【手続補正書】
【提出日】平成15年11月17日(2003.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、
前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、
前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、
前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの電子光学的パワーを調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム照明装置。
【請求項２】
電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、
前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、
前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、
前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの前記照明電子光学系の光軸方向の位置を調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム照明装置。
【請求項３】
前記調整手段は、前記照明電子光学系の前側焦点位置を略一定にして、電子ビームの前記光源からの出射角と前記物体への入射位置の関係を変更することを特徴とする請求項１または２に記載の電子ビーム照明装置。
【請求項４】
電子ビームを放射する光源を用いて第１物体を照明し、前記第１物体からの電子ビームを縮小電子光学系を介して第２物体に投影露光する電子ビーム露光装置において、
前記光源からの電子ビームを前記第１物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、
前記第１物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、
前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの電子光学的パワーを調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項５】
電子ビームを放射する光源を用いて第１物体を照明し、前記第１物体からの電子ビームを縮小電子光学系を介して第２物体に投影露光する電子ビーム露光装置において、
前記光源からの電子ビームを前記第１物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、
前記第１物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、
前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの前記照明電子光学系の光軸方向の位置を調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム露光装置。
【請求項６】
前記調整手段は、前記照明電子光学系の前側焦点位置を略一定にして、電子ビームの前記光源からの出射角と前記第１物体への入射位置の関係を変更することを特徴とする請求項４または５に記載の電子ビーム露光装置。
【請求項７】
前記第１物体は、電子ビームを透過する部分と透過しない部分とでパターンが形成されているマスクであることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項８】
前記第１物体は、複数の開口を有し、前記複数の開口を通過する電子ビームを個別に遮断する手段を有することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置。
【請求項９】
前記複数の開口を通過する電子ビームから前記光源の中間像をそれぞれ形成する電子光学系を有し、複数の前記中間像を前記縮小電子光学系を介して前記第２物体に投影することを特徴とする請求項８の電子ビーム露光装置。
【請求項１０】
前記電子光学系は、前記中間像が前記縮小電子光学系を介して前記第２物体に投影される際に発生する収差を補正する手段を有することを特徴とする請求項９の電子ビーム露光装置。
【請求項１１】
請求項４〜１０のいずれか１つに記載の電子ビーム露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の電子ビーム照明装置のある形態は、電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの電子光学的パワーを調整する調整手段とを有することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の電子ビーム照明装置の別の形態は、電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの前記照明電子光学系の光軸方向の位置を調整する調整手段とを有することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
前記調整手段は、前記照明電子光学系の前側焦点位置を略一定にして、電子ビームの前記光源からの出射角と前記物体への入射位置の関係を変更することを特徴とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の電子ビーム露光装置のある形態は、電子ビームを放射する光源を用いて第１物体を照明し、前記第１物体からの電子ビームを縮小電子光学系を介して第２物体に投影露光する電子ビーム露光装置において、前記光源からの電子ビームを前記第１物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記第１物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの電子光学的パワーを調整する調整手段とを有することを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の電子ビーム露光装置の別の形態は、電子ビームを放射する光源を用いて第１物体を照明し、前記第１物体からの電子ビームを縮小電子光学系を介して第２物体に投影露光する電子ビーム露光装置において、前記光源からの電子ビームを前記第１物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記第１物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも２つの電子レンズの前記照明電子光学系の光軸方向の位置を調整する調整手段とを有することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記調整手段は、前記照明電子光学系の前側焦点位置を略一定にして、電子ビームの前記光源からの出射角と前記第１物体への入射位置の関係を変更することを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記複数の開口を通過する電子ビームから前記光源の中間像をそれぞれ形成する電子光学系を有し、複数の前記中間像を前記縮小電子光学系を介して前記第２物体に投影することを特徴とする。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前記電子光学系は、前記中間像が前記縮小電子光学系を介して前記第２物体に投影される際に発生する収差を補正する手段を有することを特徴とする。