【手続補正書】
【提出日】平成24年6月27日(2012.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属含有フィルム、三次元の物品又は物体を形成する方法であって、下記の順の工程：
ａ．感光性の金属含有組成物を基材に塗布する工程、ここで、感光性の金属含有組成物は、
i．少なくとも２つの反応性官能基を含有する金属含有前駆体ユニット（MU）、及び
ii．光開始剤又は感光性触媒
を含んでなり、前記MUは、構造式（I）：
MAwBxCy
(ここで、Ｍは、形式原子価０−７をもつ金属であり、Zr、Hf、Ge、Ti、Pb、Gd、Sn、Zn、Ni、Ce、Nb、Eu、In、Al、Fe、Mn、Nd、Cu、Sb、Mg、Ga、Se、Cd、Ta、Co、Cr、Pt、Au、W、V、Tl、Te、Sr、Sm、La、Er、Pd、In、Ca、Ba、As及びYから選ばれ；リガンドＡは、結合反応を受けることができる反応性官能基を含有し；ｗは２〜7であり；リガンドＢ及びＣは、個々に又は組み合わせて、酸素、窒素、イオウ、又はハロゲン原子；直鎖状、分枝状又は環状のアルキル、アルケニル又はアルキニル基；置換又は未置換のアリール基；及び-XR1（ここで、Ｘは、オキシ、チオ、カルボキシ、チオカルボキシ、スルホ、オキサレート、アセトアセトネート、カルバニオン、カルボニル、チオカルボニル、シアノ、ニトロ、ニトリト、ニトレート、ニトロシル、アジド、シアナト、イソシアナト、チオシアナト、イソチオシアナト、アミド、アミン、ジアミン、アルシン、ジアルシン、ホスフィン、及びジホスフィンのような有機官能基であり；及びR1は、直鎖状、分枝状又は環状のアルキル又はチオアルキル基、複素環基、脂環式基、又は置換又は未置換のアリール又はヘテロアリール基である）から選ばれ；及びｘ及びｙは０−５である)で表されるものであり、
ｂ．感光性の金属含有組成物を４０−200℃の温度で乾燥する工程、
ｃ．感光性の金属含有組成物を化学線源にて露光することによって結合反応を行う工程、及び
ｄ．工程ｃ．の後、金属含有組成物について、熱、高エネルギーイオンビーム源、化学及びプラズマから選択される後処理を行って、金属含有組成物の化学組成を変性する工程
を含んでなる、金属含有フィルム、三次元の物品又は物体の形成法。
【請求項２】
工程ｃ．において、感光性の金属含有組成物を、マスク又は型を通して露光し、続いて、組成物の非露光部分を現像液にて現像する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
組成物の非露光部分を溶媒系現像液にて現像する、請求項２記載の方法。
【請求項４】
金属含有前駆体ユニットのリガンドＡが、アクリレート、メタクリレート、スチリル、ビニル、アリル、環状オレフィン、SiH、SH及びエポキシドからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項５】
感光性の金属含有組成物が、さらに、少なくとも２つの反応性官能基を含有するプレポリマーユニットPU及び／又は１つの反応性官能基をもつコモノマーを含んでなり、前記反応性官能基が、アクリレート、メタクリレート、ビニル、アリル、環状オレフィン、SiH、SH及びエポキシドからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項６】
感光性の金属含有組成物が、さらに、溶媒及び／又は添加剤及び／又はナノ粒子を含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項７】
金属含有前駆体ユニット（MU）が、(メタ)アクリル酸ジルコニウム、ジルコニルジ(メタ)アクリレート、ジルコニウムブトキシド(メタ)アクリレート、ジルコニウムカルボキシエチルアクリレート、ジルコニウムビニルアセテート、ジルコニルジ(ビニルアセテート)、ジルコニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ジルコニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ジルコニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ジルコニウム[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ハフニウム、ハフニウムブトキシド(メタ)アクリレート、ハフニウムオキシドジ(メタ)アクリレート、ハフニウムカルボキシエチルアクリレート、ハフニウムビニルアセテート、及びハフニウムオキシドジ(ビニルアセテート)、ハフニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ハフニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ハフニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ハフニウム[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸チタン、チタンブトキシド(メタ)アクリレート、チタンオキシドジ(メタ)アクリレート、チタンカルボキシエチルアクリレート、チタンビニルアセテート、チタンオキシドジ(ビニルアセテート)、チタン３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、チタン２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、チタン６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、チタン[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、ジ-ｎ-ブトキシジメタアクリルオキシゲルマン、テトラカルボキシエチルアクリルオキシゲルマン、テトラビニルアセトキシゲルマン、テトラ(メタ)アクリルオキシゲルマン、３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシゲルマン、２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシトリ(メタ)アクリルオキシゲルマン、６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシトリ(メタ)アクリルオキシゲルマン、(メタ)アクリル酸タンタル、タンタルブトキシド(メタ)アクリレート、タンタルカルボキシエチルアクリレート、タンタルビニルアセテート、タンタル３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、タンタル２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、タンタル６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸アルミニウム、アルミニウムブトキシド(メタ)アクリレート、���ルミニウムカルボキシエチルアクリレート、アルミニウムビニルアセテート、アルミニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、アルミニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、アルミニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ニオブ、ニオブブトキシド(メタ)アクリレート、ニオブカルボキシエチルアクリレート、ニオブビニルアセテート、ニオブ３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ニオブ２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、及びニオブ６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレートからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項８】
金属含有前駆体ユニット（MU）が、ジルコニウムビニルアセテート、ジルコニルジ(ビニルアセテート)、チタンビニルアセテート、チタンオキシドジ(ビニルアセテート)、ハフニウムビニルアセテート、及びハフニウムオキシドジ(ビニルアセテート)からなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなり、及びさらに、少なくとも２つの反応性官能基を含有するプレポリマーユニットPUを含んでなり、前記反応性官能基がSiH及びSHからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項９】
金属含有前駆体ユニットのリガンドＡが、アクリレート、メタクリレート、スチリル、ビニル、アリル、及び環状オレフィンからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなり、及びさらに、少なくとも２つの反応性官能基を含有するプレポリマーユニットPUを含んでなり、前記反応性官能基がSiH及びSHからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
請求項１又は２に記載の方法によって形成されたフィルム、三次元の物品又は物体を含んでなる微小デバイス。
【請求項１１】
請求項１又は２に記載の方法によって形成された金属含有フィルム、三次元の物品又は物体であって、工程ｄ．の後、金属含有フィルム、物品又は物体は、MzEv（ここで、Ｍは、形式原子価０−７をもつ金属であり、Zr、Hf、Ge、Ti、Pb、Gd、Sn、Zn、Ni、Ce、Nb、Eu、In、Al、Fe、Mn、Nd、Cu、Sb、Mg、Ga、Se、Cd、Ta、Co、Cr、Pt、Au、W、V、Tl、Te、Sr、Sm、La、Er、Pd、In、Ca、Ba、As及びYから選ばれ；Eは、個々に又は組み合わせて、酸素、水素、窒素、イオウ、炭素、ケイ素又はフッ素のような元素の群から選ばれ；及びｚは約５−約９５％であり、及びｚ＋ｖは100％である）を含んでなる、金属含有フィルム、三次元の物品又は物体。
【請求項１２】
光の400−900 nmの範囲において１.５−２.２の範囲の屈折率及び光の150−400 nmの範囲において１.５−２.４の範囲の屈折率を有する、請求項１１記載の金属含有フィルム、三次元の物品又は物体。
【請求項１３】
Ｍが、Zr、Hf及びTiからなる群から選ばれる少なくとも１つを含んでなる、請求項１１記載の金属含有フィルム、三次元の物品又は物体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
金属含有前駆体ユニット（MU）の特別な非限定的な例は、(メタ)アクリル酸ジルコニウム、ジルコニルジ(メタ)アクリレート、ジルコニウムブトキシド(メタ)アクリレート、ジルコニウムカルボキシエチルアクリレート、ジルコニウムビニルアセテート、ジルコニルジ(ビニルアセテート)、ジルコニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ジルコニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ジルコニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ジルコニウム[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ハフニウム、ハフニウムブトキシド(メタ)アクリレート、ハフニウムオキシドジ(メタ)アクリレート、ハフニウムカルボキシエチルアクリレート、ハフニウムビニルアセテート、及びハフニウムオキシドジ(ビニルアセテート)、ハフニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ハフニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ハフニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、ハフニウム[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸チタン、チタンブトキシド(メタ)アクリレート、チタンオキシドジ(メタ)アクリレート、チタンカルボキシエチルアクリレート、チタンビニルアセテート、チタンオキシドジ(ビニルアセテート)、チタン３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、チタン２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、チタン６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、チタン[(1S,4R)-７,７-ジメチル-２-オキソビシクロ[２.２.１]ヘプト-１-イル]メタンスルホネート２-ナフタレンチオレート(メタ)アクリレート、ジ-ｎ-ブトキシジメタアクリルオキシゲルマン、テトラカルボキシエチルアクリルオキシゲルマン、テトラビニルアセトキシゲルマン、テトラ(メタ)アクリルオキシゲルマン、３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシゲルマン、２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシトリ(メタ)アクリルオキシゲルマン、６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシトリ(メタ)アクリルオキシゲルマン、(メタ)アクリル酸タンタル、タンタルブトキシド(メタ)アクリレート、タンタルカルボキシエチルアクリレート、タンタルビニルアセテート、タンタル３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、タンタル２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、タンタル６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸アルミニウム、アルミニウムブトキシド(メタ)アクリレート、アルミニウムカルボキシエチルアクリレート、アルミニウムビニルアセテート、アルミニウム３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、アルミニウム２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、アルミニウム６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ニオブ、ニオブブトキシド(メタ)アクリレート、ニオブカルボキシエチルアクリレート、ニオブビニルアセテート、ニオブ３-オキサトリシクロ[３.２.１.０２,４]オクタン-６-カルボキシレート、ニオブ２-ブロモ-５-オキソ-４-オキサトリシクロ[４.２.１.０３,７]ノナン-９-カルボキシレート(メタ)アクリレート、及びにオブ６-(２-ナフチルチオ)ビシクロ[２.２.１]ヘプタン-２-カルボキシレート(メタ)アクリレートがある。