(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の欠陥部分の画像を自動取得する手段を有する観察装置を有し、該観察装置により取得した画像に含まれる前記欠陥を種類別に自動分類する欠陥自動分類装置を複数有する欠陥自動観察分類システムであって、
前記観察装置による観察画像を処理する欠陥自動分類装置を選択する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項２】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置と選択された前記欠陥自動分類装置との組み合わせを提示する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項３】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置の処理能力と、
前記観察装置の観察結果を処理する前記欠陥自動分類装置の処理能力の合計との差を最小にする選択結果を提示する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項４】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、さらに前記観察装置と前記欠陥自動分類装置の組み合わせ変更可能である
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項５】
請求項４に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置と前記欠陥自動分類装置とのうち、実行されていない装置を前記組み合わせの表示画面に表示する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項６】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置で設定された撮影条件に対応する過去の処理履歴に基づいて実行する処理に要する時間又は単位時間当たりの処理能力の予測値を表示する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項７】
請求項６に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、算出した前記予測値に基づいて、１台の前記観察装置に対して遅れることなく前記欠陥の種類別に自動分類するのに必要な前記欠陥自動分類装置を提示する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項８】
請求項６に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記予測値は、前記観察装置及び前記欠陥自動分類装置毎に算出される
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項９】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、処理に使用する前記欠陥自動分類装置の台数を最小にする組み合わせが選択される
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項１０】
請求項１に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置又は前記欠陥自動分類装置における処理の実行順序を示す優先度を設定する手段を有している
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、前記観察装置と前記欠陥自動分類装置の第１の組み合わせと、前記第１の組み合わせに含まれる装置に設定された優先度より低い優先度の処理を実行中の装置を含む、前記観察装置と前記欠陥自動分類装置の第２の組み合わせがある場合に、前記第１の組み合わせに含まれる欠陥自動分類装置よりも処理能力が高い第２の欠陥自動分類装置を前記第２の組み合わせから選択して使用する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項１２】
請求項１０に記載する欠陥自動観察分類システムにおいて、設定された前記優先度に基づいて前記観察装置と前記欠陥自動分類装置の組み合わせが変更された場合に、当該変更に伴って変化した終了時刻の予想値を表示する手段を有する
ことを特徴とする欠陥自動観察分類システム。
【請求項１３】
試料の欠陥の画像を自動取得する観察装置を有し、該観察装置により取得した画像を用いて欠陥を種類別に自動分類する欠陥自動分類装置を複数有する欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法であって、
前記画像の自動取得に関する条件を設定するステップと、
前記設定と過去の履歴に基づいて、前記観察装置および前記欠陥自動分類装置が処理に要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力を算出するステップと、
算出した前記処理時間又は前記単位時間当たりの処理能力に基づいて前記観察装置が出力した画像を処理する前記欠陥自動分類装置を選択するステップと
を有することを特徴とする欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法。
【請求項１４】
欠陥の画像を自動取得する観察装置であって、前記画像を種類別に自動分類する処理を行う複数の欠陥自動分類装置に接続された観察装置又は当該観察装置に接続されたコンピュータにおいて実行されるプログラムであって、
前記欠陥の画像を取得するために設定される観察条件において、前記観察装置が要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力の予測値と、前記欠陥分類装置の処理能力とに基づいて、前記観察装置と前記観察結果を処理する前記欠陥自動分類装置との組み合わせを選択することを特徴とするプログラム。
【請求項１５】
欠陥の画像を自動取得する手段を有し、
前記画像に含まれる欠陥の種類を自動分類する処理を行う複数の欠陥自動分類装置に接続された観察装置であって、
前記画像の取得に関する条件を設定する手段と、
設定された前記条件で前記画像を取得する場合に要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力を予測する手段と、
予測された前記処理時間又は前記単位時間当たりの処理能力と、前記欠陥自動分類装置の処理能力とに基づいて前記欠陥自動分類装置を選択する手段と、
を有することを特徴とする観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は欠陥自動観察分類システムに関し、特に、半導体製造工程において発生する欠陥画像を観察・取得し、欠陥の種類別に自動分類する欠陥自動観察分類システム、欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法、プログラム、及び観察装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の歩留りを高めるためには、半導体製造工程において発生する欠陥を早期に発見し、欠陥対策を施すことが重要である。近年、半導体の微細化にともない、歩留に影響を与える欠陥も多様化しており、確認すべき欠陥数、種類ともに増大している。
【０００３】
そこで、欠陥画像を自動的に取得するＡｕｔｏｍａｔｉｃ Ｄｅｆｅｃｔ Ｒｅｖｉｅｗ（以下、「ＡＤＲ」と称する。）、取得した欠陥画像をもとに欠陥の種類別に自動分類するＡｕｔｏｍａｔｉｃ Ｄｅｆｅｃｔ Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ（以下、「ＡＤＣ」と称する。）機能を有するＡＤＲ／ＡＤＣ欠陥検査システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−１２７１２９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載のＡＤＲ／ＡＤＣシステムにおいて、ＡＤＲによる画像取得終了から次の欠陥の画像取得開始までにＡＤＣによる欠陥種別分類処理が完了しない場合、ＡＤＣの処理がボトルネックとなり、ＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが低下するという問題があった。
【０００５】
近年、試料ステージの高速化やオートフォーカス機能の高速化など撮像系の改良、あるいは、スループットを重視した高速モードの導入などにより、ＡＤＲに関する処理時間は短縮される傾向にある。従って、ＡＤＲに対してＡＤＣの処理が追いつかない事例が発生しているという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、ＡＤＣの遅れによるＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループット低下を防止することができる欠陥自動観察分類システム、欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法、プログラム、及び観察装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によれば、試料の欠陥部分の画像を自動取得する手段を有する観察装置（「欠陥自動観察装置」，「ＡＤＲ装置」）を有し、該観察装置により取得した画像に含まれる前記欠陥を種類別に自動分類する欠陥自動分類装置（「ＡＤＣ装置」）を複数有する欠陥自動観察分類システムであって、前記観察装置による観察画像を処理する欠陥自動分類装置を選択する手段を有することを特徴とする欠陥自動観察分類システムが提供される。
【０００８】
前記欠陥自動観察分類システム全体のスループットが最速となる前記ＡＤＲ装置と前記ＡＤＣ装置との組合せを提示する手段又は前記ＡＤＲ装置のスループットと前記ＡＤＣ装置のスループットとの差を最小にする組合せを提示する手段を有するのが好ましい。
【０００９】
前記ＡＤＣ装置の選択に関するＧＵＩ表示における手動での変更に応じて、設定自体が変更されることを特徴とする。この場合に、前記ＡＤＲ装置と前記ＡＤＣ装置とのうち、実行されていない装置を前記ＧＵＩに表示させることを特徴とする。これにより、実行されていないＡＤＲとＡＤＣを表示することにより、上述のような手動での選択対象が簡単にわかる。
【００１０】
前記欠陥自動観察装置と前記欠陥自動分類装置とのそれぞれの機能に関して、これから実行する処理に要する時間を、設定された撮影条件に対応する過去の処理履歴に基づいて予測値を算出して提示する手段を有することを特徴とする。算出した前記予想値に基づいて、１台のＡＤＲ装置に対して遅れることなくＡＤＣ処理するのに必要なＡＤＣ装置を決定して提示する手段を有するのが好ましい。前記予測値を、各ＡＤＲ／ＡＤＣのそれぞれが備える情報処理装置のスペックの違いによる処理時間の差異を考慮して予想することを特徴とする。これにより、データが取得されるたびに最新のデータにより更新されるため、ＰＣの交換やソフトウェアのバージョンアップによる処理時間の変化に柔軟に対応できる。
【００１１】
前記情報処理装置のいずれを使用するかに関しては、１）使用するＰＣの台数を最小にする組み合わせであって能力の高い情報処理装置を選択する組み合わせと、２）能力に関するオーバースペックができるだけ少なくなるようにして、無駄を省くようにする組み合わせとから選択されることを特徴とする。
【００１２】
前記ＡＤＲ装置と前記ＡＤＣ装置との少なくともいずれか一方の機能を実行する際の処理の順番を示す優先度を設定する機能を有していることを特徴とする。優先度が高い処理の順から優先的に処理する。
【００１３】
優先度が高い第１のＡＤＲ／ＡＤＣシステムによる処理を実行するにあたって、現在実行中のＡＤＲ／ＡＤＣシステムであって優先度が低い第２のＡＤＲ／ＡＤＣシステムの中から、前記第１のＡＤＲ／ＡＤＣにおける第１のＡＤＣ装置よりも処理能力が高い第２のＡＤＣ装置を前記第２のＡＤＲ／ＡＤＣシステムから選択して使用する制御を行うことを特徴とする。
【００１４】
この際に、前記第２のＡＤＲ／ＡＤＣシステムにおける前記第２のＡＤＣ装置の処理は中断に関連する前記第２のＡＤＲ／ＡＤＣシステムの処理終了時刻の遅延を予想し、予測される終了時刻の変化を表示する手段を有することを特徴とする。
【００１５】
これにより、ユーザは、変更等に関連する時間に関する情報を知ることができる。
【００１６】
本発明の他の観点によれば、試料の欠陥の画像を自動取得する観察装置を有し、該観察装置により取得した画像を用いて欠陥を種類別に自動分類する欠陥自動分類装置を複数有する欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法であって、前記画像の自動取得に関する条件を設定するステップと、前記設定と過去の履歴に基づいて、前記観察装置および前記欠陥自動分類装置が処理に要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力を算出するステップと、算出した前記処理時間又は前記単位時間当たりの処理能力に基づいて前記観察装置が出力した画像を処理する前記欠陥自動分類装置を選択するステップとを有することを特徴とする欠陥自動観察分類システムにおける装置の選択方法が提供される。
また、欠陥の画像を自動取得する観察装置であって、前記画像を種類別に自動分類する処理を行う複数の欠陥自動分類装置に接続された観察装置又は当該観察装置に接続されたコンピュータにおいて実行されるプログラムであって、前記欠陥の画像を取得するために設定される観察条件において、前記観察装置が要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力の予測値と、前記欠陥分類装置の処理能力とに基づいて、前記観察装置と前記観察結果を処理する前記欠陥自動分類装置との組み合わせを選択することを特徴とするプログラムが提供される。
また、欠陥の画像を自動取得する手段を有し、前記画像に含まれる欠陥の種類を自動分類する処理を行う複数の欠陥自動分類装置に接続された観察装置であって、前記画像の取得に関する条件を設定する手段と、設定された前記条件で前記画像を取得する場合に要する処理時間又は単位時間当たりの処理能力を予測する手段と、予測された前記処理時間又は前記単位時間当たりの処理能力と、前記欠陥自動分類装置の処理能力とに基づいて前記欠陥自動分類装置を選択する手段と、を有することを特徴とする観察装置が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による欠陥自動観察分類システムによれば、一つのＡＤＲに対して必要な台数のＡＤＣを接続することにより、ＡＤＲに対してＡＤＣの処理が追いつかないためにＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが低下するのを防止できる。この際、過去の処理履歴から各種条件での処理時間を推定し、その推定値に基づき、必要な台数のＡＤＣを知ることができる。過去の処理履歴から各種条件での処理時間を推定するため、推定の精度が高くなる上に、推定に要する処理時間も短くなるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本明細書において、欠陥自動取得装置をＡＤＲ、欠陥自動分類装置をＡＤＣと称する。以下、本発明の一実施の形態による欠陥自動観察分類技術について図面を参照しつつ説明を行う。図１は、本実施の形態による欠陥自動観察分類に用いるＡＤＲ／ＡＤＣシステムの一構成例を示す図である。図２はＡＤＲ／ＡＤＣシステムの基本構成例を示すブロック図である。図３はＳＥＭ式の画像撮像部の基本構成を示す断面図である。
【００１９】
図２に示すように、本実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣシステムは、画像撮像部２０２と、画像データベース２０３と、ＡＤＲ処理部２０４と、ＡＤＣ処理部２０５と、全体制御部２０１とを有している。画像撮像部２０２は、全体制御部２０１およびＡＤＲ処理部２０４からの命令、情報により欠陥画像を撮像し、画像データベース２０３に欠陥画像に関連する画像データを保存する。ＡＤＣ処理部２０５は、全体制御部２０１からの命令により、画像データベース２０３内に保存されている画像を欠陥の種類別に分類する。
【００２０】
図３は、ＳＥＭ式の画像撮像部２０２（図２）の断面図であり、電子銃３０１より照射された電子ビームは、試料ステージ３０６に載せられて位置制御された試料３０５に焦点を結ぶように、集束レンズ３０２および対物レンズ３０４により集束され、照射される。
【００２１】
電子ビームが照射された試料３０５からは二次電子や反射電子が発生し、これらの電子は、検出器３０３により検出される。検出器３０３により検出された電子は、電気信号に変換され、さらに画像信号に変換される。
【００２２】
図４は、１台のＡＤＲ４０１に対してｎ台のＡＤＣ（＃１）４０２、（＃２）４０３、…、（＃ｎ）４０４が接続されている構成例を示すブロック図である。例えば、ＡＤＲシステムが、１時間当たり１８００欠陥の画像を取得できるとした場合、ＡＤＲ４０１のスループットは１８００ＤＰＨとなる。ここでは、スループットの単位として、１時間当たりに処理可能な欠陥数をＤＰＨで表す。このとき、ＡＤＣ１台当たりのスループットが４００ＤＰＨの場合、ＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットとして１８００ＤＰＨに維持するためには、５台以上（４００ＤＰＨ×５台→２０００ＤＰＨ≧１８００ＤＰＨ）のＡＤＣが必要となる。
【００２３】
本実施の形態では、１台のＡＤＲ４０１、ＡＤＣ４０２をそれぞれパーソナルコンピュータ（ＰＣ）を使用して実現することにする。上記の例の場合には、ＡＤＲ処理用ＰＣ１台と、ＡＤＣ処理用ＰＣ５台の合計６台のＰＣで構成されるＡＤＲ／ＡＤＣシステムとなる。
【００２４】
図１は、本実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣシステムの構成例であって、ｍ台のＡＤＲ１０１、１０２、１０３、…に対してｎ台のＡＤＣ１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、１０９…を接続した例を示すブロック図である。図１では、ＡＤＲ１０１に対して２台のＡＤＣ１０４・１０５が、ＡＤＲ１０２に対して３台のＡＤＣ１０６〜１０８が接続されているが、これは例示であり、接続の組合せは任意であり、例えば後述の方法により、スループットが最速となる組合せにより接続することができる。スループットが最速となる組合せを決定するためには、予想処理時間の正確な算出が必要である。
【００２５】
標準的なＡＤＲでは、広い視野の低倍率欠陥画像と正常パターンである低倍率参照画像を取得し、これらの画像から欠陥位置を検出して、その欠陥位置を中心に高倍率欠陥画像を取得する。これに対して周期的なパターンを対象とする場合には、その周期性を利用することにより、低倍率参照画像を取得せずに低倍率欠陥画像のみから欠陥位置を検出して、高倍率欠陥画像を取得する高速モードを利用できる。さらに、欠陥位置情報が正確である場合には、低倍率画像を取得せずに直接高倍率画像のみを取得する最高速モードもある。尚、各画像を取得する際のオートフォーカスの種類や有無、ＳＥＭ画像の場合には画像積算枚数の違いによりスループットは変動する。
【００２６】
また、ＡＤＣの処理時間もＡＤＲの条件に応じて異なる。その他、使用するＰＣのスペック、特にＣＰＵ及び搭載されているメモリ容量の違いも、ＡＤＲおよびＡＤＣの処理時間に影響を与える。このようにモードや設定により処理時間が大きく異なるＡＤＲ／ＡＤＣシステムにおいて、その処理時間を正確に予想する方法の一例として、過去の処理履歴から予想する方法を、図５を参照して説明する。
【００２７】
図５は、過去の処理履歴から処理時間を推定するためのＧＵＩの例を示す図である。図５に示すように、ＧＵＩ５０１は、設定内容と過去の処理履歴とから算出したＡＤＲ／ＡＤＣシステムにおける予想時間を設定および表示する。符号５０２は、ＡＤＲモードを設定する領域である。図５に示す例では、低倍率欠陥画像と、低倍率参照画像と、高倍率欠陥画像と、の３種類の画像を取得するモードを標準モードとしている。低倍率参照画像を取得せずに低倍率欠陥画像及び高倍率欠陥画像のみを取得するモードを高速モードとし、低倍率欠陥画像及び低倍率参照画像は取得せずに高倍率欠陥画像のみを取得するモードを最高速モードとして設定する。図５では、高速モードが選択され表示されている。符号５０３は、画像撮像条件を設定する領域である。撮影条件としてのフォーカスはＯＮとＯＦＦと“−”（画像取得なし）と、を設定可能である。撮影条件としての加算枚数は、ＳＥＭ画像の場合の画像加算枚数を設定する。符号５０４では、処理時間算出の対象となる最新の履歴を欠陥数で設定する。例えば図のように“１００”と設定した場合には、最新の処理事例から１００欠陥分の処理事例に基づいて処理時間を算出する。
【００２８】
符号５０５で示す領域においては、ＡＤＲ処理時間を過去の履歴から算出して表示する。ＡＤＲ平均、最大、最小のそれぞれの算出値の単位は、ＤＰＨあるいは秒／欠陥が選択できる。
【００２９】
符号５０６で示す領域においては、ＡＤＣ処理時間を過去の履歴から算出して表示する。算出値の単位はＤＰＨあるいは秒／欠陥が選択できる。このような過去の処理履歴からの処理時間の予測値を、各ＡＤＲ／ＡＤＣ単位、本実施例ではＰＣ単位で算出することにより、設定条件の違いによる処理時間の差異だけでなく、ＰＣのスペックの違いによる処理時間の差異を含めて正確に予想することが可能となる。
【００３０】
また、対象履歴５０４は、最新の処理履歴から何欠陥分だけ遡って処理時間算出の対象とするかを表しており、データが取得されるたびに最新のデータにより更新されるため、ＰＣの交換やソフトウェアのバージョンアップによる処理時間の変化に柔軟に対応できる。
【００３１】
例えば、５０５または５０６で示す領域で、最大、最小の差が極端に大きい場合は、ＰＣの交換やソフトウェアのバージョンアップなどにより、処理時間が大幅に変動したと推定できる。このような場合には、５０４の対象履歴を小さく設定し直すことにより、変動後の処理実績のみが対象となるので処理時間をより正確に予想できる。
【００３２】
図５に示す表示においては、以上の設定に基づいて予想時間を算出し、１台のＡＤＲに対して、遅れることなくＡＤＣ処理するのに必要なＡＤＣの台数を決定して以下に示すように提示することができる。
【００３３】
図６は、複数台のＡＤＲ／ＡＤＣシステムが導入されており、これから実行しようとするＡＤＲ／ＡＤＣに関して、スループットが最速となるＡＤＣの組合せを表示するＧＵＩ表示画面６０１の例である。符号６０２は、後述するＡＤＲ／ＡＤＣ処理の優先度を設定する領域である。符号６０３は、ＡＤＲ／ＡＤＣ対象の欠陥数（図では３００）と予想処理時間（図では１０分）、予想終了時刻（図ではＰＭ３：００）を表示する領域である。符号６０４は、予想スループットの表示単位を設定する領域である（図ではＤＰＨ）。符号６０５は、６００ＤＰＨのＡＤＲ＃１に対して、４００ＤＰＨのＡＤＣ＃１、３００ＤＰＨのＡＤＣ＃２が既に実行中であることを表している。
【００３４】
符号６０６は、これから実行する１８００ＤＰＨのＡＤＲ＃２に対して、ＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが最速となるＡＤＣの組合せを提示している。ＡＤＲ＃２の予想スループットが１８００ＤＰＨであるため、ＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが１８００ＤＰＨ以下に低下しないようにするためには、ＡＤＣの予想スループットの合計が１８００ＤＰＨ以上になるような組合せを選択する必要がある。この例では、通信等のオーバーヘッド時間を最小化するために、接続するＰＣの台数が最小となるような組合せを選択するアルゴリズムを採用している。すなわち、処理能力が高い（ＤＰＨ単位で表示している場合には、ＤＰＨの数値が大きい）ＡＤＣから順に選択しているため、４台目のＡＤＣとしてＡＤＣ＃７ではなくＡＤＣ＃６が選択されている。
【００３５】
これとは別のアルゴリズム、例えばＡＤＲのスループットとＡＤＣのスループットとの差を最小にする条件にすると、４台目のＡＤＣとしてＡＤＣ＃６ではなくＡＤＣ＃７が選択される。また、このＡＤＣの選択に関しては、ＧＵＩ上で矢印６０７の接続先を変えることにより、ユーザが手動で変更することも可能である。ＡＤＣの選択に関する手動での変更に応じて、設定自体が変更される。符号６０８で示す領域は、実行されていないＡＤＲとＡＤＣ、すなわちＡＤＲ＃３とＡＤＣ＃７とを表している。実行されていないＡＤＲとＡＤＣを表示することにより、上述のような手動での選択対象が簡単にわかる。尚、例えば７台のＰＣのいずれを使用するかに関しては、１）使用するＰＣの台数を最小にする組み合わせであって能力の高いＰＣを選択する組み合わせと、２）能力に関するオーバースペックができるだけ少なくなるようにして、無駄を省くようにする組み合わせとから選択可能である。
【００３６】
以上のようにして、使用するＡＤＲ／ＡＤＣの組合せを決定し、設定した後に、符号６０９で示す実行ボタンを押すことにより、ＡＤＲ／ＡＤＣによる処理が開始される。
【００３７】
図７は、本実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣ処理に用いるＡＤＲ／ＡＤＣの組合せを決定する処理の流れを示すフローチャート図である。まず、ステップＳ１において、ＡＤＲモードの設定を行う。次いで、ステップＳ２において画像撮影条件の設定を行う。ステップＳ３において、処理事例数の設定行う。ステップＳ４において、ステップＳ１〜３までの設定に基づいて、ＡＤＲ処理時間（スループット）を過去の履歴から検索し、適宜修正して算出する。ステップＳ５において、ＡＤＲスループットに遅れることなくＡＤＣ処理をするために必要なＡＤＣの組み合わせを決定する。
【００３８】
次に、ＡＤＲ／ＡＤＣ処理の優先度に関して、図８を参照しつつ説明を行う。画面７０１は、図６と同様に複数台のＡＤＲ／ＡＤＣシステムが導入されており、これから実行しようとするＡＤＲ／ＡＤＣのスループットが最速となるＡＤＣの組合せを表示するＧＵＩである。符号７０２は、ＡＤＲ／ＡＤＣの優先度を設定する領域であり、図８の例では優先度を高に設定している。その他、欠陥数、処理時間、終了時間が示される。
【００３９】
符号７０３は、既に実行中のＡＤＲ＃１と、ＡＤＣ＃１、ＡＤＣ＃２の組み合わせを表しており、優先度は中に設定されている。符号７０４は、既に実行中のＡＤＲ＃２と、ＡＤＣ＃３、ＡＤＣ＃４、ＡＤＣ＃５、ＡＤＣ＃６の組み合わせを表しており、優先度は低である。
【００４０】
符号７０６は、これから実行する予定の処理であって、優先度が高に設定されているＡＤＲ＃３とＡＤＣ＃７の組み合わせを示しており、ＡＤＲ＃３の予想スループットが７００ＤＰＨであり、スループットが２００ＤＰＨであって現在処理中でないＡＤＣ＃７だけでは、ＡＤＲに対してＡＤＣ処理が追いつかないことがわかる。そこで、優先度が低いＡＤＣ＃３に関連する処理を中断し、優先度が高いＡＤＲ＃３に対してＡＤＣ＃３を使用することを提示している。
【００４１】
本実施例では、優先度が高いＡＤＲ／ＡＤＣをこれから優先的に実行するために、現在実行中のＡＤＲ／ＡＤＣであっても優先度が最も低いＡＤＲ／ＡＤＣの中から、処理能力が高い（ＤＰＨ単位で表示の場合はその数値が大きい）順に選択するアルゴリズムを採用している。従って、ＡＤＣ＃３、ＡＤＣ＃４、ＡＤＣ＃５、ＡＤＣ＃６の中から優先度が低く、かつ、ＤＰＨの高いＡＤＣ＃３が選択される。これにともない、ＡＤＲ＃２に対するＡＤＣ＃３の処理は中断されるため、ＡＤＲ＃２に関する終了時刻が遅くなる。この遅延にともなう予想終了時刻の変化を示したのが符号７０５の表示である。符号７０５は、ＡＤＲ＃２に関する処理の予定時間がＰＭ３：００からＰＭ３：１０に１０分間遅くなるように変更されたことを示している。このように予定時間からの変更があった場合には、例えばアラームによりユーザに変更を知らせるのが好ましい。本実施例では、ＡＤＲに対して一つのＡＤＣでは処理が追いつかずにＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが低下する条件でも、ＡＤＲに対して複数のＡＤＣを接続できるため、スループットの低下を防止することができる。
【００４２】
また、近年ＡＤＲ／ＡＤＣシステムの普及により、１つの生産ラインに複数のＡＤＲ／ＡＤＣシステムが導入されるケースが増えてきている。このように複数のＡＤＲ／ＡＤＣシステムが導入されている場合は、複数台の装置仕様や設定条件を考慮して、スループットが最速となるように、ＡＤＲに対するＡＤＣの組合せをユーザが決定する必要があるため、ユーザにとっては負担であった。本実施例では、過去の処理実績から、装置仕様や設定条件の違いも考慮して処理時間を予想することが可能であり、この正確な予想処理時間に基づき、スループットが最速となる方向にＡＤＲに対するＡＤＣの組合せを自動的に算出し提示するためユーザの負担低減大きな効果がある。
【００４３】
ＡＤＲにより画像を取得しながらＡＤＣを実行する、いわゆるリアルタイムＡＤＣに対して、過去に取得した画像を用いて、ＡＤＲとは同期せずに独立に分類処理するＡＤＣを、リアルタイムＡＤＣとは区別してオフラインＡＤＣと呼ぶ。一般的に、リアルタイムＡＤＣが、文字通りリアルタイムに分類結果を算出、提示する必要があるのに対して、オフラインＡＤＣはリアルタイムＡＤＣが実行されていない空時間を利用して行われることが多い。
【００４４】
また、半導体生産ラインにおいては、特急ロットと呼ばれるような試料と、通常の試料とでは同じリアルタイムＡＤＣでも実行すべき優先度が異なる場合がある。本実施の形態のよるＡＤＲ／ＡＤＣシステムでは、各ＡＤＲ，ＡＤＣ処理に優先度を設定することができ、優先度が高い処理から優先的に実行するようにしたことにより、複数のＡＤＲ／ＡＤＣシステムを効率良く運用できるという利点がある。
【００４５】
以上、本実施の形態によれば、過去の処理履歴から各種条件での処理時間を正確に推定し、その推定値に基づき、一つのＡＤＲに対して必要な台数のＡＤＣを接続することができるため、ＡＤＲに対してＡＤＣの処理が追いつかないことに起因してＡＤＲ／ＡＤＣシステム全体のスループットが低下することを防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、半導体製造ラインの欠陥自動分類システムに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣシステムの構成例であって、ｍ台のＡＤＲに対してｎ台のＡＤＣを接続した例を示すブロック図である。
【図２】本実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣシステムの基本構成例を示すブロック図である。
【図３】本実施の形態によるＳＥＭ式の画像撮像部の基本構成例を示す断面図である。
【図４】１1台のＡＤＲシステムに複数のＡＤＣシステムを接続する例を示すブロック図である。
【図５】過去の処理履歴から処理時間を推定するためのＧＵＩの表示画面例を示す図である。
【図６】スループットが最速となるようなＡＤＲ／ＡＤＣシステムの接続例を示すＧＵＩの例を示す表示画面画面例を示す図である。
【図７】本実施の形態によるＡＤＲ／ＡＤＣシステムに用いるＡＤＲ／ＡＤＣの組合せを決定する処理の流れを示すフローチャート図である。
【図８】処理優先度が高いＡＤＲ／ＡＤＣシステムから優先的に処理する場合のＡＤＲ／ＡＤＣシステムの接続例を示すＧＵＩの表示画面画面例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１、１０２、１０３…ＡＤＲシステム、１０４、１０５、１０６、１０７、１０８、１０９…ＡＤＣシステム、２０１…全体制御部、２０２…画像撮像部、２０３…画像データベース、２０４…ＡＤＲ処理部、２０５…ＡＤＣ処理部、３０１…電子銃、３０２…集束レンズ、３０３…検出器、３０４…対物レンズ、３０５…試料、３０６…試料台、４０１…ＡＤＲシステム、４０２、４０３、４０４…ＡＤＣシステム、５０１…処理時間履歴表示ＧＵＩ、５０２…ＡＤＲモード設定ＧＵＩ、５０３…撮像条件設定ＧＵＩ、５０４…対象履歴設定ＧＵＩ、５０５…ＡＤＲ処理時間表示ＧＵＩ、５０６…ＡＤＣ処理時間表示ＧＵＩ、６０１…ＡＤＲ／ＡＤＣ組合せ表示ＧＵＩ、６０２…優先度設定ＧＵＩ、６０３…欠陥数、処理時間、終了時刻表示ＧＵＩ、６０４…単位切換えＧＵＩ、６０５、６０６、６０７、６０８…ＡＤＲ／ＡＤＣ接続設定ＧＵＩ、６０９…実行／キャンセル設定ＧＵＩ、７０１…ＡＤＲ／ＡＤＣ組合せ表示ＧＵＩ、７０２…優先度設定ＧＵＩ、７０３、７０４、７０６…ＡＤＲ／ＡＤＣ接続設定ＧＵＩ、７０５…終了時刻表示ＧＵＩ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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