Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月25日(2003.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平均重合度５以上のポリグリセリンと、ミリスチン酸またはオレイン酸とのモノエステルからなるポリグリセリン脂肪酸モノエステル０．０１〜３０重量％、多価アルコール４０〜８０重量％及び油溶性物質０．０１〜２０重量％を含有し、残余部が水からなることを特徴とする油溶性物質可溶化組成物。
【請求項２】
平均重合度５以上のポリグリセリンと、ミリスチン酸またはオレイン酸とのモノエステルからなるポリグリセリン脂肪酸モノエステル０．０１〜３０重量％、多価アルコール４０〜８０重量％及び油溶性物質０．０１〜２０重量％を含有し、残余部が水からなる混合物を、１０００ｋｇ／ｃｍ２以上の圧力で均質化処理することを特徴とする油溶性物質可溶化組成物の製法。
【請求項３】
平均重合度５以上のポリグリセリンと、ミリスチン酸またはオレイン酸とのモノエステルからなるポリグリセリン脂肪酸モノエステル０．０１〜３０重量％、多価アルコール４０〜８０重量％及び油溶性物質０．０１〜２０重量％を含有し、残余部が水からなる油溶性物質可溶化組成物を含有する飲食品。
【請求項４】
平均重合度５以上のポリグリセリンと、ミリスチン酸またはオレイン酸とのモノエステルからなるポリグリセリン脂肪酸モノエステル０．０１〜３０重量％、多価アルコール４０〜８０重量％及び油溶性物質０．０１〜２０重量％を含有し、残余部が水からなる混合物を、１０００ｋｇ／ｃｍ２以上の圧力で均質化処理を行って製造した油溶性物質可溶化組成物を含有する飲食品。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月25日(2003.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、これら従来の生地製法の欠点を解消し、作業性の向上および食感の向上を目的として、鋭意研究を進めた結果、生地調製時にあらかじめ還元水飴、食用油脂、および特定の乳化剤からなる水中油滴型乳化油脂を加えることにより、上記の問題点を全て解決することができ、かつ食感に優れた皮を得ることができることを見いだし、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、食用油脂３０〜６０重量部、還元水飴１５〜４０重量部、ＨＬＢ１１〜１６のショ糖脂肪酸エステル１〜６重量部およびＨＬＢ４〜７のモノグリセリン脂肪酸エステル１〜６重量部からなることを特徴とする麺帯用水中油滴型乳化油脂組成物およびその油脂組成物を含んでなる麺帯食品である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月27日(2003.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
澱粉分解酵素としては、澱粉をランダムに分解する液化型α−アミラーゼ；糖化型α−アミラーゼ；シクロデキストリンを作るＣＧＴａｓｅ（Cyclomaltodextrin glucanotransferase）；β−アミラーゼ；グルコアミラーゼ、α−グルコシダーゼ等の澱粉からグルコースを放出する酵素；プルラナーゼ、イソアミラーゼ等の澱粉のα−１，６結合を切断する枝切り酵素など、澱粉のα−１，４結合及びα−１，６結合を切断できる酵素は全て使用することができる。これらの中でも、α−アミラーゼ、β−アミラーゼ、グルコアミラーゼ、α−グルコシダーゼ、プルラナーゼ及びイソアミラーゼが好ましい。これらの酵素は、１種単独で、又は２種以上を組み合わせて用いることができる。また、グルコース鎖の少ない低分子ＰＯＳを製造するには、枝切り酵素とグルコアミラーゼとを組み合わせて用いるのが好ましい。酵素としては、具体的には、デキストロザイム（グルコアミラーゼとプルラナーゼの混合酵素剤、ノボノルディスク バイオインダストリー社製）等の市販品を使用することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月26日(2003.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有する有機絶縁性フィルム、接着剤層および保護フィルム層を有する積層体から構成されるＴＡＢ用接着剤付きテープにおいて、前記接着剤層が熱可塑性（Ａ）、エポキシ樹脂（Ｂ）、シリカ粉末（Ｃ）およびシランカップリング剤（Ｄ）を必須成分として含有することを特徴とするＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項２】
シラン粉末（Ｃ）の表面を予めシランカップリング剤（Ｄ）で処理することを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項３】
シランカップリング剤（Ｄ）の配合割合が、シリカ粉末（Ｃ）１００重量部に対して０．５〜１０重量部であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項４】
シランカップリング剤（Ｄ）が下記式（Ｉ）で表されるシランカップリング剤（ｄ）であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【化１】
1998084018.tif 000001
（Ｘは、水素原子、フェニル基、グリシジル基、アミノ基、ビニル基、アクリロイル基またはメルカプト基を示し、Ｒ1、Ｒ2は同一でも異なっていてもよく炭素数１〜４のアルキル基を示す。また、ｎは１以上の整数を、ｍは０〜３の整数を示す。）
【請求項５】
シリカ粉末（Ｃ）が平均粒径１０μｍ以下、最大粒径２０μｍ以下であり、シリカ粉末（Ｃ）の配合割合が接着剤層全体の５〜７０重量％であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項６】
シリカ粉末（Ｃ）の平均粒径が２μｍ以下、最大粒径が１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項７】
シリカ粉末（Ｃ）が溶融シリカ粉末（ｃ’）であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項８】
シリカ粉末（Ｃ）が溶融シリカ粉末（ｃ’）であって、かつ球状溶融シリカ粉末（ｃ”）であることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項９】
エポキシ樹脂（Ｂ）が下記式（II）、（III）、（IV）または（Ｖ）で表されるエポキシ樹脂を少なくとも１種類含むことを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【化２】
1998084018.tif 000002
（ただし、Ｒ3〜Ｒ10は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、Ｃ１〜Ｃ４の低級アルキル基またはハロゲン原子を示す。）
【化３】
1998084018.tif 000003
（ただし、Ｒ11〜Ｒ18のうち２つは２，３−エポキシプロポキシ基であり、残りは、同一でも異なっていてもよく、水素原子、Ｃ１〜Ｃ４の低級アルキル基またはハロゲン原子を示す。）
【化４】
1998084018.tif 000004
（ただし、Ｒ19〜Ｒ22は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、Ｃ１〜Ｃ４の低級アルキル基またはハロゲン原子を示す。）
【化５】
1998084018.tif 000005
（ただし、Ｒ23〜Ｒ24は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、Ｃ１〜Ｃ４の低級アルキル基またはハロゲン原子を示す。）
【請求項１０】
有機絶縁性フィルムがポリイミドからなるフィルムであることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項１１】
有機絶縁性フィルムがエポキシ樹脂含浸ガラスクロスからなるフィルムであることを特徴とする請求項１記載のＴＡＢ用接着剤付きテープ。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか記載のＴＡＢ用接着剤付きテープを用いた半導体接続基板。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか記載のＴＡＢ用接着剤付きテープを用いた半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明のシリカ粉末（Ｃ）はその表面を予めシランカップリング剤（Ｄ）で処理することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月26日(2004.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＢｉＣＭＯＳ／ＣＭＯＳスイッチング回路


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｈ動作の間，コンポーネントを保護するためにハイブリッドＶＣＣ装置内で使用されるＢｉＣＭＯＳ／ＣＭＯＳスイッチング回路であって，該ＢｉＣＭＯＳ／ＣＭＯＳスイッチング回路は，
そのドレイン端子が第１の電源電位（ＶＣＣ）に接続され，そのソース端子がＢｉＣＭＯＳ／ＣＭＯＳ回路の出力（ＡＵＳ）を構成し，そしてゲート端子を持つ第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）と，
第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子に接続されていて，該第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子を，出力（ＡＵＳ）にＬレベルを発生する為に第１の電源電位（ＶＣＣ）に，又はＨ動作の間，出力（ＡＵＳ）にＨレベルを発生する為に第２の電源電位（ＧＮＤ）に選択的に接続する駆動回路（ＭＰ１，ＭＰ２，Ｑ１，ＭＮ２，ＭＮ３，Ｄ２，Ｄ３）と，
その主電流通路が出力（ＡＵＳ）及び第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子の間にあって，そのゲート端子が第１の電源電位（ＶＣＣ）に接続されていて，出力（ＡＵＳ）の電圧が予定の値を越える時に，出力（ＡＵＳ）を第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子に短絡する第２のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ７）と，
その主電流通路が第１の電源電位（ＶＣＣ）及び第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子の間にあって，ゲート端子を有する第３のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ３）と，
その主電流通路が，第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子及び第２の電源電位（ＧＮＤ）の間で駆動回路（ＭＰ１，ＭＰ２，Ｑ１，ＭＮ２，ＭＮ３，Ｄ２，Ｄ３）と直列になっていて，ゲート端子を有する第４のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ１）と，
出力（ＡＵＳ）の電圧（ＶＯＨ）を求めると共に，出力（ＡＵＳ）からその時取出した監視電流成分（Ｉｅｘ′）を制限し，出力（ＡＵＳ）の電圧（ＶＯＨ）を予定の基準電圧（ＲＥＦ）と比較し，出力（ＡＵＳ）の電圧（ＶＯＨ）が基準電圧（ＲＥＦ）より大きい時，第３のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ３）をターンオンすると共に第４のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ１）をターンオフする為に，Ｈ動作の間，トリガ信号を出力するトリガ回路（ＭＰＣ１，ＤＣ１，ＭＮＣ２，Ｒ１，ＩＮＶ１）とを有する前記ＢｉＣＭＯＳ／ＣＭＯＳスイッチング回路。
【請求項２】
請求項１に記載のスイッチング回路に於いて，出力（ＡＵＳ）が第５のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ８）の主電流通路を介して第１，第２及び第５のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４，ＭＰ７，ＭＰ８）の基板に接続され，該基板が第１の電源電位（ＶＣＣ）に接続され，第５のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ８）のゲート端子に第１の電源電位（ＶＣＣ）が存在するスイッチング回路。
【請求項３】
請求項２に記載のスイッチング回路に於いて，第１の電源電位（ＶＣＣ）及び基板の間にショットキー・ダイオード（Ｄ１）が置かれており，該ショットキー・ダイオードは，それが第１の電源電位（ＶＣＣ）へのいかなる電流の流れも妨げるように回路内に配置されているスイッチング回路。
【請求項４】
請求項１に記載のスイッチング回路に於いて，駆動回路（ＭＰ１，ＭＰ２，Ｑ１，ＭＮ２，ＭＮ３，Ｄ２，Ｄ３）が，
その主電流通路が第１の電源電位（ＶＣＣ）及び第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子の間にあって，入力信号（ＥＩＮ）を受取るゲート端子を有する第６のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ２）と，
互いに直列に接続されると共に，一方において第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子に接続され，他の一方において第４のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ１）を介して第２の電源電位（ＧＮＤ）に接続された第７及び第８のＭＯＳトランジスタ（ＭＮ２，ＭＮ３）であって，第８のＭＯＳトランジスタ（ＭＮ３）が入力信号（ＥＩＮ）をそのゲート端子に受取ると共に第７のＭＯＳトランジスタ（ＭＮ２）が付能信号（ＮＣＴＲＬ）をそのゲート端子に受取る第７及び第８のＭＯＳトランジスタ（ＭＮ２，ＭＮ３）と，
その主電流通路が第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子及び第１の電源電位（ＶＣＣ）の間にある第９のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ１）と，
そのベース端子に於ける付能信号（ＮＣＴＲＬ）のコンプリメント（ＣＴＲＬ）に依存する形で，第９のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ１）を分路するバイポーラ・トランジスタ（Ｑ１）とを含むスイッチング回路。
【請求項５】
請求項４に記載のスイッチング回路に於いて，第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子及び第９のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ１）の間に，ショットキー・ダイオード（Ｄ２）が入っていて，該ショットキー・ダイオードは第１の電源電位（ＶＣＣ）へ向う電流の流れを妨げるスイッチング回路。
【請求項６】
請求項４に記載のスイッチング回路に於いて，第６のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ２）及び第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子の間にショットキー・ダイオード（Ｄ３）が入っていて，該ショットキー・ダイオードが第１の電源電位（ＶＣＣ）へ向う電流の流れを妨げるスイッチング回路。
【請求項７】
請求項１に記載のスイッチング回路に於いて，第３のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ３）及び第１のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ４）のゲート端子の間にショットキー・ダイオード（Ｄ５）が入っていて，該ショットキー・ダイオードが第１の電源電位（ＶＣＣ）へ向う電流の流れを妨げるスイッチング回路。
【請求項８】
請求項１に記載のスイッチング回路に於いて，トリガ回路（ＭＰＣ１，ＤＣ１，ＭＮＣ２，Ｒ１及びＩＮＶ１）は，
そのソース端子が出力（ＡＵＳ）に接続され，そのゲート端子が基準電圧（ＲＥＦ）を受取るようになっている第１０のＭＯＳトランジスタ（ＭＰＣ１）と，
そのドレイン端子が第１０のＭＯＳトランジスタ（ＭＰＣ１）のドレイン端子に接続され，そのゲート端子が付能信号（ＮＣＴＲＬ）を受取る第１１のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ２）と，
第１１のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ２）のソース端子並びに第２の電源電位（ＧＮＤ）に接続される抵抗（Ｒ１）と，
その入力端子が，第１１のＭＯＳトランジスタ（ＭＮＣ２）のソース端子及び抵抗（Ｒ１）の間にある節に接続され，その出力端子（Ｓ）が第３及び第４のＭＯＳトランジスタ（ＭＰ３，ＭＮＣ１）のゲート端子に接続されているインバータ（ＩＮＶ１）とを含むスイッチング回路。
【請求項９】
請求項８に記載のスイッチング回路に於いて，第１０のＭＯＳトランジスタ（ＭＰＣ１）の基板がショットキー・ダイオード（ＤＣ１）を介して第１の電源電位（ＶＣＣ）に接続され，該ショットキー・ダイオード（ＤＣ１）は，それが第１の電源電位（ＶＣＣ）へ向ういかなる電流の流れも妨げるように回路内に配置されているスイッチング回路。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月4日(2003.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
関数演算回路に使用する波形整形回路であって、前記関数演算回路は、非反転入力端子及び反転入力端子と出力端子とを有する演算増幅器を有しており、前記波形整形回路が、前記出力端子と、前記非反転入力端子及び前記反転入力端子の内の一方である関係する入力端子と、に接続した波形整形回路手段を含み、該波形整形回路手段は、
イ）  前記出力端子に接続した入力端と、該入力端とは電気的に絶縁された出力端とを有し、前記出力端子の電圧の大きさを、前記入力端から前記出力端へ、電気的絶縁状態で伝達する電圧伝達手段と、
ロ）  前記電圧伝達手段の前記出力端に入力端が接続しており、前記演算増幅器の前記入力端子に出力端が接続した電圧−電流変換手段であって、前記出力端子電圧の大きさに対する所定のしきい値を有しており、前記電圧伝達手段から受けた前記出力端子電圧の大きさと前記所定のしきい値との間の大小関係に依存した大きさの電流を前記入力端子に供給する、前記の電圧−電流変換手段と、
を備えている、波形整形回路。
【請求項２】
関数演算回路に使用する波形整形回路であって、前記関数演算回路は、非反転入力端子及び反転入力端子と非反転出力端子及び反転出力端子とを有する演算増幅器を有しており、前記波形整形回路が、
Ａ．  前記非反転出力端子と前記反転入力端子とに接続した第１の波形整形回路手段と、
Ｂ．  前記反転出力端子と前記非反転入力端子とに接続した第２の波形整形回路手段と、
を含み、
前記第１及び第２の波形整形回路手段の各々は、関係する前記出力端子及び前記入力端子に関して、
イ）  前記出力端子に接続した入力端と、該入力端とは電気的に絶縁された出力端とを有し、前記出力端子の電圧の大きさを、前記入力端から前記出力端へ、電気的絶縁状態で伝達する電圧伝達手段と、
ロ）  前記電圧伝達手段の前記出力端に入力端が接続しており、前記演算増幅器の前記入力端子に出力端が接続した電圧−電流変換手段であって、前記出力端子電圧の大きさに対する所定のしきい値を有しており、前記電圧伝達手段から受けた前記出力端子電圧の大きさと前記所定のしきい値との間の大小関係に依存した大きさの電流を前記入力端子に供給する、前記の電圧−電流変換手段と、
を備えている、波形整形回路。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の回路において、
前記波形整形手段は、１つのクリップ回路を構成すること、
を特徴とする波形整形回路。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の回路において、
前記波形整形手段は、１対のクリップ回路から成るリミッタ回路を構成し、
該リミット回路の前記１対のクリップ回路は、前記所定のしきい値として、互いに異なった第１と第２の所定のしきい値を有していること、
を特徴とする波形整形回路。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の回路において、
前記関数演算回路は、第１及び第２の電源電圧端子を有し、
前記クリップ回路は、１つのＭＯＳトランジスタを含み、
該ＭＯＳトランジスタは、ゲート電極を、前記演算増幅器の前記出力端子に接続し、ドレイン電極−ソース電極路を、前記第１及び第２電源電圧端子の内の所定の一方と前記演算増幅器の前記入力端子との間に接続し、
これにより前記ＭＯＳトランジスタの内の前記ゲート電極を含む第１部分が、前記電圧伝達手段を構成し、残りの第２部分が前記電圧−電流変換手段を構成すること、を特徴とする波形整形回路。
【請求項６】
請求項５に記載の回路において、
前記クリップ回路は、更に少なくとも１つのダイオード接続した追加のＭＯＳトランジスタを含み、
該追加ＭＯＳトランジスタは、ドレイン電極−ソース電極路を、前記演算増幅器の前記入力端子と前記ＭＯＳトランジスタの前記ドレイン電極−ソース電極路との間に、該電極路と直列に接続したこと、
を特徴とする波形整形回路。
【請求項７】
請求項３又は４に記載の回路において、
前記関数演算回路は、第１及び第２の電源電圧端子を有し、
前記クリップ回路は、１対の第１と第２のＭＯＳトランジスタを有する電流スイッチを含み、
該電流スイッチは、前記第１及び第２電源電圧端子と前記演算増幅器の前記入力端子との間に接続しており、かつ前記第１及び第２電源電圧端子の内の一方とその他方との間に第１の電流路を有し、そして前記一方の電源電圧端子と前記演算増幅器の前記入力端子との間に第２の電流路を有し、
前記第１電流路は、前記第１ＭＯＳトランジスタのドレイン電極−ソース電極路を含んでおり、該第１ＭＯＳトランジスタのゲート電極は前記演算増幅器の前記出力端子に接続し、
前記第２電流路は、前記第２ＭＯＳトランジスタのドレイン電極−ソース電極路を含み、該第２ＭＯＳトランジスタのゲート電極は前記所定しきい値を受けるように接続し、
前記電流スイッチは、前記出力端子電圧と前記所定しきい値との間の大小関係に依存した前記第１電流路及び前記第２電流路の内の一方のみを開くように動作し、
これによって、前記電流スイッチに含まれる前記第１ＭＯＳトランジスタの内の前記ゲート電極を含む第１部分が、前記電圧伝達手段を構成し、前記電流スイッチの残りの第２部分が前記電圧−電流変換手段を構成したこと、を特徴とする波形整形回路。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の回路において、
前記関数演算は、反転、加算、微分、積分の内の１つであること、
を特徴とする波形整形回路。
【請求項９】
請求項１に記載の回路において、
前記関数演算回路は、
イ）  入力端子と、
ロ）  該入力端子と前記演算増幅器の前記関係する入力端子との間に接続した入力回路と、
ハ）  前記演算増幅器の前記出力端子と前記関係する入力端子との間に接続した帰還回路と、
を含むこと、を特徴とする波形整形回路。
【請求項１０】
請求項２に記載の回路において、
前記関数演算回路は、
イ）  正入力端子及び負入力端子と、
ロ）  該正入力端子と前記演算増幅器の前記反転入力端子との間に接続した第１の入力回路、及び該負入力端子と前記演算増幅器の前記非反転入力端子との間に接続した第２の入力回路と、
ハ）  前記演算増幅器の前記非反転出力端子と前記反転入力端子との間に接続した第１の帰還回路、及び前記演算増幅器の前記反転出力端子と前記非反転入力端子との間に接続した第２の帰還回路と、
を含むこと、を特徴とする波形整形回路。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の回路において、
前記入力回路は、スイッチトキャパシタから成り、
前記帰還回路は、キャパシタから成ること、
を特徴とする波形整形回路。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月26日(2003.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グリース補給装置及び当該グリース補給装置を備えた軸受装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グリース潤滑の転がり軸受へグリースを補給するグリース補給装置であって、グリースを貯留する第一貯留室と、該第一貯留室に貯留されたグリースの一部が供給される第二貯留室と、該第二貯留室に貯留されたグリースを適宜なタイミングで前記転がり軸受の内部へ押し出す押圧手段とを有することを特徴とするグリース補給装置。
【請求項２】
前記第一貯留室に貯留されたグリースが、前記第二貯留室に向けて常に付勢されていることを特徴とする請求項１に記載のグリース補給装置。
【請求項３】
グリース潤滑の転がり軸受へグリースを補給するグリース補給装置であって、グリースを貯留する貯留室と、該貯留室に貯留されたグリースの一部を断続的に押し出すことによって所定量のグリースを前記転がり軸受の内部へ供給する押圧手段と、前記貯留室から前記転がり軸受へ連通してグリースを流入せしめる供給路とを有することを特徴とするグリース補給装置。
【請求項４】
前記供給路は、直径０．５〜５ｍｍの円形断面積と同等の断面積を有することを特徴とする請求項３に記載のグリース補給装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のグリース補給装置を備えたことを特徴とする軸受装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
高速回転においては、十分に管理をしてグリース補給を行わないと、グリース量が多すぎて軸受が急激に発熱したり、グリース量が少なすぎて軸受が潤滑不良になり焼付きに至ったりする。
本発明は、上記事情を鑑みてなされたもので、その目的は、転がり軸受にグリースを随時補給し、高速回転下においても軸受の寿命の延長を図ることができるグリース補給装置及び当該グリース補給装置を備えた軸受装置を提供することにある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、下記構成によって達成される。
（１）グリース潤滑の転がり軸受へグリースを補給するグリース補給装置であって、グリースを貯留する第一貯留室と、該第一貯留室に貯留されたグリースの一部が供給される第二貯留室と、該第二貯留室に貯留されたグリースを適宜なタイミングで前記転がり軸受の内部へ押し出す押圧手段とを有することを特徴とするグリース補給装置。
上記（１）の構成によれば、転がり軸受の内部に初期封入されたグリースに対し、予め定められた所定量のグリースを適宜なタイミングで正確に補給することで、長期にわたって潤滑状態を良好に保つことができ、軸受の急激な発熱、潤滑不良による焼付きを防ぐことができる。従って、軸受の長寿命化を図ることができる。
（２）  上記（１）の構成において、第一貯留室に貯留されたグリースが、第二貯留室に向けて常に付勢されるようにしてもよい。
（３）  グリース潤滑の転がり軸受へグリースを補給するグリース補給装置であって、グリースを貯留する貯留室と、該貯留室に貯留されたグリースの一部を断続的に押し出すことによって所定量のグリースを前記転がり軸受の内部へ供給する押圧手段と、前記貯留室から前記転がり軸受へ連通してグリースを流入せしめる供給路とを有することを特徴とするグリース補給装置。
上記（３）のグリース補給装置によれば、簡単な構造でありながら、転がり軸受の内部に初期封入されたグリースに対し、予め定められた所定量のグリースを適宜なタイミングで正確に補給することで、長期にわたって潤滑状態を良好に保つことができる。
（４）  前記（３）に記載の供給路は、直径０．５〜５ｍｍの円形断面積と同等の断面積を有することが好ましい。
なお、上記（１）に記載の押圧手段は、エア圧またはガス圧を用いたアクチュエータによって駆動されるピストンとしてもよい。
また、上記（３）に記載の押圧手段は、エア圧を用いたものでもよいが、ねじの回転を用いて駆動されるものであることが好ましい。
（５）  上記（１）から（４）のいずれかに記載のグリース補給を備えたことを特徴とする軸受装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。
図１は、本発明の軸受装置の第１実施形態を表す断面図である。グリースが補給される転がり軸受（玉軸受）１は、外輪２と、内輪３と、外輪２と内輪３の間に介挿された転動体（玉）４と、転動体４を転がり軸受の周方向等間隔に転動自在に保持する保持器５とによって概略構成されている。
転がり軸受１は、ハウジング１０ａの内面に外輪２の外径面が嵌合するように配置されている。外輪２には、グリース補給装置１０から供給されるグリースが流入するように転がり軸受１の内部へ連通し、外輪内径面に開口したグリース補給孔６が形成されている。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
図３に基づいて、本発明の軸受装置の第２実施形態を説明する。
転がり軸受１は、ハウジング２０ａの内面に外輪２の外径面が嵌合するように配置されている。また、第１実施形態と同様に、外輪２には、グリース補給装置２０からグリースを供給するためのグリース補給孔６が形成されている。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、転がり軸受にグリースを随時補給し、高速回転下においても軸受の寿命の延長を図ることができるグリース補給装置及び当該グリース補給装置を備えた軸受装置を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月24日(2003.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の吸気バルブ又は排気バルブとして機能する弁体を駆動する複数の電磁アクチュエータをアクチュエータボディに組付けるとともに、前記電磁アクチュエータのそれぞれに配電するための配線を前記アクチュエータボディに組付けた内燃機関のバルブ駆動装置において、
前記アクチュエータボディ内に冷却媒体を流すための流路を形成するとともに、同アクチュエータボディの前記流路近傍に前記配線を配置し、
前記電磁アクチュエータ及び前記配線がそれぞれ組付けられた前記アクチュエータボディは、前記内燃機関のヘッドカバーにより覆われた状態でシリンダヘッドに取付けられるものであり、
前記アクチュエータボディには、前記配線が接続され、かつ前記ヘッドカバーの連通孔を通して駆動回路側コネクタが脱着可能に結合される集中コネクタが設けられ、
前記集中コネクタに対する前記駆動回路側コネクタの結合方向が前記弁体の軸方向と同方向に設定されていることを特徴とする内燃機関のバルブ駆動装置。
【請求項２】
前記配線は、複数の棒状導電部材と少なくも隣合う棒状導電部材間に充填された合成樹脂製の本体部とを有するバスバーにより構成されている請求項１に記載の内燃機関のバルブ駆動装置。
【請求項３】
前記バスバーにおける複数の棒状導電部材は前記電磁アクチュエータの配列方向に沿って配置され、各棒状導電部材の一方の端部が対応する電磁アクチュエータに接続されるとともに、他方の端部が集中コネクタに接続されており、
さらに、前記バスバーにおける前記本体部は、配策する前記棒状導電部材の本数が少なくなるにつれて細く形成されている請求項２に記載の内燃機関のバルブ駆動装置。
【請求項４】
前記アクチュエータボディと、同アクチュエータボディに組付けられる前記配線との隙間には合成樹脂が充填されている請求項１〜３のいずれか１つに記載の内燃機関のバルブ駆動装置。
【請求項５】
前記電磁アクチュエータにはアクチュエータ側コネクタが設けられ、前記配線には配線側コネクタが設けられており、前記配線側コネクタの前記アクチュエータ側コネクタに対する結合方向は、前記配線の前記アクチュエータボディへの組付け方向と同方向となるように設定されている請求項１〜４のいずれか１つに記載の内燃機関のバルブ駆動装置。
【請求項６】
前記配線には配線側コネクタが設けられ、前記電磁アクチュエータにはアクチュエータ側コネクタが設けられており、前記アクチュエータ側コネクタの前記配線側コネクタに対する結合方向は、前記電磁アクチュエータの前記アクチュエータボディへの組付け方向と同方向となるように設定されている請求項１〜４のいずれか１つに記載の内燃機関のバルブ駆動装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以下、上記目的を達成するための手段及びその作用効果について記載する。
請求項１に記載の発明では、内燃機関の吸気バルブ又は排気バルブとして機能する弁体を駆動する複数の電磁アクチュエータをアクチュエータボディに組付けるとともに、前記電磁アクチュエータのそれぞれに配電するための配線を前記アクチュエータボディに組付けた内燃機関のバルブ駆動装置において、前記アクチュエータボディ内に冷却媒体を流すための流路を形成するとともに、同アクチュエータボディの前記流路近傍に前記配線を配置し、前記電磁アクチュエータ及び前記配線がそれぞれ組付けられた前記アクチュエータボディは、前記内燃機関のヘッドカバーにより覆われた状態でシリンダヘッドに取付けられるものであり、前記アクチュエータボディには、前記配線が接続され、かつ前記ヘッドカバーの連通孔を通して駆動回路側コネクタが脱着可能に結合される集中コネクタが設けられ、前記集中コネクタに対する前記駆動回路側コネクタの結合方向が前記弁体の軸方向と同方向に設定されている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、駆動回路側コネクタの集中コネクタへの結合に際しては、同駆動回路側コネクタがヘッドカバーの外部から連通孔を通じて、同ヘッドカバー内に挿入される。そして、駆動回路側コネクタが集中コネクタに結合されると、アクチュエータボディの配線と駆動回路とが両コネクタを通じて電気的に接続される。この結合状態では、駆動回路側コネクタにヘッドカバー上面と平行な鍔部を構成することができ、駆動回路側コネクタとヘッドカバーとの間をシールすることができる。このため、電磁アクチュエータに供給される潤滑油等がヘッドカバー内で飛散しても、前記連通孔からヘッドカバーの外部に漏れ出すことを防止できる。さらに、集中コネクタに対する駆動回路側コネクタの結合方向が弁体の軸方向と同方向に設定されている。このため、連通孔をヘッドカバーの端面から離れた箇所にあけることにより、集中コネクタを、ヘッドカバーとシリンダヘッドとの合せ面とは異なる箇所に配置することができる。従って、簡単なシール構造で潤滑油等をシールすることができる。
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記配線は、複数の棒状導電部材と少なくも隣合う棒状導電部材間に充填された合成樹脂製の本体部とを有するバスバーにより構成されているとする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項５に記載の発明では、請求項１〜４のいずれか１つに記載の発明において、前記電磁アクチュエータにはアクチュエータ側コネクタが設けられ、前記配線には配線側コネクタが設けられており、前記配線側コネクタの前記アクチュエータ側コネクタに対する結合方向は、前記配線の前記アクチュエータボディへの組付け方向と同方向となるように設定されているとする。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項６に記載の発明では、請求項１〜４のいずれか１つに記載の発明において、前記配線には配線側コネクタが設けられ、前記電磁アクチュエータにはアクチュエータ側コネクタが設けられており、前記アクチュエータ側コネクタの前記配線側コネクタに対する結合方向は、前記電磁アクチュエータの前記アクチュエータボディへの組付け方向と同方向となるよう設定されているとする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月15日(2003.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】通信システムおよび通信装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
職能上の役割を識別する役割識別子を記憶する役割フィールドと、前記役割識別子について前記職能上の役割を遂行することができる対象の１つまたは複数の名前を記憶する名前フィールドと、前記対象について現行連絡番号を記憶する番号フィールドとを含むレコードを複数記憶する第１の記憶手段と、
所与の役割を果たす対象との通信のために役割識別子の形で要求を受け入れる入力手段と、
前記レコードのそれぞれについて１組の命令を記憶する第２の記憶手段と、
役割識別子を受け付け、前記第１および第２の記憶手段にアクセスし、前記１組の命令に従って前記現行連絡番号を介して役割識別子に関連づけられた職能上の役割を遂行することができる対象との通信チャネルを確立する処理手段とを備える通信システム。
【請求項２】
少なくとも１つのレコードが、名前を指定された対象が関連づけられた役割の遂行に対応可能な期間を記憶する名前フィールドに関連づけられた時間フィールドを含む請求項１記載の通信システム。
【請求項３】
前記レコードを変更する編集手段を備える請求項１または２記載の通信システム。
【請求項４】
前記編集手段が、通信チャネルを介してアクセス可能であり、名前フィールドにその名前が入力されている対象が関連づけられているレコードを編集することができるように構成されている請求項３記載の通信システム。
【請求項５】
前記編集手段が、前記対象が前記レコードに関連づけられた命令セットを編集することができるようにさらに構成されている請求項４記載の通信システム。
【請求項６】
複数の名前を有する名前フィールドを含むレコードの前記命令セットが、通信システムに試行が成功するまで前記複数の名前のそれぞれとの通信チャネルの確立を実施させる請求項１乃至５の何れか１項記載の通信システム。
【請求項７】
前記処理手段が、通信チャネルを確立すると前記通信チャネルで役割識別子を渡す請求項１乃至６の何れか１項記載の通信システム。
【請求項８】
前記処理手段が、連絡された対象からの応答のために開いた通信チャネルを監視するチャネル監視手段を備える請求項１乃至７の何れか１項記載の通信システム。
【請求項９】
前記処理手段が特定の役割識別子に関連づけられている連絡された対象からの否定応答を受信すると、同じ役割識別子に関連づけられた代替対象との通信チャネルの確立を試行する請求項８記載の通信システム。
【請求項１０】
特定の職務上の役割を容易にするデータを記憶する第３の記憶手段をさらに備え、前記処理手段が前記データにアクセスし、確立された通信チャネルを介して前記特定の職務上の役割を遂行する対象に前記データを渡す請求項１乃至９の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１１】
前記第１の記憶手段が複数の役割識別子と、チーム識別子を記憶するチームフィールドとを有する少なくとも１つのレコードを含み、前記入力手段が複数の対象との通信のためのチーム識別子の形態で要求を受け入れるように調整されており、
前記処理手段が、チーム識別子を受入れ、前記第１および第２の記憶手段にアクセスし、入力されたチーム識別子に関連づけられた役割識別子によって識別された職務上の各役割を遂行することができる対象との通信チャネルを確立するように調整されている請求項１乃至１０の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１２】
前記処理手段が、２つのリンクされた役割識別子を受け入れ、リンクされた役割識別子の内の１つに関連づけられた職務上の役割を遂行することができる対象との通信チャネルを確立し、前記通信チャネルで第２のリンクされた役割識別子を渡するように構成されている請求項１乃至１１の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１３】
確立された前記通信チャネルが、データ通信チャネルである請求項１乃至１２の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１４】
確立された前記通信チャネルが、音声通信チャネルである請求項１乃至１２の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１５】
確立された前記通信チャネルが、データと音声の両方のチャネルである請求項１乃至１２の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１６】
確立された前記通信チャネルが、ＧＳＭ通信チャネルである請求項１乃至１５の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１７】
確立された前記通信チャネルが、ＧＳＭショートメッセージサービスをサポートする請求項１乃至１６の何れか１項記載の通信システム。
【請求項１８】
請求項１乃至１７の何れか１項記載の通信システムにおいて使用する通信装置であって、前記通信システムとの無線通信のための手段と、前記通信システムとのデータと音声の両方の通信チャネルを確立する手段と、入力された役割識別子を受け入れる手段と、前記通信システムから受け取った情報を表示する表示手段とを備える通信装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月4日(2003.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】エコーキャンセラ


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の送信信号を別個に入力して擬似干渉信号を生成する複数の適応フィルタと、受信信号から前記擬似干渉信号の総和を差し引く減算手段とを備えたエコーキャンセラにおいて、前記適応フィルタのフィルタ係数更新で行う入力信号相関行列の演算を前記送信信号の自己相関行列のみとすることを特徴とするエコーキャンセラ。
【請求項２】
複数の送信信号を別個に入力して擬似干渉信号を生成する複数の適応フィルタと、受信信号から前記擬似干渉信号の総和を差し引く減算手段とを備えたエコーキャンセラにおいて、前記送信信号の各々が互いに無相関である場合に、前記適応フィルタのフィルタ係数更新で行う入力信号相関行列の演算を前記送信信号の自己相関行列のみとすることを特徴とするエコーキャンセラ。
【請求項３】
前記適応フィルタのフィルタ係数更新における入力信号相関行列は、逐次最小二乗適応アルゴリズムに基づいたものであることを特徴とする請求項１または請求項２記載のエコーキャンセラ。
【請求項４】
前記適応フィルタのフィルタ係数更新における入力信号相関行列は、標本化逆行列適応アルゴリズムに基づいたものであることを特徴とする請求項１または請求項２記載のエコーキャンセラ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は無線／音響機器に適用し送信側から受信側への回り込み干渉信号（エコー）を抑圧するエコーキャンセラに関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明のエコーキャンセラは、複数の送信信号を別個に入力して擬似干渉信号を生成する複数の適応フィルタと、受信信号から擬似干渉信号の総和を差し引く減算手段とを備えたエコーキャンセラにおいて、適応フィルタのフィルタ係数更新で行う入力信号相関行列の演算を送信信号の自己相関行列のみとするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、複数の送信信号を別個に入力して擬似干渉信号を生成する複数の適応フィルタと、受信信号から擬似干渉信号の総和を差し引く減算手段とを備えたエコーキャンセラにおいて、送信信号の各々が互いに無相関である場合に、適応フィルタのフィルタ係数更新で行う入力信号相関行列の演算を送信信号の自己相関行列のみとするものである。
また、適応フィルタのフィルタ係数更新における入力信号相関行列は、逐次最小二乗適応アルゴリズムに基づいたものである。
また、適応フィルタのフィルタ係数更新における入力信号相関行列は、標本化逆行列適応アルゴリズムに基づいたものである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【発明の効果】
上記のようなこの発明のエコーキャンセラでは、従来方式に比べ複数信号源の送信信号間に相関がないときは同等の収束速度または同等の干渉信号抑圧性能を保ち、かつ演算量を低減でき、低コストのエコーキャンセラを得る効果がある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月5日(2003.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、第１の領域１１については、第２の領域１２との界面が、シリコン基板１側に凹んだ曲面を成しており、分離領域３の中央部分に入射される光をより大きく屈折させるように構成される。即ち、図２に示すように、第１の領域１１の表面（第２の領域１２との界面）とシリコン基板１の表面とのなす角度が、分離領域３の中央部に近づくほど大きくなるように形成されており、シリコン基板１に対して垂直に入射される光は、分離領域３の中央部ほど大きく屈折される。従って、分離領域３上に入射される光は、図１に示すように、第１の領域１１と第２の領域１２との界面でチャネル領域側へ効率よく屈折され、受光画素として働くＮ型拡散層４内へ導かれる。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図３（ａ）〜（ｄ）は、本発明の固体撮像素子の製造方法を説明する工程別の断面図である。この図においては、図１と同一部分を示す。
（ａ）：第１工程
Ｎ型のシリコン基板１の表面領域に、ボロン等のＰ型の不純物を拡散し、素子領域となるＰ型拡散層２を形成する。このＰ型拡散層２内に、さらにＰ型の不純物を選択的に注入して複数の分離領域３を形成し、これら分離領域３の間に、リン等のＮ型の不純物を注入してチャネル領域となるＮ型拡散層４を形成する。続いて、Ｎ型拡散層４が形成されたシリコン基板１の表面を熱酸化し、酸化シリコンからなるゲート絶縁膜５を形成する。そして、ゲート絶縁膜５上に、多結晶シリコンからなる複数の転送電極６を形成し、これら転送電極６を覆って層間絶縁膜７を形成する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
（ｃ）：第３工程
透光性材料層１５上に、レジスト層１６を形成し、このレジスト層１６を分離領域３に沿ってパターニングすることで、分離領域３に沿って延在するマスクパターン１７を形成する。そして、マスクパターン１７をマスクとして、透光性材料層１５に等方性エッチングを施し、マスクパターン１７の間隙部分で層間絶縁膜７の表面を露出させる。この等方性エッチングにより、分離領域３上には、分離領域３に沿って層間絶縁膜７上に延在し、シリコン基板１側で幅が広くなる断面形状を有し、かつ、表面がシリコン基板１側に凹んだ曲面を成す第１の領域１１を形成できる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月24日(2003.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置および同装置を用いるデバイス製造方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハにパターンの投影を行う露光装置であって、
前記ウエハの表面上の点ごとに、前記投影の方向における前記表面の位置の検出を行う検出手段と、
前記検出手段により検出された複数の表面位置に基づいて、前記ウエハおよび前記ウエハを保持するチャックのうち少なくとも一方の上に異物があるか否かの判定を行う判定手段と
を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記判定手段は、前記複数の表面位置のうち２つの表面位置の差に基づいて、前記判定を行うことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記判定手段の判定結果に基づく警告を行う警告手段を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記判定手段の判定結果に基づき前記装置における処理を中断させる中断手段を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記検出手段は、前記表面の傾きを検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の露光装置。
【請求項６】
前記検出手段は、前記表面位置の光学的検出およびエアマイクロメータによる検出のいずれかを行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の露光装置。
【請求項７】
前記検出手段は、前記投影中に前記検出を行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の露光装置。
【請求項８】
前記判定手段は、チップ領域およびウエハのいずれかを単位として、前記判定を行うことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の露光装置。
【請求項９】
前記判定手段は、前記検出手段により検出された他のウエハの表面位置にも基づいて前記判定を行うことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の露光装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の露光装置を用いてウエハにパターンを投影する工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１１】
ウエハにパターンの投影を行う露光装置に適用される異物検出方法であって、
前記ウエハの表面上の点ごとに、前記投影の方向における前記表面の位置の検出を行う検出工程と、
前記検出工程において検出された複数の表面位置に基づいて、前記ウエハおよび前記ウエハを保持するチャックのうち少なくとも一方の上に異物があるか否かの判定を行う判定工程と
を含むことを特徴とする異物検出方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は露光装置、より詳しくは、ウエハやウエハチャックに付着した異物を検出可能な露光装置に関するものである。また本発明は、同装置を用いるデバイス製造方法にも関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を克服すべくなされたもので、ウエハチャックあるいはウエハ上に異物が付着したことを迅速に検知可能な、生産性および信頼性の高い露光装置およびデバイス製造方法を提供するものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
すなわち本発明の露光装置は、ウエハにパターンの投影を行う露光装置であって、前記ウエハの表面上の点ごとに、前記投影の方向における前記表面の位置の検出を行う検出手段と、前記検出手段により検出された複数の表面位置に基づいて、前記ウエハおよび前記ウエハを保持するチャックのうち少なくとも一方の上に異物があるか否かの判定を行う判定手段とを備えたことを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一実施形態において、前記判定手段は、前記複数の表面位置のうち２つの表面位置の差に基づいて、前記判定を行うことができ、前記判定手段の判定結果に基づく警告を行う警告手段を備えることができ、前記判定手段の判定結果に基づき前記装置における処理を中断させる中断手段を備えることもできる。また、前記検出手段は、前記表面の傾きを検出することができ、前記検出手段は、前記表面位置の光学的検出およびエアマイクロメータによる検出のいずれかを行ってもよく、前記検出手段は、前記投影中に前記検出を行うことができる。また、前記判定手段は、チップ領域およびウエハのいずれかを単位として、前記判定を行うことができ、前記判定手段は、前記検出手段により検出された他のウエハの表面位置にも基づいて前記判定を行ってもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また本発明のデバイス製造方法は、上記本発明の露光装置を用いてウエハにパターンを投影する工程を含むことを特徴とする。また、本発明に係る異物検出方法は、ウエハにパターンの投影を行う露光装置に適用される異物検出方法であって、前記ウエハの表面上の点ごとに、前記投影の方向における前記表面の位置の検出を行う検出工程と、前記検出工程において検出された複数の表面位置に基づいて、前記ウエハおよび前記ウエハを保持するチャックのうち少なくとも一方の上に異物があるか否かの判定を行う判定工程とを含むことを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ウエハチャックあるいはウエハ上に異物が付着したことを迅速に検知することが可能となる。これによって、生産性および信頼性の高い露光装置およびデバイス製造方法を提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月3日(2003.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図４（ａ）（ｂ）において、１はプリント基板であり、このプリント基板１には６つの電子部品２が取付けられている。この電子部品２はプリント基板１上にパターニングされた銅箔からなる導電パターン３にハンダ等によって取付けられており、電子部品２同士は導電パターン３によって電気的に接続されている。また、電子部品２は接着剤４によってプリント基板１上で接続されており、この接着剤４は電子部品２の端面に設けられている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のプリント基板１にあっては、電子部品２を接着剤４で連結したり、樹脂５によってコーティングしていたため、接着剤４および樹脂５とプリント基板１または電子部品２の熱膨張率の差によって電子部品２に力が加わった場合に、接着剤４または樹脂５にストレスが加わって接着性能が劣化してしまうため、電子部品２をプリント基板１に強固に支持することができなくなってしまい、熱膨張率の差による発生力および遠心力で電子部品２がプリント基板１から取れてしまうことや電気的接続状態が不良となることがあった。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで本発明は、プリント基板を高速回転する装置に取付けて電子部品に強い剪断力が作用した場合や、熱膨張率の差による発生力が作用した場合であっても、電子部品がプリント基板から取れてしまうことや電気的接続状態が不良となることを防止することができるプリント基板を提供することを目的としている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
その場合、電子部品に剪断力が加わる方向と同一方向に設置された突き当て部材によって電子部品がプリント基板に支持されるため、プリント基板を高速回転する繊維機械のスピンドル等に取付けて電子部品に遠心力が作用した場合や熱膨張率の差による発生力が作用した場合であっても、突き当て部材によって電子部品を剪断力が作用する方向に移動するのを規制することができ、電子部品がプリント基板から取れてしまうのを確実に防止することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図２は本発明に係るプリント基板の第２実施形態を示す図である。
まず、構成を説明する。図２において、21はプラスチック等からなる四角形状のプリント基板であり、このプリント基板21にはＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の電子部品22、23が取付けられている。
この電子部品22、23はプリント基板21にパターニングされた銅箔からなるパッド24にハンダ等によって取付けられており、各電子部品22、23はこのパッド24またはパターン25によって電気的に接続されている。