【手続補正書】
【提出日】平成24年3月21日(2012.3.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板キャリアシステムであって、
両端部の間の中点をそれぞれ有し、さらに、各端部に取り付けられた少なくとも１つの基板キャリアをそれぞれ有する複数のキャリアアームと、
同軸取り付けされた複数の駆動部を含むハブであって、各前記複数の駆動部は、前記複数のキャリアアームの内の対応するキャリアアームの前記中点の近傍に結合され、前記同軸取り付けされた複数の駆動部の内の残りの駆動部から独立して制御されるよう構成されている、ハブと、
同軸取り付けされた前記各駆動部に結合され、前記結合されたキャリアアームを回転させるよう構成された各駆動モータと、
を備える、基板キャリアシステム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、さらに、前記基板キャリアの外周の近傍に配置された少なくとも１つのロード／アンロードポートを備える、基板キャリアシステム。
【請求項３】
請求項２に記載の基板キャリアシステムにおいて、さらに、前記基板キャリアの中点が通る円形の経路の下方であって、前記複数のキャリアアームの前記中点および前記少なくとも１つのロード／アンロードポートの間の放射状の線上、に配置されているリフタステーションを備える、基板キャリアシステム。
【請求項４】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、さらに、前記ハブと同心円状にそれぞれ取りつけられ、各前記基板キャリアの内周および外周をそれぞれ支持するよう構成されている内側軌道部および外側軌道部を備える、基板キャリアシステム。
【請求項５】
請求項４に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各基板キャリアの前記外周は、前記外側軌道部の上側部分および下側部分の両方によって支持される、基板キャリアシステム。
【請求項６】
請求項４に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各基板キャリアの前記内周は、前記内側軌道部の上側部分によって支持される、基板キャリアシステム。
【請求項７】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各駆動モータは、ステッピングモータである、基板キャリアシステム。
【請求項８】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各駆動モータは、サーボモータである、基板キャリアシステム。
【請求項９】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各駆動モータは、速度プロフィールによって独立的にプログラム可能である、基板キャリアシステム。
【請求項１０】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各駆動モータは、同様の速度プロフィールによってプログラムされるよう構成されている、基板キャリアシステム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記各駆動モータにプログラムされる前記同様の速度プロフィールは、他の各速度プロフィールから時間的にオフセットされるように構成される、基板キャリアシステム。
【請求項１２】
請求項１に記載の基板キャリアシステムにおいて、さらに、少なくとも１つの化学剤供給ヘッドを備える、基板キャリアシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記少なくとも１つの化学剤供給ヘッドは、前記基板キャリアの経路の上方に配置される、基板キャリアシステム。
【請求項１４】
請求項１２に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記少なくとも１つの化学剤供給ヘッドは、前記基板キャリアの経路の下方に配置される、基板キャリアシステム。
【請求項１５】
請求項１２に記載の基板キャリアシステムにおいて、前記少なくとも１つの化学剤供給ヘッドは、前記ヘッドの内周よりも前記ヘッドの外周において広い断面幅を有する、基板キャリアシステム。
【請求項１６】
それぞれが対応する独立回転基板キャリアに結合されているｎ個の駆動モータを有する基板キャリアシステムをプログラムする方法であって、
前記ｎ個の駆動モータの内の第１の駆動モータをプログラムするための基本速度プロフィールを提供する工程であって、
前記第１の駆動モータを加速させるための第１の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを減速させるための第２の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを一定速度に維持するための第３の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを加速させるための第４の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを減速させるための第５の期間をプログラムする工程、および、
前記第１の駆動モータを固定位置に維持するための第６の期間をプログラムする工程、を含む、工程と、
前記ｎ個の駆動モータの内の前記第１の駆動モータを制御するプログラムに前記基本速度プロフィールを適用して、前記独立回転基板キャリアの内の第１の独立回転基板キャリアに動きを提供する工程と、
を備える、方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法において、さらに、
前記第１の駆動モータを減速させるための第７の期間をプログラムする工程と、前記第７の期間は、前記第３および第４の期間の間に位置するよう構成されることと、
前記第７の期間の後に、前記第１の駆動モータを一定速度に維持するための第８の期間をプログラムする工程と、
を備える、方法。
【請求項１８】
請求項１６記載の方法において、さらに、
前記速度プロフィールの（ｎ−１）個のバージョンを生成する工程と、前記（ｎ−１）個の各バージョンは、すぐ前のバージョンから時間的にずれていることと、
前記速度プロフィールの前記（ｎ−１）個の各バージョンを、前記基板キャリアシステムの残りの（ｎ−１）個の各駆動モータに適用する工程と、
を備える、方法。
【請求項１９】
プロセッサによって実行された時に、それぞれが独立回転基板キャリアに結合されているｎ個の駆動モータを有する基板キャリアシステムをプログラムする方法を前記プロセッサに実行させる命令を格納するプロセッサ読み取り可能な記憶媒体であって、前記方法は、
前記ｎ個の駆動モータの内の第１の駆動モータをプログラムするための基本速度プロフィールを提供する工程であって、
前記第１の駆動モータを加速させるための第１の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを減速させるための第２の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを一定速度に維持するための第３の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを加速させるための第４の期間をプログラムする工程、
前記第１の駆動モータを減速させるための第５の期間をプログラムする工程、および、
前記第１の駆動モータを固定位置に維持するための第６の期間をプログラムする工程、を含む、工程と、
前記ｎ個の駆動モータの内の前記第１の駆動モータを制御するプログラムに前記基本速度プロフィールを適用して、前記独立回転基板キャリアの内の第１の独立回転基板キャリアに動きを提供する工程と、
を備える、プロセッサ読み取り可能な記憶媒体。
【請求項２０】
請求項１９に記載のプロセッサ読み取り可能な記憶媒体において、前記方法は、さらに、
前記第１の駆動モータを減速させるための第７の期間をプログラムする工程と、前記第７の期間は、前記第３および第４の期間の間に位置するよう構成されることと、
前記第７の期間の後に、前記第１の駆動モータを一定速度に維持するための第８の期間をプログラムする工程と、
を備える、プロセッサ読み取り可能な記憶媒体。
【請求項２１】
請求項１９に記載のプロセッサ読み取り可能な記憶媒体において、前記方法は、さらに、
前記速度プロフィールの（ｎ−１）個のバージョンを生成する工程と、前記（ｎ−１）個の各バージョンは、すぐ前のバージョンから時間的にずれていることと、
前記速度プロフィールの前記（ｎ−１）個の各バージョンを、前記基板キャリアシステムの残りの（ｎ−１）個の各駆動モータに適用する工程と、
を備える、プロセッサ読み取り可能な記憶媒体。
【請求項２２】
ウエハ洗浄チャンバであって、
両端部の間の同軸取り付けされた中点を有し、さらに、前記両端部の各々に取り付けられた各ウエハキャリアを有する複数のキャリアアームと、
同軸取り付けされた複数の駆動部を含むハブであって、各前記複数の駆動部は、前記複数のキャリアアームの内の対応するキャリアアームの前記中点の近傍に結合され、前記同軸取り付けされた複数の駆動部の内の残りの駆動部から独立して制御されるよう構成されている、ハブと、
前記同軸取り付けされた各駆動部に結合され、速度プロフィールを含むプログラムの制御下で前記結合されたキャリアアームを回転させるよう構成されたそれぞれのモータと、
前記ウエハキャリアの経路の近傍に配置された少なくとも１つの洗浄剤供給ヘッドと、
を備える、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２３】
請求項２２に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、さらに、前記ウエハキャリアの外縁の近傍に配置された少なくと１つのロード／アンロードポートを備える、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２４】
請求項２３に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、さらに、前記基板キャリアの中点が通る円形の経路の下方であって、前記複数のキャリアアームの前記中点と前記少なくとも１つのロード／アンロードポートとの間の放射状の線上に配置されているリフタステーションを備える、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２５】
請求項２２に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、前記少なくとも１つの洗浄剤供給ヘッドは、前記ヘッドの内周よりも前記ヘッドの外周において広い断面幅を有する、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２６】
請求項２２に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、前記各モータにプログラムされる前記速度プロフィールは、他の各速度プロフィールから時間的にオフセットされる、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２７】
請求項２２に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、前記各モータは、ステッピングモータである、ウエハ洗浄チャンバ。
【請求項２８】
請求項２２に記載のウエハ洗浄チャンバにおいて、前記各モータは、サーボモータである、ウエハ洗浄チャンバ。