(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ母材を加熱、溶融して、長手方向に沿って少なくとも１つの空孔を有する光ファイバに線引することを含む光ファイバの製造方法において、線引中の光ファイバに照明装置から照明光を照射し、上記線引中の光ファイバを透過した上記照明光から上記空孔の空孔影の幅を検出し、かつ、該空孔影の幅に応じて、上記光ファイバ母材への加圧力をフィードバック制御することで、上記空孔の径を長手方向全長にわたり均一になるように制御することを特徴とする光ファイバの製造方法。
【請求項２】
上記照明装置と上記空孔影が検出される検出位置とは、上記線引中の光ファイバを中心に同一平面上にあり、上記照明装置から上記光ファイバの中心を通る直線と、上記光ファイバの中心から上記検出位置を結ぶ直線のなす角度が±１．５°の範囲にある請求項１に記載の光ファイバの製造方法。
【請求項３】
上記検出位置に、上記線引中の光ファイバを透過した上記照明光を反射させるミラーを設置し、そのミラーで反射させた上記照明光から上記空孔影を検出する請求項２に記載の光ファイバの製造方法。
【請求項４】
上記照明装置から上記光ファイバの中心を通る直線と、上記光ファイバの中心から上記ミラーを結ぶ直線のなす角度が±１．５°の範囲にある請求項３に記載の光ファイバの製造方法。
【請求項５】
あらかじめ上記空孔影の幅に対応する上記光ファイバの空孔径を測定して比較用データを作成しておき、該比較用データと測定した上記空孔影の幅とを比較することにより、対応する上記光ファイバの上記空孔の径を得ることを特徴とする請求項１〜４いずれかに記載の光ファイバの製造方法。
【請求項６】
光ファイバ母材を加熱、溶融して、長手方向に沿って少なくとも１つの空孔を有する光ファイバに線引する光ファイバの製造装置において、線引中の光ファイバに照明光を照射する照明装置と、上記線引中の光ファイバを透過した照明光から上記空孔の空孔影の幅を検出する検出装置と、該検出装置で検出された上記空孔影の幅に応じて、上記光ファイバ母材への加圧力をフィードバック制御することで、上記空孔の径を長手方向全長にわたり均一になるように制御する制御装置とを備えたことを特徴とする光ファイバの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ内に空孔を有する光ファイバの製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光ファイバでは得られなかった程の特性を有する光ファイバであるフォトニッククリスタルファイバ（ＰＣＦ：Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｆｉｂｅｒ）が注目されている。
【０００３】
フォトニック結晶構造とは、屈折率の周期構造のことであり、例えば、蜂の巣のようなハニカム構造の空間をクラッドに形成することで実現される。フォトニック結晶構造は、ＰＣＦ内を通過する光に対して光の禁制帯であるフォトニックバンドギャップ（ＰＢＧ：Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ）を発生させる。非特許文献１にはＰＢＧを導波原理としたＰＣＦが示されており、非特許文献２には、ＰＢＧ構造を導波原理とする中空コアのＰＣＦが示されている。
【０００４】
また、ＰＢＧ構造のみを導波原理とする光ファイバではないが、従来のガラス組成の違いによる比屈折率差を大きくするホーリー光ファイバがある。これは、非特許文献３に示すように、通常のシングルモード光ファイバのクラッドに４個あるいは６個の空孔を形成し、実効的な比屈折率差を大きくしたホーリー光ファイバで、曲げ損失特性が通常のシングルモード光ファイバにくらべて１／１００以下になる光ファイバが実現されている。
【０００５】
上記光ファイバの線引において、空孔を設けるために加圧装置を有していることが多い。
【０００６】
図６は、空孔を有する光ファイバの製造装置（線引装置）の構造図の一例を示したものである。
【０００７】
図６に示すように、光ファイバの製造装置６１は線引炉６４を備えており、この線引炉６４には、線引炉６４の炉心の内圧を一定に保つために内圧制御機６５が設けられる。線引炉６４の下流側には、順次、ファイバカッター６７、外径測定器６８、冷却管６９，コーティング器７０，樹脂硬化炉７１、引取キャプスタン７２、巻取器７３が設けられる。光ファイバ母材６３には空孔加圧装置７４が接続されており、この空孔加圧装置７４により、光ファイバ母材６３の空孔６２を加圧する。
【０００８】
光ファイバの製造装置６１を用いた光ファイバ６６の製造方法は、始めに、線引炉６４に、空孔６２が形成された光ファイバ母材６３が挿入され、加熱、溶融される。その際、線引炉６４の炉心は内圧制御機６５により約２０Ｐａに保たれている。また、光ファイバ母材６３への加圧力は空孔加圧装置７４により約１ｋＰａに保たれている。
【０００９】
光ファイバ母材６３から線引された光ファイバ６６は、外径測定器６８により外径が測定され、冷却管６９により冷却される。次に、コーティング器７０により光ファイバ６６にＵＶ（紫外線）硬化樹脂が被覆される。その後、樹脂硬化炉７１にて紫外線照射され、ＵＶ硬化樹脂が硬化される。なお、光ファイバ６６の分類等のため、樹脂は着色される場合がある。
【００１０】
最後に、光ファイバ６６は、引取キャプスタン７２を通り、巻取器７３に巻き取られる。このとき、外径測定器６８で測定された光ファイバ６６の外径が一定となるように、引取キャプスタン７２の引取速度が調整される。線引終了時には、ファイバカッター６７により光ファイバ６６が断線され、製品が得られる。
【００１１】
その他、空孔を有する光ファイバの製造装置及び製造方法は、例えば特許文献１，特許文献２等に見られる。
【００１２】
【特許文献１】特開２００２−１４５６３４号公報
【特許文献２】特開２００５−２５００２３号公報
【非特許文献１】ナイト（Ｊ．Ｃ．Ｋｎｉｇｈｔ）等、「フォトニック  バンド  ギャップ  ガイダンス  イン  オプティカル  ファイバー（Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ  Ｇｕｉｄａｎｃｅ  ｉｎ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｆｉｂｅｒｓ）」、サイエンス（Ｓｃｉｅｎｃｅ）、（米国）、１９９８年１１月２０日、２８２巻、ｐ．１４７６−１４７８
【非特許文献２】クレガン（Ｒ．Ｆ．Ｃｒｅｇａｎ）等、「シングルモード  フォトニック  バンド  ギャップ  ガイダンス  オブ  ライト  イン  エア（Ｓｉｎｇｌｅ−Ｍｏｄｅ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ  Ｇｕｉｄａｎｃｅ  ｏｆ  Ｌｉｇｈｔ  ｉｎ  Ａｉｒ）」、サイエンス（Ｓｃｉｅｎｃｅ）、（米国）、１９９９年９月３日、２８５巻、ｐ．１５３７−１５３９
【非特許文献３】姚兵等、「ホーリーファイバの実用化に関する一検討」、信学技報、社団法人電子情報通信学会、２００３年１月１６日、第１０２巻、第５８１号、ｐ．４７−５０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
空孔を有する光ファイバの特性はその空孔自体の径で決まる。しかしながら、光ファイバのような線状物にあっては、その両端面の空孔径しか測定することができなかった。一例として、数ｋｍのファイバにおいては、その両端から数ｃｍの範囲の空孔径を測定することができるに過ぎず、中間の大部分の空孔径は測定することができなかった。
【００１４】
このため、線引中に空孔径がわからず歩留り低下の原因となり、線引後の空孔径も保証できないという問題があった。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、上記問題を解決し、空孔を有する光ファイバの空孔径を長手方向全長にわたって保証し、歩留りよく製造できる光ファイバの製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項１の発明は、光ファイバ母材を加熱、溶融して、長手方向に沿って少なくとも１つの空孔を有する光ファイバに線引することを含む光ファイバの製造方法において、線引中の光ファイバに照明装置から照明光を照射し、上記線引中の光ファイバを透過した上記照明光から上記空孔の空孔影の幅を検出し、かつ、該空孔影の幅に応じて、上記光ファイバ母材への加圧力をフィードバック制御することで、上記空孔の径を長手方向全長にわたり均一になるように制御する光ファイバの製造方法である。
【００１７】
請求項２の発明は、上記照明装置と上記空孔影が検出される検出位置とは、上記線引中の光ファイバを中心に同一平面上にあり、上記照明装置から上記光ファイバの中心を通る直線と、上記光ファイバの中心から上記検出位置を結ぶ直線のなす角度が±１．５°の範囲にある請求項１に記載の光ファイバの製造方法である。
【００１８】
請求項３の発明は、上記検出位置に、上記線引中の光ファイバを透過した上記照明光を反射させるミラーを設置し、そのミラーで反射させた上記照明光から上記空孔影を検出する請求項２に記載の光ファイバの製造方法である。
【００１９】
請求項４の発明は、上記照明装置から上記光ファイバの中心を通る直線と、上記光ファイバの中心から上記ミラーを結ぶ直線のなす角度が±１．５°の範囲にある請求項３に記載の光ファイバの製造方法である。
【００２０】
請求項５の発明は、あらかじめ上記空孔影の幅に対応する上記光ファイバの空孔径を測定して比較用データを作成しておき、該比較用データと測定した上記空孔影の幅とを比較することにより、対応する上記光ファイバの上記空孔の径を得る請求項１〜４いずれかに記載の光ファイバの製造方法である。
【００２１】
請求項６の発明は、光ファイバ母材を加熱、溶融して、長手方向に沿って少なくとも１つの空孔を有する光ファイバに線引する光ファイバの製造装置において、線引中の光ファイバに照明光を照射する照明装置と、上記線引中の光ファイバを透過した照明光から上記空孔の空孔影の幅を検出する検出装置と、該検出装置で検出された上記空孔影の幅に応じて、上記光ファイバ母材への加圧力をフィードバック制御することで、上記空孔の径を長手方向全長にわたり均一になるように制御する制御装置とを備えた光ファイバの製造装置である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、空孔径が長手方向全長にわたり均一な光ファイバを歩留りよく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
【００２４】
まず、光ファイバの製造方法に用いる光ファイバの製造装置を説明する。
【００２５】
図１は、本発明の好適な第１の実施形態を示す光ファイバの製造装置の概略図である。
【００２６】
図１に示すように、第１の実施形態に係る光ファイバの製造装置１は、光ファイバ母材３を加熱、溶融して線引し、長手方向に沿って少なくとも１つの空孔を有する光ファイバを製造する装置である。
【００２７】
この光ファイバの製造装置１は、線引中の光ファイバ４に照明光を照射し、透過させる照明装置５と、透過した照明光から光ファイバ４の空孔の空孔影を検出する検出装置６とを備える。
【００２８】
光ファイバの製造装置１は、線引炉７を備えており、この線引炉７には、線引炉７の炉心の内圧を一定に保つために内圧制御機８が設けられる。線引炉７の下流側には、順次、ファイバカッター９、外径測定器１０、冷却管１１、コーティング器１２，樹脂硬化炉１３、照明装置５および検出装置６、引取キャプスタン１４、巻取器１５が設けられる。光ファイバ母材３には空孔加圧装置１６が接続される。空孔加圧装置１６は、光ファイバ母材３の空孔２内の空気をＮ２、Ｈｅなどの不活性ガスに置換し、光ファイバ母材３の空孔２を加圧する。これにより、空孔２が押し潰されずに光ファイバ母材３を溶融できる。
【００２９】
より詳細には、図２に示すように、照明装置５と検出装置６とは線引中の光ファイバ４を中心に同一水平面上に配置する。このとき、照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線上に検出装置６を設置する。照明装置５から光ファイバ４に照射した照明光は、光ファイバ４を透過し、光ファイバ４を中心として点対称の位置で検出装置６により検出される。照明装置５としては、その光源にＬＥＤやハロゲン光源等を用い、検出装置６としては、ＣＣＤカメラや顕微鏡等を用いるとよい。
【００３０】
また、図３に示すように、照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線と、光ファイバ４の中心から検出装置６を結ぶ直線のなす角度θ１は±１．５°の範囲であるとよい。
【００３１】
これは、検出装置６の設置位置（検出位置）が照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線から±１．５°の範囲を超えると、光ファイバ４の外周部で散乱されて形成される影が空孔影に干渉し、正確な測定が困難となるためである。
【００３２】
さらに、検出した空孔影の幅に応じて、光ファイバ母材３への加圧力をフィードバック制御する圧力制御盤（図示しない）を備えてもよい。圧力制御盤は、空孔影の幅のデータを受け、空孔加圧装置１６にフィードバック信号１７を出力して光ファイバ母材３への加圧力をコントロールする。ここで、空孔影の幅のデータは、例えば、検出装置６で検出した画像を画像解析プログラムにより解析して測定する。
【００３３】
次に、光ファイバの製造方法を光ファイバの製造装置１の動作と共に説明する。
【００３４】
本発明による光ファイバの製造方法は、まず、線引炉７に、空孔２が形成された光ファイバ母材３を挿入し、光ファイバ母材３を加熱、溶融する。その際、光ファイバ母材３の空孔２は空孔加圧装置１６により加圧する。
【００３５】
光ファイバ母材３から線引した光ファイバ４は、外径測定器１０により外径を測定し、冷却管１１により冷却する。さらに、コーティング器１２により光ファイバ４にＵＶ硬化樹脂を被覆する。その後、樹脂硬化炉１３にて紫外線照射し、ＵＶ硬化樹脂を硬化する。光ファイバ４の分類等のため、樹脂（ＵＶ硬化性樹脂）に着色する場合がある。
【００３６】
次に、照明装置５から光ファイバ４に照明光を照射して透過させ、その透過した照明光から検出装置６で光ファイバ４の空孔の空孔影を検出する。
【００３７】
光ファイバ４は石英ガラスより形成されており、コーティング（ＵＶ硬化樹脂）は透明であるため、照明光は光ファイバ４とコーティングを透過する。このとき、光ファイバ４の空孔の部分では、照明光が散乱されて暗い影になる。この影が空孔影である。
【００３８】
空孔影が確認できるとその光ファイバ４中には空孔が存在することになるため、空孔の有無を検査できる。
【００３９】
図４（ａ）および図４（ｂ）に、光ファイバ４として６個の空孔を有するホーリーファイバを用いた場合に、検出装置６で検出される画像の概略図を示す。図４（ａ）は光ファイバ４の横断面図、図４（ｂ）は光ファイバ４の径方向から検出した検出装置６の画像の概略図である。
【００４０】
照明装置５で照射した照明光は、光ファイバ４を透過し、光ファイバ４の空孔１８で散乱されて幅ｗを持つ空孔影１９を形成する。これと同時に、照明光は光ファイバ４の外周部でも散乱され、影２０を形成する。
【００４１】
この影２０が大きくなると、空孔影１９に干渉し、空孔影１９の幅ｗを検出することが困難になる。照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線と、光ファイバ４の中心から検出装置６を結ぶ直線のなす角度が±１．５°の範囲であれば、干渉することなく検出でき、空孔影１９の幅ｗを正確に測定できる。
【００４２】
あらかじめ空孔影１９の幅ｗに対応する光ファイバ４の空孔径を測定しておけば、測定した空孔影１９の幅ｗにより、対応する光ファイバ４の空孔径を得ることができる。
【００４３】
また、検出装置６で検出した空孔影１９の幅ｗが所望の幅になっているか否かを検査し、光ファイバ母材３への加圧力をフィードバック制御してもよい。すなわち、もし空孔影１９の幅ｗが大きければ空孔加圧装置１６の加圧力を小さくし、光ファイバ４の空孔径を小さくするよう制御する。同様に、空孔影１９の幅ｗが小さければ空孔加圧装置１６の加圧力を大きくし、光ファイバ４の空孔径を大きくするよう制御する。これにより、光ファイバ４の線引中に空孔径が変化しても修正でき、長手方向に沿って均一な空孔１８が得られる。
【００４４】
最後に、光ファイバ４を、引取キャプスタン１４を介して、巻取器１５に巻き取る。このとき、外径測定器１０で測定した光ファイバ４の外径が一定となるように、引取キャプスタン１４の引取速度を調整する。線引終了時に、ファイバカッター９で光ファイバ４を断線すると、製品が得られる。
【００４５】
第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、線引中の光ファイバ４に照明装置５で照明光を照射して透過させ、その透過した照明光から光ファイバ４の空孔１８の空孔影１９を検出し、その空孔影１９により光ファイバ４の空孔１８の径を制御して光ファイバ４を製造している。
【００４６】
空孔影１９が確認できると光ファイバ４には空孔１８が存在することになるため、線引中に空孔１８の有無を検査できる。
【００４７】
さらに、空孔影１９の幅ｗを測定することにより、空孔影１９の幅ｗに対応する光ファイバ４の空孔径が得られる。
【００４８】
また、空孔影１９の幅ｗに応じて光ファイバ母材３への加圧力をフィードバック制御することにより、線引中に空孔径が変化しても修正でき、長手方向に沿って均一な空孔１８が得られる。
【００４９】
すなわち、光ファイバ４の空孔径を線引中に容易に検査、測定、調整でき、歩留りよく光ファイバを製造することができる。
【００５０】
通常、光ファイバ４のガラス素線の外径は１２５μｍであり、コーティング径は２５０μｍであるため、肉眼で観察することは難しい。そこで、検出装置６にＣＣＤカメラ等の撮像装置を用い、検出した空孔影１９を拡大することにより、空孔影１９の幅ｗを測定してもよい。
【００５１】
光ファイバの製造装置１を用いれば、第１の実施形態に係る光ファイバの製造方法を簡単に実施できる。
【００５２】
次に、第２の実施形態を説明する。
【００５３】
図５に示す第２の実施形態に係る光ファイバの製造装置５１は、基本的に図１の光ファイバの製造装置１と同じ構成であり、照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線上にミラー５２を設けたものである。このとき、照明装置５とミラー５２とは光ファイバ４を中心に同一水平面上に配置する。
【００５４】
ミラー５２の設置位置は、照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線と、光ファイバ４の中心からミラー５２を結ぶ直線のなす角度θ２が±１．５°の範囲であるとよい。これは、第１の実施形態で説明した同様の理由による。
【００５５】
第２の実施形態に係るガラススペーサの製造方法は、ミラー５２で反射した空孔影１９を検出装置６で検出する。これにより、図４（ｂ）の空孔影１９を検出できるため、第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【００５６】
第２の実施形態に係る光ファイバの製造方法は、構造上照明装置５から光ファイバ４の中心を通る直線上に検出装置６を設置することが難しい場合に用いるとよい。
【００５７】
上記実施形態において、光ファイバ４はコーティングを有する状態で検査されるが、ガラス素線の状態で検査してもよい。すなわち、照明装置５および検出装置６の配置位置はコーティング器１２の上流側（冷却管１１により冷却した後）でもよく、線引中の光ファイバ４を検査できる位置であれば線引ラインのどこに配置してもよい。
【００５８】
また、上記実施形態では、光ファイバ４として６個の空孔１８を有するホーリーファイバを用いた場合を説明したが、これに限定されず、例えば中心に空孔を有する中空コアファイバ、コアの周りに少なくとも４個あるいはそれ以上の空孔を有するホーリーファイバ、クラッドに多数の空孔を有するＰＣＦ等でもよい。
【００５９】
さらに、上記実施形態において、照明装置５としてレーザー等の点光源を用い、レンズや回折格子を通して光ファイバ４に照明光を照射し、光ファイバ４を透過した光を検出してもよい。
【実施例】
【００６０】
光ファイバ４として６個の空孔１８を有するホーリーファイバを用い、空孔影１９の幅ｗに対応する光ファイバ４の空孔径（平均値）を測定した。結果を表１に示す。このとき、空孔１８のピッチ円直径は２５μｍとした。
【００６１】
【表１】
0004844484.tif 000002
【００６２】
表１より、測定した空孔影１９の幅ｗに対応する光ファイバ４の空孔径を得ることができる。
【００６３】
以下、６個の空孔２を有する光ファイバ母材３の線引について説明する。
【００６４】
（実施例１）
コア近傍に６個の空孔２を有する直径２５ｍｍ、長さ６００ｍｍの光ファイバ母材３を、線引速度１００ｍｍ、線引張力６０ｇで線引した。このとき、光ファイバ母材３の空孔２は窒素で加圧しており、初期の加圧力を３００Ｐａとした。線引中、光ファイバ４を検査できるように照明装置５と検出装置６とを設置し、検出装置６としてＣＣＤカメラを用いた。
【００６５】
この状態でＣＣＤカメラの画像を確認したところ空孔影１９は確認できなかった。そこで、光ファイバ母材３への加圧力を１０５０Ｐａまで上げて画像を確認したところ、空孔影１９が確認できた。
【００６６】
３０分後空孔影１９の幅ｗが安定したところで空孔影１９の幅ｗを測定したところ５２．５μｍであった。このとき、光ファイバ４の空孔径は１１．０μｍであった。
【００６７】
この時点から加圧力を変化させずに光ファイバ４を１５ｋｍ線引した。このとき、空孔影１９の幅ｗは長手方向に沿って５２．０μｍから５３．０μｍの間で変化していた。得られた光ファイバ４の空孔径を５ｋｍおきに測定したところ、それぞれ１１．０μｍ、１１．３μｍ、１０．９μｍ、１０．７μｍであった。空孔影１９の幅ｗがほぼ一定であったため、得られた光ファイバ４の空孔径もほぼ一定であることが確認できた。
【００６８】
（実施例２）
コア近傍に６個の空孔２を有する直径２５ｍｍ、長さ６００ｍｍの光ファイバ母材３を、線引速度１００ｍｍ、線引張力６０ｇで線引した。このとき、光ファイバ母材３の空孔２は窒素で加圧しており、初期の加圧力を１０５０Ｐａとした。空孔影１９の幅ｗが安定したところで空孔影１９の幅ｗを測定したところ５２．３μｍであった。このとき、光ファイバ４の空孔径は１０．８μｍであった。
【００６９】
この時点から光ファイバ母材３への加圧力を徐々に変え、１０ｋｍ地点で１３００Ｐａまで上げてさらに５ｋｍ、全部で１５ｋｍ線引した。このとき、空孔影１９の幅ｗは、長手方向に沿って５２．３μｍから６９．６μｍまで変化した。得られた光ファイバ４の両端の空孔径を測定したところ、それぞれ１０．０μｍ、１５．５μｍであった。空孔影１９の幅ｗの変化に応じて光ファイバ４の空孔径が変化することが確認できた。
【００７０】
（実施例３）
コア近傍に６個の空孔２を有する直径２５ｍｍ、長さ６００ｍｍの光ファイバ母材３を、線引速度１００ｍｍ、線引張力６０ｇで線引した。このとき、光ファイバ母材３の空孔２は窒素で加圧しており、初期の加圧力を１０５０Ｐａとした。空孔影１９の幅ｗが安定したところで空孔影１９の幅ｗを測定したところ５２．７μｍであった。このとき、光ファイバ４の空孔径は１１．０μｍであった。
【００７１】
この時点から光ファイバ母材３への加圧力を変えないで線引し、５ｋｍ地点で線引張力を１００ｇに変えた。さらに、５ｋｍ線引した後のＣＣＤカメラの画像を確認したところ空孔影は４６．０μｍとなった。
【００７２】
そこで、光ファイバ母材３への加圧力を１４００Ｐａまで上げてさらに５ｋｍ、全部で１５ｋｍ線引した。このとき、空孔影１９の幅ｗは最終的に５２．２μｍとなった。得られた光ファイバ４の最後の部分の空孔径を測定したところ、１０．７μｍであった。空孔影１９の幅ｗの変化を光ファイバ母材３への加圧力にフィードバックすることで、光ファイバ４の空孔径をほぼ一定にできることが確認できた。
【００７３】
（実施例４）
コア近傍に６個の空孔２を有する直径２５ｍｍ、長さ６００ｍｍの光ファイバ母材３を、線引速度４００ｍｍ、線引張力１００ｇで線引した。このとき、光ファイバ母材３の空孔２は窒素で加圧しており、初期の加圧力を３００Ｐａとした。線引中、光ファイバ４を検査できるように照明装置５と検出装置６を設置し、検出装置６としてＣＣＤカメラを用いた。
【００７４】
この状態でＣＣＤカメラの画像を確認したところ空孔影１９は確認できなかった。そこで、光ファイバ母材３への加圧力を６４０Ｐａまで上げてＣＣＤカメラの画像を確認したところ、空孔影１９が確認できた。
【００７５】
３０分後空孔影１９の幅ｗが安定したところで空孔影１９の幅ｗを測定したところ５２．０μｍであった。このとき、光ファイバ４の空孔径は１０．８μｍであった。線引速度と線引張力を変えても、空孔影１９の幅ｗと光ファイバ４の空孔径との関係は変化しないことが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光ファイバの製造装置の概略図である。
【図２】光ファイバの径方向から見た、照明装置と検出装置との配置を示す概略図である。
【図３】光ファイバの軸方向から見た、照明装置と検出装置との配置を示す概略図である。
【図４】図４（ａ）は光ファイバの横断面図、図４（ｂ）は検出装置で検出される画像の概略図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る光ファイバの製造装置の主要部を示す概略図である。
【図６】従来の空孔を有する光ファイバの製造装置を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  光ファイバの製造装置
２  空孔
３  光ファイバ母材
４  光ファイバ
５  照明装置
６  検出装置
【図１】
0004844484.tif 000003
【図２】
0004844484.tif 000004
【図３】
0004844484.tif 000005
【図４】
0004844484.tif 000006
【図５】
0004844484.tif 000007
【図６】
0004844484.tif 000008