(57)【要約】【課題】複数のテスト工程を含んだテストフローを管理する場合に、やり直しテストのテストフローの作成を簡単化し、また各テスト工程のテスト条件の設定を容易にする。【手段】テスト管理装置において、テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含むデバッグカウントを設定し、このデバッグカウントに対応してテスト条件を選択しながら、やり直しを含むテストフローの各テスト工程を実行させる。また、デバッグカウントのフローカウントまたは工程カウントの中に、特別コードを設定し、同じテスト条件を選択することもできる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテスト工程を含んだテストフローを管理するテスト管理装置であって、前記テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと、前記各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含んだデバッグカウントを設定する手段を有し、このデバッグカウントによってテストのやり直しを含むテストフローの各テスト工程を実行させることを特徴とするテスト管理装置。
【請求項２】
複数のテスト工程を含んだテストフローを管理するテスト管理装置であって、前記テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと、前記各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含んだデバッグカウントを設定する手段と、このデバッグカウントに対応した前記各テスト工程のテスト条件を記憶した記憶手段とを備え、前記記憶手段から、前記フローカウントと工程カウントに対応した各テスト工程のテスト条件を選択して、テストを実行させることを特徴とするテスト管理装置。
【請求項３】
請求項１または２記載のテスト管理装置であって、前記フローカウントの中に、特定の記号または番号による特定コードを設定したことを特徴とするテスト管理装置。
【請求項４】
請求項１または２記載のテスト管理装置であって、前記工程カウントの中に、特定の記号または番号による特定コードを設定したことを特徴とするテスト管理装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のテスト管理装置であって、半導体デバイスに対するテストフローを管理することを特徴とするテスト管理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、複数のテスト工程を含んだテストフローを管理するテスト管理装置に関するもので、とくに、やり直しを含むテストフローの管理を効率的に行うことのできるテスト管理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスのテストフローでは、複数のテスト工程が順番に実施されるが、各テスト工程でやり直しが発生する場合が多く、このやり直しにおいては、改めてテストフローとそのテストフローの各テスト工程に対応したテスト条件の設定が行われる。
【０００３】
図９は従来のテスト管理を説明するためのものであり、（ａ）図はテストフローとその各テスト工程に対応したテスト条件を示す。（ｂ）図はやり直しテストフローとその各テスト工程に対応したテスト条件を示す。
【０００４】
図（ａ）において、登録されたテストフローＴＦ１は、開始ステップから、テスト工程１、テスト工程２、テスト工程３を実行して完了ステップに至る。このように、図（ａ）のテストフローＴＦ１は、互いに異なる３つのテスト工程を含んでいる。各テスト工程１、２、３には、テスト条件を引き当てるための条件引当番号▲１▼▲２▼▲３▼が付加され、この条件引当番号▲１▼▲２▼▲３▼に対応したテスト条件が条件テーブルＴＪ１の各欄１、２、３に設定される。
【０００５】
この図９の図（ａ）のテストフローＴＦ１において、各テスト工程１、２、３のいずれかでテストのやり直しの必要が生じると、図９の図（ｂ）に示すように、改めて、やり直しテストフローＴＦ２が登録される。このやり直しテストフローＴＦ２は、テストのやり直し内容に応じて改めて作成される。また、図（ｂ）のやり直しテストフローＴＦ２は、図（ａ）と同様にテスト工程１、２、３を含んでいるが、例えテスト工程１のテスト条件が図（ａ）のテスト工程１と同じであっても、改めてテスト条件を設定する必要がある。このため、図（ｂ）の各テスト工程１、２、３には、改めて条件引当番号▲４▼▲５▼▲６▼が付加され、そのテスト条件が条件テーブルＴＪ２の各欄４、５、６に設定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のテスト管理では、やり直しが生じれば、その度にやり直しテストフローを作成し、またその各テスト工程におけるテスト条件もその都度設定する必要がある。
この発明は、やり直しに対応して、テストフローの作成を簡単化し、やり直しを含むテストフローの各テスト工程をより効率的に実行させるテスト管理装置を提案するものである。
また、この発明は、やり直しに対応して、テストフローの作成を簡単化し、しかもやり直しの各テスト工程におけるテスト条件を容易に設定できるように改良されたテスト管理装置を提案するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明によるテスト管理装置は、複数のテスト工程を含んだテストフローを管理するテスト管理装置であって、前記テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと、前記各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含んだデバッグカウントを設定する手段を有し、このデバッグカウントによってテストのやり直しを含むテストフローの各テスト工程を実行させることを特徴とする。
【０００８】
また、この発明によるテスト管理装置は、複数のテスト工程を含んだテストフローを管理するテスト管理装置であって、前記テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと、前記各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含んだデバッグカウントを設定する手段と、このデバッグカウントに対応した前記各テスト工程のテスト条件を記憶した記憶手段とを備え、前記記憶手段から、前記フローカウントと工程カウントに対応した各テスト工程のテスト条件を選択して、テストを実行させることを特徴とする。
【０００９】
また、この発明によるテスト管理装置は、好ましくは、前記フローカウントの中に、特定の記号または番号による特定コードを設定したことを特徴とする。
さらに、この発明によるテスト管理装置は、好ましくは、前記工程カウントの中に、特定の記号または番号による特定コードを設定したことを特徴とする。
また、この発明によるテスト管理装置は、好ましくは、半導体デバイスに対するテストフローの管理を行なうことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、この発明によるテスト管理装置の実施の形態１に対応したテストフローと、その各テスト工程のテスト条件テーブルを示す。この実施の形態１は半導体集積回路などの半導体デバイスに対するテストフローを管理するものである。
【００１１】
図１の図（ａ）は、テストフロー図である。このテストフローＴＦは、開始ステップＳＳと完了ステップＳＣの間に、３つの互いに異なるテスト工程１、２、３を実行するステップＳ１、Ｓ２、Ｓ３を含んでいる。テスト工程１、２、３がすべて初期計画通り、実行されると、テスト完了となる。このテストフローＴＦは、テスト管理用コンピュータにプログラムとして記憶され、登録される。
【００１２】
図１の図（ｂ）は、各テスト工程１、２、３に対応したテスト条件を含むテスト条件テーブルＴＪを示す。このテスト条件テーブルＴＪは、テスト工程１に対応した複数の条件欄１０、１１、１２、・・・を、またテスト工程２に対応した複数の条件欄２０、２１、２２、・・・を、さらにテスト工程３に対応した複数の条件欄３０、３１、３２、・・・をそれぞれ含んでいる。この図１の図（ｂ）のテスト条件テーブルＴＪも、テスト管理用コンピュータの記憶装置に記憶される。
【００１３】
図２はこの発明の特徴とするデバッグカウントＤＣの構成を示す。このデバッグカウントＤＣは、上位コードＤＣ１と下位コードＤＣ２から構成される。上位コードＤＣ１および下位コードＤＣ２は、いずれも２桁の数字からなるコードである。上位コードＤＣ１は、フローカウントと呼ばれ、テストフローのやり直し回数を表す。始めて実行されるテストフローには、００のフローカウントが設定される。テスト工程１、２、３のいずれかで、やり直しが生じ、少なくとも一部のテスト工程がやり直しされるやり直しテストフローには、やり直しの回数に応じて、０１、０２、０３、・・・のフローカウントＤＣ１が設定される。
【００１４】
下位コードＤＣ２は、工程カウントと呼ばれ、それぞれのテスト工程毎のやり直し回数を表す。各テスト工程１、２、３のそれぞれについて、始めて実行されるテストには、００の工程カウントが設定される。各テスト工程１、２、３でやり直しが生じて、やり直しされるテスト工程には、やり直しの回数に応じて、０１、０２、０３、・・・の工程カウントＤＣ２が設定される。
【００１５】
この発明の実施の形態１において、各テスト工程のデバッグカウントＤＣは、テスト管理用コンピュータに、対応するテスト工程とともにプログラムされる。すなわち、やり直しを含むテストフローの各テスト工程毎にデバッグカウントＤＣの番号を、テスト管理用コンピュータに登録することによってプログラムされる。
【００１６】
図３は、実施の形態１におけるテストフローとデバッグカウントＤＣの遷移の一例を示す。図３の図（ａ）は、テストフローＴＦであり、テスト工程２を終了した段階で、やり直しの必要が生じた場合を例示している。この場合、テスト工程１からテスト工程２に進み、このテスト工程２の終了後に、テスト工程１へ戻る指令が出され、改めてテスト工程１、テスト工程２、テスト工程３の順番にテストが実行される。この例では、まず最初に、テスト工程１、２、３が、それぞれにデバッグカウント００−００を設定してプログラムされ、テスト工程２の終了後にテスト工程１へ戻る指令が出されたときに、改めて、テスト工程１にデバッグカウント０１−０１が、またテスト工程２にデバッグカウント０１−０１が設定され、その後に、デバッグカウント０１−００の最初のテスト工程３が実行されるよう、プログラムされる。この例におけるデバッグカウントＤＣの遷移を図３（ｂ）に示す。最初のテスト工程１には００−００が、また最初のテスト工程２にも００−００が、それぞれデバッグカウントＤＣとして設定される。やり直しのテスト工程１には０１−０１、やり直しのテスト工程２には０１−０１、また次のテスト工程３には０１−００のデバッグカウントＤＣが設定される。
【００１７】
図１の図（ｂ）のテスト条件テーブルＴＪの各条件欄には、デバッグカウントＤＣが登録されている。テスト工程１に対応する条件欄１０、１１、１２、には、それぞれ００−００、０１−０１、０２−０２のデバッグカウントＤＣが、テスト工程２に対応する条件欄２０、２１、２２にはそれぞれ００−００、０１−００、０１−０１のデバッグカウントＤＣが、またテスト工程３に対応する条件欄３０、３１、３２には００−００、０１−００、０１−０１のデバッグカウントＤＣがそれぞれ登録されている。言い換えれば、これらの各条件欄には、デバッグカウントに対応したテスト条件が登録される。
【００１８】
図４について、図３の図（ｂ）のやり直しを含むテストフローＴＦに対応する条件欄の引当を詳細に説明する。最初のテスト工程１のデバッグカウントＤＣは００−００であり、テスト工程１に対応する条件欄１０、１１、１２、・・・の中から、デバッグカウント００−００に対応する条件欄１０が選択され、この条件欄１０のテスト条件でテスト工程１が実行される。次のテスト工程２のデバッグカウントＤＣは００−００であり、テスト工程２に対応する条件欄２０、２１、２２、・・・の中から、デバッグカウント００−００に対応する条件欄２０が選択され、この条件欄２０のテスト条件でテスト工程２が実行される。
【００１９】
やり直しのテスト工程１のデバッグカウントＤＣは０１−０１であり、テスト工程１に対応する条件欄１０、１１、１２、・・・の中から、デバッグカウント０１−０１に対応する条件欄１１が選択され、この条件欄１１のテスト条件でやり直しテスト工程１が実行される。次のやり直しテスト工程２のデバッグカウントＤＣは０１−０１であり、テスト工程２に対応する条件欄２０、２１、２２、・・・の中から、デバッグカウント０１−０１に対応する条件欄２２が選択され、この条件欄２２のテスト条件でやり直しテスト工程２が実行される。
【００２０】
次のテスト工程３は、最初に実行されるテスト工程３であるが、やり直しのテストフローに含まれるので、０１−００のデバッグカウントＤＣが設定される。したがって、テスト工程３に対応する条件欄３０、３１、３２、・・・の中から、デバッグカウント０１−００に対応する条件欄３１が選択され、この条件欄３１のテスト条件でテスト工程３が実行される。
【００２１】
このように、実施の形態１では、やり直しを含むテストフローについて、テスト工程１、２、３のそれぞれにデバッグカウントＤＣを設定することにより、テストフローの作成を簡単化でき、またテストフローの各テスト工程のテスト条件をデバッグカウントを用いて選択しながら、やり直しを含むテストフローの各テスト工程を実行させることができる。
【００２２】
比較例１．
ここで、デバッグカウントＤＣについて比較例と対比して説明する。まず比較例１は、デバッグカウントＤＣをフローカウントＤＣ１だけで構成する例である。この比較例１を図５に例示する。図５の図（ａ）は、やり直しを含むテストフローＴＦを示す。このテストフローＴＦは図３の図（ａ）と同じである。図５の図（ｂ）はこの比較例１におけるフローカウントＤＣ１の遷移を示す。図５の図（ｃ）は比較例１におけるテスト条件テーブルＴＪａを示す。このテスト条件テーブルＴＪａは、テスト工程１に対応した条件欄１０ａ、１１ａ、・・・と、テスト工程２に対応した条件欄２０ａ、２１ａ、・・・と、テスト工程３に対応した条件欄３０ａ、３１ａ、・・・を含んでいるが、各条件欄のデバッグカウントＤＣがフローカウントＤＣ１だけで構成されている。
【００２３】
この比較例１では、テスト工程３のテスト条件を適切に選択できない。図５の図（ａ）のテストフローＦＴでは、テスト工程３は最初に実行されるテスト工程３であるが、フローカウントＤＣ１が０１となっているために、フローカウント０１に対応する条件欄３１のテスト条件が選択される。このテスト工程３を条件欄３０のテスト条件で実行したい場合に、条件欄３０のテスト条件を選択できない結果となる。
【００２４】
比較例２．
比較例２は、デバッグカウントＤＣを工程カウントＤＣ２だけで構成する例である。この比較例２を図６に例示する。図６の図（ａ）は、やり直しを含むテストフローＴＦを示す。このテストフローＴＦは図３の図（ａ）と同じである。図５の図（ｂ）はこの比較例１における工程カウントＤＣ２の遷移を示す。図５の図（ｃ）は比較例２におけるテスト条件テーブルＴＪｂを示す。このテスト条件テーブルＴＪｂは、テスト工程１に対応した条件欄１０ｂ、１１ｂ、・・・と、テスト工程２に対応した条件欄２０ｂ、２１ｂ、・・・と、テスト工程３に対応した条件欄３０ｂ、３１ｂ、・・・を含んでいるが、各条件欄のデバッグカウントＤＣが工程カウントＤＣ２だけで構成されている。
【００２５】
この比較例２でも、テスト工程３のテスト条件を適切に選択できない。図６の図（ａ）のテストフローＦＴでは、テスト工程３は最初に実行されるテスト工程３であるが、工程カウントＤＣ２が００となっているために、工程カウント００に対応する条件欄３１のテスト条件が必然的に選択されてしまう。やり直しテストフローにおいて、テスト工程３を条件欄３１のテスト条件で実行したい場合に、条件欄３１を選択できない結果となる。
【００２６】
実施の形態１のように、デバッグカウントＤＣを、フローカウントＤＣ１と、工程カウントＤＣ２とによって構成すれば、比較例１、２のような不都合を解消し、適切なテスト条件の選択ができる。
【００２７】
実施の形態２．
図７、図８はこの発明によるテスト管理装置の実施の形態２を示す。この実施の形態２も、半導体デバイスに対するテストフローを管理するものである。この実施の形態２は、デバッグカウントＤＣの中に、特別コードを設定し、特定のテスト工程をこの特別コードの対応したテスト条件で実行させることを特徴とする。この特別コードはワイルドコードと呼ばれ、特定の記号、例えば＊＊として設定される。なお、通常のテスト工程のテスト条件の設定には使用されない特別の数字、例えば９９として、ワイルドコードを設定することもできる。
【００２８】
実施の形態２の実施例１．
デバッグカウントＤＣのうちのフローカウントＤＣ１の中に、ワイルドコードを設定する実施例１を図７に示す。図７の図（ａ）はやり直しを含まないテストフローＦＴと、それに対応したデバッグカウントＤＣの遷移を示す。図７の図（ｂ）は、やり直しを含むテストフローＦＴと、それに対応したデバッグカウントＤＣの遷移を示す。この図（ｂ）のテストフローＦＴは、テスト工程１の終了後に、再びテスト工程１へ戻る指令が出され、以後、テスト工程１、２、３が順番に実行される例である。
【００２９】
図７（ｃ）は、この実施例で使用されるテスト条件テーブルＴＪＷ１を示す。このテスト条件テーブルＴＪＷ１は、テスト工程１に対応する条件欄１０、１１、１２、・・・を含んでおり、これらの条件欄１０、１１、１２にはそれぞれ００−００、０１−０１、０２−０２のデバッグカウントＤＣが設定されている。また、テスト条件テーブルＴＪＷ１は、テスト工程２に対応する条件欄２０、２１、２２、・・・を含んでおり、これらの条件欄２０、２１、２２にはそれぞれ００−００、０１−００、０１−０１のデバッグカウントＤＣが設定されている。さらに、テスト条件テーブルＴＪＷ１は、テスト工程３に対応する条件欄３０、３１、・・・を含んでおり、これらの条件欄３０、３１にはそれぞれフローカウントＤＣ１にワイルドコード＊＊を含んだデバッグカウント＊＊−００、＊＊−０１が設定されている。
【００３０】
デバッグカウント＊＊−００は、工程カウントＤＣ２が００であれば、フローカウントＤＣ１がどんな数字であっても、＊＊−００のデバッグカウントＤＣを選択することを意味する。同様にデバッグカウント＊＊−０１は、工程カウントＤＣ２が０１であれば、フローカウントＤＣ１がどんな数字であっても、＊＊−０１のデバッグカウントＤＣを選択することを意味する。
【００３１】
図７（ａ）のテスト工程３のデバッグカウントＤＣは００−００とされ、図７（ｂ）のテスト工程３のデバッグカウントＤＣは０１−００とされるが、これらの工程３の工程カウントＤＣ２はともに００であり、それらのフローカウントＤＣ１に拘わらず、＊＊−００のデバッグカウントを設定した条件欄３０のテスト条件で、ともにテスト工程３が実行される。この図７の実施例は、工程カウントが同じであれば、フローカウントが違っても同じテスト条件でテストを実行したい場合に、有効である。
【００３２】
実施の形態２の実施例２．
デバッグカウントＤＣのうちの工程カウントＤＣ２の中に、ワイルドコードを設定する実施例を図８に示す。図８の図（ａ）はやり直しを含むテストフローＦＴと、それに対応したデバッグカウントＤＣの遷移を示す。この図（ａ）のテストフローＦＴは、図７（ｂ）と同じである。図８の図（ｂ）は、やり直しを含む異なるテストフローＦＴと、それに対応したデバッグカウントＤＣの遷移を示す。この図（ｂ）のテストフローＦＴは、テスト工程２の終了後に、再びテスト工程２へ戻る指令が出され、以後、テスト工程２、３が順番に実行される例である。
【００３３】
図８（ｃ）は、この実施例で使用されるテスト条件テーブルＴＪＷ２を示す。このテスト条件テーブルＴＪＷ２は、テスト工程１に対応する条件欄１０、１１、１２、・・・を含んでおり、これらの条件欄１０、１１、１２にはそれぞれ００−００、０１−０１、０２−０２のデバッグカウントＤＣが設定されている。また、テスト条件テーブルＴＪＷ１は、テスト工程２に対応する条件欄２０、２１、・・・を含んでおり、これらの条件欄２０、２１にはそれぞれフローカウントＤＣ１にワイルドコード＊＊を含む、００−＊＊、０１−＊＊のデバッグカウントＤＣが設定されている。さらに、テスト条件テーブルＴＪＷ１は、テスト工程３に対応する条件欄３０、３１、３２、・・・を含んでおり、これらの条件欄３０、３１、３２にはそれぞれデバッグカウント００−００、００−０１、０１−００が設定されている。
【００３４】
デバッグカウント００−＊＊は、フローカウントＤＣ１が００であれば、工程カウントＤＣ２がどんな数字であっても、００−＊＊のデバッグカウントＤＣを選択することを意味する。同様にデバッグカウント０１−＊＊は、フローカウントＤＣ１が０１であれば、工程カウントＤＣ２がどんな数字であっても、０１−＊＊のデバッグカウントＤＣを選択することを意味する。
【００３５】
図８（ａ）のテスト工程２のデバッグカウントＤＣは０１−００とされ、図８（ｂ）のテスト工程２のデバッグカウントＤＣは０１−０１とされるが、これらのテスト工程２のフローカウントＤＣ１はともに０１であり、それらの工程カウントＤＣ２に拘わらず、０１−＊＊のデバッグカウントを設定した条件欄２１のテスト条件で、ともにテスト工程２が実行される。この図８の実施例は、フローカウントが同じであれば、工程カウントが違っても同じテスト条件でテストを実行したい場合に、有効である。
【００３６】
このように実施の形態２のように、フローカウントＤＣ１または工程カウントＤＣ２の中に、特別コード（ワイルドコード）を設定すれば、工程カウントＤＣ２またはフローカウントＤＣ１に拘わらず同じテスト条件で特定のテスト工程を実行させることができる。
【００３７】
【発明の効果】
以上のように、この発明によるテスト管理装置は、テストフローのやり直し回数を表すフローカウントと、各テスト工程のやり直し回数を表す工程カウントとを含んだデバッグカウントを設定する手段を有し、このデバッグカウントによってテストのやり直しを含むテストフローの各テスト工程を実行させることを特徴とするもので、やり直しを含むテストフローの各テスト工程を特別なやり直しテストフローを作成せずに、簡単に実行させることができる。
【００３８】
また、この発明によるテスト管理装置は、デバッグカウントに対応して各テスト工程のテスト条件を記憶した記憶手段から、フローカウントと工程カウントに対応した各テスト工程のテスト条件を選択して、テストを実行させることを特徴とするもので、やり直しに対応して、その都度テスト条件を設定することなく、容易にやり直しを含むテストを実行できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるテスト管理装置の実施の形態１のテストフローとテスト条件テーブルを示す図。
【図２】実施の形態１で使用されるデバッグカウントの説明図。
【図３】実施の形態１によるやり直しを含むテストフローとデバッグカウントの遷移を示す図。
【図４】図３のやり直しを含むテストに使用されるテスト条件テーブルを示す図。
【図５】比較例１のテストフローと、デバッグカウントの遷移と、テスト条件テーブルを示す図。
【図６】比較例２のテストフローと、デバッグカウントの遷移と、テスト条件テーブルを示す図。
【図７】この発明によるテスト管理装置の実施の形態２の実施例１のテストフロー、デバッグカウントの遷移およびテスト条件テーブルを示す図。
【図８】この発明によるテスト管理装置の実施の形態２の実施例２のテストフロー、デバッグカウントの遷移およびテスト条件テーブルを示す図。
【図９】従来のテスト管理方法におけるテストフローとテスト条件テーブルを示す図。
【符号の説明】
ＴＦ　テストフロー、　　Ｓ１　テスト工程１の実行ステップ、　　Ｓ２　テスト工程２の実行ステップ、　　Ｓ３　テスト工程３の実行ステップ、　　ＴＪ、ＴＪａ、ＴＪｂ、ＴＪＷ１、ＴＪＷ２　テスト条件テーブル、　　１０、１０ａ、１０ｂ、１１、１１ａ、１１ｂ、１２、２０、２０ａ、２０ｂ、２１、２１ａ、２１ｂ、２２、３０、３０ａ、３０ｂ、３１、３１ａ、３１ｂ、３２　条件欄、　　ＤＣ　デバッグカウント、　　ＤＣ１　フローカウント、　　ＤＣ２　工程カウント。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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