(57)【要約】【課題】スロット型塗布ヘッドの内面が均一に清掃され、フォトレジストがテーブルの加速・減速のスピードに対応して供給され、溜りが発生せず、空気の流れの乾燥ムラが発生しない、すなわち、塗膜にスジムラ、モヤムラ、ビードを発生させないスロット型流体塗布装置を提供すること。【解決手段】スロット型塗布ヘッドが、その内面を波長１７２ｎｍのエキシマ光で照射洗浄したスロット型塗布ヘッドであること。スロット型塗布ヘッド、モーノポンプ、テーブルを具備するスロット型流体塗布装置であって、モーノポンプに、外気遮断ボックスで外気と遮断されているモーノポンプ液貯槽を設けたこと。基板表面にダウンフローの微風を供給すること。【選択図】図１
2004008915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、フォトレジストをスリット部より吐出して塗布するスロット型塗布ヘッドと、所定の速度に加減速制御される水平移動可能なテーブルを具備するスロット型流体塗布装置であって、スロット型塗布ヘッドが、そのスリット部内面を波長１７２ｎｍのエキシマ光で照射洗浄したスロット型塗布ヘッドであることを特徴とするスロット型流体塗布装置。
【請求項２】
少なくとも、所定の吐出量にてフォトレジストを基板の表面に幅方向に亘って吐出して塗布するスロット型塗布ヘッドと、スロット型塗布ヘッドにフォトレジストを供給するモーノポンプと、スロット型塗布ヘッドの下方を所定の速度にて加減速制御される水平移動可能なテーブルを具備するスロット型流体塗布装置であって、モーノポンプには、その上部にモーノポンプ液貯槽が設けられ、モーノポンプ液貯槽は、フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックスに囲われて外気と遮断されていることを特徴とするスロット型流体塗布装置。
【請求項３】
前記モーノポンプ液貯槽には、液供給パイプ１、ポンプ２を介してフォトレジストをストックする貯留槽が接続されており、モーノポンプ液貯槽内に設けられた高さ変位計１でフォトレジストの液面高さを検知し、モーノポンプ液貯槽内のフォトレジストの液面高さが常に一定になるようにポンプ２を作動させ、液面高さを制御することを特徴とする請求項２記載のスロット型流体塗布装置。
【請求項４】
前記テーブルが水平移動する領域において、塗膜に乾燥ムラを発生させないように、テーブル上に載置された基板表面に上方からダウンフローの微風を供給することを特徴とする請求項２、又は請求項３記載のスロット型流体塗布装置。
【請求項５】
前記フォトレジストがカラーフィルタ用フォトレジスト、基板がカラーフィルタ基板であって、カラーフィルタの製造に用いることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のスロット型流体塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板の表面にフォトレジストを平滑な状態で、均一に所定の膜厚で塗布するためのスロット型流体塗布装置に関するものであり、特に、カラーフィルタパターンをガラス板表面上に設ける液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造に好適なスロット型流体塗布装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ用カラーフィルタを例にして説明を行うと、液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造方法は、現在、シート状のカラーフィルタ基板上の中央部にカラーフィルタ用フォトレジストを滴下した後、高速で回転させて均一な塗布膜を設け、露光・現像を行ってカラーフィルタパターンを形成するといったフォトリソグラフィ法が広く用いられている。
このフォトリソグラフィの工程を繰り返すことによって、例えば、赤緑青３色とブラックマトリクスの計４色のカラーフィルタが製造される。
【０００３】
このフォトリソグラフィ法において、シート状のカラーフィルタ基板上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布する別な方法として、上記のようにカラーフィルタ用フォトレジストをシート状のカラーフィルタ基板上の中央部に滴下する代わりに、先ずスロット型塗布ヘッドによりカラーフィルタ基板上の全面に平面状に厚く塗布し、次に高速で回転させることによって均一な塗布膜を形成する方式もある。
【０００４】
この後者の方法は、前者の方法よりカラーフィルタ用フォトレジストの消費量は少ないものの、上記いずれの方法も余分に投与したカラーフィルタ用フォトレジストを遠心力で除去し薄く均一な塗布膜を形成することから、かなりの割合のカラーフィルタ用フォトレジストを捨てることになる。
また、カラーフィルタになるまでに前記工程をカラーフィルタ基板上に繰り返すので、各工程でのロスが累計されることになる。
【０００５】
また、上記スロット型塗布ヘッドを用いた後者の方法によって、シート状のカラーフィルタ基板上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布した際には、その塗布が間欠塗布である為にスロット型塗布ヘッド先端部のカラーフィルタ用フォトレジストの乾燥によって異物、スジムラなどが発生し易く、例えば、数回〜数十回に一度の割でスロット型塗布ヘッド先端部の洗浄が必要である。
【０００６】
一方、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを効率よく製造する、又、別な方法として、スロット型塗布ヘッドで、精密にカラーフィルタ用フォトレジストの膜厚を制御してカラーフィルタ基板面上にカラーフィルタ用フォトレジストを塗布し、パターンを露光し、現像してカラーフィルタパターンを形成し、カラーフィルタを製造する方法が提案されている。
【０００７】
従来の、この種のスロット型塗布ヘッドを用いたスロット型流体塗布装置では、図７に示すように、スロット型塗布ヘッド１０４のリップ部Ｂｓより吐出されたカラーフィルタ用フォトレジストは、リップ部Ｂｓの吐出先端部とカラーフィルタ基板Ｗの塗布すべき面との離間距離（カラーフィルタ基板Ｗの塗布すべき面からのスロット部Ｂｓの吐出先端部までの高さ）を所定値に保持しつつ、リップ部Ｂｓに対してカラーフィルタ基板Ｗを矢印方向に移動させてスロット幅全面に渡り均一にカラーフィルタ用フォトレジストＬを供給して、カラーフィルタ基板Ｗ上に所定値の均一な塗布膜（層）を形成するようにしている。
【０００８】
しかし、スロット型塗布ヘッド１０４は、スリット部１０３を形成している金属面の清掃を均一にするのが難しく、スリット部１０３の金属面での水の接触角のバラツキが生じ、カラーフィルター用レジストのスリット部１０３を流れる速度のムラとなり、スリット部１０３幅全面に渡って均一にカラーフィルタ用レジストを供給することが出来ず、たてスジムラと呼ばれるムラ等が発生する。
【０００９】
また、連続して使用していると、間欠塗布であるためスリット部１０３を形成する金属表面上にカラーフィルタ用フォトレジスト成分が析出し、特に成分が透明であると、清掃が難しく、均一に吐出できなくなり、スリット部１０３の金属面での水の接触角のバラツキが生じ、カラーフィルター用レジストのスリット部１０３からの塗出速度のムラとなり、たてスジムラが生じ易い。
【００１０】
また、従来のスロット型流体塗布装置では、図７、８に示すように、塗り始めには、スロット型塗布ヘッド１０４のリップ部Ｂｓより吐出されたカラーフィルタ用フォトレジストは、カラーフィルタ基板Ｗの相対的な進行方向に対して後方側、及び前方側にビード（ｂｅａｄ）と称されるカラーフィルタ用フォトレジストＬの半玉形状の溜りＭが発生する。
【００１１】
この溜りＭの発生状態のまま、リップ部Ｂｓの吐出先端部を同一高さに保持しつつ、リップ部Ｂｓに対してカラーフィルタ基板Ｗを矢印方向に相対移動させると余分なカラーフィルタ用フォトレジストＬが、カラーフィルタ基板Ｗ上の塗り始め、及び塗り終わり部に厚い塗布膜を形成してしまう。
【００１２】
また、テーブルの加速・減速のスピードに対応して、液の供給量を追従させることが難しく、ムラ或いは膜厚不良が生じていた。
【００１３】
また、スロット型流体塗布装置で塗布したカラーフィルタ基板Ｗ上のフォトレジストは、塗布直後は溶剤を十分含んだ状態であるため、クリーンルームにおいては、ダウンフローの空気の流れの影響で乾燥するとき表面張力に差ができ乾燥ムラと呼ばれるモヤモヤしたようなモヤムラが発生する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、シート状の基板上ヘ塗膜を形成するスロット型流体塗布装置において、スロット型塗布ヘッドのスリット部内面が均一に清掃された内面であり、フォトレジストがテーブルの加速・減速のスピードに対応して供給され、塗り始め、及び塗り終わり部に溜りが発生せず、また、空気の流れの影響で乾燥ムラが発生することのない、すなわち、塗膜にスジムラ、モヤムラ、ビードを発生させることのないスロット型流体塗布装置、特にカラーフィルタ基板用のスロット型流体塗布装置として好適なスロット型流体塗布装置を提供することを課題とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、少なくとも、フォトレジストをスリット部より吐出して塗布するスロット型塗布ヘッドと、所定の速度に加減速制御される水平移動可能なテーブルを具備するスロット型流体塗布装置であって、スロット型塗布ヘッドが、そのスリット部内面を波長１７２ｎｍのエキシマ光で照射洗浄したスロット型塗布ヘッドであることを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００１６】
また、本発明は、少なくとも、所定の吐出量にてフォトレジストを基板の表面に幅方向に亘って吐出して塗布するスロット型塗布ヘッドと、スロット型塗布ヘッドにフォトレジストを供給するモーノポンプと、スロット型塗布ヘッドの下方を所定の速度にて加減速制御される水平移動可能なテーブルを具備するスロット型流体塗布装置であって、モーノポンプには、その上部にモーノポンプ液貯槽が設けられ、モーノポンプ液貯槽は、フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックスに囲われて外気と遮断されていることを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００１７】
また、本発明は、上記発明によるスロット型流体塗布装置において、前記モーノポンプ液貯槽には、液供給パイプ１、ポンプ２を介してフォトレジストをストックする貯留槽が接続されており、モーノポンプ液貯槽内に設けられた高さ変位計１でフォトレジストの液面高さを検知し、モーノポンプ液貯槽内のフォトレジストの液面高さが常に一定になるようにポンプ２を作動させ、液面高さを制御することを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００１８】
また、本発明は、上記発明によるスロット型流体塗布装置において、前記テーブルが水平移動する領域において、塗膜に乾燥ムラを発生させないように、テーブル上に載置された基板表面に上方からダウンフローの微風を供給することを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００１９】
また、本発明は、上記発明によるスロット型流体塗布装置において、前記フォトレジストがカラーフィルタ用フォトレジスト、基板がカラーフィルタ基板であって、カラーフィルタの製造に用いることを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
本発明のスロット型流体塗布装置を、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを例にして以下に詳細に説明する。
図１は、本発明のスロット型流体塗布装置のスロット型塗布ヘッド１０４の洗浄の一例の概要を説明する斜視図である。洗浄のためにスロット型塗布ヘッド１０４を分解、取り外し、そのスリット部内面を上方に向けて洗浄用定盤１０５の上に載置した状態を示したものである。
【００２１】
図２は、洗浄用定盤１０５を図中細矢印方向にスライドさせて、エキシマ光照射ランプハウス１０２の下まで移動させた際の、白太矢印方向からの断面図である。
エキシマ光は、波長１７２ｎｍ、放射発散度５．５ｍＷ／ｃｍ２以上のものが好ましい。エキシマ光照射ランプハウスの石英窓部と、スロット型塗布ヘッド間の間隔を約２ｍｍ以内に保ち、約３０秒間照射することによって、スロット型塗布ヘッドの液の流れるスリット部が洗浄され、スリット部の内面全面が水の接触角で５度以下になる。この状態で、組み立て、取り付けることにより、カラーフィルタ用フォトレジストが均一に吐出されるようになる。
【００２２】
図３は、本発明のスロット型流体塗布装置の一例の概要の説明図である。図３に示すスロット型流体塗布装置は、所定の吐出量にてフォトレジストを基板の表面に幅方向に亘って吐出して塗布するスロット型塗布ヘッド１０４と、スロット型塗布ヘッドにフォトレジストを供給するモーノポンプ２０１と、スロット型塗布ヘッドの下方を所定の速度にて加減速制御される水平移動可能なテーブル３０６などで構成される。
モーノポンプ２０１の上部にモーノポンプ液貯槽２０２が設けられ、モーノポンプ液貯槽は、フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックス２０３に囲われて外気と遮断されている。
【００２３】
図４は、本発明の所定の流量にてカラーフィルタ用フォトレジストを供給するモーノポンプ２０１の概要の側断面図である。モーノポンプ２０１は所定の流量にてカラーフィルタ用フォトレジストを供給するスパイラル状液送部２０８を持つポンプである。
サーボモータ１、２０７は加減速、塗布膜厚などにより変速可能なサーボモータである。モーノポンプ液貯槽２０２には、高さ変位計１、２０５があり、カラーフィルタ用フォトレジスト液面高さを検出して、ポンプ２、３０２を作動させる。ポンプ２、３０２は、カラーフィルタ用フォトレジストが一定量になるように、カラーフィルタ用フォトレジストをストックする貯留槽３０１から液供給パイプ１、３０３を経てカラーフィルタ用フォトレジストをモーノポンプ液貯槽２０２に送る。
モーノポンプ液貯槽２０２に落下ゴミが入らないように落下ゴミ防御円盤２０６が設置してある。そして、カラーフィルタ用フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックス２０３に囲われて外気と遮断されている。
【００２４】
図５は、基板表面にダウンフローの微風を供給するヘパフィルタファンユニット４０１を装備したスロット型流体塗布装置の概要の側断面図である。カラーフィルタ基板Ｗの厚さを測定する高さ変位計２、３０５を備えた基板載置部Ｃから基板排出部Ｄまでのテーブル３０６が水平移動する領域Ｅにおいては、テーブル３０６上のカラーフィルタ基板Ｗの表面には、ヘパフィルタファンユニットにより流速０．１ｍ／ｓｅｃ〜０．７ｍ／ｓｅｃのダウンフローの微風が供給されている。
【００２５】
スロット型塗布ヘッド１０４は定位置に固定されていて、その下部先端部にカラーフィルタ用フォトレジストをカラーフィルタ基板Ｗの表面に向かって吐出するためのリップ部Ｂｓ、すなわち、吐出するカラーフィルタ用フォトレジストをカラーフィルタ基板Ｗの幅方向に線状に塗布するＴダイ状のスリット部１０３の先端を備える。
該スロット型塗布ヘッド１０４は、金属製のヘッド本体と、モーノポンプ２０１より供給されるカラーフィルタ用フォトレジストをろ過するフィルタ３０４と、供給されるカラーフィルタ用フォトレジストをスロット型塗布ヘッド１０４の先端部にあるリップ部Ｂｓより吐出させるためのスリット部１０３を備える。
【００２６】
図５に示すように、カラーフィルタ用フォトレジストは、モーノポンプ２０１にて所定のサーボモータ１、２０７の回転数にてスロット型塗布ヘッド１０４内に供給され、スリット部１０３を経て、リップ部Ｂｓより単位時間当たり一定流量にてカラーフィルタ基板Ｗの幅方向表面に吐出する。
【００２７】
テーブル３０６は、図５に示すように、水平方向に移動可能に設置されていて、該テーブル３０６上にはカラーフィルタ基板Ｗが載置固定される。図５において、基板載置部Ｃの右端のテーブル３０６上には未塗布状態のカラーフィルタ基板Ｗが、また、基板排出部Ｄの左端のテーブル３０６上にはカラーフィルタ用フォトレジスト塗布済みのカラーフィルタ基板Ｗが、それぞれ載置固定されている。
【００２８】
テーブル３０６は、水平方向に移動動作させる移動駆動手段とを備える。移動駆動手段は、駆動源（リニアモーター又はパルスモーター）と、移動方向にガイドするリニアガイド部と、駆動伝達部（ギア、スプロケット、スパイラルシャフト、ラックギア＆ピニオンギアなど）により構成される。
テーブル３０６は、図６に示すように、該テーブル本体の下部に一体的に設けたブラケット２２と、該テーブル本体の水平移動方向に設置したリニアガイド２３を備える。リニアガイド２３は、テーブル下面に摺接してガイドするリニアカイドステーである。
【００２９】
そして、装置本体の両端に設置された軸受支持部２４ａ、２４ａにより軸支されてテーブル３０６の下部の前記ブラケット２２に水平移動方向に螺着するスパイラルシャフト２４と、該スパイラルシャフト２４を駆動回転させるためのサーボモーター２、２５と、該サーボモーター２、２５の回転動作系と連動して設置されるロータリーエンコーダ２５ａ（又はリニアガド２３に平行に設置されるリニアエンコーダ）による移動位置・移動量検出部とにより構成される。
【００３０】
図６に示すように、サーボモーター２、２５で所定回転速度でスパイラルシャフト２４を正転（又は逆転）方向に回転させることにより、該シャフト２４を螺着したブラケット２２は前進（又は後退）移動動作し、該ブラケット２２上に取り付けたテーブル３０６は、リニアガイド２３に沿って水平方向に前進（又は後退）移動し、スロット型塗布ヘッド１０４の下側を所定の離間距離ｈ（離間高さ）を以て所定の速度で水平移動する。
【００３１】
テーブル３０６の水平移動速度は制御部３０７によって制御され、該制御部３０７は、入力部と、中央処理制御部（ＣＰＵ回路：マイクロプロセッサー、プログラマブルコントローラ、シーケンサーなど）と、演算部と、プログラムメモリ、コントロールメモリ、セットアップメモリなど記憶部と、入力データ、制御データ、制御処理データなどをデータ出力する出力部と、出力データを可視表示する表示部（ＣＲＴ、ＬＣＤディスプレイ、プリンターなど）と、外部記憶部（レコーダー）を備えている。
【００３２】
予め既知の塗布条件として、キーボードやマウスなど、あるいはフロッピー（登録商標）ディスクなど記録媒体から入力データをダウンロードするためのディスクドライブなど入力部から、カラーフィルタ基板Ｗの品名、サイズ、厚さ、塗り始めの加速度、塗り終わりの減速度、位置としての座標値（ｘ、ｙ）若しくはテーブル３０６の移動方向のみの位置データを中央処理制御部に設定入力する。
【００３３】
そして、制御部３０７は、その塗布条件に基づいて最適なテーブル３０６の塗布移動速度など動作制御データを演算出力し、その動作制御データに基づいてサーボモーター２、２５の回転速度、回転方向を制御してテーブル３０６の水平移動速度を所定の速度に維持したり、若しくは加速・減速したりの動作をさせるものである。
【００３４】
制御部３０７は、その塗布条件に基づいて最適なモーノポンプ２０１のサーボモータ１、２０７速度など動作制御データを演算出力し、その動作制御データに基づいて、サーボモーター２、２５の回転速度、回転方向を制御するのと同等にしてモーノポンプ２０１の吐出量を所定の量に維持したり、若しくは変速したり、又は吐出・吸引動作をさせるものである。
【００３５】
本発明は、スロット型塗布ヘッドが、その内面を波長１７２ｎｍのエキシマ光で照射洗浄したスロット型塗布ヘッドであることを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
エキシマ光は、波長１７２ｎｍ、放射発散度５．５ｍＷ／ｃｍ２以上のものが好ましい。エキシマ光照射ランプハウスの石英窓部と、スロット型塗布ヘッド間の間隔を約２ｍｍ以内に保ち、約３０秒間照射することによって、スリット部１０３全面が水の接触角で５度以下になり、カラーフィルター用フォトレジストの流れが一定になり、スリット部１０３幅全面から均一に塗出されるようになり、縦スジムラのない均一膜厚の塗布が可能になる。
これは、波長１７２ｎｍのエキシマ光によって有機物を強力に分解する結果である。また、精密に作られたスロット型塗布ヘッド１０４に対しても、エキシマ光は、熱等の影響を与えず、その精度は保たれる。
【００３６】
また、カラーフィルタ用フォトレジストは、光硬化レジストであるため、従来、ポンプのシール部等にしみ込むと、硬化してしまいポンプが回転しなくなってしまったが、モーノポンプは、ポンプのシール部をなくした、図４に示すようスパイラル状液送部２０８で液を送り出すポンプなどで、フォトレジストの光硬化による支障はない。
【００３７】
本発明においては、シール部をなくしたポンプの液から溶剤が蒸発することを防ぐように、モーノポンプ液貯槽２０２は、カラーフィルタ用フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックス２０３で囲み外気と遮断したことである。カラーフィルタ用フォトレジストから溶剤成分の蒸発をおさえることができるとともに、ゴミの混入も防げるものである。
【００３８】
水平移動可能なテーブル３０６の移動速度及び塗布条件によって、モノーポンプ２０１のサーボモータ１、２０７を制御可能であるが、スロット型塗布ヘッド１０４と一体化して上下するため、モーノポンプ液貯槽２０２はできるだけ軽くする必要がある。本発明は、モーノポンプ液貯槽２０２には、カラ−フィルタ用フォトレジストをストックする貯留槽３０１からカラーフィルタ用フォトレジストをポンプアップするポンプ２、３０２により、モーノポンプ貯槽２０２に常にカラーフィルタ用フォトレジストが一定量になるよう制御するようにしたことである。
【００３９】
モーノポンプ液貯槽２０２に常にカラーフィルタ用フォトレジストを一定にすることにより、モーノポンプ２０１からの液送量が安定するとともに、連続したカラーフィルターの製造の大量生産を可能とするものである。
【００４０】
一方、カラーフィルタ基板Ｗの塗布すべき表面に塗布条件としてのカラーフィルタ基板Ｗ上での位置が、カラーフィルタ基板Ｗ上での座標値（ｘ、ｙ）若しくはテーブル３０６の移動方向での位置データとして、予め制御部３０７の入力部から中央処理制御部に設定入力されている。
そして、制御部３０７は、その塗布条件による動作制御データに基づいて、サーボモーター２、２５の回転速度を制御する。サーボモーター２、２５の回転速度を上昇制御して所定速度に維持するとともに、カラーフィルタ基板Ｗの幅方向表面の存在する領域が、前記スロット型塗布ヘッド１０４の下側を通過する間のタイミングを計測演算して、そのタイミングに基づいて、サーボモーター２、２５の回転速度を制御してテーブル３０６を減速制御するものである。
【００４１】
また、従来のスロット型流体塗布装置では、図７、８に示すように、塗り始めには、スロット型塗布ヘッド１０４のリップ部Ｂｓより吐出されたカラーフィルタ用フォトレジストは、カラーフィルタ基板Ｗの相対的な進行方向に対して後方側及び前方側に、ビード（ｂｅａｄ）と称されるカラーフィルタ用フォトレジストの半玉形状の溜りＭが発生する。この溜りＭを制御部により、モーノポンプ２０１のサーボモータ１、２０７を制御して吸引させる。同様に、塗り終わり部も制御部により、モーノポンプ２０１のサーボモータ１、２０７を制御して吸引させ厚い塗布膜を形成しないようにする。
【００４２】
カラーフィルタ用フォトレジストを塗布する際に、第１色目に続く、第２色目、第３色目、第４色目カラーフィルタ基板Ｗの表面に対する塗布におけるモーノポンプ２０１のサーボモータ１、２０７の回転数は、予め入力設定された値に基づいて制御部にて演算処理され、その演算結果に基づいてテーブルの速度に連動してカラーフィルタ用フォトレジストを吐出するようにしてある。所定厚さの塗布膜としてのカラーフィルタ用フォトレジストが塗布される。
【００４３】
また、本発明は、図５に示すように、ヘパフィルタファンユニット４０１を装置上に設置し、ヘパフィルタファンユニット４０１により流速０．１ｍ／ｓｅｃ〜０．７ｍ／ｓｅｃのダウンフローの微風が存在する領域を設けることにより、塗布したカラ−フィルタ用フォトレジストの溶剤分を多量に含んだ状態であっても、表面張力の差が大きくならずムラを発生させないで乾燥できる。
【００４４】
本発明のスロット型流体塗布装置は、基板の表面にフォトレジストを平滑な状態で、均一に所定の膜厚で塗布するのに適したスロット型流体塗布装置であり、特に、膜厚を精度よく形成するのに好適なものといえる。
本発明は、また、フォトレジストがカラーフィルタ用フォトレジスト、基板がカラーフィルタ基板であって、カラーフィルタの製造に用いることを特徴とするスロット型流体塗布装置である。
【００４５】
一般に、フォトファブリケーションで用いるフォトレジストは、フォトレジストでパターンを形成し、例えば、エッチングなどの耐酸パターンとして利用した後は、パターンを剥離除去してしまうものである。しかし、液晶ディスプレイ用カラーフィルタを製造する際のカラーフィルタ用フォトレジストにおいては、形成したパターンは剥離除去せずに、パターンそのものがカラーフィルタを構成するものとなる。
従って、膜厚の精度がカラーフィルタの性能を規制するものとなる。すなわち、本発明のスロット型流体塗布装置はカラーフィルタの製造用として特に好適なものである。
【００４６】
【発明の効果】
本発明のスロット型流体塗布装置は、その内面を波長１７２ｎｍのエキシマ光で照射洗浄したスロット型塗布ヘッドを具備するので、スロット型塗布ヘッドの内面は均一に清掃された内面であり、従って塗膜にスジムラを発生させることはない。
【００４７】
また、本発明のスロット型流体塗布装置は、スロット型塗布ヘッドにフォトレジストを供給するモーノポンプを具備し、モーノポンプには、その上部にモーノポンプ液貯槽が設けられ、モーノポンプ液貯槽は、フォトレジストの溶剤分の揮発を少なくするために外気遮断ボックスに囲われて外気と遮断されており、また、モーノポンプ液貯槽内のフォトレジストの液面高さが常に一定になるように液面高さを制御するので、塗膜にスジムラ、ビードを発生させることはない。
【００４８】
また、本発明のスロット型流体塗布装置は、テーブルが水平移動する領域において、テーブル上に載置された基板表面に上方からダウンフローの微風を供給するので、塗膜にモヤムラを発生させることはない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明におけるスロット型塗布ヘッドの洗浄の一例の概要を説明する斜視図である。
【図２】図１における白太矢印方向からの断面図である。
【図３】本発明のスロット型流体塗布装置の一例の概要の説明図である。
【図４】本発明におけるモーノポンプの概要の側断面図である。
【図５】ダウンフローの微風を供給するヘパフィルタファンユニットを装備したスロット型流体塗布装置の概要の側断面図である。
【図６】本発明のスロット型流体塗布装置の一例の動作を説明する側断面図である。
【図７】従来のスロット型流体塗布装置による塗布始め状態を説明する側断面図である。
【図８】従来のスロット型流体塗布装置による塗布終わり状態を説明する側断面図である。
【符号の説明】
２２・・・ブラケット
２３・・・リニアガイド
２４・・・スパイラルシャフト
２４ａ・・・軸受支持部
２５・・・サーボモータ２
２５ａ・・・ロータリーエンコーダー
１０１・・・エキシマ光照射ランプ
１０２・・・エキシマ光照射ランプハウス
１０３・・・スリット部
１０４・・・スロット型塗布ヘッド
１０５・・・洗浄用定盤
１０６・・・スライドレール
２０１・・・モーノポンプ
２０２・・・モーノポンプ液貯槽
２０３・・・外気遮断ボックス
２０４・・・液供給パイプ２
２０５・・・高さ変位計１
２０６・・・落下ゴミ防御円盤
２０７・・・サーボモータ１
２０８・・・スパイラル状液送部
３０１・・・貯留槽
３０２・・・ポンプ２
３０３・・・液供給パイプ１
３０４・・・フィルタ
３０５・・・高さ変位計２
３０６・・・テーブル
３０７・・・制御部
４０１・・・ヘパフィルタファンユニット
ｈ・・・スロット型塗布ヘッドとカラーフィルタ基板との離間距離
Ｂｓ・・・リップ部
Ｃ・・・基板載置部
Ｄ・・・基板排出部
Ｌ・・・カラーフィルタ用フォトレジスト
Ｍ・・・溜り
Ｗ・・・カラーフィルタ基板
【図１】
2004008915.tif 000003
【図２】
2004008915.tif 000004
【図３】
2004008915.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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