(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、
前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、
前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを備え、
前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とするロボットのハンド。
【請求項２】
前記媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に前記載置部の先端から基端における前記中空に少なくとも１つ以上設けたことを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。
【請求項３】
前記冷却媒体として気体を用い、前記媒体排出口を前記載置部の基端またはその近傍に設けるとともに、塵埃除去フィルターを介して前記中空の外部に前記冷却媒体を排出することを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。
【請求項４】
前記媒体排出口は、前記冷却媒体を前記ロボットのワークエリアの外部へ排出する媒体排出管に連通接続されていることを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。
【請求項５】
前記載置部が、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のロボットのハンド。
【請求項６】
前記中空の外部に面する前記載置部の表面にアルミ層を設けたことを特徴とする請求項５記載のロボットのハンド。
【請求項７】
前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなることを特徴とする請求項５記載のロボットのハンド。
【請求項８】
外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを有するワーク載置用ハンドと、
前記媒体導入管に前記冷却媒体を圧送する手段と、を備え、
前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とするワーク搬送ロボット。
【請求項９】
前記媒体導入管と前記圧送手段との間に塵埃除去フィルターを設けたことを特徴とする請求項８記載のワーク搬送ロボット。
【請求項１０】
前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなるように形成され、厚く形成された前記載置部の基端側に前記媒体導入管を厚さ方向に複数重ねて配置することを特徴とする請求項１記載のロボットのハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温環境の下でガラス基板やウェハー等のワークを取り扱うロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液晶ディスプレーやプラズマディスプレー等のフラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）や半導体の製造工程においては、これらの基材である平板状のガラスやウェハー等の基板をワークとしてある工程から別の工程へ搬送するために基板搬送ロボットが多用されている。さらに、その製造工程の中には、高温の加熱炉で加工処理する工程が含まれている。例えば、ガラス基板を製造する場合に、工程間搬送用のカセットからガラス基板を取り出し、ガラス基板の表面に薬液を塗布して、高温の加熱炉に搬入し、その高温下で薬液を溶融させてガラス基板の表面に製膜を構成する工程を設置することがある。この工程においては、ガラス基板は高温の加熱炉内で処理されることから、通常のガラス基板搬送用ハンドにより高温で製膜処理されたガラス基板を連続的に次工程の処理装置に搬送する。このような搬送の際には、製膜後のガラス基板を搬送して加熱炉内で高温となったハンドで、次に加工するガラス基板を取り出し薬液を塗布すると、ハンドの熱でガラス基板に塗布した薬液にムラができたりする一方、連続的搬送によりハンドが高温化して高温の加熱炉内でハンド自体が変形したりするおそれがある。
【０００３】
このような問題に対応するために、冷却媒体が循環するパイプ体をハンドの周囲に延接して、高温環境においてハンドを冷却しつつ、ガラス基板を搬送するロボットのハンドが提案されている。（特許文献１参照）
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３４６９６５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のロボットのハンドにおいては、冷却媒体がパイプ体の上流部から下流部へ循環する間に冷却媒体の温度が上昇して、下流部のハンドを十分に冷却できない一方、上流部のハンドを冷却しすぎるという不具合がある。また、冷却媒体が循環するパイプ体と接する部分のみが冷却され、ハンド全体を十分に冷却することができないという不具合がある。
【０００６】
即ち、ハンドの冷却媒体上流部と下流部においてのみならず、ハンドのパイプ体と接する部分とその他の部分において冷却が不均一になるという問題がある。さらに、不均一な冷却により、ハンド自体が歪んで変形し易くなるという問題もある。
【０００７】
また、特許文献１のロボットのハンドにおいては、中実素材を切削加工したハンドの周囲に熱伝導率の高い金属等よりなるパイプ体を延設しているため、ハンドが比較的重くなってしまい、ロボットの運動性能や作動効率に悪影響を及ぼすという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、その目的は、高温環境の下で処理されるガラス基板等のワークを搬送する際、ハンドを効率良く均一に冷却することができるとともに、従来に比較して軽量な構造のロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
かかる目的を達成するため、本発明のロボットのハンドは、外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを備え、前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、外部と隔絶された載置部の中空に、媒体導入管によって冷却媒体を導入する一方で、中空に設けた媒体排出口から使用済みの冷却媒体を排出するので、載置部の中空内に冷却媒体が流れ、載置部をその内側の中空から均一に効率よく冷却することができる。
さらに、中空内には媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたため、長さの異なる複数の媒体導入管の先端に設けた媒体噴出口から効率良く冷却媒体を噴出させるので、媒体導入管の長さに応じて冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に分散配置することができる。従って、効率よく均一にハンドの載置部を冷却することができる。
【００１１】
本発明のロボットのハンドでは、前記媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に前記載置部の先端から基端における前記中空に少なくとも１つ以上設けることが好ましい。
【００１２】
本発明によれば、媒体導入管の媒体噴出口を、前記媒体導入管の先端以外に載置部の先端から基端における中空に少なくとも１つ以上設けたので、使用前の冷涼な冷却媒体の噴出によって冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に複数分散して設けることになり、均一且つ高効率に中空内を冷却することができ、ひいては均一に効率よくハンドの載置部を冷却することができる。
【００１５】
本発明のロボットのハンドでは、前記冷却媒体として気体を用い、前記媒体排出口を前記載置部の基端またはその近傍に設けるとともに、塵埃除去フィルターを介して前記中空の外部に前記冷却媒体を排出することが好ましい。
【００１６】
本発明によれば、載置部の基端部またはその近傍から塵埃除去された清浄な気体として使用済みの冷却媒体が排出されるので、ハンド先端側寄りの載置部に載置されるワークが排出される使用済みの冷却媒体で汚染されることがない。
【００１７】
本発明のロボットのハンドでは、前記媒体排出口は、前記冷却媒体を前記ロボットのワークエリアの外部へ排出する媒体排出管に連通接続されていることが好ましい。
【００１８】
本発明によれば、媒体排出口から使用済みの冷却媒体が媒体排出管に導かれロボットのワークエリアの外部に排出されるので、ワークエリア内で搬送されるワークが使用済みの冷却媒体で汚染されることがない。
【００１９】
本発明のロボットのハンドでは、前記載置部が、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されていることが好ましい。この場合、カーボン繊維は熱伝導性が良好であるので、載置部をその中空側の冷却媒体によって効率的に冷却することができる。
【００２０】
更に、本発明のロボットのハンドでは、前記中空の外部に面する前記載置部の表面にアルミ層を設けることが好ましい。この場合、載置部の表面に設けられたアルミ層が外部からの熱を反射して、載置部が高熱化することを防止し、中空内の冷却媒体による冷却効率を一層高めることができる。
【００２１】
本発明のロボットのハンドでは、前記載置部の厚みが基端から先端に向かって次第に薄くなることが好ましい。本発明によれば、載置部の基端側を厚く形成する一方、先端側を薄く形成したので、基端部の剛性を高めることができ、ひいては大きなワーク荷重のかかる基端側での載置部の撓みを防止することができる。また、基端側に複数の媒体導入管を配置する中空のスペースを確保することができる。
【００２２】
本発明のワーク搬送ロボットは、外部と隔絶された中空を有する形状に形成されてワークを載置する載置部と、前記中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、前記中空から前記冷却媒体を排出する媒体排出口とを有するワーク載置用ハンドと、前記媒体導入管に前記冷却媒体を圧送する手段と、を備え、前記中空内には前記媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設けたことを特徴とする。
【００２３】
本発明によれば、冷却媒体を媒体導入管へ圧送して、この媒体導入管を介してワーク載置用ハンドの外部と隔絶された中空に冷却媒体を導入するとともに、中空内には媒体導入管が複数設けられており、それらの長さを異ならせるとともに、それらの先端に各々媒体噴出口を設け、媒体噴出口から効率良く冷却媒体を噴出させるので、媒体導入管の長さに応じて冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に分散配置することができるとともに、中空の他端側に設けた媒体排出口から使用済みの冷却媒体を排出してハンドを内部側から全体的に冷却するようにしたので、効率良く且つ均一にハンドを冷却することができる。
【００２４】
本発明のワーク搬送ロボットでは、前記媒体導入管と前記圧送手段との間に塵埃除去フィルターを設けることが好ましい。この場合、媒体導入管や媒体排出口などの冷却媒体の流路およびワーク載置用ハンドの中空に塵埃が持ち込まれて残留堆積することがなく、媒体の流路が詰まったり、ハンドの外へ排出されたりすることを防止することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットによれば、載置部に高温の外部と隔絶された中空と、その中空に冷却媒体を導入する媒体導入管と、中空から冷却媒体を排出する媒体排出口とを設け、中空に冷却媒体を導入する一方で、中空から冷却媒体を排出するようにしたので、載置部の中空内に冷却媒体が流れ、載置部をその内側の中空から均一に冷却することができる。
【００２６】
また、本発明のロボットのハンドでは、媒体導入管の媒体噴出口を、媒体導入管の先端以外に載置部の先端から基端における中空に少なくとも１つ以上設けることとしたので、冷却効率の高い媒体噴出口の周辺領域を中空内に複数分散して設けることになり、均一且つ高効率に載置部の中空内を冷却することができ、ひいては効率よく均一に載置部を冷却することができる。さらに、均一な冷却により、ハンド自体の歪みや変形を防止できる。
【００２７】
このように、本発明によれば、高温環境の下で処理されるワークを搬送する際、ハンド全体を均一に効率良く冷却することができるロボットのハンドおよびこれを用いたワーク搬送ロボットを従来に比較して軽量で簡易な構成によって実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【００２９】
図１は、本実施の形態にかかるワーク搬送ロボットの概要を示す。図１Ａはその上面図であり、図１Ｂはその側断面図である。このワーク搬送ロボット１は、高温環境の加熱炉に対してワークを搬送および搬出するための構成である搬送系統および、ハンドを冷却するための構成であるハンド冷却系統を備えてなる。なお、本実施の形態のワーク搬送ロボット１は、一定の清浄度が要求されるフラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）の製造工程で使用され、ワークとしてガラス基板Ｗを搬送するものである。
【００３０】
（搬送系統の概要）
まず、搬送系統を説明する。ワーク搬送ロボット１（以下では単に「ロボット１」という）は、基台２上の関節部３を中心に回転可能な第１アーム６と、この第１アーム６の先端側の関節部４に回転可能に連結された第２アーム７と、第２アーム７の先端部の関節部５に回転可能に連結されたハンド１０とを備えている。
【００３１】
各関節部３〜５にはプーリが内蔵されると共に関節部３、４同士と関節部４、５同士はそれぞれタイミングベルトで連結されてハンド１０が常時一定方向を向きながら直線上を移動するように設けられている。そして、ハンド１０は、図示しない加熱炉に対して進入および退出可能とされており、加熱炉と図示しないカセットとの間でガラス基板Ｗを載置して搬送する。
【００３２】
また、ハンド１０は、後述するようにカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成され、以下で詳細に説明するハンドを冷却するためのハンド冷却機構を有している。一方、基台２、第１アーム６および第２アーム７は、加熱炉に隣接するワークエリア内において作動するものである。これらワークエリア内に配置される構成は、特別の耐熱加工を必要とせず常温で使用されるアルミ合金等の材料により形成されている。
【００３３】
なお、本実施の形態では、ロボット１を上述のような搬送作動を行う搬送系よりなる水平多関節型ロボットとしているが、本発明の適用はこのような水平多関節型ロボットに限られるものではなく高温環境下でワークを搬送するロボットのハンドに広く適用することができる。また、ワークとしては、ガラス基板に限られるものではなく、半導体のウェハー等をワークとして搬送してもよい。
【００３４】
（ハンド冷却系統の概要）
ロボット１の冷却系統は、ワークエリアの外側から冷却媒体を圧送する手段とハンド１０内における冷却機構と使用後の冷却媒体を排出手段とを有する一連の冷却媒体の経路である。なお、図中の矢印は冷却媒体の流れる方向を示し、図１Ｂの矢印Ｘは大気吸気方向（冷却媒体の圧送方向）を、矢印Ｙは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。また、ハンド１０内における冷却機構については後述する。
【００３５】
ロボット１は、冷却媒体として常温の大気を用い、冷却媒体を圧送する圧送手段として、空気を圧送するコンプレッサー８を有し、コンプレッサー８のハンド１０側にはエアーフィルター９が設けられている。
【００３６】
エアーフィルター９は、コンプレッサー８から圧送された空気から塵埃や水分を除去して、清浄なドライエアーとするものである。そして、コンプレッサー８およびエアーフィルター９は、媒体圧送管１３に接続されている。
【００３７】
媒体圧送管１３は、ロボット１の内部を引き回されて、ハンド１０に冷却媒体としての清浄なドライエアーを圧送するものである。媒体圧送管１３は、基台２から第１アーム６、第２アームおよび間接部３〜５を経由して、ハンド１０の載置部１１に搬送系統の駆動と緩衝しないように接続されている。本実施の形態では、媒体圧送管１３は間接部３〜５の図示しないプーリの中央に設けた空孔を経由してタイミングベルトとの緩衝を避けるように配置されている。
【００３８】
本実施の形態のロボット１は、フラットパネルディスプレー（ＦＰＤ）の製造工程で要求される清浄度を保つため、ハンド１０を冷却した後の使用済みの冷却媒体をワークエリアの外側に排出する媒体排出管１４が、媒体圧送管１３同様に搬送系統と緩衝しないように設けられている。なお、媒体排出管１４の終端にフィルター１４ａを取り付けた場合は、ワークエリア内に使用済みの冷却媒体である空気を排気してもよい。この場合でも、ワークエリアのワーク搬送領域から離れた領域に排気部を設けることができるので、清浄環境を劣化させることはない。
【００３９】
本実施の形態では、冷却媒体および冷却媒体を圧送する手段として圧縮空気（大気）およびこれを圧縮するコンプレッサー８を使用しているが、これに替えて種々の気体や水等の液体を冷却媒体として圧送する構成とすることができる。例えば、ボンベ入りの圧縮窒素を用いれば、窒素が気化する際に冷却されるので、良好な冷却媒体を得ることができる。この場合の窒素は清浄であるためエアーフィルター９を省略することもできる。
【００４０】
また、工場用の圧縮空気供給系統から圧縮空気を引き込めば、ロボット１が独立のコンプレッサー８を備える必要がなくなるので、経済的である。更に、ハンド冷却系統を閉じた体系とし、媒体圧送管１３と媒体排出管１４とを冷却機を介して接続してもよい。なお、媒体圧送管１３は、必要により断熱材で被覆してもよい。
【００４１】
（冷却ハンドの構成）
次に、図２および図３を参照しつつ、本実施の形態のハンド１０およびその冷却機構を説明する。図２は、本実施の形態にかかるハンドの上面の断面図である。図３（Ａ）は本実施の形態にかかるハンドの載置部の上面部分断面図であり、図３（Ｂ）はその側断面図である。また、図３（Ａ）（Ｂ）において、矢印Ｘは冷却媒体の圧送方向を、矢印Ｙは使用済み冷却媒体の排出方向を示す。
【００４２】
ハンド１０は、ワークとしてガラス基板Ｗを載置部１１に載置して、これを加熱炉に対して搬入および搬出するものである。ハンド１０は、ワークを載置する４本の載置部１１と連結部１２とにより構成され、載置部１１が連結部１２により一体に連結支持されている。また、連結部１２の略中央部には、ハンド１０を第２アーム７に対して回転可能に支持する関節部５が設けられている。なお、本実施の形態では、ガラス基板Ｗが載置される載置部１１は４本設けられているが、搬送するガラス基板Ｗのサイズに応じて、２本以上の適宜の数とすることができる。
【００４３】
載置部１１は、カーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により内部を中空の長尺形状に形成され、その内部の中空１１ａが外部環境と隔絶された密閉状態とされている。この載置部１１の内側の中空１１ａには、媒体圧送管１３からの冷却媒体を導入する媒体導入管１５が設けられている。媒体導入管１５は、その先端に媒体噴出口１６を有している。更に、載置部１１の基端には、中空１１ａから使用済みの冷却媒体を排出する媒体排出口１７が設けられている。
【００４４】
媒体導入管１５は、図２に示すように、長さを異ならせた媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄとして、各載置部１１に４本ずつ設けられている。媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄは、載置部１１の基端において媒体圧送管１３に接続され、媒体圧送管１３から分岐するようにしている。また、媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄの先端には、媒体噴出口１６ａ、１６ｂ、１６ｃおよび１６ｄが設けられている。
【００４５】
媒体導入管１５ａ、１５ｂ、１５ｃおよび１５ｄの長さを異ならせているので、媒体噴出口１６ａ、１６ｂ、１６ｃおよび１６ｄは、中空１１ｂ内に略等間隔で配置されることとなる。このように媒体噴出口を等間隔で配置することにより、中空１１ｂ内を均一に効率良く冷却することができ、ひいては載置部１１を中空１１ａの側から均一且つ効率よく冷却することができる。
【００４６】
本実施の形態では、媒体導入管１５を分岐させてその長さを異ならせることにより、媒体排出口１６をほぼ等間隔に配置しているが、媒体導入管１５を媒体圧送管１３から分岐させずに１本とし、その基端から先端の間に等間隔で複数の媒体噴出口１６を設けるようにしてもよい。このように媒体噴出口１６を等間隔で複数配置すれば、同様に均一且つ効率よい冷却効果を得ることができる。
【００４７】
次に、このような冷却機構を内部に備える載置部１１は、熱伝導性能が良好なカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成されているので、載置部をその中空１１ａ内に導入される冷却媒体によって効率的に冷却することができる。
【００４８】
更に、載置部１１の外部に面する表面には、アルミ層（図示しない）が設けられている。載置部の表面に設けられたアルミ層が外部から照射される熱を反射して、載置部１１の耐熱性を高め、載置部が高熱化することを防止し、中空１１ａ内に導入される冷却媒体による冷却効率を一層高めることができる。なお、アルミ層は、載置部を形成する際に、真空蒸着や箔貼り付け等の適宜の方法により形成される。
【００４９】
また、載置部１１は、その厚みが基端から先端に向けて次第に薄くなるテーパー形状に形成され、その短手方向の断面は略長方形で、ガラス基板Ｗを載置する上面１１ｂが平板状とされている。従って、載置部１１の基端が厚く先端が薄いので、基端部分の剛性を高めることができる。このため、モーメントが最大になる基端部分で十分な剛性を確保することができる。また、先端側が基端側よりも軽量であるので、載置部の重心が基端側になると共に、載置部全体が軽量化される。これらの理由により、ロボット１の共振周波数が上がるので、作動速度を高めることができる。
【００５０】
また、載置部１１の基端が厚く先端が薄いので、ワークの重量で先端側が下方に撓んだとしても下の載置部１１あるいはワークなどと干渉することを防止できる。また、ガラス基板Ｗを載置する上面１１ｂが平板状とされているので、ガラス基板Ｗを安定保持することができる。
【００５１】
更に、厚く形成した載置部１１の基端側に媒体導入管１５を厚さ方向に複数重ねて配置することができる。この場合、媒体導入管１５を増設することができるので、一層良好な冷却効率を得ることができる。
【００５２】
次に、連結部１２は、４本の載置部１１の基端を連結し保持するものであり、載置部１１と同様にカーボン繊維と耐熱性樹脂の混合材料により形成され、載置部１１とは独立の密閉構造の箱型とされている。連結部１２の内部は、載置部１１に接続されている媒体圧送管１３、媒体排出管１４および後述する吸着パッド用配管２０やセンサ１９の配線などが通過する中空１２ａとされている。なお、使用前の冷却媒体を送る媒体圧送管１３と媒体排出管１４は接触しないように離れて配置され、媒体圧送管１３は必要により断熱材で被覆されている。
【００５３】
連結部１２の中央部は、関節部５により第２アーム７に連結されている。関節部５は、媒体圧送管１３、媒体排出管１４および後述する吸着パッド用配管２０やセンサ１９の配線を通過させる一方、第２アーム７側と連結部中空１２ａとを連通させないようにシール構造とされている。従って、ハンド１０側から第２アーム７を経由して、ワーク搬送ロボット本体の内部に高温の空気が伝わることはない。
【００５４】
次に、載置部１１の上面１１ｂには、ワークを吸着保持するための吸着パッド１８およびハンド１０に対するガラス基板Ｗの位置を走査確認するセンサ１９が設けられている。
【００５５】
吸着パッド１８は、載置部１１にワークを載置する際に、これを吸着して安定保持するものである。吸着パッド１８には、載置部１１の内側から吸着パッド用配管２０が接続されている。吸着パッド用配管２０は、載置部１１から連結部１２を経由してロボット１の内部を引き回され、図示しない吸着駆動源に接続されている。
【００５６】
センサ１９には、載置部１１にガラス基板Ｗを載置する際に、ハンド１０をワークに対して正対させるために、ワークを走査してワークとハンド１０の相対位置を確認するものである。センサ１９の配線（図示しない）は、吸着パッド用配管２０と同様に載置部１１から連結部１２を経由してロボット１の内部を引き回され、図示しないロボットの作動制御部に接続されている。
【００５７】
（ハンド冷却作動）
次に、以上のように構成されたワーク搬送ロボットにおけるハンドの冷却作動について説明する。
【００５８】
まず、ワークエリア外のコンプレッサー８及びエアーフィルター９から媒体圧送管１３へ冷却媒体としての清浄なドライエアーが圧送される。ドライエアーはロボット１内の媒体圧送管１３を経由してハンド１０の連結部１２で各載置部１１へ分岐圧送される。更に、載置部１１の基端近傍において媒体導入管１５ａ〜１５ｄに分岐して、載置部１１の中空１１ａへ圧送される。
【００５９】
媒体導入管１５ａ〜１５ｄに圧送されたドライエアーは、図２に示すように、各媒体噴出口１６ａ〜１６ｄから中空１１ａに噴出する。ここで、媒体噴出口１６ａから噴出するドライエアーは、図中の矢印Ａのように載置部１１の先端近傍を冷却しつつ、載置部１１の基端へ向けて流れる。また、媒体噴出口１６ｂから噴出するドライエアー（図中矢印Ｂ）は、その媒体噴出口の周辺領域を冷却して載置部１１の基端へ向けて流れる。同様にして、媒体噴出口１６ｃ、１６ｄからそれぞれ噴出するドライエアー(図中矢印Ｃ、Ｄ)は、各々の媒体噴出口の周辺領域を冷却して載置部１１の基端の媒体排出口１７へ導かれる。こうして使用済みのドライエアー（図中矢印Ｅ）は、媒体排出管１４を経由して、ワークエリア外へ排出される。
【００６０】
このように、ドライエアーはコンプレッサー８によって連続的に圧送される一方、各媒体噴出口１６ａ〜１６ｄの周辺領域を冷却した後に媒体排出口１７から排出されるので、冷却媒体の循環が形成さる。この冷却媒体の循環は、中空１１ａ内においては、常に載置部１１の先端側から基端側に向けて流れるように形成されることになる。
【００６１】
本発明では、上述のような載置部１１の先端側から基端側に向けて流れる冷却媒体の循環によって載置部１１の中空１１ａが冷却されるので、載置部１１を中空１１ａの側から全体的に効率良く冷却することができる。また、分散配置された媒体噴出口１６ａ〜１６ｄの近傍の領域がそれぞれ冷却されるので、載置部１１の先端から基端までを均一に冷却することができる。
【００６２】
なお、このようなドライエアー（冷却媒体）の循環量は、コンプレッサー８（圧送手段）の圧力を適宜制御することができるので、冷却能力を適宜調節することができる。従って、載置部１１に温度センサを設けて、載置部１１の温度に合わせて冷却能力を制御するようにしてもよい。
【００６３】
（別の実施の形態）
次の本発明における別の実施の形態を説明する。図４は、この別の実施の形態にかかるハンドの要部拡大図である。なお、上述の実施の形態と同じ構成については、同じ符号を付しその説明は省略する。
【００６４】
本実施の形態において、上述の実施の形態と異なる点は、媒体排出管１４およびその先端のフィルター１４ａに替えて、連結部１２に設けた排気フィルター２１から直接に使用済みのドライエアーＥを排出する構成としたことである。
【００６５】
本実施の形態では、連結部１２の載置部１１の取り付け部とは反対側には、塵埃を除去する排気フィルター２１が設けられている。また、載置部１１の媒体排出口１７は、連結部中空１２ａと連通する短い管により形成されている。この媒体排出口１７の管は、図中の矢印Ｆで示すように、使用済みドライエアーを排気フィルター２１の側に向けて排気するように設けられている。なお、媒体排出口１７は、単純な孔としてもよい。
【００６６】
ドライエアーが圧送される一方で連結部１２の関節部５はシール構造とされているので、上述の構成により載置部１１から排出されたドライエアーＦは、連結部１２の長手方向に排気フィルター２１に向けて流れ、図中の矢印Ｇで示すように、排気フィルター２１から載置部１１とは反対の方向に排気される。
【００６７】
本実施の形態によっても、載置部１１の中空１１ａにおける良好な冷却効果を得ることができる。そのうえ、排出口１７から排出されたエアー（図中の矢印Ｆ）により連結部１２を冷却することができる。従って、ハンド１０全体として一層良好な冷却効果を得ることができる。
【００６８】
また、媒体排出管１４を関節部５からロボット１の本体内を引き回す必要がなく、複雑な配管を簡略にすることができる。なお、本実施の形態では、冷却媒体の排気Ｇは排気フィルター２１から載置部１１に載置されるワークＷとは反対の方向に排出するので、ワークを汚染することはない。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態にかかるワーク搬送ロボットの概要を示す。（Ａ）はその上面図であり、（Ｂ）はその側断面図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるハンドの上面断面図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の実施の形態にかかる載置部の上面面図（部分断面図）であり、（Ｂ）は、その側断面図である。
【図４】本発明における別の実施の形態にかかるハンドの要部拡大図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  ワーク搬送ロボット
２  基台
３、４、５  関節部
６  第１アーム
７  第２アーム
８  コンプレッサー
９  エアーフィルター
１０  ハンド
１１  載置部
１１ａ  中空
１２  連結部
１２ａ  連結部中空
１３  媒体圧送管
１４  媒体排出管
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ  媒体導入管
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ  媒体噴出口
１７  媒体排出口
１８  吸着パッド
１９  センサ
２０  吸着パッド用配管
２１  排気フィルター
Ｗ  ワーク（ガラス基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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