Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月12日(2003.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属リチウムに対して４．５Ｖ〜２Ｖの間で放電電圧特性を示し、空間群がＲ３ｍで、六方晶構造のマンガン酸リチウムからなることを特徴とするリチウム電池用正極活物質。
【請求項２】
前記マンガン酸リチウムの六方晶構造の単位格子定数がａ＝２．７６〜２．９６オングストローム，ｃ＝１４．１３〜１４．３３オングストロームであることを特徴とする請求項１記載のリチウム電池用正極活物質。
【請求項３】
ニッケルあるいはコバルトを含有することを特徴とする請求項１あるいは２記載のリチウム電池用正極活物質。
【請求項４】
請求項１あるいは２あるいは３記載の正極活物質を備えたことを特徴とする電池。
【請求項５】
マンガン酸リチウムをマンガン原料とリチウム原料とを水熱法で反応させることにより製造することを特徴とする請求項１記載のリチウム電池用正極活物質の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は従来のスピネル構造のＬｉＭｎ２Ｏ４ではなく、リチウム電池用正極活物質として活性が高くなると推定されるコバルト酸リチウムやニッケル酸リチウムと類似構造の空間群がＲ３ｍで、六方晶構造を有するマンガン酸リチウムを合成することを試み、その生成をＸ線回折分析によって確認したものである。しかも、その放電特性は金属リチウムに対して４．５Ｖ〜２Ｖの間で放電電圧特性を示すことが特徴であり、その理論容量密度は２８６ｍＡｈ／ｇである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月28日(2003.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の解像度で行および列に配列されるソース・ピクセルを含むソース画像を、第２の解像度で行および列に配列される２進ピクセルの宛先画像に変換するためのスケーリング・システムであって、それぞれのソース・ピクセルは、マルチ・ビットのグレー・レベル値を表しており、
少なくとも１行の前記ソース・ピクセルの一部と、少なくともＷ個のマトリックス・ピクセル値をそれぞれの行が有する複数の行のマトリックスと、前記宛先画像の或る行の初期ピクセル位置を特定するアンカー値と、を記憶するメモリ手段であって、該Ｗは１より大きい整数である、メモリ手段と、
Ｎ個のマルチ・ビット・グレー・レベルのソース・ピクセル値を記憶するスケーリング・レジスタ手段（２００、２１２、２０８）であって、Ｎは１より大きい整数であり、かつＷとは異なることのできる整数である、スケーリング・レジスタ手段と、
１行のＷ個のマトリックス・ピクセル値を記憶し、最大Ｎ個の該マトリックス・ピクセル値をパラレルに出力する閾値レジスタ手段（２２０、２２２）と、
前記メモリ手段および前記閾値レジスタ手段の間に連結され、前記メモリ手段からの前記１行のＷ個のマトリックス・ピクセル値を、前記閾値レジスタ手段に制御可能なように入力する調整論理手段（２１６，２１８）と、
前記調整論理手段に連結された制御手段であって、前記Ｗの値および前記Ｎの値に応じて、前記Ｗ個のマトリックス・ピクセル値を、前記閾値レジスタ手段のＮ個の連続した記憶位置に入力するよう前記調整論理手段を制御し、Ｗ＞Ｎである場合には、前回入力された（Ｗ−Ｎ）個のマトリックス・ピクセル値が出力された後で、該Ｗ個のマトリックス・ピクセル値の超過部分を、前記閾値レジスタ手段の連続した記憶位置に入力するよう前記調整論理手段を制御する制御手段と、
を備える、システム。
【請求項２】
前記スケーリング・レジスタ手段は、Ｎ個のマルチ・ビット・グレー・レベルの宛先画像ピクセルの位置と一致するようスケーリングされたＮ個のマルチ・ビット・グレー・レベルのソース・ピクセル値を記憶し、
前記閾値レジスタ手段および前記スケーリング・レジスタ手段に連結された比較手段（２０６）であって、前記Ｎ個のマルチ・ビット・グレー・レベルのソース・ピクセル値を、前記閾値レジスタ手段から出力された前記Ｎ個のマトリックス・ピクセル値の対応するものと比較し、該比較に従って、Ｎ個の２進値を前記宛先画像に割り当てる比較手段をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記メモリ手段は、さらに、前記宛先画像の或る行における初期ピクセル位置を特定するアンカー値を記憶し、
前記制御手段は、前記アンカー値を用いることにより、前記マトリックスの第１の行にある、第１のグレー・レベル閾値であるマトリックス・ピクセルを、前記メモリ手段から前記閾値レジスタ手段に出力させ、該マトリックス・ピクセルが、前記スケーリング・レジスタ手段における第１のソース・ピクセル値に位置合わせされるようにする、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記閾値レジスタ手段は、閾値パイプライン・レジスタ（２２０）および閾値レジスタ（２２２）を備えており、
前記調整論理手段は、前記メモリ手段と前記閾値パイプライン・レジスタの間に連結された第１の論理スイッチと、該閾値パイプライン・レジスタと前記閾値レジスタの間に連結された第２の論理スイッチを有しており、
前記閾値パイプライン・レジスタおよび前記閾値レジスタの両方は、Ｎ個の記憶位置を有しており、
前記制御手段は、サイクルごとに、第１のマトリックス・ピクセル値のうちのＮ個が、前記メモリ手段から、前記閾値パイプライン・レジスタに入力され、その後に前記閾値レジスタに入力されるように、モード制御信号を印加し、
前記制御手段は、さらなるクロック・サイクル中に、さらなる前記マトリックス・ピクセル値を、前記メモリ手段から前記閾値パイプライン・レジスタに入力されるようにし、Ｗ＞Ｎである場合には、前記メモリ手段からの前記第１のマトリックス値の超過部分が、前記閾値レジスタの連続した位置に入力されるように、モード制御信号を印加する、請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
Ｗ＝Ｎである場合、第１のモード制御信号が前記制御手段により印加され、前記第１および第２の論理スイッチによって、前記Ｎ個のマトリックス・ピクセル値を前記閾値パイプライン・レジスタおよび前記閾値レジスタの両方に入力されるようにする、請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
Ｗ＝Ｎ＋１である場合、第２のモード制御信号が前記制御手段により印加され、前記第１および第２の論理スイッチにより、（Ｎ＋１）番目のマトリックス・ピクセル値が、前記閾値パイプライン・レジスタから、前記閾値レジスタの高位側の記憶位置に入力されるようにし、Ｎ個のマトリックス・ピクセル値の次のセットは、前記閾値レジスタの低位側の記憶位置に入力されるようにする、請求項４に記載のシステム。
【請求項７】
前記閾値レジスタからの出力は、無効データを表すことがあり、前記制御手段は、該システムからの該無効データの出力を禁止する、請求項４に記載のシステム。
【請求項８】
前記制御手段は、２つの変数を用いて、前記出力を禁止する場合を判断し、第１の変数は、前記マトリックスの行の終わりに残留するマトリックス・ピクセルの数（＜Ｎ）に等しく、第２の変数は、前記調整論理手段に前記制御手段によって印加されうる切換状態値のうちの１つに等しく、
前記制御手段は、前記第１の変数および前記第２の変数の合計が、前記印加されうる切換状態値の数を超えた時、前記出力を禁止する、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記制御手段は、前記合計を用いて、次の切換状態を始める、請求項８に記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月28日(2004.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バッテリ・パック調停回路を備えたホスト・コンピュータ・システムに電力を供給するためのバッテリ・パックにおいて、
複数のバッテリ・パック端子と、
複数のバッテリ・セルと、
バッテリ・パック端子及びバッテリ・セルに接続され、イネーブルされた場合にバッテリ・パック端子を介してバッテリ・セルの放電を可能にし、それ以外の場合にバッテリ・セルの放電を阻止する放電許可回路と、
放電許可回路に接続されたデータ処理回路であって、
ホスト・コンピュータ・システムのバッテリ・パック調停回路にバッテリ状態情報を伝達し、該バッテリ・パック調停回路から選択コマンドを受け取る直列バス・インターフェースと、
マスタ・バッテリ信号を伝達するマスタ・バッテリ信号線インターフェースと、
受け取ったマスタ・バッテリ信号及び選択コマンドに応答して、放電許可回路を制御する論理回路と、
受け取った選択コマンドに応答して、マスタ・バッテリ信号を選択的に提供する論理回路と
からなるデータ処理回路と
を備えていることを特徴とするバッテリ・パック。
【請求項２】
バッテリ・パックから電力が供給されるコンピュータ・システムにおいて、
少なくとも１つのバッテリ・パック・インターフェースと、
バッテリ・パック・インターフェースに接続されたバッテリ・パック調停回路と、
バッテリ・パック・インターフェースからのバッテリ・パック状態信号をバッテリ・パック調停回路に伝達するとともに、バッテリ・パック調停回路からのコマンドをバッテリ・パック・インターフェースに伝達して、バッテリ・パック・インターフェースに接続されているバッテリ・パックを選択するための直列バスと、
バッテリ・パック・インターフェースからバッテリ・パック調停回路に、バッテリ・パックがコンピュータ・システムに電力を供給しているマスタ・バッテリ・パックとして機能しているかどうかを示すマスタ・バッテリ信号を伝達するマスタ・バッテリ信号線と
を備えていることを特徴とするコンピュータ・システム。
【請求項３】
ホスト・コンピュータ・システムと、該ホスト・コンピュータ・システム内に実装される少なくとも１つのバッテリ・パックとの組み合わせからなるシステムにおいて、
バッテリ・パックがホスト・コンピュータ・システムに電力を供給しているかどうかを示すマスタ・バッテリ信号を伝達するマスタ・バッテリ信号線と、
直列バスと
を備え、
ホスト・コンピュータ・システムは、バッテリ・パック調停回路を備え、
バッテリ・パック調停回路は、直列バスに接続されて、バッテリ・パック状態信号を受け取るとともにマスタ・バッテリ・パックを選択するためのコマンドを伝達し、かつ、マスタ・バッテリ信号線に接続されて、マスタ・バッテリ信号を受け取るよう構成され、
バッテリ・パックは、
複数のバッテリ・パック端子と、
複数のバッテリ・セルと、
バッテリ・パック端子及びバッテリ・セルに接続され、イネーブルされた場合にバッテリ・パック端子を介してバッテリ・セルの放電を可能にし、それ以外の場合にバッテリ・セルの放電を阻止する放電許可回路と、
放電許可回路、マスタ・バッテリ信号線及び直列バスに接続されたデータ処理回路であって、マスタ・バッテリ信号線を介して受け取ったマスタ・バッテリ信号及び直列バスを介して受け取った選択コマンドに応答して、放電許可回路を制御する論理回路と、直列バスを介して受け取った選択コマンドに応答して、マスタ・バッテリ信号を選択的に提供する論理回路とを含むデータ処理回路と
を備えていることを特徴とするシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月16日(2003.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】産業用ロボットの干渉回避方法及び産業用ロボット
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
産業用ロボットと該産業用ロボットと協同して作業を行う外部機器との干渉回避方法であって、産業用ロボット及び外部機器の各作業領域が重なり合い干渉する共有領域を予め外部機器及び産業用ロボットに設定しておき、産業用ロボットに設定された参照点及び外部機器の可動部のどちらか一方が上記共有領域にある場合には他方に対して上記共有領域へ侵入を禁止する侵入禁止信号を出力し動作を停止させ干渉を回避するようにした産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項２】
産業用ロボットの上記参照点が上記共有領域の外にあり、外部機器から上記侵入禁止信号が出力されると、産業用ロボットは減速停止しその場で待機する請求項１記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項３】
外部機器からの上記侵入禁止信号の出力がなくなると産業用ロボットは動作を再開する請求項２記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項４】
外部機器から上記侵入禁止信号が出力されている状態で、産業用ロボットの上記参照点が上記共有領域に侵入する指令が出力された際には、産業用ロボットは減速停止し待機する請求項１記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項５】
上記参照点が上記共有領域に侵入する指令か否かを移動指令の分配周期毎の移動指令によって判断し、該指令が共有領域に侵入する指令であると該移動指令の出力を保留し、ロボットを減速停止させる請求項４記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項６】
上記参照点が上記共有領域に侵入する指令か否かを教示プログラムのブロックで指令された移動指令によって判断し、該指令が共有領域に侵入する指令であると、該指令を共有領域境界位置までの移動指令と該位置から指令された位置までの移動指令の２つのブロックに分割し、上記共有領域境界位置までの移動指令のブロックを実行し該位置にロボットを減速停止させる請求項４記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項７】
外部機器からの上記侵入禁止信号の出力がなくなると産業用ロボットは動作を再開させる請求項４、請求項５又は請求項６記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項８】
上記外部機器が前記産業用ロボットとは別の産業用ロボットである請求項１乃至７の内、何れか１項に記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項９】
上記外部機器が前記産業用ロボットとは別の産業用ロボットであり、上記外部機器の可動部が前記別の産業用ロボットの参照点である請求項１乃至７の内、何れか１項に記載の産業用ロボットの干渉回避方法。
【請求項１０】
請求項１乃至９の内、何れか１項に記載された方法に用いられる産業用ロボット。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、産業用ロボットを用いて作業を行う場合、該ロボットと他の外部機器（または別の産業用ロボット）との干渉回避方法及びこの干渉方法を実施する産業用ロボットに関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明の目的は、ロボットへの動作プログラムの教示が容易で外部機器との干渉を回避することができる産業用ロボットの干渉回避方法及びこの干渉方法を実施する産業用ロボットを提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、産業用ロボットと該産業用ロボットと協同して作業を行う外部機器（別の産業用ロボットを含む）との干渉を回避する方法の発明であって、本発明は産業用ロボットの作業領域と外部機器の作業領域が重なりあい干渉する共有領域を予め外部機器及び産業用ロボットに設定しておく。産業用ロボットに設定された参照点及び外部機器の可動部（外部機器が産業用ロボットの場合は産業用ロボットの参照点）のどちらか一方が上記共有領域にある場合には他方に対して上記共有領域へ侵入を禁止する侵入禁止信号を出力し動作を停止させ干渉を回避するようにした。
産業用ロボットの上記参照点が上記共有領域の外にあり、外部機器から上記侵入禁止信号が出力されると、産業用ロボットは減速停止しその場で待機させることによって産業用ロボットと外部機器との干渉を防止する。また、外部機器からの上記侵入禁止信号の出力がなくなると産業用ロボットは動作を再開させる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
特に、外部機器から上記侵入禁止信号が出力されている状態で、産業用ロボットの上記参照点が上記共有領域に侵入する指令が出力された際には、産業用ロボットを減速停止して待機させる。この場合、上記参照点が上記共有領域に侵入する指令か否かを移動指令の分配周期毎の移動指令によって判断し、該指令が共有領域に侵入する指令であると該移動指令の出力を保留し、ロボットを減速停止させる。若しくは、上記参照点が上記共有領域に侵入する指令か否かを教示プログラムのブロックで指令された移動指令によって判断し、該指令が共有領域に侵入する指令であると、該指令を共有領域境界位置までの移動指令と該位置から指令された位置までの移動指令の２つのブロックに分割し、上記共有領域境界位置までの移動指令のブロックを実行し該位置にロボットを減速停止させる。そして、外部機器からの上記侵入禁止信号の出力がなくなると産業用ロボットは動作を再開させる。また、本発明は、このような干渉回避方法を実施する産業用ロボットである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月17日(2003.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）ネットワーク上でメモリ・アドレスによってアクセス可能な第１のデータが配置される関連メモリを有する、メモリ・ユニットまたはＣＰＵの一つと、
前記第１のデータに対する第１のディスクリプタと、及び
前記第１のディスクリプタを複製し、それによって複製ディスクリプタを生成し        かつ前記第１のデータに対してカウンタを増分し、かつ
前記第１のデータを第２のＤＳＳに転送することなく前記第１のディスクリプタ        または前記複製ディスクリプタを前記第２のＤＳＳに転送する    ことによって前記第１のＤＳＳにデータを転送させるコンピュータ・プログラムと、を備えている第１のデータ・ソース/シンク（ＤＳＳ）と、
ｂ）前記第１のＤＳＳから前記第１のディスクリプタを受け取り、かつ前記第１のディスクリプタを第３のＤＳＳに転送することによって前記第２のＤＳＳにデータを転送させるコンピュータ・プログラムが配置される関連メモリを有する、前記メモリ・ユニットまたは前記ＣＰＵの他方を備えている第２のＤＳＳと、
ｃ）関連メモリを有する、メモリ・ユニットまたはＣＰＵを備えている第３のＤＳＳと、及び
ｄ）前記メモリ・ユニット、前記ＣＰＵ及び前記第３のＤＳＳを結合する、ネットワークとを備え、
前記第１のデータが前記第２のＤＳＳに転送される回数は、前記第１のディスクリプタが前記第２のＤＳＳから転送される回数よりも少ないことを特徴とする、データ処理システム。
【請求項２】
前記第３のＤＳＳの前記関連メモリには、前記第１のディスクリプタにより前記第１のＤＳＳから前記第３のＤＳＳに前記第１のデータの部分を検索することによって前記第３のＤＳＳにデータを転送させるコンピュータ・プログラムが配置されることを特徴とする請求項１に記載のデータ処理システム。
【請求項３】
関連メモリを有しているＣＰＵｓの形式の複数のデータ・ソース/シンク、関連コントローラを有しているメモリ・ユニット、及び、ネットワークにノードとして結合されたデータ・ソース/シンクを伴いかつネットワーク上でグローバル・メモリ・アドレスによってアクセス可能なデータ位置を伴う、ネットワーク上の全てのリソースに対して利用可能なグローバル・メモリを含む分散型メモリ・アーキテクチャを有しているデータ処理システムにおいて、分散データ・ストリーム構築処理中に分散されたデータ・セグメントを複数のデータ・ソース/シンクのそれぞれにコピーすることなく複数のデータ・ソース/シンク間に分散されたデータ・セグメントを含んでいる、メモリ・ユニットに記憶された、大きなビデオ・データ・ストリームを転送する方法であって、
関連メモリを有しているＣＰＵの形式の第１のデータ・ソース／シンクにアプリケーション・サーバ処理を供給する段階であり、該アプリケーション・サーバ処理は、リクエスタからビデオ・ファイルに対する要求を受け取りかつリクエスタに要求されたビデオ・ファイルの転送を指向する、該段階と、
第１のメッセージによって参照されたグローバル・メモリのプールにより、キャッシュとして用いるグローバル・メモリのプールを割り当てる段階と、
前記メモリ・ユニットに記憶された、ビデオ・ファイルを、グローバル・メモリの前記割り当てられたプールに転送する段階と、
前記第１のデータ・ソース/シンクとして前記第１のメッセージのコピーを作成する段階と、
前記第１のデータ・ソース/シンクから関連メモリを有するＣＰＵの形式の第２のデータ・ソース/シンクに前記ビデオ・ファイル・データ・セグメントではなく前記第１のメッセージの前記コピーだけを転送する段階と、
第２のデータ・セグメントが記憶される第２の記憶位置を特定している第２のグローバル・ネットワーク・アドレスを含んでいる第２のメッセージを、前記第２のデータ・ソース/シンクで、生成する段階と、
前記第１及び第２の記憶位置を特定している前記第１及び第２のグローバル・アドレスを含んでいる第１の連鎖メッセージを形成するために前記第１及び第２のメッセージを、前記第２のデータ・ソース/シンクで、処理する段階と、
前記第１及び第２のデータ・セグメントを宛先に送信するためのプロトコル・ヘッダーを生成するための前記第３のデータ・ソース/シンクに、前記第２のデータ・セグメントではなく前記第１の連鎖メッセージだけを転送する段階と、
前記ビデオ・ファイルのサイズを、前記第３のデータ・ソース/シンクで、決定し、かつ前記サイズに基づき、送信の前に前記第１のデータ・セグメントが分割されるデータ・フラグメントのフラグメント数を決定する段階と、
送信前に前記データ・フラグメントのそれぞれによる連結に対してプロトコル・ヘッダーの前記フラグメント数を、前記第３のデータ・ソース/シンクで、生成する段階と、
プロトコル・ヘッダーの前記フラグメント数を記憶しているグローバル・メモリの前記プールにおける記憶領域の前記フラグメント数のグローバル・アドレスを含んでいるプロトコル・ヘッダー・メッセージの前記フラグメント数を、前記第３のデータ・ソース/シンクで生成する段階と、
前記データ・フラグメントのそれぞれがグローバル・メモリの前記プール内で記憶される場所を特定しているグローバル・アドレスを含んでいるデータ・フラグメント・メッセージの前記フラグメント数を、前記第３のデータ・ソース/シンクとして、生成する段階と、
第１のパケット・メッセージが前記第１及び第２のメッセージ、第１のプロトコル・へっだー・メッセージ、及び第１のデータ・フラグメント・メッセージを含んでおり、後続のパケット・メッセージが関連プロトコル・ヘッダー及びデータ・フラグメント・メッセージを含んでいる、リンクされたパケット・メッセージを形成するために、前記第１の連鎖メッセージ、プロトコル・ヘッダー・メッセージの前記フラグメント数、及びデータ・フラグメント・メッセージの前記フラグメント数を、前記第３のデータ・ソース/シンクで、処理する段階と
を具備することを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）予約された複数の約束と複数のルートを記憶し、前記各ルートが、特定の熟練工によって訪問される領域の順序、熟練工が前記領域の順序の各々を入退出するようにスケジューリングされる時間、前記領域の順序の各々において新たな約束に利用可能な自由時間量を指定する情報からなる、データベース、
（ｂ）指定時間の約束を提供し、データベースに記憶された前記ルートを使用して指定時間に指定領域での熟練工の利用可能性をチェックし、データベースに新たな約束を挿入し、そして前記ルートを更新して前記新たな約束を反映する約束サーバ、
（ｃ）予約された約束に関する情報を得るためにデータベースを定期的にアクセスし、この情報を使用して、無から新たな複数のルートを発生させ、所定の基準に従って前記新たな複数のルートを最適化し、そして前記データベースに前記新たな複数のルートを書き込み前記データベースに記憶されている既存の複数のルートを取り替える約束スケジューラからなる約束予約及びスケジューリング装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、前記約束スケジューラは、新たな約束を扱うために熟練工に利用可能な自由時間の総量をひとまとめに表わす１組の空約束を発生する手段、前記新たな複数のルートの発生時にこれらの空約束を使用して、前記新たな複数のルート内の自由時間の分配を決定する手段を含む装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置において、前記約束スケジューラは、前記領域間に前記空約束を割り当てて、前記領域間で利用可能な自由時間の実質的に平等な分配を達成する手段を含む装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の装置であって、さらに、前記ルートの最終的最適化を実行し、既存ルートから開始し、そして資源利用可能性の最後の瞬間の変化と約束取り消しとを斟酌するスケジューラを含む装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の装置であって、スケジューラは、
（ａ）資源に割り当てられる約束を追加、除去、再編成する手段、
（ｂ）ルート内に利用可能位置を追加、除去、再編成する手段、
（ｃ）ルート内に領域を追加、除去、再編成する手段を含む装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の装置であって、前記基準は約束間の旅行時間を最小限にすることを含む装置。
【請求項７】
（ａ）予約された複数の約束と複数のルートとをデータベースに記憶し、前記各ルートは、特定の熟練工によって訪問されるべき領域の順序、熟練工が前記領域の順序の各々を入退出するようにスケジューリングされる時間、前記領域の順序の各々において新たな約束に利用可能な自由時間量とを指定する情報からなるステップ、
（ｂ）データベースに記憶された前記ルートを使用して、指定時間の約束を提供し、指定時間に指定領域での熟練工の利用可能性をチェックするステップ、
（ｃ）新たな約束を予約し、データベースに新たな約束を挿入しそして前記ルートを更新して、前記新たな約束を反映するステップと、
（ｄ）データベースを定期的にアクセスして予約された約束に関する情報を得、この情報を使用して無から新たな複数のルートを発生させ、所定の基準に従って前記新たな複数のルートを最適化し、そして前記データベースに前記新たな複数のルートを書き込み前記データベースに記憶されている既存の複数のルートを取り替えるステップからなる約束予約及びスケジューリング方法。
【請求項８】
請求項７に記載の方法において、さらに、新たな約束を扱うために熟練工に利用可能な自由時間の総量をひとまとめに表わす１組の空約束を発生する手段、前記新たな複数のルートの発生時にこれらの空約束を使用して、前記新たな複数のルート内の自由時間の分配を決定するステップを含む方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法において、さらに、前記領域間に前記空約束を割り当てて、前記領域間で利用可能な自由時間の実質的に平等な分配を達成するステップを含む装置。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか１つによる方法であって、さらに、前記ルートの最終的最適化を実行し、既存ルートから開始し、そして資源利用可能性の最後の瞬間の変化と約束取り消しとを斟酌するステップを含む方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月28日(2003.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】反射屈折光学系、投影露光装置及び投影露光方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光線が進行する順に、屈折部材によって構成された第１結像光学系と、凹面鏡と、屈折部材によって構成された第２結像光学系とを含み、半導体素子のパターンを基板上へ投影する反射屈折光学系において、
前記第１結像光学系を構成する屈折部材及び前記第２結像光学系を構成する屈折部材のうち、少なくとも１つの屈折部材は非球面を有することを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項２】
前記第１結像光学系は、光線が一度だけ通過する第１レンズ群と、光線が往復する第２レンズ群とからなり、
該第２レンズ群の最も凹面鏡に近いレンズは、負レンズであり、
前記第２レンズ群を射出した光線は、前記第２結像光学系に入射する前に前記半導体素子のパターンを一度結像することを特徴とする請求項１記載の反射屈折光学系。
【請求項３】
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間に光路偏向部材を配置したことを特徴とする請求項１又は２記載の反射屈折光学系。
【請求項４】
前記第１結像光学系を構成する屈折部材及び前記第２結像光学系を構成する屈折部材は、石英及び蛍石、またはその何れか１つの硝材により構成されることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項５】
前記凹面鏡は非球面形状であることを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項６】
レチクルのパターン像を基板上に露光する反射屈折光学系において、
屈折部材と凹面鏡とを有する第１結像光学系と、
前記第１結像光学系と前記基板との間の光路中に配置されて、屈折部材を有する第２結像光学系とを備え、
前記第１及び第２結像光学系を構成する屈折部材のうち、少なくとも１つの屈折部材は非球面を有することを特徴とする反射屈折光学系。
【請求項７】
前記第１結像光学系は、前記レチクルと前記凹面鏡との間の光路中に配置された第１レンズ群と、該第１レンズ群と前記凹面鏡との間の光路中に配置された第２レンズ群とを備え、
前記第１レンズ群には光線が一度だけ通過し、かつ前記第２レンズ群には光線が往復通過し、
前記第２レンズ群は、最も前記凹面鏡に近接配置される負レンズを備え、
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中には前記レチクルの中間像が形成されることを特徴とする請求項６記載の反射屈折光学系。
【請求項８】
前記第２レンズ群は、少なくとも２つの異なる負屈折力を持つ屈折部材と、少なくとも２つの異なる正屈折力を持つ屈折部材とを備えていることを特徴とする請求項７記載の反射屈折光学系。
【請求項９】
前記第１レンズ群は、少なくとも３つの異なる屈折力を持つ屈折部材を備えていることを特徴とする請求項８記載の反射屈折光学系。
【請求項１０】
前記第１レンズ群中の前記少なくとも３つの異なる屈折力を持つ屈折部材は、調整用のレンズを備えていることを特徴とする請求項９記載の反射屈折光学系。
【請求項１１】
前記第１結像光学系と前記第２結像光学系との間の光路中に配置された光路偏向部材をさらに備えていることを特徴とする請求項６乃至１０の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項１２】
前記第１及び第２結像光学系を構成する屈折部材は、石英及び蛍石、またはその何れか１つの材料により構成されることを特徴とする請求項６乃至１１の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項１３】
前記凹面鏡は非球面形状を有することを特徴とする請求項６乃至１２の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項１４】
前記第２結像光学系は、可変絞りを備えていることを特徴とする請求項６乃至１３の何れか一項記載の反射屈折光学系。
【請求項１５】
投影光学系を介してレチクルの像を基板上に露光する投影露光装置において、
前記レチクルの像を前記基板上に転写するための請求項１乃至１４の何れか一項記載の反射屈折光学系を備えていることを特徴とする投影露光装置。
【請求項１６】
投影光学系を介してレチクルの像を基板上に露光する投影露光方法において、
請求項１乃至１４の何れか一項記載の反射屈折光学系を用いて前記レチクルの像を基板上に転写することを特徴とする投影露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体素子、または液晶表示素子等をフォトリソグラフィ工程で製造する際に使用される投影露光装置で用いられる光学系、特に、光学系の要素として反射鏡を用いることにより、紫外線波長域でクオーターミクロン単位の解像度を有する反射屈折光学系、該反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び該反射屈折光学系を用いた投影露光方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は斯かる点に鑑み、紫外線波長域で大きな開口数を達成し、光学系全体が実用的な大きさで、クオーターミクロン単位の解像度を有し、光学系の各構成部材を小型化した反射屈折光学系、該反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び該反射屈折光学系を用いた投影露光方法を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、紫外線波長域で大きな開口数を達成し、光学系全体が実用的な大きさで、クオーターミクロン単位の解像度を有し、更に製造も容易な反射屈折光学系、該反射屈折光学系を用いた投影露光装置及び該反射屈折光学系を用いた投影露光方法を提供することが可能となった。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月12日(2003.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発生するテストパターンの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングを位相シフトする機能を有する論理回路試験装置により行う論理回路の高速動作検証方法において、
前記論理回路試験装置の動作クロック周波数の整数倍のテストクロック信号を生成すると共に、前記動作クロックの一周期内で前記位相シフトによって、複数のテストパターンを生成し、
前記テストクロック信号に同期して、前記複数のテストパターンを取り込み、保持することで、ＮＲＺの波形のテストパターンを生成し、
該ＮＲＺ波形テストパターンを検査対象の論理回路に対して入力するようにしたことを特徴とする論理回路の高速動作検証方法。
【請求項２】
発生するテストパターンの立ち上がりタイミング及び立ち下がりタイミングを位相シフトする機能を有する論理回路試験装置により動作検証される論理回路を有する集積回路において、
テストクロック信号に同期して前記テストパターンを取り込み、保持することで、ＮＲＺの波形のテストパターンを生成するテスト入力用フリップフロップと、
前記テストパターン又は該ＮＲＺ波形テストパターンを選択するためのテスト選択マルチプレクサとを備えたことを特徴とする集積回路。
【請求項３】
請求項２において、前記テスト入力用フリップフロップ及び前記テスト選択マルチプレクサを、当該集積回路の外部に対して信号を入力するための入力バッファ回路と共に、複合的に構成するようにしたことを特徴とする集積回路。
【請求項４】
請求項２において、前記テスト入力用フリップフロップ及び前記テスト選択マルチプレクサを、当該集積回路の外部に対して信号を入出力するための回路を作り込んだＩ／Ｏ領域と、より内部の回路を作り込んだ領域との間にある領域に作り込んだことを特徴とする集積回路。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月6日(2003.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板面上で各投影領域が分離しており、且つ前記各投影領域の隣接部分同士が基板面内で基板の走査方向と垂直な方向に所定の重複幅で重複している第１の複数の投影領域で前記基板上に第１のパターンの一部を投影し、前記第１の複数の投影領域に対して前記第１のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、前記基板上に前記第１のパターンを転写し、
前記第１の複数の投影領域を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に所定のずれ幅だけずらした第２の複数の投影領域で前記基板上に第２のパターンの一部を投影し、前記第２の複数の投影領域に対して前記第２のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、前記第２のパターンを前記基板上に転写することを特徴とする投影露光方法。
【請求項２】
請求項１記載の投影露光方法において、
前記第１のパターンが描画されたレチクル及び前記基板の配置に対して、前記第２のパターンが描画されたレチクル及び前記基板の配置を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に前記所定のずれ幅だけずらすことにより、
前記第１の複数の投影領域に対して前記第２の複数の投影領域を相対的にずらすようにすることを特徴とする投影露光方法。
【請求項３】
請求項１記載の投影露光方法において、
前記第１のパターンのレチクル上での描画位置に対して、前記第２のパターンのレチクル上での描画位置を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に所定のずれ幅だけずらし、
前記第１のパターンに対する前記基板の位置に対して、前記第２のパターンに対する前記基板の位置を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に前記所定のずれ幅だけずらすことにより、
前記第１の複数の投影領域に対して前記第２の複数の投影領域を相対的にずらすようにすることを特徴とする投影露光方法。
【請求項４】
請求項１記載の投影露光方法において、
前記第１の複数の投影領域に投影する第１の複数の投影光学系に対して、前記第２の複数の投影領域に投影する第２の複数の投影光学系を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に前記所定のずれ幅だけずらすことにより、
前記第１の複数の投影領域に対する前記第２の複数の投影領域を相対的にずらすようにすることを特徴とする投影露光方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の投影露光方法において、
前記所定のずれ幅は、前記所定の重複幅にほぼ等しくすることを特徴とする投影露光方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の投影露光方法において、
前記所定のずれ幅は、前記所定の重複幅から前記所定の重複幅のほぼ２倍の範囲内にすることを特徴とする投影露光方法。
【請求項７】
基板面上に投影領域が分離して形成され、且つ前記各投影領域の隣接部分同士が基板面内で基板の走査方向と垂直な方向に所定の重複幅で重複すると共に、前記投影領域に対して第１のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、第１の複数の投影領域により前記基板上に前記第１のパターンを転写し、
前記第１の複数の投影領域を前記基板面内で前記走査方向と直角な方向に相対的に所定のずれ幅だけずらした第２の複数の投影領域により前記基板上に前記第１のパターンとは異なる第２のパターンを投影し、前記第２の複数の投影領域に対して前記第２のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、前記第２のパターンを前記基板上に転写することを特徴とする投影露光方法。
【請求項８】
請求項７に記載の投影露光方法において、
前記所定のずれ幅は、前記所定の重複幅よりも大きくすることを特徴とする投影露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、所定のずらし量を継ぎ部の幅より大きくすれば、上層と下層の継ぎ部が相互に影響を及ぼし合うことがなくなる。従って、重ね合わせ誤差の最大値を従来の半分にすることができるので、継ぎ部をずらすことにより継ぎ部の箇所が２倍に増えても画面分かれは視認されない。
上記目的は、基板面上に投影領域が分離して形成され、且つ各投影領域の隣接部分同士が基板面内で基板の走査方向と垂直な方向に所定の重複幅で重複すると共に、投影領域に対して第１のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、第１の複数の投影領域により基板上に前記第１のパターンを転写し、第１の複数の投影領域を基板面内で走査方向と直角な方向に相対的に所定のずれ幅だけずらした第２の複数の投影領域により基板上に前記第１のパターンとは異なる第２のパターンを投影し、前記第２の複数の投影領域に対して前記第２のパターンと前記基板とを同期させて前記走査方向に走査させて、前記第２のパターンを前記基板上に転写するようにして達成される。
また、所定のずれ幅は、所定の重複幅よりも大きくすることにより、上層と下層との継ぎ部が相互に影響を及ぼし合わないようにすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月12日(2003.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系の焦点距離変更と焦点調節に共通に用いられる駆動源と、前記焦点距離変更時と前記焦点調節時とで、前記駆動源の駆動の仕方を異ならせる制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項２】
レンズユニットの焦点距離変更と焦点調節に共通に用いられる駆動源と、前記焦点距離変更時と前記焦点調節時とで、前記駆動源の駆動の仕方を異ならせる制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項３】
光学系の焦点距離の変更を行うための焦点距離変更用カム領域と焦点調節を行うための焦点調節用カム領域とが交互に形成された案内手段と、該案内手段に沿って前記光学系を移動させることにより前記光学系の焦点距離変更と焦点調節を行わせる駆動源と、前記光学系の前記焦点距離変更時と前記焦点調節時とで、前記駆動源の駆動の仕方を異ならせる制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項４】
焦点距離の変更を行うためのレンズユニットを案内する焦点距離変更用カム領域と焦点調節を行うための前記レンズユニットを案内する焦点調節用カム領域とが交互に形成された案内手段と、該案内手段に沿って前記光学系を移動させることにより前記光学系の焦点距離変更と焦点調節を行わせる駆動源と、前記レンズユニットの前記焦点距離変更時と前記焦点調節時とで、前記駆動源の駆動の仕方を異ならせる制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項５】
前記駆動源はステップモータであり、前記制御手段は、前記焦点距離変更時には、フルステップ駆動にて前記ステップモータを制御し、前記焦点調節時には、マイクロステップ駆動にて前記ステップモータを制御することを特徴とする請求項１,２,３又は４記載の光学装置。
【請求項６】
前記駆動源は、ステップモータであり、前記制御手段は、前記焦点距離変更時には、フルステップ駆動にて前記ステップモータを制御し、前記焦点調節時には、デューティー駆動にて前記ステップモータを制御することを特徴とする請求項１,２,３又は４記載の光学装置。
【請求項７】
前記駆動源はステップモータであり、前記制御手段は、前記焦点距離変更時には、第１のデューティー駆動にて前記ステップモータを制御し、前記焦点調節時には、前記第１のデューティー駆動時よりも低出力となる第２のデューティー駆動にて前記ステップモータを制御することを特徴とする請求項１,２,３又は４記載の光学装置。
【請求項８】
前記案内手段は、前記駆動源より動力が伝達されることにより回転する部材であることを特徴とする請求項３,４,５,６又は７記載の光学装置。
【請求項９】
光学系を光軸方向に移動させるステップモータと、該ステップモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置検出手段と、前記ステップモータへの通電を所定の周波数で切り換える第１の通電モードと前記回転位置検出手段の検出結果に基づいて前記ステップモータへの通電を切り換える第２の通電モードの、何れかにより前記ステップモータの駆動を制御する制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項１０】
レンズユニットを光軸方向に移動させるステップモータと、該ステップモータの出力軸の回転位置を検出する回転位置検出手段と、前記ステップモータへの通電を所定の周波数で切り換える第１の通電モードと前記回転位置検出手段の検出結果に基づいて前記ステップモータへの通電を切り換える第２の通電モードの、何れかにより前記ステップモータの駆動を制御する制御手段とを有することを特徴とする光学装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、少なくとも前記光学系の停止時は、前記ステップモータを第１の通電モードで駆動することを特徴とする請求項９記載の光学装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、少なくとも前記光学系の移動開始時は、前記ステップモータを第２の通電モードで駆動することを特徴とする請求項９又は１１記載の光学装置。
【請求項１３】
前記ステップモータは、前記光学系の焦点距離変更動作と焦点調節動作に共通に用いられるものであることを特徴とする請求項９，１１又は１２記載の光学装置。
【請求項１４】
光学系の焦点距離変更動作を行うための焦点距離変更用カム領域と焦点調節動作を行うための焦点調節用カム領域とが交互に形成された案内手段を有し、前記ステップモータにより前記案内手段に沿って前記光学系を案内動作させることにより、前記光学系の焦点距離変更動作と焦点調節動作を交互に行えるようにすることを特徴とする請求項９，１１，１２又は１３記載の光学装置。
【請求項１５】
請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３又は１４記載の光学装置を具備したことを特徴とするカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
又、上記の実施の形態では、カム筒６を駆動するようにしているが、これは直進溝筒５を駆動するようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月10日(2003.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カム溝が形成されたカム筒と、前記カム溝に挿入されるカムフォロワーが設けられたレンズ保持枠とを有するレンズ鏡筒において、
前記カムフォロワーには、該カムフォロワーと前記カム溝との間に生じるガタを取り除く弾性部材が設けられ、
前記カム溝の２つの壁面は、該カム溝が深くなるにつれて間隔が狭まくなる２つの斜面であり、
前記弾性部材は、前記２つの斜面の一方を押圧した状態で該カム溝内に配置されていることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項２】
請求項１において、
前記カムフォロワーは、その一部が切り欠かれており、
前記弾性部材の基部は、前記切り欠き内に配置されており、
前記切り欠きは、前記ガタを生じさせていた前記カムフォロワーと前記カム溝との隙間を前記弾性部材を取り除いた場合でも保てる箇所に形成されていることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記カムフォロワーは、その外形が、前記切り欠きを有する円錐台であることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記カムフォロワーは、その外形が、前記切り欠きを有する、断面台形の帯状体であることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項５】
請求項１、２、３、または４において、
前記カムフォロワーと前記レンズ保持枠とは、合成樹脂を用いて一体成形されていることを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項６】
請求項１、２、３、４、または５において、
前記弾性部材は、表面がテフロンシートで覆われたゴムであることを特徴とするレンズ鏡筒。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の一態様によれば、カム溝が形成されたカム筒と、前記カム溝に挿入されるカムフォロワーが設けられたレンズ保持枠とを有するレンズ鏡筒において、前記カムフォロワーには、該カムフォロワーと前記カム溝との間に生じるガタを取り除く弾性部材が設けられ、前記カム溝の２つの壁面は、該カム溝が深くなるにつれて間隔が狭まくなる２つの斜面であり、前記弾性部材は、前記２つの斜面の一方を押圧した状態で該カム溝内に配置されていることを特徴とするレンズ鏡筒が提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月12日(2003.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡大側から順に、拡大側に凸面を向けた正の第１レンズ、拡大側に凸面を向けた正の第２レンズ、両凹レンズからなる第３レンズ、縮小側に凸面を向けた正のメニスカスレンズからなる第４レンズ、および拡大側に凸面を向けた正の第５レンズが配列されてなり、以下の各条件式（１）〜（４）を満足するように構成されてなることを特徴とする投影レンズ。
（１）      ０．３５＜Ｆ１２／Ｆ＜０．６５
（２）    −３．０＜Ｆ３／Ｆ＜−０．１３
（３）      ０．５＜Ｆ５／Ｆ＜０．８５
（４）      ０．３５＜ＢＦ／Ｆ＜０．５５
ここで、  Ｆ１２：第１レンズと第２レンズとの合成焦点距離
Ｆ３：第３レンズの焦点距離
Ｆ５：第５レンズの焦点距離
Ｆ：全レンズ系の焦点距離
ＢＦ：全レンズ系のバックフォーカス
【請求項２】
前記第４レンズが以下の条件式（５）を満足するように構成されてなることを特徴とする請求項１記載の投影レンズ。
（５）      １．２＜Ｒ８／Ｒ９＜３．２
ここで、  Ｒ８：第４レンズの拡大側の面の曲率半径
Ｒ９：第４レンズの縮小側の面の曲率半径
【請求項３】
前記第１レンズ内もしくは該第１レンズよりも拡大側の位置において、軸上光束をカットするように構成されてなることを特徴とする請求項１または２記載の投影レンズ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
（１）      ０．３５＜Ｆ１２／Ｆ＜０．６５
（２）    −３．０＜Ｆ３／Ｆ＜−０．１３
（３）      ０．５＜Ｆ５／Ｆ＜０．８５
（４）      ０．３５＜ＢＦ／Ｆ＜０．５５
ここで、  Ｆ１２：第１レンズと第２レンズとの合成焦点距離
Ｆ３：第３レンズの焦点距離
Ｆ５：第５レンズの焦点距離
Ｆ：全レンズ系の焦点距離
ＢＦ：全レンズ系のバックフォーカス
また、前記第４レンズが以下の条件式（５）を満足するように構成されてなることが好ましい。
（５）      １．２＜Ｒ８／Ｒ９＜３．２
ここで、  Ｒ８：第４レンズの拡大側の面の曲率半径
Ｒ９：第４レンズの縮小側の面の曲率半径
さらに、前記第１レンズ内もしくは該第１レンズよりも拡大側の位置において、軸上光束をカットするように構成されてなることが好ましい。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（１）      ０．３５＜Ｆ１２／Ｆ＜０．６５
（２）    −３．０＜Ｆ３／Ｆ＜−０．１３
（３）      ０．５＜Ｆ５／Ｆ＜０．８５
（４）      ０．３５＜ＢＦ／Ｆ＜０．５５
（５）      １．２＜Ｒ８／Ｒ９＜３．２
ここで、  Ｆ１２：第１レンズＬ１と第２レンズＬ２との合成焦点距離
Ｆ３：第３レンズＬ３の焦点距離
Ｆ５：第５レンズの焦点距離
Ｆ：全レンズ系の焦点距離
ＢＦ：全レンズ系のバックフォーカス
Ｒ８：第４レンズの拡大側の面の曲率半径
Ｒ９：第４レンズの縮小側の面の曲率半径