【手続補正書】
【提出日】平成15年12月18日(2003.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線偏光光が入射される偏光分離素子を含む照射光学系により被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、分光手段により少なくとも２つの光に分光し、各々の分光光を別個の受光素子で受光し、これらの受光素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項２】
被検査体を高速回転させながら直線偏光光が入射される前記偏光分離素子を含む照射光学系により前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、分光手段により少なくとも２つの光に分光し、各々の分光光を別個の受光素子で受光し、これらの受光素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥の有無に関する第１段階の検査を行い、この第１段階の検査により欠陥があると認識された箇所付近に対して、前記被検査体を低速回転させながら前記照射光学系により前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、前記分光手段で分光し、その一部を固体撮像素子で受光し、この固体撮像素子の出力結果の解析により前記被検査体の欠陥状態に関する第２段階の検査を行うようにしたことを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項３】
被検査体に集光照射する光を線状光とし、この線状光の幅方向をアレイ方向としたアレイ状の受光素子により反射光を受光させるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の欠陥検査方法。
【請求項４】
受光素子の他に、分光手段で分光された光路上で被検査体表面からの反射光を固体撮像素子で受光し、この固体撮像素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥を検出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の欠陥検査方法。
【請求項５】
被検査体を、複数層構造の感光層を有する有機感光体としたことを特徴とする請求項１，２，３又は４記載の欠陥検査方法。
【請求項６】
直線偏光光が入射される偏光分離素子及び結像素子を含み、被検査体表面に偏光光を集光照射する照射光学系と、
前記被検査体表面から反射されて前記偏光分離素子により照射光と分離された反射光を少なくとも２つの光に分光する分光手段と、
分光手段で分光された各々の分光光を受光してその受光量に応じた信号を出力する一対の受光素子と、
これらの受光素子の出力結果を演算処理して前記被検査体の欠陥の有無に関する信号を出力する演算手段と、
を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項７】
照射光学系中の一部に一方向にのみ収束能力を有して被検査体に集光照射する光を所定幅の線状光とさせる線状光手段を備え、一対の受光素子を前記線状光の幅方向をアレイ方向とするアレイ状受光素子としたことを特徴とする請求項６記載の欠陥検査装置。
【請求項８】
２段階に分光する分光手段とし、分光された光路上の一部に被検査体表面からの反射光を受光する一対の受光素子の他に固体撮像素子を備え、この固体受光素子の出力の解析により前記被検査体の欠陥状態に関する信号を出力する解析手段を備えたことを特徴とする請求項６又は７記載の欠陥検査装置。
【請求項９】
被検査体を、複数層構造の感光層を有する有機感光体としたことを特徴とする請求項６，７又は８記載の欠陥検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項２記載の発明は、被検査体を高速回転させながら直線偏光光が入射される偏光分離素子を含む照射光学系により、前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、分光手段により少なくとも２つの光に分光し、各々の分光光を別個の受光素子で受光し、これらの受光素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥の有無に関する第１段階の検査を行い、この第１段階の検査により欠陥があると認識された箇所付近に対して、前記被検査体を低速回転させながら前記照射光学系により、前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、前記分光手段で分光し、その一部を固体撮像素子で受光し、この固体撮像素子の出力結果の解析により前記被検査体の欠陥状態に関する第２段階の検査を行うようにしたので、検出速度の高速化と検出分解能の向上とが両立する。即ち、第１段階では被検査体を高速回転させながら一対の受光素子で受光してアナログ処理することにより検出動作を行い、欠陥が検出された場合には被検査体を低速回転させながら限られた箇所に関してのみ固体撮像素子で受光することによりその箇所の欠陥状態に関する第２段階の検査を行うようにすれば、固体撮像素子で扱うべき画像データ量が極減するため検出分解能を上げても検出時間及び画像データ量が増えることがなく、よって、検出速度の高速化と検出分解能の向上とを両立させることができる。
この場合、請求項３記載の発明のように、被検査体に集光照射する光を線状光とし、この線状光の幅方向をアレイ方向としたアレイ状の受光素子により反射光を受光させるようにすれば、点状光で全面を検査する場合に比して更に処理の高速化を図れる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、請求項４記載の発明のように、受光素子の他に、分光手段で分光された光路上で被検査体表面からの反射光を受光する固体撮像素子を有し、この固体撮像素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥を検出するようにすれば、被検査体の多種表面欠陥に関しても固体撮像素子による画像データに基づいて検査できる。例えば、請求項５記載の発明のように被検査体を、複数層構造の感光層を有する有機感光体とした場合に、各感光層と金属素管表面からの反射光の多層干渉による欠陥があるとき、固体撮像素子で読み取った反射光による強度分布には明暗の干渉縞が生ずるので、感光層の多層干渉欠陥も検出できる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項２記載の発明によれば、被検査体を高速回転させながら直線偏光光が入射される偏光分離素子を含む照射光学系により、前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、分光手段により少なくとも２つの光に分光し、各々の分光光を別個の受光素子で受光し、これらの受光素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥の有無に関する第１段階の検査を行い、この第１段階の検査により欠陥があると認識された箇所付近に対して、前記被検査体を低速回転させながら前記照射光学系により、前記被検査体表面に光を集光照射し、この被検査体表面からの反射光を再び前記偏光分離素子を通した後、前記分光手段で分光し、その一部を固体撮像素子で受光し、この固体撮像素子の出力結果の解析により前記被検査体の欠陥状態に関する第２段階の検査を行うようにしたので、固体撮像素子で扱うべき画像データ量が極減するため検出分解能を上げても検出時間及び画像データ量が増えることがなく、よって、検出速度の高速化と検出分解能の向上とを両立させることができる。
この場合、請求項３記載の発明によれば、被検査体に集光照射する光を線状光とし、この線状光の幅方向をアレイ方向としたアレイ状の受光素子により反射光を受光させるようにしたので、点状光で全面を検査する場合に比して更に処理の高速化を図ることができる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
また、請求項４記載の発明によれば、受光素子の他に、分光手段で分光された光路上で被検査体表面からの反射光を受光する固体撮像素子を有し、この固体撮像素子の出力結果に基づき前記被検査体の欠陥を検出するようにしたので、被検査体の多種表面欠陥に関しても固体撮像素子による画像データに基づいて検査することができる。例えば、請求項５記載の発明のように被検査体を、複数層構造の感光層を有する有機感光体とした場合に、各感光層と金属素管表面からの反射光の多層干渉による欠陥があるとき、固体撮像素子で読み取った反射光による強度分布には明暗の干渉縞が生ずるので、感光層の多層干渉欠陥も検出することができる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】