(57)【要約】【課題】  マグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた調光ミラーガラス材料、調光ミラーガラスの製造方法を提供する。【解決手段】  マグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた調光ミラー材料を製造する方法であって、（１）組成がＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）のマグネシウム・ニッケル合金薄膜を作製する、（２）上記薄膜に触媒材料をコートして触媒層を形成する、（３）任意の構成として、上記触媒層に保護層の材料をコートして保護層を形成する、（４）上記（１）〜（３）により、室温（２０℃付近）で水素化によって透明状態になるクロミック特性を有し、室温から１００℃までの温度領域で脱水素化によって鏡状態になるクロミック特性を有する、調光ミラー材料を作製する、ことを特徴とする調光ミラー材料の製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
　マグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた調光ミラー材料を製造する方法であって、
（１）組成がＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）のマグネシウム・ニッケル合金薄膜を作製する、
（２）上記薄膜に触媒材料をコートして触媒層を形成する、
（３）任意の構成として、上記触媒層に保護層の材料をコートして保護層を形成する、
（４）上記（１）〜（３）により、室温（２０℃付近）で水素化によって透明状態になるクロミック特性を有し、室温から１００℃までの温度領域で脱水素化によって鏡状態になるクロミック特性を有する、調光ミラー材料を作製する、
ことを特徴とする調光ミラー材料の製造方法。
【請求項２】
　上記ＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）のｘが０．１６−０．２であることを特徴とする請求項１に記載の調光ミラー材料の製造方法。
【請求項３】
　上記薄膜に触媒材料のパラジウムもしくは白金をコートして０．５ｎｍ−１０ｎｍの触媒層を形成することを特徴とする請求項１に記載の調光ミラー材料の製造方法。
【請求項４】
　スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）、又はめっき法により、上記薄膜に触媒材料のパラジウムもしくは白金をコートすることを特徴とする請求項３に記載の調光ミラー材料の製造方法。
【請求項５】
　上記保護層が、水素透過性であり、かつ水非透過性の材料からなることを特徴とする請求項１に記載の調光ミラー材料の製造方法。
【請求項６】
　請求項１から４のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層を、透明部材表面に形成することを特徴とする調光ミラー部材の製造方法。
【請求項７】
　透明部材が、アクリル、プラスチック、又は透明シートであることを特徴とする請求項６に記載の調光ミラー部材の製造方法。
【請求項８】
　請求項１から４のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層をガラス表面に形成することを特徴とする調光ミラーガラスの製造方法。
【請求項９】
　復層ガラスからなる調光ミラーガラス窓を作製する方法であって、請求項８に記載の方法で作製された調光ミラーガラスを復層ガラスの内側に使用することを特徴とする調光ミラーガラス窓の作製方法。
【請求項１０】
　上記復層ガラスのガラスの間隙に水素ガス及び加熱した大気もしくは酸素ガスを導入する雰囲気制御器を有することを特徴とする請求項９に記載の調光ミラーガラス窓の作製方法。
【請求項１１】
　請求項１から４のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層を透明部材ないしガラス表面に形成した調光ミラー部材ないし調光ミラーガラスを装着することを特徴とする調光ミラー機能を有する物品の作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、特定組成を有するマグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた調光ミラーガラスに関するものであり、更に詳しくは、本発明は、窓ガラスから入射する太陽光をブラインドやカーテンなしで自動的にコントロールする調光ガラスに用いる新規調光ミラー材料、当該材料を用いた調光ミラーガラスの製造方法等に関するものである。
　本発明は、建物や乗り物における太陽光の透過率を制御するための窓材料技術として有用である。
【背景技術】
【０００２】
　一般に、建物において窓（開口部）は大きな熱の出入り場所になっている。例えば、冬の暖房時の熱が窓から流失する割合は４８％程度であり、夏の冷房時に窓から熱が入る割合は７１％程度にも達する。したがって、窓における光・熱をうまくコントロールすることにより、膨大な省エネルギー効果を得ることができる。
　調光ガラスは、このような目的で開発されたものであり、光・熱の流入・流出をコントロールする機能を有している。
【０００３】
　このような調光ガラスの調光を行う方式には、いくつかの種類がある。それらのうち、１）電流・電圧の印加により可逆的に透過率の変化する材料をエレクトロクロミック材料といい、２）温度により透過率が変化する材料をサーモクロミック材料といい、また、３）雰囲気ガスの制御により透過率が変化する材料をガスクロミック材料という。この中でも、調光層に酸化タングステン薄膜を用いたエレクトロクロミック調光ガラスの研究が最も進んでおり、現在、ほぼ実用化段階に達しており、市販品も出されている。
【０００４】
　この酸化タングステンを初めとして、これまで知られているエレクトロクロミック調光ガラスは、すべて調光層で光を吸収することにより調光を行うことをその原理としている。この場合、この種の調光ガラスは、調光層が光を吸収することにより熱を持ち、それがまた室内に再放射されるため、省エネルギー効果が低くなってしまうという欠点を持っている。これをなくすためには、光を吸収することにより調光を行うのではなく、光を反射することにより調光を行う必要がある。つまり、鏡の状態と透明な状態が可逆的に変化するような特性を有する材料が望まれていた。
【０００５】
　このような、鏡の状態と透明な状態で変化する材料は長らく見つかっていなかったが、１９９６年にオランダのグループにより、イットリウムやランタンなどの希土類の水素化物が、水素により鏡の状態と透明な状態に変化することが発見され、このような材料は「調光ミラー」と命名された（非特許文献１）。これらの希土類水素化物は、透過率の変化が大きく、調光ミラー特性に優れている。しかし、この調光ミラーは、材料として希土類元素を用いるため、窓のコーテイングなどに用いる場合、資源やコストに問題があった。
【０００６】
　その後、２００１年に、アメリカのグループにより、マグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉが新たな調光ミラー材料として発見された（非特許文献２）。この材料は、使用する元素がマグネシウムとニッケルであり、希土類元素に比べて、資源的にもコスト的にも優位である。したがって、この材料は、より窓ガラスコーテイングに適した材料として期待される。ただし、この材料は、鏡の状態のときの反射率は高いが、透明状態になったときの光学透過率が低く（文献で２０％）、実用的な材料とするためにはこの透明時の透過率を上げる必要があった。
【０００７】
　調光ミラー特性を有する材料としては、これまで、イットリウムやランタン等の希土類金属の水素化物、希土類金属とマグネシウムもしくはガドリニウム合金の水素化物、及びマグネシウム・ニッケル合金の水素化物等が知られている。この中で、資源やコストの観点から、窓ガラスのコーテイングに適しているのはマグネシウム・ニッケル合金を用いたものである。しかし、これまで報告されているマグネシウム・ニッケル合金は、その水素化状態における透過率が低く、とても実用的に使用できるものではなかった。また、調光ガラスの中では、前述のように、酸化タングステン薄膜を用いたエレクトロクロミック調光ガラスの研究が最も進んでおり、すでに商品化されている。しかし、この薄膜は、複雑な多層薄膜コーテイングを必要とするため、コストが非常に高く、そのことが、普及を妨げる大きな要因になっている。これらのことから、当該技術分野においては、優れた特性を有する調光ガラスを作製し、提供することを実現化できる新しい調光材料を開発することが強く要請されていた。
【０００８】
【非特許文献１】Ｊ．Ｎ．Ｈｕｉｂｅｒｔｓ，Ｒ．Ｇｒｉｅｓｓｅｎ，Ｊ．Ｈ．Ｒｅｃｔｏｒ，Ｒ．Ｊ．Ｗｉｊｎｇａａｒｄｅｎ，Ｊ．Ｐ．Ｄｅｋｋｅｒ，Ｄ．Ｇ．ｄｅ　Ｇｒｏｏｔ，Ｎ．Ｊ．Ｋｏｅｍａｎ，Ｎａｔｕｒｅ　３８０（１９９６）２３１
【非特許文献２】Ｔ．Ｊ．Ｒｉｃｈａｒｄｓｏｎ，Ｊ．Ｌ．Ｓｌａｃｋ，Ｒ．Ｄ．Ａｒｍｉｔａｇｅ，Ｒ．Ｋｏｓｔｅｃｋｉ，Ｂ．Ｆａｒａｎｇｉｓ，ａｎｄ　Ｍ．Ｄ．Ｒｕｂｉｎ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．７８（２００１）３０４７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
　本発明者は、このような状況の中で、多元スパッタリング法によってマグネシウムとニッケルの組成を様々に変えて成膜を行い、その調光ミラー特性の評価を詳細に行った結果、Ｍｇ2 Ｎｉよりもはるかに透明時の透過率の高い、新たな組成ＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）の存在することを発見し、更に研究を重ねて、本発明を完成するに至った。
【００１０】
　本発明は、コスト的に安価なマグネシウム薄膜及びごく微量のパラジウム膜等の触媒層を使用した新しいタイプの調光ミラー材料の製造方法を提供することを目的とする。
　また、本発明は、当該調光ミラー材料を用いた調光ミラーガラス窓の作製方法を提供することを目的とする。
　更に、本発明は、コーテイング層が２層でシンプルであることから大きなコスト低減が見込まれる新しい調光ミラー材料及びその用途を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
　上記課題を解決するための本発明は、以下の技術的手段から構成される。
（１）マグネシウム・ニッケル合金薄膜を用いた調光ミラー材料を製造する方法であって、
１）組成がＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）のマグネシウム・ニッケル合金薄膜を作製する、
２）上記薄膜に触媒材料をコートして触媒層を形成する、
３）任意の構成として、上記触媒層に保護層の材料をコートして保護層を形成する、
４）上記１）〜３）により、室温（２０℃付近）で水素化によって透明状態になるクロミック特性を有し、室温から１００℃までの温度領域で脱水素化によって鏡状態になるクロミック特性を有する、調光ミラー材料を作製する、
ことを特徴とする調光ミラー材料の製造方法。
（２）上記ＭｇＮｉｘ（０．１＜ｘ＜０．３）のｘが０．１６−０．２であることを特徴とする前記（１）に記載の調光ミラー材料の製造方法。
（３）上記薄膜に触媒材料のパラジウムもしくは白金をコートして０．５ｎｍ−１０ｎｍの触媒層を形成することを特徴とする前記（１）に記載の調光ミラー材料の製造方法。
（４）スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）、又はめっき法により、上記薄膜に触媒材料のパラジウムもしくは白金をコートすることを特徴とする前記（３）に記載の調光ミラー材料の製造方法。
（５）上記保護層が、水素透過性であり、かつ水非透過性の材料からなることを特徴とする前記（１）に記載の調光ミラー材料の製造方法。
（６）前記（１）から（４）のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層を、透明部材表面に形成することを特徴とする調光ミラー部材の製造方法。
（７）透明部材が、アクリル、プラスチック、又は透明シートであることを特徴とする前記（６）に記載の調光ミラー部材の製造方法。
（８）前記（１）から（４）のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層をガラス表面に形成することを特徴とする調光ミラーガラスの製造方法。
（９）復層ガラスからなる調光ミラーガラス窓を作製する方法であって、前記（８）に記載の方法で作製された調光ミラーガラスを復層ガラスの内側に使用することを特徴とする調光ミラーガラス窓の作製方法。
（１０）上記復層ガラスのガラスの間隙に水素ガス及び加熱した大気もしくは酸素ガスを導入する雰囲気制御器を有することを特徴とする前記（９）に記載の調光ミラーガラス窓の作製方法。
（１１）前記（１）から（４）のいずれかに記載の調光ミラー材料からなる調光層を透明部材ないしガラス表面に形成した調光ミラー部材ないし調光ミラーガラスを装着することを特徴とする調光ミラー機能を有する物品の作製方法。
【００１２】
　次に、本発明について更に詳細に説明する。
　本発明は、優れた調光ミラー特性を有する特定組成ＭｇＮｉｘ　（０．１＜ｘ＜０．３）のマグネシウム・ニッケル合金薄膜からなる調光ミラー材料に係るものである。この調光ミラー特性に優れたマグネシウム・ニッケル合金薄膜は、スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）、めっき法等により作製することができる。しかし、これらの方法に制限されない。本発明では、上記マグネシウム・ニッケル合金薄膜の表面に触媒層が形成される。上記触媒層として、好適には、パラジウムもしくは白金が用いられる。しかし、これらに限定されるものではなく、これらと同効のものであれば同様に使用することができる。この触媒層は、好適には、上記マグネシウム薄膜の表面に０．５ｎｍ−１０ｎｍのパラジウムもしくは白金をコートして形成される。しかし、触媒層の形成方法及びその形態は特に制限されない。
【００１３】
　上記触媒層は、スパッタリング法、真空蒸着法、電子ビーム蒸着法、化学気相蒸着法（ＣＶＤ）、めっき法等により作製することができる。しかし、これらの方法に制限されない。このように、これらのマグネシウム・ニッケル合金薄膜及び触媒層の成膜は、好適には、例えば、上記マグネトロンスパッタ装置等を利用して行われる。上記調光ミラー材料からなる調光層を基板の透明部材ないしガラス表面に形成することにより調光ミラー部材ないし調光ミラーガラスが得られる。この場合、基板としては、好適には、アクリル、プラスティック、透明シート、ガラスが例示される。しかし、これらに限らず、これらと同効のものであれば同様に使用することができる。本発明では、上記調光層の表面に、保護層が形成される。この保護層の材料としては、水素に対して透過性で水に対して非透過性の特性を有する材料が用いられる。この保護層は、例えば、上記調光層の表面にこの材料からなるシートを張り付ける方法、上記材料をコーテイングする方法等により形成される。この保護層の形成方法は、特に制限されるものではなく、適宜の方法を用いることができる。
　上記保護層の材料例としては、例えば、ポリエチレンシート、酸化タンタル薄膜、酸化ジルコニウム薄膜等が例示される。しかし、これらに制限されるものではなく、これらと同効のものであれば同様に使用することができる。この保護層により、上記調光層の耐久性を大幅に向上させることができる。
【００１４】
　次に、上記調光層を復層ガラス窓を構成する２重ガラスや３重ガラスの内側に形成することができる。これにより、調光ミラーガラス窓を作製することができる。この場合、例えば、上記２重ガラスや３重ガラスのガラスの間隙に水素ガス及び加熱した大気もしくは酸素ガスを導入する雰囲気制御器を設置し、これらにより水素化及び脱水素化の度合を任意に調節して上記調光ミラーガラス窓を調光する。上記雰囲気制御器は、例えば、上記調光ミラーガラス窓の適宜の位置に着脱自在に設置することが可能なユニットの形態などに構成することができる。
【００１５】
　調光ミラーガラスの調光方法としては、（１）上記水素化を、水素ガスを用いたガスクロミック手法、水系を含む電解質を用いたエレクトロクロミック手法の１種以上を用いて、水素化の度合を自由に調節して行う方法、（２）上記脱水素化を、大気もしくは酸素ガスを用いたガスクロミック手法、電解質を用いたエレクトロクロミック手法、及び加熱によるサーモクロミック手法の１種以上を用いて、脱水素化の度合を自由に調節して行う方法、があげられる。
【００１６】
　また、上記調光層が大気もしくは酸素雰囲気下における透明状態から鏡状態への転移速度は温度に対する依存性がある。この性質を利用して、周囲の温度上昇により、自動的に透明な状態から鏡状態に調光するようにすることができる。この場合、温度に対する依存性は、マグネシウム・ニッケル合金薄膜の表面に形成する触媒層の厚さによリコントロールすることが可能である。
　また、調光ミラーガラスを２重ガラスの双方にコーテイング面が内側にくるように配置することで、鏡状態における透過率を下げ調光幅を広げることもできる。また、調光ミラーガラスを３重ガラスの内部に配置して、より断熱性能に優れた窓にすることも可能である。
【００１７】
　本発明の調光ミラーガラスの調光特性は、後記する実施例に示されるように、作製したマグネシウム・ニッケル合金薄膜におけるマグネシウムとニッケルの組成に大きく依存する。マグネシウムに対するニッケルの組成比が０．１から０．３の範囲で特異的かつ選択的に優れた調光特性を示す。
【００１８】
　マグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉ薄膜の場合は、水素ガスに曝して水素化した膜は、排気して空気にさらすと、ほぼ水素化と同様の速度で酸化が起こってもとの金属状態に戻る。一方、本発明のマグネシウムに富んだマグネシウム・ニッケル合金薄膜では、空気中における脱水素化の速度が温度に対して大きな依存性を示し、温度が高くなるほど脱水素化の速度が大きくなる。温度によって透過率が変化する現象は、サーモクロミック現象と呼ばれるが、前記の性質を用いることにより、本発明の材料をサーモクロミック的に用いることもできる。このような材料は、これまで見つかっていなかった。
【００１９】
　このような性質は、例えば、この膜を白動車の窓ガラスに用いた場合に特に威力を発揮する。つまり、暑い夏に駐車するときなど、室内の温度が上昇すると自動的に透明な状態から鏡の状態に変化して、太陽光を反射し温度上昇を抑える。また、鏡の状態からは水素を送り込むことで、いつでも透明な状態に戻すことができる。どの温度で鏡の状態に戻るようにするかは触媒層の厚さを変えることで調節することができる。すなわち、触媒層の厚さを厚くすると、より低い転移温度で鏡の状態に変化する。ただし、触媒層を厚くすると透明時における透過率が低くなる。
【００２０】
　本発明の調光ミラー材料を実際の調光ガラスとして用いる場合には、例えば、窓ガラスを構成する２重ガラスの内側にパラジウム等の触媒層を薄くコーテイングしたマグネシウム・ニッケル合金薄膜がくるようにしてシールする。そして、例えば、窓ガラスの二箇所に穴を開け、一方には蓋付の排気孔、もう一方には、この間隙の空間に水を電気分解して水素を発生し送り込んだり、空気もしくは水の電気分解で得られる酸素を送り込んだりするユニット（雰囲気制御器）を取り付ける。この雰囲気制御器から水素を送りこむことで、自由にコントロールして透明状態にすることができる。
【００２１】
　水素を含まない空気もしくは酸素雰囲気にすると、脱水素化により透明な状態から徐々に鏡の状態に変化していく。この速度は温度が高いほど早く、例えば温度が４０度の場合には水素化と同程度の速さで鏡の状態に変化する。温度が２０度の場合には水素化（透明化）に比べて１０倍程度の遅さで徐々に鏡の状態に変化する。加熱した空気もしくは酸素を雰囲気制御器から送り込むことで、すばやく鏡の状態に変化させることもできる。
【００２２】
　このように、本発明は、調光ミラー特性に優れたマグネシウム・ニッケル合金薄膜材料と、これを用いた調光ミラーガラスに係るものである。本発明のマグネシウム薄膜に薄くパラジウムもしくは白金を付けたものは、従来報告されているマグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉよりもはるかに優れた調光ミラー特性を示し、調光ミラー実用化のための大きなブレークスルーになると考えられる。現在、住宅における窓の重要性は一般にも広く認識されてきており、新築の家では２重ガラスや３重ガラスを使うことが主流になりつつある。本発明の調光ミラー材料のような調光ミラーガラス用コーテイングは、例えば、２重ガラスや３重ガラスの内側に施すことで、内部の空間をスイッチング用の水素ガスの導入空間として利用することができるため、非常に有利である。
【００２３】
　調光ガラスの中でも最も実用段階に近いエレクトロクロミック調光ガラスは、前述のように、性能は優れている。しかし、この調光ガラスは、最低５層の薄膜を高品質でコーテイングする必要があるため、コストが非常に高いという欠点をもっている。それに対して、本発明のマグネシウム・ニッケル合金薄膜からなる調光ミラー材料は、安価なマグネシウムとニッケルを原料として、それにごく微量のパラジウム等の触媒層をコーテイングするだけであり、コスト的に非常に有利である。また、調光における水素の取り扱いについても、例えば、２重ガラスの間隙を調整すること等で、その安全性を高めるとともに、取り扱いやすくすることができる。高機能性ガラスの需要は、今後大きく増大すると考えられる中で、本発明の調光ミラーガラスは、新しい調光ガラス材料を提供するものとしてその意義は大きい。
【００２４】
　また、本発明の調光ミラーガラスは，建物だけでなく、自動車を始めとする乗物に有効である。特に、自動車において、夏場に駐車しておくと、室内は数十度程度の高温になる。しかし、本発明の調光ミラーガラスを装着すれば、室内の温度が高くなると白動的に透明な状態から鏡の状態に変化し、室内の温度上昇を抑えることができる。この調光ミラーガラスは、鏡の状態になっても、透明な状態にはいつでも戻すことができるため利便性が高い。
【００２５】
　更に、本発明の調光ミラーガラスは、上記窓材料だけでなく、あらゆる種類の物品にも広く用いることができる。それにより、例えば、プライバシー保護を目的とした遮蔽物や、鏡状態と透明状態に変わることを利用した装飾物及び玩具等に調光ミラー機能を付加することができる。本発明において、調光ミラー機能を有する物品とは、上記調光ミラーガラスを装着したあらゆる種類の物品を包含するものとして定義される。
【発明の効果】
【００２６】
　本発明により、（１）本発明の調光ミラー材料は、従来報告されているマグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉよりもはるかに優れた調光ミラー特性を示す、（２）本発明の調光ミラーガラス用コーテイングは、例えば、２重ガラスの内側に施すことで、内部の空間をスイッチング用の水索ガスの導入空間として利用することができるため、非常に有利である、（３）本発明のマグネシウム・ニッケル合金薄膜調光ミラーは、安価なマグネシウムとニッケルそれに、ごく微量のパラジウム等をコーテイングすることで作製することが可能であり、コスト的に非常に有利である、（４）本発明の調光ミラーガラスは、建物だけでなく、自動車を始めとする乗物等の窓ガラスの調光材料として有効である、（５）本発明の調光ミラーガラスは、上記窓材料だけでなく、あらゆる種類の物品にも広く用いることができ、それにより、例えば、プライバシー保護を目的とした遮蔽物や、鏡状態と透明状態に変わることを利用した装飾物及び玩具等に調光ミラー機能を付加することができる、という格別の効果が奏される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
　次に、本発明を実施例に基づいて具休的に説明するが、本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
【実施例１】
【００２８】
　マグネシウム薄膜の成膜を、図１に示した３連のマグネトロンスパッタ装置で行った。３つのスパッタ銃に、ターゲットとしてそれぞれ、金属マグネシウム、金属ニッケル、それに金属パラジウムをセットした。基板としては、厚さ１ｍｍのガラス板を用い、これを洗浄後、真空装置の中にセットして真空排気を行った。成膜にあたっては、まず、マグネシウム・ニッケルをスパッタしてマグネシウム・ニッケル合金薄膜を作製した。スパッタ中のアルゴンガス圧は、０．８Ｐａであり、直流スパッタ法によりマグネシウムに３０Ｗ、ニッケルに１１Ｗのパワーを加えてスパッタを行った。その後、同じ真空条件で、６Ｗのパワーを加えてパラジウム薄膜の蒸着を行った。
【実施例２】
【００２９】
　得られた膜を、図２のような評価装置にとりつけ、その光学特性を調べた。マグネシウム・ニッケル合金薄膜が内側に向くように小さなチャンバーに試料を取り付け、いったん中を真空に引いた後、１気圧の水素ガスを導入し、そのときの光学透過率の変化を波長６７０ｎｍの半導体レーザーとシリコンフォトダイオードを組み合わせた測定システムで測定した。マグネシウム・ニッケル合金薄膜は、蒸着直後の膜は金属光沢を持ちよく光を反射する。この膜を水素へ暴露することにより水素化が起こり、光学透過率が増大するが、この変化の仕方は、マグネシウム・ニッケル合金の組成に大きく依存することがわかった。そこで、スパッタ法による成膜時において、マグネシウムターゲットとニッケルターゲットに加えるパワーを調節することで、様々な組成のマグネシウム・ニッケル合金薄膜を作製し、その調光特性の評価を行った。
【００３０】
　図３は、様々な組成で作製したマグネシウム・ニッケル合金薄膜（ＭｇＮｉｘ）を３０分間１気圧の水素にさらした後の波長６７０ｎｍにおける透過率を組成比ｘに対してプロットしたものである。いずれの膜もマグネシウム・ニッケル合金薄膜層の厚さは４０ｎｍであり、その上に厚さ４ｎｍのパラジウムを薄くコーティングしてある。
　その結果、図に見るように、透明時の可視光透過率はＭｇＮｉｘのｘが０．１６付近で最大になるような変化を示し、ｘが０．１から０．３の範囲、特にｘが０．１６から０．２の範囲で特異的かつ選択的に良い特性を示すことがわかった。
【実施例３】
【００３１】
　マグネシウムとニッケルの比が５：１になるように作製したマグネシウム・ニッケル合金薄膜ＭｇＮｉ0.2 （マグネシウム・ニッケル層の厚さが４０ｎｍ，パラジウム層の厚さが４ｎｍ）の蒸着直後の金属状態のときの光学透過スペクトル、及びこれを水素雰囲気にさらして透明状態にした場合の光学透過スペクトルを図４に示す。この試料では、最初、金属光沢を持つ鏡状状で透過率が低く反射率が高かったものが、水素化により透明化し、それに併せて透過率が大きく上昇し、反射率が下がっていることがわかる。参考のために、同図中にＭｇＮｉ0.5 （Ｍｇ2 Ｎｉ）の組成で作製した膜の透明時における透過スペクトルを示す。これと比較すると、ＭｇＮｉ0.2の透過率変化は３倍近く大きく、調光特性が大きく向上していることがわかる。
【実施例４】
【００３２】
　マグネシウムとニッケルの比が５：１になるように作製したマグネシウム・ニッケル合金薄膜ＭｇＮｉ0.2 （マグネシウム・ニッケル層の厚さが４０ｎｍ，パラジウム層の厚さが４ｎｍ）を１気圧の水素にさらしたときと、１気圧の大気にさらしたときの光学透過率の時間変化を図５に示す。水素にさらすとマグネシウムの水素化により透明状態に変化するが、その速度は速く２０秒程度である。これに対して、大気にさらすと、脱水素化により鏡状態に戻るが、２０℃においてこの変化は水素化に遅く、５００秒程度かかる。
　ただし、図に示したように、温度を４０℃にすると水素化の速度は変化しないが、脱水素化の速度は速くなる。これにより、本材料では透明状態から鏡状態への遷移は温度によりコントロールできることがわかった。
【００３３】
　また、このときの変化の様子を示した写真を図６に示す。図６（ａ）に見るように、この試料は、金属状態では、光を良く反射する鏡状態であるが、これを水索雰囲気にさらすと、同（ｂ）に見るように、向こう側が透けて見える状態に変化している。また、従来のマグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉ薄膜では、水素化状態でも濃い茶色に着色しているが、本発明の材料では薄い黄色である。図４の透明時の透過スペクトルから可視光透過率を計算すると、約５０％となり、従来報告されているＭｇ2 Ｎｉの２０％と比べて大きく向上している。
【実施例５】
【００３４】
　２重ガラスの内側に、パラジウムを薄くコーテイングしたマグネシウム・ニッケル合金薄膜がくるようにしてシールした。窓ガラスの二箇所に穴を開け、一方には蓋付の排気孔、もう一方には、この間隙の空間に水を電気分解して水素を発生し送り込んだり、空気もしくは水の電気分解で得られる酸素を送り込んだりすることができるユニット（雰囲気制御器）を取り付け、調光ミラーガラス窓を構築した。これを図７（ａ）に示す。この雰囲気制御器から水素を送り込むことで、任意にコントロールして透明状態にすることができた。
【００３５】
　水素を封入した状態にしておくと、透明な状態を保った。空気もしくは酸素を送り込むと、ゆっくりと金属状態に変化していった。自動的に金属状態に変化して、光を反射して透過しなくなった。また、加熱した空気もしくは酸素を送り込むと急激に金属状態に変化した。また、図７（ｂ）に示したように、調光ミラーガラスを２重ガラスの双方にコーテイング面が内側にくるように配置することで、鏡状態における透過率を下げ調光幅を広げた窓を構築した。更に、図７（ｃ）に示したように、３重ガラスの内部に配置して、より断熱性能に優れた窓を構築した。これらは、上記調光ミラーガラス窓と同様の調光特性を有していた。
【実施例６】
【００３６】
　２重ガラス、もしくは３重ガラスの内側に、パラジウムを薄くコーテイングしたマグネシウム薄膜がくるようにしてシールしたガラスの内部にアルゴンガスを封入し、そこに実施例５と同様の雰囲気制御器を接続した。雰囲気制御器を用いて希薄な水素をアルゴン中に入れると、鏡の状態から透明な状態に変化した。次に雰囲気制御器からアルゴン中に酸素を入れると鏡の状態に戻った。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
　以上詳述したように、本発明は、調光ミラー特性に優れたマグネシウム・ニッケル合金薄膜材料と、これを用いた調光ミラーガラスの製造方法に係るものであり、本発明の調光ミラー材料は、従来報告されているマグネシウム・ニッケル合金のＭｇ2 Ｎｉよりもはるかに優れた調光ミラー特性を示す。本発明の調光ミラーガラス用コーテイングは、例えば、２重ガラスの内側に施すことで、内部の空間をスイッチング用の水索ガスの導入空間として利用することができるため、非常に有利である。本発明のマグネシウム・ニッケル合金薄膜調光ミラーは、安価なマグネシウムとニッケルそれに、ごく微量のパラジウム等をコーテイングすることで作製することが可能であり、コスト的に非常に有利である。本発明の調光ミラーガラスは、建物だけでなく、自動車を始めとする乗物等の窓ガラスの調光材料として有効である。本発明の調光ミラーガラスは、上記窓材料だけでなく、あらゆる種類の物品にも広く用いることができ、それにより、例えば、プライバシー保護を目的とした遮蔽物や、鏡状態と透明状態に変わることを利用した装飾物及び玩具等に調光ミラー機能を付加することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、スパッタ装置の概略図を示す。
【図２】図２は、調光ミラー特性評価装置の概略図を示す。
【図３】図３は、マグネシウムとニッケルの組成比を変えた試料の水素暴露後３０分の波長６７０ｎｍにおける光学透過率を示す。
【図４】図４は、マグネシウム・ニッケル合金薄膜の光学スペクトル（（ａ）：光学透過スペクトル、（ｂ）：光学反射スペクトル）を示す。
【図５】図５は、ＭｇＮｉ0.2 の波長６７０ｎｍにおける光学透過率の変化を示す（Ｔ＝５ｓで１気圧の水素を導入、Ｔ＝１００ｓで１気圧の大気を導入）
【図６】図６は、マグネシウム・ニッケル合金薄膜の調光の様子（（ａ）：金属状態、（ｂ）：透明状態）を示す。
【図７】図７は、調光ミラーガラス窓の構造を示す。
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図１】
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【図２】
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【図６】
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【図７】
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