【手続補正書】
【提出日】平成15年9月11日(2003.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合する少なくとも一方の被接合部材の接合面をハロゲン化処理したのち、前記接合面のハロゲンを離脱させ、その後、前記一方の被接合部材の前記接合面に他方の被接合部材を重ねて相互に接合することを特徴とする固体接合方法。
【請求項２】
前記ハロゲン化処理は、フッ化処理であることを特徴とする請求項１に記載の固体接合方法。
【請求項３】
前記フッ化処理は、反応性フッ素系ガスと水蒸気との混合ガスを前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２に記載の固体接合方法。
【請求項４】
前記反応性フッ素系ガスは、大気圧またはその近傍の圧力下にあるフッ素系ガスと水蒸気との混合ガスを介した放電により生成することを特徴とする請求項３に記載の固体接合方法。
【請求項５】
前記フッ化処理は、少なくともフッ素系ガスを含むガスを介した放電により生成した活性なフッ素を生成し、この活性なフッ素を前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２に記載の固体接合方法。
【請求項６】
前記フッ化処理は、放電領域中に前記被接合部材を配置して行うことを特徴とする請求項５に記載の固体接合方法。
【請求項７】
前記フッ化処理は、前記被接合部材を放電領域外に配置し、放電領域で生成された前記活性なフッ素を前記被接合部材に導いて行うことを特徴とする請求項５に記載の固体接合方法。
【請求項８】
前記フッ化処理は、フッ素系ガスに紫外線を照射して活性なフッ素を生成し、この活性なフッ素を前記被接合部材に接触させて行うことを特徴とする請求項２に記載の固体接合方法。
【請求項９】
前記フッ化処理は、前記被接合部材を反応性のフッ素系物質からなる蒸気に接触させて行うことを特徴とする請求項２に記載の固体接合方法。
【請求項１０】
前記ハロゲン化処理と前記ハロゲンの離脱とは、前記被接合部材を搬送しつつ行うことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の固体接合方法。
【請求項１１】
前記ハロゲンを離脱した前記被接合部材を順次接合処理部に搬送して接合することを特徴とする請求項１０に記載の固体接合方法。
【請求項１２】
少なくとも最表面にハロゲンが存在する被接合部材から接合面の前記ハロゲンを離脱させたのち、前記被接合部材の前記接合面に他の被接合部材を重ねて相互に接合することを特徴とする固体接合方法。
【請求項１３】
前記ハロゲンの離脱は、前記被接合部材を搬送しつつ行うことを特徴とする請求項１２に記載の固体接合方法。
【請求項１４】
前記ハロゲンを離脱した前記被接合部材を順次接合処理部に搬送して接合することを特徴とする請求項１３に記載の固体接合方法。
【請求項１５】
前記接合は、接合部を前記各被接合部材の融点より低い温度に加熱して行うことを特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載の固体接合方法。
【請求項１６】
前記接合は、加圧して前記各被接合部材間の接触圧を大きくして行うことを特徴とする請求項１ないし１５のいずれかに記載の固体接合方法。
【請求項１７】
被接合部材の接合面をハロゲン化処理するハロゲン化処理部と、ハロゲン化処理した前記接合面からハロゲンを離脱させる還元処理部と、前記ハロゲンを離脱させた前記被接合部材の接合面に他の被接合部材を重ねて相互に接合する接合処理部とを有することを特徴とする固体接合装置。
【請求項１８】
前記ハロゲン化処理部は、前記被接合部材をフッ化するフッ化処理部であることを特徴とする請求項１７に記載の固体接合装置。
【請求項１９】
前記フッ化処理部は、フッ化処理される前記被接合部材を配置するフッ化処理室と、このフッ化処理室に反応性フッ素系ガスを供給するフッ化ガス供給手段と、前記フッ化処理室に水蒸気を供給する水蒸気供給手段とを有することを特徴とする請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２０】
前記フッ化ガス供給手段は、大気圧またはその近傍の圧力下にあるフッ素系ガスと水蒸気との混合ガスを介した放電により前記反応性フッ素系ガスを生成する放電ユニットを有することを特徴とする請求項１９に記載の固体接合装置。
【請求項２１】
前記フッ化処理部は、フッ化される前記被接合部材が配置されるとともに、大気圧またはその近傍の圧力下にある少なくともフッ素系ガスを含むガスを介した放電により活性なフッ素を生成して前記被接合部材に照射する放電ユニットを有していることを特徴とする請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２２】
前記フッ化処理部は、フッ化される前記被接合部材が配置されるフッ化処理室と、大気圧またはその近傍の圧力下にある少なくともフッ素系ガスを含むガスを介した放電により活性なフッ素を生成して前記フッ化処理室に供給する放電ユニットとを有することを特徴とする請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２３】
前記フッ化処理部は、フッ化処理される前記被接合部材が配置されるとともに、少なくともフッ素系ガスを含むガスを介した放電により活性なフッ素を生成して前記被接合部材に照射する放電チャンバと、この放電チャンバ内を吸引して真空にする真空ポンプとを有することを特徴とする請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２４】
前記フッ化処理部は、フッ素系ガスに紫外線を照射して活性なフッ素を生成する紫外線照射手段を有していることを特徴とする請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２５】
前記フッ化処理部は、反応性のフッ化物蒸気を生成するフッ化蒸気供給手段と、フッ化される前記被接合部材を、前記フッ化蒸気供給手段が生成したフッ化物蒸気内を通過させる搬送手段とを有することを特徴と請求項１８に記載の固体接合装置。
【請求項２６】
前記還元処理部は、前記ハロゲンを離脱させる前記被接合部材を配置するチャンバと、このチャンバ内を減圧する真空ポンプと、前記チャンバに設けられ、減圧されたチャンバ内の前記被接合部材を加熱する加熱手段とを有していることを特徴とする請求項１７ないし２５のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項２７】
前記還元処理部は、前記ハロゲンを離脱させる前記被接合部材の表面に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記被接合部材を加熱する加熱手段とを有することを特徴とする請求項１７ないし２５のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項２８】
前記還元処理部は、前記ハロゲンを離脱させる前記被接合部材の表面に還元性ガスを供給する還元ガス供給手段と、前記被接合部材を加熱する加熱手段とを有することを特徴とする請求項１７ないし２５のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項２９】
前記接合処理部は、前記被接合部材を加熱する加熱部を有していることを特徴とする請求項１７ないし２８のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項３０】
前記接合処理部は、重ねた前記各被接合部材を加圧する加圧手段を有していることを特徴とする請求項１７ないし２９のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項３１】
前記接合処理部は、前記各接合部材の接合部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給源を有していることを特徴とする請求項１７ないし３０のいずれかに記載の固体接合装置。
【請求項３２】
被接合部材を配置するチャンバと、このチャンバ内を排気可能な排気手段と、前記チャンバに接続され、チャンバ内に配置した被接合部材の接合面をハロゲン化処理するハロゲン化ガスを供給するハロゲン化ガス供給手段と、前記チャンバに接続されてチャンバ内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記チャンバに設けられ、チャンバ内の前記被接合部材を加熱する加熱手段とを有することを特徴とする固体接合装置。
【請求項３３】
被接合部材を配置するチャンバと、このチャンバ内を排気可能な排気手段と、前記チャンバに接続され、チャンバ内に配置した被接合部材の接合面をハロゲン化処理するハロゲン化ガスを供給するハロゲン化ガス供給手段と、前記チャンバに接続されてチャンバ内に還元ガスを供給する還元ガス供給手段とを有することを特徴とする固体接合装置。
【請求項３４】
被接合部材を搬送する搬送手段と、この搬送手段により搬送されつつある前記被接合部材にハロゲン化ガスを供給し、被接合部材の接合面をハロゲン化処理するハロゲン化処理部と、前記搬送手段の前記ハロゲン化処理部より下手側に設けられ、搬送手段により搬送されつつある前記被接合部材のハロゲン化処理された前記接合面を還元する還元処理部と、前記搬送手段の前記還元処理部より下手側に設けられ、搬送手段により搬送されてきた前記被接合部材を他の接合部材と接合する接合処理部とを有することを特徴とする固体接合装置。