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【手続補正書】
【提出日】平成26年1月21日(2014.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デカップリングコンデンサ構造であって、
第１のドーパント極性を有する第１のウェルであって、第１の高ドーズ注入部が形成された第１のウェルと、
前記第１のウェルに隣接する第２のウェルであって、前記第１のドーパント極性と反対の第２のドーパント極性を有し、第２の高ドーズ注入部が形成されている、第２のウェルと、
前記第１の高ドーズ注入部および前記第２の高ドーズ注入部の上に形成された少なくとも１つの絶縁層と、
前記第１のウェル内に形成された第１の組のウェル接続部と、
前記第２のウェル内に形成された第２の組のウェル接続部と、
前記第１の高ドーズ注入部に隣接する前記第１のウェル上に形成された第１の導体と、
前記第２の高ドーズ注入部に隣接する前記第２のウェル上に形成された第２の導体と、
を含み、
前記第１の組のウェル接続部および前記第２の導体は第１の電気ノードに共通に接続され、前記第２の組のウェル接続部および前記第１の導体は第２の電気ノードに共通に接続され、
前記第１の組のウェル接続部、前記第２の組のウェル接続部および前記高ドーズ注入部のうち少なくとも１つは、ドーパント極性について非対称である、
デカップリングコンデンサ構造。
【請求項２】
前記第１の電気ノードは供給電圧ノードに対応し、前記第２の電気ノードは接地ノードに対応する、請求項１に記載のデカップリングコンデンサ構造。
【請求項３】
前記第２のウェルはＰ材料を含み、前記第１のウェルは、前記Ｐ基板材料内に形成されたＮ型領域を含む、請求項１に記載のデカップリングコンデンサ構造。
【請求項４】
前記第２の組のウェル接続部は、Ｐ＋ドーパント極性を有する第１のウェル接続部と、Ｎ＋ドーパント極性を有する第２のウェル接続部とを含む、請求項３に記載のデカップリングコンデンサ構造。
【請求項５】
前記第１のウェルおよび前記第２のウェルは、１組の論理トランジスタの第１のウェルおよび第２のウェルそれぞれに対応する、請求項１に記載のデカップリングコンデンサ構造。
【請求項６】
デカップリングコンデンサの形成方法であって、
第１のドーパント極性を有し、第１のウェル領域を規定する基板を提供するステップと、
前記第１のウェル領域に隣接する第２のウェル領域を前記基板内に形成するステップであって、前記第２のウェル領域は、前記第１のドーパント極性と反対の第２のドーパント極性を有する、ステップと、
前記第１のウェル領域内に第１の高ドーズ注入部を形成するステップと、
前記第２のウェル領域内に第２の高ドーズ注入部を形成するステップと、
前記第１のウェル内に第１の組のウェル接続部を形成するステップと、
前記第２のウェル内に第２の組のウェル接続部を形成するステップと、
前記第１の高ドーズ注入部および前記第２の高ドーズ注入部上に少なくとも１つ絶縁層を形成するステップと、
前記第１のウェル領域上に第１の導体をおよび前記第２のウェル領域上に第２の導体を形成するステップと、
前記第１の組のウェル接続部および前記第２の導体を相互接続して、第１の電気ノードを規定するステップと、
前記第２の組のウェル接続部および前記第１の導体を相互接続して、第２の電気ノードを規定するステップと、
を含み、
前記第１の高ドーズ注入部、前記第２の高ドーズ注入部、前記第１の組のウェル接続部および前記第２の組のウェル接続部のうち少なくとも１つは、ドーパント極性について非対称となるように、形成される、
方法。
【請求項７】
前記第１の電気ノードは供給電圧ノードに対応し、前記第２の電気ノードは接地ノードに対応する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第２のウェルはＰ材料を含み、前記第１のウェルは、前記Ｐ基板材料内に形成されたＮ型領域を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の組のウェル接続部は、Ｐ＋ドーパント極性を有する第１のウェル接続部と、Ｎ＋ドーパント極性を有する第２のウェル接続部とを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１のウェルおよび前記第２のウェルは、少なくとも１組の論理トランジスタによって共有されるように、形成される、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
半導体デバイスであって、
第１のウェルおよび第２のウェル内に規則的パターンで配置された複数の論理素子であって、前記第１のウェルは、第１のドーパント極性を有し、前記第２のウェルは、前記第１のドーパント極性とは反対の第２のドーパント極性を有する、論理素子と、
前記規則的パターンに従って、前記第１のウェルおよび前記第２のウェル内に配置されたデカップリングコンデンサであって、前記デカップリングコンデンサは、前記第１のウェル内の第１の組のウェル接続部と、前記第２のウェル内の第２の組のウェル接続部と、前記第１のウェル内の第１の高ドーズ注入部上に形成された第１の導体と、前記第２のウェル内の第２の高ドーズ注入部上に形成された第２の導体とを含む、デカップリングコンデンサと、
を含み、
前記第１の組のウェル接続部および前記第２の導体は、第１の電気ノードに共通に接続され、前記第２の組のウェル接続部および前記第１の導体は、第２の電気ノードに共通に接続され、
前記第１の組のウェル接続部、前記第２の組のウェル接続部および前記高ドーズ注入部のうち少なくとも１つは、ドーパント極性について非対称である、
半導体デバイス。
【請求項１２】
前記第１の電気ノードは供給電圧ノードに対応し、前記第２の電気ノードは接地ノードに対応する、請求項１１に記載の半導体。
【請求項１３】
前記第２のウェルはＰ材料を含み、前記第１のウェルは、前記Ｐ基板材料内に形成されたＮ型領域を含む、請求項１１に記載の半導体。
【請求項１４】
前記第２の組のウェル接続部は、Ｐ＋ドーパント極性を有する第１のウェル接続部と、Ｎ＋ドーパント極性を有する第２のウェル接続部とを含む、請求項１３に記載の半導体。
【請求項１５】
コンピュータによる読み出しが可能な命令を含むコンピュータによる読み出しが可能な媒体であって、前記コンピュータによる読み出しが可能な命令は、実行されると、デカップリングコンデンサを形成するための製造施設を構成するように適合され、
第１のウェル内の第１のＭＯＳコンデンサと、
第２のウェル内の第２のＭＯＳコンデンサであって、前記第１のＭＯＳコンデンサの極性とは反対の極性を有する、第２のＭＯＳコンデンサと、
前記第１のＭＯＳコンデンサおよび第２のＭＯＳコンデンサにカップルされた、少なくとも一対の非対称ウェル接続部と、
を含む、コンピュータによる読み出しが可能な媒体。
【請求項１６】
前記少なくとも一対の非対称ウェル接続部は、反対極性の拡散領域を有する前記第１のＭＯＳコンデンサと、同一極性の拡散領域を有する前記第２のＭＯＳコンデンサとを含む、請求項１５に記載の半導体。
【請求項１７】
前記第１のウェルおよび第２のウェルはそれぞれ、少なくとも１組の論理トランジスタによって共有される、請求項１５に記載のコンピュータによる読み出しが可能な媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月21日(2014.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
繰り返し率可変のレーザ・エンジンであって、
フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、
前記種パルスの存続時間を伸張する伸張器／圧縮器と、
前記伸張器／圧縮器からの伸張済み種パルスを受信し、選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、増幅された伸張済みパルスから成るレーザ光線を出力する増幅器と、を備えるレーザ・エンジンであって、
前記伸張器／圧縮器は、前記増幅済みの伸張済みパルスから成るレーザ光線を受信し、前記増幅済みの伸張済みパルスの存続時間を圧縮し、且つ、1,000フェムト秒未満のパルス存続時間を備えるフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力し、
前記増幅器は、光学的構成要素により引き起こされた前記増幅済みの伸張済みパルスの分散を減少する分散補償器と、５０ｋＨｚから１ＭＨｚの範囲内の繰り返し率で作用するように構成された切換え可能な電気光学的偏光子と、を備える、
レーザ・エンジン。
【請求項２】
前記発振器は、ダイオードによりポンピングされたファイバ発振器である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項３】
前記発振器は、形状変化が限られた種パルスを出力する、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項４】
前記発振器は、1,000フェムト秒未満の種パルス存続時間を以て前記光線を生成する、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項５】
前記伸張器／圧縮器はチャーピングされた体積ブラッグ格子を備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項６】
前記伸張器／圧縮器は、光熱屈折ガラスを備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項７】
前記伸張器／圧縮器は、前記フェムト秒の種パルスの存続時間を、1,000〜200,000フェムト秒の伸張済み存続時間へと伸張する、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項８】
ファラデー・アイソレータであって、
前記伸張器／圧縮器からの前記伸張済み種パルスから成る光線を受信し、
前記伸張済み種パルスから成る光線を前記増幅器に向けて出力し、
前記増幅器から増幅済みの伸張済みパルスから成るレーザ光線を受信し、
前記増幅済みの伸張済みパルスから成るレーザ光線を、前記伸張器／圧縮器の圧縮器ポートに向けて出力し、
前記増幅済みの伸張済みパルスから成るレーザ光線から前記発振器を隔離する、というファラデー・アイソレータを備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項９】
前記分散補償器により導入される前記分散は、該分散補償器以外の前記増幅器の各光学素子により１回の往復内に導入される分散と大きさが本質的に等しく且つ符号が逆である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１０】
前記分散補償器は、チャープ・ミラー、チャープ・ファイバ、チャープ格子、プリズム、または、チャーピングされた透過的な光学素子の内の少なくともひとつを備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１１】
前記増幅器は、
前記選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅する利得材料と、
共振空洞を画成する２つの端部ミラーと、
該増幅器の内部にて共振光路を折返す２つの折返しミラーとを備え、
前記２つの端部ミラーおよび前記２つの折返しミラーの内の少なくともひとつはチャープ・ミラーである、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１２】
前記増幅器は、繰り返し率が変更されたときに、該増幅器の光学的設定を変更せずに維持しながら、該増幅器における前記増幅済みの伸張済みパルスの往復の回数を変更すべく構成される、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１３】
前記増幅器は、空洞ダンピング型再生増幅器、チャーピングされたパルス増幅器、または、Qスィッチ式増幅器の内のひとつである、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１４】
前記切換え可能な電気光学的偏光子が、
端部ミラー間の光路中に配置され、
該切換え可能な偏光子が前記増幅済みの伸張済みパルスの偏光極性を調節する、という偏光極性調節状態と、
該切換え可能な偏光子が本質的に、前記増幅済みの伸張済みパルスの偏光極性を調節しない、という偏光極性非調節状態と、
の間で切換わることにより伸張済みパルスを選択するように構成された、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１５】
前記切換え可能な偏光子を制御して前記偏光極性非調節状態から前記偏光極性調節状態へと、5ナノ秒より短い立ち上がり時間を以て切換える高電圧パワースィッチを備える、請求項１４に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１６】
繰り返し率可変のレーザ・エンジンによりレーザ光線を生成する方法であって、
1,000フェムト秒未満の存続時間を以て種パルスから成る光線を発振器により生成する段階と、
前記種パルスの存続時間をパルス伸張器により伸張する段階と、
選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅器により増幅し、増幅済みの伸張済みパルスを生成する段階と、
前記増幅済みの伸張済みパルスの存続時間を、パルス圧縮器により1,000フェムト秒未満に圧縮する段階と、
50kHz〜1MHzの範囲内の第1繰り返し率および1,000フェムト秒未満のパルス存続時間を備えた切換え可能な電気光学的偏光子でフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する段階と、
前記レーザ・エンジンの光学的設定を本質的に変更せずに、繰り返し率を、前記第1繰り返し率から、50kHz〜1MHzの範囲内の第2繰り返し率へと変更する段階と、
前記第2繰り返し率を以て、且つ、1,000フェムト秒未満のパルス存続時間を以て、前記フェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力する段階とを有する、
方法。
【請求項１７】
前記分散補償器が、5,000fs2〜20,000fs2の範囲内の群遅延分散を補償するように構成された請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月24日(2014.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、
前記種パルスの存続時間を伸張する一体化された伸張器／圧縮器と、
選択された伸張済み種パルスの振幅を増幅して増幅済みの伸張済みパルスを生成するQスィッチ式空洞ダンピング型再生増幅器と、を備えた繰り返し率可変レーザ・エンジンであって、
前記伸張器／圧縮器は、前記増幅済みの伸張済みパルスの存続時間を圧縮して可変繰り返し率を以てフェムト秒レーザ・パルスを出力し、前記レーザ・エンジンの構成は、出力されるレーザ・パルスの存続時間を1,000フェムト秒未満に維持しながら前記繰り返し率が変更されることを許容し、
前記レーザ・エンジンの光学素子の個数は75個未満であり、
前記増幅器は、共振空洞を画成する２つの端部ミラーと、該各端部ミラー間に配設されて5ns未満で切換わるべく構成された切換え可能な偏光子とを備える、
繰り返し率可変レーザ・エンジン。
【請求項２】
前記レーザ・エンジンの前記光学素子の個数は50個未満である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項３】
前記発振器以外の部分における前記レーザ・エンジンの前記光学素子の個数は50個未満である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項４】
前記発振器以外の部分における前記レーザ・エンジンの前記光学素子の個数は35個未満である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項５】
光学素子は、ミラー、レンズ、平行プレート、偏光子、アイソレータ、一切の切換え可能な光学素子、屈折要素、透過要素、または、反射要素の内のひとつである、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項６】
光学素子には空気中から光が入り且つ空気中へと出射する、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項７】
前記一体化された伸張器／圧縮器はチャーピングされた体積ブラッグ格子を備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項８】
前記増幅器は、前記２つの端部ミラー間に配設されて、該増幅器の光学素子により導入される分散を補償すべく構成された分散補償器を備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項９】
前記増幅器は、該増幅器の内部にて共振光路を折返す２つの折返しミラーを備え、
前記２つの端部ミラーおよび前記２つの折返しミラーの内の少なくともひとつはチャープ・ミラーである、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１０】
前記レーザ・エンジンは、レーザ光線を、
第1繰り返し率により、且つ、
引き続き、前記レーザ・エンジンの全ての光学素子の本質的に同一の設定を以て、前記第1繰り返し率とは異なる第2繰り返し率により、
出力すべく構成され、
前記第1繰り返し率および前記第2繰り返し率は、10kHz〜2MHz、または、50kHz〜1MHz、または、100kHz〜500kHzの各範囲の内のひとつの範囲内である、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１１】
前記レーザ・エンジンは、前記第1繰り返し率が1秒未満の変更時間で前記第2繰り返し率へと変更可能である様に構成される、請求項１０に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１２】
前記各端部ミラー間に配設された前記切換え可能な偏光子は、
該切換え可能な偏光子が前記増幅済みの伸張済みパルスの偏光極性を調節するという状態と、
該切換え可能な偏光子が前記増幅済みの伸張済みパルスの偏光極性を本質的に調節しないという状態と、
の間で切換わるべく構成される、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１３】
前記増幅器は、
少なくともひとつの焦点合わせミラーと、
前記焦点合わせミラーの焦点の近傍に配置されたレーザ結晶とを備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【請求項１４】
前記繰り返し率が変更されることを許容する前記レーザ・エンジンの前記構成は、
前記レーザ・エンジンの一切の光学素子を調節せずに前記繰り返し率が変更されることを許容する前記レーザ・エンジンの構成を備える、請求項１に記載のレーザ・エンジン。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月12日(2013.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トランジスタを製造する方法であって：
導電材料層と電気絶縁材料層とを順に含んだ基板を準備する工程と、
前記電気絶縁材料層上にレジスト材料層を堆積する工程と、
前記レジスト材料層をパターニングして、前記電気絶縁材料層の一部を露出させる工程と、
露出された前記電気絶縁材料層を除去して、前記導電材料層の一部を露出させる工程と、
前記電気絶縁材料層が前記導電材料層からオーバーハングするように、露出された前記導電材料層を除去し、それにより、前記導電材料層及び前記基板の少なくとも一方を、後に適用される指向性堆積プロセスから遮蔽するのに十分な凹部形状を作り出す工程と、
前記基板と露出された前記電気絶縁材料層及び前記導電材料層とを第２の電気絶縁材料層で共形に被覆する工程と、
前記第２の電気絶縁材料層を半導体材料層で共形に被覆する工程と、
前記半導体材料層上に導電材料層を指向性堆積する工程と、
を有する方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月14日(2014.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ入口に流体を引き入れ、かつおよびポンプ出口から流体を分配する１つまたは複数のモーターと、
前記ポンプ入口および前記ポンプ出口の間の流体流路に設置された取り外し可能なろ過器と、
ポンプコントローラであって、
ろ過器情報を受け取り、
プロセス流体情報を受け取り、
ポンプの運転ルーチンを選択するために、前記ろ過器情報およびプロセス流体に基づいて運転ルーチンのライブラリにアクセスし、前記運転ルーチンのライブラリは、異なるろ過器および流体の組合せのための運転ルーチンを備え、
前記選択された運転ルーチンによって前記ポンプを運転するよう
構成されたポンプコントローラと、
を備えるポンプ。
【請求項２】
前記取り外し可能なろ過器が、ろ過器情報を記憶する電子タグを有し、かつ前記ポンプが前記電子タグから前記ろ過器情報を読み取るよう配置、かつ構成された電子タグリーダーをさらに備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
電子タグリーダーがＲＦＩＤリーダーを備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項４】
前記ろ過器情報が、部品番号を備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項５】
前記ろ過器情報が、個々の取り外し可能なろ過器に特有の情報を備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項６】
前記選択された運転ルーチンが、プライミングルーチンを備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項７】
前記ポンプコントローラがさらに、プライミングルーチンの間に前記ポンプの運転を監視し、かつ前記ろ過器情報に含まれる前記取り外し可能なろ過器に特有な情報に基づいて前記ポンプの運転を調整するよう構成されている、請求項１に記載のポンプ。
【請求項８】
前記選択された運転ルーチンがろ過ルーチンを備える、請求項１に記載のポンプ。
【請求項９】
前記ポンプコントローラがさらに、前記ろ過ルーチンの間に前記ポンプの運転を監視し、かつ前記ろ過器情報に含まれる個々のろ過器に特有な情報に基づいて前記ポンプの運転を調整するよう構成されている、請求項８に記載のポンプ。
【請求項１０】
ポンプであって、
ポンプ入口に流体を引き入れ、かつポンプ出口から流体を分配する１つまたは複数のモーターと、
前記ポンプ入口およびポンプ出口の間の流体流路の取り外し可能なろ過器と、
電子タグから前記ろ過器情報を読み取るよう配置、かつ構成された電子タグリーダーと、
前記電子タグリーダーに結合されたポンプコントローラであって、
前記電子タグリーダーからろ過器情報を受け取り、
通信リンクを介して前記ろ過器情報を伝え、かつ
流体を分配するよう前記ポンプの運転を制御するよう
構成されたポンプコントローラと、
を備えるポンプと、
ポンプ管理システムであって、
前記ポンプから前記ろ過器情報を受け取り、
前記ポンプの運転ルーチンを選択するために、前記ろ過器情報およびプロセス流体情報に基づいて運転ルーチンのライブラリにアクセスし、前記運転ルーチンのライブラリは、異なるろ過器および流体の組合せのための運転ルーチンを備え、かつ
前記選択された運転ルーチンを前記ポンプコントローラに伝えるよう
構成されたポンプ管理システムと、
を備えるポンプシステム。
【請求項１１】
前記電子タグリーダーがＲＦＩＤリーダーを備える、請求項１０に記載のポンプシステム。
【請求項１２】
前記ろ過器情報が部品番号を備える、請求項１０に記載のポンプシステム。
【請求項１３】
前記ろ過器情報が個々の取り外し可能なろ過器に特有な情報を備える、請求項１０に記載のポンプシステム。
【請求項１４】
前記選択された運転ルーチンが、プライミングルーチンを備える、請求項１０に記載のポンプシステム。
【請求項１５】
前記ポンプコントローラがさらに、前記プライミングルーチンの間に前記ポンプの運転を監視し、かつ前記ろ過器情報に含まれる前記取り外し可能なろ過器に特有な情報に基づいて前記プライミングルーチンを調整するよう構成されている、請求項１４に記載のポンプシステム。
【請求項１６】
前記運転ルーチンがろ過ルーチンを備える、請求項１０に記載のポンプシステム。
【請求項１７】
前記ポンプコントローラがさらに、前記ろ過ルーチンの間に前記ポンプの運転を監視し、かつ前記ろ過器情報に含まれる前記取り外し可能なろ過器に特有な情報に基づいて前記ポンプの運転を調整するよう構成されている、請求項１６に記載のポンプシステム。
【請求項１８】
ポンプの運転を制御する方法であって、
取り外し可能なろ過器をポンプに接続するステップであって、前記取り外し可能なろ過器がろ過器情報を記憶する電子タグを有する、ステップと、
電子タグリーダーを用いて前記電子タグから前記取り外し可能なろ過器の前記ろ過器情報を受け取るステップと、
前記取り外し可能なろ過器およびプロセス流体に対する運転ルーチンを選択するために、前記ろ過器情報およびプロセス流体の流体特性に基づいて運転ルーチンのライブラリにアクセスし、前記運転ルーチンのライブラリは、異なるろ過器および流体の組合せのための運転ルーチンを備える、ステップと、
前記選択された運転ルーチンにより、前記ポンプを運転するステップと、
を備える方法。
【請求項１９】
前記選択された運転ルーチンが、最適なプライミングルーチンを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記選択された運転ルーチンが、最適なろ過ルーチンを備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
ポンプコントローラが、前記運転ルーチンのライブラリにアクセスする、請求項１８に記載の方法。
【請求項２２】
ポンプ管理システムが、前記運転ルーチンのライブラリにアクセスするとともに、前記選択された運転ルーチンをポンプコントローラに伝え、前記ポンプコントローラは、前記選択された運転ルーチンに従って前記ポンプの運転を制御する、請求項１８に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月24日(2014.2.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ・システムにより走査を行う方法であって、
発信器によってフェムト秒の種パルスを生成する工程と、
伸張器によって種パルスの存続時間を伸張する工程と、
増幅器によって伸張済み種パルスをレーザ・パルスへと増幅する工程と、
5,000fs2〜20,000fs2の範囲内のレーザ・パルスの群遅延分散を、増幅器の端部ミラー間の分散補償器で補償する工程と、
増幅されたレーザ・パルスを電気工学的モジュレータによって増幅器から出力する工程と、
走査レーザ供与システムにより、目標領域における焦点へと前記レーザ・パルスを焦点合わせする工程と、
前記走査レーザ供与システムにより、前記目標領域において所定の走査速度を以て前記焦点を走査させる工程と、
走査レーザ供与システムのプロセッサによって前記走査速度を変更する工程と、
前記変更された走査速度に従い前記繰り返し率を、繰り返し率制御器により調節する工程とを有する、方法。
【請求項２】
前記生成する段階は、
発振器によりフェムト秒の種パルスを生成する工程と、
前記種パルスを伸張器／圧縮器により伸張する工程と、
選択された伸張済み種パルスを増幅器により増幅済みの伸張済みパルスへと増幅する工程と、
前記増幅済みの伸張済みパルスを前記伸張器／圧縮器によりフェムト秒レーザ・パルスへと圧縮する工程とを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記繰り返し率を調節し、前記目標領域においてレーザにより生成される気泡の密度を選択値の付近に略々維持する工程を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記気泡の密度は、線密度、面積密度、および、体積密度の内のひとつである、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記繰り返し率を調節する工程は、
前記走査速度に比例させて前記繰り返し率を調節する工程を有する、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記繰り返し率を調節する工程は、
前記繰り返し率を、1μ秒〜1秒の範囲内の時間で第1の値から第2の値へと調節する工程を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記焦点をスィッチバック経路に沿いXY走査させる工程と、
前記スィッチバック経路のスィッチバック部分に接近するときに前記繰り返し率を減速する工程とを有する、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
レーザ光線を渦巻き線に沿い走査させる工程と、
前記走査工程が前記渦巻き線の中心に接近するときに前記繰り返し率を減速する工程とを有する、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記繰り返し率を調節する工程は、
前記繰り返し率制御器により変更された走査速度に関する情報を、
変化する走査速度を検知する工程、および、
前記変化する走査速度に関する電子的情報をプロセッサまたはメモリから獲得する工程、
の内のひとつの工程により受信する工程と、
前記変更された走査速度に関する前記受信の情報に従い前記繰り返し率を調節する工程とを有する、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
複数のフェムト秒の種パルスから成る光線を生成して出力する発振器と、
前記種パルスの存続時間を伸張し、増幅器からの増幅済みの伸張済みパルスを受信し、前記増幅済みの伸張済みパルスの存続時間を圧縮し、且つ、所定の繰り返し率を以て複数のフェムト秒パルスから成るレーザ光線を出力するように構成された伸張器／圧縮器であって、
前記増幅器は、
前記伸張器／圧縮器から前記伸張済み種パルスを受信し、
選択された伸張済み種パルスの振幅を端部ミラー間の利得媒体で増幅して、増幅済みの伸張済みパルスを生成し、
5,000fs2〜20,000fs2の範囲内の前記増幅済みの伸張済みパルスの分散を、前記増幅器の前記端部ミラー間の分散補償器で補償し、
前記増幅済みの伸張済みパルスを、電気光学的モジュレータによって、伸張器／圧縮器へと出力する
ように構成された伸張器／圧縮器と、
目標領域において可変走査速度を以て前記レーザ光線の焦点を走査させることで、光切断による複数のスポットを生成する走査用レーザ供与システムと、
を備える繰り返し率可変のレーザ走査システムであって、
該レーザ走査システムは、前記繰り返し率を変更することで、所定の密度変化特性を以て前記光切断による複数のスポットを生成するように構成された、繰り返し率可変レーザ走査システム。
【請求項１１】
前記増幅器は、該増幅器において前記伸張済みパルスの偏光面を回転する切換え可能な偏光子を備え、
前記切換え可能な偏光子の立ち上がり時間は、5nsより短い、請求項１０に記載のレーザ走査システム。
【請求項１２】
当該レーザ走査システムは、前記切換え可能な偏光子に対して制御信号を印加することにより該切換え可能な偏光子を5nsより短い立ち上がり時間を以て切換える制御電子機器を備える、請求項１１に記載のレーザ走査システム。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月12日(2013.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
導電材料層と、
電気絶縁材料層と、
を有し、
前記導電材料層は前記基板と前記電気絶縁材料層との間に位置し、前記電気絶縁材料層は、前記電気絶縁材料層と前記導電材料層とが凹部形状を画成するよう、前記導電材料層の外側まで延在するように大きさ及び位置を定められている、
トランジスタ。
【請求項２】
前記電気絶縁材料層は第１の電気絶縁材料層であり、前記導電材料層はゲートであり、当該トランジスタは更に、前記凹部形状に共形の第２の電気絶縁材料層を有し、前記第２の電気絶縁材料層は、少なくとも前記凹部形状及び前記ゲートが位置する領域内で、一貫した厚さを有する、請求項１に記載のトランジスタ。
【請求項３】
前記凹部形状に共形の半導体材料層を更に有し、前記半導体材料層は、少なくとも前記凹部形状及び前記ゲートが位置する領域内で、一貫した厚さを有する、請求項２に記載のトランジスタ。
【請求項４】
第１の電極及び第２の電極を更に有する請求項３に記載のトランジスタ。
【請求項５】
前記半導体材料層は、前記第１の電極と前記第２の電極との間の領域内で一貫した厚さを有する、請求項４に記載のトランジスタ。
【請求項６】
前記基板はフレキシブル基板である、請求項１に記載のトランジスタ。
【請求項７】
半導体デバイスを作動させる方法であって：
トランジスタを配設し、該トランジスタは：
基板と、
第１の導電材料層と、
電気絶縁材料層であり、該電気絶縁材料層が、前記導電材料層に対して凹部形状を含む前記第１の導電材料層が前記基板と当該電気絶縁材料層との間に位置し、当該電気絶縁材料層は、当該電気絶縁材料層と前記第１の導電材料層とが凹部形状を画成するよう、前記第１の導電材料層の外側まで延在するように大きさ及び位置を定められる、電気絶縁材料層と、
前記電気絶縁材料層上に配置された第２の導電材料層と、
前記基板上に配置された第３の導電材料層と、
を含み；
前記第２の導電材料層と前記第３の導電材料層との間に電圧を印加し；且つ
前記第２の導電材料層と前記第３の導電材料層とを電気的に接続するように前記第１の導電材料層に電圧を印加する；
ことを有する方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月20日(2014.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハの表面のＣＭＰ後の洗浄方法であって、
回転するウェハの表面を、回転する円柱フォームローラに係合させる工程であって、前記円柱フォームローラは、複数の細長いエッジノジュール及び複数の中央ノジュールを有し、かつ前記円柱フォームローラの端部において前記円柱フォームローラの周りに延在する複数の前記細長いエッジノジュールの円周方向に延在する行を有する、係合させる工程を備え、
前記ノジュールはそれぞれ、側部表面および外側ウェハ係合表面を有し、少なくとも主に軸方向に方向付けられ、
細長いノジュールの行が、前記ウェハのエッジを、前記側部表面ではなく前記細長いノジュールの前記外側ウェハ係合表面だけに係合させて配置されるように、前記ローラを前記ウェハ上に配置する、方法。
【請求項２】
前記ノジュールの前記円周方向に延在する行はそれぞれ、前記フォームローラ上に螺旋状に配置される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ローラが、回転し、前記ウェハに係合状態にあるときに、前記フォームローラを通して外向きに流体を注入する工程をさらに備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
ウェハのＣＭＰ後の洗浄のための円柱フォームローラであって、軸、および、円柱外側ベース表面であって、複数の細長いエッジノジュールおよび複数の中央ノジュールを有し、かつ円柱外側ベース表面から延在している、ノジュールのマトリクス配置構成を有する、円柱外側ベース表面を有し、前記細長いエッジノジュールのそれぞれは、前記中央ノジュールのうちの１つの上側表面よりも大きい上側表面を有し、前記ノジュールは全て、前記軸から均一な距離だけ外に延在し、前記ノジュールは、円柱フォームローラの周りに円周方向に延在し、前記細長いエッジノジュールはそれぞれ、前記ノジュールの細長い寸法が、円周方向よりも軸方向により多く延在した状態で方向付けられる、フォームローラ。
【請求項５】
前記中央ノジュールは円柱状をなす、請求項１または４に記載のフォームローラ。
【請求項６】
前記マトリクス配置構成は、前記円周方向に延在する細長いエッジノジュールに隣接し
て、前記中央ノジュールの円周方向に延在する行を含み、中央ノジュールの前記行は、細長いエッジノジュールの前記行と交錯される請求項１〜５のいずれか１項に記載のフォームローラ。
【手続補正書】
【提出日】平成26年3月18日(2014.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを処理する急速熱処理チャンバであって、
複数のランプと、
第１のスイッチと第２のスイッチとをもつ交流電源を含む電源であり、前記複数のランプに接続されて、前記複数のランプに電力を供給する電源と、
前記ウエハの温度を測定する温度センサと、
前記温度センサと前記電源の前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチとに接続される温度コントローラであり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチに対し、共に前記ウエハ温度と所望の温度との関数である第１の制御信号および第２の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラと
を備えており、
前記第１の制御信号が前記第１のスイッチを前記交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフし、前記第２の制御信号が前記第２のスイッチを前記交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフする、急速熱処理チャンバ。
【請求項２】
前記第２のスイッチがオフにされる間前記第１のスイッチがオンにされる、請求項１に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項３】
前記第２のスイッチがオンにされる間前記第１のスイッチがオフにされる、請求項２に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項４】
前記温度コントローラが、前記第１の制御信号と前記第２の制御信号とを前記交流電力のパルスバージョンとして形成する、請求項３に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項５】
前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にあり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチがトランジスタである、請求項３に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項６】
前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが、ＭＯＳＦＥＴトランジスタ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項４に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項７】
ウエハを処理する急速熱処理チャンバを制御する方法であって、
前記ウエハの温度を感知するステップと、
所望の温度を決定するステップと、
温度コントローラが、前記ウエハの温度および前記所望の温度に従って第１の制御信号および第２の制御信号を生成するステップと、
前記第１の制御信号が、第１のスイッチを、前記温度コントローラに供給される交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフするステップと、
前記第２の制御信号が、第２のスイッチを、前記温度コントローラに供給される交流電力の半サイクル当たり複数回オン／オフするステップと、
前記第１および第２のスイッチが複数のランプに電力を供給するステップと
を含む方法。
【請求項８】
前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが異なる時間にオンにされる、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記温度コントローラが、前記第１の制御信号と前記第２の制御信号とを前記交流電力のパルスバージョンとして形成する、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にあり、前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチがトランジスタである、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１のスイッチおよび前記第２のスイッチが、ＭＯＳＦＥＴトランジスタ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
交流電力が供給される、ウエハを処理する急速熱処理チャンバであって、
複数のランプと、
第１のダイオードおよび第１のトランジスタと第２のダイオードおよび第２のトランジスタとの並列接続を含むランプドライバであり、交流電力源と前記複数のランプとに接続されて、前記複数のランプに電力を供給するランプドライバと、
ウエハ温度を測定する温度センサと、
前記温度センサと前記ランプドライバとに接続された温度コントローラであり、前記第１のトランジスタおよび前記第２のトランジスタに対し、共に前記ウエハ温度と所望の温度との関数である第１の制御信号および第２の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラと
を備えており、
前記第１のトランジスタが前記第２のトランジスタと異なる時間にオンにされる、急速熱処理チャンバ。
【請求項１３】
前記第１および第２のトランジスタが、ＭＯＳＦＥＴ、バイポーラトランジスタ、および絶縁ゲートバイポーラトランジスタからなる群から選択される、請求項１２に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項１４】
前記第１および第２のトランジスタが、供給される交流電圧の半周期当たり２回以上オン／オフされる、請求項１２に記載の急速熱処理チャンバ。
【請求項１５】
前記複数のランプに供給される電力の力率が０．９と１との間にある、請求項１４に記載の急速熱処理チャンバ。
【手続補正書】
【提出日】平成25年12月6日(2013.12.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
関連するコンテンツへのアクセスを提供する方法であって、
受信手段を、第一の表示装置に表示される所望の番組に同調するステップと、
電子番組ガイドから前記所望の番組を識別するコンテンツプロセッサを介して情報を検索するステップと、
前記電子番組ガイドから検索された前記情報を分析してシードタームを識別し、前記所望の番組の更なる放送分のインターネット検索を発生させるステップであって、前記シードタームは、コンテンツプロバイダ又はコンテンツクリエータによりマークされるメタデータを含む特性データから生成され、前記マークされるメタデータは、前記所望の番組の特定の更なる放送分が前記所望の番組を理解するのに重要であることを示す、ステップと、
前記検索された情報の前記シードタームを使用して、前記所望の番組の前記更なる放送分について、インターネットインタフェースを介して、コンピュータネットワークの位置を自動的にサーチするステップと、
ユーザインタフェースディスプレイプロセッサを介して、前記更なる放送分に対応するリンクを提供するステップであって、提供された前記リンクは、第二の表示装置で表示可能であり、該第二の表示装置は、前記インターネットインタフェースのウェブサーバに向けられるブラウザを有する、ステップとを含み、前記提供されたリンクは、前記所望の番組の前記更なる放送分へのアクセスを可能にする、方法。
【請求項２】
それぞれの更なる放送分を表す提供されたリンクのユーザ選択に応答して、前記インターネットインタフェースを介して要求信号を受信するステップと、
前記第一の表示装置及び前記第二の表示装置のうちの少なくとも１つで、選択された更なる放送分を自動的に表示するステップと、
を更に含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
それぞれの更なる放送分に関連するリンクの選択に応じて、前記所望の番組の表示を停止するステップと、
前記所望の番組をメモリに自動的に記録するステップと、
を更に含む請求項１記載の方法。
【請求項４】
それぞれの更なる放送分が記憶される通信ネットワークでの位置を識別する前記それぞれの更なる放送分に関連する位置情報を取得するステップを更に備える、
請求項１記載の方法。
【請求項５】
（ａ）それぞれの更なる放送分にとって利用可能なアクセスのレベルを識別するアクセスレベル情報、及び（ｂ）要求しているユーザに提供する前記更なる放送分へのアクセスのタイプを識別するアクセスタイプ情報、のうちの少なくとも１つを取得するステップを更に含む、
請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記所望の番組及び該所望の番組のそれぞれの更なる放送分のそれぞれに関連する記述データを取得するステップと、
取得された前記記述データを前記ユーザインタフェースディスプレプロセッサへ提供し、それぞれの更なる放送分へのリンクを生成し、前記それぞれの更なる放送分に関連づけて前記記述データを含めるステップと、
を更に含む請求項１記載の方法。
【請求項７】
それぞれの更なる放送分を要求する要求信号の受信に応答して、前記所望の番組が属するシリーズの記録を自動的にスケジュールするステップを更に含む、
請求項２記載の方法。
【請求項８】
関連するコンテンツへのアクセスを提供するシステムであって、
第一の表示装置へ接続される受信手段を所望の番組に同調するチューナと、
前記チューナに結合され、電子番組ガイドから前記所望の番組を識別する情報を検索するコンテンツプロセッサであって、前記電子番組ガイドから検索された前記情報を分析してシードタームを識別し、前記所望の番組の更なる放送分のインターネット検索を発生させ、前記シードタームは、コンテンツプロバイダ又はコンテンツクリエータによりマークされるメタデータを含む特性データから生成され、前記マークされるメタデータは、前記所望の番組の特定の更なる放送分が前記所望の番組を理解するのに重要であることを示す、前記コンテンツプロセッサと、
前記検索された情報の前記シードタームを使用して、前記所望の番組の前記更なる放送分について通信ネットワークの位置を自動的にサーチするインターネットインタフェースと、
同調された番組の更なる放送分にユーザがアクセスするのを可能にするリンクを、前記インターネットインタフェースのウェブサーバを介して第二の表示装置へ提供するユーザインタフェースディスプレイプロセッサと、
を備えるシステム。
【請求項９】
前記インターネットインタフェースは、それぞれの更なる放送分を表す提供されたリンクのユーザ選択に応答して、要求信号を受信し、
前記コンテンツプロセッサは、前記第一の表示装置及び前記第二の表示装置のうちの少なくとも１つで、選択された更なる放送分を自動的に表示する、
請求項８記載のシステム。
【請求項１０】
前記チューナは、それぞれの更なる放送分に関連するリンクの選択に応じて、前記所望の番組を表示するのを停止し、
当該システムは、前記チューナに結合され、前記所望の番組をメモリに自動的に記録するレコーダを更に備える、
請求項８記載のシステム。
【請求項１１】
前記コンテンツプロセッサは、それぞれの更なる放送分が記憶される通信ネットワークの位置を識別する前記それぞれの更なる放送分に関連する位置情報を取得する、
請求項８記載のシステム。
【請求項１２】
前記コンテンツプロセッサは、（ａ）それぞれの更なる放送分にとって利用可能なアクセスのレベルを識別するアクセスレベル情報、及び（ｂ）要求しているユーザに提供する前記更なる放送分へのアクセスのタイプを識別するアクセスタイプ情報、のうちの少なくとも１つを取得する、
請求項８記載のシステム。
【請求項１３】
前記コンテンツプロセッサは、前記所望の番組と前記所望の番組のそれぞれの更なる放送分とのそれぞれに関連する記述データを取得し、取得された前記記述データを前記ユーザインタフェースディスプレイプロセッサに提供して、前記それぞれの更なる放送分へのリンクを生成し、前記それぞれの更なる放送分に関連づけて前記記述データを含める、
請求項８記載のシステム。
【請求項１４】
前記コンテンツプロセッサは、それぞれの更なる放送分を要求する要求信号の受信に応答して、前記所望の番組が属するシリーズの記録を自動的にスケジュールするように前記レコーダに指示する、
請求項９記載の方法。
【誤訳訂正書】
【提出日】平成25年12月2日(2013.12.2)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
測定機械は、好ましくは、主軸台保持部５０内部に校正体８０を含み、主軸台保持部５０は、光束が主軸台保持部を横断し、校正体８０の寸法を測定することを可能にする開口部５９を有する。往復台１００は、主軸台保持部５０がガイド４７上に懸下して部分的に重なるから、校正体８０と一直線上に並ぶように主軸台５２を越えて移動することができる。校正手順は、好ましくは、処理ユニット２００の管理下で自動化される。校正処理は、ＣＣＤ検出器および勾配点を測定範囲内に調整するため、電源オン時に使用される。校正体は、階段状縁端からなる。この校正処理は、温度変化の誤差を避けるものであって、「日常校正」と呼ばれる。この処理は、必要に応じてそのたびに、たとえば温度変化を検出して新規の校正処理を引き起こす温度センサによって繰り返すことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成26年2月18日(2014.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの第１の選択された部分を転送し、
複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの付加的な原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの少なくとも一つの付加的な選択された部分を転送し、
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することを特徴とする方法。
【請求項２】
複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの第１の選択された部分を転送することは、
少なくとも一つのエネルギー運搬システムを用いて、複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの第１の選択された部分を転送することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することは、
第１補助熱貯蔵器からの熱エネルギーの少なくとも部分と少なくとも一つの第２補助熱貯蔵器からの熱エネルギーの部分とを、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムに供給することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することは、
少なくとも一つの熱供給システムを用いて、少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも一つの付加的なエネルギー源からの熱エネルギーの付加的な部分で、少なくとも一つの補助熱貯蔵器を補足することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの第１の選択された部分を転送することは、
少なくとも一つの状態に反応して、複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、熱エネルギーの第１の選択された部分を転送することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することは、
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することは、
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの付加的な原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することは、
少なくとも一つの状態に反応して、少なくとも一つの補助熱貯蔵器から、複数の原子炉システムのうちの少なくとも一つの原子炉システムの少なくとも一つのエネルギー転換システムへ、熱エネルギーの少なくとも部分を供給することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
少なくとも一つの補助熱貯蔵器の少なくとも一つの状態をモニタすることを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器へ、エネルギーの第１の選択された部分を転送することは、
複数の原子炉システムのうちの第１原子炉システムの部分から、少なくとも一つの補助熱貯蔵器の少なくとも一つの熱貯蔵物質のかたまりへ、エネルギーの第１の選択された部分を転送することを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の方法。