコントローラからＣＰＳパケットから成る前記ＰＤＵを受信し、前記ＣＰＳパケットを少なくとも一つのＡＡＬ２セルに組み立て、前記少なくとも一つのＡＡＬ２セルを前記ルーティングスイッチプロセッサに送信するように構成された音声パケットアセンブラを備えることを特徴とする音声パケットプロセッサ。
【請求項２】
キャリアクラス音声ゲートウェイであって：このキャリアクラス音声ゲートウェイが：
ファブリック網とインタフェースし、非同期転送モード（ＡＴＭ）アダプテーション層２（ＡＡＬ２）セルおよびプロトコルデータユニット（ＰＤＵ）を送受するファブリックインタフェースコントローラ；
受信された音声通信をデジタル化し、共通部サブ層（ＣＰＳ）パケット内に格納し、これらＣＰＳパケットを送信音声通信に変換するデジタル信号処理（ＤＳＰ）モジュール；および
前記ＤＳＰモジュールおよび前記ファブリックインタフェースコントローラとインタフェースし、前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを送受するパケット処理システムを備え、前記パケット処理システムが：
前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを受信し、前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵに関してパターン認識および分類を遂行する高速パターンプロセッサ（ＦＰＰ）、および
音声パケットプロセッサを備え；この音声パケットプロセッサが：
前記ＦＰＰから前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを受信し、前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを処理のためにキューイングする音声パケットコントローラ、
前記音声パケットコントローラから音声データを含む前記ＡＡＬ２セルを受信し、前記ＡＡＬ２セルを少なくとも一つのＣＰＳパケットにパーシングし、前記少なくとも一つのＣＰＳパケットを送信する音声パケットパーサ；および
前記音声パケットコントローラからＣＰＳパケットを受信し、前記ＣＰＳパケットを少なくとも一つのＡＡＬ２セルに組み立て、前記少なくとも一つのＡＡＬ２セルを送信する音声パケットアセンブラを備え、前記パケット処理システムがさらに
前記音声パケットプロセッサから前記少なくとも一つのＣＰＳパケット、前記少なくとも一つのＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを受信し、ルーティング機能および／あるいはトラヒック管理を遂行し、前記少なくとも一つのＣＰＳパケットを前記ＤＳＰモジュールに送信し、前記少なくとも一つのＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵを前記ファブリックインタフェースコントローラに送信するルーティングスイッチプロセッサ（ＲＳＰ）を備えることを特徴とするキャリアクラス音声ゲートウェイ。
【請求項３】
前記音声パケットコントローラ、前記音声パケットパーサおよび前記音声パケットアセンブラが、前記ＣＰＳパケット、前記ＡＡＬ２セルあるいは前記ＰＤＵの少なくとも一部を処理することを特徴とする請求項２記載のキャリアクラス音声ゲートウェイ。
【請求項４】
前記音声パケットコントローラが、前記ＰＤＵが音声データを含まない場合は、処理をバイパスし、前記ＰＤＵを前記ＲＳＰに再送信することを特徴とする請求項２記載のキャリアクラス音声ゲートウェイ。
【請求項５】
前記音声パケットパーサが、前記少なくとも一つのＣＰＳパケットを、ＡＡＬ２送信流内に組み込まれるように、前記ルーティングスイッチプロセッサから前記音声パケットアセンブラに向けて再ルーティングすることによって、さらに、ＣＰＳパケットのスイッチングを遂行するように構成されることを特徴とする請求項２記載のキャリアクラス音声ゲートウェイ。
【請求項６】
プロトコルデータユニット（ＰＤＵ）を採用する音声アプリケーションに用いるための音声パケットプロセッサであって、この音声パケットプロセッサが：
前記ＰＤＵを受信し、前記ＰＤＵを処理のためにキューイングするように構成された音声パケットコントローラ；
前記音声パケットコントローラから音声データを含む非同期転送モード（ＡＴＭ）アダプテーション層２（ＡＡＬ２）セルから成る前記ＰＤＵを受信し、前記ＡＡＬ２セルを少なくとも一つの共通部サブ層（ＣＰＳ）パケットにパーシングし、前記少なくとも一つのＣＰＳパケットを送信するように構成された音声パケットパーサ；および
前記音声パケットコントローラからＣＰＳパケットから成る前記ＰＤＵを受信し、前記ＣＰＳパケットを少なくとも一つのＡＡＬ２セルに組み立て、前記少なくとも一つのＡＡＬ２セルを送信するように構成された音声パケットアセンブラを備えることを特徴とする音声パケットプロセッサ。
【請求項７】
前記音声パケットコントローラが、さらに、前記ＰＤＵがＡＡＬ２タイプのセルでも、ＣＰＳパケットでもない場合、処理をバイパスし、前記ＰＤＵを再送信するように構成されることを特徴とする請求項６記載の音声パケットプロセッサ。
【請求項８】
前記音声パケットパーサが、前記少なくとも一つのＣＰＳパケットを、ＡＡＬ２送信流内に組み込まれるように、前記音声パケットアセンブラに向けて再ルーティングすることによって、さらに、ＣＰＳパケットのスイッチングを遂行するように構成されることを特徴とする請求項７記載の音声パケットプロセッサ。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月17日(2003.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
次いで、係合力の評価方法に付き説明する。面ファスナーの雄材と雌材との係合力を評価する手段として、本実施例では「面ファスナーの試験法」(ＪＩＳ Ｌ３４１６)に規定される剥離強さに準じて測定した。詳細に説明すれば、市販の雄材である「３Ｍ ＣＳ２００」(住友３Ｍ社製，商品名：マッシュルーム形状の雄型素子が９００個／平方インチの密度で設けられるもの)及び表１に挙げた各雌材サンプルを長さ５ｃｍ×幅２．５ｃｍの短冊状に裁断する。これら評価サンプルの夫々を用い、雌材と雄材との両素子が対向するように２．５ｃｍ幅で３ｃｍの長さに渡って重ね合わせ、残りの長さ２ｃｍに相当する部分には、紙を挟んで係合しない状態としておく。この後、面ファスナーの有効幅１ｃｍ当たり１９．６Ｎ(２ｋｇｆ)の荷重をかけ得る平滑な曲面で構成された係合用ローラーにより、重ね合わせた評価サンプルの長さ方向に渡って２往復押圧し、係合操作とした。この後、引張試験機の１対のチャックの夫々に、雄材または雌材の係合に関与しない端部を掴んで３０ｃｍ／分の引張速度で剥離を行った。この剥離時の張力の経時変化をチャート紙に記録し、このチャート紙に記録された６点の極大値と極小値との、合計１２点の平均値を採る。評価結果は、１種類のサンプルについて５回の測定を行い、これらの５回の平均値をサンプルの１ｃｍ幅当たりに換算し、初回の係合力として記録した。また、初回の係合測定を終えたサンプルについて、上記係合操作を５回繰り返した時、並びに１０回繰り返した時にも係合力測定を実施した。その結果につき、表２に示す。尚、表２中、５回目及び１０回目の係合力については、カッコ内に初回係合力に対する係合力の割合を百分率で示して有る。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月8日(2003.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動局により用いられる通信リンクの数を最適化する方法であって、該移動局と通信する複数の基地局と関連する複数の通信リンクについての特性を測定するステップを含み、該複数の通信リンクの各々がトラヒックチャネルであるような方法において、
該複数の通信リンクのうちの少なくとも１つの測定された特性がアクティブセット内の基地局の最大値を決定するための第１のセットの基準を満足する場合に、該アクティブセット内の最大許容基地局を１つの基地局に対して設定するステップと、
該複数の通信リンクのいずれの測定特性も該第１のセットの基準を満足しない場合には、該アクティブセット内の最大許容基地局を２以上の基地局に対して設定するステップと、
該最大許容基地局を越えないように該アクティブセット内の基地局を減少させるステップであって、該アクティブセット内の該最大許容基地局が１つの基地局である場合に、該アクティブセット内に残っている該１つの基地局が該第１のセットの基準を満足する測定特性を有する通信リンクと関連づけられるステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
該アクティブセット内の基地局を減少させるステップに先がけて、該アクティブセット内の基地局に対する相対的な信号品質に基いて、該１つの基地局が選択される方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、
該アクティブセット内の基地局を減少させるステップに先がけて、他の基地局に対する相対的な位置に基いて該１つの基地局が選択される方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法において、
該アクティブセット内の基地局を減少させるステップに先がけて、該アクティブセット内の他の基地局に対する相対的な移動方向に基いて、該１つの基地局が選択される方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法において、該アクティブセット内の該最大許容基地局を２つ以上の基地局に認定するステップが、
該複数の通信リンクのうちの少なくとも１つの該測定特性が該アクティブセット内の基地局の最大数を決定するための第２のセットの基準を満足するが、該第１のセットの基準を満足しない場合に、該アクティブセット内の該最大の許容基地局を２つの基地局に対して設定するステップを含み、該アクティブセット内に残っている基地局が該アクティブセット内の該最大許容基地局が２つの基地局である場合に該第２のセットの基準を満足する測定特性を有する通信リンクと関連づけられている方法。
【請求項６】
請求項５に記載の方法において、
該アクティブセットが２より少ない基地局を含む場合に該アクティブセットに基地局を追加する方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法において、該アクティブセット内の最大許容基地局を２つ以上の基地局に設定するステップが
該複数の通信リンクのいずれの測定特性も、該アクティブセット内の基地局の最大数を決定するための該第１のセットの基準も第２のセットの基準も満足しない場合に、該アクティブセット内の該最大許容基地局を３つ以上の基地局に設定するステップを含む方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法において、
該アクティブセットが２つ以下の基地局を含む場合に基地局が該アクティブセットに追加される方法。
【請求項９】
移動局により用いられる通信リンクの数を最適化する方法であって、該移動局と通信する複数の基地局と関連する複数の通信リンクについての特性を測定するステップを含み、該複数の通信リンクの各々がトラヒックチャネルであるような方法において、
該複数の通信リンクのうちの少なくとも１つの測定された特性が第１のセットの基準を満足する場合に、該複数の通信リンクのうちの１つのリンクを除くすべてのリンクをドロップさせるステップであって、該複数の通信リンクのうちのドロップされない該１つのリンクが該第１のセットの基準を満足するものであるステップと、
該複数の通信リンクのうちの少なくとも１つの測定特性が第２のセットの基準を満足するか第１のセットの基準を満足しない場合に、該複数の通信リンクのうちの２つのリンクを除くすべてのリンクをドロップさせるステップであって、該複数の通信リンクのうちのドロップされない２つのリンクが該第２のセットの基準を満足する測定特性を有する少なくとも１つの通信リンクを含むものであるステップと、
該複数の通信リンクのいずれの測定特性も第２のセットの基準を満足するが第１のセットの基準を満足するということがない場合に、該複数の通信リンクのうちの少なくとも３つのリンクを維持するステップと、を含む方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の方法において、
該複数の通信リンクのうちのドロップされない該２つのリンクが、ドロップされた該複数の通信リンクに対する相対的な信号品質に基いて、もしくはドロップされた該複数の通信リンクに対する相対的な位置に基いて選択されるようになっている方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月12日(2003.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行用モータに対する要求出力を決定するモータ要求出力決定手段と、該要求出力に応じて前記モータの目標出力を所定の上限目標出力以下に制限して算出するモータ目標出力算出手段と、該目標出力に応じた駆動電力を前記モータに出力するモータ駆動手段と、前記モータ駆動手段の電源として使用される燃料電池と、該燃料電池により充電され、該燃料電池の発電量が不足する状態となるときに、放電が生じて不足する発電量を補充するように前記燃料電池と並列に接続された電気二重層キャパシタと、前記目標出力に応じた量の反応ガスを前記燃料電池に供給する反応ガス供給手段とを備えた燃料電池自動車の制御装置において、
前記電気二重層キャパシタの充電量を把握するキャパシタ充電量把握手段と、
前記走行用モータに対する要求出力が所定の要求出力急増状態となったことを検知する手段とを有し、
前記モータ目標出力算出手段は、前記要求出力急増状態にないときは、前記モータ又は前記モータ駆動手段の連続出力定格に応じて決定された第１の出力リミットを前記上限目標出力とし、前記要求出力急増状態となったときには、前記モータ駆動手段又は前記モータの短時間出力定格に応じて決定した前記第１の出力リミットよりも大きい第２の出力リミットを前記上限目標出力とすることを特徴とする燃料電池自動車の制御装置。
【請求項２】
前記所定の要求出力急増状態は、前記要求出力が前記第１の出力リミットを越え、且つ、前記要求出力の増加率が所定の基準増加率を超えたときであることを特徴とする請求項１記載の燃料電池自動車の制御装置。
【請求項３】
前記モータ目標出力算出手段は、前記要求出力と前記電気二重層キャパシタの充電量とに基づいた、前記モータを前記要求出力で連続して作動させることができる時間であるアシスト時間を越えない範囲で、前記第２の出力リミットを前記上限目標出力とすることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の燃料電池自動車の制御装置。
【請求項４】
前記モータ目標出力算出手段は、前記アシスト時間が経過した時から前記上限目標出力を所定の減少率で前記第１の出力リミットまで減少させることを特徴とする請求項３記載の燃料電池自動車の制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
そして、前記電気二重層キャパシタの充電量を把握するキャパシタ充電量把握手段と、前記走行用モータに対する要求出力が所定の要求出力急増状態となったことを検知する手段とを有し、前記モータ目標出力算出手段は、前記要求出力急増状態にないときは、前記モータ又は前記モータ駆動手段の連続出力定格に応じて決定された第１の出力リミットを前記上限目標出力とし、前記要求出力急増状態となったときには、前記モータ駆動手段又は前記モータの短時間出力定格に応じて決定した前記第１の出力リミットよりも大きい第２の出力リミットを前記上限目標出力とすることを特徴とする。
また、前記所定の要求出力急増状態は、前記要求出力が前記第１の出力リミットを越え、且つ、前記要求出力の増加率が所定の基準増加率を超えたときであることを特徴とする。
また、前記モータ目標出力算出手段は、前記要求出力と前記電気二重層キャパシタの充電量とに基づいた、前記モータを前記要求出力で連続して作動させることができる時間であるアシスト時間を越えない範囲で、前記第２の出力リミットを前記上限目標出力とすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】画像データ配信方法、画像データ配信装置およびプログラム


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークに接続され、画像データを格納する画像データ格納手段とサンプル画像を格納するサンプル画像データ格納手段とを有するコンピュータによる画像データ配信方法において、
前記コンピュータが、
移動体端末装置から、前記ネットワークを介して画像データを受信する受信ステップと、前記受信ステップにより受信した前記画像データを前記格納手段に格納する格納ステップと、
前記格納ステップにより前記格納手段に格納した前記画像データに基づいて、前記画像データの購入手続きに関する案内情報を埋め込んだサンプル画像データを生成する画像データを生成し、前記サンプル画像データ格納手段に記憶する画像データ生成ステップと、
前記ネットワークに接続された端末装置からの取得要求に応答して、取得要求に対応した画像データのサンプル画像データを前記サンプル画像データ格納手段より抽出し、前記端末装置に対して送信する送信ステップと、
を実行することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項２】
サンプル画像データ作成ステップで、前記サンプル画像データを生成する際には、前記画像データの購入手続きに必要な購入申し込み情報の入力案内を行う購入手続き画面データの場所およびファイル名を特定する情報を付加して、前記サンプル画像データを生成することを特徴とする請求項１記載の画像データ配信方法。
【請求項３】
画像データを格納する画像データ格納手段と、
サンプル画像を格納するサンプル画像データ格納手段と、
移動体端末装置から、ネットワークを介して画像データを受信する受信手段と、
前記受信手段により受信した前記画像データを格納する格納手段と、
前記格納手段により前記格納手段に格納した前記画像データに基づいて、前記画像データの購入手続きに関する案内情報を埋め込んだサンプル画像データを生成する画像データを生成し、前記サンプル画像データ格納手段に記憶する画像データ生成手段と、
前記ネットワークに接続された端末装置からの取得要求に応答して、前記取得要求に対応した画像データのサンプル画像データを前記サンプル画像データ格納手段より抽出し、前記端末装置に対して送信する送信手段と、
を有することを特徴とする画像データ配信装置。
【請求項４】
サンプル画像データ生成手段は、前記サンプル画像データを生成する際には、前記画像データの購入手続きに必要な購入申し込み情報の入力案内を行う購入手続き画面データの場所およびファイル名を特定する情報を付加して、前記サンプル画像データを生成することを特徴とする請求項３記載の画像データ配信装置。
【請求項５】
画像データを格納する画像データ格納手段と、サンプル画像を格納するサンプル画像データ格納手段とを有するコンピュータを、
移動体端末装置から、ネットワークを介して画像データを受信する受信手段と、
前記受信手段により受信した前記画像データを格納する格納手段と、
前記格納手段により前記格納手段に格納した前記画像データに基づいて、前記画像データの購入手続きに関する案内情報を埋め込んだサンプル画像データを生成する画像データを生成し、前記サンプル画像データ格納手段に記憶する画像データ生成手段と、
前記ネットワークに接続された端末装置からの取得要求に応答して、前記取得要求に応答した画像データのサンプル画像データを前記サンプル画像データ格納手段より抽出し、前記端末装置に対して送信する送信手段と
して機能させるためのプログラム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はネットワークを介して画像データを配信する画像データ配信方法、画像データ配信装置およびプログラムに関し、特に移動体端末装置から送られた画像データの配信を行う画像データ配信方法、画像データ配信装置およびプログラムに関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、元の画像データの入手方法を明確にしたサンプル画像データを配信する画像データ配信方法、画像データ配信装置を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月17日(2003.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
前記フォントデータの保護を解除して使用可能とすることができないように設定したことを解除できることを特徴とする請求項１１に記載のフォントデータ管理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
前記パスワードが入力された際に、入力されたパスワードを記憶し、前記使用不可とされたフォントデータについてパスワードが記憶されている場合、パスワードの入力なしでそのフォントデータを使用可能とできることを特徴とする請求項１１記載のフォントデータ管理方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１５】
前記記憶されたパスワードを削除できることを特徴とする請求項１４記載のフォントデータ管理方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１６】
前記記憶されたパスワードと対応するフォントの種類の一覧を印刷できることを特徴とする請求項１４記載のフォントデータ管理方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１７】
前記パスワードは、暗号化されたフォントデータを復号するための復号鍵であることを特徴とする請求項１１記載のフォントデータ管理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月1日(2003.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
このピストン６０は、略円筒状のものであり、その後部は大径部６２となっており、前部は小径部６４となっている。この小径部６４はピストンホルダ５０の鍔部５２に挿通されている。大径部６２は鍔部５２を通過不能な大きさとなっている。このピストン６０の先端面はカバー６６で閉鎖されている。このカバー６６には浅い溝よりなるテアライン６８（図１０（ａ），（ｂ））が設けられており、インフレータ１６からのガス圧が加えられるとテアライン６８に沿ってカバー６６が開裂し、複数の小片７０（図１０（ｃ））が形成される。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
このエアベルト装置を乗員が装着する場合、タング１０は図８の如くバックル１２に挿入される。この際、タングプレート２４がタングプレート挿入口４０に挿入され、前述の如くラッチ機構３８によりラッチされる。また、この際、図１０（ａ）の通りピストン６０の先端がダクト２０のガス入口と対峙する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
この際、前述の通り、エアベルト保形部材たるフランジ３４がテアライン３６に沿って開裂し、複数のフラップに分かれる。このフラップは、その付け根の溝３７に沿って屈曲し、図１（ｂ）の通り開放方向に回動する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
1999334528.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
1999334528.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月4日(2003.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
タングプレート２４はバックル１２のタングプレート挿入口３４（図１（ｂ））に挿入され、ラッチ孔２４ａがバックル１２内のラッチ機構３５のラッチ爪によりラッチされる。バックル１２に設けられたプレスボタン３３を押すことによりこのラッチが解除されると共に、バネ（図示略）によってタングプレート２４がバックル１２から押し出される。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図２の通り、インフレータ１６の先端のガス噴出口４２にアタッチメント４４を介してパイプよりなるガス通路（ダクト）４６が連結されており、このダクト４６の先端にピストンホルダ５０の基端部が固着されている。このピストンホルダ５０は、略円筒状であり、その先端部には内向きの鍔部５２が設けられている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
1999334513.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月25日(2003.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両の後方をカメラにより検出し、該カメラからの映像を車内に設けられた表示器に後方画像として表示すると共に、ステアリング角度を検出するステアリングセンサを設け、該ステアリングセンサからのステアリング角度により車両の走行する走行予想軌跡を求めて、該走行予想軌跡を前記表示器に表示することにより運転者の駐車時の操作を補助する駐車補助装置において、
駐車時の操作を補助する駐車スイッチを設け、前記後方画像と、前記後方画像に対してステアリング角度に応じて可変する走行予想軌跡が重ねて表示される画像とを前記駐車スイッチにより切り換えが行えることを特徴とする駐車補助装置。
【請求項２】
前記走行予想軌跡は、車両の走行する予想轍、車幅状の帯、距離認識可能なはしご状表示のいずれかにより表示されることを特徴とする請求項１に記載の駐車補助装置。
【請求項３】
前記走行予想軌跡は、ステアリング角度に応じて表示色を変化させる請求項１または請求項２に記載の駐車補助装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために講じた技術的手段は、車両の後方をカメラにより検出し、カメラからの映像を車内に設けられた表示器に後方画像として表示すると共に、ステアリング角度を検出するステアリングセンサを設け、該ステアリングセンサからのステアリング角度により車両の走行する走行予想軌跡を求め、走行予想軌跡を表示器に表示することにより運転者の駐車時の操作を補助する駐車補助装置において、駐車時の操作を補助する駐車スイッチを設け、後方画像と、後方画像に対してステアリング角度の応じて可変する走行予想軌跡が重ねて表示される画像とを駐車スイッチにより切り換えが行えるものとしたことである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記の技術的手段により、駐車時の操作を補助する駐車スイッチを設けて、前記後方画像と、前記後方画像に対して走行予想軌跡が重ねて表示される画像とを駐車スイッチにより切り換えが行えるようにしたので、駐車スイッチのスイッチ操作により、駐車操作時に補助が必要な場合には、後方画像に走行予想軌跡を重ねて表示させることが可能となる。これは、後方画像に対して走行予想軌跡を重ねて表示させることが必要な場合には、駐車スイッチを操作すれば、後方画像に対して走行予想軌跡が重ねて表示され、簡単な方法により駐車操作が補助され、ドライバは縦列駐車や車庫入れ等の駐車に対して、ステアリング角度に対応した走行予想軌跡を表示器で視覚的に見る事が可能となり、有用な情報が提供される。しかも、車両の後方がどこの位置を通るかといった状態をドライバは予想軌跡を確認しながら、駐車操作時の視認性を確保しつつ、ドライバに対して駐車の補助が行える。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
【効果】
本発明によれば、ステアリングセンサからのステアリング角度により車両の走行予想軌跡を求め、走行予想軌跡をステアリング舵角に応じて表示器に可変表示するようにしたので、ドライバはステアリング舵角に対応した走行予想軌跡を表示器で常に確認しながら駐車が行えるため、表示器を見ればステアリング舵角に対応する走行予想軌跡がわかる。これは、駐車を補助する駐車スイッチを設け、走行予想軌跡はカメラからの後方画像と、後方画像に走行予想軌跡が重ねて表示された画像とを駐車スイッチのスイッチ操作により切り換えれば、駐車操作時に必要な場合のみ、後方画像に走行予想軌跡を重ねて表示させることができ、駐車スイッチをドライバが操作するという簡単な表示方法で縦列駐車や車庫入れ等の駐車に対して有用な情報が提供できる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この場合、走行予想軌跡はカメラからの後方画像に重ねて表示されるので、後方画像にステアリング角度による走行予想軌跡を重ね合わせて状態を確認できる。また、車両が後方のどこの位置を通るかといった走行予想軌跡が同時に確認できるので、駐車操作時の視認性が向上し、駐車操作時の適切な補助ができる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月20日(2003.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを排出するシート排出手段と、
該シート排出手段により排出されるシートを受ける第１の積載手段と、
該第１の積載手段上のシート束を、各々独立してシート排出方向と直交する方向に移動可能な第１の整合部材と第２の整合部材との挟み動作で整合する整合手段と、
前記第１の積載手段上のシート束を第２の積載手段へ移送する移送手段と、
を有し、
前記第１の積載手段において、前記第１の整合部材及び第２の整合部材によりシート束の整合位置を第１の整合位置と第２の整合位置とへ交互に所定量づつ移動させてオフセットするシート処理装置において、
前記第１及び第２の整合部材をそれぞれ独立して駆動する複数の駆動手段と、
該駆動手段を制御する制御手段と、
を有し、
前記第１及び第２の整合部材の一方の整合部材を排出されるシート端縁に対して所定量移動させた位置を基準位置としてシートを整合し、次に他方の整合部材をシート端縁から所定量移動させた位置を次のシート束の整合位置として整合する動作を、交互に繰り返すように制御することを特徴とするシート処理装置。
【請求項２】
更に、シート綴じ手段を備え、整合位置の切り替えに応じて移動することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。
【請求項３】
前記シート束は多数枚から成る束を分割した少数枚から成る束で、前記移送手段は前記少数枚の束の処理毎に移送動作することを特徴とする請求項１に記載のシート処理装置。
【請求項４】
請求項１又は２又は３に記載のシート処理装置と、シートに画像を形成する画像形成手段と、該画像形成手段により画像形成したシートを前記シート処理装置に排出する排出手段と、を有することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の事情に鑑みなされたものであって、
請求項１に係る発明は、シートを排出するシート排出手段と、
該シート排出手段により排出されるシートを受ける第１の積載手段と、
該第１の積載手段上のシート束を、各々独立してシート排出方向と直交する方向に移動可能な第１の整合部材と第２の整合部材との挟み動作で整合する整合手段と、
前記第１の積載手段上のシート束を第２の積載手段へ移送する移送手段と、
を有し、
前記第１の積載手段において、前記第１の整合部材及び第２の整合部材によりシート束の整合位置を第１の整合位置と第２の整合位置とへ交互に所定量づつ移動させてオフセットするシート処理装置において、
前記第１及び第２の整合部材をそれぞれ独立して駆動する複数の駆動手段と、該駆動手段を制御する制御手段と、
を有し、
前記第１及び第２の整合部材の一方の整合部材を排出されるシート端縁に対して所定量移動させた位置を基準位置としてシートを整合し、次に他方の整合部材をシート端縁から所定量移動させた位置を次のシート束の整合位置として整合する動作を、交互に繰り返すように制御することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項２に係る発明は、更に、シート綴じ手段を備え、整合位置の切り替えに応じて移動することを特徴とする。
請求項３に係る発明は、前記シート束は多数枚から成る束を分割した少数枚から成る束で、前記移送手段は前記少数枚の束の処理毎に移送動作することを特徴とする。
請求項４に係る発明は、請求項１又は２又は３に記載のシート処理装置と、シートに画像を形成する画像形成手段と、該画像形成手段により画像形成したシートを前記シート処理装置に排出する排出手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月28日(2004.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャーシと熱発生素子とを内部に有するコンピュータ等の電子装置用のヒート・シンクにおいて、
熱発生素子に共形的に取り付けられる形状の熱吸収部分と、
熱吸収部分に取り付けられ、該熱吸収部分から外側に延在する導管部分と、
導管部分に取り付けられ、本体と、該本体から横方向に外側に向かって延びかつ軸方向に離間している一連のフィンとを有する熱発散部分と、
熱吸収部分、導管部分、及び熱発散部分上に形成された連続チャネルと、
連続チャネル内に配置され、熱吸収部分から熱発散部分まで延びているヒート・パイプと、
ヒート・パイプを熱発生素子に熱的に結合させる手段と
からなることを特徴とするヒート・シンク。
【請求項２】
電子装置において、
複数の開口が貫通形成された側面を有するシャーシと、
シャーシに取り付けられ、表面に電子素子が実装された回路基板と、
一対の端部を有し、該端部の一方が電子素子に熱的に結合されたヒート・パイプと、
一対の端部を有する構造部材であって、該端部の一方がシャーシの側面に取り付けられ、他方が回路基板に取り付けられており、構造部材の一表面上に細長い凹部が形成され、該凹部に構造部材に熱的に結合されたヒート・パイプが受容され、構造部材がシャーシの側面に取り付けられた状態で該シャーシを補強している構造部材と
からなることを特徴とする電子装置。
【請求項３】
コンピュータ装置において、
ハウジングと、
ハウジング内に配置された熱発生素子と、
ヒート・パイプと、
ハウジング内に配置されてヒート・パイプを保持するリテイナであって、熱発生素子と接触している熱吸収部分と、ハウジングから少なくとも部分的に離間している導管部分と、熱発散部分とを含み、ヒート・パイプが、熱吸収部分から導管部分を横切って熱発散部分まで延びるリテイナの連続チャネル内に配置されている、リテイナと
からなることを特徴とするコンピュータ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月4日(2003.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンが形成されたマスクをほぼ均一に照明するための照明光学系を備え、前記マスク上に形成されたパターンの像を感光基板上に形成する露光装置において、
前記照明光学系は、
照明光を供給するための複数の光源手段と、
前記複数の光源手段からの光束を、互いにほぼ平行で且つ空間的に密に配列された複数の平行光束に変換するための光束変換手段と、
前記光束変換手段を介して形成された複数の平行光束に基づいて多数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、
前記多光源像形成手段により形成された多数の光源像からの光束を集光して前記マスク上を重畳的に照明する集光光学系と、
を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記光束変換手段は、前記複数の光源手段からの複数の光束が互いに所定の間隔を隔ててほぼ平行に配列されるように光束を導くための導光光学系を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記導光光学系は、複数のミラーを有することを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記光束変換手段は、前記導光光学系を介して互いに所定の間隔を隔ててほぼ平行に配列された複数の光束の各々を所定の倍率で拡大整形して空間的に密に配列させるための光束整形手段を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記複数の光源手段はそれぞれ平行光束を供給することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項６】
前記光源手段は半導体レーザを有することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記光源手段は、ＹＡＧ４倍波レーザであることを特徴とする請求項６に記載の露光装置。
【請求項８】
所定のパターンを感光基板上に露光する露光装置において、
照明光を供給するための複数の光源手段と、
前記複数の光源手段からの光束を、互いにほぼ平行で且つ空間的に密に配列された複数の光束に変換するための光束変換手段と、
前記光束変換手段を介して形成された複数の光束に基づいて多数の光源像を形成するための多光源像形成手段と、
前記多光源像形成手段により形成された多数の光源像からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明する集光光学系と、
を備えていることを特徴とする露光装置。
【請求項９】
前記光束変換手段は、前記複数の光源手段からの複数の光束が互いに所定の間隔を隔ててほぼ平行に配列されるように光束を導くための導光光学系を有することを特徴とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記光束変換手段は、前記導光光学系を介して互いに所定の間隔を隔ててほぼ平行に配列された複数の光束の各々を所定の倍率で拡大整形して空間的に密に配列させるための光束整形手段を有することを特徴とする請求項８または９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記光源手段は半導体レーザを有することを特徴とする請求項８乃至１０の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項１２】
所定のパターンを感光基板上に露光する露光方法において、請求項１乃至１１の何れか一項に記載の露光装置を用いて前記パターンを前記感光基板上に露光することを特徴とする露光方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月4日(2003.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検物体に関連して形成された位置合わせマークの位置を光学的に検出することにより前記被検物体を位置合わせする方法において、
第１の幅を有する第１の領域と第２の幅を有する第２の領域とが所定方向に沿って第１のピッチで交互に配列されたマークを第１基準マークとし、第３の幅を有する第３の領域と第４の幅を有する第４の領域とが所定方向に沿って前記第１のピッチとは実質的に異なる第２のピッチで交互に配列されたマークを第２基準マークとしたとき、
前記位置合わせマークは、第５の領域と第６の領域とが所定方向に沿って交互に配列されたマークであり、前記第５の領域は、前記第１基準マークと前記第２基準マークとを重ねた状態において前記第１の領域および前記第３の領域の双方が形成された領域からなることを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項２】
被検物体に関連して形成された位置合わせマークの位置を光学的に検出することにより前記被検物体を位置合わせする方法において、
第１の幅を有する第１の領域と第２の幅を有する第２の領域とが所定方向に沿って第１のピッチで交互に配列されたマークを第１基準マークとし、第３の幅を有する第３の領域と第４の幅を有する第４の領域とが所定方向に沿って前記第１のピッチとは実質的に異なる第２のピッチで交互に配列されたマークを第２基準マークとしたとき、
前記位置合わせマークは、第５の領域と第６の領域とが所定方向に沿って交互に配列されたマークであり、前記第５の領域は、前記第１基準マークと前記第２基準マークとを重ねた状態において前記第１の領域および前記第３の領域のうちのいずれか一方が形成された領域からなることを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項３】
前記位置合わせマークに可干渉な２つの光束を２方向から所定の入射角で入射させ、前記位置合わせマークからの回折光に基づいて前記位置合わせマークの位置を検出することを特徴とする請求項１または２に記載の位置合わせ方法。
【請求項４】
前記第１基準マークにおいて前記第１の幅と前記第２の幅とはほぼ等しく、
前記第２基準マークにおいて前記第３の幅と前記第４の幅とはほぼ等しいことを特徴とする請求項３に記載の位置合わせ方法。
【請求項５】
所定のパターンが形成されたマスクを照明するための照明光学系と、前記マスクのパターン像を感光性の基板上に形成するための投影光学系と、前記基板を支持するステージ上の指標マーク板に形成された第１位置合わせマークの位置および前記基板上に形成された第２位置合わせマークの位置を検出するための位置合わせ系とを備えた投影露光装置において、
前記第２位置合わせマークは、第１の幅を有する第１の領域と第２の幅を有する第２の領域とが所定方向に沿って第１のピッチで交互に配列された第１基準マーク、あるいは第３の幅を有する第３の領域と第４の幅を有する第４の領域とが所定方向に沿って前記第１のピッチとは実質的に異なる第２のピッチで交互に配列された第２基準マークであり、
前記第１位置合わせマークは、第５の領域と第６の領域とが所定方向に沿って交互に配列されたマークであり、前記第５の領域は、前記第１基準マークと前記第２基準マークとを重ねた状態において前記第１の領域および前記第３の領域の双方が形成された領域あるいは前記第１の領域および前記第３の領域のうちのいずれか一方が形成された領域からなり、
前記位置合わせ系は、前記投影光学系を介して前記第１位置合わせマークに可干渉な２つの光束を２方向から所定の入射角で入射させ、前記第１位置合わせマークからの回折光に基づいて前記第１位置合わせマークの位置を検出し、前記投影光学系を介して前記第２位置合わせマークに可干渉な２つの光束を２方向から所定の入射角で入射させ、前記第２位置合わせマークからの回折光に基づいて前記第２位置合わせマークの位置を検出することを特徴とする投影露光装置。
【請求項６】
前記第１基準マークにおいて前記第１の幅と前記第２の幅とはほぼ等しく、
前記第２基準マークにおいて前記第３の幅と前記第４の幅とはほぼ等しいことを特徴とする請求項５に記載の投影露光装置。
【請求項７】
前記位置合わせ系は、前記第１および第２位置合わせマークに対する前記可干渉な２つの光束の入射角を可変とする入射角可変手段を有することを特徴とする請求項５または６に記載の投影露光装置。
【請求項８】
被検物体に関連して形成された位置合わせマークの位置を光学的に検出することにより前記被検物体を位置合わせする方法において、
前記位置合わせマークは、所定方向に沿って所定の第１の周期の第１のピッチ情報と、前記所定方向に沿って前記第１のピッチ情報とは異なる所定の第２の周期の第２のピッチ情報とを有するパターンで構成されることを特徴とする位置合わせ方法。
【請求項９】
被検物体に関連して形成されて、前記被検物体の位置合わせを行う際に光学的に検出される位置合わせマークであって、
所定方向に沿って所定の第１周期の第１ピッチ情報と、前記所定方向に沿って前記第１ピッチ情報とは異なる所定の第２周期の第２ピッチ情報とを有するパターンを備えていることを特徴とする位置合わせマーク。