(57)【要約】  【課題】ストリップ型部品の搬送用ベルトの問題点であった作動中のフィンガーの離脱や、部品の把持過程中の押されるか滑る現象を無くし、製造コストを著しく節減させ、ローディング／アンローディングのための周辺技術構成を単純化させ、ストリップ型部品のローーディング、給送、およびアンローディングが自動にできる搬送分野で広く使用できるものを提供することにある。【解決手段】ベルト本体２０に多数のフィンガー３０を一定ピッチごとに結合し、ベルト本体２０は、フィンガー３０の取付部３２と弾性ヒンジ部３４を結合するための取付孔２２と、フィンガー３０の折曲把持部３８が移動自在に嵌められるように取付孔２２の一側に形成される開孔２４とを備え、フィンガー３０は、取付孔２２に取付部３２と弾性ヒンジ部３４が一体に結合形成され、開孔２４に嵌められる折曲把持部３８と弾性ヒンジ部３４は方向転換部３６によって一体に連結される構成にした。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体やその他製品を大量生産するとき、メッキやデフラッシュ(deflash)工程および各種処理工程を含む自動化されたインライン工程においてストリップ型部品を搬送させる上で使用されるベルトにおいて、
ベルト本体に、別途製作された多数のフィンガーを一定ピッチごとに結合してなるものであって、
前記ベルト本体は、前記フィンガーの取付部と弾性ヒンジ部を結合するための取付孔と、前記フィンガーの折曲把持部が移動自在に嵌められるように前記取付孔の一側に形成される開孔とを備えてなり、
前記フィンガーは、前記取付孔に前記取付部と前記弾性ヒンジ部が一体に結合形成され、前記開孔に嵌められる折曲把持部と前記弾性ヒンジ部は方向転換部によって一体に連結されることを特徴とするストリップ型部品の搬送用ベルト。
【請求項２】
前記フィンガーは、前記取付部を中心にお互い連結された１対で構成された構造であって、それぞれ１対の弾性ヒンジ部、方向転換部、および折曲把持部が相対向するように構成されてなることを特徴とする請求項１に記載のストリップ型部品の搬送用ベルト。
【請求項３】
前記フィンガーは、前記取付部を別途装着し、前記弾性ヒンジ部、前記方向転換部、および前記折曲把持部をお互い一体に連結構成して単一構造の構成とすることを特徴とする請求項１に記載のストリップ型部品の搬送用ベルト。
【請求項４】
前記フィンガーの弾性ヒンジ部がコイルバネの形態からなり、前記取付部と結合されてそれらの間に結合部を鋭角に形成し、前記弾性ヒンジ部の直径が、前記ベルト本体の取付孔の上下方向の高さより大きく形成されて前記弾性ヒンジ部の一側だけが前記取付孔を経由した状態に結合されて支持されるように構成されることを特徴とする請求項１に記載のストリップ型部品の搬送用ベルト。
【請求項５】
前記フィンガーの方向転換部は、コイルバネの形態に構成されることを特徴とする請求項１に記載のストリップ型部品の搬送用ベルト。
【請求項６】
前記フィンガーの方向転換部は、単純な折曲形態に構成されることを特徴とする請求項１に記載のストリップ型部品の搬送用ベルト。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ストリップ型部品の搬送用ベルトに関し、特に、半導体やその他製品を大量生産するとき、メッキやデフラッシュ工程および各種処理工程を含む自動化された大量のインライン工程においてストリップ型部品を搬送させる上で使用されるストリップ型部品の搬送用ベルトに関する。
【背景技術】
【０００２】
米国特許第４,５３４,８４３号に開示された従来の搬送用ベルト１は、図１ないし図３に示すように、本体２とフィンガー３とが一体に構成された構造となっているため、使用中、フィンガー３の一部が破損されたり、自体弾性力の低下から部品４のローディングのための把持力が低下されたりしてそれ以上使用不可能な状態になる場合、欠陥のあるフィンガー３部位だけを交替することはできず、必ず搬送用ベルト１全体を新しい物に取り替えなければならなかった。そのため、メンテナンスが非効率的となる他、使用寿命が短くなりすぎ、不経済的な欠点があった。
【０００３】
また、前記搬送用ベルト１は、部品４のローディング／アンローディングに際し、フィンガー３をその両側から相対向する水平加圧方向(Ｘ，Ｙ)に同時に加圧してフィンガー３、３間に空間を確保した状態で、ローディング／アンローディング動作に応じて部品４を矢印方向Ｚに沿ってそれぞれ上昇／下降させなければならないが、このような動作は、関連した周辺装備の構造を複雑にし、全体装備の肥大化と価格上昇をもたらす不経済的な問題から、最近は殆ど使用していない実情である。
【０００４】
一方、米国特許第５,０２４,７４５号に開示された他の従来の搬送用ベルト１は、図４および図５に示すように、本体２と複数のフィンガー３をそれぞれ別途製作した後、本体２にフィンガー３をそれぞれ取り付けた構造である。このため、ストリップ型部品４をローディング／アンローディングする場合、各フィンガー３の下部を加圧方向Ｃに沿って上方に加圧しなければならない構造的な弱点から、フィンガー３の上部に位置した本体２との取付部位５でフィンガー３がベルト本体２から離脱するといった不安定な誤作動が発生してしまう。
【０００５】
しかも、部品４のローディング／アンローディングに際し、フィンガー３の加圧方向が、ベルト本体２と直角をなす水平方向になると、関連したローデング／アンローデング装置の構成をより簡単にし、装置全体の構成を小型化できるにもかかわらず、このような工夫がなされていないため、関連装置の複雑化、全体装備の肥大化、装備価格の上昇、故障多発、およびメンテナンスの不具合といった様々な問題を抱えていた。
【０００６】
特に、本体２とフィンガー３とが結合される技術的な構成上、フィンガー３の先端に位置する把持部６は、フィンガー３の中心部に位置するヒンジ部７に対して上・下方に動き、この把持部６の動きのための一定範囲以上の空間を確保する必要があるが、ヒンジ部７から把持部６までの距離が相対的に短いため、加圧方向Ｃへの加圧距離が長くなる場合に限って部品４のローディングに好適な余裕空間の確保が可能になる。しかも、部品４のローディングに際し、把持部６がいったん相互離れてから近づいた後、元の位置に復帰するために下方に動く時、部品４が把持部６とともに移動して下方に押されたり滑ったりして部品４が正確にローディングされないか、或いは、ローディングされたとしても不完全なローディング状態によって部品４の搬送中にベルト１から離脱される深刻な誤動作が頻繁に生じてきた。
【０００７】
さらに他の従来の搬送用ベルト１では、図６および図７に示すように、フィンガー３を、薄板材を塑性プレス加工して作った支持部８と線材を折り曲げて作った弾性支持部９をそれぞれ別途製作した後、それらを相互結合して構成する。そのため、構造の複雑化、生産性の低下、コスト高による価格上昇といった不経済的な問題点を抱えていることは勿論、図４および図５の例で既に言及したようなローディング過程や搬送過程中に発生している根源的な誤動作問題を解消していないという問題もあった。
【０００８】
【特許文献１】米国特許第４,５３４,８４３号
【特許文献２】米国特許第５,０２４,７４５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
したがって、本発明は、上記の従来問題点を解消するために案出されたものであり、その目的は、ベルト本体とフィンガーの結合方式やその構造を改善することによって、ストリップ型部品のローディング／アンローディングのためのフィンガーの加圧作動時にフィンガーがベルト本体から分離される現象を確実に防止し、部品のローディング時に部品がフィンガーによって滑ったり押されたりする現象をより確実に防止することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、フィンガーとベルト部材間の加圧作動または加圧解除作動のためにフィンガーの先端の折曲把持部の位置移動がなされるようにする弾性力の発生と前記位置移動の中心の役割を行い、フィンガーとベルト本体の離脱を防止するための役割を、構造的に一側に集中させ、フィンガーは線材を利用した一体型に構成することによって、フィンガーの製造が容易で、製造コストをより節減し、且つ、ベルト本体やフィンガーの使用寿命を大きく延長し、メンテナンスをより有利にすることにある。
【００１１】
本発明のさらに他の目的は、ストリップ型部品のローディングまたはアンローディング時にフィンガーの一側で好ましくも水平方向に加圧がなされるようにすることは勿論、必要に応じて、フィンガーの前記加圧方向を、水平および上方への同時加圧方向にしたり、あるいは、従来のように上方に傾斜させた加圧方向にするなど、その加圧方向を選択する場合においてもローディングまたはアンローディング動作が可能となるようにするため、ローディングやアンローディングのための周辺装置がより簡単になり、装備の製造コストを節減することは勿論、既存ローディングまたはアンローディング装置も使用可能となり、その活用範囲を広くすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、半導体やその他製品を大量生産するとき、メッキやデフラッシュ工程および各種処理工程を含む自動化されたインライン工程においてストリップ型部品を搬送させる上で使用されるベルトにおいて、ベルト本体に、別途製作された多数のフィンガーを一定ピッチごとに結合してなるものの、前記ベルト本体は、前記フィンガーの取付部と弾性ヒンジ部を結合するための取付孔と、 前記フィンガーの折曲把持部が移動自在に嵌められるように前記取付孔の一側に形成される開孔とを備えてなり、前記フィンガーでは、前記取付孔に前記取付部と前記弾性ヒンジ部が一体に結合形成され、前記開孔に嵌められる折曲把持部と前記弾性ヒンジ部は方向転換部によって一体に連結されることを特徴とするストリップ型部品の搬送用ベルトを提供する。
【００１３】
また、前記フィンガーは、前記取付部を中心にそれぞれ１対の弾性ヒンジ部、方向転換部、および折曲把持部が相対向するように１対で構成された構造にするか、或いは、単一の弾性ヒンジ部、方向転換部、および折曲把持部がお互い一体に連結された構造にするといい。
【００１４】
また、前記フィンガーの弾性ヒンジ部がコイルバネの形態からなり、前記取付部と結合されてそれらの間に結合部を鋭角に形成してベルト本体との結合を堅固にし、前記弾性ヒンジ部の直径が、前記ベルト本体の取付孔の上下方向の高さより大きく形成されると好ましい。
【００１５】
好ましくは、前記フィンガーの方向転換部は、コイルバネの形態に構成されるか、或いは、単純な折曲形態に構成される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ベルト本体とフィンガーの結合方式やその構造を改善することによって、ストリップ型部品のローディング／アンローディングのためのフィンガーの加圧作動時にフィンガーがベルト本体から分離される現象を確実に防止し、ストリップ型部品のローディング時にその部品がフィンガーによって滑ったり押されたりする現象をより確実に防止することができる。
【００１７】
また、本発明は、フィンガーとベルト部材間の加圧作動または加圧解除作動のためにフィンガーの先端の折曲把持部の位置移動がなされるようにする弾性力の発生と前記位置移動の中心の役割を行い、フィンガーとベルト本体の離脱を防止するための役割を、構造的にベルト本体の取付孔と取付部、結合部および弾性ヒンジ部を含むフィンガーが結合される一側に集中させ、フィンガーは線材を利用した一体型に構成することによって、フィンガーの製造が容易で、製造コストをより節減し、且つ、ベルト本体やフィンガーの使用寿命を大きく延長し、メンテナンス面でもより好ましい効果が得られる。
【００１８】
また、本発明は、部品のローディングまたはアンローディング時にフィンガーの一側で好ましくも水平方向に加圧がなされるため、ローディングやアンローディングのための周辺装置がより簡単になり、装備の製造コストを節減することができる。また、場合によっては、フィンガーの前記加圧方向を、水平および上方への同時加圧方向にしたり、あるいは、従来のように上方に傾斜させた加圧方向にするなど、その加圧方向を選択する場合においてもローディングまたはアンローディング動作が可能になるため、既存ローディングまたはアンローディング装置も使用可能となり、その活用範囲が広くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しつつ本発明をさらな詳細に説明する。
図８ないし図１４に示す各種実施例によるベルト１０は、共通的に、ベルト本体２０に、別途製作された多数のフィンガー３０を一定ピッチごとに結合してなるものの、前記ベルト本体２０、フィンガー３０の折曲把持部３８が移動自在に嵌められるように前記取付孔２２の一側に形成される開孔２４とを備えてなり、前記フィンガー３０では、前記取付孔２２に取付部３２と弾性ヒンジ部３４が一体に結合形成され、前記開孔２４に嵌められる折曲把持部３８と前記弾性ヒンジ部３４は方向転換部３６によって一体に連結される。
【００２０】
また、前記フィンガー３０は、取付部３２を中心にお互い連結された１対で構成されてもよく、そのため、図８ないし図１３に示したように、弾性ヒンジ部３４、３４、方向転換部３６、３６、および折曲把持部３８、３８が相対向するようにそれぞれ構成されるといい。一方、図１４に示すように、取付部３２を別途装着し、弾性ヒンジ部３４、方向転換部３６、および折曲把持部３８をお互い一体に連結構成することによって、単一構造の形態としてもいい。
【００２１】
また、前記フィンガー３０の弾性ヒンジ部３４がコイルバネの形態からなり、前記取付部３２と結合されてそれらの間に結合部３３を形成する。ここで、該結合部３３は、鋭角に形成されてベルト本体２０とフィンガー３０の結合を堅固にする。また、弾性ヒンジ部３４の直径が、前記ベルト本体２０の取付孔２２の上下方向の高さより大きく形成されて、前記弾性ヒンジ部３４の一側だけが取付孔２２を経由した状態に結合されて支持される構成となっている。
【００２２】
また、前記フィンガー３０の方向転換部３６は、図８ないし図１１に示すように、コイルバネの形態に構成してもよく、図１２ないし図１４に示すように、単純な折曲形態に構成してもいい。未説明符号４０はフィンガー３０の弾性ヒンジ部３４の中心を示す。
【００２３】
次に上記のように構成された本発明の動作を説明する。
まず、ベルト本体２０に予め形成した取付孔２２の上部にはフィンガー３０の取付部３２を結合するものの、取付部３２と弾性ヒンジ部３４との間に位置する結合部３３が取付孔２２に係合された状態に保持され、弾性ヒンジ部３４の一部が取付孔２２の両内側に嵌められた状態を保持するようにし、また、開孔２４には折曲把持部３８を嵌合することで前記ベルト本体２０とフィンガー３０を結合しベルト１０を完成する。このとき、フィンガー３０は、結合部３３を含む取付部３２、弾性ヒンジ部３４、およびベルト本体２０の取付孔２２の相関関係によってベルト本体３３に支持され、折曲把持部３８は弾性ヒンジ部３４に対して弾性変位作動可能に構成されている。
【００２４】
また、ストリップ型部品４のローディング過程において、フィンガー３０の加圧方向は、図９および図１２のように水平方向にしてもよく、図１０のように上方および水平方向への同時加圧方向にしてもよく、或いは、図１１のように上方に傾斜させた加圧方向にしてもいいが、好ましくは、図９および図１２に示すように水平方向に加圧が行われてベルト本体２０と折曲把持部３８との間に十分なローディング空間が確保されるようにし、ローディング動作を準備する。
【００２５】
この状態で、ローディングしたい部品４を前記ローディング空間に位置させ、前述したフィンガー３０の加圧動作を解除して折曲把持部３８を元位置に復帰させると、部品４がベルト本体２０と折曲把持部３８との間に把持されたローディング状態を保持することになる。
【００２６】
フィンガー３０を再び加圧して折曲把持部３８をベルト本体２０から離隔させる過程で、フィンガー３０の折曲把持部３８は、弾性ヒンジ部３４の中心４０を中心に弾性ヒンジ部３４から伝達される弾性力によって角度変位がなされる。このとき、前記中心４０から折曲把持部３８に到る距離が相対的に遠くなるため、フィンガー３０の加圧距離が相対的に短くなってもベルト本体２０から折曲把持部３８は比較的遠く動き、その結果、部品４のローディングのための空間の確保がより容易になる。また、フィンガー３０の加圧状態解除による折曲把持部３８の元位置への復帰動作においても、部品４の強制的な下方への移動が生じないため、より確実な部品のローディングがなされる。
【００２７】
勿論、ストリップ型部品４のアンローディングは、前述したローディング過程と逆順にしたがって行われる。つまり、ストリップ型部品４のアンローディング時には、フィンガー３０の加圧作動による折曲把持部３８の前進動作、部品４のアンローディング動作、そしてフィンガー３０の加圧作動解除による折曲把持部３８の元位置への復帰動作が順次的に行われるが、その具体的な説明は省略するものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】従来の一例によるストリップ型部品の搬送用ベルトにおいて、ストリップ型部品のローディングまたはアンローディングが行われなかった初期状態を示す図である。
【図２】図１のベルトにおいて、前記部品のローディング直前またはアンローディング直後の状態を示す図である。
【図３】図１のベルトにおいて、前記部品のローディング状態を示す側面図である。
【図４】従来の他の例によるストリップ型部品の搬送用ベルトの一部切欠正面図である。
【図５】図４の一部切欠側面図である。
【図６】従来のさらに他の例によるストリップ型部品の搬送用ベルトの一部切欠斜視図である。
【図７】図６の一部切欠側面図である。
【図８】本発明の好ましい一例による搬送用ベルトの一部切欠斜視図である。
【図９】図８の搬送用ベルトの作動状態を示す一部切欠側面図である。
【図１０】図９の搬送用ベルトの他の作動状態を示す図である。
【図１１】図９の搬送用ベルトのさらに他の作動状態を示す図である。
【図１２】図９の搬送用ベルトの変形例における作動状態図である。
【図１３】図１２の一部切欠斜視図。
【図１４】本発明の他の好ましい一例による搬送用ベルトを示す一部切欠斜視図である。
【符号の説明】
【００２９】
１０：ベルト
２０：ベルト本体
２２：取付孔
２４：開孔
３０：フィンガー
３２：取付部
３４：弾性ヒンジ部
３６：方向転換部
３８：折曲把持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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