(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を、決められた流れの方向に、測定すべき質量流量で、輸送するための熱伝導材料で出来た中空の導管（２）、この導管（２）と熱的に接触して、前記流体に熱を供給する、第一の位置における第一の感温抵抗体（３）、温度センサ（４）、および抵抗体（３）および温度センサ（４）に接続可能な測定および制御手段（５）を含む質量流量計（１，２１，３１，４１）において、温度センサ（４）は、前記第一の位置に対して上流の第二の位置に、導管（２）と熱的に接触して設けられた第二の感温抵抗体（４）であり、測定および制御手段（５）は、前記第一および第二の位置で、一定の温度差を維持するよう設計されており、前記第二の位置に対して下流の第三の位置に、前記導管（２）と熱的に接触して流体に熱を供給する、第一の感温抵抗体（３）と同一の第三の感温抵抗体（１３）、および前記第二、第一および第三の位置に対して下流の第四の位置に、この導管（２）と熱的に接触して流体の温度を測定する、第二の感温抵抗体（４）と同一の第四の感温抵抗体（１４）をも含むことを特徴とする質量流量計。
【請求項２】
第二の抵抗体（４）の抵抗は、設定された温度において、第一の抵抗体（３）の抵抗より、少なくとも１０倍大きいこととする請求項１に記載の質量流量計。
【請求項３】
導管（２）は、第二および第四の位置の少なくとも一方で、第一の位置における肉厚よりも大きな肉厚となっていることとする請求項１又は請求項２に記載の質量流量計。
【請求項４】
抵抗体（３）は、二つの部分、すなわち、ヒータ部分とセンサ部分（１４）に分割されており、このセンサ部分の抵抗温度係数と他の温度センサの抵抗温度係数が等しいこととする請求項１に記載の質量流量計。
【請求項５】
ヒータ部分とセンサ部分の抵抗線が織り合わされていることとする請求項４に記載の質量流量計。
【請求項６】
センサ部分の抵抗値と他の温度センサの抵抗値が等しいこととする請求項４または請求項５に記載の質量流量計。
【請求項７】
ヒータの抵抗線の横断面がセンサの横断面より大きいこととする請求項４、請求項５そして請求項６のうちの一つに記載の質量流量計。
【請求項８】
センサは、二つの部分、すなわち、センサ部分とヒータ部分（１３）に分割されていることとする請求項１ないし請求項７のうちのいずれか一つに記載の質量流量計。
【請求項９】
ヒータ部分とセンサ部分の抵抗線が織り合わされており、センサ部分の抵抗値と他の温度センサの抵抗値が等しく、ヒータの抵抗線の横断面がセンサの横断面より大きいこととする請求項８に記載の質量流量計。
【請求項１０】
温度センサ（４，１４）は、限定された最高供給電圧が給電されるホイートストーンブリッジに組み込まれており、一方、ヒータは、ホイートストーンブリッジの比較器を通して、信号を受け取り、その結果、このヒータは、固定抵抗器により、センサで測定される周囲温度以上の、予め決められた値に設定された温度にまで加熱されることとする請求項４または請求項８に記載の質量流量計。
【請求項１１】
中空導管は、Ｕ字形をなす熱交換器を形成し、一つもしくは複数のセンサおよび一つもしくは複数のヒータは、Ｕ字形の一方の脚にあるかあるいは分割されて両方の脚に在ることとする請求項１ないし請求項１０のうちの一つに記載の質量流量計。
【請求項１２】
熱交換器は、中空導管の入口部分および出口部分の少なくとも一方と熱交換する関係にあることとする請求項１１に記載の質量流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体を、決められた流れの方向に、測定すべき質量流量で、輸送するための熱伝導材料で出来た中空の導管、この導管と熱的に接触して、前記流体に熱を供給する、第一の位置における第一の感温抵抗体、温度センサ、および抵抗体および温度センサに接続可能な測定および制御手段を含む質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
このような質量流量計は、米国特許No.４９８４４６０以来既知であり、該特許においては、導管の周りに巻き付けられた第一の感温抵抗体が、第一のブリッジ回路に組み込まれており、該ブリッジ回路は、さらに、それぞれ、周囲温度を測定するための温度センサとして、また、第一の抵抗体の位置において、この抵抗体の熱放散を通して、導管の温度を設定するための設定センサとして機能する二つの抵抗体を含んでいる。この既知の質量流量計は、さらに、導管の周りに巻き付けられ、第二のブリッジ回路に組み込まれた第二の感温抵抗体を含んでおり、該ブリッジ回路は、同様に、さらに、それぞれ、周囲温度を測定するための温度センサとして、また、第二の抵抗体の位置において、この抵抗体の熱放散を通して、導管の温度を設定するための設定センサとして機能する二つの抵抗体を含んでいる。これらブリッジ回路は、導管の周りに巻き付けられた二つの抵抗体と周囲温度の間の温度差が、設定-抵抗器を用いて設定された値にほぼ等しくなるようにする制御ユニットに接続されている。導管を通って流れる流体の質量流量は、導管の周りに巻き付けられた第一および第二の抵抗体に供給されるエネルギーの差から、既知の装置で、求められる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
米国特許以来既知の流量計を運用するには、二つのブリッジ回路を使わなければならないため、導管の周りに巻き付けられた第一および第二の抵抗体の位置における温度差は、必ずしも０に等しくはなく、したがって、この質量流量計の感度には、固有の限界が有る。固有の安定性の問題に加えて、二つのブリッジ回路使用のもう一つの欠点は、これらの回路に必要な比較的多数の部品から生ずるコストの増大効果である。
【０００４】
本発明の目的は、簡単な動作原理による質量流量計を提供することであり、この質量流量計は、原則として、ブリッジ回路一個で十分である。
【０００５】
また、既知の質量流量計よりも広い範囲を有する質量流量計を提供することもその目的である。
【０００６】
本発明のまた別の目的は、流体の質量流量が、従来技術の質量流量計より迅速に、そして、正確に測定できる質量流量計を提供することである。
【０００７】
前記目的はまた、ヨーロッパ特許出願EP 0467430Aにも記述されている。既知の従来の流量計はまた、ここでも説明されている（コラム１、３３〜４８行参照）。この既知の流量計の欠点として述べられているのは（コラム１、ライン４９〜５６参照）、流量とセンサ出力の間の非直線関係、すなわち、流量がゼロに近づく小流量の範囲では、小さな傾斜および湾曲点が有り、したがって、その範囲では、センサの感度の低減が示されること、である。コラム２、ライン３１からコラム４、ライン５まで（同ライン含む）においては、該特許出願書に添付の図面１〜３を参照して、従来のサーマルタイプの流量計の有様を詳細に説明し、また、コラム４、ライン３１および以下では、図４、５および６を参照して、前記欠点を克服し、小流量の範囲においても、感度が高く、かつ、流量の全範囲に亘って、高いセンサ出力を発生することができる、湾曲点の無いサーマルタイプの流量計を作成する方法が説明されている。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
プリアンブルで記述されているタイプの質量流量計では、これらの目的は、達成され、また、他の利点も獲得されており、該質量流量計においては、本発明により、前記第一の位置に対して上流の、第二の位置に、導管と熱的に接触して、温度センサが設けられており、測定および制御手段は、前記第一および第二の位置で、一定の温度差を維持するよう設計されている。
【０００９】
本発明は、中空導管を通って流れる流体の質量流量は、前記第一および第二の位置における温度差を一定の値に維持するために前記第二の位置で供給しなければならないエネルギーから確実なやり方で導けるという驚くべき洞察を基にしている。
【００１０】
本発明による質量流量計の一実施形態においては、温度センサは、第二の感温抵抗体である。
【００１１】
また、好適な一実施形態においては、第一および第二の感温抵抗体は、同じ温度係数を有し、かつ、これら抵抗体は、ブリッジ回路に組み込まれており、第二の抵抗体の抵抗は、設定された温度において、第一の抵抗体の抵抗より大きい。従来の装置の場合と異なり、この実施形態におけるブリッジ回路の出力信号は、測定されるべき質量流量の目安であり、導管を通って流れる媒体の温度とは完全に無関係である。
【００１２】
また、別の好適な一実施形態においては、ブリッジ回路は、ホイートストーンブリッジであり、その出力は、フィードバックループで、ブリッジの頂部に接続される。
【００１３】
また、別の一実施形態においては、ホイートストーンブリッジを有する質量流量計は、前記第二の位置に対して下流の第三の位置に、この導管と熱的に接触して流体に熱を供給する、第一の感温抵抗体と同一の第三の感温抵抗体を含んでいる。同一な第一および第三の抵抗体を選択し、それらの温度を、温度センサにより測定した値の上の同じ一定値まで加熱することによって、ホイートストーンブリッジの出力信号は、測定すべき質量流量がゼロの場合、上記の実施形態の場合と異なり、ゼロに等しくなり、したがって、オフセット信号を補正する必要はない。この実施形態において、第一および第三の抵抗体で放散される熱が、対流、伝導あるいは放射によって、温度センサにより測定された値に影響を及ぼすことなく、放散できるよう、導管がさらに構成されている場合は、ホイートストーンブリッジの出力信号の符号で、導管を通る流体の流れの方向についての情報がさらに得られることになる。
【００１４】
また、別の一実施形態においては、ホイートストーンブリッジを有する質量流量計は、前記第二および第一の位置に対して下流の第四の位置に、この導管と熱的に接触して流体の温度を測定する、第二の感温抵抗体と同一の追加の感温抵抗体を含んでいる。この実施形態では、第一の温度センサによって測定された温度の値は、第一および第二の温度センサによって測定された値の平均値で置き換えることができる、という利点が有り、したがって、導管上の温度勾配から生ずる温度の測定値の不正確さは、相当程度まで、平均化できる。この実施形態において、第一の抵抗体で放散される熱が、対流、伝導あるいは放射によって、温度センサにより測定された値に影響を及ぼすことなく、放散できるよう、導管がさらに構成されている場合は、ホイートストーンブリッジの出力信号の符号で、導管を通る流体の流れの方向についての情報がさらに得られることになる。
【００１５】
また、非常に好適な一実施形態においては、ホイートストーンブリッジを有する質量流量計は、前記第二の位置に対して下流の第三の位置に、この導管と熱的に接触して流体に熱を供給する、第一の感温抵抗体と同一の第三の感温抵抗体、および前記第二、第一および第三の位置に対して下流の第四の位置に、この導管と熱的に接触して流体の温度を測定する、第二の感温抵抗体と同一の第四の感温抵抗体を含んでいる。この実施形態においては、最後に述べた二つの実施形態の利点が組み合わされている。
【００１６】
上記最後の三つの実施形態において、「上流」および「下流」の観念は、任意の意味を持ち、第一、第二、第三および第四の相対的な位置を表すのに用いられているに過ぎない。
【００１７】
温度センサとして機能する第二の抵抗体の自己加熱から生ずる、測定されるべき質量流量の誤差を無くすあるいは相当程度まで減らすためには、第二の抵抗体の抵抗は、設定温度において、第一の抵抗体の抵抗より、少なくとも１０倍大きいことが望ましい。
【００１８】
また、好適な一実施形態においては、第一および第二の感温抵抗体は、白金抵抗器である。
【００１９】
本発明による質量流量計における中空導管の熱伝導材料は、少なくとも10W・m-1・K-1に等しい値の熱伝導係数λを有している。温度センサの有り得る自己加熱の結果としての流量測定値の結果に対する悪影響は、例えば、ステンレス鋼などの材料により、さらに抑制される。
【００２０】
また、実用的な一実施形態においては、中空導管は、管を含み、その内径は、約０．１ｍｍと５ｍｍの間の範囲、望ましくは、約０．８ｍｍと３ｍｍの間の範囲に在る。
【００２１】
導管は、例えば、約０．０５ｍｍと約０．５ｍｍの間の範囲、望ましくは、約０．１ｍｍと約０．３ｍｍの間の範囲に肉厚を有している。
【００２２】
温度センサとして機能する第二の抵抗体の自己加熱の結果としての、測定されるべき質量流量の誤差の大幅な低減に特に適した一実施形態においては、導管は、第二、第四、それぞれ第二および第四の位置の場所において、第一の位置の場所における肉厚よりも大きな肉厚を有している。前記位置、すなわち、第一および（または）第二の温度センサの位置におけるより大きな肉厚による、導管と温度センサの間のより大きな接触面積を利用して、センサで放散される最小限の量の熱を排出することができ、一方、下方に有るより厚い導管壁の塊は、さらに熱排出体として機能する。
【００２３】
本発明による質量流量計のまた別の実施形態においては、温度センサは、熱電対、望ましくは熱電対列であり、その第一の側は、前記第一の位置に熱的に結合されており、その第二の側は、前記第二の位置に熱的に結合されている。
【００２４】
熱電対を温度センサとして利用する場合は、測定および制御手段は、例えば、それ自体既知のプロセッサを含んでいる。
【００２５】
温度センサは、上記の実施形態に限定されず、このセンサは、原則として、ワイヤ抵抗器、薄膜抵抗器、蒸着層あるいはスパッタ層、サーミスタあるいはｐｎ半導体トランジションなど、本目的に適ういかなる感温体を含んでもよい。
【００２６】
上述の、また、上記のヨーロッパ特許出願EP 467430 Aでも記述された質量流量計には、多数の欠点が有る。
【００２７】
まず、出力信号を媒体の温度の変化に鈍感にするには、上流および下流の両方に位置している抵抗器が、正確に同じ抵抗温度係数を持つことが肝要である。これは、両抵抗器が、「同じリールから取った」電線で作成され、したがって同じ線径を有している場合のみ、保証され得る。この方式では、上流に位置している抵抗器が、下流に位置している抵抗器より１０倍大きくなければならない場合、上流に位置している抵抗線は、下流に位置している抵抗線より、１０倍長くなるかあるいは１０倍太くなる。この両極端とも受け入れることはできない。なぜなら、第一の方法では、センサはコンパクトではなくなり、また、第二の方法では、センサは、媒体の温度を正しく測定しないからである。
【００２８】
したがって、この構成の欠点は、流量計の出力信号が、媒体の温度に左右されることである。
【００２９】
次に、上流に位置する抵抗器は、媒体の温度のみを検出することに注目したい。下流に位置する抵抗器（ヒータ）を、上流に位置する抵抗器（センサ）から十分に離して設置することにより、ヒータから漏れた熱がセンサに到達することを防ぐことができる。しかしながら、両抵抗器をホイートストーンブリッジ構成に組み込むことによって、センサを通る電流は、ヒータを通る電流が、流量が増大するにつれて増大するため、同様に増大する。したがって、センサも、エネルギーの放散によって加熱され、ヒータとしても機能し始めることになる。流量が増大すると、その結果、流量センサの感度は、理論的に予想された感度に対して、減少し、センサの測定範囲は、制限されることになる。
【００３０】
したがって、この構成の欠点は、流量センサの感度が、流量に左右され、それにより、測定範囲が上限に限られることである。
【００３１】
次に、上記に関連した問題として、流量の変化に対する流量センサの応答が、より遅いことである。これは、センサとヒータの両方が、ヒータとして機能し、両者とも、流れに対して熱を発生することが原因である。すなわち、時定数が二つ含まれる結果、流量センサは、ヒータのみが流れに対して熱を発生する場合よりもより長い期間の後で、流量の最終値のみを示すことになる。
【００３２】
したがって、この構成の欠点は、流量センサの応答速度が最適ではないことである。「ラグ効果」（最初は、ヒータの結果として、応答は迅速であるが、次いで、センサの結果として、最終値に対する応答が遅い）が生ずる場合すらある。
【００３３】
本発明の別の目的は、下記の通りである。
・  既存の流量計の場合よりも高い流量が測定できる質量流量計の提供；
・  媒体の温度とは無関係な出力信号が得られる質量流量計の提供；
・  メータが理論に従ってより長い期間動作するので、より正確な測定ができる；
・  ヒータのみが熱を発生し、センサは、最早そうしなくてもよいため、「ラグ効果」が最早生じず、したがって、より迅速な測定ができる。
【００３４】
上述した流量計の観察された欠点は、流量計の構造に関して、下記の対策を取ることによって、排除可能である。
・  中空導管（管）は、上流側の抵抗器（センサ）の位置で厚くすることができ、それにより、管の外面を大きくすることができる。したがって、下流側の抵抗器（ヒータ）よりも高い値を有するセンサ抵抗器が、下流側の抵抗器よりもはるかに長くしたり太くしたりすることなしに、簡単な方法で実現可能である。この方式では、「同じリールから取った」抵抗線で、R（センサ）：R（ヒータ）＝１０：１の条件を満足することが可能である。この方式で実現した流量センサと図２の回路を組み合わせることにより、出力電圧が、媒体の温度とは無関係な質量流量計が実現する（固有温度補償）。
・  ホイートストーンブリッジでは、上流に配設した感温抵抗器（センサ）は、固定抵抗器により置き換えることができ、それにより、ホイートストーンブリッジの出力電圧は、温度により左右される。センサをブリッジから取り外すと、自己加熱は起こらず、流量センサの感度は、流量とは無関係に、一定となる。それにより、正確さおよび応答速度が増大する。この場合、媒体温度センサを、ホイートストーンブリッジの出力信号の測定点の後の回路に配設することにより、媒体の異なる温度を補償することも可能である（外因的温度補償）。
・  変形例として、発熱体を二つの部分に分け、一方は、発熱体として機能し続け、他方は、温度センサとして、発熱体の温度を検出するようにする。二つの温度センサは、次いで、測定ブリッジとしてのみ働き、センサの自己加熱が全く起こらない（受動型の）ホイートストーンブリッジに組み込む。発熱体は、ホイートストーンブリッジとは無関係に加熱され、温度センサは、温度を検出し、ホイートストーンブリッジは、信号を発生して、発熱体が、あらゆる条件下で、周囲温度よりも高いある一定の温度に加熱されるようにする。発熱体に掛かる電圧は、依然として出力信号であり、該出力信号は、固有温度補償され、正確で、迅速なレスポンスを与える。
・  第一の温度センサに、流れの方向が決定できるまた別の発熱体を、任意に配設する。
・  温度センサを使用して、それ自体既知のやり方で動作する流量計の測定範囲は、中空導管が、その長さの一部に沿って、厚くされた壁を有する場合、導管壁のこの部分に感温センサを配設することにより、増大可能である。両抵抗器が、それぞれ、発熱体およびセンサの両方として動作する場合、発熱体によって発生した熱は、管壁を通して漏れて行く。流れが、管を通って走ると、上流側の管は、冷却され、下流側の管は、加熱される。最大の測定範囲は、上流側の管壁が完全に冷却され、下流側の管壁が完全に加熱された場合に得られる。管壁の設定厚さは、設定感度および設定範囲を表す。管壁を厚くすると、感度は、減少する（熱の漏れがより大きくなるため、温度差は最大となる）が、測定範囲は増大する（流量がより高い場合のみ、検出すべき温度差は、最小となる）。
・  測定範囲および感度は、管の長さ方向で見て、発熱体の長さを増大することにより、さらに増大可能である。
・  センサと発熱体の抵抗値が、同じ場合、ホイートストーンブリッジを通した電子手段により、センサの抵抗は、ヒータの抵抗値より高い所望の値、例えば約１０倍の値を常に有するようにすることができる。その利点は、両抵抗器が、同じ抵抗線から製造できることである。
【００３５】
本特許出願書で理解された流量計の設定条件は、下記の通りである。
・  センサとヒータの間の温度勾配の発生を防がなければならない（このような温度勾配の、出力信号に対する影響を防ぐためである）；
・  メータの感度を最大限にすること。
【００３６】
本発明による流量計の好適な実施形態は、下記のことを特徴にしている。
・  流量計の構造（導管、巻線、ハウジング）は、最大限対称的である；
・  発熱体は、導管の長さ方向で見て、最大限長い；
・  管壁は、最大限薄い（感度が最高、熱の漏れが最少、そして、媒体温度の検出が最適）；
・  ヒータとセンサの間の距離が、定義された最小値より大きい（ヒータによるセンサの加熱が防止される）。
【００３７】
対称性の条件に関しては、U字形に曲げた管で、その上に対称的に配設された巻線を有するものを使用するのが望ましいが、取付け金具も対称的でなければならない。
【００３８】
管壁の厚さに関しては、管の外径と内径の比は、下記の式から選ぶのが望ましい。
0004831879.tif 000002
ヒータとセンサの間の距離に関しては、≧４ｍｍ、かつ ≦１０ｍｍ が望ましい。
【００３９】
以下、さらなる実施形態を基に、図面を参照して、本発明を説明する。対応する構成要素は、図面において、同じ参照番号を付けてある。
【００４０】
【発明実施の形態】
図１Aは、管２を通して矢印の方向に流れる流体φ用の質量流量計１の約０．８ｍｍの内径および約０．１ｍｍの肉厚を有するステンレス鋼（SS）の管２を示す。管２の容量は、校正液がイソプロピルアルコール（IPA）の場合、約２ｋｇ／時間である。SS管２の周りには、商標名ResisthermRの市販のニッケル・鉄合金製で、それぞれ、１００Ωおよび１０００Ωの抵抗を有する（電気的に絶縁された）抵抗線３および４が、巻き付けられており、これら電線は、それぞれ、ヒータ抵抗器３および温度センサ４として機能する。温度センサ４の位置において、管２の肉厚ｗをΔｗの値だけ増大させることにより、管の外面の面積をこの位置で増大させている。これにより、ヒータ抵抗器３より値が大きい抵抗器が、ヒータ抵抗器３よりはるかに長くしたり太くしたりすることなく、簡単なやり方で実現可能である。この方式では、「同じリールから取った」抵抗線で、R（センサ）：R（ヒータ）＝１０：１の条件を満足することが可能である。この方式で実現した流量センサと図２の回路を組み合わせることにより、出力電圧が、媒体の温度とは無関係な質量流量計が実現する（固有温度補償）。
【００４１】
比較的高い流量の測定範囲および感度は、図１Bに示しように、ヒータ３の長さを増大することにより増大可能である。
【００４２】
また、ヒータ３も、管２の太くした部分に配設することにより（図１C）、質量流量計の測定範囲は、比較的低流量に向けて拡大できる。この場合の動作は、図１Aおよび１Bの場合とは異なり、二つの抵抗器３および４は、共にヒータでもあり、センサでもある。ヒータにより発生した熱は、管壁を通して漏れて行く。管２を通る流れが無い場合は、管２に沿って、対称的な温度分布が生じている。管２を通る流れが有る場合は、管壁の上流側が冷却され、管壁の下流側が加熱される。その結果として生じる温度差は、抵抗器により検出され、流量の目安となる。管壁の上流側が完全に冷却され、管壁の下流側が完全に加熱された場合は、最大の測定範囲が得られる。管壁の設定厚さは、設定感度および設定範囲を表す。管壁を厚くすると、感度は、減少する。また、熱の漏れがより大きくなるため、最大の温度差が生じるが、測定範囲は、増大する。流量がより高い場合のみ、検出すべき温度差は、最小になる。
【００４３】
図１Dに示したように、比較的低い流量における感度は、測定範囲を既に増大してある場合、抵抗器３の長さを増大することにより、さらに増大可能である。
【００４４】
図２Aは、ブリッジ回路５を示し、該回路では、図１の抵抗器３、４は、それぞれ、「加熱ブランチ」および「センサブランチ」として、それぞれ固定抵抗器６、８と直列に組み込まれており、該固定抵抗器は、抵抗値の比が、抵抗器３および４の値の比（この場合１０：１）に等しくなるように選んである。ホイートストーンブリッジ６、８、３、４、１２に掛かる電圧は、差動増幅器７により、パワートランジスタ９のベースに帰還され、該トランジスタは、ブリッジの平衡を回復する電流を供給し、このようにして、ヒータ抵抗器３とセンサ抵抗器４の温度差は、設定抵抗器１２により設定した一定の値に保持される。固定抵抗器６と感温抵抗器４の接合点の電圧は、抵抗器３で放散されるエネルギーの目安であり、したがって、管２を通って流れる流体の流量の目安である。この電圧は、増幅器１０の出力１１で読み取られる。
【００４５】
図２Bは、図２Aのセンサ抵抗器を固定抵抗器２３で置き換えた構造を示し、これにより、ホイートストーンブリッジ５の出力電圧は、温度依存性となる。しかしながら、センサ４がブリッジ５から取り外されているので、自己加熱は、起こらず、流量に対する質量流量計の感度は、流量とは無関係に一定のままである。これにより、正確さおよび応答速度は、増大する。この場合、回路２２により、ブリッジの外の回路に温度センサ４を組み込むことにより、媒体の異なる温度を補償することが可能である（外因的温度補償）。
【００４６】
図２Cによる変形例では、センサ４とヒータ抵抗器３は、同じ抵抗値を有する。センサ抵抗器４の抵抗は、ホイートストーンブリッジ５にスマートな電子装置を設けることにより、例えば１０倍に増大できる。これには、「同じリールから取った」電線で、ヒータ３およびセンサ４が容易に構成できる、という利点がある。電子装置は、次のように働く。すなわち、ホイートストーンブリッジ５において、パワートランジスタ９とブリッジの固定抵抗器８の間に、減衰器２４を配設する。さらに、固定抵抗器８と比較器７の正の入力の間に、増幅器２５を配設する。ホイートストーンブリッジ５の右側ブランチは、ブリッジの固定抵抗器８および１２とセンサ抵抗器４からなり、抵抗値の点で、固定抵抗器６とヒータ３からなるブリッジ５の左側のブランチに匹敵する。しかしながら、減衰器２４は、ホイートストーンブリッジの頂部において、例えば、信号を１０倍減衰し、したがって、右側のブランチでは、左側のブランチに加えられる電圧の１/１０が存在する。この方式により、両抵抗器は、同じ値を有するという事実にもかかわらず、センサ抵抗器４においては、ヒータ抵抗器３におけるよりも、はるかに少ないエネルギーが放散される。温度挙動の点では、ブリッジ５の左側および右側ブランチは、依然として正確に歩調を揃えている。二つのブランチの間の電圧レベルは、今や、例えば、１０倍の差が有り、したがって、それらは、比較器７により直接比較することはできない。しかしながら、増幅器２５により、信号を再び、例えば１０倍増幅することにより、両ブランチは、再び、比較器７に直接接続可能となる。この方式では、出力信号１１は、温度補償されるので、センサ４およびヒータ３は、抵抗値に１０倍の差が無くてもよい。
【００４７】
図３は、管2を通って矢印の方向に流れる流体φ用の質量流量計の全長に沿って一定の外形を有する熱伝導材料で出来た管２を示す。第二のヒータ抵抗器として機能する第三の抵抗線１３が、それぞれ、温度センサ４およびヒータ抵抗器３として機能する抵抗線４および３に、下流で隣接して、管２の周りに巻き付けられている。
【００４８】
図４は、図３の抵抗器３および１３が、第一のブリッジ回路の「加熱ブランチ」内の固定抵抗器１５、１６と共に第二のブリッジ回路に組み込まれ、センサ４が第一のたブリッジ回路の「センサブランチ」に組み込まれた第一のブリッジ回路５２を示す。第一のホイートストーンブリッジ５２に掛かる電圧は、差動増幅器７により、パワートランジスタ９のベースに帰還され、該トランジスタは、ブリッジの平衡を回復する電流を供給し、このようにして、ヒータ抵抗器３、１３とセンサ抵抗器４の温度差は、設定抵抗器１２により設定した一定の値に保持される。感温抵抗器３、１３に掛かる電圧の差は、抵抗器３、１３で放散されるエネルギーの差の目安であり、したがって、管２を通って流れる流体の流量の目安であり、この場合、測定信号の符号は、流体の流れの方向によって、明確に決定される。この電圧は、差動増幅器１７の出力１８で読み取られる。
【００４９】
図５は、管2を通って矢印の方向に流れる流体φ用の質量流量計３１の熱伝導材料で出来た管２を示す。第二の温度センサとして機能する追加の抵抗線１４が、それぞれ、温度センサ４およびヒータ抵抗器３として機能する抵抗線４および３に、下流で隣接して、管２の周りに巻き付けられている。
【００５０】
図６は、図５の抵抗器４および１４が、第一のブリッジ回路の「センサブランチ」内の固定抵抗器１９、２０と共に第二のブリッジ回路に組み込まれ、抵抗器３が第一のブリッジ回路の「加熱ブランチ」に組み込まれた第一のブリッジ回路５３を示す。第一のホイートストーンブリッジ５３に掛かる電圧は、差動増幅器７により、パワートランジスタ９のベースに帰還され、該トランジスタは、ブリッジの平衡を回復する電流を供給し、このようにして、ヒータ抵抗器３とセンサ抵抗器４、１４の平均値の温度差は、一定の値に保持される。固定抵抗器６と感温抵抗器３の接合点の電圧は、抵抗器３で放散されるエネルギーの目安であり、したがって、管２を通って流れる流体の流量の目安である。この電圧は、増幅器１０の出力１１で読み取られる。
【００５１】
図７は、管2を通って矢印の方向に流れる流体φ用の質量流量計４１の熱伝導材料で出来た管２を示す。第二のヒータ抵抗器として機能する第三の抵抗線１３および第二の温度センサとして機能する第四の抵抗線１４が、それぞれ、温度センサ４およびヒータ抵抗器３として機能する抵抗線４および３に、下流で隣接して、それぞれ、管２の周りに巻き付けられている。
【００５２】
図８は、図７の抵抗器３、１３および４、１４が、それぞれ図４および６に示した第一のブリッジ回路５２および５３内の第二のブリッジ回路に対応するそれぞれの第二のブリッジ回路に組み込まれた第一のブリッジ回路５４を示す（詳細な説明は、上記参照）。
【００５３】
本発明による質量流量計は、例えば、遠隔通信用の硝子繊維を製造するための方法における、減圧弁と組み合わせた液体流量計など、多数の分野で応用可能である。センサは、メチルトリクロロシランあるいはTEOSなどのシリコン含有液体の流量を測定し、制御する。この液体は、蒸発器を用いて気相にする。化学蒸着法（CVD）では、シリコンと酸素を結合して、硝子を形成する。この硝子（棒状）は、次いで、加熱しながら引き伸ばして、長い硝子繊維にする。
【００５４】
別の用途は、燃料電池の研究および開発である。センサは、例えば、減圧弁またはポンプと組み合わせて使用し、メタノールあるいはガソリンなどの燃料と水を電池に供給する。
【００５５】
図９Aの構造では、図１Aのヒータ３が、二つの部分、すなわち、エネルギーを放散するヒータ部分３と、ヒータおよび媒体の温度を検出する温度センサ部分１４に分割され、それぞれ異なる機能を有している。二つの別個の抵抗器３と１４は、交互に織り合わせることが望ましい。重要なことは、温度センサ４および温度センサ１４の両方が、「同じリールから取った」抵抗線で作れ、したがって、それらは同じ抵抗温度係数を有していることである。それらの抵抗値は、同様に、正確に同じであることが望ましい。ヒータ３が、最大限の熱交換面を有することを可能にするためには、ヒータ３の抵抗線は、センサ４および１４の抵抗線より大きな直径を有していることが望ましい。
【００５６】
図９Bは、図９Aと比べると、第一の感温体４に、別のヒータ１３が付いているのが分かる。このヒータ／センサの組合せには、図９Aの場合と同じことが当てはまる。この構成の追加の特徴は、この方式では、流れの方向も示すことができる、ということである。
【００５７】
図１０Aは、単に測定ブリッジとして機能し、また、限定された最高の供給電圧が給電されるために、センサの自己加熱が全く起こらない受動型のホイートストーンブリッジに、図９Aの二つの温度センサ４と１４を組み込む方法を示すものである。ヒータ３は、ホイートストーンブリッジとは無関係に加熱される。温度センサ１４は、媒体の温度を検出し、ホイートストーンブリッジは、比較器７を通して信号を発生して、ヒータ３が、あらゆる条件下で、周囲温度よりも高いある一定の温度に加熱されるようにする。温度差（ΔT）は、固定抵抗器１２により調整され、ΔTの測定は、センサ４により行なわれる。ヒータ３に掛かる電圧は、依然として、緩衝増幅器１０を通した出力信号１１である。この出力信号１１は、固有温度補償され、正確で、迅速なレスポンスを有している。
【００５８】
図１０Bは、図９Bに示したセンサで測定されたままの質量流量の値を求めるのに適した回路を示す。
【００５９】
図１１Ａ〜１１Gは、質量流量計の七つの好適な変形実施形態を示す。流量管１００は、さまざまなやり方で曲げて、例えば、同じ直線でより大きな経路長を得ることができる。センサハウジング１０１は、さまざまなやり方で設計して、センサ管の形状を囲むことが可能である。センサおよびヒータ抵抗器１０２は、図１、３、５、７および９のそれぞれの図面および説明で示したように、さまざまなやり方で巻き付けることが可能である。熱交換器１０３は、さまざまなやり方で配設して、周囲温度と媒体温度の差を等しくすることが可能である。管２は、熱交換器１０３の内側に、直進、曲げ、螺旋など、さまざまなやり方で走らせて、最大限の熱交換面を得ることが可能である。センサハウジング１０１の内側には、さまざまな絶縁材料１０４を配設して、自然対流の結果として生ずる「煙突効果」を防ぐことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による質量流量計の第一の実施形態の中空導管を示し、図１Ａは該中空導管の斜視図で示し、図１Bはヒータがより長い場合を示し、図１Cはヒータおよびセンサが共に中空導管の厚くした部分に在る場合を示し、図１Dは図１Ｂと１Ｃを組み合せた場合を示す。
【図２】本発明による質量流量計の一実施形態を示し、図２Ａはセンサ（複数も可）を制御するためのブリッジ回路の図を示し、図２Ｂはブリッジの温度センサを固定抵抗器で置き換え、その外部に温度センサを設けた場合を示し、図２Ｃはブリッジのセンサブランチに抵抗を増大する電子手段を設けた場合を示す。
【図３】本発明による質量流量計の別の一実施形態の中空導管を斜視図で示す。
【図４】本発明による質量流量計の、図３による一実施形態のブリッジ回路の図を示す。
【図５】本発明による質量流量計の別の一実施形態の中空導管の斜視図を示す。
【図６】本発明による質量流量計の、図５による一実施形態のブリッジ回路の図を示す。
【図７】本発明による質量流量計のまた別の一実施形態の中空導管の斜視図を示す。
【図８】本発明による質量流量計の、図７による一実施形態のブリッジ回路の図を示す。
【図９】ヒータを示し、図９AおよびＢは、ヒータを、加熱が生じる部分と、温度を測定する部分に分ける二つの可能な変形例を示す。
【図１０】各メータを制御するための回路を示し、図１０AおよびＢは、図９AおよびＢによる各メータを制御するための二つの回路を示す。
【図１１】対称性、ヒータの長さ、管壁の厚さ、およびヒータとセンサの間の距離についての条件から見て推奨される、本発明による流量計の構造に関する多数の変形例を示す。
【符号の説明】
１  質量流量計
２  導管
３  感温抵抗体（ヒータ）
４  温度センサ
５  制御手段（ブリッジ回路）
１３  感温抵抗体
１４  温度センサ（センサ部分）
２１  質量流量計
３１  質量流量計
４１  質量流量計
５２  ブリッジ回路
５３  ブリッジ回路
５４  ブリッジ回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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