(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給された部品を吸着して所定位置に位置決めされた基板に搭載する部品実装装置の搭載ヘッドであって、基板に対して相対移動する移動ステージに設けられたベース部と、ベース部に取り付けられた複数のシャフト保持筒と、各シャフト保持筒内を上下方向に貫通して延び、下端に部品の吸着部を備えるとともに付勢ばねによってシャフト保持筒に対する上動方向に付勢された複数のノズルシャフトと、シャフト保持筒の上方をシャフト保持筒に対して昇降自在に設けられた昇降部と、昇降部に上下方向に移動自在に設けられ、空気圧によって下動方向に付勢されて下端を各ノズルシャフトの上端と対向させた複数のロッド部材と、昇降部に固定され、空気圧によって下動方向に付勢された各ロッド部材の下端を上方から当接させて各ロッド部材の昇降部に対する下動位置を規制する規制部材と、各ロッド部材に対応して設けられ、ロッド部材の下端を前記規制部材に上方から当接させた状態でその各ロッド部材の昇降部への機械的な結合及びその解除を行うロッド結合装置と、下動対象となっている特定のノズルシャフトに対応するロッド部材が前記ロッド結合装置により昇降部に結合されている状態で昇降部を下動させ、昇降部に結合されたロッド部材により、前記規制部材を上下方向に貫通して設けられたシャフト移動穴を通して、前記特定のノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して押し下げる昇降部駆動手段とを備えたことを特徴とする部品実装装置の搭載ヘッド。
【請求項２】
前記ロッド結合装置は、昇降部内をロッド部材に対して直交する方向に移動自在な結合部材を有し、この結合部材をロッド部材の中間部に形成された小径部に係脱させることによってロッド部材の昇降部への機械的な結合及びその解除を行うことを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置の搭載ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、供給された部品を吸着して所定位置に位置決めされた基板に搭載する部品実装装置の搭載ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、パーツフィーダから供給された部品を搭載ヘッドによってピックアップして所定位置に位置決めされた基板に搭載する。搭載ヘッドは基板に対して相対移動する移動ステージに設けられたベース部、ベース部に取り付けられた複数のシャフト保持筒、各シャフト保持筒内を上下方向に貫通して延び、下端に部品の吸着部を備えるとともに付勢ばねによってシャフト保持筒に対する上動方向に付勢された複数のノズルシャフトを備える。シャフト保持筒の上方にはシャフト保持筒に対して昇降自在な昇降部が設けられ、昇降部には下端を各ノズルシャフトの上端と対向させたピストンロッドを備える複数の空圧シリンダが設けられている。
【０００３】
パーツフィーダから供給された部品をピックアップしたり、ピックアップした部品を基板上へ搭載したりするときなど、特定のノズルシャフトを下動させたいときには、その特定のノズルシャフトに対応する空圧シリンダに圧空を供給し、そのピストンロッドを下方に突出させて、そのピストンロッドの下端を昇降部に固定した規制部材に上方から当接させた状態で昇降部を下降させる。これにより圧空が供給された空圧シリンダのピストンロッドは、規制部材を上下方向に貫通して設けられた開口を通して、対向するノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して下方に押し下げるので、下動対象となっている特定のノズルシャフトが下動する。一方、下動対象となっていないノズルシャフトについては、対応する空圧シリンダに圧空は供給されないので、そのピストンロッドは昇降部の下降によってノズルシャフトを押し下げることはできず、反対にノズルシャフトによって上記開口を通して相対的に押し上げられて昇降部内に押し込まれることになる（特許文献１）。
【特許文献１】特開２００１−１６８５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような搭載ヘッドにおいて部品の実装効率を高めるには、一度にピックアップできる部品数を増やすことが有効であり、そのためにはノズルシャフトの径を小さくし、ノズルシャフト同士の間隔を小さくして（ノズルシャフトを狭ピッチ化して）ノズルシャフトの本数を増大させることが考えられる。或いは、ノズルシャフトの本数をそのままにしてノズルシャフトを狭ピッチ化することにより、搭載ヘッドそのものをコンパクト化することもできる。しかしながら、上記従来の搭載ヘッドにおいて、ノズルシャフトを狭ピッチ化しようとして単純にノズルシャフトの径を小さくすると、空圧シリンダの径も小さくさせる必要があることから発生推力（ピストンロッドを下方に押し下げる力）が大きく低下し、昇降部を下降させたときに空圧シリンダの発生推力が付勢ばねの付勢力に打ち勝つことができずにピストンロッドが昇降部内に押し込まれてしまい、ノズルシャフトを下動させることができなくなるという問題が生じる。
【０００５】
そこで本発明は、ノズルシャフトの径を小さくして狭ピッチ化することができ、実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる部品実装装置の搭載ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の部品実装装置の搭載ヘッドは、供給された部品を吸着して所定位置に
位置決めされた基板に搭載する部品実装装置の搭載ヘッドであって、基板に対して相対移動する移動ステージに設けられたベース部と、ベース部に取り付けられた複数のシャフト保持筒と、各シャフト保持筒内を上下方向に貫通して延び、下端に部品の吸着部を備えるとともに付勢ばねによってシャフト保持筒に対する上動方向に付勢された複数のノズルシャフトと、シャフト保持筒の上方をシャフト保持筒に対して昇降自在に設けられた昇降部と、昇降部に上下方向に移動自在に設けられ、空気圧によって下動方向に付勢されて下端を各ノズルシャフトの上端と対向させた複数のロッド部材と、昇降部に固定され、空気圧によって下動方向に付勢された各ロッド部材の下端を上方から当接させて各ロッド部材の昇降部に対する下動位置を規制する規制部材と、各ロッド部材に対応して設けられ、ロッド部材の下端を前記規制部材に上方から当接させた状態でその各ロッド部材の昇降部への機械的な結合及びその解除を行うロッド結合装置と、下動対象となっている特定のノズルシャフトに対応するロッド部材が前記ロッド結合装置により昇降部に結合されている状態で昇降部を下動させ、昇降部に結合されたロッド部材により、前記規制部材を上下方向に貫通して設けられたシャフト移動穴を通して、前記特定のノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して押し下げる昇降部駆動手段とを備えた。
【０００７】
請求項２に記載の部品実装装置の搭載ヘッドは、請求項１に記載の部品実装装置の搭載ヘッドであって、前記ロッド結合装置は、昇降部内をロッド部材に対して直交する方向に移動自在な結合部材を有し、この結合部材をロッド部材の中間部に形成された小径部に係脱させることによってロッド部材の昇降部への機械的な結合及びその解除を行う。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、下動対象となっているノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して押し下げるロッド部材が、ロッド結合装置によって昇降部に機械的に結合されるようになっているので、従来のようにノズルシャフトの径を小さくしたために空圧シリンダの発生推力が低下してノズルシャフトの下動ができなくなるといった不都合が生じない。このため本発明によればノズルシャフトの径の大幅な縮小化が可能であり、ノズルシャフトを狭ピッチ化してノズルシャフトの本数の増大による実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図、図３は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの正面図、図４は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図、図５（ａ）は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図、図５（ｂ）は同ロッド結合装置の一部断面平面図、図６は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の結合ピストンをロッド部材とともに示す斜視図、図７（ａ）は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図、図７（ｂ）は同ロッド結合装置の一部断面平面図である。
【００１０】
図１において、部品実装装置１は基台２上に一の水平方向（Ｘ軸方向）に延びた基板搬送路３を有しており、基板搬送路３の上方にはＹ軸テーブル４が基板搬送路３と直交する水平方向（Ｙ軸方向）に延びている。Ｙ軸テーブル４にはＸ軸方向に延びた２つのＸ軸テーブル５それぞれの一端側が支持されており、各Ｘ軸テーブル５は片持ち状態でＹ軸テーブル４に沿ってＹ軸方向に移動自在になっている。各Ｘ軸テーブル５にはＸ軸テーブル５に沿ってＸ軸方向に移動自在な移動ステージ６が設けられており、各移動ステージ６には複数の吸着部（ノズル部）７を備えた搭載ヘッド８が取り付けられている。また、基台２の基板搬送路３の両側にはＹ軸方向に延びたパーツフィーダ９がＸ軸方向に複数並んで取り付けられている。
【００１１】
基板搬送路３は基板１０を所定の位置に位置決めし、各パーツフィーダ９は部品（電子部品）を所定のピックアップ位置に供給する。移動ステージ６は、Ｘ軸テーブル５のＹ軸方向への移動と移動ステージ６自身のＸ軸方向への移動とによって基板搬送路３に位置決めされた基板１０に対して相対移動し、搭載ヘッド８が備える吸着部７によってパーツフィーダ９が供給する部品をピックアップして基板１０上に搭載する。
【００１２】
図２及び図３において、搭載ヘッド８は、移動ステージ６に設けられて上下方向に延びた平板部材２１及びこの平板部材２１の下部に取り付けられたノズル保持部材２２から成るベース部２３を有しており、ベース部２３のノズル保持部材２２には複数のシャフト保持筒２４が上下方向に延びた状態で取り付けられている。
【００１３】
図３において、各シャフト保持筒２４はノズル保持部材２２の内部に設けられた複数のベアリング２５によって上下軸回りに回動自在に支持されている。各ノズル保持部材２２の上端部には外周歯を有したギヤ２６が設けられており、各ギヤ２６はノズル保持部材２２の上方を水平方向に延びて設けられたラック２７と噛合している。各シャフト保持筒２４のギヤ２６の上方部分には捻りばね２９が挿通されており、その一端はシャフト保持筒２４に、他端はノズル保持部材２２に取り付けられたばね係止部２８にそれぞれ係止されているので、ギヤ２６の歯は常時ラック２７の歯に押し付けられた状態となっている。
【００１４】
各シャフト保持筒２４には下端に前述の部品の吸着部７を備えたノズルシャフト３１が上下方向に貫通して設けられている。各ノズルシャフト３１はシャフト保持筒２４に対して上下方向に移動自在かつ上下軸回りの回転が拘束された状態で設けられており、上端にはノズルシャフト３１の径よりも大径のエンド部材３２が設けられている。ノズルシャフト３１にはエンド部材３２とシャフト保持筒２４のギヤ２６との間に縮設されたシャフト付勢ばね３３が挿通されており、ノズルシャフト３１はこのシャフト付勢ばね３３によってシャフト保持筒２４に対する上動方向に常時付勢された状態となっている。したがって各ノズルシャフト３１は上方から押圧力が加わっていない通常時には、吸着部７の上面７ａをシャフト保持筒２４の下面２４ａに下方から当接させた所定の上動位置（図２及び図３に示すノズルシャフト３１の位置。以下、ノーマル位置と称する）に位置する。
【００１５】
図２において、平板部材２１の前面側（ノズル保持部材２２が設けられている側）のシャフト保持筒２４の上方位置にはガイドレール３４が上下方向に延びて設けられており、このガイドレール３４には平板部材２１と平行に配置された昇降板３５が後面のスライド部３６を介してスライド自在に設けられている。平板部材２１の前面上部にはモータ保持部３７を介して昇降モータ３８が固定されており、昇降板３５の後面側には昇降モータ３８によって回転駆動される送り螺子３９が下方に延設されている。この送り螺子３９は昇降板３５の後面に設けられたナット部４０に螺合しており、昇降モータ３８を駆動して送り螺子３９を回転させると、昇降板３５はガイドレール３４に沿って上下方向に移動する。
【００１６】
図２において、昇降板３５の前面上部には昇降ブロック４１が取り付けられている。図２及び図３において、この昇降ブロック４１の内部には、下端を各ノズルシャフト３１の上端と対向させた複数のロッド部材４２が昇降ブロック４１に対して上下方向に移動自在に設けられている。各ロッド部材４２は昇降ブロック４１に内蔵された空圧シリンダ４３のピストン４３ａと連結されており、空圧源４４からの圧空がロッド部材制御バルブ４５を介して空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂに供給されることによって常時下方に付勢された状態となっている。ここで、ロッド部材制御バルブ４５の駆動制御は、部品実装装置１が備える制御装置４６から行われる。
【００１７】
昇降板３５の前面下部にはシャフト保持筒２４と昇降ブロック４１との間を水平方向に延びた平板状のロッドストッパ４７が設けられており、ロッドストッパ４７の各ノズルシャフト３１に対応する位置には上下方向に貫通したシャフト移動穴４８が設けられている。各シャフト移動穴４８はその内径が対応するノズルシャフト３１のエンド部材３２の外径よりも大きく、対応するロッド部材４２の下端の外径より小さくなっている。ロッドストッパ４７は、昇降ブロック４１に固定され、各ロッド部材４２の下端を上方から当接させて各ロッド部材４２の昇降ブロック４１に対する下動位置を規制する規制部材としての役割を果たしている。
【００１８】
部品実装装置１が備える制御装置４６から昇降モータ３８を駆動して送り螺子３９を回転させると前述のように昇降板３５が上下方向に移動し、これに伴って昇降ブロック４１がシャフト保持筒２４の上方を昇降する。ここで、昇降板３５が上下方向に移動する範囲、すなわち昇降ブロック４１の昇降範囲は所定の上動位置と下動位置との間に限定されている。昇降ブロック４１は通常上動位置に位置しており（図２）、このとき各ロッド部材４２の下端はロッドストッパ４７の上面に上方から当接し、各ノズルシャフト３１はノーマル位置に位置してその上端（エンド部材３２の上端）はロッドストッパ４７を上下方向（厚さ方向）に貫通して設けられたシャフト移動穴４８内に位置している。なお、このとき上下に対向するロッド部材４２の下端とノズルシャフト３１の（エンド部材３２）上端とはわずかな量のクリアランスを確保した状態で上下に離間している。これは、ノズルシャフト３１の上端とロッド部材４２の下端とが接触していると、後述するようにノズルシャフト３１を軸回りに回転させたとき、摩擦による抵抗が生じてノズルシャフト３１の回転制御に不都合が生じるからである。
【００１９】
一方、昇降ブロック４１が下動位置にあるときには（図４）、各ノズルシャフト３１はロッドストッパ４７に設けられたシャフト移動穴４８を下方から上方に貫通した状態となる。ここで、ロッド部材４２を下方に付勢するために空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂに供給される圧空は、その圧空がロッド部材４２を下方に押し下げる力が、シャフト付勢ばね３３がノズルシャフト３１を上方に付勢する力よりも小さくなるように設定されており、昇降ブロック４１が上動位置から下動位置に下降したときには、ロッド部材４２は対応するノズルシャフト３１によって相対的に上方に移動され、空圧シリンダ４３内に下方から押し込まれた状態となる（図４の右側のロッド部材４２及びノズルシャフト３１参照）。
【００２０】
ここで、ロッド部材４２を常時下方に付勢するために、空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂ内に圧空を供給するのではなく、空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂ内にロッド部材４２が下方に付勢されるようにコイル状のばねを縮設することが考えられるが、コイル状のばねでは、下式
ｋ＝ＧＤ４／８ＮａＤ３
（ｋ：ばね定数（Ｎ／ｍｍ）、Ｇ：ばね材料の横弾性係数、（Ｎ／ｍｍ２）、ｄ：ばねの線径（ｍｍ）、Ｎａ：有効巻き数、Ｄ：平均コイル径（ｍｍ））
から分かるように、搭載ヘッド８のコンパクト化を目的として平均コイル径を小さくするとばね定数が大きくなってしまい、ロッド部材４２を下方に付勢する力が大きくなってしまうため、却って搭載ヘッド８全体のサイズアップを招くおそれがある。このため、ここではばねではなく、空気圧（圧空）によってロッド部材４２を下動方向に付勢する構成を採っている。
【００２１】
図２及び図４において、昇降ブロック４１内には、各ロッド部材４２の昇降ブロック４１への機械的な結合及びその解除を行うロッド結合装置５０が各ロッド部材４２に対応して設けられている。ロッド結合装置５０は図５に示すように、昇降ブロック４１内を水平方向に延びて形成されたピストン移動空間５１、ピストン移動空間５１内を移動自在に設
けられた結合ピストン５２、結合ピストン５２によってピストン移動空間５１が区画されてなる２つのシリンダ室５３ａ，５３ｂの一方のシリンダ室５３ａ内に開口してそのシリンダ室５３ａ内に圧空を供給する圧空供給路５４及び他方のシリンダ室５３ｂ内に設けられて結合ピストン５２を圧空供給路５４側に付勢するピストン付勢ばね５５から構成されている。各ピストン移動空間５１に繋がる圧空供給路５４にはシリンダ室５３ａ内への圧空の給排を行う結合ピストン制御バルブ５６が設けられており（図２、図３及び図４）、各結合ピストン制御バルブ５６は部品実装装置１が備える制御装置４６から各個独立して制御される。
【００２２】
図５（ａ），（ｂ）及び図６において、結合ピストン５２には結合ピストン５２の移動方向に楕円状に延びるとともに上下方向に貫通したロッド部材移動溝５２ａが設けられており、ロッド部材４２はこのロッド部材移動溝５２ａを上下方向に貫通して延びている。このため結合ピストン５２はロッド部材４２をロッド部材移動溝５２ａ内で相対移動させながらピストン移動空間５１内をロッド部材４２に対して直交する方向に移動できる。結合ピストン５２は、圧空供給路５４からシリンダ室５３ａ内に圧空が供給されていないときにはピストン付勢ばね５５により圧空供給路５４側に付勢された状態（この状態の結合ピストン５２の位置を初期位置と称する）となっているが（図５）、圧空供給路５４からシリンダ室５３ａ内に圧空が供給されると、結合ピストン５２はピストン付勢ばね５５を押し縮めてピストン移動空間５１内を初期位置とは反対の側に移動した状態（この状態の結合ピストン５２の位置を作動位置と称する）となる（図７）。
【００２３】
図５（ａ）及び図６において、ロッド部材４２の中間部には外径が他の部分よりも小さい小径部４２ａが形成されており、ロッド部材４２の下端がロッドストッパ４７の上面に上方から当接している状態ではその小径部４２ａはピストン移動空間５１内に位置するようになっている。一方、結合ピストン５２のロッド部材移動溝５２ａの内面には、圧空供給路５４側からピストン付勢ばね５５側に向かって（すなわちロッド部材４２側に向かって）突出した突起部５２ｂが設けられており、ロッド部材４２の下端がロッドストッパ４７の上面に上方から当接している状態で結合ピストン５２が初期位置から作動位置に移動すると、結合ピストン５２に形成された突起部５２ｂがロッド部材４２の小径部４２ａにロッド部材４２の側方から嵌入するようになっている。このように結合ピストン５２がロッド部材４２の小径部４２ａに嵌入すると、ロッド部材４２は結合ピストン５２を介して昇降ブロック４１に係止された状態となり、ロッド部材４２は昇降ブロック４１に機械的に結合される（図７（ａ），（ｂ））。
【００２４】
制御装置４６が特定のノズルシャフト３１を下動させる場合、制御装置４６は先ず、昇降ブロック４１を上動位置に位置させて各ロッド部材４２の下端をロッドストッパ４７の上面に上方から当接させた状態とする。そして、この状態から特定のノズルシャフト３１に対応するロッド結合装置５０の結合ピストン制御バルブ５６の制御を行い、そのロッド結合装置５０のシリンダ室５３ａ内に空圧源４４からの圧空を供給させる。これにより、下動対象となっているノズルシャフト３１に対応するロッド部材４２のロッド結合装置５０では、結合ピストン５２が初期位置から作動位置に移動してロッド部材４２の小径部４２ａに嵌入するので、そのロッド部材４２が昇降ブロック４１に結合される。なお、ロッド結合装置５０のシリンダ室５３ａ内に供給する圧空の空圧源と空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂ内に供給する圧空の空圧源は同じ空圧源４４とすることができるが、ロッド結合装置５０のシリンダ室５３ａ内に供給する圧空の圧力と空圧シリンダ室４３の上側シリンダ室４３ｂ内に供給する圧空の圧力とを異ならせる必要があるとき等には、その圧空路中に必要に応じて圧力制御バルブを介装するようにする。図２及び図４には空圧源４４と空圧シリンダ４３の上側シリンダ室４３ｂとの間の圧空路中に圧力制御バルブとしてのレギュレータバルブ４９を介装した例を示している。
【００２５】
このようにして下動対象となっているノズルシャフト３１に対応するロッド部材４２が昇降ブロック４１に結合されたら、制御装置４６は昇降モータ３８を駆動して昇降ブロック４１を下降させる。これにより昇降ブロック４１に結合されたロッド部材４２は下端をロッドストッパ４７の上面に当接させた状態を保持したまま、昇降ブロック４１と一体となって下降し、それぞれの直下にあるノズルシャフト３１の上端（エンド部材３２の上端）にシャフト移動穴４８の中で当接し、シャフト移動穴４８を通して、下動対象となっているノズルシャフト３１をシャフト付勢ばね３３の付勢力に抗して（シャフト付勢ばね３３を下方に押し縮めながら）下方に押し下げる（図４の左側のノズルシャフト３１参照）。一方、下動対象となっていないノズルシャフト３１については、対応するロッド部材４２が昇降ブロック４１に結合されていないので、昇降ブロック４１が下降してもノズルシャフト３１を押し下げることはできず、逆にシャフト移動穴４８内を上動したノズルシャフト３１によって相対的に押し上げられ、昇降ブロック４１内に押し込まれる（図４の右側のノズルシャフト３１参照）。このため、結果として下動対象となっているノズルシャフト３１のみが下動し、そのノズルシャフト３１の下端の吸着部７が搭載ヘッド８の下方に突出する。
【００２６】
下動させたノズルシャフト３１をノーマル位置に復帰させるときは、制御装置４６は、下動させているノズルシャフト３１に対応するロッド部材４２を昇降ブロック４１に結合させたまま、昇降モータ３８を駆動して昇降ブロック４１を上動位置まで上昇させる。昇降ブロック４１が上動すると、これに伴ってノズルシャフト３１はシャフト付勢ばね３３の付勢力によって上動し、ノーマル位置に復帰する。昇降ブロック４１が上動位置まで上動したら、制御装置４６は昇降ブロック４１に結合させていたロッド部材４２に対応するロッド結合装置５０の結合ピストン制御バルブ５６を制御して、そのロッド結合装置５０のシリンダ室５３ａ内への圧空の供給を停止する。これにより、それまでロッド部材４２の小径部４２ａに嵌入していた結合ピストン５２はピストン付勢ばね５５の付勢力に押圧されてロッド部材４２から離間し、初期位置に復帰するので、ロッド部材４２の昇降ブロック４１への結合は解除され、ロッド部材４２は昇降ブロック４１に対する上下方向の相対移動ができるようになる。
【００２７】
なお、ノズルシャフト３１によりピックアップした部品を基板１０に搭載する際にはそのノズルシャフト３１を上下軸回りに回転させる必要が生じる場合があるが、このようなノズルシャフト３１の回転は、制御装置４６から図示しないラック駆動手段（例えばモータ）を駆動し、ラック２７をその長手方向に移動させてラック２７と噛合したギヤ２６を介してシャフト保持筒２４を上下軸回りに回転させる。前述のようにノズルシャフト３１はシャフト保持筒２４に対する上下軸回りの回転が拘束されているため、シャフト保持筒２４の軸回り回転に伴って、これに保持されたノズルシャフト３１も軸回りに回転する。
【００２８】
このように、本実施の形態における部品実装装置１の搭載ヘッド８では、下動対象となっているノズルシャフト３１をシャフト付勢ばね３３の付勢力に抗して押し下げるロッド部材４２が、ロッド結合装置５０によって昇降ブロック４１に機械的に結合されるようになっているので、従来のようにノズルシャフトの径を小さくしたために空圧シリンダの発生推力が低下してノズルシャフトの下動ができなくなるといった不都合が生じない。このため本実施の形態における搭載ヘッド８によればノズルシャフト３１の径の大幅な縮小化が可能であり、ノズルシャフト３１を狭ピッチ化してノズルシャフト３１の本数の増大による実装効率の向上や搭載ヘッド８のコンパクト化を図ることができる。
【００２９】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示されたものに限定されない。例えば、上述の実施の形態のロッド結合装置５０は、昇降ブロック４１内をロッド部材４２に対して直交する方向に移動自在な結合部材（結合ピストン５２）をロッド部材４２の中間部に形成された小径部４２ａに係脱させることによって
ロッド部材４２の昇降ブロック４１への機械的な結合及びその解除を行うようになっていたが、ロッド結合装置５０は、各ロッド部材４２に対応して設けられ、各ロッド部材４２の昇降ブロック４１への機械的な結合及びその解除を行うものであれば、上述の実施の形態に示した構成に限定されない。しかし、上述の実施の形態に示した構成であれば、非常に簡単な構成でロッド部材４２の昇降ブロック４１への機械的な結合及びその解除ができるのでコスト的に有利である。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
ノズルシャフトの径を小さくして狭ピッチ化することができ、実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる部品実装装置の搭載ヘッドを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図
【図３】本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの正面図
【図４】本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図（ｂ）同ロッド結合装置の一部断面平面図
【図６】本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の結合ピストンをロッド部材とともに示す斜視図
【図７】（ａ）本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図（ｂ）同ロッド結合装置の一部断面平面図
【符号の説明】
【００３２】
１  部品実装装置
６  移動ステージ
７  吸着部
８  搭載ヘッド
１０  基板
２３  ベース部
２４  シャフト保持筒
３１  ノズルシャフト
３３  シャフト付勢ばね（付勢ばね）
３８  昇降モータ（昇降部駆動手段）
４１  昇降ブロック（昇降部）
４２  ロッド部材
４２ａ  小径部
４７  ロッドストッパ（規制部材）
４８  シャフト移動穴
５０  ロッド結合装置
５２  結合ピストン（結合部材）
【図１】
0004831057.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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