(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定空間を仮想的に２つの空間に仕切るバーチャルウォールの通過を許可された人が携帯するＩＤタグを検知するＩＤタグ検知センサと、バーチャルウォールを２つの空間の一方の空間から他方の空間へ向う特定方向へ通過する人を検知する人通過検知センサと、警報を発する警報手段と、ＩＤタグ検知センサの出力および人通過検知センサの出力を監視しＩＤタグ検知センサによりＩＤタグが検知されていない状態で人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに警報手段から警報を発報させるコントローラとを備え、人通過検知センサは、第１の回路基板に実装され音波を送波可能な送波素子および送波素子を間欠的に駆動する駆動回路を有する送波装置と、送波素子から送波され人で反射された音波を受波するとともに受波した音波を電気信号である受波信号に変換する複数の受波素子が第２の回路基板の一平面上に配列された受波装置と、送波素子が音波を送波してから当該音波が各受波素子に受波されるまでの時間差に基づいて人の存在する方位を求める演算部と、演算部にて求めた人の存在する方位の時系列的な変化に基づいて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向を特定する通過方向特定部とを備えてなることを特徴とするセキュリティシステム。
【請求項２】
前記送波素子は、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された発熱体層と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層とを備え、発熱体層への通電に伴う発熱体層の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることを特徴とする請求項１記載のセキュリティシステム。
【請求項３】
所定空間を仮想的に２つの空間に仕切るバーチャルウォールの通過を許可された人が携帯するＩＤタグを検知するＩＤタグ検知センサと、バーチャルウォールを２つの空間の一方の空間から他方の空間へ向う特定方向へ通過する人を検知する人通過検知センサと、警報を発する警報手段と、ＩＤタグ検知センサの出力および人通過検知センサの出力を監視しＩＤタグ検知センサによりＩＤタグが検知されていない状態で人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに警報手段から警報を発報させるコントローラとを備え、人通過検知センサは、第１の回路基板に実装され音波を送波可能な送波素子および送波素子を間欠的に駆動する駆動回路を有する送波装置と、送波素子から送波された音波を受波するとともに受波した音波を電気信号である受波信号に変換する複数の受波素子が第２の回路基板の一平面上で前記特定方向に配列された受波装置と、受波装置において送波素子から送波された音波に対応する受波信号が所定の受波期間に出力されなかった受波素子の時系列的な移り変わりと各受波素子の配置位置とに基づいて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向を特定する通過方向特定部とを備え、送波素子は、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された発熱体層と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層とを備え、発熱体層への通電に伴う発熱体層の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることを特徴とするセキュリティシステム。
【請求項４】
前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過して前記他方の空間へ侵入した人を撮像可能な撮像手段を備え、前記コントローラは、前記ＩＤタグ検知センサにより前記ＩＤタグが検知されていない状態で前記人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに撮像手段を作動させることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のセキュリティシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隣り合う２つの空間の一方の空間から他方の空間へ許可された人以外の人が移動したことを検知して警報を発報するセキュリティシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、隣り合う２つの空間の一方の空間から他方の空間へ許可された人以外の人が移動することを検知して警報を発報するようにしたセキュリティシステムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、図１５に示すように、オフィスなどにおいて空間Ｓ１１と空間Ｓ１１に比べてより高いセキュリティ度が必要な空間Ｓ１２との間に設けられたゲート１１０の通過を許可された人Ｍが携帯するＩＤタグ１００を検知するＩＤタグ検知センサ１０９と、ゲート１１０の通行方向に沿って配置されゲート１１０を通過する人をそれぞれ検知する２つの人通過検知センサ１０８と、警報を発報する警報手段（図示せず）と、２つの人通過検知センサ１０８の検知出力の発生順に基づいてゲート１１０を通過した人の通過方向を判断し通過方向がセキュリティ度の低い空間Ｓ１１からセキュリティ度の高い空間Ｓ１２へ向う通過方向であり且つＩＤタグ検知センサ１０９の検知出力がなければ警報手段から警報を発報させる監視装置（図示せず）とを備えている。ここにおいて、各人通過検知センサ１０８としては、赤外線を投光する投光部１０８ａと赤外線を受光する受光部１０８ｂとを対向配置し赤外線の遮断に基づく受光光量の変化を検出することにより人の通過を検知する赤外線式の光電スイッチを用いている。
【特許文献１】特開２００３−３０３３８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に開示されたセキュリティシステムでは、投光部１０８ａと受光部１０８ｂとが別体の赤外線式の光電スイッチからなる２つの人通過検知センサ１０８の出力に基づいて人の通過方向を判断するので、２つの人通過検知センサ１０８を別々に設置する必要があり、しかも、各人通過検知センサ１０８ごとに投光部１０８ａの光軸と受光部１０８ｂの光軸とを一致させる必要があるから、施工に手間がかかるとともに、ゲート１１０が設けられていない場合には設置することができなかった。また、人通過検知センサ１０８の設置場所によっては、例えば太陽光や照明などの光の影響などでＳ／Ｎ比が低下し人の通過を検知できないこともあるので、人通過検知センサ１０８の設置場所の自由度が低かった。
【０００５】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、複数の人通過検知センサを必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易で且つ人通過検知センサの設置場所の自由度が高いセキュリティシステムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、所定空間を仮想的に２つの空間に仕切るバーチャルウォールの通過を許可された人が携帯するＩＤタグを検知するＩＤタグ検知センサと、バーチャルウォールを２つの空間の一方の空間から他方の空間へ向う特定方向へ通過する人を検知する人通過検知センサと、警報を発する警報手段と、ＩＤタグ検知センサの出力および人通過検知センサの出力を監視しＩＤタグ検知センサによりＩＤタグが検知されていない状態で人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに警報手段から警報を発報させるコントローラとを備え、人通過検知センサは、第１の回路基板に実装され音波を送波可能な送波素子および送波素子を間欠的に駆動する駆動回路を有する送波装置と、送波素子から送波され人で反射された音波を受波するとともに受波した音波を電気信号である受波信号に変換する複数の受波素子が第２の回路基板の一平面上に配列された受波装置と、送波素子が音波を送波してから当該音波が各受波素子に受波されるまでの時間差に基づいて人の存在する方位を求める演算部と、演算部にて求めた人の存在する方位の時系列的な変化に基づいて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向を特定する通過方向特定部とを備えてなることを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、太陽光や照明などに影響されずに人通過検知センサの演算部にて人の存在する方位が時系列的に求められ、通過方向特定部にて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向が特定されるので、人の通過方向を検知するための構成としては１つの人通過検知センサを１箇所に設置すればよいから、複数の人通過検知センサを必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易になり且つ人通過検知センサの設置場所の自由度が高くなる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記送波素子は、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された発熱体層と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層とを備え、発熱体層への通電に伴う発熱体層の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、前記送波素子から発生期間が短く且つ残響時間の短い音波を送波することができるので、前記人通過検知センサの不感帯を短くすることができ、前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人をより確実に検知することができる。
【００１０】
請求項３の発明は、所定空間を仮想的に２つの空間に仕切るバーチャルウォールの通過を許可された人が携帯するＩＤタグを検知するＩＤタグ検知センサと、バーチャルウォールを２つの空間の一方の空間から他方の空間へ向う特定方向へ通過する人を検知する人通過検知センサと、警報を発する警報手段と、ＩＤタグ検知センサの出力および人通過検知センサの出力を監視しＩＤタグ検知センサによりＩＤタグが検知されていない状態で人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに警報手段から警報を発報させるコントローラとを備え、人通過検知センサは、第１の回路基板に実装され音波を送波可能な送波素子および送波素子を間欠的に駆動する駆動回路を有する送波装置と、送波素子から送波された音波を受波するとともに受波した音波を電気信号である受波信号に変換する複数の受波素子が第２の回路基板の一平面上で前記特定方向に配列された受波装置と、受波装置において送波素子から送波された音波に対応する受波信号が所定の受波期間に出力されなかった受波素子の時系列的な移り変わりと各受波素子の配置位置とに基づいて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向を特定する通過方向特定部とを備え、送波素子は、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された発熱体層と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層とを備え、発熱体層への通電に伴う発熱体層の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、人通過検知センサにおける送波素子が、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された発熱体層と、ベース基板の前記一表面側でベース基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層とを備え、発熱体層への通電に伴う発熱体層の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることにより、送波素子として圧電素子を用いる場合に比べて、送波素子から送波される音波の残響時間に起因した不感帯を短くできるとともに角度分解能を向上でき、しかも、太陽光や照明などに影響されずに人通過検知センサの通過方向特定部にて前記バーチャルウォールを通過する人の通過方向が特定されるので、人の通過方向を検知するための構成としては１つの人通過検知センサの送波装置を含む送波側ユニットと受波装置を含む受波側ユニットとを設置すればよいから、複数の人通過検知センサを必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易になり且つ人通過検知センサの設置場所の自由度が高くなる。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３の発明において、前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過して前記他方の空間へ侵入した人を撮像可能な撮像手段を備え、前記コントローラは、前記ＩＤタグ検知センサにより前記ＩＤタグが検知されていない状態で前記人通過検知センサにより前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過する人が検知されたときに撮像手段を作動させることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、前記ＩＤタグを携帯せずに前記バーチャルウォールを前記特定方向へ通過した人を撮像手段により撮像することができる。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１，３の発明では、複数の人通過検知センサを必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易になり且つ人通過検知センサの設置場所の自由度が高くなるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（実施形態１）
以下、本実施形態のセキュリティシステムについて図１に基づいて説明する。
【００１６】
本実施形態のセキュリティシステムは、図１（ａ）に示すように、例えばオフィスなどにおける所定空間Ｓ０を仮想的に２つの空間Ｓ１，Ｓ２に仕切るバーチャルウォールＶＷの通過を許可された人Ｍが携帯するＩＤタグ（ＲＦＩＤタグ）１００を検知するリーダライタからなるＩＤタグ検知センサＦと、バーチャルウォールＶＷを２つの空間Ｓ１，Ｓ２の一方の空間Ｓ１から他方の空間Ｓ２へ向う特定方向へ通過する人を検知する人通過検知センサＡと、警報を発する警報手段Ｂ（図１（ｂ）参照）と、バーチャルウォールＶＷを上記特定方向へ通過して上記他方の空間Ｓ２へ侵入した人を撮像可能なＣＣＤカメラからなる撮像手段Ｇと、ＩＤタグ検知センサＦの出力および人通過検知センサＡの出力を監視しＩＤタグ検知センサＦによりＩＤタグが検知されていない状態で人通過検知センサＡによりバーチャルウォールＶＷを上記特定方向へ通過する人が検知されたときに警報手段Ｂから警報を発報させるとともに撮像手段Ｇを作動させるコンピュータを主構成とするコントローラＤとを備えている。
【００１７】
なお、本実施形態のセキュリティシステムは、上記他方の空間Ｓ２内に、個人情報を扱うパーソナルコンピュータＰＣが設置されており、上記一方の空間Ｓ１よりも上記他方の空間Ｓ２の方が、より高いセキュリティ度を必要とする空間である場合を想定しており、上記他方の空間Ｓ２の天井面にＩＤタグ検知センサＦを設置し、上記所定空間Ｓ０の天井面に撮像手段Ｇを設置してある。また、人通過検知センサＡは、上記所定空間Ｓ０の内壁面であってバーチャルウォールＶＷに交差する内壁面に設置してあるが、上記所定空間Ｓ０の天井面に設置してもよく、設置場所は特に限定するものではない。
【００１８】
ＩＤタグ検知センサＦは、上記バーチャルウォールＶＷ近辺の人Ｍの携帯しているＩＤタグ１００の識別情報を無線で読み取る読取手段と、読取手段により読み取られた識別情報が予め登録されている識別情報と一致したときに検知出力（ＩＤタグ１００を検知したことを示す出力）をコントローラＤへ与える判定手段とを備えている。
【００１９】
警報手段Ｂから発する警報は、例えば、アラーム音などの警報音としてあるが、警報は警報音に限定するものではない。
【００２０】
人通過検知センサＡは、図１（ｂ）に示すように、空気に熱衝撃を与えることにより音波を送波可能な送波素子１０および送波素子１０を駆動する駆動回路２０を有する送波装置１と、送波素子１０から送波され侵入者Ｍで反射された音波を受波するとともに受波した音波を電気信号である受波信号に変換する複数の受波素子３０を有する受波装置３と、受波装置３の出力を信号処理する信号処理回路４とを備え、信号処理回路４が、送波素子１０が音波を送波してから当該音波が各受波素子３０に受波されるまでの時間差に基づいて人Ｍの存在する方位を求める演算部４４と、演算部４４にて求めた人Ｍの存在する方位の時系列的な変化に基づいてバーチャルウォールＶＷを通過する人Ｍの通過方向を特定する通過方向特定部４５とを備えている。なお、演算部４４および通過方向特定部４５は、マイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現できる。
【００２１】
以下、人通過検知センサＡについて図１〜図１３を参照しながら説明する。
【００２２】
送波装置１は、上述の送波素子１０および駆動回路２０を備えている。なお、駆動回路２０は、送波素子１０から音波を間欠的に送波するタイミングを制御するタイミング制御部を有している。また、送波素子１０は、矩形板状のガラスエポキシ基板からなる第１の回路基板２３上に実装されている。
【００２３】
一方、受波装置３は、上述のように受波素子３０を複数備えている。ここにおいて、人通過検知センサＡは、上述のように人Ｍの存在する方位を測定できるように、１０個の受波素子３０を１枚の矩形板状のガラスエポキシ基板からなる第２の回路基板２４の一平面上に配列してある。具体的には、第２の回路基板２４の１辺に沿った方向に５個の受波素子３０を所定ピッチで配列するとともに、上記１辺に直交する方向に５個の受波素子３０を所定ピッチで配列してある。
【００２４】
説明を簡単にするために、受波素子３０が同一平面上において上記１辺に沿った方向のみに所定ピッチで配列されているとし、受波素子３０が配列された面に対する音波の波面の角度がθである場合を想定すると、図１１に示すように、音波の到来方向（すなわち、受波装置３に対して人Ｍの存在する方位角）はθになり、音速をｃ、音波の波面が隣り合う受波素子３０のうちの一方の受波素子３０に到達する時刻における音波の波面と他方の受波素子３０の中心との間の距離（遅延距離）をｄ、隣り合う受波素子３０の中心間距離（上記所定ピッチ）をＬとすれば、音波の波面が隣り合う受波素子３０間に到達する時間差Δｔは、Δｔ＝ｄ／ｃ＝Ｌ・ｓｉｎθ／ｃになる。したがって、時間差Δｔが分かれば、人Ｍの存在する方位を演算することができる。ここにおいて、上記所定ピッチは、送波素子１０から送波する音波の波長の０．５倍程度に設定することが望ましい。
【００２５】
信号処理回路４は、各受波素子３０から出力された受波信号をそれぞれ増幅する複数のアンプ４１ａを有する信号増幅部４１と、各アンプ４１ａにて増幅されたアナログの受波信号それぞれをディジタルの受波信号に変換して出力するＡ／Ｄ変換部４２と、Ａ／Ｄ変換部４２の出力が格納されるメモリ４３と、上記タイミング制御部から音波の送波タイミングを制御する制御信号に同期して出力されるタイミング信号を受けたときにＡ／Ｄ変換部４２を所定の受波期間だけ作動させメモリ４３に格納された受波信号のデータを用いて人Ｍの存在する方位を求める演算を行う上述の演算部４４とを備えている。なお、信号処理回路４は、矩形板状のガラスエポキシ基板からなる第３の回路基板２５に設けられている。
【００２６】
演算部４４は、メモリ４３に格納された各受波素子３０の受波信号のデータを利用して人Ｍの存在する方位（人Ｍにより反射された音波の到来方向）を求める方位検出手段を備えている。ここにおいて、方位検出手段は、各受波素子３０で音波を受波した時間の時間差と各受波素子３０の配置位置とに基づいて受波装置３に対する音波の到来方向を求める。
【００２７】
なお、本実施形態における人通過検知センサＡは、最大測定距離を例えば５ｍとすれば、音波は空気中において最大で１０ｍの距離を伝搬すればよいが、送波素子１０から送波された音波は拡散損失（距離減衰）や吸収損失や反射損失などの伝搬損失により減衰するので、各アンプ４１ａの増幅利得（電圧利得）を適宜設定することでＳ／Ｎ比の低下を防止している。また、上述のように最大測定距離を５ｍとすれば、音波が空気中で１０ｍの距離を伝搬するのに要する時間は３０ｍｓ程度であるから、上述の受波期間は３０ｍｓ程度に設定すればよい。また、メモリ４３には、受波期間における各受波素子３０それぞれの受波信号が格納される、言い換えれば、メモリ４３には、〔受波素子３０の個数〕×〔各受波素子３０からの受波信号のデータ数〕の数だけデータが格納されることになるので、例えば、受波素子３０の個数を１０個、受波期間を３０ｍｓ、Ａ／Ｄ変換部４２のサンプリング周期を１μｓ（サンプリング周波数を１ＭＨｚ）とした場合には、１データを１６ｂｉｔとして、（１０〔個〕）×｛（３０×１０−３）÷（１×１０−６）×１６｝＝４８０００００ｂｉｔ＝６００ｋｂｙｔｅの容量が必要となるから、６００ｋｂｙｔｅ以上の容量のＳＲＡＭなどを使用すればよい。
【００２８】
上述の方位検出手段は、メモリ４３に格納された各受波素子３０それぞれの受波信号をそれぞれ各受波素子３０の配列パターン（配置位置）に応じた遅延時間で遅延させた受波信号を組にして出力する遅延手段と、遅延手段により遅延された受波信号の組を加算する加算器と、加算器の出力波形のピーク値と適宜の閾値との大小関係を比較し閾値を超えるピーク値が得られたときに遅延手段で設定されている遅延時間の組み合わせに対応する方向を人Ｍの存在する方位（音波の到来方向）と判断する判断手段とを備えている。なお、演算部４４の方位検出手段は、演算部４４を構成するマイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現できる。
【００２９】
ところで、人通過検知センサＡは、送波素子１０として、空気に熱衝撃を与えることにより音波を発生させる熱励起式の音波発生素子を用いることで、送波素子１０の共振特性のＱ値を圧電素子に比べて十分に小さくして残響時間が短い音波を送波するようにし、かつ、受波素子３０として共振特性のＱ値が圧電素子に比べて十分に小さく受波信号に含まれる残響成分の発生期間が短い静電容量型のマイクロホンを用いている。
【００３０】
ここにおいて、送波素子１０は、図４に示すように、単結晶のｐ形のシリコン基板からなるベース基板１１の一表面（図４における上面）側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層（断熱層）１２が形成され、熱絶縁層１２上に金属薄膜からなる発熱体層１３が形成され、ベース基板１１の上記一表面側に発熱体層１３と電気的に接続された一対のパッド１４，１４が形成された熱励起式の音波発生素子により構成してある。ベース基板１１の平面形状は長方形状であって、熱絶縁層１２、発熱体層１３それぞれの平面形状も長方形状に形成してある。なお、発熱体層１３は、ベース基板１１の少なくとも上記一表面側に形成されていればよい。
【００３１】
上述の送波素子１０では、発熱体層１３の両端のパッド１４，１４間に通電して発熱体層１３に急激な温度変化を生じさせると、発熱体層１３に接触している空気に急激な温度変化（熱衝撃）が生じる（つまり、発熱体層１３に接触している空気に熱衝撃が与えられる）。したがって、発熱体層１３に接触している空気は、発熱体層１３の温度上昇時には膨張し発熱体層１３の温度下降時には収縮するから、発熱体層１３への通電を適宜に制御することによって空気中を伝搬する音波を発生させることができる。要するに、送波素子１０を構成する熱励起式の音波発生素子は、発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の急激な温度変化を媒質の膨張収縮に変換することにより媒質を伝搬する音波を発生する。なお、本実施形態では、発熱体層１３が薄板状の発熱体を構成している。ここに、熱励起式の音波発生素子は、少なくとも薄板状の発熱体を備えていればよく、例えば、アルミニウム製の薄板を発熱体として当該発熱体への通電に伴う発熱体の急激な温度変化による熱衝撃によって音波を発生させるものでもよい。
【００３２】
また、上述の送波素子１０は、ベース基板１１としてｐ形のシリコン基板を用いており、熱絶縁層１２を多孔度が略６０〜略７０％の多孔質シリコン層により構成しているので、ベース基板１１として用いるシリコン基板の一部をフッ化水素水溶液とエタノールとの混合液からなる電解液中で陽極酸化処理することにより熱絶縁層１２となる多孔質シリコン層を形成することができる。多孔質シリコン層は、多孔度が高くなるにつれて熱伝導率および熱容量が小さくなるので、熱絶縁層１２の熱伝導度および熱容量をベース基板１１の熱伝導度および熱容量に比べて小さくし、熱絶縁層１２の熱伝導度と熱容量との積をベース基板１１の熱伝導度と熱容量との積に比べて十分に小さくすることにより、発熱体層１３の温度変化を空気に効率よく伝達することができ発熱体層１３と空気との間で効率的な熱交換が起こり、かつ、ベース基板１１が熱絶縁層１２からの熱を効率良く受け取って熱絶縁層１２の熱を逃がすことができて発熱体層１３からの熱が熱絶縁層１２に蓄積されるのを防止することができる。なお、熱伝導率が１４８Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が１．６３×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）の単結晶のシリコン基板を陽極酸化して形成される多孔度が６０％の多孔質シリコン層は、熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．７×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）であることが知られている。本実施形態では、熱絶縁層１２を多孔度が略７０％の多孔質シリコン層により構成してあり、熱絶縁層１２の熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．５×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）となっている。
【００３３】
発熱体層１３は、高融点金属の一種であるタングステンにより形成してあるが、発熱体層１３の材料はタングステンに限らず、例えば、タンタル、モリブデン、イリジウム、アルミニウムなどを採用してもよい。また、上述の送波素子１０では、ベース基板１１の厚さを３００〜７００μｍ、熱絶縁層１２の厚さを１〜１０μｍ、発熱体層１３の厚さを２０〜１００ｎｍ、各パッド１４の厚さを０．５μｍとしてあるが、これらの厚さは一例であって特に限定するものではない。また、ベース基板１１の材料としてＳｉを採用しているが、ベース基板１１の材料はＳｉに限らず、例えば、Ｇｅ，ＳｉＣ，ＧａＰ，ＧａＡｓ，ＩｎＰなどの陽極酸化処理による多孔質化が可能な他の半導体材料でもよい。なお、熱絶縁層１２は多孔質半導体層に限らず、例えばＳｉＯ２膜などにより構成してもよく、このような場合にはベース基板１１上に熱絶縁層１２となるＳｉＯ２膜を陽極酸化処理以外の方法で形成してもよく、ベース基板１１の材料の選択肢がより多くなる。
【００３４】
上述のように送波素子１０は、一対のパッド１４，１４を介した発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の温度変化に伴って音波を発生するものであり、発熱体層１３へ与える駆動電圧波形あるいは駆動電流波形からなる駆動入力波形を例えば周波数がｆ１の正弦波波形とした場合、理想的には、発熱体層１３で生じる温度振動の周波数が駆動入力波形の周波数ｆ１の２倍の周波数ｆ２となり、駆動入力波形ｆ１の略２倍の周波数の音波を発生させることができる。すなわち、上述の送波素子１０は、平坦な周波数特性を有しており、発生させる音波の周波数を広範囲にわたって変化させることができる。また、上述の送波素子１０では、例えば正弦波波形の半周期の孤立波を駆動入力波形として駆動回路２０から一対のパッド１４，１４間へ与えることによって、図５（ａ）に示すような残響の少ない略１周期の音波Ｐ１を発生させることができる。本実施形態では、図５（ａ）に示すような略１周期の音波Ｐ１を発生させる場合、当該音波Ｐ１の１周期の時間を５０ｋＨｚ〜７０ｋＨｚ程度の超音波の１周期の時間に設定してあるが、この数値は特に限定するものではない。
【００３５】
また、上述の送波素子１０では、一対のパッド１４，１４を介して発熱体層１３へ与える駆動電圧の波形を図６（ａ）に示すようなガウス波形状の電圧波形とした場合、図６（ｂ）に示すようなガウス波形状の音波を送波することができる。
【００３６】
ここにおいて、送波素子１０から図６（ｂ）に示すようなガウス波形状の音波（ここでは、当該音波の発生期間を５０ｋＨｚ〜７０ｋＨｚ程度の超音波の１周期の時間に設定してある）を送波させるには、駆動回路２０として、例えば図７に示す回路を採用すればよい。図７に示す構成の駆動回路２０は、直流電源Ｅの両端間にスイッチＳＷ２を介してコンデンサＣが接続され、コンデンサＣの両端間にサイリスタＴｈとインダクタＬと抵抗Ｒ１と保護用抵抗Ｒ２との直列回路が接続され、保護用抵抗Ｒ２の両端間に送波素子１０を接続するように構成されている。また、駆動回路２０は、上述のように送波素子１０から音波を送波させるタイミングを制御する上述のタイミング制御部を有しており、タイミング制御部によってスイッチＳＷ２のオンオフが制御されるとともにサイリスタＴｈへ制御信号を与えるタイミングが制御される。ここにおいて、駆動回路２０では、スイッチＳＷ２のオン期間にコンデンサＣが充電されるが、タイミング制御部は、コンデンサＣの両端電圧を検出しており、コンデンサＣの両端電圧が所定電圧値を超えるとスイッチＳＷ２をオフさせてからサイリスタＴｈのゲートへ制御信号を与える。すなわち、図７に示す構成の駆動回路２０では、直流電源ＥからコンデンサＣに電荷を蓄積し、コンデンサＣの両端電圧が上記所定電圧値を超えると、タイミング制御部からサイリスタＴｈへ制御信号が与えられてサイリスタＴｈがターンオンし、送波素子１０のパッド１４，１４間に電圧が印加されて発熱体層１３の温度変化に伴って音波が送波される。ここに、インダクタＬのインダクタンスおよび抵抗Ｒ１の抵抗値を適宜設定することにより、図６（ａ）に示すようなガウス波形状の駆動電圧波形を送波素子１０のパッド１４，１４間へ印加することができる。
【００３７】
また、上述の受波素子３０を構成する静電容量型のマイクロホンは、マイクロマシンニング技術を利用して形成されており、例えば、図８に示すように、シリコン基板に厚み方向に貫通する窓孔３１ａを設けることで形成された矩形枠状のフレーム３１と、フレーム３１の一表面側においてフレーム３１の対向する２つの辺に跨る形で配置されるカンチレバー型の受圧部３２とを備えている。ここにおいて、フレーム３１の一表面側には熱酸化膜３５と熱酸化膜３５を覆うシリコン酸化膜３６とシリコン酸化膜３６を覆うシリコン窒化膜３７とが形成されており、受圧部３２の一端部がシリコン窒化膜３７とを介してフレーム３１に支持され、他端部が上記シリコン基板の厚み方向においてシリコン窒化膜３７に対向している。また、シリコン窒化膜３７における受圧部３２の他端部との対向面に金属薄膜（例えば、クロム膜など）からなる固定電極３３ａが形成され、受圧部３２の他端部におけるシリコン窒化膜３７との対向面とは反対側に金属薄膜（例えば、クロム膜など）からなる可動電極３３ｂが形成されている。なお、フレーム３１の他表面にはシリコン窒化膜３８が形成されている。また、受圧部３２は、上記各シリコン窒化膜３７，３８とは別工程で形成されるシリコン窒化膜により構成されている。
【００３８】
図８に示した構成の静電容量型のマイクロホンからなる受波素子３０では、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとを電極とするコンデンサが形成されるから、受圧部３２が音波の圧力を受けることにより固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の距離が変化し、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の静電容量が変化する。したがって、固定電極３３ａおよび可動電極３３ｂに設けたパッド（図示せず）間に直流バイアス電圧を印加しておけば、パッドの間には音波の音圧に応じて微小な電圧変化が生じるから、音波の音圧を電気信号に変化することができる。
【００３９】
受波素子３０として用いる静電容量型のマイクロホンの構造は図８の構造に特に限定するものではなく、例えば、図９に示すように、シリコン基板１４１の一表面側に、中央部が周部に比べて薄肉である第１のダイアフラム部１４５を有するシリコン層が設けられ、シリコン基板１４１の他表面に凹所１４２を設けることによりシリコン基板１４１の中央部に第１のダイアフラム部１４５とギャップ１４４を介して対向する第２のダイアフラム部１４３が形成された構造体において、第１のダイヤフラム部１４５に可動電極１４６を設けるとともに第２のダイアフラム部１４３に固定電極（図示せず）を設けた構造としてもよい。また、受波素子３０として用いる静電容量型のマイクロホンとしては、シリコン基板などをマイクロマシンニング技術などにより加工して形成され、音波を受けるダイヤフラム部からなる可動電極と、ダイヤフラム部に対向する背板部からなる固定電極との間に、音波を受けていない状態でのダイヤフラム部と背板部とのギャップ長を規定するスペーサ部が介在し、背板部に複数の排気孔が貫設された構造を有するものでもよい。
【００４０】
ところで、図４に示した熱励起式の音波発生素子からなる送波素子１０は共振特性のＱ値が１程度であり、図８に示した静電容量型のマイクロホンからなる受波素子３０の共振特性のＱ値は３〜４程度であり、圧電素子に比べてＱ値が十分に小さく、従来の超音波センサのように送波素子および受波素子に圧電素子を用いている場合に比べて、角度分解能を改善することができ、角度分解能を５°程度とすることができる。なお、受波素子３０として圧電式の受波素子を用いた場合、受波素子３０の受波信号に図５（ｃ）に示すように受波素子３０の残響に起因した信号Ｐ４が発生する可能性があり、しかも、人Ｍによる反射波（間接波）に起因した受波信号Ｐ３の発生期間が、図５（ｂ）に示すように送波素子１０から送波された音波Ｐ１（図５（ａ）参照）に比べて長くなるので、受波素子３０としては、上述の静電容量型のマイクロホンを採用することが望ましい。図１０（ａ）に、図４に示した構造の送波素子１０にて送波される音波の波形の一例を示し、図１０（ｂ）に図８に示した構造のマイクロホンから出力される出力電圧（受波信号）の波形の一例を示す。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態における人通過検知センサＡは、送波素子１０が空気に熱衝撃を与えることにより音波を発生させる音波発生素子により構成されているので、送波素子１０の共振特性のＱ値が圧電素子の共振特性のＱ値に比べて小さく、従来の超音波センサのように送波素子として圧電素子を用いている場合に比べて、送波する音波の残響時間を短くできる。言い換えれば、従来の超音波センサに比べて送波素子１０から送波する音波に含まれる残響成分が少なく、残響成分の発生期間を従来に比べて短くできる。要するに、人通過検知センサＡは、送波素子１０が空気に熱衝撃を与えることにより音波を発生させるものからなるので、送波素子１０から送波される音波における残響成分に起因した不感帯を従来の圧電素子を用いた超音波センサに比べて短くすることができる。
【００４２】
また、本実施形態のセキュリティシステムでは、人通過検知センサＡの送波素子１０として図４の構造の音波発生素子を用いており共振特性のＱ値が１程度なので角度分解能が５°程度となり、送波素子１０として圧電素子を用いる場合に比べて人Ｍの通過方向をより確実に求めることができ、バーチャルウォールＶＷを上記特定方向へ通過する人Ｍをより確実に検知することができる。
【００４３】
また、受波素子３０が音波の音圧を静電容量の変化に変換する静電容量型のマイクロホンにより構成されているので、受波素子の共振特性のＱ値が圧電素子の共振特性のＱ値に比べて小さく音波の周波数に共振周波数を持たないから、受波素子として圧電素子を用いる場合に比べて、受波信号における残響時間を短くできる。言い換えれば、受波素子３０の受波信号に含まれる残響成分の発生期間を従来に比べて短くできる。したがって、受波素子３０として圧電素子を用いる場合に比べて、受波素子３０から出力される受波信号における残響成分を低減することができ、受波素子３０から出力される受波信号における残響成分に起因した不感帯を短くすることができる。
【００４４】
ところで、人通過検知センサＡは、送波素子１０が実装された第１の回路基板２３、各受波素子３０が実装された第２の回路基板２４、信号処理回路４が設けられた第３の回路基板２５などが収納されるハウジング５０（図２（ａ）参照）を備えている。
【００４５】
ハウジング５０は、図２（ａ）に示すように、一面（図２（ａ）における上面）が開放された矩形箱状に形成された合成樹脂製のハウジング本体５１と、ハウジング本体５１の上記一面側に固着された矩形板状のハウジング蓋５２とで構成されている。ここにおいて、ハウジング蓋５２には、送波素子１０の送波面および各受波素子３０の受波面を露出させる開口部として、送波素子１０の送波面を露出させる第１の窓孔５２ａと各受波素子３０の受波面を露出させる第２の窓孔５２ｂとが別々に形成されているので、両窓孔５２ａ，５２ｂが連続して形成されている場合に比べて、送波素子１０から各受波素子３０へ音波が直接伝搬して図５（ｂ），（ｃ）に示すような直接波に起因した受波信号Ｐ２が発生するのを抑制することができ、各受波素子３０それぞれから出力される受波信号のノイズを低減することができるとともに、音波を送波するタイミングと上記受波期間を開始するまでの期間Ｔ３，Ｔ４（図５（ｂ），（ｃ）参照）を短くすることが可能となる。なお、各窓孔５２ａ，５２ｂは、ハウジング蓋５２の厚み方向に貫設されており、開口形状が矩形状となっている。
【００４６】
また、本実施形態における人通過検知センサＡでは、上述の送波素子１０および各受波素子３０がハウジング５０内において各窓孔５２ａ，５２ｂが形成された部位から後退して配置されるとともに、第１の回路基板２３と第２の回路基板２４とがハウジング蓋５２に平行な面内で離間して配置され、第１の回路基板２３におけるハウジング蓋５２との対向面において送波素子１０を囲む矩形枠状の第１の吸音部材６ａと、第２の回路基板２４におけるハウジング蓋５２との対向面において各受波素子３０を囲む矩形枠状の第２の吸音部材６ｂとを備えているので、送波素子１０から各受波素子３０へ音波が直接伝搬するのをより確実に防止することができる。
【００４７】
また、上述の第３の回路基板２５は、ハウジング本体５１の内底面に接着剤により固着されており、第１の回路基板２３および第２の回路基板２４と第３の回路基板２５との間には吸音部材７を介在させてあるので、送波素子１０の振動が第３の回路基板２５を介して第２の回路基板２４へ伝わって信号処理回路４で信号処理する受波信号に送波素子１０の振動に起因したノイズが発生するのを防止することができる。なお、各受波素子３０から出力される受波信号は第２の回路基板２４と第３の回路基板２５とを電気的に接続しているコネクタ６０を介して信号処理回路４へ伝送される。
【００４８】
また、人通過検知センサＡは、図２（ａ）および図１２（ｂ）に示すように、ハウジング蓋５２の各窓孔５２ａ，５２ｂを、通音性を有する防水性シート（例えば、多孔質のプラスチック膜など）８により覆い、防水シート８の周部をハウジング蓋５２と同じ材料により形成した枠状のベゼル９（図２（ａ）および図１３参照）で固定する。ここにおいて、ベゼル９とハウジング蓋５２との間に防水性シート８の周部を挟持した形でベゼル９をハウジング蓋５２の外面に固着してあるので、塵、埃、昆虫などの異物がハウジング５０内に侵入して回路がショートしたり、水滴がハウジング５０内に浸入して送波素子１０および各受波素子３０が劣化したり破壊されたりするのを防止することができ、信頼性を高めることができる。なお、本実施形態では、防水性シート８の外周形状を矩形状とし、ベゼル９の形状を矩形枠状としてある。また、図１２（ａ）に示した吸音部材６は、上述の吸音部材６ａ，６ｂを一体化して１部材としたものであり、このような１部材の吸音部材６を用いることにより、２つの吸音部材６ａ，６ｂを用いる場合に比べて、部品点数の削減を図れるとともに、第１の回路基板２３および第２の回路基板４それぞれとハウジング蓋５２との間の距離を精度良く揃えることができる。
【００４９】
また、人通過検知センサＡは、第１の回路基板２３が複数個（例えば、４個）のスペーサ１７ａ（図２（ｂ）参照）を介してハウジング蓋５２に固定ねじ（図示せず）により取り付けられ、第２の回路基板２４が複数個（例えば、４個）の衝撃緩衝部材１７ｂ（図２（ｂ）参照）を介してハウジング蓋５２に取り付けられている。ここで、第２の回路基板２４とハウジング蓋５２との間に介在する各衝撃緩衝部材１７ｂは、第２の回路基板２４およびハウジング蓋５２それぞれと接着剤により固着されている。ここにおいて、各受波素子３０が実装された第２の回路基板２４が衝撃緩衝部材１７ｂを介してハウジング５０に取り付けられていることにより、ハウジング５０の振動が第２の回路基板２４へ伝わるを抑制することができ、ハウジング５０の振動により各受波素子３０の受波信号に発生するノイズを低減できる。すなわち、受波素子３０の受波信号に、ハウジング５０の振動に起因したノイズＰ５（図５（ｃ）参照）が発生するのを防止することが可能となる。
【００５０】
ハウジング本体５１およびハウジング蓋５２の材料としては、ポリアセタール、例えばデルリン（商品名）やジュラコン（商品名）など、を採用している。なお、本実施形態では、ハウジング本体５１およびハウジング蓋５２をポリアセタールなどの合成樹脂により形成してあるが、これらの材料は合成樹脂に限定するものではなく、金属に比べて密度が小さく絶縁性を有する材料であればよく、例えば、セラミックにより形成してもよい。ここにおいて、ハウジング本体５１とハウジング蓋５２とで構成されるハウジング５０が合成樹脂やセラミックにより形成されていることにより、ハウジング５０を金属により形成する場合に比べて、ハウジング５０を形成する材料の密度を小さくすることができ、音波がハウジング５０を伝わりにくくなるとともに、送波素子１０から送波される音波にハウジング５０が共振しにくくなり、各受波素子３０の受波信号にハウジング５０の振動に起因したノイズＰ５が発生するのを防止することができる。また、衝撃緩衝材１７ｂおよび上記防振部材としては、シリコーンを主原料とするゲル状素材、例えばアルファゲル：αＧＥＬ（登録商標）などを用いればよい。
【００５１】
以上説明した本実施形態のセキュリティシステムでは、太陽光や照明などに影響されずに人通過検知センサＡの演算部４４にて人の存在する方位が時系列的に求められ、通過方向特定部４５にてバーチャルウォールＶＷを通過する人の通過方向が特定されるので、人の通過方向を検知するための構成としては１つの人通過検知センサＡを１箇所に設置すればよいから、図１４に示したように複数の人通過検知センサ１０８を必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易になり且つ人通過検知センサＡの設置場所の自由度が高くなる。また、コントローラＤは、ＩＤタグ検知センサＦによりＩＤタグ１００が検知されていない状態で人通過検知センサＡによりバーチャルウォールＶＷを上記特定方向へ通過する人が検知されたときに撮像手段Ｇを作動させるので、省電力化を図りつつ、ＩＤタグ１００を携帯せずにバーチャルウォールＶＷを上記特定方向へ通過した人Ｍを撮像手段Ｇにより撮像することができる。
【００５２】
（実施形態２）
図１４（ａ），（ｂ）に示す本実施形態のセキュリティシステムの基本構成は実施形態１と略同じであって、実施形態１では人通過検知センサＡの受波装置３の各受波素子３０がが送波素子１０から送波され人で反射された音波を受波するように構成されていたのに対して、人通過検知センサＡの受波装置３の各受波素子３０が送波素子１０から送波された音波を直接受波するように構成されている点などが相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
【００５３】
実施形態１では送波装置１と受波装置３と信号処理回路４とが１つのハウジング５０内に収納されていたのに対して、本実施形態における人通過検知センサＡは、送波装置１を送波側用ハウジングに収納した送波側ユニットＡ１と、受波装置３および信号処理回路４が受波側用ハウジングに収納され受波側ユニットＡ２に対向配置される受波側ユニットＡ２とで構成されている。ここにおいて、本実施形態における人通過検知センサＡでは、受波装置３の複数の受波素子３０が上記特定方向に配列されている。また、信号処理回路４は、実施形態１にて説明した演算部４４を備えておらず、通過方向特定部４５’が、メモリ４３に格納された各受波素子３０の受波信号のデータを利用してバーチャルウォールＶＷを通過する人の通過方向を特定するようになっている。具体的には、図１４（ａ）の左右方向に受波素子３０が配列されているので、人Ｍが図１４（ａ）の右方向へバーチャルウオールＶＷを通過するような場合には左側の受波素子３０から右側の受波素子３０へ向って順に送波素子１０からの音波が遮断されて受波信号が出力されないこととなるから、通過方向特定部４５’では、受波装置３において送波素子１０から送波された音波に対応する受波信号が所定の受波期間に出力されなかった受波素子３０の時系列的な移り変わりと各受波素子３０の配置位置とに基づいてバーチャルウォールＶＷを通過する人の通過方向を特定するようになっている。
【００５４】
しかして、本実施形態のセキュリティシステムでは、人通過検知センサＡにおける送波素子１０が、実施形態１にて説明したように発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで音波を発生するものであることにより、送波素子１０として圧電素子を用いる場合に比べて、送波素子１０から送波される音波の残響時間に起因した不感帯を短くできるとともに角度分解能を向上でき、しかも、太陽光や照明などに影響されずに人通過検知センサＡの通過方向特定部４５’にてバーチャルウォールＶＷを通過する人の通過方向が特定されるので、人の通過方向を検知するための構成としては１つの人通過検知センサＡの送波側ユニットＡ１と受波側ユニットＡ２とを設置すればよいから、複数の人通過検知センサを必要とする従来のセキュリティシステムに比べて施工が容易になり且つ人通過検知センサＡの設置場所の自由度が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態１におけるセキュリティシステムを示し、（ａ）は配置説明図、（ｂ）はブロック図である。
【図２】同上における人通過検知センサを示し、（ａ）は概略断面図、（ｂ）はハウジング蓋を外した状態における要部概略平面図である。
【図３】同上における人通過検知センサの要部斜視図である。
【図４】同上における送波素子の概略断面図である。
【図５】同上の動作説明図である。
【図６】同上における送波素子の動作説明図である。
【図７】同上における送波素子の駆動回路の一例を示す回路図である。
【図８】同上における受波素子を示し、（ａ）は一部破断した概略斜視図、（ｂ）は概略断面図である。
【図９】同上における受波素子の他の構成例を示す概略断面図である。
【図１０】同上における人通過検知センサの動作説明図である。
【図１１】同上における人通過検知センサの動作説明図である。
【図１２】同上における人通過検知センサのハウジング蓋に吸音部材および防水性シートを取り付けた状態を示し、（ａ）は下面図、（ｂ）は平面図である。
【図１３】同上におけるベゼルの平面図である。
【図１４】実施形態２におけるセキュリティシステムを示し、（ａ）は配置説明図、（ｂ）はブロック図である。
【図１５】従来例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００５６】
Ａ  人通過検知センサ
Ｂ  警報手段
Ｄ  コントローラ
Ｆ  ＩＤタグ検知センサ
Ｇ  撮像手段
Ｍ  人
Ｓ０  所定空間
Ｓ１  空間
Ｓ２  空間
ＶＷ  バーチャルウォール
１  送波装置
３  受波装置
４  信号処理回路
１０  送波素子
２０  駆動回路
３０  受波素子
４３  メモリ
４４  演算部
４５  通過方向特定部
１００  ＩＤタグ
【図１】
0004678252.tif 000002
【図２】
0004678252.tif 000003
【図３】
0004678252.tif 000004
【図４】
0004678252.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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