(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドを駆動させるための駆動電圧を生成する駆動電圧生成手段と、
前記ヘッドが待機するヘッド待機状態にあるときに、前記ヘッド内の前記機能液の温度を第１温度として取得する第１温度取得手段と、
前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態にあるときに、前記ヘッド内の前記機能液の温度を第２温度として取得する第２温度取得手段と、
前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算手段と、
前記温度差に基づいて、前記駆動電圧を補正する駆動電圧補正手段と、を備え、
前記駆動電圧生成手段は、前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して前記補正された駆動電圧を生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記第１温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて前記ヘッドの温度を第１温度として取得し、
前記第２温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて前記ヘッドの温度を第２温度として取得し、
前記温度差演算手段は、前記ヘッドの前記温度差を演算することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記第１温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて共通流路を持つノズル群の温度を第１温度として取得し、
前記第２温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて前記共通流路を持つノズル群の温度を第２温度として取得し、
前記温度差演算手段は、前記共通流路を持つノズル群の前記温度差を演算することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１〜３に記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド待機状態において、前記ヘッドに前記駆動電圧を印加させ、前記ヘッド駆動状態において所望する液滴量を吐出するための基準となる駆動電圧を取得する駆動電圧取得手段をさらに備え、
前記駆動電圧補正手段は、前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜３に記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド待機状態において、前記ヘッド駆動状態において用いた基準の駆動電圧を前記ヘッドに印加して、前記ヘッドから吐出された第１液滴量を取得する第１液滴量取得手段と、
前記ヘッド駆動状態において所望の第２液滴量を取得する第２液滴量取得手段と、
前記第１液滴量と前記第２液滴量との液滴量差を演算する液滴量差演算手段と、をさらに備え、
前記駆動電圧補正手段は、前記液滴量差と前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記ヘッド待機状態では、前記ヘッドが吐出された前記液滴によって塗布されるワークの領域以外の領域に位置することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記駆動電圧補正手段は、複数の駆動電圧の補正データの中から前記温度差に対応する一の前記駆動電圧の補正データを選択することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記駆動電圧補正手段は、複数の駆動電圧の補正定数の中から前記温度差に対応する一の前記補正定数を選択し、前記選択された補正定数を前記基準となる駆動電圧に乗じることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記駆動電圧生成手段は、前記ヘッド待機状態と前記ヘッド駆動状態との移行期間において、前記液滴が吐出されない程度の前記駆動電圧を生成することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、
前記ヘッドが待機するヘッド待機状態において、前記ヘッドに駆動電圧を印加させ、前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態における所望する液滴量を吐出するための基準となる駆動電圧を取得する駆動電圧取得ステップと、
前記ヘッド待機状態における前記ヘッドの第１温度を取得する第１温度取得ステップと、
前記ヘッド駆動状態における前記ヘッドの第２温度を取得する第２温度取得ステップと、
前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算ステップと、
前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正する駆動電圧補正ステップと、
前記補正された駆動電圧を前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して生成する駆動電圧生成ステップと、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１１】
ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、
前記ヘッドが待機するヘッド待機状態において、前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態において用いた基準となる駆動電圧を前記ヘッドに印加して、前記ヘッドから吐出された第１液滴量を取得する第１液滴量取得ステップと、
前記ヘッド待機状態における前記ヘッドの第１温度を取得する第１温度取得ステップと、
前記ヘッド駆動状態において、所望する第２液滴量を取得する第２液滴量取得ステップと、
前記ヘッド駆動状態における前記ヘッドの第２温度を取得する第２温度取得ステップと、
前記第１液滴量と前記第２液滴量との液滴量差を演算する液滴量差演算ステップと、
前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算ステップと、
前記液滴量差と前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正する駆動電圧補正ステップと、
前記補正された駆動電圧を前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して生成する駆動電圧生成ステップと、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載の液滴吐出方法を用いて、ワークに対して前記液滴を吐出してパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、パターン形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ヘッドから機能液を液滴として吐出して当該液滴をワークに塗布する液滴吐出装置としては、例えば、機能液を液滴として吐出するヘッドと、ワークを載置するためのステージと、ヘッドの液滴吐出性を調整または回復させるためのメンテナンスユニットと、ヘッドをステージとメンテナンスユニット間で移動させるヘッド移動手段と、これらの動作を制御する制御部を備えている。そして、ヘッドと吐出領域となるワークの領域を対向させ、当該ヘッドに液滴を吐出するための駆動電圧を印加してヘッドを駆動状態とすることにより、ヘッドから液滴を吐出させている。上記の装置において、ヘッドの液滴吐出性を調整または回復させる必要が発生した場合、あるいは、一時的に吐出作業を停止する必要が発生した場合には、一旦、ヘッドの駆動を止めヘッドを待機状態とし、ヘッドの調整または回復処理等を行う。そして、これらの処理が終了した後に、再び、ヘッドを駆動させ液滴の吐出を行っている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば、ヘッドの液滴吐出性の調整等のためにヘッドが待機状態となるときと、ワークに対して液滴を吐出してヘッドが駆動状態となるときとでは、ヘッドの駆動に起因するヘッド内の機能液に対する熱変換量が異なり、ヘッドのおかれる状態によって機能液の温度が異なることがある。そうすると、ヘッドが待機状態のときと、ヘッドが駆動状態のときとでは機能液の粘度が異なってしまう。したがって、例えば、ヘッドの液滴吐出性の調整のため、ヘッドが待機状態のもとで測定された液滴量に基づいて算出された駆動電圧を、そのままヘッド駆動状態において印加すると、機能液の温度変化による機能液の粘度変化を考慮していないので、ヘッド駆動状態において吐出する液滴量が変わってしまい、所望の液滴量が得られない、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
本発明にかかる液滴吐出装置は、ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置であって、前記ヘッドを駆動させるための駆動電圧を生成する駆動電圧生成手段と、前記ヘッドが待機するヘッド待機状態にあるときに、前記ヘッド内の前記機能液の温度を第１温度として取得する第１温度取得手段と、前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態にあるときに、前記ヘッド内の前記機能液の温度を第２温度として取得する第２温度取得手段と、前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算手段と、前記温度差に基づいて、前記駆動電圧を補正する駆動電圧補正手段と、を備え、前記駆動電圧生成手段は、前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して前記補正された駆動電圧を生成することを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、ヘッド待機状態であるときとヘッド駆動状態にあるときのそれぞれで機能液の温度が取得され、さらに、前記両ヘッド状態における機能液の温度差が演算される。そして、演算された機能液の温度差に基づいて駆動電圧が補正され、ヘッド駆動状態において補正された駆動電圧が生成される。したがって、ヘッドがおかれる状態によって機能液に温度差が生じても、当該温度差に応じてヘッド駆動状態における駆動電圧が補正されるので、ヘッド駆動状態において所望の液滴量を吐出することができる。
【０００８】
本発明にかかる液滴吐出装置において、前記第１温度取得手段は、前
記機能液の温度に代えて前記ヘッドの温度を第１温度として取得し、前記第２温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて前記ヘッドの温度を第２温度として取得し、前記温度差演算手段は、前記ヘッドの前記温度差を演算することが好ましい。
【０００９】
このような構成によれば、ヘッドの温度を機能液の温度として代用すれば、容易に温度を取得することができる。また、装置構造も単純化することができる。
【００１０】
本発明にかかる液滴吐出装置は、前記第１温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて共通流路を持つノズル群の温度を第１温度として取得し、前記第２温度取得手段は、前記機能液の温度に代えて前記共通流路を持つノズル群の温度を第２温度として取得し、前記温度差演算手段は、前記共通流路を持つノズル群の前記温度差を演算することが好ましい。
【００１１】
本発明にかかる液滴吐出装置では、前記ヘッド待機状態において、前記ヘッドに前記駆動電圧を印加させ、前記ヘッド駆動状態において所望する液滴量を吐出するための基準となる駆動電圧を取得する駆動電圧取得手段をさらに備え、前記駆動電圧補正手段は、前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正することが好ましい。
【００１２】
このような構成によれば、ヘッド待機状態において、ヘッド駆動状態における所望の液滴量を得るために必要な駆動電圧を基準の駆動電圧として取得し、当該基準の駆動電圧を温度差に基づいて補正するので、ヘッド駆動状態において所望の液滴量を吐出することができる。この場合、例えば、ヘッド駆動状態において、ある駆動電圧をヘッドに印加し、所望の液滴量を吐出しているとする。当該ヘッド駆動状態おいては、ヘッドの温度あるいはヘッド内の機能液の温度はほぼ一定と考えられるので、安定的に所望の液滴量で吐出している状態といえる。しかし、液滴量の測定等のためメンテナンス処理に移行する場合、
つまり、ヘッド駆動状態からヘッド待機状態に移行した場合には、ヘッドがおかれる状態が変化するので、ヘッド温度或いはヘッド内の機能液の温度も変化することになる。この場合、液滴量の測定時（ヘッド待機状態）において、所望する液滴量を測定し、当該液滴量を得るために印加した駆動電圧を、そのまま、ヘッド駆動状態におけるヘッドの駆動電圧に適用するとすれば、ヘッド待機状態からヘッド駆動状態に移行される過程において、ヘッド温度あるいはヘッド内の機能液の温度が変化（機能液の粘度変化）するので、ヘッド駆動状態において所望する液滴量を得られないおそれがある。そこで、本発明では、ヘッド待機状態において、所望する液滴量を得るために取得した駆動電圧を、そのまま、ヘッド駆動状態に適用するのではなく、当該駆動電圧を基準の駆動電圧として取得し、ヘッド温度あるいはヘッド内の機能液の温度差に基づいて当該基準の駆動電圧を補正し、補正された駆動電圧をヘッド駆動状態に適用する。したがって、ヘッドがおかれる状態が変化して、ヘッドの温度が変化しても、ヘッド駆動状態においてヘッドから所望の液滴量を吐出させることができる。
【００１３】
本発明にかかる液滴吐出装置では、前記ヘッド待機状態において、前記ヘッド駆動状態において用いた基準の駆動電圧を前記ヘッドに印加して、前記ヘッドから吐出された第１液滴量を取得する第１液滴量取得手段と、前記ヘッド駆動状態において所望の第２液滴量を取得する第２液滴量取得手段と、前記第１液滴量と前記第２液滴量との液滴量差を演算する液滴量差演算手段と、をさらに備え、前記駆動電圧補正手段は、前記液滴量差と前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正することが好ましい。
【００１４】
このような構成によれば、ヘッド待機状態で、ヘッド駆動状態における駆動電圧をヘッドに印加させて、ヘッドから吐出された液滴量を第１液滴量として取得する。そして、第１液滴量とヘッド駆動状態において吐出される所望の第２液滴量との液滴量差を演算する。また、ヘッド待機状態とヘッド駆動状態における温度を取得して、その温度差を演算する。そして、液滴量差と温度差に基づいて、ヘッド待機状態において印加した駆動電圧を補正し、当該補正された駆動電圧をヘッド駆動状態におけるヘッドに適用するので、ヘッド駆動状態においてヘッドから所望の液滴量を吐出させることができる。この場合、例えば、ヘッド駆動状態において、ある駆動電圧をヘッドに印加し、所望の液滴量を吐出しているとする。当該ヘッド駆動状態においては、ヘッド温度或いはヘッド内の機能液の温度はほぼ一定と考えられるので、安定的に所望の液滴量で吐出している状態といえる。しかし、液滴量の測定等のためメンテナンス処理に移行する場合、つまり、ヘッド駆動状態からヘッド待機状態に移行した場合には、ヘッドの駆動状態が変化するので、ヘッド温度或いはヘッド内の機能液の温度も変化することになる。この場合、液滴量の測定時（ヘッド待機状態）において、ヘッド駆動状態における駆動電圧をヘッドに印加しても所望の液滴量を得ることはできない。したがって、当該駆動電圧を、ヘッド駆動状態において適用しても、ヘッド待機状態からヘッド駆動状態に移行される過程において、ヘッド温度或いはヘッド内の機能液の温度が変化するので、ヘッド駆動状態において所望する液滴量を得られないおそれがある。また、ヘッド駆動状態における駆動電圧も、ヘッドの経時劣化（例えば、ヘッドの歪み）に伴う液滴吐出性を考慮しつつ駆動電圧を調整する必要がある。本発明では、ヘッド駆動状態における駆動電圧を液滴量差と温度差に基づいて補正するので、ヘッド駆動状態においてヘッドから所望の液滴量を吐出することができる。
【００１５】
本発明にかかる液滴吐出装置において、前記ヘッド待機状態では、前記ヘッドが吐出された前記液滴によって塗布されるワークの領域以外の領域に位置してもよい。
【００１６】
このような構成によれば、ワークの領域以外の領域でメンテナンス処理等が行われるので、不要な液滴をワークに塗布させてしまうことがない。
【００１７】
本発明にかかる液滴吐出装置において、前記駆動電圧補正手段は、複数の駆動電圧の補正データの中から前記温度差に対応する一の前記駆動電圧の補正データを選択することが好ましい。
【００１８】
このような構成によれば、演算された温度差から容易に補正値を求めることができる。
【００１９】
本発明にかかる液滴吐出装置において、前記駆動電圧補正手段は、複数の駆動電圧の補正定数の中から前記温度差に対応する一の前記補正定数を選択し、前記選択された補正定数を前記基準となる駆動電圧に乗ずることが好ましい。
【００２０】
このような構成によれば、演算された温度差から容易に補正値を求めることができる。
【００２１】
本発明にかかる液滴吐出装置において、前記駆動電圧生成手段は、前記ヘッド待機状態と前記ヘッド駆動状態との移行期間において、前記液滴が吐出されない程度の前記駆動電圧を生成することが好ましい。
【００２２】
このような構成によれば、ヘッドが非駆動状態から駆動状態に至るまでの間におけるヘッド状態を安定的に移行させることができる。
【００２３】
本発明にかかる液滴吐出方法は、ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、前記ヘッドが待機するヘッド待機状態において、前記ヘッドに駆動電圧を印加させ、前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態における所望する液滴量を吐出するための基準となる駆動電圧を取得する駆動電圧取得ステップと、前記ヘッド待機状態における前記ヘッドの第１温度を取得する第１温度取得ステップと、前記ヘッド駆動状態における前記ヘッドの第２温度を取得する第２温度取得ステップと、前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算ステップと、前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正する駆動電圧補正ステップと、前記補正された駆動電圧を前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して生成する駆動電圧生成ステップと、を含むことを特徴とする。
【００２４】
このような液滴吐出方法によれば、例えば、まず、ヘッド駆動状態で所望の液滴量を得るためにヘッドに対して印加される必要な駆動電圧を取得する。そして、この駆動電圧を基準の駆動電圧とする。また、ヘッド待機状態とヘッド駆動状態におけるそれぞれのヘッドの温度を取得したのち、取得した温度の差を演算する。そして、演算されたヘッドの温度差に基づいて、前記基準の駆動電圧を補正し、当該補正された駆動電圧をヘッド駆動状態における駆動電圧として生成する。したがって、ヘッドがおかれる状態が変化することにより、ヘッドの温度が変化しても、ヘッド駆動状態においてヘッドから所望の液滴量を吐出させることができる。
【００２５】
本発明にかかる液滴吐出方法は、ヘッドを駆動させて機能液を液滴として吐出する液滴吐出方法であって、前記ヘッドが待機するヘッド待機状態において、前記ヘッドが駆動するヘッド駆動状態において用いた基準となる駆動電圧を前記ヘッドに印加して、前記ヘッドから吐出された第１液滴量を取得する第１液滴量取得ステップと、前記ヘッド待機状態における前記ヘッドの第１温度を取得する第１温度取得ステップと、前記ヘッド駆動状態において、所望する第２液滴量を取得する第２液滴量取得ステップと、前記ヘッド駆動状態における前記ヘッドの第２温度を取得する第２温度取得ステップと、前記第１液滴量と前記第２液滴量との液滴量差を演算する液滴量差演算ステップと、前記第１温度と前記第２温度との温度差を演算する温度差演算ステップと、前記液滴量差と前記温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正する駆動電圧補正ステップと、前記補正された駆動電圧を前記ヘッド待機状態から前記ヘッド駆動状態に移行するときに、前記ヘッドに対して生成する駆動電圧生成ステップと、を含むことを特徴とする。
【００２６】
このような液滴吐出方法によれば、例えば、液滴量測定時（ヘッド待機状態）において、ある基準となる駆動電圧（例えば、ヘッド駆動状態における駆動電圧）をヘッドに印加して、これによって得られた液滴量を第１液滴量として取得する。次に、ヘッド駆動状態における所望の液滴量を第２液滴量として取得し、第１液滴量と第２液滴量の差を演算して液滴量差を取得する。また、ヘッド待機状態とヘッド駆動状態におけるそれぞれのヘッドの温度を取得したのち、取得した温度の差を演算してヘッド温度差を取得する。そして、液滴量差とヘッド温度差に基づいて、前記基準となる駆動電圧を補正し、当該補正された駆動電圧をヘッド駆動状態における駆動電圧として生成する。したがって、ヘッド駆動状態において所望の液滴量を吐出することができる。さらに、ヘッドの経時劣化に伴う液滴吐出性を考慮した適正な駆動電圧を生成することができる。
【００２７】
本発明にかかるパターン形成方法は、上記の液滴吐出方法を用いて、ワークに対して前記液滴を吐出してパターンを形成することを特徴とする。
【００２８】
このようなパターン形成方法によれば、塗布抜けの発生や塗布厚のばらつきを低減したパターン形成が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００３５】
［第１実施形態］
（液滴吐出装置）
まず、液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置を代表として説明する。インクジェット法を用いた液滴吐出装置は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００３６】
図１は、液滴吐出装置１の構成を示す概略外観図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され、ワークとしての基材７に液滴が塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１は直方体形状に形成された基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
【００３７】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００３８】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂに平行して主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００３９】
ステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６に基材７を載置すると、基材チャック機構によって、その基材７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００４０】
基台２のＸ方向両側には一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂにはＸ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９のＸ方向の幅はステージ４のＸ方向よりも長く形成され、案内部材９の一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。
【００４１】
案内部材９の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１０が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００４２】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば、ステージ４が備える直動機構と同様の機構である。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をキャリッジ１２が備えるＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。このキャリッジ１２の下面（ステージ４側の面）には、ヘッド１４が凸設されている。
【００４３】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００４４】
保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が、配置してある。フラッシングユニット１８は、ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物をヘッド１４から排除するため、ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。本実施形態では、６個の受け皿が配置され、６個のヘッド１４からフラッシングユニット１８に液滴を吐出できるようになっている。
【００４５】
キャッピングユニット１９は、ヘッド１４に蓋をする装置である。ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
【００４６】
ワイピングユニット２０は、ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、ヘッド１４において、基材７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基材７とが接触して、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基材７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【００４７】
保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、によりヘッドクリーニング部２１を構成している。
【００４８】
保守用基台１５と基台２との間には、液滴重量測定装置２２が配置されている。液滴重量測定装置２２には、電子天秤が２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。
【００４９】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、液滴重量測定装置２２、基材７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。
【００５０】
上記のフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０及び液滴重量測定装置２２は、ヘッド１４から吐出される液滴の吐出性を調整、修正あるいは回復等させるためのメンテナンス装置である。また、メンテナンス装置で各種の処理を行うため、ヘッド１４は基材７に対する液滴吐出領域から移動して基材７の領域以外の領域に位置して各種メンテナンス処理されることとなる。
【００５１】
図２は、液滴を吐出するヘッド１４の構造を説明するための要部断面図である。図２に示すように、ヘッド１４は、ノズル孔３１を有するノズルプレート３０を備えている。ノズルプレート３０の一方面には機能液３３の流路が形成された流路形成基板３９が配置され、ノズルプレート３０と接着されている。流路形成基板３９には、ノズル孔３１と相対する位置にノズル孔３１と連通する圧力発生室３２が形成されている。
【００５２】
圧力発生室３２の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、圧力発生室３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。
【００５３】
圧電素子３５には、各圧電素子３５を駆動するための信号を供給する回路基板３７が接続されている。そして、回路基板３７には、圧電素子３５の駆動を制御する駆動素子３８が接続されている。さらに、回路基板３７は、駆動信号を生成するための回路を含む配線基板（図示せず）に接続されている。
【００５４】
そして、圧力発生室３２に充填された機能液３３を液滴として吐出する際に、圧電素子３５および振動板３４の変形によって各圧力発生室３２の容積を変化させて所定のノズル孔３１から液滴３６を吐出させるようになっている。具体的には、圧電素子３５に駆動電圧を印加することにより圧電素子３５を収縮させる。これにより、振動板３４が圧電素子３５と共に変形されて圧力発生室３２の容積が広げられ、圧力発生室３２内に機能液３３が引き込まれる。そして、ノズル孔３１に至るまで内部に機能液を満たした後、配線基板を介して供給される記録信号に従い、圧電素子３５に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子３５が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板３４も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室３２の容積が収縮して圧力発生室３２内の圧力が高まりノズル孔３１から機能液３３が液滴３６として吐出される。
【００５５】
図３は、液滴吐出装置１の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。
【００５６】
主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１３は、入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。また、駆動電圧信号生成装置８０とヘッド１４の駆動を制御するヘッド駆動回路４４、温度取得装置８１も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ４８、液滴重量測定装置２２、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、ヘッドクリーニング部２１において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース４５およびバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。
【００５７】
主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１２の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動および停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１３が、キャリッジ１２の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１２の移動を制御することにより、キャリッジ１２を所望の位置に移動および停止することが可能になっている。
【００５８】
入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基材７に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。
【００５９】
液滴重量測定装置２２は受け皿と電子天秤を有し、ヘッド１４が吐出する液滴を受ける、受け皿の量を測定する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の量を測定して、測定値をＣＰＵ４０に送信する。
【００６０】
クリーニング選択装置５０は、ヘッドクリーニング部２１であるフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０から１つの装置を選択して、ヘッド１４と対向する場所に移動する装置である。
【００６１】
温度取得装置８１は、ヘッド１４の温度を測定する装置である。温度取得装置８１は、例えば熱電対からなり、温度を感知する感温部と、この感温部と温度検出回路との間を電気的に接続する配線部とから構成されている。なお、温度取得装置８１としては、この他に、ヘッド１４が発光する赤外線を受光した光エネルギを温度に変換することにより温度を取得する赤外線放射温度取得装置であってもよい。
【００６２】
メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域や、基材７内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域が設定される。また、駆動電圧を補正するための駆動電圧補正データ８６を記憶するための記憶領域が設定される。駆動電圧補正データ８６の詳細については後述する。さらに、基材７を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００６３】
ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基材７における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴重量測定装置２２を用いた液滴重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部５３と、温度取得装置８１を用いたヘッド１４等の温度測定を実現するための演算を行う温度測定演算部８２と、重量測定演算部５３で演算されたデータの減算を行う液滴量差演算部８４と、温度測定演算部８２で演算されたデータの減算を行う温度差演算部８３と、駆動電圧の補正の演算を行う駆動電圧補正演算部８５と、ヘッド１４によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５４を有する。
【００６４】
吐出演算部５４を詳しく分割すれば、ヘッド１４を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５５を有する。さらに、吐出演算部５４は、基材７を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５６を有する。加えて、吐出演算部５４は、ヘッド１４を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部５７を有する。さらに、吐出演算部５４はヘッド１４内の複数あるノズルのうちのいずれかを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部５８等といった各種の機能演算部を有する。
【００６５】
ここで、本発明で課題とする機能液の温度変化について説明する。図４は、ヘッド待機状態とヘッド駆動状態におけるヘッド１４の温度変化を説明するための図である。ヘッド待機状態とは、液滴吐出性を調整、修正または回復（メンテナンス処理）させる必要が発生した場合、あるいは、一時的に吐出作業を停止する必要が発生した場合に、一旦、ヘッド１４の駆動を止めた状態やメンテナンス処理を行っている状態を指し、ヘッド駆動状態とは、基材７に向けて液滴３６を吐出している状態を指す。
【００６６】
図４において、図の横軸にはヘッド待機状態とヘッド駆動状態を示し、縦軸はヘッド温度Ｔを示している。なお、機能液３３の温度を直接的に測定することの困難性に鑑み、また、ヘッド１４内の機能液３３の温度変化とヘッド１４の温度変化は相関関係にあることから、本実施形態では、ヘッド１４の温度を機能液３３の温度の代用として用いている。もちろん、機能液の温度を直接的に測定してもよい。
【００６７】
図４において、ヘッド待機状態の期間Ｐ１におけるヘッド１４の温度はほぼ一定の温度Ｔ１で推移する。ヘッド駆動状態の期間Ｐ２におけるヘッド１４の温度はほぼ一定の温度Ｔ２で推移する。そして、ヘッド待機状態の期間Ｐ１におけるヘッド１４の温度とヘッド駆動状態の期間Ｐ２の間に温度差Δｔが生じている。これは、ヘッド１４がおかれる状態、さらに詳細には、ヘッド１４の駆動の状態の差に起因するものと考えられる。例えば、ヘッド駆動状態では、基材７に向けて液滴３６を連続して吐出している状態である。このときヘッド１４に対して液滴３６を吐出するための駆動電圧を印加させている。駆動電圧は、例えば、図５（ａ）に示すように、吐出駆動波形６２を有する駆動電圧をヘッド１４に印加させている。吐出駆動波形６２は、略台形の波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧６３は、所定の電圧に設定され、所定時間印加させている。したがって、当該駆動電圧の印加に伴い、配線基板、回路基板３７、駆動素子３８から発熱し、その発生した熱によりヘッド１４内の機能液３３の温度が上昇すると考えられる。また、圧電素子３５の駆動によっても熱変換されてヘッド１４内の機能液３３の温度が上昇すると考えられる。そして、機能液３３の温度の上昇に伴ってヘッド１４の温度も上昇するものと考えられる。
【００６８】
一方、ヘッド待機状態では、メンテナンス処理等を行うにあたって、ヘッド駆動状態に比べ、ヘッド１４の駆動回数や駆動時間は少ないといえる。このため、配線基板、回路基板３７、駆動素子３８からの発熱量や、圧電素子３５の駆動による熱変換量は、ヘッド駆動状態よりも少ないため、ヘッド駆動状態におけるヘッド１４の温度Ｔ２に比べ低い温度となる傾向にある。
【００６９】
したがって、ヘッド待機状態のときと、ヘッド駆動状態のときとでは機能液３３の温度が異なるので、それぞれのヘッドの状態において機能液３３の粘度が異なることになる。そのため、例えば、ヘッド待機状態のもとで測定された液滴量に基づいて算出された駆動電圧を、ヘッド駆動状態において印加しようとすれば、機能液３３の温度変化によって機能液の粘度が変化している（図４では、ヘッド待機状態に比べ、ヘッド駆動状態における機能液３３の粘度は低い）ので、ヘッド駆動状態において吐出する液滴量が変わってしまい、所望の液滴量が得られない、という不都合が生じる。そこで、これらの不都合を解消すべく、ヘッド駆動状態では補正された駆動電圧を適用している。以下、具体的に説明する。
【００７０】
（液滴吐出方法）
本実施形態における液滴吐出方法を図６および図７を用いて説明する。図６は、本実施形態における液滴吐出方法を示すフローチャートであり、図７は、液滴吐出方法におけるヘッド１４の温度変化を示す図である。
【００７１】
ステップＳ１０は、ヘッド待機状態において、ヘッド１４に駆動電圧を印加させ、ヘッド駆動状態における所望する液滴量を吐出するための基準となる駆動電圧を取得する駆動電圧取得ステップである。具体的には、例えば、図７のヘッド待機状態（期間Ｐ１）において、ヘッド駆動状態（期間Ｐ２）において所望する液滴量を得るためにヘッド１４に対して駆動電圧を印加する。そして、所望の液滴量が得られたときの駆動電圧を基準となる駆動電圧Ｖｈ１として取得する。
【００７２】
ステップＳ１１は、ヘッド待機状態におけるヘッド１４の第１温度を取得する第１温度取得ステップである。具体的には、例えば、ヘッド１４が液滴重量測定装置２２に対向する位置に移動した状態（期間Ｐ１）において、ヘッド１４の温度を第１温度Ｔ１として取得（例えば、２５℃）する。ヘッド１４の温度は温度取得装置８１によって測定される。ヘッド１４の温度を取得する個所としては、機能液３３の温度変化との相関関係が得られる個所を考慮し、例えば、ノズルプレート３０の面やその近傍、ヘッド１４の側面部等の適宜選択することができる。
【００７３】
ステップＳ１２は、ヘッド駆動状態におけるヘッド１４の第２温度を取得する第２温度取得ステップである。例えば、ヘッド１４が基材７の吐出領域に位置して機能液３３を吐出している状態（期間Ｐ２）におけるヘッド１４の温度を第２温度Ｔ２として取得（例えば、２７℃）する。ヘッド１４の温度は、ステップＳ２と同様に温度取得装置８１によって測定することができる。なお、第２温度Ｔ２は、ヘッド駆動状態における条件出し等において取得された既知の温度を採用してもよい。
【００７４】
ステップＳ１３は、第１温度Ｔ１と第２温度Ｔ２との温度差Δｔを演算する温度差演算ステップである。例えば、第１温度Ｔ１（２５℃）と第２温度Ｔ２（２７℃）との差を求め、温度差Δｔ（２℃）を取得する。
【００７５】
ステップＳ１４は、温度差Δｔに基づいて、基準となる駆動電圧Ｖｈ１を補正する駆動電圧補正ステップである。例えば、第１温度Ｔ１と第２温度Ｔ２との温度差Δｔ（２℃）に基づいて、駆動電圧Ｖｈ１を補正し、補正された新たな駆動電圧Ｖｈ２を算出する。補正の方法としては、メモリ４１の駆動電圧補正データ８６に、温度差Δｔに対応して補正すべき駆動電圧Ｖｈ２がデータテーブルとして用意されており、当該データテーブルの中から温度差Δｔ（２℃）に対応する一の補正駆動電圧Ｖｈ２（２７Ｖｈ）を取得する。また、他の補正方法としては、駆動電圧補正データ８６に予め用意された複数の定数から温度差Δｔに対応する一の定数を選択し、駆動電圧Ｖｈ１に当該選択された定数を乗じて補正駆動電圧Ｖｈ２（２７Ｖｈ）を取得することもできる。
【００７６】
ステップＳ１５は、ヘッド１４に対して駆動電圧を生成する第１駆動電圧生成ステップである。さらに詳細には、ヘッド１４から液滴３６が吐出されない程度の駆動電圧を生成するステップである。図７に示すように、ヘッド待機状態からヘッド駆動状態までの移行期間（期間Ｐ３）においてヘッド１４に対して駆動電圧を生成する。期間Ｐ３における駆動電圧は、図５（ｂ）に示す非吐出駆動波形６５を有する駆動電圧をヘッド１４に対して生成する。さらに詳細には、非吐出駆動波形６５は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧６６（Ｖｈ３）は、液滴３６を吐出しない範囲で、圧電素子３５を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧６６は、吐出電圧６３の約３分の１程度の電圧を採用している。また、非吐出駆動波形６５の間隔である非吐出波形間隔６７は、圧電素子３５が振動する範囲で駆動して良い。非吐出波形間隔６７は、本実施形態では、例えば、吐出波形間隔６４と略同じ間隔でほぼ一定に形成されている。
【００７７】
ステップＳ１６は、ステップＳ１５において生成された駆動電圧をヘッド１４に印加してヘッド１４を駆動させる（ヘッド予備駆動）ステップである。ステップＳ１６により、ヘッド１４が駆動され、当該駆動により所定のヘッド温度に向けて上昇する。したがって、ヘッド予備駆動の期間Ｐ３は、暖機運転の期間ともいえる。
【００７８】
ステップＳ１７は、ヘッド１４の温度が所定の温度に達したか否かを判断するステップである。本実施形態では、所定のヘッド１４の第２温度Ｔ２に達したか否かを判断する。そして、第２温度Ｔ２に達した場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ１８に移行し、ＮＯの場合には、ステップＳ１６に移行し、暖機運転を継続する。
【００７９】
ステップＳ１８は、ヘッド１４に対して駆動電圧を生成する第２駆動電圧生成ステップである。さらに詳細には、ヘッド駆動状態の期間Ｐ２において、ステップＳ１４において補正された駆動電圧Ｖｈ２（２７Ｖｈ）をヘッド１４に対して生成する。
【００８０】
ステップＳ１９は、ワーク７に向けて機能液３３を液滴３６として吐出し、ワーク７に液滴３６を塗布するステップである。このステップＳ１９では、ステップＳ１８において生成された駆動電圧Ｖｈ２を駆動電圧として用いて液滴３６を吐出する。
【００８１】
ステップＳ２０は、ヘッド待機状態とするか否かを判断するステップである。ヘッド待機状態とする場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ１０に移行する。一方、ヘッド待機状態としない場合（ＮＯ）には、終了する。
【００８２】
（パターン形成方法、パターン形成部材）
次に、パターン形成方法およびパターン形成部材について説明する。図８は、上記の液滴吐出方法（図６）を用いて、基材７に対して液滴を吐出するパターン形成方法を示している。本実施形態では、液滴吐出装置１を用いたパターン形成方法によって形成されるパターン形成部材としてのカラーフィルタを例にして説明する。図８（ａ）〜（ｃ）は、カラーフィルタの形成方法を示す概略断面図である。
【００８３】
図８（ａ）は、ワークとしての基材の形成方法を示す図である。基材７は、例えば、透明なガラスなどの基板１０１の一方面の所定の領域に隔壁部１０４を形成する。隔壁部１０４の形成方法としては、フォトリソ法、印刷法、インクジェット法等を用いることができる。当該隔壁部１０４の形成により、フィルタエレメントとなる着色層領域１０３が形成される。本実施形態では、３色（赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））のフィルタエレメントを形成するため、それぞれの色に対応した着色層領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂが形成される。
【００８４】
図８（ｂ）は、液滴吐出方法を示す図である。図６および図７で説明したように、ヘッド待機状態（期間Ｐ１）において駆動電圧の補正を行い、その後、ヘッド予備駆動（期間Ｐ３）を行う。そして、ヘッド１４の温度が所定の第２温度Ｔ２に達したら、ヘッド１４に対して補正された駆動電圧Ｖｈ２を印加させ、ヘッド１４から着色層形成材料を含む液滴３６を着色層領域１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに向けて吐出する。
【００８５】
その後、基板１０１に塗布された液状体の溶媒成分を揮発させて、図８（ｃ）に示すように、着色層形成材料からなる着色層１０８が形成される。これにより、カラーフィルタ１１０が形成される。
【００８６】
（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図９は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。
【００８７】
図９において、液晶ディスプレイ１２０は、カラーフィルタ１１０と、カラーフィルタ１１０に対向して配置された素子基板１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１１０と素子基板１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。
【００８８】
カラーフィルタ１１０の保護膜１１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基板１０１の着色層１０８が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。
【００８９】
素子基板１５１は、透明性を有する基板１７０と、基板１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin  Film  Transistor）素子１７１と、基板１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基板１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。
【００９０】
（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図１０は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図１０において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１２０が搭載されている。
【００９１】
従って、上記の第１実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００９２】
（１）ヘッド待機状態（期間Ｐ１）とヘッド駆動状態（期間Ｐ２）におけるそれぞれのヘッド１４の温度Ｔ１，Ｔ２を取得し、温度Ｔ１と温度Ｔ２の温度差Δｔを演算する。また、ヘッド待機状態（期間Ｐ２）では、ヘッド駆動状態のときに所望する液適量を得るための駆動電圧を基準の駆動電圧Ｖｈ１として取得する。そして、温度差Δｔに基づいて、基準の駆動電圧Ｖｈ１を補正し、補正された駆動電圧Ｖｈ２をヘッド駆動状態（期間Ｐ２）におけるヘッド１４の駆動電圧として印加させる。したがって、ヘッド待機状態（期間Ｐ１）で取得された基準の駆動電圧Ｖｈ１をそのままヘッド駆動状態において適用するのではなく、ヘッド１４の温度変化に応じて補正された駆動電圧Ｖｈ２を適用するので、ヘッド駆動状態（期間Ｐ２）において所望の液滴３６を吐出することができる。
【００９３】
（２）ヘッド待機状態（期間Ｐ１）からヘッド駆動状態（期間Ｐ２）への移行期間にヘッド予備駆動（期間Ｐ３）を設けた。したがって、ヘッド待機状態（期間Ｐ１）におけるヘッド１４の第１温度Ｔ１から効率良くヘッド駆動状態（期間Ｐ２）におけるヘッド１４の第２所望の第２温度Ｔ２まで達することができる。
【００９４】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。なお、液滴吐出装置およびヘッドの基本的な構成、パターン形成部材、電気光学装置および電子機器の構成については第１実施形態と同じなので説明を省略する。
【００９５】
（液滴吐出方法）
本実施形態における液滴吐出方法を図５、図７および図１１を用いて説明する。図１１は、本実施形態における液滴吐出方法を示すフローチャートである。
【００９６】
ステップＳ２０は、ヘッド待機状態において、ヘッド１４に対して基準となる駆動電圧を印加して、ヘッド１４から吐出された液滴量を第１液滴量Ｗ１として取得する第１液滴量取得ステップである。具体的には、ヘッド１４が液滴重量測定装置２２側に位置したヘッド待機状態（図７の期間Ｐ１）において、ヘッド駆動状態（期間Ｐ２）において安定的に一定重量の液滴３６を吐出しているときの駆動電圧（ヘッド駆動状態における駆動電圧、例えば、３３Ｖｈ）を基準となる駆動電圧Ｖｈ１としてヘッド１４に印加して、ヘッド１４から吐出された第１液滴量Ｗ１（例えば、８ｐｌ）を取得する。
【００９７】
ステップＳ２１は、ヘッド待機状態におけるヘッド１４の温度を第１温度として取得する第１温度取得ステップである。具体的には、ヘッド１４がヘッド待機状態（図７の期間Ｐ１）にあるときのヘッド１４の温度を第１温度Ｔ１として取得（例えば、２５℃）する。ヘッド１４の温度は温度取得装置８１によって測定される。温度取得装置８１の構成、測定方法および測定個所については第１実施形態における液滴吐出方法と同じなので説明を省略する。
【００９８】
ステップＳ２２は、ヘッド駆動状態において所望する液滴量を第２液適量Ｗ２として取得する第２液滴量取得ステップである。具体的には、ヘッド１４が基材７の吐出領域に位置して機能液３３を吐出しているヘッド駆動状態（図７の期間Ｐ２）において安定的に吐出されている液滴重量（所望の液滴量）を第２液滴量Ｗ２（例えば、１０ｐｌ）として取得する。なお、第２液滴量Ｗ２は、ヘッド駆動状態における条件出し等において取得された既知の液滴量を採用してもよい。
【００９９】
ステップＳ２３は、ヘッド駆動状態におけるヘッド１４の温度を第２温度として取得する第２温度取得ステップである。具体的には、ヘッド１４がヘッド駆動状態（図７の期間Ｐ２）にあるときのヘッド１４の温度を第２温度Ｔ２（例えば、２７℃）として取得する。ヘッド１４の温度は温度取得装置８１によって測定される。温度取得装置８１の構成、測定方法および測定個所については第１実施形態における液滴吐出方法と同じなので説明を省略する。なお、第２温度Ｔ２は、ヘッド駆動状態における条件出し等において取得された既知の温度を採用してもよい。
【０１００】
ステップＳ２４は、第１液滴量Ｗ１と第２液滴量Ｗ２との液滴量差Δｗを演算する液滴量差演算ステップである。具体的には、第１液滴量Ｗ１（８ｐｌ）と第２液滴量Ｗ２（１０ｐｌ）との差を求め、液滴量差Δｗ（２ｐｌ）を取得する。
【０１０１】
ステップＳ２５は、第１温度と第２温度との温度差を演算する温度差演算ステップである。具体的には、第１温度Ｔ１（２５℃）と第２温度Ｔ２（２７℃）との差を求め、温度差Δｔ（２℃）を取得する。
【０１０２】
ステップＳ２６は、液滴量差Δｗと温度差Δｔに基づいて、基準となる駆動電圧Ｖｈ１を補正する駆動電圧補正ステップである。具体的には、液滴量差Δｗ（２ｐｌ）と温度差Δｔ（２℃）に基づいて、駆動電圧Ｖｈ１（３３Ｖｈ１）を補正し、補正された新たな駆動電圧Ｖｈ２を算出する。補正の方法としては、メモリ４１の駆動電圧補正データ８６に、液滴量差Δｗおよび温度差Δｔに対応して補正すべき駆動電圧Ｖｈ２がデータテーブルとして用意されており、当該データテーブルの中から液滴量差Δｗ（２ｐｌ）および温度差Δｔ（２℃）に対応する一の補正駆動電圧Ｖｈ２（３１Ｖｈ）を取得する。また、他の補正方法としては、駆動電圧補正データ８６に予め用意された複数の定数から液滴量差Δｗと温度差Δｔに対応する一の定数を選択し、駆動電圧Ｖｈ１に当該選択された定数を乗じて補正駆動電圧Ｖｈ２（３１Ｖｈ）を取得することもできる。
【０１０３】
ステップＳ２７は、ヘッド１４に対して駆動電圧を生成する第１駆動電圧生成ステップである。さらに詳細には、ヘッド１４から液滴３６が吐出されない程度の駆動電圧を生成するステップである。図７に示すように、ヘッド待機状態がヘッド駆動状態までの間の期間Ｐ３においてヘッド１４に対して駆動電圧を生成する。期間Ｐ３における駆動電圧は、図５（ｂ）に示す非吐出駆動波形６５を有する駆動電圧をヘッド１４に対して生成する。さらに詳細には、非吐出駆動波形６５は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧６６（Ｖｈ３）は、液滴３６を吐出しない範囲で、圧電素子３５を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧６６は、吐出電圧６３の約３分の１程度の電圧を採用している。また、非吐出駆動波形６５の間隔である非吐出波形間隔６７は、圧電素子３５が振動する範囲で駆動して良い。非吐出波形間隔６７は、本実施形態では、例えば、吐出波形間隔６４と略同じ間隔でほぼ一定に形成している。
【０１０４】
ステップＳ２８は、ステップＳ２７において生成された駆動電圧をヘッド１４に印加してヘッド１４を駆動させる（ヘッド予備駆動）ステップである。ステップＳ２８により、ヘッド１４が駆動され、当該駆動により所定のヘッド温度に向けて上昇する。したがって、ヘッド予備駆動の期間Ｐ３は、暖機運転の期間ともいえる。
【０１０５】
ステップＳ２９は、ヘッド１４の温度が所定の温度に達したか否かを判断するステップである。本実施形態では、所定のヘッド１４の第２温度Ｔ２に達したか否かを判断する。そして、第２温度Ｔ２に達した場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ３０に移行し、ＮＯの場合には、ステップＳ２８に移行し、暖機運転を継続する。
【０１０６】
ステップＳ３０は、ヘッド１４に対して駆動電圧を生成する第２駆動電圧生成ステップである。さらに詳細には、ヘッド駆動状態の期間Ｐ２において、ステップＳ２６において補正された駆動電圧Ｖｈ２（３１Ｖｈ）をヘッド１４に対して生成する。
【０１０７】
ステップＳ３１は、基材７に向けて機能液３３を液滴３６として吐出し、基材７に液滴３６を塗布するステップである。このステップＳ３１では、ステップＳ３０で生成された駆動電圧Ｖｈ２を駆動電圧として用いて液滴３６を吐出する。
【０１０８】
ステップＳ３２は、ヘッド待機状態とするか否かを判断するステップである。ヘッド待機状態とする場合（ＹＥＳ）には、ステップＳ２０に移行する。一方、ヘッド待機状態としない場合（ＮＯ）には、終了する。
【０１０９】
従って、上記の第２実施形態によれば、第１実施形態の効果に加え、以下に示す効果がある。
【０１１０】
（１）ヘッド駆動状態における駆動電圧は、ヘッド１４の経時劣化（例えば、ヘッドの歪み）に伴い、液滴吐出性を考慮しつつ駆動電圧を調整する必要がある。そこで、本実施形態では、液滴量差Δｗと温度差Δｔに基づいて、ヘッド駆動状態における基準の駆動電圧Ｖｈ１を補正する。そして、補正された駆動電圧Ｖｈ２をヘッド駆動状態におけるヘッド１４の駆動に適用するので、たとえヘッド１４の劣化等が生じてもヘッド駆動状態においてヘッド１４から所望の液滴３６を吐出することができる。
【０１１１】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【０１１２】
（変形例１）上記実施形態において、ヘッド待機状態におけるヘッド１４の第１温度Ｔ１はヘッド駆動状態におけるヘッド１４の第２温度Ｔ２よりも低い温度である場合の説明をしたが、これに限定されない。例えば、液滴吐出装置１の駆動環境や外的環境により、ヘッド待機状態におけるヘッド１４の第１温度Ｔ１がヘッド駆動状態におけるヘッド１４の第２温度Ｔ２よりも高くなる場合もあり得る。この場合であっても、第１温度Ｔ１と第２温度Ｔ２の温度差Δｔを演算することができる。
【０１１３】
（変形例２）上記実施形態おいて、ヘッド待機状態として液滴重量測定時について説明したが、これに限定されない。例えば、フラッシング処理、キャッピング処理、ワイピング処理、クリーニング処理、その他ヘッドが待機する状態であればよい。さらには、ワークの吐出領域で待機する状態であってもよい。この場合でも、ヘッド待機状態とヘッド駆動状態との温度差Δｔを演算することができる。
【０１１４】
（変形例３）上記実施形態では、温度の測定や調整をヘッド単位で行なう説明としたが、これに限定されない。ノズル毎に温度の測定や調整を行なっても良い。また、機能液が温度の影響を受けて吐出する液適量の変動があるため、その影響が共通して起こり易い単位、例えば、共通流路を持つノズル群を単位として温度の測定や調整を行なっても良い。
【０１１５】
（変形例４）上記実施形態では、機能液としてフィルタエレメントとなる着色層形成材料を含む液滴３６を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光材料、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電材料、誘電体材料等の材料が選択可能である。この場合であっても、機能液を液滴として吐出することができる。
【０１１６】
（変形例５）上記実施形態では、パターン形成としてのカラーフィルタについて説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ装置、各種半導体素子（薄膜トランジスタ、薄膜ダイオード等）、各種配線パターン、および絶縁膜の形成等にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】液滴吐出装置の概略外観図。
【図２】ヘッドの要部断面図。
【図３】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図４】ヘッドの温度変化の説明図。
【図５】駆動電圧の説明図。
【図６】第１実施形態における液滴吐出方法を示すフローチャート図。
【図７】液滴吐出方法におけるヘッドの温度変化の説明図。
【図８】パターン形成方法の説明図およびパターン形成部材としてのカラーフィルタの断面図。
【図９】電気光学装置としての液晶ディスプレイの断面図。
【図１０】電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図。
【図１１】第２実施形態における液滴吐出方法を示すフローチャート図。
【符号の説明】
【０１１８】
１…液滴吐出装置、７…ワークとしての基材、５３…重量測定演算部、８０…駆動電圧信号生成装置、８１…温度取得装置、８２…温度測定演算部、８３…温度差演算部、８４…液滴量差演算部、８５…駆動電圧補正演算部、８６…駆動電圧補正データ、１１０…パターン形成部材としてのカラーフィルタ、１２０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機、Ｐ１…ヘッド待機状態の期間、Ｐ２…ヘッド駆動状態の期間、Ｐ３…ヘッド予備駆動状態の期間、Ｔ１…第１温度、Ｔ２…第２温度、Ｖｈ１…基準の駆動電圧、Ｖｈ２…補正された駆動電圧、Ｖｈ３…ヘッド予備駆動の駆動電圧、Δｔ…温度差、Δｗ…液滴量差。
【図１】
0004678423.tif 000002
【図２】
0004678423.tif 000003
【図３】
0004678423.tif 000004
【図４】
0004678423.tif 000005
【図５】
0004678423.tif 000006
【図６】
0004678423.tif 000007
【図７】
0004678423.tif 000008
【図８】
0004678423.tif 000009
【図９】
0004678423.tif 000010
【図１０】
0004678423.tif 000011
【図１１】
0004678423.tif 000012