(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジャイロスコープシステムであって、
駆動軸を有し、エッチングにより形成された１以上の振動梁を有する駆動コンポーネントと、
重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、
回転軸を有し、前記駆動コンポーネントを有する基板の表面上で駆動方向に延在するヒンジコンポーネントと
を備え、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントは、前記ヒンジコンポーネントによって片持ち保持されており、
前記駆動コンポーネントは、加速度を用いて前記ぶら下がりセンサコンポーネントに１以上の振動を誘導し、かつ、前記駆動軸に直交する方向に生じた振動を検出して、回転によって生じたコリオリの力を検出するよう構成され、
前記駆動コンポーネントの初期の所望する駆動方向は、前記基板の表面と平行であり、前記振動梁のエッチング方向が前記ぶら下がりセンサコンポーネントのぶら下がり軸と直交しておらず、それによって前記駆動コンポーネントの実際の駆動方向が前記基板の表面と平行ではない場合、及び、前記初期の所望する駆動方向と前記実際の駆動方向との間のずれがコリオリの力の検出された値の誤差を低減する場合、前記駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行い、
前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、前記駆動コンポーネントの駆動軸に対する前記ぶら下がりコンポーネントのぶら下がり軸の配置を、ぶら下がり軸が前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記ヒンジコンポーネントの回転軸と交差する位置となるように決定し、
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが前記ヒンジコンポーネントで連結され、前記ヒンジコンポーネントの位置により、前記ぶら下がり軸を、前記駆動コンポーネントの前記駆動軸と平行となるように配置させ、
前記ヒンジコンポーネントの配置を前記基板の暑さ方向に調整することによって、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記ヒンジコンポーネントの回転軸と交差する前記ぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの前記実際の駆動方向と平行となるようにした
ことを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項２】
請求項１記載のジャイロスコープにおいて、前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）の決定に基づいて、前記駆動方向の決定を行うよう構成されていることを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項３】
請求項２記載のジャイロスコープにおいて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との位置関係を決定するために、前記加速度の一部を計測するよう構成されていることを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項４】
請求項３記載のジャイロスコープにおいて、前記駆動コンポーネントは、前記加速度の一部を用いて前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させ、前記ヒンジコンポーネントの位置により、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させることを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項５】
請求項１記載のジャイロスコープにおいて、前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁の１以上のエッチングを用いて、前記駆動軸と前記ぶら下がり軸との位置関係を決定することを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項６】
請求項５記載のジャイロスコープおいて、前記駆動コンポーネントは、前記１以上のエッチングを用いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させ、前記ヒンジコンポーネントの位置により、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させることを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項７】
請求項１記載のジャイロスコープにおいて、前記ヒンジコンポーネントは、１以上のエッチングがなされており、前記ヒンジコンポーネントは、前記１以上のエッチングにより、前記ぶら下がり軸が前記駆動コンポーネントの駆動軸と平行となるように、前記ぶら下がり軸を配置させることを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項８】
請求項１記載のジャイロスコープにおいて、前記ぶら下がり軸と前記駆動軸との位置関係にずれがあり、
前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がりセンサコンポーネントが、前記ずれに基いて前記ヒンジコンポーネントを中心に振動するようにさせ、
前記ヒンジコンポーネントの位置により、前記ぶら下がり軸が前記駆動コンポーネントの前記駆動軸と平行となるようにさせるように、前記ずれが修正される
ことを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項９】
請求項１記載のジャイロスコープにおいて、前記駆動コンポーネントは、１以上のエッチングを有し、前記ヒンジコンポーネントは、１以上のエッチングを有し、前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）を決定し、
前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）に基づいて、前記駆動方向の決定を行い、
前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、前記駆動コンポーネントの１以上のエッチングを用いて、前記ぶら下がり軸の前記駆動軸との配置（位置関係）を決定し、
前記ぶら下がり軸の前記駆動軸との配置（位置関係）を決定する際に、前記ヒンジコンポーネントは、前記１以上のエッチングを用いて、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるように前記ぶら下がり軸を配置させる
ことを特徴とするジャイロスコープ。
【請求項１０】
駆動軸と１以上の振動梁とを有する駆動コンポーネントと、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、回転軸を有し、前記駆動コンポーネントを有する基板の表面上で駆動方向に延在するヒンジコンポーネントとを備え、前記ぶら下がりセンサコンポーネントが前記ヒンジコンポーネントによって片持ち保持されているジャイロスコープに適用される方法であって、前記駆動コンポーネントは、加速度を用いて前記ぶら下がりセンサコンポーネントに１以上の振動を誘導し、かつ、前記駆動軸に直交する方向に生じた振動を検出して、回転によって生じたコリオリの力を検出するよう構成され、前記方法は、
前記振動梁のエッチング方向が前記ぶら下がりセンサコンポーネントのぶら下がり軸と直交しておらず、それによって前記駆動コンポーネントの実際の駆動方向が前記基板の表面と平行ではない場合、及び、前記初期の所望する駆動方向と前記実際の駆動方向との間のずれがコリオリの力の検出された値の誤差を低減する場合に、前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するステップと、
前記駆動軸の前記１以上の振動梁との決定された配置（位置関係）に基いて、前記駆動コンポーネントの駆動軸を特定するステップと、
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとを連結するヒンジコンポーネントを、前記ヒンジコンポーネントの回転軸及び前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心と交差するぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動軸と平行となるようにさせる位置に配置させるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の方法において、前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するステップは、
加速度を用いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントにおける１以上の振動を引き起こすステップと、
前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するために、前記加速度の一部を計測するステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の方法において、前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するために、前記加速度の一部を計測するステップは、
前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）に基いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるように、前記ヒンジコンポーネントを位置づけるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項１０記載の方法において、前記１以上の振動梁は、１以上のエッチングを有し、前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）に基いて、前記駆動コンポーネントの駆動軸を特定するステップは、
前記１以上のエッチングを用いて、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との位置関係を決定するステップと、
前記１以上の振動梁と前記駆動軸との位置関係に基いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるように、前記ヒンジコンポーネントを位置づけるステップと
を備えることを特徴とするの方法。
【請求項１４】
請求項１０記載の方法において、前記ヒンジコンポーネントは、１以上のエッチングを備えており、前記ヒンジコンポーネントを、前記ぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動軸と実質的に平行となるようにさせる位置に配置させるステップは、
前記１以上のエッチングを用いて、前記ぶら下がり軸が前記駆動コンポーネントの駆動軸と平行となるように、前記ヒンジコンポーネントの位置を決定するステップと、
前記ヒンジコンポーネントを位置により、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１０記載の方法において、該方法はさらに、
前記駆動コンポーネントと一緒に、前記ぶら下がりセンサコンポーネントを動かすステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントを、前記ヒンジコンポーネントを中心に振動させるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１６】
請求項１記載のジャイロスコープを製造する方法であって、
深反応イオンプロセスを用いて駆動コンポーネントの１以上の振動梁をエッチングするステップと、
前記深反応イオンプロセスを用いてぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記ヒンジコンポーネントの回転軸と交差するぶら下がり軸と、駆動軸との位置合わせを行なうステップと
を備えたことを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の方法において、前記深反応イオンプロセスを用いて前記ぶら下がり軸と前記駆動軸との位置合わせを行なうステップは、
前記深反応イオンプロセスを用いて前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記ヒンジコンポーネントを位置づけるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１７記載の生産方法において、前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが、前記ヒンジコンポーネントを用いて非平行な位置関係で連結され、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記ヒンジコンポーネントを位置づけるステップは、
前記非平行な位置関係を変更するために、非等方的な工程で前記ヒンジコンポーネントをエッチングするステップと、
前記非等方的な工程を用いて、前記ぶら下がり軸と前記駆動コンポーネントの駆動軸とが平行となるように配置させるステップと
を備えていることを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１７記載の方法において、前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが、前記ヒンジコンポーネントを用いて連結されており、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記ヒンジコンポーネントを位置づけるステップは、
非等方的な工程で前記ヒンジコンポーネントをエッチングするステップと、
前記非等方的な工程を用いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
本出願は、（「ぶら下がり軸が駆動コンポーネントの方向と実質的に平行となるようにさせるためのヒンジの位置の配置」という発明の名称で、ロバートイー スチュワートによって、２００３年４月２３日に出願された）米国仮特許出願第60/464,722号に基く優先権を主張する。
【０００２】
加えて、本出願は、本出願と同じ譲受人に譲渡された次の出願の主題に関連する主題を含んでいる。また、下記の出願は、その全体が、参照により本願に取り込まれる。
共願のスタンレイ エフ ワイズによる「トルクを実質的にゼロに抑制する位置の、ぶら下がりセンサコンポーネントからパラメタの値を得るピックオフセンサ」
【技術分野】
【０００３】
本発明は、電気機械システムに関し、さらに詳細に言えば、直交（振動）成分を削減した電気機械システムに関する。
【背景技術】
【０００４】
ある例における電気機械システムは、パラメタを測定する。例えば、電気機械システムには、回転を計測する、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）のジャイロスコープが含まれている。ある例におけるジャイロスコープは、ぶら下がりセンサコンポーネントと、振動駆動コンポーネントと、ピックオフセンサとを備えている。振動駆動コンポーネントは、振動駆動軸に沿って動き、ぶら下がりセンサコンポーネントを振動に導く。ぶら下がりセンサコンポーネントは、回転に反応する。ピックオフセンサは、ぶら下がりセンサコンポーネントの回転に対する反応を感知する。そして、サーボ制御電子回路によって復元力が与えられ、ピックオフセンサの信号がゼロに戻って維持される。
【０００５】
コリオリ力に基く微小電気機械システムのジャイロスコープにおける偏り誤差の大きな源は、再調整局面の誤差に起因する角速度のバランス取り戻し局面に現れる直交成分サーボ・リバランス信号のコンポーネントの不安定性と非再現性である。ぶら下がりセンサコンポーネントの振動駆動軸と加速度感知軸とのずれは、微小電気機械システムのジャイロスコープのぶら下がりセンサコンポーネントに働く力をもたらす。これらの力は、望ましい回転によって誘発されるコリオリ力によって直交方向に働く。上記のずれは、一例において、製造中における、振動駆動コンポーネントの振動梁サスペンションについての、非垂直方向の深反応イオン・エッチングによって引き起こされる。上記のずれにおける変化や、再調整の局面における変化は、偏り誤差をもたらす。一つの欠点として、再調整の局面の誤差と結び付けられた、ぶら下がりセンサコンポーネントの振動駆動軸と加速度感知軸とのずれによってもたらされた直交（振動）成分は、偏り誤差の増加に帰結する。
【０００６】
従って、電気機械システムにおけるずれによってもたらされる直交（振動）成分を削減する必要がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
ある実施態様において、本発明は、システムを含む。このシステムは、駆動軸を有する駆動コンポーネントと、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、回転軸を有するヒンジコンポーネントとを備える。前記駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う。前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、ぶら下がり軸が前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記ヒンジコンポーネントの回転軸と交差する位置となるように、前記駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとは、前記ヒンジコンポーネントで連結される。前記ヒンジコンポーネントの位置は、前記ぶら下がり軸を、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる。
【０００８】
別の実施態様において、本発明は、方法を含む。電気機械システムは、主軸と１以上の振動梁とを有する駆動コンポーネントを備える。前記駆動コンポーネントは、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントを動かす。前記主軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）が決定される。前記駆動コンポーネントの駆動方向が、前記主軸と前記１以上の振動梁との位置関係に基いて確認される。前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとを連結するヒンジは、前記ヒンジの回転軸及び前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心と交差するぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる位置に配置される。
【０００９】
本発明のさらに別の実施態様は、生産方法を含む。駆動コンポーネントの１以上の振動梁が、深反応イオンプロセスを用いてエッチングされる。ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びヒンジコンポーネントの回転軸と交差するぶら下がり軸は、深反応イオンプロセスを用いて駆動軸と位置合わせされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１によれば、一例における装置１００は、ハードウェアコンポーネント等の複数のコンポーネントを備えている。装置１００の一例において、多数のこれらのコンポーネントは、結合されることも可能であり、分割されることも可能である。一例における装置１００は、説明の目的のために、ここでは装置１００の一例の方向性を図解する図及び説明を用いているが、いかなる方向性（例えば、水平、斜め、垂直）を備えていてもよい。
【００１１】
一例における装置１００は、微小電気機械システム（ＭＥＭ）のジャイロスコープ、及び／又はスチュワート等に与えられた米国特許第6,474,160号に開示された加速度計を備えている。なお、この米国特許は、２００２年１１月５日に、「Counterbalanced Silicon Tuned Multiple Accelerometer-Gyro」という発明の名称で、特許査定されて、ノースロップグラマン社に譲渡されたものである。この出願は、その全体が、参照により本願に取り込まれる。例えば、装置１００は、１以上のぶら下がりセンサコンポーネント１０２と、１以上の駆動コンポーネント１０４とを備えている。ヒンジ１０６は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２と駆動コンポーネント１０４とを接続する。一例におけるぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、長方形のプレートを備えている。ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、重心１０８を有している。ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、ヒンジ１０６によって駆動コンポーネント１０４から吊るされている。ぶら下がり軸１１６と振り子加速度感知軸１２２との両方に直角な軸の周りの回転（例えば、角速度）に従って、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、ヒンジ１０６を中心に、駆動コンポーネント１０４の動きに直角な方向に振動する。
【００１２】
駆動コンポーネント１０４は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２を駆動する。例えば、駆動コンポーネント１０４は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２における振動を引き起こす。駆動コンポーネント１０４の動き（Ｘd）は、振動駆動軸１１０に沿って、
Ｘｄ＝Ｘｐｓｉｎωｄｔ
で表される。Ｘｐは、駆動コンポーネント１０４の最大駆動振幅を表し、ωｄは、駆動コンポーネント１０４の弧度法で表した振動数を表す。駆動コンポーネント１０４は、１以上の振動梁１１２（例えば、振動梁サスペンション）を備えている。振動駆動軸１１０は、１以上の振動梁１１２に直角である。それ故、振動梁１１２のずれは、振動駆動軸１１０のずれをもたらす。もし、振動梁１１２が、ぶら下がり軸１１６に直交しなければ、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、出力軸（例えば、加速度感知軸１２２）に結びつく。加速度感知軸１２２に結びつけられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、直交（振動）成分を増加させ、再調整局面の誤差に結び付けられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、偏り誤差をもたらす。例えば、加速度感知軸１２２に結びつけられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２に働く力を増加させる。この力は、望ましい回転によって誘発されるコリオリ力によって直交方向に働く力である。加速度感知軸１２２からのピックオフは、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部を感知する。従って、このピックオフは、駆動コンポーネント１０４の加速度の部分的な結果となる信号を感知する。
【００１３】
深反応イオンプロセスは、駆動コンポーネント１０４の１以上の振動梁１１２のエッチング処理を行う。ある例において、振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）は、駆動コンポーネント１０４の動きの意図された方向に直行する方向である（例えば、垂直エッチング）。それ故、その結果となる振動駆動軸１１０は、ぶら下がり軸１１６に平行となる。別の例において、振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）は、駆動コンポーネント１０４の動きの意図された方向に直行しない方向である（例えば、非垂直エッチング）。それ故、その結果となる振動駆動軸１１０は、ぶら下がり軸１１６に平行にはならない。例えば、振動駆動軸１１０とぶら下がり軸１１６との成す角度が、ずれ角１１８（γ）だけ異なると、出力軸に結びつく、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、
Ｚｄ＝−γωｄ２Ｘｐｓｉｎωｄｔ
と表され得る。この出力軸に結びつけられた、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２により測定された回転の出力値と９０度位相がずれている。
【００１４】
振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）が、ぶら下がり加速度感知軸１２２に平行でなければ、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２と駆動コンポーネント１０４との間にずれが生じる。このずれは、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２への直交（振動）成分をもたらす。再調整誤差に結びつく直交（振動）成分は、微小電気機械システムのジャイロスコープの偏りの増加を促進する。直交（振動）成分における不安定性も、再調整局面における不安定性も、偏り誤差を招く。
【００１５】
一例におけるヒンジ１０６は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２についての屈曲点を備えている。ヒンジ１０６は、その軸周りにぶら下がりセンサコンポーネント１０２が振動する回転軸１２０を備えている。製造中に、ヒンジ１０６は、最後の製造工程の処置として非等方的にエッチングされる。ヒンジ１０６は、振動梁１１２の深反応イオン・エッチングの後で、非等方的にエッチングされる。それ故、振動駆動軸１１０の方向とずれ角１１８とを検証すると、ヒンジ１０６は、回転軸１２０及び重心１０８と交差するぶら下がり軸１１６を実質的に振動駆動軸１１０と平行にさせる位置に配置されるかもしれない。例えば、ヒンジ１０６の回転軸１２０は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２の加速度感知軸１２２の位置を変えるためや、ずれ角１１８の削減を促進するために、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２に対して上方又は下方に調整され得る。加速度感知軸１２２は、ぶら下がり軸１１６と直交する。
【００１６】
ヒンジ１０６の位置調整は、最終の厚さへの一様なエッチング処理が始まる前に、ヒンジ１０６の一方の側におけるエッチングを一歩先んじて開始することを取り入れることにより達成される。それ故、ヒンジ１０６は、結局オフセット位置になる。これにより、振動梁１１２の、特有で、再現可能な非垂直エッチングに起因する直交（振動）成分は、実質的に削減される。それ故、機械的再調整法における予期しないフェーズエラーに起因する偏り誤差のリスクも削減される。
【００１７】
図２を参照して、ヒンジ１０６の１つの典型的なリ・ポジショニング（正常な位置に戻すこと）についての事例的な説明が、説明の目的のために示される。振動梁１１２の深反応イオン・エッチングの製造工程処置の後であって、ヒンジ１０６の非等方的なエッチングの製造工程処置の前に、製造工程の作業者は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２のずれを指摘するために振動梁１１２の向きをチェックする。例えば、製造工程の作業者は、駆動コンポーネント１０４の主軸と１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定する。もし、振動梁１１２の向きが、振動駆動軸１１０とぶら下がり軸１１６とのずれを示すならば、ヒンジ１０６の非等方的なエッチングの製造工程処置は、ぶら下がり軸１１６が実質的に振動駆動軸１１０と平行となるようにさせる位置に、ヒンジ１０６を位置づける可能性がある。図２に示されるように、上記ずれの決定の際に、製造工程の作業者は、振動駆動軸１１０の角度とぶら下がり軸１１６の角度との差を減じるように、ヒンジ１０６を位置づけた。例えば、ヒンジ１０６の位置は、ずれ角１１８を減じる。
【００１８】
ここに述べられた処置や工程は、例示に過ぎない。本発明の精神から逸脱せずに、これらの処置や操作に多くの変更を行なうことが可能である。例えば、上記の処置は、異なる順序で実行されることが可能であり、また、上記処置は、追加、削除、又は修正され得る。
【００１９】
本明細書において、本発明の例示的な実施態様を詳細に表現し、記述してきたが、本発明の精神から逸脱することなく、様々な修正、追加、置き換え等を行うことができ、それ故、これらの修正、追加、置き換え等が請求項において定義される発明の範囲内にあるとみなされるということは、関連する技術分野の当業者にとって明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
本発明の特徴は、明細書、請求項、及び次の添付図面から明らかになるだろう。
【図１】１以上の駆動コンポーネントと１以上のぶら下がりセンサコンポーネントとを備えた装置の一実施例を示す。
【図２】上記装置のヒンジコンポーネントについて再配置された、１以上の駆動コンポーネントと１以上のぶら下がりセンサコンポーネントとを備えた装置の別の実施例を示す。
【図１】
0004731473.tif 000002
【図２】
0004731473.tif 000003