(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記２以上の制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、
前記制御装置は、
前記処理装置を制御するために使用されるレシピを格納している制御装置側レシピ格納部と、
前記制御装置側レシピ格納部のレシピを使用して、前記処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御部を具備し、
前記プロセス情報管理装置は、
前記２以上の制御装置が保持している２以上のレシピが前記２以上の制御装置に各々対応付けて格納される管理装置側レシピ格納部と、
前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する変更指示を受け付ける管理装置側変更受付部と、
前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力指示を受け付ける管理装置側出力受付部と、
前記変更指示または／および前記出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であるか否かを判断する判断部と、
前記管理装置側変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する管理装置側レシピ変更部と、
前記管理装置側出力受付部が受け付けた出力指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力部を具備し、
前記判断部が通信可能でないと判断した場合に、前記管理装置側レシピ格納部のレシピの出力はできるが、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更できない群管理システム。
【請求項２】
前記制御装置は、
前記制御装置側レシピ格納部のレシピの変更指示を受け付ける制御装置側変更受付部と、
前記制御装置側変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを変更する制御装置側レシピ変更部と、
前記制御装置側レシピ変更部がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを前記プロセス情報管理装置に送信する制御装置側レシピ送信部と、
前記プロセス情報管理装置からレシピを受信する制御装置側レシピ受信部と、
前記制御装置側レシピ受信部が受信したレシピを前記制御装置側レシピ格納部に蓄積する制御装置側レシピ蓄積部をさらに具備し、
前記プロセス情報管理装置は、
前記管理装置側レシピ変更部がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置に送信する管理装置側レシピ送信部と、
前記制御装置からレシピを受信する管理装置側レシピ受信部と、
前記管理装置側レシピ受信部が受信したレシピを前記管理装置側レシピ格納部に蓄積する管理装置側レシピ蓄積部をさらに具備する請求項１記載の群管理システム。
【請求項３】
前記管理装置側出力受付部が出力指示を受け付け、かつ前記判断部が通信可能でないと判断した場合、
前記出力部は、
前記レシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でない旨と、前記レシピを出力する請求項１または請求項２記載の群管理システム。
【請求項４】
前記プロセス情報管理装置は、
前記管理装置側レシピ変更部が前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する履歴管理部をさらに具備し、
前記出力部は、前記出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力する請求項１から請求項３いずれか記載の群管理システム。
【請求項５】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記２以上の制御装置と接続されるプロセス情報管理装置であって、
前記２以上の制御装置が保持している２以上のレシピが前記２以上の制御装置に各々対応付けて格納される管理装置側レシピ格納部と、
前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する変更指示を受け付ける管理装置側変更受付部と、
前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力指示を受け付ける管理装置側出力受付部と、
前記変更指示または／および前記出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であるか否かを判断する判断部と、
前記管理装置側変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する管理装置側レシピ変更部と、
前記管理装置側出力受付部が受け付けた出力指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力部を具備し、
前記判断部が通信可能でないと判断した場合に、前記管理装置側レシピ格納部のレシピの出力はできるが、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更できないプロセス情報管理装置。
【請求項６】
前記管理装置側レシピ変更部がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置に送信する管理装置側レシピ送信部と、
制御装置からレシピを受信する管理装置側レシピ受信部と、
前記管理装置側レシピ受信部が受信したレシピを前記管理装置側レシピ格納部に蓄積する管理装置側レシピ蓄積部をさらに具備する請求項５記載のプロセス情報管理装置。
【請求項７】
前記管理装置側出力受付部が出力指示を受け付け、かつ前記判断部が通信可能でないと判断した場合、
前記出力部は、
前記レシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でない旨と、前記レシピを出力する請求項５または請求項６記載のプロセス情報管理装置。
【請求項８】
前記管理装置側レシピ変更部が前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する履歴管理部をさらに具備し、
前記出力部は、前記出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力する請求項６または請求項５から請求項７いずれか記載のプロセス情報管理装置。
【請求項９】
被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記２以上の制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムを構成するプロセス情報管理装置における動作を実現するプログラムであって、
コンピュータに、
格納しているレシピを出力する出力指示を受け付ける管理装置側出力受付ステップと、
格納しているレシピを変更する変更指示を受け付ける管理装置側変更受付ステップと、
前記変更指示または／および前記出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であるか否かを判断する判断ステップと、
前記管理装置側出力受付ステップで受け付けた出力指示に応じて、前記レシピを出力する出力ステップと、
前記管理装置側変更受付ステップで受け付けた変更指示に応じて、前記レシピを変更する管理装置側レシピ変更ステップを実行させるためのプログラムであって、
前記判断ステップで通信可能でないと判断した場合に、前記格納しているレシピの出力はできるが、前記格納しているレシピを変更できないように、コンピュータに処理させるためのプログラム。
【請求項１０】
コンピュータに、
前記管理装置側レシピ変更ステップでレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置に送信する管理装置側レシピ送信ステップと、
制御装置からレシピを受信する管理装置側レシピ受信ステップと、
前記管理装置側レシピ受信ステップで受信したレシピを蓄積する管理装置側レシピ蓄積ステップをさらに実行させるための請求項９記載のプログラム。
【請求項１１】
前記管理装置側出力受付ステップで出力指示を受け付け、かつ前記判断ステップで通信可能でないと判断した場合、
前記出力ステップにおいて、
前記レシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でない旨と、前記レシピを出力する請求項９または請求項１０記載のプログラム。
【請求項１２】
コンピュータに、
前記管理装置側レシピ変更ステップで前記レシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する履歴管理ステップをさらに実行させ、
前記出力ステップにおいて、前記出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力する請求項９から請求項１１いずれか記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システム等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ等の被処理基板を処理する複数の処理装置を一元管理の下で制御するシステムであり、製造システム全体の保守性の向上を図る群管理システムがあった（特許文献１参照）。本群管理システムは、処理装置毎のレシピ（プロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装置から得られる全てのプロセスデータの解析処理を行い、その解析結果やプロセスデータの集中モニタリング処理、更には解析／統計結果をレシピに反映させる処理等を行うＡＧＣ（アドバンス・グループ・コントローラ）を接続するシステムである。本群管理システムにおいて、各処理装置から得られる全てのプロセスデータやその解析結果をモニタリングできることで、処理装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見することができる。
【０００３】
また、市販の群管理システムのプロセス情報管理装置において、管理対象の半導体製造装置（制御装置を含む）のレシピを同期して保持する機能を有する。この同期は、プロセス情報管理装置と半導体製造装置間のネットワークを介して行われている。また、この機能によって、プロセス情報管理装置から半導体製造装置のレシピを参照・更新することができる。
【特許文献１】特開平１１−１６７９７号公報（第１頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の群管理システムにおいては、プロセス情報管理装置と半導体製造装置間がオフラインの状態においては、その半導体製造装置のレシピの参照・コピーを行うことができなかった。従って、オフラインの半導体製造装置と別の半導体製造装置のレシピの比較やオフラインの半導体製造装置のレシピのコピーを他の半導体製造装置に横展開することはできない、という課題があった。つまり、従来の群管理システムにおいては、プロセス情報管理装置と半導体製造装置間のレシピの一貫性を担保しつつ、レシピを参照やコピーのために利用することができなかった。
【０００５】
本発明は、かかる課題を解決すべく、オンラインの半導体製造装置のレシピのみプロセス情報管理装置で編集と参照ができ、オフラインの半導体製造装置のレシピはプロセス情報管理装置では参照のみできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本第一の発明の群管理システムは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記２以上の制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、前記制御装置は、前記処理装置を制御するために使用されるレシピを格納している制御装置側レシピ格納部と、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを使用して、前記処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御部を具備し、前記プロセス情報管理装置は、前記２以上の制御装置が保持している２以上のレシピが前記２以上の制御装置に各々対応付けて格納される管理装置側レシピ格納部と、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する変更指示を受け付ける管理装置側変更受付部と、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力指示を受け付ける管理装置側出力受付部と、前記変更指示または／および前記出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であるか否かを判断する判断部と、前記管理装置側変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する管理装置側レシピ変更部と、前記管理装置側出力受付部が受け付けた出力指示に応じて、前記管理装置側レシピ格納部のレシピを出力する出力部を具備し、前記判断部が通信可能でないと判断した場合に、当該レシピの出力はできるが、当該レシピを変更できない群管理システムである。
【０００７】
かかる構成により、オンラインの制御装置のレシピのみプロセス情報管理装置で編集と参照ができ、オフラインの制御装置のレシピはプロセス情報管理装置では参照のみできる。その結果、制御装置とプロセス情報管理装置間のレシピの一貫性を担保しつつ、レシピを効果的に利用できる。
【０００８】
また、本第二の発明の群管理システムは、第一の発明に対して、前記制御装置は、前記制御装置側レシピ格納部のレシピの変更指示を受け付ける制御装置側変更受付部と、前記制御装置側変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを変更する制御装置側レシピ変更部と、前記制御装置側レシピ変更部がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを前記プロセス情報管理装置に送信する制御装置側レシピ送信部と、前記プロセス情報管理装置からレシピを受信する制御装置側レシピ受信部と、前記制御装置側レシピ受信部が受信したレシピを前記制御装置側レシピ格納部に蓄積する制御装置側レシピ蓄積部をさらに具備し、前記プロセス情報管理装置は、前記管理装置側レシピ変更部がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置に送信する管理装置側レシピ送信部と、前記制御装置からレシピを受信する管理装置側レシピ受信部と、前記管理装置側レシピ受信部が受信したレシピを前記管理装置側レシピ格納部に蓄積する管理装置側レシピ蓄積部をさらに具備する群管理システムである。
【０００９】
かかる構成により、オンラインの制御装置のレシピのみプロセス情報管理装置で編集と参照ができ、オフラインの制御装置のレシピはプロセス情報管理装置では参照のみできる。さらに、制御装置またはプロセス情報管理装置で変更したレシピをお互いで送受信することにより、レシピの一貫性を厳密に担保できる。
【００１０】
また、本第三の発明の群管理システムは、第一、第二いずれかの発明に対して、前記判断部が通信可能でないと判断し、前記管理装置側出力受付部が出力指示を受け付けた場合、前記出力部は、前記レシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でない旨と、前記レシピを出力する群管理システムである。
【００１１】
かかる構成により、ユーザは、オフラインの制御装置であることを容易に判断でき、その結果、制御装置とレシピと一貫性が担保されていない可能性があることを想定しながら、レシピを参照できる。
【００１２】
また、本第四の発明の群管理システムは、第一から第三いずれかの発明に対して、前記プロセス情報管理装置は、前記管理装置側レシピ変更部が前記管理装置側レシピ格納部のレシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する履歴管理部をさらに具備し、前記出力部は、前記出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力する群管理システムである。
【００１３】
かかる構成により、レシピの履歴管理をした上で、最新のレシピを参照できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明による群管理システムによれば、オフラインの制御装置のレシピも、プロセス情報管理装置で参照できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）
【００１６】
図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の処理装置１１（処理装置１１（１）から処理装置１１（ｎ））、1以上の制御装置１２（制御装置１２（１）から制御装置１２（ｎ））、およびプロセス情報管理装置１３、クライアント装置１４を有する。
【００１７】
処理装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体的には、処理装置１１は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置である。処理装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。処理装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置である。本半導体ウエハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
【００１８】
また、制御装置１２は、処理装置１１を制御する装置であり、通常、処理装置１１に対応して設けられている。制御装置１２は、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて、処理装置１１を制御する。制御装置１２は、例えば、各処理装置１１の上位制御系であるＥＣＣ制御部、各処理装置１１の下位制御系であるＭＣ（マシンコントローラ）を具備する。かかる場合、ＥＣＣ制御部は、例えば、プロセス情報管理装置１３との論理的なインターフェイス手段であるＲＡＰ（Remote Agent Process）を有し、このＲＡＰによってプロセス情報管理装置１３との間での各種データの送受信が行われる。なお、処理装置１１と制御装置１２は、一体となっていても良いし、分離されていても良い。
【００１９】
プロセス情報管理装置１３は、例えば、いわゆる群管理システムを構成するサーバ装置である。
【００２０】
また、クライアント装置１４は、プロセス情報管理装置１３に対して各種の要求を出し、プロセス情報管理装置１３における処理結果を受け付ける。
【００２１】
図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システムは、処理装置１１、制御装置１２、プロセス情報管理装置１３、クライアント装置１４を具備する。図３において、処理装置１１と制御装置１２の組が複数存在する。
【００２２】
制御装置１２は、制御装置側レシピ格納部１２０１、制御部１２０２、制御装置側変更受付部１２０３、制御装置側レシピ変更部１２０４、制御装置側レシピ送信部１２０５、制御装置側レシピ受信部１２０６、制御装置側レシピ蓄積部１２０７を具備する。
【００２３】
プロセス情報管理装置１３は、管理装置側レシピ格納部１３０１、管理装置側変更受付部１３０２、管理装置側出力受付部１３０３、管理装置側レシピ変更部１３０４、管理装置側レシピ送信部１３０５、管理装置側レシピ受信部１３０６、管理装置側レシピ蓄積部１３０７、判断部１３０８、出力部１３０９、履歴管理部１３１０を具備する。
【００２４】
クライアント装置１４は、指示入力受付部１４１、指示送付部１４２、情報受付部１４３、情報表示部１４４を具備する。
【００２５】
制御装置側レシピ格納部１２０１は、制御装置１２に接続されている処理装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。制御装置側レシピ格納部１２０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００２６】
制御部１２０２は、制御装置側レシピ格納部１２０１のレシピを読み出し、当該レシピを使用して、処理装置１１を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる。制御部１２０２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御部１２０２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２７】
制御装置側変更受付部１２０３は、制御装置側レシピ格納部１２０１のレシピの変更指示を受け付ける。変更指示は、通常、変更を指示する命令と、変更の内容を含む。変更指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。制御装置側変更受付部１２０３は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００２８】
制御装置側レシピ変更部１２０４は、制御装置側変更受付部１２０３が受け付けた変更指示に応じて、制御装置側レシピ格納部１２０１のレシピを変更する。なお、変更指示が含む変更の内容は問わない。制御装置側レシピ変更部１２０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御装置側レシピ変更部１２０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００２９】
制御装置側レシピ送信部１２０５は、制御装置側レシピ変更部１２０４がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピをプロセス情報管理装置１３に送信する。制御装置側レシピ送信部１２０５が変更されたレシピをプロセス情報管理装置１３に送信するのは、制御装置１２のレシピとプロセス情報管理装置１３のレシピの一貫性を担保するためである。なお、制御装置側レシピ送信部１２０５は、初めてプロセス情報管理装置１３と通信可能になった場合に、制御装置側レシピ格納部１２０１のレシピを読み出し、プロセス情報管理装置１３に送信しても良い。制御装置側レシピ送信部１２０５は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００３０】
制御装置側レシピ受信部１２０６は、プロセス情報管理装置１３からレシピを受信する。制御装置側レシピ受信部１２０６は、通常、プロセス情報管理装置１３でレシピが変更された場合に、当該変更されたレシピを受信する。制御装置側レシピ受信部１２０６は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００３１】
制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、制御装置側レシピ受信部１２０６が受信したレシピを制御装置側レシピ格納部１２０１に蓄積する。本蓄積の処理により、制御装置１２のレシピとプロセス情報管理装置１３のレシピの一貫性を担保される。制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御装置側レシピ蓄積部１２０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００３２】
管理装置側レシピ格納部１３０１は、２以上の制御装置１２が保持している２以上のレシピが２以上の制御装置１２に各々対応付けて格納している。管理装置側レシピ格納部１３０１は、例えば、制御装置１２を識別する制御装置ＩＤや、ＩＰアドレスと、レシピ名を対応付ける情報を有し、かつレシピを格納している。管理装置側レシピ格納部１３０１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。
【００３３】
管理装置側変更受付部１３０２は、管理装置側レシピ格納部１３０１のレシピの変更指示を受け付ける。ここで、受け付けとは、例えば、クライアント装置１４からの変更指示の受信である。また、受け付けとは、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面による、ユーザからの変更指示の受け付けでも良い。管理装置側変更受付部１３０２は、無線または有線の受信手段や、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００３４】
管理装置側出力受付部１３０３は、レシピを出力する出力指示を受け付ける。ここでの受け付けも管理装置側変更受付部１３０２における受け付けと同様、クライアント装置１４からの受信や、キーボードやメニュー画面による、ユーザからの入力受け付け等である。管理装置側出力受付部１３０３は、無線または有線の受信手段や、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。なお、管理装置側変更受付部１３０２と管理装置側出力受付部１３０３は、物理的な一の手段で実現されても良いことは言うまでもない。
【００３５】
管理装置側レシピ変更部１３０４は、管理装置側変更受付部１３０２が受け付けた変更指示に応じて、管理装置側レシピ格納部１３０１のレシピを変更する。管理装置側レシピ変更部１３０４は、判断部１３０８が変更指示または／および出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であると判断した場合に、管理装置側変更受付部１３０２が受け付けた変更指示に応じて、管理装置側レシピ格納部１３０１のレシピを変更する。なお、通常、変更指示は、変更するレシピを識別するレシピ識別子と変更の内容の情報を有する。なお、変更するレシピを識別するレシピ識別子と、変更の内容の情報を、管理装置側変更受付部１３０２は、同時に受け付ける必要はない。管理装置側レシピ変更部１３０４は、判断部１３０８が変更指示または／および出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でないと判断した場合に、当該レシピを変更できない。管理装置側レシピ変更部１３０４は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。管理装置側レシピ変更部１３０４の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００３６】
管理装置側レシピ送信部１３０５は、管理装置側レシピ変更部１３０４がレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置１２に送信する。なお、管理装置側レシピ送信部１３０５によるレシピの送信処理と、管理装置側レシピ変更部１３０４によるレシピの変更処理の順序は問わない。管理装置側レシピ送信部１３０５は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００３７】
管理装置側レシピ受信部１３０６は、制御装置１２からレシピを受信する。管理装置側レシピ受信部１３０６は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００３８】
管理装置側レシピ蓄積部１３０７は、管理装置側レシピ受信部１３０６が受信したレシピを管理装置側レシピ格納部１３０１に蓄積する。なお、管理装置側レシピ蓄積部１３０７は、管理装置側レシピ受信部１３０６レシピを受信した場合、単に受信したレシピを蓄積するのではなく、後述する履歴管理部１３１０が行うようにレシピの履歴管理処理を行うことは好適である。履歴管理処理とは、更新前のレシピと更新後のレシピの両方を取得可能な状態にする処理であり、更新された箇所の情報を追記する処理（差分管理）でも良いし、更新後のレシピのすべての情報を追記する処理でも良いし、更新後のレシピの情報すべてと、更新後と更新前のレシピの差分の情報を蓄積する処理でも良い。管理装置側レシピ蓄積部１３０７は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。管理装置側レシピ蓄積部１３０７の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００３９】
判断部１３０８は、変更指示または／および出力指示に対するレシピに対応する制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能であるか否かを判断する。通信可能でない場合とは、例えば、制御装置１２がネットワークに接続されていない場合や、制御装置１２がシャットダウンしている場合などである。変更指示または／および出力指示に対するレシピに対応する制御装置１２とは、例えば、指示（変更指示または出力指示）が有するレシピ名で識別されるレシピを格納している制御装置１２である。判断部１３０８は、例えば、管理装置側レシピ格納部１３０１に格納されているレシピ名と制御装置１２のＩＰアドレスの対の情報を、指示が有するレシピ名をキーとして検索し、ＩＰアドレスを取得し、命令「ｐｉｎｇ  ＩＰアドレス」を実行し、制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能であるか否かについての情報を得る。図示しない手段が、制御装置１２との通信状態を常時監視しており、当該通信状態の情報を予め決められたバッファに記録しており、判断部１３０８は、例えば、かかる予め決められたバッフを参照して、制御装置１２との通信状態（通信可能か否か）を取得しても良い。その他、判断部１３０８における通信状態の判断方法は問わない。判断部１３０８は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。判断部１３０８の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４０】
出力部１３０９は、管理装置側出力受付部１３０３が出力指示を受け付けた場合に、当該出力指示にしたがってレシピを出力する。また、出力部１３０９は、判断部１３０８がレシピに対応する制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能でないと判断した場合に、その旨と、レシピを出力する。また、出力部１３０９は、出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力する。レシピの出力とは、レシピの内容（レシピを構成するステップやプロセスパラメータも含む）の出力でも良いし、レシピ名や更新日などのレシピの属性値の出力でも良い。また、レシピの出力とは、レシピの内容と属性値の両方の出力でも良い。通信可能でない旨の出力とは、通信可能でないことを明示するアイコン（通信可能である場合のアイコンとは異なるアイコン）の出力でも良いし、レシピを変更するメニュー項目をグレーアウトして出力することでも良い。また、出力部１３０９は、レシピを出力せずに、変更指示に対するレシピに対応する制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能でない旨のみを出力しても良い。かかる場合、ユーザが図示しない記録媒体からレシピを複写しようと、レシピの情報をコピー・アンド・ペーストした場合に、当該コピー・アンド・ペーストしたレシピを変更できないことを、例えば、出力部１３０９は、「×」印の図柄を出力することにより示しても良い。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。また、最新のレシピとは、バージョン番号の最も大きいレシピでも良いし、更新日時の最も新しいレシピでも良い。出力部１３０９は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１３０９は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。
【００４１】
履歴管理部１３１０は、管理装置側レシピ変更部１３０４が管理装置側レシピ格納部１３０１のレシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する。ここで、「当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する」とは、更新前と更新後の両方のレシピが管理装置側レシピ格納部１３０１に存在する状態にすることである。また、履歴管理部１３１０は、制御装置１２ごとに、レシピの更新履歴の差分のみ（変更分のみ）を管理していることは好適である。履歴管理部１３１０は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。履歴管理部１３１０の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。
【００４２】
指示入力受付部１４１は、ユーザからの変更指示や出力指示などを受け付ける。変更指示とは、レシピの変更を促す指示である。出力指示とは、レシピの出力を促す指示である。指示入力受付部１４１は、変更指示や出力指示などの入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。指示入力受付部１４１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。
【００４３】
指示送付部１４２は、指示入力受付部１４１が受け付けた指示をプロセス情報管理装置１３に送付する。ここでの送付とは、通常、通信手段を用いた送信である。指示送付部１４２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４４】
情報受付部１４３は、プロセス情報管理装置１３からレシピなどの情報を受け付ける。ここでの受け付けとは、通常、通信手段を用いた受信である。情報受付部１４３は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。
【００４５】
情報表示部１４４は、情報受付部１４３が受け付けたレシピ等の情報をディスプレイに表示する。情報表示部１４４は、ディスプレイを含むと考えても含まないと考えても良い。情報表示部１４４は、ディスプレイのドライバーソフトまたは、ディスプレイのドライバーソフトとディスプレイ等で実現され得る。
【００４６】
次に、群管理システムの動作について説明する。まず、図４のフローチャートを用いて、制御装置１２の動作について説明する。
【００４７】
（ステップＳ４０１）制御装置側変更受付部１２０３は、変更指示を受け付けたか否かを判断する。変更指示を受け付ければステップＳ４０２に行き、変更指示を受け付けなければステップＳ４０４に行く。
【００４８】
（ステップＳ４０２）制御装置側レシピ変更部１２０４は、ステップＳ４０１で受け付けた変更指示に応じて、レシピを変更し、当該変更したレシピを制御装置側レシピ格納部１２０１に蓄積する。
【００４９】
（ステップＳ４０３）制御装置側レシピ送信部１２０５は、ステップＳ４０２で変更したレシピを、プロセス情報管理装置１３に送信する。なお、通常、送信されるレシピには、制御装置１２を識別する情報（制御装置１２の名称やＩＤやＩＰアドレスなど）が付与されている。つまり、制御装置側レシピ送信部１２０５は、予め格納されている制御装置１２を識別する情報を読み出し、変更されたレシピに付与（例えば、属性値として付与）し、プロセス情報管理装置１３に送信する。ステップＳ４０１に戻る。
【００５０】
（ステップＳ４０４）制御装置側レシピ受信部１２０６は、プロセス情報管理装置１３からレシピを受信したか否かを判断する。レシピを受信すればステップＳ４０５に行き、レシピを受信しなければステップＳ４０６に行く。
【００５１】
（ステップＳ４０５）制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、ステップＳ４０４で受信したレシピを蓄積する。ここで、制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、受信したレシピを上書きしても良いし、別途、新たに制御装置側レシピ格納部１２０１に蓄積しても良い。かかる場合、制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、バージョン情報も蓄積することが好適である。なお、受信したレシピのデータ構造と、蓄積するレシピのデータ構造が異なっても良い。かかる場合、制御装置側レシピ蓄積部１２０７は、データ変換を行ってから、レシピを蓄積する。ステップＳ４０１に戻る。
【００５２】
（ステップＳ４０６）制御部１２０２は、処理装置１１の制御の指示を受け付けたか否かを判断する。処理装置１１の制御の指示を受け付ければステップＳ４０７に行き、指示を受け付けなければステップＳ４０１に戻る。
【００５３】
（ステップＳ４０７）制御部１２０２は、制御装置側レシピ格納部１２０１からレシピを読み出す。
【００５４】
（ステップＳ４０８）制御部１２０２は、ステップＳ４０７で読み出したレシピにしたがって、レシピを実行し、処理装置１１を制御する。ステップＳ４０１に戻る。
【００５５】
なお、図４のフローチャートにおいて、制御部１２０２の処理は公知技術であるので説明を省略する。
【００５６】
また、図４のフローチャートにおいて、受信したレシピを蓄積する際に、ユーザの判断を促す出力がされ、ユーザの指示（レシピの蓄積を認める指示）を受け付け、当該指示により受信したレシピを蓄積しても良い。
【００５７】
なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００５８】
次に、図５のフローチャートを用いて、プロセス情報管理装置１３の動作について説明する。
【００５９】
（ステップＳ５０１）管理装置側出力受付部１３０３は、出力指示を受け付けたか否かを判断する。出力指示を受け付ければステップＳ５０２に行き、出力指示を受け付けなければステップＳ５０７に戻る。
【００６０】
（ステップＳ５０２）判断部１３０８は、出力指示に含まれるレシピ識別子に対応する制御装置１２の通信情報を取得する。ここで、通信情報とは、制御装置１２と通信を行うための情報、または通信可否を判断するための情報である。通信情報は、例えば、制御装置１２のＩＰアドレス（Ｖｅｒ４．０、Ｖｅｒ６．０などのバージョンを問わない）や、ＭＡＣアドレスや、電話番号などである。また、通信情報は、例えば、管理装置側レシピ格納部１３０１にレシピと対にして格納されている。さらに、レシピ識別子とは、レシピ名やレシピのＩＤなど、レシピを識別する情報である。
【００６１】
（ステップＳ５０３）判断部１３０８は、ステップＳ５０２で取得した通信情報を用いて、制御装置１２と通信可能であるか否かの情報を取得する。判断部１３０８は、例えば、命令「ｐｉｎｇ  ＩＰアドレス（ステップＳ５０２で取得）」を構成し、実行し、実行結果を得る。
【００６２】
（ステップＳ５０４）出力部１３０９は、出力指示に含まれるレシピ識別子で識別されるレシピを、管理装置側レシピ格納部１３０１から読み込む。
【００６３】
（ステップＳ５０５）出力部１３０９は、ステップＳ５０４で読み込んだレシピ、およびステップＳ５０３で取得した通信可否の情報を用いて、出力する情報を構成する。ステップＳ５０３で取得した通信可否の情報が通信不可を示す情報である場合、出力する情報には、制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能でない旨が含まれる。
【００６４】
（ステップＳ５０６）出力部１３０９は、ステップＳ５０５で構成した情報を、クライアント装置１４に出力する。ステップＳ５０１に戻る。
【００６５】
（ステップＳ５０７）管理装置側変更受付部１３０２は、レシピの変更指示を受け付けたか否かを判断する。レシピの変更指示を受け付ければステップＳ５０８に行き、レシピの変更指示を受け付けなければステップＳ５１６に行く。
【００６６】
（ステップＳ５０８）判断部１３０８は、変更指示に含まれるレシピ識別子に対応する制御装置１２の通信情報を取得する。
【００６７】
（ステップＳ５０９）判断部１３０８は、ステップＳ５０８で取得した通信情報を用いて、制御装置１２と通信可能であるか否かの情報を取得する。
【００６８】
（ステップＳ５１０）管理装置側レシピ変更部１３０４は、ステップＳ５０９で取得された情報が通信可を示す情報であるか否かを判断する。通信可であればステップＳ５１１に行き、通信不可であればステップＳ５１５に行く。
【００６９】
（ステップＳ５１１）管理装置側レシピ変更部１３０４は、ステップＳ５０７で受け付けた変更指示に応じて、変更されたレシピを取得し、当該レシピを管理装置側レシピ格納部１３０１に蓄積する。
【００７０】
（ステップＳ５１２）履歴管理部１３１０は、ステップＳ５１１で変更される前のレシピ（旧レシピ）を管理装置側レシピ格納部１３０１に保存する。なお、ステップＳ５１１で変更される前のレシピはメモリ上に格納されている、とする。
【００７１】
（ステップＳ５１３）管理装置側レシピ送信部１３０５は、ステップＳ５１１で変更されたレシピを、当該レシピに対応する制御装置１２に送信する。
【００７２】
（ステップＳ５１４）出力部１３０９は、処理の結果を、クライアント装置１４に出力する。処理の結果とは、レシピが更新された旨を示す情報、またはレシピが更新できなかった旨を示す情報である。ステップＳ５０１に戻る。
【００７３】
（ステップＳ５１５）出力部１３０９は、レシピの変更ができない旨の情報を構成する。ステップＳ５１４に行く。
【００７４】
（ステップＳ５１６）管理装置側レシピ受信部１３０６は、制御装置１２からレシピを受信したか否かを判断する。レシピを受信すればステップＳ５１７に行き、レシピを受信しなければステップＳ５０１に戻る。
【００７５】
（ステップＳ５１７）管理装置側レシピ蓄積部１３０７は、ステップＳ５１６で受信したレシピを管理装置側レシピ格納部１３０１に蓄積する。ステップＳ５０１に戻る。
【００７６】
なお、図５のフローチャートにおいて、判断部１３０８が制御装置１２との通信可否を判断した後、通信可である場合のみ、変更指示を受け付ける構成でも良い。つまり、判断部１３０８が制御装置１２と通信可能でないと判断した場合に、レシピの出力はできるが、レシピを変更できない構成であれば良い。また、判断部１３０８が制御装置１２と通信可能でないと判断し、レシピを出力する場合、制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が通信可能でない旨と、レシピを出力することは好適である。
【００７７】
なお、図５のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。
【００７８】
次に、クライアント装置１４の動作について説明する。クライアント装置１４の指示入力受付部１４１がユーザから変更指示を受け付けた場合、指示送付部１４２は、当該変更指示をプロセス情報管理装置１３に送付し、プロセス情報管理装置１３での処理結果を情報受付部１４３が受け付け、情報表示部１４４が表示する。また、クライアント装置１４の指示入力受付部１４１がユーザから出力指示を受け付けた場合、指示送付部１４２は、当該出力指示をプロセス情報管理装置１３に送付し、プロセス情報管理装置１３から情報受付部１４３が情報を受け付け、情報表示部１４４が当該情報を表示する。その結果、クライアント装置１４で、レシピなどが表示される。
【００７９】
以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図６である。図６において、本群管理システムは、プロセス情報管理装置１３、クライアント装置１４、制御装置（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４、Ｅ５、Ｅ６）、各制御装置に対応する処理装置（Ｐ１からＰ６）を具備する。本群管理システムにおいて、制御装置Ｅ３は、現在、ネットワークに接続されておらず、プロセス情報管理装置１３と通信不可である。その他の制御装置は、プロセス情報管理装置１３と通信可である、とする。
【００８０】
また、プロセス情報管理装置１３の管理装置側レシピ格納部１３０１には、図７に示すレシピ管理表を保持している。レシピ管理表は、「ＩＤ」「レシピ識別子」「制御装置情報」「レシピグループ」「編集者」「更新日時」「バージョン」などの属性を有する。「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「レシピ識別子」は、レシピ名である。「制御装置情報」は、レシピが利用される制御装置名である。なお、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により、一のレシピが特定される。「レシピグループ」は、レシピの属性値であり、グループを示す。「編集者」はレシピを最後に編集した者を識別する情報、「更新日時」はレシピを最後に更新した日時、「バージョン」はレシピのバージョン番号を示す。また、図示しないが、管理装置側レシピ格納部１３０１には、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により特定されるレシピの実体が格納されている。また、レシピは、通常、１以上のステップからなる。また、図７において、「レシピ識別子」と「制御装置情報」の属性値でレシピが識別される。また、「レシピ識別子」と「制御装置情報」の属性値で識別されたレシピのレコードが複数存在するのは、レシピのバージョン管理を行っているからである。つまり、図７の「ＩＤ＝２」と「ＩＤ＝９」のレコードについて、同一のレシピであるが、バージョンが異なる。レシピのバージョン管理における実体の保持は、全データであっても良いし、差分だけであっても良い。
【００８１】
図８は、管理装置側レシピ格納部１３０１に格納されている通信情報管理表である。図５において、通信情報管理表は、「ＩＤ」「装置名」「ノード名」「ＩＰアドレス」などの属性を有する。「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「装置名」は、制御装置の名称である。「ノード名」は、制御装置に対応するノードの名称である。「ＩＰアドレス」は、制御装置に付されたＩＰアドレスである。また、通信情報管理表は、「ＩＰアドレス」という通信情報を有する。
【００８２】
また、各制御装置（Ｅ１〜Ｅ６）の制御装置側レシピ格納部１２０１には、少なくとも、それぞれ最新のレシピが格納されている。
【００８３】
かかる状況において、まず、クライアント装置１４のユーザは、キーボードから、レシピ一覧の出力指示を入力した、とする。
【００８４】
次に、クライアント装置１４の指示入力受付部１４１は、「レシピ一覧の出力指示」を受け付ける。そして、指示送付部１４２は、プロセス情報管理装置１３に「レシピ一覧の出力指示」を送信する。
【００８５】
次に、プロセス情報管理装置１３は、「レシピ一覧の出力指示」を受信する。なお、「レシピ一覧の出力指示」は、図示しない手段により受信する。そして、プロセス情報管理装置１３は、管理装置側レシピ格納部１３０１のレシピ管理表から、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により特定されるレシピのレコードのうち、バージョンが最新のレコードを選択し、図９の表を得る。図９の表において、「レシピ識別子」と「制御装置情報」により降順にソートされている。そして、プロセス情報管理装置１３は、図９の表を、クライアント装置１４に送信する。
【００８６】
次に、クライアント装置１４の情報受付部１４３は、図９の表の情報を受信し、情報表示部１４４は、図１０に示すようにレシピ一覧を表示する。図１０において、「出力」ボタン、「変更」ボタン、「終了ボタン」が表示されている。「出力」ボタンが押下されると、レシピの出力指示が発行される。「変更」ボタンが押下されると、レシピの変更指示が発行される。「終了ボタン」が押下されると、終了指示が発行される。終了指示とは、処理を終了する指示である。
【００８７】
次に、ユーザは、「レシピ識別子＝ＲＣＰ１」，「制御装置情報＝Ｅ３」のレコードがフォーカスされている状態で、「出力」ボタンを押下する、とする。
【００８８】
すると、指示入力受付部１４１は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ３」を受け付ける。次に、指示送付部１４２は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ３」をプロセス情報管理装置１３に送信する。
【００８９】
次に、プロセス情報管理装置１３の管理装置側出力受付部１３０３は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ３」を受信する。そして、判断部１３０８は、出力指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ３」に対応する制御装置Ｅ３の通信情報であるＩＰアドレス「４９．１６９．１２２．３」を、図７の通信情報管理表から取得する。
【００９０】
次に、判断部１３０８は、取得した通信情報「４９．１６９．１２２．３」を用いて、命令「ｐｉｎｇ  ４９．１６９．１２２．３」を構成し、実行する。そして、そのリターン値を得る。その結果、判断部１３０８は、制御装置Ｅ３と通信不可である旨の情報を取得する。
【００９１】
次に、出力部１３０９は、出力指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ３」で識別されるレシピを、管理装置側レシピ格納部１３０１から読み込む。そして、当該読み込んだレシピと、通信不可である旨の情報を、クライアント装置１４に送信する。
【００９２】
次に、クライアント装置１４の情報受付部１４３は、レシピと、通信不可である旨の情報を受信する。そして、情報表示部１４４は、レシピと、通信不可である旨の情報を表示する。図１１が情報表示部１４４における表示例である。図１１において、レシピを識別するレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ３」と、通信不可を示す情報（文字列、およびアイコン）が表示されている。また、レシピの内容が表示されている。レシピの内容は、複数のステップであり、各ステップは、複数のアイテムの情報（プロセスパラメータを含む）を有する。なお、かかる状態で、ユーザは、レシピの変更はできない。
【００９３】
次に、ユーザは、「レシピ識別子＝ＲＣＰ１」，「制御装置情報＝Ｅ３」のレコードがフォーカスされている状態で、「変更」ボタンを押下する、とする（図１２参照）。
【００９４】
すると、指示入力受付部１４１は、出力指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ３」を受け付ける。次に、指示送付部１４２は、出力指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ３」をプロセス情報管理装置１３に送信する。
【００９５】
次に、プロセス情報管理装置１３の管理装置側変更受付部１３０２は、変更指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ３」を受信する。そして、判断部１３０８は、変更指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ３」に対応する制御装置Ｅ３の通信情報であるＩＰアドレス「４９．１６９．１２２．３」を、図７の通信情報管理表から取得する。
【００９６】
次に、判断部１３０８は、取得した通信情報「４９．１６９．１２２．３」を用いて、命令「ｐｉｎｇ  ４９．１６９．１２２．３」を構成し、実行する。そして、そのリターン値を得る。その結果、判断部１３０８は、制御装置Ｅ３と通信不可である旨の情報を取得する。
【００９７】
そして、出力部１３０９は、レシピの変更ができない旨の情報「制御装置Ｅ３のレシピＲＣＰ１は変更できません。」を構成する。そして、出力部１３０９は、情報「制御装置Ｅ３のレシピＲＣＰ１は変更できません。」を、クライアント装置１４に送信する。
【００９８】
次に、クライアント装置１４の情報受付部１４３は、情報「制御装置Ｅ３のレシピＲＣＰ１は変更できません。」を受信し、情報表示部１４４が当該情報を表示する。かかる表示例を図１３に示す。
【００９９】
以上の処理により、通信不可である制御装置１２に対応するレシピに対しては、閲覧はできるが、編集はできない。また、プロセス情報管理装置１３において、表示されたレシピを他の制御装置のレシピと比較したり、他の制御装置のレシピとしてコピーしたり、他の制御装置へ送信し、他の制御装置にコピーしたりすることができる、とする。かかる、比較表示や、コピーの処理は、公知技術であるので詳細な説明を省略する。
【０１００】
次に、ユーザは、図１４に示すように、「レシピ識別子＝ＲＣＰ１」，「制御装置情報＝Ｅ１」のレコードがフォーカスされている状態で、「出力」ボタンを押下する、とする。
【０１０１】
すると、指示入力受付部１４１は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ１」を受け付ける。次に、指示送付部１４２は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ１」をプロセス情報管理装置１３に送信する。
【０１０２】
次に、プロセス情報管理装置１３の管理装置側出力受付部１３０３は、出力指示「出力  ＲＣＰ１，Ｅ１」を受信する。そして、判断部１３０８は、出力指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ１」に対応する制御装置Ｅ１の通信情報であるＩＰアドレス「１９８．１６６．１０２．１」を、図７の通信情報管理表から取得する。
【０１０３】
次に、判断部１３０８は、取得した通信情報「１９８．１６６．１０２．１」を用いて、命令「ｐｉｎｇ  １９８．１６６．１０２．１」を構成し、実行する。そして、そのリターン値を得る。その結果、判断部１３０８は、制御装置Ｅ１と通信可能である旨の情報を取得する。
【０１０４】
次に、出力部１３０９は、出力指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ１」で識別されるレシピを、管理装置側レシピ格納部１３０１から読み込む。そして、当該読み込んだレシピと、通信可能である旨の情報（アイコンを含んでも良い）を、クライアント装置１４に送信する。
【０１０５】
次に、クライアント装置１４の情報受付部１４３は、レシピと、通信可能である旨の情報を受信する。そして、情報表示部１４４は、レシピと、通信可能である旨の情報を表示する。図１５が情報表示部１４４における表示例である。図１５において、レシピを識別するレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ１」と、通信可能を示す情報（文字列、およびアイコン）が表示されている。
【０１０６】
次に、ユーザは、「レシピ識別子＝ＲＣＰ１」，「制御装置情報＝Ｅ１」のレコードがフォーカスされている状態で、「変更」ボタンを押下する、とする。
【０１０７】
すると、指示入力受付部１４１は、出力指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ１」を受け付ける。次に、指示送付部１４２は、出力指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ１」をプロセス情報管理装置１３に送信する。
【０１０８】
次に、プロセス情報管理装置１３の管理装置側変更受付部１３０２は、変更指示「変更  ＲＣＰ１，Ｅ１」を受信する。そして、判断部１３０８は、変更指示に含まれるレシピ識別子「ＲＣＰ１，Ｅ１」に対応する制御装置Ｅ１の通信情報であるＩＰアドレス「１９８．１６６．１０２．１」を、図７の通信情報管理表から取得する。
【０１０９】
次に、判断部１３０８は、取得した通信情報「１９８．１６６．１０２．１」を用いて、命令「ｐｉｎｇ  １９８．１６６．１０２．１」を構成し、実行する。そして、そのリターン値を得る。その結果、判断部１３０８は、制御装置Ｅ１と通信可能である旨の情報を取得する。
【０１１０】
そして、出力部１３０９は、クライアント装置１４から送信されるレシピの変更を、旧レシピに反映させ、管理装置側レシピ格納部１３０１に蓄積する。かかる蓄積されたレシピのバージョンは一つインクリメントされる。
【０１１１】
次に、履歴管理部１３１０は、変更される前のレシピ（旧レシピ）を管理装置側レシピ格納部１３０１に保存する。
【０１１２】
そして、管理装置側レシピ送信部１３０５は、変更されたレシピ（新レシピ）を、当該レシピに対応する制御装置Ｅ１に、通信情報「１９８．１６６．１０２．１」を用いて、送信する。
【０１１３】
次に、出力部１３０９は、処理の結果（変更が完了した旨の情報）を、クライアント装置１４に出力する。
【０１１４】
そして、クライアント装置１４では、処理の結果（変更が完了した旨の情報）が表示される。
【０１１５】
以上、本実施の形態によれば、通信不可の制御装置のレシピも表示できる。その結果、通信不可の制御装置のレシピを、他の装置のレシピと比較したり、他の装置にコピーしたりできる。また、本実施の形態によれば、通信可能でない制御装置のレシピの出力はできるが、当該レシピを変更できないので、制御装置とプロセス情報管理装置のレシピの一貫性を担保しつつ、レシピを利用（比較表示やコピーなど）できる。例えば、新規生産ラインの立ち上げ時など装置調整が頻繁に行われるケースにおいては、マスターとなるべきレシピを保持した制御装置がオフラインになる頻度が高く、本機能の効果が発揮される。
【０１１６】
なお、本実施の形態において、レシピや通信可否の出力態様は問わない。
【０１１７】
また、本実施の形態によれば、履歴管理部におけるレシピの履歴管理の方法は問わない。全バージョンの全データを格納するようにしても良いし、変更された差分のデータのみを格納するようにしても良い。
【０１１８】
また、本実施の形態において、プロセス情報管理装置で修正されたレシピは、通信により制御装置に反映された。また、本実施の形態において、制御装置で修正されたレシピは、通信によりプロセス情報管理装置に反映された。しかし、本実施の形態において、プロセス情報管理装置で修正されたレシピのみ、通信により制御装置に反映されても良い。また、一部の制御装置に対してのみ、プロセス情報管理装置で修正されたレシピが通信により反映されても良い。つまり、プロセス情報管理装置のレシピと、当該レシピに対応する制御装置のレシピの一貫性を担保する手段は、プロセス情報管理装置と制御装置間のレシピの送受信によるものに限らない。可搬型の記録媒体を用いて、レシピを当該記録媒体にコピーして、プロセス情報管理装置と制御装置間の双方のレシピの一貫性を担保しても良い。
【０１１９】
また、本実施の形態において、通信不可の制御装置（オフライン装置）のレシピは、参照できるが、編集できないことを述べた。かかる編集不可をユーザに知らしめる方法は問わない。例えば、レシピを編集するメニューから、グレーアウト等によって、当該レシピを選択できないようにしても良いし、当該レシピに対応するアイコンであるレシピアイコンをダブルクリックした場合に、通信不可である旨のメッセージを表示した後、参照モードでレシピを表示しても良い。さらに、オフライン装置のレシピに対して、ドラッグ・アンド・ドロップの操作により、上書きできないようにすることでも良い。なお、通信可の制御装置（オンライン装置）のレシピに対しては、ドラッグ・アンド・ドロップの操作で上書きされることで良い。
【０１２０】
さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、格納しているレシピを変更する変更指示を受け付ける管理装置側変更受付ステップと、格納しているレシピを出力する出力指示を受け付ける管理装置側出力受付ステップと、前記変更指示または／および前記出力指示に対するレシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能であるか否かを判断する判断ステップと、前記管理装置側変更受付ステップで受け付けた変更指示に応じて、前記レシピを変更する管理装置側レシピ変更ステップと、前記管理装置側出力受付ステップで受け付けた出力指示に応じて、前記レシピを出力する出力ステップを実行させるためのプログラムであって、前記判断ステップで通信可能でないと判断した場合に、当該レシピの出力はできるが、当該レシピを変更できないように、コンピュータに処理させるためのプログラム、である。
【０１２１】
また、上記プログラムは、コンピュータに、前記管理装置側レシピ変更ステップでレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを当該レシピに対応する制御装置に送信する管理装置側レシピ送信ステップと、制御装置からレシピを受信する管理装置側レシピ受信ステップと、前記管理装置側レシピ受信ステップで受信したレシピを蓄積する管理装置側レシピ蓄積ステップをさらに実行させるためのプログラムであることは好適である。
【０１２２】
また、上記プログラムは、前記判断ステップで通信可能でないと判断し、前記管理装置側出力受付ステップで出力指示を受け付けた場合、前記出力ステップにおいて、前記レシピに対応する制御装置とプロセス情報管理装置が通信可能でない旨と、前記レシピを出力するプログラムであることは好適である。
【０１２３】
また、上記プログラムは、コンピュータに、前記管理装置側レシピ変更ステップで前記レシピを変更する場合、当該レシピの変更前のレシピについての情報を蓄積する履歴管理ステップをさらに実行させ、前記出力ステップにおいて、前記出力指示にしたがって、対応するレシピのうち、最新のレシピを出力するプログラムであることは好適である。
【０１２４】
また、本実施の形態における制御装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、格納しているレシピを読み込み、当該レシピを使用して、処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御ステップと、前記レシピの変更指示を受け付ける制御装置側変更受付ステップと、前記制御装置側変更受付ステップで受け付けた変更指示に応じて、前記レシピを変更する制御装置側レシピ変更ステップと、前記制御装置側レシピ変更ステップでレシピを変更した場合に、当該変更したレシピを前記プロセス情報管理装置に送信する制御装置側レシピ送信ステップと、前記プロセス情報管理装置からレシピを受信する制御装置側レシピ受信ステップと、前記制御装置側レシピ受信ステップで受信したレシピを蓄積する制御装置側レシピ蓄積ステップを実行させるためのプログラム、である。
【０１２５】
また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。
【０１２６】
なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。
【０１２７】
また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。
【０１２８】
また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（情報送信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。
【０１２９】
本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１３０】
以上のように、本発明にかかる群管理システムは、オフラインの制御装置のレシピも、プロセス情報管理装置で参照できる、という効果を有し、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システム等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１３１】
【図１】実施の形態における群管理システムの概念図
【図２】同半導体ウエハ製造装置の例を示す図
【図３】同群管理システムのブロック図
【図４】同制御装置の動作について説明するフローチャート
【図５】同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート
【図６】同群管理システムの概念図
【図７】同レシピ管理表を示す図
【図８】同通信情報管理表を示す図
【図９】同プロセス情報管理装置が処理途中にメモリ上に得るレシピ情報を示す図
【図１０】同レシピ一覧の表示例を示す図
【図１１】同情報表示部における表示例を示す図
【図１２】同変更指示の入力画面例を示す図
【図１３】同エラー出力の表示例を示す図
【図１４】同出力指示の入力画面例を示す図
【図１５】同情報表示部における表示例を示す図
【符号の説明】
【０１３２】
１１  処理装置
１２  制御装置
１３  プロセス情報管理装置
１４  クライアント装置
１４１  指示入力受付部
１４２  指示送付部
１４３  情報受付部
１４４  情報表示部
１２０１  制御装置側レシピ格納部
１２０２  制御部
１２０３  制御装置側変更受付部
１２０４  制御装置側レシピ変更部
１２０５  制御装置側レシピ送信部
１２０６  制御装置側レシピ受信部
１２０７  制御装置側レシピ蓄積部
１３０１  管理装置側レシピ格納部
１３０２  管理装置側変更受付部
１３０３  管理装置側出力受付部
１３０４  管理装置側レシピ変更部
１３０５  管理装置側レシピ送信部
１３０６  管理装置側レシピ受信部
１３０７  管理装置側レシピ蓄積部
１３０８  判断部
１３０９  出力部
１３１０  履歴管理部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１１】
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【図１５】
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