【手続補正書】
【提出日】平成15年10月2日(2003.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材と、を少なくとも有し、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位され、液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、
導電性材料からなる導電体層が最上層に形成された前記基板上に前記間隙を形成するためのスペーサ層を形成する工程と、
前記スペーサ層の上に、導電性材料からなる潜像層を前記可動部材と略同じ形状に形成する工程と、
前記スペーサ層のうち前記可動部材の支持固定部に対応する部分を除去し、前記導電体層が露出された開口部を前記潜像層よりも前記液流路における流路方向の上流側に形成する工程と、
前記導電体層を陰極として電気メッキを行うことによりメッキが前記潜像層に達するまで前記開口部内の前記導電体層上にメッキを析出させて前記導電体層と前記潜像層とを導通させ、さらに電気メッキを行うことにより前記導電体層および前記潜像層の上にメッキを析出させて前記可動部材となるメッキ層を形成する工程と、
前記スペーサ層を除去することにより前記可動部材を形成する工程とを有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記スペーサ層の上に、導電性材料からなる潜像層を前記可動部材と略同じ形状に形成する工程は、前記潜像層を前記液流路の流路方向に沿ってある一定の間隔を隔てて形成する工程からなる請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記スペーサ層のうち前記可動部材の支持固定部に対応する部分を除去し、前記導電体層が露出された開口部を前記潜像層よりも前記液流路における流路方向の上流側に形成する工程は、少なくとも前記スペーサ層のうち前記可動部材の支持固定部に対応する部分を残して前記スペーサ層の上にエッチングマスクを形成する工程と、
エッチングにより前記スペーサ層のうち前記可動部材の支持固定部に対応する部分を除去する工程とを有し、前記潜像層を前記エッチングマスクの一部として用いる請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記導電体層および前記潜像層の上に、前記可動部材となるメッキ層を前記導電体層を陰極として電気メッキにより析出して形成する工程は、前記開口部に前記メッキ層を成長させることにより、前記可動部材の支持固定部を形成する工程と、
前記メッキ層をさらに成長させることにより前記導電体層と前記潜像層とを導通させ、前記導電体層および前記潜像層の上に前記可動部材となるメッキ層を形成する工程とを有する請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記スペーサ層の材料として高分子樹脂を用いる請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記スペーサ層を除去する工程は、酸素プラズマにより前記スペーサ層を除去する工程からなる請求項１から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記基板の前記発熱体に対面する位置に、前記基板との間に間隙をおいて、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材と、を少なくとも有し、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位され、液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記可動部材が請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法により製造されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する液体容器とを有するヘッドカートリッジ。
【請求項９】
請求項７に記載の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段とを有する液体吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記基板の前記発熱体に対面する位置に前記基板との間に間隙をおいて前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材と、を少なくとも有し、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位され、液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドの製造方法であって、導電性材料からなる導電体層が最上層に形成された前記基板上に前記間隙を形成するためのスペーサ層を形成する工程と、前記スペーサ層の上に、導電性材料からなる潜像層を前記可動部材と略同じ形状に形成する工程と、前記スペーサ層のうち前記可動部材の支持固定部に対応する部分を除去し、前記導電体層が露出された開口部を前記潜像層よりも前記液流路における流路方向の上流側に形成する工程と、前記導電体層を陰極として電気メッキを行うことによりメッキが前記潜像層に達するまで前記開口部内の前記導電体層上にメッキを析出させて前記導電体層と前記潜像層とを導通させ、さらに電気メッキを行うことにより前記導電体層および前記潜像層の上にメッキを析出させて前記可動部材となるメッキ層を形成する工程と、前記スペーサ層を除去することにより前記可動部材を形成する工程とを有することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
これにより、可動部材となるメッキ層の長さや幅の寸法が可動部材の形状に形成された潜像層の寸法によって決定されるため、可動部材が高い精度で、かつ高密度に形成され、液体を吐出する際の吐出特性が安定した、信頼性の高い液体吐出ヘッドが製造される。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
さらに、前記導電体層および前記潜像層の上に、前記可動部材となるメッキ層を前記導電体層を陰極として電気メッキにより析出して形成する工程は、前記開口部に前記メッキ層を成長させることにより、前記可動部材の支持固定部を形成する工程と、前記メッキ層をさらに成長させることにより前記導電体層と前記潜像層とを導通させ、前記導電体層および前記潜像層の上に前記可動部材となるメッキ層を形成する工程とを有する構成とすることが好ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための吐出口と、前記吐出口に連通された液流路と、該液流路に充填された液体に気泡を発生させるための発熱体が備えられた基板と、前記基板の前記発熱体に対面する位置に、前記基板との間に間隙をおいて、前記吐出口側を自由端として前記基板に支持固定された可動部材と、を少なくとも有し、前記気泡が発生されることにより生じる圧力によって、前記可動部材の自由端が前記可動部材の前記基板との支持固定部付近に構成された支点部を中心として前記吐出口側に変位され、液体を前記吐出口から吐出させる液体吐出ヘッドであって、前記可動部材が上記本発明の液体吐出ヘッドの製造方法により製造されることを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
これにより、可動部材となるメッキ層の長さや幅の寸法が可動部材の形状に形成された潜像層の寸法によって決定されるため、可動部材が高い精度でかつ高密度に形成されるので、液体吐出ヘッドの液体吐出特性が安定され、信頼性が向上される。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、スペーサ層の上に導電性材料からなる潜像層が可動部材の形状に形成され、その潜像層の上に、可動部材となるメッキ層が電気メッキによって析出されて形成されるので、可動部材を高い精度でかつ高密度に形成することができ、液体を吐出する際の吐出特性が安定した、信頼性の高い液体吐出ヘッド等を製造することができる。