(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に転写するためのペースト膜を形成する形成装置であって、
転写ステージと、
この転写ステージに対向して配置され上記ペーストが供給されるポケットが開口形成されたスキージと、
このスキージと上記転写ステージを所定方向に相対的に駆動することで上記ポケットに供給されたペーストを上記スキージの下端で擦りきって上記転写ステージの上面に上記ペースト膜を形成させる駆動手段を具備し、
上記転写ステージの上面には、上記ペースト膜を形成するための凹部と、この凹部の上記所定方向と交差する幅方向の両端部に設けられこの幅方向の両端部を閉塞するとともに幅方向と交差する長手方向を開放する突条部と、上記上面の周縁部に上記凹部よりも深く形成され上記上面に供給された上記ペーストが上記上面から外部に流出するのを防止する外周溝とが設けられていることを特徴とするペースト膜の形成装置。
【請求項２】
上記ポケットを形成する上記スキージの上記所定方向と交差して所定間隔で対向位置する一対の側壁部は、厚さ寸法が上記転写ステージに接近する下端に向かって次第に薄くなるテーパ状であることを特徴とする請求項１記載のペースト膜の形成装置。
【請求項３】
上記スキージを上記転写ステージに弾性的に押圧するばねを有することを特徴とする請求項１記載のペースト膜の形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電子部品に転写するペースト膜を形成する、ペースト膜の形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フリップチップなどによって電子部品を基板に実装する場合、上記電子部品に設けられたバンプにフラックスなどのペースト膜を転写するということが行われている。電子部品にペースト膜を転写する場合、転写ステージの上面でスキージを往復動させてペーストを数十μｍの厚さの上記ペースト膜に形成する。そして、転写ステージに形成されたペースト膜に電子部品のバンプが形成された面を押圧することで、そのバンプにペースト膜を転写するということが行われる。
【０００３】
ペース膜を形成する形成装置としては特許文献１に示される構成が知られている。すなわち、転写ステージに対向して成膜スキージと均しスキージを平行に配置し、これらの間にペーストを供給する。そして、上記成膜スキージと均しスキージを幅方向と直交する方向に駆動することで、上記転写ステージに上記成膜スキージと均しスキージでペースト膜を擦りきり形成するようにしている。
【０００４】
しかしながら、このような構成によると、上記成膜スキージと均しスキージとの間に供給されたペーストがこれらの幅方向両端部から外方へ出てゆくため、無駄が生じたり、そのペーストを戻さなければならないということがある。
【０００５】
そこで、従来は図６に示すように転写ステージ１の上面に対向して配置されるブロック状のスキージ２に、転写ステージ１の幅方向に沿うとともに、上下方向に貫通した空洞からなるポケット３を形成する。
【０００６】
一方、転写ステージ１には周囲全体が突条部４によって囲まれた凹部５を形成する。そして、上記ポケット３にフラックスなどのペーストＰを供給し、上記転写ステージ１を同図に矢印Ｘで示す所定方向に往復動させる。
【０００７】
それによって、上記ポケット３に収容されたペーストＰは上記転写ステージ１の凹部５に供給されて上記スキージ２の下面で擦りきられるから、上記凹部５にこの凹部５の深さに対応する厚さでペースト膜ｍが形成されることになる。
【特許文献１】特開２００５−３０５８０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記構成によると、凹部５の末端が突条部４によって閉塞されている。そのため、スキージ２を凹部５の末端まで相対的に移動させたとき、スキージ２によって擦りきられた図６にＰ１で示すスペーストが凹部５の末端からはみ出して突条部４の上に盛り上がるため、ペーストＰに無駄が生じるということがあった。
【０００９】
この発明は転写ステージとポケットを有するスキージを所定方向に相対的に往復動させてペースト膜を形成する際、相対的な往復動の端部でペーストが盛り上がることがないようにしたペースト膜の形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、電子部品に転写するためのペースト膜を形成する形成装置であって、
転写ステージと、
この転写ステージに対向して配置され上記ペーストが供給されるポケットが開口形成されたスキージと、
このスキージと上記転写ステージを所定方向に相対的に駆動することで上記ポケットに供給されたペーストを上記スキージの下端で擦りきって上記転写ステージの上面に上記ペースト膜を形成させる駆動手段を具備し、
上記転写ステージの上面には、上記ペースト膜を形成するための凹部と、この凹部の上記所定方向と交差する幅方向の両端部に設けられこの幅方向の両端部を閉塞するとともに幅方向と交差する長手方向を開放する突条部と、上記上面の周縁部に上記凹部よりも深く形成され上記上面に供給された上記ペーストが上記上面から外部に流出するのを防止する外周溝とが設けられていることを特徴とするペースト膜の形成装置にある。
【００１１】
上記ポケットを形成する上記スキージの上記所定方向と交差して所定間隔で対向位置する一対の側壁部は、厚さ寸法が上記転写ステージに接近する下端に向かって次第に薄くなるテーパ状であることが好ましい。
【００１２】
上記スキージを上記転写ステージに弾性的に押圧するばねを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、転写ステージに形成される凹部の、スキージと転写ステージとの相対的移動方向に位置する端部を開放させた。そのため、転写ステージに対してスキージが相対的な移動方向の端部に移動したときに、ペーストが盛り上がるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の一実施の形態を図１乃至図５を参照しながら説明する。  
図１はこの発明のペースト膜の形成装置を示す側面図、図２は一部分の平面図である。この形成装置はベース１１を備えている。このベース１１には可動体１２がガイド部材１２ａを介して図１に矢印で示すＸ方向に沿って移動可能に設けられている。
【００１５】
上記可動体１２の上面には転写ステージ１３が設けられている。この転写ステージ１３の上面には所定の深さの凹部１４が形成されている。この凹部１４は、図２と図５（ａ），（ｂ）に示すように、上記可動体１２の移動方向（Ｘ方向）と交差する幅方向（Ｙ方向）の両端部に、Ｘ方向のほぼ全長にわたって平坦な帯状の突条部１５を設けて形成されている。
【００１６】
それによって、上記転写ステージ１３の上面には、Ｘ方向に沿う長手方向の両端部が開放し、Ｙ方向に沿う幅方向の両端部が上記突条部１５によって閉塞された上記凹部１４が形成されている。そして、この凹部１４の深さは上記突条部１５の厚さによって設定されている。この実施の形態では上記突条部１５は７０μｍの厚さに形成されている。
【００１７】
図５（ａ），（ｂ）に示すように、上記転写ステージ１３の上面の周縁部には上記凹部１４よりも深い外周溝１６が全周にわたって形成されている。この外周溝１６は、後述するように上記凹部１４に供給されたペーストＰを擦りきって上記凹部１４にペースト膜ｍを形成する際、ペーストＰが転写ステージ１３の上面から外部に流出するのを防止する。
【００１８】
上記可動体１２は図１に示すようにベース１１に設けられた駆動手段１８によってその長手方向に沿って往復駆動されるようになっている。上記駆動手段１８はねじ軸１９を有する。上記可動体１２の長手方向一端部の下面にはコマ２１が垂設されている。このコマ２１にはめねじ体２２が設けられ、このめねじ体２２に上記ねじ軸１９が螺合されている。
【００１９】
上記ねじ軸１９は一端が駆動源２３の出力軸２３ａに連結され、他端が支持部材２４に回転可能に支持されている。したがって、上記ねじ軸１９が上記駆動源２３によって回転駆動されれば、このねじ軸１９が螺合されためねじ体２２を介して上記可動体１２が長手方向に沿って往復駆動されるようになっている。
【００２０】
上記可動体１２の上方には、上記ベース１１に連結された支持部材２６が設けられている。この支持部材２６には図２に示すように上記転写ステージ１３の幅方向に所定間隔で離間した一対のアーム部２７が設けられている。アーム部２７には図２に示すように上下方向に貫通したガイド溝２８が形成されている。
【００２１】
上記一対のアーム部２７のガイド溝２８にはスキージ３１の幅方向両側面に上下方向に沿って設けられた突部３２がスライド可能に係合している。それによって、上記スキージ３１は上下方向に沿って移動可能に設けられ、下降位置で幅方向の両端部の下面が上記転写ステージ１３の幅方向両端部に設けられた突条部１５に接触している。
【００２２】
図４（ａ），（ｂ）に示すように上記スキージ３１にはその上下方向に貫通したポケット３３が形成されている。このポケット３３は、上記転写ステージ１３の移動方向に位置する一対の壁部３４が上端から下端にゆくにつれて次第に薄くなるとともに逆ハの字状に傾斜したテーパ状に形成されている。それによって、壁部３４の下端はエッジ状になっている。
【００２３】
さらに、スキージ３１の幅方向の両端部にはそれぞれ一対の収納孔３５が上面に開口して。形成されている。各収納孔３５には図３に示すようにそれぞればね３６が収容されている。ばね３６の自由長はその一部が上記収納孔３５から突出するよう、収納孔３５の深さ寸法よりも長く設定されている。
【００２４】
上記取付け部２６の一対のアーム部２７の上面には押圧板３７がねじ３７ａによって取付け固定されている。それによって、押圧板３７はばね３６を圧縮するから、上記スキージ３１はばね３６の復元力によって下方へ弾性的に付勢されている。すなわち、スキージ３１の幅方向両端部の上記ポケット３３から外れた部分の下面は上記転写ステージ１３の幅方向の両端部に設けられた突条部１５に弾性的に圧接している。
【００２５】
図１に示すように、上記支持部材２６にはブラケット３８ａが設けられ、このブラケット３８ａにはシリンジ３８が先端のノズル３９をスキージ３１のポケット３３に対向させて設けられている。上記シリンジ３８にはペーストＰが収容されていて、たとえば空気圧などによってそのペーストＰを上記スキージ３１のポケット３３に供給できるようになっている。
【００２６】
上記構成の形成装置において、上記転写ステージ１３の凹部１４に図示しない電子部品に転写するためのペーストＰのペースト膜ｍを形成する場合、まず、上記スキージ３１のポケット３３にシリンジ３８によってペーストＰを供給する。
【００２７】
ポケット３３にペーストＰを供給したならば、駆動手段１８の駆動源２３を作動させて可動体１２とともに転写ステージ１３を往復動させる。それによって、ポケット３３から凹部１４に供給されたペーストＰが上記スキージ３１の一対の壁部３４の下端によって擦りきられるから、転写ステージ１３には凹部１４の深さ寸法に対応する厚さでペースト膜ｍが形成される。
【００２８】
上記転写ステージ１３に形成された凹部１４は、幅方向の両端部が突条部１５によって仕切られているが、幅方向と直交する長手方向の両端部は開放している。そのため、上記スキージ３１に対して転写ステージ１３を往復動させ、スキージ３１が転写ステージ１３の移動方向の末端に位置したとき、上記スキージ３１によって擦りきられたペーストＰは凹部１４から盛り上がることなく、凹部１４内でペースト膜ｍを形成することになる。
【００２９】
しかも、凹部１４に供給されたペーストＰを擦りきるスキージ３１の一対の壁部３４は、逆ハの字状に傾斜しているとともに、厚さが下端にゆくにつれて薄くなるテーパ状に形成され、ペーストＰは一対の壁部３４のエッジ状の下端によって擦りきられる。
【００３０】
そのため、壁部３４の下端によるペーストＰの摺りきり量は、平坦面で擦りきる従来に比べて少なくなるから、ペーストＰが壁部３４の下端からはみ出る量が少なくなる。それによって、転写ステージ１３の移動方向の端部でペーストＰが盛り上がるのを抑制することができる。つまり、凹部１４の長手方向の両端部が開放していることと相俟ってペーストＰが転写ステージ１３の移動方向の端部で盛り上がるのを防止することができる。
【００３１】
上記スキージ３１はばね３６によって下方向に弾性的に付勢され、幅方向の両端部のポケット３３からはずれた部分の下端面が転写ステージ１３の幅方向両端部に設けられた平坦な突条部１５の上面に弾性的に圧接している。
【００３２】
そのため、上記転写ステージ１３を往復動させて側壁３４の下端でペーストＰを擦りきるとき、擦りきられたペーストＰが側壁３４の下端からポケット３３の外部にはみ出るのが防止されるから、そのことによっても転写ステージ１３の移動方向の端部でペーストＰが盛り上がるのを防止することができる。
【００３３】
上記一実施の形態では転写ステージを往復動させたが、転写ステージに代わりスキージを往復動させる構成であっても差し支えなく、要は転写ステージとスキージを所定方向に相対的に往復動させることができればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】この発明の一実施の形態を示すペースト膜の形成装置の側面図。
【図２】図１に示すペースト膜の形成装置の転写ステージの部分の平面図。
【図３】支持部材に弾性的に保持されたスキージを示す断面図。
【図４】（ａ）はスキージの平面図、（ｂ）はスキージの幅方向と交差する方向に沿う断面図。
【図５】（ａ）は転写ステージの平面図、（ｂ）は転写ステージの長手方向に沿う断面図。
【図６】従来の転写ステージとスキージを示す断面図。
【符号の説明】
【００３５】
１３…転写ステージ、１４…凹部、１５…突条部、１８…駆動手段、２２…めねじ体、２３…駆動源、３１…スキージ、３３…ポケット、３４…壁部、３６…ばね、３８…シリンジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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