(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化タングステン基超硬合金製歯切工具基体の表面に、
（ａ）いずれもＣｒとＡｌとＳｉの複合窒化物からなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、
（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、
上記薄層Ａは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ａ＋Ｂ）ＡｌＡＳｉＢ］Ｎ（ただし、原子比で、Ａは０．０１〜０．１０、Ｂは０．３５〜０．５０を示す）を満足するＣｒとＡｌとＳｉの複合窒化物層、
上記薄層Ｂは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｃ＋Ｄ）ＡｌＣＳｉＤ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｃは０．２０〜０．３５、Ｄは０．１５〜０．３０を示す）を満足するＣｒとＡｌとＳｉの複合窒化物層、からなり、
（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＳｉＦ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．４５〜０．６５、Ｆは０．０１〜０．１０を示す）を満足するＣｒとＡｌとＳｉの複合窒化物層、
からなる硬質被覆層を蒸着形成してなることを特徴とする合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製歯切工具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、硬質被覆層がすぐれた耐熱塑性変形性を有し、さらに高温硬さと高温強度に加えて、すぐれた高温耐酸化性も具備し、したがって特に合金鋼などの高い発熱を伴う高速歯切加工に用いた場合にも、長期に亘ってすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製歯切工具（以下、被覆超硬歯切工具という）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一般に自動車や航空機、さらに各種駆動装置などの構造部材として各種歯車が用いられ、これら歯車の歯形の歯切加工に被覆超硬歯切工具（ソリッドホブ）が用いられている。
また、被覆超硬歯切工具としては、例えば図３に概略斜視図で示される通り、回転軸に対して放射状に、かつ長さ方向に沿って複数の歯溝が形成され、それぞれの歯溝間に、前記歯溝に面し、回転方向に対して前面がすくい面となる前後面と、逃げ面となる頂面（歯先歯面）および両側面（左右歯面）で構成された歯部が、長さ方向に沿って連続的に複数形成された形状に機械加工された炭化タングステン基超硬合金製歯切工具基体（以下、超硬歯切基体という）の表面に、各種の硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆超硬歯切工具が知られている。
【０００３】
歯切工具基体に設ける硬質被覆層としては、例えば、
組成式：（Ａｌ1-（Ｘ＋Ｙ）ＣｒＸ ＳｉＹ）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．２０〜０．７５、Ｙは０．０１〜０．３０を示す）を満足するＣｒ，Ａｌ及びＳｉを主成分とする複合窒化物［以下、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎで示す］層からなる硬質被覆層を物理蒸着してなる被覆歯切工具が提案され、前記硬質被覆層を構成する複合窒化物層は、優れた耐摩耗性を備えることが知られている。
【０００４】
さらに、上記の被覆歯切工具が、例えば図２に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置に上記の基体を装入し、ヒータで装置内を、例えば雰囲気を２Ｐａの真空雰囲気として、５００℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＣｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して、例えば２Ｐａの反応雰囲気とし、一方上記基体には、例えば−２００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記基体の表面に、上記（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着することにより製造されることも知られている。
【特許文献１】特開２００３−３２１７６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の切削加工装置の高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削加工は高速化の傾向にあるが、上記従来の被覆歯切工具においては、これを通常の歯切加工条件で用いた場合には問題はないが、高熱発生を伴う合金鋼等の高速歯切加工条件で用いた場合には、硬質被覆層に偏摩耗の原因となる熱塑性変形が発生し、この結果摩耗進行が著しく促進するようになることから、比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特に合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬歯切工具を開発すべく、上記従来の被覆歯切工具の硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層に着目し、研究を行った結果、
（ａ）上記従来の硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層において、Ｓｉ成分の含有割合を多くすれば硬質被覆層の耐熱塑性変形性は向上するようになるが、一方では、硬質被覆層に所定の高温硬さを持たせるためにＡｌ成分を４５〜６５原子％程度含有させる必要があることから、Ｓｉ成分の含有割合は精々１〜１０原子％程度までであって、これ以上含有させると、Ｃｒ成分の含有割合が低下するようになり、上記従来の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層の具備するすぐれた高温硬さ、高温強度、および高温耐酸化性のうち、特に高温強度が低下するようになるばかりでなく、この程度のＳｉ含有割合では、上記の合金鋼の高速歯切加工に際して、熱塑性変形を十分満足に抑制することのできる高い耐熱塑性変形性を確保することはできないこと。
【０００７】
（ｂ）上記（ａ）の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層に比して、Ｓｉ含有割合をきわめて高く、一方Ｓｉ成分の含有割合を高めた分、Ａｌ含有割合を低くして、
組成式：［Ｃｒ1-（Ａ＋Ｂ）ＡｌＡＳｉＢ］Ｎ（ただし、原子比で、Ａは０．０１〜０．１０、Ｂは０．３５〜０．５０を示す）を満足するものとし、もってＡｌ成分の低含有によって高温硬さおよび高温耐酸化性は不十分となるが、高Ｓｉ含有によって耐熱塑性変形性を一段と向上せしめた（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層（以下、薄層Ａという）と、
上記薄層Ａに比して、相対的にＡｌ含有割合を相対的に高く、一方Ｓｉ含有割合を相対的に低くして、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｃ＋Ｄ）ＡｌＣＳｉＤ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｃは０．２０〜０．３５、Ｄは０．１５〜０．３０を示す）を満足するものとし、もって前記薄層Ａに比して、低Ｓｉ含有で相対的に耐熱塑性変形性は低いものとなるが、Ａｌ含有割合を相対的に高くした分高い高温硬さおよび高温耐酸化性を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層（以下、薄層Ｂという）、
を、それぞれの一層平均層厚を５〜２０ｎｍ（ナノメーター）の薄層とした状態で、交互積層すると、この結果の薄層Ａおよび薄層Ｂの交互積層構造の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層（この場合、前記薄層Ａおよび薄層Ｂとも３５原子％以上のＣｒ成分を含有するので、高い高温強度を保持する）においては、上記の高Ｓｉ含有の薄層Ａによるすぐれた耐熱塑性変形性と、上記の相対的に高いＡｌ含有の薄層Ｂによる高温硬さおよび高温耐酸化性を具備するようになること。
【０００８】
（ｃ）上記（ｂ）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層は、合金鋼の高速歯切加工で要求される、すぐれた耐熱塑性変形性および高温強度を有するが、前記薄層Ａおよび薄層Ｂとも相対的にＡｌ成分の含有割合が低いので、十分満足する高温硬さおよび高温耐酸化性を具備するものではなく、一方上記（ａ）の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、すなわち、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＳｉＦ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．４５〜０．６５、Ｆは０．０１〜０．１０を示す）を満足する単一相構造の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層は、合金鋼の高速歯切加工で要求される十分な耐熱塑性変形性を具備するものではないが、Ａｌ成分の高含有によってすぐれた高温硬さおよび高温耐酸化性を具備するので、これを上記の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層の下部層として硬質被覆層を構成すると、この結果の硬質被覆層は、すぐれた耐熱塑性変形性および高温強度、さらにすぐれた高温硬さおよび高温耐酸化性を備えたものとなるので、この硬質被覆層を蒸着形成してなる被覆超硬工具は、上記の高熱発生を伴う合金鋼の高速歯切加工でも、偏摩耗の原因となる熱塑性変形の発生なく、すぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮すること。
以上（ａ）〜（ｃ）に示される研究結果を得たのである。
【０００９】
この発明は、上記の研究結果に基づいてなされたものであって、回転軸に対して放射状に、かつ長さ方向に沿って複数の歯溝が形成され、それぞれの歯溝間に、前記歯溝に面し、回転方向に対して前面がすくい面となる前後面と、逃げ面となる頂面（歯先歯面）および両側面（左右歯面）で構成された歯部が、長さ方向に沿って連続的に複数形成された形状を有する炭化タングステン基超硬合金製歯切工具基体の表面に、
（ａ）いずれも（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる上部層と下部層で構成し、前記上部層は０．５〜１．５μｍ、前記下部層は２〜６μｍの平均層厚をそれぞれ有し、
（ｂ）上記上部層は、いずれも一層平均層厚が５〜２０ｎｍ（ナノメ−タ−）の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有し、
上記薄層Ａは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ａ＋Ｂ）ＡｌＡＳｉＢ］Ｎ（ただし、原子比で、Ａは０．０１〜０．１０、Ｂは０．３５〜０．５０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、
上記薄層Ｂは、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｃ＋Ｄ）ＡｌＣＳｉＤ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｃは０．２０〜０．３５、Ｄは０．１５〜０．３０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、からなり、
（ｃ）上記下部層は、単一相構造を有し、
組成式：［Ｃｒ1-（Ｅ＋Ｆ）ＡｌＥＳｉＦ］Ｎ（ただし、原子比で、Ｅは０．４５〜０．６５、Ｆは０．０１〜０．１０を示す）を満足する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層、
からなる硬質被覆層を蒸着形成してなる、合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する被覆超硬歯切工具（表面被覆超硬合金製歯切工具）に特徴を有するものである。
【００１０】
つぎに、この発明の被覆超硬工具の硬質被覆層に関し、上記の通りに数値限定した理由を説明する。
（ａ）下部層の組成式および平均層厚
上記の通り、硬質被覆層を構成する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層におけるＡｌ成分には高温硬さ、同Ｃｒ成分には高温強度を向上させると共に、ＡｌおよびＣｒが共存含有した状態で高温耐酸化性を向上させ、さらに同Ｓｉ成分には耐熱塑性変形性を向上させる作用があり、下部層ではＡｌ成分の含有割合を相対的に多くして、高い高温硬さおよび高温耐酸化性を維持するが、Ａｌの含有割合を示すＥ値がＣｒとＳｉとの合量に占める割合（原子比、以下同じ）で０．４５未満では、所望のすぐれた高温硬さおよび高温耐酸化性を確保することができず、摩耗進行が急激に促進するようになり、一方Ａｌの割合を示す同Ｅ値が同０．６５を越えると、高温強度が急激に低下し、この結果チッピング（微少欠け）などが発生し易くなることから、Ｅ値を０．４５〜０．６５と定めた。
また、Ｓｉの割合を示すＦ値がＣｒとＡｌの合量に占める割合で、０．０１未満では、所定の耐熱塑性変形性向上効果を確保することができず、一方同Ｆ値が０．１０を超えると、高温強度に明確な低下傾向が現れるようになることから、Ｆ値を０．０１〜０．１０と定めた。
さらに、その平均層厚が２μｍ未満では、自身のもつすぐれた高温硬さおよび耐熱塑性変形性を硬質被覆層に長期に亘って付与できず、工具寿命短命の原因となり、一方その平均層厚が６μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を２〜６μｍと定めた。
【００１１】
（ｂ）上部層の薄層Ａの組成式
上部層の薄層Ａの（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）ＮにおけるＳｉ成分には、上記の通り相対的にその含有割合を高くして、耐熱塑性変形性を向上させ、もって高熱発生を伴う合金鋼の高速歯切加工で偏摩耗の原因となる熱塑性変形の発生を防止する作用があるが、その含有割合を示すＢ値がＣｒとＡｌの合量に占める割合で、０．３５未満では前記作用に所望のすぐれた効果を確保することができず、一方同Ｂ値が０．５０を越えると、隣接して相対的に高温硬さおよび高温耐酸化性のすぐれた薄層Ｂが存在しても、上部層の高温硬さおよび高温耐酸化性の低下は避けられず、摩耗が促進するようになることから、Ｂ値を０．３５〜０．５０と定めた。
また、Ａｌの割合を示すＡ値がＣｒとＳｉの合量に占める割合で、０．０１未満では、最低限の高温硬さおよび高温耐酸化性を確保することができず、摩耗促進の原因となり、一方同Ａ値が０．１０を超えると、高温強度が低下するようになり、チッピング発生の原因となることから、Ａ値を０．０１〜０．１０と定めた。
【００１２】
（ｃ）上部層の薄層Ｂの組成式
上部層の薄層Ｂにおいては、Ｓｉ成分の含有割合を相対的に低くし、Ａｌ成分の含有割合を高く維持することで、相対的に高い高温硬さおよび高温耐酸化性を具備せしめ、隣接する薄層Ａの高温硬さおよび高温耐酸化性の不足を補強し、もって、前記薄層Ａの有するすぐれた耐熱塑性変形性と、前記薄層Ｂの有する高温硬さおよび高温耐酸化性を具備した上部層を形成するものであるが、組成式におけるＡｌの含有割合を示すＣ値が０．２０未満では、所望の高温硬さおよび高温耐酸化性を確保することができず、摩耗進行が促進するようになり、一方同Ｃ値が０．３５を越えると、上部層全体の高温強度が低下するようになり、チッピング発生の原因となることから、Ｃ値を０．２０〜０．３５と定めた。
また、Ｓｉの割合を示すＤ値がＣｒとＡｌの合量に占める割合で、０．１５未満になると、上部層全体の耐熱塑性変形性低下が避けられず、一方同Ｄ値が０．３０を超えると、高温強度が急激に低下するようになることから、Ｄ値を０．１５〜０．３０と定めた。
【００１３】
（ｄ）上部層の薄層Ａと薄層Ｂの一層平均層厚
それぞれの一層平均層厚が５ｎｍ未満ではそれぞれの薄層を上記の組成で明確に形成することが困難であり、この結果上部層に所望のすぐれた耐熱塑性変形性および所定の高温硬さおよび高温耐酸化性を確保することができなくなり、またそれぞれの一層平均層厚が２０ｎｍを越えるとそれぞれの薄層がもつ欠点、すなわち薄層Ａであれば高温硬さおよび高温耐酸化性不足、薄層Ｂであれば耐熱塑性変形性不足が層内に局部的に現れ、これが原因でチッピングが発生し易くなったり、摩耗進行が促進されるようになることから、それぞれの一層平均層厚を５〜２０ｎｍと定めた。
【００１４】
（ｅ）上部層の平均層厚
その平均層厚が０．５μｍ未満では、自身のもつすぐれた耐熱塑性変形性および高温硬さを硬質被覆層に長期に亘って付与できず、工具寿命短命の原因となり、一方その平均層厚が１．５μｍを越えると、チッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．５〜１．５μｍと定めた。
【発明の効果】
【００１５】
この発明の被覆超硬歯切工具は、硬質被覆層が（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなるが、硬質被覆層の上部層を薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造とすることによってすぐれた耐熱塑性変形性と所定の高温硬さおよび高温耐酸化性を具備せしめ、同単一相構造の下部層がすぐれた高温硬さおよび高温耐酸化性を有することから、特に高熱発生を伴う合金鋼などの高速歯切加工でも、硬質被覆層がすぐれた耐熱塑性変形性を発揮し、この結果切刃部に偏摩耗の原因となる熱塑性変形の発生なく、切刃部は正常摩耗形態をとり、すぐれた耐摩耗性を長期に亘って発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
つぎに、この発明の被覆超硬歯切工具を実施例により具体的に説明する。
【００１７】
原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、ＶＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃr3  Ｃ2 粉末、ＴｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼結して、直径：８５ｍｍ×長さ：１２５ｍｍの超硬合金製丸棒素材を形成し、この素材から機械加工にて、外径：８０ｍｍ×長さ：１２０ｍｍの全体寸法をもち、３条右捩れ×１７溝の形状をもった図３に示されるソリッドホブ型の超硬歯切基体Ａ〜Ｊをそれぞれ製造した。
【００１８】
（ａ）ついで、上記の超硬歯切基体Ａ〜Ｊのそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に示されるアークイオンプレーティング装置内の回転テーブル上の中心軸から半径方向に所定距離離れた位置に外周部にそって装着し、一方側のカソード電極（蒸発源）として、それぞれ表２に示される目標組成に対応した成分組成をもった上部層の薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金、他方側のカソード電極（蒸発源）として、同じくそれぞれ表２に示される目標組成に対応した成分組成をもった上部層の薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金を前記回転テーブルを挟んで対向配置し、また前記両Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金から９０度ずれた位置に前記回転テーブルに沿ってカソード電極（蒸発源）として下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金を装着し、
（ｂ）まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記回転テーブル上で自転しながら回転する超硬歯切基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ前記下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって超硬歯切基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金によってボンバード洗浄し、
（ｃ）装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する超硬歯切基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつ前記下部層形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって前記超硬歯切基体の表面に、表２に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層を硬質被覆層の下部層として蒸着形成し、
（ｄ）ついで、装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して２Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記回転テーブル上で自転しながら回転する超硬歯切基体に−１００Ｖの直流バイアス電圧を印加した状態で、前記薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金のカソード電極とアノード電極との間に５０〜２００Ａの範囲内の所定の電流を流してアーク放電を発生させて、前記超硬歯切基体の表面に所定層厚の薄層Ａを形成し、前記薄層Ａ形成後、アーク放電を停止し、代って前記薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金のカソード電極とアノード電極間に同じく５０〜２００Ａの範囲内の所定の電流を流してアーク放電を発生させて、所定層厚の薄層Ｂを形成した後、アーク放電を停止し（この場合薄層Ｂの形成から開始してもよい）、再び前記薄層Ａ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金のカソード電極とアノード電極間のアーク放電による薄層Ａの形成と、前記薄層Ｂ形成用Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金のカソード電極とアノード電極間のアーク放電による薄層Ｂの形成を交互に繰り返し行い、もって前記超硬歯切基体の表面に、層厚方向に沿って表２に示される目標組成および一層目標層厚の薄層Ａと薄層Ｂの交互積層からなる上部層を同じく表２に示される全体目標層厚で蒸着形成することにより、本発明被覆超硬歯切工具１〜１０をそれぞれ製造した。
【００１９】
また、比較の目的で、上記の超硬歯切基体Ａ〜Ｊを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、それぞれ図２に示されるアークイオンプレーティング装置に装入し、カソード電極（蒸発源）として、それぞれ表３に示される目標組成に対応した成分組成をもったＣｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金を装着し、まず、装置内を排気して０．１Ｐａ以下の真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、前記超硬歯切基体に−１０００Ｖの直流バイアス電圧を印加し、かつカソード電極の前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金とアノード電極との間に１００Ａの電流を流してアーク放電を発生させ、もって超硬歯切基体表面を前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金でボンバード洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記超硬歯切基体に印加するバイアス電圧を−１００Ｖに下げて、前記Ｃｒ−Ａｌ−Ｓｉ合金のカソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記超硬歯切基体の表面に、表３に示される目標組成および目標層厚の単一相構造を有する（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる硬質被覆層を蒸着形成することにより、比較被覆超硬歯切工具１〜１０をそれぞれ製造した。
【００２０】
つぎに、上記の本発明被覆超硬歯切工具１〜１０および比較被覆超硬歯切工具１〜１０を用いて、材質がＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの合金鋼にして、
モジュール：２、圧力角：２０度、歯数：４７、ねじれ角：３０度右捩れ、歯幅：２５ｍｍの寸法および形状をもった歯車の加工を、
切削速度（回転速度）：  ４５０ｍ／ｍｉｎ、
送り：  ２．０ｍｍ／ｒｅｖ、
加工形態：クライム、シフトなし、ドライ（エアーブロー）、
の高速歯切加工条件（上記ＪＩＳ・ＳＣｒ４２０Ｈの合金鋼歯車の加工の場合の切削速度は通常  ３５０  ｍ／ｍｉｎ）で行い、
逃げ面摩耗幅が  ０．１  ｍｍに至るまでの歯車加工数を測定した。
この測定結果を表２、３にそれぞれに示した。
【００２１】
【表１】
0004678589.tif 000002
【００２２】
【表２】
0004678589.tif 000003
【００２３】
【表３】
0004678589.tif 000004
【００２４】
この結果得られた本発明被覆超硬歯切工具１〜１０の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる硬質被覆層を構成する上部層の薄層Ａおよび薄層Ｂ、さらに同下部層の組成、並びに比較被覆超硬歯切工具１〜１０の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる硬質被覆層の組成を、透過型電子顕微鏡を用いてのエネルギー分散型Ｘ線分析法により測定したところ、それぞれ目標組成と実質的に同じ組成を示した。
また、上記の硬質被覆層の構成層の平均層厚を透過型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標層厚と実質的に同じ平均値（５ヶ所の平均値）を示した。
【００２５】
表２、３に示される結果から、本発明被覆超硬歯切工具は、いずれも硬質被覆層がそれぞれ組成の異なる、（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎからなる単一相構造の下部層と、層厚がそれぞれ５〜２０ｎｍの薄層Ａと薄層Ｂの交互積層構造を有する上部層で構成され、前記下部層がすぐれた高温硬さおよび高温耐酸化性、さらに高温強度を有し、さらに前記上部層がすぐれた耐熱塑性変形性と所定の高温硬さおよび高温耐酸化性、さらに高温強度を有し、硬質被覆層はこれらのすぐれた特性を兼ね備えたものとなるので、合金鋼製歯車の歯切加工を、高い発熱を伴う高速歯切加工条件で行なった場合にも、切刃部に偏摩耗の原因となる熱塑性変形の発生がなく正常摩耗形態をとり、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、硬質被覆層が単一相構造の（Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ）Ｎ層からなる比較被覆超硬歯切工具は、前記高速歯切加工条件では、特に硬質被覆層の耐熱塑性変形性不足が原因で切刃部に熱塑性変形が発生し、これによって摩耗形態が偏摩耗形態をとるようになることから、摩耗の進行が速くなり、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の表面被覆超硬合金製歯切工具（本発明被覆超硬歯切工具）は、通常の条件での歯切加工は勿論のこと、特に各種の合金鋼製歯車などの歯切加工を、高い発熱を伴う高速歯切加工条件で行なった場合にも、硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮し、長期に亘ってすぐれた性能を示すものであるから、歯切加工装置の高性能化、並びに歯切加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】この発明の被覆超硬歯切工具を構成する硬質被覆層を形成するのに用いたアークイオンプレーティング装置を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略正面図である。
【図２】通常のアークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図３】超硬歯切工具（ソリッドホブ）の概略斜視図である
【図１】
0004678589.tif 000005
【図２】
0004678589.tif 000006
【図３】
0004678589.tif 000007