【手続補正書】
【提出日】平成15年8月19日(2003.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成し、該インク流路パターン上に活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂をコートし、該活性エネルギー線を選択的に照射した後、前記被覆樹脂の未硬化の部分を除去することにより前記被覆樹脂の前記インク吐出圧力発生素子上方の部分にインク吐出口を形成し、前記溶解可能な樹脂によるインク流路パターンを溶出除去してインク流路を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記溶解可能な樹脂が、ポジ型感光性樹脂によって形成され、該ポジ型感光性樹脂により前記基板上にインク流路パターンを形成するに際して、該インク流路パターンの上面に基板まで到達しない部分的な凹部を前記インク吐出発生素子の上方に形成することにより、インク吐出発生素子の上方が部分的に狭いインク流路を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ポジ型感光性樹脂の凹部が、該ポジ型感光性樹脂の限度解像度以下のパターンが隣接して多数設けられたフォトマスクを用いて前記ポジ型感光性樹脂を露光することにより、前記フォトマスクのパターンが設けられた領域に対応する領域に形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ポジ型感光性樹脂の凹部が、該ポジ型感光性樹脂が現像により除去されない露光量で該ポジ型感光性樹脂の前記凹部に対応する部分を含む領域を露光する第１の露光工程と、前記ポジ型感光性樹脂の、現像により完全に除去する領域のみを露光する第２の露光工程と、を含む製造方法によって形成されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
インク吐出発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成し、該インク流路パターン上に活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂をコートし、該活性エネルギー線を選択的に照射した後、前記被覆樹脂の未硬化の部分を除去することにより前記被覆樹脂の前記インク吐出圧力発生素子上方の部分にインク吐出口を形成し、前記溶解可能な樹脂によるインク流路パターンを溶出除去してインク流路を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記溶解可能な樹脂が、ポジ型感光性樹脂によって形成され、該ポジ型感光性樹脂により前記基板上に前記インク流路パターンを形成するに際して、該インク流路パターンの上面の前記インク流路にインクを供給するためのインク供給口に対応する部分と前記インク吐出発生素子に対応する部分との間の領域に前記基板まで到達しない凹部を形成することにより、部分的に狭い領域を有するインク流路を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ポジ型感光性樹脂の前記凹部が、該ポジ型感光性樹脂の限度解像度以下のパターンが前記凹部に対応する位置に設けられたフォトマスクを用いて前記ポジ型感光性樹脂を露光することによって形成されることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
インク吐出発生素子が形成された基板上に、該インク吐出発生素子との対応部にインク吐出口が形成された部材を設け、前記基板と前記部材とによって前記インク吐出口に連通し前記インク吐出発生素子を有するインク流路が形成されてなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク流路が前記基板におけるインク吐出発生素子の上方に部分的に狭い領域を有していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、インクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドを、つぎのように構成したことを特徴とするものである。
すなわち、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク吐出発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成し、該インク流路パターン上に活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂をコートし、該活性エネルギー線を選択的に照射した後、前記被覆樹脂の未硬化の部分を除去することにより前記被覆樹脂の前記インク吐出圧力発生素子上方の部分にインク吐出口を形成し、前記溶解可能な樹脂によるインク流路パターンを溶出除去してインク流路を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記溶解可能な樹脂が、ポジ型感光性樹脂によって形成され、該ポジ型感光性樹脂により前記基板上にインク流路パターンを形成するに際して、該インク流路パターンの上面に基板まで到達しない部分的な凹部を前記インク吐出発生素子の上方に形成することにより、インク吐出発生素子の上方が部分的に狭いインク流路を形成することを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、前記ポジ型感光性樹脂の凹部が、該ポジ型感光性樹脂の限度解像度以下のパターンが隣接して多数設けられたフォトマスクを用いて前記ポジ型感光性樹脂を露光することにより、前記フォトマスクのパターンが設けられた領域に対応する領域に形成されることを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、前記ポジ型感光性樹脂の凹部が、該ポジ型感光性樹脂が現像により除去されない露光量で該ポジ型感光性樹脂の前記凹部に対応する部分を含む領域を露光する第１の露光工程と、前記ポジ型感光性樹脂の、現像により完全に除去する領域のみを露光する第２の露光工程と、を含む製造方法によって形成されることを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク吐出発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂によってインク流路パターンを形成し、該インク流路パターン上に活性エネルギー線の照射により選択的に硬化させることが可能な被覆樹脂をコートし、該活性エネルギー線を選択的に照射した後、前記被覆樹脂の未硬化の部分を除去することにより前記被覆樹脂の前記インク吐出圧力発生素子上方の部分にインク吐出口を形成し、前記溶解可能な樹脂によるインク流路パターンを溶出除去してインク流路を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記溶解可能な樹脂が、ポジ型感光性樹脂によって形成され、該ポジ型感光性樹脂により前記基板上に前記インク流路パターンを形成するに際して、該インク流路パターンの上面の前記インク流路にインクを供給するためのインク供給口に対応する部分と前記インク吐出発生素子に対応する部分との間の領域に前記基板まで到達しない凹部を形成することにより、部分的に狭い領域を有するインク流路を形成することを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、前記ポジ型感光性樹脂の前記凹部が、該ポジ型感光性樹脂の限度解像度以下のパターンが前記凹部に対応する位置に設けられたフォトマスクを用いて前記ポジ型感光性樹脂を露光することによって形成されることを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク吐出発生素子が形成された基板上に、該インク吐出発生素子との対応部にインク吐出口が形成された部材を設け、前記基板と前記部材とによって前記インク吐出口に連通し前記インク吐出発生素子を有するインク流路が形成されてなるインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記インク流路が前記基板におけるインク吐出発生素子の上方に部分的に狭い領域を有していることを特徴としている。