(57)【要約】【課題】組み立て作業性を向上することにより製造コストを低減するとともに、超音波断層像への悪影響を防止する。【解決手段】超音波振動子１は、導電性のハウジング２の内周面にエポキシ樹脂等からなる絶縁部材３を接着し、さらに絶縁部材３の内周面に超音波の振動を吸収するバッキング材４を接着している。バッキング材４の上端部には、両面に電極を設けた圧電素子５が固定されている。圧電素子５は、バッキング材４と同径もしくは、バッキング材４より小径に形成された円形部４１の外周２箇所に突起形状部４２を設けている。ＧＮＤ線９の一端は突起形状部４２の表面電極７にＧＮＤ半田１０によって半田付けされている。【選択図】  図１
2004356900.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を送受信する圧電素子と、
この圧電素子の両面に設けられた電極と、
これらの電極に接続する信号伝達手段と、
前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、
前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、
前記圧電素子に設けられた少なくとも一つ以上の突起部と、
を具備したことを特徴とする超音波振動子。
【請求項２】
前記圧電素子の突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする請求項１に記載の超音波振動子。
【請求項３】
超音波を送受信する圧電素子と、
この圧電素子の一方及び他方の面にそれぞれ設けられた一方及び他方の電極と、
これらの電極に接続する信号伝達手段と、
前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、
前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、
を具備し、前記圧電素子の外形寸法に対して、前記一方及び他方の電極の片方もしくは両方の外形寸法が異なることを特徴とする超音波振動子。
【請求項４】
前記一方の電極は前記他方の電極よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子。
【請求項５】
前記一方及び他方の電極の面積の差の部分に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子。
【請求項６】
前記一方及び他方の電極の内少なくとも一方の電極に突起部を設けたことを特徴とする請求項３に記載の超音波振動子。
【請求項７】
前記電極の突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする請求項６に記載の超音波振動子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせて超音波を送受信する超音波振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、超音波を生体に照射し、生体における音響インピーダンスの変化部分で反射された超音波を受信して電気信号に変換し、画像化することにより、超音波断層像を得る超音波診断装置が広く用いられている。
【０００３】
また、例えば消化管等の体腔内に挿入可能な内視鏡挿入部の先端に超音波振動子を設け、この超音波振動子によって超音波断層像を得るようにした超音波内視鏡も実用化されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
図１３は、このような従来の超音波内視鏡で使用される超音波振動子の平面図、図１４は図１３のＣ−Ｃ線断面図である。
【０００５】
図１３及び図１４に示すように、超音波振動子１０１は、まず、導電性のハウジング１０２の内周面にエポキシ樹脂等からなる絶縁部材１０３を接着し、さらに絶縁部材１０３の内周面に超音波の振動を吸収するバッキング材１０４を接着している。バッキング材１０４の上端部には、圧電素子１０５を固定している。
【０００６】
圧電素子１０５は、圧電体１０６の表面及び裏面にそれぞれ表面電極１０７及び裏面電極１０８を取り付けたものである。
【０００７】
ＧＮＤ線１０９の一端はＧＮＤ半田１１０によって表面電極１０７に半田付けされている。
【０００８】
ＧＮＤ線１０９の他端は半田１１１によってハウジング１０２に半田付けされている。
【０００９】
伝送線１２０は、圧電素子１０５に電気信号を印加するためのものであり、ケーブル１２１，１２２を有している。
【００１０】
伝送線１２０は、ハウジング１０２に形成された切り欠き部１１２に挿入されている。
【００１１】
ケーブル１２１は、半田１１３によってハウジング１０２に半田付けされている。
【００１２】
このような構造により、表面電極１０７は、ハウジング１０２を介してケーブル１２１に導通してＧＮＤに落とされる。
【００１３】
ケーブル１２２は、バッキング材１０４に形成された貫通孔１１４を介して、裏面電極１０８に導電性接着剤１１５を用いて電気的に接続されている。
【００１４】
裏面電極１０８にはケーブル１２２の導通により超音波の送受信号が伝送されている。
【００１５】
また、圧電素子１０５の表面電極１０７側には、超音波ビームを収束するための音響レンズ１３１が設けられている。
【００１６】
尚、超音波振動子１０１の製造工程では、ハウジング１０２と表面電極１０７にＧＮＤ線１０９を半田付けした後、圧電素子１０５の中心とレンズ型の中心を合わせて、レンズ剤を充填して音響レンズ１３１を成型している。音響レンズ１３１は凹レンズであるため、ＧＮＤ半田１１０の大きさを極力小さくする等して、レンズ型とＧＮＤ半田１１０が干渉しないように努力がされている。
【００１７】
ここで、超音波内視鏡での診断では、病変部をより詳しく観察し診断能を向上させたいというニーズがある。
【００１８】
このニーズに応えるためには、超音波ビームを絞って超音波振動子の分解能を向上する必要がある。
【００１９】
図１５及び図１６は圧電素子１０５の径と超音波ビームの関係を示す説明図であり、図１５は圧電素子１０５の径が大きい場合、図１６は圧電素子１０５の径が小さい場合を示している。
【００２０】
一般的に、圧電素子１０５の径を小さくすることにより、圧電素子１０５から音響レンズを介して出力される超音波ビーム１３３の太さを細くできる。よって、図１５及び図１６に示すように、圧電素子１０５の径Ｄ２はＤ１より小さいので、圧電素子１０５から音響レンズを介して出力される超音波ビーム１３３の太さＤ１２はＤ１１より細くなる。
【００２１】
即ち、超音波ビーム１３３を絞るには、圧電素子１０５の小径化が有効な手段である。
【００２２】
図１７は小径化した超音波振動子の平面図、図１８は図１７のＤ−Ｄ線断面図である。
【００２３】
【特許文献１】
特開２００２−３４５８１７号公報（第２−５頁、第１−１５図）
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の超音波振動子は、図１７に示すように圧電素子１０５を小径化した場合、ＧＮＤ半田１１０が圧電素子１０５の中心に近寄るため、図１８に示すようにレンズ型１３２とＧＮＤ半田１１０が干渉してしまう。また、ＧＮＤ半田１１０を小さくすることにも限界がある。そこで、この干渉を回避するため、レンズ型１３２にＧＮＤ半田１１０を避ける「逃げ」を設けなければならなかった。この「逃げ」を設けた場合、正確な位置にＧＮＤ半田１１０を半田付けして、レンズ型１３２の「逃げ」をＧＮＤ半田１１０の位置に合わせる工程が発生するので、組み立て作業が複雑になり、製造コストが高くなる。また、圧電素子１０５を小径化すると、圧電素子１０５全体の面積に対し、半田の面積が占める割合が大きくなる。本来、圧電素子１０５は円形で振動することが好ましいが、圧電素子１０５の半田部分は硬いため実質的に振動せず、圧電素子１０５の振動部分が円形から遠ざかり、超音波断層像を劣化させてしまう。
【００２５】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであり、組み立て作業性を向上することにより製造コストを低減するとともに、超音波断層像への悪影響を防止して分解能の良い超音波振動子を提供することを目的とする。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため請求項１に記載の超音波振動子は、超音波を送受信する圧電素子と、この圧電素子の両面に設けられた電極と、これらの電極に接続する信号伝達手段と、前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、前記圧電素子に設けられた少なくとも一つ以上の突起部と、を具備したことを特徴とする。
【００２７】
請求項２に記載の超音波振動子は、請求項１に記載の超音波振動子であって、前記突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする。
【００２８】
請求項３に記載の超音波振動子は、超音波を送受信する圧電素子と、この圧電素子の一方及び他方の面にそれぞれ設けられた一方及び他方の電極と、これらの電極に接続する信号伝達手段と、前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、を具備し、前記圧電素子の外形寸法に対して、前記一方及び他方の電極の片方もしくは両方の外形寸法が異なることを特徴とする。
【００２９】
請求項４に記載の超音波振動子は、請求項３に記載の超音波振動子であって、前記一方の電極は前記他方の電極よりも大きいことを特徴とする。
【００３０】
請求項５に記載の超音波振動子は、請求項３に記載の超音波振動子であって、前記一方及び他方の電極の面積の差の部分に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする。
【００３１】
請求項６に記載の超音波振動子は、請求項３に記載の超音波振動子であって、前記一方及び他方の電極の内少なくとも一方の電極に突起部を設けたことを特徴とする。
【００３２】
請求項７に記載の超音波振動子は、請求項６に記載の超音波振動子であって、前記電極の突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（第１の実施の形態）
図１ないし図８は本発明の第１の実施の形態に係り、図１は超音波振動子の正面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は圧電素子の製造方法を示す説明図、図４乃至図８は超音波振動子全体の第１乃至第５の製造工程を示す説明図である。
【００３４】
（構成）
図１及び図２に示すように、超音波振動子１には、まず、導電性のハウジング２の内周面にエポキシ樹脂等からなる絶縁部材３が接着され、さらに絶縁部材３の内周面に超音波の振動を吸収するバッキング材４が接着されている。
【００３５】
バッキング材４の上端部には、両面に電極を設けた圧電素子５が固定されている。
【００３６】
圧電素子５は、圧電体６の表面に表面電極７を取り付け、圧電体６の裏面に裏面電極８を取り付けされてなる。
【００３７】
圧電素子５は、バッキング材４より小径に形成された円形部４１を有し、この円形部４１の外周２箇所には突起形状部４２が設けられる。圧電体６、表面電極７及び裏面電極８の平面形状は全て同じである。
【００３８】
ＧＮＤ線９の一端は、ＧＮＤ半田１０によって、突起形状部４２の表面電極７に半田付けされている。
【００３９】
ＧＮＤ線９の他端は、半田１１によって、ハウジング２に半田付けされている。
伝送線２０は、圧電素子５に電気信号を印加するためのものであり、ケーブル２１，２２を有している。
【００４０】
伝送線２０は、ハウジング２に形成された切り欠き部１２に挿入されている。
ケーブル２１は、半田１３によって、ハウジング２に半田付けされている。    バッキング材４には貫通孔１４が形成されている。
これにより、表面電極７は、ハウジング２を介してケーブル２１に導通してＧＮＤに落とされる。
【００４１】
ケーブル２２は、バッキング材４の貫通孔１４を介して、導電性接着剤１５を用いて裏面電極８に電気的に接続されている。
【００４２】
裏面電極８にはケーブル２２の導通により超音波の送受信号が伝送されている。
【００４３】
また、圧電素子５の表面電極７側及びその周囲には、超音波ビームを収束するための音響レンズ３１が設けられている。
【００４４】
このような構造により、圧電素子５は、超音波を送受信する。
表面電極７，裏面電極８は、この圧電素子５の一方及び他方の面にそれぞれ設けられた一方及び他方の電極となっている。
【００４５】
ハウジング２、ＧＮＤ線９、ＧＮＤ半田１０、半田１３、導電性接着剤１５及びケーブル２１，２２は、電極７，８に接続する信号伝達手段となっている。
【００４６】
バッキング材４は、前記圧電素子５の背面に設けられ、該圧電素子５の背面に音響的なダンピング作用を与える。
【００４７】
音響レンズ３１は、前記圧電素子５から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段となっている。
【００４８】
突起形状部４２は、前記圧電素子５に設けられた少なくとも一つ以上の突起部となっている。
【００４９】
（作用）
以下、第１の実施の形態の超音波振動子１の製造方法について説明する。
まず、図３に示すように、板状に形成された圧電素子素材５５を用意する。
【００５０】
圧電素子素材５５は、圧電体素材５６の表面と裏面にそれぞれ表面電極素材５７及び裏面電極素材５８を取り付けたものである。
【００５１】
次に、ポンチ５０を用意する。ポンチ５０は、円筒部５１の外周２箇所に突起形状部５２を設けたものである。
【００５２】
本実施の形態では、突起形状部５２を設けたポンチ５０で電素子素材５５を切り抜くことで、圧電素子５に突起形状部４２を設けている。
【００５３】
しかしながら、電素子素材５５を切り抜く方法としては、レーザ加工機やウォータージェット加工機を用いてもよい。
【００５４】
以下、図４乃至図８を参照して超音波振動子１における音響レンズ３１の成型工程までを説明する。
【００５５】
まず、図４に示す導電性のハウジング２を用意し、このハウジング２の内周面に、図５に示すように絶縁部材３を接着し、さらに絶縁部材３の内周面にバッキング材４を接着する。
【００５６】
次に、図６に示すように、バッキング材４の上端部に圧電素子５を接着し、圧電素子５の突起形状部４２の表面電極７側とハウジング２にＧＮＤ線９を半田付けする。そして、ケーブル２１をハウジング２に半田付けし、ケーブル２２をバッキング材４の貫通孔１４に通し、圧電素子５の裏面電極８側にケーブル２２を導電性接着剤１５で接着する。
【００５７】
そして、図７に示すように、圧電素子５の表面電極７側にレンズ剤３０を塗布し、図８に示すように、圧電素子５の中心とレンズ型３２の中心を合わせて近接させた状態でレンズ剤３０を硬化させ、音響レンズ３１を成型する。
【００５８】
上述の製造工程では、圧電素子５に突起形状部４２を設けて、その突起部分にＧＮＤ半田１０を施してある。そのため、圧電素子５を小径化した場合でも、図８に示すように音響レンズ３１を成型する際、ＧＮＤ半田１０がレンズ型３２と干渉しない。また、圧電素子５の振動を制限するＧＮＤ半田１０が突起形状部４２に施してあるため、圧電素子５の振動部分を円形に近づけることができる。
【００５９】
尚、裏面電極８側は半田ではなく導電性接着剤１５を用いているため、円内にケーブル２２を接着しても超音波断層像へ悪影響を与えない。
【００６０】
（効果）
このような第１の実施の形態によれば、音響レンズ３１を形成する際にレンズ型３２とＧＮＤ半田１０が干渉しないので、レンズ型３２にＧＮＤ半田１０を避ける「逃げ」を加工する必要がなくなり、さらに、レンズ型３２の「逃げ」とＧＮＤ半田１０とを位置合わせする工程を省略できるので、組み立て作業性が向上する。よって、超音波振動子１の製造コストを低減できる。また、圧電素子５を小径化したので分解能が向上する。さらに、圧電素子５の振動部分が円形に近いので、超音波断層像への悪影響を防止でき、分解能の良い超音波振動子を提供できる。
【００６１】
（第２の実施の形態）
図９乃至図１１は本発明の第２の実施の形態に係り、図９は超音波振動子の正面図、図１０は図９のＢ−Ｂ線断面図、図１１は圧電素子の製造方法を示す説明図である。
【００６２】
図９乃至図１１を用いた第２の実施の形態の説明において、図１ないし図８に示した第１の実施の形態と同様の構成要素には同じ符号を付して説明を省略している。
【００６３】
（構成）
図９及び図１０に示すように、超音波振動子６１のバッキング材４の上端部には、圧電素子６５が固定されている。
【００６４】
圧電素子６５は圧電体６６の表面と裏面に表面電極６７、裏面電極６８を取り付けたものである。
【００６５】
圧電体６６と裏面電極６８は、バッキング材４より若干小径の円形に形成されている。
【００６６】
表面電極６７は、圧電体６６より小径された円形部７１の外周２箇所に突起形状部７２を設けたものである。
【００６７】
ＧＮＤ線９の一端は、ＧＮＤ半田７０によって、表面電極６７の突起形状部７２に半田付けされている。
【００６８】
また、圧電素子６５の表面電極６７側には、超音波ビームを収束するための音響レンズ８１が設けられている。これら以外の構成は図１ないし図８に示した第１の実施の形態と同様である。
【００６９】
（作用）
以下、第２の実施の形態の超音波振動子６１の製造方法について説明する。    まず、図１１に示すように、板状に形成された圧電素子素材５５を用意する。圧電素子素材５５は、図３に示したものと同じである。
【００７０】
次に、圧電素子素材５５をポンチ９０で切り抜くことで、円形の圧電素子素材９５を形成する。円形の圧電素子素材９５は、円形の圧電体６６の表面と裏面にそれぞれ円形の表面電極素材９７，円形の裏面電極６８を取り付けたものとなる。
【００７１】
圧電素子素材５５を切り抜く方法としては、レーザ加工機やウォータージェット加工機を用いてもよい。
【００７２】
次に、円形の圧電素子素材９５の表面電極素材９７にマスク９１を形成する。マスク９１は、円形の圧電素子素材９５より小径された円形部９２の外周２箇所に突起形状部９３を設けたものである。
【００７３】
このようにマスク９１を形成した円形の圧電素子素材９５に対して、例えばアルミナブラストで表面電極素材９７の露出部分だけを削り、圧電素子６５の表面電極６７に突起形状部７２を設ける。この場合、圧電素子６５は両面に電極が重なる部分のみ振動するため、表面電極６７の面積部分のみが振動する。
【００７４】
以下、超音波振動子６１の成型工程は、圧電素子６５の形状が異なるだけで、後は図４乃至図８に示した第１の実施の形態と同様である。
【００７５】
上述の製造工程では、表面電極６７側に突起形状部７２を設けて、その突起部分にＧＮＤ半田７０を施すようにしている。そのため、圧電素子６５の振動部分を小径化した場合でも、音響レンズ８１を成型する際、ＧＮＤ半田７０がレンズ型３２（図８参照）と干渉しない。また、圧電素子６５の振動を制限するＧＮＤ半田７０が突起形状部７２に施してあるため、圧電素子６５の振動部分が円形に近づく。
【００７６】
（効果）
このような第２の実施の形態によれば、音響レンズ８１を形成する際にレンズ型３２（図８参照）とＧＮＤ半田７０が干渉しないので、レンズ型３２（図８参照）にＧＮＤ半田７０を避ける「逃げ」を加工する必要がなくなり、さらに、レンズ型３２（図８参照）の「逃げ」とＧＮＤ半田７０とを位置合わせする工程が省けるため、組み立て作業性が向上する。よって、第１の実施の形態と同様の効果が得られる。
【００７７】
図１２は図１１に示した加工法に適用できる圧電素子６５の電極のパターンの例を示す説明図である。
【００７８】
図１２に示す第１のパターンは図９乃至図１１に示したものと同様である。    図１２に示す第２のパターンでは表面電極６７を圧電体６６と同じ径に形成し、裏面電極６８を圧電体６６より小径に形成している。
【００７９】
図１２に示す第３のパターンでは、表面電極６７を図９乃至図１１に示したものと同様にし、裏面電極６８を表面電極６７の平面形状と同様にしている。即ち、第３のパターンの裏面電極６８は、圧電体６６より小径にされた円形部７４の外周２箇所に突起形状部７５を設けたものである。
【００８０】
これらの電極パターンは、圧電素子６５の外形寸法に対して、前記一方及び他方の電極の片方もしくは両方の外形寸法が異なるようにしており、すべて同様な効果が得られる。また、電極を形成する方法としては、電極パターンを蒸着することも可能である。
【００８１】
［付記］
以上詳述したような本発明の実施の形態によれば、以下の如き構成を得ることができる。
【００８２】
（付記項１）  超音波を送受信する圧電素子と、
この圧電素子の両面に設けられた電極と、
これらの電極に接続する信号伝達手段と、
前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、
前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、
前記圧電素子に設けられた少なくとも一つ以上の突起部と、
を有する超音波振動子において、
前記圧電素子に少なくとも一つ以上の突起部を設けたことを特徴とする超音波振動子。
【００８３】
（付記項２）  前記圧電素子の突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする付記項１に記載の超音波振動子。
【００８４】
（付記項３）  超音波を送受信する圧電素子と、
この圧電素子の一方及び他方の面にそれぞれ設けられた一方及び他方の電極と、
これらの電極に接続する信号伝達手段と、
前記圧電素子の背面に設けられ、該圧電素子の背面に音響的なダンピング作用を与えるダンピング手段と、
前記圧電素子から発生する超音波ビームをフォーカスさせるフォーカス手段と、
を有する超音波振動子において、
前記圧電素子の外形寸法に対して、前記一方及び他方の電極の片方もしくは両方の外形寸法が異なることを特徴とする超音波振動子。
【００８５】
（付記項４）  前記一方の電極は前記他方の電極よりも大きいことを特徴とする付記項３に記載の超音波振動子。
【００８６】
（付記項５）  前記一方及び他方の電極の面積の差の部分に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする付記項３に記載の超音波振動子。
【００８７】
（付記項６）  前記一方及び他方の電極の内少なくとも一方の電極に突起部を設けたことを特徴とする付記項３に記載の超音波振動子。
【００８８】
（付記項７）  前記電極の突起部に前記信号伝達手段を接続したことを特徴とする付記項６に記載の超音波振動子。
【００８９】
（付記項８）  前記電極に前記信号伝達手段を接続する方法として半田付けを用いたことを特徴とする付記項２，６，７の何れか１つに記載の超音波振動子。
【００９０】
【発明の効果】
以上述べた様に本発明によれば、組み立て作業性を向上することにより製造コストを低減するとともに、超音波断層像への悪影響を防止して分解能の良い超音波振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子の正面図。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る圧電素子の製造方法を示す説明図。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子全体の第１の製造工程を示す説明図。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子全体の第２の製造工程を示す説明図。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子全体の第３の製造工程を示す説明図。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子全体の第４の製造工程を示す説明図。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る超音波振動子全体の第５の製造工程を示す説明図。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る超音波振動子の正面図。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る図９のＢ−Ｂ線断面図。
【図１１】本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子の製造方法を示す説明図。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る圧電素子の電極のパターンの例を示す説明図。
【図１３】従来の超音波内視鏡で使用される超音波振動子の平面図。
【図１４】図１３に示した従来の超音波振動子のＣ−Ｃ線断面図。
【図１５】従来の径が大きい圧電素子と超音波ビームの関係を示す説明図。
【図１６】従来の径が小さい圧電素子と超音波ビームの関係を示す説明図。
【図１７】従来の小径化した超音波振動子の平面図
【図１８】図１７の超音波振動子のＤ−Ｄ断面図。
【符号の説明】
１            …超音波振動子
２            …ハウジング
３            …絶縁部材
４            …バッキング材
５            …圧電素子
６            …圧電体
７            …表面電極
８            …裏面電極
９            …ＧＮＤ線
１０          …ＧＮＤ半田
１１，１３    …半田
１５          …導電性接着剤
２０          …伝送線
２１，２２    …ケーブル
３１          …音響レンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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