(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
３〜７重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに３０〜１１０ｐｐｍの範囲内の濃度でカリウムを添加した材料で作製された熱処理済みの再結晶コイル巻きワイヤ部材で構成されていて、熱処理による再結晶化によって２０ミクロンより大きい平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒を含むことを特徴とする、Ｘ線管の陰極として使用するためのＸ線管陰極ワイヤ・フィラメント。
【請求項２】
前記熱処理が、前記コイル巻きワイヤ部材を２７００〜３２００℃の範囲内の温度で０．１分〜５時間の時間にわたり加熱することから成る請求項１記載のフィラメント。
【請求項３】
前記熱処理が、前記コイル巻きワイヤ部材を３１７０〜３２３０℃の範囲内の温度で１．５〜３．０分の時間にわたり加熱することから成る請求項２記載のフィラメント。
【請求項４】
前記熱処理が、前記コイル巻きワイヤ部材を２８７０〜２９３０℃の範囲内の温度で４時間にわたり加熱することから成る請求項２記載のフィラメント。
【請求項５】
前記レニウムが３．０〜５．５重量％の範囲内の量で存在する請求項２記載のフィラメント。
【請求項６】
前記カリウムが４０〜７０ｐｐｍの範囲内の濃度で存在する請求項５記載のフィラメント。
【請求項７】
４〜６重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに３０〜７０ｐｐｍのカリウムを添加した組成を有するコイル巻きワイヤ部材に対し、２７００〜３２００℃の範囲内の温度で０．１分〜４時間の時間にわたり熱処理を施すことによって再結晶化した、２０ミクロンより大きい平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒を含むことを特徴とする、Ｘ線管陰極ワイヤ・フィラメント。
【請求項８】
前記熱処理が、前記コイル巻きワイヤ部材を３１７０〜３２３０℃の範囲内の温度で２分間にわたり加熱することから成る請求項７記載のフィラメント。
【請求項９】
前記熱処理が、前記コイル巻きワイヤ部材を２８７０〜２９３０℃の範囲内の温度で４時間にわたり加熱することから成る請求項７記載のフィラメント。
【請求項１０】
４〜６重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに３０〜７０ｐｐｍのカリウムを添加した材料から成るワイヤ部材を、１回以上の連続した引抜きパスによってスエージ加工棒材から形成する工程であって、前記引抜きパスの各々が前記ワイヤ部材の横断面積を減少させ、かつ前記ワイヤ部材の横断面積の累積減少率が少なくとも４０％である工程と、
前記ワイヤ部材中にコイルを形成する工程と、
２７００〜３２３０℃の範囲内の温度で０．１分〜５時間の時間にわたり加熱することによって前記ワイヤ部材に熱処理を施すことにより、２０ミクロンを越える平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒組織を有するフィラメントを作成する工程と、
を有することを特徴とする、Ｘ線管陰極ワイヤ・フィラメントの製造方法。
【請求項１１】
前記ワイヤ部材が少なくとも２回の引抜きパスによって棒材から形成される場合において、最後の引抜きパスに先立って応力除去焼なましを施す工程を更に含む請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記応力除去焼なましが前記ワイヤ部材の再結晶温度より低い低温応力除去焼なましである請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記応力除去焼なましが前記ワイヤ部材の再結晶温度より高い高温応力除去焼なましである請求項１１記載の方法。
【請求項１４】
前記熱処理が、前記ワイヤ部材を３１７０〜３２３０℃の範囲内の温度で２分間にわたり加熱することから成る請求項１０記載の方法。
【請求項１５】
前記熱処理が、前記ワイヤ部材を２８７０〜２９３０℃の範囲内の温度で４時間にわたり加熱することから成る請求項１０記載の方法。
【請求項１６】
（ａ）４〜６重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに３０〜７０ｐｐｍのカリウムを添加した材料から成るワイヤ部材を、一連の引抜きパスによって棒材から形成する工程であって、前記引抜きパスの各々により前記ワイヤ部材の横断面積を減少させる工程と、
（ｂ）少なくとも１回の前記引抜きパスの後に前記ワイヤ部材の再結晶温度より低い低温応力除去焼なましを施す工程と、
（ｃ）前記焼なましの後に少なくとも１回の引抜きパスを行うことにより、前記焼なまし後における前記ワイヤ部材の横断面積の累積減少率を少なくとも４０％にする工程と、
（ｄ）前記ワイヤ部材中にコイルを形成する工程と、
（ｅ）３１７０〜３２３０℃の範囲内の温度で２分間にわたり加熱することによって前記ワイヤ部材に熱処理を施すことにより、２０ミクロンを越える平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒組織を有するフィラメントを作成する工程と、
を含むことを特徴とする、Ｘ線管陰極ワイヤ・フィラメントの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、診断用及び治療用の放射線医学装置〔たとえば、計算機断層撮影（ＣＡＴ）スキャナ〕において使用するためのＸ線管の陰極部材として使用されるＸ線用ワイヤ・フィラメントに関するものである。更に詳しく言えば本発明は、延性と共に耐熱衝撃性及び耐機械衝撃性を示す形態及び組成を有するＸ線用ワイヤ・フィラメント並びにそれの製造方法に関する。
【０００２】
【発明の背景】
発生した熱を吸収するために油で満たされた防護用鉛ケーシング内に封入されるのが通例である従来のＸ線管アセンブリは、陰極部材、（陽極を構成する）回転円板ターゲット、及びロータを収容したガラス管球を含んでいる。ロータは、ターゲットを回転させる電動機アセンブリの一部を成している。Ｘ線管の外部には、ロータに近接してステータが設けられていて、これはロータの長さの約 2/3と重なり合っている。ガラス管球にはまた、Ｘ線管によって発生されたＸ線の放出を可能にする窓が設けられている。
【０００３】
Ｘ線の発生は、Ｘ線管内の真空中において発生した電子が順次に放出され、加速され、そして急激に停止されることによって起こる。電子を放出するため、陰極カップ内に配置されたつる巻きワイヤ・フィラメントを含む陰極部材が電流の供給によって電気的に白熱状態まで加熱される。次いで、放出された電子はＸ線管の陰極と陽極との間において約１万〜数十万ボルト程度の高電圧の印加によって加速される。加速された放出電子が方向制御されつつ回転ターゲット陽極に衝突する結果、陽極外周面上の相異なる点において電子が停止され、その結果としてＸ線が放出される。Ｘ線管を動作させるために必要な高電圧は変圧器によって供給されるが、その場合の交流は整流管又は空乏層整流器によって整流される。
【０００４】
Ｘ線を発生させるための電子は、金属製カップ内に収容されたコイルフィラメントから成る陰極アセンブリによって供給される。従来、かかるコイルフィラメントはカリウム添加タングステン・ワイヤから構成されてきたが、それは電子放出及びＸ線発生のために必要な高い動作温度において優れた構造安定性及び集束特性を示す。Ｘ線管の性能は、陰極内におけるフィラメントの整列状態によって左右されることがある。従って、タングステンコイルフィラメントは陰極カップ内に取付けられてから一直線状に整列させられる。取付けられた後、所望の再結晶ミクロ組織を生み出すためフィラメントは約２８００℃に加熱される。この加熱中において、フィラメントはたるみを生じて整列状態から外れることが多い。その場合には、フィラメントの再整列及び熱処理工程の繰返しが必要となる。
【０００５】
このようなたるみ及び整列の問題と取り組んだものとして、本願の場合と同じ譲受人に譲渡されたビー・エイ・クヌードセン(B.A. Knudesen) 等の米国特許第５４９８１８５号、同第５５１４４１３号及び同第５６７２０８５号が挙げられる。なお、それらの開示内容は引用によって本明細書中に組込まれる。従来のＸ線管アセンブリの詳細な説明を含むそれらの特許は、フィラメントの整列方法及び固体の一体絶縁物ユニットの付随したＸ線管陰極アセンブリを提供するものである。
【０００６】
再結晶済みのドープしたタングステン・フィラメントは室温で低い延性を有しているため、再結晶陰極は極めて脆くなる。更にまた、かかるドープしたタングステン・フィラメントは実質的な熱衝撃及び機械衝撃が存在する用途において大きな欠点を示す。熱衝撃は、たとえば、急速循環型ＣＡＴのＸ線装置への使用時におけるフィラメントの急速な熱サイクルによって生じることがある。このような条件下では、フィラメント温度はほぼ瞬間的に約２５００℃の放出温度にまで上昇させられる。また、たとえば走査型ＣＡＴのＸ線装置のガントリー内における高速の回転及び逆回転は大きな機械衝撃を生じることがあるが、かかる装置はこの種のＸ線管にとって益々重要な用途となりつつある。
【０００７】
約３〜約３０重量％(w/o) のレニウム及び残部のタングステンから成るタングステン−レニウム合金を白熱電球用のフィラメントとして使用することは公知である。タングステン及びドープしたタングステンへのレニウムの添加は、延性を増大させることによって耐熱衝撃性及び耐機械衝撃性を高めるという利益をもたらすことが認められた。しかるに、従来のかかるタングステン−レニウム合金は一般に微細な等軸ミクロ組織を有していたが、これはそれから作製されるフィラメントのクリープ性能に悪影響を及ぼし、そして高温への暴露時にはフィラメントのたるみを引起こした。クリープに由来するフィラメントのたるみは、（上記のごとき）陰極カップ内における陰極用ワイヤ・フィラメントの位置狂いの原因となることが認められており、またかかるフィラメントから放出されるＸ線が適正な集束を示さないことも知られている。タングステン−レニウム・フィラメント部材の実用寿命は、Ｘ線用ワイヤ・フィラメントの動作時間中において高温下で起こるクリープ及びその結果としてのクリープ破損によって制限されるものと考えられてきた。従って、（Ｘ線管が通例動作する温度である）２３００℃を越える範囲内の高温においては顕著なクリープを示すという理由で、かかる温度でのタングステン−レニウム・ワイヤの使用は不適当であることが先行技術において認められていた。〔エッチ・ジェイ・フロスト及びエム・エフ・アシュビー(H.J. Frost & M.F. Ashby) 著「デフォーメイション・マップス−ザ・プラスティシティ・アンド・クリープ・オブ・メタルズ・アンド・セラミックス(Deformation Maps−The Plasticity and Creep of Metals and Ceramics) （パーガモン社、１９８２年）の１５０〜１５２頁を参照されたい。〕
【０００８】
【発明の概要】
本発明は、Ｘ線管の陰極アセンブリ中における高温動作のために適した熱処理済みの再結晶カリウム添加タングステン−レニウム・フィラメントを提供するものである。かかるフィラメントは、タングステン及びドープしたタングステン・フィラメントに対してクリープ寿命の向上を示す。本発明に係わるフィラメントには、約２０ミクロンより大きい粒度を有する概して一様な再結晶ミクロ組織を生み出す熱処理工程が施される。このような大きさの粒度は、タングステン−レニウム・フィラメントに固有の耐熱性及び耐衝撃性の保持に加えてクリープ強度の向上をもたらす。詳しく述べれば、本発明のＸ線用ワイヤ・フィラメントは約３．０〜約７．０重量％の範囲内のレニウム、約３０〜約１１０ｐｐｍの範囲内のカリウム、及び残部のタングステンから成ると共に、約２０ミクロンより大きい粒度を有する互いにかみ合った結晶粒を含んでいる。
【０００９】
陰極カップ内への設置に先立ち、本発明のフィラメントには約２７００〜約３２３０℃の範囲内の温度で約０．１分〜約５時間の時間にわたり熱処理が施される。かかる熱処理は、たとえば、約３１７０〜約３２３０℃の範囲内の温度で約１．５〜約３．０分の時間にわたり加熱することによって行われるか、あるいは約２８７０〜約２９３０℃の範囲内の温度で約４時間にわたり加熱することによって行われる。かかる熱処理を単独で実施するか、あるいは引抜きスケジュールと組合わせて実施することにより、約２０ミクロンより大きい平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒を含むフィラメントが得られる。
【００１０】
本発明に係わるフィラメントは、Ｘ線装置におけるタングステン−レニウム・ワイヤ・フィラメントの使用を可能にし、その結果としてタングステン−レニウム・フィラメントの利点を実現することを可能にする。すなわち、一定範囲内のカリウム・ドープ剤を添加すること、並びに約２０ミクロンを越える粒度を生み出すような熱処理及び（又は）成形操作を用いて粒度を更に調整することにより、タングステン−レニウム・フィラメントの利点をＸ線用途において得ることができる。かかる利点としては、公知のタングステン及びドープしたタングステン・フィラメントに比べて熱衝撃及び機械衝撃の少なくとも一方に対する抵抗性が向上することが挙げられるが、それのみに限定されるわけではない。
【００１１】
更に詳しく述べれば本発明は、約３．０〜約５．５重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに約３０〜約１１０ｐｐｍの範囲内のカリウムを添加した組成を有すると共に、約２０ミクロンより大きい粒度を有する互いにかみ合った結晶粒を含むような、Ｘ線管の陰極として使用するためのＸ線用ワイヤ・フィラメントを提供する。
【００１２】
本発明の別の側面に従えば、Ｘ線管の陰極として使用するためのコイル巻きワイヤフィラメントの製造方法が提供される。かかる方法は、（ａ）約４〜約６重量％のレニウム及び残部のタングステンから成るものに約３０〜約１１０ｐｐｍのカリウムを添加した材料から実質的に成るワイヤ部材を、１回以上の連続した引抜きパスによって棒材から形成する工程であって、各々の引抜きパスによりワイヤ部材の横断面積を減少させる工程と、（ｂ）ワイヤ部材の横断面積の累積減少率を少なくとも約４０％にする工程と、（ｃ）ワイヤ部材中にコイルを形成する工程と、（ｄ）約２７００〜約３２３０℃の範囲内の温度で約０．１分〜約５時間の時間にわたり加熱することによってワイヤ部材に熱処理を施す工程とを含み、これにより、約２０ミクロンを越える平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒組織を有するフィラメントが得られる。
【００１３】
本発明の上記及びその他の実施の態様、利点及び顕著な特徴は、添付の図面を参照しながら本発明の実施の態様を開示する以下の詳細な説明を読むことによって自ずから明らかとなろう。なお、図面中においては、同じ構成要素は同じ参照番号によって表わされている。
【００１４】
【好適な実施の態様の詳細な説明】
本発明のカリウム添加タングステン−レニウム線（ワイヤ）は、コイル巻きフィラメントに成形された場合、任意公知のＸ線管の構造中又は米国特許第５５１５４１３号明細書中に記載された陰極カップアセンブリ中において陰極として使用するために特に適している。
【００１５】
本発明のカリウム添加タングステン−レニウム・ワイヤは、約３０〜約１１０ｐｐｍ（たとえば、約５５〜約７０ｐｐｍ）の範囲内のカリウム濃度を有するように製造される。完全に焼結されたタングステン−レニウム・インゴット中においては、かかるカリウムは元素状カリウムのバブルから成る細長いストランドとして存在するのが通例である。一般に、カリウム濃度が高くなるほどクリープ性能の高いフィラメントが得られるが、カリウム・レベルが高くなるほどワイヤの製造は困難になる。レニウム含量は約３〜約７重量％(w/o) の範囲内にあるが、最も普通には約３(w/o) である。組成の残部はタングステンによって構成される。
【００１６】
陰極カップの組立て及びＸ線管内への設置後に行われてきた熱処理工程は、陰極カップ内へのフィラメントの取付けに先立ち、管理された温度下での熱処理又は熱処理サイクルを用いて炉内で行うことができる。あるいはまた、かかる熱処理工程を自己抵抗加熱によって行うこともできる。上記のごときカリウム添加タングステン−レニウム・ワイヤは、下記に一層詳しく記載されるような所望のフィラメント形状に形成される。タングステン工具を用いて内部及び外部から支持されたフィラメントは炉内の配置され、そして熱処理工程を施される。この熱処理工程はフィラメントの再結晶を引起こすように機能するものであって、結晶粒の成長及び最終の粒度を決定するフィラメントのミクロ組織を制御するために役立つ。約２０ミクロンより大きい所望の粒度及びクリープ破損に対する抵抗性を得るためには、本明細書中に列挙される特定の因子に応じ、約２７００〜約３２００℃の範囲内の温度で約０．１０分〜約５時間の時間にわたる加熱が行われるのが通例である。
【００１７】
本発明によって規定されるような熱処理工程の条件下では、フィラメントには再結晶組織及び約２０ミクロンより大きい粒度が付与される。このような結晶粒組織のため、フィラメントの耐熱衝撃性及び耐機械衝撃性を損なうことなしにフィラメントのクリープ強度が得られるのである。
【００１８】
タングステン−レニウム・フィラメントは一般にそれの最高使用温度より高い再結晶温度を有し、従ってかかる最高使用温度より高くかつかかる再結晶温度より高い温度での熱処理は再結晶した結晶粒組織を生み出す。しかるに、高い熱処理温度においては、熱処理工程中における過度のカリウム・バブル成長及び（又は）蒸発のために得られる熱処理フィラメントの早期破損を招くことがある。従って、熱処理中における再結晶時間及び結晶粒成長は、最少限のバブル成長を伴いながら粒度の増大を促進するように調整する必要がある。
【００１９】
本発明のタングステン−レニウム・フィラメントは、次のような工程に従って製造される。実質的に純粋なタングステン粉末を適宜所望の重量パーセントのレニウム粉末と混合してふるいを通した後、３０〜１１０ｐｐｍの濃度となるように元素状カリウムが添加される。なお、かかるカリウムは不純物として存在するものであってもよい。一定量の混合粉末を秤量して鋼製の金型に充填した後、その金型が油圧プレス内に挿入される。プレス内で加圧成形した後、通例は約１／２インチ×約１／２インチ（１２７ｍｍ×１２７ｍｍ）の横断面を有する加圧成形インゴット棒材が耐火性容器（「ボート」）内に配置され、そして水素雰囲気を有する炉内に挿入される。かかる炉内において一定時間にわたり１２００℃に維持することにより、インゴットの予備焼結工程が実施される。その後、水素雰囲気中において棒材に電流を流して抵抗加熱することにより、インゴットの完全焼結が行われる。かかる工程中において、棒材内にはタングステン結晶並びにカリウム・バブルの細長い連鎖が生成し始まる。
【００２０】
その後、棒材は丸棒にスエージ加工される。すなわち、棒材が約１２００〜約１６００℃の範囲内の温度に加熱され、そして毎分約１００００回の打撃速度で急速な槌打ちを施すように設計された金型に通される。スエージ加工の結果、丸棒中に生成された結晶は伸長され、それによって所望の繊維状組織が生み出される。スエージ加工装置は、１回のパス当り約１２％だけ丸棒の直径を減少させるのが通例である。２回以上の据込みを施した後、丸棒のスエージ加工を更に続行するため、約２５００℃を越える温度に加熱することによって丸棒を再結晶させる必要がある場合もある。場合によっては追加の再結晶工程を伴いながら追加のスエージ加工を行うことにより、約０．２５〜約０．１０インチ（６．３〜２．５ｍｍ）の範囲内の直径を有する丸棒を得ることができる。
【００２１】
その後、１回以上の引抜きパスにより、スエージ加工された丸棒が炭化タングステン又はダイヤモンドから成る１個以上の型を通して引抜かれる。各回の引抜きパスにより、丸棒の直径は更に減少する。複数の引抜きパスの後には、所望の線径が得られるまで直径を減少させるための追加の引抜きパスを可能にするため、（約１２００〜約１６００℃の範囲内の）低温熱処理及び（又は）（再結晶温度より高い）高温熱処理が必要となる場合がある。Ｘ線用ワイヤ・フィラメントの所望の直径は、通例約０．０１０〜約０．０２５インチ（０．２５４〜０．６３ｍｍ）の範囲内にある。
【００２２】
スエージ加工済みの丸棒の形成後における（中間の高温又は低温応力除去焼なましを伴う）引抜き工程並びに最終熱処理の時間及び温度はいずれも、得られるワイヤ部材中における互いにかみ合った結晶粒の生成及び生成される結晶粒の平均粒度に対して様々な程度に影響を及ぼす。本発明に係わる方法の一例について述べれば、（通例は約０．１０〜約０．２５インチの範囲内の直径を有する）スエージ加工済みの丸棒の形成後、かかる丸棒は１回以上の引抜きパスにより型を通して引抜かれる。各回の引抜きパスにより、線の直径は更に減少する。フィラメントに関して所望される直径〔たとえば、約０．０１０インチ（２．５４ｍｍ）〕に到達した後、かかるワイヤ部材中につる巻きコイルが形成される。その後、約２７００〜約３２３０℃の範囲内の温度で約０．１分〜約５時間の時間にわたり加熱することによってワイヤ部材を再結晶させれば、約２０ミクロンを越える平均粒度を有する互いにかみ合った結晶粒組織がワイヤ部材中に生み出される。
【００２３】
一般に、最終熱処理の温度が高くかつ時間が長くなるほど、粒度は大きくなる。結晶粒の粒度及びかみ合いの程度は、最終の再結晶熱処理に依存するばかりでなく、（もし起こるとすれば）スエージ加工操作中における再結晶の量並びに約３〜約７(w/o) の範囲内において使用される実際のレニウム含量にも依存する。
【００２４】
本発明を例証するため、以下に実施例を示す。これらの実施例は本発明の範囲内にある特徴を明らかにするためのものに過ぎないのであって、本発明の範囲を制限するものと解すべきでない。
【００２５】
［比較例１］
実質的に純粋な（９９．５％）タングステン粉末を適当な重量の実質的に純粋な（９９．８％）レニウム粉末と混合することにより、５５ｐｐｍの濃度で元素状カリウムを含有するタングステン−３重量％レニウム混合物を調製した。この混合粉末を加圧成形することにより、横断面が約１／２インチ×約１／２インチのインゴットを形成した。かかるインゴットを水素雰囲気の炉内に入れ、そして約１２００℃で予備焼結した。その後、融解アンペア数の約９０％の電流を棒材に流すことにより、水素雰囲気中においてインゴットを抵抗加熱した。その後、約１２００〜約１６００℃の範囲内の温度で一連の据込みを施すことにより、得られた棒材を直径約０．２５インチ（６．３ｍｍ）の丸棒にスエージ加工した。直径約０．２５インチへの最後の据込みに先立ち、丸棒には約２５００℃の中間再結晶熱処理が施された。その後、得られた丸棒には成形型を通して複数の引抜きパスを施した。なお、最後の引抜き工程に先立って約１２００℃の低温中間焼なましが施された。このようにして、約０．０１０インチ（２５４ｍｍ）の直径が得られた。かかるフィラメントに対し、約２６００℃で約６０分間にわたる最終熱処理が施された。
【００２６】
図１には、こうして得られたフィラメントのミクロ組織が倍率５００×で示されている。平均粒度は約８ミクロンである。
【００２７】
下記の非制限的な実施例（実施例２）においては、再結晶時間及び温度を変更したところ、タングステン−３(w/o) レニウム・ワイヤ・フィラメントに関して所要の互いにかみ合った結晶粒組織及び約２０ミクロンを越える平均粒度が生み出され、その結果としてクリープ抵抗性を有するフィラメントが得られることが判明した。
【００２８】
［実施例２］
比較例１において得られたものと同じ直径０．０１０インチのタングステン−３（ｗ／ｏ）レニウム・ワイヤ・フィラメントを使用した。ただし、この場合には、約２６００℃で約６０分間にわたる最終熱処理を施す代りに、約３２００℃で約２分間にわたる最終熱処理（再結晶）がフィラメントに施された。
【００２９】
図２には、こうして得られたミクロ組織が倍率５００×で示されているが、約２０ミクロンより大きい粒度が達成されたことがわかる。
【００３０】
Ｘ線管内における電子放出のために必要な温度においては、かかるフィラメントのクリープ寿命は比較例１のフィラメント以上に満足すべきものであることが判明した。こうして得られたフィラメント部材はまた、従来のタングステン・フィラメントに勝る延性を示すと共に、同等の降伏強さを有していた。
【００３１】
以上、様々な実施の態様に関連して本発明を説明したが、本明細書に基づけば、本発明の範囲内において様々な組合せの構成要素、変更又は改良を使用し得ることが当業者には容易に理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【図１】５５ｐｐｍのカリウムを含有するタングステン−３％レニウム・フィラメントを２６００℃で１時間にわたり熱処理したものの走査電子顕微鏡写真（倍率５００×）である。
【図２】５５ｐｐｍのカリウムを含有するタングステン−３％レニウム・フィラメントを３２００℃で２分間にわたり熱処理したものの走査電子顕微鏡写真（倍率５００×）である。
【図１】
0004808835.tif 000002
【図２】
0004808835.tif 000003