(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に照射された光の反射光のうち、前記被測定物の移動方向に対して略垂直な前記被測定物上の１ラインからの反射光を検出する一次元撮像手段と、
前記被測定物からの反射光を前記一次元撮像手段において鏡面反射で受光する場合の前記被測定物に対する入射角度を０度とし、前記一次元撮像手段の方向を正方向の角度として、前記被測定物に対する入射角度が１１０度、４５度、１５度、０度となるようにそれぞれ配置され、前記被測定物の表面を照射する、第１照明手段、第２照明手段、第３照明手段、第４照明手段と、
前記被測定物を照射する前記第１乃至第４照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、
前記第１乃至第４照明手段にそれぞれ対応して前記被測定物からの反射光の一次元情報からなる第１乃至第４変角データを所定ライン数並べて構成される第１乃至第４変角画像の強度の３次元分布データを得て、前記第２変角画像の３次元分布データを用いて前記被測定物の色演算処理を行い、前記第４変角画像の３次元分布データを用いて前記被測定物の光沢感の演算処理を行い、前記第１乃至第３変角画像の３次元分布データを用いて前記被測定物のフロップ感の演算処理を行い、前記第３変角画像の３次元分布データを用いて前記被測定物のメタリック感の演算処理を行う、評価値算出手段と、
を有することを特徴とする表面性状評価装置。
【請求項２】
前記照明手段は、白色ＬＥＤであることを特徴とする請求項１記載の表面性状評価装置。
【請求項３】
前記照明手段は、線状の光線パターンを発することを特徴とする請求項１又は２記載の表面性状評価装置。
【請求項４】
テレセントリック光学系を備えることを特徴とする請求項１から３いずれか１つに記載の表面性状評価装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、メタリックカラー塗装やパールマイカ塗装などの塗装品質及び表面性状品質を高速かつ広範囲にわたって定量的に評価する表面性状評価装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光源からの光線の入射角及び観察角の変化によって、面の色相、明度、彩度が変化するメタリックカラー塗装やパールマイカカラー塗装の塗装面を評価する装置について、特開平１１−２１１６７３号公報に開示されている。
【０００３】
この装置は、所定の位置関係に保持された２次元アレイセンサと照明とを被測定物の塗装面に対して所定の距離で正対させた状態で保持する構成を有する。そして、２次元アレイセンサと照明とを被測定物に対して相対的に移動させながら広範囲にわたって撮影を繰り返すことで、被測定物の同一点から反射された光線の出射角度がそれぞれ異なった状態での複数の画像を得、この複数の画像から被測定物の同一点の輝度値などをそれぞれ抽出することにより、変角輝度の分布を求め、これに基づいて被測定物の光学的反射性状を定量的に評価するものである。
【０００４】
しかし、この装置は、２次元アレイセンサを用いて構成されているため、撮像範囲（移動方向・幅方向）、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができないという問題を有し、実用させるための制限が多く、設定も非常に複雑であった。
【０００５】
すなわち、上記装置では、図８及び図９に示すように、広い変角情報を得るためには、２次元アレイセンサの視野角を広くする必要がある。具体的には、視野角αが８０度の２次元アレイセンサ８１を用いた場合（図８（ａ））、光源から被測定物移動方向５０に対して、４５度の角度で平行光８３，８４，８５が入射したとすると、被測定物表面８２により反射された光８３ａ，８４ａ，８５ａはそれぞれ８５度、４５度、５度で２次元アレイセンサ８１に入射する。よって、この場合は、５〜８５度の範囲の変角情報を得ることができる。
【０００６】
しかし、この２次元アレイセンサ８１を用いた場合、被測定物の幅方向５１に対しても視野角が広くなる。すなわち、図８（ｂ）に示すように、被測定物の幅方向５１に対して、中央部分を測定する場合は、光８８はアレイセンサ８１に対して直角に入射する。しかし、それぞれ視野の端に近づくにつれて、アレイセンサ８１に対する入射角度が大きくなり、視野の端では、光８６，８８はアレイセンサ８１に対して、４０度の傾きをもって入射することになる。すなわち、視野の端に近づくにつれて、入射角度の変化を持たないことが理想である視野幅方向に対しても、広い角度情報を持つことになり、評価性能が低下する。
【０００７】
また、図９に示すように、センサアレイ８１の視野角βを小さくすることによって、被測定物の幅方向の入射角度を小さくすることができる。例えば、図９（ｂ）に示すように、視野角を２０度とすると、被測定物幅方向５１の入射角については、１０度と小さくなる。しかし、このことは、同時に被測定物移動方向５０についても、角度情報を狭くすることになり、３５〜５５度までとその範囲は激減し、評価性能が低下する。すなわち、視野角を狭くして視野幅方向の性能を向上させることは、逆に移動方向の角度情報も狭くなることにつながる。
【０００８】
また、図１０に示すように被測定物の幅方向５１の性能低下を解消するために、ある程度の広がりを持った照明８３，８４，８５を用い、テレセントリックレンズ８９などの光学系を用いる方法も考えられる。この方法によれば、被測定物幅方向５１については、反射光８６，８７，８８はアレイセンサ８１に対して垂直方向に入射する（図１０（ｂ））。しかし、被測定物移動方向５０についての変角情報は、入射光８３，８４，８５の広がりの範囲内となり、さらに大幅に低下し、広い範囲にわたった計測が困難になる（図１０（ａ））。このように、２次元アレイセンサを用いたこの装置によれば、移動方向と幅方向の撮影範囲について独立して構成することはできず、被測定物移動方向に広い変角情報を得ようとすると、被測定物幅方向の測定の性能が低下する。したがって、広い角度情報を広い範囲にわたって定量的に評価することは困難であり、メタリック塗装などのすかし評価などを行なうことができない。
【０００９】
次に、図１１を参照して被測定物の移動について考える。例えば、撮影範囲のアスペクト比が１の２次元アレイセンサを用いて、１ｍ幅の被測定物を計測した場合について考えると、１回の撮像で１×１ｍの画像を取得することができる。しかしこれだけでは、被測定物の位置ごとに照明の受光角度が違う画像にすぎず、同一点について異なる変角情報を取得するためには、被測定物を移動させる必要がある。図１１（ａ）に示すように、このとき、最大角度範囲の変角情報を取得するためには、被測定物は、ライン８３から８５の位置まで、照射幅５５に等しい距離である約１ｍを移動しなければならない。したがって、撮影範囲全体について最大範囲の変角情報を取得するには、３ｍ移動する必要がある。
【００１０】
このように、より広い範囲を評価するためには、変角情報を得るための位置も相対的に離れることになる。相対的に離れていることは、移動機構部などを備えた装置にあっては撮影周期と移動の同期は比較的取りやすいため問題は少ないが、ラインスピードが変動しやすい工場ライン上に流れている被測定物を測定する場合には問題が大きい。すなわち、ラインスピードの変動が測定位置のずれとなり、被測定物の違う位置での変角情報を取得することになる。さらに、より広い範囲での評価を実現させるために撮影範囲を広くした場合には、被測定物の移動量も増大し、さらに変動量も大きくなることが想定される。つまり、これらの装置単独で工場ラインに対応することは困難であり、工場ラインにおいてこの装置を用いるためには、工場ラインの速度と撮影のタイミングとを同期させるための設備が別に必要になる。
【００１１】
また、撮影手段として用いられている２次元アレイセンサは現状では、特殊なものを除き、一般的な取り込み速度は１／６０秒（１６．７ｍｓｅｃ／測定）で撮影されるものがほとんどである。そのため、一般的な工場ラインスピード（６０ｍ/分）の場合、連続したフレームについて取り込む間に被測定物は１６．７ｍｍ移動することになり、細かいメタルムラやメタリック感などの表面性状評価は困難となる。さらに、高速ラインに用いられる場合は、実用するのはより困難で問題が多い。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明が解決しようとする技術的課題は、移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる表面性状評価装置を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段および作用・効果】
本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の表面性状評価装置を提供する。
【００１４】
表面性状評価装置は、被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され前記被測定物に照射された光の反射光を検出する一次元撮像手段と、前記被測定物に対する入射角度がそれぞれ異なるように配置された前記被測定物の表面を照射する複数の照明手段と、前記被測定物を照射する前記照明手段を時経列的に切り換える照明制御手段と、前記照明制御手段によって切り換えられ前記被測定物を照射する前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から照明光の入射の変化に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有する。
【００１５】
上記構成において、被測定物の幅方向の性能低下を考慮した一次元撮像手段の視野角を自由に設定しながらも、広い変角情報を取得できるように、複数に配置した照明手段を高速に点滅切り換えする。また、一般的に撮像手段に１次元アレイセンサ等を用いた場合、１／２００００秒ほどの高速な取り込み速度を容易に実現することもできる。よって、高速で変角情報を取得することができるため、工場ラインスピードとの同期させる手段が不要であり、ラインスピードが変動しやすい工場ラインなどでの測定においても、色情報及び変角情報をほぼ同時に評価することができる。
【００１６】
したがって、上記構成によれば、被測定物の移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、取り込み速度、被測定物の移動速度を独立して構成することが可能となる。
【００１７】
本発明の表面性状評価装置は、具体的には以下のように種々の態様で構成することができる。
【００１８】
好ましくは、前記照明手段は、白色ＬＥＤである。
【００１９】
上記構成によれば、色、光沢感などの評価において、照明手段からの光色の影響を受けることがなく、より精度が高い測定を行なうことができる。また、ＬＥＤは高速で点灯、消灯の切り換えを行なうことができ、被測定物の測定において、高速に画像の取り込みを可能にする。
【００２０】
好ましくは、前記照明手段は、線状の光線パターンを発する。
【００２１】
上記構成によれば、線状の光線によって、広範囲に亘った被測定物の測定を行なうことができる。
【００２２】
好ましくは、表面性状評価装置は、テレセントリック光学系を備える。
【００２３】
上記構成によれば、撮像手段に入射する反射光は、すべて平行光として入射するため、被測定物幅方向に対する測定において角度の影響を受けることがなく、測定の性能を向上させることができる。
【００２４】
本発明は、さらに以下の構成の表面性状評価装置を提供する。
【００２５】
表面性状評価装置は、被測定物の表面を照射する照明手段と、前記照明手段から前記被測定物に照射された光の反射光を検出し、前記反射光の受光角度が異なるように配置された複数の一次元撮像手段と、前記照明手段と前記一次元撮像手段との位置関係から異なる反射光の受光角に対する前記被測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出する評価値算出手段とを有する。
【００２６】
上記構成において、照明手段から照射された光が被測定物により反射されると、その反射角度が異なる位置に複数の１次元撮像手段が配置される。したがって、それぞれの１次元撮像素子には、同一ポイントについてそれぞれ受光角度が異なる反射光が入射し、被測定物が移動することによりその反射光に対する２次元画像が得られるため、これらの画像を用いて測定物表面の反射特性に相当する評価値を算出することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の各実施形態に係る表面性状評価装置について、図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１は、本発明の第１実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は、側面図、（ｂ）は平面図を表す。本表面性状評価装置１０は、受光角度が測定対象物２０の法線方向に対して４５度となるように配置された一次元リニアアレイセンサ（ＣＣＤリニアカメラ）１５と、ＣＣＤリニアカメラ１５への入射方向がそれぞれ異なるように配置された線状の光線パターンを発する４つの白色ＬＥＤ１１〜１４を有する。ＣＣＤリニアカメラ１５は、図１（ｂ）に示すように、被測定物２０の移動方向５０に対して垂直方向に配置される。白色ＬＥＤ１１〜１４は、受光の鏡面反射（フレネル反射）となる角度を０度とし、図１（ａ）において右側をプラス方向とすると、それぞれ第１ＬＥＤ１１が１１０度、第２ＬＥＤ１２が４５度、第３ＬＥＤ１３が１５度、第４ＬＥＤ１４が０度となるように配置されている。
【００２９】
ＣＣＤリニアカメラ１５及びＬＥＤ１１〜１４はそれぞれ、カメラ信号取り込み部１７及びＬＥＤ点滅切り換え制御部１６を介して、コンピュータで制御されており、上記の各角度に配置したＬＥＤを高速に点滅切り換え制御し測定することにより変角情報を取得する。被測定物２０は、移動部２１に固定されており、これが移動方向５０に移動することによって、ともに移動する。被測定物２０が移動しながらＣＣＤリニアカメラ１５で測定を連続的に行なうことにより２次元的な画像を取得する。これらの情報はすべてコンピュータに伝送され、取得した変角情報を用いて、色、光沢感、フロップ感、メタリック感などの評価値を演算し、結果を出力するデータ処理部として機能する。
【００３０】
図２は、図１にかかる表面性状評価装置の計測方法を説明する図である。表面性状評価装置は、被測定物２０に反射してＣＣＤリニアカメラ１５に対して入射する反射光４５に対して受光角度が異なるように配置された４つのＬＥＤ１１〜１４が設けられている。たとえば、第１のＬＥＤ１１から照射された光４１は被測定物２０に反射されて反射光４５としてＣＣＤリニアカメラ１５に入射する。このときの受光角度は、図２（ａ）の符号３１で示すようになる。同様に、第２のＬＥＤから照射された光４２は受光角度３２でＣＣＤリニアカメラ１５に入射する。このように、本表面性状評価装置は、照射するＬＥＤを切り換えることにより、異なる変角情報についての情報をとることができる。
【００３１】
一方、被測定物の幅方向５１に関しては、図２（ｂ）に示すように、視野角を調整することにより、与える角度情報の影響を小さくすることができる。すなわち、視野角αを小さくすることにより、視野の端部の反射光４６，４８に生じる角度情報の影響βを小さくすることができる。また、上述のように、被測定物の移動方向５０においてとることができる変角情報は、ＬＥＤの配置位置によって任意に設定できるため、視野角αを小さくしても、被測定物移動方向５０の変角情報が小さくなることがない。よって、被測定物の大きさや特性などに応じて被測定物幅方向５１の視野角を自由に設定することができる。
【００３２】
図３は、テレセントリック光学系を用いた変形例を示す図である。図３（ｂ）に示すように、テレセントリック光学系として、テレセントリックレンズ１９を用いることができる。テレセントリックレンズ１９を用いた場合であっても、図３（ａ）に示すように、ＣＣＤリニアカメラ１５は、被測定物移動方向５０に視野角を有さないため、テレセントリックレンズ１９の影響を受けることはない。一方、テレセントリックレンズ１９によって、ＣＣＤリニアカメラ１５に入射する反射光を平行光４６〜４８とすることができる。よって、被測定物幅方向５１の撮影範囲は小さくなるが、撮影視野の端部における角度βの影響を限りなくなくすことができる。
【００３３】
次に、図４を用いて本実施形態にかかる表面性状評価装置の計測処理の流れを説明する。まず、（１）第１ＬＥＤ１１を点灯して、ＣＣＤリニアカメラ１５で１ライン計測する。被測定物表面からの反射光の１次元情報を第１変角データ６１ａとして取得する。データ取得後、第１ＬＥＤを消灯する。次いで（２）第２ＬＥＤ１２を点灯して、ＣＣＤリニアカメラ１５で１ライン計測する。被測定物表面からの反射光の１次元情報を第２変角データ６２ａとして取得する。データ取得後、第２ＬＥＤを消灯する。（３）同様に第３ＬＥＤ１３により第３変角データ６３ａ、第４ＬＥＤ１４により第４変角データ６４ａを取得し、第１ラインにおけるデータ６０ａ取得を終了する。（４）移動部によって被測定物を移動（５０ａ）しつつ、これらの処理を任意に設定した取り込みライン数になるまで繰り返し行ない、各ラインにおけるデータ６０ｂ，６０ｃ〜６０ｎまでを取得する（図４（ａ））。（５）所定ラインまで取り込みが終了すると、それぞれのラインの第１〜第４変角データを並べ替え、それぞれ取り込みライン順に表示することにより、それぞれの変角画像６１〜６４を取得する。すなわち、図４（ｂ）に示すように第１〜第４の変角データまでが繰り返されて所定ライン数並んだデータを、各変角データごとに並べ替えた変角画像を作成する。すなわち、第１ラインの第１の変角データ６１ａを第１変角画像６１の第１ラインに移動し、第１ラインの第２の変角データ６２ａを第２変角画像６２の第１ラインに移動する。以下同様に第３変角画像６３、第４変角画像６４を作成する。
【００３４】
このようにして得られた第１〜第４の変角画像６１〜６４に基づいて、それぞれ、強度の３次元分布図を作成する。図５に任意の変角画像の３次元強度分布図を示す。右側横軸は、視野幅方向を示し、ＣＣＤリニアカメラの任意の１ラインにおける幅方向の位置を示している。手前縦軸は、ライン方向を示しており、被測定物が移動することによって得られる移動方向の位置を示している。垂直軸は輝度を示しており、ＣＣＤリニアカメラがカラーカメラである場合は、それぞれＲＧＢの３要素についてそれぞれの強度分布を作成する。３次元強度分布に基づいて、不要な範囲を除去し、ドットごとに以下の各評価値（色、光沢感、フロップ感、メタリック感）を算出する。
【００３５】
本実施形態では、被測定物の色演算処理は、第２変角画像の３次元分布データを用いて行なう。色演算は、色彩値、色ムラ、色差について演算する。
【００３６】
まず、各ドットで算出したＲＧＢ値をＣＩＥ  ＸＹＺ値に変換する。得られた各ドットのＸＹＺ値を用いて、代表的なＣＩＥ  ＬＡＢなどの均等色空間に変換する。以上の処理により、各ドット（画素）ごとに、ＣＩＥ  ＬＡＢの色彩値を持つことになる。例えば、ＣＣＤリニアカメラの画素分解能が１０２４画素で、１０２４ラインを測定したような場合など、全体画像が膨大な量の色彩値を持つ場合には、必要に応じて、特定範囲、さらには特定色などの平均化処理によりデータ数を減らし、演算処理時間を短縮することもできる。本装置では、広範囲において計測が可能であるため、メタリックや柄模様など、スポット計測では安定して計測できないような被測定物に対しても、安定した色計測が可能となる。
【００３７】
色差は、各画像で得た色彩値を基準画像の色彩値と比較することにより演算する。また、色ムラは、画像を複数に分割し、各分割部分を比較することにより、評価する。すなわち、色ムラには、全体的に大きく発生しているものや細かく発生しているものなど様々な状態が考えられるため、領域の大きさを変えることによって、色ムラの大きさを判断要素に加えた評価をすることができる。
【００３８】
本実施形態では、第４変角画像の３次元分布データを用いて、被測定物の光沢感の演算処理を行なう。光沢感は、ＪＩＳに定められている光沢度を基準として、正規化し、色彩値算出時と同様に必要に応じて全体画像もしくは特定範囲、さらには特定色などの平均化処理を行なう。各画像において得られた光沢値を基準画像の光沢値と比較することにより光沢値の差を求める。また、色ムラと同様の手法を用いて光沢ムラの評価を行なう。
【００３９】
フロップ感については、第１〜第３の変角画像の３次元分布データを用いて演算処理を行なう。フロップ感とは、入射受光の角度変化により、色相、明度、彩度などが異なって見える幾何学的メタメリズムのことであり、広く用いられるフロップ評価式により算出する。演算は、色計測と同様に各ドットで算出したフロップ値を指定範囲で平均処理などを実施することにより、広範囲のフロップ計測を実施する。また、色ムラと同様の手法によりフロップムラの評価を行なう。
【００４０】
メタリック感については、第３の変角画像の３次元分布データのドット間による輝度変化差を用いて演算処理を行なう。メタリック感のある被測定物はドット間の輝度変化差が大きくなる傾向にあり、高低差の大きい３次元分布データとなる。
【００４１】
なお、同様の処理により印刷した被測定物のコントラスト評価やエンボス加工や柚肌加工した被測定物の凹凸感、紙や不織布などのムラ評価も行なうことができる。
【００４２】
図６は、本発明の第２実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図を表す。この表面性状評価装置１０ａは、図１に係る装置と構成を大略同じとする。異なる点は、被測定物２０ａが工場ライン２１ａ上で連続的に移動しており、第１〜第４のＬＥＤ１１ａ〜１４ａにおいて、まったく同じラインを計測しない点である。ただし、第１〜第４のＬＥＤ１１ａ〜１４ａはそれぞれ２００００分の１秒ごとの高速に点滅を行ない、ＣＣＤリニアカメラもこのタイミングで撮影を行なうことが可能であるため、移動に伴う性能の低下は少なく抑えることができる。また、測定ポイントの位置と変角情報との相対関係がないため、工場ライン２１の移動速度が変化した場合であっても、変角情報に及ぼす影響がない。
【００４３】
図７は、本発明の第３実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図を表す。本表面性状評価装置１０ｂは、受光角度が測定対象物２０ｂの法線方向に対して４５度となるように配置された線状の光線パターンを発する白色ＬＥＤ１１ｂと、白色ＬＥＤ１１ｂから照射された光が測定対象物２０ｂに反射された反射光の受光角度がそれぞれ異なるように配置された４つのＣＣＤリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅを有する。それぞれのＣＣＤリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅは、被測定物２０の移動方向５０に対して垂直方向に配置される。それぞれのリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅは、白色ＬＥＤ１１ｂからの入射光の鏡面反射（フレネル反射）となる角度を０度とし、図７において右側をプラス方向とすると、それぞれ第１リニアカメラ１５ｂが１１０度、第２リニアカメラ１５ｃが４５度、第３リニアカメラ１５ｄが１５度、第４リニアカメラ１５ｅが０度となるように配置されている。
【００４４】
ＣＣＤリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅ及びＬＥＤ１１ｂはそれぞれ、カメラ信号取り込み部１７ｂ及びＬＥＤ点灯制御部１６ｂを介して、コンピュータで制御されており、ＬＥＤ１１ｂが点灯している間に上記の各角度に配置したＣＣＤリニアカメラによってそれぞれ撮影された画像によって変角情報を取得する。被測定物２０ｂは移動部２１ｂによって、移動方向５０に移動する。被測定物２０ｂが移動しながらＣＣＤリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅで測定を連続的に行なうことにより２次元的な画像を取得する。これらの情報はすべてコンピュータ１８ｂに伝送され、取得した変角情報を用いて、色、光沢感、フロップ感、メタリック感などの評価値を演算し、結果を出力するデータ処理部として機能する。測定の処理については、図１に記載の表面性状評価装置と大略同じである。
【００４５】
このように構成することにより、それぞれのリニアカメラ１５ｂ〜１５ｅによって、直接変角画像を作成することができる。
【００４６】
以上説明したように、各実施形態にかかる表面性状評価装置は、被測定物の移動方向に対して略垂直に配置され被測定物に照射された光の反射光を検出するＣＣＤリニアカメラと、被測定物に対する入射方向がそれぞれ異なるように配置された被測定物の表面を照射する複数のＬＥＤとを有し、複数のＬＥＤを切り換えながら点滅させることによって、複数の角度情報を有する角度画像を作成することができる。したがって、移動方向及び幅方向の撮像範囲、角度情報数、画像の取り込み速度、被測定物の移動速度をそれぞれ独立して構成することができる。
【００４７】
また、被測定物の表面を照射するＬＥＤと、ＬＥＤから被測定物に照射された光の反射光を検出し、反射光の受光角度が異なるように配置された複数のＣＣＤリニアカメラを備えることによっても、同様に複数の角度情報を有する角度画像を作成することができる。
【００４８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施可能である。例えば、ＬＥＤの代わりに高速で点灯・消灯できるフラッシュなどの照明手段を用いてもよく、また、白色ＬＥＤの代わりに、赤、緑、青のＬＥＤを切り換えて用いることにより、カラーカメラを用いることなく、色の評価を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の第１実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は、側面図、（ｂ）は平面図を表す。
【図２】  図１にかかる表面性状評価装置の計測方法を説明する図である。
【図３】  テレセントリック光学系を用いた変形例を示す図である。
【図４】  表面性状評価装置の計測処理の説明図である。
【図５】  任意の変角画像の３次元強度分布図を示す。
【図６】  本発明の第２実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図を表す。
【図７】  本発明の第３実施形態にかかる表面性状評価装置の構成を示す概略図である。（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図を表す。
【図８】  視野角の広い従来の装置の出射角の変化を示す説明図である。
【図９】  視野角の狭い従来の装置の出射角の変化を示す説明図である。
【図１０】  テレセントリックレンズを用いた従来の装置の出射角の変化を示す説明図である。
【図１１】  被測定物の移動速度と距離との関係を説明するための図である。
【符号の説明】
１０，１０ａ，１０ｂ  表面性状評価装置
１１  第１ＬＥＤ
１２  第２ＬＥＤ
１３  第３ＬＥＤ
１４  第４ＬＥＤ
１５，１５ａ、１５ｂ〜１５ｅ  ＣＣＤリニアカメラ
１６，１６ａ，１６ｂ  ＬＥＤ点滅切り換え制御部
１７，１７ａ，１７ｂ  カメラ信号取り込み部
２０，２０ａ，２０ｂ  被測定物
２１，２１ａ，２１ｂ  移動部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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