【手続補正書】
【提出日】平成15年6月20日(2003.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１物体を載置して移動する第１可動ステージと、第２物体を載置して移動する第２可動ステージと、前記第１可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第１基準プレートと、前記第２可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第２基準プレートとを用い、前記第１及び第２可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記投影光学系を介して前記第１物体上に形成されたパターンを前記第２物体上に投影する走査型露光方法において、
前記投影光学系を介して前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第１検出工程と、
前記第１可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第２検出工程と、
前記第２可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第３検出工程と、
前記第１、第２及び第３検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係を求める工程と
を有することを特徴とする走査型露光方法。
【請求項２】
前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第４検出工程を有することを特徴とする請求項１の走査型露光方法。
【請求項３】
前記第４検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する工程を有することを特徴とする請求項２の走査型露光方法。
【請求項４】
前記第４検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる工程を有することを特徴とする請求項２の走査型露光方法。
【請求項５】
前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記投影光学系を保持する保持部材に固設された第３基準プレートに形成された複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第５検出工程と、前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第６検出工程とを有することを特徴とする請求項１の走査型露光方法。
【請求項６】
前記第５及び第６検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する工程を有することを特徴とする請求項５の走査型露光方法。
【請求項７】
前記第５及び第６検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる工程を有することを特徴とする請求項５の走査型露光方法。
【請求項８】
前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係に基づいて、前記第１及び第２可動ステージの少なくとも一方の露光走査方向を制御する工程を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかの走査型露光方法。
【請求項９】
請求項１乃至８いずれかの走査型露光方法を用いたことを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項１０】
第１物体を載置して移動する第１可動ステージと、第２物体を載置して移動する第２可動ステージと、前記第１可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第１基準プレートと、前記第２可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第２基準プレートとを有し、前記第１及び第２可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記投影光学系を介して前記第１物体上に形成されたパターンを前記第２物体上に投影する走査型露光装置において、
前記投影光学系を介して前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第１検出手段と、
前記第１可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第２検出手段と、
前記第２可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第３検出手段と、
前記第１、第２及び第３検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係を求める手段と
を有することを特徴とする走査型露光装置。
【請求項１１】
前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第４検出手段を有することを特徴とする請求項１０の走査型露光装置。
【請求項１２】
前記第４検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する手段を有することを特徴とする請求項１１の走査型露光装置。
【請求項１３】
前記第４検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる手段を有することを特徴とする請求項１１の走査型露光装置。
【請求項１４】
前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記投影光学系を保持する保持部材に固設された第３基準プレートに形成された複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第５検出手段と、前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第６検出手段とを有することを特徴とする請求項１０の走査型露光装置。
【請求項１５】
前記第５及び第６検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する手段を有することを特徴とする請求項１４の走査型露光装置。
【請求項１６】
前記第５及び第６検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる手段を有することを特徴とする請求項１４の走査型露光装置。
【請求項１７】
前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係に基づいて、前記第１及び第２可動ステージの少なくとも一方の露光走査方向を制御する手段を有することを特徴とする請求項１０乃至１６いずれかの走査型露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体製造過程において用いられる露光方法、特にフォトマスクパタ−ンをウエハ上に投影して転写する投影露光方法に関するものであり、なかでもフォトマスクパタ−ンをウエハ上に投影露光する際、マスク（第１物体）とウエハ（第２物体）とを投影光学系に対して同期して走査する走査型露光方法、及びそれを用いたデバイスの製造方法、並びに走査型露光装置に最適なものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するための第１の発明は、第１物体を載置して移動する第１可動ステージと、第２物体を載置して移動する第２可動ステージと、前記第１可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第１基準プレートと、前記第２可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第２基準プレートとを用い、前記第１及び第２可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記投影光学系を介して前記第１物体上に形成されたパターンを前記第２物体上に投影する走査型露光方法において、前記投影光学系を介して前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第１検出工程と、前記第１可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第２検出工程と、前記第２可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第３検出工程と、前記第１、第２及び第３検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係を求める工程とを有することを特徴とする走査型露光方法である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第２の発明は、前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第４検出工程を有することを特徴とする第１発明の走査型露光方法である。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第３の発明は、前記第４検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する工程を有することを特徴とする第２発明の走査型露光方法である。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第４の発明は、前記第４検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる工程を有することを特徴とする第２発明の走査型露光方法である。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第５の発明は、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記投影光学系を保持する保持部材に固設された第３基準プレートに形成された複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第５検出工程と、前記第１物体上に形成された複数の位置合わせマークと前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１物体上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第３基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第６検出工程とを有することを特徴とする第１発明の走査型露光方法である。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
第６の発明は、前記第５及び第６検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージの走査方向を制御する工程を有することを特徴とする第５発明の走査型露光方法である。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
第７の発明は、前記第５及び第６検出工程の結果に基づいて、前記第１可動ステージに対して前記第１物体を回転させる工程を有することを特徴とする第５発明の走査型露光方法である。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第８の発明は、前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係に基づいて、前記第１及び第２可動ステージの少なくとも一方の露光走査方向を制御する工程を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれかの走査型露光方法である。
第９の発明は、第１乃至第８発明いずれかの走査型露光方法を用いたことを特徴とするデバイスの製造方法である。
第１０の発明は、第１物体を載置して移動する第１可動ステージと、第２物体を載置して移動する第２可動ステージと、前記第１可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第１基準プレートと、前記第２可動ステージ上に固設され、複数の位置合わせマークが形成された第２基準プレートとを有し、前記第１及び第２可動ステージを投影光学系に対し同期させて走査させるとともに前記投影光学系を介して前記第１物体上に形成されたパターンを前記第２物体上に投影する走査型露光装置において、前記投影光学系を介して前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークと前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークとの相対的位置関係を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系との関係を検出する第１検出手段と、前記第１可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第１基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第１可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第２検出手段と、前記第２可動ステージを露光走査方向に移動せしめて、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークの位置を検出して、前記第２基準プレート上の複数の位置合わせマークによって定まる座標系と前記第２可動ステージの露光走査方向が定める座標系との関係を検出する第３検出手段と、前記第１、第２及び第３検出手段による検出結果に基づいて、前記第１可動ステージの露光走査方向と前記第２可動ステージの露光走査方向との関係を求める手段とを有することを特徴とする走査型露光装置である。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【発明の効果】
以上述べたとおり本発明によれば、基準マスクがなくても、マスク（第１物体）とウエハ（第２物体）との位置合わせが可能となる。