【事件の表示】
　平成　９年特許願第　１９６０５号「ステージ装置およびステージ駆動方法」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年　８月　４日出願公開、特開平１０−２０２４６０］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成９年１月２０日に出願されたものであって、同１３年５月３１日付で拒絶をすべき旨の査定がなされ、これに対し、同１３年７月１２日に本件審判の請求がなされるとともに、同１３年７月３１日付で明細書を補正対象書類とする手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　なお、本件補正後の発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないので、本件補正は却下すべきものである旨の当審の審尋に対して、その指定期間内に回答書が提出されていない。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容及び補正発明
　本件補正の内容は、平成１２年８月９日付手続補正書により補正がされた明細書の下記(1)の補正前の特許請求の範囲を、下記(2)の補正後の特許請求の範囲に補正するものである。
(1) 補正前の特許請求の範囲
「【請求項１】 所定方向に移動可能に案内されたステージと、このステージに推力を付与する推力付与手段とを有するステージ装置において、前記推力付与手段の推力を伝達するカップリング部を備え、前記推力付与手段がカップリング部を介してステージおよびその搭載物を含む移動部分に推力を付与する箇所が、前記移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置することを特徴とするステージ装置。
【請求項２】  推力付与手段は、モータ、このモータにより回転させられるボールネジ、このボールネジの回転により移動するナット部、このナット部に連結し、推力を前記推力付与箇所において前記移動部分に付与する部材とを有することを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】  前記推力付与手段の前記移動部分に推力を付与する部分と、前記移動部分の前記推力が付与される箇所とは静圧カップリングにより結合されていることを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
【請求項４】  前記静圧カップリングは静圧軸受およびその予圧付勢手段を有することを特徴とする請求項３記載のステージ装置。
【請求項５】  前記静圧軸受は、イコライズ機構により支持されていることを特徴とする請求項３または４記載のステージ装置。
【請求項６】  所定方向に移動可能に案内されたステージに推力を付与してステージを移動するに際し、前記ステージに推力を伝達するカップリング部を用い、ステージおよびその搭載物を含む移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内の箇所において前記カップリング部を介して前記移動部分に推力を付与することを特徴とするステージ駆動方法。」
(2) 補正後の特許請求の範囲
「【請求項１】 所定方向に移動可能に案内されたステージと、このステージに推力を付与する推力付与手段とを有するステージ装置において、前記推力付与手段の推力を伝達するカップリング部を備え、前記推力付与手段がカップリング部を介してステージおよびその搭載物を含む移動部分に推力を付与する箇所が、前記移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置する
とともに、前記推力付与手段の推力作用中心線と前記カップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とが異なる位置にある
【請求項２】  推力付与手段は、モータ、このモータにより回転させられるボールネジ、このボールネジの回転により移動するナット部、このナット部に連結し、推力を前記推力付与箇所において前記移動部分に付与する部材とを有することを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
【請求項３】  前記推力付与手段の前記移動部分に推力を付与する部分と、前記移動部分の前記推力が付与される箇所とは静圧カップリングにより結合されていることを特徴とする請求項１または２に記載のステージ装置。
【請求項４】  前記静圧カップリングは静圧軸受およびその予圧付勢手段を有することを特徴とする請求項３記載のステージ装置。
【請求項５】  前記静圧軸受は、イコライズ機構により支持されていることを特徴とする請求項３または４記載のステージ装置。
【請求項６】  所定方向に移動可能に案内されたステージに推力を付与してステージを移動するに際し、前記ステージに推力を伝達するカップリング部を用い、ステージおよびその搭載物を含む移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内の箇所において前記カップリング部を介して前記移動部分に推力を付与する
とともに、この推力を付与する推力作用中心線と前記カップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とが異なる位置にある
　なお、上記下線は、補正個所を示すものである。
　上記補正は、請求項１については、推力付与手段とカップリング部とについて、「前記推力付与手段の推力作用中心線と前記カップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とが異なる位置にある」との限定を付加し、請求項６については、付与する推力とカップリング部とについて、「この推力を付与する推力作用中心線と前記カップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とが異なる位置にある」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された発明（以下「補正発明１」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて、以下検討する。
２　引用例
　これに対して、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である実願昭６１−１１４４３６号（実開昭６３−２１８９７号）のマイクロフィルム（以下「引用例１」という。）の記載内容は、以下のとおりである。
(1) 引用例１の記載事項
　引用例１には「Ｘ−Ｙ移動機構」に関連して以下の事項が記載されている。
(a) 明細書第５頁第１０行−第６頁第９行
「第１図は本考案の一実施例を示す機械的構成図である。・・・図において、Ｘ軸方向の案内であるガイドレール１上に、Ｙ軸方向の案内であるガイドレール２を組み合わせ、その上部にテーブル３が載置されている。伝達棒４はＸ軸方向の運動をガイドレール２を介してテーブル３に伝える。Ｙ軸方向の運動を伝える伝達棒５には直角にレール６′が固定されている、該レール６′に沿ってＸ軸向にのみ摺動可能なスライダ１１に円形回転体（例えばベアリング）１２が固定されている。アクチュエータ１３はテーブル３に固定されており、ベアリング１２のＸ軸方向両側に一対配置され、ベアリング１２を挟むように配置されている。そして、このアクチュエータ１３は、制御信号によりベアリング１２を挟んだり離したりする操作な行うことができるようになっている。又、レール６′は、その底部が３角状に延び、その先端部に伝達棒５が取付けられ、伝達棒５とスライダ１１との干渉を防いでいる。」
(b) 明細書第７頁下から第４行−第８頁下から第３行
「次に、テーブル３をＹ軸方向に移動させる時、アクチュエータ１２に制御信号を印加する。アクチュエータ１３は例えば電歪素子の組み合わせでできており、電圧の印加によってＸ軸方向に伸びる。そのためベアリング１２はアクチュエータ１３によって挟まれ、アクチュエータ１３に対し動かなくなる。これによって、Ｙ軸方向の駆動装置（図示せず）による運動は、伝達棒５→レール６′→スライダ１１→ベアリング１２→アクチュエータ１３を介してテーブル３に伝わる。
　ここで、伝達棒５の運動にＸ軸方向のずれがあった場合、レール６′がＸ軸方向にずれるが、スライダ１１はレール６′に対し、Ｘ軸方向に自由なためＹ軸方向の力だけをテ一ブル３に伝える。この結果、テーブル３がＸ軸方向に動くことはない。更にテーブル３がＸ軸上の最大（又は最小）の位置にある場合などはレール６′にモーメント力が加わることがある。しかしながら、ベアリング１２は回転方向に自由なため、テーブル３に対しモーメント力は加わらない。従って、テーブル３はガイドレール２に沿って、他の影響を受けずに移動することができる。」
(c) 明細書第９頁第１１行−第１０頁第３行
「本考案に係る移動機構を２軸に用い、更にストッパを設けたものを第２図に示す。・・・。更に移動機構を両軸に用いることによって常にテーブル３の重心を押す（又は引く）ことができるため、モーメント力が発生せず、回転蛇行が無くなる。」
(2) 引用例１記載の発明
　上記した引用例１の記載事項を補正発明１に照らして整理すると、結局、引用例１には次の発明が記載されていると認める。
　Ｙ軸方向に移動可能に案内されたテーブル３と、このテーブル３にＹ軸方向の運動を伝える伝達棒５を有するテーブル装置において、伝達棒５に直角に固定されたレール６′と、当該レール６′に沿ってＸ軸方向にのみ摺動可能なスライダ１１と、当該スライダ１１に固定された円形回転体１２と、テーブル３の側面に取付けられ制御信号により円形回転体１２を挟み且つ離す操作を行うアクチュエータ１３とを備え、当該アクチュエータ１３は、テーブル３の重心を押す（又は引く）ことによりモーメント力が発生せず、回転蛇行が無くなる箇所に位置しているテーブル装置（以下「引用例１記載の発明」という。）。
３　対比
　補正発明１と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「テーブル３」は、補正発明１の「ステージ」に相当し、同様に「テーブル３にＹ軸方向の運動を伝える伝達棒５」は、「ステージに推力を付与する推力付与手段」に相当することが明らかである。
　また、引用例１記載の発明の「スライダ１１に固定された円形回転体１２」と「テーブル３の側面に取付けられ制御信号により円形回転体１２を挟み且つ離す操作を行うアクチュエータ１３」とは、後者が前者を挟みつけることにより推力付与手段の推力をステージに伝達するカップリングとして機能するものであることから、両者併せて補正発明１の「カップリング部」に相当する。
　そして、引用例１記載の発明のカップリング部は、それを構成する円形回転体１２を固定しているスライダ１１が推力付与手段に直角に固定されたレール６′に沿ってステージの移動方向であるＹ軸方向に直角なＸ軸方向に摺動可能になっていることから、ステージがＸ軸上の最大（又は最小）の位置にある場合などにおいては、引用例記載の発明における推力付与手段の推力作用中心線とカップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とは、補正発明１と同様「異なる位置にある」ことになる。
　したがって、補正発明１と引用例１記載の発明とは、以下の一致点及び相違点を有しているということができる。
(1) 一致点
　所定方向に移動可能に案内されたステージと、このステージに推力を付与する推力付与手段とを有するステージ装置において、前記推力付与手段の推力を伝達するカップリング部を備え、前記推力付与手段の推力作用中心線と前記カップリング部の推力作用点を通る駆動点中心線とが異なる位置にあるステージ装置、である点。
(2) 相違点
　補正発明１では、推力付与手段がカップリング部を介してステージおよびその搭載物を含む移動部分に推力を付与する箇所が、前記移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置するようにしているのに対して、引用例１記載の発明では、カップリング部が、ステージの重心を押す（又は引く）ことによりモーメント力が発生せず、回転蛇行が無くなる箇所に位置している点。
４　相違点についての検討 
　引用例１記載の発明において、カップリング部が、ステージの重心を押す（又は引く）ことによりモーメント力が発生せず、回転蛇行が無くなる箇所に位置していることは、ステージがその移動に際してヨーイングやピッチングを起こさないことを目的としていることが明らかである。そして、移動体がその移動に際してヨーイングやピッチングを起こさないようにするためには、当該移動体に推力を付与する箇所を、移動体のヨーイングの中心軸を含みかつ移動体の移動方向に平行な面、または／および移動体のピッチングの中心軸を含みかつ移動体の移動方向に平行な面内に位置するように構成すればよいことは、力学的知識に照らして明らかである。
　そうしてみると、引用例１記載の発明において、カップリング部を上記箇所に位置させることに代えて、推力付与手段がカップリング部を介して移動体であるステージに推力を付与する箇所が、ステージのヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／およびステージのピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置するように構成することは、当業者が格別の創意を要することなく容易に想到するところである。
　そして、補正発明１では、ステージおよびその搭載物を含めて移動部分として推力付与手段がカップリング部を介して移動部分に推力を付与する箇所を相違点記載のように限定しているが、ステージに搭載物を載せることは、ステージの機能からみて当然の事項であり、また、搭載物が比較的重いものの場合、ステージがその移動の際にヨーイングやピッチングを起こさないようにするためには、ステージだけでなくその搭載物を含めた全体を考慮する必要があることも力学的知識に照らして明らかであることからみて、ステージおよびその搭載物を含めて移動部分とすることは、必要に応じて適宜なしうる設計的事項にすぎない。
５　結論
　したがって、補正発明１は、引用例１記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　よって、上記補正は、補正後の請求項２乃至請求項６に係る発明についての独立特許要件及びその他の補正の要件について検討するまでもなく、特許法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　  
第３　本件発明について
１　本件発明
　上記のとおり本件補正は却下されたので、本件出願の請求項１乃至６に係る発明は、上記第２の１の(1) の補正前の特許請求の範囲の請求項１乃至６に記載された事項により特定されるとおりのものと認めるところ、請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）は次のとおりである。
「所定方向に移動可能に案内されたステージと、このステージに推力を付与する推力付与手段とを有するステージ装置において、前記推力付与手段の推力を伝達するカップリング部を備え、前記推力付与手段がカップリング部を介してステージおよびその搭載物を含む移動部分に推力を付与する箇所が、前記移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面、または／および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置することを特徴とするステージ装置。」
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用した本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平６−１２６５７８号公報（以下「引用例２」という。）の記載内容は、以下のとおりである。
(1) 引用例の記載事項
　引用例２には、「静圧継手を有するテーブルの送り装置」に関連して、第１欄頁第２６行−第２欄第４６行（段落【０００３】−【０００７】参照）に以下の事項が記載されている。
「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術は、・・・一般的にはテーブルの慣性能率センター軸とスラスト・センターが一致することはないため、加減速時に、モーメントのアンバランスによるピッチやヨーイング・モーメントがガイドとボールねじにかかり、スリック走行のもととなる可能性がある。・・・そこで本発明は、加減速時においても送りをスムーズに行うための、静圧軸受を有するテーブルの送り装置を実現することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】基台上に平行に設けた一対のガイドと、このガイド間にボールねじ配置した、ボールねじのナツトを静圧継手で支持し、この静圧継手間にテーブルに固定したスラスト板を配置し静圧継手を有するテーブルを構成し、テーブルの進行方向と直交断面の慣性能率センタ軸に、ボールねじのスラスト・センタを設ける。
【０００５】
【作用】加減速時、ボールねじのスラスト軸周りのモーメントがバランスし、静圧継手にピッチやヨーイング・モーメントがかからない。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の具体的実施例を図１および図２に示して説明する。図１は、ボールねじのナットとテーブルの取付け関係を示す、部分側断面図である。図２は、テーブルの送り装置の断面図である。ボールねじ１が貫通する軸方向孔を有するスラスト板２は、テーブル３に固定されており、Ｈ型をした基台４のブリッジ部の中央に切った軸方向溝４内を軸方向に移動するようにしてある。スラスト板２の軸方向・両側面は、空隙を介し、ボールねじ１が貫通する軸方向孔を有するＵ型をした静圧ブロック５の溝部・両側面と軸・直角方向に対面させてある。静圧ブロック５の溝部・両側面には、静圧流体を吐出する吐出口６を設けてあり、吐出口６内にはオリフィス７を設けてある。吐出口６は、静圧ブロック５内に設けたグルーブ８を介し流体の通路９と連通させてあり、通路９に外部の供給源から静圧流体を供給する。すなはち、スラスト板２の軸方向・両側面と静圧ブロック５の溝部・両側面で静圧継手を構成してある。静圧ブロック５の軸方向・一端には、ボールねじ１が貫通する軸方向孔を有するホルダ１０を介して、ボールねじのナット１１を固定してあり、静圧ブロック５が、Ｈ型をした基台４のブリッジ部・中央に切った軸方向溝４内を軸方向に移動するようにしてある。このとき、ナット１１の設置位置は、直交座標系において、テーブル１の進行方向と直交断面の慣性能率中心のＹ軸とＺ軸の交点ＯのＸ軸上としてある。・・・搬送物がウエハのように薄く・軽量な搬送物の場合はこのままで実用になるが、搬送物が嵩高や重量のある場合は、搬送物を搭載したとき、搬送系の慣性能率の変化が大きく、このままでは所期の機能を達成出来ない。このような場合は、テーブル１のリップ部に慣性能率調整用のバランス・ウエイト１３を付加し搬送物による慣性能率の変化に対応するようにする。
【０００７】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば駆動力の作用点、すなわち、ボールねじのナットの設置位置を慣性能率中心軸と一致させたので、加減速時にナットを支持する静圧継手にかかるモーメントが均一になり、偏荷重がないので、継手の供給圧力の変動が少なく振動を生じ難い。」
(2) 引用例２記載の発明
　上記のように引用例２には、駆動力の作用点であるナット１１の設置位置について、「直交座標系において、テーブル１の進行方向と直交断面の慣性能率中心のＹ軸とＺ軸の交点ＯのＸ軸上としてある。」（段落【０００６】参照）と、テーブルの進行方向と直交断面の慣性能率に関して記載されているが、この記載事項がテーブルのヨーイングの中心軸とピッチングの中心軸との交点のＸ軸上としてあることを意味するものであることは、その他の「従来の技術は、・・・一般的にはテーブルの慣性能率センタ軸とスラスト・センターが一致することはないため、加減速時に、モーメントのアンバランスによるピッチやヨーイング・モーメントがガイドとボールねじにかかり、スリック走行のもととなる可能性がある。・・・そこで本発明は、加減速時においても送りをスムーズに行うための、静圧軸受を有するテーブルの送り装置を実現することを目的とする。」（段落【０００３】参照）及び「本発明によれば駆動力の作用点、すなわち、ボールねじのナットの設置位置を慣性能率中心軸と一致させたので、加減速時にナットを支持する静圧継手にかかるモーメントが均一になり、偏荷重がないので、継手の供給圧力の変動が少なく振動を生じ難い。」（段落【０００７】参照）等の記載事項より明らかであり、また、上記ヨーイングの中心軸とピッチングの中心軸とは、テーブルに嵩高や重量のある搬送物を搭載した場合は、テーブルおよびその搬送物を含む移動部分のヨーイングの中心軸とピッチングの中心軸とを意味するものであることも、上記「上記搬送物がウエハのように薄く・軽量な搬送物の場合はこのままで実用になるが、搬送物が嵩高や重量のある場合は、搬送物を搭載したとき、搬送系の慣性能率の変化が大きく、このままでは所期の機能を達成出来ない。このような場合は、テーブル１のリップ部に慣性能率調整用のバランス・ウエイト１３を付加し搬送物による慣性能率の変化に対応するようにする。」（段落【０００６】参照）より明らかである。
　したがって、引用例２には、本件発明１に照らして整理すると、次の発明が記載されていると認める。
　Ｘ軸方向に移動可能に案内されたテーブル３と、このテーブル３にＸ軸方向の駆動力を付与するナット１１とを有するテーブルの送り装置において、前記ナット１１の駆動力を伝達するスラスト板２の軸方向・両側面と静圧ブロック５の溝部・両側面で構成される静圧継手を備え、前記ナット１１が静圧継手を介してテーブル３およびその搬送物を含む移動部分に駆動力を付与する作用点が、前記移動部分のヨーイングの中心軸とピッチングの中心軸との交点のＸ軸上に位置するテーブルの送り装置（以下「引用例２記載の発明」という。）。
３　対比
　本件発明１と引用例２記載の発明とを対比すると、引用例２記載の発明の「Ｘ軸方向」は、本件発明１の「所定方向」に相当し、同様に「テーブル」は「ステージ」に、「駆動力を付与するナット」は「推力を付与する推力付与手段」に、「テーブルの送り装置」は「ステージ装置」に、「スラスト板の軸方向・両側面と静圧ブロックの溝部・両側面で構成される静圧継手」は「カップリング部」に、「搬送物」は「搭載物」に、「作用点」は「箇所」にそれぞれ相当することが明らかである。
　また、引用例２記載の発明の「移動部分のヨーイングの中心軸とピッチングの中心軸との交点のＸ軸上」が本件発明１の「移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内」に相当していることも明らかである。
　そうすると、引用例２記載の発明は、所定方向に移動可能に案内されたステージと、このステージに推力を付与する推力付与手段とを有するステージ装置において、前記推力付与手段の推力を伝達するカップリング部を備え、前記推力付与手段がカップリング部を介してステージおよびその搭載物を含む移動部分に推力を付与する箇所が、前記移動部分のヨーイングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面および前記移動部分のピッチングの中心軸を含みかつステージの移動方向に平行な面内に位置するステージ装置、ということになり、本件発明１と引用例２記載の発明とに差異はなく、両者は一致していることになる。
３　むすび
　したがって、本件発明１は、本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である引用例２に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当するものであり、同条第２項の規定によるまでもなく、同条第１項の規定により特許を受けることができないものである。
　以上のとおりであるので、本件請求項２乃至６に係る発明について判断するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。