(57)【要約】【課題】処理液で容器の外側を汚染する事を防止するのが容易な上蓋構造とその上蓋構造を備えた容器を提供しようとする。【解決手段】従来の容器本体の開口を開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造にかわって、開口を覆うことのできる平板部材と該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられた上部シール構造と該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ該平板部材の下面から垂下した立板部材とを有する上蓋と、前記上蓋を回転させて開口を開閉可能にするヒンジ機構と、容器本体の開口の周縁部を環状に囲って設けられた下部シール構造とを備え、閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋を液密にシールし、開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置するものとした。【選択図】　　図１
2004075157.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造であって、
開口を覆うことのできる平板部材と該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられた上部シール構造と該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ該平板部材の下面から垂下した立板部材とを有する上蓋と、
前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にするヒンジ機構と、
容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられた下部シール構造と、
を備え、
開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、
開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置する、
ことを特徴とする上蓋構造。
【請求項２】
開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜している、
ことを特徴とする請求項１に記載の上蓋構造。
【請求項３】
容器であって、
上部に開口を設けられた容器本体と、
開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造と、
を備え、
前記上蓋構造が、開口を覆うことのできる平板部材と該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられた上部シール構造と該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ該平板部材の下面から垂下した立板部材とを有する上蓋と、
前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にするヒンジ機構と、
容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられた下部シール構造と、を有し、
開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、
開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置する、
ことを特徴とする容器。
【請求項４】
開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜している、
ことを特徴とする請求項３に記載の容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器の開口を開閉自在にする蓋構造に係る。特に容器の内部から気体や液体が漏れるのを防止する構造に特徴のある蓋構造とその蓋構造をもった容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板を構成するＴＦＴ基板製造工程では、フォトリソグラフィー工程によってガラス基板上にＴＦＴで構成される回路を成形する。フォトリソグラフィー工程おいては、洗浄液やレジスト膜用液やエッチング液やレジスト剥離液等の処理液をガラス基板の表面に吹きつける装置が用いられる。
これらの装置は、クリーンルーム内に設置される。処理液は、密閉された容器の中でガラス基板に塗布又は散布される。大きな開口が容器の上面に設けられ、通常は密閉されている。基板の処理工程中は、その開口は完全に密閉され、処理液とその蒸気がクリーンルーム内の雰囲気を汚染しない。
容器内で処理中のガラス基板が割れた場合の処理作業や、定期的な保守点検作業の際には、開口を開状態にして容器の内部にアクセスする。
処理装置のメンテナンス時間を短くするためには、簡単な操作で短時間に開口を開状態と閉状態とに選択できることが望まれる。
すなわち、開口を開状態と閉状態とにする上蓋構造は、閉状態においては、内から処理液やその蒸気を漏らさないようすることが求められ、開状態にする際は、簡単な操作と構造で、環境の汚染を極力押さえて、速やかに開口からアクセスでき、速やかに開口を閉状態にできることが求められる。
【０００３】
例えば、レジスト剥離装置を例にとり説明する。レジスト剥離装置は、ＴＦＴ形成工程中においてエッチング処理の後工程に使用される。レジスト剥離装置は、ガラス基板にレジスト剥離液を散布し、ガラス基板の表面に残っているレジストを除去する装置である。
従来のレジスト剥離装置は、容器とガラス基板搬送機構と処理液散布機構とで構成される。
ガラス基板搬送機構は、四辺形のガラス基板を水平にして所定の辺の平行方向に搬送する機構である。
処理液散布機構は、搬送中のガラス基板の表面に処理液を散布する機構である。
【０００４】
容器は、内部にガラス基板搬送装置と処理液散布機構とを格納し、処理液とその蒸気がクリーンルームの雰囲気中へ漏れるのを防止するものであり、容器本体と上蓋構造とを備える。
容器本体は、略六面体の薄板構造であり、開口を上部にもち、対向する一対の側面にガラス基板を出し入れする出口と入口とをもつ。
上蓋構造は、上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる構造である。
従来の上蓋構造は、上蓋とパッキンシールとフランジを有するものである。
フランジが開口の周縁に設けられている。パッキンシールが上蓋とフランジのフランジ面に挟まれる。上蓋の重量でパッキンが押しつぶされ、処理液の漏洩を防止する。
上述の上蓋構造では、メンテナンス作業を行なう際は、上蓋を取り去ることによって開口を開状態にする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
液晶基板は、年々大型化しており、それに伴ってＴＦＴ基板製造工程に用いられる装置に設けられた開口が大きなっている。そのため、開口を塞ぐ上蓋構造も大型化し重くなっている。
一方、上蓋構造の下面には処理液の蒸気が結露しており、上蓋を取り去る作業において、結露した処理液を容器の外側へこぼさない様にすることが必要である。
従って、上蓋の大型化に伴って、上蓋の取り回しが容易で、容器の外側を処理液で汚染することを防止することが容易な上蓋構造が望まれていた。
【０００６】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、従来の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造にかわって、開口を開閉する際の取り回しが容易で、処理液で容器の外側を汚染する事を防止するのが容易な上蓋構造とその上蓋構造を備えた容器を提供しようとする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る容器本体の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造を、開口を覆うことのできる平板部材と該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられた上部シール構造と該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ該平板部材の下面から垂下した立板部材とを有する上蓋と、前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にするヒンジ機構と、容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられた下部シール構造と、を備え、開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置する、ものとした。
【０００８】
上記本発明の構成により、上蓋の平板部材が開口を覆うことができ、上蓋の上部シール構造が該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられ、該平板部材の下面から垂下した上蓋の立板部材が該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ、ヒンジ機構が前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にし、下部シール構造が容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられ、開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置するので、閉状態では、前記上蓋と容器の上部との間が液密にシールされ、開状態では、上蓋が所定の側を中心に回転し、上蓋の下面に付着した液は重力によりたれて前記立板部材の前記端部から開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
【０００９】
さらに、本発明に係る容器の上蓋構造は、開口を開状態にしたときヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜している、のが好ましい。
上記本発明の構成により、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜しているので、上蓋の下面に付着した液は下方に傾斜した端部からスムースに開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明に係る上部に開口を設けられた容器を、上部に開口を設けられた容器本体と、開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる上蓋構造と、を備え、前記上蓋構造が、開口を覆うことのできる平板部材と該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられた上部シール構造と該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ該平板部材の下面から垂下した立板部材とを有する上蓋と、前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にするヒンジ機構と、容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられた下部シール構造と、を有し、開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置する、ものとした。
【００１１】
上記本発明の構成により、容器本体の上部に開口を設けられ、上蓋構造が開口を択一的に開状態と閉状態とにすることができ、上蓋の平板部材が開口を覆うことができ、上蓋の上部シール構造が該平板部材の下面に外周に沿って環状に設けられ、該平板部材の下面から垂下した上蓋の立板部材が該上部シール構造の内側に沿って環状に設けられ、ヒンジ機構が前記上蓋を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にし、下部シール構造が容器本体の上部に開口の周縁部を環状に囲って設けられ、開口を閉状態にしたとき前記上部シール構造と前記下部シール構造とが前記上蓋と容器の上部との間を液密にシールし、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置するので、閉状態では、前記上蓋と容器の上部との間が液密にシールされ、開状態では、上蓋が所定の側を中心に回転し、上蓋の下面に付着した液は重力によりたれて前記立板部材の端部から開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
【００１２】
さらに、本発明に係る容器は、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜している、のが好ましい。
上記本発明の構成により、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が下方に傾斜しているので、上蓋の下面に付着した液は下方に傾斜した前記端部からスムースに開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００１４】
本発明の実施形態に係る容器とその上蓋構造を、図を基に、説明する。図１は、本発明の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その１である。図２は、本発明の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その２である。
容器１は、上部に開閉可能にした開口を設けられた密閉構造体であって、容器本体１０とその上部に設けられた上蓋構造２とで構成される。
容器本体１０は、略６面体の薄板構造であり、上部の面に開口３を有する。
上蓋構造２は、容器本体１０の上部に設けられた開口３を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器１の構造であって、上蓋２０とヒンジ機構３０と下部シール構造４０とロック機構５０とを備える。
開口３は、容器１の上面に設けられ、例えば、容器本体１０の上部板１１に明けられた略四辺形の孔である。開口３の周縁部が、略四辺形をしている。
複数の開口３が設けられていてよいが、説明の便宜のために、一つの開口３に設けられた上蓋構造について説明する。
【００１５】
上蓋２０は、上蓋構造２が開口３を閉状態にしたときに開口３を覆う構造であり、平板部材２１と立板部材２２と上部シール構造２３と熱遮蔽板２４とのぞき窓２５とで構成される。
【００１６】
平板部材２１は、開口を覆うことのできる部材である。例えば、平板部材２１は、開口３よりも一回り大きな四辺形の板である。
図１、図２には、四辺形の開口３を塞ぐための略四辺形の平板部材２１が示されている。図示しないが、平板部材２１は面外変形をしにくくなるように、強め材で補強されている。
ここで、説明の便宜上、開口３を閉状態にした際に、平板部材２１の開口３に向いた側を下方、反対側を上方と呼ぶ。
【００１７】
上部シール構造２３は、平板部材２１の下面に外周に沿って環状に設けられたシール構造の一部である。上部シール構造２３は、後述する下部シール構造と組み合わされてシール機能を発揮する。
開口を閉状態にしたとき、上部シール構造２３と後述する下部シール構造４０とが上蓋２０と容器本体１０の上部との間を液密にシールする。
図１、図２には、略四辺形の平板部材２１の下面に設けられ下方にシール面を向けたフランジを持った上部シール構造２３が示されている。
上部シール構造２３のフランジは、平板部材２１の略四辺形の外周に沿って略四辺形の枠状に設けられている。
【００１８】
立板部材２２は、平板部材２１の下面から垂下した部材であり、上部シール構造２３の内側に沿って環状に設けられる。
開口を開状態にしたとき、後述するヒンジ機構３０のある側の立板部材２２の端部ｘが開口３の周縁部で囲まれた領域の上方に位置する。
また、開口を開状態にしたとき、後述するヒンジ機構３０のある側の立板部材２２の端部ｘが下方に傾斜しているのが好ましい。
図１，図２には、上部シール構造２３の内側に沿って環状に設けられた立板部材２２が示されている。立板部材２２は、略四辺形の枠状に設けられた上部シール構造２３の内側に沿って、平板部材２１の下面から垂下して、略四辺形の枠状に設けられている。
説明の便宜上、後述するヒンジ機構３０のある側の立板部材２２を第一立板部材２２ａと呼び、反対側にある立板部材２２を第三立板部材２２ｃと呼び、第一立板部材２２ａと第三立板部材２２ｃとを繋いでいる一対の立板部材２２を第二立板部材２２ｂと呼ぶ。
図１、図２には、端部ｘがヒンジ機構側に折れ曲がった第一立板部材２２ａが示されている。上蓋２０がヒンジ機構３０により上方に回転し、開口３を開状態にすると、第一立板部材２２ａの端部ｘが下方に傾斜し、開口の周縁部で囲まれた領域の上方に位置している。
【００１９】
熱遮蔽板２４は、オペレータが高温の平板部材２１に触れることを防止するための板であり、平板部材２１の上面に取り付けられる。
【００２０】
のぞき窓２５は、容器２の内部の様子を目視確認できる様にするための窓であり、平板部材２１の所定の箇所に設けられる。
【００２１】
ヒンジ機構３０は、上蓋２０を所定の側を中心に回転させて開口を開閉可能にする機構であり、ヒンジ固定部３１とヒンジ回転部３２とで構成される。　ヒンジ固定部３１が容器本体１０の上面１１にボルト固定される。ヒンジ回転部３２が上蓋２０にボルト固定される。ヒンジ機構３０は、例えば一端をヒンジ固定部３１に固定し、他端をヒンジ回転部３２に固定し長手方向を回転軸に一致させたトルクロッドを持ったいわゆるトーションバー式ヒンジ機構である。
開口３を閉状態にする際は、上蓋２０は、ヒンジ機構５０を中心に下方へ回転し、開口を塞ぐ。上部シール構造２３と後述する下部シール構造４０とがシール機能を発揮する。
開口４を開状態にする際は、上蓋２０はヒンジ機構３０を中心に上方へ回転し、上蓋２０を開放する。
図２には、開口３を開状態にする様子が示されている。
【００２２】
下部シール構造４０は、容器本体の上部に開口３の周縁部を環状に囲って設けられるシール構造の一部であり、下部シール構造フランジ４１とシールパッキン４２とで構成される。
下部シール構造フランジ４１は、容器本体１０の上面１１に開口３の周縁部に沿って設けられ、シール面を上方に向けている。
シールパッキン４２は、柔軟材料でできたパッキンであり、下部シール構造フランジ４１のシール面に接着されている。
シール構造２０がシールする液体が強アルカリ溶液（例えば、モノエタノールアミン、ジメチルスルホキシド、他）である場合、シールパッキンの素材は軟質ＰＴＦＥであるのが好ましい。
【００２３】
ロック機構５０は、上蓋２０を容器本体１０の上面に固定する機構であり、上蓋２０の周囲の所定の箇所に設けられる。ロック機構５０が上蓋２０を容器本体１０の側へ押し付け、第一シール構造２３が第二シール構造４０のシールパッキン４２を圧縮する。
【００２４】
以下に、本発明の実施形態に係る上蓋構造の作用を、図を基に、説明する。図３は、本発明の実施形態にかかる正面断面図その１である。図４は、本発明の実施形態にかかる正面断面図その２である。図５は、本発明の実施形態にかかる平面図である。
容器が液晶用ガラス基板のレジスト剥離装置である場合を例にとり説明する。
処理液は、強アルカリ溶液であって、例えば、モノエタノールアミンまたはジメチルスルホキシドである。
容器１は、上部に開口３を設けられた容器本体１０と上蓋構造２と処理液散布機構（図示せず）とガラス基板搬送機構（図示せず）とを備える。
容器の内部の温度は、高温（例えば８０°）になっており、処理液が容器内に散布され、処理液の蒸気が容器内に充満している。
また、開口３を開状態にする際は、容器内の温度を常温に戻した後で上蓋を操作するのが通例である。
さらに、容器内の圧力は、容器が設置されるクリーンルーム内の圧力よりも低くなっている。
２つの開口３が容器本体１０に設けられ、上蓋構造２それぞれの開口３に設けられている。
【００２５】
開口が閉状態の時：
上蓋２０が、ヒンジ機構３０を中心に下方へ回転し、上蓋２０が開口３を覆っている。ロック機構５０により、上蓋２０の上部シール構造２３が下部シール機構４０のシールパッキンを圧縮している。
処理液散布機構が、液晶用ガラス基板に処理液を散布する。
ガラス基板搬送機構が、散布する処理液の雰囲気中にガラス基板を水平に搬送する。
液体が、容器本体１０の内部で散布される。　容器本体１０の内部の液体と液体が気化した蒸気は、上部シール構造２３と下部シール構造４０とでできたシールにより液密にシールされる。
容器本体１０の内部で飛沫した液が、上蓋２０の下面に付く。
また、液体の一部は、容器本体１０の中で気化して蒸気となる。蒸気が上蓋２０の下面で結露し、液滴が上蓋２０の下面に付く。
【００２６】
開口が開状態の時：
容器の内部でガラス基板が割れた場合等には、容器内の装置を停止する。装置の停止後、装置内の温度を下げる。容器内の温度が常温になったら、上蓋２０をヒンジ機構３０を中心に回転し、開口３を開放にする。容器の内部の圧力は、クリーンルームの圧力よりも低く設定されており、容器の内部の雰囲気がクリンルーム内に漏れることはない。
上蓋２０をヒンジ機構３０を中心に上方へ回転させると、上蓋２０の下面に付いた液滴が、重力により、下方に垂れる。
上蓋２０の下面の立板部材２２で囲まれた領域に付いた液滴が、第一立板部材２２ａの内側に集まる。
液滴は、第一立板部材２２ａを伝って、端部ｘから下方に落下する。
端部ｘが、開口３の周縁部で囲まれた領域の上方に位置しているので、落下した液滴は、開口３から容器本体１０の中に落ちる。
【００２７】
上述の実施形態の上蓋構造を用いれば、大型化に伴って重くなった上蓋を簡単に取り扱って、開口３を開状態にできる。
また、その際、上蓋の下面に結露している液滴を容器本体の外側へこぼすことなく、クリーンルームを汚染する恐れがない。
また、開口を開状態にした際に、ヒンジ機構の側の立板部材２２〔第一立板部材２２ａ）の端面ｘが下方に向く様にしたので、液滴が端面ｘに誘導されやすく、液滴が容器本体１０の中に落ちる。
【００２８】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
第一シール構造と第二シール構造で構成されるシール機構をパッキンシールであるとして説明したがこれに限定されず、例えばОリングシール、ラビリンスシール、液密シール等でもよい。
開口の周縁部が四辺形であるとして説明したがこれに限定されず、例えば、他の多角形や円形等でもよい。
【００２９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の上蓋構造とその容器は、その構成により、以下の効果を有する。
上蓋がヒンジを中心に開く様にして、上蓋の下面に立板部材を環状に設け、開口を開状態にしたとき前記ヒンジ機構のある側の前記立板部材の前記端部が開口の周縁部の内側の上方に位置する様にしたので、閉状態では、前記上蓋と容器の上部との間が液密にシールされ、開状態では、上蓋が所定の側を中心に回転し、上蓋の下面に付着した液は重力によりたれて前記立板部材の前記端部から開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
また、開口を開状態にしたとき前記立板部材の前記ヒンジ機構のある側の前記端部が下方に傾斜している様にしたので、上蓋の下面に付着した液は傾斜した端部からスムースに開口の中に落ちるので、液が容器本体の外側に漏れることを抑制できる。
従って、開口を開閉する際の取り回しが容易で、処理液で容器の外側を汚染する事を防止するのが容易な上蓋構造とその上蓋構造を備えた容器を提供できる。
【００３０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その１である。
【図２】本発明の実施形態にかかる上蓋構造の断面図その２である。
【図３】本発明の実施形態にかかる正面断面図その１である。
【図４】本発明の実施形態にかかる正面断面図その２である。
【図５】本発明の実施形態にかかる平面図である。
【符号の説明】
ｘ　　端部
１　　容器
２　　上蓋構造
３　　開口
１０　　容器本体
１１　　上面
２０　　上蓋
２１　　平板部材
２２　　立板部材
２２ａ　第一立板部材
２２ｂ　第二立板部材
２２ｃ　第三立板部材
２３　　上部シール構造
２４　　熱遮蔽板
２５　　ぞき窓２５
３０　　ヒンジ機構
３１　　ヒンジ固定部
３２　　ヒンジ回転部
４０　　下部シール機構
４１　　下部シール構造フランジ
４２　　シールパッキン
５０　　ロック機構
【図１】
2004075157.tif 000003
【図２】
2004075157.tif 000004
【図３】
2004075157.tif 000005
【図４】
2004075157.tif 000006
【図５】
2004075157.tif 000007