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【手続補正書】
【提出日】平成15年12月4日(2003.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
多数のスペーサを含むスペーサーキャリア液を貯留する貯留手段と、
上記貯留手段から開口を介してその上方の配向処理されたガラス基板に上記スペーサキャリア液をドット状に吐出することにより上記ガラス基板の配向膜の面の所定部位にスペーサーを散布する散布手段と、
可視光線を遮蔽した状態で上記ガラス基板上のスペーサキャリア液を乾燥させる乾燥手段と、を備えたことを特徴とするスペーサ散布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２の発明のスペーサ散布方法は、多数のスペーサーを含むスペーサーキャリア液を、開口を介してドット状にその上方の配向処理されたガラス基板に吐出することにより、該ガラス基板の配向膜の面の所定の部位に上記スペーサを散布するスペーサ散布方法において、可視光線を遮蔽した状態で上記ガラス基板上のスペーサキャリア液を乾燥することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月25日(2003.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
生産性の観点からは金型或いはスタンパを用いる方法が望ましい。具体的には前記の透明基材を用いて熱プレス法、押出し成形法、ロール成形法などにより、透明基材の表面に直接マイクロレンズアレイ形状を形成する方法、即ち、マイクロレンズアレイ１００と透明基材２００を一体成形する方法がある。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
ところで、Ａnomalous  Ｄiffraction〔Ｈ．Ｃ．Ｖan  de  Ｈulst，Ｌight  Ｓcattering  by  Small  Particles，（Ｗiley，Ｎew  Ｙork，１９５７）に記載〕により拡散層５００の光散乱性を評価すると、拡散層５００の散乱断面積σは式（１）で表される。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
【数１】
2003121609.tif 000001
ここで、Ｒは透明微粒子の粒子半径、Ｎは透明微粒子の個数密度、ｄは拡散層の厚さ、Δｎは透明媒体と透明微粒子の屈折率差である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
また、νとｋは次式（２），（３）で表される。
〔数２〕
ν＝２ｋＲΔｎ                              （２）
ｋ＝２π／λ                                （３）
透明微粒子一個当りの散乱断面積をＱとすると、
Ｑ＝σ／πＲ2                              （４）
散乱の強さがｅσNdに比例するものとすると、拡散層の厚さｄに依存しない拡散層の散乱の強さは式（５）からＱ／Ｒの大きさを評価すればよい。なお、Ｎは透明粒子の個数密度である。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
従って、拡散層５００は透明媒体としてアクリル系の粘着剤を使用し、拡散層５００自体が粘着剤として機能するようにして拡散層と感光感熱層３２０を直接貼合せることが望ましい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
ところで、光学シート３０の光吸収層３００が形成された面は観察者側となり、直接触れられる可能性があるため、図１４に示すように、光学シート３０の光吸収層３００の上にさらに透明な接着剤により透明シート６００を貼付け表面を保護するようにしてもよい。なお、透明シートとしては、少なくとも可視光に対して透明な高分子フィルムを用いることができ、光学シート自体に剛性を持たせるために透明シートに厚さ数ｍｍのアクリル板を用いてもよい。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
一方、反射した青色光（Ｂ）以外の光は、色分離ダイクロイックミラー８０３で、緑色光（Ｇ）と赤色光（Ｒ）に分離され、緑色光（Ｇ）は液晶表示素子８０８へ至る。また、赤色光（Ｒ）は全反射ミラー８０５および８０６で反射して、液晶表示素子８０９に至る。


【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2003121609.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月24日(2003.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
この構成によれば、供給路９を共通としたので、液滴吐出装置１０１ｘ毎にインク３０を供給する必要がなく、一斉に供給可能となる。また、供給路９は液滴吐出装置１０２ｘが配列する方向に延在しており、インク３０の供給は迅速かつスムーズに行われる。従って空気が存在した状態の供給路９にインク３０を充填する際も、容易でかつ気泡が残留することもない。更に構成要素を共用としたので、部品点数が減り、組み立ても簡単になるため、コストを低減できる。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７７】
図１５は本実施の形態の変形にかかる液体吐出装置１０８ｂの構成を示す断面図である。液体吐出装置１０８ｂは液体吐出装置１０８ａの音響伝導体７１とホーン７２とを一体として形成した音響伝導体７３を採用している。流路３６は液体吐出装置１０８ａにおいて連通する供給路３９及び流路３８に相当するが、その径は加振体１ｄ側から開口３７まで等しくしてもよい。あるいは液体吐出装置１０８ａと同様に加振体１ｄ側を開口３７よりも広くしてもよい。その方が流路３６の形成は容易となる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
液体吐出装置１０９では液体吐出装置１０１とは異なり、ボディ８と音響伝導体７４とはいずれも金属性であり、両者が接触すると外側面４を介して音波２６が音響伝導体７４からボディ８へと漏洩し易い。そこで本実施の形態では、ボディ８は音響伝導体７４と隔離してその周囲に設けられた第１部分８ａと、インク３０を先端７４ａへと導き先端７４ａが露出する穴を有する天板８ｂとを有しており、これらはいずれも外側面４と非接触に配置されている。当該露出個所においてはインク３０が漏れないようにシール部材を介在させてもよい。また保持板１７の開口１５の径を、インク３０の液面が保持できる程度の大きさにしておけば、ノズルプレート１４がなくてもインク滴３１を吐出することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１６】
2002166541.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月5日(2003.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
樋部７３の天井部７４は、回転カップ４２に向けて開放するように傾斜している。その傾斜角θ１として１０°〜４５°、より好ましくは２０°とされている。そして、回転カップ４２の流出孔５８は天井部７４の斜面に対面している。これにより、回転カップ４２の流出孔５８から排出されるレジスト液を樋部７３で確実に回収することができるようになる。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、第２の排気通路８０と排気口７９との間には、メッシュが配置されている。これにより、排気口７９側にミストが侵入することを防止している。更に、排気口７９にはダンパが介挿されている。そして、基板Ｇ上にレジストを塗布しているときにはダンパが開いた状態とされ、それ以外のときにはダンパにより排気口７９が閉じられた状態とされている。これによっても、排気口７９側にミストが侵入することを防止している。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月16日(2003.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
油冷式空気圧縮機（８）のオイルタンク（９）からの油の温度を制御して前記圧縮機に供給するようにした油温制御弁であって、中空円筒型の弁体（１）を摺動可能に嵌装する弁ケース（２）と、この弁ケースに形成された第１のポート（３）と、前記弁ケースに形成された第２のポートとを備え、
前記第１のポートは、前記オイルタンクとオイルタンからの油を冷却するオイルクーラ（１１）の入口との間に接続され、前記第２のポートは前記オイルクーラの出口に接続される構成とし、
前記弁体の動作により、前記第１及び第２のポートから弁ケース内に流れる油量を制御し、オイルクーラを通過し冷却されて第２ポートから流入する油温の低い油と、第１ポートから流入する油温の高い油とを混合し、圧縮機側に流すようにした油温制御弁において、
前記弁ケースに形成された油が流入するポートを、前記弁体の摺動方向に対して直交する方向に長い楕円形状或いは長方形状に構成したことを特徴とする油冷式空気圧縮機の油温制御弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図１は油温制御弁を示している。また、図３は中空円筒型の弁体１の上面図を示しており、中心に油温を感知して摺動するピストン１６を備え、中空部１７を油が通過する構造となっている。図１に示すように、油温制御弁は中空円筒型の弁体１と弁ケース２と弁蓋１８で構成されており、弁ケース２にはオイルタンク９とオイルクーラ１１の入口との間に連通するポート（第１のポート）３と、オイルクーラ１１の出口に連通するポート（第２のポート）４と、弁室６と、混合室５が設けられており、前記中空円筒型の弁体１によりポート４と弁室６，ポート３と混合室５は仕切られている。また、弁室６と混合室５は中空円筒型の弁体２の内側で連通している。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、油冷式空気圧縮機のオイルタンクからの油の温度を制御して前記圧縮機に供給するようにした油温制御弁であって、中空円筒型の弁体を摺動可能に嵌装する弁ケースと、この弁ケースに形成された第１のポートと、前記弁ケースに形成された第２のポートとを備え、前記第１のポートは、前記オイルタンクとオイルタンからの油を冷却するオイルクーラの入口との間に接続され、前記第２のポートは前記オイルクーラの出口に接続される構成とし、前記弁体の動作により、前記第１及び第２のポートから弁ケース内に流れる油量を制御し、オイルクーラを通過し冷却されて第２ポートから流入する油温の低い油と、第１ポートから流入する油温の高い油とを混合し、圧縮機側に流すようにした油温制御弁において、前記弁ケースに形成された油が流入するポートを、前記弁体の摺動方向に対して直交する方向に長い楕円形（長円形）状或いは長方形状に構成したことを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
図１は油温制御弁を示している。また、図３は中空円筒型の弁体１の上面図を示しており、中心に油温を感知して摺動するピストン１６を備え、中空部１７を油が通過する構造となっている。図１に示すように、油温制御弁は中空円筒型の弁体１と弁ケース２と弁蓋１８で構成されており、弁ケース２にはオイルタンク９とオイルクーラ１１の入口との間に連通するポート（第１のポート）３と、オイルクーラ１１の出口に連通するポート（第２のポート）４と、弁室６と、混合室５が設けられており、中空円筒型の弁体１によりポート４と弁室６，ポート３と混合室５は仕切られている。また、弁室６と混合室５は中空円筒型の弁体１の内側で連通している。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本実施例は、弁ケース２のポート３の形状が、図２に示すように、前記弁体１の摺動方向に対して直交する方向に長い長円形（楕円形）状であり、ポート４も同様の長円形状となっている。このことにより、油の流路面積を大きくすることができ、油の流量を増やすことができる。また、長円形状であるポートの幅（弁体の摺動方向の寸法）は、中空円筒型の弁体１の摺動範囲の限度と同じため、摺動範囲が大きな弁体にする必要がない。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を適用した油冷式空気圧縮機の油温制御弁の縦断面図。
【図２】図１の油温制御弁の側面図。
【図３】図１の油温制御弁の弁体の上面図。
【図４】従来の油冷式空気圧縮機の油温制御弁の側面図。
【図５】図１の油温制御弁を用いた油冷式空気圧縮機の系統図。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月22日(2003.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向の主筋と、該主筋に直交する横筋とからなる金網状のマットが、引張側と圧縮側に２枚平行に組合わされた鉄筋マットが埋設された構造のＡＬＣパネルであって、少なくとも引張側の金網状マットには、該パネルの長手方向の一方の小口面から所定の長さ位置に前記横筋が配置され、引張側と圧縮側の双方の金網状マットの相対する他方の小口面からは、最端の横筋が所定の長さ以内に配置され、２本目以降の横筋がマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで所定の長さ以内のピッチで配置された鉄筋マットで構成されていることを特徴とする長さ調整用ＡＬＣパネル。
【請求項２】
前記横筋は、パネルの長手方向の一方の小口面から３０ｍｍ、７０ｍｍ、１１０ｍｍ、２８０ｍｍ以内の位置に配置され、前記最端の横筋は３０ｍｍ以内に配置され、２本目以降の横筋はマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで１７０ｍｍ以内のピッチで配置されていることを特徴とする請求項１記載の長さ調整用ＡＬＣパネル。
【請求項３】
長手方向の主筋と、該主筋に直交する横筋とからなる金網状のマットが、引張側と圧縮側に２枚平行に組合わされた鉄筋マットが埋設された構造のＡＬＣパネルの製造方法であって、少なくとも引張側の金網状マットを該パネルの長手方向の一方の小口面から所定の位置に前記横筋を固着し、かつ引張側と圧縮側の双方の金網状マットの相対する他方の小口面から所定の長さ以内に最端の横筋を固着するとともに、２本目以降の横筋をマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで所定の長さ以内のピッチで固着して鉄筋マットを構成することを特徴とする長さ調整用ＡＬＣパネルの製造方法。
【請求項４】
前記横筋はパネルの長手方向の一方の小口面から３０ｍｍ、７０ｍｍ、１１０ｍｍ、２８０ｍｍ以内の位置に固着し、かつ引張側と圧縮側の双方の金網状マットの相対する他方の小口面から３０ｍｍ以内に最端の横筋を固着し、２本目以降の横筋をマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで１７０ｍｍ以内のピッチで固着することを特徴とする請求項３記載の長さ調整用ＡＬＣパネルの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る長さ調整用ＡＬＣパネルは、長手方向の主筋と、該主筋に直交する横筋とからなる金網状のマットが、引張側と圧縮側に２枚平行に組合わされた鉄筋マットが埋設された構造のＡＬＣパネルであって、少なくとも引張側の金網状マットには、該パネルの長手方向の一方の小口面から所定の長さ位置に前記横筋が配置され、引張側と圧縮側の双方の金網状マットの相対する他方の小口面からは、最端の横筋が所定の長さ以内に配置され、２本目以降の横筋がマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで所定の長さ以内のピッチで配置された鉄筋マットで構成されていることを特徴とするものである。
この長さ調整用ＡＬＣパネルにおける前記横筋は、該パネルの長手方向の一方の小口面から３０ｍｍ、７０ｍｍ、１１０ｍｍ、２８０ｍｍ以内の位置に配置され、また引張側と圧縮側の双方の金網状マットの相対する他方の小口面からは、最端の横筋が３０ｍｍ以内に配置され、２本目以降の横筋がマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで１７０ｍｍ以内のピッチで配置されていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、その製造方法としては、長手方向の主筋と、該主筋に直交する横筋とからなる金網状のマットが、引張側と圧縮側に２枚平行に組合わされた鉄筋マットが埋設された構造のＡＬＣパネルを製造するに際し、少なくとも引張側のマットを該パネルの長手方向の一方の小口面から所定の長さ位置に前記横筋を固着し、かつ引張側と圧縮側の双方のマットの相対する他方の小口面から所定の長さ以内に最端の横筋を固着するとともに、２本目以降の横筋をマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで所定の長さ以内のピッチで固着して鉄筋マットを構成することを特徴とするものである。
この製造方法における横筋は、少なくとも引張側のマットを当該パネルの長手方向の一方の小口面から３０ｍｍ、７０ｍｍ、１１０ｍｍ、２８０ｍｍ以内の位置に固着し、かつ引張側と圧縮側の双方のマットの相対する他方の小口面から３０ｍｍ以内に最端の横筋を固着し、２本目以降の横筋をマット切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで１７０ｍｍ以内のピッチで固着することを特徴とするものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【発明の効果】
以上説明したごとく、この発明の長さ調整用ＡＬＣパネルは、少なくとも引張側の金網状マットには、パネルの長手方向の一方の小口面から所定の長さ位置に横筋を配置し、引張側および圧縮側双方の金網状マットの相対する他方の小口面からは最端の横筋を所定の長さ以内に配置し、２本目以降は切断予定位置よりも少なくとも１ピッチ先まで所定の長さ以内のピッチで横筋を配置したことにより、パネルの一方の小口面からは切断しないか、または１０〜８０ｍｍ切断し、残部は他方の小口面側から切断することにより１００ｍｍ刻みで所望長さのパネルを得ることができ、切断したパネルの横筋の位置は前記の条件（両端小口面から３０ｍｍ以内と、引張側の２００ｍｍ以内に２本以上の横筋が配置）を満たして所定位置に横筋が必ず配置されていることにより、壁用はもとより、床、屋根用パネルにも対応することができる。したがって、この発明の配筋構成のパネルを厚さや幅を変えて数種類予め製造しておけば、もし不良品が発生した場合にはこのパネルを所望長さに切断して代用することができるので、不良品と同一仕様のパネルを製造し直す必要がなくなり、種々の仕様からなる製品群の納期遅れや建築工期遅延を解消することができるいう大なる効果を奏する。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月16日(2003.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱交換器およびその製造方法並びに冷蔵庫
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィン素材に送り孔を形成してこの送り孔には間欠移送手段のピンを係合し、この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、このフィン素材にチューブ嵌合用の嵌合溝を形成するとともに、このフィン素材をコルゲート状に折曲げ形成し、前記送り孔はコルゲート状に折曲げたフィンの前記嵌合溝の存在しない側の頂面に配置し、前記嵌合溝にはチューブを嵌合したことを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
フィン素材に送り孔を形成してこの送り孔には間欠移送手段のピンを係合し、この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、このフィン素材にチューブ嵌合用の嵌合溝を形成するとともに、このフィン素材をコルゲート状に折曲げ形成し、前記送り孔はスリット状に形成し、このスリット状の送り孔はコルゲート状に折曲げたフィンの山及び／又は谷の頂面、或いは前記フィンの側面に配置し、前記嵌合溝にはチューブを嵌合したことを特徴とする熱交換器。
【請求項３】
冷蔵庫の底部に嵌合溝の開口を上向きにして略水平に配置された状態で、熱交換器の上面には平坦な載置面が形成され、この平坦な載置面上には、冷蔵庫のアルミニウム製の蒸発皿が載置されることを特徴とする請求項１または２に記載の熱交換器。
【請求項４】
コルゲートフィンに、Ａｌ−Ｍｎ系の合金であってＭｎを１．０〜１．５％、またはさらに、Ｍｇを０．８〜１．３％添加した合金を用いたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項５】
冷蔵庫の底部に略水平に配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の熱交換器を備えたことを特徴とする冷蔵庫。
【請求項７】
フィン素材をコルゲート状に折曲げてフィンを形成し、このフィンに形成されるチューブ嵌合用の嵌合溝にチューブを嵌合して製造される熱交換器の製造方法において、
コルゲート状に折曲げたフィンの前記嵌合溝の存在しない側の頂面に配置される送り孔を前記フィン素材に形成する過程と、
このフィン素材に形成された送り孔に間欠移送手段のピンを係合する過程と、
この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、前記フィン素材をコルゲート状に折曲げ形成する過程と、
を備えたことを特徴とする熱交換器の製造方法。
【請求項８】
フィン素材をコルゲート状に折曲げてフィンを形成し、このフィンに形成されるチューブ嵌合用の嵌合溝にチューブを嵌合して製造される熱交換器の製造方法において、
コルゲート状に折曲げたフィンの山及び／又は谷の頂面、或いは前記フィンの側面に配置されるスリット状の送り孔を前記フィン素材に形成する過程と、
このフィン素材に形成された送り孔に間欠移送手段のピンを係合する過程と、
この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、前記フィン素材をコルゲート状に折曲げ形成する過程と、
を備えたことを特徴とする熱交換器の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば冷蔵庫用コンデンサ等に用いられる熱交換器およびその製造方法並びに冷蔵庫に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する問題点を解消し、送り孔を有効に利用して、切断除去の一工程を省略でき、しかもフィン素材の歩留まりを向上させることのできる熱交換器およびその製造方法並びに冷蔵庫を提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この発明によれば、送り孔はスリット状に形成され、このスリット状の送り孔はコルゲート状に折曲げたフィンの山及び／又は谷の頂面、或いはフィンの側面に配置されるので、この熱交換器を設置するに際しては、空気の流れ方向が一方向に限定されないので、設置の自由度が大きくなるし、空気の流れが乱流になるので、熱交換の効率を向上させることができる。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のものにおいて、冷蔵庫の底部に嵌合溝の開口を上向きにして略水平に配置された状態で、熱交換器の上面には平坦な載置面が形成され、この平坦な載置面上には、冷蔵庫のアルミニウム製の蒸発皿が載置されることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１ないし３のいずれか一項に記載のものにおいて、コルゲートフィンに、Ａｌ−Ｍｎ系の合金であってＭｎを１．０〜１．５％、またはさらに、Ｍｇを０．８〜１．３％添加した合金を用いたことを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、請求項１ないし４のいずれか一項に記載のものにおいて、冷蔵庫の底部に略水平に配置されていることを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の熱交換器を備えたことを特徴とする冷蔵庫である。
請求項７に記載の発明は、フィン素材をコルゲート状に折曲げてフィンを形成し、このフィンに形成されるチューブ嵌合用の嵌合溝にチューブを嵌合して製造される熱交換器の製造方法において、コルゲート状に折曲げたフィンの前記嵌合溝の存在しない側の頂面に配置される送り孔を前記フィン素材に形成する過程と、このフィン素材に形成された送り孔に間欠移送手段のピンを係合する過程と、この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、前記フィン素材をコルゲート状に折曲げ形成する過程と、を備えたことを特徴とする。
請求項８に記載の発明は、フィン素材をコルゲート状に折曲げてフィンを形成し、このフィンに形成されるチューブ嵌合用の嵌合溝にチューブを嵌合して製造される熱交換器の製造方法において、コルゲート状に折曲げたフィンの山及び／又は谷の頂面、或いは前記フィンの側面に配置されるスリット状の送り孔を前記フィン素材に形成する過程と、このフィン素材に形成された送り孔に間欠移送手段のピンを係合する過程と、この間欠移送手段を用いて前記フィン素材を間欠的に供給し、前記フィン素材をコルゲート状に折曲げ形成する過程と、を備えたことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による熱交換器およびその製造方法並びに冷蔵庫の一実施の形態を図面に基づいて説明する。尚、この明細書において、以下「アルミニウム」の語は「純アルミニウム」のほかに「アルミニウム合金」を含むものとする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月18日(2003.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビスコース加工紙の少なくとも一方の表面に、水溶性高分子を含有する層を設けた複層ビスコース加工紙。
【請求項２】
ビスコース加工紙が、不織布或いは抄紙に、１から３０ｇ／ｍ 2 の量でビスコースが塗布されたものである請求項１記載の複層ビスコース加工紙。
【請求項３】
ビスコース加工紙が、坪量が２０から１２０ｇ／ｍ2 の不織布或いは抄紙に、ビスコースが塗布されたものである請求項１または２記載の複層ビスコース加工紙。
【請求項４】
水溶性高分子の含有量が、３から４０ｇ／ｍ2 である請求項１〜３のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙。
【請求項５】
水溶性高分子が、水溶性ポリビニルアルコールである請求項１〜４のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙。
【請求項６】
ポリビニルアルコールのケン価度が７５から９９ｍｏｌ％であり、かつその重合度が５００から５０００である請求項５記載の複層ビスコース加工紙。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙を用いることを特徴とする接着テープまたは粘着テープ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙を用いることを特徴とする片面接着テープまたは片面粘着テープ。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙を用いることを特徴とする両面接着テープまたは両面粘着テープ。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙を用いることを特徴とするラベル。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙を用いることを特徴とするシート。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載の複層ビスコース加工紙、テープ、ラベル、シートから選ばれる少なくとも１種を用いることを特徴とする容器。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月9日(2003.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
図６は視線検出装置を搭載したカメラのファインダの例である。視野マスク内に液晶表示部が設けられ、視線スイッチマーク１７ａ，１７ｂや測距エリアマーク１８、ファインダ内視線モードマーク１９などが配置されている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
視線スイッチマーク１７ａ，１７ｂはスイッチの役割を示すもので、視線検出装置により撮影者の視線が指標である視線スイッチマーク１７ａ，１７ｂ上にあると判断された場合には、それぞれのスイッチがオンしたものとしてカメラを制御するものである。例えば、ＺＯＯＭ機能付きカメラにおいて、視線スイッチマーク１７ａ上に視線がある場合には撮影レンズを望遠側（ＴＥＬＥ側）に、視線スイッチマーク１７ｂ上に視線がある場合には広角側（ＷＩＤＥ側）に駆動する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
１３ａはＴＥＬＥスイッチで、押されるとマイコン９は鏡筒制御回路８に指示して撮影レンズを望遠側に駆動する。１３ｂはＷＩＤＥスイッチで、押されるとマイコン９は鏡筒制御回路８に指示して撮影レンズを広角側に駆動する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図２は外部液晶表示装置５の表示例であり、視線モードマーク１５や、既知のストロボモードマーク、フィルム在否マーク、７セグメントからなるフィルム枚数、日付けなどが配されている。視線モードマーク１５は、視線オンモードの場合に点灯し、視線オフモードの場合に消灯する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
ここで、視線オンモードの場合、前記視線検出装置により撮影者の視線が指標としての視線スイッチマーク１７ａにあると判断された場合には、マイコン９は前記鏡筒制御回路８に指示して撮影レンズをＴＥＬＥ端に駆動する。逆に撮影者の視線が指標としての視線スイッチマーク１７ｂにあると判断された場合には、ＷＩＤＥ端に駆動する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
また、ステップ１１１で視線検出が成功したと判断されると、ステップ１１３において視線情報を用いた処理を実行する。視線情報を用いた処理とは、撮影者の視線が指標としての視線スイッチマーク１７ａにあると判断された場合には、マイコン９は前記鏡筒制御回路８に指示して撮影レンズをＴＥＬＥ端に駆動する。逆に撮影者の視線が指標としての視線スイッチマーク１７ｂにあると判断された場合には、ＷＩＤＥ端に駆動するということである。視線情報を用いた処理が終わると、ステップ１１４に進んで視線検出を再開し、ステップ１０１に戻り以下の動作を繰り返す。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
ステップ２２８において、ＥＹＥＯＫフラグが０なら、ステップ２２９に進み、タイマーを確認して所定時間経過しているか否かが確認される。ステップ２２９において、所定時間経過していなければ、ステップ２３０に進み、ＥＹＥＡＰフラグが確認される。ＥＹＥＡＰフラグは、前記視線検出装置が接眼検出中である場合に１となるものである。ＥＹＥＡＰ＝１であれば接眼検出中なので次のステップ２０６に進み、接眼されているか否かが確認される。接眼が確認されれば接眼中であることを示すＥＹＥＯＫフラグがセット（ＥＹＥＯＫ＝１）される（ステップ２３１）。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１…視線検出用エリアセンサー
２…ＩＲＥＤ駆動回路
３…液晶表示駆動回路
４…ファインダ内表示装置
５…外部表示装置
６…測光回路
７…測距回路
８…鏡筒制御回路
９…マイコン
１０…第１カウンタ回路Ｎ１
１１…第２カウンタ回路Ｎ２
１２…レリーズスイッチ
１３…ズームスイッチ
１４…視線モードスイッチ
１５…視線モードマーク
１６…タイマー回路
１７…視線スイッチマーク
１８…測距エリアマーク
１９…ファインダ内視線モードマーク
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月24日(2003.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、免疫担当細胞においてＩＦＮ−γの産生を誘導する蛋白質（以下、単に「当該蛋白質」ということもある。）をコリネバクテリウム死菌体とリポ多糖で予処理したマウスの肝臓より単離し、その蛋白質をコードするＤＮＡのクローニングに成功した。このマウス由来のＤＮＡとの相同性に基づいてヒト肝細胞を検索したところ、ヒト由来のＤＮＡのクローニングに成功し、その発現産物たる蛋白質には同じく免疫担当細胞においてＩＦＮ−γの産生の誘導能が確認された。このヒト由来のＤＮＡは、配列表における配列番号６に示す塩基配列を有し、そこに併記したアミノ酸配列をコードしてなるものであった。これら知見は同じ出願人による特願平７−２６２０６２号明細書（特開平８−１９３０９８号公報）に開示されている。次にヒト細胞を検索したところ、ある種の細胞株が、免疫担当細胞においてＩＦＮ−γの産生を誘導する蛋白質を産生していることを見出し、その蛋白質を単離して性質・性状を調べた。その結果この蛋白質は、先にクローニングされたヒト由来のＤＮＡの発現産物たる蛋白質のアミノ酸配列を有してなるものであることが結論された。なお、この蛋白質の部分アミノ酸配列は、例えば、配列表における配列番号１乃至４に記載されている。この知見は、同じ出願人による特願平８−６７４３４号明細書（特開平９−２８９８９６号公報）に開示されている。また本発明者らは、ヒト由来のＤＮＡを大腸菌に導入した形質転換体を用いて当該蛋白質を製造・精製し、この精製蛋白質でマウスを免疫し、そこから採取した脾細胞とマウス骨髄由来細胞株とを融合させて、ハイブリドーマを得た。このハイブリドーマより得たモノクローナル抗体は、当該蛋白質に特異的に反応することが確認された。この知見は、同じ出願人による特願平７−５８２４０号明細書（特開平８−２３１５９８号公報）に開示されている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
そこで、常法にしたがって残りの組換えＤＮＡを制限酵素Ｅｃｏ  ＲＩ及びＨｉｎｄ  ＩＩＩで切断後、宝酒造製ＤＮＡライゲーションキット『ＤＮＡライゲーション・キット・バージョン２』を使用して、得られたＥｃｏ  ＲＩ−Ｈｉｎｄ  ＩＩＩ  ＤＮＡ断片０．１μｇと予め同じ制限酵素で切断しておいたファルマシア製プラスミドベクター『ｐＫＫ２２３−３』１０ｎｇを１６℃で３０分間反応させて連結して複製可能な組換えＤＮＡ『ｐＫＧＦＨＨ２』を得た。コンピテントセル法により、この組換えＤＮＡ『ｐＫＧＦＨＨ２』で大腸菌Ｙ１０９０株（ＡＴＣＣ３７１９７）を形質転換し、得られた形質転換体『ＫＧＦＨＨ２』を５０μｇ／ｍｌアンピシリンを含むＬ−ブロス培地（ｐＨ７．２）に接種し、３７℃で１８時間振盪培養した。培養物を遠心分離して形質転換体を採取し、その一部に通常のＳＤＳ−アルカリ法を適用して組換えＤＮＡ『ｐＫＧＦＨＨ２』を抽出した。ジデオキシ法により分析したところ、組換えＤＮＡ『ｐＫＧＦＨＨ２』においては、配列表における配列番号６に示す塩基配列を含む『ＫＧＦＨＨ２  ｃＤＮＡ』がＴａｃプロモータの下流に連結されていた。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
同じ出願人による特願平８−６７４３４号明細書（特開平９−２８９８９６号公報）に記載した方法に準じてペプチド・マッピングをおこない、精製蛋白質由来の『ペプチド断片１』乃至『ペプチド断片３』のアミノ酸配列を分析した。ペプチド断片２のアミノ酸配列は、配列表における配列番号１に示すアミノ酸配列のＮ末端にメチオニンが結合した配列を有していた。ペプチド断片１のアミノ酸配列は同じく配列番号２に示す配列を、ペプチド断片３のアミノ酸配列は同じく配列番号３及び４に示すアミノ酸配列を有していた。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【実施例１−２】
〈ハイブリドーマの調製〉
１０週齢ＢＡＬＢ／ｃマウスの腹腔内に実施例１−１の方法により得た精製蛋白質を完全フロイントアジュバントとともに２０μｇ／匹の割合で注射接種した。その後、２週間おきに同一量を２回接種し、最後の接種から１週間後に同一量をさらに静脈注射し、３日後に脾臓を摘出し、分散して脾細胞を得た。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月22日(2003.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インジェクタと該インジェクタによってホッパ−内の粉体を粉体柱として取出す粉体導入手段と、該粉体柱の終端付近外周の粉体導入手段の略全周に設けられた極めて薄いスリットより成る粉体分散手段と、該粉体分散手段に流量を規定して気体を供給する気体供給手段と、気体中に分散した粉体を前記インジェクタによって供給することを特徴とする静電粉体塗装装置。
【請求項２】
インジェクタによってホッパ内の粉体を粉体柱として取出す粉体導入手段と、該粉体柱終端付近外周の粉体導入手段の略全周に設けられた極めて薄いスリットより成る粉体分散手段と、該分散手段に流量を規定して気体を供給する気体供給手段と、前記粉体分散手段の出口に接続した非付着性材料より成る計測管路と、該計測管路の入口と出口における差圧測定手段と、該差圧測定手段の出力を制御するための差圧設定手段と、差圧測定手段の出力を差圧設定手段の設定値に一致させる制御機能をもち、前記計測管路出口に接続された前記インジェクタによって粉体を供給することを特徴とする静電粉体塗装装置。
【請求項３】
差圧測定手段の出力を、差圧設定手段の設定値に一致させる制御機能が、制御気体と補助気体と夫々の制御弁を有するインジェクタであることを特徴とする請求項２記載の静電粉体塗装装置。
【請求項４】
差圧測定手段の出力を、差圧設定手段の設定値に一致させる制御機能が、制御気体と補助気体と夫々の制御弁を有するインジェクタであって、制御気体と補助気体の合計量が該合計量の設定値と合致するように機能する制御手段を有することを特徴とする請求項３記載の静電粉体塗装装置。
【請求項５】
粉体導入手段と、インジェクタスロ−トの接粉部が、非付着性材質で構成されており、粉体導入手段の下端がホッパ−の吸上パイプ上端と着脱自在に接続されていることを特徴とする請求項１、２、３、４記載の静電粉体塗装装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月19日(2003.8.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３本並べて配置された主脚同志が継鉄を介して互いに接合されてなる三相鉄心と、上記主脚の各相に巻回された低圧巻線とを備え、前記低圧巻線の入力端子と出力端子とからのリード線を低圧巻線の軸方向の一方端に引出し、各相の低圧巻線同志が入力端子及び出力端子からのリード線を介してデルタ結線されてなる静止誘導電器において、上記３相の低圧巻線の１相の低圧巻線の巻線導体を、他相の低圧巻線の巻線導体と逆方向に巻回し、かつ前記１相の低圧巻線の出力端子を前記他相の低圧巻線の一方側の入力端子に接続すると共に、前記一方側の低圧巻線の出力端子を他方側の低圧巻線の入力側端子に接続し、この他方側の低圧巻線の出力端子と前記１相の低圧巻線の入力端子を接続し、この接続した低電圧線路側リード線を低圧巻線の軸方向の一方側に引出すことを特徴とする静止誘導電器。
【請求項２】
３本並べて配置された主脚同志が継鉄を介して互いに接合されてなる三相鉄心と、上記主脚の各相に巻回された低圧巻線とを備え、前記低圧巻線の入力端子と出力端子とからのリード線を低圧巻線の軸方向の一方端に引出し、各相の低圧巻線同志が入力端子及び出力端子からのリード線を介してデルタ結線されてなる静止誘導電器において、上記３相の低圧巻線の１相の低圧巻線の巻線導体を、他相の低圧巻線の巻線導体と逆方向に巻回し、かつ前記１相の低圧巻線の出力端子を前記他相の低圧巻線の一方側の入力端子に接続すると共に、前記一方側の低圧巻線の出力端子を他方側の低圧巻線の入力側端子に接続し、この他方側の低圧巻線の出力端子と前記１相の低圧巻線の入力端子を接続し、この接続した低電圧線路側リード線を低圧巻線の軸方向の一方側に引出し、前記低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に非磁性シールドを配置したことを特徴とする静止誘導電器。
【請求項３】
上記一方側の低圧巻線の出力端子を他方側の低圧巻線の入力側端子側に接続した相電流の低電圧線路側リード線と線電流の低電圧線路側リード線を、低圧巻線間の相間部より引出し、相電流と線電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に非磁性シールドを配置したことを特徴とする請求項２に記載の静止誘導電器。
【請求項４】
上記一方側の低圧巻線の出力端子を他方側の低圧巻線の入力側端子側に接続した相電流の低電圧線路側リード線と線電流の低電圧線路側リード線を、低圧巻線間の相間部より引出し、前記線電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に設けた非磁性シールドの取付範囲を、相電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に設けた非磁性シールドの取付範囲よりも広くしたことを特徴とする請求項２に記載の静止誘導電器。
【請求項５】
上記一方側の低圧巻線の出力端子を他方側の低圧巻線の入力側端子側に接続した相電流の低電圧線路側リード線と線電流の低電圧線路側リード線を、低圧巻線間の相間部より引出し、前記線電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に設けた非磁性シールドの板厚を、相電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に設けた非磁性シールドの板厚よりも厚くしたことを特徴とする請求項２に記載の静止誘導電器。
【請求項６】
上記線電流の低電圧線路側リード線と対向するタンク内壁面に設けた非磁性シールドの材質を、タンクを形成する鋼板に比べて固有抵抗が１桁程度小さい銅あるいはアルミニウムとしたことを特徴とする請求項２に記載の静止誘導電器。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月30日(2003.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部クラッド領域（１１）、上部クラッド領域（１３）及びコア領域（１２）を持ち、それら領域が共同で少なくとも１つのモードのレーザー光を誘導するように適用されている１個の量子カスケード分散フィードバック・レーザー（１０）を具備し、
（ａ）前記上部クラッド領域が、プラズモン励起閉じ込め層（plasmon-enhanced confinement layer；ＰＥＣＬ層）と呼ばれ、前記上部クラッド領域の少なくとも１つの層（２１）の上に在り、且つ、メタル電極（２３）の直ぐ下に在る層（２２）を含有し、
（ｂ）格子構造が前記ＰＥＣＬ層中に一連のグルーブ（２５）として形成され、
（ｃ）前記ＰＥＣＬ層（２２）が、レーザー動作中、前記導波レーザー・モードの前記強度（amplitude）が前記グルーブ（２５）の下に在る前記上部クラッド領域の第１の部分内で相当増強され、前記第１の部分の間に位置している前記上部クラッド領域の第２の部分（２４）内で相当抑圧され、前記増強及び抑圧によって前記導波レーザー・モードの変調が得られるように適合されており、
（ｄ）前記ＰＥＣＬ層が厚さを持ち、前記グルーブが前記ＰＥＣＬ層の厚さの少なくとも８５％を成す深さに達しており、
（ｅ）前記変調が単一モードＣＷ波レーザー光を充分容易にする強さである、
ことを特徴とする単一モード動作のための改良された分散フィードバックを持つ量子カスケード・レーザーを具備する装置。
【請求項２】
前記グルーブ（２５）が前記ＰＥＣＬ層の厚さの全体に渡って達していることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記装置が目的の化学種（species）に従って赤外線吸収を測定するための測定装置（７０）であり、
前記測定装置が、単一モード赤外レーザー光発光源（７１、９３）と或る量の前記目的化学種と相互作用を起こした後の前記レーザー光を検出するための検出器（７４、９８）とを具備し、
前記発光源（７１、９３）が請求項１記載の前記量子カスケード分散フィードバック・レーザーを具備する
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項４】
更に、前記レーザーに電気的に接続され、前記レーザーにレーザー加熱電流を印加して前記レーザー加熱電流が変化するとき前記レーザー光のが波長が変化するように働く電流源を具備することを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記導波レーザー・モードの前記変調が、少なくとも７７Ｋのレーザー温度で単一モードＣＷ波レーザー光を充分容易にする強さであることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項６】
レーザー動作中、前記導波レーザー・モードが有効屈折率の影響を受け、前記ＰＥＣＬ層（２２）が、前記有効屈折率を少なくとも２×１０-3の変調強度で変調するように適合されている、
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項７】
レーザー動作中、前記導波レーザー・モードが前記コア領域と閉じ込め係数によって量を表すことが出来る重畳度合いを有し、
前記ＰＥＣＬ層（２２）が、前記有効屈折率を少なくとも１０％の変調強度で変調するように適合されている、
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項８】
格子構造がレーザー動作中、結合係数によって量を表すことが出来る分散光フィードバックを行うように選択され、前記ＰＥＣＬ層（２２）が少なくとも１０ｃｍ-1の結合係数を備えるように適合されている、
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項９】
前記ＰＥＣＬ層（２２）が前記メタル電極の近傍で前記導波レーザー・モードの前記強度を抑圧するように選択された厚さ及びドーパント濃度を有し、前記グルーブが前記ＰＥＣＬ層の厚さの大半を成す深さに達している、
ことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１０】
前記ＰＥＣＬ層の厚さが０．３５μｍ未満であり、前記ＰＥＣＬ層のドーパント濃度が少なくとも８×１０18ｃｍ-3であることを特徴とする請求項９記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月5日(2003.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚および前記第３の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離は、前記第２の配線層と第３の配線層との距離よりも大きく、前記第２の配線層の少なくとも１対の隣接する配線の電圧振幅および前記第３の配線層の少なくとも１対の隣接する配線の電圧振幅は、前記１の配線層の少なくとも１対の隣接する配線の電圧振幅よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚および前記第３の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離は、前記第２の配線層と第３の配線層との距離よりも大きく、前記第１の配線層の配線幅は、前記第２の配線層の配線幅および前記第３の配線層の配線幅よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚および前記第３の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離は、前記第２の配線層と第３の配線層との距離よりも大きく、前記第１の配線層の配線と前記第２の配線層の配線とは、ねじれ（Ｃｒｏｓｓｏｖｅｒ  ｌａｙｏｕｔ）の関係にあることを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚および前記第３の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離をＨ１、前記第２の配線層と第３の配線層との距離をＨ２とすると、
Ｈ１≧１．７×Ｈ２
となることを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚および前記第３の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離は、前記第２の配線層と第３の配線層との距離よりも大きく、第１の配線層、第２の配線層、および第３の配線層に含まれる配線の少なくとも１つは銅を主成分として含むことを特徴とする半導体装置。
【請求項６】
前記第１の配線層、前記第２の配線層および前記第３の配線層は、他の配線層が介在せずにこの順に積層されていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、または請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離をＨ１、前記第２の配線層と第３の配線層との距離をＨ２とすると、
Ｈ１≧１．７×Ｈ２
となることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、または請求項５に記載の半導体装置。
【請求項８】
半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体素子と、前記半導体基板上に第１の絶縁膜を介して形成され、前記半導体素子と電気的に接続した第１の配線層と、前記第１の配線層上に第２の絶縁膜を介して形成された第２の配線層と、前記第２の配線層上に第３の絶縁膜を介して形成された第３の配線層と、前記第３の配線層上に第４の絶縁膜を介して形成された第４の配線層とを具備し、前記第１の配線層の配線膜厚は、前記第２の配線層の配線膜厚、前記第３の配線層の配線膜厚および前記第４の配線層の配線膜厚よりも小さく、前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離は、前記第３の配線層と第４の配線層との距離よりも大きいことを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
前記第１の配線層および前記第２の配線層は他の配線層が介在せずにこの順に積層され、前記第３の配線層および前記第４の配線層は他の配線層が介在せずにこの順に積層されていることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記第１の配線層と前記第２の配線層との距離をＨ１、前記第３の配線層と第４の配線層との距離をＨ２とすると、
Ｈ１≧１．７×Ｈ２
となることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の半導体装置。
【請求項１１】
第１の配線層、第２の配線層、第３の配線層および第４の配線層に含まれる配線の少なくとも１つは銅を主成分として含むことを特徴とする請求項８、請求項９または請求項１０に記載の半導体装置。
【請求項１２】
前記第１の配線層の配線幅は、前記第２の配線層の配線幅および前記第３の配線層の配線幅よりも小さいことを特徴とする請求項１、請求項３、請求項４、請求項５、請求項８、請求項９、請求項１０または請求項１１に記載の半導体装置。
【請求項１３】
前記第１の配線層の隣接する配線同士の間隔は、前記第２の配線層の隣接する配線同士の間隔および前記第３の配線層の隣接する配線同士の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項８、請求項９、請求項１０または請求項１１に記載の半導体装置。
【請求項１４】
前記第１の配線層の配線と前記第２の配線層の配線とは、ねじれ（Ｃｒｏｓｓｏｖｅｒ  １ａｙｏｕｔ）の関係にあることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項４、請求項５、請求項８、請求項９、請求項１０または請求項１１に記載の半導体装置。