【手続補正書】
【提出日】平成15年7月25日(2003.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨室を形成する第１壁と、
該第１壁の外側に配置してあり該第１壁との間に分離室を形成する第２壁とを有し、
前記分離室は前記研磨室よりも負圧であることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
第１壁と、
該第１壁を仕切りにして研磨室及び分離室を形成する第２壁とを有し、
前記分離室は前記研磨室よりも負圧であることを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
前記研磨室に開口した空気供給口と、
前記第１壁を介して前記研磨室と前記分離室とを連通する通気孔と、
前記分離室に開口した排気口とを設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記第２壁を介して前記分離室と装置外部とを連通する外部通気孔を設けており、
前記分離室は装置外部よりも負圧であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項５】
通気孔が設けてあり、研磨室を形成する第１壁と、
該第１壁の外側に配置してあり該第１壁との間に分離室を形成する第２壁と、
前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流す通気手段とを有することを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
通気孔が設けてある第１壁と、
該第１壁を仕切りにして研磨室及び分離室を形成する第２壁と、
前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流す通気手段とを有することを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
前記通気手段は、
前記研磨室に開口した空気供給口と、
該空気供給口を通じて前記研磨室に空気を供給する空気供給手段と、
前記分離室に開口した排気口とを有することを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記第２壁は、前記分離室と装置外部とを連通する外部通気孔を設けており、
該外部通気孔を通じて前記分離室へ空気の流入を行う空気流入手段を有することを特徴とする請求項５乃至請求項７のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項９】
前記研磨室は装置外部よりも負圧であることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記分離室の内部に研磨後の試料を保管する載置台を有することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記研磨室を加湿する手段を有することを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１つに記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記請求項１乃至請求項１１のいずれか１つに記載の研磨装置を用いて、
前記分離室を前記研磨室よりも負圧にした状態で、前記研磨室で試料を研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項１３】
前記請求項３乃至請求項１１のいずれか１つに記載の研磨装置を用いて、
前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流し、
前記研磨室で試料を研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項１４】
前記研磨装置は、請求項１１に記載の研磨装置であり、
前記研磨室を加湿しながら試料を研磨することを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載の研磨方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
図６は、従来の研磨装置の模式的縦断面図である。装置は、前面に通気孔４６を有する以外、壁１８により密閉されている。装置の上部には装置内１７の雰囲気を強制排気するための排気口４３が設けられ、装置の前室１３の上部には空気供給口３９および清浄空気供給装置４２が設けられている。前室１３は装置の外部１９とビニール製のカーテン１６で仕切られている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この装置では、清浄空気供給装置４２により空気供給口３９から前室１３に清浄な空気を供給しつつ、排気口４３から装置内１７の雰囲気を強制排気することにより、装置の外部１９につながる前室１３から装置内１７への空気の流れを形成する。この空気の流れにより、装置内１７の雰囲気が装置の外部１９に漏れ出さないようになっている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の研磨装置は、研磨室を形成する第１壁と、該第１壁の外側に配置してあり該第１壁との間に分離室を形成する第２壁とを有し、前記分離室は前記研磨室よりも負圧であることを特徴とする。
また、本発明の研磨装置は、第１壁と、該第１壁を仕切りにして研磨室及び分離室を形成する第２壁とを有し、前記分離室は前記研磨室よりも負圧であることを特徴とする。
さらに、本発明の研磨装置は、前記研磨室に開口した空気供給口と、前記第１壁を介して前記研磨室と前記分離室とを連通する通気孔と、前記分離室に開口した排気口とを設けたことを特徴とする。
さらに、また、本発明の研磨装置は、前記第２壁を介して前記分離室と装置外部とを連通する外部通気孔を設けており、前記分離室は装置外部よりも負圧であることを特徴とする。
また、本発明は、通気孔が設けてあり、研磨室を形成する第１壁と、該第１壁の外側に配置してあり該第１壁との間に分離室を形成する第２壁と、前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流す通気手段とを有することを特徴とする。
さらに、本発明は、通気孔が設けてある第１壁と、該第１壁を仕切りにして研磨室及び分離室を形成する第２壁と、前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流す通気手段とを有することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、前記通気手段は、前記研磨室に開口した空気供給口と、該空気供給口を通じて前記研磨室に空気を供給する空気供給手段と、前記分離室に開口した排気口とを有することを特徴とする。
また、本発明は、前記第２壁は、前記分離室と装置外部とを連通する外部通気孔を設けており、該外部通気孔を通じて前記分離室へ空気の流入を行う空気流入手段を有することを特徴とする。
さらに、本発明は、前記研磨室は装置外部よりも負圧であることを特徴とする。
さらに、また、本発明は、前記分離室の内部に研磨後の試料を保管する載置台を有することを特徴とする。
また、本発明は、前記研磨室を加湿する手段を有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の研磨方法は、前記研磨装置を用いて、前記分離室を前記研磨室よりも負圧にした状態で、前記研磨室で試料を研磨することを特徴とする。
また、本発明の研磨方法は、前記研磨装置を用いて、前記通気孔を通じて前記研磨室から前記分離室へ空気を流し、前記研磨室で試料を研磨することを特徴とする。
さらに、本発明の研磨方法は、前記研磨装置は、前記研磨室を加湿する手段を有するものであり、前記研磨室を加湿しながら試料を研磨することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
なお、研磨室には清浄な空気を供給することが好ましく、この清浄な空気とは、フィルタを通して微粒子（パーティクル）が十分に取り除かれた空気のことをいう。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、空気供給手段及び空気流入手段を設けると共に分離室の排気口より強制排気することにより、研磨室から分離室への空気の流れと装置の外部から分離室へ空気の流れを形成し、装置の外部から研磨室への空気の流れをなくすことができる。その結果、装置内へ空気を引き込むときに塵を巻き込み、この塵が研磨パッドに付着し、試料にスクラッチを生じさせるおそれも低減することができる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
第２壁にも分離室と装置外部とを連通する（外部）通気孔を設けることにより、装置の外部から分離室へ空気の流れを定常的につくり出すことができる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
さらに、例えば水蒸気発生器や霧発生器のような研磨室を加湿する手段を備えることにより、研磨室を高湿度に保持することにより、乾燥による研磨スラリの砥粒の凝集を抑え、スクラッチの発生をより低減することができる。なお、湿度は１００％に近い状態が好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、本発明の研磨装置は、第１壁を仕切りにして第２壁により形成した研磨室及び分離室を備えて、分離室内を他の箇所より負圧にするので、上記装置と同様に、試料にスクラッチを生じさせるおそれを低減でき、さらに研磨室を加湿する手段を備えることで、一段とスクラッチの発生を低減できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
【発明の効果】
本発明の研磨装置および研磨方法によれば、クリーンな環境で使用してもその環境を汚染することなく、また研磨スラリの乾燥により凝集した砥粒および外部から装置内へ引き込まれる塵に起因する試料表面のスクラッチの発生を低減させることができる。即ち、分離室を研磨室よりも負圧に保持することで、研磨室を経て分離室から排気される空気の流れを形成でき、分離室を装置外部より負圧に保持することで、装置外部から分離室に入り排気口から排気される空気の流れを形成でき、研磨室内の乾燥も抑制できる。
さらに、研磨室から分離室へ空気を流すことで、研磨室の減圧を不要にでき研磨室の湿度を維持して研磨スラリの砥粒が凝集することを抑制でき、（外部）通気孔から分離室への空気の流れも形成することで、さらに上記効果を高めることができる。
さらに、また、研磨室を装置外部より負圧にすることで、研磨室の雰囲気が外部へ漏洩することの抑制を図ることに対して好適な状態を形成できる。
また、研磨室を加湿することで、研磨室内の乾燥を一段と抑制できる。