(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
低温槽あるいは高温槽内に、水平軸線の回りに回転可能な一対のスプロケットを上下方向に離間して設け、該一対のスプロケット間に無端チェーンを鉛直面内で周回運動可能に装架し、該無端チェーンに一定のピッチ間隔で複数の支持軸を前記スプロケットの回転軸線と平行な水平軸線の回りにそれぞれ回転可能に取付け、前記複数の支持軸に部品を保持する部品支持プレートをそれぞれ設け、前記部品支持プレートを常に水平状態に保持する水平保持機構を備え、該水平保持機構は、前記一対のスプロケットの回転軸線上に固定された固定ギヤと、前記一対のスプロケットの回転軸線上に回転可能に支持されたキャリアと、該キャリアに回転可能に支持され前記固定ギヤに常時噛合する円周方向および軸方向一部に欠歯部分を形成した遊星ギヤと、前記支持軸上に設けられ前記遊星歯車に間欠的に噛合するチェーン側ギヤとによって構成され、前記無端チェーンの回動による前記チェーン側ギヤの遊星ギヤとの噛合い開始時および噛合い終了時に前記部品支持プレートの水平状態を維持できるようにチェーン側ギヤが遊星ギヤの欠歯部分に噛合うように構成されていることを特徴とする部品水平保持搬送装置。
【請求項２】
低温槽あるいは高温槽内に、水平軸線の回りに回転可能な一対のスプロケットを上下方向に離間して設け、該一対のスプロケット間に無端チェーンを鉛直面内で周回運動可能に装架し、該無端チェーンに一定のピッチ間隔で複数の支持軸を前記スプロケットの回転軸線と平行な水平軸線の回りにそれぞれ回転可能に取付け、前記複数の支持軸に電子部品を保持する部品支持プレートをそれぞれ取付け、前記部品支持プレートを常に水平状態に保持する水平保持機構を備え、前記低温槽あるいは高温槽の上端に搬送され低温あるいは高温となった電子部品を前記部品支持プレートより搬出するとともに該部品支持プレートに新たな電子部品を搬入する電子部品搬入出手段を備え、前記水平保持機構は、前記一対のスプロケットの回転軸線上に固定された固定ギヤと、前記一対のスプロケットの回転軸線上に回転可能に支持されたキャリアと、該キャリアに回転可能に支持され前記固定ギヤに常時噛合する円周方向および軸方向一部に欠歯部分を形成した遊星ギヤと、前記支持軸上に設けられ前記遊星歯車に間欠的に噛合するチェーン側ギヤとによって構成され、前記無端チェーンの回動による前記チェーン側ギヤの遊星ギヤとの噛合い開始時および噛合い終了時に前記部品支持プレートの水平状態を維持できるようにチェーン側ギヤが遊星ギヤの欠歯部分に噛合うように構成されていることを特徴とする部品水平保持搬送装置。
【請求項３】
請求項１もしくは請求項２において、前記固定ギヤ、遊星ギヤおよびチェーン側ギヤを、それぞれ同一の歯数で構成するとともに、ギヤのモジュールを２．５以上としてなる部品水平保持搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記チェーン側ギヤが前記遊星ギヤとの噛合いより離脱した状態において、前記部品支持プレートの水平状態を保持するラッチ機構を備えた部品水平保持搬送装置。
【請求項５】
請求項４において、前記ラッチ機構を、スプリングによって付勢されたプランジャと係合穴とによって構成した部品水平保持搬送装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、一対のスプロケットの上方のスプロケットに駆動モータを連結し、下方のスプロケットを付勢手段によって下方向に付勢し、該付勢手段によって前記無端チェーンにテンションを付与するように構成した部品水平保持搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品を水平に保持して鉛直面内で搬送する部品水平保持搬送装置に関するもので、特に電子部品等の部品を低温あるいは高温状態で性能テストするために、部品を冷却あるいは加熱する低温槽あるいは高温槽に適用して好適な部品水平保持搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＥＣＵ等の電子部品においては、電子部品を一定の温度に冷却あるいは加熱した状態で性能テストを行うために、電子部品を冷却あるいは加熱するための低温槽あるいは高温槽が用いられる。従来一般の低温槽あるいは高温槽は、槽の底部にコンベアを水平方向に設置し、このコンベアに電子部品を支持するパレットを一定のピッチ間隔に設け、コンベア上のパレットが一端から他端に水平方向に搬送される間に、パレット上の電子部品を一定の温度（例えば−４０〜＋８０℃）まで冷却あるいは加熱し、その状態で、電子部品を低温槽あるいは高温槽より取り出して、電子部品の性能をテストするように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記した従来の低温槽あるいは高温槽においては、電子部品をコンベアによって水平に搬送する構成であるため、低温槽あるいは高温槽を設備するために大きなスペースを要していた。しかも、電子部品の変更に対応できるように、電子部品をパレットによって搬送する構成を採っているため、電子部品以外にパレットを温めたり、冷やしたり余分なエネルギを要し、大きなエネルギロスが発生していた。
【０００４】
従って、電子部品を所定温度に冷却あるいは加熱するに要するタクトタイムが必然的に長くなるため、従来の低温槽あるいは高温槽においては、大容量の温風発生機や冷凍機を必要としたり、あるいはタクトタイムを長くするためにコンベアの全長を大きくする等の必要があった。これにより、低温槽あるいは高温槽を設備するための費用が増加したり、タクトタイムに合った多くの部品をストックするコンベアの設置により、より大きなスペースを必要とする問題があった。
【０００５】
本発明は、上述した従来の問題を解消するためになされたもので、省スペース化および省エネルギ化を可能にでき、しかも生産性の向上に寄与できる部品水平保持搬送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明は、低温槽あるいは高温槽内に、水平軸線の回りに回転可能な一対のスプロケットを上下方向に離間して設け、該一対のスプロケット間に無端チェーンを鉛直面内で周回運動可能に装架し、該無端チェーンに一定のピッチ間隔で複数の支持軸を前記スプロケットの回転軸線と平行な水平軸線の回りにそれぞれ回転可能に取付け、前記複数の支持軸に部品を保持する部品支持プレートをそれぞれ設け、前記部品支持プレートを常に水平状態に保持する水平保持機構を備え、該水平保持機構は、前記一対のスプロケットの回転軸線上に固定された固定ギヤと、前記一対のスプロケットの回転軸線上に回転可能に支持されたキャリアと、該キャリアに回転可能に支持され前記固定ギヤに常時噛合する円周方向および軸方向一部に欠歯部分を形成した遊星ギヤと、前記支持軸上に設けられ前記遊星歯車に間欠的に噛合するチェーン側ギヤとによって構成され、前記無端チェーンの回動による前記チェーン側ギヤの遊星ギヤとの噛合い開始時および噛合い終了時に前記部品支持プレートの水平状態を維持できるようにチェーン側ギヤが遊星ギヤの欠歯部分に噛合うように構成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に係る発明は、低温槽あるいは高温槽内に、水平軸線の回りに回転可能な一対のスプロケットを上下方向に離間して設け、該一対のスプロケット間に無端チェーンを鉛直面内で周回運動可能に装架し、該無端チェーンに一定のピッチ間隔で複数の支持軸を前記スプロケットの回転軸線と平行な水平軸線の回りにそれぞれ回転可能に取付け、前記複数の支持軸に電子部品を保持する部品支持プレートをそれぞれ取付け、前記部品支持プレートを常に水平状態に保持する水平保持機構を備え、前記低温槽あるいは高温槽の上端に搬送され低温あるいは高温となった電子部品を前記部品支持プレートより搬出するとともに該部品支持プレートに新たな電子部品を搬入する電子部品搬入出手段を備え、前記水平保持機構は、前記一対のスプロケットの回転軸線上に固定された固定ギヤと、前記一対のスプロケットの回転軸線上に回転可能に支持されたキャリアと、該キャリアに回転可能に支持され前記固定ギヤに常時噛合する円周方向および軸方向一部に欠歯部分を形成した遊星ギヤと、前記支持軸上に設けられ前記遊星歯車に間欠的に噛合するチェーン側ギヤとによって構成され、前記無端チェーンの回動による前記チェーン側ギヤの遊星ギヤとの噛合い開始時および噛合い終了時に前記部品支持プレートの水平状態を維持できるようにチェーン側ギヤが遊星ギヤの欠歯部分に噛合うように構成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項１もしくは請求項２において、前記固定ギヤ、遊星ギヤおよびチェーン側ギヤを、それぞれ同一の歯数で構成するとともに、ギヤのモジュールを２．５以上としたものである。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記チェーン側ギヤが前記遊星ギヤとの噛合いより離脱した状態において、前記部品支持プレートの水平状態を保持するラッチ機構を備えたものである。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項４において、前記ラッチ機構を、スプリングによって付勢されたプランジャと係合穴とによって構成したものである。
【００１２】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、一対のスプロケットの上方のスプロケットに駆動モータを連結し、下方のスプロケットを付勢手段によって下方向に付勢し、該付勢手段によって前記無端チェーンにテンションを付与するように構成したものである。
【発明の効果】
【００１３】
上記のように構成した請求項１に係る発明によれば、上下方向に離間して設けた一対のスプロケット間に無端チェーンを鉛直面内で周回運動可能に装架し、無端チェーンに一定のピッチ間隔で複数の支持軸を回転可能に取付け、複数の支持軸に部品を保持する部品支持プレートを設け、部品支持プレートを常に水平状態に保持する水平保持機構を備えたので、低温槽あるいは高温槽の設置スペースを小さくでき、部品の冷却あるいは加熱を省スペースおよび省エネルギの下に行うことができるようになる。
また、水平保持機構を、一対のスプロケットの回転軸線上に固定された固定ギヤと、一対のスプロケットの回転軸線上に回転可能に支持された回転体上に回転可能に支持され固定ギヤに常時噛合する円周方向および軸方向一部に欠歯部分を形成した遊星ギヤと、無端チェーンに回転可能に設けた支持軸に設けられ遊星歯車に間欠的に噛合するチェーン側ギヤとによって構成したので、チェーン側ギヤが遊星ギヤに噛合う際に相互干渉作用による噛合いずれによって部品支持プレートが傾くのを的確に防止できるようになり、しかも、このような機能を簡素な構成の遊星ギヤ機構によって達成するようになっているので、低温槽に適用しても凍結等によって作動不良を起こすことがなく、これによって設備の故障を少なく、生産性の向上に寄与できるようになる。
【００１４】
上記のように構成した請求項２に係る発明によれば、請求項１に記載の水平保持機構に加え、低温槽あるいは高温槽の上端に搬送された電子部品を部品支持プレートより搬出するとともに部品支持プレートに別の電子部品を搬入する電子部品搬入出手段を備えたので、請求項１で述べた効果に加えて、電子部品搬入出手段によって電子部品ラインの自動化を容易に実現できるようになる。
【００１６】
上記のように構成した請求項３に係る発明によれば、固定ギヤ、遊星ギヤおよびチェーン側ギヤを、それぞれ同一の歯数で構成するとともに、ギヤのモジュールを２．５以上としたので、遊星ギヤ機構による部品支持プレートの水平保持を容易にかつ確実に実現できるとともに、チェーン側ギヤと遊星ギヤとの噛合いずれを防止しながら両ギヤを安定的に噛合わせることができるようになる。
【００１７】
上記のように構成した請求項４に係る発明によれば、部品支持プレートの水平状態を保持するラッチ機構を備えているので、チェーン側ギヤが遊星ギヤとの噛合いより離脱した状態においても、部品支持プレートを常に水平状態を保持することができる。
【００１８】
上記のように構成した請求項５に係る発明によれば、ラッチ機構を、スプリングによって付勢されたプランジャと係合穴とによって構成したので、チェーン側ギヤが遊星ギヤとの噛合いより離脱した状態における部品支持プレートの水平保持をきわめて簡単な構成によって実現できる。
【００１９】
上記のように構成した請求項６に係る発明によれば、一対のスプロケットの上方のスプロケットに駆動モータを連結し、下方のスプロケットを付勢手段によって下方向に付勢して無端チェーンにテンションを付与するようにしたので、低温あるいは高温の状況下においても、無端チェーンが緩んだり、無端チェーンに過度のテンションが作用することを確実に防止することができ、チェーン側ギヤと遊星ギヤの噛合いずれによる部品支持プレートの傾きを的確に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１および図２は、部品水平保持搬送装置を備えた低温槽１０の全体を示す正面図および側面図である。低温槽１０は、複数の支持脚１１を介して床面上に設置された低温槽本体１２を有し、低温槽本体１２内には低温室１３が形成されている。低温室１３は通路１４を介して図略の冷凍機に接続され、冷凍機によって冷却された冷気を多数の吹出口１５より低温室１３に供給し、低温室１３内を予め定められた低温状態（例えば−４０℃）に冷却するようになっている。
【００２１】
低温槽本体１２には、固定プレート１７が取付けられ、固定プレート１７の上方には、図３に詳細に示されているように、駆動軸１８が水平な軸線の回りに回転可能に支持されている。駆動軸１８の先端には駆動スプロケット１９が一体的に取付けられ、駆動スプロケット１９は低温室１３の外部に設置された駆動モータ２０にベルト伝動装置２１を介して連結されている。固定プレート１７の下方には、支持プレート２３が上下方向にスライド可能に案内され、支持プレート２３に従動軸２４が駆動軸１８の回転軸線と平行な軸線の回りに回転可能に支持されている。従動軸２４は駆動軸１８の鉛直方向下方に所定距離離間して配置され、従動軸２４の先端に従動スプロケット２５が一体的に取付けられている。
【００２２】
駆動スプロケット１９および従動スプロケット２５間には、無端チェーン２７が掛け渡され、無端チェーン２７は駆動モータ２０による駆動スプロケット１９の回転によって鉛直面内で図１の矢印方向へ周回運動されるようになる。固定プレート１７に位置調整可能に固定されたスプリング受け部材２８と支持プレート２３に固定されたスプリング受け部材２９との間には、支持プレート２３を下方に付勢するようにスプリング３０が介挿されている。このスプリング３０の付勢力によって無端チェーン２７には常に一定のテンションが付与されるようになっており、いかなる温度状態においても、無端チェーン２７が緩んだり、無端チェーン２７に過度のテンションが作用するのを防止するようにしている。
【００２３】
無端チェーン２７の周りには、図３に示すように、一定のピッチ間隔で多数の保持体３１が取付けられ、これら保持体３１に支持軸３２が駆動スプロケット１９の回転軸線と平行な水平軸線の回りにそれぞれ回転可能に支持されている。各支持軸３２の一端には後述する遊星ギヤに噛合するチェーン側ギヤ３３がそれぞれ一体的に取付けられ、他端にはＥＵＣ等の電子部品Ｗを載置する板状の部品支持プレート３４がボルト等によってそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００２４】
部品支持プレート３４は、支持軸３２の中心軸線とほぼ一致するように支持軸３２に取付けられ、これによって、図１に示すように、隣合う部品支持プレート３４同士の干渉を生ずることなく、チェーン側ギヤ３３が相互にきわめて接近した小ピッチ間隔で部品支持プレート３４を無端チェーン２７上に配列できるようにしている。部品支持プレート３４には電子部品Ｗの種類に応じた水平な受け面が形成され、この受け面に１個もしくは複数の電子部品Ｗが載置される。そして、冷却すべき電子部品Ｗの種類が変更された際、それに対応した受け面を持つ部品支持プレート３４に変更されるようになっている。
【００２５】
保持体３１には、部品支持プレート３４を通常は水平状態に保持するラッチ機構３５が設けられている。すなわち、保持体３１にはチェーン側ギヤ３３の側面に対応して保持軸３６が位置調整可能に固着され、この保持軸３６内に先端が円錐形状をなすプランジャ３７が収納保持されている。保持軸３６は、図略のスプリングのばね力によってチェーン側ギヤ３３の側面に向けて押圧され、チェーン側ギヤ３３の側面に形成された円錐形状の係合穴３８に係合するようになっている。かかるプランジャ３７と係合穴３８との係合によって、通常は部品支持プレート３４を水平状態に保持するとともに、支持軸３２を回転させようとする外力が作用した場合には、プランジャ３７をばね力に抗して係合穴３８より離脱できるようにしている。
【００２６】
駆動軸１８の外周には、図３に示すように、固定ギヤ４１が同一の軸線上に相対回転可能に支持され、固定ギヤ４１は固定プレート１７に固定されている。駆動軸１８上には駆動スプロケット１９と固定ギヤ４１との間にキャリア４２が一体的に取付けられ、キャリア４２の一端外周に大径のフランジ部４２ａが形成されている。フランジ部４２ａには固定ギヤ４１に噛合う円周上４つの遊星ギヤ４３が支軸４４を介して回転可能に支持されている。遊星ギヤ４３はまた、支持軸３２上のチェーン側ギヤ３３に噛合され、これによって遊星ギヤ４３は、無端チェーン２７とともに周回運動するチェーン側ギヤ３３との噛合いにより、固定ギヤ４１の周りを自転しながら公転し、チェーン側ギヤ３３とともに支持軸３２を保持体３１内で水平軸線の回りに回転させるようになっている。
【００２７】
上記した固定ギヤ４１、キャリア４２上の遊星ギヤ４３ならびにチェーン側ギヤ３３によって、駆動スプロケット１９側の遊星ギヤ機構４５を構成している。かかる遊星ギヤ機構４５によって、部品支持プレート３４が無端チェーン２７の上端円弧部を移動する際に、部品支持プレート３４を水平状態に保持する水平保持機構を構成している。
【００２８】
遊星ギヤ機構４５を構成する固定ギヤ４１、遊星ギヤ４３ならびにチェーン側ギヤ３３は、それぞれ同一径および同一歯数に設定され、また、駆動モータ２０による駆動スプロケット１９の回転によって無端チェーン２７が一定ピッチずつ間欠駆動されたとき、無端チェーン２７上に設けられたチェーン側ギヤ３３およびチェーン側ギヤ３３に噛合う遊星ギヤ４３が、以下に述べる関係となるように駆動スプロケット１９の径および支持軸３２の配列ピッチが定められている。
【００２９】
すなわち、無端チェーン２７上に設けられたチェーン側ギヤ３３およびチェーン側ギヤ３３に噛合う遊星ギヤ４３が、図４および図５に示すように、固定ギヤ４１の軸心を通る鉛直線Ｏ１の上方（無端チェーン２７の上端円弧部の中央）に位置されたとき、そのチェーン側ギヤ３３の前後に隣接する２つのチェーン側ギヤ３３、３３、およびこれらチェーン側ギヤ３３、３３に噛合う２つの遊星ギヤ４３、４３が、それぞれ固定ギヤ４１の軸心を水平方向に横切る水平線Ｏ２上に整列されるようになっている。これにより、遊星ギヤ４３は１８０°公転運動する間に、３６０°（１回転）自転運動される。
【００３０】
ここで、固定ギヤ４１、遊星ギヤ４３およびチェーン側ギヤ３３の各モジュールは２．５〜３．０に設定されている。
【００３１】
従動軸２４の軸線上にも、上記したと同様な固定ギヤ（図示せず）が固定されているとともに、この固定ギヤに噛合する複数（円周上４つ）の遊星ギヤ４３Ａ（図１参照）が配置され、これら固定ギヤ、遊星ギヤ４３Ａおよびチェーン側ギヤ３３によって、従動スプロケット２５側の遊星ギヤ機構４５Ａを構成している。かかる遊星ギヤ機構４５Ａによって、部品支持プレート３４が無端チェーン２７の下端円弧部を移動する際に、部品支持プレート３４を水平状態に保持する水平保持機構を構成している。
【００３２】
上記した遊星ギヤ機構４５、４５Ａにより、部品支持プレート３４が無端チェーン２７の上端円弧部および下端円弧部に沿って搬送される場合においても、部品支持プレート３４を常に水平状態に矯正維持できるようになる。すなわち、ラッチ機構３５によって水平状態に保持されていた部品支持プレート３４とともにチェーン側ギヤ３３が、無端チェーン２７の回動によって例えば固定ギヤ４１の軸心を水平方向に横切る水平線Ｏ２上まで搬送されると、チェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３に噛合う。かかるチェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３との噛合いにより、チェーン側ギヤ３３および部品支持プレート３４が無端チェーン２７の上端円弧部を通過するのに伴って、遊星ギヤ４３が固定ギヤ４１の周りを自転しながら公転運動する。従って、チェーン側ギヤ３３、支持軸３２および部品支持プレート３４が、保持体３１に対して図４および図５の反時計回りに回動され、この結果、部品支持プレート３４が水平状態に矯正維持される。
【００３３】
このようにして、部品支持プレート３４は無端チェーン２７の上端および下端円弧部を半周する間、遊星ギヤ機構４５、４５Ａによって水平状態に保たれる。この際、チェーン側ギヤ３３および遊星ギヤ４３、４３Ａは、無端チェーン２７の上端および下端円弧部を半周する間に１回転され、上端円弧部の開始時に係合が外れたラッチ機構３５のプランジャ３６と係合穴３７が上端円弧部の終了時に再び係合され、部品支持プレート３４を水平状態に保持するように機能する。
【００３４】
ところで、無端チェーン２７の回動によってチェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３、４３Ａとの噛合いを開始するとき、およびチェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３、４３Ａとの噛合いを終了するとき、チェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３、４３Ａとの相互の歯の干渉によって部品支持プレート３４が傾かないように、遊星ギヤ４３、４３Ａには、図３および図４に示すように、軸方向のほぼ半分に欠歯部分４６がほぼ１８０°の角度にわたって形成されている。
【００３５】
これにより、チェーン側ギヤ３３が、前述した固定ギヤ４１の軸心を水平方向に横切る水平線Ｏ２上に搬送されるときには、チェーン側ギヤ３３の遊星ギヤ４３側に対応する歯部は遊星ギヤ４３の欠歯部分４６に入り込み、固定ギヤ４１の軸心を水平方向に横切る水平線Ｏ２上にチェーン側ギヤ３３が搬送されるまでは、チェーン側ギヤ３３は遊星ギヤ４３に噛合わないようになっている。
【００３６】
同様に、チェーン側ギヤ３３が、前述した固定ギヤ４１の軸心を水平方向に横切る水平線Ｏ２上より下方に搬送されるときには、チェーン側ギヤ３３は遊星ギヤ４３との噛合いを終えて欠歯部分４６に入り込むようになる。なお、遊星ギヤ４３の欠歯部分４６の形成に係わらず、固定ギヤ４１と遊星ギヤ４３はその全周で常時噛合うようになっている。
【００３７】
このような遊星ギヤ４３の欠歯部分４６によって、チェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３に噛合う際に相互干渉作用による噛合いずれによって部品支持プレート３４が傾くのが防止される。この際、各ギヤ３３、４１、４３のモジュールが２．５〜３．０に設定されているので、チェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３の噛合いずれを有効に防止することができる。
【００３８】
低温槽１０の上部には、電子部品Ｗを搬入出するための開口部５１と、この開口部５１を開閉する開閉扉５２が設けられている。低温槽１０の上方には、電子部品Ｗを前工程から受取って開閉部５１を通して低温槽１０内に搬入するとともに、低温槽１０によって冷却された電子部品Ｗを低温槽１０より搬出して次工程に移送する電子部品搬入出装置５３が水平方向に架設されたレール５４に走行に装架されている。
【００３９】
電子部品搬入出装置５３には、把持爪を備えた一対の搬入出アーム５５、５６がそれぞれ昇降可能に設けられている。電子部品搬入出装置５３は、一方の搬入出アーム５５（５６）によって、無端チェーン２７の上端の電子部品搬入出位置に搬送された部品支持プレート３４の電子部品Ｗを把持して搬出するとともに、電子部品Ｗが取り除かれた部品支持プレート３４上に、新たに低温槽１０にて冷却するための電子部品Ｗを、他方の搬入出アーム５６（５５）によって搬入するようになっている。
【００４０】
次に、上記した実施の形態における動作について説明する。無端チェーン２７上に設けられた複数の部品支持プレート３４は、部品支持プレート３４を支持している支持軸３２上のチェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３、４３Ａに噛合っていない無端チェーン２７の直線移動部分においては、ラッチ機構３５によって水平状態に保持されている。この状態で、チェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３に噛合うと、後述するように、部品支持プレート３４は遊星ギヤ機構４５、４５Ａにより、無端チェーン２７の周回運動につれてラッチ機構３５による保持力に抗して保持体３１内を水平軸線の回りに回動され、無端チェーン２７の上端円弧部および下端円弧部においても、部品支持プレート３４は常に水平状態に保持される。
【００４１】
無端チェーン２７は駆動モータ２０によって１ピッチずつ図１および図６の矢印方向に間欠的に駆動され、これによって無端チェーン２７の上端の電子部品搬入出位置ＬＰに、無端チェーン２７を１周して定められた温度（例えば−４０℃）まで冷却された電子部品Ｗを載置した部品支持プレート３４が順次搬送される。
【００４２】
無端チェーン２７が１ピッチ間欠駆動されると、低温槽１０の開閉扉５２が開かれ、搬入搬出装置５３の一方の搬入出アーム５５が下降され、開口部５１より低温槽１０内に侵入して、電子部品搬入出位置ＬＰに位置する部品支持プレート３４に載置された電子部品Ｗを把持する。その状態で搬入出アーム５５が上昇され、電子部品Ｗを低温槽１０内より搬出する。続いて、新たな電子部品Ｗを把持した他方の搬入出アーム５６が下降され、電子部品搬入出位置ＬＰに位置する部品支持プレート３４上に電子部品Ｗを載置して開放する。しかる後、搬入出アーム５６が上昇され、開閉扉５２が閉止されて、電子部品Ｗの搬入出動作が終了する。その後、電子部費搬入出装置５３は次工程に走行され、電子部品Ｗを低温状態における性能テストを行う図略のテスト装置に搬送する。
【００４３】
一方、無端チェーン２７が１ピッチずつ間欠駆動されると、無端チェーン２７の上端および下端に位置決めされた部品支持プレート３４の後方側に隣接する部品支持プレート３４を支持している支持軸３２上のチェーン側ギヤ３３が、遊星ギヤ４３との噛合いを開始する位置にそれぞれ搬送される。この際、遊星ギヤ４３には欠歯部分４６が形成されているため、チェーン側ギヤ３３の遊星ギヤ４３側に対応する歯部は、遊星ギヤ４３の歯と干渉することなく、遊星ギヤ４３の欠歯部分４６に容易に入り込む。これにより、チェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３の噛合いずれが発生せず、部品支持プレート３４が傾くのが防止される。
【００４４】
他方、無端チェーン２７の上端および下端に位置決めされた部品支持プレート３４の先方側に隣接する部品支持プレート３４を支持している支持軸３２上のチェーン側ギヤ３３が、遊星ギヤ４３との噛合いを終了する位置にそれぞれ搬送されるが、この際も、チェーン側ギヤ３３は遊星ギヤ４３との噛合いを終えて欠歯部分４６に入り込むようになるので、前述したと同様に、チェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３の噛合いずれが発生せず、部品支持プレート３４が傾くのが防止される。
【００４５】
このように、上記した実施の形態によれば、電子部品Ｗを水平状態に保持する部品支持プレート３４を、無端チェーン２７によって鉛直面内で搬送するようにしたので、低温槽１０の設置スペースをきわめて小さくすることができ、しかも、電子部品Ｗを保持する部品支持プレート３４が支持軸３２の回転軸線上で水平保持されるようになっているので、無端チェーン２７に対する部品支持プレート３４の取付けピッチは、図１に示すように、隣合うチェーン側ギヤ３３同士が干渉しない限度で接近して配列することができ、小さな占有面積で低温槽１０内の電子部品Ｗのストック数をより多く確保できるようになる。
【００４６】
また、上記した実施の形態によれば、無端チェーン２７の上端円弧部および下端円弧部において、部品支持プレート３４を水平に保持する水平保持機構が、ギヤ同士が噛合うだけの単純な構成の遊星ギヤ機構４５、４５Ａによって構成されているので、相当な低温状態での使用に際しても、凍結等によって作動不良を起こすことがなく、低温槽に適用してその効果を如何なく発揮できるようになる。
【００４７】
しかも、水平保持機構を構成する遊星ギヤ機構４５、４５Ａの遊星ギヤ４３に欠歯部分４６を形成したので、チェーン側ギヤ３３と遊星ギヤ４３との噛合いを常に円滑に行うことができるとともに、チェーン側ギヤ３３が遊星ギヤ４３に噛合う際の相互干渉作用による噛合いずれによって部品支持プレート３４が傾くのを確実に防止できるようになる。
【００４８】
上記した実施の形態においては、本発明の部品水平保持搬送装置を、ＥＣＵ等の電子部品Ｗの低温での性能テストのために、電子部品Ｗを所定の温度に冷却する低温槽１０に適用にした例について述べたが、本発明は、高温での性能テストを行うために、電子部品Ｗを一定の温度（例えば８０℃）まで加熱する高温槽にも適用できるものである。
【００４９】
また、上記した実施の形態においては、電子部品Ｗを水平状態に保持して搬送する例について述べたが、対象となる部品は必ずしも電子部品に限定されるものではなく、また、電子部品Ｗの搬入出についても、その手段、方法を限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の態様を採り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態を示す低温槽の内部を正面から見た図である。
【図２】図１に示す低温槽の内部を側方から見た図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿って矢視した拡大断面図である。
【図４】チェーン側ギヤと遊星ギヤとの噛合い開始時の状態を示す説明図である。
【図５】遊星ギヤ機構の作用を説明するための機構図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０…低温槽、１２…低温槽本体、１３…低温室、１７…固定プレート、１８…駆動軸、１９…駆動スプロケット、２０…駆動モータ、２３…支持プレート、２４…従動軸、２５…従動スプロケット、２７…無端チェーン、３０…スプリング、３１…保持体、３２…支持軸、３３…チェーン側ギヤ、３４…部品支持プレート、３５…ラッチ機構、３７…プランジャ、３８…係合穴、４１…固定ギヤ、４２…キャリア、４３、４３Ａ…遊星ギヤ、４４…支軸、４５、４５Ａ…遊星ギヤ機構（水平保持機構）、４６…欠歯部分、５２…開閉扉、５３…電子部品搬入出装置、５５、５６…搬入出アーム、Ｗ…電子部品。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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