(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
吹き出し面が通気性を有する布，不織布又はシートで構成され，前記吹き出し面以外の部分が変形可能な非通気性のシートで構成され，クリーンエアを一定の空間に供給する際に用いる，クリーンブース用のサプライチャンバ同士を連結した構造であって，
前記サプライチャンバは，吹き出し面と，当該吹き出し面と対向する非通気面と，前記吹き出し面と非通気面とに直交し，これらの間の側面を構成する周面とを有し，
さらに前記サプライチャンバは，前記チャンバ本体内にクリーンエアを供給した際に，前記吹き出し面における周辺部が，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出して，吹き出し面からの一方向流の外側に，外側へと向けられた斜め方向の気流を形成するように構成され，
前記サプライチャンバの周面には，他のサプライチャンバの周面と密着して連結自在でかつ連結解除が可能な接続部材が設けられ，
当該接続部材によって，サプライチャンバにおける周面同士が連結されたことを特徴とする，サプライチャンバの連結構造。
【請求項２】
前記周面は，非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成されていることを特徴とする，請求項１に記載のサプライチャンバの連結構造。
【請求項３】
前記接続部材は，面ファスナー，ファスナー，磁石，ボタン，又は剥離自在な低粘着テープであることを特徴とする請求項１又は２に記載のサプライチャンバの連結構造。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のサプライチャンバの連結構造によって，サプライチャンバ同士が連結され，
サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，
前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，
前記サプライチャンバは，前記ダクト又は支持部材によって前記清浄空気供給装置と一体化されて，かつ吹き出し面が下面に向くように水平に支持されていることを特徴とする，クリーンブース。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれかに記載のサプライチャンバの連結構造によって，サプライチャンバ同士が連結され，
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，
前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，
前記ダクトは非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成され，前記サプライチャンバと一体化され，
前記ダクトは，前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられ，
前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，
前記ダクトが起立し，かつ前記サプライチャンバは，その吹き出し面が下面に向くように前記ダクトによって水平に支持されるように構成されたことを特徴とする，クリーンブース。
【請求項６】
前記接続部材は，前記ダクトにも設けられていることを特徴とする，請求項４又は５に記載のクリーンブース。
【請求項７】
請求項１〜３のいずれかに記載のサプライチャンバの連結構造によって，サプライチャンバ同士が連結され，
前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，
前記サプライチャンバの吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置に設けられていることを特徴とする，クリーンブース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，清浄空気を供給するためのクリーンブース用のサプライチャンバの連結構造及びクリーンブースに係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から，送風機とフィルタ，薄膜等で構成されたダクトチャンバで形成されるクリーンブース（特許文献１）を複数台連結する場合，クリーンブースの天板四隅に切欠部を設け，並列配置し各々の切欠部によって形成される四角形の空隙部に接続部材を挿入して，ビスによって固定，連結する方法が提案されている（特許文献２）。またクリーンブース同士を溝型鋼などで連結する方法も提案されている。さらにアルミニウム合金で作られた支柱の中央部の板厚を薄くしてドライバを使用しての手作業にて，組み立て・連結を可能にした方法も提案されている（特許文献３）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−７４２８６号公報
【特許文献２】特開２００２−２８６２６５号公報
【特許文献３】特開２００２−３０９６９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら，クリーンブースの天板四隅に切欠部を設け，並列配置し各々の切欠部によって形成される四角形の空隙部に接続部材を挿入して，ビスによって固定，連結する方法や，クリーンブース同士を溝型鋼などで連結する方法では，クリーンブース同士の連結，分割作業に時間を要する。またドライバを使用しての手作業にて，組み立て・連結を可能にした方法では，分割する際に連結時に発生した（ビスのねじ込み時に発生した）粉塵が飛散したり，複数回の連結，分離は不可能である。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり，粉塵を発生させずに，連結，分離が容易な，クリーンブース用のサプライチャンバの連結構造，及び粉塵を発生させずに，連結，分離が容易，かつ可能なクリーンブースを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため，本発明は，吹き出し面が通気性を有する布，不織布又はシートで構成され，前記吹き出し面以外の部分が変形可能な非通気性のシートで構成され，クリーンエアを一定の空間に供給する際に用いる，クリーンブース用のサプライチャンバ同士を連結した構造であって，前記サプライチャンバは，吹き出し面と，当該吹き出し面と対向する非通気面と，前記吹き出し面と非通気面とに直交し，これらの間の側面を構成する周面とを有し，さらに前記サプライチャンバは，前記チャンバ本体内にクリーンエアを供給した際に，前記吹き出し面における周辺部が，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出して，吹き出し面からの一方向流の外側に，外側へと向けられた斜め方向の気流を形成するように構成され，前記サプライチャンバの周面には，他のサプライチャンバの周面と密着して連結自在でかつ連結解除が可能な接続部材が設けられ，当該接続部材によって，サプライチャンバにおける周面同士が連結されたことを特徴としている。
【０００８】
接続部材としては，面ファスナー，ファスナー，磁石，ボタン，又は剥離自在な低粘着テープを用いることができる。
【０００９】
これらの接続部材を使用することで，サプライチャンバ同士，あるいはダクト同士を，容易に連結したり，分離することができ，しかも発塵を防止することができる。
【００１２】
また本発明によれば，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，前記吹き出し面における周辺部が，クリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出し，吹き出し面における周辺部においては，外側へと向けられた斜めの気流が形成される。これによって，外側の非清浄空間の雰囲気を，吹き出し面からの気流によって形成される清浄空間内に巻き込むことが抑えられる。
【００１８】
また本発明によれば，前記した各サプライチャンバの連結構造を採用し，前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置と，前記清浄空気供給装置に設けられ，この清浄空気供給装置からの清浄空気を前記サプライチャンバに供給するダクトとを有し，前記サプライチャンバは，前記ダクト又は支持部材によって前記清浄空気供給装置と一体化されて，かつ吹き出し面が下面に向くように水平に支持されていることを特徴とする，クリーンブースが提供される。
【００１９】
このようなクリーンブースによれば，コンパクトでかつ特定空間に対して，上方から下方へと清浄空気を供給して当該空間を高さ方向に渡って，周囲より高い清浄度の雰囲気とすることが容易であり，また周囲の清浄度の低い空気を当該空間内に巻き込むことが抑えられ，効率よく当該空間の清浄度を高めることができる。なお本発明における「クリーンブース」の語は，単に「局所的に清浄空間をつくる装置」の意味で使用しており，ＪＩＳＺ８１２２に見られるような「天井面にフィルタを組み込む」，「周囲をビニールのカーテンで区画する」というような要素を持ったものとしては用いていない。このことは後述の実施の形態，ならびに本発明の本質，効果からして明らかである。
【００２０】
また本発明によれば，前記サプライチャンバの連結構造を採用し，前記サプライチャンバにクリーンエアを供給する清浄空気供給装置とを有し，前記サプライチャンバの吹き出し面が水平方向に向くように，当該サプライチャンバが前記清浄空気供給装置上に設けられていることを特徴とする，クリーンブースが提供される。
【００２１】
かかる構成のクリーンブースによれば，水平方向に清浄空気を供給して当該空間を周囲より高い清浄度の雰囲気とすることが容易であり，また周囲の清浄度の低い空気を当該空間内に巻き込むことが抑えられ，効率よく当該空間の清浄度を高めることができる。したがって，例えば病院の手術台や，より清浄な雰囲気を必要とする物がベルトコンベア上にある場合など，清浄空気の供給対象が水平にある場合には，特に有効である。
【００２２】
前記ダクトは非通気性の変形可能なシート状の材料によって構成され前記サプライチャンバと一体化され，前記ダクトは，前記清浄空気供給装置の吹き出し口に取り付けられ，前記清浄空気供給装置の吹き出し口からクリーンエアの吹き出しによって，前記ダクトが起立し，かつ前記サプライチャンバは，その吹き出し面が下面に向くように前記ダクトによって水平に支持されるように構成されたことクリーンブースも提案できる。
このようなクリーンブースでは，クリーンエアの供給停止時にはサプライチャンバ，ダクトともコンパクトに折りたたむことができ，クリーンブース全体しても小型，軽量化できる。
【００２３】
かかる場合，前記ダクトは略角筒形状を有し，さらに少なくとも対向する１組の面同士が，ダクト内において膨らみ抑制のための連結部材を介して結ばれていてもよい。連結部材としては，既述したような線材，紐，糸，可撓性を有する帯状のものを用いることができる。
【００２７】
なお清浄空気供給装置の下面にキャスタを設ければ，クリーンブース全体の移動が容易であり，必要なときにだけ所望の場所に清浄空間を創出することが簡易迅速になしえる。
【００２８】
前記サプライチャンバの周面に設けられた面ファスナー，ファスナー，磁石，ボタン，又は剥離自在な低粘着テープは，前記ダクトにも設けられていてもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば，発塵を防止しつつ，サプライチャンバの連結，分離を容易になしえる。またサプライチャンバやダクト同士の連結部は，密着しているので，当該連結部から清浄空間への塵埃の侵入を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１は，基本となるクリーンブース１の側面を示しており，このクリーンブース１は，例えば半導体製造プロセスが行われるクリーンルームＲ内に設置され，さらにクリーンルームＲ内において高清浄度の作業空間を創出する際に使用される。
【００３２】
クリーンブース１は，清浄空気供給装置２と，この清浄空気供給装置２からサプライチャンバ３へとクリーンエアを送るためのダクト４とを有している。清浄空気供給装置２は，ケーシング内にファン，ＵＬＰＡフィルタ等を有しており，周囲の空気を吸い込んでこれをろ過し，ダクト４へとクリーンエアを供給する構成を有している。清浄空気供給装置２の下面には自在キャスタ５が設けられている。
【００３３】
サプライチャンバ３のチャンバ本体１０は，図２，図３，図４に示したように，吹き出し面１１と，吹き出し面と対向する非通気面１２と，吹き出し面１１と非通気面１２との間の周面を構成する非通気性の側板１３とを有し，全体として略直方体の形状を有している。
【００３４】
吹き出し面１１は通気性を有する布，不織布またはシートで形成されている。吹き出し面を形成する通気性を有する布としては，例えばポリエステル１００％長繊維の織物で通気性のあるもの（クリーンルーム用無塵衣として一般的に使われているもの）を挙げることができる。また通気性を有する不織布としては，ポリエステル１００％長繊維の不織布や，テフロンメンブレン（デュポン社の登録商標），あるいは布と不織布をラミネート構造にしたものを用いてもよい。このような複合素材によって，ケバ立ち等が無くなり，不織布のフィルタ性能を維持しつつ布としての耐久性が向上する。テフロンメンブレンラミネート構造品，例えばゴアテックス（ゴアテックス社の登録商標）を用いてもよい。通気性を有するシートとしては，微細な孔が多数形成された合成樹脂性のシートを例示できる。
【００３５】
非通気面１２には，適宜のパネル材を用いてもよいが，この例では，非通気性の布やシートを用いている。非通気性の布としては，例えばポリエステル１００％長繊維の織物で通気性の小さいもの（例えばファン付きの陰圧クリーンスーツに使われているもの）を挙げることができる。非通気性のシートとしては，例えばポリエチレンフィルム，軟質塩化ビニルのシートを用いることができる。また完全な非通気性を持たなくとも，例えばＪＩＳ  Ｌ  １０９６による通気度が２（ｃｃ／ｃｍ２／ｓｅｃ）以下のものであれば，好適に使用することができる。
【００３６】
いずれにしろ，サプライチャンバ３に使用する通気性，非通気性の布，不織布，シートは，洗濯が可能で，発塵が少なく，また繰り返しの折り曲げ等に強い，軽量でも引き裂き・引っ張り強度が高い，伸びが少ない等の条件を満たすものが好ましい。
【００３７】
そして吹き出し面１１と非通気面１２との間は，図４に示したように，チャンバ内で紐２１よって結ばれている。この例においては，図２，図３に示したように，格子の交点部分（設定位置Ｐ）に，点状になるように複数の箇所で吹き出し面１１と非通気面１２とが等間隔でほぼ均等に結ばれている。その際のチャンバ内の紐２１の長さＬは，図４に示したように，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，前記紐２１で結んだ設定位置Ｐを除いて少なくとも前記吹き出し面１１における周辺部，すなわち側板１３に近い側が，そのときの内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。
【００３８】
クリーンブース１は以上のように主要部が構成されており，清浄空気供給装置２からのクリーンエアがダクト４を介してサプライチャンバ３のチャンバ内に供給されると，図４に示したように，吹き出し面１１から下方にクリーンエアが吹き出される。送風条件としては，平均面風速で０．１〜０．５ｍ／ｓ程度で，チャンバ内の内圧（周囲空気との差圧）は５０〜２００Ｐａが好ましい。
【００３９】
そのようにしてクリーンエアが吹き出されるときの吹き出し面１１は，設定位置Ｐを除いて吹き出し方向側に凸に湾曲する。したがって，湾曲した領域の周辺部分では，外側に向けて斜めの気流が形成される。その結果，吹き出し面１１の周辺部では，周囲雰囲気との界面部分での周囲雰囲気の巻き込みが抑えられ，吹き出されたクリーンエアによって形成される清浄空間への塵埃等の侵入が抑制される。これによって，従来のように清浄領域Ａが縮小することはない。
さらにまた前記した例においては，吹き出し面１１と非通気面１２とが紐２１を介して複数の設定位置Ｐにてほぼ均等に等間隔で結ばれ，紐２１の長さＬが同一であるから，クリーンエアがサプライチャンバ３内に供給されると，サプライチャンバ３全体の厚みがほぼ均一なものとなる。
【００４０】
しかも従来のようにたれ壁を使用する必要はないので，図1に示したように，サプライチャンバ３の下方の清浄領域Ａには，機器Ｇを操作する作業員Ｈの作業を妨げるような障害物は何もなく，作業環境は良好である。なおクリーンブース１が設置される環境が，例えば横方向からの気流が強い場所（たとえば近傍に水平方向の気流を吹き出す装置が設置されている場所）では，クリーンブース１によって形成された清浄領域を確保するために，シート状の垂れ幕などをサプライチャンバ３の側面（周面）に，面ファスナーやファスナー，その他留めボタンなどを利用して取り付けてもよい。
【００４１】
次に本発明の効果を調べるために図１０の装置を使用して実際に行った実験結果を示す。実験条件については，まずクリーンブース１が設置されている周囲環境Ｘの塵埃濃度（０．１μｍ径以上の大きさを有するパーティクルの数）は，３４８６０個／ｍ３（９８７個／ｆｔ３）であった。そして吹き出し面１１を構成する布の通気度が４９．８（ｃｃ／ｃｍ２／ｓｅｃ）の前記ラミネート素材を使用した。吹き出し風速については，図５に示したように，設定位置Ｐの下方で，０．４〜０．７ｍ／ｓ，それ以外の部分（凸に湾曲した面の下方）では，平均で０．２７〜０．３５ｍ／ｓであった。そして吹き出し面１１の垂直下方の領域を本来の清浄領域Ｙとして，それより少し外側の領域を測定領域Ｚとした。そして測定領域Ｚ内において，清浄領域Ｙよりも５０ｍｍ外側の位置の上下に測定箇所Ｍ，Ｎを設定した。測定箇所Ｍは，吹き出し面１１よりも５００ｍｍ下方の位置，測定箇所Ｎは，測定箇所Ｍよりもさらに５００ｍｍ下方の位置に設定されている。すなわち図５において，Ｄ１＝５０ｍｍ，Ｄ２＝５００ｍｍ，Ｄ３＝５００ｍｍである。
【００４２】
そして測定箇所Ｎ，測定箇所Ｍにおいて，塵埃濃度（０．１μｍ径以上の大きさを有するパーティクルの数）を測定した結果，いずれも０個／ｍ３（すなわち，塵埃のカウント数が０）であった。したがって，本来の清浄領域Ｙにおいても，当然塵埃濃度は０個／ｍ３であり，また結果的に清浄領域が本来の清浄領域Ｙよりも少なくとも５０ｍｍ外側に広がったことが確認できる。
【００４３】
前記クリーンブース１は，垂直下方にクリーンエアを吹き出すべく，サプライチャンバ３がダクト４によって水平に支持されたものであったが，ダクト４によって支持する必要はなく，例えば適宜の支持部材によって水平に支持してもよい。
【００４４】
さらにまた図６に示したクリーンブース３１のように，デスクワークを行う環境においては，サプライチャンバ３を清浄空気供給装置２の上に垂直に支持して，吹き出し面１１を水平方向に向けるようにしてもよい。またこのような構成のクリーンブース３１は，たとえば患者を診察する診察台，手術する手術台の脇に設置することで，上からの照明を妨げることなく，これら診察台，手術台の置かれた空間を容易に高清浄度空間とすることができる。
【００４５】
さらに前記した例においては，吹き出し面１１と非通気面１２とは，吹き出し方向からみて紐２１によって点状となるように結ばれていたが，図７，図８，図９に示したように，チャンバの内部で帯状の隔壁部材４１によって線状に結ばれていてもよい。
【００４６】
かかる場合，図７〜図９の例では，吹き出し面１１におけるダクト４側の端部４２から対向する端部４３側へと線状に結ばれ，さらに端部４３側近傍では，開放している。すなわち隔壁部材４１の長手方向の長さＷ１は，吹き出し面１１における端部４２，４３間の長さＷ２よりも短くなっている。なお隔壁部材４１は，非通気面１２に採用した材料と同じ非通気性のシート等を使用している。また隔壁部材４１の長さ（高さ）Ｌは，前記した紐２１と同様，図８，図９に示したように，チャンバ内にクリーンエアを供給した際に，設定位置Ｑを除いて少なくとも前記吹き出し面１１における周辺部が，そのときの内圧によってクリーンエアの吹き出し方向側に凸に湾曲して膨出するように設定されている。
【００４７】
このように線状に吹き出し面１１と非通気面１２とを結べば，例えば大きなチャンバを形成するような場合でチャンバ内の圧力を高くする必要が生じたときに，吹き出し面１１と非通気面１２との結合強度を高くしてこれに対処することができ，また線状に力を受けてこれを分散させることが可能であり，チャンバの強度を好適に高めることができる。なお製作にあたっては，例えば吹き出し面１１と非通気面１２を構成する布の間に，チャンバ高さと同じ非通気性の布の帯を置いて外から例えばミシンで縫えば，容易にこれをなしえる。
【００４８】
また前記した例では，端部４３側近傍が開放しているため，チャンバ内の圧力は均一になり，しかも端部４３近傍での吹き出し面も，クリーンエア供給の際には，吹き出し方向側に凸に湾曲してこれを膨出させることができ，端部４３の下方においても，外側に向かう斜めの気流を形成して，周囲雰囲気からの塵埃の巻き込みを抑えることが可能である。なお端部４２側では，ダクト４が配置されているので，このダクト４がいわば「たれ壁」として機能するので，端部４２下方においては，もともと周囲雰囲気からの塵埃の巻き込みはほとんどない。
【００４９】
なお以上の例においては，周面を構成する部材に，非通気性の側板１３を使用したが，それに代えて，非通気性の布，シート等の薄膜材を用いてもよい。さらに非通気性の側板１３に代えて，通気性のある布，不織布，シートを使用すれば，周面方向にも容易に清浄空気を供給することが可能である。
【００５０】
図１０にはさらに他のクリーンブース５１を示した。このクリーンブース５１に使用されるサプライチャンバ５２の吹き出し面５３は，前記したクリーンブース１のサプライチャンバ３における吹き出し面１１と同様，設定位置Ｐにおいて非通気面５４と紐を介して結ばれており，また非通気面５４についても，サプライチャンバ３の非通気面１２と同様非通気性の布やシートが用いられている。そしてこのサプライチャンバ５２の周面を形成する４つの側面５５についても，非通気性の布やシートが用いられている。
【００５１】
このサプライチャンバ５２は，ダクト６１と一体化されている。このダクト６１は，全体として角筒形状をなし，その材質には非通気面５４と同様，非通気性の布やシートが用いられている。そしてダクト６１において対向する１組の面６２，６３が，サプライチャンバ５２と同様に紐６４を介して格子の交点の位置にて，ほぼ均等に等間隔で結ばれている。
【００５２】
クリーンブース５１に採用された清浄空気供給装置は，ファンフィルタユニット７１である。このファンフィルタユニット７１は，図１１，図１２にも示したように，ケーシング７２内に収容されている。ファンフィルタユニット７１自体は，下部に吸い込み口７３を有し，それに続いて上部に送風機７４を備え，さらに送風機７４の吹き出し側に，例えば四面がパネル材等によって囲まれたＨＥＰＡフィルタなどの浄化フィルタ７５が設けられている。そして浄化フィルタ７５の下流側に吹き出し口７６が形成されている。
【００５３】
ケーシング７２は底面が開口し，４つの側面がパネル材７７によって構成されている。そしてケーシング７２の上部開口部の縁部には，この開口部を閉鎖自在な蓋体７８がヒンジ等によって回動自在に設けられている。ダクト６１の端部開口部６１ａは，ファンフィルタユニット７１の吹き出し口７６に気密に設けられている。本実施の形態においては，フランジ８０でダクト６１の開口部周縁を挟み込んで蝶ナット等の締め付け固定部材７９で締め付け固定している。
【００５４】
クリーンブース５１は，以上の構成を有しており，ファンフィルタユニット７１を作動させると，吹き出し口７６から吹き出されるクリーンエアは，ダクト６１を経由してサプライチャンバ５２に供給され，その吹き出し面５３から下方に吹き出されるが，本実施の形態においては，非通気面５４のみならず，周面５５，ダクト６１が非通気性の布やシートで構成されているので，図１０に示したようにクリーンエア供給時の内圧で，サプライチャンバ５２，ダクト６１が膨らんで，各々略直方体の形状となって，この形状が維持される。そしてダクト６１自体は，それを構成する対向する１組の面６２，６３が，紐６４を介してほぼ均等に等間隔で結ばれているので，ダクト６１の厚みが全体として均一なものとなる。しかも複数の紐６４によってダクト６１にかかる圧力が分散されているので，十分な強度が確保されている。
【００５５】
そしてファンフィルタユニット７１の作動を停止すれば，ダクト６１，サプライチャンバ５２の内部圧力は外部と同一になり，図１１に示したように略直方体の形状を失って，ほぼ扁平な袋状となる。したがって，これを折りたたむことにより，図１２に示したように，ケーシング７２内に収納することができる。図１２に示したように蓋体７８を閉じれば，格別梱包しなくとも使用した環境と同じクリーン度で密閉できる。密閉性をさらに高めるには，適宜ガスケットを挿入したり，さらにはバックルなどによって蓋体７８とパネル７７との密閉性を向上させればよい。
【００５６】
また前記した例では，ダクト６１とサプライチャンバ５２が一体化され，あたかも１つの袋状になっていて，ダクト６１の開口部がファンフィルタユニット７１の吹き出し口４６に蝶ナット７９によって締め付け固定されているので，ダクト６１，サプライチャンバ５２をファンフィルタユニット７１から取り外すことが容易であり，その交換が簡単で，またダクト６１，サプライチャンバ５２が汚れた場合には，これらを洗濯して再使用することも可能である。
【００５７】
この例にかかるクリーンブース５１は，サプライチャンバ５２，ダクト６１をすべて布，不織布，シート等の材料で構成したが，これら材質を適宜選択することで，クリーンエア供給時のこれらクリーンブース５１は，サプライチャンバ５２自体からの発塵を抑えることができる。
【００５８】
なおこの例にかかるクリーンブース５１において，サプライチャンバ５２，ダクト６１のエア供給時の自立性，形状維持度を高めるには，図１０に示したように，例えば伸縮自在なポール８０，８１を各々サプライチャンバ５２の内部又は外部の両側，ダクト６１の内部又は外部の両側に取り付ければよい。
【００５９】
この例にかかるクリーンブース５１は，いわば図１に示したクリーンブース１のサプライチャンバ３，ダクト４を全て布，不織布，シート等の変形可能な材質で構成し，不使用時においてはサプライチャンバ５２，ダクト６１をケーシング７２内に格納できるようにしたものであったが（伸縮自在なポール８１，８２がある場合にもこれらをケーシング７２内に格納可能である），同様にして，図６に示した水平吹き出しタイプのクリーンブース３１についても，吹き出し面１１のみならず，それと対向する非通気面，さらには周面について布，不織布，シート等の変形可能な非通気性の材質で構成することにより，使用時には図６のようにチャンバ内に供給されるサプライチャンバ３自体が起立し，不使用時には図１２に示したようにサプライチャンバ３をケーシング内に収納できる構成とすることが可能である。
【００６０】
次に接続部材を取り付けた例について説明する。図１３に示したように，接続部材，例えば面ファスナー１０１は，側板１３ａの表面に取り付けてもよく，また図１４に示したように，側板１３ａに代えて，周面を構成している非通気面１２ａに直接取り付けても良い。
【００６１】
図１５には，側板１３ａの表面に面ファスナー１０１を取り付けた様子を示している。面ファスナー１０１は，通常，フック面のフックとループ面のループとが係止することによって面で接続し，また分離することが可能であるので，図１６に示したように，フック面１０１ａとループ面１０１ｂとは，例えば１つの側板１３において，交互に取り付けるようにしても良い。これによって，連結しようとする他のサプライチャンバ３では，図１６に示したフック面１０１ａとループ面１０１ｂと接合（係止）するように，ループ面１０１ｂとフック面１０１ａを取り付ければよい。
【００６２】
このようにサプライチャンバ３の周面に，連結部材としての面ファスナー１０１を取り付けることで，図１７に示したように，サプライチャンバ３の周面同士を容易に連結することができ，また容易に分離することができる。しかもこのような密着接合により，両サプライチャンバ３の連結部では，隙間が０となり，塵埃の清浄領域Ａへの侵入を抑えることができる。
【００６３】
しかもサプライチャンバ３同士が密着して接合されているので，チャンバが揺れてチャンバ同士が接触して，それによる擦れが原因の発塵や劣化も防止あるいは抑制することができる。
【００６４】
このことは，クリーンブースを並べて使用する際に極めて有効である。すなわち図１８に示したように，クリーンブースを並べて使用する際，隙間１１０があると，そこから周囲の塵埃が清浄領域Ａに侵入してしまうが，本発明の接続部材，例えば面ファスナー１０１を使用して，複数台のクリーンブースのサプライチャンバ３を連結することで，広範囲の高度清浄空間を隙間無く形成することが可能である。
【００６５】
実際に発明者らが検証した結果，周囲環境の塵埃濃度が７．０×１０６個（塵埃の大きさが０．１μｍ以上）のとき，図１８に示したように隙間が５０ミリの場合には，隙間１１０の下部では，図１８に示したような塵埃が検出されたが，図１７の例では，本来の清浄領域と殆ど変わらない塵埃濃度であった。
【００６６】
なお面ファスナー１０１に代えて，ファスナー，磁石，ボタン，又は剥離自在な低粘着テープを用いてもよい。また面ファスナー１０１は，既述したように，通常はフック面とループ面とが密着して連結状態が実現されるが，両者の混在タイプを使用すれば，連結に当たっての制約がなくなり，自由でフレキシブルな連結が可能である。磁石を使用する場合にも，Ｎ極，Ｓ極を混在するタイプを使用することで，同様な自由な連結が実現できる。
【００６７】
図１９〜図２６に，図１５，１６に示したような接続部材を設けたクリーンブースの連結例を示した。これらの平面からみた様子を示している。これらの態様は作業工程や動線を考慮して配置される。また図２７においては，対向して２つのクリーンブース５１を接続した様子を示している。このようにさまざまな形態，大きさの清浄空間を自由に形成することが可能である。
【００６８】
図６に示したタイプのクリーンブース３１においても，吹き出し面以外の箇所に面ファスナーをはじめとする各種の接続部材を使用してもよい。図２８，図２９にかかる場合の連結例を示した。
【００６９】
本発明の接続部材は，図３や図７に示したダクト４に取り付けても良い。但し塵埃を巻き込まないためには，上部チャンバとなる側板の幅とダクト４の幅が同じであることが重要である。
【００７０】
また本発明の接続部材は，例えば吹き出し面１２と対向する非通気面に取り付けても良い。図３０はかかる状態を示し，吹き出し面１１と対向する非通気面１２０に，例えば面ファスナーのフック面１０１ａを取り付け，天井１２１から紐１２２によって吊り下げた支持部材１２３に面ファスナーのループ面１０１ｂを取り付け，この支持部材１２３によって，サプライチャンバ３を吊り下げ支持している。こうすることで，自立用ポールを使用することなく，サプライチャンバ３を安定して維持できる。
【００７１】
なお接続部材によるチャンバの連結作業は，クリーンエアの供給による膨出前後のどちらでもよいが，クリーンエアの供給によって，サプライチャンバが膨出して使用状態になった後の方が，連結作業がしやすい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】基本となるクリーンブースの基本形の側面図である。
【図２】図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの底面図である。
【図３】図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの斜視図である。
【図４】図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの縦断面図である。
【図５】図１のクリーンブースに使用したサプライチャンバの効果を調べる様子を示す縦断面図である。
【図６】他の例にかかるクリーンブースの側面図である。
【図７】他の例にかかるサプライチャンバの斜視図である。
【図８】図７のサプライチャンバの底面図である。
【図９】図７のサプライチャンバの縦断面図である。
【図１０】他の例にかかるクリーンブースの斜視図である。
【図１１】図１０のクリーンブースのエア供給停止時のケーシング内の様子を示す側面図である。
【図１２】図１０のクリーンブースの不使用時のケーシング内の様子を示す側面図である。
【図１３】実施の形態にかかるクリーンブースに使用したサプライチャンバの斜視図である。
【図１４】実施の形態にかかるクリーンブースに使用したサプライチャンバの縦断面図である。
【図１５】実施の形態にかかるクリーンブースの斜視図である。
【図１６】実施の形態にかかるクリーンブースに使用したサプライチャンバの平面の説明図である。
【図１７】実施の形態にかかるクリーンブースに使用したサプライチャンバが連結された様子を示す縦断面図である。
【図１８】クリーンブースを並置した際にサプライチャンバ同士の間に隙間が生じた様子を示す縦断面図である。
【図１９】実施の形態にかかるクリーンブースを２台，同一方向で並置して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２０】実施の形態にかかるクリーンブースを２台，相互に逆方向で並置して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２１】実施の形態にかかるクリーンブースを２台，相互に直角方向で並置して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２２】実施の形態にかかるクリーンブースを２台，相互にサプライチャンバ側を突き合わせて対向して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２３】対向連結した１対のクリーンブースを２組，同一方向で並置して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２４】直角方向に連結した１対のクリーンブースと，その対称連結の１対のクリーンブースとを並置して連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２５】対向連結した１対のクリーンブースを２組，同一方向にずらせて連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２６】対向連結した１対のクリーンブースと，３台のクリーンブースを同一方向で並置したものとを直角方向に連結した様子を示す平面の説明図である。
【図２７】実施の形態にかかるクリーンブースを，相互にサプライチャンバ側を突き合わせて対向して連結した様子を示す側面の説明図である。
【図２８】他の実施の形態にかかるクリーンブースを，３台連結した様子を示す側面の説明図である。
【図２９】図２８の連結状態を平面からみた様子を示す説明図である。
【図３０】サプライチャンバを天井から支持する様子を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７３】
１，３１，５１  クリーンブース
２    清浄空気供給装置
３，５２    サプライチャンバ
４    ダクト
５    キャスタ
１１    吹き出し面
１２    非通気面
２１    紐
４１    隔壁部材
４２，４３    端部
１０１    面ファスナー
Ａ    清浄領域
Ｌ    長さ
Ｐ，Ｑ  設定位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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