(57)【要約】【課題】キャリア付きセラミックグリーンシートなどのシートのゴミ、付着物あるいは析出物などを除去できる量産性に優れた連続洗浄方法および連続洗浄装置を提供する。【解決手段】供給ロール５６から巻き取りロール５７へ送られるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシート２０に対して、キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付け、エアナイフ４０から圧縮空気を吹き付けてキャリアフィルム付きセラミックグリーンシート２０の水を切り、熱風乾燥機５０でキャリアフィルム付きセラミックグリーンシート２０の水分を乾燥除去するようにしており、高圧の洗浄水を吹き付ける工程では、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシート２０のセラミックグリーンシート側に、該シート２０の送り速度と同速度で移動して該シート２を受けるベルトコンベア３３を配設している。【選択図】　　　　図１
2004008990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートを連続的に洗浄する方法であって、
前記シートに対して、高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、
前記シートの水を切る工程と、
前記シートの水分を乾燥除去する工程とを備え、
高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記シートの洗浄水が吹き付けられる面と反対の面側に、前記シートの送り速度と同速度で移動して前記シートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれることを特徴とするシートの連続洗浄方法。
【請求項２】
供給ロールから巻き取りロールへ送られるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄する方法であって、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る工程と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する工程とを備え、
高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれることを特徴とするシートの連続洗浄方法。
【請求項３】
予めキャリアフィルム側からレーザによって貫通孔が形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを、供給ロールから巻き取りロールに送る際に、連続的に洗浄する方法であって、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る工程と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する工程とを備え、
高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれることを特徴とするシートの連続洗浄方法。
【請求項４】
前記高圧の洗浄水の圧力が、２ＭＰａ以上である請求項１〜３のいずれかに記載のシートの連続洗浄方法。
【請求項５】
前記シート受け手段が、ベルトコンベアのベルトである請求項１〜４のいずれかに記載のシートの連続洗浄方法。
【請求項６】
前記ベルトが、ステンレスベルトである請求項５記載のシートの連続洗浄方法。
【請求項７】
前記ベルトが、ステンレスメッシュベルトである請求項５記載のシートの連続洗浄方法。
【請求項８】
前記ステンレスメッシュベルトを介して前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを吸引する請求項７記載のシートの連続洗浄方法。
【請求項９】
供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートを連続的に洗浄する装置であって、
前記シートに対して、高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、
前記シートの水を切る手段と、
前記シートの水分を乾燥除去する手段と、
前記シートの洗浄水が吹き付けられる面と反対の面側に配設されて、前記シートの送り速度と同速度で移動して前記シートを受けるシート受け手段と、
を備えることを特徴とするシートの連続洗浄装置。
【請求項１０】
供給ロールから巻き取りロールへ送られるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄する装置であって、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に配設されて、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段と、
を備えることを特徴とするシートの連続洗浄装置。
【請求項１１】
予めキャリアフィルム側からレーザによって貫通孔が形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを、供給ロールから巻き取りロールに送る際に、連続的に洗浄する装置であって、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する手段と、
前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段と、
を備えることを特徴とするシートの連続洗浄装置。
【請求項１２】
前記高圧の洗浄水の圧力が、２ＭＰａ以上である請求項９〜１１のいずれかに記載のシートの連続洗浄装置。
【請求項１３】
前記洗浄水を吹き付ける手段が、洗浄ノズルであり、前記水を切る手段が、圧縮空気を吹き付けるエアナイフであり、前記水分を乾燥除去する手段が、熱風乾燥機であり、前記シート受け手段が、ベルトコンベアのベルトである請求項９〜１２のいずれかに記載のシートの連続洗浄装置。
【請求項１４】
前記ベルトが、ステンレスベルトである請求項１３記載のシートの連続洗浄装置。
【請求項１５】
前記ベルトが、ステンレスメッシュベルトである請求項１３記載のシートの連続洗浄装置。
【請求項１６】
前記ステンレスメッシュベルトを介して前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを吸引する吸引手段を備える請求項１５記載のシートの連続洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シートの連続洗浄方法および連続洗浄装置に関し、更に詳しくは、キャリア付きセラミックグリーンシートのキャリア面などを連続洗浄するのに好適な連続洗浄方法および連続洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、携帯電話など通信分野に使用される電子部品の小型化、高周波化が進むに伴い、コンデンサ、コイルを一つの部品内に集積させた積層セラミック部品が用いられるようになっている。これらの積層セラミック部品は、低誘電率の絶縁体層内に内部電極によって形成したコンデンサ、コイルを互いに結線し、また表層電極と内部電極あるいは内部電極と内部電極をビアで接続している。
【０００３】
具体的に説明すると、例えば、図６に示すような回路を、図７、図８および図９のように積層セラミック部品内部に持たせ、且つ表層にコンデンサＣ２等のチップ部品１９を実装している。なお、図８は、図７のＩ−Ｉ線断面図、図９は、図７のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【０００４】
図６〜９に示したものは、２段のローパスフィルタであって、絶縁体層１に内部電極２〜５によりコンデンサＣ１、Ｃ３とコイルＬ１、Ｌ２とを形成して図６に示すような回路を構築している。なお、６〜９は外部電極で、１０〜１３は表層電極、１４〜１７は裏面電極、１８はビア電極である。
【０００５】
以上のような一般的な表裏面に電極が形成された積層セラミック部品を作製する方法は、複数枚のセラミックグリーンシート上に、内部電極ペーストを用いてそれぞれの電極パターンを印刷し、所定の位置に積層し、個片に切断、焼成した後、表裏面に電極を形成してもう一度焼成し、外部電極を形成して積層セラミック部品を作製するものである。図１０（ａ）〜（ｅ）に、表面、コイル、コンデンサ、グランド、裏面の各印刷パターンの一例を示す。
【０００６】
また、複数枚のセラミックグリーンシート上に、内部電極ペーストを用いてそれぞれの電極パターンを印刷し、所定の位置に積層し、工程の簡略化のために先に表裏面に電極を、電極ペーストを用いて形成して、個片に切断、焼成した後、外部電極を形成して積層セラミック部品を作製する方法もある。
【０００７】
また、内部に接続用のビアを含んだ積層セラミック部品の場合、電極パターンの形成前に、パンチングを用いてセラミックグリーンシートに穴をあける工程と、それに電極材料を充填する工程が追加される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
セラミックグリーンシートは、ロールで巻き取るために、グリーンシートとキャリアフィルムが密着し、キャリアフィルム側のゴミ、異物がセラミックグリーンシートに移り、電極幅のファイン化に伴い、このゴミ、異物が、製品の断線等を招く。
【０００９】
特に、高速に小径のピアの形成を行うために、レーザを用いてセラミックグリーンシートに穴をあける場合、飛散物でキャリアフィルム上にレーザの加工物が付着したり、レーザの熱で、図１１に示すように、穴の壁面に、セラミックグリーンシート５３中のガラス成分が大きさ数μｍ〜約３０μｍの球状の析出物５４として析出する問題があった。なお、５５は、キャリアフィルムである。
【００１０】
本発明は、上述のような点に鑑みて為されたものであって、キャリア付きセラミックグリーンシートなどのシートのゴミ、付着物あるいは析出物などを除去できる量産性に優れた連続洗浄方法および連続洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。
【００１２】
すなわち、本発明のシートの連続洗浄方法は、供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートを連続的に洗浄する方法であって、前記シートに対して、高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、前記シートの水を切る工程と、前記シートの水分を乾燥除去する工程とを備え、高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記シートの洗浄水が吹き付けられる面と反対の面側に、前記シートの送り速度と同速度で移動して前記シートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれるものである。
【００１３】
本発明によれば、供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートの洗浄する面とは反対の面側に、送り速度と同速度で移動するシート受け手段を配設した状態で、高圧の洗浄水を吹き付けてシートを連続的に洗浄するので、シートに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明のシートの連続洗浄方法は、供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートを連続的に洗浄する方法であって、前記シートに対して、高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、前記シートの水を切る工程と、前記シートの水分を乾燥除去する工程とを備え、高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記シートの洗浄水が吹き付けられる面と反対の面側に、前記シートの送り速度と同速度で移動して前記シートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれるものであり、高圧の洗浄水を吹き付けてシートを連続的に洗浄するので、シートに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００１５】
ここで、洗浄水は、純水であるのが好ましいが、純水でなくてもよく、また、洗浄剤等の成分が含有されたものであってもよい。高圧とは、例えば、２ＭＰａ以上であるのが好ましいが、１ＭＰａ程度であってもよい。
【００１６】
また、シートの送り速度と同速度とは、シートの送り速度と完全に同一の速度であることが好ましいが、略同一の速度も含むものである。
【００１７】
また、本発明のシートの連続洗浄方法は、供給ロールから巻き取りロールへ送られるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄する方法であって、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る工程と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する工程とを備え、高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれるものであり、高圧の洗浄水を吹き付けてキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄するので、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのキャリアフィルムに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００１８】
また、本発明のシートの連続洗浄方法は、予めキャリアフィルム側からレーザによって貫通孔が形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを、供給ロールから巻き取りロールに送る際に、連続的に洗浄する方法であって、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける工程と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る工程と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する工程とを備え、高圧の洗浄水を吹き付ける前記工程は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段が配設された状態で行なわれるものであり、高圧の洗浄水を吹き付けてレーザによって貫通孔が予め形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄するので、キャリアフィルムに付着したゴミや付着物のみならず、レーザ加工によって貫通孔の壁面に析出した析出物を効率的に除去することが可能となる。
【００１９】
本発明の一実施態様においては、前記高圧の洗浄水の圧力が、２ＭＰａ以上であり、かかる高圧の洗浄水の吹き付けによって、レーザ加工で貫通孔の壁面に析出した析出物を確実に除去することができる。
【００２０】
本発明の好ましい実施態様においては、前記シート受け手段が、ベルトコンベアのベルトであり、高圧の洗浄水が吹き付けられるシートを、該シートの送り速度と同速度で移動するベルトコンベアのベルトで受けて円滑に洗浄および送りを行なうことができる。
【００２１】
本発明の他の実施態様においては、前記ベルトが、ステンレスベルトであり、このステンレスベルトによって高圧の洗浄水が吹き付けられるシートを受けて円滑に洗浄および送りを行なうことができる。
【００２２】
本発明の更に他の実施態様においては、前記ベルトが、ステンレスメッシュベルトであり、シートに吹き付けられて貫通孔を通過した洗浄水および析出物がメッシュベルトを介して円滑に流出する。
【００２３】
本発明の他の実施態様においては、前記ステンレスメッシュベルトを介して前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを吸引するものであり、前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが、ステンレスメッシュベルトから浮き上がったりすることなく、円滑に洗浄および送りが行なわれる。
【００２４】
本発明のシートの連続洗浄装置は、供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートを連続的に洗浄する装置であって、前記シートに対して、高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、前記シートの水を切る手段と、前記シートの水分を乾燥除去する手段と、前記シートの洗浄水が吹き付けられる面と反対の面側に配設されて、前記シートの送り速度と同速度で移動して前記シートを受けるシート受け手段とを備えており、高圧の洗浄水を吹き付けてシートを連続的に洗浄するので、シートに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００２５】
また、本発明のシートの連続洗浄装置は、供給ロールから巻き取りロールへ送られるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄する装置であって、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に配設されて、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段とを備えており、高圧の洗浄水を吹き付けてキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄するので、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのキャリアフィルムに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００２６】
本発明のシートの連続洗浄装置は、予めキャリアフィルム側からレーザによって貫通孔が形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを、供給ロールから巻き取りロールに送る際に、連続的に洗浄する装置であって、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートに対して、前記キャリアフィルム側から高圧の洗浄水を吹き付ける手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水を切る手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの水分を乾燥除去する手段と、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのセラミックグリーンシート側に、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの送り速度と同速度で移動して前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを受けるシート受け手段とを備えており、高圧の洗浄水を吹き付けてレーザによって貫通孔が予め形成されたキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを連続的に洗浄するので、キャリアフィルムに付着したゴミや付着物のみならず、レーザ加工によって貫通孔の壁面に析出した析出物を効率的に除去することが可能となる。
【００２７】
本発明の一実施態様においては、前記高圧の洗浄水の圧力が、２ＭＰａ以上であり、かかる高圧の洗浄水の吹き付けによって、レーザ加工で貫通孔の壁面に析出した析出物を確実に除去することができる。
【００２８】
本発明の好ましい実施態様においては、前記洗浄水を吹き付ける手段が、洗浄ノズルであり、前記水を切る手段が、圧縮空気を吹き付けるエアナイフであり、前記水分を乾燥除去する手段が、熱風乾燥機であり、前記シート受け手段が、ベルトコンベアのベルトであり、シートの送り速度と同速度で移動するベルトコンベアのベルトでシートを受けながら、該シートに対して洗浄ノズルから高圧の洗浄水を射出して吹き付け、さらに、圧縮空気を吹き付けて水切りを行い、熱風乾燥機によって水分を除去するので、洗浄、水切り、乾燥を連続的に行なうことができる。
【００２９】
本発明の他の実施態様においては、前記ベルトが、ステンレスベルトであり、このステンレスベルトによって高圧の洗浄水が吹き付けられるシートを受けて円滑に洗浄および送りを行なうことができる。
【００３０】
本発明の更に他の実施態様においては、前記ベルトが、ステンレスメッシュベルトであり、シートに吹き付けられて貫通孔を通過した洗浄水および析出物が、メッシュベルトを介して円滑に流出する。
【００３１】
本発明の他の実施態様においては、前記ステンレスメッシュベルトを介して前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを吸引する吸引手段を備えており、前記シートまたは前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが、ステンレスメッシュベルトから浮き上がったりすることなく、円滑に洗浄および送りが行なわれる。
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３３】
（実施の形態１）
図１は、本発明方法を実施するためのシートの連続洗浄装置の全体構成を示す図である。
【００３４】
この実施の形態のシートの連続洗浄装置は、ロール供給部３１の供給ロール５６から矢符Ａで示されるように供給されてロール巻き取り部３６の巻き取りロール５７に巻き取られるキャリア付きセラミックグリーンシート２０を連続的に洗浄するものである。
【００３５】
ロール供給部３１は、例えば、幅７０ｍｍから５００ｍｍのキャリア付きセラミックグリーンシート２０がセットされ、ロール巻き取り部３６まで、モータ駆動により連続的に送られて巻き取られる。
【００３６】
この実施の形態のシートの連続洗浄装置は、キャリア付きセラミックグリーンシート２０に対して、高圧の洗浄水を吹き付けて洗浄する高圧洗浄部３２と、高圧洗浄されたキャリア付きセラミックグリーンシート２０に対して圧縮空気を吹き付けて水を切る水切り部３４と、水切り部３４から送られるキャリア付きセラミックグリーンシート２０を熱風乾燥して水分を除去する乾燥部３５とを備えている。
【００３７】
高圧洗浄部３２は、ロール供給部３１から供給されるキャリア付きセラミックグリーンシート２０に対して、上面であるキャリア側から高圧の洗浄水を吹き付ける複数の洗浄ノズル３９と、純水容器３７からの純水を前記洗浄ノズル３９に高圧で供給する高圧ポンプ３８とを備えている。複数の洗浄ノズル３９は、洗浄水を、１〜２０ＭＰａの高い圧力で霧状に吹き付けるものである。
【００３８】
水切り部３４は、キャリア付きセラミックグリーンシート２０の片面（上面）に圧縮空気を吹き付けて水滴を除去するエアナイフ４０を備えており、乾燥部３５は、複数の熱風乾燥機５０を備えている。
【００３９】
キャリア付きセラミックグリーンシート２０は、フィルム状であるために、腰がなく、高圧水を受けると撓んでしまう。そこで、この撓みを防ぐために、この実施の形態では、キャリア付きセラミックグリーンシート２０の下面側であるセラミックグリーンシート側に、ベルトコンベア３３を配設し、キャリア付きセラミックグリーンシート２０の送り速度と同速度で移動するステンレスベルト５１によって、シートを受けるシート受け手段を構成している。
【００４０】
このベルトコンベア３３および洗浄ノズル３９の詳細を図２に示している。
【００４１】
キャリア付きセラミックグリーンシート２０が、図の左から右へ矢符Ａで示されるように移動し、キャリア付きセラミックグリーンシート２０と同速度でベルトコンベア３３のステンレスベルト５１も矢符Ｂ方向へ回転する。すなわち、キャリア付きセラミックグリーンシート２０は、ステンレスベルト５１と擦れることなく移動する。このステンレスベルト５１上で、複数の洗浄ノズル３９より高圧の洗浄水が射出され、キャリア付きセラミックグリーンシート２０の上面側のキャリアフィルム側が洗浄される。
【００４２】
また、ステンレスベルト５１は、キャリア付きセラミックグリーンシート２０と同速度で移動するために、下側のセラミックグリーンシートが擦れてキズ等が付くといったことがない。
【００４３】
このようにして、高圧の洗浄水が吹き付けられて洗浄されたキャリア付きセラミックグリーンシート２０は、図１に示される水切り部３４において、キャリアフィルム側に残った水滴がエアナイフ４０からの圧縮空気の吹き付けによって除去され、さらに、乾燥部３５の熱風乾燥機５０によって６０℃〜８０℃の熱風で乾燥される。
【００４４】
このようにして、高圧洗浄部３２、水切り部３４および乾燥部３５を通過したキャリア付きセラミックグリーンシート２０は、順次、シート巻き取り部３６にて巻き取られる。
【００４５】
以上のように、連続してキャリア付きセラミックグリーンシート２０を本発明の連続洗浄装置を用いて高圧水による洗浄、水切り、乾燥を行うことにより、キャリアフィルムに付着したゴミ、付着物を、除去することが可能となり、例えば、１００μｍ以下の電極幅のゴミ、異物による断線不良が防止でき、量産性に優れたものとなり、また製品の品質が向上する。
【００４６】
比較実験において、本発明の連続洗浄装置を通す前の、例えば、幅１５０ｍｍ長さ１ｍのキャリア付きセラミックグリーンシートのキャリアフィルム上のゴミ、異物の数は、平均２０個以上であったものが、本発明の連続洗浄装置で、２ＭＰａの洗浄圧で、同じ幅長さのキャリア付きセラミックグリーンシートのキャリアフィルム上のゴミ、異物の数は、５個未満に除去できた。また、８ＭＰａ以上の洗浄圧で、セラミックグリーンシートのキャリアフィルム上のゴミ、異物はなくなった。
【００４７】
なお、必要に応じて、シートのたるみを持たせたダンパー装置を、ロール供給部３１と高圧洗浄部３２との間、乾燥部３５と巻き取り部３６との間に挿入してもよい。
【００４８】
この実施の形態では、高圧の洗浄水が吹き付けられるシートを受けるベルトコンベア３３を、高圧洗浄部３２および水切り部３４に亘って配置したけれども、本発明の他の実施の形態として、図３に示すように、高圧洗浄部３２側に配置し、水切り部３４において、エアナイフ４０を、キャリア付きセラミックグリーンシート２０の両側に配置してもよい。
【００４９】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２に係るシートの連続洗浄装置の全体構成を示す図であり、上述の実施の形態１の図３に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００５０】
上述の実施の形態では、ベルコンベア３３は、ステンレスベルト５１であったのに対して、この実施の形態では、ステンレスメッシュベルト５２を用いている。
【００５１】
したがって、この実施の形態によれば、炭酸ガスレーザ等によって予めレーザ穴開け加工を行ったキャリア付きセラミックグリーンシート２０の洗浄を行なう場合に、レーザ加工した穴の壁面の球状の析出物が、迅速にステンレスメッシュベルト５２の穴を通して下方に円滑に除去されることになり、析出物でキャリアフィルムを汚すことを防ぐことができ、安定した洗浄が実施できる。
【００５２】
また、この実施の形態のシートの連続洗浄装置を用いてキャリア付きセラミックグリーンシートを洗浄し、作製した積層セラミック部品は、ラインの断線が見られなかった。
【００５３】
また、セラミックグリーンシートをレーザ穴開け加工した断面の模式図である上述の図１１のセラミックシート壁面の析出物５４が、高圧水を吹き付けることにより除去され、各層の接続のビア部にも欠陥が見られず、安定な接続を実現した。連続洗浄装置を用いず作製した、積層セラミック部品では、ラインの断線、各層の接続のビア部にも欠陥が認められた。
【００５４】
以上のように、本発明の連続洗浄装置を用いてキャリア付きセラミックグリーンシートを洗浄することで、安定した洗浄と、レーザ加工穴の析出物の除去が行うことで、品質の優れた積層セラミック部品の作製が可能になった。
【００５５】
（実施の形態３）
図５は、本発明の実施の形態３に係るシートの連続洗浄装置の全体構成を示す図であり、上述の実施の形態２の図４に対応する部分には、同一の参照符号を付す。
【００５６】
この実施の形態では、上述の実施の形態２の構成において、ステンレスメッシュベルト５２を介してキャリア付きセラミックグリーンシート２０を吸引するものであり、このため、ステンレスメッシュベルト５２の下側に、吸引槽４３を介して吸引ポンプ４２で吸引する吸引部４１を配設している。
【００５７】
このように、高圧の洗浄水を噴射する領域で、キャリア付きセラミックグリーンシート２０を、ステンレスメッシュベルト５２に吸引密着させることにより、キャリア付きセラミックグリーンシート５２の浮きを防止でき、また、除去した析出物を、迅速にステンレスメッシュベルト５２の穴を通して下方に除去することが可能となり、除去した析出物でキャリアシートを汚すことを防ぐことができ、安定した洗浄が実施できる。
【００５８】
また、本発明の連続洗浄装置を用いてキャリア付きセラミックグリーンシートを洗浄し、作製した積層セラミック部品は、ラインの断線が見られず、また、各層の接続のビア部にも欠陥が見られなかった。連続洗浄装置を用いず作製した、積層セラミック部品では、ラインの断線、各層の接続のビア部にも欠陥が認められた．
以上のように、本発明のシートの連続洗浄装置を用いてキャリア付きセラミックグリーンシートを洗浄することで、安定した洗浄と、レーザ加工穴の析出物の除去を行うことで、品質の優れた積層セラミック部品の作製が、可能になった。
【００５９】
（その他の実施の形態）
上述の実施の形態では、洗浄ノズル３９から高圧の洗浄水を、ミスト状に吹き付けたけれども、ミスト状でなくてもよい。
【００６０】
また、洗浄ノズル３９、エアナイフ４０、熱風乾燥機えわ等の数や配置は、上述の実施の形態に限られるものでないのは勿論である。
【００６１】
上述の実施の形態では、キャリア付きセラミックグリーンシートの洗浄に適用したけれども、本発明は、キャリア付きセラミックグリーンシートの洗浄に限らず、他のシートを連続的に洗浄する場合に適用してもよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、供給ロールから巻き取りロールへ送られるシートの洗浄する面とは反対の面側に、送り速度と同速度で移動するシート受け手段を配設した状態で、高圧の洗浄水を吹き付けてシートを連続的に洗浄し、水切り、乾燥を行なうので、シートに付着したゴミや付着物を効率的に除去することが可能となる。
【００６３】
特に、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートのキャリア側より高圧の洗浄水を吹き付けて洗浄することにより、キャリアフィルムに付着したゴミ、付着物を除去することが可能となり、これを用いた積層セラミック部品で、例えば、１００μｍ以下の電極幅のゴミ、異物による断線不良が防止でき、量産性に優れるとともに、製品の品質を向上させることができる。
【００６４】
また、シート受け手段を、ベルトコンベアのステンレスメッシュベルトにすることにより、レーザ穴開け加工を行なったキャリア付きセラミックグリーンシートの穴の壁面の析出物の除去を、メッシュベルトの穴を通して円滑に除去することが可能となり、除去した析出物でキャリアフィルムを汚すことを防げ、安定した洗浄が実施でき、品質の優れた積層セラミック部品の作製を行えるという効果を奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る連続洗浄装置の全体構成図である。
【図２】図１の洗浄部の詳細を示す図である。
【図３】本発明の他の実施の形態に係る連続洗浄装置の全体構成図である。
【図４】本発明の更に他の実施の形態に係る連続洗浄装置の全体構成図である。
【図５】本発明の他の実施の形態に係る連続洗浄装置の全体構成図である。
【図６】従来例の積層セラミック部品の回路図である。
【図７】従来例の積層セラミック部品の斜視図である。
【図８】図７のＩ−Ｉ線断面図である。
【図９】図７のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図１０】従来の印刷パターンの例を示す図である。
【図１１】キャリア付きセラミックグリーンシートのレーザ加工断面の模式図である。
【符号の説明】
２０　　　　キャリア付きセラミックグリーンシート
３１　　　　シート供給部
３２　　　　高圧洗浄部
３３　　　　ベルトコンベア
３４　　　　水切り部
３５　　　　乾燥部
３６　　　　シート巻取り部
３９　　　　洗浄ノズル
４０　　　　エアナイフ
５０　　　　熱風乾燥機
５１　　　　ステンレスベルト
５２　　　　ステンレスメッシュベルト
４１　　　　吸引部
【図１】
2004008990.tif 000003
【図２】
2004008990.tif 000004
【図３】
2004008990.tif 000005
【図４】
2004008990.tif 000006
【図５】
2004008990.tif 000007
【図６】
2004008990.tif 000008
【図７】
2004008990.tif 000009
【図８】
2004008990.tif 000010
【図９】
2004008990.tif 000011
【図１０】
2004008990.tif 000012
【図１１】
2004008990.tif 000013