(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
サーボ系（１００）によって制御され、機械的出力を有する電気機械式イメージング・システムと障害物との間の衝突の検出する方法であって、
前記イメージング・システムの放射線源（３２）と、検出器及び、走査対象（４）の少なくとも一つが意図通りに運動するように前記機械的出力を指示する強制関数ｘｉ（１０４）を前記サーボ系（１００）に入力する段階と、
前記強制関数ｘｉ（１０４）と、前記衝突によりその値が減少する前記機械的出力ｙ０（１０６）から導かれるフィードバック信号（１１４）との間の差を表わす差信号を監視点において生成する段階と、
前記強制関数ｘｉ（１０４）から導かれるフィードフォワード信号を前記監視点の前後に注入し、前記差信号を使用した衝突検出能力を強化する段階と、
前記フィードフォワード信号により衝突検出能力が強化された差信号を処理して衝突の検出を行う段階とを有する方法。
【請求項２】
衝突が検出されたときに、運動を停止する命令を発する段階を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
放射線源（３２）と、
該線源により放出される放射線を受光するように配置されている放射線検出器（３４）と、
前記線源、前記検出器及び走査対象（４）の少なくとも一つの運動又は位置を制御する機械的出力を出力するように構成されているサーボ系（１００）とを備えたイメージング・システム（１０）であって、
該イメージング・システム（１０）は、
前記線源、前記検出器及び前記走査対象（４）の少なくとも一つが意図通りに運動するように前記機械的出力を指示する強制関数ｘｉ（１０４）を前記サーボ系（１００）に入力し、
前記強制関数ｘｉ（１０４）と、衝突によりその値が減少する前記機械的出力（１０６）から導かれるフィードバック信号（１１４）との間の差を表わす差信号を監視点において生成し、
前記強制関数ｘｉ（１０４）から導かれるフィードフォワード信号を前記監視点の前後に注入し、前記差信号を使用した衝突検出能力を強化し、
前記フィードフォワード信号により衝突検出能力が強化された差信号を処理して衝突の検出を行うように構成されている、イメージング・システム（１０）。
【請求項４】
衝突が検出されたときに、運動を停止する命令を発するように構成されている、請求項３に記載のシステム（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般的には、撮像に関し、さらに具体的には、自動移動構造と、該移動構造に近接して位置する対象との間の不測の衝突の減少を容易にする方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
医療診断データ収集又は治療目的に用いられる移動装置は、障害物すなわち患者や移動装置に近接して位置する他の対象との衝突を起こし易い。移動はサーボ系（すなわちソフトウェア制御の下でフィードバックも用いて機械的運動を行なうディジタル式／電気式／機械式システム）によって行なわれる。現在進行の衝突が生じたときに移動を中止する様々な手段が考案されている。これらの手段としては、緩衝器を付設しているか又は医療装置上の他の目標領域を関連付けた圧力センサ及び近接センサ、並びに装置のサーボ系の内部でのフィードバック信号を関連付けた衝突感知がある。各々の感知形式が重要な応用を有する。
【特許文献１】米国特許第６５９４３３９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
フィードバック感知信号は、移動構造に沿った如何なる位置であれ命令による運動が生じたらフィードバックがこの運動に対する抵抗を指示するため、圧力センサ及び近接センサの利用よりも全般的な感知能力を与えることができる。但し、サーボ系の正常動作もまた、衝突に起因していないのに衝突が誘発する信号に類似したフィードバック信号を発生する場合がある。加えて、フィードフォワード／フィードバックは、システムが入力制御信号から生ずる運動に動力を供給する際には所望の能動性（aggressiveness）を保つと同時に、衝突が検出される前でも衝突に対抗する運動に動力を供給する際には能動性を本質的に小さくすることを可能にする方式で処理することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一観点では、フィードバック信号がサーボ系における不測の衝突の結果であるか否かを識別する方法を提供する。この方法は、サーボ系にフィードフォワード項を注入するステップを含んでいる。
【０００５】
他の観点では、衝突に応答する場合の初期能動性レベルと、入力制御信号に応答する場合の所望の能動性レベルとを備えたサーボ系を構成する方法を提供する。この方法は、衝突に応答する場合の初期能動性レベルを低下させ、且つ入力に応答する場合の所望の能動性レベルを維持するステップを含んでいる。
【０００６】
他の観点では、イメージング・システムを提供する。このイメージング・システムは、放射線源と、線源によって放出される放射線を受光するように配置されている放射線検出器と、線源、検出器及び走査対象の少なくとも一つを配置するように構成されているサーボ系と、線源、検出器及びサーボ系に結合されて動作するコンピュータとを含んでいる。コンピュータは、サーボ系にフィードフォワード項を注入するように構成されている。
【０００７】
さらにもう一つの実施形態では、プログラムで符号化されたコンピュータ読み取り可能な媒体を提供する。このプログラムは、サーボ系にフィードフォワード項を注入すべくコンピュータに指示するように構成されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本書に記載するのは、サーボ系のフィードバック信号が正当な動作（例えば機械的負荷）の結果であるのか、又は不測の衝突の結果であるのかの識別を容易にする方法及び装置である。
【０００９】
図１は、本書に記載する装置及び方法を具現化するイメージング・システム１０の実施形態を示す。イメージング・システム１０の例としては、Ｘ線イメージング・システム、超音波イメージング・システム、磁気共鳴イメージング（ＭＲＩ）システム、シングル・フォトン・エミッション計算機式断層写真法（ＳＰＥＣＴ）イメージング・システム、計算機式断層写真法（ＣＴ）イメージング・システム、及び陽電子放出断層写真法（ＰＥＴ）イメージング・システムがある。イメージング・システム１０は心臓、肝臓又は肺のような対象４を走査して、原投影データを生成する。一実施形態では、イメージング・システムは生理学的情報装置（ＰＩＤ）６を対象４に結合させて含んでいる。ＰＩＤ６の例としては、心電図（ＥＫＧ）を発生する心電計がある。ＰＩＤ６は、心搏時相又は呼吸周期相のように複数の相を含むＥＫＧ信号又は呼吸信号のような生理学的周期信号を発生する。
【００１０】
実施形態の一例では、図２に示すように、イメージング・システム１０は可動式Ｃ字形アーム型Ｘ線システム１０である。システム１０は、内周１４と外周１６とを有し、対向する上部末端１８及び下部末端１９で終端しているＣ字形アーム１２を含んでいる。Ｃ字形アーム１２は実施形態の一例では、一様な円形のＣ字形を有するが、代替的に任意の円弧形状の部材を含んでいてよい。
【００１１】
Ｃ字形アーム１２は、車輪付き台２４の上に搭載されている支持アーム２２を含む参照番号２０で全体的に示す構造のような支持手段によって、懸吊位置に保持されている。支持アーム２２は、支持アーム２２とＣ字形アーム１２との間の軸受アセンブリによるか、又は支持部２２自体が台２４に関して回転自在で装着されていることによるかのいずれかで、横方向回転軸３０の周りでのＣ字形アーム１２の回転運動を可能にしている。
【００１２】
車輪付き台２４は、第一の位置から第二の位置へのＣ字形アーム１２の搬送を可能にする。このように、Ｘ線設備を一室から他室へ移動させることが望ましい場合があるので、台の車輪が、支持構造２０に結合されて支持アーム２２及びＣ字形アーム１２を第一の位置から第二の位置まで搬送する搬送手段として作用する。車輪付き台２４によって提供される装置１０の可動性のため、例えば病院の多くの異なる病室にいる患者の利用し易さが高まる。
【００１３】
支持アーム２２はＣ字形アーム１２の外周１６に摺動式で装着されており、支持構造２０は、選択された位置に到るＣ字形アーム１２の軌道回転軸２６の周りでの選択的摺動式軌道運動を可能にするのに必要な構造及び機構を含んでいる。軸２６は、Ｃ字形アーム１２の曲率中心及び横方向回転軸３０に一致している。摺動式軌道運動によって、Ｃ字形アーム１２が支持アーム２２の様々な摺動取り付け点２８を通って運動することが理解されよう。支持構造２０はさらに、横方向回転軸３０の周りで選択された横方向位置まで選択された量だけ支持アーム２２を横方向に回転させる機構を含んでいる。摺動式軌道運動と横方向回転との組み合わせによって、自由度２で、すなわち２本の垂直な軸の周りでＣ字形アーム１２を操作することが可能になる。これにより、Ｃ字形アーム１２の可動性に対して、一種の球面的性質が与えられる（例えば、摺動式軌道運動及び横方向回転によって、Ｃ字形アーム１２に結合されているＸ線源３２が、Ｃ字形アーム１２が移動可能である仮想的な球面の下半球の実質的にあらゆる緯度／経度点へ移動することが可能になる）。
【００１４】
システム１０は、Ｃ字形アーム１２上の対向位置にそれぞれ装着されているＸ線診断業界で周知のＸ線源３２と受像器３４とを含んでいる。Ｘ線源３２及び受像器３４をまとめてＸ線源３２／受像器３４とも呼ぶ。受像器３４は映像増倍管等であってよい。Ｃ字形アーム１２の軌道操作及び横方向回転操作によって、Ｃ字形アーム１２の内部自由空間３６内に配置されている患者の幅及び長さに関してＸ線源３２／受像器３４の選択的配置が可能になる。さらに明確に述べると、システム１０は、コンピュータ３８に結合されているサーボ系（すなわちソフトウェア制御の下でフィードバックも用いて機械的運動を行なうディジタル式／電気式／機械式システム）を含んでいる。Ｃ字形アーム１２の摺動式軌道運動によって、Ｘ線源３２／受像器３４がそれぞれの円弧状移動経路に沿って移動する。受像器３４は一実施形態では、Ｃ字形アーム１２の内周１４に固定されており、またＸ線源３２も内周１４に固定されていてよい。
【００１５】
本書で用いる場合には、単数形で記載されており単数不定冠詞を冠した要素又はステップという用語は、排除を明記していない限りかかる要素又はステップを複数備えることを排除しないものと理解されたい。さらに、本発明の「一実施形態」に対する参照は、所載の特徴を同様に組み入れている他の実施形態の存在を排除しないものと解釈されたい。
【００１６】
一実施形態では、コンピュータ３８は、例えば、フレキシブル・ディスク又はＣＤ−ＲＯＭのようなコンピュータ読み取り可能な媒体から命令及び／又はデータを読み取るフレキシブル・ディスク・ドライブ又はＣＤ−ＲＯＭドライブ等の装置（図示されていない）を含んでいる。もう一つの実施形態では、コンピュータ３８は、ファームウェア（図示されていない）に記憶されている命令を実行する。コンピュータ３８は、本書に記載する作用を実行するようにプログラムされており、本書で用いられるコンピュータという用語は当技術分野でコンピュータと呼ばれている集積回路のみに限らず、プロセッサ、マイクロコントローラ、マイクロコンピュータ、プログラマブル論理コントローラ、特定応用向け集積回路、及び他のプログラム可能な回路を広範に指しており、これらの用語は本書では互換的に用いられている。
【００１７】
上で述べた特定の実施形態は可動式Ｃ字形アーム型Ｘ線装置を参照しているが、本書に記載する方法は、他の全ての撮像モダリティ、及び衝突しないことが望ましい対象の周囲でサーボを用いる任意の応用に同等に適用することができる。
【００１８】
加えて、本書に記載する方法及び装置は医療環境で記載されているが、本発明の利点は、産業環境又は輸送環境で典型的に用いられるシステムのような非医用イメージング・システムでも発揮されるものと思量され、かかるイメージング・システムとしては、例えば限定しないが空港、他の輸送拠点、政府建造物及びオフィス・ビル等での手荷物走査用ＣＴシステムがある。また、これらの利点は、人体ではなく実験動物を検査する寸法に構成されているマイクロＸ線、ＰＥＴ及びＣＴシステムでも発揮される。
【００１９】
本書に記載する方法及び装置は、フィードフォワードを利用して、電気機械式運動システムと、意図された運動の経路に位置する何らかの障害物との間の望ましくない衝突の検出を強化する。加えて、この方法は、システムが入力制御信号（強制関数）から生ずる運動に動力を供給する際には所望の能動性を保つと同時に、衝突が検出される前でも衝突に対抗する運動に動力を供給する際には能動性を本質的に小さくすることを可能にするような方式でのフィードフォワード及びフィードバックの最適化を可能にする。図３は、フィードバック機構１０２（ブロックＨ）を含むサーボ系１００を示しており、フィードバック機構１０２は、運動又は位置に関する情報を受け取って、この情報を入力強制関数ｘｉ１０４から減算することのできる信号へ変換する。ｘｉ強制関数１０４は、機械的出力ｙ０  １０６が意図通りに運動するように応答すべくサーボ系全体に指示する制御信号又はディジタル命令である。複数のブロック１０８（Ｇ１及びＧ２）は、コンピュータで処理されるデータ、電気モータ、及びモータ・シャフトの回転を装置の有用な運動又は位置へ変換する機構等のサーボ系構造の様々な部分を表わしている。信号ｘ２は負荷関数１１０を表わし、例えば、摩擦、又はモータ・シャフトによって駆動される運動に抵抗する傾向のあるその他の機械的負荷のようなパラメータを表わす。監視点１１２（Ｍ）は、ｘｉ強制関数１０４と、Ｈフィードバック・ブロック１０２を通過したフィードバック信号１１４との間の差を表わすデータをシステムに提供する。Ｍの値は一般的には小さい（サーボ系１００を画定する多くのパラメータに依存する）。但し、Ｍは、サーボ系１００がｘｉ又はｘ２のいずれかに加えられる幾つかの形式の刺激過渡現象を受けているときには一時的に比較的大きい値を取ることもある。Ｍを妥当に解釈することにより、サーボ系１００が（望ましくない）現在進行の衝突に遭遇しているか否かを判定することが可能になる。この状態で、サーボ系１００の性能を変化させて、完全に実行された運動による望ましくない衝突の結果を回避することができる。ブロックＦ１  １１６を通るフィードフォワードは、ｘｉ強制関数の特殊な処理によって、Ｍ１１２での衝突検出能力を強化することを可能にする。結果は変化するが、図３に示す以外の点においてＦ１をシステムに加えてよい。また、結果は変化するが、図３に示す以外の位置に監視点Ｍ１１２を配置することもできる。また、図３に示す点に加えてフィードバック（１１４）を注入する多数の点を用いてよい。任意のシステムの特性に応じて、フィードフォワード注入、監視点及びフィードバックの配置は変えてよい。
【００２０】
図３に示すサーボ系１００の様々な部分をラプラス領域で表わされるものと考えることができる。すると、二つの出力ｘｉ及びｘ２を重ね合わせによって別個に扱い、またメイソンの法則（Mason’s law）を用いることにより、次の式が得られる。
【００２１】
【数１】
0004831558.tif 000002
【００２２】
Ｇ１は、ｙ０／ｘ２を衝突の検出及び回避に最適に挙動させるように選択することができる。また、Ｇ１の代替的な形態がＧ１′として選択され定義され、Ｇ１′は強制関数ｘｉの観点からは最適にｙ０／ｘｉを挙動させるがフィードフォワードを用いない（Ｆ１＝０）ように選択される。最後に、Ｇ１及びＦ１を用いて（但しＧ１′は用いない）、ｙ０／ｘｉが前段のｙ０／ｘｉと同等に挙動するような伝達関数を要求し、この結果を強制的に出すように所要のＦ１について解く。以下の各式はこの過程を示す。
【００２３】
【数２】
0004831558.tif 000003
【００２４】
Ｆ１について解くと、
【００２５】
【数３】
0004831558.tif 000004
【００２６】
となる。
【００２７】
このように、フィードフォワード項Ｆ１をサーボ系に用いることにより、Ｍでの衝突検出監視が強制関数ｘｉへの応答性を損なわずに強化されるようにｙ０／ｘｉ及びｙ０／ｘ２の両方についてサーボ系を最適化することが可能になる。加えて、ｙ０／ｘｉを最適化するようにフィードフォワード項を注入すると、標準的な既存のループ・パラメータを介して、フィードフォワードの影響のないｙ０／ｘ２の別個の独立した最適化が可能になる。
【００２８】
図４は、図３に包括的に示した電気機械式サーボ系の特定例を示す。図４の入力ｘｉ及びｘ２に対する閉ループの応答は次式で与えられる。
【００２９】
【数４】
0004831558.tif 000005
【００３０】
次に、ｙ０／ｘｉについて、Ｋ５及びＺ５の代わりに好ましい項Ｋ５′及びＺ５′を選択する。フィードフォワードがない場合（Ｆ＝０）には、
【００３１】
【数５】
0004831558.tif 000006
【００３２】
が得られる。図４を吟味すると、
【００３３】
【数６】
0004831558.tif 000007
【００３４】
であることは明らかである。式３）を用いて式７）を得ることによりＦを決定することができる。
【００３５】
【数７】
0004831558.tif 000008
【００３６】
式７）を書き直すと、式８）が得られる。
【００３７】
【数８】
0004831558.tif 000009
【００３８】
単純化するために、式８）を参照する表記の変更を用いる。
【００３９】
【数９】
0004831558.tif 000010
【００４０】
最後に、次式が得られる。
【００４１】
【数１０】
0004831558.tif 000011
【００４２】
この応用例について、ｘｉについて最適化されたループ・ゲインのボード線図（Bode plot）を図５に掲げ、関連する最適化されたパラメータを表１に列挙する。尚、図５のループ・ゲインのボード線図は、Ｋ５′及びＺ５′を用いてｘｉについて最適化されたものであることを特記しておく。フィードフォワード・パラメータＦ（式１０）のため、この線図の位相余裕を用いてｙ０／ｘｉの過渡応答を予測することができる。尚、真の安定化のためには、Ｋ５及びＺ５を用いた（Ｋ５′及びＺ５′ではなく）ボード線図を用い得ることを特記しておく。
【００４３】
（表１）
システム・パラメータ        サーボ入力        計算
Ｋcomp＝            ０．０７        Ｔｍ＝０．０８６
Ｋ４＝                １              Ｋ５′＝０．００６０２０
Ｚ５′＝              ５              Ｐ２＝１１．６５５
Ｔsample period＝    ０．００２      Ｚ６＝１１．６５６
Ｔcomp time＝        ０．００２      Ｋ２＝４１．８４１
ｗstart＝              ０．１          Ｋ１＝２６２６．００４
スケール・ファクタ＝  １．２          Ｋ３＝３１８．３１０
Quad Enc Slits＝      ５００          Ｋｍ＝１．０００
Ｒ＝                  １．５        Ｋloop@1r＝８０．１７７
Ｋｅ＝                ０．０２３９
Ｊ＝                  ３．２７Ｅ−０５
Ｋcount＝              ０．０８６
Ｋleadscrew＝              ３１８．３１
【００４４】
ｘ２について最適化したループ・ゲインのボード線図を図６に掲げ、関連する最適化されたパラメータを表２に列挙する。この線図はＫ５及びＺ５を用いてｘ２について最適化されたものである。尚、線図の余裕を用いてｙ０／ｘ２の過渡応答を予測し得ることを特記しておく。
【００４５】
（表２）
システム・パラメータ        サーボ入力        計算
Ｋcomp＝          ０．０１３９５  Ｔｍ＝０．０８６
Ｋ４＝              １            Ｋ５＝０．００１２００
Ｚ５＝              ３            Ｐ２＝１１．６５５
Ｔsample period＝  ０．００２      Ｚ６＝１１．６５６
Ｔcomp time＝      ０．００２      Ｋ２＝４１．８４１
ｗstart＝            ０．１        Ｋ１＝２６２６．００４
スケール・ファクタ＝１．２        Ｋ３＝３１８．３１０
Quad Enc Slits＝    ５００          Ｋｍ＝１．０００
Ｒ＝              １．５          Ｋloop@1r＝１５．９７８
Ｋｅ＝            ０．０２３９
Ｊ＝              ３．２７Ｅ−０５
Ｋcount＝          ０．０８６
Ｋleadscrew＝      ３１８．３１
【００４６】
この応用例に代表される実際のシステムでは、図４の幾つかのブロック（式１０で与えられたＦ項を含む）を、コンピュータ、及びラプラスの式のＺ変換を用いてソフトウェア・プログラミングを介して達成される関数で具現化することができる。システムのその他部分は、電子サーキットリ、電気モータ及び機械式駆動部品、並びに他の物理的機構の形態で具現化することができる。式４）、式５）及び式６）を適当に用いることにより、式１０）に定義されているフィードフォワード項が実際のサーボ系に適用されている場合と同じような応用例での応答のシミュレーションを得ることができる。
【００４７】
図７には、ｘｉ（機構を動かすように命令する強制関数）からの階段型応答入力について、図４のトポロジーの場合のシミュレートされた応答出力ｙ０を示す。また、図７には、フィードフォワードを用いた場合及び用いない場合に生ずるｘ２の階段（衝突を表わす）についての監視点信号Ｍも示されている。ピークＭ監視信号はフィードフォワードが適用されている場合には比較的大きく、比が約２．４である。尚、衝突階段は線図では図７で用いられている単位によって見えるように増幅されていることを特記しておく。また、このシステム例はフィードバック定数１（すなわちＫ４＝１）を用いているため、出力ｙ０は大きさがＭと等価である（極性が反対であることだけ異なる）ことを特記しておく。従って、Ｍ／ｘ２の線図はまた、ｙ０／ｘ２についての線図に相当する（極性を除く）。尚、フィードフォワードを用いた場合のＭ／ｘ２は、フィードフォワードを用いない場合のＭ／ｘ２よりも急速に変化することに留意されたい。このことは、ｙ０もまた急速に変化すること、従ってｙ０は衝突信号ｘ２にさらによく応答することを示している。従って、フィードフォワードを適切に用いることにより、サーボ系は、Ｍ監視点信号が衝突を検出する（及び運動を停止する命令を発する）手段として処理される前でも衝突によって運動に動力を供給する場合の能動性が小さくなる。
【００４８】
図８には、ｘｉからの階段型応答入力についてシミュレートされた応答出力ｙ０が示されており、このシミュレートされた応答出力は図７に示すｙ０についてのシミュレーションと同等である。また、図８には、ｘ２における２０ミリ秒パルス（不完全な機構が運動している場合に生じ得る動揺を表わす）についてフィードフォワードを用いた場合及び用いない場合に生ずる監視点信号Ｍが示されている。この場合には、フィードフォワードを用いた場合及び用いない場合のピークＭ監視信号の比は約１．４である。尚、パルスは線図では図８で用いられている単位によって見えるように増幅されていることを特記しておく。
【００４９】
フィードフォワードを用いた場合／用いない場合のシミュレートされた各比の比は２．４／１．４＝１．７である。この意味するものは、このサーボ系の例は、所載のように刺激された場合に、不完全な機構による動揺からの偽の警報を受けることなく相対的に小さい正当な衝突を検出し得るということである。従って、一つの技術的効果は、衝突刺激に対する感度の向上である。衝突刺激に対する感度の向上によって、Ｍでの検出閾値を高めることができる。すると、サーボ系は、ｘｉ強制関数に起因して監視信号から偽の警報を発生する可能性が小さくなる。
【００５０】
様々な特定の実施形態について本発明を記載したが、当業者は、特許請求の範囲の要旨の範囲内で改変を施して本発明を実施し得ることを理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】イメージング・システムを示す図である。
【図２】可動式Ｃ字形アーム型Ｘ線システムを示す図である。
【図３】サーボ系を示す図である。
【図４】図３にさらに包括的に示されている電気機械式サーボ系の特定例を示す図である。
【図５】ｘｉについての仮想的ループ・ゲインのボード線図である。
【図６】ｘ２についてのループ・ゲインのボード線図である。
【図７】フィードフォワードを用いた場合及び用いない場合に、階段型入力ｘｉ（機構を動かすように命令する強制関数）によるｙ０について、及び階段型入力ｘ２（衝突信号）によるｙ０について、シミュレートされた応答出力を示す図である。
【図８】フィードフォワードを用いた場合及び用いない場合に、階段型入力ｘｉからのｙ０について、及びパルス入力ｘ２からのｙ０について、シミュレートされた応答出力を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  可動式Ｃ字形アーム型Ｘ線システム
１２  Ｃ字形アーム
１４  内周
１６  外周
１８  上部末端
１９  下部末端
２０  支持構造
２２  支持アーム
２４  車輪付き台
２６  軌道回転軸
２８  摺動取り付け点
３０  横方向回転軸
３２  Ｘ線源
３４  受像器
３６  内部自由空間
１００  サーボ系
１０２  フィードバック機構
１０４  フィードバック信号
【図１】
0004831558.tif 000012
【図２】
0004831558.tif 000013
【図３】
0004831558.tif 000014
【図４】
0004831558.tif 000015
【図５】
0004831558.tif 000016
【図６】
0004831558.tif 000017
【図７】
0004831558.tif 000018
【図８】
0004831558.tif 000019