(57)【要約】【課題】生産設備の入れ替えや廃棄の際に廃棄対象となる生産設備の再利用を円滑に進める。【解決手段】設備管理装置１０は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録部１１ａと、設備情報を提示するとともに、生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付部１１ｂと、生産ライン単位での要請、製造装置単位での要請、部品単位での要請の順番で、再利用の要請の適否を要請情報に基づいて判定して、生産設備の再利用先を決定する再利用先決定部１１ｃとを具備する。これにより、生産設備の入れ替え、廃棄により廃棄対象となる生産設備の再利用方法と再利用先の決定を円滑に行うことができる。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、
上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、
上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定手段と、を具備することを特徴とする設備管理装置。
【請求項２】
生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、
上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーション手段と、
上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、を具備することを特徴とする設備管理装置。
【請求項３】
生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、
上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、
上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定ステップと、を含むことを特徴とする設備管理方法。
【請求項４】
生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、
上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーションステップと、
上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、を含むことを特徴とする設備管理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産設備、特に、生産ラインを構成する製造装置およびそれに付随する部品を管理する設備管理装置および設備管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶パネルの製造工程においては、一枚のガラス基板上に複数の表示領域を形成し、これを切り分けて、複数の表示パネルを同時に製造するという方法により生産性が高められている。そして、より多くのパネルを同時に製造するために、ガラス基板の大型化が図られており、それにともなって使用する製造装置が漸次入れ替えられている。その際、使用されていた大量かつ多種の製造装置およびそれに付随する部品が廃棄されることとなる。
【０００３】
設備機器の再利用を支援する装置としては、例えば、公開特許公報「特開２００１−７９５３２号（公開日：平成１３年３月２７日）」には、中央部品倉庫、保守部門および再生工場に端末装置と回収部品を個々に識別可能なバーコードリーダとを配置し、部品管理部門に、端末装置とネットワークを介して接続されデータベースを有するコンピュータを配置したリサイクル部品管理装置が記載されている。上記リサイクル部品管理装置では、中央部品倉庫、保守部門、再生工場で回収部品を識別してデータベース内の情報を更新し、また、再生工場で行なった回収部品の診断内容と結果を保守部門に送信する。これにより、設備機器の部品を効率よく再生して有効に再利用できる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公開特許公報の技術は、保守部門が故障予防または復旧作業により交換した設備機器の部品を回収して再生した再生部品を、複数の地域に設置された自社の設備機器に対して納入するためのものである。
【０００５】
よって、入れ替え・廃棄の予定が決定した生産設備（生産ラインあるいは製造装置）の再利用先を、廃棄予定日までに決定する目的には利用できなかった。また、再利用先が自社の中でのみであるため、再利用先の選択肢が狭かった。また、従来行われている半導体生産設備などの中古設備の販売・再利用においては、例えばエッチング装置など装置単体での再利用しか行われていなかった。
【０００６】
したがって、従来の技術では、生産設備の入れ替え・廃棄時に廃棄対象となる生産ライン、製造装置、およびそれらに付随する部品の再利用を円滑に進めることができず、生産設備の管理にかかる固定費に無駄なコストを消費していた。
【０００７】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、生産設備の入れ替えや廃棄の際に廃棄対象となる生産設備の再利用を円滑に進めることができる設備管理装置および設備管理方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の設備管理装置は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定手段と、を具備することを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の設備管理方法は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定ステップと、を含むことを特徴としている。
【００１０】
上記の構成および方法により、上記設備管理装置は、生産設備の入れ替え・廃棄の予定が決定した時、生産設備に関する情報を登録し、この情報を再利用先となる可能性のある要請者に通知し、要請者から廃棄対象の生産設備の再利用の要請を受け付ける。そして、登録された要請を所定の手順に従って判定し、廃棄対象の生産設備の再利用先を決定する。
【００１１】
よって、上記設備管理装置によれば、廃棄が決定した生産設備の再利用先を、生産設備の廃棄時までに、所定の優先順位に基づいて決定することができる。よって、生産設備の入れ替え、廃棄により廃棄対象となる生産設備の再利用方法と再利用先を円滑に決定できる。その結果、生産設備の管理にかかる固定費を削減することが可能となる。
【００１２】
ここで、上記設備管理装置は、再利用の要請を判定する際、まず生産ライン単位での要請を判定し、次いで製造装置単位での要請を判定し、最後に部品単位での要請を判定する。すなわち、上記設備管理装置によれば、生産ライン単位での再利用が可能となり、しかも、生産ライン単位での再利用を優先させることができる。この点、従来、液晶表示素子や半導体素子などの生産設備の管理は装置単位に行われており、廃棄も装置単位で行われていたため、無駄が多く非効率であった。
【００１３】
本発明の設備管理装置は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーション手段と、上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、を具備することを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の設備管理方法は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーションステップと、上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、を含むことを特徴としている。
【００１５】
上記の構成および方法により、上記設備管理装置は、生産設備の入れ替え・廃棄の予定が決定した時、生産設備に関する情報を登録し、この情報を再利用先となる可能性のある要請者に通知し、要請者から廃棄対象の生産設備の再利用の要請を受け付ける。そして、要請者に対して廃棄対象の生産設備の情報を通知する際、当該生産設備の廃棄予定の生産ラインでの稼動条件を元に、当該生産設備を使用して生産ラインの再構築を行うためのシミュレーションを実行して提示する。
【００１６】
よって、上記のようなシミュレーションを行うことにより、再構築した生産ラインの全体としての、例えば、必要な電力や使用水量、生産設備の設置に要するクリーンルームの面積、生産設備の最適な設置位置、および工場全体における基板・ウェハの単位時間当たりの生産量などを、より正確に算出できる。したがって、生産設備を再利用する可能性のある者に対して、有効な情報を提供することが可能となる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【００１８】
本実施の形態に係る設備管理装置１０は、液晶表示素子や半導体素子の製造等において使用される生産設備の情報を管理し、生産設備の再利用先を決定する。なお、本実施の形態では、生産設備は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置と、製造装置に付随する部品とを含む。また、生産ラインは、製造装置と、製造装置に付随する部品との総体として生産設備に含まれる。また、製造装置を解体して得られる部品も生産設備に含まれる。また、本実施の形態では、液晶表示素子や半導体素子の製造等において使用される生産設備の再利用について説明するが、本発明は他の分野の生産設備の再利用にも好適である。
【００１９】
具体的には、設備管理装置１０は、生産工場において生産設備の入れ替え・廃棄が行われる際に廃棄対象となる生産設備に関する情報を収集・管理し、それらの情報を元に廃棄対象の生産設備を再利用した新たな生産ラインを構築するためのシミュレーションを実行する。そして、得られたシミュレーション結果と廃棄対象となる生産設備に関する情報を、廃棄対象となる生産設備を再利用する可能性のある者に対して通知する。また、設備管理装置は、生産設備の再利用の要請に関する情報、保有生産設備の所在に関する情報、再利用可能な部品の保有状況に関する情報、ベンダーおよび工事担当者への要請事項に関する情報などを管理し、廃棄対象となる生産設備の再利用先を決められたフローチャートに基づき決定する。
【００２０】
以下、上記設備管理装置１０および設備管理装置１０による設備管理方法について詳細に説明する。
【００２１】
図１に示すように、廃棄対象となる生産設備を保有する工場の設備管理部門には、設備管理装置１０が設けられている。また、廃棄対象となる生産設備を保有する工場には、工場端末３０が設けられている。また、廃棄対象となる生産設備を再利用する可能性のある部門（以下、「要請者」と記す）には、要請者端末４０が設けられている。工場端末３０および要請者端末４０は、通信ネットワークＮを介して設備管理装置１０に接続されている。
【００２２】
設備管理装置１０は、工場において生産設備の入れ替え・廃棄が行われる際、廃棄対象となる生産設備に関する情報を一括して管理するとともに、廃棄対象となった生産設備の再利用先を決定する機能を有する。そのため、設備管理装置１０は、設備管理制御部１１、データ記憶部１４、入力部１７、表示部１８、通信部１９を備えて構成されている。
【００２３】
設備管理制御部１１は、設備管理装置１０における設備管理処理全体の制御を行う。具体的には、設備管理制御部１１は、入れ替え・廃棄の予定が決定した生産設備の情報を取得し、生産設備の再利用の要請を要請者から受け付け、再利用先を決定する処理を行う。そのため特に、設備管理制御部１１は、設備情報登録部１１ａ、再利用要請受付部１１ｂ、再利用先決定部１１ｃ、シミュレーション部１１ｄを備えている。
【００２４】
設備情報登録部１１ａは、工場端末３０において入力された、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を取得して、生産設備データベース１５に登録する。
【００２５】
再利用要請受付部１１ｂは、要請者端末４０に設備情報を提示するとともに、要請者端末４０において入力された、要請者が希望する生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得して、設備再利用データベース１６に登録する。
【００２６】
再利用先決定部１１ｃは、データ記憶部１４に登録された再利用に関する情報を元に、所定の手順に従って再利用先を決定する。すなわち、再利用先決定部１１ｃは、生産ライン単位での要請、製造装置単位での要請、部品単位での要請の順番で、要請者からの再利用の要請の適否を要請情報に基づいて判定して、生産設備の再利用先を決定する。
【００２７】
シミュレーション部１１ｄは、データ記憶部１４に登録された廃棄対象となる生産設備に関する情報に基づいて、生産ラインの再構築を行うためのシミュレーションを実行する。すなわち、シミュレーション部１１ｄは、設備情報に含まれる廃棄予定の生産ラインにおける稼働条件に基づいて、生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションする。
【００２８】
データ記憶部１４は、廃棄対象となる生産設備を有していた工場から登録される廃棄対象となる生産設備に関する情報（設備情報）や、廃棄対象となる生産設備を再利用する可能性の要請者からの再利用に関する情報（要請情報）をデータベース化して記憶する。具体的には、データ記憶部１４には、生産設備データベース１５、設備再利用データベース１６が格納されている。
【００２９】
生産設備データベース１５は、社内の生産設備に関する情報を格納している。具体的には、廃棄予定設備に関するデータベース、保有生産設備の所在に関するデータベース、再利用可能な部品の保有状況に関するデータベース、再利用可能な生産設備の保有状況に関するデータベース、一般に販売されている生産設備のデータベースが格納されている。
【００３０】
設備再利用データベース１６は、廃棄対象となる生産設備の再利用に関する情報を格納している。具体的には、廃棄予定設備の再利用希望に関するデータベース、生産設備稼動状況の確認希望に関するデータベース、ベンダー・工事担当業者への要請に関するデータベース、シミュレーション結果のデータベース、決定した再利用先に関するデータベースが格納されている。
【００３１】
入力部１７は、キーボードやマウス等の入力装置である。表示部１８は、液晶ディスプレイ等の表示装置である。よって、設備管理装置１０は、入力部１７および表示部１８によりユーザが操作するためのユーザインタフェースを提供する。また、通信部１９は、インターネット等の通信ネットワークＮとの通信インターフェイスである。
【００３２】
工場端末３０は、入力部３１、表示部３２、データ記憶部３３、通信部３４、制御部３５を備えて構成されている。入力部３１は、キーボードやマウス等の入力装置である。表示部３２は、液晶ディスプレイ等の表示装置である。よって、工場端末３０は、入力部３１および表示部３２によりユーザが操作するためのユーザインタフェースを提供する。また、通信部３４は、インターネット等の通信ネットワークＮとの通信インターフェイスである。そして、制御部３５は、廃棄対象となる生産設備に関する設備情報を設備管理装置１０に登録する処理を行う。また、データ記憶部３３は、制御部３５の処理に必要な上記設備情報等を少なくとも格納している。
【００３３】
同様に、要請者端末４０は、入力部４１、表示部４２、データ記憶部４３、通信部４４、制御部４５を備えて構成されている。入力部４１は、キーボードやマウス等の入力装置である。表示部４２は、液晶ディスプレイ等の表示装置である。よって、要請者端末４０は、入力部４１および表示部４２によりユーザが操作するためのユーザインタフェースを提供する。また、通信部４４は、インターネット等の通信ネットワークＮとの通信インターフェイスである。制御部４５は、設備管理装置１０より廃棄予定の生産設備の情報を取得するとともに、生産設備の再利用の要請に関する要請情報を設備管理装置１０に登録する処理を行う。また、データ記憶部４３は、制御部４５の処理に必要な情報を少なくとも格納している。
【００３４】
次に、図２に示すフローチャートを参照しながら、設備管理装置１０の動作について説明する。なお、図３は、生産設備廃棄情報の登録欄の表示例である。図４は、図３中の［詳細］ボタンを選択することで表示される、廃棄予定生産設備のより詳細な情報の登録欄の表示例である。
【００３５】
まず、工場において、生産設備の入れ替えと、それまでに使用していた生産設備の廃棄が計画された時点で、廃棄予定設備を保有する工場の担当者が工場端末３０から、廃棄対象となる生産設備に関する情報を入力する（Ｓ１０１）。具体的には、担当者は工場端末３０の入力部３１を使用して、表示部３２に出力される入力画面（図３，図４）に廃棄対象となる生産設備に関する情報を入力する。その後、工場端末３０の制御部３５は、入力された情報をデータ記憶部３３に登録した後、通信部３４から通信ネットワークＮを介して、設備管理装置１０に送信する。
【００３６】
次に、設備管理装置１０は、工場端末３０から上記情報を通信部１９で受信し（Ｓ１０２）、設備管理制御部１１が上記情報をデータ記憶部１４に登録する（Ｓ１０３（設備情報登録ステップ））。なお、廃棄対象となる生産設備に関する設備情報の工場端末３０からの取得、および、生産設備データベース１５への登録は、設備情報登録部１１ａが行う。
【００３７】
ここで、図３に示すように、「廃棄対象となる生産設備に関する情報」としては、生産設備の廃棄予定日、再利用希望の募集締切日、生産設備名、使用していた工場名・工程名、ベンダー名、廃棄予定台数、設置に必要な面積、稼働に必要な水量・電力、廃棄時に発生する廃棄対象となる生産設備以外の装置、部品・部材などがある。また、図４に示すように、生産設備に関する個々の詳細な情報としては、設備機種名、スペック、稼動開始年月日、過去の故障履歴、過去の改造履歴、過去の構成部品交換履歴、再利用可能な構成部品、最低希望譲渡金額、設備担当者の連絡先などがある。
【００３８】
なお、生産設備の過去の故障・改造・構成部品の交換の履歴などの個々の生産設備の詳細な情報は、設備管理装置１０で一括して管理するのではなく、各工場で個別に管理し、必要に応じて設備管理装置１０が参照するようにしてもよい。これは、生産設備の再利用に関して必要な情報であるかどうかの判断や選択には、廃棄対象となる生産設備を担当していた生産設備担当者が最も適しているからである。
【００３９】
このように、設備管理装置１０は、生産設備の所在に関する情報のみを一括して管理する一方、生産設備担当者が選択し登録した個々の生産設備の詳細な情報を、通信ネットワークＮを通じて収集することができる。よって、設備管理装置１０では、廃棄対象となる生産設備に関する情報を、効率良く収集・管理することができる。
【００４０】
次に、設備管理装置１０の設備管理制御部１１が、データ記憶部１４に登録された廃棄対象となる生産設備に関する情報を元に、それらの生産設備を使用して生産ラインを再構築することが可能か否かの確認を行う（Ｓ１０４）。
【００４１】
そして、生産ラインの再構築が可能と確認された場合（Ｓ１０４で「可」）、データ記憶部１４に登録された廃棄対象となる生産設備に関する情報を元に、シミュレーション部１１ｄが生産ラインを再構築すると仮定した場合のシミュレーションを行う（Ｓ１０５（シミュレーションステップ））。シミュレーション部１１ｄで生産ラインのシミュレーションを行う目的は、使用する生産設備の種類・台数から、工場全体で使用する水量や電力、および生産設備の設置に要するクリーンルームの面積・工場面積、生産ラインもしくは工場全体における基板・ウェハの単位時間当たりの生産量などを正確に推定することにある。
【００４２】
次に、設備管理制御部１１は、シミュレーション部１１ｄが行った上記シミュレーション結果をデータ記憶部１４に登録した後、シミュレーションの結果と生産設備に関する情報とを、通信部１９から通信ネットワークＮを介して、生産設備を再利用する可能性のある要請者の要請者端末４０へ送信する（Ｓ１０６）。また、生産ラインの再構築が不可能と確認された場合も（Ｓ１０４で「不可」）、設備管理制御部１１は、製造装置単体で再利用を行うとして、生産設備（製造装置）に関する情報を、通信部１９から通信ネットワークＮを介して、生産設備（製造装置）を再利用する可能性のある要請者の要請者端末４０へ送信する（Ｓ１０６）。
【００４３】
ここで、図５を参照しながら、シミュレーション部１１ｄが実行する、廃棄対象となる生産設備の再利用に関するシミュレーションについて説明する。なお、図６は、シミュレーションモデルの結果の表示例である。また、図７は、図６中の［設置例詳細］ボタンを選択することで表示される、廃棄予定生産設備のより詳細な情報の登録欄の表示例である。
【００４４】
まず、シミュレーション部１１ｄは、廃棄対象となる製造装置の種類・台数、および処理可能な基板・ウェハサイズを確認する（Ｓ２１）。次に、仮定した生産ラインで使用する各種製造装置の稼動に要する使用水量・使用電力の確認を行い（Ｓ２２）、工場全体で使用する水量、電力の総和を算出する（Ｓ２３）。次に、廃棄対象となる製造装置のそれまで使用されていた稼動条件から、ガス使用量・排気量を算出する（Ｓ２４）。次に、廃棄対象となる製造装置のそれまで使用されていた稼動条件から、単位時間当たりの基板の処理能力を算出する（Ｓ２５）。その後、工場内での各種製造装置の設置位置や処理速度から得られる、工場全体における基板・ウェハの単位時間当たりの生産量を算出し（Ｓ２６）、シミュレーションモデルを作成する（Ｓ２７）。
【００４５】
この際、廃棄対象となる製造装置を再利用した新たな生産ラインとしては、液晶パネルや半導体デバイスなどの製品を製造するのに最低限必要な製造装置で構築したモデルでもよいし、複数の生産ラインをスループットが最適化された状態で同時に稼動させるモデルを仮定してもよい。また、例えばフォトリソ工程とレジスト塗布・剥離工程の製造装置のみを含む生産ラインなど、いくつかの工程を含んだ一つのまとまった生産ラインをモデルとして仮定してもよい。
【００４６】
また、複数の生産ラインの製造装置が同時に廃棄される場合は、処理速度の高い製造装置のみを集めて、生産ラインを構築した場合などのシミュレーションを行ってもよい。また、製造装置が単体で廃棄される場合は、基板サイズが同一もしくは同等である他の製造装置の例を示し、それらの製造装置を用いて生産ラインを構築した場合のシミュレーションモデルを作成してもよい。
【００４７】
ここで、参考のために、図１２を参照しながら、新規に生産設備を購入する場合のシミュレーションについて説明する。
【００４８】
新規に工場を立ち上げる際には、まず、基板・ウェハサイズ、および予定生産量を決定する（Ｓ４１）。次に、使用する基板・ウェハサイズ、および予定生産量から、製造装置の種類や台数を決定する（Ｓ４２）。次に、使用する各種製造装置の稼動に要する使用水量・使用電力の確認を行い（Ｓ４３）、工場全体で使用する水量、電力の総和を算出する（Ｓ４４）。その後、工場内での各種製造装置の設置位置や基板・ウェハの生産量などのシミュレーションを実行し（Ｓ４５）、シミュレーションモデルを作成する（Ｓ４６）。
【００４９】
以上のように、廃棄対象となる生産設備を再利用して生産ラインの再構築を行う場合は、それまでに使用していた生産設備の稼動条件を確認できることから、詳しい生産設備の処理速度やスループットを提示することができるので、より正確に工場全体における基板・ウェハの単位時間当たりの生産量を推定できる。例えば、プロセスガスの流量や混合比が確認できるため、それらから工場全体のプロセスガスの使用量が確認できる。さらに、再利用先において同一の稼動条件を用いる場合は、詳しい装置の処理速度やスループットを提示することができる。
【００５０】
すなわち、シミュレーション部１１ｄのシミュレーションによれば、生産ライン全体としての、必要な電力および使用水量、生産設備設置に要するクリーンルームの面積、製造装置の最適な設置位置、および単位時間当たりの工場全体の基板・ウェハの生産量などが概算される。特に、必要な使用水量については、生産工場・ラインの立地・設置条件として非常に重要である。例えば半導体工場において、１ロットあたりＳｉウェハ２５枚として、１０００ロット／月製造するのに必要な水量は約５００トン／ｈといわれており、このような水量をまかなうことの可能な地域に生産工場・ラインの立地・設置場所が限定される。よって、生産ラインを再構築する場合においては、前記のようなシミュレーションを行い、その結果を通知することは非常に有効である。
【００５１】
次に、廃棄対象となる生産設備を再利用する可能性のある要請者の要請者端末４０が、設備管理装置１０が送信した廃棄対象となる生産設備に関する情報とシミュレーションより得られた結果とを、通信ネットワークＮを介して通信部４４から受信する（Ｓ１０７）。そして、要請者端末４０は、上記情報を制御部４５がデータ記憶部４３に登録し、表示部４２に内容を表示する。
【００５２】
ここで、要請者、すなわち、廃棄対象となる生産設備を再利用する可能性のある者としては、廃棄対象となる製造装置を使用していた生産工場と同一の生産工場または異なる生産工場、廃棄対象となる製造装置を使用していた生産業者とは異なる生産業者、中古設備取扱い業者もしくは社外の不特定多数の業者・団体および前記業者・団体に属する研究部門などであり、前記団体には営利を業としないものも含み、例えば国・国際的機関・自治体・学術団体・業者が結成する団体などである。
【００５３】
なお、設備管理装置１０から要請者端末４０へ廃棄対象となる生産設備に関する情報やシミュレーション結果を通知する方法としては、図３、図４、図６、図７に示すような表示内容をホームページで公開してもよし、電子メールなどにより直接通知してもよい。また、要請者端末４０へ廃棄対象となる生産設備に関する情報やシミュレーション結果の通知、ならびに、要請者端末４０からの廃棄対象となる生産設備の再利用の要請情報（後述）の取得、および、設備再利用データベース１６への登録は、再利用要請受付部１１ｂが行う。
【００５４】
次に、要請者が廃棄対象となる生産設備に関する情報やシミュレーション結果を確認した後、廃棄対象となる生産設備の再利用の要請を行う場合、要請者が要請者端末４０から、廃棄対象となる生産設備の再利用の要請に関する要請情報を入力する（Ｓ１０８）。具体的には、要請者は要請者端末４０の入力部４１を使用して、表示部４２に出力される入力画面（図８）に廃棄対象となる生産設備の再利用の要請に関する情報を入力する。その後、要請者端末４０の制御部４５は、入力された情報をデータ記憶部４３に登録した後、通信部４４から通信ネットワークＮを介して、設備管理装置１０に送信する。
【００５５】
ここで、図８を参照しながら、生産設備の再利用の要請に関する情報について説明する。なお、図８は、要請者端末４０において生産設備の再利用の要請を登録する登録欄の表示例である。
【００５６】
生産設備の再利用の要請に関する情報とは、▲１▼生産ラインとしての再利用の要請の場合は、再利用を希望するシミュレーションの番号であり、▲２▼製造装置としての再利用の要請の場合は、再利用を希望する装置名、工程名、台数などであり、▲３▼部品としての再利用の要請の場合は、再利用を希望する部品を使用していた装置名、寸法・サイズ、個数などである。また、生産ラインあるいは製造装置としての再利用の要請の場合は、実際の稼動状況の見学・確認を希望するか、引渡し希望日はいつか、などの情報も含む。なお、稼動状況の見学・確認を行う機会は、社内外にかかわらず、生産ラインもしくは製造装置としての再利用を要請した要請者全てに対して与えることが望ましい。これは、実際に稼動している状態の生産ラインあるいは製造装置を見学・確認することで、要請者が購入するか否かの非常に有効な判断材料となりうるからである。
【００５７】
次に、設備管理装置１０は、要請者端末４０から上記情報を通信部１９で受信し（Ｓ１０９）、設備管理制御部１１が上記情報をデータ記憶部１４に登録する（Ｓ１１０）。なお、ステップＳ１０６，Ｓ１０９，Ｓ１１０が再利用要請受付ステップに相当する。
【００５８】
設備管理装置１０のデータ記憶部１４は、要請者が登録した生産ラインとしての再利用要請に関する情報、製造装置としての再利用要請に関する情報、生産ラインあるいは製造装置の稼動状況の見学・確認希望に関する情報、部品としての再利用要請に関する情報、ベンダー・工事担当業者への要請に関する情報、保有中の生産設備の所在に関する情報、設備管理部門で保有中の再利用可能な部品の保有状況に関する情報など、廃棄対象となる生産設備に関する情報をデータベース化して管理している。なお、図９および図１０は、上記の廃棄対象となる生産設備に関する情報の表示例である。
【００５９】
なお、上記の情報のうち、社外を含む要請者からの廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品の再利用の要請に関する情報と生産設備の稼動状況の見学・確認希望に関する情報とについては、通信ネットワークＮを介して要請者端末４０より常時登録可能な状態となっていることが望ましい。しかし、保有している生産設備の所在に関する情報や、設備管理部門で保有中の再利用可能な部品の情報については、廃棄対象となる生産設備を保有する生産業者の社内の情報であることから、社外の要請者端末４０からアクセスできない状態とすることが望ましい。
【００６０】
次に、設備管理装置１０の設備管理制御部１１は、廃棄対象となる生産設備の再利用に関する要請の募集締切日になった時点で、データ記憶部１４に登録された再利用の要請に関する情報の中から、生産設備の稼動状況の見学・確認希望に関する情報があるか確認する（Ｓ１１１）。
【００６１】
そして、生産設備の稼動状況の見学・確認希望に関する情報がない場合（Ｓ１１１で「無」）、設備管理制御部１１は廃棄予定生産設備の再利用先を決定するためのフローチャートの演算を実施する（Ｓ１１３（再利用先決定ステップ））。
【００６２】
一方、生産設備の稼動状況の見学・確認希望に関する情報がある場合（Ｓ１１１で「有」）、設備管理装置１０は、要請者が生産設備の稼動状況の見学・確認を行った後、要請者により再利用の希望に関する情報が再度入力されるのを所定の期日まで待つ（Ｓ１１２）。
【００６３】
次に、設備管理制御部１１は、生産設備の稼動状況の見学・確認希望に関する情報が無い場合、もしくは要請者が生産設備の稼動状況の見学・確認を行った後、所定の期日に達した場合、再利用先決定部１１ｃが、前記再利用の希望に関する情報から、後述する手順（図９）に従って廃棄予定の生産設備の再利用先を決定する（Ｓ１１３）。なお、再利用の要請が複数出された場合、再利用先決定部１１ｃは、廃棄対象となる生産設備を有している生産業者全体から見た優先度を考慮するなどして調整を行い、前記廃棄予定日までに再利用先を決定する。
【００６４】
次に、設備管理制御部１１は、決定した再利用先の情報をデータ記憶部１４に登録する（Ｓ１１４）。その後、設備管理制御部１１は、廃棄対象となる生産設備を保有している工場および要請者に対して、再利用先の決定に関する情報を、通信部１９から通信ネットワークＮを介して通知する（Ｓ１１５，Ｓ１１６）。
【００６５】
また、廃棄対象となる生産設備の再利用先が決定した後、設備管理制御部１１は、設備再利用データベース１６にベンダーや工事担当業者への要請に関する情報があるかの確認を行い（Ｓ１１７）、要請がある場合、それらの情報を通信部１９から通信ネットワークＮを介して生産設備のベンダーや工事担当業者へ通知する（Ｓ１１８）。ここで、ベンダーや工事担当業者への要請に関する情報とは、生産設備導入時に必要な新規部品の購入に関するものや、導入作業の希望日などである。なお、廃棄対象となる生産設備の廃棄予定日より、再利用要請先の引渡し希望日が遅い場合は、生産ラインから撤去した製造装置あるいは部品を設備管理部門で保管・管理する。
【００６６】
以下に、図１１のフローチャートを参照しながら、再利用先決定部１１ｃが廃棄予定先の再利用先を決定する手順について説明する。なお、本実施の形態では、再利用先決定部１１ｃが、要請情報等に基づき、廃棄対象となる生産設備の再利用先を決定する場合について説明するが、再利用先決定部１１ｃは、要請の判定結果を担当者に提示して、担当者が再利用先を決定して設備管理装置１０に登録するようにしてもよい。
【００６７】
まず、再利用先決定部１１ｃは、データ記憶部１４に、要請者からの生産ラインとしての再利用の希望に関する情報があるか否かを確認する（Ｓ６１）。確認の結果、生産ラインとしての再利用の希望に関する情報がある場合（Ｓ６１で「ＹＥＳ」）、この希望を最優先にして再利用先の検討を行う（Ｓ６２）。なお、生産ラインとしての再利用の希望が複数ある場合は、最低希望譲渡金額や引渡し希望日などを考慮して、廃棄対象となる生産設備を保有する企業にとって最も有益となる再利用先を生産設備廃棄日までに決定する。
【００６８】
次に、生産ラインとしての再利用の希望がない場合（Ｓ６１で「ＮＯ」）、製造装置としての再利用の要請があるか否かを確認する（Ｓ６３）。確認の結果、製造装置としての再利用の希望がある場合（Ｓ６３で「ＹＥＳ」）、この希望を部品としての再利用の希望よりも優先して再利用先の検討を行う（Ｓ６４）。なお、製造装置としての再利用の希望が複数ある場合は、最低希望譲渡金額や引渡し希望日などを考慮して、廃棄対象となる製造装置を保有する企業にとって最も有益となる再利用先を生産設備廃棄日までに決定する。
【００６９】
次に、生産ラインおよび製造装置としての再利用の要請がない場合（Ｓ６３で「ＮＯ」）、部品としての再利用の希望があるか否かを確認する（Ｓ６５）。確認の結果、部品としての再利用の希望がある場合（Ｓ６５で「ＹＥＳ」）、部品としての再利用先の検討を行う（Ｓ６６）。なお、部品としての再利用の希望が複数ある場合は、最低希望譲渡金額や引渡し希望日などを考慮して、廃棄対象となる生産設備を保有する企業にとって最も有益となる再利用先を生産設備廃棄日までに決定する。
【００７０】
ここで、ステップＳ６２，Ｓ６４，Ｓ６６における再利用要請の適否の検討は、再利用先決定部１１ｃが、設備の再利用の要請に関する情報に基づき、例えば最低希望譲渡金額や引渡し希望日などを所定の基準と比較することにより行う。なお、この判定の結果、要請が不適当であった場合、再利用先決定部１１ｃは、フローをそれぞれ前ステップへ戻し、検討する要請を選択し直す。
【００７１】
次に、部品としての再利用の希望がない場合（Ｓ６５で「ＮＯ」）、生産設備データベース１５から保有生産設備に関する情報の検索を行い、廃棄予定の生産設備と同一もしくは同種の装置が他の生産工場で使用されているか確認する（Ｓ６７）。そして、同一もしくは同種の装置が使用されていない場合（Ｓ６７で「ＮＯ」）、生産設備全体の再資源化を行うか、設備管理部門で生産設備として一定期間保管を行う。
【００７２】
一方、同一もしくは同種の装置が使用されている場合（Ｓ６７で「ＹＥＳ」）、生産設備を分解・解体して、再利用可能な部品については洗浄・調整などを行って保管し、再利用不可の部品については材料として再資源化を行う。ここで、製造装置あるいは部品として保管する場合、設備管理部門にて保管した後、設備管理部門の担当者が、生産設備データベース１５の再利用可能な製造装置あるいは部品の保有状況に関するデータに登録する。これにより、工場の生産設備担当者は、生産設備データベース１５を検索することによって、再利用可能な製造装置あるいは部品を円滑に手配できる。
【００７３】
ここで、異種工程間において共有可能な部品がほとんどない場合には、保有する生産設備の所在に関する情報、および生産設備に付随する部品に関する情報を、工程別および生産設備のベンダー別に分類し管理することが望ましい。このような管理形態をとることにより、生産設備に関する情報の検索を迅速かつ明瞭に行うことができる。なお、工場が複数の地域（例えば、複数の国）に点在している場合も、同様に生産設備の廃棄時における情報の管理や部品の管理を行ってもよい。
【００７４】
また、生産業者が別の生産業者と共同で製品の生産を行っている場合においても、上記設備管理装置１０を共用して、生産設備の廃棄時における情報を共有することにより、廃棄設備およびそれに付随する部品の再利用を促進し、固定費のコストを削減することが可能となる。
【００７５】
設備管理装置１０は、工場の工場端末３０から、入れ替え・廃棄の予定が決定した生産設備に関する情報が登録される。設備管理装置１０は、この情報を再利用先となる可能性のある要請者の要請者端末４０に通知し、要請者から廃棄対象の生産設備の再利用の要請を受け付ける。そして、設備管理装置１０は、要請者端末４０から登録された要請を、所定の手順に従って判定し、廃棄対象の生産設備の再利用先を決定する。
【００７６】
これにより、設備管理装置１０は、廃棄が決定した生産設備の再利用先を、生産設備の廃棄時までに、所定の優先順位に基づいて決定することができる。よって、生産設備の入れ替え、廃棄により廃棄対象となる生産設備の再利用方法と再利用先を円滑に決定できる。
【００７７】
また、設備管理装置１０は、要請者端末４０に対して廃棄対象の生産設備の情報を通知する際、当該生産設備の廃棄予定の生産ラインでの稼動条件を元に、当該生産設備を使用して生産ラインの再構築を行うためのシミュレーションを実行して、要請者端末４０に提示する。
【００７８】
このようなシミュレーションを行うことにより、再構築した生産ラインの全体としての、必要な電力や使用水量、生産設備の設置に要するクリーンルームの面積、生産設備の最適な設置位置、および工場全体における基板・ウェハの単位時間当たりの生産量などを、より正確に算出できる。よって、生産設備を生産ラインとして再利用する可能性のある者に対して、有効な情報を提供することが可能となる。
【００７９】
以上より、設備管理装置１０によれば、廃棄対象となる生産設備の再利用を円滑かつ効率よく促進できるため、廃棄対象となる生産設備を有している生産業者全体における固定費のコストを削減することが可能となる。また、生産設備の再利用先の決定が遅れ、廃棄時期が遅れるなど、廃棄決定時期から廃棄時期までの期間が延長することを防止でき、また前記期間を短縮できる。
【００８０】
また、再利用先を社内外から広い範囲で検討できるので、社外において再利用希望者がいるにもかかわらず、生産設備を廃棄して、産業廃棄物を増加させることを防止できる。また、産業廃棄物としての廃棄量を削減できるため、環境保護としても有効である。
【００８１】
また、社内外にかかわらず、生産ラインあるいは製造装置としての再利用を希望する相手に対し、実際の廃棄予定の生産ラインあるいは製造装置の稼動状況を見学・確認する機会を与えることができるため、再利用を希望する側にも非常に有効となる。
【００８２】
また、廃棄対象となる生産設備を使用していた生産業者と異なる生産業者や研究団体などに生産設備を売却もしくは譲渡した場合、直接かつ逐次に、それまでに生産設備を使用していた設備担当者から、個々の生産設備の特性および稼動条件等のより詳細な情報を提供することができる。
【００８３】
ここで、上記設備管理装置１０は、ワークステーションやパーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータをベースに構成できる。また、上記工場端末３０および要請者端末４０は、パーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータをベースに構成できる。
【００８４】
すなわち、設備管理装置１０、工場端末３０、要請者端末４０は、それぞれの機能を実現するプログラムの命令を実行するＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｕｎｉｔ　）、ブートロジックを格納したＲＯＭ（ｒｅａｄ　ｏｎｌｙ　ｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ　ａｃｃｅｓｓ　ｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムおよび各種データベースを格納するハードディスク等の記憶装置（記録媒体）、キーボードやマウス等の入力機器、モニタ、スピーカー、プリンタ等の出力機器、外部のネットワークに接続するネットワーク接続機器が、内部バスによって接続されて構成されている。そして、設備管理装置１０、工場端末３０、要請者端末４０の機能は、記憶装置に格納さたプログラムを必要に応じてＲＡＭに展開してＣＰＵで実行することでそれぞれ実現される。
【００８５】
また、本発明の目的は、上述した機能を実現するソフトウエアである設備管理プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、システムあるいは装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。この場合、記録媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した機能を実現することになり、そのプログラムコードを記録した記録媒体は本発明を構成することになる。
【００８６】
具体的には、上記設備管理装置１０が備える設備管理制御部１１、設備情報登録部１１ａ、再利用要請受付部１１ｂ、再利用先決定部１１ｃ、シミュレーション部１１ｄは、設備管理装置１０のメモリ（図示せず）に格納された所定のプログラムを、マイクロプロセッサなどが実行することにより実現される。また、工場端末３０および要請者端末４０が備える制御部３５，４５は、通信ネットワークＮを介して設備管理装置１０にアクセスするためのクライアント・プログラム（例えば、標準的なインターネット閲覧機能）を、マイクロプロセッサなどが実行することにより実現できる。
【００８７】
上記プログラムコードを供給するための記録媒体は、システムあるいは装置と分離可能に構成することができる。また、上記記録媒体は、プログラムコードを供給可能であるように固定的に担持する媒体であってもよい。そして、上記記録媒体は、記録したプログラムコードをコンピュータが直接読み取ることができるようにシステムあるいは装置に装着されるものであっても、外部記憶装置としてシステムあるいは装置に接続されたプログラム読み取り装置を介して読み取ることができるように装着されるものであってもよい。
【００８８】
例えば、上記記録媒体としては、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【００８９】
また、上記プログラムコードは、コンピュータが記録媒体から読み出して直接実行できるように記録されていてもよいし、記録媒体から主記憶のプログラム記憶領域へ転送された後コンピュータが主記憶から読み出して実行できるように記録されていてもよい。
【００９０】
さらに、システムあるいは装置を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。そして、通信ネットワークとしては、特に限定されず、具体的には、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（ｖｉｒｔｕａｌ　ｐｒｉｖａｔｅ　ｎｅｔｗｏｒｋ）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、具体的には、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。
【００９１】
なお、プログラムコードを記録媒体から読み出して主記憶に格納するためのプログラム、および、通信ネットワークからプログラムコードをダウンロードするためのプログラムは、コンピュータによって実行可能にあらかじめシステムあるいは装置に格納されているものとする。
【００９２】
上述した機能は、コンピュータが読み出した上記プログラムコードを実行することによって実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【００９３】
さらに、上述した機能は、上記記録媒体から読み出された上記プログラムコードが、コンピュータに装着された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【００９４】
本発明の設備管理方法は、生産工場において生産設備の入れ替え、廃棄が決定された際、前記生産工場が登録した廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品に関する情報を、設備管理装置が収集する工程と、前記情報をデータベース化する工程と、前記情報を基に生産設備の再構築を行うためのシミュレーションを実行する工程と、得られたシミュレーション結果をデータベース化する工程と、前記情報および前記シミュレーション結果を通知する工程と、廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品の再利用の要請に関する情報を収集する工程と、前記情報をデータベース化する工程と、前記再利用の要請に関する情報から、前記廃棄対象となる生産設備の再利用先を決定する処理を行う工程を含んでいてよい。
【００９５】
また、本発明の設備管理装置は、生産工場の生産設備の入れ替え、廃棄時に廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品に関する情報の管理を行う部門に設置された設備管理装置であり、前記廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品に関する情報を、収集・発信・処理する手段を備えて構成されていてもよい。
【００９６】
さらに、本発明の設備管理装置は、前記廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品に関する情報を収集する手段と、前記情報をデータベース化する手段と、前記情報を基に生産ラインの再構築を行うためのシミュレーションを実行するための手段と、得られたシミュレーション結果をデータベース化する手段と、前記情報および前記シミュレーション結果を通知することのできる手段と、廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品の再利用の要請に関する情報を収集する手段と、前記情報をデータベース化する手段と、前記再利用の要請に関する情報から、それらの再利用先を決定する手段とを備えて構成されていてもよい。
【００９７】
さらに、本発明の設備管理装置は、前記廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品に関する情報の収集・通知は、設備管理装置に具備されている通信手段と、インターネット回線を介して行ってもよい。
【００９８】
さらに、本発明の設備管理装置は、前記廃棄対象となる生産設備を有する生産業者が保有する生産設備の所在に関する情報、および生産設備に付随する部品に関する情報を、工程別およびベンダー別に分類し、管理してもよい。
【００９９】
さらに、本発明の設備管理装置は、前記生産設備が液晶表示素子製造装置もしくは半導体素子製造装置である場合に好適である。
【０１００】
よって、本発明の設備管理装置は、ある生産工場において生産設備の入れ替え・廃棄が行われると決定した際、廃棄対象となる生産設備に関する情報を収集する。設備管理装置は、前記情報を元に廃棄対象となる生産設備から製品（例えば、液晶パネルや半導体デバイス等）を製造するのに必要な生産設備の選択を行い、それら生産設備を使用した生産ラインの再構築を行うためのシミュレーションを実行する。設備管理装置は、廃棄対象となる生産設備に関する情報と前記シミュレーション結果を、廃棄対象となる生産設備を使用していた生産工場と同一または異なる生産工場、もしくは廃棄対象となる生産設備を使用していた生産業者とは異なる生産業者・研究団体など、廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品を再利用する可能性のあるものに対して、通信手段とインターネット回線を介して前記情報の通知を行う。
【０１０１】
また、設備管理装置は、廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品の再利用の要請に関する情報、廃棄対象となる生産設備の稼動状況の見学・確認の希望に関する情報、ベンダーおよび工事担当者への要請事項に関する情報を、廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品を再利用する可能性のあるものから収集し、それら種々の情報を管理する。設備管理装置は、収集した情報から、規定されたフローチャートに従い、廃棄予定日までに廃棄対象となる生産設備およびそれに付随する部品の再利用先を決定する。
【０１０２】
また、本発明の設備管理プログラムは、コンピュータを上記設備管理装置の各手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。これにより、コンピュータで上記設備管理装置の各手段を実現することによって、上記設備管理装置を実現することができる。したがって、上記した設備管理装置の効果を奏することが可能となる。
【０１０３】
また、本発明の設備管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、上記設備管理装置の各手段をコンピュータに実現させて、上記設備管理装置を動作させる設備管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。これにより、上記記録媒体から読み出された設備管理プログラムによって、上記設備管理装置をコンピュータ上に実現することができる。したがって、上記した設備管理装置による効果を奏することが可能となる。
【０１０４】
【発明の効果】
以上のように、本発明の設備管理装置は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定手段と、を具備する構成である。
【０１０５】
また、本発明の設備管理方法は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、上記設備情報を提示するとともに、上記生産設備に対する生産ライン単位、製造装置単位、または製造装置を解体した部品単位での再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、上記生産ライン単位での要請、上記製造装置単位での要請、上記部品単位での要請の順番で、上記再利用の要請の適否を上記要請情報に基づいて判定して、上記生産設備の再利用先を決定する再利用先決定ステップと、を含む方法である。
【０１０６】
それゆえ、廃棄が決定した生産設備の再利用先を、生産設備の廃棄時までに、所定の優先順位に基づいて決定することができる。よって、生産設備の入れ替え、廃棄により廃棄対象となる生産設備の再利用方法と再利用先を円滑に決定できるという効果を奏する。その結果、生産設備の管理にかかる固定費を削減することが可能となるという効果を奏する。
【０１０７】
また、再利用の要請を判定する際、まず生産ライン単位での要請を判定し、次いで製造装置単位での要請を判定し、最後に部品単位での要請を判定するため、生産ライン単位での再利用が可能となり、しかも、生産ライン単位での再利用を優先させることができるという効果を奏する。
【０１０８】
本発明の設備管理装置は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録手段と、上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーション手段と、上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付手段と、を具備する構成である。
【０１０９】
また、本発明の設備管理方法は、生産ラインを構成する各製造工程の製造装置を含む生産設備に関する設備情報を登録する設備情報登録ステップと、上記設備情報に含まれる上記生産ラインにおける稼働条件に基づいて、上記生産設備を再利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレーションするシミュレーションステップと、上記設備情報および上記シミュレーションの結果を提示するとともに、上記生産設備に対する再利用の要請に関する要請情報を取得する再利用要請受付ステップと、を含む方法である。
【０１１０】
それゆえ、さらに、上記のようなシミュレーションを行うことにより、再構築した生産ラインの全体としての見積りをより正確に算出できる。したがって、生産設備を再利用する可能性のある者に対して、有効な情報を提供することが可能となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る設備管理装置の構成の概略を示す機能ブロック図である。
【図２】図１に示した設備管理装置が廃棄予定の生産設備の再利用の要請を受け付け、再利用先を決定する処理の概略を示すフローチャートである。
【図３】図１に示した設備管理装置に廃棄予定の生産設備の情報を登録する画面例を示す説明図である。
【図４】図１に示した設備管理装置に廃棄予定の生産設備の情報を登録する画面例を示す説明図である。
【図５】図１に示した設備管理装置が廃棄予定の生産設備を利用した新たな生産ラインのモデルをシミュレートする処理の概略を示すフローチャートである。
【図６】図５に示したフローチャートに従って求めたシミュレーション結果を表示する画面例を示す説明図である。
【図７】図５に示したフローチャートに従って求めたシミュレーション結果を表示する画面例を示す説明図である。
【図８】図１に示した設備管理装置に廃棄予定の生産設備の再利用の要請に関する情報を登録する画面例を示す説明図である。
【図９】図１に示した設備管理装置が管理する廃棄予定の生産設備の譲渡に関する情報を表示した画面例を示す説明図である。
【図１０】図１に示した設備管理装置が管理する廃棄予定の生産設備に関する情報を表示した画面例を示す説明図である。
【図１１】図１に示した設備管理装置が廃棄予定の生産設備の再利用先を決定する処理を示すフローチャートである。
【図１２】新規に生産設備を購入する場合の生産ラインをシミュレートする処理の概略を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０　　設備管理装置
１１ａ　設備情報登録部（設備情報登録手段）
１１ｂ　再利用要請受付部（再利用要請受付手段）
１１ｃ　再利用先決定部（再利用先決定手段）
１１ｄ　シミュレーション部（シミュレーション手段）
Ｓ１０３　設備情報登録ステップ
Ｓ１０５　シミュレーションステップ
Ｓ１０６，Ｓ１０９，Ｓ１１０　再利用要請受付ステップ
Ｓ１１３　再利用先決定ステップ
【図１】
2004054713.tif 000003
【図２】
2004054713.tif 000004
【図３】
2004054713.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2004054713.tif 000009
【図８】
2004054713.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2004054713.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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