【手続補正書】
【提出日】平成15年6月16日(2003.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方面にノズル開口に連通すると共に複数の隔壁で区画された圧力発生室の列を備え、他方面に前記圧力発生室の一部を構成する振動板及び前記圧力発生室に対向する領域に形成された圧電体能動部からなる圧電振動子を備えた流路形成基板と、この流路形成基板の前記一方面に接合される接合板とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記接合板には前記圧力室発生室の間の隔壁に対向する位置にスリットが形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１において、前記スリットが、前記接合板を貫通する貫通孔からなることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２において、前記スリットが、前記圧力発生室の列の端の外側に当該圧力発生室に沿って設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記スリットが、前記圧力発生室の長手方向端部の外側に当該圧力発生室の列に沿って設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかにおいて、前記圧力発生室の列が複数存在することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
請求項５において、前記スリットが、前記圧力発生室の列の間に存在することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかにおいて、前記流路形成基板の前記少なくとも２列の圧力発生室の前記ノズル開口に対応する位置とは反対側となる外側端部に隣接する位置には、外部からのインク供給を受けるリザーバが設けられ、当該リザーバと前記圧力発生室の前記外側端部のそれぞれとはインク供給口を介して連通されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７の何れかにおいて、前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様は、一方面にノズル開口に連通すると共に複数の隔壁で区画された圧力発生室の列を備え、他方面に前記圧力発生室の一部を構成する振動板及び前記圧力発生室に対向する領域に形成された圧電体能動部からなる圧電振動子を備えた流路形成基板と、この流路形成基板の前記一方面に接合される接合板とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記接合板には前記圧力室発生室の間の隔壁に対向する位置にスリットが形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
かかる第１の態様では、接合板には圧力室発生室の間の隔壁に対向する位置にスリットが形成されているため、接合後の反り等の変形をより確実に防止することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第３の態様では、第１又は第２の態様において、前記スリットが、前記圧力発生室の列の端の外側に当該圧力発生室に沿って設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
かかる第３の態様では、一列に並んだ圧力発生室の端の圧力発生室の外側にスリットが形成され、これにより接合後の変形が防止される。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第４の態様では、第１〜３の何れかの態様において、前記スリットが、前記圧力発生室の長手方向端部の外側に当該圧力発生室の列に沿って設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第５の態様では、第１〜４の何れかの態様において、前記圧力発生室の列が複数存在することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
かかる第５の態様では、圧力発生室の列が複数存在し、実装密度が向上する。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の第６の態様では、第５の態様において、前記スリットが、前記圧力発生室の列の間に存在することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
かかる第６の態様では、圧力発生室の間に存在するスリットにより変形が防止される。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第７の態様では、第１〜６の何れかの態様において、前記流路形成基板の前記少なくとも２列の圧力発生室の前記ノズル開口に対応する位置とは反対側となる外側端部に隣接する位置には、外部からのインク供給を受けるリザーバが設けられ、当該リザーバと前記圧力発生室の前記外側端部のそれぞれとはインク供給口を介して連通されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
かかる第７の態様では、流路形成基板内に圧力発生室と共にリザーバが形成されているので、流路形成基板の強度が低下するが、接合板のスリットにより変形が防止される。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の第８の態様では、第１〜７の何れかの態様において、前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が成膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
かかる第８の態様では、高密度のノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比較的容易に製造することができる。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明においては、流路形成基板に接合するノズルプレート又は封止板等に接合板の圧力室発生室の間の隔壁に対向する位置にスリットを設けることにより、接合後の反り等の変形が確実に防止され、圧電特性の低下又はバラツキの発生が防止されるという効果を奏する。