【手続補正書】
【提出日】平成15年11月25日(2003.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の１段目の固定翼または回転翼の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における回転翼の外周面とステータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の内周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の外周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項６】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離が、それ以降の段における固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項７】
ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、
前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離が、それ以降の段における回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の１段目の固定翼または回転翼の少なくとも一方が、流れ方向に向かって薄肉となる形状に形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項３に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、それ以降の段における回転翼の外周面とステータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積より広く設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項４に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の固定翼の内周面とロータ外周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の内周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項５に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の回転翼の外周面とステータ内周面との間に区画形成される軸方向に沿ったガス流路の流路断面積が、前記凹凸面の外周側の流路面積と同等以上に設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
請求項６に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離が、それ以降の段における固定翼の内周面と該内周面に対向する内周側ロータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。
請求項７に記載の発明は、ケーシング内部に、ロータ側の回転翼とステータ側の固定翼が交互に配置され、前記固定翼または回転翼の互いに対向する面の少なくとも一方に気体を径方向に排気する凹凸面を備えた径方向翼排気部を有するターボ分子ポンプにおいて、前記径方向翼排気部の少なくとも１段目の回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離が、それ以降の段における回転翼の外周面と該外周面に対向する内周側ステータ外径との距離より大きく設定されていることを特徴とするターボ分子ポンプである。