(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
方形板状のワークを水平姿勢で収納する収納カセットから前記ワークを搬出する移載ロボットにおいて、
前記ワークを解除可能に保持するハンドと、
前記ワークが載置される載置部と、
前記ハンドを前記ワークの搬出方向及び当該搬出方向の反対方向に往復移動させる移動手段と、
前記ハンドと前記移動手段とを制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記ワークを前記収納カセットから前記載置部上へ搬送する第１搬送制御と、前記載置部上の前記ワークを前記移載ロボットから搬出するために、前記載置部上の前記ワークを前記搬出方向に搬送する第２搬送制御と、を実行し、
前記第１搬送制御は、前記収納カセットから前記載置部上へ前記ワークが平行移動するよう、前記収納カセット内の前記ワークの端部を前記ハンドに保持させて前記移動手段により前記ハンドを前記搬出方向に移動させる制御であり、
前記第２搬送制御は、前記第１搬送制御の後、前記ハンドによる前記ワークの保持を解除して前記ハンドを前記反対方向に移動し、前記ハンドにより前記載置部上の前記ワークを再び保持し、前記移動手段により前記ハンドを再び前記搬出方向に移動させ、前記ワークを前記搬出方向へ移動させる制御であることを特徴とする移載ロボット。
【請求項２】
前記載置部が、
エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、前記ワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の移載ロボット。
【請求項３】
前記載置部が、
自由回転する複数のローラを備えたことを特徴とする請求項１に記載の移載ロボット。
【請求項４】
前記ハンドは、前記ワークを保持する第１保持部と、該第１保持部から前記搬出方向に離間して設けられ、前記ワークを保持する第２保持部と、を備え、
前記制御手段は、
前記第１搬送制御において前記載置部上へ前記ワークを移動する場合には、前記第１保持部により前記ワークを保持させ、
前記第２搬送制御において前記載置部上から前記ワークを前記搬出方向へ移動する場合には、前記第２保持部により前記ワークを保持させることを特徴とする請求項１に記載の移載ロボット。
【請求項５】
更に、
前記制御手段により制御され、前記載置部上に移動した前記ワークを前記搬出方向へ予め定めたワーク位置まで移動させる補助移動手段を備え、
前記制御手段は、
前記第２搬送制御において前記第２保持部が前記ワークを保持する前に、前記補助移動手段により前記ワークを移動させることを特徴とする請求項４に記載の移載ロボット。
【請求項６】
前記ワーク位置において前記ワークの前記収納カセット側の端縁の位置は、前記第２搬送制御において前記反対方向に移動した前記ハンドの前記第１保持部と前記第２の保持部との間であることを特徴とする請求項５に記載の移載ロボット。
【請求項７】
前記補助移動手段は、
前記ワークに当接する当接部材と、
前記当接部材が前記載置部上へ突出する突出位置と、非突出位置との間で前記当接部材を昇降する昇降ユニットと、
前記当接部材及び前記昇降手段を前記搬出方向に移動させる移動ユニットと、
を備えたことを特徴とする請求項５に記載の移載ロボット。
【請求項８】
前記載置部が、
エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、前記ワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段を備え、
前記補助移動手段は、
前記ワークの下面に吸着する吸着パッドと、
前記吸着パッドの吸着面が前記載置部上へ突出する突出位置と、非突出位置との間で前記吸着パッドを昇降する昇降手段と、
前記吸着パッド及び前記昇降手段を前記搬出方向に移動させる移動ユニットと、
を備えたことを特徴とする請求項５に記載の移載ロボット。
【請求項９】
更に、
前記制御手段により制御され、前記載置部上に移動した前記ワークの前記搬出方向と直交する方向の位置決めを行なう位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の移載ロボット。
【請求項１０】
前記位置決め手段は、前記ワークの対向する各端縁を、それぞれ前記ワークの中心へ向けて押圧することを特徴とする請求項９に記載の移載ロボット。
【請求項１１】
前記位置決め手段は、前記ワークが前記載置部上へ移動した後、前記ハンドが前記ワークを再び保持する前に前記ワークの位置決めを行なうことを特徴とする請求項９に記載の移載ロボット。
【請求項１２】
更に、前記ハンドを昇降する昇降手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の移載ロボット。
【請求項１３】
前記複数のローラが前記搬出方向に配置され、
前記複数のローラは、隣接する前記ローラの側面の一部が互いに重なるように前記搬出方向と直交する方向に交互にずれて配置されていることを特徴とする請求項３に記載の移載ロボット。
【請求項１４】
前記搬出方向に配置された前記複数のローラを備えたローラユニットを備え、
前記ローラユニットの前記搬出方向の両端部には、前記ローラよりも小径の補助ローラが設けられ、
前記ローラの頂部と前記補助ローラの頂部とは同一水平面上に位置していることを特徴とする請求項１３に記載の移載ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットから移載する移載ロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納カセット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから一枚ずつ取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのワークは再び収納カセットへ搬入される。このような設備では、ワークを収納カセットから搬出し、また、搬入する移載ロボットが必要となる。
【０００３】
このような移載ロボットの例として、収納カセット内にハンドを挿入して持ち上げ、収納カセットから搬出するものが知られている。しかし、ワークが大型化すると、収納カセット内に挿入されるハンドも大型化し、移載ロボット及び収納カセットが大型化してしまう。特開２００５−６４４３１号公報にはワークの端部を保持して収納カセットからワークを引き出し、載置部上へワークを移載する移載ロボットが開示されている。ワークの端部を保持して収納カセットからワークを引き出すことで、収納カセットにハンドを挿入する場合よりも移載ロボット及び収納カセットの小型化が図れる。また、収納カセット側にワークを搬入出するための駆動機構を必要としないので、構成の簡略化が図れる。
【０００４】
一方、収納カセットから移載したワークの搬送先（処理装置或いは別の移載ロボット）が、移載ロボットから見て収納カセットと反対側に配置されている場合、一般には移載ロボットを一旦旋回した後、搬送先にワークを移載するようにしている。しかし、この方式ではワークが長方形の場合、移載ロボットが旋回できるスペースとしてより広いスペースが必要とされ、システム全体の占有面積が大きくなる。特開２００５−２５５３５６号公報には、収納カセットからワークを引き出した後、同じ方向にワークを移動させてワークの搬送先にワークを移載する移載ロボットが開示されている。しかし、この移載ロボットでは、収納カセットからワークを引き出した後、別のハンドでワークを持ち上げ、ワークの搬送先にワークを移載する機構である。従って、収納カセットからワークを引き出すためのハンド（以下、搬入用ハンド）と、ワークの搬送先にワークを移載するハンド（以下、搬出用ハンド）とを別々に設ける必要があり、機構が複雑化する。また、搬出用ハンドはワークを支持する大きさが必要とされるため、移載ロボットが大型化する。
発明の開示
［０００５］
本発明は上述した従来技術を改善するものである。
［０００６］
本発明によれば、方形板状のワークを水平姿勢で収納する収納カセットから前記ワークを搬出する移載ロボットにおいて、前記ワークを解除可能に保持するハンドと、前記ワークが載置される載置部と、前記ハンドを前記ワークの搬出方向及び当該搬出方向の反対方向に往復移動させる移動手段と、前記ハンドと前記移動手段とを制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記ワークを前記収納カセットから前記載置部上へ搬送する第１搬送制御と、前記載置部上の前記ワークを前記移載ロボットから搬出するために、前記載置部上の前記ワークを前記搬出方向に搬送する第２搬送制御と、を実行し、前記第１搬送制御は、前記収納カセットから前記載置部上へ前記ワークが平行移動するよう、前記収納カセット内の前記ワークの端部を前記ハンドに保持させて前記移動手段により前記ハンドを前記搬出方向に移動させる制御であり、前記第２搬送制御は、前記第１搬送制御の後、前記ハンドによる前記ワークの保持を解除して前記ハンドを前記反対方向に移動し、前記ハンドにより前記載置部上の前記ワークを再び保持し、前記移動手段により前記ハンドを再び前記搬出方向に移動させ、前記ワークを前記搬出方向へ移動させる制御であることを特徴とする移載ロボットが提供される。
［０００７］
本発明では、前記ハンドが往復移動することで、前記収納カセットから前記移載ロボットへのワークの搬入と、搬入したワークの搬送先への搬出とを行なう。前記移載ロボットから見て搬送先が前記収納カセットと反対側に配置されている場合であっても、前記移載ロボットの旋回を必要としない。そのため、旋回を必要としない分だけ、ロボットの占有空間の削減や、タクトタイムの短時間化を図ることができる。また、ワークの搬入と搬出とを同じ前記ハンドで行なうことで機構を簡略化できる。ワークの搬入及び搬出の間、ワークは前記載置部に支持される。従って、前記ハンドがワークを支持する大きさを有することが要求されず、前記移載ロボットの小型化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る移載ロボットＡを用いた基板処理システムのレイアウト図である。
【図２】移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの平面図である。
【図３】移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの正面図である。
【図４】移載ロボットＡの分解斜視図である。
【図５】移載ロボットＡの分解斜視図である。
【図６】基板収納装置Ｂの斜視図である。
【図７】基板を収納する収納カセットの斜視図である。
【図８】上記収納カセットの１段分の載置部を示す図である。
【図９】基板収納装置Ｂを構成する昇降ユニットの斜視図である。
【図１０】上記昇降ユニットの分解斜視図である。
【図１１】基板収納装置Ｂを構成するエア噴出ユニットの斜視図である。
【図１２】移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの制御装置のブロック図である。
【図１３】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１４】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１５】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１６】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１７】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１８】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図１９】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２０】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２１】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２２】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２３】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２４】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２５】移載ロボットＡの動作説明図である。
【図２６】他のローラユニットを採用した移載ロボットＡの平面図である。
【図２７】図２６の移載ロボットのローラユニットの説明図である。
【図２８】本発明の他の実施形態に係る移載ロボットＡ’の平面図及びその一部の構成の斜視図である。
【図２９】移載ロボットＡ’の動作説明図である。
【図３０】基板収納装置の他の例を説明する図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
＜システムの概略＞
図１は一実施形態に係る移載ロボットＡを用いた基板処理システムのレイアウト図である。尚、各図Ｘ、Ｙは相互に直交する水平方向、Ｚは鉛直方向を示す。また、Ｘ、Ｙ、Ｚの各矢印の方向を＋方向、反対方向を−方向という。この基板処理システムは、方形板状のガラス基板を処理するシステムであって、移載ロボットＡと、基板収納装置Ｂと、複数種類の処理装置Ｃ１乃至Ｃ３と、を備える。
【００１０】
基板収納装置Ｂには複数枚のガラス基板が水平姿勢で収納される。移載ロボットＡは基板収納装置Ｂからガラス基板を取り出し、処理装置Ｃ１乃至Ｃ３のいずれかにガラス基板を移載する。また、移載ロボットＡは処理装置Ｃ１乃至Ｃ３のいずれかから処理済のガラス基板を取り出し、基板収納装置Ｂへ処理済のガラス基板を移載する。移載ロボットＡは上記基板処理システムが設置されるフロア上に設けられたレール１に沿ってＸ方向に移動可能であり、基板収納装置Ｂ及び各処理装置Ｃ１乃至Ｃ３の対面に移動可能である。なお、本実施形態では各処理装置Ｃ１乃至Ｃ３が移載ロボットＡとの間でガラス基板の受け渡しを行なうコンベア等の装置を内蔵している場合を想定する。
【００１１】
本実施形態では移載ロボットＡが移載対象とするワークとしてガラス基板を例に挙げるが、移載対象はガラス基板に限られず、他の種類のワークを移載対象とすることもできる。また、本実施形態では移載ロボットＡが基板収納装置Ｂと処理装置Ｃ１乃至Ｃ３との間でワークの移載を行なうが、基板収納装置Ｂと他の移載ロボット或いはワークの搬送装置との間でワークの移載を行なうようにすることもできる。
【００１２】
＜移載ロボット＞
図２は移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの平面図、図３は移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの正面図である。また、図４は移載ロボットＡの分解斜視図であり、特に、移載ロボットＡの移載ユニット１０の分解斜視図、図５は移載ロボットＡの分解斜視図であり、特に、移載ロボットＡの走行ユニット２０の分解斜視図である。移載ロボットＡは移載ユニット１０と走行ユニット２０とを備える。
【００１３】
＜移載ユニット＞
まず、移載ユニット１０について、主に図４を参照して説明する。移載ユニット１０は複数の角形の鋼管を組み合わせて形成されるフレーム１１を備える。フレーム１１を構成する複数の鋼管１１ａ上には、移載対象となるガラス基板が載置される載置部を構成する複数のローラユニット１２が搭載されている。各ローラユニット１２は自由回転する複数のローラ１２ａを備える。ローラ１２ａの回転軸はＸ方向に設定されている。各ローラユニット１２は、各ローラ１２ａ上にガラス基板が水平姿勢で載置されるように、同一水平面上に配列されている。各ローラ１２ａは、その周面の摩擦抵抗が小さい材料から構成されることが望ましく、例えば、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等の樹脂材料から構成されることが望ましい。
【００１４】
複数の鋼管１１ａのうち、その両端部に位置する２つの鋼管１１ａの側部には、それぞれ、Ｙ方向に延びるレール部材１７が設けられている。各レール部材１７にはそれぞれハンドユニット１３がＹ方向に往復移動可能に設けられており、レール部材１７はハンドユニット１３の移動を案内する。
【００１５】
フレーム１１を構成する複数の鋼管１１ｂ上には、２つのベルト機構１４が搭載されている。各ベルト機構１４はハンドユニット１３をＹ方向に往復移動させるための移動手段であり、タイミングプーリ１４ａと、タイミングプーリ１４ａ間に巻き回されたベルト１４ｂとを備える。２つのベルト機構１４のタイミングプーリ１４ａは軸１４ｃにより連結されている。２つの軸１４ｃのうち、一方の軸１４ｃにはサーボモータ１４ｄの出力軸が連結されている。サーボモータ１４ｄを正転・逆転させることで、２つのベルト機構１４の各ベルト１４ｂがそれぞれ同期的に走行することになる。なお、フレーム１１を構成する複数の鋼管１１ｃ上の軸１４ｅはベルト１４ｂの張力を調整するために設けられている。
【００１６】
ハンドユニット１３は、吸引口Ｎ１、Ｎ２を有するハンド１３ａと、ハンド１３ａをＺ方向に昇降するアクチュエータ１３ｂと、ハンドユニット１３をベルト１４ｂと連結する連結部材１３ｃと、を備える。吸引口Ｎ１、Ｎ２は不図示のエア吸引設備（ポンプ、制御弁、ホース等）に連結されてエアの吸引・停止を行なう。本実施形態では吸引口Ｎ１、Ｎ２によるエアの吸引によりガラス基板がハンド１３ａに保持され、吸引の停止によりガラス基板の保持が解除される。つまり、吸引口Ｎ１、Ｎ２はガラス基板の保持部である。吸引口Ｎ１、Ｎ２はＹ方向（ガラス基板の搬入出方向）に離間して配設されている。本実施形態ではエアの吸引によりガラス基板を解除可能に保持する構成としているが、ガラス基板を解除可能に保持できるものであれば他の構成のものでもよい。
【００１７】
アクチュエータ１３ｂはエアシリンダであり、不図示のエア供給設備（ポンプ、制御弁、ホース等）により伸縮するアクチュエータである。アクチュエータ１３ｂは、ローラユニット１２のローラ１２ａにより形成されるガラス基板の載置面（以下、基板載置面）とハンド１３ａの上面が略同じ高さとなる上昇位置と、前記基板載置面よりもハンド１３ａの上面が低い降下位置と、の間でハンド１３ａを昇降する。ハンド１３ａを昇降可能とすることで、ハンド１３ａがガラス基板を保持するために移動する際、ハンド１３ａがガラス基板と不意に干渉して、ガラス基板を損傷することを防止することができる。なお、本実施形態ではアクチュエータ１３ｂとしてエアシリンダを採用するがハンド１３ａを昇降可能な機構であれば他の機構も採用可能である。
【００１８】
ハンドユニット１３は、連結部材１３ｃを介してベルト１４ｂに連結されていることにより、ベルト１４ｂの走行によりレール部材１７に案内されてＹ方向に往復移動する。また、２つのベルト機構１４の各ベルト１４ｂは同期的に走行するので、２つのハンドユニット１３も同期的に移動することになる。なお、本実施形態ではハンドユニット１３の移動手段としてベルト機構１４を採用したが他の機構（例えばリニアガイド）を採用してもよい。
【００１９】
フレーム１１を構成する複数の鋼管１１ｃ上には、複数のローラユニット１２上に移動したガラス基板のＸ方向の位置決めを行なう複数の位置決めユニット１５が搭載されている。各位置決めユニット１５はＺ方向を回転軸として回転自在なローラ１５ａと、ローラ１５ａを支持する支持部材１５ｂと、鋼管１１ｃに固定され、支持部材１５ｂをＸ方向に往復移動させるアクチュエータ１５ｃと、を備える。アクチュエータ１５ｃはエアシリンダであり、不図示のエア供給設備（ポンプ、制御弁、ホース等）により伸縮するアクチュエータである。本実施形態ではエアシリンダを採用するが他の機構も採用可能である。
【００２０】
４つの位置決めユニット１５は、複数のローラユニット１２上に載置されたガラス基板の対向する各端縁をローラ１５ａにより、ガラス基板の中心へ向けて押圧することでガラス基板のＸ方向の位置決めを行なう。
【００２１】
フレーム１１を構成する複数の鋼管１１ｄ上には、補助移動機構１６が搭載されている。補助移動機構１６は複数のローラユニット１２上に移動したガラス基板を−Ｙ方向へ予め定めた位置（以下、ワーク位置という。）まで移動させるための機構であり、ローラユニット１２の間に隠れるようにして配設されている。補助移動手段はガラス基板の端縁に当接する当接部材（パッド）１６ａと、パッド１６ａを支持すると共にＺ方向に昇降するアクチュエータ１６ｂと、アクチュエータ１６ｂをＹ方向に往復移動するアクチュエータ１６ｃと、を２組備える。アクチュエータ１６ｂは、パッド１６ａが上記基板載置面上へ突出する突出位置（ガラス基板とパッド１６ａとが干渉する高い位置）と、当該基板載置面上に突出しない非突出位置（ガラス基板とパッド１６ａとが干渉しない低い位置）との間でパッド１６ａを昇降する。
【００２２】
各組のアクチュエータ１６ｃは軸１６ｄで連結され、軸１６ｄはＹ方向に移動可能なように軸受１６ｄ’により支持されている。軸１６ｄにはＹ方向に伸縮するアクチュエータ１６ｅが取り付けられており、アクチュエータ１６ｅの伸縮により軸１６ｄがＹ方向に往復移動する。アクチュエータ１６ｂ、１６ｃ及び１６ｅはエアシリンダであり、不図示のエア供給設備（ポンプ、制御弁、ホース等）により伸縮するアクチュエータである。本実施形態ではエアシリンダを採用するが他の機構も採用可能である。補助移動機構１６の機能については後述する。
【００２３】
＜走行ユニット＞
次に、走行ユニット２０について、主に図５を参照して説明する。走行ユニット２０は図３に示すように駆動輪２１を有する。駆動輪２１は走行ユニット２０に内蔵されるサーボモータ（不図示）を駆動源として走行ユニット２１をレール１に沿って移動させる。走行ユニット２０には移載ユニット１０を昇降する一対の昇降ユニット２２が設けられている。各昇降ユニット２２はＸ方向に離間して配設されている。
【００２４】
昇降ユニット２２はサーボモータ２２ａと、サーボモータ２２ａにより回転駆動されるボールネジ２２ｂと、ボールネジ２２ｂの回転によりボールネジ２２ｂに沿ってＺ方向に往復移動するボールナット２２ｃと、を備える。ボールナット２２ｃには、レール部材２２ｄに案内されて移動する支持部材２２ｅが連結されている。また、ボールナット２２ｃと支持部材２２ｅには昇降部材２２ｆが連結されている。しかして、ボールネジ２２ｂの回転によりボールネジ２２ｂに沿ってＺ方向に往復移動すると、昇降部材２２ｆが昇降することになる。昇降部材２２ｆには移載ユニット１０のフレーム１１の鋼管１１ｃが固定され、昇降部材２２ｆの昇降により移載ユニット１０がＺ方向に昇降することになる。
【００２５】
＜基板収納装置＞
次に、基板収納装置Ｂについて説明する。図６は基板収納装置Ｂの斜視図である。基板収納装置Ｂは、エア噴出ユニット１１０と、エア噴出ユニット１１０の上方に配設される収納カセット１２０と、昇降ユニット１３０と、を備える。
【００２６】
＜収納カセット＞
図７は収納カセット１２０の斜視図である。収納カセット１２０はガラス基板を上下方向（Ｚ方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図６及び図７はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット１２０は複数の柱部材１２１ａ、１２１ｂと、梁部材１２２ａ乃至１２２ｇと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。
【００２７】
柱部材１２１ｂは、Ｙ方向に複数配設されると共に、Ｘ方向に離間して同数配設され、Ｘ方向の各柱部材１２１ｂ間及び各柱部材１２１ａ間には上下方向（Ｚ方向）に所定のピッチで複数のワイヤ１２３が張設されている。このワイヤ１２３によりガラス基板が水平姿勢で載置される載置部が上下方向に複数段形成される。図８は１段分の載置部を示す図である。各段の載置部は、同じ高さにてＹ方向に離間して複数配設されたワイヤ１２３により形成され、ガラス基板Ｗはワイヤ１２３上に載置される。各ワイヤ１２３間は、それぞれ後述するエア噴出ユニット１１０が通過可能な開口部１２３ａを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット１２０の収納効率を高めることができる。
【００２８】
図７に戻り、収納カセット１２０の互いに対向するＹ方向の両側部は、それぞれ梁部材１２２ａと柱部材２１ａとにより門型に開放しており、−Ｙ方向の側部はガラス基板の搬入出口１２４を形成している。収納カセット１２０の底部は、一対の梁部材１２２ｄ、複数の梁部材１２２ｂ及び一つの梁部材１２２ｆにより構成されており、これらの間や梁部材１２２ｄの両端部近傍が後述するエア噴出ユニット１１０が通過可能な進入口１２５を形成している。
【００２９】
＜昇降ユニット＞
図９は昇降ユニット１３０の斜視図、図１０は昇降ユニット１３０の分解斜視図である。昇降ユニット１３０は収納カセット１２０とエア噴出ユニット１１０とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態ではエア噴出ユニット１１０を固定とし、収納カセット１２０を昇降させるが、収納カセット１２０を固定とし、エア噴出ユニット１１０を昇降させる構成も採用できる。
【００３０】
本実施形態の場合、昇降ユニット１３０は２つ設けられ、収納カセット１２０を挟むように収納カセット１２０の互いに対向するＸ方向の両側部にそれぞれ配設される。各昇降ユニット１３０は収納カセット１２０を片持ち支持する。この構成によれば、昇降ユニット１３０をより薄型化でき、基板収納装置Ｂ全体の設置スペースをより小さくできる。また、ガラス基板の搬入出口、エア噴出ユニット１１０のスペースをより広く確保できる。
【００３１】
昇降ユニット１３０は、収納カセット１２０の底部の梁部材１２２ｄが載置されるビーム部材１３１を備える。各昇降ユニット１３０の各ビーム部材１３１が同期的に上下方向（Ｚ方向）に移動することで収納カセット１２０が昇降される。昇降ユニット１３０は上下方向に延びる支柱１３２を備え、支柱１３２の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材１３３及びラック１３４が固定されている。各昇降ユニット１３０間には、支柱１３２の上端に梁部材１３２ａが架設されている。
【００３２】
ビーム部材１３１は支持板１３５の一側面にブラケット１３５ａを介して固定されて支持される。支持板１３５の他側面にはレール部材１３３に沿って移動可能な４つのスライド部材１３６が固定され、ビーム部材１３１及び支持板１３５はレール部材１３３の案内により上下に移動する。駆動ユニット１３７はモータ１３７ａと減速機１３７ｂとから構成されており、支持板１３５の一側面に固定されて支持されている。減速機１３７ｂの出力軸は支持板１３８を貫通して支持板１３８の他側面に配設されたピニオン１３９ａに接続されている。
【００３３】
支持板１３５と支持板１３８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板１３５と支持板１３８との空隙にはピニオン１３９ｂ乃至１３９ｄが配設されている。ピニオン１３９ｂ乃至１３９ｄは支持板１３５と支持板１３８との間で回転可能に軸支され、ピニオン１３９ｂ及びピニオン１３９ｄは、ピニオン１３９ａの回転に従動して回転する。ピニオン１３９ｃはピニオン１３９ｂの回転に従動して回転する。ピニオン１３９ｂ乃至１３９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン１３９ｃ及び１３９ｄは各ラック１３４と噛み合っている。
【００３４】
しかして、駆動ユニット１３７を駆動するとピニオン１３９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット１３７、支持板１３５及び１３８、スライド部材１３６、及び、ビーム部材１３１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材１３１上に載置された収納カセット１２０を昇降することができる。各昇降ユニット１３０には、互いのビーム部材１３１の昇降高さのずれを検出するセンサ１３１ａがビーム部材１３１の端部に設けられている。
【００３５】
センサ１３１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図９に示すように相互に光をＸ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材１３１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ１３１ａで検出されると、モータ１３７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ１３１ａを設けてビーム部材１３１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット１２０が傾くことを防止し、収納カセット１２０をより安定して昇降することができる。
【００３６】
なお、各ビーム部材１３１に設けられる２つのセンサ１３１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。
【００３７】
＜エア噴出ユニット＞
図１１はエア噴出ユニット１１０の斜視図である。本実施形態の場合、エア噴出ユニット１１０は複数設けられており、各エア噴出ユニット１１０は収納カセット１２０の昇降時に収納カセット１２０と干渉しないよう、進入口１２５、開口部１２３ａを通過可能な大きさ、位置に設定されている。各エア噴出ユニット１１０は、エアの噴出口１１１ａが複数形成された略水平の上面１１１を有する。各エア噴出ユニット１１０の各上面１１１は同一水平面上に位置している。噴出口１１１ａは不図示のエア供給設備（ポンプ、制御弁、ホース等）から供給されるエアーを噴出し、収納カセット１２０に収納されているガラス基板を水平姿勢で上面１１１上で浮遊させる。
【００３８】
＜制御装置＞
図１２は移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの制御装置５０のブロック図である。制御装置５０は移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂの全体の制御を司るＣＰＵ５１と、ＣＰＵ５１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ５２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ５３と、を備える。ＲＡＭ５２、ＲＯＭ５３は他の記憶手段を採用可能である。
【００３９】
入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５４は、ＣＰＵ５１と各種センサ（センサ１３１ａ、各サーボモータ１４ｄ、２２ａ、１３７ａに設けられるロータリエンコーダ等）とのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ５４を介してＣＰＵ５１は各種センサの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５５は、ＣＰＵ５１と各サーボモータ１４ｄ、２２ａ、１３７ａとのインターフェース、及び、各アクチュエータ１３ｂ、１５ｃ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｅ及び噴出口１１１ａのエア供給設備の制御、及び、吸引口Ｎ１、Ｎ２のエア吸引設備の制御を行なう各制御弁とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ５５を介してＣＰＵ４１は各サーボモータ、制御弁を制御する。
【００４０】
通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）５６は本実施形態の基板処理システム全体を制御するホストコンピュータ６とＣＰＵ５１とのインターフェースであり、ＣＰＵ５１はホストコンピュータ６からの指令に応じて移載ロボットＡ及び基板収納装置Ｂを制御することになる。
【００４１】
＜移載ロボットＡの動作＞
次に、移載ロボットＡによるガラス基板の移載動作について図１３乃至図２５を参照して説明する。ここでは制御装置５０が移載ロボットＡを制御して基板収納装置Ｂからガラス基板を搬出させ、処理装置Ｃ１乃至Ｃ３のいずれかへ移載するまでを説明する。
【００４２】
移載ロボットＡにより基板収納装置Ｂからのガラス基板の搬出について概説すると、本実施形態では昇降ユニット１３０による昇降動作によってエア噴出ユニット１１０を収納カセット１２０内に進入させ、エア噴出ユニット１１０によりワイヤ１２３上のガラス基板をワイヤ１２３から浮遊させる。そして、移載ロボットＡのハンドユニット１３が浮遊状態にあるガラス基板を保持し、抜き取るようにして収納カセット１２０外へ搬出する。
【００４３】
まず、図１３に示すように移載ロボットＡのハンドユニット１３を初期位置Ｐ１に位置させる。初期位置Ｐ１においてハンドユニット１３のハンド１３ａの＋Ｙ側の端部は基板収納装置Ｂへ突出していない。また、ハンド１３ａは降下位置にある。基板収納装置Ｂについては、各エア噴出ユニット１１０の噴出口１１１ａからエアを噴出する。そして、昇降ユニット１３０（不図示）により収納カセット１２０を降下させてエア噴出ユニット１１０を収納カセット１２０内に進入させ、各エア噴出ユニット１１０の上面１１１が最下段のガラス基板Ｗｔと略同じ高さに位置するようにする。すると、噴出口１１１ａからのエアの噴出によりガラス基板Ｗｔが浮遊し、浮遊状態になる。
【００４４】
次に、図１４に示すようにハンドユニット１３を、ハンド１３ａの端部が収納カセット１２０内のガラス基板Ｗｔの下面の下に挿入される位置（Ｐ２）に位置するよう＋Ｙ方向に移動させる。位置Ｐ２において、吸引口Ｎ１はガラス基板Ｗｔの下面に位置しているが、吸引口Ｎ２はガラス基板Ｗｔの下面に位置していない。続いて、アクチュエータ１３ｂを伸長してハンド１３ａを上昇位置へ上昇させる。更に、吸引口Ｎ１からエアを吸引し、ガラス基板Ｗｔの端部をハンド１３ａで保持する。つまり、本実施形態では収納カセット１２０からガラス基板Ｗｔを搬出する場合には吸引口Ｎ１によりガラス基板Ｗｔを保持させ、吸引口Ｎ２はガラス基板Ｗｔを保持しない。
【００４５】
次に、図１５に示すようにハンドユニット１３をガラス基板Ｗｔの搬出方向（−Ｙ方向）に移動させる。これによりガラス基板Ｗｔはローラユニット１２上へ平行移動する。ハンド１３ａはガラス基板Ｗｔの端部のみを保持しているが、ガラス基板Ｗｔを収納カセット１２０から引き出すことによりガラス基板Ｗｔがエア噴出ユニット１１０のみならず、ローラユニット１２のローラ１２ａに支持されるのでガラス基板Ｗｔを水平姿勢のまま移動させることができる。
【００４６】
ハンドユニット１３は図１６の位置Ｐ３まで移動する。ハンドユニット１３が位置Ｐ３まで移動するとガラス基板Ｗｔは収納カセット１２０から完全に引き出されてローラユニット１２上に位置することになる。ガラス基板Ｗｔが収納カセット１２０から完全に引き出されると基板収納装置Ｂでは、各エア噴出ユニット１１０の噴出口１１１ａからのエアの噴出を停止する。
【００４７】
次に、ハンド１３ａの吸引口Ｎ１からのエアの吸引を停止してガラス基板Ｗｔの保持を解除し、図１７に示すようにアクチュエータ１３ｂによりハンド１３ａを降下位置に降下させる。続いて、ハンドユニット１３を＋Ｙ方向へ移動させる（ハンドユニット１３のリターン動作）。ハンドユニット１３は図１８に示すように初期位置Ｐ１まで移動される。
【００４８】
次に、位置決めユニット１５によりガラス基板Ｗｔの位置決めを行なう（ガラス基板の位置決め動作）。位置決めはアクチュエータ１５ｃを収縮させて図１９に示すように各ローラ１５ａをガラス基板Ｗｔの中心へ向けて＋Ｘ方向又は−Ｘ方向に移動することにより行なう。各ローラ１５ａは予め定めた位置まで移動し、これによりガラス基板Ｗｔが位置決めされる。
【００４９】
次に、補助移動機構１６によりガラス基板Ｗｔを前記ワーク位置まで移動させる（ガラス基板の補助移動動作）。ガラス基板Ｗｔを前記ワーク位置まで移動する間、各ローラ１５ａによる位置決めは継続される。図２０乃至図２３は補助移動機構１６の動作説明図である。図２０は補助移動機構１６の初期状態を示している。この時、パッド１６ａは前記非突出位置に位置している。図２０の状態からアクチュエータ１６ｂを伸長して図２１に示すようにパッド１６ａを前記突出位置に上昇させる。そして、アクチュエータ１６ｃを収縮させて２つのパッド１６ａによりローラユニット１２上のガラス基板Ｗｔを挟み込む。
【００５０】
続いて図２２に示すようにアクチュエータ１６ｅを収縮させて、軸１６ｄを−Ｙ方向に移動させ、２組のパッド１６ａ、アクチュエータ１６ｂ及び１６ｃを−Ｙ方向に移動させる。これによりガラス基板Ｗｔが−Ｙ方向へ一定量移動する。図２３はガラス基板Ｗｔが前記ワーク位置に位置している状態を示している。ガラス基板Ｗｔが図１９に示した位置よりも−Ｙ方向へ移動していることが分かる。以上により補助移動機構１６によるガラス基板Ｗｔの移動は終了し、補助移動機構１６は図２０に示す初期状態に戻る。
【００５１】
なお、本実施形態では、ハンドユニット１３のリターン動作→ガラス基板の位置決め動作→ガラス基板の補助移動動作、という動作例を示したが、これら３つの動作を並行して行なう構成とすれば、タクトタイムの短縮化が図れる。
【００５２】
次に、ガラス基板Ｗｔを処理装置Ｃ１乃至Ｃ３のうち、予め定めたいずれかの処理装置へ移載する。まず、図２４に示すようにアクチュエータ１３ｂを伸長してハンド１３ａを上昇位置へ上昇させる。更に、吸引口Ｎ２からエアを吸引し、ガラス基板Ｗｔの端部をハンド１３ａで再び保持する。ハンド１３ａは位置決めユニット１５による位置決めを経た状態のガラス基板Ｗｔを保持することになる。保持後、位置決めユニット１５による位置決めを終了すべく、アクチュエータ１５ｃを伸長させて各ローラ１５ａをガラス基板Ｗｔから離れた初期位置へ退避する。
【００５３】
ここで、図２３に示されるように、前記ワーク位置においてガラス基板Ｗｔの収納カセット１２０側の端縁の位置は、初期位置にあるハンド１３ａの吸引口Ｎ１と吸引口Ｎ２と間にあり、吸引口Ｎ２はガラス基板Ｗｔの下面に位置しているが、吸引口Ｎ１はガラス基板Ｗｔの下面に位置していない。つまり、本実施形態では移載ロボットＡからからガラス基板Ｗｔを処理装置Ｃ１乃至Ｃ３へ搬出する場合には吸引口Ｎ２によりガラス基板Ｗｔを保持させ、吸引口Ｎ１はガラス基板Ｗｔを保持しない。
【００５４】
続いて、図２４に示すように昇降ユニット２２を作動させ、ガラス基板Ｗｔを移載する処理装置Ｃ１乃至Ｃ３に設定された、ガラス基板Ｗｔの受渡し高さにガラス基板Ｗｔが位置するよう、移載ユニット１０を上昇させる。続いて走行ユニット２０により必要に応じて（処理装置Ｃ２又はＣ３へガラス基板Ｗｔを移載する場合）、移載ロボットＡをＸ方向に移動し、ガラス基板Ｗｔを移載する処理装置Ｃ１乃至Ｃ３に対面する位置に移載ロボットＡを移動する。次に、図２５に示すようにハンドユニット１３を再び−Ｙ方向に移動する。ハンドユニット１３は、ハンド１３ａの端部が処理装置Ｃ１乃至Ｃ３側へ突出した位置Ｐ４まで移動される。ガラス基板Ｗｔは各処理装置Ｃ１乃至Ｃ３に内蔵されたコンベア等の装置に支持されながら、処理装置内へ導入される。その後、吸引口Ｎ２からのエアの吸引を停止してガラス基板Ｗｔの保持を解除し、処理装置Ｃ１乃至Ｃ３へガラス基板Ｗｔを搬出する作業が終了する。。
【００５５】
以上により一単位の移載処理が終了する。以後、同様の手順により移載ロボットＡにより、基板収納装置Ｂから処理装置Ｃ１乃至Ｃ３へガラス基板が移載されることになる。なお、処理装置Ｃ１乃至Ｃ３から基板収納装置Ｂへのガラス基板の移載は、概ね、上述した手順の逆の手順となる。
【００５６】
このように本実施形態ではハンド１３ａが往復移動することで、収納カセット１２０から移載ロボットＡへのガラス基板の搬入と、搬入したガラス基板の搬送先（処理装置Ｃ１乃至Ｃ３）への搬出とを行なう。このため、図１に示したように、移載ロボットＡから見て搬送先（処理装置Ｃ１乃至Ｃ３）が収納カセット１２０と反対側に配置されている場合であっても、移載ロボットＡの旋回を必要としない。また、収納カセット１２０から移載ロボットＡへのガラス基板の搬入と移載ロボットＡから搬送先（処理装置Ｃ１乃至Ｃ３）へのガラス基板の搬出とを同じハンド１３ａで行なうことで機構を簡略化できる。また、ガラス基板の搬入及び搬出の間、ガラス基板はローラユニット１２に支持される。従って、ハンド１３ａがガラス基板を支持する大きさを有することが要求されず、移載ロボットＡの小型化が図れる。また、ローラユニット１２はローラ１２ａが自由回転する構成であり、ローラ１２ａを回転駆動する必要がない。これは移載ロボットＡの機構の簡素化、低コスト化に繋がる。
【００５７】
また、本実施形態においてハンド１３ａは、ガラス基板の搬送方向（Ｙ方向）に離間した２つの吸引口Ｎ１、Ｎ２を設け、吸引口Ｎ１は収納カセット１２０からガラス基板を搬出する際にガラス基板を保持し、吸引口Ｎ２は移載ロボットＡからガラス基板を処理装置Ｃ１乃至Ｃ３へ搬出する際にガラス基板を保持する構成とした。この構成によれば、ハンド１３ａの往復移動によるガラス基板の移動距離をより大きくとれる。
【００５８】
また、補助移動機構１６を設けてガラス基板を補助的に移動するように構成したので、ハンド１３ａの往復移動によるガラス基板の移動距離を更により大きくとれる。また、位置決めユニット１５により移載ロボットＡ上でガラス基板の位置決めを行なうようにしたので、ガラス基板を位置決めされた状態で搬出できる。
【００５９】
＜ローラユニットの他の実施形態＞
図２６は、ローラユニット１２に代えてローラユニット２００を採用した移載ロボットＡの平面図、図２７はローラユニット２００の説明図であり、ローラユニット２００の端部付近の斜視図である。
【００６０】
各ローラユニット２００はＹ方向に配置された複数のローラ２０１及び２０２とを備える。ローラ２０１は軸２０３ａに連結されており、軸２０３ａは一対の軸受２０４により回転自在に支持されている。ローラ２０２は軸２０３ａよりも長さが短い軸２０３ｂに連結されており、軸２０３ｂは一対の軸受け２０４により回転自在に支持されている。軸受２０４はＹ方向に延びる角材２０５の側面に固定されている。
【００６１】
ローラ２０１及び２０２は、隣接するローラ２０１及び２０２の側面の一部が、Ｙ方向から見た場合に互いに重なるようにＹ方向と直交するＸ方向に交互にずれて配置されている。
【００６２】
詳細には、複数のローラ２０１は同一直線上（Ｙ方向）に配列されたローラ列を構成している。同様に複数のローラ２０２は同一直線上（Ｙ方向）に配列されたローラ列を構成している。ローラ２０１のローラ列と、ローラ２０２のローラ列とは、互いにＸ方向にずれて配置されている。軸２０３ａ及び２０３ｂのＹ方向の配設ピッチは等ピッチとされている。そして、ローラ２０１及び２０２の直径は軸２０３ａ及び２０３ｂのＹ方向の配設ピッチよりも大きく設定されている。
【００６３】
本実施形態の場合、隣接するローラ２０１とローラ２０２とは、その重なり合う側面が互いに接触しない範囲で近接するように配置されている。
【００６４】
このようなローラ２０１及び２０２の構成の利点について説明する。ガラス基板がローラ２０１及び２０２上を移動する際、ガラス基板はローラ２０１及び２０２を順次乗り移っていくことになる。ガラス基板として、極めて薄いガラス基板を搬送する場合、ガラス基板の先端が下方へ撓みやすい。このため、ガラス基板を支持するローラとして単列のローラ列（例えば、ローラ２０１のローラ列のみ）とすると、隣接するローラ間にある程度の距離があるため、ガラス基板の先端がローラの周面に突き当たり、騒音を発生したり、ガラス基板の先端を傷付ける場合がある。
【００６５】
本実施形態では、ローラ２０１及び２０２を上記の構成とすることにより、隣接するローラ２０１とローラ２０２との距離を短くできるので、このような問題を解消することができる。
【００６６】
また、ローラ２０１及び２０２を上記の構成とすると、隣接するローラ２０１とローラ２０２との距離を短くしながら、ローラ２０１及び２０２の直径をより大きくすることができる。ローラ２０１及び２０２の直径を大きくすることは、ガラス基板を同じ速度で搬送する場合に、ローラ２０１及び２０２の回転速度をより遅くすることができるという利点がある。ローラ２０１及び２０２の回転速度が遅いことは、ローラ２０１及び２０２とガラス基板との滑りを低減し、ガラス基板を定位置に停止し易いという利点がある。
【００６７】
次に、各ローラユニット２００のＹ方向の両端部にはローラ２０１及び２０２よりも小径の補助ローラ２０６ａが設けられている。補助ローラ２０６ａは軸２０７に回転自在に支持されており、軸２０７は支持部２０８に固定されている。支持部２０８は角材２０５のＹ方向の端部において、その側面に固定されている。
【００６８】
ローラ２０１及び２０２の頂部２０１ａ、２０２ａと、ローラ２０６の頂部２０６ａとは同一水平面上に位置している。頂部とは、ローラの周面のうち、Ｚ方向に最も高い位置である。
【００６９】
補助ローラ２０６ａもガラス基板の先端が下方へ撓む場合の対策の一つである。移載ロボットＡと基板収納装置Ｂ及び処理装置Ｃとは離間している。このためガラス基板が基板収納装置Ｂから移載ロボットＡへ移動する場合、或いは、処理装置Ｃから移載ロボットＡへ移動する場合、ローラ２０１及び２０２上へガラス基板が移動する際に、ガラス基板の先端がローラ２０１及び２０２の周面に突き当たる畏れがある。補助ローラ２０６ａを設けることにより、ガラス基板は補助ローラ２０６ａ上へ移動してからローラ２０１及び２０２上へ移動することになる。ガラス基板の先端が補助ローラ２０６ａによって、より早期に支持されるので、ガラス基板の先端が下方へ撓むことを防止することができる。
【００７０】
＜載置部の他の実施形態＞
上記実施形態では、移載ロボットＡの載置部をローラユニット１２により構成したが、これに限られず、種々の機構が採用できる。また、補助移動機構１６としてガラス基板を挟み込み、移動する構成を採用したが、これに限られず、種々の機構が採用できる。
【００７１】
図２８は本発明の他の実施形態に係る移載ロボットＡ’の平面図及びその一部の構成の斜視図である。移載ロボットＡ’はローラユニット１２に代えてエア噴出ユニット１２’を設けて載置部を構成したものである。また、補助移動機構１６に代えて、エア吸引によりガラス基板を保持し、移動する補助移動機構１６’を採用したものである。他の構成については移載ロボットＡと同様である。
【００７２】
エア噴出ユニット１２’は上述したエア噴出ユニット１１０と同様の構成のユニットであり、エアの噴出口１２ａ’が複数形成された水平の上面を有し、噴出口１２ａ’からのエアの噴出により、ガラス基板を水平姿勢で前記上面上で浮遊させる。移載ロボットＡ’がガラス基板を移載する間、エア噴出ユニット１２’からエアを噴出し、ガラス基板を浮遊状態で支持することになる。ガラス基板が浮遊状態で支持されるので、ガラス基板が傷つき難いという利点がある。
【００７３】
補助移動機構１６’はガラス基板の下面に吸着する吸着パッド１６１と、吸着パッド１６１を支持すると共に昇降するアクチュエータ１６２と、アクチュエータ１６２をガラス基板の搬出方向（Ｙ方向）に移動させるアクチュエータ１６３と、を備える。
【００７４】
吸着パッド１６１はその上面に吸引口１６１ａを有しており、エアを吸引口１６１ａから吸引することでガラス基板の下面を保持する。吸引口１６１ａは不図示のエア吸引設備（ポンプ、制御弁、ホース等）に連結されてエアの吸引・停止を行なう。
【００７５】
アクチュエータ１６２は、吸着パッド１６１ａがエア噴出ユニット１２’の上面上へ突出する突出位置（ガラス基板と吸着パッド１６１とが干渉する高い位置）と、当該上面に突出しない非突出位置（ガラス基板と吸着パッド１６１とが干渉しない低い位置）との間で吸着パッド１６１ａを昇降する。アクチュエータ１６２及び１６３はエアシリンダであり、不図示のエア供給設備（ポンプ、制御弁、ホース等）により伸縮するアクチュエータである。本実施形態ではエアシリンダを採用するが他の機構も採用可能である。
【００７６】
移載ロボットＡ’によるガラス基板の移載動作は基本的に移載ロボットＡの場合と同様である。上述した通り、移載ロボットＡ’がガラス基板を移載する間、エア噴出ユニット１２’からエアを噴出し、ガラス基板を浮遊状態で支持することになる。
【００７７】
補助移動機構１６’の動作については図２９を参照して説明する。図２９は移載ロボットＡ’の、特に補助移動機構１６’の動作説明図である。同図は補助移動機構１６’の３つの態様を示している。まず、最上段の態様は補助移動機構１６’の初期の状態を示している。この時、吸着パッド１６１は前記非突出位置に位置している。この状態からアクチュエータ１６２を伸長して中段の態様のように吸着パッド１６１を前記突出位置に上昇させると共に吸引口１６１ａからエアを吸引する。これによりガラス基板Ｗｔが吸着パッド１６１に保持される。そして、最下段の態様のようにアクチュエータ１６３を収縮させてガラス基板Ｗｔを上述したワーク位置まで移動させる。以上により補助移動機構１６’による補助移動が終了する。補助移動機構１６の場合と比べて、ガラス基板Ｗｔを損傷する畏れが少ないという利点がある。
＜基板収納装置の他の実施形態＞
基板収納装置Ｂでは、エア噴出ユニット１１０を用いたが、これに代えて自由回転する複数のローラからなるローラユニットにより、収納カセット１２０から搬出・搬入されるガラス基板を支持することもできる。
【００７８】
図３０は、基板収納装置の他の例を説明する図であり、図１１に示す構成において、エア噴出ユニット１１０に代えてローラユニット３００を採用した例を示す図である。ローラユニット３００は移載ロボットＡのローラユニット１２と同種の構成のユニットである。ローラユニット３００として、図２７に示したローラユニット２００と同種の構成のユニットも採用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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