(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含み、（Ｂ）バインダー樹脂が式（Ｉ）
0004830233.tif 000007
〔式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基またはハロゲン原子を示し、Ｒ4は水素原子またはメチル基を示し、Ｘは式（Ｉ−１）〜（Ｉ−６）
0004830233.tif 000008
のいずれかで示される２価の残基を示し、Ｒ3は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、ｍは０〜５の整数を示し、ｎは１〜１０の整数を示す。〕
で示される化合物と多塩基酸との縮重合物である第１の着色感光性樹脂組成物からなる層を基板上に形成し、該層を露光したのち現像して第１のレジストパターンを形成し、該レジストパターンを加熱して式（１）
ｒ1＝（ｔ10−ｔ11）／ｔ10          （１）
〔式中、ｔ10は加熱前の第１のレジストパターンの厚みを示し、ｔ11は加熱後の第１のレジストパターンの厚みを示す。〕
で示される収縮率（ｒ1）が０．０６以上となるように収縮させて第１の着色パターンを形成し、
該着色パターンの上に（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含む第２の着色感光性樹脂組成物からなる層を形成し、該層を露光したのち現像して第２のレジストパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法であり、
第１の着色感光性樹脂組成物からなる層が、固形分濃度を質量分率で２％以上５０％以下に（Ｅ）溶剤で希釈された第１の着色感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、乾燥することにより形成された層であり、
第１の着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ｄ）光重合開始剤が、トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤及びトリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも１種であり、
第１の着色感光性樹脂組成物からなる層が、固形分濃度を質量分率で２％以上５０％以下に（Ｅ）溶剤で希釈された第１の着色感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、乾燥することにより形成された層であり、
第１の着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ｄ）光重合開始剤が、トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤及びトリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤からなる群から選ばれる少なくとも１種である製造方法。
【請求項２】
第１の着色感光性組成物における（Ｂ）バインダー樹脂の含有量が（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物に対して１．５質量倍以上５質量倍以下である請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
第１の着色感光性樹脂組成物が、（Ａ）顔料として黒色顔料を含む着色感光性樹脂組成物である請求項１に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はカラーフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルター（８）は液晶表示装置（ＬＣＤ）の表示画面をカラー化するために用いられたり、固体撮像素子によって得られる画像をカラー化するために用いられる光学素子であって、基板（２）上の同一平面上に形成された色画素（６Ｒ、６Ｇ、６Ｂ）およびブラックマトリックス（６ＢＭ）などの着色パターン（６）からなるものが知られている（図１）。ここで、色画素は、例えば赤色画素（６Ｒ）、緑色画素（６Ｇ）、青色画素（６Ｂ）などの光の三原色のいずれかに着色された透明な層であり、ブラックマトリックス（６ＢＭ）は、例えば各色画素の境界に設けられた黒色で不透明の層である。これら色画素やブラックマトリックスは、格子状に形成されたり（図１(a)）、ライン状に形成される（図１(b)）。
【０００３】
かかるカラーフィルターの製造方法としては、例えば顔料によって着色された着色感光性樹脂組成物（カラーレジスト）を用いて着色パターン（６）を順次形成する方法が知られており、具体的には、第１の着色感光性樹脂組成物からなる層（１１）を基板（２）上に形成し（図２(a)）、該層（１１）を露光したのち（図２(b)）、現像して第１のレジストパターン（５１）を形成し、該レジストパターンを加熱して硬化させて第１の着色パターン（６１）を得、（図２(c)）、得られた第１の着色パターン（６１）の上に第２の着色感光性樹脂組成物からなる層（１２）を形成し（図３(a)）、該層（１２）を露光したのち（図３(b)）、現像して第２のレジストパターン（５２）を形成し、該レジストパターンを過熱して硬化させて第２の着色パターン（６２）を形成する方法が知られている（図３(c)）。ここで、第１の着色感光性樹脂組成物および第２の着色感光性樹脂組成物としては、例えば（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含むものが使用され、第１の着色感光性樹脂組成物と第２の着色感光性樹脂組成物とは、通常、互いに異なる色に着色されたものが用いられる。
【０００４】
形成された第２の着色パターン（６２）の上にさらに着色感光性樹脂組成物からなる層を形成し、以後同様に操作することにより、さらに着色パターン（６３）を形成して、カラーフィルター（８）が製造される（図４）。
【０００５】
かかるカラーフィルター（８）において、第２の着色パターン（６２）は、第１の着色パターン（６１）と重なることなく、互いに隣接して形成されることが理想的であるが（図５(a)）、現実には、露光における誤差の範囲で第２の着色パターンが第１の着色パターン（６１）の少なくとも一部に重なって形成される場合が多い（図５(b)）。かくして、第２の着色パターンが第１の着色パターンの一部に重なって形成されても、得られるカラーフィルター（８）は、その表面が平坦であることが好ましい（図５(b)）。
【０００６】
しかし、従来のカラーフィルターの製造方法では、第２の着色パターン（６２）が第１の着色パターン（６１）に重なった部分（７）において、第２の着色パターン（６２）の表面が上に凸となる場合があった。該部分で第２の着色パターンの表面が上に凸となると、得られるカラーフィルター（８）の表面が平坦とはなりにくい（図５(c)）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明者は、表面が平坦なカラーフィルターを安定して製造し得る方法を開発するべく鋭意検討した結果、現像後の第１のレジストパターンを加熱して収縮させて第１の着色パターンを形成すると、次に形成される第２の着色パターンの表面が平坦となり、得られるカラーフィルターの表面を平坦なものとなし得ることを見出し、本発明に至った。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
すなわち本発明は、（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含む第１の着色感光性樹脂組成物からなる層（１１）を基板（２）上に形成し、該層（１１）を露光したのち現像して第１のレジストパターン（５１）を形成し、該レジストパターンを加熱して式（１）
ｒ1＝（ｔ10−ｔ11）／ｔ10          （１）
〔式中、ｔ10は加熱前の第１のレジストパターンの厚みを示し、ｔ11は加熱後の第１のレジストパターンの厚みを示す。〕
で示される収縮率（ｒ1）が０．０６以上となるように収縮させて第１の着色パターン（６１）を形成し、
該着色パターンの上に（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含む第２の着色感光性樹脂組成物からなる層（１２）を形成し、該層を露光したのち現像して第２のレジストパターン（５２）を形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法を提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の形成方法において使用される第１の着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ａ）顔料は、無機顔料であってもよいし、有機顔料であってもよい。無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。また、有機顔料として具体的には、カラーインデックス（Colour Index）（ザ・ソサイアティ・オブ・ダイヤーズ・アンド・カラーリスツ（The Society of Dyers and Colourists ）出版）で、ピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げられる。
【００１０】
ブラックマトリックスを形成するには、黒色顔料を含有して黒色に着色された着色感光性樹脂組成物を用いる。赤色画素、緑色画素、青色画素などの色画素を形成するには、目的とする色画素に対応する色の顔料を含有して各色に着色された着色感光性樹脂組成物を用いる。
【００１１】
黒色顔料としては、例えばカーボンブラック、特開平５−３１１１０９号公報、特開平６−１１６１３号公報等に記載の黒鉛、特開平４−３２２２１９号公報、特開平３−２７４５０３号公報等に記載の無機黒色顔料、特開平２−２１６１０２号公報等に記載のアゾ系ブラック色素、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などの有機黒色顔料などを用いることができる。黒色に着色された着色感光性樹脂組成物は、顔料として、赤色顔料、緑色顔料、青色顔料、黄色顔料、シアン色顔料、マゼンタ色顔料などを含有していてもよい。
【００１２】
各色に着色された着色感光性樹脂組成物は、各色の顔料を含有する。各色の含量として１種の顔料を含有していてもよいし、２種以上の顔料を含有していてもよい。かかる顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー６５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１００、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７５、
【００１３】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、
【００１４】
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８、
【００１５】
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４９：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５２：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５７：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５８：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６３：２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド６４：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８１：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９０：１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、
【００１６】
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、
【００１７】
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５などが挙げられる。
【００１８】
かかる顔料の中でも、好ましい顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７などが挙げられ、特に好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、ピグメントブラック７である。
【００１９】
顔料の粒径は、平均粒径で０．００５μｍ〜０．２μｍであることが好ましく、より好ましくは０．０１μｍ〜０．１μｍである。かかる粒径の顔料は、例えばニーダー法、硫酸法、アルカリ還元溶解法などの公知の方法により製造することができる。
【００２０】
顔料は、その表面がポリマーなどで改質されていてもよい。ポリマーとしては、例えば特開平８−２５９８７６号公報等に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用ポリマーなどを挙げることができる。具体的にはアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂などを挙げることができる。樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状が好ましい。
【００２１】
着色感光性樹脂組成物における顔料の含有量は、揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量分率で、通常２０％以上６０％以下、好ましくは３０％以上６０％以下である。
【００２２】
（Ｂ）バインダー樹脂は、着色感光性樹脂組成物層に、その光線未照射領域が現像液に溶解する性質を付与する成分であり、また着色感光性樹脂組成物層や形成された着色パターンにおいて顔料を分散させる分散媒として機能するものである。
【００２３】
かかるバインダー樹脂としては、例えば式（Ｉ）
0004830233.tif 000002
〔式中、Ｒ1およびＲ2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜５のアルキル基またはハロゲン原子を示し、Ｒ4は水素原子またはメチル基を示し、Ｘは式（Ｉ−１）〜（Ｉ−６）
0004830233.tif 000003
のいずれかで示される２価の残基を示し、Ｒ3は置換基を有していてもよい炭素数１〜１０のアルキレン基を示し、ｍは０〜５の整数を示し、ｎは１〜１０の整数を示す。〕
で示される化合物と多塩基酸との縮重合物（特開平４−３５５４５０号公報、特開平９−４０７４５号公報、特開平０９−３２５４９４号公報、特開２０００−２８１７３８公報）であってもよいし、アクリル系共重合体であってもよい。
【００２４】
式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸との縮重合物は、例えば式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸とを縮重合させて得られる生成物、または式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸無水物とを縮重合させて得られる生成物である。多塩基酸としては、例えばマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、４，４’−ジフタル酸をはじめとするビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸などが挙げられる。多塩基酸無水物としては、上記多塩基酸の酸無水物などが挙げられる。かかる多塩基酸または多塩基酸無水物はそれぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００２５】
多塩基酸または多塩基酸無水物の使用量は、式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸または多塩基酸無水物との合計量に対して物質量比（モル比）で５％以上９５％以下、さらには１０％以上９０％以下程度であることが好ましい。縮重合物の酸価は７０〜１７０程度、さらには８０〜１４０程度であることが好ましい。ここで酸価は縮重合物１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いた滴定により求めることができる値である。
【００２６】
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えばマレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、具体的には、例えばこはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、具体的にはω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。かかるカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００２７】
かかるカルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物、
【００２８】
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングルコールアクリレート、メトキシジエチレングルコールメタクリレート、メトキシトリエチレングルコールアクリレート、メトキシトリエチレングルコールメタクリレート、メトキシプロピレングルコールアクリレート、メトキシプロピレングルコールメタクリレート、メトキシジプロピレングルコールアクリレート、メトキシジプロピレングルコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、
【００２９】
２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、
【００３０】
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、
【００３１】
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類、
アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、
【００３２】
アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類、
【００３３】
マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、
【００３４】
ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００３５】
かかる共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０〜５０％程度、好ましくは１５〜４０％程度である。
【００３６】
かかるアクリル系重合体としては、例えば（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートであることを示す。
【００３７】
中でもベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート／メタクリル酸／スチレン共重合体などが好ましい。
【００３８】
かかるアクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５，０００〜１００，０００の範囲である。また、酸価は３０〜２５０が好ましく、より好ましくは６０〜１８０の範囲である。
【００３９】
かかるバインダー樹脂の中でも、式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸との縮重合物または式（Ｉ）で示される化合物と多塩基酸無水物との縮重合物が好ましく、さらには式（Ｉ）におけるＸが式（Ｉ−１）で示される２価の残基である化合物と多塩基酸との縮重合物または式（Ｉ）におけるＸが式（Ｉ−１）で示される２価の残基である化合物と多塩基酸無水物との縮重合物が好ましい。
【００４０】
かかるバインダー樹脂は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常５％以上９０％以下、好ましくは１０％以上６０％以下の範囲で用いられる。
【００４１】
（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物としては、例えば末端にエチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ばれ、モノマーであってもよいし、２量体、３量体およびオリゴマーなどのプレポリマーであってもよいし、それらの混合物やそれらの共重合体などであってもよい。
【００４２】
モノマーとしては、例えばアクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸などの不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミドなどがあげられる。
【００４３】
不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステルとしては、例えばエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、１，３−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エ一テル、トリメチロールエタントリアクリレート、へキサンジオールジアクリレート、１，４−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマーなどのアクリル酸エステル、
【００４４】
テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔ｐ−（３−メタクリルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル〕ジメチルメタン、ビスー〔ｐ−（メタクリルオキシエトキシ）フェニル〕ジメチルメタンなどのメタクリル酸エステル、
【００４５】
エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、１，３−ブタンジオールジイタコネート、１，４ーブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネートなどのイタコン酸エステル、
【００４６】
エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネートのクロトン酸エステルなど、
【００４７】
エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネートなどのイソクロトン酸エステル、
エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレートなどのマレイン酸エステルなどが挙げられる。
【００４８】
不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミドとしては、例えばメチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、１，６−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミドなどが挙げられる。
【００４９】
モノマーの他の例としては、例えば１分子に２個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に式（II）
0004830233.tif 000004
〔式中、Ｒ21およびＲ22はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を示す。〕
で示されるビニルモノマーを付加させて得られるビニルウレタン化合物などが挙げられる。かかるビニルウレタン化合物は、１分子中に２個以上の重合性ビニル基を含有する化合物である（特公昭４８−４１７０８号公報）。特開昭５１−３７１９３号に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートも挙げられる。日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎo．７、３００〜３０８ページ（１９８４年）に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。
【００５０】
かかるエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の使用量は、組成物の固形分に対して質量分率で通常０．５％以上５０％以下、好ましくは１％以上４０％以下である。
【００５１】
（Ｄ）光重合開始剤としては、エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の重合を開始させうる化合物であれば、特に限定されるものではなく、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、オキサジアゾール系光重合開始剤などを用いることができる。
【００５２】
アセトフェノン系光重合開始剤としては、例えばジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられる。
【００５３】
ベンゾイン系光重合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００５４】
ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００５５】
チオキサントン系光重合開始剤としては、例えば２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００５６】
トリアジン系光重合開始剤としては、例えば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。
【００５７】
オキサジアゾール系光重合開始剤としては、例えば２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ヒドロキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−クロロスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（β−（２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（β−（６−メトキシ−２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ベンゾフリル）−１，３，４−オキサジアゾールなどが挙げられる。
【００５８】
また、光重合開始剤として、例えば２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００５９】
かかる光重合開始剤の中でも、トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤、トリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤が好ましく用いられる。
【００６０】
トリクロロメチル基が導入されているトリアジン系光重合開始剤としては、例えば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００６１】
トリクロロメチル基が導入されているオキサジアゾール系光重合開始剤としては、例えば２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、、２−トリクロロメチル−５−（β−（２−ベンゾフリル）ビニル）−１，３，４−オキサジアゾールなどが挙げられる。
【００６２】
かかる光重合開始剤は、それぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて使用することができる。
【００６３】
着色感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤としては、例えばトリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。これら光重合開始助剤はそれぞれ単独でまたは２種以上組み合わせて用いることができる。
【００６４】
かかる光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は光重合開始剤１モルに対して通常は０．０１モル以上１０モル以下である。
【００６５】
光重合開始剤および光重合開始助剤の合計使用量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常１％以上５０％以下、好ましくは３％以上３０％以下である。
【００６６】
着色感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００６７】
熱重合防止剤は、例えば着色感光性樹脂組成物の保存中に（Ｃ）１個以上のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物が熱重合を開始してしまうことを防止するために含有される。かかる熱重合防止剤としては、例えばハロイドキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。熱重合防止剤を含有する場合、その含有量は、着色感光性樹脂組成物の全量に対して質量分率で通常０．０１％以上５％以下程度である。
【００６８】
充填剤としては、例えばガラス、アルミナなどが挙げられる。
バインダー樹脂以外の高分子化合物としては、例えばポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００６９】
界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤のいずれであってもよい。
密着促進剤としては、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００７０】
酸化防止剤としては、例えば２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００７１】
着色感光性樹脂組成物は、有機カルボン酸、有機アミノ化合物などを含有していてもよい。
有機カルボン酸としては、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカルボン酸、
【００７２】
シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸などの脂肪族ジカルボン酸、
【００７３】
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸、
【００７４】
フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸などの芳香族ポリカルボン酸、
フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸などの分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸などが挙げられる。
【００７５】
有機アミノ化合物としては通常、分子量１０００以下の低分子量有機アミノ化合物が用いられ、例えばｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、ｏ−メチルシクロヘキシルアミン、ｍ−メチルシクロヘキシルアミン、ｐ−メチルシクロヘキシルアミン、ｏ−エチルシクロヘキシルアミン、ｍ−エチルシクロヘキシルアミン、ｐ−エチルシクロヘキシルアミンなどのモノ（シクロ）アルキルアミン類、
【００７６】
メチル・エチルアミン、ジエチルアミン、メチル・ｎ−プロピルアミン、エチル・ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−ｔ−ブチルアミン、ジ−ｎ−ペンチルアミン、ジ−ｎ−ヘキシルアミン、メチル・シクロヘキシルアミン、エチル・シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン類、
【００７７】
ジメチル・エチルアミン、メチル・ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル・ｎ−プロピルアミン、ジエチル・ｎ−プロピルアミン、メチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、エチル・ジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−ｔ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ヘキシルアミン、ジメチル・シクロヘキシルアミン、ジエチル・シクロヘキシルアミン、メチル・ジシクロヘキシルアミン、エチル・ジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
【００７８】
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、
【００７９】
ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−ｎ−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジ−ｎ−ペンタノールアミン、ジ−ｎ−ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、
【００８０】
トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、トリ−ｎ−ブタノールアミン、トリイソブタノールアミン、トリ−ｎ−ペンタノールアミン、トリ−ｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノールアミン、
【００８１】
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シクロ）アルカンジオール類、
【００８２】
１−アミノシクロペンタンメタノール、４−アミノシクロペンタンメタノール、１−アミノシクロヘキサンメタノール、４−アミノシクロヘキサンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
【００８３】
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酪酸、３−アミノイソ酪酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６―アミノカプロン酸、１―アミノシクロプロパンカルボン酸、１―アミノシクロヘキサンカルボン酸、４―アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類などが挙げられる。
【００８４】
また、例えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、アミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物なども挙げられる。アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物としては、例えばアニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−イソプロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類、
【００８５】
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類、
【００８６】
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類、
【００８７】
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸（誘導体）類などが挙げられる。
【００８８】
かかる有機カルボン酸、有機アミノ化合物は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用される。かかる有機カルボン酸、有機アミノ化合物を用いる場合、着色感光性樹脂組成物におけるその含有量は通常、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で通常０．００１％以上１５％以下、好ましくは０．０１％以上１０％以下である。
【００８９】
本発明の製造方法では、かかる第１の着色感光性樹脂組成物からなる層（１１）を基板（２）上に形成する（図２(a)）。第１の着色感光性樹脂組成物を基板（２）の上に形成するには、例えば（Ｅ）溶剤で希釈された状態の第１の着色感光性樹脂組成物を基板（２）上に塗布すればよい（図２(a)）。
【００９０】
（Ｅ）溶剤としては、例えばエステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類などが挙げられる。
【００９１】
エステル類としては、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチルなどの３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、
【００９２】
３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチルなどが挙げられる。
【００９３】
エーテル類としては、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテートなどが挙げられる。
【００９４】
ケトン類としては、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノンなどが挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例えばトルエン、キシレンなどが挙げられる。
【００９５】
かかる溶剤の中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートなどが好ましく用いられる。
【００９６】
かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いられ、その使用量は、着色感光性樹脂組成物における固形分の濃度が質量分率で通常２％以上５０％以下の範囲となるように選択される。
【００９７】
かかる溶剤で希釈された着色感光性樹脂組成物は、例えば回転塗布法（スピンコート法）、流延塗布法、ロール塗布法などの通常の塗布方法で、基板（２）上に塗布することができる。
【００９８】
基板（２）としては、例えばガラス基板、シリコン基板などのほか、ポリカーボネート基板、ポリエステル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基板、ポリイミド基板などの樹脂基板を用いることができる。かかる基板は、シランカップリング剤などの薬品による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理などの前処理が施されていてもよい。かかる基板には、予め他の着色パターンが形成されていてもよい。
【００９９】
溶剤で希釈された着色感光性樹脂組成物を基板（２）上に塗布後、乾燥して溶剤を揮発させることによって、基板上に着色感光性樹脂組成物層（１１）が形成される（図２(a)）。該層（１１）は、着色感光性樹脂組成物の固形分からなり、その厚さは、通常０．１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．２μｍ〜５．０μｍ、特に好ましくは０．２μｍ〜３．０μｍである。
【０１００】
次いで第一の着色感光性樹脂組成物からなる層（１１）を露光する。露光は、フォトマスク（３）を介して光線（４）を照射することにより行われる（図２(b)）。フォトマスク（３）は、例えばガラス板（３１）などの表面に遮光層（３２）が設けられたものである。遮光層によって光線（４）は遮蔽される。ガラス板のうちの遮光層が遮光層が設けられていない部分は透光部（３３）であって、光線は該透光部を透過して着色感光性樹脂組成物層（１１）に照射され、該層（１１）は、該透光部のパターンしたがって露光される。
【０１０１】
光線（４）としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）などの紫外線が用いられる。光線は平行光となって着色感光性樹脂組成物層（１１）に照射されることが好ましく、通常はマスクアライナー（図示せず）などを介して照射される。
【０１０２】
光線の照射量は、用いた（Ａ）顔料の色や含有量、（Ｂ）バインダー樹脂の種類や含有量、（Ｃ）１個以上のエチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物の種類や含有量、（Ｄ）光重合開始剤の種類や含有量などに応じて適宜選択される。
【０１０３】
露光したのち現像して第１のレジストパターンを形成する（図２(c)）。現像するには、露光後の着色感光性樹脂組成物層（１１）を現像液に接触させればよい。現像液に接触することによって、着色感光性樹脂組成物層のうちで光線が照射されなかった光線未照射領域（１１１）が現像液に溶解する。
【０１０４】
現像液としては、例えばアルカリ性水溶液を用いることができる。アルカリ性水溶液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５，４，０〕−７−ウンデセンなどの水溶性のアルカリ化合物の水溶液が用いられ、その濃度はアルカリ性水溶液に対して質量分率で通常０．００１％以上１０％以下、好ましくは０．０１％以上１％以下程度である。かかるアルカリ性水溶液は、メタノール、エタノールなどの水溶性の有機溶剤、界面活性剤などを含有していてもよい。現像液として有機溶剤を用いることもでき、例えば着色感光性樹脂組成物を希釈するに用いる溶剤として前記したと同様の有機溶剤を適宜組合わせて用いてもよい。
【０１０５】
現像方法は、特に限定されるものではなく、例えばディップ現像法（浸漬現像法）、シャワー現像法、スプレー現像法、パドル現像法（液盛り現像法）などの方法で現像することができる。現像温度は通常１０℃〜４０℃の範囲であり、現像時間は通常１０秒〜３００秒である。
【０１０６】
現像によって、着色感光性樹脂組成物層のうちの光線が照射されなかった光線未照射領域（１１１）は現像液に溶解して除去される。その一方で光線が照射された光線照射領域（１１２）は残って第１のレジストパターン（５１）となる。現像後、通常は乾燥するが、現像液としてアルカリ性水溶液を用いた場合、通常は現像後に水洗し、次いで乾燥する。
【０１０７】
本発明の製造方法では、かくして形成された第１のレジストパターン（５１）を加熱して収縮させる。加熱は、式（１）で示される収縮率（ｒ1）が０．０６以上、好ましくは０．０８以上となるように行なわれる。収縮率（ｒ1）が上記範囲となるように加熱するには、例えば加熱温度、加熱時間を適宜選択すればよい。また、通常の後加熱は、加熱温度が２３０℃程度であり加熱時間が２０分程度であることが一般的であるので、第１の着色感光性樹脂組成物として、その固形分からなる層の式（２）
ｒ2＝（ｔ20−ｔ21）／ｔ20          （２）
〔式中、ｔ20は着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層に光線を照射した直後の該層の厚みを示し、ｔ21は光線照射後の着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層を２３０℃で２０分間加熱した後の厚みを示す。〕
で示される収縮率（ｒ2）が０．０６以上、好ましくは０．０８以上となるように調製された着色感光性樹脂組成物を用いてもよい。かかる着色感光性樹脂組成物は、これに含まれる（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤の含有量を適宜調製することにより得られ、例えば（Ｂ）バインダー樹脂の含有量を（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物に対して１．５質量倍以上５質量倍以下とすることにより調製できる。
【０１０８】
かくして第１のレジストパターン（５１）が収縮して第１の着色パターン（６１）が形成されるが、かかる第１の着色パターンは、通常はブラックマトリックスである。ブラックマトリックスは、第１の着色感光性樹脂組成物として、黒色の感光性樹脂組成物を用いて形成される。黒色の感光性樹脂組成物は、例えば顔料として黒色顔料を含有する着色感光性樹脂組成物である。
【０１０９】
かかる第１の着色パターン（６１）の上に第２の着色感光性樹脂組成物からなる層（１２）を形成する。
第２の着色感光性樹脂組成物は、（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤を含むものである。（Ａ）顔料、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物および（Ｄ）光重合開始剤としては、第１の着色感光性樹脂組成物において前記したと同様のものがそれぞれ挙げられ、その含有量は第１の着色感光性樹脂組成物においてそれぞれ挙げたと同様である。また第２の着色感光性樹脂組成物は、第１の着色感光性樹脂組成物において前記したと同様の添加剤を含有していてもよい。
【０１１０】
かかる第２の着色感光性樹脂組成物層（１２）を第１の着色パターン（６１）の上に形成するには、例えば（Ｅ）溶剤で希釈された状態の第２の着色感光性樹脂組成物を第１の着色パターン（６１）の上に塗布すればよい（図３(a)）。（Ｅ）溶剤としては、第１の着色感光性樹脂組成物の希釈に用いると同様の溶剤を用いることができ、その使用量は第１の着色感光性樹脂組成物において前記したと同様である。第１の着色パターン（６１）が形成された後の基板（２）には、基板の表面が露出している部分があるが、第２の着色感光性樹脂組成物層（１２）は、かかる基板の表面が露出している部分にも形成される。
【０１１１】
次いで、第２の着色感光性樹脂組成物からなる層（１２）を露光する（図３(b)）。露光するには、第１の着色感光性樹脂組成物からなる層の露光と同様にして、フォトマスク（３）を介して光線（４）を照射すればよい。
【０１１２】
次いで、現像する（図３(c)）。現像は、第１の着色感光性樹脂組成物からなる層の現像と同様にして行なわれる。
【０１１３】
かくして第２のレジストパターン（５２）が形成されるが、本発明の製造方法においては、かかる第２のレジストパターンをそのまま第２の着色パターン（６２）としてもよいし、第２のレジストパターンを加熱して第２の着色パターン（６２）としてもよい。
【０１１４】
かくして形成される第２の着色パターン（６２）は、第１の着色パターンと重なった部分（７）があっても、外部分において上に凸となることがないので、得られるカラーフィルターの表面は、平坦である（図５(c)）。
【０１１５】
かくして基板（２）の上に第１の着色パターン（６１）および第２の着色パターン（６２）が形成される。目的とするカラーフィルターによっては、さらに着色パターン（６３）が形成されるが、かかる着色パターンは、同様にしてさらに着色感光性樹脂組成物からなる層（１３）を第１の着色パターン（６１）および第２の着色パターン（６２）の上に形成し（図４(a)）、露光し（図４(b)）、現像する方法により形成することができる（図４(c)）。
【０１１６】
【発明の効果】
本発明の製造方法によれば、第２の着色パターンが第１の着色パターンと重なった部分においても、第２の着色パターンの表面が上に凸とならないので、表面が平坦なカラーフィルターを安定して製造することができる。
【０１１７】
【実施例】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はかかる実施例によって限定されるものではない。
【０１１８】
実施例１
〔第１の着色感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）顔料〔黒色顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７）４０質量部と分散剤１２質量部との混合物〕５２質量部、
（Ｂ）バインダー樹脂〔式（IV）
0004830233.tif 000005
で示される化合物５０質量部と４，４’−ジフタル酸無水物１７質量部との縮重合物、酸価は１００〕３２質量部、
（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕１１質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン〕５．０質量部および
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕３７４質量部を混合して第１の着色感光性樹脂組成物（黒色）を得た。
【０１１９】
〔第１の着色パターンの形成〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物をガラス基板〔「＃７０５９」コーニング社製〕（２）の表面にスピンコート法で塗布し、１００℃で３分間加熱して乾燥させて、第１の着色感光性樹脂組成物層（１１）を基板（２）上に形成した。この乾燥後の着色感光性樹脂組成物層の光学濃度は３．６であった。
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物層（１１）に、フォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯で紫外線（４）を照射して（照射量は４００ｍＪ／ｃｍ2）、露光した。フォトマスク（３）としては、線幅１００μｍの線状の着色パターンが１００μｍの間隔を空けて配置されたパターン（ラインアンドスペースパターン）の着色パターン（６１）を形成するためのフォトマスクを用いた。露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液〔水酸化カリウムを質量分率で０．０５％含み、ノニオン系界面活性剤を含む水溶液、２３℃〕に９０秒間浸漬して現像後、水洗し、乾燥して第１のレジストパターン（５１）を形成した。この第１のレジストパターンの厚みは１．２５μｍであった。その後、この第１のレジストパターンを２３０℃で２０分間加熱して、基板（２）上に黒色の着色パターン（６１）（ブラックマトリックス）を形成した。光学顕微鏡（観察倍率２００倍）で観察したところ、この着色パターン（６１）は、再現性よく形成されており、その厚みは１．１２μｍであった（収縮率は０．１０４）。
【０１２０】
〔第２の着色感光性樹脂組成物の製造〕
（Ａ）顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７〕５質量部、
（Ｂ）バインダー樹脂〔ベンジルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体、ベンジルメタクリレート単位とメタクリル酸単位との質量比は８２．７：１７．３、重量平均分子量は２６，０００〕５．７７質量部、
（Ｃ）エチレン性不飽和結合を有し付加重合可能な化合物〔ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート〕５．７７質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン〕０．７７質量部、
高分子系顔料分散剤２．０９質量部、
光重合開始助剤〔ジエチルチオキサントン〕０．３８質量部および
（Ｅ）溶剤〔プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート〕８０質量部を混合して、第２の着色感光性樹脂組成物（赤色）を得た。
【０１２１】
〔第２の着色パターンの形成〕
上記で得た第１の着色パターン（６１）の上に上記で得た第２の着色感光性樹脂組成物をスピンコート法で塗布し、１００℃で３分間加熱して乾燥させて第２の着色感光性樹脂組成物からなる層（１２）を形成した。なお、上記と同じ条件でガラス基板〔「＃７０５９」〕（２）の表面に上記第２の着色感光性樹脂組成物を塗布し、乾燥させて形成した着色感光性樹脂組成物層の厚みは１．６μｍであった。
第１の着色パターンの上に形成された第２の着色感光性樹脂組成物（１２）からなる層にフォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯で紫外線（４）を照射して（照射量は４００ｍＪ／ｃｍ2）、露光した。フォトマスク（３）としては、第１の着色パターンの上に重なり合った幅１００μｍの着色パターンを形成するためのフォトマスクを用いた。露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液〔水酸化カリウムを質量分率で０．０５％含み、ノニオン系界面活性剤を含む水溶液、２３℃〕に９０秒間浸漬して現像して第２のレジストパターン（５２）を形成し、水洗し、２２０℃で２０分間加熱して、赤色の着色パターン（６２）を形成した。この赤色の着色パターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（観察倍率は１万倍）で観察したところ、着色パターンの表面は平坦であった。
【０１２２】
〔感度の評価〕
第１の着色感光性樹脂組成物の感度を、光線照射領域の厚みが現像において変化しない最低の光線照射量を感度として、以下の方法で評価した。
上記と同様にして基板（２）上に形成した第１の着色感光性樹脂組成物層（１１）にフォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯で紫外線を照射して露光した。露光では、フォトマスク（３）として透光部のみからなりその透過率がステップ状に変化したものを用いて、４〜４００ｍＪ／ｃｍ2の範囲の光線を照射した。
次いで上記で露光した着色感光性樹脂組成物層を、現像液〔水酸化カリウムを質量分率で０．０５％含み、ノニオン系界面活性剤を含む水溶液、２３℃〕に９０秒間浸漬して現像し、厚みが変化しなかった光線照射領域（１２）の最低光線照射量（１２０ｍＪ／ｃｍ2）を感度とした。
【０１２３】
〔パターン再現性の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物のパターン再現性を以下の方法で評価した。
上記と同様にして、基板（２）上に形成した第１の着色感光性樹脂組成物層（１１）にフォトマスク（３）を介して超高圧水銀灯で紫外線を照射して露光した。フォトマスクとしては、線幅１０μｍの線状の着色パターンが１０μｍの間隔を空けて配置されたパターン（ラインアンドスペースパターン）の着色パターン（６１）を形成するためのフォトマスクを用いた。得られた着色パターン（６１）を光学顕微鏡（観察倍率は２００倍）で観察したところ、線幅１０μｍの着色パターンが再現性よく形成されていた。結果を表１に示す。
【０１２４】
実施例２
〔第１の着色感光性樹脂組成物の製造および第１の着色パターンの形成〕
実施例１で使用したバインダー樹脂に代えて、バインダー樹脂〔式（IV）で示される化合物５０質量部とベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物１５質量部との縮重合物、酸価は１０３〕３２質量部を用いる以外は実施例１と同様に操作して、第１の着色感光性樹脂組成物（黒色）を得、第１の着色感光性樹脂組成物層（光学濃度は３．６）を形成した。
この第１の着色感光性樹脂組成物を実施例１と同様にして露光し、現像し、水洗し、乾燥して、第１のレジストパターン（５１）（厚みは１．２４μｍ）を形成し、実施例１と同様にして加熱して、黒色の着色パターン（６１）（厚みは１．１２μｍ）形成した（収縮率は０．０９７）。この黒色の着色パターンは、再現性よく形成されていた。
【０１２５】
〔第２の着色パターンの形成〕
実施例１で得た第１の着色パターンに代えて、上記で得た第１の着色パターンを用いる以外は、実施例１と同様にして第１の着色パターン（６２）を形成した。この赤色の着色パターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（観察倍率は１万倍）で観察したところ、着色パターンの表面は平坦であった。
【０１２６】
〔感度の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物の感度を実施例１と同様にして評価したところ、感度は１５０ｍＪ／ｃｍ2であった。
【０１２７】
〔パターン再現性の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物のパターン再現性を実施例１と同様にして評価したところ、線幅１０μｍの着色パターンが再現性よく形成されていた。結果を表１に示す。
【０１２８】
実施例３
〔第１の着色感光性樹脂組成物の製造および第１の着色パターンの形成〕
実施例１で使用したバインダー樹脂に代えて、バインダー樹脂〔式（IV）で示される化合物５０質量部とテトラヒドロフタル酸無水物２５質量部との縮重合物、酸価は９５〕３２質量部を用いる以外は実施例１と同様に操作して、第１の着色感光性樹脂組成物（黒色）を得、第１の着色感光性樹脂組成物層（光学濃度は３．６）を形成した。
この第１の着色感光性樹脂組成物を実施例１と同様にして露光し、現像し、水洗し、乾燥して、第１のレジストパターン（５１）（厚みは１．２６μｍ）を形成し、実施例１と同様にして加熱して、黒色の着色パターン（６１）（厚みは１．１３μｍ）形成した（収縮率は０．１０３）。この黒色の着色パターンは、再現性よく形成されていた。
【０１２９】
〔第２の着色パターンの形成〕
実施例１で得た第１の着色パターンに代えて、上記で得た第１の着色パターンを用いる以外は、実施例１と同様にして第１の着色パターン（６２）を形成した。この赤色の着色パターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（観察倍率は１万倍）で観察したところ、着色パターンの表面は平坦であった。
【０１３０】
〔感度の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物の感度を実施例１と同様にして評価したところ、感度は１１０ｍＪ／ｃｍ2であった。
【０１３１】
〔パターン再現性の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物のパターン再現性を実施例１と同様にして評価したところ、線幅１０μｍの着色パターンが再現性よく形成されていた。結果を表１に示す。
【０１３２】
比較例１
〔第１の着色感光性樹脂組成物の製造および第１の着色パターンの形成〕
実施例１で使用したバインダー樹脂に代えて、ベンジルメタクリレートとメタクリル酸との共重合体〔ベンジルメタクリレート単位の含有量はモル分率で６５％、メタクリル酸単位の含有量はモル分率で３５％、重量平均分子量は１００００〕３２質量部を用いる以外は実施例１と同様に操作して、第１の着色感光性樹脂組成物（黒色）を得、第１の着色感光性樹脂組成物層（光学濃度は３．６）を形成した。
この第１の着色感光性樹脂組成物を実施例１と同様にして露光し、現像し、水洗し、乾燥して、第１のレジストパターン（５１）（厚みは１．２６μｍ）を形成し、実施例１と同様にして加熱して、黒色の着色パターン（６１）（厚みは１．２０μｍ）形成した（収縮率は０．０４８）。この黒色の着色パターンは、部分的に欠けが見られた。
【０１３３】
〔第２の着色パターンの形成〕
実施例１で得た第１の着色パターンに代えて、上記で得た第１の着色パターンを用いる以外は、実施例１と同様にして第１の着色パターン（６２）を形成した。この赤色の着色パターンの断面形状を走査型電子顕微鏡（観察倍率は１万倍）で観察したところ、着色パターンの表面には、第１の着色パターンと重なり合った部分で上に盛り上がっていた。
【０１３４】
〔感度の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物の感度を実施例１と同様にして評価したところ、感度は８００ｍＪ／ｃｍ2であった。
〔パターン再現性の評価〕
上記で得た第１の着色感光性樹脂組成物のパターン再現性を実施例１と同様にして評価したところ、着色パターンは、再現性がよくなかった。結果を表１に示す。
【０１３５】
【表１】
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【図面の簡単な説明】
【図１】カラーフィルターの一例を部分的に示す模式図である。
【図２】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図３】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図４】着色感光性樹脂組成物を用いて基板上に着色パターンを形成する工程を示す断面模式図である。
【図５】第１の着色パターンと第２の着色パターンとの関係を示す断面模式図である。
【符号の説明】
１１：第１の着色感光性樹脂組成物層   111：光線未照射領域
112：光線照射領域
１２：第２の着色感光性樹脂組成物層
１３：第３の着色感光性樹脂組成物層
２  ：基板
３  ：フォトマスク
４  ：光線
５１：第１のレジストパターン
５２：第２のレジストパターン
５３：第３のレジストパターン
６  ：着色パターン                  ６Ｒ：赤色画素
６Ｇ：緑色画素
６Ｂ：青色画素
６BM：ブラックマトリックス
６１：第１の着色パターン
６２：第２の着色パターン
６３：第３の着色パターン
７  ：第２の着色パターンが第１の着色パターンに重なった部分
８  ：カラーフィルター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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