(57)【要約】【課題】半導体ウエハ等の試料を保持する試料保持部材をごみの付着から防止する。【解決手段】試料（ウエハ）を保持するウエハホルダ１を、内部空間を有した収納容器１１内に密閉収納するの収納具１０において、収納容器１１内を真空にするための真空配管２０が接続される真空配管接続口１７が収納容器１１に設けられる。また、収納容器１１内においてウエハホルダ１を保持するウエハ固定具１２が静電気導電性部材から構成されるとともに、ウエハ固定具１２と接続される第１グランドケーブル１５を収納容器１１の外部に設置された第２グランドケーブル１６に連結させるグランドケーブル接続端子１４が収納容器１１に設けられる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を保持する試料保持部材を、内部空間を有した収納容器内に密閉収納する試料保持部材の収納具において、
前記収納容器内を真空にする又はガスでパージするための配管が接続される配管接続部が前記収納容器に設けられたことを特徴とする試料保持部材の収納具。
【請求項２】
前記配管接続部に開閉バルブが設けられており、前記開閉バルブが流量調整機能を有したことを特徴とする請求項１記載の試料保持部材の収納具。
【請求項３】
前記配管を通る空気の通路にエアフィルタが設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載の試料保持部材の収納具。
【請求項４】
前記試料保持部材を前記収納容器内において固定する保持部材固定具が静電気導電性部材から構成されるとともに、前記保持部材固定具と接続され、かつ前記収納容器の外部に設置された接地手段と接続される接地手段接続部が前記収納容器に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の試料保持部材の収納具。
【請求項５】
前記収納容器の少なくとも一部が静電気導電性部材からなり、前記静電気導電性部材から構成された部分が前記接地手段接続部の少なくとも一部を構成していることを特徴とする請求項４記載の試料保持部材の収納具。
【請求項６】
前記収納容器の上下の向きを識別し得る印が前記収納容器の外表面に設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の試料保持部材の収納具。
【請求項７】
前記収納容器の少なくとも一部が透明な材料からなっており、前記透明な材料からなる部分を通して、前記保持部材固定具に取り付けた状態における前記試料保持部材の前記試料と接触する面の向く方向を外部から視認可能であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の試料保持部材の収納具。
【請求項８】
試料を保持する試料保持部材の運搬方法であって、
前記試料保持部材を収納具の内部空間内に収納する第１工程と、
前記試料保持部材が収納された前記収納具内を真空にし、或いはガスパージする第２工程と、
前記内部空間を真空に或いはガスパージされた前記収納具を運搬する第３工程と、
前記収納具を運搬した後に前記収納具の前記内部空間を空気に置換する第４工程と、
前記収納具から前記試料保持部材を取り出す第５工程とを有したことを特徴とする試料保持部材の運搬方法。
【請求項９】
前記第３工程において、前記試料保持部材における前記試料と接触する面が重力方向に対して下向き若しくは平行となる姿勢で前記収納具を運搬することを特徴とする請求項８記載の試料保持部材の運搬方法。
【請求項１０】
前記第４工程において、前記収納容器内の真空又はガスを徐々に空気に置換することを特徴とする請求項８又は９記載の試料保持部材の運搬方法。
【請求項１１】
前記第１工程及び前記第４工程において、前記試料保持部材を電気的に接地する工程を有したことを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載の試料保持部材の運搬方法。
【請求項１２】
試料を保持する試料保持部材を保持部材支持部において支持し、前記試料保持部材を介して前記試料を取り扱う構成の試料取扱装置の製造方法であって、
前記試料保持部材を請求項８〜１１のいずれかに記載の試料保持部材の運搬方法により運搬する工程の後に、前記試料保持部材を前記保持部材支持部へ取り付ける工程を有したことを特徴とする試料取扱装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウエハ等の静電気やごみ（パーティクル）等に対して敏感な試料を取り扱う試料取扱装置において試料を保持する試料保持部材を運搬するための収納具、試料保持部材の運搬方法及び試料取扱装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の集積度は年々向上しており、これに伴って半導体ウエハの配線パターンは微細化の一途を辿っているが、半導体ウエハはその製造途中においては静電気耐性が低いため、付着したごみに起因する不具合の発生が増大してきている現状がある。このため、半導体ウエハを試料として取り扱う試料取扱装置（例えば半導体ウエハの表面を観察するウエハ検査用顕微鏡装置や半導体ウエハに加工を施すＩＣ製造装置など）においては、静電気やごみ等に対して敏感な試料と直接接触する試料保持部材には、静電気が帯電したりごみが付着したりしないように細心の注意が払われる。
【０００３】
このような試料取扱装置に備えられる試料保持部材は、試料との接触時及び離脱時に発生した静電気を除去（放電）できるようにするため、従来、静電気拡散性を有する部材（電気抵抗値がおよそ１０５〜１０１１Ωの部材。以下、静電気拡散性部材と称する）、或いは静電気導電性を有する部材（電気抵抗値がおよそ１０５Ω以下の部材。以下、静電気導電性部材と称する）から構成されていた。具体的には、ＳｉＣ，ＴｉＣ，ＴｉＮなどのセラミックス、或いは樹脂にカーボンを混入した制電ＰＥＥＫ（制電ポリエーテル・エーテル・ケトン）材のような制電樹脂材料が使用されていた（セラミックスを使用した例については、例えば、下記の特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平５−２７５５１３号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のように試料保持部材の材料によって静電気やごみ等の対策をしても、この試料保持部材を試料取扱装置に取り付ける前（例えば試料取扱装置に装着する前段階である試料保持部材の運搬中）においては、試料保持部材がグランド電位に接続されていないことから、試料保持部材の表面と空気との摩擦等により試料保持部材又は試料保持部材と一緒に運搬される関連部品に静電気が発生し、この静電気に誘引されてごみが試料保持部材や関連部品に付着してしまう場合がある。これらのごみが稼動後も付着し続けることにより、試料保持部材がウエハと接触したときにごみがウエハに移動してウエハが汚染されてしまう可能性があった。
【０００６】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、半導体ウエハ等の試料を保持する試料保持部材を、ごみが付着するのを防止した状態で試料取扱装置に装着することを可能にする試料保持部材の収納容器、試料保持部材の運搬方法及び試料取扱装置の製造方法を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、請求項１に係る発明の試料保持部材の収納具は、試料を保持する試料保持部材を、内部空間を有した収納容器内に密閉収納する試料保持部材の収納具において、前記収納容器内を真空にする又はガスでパージするための配管が接続される配管接続部が前記収納容器に設けられたことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項１に記載の試料保持部材の収納具において、前記配管接続部に開閉バルブが設けられており、前記開閉バルブが流量調整機能を有したことを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項１又は２に記載の試料保持部材の収納具において、前記配管を通る空気の通路にエアフィルタが設けられたことを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項１〜３のいずれかに記載の試料保持部材の収納具において、前記試料保持部材を前記収納容器内において固定する保持部材固定具が静電気導電性部材から構成されるとともに、前記保持部材固定具と接続され、かつ前記収納容器の外部に設置された接地手段と接続される接地手段接続部が前記収納容器に設けられたことを特徴とする。
【００１１】
請求項５に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項４に記載の試料保持部材の収納具において、前記収納容器の少なくとも一部が静電気導電性部材からなり、前記静電気導電性部材から構成された部分が前記接地手段接続部の少なくとも一部を構成していることを特徴とする。
【００１２】
請求項６に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項１〜５のいずれかに記載の試料保持部材の収納具において、前記収納容器の上下の向きを識別し得る印が前記収納容器の外表面に設けられていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７に係る発明の試料保持部材の収納具は、請求項１〜６のいずれかに記載の試料保持部材の収納具において、前記収納容器の少なくとも一部が透明な材料からなっており、前記透明な材料からなる部分を通して、前記保持部材固定具に取り付けた状態における前記試料保持部材の前記試料と接触する面の向く方向を外部から視認可能であることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項８に係る発明の試料保持部材の運搬方法は、試料を保持する試料保持部材の運搬方法であって、前記試料保持部材を収納具の内部空間内に収納する第１工程と、前記試料保持部材が収納された前記収納具内を真空にし、或いはガスパージする第２工程と、前記内部空間を真空に或いはガスパージされた前記収納具を運搬する第３工程と、前記収納具を運搬した後に前記収納具の前記内部空間を空気に置換する第４工程と、前記収納具から前記試料保持部材を取り出す第５工程とを有したことを特徴とする。
【００１５】
請求項９に係る発明の試料保持部材の運搬方法は、請求項８に記載の試料保持部材の運搬方法において、前記第３工程において、前記試料保持部材における前記試料と接触する面が重力方向に対して下向き若しくは平行となる姿勢で前記収納具を運搬することを特徴とする。
【００１６】
請求項１０に係る発明の試料保持部材の運搬方法は、請求項８又は９に記載の試料保持部材の運搬方法において、前記第４工程において、前記収納容器内の真空又はガスを徐々に空気に置換することを特徴とする。
【００１７】
請求項１１に係る発明の試料保持部材の運搬方法は、請求項８〜１０のいずれかに記載の試料保持部材の運搬方法において、前記第１工程及び前記第４工程において、前記試料保持部材を電気的に接地する工程を有したことを特徴とする。
【００１８】
請求項１２に係る発明の試料取扱装置の製造方法は、試料を保持する試料保持部材を保持部材支持部において支持し、前記試料保持部材を介して前記試料を取り扱う構成の試料取扱装置の製造方法であって、前記試料保持部材を請求項８〜１１のいずれかに記載の試料保持部材の運搬方法により運搬する工程の後に、前記試料保持部材を前記保持部材支持部へ取り付ける工程を有したことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２０】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態である試料保持部材の収納具１０を示している。この試料保持部材の収納具（以下、単に収納具と称する）１０は、上方に開口した容器本体１１ａ及びこの容器本体１１ａの上方に着脱自在に取り付け可能な蓋部材１１ｂからなる収納容器１１と、収納容器１１の内部空間内に設けられて試料保持部材であるウエハホルダ１を水平姿勢に保持するホルダ固定具１２とを有して構成される。容器本体１１ａと蓋部材１１ｂとの接合部には気密性を保持するためのガスケット１１ｃが設けられるが、このようなガスケット１１ｃを使用しなくても収納容器１１内の機密性が保持されるのであれば、ガスケット１１ｃは必ずしも使用する必要はない。
【００２１】
ホルダ固定具１２は容器本体１１ａに下部が固定された基部１２ａと、この基部１２ａの上部に取り付けられる固定部１２ｂとからなり、固定部１２ｂは基部１２ａに対して複数の固定用螺子１２ｃにより着脱自在に取り付け可能である。このホルダ固定具１２（基部１２ａ及び固定部１２ｂ）は静電気導電性を有する部材（電気抵抗値がおよそ１０５Ω以下の部材。以下、静電気導電性部材という）から構成されている。ホルダ固定具１２にウエハホルダ１を取り付けるには，ウエハホルダ１の支持部１ｂを基部１２ａに上方から押し当てた状態で固定部１２ｂを基部１２ａに対して位置決めし、固定部１２ｂの上方から固定用螺子１２ｃを基部１２ａに螺着すればよい。このようにウエハホルダ１は収納容器１１内に設けられたホルダ固定具１２により収納容器１１と接触しない状態で保持されるので、収納容器１１の表面に付着していたごみがウエハホルダ１を汚染することを防止できる。
【００２２】
本収納具１においては、ウエハホルダ１は図１に示すように、保持対象である半導体ウエハ（図１では図示せず。図２に示す半導体ウエハＷ参照）との接触面１ａが下方（重力方向に対して下向き）になるようにホルダ固定具１２に保持される。これにより、密閉された収納容器１１の内部に残留して収納容器１１内を浮遊しているごみが運搬中のウエハホルダ１の接触面１ａに付着したり、収納容器１１の蓋部材１１ｂを開けたときに収納容器１１の外部から流入する空気中に混じったごみがウエハホルダ１の接触面１ａに付着したりするのを効果的に防止することが可能となる。
【００２３】
また、上記のように、収納容器１１の上下の向きを維持してこれを運搬することができるようにするために、収納容器１１の外表面には、収納容器１１の上下の向きを識別し得る印（例えば図１（Ｃ）に示すように、矢先が上方を向いた矢印）１３が付されている。このような印１３を設けることに代えて、或いはこのような印１３を設けることに加えて、収納容器１１の少なくとも一部を透明な材料から構成し（例えば、透明なガラスからなる窓部材を設け）、この透明な材料からなる部分を通して、ホルダ固定具１２に取り付けた状態におけるウエハホルダ１の接触面１ａの向く方向を外部から視認し得るようにしてもよい。これによっても収納容器１１の上下の向きを維持して収納容器１１を（ウエハホルダ１を）運搬することが可能となる。更に、収納容器１１が図示しない梱包材等により覆われる状況にあるときには、その梱包材等の外面に収納容器１１の上下の向きを識別し得る印を設ければよい。
【００２４】
ホルダ固定部１２には静電気導電性部材からなる第１グランドケーブル１５の一端側を着脱自在に取り付け可能であり、この第１グランドケーブル１５の他端側は容器本体１１ａに設けられた、静電気導電性部材から構成されるグランドケーブル接続端子１４に接続することができる。また、グランドケーブル接続端子１４には収納容器１１の外部に設けられてグランド電位に接続された第２グランドケーブル１６を接続できるので、ホルダ固定具１２に固定保持された状態のウエハホルダ１を、ホルダ固定具１２、第１グランドケーブル１５、グランドケーブル接続端子１４及び第２グランドケーブル１６を介してグランド電位に接続する（すなわち電気的に接地）することが可能である。
【００２５】
容器本体１１ａには真空配管接続口１７が設けられており、この真空配管接続口１７には流量調整機能を備えた開閉バルブ１８を介して収納容器１１の外部に設置された真空配管２０を接続することができる。このため容器本体１１ａに蓋部材１１ｂを装着した状態で収納容器１１内を真空にすることができ、収納容器１１内にウエハホルダ１が収納された状態で、収納容器１１内のごみを空気とともに吸引除去することができる。しかも、開閉バルブ１８は上記のように流量調整機能を備えているため、収納容器１１内の空気を真空にし、或いは収納容器１１内の真空を空気に置換するときにはこれを徐々に行うことができ、収納容器１１内からの急激な空気の流出及び収納容器１１内への急激な空気の流入を抑えて、収納容器１１内のごみが強い空気の流れで舞い上がるのを防ぐことができる。また、開閉バルブ１８における空気の通路にはエアフィルタ１９が備えられており、開閉バルブ１８による大気開放時に（後述）、真空配管２０内のごみが収納容器１１内に入り込むのを防止できるようになっている。
【００２６】
本収納具１０では、上記のように収納容器１１内の空気を真空に置換することができることから、収納容器１１内に収納したウエハホルダ１を真空状態で運搬することができ、ウエハホルダ１の運搬中に、ウエハホルダ１と空気との摩擦により静電気が発生してウエハホルダ１にごみが付着するのを（静電気によりごみが誘引されるのを）防止することができる。また、本収納具１０では、接地手段（第１グランドケーブル１５、グランドケーブル接続端子１４及び第２グランドケーブル１６）を介してウエハホルダ１をグランド電位に接続することができ、収納具１０に収納する前にウエハホルダ１に溜まっていた静電気を予め放電させておくことができるので、ウエハホルダ１へのごみの付着をより一層効果的に防止することができる。しかも、ウエハホルダ１をグランド電位に接続する第１グランドケーブル１５と第２グランドケーブル１６とは収納具１０に設けられたグランドケーブル接続端子１４において接続されるようになっているので、ウエハホルダ１をグランド電位に接続する際にウエハホルダ１に直接触れることなく、容易にウエハホルダ１を接地することが可能である。
【００２７】
次に、ウエハホルダ１の運搬方法について説明する。ウエハホルダ１の運搬方法は、ウエハホルダ１を収納具内に収納する第１工程と、ウエハホルダ１が収納された収納具内を真空にする第２工程と、このように内部空間を真空にされた収納具を運搬する第３工程と、収納具を運搬した後に収納具内を空気に置換する第４工程と、収納具からウエハホルダ１を取り出す第５工程とを有する。ここでいう収納具は必ずしも上述の収納具１０である必要はないが、以下、上記工程の収納具が上述の収納具１０であるとして説明する。
【００２８】
第１工程では、先ず第１グランドケーブル１５がホルダ固定具１２とグランドケーブル接続端子１４との間に繋げられていることを確認した後、第２グランドケーブル１６をグランドケーブル接続端子１４に取り付ける。そして、予め洗浄しておいてウエハホルダ１を、ウエハ接触面１ａが下を向くようにホルダ固定具１２に取り付け、ウエハホルダ１をグランド電位に接続する（すなわち、ウエハホルダ１を電気的に接地する）。ここまでの作業が終了したら、蓋部材１１ｂを容器本体１１ａに取り付けて、ウエハホルダ１の収納具１０内への収納を完了する。
【００２９】
第２工程では、図示しない真空源に接続された真空配管２０を真空配管接続口１７に（開閉バルブ１８に）接続したうえで、開閉バルブ１８を徐々に開いて収納容器１１内を真空にする。収納容器１１内が真空になったことが確認されたら開閉バルブ１８を閉め、真空配管接続口１７から真空配管２０を取り外すとともに、グランドケーブル接続端子１４から第２グランドケーブル１６を取り外す。これら一連の作業、特に収納容器１１内へウエハホルダ１を収納して蓋部材１１ｂを閉めるまでの作業は、ウエハホルダ１へのごみの付着を防止するため、空気が清浄な環境下（例えばクリーンルーム内）で行うことが望ましい。
【００３０】
第３工程では、第２工程終了後の収納具１０をウエハホルダ１が取り付けられる試料取扱装置（例えば、後述するウエハ検査用顕微鏡装置１００）の設置場所まで運搬する。これにより、ウエハホルダ１は真空状態にされた状態で所要箇所まで運搬される。その効果は前述の通りである。なお、この収納具１０の運搬の際には、収納容器１１の外表面に設けられた前述の印１３に従い、収納容器１１の上下の向きが維持されるようにする。これにより、ウエハホルダ１の運搬中においても、収納容器１１内の残留浮遊ごみがウエハホルダ１の接触面１ａに付着することを防止することができる。ウエハホルダ１が収納された収納具１０は必要に応じて梱包材等により梱包されるが、この際も上述のように梱包材の外面に設けた印に従って収納容器１１の上下姿勢を保持して運搬するようにする。
【００３１】
第４工程では、先ず、運搬後の収納具１０グランドケーブル接続端子１４に、グランド電位に接続された第２グランドケーブル１６を接続する（すなわち、ウエハホルダ１を電気的に接地する）。これにより、収納容器１１の蓋部材１１ｂを開放して収納容器１１内に空気が流入したときに、空気がウエハホルダ１と擦れ合うことにより発生する静電気をそのまま除去させることができ、ウエハホルダ１の帯電を防止することが可能となる。第２グランドケーブル１６をグランドケーブル接続端子１４に接続したら、続いて真空源に接続された真空配管２０を真空配管接続口１７に接続し、収納容器１１内を真空から大気圧に戻す。このとき、開閉バルブ１８を徐々に開くようにして収納容器１１内がゆっくりと大気圧に戻されるようにする。
【００３２】
第５工程では、内部が大気圧に戻された収納容器１１の蓋部材１１ｂを開け、ウエハホルダ１をホルダ固定具１２より取り外して収納容器１１から取り出す。このときウエハホルダ１の接触面１ａに手が触れないように注意する。収納容器１１からウエハホルダ１を取り出すこれら一連の作業は、ウエハホルダ１を収納容器１１内に収納する場合と同様、クリーンルーム内などの空気が清浄な環境下で行うことが好ましい。これにより第５工程は終了し、収納容器１１から取り出したウエハホルダ１を試料取扱装置の所定箇所に取り付けることにより、ウエハホルダ１をごみに汚染されていない状態で試料取扱装置に組み込むことができる。
【００３３】
このようなウエハホルダ１の運搬方法によれば、ウエハホルダ１を真空状態で運搬できるので、ウエハホルダ１と空気との摩擦により発生した静電気により運搬中のウエハホルダ１にごみが付着するのを防止することができる。
【００３４】
図２は、上述のようにして運搬されてきたウエハホルダ１を有して構成される試料取扱装置の一例であるウエハ検査用顕微鏡装置１００の構成を示している。このウエハ検査用顕微鏡装置１００は、検査テーブル１０２上に設置されたウエハ吸着保持装置１１０と、ウエハカセット１０４と、顕微鏡観察装置１４０とを備えて構成されている。
【００３５】
ウエハ吸着保持装置１１０はウエハ搬送ロボット１２０を有して構成される。このウエハ搬送ロボット１２０は、検査テーブル１０２上に固定されたベース部１２２と、このベース部１２２の上部に取り付けられた屈伸アーム１２４と、屈伸アーム１２４の先端部に取り付けられた試料保持部材である前述のウエハホルダ１と、検査テーブル１０２の外側に設置された真空源（図示せず）と、この真空源とベース部１２２との間を繋ぐ真空配管チューブ１２６，１２７とを備えている。ここで、屈伸アーム１２４は一端がベース部１２２に連結されており、他端にはウエハホルダ１の支持部１ｂが連結される。ここで、ウエハホルダ１は屈伸アーム１２４の先端部に着脱自在（交換自在）に取り付け可能であり、屈伸アーム１２４にウエハホルダ１を装着することによりウエハ検査用顕微鏡装置１００が製造される。
【００３６】
ベース部１２２の内部及び屈伸アーム１２４自身に内蔵された図示しない電動モータ等の駆動により屈伸作動を含む動作を行ってウエハホルダ１を水平姿勢のまま自在に移動させることができる。また、ベース部１２２内及び屈伸アーム１２４内にはチューブにより構成される図示しない真空管路（以下、真空チューブと称する）が設けられており、その真空管路の一端側は、ウエハホルダ１の内部に形成されてウエハホルダ１の接触部１ａに開口する真空配管（図示せず）に接続されている。
【００３７】
ウエハホルダ１の内部に形成された上記真空配管は、金属等で構成された静電気導電性部材からなるウエハホルダ用アース線１３０により、所定のグランドポイントＧＮＤに接続されて電気的接地がなされている。これは、ウエハホルダ１の内部に形成された上記真空配管の内表面にコートされた静電気拡散性を有する部材（電気抵抗値がおよそ１０５〜１０１１Ωの部材。以下、静電気拡散性部材という）からなる被膜（以下、静電気拡散性被膜と称する）に電荷が溜まって半導体ウエハ（以下、単にウエハと称する）Ｗと接触したときにスパークが発生するのを防止するためである。なお、このウエハホルダ用アース線１３０の中間部は、屈伸アーム１２４やベース部１２２、検査テーブル１０２上等の所要の箇所に設けられた金属（例えばステンレス）等で構成された静電気導電性部材からなるウエハホルダ用アース線中継部材１３０ａにより中継接続されている。
【００３８】
真空配管チューブ１２６，１２７及び前述のベース部１２２内、屈伸アーム１２４内に設けられた不図示の真空チューブは静電気導電性部材からなり、真空源とウエハホルダ１に設けられた上記真空管路との間を接続している。検査テーブル１０２には接続口１０５が設けられており、真空源と繋がる真空配管チューブ１２６と、ベース部１２２内に設けられた前述の図示しない真空チューブの端部１２３と繋がる真空配管チューブ１２７とは、この接続口１０５を介して連結されている。
【００３９】
上記接続口１０５は金属等で構成された静電気導電性部材からなっており、同じく静電気導電性部材からなる真空配管用アース線１２８により上述のグランドポイントＧＮＤに繋げられている。このため真空配管チューブ１２６、真空配管チューブ１２７及び前述のベース部１２２内、屈伸アーム１２４内に設けられた不図示の真空チューブは、接続口１０５及び真空配管用アース線１２８により電気的接地がなされた状態となっている。
【００４０】
ウエハカセット１０４は側面の一方側に開口した箱であり、検査テーブル１０２上に設けられた上記ウエハ搬送ロボット１２０の近傍位置に設置されている。ウエハカセット１０４の内部には複数段のスロットが水平姿勢に設けられており、各スロット内にウエハＷを一枚ずつ収納し得るようになっている。
【００４１】
顕微鏡観察装置１４０は、検査テーブル１０２上に設置されたウエハ移動ステージ１４２と、このウエハ移動ステージ１４２に隣接して設けられた観察装置１５０とから構成されている。ウエハ移動ステージ１４２は、検査テーブル１０２の面内の一方向（Ｘ方向）に移動自在なＸステージ１４３ａ及びこのＸステージ１４３ａの移動方向に対して検査テーブル１０２の面内で直交する方向（Ｙ方向）に移動自在なＹステージ１４３ｂからなるＸＹステージ１４３と、Ｙステージ１４３ｂの上面側に取り付けられた円盤状のウエハ保持テーブル１４４とを有して構成されている。
【００４２】
ウエハ保持テーブル１４４はアルミナ系セラミックスや金属材料等により構成されており、内部に図示しない真空管路を有している。この真空管路はウエハＷを吸着する上面側に開口しており、その内表面には静電気拡散性被膜が形成されている。ウエハ保持テーブル１４４に形成されたこの真空管路には、ウエハホルダ１に接続された前述の真空配管チューブ１２６，１２７と同様に静電気導電性部材から構成された真空配管チューブ１４８の一端側が接続されており、この真空配管チューブ１４８の他端側は検査テーブル１０２に設置された接続口１０６を介して真空源と繋がる前述の真空配管チューブ１２６と接続している。この接続口１０６は金属等で構成された静電気導電性部材からなるとともに、同じく静電気導電性部材からなる真空配管用アース線１０７によりグランドポイントＧＮＤに繋げられている。このため、この真空配管チューブ１４８は、ウエハ吸着保持装置１１０における真空配管チューブ１２６，１２７と同様に、接続口１０６及び真空配管用アース線１０７を介して電気的接地がなされた状態となっている。
【００４３】
また、上記ウエハ移動ステージ１４２は、金属等で構成された静電気導電性部材からなるウエハ保持テーブル用アース線１４９によりグランドポイントＧＮＤに接続されている。これは、上述したウエハホルダ１の場合と同様、外表面及び内部の真空管路に静電気拡散性被膜が形成された上記ウエハ保持テーブル１４４に電荷が溜まってウエハＷが載置されたときにスパークや静電沈着等が起きないようにするためである。なお、このウエハ保持テーブル用アース線１４９の中間部は、検査テーブル１０２上等の所要の箇所に設けられた金属等で構成された静電気導電性部材からなるウエハ保持テーブル用アース線中継部材１４９ａにより中継接続されている。
【００４４】
顕微鏡観察装置１４０に備えられた観察装置１５０は、上記ウエハ移動ステージ１４２の上方を覆うように設置されたフレーム１５１と、このフレーム１５１の上部に設けられた接眼レンズ部１５２と、フレーム１５１から下方に延びて設けられた対物レンズ部１５３とを有して構成されている。
【００４５】
次に、上記ウエハ検査用顕微鏡装置１００に備えられたウエハ搬送ロボット１２０の動作について説明する。操作者により顕微鏡観察の開始の指示（例えばスイッチの投入）がなされると、ウエハ搬送ロボット１２０はウエハカセット１０４内に収納されているウエハＷを取り出すために、屈伸アーム１２４を作動させてウエハホルダ１をウエハカセット１０４内の所望の（観察対象である）ウエハＷの下部に挿入する。続いて真空源を作動させ、真空配管チューブ１２６，１２７、基部１２２内及び屈伸アーム１２４内に形成された真空チューブ及びウエハホルダ１の内部に形成された真空管路を介して外気を吸引し、ウエハＷの真空吸着を開始する。このようにウエハＷの真空吸着が開始されたら、ウエハ搬送ロボット１２０は屈伸アーム１２４を作動させてウエハホルダ１を上昇させ、ウエハホルダ１の上面に形成された接触部１ａをウエハＷの下面に接触させる。これによりウエハＷはウエハホルダ１の接触部１ａにおいて吸着保持される。
【００４６】
上記のようにウエハＷがウエハホルダ１により吸着保持されたら、ウエハ搬送ロボット１２０は屈伸アーム１２４を作動させてウエハホルダ１をウエハカセット１０４より引き抜き、ウエハＷをウエハカセット１０４の外部に搬出する。そして、ウエハＷをウエハホルダ１において真空吸着保持したままこれを搬送し、ウエハ保持テーブル１４４上に位置させたうえで、真空源による外気吸引力を調節してウエハＷの真空吸着保持を解除する。この真空吸着保持の解除の途中でウエハホルダ１をウエハ保持テーブル１４４の下の位置まで降下させると、ウエハＷはウエハ保持テーブル１４４上に載置される。
【００４７】
ウエハ保持テーブル１４４上にウエハＷが載置されたら、今度はウエハ保持テーブル１４４に繋がる真空配管チューブ１４８及びウエハ保持テーブル１４４内に形成された真空管路より外気を吸引して、ウエハＷをウエハ保持テーブル１４４上に真空吸着保持する。ウエハ保持テーブル１４４上にウエハＷが保持されたらＸＹステージ１４３を移動させ、ウエハＷの所望の部分を顕微鏡観察装置１４０の対物レンズ部１５３の直下に移動させる。これにより接眼レンズ部１５２からのウエハＷ表面の顕微鏡観察が可能となる。そして、この顕微鏡観察が終了すると、ウエハ搬送ロボット１２０は上述の経路とは逆の経路でウエハＷを移動させ、これをウエハカセット１０４内に収納する。これによりウエハ搬送ロボット１２０の一連の動作は終了する。
【００４８】
このような構成のウエハ検査用顕微鏡装置１００の製造においては、ウエハホルダ１を前述の収納具１０を用いて真空中に保管した状態で運搬した後、ウエハホルダ１の支持部である屈伸アーム１２２に取り付けられる。また、ウエハ保持テーブル１４４も、上述の運搬方法により運搬した後、ＸＹステージ１４３に取り付けられる。このような製造方法によりウエハ検査用顕微鏡装置１００を製造するようにすれば、ウエハ検査用顕微鏡装置１００に装着された時点でウエハホルダ１及びウエハ保持テーブル１４４に付着しているごみの量は非常に少なく、その後ウエハ検査用顕微鏡装置１００をグランド電位に接続して稼動するようにすれば、それ以後もウエハホルダ１に付着するごみは少なくなり、試料（ウエハＷ）を取り扱う全工程において、試料に付着するごみの量を極めて少なくすることができる。
【００４９】
上述のウエハ検査用顕微鏡装置１００の説明においては、ウエハホルダ１、ウエハ保持テーブル１４４の外表面及び真空管路に静電気拡散性被膜が形成される例を示したが、この静電気拡散性被膜は静電気導電性被膜（静電気導電性部材からなる被膜）に代えることもできる。但し、この場合にはスパークの発生を防止するために、真空配管チューブ１２６，１２７，１４８等の真空管路表面を静電気拡散性被膜で形成することが望ましい。このように構成すればアース線１３０，１４９は不要となる。
【００５０】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図３を参照しながら説明する。図３は、本発明の第２実施形態である試料保持部材の収納具２１０を示している。ここでは説明を簡単にするため、上述の第１実施形態に係る収納具１０と同じ機能を有する部分については同じ符号を付してその説明を省略することにする。
【００５１】
第２実施形態に係る収納具２１０を構成する収納容器２１１は上方に開口した容器本体２１１ａ及びこの容器本体２１１ａの上方に着脱自在に取り付け可能な蓋部材２１１ｂを有してなり、容器本体２１１ａと蓋部材２１１ｂとの接合部には気密性を保持するためのガスケット２１１ｃが設けられるのは上述の第１実施形態に係る収納具１０の容器本体１１と同じであるが、容器本体２１１ａ全体が静電気導電性部材から構成されていることが異なる。なお、蓋部材２１１ｂも静電気導電性部材から構成しても構わないが、収納容器２１１のうち少なくとも容器本体２１１ａは静電気導電性部材から構成される。
【００５２】
本第２実施形態に係る収納具２１０によれば、第１実施形態における第１グランドケーブル１５を用いなくてもホルダ固定具１２とグランドケーブル接続端子１４との間の電気的導通がなされるので（グランドケーブル接続端子１４に第２グランドケーブル１６を接続した場合）、第１グランドケーブル１５が不要となる。なお、ここでは容器本体２１１ａ全体が静電気導電性部材から構成されるとしたが、収納容器２１１（容器本体２１１ａ）の少なくとも一部が静電気導電性部材からなり、この静電気導電性部材から構成された部分がホルダ固定具１２とグランドケーブル接続端子１４との間の部分を繋ぐ構成であれば（すなわち、第１実施形態の収納容器１０における第１グランドケーブル１５と同等の効果を有していれば）よい。
【００５３】
また、図示はしないが、容器本体２１１ａ全体を静電気導電性部材から構成するとともに、ウエハホルダ１を収納容器２１１に収納或いは収納容器２１１からウエハホルダ１を取り出す作業を行う際に本収納具２１０を載置しておく台座の全部又は一部を静電気導電性部材から構成して、容器本体２１１ａ及びこの台座を介してホルダ固定具１２に取り付けたウエハホルダ１をグランド電位に接続するようにしてもよい。このような構成によれば、グランドケーブル接続端子１４に取り付けられる第２グランドケーブル１６も不要となる。
【００５４】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について図４を参照しながら説明する。図４は、本発明の第３実施形態である試料保持部材の収納具３１０を示している。ここでも説明を簡単にするため、前述の第１実施形態に係る収納具１０と同じ機能を有する部分については同じ符号を付してその説明を省略することにする。
【００５５】
第３実施形態に係る収納具３１０を構成する収納容器３１１は上方に開口した容器本体３１１ａ及びこの容器本体３１１ａの上方に着脱自在に取り付け可能な蓋部材３１１ｂを有してなり、容器本体３１１ａと蓋部材３１１ｂとの接合部には気密性を保持するためのガスケット３１１ｃが設けられるのは上述の第１実施形態に係る収納具１０の容器本体１１と同じである。そして、容器本体３１１ａ全体が静電気導電性部材からなるのは第２実施形態に係る収納具２１０と同様である。勿論、蓋部材３１１ｂも静電気導電性部材から構成しても構わない。このような構成により、上述の第２実施形態に係る収納具２１０と同様、第１実施形態における第１グランドケーブル１５を用いることなく、ホルダ固定具１２に固定したウエハホルダ１をグランド電位に接続することができる（グランドケーブル接続端子１４に第２グランドケーブル１６を接続した場合）。
【００５６】
本実施形態に係る収納具３１０では、このような構成を備えたうえで、更に、ウエハホルダ１によるウエハの吸着のために必要となる真空配管チューブ類を収納容器３１１内に収納することができるようになっている。図４にはこのような真空配管チューブ類を収納容器３１１内に収納した状態を示しており、ウエハホルダ１に直接繋がる第１の真空配管チューブＴ１の端部は容器本体３１１ａの内壁面に設けられた第１チューブ保持部材３２１により固定され、ウエハホルダ１に取り付けられない第２の真空配管チューブＴ２（例えば、上述したウエハ検査用顕微鏡装置１００における真空配管チューブ１２６，１２７に相当するもの）は、その両端がそれぞれ容器本体３１１ａの内壁面に設けられた第２チューブ保持部材３２２，３２３により固定される。ここで、上記第１チューブ保持部材３２１及び第２チューブ保持部材３２２，３２３はいずれも静電気導電性部材から構成されており、収納容器３１１内に収納された第１及び第２の真空配管チューブＴ１，Ｔ２は、これら第１及び第２のチューブ保持部材３２１，３２２，３２３、容器本体３１１ａ及び第２グランドケーブル１６を介してグランド電位に接続することができる。或いは、第１及び第２のチューブ保持部材３２１，３２２，３２３を他のグランドケーブルにより別途グランド電位に接続するようにしてもよい。
【００５７】
このように本第３実施形態に係る収納具３１０によれば、ウエハホルダ１のみならず、付着したごみをウエハに移す可能性のある関連部品も収納し、かつこれを容易にグランド電位に接続することができるので、試料取扱装置に装着する前段階において、ごみが非常に少ない状態を保つことができる。よって、これら部材が装着された試料取扱装置を稼動してもウエハに付着させてしまうごみの量を極めて少量にでき、ウエハをショート等に至らしめるおそれを低減することができる。
【００５８】
これまで本発明の好ましい実施形態について説明してきたが、本発明の範囲は上述の実施形態に示されたものに限定されない。例えば、上述の実施形態では、ウエハホルダ１は略Ｙ字形に形成された構成を有していたが、これは一例であり、ウエハホルダ１の形状は特に限定されない。また、図１では、ホルダ固定具１２に固定保持されたウエハホルダ１の接触面１ａは重力方向に対して下向きとなっているが、これはウエハホルダ１の接触面１ａが重力方向に対して平行となるようにホルダ固定具１２に保持されるのであっても同等の効果を得ることができる。
【００５９】
また、上述の実施形態では、収納容器１１（或いは収納容器２１１，３１１）内にウエハホルダ１を収納した状態で、収納容器１１内を真空にして（すなわち空気を収納容器１１内より除去して）ウエハホルダ１へ付着し得るごみの量を低減する構成であったが、収納容器１１内を真空にする代わりに、窒素やヘリウム等のガスにより収納容器１１内をパージするのであってもよい。このような方法によっても収納容器１１内の空気を除去できるので、ウエハホルダ１へ付着し得るごみの量を低減することができる。
【００６０】
また、上述の収納容器１１（或いは収納容器２１１，３１１）に試料取扱装置全体を収納して運搬することも有効である。この際、グランドケーブルや配管（真空配管又はガスパージのためのガス配管）を取り付ける手順、取り外す手順などは上述の実施形態の場合と同様である。
【００６１】
また、上述の実施形態においては、本発明に係る試料保持部材（ウエハホルダ１に相当）により保持される試料は半導体ウエハであったが、これは一例であり、他の試料、例えば液晶基板等であっても構わない。また、上述の実施形態においては、本発明に係る収納容器により運搬し、本発明に係る運搬方法により運搬された試料保持部材が取り付けられる対象である試料取扱装置がウエハ検査用顕微鏡装置であるとしていたが、これは一例であり、他の試料取扱装置、例えばＩＣ製造装置等に適用することも勿論可能である。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、試料保持部材を真空状態で運搬できるので、試料保持部材と空気との摩擦により発生した静電気により運搬中の試料保持部材にごみが付着するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係る試料保持部材の収納具を示す図であり、（Ａ）は断面平面図、（Ｂ）は断面正面図、（Ｃ）は側面図である。
【図２】試料取扱装置の一例を示す斜視図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る試料保持部材の収納具を示す図であり、（Ａ）は断面平面図、（Ｂ）は断面正面図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る試料保持部材の収納具を示す図であり、（Ａ）は断面平面図、（Ｂ）は断面正面図である。
【符号の説明】
１      ウエハホルダ（試料保持部材）
１ａ    接触面
１０    試料保持部材の収納具
１１    収納容器
１２    ホルダ固定具（保持部材固定具）
１３    印
１４    グランドケーブル接続端子（接地手段接続部）
１５    第１グランドケーブル（接地手段接続部）
１６    第２グランドケーブル（接地手段）
１７    真空配管接続口（配管接続部）
１８    開閉バルブ
１９    エアフィルタ
２０    真空配管（配管）
１００    ウエハ検査用顕微鏡装置
【図１】
2004307033.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004307033.tif 000006