【手続補正書】
【提出日】平成26年4月7日(2014.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象表面に対し走査型顕微鏡のプローブ先端部を振動させる段階と、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出する段階と、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出する段階と、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる段階と
を備える方法。
【請求項２】
接近曲線プロセスの間に前記減衰を検出する段階を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
インターミッテントコンタクトが検出されたときに前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
参照媒体中での前記振動の振幅と比べてセンサ先端部の前記振動の振幅が持続的に減少していることを検出すると、前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
参照媒体中での前記振動の振幅と比べて前記プローブ先端部の前記振動の振幅が０．５％から１５％減少していることを検出すると、前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、請求項２に記載の方法。
【請求項６】
連続の線走査を用い、画像を構成する段階を備え、
前記連続の線走査のそれぞれが、順方向のインターミッテントコンタクト走査および逆方向の等距離走査を含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
測定された前記振動の振幅を用い、前記対象表面に対する前記プローブ先端部の動きを制御する段階を備える、請求項１から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記プローブ先端部を振動させる段階が、活性電極の半径の１％から２％の間の振幅で振動させる段階を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記プローブ先端部に対し正弦波振動を加える段階を備える、請求項１から８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記プローブ先端部の振動周波数が、５から１０００００Ｈｚの間の値である、請求項１から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記プローブ先端部の前記振動の振幅が０．１ｎｍから１μｍの間の値である、請求項１から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記プローブが超微小電極である、請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記プローブがイオンコンダクタンスプローブである、請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記プローブが光ファイバープローブである、請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
前記プローブが電位差測定のためのインジケータプローブである、請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
前記プローブの測定された電気化学的応答を用い、前記対象表面に関する情報を提供する段階を備える、請求項１から１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答が、任意の電位に保持され対象種と相互作用する際に前記プローブ先端部で生じる電流である、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答が、対象種と相互作用する際に前記プローブ先端部で生じる電位である、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答を用い、化学種を前記対象表面に供給する段階を備える、請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
前記プローブ先端部を前記対象表面に対し垂直に振動させる段階を備える、請求項１から１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
走査型顕微鏡装置により実行されたときに、請求項１から２０のいずれか一項に記載の方法を実行するように前記走査型顕微鏡装置を制御する機械可読命令を含むコンピュータプログラム。
【請求項２２】
対象表面に対し走査型顕微鏡のプローブ先端部を振動させる手段と、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出する手段と、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出する手段と、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる手段と
を備えた装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】走査型電気化学顕微鏡、方法およびプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本願発明の態様には以下も含まれる。
[項目１]
対象表面に対し走査型顕微鏡のプローブ先端部を振動させる段階と、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出する段階と、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出する段階と、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる段階と
を備える方法。
[項目２]
接近曲線プロセスの間に前記減衰を検出する段階を備える、項目１に記載の方法。
[項目３]
インターミッテントコンタクトが検出されたときに前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、項目２に記載の方法。
[項目４]
参照媒体中での前記振動の振幅と比べてセンサ先端部の前記振動の振幅が持続的に減少していることを検出すると、前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、項目２に記載の方法。
[項目５]
参照媒体中での前記振動の振幅と比べて前記プローブ先端部の前記振動の振幅が０．５％から１５％減少していることを検出すると、前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、項目５に記載の方法。
[項目６]
参照媒体中での前記振動の振幅と比べて前記プローブ先端部の前記振動の振幅が５％から１０％減少していることを検出すると、前記接近曲線プロセスを停止する段階を備える、項目２に記載の方法。
[項目７]
連続の線走査を用い、画像を構成する段階を備え、
前記連続の線走査のそれぞれが、順方向のインターミッテントコンタクト走査および逆方向の等距離走査を含む、項目１から６のいずれか１項に記載の方法。
[項目８]
測定された前記振動の振幅を用い、前記対象表面に対する前記プローブ先端部の動きを制御する段階を備える、項目１から７のいずれか１項に記載の方法。
[項目９]
前記プローブ先端部を振動させる段階が、前記活性電極の半径の１％から２％の間の振幅で振動させる段階を有する、項目１から８のいずれか１項に記載の方法。
[項目１０]
前記プローブ先端部に対し正弦波振動を加える段階を備える、項目１から９のいずれか１項に記載の方法。
[項目１１]
前記プローブ先端部に対し鋸歯状振動を加える段階を備える、項目１から９のいずれか１項に記載の方法。
[項目１２]
前記プローブ先端部に対し矩形振動を加える段階を備える、項目１から９のいずれか１項に記載の方法。
[項目１３]
前記プローブ先端部の振動周波数が、５から１０００００Ｈｚの間の値である、項目１から１２のいずれか１項に記載の方法。
[項目１４]
前記プローブ先端部の振動周波数が、５から５０００Ｈｚの間の値である、項目１から１３のいずれか１項に記載の方法。
[項目１５]
前記プローブ先端部の振動周波数が、３０から１１０Ｈｚの間の値である、項目１から１４のいずれか１項に記載の方法。
[項目１６]
前記プローブ先端部の振幅が０．１ｎｍから１μｍの間の値である、項目１から１５のいずれか１項に記載の方法。
[項目１７]
前記プローブ先端部の振幅が５ｎｍから５００ｎｍの間の値である、項目１から１６のいずれか１項に記載の方法。
[項目１８]
前記プローブ先端部の振幅が１５ｎｍから２５０ｎｍの間の値である、項目１から１７のいずれか１項に記載の方法。
[項目１９]
前記プローブが超微小電極である、項目１から１８のいずれか１項に記載の方法。
[項目２０]
前記プローブがイオンコンダクタンスプローブである、項目１から１８のいずれか１項に記載の方法。
[項目２１]
前記プローブが光ファイバープローブである、項目１から１８のいずれか１項に記載の方法。
[項目２２]
前記プローブが電位差測定のためのインジケータプローブである、項目１から１８のいずれか１項に記載の方法。
[項目２３]
前記プローブの測定された電気化学的応答を用い、前記対象表面に関する情報を提供する段階を備える、項目１から２２のいずれか１項に記載の方法。
[項目２４]
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答が、任意の電位に保持され対象種と相互作用する際に前記プローブ先端部で生じる電流である、項目２３に記載の方法。
[項目２５]
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答が、対象種と相互作用する際に前記プローブ先端部で生じる電位である、項目２３に記載の方法。
[項目２６]
前記プローブ先端部の前記電気化学的応答を用い、化学種を前記対象表面に供給する段階を備える、項目２３に記載の方法。
[項目２７]
前記プローブ先端部を前記対象表面に対し垂直、または実質的に垂直に振動させる段階を備える、項目１から２６のいずれか１項に記載の方法。
[項目２８]
コンピュータを、項目１から２７のいずれか１項に記載の方法を実行する走査型顕微鏡装置として機能させるプログラム。
[項目２９]
走査型顕微鏡装置のプロセッサにより実行されたときに、前記走査型顕微鏡装置に方法を実行させる機械可読コードを保存したコンピュータ可読記録媒体であり、
前記方法は、
対象表面に対しプローブ先端部を振動させる段階と、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出する段階と、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出する段階と、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる段階と
を備えるコンピュータ可読記録媒体。
[項目３０]
対象表面に対し走査型顕微鏡のプローブ先端部を振動させ、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出し、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出し、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる
ように構成された装置。
[項目３１]
対象表面に対し走査型顕微鏡のプローブ先端部を振動させる手段と、
前記プローブ先端部が前記対象表面に接近することによって前記プローブ先端部の前記振動の振幅が減衰したことを検出する手段と、
検出された前記減衰を用い、前記対象表面を検出する手段と、
前記プローブ先端部を用い、前記減衰の検出と同時に前記対象表面の活性状態を測定するか、または改質させる手段と
を備えた装置。
実施形態の特徴および、関連した効果と利点に関する一般的な説明を以下に示す。