【手続補正書】
【提出日】平成16年1月19日(2004.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子機器と電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも表示部と水晶発振器から構成される電子機器で、前記電子機器は少なくとも二個の水晶発振器を具えて構成され、その内の二個の水晶発振器はそれぞれ異なる振動モードの水晶振動子を具えて構成されていて、
前記二個の各水晶発振器は増幅回路と帰還回路から構成される水晶発振回路を具えて構成され、前記増幅回路は少なくとも増幅器から構成され、かつ、前記帰還回路は少なくとも水晶振動子とコンデンサーから構成される水晶発振回路を具えて構成される水晶発振器で、前記二個の水晶発振器の内の、一個の水晶発振器を構成する帰還回路の前記異なる振動モードの水晶振動子の内の一つは、屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部から成る音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は上面と下面と側面とを有し、前記音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記溝と前記音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極で、かつ、前記音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成し、音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２より大きい音叉型屈曲水晶振動子を具えて前記一個の水晶発振器は構成されると共に、
増幅回路と少なくとも前記音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が、増幅回路の２次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ２｜と２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２との比より大きくなるように前記一個の水晶発振器は構成されていて、
前記音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成された水晶発振回路の出力信号が、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数で、前記発振周波数は３２．７６８ｋＨｚの周波数に対して、−１００ＰＰＭから＋１００ＰＰＭの範囲内にあり、前記出力信号は電子機器の表示部に時間を表示する信号であることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
請求項１に記載の電子機器で、増幅回路と帰還回路を具えて構成される水晶発振回路の、増幅回路はＣＭＯＳインバータと帰還抵抗素子を具えて構成され、前記帰還回路は音叉腕に溝を有する音叉型屈曲水晶振動子と容量素子とドレイン抵抗素子とを具えて構成され、前記増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と２次高調波モード振動の増幅率α２との比が、帰還回路の２次高調波モード振動の帰還率β２と基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように前記水晶発振回路が構成されていることを特徴とする電子機器。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電子機器で、前記音叉型屈曲水晶振動子は幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕を具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、少なくとも１個の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、及び／又は部分幅Ｗ３より大きく形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、前記音叉腕に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が０．７９より小さくなるように、溝が音叉型屈曲水晶振動子に形成されていることを特徴とする電子機器。
【請求項４】
請求項３に記載の電子機器で、前記２電極端子に直流電圧を印加した時に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とが同じで、更に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とが同じで、かつ、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の内側に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の外側に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とは互いに方向が反対で、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕のそれぞれ厚み方向に対抗して設けられた溝に配置された電極の、対抗する溝電極と溝電極との間には前記溝電極間に電界が厚み方向に発生しないように、音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕に電極が配置されていて、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は前記２電極端子間に印加された交番電圧によって、逆相で、かつ、基本波モード振動の屈曲モードで振動することを特徴とする電子機器。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載の電子機器で、音叉腕に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５〜０．８５の範囲内にあり、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．０１〜０．７９の範囲内に、かつ、音叉腕又は音叉腕と音叉基部に設けられた溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．７８の範囲内にあると共に、音叉腕に設けられた溝の、少なくとも１個の溝の長さ（ｌ１−ｌ３）と音叉腕の長さ（ｌ−ｌ２）との比が、０．４〜０．８で、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の圧電定数ｅ１２の絶対値が０．０９５〜０．１８Ｃ／ｍ２の範囲内にあることを特徴とする電子機器。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の電子機器で、音叉腕に溝を有する音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２が基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１より大きく、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２が３０より小さいことを特徴とする電子機器。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の電子機器で、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される前記二個の水晶発振器の内、一個の水晶発振器を構成する帰還回路の水晶振動子は、屈曲モード振動と異なる振動モードの幅縦水晶振動子又は厚みすべり水晶振動子で、かつ、前記水晶振動子を具えて構成される水晶発振器の出力信号を前記電子機器の時間表示以外に用いたことを特徴とする電子機器。
【請求項８】
少なくとも表示部と水晶振動子からなる水晶発振器を具えて構成される電子機器で、前記電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法であって、
前記電子機器は少なくとも二個の水晶発振器を具えて構成され、少なくとも二個の水晶発振器の内、一個の水晶発振器は音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成されている水晶発振器で、
前記水晶発振器はＣＭＯＳインバータと帰還抵抗素子からなる増幅回路と、音叉型屈曲水晶振動子とコンデンサーとドレイン抵抗素子からなる帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成されていて、
前記音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の上下面の少なくとも１面に溝を形成する工程、と
溝の中に電極を配置する工程、とを有し、
前記音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成される前記一個の水晶発振器を構成する水晶発振回路の出力信号が、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数で、前記出力信号は電子機器の前記表示部に時間を表示する信号であることを特徴とする電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法。
【請求項９】
請求項８の水晶発振器の製造方法において、前記一個の水晶発振器を構成する帰還回路の音叉型屈曲水晶振動子は、幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面にはそれぞれ厚みの方向に対抗して溝が設けられ、前記溝は第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、少なくとも１個の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、Ｗ３と等しいか、又は部分幅Ｗ１、Ｗ３より大きくなるように形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、音叉腕に生ずる慣性モーメントが大きくなるように、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．７９より小さくなるように音叉腕に溝が形成されていて、音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２より大きく、かつ、Ｍ２は３０より小さい音叉型屈曲水晶振動子を具えて前記一個の水晶発振器は構成されていることを特徴とする電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法。
【請求項１０】
請求項８又は請求項９の水晶発振器の製造方法において、増幅回路と音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と２次高調波モード振動の増幅率α２との比が、帰還回路の２次高調波モード振動の帰還率β２と基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１との積が１より大きく前記一個の水晶発振器は構成されていて、前記水晶発振回路の出力信号となる発振周波数が３２．７６８ｋＨｚの周波数に対して、−１００ＰＰＭ〜＋１００ＰＰＭの範囲内で、更に、音叉腕、又は音叉腕と音叉基部の上下面に各々１個の溝が設けられ、前記音叉腕、又は前記音叉腕と前記音叉基部に設けられた溝の内、少なくとも１個の溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．７８の範囲内にあり、音叉腕に溝を有する前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕から構成され、前記音叉腕間の間隔Ｗ４が０．０５ｍｍ〜０．３５ｍｍで、かつ、間隔Ｗ４が前記音叉腕の上下面の各々１個の溝のそれぞれの溝幅Ｗ２より大きいか、又は等しく形成されていることを特徴とする電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０のいずれかの水晶発振器の製造方法において、増幅回路と音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が、増幅回路の２次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ２｜と２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２との比より大きくなるように前記一個の水晶発振器は構成されていることを特徴とする電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法。
【請求項１２】
請求項８から請求項１１のいずれかの水晶発振器の製造方法において、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される少なくとも一個の水晶発振器を構成する帰還回路の水晶振動子は、屈曲モード振動と異なる幅縦モード振動又は厚みすべりモード振動の水晶振動子で、かつ、前記水晶振動子を具えて構成される水晶発振器の出力信号を電子機器の時間表示以外に用いることを特徴とする電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
即ち、本発明の電子機器の第１の態様は、少なくとも表示部と水晶発振器から構成される電子機器で、前記電子機器は少なくとも二個の水晶発振器を具えて構成され、その内の二個の水晶発振器はそれぞれ異なる振動モードの水晶振動子を具えて構成されていて、前記二個の各水晶発振器は増幅回路と帰還回路から構成される水晶発振回路を具えて構成され、前記増幅回路は少なくとも増幅器から構成され、かつ、前記帰還回路は少なくとも水晶振動子とコンデンサーから構成される水晶発振回路を具えて構成される水晶発振器で、前記二個の水晶発振器の内の、一個の水晶発振器を構成する帰還回路の前記異なる振動モードの水晶振動子の内の一つは、屈曲モードで振動する音叉腕と音叉基部から成る音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は上面と下面と側面とを有し、前記音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕に溝が設けられ、前記溝と前記音叉腕の側面に電極が配置され、前記溝の側面の電極とその電極に対抗する音叉腕の側面の電極とが互いに異極で、かつ、前記音叉腕が逆相で振動するように溝と電極を形成し、音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２より大きい音叉型屈曲水晶振動子を具えて前記一個の水晶発振器は構成されると共に、増幅回路と少なくとも前記音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が、増幅回路の２次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ２｜と２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２との比より大きくなるように前記一個の水晶発振器は構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成された水晶発振回路の出力信号が、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数で、前記発振周波数は３２．７６８ｋＨｚの周波数に対して、−１００ＰＰＭから＋１００ＰＰＭの範囲内にあり、前記出力信号は電子機器の表示部に時間を表示する信号である電子機器である。
本発明の電子機器の第２の態様は、第１の態様に記載の電子機器で、増幅回路と帰還回路を具えて構成される水晶発振回路の、増幅回路はＣＭＯＳインバータと帰還抵抗素子を具えて構成され、前記帰還回路は音叉腕に溝を有する音叉型屈曲水晶振動子と容量素子とドレイン抵抗素子とを具えて構成され、前記増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と２次高調波モード振動の増幅率α２との比が、帰還回路の２次高調波モード振動の帰還率β２と基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１の積が１より大きくなるように前記水晶発振回路が構成されている電子機器である。
本発明の電子機器の第３の態様は、第１の態様又は第２の態様に記載の電子機器で、前記音叉型屈曲水晶振動子は幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕を具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、少なくとも１個の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、及び／又は部分幅Ｗ３より大きく形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、前記音叉腕に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が０．７９より小さくなるように、溝が音叉型屈曲水晶振動子に形成されている電子機器である。
本発明の電子機器の第４の態様は、第３の態様に記載の電子機器で、前記２電極端子に直流電圧を印加した時に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側に存在する音叉腕の内側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とが同じで、更に、前記第１音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の叉部側と反対の位置に存在する音叉腕の外側側面の電極と、その電極に対抗して配置された溝側面の電極との間に前記電極間に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とが同じで、かつ、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の内側に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向と、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕の中立線に対して音叉の外側に発生する電界の、ｘ軸方向に存在する電界成分の方向とは互いに方向が反対で、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕のそれぞれ厚み方向に対抗して設けられた溝に配置された電極の、対抗する溝電極と溝電極との間には前記溝電極間に電界が厚み方向に発生しないように、音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕に電極が配置されていて、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕は前記２電極端子間に印加された交番電圧によって、逆相で、かつ、基本波モード振動の屈曲モードで振動する電子機器である。
本発明の電子機器の第５の態様は、第３の態様又は第４の態様に記載の電子機器で、音叉腕に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５〜０．８５の範囲内にあり、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．０１〜０．７９の範囲内に、かつ、音叉腕又は音叉腕と音叉基部に設けられた溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．７８の範囲内にあると共に、音叉腕に設けられた溝の、少なくとも１個の溝の長さ（ｌ１−ｌ３）と音叉腕の長さ（ｌ−ｌ２）との比が、０．４〜０．８で、かつ、前記音叉型屈曲水晶振動子の圧電定数ｅ１２の絶対値が０．０９５〜０．１８Ｃ／ｍ２の範囲内にある電子機器である。
本発明の第６の態様は、第１の態様から第５の態様のいずれかに記載の電子機器で、音叉腕に溝を有する音叉型屈曲水晶振動子の２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２が基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１より大きく、かつ、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２が３０より小さい電子機器である。
本発明の第７の態様は、第１の態様から第６の態様のいずれかに記載の電子機器で、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される前記二個の水晶発振器の内、一個の水晶発振器を構成する帰還回路の水晶振動子は、屈曲モード振動と異なる振動モードの幅縦水晶振動子又は厚みすべり水晶振動子で、かつ、前記水晶振動子を具えて構成される水晶発振器の出力信号を前記電子機器の時間表示以外に用いた電子機器である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法の第１の態様は、少なくとも表示部と水晶振動子からなる水晶発振器を具えて構成される電子機器で、前記電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法であって、前記電子機器は少なくとも二個の水晶発振器を具えて構成され、少なくとも二個の水晶発振器の内、一個の水晶発振器は音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成されている水晶発振器で、前記水晶発振器はＣＭＯＳインバータと帰還抵抗素子からなる増幅回路と、音叉型屈曲水晶振動子とコンデンサーとドレイン抵抗素子からなる帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成されていて、前記音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の上下面の少なくとも１面に溝を形成する工程、と溝の中に電極を配置する工程、とを有し、前記音叉型屈曲水晶振動子を具えて構成される前記一個の水晶発振器を構成する水晶発振回路の出力信号が、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の発振周波数で、前記出力信号は電子機器の前記表示部に時間を表示する信号である電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法である。
本発明の電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法の第２の態様は、第１の態様に記載の水晶発振器の製造方法において、前記一個の水晶発振器を構成する帰還回路の音叉型屈曲水晶振動子は、幅と厚みと長さとを有する音叉腕と音叉基部とを具えて構成され、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕の一端部は音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記音叉腕は少なくとも第１音叉腕と第２音叉腕とを具えて構成され、前記第１音叉腕と前記第２音叉腕と前記音叉基部とはエッチング法によって一体に形成されていて、第１音叉腕と第２音叉腕の上下面にはそれぞれ厚みの方向に対抗して溝が設けられ、前記溝は第１音叉腕と第２音叉腕の上下面に各々１個の溝が設けられ、少なくとも１個の溝幅Ｗ２は部分幅Ｗ１、Ｗ３と等しいか、又は部分幅Ｗ１、Ｗ３より大きくなるように形成され、且つ、各々の溝には第１音叉腕の溝の電極と第２音叉腕の溝の電極との極性が異なる電極が配置されると共に、前記溝の電極と対抗して配置された音叉腕の側面の電極とは極性が異なる２電極端子を構成し、前記２電極端子の内、１電極端子は第１音叉腕の上下面の溝に配置された電極と第２音叉腕の両側面に配置された電極から構成され、且つ、上下面の溝に配置された前記電極と両側面に配置された前記電極とが接続され、他の１電極端子は第１音叉腕の両側面に配置された電極と第２音叉腕の上下面の溝に配置された電極から構成され、且つ、両側面に配置された前記電極と上下面の溝に配置された前記電極とが接続されていて、音叉腕に生ずる慣性モーメントが大きくなるように、音叉腕の上下面に設けられた各々１個の溝の内、少なくとも１個の溝幅Ｗ２と音叉腕幅Ｗとの比（Ｗ２／Ｗ）が、０．３５より大きく、１より小さく、且つ、前記溝の厚みｔ１と音叉腕の厚みｔとの比（ｔ１／ｔ）が、０．７９より小さくなるように音叉腕に溝が形成されていて、音叉腕に溝を有する前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ２より大きく、かつ、Ｍ２は３０より小さい音叉型屈曲水晶振動子を具えて前記一個の水晶発振器は構成されている電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法である。
本発明の電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法の第３の態様は、第１の態様又は第２の態様に記載の水晶発振器の製造方法において、増幅回路と音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の増幅率α１と２次高調波モード振動の増幅率α２との比が、帰還回路の２次高調波モード振動の帰還率β２と基本波モード振動の帰還率β１との比より大きく、かつ、基本波モード振動の増幅率α１と基本波モード振動の帰還率β１との積が１より大きく前記一個の水晶発振器は構成されていて、前記水晶発振回路の出力信号となる発振周波数が３２．７６８ｋＨｚの周波数に対して、−１００ＰＰＭ〜＋１００ＰＰＭの範囲内で、更に、音叉腕、又は音叉腕と音叉基部の上下面に各々１個の溝が設けられ、前記音叉腕、又は前記音叉腕と前記音叉基部に設けられた溝の内、少なくとも１個の溝の長さｌ１と音叉型屈曲水晶振動子の全長ｌとの比（ｌ１／ｌ）が、０．２〜０．７８の範囲内にあり、音叉腕に溝を有する前記音叉腕は第１音叉腕と第２音叉腕から構成され、前記音叉腕間の間隔Ｗ４が０．０５ｍｍ〜０．３５ｍｍで、かつ、間隔Ｗ４が前記音叉腕の上下面の各々１個の溝のそれぞれの溝幅Ｗ２より大きいか、又は等しく形成されている電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法である。
本発明の電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法の第４の態様は、第１の態様から第３の態様のいずれかに記載の水晶発振器の製造方法において、増幅回路と音叉型屈曲水晶振動子から成る帰還回路とを具えて構成される水晶発振回路を具えて構成される前記一個の水晶発振器の、増幅回路の基本波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ１｜と基本波モード振動の等価直列抵抗Ｒ１との比が、増幅回路の２次高調波モード振動の負性抵抗の絶対値｜−ＲＬ２｜と２次高調波モード振動の等価直列抵抗Ｒ２との比より大きくなるように前記一個の水晶発振器は構成されている電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法である。
本発明の電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法の第５の態様は、第１の態様から第４の態様のいずれかに記載の水晶発振器の製造方法において、増幅回路と帰還回路とを具えて構成される少なくとも一個の水晶発振器を構成する帰還回路の水晶振動子は、屈曲モード振動と異なる幅縦モード振動又は厚みすべりモード振動の水晶振動子で、かつ、前記水晶振動子を具えて構成される水晶発振器の出力信号を電子機器の時間表示以外に用いる電子機器に用いられる水晶発振器の製造方法である。