(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の表面に形成された透明導電膜と導電性基板との間に、色素を吸着した多孔性半導体層と電解質とを有する色素増感型太陽電池において、前記電解質が一般式（Ｉ）：
【化１】
0004805442.tif 000008
［式中、Ｒ1およびＲ2は同一または異なって、水素原子またはメチル基であり、Ａは式（II）：
【化２】
0004805442.tif 000009
（式中、ａおよびｂは同一または異なって、０または正の整数（但し、ａおよびｂは同時に０ではない）であり、Ｒ3は水素原子またはメチル基である）で表される２価の基であり、ｎは０〜２の整数である］
で表されるモノマーから形成された構成単位を含む高分子化合物により保持されていることを特徴とする色素増感型太陽電池。
【請求項２】
前記高分子化合物が、一般式（Ｉ）で表されるモノマーと、メタクリル酸系モノマーおよび／またはアクリル酸系モノマーとの共重合体である請求項１に記載の色素増感型太陽電池。
【請求項３】
前記多孔性半導体層が、酸化チタンにより構成されている請求項１または２に記載の色素増感型太陽電池。
【請求項４】
前記電解質が、ヨウ素とヨウ素化合物からなる請求項１〜３のいずれか１つに記載の色素増感型太陽電池。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高分子固体電解質を用いた色素増感型太陽電池に関する。さら詳しくは、本発明は、特定の構造を有するモノマーから形成された構成単位を含む、三次元的に架橋された高分子化合物を使用した色素増感型太陽電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
色素増感型太陽電池（以下、「太陽電池」と称する）は、有機系太陽電池の中で高変換効率を示すため、広く注目されている。太陽電池は、半導体電極と対極との間に狭持された電解液層から構成され、半導体電極に光が照射されると、この電極側で電子が励起され、励起された電子が電気回路を通って対極に移動し、対極に移動した電子が電解質中をイオンとして移動して半導体電極に戻り、このようなサイクルが繰り返されることにより電気エネルギーが取り出されるものである。
【０００３】
太陽電池の光電変換材料として用いられる半導体電極としては、半導体表面に可視光領域に吸収をもつ分光増感色素を吸着させたものが用いられている。そのような太陽電池としては、例えば、遷移金属錯体からなる分光増感色素を半導体表面に吸着させた金属酸化物半導体を用いた太陽電池（特許第２６６４１９４号）、金属イオンでドープした酸化チタン半導体の表面に遷移金属錯体などの分光増感色素層を有する太陽電池（特公平８−１５０９７号）および半導体表面に分光増感剤のエタノール溶液を加熱還流することにより得られた光電変換材料用半導体を用いた太陽電池（特開平７−２４９７９０号）などが挙げられる。
【０００４】
図２は、酸化還元性電解液を用いた従来の太陽電池の層構成を示す要部の断面概略図である。この太陽電池は次のような手順により作製される。
まず、透明支持体２１の表面に形成した透明導電体２２上に、酸化チタンなどの半導体電極２３を形成し、その半導体電極２３に色素を吸着させる。対極２５に白金２６などの触媒をコーティングし、半導体電極２３と白金２６を対面するように透明支持体２１と対極２５を重ね合わせ、その間に電解液２４を注入し、透明支持体２１と対極２５の側面をエポキシ樹脂２７などで封止する。
【０００５】
また、特開平８−２３６１６５号および特開平９−２７３５２号には、電解液の液漏れを防止するために、一般式（III）：
【０００６】
【化３】
0004805442.tif 000002
【０００７】
（式中、Ｒ4およびＲ5は同一または異なって、水素原子またはメチル基であり、Ｒ6は水素原子または低級アルキル基であり、ｍは１以上の整数、ｌは０以上の整数であり、ｌ/ｍは０〜５の範囲である）
で表されるモノマーから形成された構成単位を含む高分子化合物で、電解液の層を固体化した太陽電池が開示されている。
【０００８】
しかしながら、上記の公報に記載の太陽電池では、高分子化合物に対する電解質や電解液の保持能力、および高分子化合物の機械的強度が充分ではなかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、優れた液保持力と機械的強度を有する高分子固体電解質を備えた太陽電池を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意研究を行った結果、特定のモノマーを重合して得られる三次元的に架橋された高分子化合物が、電解質に対する優れた保持力と機械的強度を発揮することを見出し、本発明を完成するに到った。
【００１１】
かくして、本発明によれば、透明基板の表面に形成された透明導電膜と導電性基板との間に、色素を吸着した多孔性半導体層と電解質とを有する太陽電池において、電解質が一般式（Ｉ）：
【００１２】
【化４】
0004805442.tif 000003
【００１３】
［式中、Ｒ1およびＲ2は同一または異なって、水素原子またはメチル基であり、Ａは式（II）：
【化６】
0004805442.tif 000004
（式中、ａおよびｂは同一または異なって、０または正の整数（但し、ａおよびｂは同時に０ではない）であり、Ｒ3は水素原子またはメチル基である）で表される２価の基であり、ｎは０〜２の整数である］
で表されるモノマーから形成された構成単位を含む高分子化合物により保持されていることを特徴とする太陽電池が提供される。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の高分子化合物は、三次元的な架橋構造を有し、太陽電池の電解質に対する優れた液保持力と機械的強度を有するものであり、一般式（Ｉ）で表されるモノマーを単独で、もしくは一般式（Ｉ）で表されるモノマーと他のメタクリル酸系モノマーおよび／またはアクリル酸系モノマー（以下、「（メタ）アクリル酸系モノマー」と称する）とを、（共）重合することにより得られる。
一般式（Ｉ）のｎが０のときは、結合手を表わす。
【００１５】
一般式（Ｉ）のＡが結合手であるモノマーとしては、例えば、メタクリル酸グリシル、アクリル酸テトラヒドロフルフリル（テトラヒドロフルフリルアクリレート）、メタクリル酸テトラヒドロフルフリルなどが挙げられる。
【００１６】
また、一般式（Ｉ）のＡが（ポリ）アルキレンオキシ基から誘導された２価の基であるモノマー、特にＡが（ポリ）エチレンオキシ基および（ポリ）プロピレンオキシ基から誘導された、式（II）：
【００１７】
【化５】
0004805442.tif 000005
【００１８】
（式中、ａおよびｂは同一または異なって、０または正の整数であり、Ｒ3は水素原子またはメチル基である）
で表される２価の基であるモノマーとしては、例えば、一般式（Ｉ）のＲ1がメチル基、Ｒ2が水素原子、Ａが８個のエチレンオキシ基と２個のプロピレンオキシ基から誘導された２価の基（式（II）のａが８、ｂが２）、ｎが１であるものが挙げられる。
【００１９】
一般式（Ｉ）で表されるモノマーは、電解液に使用される代表的な溶媒であるプロピレンカーボネートあるいはエチレンカーボネートとの親和性がよいので好ましい。また、このようなモノマーを重合した高分子化合物は、電解質に対して優れた保持能力を有するので好ましい。
【００２０】
一般式（Ｉ）のモノマーと共重合させる（メタ）アクリル酸系モノマーとしては、一般に市販されているものをいずれも用いることができる。具体的には、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ-ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸２−エチルヘキルシル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸シクロヘキシルなどのメタクリル酸系モノマー、ならびにアクリル酸イソボルニル、アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸セチル（アクリル酸ヘキサデシル）、アクリル酸４−ヒドロキシブチル、アクリル酸ｔ-ブチル、アクリル酸２-メトキシエチル、アクリル酸３-メトキシブチル、アクリル酸ラウリルなどのアクリル酸系モノマーが挙げられる。
【００２１】
これらの中でも、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸ステアリル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸セチル、アクリル酸３-メトキシブチル、アクリル酸ラウリルが特に好ましい。
【００２２】
一般式（Ｉ）のモノマーと（メタ）アクリル酸系モノマーの割合は、各モノマーの種類やその組み合わせにより異なり、また高分子化合物の架橋性および太陽電池に求められる性能などにより適宜決定すればよい。通常、（メタ）アクリル酸系モノマー（Ｙ）は、一般式（Ｉ）のモノマー（Ｘ）に対して５０〜９８ｍｏｌ％程度、すなわちＸ：Ｙのモル比が１：１〜４９程度である。
【００２３】
高分子固体電解質は、主として高分子化合物と、それに注入される電解質とから構成される。
電解質は、一般に電池や太陽電池などにおいて使用することができる電解液であれば特に限定されない。さらに、電解液中の電解質は酸化還元性のものがよく、これも一般に電池や太陽電池などにおいて使用することができる電解液であれば特に限定されないが、ＬｉＩ、ＮａＩ、ＫＩ、ＣａＩ2などの金属ヨウ化物とヨウ素の組み合わせ、およびＬｉＢｒ、ＮａＢｒ、ＫＢｒ、ＣａＢｒ2などの金属臭化物と臭素の組み合わせが好ましく、これらの中でも、金属ヨウ化物とヨウ素の組み合わせが好ましい。
【００２４】
電解質濃度としては、０．１〜１．５モル／リットルの範囲が挙げられるが、この中で、０．１〜０．７モル／リットルが好ましい。また、電解質の溶媒としては、プロピレンカーボネートなどのカーボネート化合物、アセトニトリルなどのニトリル化合物、エタノールなどのアルコール類、その他、水や非プロトン極性物質などが挙げられるが、これらの中でも、カーボネート化合物やニトリル化合物が好ましい。
【００２５】
高分子化合物中に電解質を注入するには、電解質をポリカーボネートなどの溶媒に溶解した電解液に、高分子化合物を浸して、高分子化合物中に電解液を浸透させればよい。
浸透時間は２時間程度必要であるが、浸透温度を高く設定すれば、電解液が活性化されて浸透速度が速くなり、高分子固体電解質の作製時間が短縮できるので好ましい。浸透温度は、ラジカル反応が起こらない程度に抑える必要があり、具体的には３５〜６５℃程度である。
【００２６】
太陽電池では、多孔性半導体中に十分に高分子固体電解質が注入されていなければ変換効率が悪くなる。このため、通常、液状のモノマー、場合によってはケトン系溶剤、カーボネート系溶剤などに溶解したモノマーを、多孔性半導体中に含浸させ、その後にラジカル重合させる。
【００２７】
重合方法としては、光重合や熱重合などが適用される。太陽電池においては、多孔性半導体に酸化チタンを使用する場合が多い。酸化チタンは紫外線領域で光触媒反応を起こす物質であるため、光重合を行う際に紫外線光が照射されると光触媒反応が起こり、多孔性半導体に吸着させた色素が分解するなどの問題が考えられるため、熱重合により重合を行うことが好ましい。
【００２８】
通常、熱重合は、重合開始剤を使用して加熱することにより行うが、重合開始剤の濃度および加熱温度は使用するモノマーにより適宜決定される。
一般にラジカル重合における重合速度は、重合開始剤の濃度の０．５乗に比例するため、重合開始剤の濃度が低いと重合時間が非常に長くなる。したがって、重合開始剤の濃度はモノマーに対して０．５〜１０ｗｔ％程度が好ましい。
【００２９】
多孔性半導体層を構成する多孔性半導体としては、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化タングステン、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、硫化カドミウムなどの公知の半導体が挙げられる。これらの多孔性半導体は２種以上を混合して用いることもできる。これらの中でも、変換効率、安定性、安全性の点から酸化チタンが特に好ましい。このような酸化チタンとしては、アナターゼ型酸化チタン、ルチル型酸化チタン、無定形酸化チタン、メタチタン酸、オルソチタン酸などの種々の酸化チタン、含酸化チタン複合体などが挙げられるが、これらはいずれであってもよい。
【００３０】
多孔性半導体は、粒子状、膜状など種々の形態のものを用いることができるが、基板上に形成された膜状の多孔性半導体が好ましい。
膜状の多孔性半導体を形成する場合の基板としては、例えば、ガラス基板、プラスチック基板などが挙げられ、中でも透明性の高い基板（透明基板）が特に好ましい。
【００３１】
基板上に膜状の多孔性半導体を形成する方法としては、公知の種々の方法を使用することができる。具体的には、▲１▼基板上に半導体粒子を含有する懸濁液を塗布し、乾燥・焼成する方法、▲２▼基板上に所望の原料ガスを用いたＣＶＤ法またはＭＯＣＶＤ法などにより半導体膜を成膜する方法、および▲３▼原料固体を用いたＰＶＤ法、蒸着法、スパッタリング法またはゾルーゲル法などにより半導体膜を形成する方法などが挙げられる。
【００３２】
多孔性半導体の膜厚は、特に限定されるものではないが、透過性、変換効率などの観点より、０．５〜２０μｍ程度が好ましい。また、変換効率を向上させるためには、膜状の多孔性半導体に、後述する色素をより多く吸着させることが必要である。このために、膜状の多孔性半導体は比表面積が大きなものが好ましく、具体的には１０〜２００ｍ2／ｇ程度が好ましい。
【００３３】
半導体粒子としては、市販されているもののうち適当な平均粒径、例えば１ｎｍ〜５００ｎｍ程度の単一または化合物半導体の粒子などが挙げられる。
また、この半導体粒子を懸濁するために使用される溶媒は、エチレングリコールモノメチルエテールなどのグライム系溶媒、イソプロピルアルコールなどのアルコール系溶媒、イソプロピルアルコール／トルエンなどの混合溶媒、水などが挙げられる。
【００３４】
膜状の多孔性半導体の形成方法▲１▼における多孔性半導体の乾燥・焼成は、使用する基板や半導体粒子の種類により、温度、時間、雰囲気などの条件を適宜調整して行われる。例えば、大気下または不活性ガス雰囲気下、５０〜８００℃程度の範囲内で、１０秒から１２時間程度行うことができる。この乾燥・焼成は、単一の温度で１回または温度を変化させて２回以上行うことができる。
【００３５】
電極として使用することができる透明導電膜は、特に限定されるものではないが、例えばＩＴＯ、ＳｎＯ2などの透明導電膜が好ましい。これらの電極の作製方法および膜厚などは、適宜選択することができる。
【００３６】
多孔性半導体上に光増感剤として機能する色素（以下、「色素」と称する）を吸着させる。その方法としては、例えば基板上に形成された多孔性半導体膜を、色素を溶解した溶液に浸漬する方法が挙げられる。
【００３７】
用いられる色素は、種々の可視光領域および赤外光領域に吸収を持つものであって、半導体層に強固に吸着させるために、色素分子中にカルボキシル基、アルコキシ基、ヒドロキシル基、ヒドロキシアルキル基、スルホン酸基、エステル基、メルカプト基、ホスホニル基などのインターロック基を有するものが好ましい。
【００３８】
インターロック基は、励起状態の色素と半導体の導電帯との間の電子移動を容易にする電気的結合を提供するものである。これらインターロック基を含有する色素としては、例えばルテニウムビピリジン系色素、アゾ系色素、キノン系色素、キノンイミン系色素、キナクリドン系色素、スクアリリウム系色素、シアニン系色素、メロシアニン系色素、トリフェニルメタン系色素、キサンテン系色素、ポリフィリン系色素、フタロシアニン系色素、ベリレン系色素、インジゴ系色素、ナフタロシアニン系色素などが挙げられる。
【００３９】
色素を溶解する溶媒は、色素を溶解するものであれば特に限定されず、例えば、エタノールなどのアルコール類、アセトンなどのケトン類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル類、アセトニトリルなどの窒素化合物類、クロロホルムなどのハロゲン化脂肪族炭化水素、ヘキサンなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエンなどの芳香族炭化水素、酢酸エチルなどのエステル類、水などが挙げられる。これらの溶媒は２種以上を混合して用いることもできる。
【００４０】
溶液中の色素濃度は、使用する色素および溶媒の種類により適宜調整することができるが、吸着機能を向上さすためにはできるだけ高濃度である方が好ましい。色素濃度は、例えば５×１０-5モル／リットル以上の濃度であればよい。
【００４１】
色素を溶解した溶液を半導体に浸漬するときの条件、例えば、溶液温度、雰囲気温度および圧力は特に限定されるものではなく、例えば室温程度で、かつ大気圧下が挙げられる。浸漬時間は、使用する色素と溶媒の種類、溶液の濃度などにより適宜調整することができる。なお、効果的に行うには使用溶媒の沸点以下の加熱下にて浸漬を行えばよい。これにより、多孔性半導体上に色素が吸着され易くなるので好ましい。
【００４２】
【実施例】
本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、これらの実施例により本発明が限定されるものではない。
なお、実施例２〜４および実施例５〜１１は参考例である。
【００４３】
（実施例１）
図１の（ａ）〜（ｅ）に示される作製手順で、高分子固体電解質を用いた太陽電池の作製した。図１において、１は透明基板、２は透明電導膜、３は酸化チタン膜、４はセパレーター、５はＰＥＴフィルム、６は押さえ版、７は高分子モノマー、８は高分子化合物、９は電解液、１０は容器、１１は封止剤、１２は白金膜、１３は導電性基板を示す。
【００４４】
まず、多孔性半導体層としての酸化チタン膜３を作製する塗液を調製した。すなわち、市販の酸化チタン粒子（テイカ株式会社社製、商品名：ＡＭＴ-６００、アナターゼ型結晶、平均粒径３０ｎｍ、比表面積５０ｍ2／ｇ）４．０ｇとジエチレングリコールモノメチルエーテル２０ｍｌとを、ガラスビーズを使用し、ペイントシェイカーで６時間分散処理して、酸化チタン懸濁液を調製した。
【００４５】
透明基板１としてのガラス基板上に、透明導電膜２としてＳｎＯ2膜を形成した（図１（ａ））。次いで、透明基板１の透明導電膜２側に、調製した酸化チタン懸濁液をドクターブレードで塗布し、膜厚１０μｍ程度、面積１０ｍｍ×１０ｍｍ程度の塗膜を得た。塗膜を１００℃で３０分間予備乾燥し、さらに酸素雰囲気下、４６０℃で４０分間焼成し、膜厚８μｍ程度の酸化チタン膜３を得た。
【００４６】
次に、ルテニウム色素（Ｓｏｌａｒｏｎｉｘ社製、商品名：Ｒｕｔｈｅｎｉｕｍ５３５）を無水エタノールに溶解して、色素濃度４×１０-4モル／リットルの吸着用色素溶液を調製した。透明導電膜２と酸化チタン膜３とを具備した透明基板１を、調製した吸着用色素溶液に約４時間浸漬させて、酸化チタン膜３に色素を吸着させた。その後、透明基板１を無水エタノールで数回洗浄し、約６０℃で約２０分間乾燥させた（図１（ｂ））。
【００４７】
次に、一般式（Ｉ）のＲ1がメチル基、Ｒ2が水素原子、Ａが８個のエチレンオキシ基と２個のプロピレンオキシ基から誘導された２価の基（式（II）のａが８、ｂが２）、ｎが１であるモノマーを、モノマー濃度が２０ｗｔ％になるようにプロピレンカーボネート（以下、「ＰＣ」と称する）に溶解し、さらに熱重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）をモノマーに対して１ｗｔ％の濃度になるように添加・溶解して、モノマー溶液を調製した。
【００４８】
次のような手順で、得られたモノマー溶液を酸化チタン膜３に含浸させた。
▲１▼真空容器内にビーカーを設置し、その中に透明導電膜２と酸化チタン膜３とを具備した透明基板１を入れ、ロータリーポンプで約１０分間真空引きした。
▲２▼真空容器内を真空状態に保ちながらモノマー溶液をビーカーに注入し、約１５分間保持して、酸化チタン膜３中にモノマー溶液を十分に含浸させた。
▲３▼ポリエチレン製のセパレーター４、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム５と押さえ板６を透明基板１に設置し、冶具で固定した。次いで、透明基板１を約８５℃で３０分間加熱することにより、モノマーを熱重合させて、有機溶媒不溶性の高分子化合物８を得た（図１（ｃ））。
【００４９】
次に、高分子化合物８に含浸させる電解液９を調製した。すなわち、ヨウ化リチウムが濃度０．５モル／リットルになるように、かつヨウ素が濃度０．０５モル／リットルになるように、ヨウ化リチウムとヨウ素をＰＣに溶解した。
【００５０】
得られた電解液９に、高分子化合物８を形成した透明基板１を、浸透温度５０℃で１時間浸漬し、高分子化合物８中に電解液９を十分に染み込ませて、高分子固体電解質を作製した（図１（ｄ））。
【００５１】
次いで、高分子固体電解質を作製した透明基板１の酸化チタン膜３側と、白金膜１２を具備した導電性基板１３の白金膜１２側を合わせ、エポキシ系の封止剤１１で周囲を封止した（図１（ｅ））。
【００５２】
以上のようにして本発明の高分子固体電解質を用いた太陽電池を得た。
得られた太陽電池の性能を測定条件：ＡＭ−１．５で測定したところ、短絡電流が１７．６［ｍＡ／ｃｍ2］、開放電圧が０．６［Ｖ］、フィルファクターが０．６８、変換効率が７．３［％］であった。これらの性能は、電解液を固体化しない太陽電池と同等であった。
【００５３】
このことから、本発明の太陽電池は、従来品と比べて性能面で遜色がなく、かつ用いるモノマーの構造から、高分子固体電解質を用いた従来品よりも優れた液保持力と機械的強度が期待できる。
【００５４】
（実施例２〜４）
一般式（Ｉ）のモノマーを表１に示すものに代えた以外は実施例１と同様にして、太陽電池を作製し、その変換効率を測定した。
得られた結果を用いた一般式（Ｉ）のモノマーと共に表１に示す。
【００５５】
【表１】
0004805442.tif 000006
【００５６】
表１の結果から、モノマーを代えることにより、太陽電池の変換効率が変化すること、ならびにモノマーが３員環を有するメタクリル酸グリシル（一般式（Ｉ）のｎが０の場合）よりも、モノマーが５員環を有する（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリル（一般式（Ｉ）のｎが２の場合）の方がより高い変換効率が得られることがわかる。これは、環を有するモノマーが重合のときに開環するため、環の大きさが太陽電池の変換効率に影響を与えているものと考えられる。
【００５７】
（実施例５〜１２）
高分子化合物として、表２に示す一般式（Ｉ）のモノマーと（メタ）アクリル酸系モノマーとの共重合体を用いる以外は実施例１と同様にして、太陽電池を作製し、その変換効率を測定した。
得られた結果を用いた一般式（Ｉ）のモノマーおよび（メタ）アクリル酸系モノマーと共に表２に示す。
【００５８】
【表２】
0004805442.tif 000007
【００５９】
表２の結果から、一般式（Ｉ）のモノマーと共重合させる（メタ）アクリル酸系モノマーの側鎖が長いほど、高い変換効率が得られることがわかる。これはモノマーの側鎖が長いほど、高分子固体電解質の膨潤性が大きくなることと関係しているものと考えられる。
【００６０】
【発明の効果】
本発明の太陽電池は、三次元的に架橋した高分子化合物に多量の電解液が安定に保持された、電解液と同等レベルのイオン伝導率を有する高分子固体電解質を有する。したがって、本発明は、電解液を使用した太陽電池と同等の性能を有し、かつ優れた機械的強度を有する太陽電池を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の太陽電池の作製手順を追った太陽電池の断面概要図である。
【図２】従来の太陽電池の層構成を示す要部の断面概略図である。
【符号の説明】
１  透明基板
２  透明導電膜
３  酸化チタン膜
４  セパレーター
５  ＰＥＴフィルム
６  押さえ板
７  高分子モノマー
８  高分子化合物
９、２４  電解液
１０  容器
１１  封止剤
１２  白金膜
１３  導電性基板
２１  透明支持体
２２  透明導電体
２３  半導体電極
２５  対極
２６  白金
２７  エポキシ樹脂
【図１】
0004805442.tif 000010
【図２】
0004805442.tif 000011