(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行機構を有する架台部と、該架台部上に回動可能に設置され、搬送物を収容する移載部とを備え、搬送物の受け渡しに際して、上記移載部が回動される構造の無人搬送車において、
前記架台部は、前記移載部を搭載するベースフレームと、前記ベースフレーム上の一端に立設された壁状の垂直フレームとを有し、
前記移載部は、前記壁状の垂直フレーム側に搬送物の出入口を有する搬送物を外部から遮蔽するカバーと、該カバー内に清浄な空気を供給するためのファンフィルターユニットとを備え、
前記カバーの出入口は、搬送時には前記壁状の垂直フレームにより閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、前記移載部が回動することにより開放され、
前記ファンフィルターユニットは、前記出入口と相対する位置に配置され、
搬送物を受け渡しする際作動状態とされて搬送物に対して清浄な空気を絶えず吹き付け、その後停止されることを特徴とする無人搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内の物品搬送に用いる無人搬送車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、物流施設や工場には、効率化や省力化を図るために、様々なタイプの無人搬送車（ＡＧＶ：Automatic Guided Vehicle）が導入されている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、ディスプレイ用のガラス基板や半導体ウエハなど、クリーンルーム内で取り扱う物品を積載して指定場所まで自動的に搬送する無人搬送車としては、例えば図４に示すような無人搬送車が知られている。この無人搬送車は、走行機構を有する側面視略Ｌ字形の架台部５１と、搬送物を収容する移載部５２とを備え、移載部５２が架台部５１のベースフレーム５３上に回動可能に設置されている。移載部５２には、搬送中に搬送物が汚染されるのを防止するためのカバー５５が取り付けられる一方、架台部５１の垂直フレーム５４には、高性能フィルタとファンとを組み合わせたファンフィルターユニット（ＦＦＵ）５６が取り付けられ、搬送中、カバー５５内には清浄な空気が供給されて、カバー５５内の空間が所望の清浄状態に保たれるように構成されている。また、移載部５２は、架台部５１の垂直フレーム５４側に搬送物の出入口を有し、搬送時には、この搬送物出入口が垂直フレーム５４により閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、移載部５２が回動することにより搬送物出入口が開放されるようになっている。
【特許文献１】特開平１１−３２２０６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の無人搬送車にあっては、架台部５１の垂直フレーム５４にファンフィルターユニット５６が取り付けられ、搬送物出入口を介して、垂直フレーム５４からカバー５５内に清浄な空気が供給されていたため、移載部５２を回動させると、垂直フレーム５４からカバー５５内に至る給気路が分断されて、カバー５５内に清浄な空気を送り込めなくなるという難点があった。
このため、搬送物の受け渡しの際には、搬送物の周囲に清浄な空気を供給することができず、移載部５２の回転による周囲粉塵の巻き込みや、移載部機器の動作による発塵等により、搬送物が汚染される懸念があった。
【０００４】
このような問題を解消するために、例えば移載場所周辺の清浄度（クリーングレード）を局所的に上げることも考えられるが、この場合、清浄度を厳密に制御するのが容易ではなく、結果としてライフサイクルコストの増大を招く虞がある。
【０００５】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、搬送物の搬送中のみならず、受け渡しに際しても、搬送物の周囲を清浄な状態に保ち、搬送物の汚染を防止することができる無人搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の本発明に係る無人搬送車は、走行機構を有する架台部と、該架台部上に回動可能に設置され、搬送物を収容する移載部とを備え、搬送物の受け渡しに際して、上記移載部が回動される構造の無人搬送車において、前記架台部は、前記移載部を搭載するベースフレームと、前記ベースフレーム上の一端に立設された壁状の垂直フレームとを有し、前記移載部は、前記壁状の垂直フレーム側に搬送物の出入口を有する搬送物を外部から遮蔽するカバーと、該カバー内に清浄な空気を供給するためのファンフィルターユニットとを備え、前記カバーの出入口は、搬送時には前記壁状の垂直フレームにより閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、前記移載部が回動することにより開放され、前記ファンフィルターユニットは、前記出入口と相対する位置に配置され、搬送物を受け渡しする際作動状態とされて搬送物に対して清浄な空気を絶えず吹き付け、その後停止されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、移載部にファンフィルターユニットを設置して、搬送物の受け渡し中、搬送物に対して清浄な空気を吹き付けるようにしたので、搬送物の搬送中のみならず、受け渡しに際しても、搬送物の周囲を清浄な状態に保つことができ、移載動作で生じる塵埃等による搬送物の汚染を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面に基づいて、本発明に係る無人搬送車の一実施形態について説明する。
この無人搬送車１は、クリーン環境での取り扱いが要求される物品（例えばディスプレイ用のガラス基板や半導体ウエハなど）を搬送するための無軌道式の自動搬送車であって、図１に示すように、走行機構を有する架台部１０と、搬送物を収容する移載部２０とにより概略構成されている。
【００１０】
架台部１０は、図１および図２に示すように、移載部２０を搭載するベースフレーム１１と、ベースフレーム１１の一端に立設された矩形壁状の垂直フレーム１２とを有し、側面視略Ｌ字形をなしている。ベースフレーム１１には、走行機構の他、移載部２０の可動テーブル２１（後述）を駆動するための駆動機構や、バッテリー、制御装置などが配設されている。また、垂直フレーム１２の内部には、移載部２０の収容空間に連通する予備的な収容空間が設けられている。
【００１１】
移載部２０は、搬送物を載置する可動テーブル２１と、可動テーブル２１上の搬送物を外部から遮蔽する箱型のカバー２２とを備え、両者が一体に構成されている。
可動テーブル２１は、カバー２２の一端が垂直フレーム１２に当接する位置から所定距離離間する位置（回動したときに垂直フレーム１２に衝突しない位置）まで、ベースフレーム１１の長手方向に沿って進退自在に保持されるとともに、所定の角度範囲内（例えば、０度〜±９０度の角度範囲内）で回動自在に保持されている。
【００１２】
カバー２２は、垂直フレーム１２側に搬送物の出入口２３を有し、搬送時には、垂直フレーム１２に近接配置されて、出入口２３が垂直フレーム１２により閉塞される一方、搬送物の受け渡し時には、可動テーブル２１と共に回動することにより、出入口２３が開放されるようになっている。このカバー２２には、出入口２３の他端側の側壁２４に、カバー２２内に清浄な空気を供給するためのファンフィルターユニット（ＦＦＵ）２５が取り付けられている。このファンフィルターユニット２５は、カバー２２内に空気を取り込むためのファン２６と、取り込んだ空気中の粉塵をトラップする高性能フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）２７とを備えるもので、粉塵が除去された清浄な空気を出入口２３側に向けて、すなわち可動テーブル２１上の搬送物または荷下し中の搬送物に向けて吐出するようになっている。ファンフィルターユニット２５のケーブルは、可動式のケーブルとされ、移載部２０の向きや位置に応じて、その長さが可変となっている。また、移載部２０の所定位置には、カバー２２内の空気を排出するための排気口が設けられている。
【００１３】
上記構成からなる無人搬送車１においては、搬送物の搬送時には、図１に示すように、搬送物の出入口２３が垂直フレーム１２で閉塞される位置に移載部２０が配置され、この状態で、ファンフィルターユニット２５からカバー２２内の収容空間に清浄な空気が供給される。このため、カバー２２内の収容空間が高清浄度に保たれ、塵埃による搬送物の汚染が防止される。
【００１４】
一方、搬送物を受け渡しする際には、図３（ａ）に示すように、無人搬送車１が荷下台３の側方（搬送物の移載位置）で停止した後、図３（ｂ）および図３（ｃ）に示すように、搬送物の出入口２３が荷下台３を向く位置まで移載部２０が回動し、その後、搬送物を収容したカセット２が、移載部２０から荷下台３に移載される。この間、ファンフィルターユニット２５は作動状態で維持され、搬送物に対して清浄な空気が絶えず吹き付けられる。その後、図３（ｄ）および図３（ｅ）に示すように、移載部２０が逆方向に回動して元の位置に戻り、ファンフィルターユニット２５が停止する。このため、搬送物の受け渡しに際しても、搬送物の周囲が高清浄度に保たれ、塵埃による搬送物の汚染が防止される。なお、ファンフィルターユニット２５は、移載部２０が元の位置に戻って閉塞された後も停止させずに、作動状態のまま維持するようにしてもよい。そうすることで、移載部２０内への塵埃等の侵入を阻止することができ、移載部２０内を常に清浄な状態に保つことができる。
【００１５】
以上のように、本実施形態によれば、回動しない架台部１０ではなく、搬送物の受け渡しの際に回動する移載部２０にファンフィルターユニット２５を設置して、搬送物の受け渡し中においても、搬送物に対して清浄な空気をあて続けるようにしたので、搬送物の搬送中のみならず、受け渡しに際しても、搬送物の周囲を清浄な状態に保つことができ、移載動作で生じる塵埃等による搬送物の汚染を防止することができる。
そのため、従来のように受け渡し場所周辺の清浄度を厳密に制御する必要がなく、ライフサイクルコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る無人搬送車の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の無人搬送車の詳細図で、図２（ａ）は平断面図、図２（ｂ）は正面図、図２（ｃ）は側面図、図２（ｄ）は背面図である。
【図３】搬送物の移載方法を説明するための模式図である。
【図４】従来の無人搬送車の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００１７】
１    無人搬送車（ＡＧＶ）
１０  架台部
１１  ベースフレーム
１２  垂直フレーム
２０  移載部
２２  カバー
２３  搬送物の出入口
２５  ファンフィルターユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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