【手続補正書】
【提出日】平成16年1月22日(2004.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光学系によって照明された第１物体の像を第２物体上に投影するための投影光学系において、
前記第１物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群と、負の屈折力を有する第２レンズ群と、正の屈折力を有する第３レンズ群と、負の屈折力を有する第４レンズ群と、正の屈折力を有する第５レンズ群と、正の屈折力を有する第６レンズ群とを備え、
前記投影光学系は、前記第１レンズ群および前記第２レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成された光学部材を備え、
前記光学部材を光軸に対して傾斜させることによって、前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正することを特徴とする投影光学系。
【請求項２】
前記光学部材は、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成された第１光学部材と、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成されて前記第１光学部材とは独立に傾斜可能な第２光学部材と、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群中において光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成されて前記第１光学部材および前記第２光学部材とは独立に傾斜可能な第３光学部材とからなり、
前記第１光学部材、前記第２光学部材および前記第３光学部材をそれぞれ光軸に対して傾斜させることによって、前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれと偏心非点収差とを独立に補正することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ1とし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ2とし、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ3とし、前記第４レンズ群の焦点距離をｆ4とし、前記第５レンズ群の焦点距離をｆ5とし、前記第６レンズ群の焦点距離をｆ6とし、前記第１物体から前記第２物体までの軸上距離をＬとするとき、
ｆ1／Ｌ＜０．８                  （１）
−０．０３３＜ｆ2／Ｌ            （２）
０．０１＜ｆ3／Ｌ＜１．０        （３）
ｆ4／Ｌ＜−０．００５            （４）
０．０１＜ｆ5／Ｌ＜０．９        （５）
０．０２＜ｆ6／Ｌ＜１．６        （６）
の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の投影光学系。
【請求項４】
前記第２レンズ群は、最も第１物体側に配置されて前記第２物体側に凹面を向けた負屈折力の前方レンズと、最も第２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けた負メニスカス形状の後方レンズと、前記前方レンズと前記後方レンズとの間に配置された中間レンズ群とを有し、
前記中間レンズ群は、前記第１物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズと、負の屈折力を有する第２レンズと、負の屈折力を有する第３レンズとを少なくとも有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項５】
前記第１物体から前記投影光学系全体の第１物体側焦点までの軸上距離をＩとし、前記第１物体から前記第２物体までの軸上距離をＬとするとき、
１．０＜Ｉ／Ｌ    （７）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項６】
前記第２レンズ群中の前記前方レンズの第１物体側の面の曲率半径をｒ2Ffとし、前記前方レンズの第２物体側の面の曲率半径をｒ2Frとするとき、
１．００≦（ｒ2Ff−ｒ2Fr）／（ｒ2Ff＋ｒ2Fr）＜５．０    （８）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項７】
前記第５レンズ群と前記第６レンズ群との間の軸上空気間隔をｄ56とし、前記第１物体から前記第２物体までの軸上距離をＬとするとき、
ｄ56／Ｌ＜０．０１７    （９）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項８】
前記第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面の曲率半径をｒ6Fとし、第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面から第２物体までの軸上距離をｄ6とするとき、
０．５０＜ｄ6／ｒ6F＜１．５０      （１０）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項９】
前記第２レンズ群中の前記前方レンズの焦点距離をｆ2Fとし、前記第２レンズ群中の前記後方レンズの焦点距離をｆ2Rとするとき、
０≦ｆ2F／ｆ2R＜１８        （１１）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項１０】
前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを有し、
前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズを有し、
前記第４レンズ群は、少なくとも３枚の負レンズを有し、
前記第５レンズ群は、少なくとも５枚の正レンズと、少なくとも１枚の負レンズとを有し、
前記第６レンズ群は、少なくとも１枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項１１】
前記第１物体上の最大物体高の点からの主光線のレンズ面への入射高をｈ0 とし、前記第１物体上の軸上物点からの最大開口数を有する斜光線のレンズ面への入射高をｈ1 とし、前記投影光学系の最大有効径をφとするとき、前記光学部材を構成するレンズは、
０．１７０＜ｈ0 ／φ      （１２）
ｈ1 ／φ＜０．３５        （１３）
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の投影光学系。
【請求項１２】
照明光学系によって照明された第１物体の像を第２物体上に投影するための投影光学系において、
光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成されて前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正するための光学部材を備え、
前記第１物体上の最大物体高の点からの主光線のレンズ面への入射高をｈ0 とし、前記第１物体上の軸上物点からの最大開口数を有する斜光線のレンズ面への入射高をｈ1 とし、前記投影光学系の最大有効径をφとするとき、前記光学部材を構成するレンズは、
０．１７０＜ｈ0 ／φ      （１２）
ｈ1 ／φ＜０．３５        （１３）
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
【請求項１３】
前記光学部材は、
光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成された第１光学部材と、
光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成されて前記第１光学部材とは独立に傾斜可能な第２光学部材と、
光軸に対して一体的に傾斜可能な少なくとも１つのレンズから構成されて前記第１光学部材および前記第２光学部材とは独立に傾斜可能な第３光学部材とからなり、
前記第１光学部材、前記第２光学部材および前記第３光学部材をそれぞれ光軸に対して傾斜させることによって、前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれと偏心非点収差とを独立に補正することを特徴とする請求項１２に記載の投影光学系。
【請求項１４】
前記第１物体の最大物体高からの主光線が前記第１、第２および第３光学部材をそれぞれ射出する時の射出高が異なることを特徴とする請求項２または１３に記載の投影光学系。
【請求項１５】
前記第１物体の最大物体高からの主光線が傾斜する前の第１光学部材を射出する時の射出高をｈａ、前記第１物体の最大物体高からの主光線が傾斜する前の第２光学部材を射出する時の射出高をｈｂ、前記第１物体の最大物体高からの主光線が傾斜する前の第３光学部材を射出する時の射出高をｈｃ、前記第１物体の最大物体高をＹとするとき、以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１４に記載の投影光学系。
０．９５＜ｈａ／Ｙ
０．８２＜ｈｂ／Ｙ＜０．９３
０．５２＜ｈｃ／Ｙ＜０．７２
【請求項１６】
第１物体上のパターンを第２物体上に投影する投影露光装置において、
前記第１物体を照明するための照明光学系と、
請求項１乃至請求項１５のいずれか１項に記載の投影光学系とを備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項１７】
前記投影光学系の収差を計測する収差計測手段と、
前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正するための前記光学部材を駆動する駆動手段と、
前記収差計測手段からの出力に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする請求項１６に記載の投影露光装置。
【請求項１８】
第１物体上のパターンを第２物体上に投影する投影露光方法において、
前記第１物体を照明する照明工程と、
請求項１乃至請求項１５のいずれか１項に記載の投影光学系を用いて前記第１物体上の前記パターンの像を前記第２物体上に形成する投影工程とを備えることを特徴とする投影露光方法。
【請求項１９】
前記投影光学系の収差を計測する収差計測工程と、
前記収差計測工程の結果に基づいて、前記投影光学系内に残存する回転非対称な像位置のずれまたは偏心非点収差を補正するための前記光学部材を駆動する駆動工程とを備えていることを特徴とする請求項１８に記載の投影露光方法。