(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、この一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の自動較正方法において、
探針の針圧ｙを縦軸に、針圧発生装置のコイルに流す電流ｘを横軸とし、ａ、ｂ、ｃを定数とするとき、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係が、関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表され、ｙ＝０なるｘ＝ｘ０を求め、ｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０からｃを求めて、上記関数を縦軸方向にシフトすることにより、探針の交換による重量バランスの崩れによって生じる支点上の探針、変位センサの磁性体コア及び針圧発生装置の磁性体コアを含む支点上の可動部の重心のずれを自動的に較正することを特徴とする触針式段差計の自動較正方法。
【請求項２】
探針の針圧ｙが、探針の変位の時間変化を変位センサで測定し、変位を時間で2階微分し加速度を求め、支点回りの予定の慣性モーメント及び支点と探針との間の距離を用いて求められることを特徴とする請求項１に記載の触針式段差計の自動較正方法。
【請求項３】
コイルに流す電流xを粗く変動させ、探針の針圧ｙが0付近となるコイルに流す電
流ｘを求め、その付近でコイルに流す電流ｘを細かく変動させ、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係を求め、狭い範囲にあるコイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙの関係を一次式で近似し、最小２乗法で適合する一次式を求め、求めた一次式でy=0とおいてｘを解き、ｘ０とし、そのグラフ上の点（ｘ０, ０）を関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表わされる２次曲線が通るように、ｃの値を求め、このｃの値をコンピュータ装置に記録し、支点上の可動部の重心のずれの自動的較正をコンピュータ装置によって行なうことを特徴とする請求項1又は２に記載の触針式段差計の自動較正方法。
【請求項４】
被測定試料の表面に対して垂直方向に移動可能でしかも被測定試料の表面に沿って相対的に移動可能である探針と；
探針に被測定試料の表面に対して垂直方向に向う針圧を作用させる針圧発生装置と；
探針の垂直方向の変位を検出する変位センサと；
針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探
針の針圧の変化を自動的に較正する制御手段と；
を有し、
制御手段は、探針の針圧ｙを縦軸に、針圧発生装置のコイルに流す電流ｘを横軸とし、ａ、ｂ、ｃを定数とするとき、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係が、関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表され、表面形状の測定時に、探針の針圧ｙ１を設定した後、測定を開始させ、自動でｃの値を読み込み、ｙ１になるｘ＝ｘ１を上記関数から求め、ｘ１を出力して針圧発生装置のコイルに流す電流を制御するように構成されていることを特徴とする試料の表面形状を測定する触針式段差計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の表面形状を測定する触針式段差計及びその自動較正方法に関するものである。
【０００２】
本明細書において、用語“試料の表面形状”は試料の段差、膜厚、表面粗さの概念を包含して意味するものとする。
【背景技術】
【０００３】
従来技術による触針式段差計の一例を添付図面の図８に示す。図８において、Ａは探針で支点Ｂに揺動可能に取り付けられた支持体Ｃの一端に装着され、またこの一端に隣接して探針Ａの垂直方向変位を検出する変位センサＤが設けられている。変位センサＤは探針Ａの垂直方向変位に応じて電気信号を発生する差動トランスから成っている。一方、支持体Ｃの他端には探針Ａに針圧を加える針圧発生装置Ｅが設けられている。針圧発生装置Ｅは、コイルＦと、コイルＦの中心から軸方向にずれた位置に配置された高透磁率材のコアＧとを備え、コイルＦに流す電流の大きさに応じて発生される、高透磁率材のコアＧをコイルＦの中心へ引き込む力より探針Ａを試料に押し当てるように構成されている。そして試料または図８の検出系を走査することで探針Ａは試料表面をなぞり、その表面形状に応じて、固定された支点Ｂのまわりに微小に回転運動し、その変位を差動トランスＤで検出して試料の表面形状や段差が測定される。
【０００４】
また、測定試料の両面に、測定試料を挟んで二つの触針の先端を接触させ、二つの触針の先端を相互に直接接触させた場合との触針の移動距離の差により測定試料の膜厚を測定するようにした触針式膜厚測定技術は従来公知である（特許文献１参照）。
【０００５】
さらに、軸受けを中心として揺動自在のアームの端部に被測定物と接触する触針本体を設け、触針本体と被測定物との接触によって生じるアームの位置を検出して触針本体の変位量を求めるように構成した形状測定装置も公知である（特許文献２参照）。また、弾性ヒンジを介してアームをフレームに回動可能に支持し、アームの一端に触針を設け、アームの他端に可動プレートを設け、可動プレートを二枚の平行プレート間で移動できるようにし、これらのプレートでブリッジ電極を形成し、可動アームの回動によりブリッジのへ平衡が失われ、これにより触針の先端の変位量を測定するように構成した形状測定装置も公知である（特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平９−２２９６６３号
【特許文献２】特許第３４０１４４４号
【特許文献３】特表平８−５０２３５７号
【０００６】
ところで、この種の段差計においては、探針での力すなわち針圧の測定は次のようにして行なわれる。針圧発生装置のコイルに流す電流が０のときは、支点上の可動部の重量バランスにより、針は上に上がった状態になり、ストッパーに当たり静止している。針圧発生装置のコイルに適当な電流を流すと、発生した力により探針は下がる。そのときの針先変位ｚの時間変化を測定し、時間で２階微分して加速度を求めることにより、針圧を求めることができる。力と加速度の関係は、例えば数10 mgfの領域では、電子天秤等で針先での力F１を測り、そのときのコイル電流Ｉ１と力F１の関係を得て、このコイル電流Ｉ１での加速度α１を測れば、F１とα１の関係が得られる。力と加速度は比例関係なので、比例定数が得られたことになり、任意の加速度の値からそれに対応する力の値を算出できる。
【０００７】
探針の針圧をF、探針の針先のz方向位置をz、支点のまわりの慣性モーメントをＩ、支点から針先までの距離をrとし、支点回りの運動方程式を回転角が小さいとして変形すると次式が得られる。
F = Ｉ／ｒ２ ｄ２ｚ／ｄｔ２ 
即ち、力Fが働く場での、質量Ｉ／ｒ2の質点の運動とみなすことができる。つまり、前述の比例定数はＩ／ｒ2  を意味する。
【０００８】
なお、弱い力での測定が可能なものに原子間力顕微鏡があるが、変位の測定可能範囲は通常は数μmと狭く、制御系もカンチレバーのたわみ量、即ち力が一定になるように変位に対してフィードバックをかけるので測定、制御系が複雑、高価になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この種の段差計においては、探針の先が摩耗したら針を交換するが、そうすると支点上の可動部の重量バランスが崩れるので、コイル電流と力の関係を改めて求め直す必要がある。表面形状測定時に一般に必要とされる力の範囲は0.05 mgfから20 mgf程度であり、0.05 mgfの弱い力を正確に安定して出せる必要がある。つまり、0.05 mgf程度の弱い力の領域では、コイル電流と力の関係を0.05 mgfより十分に小さい誤差で求め直す必要がある。また、0.05 mgfから20 mgf程度の広い範囲でもその関係を求め直す必要がある。しかし、これらを行うには多大な時間と労力を要する。また、求め直した関係をコンピュータのプログラムに改めて書き込むのに手間がかかることになる。
【００１０】
本発明が対象としている触針式段差計は、数100μmから数ｍｍまでの範囲の変位が測定可能であり、センサ、計測、制御系が非常に簡単な構造、構成であり安価という利点をもち、しかも変位分解能が測定時定数3msで0.3nmと高いものである。
【００１１】
そこで、本発明は、触針式段差計において探針を交換した後に行う力の較正を自動的に短時間で正確に行う方法及び該自動較正機能を備えた触針式段差計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の発明によれば、支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、この一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の自動較正方法において、
探針の針圧ｙを縦軸に、針圧発生装置のコイルに流す電流ｘを横軸とし、ａ、ｂ、ｃ
を定数とするとき、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係が、関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表され、ｙ＝０なるｘ＝ｘ０を求め、ｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０からｃを求めて、上記関数を縦軸方向にシフトすることにより、探針の交換による重量バランスの崩れによって生じる支点上の探針、変位センサの磁性体コア及び針圧発生装置の磁性体コアを含む支点上の可動部の重心のずれを自動的に較正することを特徴としている。
【００１３】
本発明の方法においては、探針の交換による重量バランスの崩れによって生じる支点上の探針、変位センサの磁性体コア及び針圧発生装置の磁性体コアを含む可動部の重心のずれが自動的に較正され得る。
【００１５】
本発明の方法においては、探針の針圧ｙは、探針の変位の時間変化を変位センサで測定し、変位を時間で2階微分し加速度を求め、支点回りの予定の慣性モーメント及び支点と探針との間の距離を用いて求められ得る。
【００１６】
支点上の可動部の重心のずれの自動的較正はコンピュータ装置によって行なわれ、コイルに流す電流xを粗く変動させ、探針の針圧ｙが0付近となるコイルに流す電流ｘを求め、その付近でコイルに流す電流ｘを細かく変動させ、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係を求め、狭い範囲にあるコイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙの関係を一次式で近似し、最小２乗法で適合する一次式を求め、求めた一次式でy=0とおいてｘを解き、ｘ０とし、そのグラフ上の点（ｘ０, ０）を関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表わされる２次曲線が通るように、ｃの値を求め、このｃの値をコンピュータに記録することから成り得る。
【００１７】
本発明の第２の発明によれば、被測定試料の表面に対して垂直方向に移動可能でしかも被測定試料の表面に沿って相対的に移動可能である探針と；
探針に被測定試料の表面に対して垂直方向に向う針圧を作用させる針圧発生装置と；
探針の垂直方向の変位を検出する変位センサと；
針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探
針の針圧の変化を自動的に較正する制御手段と；
を有し、
制御手段は、探針の針圧ｙを縦軸に、針圧発生装置のコイルに流す電流ｘを横軸とし、ａ、ｂ、ｃを定数とするとき、コイルに流す電流ｘと探針の針圧ｙとの関係が、関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃで表され、表面形状の測定時に、探針の針圧ｙ１を設定した後、測定を開始させ、自動でｃの値を読み込み、ｙ１になるｘ＝ｘ１を上記関数から求め、ｘ１を出力して針圧発生装置のコイルに流す電流を制御するように構成されていることを特徴とする試料の表面形状を測定する触針式段差計が提供される。
【発明の効果】
【００１９】
上述のように、本発明の第１の発明の方法によれば、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正するように構成したことにより、針交換の影響は力の一定の変化と考えることができ、コイル電流と力の関係を広範囲で取り直す必要がなく、探針の交換に伴う重量バランスの崩れに対する探針の針圧の較正を短時間で正確に行うことができる。
【００２０】
また、本発明の第１の発明の方法において、力が小さい領域での測定結果から、コイル電流と力の関係式を導出することにより、高精度が要求される弱い力の領域での関係式の精度を高くすることができ、その結果、針圧の較正を高精度で行うことができる。
【００２１】
また、本発明の第２の発明による触針式段差計では、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正する制御手段を設けたことにより、較正及び表面形状測定時での較正結果の使用がコンピュータ装置で自動的になされるので、時間と労力が削減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面の図１〜図７を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００２３】
図１には、本発明が適用される触針式段差計の一形態を示し、１は固定支持台で、その上に支点２を介して揺動支持棒３が設けられ、この揺動支持棒３の一端には探針４が下向きに取り付けられている。探針４はその先端はダイヤモンドで構成され、また先端の半径は一般的には２．５μｍであるが、それより大きくても小さくてもよい。また、揺動支持棒３の他端には探針４に垂直下方の力すなわち針圧を加える力を発生する針圧発生装置５が設けられている。この針圧発生装置５は、揺動支持棒３の他端から上方へのびる磁性体コアから成る作動子５ａと作動子５ａを受ける穴をもつコイル５ｂとで構成されている。揺動支持棒３の一端における探針４より支点２側において、探針４の垂直方向の変位を検出する変位センサ６が設けられ、この変位センサ６は揺動支持棒３に一端を固定した磁性体コアから成る測定子６ａと測定子６ａの他端すなわち自由端を受けるコイル６ｂとを備えた差動トランスで構成されている。
【００２４】
また、図１において７は試料ホルダーで、その上に走査ステージ８が探針４に対して予定の操作速度で移動できるように設けられ、この走査ステージ８上には被測定試料９が取り付けられ得る。
【００２５】
針圧発生装置５及び探針４の垂直方向の変位を検出する変位センサ６は制御手段１０に接続され、この制御手段は検出手段６からの出力信号に基いて針圧発生装置５の動作を制御するように構成されている。なお、図１の装置において試料９を固定して探針側を走査するように構成することも可能である。
【００２６】
図２には図１に示す制御手段１０の構成の一例を示している。図２において、１１はコンピュータ装置で、このコンピュータ装置１１はアナログ入出力ボード１２を介して、針圧発生装置５におけるコイル５ｂに接続された針圧発生装置用電源１３及び走査ステージ８の駆動装置１４にそれぞれ接続されている。また、コンピュータ装置１１は、汎用インターフェースボード１５を介してデジタルロックイン増幅器及び発振器を備えた検出回路１６に接続され、この検出回路１６は変位センサ６を成す差動トランスの一次コイル及び二次コイルに接続されている。
【００２７】
本発明においては、探針４の針圧ｙと針圧発生装置５におけるコイル５ｂに流すコイル電流xとの関係は  ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃ  （ａ、ｂ、ｃは定数）と表すことができ、探針の交換に伴う重量バランスの崩れの較正は定数ｃを求め直すことに帰結される。そのためには、ｙ＝０になるxの値ｘ０を求め、それからｃを求め、コンピュータ装置１１の記録装置に保存する。この較正操作はコンピュータ装置１１により自動で行なわれる。
【００２８】
以下較正操作について詳細に説明する。上述のように、探針４の針圧ｙと針圧発生装置５におけるコイル５ｂに流すコイル電流xとの関係は  ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃの二次関数で表すことができる。図3において丸印は測定データで、実線はフィットさせた二次式であり、下向きの力は負で表している。定数ａ、ｂ、ｃは、この例ではそれぞれ−２０５８．３、１４．９２４、０．２３３３２であり、従って二次式はy = −２０５８．３ｘ2 + １４．９２４ｘ+ ０．２３３３２である。測定データとフィッティング関数との一致の度合いを示す相関係数は0.99997と高く、非常によくフィットすることを示している。
【００２９】
探針の交換が及ぼす影響は、支点２上の可動部すなわち探針４、変位センサ６の測定子６ａ及び及び針圧発生装置５の作動子５ａの重心位置が変わることである。可動部の構造から重心のｚ方向への移動は、針圧発生装置５のコイル５ｂに流す電流xと力yの関係にはほとんど影響しない。支点２と重心位置のｘ成分の差が問題となる。その差によりコイル電流が０での力（針を上げる方向）が決まっている。つまり、重心位置のずれの影響は、一定の力の増加または減少であり、前述の関数ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃのｃの値を変えることである。従って、ｃの値を正確に求めればよい。
【００３０】
特に正確さを要求されるのは小さい力の領域なので、力yが０になる針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘ０を求め、ｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０からcを求めればよい。針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘ０は、コンピュータ装置１１にプログラムすることにより次のようにして自動的に求められる。
１．針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘを小さい値から粗く振り、力yが正から負になるxを求める。
２．そのｘ付近の狭い範囲で、xを細かく振り、xとyの関係を得る。
３．その狭い範囲での関係は1次式で近似でき、その式から針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘ０を求める。
こうして求めたcの値はコンピュータ装置１１の記録装置に保存される。
【００３１】
以下図４を参照して力の較正の手順について説明する。
計測器のデータメモリやパソコン用のアナログ電圧入力ボードのバッファを用いて１０μsから１ ms間隔で変位を計測し、１０点程度ごとの移動平均処理等を行えば、実際にはノイズがある変位計測値からでも精度よく加速度、力を求めることができる。
【００３２】
このような測定を様々なコイル電流で行い、例えば図３のようなコイル電流と力の関係を得る。コイル電流xと力yの関係は２次式ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃでフィットできる。つまり、フィットするようにa、b、cを求める。そして、それらの値をコンピュータ装置１１内に保存しておく。
【００３３】
探針４を交換しないで触針式段差計で表面形状を測定する場合には、それらの値と関係式を使って、指定した力ｙからそれを出すためのコイル電流ｘを逆算して求めて出力する。すなわち、コンピュータ装置１１は、コンピュータ装置１１のファイルに記憶された針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘと力ｙとの関係ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃにおける定数ｃをファイルから読み込み、指定した力ｙから針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘを計算する。計算したコイル電流ｘに基き、コンピュータ装置１１はアナログ入出力ボード１２を介して針圧発生装置用電源１３に制御信号を出力する。それにより針圧発生装置用電源１３から針圧発生装置５のコイル５ｂに設定された電流が流され、コイル５ｂは励磁され、探針４に針圧が加わり、表面形状の測定が行われる。
【００３４】
一方、探針４を交換して触針式段差計で表面形状を測定する場合には、上記関係式において変化した定数ｃを求め直す。定数ｃを求め直すために、力ｙが小さい領域において、力yが０になる針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘ＝ｘ０が精密に求められる。すなわち、ｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０からcを求める。針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流ｘ０は、コンピュータ装置１１にプログラムすることにより上述のようにして自動的に求められ、ｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０からcが求められる。こうして求めた定数ｃはコンピュータ装置１１のファイルに書き直され、交換した探針に合った較正が自動的に行われる。こうした状態で、表面形状を測定する際には、コンピュータ装置１１のモニター上で力y１を指定すると、cの値が読み込まれ  ｙ１＝ａｘ１２＋ｂｘ１＋ｃを満たすコイル電圧ｘ１が計算され、コンピュータ装置１１からアナログ入出力ボード１２を介して針圧発生装置用電源１３に制御信号を出力する。それにより針圧発生装置用電源１３から針圧発生装置５のコイル５ｂに設定された電流が流され、コイル５ｂは励磁され、探針４に適切な針圧が加わり、表面形状の測定が行われる。
【実施例】
【００３５】
以下、本発明の実施例について例示する。
図５には、探針４の針先の変位の時間変化を測定した例を示す。時間０で針圧発生装置５のコイル５ｂに流すコイル電流を０から２．３６×１０−２Ａにした後の針先の変位ｚの時間変化である。ｚ＝−１．３ｍｍに下限ストッパーがあり、探針４の針先がこの下限ストッパーに達した後、跳ね返り、振動を繰り返す。
【００３６】
図６には、変位センサ６で使用するｚの範囲が−０．１５から+０．１５ｍｍなので、その間（時間は４００から４５０ms）での速度ｖ＝ｄｚ／ｄｔを求めた結果を示す。なお、図５の時間の原点には意味はなく、横軸の左端でｚ＝＋０．１５ｍｍであり、右端でｚ＝−０．１５ｍｍである。このグラフの傾きから加速度α＝ｄｖ／ｄｔを求めている。この加速度αから前述のように既知の慣性モーメント、支点と探針との間の距離を用いて探針４の針先での力すなわち針圧が算出され、この例では力は約０．２７ ｍｇｆである。
【００３７】
探針４を交換した後には関係式ｙ＝ａｘ２＋ｂｘ＋ｃにおいて定数a、bは変化せず、cが変わるので、このcのみを求め直す。そのためには前述のように力ｙが０になるコイル電流ｘ０を求める。この値ｘ０を見つけるために、コイル電流xを例えば０Ａから0．４×１０−２Ａ間隔で増やしながら、力ｙを測定していく。そうすると力が正から負に変わるｘ1が見つかる。
【００３８】
精度よく値ｘ０を出すために、ｘ1の辺りで例えば0．４×１０−３Ａ間隔でｘを振り、力ｙを測定する。その結果の例を図７の丸印で示す。針圧発生装置用電源１３は電圧ノイズが0.01Vよりも小さいものを用いており、０．０５ mgfの弱い力が精度よく測定でき、また出力できることを示している。これら測定データに最小2乗法により1次式でフィットさせたのが図７における実線である。この1次式がx軸を横切るｘをｘ０とする。図７から対応する力の誤差が０．０５mgfより十分小さくｘ０が決まることが分かる。
【００３９】
このｘ０を用いてｙ＝ａｘ０２＋ｂｘ０＋ｃ＝０ とおいて解けばcが求まる。こうして求め直した定数ｃはコンピュータ装置１１のハードディスク内のその値が書かれたファイルを書き直し保存する。表面形状の測定時には、コンピュータ装置１１のモニター上で力y１を指定すると、そのファイルからcの値が読み込まれ  ｙ１＝ａｘ１２＋ｂｘ１＋ｃを満たすコイル電圧x１が計算され出力される。
【００４０】
ところで、上述の実施形態では、電流で制御しているが、代わりに電圧で制御することもでき、その場合にはコイルの抵抗値は約50Ωであるので、それから換算すれば電圧との関係も求まる。本発明では特に電流の関数とする必要はない。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明を実施している触針式段差計の構成を概略部分断面図。
【図２】図１における制御手段の構成の一例を示すブロック線図。
【図３】針圧発生装置のコイルに流れるコイル電流と力の関係を例示するグラフ。
【図４】コンピュータ装置による力の較正の手順を示すフロー線図。
【図５】探針の針先変位の時間変化を例示するグラフ。
【図６】探針の針先速度の時間変化を例示するグラフ。
【図７】力が０付近での力の測定例を示すグラフ。
【図８】探針式段差計の従来例を示す概略図。
【符号の説明】
【００４２】
１：固定支持台
２：支点
３：揺動支持棒
４：探針
５：針圧発生装置
６：変位センサ
７：試料ホルダー
８：走査ステージ
９：被測定試料
１０：制御手段
１１：コンピュータ装置
１２：アナログ入出力ボード
１３：針圧発生装置用電源
１４：駆動装置
１５：汎用インターフェースボード
１６：検出回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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