(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
材質の異なる複数の金属板を積層する積層工程と、
積層された前記複数の金属板同士を接合して複数の金属層が積層された多層状金属体を形成する接合工程と、
前記多層状金属体の表面を除去して、所定の金属板に達する所定のパターン形状の凹部を形成するパターン形成工程と、
前記多層状金属体における非パターン部分の表面を押圧して前記凹部の表面高さと前記非パターン部分の表面高さをそろえる平面化工程と
を有し、
前記パターン形成工程は、
階段状の外側から内側に近づくに従って前記複数の金属層のより下層の金属層に達するように前記凹部を形成する
金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項２】
前記金属層の硬度が高くなるに従って当該金属層が前記凹部を形成する段差が小さくなるように前記凹部を形成する
請求項１に記載の金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項３】
前記金属層の硬度が高くなるに従って当該金属層が前記凹部を形成する前記階段状のステップ幅が短くなるように前記凹部を形成する
請求項２に記載の金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項４】
前記複数の金属層の階段状のステップの下層に位置する層の硬度を基に算出した指標値を、前記凹部が形成された層の硬度で除算して比率を算出し、当該比率が大きくなるに従って当該ステップの面積が大きくなるように前記ステップの形状を決定するステップ形状決定工程
をさらに有し、
前記パターン形成工程は、前記ステップ形状決定工程で決定した形状になるように前記ステップを凹部を形成する
請求項３に記載のパターン形成方法。
【請求項５】
前記接合工程における金属板同士の接合は、前記金属板の拡散接合あるいはろう接により行われる
請求項３または請求項４に記載の金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項６】
前記多層状金属体を、前記金属板の積層方向に直交する所定方向を軸にしてねじる、ねじり工程をさらに含む
請求項３または請求項４に記載の金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項７】
前記パターンは、文字、記号、図形のいずれか１つを含む
請求項３または請求項４に記載の金属体表面へのパターン形成方法。
【請求項８】
材質の異なる複数の金属板を積層する積層工程と、
積層された前記複数の金属板同士を接合して複数の金属層が積層された多層状金属体を形成する接合工程と、
前記多層状金属体の表面を除去して、階段状の外側から内側に近づくに従って前記複数の金属層のより下層の金属層に達するように所定のパターン形状の凹部を形成するパターン形成工程と、
前記多層状金属体における非パターン部分の表面を押圧して前記凹部の表面高さと前記非パターン部分の表面高さをそろえる平面化工程と
によって製造された金属体。
【請求項９】
前記金属体は、杢目金であることを特徴とする
請求項８に記載の金属体。
【請求項１０】
前記パターンは、文字、記号、図形のいずれか１つを含む
ことを特徴とする請求項９に記載の金属体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属体表面へのパターン形成方法および金属体に関する。
【背景技術】
【０００２】
リングやペンダントなどの金属製の装身具などにおける金属体の表面に、文字、図形、記号などのパターンを形成する方法としては、たとえば以下の方法が知られている。すなわち、パターンを金属体表面に打刻、彫刻してパターンを形成する方法がある。あるいは金属体表面のパターン部分あるいは非パターン部分を腐食させることでパターンを形成する方法がある。これらの方法は、非パターン部分の金属体表面の高さと、パターン部分の金属体表面の高さとを異ならせることによって、金属体表面にパターンを形成するものである。
【０００３】
また別の方法として、打刻などにより形成したパターン形状の凹部に、パターン形状に加工した材質の異なる金属をはめ込むか、あるいは材質の異なる金属を溶かして凹部内に流し込むことで金属体表面にパターンを形成する方法がある（特許文献１参照）。この方法は、表面にパターンが形成される金属体と、凹部にはめ込まれ、あるいは流し込まれてパターンを構成する金属との間の色や光沢の違いなどにより、金属体表面にパターンを形成するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−５２４２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の色の違いなどによってパターンを形成する方法の場合、金属体表面の高さを異ならせることでパターンを形成する方法とは異なり、パターン形成後の金属体表面の高さは一定であり、面一性が保たれている。したがって、金属体表面の高さを異ならせることでパターンを形成する方法とは異なる審美性を有する。
しかしながら、パターン形状に加工した金属をはめ込む方法では、金属をパターン形状に加工する際に高い加工精度が要求される。また加工精度には限界があるため、金属体表面への審美性の高いパターン形成が困難である。また、金属を流し込む方法では、パターンが複雑な場合にはパターン形状凹部の細部にまで金属を流し込むことができず、正確なパターン形成が困難である。そのため、金属体表面への審美性の高いパターン形成が困難である。
【０００６】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属体表面にパターンを形成する方法において、パターン形成後の金属体表面の面一性を保ちつつ、より正確で審美性の高いパターン形成を行うことができる技術の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した従来技術の問題点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、材質の異なる複数の金属板を積層する積層工程と、積層された前記複数の金属板同士を接合して複数の金属層が積層された多層状金属体を形成する接合工程と、前記多層状金属体の表面を除去して、所定の金属板に達する所定のパターン形状の凹部を形成するパターン形成工程と、前記多層状金属体における非パターン部分の表面を押圧して前記凹部の表面高さと前記非パターン部分の表面高さをそろえる平面化工程とを有し、前記パターン形成工程は、階段状の外側から内側に近づくに従って前記複数の金属層のより下層の金属層に達するように前記凹部を形成する。
【０００８】
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記金属層の硬度が高くなるに従って当該金属層が前記凹部を形成する段差が小さくなるように前記凹部を形成する。
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記金属層の硬度が高くなるに従って当該金属層が前記凹部を形成する前記階段状のステップ幅が短くなるように前記凹部を形成する。
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記複数の金属層の階段状のステップの下層に位置する層の硬度を基に算出した指標値を、前記凹部が形成された層の硬度で除算して比率を算出し、当該比率が大きくなるに従って当該ステップの面積が大きくなるように前記ステップの形状を決定するステップ形状決定工程をさらに有し、前記パターン形成工程は、前記ステップ形状決定工程で決定した形状になるように前記ステップを凹部を形成する。
【０００９】
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記接合工程における金属板同士の接合は、前記金属板の拡散接合あるいはろう接により行われる。
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記多層状金属体を、前記金属板の積層方向に直交する所定方向を軸にしてねじる、ねじり工程をさらに含む。
好適には、本発明の金属体表面へのパターン形成方法は、前記パターンは、文字、記号、図形のいずれか１つを含む。
【００１０】
本発明の金属体は、材質の異なる複数の金属板を積層する積層工程と、積層された前記複数の金属板同士を接合して複数の金属層が積層された多層状金属体を形成する接合工程と、前記多層状金属体の表面を除去して、階段状の外側から内側に近づくに従って前記複数の金属層のより下層の金属層に達するように所定のパターン形状の凹部を形成するパターン形成工程と、前記多層状金属体における非パターン部分の表面を押圧して前記凹部の表面高さと前記非パターン部分の表面高さをそろえる平面化工程とによって製造されている。
なお、上述した各要素を適宜組み合わせたものも、本件特許出願によって特許による保護を求める発明の範囲に含まれうる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、金属体表面にパターンを形成する方法において、パターン形成後の金属体表面の面一性を保ちつつ、より正確で審美性の高いパターン形成が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る金属体の構成を示す概略断面図である。
【図２】図２は、本発明の第１実施形態に係る金属体表面へのパターン形成方法を説明するためのフローチャートである。
【図３】図３（Ａ）〜（Ｅ）は、実施形態１に係る金属体表面へのパターン形成方法を説明するための概略断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１実施形態の変形例を説明するための図である。
【図５】図５は、本発明の第１実施形態のその他の変形例を説明するための図である。
【図６】図６は、本発明の第２実施形態を説明するための図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、以下の説明において詳細な説明を適宜省略する。
【００１４】
［第１実施形態］
図１は、本発明の実施形態に係る金属体１０の構成を示す概略断面図である。
図１に示すように、実施形態２の金属体１０は、材質の異なる複数の金属層１２（１２ａ〜１２ｈ）が積層された多層状の金属体である。積層された複数の金属層１２はお互いが接合されて金属体１０は多層状金属体１４となっている。また、金属体１０は、金属層１２の積層方向に圧縮された圧縮部分と非圧縮部分とを有し、圧縮部分の表面と非圧縮部分の表面との境界において、金属層１２が不連続となっている。具体的には、圧縮部分では金属層１２ｈが露出し、非圧縮部分では、金属層１２ｈと材質の異なる金属層１２ｆが露出している。そして、非圧縮部分が文字、記号、図形などのパターン部分１８を形成し、圧縮部分が非パターン部分１７を形成している。また、圧縮部分の表面高さと非圧縮部分の表面高さとがそろっていて、金属体１０の表面は平面となっている。
【００１５】
以下、本発明の実施形態に係る金属体表面へのパターン形成方法について説明する。
本実施形態では、パターン部分１８の金属を除去し、非パターン部分１７を押圧して金属体表面にパターンを形成した。
【００１６】
図２は、本発明の実施形態に係る金属体表面へのパターン形成方法の流れを説明するためのフローチャートである。
図３（Ａ）〜図３（Ｅ）は、本発明の実施形態に係る金属体表面へのパターン形成方法を説明するための概略断面図である。
【００１７】
ステップＳＴ１：
まず、図３（Ａ）に示すように、材質の異なる複数の金属板１１（１１ａ〜１１ｈ）を積層する。金属板１１の材質としては、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、真鍮（黄銅）、チタン（Ｔｉ）、鉄（Ｆｅ）、ニッケル（Ｎｉ）、ステンレス、タンタル（Ｔａ）、あるいはこれらの混合物などが用いられる。複数の金属板１１はそれぞれ異なる材質からなるものであり、色や光沢の度合いなどの視覚的に認識される性質が異っている。金属板１１の厚さは約０．３〜１．０ｍｍである。なお、材質の異なる金属板１１は、少なくとも２種類あればよい。
【００１８】
ステップＳＴ２：
次に、図３（Ｂ）に示すように、積層された複数の金属板１１同士を接合して複数の金属層１２が積層された多層状金属体１４を形成する。各金属板１１（１１ａ〜１１ｈ）によって金属層１２（１２ａ〜１２ｈ）が形成される。金属板１１同士の接合は、たとえば金属板１１を密着させ、金属板１１の融点以下の温度条件で、金属板１１の塑性変形ができるだけ生じない程度に加圧して、金属板１１同士の接合面間に生じる原子の拡散を利用して接合する拡散接合により行われる。拡散接合を行う際の条件はたとえば以下の通りである。すなわち、５００〜１２００℃、２００〜５００ｋｇｆ／ｃｍ２まで加熱・加圧して行う。なお、金属板１１同士の接合は、ろう接により行ってもよい。
【００１９】
ステップＳＴ３：
次に、図３（Ｃ）に示すように、多層状金属体１４は所定厚さとなるまで展延される。具体的には、たとえば所定の間隔を開けて回転可能に設置された２つのローラ間に多層状金属体１４を挿通して表面を押圧することにより、多層状金属体１４は展延される。これにより、多層状金属体１４は約０．５〜２．０ｍｍ程度にまで展延される。
【００２０】
ステップＳＴ４：
次に、図３（Ｄ）に示すように、展延された多層状金属体１４の表面に、所定のパターン形状の凹部１６を形成する。凹部１６の形成は、たとえばレーザー照射、彫刻、腐食（エッチング）などにより凹部形成領域の金属を除去することにより行われる。これにより、多層状金属体１４の表面にパターン形状の凹部１６が形成される。凹部１６の表面には金属層１２ｆが、非パターン部分１７の表面には金属層１２ｆと材質の異なる金属層１２ｈが形成される。
【００２１】
以下、凹部１６の形成方法を詳細に説明する。
すなわち、図３（Ｄ）に示すように、展延された多層状金属体１４の表面に、階段状の外側から内側に近づくに従って、金属層１２ｈ，１２ｇ，１２ｆ，．．．のうちより下層の金属層に達するパターン形状の凹部１６を形成する。
図３および図４に示すように、凹部１６は、階段状に形成され、最内側は表面から金属層１２ｆの内部に達し、その外側は表面から金属層１２ｆの上面まで達し、最外側は１２ｇは金属層１２ｇの上面まで達している。
上述したように凹部１６を形成することで、凹部１６を形成するために除去した金属が内部に残り、それが最終的に得られるパターン部分１８に生じてしまうことを効果的に抑制し、所望のパターンを安定して形成することができる。
また、上述したように、階段状のパターンで凹部を形成することで、最終的に形成されるパターン部１８と非パターン部１７との境界のグラデーションが滑らかになり、優れたデザイン性を発揮できる。
【００２２】
なお、上述した実施形態では、金属層１２ｆの上面および金属層１２ｇの上面に達する凹部を形成したが、これらの金属層の内部に食い込むように、あるいはこれらの金属層を貫通するように凹部を形成してもよい。
また、図５に示すように、一つのステップを形成するために段差を、複数の金属層に跨って形成してもよい。図５の例では、一つのステップｓｔｅｐ１を形成する段差が、金属層１２ｈ，１２ｇ，１２ｆを跨って形成されている。
さらには、図６に示すように、一つの金属層に複数の段差を形成してもよい。段差の数は、複数であれば特に限定されない。図６の例では、金属層１２ｈに２つのステップＳｔｅｐ１，２が形成されている。凹部１６の平面側（図３の上から見た側）の形状は、ストライプ状、円形あるいは楕円形等である。
【００２３】
ステップＳＴ５：
次に、図３（Ｅ）に示すように、多層状金属体１４における凹部１６の表面高さと非パターン部分１７の表面高さとをそろえる。多層状金属体１４の表面の平面化は、非パターン部分１７の表面を押圧することにより行われる。多層状金属体１４の表面の押圧は、たとえば所定の間隔を開けて回転可能に設置された２つのローラ間に多層状金属体１４を挿通することにより行う。これにより、非パターン部分１７の金属層１２が圧縮されて陥没し、多層状金属体１４の表面が面一となり、凹部１６が形成されていた部分は金属層１２ｆが露出したパターン部１８となる。ここで、パターン部分１８と非パターン部分１７との境界において、金属層１２が不連続となる。本実施形態では、パターン部１８には、非パターン部分１７の表面にある金属層１２ｈと色などの異なる金属層１２ｆが露出している。その結果、多層状金属体１４の表面にパターンが形成される。
【００２４】
以上説明した方法によって、金属体表面に所定のパターンが形成される。
【００２５】
本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、上述したように凹部１６を形成することで、凹部１６を形成するために除去した金属が内部に残り、それが最終的に得られるパターン部分１８に生じてしまうことを効果的に抑制し、所望のパターンを安定して形成することができる。
また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、上述したように階段状のパターンで凹部を形成することで、最終的に形成されるパターン部１８と非パターン部１７との境界のグラデーションが滑らかになり、優れたデザイン性を発揮できる。
また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、レーザー照射によって凹部１６を形成するため、より正確なパターン形成が可能となるため、より審美性の高いパターン形成を行うことができる。
【００２６】
また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、非パターン部分１７の表面を除去して多層状金属体１４の表面を平面化するとともに、パターン部分１８と非パターン部分１７との境界で金属層１２を不連続とすることでパターンを形成している。そのため、パターン形状の凹部１６に金属をはめ込む方法や金属を流し込む方法に比べて、パターン部分１８と非パターン部分１７との境界における整合性が高くなる。また、多層状金属体１４の表面におけるより精度の高い平面性が得られる。よって、高い加工精度を必要とせずに、より審美性の高いパターン形成を行うことができる。
【００２７】
材質の異なる金属をパターン形状の凹部１６に流し込んでパターンを形成する場合には、流し込む金属とパターンが形成される金属との融点が所定程度異なる必要がある。そのため、使用可能な金属の材質が制限されてしまう。しかしながら、また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、金属体表面へのパターン形成方法によれば、材質が異なる金属同士の融点が異なる必要はないため、使用可能な金属の材質が制限されない。
【００２８】
また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、パターン部分１８において露出する金属と非パターン部分１７において露出する金属との種類を変更することで、色や光沢の度合いなどの違いを自由に組み合わせることができるため、より審美性の高いパターン形成が可能となる。
【００２９】
また、パターン形状の凹部１６にパターン形状に加工した金属をはめ込む方法や金属を流し込む方法では、はめ込んだ金属あるいは流し込んだ金属が、使用時の摩擦、衝撃などにより凹部１６から離脱、剥離してしまうおそれがあった。しかしながら、また、本実施形態の金属体表面へのパターン形成方法によれば、金属体１０自体を構成する金属層１２を金属体１０の表面上で不連続とすることでパターンを形成しているため、パターンが離脱、剥離してしまうおそれがない。
【００３０】
［第２実施形態］
図６は、本発明の実施形態に係る金属体表面へのパターン形成方法における図３（Ｄ）に示す凹部１６の形成のその他の例について説明する。
本実施形態では、図４に示すように積層された複数の金属層の階段状の段差ｈ（１２ｈ），ｈ（１２ｇ）は、金属層１２ｈ，１２ｇの硬度が高くなるに従って小さくなるように形成する。
なお、当該段差が複数層に跨る場合は、各層の硬度と、各層に跨る段差の大きさの割合を考慮して算出した硬度を基に、段差の大きさを決定する。すなわち、段差の大きさの割合が大きくなるにしたがって、その層の硬度が最終的に算出される硬度に大きく反映されるように、硬度を算出する。
本実施形態において、硬度としては、例えば、ビッカース硬さが用いられる。
【００３１】
また、本実施形態では、上記積層された複数の金属層の階段状のステップのステップ幅ｓ（１２ｈ），ｓ（１２ｇ）は、金属層１２ｈ，１２ｇの硬度が高くなるに従って短くなるように形成する。
このとき、各ステップに対応する段差が複数層に跨る場合は、各層の硬度と、各層に跨る割合を考慮して算出した硬度を基に、ステップ幅を決定する。すなわち、段差の大きさの割合が大きくなるにしたがって、その層の硬度が最終的に算出されるステップ幅に大きく反映されるように、硬度を算出する。
【００３２】
本実施形態では、上述したように、凹部の段差およびステップ幅を決定することで、各金属層の硬度に応じて展延時に図３の横方向に移動する各金属層の量を、最終的に各金属層によって形成される凹部１６の部分に均一性を持たせるように規定することができる。すなわち、展延時において、硬度が小さい金属層ほど、図３中横方向に広く移動する。そのため、上述したように金属層の硬度に応じて、段差の大きいさとステップ幅を決定することで、展延後に各層によって形成される凹部１６の内径を均一に近づけることができる。
【００３３】
［第３実施形態］
本実施形態では、例えば、図２に示すステップＳＴ１の前に、以下に示すステップ形状決定工程を行う。
すなわち、ステップ形状決定工程では、複数の金属層の階段状のステップの下層に位置する層の硬度の平均値（指標値）を、前記凹部が形成された層の硬度で除算して比率を算出する。
そして、当該比率が大きくなるに従って面積（ステップの幅）が大きくなるように、凹部１６を構成するステップの形状を決定する。
このとき、各ステップの下層に複数層がある場合に、各層の硬度と、下層の全体の厚みにおける各層の厚みの割合を考慮して算出した硬度を基に、上記硬度（指標値）を算出する。すなわち、厚みの割合が大きくなるにしたがって、その層の硬度が最終的に算出される硬度に大きく反映されるように、硬度を算出する。
【００３４】
そして、図２に示すステップＳＴ４では、上記ステップ形状決定工程で決定した形状になるように凹部１６を形成する。
【００３５】
すなわち、展延時において各金属層が図３の横方向（厚み方向と直交する方向）に延びる量は、当該金属層の下層に位置する金属層の硬度と密接に関係する。下層の金属層に対して硬度が小さい金属層は、図３の横方向に延びる量は多くなる。
本実施形態では、上述したように凹部１６を形成すると、ステップＳＴ５で展延したときに、各層が図３の横方向（厚み方向と直交する方向）に延びる量が多い（硬度が小さい）金属層ほど、ステップの面積を大きくするので、延びた後の凹部１６を形成する領域のサイズを、他の層と均一に近づけることができる。
【００３６】
本発明は、上述の各実施の形態に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて各種の設計変更等の変形を加えることも可能であり、そのような変形が加えられた実施の形態も本発明の範囲に含まれうるものである。
【００３７】
例えば、上述の実施形態１において多層状金属体１４が展延される前に、多層状金属体１４を金属層１２の積層方向に直行する所定方向を軸にして、所定量だけねじるようにしてもよい。これによれば、多層状金属体１４の表面に複数の金属層１２からなる層状模様が現れるため、より審美性を高めることができる。この多層状金属体１４に上述の方法によりパターンを形成した場合には、パターン部分１８と非パターン部分１７との境界において表面の模様が不連続となることで、パターンが視覚的に認識される。
【００３８】
また、多層状金属体１４は、いわゆる杢目金であってもよい。ここで、木目金には、色などの異なる金属を複数枚積層したものに、所定の文様などのパターンを掘った金属体、いわゆるグリ彫りの施された金属体を含む。
【００３９】
上述の各実施形態に係る金属体および金属体表面へのパターン形成方法は、リングやペンダント、ネックレス、イヤリング、カフス、ブローチ、タイタック、バングル、バックル、チョーカー、ブレスレットなどの金属製装身具の他に、ナイフ、刀剣、スプーン、貴金属製宝石箱、貴金属製の花瓶および水盆、コンパクト、時計、喫煙用具などに適用することができる。
【００４０】
なお、各図において、金属板１１の枚数、金属層１２の層数は８枚の場合を示しているが特にこれに限定されない。金属板１１、金属層１２の厚さ、積層枚数、多層状金属体１４の展延後の厚さなどは、パターンが形成された金属体１０が最終的に加工されるものに応じて適宜変更することができる。
【００４１】
また、各図において、金属層１２の圧縮部分と非圧縮部分とが完全に切断されているように示されている。同様に、金属層１２のずれ部分と非ずれ部分とが完全に切断されているように示されている。しかしながら、各図は本発明を模式的に示しているものである。したがって、本発明は図示された形状に限定されるものではなく、圧縮部分と非圧縮部分とが、あるいはずれ部分と非ずれ部分とが、それぞれ連結された状態も本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００４２】
１１、１１ａ〜１１ｈ 金属板、 １２、１２ａ〜１２ｊ
金属層、 １４ 多層状金属体、 １６ 凹部、 １７ 非パターン部分、 １８ パターン部分
【要約】
【課題】  金属体表面にパターンを形成する方法において、パターン形成後の金属体表面の面一性を保ちつつ、より正確で審美性の高いパターン形成を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】  、展延された多層状金属体１４の表面に、階段状の外側から内側に近づくに従って、金属層１２ｈ，１２ｇ，１２ｆ，．．．のうちより下層の金属層に達するパターン形状の凹部１６を形成する。凹部１６は、階段状に形成され、最内側は表面から金属層１２ｆの内部に達し、その外側は表面から金属層１２ｆの上面まで達し、最外側は１２ｇは金属層１２ｇの上面まで達している。凹部１６を形成するために除去した金属が内部に残り、それが最終的に得られるパターン部分１８に生じてしまうことを効果的に抑制し、所望のパターンを安定して形成することができる。
【選択図】  図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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