【手続補正書】
【提出日】平成25年11月18日(2013.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体駆動システムであって、
少なくとも第１ダイヤフラム（２０６ａ）及び第１プレナム（１１２Ａ）を備え、第１ダイヤフラム（２０６ａ）は、第１プレナム（１１２Ａ）から出口開口部（１１６）を通って流体を放出する内部駆動機構（２０２）と、
第２ダイヤフラム（２０６ｂ）と、第１プレナムに流体接続される第２プレナム（１１２Ｂ）を取り囲む第３ダイヤフラム（２０６ｃ）とを備える周辺駆動機構（２０４）であって、第２ダイヤフラム（２０６ｂ）及び第３ダイヤフラム（２０６ｃ）が、流体を第２プレナム（１１２Ｂ）から第１プレナム（１１２Ａ）に放出し、内部駆動機構（２０２）に、第１ダイヤフラム（２０６ａ）、第２ダイヤフラム（２０６ｂ）、及び第３ダイヤフラム（２０６ｃ）が軸に沿って略位置合わせされるように接続される周辺駆動機構（２０４）と
を備える流体駆動システム。
【請求項２】
第１ダイヤフラム（２０６ａ）、第２ダイヤフラム（２０６ｂ）、及び第３ダイヤフラム（２０６ｃ）はそれぞれ圧電ディスクを備える、請求項１に記載の流体駆動システム。
【請求項３】
流体は空気を含み、出口開口部（１１６）が航空機の外板の開口部を備えることにより、流体駆動システムは航空機外板の開口部から周囲空気流に空気を放出する、請求項１または２に記載の流体駆動システム。
【請求項４】
更に、作用対象の流体流に対向する第１面と、内部駆動機構（２０２）に対向する第２面とを有するパネル（２０５）を備え、パネル（２０５）の第２面が、第１プレナムの１つの面を形成しており、パネル（２０５）が出口開口部を備えることにより、流体が、パネル（２０５）の第２面に隣接する第１プレナム（１１２Ａ）からパネル（２０５）の第１面に至る出口開口部（１１６）を通って作用対象の流体流に向けて放出される、請求項１ないし３の何れか一項に記載の流体駆動システム。
【請求項５】
内部駆動機構（２０２）は更に、第１ダイヤフラム（２０６Ａ）を収容するサイズに形成される第１ディスク開口部（２１４Ａ）を有する第１ディスクプレート（２１２Ａ）を備え、
周辺駆動機構（２０４）は更に、第２ダイヤフラム（２０６Ｂ）を収容するサイズに形成される第２ディスク開口部（２１４Ｂ）を有する第２ディスクプレート（２１２Ｂ）と、第３ディスクプレート（２１２Ｃ）を収容するサイズに形成される第３ディスク開口部（２１２Ｃ）を有する第３ディスクプレート（２１２Ｃ）とを備え、
さらにパネルを備え、前記パネル（２０５）、内部駆動機構（２０２）、及び周辺駆動機構（２０４）は、積層構造に配置されて、ディスクプレート（２１２Ａ）がパネル（２０５）に当接して、第１プレナム（１１２Ａ）をパネル（２０５）の第２面と第１ダイヤフラム（２０６Ａ）との間に画定し、第２ディスクプレート（２１２ｂ）が第１ディスクプレート（２１２Ａ）に当接し、第３ディスクプレート（２１２Ｃ）が第２ディスクプレート（２１２Ｂ）に当接して、第２プレナム（１１２Ｂ）を第２ダイヤフラム（２０６Ｂ）と第３ダイヤフラム（２０６Ｃ）との間に画定する、請求項１ないし４の何れか一項に記載の流体駆動システム。
【請求項６】
第１ディスクプレート（２１２Ａ）は更に、流体を第２プレナム（１１２Ｂ）から第１プレナム（１１２Ａ）に移送するように構成された第１流体移送開口部（２１６Ａ）を含み、
第２ディスクプレート（２１２Ｂ）は更に、流体を第２プレナム（１１２Ｂ）から第１流体移送開口部に移送する第２流体移送開口部（２１６Ｂ）を備える、
請求項５に記載の流体駆動システム。
【請求項７】
作動流体流を供給する方法であって、
第１プレナム（１１２Ａ）を、第１ダイヤフラム（２０６Ａ）を介して交互に圧縮し、膨張させるステップと、
第２プレナム（１１２Ｂ）を、第２ダイヤフラム（２０６Ｂ）及び第３ダイヤフラム（２０６ｃ）を介して、第１プレナム（１１２Ａ）の圧縮及び膨張と連動して交互に圧縮し、膨張させるステップと、
流体流を、第２プレナム（１１２Ｂ）と第１プレナム（１１２Ａ）との間で移送するステップと、
流体を第１プレナム（１１２Ａ）から出口開口部（１１６）を通って放出して、作動流体流を供給するステップと
を含む方法。
【請求項８】
第１ダイヤフラム（２０６Ａ）、第２ダイヤフラム（２０６Ｂ）、及び第３ダイヤフラム（２０６Ｃ）はそれぞれ圧電ディスクを含み、第１プレナム（１１２Ａ）を交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を第１圧電ディスクに供給して、第１圧電ディスクを移動させることにより、第１プレナム（１１２Ａ）を交互に圧縮し、そして膨張させるステップを含み、第２プレナム（１１２Ｂ）を交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を第２及び第３圧電ディスクに供給して、第２及び第３圧電ディスクを移動させることにより、第２プレナム（１１２Ｂ）を交互に圧縮し、そして膨張させるステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
電気入力を第２（２０６Ｂ）及び第３圧電ディスク（２０６Ｃ）に供給して、第２及び第３圧電ディスクを移動させることにより、第２プレナムを交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を供給して、第２及び第３圧電ディスクの位相が互いに１８０度ずれて、各ディスクが同時に第２プレナム（１１２Ｂ）に向かって内側に移動して第２プレナム（１１２Ｂ）を圧縮し、そして第２プレナム（１１２Ｂ）から離れるように外側に移動して第２プレナム（１１２Ｂ）を膨張させるステップを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
更に、
第１圧電ディスク（２０６Ａ）を第１ディスクプレートの第１のディスク開口部（２１４Ａ）の内部に取り付けるステップと、
第１ディスクプレート（２１２Ａ）を出口開口部（１１６）を有するパネル（２０５）に接着させて、第１プレナム（２１２Ａ）を第１圧電ディスクとパネル（２０５）の出口開口部（１１６）との間に形成するステップと、
第２圧電ディスク（２０６Ｂ）を第２ディスクプレート（２１２Ｂ）のディスク開口部（２１４Ｂ）の内部に取り付けるステップと、
第２ディスクプレートを第１ディスクプレートに、第１圧電ディスク及び第２圧電ディスクが略位置合わせされるように接着させるステップと、
第３圧電ディスク（２０６Ｃ）を第３ディスクプレート（２１２Ｃ）のディスク開口部（２１４Ｃ）の内部に取り付けるステップと、
第３ディスクプレート（２１２Ｃ）を第２ディスクプレート（２１２Ｂ）に、第２圧電ディスク及び第３圧電ディスク（２０６Ｃ）が略位置合わせされ、かつ第２プレナム（１１２Ｂ）が、第２圧電ディスクと第３圧電ディスクとの間に形成されるように接着させるステップと
を含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
流体流を第２プレナム（１１２Ｂ）と第１プレナム（１１２Ａ）との間で移送するステップは、
位置合わせされる流体移送開口部（２１６Ａ、２１６Ｂ）を第１（２１２Ａ）及び第２ディスクプレート（２１２Ｂ）の各ディスクプレート内に設けるステップと、
第２プレナム（１１２Ｂ）からの流出口を、第２圧電ディスクプレートと第３圧電ディスクプレート（２１２Ｃ）との間に設けるステップであって、流出口が、第２プレナム（１１２Ｂ）を、位置合わせされる流体移送開口部に流体接続するステップと、
第１プレナム（１１２Ａ）への流入口をパネル（２０５）と第１ディスクプレートとの間に設けるステップであって、流入口が、位置合わせされる流体移送開口部を第１プレナム（１１２Ａ）に流体接続するステップと
を含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
更に、通気部（２２４）を、第１ディスクプレート（２１２ａ）と第２ディスクプレート（２１２ｂ）との間に設けて、第１圧電ディスク（２０６ａ）と第２圧電ディスク（２０６ｂ）との間の空間が常に周囲雰囲気に暴露されるステップを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
更に、
第４圧電ディスク（２０６ｄ）を第４ディスクプレート（２１２ｄ）の第４ディスク開口部（２１４ｄ）の内部に取り付けるステップと、
第４ディスクプレートを第３ディスクプレート（２１２ｃ）に接着させるステップと、
第５圧電ディスク（２０６ｅ）を第５ディスクプレート（２１２ｅ）の第５ディスク開口部（２１４ｅ）の内部に取り付けるステップと、
第４圧電ディスク及び第５圧電ディスクが略位置合わせされ、かつ第３プレナム（１１２ｃ）が第４圧電ディスクと第５圧電ディスクとの間に形成されるように、第５ディスクプレートを第４ディスクプレートに接着させるステップと、
第１プレナム（１１２Ａ）及び第２プレナム（１１２Ｂ）の圧縮及び膨張と連動して、第３プレナムを、第４圧電ディスク及び第５圧電ディスクで、交互に圧縮し、膨張させるステップと、
流体流を、第３プレナムと第１プレナム（１１２Ａ）との間で移送するステップと
を含む、請求項１０に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
図１Ｂは、多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６の簡易模式図を示すことにより、図２〜５に関連して以下に詳細に説明されるコンセプトを示している。図１Ｂに示すように、多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６は、何れかの数のアクチュエータ段１１０を含むことができ、これらのアクチュエータ段１１０は、軸に沿って位置合わせされ、かつ互いの上に積層される。各段１１０はプレナム１１２を含み、このプレナム１１２は、１つ、または２つのダイヤフラム（図１Ｂには示されず）を使用して膨張させ、そして収縮させる。これらのプレナム１１２の膨張及び収縮によって、これらのプレナム１１２の間を、流体通路１１４を通って流れ、そして出口開口部１１６を通って多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６に流入し、そしてシンセティックジェットアクチュエータ１０６から流出する作動流体１０８が生成される。複数段１１０の多段積層構成によって、各段１１０の作動流体１０８を集めることができるので、作動流体１０８を生成することができ、この作動流体１０８の作動流速は上昇するので、本明細書において記載される実施形態は、高流速用途において有効となり得る。本明細書において記載される多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６のこれらのダイヤフラムはそれぞれ、圧電ディスクであるとして開示されている、またはこれらのダイヤフラムは圧電ディスクによって駆動され、この圧電ディスクは、電気入力に反応して直線振動を発生し、これにより、対応するプレナム１１２を膨張させ、そして収縮させる。十分大きな振動運動を発生して、対応するダイヤフラム１１２に適正に作用する他の何れかのダイヤフラムまたは機構を使用しても良い。
ダイヤフラム及び圧電ディスクの用語はお互いに交換可能であるが、圧電ディスクは一つのタイプのダイヤフラムにすぎず、ダイヤフラムの意図された実施例すべてが圧電ディスクであるというわけではないと解釈される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
図２は、１つの実施形態による多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６の拡大分解図を示している。この実施形態によれば、多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６は、図１Ｂに示す２積層段１１０を構成する内部駆動機構２０２及び周辺駆動機構２０４を含み、これらの機構が、一体的に作用して作動流体１０８を供給する。内部駆動機構２０２はダイヤフラムまたは圧電ディスク２０６Ａを含み、この圧電ディスク２０６Ａが電気入力に反応して、第１プレナム１１２Ａを圧電ディスク２０６Ａとパネル２０５との間で圧縮し、膨張させる。パネル２０５は、構造１０４自体とすることができる、または何れかの適切な材料から成るプレートとすることができ、このプレートを次に、構造１０４の内側表面に取り付ける、接着させる、またはそれ以外には、配置することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
作動流体１０８の流速を大きくするために、多段シンセティックジェットアクチュエータ１０６は周辺駆動機構２０４を含み、この周辺駆動機構２０４は、内部駆動機構２０２の上に積層されるアクチュエータの第２段１１０として構成される。図３に関連する以下の記載から分かり、そして説明されるように、何れかの数の追加中間駆動機構群を図２に示す内部駆動機構と周辺駆動機構との間に設けて、作動流体１０８の速度を更に大きくすることができる。周辺駆動機構２０４は、ディスクプレート２１２Ｂ及びディスクプレート２１２Ｃを含み、これらのプレートは、プレート内にそれぞれ取り付けられるダイヤフラムまたは圧電ディスク２０６Ｂ及び２０６Ｃを有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
周辺駆動機構２０４と同様に、中間駆動機構３０２は、ダイヤフラムまたは圧電ディスク２０６Ｄ及び２０６Ｅをそれぞれ収容するディスク開口部２１４Ｄ及び２１４Ｅを有する２つのディスクプレート２１２Ｄ及び２１２Ｅを含む。ディスクプレート２１２Ｄ及び２１２Ｅを雄雌嵌合すると、第３プレナム１１２Ｃが形成される。流体移送開口部２１６Ｄは、作動流体１０８が、第３プレナム１１２Ｃと第１プレナム１１２Ａとの間を移動するための通路に通じるのに対し、流体移送開口部２１６Ｅは、第２プレナム１１２Ｂからの作動流体１０８のための通路に通じる。流出口３０４は、第３プレナム１１２Ｃから流体移送開口部２１６Ｄに達する通路に通じて、第１プレナム１１２Ａと第３プレナム１１２Ｃとの間の開口移送部を完成させる。流入口２１８及び流出口２２０について上に説明したように、流入口３０４は図３に示す構成に限定されず、そしてディスクプレート２１２Ｄ、２１２Ｅに含めることができる、またはディスクプレート２１２Ｄ及び２１２Ｅの両方の内部に部分的に含めることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
上に説明した主題は、例示として与えられ、限定的に解釈されるべきではない。種々の変形及び変更は、本明細書において記載される主題に、例示され、かつ説明される例示的な実施形態及びアプリケーションに従うことなく、かつ以下の請求項に記載される本開示の真の思想及び範囲から逸脱しない範囲で加えることができる。
また、本願は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
流体駆動システムであって、
少なくとも第１ダイヤフラム及び第１プレナムを備え、第１ダイヤフラムは、第１プレナムから出口開口部を通って流体を放出する内部駆動機構と、
第２ダイヤフラムと、第１プレナムに流体接続される第２プレナムを取り囲む第３ダイヤフラムとを備える周辺駆動機構であって、第２ダイヤフラム及び第３ダイヤフラムが、流体を第２プレナムから第１プレナムに放出し、内部駆動機構に、第１ダイヤフラム、第２ダイヤフラム、及び第３ダイヤフラムが軸に沿って略位置合わせされるように接続される周辺駆動機構と
を備える流体駆動システム。
（態様２）
第１ダイヤフラム、第２ダイヤフラム、及び第３ダイヤフラムはそれぞれ圧電ディスクを備える、態様１に記載の流体駆動システム。
（態様３）
流体は空気を含み、出口開口部が航空機外板の開口部を備えることにより、流体駆動システムは航空機外板の開口部から周囲空気流に空気を放出する、態様２に記載の流体駆動システム。
（態様４）
更に、作用対象の流体流に対向する第１面と、内部駆動機構に対向する第２面とを有するパネルを備え、パネルの第２面が、第１プレナムの１つの面を形成しており、パネルが出口開口部を備えることにより、流体が、パネルの第２面に隣接する第１プレナムからパネルの第１面に至る出口開口部を通って作用対象の流体流に向けて放出される、態様１に記載の流体駆動システム。
（態様５）
内部駆動機構は更に、第１ダイヤフラムを収容するサイズに形成される第１ダイヤフラム開口部を有する第１ダイヤフラムプレートを備え、
周辺駆動機構は更に、第２ダイヤフラムを収容するサイズに形成される第２ダイヤフラム開口部を有する第２ダイヤフラムプレートと、第３ダイヤフラムを収容するサイズに形成される第３ダイヤフラム開口部を有する第３ダイヤフラムプレートとを備え、
パネル、内部駆動機構、及び周辺駆動機構は、積層構造に配置されて、第１ダイヤフラムプレートがパネルに当接して、第１プレナムをパネルの第２面と第１ダイヤフラムとの間に画定し、第２ダイヤフラムプレートが第１ダイヤフラムプレートに当接し、第３ダイヤフラムプレートが第２ダイヤフラムプレートに当接して、第２プレナムを第２ダイヤフラムと第３ダイヤフラムとの間に画定する、態様４に記載の流体駆動システム。
（態様６）
第１ダイヤフラムプレートは更に、流体を第２プレナムから第１プレナムに移送する第１流体移送開口部を含み、
第２ダイヤフラムプレートは更に、流体を第２プレナムから第１流体移送開口部に移送する第２流体移送開口部を備える、
態様５に記載の流体駆動システム。
（態様７）
更に、内部駆動機構と周辺駆動機構との間に配置される中間駆動機構を備え、中間駆動機構は、第４ダイヤフラムと、第１プレナムに流体接続される第３プレナムを取り囲む第５ダイヤフラムとを備え、第４ダイヤフラム及び第５ダイヤフラムは流体を第３プレナムから第１プレナムに向けて放出する、態様１に記載の流体駆動システム。
（態様８）
更に、内部駆動機構と中間駆動機構との間に配置される第１通気部と、中間駆動機構と周辺駆動機構との間に配置される第２通気部とを備え、第１及び第２通気部の各通気部は、隣接するダイヤフラムの間の空間を常に減圧する、態様７に記載の流体駆動システム。
（態様９）
第１及び第２通気部のうちの少なくとも１つの通気部は、隣接するダイヤフラムプレートに当接し、かつダイヤフラム開口部を有する通気プレートを備え、ダイヤフラム開口部は、隣接するダイヤフラムの間の空間を周囲雰囲気に暴露する、態様８に記載の流体駆動システム。
（態様１０）
作動流体流を供給する方法であって、
第１プレナムを、第１ダイヤフラムを介して交互に圧縮し、膨張させるステップと、
第２プレナムを、第２ダイヤフラム及び第３ダイヤフラムを介して、第１プレナムの圧縮及び膨張と連動して交互に圧縮し、膨張させるステップと、
流体流を、第２プレナムと第１プレナムとの間で移送するステップと、
流体を第１プレナムから出口開口部を通って放出して、作動流体流を供給するステップと
を含む方法。
（態様１１）
第１ダイヤフラム、第２ダイヤフラム、及び第３ダイヤフラムはそれぞれ圧電ディスクを含み、第１プレナムを交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を第１圧電ディスクに供給して、第１圧電ディスクを移動させることにより、第１プレナムを交互に圧縮し、そして膨張させるステップを含み、第２プレナムを交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を第２及び第３圧電ディスクに供給して、第２及び第３圧電ディスクを移動させることにより、第２プレナムを交互に圧縮し、そして膨張させるステップを含む、態様１０に記載の方法。
（態様１２）
電気入力を第２及び第３圧電ディスクに供給して、第２及び第３圧電ディスクを移動させることにより、第２プレナムを交互に圧縮し、膨張させるステップは、電気入力を供給して、第２及び第３圧電ディスクの位相が互いに１８０度ずれて、各ディスクが同時に第２プレナムに向かって内側に移動して第２プレナムを圧縮し、そして第２プレナムから離れるように外側に移動して第２プレナムを膨張させるステップを含む、態様１１に記載の方法。
（態様１３）
更に、
第１圧電ディスクを第１ディスクプレートのディスク開口部の内部に取り付けるステップと、
第１ディスクプレートを出口開口部を有するパネルに接着させて、第１プレナムを第１圧電ディスクとパネルの出口開口部との間に形成するステップと、
第２圧電ディスクを第２ディスクプレートのディスク開口部の内部に取り付けるステップと、
第２ディスクプレートを第１ディスクプレートに、第１圧電ディスク及び第２圧電ディスクが略位置合わせされるように接着させるステップと、
第３圧電ディスクを第３ディスクプレートのディスク開口部の内部に取り付けるステップと、
第３ディスクプレートを第２ディスクプレートに、第２圧電ディスク及び第３圧電ディスクが略位置合わせされ、かつ第２プレナムが、第２圧電ディスクと第３圧電ディスクとの間に形成されるように接着させるステップと
を含む、態様１１に記載の方法。
（態様１４）
流体流を第２プレナムと第１プレナムとの間で移送するステップは、
位置合わせされる流体移送開口部を第１及び第２ディスクプレートの各ディスクプレート内に設けるステップと、
第２プレナムからの流出口を、第２圧電ディスクプレートと第３圧電ディスクプレートとの間に設けるステップであって、流出口が、第２プレナムを、位置合わせされる流体移送開口部に流体接続するステップと、
第１プレナムへの流入口をパネルと第１ディスクプレートとの間に設けるステップであって、流入口が、位置合わせされる流体移送開口部を第１プレナムに流体接続するステップと
を含む、態様１３に記載の方法。
（態様１５）
更に、通気部を、第１ディスクプレートと第２ディスクプレートとの間に設けて、第１圧電ディスクと第２圧電ディスクとの間の空間が常に周囲雰囲気に暴露されるステップを含む、態様１３に記載の方法。
（態様１６）
更に、
第４圧電ディスクを第４ディスクプレートのディスク開口部の内部に取り付けるステップと、
第４ディスクプレートを第３ディスクプレートに接着させるステップと、
第５圧電ディスクを第５ディスクプレートのディスク開口部の内部に取り付けるステップと、
第４圧電ディスク及び第５圧電ディスクが略位置合わせされ、かつ第３プレナムが第４圧電ディスクと第５圧電ディスクとの間に形成されるように、第５ディスクプレートを第４ディスクプレートに接着させるステップと、
第１プレナム及び第２プレナムの圧縮及び膨張と連動して、第３プレナムを、第４圧電ディスク及び第５圧電ディスクで、交互に圧縮し、膨張させるステップと、
流体流を、第３プレナムと第１プレナムとの間で移送するステップと
を含む、態様１３に記載の方法。
（態様１７）
流体駆動システムであって、
複数の段を備え、各段は、
プレナムと、
プレナムを交互に圧縮し、膨張させる少なくとも１つの圧電ディスクと
を備え、
複数の段は、各圧電ディスク及びプレナムが中心軸に沿って位置合わせされた状態で積層構造に配置され、流体駆動システムは更に、
各プレナムを流体接続する流体通路と、
各プレナムの圧縮及び膨張によって生成される作動流体を放出する出口開口部と
を備える、流体駆動システム。
（態様１８）
複数の段は、第１プレナム及び第１圧電ディスクを有する第１段と、第２圧電ディスク及び第３圧電ディスクによって、これらのディスクの対向する面で画定される第２プレナムを有する第２段とを備え、出口開口部は、第１プレナム内に配置される、態様１７に記載の流体駆動システム。
（態様１９）
更に、複数の段の各段の間に配置される通気部を備え、通気部は、隣接する段の間の空間を周囲雰囲気に暴露する、態様１７に記載の流体駆動システム。
（態様２０）
流体駆動システムは、航空翼の内部に配置されて、作動流体が、航空翼に沿って流れる周囲空気流に向けて放出される、態様１７に記載の流体駆動システム。