【手続補正書】
【提出日】平成23年12月28日(2011.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面微細構造化製品を製造する方法であって、
（８００）基板シート（５０）の第１の表面に一次製品フィーチャ（８０）を提供するステップと、
（８１０）前記基板シート（５０）の反対側の表面に二次製品フィーチャ（９０）を提供するステップと、
（８２０）位置合わせパラメータを推定するために、前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ（８０、９０）の相互位置合わせを表示するステップと、
（８３０）製品フィーチャを提供する少なくとも１つのステップを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ（８０、９０）の準備を位置合わせさせるステップと
を含む方法。
【請求項２】
一次製品フィーチャ（８０）を提供するステップ及び二次製品フィーチャ（９０）を提供するステップが、１組の一次製品フィーチャ（８０）及び１組の二次製品フィーチャ（９０）を前記基板シート（５０）に沿って連続プロセスで繰り返し提供するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、前記基板シート（５０）の前記第１の面の前記一次製品フィーチャ（８０）と、前記基板シート（５０）の前記反対側の表面の前記二次製品フィーチャ（９０）との相互作用によって提供される合成画像の位置決めを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
（８７０）前記基板シート（５０）の前記第１の面に集束エレメントの位置決めアレイを有する一次位置決めフィーチャを提供するステップと、
（８８０）前記基板シート（５０）の前記反対側の面上の基準オブジェクトの位置決めアレイを有する二次位置決めフィーチャを提供するステップと
をさらに含み、
前記一次位置決めフィーチャが前記基板シート（５０）の前記第１の表面の前記一次製品フィーチャ（８０）と位置合わせされ、前記二次位置決めフィーチャが前記基板シート（５０）の前記反対側の表面の前記二次製品フィーチャ（９０）と位置合わせされ、集束エレメントの前記位置決めアレイと、基準オブジェクトの前記位置決めアレイが、前記基準オブジェクトの代表として認識できる合成画像を提供するように配置される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項５】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、（８９０）前記位置決め構造の前記一次位置決めフィーチャ及び前記二次位置決めフィーチャの相対位置の識別を含む、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
基準オブジェクトの前記位置決めアレイが基準オブジェクトの隣接する相補サブ・アレイの１つ又は複数の対を備えた、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、前記第一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャを提供するステップに引き続いて実施される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項８】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、前記一次製品フィーチャ又は二次製品フィーチャを提供する前記ステップと同時に実施される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項９】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ（８０、９０）の前記相互位置合わせを表示するステップが、前記基板シート（５０）の前記表面に対して垂直の方向における前記一次フィーチャ及び二次フィーチャ（８０、９０）の相対位置を識別するステップを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項１０】
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ（８０、９０）の前記相互位置合わせを表示するステップが、三次元における前記一次フィーチャ及び二次フィーチャ（８０、９０）の相対位置を識別するステップを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項１１】
製品フィーチャを提供するステップのうちの１つ又は複数が、少なくとも１つのエンボス・ロールを使用したローリング・プロセスによって実施される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項１２】
製品フィーチャを提供する少なくとも１つのステップを制御するステップが、少なくとも１つのロールに対するロール温度、ロール位置、ロール・スキュー、ロール寸法及びロール回転速度、前記基板シートの並進方向及び／又は横方向の張力のパラメータのうちの１つ又は複数を制御するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記エンボス・ロールに配置される圧力ロール（６２５）の前記基板シートに硬化性重合体が加えられ、製品フィーチャを提供する少なくとも１つのステップを制御するステップが、前記エンボス・ロールに関連して前記圧力ロール（６２５）の圧力及び／又は位置を制御するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記エンボス・ロールが、前記ロールの周りのスリーブ（１３０）として形成されたエンボス・プレートを備えた、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
第１の表面の集束エレメント（２０）の位置決めアレイと、反対側の表面の基準オブジェクト（３０）の位置決めアレイとを備えた位置決め構造であって、集束エレメント（２０）の前記位置決めアレイが前記第１の表面の一次製品フィーチャ（８０）と位置合わせされ、基準オブジェクト（３０）の前記位置決めアレイが前記反対側の表面の二次製品フィーチャ（９０）と位置合わせされ、集束エレメント（２０）の前記位置決めアレイ及び基準オブジェクト（３０）の前記位置決めアレイが、前記基準オブジェクト（３０）を表示する合成画像（１０）を提供するようになされた位置決め構造。
【請求項１６】
基準オブジェクトの前記位置決めアレイが、基準オブジェクト（３０Ａ、３０Ｂ）の隣接する相補サブ・アレイの１つ又は複数の対を備えた、請求項１５に記載の位置決め構造。
【請求項１７】
基準オブジェクト（３０）の前記相補サブ・アレイが、少なくとも１つの方向に異なる反復周期を有する、請求項１５または１６に記載の位置決め構造。
【請求項１８】
基準オブジェクトの相補サブ・アレイの２つの対を備え、第１の対が第１の方向のミスアライメントを示すようになされ、第２の対が前記第１の方向とは異なる第２の方向のミスアライメントを示すようになされた、請求項１５または１６に記載の位置決め構造。
【請求項１９】
給送方向で製造プロセスを継続し、且つ、直接フィードバック・タイプの位置合わせプロセスを継続するようになされ、前記位置決め構造が本質的に前記給送方向に連続的に繰り返され、基準オブジェクトの相補サブ・アレイの第１の対が、前記給送方向に対して横方向のミスアライメントを示すようになされ、前記反復位置決め構造が、前記第１の対の前記基準オブジェクトが前記給送方向に互いに区別することができるように形成された、請求項１５または１６に記載の位置決め構造。
【請求項２０】
第１の表面に提供された一次製品フィーチャと、反対側の表面に提供された、前記一次製品フィーチャと位置合わせされている第２の製品フィーチャと、請求項１５に記載の位置決め構造とを備えた両面微細構造化製品。
【請求項２１】
細長い基板シート（５０）に沿って連続プロセスで両面微細構造化製品を製造するための構造であって、
前記基板シート（５０）の第１の表面に一次製品フィーチャを提供するための手段（５００）と、
前記基板シートの反対側の表面に二次製品フィーチャを提供するための手段（５２０）と、
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相互位置合わせを表示し、且つ、位置合わせパラメータを推定するようになされた位置決め検出システム（５４０）と、
製品フィーチャを提供するための前記手段のうちの少なくとも１つを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの準備を位置合わせさせるようになされた位置合わせ制御システム（５５０）と
を備えた構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【図１】モアレ・タイプのホログラフィ表現の基礎をなしている原理を示す略図である。
【図２ａ】モアレ・タイプのホログラフィ表現の基礎をなしている原理を示す略図である。
【図２ｂ】ホログラフィ表現における、変化する完全性を示す略図である。
【図３ａ】図１のホログラフィ表現を提供するための代替実施例を示す略図である。
【図３ｂ】図１のホログラフィ表現を提供するための他の代替実施例を示す略図である。
【図４ａ】図１の画像オブジェクトであって、画像オブジェクトのアレイが集束エレメントのアレイに対してミスアライメントである画像オブジェクトのモアレ・タイプ・ホログラフィ表現の例を示す略図である。
【図４ｂ】図１の画像オブジェクトであって、画像オブジェクトのアレイが集束エレメントのアレイに対してミスアライメントである画像オブジェクトのモアレ・タイプ・ホログラフィ表現の例を示す他の略図である。
【図５ａ】位置決めアレイを備えた位置決め構造の一実施例を示す略図である。
【図５ｂ】位置決めアレイを備えた位置決め構造の一実施例を示す略図である。
【図５ｃ】位置決めアレイを備えた位置決め構造の一実施例を示す略図である。
【図５ｄ】位置決めアレイを備えた位置決め構造の一実施例を示す略図である。
【図６ａ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図６ｂ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図６ｃ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図７ａ】区別可能なマークを中に備えた基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図７ｂ】区別可能なマークを中に備えた基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図７ｃ】区別可能なマークを中に備えた基準オブジェクトの相補サブ・アレイを備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図８ａ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイの隣接する対と対の間に中間空間を備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図８ｂ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイの隣接する対と対の間に中間空間を備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図８ｃ】基準オブジェクトの相補サブ・アレイの隣接する対と対の間に中間空間を備えた位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図９ａ】マクロ位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図９ｂ】マクロ位置決め構造の一概略実施例を示す図である。
【図１０】本発明による製品製造方法を示す略図である。
【図１１ａ】本発明による両面微細構造化製品の概略的な例を示す図である。
【図１１ｂ】本発明による両面微細構造化製品の概略的な例を示す図である。
【図１２ａ】本発明による基準オブジェクトの断面形状を示す略図である。
【図１２ｂ】本発明による基準オブジェクトの他の断面形状を示す略図である。
【図１２ｃ】本発明による基準オブジェクトの他の断面形状を示す略図である。
【図１３】本発明による階段状基準オブジェクトを示す略図である。
【図１４】本発明による、厚さを決定するために使用することができる一実施例を示す略図である。
【図１５】本発明による、スリーブとして形成されたエンボス・プレートを示す略図である。
【図１６】本発明による、製品を製造するための概略構造を示す図である。
【図１７】本発明による、製品を製造するための概略構造を示す図である。
【図１８】本発明による、製品を製造するための概略構造を示す図である。
【図１９】本発明によるリール−リール構造を示す略図である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図５ａ〜５ｄに概略的に開示されている本発明の一実施例によれば、第１の箔５１が第２の箔５２の上に配置された場合に、第１の箔５１の第１の表面の一次製品フィーチャ８０と第２の箔５２の反対側の表面の二次製品フィーチャ９０を位置合わせさせるために使用することができる位置決め構造７０の精度を改善するために、モアレ・タイプ・ホログラフィ表現１０Ａ及び１０Ｂが導入される。位置決め構造７０は、第１の箔５１の透明セクションの第１の表面に集束エレメント２０の位置決めアレイを備えており、また、第２の箔５２の透明セクションの反対側の表面に基準オブジェクト３０の位置決めアレイを備えている。集束エレメント２０の位置決めアレイは、第１の箔５１の第１の表面の一次製品フィーチャ８０と位置合わせされており、基準オブジェクト３０の位置決めアレイは、第２の箔５２の反対側の表面の二次製品フィーチャ９０と位置合わせされている。箔を互いに所定の距離を隔てて配置し、例えば接触して配置することにより、これらの箔の厚さによって所定の距離が決定され、したがって集束エレメント２０の位置決めアレイと基準オブジェクト３０の位置決めアレイの間の正確な距離を提供することができる。つまり、個々の集束エレメント２０が、関連する基準オブジェクト３０から、その焦点距離に実質的に等しい一定の距離を隔てて配置される。個々の箔の一次製品フィーチャ８０と二次製品フィーチャ９０の位置合わせは、本出願では、基板シート５０の一次製品フィーチャ８０と二次製品フィーチャ９０の位置合わせと同様であると見なすべきである。さらに、基板シート５０の第１の表面に一次製品フィーチャ８０を備え、且つ、基板シート５０の反対側の表面に二次製品フィーチャ９０を備えた製品の製造においては、基板シートは、しばしばウェブと呼ばれており、したがって基板シート、箔及びウェブという用語は、本出願の明細書全体を通して交換可能に使用されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図１０は、
−８００基板シートの第１の表面に一次製品フィーチャを提供するステップと、
−８１０基板シートの反対側の表面に二次製品フィーチャを提供するステップと、
−８２０位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相互位置合わせを表示するステップと、
−８３０製品フィーチャを提供する少なくとも１つのステップを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの準備を位置合わせさせるステップ
の複数のステップ（図１０）を含む両面微細構造化製品を製造する方法の一実施例を概略的に示したものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
一実施例では、スリーブ１３０は、ロールより小さい直径を有している。これは、ロールへのスリーブ１３０の堅固な嵌合を可能にしている。したがってスリーブ１３０の基本形状並びに熱特性などの他の特性は、ロールによって提供される。スリーブの直径はロールの直径より小さいため、ロール上への配置に先立ってスリーブを引き伸ばさなければならない。これは、スリーブの残留張力が生成される原因になり、エンボス構造の周期性に影響を及ぼすことがある。これは、例えばロールの回転速度及び／又はロールの加熱を調整することによって補償することができるが、構造中の他のロールが同じ方法でスリーブを備えている場合、このような補償は、場合によっては冗長補償である。