【手続補正書】
【提出日】平成15年8月21日(2003.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に吐出エネルギーを与えることにより液体を吐出させる液体吐出ヘッドに用いられ、電気エネルギーを前記吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子が形成された半導体基板を有する液体吐出ヘッド用基板において、
前記液体吐出ヘッド内での液体の状態を検出するためのセンサが、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から突出した立体構造部として設けられており、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から離れた位置に前記センサの検出部が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
【請求項２】
前記立体構造部はフォトリソグラフィ技術により形成されたものである、請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項３】
前記検出部は、検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化するものであり、前記センサは、前記検出部と、前記検出部を前記半導体基板に形成された電気回路と電気的に接続する配線とを、前記立体構造部に有する、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項４】
前記検出部は、液体と接触して配置され検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化するものであり、前記センサは、前記検出部と、液体と接触して配置され液体と接触しても電気的特性が変化しないか又は前記検出部と異なる電気的特性を示す基準部と、前記検出部及び前記基準部を前記半導体基板に形成された回路と電気的に接続する配線とを、前記立体構造部に有する、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項５】
前記検出部及び前記基準部は、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から離れた位置に配置されている、請求項４に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項６】
前記エネルギー変換素子は、液体に熱エネルギーを作用させることで液体に気泡を発生させるものであり、
前記立体構造部は、前記エネルギー変換素子に対面して配され、気泡によって変位する可動部材である、請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項７】
前記可動部材は、液体の流れの方向の上流側が固定され下流側端が自由端となって可動する部材である、請求項６に記載の液体吐出ヘッド用基板。
【請求項８】
液体を吐出する複数の吐出口と、互いに接合されることでそれぞれ前記吐出口と連通する複数の液流路を構成するための第１の基板および第２の基板と、電気エネルギーを前記液流路内の液体の吐出エネルギーに変換するために前記各液流路内に配された複数のエネルギー変換素子とを有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液流路に、液体の状態を検出するためのセンサが、前記液流路の壁面から突出した立体構造部として設けられており、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から離れた位置に前記センサの検出部が配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記エネルギー変換素子の駆動条件を制御するための、機能が異なる複数の素子あるいは電気回路を有し、
前記素子あるいは電気回路は、その機能に応じて前記第１の基板と前記第２の基板とに振り分けられている、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記立体構造部はフォトリソグラフィ技術により形成されたものである、請求項８または９に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記検出部は、検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化するものであり、前記センサは、前記検出部と、前記検出部に電気的に接続された配線とを、前記立体構造部に有する、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記検出部は、液体と接触して配置され検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化するものであり、前記センサは、前記検出部と、液体と接触して配置され液体と接触しても電気的特性が変化しないか又は前記検出部と異なる電気的特性を示す基準部と、前記検出部及び前記基準部にそれぞれ電気的に接続された配線とを、前記立体構造部に有する、請求項８ないし１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記基準部が、前記液流路の壁面から離れた位置に配置されている、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記エネルギー変換素子及び前記センサは前記第１の基板に設けられている、請求項８ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記エネルギー発生素子は前記第１の基板に設けられ、前記センサは前記第２の基板に設けられている、請求項８ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記前記エネルギー変換素子は、液体に熱エネルギーを作用させることで液体に気泡を発生させるものであり、
前記立体構造部は、前記エネルギー変換素子に対面して配され、気泡によって変位する可動部材である、請求項８ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用。
【請求項１７】
前記可動部材は、液体の流れの方向の上流側が固定され下流側端が自由端となって可動する部材である、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
請求項８ないし１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドに供給する駆動信号供給手段とを有する液体吐出装置。
【請求項１９】
液体に吐出エネルギーを与えることにより液体を吐出させる液体吐出ヘッドに用いられ、電気エネルギーを前記吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子とが形成された半導体基板を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法において、
前記半導体基板上に、半導体材料を含む基材層を所定のパターンで形成する工程と、
前記基材層上に、検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化する検出部、及び前記検出部を前記半導体基板に形成された電気回路と電気的に接続する配線を形成する工程と、
前記検出部及び前記配線が形成された基材層上に、前記配線を保護するための、半導体材料を含む保護層を形成する工程とを有する、液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項２０】
前記保護層の形成工程の前に、前記基材層上に、液体と接触しても電気的特性が変化しないか又は前記検出部とは異なる電気特性を示す基準部と、前記基準部を前記半導体基板に形成された回路と電気的に接続する配線とを形成する工程を有し、
前記保護層の形成工程の後に、前記保護層で覆われている前記検出部及び前記基準部の一部を露出させる工程を有する、請求項１９に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項２１】
前記基材層の形成工程の前に、前記半導体基板上に前記基材層の一部と前記半導体基板との間に間隙を形成するための間隙形成部材を形成する工程を有し、
前記基材層を形成する工程は、前記間隙形成部材が形成された部位と前記間隙形成部材が形成されていない部位とを跨る領域に形成することを含み、
前記保護層の形成工程の後に、前記間隙形成部材を除去する工程を有する、請求項１９または２０に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
【請求項２２】
液体を吐出する複数の吐出口と、互いに接合されることでそれぞれ前記吐出口と連通する複数の液流路を構成するための第１の基板および第２の基板と、電気エネルギーを前記液流路内の液体の吐出エネルギーに変換するために前記各液流路内に配された複数のエネルギー変換素子とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記第１の基板及び前記第２の基板の少なくとも一方に、検出すべき液体の状態に応じて電気的特性が変化する検出部、及び前記検出部に電気的に接続する配線を形成する工程と、
前記検出部及び前記配線が形成された基材層上に、前記配線を保護するための、半導体材料を含む保護層を形成する工程とを有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２３】
前記保護層の形成工程の前に、前記基材層上に、液体と接触しても電気的特性が変化しないか又は前記検出部とは異なる電気特性を示す基準部と、前記基準部と電気的に接続する配線とを形成する工程を有し、
前記保護層の形成工程の後に、前記保護層で覆われている前記検出部及び前記基準部の一部を露出させる工程を有する、請求項２２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２４】
前記基材層の形成工程の前に、前記基材層が形成される基板上に、前記基材層の一部と前記基材層が形成される基板との間に間隙を形成するための間隙形成部材を形成する工程を有し、
前記基材層を形成する工程は、前記間隙形成部材が形成された部位と前記間隙形成部材が形成されていない部位とを跨る領域に形成することを含み、
前記保護層の形成工程の後に、前記間隙形成部材を除去する工程を有する、請求項２２または２３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため本発明の液体吐出ヘッド用基板は、液体に吐出エネルギーを与えることにより液体を吐出させる液体吐出ヘッドに用いられ、電気エネルギーを前記吐出エネルギーに変換するためのエネルギー変換素子が形成された半導体基板を有する液体吐出ヘッド用基板において、前記液体吐出ヘッド内での液体の状態を検出するためのセンサが、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から突出した立体構造部として設けられており、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から離れた位置に前記センサの検出部が配置されていることを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する複数の吐出口と、互いに接合されることでそれぞれ前記吐出口と連通する複数の液流路を構成するための第１の基板および第２の基板と、電気エネルギーを前記液流路内の液体の吐出エネルギーに変換するために前記各液流路内に配された複数のエネルギー変換素子とを有する液体吐出ヘッドにおいて、前記液流路に、液体の状態を検出するためのセンサが、前記液流路の壁面から突出した立体構造部として設けられており、前記半導体基板の前記エネルギー変換素子が形成された面から離れた位置に前記センサの検出部が配置されていることを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の液体吐出装置は、上記本発明の液体吐出ヘッドと、この液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号を前記液体吐出ヘッドに供給する駆動信号供給手段を有する。