(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層と、該圧電層を介して交互に積層された＋電極用内部電極及び−電極用内部電極と、前記＋電極用内部電極同士及び−電極用内部電極同士を接続する外部電極からなる積層圧電素子において、
前記外部電極は、前記＋電極用内部電極及び−電極用内部電極が積層されて形成された対向する二つの側面にそれぞれ形成される＋電極用外部電極と−電極用外部電極からなり、
前記＋電極用内部電極と−電極用内部電極とは、同一形状の略矩形の板状部材であって、お互いが表裏逆向きに配置されて積層され、それぞれの前記略矩形の一辺が前記二つの側面のうち第１の側面を形成し、該一辺の対辺が第２の側面を形成しており、
前記＋電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第１の側面に形成された＋電極用外部電極に接続され、前記一辺の対辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第２の側面に形成された＋電極用外部電極に接続されており、
前記−電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の対辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第２の側面に形成された−電極用外部電極に接続され、前記一辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第１の側面に形成された−電極用外部電極に接続されていることを特徴とする積層圧電素子。
【請求項２】
圧電層と、該圧電層を介して交互に積層された＋電極用内部電極及び−電極用内部電極と、前記＋電極用内部電極同士及び−電極用内部電極同士を接続する外部電極からなる積層圧電素子において、
前記＋電極用内部電極と−電極用内部電極とは、同一形状の略矩形の板状部材であって、該略矩形の一辺の辺の長さ方向の両端部領域それぞれにおいて該辺の長さ方向に直交する方向であってその板面方向に延設されてなる第１の凸部と、前記一辺の対辺の辺の長さ方向の中央部領域において該辺の長さ方向に直交する方向であってその板面方向に延設されてなる第２の凸部と、を有し、お互いが表裏逆向きに配置され、前記＋電極用内部電極、−電極用内部電極における一方の前記第１の凸部と他方の第２の凸部とが重ならない状態で前記圧電層を介して交互に積層された積層体を構成しており、
前記外部電極は、前記積層体の対向する二つの側面において、前記−電極用内部電極の第１の凸部、第２の凸部それぞれが積層された領域に該第１の凸部同士、第２の凸部同士が接続されるように形成され、少なくとも前記＋電極用内部電極の第２の凸部が積層された領域に該第２の凸部同士が接続されるように形成されていることを特徴とする積層圧電素子。
【請求項３】
請求項１又は２記載の積層圧電素子において、前記圧電層は前記内部電極の最下層の下部に圧電層を厚く形成した連結圧電層を有し、少なくとも外部電極の一部が該連結圧電層の途中で途切れていることを特徴とする積層圧電素子。
【請求項４】
請求項３記載の積層圧電素子を連結圧電層の途中までハーフカットしたアクチュエータであって、該アクチュエータは一端面より駆動回路に接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項４記載の圧電アクチュエータにおいて、前記駆動回路への接続がＦＰＣであることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項４又は５記載の圧電アクチュエータをインク滴を吐出するアクチュエータとして用いたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
請求項６記載のインクジェットヘッドを搭載した画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層圧電素子及び圧電アクチュエータ、より詳細には、インクジェットヘッドの作製に使用して好適な積層圧電素子、圧電アクチュエータ並びにインクジェットヘッド及び画像形成装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ等の画像形成装置（画像記録装置）として使用するインクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドは、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室（圧力室、加圧液室、液室、インク室、インク流路等とも称される）と、この吐出室内のインクを加圧するエネルギーを発生するアクチュエータ手段（エネルギー発生手段）とを備え、該アクチュエータ手段を駆動することで吐出室内インクを加圧してノズルからインク滴を吐出させるものであり、記録の必要なときにのみインク滴を吐出するインク・オン・デマンド方式のものが主流である。
【０００３】
インクジェットヘッドは、インク滴（記録液体）を吐出させるためのアクチュエータ手段の種類により、幾つかの方式に大別される。例えば、（１）液室の壁の一部を薄い振動板とし、これに対応して電気機械変換素子としての圧電素子を配置し、電圧の印加に伴って発生する圧電素子の変形により振動板を変形させることで液室内の圧力を変化させて、インク滴を吐出させるピエゾ方式のもの、（２）液室内部に発熱体素子を配置し、通電による発熱体の加熱によって気泡を発生させ、気泡の圧力によってインク滴を吐出させるバブルジェット方式のものが一般に良く知られている。また、（３）液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向して配置された液室外の個別電極とを備え、振動板と電極との間に電界を印加することで発生する静電力により振動板を変形させて、液室内の圧力／体積を変化させることによりノズルからインク滴を吐出させる静電型のものも提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前述のピエゾ方式のインクジェットの中には積層圧電素子を使用しているものがある。積層圧電素子は、圧電層と内部電極層を積層したもので、通常、内部電極層は交互にずらすことで、対向する２端面から外部に＋，−電極を引き出す。しかし、インクジェットのように微細加工の必要な構造では、異なる面から電気接続を行うのは実装上好ましくない。そこで、圧電素子の外部電極を這い回して、１端面から電気接続を行うものがある。しかし、この場合にも、圧電素子の外部電極は立体的であり、各部の接続信頼性や、コストが問題になる。
【０００５】
特開平１０−２８６９５１号公報に記載の積層圧電素子のように、内部電極パターンを工夫して１面から電気接続を行うものがある。しかし、この場合は、＋，−の内部電極形状が異なるため、各電極層毎にマスクを入れ替える必要がある等、量産性の点で好ましくない。
【０００６】
また、特開平１０−２８６９５１号公報に記載の内部電極パターンでは、溝加工（櫛歯加工）する以前は、＋，−電極が非駆動部分で導通しており、分極処理することができない。更に、容量測定による検査もできないため、不良素子を検出することができない。故に、溝加工（櫛歯加工）後に、各ＣＨ（個別アクチュエータ）を分極処理する必要があり、工程が煩雑になる。また、不良が検出できるのは溝加工後（分極処理後）であるため、圧電素子に不良があった場合に、部品として少なくとも基板が余分に浪費され、また、加工工程による製造コストが無駄になる。
【０００７】
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、低コストで、量産性の良いインクジェットヘッド用積層圧電素子を提供すること、及び、同一面からの電気接続を可能としたインクジェットヘッド用圧電アクチュエータ、並びに該圧電アクチュエータを用いたインクジェットヘッド及び画像形成装置を提供することを目的としてなされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、圧電層と、該圧電層を介して交互に積層された＋電極用内部電極及び−電極用内部電極と、前記＋電極用内部電極同士及び−電極用内部電極同士を接続する外部電極からなる積層圧電素子において、前記外部電極は、前記＋電極用内部電極及び−電極用内部電極が積層されて形成された対向する二つの側面にそれぞれ形成される＋電極用外部電極と−電極用外部電極からなり、前記＋電極用内部電極と−電極用内部電極とは、同一形状の略矩形の板状部材であって、お互いが表裏逆向きに配置されて積層され、それぞれの前記略矩形の一辺が前記二つの側面のうち第１の側面を形成し、該一辺の対辺が第２の側面を形成しており、前記＋電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第１の側面に形成された＋電極用外部電極に接続され、前記一辺の対辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第２の側面に形成された＋電極用外部電極に接続されており、前記−電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の対辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第２の側面に形成された−電極用外部電極に接続され、前記一辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第１の側面に形成された−電極用外部電極に接続されていることを特徴としたものである。
【０００９】
請求項２の発明は、圧電層と、該圧電層を介して交互に積層された＋電極用内部電極及び−電極用内部電極と、前記＋電極用内部電極同士及び−電極用内部電極同士を接続する外部電極からなる積層圧電素子において、前記＋電極用内部電極と−電極用内部電極とは、同一形状の略矩形の板状部材であって、該略矩形の一辺の辺の長さ方向の両端部領域それぞれにおいて該辺の長さ方向に直交する方向であってその板面方向に延設されてなる第１の凸部と、前記一辺の対辺の辺の長さ方向の中央部領域において該辺の長さ方向に直交する方向であってその板面方向に延設されてなる第２の凸部と、を有し、お互いが表裏逆向きに配置され、前記＋電極用内部電極、−電極用内部電極における一方の前記第１の凸部と他方の第２の凸部とが重ならない状態で前記圧電層を介して交互に積層された積層体を構成しており、前記外部電極は、前記積層体の対向する二つの側面において、前記−電極用内部電極の第１の凸部、第２の凸部それぞれが積層された領域に該第１の凸部同士、第２の凸部同士が接続されるように形成され、少なくとも前記＋電極用内部電極の第２の凸部が積層された領域に該第２の凸部同士が接続されるように形成されていることを特徴としたものである。
なお、請求項２の発明において、対向する二つの側面それぞれにおいて、＋、−の外部電極を形成するように、外部電極が分離して配設されていることが好ましい。これにより、裏面の電極分離工程を、表面と同じ電極分離工程で実現しているので、量産性に優れ、コストメリットがある。また、裏面＋電極は分極処理あるいは容量検査後、再び裏面−電極に接続することで、インクジェットヘッド構成時の共通電極の電流容量を確保する助けになる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、前記圧電層は前記内部電極の最下層の下部に圧電層を厚く形成した連結圧電層を有し、少なくとも外部電極の一部が該連結圧電層の途中で途切れていることを特徴としたものである。
なお、前記連結圧電層より底部に、前記第１の側面に形成された外部電極を介して、前記−電極用内部電極の略矩形の前記一辺の辺の長さ方向の中央部と接続される電極層を有することが好ましい。これにより、圧電アクチュエータにおいて非切断のままとなる電極層を設けているので、ハーフカットした後の、共通電極抵抗を小さく、電流容量を大きくできる。これにより、共通電極での電圧降下分が小さく抑えられ、駆動ＣＨ数によるインクジェットヘッドの吐出性能のバラツキ等を抑えることができ、これにより、良好なドット形成が可能になる。
さらに、前記内部電極の最上層電極と最下層電極が前記電極層と導通していることが好適である。これにより、非切断の電極層と内部電極層の最上層と最下層を導通させてＧｎｄにしているので、外部への電界の漏れが少なくなり、インクへの電圧印加による変質を防ぎ、インクの安定性を確保でき、これにより、安定した印字が可能になる。また、連通部への電圧印加がなくなり、電界の漏れによる相互干渉を抑えることができる。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項３記載の積層圧電素子を連結圧電層の途中までハーフカットしたアクチュエータであって、該アクチュエータは一端面より駆動回路に接続されていることを特徴としたものである。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項４記載の発明において、前記駆動回路への接続がＦＰＣであることを特徴としたものである。
【００１３】
請求項６の発明は、請求項４又は５記載の圧電アクチュエータをインク滴を吐出するアクチュエータとして用いたことを特徴とするインクジェットヘッドである。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項６記載のインクジェットヘッドを搭載した画像形成装置である。
【００１５】
【発明の実施の形態】
第１の実施例
図１は、本発明による積層圧電素子及び圧電アクチュエータを作製する１工程中における電極パターンの平面構成図で、図中、１は例えば＋用の電極（理解しやすくするために陰影を付してある）、２は例えば−用の電極で、これら電極１，２は境界線Ｙ−Ｙを中心に対称形状をしており、このような電極パターンが各圧電層の上に１ピッチＰ分ずらして交互に積層されて形成され、積層形成後、Ｘ−Ｘ線及びＹ−Ｙ線に沿って切断すると、個々の積層圧電素子が作成される。各電極１，２は、それぞれ両端（左側と右側）において、重ならない位置（具体的には、図１において、間隔Ｗをもって）に、凸部１Ａ，１Ｂ，１Ｃ（電極１の場合）、及び、２Ａ，２Ｂ，２Ｃ（電極２の場合）を持ち、前述のように、これら電極１と２が境界線Ｙ−Ｙに対して対称に設けられる。
【００１６】
図２は、上述のごとくして積層圧電素子を作成した後の一部（隣接する１対の電極層）を最上電極層を上面から見た時の平面図及びＡ−Ａ′，Ｂ−Ｂ′，Ｃ−Ｃ′線断面図で、上述のごとくして、積層圧電素子を作成した場合、Ｔｙｐｅ−１の積層圧電素子とＴｙｐｅ−２の積層圧電素子の２種類の積層圧電素子が作成される（なお、底部の連絡層及び非接断電極については後述する）。図示例の場合、Ｔｙｐｅ−１においては、最上層に電極１が形成され、かつ右側端部の両端部に凸部１Ａ，１Ｃが左側端部の中央部に凸部１Ｂが形成され、Ｔｙｐｅ−２においては、最上層に電極２が形成され、かつ左側端部の両端部に凸部２Ａ，２Ｃが、右側端部の中央部に凸部２Ｂが形成されるが、これらは前述のようにして、Ｘ−Ｘ線およびＹ−Ｙ線で切断して個々の積層圧電素子に分割した後は、全て同じものとなるので、同じ構造の積層圧電素子を無駄なく製造することができる。
【００１７】
上述のように、本発明によると、切断、分割後の各積層圧電素子は、一方の端面において、例えば、Ｔｙｐｅ−１を例にとると、左側の端面において、両端部で電極２の凸部２Ａ，２Ｃが露出し、中央部電極１の端部１Ｂが露出し（右側の端面においては、両端部で電極１の端部１Ａ，１Ｃが露出し、中央部で電極２の凸部２Ｂが露出し）、一方の端面（Ｔｙｐｅ−１で説明すると、左側の端面）に−電極（電極２）の端部２Ａ，２Ｃと＋電極（電極１）の中央部１Ｂを露出させることができ、これにより、一方の端面のみを利用して、＋，−の配線をすることが可能となる。
【００１８】
図３は、前述のごとくして、Ｘ−Ｘ線、Ｙ−Ｙ線に沿って切断して個々の積層圧電素子に分割した後に、各積層圧電素子の側端面一面に例えばＡｕを蒸着することによって外部電極を形成した後、内部電極パターンの境界部（図１のＷ部）に浅いダイシング加工を行って電極分離をすることによって、一方の面に、例えば、＋電極用外部電極３と、−電極用外部電極４を形成した後の状態を示す図である。ただし、電極分離の方法は、ダイシング加工に限られるものではなく、マスキング等でも良い。
【００１９】
なお、本実施例は、ハーフカットによる櫛歯加工を前提にしているので、既に、連結圧電層部５、非切断電極層６を有しているが、フルカットによる櫛歯加工の場合は、圧電素子を固定する基板にこれらの機能を持たせるため、積層圧電素子としては必須の構成要件ではない。
また、一方の表面の下部は切り欠き７を設け、連結圧電層部５で外部電極が途切れるようにしている。これらは、図５に示すようなハーフカットの櫛歯加工を行う際に、隣接する個別アクチュエータ間を分離するために必要である。
【００２０】
また、本実施例では、裏面の外部電極もＡｕ蒸着スパッタと浅いダイシング加工により形成している。裏面（切り欠き７がない側）が分離されていない状態では、＋，−の外部電極は裏面で短絡しているが、この分離により＋，−が分離され、櫛歯加工前に圧電素子の一括分極処理が可能になる。
本発明によれば、積層圧電素子の同一面から電極取り出しが可能になると共に、＋，−の内部電極パターンが対称で、同じ素子が出来上がるので量産性に優れる。なお、切り欠き部７は、積層圧電素子を個別に切断分離前に幅広のブレードで溝加工した後、切断することで容易に形成することができる。
【００２１】
第２の実施例
上記実施例では既に、対向する２面（表面及び裏面）のそれぞれにおいて、＋、−の外部電極を形成するように外部電極の分離が行われている。上記実施例の構成要件としては、基本的には裏面の＋電極は必要ないので、例えば、マスキングにより裏面の−外部電極だけを選択的に電極形成しても良いが、表面と同じ工程を単純に繰り返すことで、量産性が向上する（マスキングの場合にマスクを使用できる）。
【００２２】
また、櫛歯加工するインクジェットヘッドへの応用を考えた場合、加工により外部電極（＋）は裏面外部電極（＋）と導通しなくなるので、分極処理後、再び裏面電極をＡｇペースト他で導通させても櫛歯加工後は問題ない。分極処理後、裏面全てを導通させることで、共通電極の抵抗値を下げて余分な電圧降下を小さく抑え、また、共通電極の電流容量を大きくすることができ信頼性が向上する。なお、共通電極での電圧降下が大きい場合は、各ＣＨ（アクチュエータ）に印加される電圧に差が発生し、インクジェットの吐出性能にバラツキが大きくなるが、本発明によれば、対向する２面において、同じ工程により外部電極の分離を行うことができるので、量産性が向上する。また、裏面電極層を後に再利用しやすい。
【００２３】
第３の実施例
上述のように、図２に示した実施例では既に積層圧電素子の底部に圧電層を厚く形成した連結圧電層５を設け、切り欠き７により表面の外部電極を連結圧電層までに限定している。このように、外部電極を有さない連結圧電層を設けることで、図５に示すように、外部電極が若干深めに積層圧電素子をハーフカットにした時、個別電極の分離が可能になる。これにより、共通電極（非切断電極）６は導通したままで各ＣＨ（アクチュエータ）に分離することができ、そして、同一面からの電気接続が可能になる。これは、インクジェットを実装する上で工程が簡略になり、インクジェットヘッドの量産性の向上、コスト低減につながる。
【００２４】
第４の実施例
上述の実施例では、既に、積層圧電素子の低部に非切断電極６を形成している。これは、櫛歯加工後の共通電極の電流容量を確保するためである。ハーフカットの場合、裏面共通電極は加工の残りで導通しているので、駆動電流値が小さい場合には、この非切断電極は必要ない。
【００２５】
しかし、近年、インクジェット用の積層圧電素子は、小型化および駆動電圧を低減するために圧電層の層厚を薄くし、層数を増やす傾向にある。この時、圧電素子の電気容量は大きくなり、電流値も増える傾向にある。また、インクジェットヘッドのＣＨ数（個別アクチュエータの数）も増える傾向にあるので、共通電極の電流容量を大きくすることは、噴射特性のバラツキ（同時駆動ＣＨ数に対する依存性など）を抑える意味からも重要である。
【００２６】
本発明によれば、幅広く取れる内部電極層を共通電極に使用できるので、電流容量を大きくでき、ハーフカットでインクジェットを構成した場合の噴射特性のバラツキを低減できる。なお、表面共通電極から非切断電極への経路は、切り欠き部７により直接導通していないので、一度、裏面共通電極を経由することになる。インクジェットヘッドとして実装する場合、切り欠き部７に非切断電極６の端部が露出しているので、ＦＰＣ等による電極接合時、直接、非切断電極６との導通が取れていることがより好ましい。
【００２７】
逆に、駆動部（Ｂ−Ｂ'断面）で非切断電極６が露出していると、個別チャネル（アクチュエータ）と短絡する危険性があるので、切り欠き深さは、駆動部で非切断電極を露出させない深さに設定することが好ましい。
【００２８】
第５の実施例
図６は、上記実施例の積層圧電素子を基板２０に固定し、ハーフカットの櫛歯加工を施して個別電極（個別のアクチュエータ）に分離し、３０にて示すＦＰＣ１枚により電気接続を取って、インクジェットのアクチュエータ部を形成した場合の表面例（図６（Ａ））及び裏面例（図６（Ｂ））の構成例を示し、斜線部は＋電極３部、クロス斜線部は−電極４部を示している。図１乃至図５で説明したように、本発明によれば、同一面からの電気接続が可能になるので、図６示すように、ＦＰＣ３０一枚を熱圧着でハンダ接合できる。これにより、インクジェットヘッド製造工程が簡略化でき、量産性が向上、コストが低く抑えられる。
【００２９】
なお、本実施例では、圧電アクチュエータとＦＰＣの接合はハンダ接合を採用しているが、異方性導電膜を使用しても構わない。また、本実施例のように、圧電アクチュエータと外部駆動回路との接続は、ＦＰＣを使用することで薄く（スペースを取らず）、簡略な構成、簡略な工程で製造できる。
【００３０】
しかし、本発明の基本構成は、積層圧電素子の電極構成の工夫により、圧電アクチュエータの同一面から電気接続したインクジェットヘッドであり、ＦＰＣを使用しない場合も含まれる。具体的には、図示しないが、圧電アクチュエータの個別電極とＰＣＢ基板を同一面でワイヤボンドで接合する等を含む。
【００３１】
第６の実施例
図７は、内部電極と外部電極と接続関係を説明するための図で、構成は、非切断電極６を除く、内部電極層の最上層２1と最下層２nが非切断電極６と外部電極４によって導通し、これら最上層２1と最下層２nを共通電極Ｇｎｄにしている。これにより、外部への電界の漏れが少なくなり、インクジェットヘッドの場合は、インクへの電圧印加がなくなり、インクの安定性を確保できる。これにより、安定した印字が可能になる。また、連通部への電圧印加がなくなり、電界の漏れによる相互干渉を抑えることができる。
【００３２】
第３，４，６の別の実施例
図８は本発明の別の実施例を説明するための模式図で、本実施例は、先の実施例とは異なり、表面の共通電極部に切り欠き７を設けていない。具体的には、先の幅広溝加工を実施せずに、積層圧電素子をＸ−Ｘ線及びＹ−Ｙ線に沿って切断分離し、各面にＡｕを蒸着した後、浅いダイシングで外部電極を分離する。更に、図９に示すように、櫛歯加工後に個別電極が分離するように、対応する表面の外部電極層の少なくとも一部を研削ラインに沿って研削加工して取り除き、図８に示す切り欠き部７′を作成する。
【００３３】
上述のように、積層圧電素子を形成すると、表面の共通（外部）電極４は非切断電極６と導通した状態を保てる。つまり、より確実に非切断電極６をＧｎｄとして使用でき、電流容量の増大に対してより簡略に対応できる。また、図９の研削加工は、所定角度傾けた積層圧電素子を複数並べて同時に加工できるので、量産性も良い。
【００３４】
第３，４，６の更に別の実施例
図１０は、本発明のまた更に実施例を説明する模式図で本実施例は、外部電極を全てパターニングにより形成している。具体的には、Ａｕ蒸着処理時に、外部電極に対応した遮蔽パターンを使用して、外部電極を形成したものである。このようなパターニングの利点は、外部電極を作らない連結部と、非切断電極層と導通した共通電極を任意に選択して構成できる点にある。このように積層圧電素子を形成すると、表面の共通（外部）電極は非切断電極と導通した状態を保てる。つまり、より確実に非切断電極６をＧｎｄとして使用でき、電流容量の増大に対してより簡略に対応できる。
【００３５】
第５の別の実施例
図１１は、本発明の２個の圧電アクチュエータ１０1，１０2を基板２０上に並列に並べて、各々ＦＰＣ３０1，３０2による電気的接合を行った結果である。圧電アクチュエータを使ったインクジェットヘッドの構成は、図６に示すような一列に限ったものではなく、本実施例のように、２列を向かい合わせに構成してもよく、このようにすれば、圧電アクチュエータ１列に対して、同一面から電気接続が可能なので、２列並べた場合も、各面、各々から電極を引き出すことができる。
【００３６】
第１の別の実施例
図１２、１３は、本発明の別の実施例を説明するための模式図で、本実施例は、内部電極１，２を完全には重ねずに図１２に示すように、中央凸部の突出長さが異なっており、両端部の突出長さより長くするように少し（Δｘ）ずらした状態で内部電極層を形成し、積層圧電素子の個別切断分離の際に、裏面側の＋内部電極が露出しないように、また、表面の＋，−内部電極が露出するように、位置をずらして、Ｙ1−Ｙ1線、Ｙ２−Ｙ2線で切断して余計な部分を切り落としている。
【００３７】
その後、図１３のように、Ａｕ蒸着、ダイシング加工により、外部電極を形成するが、元々、裏面の＋側電極は露出していないので、裏面のダイシング加工は必要ない。つまり、本発明の構成により、工程を短縮して積層圧電素子を製造することが可能になった。但し、本実施例では切断により切り落とした分だけ無駄になり、内部電極パターンをずらした分だけ素子が大きく（電極の重なっている活性層の長さは同じ）なるので、同じシートから製造できる素子数は減少する。裏面ダイシング工程の省略か、素子の取り数かは、製造する素子の寸法等場合によって選択すれば良い。
【００３８】
【発明の効果】
請求項１に対する作用効果
請求項１記載の積層圧電素子は、＋電極用内部電極と−電極用内部電極とは、同一形状の略矩形の板状部材であって、お互いが表裏逆向きに配置されて積層され、それぞれの前記略矩形の一辺が二つの側面のうち第１の側面を形成し、該一辺の対辺が第２の側面を形成しており、前記＋電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第１の側面に形成された＋電極用外部電極に接続され、前記一辺の対辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第２の側面に形成された＋電極用外部電極に接続されており、前記−電極用内部電極は、前記略矩形の一辺の対辺の辺の長さ方向の端部のみが前記第２の側面に形成された−電極用外部電極に接続され、前記一辺の辺の長さ方向の中央部のみが前記第１の側面に形成された−電極用外部電極に接続されているので、素子の同一面から、＋，−電極を取り出すことができ、インクジェットヘッドに利用する場合、実装が容易になる。また、同時に製造される素子は同一の構造をした積層圧電素子なので、量産性に優れ、コストメリットがある。
【００３９】
請求項２に対する作用効果
請求項２記載の積層圧電素子は、外部電極は、前記積層体の対向する二つの側面において、前記−電極用内部電極の第１の凸部、第２の凸部それぞれが積層された領域に該第１の凸部同士、第２の凸部同士が接続されるように形成され、少なくとも前記＋電極用内部電極の第２の凸部が積層された領域に該第２の凸部同士が接続されるように形成されているので、素子の同一面から、＋，−電極を取り出すことができ、インクジェットヘッドに利用する場合、実装が容易になる。また、同時に製造される素子は同一の構造をした積層圧電素子なので、量産性に優れ、コストメリットがある。
【００４０】
請求項３に対する作用効果
連結圧電層と、それに対応した外部電極のない部分を設けることで、ハーフカットによる個別電極の分離を可能にする。また、個別電極と共通電極を同一面に形成できるので、電気接続が容易で、インクジェットヘッドの構成を簡略化、工程を削減することができ、これにより、ヘッドの量産性が向上し、コストメリットがある。
【００４３】
請求項４に対する作用効果
本発明による積層圧電素子をハーフカットしてインクジェットヘッド用の圧電アクチュエータを構成しているので、同一面から容易に実装でき、構成が簡略で少ない工程でインクジェットヘッドが製造でき、これにより量産性が向上し、コストメリットがある。
【００４４】
請求項５に対する作用効果
本発明による圧電アクチュエータとの電気接続をＦＰＣ一枚で実装しているので、構成が簡略で小型化に適し、工程が少なく、量産性が向上し、コストメリットがある。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明による積層圧電素子及び圧電アクチュエータを作製する１工程中における電極パターンの平面構成図である。
【図２】  積層圧電素子を作成した後の一部（隣接する１対の電極層）を最上電極層の上面から見た時の平面図及びＡ−Ａ′，Ｂ−Ｂ′，Ｃ−Ｃ′線断面図である。
【図３】  Ｘ−Ｘ線、Ｙ−Ｙ線に沿って切断して個々の積層圧電素子に分割した後に、＋電極用外部電極と、−電極用外部電極を形成した後の状態を示す図である。
【図４】  外部電極形成後の側面の状態を説明するための図である。
【図５】  ハーフカットの櫛歯加工を行う際の、個別アクチュエータ間を分離する一例を示す図である。
【図６】  インクジェットのアクチュエータ部を形成した場合の表面例（図６（Ａ））及び裏面例（図６（Ｂ））の構成例を示したものである。
【図７】  内部電極と外部電極と接続関係を説明するための図である。
【図８】  本発明の別の実施例を説明するための模式図である。
【図９】  櫛歯加工後に個別電極に分離する一例を説明するための図である。
【図１０】  本発明のまた更に実施例を説明する模式図である。
【図１１】  本発明の２個の圧電アクチュエータを並列に並べて、各々ＦＰＣによる電気的接合を行った結果の図である。
【図１２】  本発明の別の実施例を説明するための模式図である。
【図１３】  本発明の更に別の実施例を説明するための模式図である。
【符号の説明】
１…＋用の電極、２…−用の電極、１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，２Ａ，２Ｂ，２Ｃ…凸部、３…＋電極用外部電極、４…−電極用外部電極、５…連結圧電層部、６…非切断電極層、７…切り欠き、１０，１０1，１０2…圧電アクチュエータ、２０…基板、３０，３０1，３０2…ＦＰＣ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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