【手続補正書】
【提出日】平成15年11月17日(2003.11.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】化学的処理装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ある圧力と流速をもって内部で処理液を流通しながら被処理部材に化学的処理を行う閉鎖型処理カップと、前記処理液を貯蔵する貯液タンクと、前記貯液タンクから前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給するポンプとを備え、前記ポンプが前記閉鎖型処理カップ内の処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させるように構成されたことを特徴とする化学的処理装置。
【請求項２】
前記ポンプが脈動式ポンプで構成され、この脈動式ポンプは前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項１記載の化学的処理装置。
【請求項３】
前記脈動式ポンプがベローズポンプで構成され、このベローズポンプはベローズを周期的に脈動させて前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給し、前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項２記載の化学的処理装置。
【請求項４】
前記脈動式ポンプがダイヤフラムポンプで構成され、このダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを周期的に脈動させて前記処理液を前記閉鎖型処理カップへ供給し、前記閉鎖型処理カップ内を流通する処理液の圧力と流速の少なくとも一方を周期的に変化させることを特徴とする請求項２記載の化学的処理装置。
【請求項５】
前記閉鎖型処理カップに対する処理液の供給路と、前記閉鎖型処理カップに対する処理液の排出路と、前記処理液の排出路に設けられた流量絞り弁とを更に備えた請求項１から４の何れかに記載の化学的処理装置。
【請求項６】
ある圧力と流速をもって内部で処理液を流通しながら被処理部材に化学的処理を行う閉鎖型処理カップと、前記処理液を貯蔵する貯液タンクと、前記貯液タンクから前記処理液を前記閉鎖型処理カップに供給するポンプ装置とを備え、前記閉鎖型処理カップ内の処理液の流通方向が周期的に変化するように構成されたことを特徴とする化学的処理装置。
【請求項７】
前記閉鎖型処理カップは第１、第２の処理液流通口を有し、前記ポンプ装置は第１、第２のポンプを有し、この第１のポンプは前記閉鎖型処理カップ内で処理液を前記第１の処理液流通口から前記第２の処理液流通口へ流通させ、また第２のポンプは前記閉鎖型処理カップ内で処理液を前記第２の処理液流通口から前記第１の処理液流通口へ流通させるように構成されている請求項６記載の化学的処理装置。
【請求項８】
前記閉鎖型処理カップの第１、第２の処理液流通口にそれぞれ連通する第１、第２の処理液流通路と、これらの処理液流通路のそれぞれに設けられた第１、第２の流量制御弁とを備え、前記閉鎖型処理カップ内において、前記処理液が前記第１の処理液流通口から前記第２の処理液流通口へ流通する場合には、前記第２の処理液流通口に連通する前記第２の処理液流通路に設けられた前記第２の流量制御弁が流量絞り弁とされ、また前記処理液が前記第２の処理液流通口から前記第１の処理液流通口へ流通する場合には、前記第１の処理液流通口に連通する前記第１の処理液流通路に設けられた前記第１の流量制御弁が流量絞り弁とされる請求項７記載の化学的処理装置。
【請求項９】
前記被処理部材が一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のブラインドホールを有し、各ブラインドホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記被処理部材を前記閉鎖型処理カップ内に配置して、各ブラインドホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
【請求項１０】
前記被処理部材が半導体ウエハであり、この半導体ウエハは一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のバイアホールを有し、各バイアホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記閉鎖型処理カップ内に配置され、各バイアホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
【請求項１１】
前記被処理部材がプリント基板であり、このプリント基板は一方の開口が開放され他方の開口が塞がれた複数のスルーホールを有し、各スルーホールの開放された開口が流通する処理液に接するようにして前記閉鎖型処理カップ内に配置され、各スルーホールの内表面を含む表面に化学的処理が行われることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の化学的処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、閉鎖型処理カップを用いて被処理部材に化学的処理を行う化学的処理装置に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明は、このような残渣除去処理、無電解メッキ層、電解メッキ層などの欠陥部の発生を抑えることのできる改良された化学的処理装置を提案するものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】削除
【補正の内容】