(57)【要約】【課題】複数のストライプを形成した多波長半導体レーザ素子をスクリーニングする場合、活性層毎すなわち波長毎にスクリーニングを行う必要があるが、従来の半導体レーザ素子のスクリーニング方法では、活性層側に２つの異なる波長の表面電極が形成されているために、両方に電流が流れてしまい、一方の波長を選択してスクリーニングすることができなかった。【解決手段】複数のストライプを形成した多波長半導体レーザ素子をスクリーニングする治具において、その放熱板は導電性の電極と非導電性の不導体が積層された構造であり、レーザ素子の複数の電極からスクリーニングを行う電極のみを放熱板の電極に接触するようにレーザ素子を載置することで所望の波長のレーザを選択しスクリーニングを行う。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多波長半導体レーザ素子を載置してスクリーニングを行う治具において、放熱板は導電性と非導電性の２種類の物質からなり、その２種物質は積層構造であることを特徴とする半導体レーザ素子のスクリーニング装置。
【請求項２】
放熱板に素子を載置するとき、その位置によりスクリーニングする波長を選択することを特徴とする半導体レーザ素子のスクリーニング方法。
【請求項３】
放熱板に素子を載置する位置を制御できる機能を有することを特徴とする半導体レーザ素子のスクリーニング装置。
【請求項４】
放熱板上に素子を置く前に電極を画像認識して、その位置データに基づいて、素子を載置する位置を制御し、スクリーニングを実施する活性層を選択できる機能を有することを特徴とする半導体レーザ素子のスクリーニング装置。
【請求項５】
放熱板を画像認識するカメラと素子の電極を画像認識するカメラを備えて、放熱板を画像認識した結果の位置データと、素子を置く前に電極を画像認識した結果の位置データに基づいて、素子を載置する位置を制御することで、スクリーニングを実施する活性層を選択できる機能を有することを特徴とする半導体レーザ素子のスクリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１素子で複数の発振波長を得るために、複数の電流狭窄構造及び共振器ストライプを形成した半導体レーザ素子に対し、突然劣化により故障する半導体レーザ素子を取り除くことが可能なスクリーニングに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３は単波長半導体レーザ素子のスクリーニングを行う治具である。熱伝導率の高い放熱板１８とその上部に垂直稼働式のプローブ針１９から構成されている。単波長レーザ素子２０の活性層２１は放熱板１８側に向けられている。素子２０の電極２２が放熱板１８と接触しており、素子２０の表面電極２３はプローブ針１９に接触することで素子２０に所望の電流を流してスクリーニングを行う。
【０００３】
しかし、近年ＣＤ（コンパクトディスク）やＤＶＤ（デジタルビデオディスク）のように複数種類のメディアを再生／記録する装置が開発され、１台の装置で複数種類のメディアを再生／記録する場合には、各メディアの規格に合わせたシステム構成が必要となる。例えばＣＤとＤＶＤでは異なる波長レーザ光を出射するデバイスを搭載する必要が生じてくるが、これを同一基板上に２つの波長のレーザ光を出射する活性層を各々成長させることにより、図４のようなモノリシック型の半導体レーザ（いわゆる２波長レーザ）が開発されるようになった。図４で２４は基板、２５は第１の活性層、２６は第２の活性層、２７は第１の電極、２８は第２の電極、２９は第１と第２の活性層と電極を分離する分離溝である。３０は共通の表面電極である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
２波長レーザの場合、活性層毎すなわち波長毎にスクリーニングを行う必要があるが、図３のような従来の半導体レーザ素子のスクリーニング方法では、活性層側に２つの異なる波長の表面電極が形成されているために、両方に電流が流れてしまい、一方の波長を選択してスクリーニングすることができなかった。図５はそれを図に示したものである。
【０００５】
また、図６のように素子を上下逆にして、プローブ側に活性層のある電極にした場合、プローブの針１９先端を移動させて接触させる電極を選択することができるが、活性層２６で生じる通電による素子自身の熱を十分に放出することができない。素子自身の通電による熱を効率良く放出することは、スクリーニングにとって不可欠な要素であるため、活性層２６のある電極２８側をプローブのような細い針１９ではなく、放熱板１８に接触させる必要があった。
【０００６】
本発明の目的は、表面電極が多数形成されている多波長半導体レーザにおいて、活性層で生じる通電による素子自身の熱を十分に放出しながら、スクリーニングすることができるスクリーニング治具と所望の波長を選択できるスクリーニング方法およびスクリーニングする波長を選択することのできる装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明に係るスクリーニング治具は、その放熱板は熱伝導率の高い導電性の電極と非導電性の不導体が積層された構造である。また、多波長半導体レーザ素子は複数の電極からスクリーニングを行う電極のみを放熱板の電極に接触するようにレーザ素子を載置することで所望の波長のレーザを選択しスクリーニングを行うことを特徴とする。
【０００８】
また、本装置は治具上の電極を画像認識して高い精度でその上に半導体レーザ素子の電極が接触するように載置することで、多波長半導体レーザ素子の複数の電極からスクリーニングを行う電極のみを放熱板の電極に接触するようにレーザ素子を載置できる搬送ロボットを備えていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の多波長半導体レーザ素子のスクリーニング治具とその方法の一実施の形態について、以下、図面を参照しながら説明する。
【００１０】
図１は多波長半導体レーザ素子のスクリーニング治具の一実施の形態を示す。
【００１１】
本治具は、ベースプレート１とプローブ針２から基本構成されている。ベースプレート１は熱伝導が良好で良導電体の放熱板３（例えば銅）が絶縁体（例えばルビー）４で挟まれた積層構造からなる。２つの物質の接合方法は、耐熱樹脂による接着でもネジ止めでもどちらでも良いが、接合後に表面５を均一化するために精密研磨する。多波長半導体レーザ素子６はベースプレート１上に載置されるが、このとき活性層７側が放熱板３に向けられ、スクリーニングを行う波長の活性層７の電極８が接触するように載置される。載置後、プローブ針２の先端が素子電極面９に接触し、多波長半導体レーザ素子６の１つの選択された波長の活性層７のみに電流が流れてスクリーニングが行われる。スクリーニングを行わない両隣の活性層１０および１１の各電極１２および１３は絶縁体４に接触しているために、電流は流れない。図１は一つの多波長半導体レーザ素子をスクリーニングする治具の例を示しているが、放熱板と絶縁体を交互に積層したベースプレートと複数のプローブ針を並べて構成すれば、同時に複数個の多波長半導体レーザ素子をスクリーニングすることができる。
【００１２】
図２は本発明の治具を用いて、多波長半導体レーザ素子の選択した波長の活性層をスクリーニングする装置の一実施の形態を示す。
【００１３】
本装置は、図１の一実施の形態であるスクリーニング治具の放熱板３の位置データをカメラ１４で画像認識し、その位置データに基づいて多波長半導体レーザ素子６の電極８を、放熱板３上に正確に載置するロボット１５から基本構成されている。スクリーニング治具の放熱板３の位置をカメラ１４で画像認識し、その位置データを得る。つぎにスクリーニングを行う多波長半導体レーザ素子６を吸着ノズル１６で吸着し、スクリーニングを行う活性層７の電極８の位置データをカメラ１７で画像認識し、その位置データと前記放熱板３の位置データに基づいて正確に放熱板３上に載置し、電極を接触させる。その後、図１のようにプローブ針２の先端が素子電極面９に接触し、多波長半導体レーザ素子６の１つの選択された波長の活性層７のみに電流が流れてスクリーニングが行われる。スクリーニング後、吸着ノズル１６で多波長半導体レーザ素子６を吸着し、取出し作業を行う。
【００１４】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したような形態で実施され以下に説明する効果が得られる。
【００１５】
まず、本発明の治具によれば、多波長半導体レーザ素子の活性層で生じる通電による素子自身の熱を十分に放出しながら、所望の波長の活性層のみ通電し、スクリーニングすることができる。
【００１６】
また、本発明の方法と装置によれば、多波長半導体レーザ素子のスクリーニングを実施する活性層の電極を画像認識してから放熱板上に正確に載置するので、任意の波長の活性層をスクリーニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における多波長半導体レーザ素子の治具の構成を示す図
【図２】本発明の一実施の形態における多波長半導体レーザ素子の装置の構成を示す図
【図３】従来の単波長半導体レーザ素子の治具の構成を示す図
【図４】２波長半導体レーザ素子の断面図
【図５】２波長半導体レーザ素子を従来のスクリーニング治具でスクリーニングを実施した図
【図６】２波長半導体レーザ素子を活性層側をプローブ針側にして、従来のスクリーニング治具でスクリーニングを実施した図
【符号の説明】
１　ベースプレート
２　プローブ針
３　放熱板
４　絶縁体
５　ベースプレートの表面
６　多波長半導体レーザ素子
７　スクリーニングを実施する活性層
８　スクリーニングを実施する活性層の電極
９　素子電極面
１０　スクリーニングを実施しない活性層
１１　スクリーニングを実施しない活性層
１２　スクリーニングを実施しない活性層の電極
１３　スクリーニングを実施しない活性層の電極
１４　放熱板を画像認識するカメラ
１５　多波長半導体レーザ素子を搬送するロボット
１６　吸着ノズル
１７　多波長半導体レーザ素子の電極を画像認識するカメラ
１８　放熱板
１９　プローブ針
２０　単波長半導体レーザ素子
２１　活性層
２２　活性層の電極
２３　素子電極面
２４　２波長半導体レーザ素子の基板
２５　第１の活性層
２６　第２の活性層
２７　第１の活性層の電極
２８　第２の活性層の電極
２９　分離溝
３０　共通の表面電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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