(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記基板収納部を昇降させる昇降装置と、該基板収納部の昇降により、当該位置の基板を、基板収納部の基板の送り方向に間隔をあけて、該送り方向と直交する内側方向に向けて延出して配設された複数の基板の支持部材の各支持部材間に挿入され、基板の送り方向及び該送り方向と直交する方向に間隔をあけて配設した複数の棒状の搬送用支持部材と、各々の搬送用支持部材の先端に１個ずつ設けられ、支持部材に支持された基板を受け取り、受け取った基板を基板収納部の外に送り出す駆動ローラからなる送り機構と、該送り機構を先端に設けた各搬送用支持部材の間の基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて昇降可能に設けられ、前記送り機構の受け取り位置の上方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構とを備えたことを特徴とする基板収納装置。
【請求項２】
前記送り機構を先端に設けた搬送用支持部材が、基板を基板収納部内に受け入れ、支持部材に受け渡して支持されるようにする機能を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板収納装置。
【請求項３】
基板収納装置の基板移送方向に搬送テーブルを設置し、該搬送テーブルに、基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて基板を支持する複数列の送りローラと、搬送テーブル上に載置された基板を持ち上げ、受け渡す、前記複数列の送りローラ間に挿入されるハンドを備え、前記複数列の送りローラの基板の送り方向と直交する方向に前記ハンドの基端側昇降部が没入する空間部を形成したことを特徴とする請求項１又は２記載の基板収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板収納装置に関し、特に、ロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、超大型基板を収納するための基板収納装置の全高を低くするとともに製造ライン建屋の高さを低減し、設備費の低減に貢献することができる基板収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶等の大型のガラス基板は、互いに接触しないように分離して収容するために、専用のガラス基板収納用カセット等の収納装置に収納される。
この収納装置は、基板収納部に複数の並列する支持部材を延設し、該支持部材を上下に複数段設置することにより複数の基板を収納するようになっている。
【０００３】
収納装置に収納された基板は、従来は、基板収納部の支持部材の上下の隙間にロボットのハンドを入れ、その後、基板をハンドにより持ち上げて、基板収納部内から基板を取り出す方式が採用されている。
【０００４】
しかしながら、基板が超大型になると、その重さに対応してロボットハンドの厚みが大きくなり、また、基板自体の撓みも大きくなることから、基板収納部の上下の支持部材の間隔が大きくなり、その結果、基板収納装置の全高が巨大になり、製造ライン建屋全体の高さも高くなるという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来の基板収納装置が有する問題点に鑑み、ロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、超大型基板を収納するための基板収納装置の全高を低くするとともに製造ライン建屋の高さを低減し、設備費の低減に貢献することができる基板収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の基板収納装置は、複数の基板を収納するようにした基板収納装置において、前記基板収納部を昇降させる昇降装置と、該基板収納部の昇降により、当該位置の基板を、基板収納部の基板の送り方向に間隔をあけて、該送り方向と直交する内側方向に向けて延出して配設された複数の基板の支持部材の各支持部材間に挿入され、基板の送り方向及び該送り方向と直交する方向に間隔をあけて配設した複数の棒状の搬送用支持部材と、各々の搬送用支持部材の先端に１個ずつ設けられ、支持部材に支持された基板を受け取り、受け取った基板を基板収納部の外に送り出す駆動ローラからなる送り機構と、該送り機構を先端に設けた各搬送用支持部材の間の基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて昇降可能に設けられ、前記送り機構の受け取り位置の上方で基板をエア浮上させながら支持するエア浮上機構と、該エア浮上機構により浮上支持した基板の位置を修正する位置決め機構とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
この場合において、前記送り機構を先端に設けた搬送用支持部材が、基板を基板収納部内に受け入れ、支持部材に受け渡して支持されるようにする機能を備えるように構成することができる。
【０００８】
また、基板収納装置の基板移送方向に搬送テーブルを設置し、該搬送テーブルに、基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて基板３を支持する複数列の送りローラと、搬送テーブル上に載置された基板を持ち上げ、受け渡す、前記複数列の送りローラ間に挿入されるハンドを備え、前記複数列の送りローラの基板の送り方向と直交する方向に前記ハンドの基端側昇降部が没入する空間部を形成することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の基板収納装置によれば、基板収納部を昇降させることにより、搬送用支持部材の先端に設けた送り機構で基板を受け取って外部に送り出すことができ、これにより、ロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行い、支持部材の上下間隔を小さくして、超大型基板を収納するための基板収納装置の全高を低くするとともに製造ライン建屋の高さを低減し、設備費の低減に貢献することができる。
また、基板の位置を修正し、その後、エア浮上装置を下降させることにより、正確に位置決めした状態で基板を送り機構に渡すことができる。
【００１０】
また、前記送り機構を先端に設けた搬送用支持部材が、基板を基板収納部内に受け入れ、支持部材に受け渡して支持されるようにする機能を備えるように構成することにより、基板の基板収納部内への受け入れを円滑に行うことができる。
【００１１】
また、基板収納装置の基板移送方向に搬送テーブルを設置し、該搬送テーブルに、基板の送り方向と直交する方向に間隔をあけて基板を支持する複数列の送りローラと、搬送テーブル上に載置された基板を持ち上げ、受け渡す、前記複数列の送りローラ間に挿入されるハンドを備え、前記複数列の送りローラの基板の送り方向と直交する方向に前記ハンドの基端側昇降部が没入する空間部を形成することにより、基板の製造装置等への移送を円滑に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の基板収納装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１３】
図１〜図８に、本発明の基板収納装置の一実施例を示す。
この基板収納装置は、基板収納部１に複数の並列する支持部材２を延設し、該支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を収納するようにしている。
ところで、本実施例においては、基板収納部１の支持部材２を、基板収納部１の両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材２を延設するようにしているが、支持部材２の形状は、これに限定されず。例えば、支持部材２を基板収納部１の両側に架け渡すようにすることもできる。
そして、この基板収納装置は、かかる構成において、前記基板収納部１を昇降させる昇降装置４と、該基板収納部１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を受け取る複数の搬送用支持部材５と、該搬送用支持部材５の先端に設けられ、受け取った基板３を基板収納部１の外に送り出す送り機構６とを備えている。
【００１４】
基板収納部１は、前後が開放されたカセットからなり、両側から対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部材２を延設するとともに、これらの支持部材２を上下に複数段設置することにより複数の基板３を所定間隔を開けて収納するようになっている。
【００１５】
昇降装置４は、例えば、基板収納部１の下部４箇所を支持する複数基のシリンダーからなり、基板収納部１を少なくともその高さの範囲で昇降させることができる。
この昇降装置４は、台車により移動可能に設けられたベース７に固定されている。
【００１６】
搬送用支持部材５は、基板収納部１の昇降により支持部材２間に挿入される複数の棒状のものからなり、先端に備えた送り機構６を介して、支持部材２に支持された基板３を受け取るようになっている。
この搬送用支持部材５は、基板３を幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、複数の搬送用支持部材５が所定の配置でベース７に固定されている。
【００１７】
送り機構６は、本実施例では、搬送用支持部材５の先端に設けられた駆動ローラ６１を備え、基板３を幅方向と長さ方向で略均等に支持できるように、搬送用支持部材５に設けられている。
この送り機構６は、駆動ローラ６１をモータ（図示省略）により回転させることにより、受け取った基板３を基板収納部１の前又は後方向に搬送して送り出すことができる。
なお、基板収納部１内に収納されている基板３は、搬送用支持部材５と送り機構６によって、下位に位置するものから順に取り出される。
【００１８】
そして、搬送用支持部材５及び送り機構６は、基板３を基板収納部１の前又は後方向に搬送して外部に送り出すほか、送り出し時と逆動作を行うことにより、外部から送り込まれた基板３を基板収納部１内に受け入れ、支持部材２に受け渡して支持されるように構成することができる。
【００１９】
一方、本実施例の基板収納装置は、上記送り機構６の間で昇降可能に設けられ、送り機構６の受け取り位置の上方で基板３をエア浮上させながら支持するエア浮上装置８と、該エア浮上装置８により浮上支持した基板３の位置を修正する位置決め機構９とを設けている。
【００２０】
エア浮上装置８は、送り機構６の間で、図示省略する駆動装置により昇降可能に設けられ、送り機構６の受け取り位置の上方で、基板３をエア浮上させながら水平移動可能に支持することができる。
そして、このエア浮上装置８は、位置決め機構９により基板３の位置修正を行った後は、エア噴出を止めて基板３を直接支持し、さらに下降することにより、正確に位置決めした状態で基板３を送り機構６に渡すことができる。
【００２１】
位置決め機構９は、例えば、基板収納部１の左右にそれぞれ水平方向に移動可能に設けられたプッシュロッド９１を備え、基板３がエア浮上装置８により浮上した際に、左右両側から基板３を押すことにより、その位置を適正に修正することができる。
なお、一方のプッシュロッド９１の先端にはばね部材９２が配設されており、基板３の損傷が防止できるように配慮されている。
【００２２】
他方、基板収納装置の基板移送方向、すなわち、基板３を送り出したり、送り出した基板３を逆動作させることにより受け入れる方向には、搬送テーブル１０が設置されている。
この搬送テーブル１０は、図８に示すように、前記送り機構６と同一平面状で基板３を支持する送りローラ１１と、該送りローラ１１により搬送テーブル１０上に載置された基板３を持ち上げ、例えば、基板置台１３等に受け渡すハンド１２とを備えている。
なお、本実施例においては、１個のハンド１２を備えるようにしているが、これに限定されず、例えば、上下複数段に重畳したハンド１２を備えることもできる。
送りローラ１１は、回転駆動することにより、送り機構６により送り出された基板３を搬送テーブル１０上に導入する。
また、ハンド１２は送りローラ１１の隙間に設けられており、図８（ｂ）〜（ｇ）に示すように、昇降モータ１２ａ及び前後進モータ１２ｂにより昇降と前後移動が可能であるとともに、基板３を吸着するための真空吸着装置１４が多数設けられている。
そして、送りローラ１１の基板の送り方向と直交する方向にハンド１２の基端側昇降部１２ｃが没入する空間部１０ａを形成するようにする。
【００２３】
次に、図１〜図７を参照して、本実施例の基板収納装置の動作を説明する。
図１（ａ）において、基板収納部１内には、基板３が支持部材２３によって支持されており、基板３は上下に複数枚収納されている。
この場合、図１（ｂ）に示すように、取り出し対象となる１番下位の基板３’は、基板収納部１内にて位置がずれた状態にある。
【００２４】
このため、図１（ｂ）に示すように、昇降装置４により基板収納部１を下降させ、基板３をエア浮上装置８により支持させるとともに、エア浮上装置８を作動させて基板３をエア浮上させる。
【００２５】
次いで、図２（ｃ）に示すように、位置決め機構９を作動させて、エア浮上している基板３’のセンタリングを行う。
そして、図２（ｄ）に示すように、エア浮上装置８のエア噴出を止め、基板３’をエア浮上装置８上に着地させる。
【００２６】
さらに、図３（ｅ）に示すように、位置決め機構９を後退させるとともに、図３（ｆ）に示すように、エア浮上装置８を下降させることにより、基板３’を送り機構６の駆動ローラ６１の上に載置する。
【００２７】
次に、図４（ｇ）に示すように、駆動ローラ６１を駆動して基板３’を基板収納部１の外側に設けられた、搬送テーブル１０上に移動させる。
図４（ｈ）に示すように、搬送テーブル１０のハンド１２が上昇すると、基板３’は搬送テーブル１０から離れて、ハンド１２の上に載せられる。
【００２８】
そして、図５（ｉ）に示すように、ハンド１２が前進して製造装置１０の基板置台１３の上方に基板３’を移動させる。
次いで、図５（ｊ）に示すように、ハンド１２が下降して、基板３’は基板収納装置の基板置台１３の支持棒１５の上に載せられる。
【００２９】
図６（ｋ）（ｌ）に示すように、ハンド１２が後退するとともに、基板置台１３側では、図６（ｌ）に示すように、支持棒１５が下降して基板３’は基板置台１３の上に載せられる。
そして、図７（ｍ）に示すように、基板置台１３は製造装置１６の内部に移動する。
【００３０】
かくして、本実施例の基板収納装置は、複数の基板３を収納するようにした基板収納装置において、前記基板収納部１を昇降させる昇降装置４と、該基板収納部１の昇降により支持部材２間に挿入され、支持部材２に支持された基板３を受け取る複数の搬送用支持部材５と、該搬送用支持部材５の先端に設けられ、受け取った基板３を基板収納部１の外に送り出す送り機構６とを備えることから、基板収納部１を昇降させることにより、搬送用支持部材５の送り機構６で基板３を受け取って外部に送り出すことができ、これにより、ロボットハンドを挿入することなく基板３の出し入れを行い、支持部材２の上下間隔を小さくして、超大型基板３を収納するための基板収納装置の全高を低くするとともに製造ライン建屋の高さを低減し、設備費の低減に貢献することができる。
そして、前記送り機構６の間で昇降可能に設けられ、送り機構６の受け取り位置の上方で基板３をエア浮上させながら支持するエア浮上装置８と、該エア浮上装置８により浮上支持した基板３の位置を修正する位置決め機構９とを設けることにより、基板３の位置を修正し、その後、エア浮上装置８を下降させることにより、正確に位置決めした状態で基板３を送り機構６に渡すことができる。
【００３１】
以上、本発明の基板収納装置について、その実施例を説明したが、本発明の基板収納装置は、この実施例の記載に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜に変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の基板収納装置は、ロボットハンドを挿入することなく基板の出し入れを行うことにより、支持部材の上下間隔を小さくすることができるという特性を有していることから、液晶等の製造ラインに好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の基板収納装置の一実施例の動作を示し、（ａ）は第１段階の断面正面図、（ｂ）は第２段階の断面正面図である。
【図２】同実施例の動作を示し、（ｃ）は第３段階の断面正面図、（ｄ）は第４段階の断面正面図である。
【図３】同実施例の動作を示し、（ｅ）は第５段階の断面正面図、（ｆ）は第６段階の断面正面図である。
【図４】同実施例の動作を示し、（ｇ）は第７段階の側面図、（ｈ）は第８段階の側面図である。
【図５】同実施例の動作を示し、（ｉ）は第９段階の側面図、（ｊ）は第１０段階の側面図である。
【図６】同実施例の動作を示し、（ｋ）は第１１段階の側面図、（ｌ）は第１２段階の側面図である。
【図７】同実施例の動作を示し、（ｍ）は第１３段階の側面図である。
【図８】搬送テーブルを示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）〜（ｇ）は動作を示す側面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    基板収納部
２    支持部材
３    基板
４    昇降装置
５    搬送用支持部材
６    送り機構
６１  駆動ローラ
７    ベース
８    エア浮上装置
９    位置決め機構
９１  プッシュロッド
９２  ばね部材
１０  搬送テーブル
１１  送りローラ
１２  ハンド
１３  基板置台
１４  真空吸着装置
１５  支持棒
１６  製造装置
【図１】
0004731815.tif 000002
【図２】
0004731815.tif 000003
【図３】
0004731815.tif 000004
【図４】
0004731815.tif 000005
【図５】
0004731815.tif 000006
【図６】
0004731815.tif 000007
【図７】
0004731815.tif 000008
【図８】
0004731815.tif 000009