【手続補正書】
【提出日】平成15年8月20日(2003.8.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）が全単量体中に１０重量％以上含む単量体を重合した重合体（Ｉ）と、フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）及び親水性構造単位含有エチレン性不飽和単量体（Ｂ）を含有してなる単量体を重合した重合体（ＩＩ）であって該フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）の導入量が１０重量％未満である重合体（ＩＩ）とを併用することを特徴とするフッ素系界面活性剤。
【請求項２】
重合体（Ｉ）を構成する単量体中に、シリコーン鎖含有エチレン性不飽和単量体（Ｃ）を含有する請求項１記載の界面活性剤。
【請求項３】
重合体（Ｉ）を構成する単量体中に、ポリオキシアルキレン基含有エチレン性不飽和単量体（Ｄ）及び／または１分子中に２個以上の不飽和結合を有するエチレン性不飽和単量体（Ｅ）を含有する請求項１又は２記載の界面活性剤。
【請求項４】
前記親水性構造単位含有エチレン性不飽和単量体（Ｂ）が、ポリオキシアルキレン基含有エチレン性不飽和単量体（Ｄ）である請求項１〜３のいずれか１項記載の界面活性剤。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項記載の界面活性剤を含有してなることを特徴とするコーティング組成物。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項記載の界面活性剤を含有してなることを特徴とする塗料用組成物。
【請求項７】
請求項１〜４のいずれか１項記載の界面活性剤を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
すなわち、本発明は、フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）が全単量体中に１０重量％以上含む単量体を重合した重合体（Ｉ）と、フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）及び親水性構造単位含有エチレン性不飽和単量体（Ｂ）を含有してなる単量体を重合した重合体（ＩＩ）であって該フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）の導入量が１０重量％未満である重合体（ＩＩ）とを併用することを特徴とするフッ素系界面活性剤を提供するものであり、該フッ素系界面活性剤を含有してなることを特徴とする塗料用組成物を提供するものであり、該フッ素系界面活性剤を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物を提供するものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明の実施の形態】
先ず本発明において、フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）が全単量体中に１０重量％以上含む単量体を重合した重合体（Ｉ）は、主に目的とする塗工液の表面張力を低下させ、塗工時における基材に対する濡れ性及び均質塗工性を発現させるために寄与すると考えられるものである。但し、後で詳しく述べるが、本発明における最も重要な点は特徴的な組成を有する重合体（Ｉ）及び重合体（ＩＩ）を同時に用いる点にあり、これらの界面活性剤の持つ特徴的な効果に加えて、相乗的且つ複合的な効果によって課題解決が成し得たのである。先ず、重合体（Ｉ）に用いるフッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）としては、分子中にエチレン性不飽和基とフッ素化アルキル基を有する化合物であれば特に制限はないが、原料の入手性、各種コーティング組成物中の配合物に対する相溶性、そのような相溶性を制御することの容易性、或いは重合反応性の観点からエチレン性不飽和基として（メタ）アクリルエステル基およびその類縁基を含有するものが適しており、具体的には下記一般式（１）にて表されるフッ素化（メタ）アクリレートが挙げられる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
重合体（Ｉ）が、フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）を１０重量％以上含む単量体を重合して得られた物でなければ、塗工液の表面張力が十分に低下しないため、目的とする塗膜の均質性が得られない。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
従って、塗工液の静的及び動的表面張力の低下能力、塗膜の後加工適性を両立させるためには、フッ素化アルキル基の炭素数は８であるのが特に好ましい。本発明者等の知見によれば、スプレー塗工、スピンコートの様に高速、高剪断力を伴う塗工方法において均質な塗膜を得るためには、単に静的な場面での表面張力を低下させるだけでは不十分であり、塗工液の静的表面張力の低下に加えて動的な表面張力を低下させることが必要不可欠である。この様な場合、重合体（Ｉ）を構成する単量体中に、シリコーン鎖含有エチレン性不飽和単量体（Ｃ）を含有することが好ましい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
【化１９】
2000102727.tif 000001
［式中、Ｒ1はＨ、Ｃｌ、Ｆ、ＣＨ3を示し、Ｒ2、Ｒ3は炭素数１〜２０のアルキル基、フェニル基、若しくは一般式（４）で表される官能基を示し、


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
【化２０】
2000102727.tif 000002
（式中、Ｒ7、Ｒ8、Ｒ9は炭素数１〜２０のアルキル基又はフェニル基を示す）、Ｒ4、Ｒ5、Ｒ6は炭素数１〜２０のアルキル基又はフェニル基を示し、Ｘは-CH2CH(OH)CH2OCO-、-(CH2)nNHCH2CH(OH)CH20CO-、-(CH2)nOCO-、-(CH2)n-O-(CH2)mOCO-、-OCH2CH(OH)CH2OCO-、-(CH2)nC(CF3)2OCO-から選ばれる２価の連結基を示し、ｑは０〜３の整数、ｍ、ｎは２〜６の整数、ｐは０または１を示す。］


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
本発明において、重合体（Ｉ）がフッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）と共にシリコ−ン鎖含有エチレン性不飽和単量体（Ｃ）を重合せしめて得られるものであることにより、塗工液の静的表面張力に加えて動的表面張力をも低下させることが可能となり、高速、高剪断力を伴うコーティング方法においても、基材に対するレベリング性を向上させ、均質かつ平滑な塗膜の形成に寄与する。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
ポリオキシアルキレン基含有エチレン性不飽和単量体（Ｄ）としては、１分子中にポリオキシアルキレン基とエチレン性不飽和基を有する化合物であれば特に制限はないが、主に目的とする配合物中のマトリックス樹脂、溶媒、重合体（ＩＩ）等の組成或いは後加工性の程度により適宜選択される。その際、オキシアルキレン基としては、エチレンオキシド基及び／またはプロピレンオキシド基が好適である。またその重合度は１〜５０が好ましく、５〜３０がより好ましい。エチレン性不飽和基としては、原料の入手性、各種コーティング組成物中の配合物に対する相溶性、そのような相溶性を制御することの容易性、或いは重合反応性の観点から（メタ）アクリルエステル基およびその類縁基を含有するものが適している。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
更に、主に起泡性の抑制という観点から、１分子中に２個以上の不飽和結合を有するエチレン性不飽和単量体（Ｅ）を含有させることが好ましい。１分子中に２個以上の不飽和結合を有するエチレン性不飽和単量体（Ｅ）としては、特に制限はなく、目的とする配合物中のマトリックス樹脂、溶媒、重合体（ＩＩ）等の組成により適宜選択される。エチレン性不飽和基としては原料の入手性、各種コーティング組成物中の配合物に対する相溶性、そのような相溶性を制御することの容易性或いは重合反応性の観点から（メタ）アクリルエステル基およびその類縁基を含有するものが適している。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
具体的化合物としては、重合度１〜１００の、ポリエチレングリコ−ル、ポリプロピレングリコ−ル、そしてエチレンオキシドとプロピレンオキシドとの共重合体等のポリアルキレングリコ−ルのジ（メタ）アクリル酸エステル、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート及びそのエチレンオキシド（ＥＯ）変性物、テトラメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート及びそのＥＯ変性物、ビスフェノールＡジアクリレート及びそのＥＯ変性物、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリストールトリアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート等が挙げられる。また、市販品としては、新中村化学工業（株）社製ＮＫエステル１Ｇ、２Ｇ、３Ｇ、４Ｇ、９Ｇ、１４Ｇ、２３Ｇ、ＢＧ、ＨＤ、ＮＰＧ、Ａ−２００、Ａ−４００、Ａ−６００、Ａ−ＨＤ、Ａ−ＮＰＧ、ＡＰＧ−２００、ＡＰＧ−４００、ＡＰＧ−７００、Ａ−ＢＰＥ−４、７０１Ａ、日本油脂（株）製ブレンマーＰＤＥ−５０、ＰＤＥ−１００、ＰＤＥ−１５０、ＰＤＥ−２００、ＰＤＥ−４００、ＰＤＥ−６００、ＡＤＥ−２００、ＡＤＥ−４００等が挙げられる。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
尚、本発明が上記具体例によって、何等限定されるものでないことは勿論である。この様な１分子中に２個以上の不飽和結合を有するエチレン性不飽和単量体（Ｅ）を導入する際、各配合物に対する相溶性、重合反応制御性の点からは、重合度１〜１００の、ポリエチレングリコ−ル、ポリプロピレングリコ−ル、そしてエチレンオキシドとプロピレンオキシドとの共重合体等のポリアルキレングリコ−ルのジ（メタ）アクリル酸エステルが好ましい。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
本発明で用いる重合体（Ｉ）の割合が上記範囲内にあれば、後述する重合体（ＩＩ）との併用により相乗的且つ複合的効果として、目的とするレベリング性とリコート性、現像性等の後加工性を両立し得るが、この範囲を逸脱すると重合体（ＩＩ）とのバランスを失い両性能は実現できない。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
次に、本発明で用いるもう一つの必須成分であるフッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）及び親水性構造単位含有エチレン性不飽和単量体（Ｂ）を含有してなる単量体を重合した重合体（ＩＩ）であって該フッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）の導入量が１０重量％未満である重合体（ＩＩ）についてであるが、重合体（Ｉ）が、上記のとおり主に目的とする塗工液の表面張力を低下させ、塗工時における基材に対する濡れ性及び均質塗工性を発現するために寄与するのに対して、重合体（ＩＩ）は主に塗工した塗膜表面に対するリコート性、現像性等の後処理工程の阻害防止に対して寄与する。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
重合体（II）に用いるフッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）としては、前述した重合体（Ｉ）を構成するものと同様のものを用いることが可能であるが、用いるフッ素化アルキル基含有エチレン性不飽和単量体（Ａ）は併用する重合体（Ｉ）を構成するものと同じであっても異なっていても構わないし、１種類であっても２種類以上を同時に用いても構わない。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
親水性構造単位含有エチレン性不飽和単量体（Ｂ）の具体例としては、アクリル酸、メタクリル酸、（メタ）アクリル酸の炭素数１〜１８のヒドロキシアルキルエステル、即ち２−ヒドロキシエチルエステル、２−ヒドロキシプロピルエステル、４−ヒドロキシブチルエステル等、（メタ）アクリル酸のグリシジルエステル、即ちグリシジル（メタ）クリレート等、また、エチレンオキシド、プロピレンオキシド等の繰り返し単位、即ちポリ（オキシアルキレン）基を含有するモノマーが挙げられる。また具体的製品としては、新中村化学工業（株）社製ＮＫエステルＭ−２０Ｇ、Ｍ−４０Ｇ、Ｍ−９０Ｇ、Ｍ−２３０Ｇ、Ｍ−４５０Ｇ、ＡＭ−９０Ｇ、１Ｇ、２Ｇ、３Ｇ、４Ｇ、９Ｇ、１４Ｇ、２３Ｇ、９ＰＧ、Ａ−２００、Ａ−４００、Ａ−６００、ＡＰＧ−４００、ＡＰＧ−７００、日本油脂（株）社製ブレンマーＰＥ−９０、ＰＥ−２００、ＰＥ−３５０、ＰＭＥ−１００、ＰＭＥ−２００、ＰＭＥ−４００、ＰＭＥ−４０００、ＰＰ−１０００、ＰＰ−５００、ＰＰ−８００、７０ＦＥＰ−３５０Ｂ、５５ＰＥＴ−８００、５０ＰＯＥＰ−８００Ｂ、ＮＫＨ−５０５０、ＰＤＥ−５０、ＰＤＥ−１００、ＰＤＥ−１５０、ＰＤＥ−２００、ＰＤＥ−４００、ＰＤＥ−６００、ＡＰ−４００、ＡＥ−３５０、ＡＤＥ−２００、ＡＤＥ−４００等が挙げられる。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
前記フォトレジスト用組成物は、上記重合体（Ｉ）および重合体（ＩＩ）と公知公用のフォトレジスト剤とから成り、本発明のフッ素系界面活性剤との組み合わせが可能なフォトレジスト剤としては、公知公用のものであれば何等制限無く使用することが可能である。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
前記アルカリ可溶性樹脂（１）としては、レジストのパタ−ン化時に使用する現像液を構成するアルカリ性溶液に対して可溶の樹脂であれば何等制限無く使用することが可能であり、例えばフェノ−ル、クレゾ−ル、キシレノ−ル、レゾルシノ−ル、フロログリシノ−ル、ハイドロキノン等の芳香族ヒドロキシ化合物及びこれらのアルキル置換またはハロゲン置換芳香族化合物から選ばれる少なくとも１種とホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド等のアルデヒド化合物とを縮合して得られるノボラック樹脂、ｏ−ビニルフェノ−ル、ｍ−ビニルフェノ−ル、ｐ−ビニルフェノ−ル、α−メチルビニルフェノ−ル等のビニルフェノ−ル化合物及びこれらのハロゲン置換化合物の重合体または共重合体、アクリル酸、メタクリル酸、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレ−ト等のアクリル酸系またはメタアクリル酸系重合体もしくは共重合体、ポリビニルアルコ−ル、更に前記各種樹脂の水酸基の一部を介してキノンジアジド基、ナフトキノンアジド基、芳香族アジド基、芳香族シンナモイル基等の放射性線感応性基を導入した変性樹脂を挙げることができ、これらの樹脂を併用することが可能である。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
前記放射性感応性物質（感光性物質）（２）としては、公知慣用のものであれば何等制限無く使用することが可能であり、前記アルカリ可溶性樹脂と混合し、紫外線、遠紫外線、エキシマレ−ザ−光、Ｘ線、電子線、イオン線、分子線、γ線、等を照射することにより、アルカリ可溶性樹脂の現像液に対する溶解性を変化させる物質であれば何等制限なく使用することが可能である。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５１】
前記溶剤（３）としては、公知慣用のものを何等制限無く使用することが可能である。従来、フォトレジスト剤をシリコンウエハ−に塗布する際、塗布性の向上、ストリエ−ションの発生防止、現像性の向上のために、特開昭６２−３６６５７号公報、特開平４−３４０５４９号公報、特開平５−１１３６６６号公報等に記載されている様に、様々な溶剤組成が提案されているが、本発明のフッ素系界面活性剤を使用すれば、この様なやっかいな溶剤調整をしなくても、優れた塗布性、ストリエ−ションの発生防止、液中パ−ティクルの発生防止、泡の抱き込みの低減化、現像時の現像液の塗れ性向上に伴う、優れた現像性を得ることが可能となる。また近年、人体への安全性の観点から、従来フォトレジスト剤に使用されてきたエチルセロソルブアセテ−ト等の様な溶剤から、乳酸エチル等の安全性の高い溶剤が使用される様になり、塗布性やストリエ−ションの発生防止に対しよりきめ細かな注意が必要となっているが、本発明のフッ素系界面活性剤を使用すれば、この様な問題点も払拭できるという利点がある。それ故、本発明のフォトレジスト用組成物においては、従来にもまして広範囲な溶剤を選択することが可能である。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５６】
本発明のフォトレジスト用組成物において、必要に応じて公知慣用のその他の界面活性剤、保存安定剤、顔料、染料、蛍光剤、発色剤、可塑剤、増粘剤、チクソ剤、樹脂溶解抑制剤、シランカップリング剤等の密着性強化剤等を添加することが可能であることは言うまでもない。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５８】
本発明のフッ素系界面活性剤は、前述の塗料用組成物、フォトレジスト組成物に対して特に有用であることを記載したが、さらにはハロゲン化写真感光材料の製造、平版印刷版の製造、カラーフィルター用材料等の液晶関連製品の製造、ＰＳ板の製造、その他のフォトファブリケーション工程等の単層、あるいは多層コーティング組成物に用いられる各種樹脂へ添加することでピンホール、ゆず肌、塗りムラ、ハジキ等の無い優れた平滑性を発現するレベリング剤としても好適に使用できる。


【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
以下に本発明に係る具体的な合成例、実施例を挙げ本発明をより詳細に説明するが、本具体例等によって発明が何等限定されるものではないことは勿論である
【実施例】
重合体（Ｉ）、重合体（ＩＩ）及び比較に用いる重合体（III）の合成
合成例１
攪拌装置、コンデンサ−、温度計を備えたガラスフラスコにフッ素化アルキル基含有（メタ）アクリレ−ト単量体（ａ−１） １８重量部、シリコ−ン鎖含有エチレン性不飽和単量体（ｃ−３−１）１２重量部、分子量４００のエチレンオキシドとプロピレンオキシドとの共重合体のモノアクリレ−ト化合物５８重量部、テトラエチレングリコ−ルの両末端がメタクリレ−ト化された化合物 ４重量部、メチルメタクリレ−ト ８重量部、そしてイソプロピルアルコ−ル（以下、ＩＰＡと略す）３５０重量部を仕込み、窒素ガス気流中、還流下で、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（以下、ＡＩＢＮと略す）１重量部と、連鎖移動剤としてラウリルメルカプタン１０重量部を添加した後、７５℃にて６時間還流し、ＡＩＢＮ ０．５重量部加えてさらに５時間ホールドし重合を完成させた。重合後７０℃エバポレーターにて脱溶剤、次いで熱風乾燥機にて乾燥させることにより固形分濃度９８％以上の重合体を得た。


【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６０】
この重合体のゲルパ−ミエ−ションクロマトグラフィー（以後ＧＰＣと略す）によるポリスチレン換算分子量はＭｎ＝３，５００であった。この共重合体を重合体Ｉ−１とする。


【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８６】
表中、配合例に従い配合した界面活性剤もしくは市販界面活性剤の添加量（ｐｐｍ）は、フォトレジスト剤固形分に対する固形分量である。
＜試験方法及び評価基準＞
（１）泡立ち性
実施例１６と同様にして調製したフォトレジスト組成物５０ｃｃを１００ｃｃの密栓付きサンプル瓶に秤取し、３０ｃｍの振幅で１秒間に２回の割合で５０回振盪し、静置後の気泡の状況を確認した。


【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１８９】
×：静置開始後、１分後でも気泡が存在している。
（２）ストリエ−ション
レジスト用組成物に対しては、レジスト膜表面を光学顕微鏡で１００倍に拡大し、ストリエ−ションの発生状況を観察した。


【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
○：ストリエ−ションの発生が認められないもの。


【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９１】
△：ストリエ−ションが部分的に認められるもの。


【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９２】
×：ストリエ−ションが顕著に認められるもの。
（３）表面荒さ
レジスト膜表面の荒さを、ランクテ−ラ−ホブソン社製の表面荒さ計”タリステップ”を用いて測定した。測定数は２１ポイント／１ウエハ−であり、測定点２１個の平均値を求めた。
（４）撥水性
現像性等の後加工適性の指標として、レジスト用組成物を用いて塗工後塗膜表面の液滴落下直後の水接触角測定を行った。接触角の測定は自動接触角計ＣＡ−Ｚ型（協和界面科学株式会社製）を用い、液滴法にて実施した。撥水性の低い表面程アルカリ現像液に対する現像性が良好であることを確認した。
（５）塗布性
レジスト膜表面を目視観察し、塗れ残りの有無を観察した。


【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９６】
静的表面張力は、自動平衡式エレクトロ表面張力計ＥＳＢ−ＩＶ型（協和化学株式会社製）を用いてレジスト溶媒である乳酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合溶媒（重量比にて７０／３０）に対して所定の界面活性剤の固形分が表５〜６に記載の量になるように調製し、２５℃にて白金板を用いたウィルヘルミー法にて測定した。


【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９７】
一方、動的表面張力は自動動的表面張力計ＤＳＴ−Ａ１型（協和界面科学株式会社製）を用いて表面積６０ｃｍ２（最大表面積８０ｃｍ2、最小表面積２０ｃｍ2）、測定周期１０秒、溶液温度２５℃の条件でレジスト溶媒である乳酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合溶媒（重量比にて７０／３０）に対して配合例１〜２０で得られた界面活性剤の固形分が表５〜６に示す所定の濃度に調製して得られた溶液を用いて、表面損失エネルギーを１０回測定し、その平均値により評価した。尚、本発明における動的表面張力の低下は本評価でいう表面損失エネルギー値が小さいことと同義である。


【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９８】
【発明の効果】
本発明のフッ素系界面活性剤は、フッ素系界面活性剤の宿命的欠点とされてきた、レベリング性と消泡性、リコート性、現像等の後加工性を両立し得るという特徴がある。従って、本発明のフッ素系界面活性剤は、塗料用組成物、感光性樹脂組成物用等の各種コーティング組成物に適用することにより、リコート性、現像性等の後加工適性に支障を来すことなく、高度に平滑な塗膜が得られる。