【手続補正書】
【提出日】平成15年10月6日(2003.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも増幅器からなる増幅回路と少なくとも水晶振動子とコンデンサーからなる帰還回路で構成される水晶発振回路を具えて構成される水晶発振器で、
前記水晶振動子は屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は上面と下面と側面とを有し、前記音叉形状の音叉腕に溝が設けられ、前記溝と前記音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極で、かつ、前記音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成し、
前記水晶発振器は前記音叉形状の屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２が基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１より大きく、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が高調波モード振動のフイガーオブメリットＭｎより大きい屈曲水晶振動子を具えて構成されていることを特徴とする水晶発振器。
【請求項２】
音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動と２次高調波モード振動の周波数安定係数をそれぞれＳ１とＳ２とするとき、Ｓ１とＳ２がＳ１＝ｒ１／２Ｑ１２とＳ２＝ｒ２／２Ｑ２２で与えられ、Ｓ１＜Ｓ２の関係を有することを特徴とする請求項１に記載の水晶発振器。
【請求項３】
増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と高調波モード振動の増幅率αｎとの比が帰還回路の高調波モード振動の帰還率βｎと基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数であることを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の水晶発振器。
【請求項４】
増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が増幅回路の高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬｎ｜と高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒｎとの比より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数であることを特徴とする請求項１、又は請求項２に記載の水晶発振器。
【請求項５】
幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕を具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面にはそれぞれ厚みの方向に対抗して溝が設けられ、前記溝は第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、各々の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、Ｗ３と等しいか、又は部分幅Ｗ１、Ｗ３より大きくなるように形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、前記２電極端子に直流電圧を印加したときに、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向とが同じで、更に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向とが同じで、かつ、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の内側に発生する電界の方向と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の外側に発生する電界の方向とは互いに方向が反対で、前記電界の方向は大略ｘ軸（電気軸）の方向に一致し、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕のそれぞれ厚み方向に対抗して設けられた溝に配置された電極の、対抗する溝電極と溝電極との間には前記溝電極に対して垂直に発生する電界が厚み方向に存在しないように電極が配置され、音叉腕に生ずる慣性モーメントが大きくなるように、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．７９より小さくなるように溝が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の水晶発振器。
【請求項６】
、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５〜０．８５の範囲内にあり、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．０５〜０．７９の範囲内に、且つ、音叉腕又は音叉腕と音叉基部に設けられた溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．６８の範囲内にあることを特徴とする請求項５に記載の水晶発振器。
【請求項７】
音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動の基準周波数が３２ｋＨｚ〜３３．５ｋＨｚの間にあり、前記屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の容量比ｒ２が基本波モード振動の容量比ｒ１より大きく、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２が３０より小さいことを特徴とする請求項１から請求項６の何れかに記載の水晶発振器。
【請求項８】
水晶振動子と増幅器とコンデンサーと抵抗素子とを具えて構成される水晶発振器の製造方法で、
前記水晶振動子は屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕から構成され、各音叉腕は上面と下面と側面とを有し、第１音叉腕の上下面の少なくとも一面に１個の溝と第２音叉腕の上下面の少なくとも一面に１個の溝をそれぞれ設ける工程、と
前記１個の溝と第１音叉腕と第２音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極である２電極端子を構成し、かつ、第１音叉腕と第２音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成する工程、と
前記屈曲水晶振動子の共振、又は発振周波数を調整する工程、と
前記音叉形状の屈曲水晶振動子を表面実装型、又は円筒型のユニットに収納する工程、とを有し、
第１音叉腕と第２音叉腕が逆相で振動するように、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された前記電極とが接続されていて、
前記水晶発振器は前記音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比ｒ１が２次高調波モード振動の容量比ｒ２より小さく、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が高調波モード振動のフイガーオブメリットＭｎより大きい屈曲水晶振動子を具えて構成されていることを特徴とする水晶発振器の製造方法。
【請求項９】
音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動と２次高調波モード振動の周波数安定係数をそれぞれＳ１とＳ２とするとき、Ｓ１とＳ２がＳ１＝ｒ１／２Ｑ１２とＳ２＝ｒ２／２Ｑ２２で与えられ、Ｓ１＜Ｓ２の関係を有することを特徴とする請求項８に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１０】
水晶発振器は増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路から構成され、前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と高調波モード振動の増幅率αｎとの比が帰還回路の高調波モード振動の帰還率βｎと基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように構成されていることを特徴とする請求項８、又は請求項９に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１１】
水晶発振器は増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路から構成され、前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が増幅回路の高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬｎ｜と高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒｎとの比より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数であることを特徴とする請求項８、又は請求項９に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１２】
第１音叉腕と第２音叉腕の上面と下面に設けられた各々１個の溝は溝の厚みｔ１がｔ１＝０である貫通穴であることを特徴とする請求項９、又は請求項１０、又は請求項１１に記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１３】
音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハに形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は別々の工程により形成され、かつ、前記音叉腕は前記溝が形成される前に形成されることを特徴とする請求項８から請求項１２の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１４】
音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハに形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は別々の工程により形成され、かつ、前記溝は前記音叉腕が形成される前に形成されることを特徴とする請求項８から請求項１２の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１５】
音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハに形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は同時に形成されることを特徴とする請求項８から請求項１２の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１６】
音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハ内に形成され、前記屈曲水晶振動子の基本波モード振動の基準周波数が３２．７６８ｋＨｚで、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−９０００ＰＰＭ〜＋５０００ＰＰＭの範囲内にあるように水晶ウエハ内で周波数が調整されることを特徴とする請求項８から請求項１５の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１７】
基本波モード振動の基準周波数が、３２．７６８ｋＨｚである音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子を収納する容器の固定部に固定した後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−１００ＰＰＭ〜＋１００ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記発振周波数が水晶発振回路の出力周波数であることを特徴とする請求項８から請求項１５の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【請求項１８】
基本波モード振動の基準周波数が、３２．７６８ｋＨｚである音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子を収納するユニットの固定部に固定した後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−９５０ＰＰＭ〜＋９５０ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記周波数の調整後に、前記屈曲水晶振動子はケースと蓋となるユニットに真空中で封止され、その封止後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−５０ＰＰＭ〜＋５０ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記発振周波数が水晶発振回路の出力周波数であることを特徴とする請求項８から請求項１５の何れかに記載の水晶発振器の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
即ち、本発明の水晶発振器の第１の態様は、少なくとも増幅器からなる増幅回路と少なくとも水晶振動子とコンデンサーからなる帰還回路で構成される水晶発振回路を具えて構成される水晶発振器で、前記水晶振動子は屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は上面と下面と側面とを有し、前記音叉形状の音叉腕に溝が設けられ、前記溝と前記音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極で、かつ、前記音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成し、前記水晶発振器は前記音叉形状の屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２が基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１より大きく、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が高調波モード振動のフイガーオブメリットＭｎより大きい屈曲水晶振動子を具えて構成されている水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第２の態様は、音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動と２次高調波モード振動の周波数安定係数をそれぞれＳ１とＳ２とするとき、Ｓ１とＳ２がＳ１＝ｒ１／２Ｑ１２とＳ２＝ｒ２／２Ｑ２２で与えられ、Ｓ１＜Ｓ２の関係を有する第１の態様に記載の水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第３の態様は、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と高調波モード振動の増幅率αｎとの比が帰還回路の高調波モード振動の帰還率βｎと基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数である第１の態様、又は第２の態様に記載の水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第４の態様は、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が増幅回路の高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬｎ｜と高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒｎとの比より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数である第１の態様、又は第２の態様に記載の水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第５の態様は、幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕を具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面にはそれぞれ厚みの方向に対抗して溝が設けられ、前記溝は第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、各々の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、Ｗ３と等しいか、又は部分幅Ｗ１、Ｗ３より大きくなるように形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、前記２電極端子に直流電圧を印加したときに、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向とが同じで、更に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極に垂直に発生する電界の方向とが同じで、かつ、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の内側に発生する電界の方向と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の外側に発生する電界の方向とは互いに方向が反対で、前記電界の方向は大略ｘ軸（電気軸）の方向に一致し、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕のそれぞれ厚み方向に対抗して設けられた溝に配置された電極の、対抗する溝電極と溝電極との間には前記溝電極に対して垂直に発生する電界が厚み方向に存在しないように電極が配置され、音叉腕に生ずる慣性モーメントが大きくなるように、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．７９より小さくなるように溝が形成されている第１の態様から第４の態様の何れかに記載の水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第６の態様は、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５〜０．８５の範囲内にあり、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．０５〜０．７９の範囲内に、且つ、音叉腕又は音叉腕と音叉基部に設けられた溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．６８の範囲内にある第５の態様に記載の水晶発振器である。
本発明の水晶発振器の第７の態様は、音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動の基準周波数が３２ｋＨｚ〜３３．５ｋＨｚの間にあり、前記屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の容量比ｒ２が基本波モード振動の容量比ｒ１より大きく、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２が３０より小さい第１の態様から第６の態様の何れかに記載の水晶発振器である。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の水晶発振器の製造方法の第１の態様は、水晶振動子と増幅器とコンデンサーと抵抗素子とを具えて構成される水晶発振器の製造方法で、前記水晶振動子は屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕から構成され、各音叉腕は上面と下面と側面とを有し、第１音叉腕の上下面の少なくとも一面に１個の溝と第２音叉腕の上下面の少なくとも一面に１個の溝をそれぞれ設ける工程、と前記１個の溝と第１音叉腕と第２音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極である２電極端子を構成し、かつ、第１音叉腕と第２音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成する工程、と前記屈曲水晶振動子の共振、又は発振周波数を調整する工程、と前記音叉形状の屈曲水晶振動子を表面実装型、又は円筒型のユニットに収納する工程、とを有し、第１音叉腕と第２音叉腕が逆相で振動するように、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の少なくとも一面に設けられた溝に配置された前記電極とが接続されていて、前記水晶発振器は前記音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動の容量比ｒ１が２次高調波モード振動の容量比ｒ２より小さく、かつ、基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が高調波モード振動のフイガーオブメリットＭｎより大きい屈曲水晶振動子を具えて構成されている水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第２の態様は、音叉形状の屈曲水晶振動子の基本波モード振動と２次高調波モード振動の周波数安定係数をそれぞれＳ１とＳ２とするとき、Ｓ１とＳ２がＳ１＝ｒ１／２Ｑ１２とＳ２＝ｒ２／２Ｑ２２で与えられ、Ｓ１＜Ｓ２の関係を有する第１の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第３の態様は、水晶発振器は増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路から構成され、前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と高調波モード振動の増幅率αｎとの比が帰還回路の高調波モード振動の帰還率βｎと基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように構成されている第１の態様、又は第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第４の態様は、水晶発振器は増幅回路と帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路から構成され、前記水晶発振回路の増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が増幅回路の高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬｎ｜と高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒｎとの比より大きくなるように構成され、音叉形状の屈曲水晶振動子を具えて構成される前記水晶発振回路の出力信号が基本波モード振動の発振周波数である第１の態様、又は第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第５の態様は、第１音叉腕と第２音叉腕の上面と下面に設けられた各々１個の溝は溝の厚みｔ１がｔ１＝０である貫通穴である第２の態様、又は第３の態様、又は第４の態様に記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第６の態様は、音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハ内に形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は別々の工程により形成され、かつ、前記音叉腕は前記溝が形成される前に形成される第１の態様から第５の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第７の態様は、音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハに形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は別々の工程により形成され、かつ、前記溝は前記音叉腕が形成される前に形成される第１の態様から第５の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第８の態様は、音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハに形成され、前記屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記音叉腕と前記溝は同時に形成される第１の態様から第５の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第９の態様は、音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子が水晶ウエハ内に形成され、前記屈曲水晶振動子の基本波モード振動の基準周波数が３２．７６８ｋＨｚで、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−９０００ＰＰＭ〜＋５０００ＰＰＭの範囲内にあるように水晶ウエハ内で周波数が調整される第１の態様から第８の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第１０の態様は、基本波モード振動の基準周波数が、３２．７６８ｋＨｚである音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子を収納する容器の固定部に固定した後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−１００ＰＰＭ〜＋１００ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記発振周波数が水晶発振回路の出力周波数である第１の態様から第８の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。
本発明の水晶発振器の製造方法の第１１の態様は、基本波モード振動の基準周波数が、３２．７６８ｋＨｚである音叉腕と音叉基部とを具えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子を収納するユニットの固定部に固定した後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−９５０ＰＰＭ〜＋９５０ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記周波数の調整後に、前記屈曲水晶振動子はケースと蓋となるユニットに真空中で封止され、その封止後に、前記屈曲水晶振動子の発振周波数が基準周波数に対して、−５０ＰＰＭ〜＋５０ＰＰＭの範囲内にあるように周波数が調整され、前記発振周波数が水晶発振回路の出力周波数である第１の態様から第８の態様の何れかに記載の水晶発振器の製造方法である。