(57)【要約】【課題】搬送中のワーク１０の上下バタツキによる計測値への影響を軽減する。【解決手段】搬送中のワーク１０を画像入力し、該画像からワーク内の対象１２の計測を行なう際に、予め計測しておいたワークの上下バタツキに応じてカメラ高さ調整動作をすることで、ワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減する。【選択図】　　　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送中のワークを画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう際に、
予め計測しておいたワークの上下バタツキに応じてカメラ高さ調整動作をすることで、ワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減することを特徴とする画像計測方法。
【請求項２】
搬送中のワークを画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なうための画像計測装置において、
予め計測しておいたワークの上下バタツキを記憶する手段と、
該上下バタツキに応じてカメラ高さを調整する手段と、
を備えたことを特徴とする画像計測装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像計測方法及び装置に係り、特に、搬送中のワーク（ガラス基板や紙等）を画像入力し、該画像からワーク内の対象（スリットパターン等）の計測を行なう際に用いるのに好適な、ワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減することが可能な画像計測方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１に示す如く、搬送中のワーク１０をカメラ１４により画像入力して、該画像からワーク１０内の計測対象１２の計測を行なう画像計測技術が知られている。
【０００３】
このような検査画像入力系においては、ワーク１０の上下バタツキが大きい場合、フォーカスが合わない検査画像になり、正確な計測が行なわれない。
【０００４】
即ち、検査画像のフォーカスが合っている場合には、図２（Ａ）に示す如く、計測値は実寸と同程度になるが、フォーカスが合っていない場合には、図２（Ｂ）に示す如く、計測値が実寸と異なるものとなる。
【０００５】
そこで、前記のような検査画像入力系においては、一般に、フォーカス調整のため、（１）レーザ変位計等でワーク１０の高さを検出し、（２）カメラ１４を上下させて画像入力し、該画像からコントラストが最大になるカメラ高さを求める等の処理が検査画像入力前に行なわれている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このフォーカス調整処理は、静止状態のワークでは有効であるが、搬送中のワークでは、高さ検出位置と検査画像入力位置がずれるため、正確なフォーカス調整が行なわれないという問題点を有していた。
【０００７】
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、搬送中のワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、搬送中のワークを画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なう際に、予め計測しておいたワークの上下バタツキに応じてカメラ高さ調整動作をすることで、ワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減するようにして、前記課題を解決したものである。
【０００９】
本発明は、又、搬送中のワークを画像入力し、該画像からワーク内の対象の計測を行なうための画像計測装置において、予め計測しておいたワークの上下バタツキを記憶する手段と、該上下バタツキに応じてカメラ高さを調整する手段とを備えることにより、同じく前記課題を解決したものである。
【００１０】
ワークの上下ばらつきは、計測位置、搬送速度、搬送部の構造、ワークの長さ等により決まり、それらが同じであれば、例えばワーク先端と終端でバタツキが大きくなる等、再現性がある。
【００１１】
従って、図３に示す如く、例えばレーザ変位計１８を用いて、予め画像計測を行なう搬送条件で、計測位置のワーク１０の上下バタツキを測定し、図４（Ａ）に示すような、測定された上下バタツキに応じて、図４（Ｂ）に示すようなカメラ高さ調節動作を設定しておく。
【００１２】
そして、ワーク先端検知後、図５に示す如く、設定したカメラ高さ調整動作を行なえば、検査画像のフォーカスが合い、良好な画像入力を行なうことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１４】
本実施形態は、図６（全体図）及び図７（ブロック図）に示す如く、計測対象１２を含むワーク１０を搬送するためのワーク搬送部２０と、ワーク先端を検知するためのワーク先端検知部２２と、ワーク１０の画像を入力するためのカメラを含む画像入力部２４と、ワーク１０の上下バタツキを計測するためのレーザ変位計を含む変位検出部２６と、前記画像入力部２４の高さを調整するための入力部高さ調整部２８と、前記画像入力部２４及び変位検出部２６の左右方向位置を計測位置に調整するための位置調整部３０と、前記画像入力部２４から入力される画像を処理する画像処理部３２と、該画像処理部３２による処理結果を表示するための出力部３４と、各構成機器を制御するための制御部３６とを含んで構成されている。
【００１５】
測定に際しては、図８に手順を示す如く、入力部高さ調整動作を設定していない場合は、ステップ１００で、予め、変位検出部２６にて、画像計測を行なう搬送条件で、計測位置のワーク１０の上下バタツキを測定し、該データ２７から入力部高さ調整動作２９を設定しておく。なお、変位検出部２６の計測位置への移動は、画像入力部２４と変位検出部２６の位置調整部３０により行なう。
【００１６】
画像計測を行なう際は、ステップ１１０で、位置調整部３０により画像入力部２４を計測位置へ移動する。
【００１７】
なお、ステップ１００、１１０は、計測対象の計測の度に行わなくても、一度行えば良い。
【００１８】
ステップ１１０終了後、又は、入力部高さ調整動作設定済みの場合は、ステップ１２０で、ワーク搬送部２０により搬送されているワーク１０の先端をワーク先端検知部２２で検知した後、入力部高さ調整部２８は、ステップ１００で設定した入力部高さ調整動作２９を行なう。
【００１９】
次いでステップ１３０で、画像入力部２４は、任意のタイミングで画像入力を行なう。
【００２０】
次いでステップ１４０で、画像処理部３２は、ステップ１２０で入力した検査画像からワーク１０内の対象１２の計測を行なう。
【００２１】
次いでステップ１５０で、計測結果を出力部３４に出力する。
【００２２】
【発明の効果】
本発明によれば、ワークの搬送中の上下バタツキが大きい場合でも、フォーカスの合った検査画像が得られ、搬送中のワークの上下バタツキによる計測値への影響を軽減できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の検査画像入力系を示す斜視図
【図２】従来の問題点を説明するための、フォーカスの影響を示す図
【図３】本発明の原理を説明するための、ワークの上下バタツキの測定状況を示す斜視図
【図４】同じくワークの上下バタツキとカメラ高さ調整動作を示す線図
【図５】同じく検査画像入力系を示す斜視図
【図６】本発明の実施形態の全体構成を示す斜視図
【図７】同じくブロック図
【図８】同じく処理手順を示す流れ図
【符号の説明】
１０…ワーク
１２…計測対象
２０…ワーク搬送部
２２…ワーク先端検知部
２４…画像入力部
２６…変位検出部
２８…入力部高さ調整部
３０…位置調整部
３２…画像処理部
３４…出力部
３６…制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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