(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板収納容器用フックにおいて、
前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項３】
薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、
当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、
前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、
前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、
前記薄板収納容器用フックが、
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項４】
請求項３に記載の薄板収納容器において、
前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハなどの薄板を収納して、搬送及び保管するための薄板収納容器に用いる薄板収納容器用フック及びその薄板収納容器用フックを用いた薄板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
少数の薄板を収納して搬送、保管等する薄板収納容器は一般に知られている。このような薄板収納容器では、収納する薄板の枚数が少ない場合、全体に小型となり、本体部と蓋体部との間は、粘着テープで固定される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述の薄板収納容器のように、本体部と蓋体部との間を粘着テープで固定する場合、粘着面がいろんなところに接着してしまうため、本体部と蓋体部との間に正確に位置決めして貼り付けなければならない。このため、粘着テープを張る作業に時間がかかり、作業性が悪い。さらに、ゴミも発生するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる薄板収納容器用フック及び薄板収納容器を提供するものである。このため、請求項１に係る発明は、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【０００５】
前記構成により、上側容器部と下側容器部とが合わさった状態で、上側容器部の係止板と下側容器部の係止板とに、上側フック部の溝部と下側フック部の溝部とがそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けられる。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【０００６】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【０００７】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の薄板収納容器用フックにおいて、前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【０００８】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【０００９】
請求項３に係る発明は、薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、前記薄板収納容器用フックが、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【００１０】
前記構成により、下側容器部に薄板を複数枚収納して、この下側容器部に上側容器部を被せ、各係止板に前記薄板収納容器用フックの上側フック部及び下側フック部をそれぞれ引っ掛けて、薄板収納容器用フックを取り付ける。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【００１１】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【００１２】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の薄板収納容器において、前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【００１３】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【発明の効果】
【００１４】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器用フック及び薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【００１５】
各係止板に、上側フック部及び下側フック部の各溝部がそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けて、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持することで、前記薄板収納容器用フックが上側容器部と下側容器部とを固定するため、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【００１６】
また、前記薄板収納容器用フックが、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスクなどの薄板を収納して、搬送、保管に供するための容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器を例に説明する。
【００１８】
薄板収納容器１は、図２〜６に示すように主に、下側容器部２と、上側容器部３と、ウエハキャリア４と、薄板収納容器用フック５とから構成されている。
【００１９】
前記下側容器部２は、半導体ウエハＷを内部に複数枚並べて収納するための容器である。この下側容器部２は、平面形状がほぼ長方形の深底の容器で構成されている。この下側容器部２の上部には外側へ膨らませた膨出部２Ａが形成されている。この膨出部２Ａは、前記下側容器部２の上部の全周に亘って設けられている。前記下側容器部２の短辺側（図６中の左右両側）の膨出部２Ａの下端部には係止板７（図１３、１４参照）が設けられている。この係止板７は、膨出部２Ａの下端部から下方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック５の下側フック部２７に嵌合するようになっている。係止板７の中央部には、薄板収納容器用フック５の係止用突起３０に嵌合する切り欠き８（図１４参照）が設けられている。この切り欠き８は、薄板収納容器用フック５の係止用突起３０がスムーズに嵌合するように、円弧状の凹状に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック５の係止用突起３０が切り欠き８に嵌合することで、薄板収納容器用フック５が位置決めして支持されるようになっている。さらに、切り欠き８の縁部も円弧状に湾曲して形成され、係止用突起３０が係止板７をスライドして切り欠き８にスムーズに嵌合すると共に、スムーズに抜き取ることができるようになっている。
【００２０】
前記下側容器部２の上端部には、長辺側（図６中の上下両側）の長手方向の一側半分（図３中の右半分）に嵌合凸条１０が、他側半分（図３中の左半分）に嵌合凹条１１がそれぞれ設けられている。さらに、これら嵌合凸条１０と嵌合凹条１１は、２つは長辺にそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条１０と嵌合凹条１１は、図７、８に示すように、互いに嵌合しあえるように、同じ形状の凸部と凹部によって構成されている。これにより、この嵌合凸条１０及び嵌合凹条１１と同じ形状の後述する上側容器部３の嵌合凹条１８及び嵌合凸条１７が、前記下側容器部２の嵌合凸条１０と嵌合凹条１１にそれぞれ嵌合して、下側容器部２に上側容器部３が位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【００２１】
前記下側容器部２の底部には、図３に示すように、後述するウエハキャリア４の嵌合足部２２が嵌合してウエハキャリア４を支持するウエハキャリア支持溝１３が形成されている。このウエハキャリア支持溝１３は、ウエハキャリア４の嵌合足部２２に合わせて、前記下側容器部２の底部の２箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【００２２】
上側容器部３は、半導体ウエハＷが収納された前記下側容器部２の上側に被せるための容器である。この上側容器部３は、前記下側容器部２と同様に、平面形状がほぼ長方形の深底の容器から構成されている。この上側容器部３の下部には、図２〜６に示すように、外側へ膨らませた膨出部３Ａが形成されている。この膨出部３Ａは、上側容器部３の下部の全周に亘って設けられている。上側容器部３の短辺側の膨出部３Ａの上端部には係止板１５（図１３参照）が設けられている。この係止板１５は、膨出部３Ａの上端部から上方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック５の上側フック部２６に嵌合するようになっている。係止板１５の中央部には、薄板収納容器用フック５の係止用突起３０に嵌合する切り欠き(図示せず)が設けられている。この切り欠きは、下側容器部２の係止板７の切り欠き８と同様に構成されている。
【００２３】
上側容器部３の下端部には、図３に示すように、長辺側の長手方向の左半分に嵌合凸条１７が、右半分に嵌合凹条１８がそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条１７と嵌合凹条１８は、前記下側容器部２の嵌合凸条１０及び嵌合凹条１１と同じ形状に構成されている。これにより、この嵌合凸条１７及び嵌合凹条１８と下側容器部２の嵌合凸条１０及び嵌合凹条１１とがそれぞれ嵌合して、前記下側容器部２に上側容器部３が、位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【００２４】
上側容器部３の底部には、ウエハキャリア４の嵌合足部２２が嵌合してウエハキャリア４を支持するウエハキャリア支持溝１３が形成されている。このウエハキャリア支持溝１３は、ウエハキャリア４の嵌合足部２２に合わせて、上側容器部３の底部の２箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【００２５】
これにより、下側容器部２と上側容器部３とは同じ形状に構成されて、上下を入れ替えていずれを下側にしても、ウエハキャリア４を収納できるようになっている。
【００２６】
ウエハキャリア４は主に、溝板部２１と、嵌合足部２２とを備えて構成されている。溝板部２１は、複数の支持溝２１Ａを備えて構成され、各支持溝２１Ａに半導体ウエハＷが嵌合して支持されるようになっている。溝板部２１は、左右対称に、互いに対向させて設けられ、半導体ウエハＷを両側から支持するようになっている。嵌合足部２２は、各溝板部２１の下端部に下方へ延出して設けられている。各嵌合足部２２は、ウエハキャリア４全体を支持するための部材である。さらに、各嵌合足部２２は、ウエハキャリア４が前記下側容器部２に収納された状態で、各ウエハキャリア支持溝１３に嵌合して、ウエハキャリア４を前記下側容器部２内の正確な位置に位置決めして支持するための部材である。さらに、各嵌合足部２２は、上側容器部３に対しても嵌合する。ウエハキャリア４が、下側に配設された上側容器部３に収納された状態で、各嵌合足部２２が各ウエハキャリア支持溝１３にそれぞれ嵌合して、ウエハキャリア４を上側容器部３内の正確な位置に位置決めして支持する。
【００２７】
薄板収納容器用フック５は、前記下側容器部２に前記上側容器部３を被せた状態でこれらの間を固定するための部材である。
【００２８】
前記薄板収納容器用フック５は、図１、９〜１２に示すように、本体部２５と、上側フック部２６と、下側フック部２７と、バネ取付け部２８と、板バネ２９と、係止用突起３０とから構成されている。
【００２９】
本体部２５は、薄板収納容器用フック５のほぼ全体形状を構成する板状部材である。この本体部２５は、弾性を有する合成樹脂で構成されている。具体的には、下側容器部２に上側容器部３が被せられた状態で、これらを確実に支持できる強度を備えて撓る合成樹脂材料で構成されている。下側容器部２及び上側容器部３の大きさ、重量に応じて、合成樹脂の種類を選択する。本体部２５の上下方向中央部の左右方向両端部には、手で掴むための左右対称の凹部２５Ａが設けられている。
【００３０】
上側フック部２６は、本体部２５の上端に設けられ上側容器部３の係止板１５に引っ掛けるための溝部２６Ａを形成する部分である。溝部２６Ａは係止板１５の上端部形状に合わせて形成されている。
【００３１】
下側フック部２７は、本体部２５の下端に設けられ下側容器部２の係止板７に引っ掛けるための溝部２７Ａを形成する部分である。溝部２７Ａは係止板７の下端部形状に合わせて形成されている。
【００３２】
バネ取付け部２８は、板バネ２９を掛け渡すための切り欠きである。このバネ取付け部２８は、上側フック部２６及び下側フック部２７の左右方向の中央位置をそれぞれ切り欠いて形成されている。このバネ取付け部２８は、本実施形態では、上側フック部２６及び下側フック部２７にそれぞれ１つずつ設けたが、取り付ける板バネ２９の数に応じて２以上設ける場合もある。
【００３３】
板バネ２９は、係止板７、１５に弾性的に当接するための部材である。この板バネ２９は、バネ取付け部２８に掛け渡して取り付けられている。
【００３４】
係止用突起３０は、下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５にそれぞれ形成された切り欠き８に嵌合して薄板収納容器用フック５を位置決め支持するための部分である。この係止用突起３０は、板バネ２９の途中（中央位置）に、各係止板７、１５の切り欠き８側へＶ字状に隆起して形成されている。このＶ字状の係止用突起３０が、円弧状の切り欠き８に嵌合して薄板収納容器用フック５を位置決め支持するようになっている。係止用突起３０は、板バネ２９に１つだけ設けられているが、２以上設ける場合もある。薄板収納容器用フック５の横ずれ防止に重点を置く場合は、係止用突起３０の数を増やす。
【００３５】
さらに、上側フック部２６と下側フック部２７とは上下対称に形成されている。また、上側フック部２６及び下側フック部２７は、それぞれ左右対称に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック５は、上下左右を問わず、どちらの方向からでも、下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５に挿入して取り付けることができるようになっている。
【００３６】
［作用］
以上のように構成された薄板収納容器１は、次のようにして使用される。
【００３７】
まず、下側容器部２、上側容器部３及びウエハキャリア４を準備し、ウエハキャリア４に半導体ウエハＷを収納する。次いで、ウエハキャリア４を下側容器部２又は上側容器部３のいずれか一方の内部に収納して、ウエハキャリア４の嵌合足部２２をウエハキャリア支持溝１３に嵌合させる。
【００３８】
次いで、下側容器部２又は上側容器部３の他方を一方にその上側から被せる。これにより、下側容器部２の嵌合凸条１０及び嵌合凹条１１と上側容器部３の嵌合凹条１８及び嵌合凸条１７とが互いに嵌合する。
【００３９】
次いで、下側容器部２の係止板７と上側容器部３の係止板１５とに薄板収納容器用フック５を取り付ける。具体的には、薄板収納容器用フック５の凹部２５Ａを手で持って、上側フック部２６を上側の係止板７又は１５に、下側フック部２７を下側の係止板１５又は７にそれぞれ嵌合させて、薄板収納容器用フック５を各係止板７、１５の中央位置までスライドさせる。
【００４０】
これにより、板バネ２９の係止用突起３０が係止板７、１５をスライドしながら、切り欠き８に嵌合して、薄板収納容器用フック５を位置決めして支持する。このとき、薄板収納容器用フック５を係止板７、１５に嵌合させる際に、薄板収納容器用フック５の上下左右を合わせる必要がなく、薄板収納容器用フック５の上側フック部２６及び下側フック部２７を、下側容器部２及び上側容器部３の係止板７、１５のいずれかに適宜嵌合させるだけでよい。
【００４１】
薄板収納容器１内から半導体ウエハＷを取り出す場合は、薄板収納容器用フック５をずらして、係止用突起３０を切り欠き８から外し、薄板収納容器用フック５を係止板７、１５から抜き取る。
【００４２】
次いで、上側の上側容器部３又は下側容器部２を取り外して、内部のウエハキャリア４を取り出す。そして、ウエハキャリア４内の半導体ウエハＷを適宜取り出して処理等を施す。
【００４３】
［効果］
これにより、薄板収納容器１は次のような効果を奏する。
【００４４】
下側容器部２及び上側容器部３の各係止板７、１５に、薄板収納容器用フック５を取り付けると、板バネ２９の係止用突起３０が各係止板７、１５の切り欠き８に嵌合して、薄板収納容器用フック５を各係止板７、１５に位置決め支持して、この薄板収納容器用フック５が下側容器部２と上側容器部３とを固定するため、下側容器部２と上側容器部３とを容易に固定することができるようになる。
【００４５】
また、薄板収納容器用フック５が、上下、左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す側面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る薄板収納容器をその上側容器部を取り外した状態で示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大正面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大平面図である。
【図９】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す側面図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す平面図である。
【図１１】図１のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【図１２】図１のＢ−Ｂ線矢視断面図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを係止板に取り付けた状態で示す側面図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックの板バネ及び係止板の部分を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
【００４７】
１：薄板収納容器、２：下側容器部、２Ａ：膨出部、３：上側容器部、３Ａ：膨出部、４：ウエハキャリア、５：薄板収納容器用フック、７：係止板、８：切り欠き、１０：嵌合凸条、１１：嵌合凹条、１３：ウエハキャリア支持溝、１５：係止板、１７：嵌合凸条、１８：嵌合凹条、２１：溝板部、２２：嵌合足部、２５：本体部、２６：上側フック部、２７：下側フック部、２８：バネ取付け部、２９：板バネ、３０：係止用突起、Ｗ：半導体ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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