(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用意し、当該基準片と検査片に対して送受信検査システムで通信を行い、送受信データの比較による通信状態の良否により良否を検査する検査方法であって、
前記送受信検査システムが、前記基準片に対して通信を行い、通信可能であるときの送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定するステップと、
前記送受信検査システムが、予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、当該検査片に対して当該第１の要素に基づいて当該送受信検査システムのアンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行い、通信状態を測定するステップと、
前記測定結果で当該検査片に対する前記通信状態の良否により良否を判定するステップと、
を含むことを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査方法。
【請求項２】
請求項１記載のＲＦ−ＩＤの検査方法であって、前記検査片の前記第１の要素に基づく通信状態測定に際して、前記検査片のアンテナと前記送受信検査システムのアンテナとの距離を、前記基準片との通信で特定した前記第１の要素の通信距離と同じ距離とすることを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査方法。
【請求項３】
検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片に対して送受信検査システムで通信を行い、良否を検査する検査方法であって、
前記送受信検査システムは、電波強度を基準にして当該送受信検査システムのアンテナと検査片のアンテナとの通信距離により検査片の良否を判定する場合の、判定基準の距離のデータを設定した距離設定部、及び、当該通信距離に対応する電波強度が設定された電波強度設定部を備え、当該送受信検査システムが、検査片に対して通信を行う際に、当該距離設定部より最初の距離データを読み出すステップと、
前記送受信検査システムが、前記検査片に対して前記読み出した通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定するステップと、
前記測定結果の前記電波強度と、前記電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較するステップと、
前記比較の結果、前記測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、前記距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定のステップ及び前記比較のステップを繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が前記距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定するステップと、
を含むことを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査方法。
【請求項４】
検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用意し、当該基準片と検査片に対して通信を行い、送受信データの比較による通信状態の良否により良否を検査する検査システムであって、
通信を行うためのアンテナと、
前記アンテナを前記基準片および検査片のアンテナに対して通信させるために移動させる駆動部と、
予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、当該基準片に対して通信を行い、通信可能であるときの送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定し、当該検査片に対して当該第１の要素に基づいて当該アンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行い、通信状態を測定し、当該測定結果で当該検査片に対する前記通信状態の良否により良否を判定する処理部と、
を少なくとも有することを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査システム。
【請求項５】
請求項４記載のＲＦ−ＩＤの検検査システムであって、前記検査片の前記第１の要素に基づく通信状態測定に際して、前記駆動部が前記検査片のアンテナと前記送受信検査システムのアンテナとの距離を、前記基準片との通信で特定した前記第１の要素の通信距離と同じ距離とすることを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査システム。
【請求項６】
検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片に対して通信を行い、良否を検査する検査システムであって、
通信を行うためのアンテナと、
前記アンテナを前記検査片のアンテナに対して通信させるために移動させる駆動部と、
前記検査片からの送信状態を検出する検出手段と、
前記電波強度を基準にして前記アンテナと前記検査片のアンテナとの通信距離により検査片の良否を判定する場合の、判定基準の距離のデータを設定した距離設定部、及び、当該通信距離に対応する電波強度が設定された電波強度設定部を備え、検査片に対して通信を行う際に、当該距離設定部より最初の距離データを読み出し、当該検査片に対して読み出した通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定し、当該測定結果の電波強度と、電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較し、比較の結果、測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定及び比較を繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定する処理部と、
を少なくとも有することを特徴とするＲＦ−ＩＤの検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製造されるＲＦ−ＩＤの良否を検査する検査方法および検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＲＦ−ＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）と称される非接触型識別媒体（非接触型ＩＣカード等）に関する技術が急速に進歩してきており、その使用も多岐にわたっている。このようなＲＦ−ＩＤは、リーダ・ライタとの間で性能に応じた通信距離が定められており、通信測定の向上、および歩留りの向上が望まれている。
【０００３】
従来、ＲＦ−ＩＤは、フィルムベース上にアンテナコイルが形成され、これにＩＣモジュールが搭載されたものとして、これらが製造段階で所定大のフィルムベース上に所定数形成されるのが一般的となっている。そして、単体とされる前に単一のＩＣモジュールおよびアンテナコイル毎に対して通信距離の測定を行い、製品の良否を検査することが行われている。通信距離の測定は、リーダ・ライタとの間でその性能に応じた定められた通信距離を確保されているか否かで良否判断がなされる。一般に、設定される通信距離はある程度の余裕を含んでおり、例えば、性能が５０ｃｍのものに対して、良否判定基準を４５ｃｍとしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような通信距離の検査を行う場合、ＲＦ−ＩＤリーダ・ライタと、ＲＦ−ＩＤアンテナの通信状態は、ノイズ、周辺物質、温度、湿度等の周囲の環境や、ＲＦ−ＩＤリーダ・ライタ自体の出力変化により測定結果が変動して安定した性能測定を行うことができない。例えば、当該ＲＦ−ＩＤリーダ・ライタが周囲の環境の影響を受けた場合に、同じＲＦ−ＩＤを測定しても常に同一の通信距離測定結果が得られず、良否判定にミスを生じることとなる。すなわち、本来良品であるにもかかわらずに不良品と判定される場合があって、歩留りの低下を招くという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記課題に鑑みなされたもので、通信距離の測定の向上、および歩留りの向上を図るＲＦ−ＩＤの検査方法および検査システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明では、検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用意し、当該基準片と検査片に対して送受信検査システムで通信を行い、送受信データの比較による通信状態の良否により良否を検査する検査方法であって、前記送受信検査システムが、前記基準片に対して通信を行い、通信可能であるときの送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定するステップと、前記送受信検査システムが、予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、当該検査片に対して当該第１の要素に基づいて当該送受信検査システムのアンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行い、通信状態を測定するステップと、前記測定結果で当該検査片に対する前記通信状態の良否により良否を判定するステップと、を含む構成とする。
【０００７】
請求項２の発明では、「前記検査片の前記第１の要素に基づく通信状態測定に際して、前記検査片のアンテナと前記送受信検査システムのアンテナとの距離を、前記基準片との通信で特定した前記第１の要素の通信距離と同じ距離とする」構成である。
【０００８】
請求項３の発明では、検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片に対して送受信検査システムで通信を行い、良否を検査する検査方法であって、前記送受信検査システムは、電波強度を基準にして当該送受信検査システムのアンテナと検査片のアンテナとの通信距離により検査片の良否を判定する場合の、判定基準の距離のデータを設定した距離設定部、及び、当該通信距離に対応する電波強度が設定された電波強度設定部を備え、当該送受信検査システムが、検査片に対して通信を行う際に、当該距離設定部より最初の距離データを読み出すステップと、前記送受信検査システムが、前記検査片に対して前記読み出した通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定するステップと、前記測定結果の前記電波強度と、前記電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較するステップと、前記比較の結果、前記測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、前記距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定のステップ及び前記比較のステップを繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が前記距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定するステップと、を含む構成とする。
【０００９】
請求項４の発明では、検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用意し、当該基準片と検査片に対して通信を行い、送受信データの比較による通信状態の良否により良否を検査する検査システムであって、通信を行うためのアンテナと、前記アンテナを前記基準片および検査片のアンテナに対して通信させるために移動させる駆動部と、予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、当該基準片に対して通信を行い、通信可能であるときの送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定し、当該検査片に対して当該第１の要素に基づいて当該アンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行い、通信状態を測定し、当該測定結果で当該検査片に対する前記通信状態の良否により良否を判定する処理部と、を少なくとも有する構成とする。
また、請求項５の発明では、請求項４記載のＲＦ−ＩＤの検検査システムであって、前記検査片の前記第１の要素に基づく通信状態測定に際して、前記駆動部が前記検査片のアンテナと前記送受信検査システムのアンテナとの距離を、前記基準片との通信で特定した前記第１の要素の通信距離と同じ距離とする構成である。
【００１０】
請求項６の発明では、検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片に対して通信を行い、良否を検査する検査システムであって、通信を行うためのアンテナと、前記アンテナを前記検査片のアンテナに対して通信させるために移動させる駆動部と、前記検査片からの送信状態を検出する検出手段と、前記電波強度を基準にして前記アンテナと前記検査片のアンテナとの通信距離により検査片の良否を判定する場合の、判定基準の距離のデータを設定した距離設定部、及び、当該通信距離に対応する電波強度が設定された電波強度設定部を備え、検査片に対して通信を行う際に、当該距離設定部より最初の距離データを読み出し、当該検査片に対して読み出した通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定し、当該測定結果の電波強度と、電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較し、比較の結果、測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定及び比較を繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定する処理部と、を少なくとも有する構成とする。
【００１１】
このように、検査対象のＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用い、基準片との通信結果における送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定し、一方、予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、検査片との通信検査で第１の要素に基づいて当該送受信検査システムのアンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行うことで通信可能か否かの判定する。すなわち、基準片が周囲環境に影響されないことから、送受信検査システムが周囲環境に影響されても検査片に対してどの程度に影響されているかを特定することが可能となり、通信距離の測定の向上を図ることが可能となる。その結果、本来良品であるにもかかわらず、周囲環境の影響で不良品とされることがなく、歩留りの向上を図ることが可能となるものである。
【００１２】
また、電波強度を基準にして当該送受信検査システムのアンテナと検査片のアンテナとの通信距離により検査片の良否を判定する場合の、判定基準の距離のデータを設定した距離設定部、及び、当該通信距離に対応する電波強度が設定された電波強度設定部を備え、検査片に対して距離設定部より読み出した最初の通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定し、測定結果の電波強度と、電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較し、比較の結果、測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定して比較を繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定する。すなわち、検査片の通信状態を電波強度と通信距離の相対的な関係で判別することが可能となることから、通信距離の測定の向上、ひいては歩留りの向上を図ることが可能となるものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図により説明する。ここで、本発明に係るＲＦ−ＩＤは、非接触型ＩＣカードはもちろん、非接触型のラベル、タグ等の非接触で識別情報等のデータ送受が行える媒体である。
図１に、本発明の第１実施形態における検査システムのブロック構成図を示す。図１において、ＲＦ−ＩＤの検査システム１１Ａは、検査対象であるＩＣモジュール、アンテナを備えるＲＦ−ＩＤの検査片と同一構成で周囲環境に影響されない基準片１２、駆動構造手段１３および検査処理手段１４を含んで構成される。この駆動構造手段１３および検査処理手段１４により送受信検査システムが構成される。なお、図面上、上記基準片１２は、検査時においては検査対象のＲＦ−ＩＤの検査片１５と同じになる。
【００１４】
上記基準片１２（検査片１５）は、処理部２１、メモリ２２および復調部２３で構成されるＩＣモジュールＭと、アンテナ２４により構成される。アンテナ２５は、後述するように例えば平面上でコイル状に巻回されたもので、送受信検査システムからの信号を受信し、または当該ＲＦ−ＩＤより送受信検査システムにデータを送信する役割をなす。
【００１５】
上記ＩＣモジュールＭにおいて、メモリ２２は当該カードとしての種々の情報を記憶するためのものである。上記復調部２３は、アンテナ２４で受信した電波から制御信号、データを復調し、適宜コード変換する。そして、処理部２１は、プログラムにより、受信した制御信号、データをメモリ２２に記憶させ、またメモリに記憶したデータを送信する処理を行う。
【００１６】
上記駆動構造手段１３は、搬送駆動部３１およびアンテナ駆動部３２で構成され、上記ＲＦ−ＩＤ１２（１５）との通信を行うアンテナ３３を搭載する。上記搬送駆動部３１は、検査片１５が製造段階でフィルムベース上に所定数形成された状態で当該検査を行う際に、該当の検査片を検査位置に搬送移動させるためのものである。上記アンテナ駆動部３２は、図３で説明するが、アンテナ３３を基準片１２や検査片１５の方向に移動させるもので、当該基準片１２および検査片１５間で水平移動させ、また当該基準片１２および検査片１５のアンテナ２４に対して上下動させる。
【００１７】
上記検査処理手段１４は、検査片の良否判定を行う処理部を構成するものとして、制御部４１、検査処理部４２、データメモリ４３、補正設定部４４を備え、電力増幅部４５、変調部４６、発信部４７、検波部４８、データ変換部４９、搬送駆動制御部５０、アンテナ駆動制御部５１、インターフェース（ＩＦ）部５２および表示手段５３を備える。
【００１８】
上記制御部４１は、この検査処理手段１４の全体を統括制御するもので、これに応じたプログラムがセットされている。上記検査処理部４２は、詳細は図２で説明するが、プログラムによる検査ルーチンで基準片１２および検査片１５に対する検査処理、判定を行うものある。上記データメモリ４３は、種々のデータを記憶すると共に、適宜検査判定のための一時記憶領域（バッファであって、検査処理部４２に備えさせてもよい）としての役割をもなす。上記種々のデータには、例えば、基準片１２のメモリ２２に記憶させるためのランダム的な検査識別情報や、検査片１５毎のメモリ２２に記憶させるための情報（例えば識別情報）、基準片１２に対する通信距離の基準データ等がある。
【００１９】
上記補正設定部４４は、基本的に検査片１５の検査時に基準片１２との関係で導き出された補正値（補正距離）が設定されているもので、補正テーブル６１を含み、適宜時間設定部６２を含む。補正テーブル６１は、図５で一例を示すが、予め基準片１２と、検査片１５との通信可能状態（アンテナ２４，３３間）における第１の要素としての通信距離を測定しておき、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成したものであって、検査片１５の通信状態測定に際して、補正距離で補正した通信距離で検査片１５の通信測定を行うためのものである。上記時間設定部６２は、本システム１１Ａが基準片１２に対する通信距離特定を所定時間毎に行う場合の時間が基準データとして設定されるためのものである。
【００２０】
上記データ変換部４９は、基準片１２または検査片１５に対して情報を送信する場合の情報を例えば「１」、「０」に変換し、また当該基準片１２および検査片１５からの送信データを例えば「１」、「０」に変換する。上記変調部４６は、発信部４７からの発信出力に基づいて上記データ変換部４９で変換された情報を例えばＦＳＫ（周波数偏位変調）変調波に変調する。上記電力増幅部４５は、変調部４６で変調された変調波を電力増幅するもので、この増幅された変調波がアンテナ３３より送信されるものである。そして、検波部４８は、アンテナ３３で受信した基準片１２または検査片１５からの送信電波を検波して復調する。
【００２１】
一方、上記搬送駆動制御部５０は、検査片１５を順次検査するために搬送する上述の搬送駆動部３１を駆動させるための制御信号を制御手段４１からの指令に基づき生成してＩＦ部５２を介して当該搬送駆動部３１に送出する。また、上記アンテナ駆動制御部５１は、基準片１２または検査片１５に対してアンテナ３３を何れかの方に移動させ、対象のアンテナ２４との距離（通信距離）を制御する信号を制御手段４１の指令に基づいて生成し、ＩＦ部５２を介してアンテナ駆動部３２に送出するものである。
【００２２】
ここで、図２に、図１の検査処理部の一例のブロック構成図を示す。図２において、検査処理部４２は、プログラム処理の機能として、処理手段７１、受信データ取得手段７２、送信データ取得手段７３、補正データ取得手段７４、基準データ取得手段７５および判定手段７６を備える。上記処理手段７１は、当該検査処理部４２全体の処理を統括するもので、適宜補正設定部４４の時間設定部６２に設定された時間間隔で基準片１２に対する測定を、制御部４１を介して行わせる。上記受信データ取得手段７２は、基準片１２または検査片１５から送信されてくるデータが受信されたときに取得するもので、適宜データメモリ４３に記憶させる（当該受信データ取得手段７２がバッファを備える場合にはバッファに一時格納しておいてもよい）。
【００２３】
上記送信データ取得手段７３は、基準片１２または検査片１５に通信によりメモリ２２に書き込ませる識別情報等をデータメモリ４３より読み出して取得する。上記補正データ取得手段７４は、第１の要素として基準片１２との通信で特定した通信距離に対する補正値を取得するもので、検査片１５に対する通信距離に反映させるためのものである。上記基準データ取得手段７５は、基準片１２に対して通信を行う場合に、当該基準片１２のアンテナ２４と駆動構造手段１３のアンテナ３３との距離（通信距離）のデータをデータメモリ４３より取得し、また補正設定部４４の時間設定部６２に設定されている時間データを取得するもので、基準片１２に対する通信を設定時間毎に行わせるためのものである。
【００２４】
そして、判定手段７６は、上記取得されて送信された送信データと、基準片１２または検査片１５より送信されてきた受信データとを比較し、一致していれば良品と判定し、不一致のときには不良品と判定するもので、送信データが基準片１２および検査片１５のメモリ２２に実際に書き込まれたか否かをデータ比較による通信状態の良否としてとらえたものである。
【００２５】
次に、図３に、図１の検査システムの概略図を示す。図３に示す検査システム１１Ａにおいて、検査片１５が連続されて巻回されたロール状検査片８１（図４で説明する）より図示しない上記搬送駆動部３１により順次測定台８２Ａ，８２Ｂ上に搬送される。この測定台８２Ａ，８２Ｂは、測定位置部分で当該検査片１５の長さよりやや広い間隙が設けられており、この間隙部分に当該検査片１５の搬送方向と垂直方向に基準片１２（図４で説明する）を載置させた載置台８３が配置される。この載置台８３は当該基準片１２が載置された部分が穿孔されており、上記測定台８２Ａ，８２Ｂと共に、接地等されてシールドされている。
【００２６】
一方、上記間隙の下方には、アンテナ駆動部３２を構成するＹ方向駆動機構８４およびＺ方向駆動機構８５が配置され、Ｚ方向駆動機構８５はＹ方向駆動機構８４と共にＹ方向に移動自在となっている。そして、Ｚ方向駆動機構８５上には上記アンテナ３３が載置されたものである。なお、図３では、上述の検査処理手段１４は省略してある。
【００２７】
そこで、図４に、検査対象の検査片および使用される基準片の説明図を示す。図４（Ａ）は検査片であり、図４（Ｂ）は基準片を示したものである。図４（Ａ）において、検査片１５が連続されたロール状検査片８１は、フィルムベース上に所定間隔で形成されたもので、例えば印刷技術によりアンテナコイルを一筆書き状に形成してアンテナ２４が形成され、当該アンテナ２４の両端にＩＣモジュールＭが電気的接続されたものである。
【００２８】
図４（Ｂ）に示す基準片１２は、上述のように周囲環境に影響されないものとして、例えばガラスはエポキシ系樹脂等のベース９１上に、例えばフォトリソグラフィによりグランドＧおよびアンテナ２４となるコイルが形成され、グランドＧ上にＩＣモジュールＭが搭載される。そして、ＩＣモジュールＭとアンテナ２４の両端をワイヤ９２Ａ，９２Ｂによりボンディングされたものである。このように構成することにより、ノイズ、周辺物質、温度、湿度等の周囲の環境からの影響を回避または軽減させることができるものである。
【００２９】
また、図５に、図１の検査システムで用いられる補正テーブルの一例の説明図を示す。図５に示す補正テーブル６１は、予め作成されるもので、基準片１２に対する通信可能距離（Ｒ：単位はｃｍ）と、検査片に対する通信可能距離（Ｌ：単位はｃｍ）との傾向の一例を示したものである。ここで、基準片１２の本来の通信可能距離は上記周囲環境に影響されないものであり、その通信可能距離Ｒは、当該検査システムにおけるアンテナ３３等への周囲環境からの影響に応じて変化したものである。例えば、ある環境下における当該アンテナ３３で基準片１２を測定したときの通信可能距離Ｒが３５ｃｍであったときに、検査片（補正テーブル作成のために用意されたもので、実際の検査対象と同等の検査片）の当該環境下の通信可能距離Ｌが３０ｃｍであった場合である。また、別の環境下でのアンテナ３３における基準片１２の通信可能距離Ｒが例えば５０ｃｍであったときに当該環境下での検査片の通信可能距離Ｌが４７ｃｍであった場合のものである。
【００３０】
したがって、これらの傾向より、補正値（ｒ：単位はｃｍ）が導き出され、検査片１５に対する通信距離を考えるときに、その周囲環境毎の基準片１２の通信可能距離を参考にして当該補正値で補正させることで周囲環境が変化しても各検査片の通信距離をそれぞれ同レベルで測定することができることになるものである。例えば、基準片１２に対する通信可能距離の測定で３５ｃｍの結果が得られた場合、次に検査片１５に対する通信可能距離の測定で５ｃｍの補正値を補正させるものである。
【００３１】
次に、図６および図７に、図１の検査システムにおける検査方法のフローチャートを示す。図６において、まず、制御部４１の指令により、搬送駆動制御部５０により対象の検査片１５が測定位置に搬送されたときに、アンテナ駆動制御部５１が基準片１２に対してアンテナ３３を下方に位置させる駆動量（Ｙ）をアンテナ駆動部３２のＹ方向駆動機構８４に出力すると共に、当該アンテナ３３の基準片１２（アンテナ２４）との距離（Ｒ１）を定める駆動量（Ｚ１）をＺ方向駆動機構８５に出力する（ステップ（Ｓ）１）。この場合の駆動量（Ｙ）は定められた一定量であり、駆動量（Ｚ１）は検査処理部４１の基準データ取得手段７５がデータメモリ４３より取得した基準データである。
【００３２】
そこで、検査処理部４２における送信データ取得手段７３でデータメモリ４３より基準片１２のメモリ２２に書き込ませる基準片用の送信データを取得し、変調部４６で変調して電力増幅部４５で増幅した送信データをアンテナ３３より当該基準片１２に送信する（Ｓ２）。基準片１２では、アンテナ２４で受信した電波を復調し、そのデータをメモリ２２に記憶する。記憶したデータは読み出されてアンテナ２４より送信される。そこで、基準片１２からの返信データの電波をアンテナ３３で受信し、検波部４８で復調してデータ変換された後に一端データメモリ４３に記憶される。そして、検査処理部４２において、受信データ取得手段７２がデータメモリ４３より上記受信したデータを取得し、また送信データ取得手段７３が上記送信データを取得して判定手段７６によりマッチングがなされる（Ｓ３）。
【００３３】
マッチングの結果（Ｓ４）、一致しなければ、アンテナ駆動制御部５１において上記のようにアンテナ３３と基準片１２との次の距離（Ｒ（ｘ））の駆動量（Ｚ（ｘ））をアンテナ駆動部３２に出力する（Ｓ５）。そこで、上記同様に基準片用の送信データを再度基準片１２に送信し（Ｓ６）、当該基準片１２からの返信データを入力し、上記のように判定手段７６が送信データと受信データとのマッチングを行う（Ｓ７）。マッチングの結果において（Ｓ８）、マッチングするまでＳ５〜Ｓ７を繰り返す。
【００３４】
そして、Ｓ４またはＳ７において、マッチングの結果として一致すると、当該一致したときのアンテナ２４，３３間の距離（駆動量（Ｚ（ｚ）で特定できる）を通信可能距離（Ｒ）として特定し、データメモリ４３に記憶させるものである（Ｓ９）。
【００３５】
続いて、図７において、検査処理部４２における処理手段７１がデータメモリ４３より、上記特定した基準片１２との距離（Ｒ）を読み込み、その距離（Ｒ）に基づいて補正データ取得手段７４が補正テーブル６１より補正値（ｒ）を取得する（Ｓ１１）。この補正値（ｒ）は制御部４１を介してアンテナ駆動制御部５１に送出される。アンテナ駆動制御部５１では、制御部４１の指令により検査片１５に対してアンテナ３３を下方に位置させる駆動量（Ｙ）をアンテナ駆動部３２のＹ方向駆動機構８４に出力すると共に、当該アンテナ３３の検査片１５（アンテナ２４）との距離（Ｌ＝Ｒ＋ｒ）を定める駆動量（Ｚ（ｘ））をＺ方向駆動機構８５に出力する（Ｓ１２）。
【００３６】
そこで、上記同様に個別の検査片用の送信データ（識別情報）をデータメモリ４３より取得して検査片１５に送信し（Ｓ１３）、当該検査片１５からの返信データを受信して、上記のように判定手段７６が送信データと受信データとのマッチングを行う（Ｓ１４）。マッチングの結果において（Ｓ１５）、一致したときには良品と判定し（Ｓ１６）、不一致のときには不良品と判定し（Ｓ１７）、これらの判定結果をデータメモリ４３に記憶させる（Ｓ１８）。
【００３７】
そして、次の検査片の測定がある場合には（Ｓ１９）、搬送駆動制御部５０が搬送駆動部３１に対して次の検査片１５をアンテナ３３の上方に位置させるべき駆動量を出力し（Ｓ２０）、上記Ｓ１３〜Ｓ１８を繰り返して総ての検査片に対して良否を判定してデータメモリ４３に記憶させる。総ての検査片の良否がデータメモリ４３に記憶されたときに、検査結果を適宜表示手段５３に表示させるものである（Ｓ２１）。なお、検査結果の表示を、検査片１５毎、または所定数の検査片１５の検査結果毎に行ってもよい。
【００３８】
このように、基準片１２が周囲環境に影響されないことから、検査システム１１Ａが周囲環境に影響されても検査片１５に対してどの程度に影響されているかを特定することができ、その補正距離をふまえた通信距離で測定することから、通信距離測定の向上を図ることができるものである。そして、その結果として、本来良品であるにもかかわらず、周囲環境の影響で不良品とされることがなく、歩留りの向上を図ることができるものである。
【００３９】
なお、上記実施形態では、図６に示す基準片１２への通信距離の測定を、最初に行った場合を示したが、上記補正設定部４４の時間設定部６２の設定時間毎に行って距離（Ｒ）の特定をその都度行ってもよく、また検査片１５が不良品と判定された毎に基準片１２への測定を行ってもよい。このようにすることによって、時事変化する周囲環境からの影響をよりいっそう回避させることができるものである。
【００４０】
ところで、上記実施形態は、補正テーブル６１を使用して補正した場合を示したが、当該補正テーブルを使用しなくとも行うことができる。すなわち、図６で距離（Ｒ）を特定した後、図７において、Ｓ１２〜Ｓ２１（Ｓ１１は不要）のステップを行うときに、Ｓ１２におけるアンテナ３３と検査片１５との距離を（Ｌ＝Ｒ）とするものである。これは、特に基準片１２と検査片となる対象のものがその通信可能距離の傾向で差がなく、近似している場合である。
【００４１】
次に、図８に、本発明の第２実施形態における検査システムのブロック構成図を示す。図８において、検査システム１１Ｂは、図１に示す検査システム１１Ａにおける駆動構造手段１３のアンテナ３３の近傍に電波強度としての電界強度を計測する検出手段であるプローブ１０１を設け、検査処理手段１４において上記補正設定部４４に代えて設定部１０２を設けたもので、他の構成は図１と同様であり、説明を省略する。なお、図のＲＦ−ＩＤは検査片１５となる。
【００４２】
上記プローブ１０１は、検査片１５からの送信データ出力時の電界強度を検出するもので、検出値はデータ変換部４９により「１」、「０」のデータに変換され、データメモリ４３に記憶される。また、上記設定部１０２は、距離設定部１１１および電界強度設定部１１２により構成される。距離設定部１１１は、アンテナ３３と検査片１５のアンテナ２４との距離を一定にして電界強度の測定による当該検査片１５の良否を判定する場合の距離が設定されると共に、電界強度を基準にして通信距離により検査片１５の良否を判定する場合の判定基準の距離のデータが設定されたものである。
【００４３】
また、上記電界強度設定部１１２は、検査片１５からのデータ送信による電界強度を基準にして通信距離の測定による検査片１５の良否を判定する場合の電界強度が設定されると共に、通信距離を一定にして電界強度の測定による検査片１５の良否を判定する場合の基準となる電界強度のデータが設定されたものである。
【００４４】
続いて、図９に、図８の検査処理部の一例のブロック構成図を示す。図９に示す検査処理部４２は、図２に示す検査処理部４２の補正データ取得手段７４および基準データ取得手段７５に代えて、距離データ取得手段１２１および電界強度データ取得手段１２２を設けたものである。この距離データ取得手段１２１は、上記設定部１０２の距離設定部１１１より基準とする距離データを取得するもので、電界強度データ取得手段１２２は電界強度設定部１１２より基準とする電界強度データを取得するものである。
【００４５】
そこで、図１０に、図８の検査システムにおける検査方法のフローチャートを示す。図１０は、アンテナ３３と検査片１５のアンテナ２４との距離を一定にして電界強度を測定して検査片１５の良否を判定させる場合を示している。図１０において、まず、アンテナ駆動制御部５１では、当該アンテナ３３の検査片１５（アンテナ２４）との距離（Ｌ）を距離データ取得手段１２１が距離設定部１１１より読み出し、これに応じた駆動量（Ｚ（ｘ））をＺ方向駆動機構８５に出力する（Ｓ３１）。
【００４６】
そこで、上記同様に個別の検査片用の送信データ（識別情報）をデータメモリ４３より取得して検査片１５に送信し（Ｓ３２）、当該検査片１５からの返信データを受信する際に、プローブ１０１により電界強度を測定する（Ｓ３３）。この測定された電界強度は一端データメモリ４３に記憶される。そして、判定手段７６が電界強度設定部１１２より電界強度データ取得手段１２２で読み込ませた基準となる電界強度と、上記測定した電界強度を比較し（Ｓ３４）、設定値の基準となる電界強度より大であれば当該検査片を良品と判定し（Ｓ３５）、小であれば不良品と判定し（Ｓ３６）、これらの判定結果をデータメモリ４３に記憶させる（Ｓ３７）。
【００４７】
そして、次の検査片の測定がある場合には（Ｓ３８）、搬送駆動制御部５０が搬送駆動部３１に対して次の検査片１５をアンテナ３３の上方に位置させるべき駆動量を出力し（Ｓ３９）、上記Ｓ３２〜Ｓ３７を繰り返して総ての検査片に対して良否を判定してデータメモリ４３に記憶させる。総ての検査片の良否がデータメモリ４３に記憶されたときに、検査結果を適宜表示手段５３に表示させるものである（Ｓ４０）。なお、検査結果の表示を、検査片１５毎、または所定数の検査片１５の検査結果毎に行ってもよい。
【００４８】
続いて、図１１に、図８の検査システムにおける他の検査方法のフローチャートを示す。図１１は、検査片１５からの送信による電界強度を基準にして通信距離距離の測定により検査片１５の良否を判定させる場合を示している。図１１において、まず、アンテナ駆動制御部５１では、アンテナ３３の検査片１５（アンテナ２４）との最初の距離（Ｌ（１））を距離データ取得手段１２１が距離設定部１１１より読み出し、これに応じた駆動量（Ｚ（ｘ））をＺ方向駆動機構８５に出力する（Ｓ４１）。
【００４９】
そこで、上記同様に個別の検査片用の送信データ（識別情報）をデータメモリ４３より取得して検査片１５に送信し（Ｓ４２）、当該検査片１５からの返信データを受信する際に、プローブ１０１により電界強度を測定する（Ｓ４３）。そして、判定手段７６が電界強度設定部１１２より電界強度データ取得手段１２２で読み込ませた基準となる電界強度と、上記測定した電界強度を比較し（Ｓ４４）、設定値の基準となる電界強度より小であれば当該アンテナ３３の検査片１５（アンテナ２４）との次の距離（Ｌ（ｘ））を距離データ取得手段１２１が距離設定部１１１より読み出し、これに応じた駆動量（Ｚ（ｘ））をＺ方向駆動機構８５に出力する（Ｓ４５）。
【００５０】
続いて、上記同様に個別の検査片用の送信データ（識別情報）をデータメモリ４３より取得して検査片１５に送信し（Ｓ４６）、当該検査片１５からの返信データを受信する際に、プローブ１０１により電界強度を測定する（Ｓ４７）。そして、判定手段７６が電界強度設定部１１２より電界強度データ取得手段１２２で読み込ませた基準となる電界強度と、上記測定した電界強度を比較し（Ｓ４８）、設定値の基準となる電界強度より小であれば、総ての設定距離でＳ４５〜Ｓ４８を繰り返し、総ての設定距離で測定した電界強度が基準より小であれば後述の如く当該検査片１５は不良品と判定される（Ｓ５２）。
【００５１】
一方、Ｓ４４およびＳ４８において、測定した電界強度が基準より大であれば、そのときの通信距離（Ｌ（ｘ））が距離設定部１１１で設定されて基準の距離より大か否かが判断される（Ｓ５０）。そして、通信距離（Ｌ（ｘ））が基準より大であれば当該検査片１５は良品であると判定され（Ｓ５１）、小であれば不良品と判定され（Ｓ５２）、これらの判定結果をデータメモリ４３に記憶させる（Ｓ５３）。
【００５２】
そして、次の検査片の測定がある場合には（Ｓ５４）、搬送駆動制御部５０が搬送駆動部３１に対して次の検査片１５をアンテナ３３の上方に位置させるべき駆動量を出力し（Ｓ５５）、上記Ｓ４２〜Ｓ５３を繰り返して総ての検査片に対して良否を判定してデータメモリ４３に記憶させる。総ての検査片の良否がデータメモリ４３に記憶されたときに、検査結果を適宜表示手段５３に表示させるものである（Ｓ５６）。なお、検査結果の表示を、検査片１５毎、または所定数の検査片１５の検査結果毎に行ってもよい。
【００５３】
このように、検査片の通信状態を電波強度と通信距離の相対的な関係で良否判定することができることから、通信距離の測定の向上、ひいては歩留りの向上を図ることができるものである。なお、上記第２実施形態は、電波強度の一つとして電界強度を測定する場合を示したが、磁界強度を測定することとしてもよい。
【００５４】
【発明の効果】
以上のように、請求項１，２，４，５の発明によれば、検査対象のＲＦ−ＩＤの検査片とＩＣモジュール、アンテナを備える点で同一構成であり、グランド上にＩＣモジュールが搭載されて周囲環境に影響されない基準片を用い、基準片との通信結果における送受信検査システムのアンテナと基準片のアンテナとの間の最大距離である第１の要素を特定し、一方、予め前記基準片の前記第１の要素の通信距離と、前記検査片と同等の検査片であるＲＦ−ＩＤとの通信可能状態の通信距離を測定して、互いの傾向による補正距離をテーブルとして作成しておき、検査片との通信検査で第１の要素に基づいて当該送受信検査システムのアンテナと当該検査片のアンテナとの距離を定め、当該距離の通信距離に上記テーブルで得られる上記補正距離を反映させて補正した通信距離で通信を行うことで通信可能か否かの判定することとすることにより、通信距離の測定の向上を図ることができ、歩留りの向上を図ることができるものである。
【００５５】
請求項３，６の発明によれば、検査片に対して距離設定部より読み出した最初の通信距離で通信を行い、当該検査片からの送信の電波強度を測定し、測定結果の電波強度と、電波強度設定部の基準となる電波強度とを比較し、比較の結果、測定した電波強度が基準の電波強度より小の場合には、距離設定部より読み出した次の距離データから順次前記電波強度の測定して比較を繰り返し、測定した電波強度が基準の電波強度より大の場合にはそのときの通信距離が距離設定部の基準の距離より大であるか否かを判定し、当該通信距離が基準の距離より大であれば当該検査片を良品とし、小であれば不良品と判定することとすることにより、通信距離の測定の向上、ひいては歩留りの向上を図ることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における検査システムのブロック構成図である。
【図２】図１の検査処理部の一例のブロック構成図である。
【図３】図１の検査システムの概略図である。
【図４】検査対象の検査片および使用される基準片の説明図である。
【図５】図１の検査システムで用いられる補正テーブルの一例の説明図である。
【図６】図１の検査システムにおける検査方法のフローチャート（１）である。
【図７】図１の検査システムにおける検査方法のフローチャート（２）である。
【図８】本発明の第２実施形態における検査システムのブロック構成図である。
【図９】図８の検査処理部の一例のブロック構成図である。
【図１０】図８の検査システムにおける検査方法のフローチャートである。
【図１１】図８の検査システムにおける他の検査方法のフローチャートである。
【符号の説明】
１１Ａ，１１Ｂ        ＲＦ−ＩＤの検査システム
１２                  基準片
１３                  駆動構造手段
１４                  検査処理手段
１５                  検査片
２４，３３            アンテナ
４１                  制御部
４２                  検査処理部
４３                  データメモリ
４４                  補正設定部
４９                  データ変換部
５０                  搬送駆動制御部
５１                  アンテナ駆動制御部
５２                  ＩＦ部
５３                  表示部
６１                  補正テーブル
６２                  時間設定部
７１                  処理手段
７６                  判定手段
８１                  ロール状検査片
８２Ａ，８２Ｂ        測定台
８４                  Ｙ方向駆動機構
８５                  Ｚ方向駆動機構
１０１                プローブ
１０２                設定部
１１１                距離設定部
１１２                電界強度設定部
【図１】
0004731060.tif 000002
【図２】
0004731060.tif 000003
【図３】
0004731060.tif 000004
【図４】
0004731060.tif 000005
【図５】
0004731060.tif 000006
【図６】
0004731060.tif 000007
【図７】
0004731060.tif 000008
【図８】
0004731060.tif 000009
【図９】
0004731060.tif 000010
【図１０】
0004731060.tif 000011
【図１１】
0004731060.tif 000012