【手続補正書】
【提出日】平成15年11月17日(2003.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】研磨具用静電防止シャフト素材
【特許請求の範囲】
【請求項１】ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の中に、静電防止材が１％〜９０％混入されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材。
【請求項２】ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の表面に、後処理により静電防止材が１％〜９０％混入されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材。
【請求項３】前記静電防止材は、前記樹脂製のシャフト素材の表面に、静電防止材が１％〜９０％塗布又はコーティングされていることを特徴とする請求項２記載の研磨具用静電防止シャフト素材。
【請求項４】ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の表面に、静電防止材が１％〜９０％メッキして静電防止処理されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材。
【請求項５】生分解材やバイオ分解材が混入されている前記樹脂製のシャフト素材に静電防止処理を施したことを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の研磨具用静電防止シャフト素材。
【請求項６】シート材に静電防止材を塗布又はコーティングしたり、又はメッキによる静電防止処理により形成した静電防止シートが前記樹脂製のシャフト素材の表面に巻き付けられていることを特徴とする請求項２乃至５記載の研磨具用静電防止シャフト素材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂、金属、硝子などのワークのバリ取りやワークの表面の研磨、塗膜剥離等の研磨作業に使用されるブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電気・電子メーカーの工場では、半導体ウエハ等のワークの表面に付着しているダストを取り除く作業や、印刷基板等のワークのバリ取りのための研磨作業に、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールが使用されている。この種の研磨作業においては、研磨による粉塵が被研磨物や搬送装置等に静電付着することを防止するために、研磨用ロールには静電防止処理がなされたものが使用されている。
【０００３】
研磨用ロールが装着されるシャフト素材には、図９（ａ）に示すようなロール形に形成された樹脂製のシャフト素材１が使用されたり、図９の（ｂ）に示すような一組の半割りロール形に形成されたシャフト素材２ａ，２ｂが一体のロール形のシャフト素材に組合されて使用されている。
【０００４】
バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロールのような研磨用ロールは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成された研磨材をロール形のシャフト素材に接着又は溶着により装着し一体化してロール形を成すものが一般的である。また、ブラシロールはロール形のシャフト素材の表面に多数のブラシ毛を根元で束ねた態様のブラシ素材が点在するようにシャフト素材の表面にブラシ素材を直接植設して形成される。
【０００５】
研磨用ロールの静電防止処理の場合には、静電防止処理が施されているロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成された研磨材をシャフト素材に接着又は溶着により固着し一体化して静電防止処理が成された研磨用ロールが形成されている。また、ブラシロールの場合も、静電防止処理が施されているブラシ素材をロール形のシャフト素材の表面に直接植設して静電防止処理が成されたブラシロールが形成されている。
【０００６】
或いは、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールを形成する研磨材の表面に後処理により、静電防止材を塗布又はコーティングしたり、又はメッキにより静電防止処理したり、研磨用ロールを形成する研磨材の中に静電防止材を混入したりして研磨用ロールに静電防止処理が施される場合もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフト素材に樹脂製のシャフト素材が使用される場合には、研磨用ロールを回転させると樹脂製のシャフト素材に静電防止処理が施されていないため、樹脂製のシャフト素材が熱を持って静電気が発生してしまうため研磨具用シャフト素材の改善が望まれていた。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するもので、研磨作業時に研磨用ロールを回転させてもシャフトが熱を持たず、静電気の発生が生じないような研磨具用静電防止シャフト素材を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の中に、静電防止材が１％〜９０％混入されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の表面に、後処理により静電防止材が１％〜９０％混入されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１１】
また、請求項３記載の発明は、請求項２記載の研磨具用静電防止シャフト素材において、前記静電防止材は、前記樹脂製のシャフト素材の表面に、静電防止材が１％〜９０％塗布又はコーティングされていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１２】
また、請求項４記載の発明は、ブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールのシャフトに使用されている樹脂製のシャフト素材の表面に、静電防止材が１％〜９０％メッキして静電防止処理されていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１３】
また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至請求項４に記載の研磨具用静電防止シャフト素材において、生分解材やバイオ分解材が混入されている前記樹脂製のシャフト素材に静電防止処理を施したことを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１４】
また、請求項６記載の発明は、請求項２乃至５記載の研磨具用静電防止シャフト素材において、シート材に静電防止材を塗布又はコーティングしたり、又はメッキによる静電防止処理により形成した静電防止シートが前記樹脂製のシャフト素材の表面に巻き付けられていることを特徴とする研磨具用静電防止シャフト素材である。
【００１５】
このように静電防止シャフト素材を使用すれば、研磨作業時に研磨用ロールを回転させてもシャフトが熱を持たず、静電気の発生が生じないようになる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、実施の形態を示す図面に基づいて本発明を詳細に説明する。図１の（ａ）は樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入してロール形に成形された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図、図１の（ｂ）は樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入して半割りロール形に形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。また、図２の（ａ）は図９の（ａ）に示すロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材に静電防止材を塗布又はコーティングしたり、又はメッキにより静電防止処理して形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図、図２の（ｂ）は図９の（ｂ）に示す半割りロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材に静電防止材を塗布又はコーティング又はメッキにより静電防止処理して形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。
【００１７】
図１の（ａ）に示すロール形に形成された静電防止シャフト素材１１は樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入してロール形に成形された静電防止シャフト素材である。また、図１の（ｂ）に示す半割りロール形に形成されたシャフト素材１２ａ，１２ｂは、樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入して半割りロール形に形成された静電防止シャフト素材であり、ロール形に組合されてロール形の研磨具用静電防止シャフト素材として使用される。
【００１８】
図２の（ａ）に示すロール形に形成されたシャフト素材２１は、図９の（ａ）に示すロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材２ａに静電防止材Ｐを塗布又はコーティングしたり、又はメッキにより静電防止処理して、シャフト素材２ａの表面に静電防止層２１ａを形成したものである。図２の（ｂ）に示す半割りロール形に形成されたシャフト素材２２ａ，２２ｂは、図９の（ｂ）示す半割りロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材２ｂに静電防止材Ｐを塗布又はコーティングしたり、又はメッキにより静電防止処理して、シャフト素材２ｂの表面に静電防止層２３ａ，２３ｂを形成したものである。
【００１９】
図３は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）を使用して形成したブラシロールを示す。ブラシロール３１は静電防止シャフト素材１１（２１）の表面に多数のブラシ毛を根元で束ねた態様のブラシ素材３２が点在するように静電防止シャフト素材１１（２１）の表面にブラシ素材３２を直接植設して形成されたものである。静電防止シャフト素材１１（２１）の表面に多数のブラシ素材３２を直接植設するには、静電防止シャフト素材１１（２１）の表面に多数の孔を形成しておいて、多数のブラシ素材３２を接着して形成したり、或いは、樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入して静電防止シャフト素材１１を成形する際に多数のブラシ素材３２も同時に成形して形成されてもよい。
【００２０】
図４は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）にバフロールを取付けたバフロールの装着状態を示している。静電防止シャフト素材１１（２１）へのバフロール４１の取付けは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成されたバフ材４１ａを静電防止シャフト素材１１（２１）に嵌合、或いは、巻付けて接着により固着し一体化して取付けられる。
【００２１】
図５は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）にスポンジロールを取付けたスポンジロールの装着状態を示している。静電防止シャフト素材１１（２１）へのスポンジロール５１の取付けは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成されたスポンジ材５１ａを静電防止シャフト素材１１（２１）に嵌合、或いは、巻付けて接着又は溶着により固着し一体化して取付けられる。
【００２２】
図６は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）にゴムロールを取付けたゴムロールの装着状態を示している。静電防止シャフト素材１１（２１）へのゴムロール６１の取付けは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成されたゴム材６１ａを静電防止シャフト素材１１（２１）に嵌合、或いは、巻付けて接着又は溶着により固着し一体化して取付けられる。
【００２３】
図７は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）にコルクロールを取付けたコルクロールの装着状態を示している。静電防止シャフト素材１１（２１）へのコルクロール７１の取付けは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（シート状、マット状）に形成されたコルク材７１ａを静電防止シャフト素材１１（２１）に嵌合、或いは、巻付けて接着により固着し一体化して取付けられる。
【００２４】
図８は、ロール形に形成された本発明に係る静電防止シャフト素材１１（２１）に砥石ロールを取付けた砥石ロールの装着状態を示している。静電防止シャフト素材１１（２１）への砥石ロール８１の取付けは、ロール形、又は半割りロール形、或いは、平板状（例えばサンドペーパーのようなシート状、マット状）に形成された砥石材８１ａを静電防止シャフト素材１１（２１）に嵌合、或いは、巻付けて接着により固着し一体化して取付けられたり、或いは、樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入して静電防止シャフト素材１１を成形する際に多数の砥石８２も同時に固着するように成形して形成されてもよい。
【００２５】
【発明の効果】
このように本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材では、研磨作業時に研磨用ロールを回転させてもシャフト素材に静電防止処理が施されているため、シャフトが熱を持たず、静電気の発生が生じない。
【００２６】
したがって、電気・電子メーカーの工場で半導体ウエハ等のワークの表面に付着しているダストを取り除く作業や、印刷基板等のワークのバリ取りのための研磨作業に、本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材に静電防止処理されたブラシロール、バフロール、スポンジロール、ゴムロール、コルクロール等の研磨用ロールを装着して使用すれば、この種の研磨作業において、研磨による粉塵が被研磨物や搬送装置等に静電付着することを防止することができる等優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入してロール形に成形された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。
（ｂ）樹脂粉等の成形材料に静電防止材を混入して半割りロール形に形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。
【図２】（ａ）は静電防止処理してロール形に形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。
（ｂ）は静電防止処理して半割りロール形に形成された研磨具用静電防止シャフト素材の斜視図である。
【図３】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材を使用して形成したブラシロールの斜視図である。
【図４】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材にバフロールを取付けた斜視図である。
【図５】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材にスポンジロールを取付けた斜視図である。
【図６】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材にゴムロールを取付けた斜視図である。
【図７】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材にコルクロールを取付けた斜視図である。
【図８】本発明に係る研磨具用静電防止シャフト素材に砥石ロールを取付けた斜視図である。
【図９】（ａ）はロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材の斜視図である。
（ｂ）は半割りロール形に形成された一般的な樹脂製のシャフト素材の斜視図である。
【符号の説明】
１  ロール形に形成された樹脂製のシャフト素材
１１，２１  静電防止シャフト素材
２ａ，２ｂ，１２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂ  半割りロール形に形成された樹
２１ａ，２３ａ，２３ｂ  静電防止層
３１  ブラシロール
３２  ブラシ素材
４１  バフロール
４１ａ  バフ材
５１  スポンジロール
５１ａ  スポンジ材
６１  ゴムロール
６１ａ  ゴム材
７１  コルクロール
７１ａ  コルク材
８１  砥石ロール
８１ａ  砥石材
Ｐ  静電防止材