(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハケースに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケースにおいて、自動搬送ラインでは、上記ウエハケースから上記取っ手を取り外し、上記取っ手を取り外した部分に自動搬送装置によって上記ウエハケースを保持可能にする保持部品を取り付けて、上記ウエハケースを運用することを特徴とするウエハケースの運用方法。
【請求項２】
上記自動搬送ライン以外では、上記ウエハケースから上記保持部品を取り外し、上記ウエハケースに上記取っ手を取り付けて、上記ウエハケースを運用することを特徴とする請求項１に記載のウエハケースの運用方法。
【請求項３】
上記取っ手が上記ウエハケースの両側面それぞれ着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハケースの運用方法。
【請求項４】
ウエハケースに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケースにおいて、上記ウエハケースから上記取っ手を取り外し、上記取っ手を取り外した部分に自動搬送装置によって上記ウエハケースを保持可能にする保持部品を取り付けて、上記保持部品を介して上記自動搬送装置が上記ウエハケースを保持して搬送することを特徴とするウエハケースの搬送方法。
【請求項５】
上記取っ手が上記ウエハケースの両側面それぞれ着脱可能に取り付けられていることを特徴とする請求項４に記載のウエハケースの搬送方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハケースの運用方法または請求項４若しくは請求項５に記載のウエハケース搬送方法に使用される保持部品であって、上記保持部品は、上記自動搬送装置が使用する操作部と、上記操作部を一方の面で支持する支持体と、上記支持体の他方の面に形成され且つ上記ウエハケースの側面に形成された被連結部と連結するための連結部と、を有することを特徴とするウエハケース搬送用保持部品。
【請求項７】
上記被連結部は、上記ウエハケースの側面から突出する少なくとも一対の突出部と上記側面との間にそれぞれ形成する少なくとも一対の溝によって形成され、上記連結部は、上記各溝それぞれと係合する少なくとも一対の係合部によって形成されていることを特徴とする請求項６に記載のウエハケース搬送用保持部品。
【請求項８】
上記一対の溝は、上記側面から逆向きに突出する突出部によって形成され、上記一対の係合部は、上記溝の上記突出部の突出方向とは逆向きに突出した係合突出部として形成されていることを特徴とする請求項７に記載のウエハケース搬送用保持部品。
【請求項９】
上記被連結部と上記連結部とを密着させて上記ウエハケースに対して上記保持部品を上記側面に固定する締結部材を上記支持体に設けたことを特徴とする請求項８に記載のウエハケース搬送用保持部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハを収納するウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケースに使用されるウエハケース搬送用保持部品に関し、更に詳しくは、一種類のウエハケースを半導体製造工場間のウエハ搬送用及び半導体製造工場内のウエハ搬送用として運用するウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケース搬送用保持部品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハを搬送する際に使用されるウエハケースとしては、特許文献１に記載されているように、ＦＯＳＢ(Front Opening Shipping Box)やＦＯＵＰ(Front
Opening Unified Pot)等がある。ＦＯＳＢは、ウエハメーカーがデバイスメーカーへウエハを出荷、搬送する時に使用され、ＦＯＵＰは、デバイスメーカーが半導体製造工場内で半導体ウエハを搬送する時に使用される。これらのウエハケースは、いずれも内部を密閉し、半導体ウエハを外気に曝すことなくパーティクルによる汚染から防ぐことができる密閉可能な容器として形成されている。
【０００３】
従って、従来から半導体製造工場でウエハケースを運用する場合には、まず、ウエハメーカーで製造された半導体ウエハをＦＯＳＢ内に密閉した後、デバイスメーカーへ搬送する。デバイスメーカーではＦＯＳＢからＦＯＵＰへ半導体ウエハを移し替えてストッカーでＦＯＵＰのまま半導体ウエハを保管する。そして、半導体ウエハに対して各種の処理を行う場合には、ＡＧＶ、ＲＧＶ等の無人搬送車を使用して各種の処理工程間及び処理工程内でＦＯＵＰを介して半導体ウエハを各処理工程それぞれの処理装置へ搬送する。各種の処理工程において半導体ウエハの処理が終了すると、再び半導体ウエハを出荷する前に、ＦＯＵＰからＦＯＳＢに移し替えている。
【特許文献１】特開２００２−２８０４４５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のウエハケースの運用方法の場合には、工場間の搬送に使用されるＦＯＳＢと工場内の搬送で使用されるＦＯＵＰとを使い分けてウエハケースを運用するため、ＦＯＳＢとＦＯＵＰの二種類ウエハケースを準備し、これらのウエハケース間で半導体ウエハの移し替え作業を行わなくてはならず、ウエハケースの運用方法が煩雑であり、しかも二種類のウエハケースを準備するため運用コストが高かった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、半導体製造工程において、ウエハケースの運用を簡素化し、運用コストを低減することができるウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケース搬送用保持部品を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、ＦＯＳＢやＦＯＵＰ等のウエハケースを使い分けることなく、一種類のウエハケースを一貫して使用できないかと種々検討した結果、廉価なＦＯＳＢの構造に特定の対策を講じることで、高価なＦＯＵＰを使用することなく、ＦＯＳＢを工場間、各種の処理工程間及び工程内での搬送に一貫して使用し得ることを知見した。
【０００７】
本発明は、上記知見に基づいてなされたもので、本発明の請求項１に記載のウエハの運用方法は、ウエハケースに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケースにおいて、自動搬送ラインでは、上記ウエハケースから上記取っ手を取り外し、上記取っ手を取り外した部分に自動搬送装置によって上記ウエハケースを保持可能にする保持部品を取り付けて、上記ウエハケースを運用することを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項２に記載のウエハの運用方法は、請求項１に記載の発明において、上記自動搬送ライン以外では、上記ウエハケースから上記保持部品を取り外し、上記ウエハケースに上記取っ手を取り付けて、上記ウエハケースを運用することを特徴とするものである。
【０００９】
また、本発明の請求項３に記載のウエハの運用方法は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記取っ手が上記ウエハケースの両側面それぞれ着脱可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の請求項４に記載のウエハの搬送方法は、ウエハケースに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケースにおいて、上記ウエハケースから上記取っ手を取り外し、上記取っ手を取り外した部分に自動搬送装置によって上記ウエハケースを保持可能にする保持部品を取り付けて、上記保持部品を介して上記自動搬送装置が上記ウエハケースを保持して搬送することを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の請求項５に記載のウエハの搬送方法は、請求項４に記載の発明において、上記取っ手が上記ウエハケースの両側面それぞれ着脱可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の請求項６に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のウエハケースの運用方法または請求項４若しくは請求項５に記載のウエハケース搬送方法に使用される保持部品であって、上記保持部品は、上記自動搬送装置が使用する操作部と、上記操作部を一方の面で支持する支持体と、上記支持体の他方の面に形成され且つ上記ウエハケースの側面に形成された被連結部と連結するための連結部と、を有することを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の請求項７に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項６に記載の発明において、上記被連結部は、上記ウエハケースの側面から突出する少なくとも一対の突出部と上記側面との間にそれぞれ形成する少なくとも一対の溝によって形成され、上記連結部は、上記各溝それぞれと係合する少なくとも一対の係合部によって形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の請求項８に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項７に記載の発明において、上記一対の溝は、上記側面から逆向きに突出する突出部によって形成され、上記一対の係合部は、上記溝の上記突出部の突出方向とは逆向きに突出した係合突出部として形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
また、本発明の請求項９に記載のウエハケース搬送用保持部品は、請求項８に記載の発明において、上記被連結部と上記連結部とを密着させて上記ウエハケースに対して上記保持部品を上記側面に固定する締結部材を上記支持体に設けたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、保持部品を準備しておくだけで、一種類のウエハケースを半導体ウエハの工場間の搬送用及び半導体ウエハの処理工程間の搬送用、処理工程内の搬送用として運用することができ、ウエハケースの運用を簡素化し、運用コストを低減することができるウエハケースの運用方法、ウエハケースの搬送方法及びウエハケース搬送用保持部品を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。まず本実施形態に用いられるウエハケースについて図１〜図５を参照しながら説明する。このウエハケースは、従来から工場間の搬送に使用されているＦＯＳＢの一部の構造を改良し、保持部品を取り付けられるようにすることで、工場内の自動搬送に対応できるようにしたものである。工場内では例えば自動搬送装置として無人搬送車を使用する。この無人搬送車にはウエハケースを移載する搬送アームが装備され、搬送アームを用いて荷台とストッカーあるいは各種の処理装置との間でウエハケースを自動的に移載する。
【００１８】
本実施形態に用いられるウエハケース１０は、例えば図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、複数の半導体ウエハを収納するケース本体１１と、ケース本体１１の半導体ウエハの搬出入口に取り付けられた開閉蓋（図示せず）と、着脱可能な取っ手（図示せず）と、を備え、複数の半導体ウエハを工場間で搬送するＦＯＳＢとして形成されている。そして、ウエハケース１０には無人搬送車による自動搬送に対応させるために、保持部品２０を作製した。この保持部品２０は、同図に示すように、ウエハケース１０の両側面１１Ａに取り付けられた取っ手を取り外した後に、ウエハケース１０の両側面１１Ａに対して着脱自在に取り付けられる構造になっている。保持部品２０が装着されたウエハケース１０は、工場内ではＦＯＵＰの代替品として使用できる。
【００１９】
従って、本実施形態では、保持部品２０を準備しておくだけで、ウエハケース１０は、半導体ウエハの工場間の搬送用及び半導体ウエハの処理工程間の搬送用、処理工程内の搬送用として運用することができ、従来のようにＦＯＳＢとＦＯＵＰの二種類のウエハケースを運用する必要がなく、ＦＯＳＢとＦＯＵＰとの間での半導体ウエハの移し替え作業を省略することができ、ウエハケース１０の運用を簡素化することができ、延いては運用コストを低減することができる。
【００２０】
そこで、ウエハケース１０及び保持部品２０について説明する。ウエハケース１０の両側面１１Ａには、図１の（ａ）に示すように保持部品２０を着脱するための二対の第１、第２の突出部１２、１３が上下方向に形成されている。即ち、ウエハケース１０の両側面１１Ａには同図の（ａ）に示すように上方から下方まで略矩形状の第１、第２の凹陥部１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｂが３箇所に形成されている。上下の第１の凹陥部１１Ｂ、１１Ｂは、第２の凹陥部１１Ｃを挟むように配置されている。上下の第１の凹陥部１１Ｂ、１１Ｂ内にはそれぞれ第１の突出部１２、１２が対をなして形成され、これらの突出部１２、１２は側面形状が略Ｌ字状を呈し、第１の凹陥部１１Ｂ、１１Ｂが互いに対向する辺に沿って形成されている。上方の第１の突出部１２は第1の凹陥部１１Ｂとで上側に溝１２Ａを形成し、下方の第１の突出部１２は第1の凹陥部１１Ｂとで下側に溝１２Ａを形成している。また、第２の凹陥部１１Ｃ内には上下で対向する辺に沿って第1の突出部１２と同様の第２の突出部１３、１３が対をなして形成されている。上方の第２の突出部１３は下側に溝１３Ａを形成し、下方の第２の突出部１３は上側に溝１３Ａを形成している。
【００２１】
而して、保持部品２０は、例えば図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、無人搬送車（図示せず）が使用する操作部２１と、この操作部２１を一方の面（表面）で支持する板状の支持体２２と、この支持体２２の裏面に形成され且つウエハケース１０の側面に形成された被連結部（第1、第２の突出部）と連結するための連結部２３と、を有し、ウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａに取り付けて使用する。
【００２２】
保持部品２０の表面に形成された操作部２１は、図１の（ａ）、（ｂ）に示すように、板状の支持体２２の表面から水平に張り出してフランジ状に形成されている。同図の（ｂ）に示すように保持部品２０をウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａに取り付けられるとウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａから操作部２２、２２が張り出し、ウエハケース１０は両側の操作部２１を介して無人搬送車の搬送アームで支持されるようになっている。この操作部２１には三角形状の切欠部２１Ａが形成され、この切欠部２１Ａを介して無人搬送車（図示せず）の搬送アームで支持する位置を決めるようにしてある。
【００２３】
保持部２０の裏面に形成された連結部２３は、図１の（ａ）に示すようにウエハケース１０の第１、第２の突出部１２、１３それぞれに対応させた第１、第２の係合用突出部２４、２５として側面形状が略Ｌ字状に形成されている。第１の係合用突出部２４は、支持体２２の上下の両端縁に対をなして形成され、第２の係合用突出部２５は、上下の一対の第１の係合用突出部２４、２４の間に対をなして形成されている。上方の第１の係合用突出部２４は、ウエハケース１０の上方の第１の突出部１２の溝１２Ａに噛み込んで第１の突出部１２と連結される。下方の第１の係合用突出部２４は、ウエハケース１０の下方の第１の突出部１２の溝１２Ａに噛み込んで第１の突出部１２と連結される。また、上方の第２の係合用突出部２５は、ウエハケース１０の上方の第２の突出部１３の溝１３Ａに噛み込んで第２の突出部１３と連結される。下方の第２の係合用突出部２５は、ウエハケース１０の下方の第２の突出部１３の溝１３Ａに噛み込んで第２の突出部１３と連結される。
【００２４】
また、支持体２２の上下両端縁部には上下一対の締結部材２６が上下の第１の係合用突出部２４、２４に隣接する切欠部２２Ａに取り付けられている。これらの締結部材２６は、支持体２２の上下で支持体２２をウエハケース１０の側面１１Ａから浮かせる方向の力を付与し、第１、第２の係合用突出部２４、２５とウエハケース１０の第１、第２の突出部１２、１３とのガタツキを防止し、保持部品２０をウエハケース１０の側面１１Ａに確実に固定する機能を有している。上下の締結部材２６は、図１〜図３に示すように同一構造を有するため、上方の締結部材２６を例に挙げて説明する。
【００２５】
締結部材２６は、図２、図３に示すように、略矩形状の板状に形成されている。この締結部材２６は、上記各図に示すように、本体２６Ａと、本体２６Ａの下端部に左右両端部が突出するように取り付けられたピン２６Ｂと、本体２６Ａの裏面の幅方向中央でピン２６Ｂのやや上方に位置させ形成された突起部２６Ｃと、本体２６Ａの裏面で左右両端部に形成された一対のピン用溝２６Ｄと、を有し、支持体２２の切欠部２２Ａにピン結合している。
【００２６】
また、図２に示すように、支持体２２の切欠部２２Ａの両側面の下端部には、締結部材２６のピン２６Ｂの両端が回転自在に嵌り込む溝２２Ｂ、２２Ｂが形成されている。また。切欠部２２Ａの両側面には締結部材２６のピン用溝２６Ｄに対応するピン２２Ｃ、２２Ｃが取り付けられている。従って、締結部材２６は、ピン２６Ｂを中心に回転して支持体２２の切欠部２２Ａに嵌め込まれるとピン用溝２６Ｄ、２６Ｄが切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃと嵌合し固定されるようになっている。また、締結部材２６の突起部２６Ｃの本体２６Ａからの突出高さｈ（図３の（ｃ）参照）は、ピン用溝２６Ｄ、２６Ｄが切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃと嵌合した状態で第１の凹陥部１１Ｂの底面に圧接して、第１、第２の係合用突出部２４、２５と第１、第２の突出部突起部１２、１３との間のガタツキをなくし保持部品２０をウエハケース１０の側面１１Ａに確実に結合するようになっている。
【００２７】
また、図４に示す保持部品２０Ａは操作部２１が支持体２２の下端部に形成されていること以外は、上記実施形態に準じて構成されている。支持体２２における操作部２１の位置は、無人搬送車の種類に応じて変更することができる。図４には示してないが、このウエハケース１０も第１、第２の凹陥部１１Ｂ、１１Ｃには第１、第２の突出部が形成され、保持部品２０Ａには第１、第２の突出部に対応する第１、第２の係合用突出部が形成されている。そして、支持体２２には締結部材が装着されている。
【００２８】
また、上記実施形態では、ウエハケース１０の側面１１Ａの第１、第２の凹陥部１１Ｂ、１１Ｃに第１、第２の突出部１２、１３を設け、第１、第２の突出部１２、１３と第１、第２の凹陥部１１Ｂ、１１Ｃとの間で溝１２Ａ、１３Ａを形成する場合について説明した。しかし、溝１２Ａ、１３Ａは、図５に示すように第１、第２の凹陥部１１Ｂ、１１Ｃそれぞれの上下の辺から互いに対向する方向に張り出す張り出し出し部１４、１４によって形成された溝であっても良い。
【００２９】
次に、本実施形態のウエハケースの運用方法及び搬送方法の一実施形態について図６、図７をも参照しながら説明する。
【００３０】
まず、ウエハメーカーがウエハケース１０内に所定枚数の半導体ウエハを収納する。そして、半導体ウエハを収納したウエハケース１０をウエハメーカーからデバイスメーカーへ搬送する。デバイスメーカーでは半導体ウエハを収納したウエハケース１０を工場内に搬入し、図６に示すように工場のクリーンルーム内の所定のストッカー１０１で受け入れる。
【００３１】
デバイスメーカーでは、半導体ウエハにデバイスを形成するため、半導体ウエハを所定の各種のウエハ処理工程へ供給する前に、ウエハケース１０の側面１１Ａの取っ手を取り外した後、図１の（ａ）、（ｂ）に示すようにウエハケース１０の両側面１１Ａ、１１Ａに保持部品２０、２０を取り付ける。それには、同図の（ａ）に示すように、保持部品２０の第１、第２の係合用突出部２４、２５をウエハケース１０の側面１１Ａに当てて第１、第２の突出部１２、１３に合わせ、保持部品２０を背面側から正面側へ摺動させると、第１、第２の係合用突出部２４、２５が第１、第２の突出部１２、１３において溝１２Ａ、１３Ａに差し込まれ、第１、第２の係合用突出部２４、２５が第１、第２の突出部１２、１３とが連結される。この状態では第１、第２の係合用突出部１４、１５と第１、第２の突出部１２、１３との間には若干のガタツキがある。
【００３２】
そこで、支持体２２の上下に取り付けられた締結部材２６を起こしてピン２６Ｂを中心に回転させて締結部材２６を支持体２２の切欠部２２Ａ内に押し込むと、締結部材２６のピン用溝２６Ｄ、２６Ｄと切欠部２２Ａのピン２２Ｃ、２２Ｃとが嵌合すると共に、突起部２６Ｃがウエハケース１０の第１の凹陥部１１Ｂの底面に圧接し、第１、第２の係合用突出部２４、２５と第１、第２の突出部１２、１３との間のガタツキがなくなり、保持部品２０がウエハケース１０の側面に緊密に固定される。これにより保持部品２０は、ウエハケース１０から外れないようになる。
【００３３】
そして、図６に示すように取っ手と保持部品２０とを取り替えたウエハケース１０をストッカー１０１内に保管しておく。半導体ウエハに対して各種の処理を行う場合には、同図に示すように無人搬送車１０２が駆動して、自動搬送ライン１０３に従ってストッカー１０１の搬出口へ移動する。そして、搬出入口で無人搬送車１０２の搬送アーム（図示せず）が駆動し、搬送アームがストッカー１０１の搬出入口で移動し、ウエハケース１０に到達すると、搬送アームが上昇して保持部品２０の操作部２１を介してウエハケース１０を持ち上げる。搬送アームは、ウエハケース１０を保持すると無人搬送車１０２の荷台上にウエハケース１０を移載する。
【００３４】
次いで、無人搬送車１０２は、図６に示すように各種の処理工程１０４へ自動搬送ライン１０３に従って移動し、それぞれの処理工程１０４に配置されたストッカー（図示せず）内へウエハケース１０を搬送し、移載する。そして、各種の処理工程１０４では工程内で無人搬送車（図示せず）が移動して、ストッカーとその処理装置との間でウエハケース１０の搬送を行う。この場合、各種の処理工程ではそれぞれに専属の無人搬送車（図示せず）によってウエハケース１０を搬送する。また、無人搬送車１０２を使用しても良い。各処理工程でウエハケース１０の開閉蓋を自動的に開閉し、半導体ウエハを処理装置内へ搬送し、それぞれの処理を終えると、無人搬送車１０２で最後段の処理工程のストッカーへウエハケース１０を搬送し、保管する。次いで、ストッカーから例えば検査工程のストッカー１０５へウエハケース１０を搬送し、保管する。
【００３５】
検査工程では、その工程内で使用される無人搬送車１０６がストッカー１０５と複数の検査装置１０７との間で自動搬送ライン１０３に従って移動してウエハケース１０を搬送する。この場合、ウエハケース１０の開閉蓋を開放した状態（オープンカセット）で搬送する。検査装置に開閉蓋の開閉装置が付設されていれば、開閉蓋を閉じたまま搬送する。図７に示すように、無人搬送車１０６が検査装置１０７の側面で停止すると、無人搬送車１０６の搬送アーム１０６Ａが駆動し、搬送アーム１０６Ａがウエハケース１０に装着された保持部品２０の操作部２１を介してウエハケース１０を荷台から持ち上げる。この際、搬送アーム１０６Ａは操作部２１に形成された切欠部２１Ａを介して搬送アーム１０６Ａとウエハケース１０の位置決めを行う。その後、搬送アーム１０６Ａがウエハケース１０を検査装置１０７のロードポート１０７Ａまで搬送し、ロードポート１０７Ａ上にウエハケース１０を載置する。
【００３６】
検査装置１０７では、ロードポート１０７Ａでウエハケース１０を受け取ると、ターンテーブル１０７Ｂが回転し、ウエハケース１０の搬出入口をウエハ搬送機構１０７Ｃに向ける。ウエハ搬送機構１０７Ｃは、ウエハケース１０から半導体ウエハを一枚ずつ搬出し、検査室１０７Ｄへ搬送し、所定の検査を行う。ウエハケース１０内の半導体ウエハの検査を行っている間に、無人搬送車１０６は次のウエハケース１０をストッカー１０５から搬送し、もう一つのロードポート１０７Ａ’へウエハケース１０を一点鎖線で示すように搬送し、先のウエハケース１０内の全ての半導体ウエハについて検査を行った後、途切れることなく連続して半導体ウエハの検査を行えるようにしておく。また、無人搬送車１０６は、それぞれの検査が間断なく行えるようにストッカー１０５と各検査装置１０７との間でウエハケース１０の搬送を行う。
【００３７】
一つの検査装置１０７において、ウエハケース１０内の半導体ウエハについて検査を終了すると、無人搬送車１０６でそのロードポート１０７Ａからウエハケース１０を搬出し、ストッカー１０５の元の場所へ戻す。ストッカー１０５に戻されたウエハケース１０は、無人搬送車１０６で他の検査装置１０７へ搬送される。そして、クリーンルーム内での各種の処理を終了すると、この工場内のストッカー（図示せず）から他の工場等へウエハケース１０を搬送する。この際、ウエハケース１０から保持部品２０を取り外し、元の取っ手をウエハケース１０に取り付ける。
【００３８】
以上説明したように本実施形態によれば、ウエハケース１０の両側面１１Ａそれぞれに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケース１０において、自動搬送ライン１０３では、ウエハケース１０から取っ手を取り外してその部分に無人搬送車１０２、１０６によってウエハケース１０を保持可能にする保持部品２０を取り付けて、ウエハケース１０を運用し、また、自動搬送ライン１０３以外では、ウエハケース１０から保持部品２０を取り外し、ウエハケース１０に取っ手を取り付けて、ウエハケース１０を運用するため、ウエハケース１０の取っ手を保持部品２０に付け替えるだけで、工場間の搬送で使用するウエハケース１０をクリーンルーム内の自動搬送ライン１０３で使用するウエハケース１０として運用することができ、種類の異なるウエハケース間での半導体ウエハの移し替え作業を必要とせず、ウエハケース１０の運用を簡素化することができ、ウエハケース１０の運用コストを低減することができる。従って、従来のように二種類のウエハケース、つまりＦＯＳＢとＦＯＵＰを準備する必要がなく、廉価なＦＯＳＢを準備するだけで良く、ウエハケース１０に要する費用を削減することができる。
【００３９】
また、本実施形態によれば、ウエハケース１０の両側面１１Ａそれぞれに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケース１０において、ウエハケース１０から取っ手を取り外してその部分に無人搬送車１０２、１０６によってウエハケース１０を保持可能にする保持部品２０を取り付けて、保持部品２０を使用して無人搬送車１０２、１０６がウエハケース１０を保持して搬送するため、自動搬送ライン１０３でもそれ以外の場所でもウエハケース１０を搬送することができ、従来のように二種類のウエハケース、つまりＦＯＳＢとＦＯＵＰを準備する必要がなく、廉価なＦＯＳＢを準備するだけで良く、ウエハケース１０に要する費用を削減することができる。
【００４０】
また、本実施形態によれば、保持部品２０は、無人搬送車１０２、１０６が使用する操作部２１と、操作部２１を表面側で支持する支持体２２と、支持体２２の裏面側に形成され且つウエハケース１０の側面１１Ａに形成された第１、第２の突出部１２、１３と連結するための第１、第２の係合用突出部２４、２５と、を有するため、第１、第２の係合用突出部２４、２５をウエハケース１０の側面１１Ａの第１、第２の突出部１２、１３に結合させるだけで、保持部品２０をウエハケース１０へ簡単に取り付けることができ、ウエハケース１０の運用を簡素化することができる。また、第１、第２の突出部１２、１３と第１、第２の係合用突出部２４、２５とを密着、固定する締結部材２６を支持体２２に設けたため、ウエハケース１０に対して保持部品２０を確実に固定することができ、無人搬送車１０２、１０６によってウエハケース１０を確実に搬送することができる。
【００４１】
尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を適宜変更することができる。要は、ウエハケースの取っ手と保持部品とを付け替えるだけで、工場間の搬送、工場内の各種の処理工程間の搬送及び処理工程内の搬送に一種類のウエハケースで対応できるようにしてあれば、本願発明に包含される。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、半導体ウエハを搬送する場合に好適に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のウエハケースの運用方法で使用される保持部品の一実施形態を示す斜視図で、（ａ）は保持部品をウエハケースに装着する前の状態を示す図、（ｂ）は保持部品を装着し、締結部材で固定する直前の状態を示す図である。
【図２】図１の（ａ）、（ｂ）に示す保持部品の締結部材を拡大して示す斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図２に示す締結部材を示す図で、（ａ）は表面側の平面図、（ｂ）は裏面側の平面図、（ｃ）は下方からの平面図である。
【図４】本発明のウエハケースの運用方法で使用される本発明の保持部品の他の実施形態を示す斜視図である。
【図５】本発明のウエハケースの運用方法で使用されるウエハケースの側面に形成された溝の他の例を示す断面図である。
【図６】本発明のウエハケースの運用方法の一実施形態を概念的に示す平面図である。
【図７】図６に示す処理工程の一部を拡大して示す平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０    ウエハケース
１１    ケース本体
１１Ａ  側面
１２、１３  突出部（被連結部）
１２Ａ、１３Ａ  溝（被連結部）
２０    保持部品（）
２１    操作部
２２    支持体
２３    連結部
２４  、２５  係合用突出部（連結部）
２６    締結部材
【図１】
0004681485.tif 000002
【図２】
0004681485.tif 000003
【図３】
0004681485.tif 000004
【図４】
0004681485.tif 000005
【図５】
0004681485.tif 000006
【図６】
0004681485.tif 000007
【図７】
0004681485.tif 000008