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【手続補正書】
【提出日】平成15年7月16日(2003.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トリアリルアミンを、無水液体フッ化水素中で電解フッ素化することを特徴とする下記一般式（１）
【化１】
2002121184.tif 000001
（式中、−Ｘ−は−ＣＦ（ＣＦ３）−または−ＣＦ２ＣＦ２−を表す。）で表されるパーフルオロ環状アミンの製造方法。
【請求項２】
トリアリルアミンの無水液体フッ化水素中での濃度が１〜２０質量％の範囲である請求項１に記載のパーフルオロ環状アミンの製造方法。
【請求項３】
電流密度が０．１〜１０Ａ／ｄｍ２の範囲である請求項１または２に記載のパーフルオロ環状アミンの製造方法。
【請求項４】
反応温度が−２０〜５０℃の範囲である請求項１〜３のいずれかに記載のパーフルオロ環状アミンの製造方法。
【請求項５】
反応を加圧下で行う請求項１〜４のいずれかに記載のパーフルオロ環状アミンの製造方法。
【請求項６】
パーフルオロ−１−プロピル−３，４−ジメチルピロリジン。
【請求項７】
トリアリルアミンを、無水液体フッ化水素中で電解フッ素化することを特徴とするシス−パーフルオロ−１−プロピル−３，４−ジメチルピロリジン、トランス−パーフルオロ−１−プロピル−３，４−ジメチルピロリジン、パーフルオロ−１−プロピル−３−メチルピペリジン及びパーフルオロトリプロピルアミンを含有する定沸点組成物の製造方法。
【請求項８】
トリアリルアミンの無水液体フッ化水素中での濃度が１〜２０質量％の範囲である請求項７に記載の定沸点組成物の製造方法。
【請求項９】
電流密度が０．１〜１０Ａ／ｄｍ２の範囲である請求項７または８に記載の定沸点組成物の製造方法。
【請求項１０】
反応温度が−２０〜５０℃の範囲である請求項７〜９のいずれかに記載の定沸点組成物の製造方法。
【請求項１１】
反応を加圧下で行う請求項７〜１０のいずれかに記載の定沸点組成物の製造方法。
【請求項１２】
シス−パーフルオロ−１−プロピル−３，４−ジメチルピロリジン、トランス−パーフルオロ−１−プロピル−３，４−ジメチルピロリジン、パーフルオロ−１−プロピル−３−メチルピペリジン及びパーフルオロトリプロピルアミンを含有する定沸点組成物。
【請求項１３】
パーフルオロトリプロピルアミンの含有量が５５％以下である請求項１２に記載の定沸点組成物。
【請求項１４】
沸点が１２７〜１２９℃であり、凝固点が−１００℃以下である請求項１２または１３に記載の定沸点組成物。
【請求項１５】
請求項１２〜１４のいずれかに記載の定沸点組成物を用いることを特徴とする電気絶縁体。
【請求項１６】
請求項１２〜１４のいずれかに記載の定沸点組成物を用いることを特徴とする熱媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月29日(2003.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
金属が更に０．０１〜０．３質量％のハフニウム及び／又はイットリウム及び／又はランタン及び／又はセリウム又はこれらの酸化物化合物を含有する、請求項６記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２２】
耐火性構成部材及び被覆を、貴金属合金の液相線温度ＴＬ以上の温度Ｔ１に１回加熱し、耐火性構成部材及び被覆を二度目には温度Ｔ１より高く選択される温度Ｔ２に加熱する、請求項１から２１までのいずれか１項記載の方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２６】
耐火性構成部材を粉末で、加熱の後に５０〜５００μｍの層厚が存在する厚さで被覆する、請求項１から２５までのいずれか１項記載の方法。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２８】
耐火性構成部材を被覆で部分的に覆う、請求項１から２６までのいずれか１項記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月7日(2003.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の分圧の酸化炭素ガスと化合物半導体原料とを、ガス不透過性気密容器内に密封するステップと、
前記気密容器の温度を上昇させて前記気密容器内に密封された前記化合物半導体原料を融解するステップと、
前記気密容器の温度を低下させて前記融解した化合物半導体原料を固化させることにより、所定量のカーボンを含有する化合物半導体結晶を育成するステップと、
を備えた、化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２】
前記酸化炭素ガスは、ＣＯガスおよびＣＯ２ガスからなる群から選ばれる少なくとも１つのガスを含む、請求項１記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項３】
前記融解した化合物半導体原料の少なくとも一部を、酸化ホウ素と接触させながら結晶を育成することを特徴とする、請求項１または請求項２記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項４】
前記融解した化合物半導体原料の上面全体を、酸化ホウ素で覆いながら結晶を育成することを特徴とする、請求項３記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項５】
前記酸化ホウ素の水分含有量が３００ｐｐｍ以下であることを特徴とする、請求項３または請求項４記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項６】
前記酸化ホウ素の水分含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする、請求項５記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項７】
前記酸化ホウ素の水分含有量のばらつきの範囲を、±２０％以下に制御したことを特徴とする、請求項３〜請求項６のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項８】
前記気密容器内に密封する前記酸化炭素ガスの分圧が、２５℃において０．１〜１００Ｔｏｒｒであることを特徴とする、請求項１〜請求項７のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項９】
前記化合物半導体結晶中のカーボン濃度をＣＣＡＲＢＯＮ（ｃｍ−３）、前記酸化炭素ガスの分圧をＰ（Ｔｏｒｒ）、ａを任意の係数としたとき、以下の関係式（１）に従って前記酸化炭素ガスを前記気密容器内に密封することを特徴とする、請求項１〜請求項８のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
ＣＣＡＲＢＯＮ＝ａ×Ｐ０．５…（１）
【請求項１０】
前記係数ａの範囲が０．２５×１０１５〜４×１０１５（ｃｍ−３／Ｔｏｒｒ）であることを特徴とする、請求項９記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１１】
前記係数ａの範囲が０．５×１０１５〜２×１０１５（ｃｍ−３／Ｔｏｒｒ）であることを特徴とする、請求項１０記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１２】
前記気密容器内に前記酸化炭素ガスを密封するステップに先立って、前記気密容器に真空加熱処理を施すステップをさらに備えることを特徴とする、請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１３】
前記真空加熱処理の温度が３５０℃以下であることを特徴とする、請求項１２記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１４】
前記気密容器の少なくとも内壁、および前記化合物半導体原料と前記酸化ホウ素とを除く前記気密容器内の内容物の少なくとも外表面が、カーボンを含まない材料で構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項１３のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１５】
前記カーボンを含まない材料は、石英、窒化ケイ素、窒化ホウ素、熱分解窒化ホウ素およびアルミナからなる群から選ばれる少なくとも１つの材料を含む、請求項１４記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１６】
前記ガス不透過性気密容器の少なくとも一部が、石英で構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項１５のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１７】
前記石英で構成された部分の肉厚が、１．５ｍｍ以上であることを特徴とする、請求項１６記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１８】
前記石英で構成された部分の最高温度を、１２７０℃以下に制御しながら結晶成長を行なうことを特徴とする、請求項１６または請求項１７記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項１９】
前記融解した化合物原料からなる原料融液よりも後部の空間の最高温度部と最低温度部との温度差を、３００℃以下にしながら結晶成長を行なうことを特徴とする、請求項１〜請求項１８のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２０】
前記融解した化合物原料からなる原料融液よりも後部の空間の体積を、前記原料融液側の空間の体積よりも大きくしたことを特徴とする、請求項１〜請求項１９のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２１】
前記原料融液よりも後部の空間の体積を、前記原料融液側の空間の体積の２倍以上にしたことを特徴とする、請求項２０記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２２】
前記化合物半導体はＧａＡｓを含む、請求項１〜請求項２１のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２３】
請求項１〜請求項２２のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法により製造された化合物半導体結晶であって、
カーボン濃度が０．１〜２０×１０１５ｃｍ−３である、化合物半導体結晶。
【請求項２４】
前記化合物半導体はＧａＡｓを含む、請求項２３記載の化合物半導体結晶。
【請求項２５】
化合物半導体原料と酸化ホウ素とをガス不透過性気密容器に密封して、該容器の温度を上昇させて化合物半導体原料と酸化ホウ素とを融解し、
前記容器の温度を低下させて、前記融解した化合物半導体原料を固化させて化合物半導体結晶を育成する、化合物半導体結晶の製造方法であって、
前記不透過性容器内に所定の分圧の酸化炭素ガスを前記融解した化合物半導体原料と共存させ、
酸化炭素ガスの分圧を制御することによって化合物半導体結晶のカーボン含有量を制御することを特徴とする、化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２６】
所定の分圧の酸化炭素ガスと、融解した化合物半導体原料および酸化ホウ素とを、ガス不透過性気密容器内において共存させ、然る後、
前記ガス不透過性気密容器の温度を低下させて前記融解した化合物半導体原料を固化させることにより、制御した量のカーボンを含有する化合物半導体結晶を育成することを特徴とする、化合物半導体結晶の製造方法。
【請求項２７】
請求項２５または請求項２６のいずれかに記載の化合物半導体結晶の製造方法により製造された化合物半導体結晶であって、
カーボン濃度が０．１〜２０×１０１５ｃｍ−３である、化合物半導体結晶。
【請求項２８】
前記化合物半導体はＧａＡｓを含む、請求項２７記載の化合物半導体結晶。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月22日(2003.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
（合成例Ｇ）分子内にノニオン性親水基を含有するウレタン樹脂をノニオン性乳化剤で乳化分散された水系ウレタン樹脂の合成
１.６−ＨＧポリカーボネートジオール（分子量２，０００）、ポリオキシテトラメチレングリコール（２，０００）、トリメチロールプロパン、ポリオキシエチレンモノメチルエーテルと４，４’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネートから得られるイソシアネート末端プレポリマーをノニオン性乳化剤の水溶液と混合しホモミキサーで撹拌して乳化分散液を得た後、更にイソホロンジアミンを添加して、エチレンオキシド含有量９重量％の水系ウレタン樹脂を得た。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
（実施例３）合成例Ｃの水系ウレタン樹脂（カルボキシル基及びノニオン性親水基含有ウレタン樹脂をノニオン性乳化剤で強制乳化した水系ウレタン樹脂）を、無機塩としてＣａＣｌ2０．３部と曇点を持つノニオン性界面活性剤として曇点４７℃のアルキルフェノール−ホルマリン縮合物のアルキレンオキシド付加物２部が水系樹脂組成物中に含まれるよう予め添加した水で希釈し、ウレタン樹脂濃度が５％、２０％となるよう調整した水系樹脂組成物を作成した。この水系樹脂組成物を実施例１と同様に加工した。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月3日(2003.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを受け入れて積載する積載面を有し、受け入れ方向の上流側にストッパ部を有する積載トレイ手段と、
前記積載トレイ手段へシートを排出する排出ローラと、
前記排出ローラのローラ面に内周面の一部を巻き掛けた状態で前記積載トレイ手段上のシートとニップを形成し、前記排出ローラの回転によって回転して前記シートの端部を前記ストッパ部に引き込むように送る無端ベルト部材と、
前記無端ベルト部材の一端を所定方向へ牽引する牽引手段と、
を有し、
前記牽引手段の牽引量を、前記積載トレイ手段に積載されたシートの高さに応じて制御することを特徴とするシート処理装置。
【請求項２】
前記牽引手段の牽引量は、前記無端ベルト部材によるシート送り込み力を一定にするよう制御されることを特徴とする請求項１記載のシート処理装置。
【請求項３】
前記積載トレイ手段上のシートの端部を前記ストッパ部に引き込むように送るパドル手段と、
前記ストッパ部に引き込まれたシートを引き込み方向と直交する方向に整合する整合手段と、
を有し、
前記パドル手段及び整合手段の動作に際し、前記牽引手段によって前記無端ベルト部材を牽引し、前記パドル手段及び整合手段の動作を妨げない位置に前記無端ベルト部材を退避させることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のシート処理装置。
【請求項４】
前記積載トレイ手段に積載されたシートの高さを検知する高さ検知手段を有し、該高さ検知手段により検知されたシート高さに応じて前記牽引手段を動作させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のシート処理装置。
【請求項５】
前記積載トレイ手段に積載されるシートの枚数をカウントし、その値に応じて前記牽引手段を動作させることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のシート処理装置。
【請求項６】
前記牽引手段が動作して前記無端ベルト部材が牽引されると、前記無端ベルト部材は前記積載トレイ手段から略上方へ移動することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のシート処理装置。
【請求項７】
前記牽引手段は、前記無端ベルト部材の内周面に接触して従動回転可能な遊動コロと、前記遊動コロを所定方向へ移動させる移動手段で構成したことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のシート処理装置。
【請求項８】
シートに画像を形成する画像形成手段と、
前記画像形成手段で画像が形成されたシートを排出処理するための請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のシート処理装置と、
を有することを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明に係る代表的な構成は、シートを受け入れて積載する積載面を有し、受け入れ方向の上流側にストッパ部を有する積載トレイ手段と、前記積載トレイ手段へシートを排出する排出ローラと、前記排出ローラのローラ面に内周面の一部を巻き掛けた状態で前記積載トレイ手段上のシートとニップを形成し、前記排出ローラの回転によって回転して前記シートの端部を前記ストッパ部に引き込むように送る無端ベルト部材と、前記無端ベルト部材の一端を所定方向へ牽引する牽引手段と、を有し、前記牽引手段の牽引量を、前記積載トレイ手段に積載されたシートの高さに応じて制御することを特徴とする。そして、例えば牽引量は、前記無端ベルト部材によるシート送り込み力を一定にするよう制御することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
上記構成にあっては、無端ベルト部材がシート束の積載高さによらず、略一定の力でシートを送り込ませることができ、シートが積載トレイ手段のストッパ部に到達しなかったり、座屈したり、ストッパ部を乗り越えるような積載時の不具合を解消できる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
【発明の効果】
本発明は前述のように構成したために、無端ベルト部材がシート束の積載高さによらず、略一定の力でシートを送り込ませることができ、シートが積載トレイ手段の後端ストッパ部に到達しなかったり、座屈したり、ストッパ部を乗り越えるような積載時の不具合を解消できる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月18日(2003.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
種々の図柄を可変表示する可変表示手段と、
ゲーム毎にサンプリングされる乱数値により内部当選役を決定する内部当選役決定部、及び該内部当選役決定部での決定結果と遊技者の停止操作とに基づいて前記可変表示手段の可変表示動作を停止制御する停止制御部を有する制御手段と、
前記停止操作が適切であったか否かを報知する報知手段と
を備えたことを特徴とする遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月10日(2003.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
建設機械のフレームの前部中央に位置して該フレームに俯仰動可能に設けられた作業装置と、該作業装置から左，右方向の一側に離間して前記フレーム上に設けられ運転室を画成するキャブと、該キャブ内に位置して床板上に設けられた運転席とを備えてなる運転室付き建設機械において、
前記運転席は、前記キャブの左，右方向の中心に対し前記作業装置から離れる方向にオフセットした位置に配設する構成としたことを特徴とする運転室付き建設機械。
【請求項２】
前記キャブは床板の周囲を取囲む前面部、後面部および左，右の側面部を有し、前記運転席は前記前面部の前窓中心に対してオフセットする構成としてなる請求項１に記載の運転室付き建設機械。
【請求項３】
前記左，右の側面部のうち一方の側面部には乗降用のドアを設け、前記運転席は他方の側面部との間のスペースを前記ドア側のスペースよりも大きくする構成としてなる請求項２に記載の運転室付き建設機械。
【請求項４】
前記キャブは床板の周囲を取囲む前面部、後面部および左，右の側面部を有し、前記運転席は、前記左，右の側面部のうち一方の側面部との間よりも他方の側面部との間のスペースが大きくなるように前記床板上にオフセットして設置し、前記運転席の左，右両側には、前記左，右の側面部との間に位置してそれぞれ制御ボックスを設け、前記他方の側面部と制御ボックスとの間には、前記大なるスペースを活用して制御盤を設ける構成としてなる請求項１に記載の運転室付き建設機械。
【請求項５】
前記運転席は、前記床板との間に設けた位置調整機構により前記床板の前，後方向にスライド可能とし、前記床板の左，右方向では前記オフセットした位置に設置する構成としてなる請求項１，２または３に記載の運転室付き建設機械。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、本発明は、建設機械のフレームの前部中央に位置して該フレームに俯仰動可能に設けられた作業装置と、該作業装置から左，右方向の一側に離間して前記フレーム上に設けられ運転室を画成するキャブと、該キャブ内に位置して床板上に設けられた運転席とを備えてなる運転室付き建設機械に適用される。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
そして、キャブ内のオペレータからみて左側にドアを設け、右側の側面部と運転席との間に前記スペースを利用して前記スイッチ類を配置した場合には、多くのオペレータにとって利き腕となる右腕側に前記スイッチ類を配備することができる。
また、請求項４の発明によると、キャブは床板の周囲を取囲む前面部、後面部および左，右の側面部を有し、運転席は、前記左，右の側面部のうち一方の側面部との間よりも他方の側面部との間のスペースが大きくなるように前記床板上にオフセットして設置し、前記運転席の左，右両側には、前記左，右の側面部との間に位置してそれぞれ制御ボックスを設け、前記他方の側面部と制御ボックスとの間には、前記大なるスペースを活用して制御盤を設ける構成としている。
さらに、請求項５の発明によると、運転席は、床板との間に設けた位置調整機構により前記床板の前，後方向にスライド可能とし、前記床板の左，右方向ではオフセットした位置に設置する構成としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
１２は作業装置８のブーム９から左，右方向の一側に離間して旋回フレーム３上に設けられた運転室で、該運転室１２は、その外殻となるキャブ１３と、該キャブ１３内に設けられた後述の運転席１７および制御ボックス１９，２０等とによって構成されている。そして、キャブ１３は、例えば薄肉の鋼板（金属パネル）をスポット溶接等の手段で接合することにより、上面部１３Ａ、前面部１３Ｂ、後面部１３Ｃおよび右，左の側面部１３Ｄ，１３Ｅからなる箱状体として形成されている。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
また、請求項３に記載の発明では、キャブの左，右の側面部のうち一方の側面部に乗降用のドアを設け、運転席は他方の側面部との間のスペースを前記ドア側のスペースよりも大きくする構成としているため、キャブ内には運転席と他方の側面部との間に大きなスペースを確保でき、このスペースを利用して、例えばオペレータの右腕（通常は利き腕）側の位置に操作系・制御系のスイッチ等を配置することができる。これにより、キャブ内の装備をさらに充実させ、建設機械の操作性、制御性能等を確実に向上することができる。
また、請求項４に記載の発明によると、運転席は、キャブの左，右の側面部のうち一方の側面部との間よりも他方の側面部との間のスペースが大きくなるように床板上にオフセットして設置し、前記運転席の左，右両側には、前記左，右の側面部との間に位置してそれぞれ制御ボックスを設ける構成としているので、前記他方の側面部と運転席との間には、前記大なるスペースを活用することにより前記制御ボックスに付加して制御盤を設けることができ、該制御盤の操作を円滑に行うことができる。
さらに、請求項５に記載の発明では、運転席と床板との間に設けた位置調整機構により、前記運転席を床板の前，後方向にスライドさせて位置調整することができ、前記床板の左，右方向では前述のオフセットした位置に設置することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月8日(2003.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また、高静圧で送風するため、長配管の場合においても容易に対応が可能となるもので、従来の給気システムでは外気の給気口から室内の給気口までの最大配管長１５ｍ前後が一般的であったが、本発明では高静圧ブロアが従来の給気システムの１０倍程度の静圧までの対応が可能なため、従来の給気装置と同じ配管径の場合、配管長１５０ｍまで対応可能となり、例えば３５階建の建物で１階の外気の給気口から３５階の室内への給気口までのダクト長は１５０ｍとなり、従来の給気システムの場合は全く不可能であったが、本発明では対応が可能となるものである。つまり、住宅における給気システムとしてだけでなく、超高層ビル、広大なフロア面積を有する店舗およびホール等でも使用可能となる。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、外気の空気質を環境良化空気に変換することのできる空気質変換手段１および高静圧ブロアーにより形成される送風手段２を設け、室外３に配設される空気質変換装置４と、居室空間５となる複数の室５Ａ、５Ｂ、５Ｃに環境良化空気を送るダクト手段６となる分岐ダクト６Ａと、この分岐ダクト６Ａに環境良化空気を分岐して送る分岐ユニット７と、この分岐ユニット７と空気質変換装置４を接続する主ダクト８とを備え、主ダクト８の口径を大径に、分岐ダクト６Ａの口径を小径に形成した住宅の空気質変換システムを設け、住宅１２を構成したので、住宅１２内の複数の室５Ａ、５Ｂ、５Ｃに環境良化空気をむらなく供給することができ、換気を計画的にできる。また、高静圧で送風するため分岐ダクト６Ａの小口径化が図られ、施工が自由にでき、ひいては従来の給気システムで施工が困難であった建築方法（ユニット工法や２×４工法等）においても梁や柱に余計なダクトの貫通孔をあけることなくダクト施工を容易に行うことができ省施工化が可能となる。また、ダクトが長配管の場合においても対応が可能な住宅が得られる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
このように本発明の実施の形態３の住宅の空気質変換システムによれば、居住空間５の空気を室外３に排気する排気ユニット２０を設け、排気ユニット２０の排気風量を可変可能に形成し、住宅１２の内外差圧を調節する構成としたので、室外の花粉濃度や粉塵濃度が濃いときには居住空間５内をプラス圧に制御することで建物の隙間から花粉や粉塵が住宅１２内に侵入するのが防止でき、冬期等の外気温度が低いときは居住空間５をマイナス圧にすることで壁１９内の結露を防止できる。すなわち、居住空間５がプラス圧のときには、居住空間５の高温多湿の空気が壁１９内に浸透し、外気により壁１９内で結露することになるが、居住空間５をマイナス圧にすることにより壁１９内の断熱材１８等の結露により建物の損傷するのが防止できる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
また、外気の空気質を環境良化空気に変換することができる空気質変換手段および高静圧ブロアにより形成される送風手段を設け、室外に配設される空気質変換装置と、建物内部の複数の室に環境良化空気を送るダクト手段となる分岐ダクトと、この分岐ダクトに環境良化空気を分岐して送る分岐ユニットと、この分岐ユニットと前記空気質変換装置を接続する主ダクトとを備え、前記主ダクトの口径を大径に、前記分岐ダクトの口径を小径に形成した建物の空気質変換システムを設け構成したので、環境良化空気を複数の室にむらなく供給できるとともに、ダクト施工が容易で長配管にも対応することができる住宅が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月15日(2003.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、漏洩磁気検出センサ１個当りの検出範囲を広くして、センサ数及び信号処理回路の数を少なくすることを課題とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月16日(2004.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の欠陥を検査する方法であって、
前記試料内の電気的に絶縁されているパターンが電気的に接地されているパターンと相対的に異なる電圧を持つように、前記試料の所定の領域へ電荷を付与するステップと、
前記試料のパターンの電位コントラストデータを得るように、前記試料の所定の領域を複数の電子ビームで走査するステップと、
前記電位コントラストデータを解析し、得られたパターンに対して所定の電圧とは異なる電圧にあるパターンを検出するステップとを備え、
前記電荷を付与するステップが、前記試料の所定の領域を走査する複数の電子ビームの分解能よりも低い分解能で、前記試料の所定の領域へ電荷を付与し、
前記電位コントラストデータは、前記複数の電子ビームによる走査で試料から放出された二次電子をＥ×Ｂ分離器により第一次光学系から分離し、分離後少なくとも一段のレンズを有する第二次光学系で二次電子の像を複数の検出器に導くことにより得られるようにしたことを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥検査方法において、前記電荷を付与するステップが、前記複数の電子ビームを放出する電子銃とは別の荷電粒子発生装置により放出された荷電粒子により行われることを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の欠陥検査方法において、前記電荷を付与するステップが、前記試料に印加するバイアス電圧を変化させて前記複数の電子ビームをぼかすことにより、前記試料の所定の領域へ電荷を付与することを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項４】
接地電位にあるパターンと接地されていない他のパターンとを有する試料における欠陥を検出する方法であって、
第一次光学系の光軸を中心とした円周上においてＸ軸方向への投影が等間隔になるように配置された複数の電子ビームにより、前記試料の所定の領域の表面を、前記試料のパターンと交差するように走査するステップと、
前記走査により放出された二次電子を静電対物レンズで加速し、Ｅ×Ｂ分離器により第一次光学系から分離し、分離後少なくとも一段のレンズで集束して、二次電子の像をマルチ検出器に導くことにより、電位コントラストデータを取得するステップと、
前記電位コントラストデータを解析し、得られたパターンに対して所定の電圧とは異なる電圧にあるパターンが存在するか否かを決定するステップと、
を備えていることを特徴とする欠陥検査方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月12日(2003.8.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正逆２方向に作動油を供給可能とする油圧ポンプと、油圧ポンプにより作動油が導かれることにより、ピストンロッドの伸長、収縮工程を実施する揚重用油圧シリンダ装置と、油圧ポンプに作動油を供給する油タンクとからなる油圧システムの回路構造において、前記油圧システムに各２組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を設け、さらに一組のパイロットチェック弁と流量調節弁とチェック弁からなる流量調節弁ブロックを設け、そして前記油タンクに油圧回路を形成させたクーラを設け、クーラから吐出される冷却作動油を油圧ポンプに送る分岐流路を設けて、正方向に作動油を流す場合には、前記各一の組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を開状態にし、各他の組の供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を閉状態にし、流量調節弁ブロックのチェック弁を通過させて、揚重用油圧シリンダ装置のシリンダ下室に作動油を導びき、ピストンロッドの伸長工程を実施させ、シリンダ上室から押出される作動油を油タンクに排出する第一の系統の油圧回路を形成し、逆方向に作動油を流す場合には、各他の組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を開状態にし、前記各一の組の供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を閉状態にし、流量調節弁ブロックのパイロットチェック弁と流量調節弁によって作動油を調整して、揚重用油圧シリンダ装置のシリンダ上室に作動油を導びき、ピストンロッドの収縮工程を実施させ、シリンダ下室から押出される作動油を油タンクに排出する第二の系統の油圧回路を形成し、クーラから吐出される冷却作動油により油圧シリンダ装置を作動させることを特徴とする油圧システムの回路構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、揚重用油圧ジャッキ等に用いられる油圧システムの回路構造に関する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
また、この油圧ジャッキ等６では、供給流路３と油タンク７とを連結する戻し流路８に電磁式切換バルブ９が設置される。この電磁式切換バルブ９を開操作させることにより、油圧シリンダ装置２の下室２ａ内の作動油が戻し流路８を経て油タンク７へ戻され（破線矢印）、油圧シリンダ装置２は、ピストンロッド５にかかる負荷により油圧シリンダ装置２の下室２ａの作動油が押し出されて下降する。それに際して、揚重物の落下防止用の流量調節弁ブロックは持っていない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
本発明は正逆２方向に作動油を供給可能とする油圧ポンプと、油圧ポンプにより作動油が導かれることにより、ピストンロッドの伸長、収縮工程を実施する揚重用油圧シリンダ装置と、油圧ポンプに作動油を供給する油タンクとからなる油圧システムの回路構造において、前記油圧システムに各２組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を設け、さらに一組のパイロットチェック弁と流量調節弁とチェック弁からなる流量調節弁ブロックを設け、そして前記油タンクに油圧回路を形成させたクーラを設け、クーラから吐出される冷却作動油を油圧ポンプに送る分岐流路を設けて、正方向に作動油を流す場合には、前記各一の組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を開状態にし、各他の組の供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を閉状態にし、流量調節弁ブロックのチェック弁を通過させて、揚重用油圧シリンダ装置のシリンダ下室に作動油を導びき、ピストンロッドの伸長工程を実施させ、シリンダ上室から押出される作動油を油タンクに排出する第一の系統の油圧回路を形成し、逆方向に作動油を流す場合には、各他の組の、供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を開状態にし、前記各一の組の供給チェック弁と、送りチェック弁と、戻しパイロットチェック弁を閉状態にし、流量調節弁ブロックのパイロットチェック弁と流量調節弁によって作動油を調整して、揚重用油圧シリンダ装置のシリンダ上室に作動油を導びき、ピストンロッドの収縮工程を実施させ、シリンダ下室から押出される作動油を油タンクに排出する第二の系統の油圧回路を形成し、クーラから吐出される冷却作動油により油圧シリンダ装置を作動させることを特徴とする油圧システムの回路構造である。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、正逆２方向に作動油を供給可能とする油圧ポンプを用いて、作動油を適温に保持することができ、故障が無く、安価で、コンパクトであるので、揚重用ジャッキ等に用いた場合、以下の効果が得られる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、高精度に制御できる。さらに、揚重物落下防止用流量調節弁ブロックにより、安全に吊上げ、吊下げを実施することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月13日(2003.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複列のインナレースを有する内方部材と、インナレースに対向する複列のアウタレースを有する外方部材と、内方部材と外方部材との間に介在する複列のボールとを具備し、外方部材または内方部材の何れか一方に車輪取り付け用のフランジを設けた車輪軸受装置において、
複列のボールのうち、少なくともインボード側のボール列を総ボールとしたことを特徴とする車輪軸受装置。
【請求項２】
総ボールのボール列の、ボール間の総すきまを一定値以下に規制した請求項1記載の車輪軸受装置。
【請求項３】
上記ボール間の総すきまをボール直径の４２％以下に設定した請求項２記載の車輪軸受装置。
【請求項４】
インボード側ボール列のボール個数をアウトボード側ボール列のそれよりも多くした請求項1〜３何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項５】
インボード側およびアウトボード側のボール列を総ボールとした請求項１〜４何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項６】
複列のインナレースを有する内方部材と、インナレースに対向する複列のアウタレースを有する外方部材と、内方部材と外方部材との間に介在する複列のボールとを具備し、外方部材または内方部材の何れか一方に車輪取り付け用のフランジを設けた車輪軸受装置において、
インボード側ボール列のボール個数をアウトボード側ボール列のそれよりも多くしたことを特徴とする車輪軸受装置。
【請求項７】
複列のボールのボール径を同一とした請求項６記載の車輪軸受装置。
【請求項８】
アウトボード側のボールを保持器で保持した請求項１〜４、６、または７何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項９】
複列のボールを外方部材のアウタレースおよび内方部材のインナレースとそれぞれ接触角をもって接触させ、かつ最大荷重負荷時にも軸受すきまが負となる予圧を付与した請求項１〜８何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項１０】
内方部材が、車輪取り付け用のフランジ、一方のインナレース、および小径軸部を有するハブ輪と、ハブ輪の小径軸部に固定され、他方のインナレースを有する内輪とで構成された請求項１〜９何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項１１】
内方部材が、車輪取り付け用のフランジを有するハブ輪と、このハブ輪外周に嵌合され、それぞれにインナレースを有する複列の内輪とで構成された請求項１〜９何れか記載の車輪軸受装置。
【請求項１２】
ハブ輪を塑性変形させて内輪をハブ輪に固定した請求項１０または１１記載の車輪軸受装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月12日(2003.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外箱内に配設した外槽の内部に、周面が略円筒形状のドラムを水平軸又は傾斜軸を中心に回転自在に配設したドラム式洗濯機において、
前記ドラムを所定の回転位置に固定するために、
a)トルクモータ及び、該トルクモータの回転動作に伴って二つの位置の間を移動する作動体、を有する可動係合手段と、
b)前記ドラム又は該ドラムと一体に回転する部材にあって、前記作動体が第１位置にあるときに該作動体の一部と係合し、該作動体が第２位置にあるときにはその係合が解除されるような位置に設けられた固定係合手段と、
を備えることを特徴とするドラム式洗濯機。
【請求項２】
外箱内に配設した外槽の内部に、周面が略円筒形状のドラムを水平軸又は傾斜軸を中心に回転自在に配設したドラム式洗濯機において、
a)前記外槽に装着され、前記ドラムの回転軸を支承する軸受を内装する軸受ケースと、
b)少なくとも一部が前記軸受ケースに対して固定され、前記ドラムを所定の回転位置に固定するために、二つの位置の間を移動する作動体を有する可動係合手段と、
c)前記ドラム又は該ドラムと一体に回転する部材にあって、前記作動体が第１位置にあるときに該作動体の一部と係合し、該作動体が第２位置にあるときにはその係合が解除されるような位置に設けられた固定係合手段と、
を備えることを特徴とするドラム式洗濯機。
【請求項３】
前記可動係合手段を前記ドラムの回転軸よりも下方側に設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載のドラム式洗濯機。
【請求項４】
外箱内に配設した外槽の内部に、周面が略円筒形状のドラムを水平軸又は傾斜軸を中心に回転自在に配設したドラム式洗濯機において、
a)前記水平軸又傾斜軸としてドラムに一端が固定された軸体と、
b)前記外槽にあって前記軸体を回転自在に支承する軸受と、
c)前記軸体の他端に取り付けられたロータ、及び外槽側に取り付けられたステータから成るドラム回転駆動用のモータと、
d)前記ドラムを所定の回転位置に固定するために前記モータのロータの回転を制止するドラムロック手段と、
を備えることを特徴とするドラム式洗濯機。
【請求項５】
前記モータはアウタロータ型モータであって該モータのロータには係合用の凹部を有し、前記ドラムロック手段は該ロータに向けて進出又は後退する作動体を備え、該作動体の一部が前記凹部に係合することによりドラムをロックすることを特徴とする請求項４に記載のドラム式洗濯機。
【請求項６】
前記凹部は凹みの入口の両側にそれぞれ外方に延伸する案内片を有することを特徴とする請求項５に記載のドラム式洗濯機。
【請求項７】
前記凹部を前記ロータの外周縁部に設けたことを特徴とする請求項５又は６に記載のドラム式洗濯機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月25日(2003.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部表面から下部表面までの壁部分を有する層中に、下部表面を規定するため、上部表面を貫く開口を形成し、壁部分及び上部表面の交点は、壁部分及び上部表面に沿った第１の角領域を規定する工程；及び
壁部分に沿った材料が、層中の半導体材料の他の部分に対し酸化速度が増加するように、壁部分に沿った半導体材料の組成を修正する工程
を含む上部表面を有する半導体材料の層を含む半導体デバイスの作製方法。
【請求項２】
上部表面及び壁表面の交点は、上部表面がそれに沿って形成される面に対し、垂直な複数の曲線を含む第１の曲面を規定し、下部表面と壁表面の交点は、下部表面がそれに沿って形成される面に対し、垂直な複数の曲線を含む第２の曲面を規定し、角領域を第２の曲面に対し、第１の曲面を、上部表面に対し垂直な複数の曲線の曲率半径が平均して、下部表面に対し垂直な複数の曲線の曲率半径より大きいように変化させる熱酸化する工程を含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
半導体材料の組成の修正工程は、物質の注入を含む請求項１記載の方法。
【請求項４】
物質は酸素、ヘリウム、アルゴン及びシリコンから成るグループから選択される請求項３記載の方法。
【請求項５】
垂直な溝壁及び溝底部を規定するため、層表面から層中に開口をエッチングし、壁と層表面の交点は壁及び溝底部から空間的に分離された層に沿った上部角領域を規定し、壁と底部の交点は、壁及び上部角領域から空間的に分離された底部に沿った下部角領域を規定する工程；
上部角領域の一部に、酸化促進物質を導入するため、角度注入を行う工程；
下部角領域中より上部角領域中でより多くの酸化物が生じるように、溝壁及び底部付近で層材料を熱的に酸化する工程
を含む平坦面を有するシリコンを含む半導体層中の分離領域形成方法。
【請求項６】
角度注入を行う工程は、下部角領域付近に酸化促進物質が注入されるのを防止するため、層表面上にシャドウマスクを置くことを含む請求項５記載の方法。
【請求項７】
第１の面に沿って形成された上部表面を有する半導体材料の層を含み、半導体層中の第２の面に沿って形成された下部表面に延びる開口及び上部表面から下部表面に延びる壁表面を有し、上部表面と壁表面の交点は、上部表面に対し垂直な複数の曲線を含む第１の曲面を規定し、下部表面と壁表面の交点は、下部表面に沿って垂直な複数の曲線を含む第２の曲面を規定し、上部表面に沿って垂直な曲線の中の最大の曲率半径は、下部表面に沿って垂直な曲線の中の最大の曲率半径より大きい半導体構造。
【請求項８】
開口は半導体材料上のトランジスタ領域間を電気的に分離するため配置された溝構造を規定する請求項７記載の構造。
【請求項９】
開口は絶縁性材料で満された溝である請求項７記載の構造。
【請求項１０】
半導体層の表面中に溝を形成し、
溝内に酸化促進物質を注入すること
を含む半導体構造の形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月25日(2003.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【0031】
【発明の効果】
この発明によると、サーモサイフォン式冷却器における凝縮部と蒸発部との接合用のヘッダータンクのない高強度、高信頼性を有する構成が得られる。すなわち、ヘッダータンクがなくなり、接合部が減少し、その分だけ通風面積が広く取れるため放熱性能が向上し、また逆にヘッダータンクの分だけ小型化できる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月25日(2003.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）架橋エラストマーと、（Ｂ）カルボキシル基、アミノ基、ヒドロキシル基、エポキシ基、スルホン酸基及びリン酸基の群から選ばれる少なくとも１種の官能基を有する物質と、水溶性物質とを含有することを特徴とする研磨パッド用組成物。
【請求項２】
上記（Ａ）及び上記（Ｂ）の合計量を１００質量％とした場合に、上記（Ａ）が４０〜９９．９質量％であり、上記（Ｂ）が０．１〜６０質量％である請求項１記載の研磨パッド用組成物。
【請求項３】
上記架橋エラストマーがジエン系架橋エラストマーである請求項１又は２に記載の研磨パッド用組成物。
【請求項４】
上記（Ｂ）が重合体である請求項１乃至３のうちのいずれか１項に記載の研磨パッド用組成物。
【請求項５】
請求項１乃至４のうちのいずれか１項に記載の研磨パッド用組成物から得られる研磨パッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の研磨パッド用組成物は、（Ａ）架橋エラストマーと、（Ｂ）カルボキシル基、アミノ基、ヒドロキシル基、エポキシ基、スルホン酸基及びリン酸基の群から選ばれる少なくとも１種の官能基を有する物質と、水溶性物質とを含有することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記（Ａ）と上記（Ｂ）の含有量は、（Ａ）及び（Ｂ）の合計量を１００質量％とした場合に、（Ａ）が４０〜９９．９質量％（特に６０〜９９．９質量％、更には７０〜９９．５質量％）であることが好ましく、（Ｂ）が０．１〜６０質量％（特に０．１〜４０質量％、更には０．５〜３０質量％）であることが好ましい。（Ｂ）が０．１質量％未満の場合は、研磨速度を向上させる十分な効果が得られないことがある。一方、（Ｂ）が６０質量％を超える場合は、研磨速度を向上させる効果が飽和しており、含有させる物質によっては、この組成物から形成される研磨パッドの成形性が低下したり、強度が低下することがある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
半導体研磨においては、硫黄等の不純物を嫌うため有機過酸化物を用いて架橋されたものが好ましく、（Ａ）としては、有機過酸化物での架橋が容易なジエン系エラストマーを架橋させたものを用いることが好ましい。このジエン系架橋エラストマーのなかでも、硬度の高い組成物が得られるため、架橋１，２−ポリブタジエンを用いることが特に好ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記「（Ｂ）物質」としては、（１）ヒュームドシリカ及びコロイダルシリカ等の上記官能基を有する無機粒子、（２）無水マレイン酸変性ポリエチレン、無水マレイン酸変性ポリプロピレン、末端ヒドロキシルポリブタジエン及び末端カルボキシルポリブタジエン等の上記官能基による変性重合体、及び（３）上記官能基を有する単量体を使用した重合体（共重合体も含む。）が挙げられる。これらは、単独で用いてもよいし、２種類以上を混合して用いてもよい。これらのなかでも、研磨時にウェハにスクラッチを生じにくいという観点から、（Ｂ）が重合体であることが好ましい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の研磨パッド用組成物は、上記（Ｂ）を含有する上記（Ａ）からなるマトリックス材中に、水溶性物質が含有されてなるものである。
尚、（Ｂ）は（Ａ）からなるマトリックス材中に分散されていてもよいし、（Ａ）とともにマトリックス材を形成していてもよい。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記「水溶性物質」は、水と接触することによりマトリックス材表面から遊離することができるものをいう。従って、水溶性物質には、水溶性高分子等の水に溶解する物質の他、吸水性樹脂等の水との接触により膨潤（ゲル化）し、これにより遊離することができるものを含むものとする。尚、この水溶性物質は、水を主成分とし、メタノール等が混合された媒体によって溶解又は膨潤するものであってもよい。また、この水溶性物質は、通常分散体としてマトリックス材中に分散されている。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の研磨パッド用組成物において、マトリックス材には、水溶性物質以外に、従来よりスラリーに含有されている砥粒（シリカ、アルミナ、セリア、ジルコニア及びチタニア等）、酸化剤、アルカリ金属の水酸化物及び酸、ｐＨ調節剤、界面活性剤、スクラッチ防止剤等の少なくとも１種を含有させることができる。これにより、この研磨パッド用組成物から形成された研磨パッドを用いた場合には、研磨時に水のみを供給して研磨を行うことも可能となる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
更に本発明研磨パッド用組成物には、必要に応じて、充填剤、軟化剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、滑剤、可塑剤等の各種の添加剤を配合することができる。特に、充填剤としては、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、タルク、クレー等の剛性を向上させる材料、二酸化マンガン、三酸化二マンガン、炭酸バリウム等の研磨効果を備える材料等を用いてもよい。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
【発明の効果】
本発明の研磨パッド用組成物によると、研磨速度の大きい研磨性能に優れた研磨パッドを形成することができる。