【事件の表示】
　平成　６年特許願第３１７７５３号「露光装置及び半導体製造装置、並びにその駆動方法」拒絶査定に対する審判事件［平成　８年　６月１１日出願公開、特開平　８−１５３６７３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本願は、平成６年１１月２９日の出願であって、平成１３年９月７日付で拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月１９日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年１１月１５日付で手続補正がなされ、当該手続補正は当審において却下され、その後、当審において拒絶理由通知がなされ、平成１４年１０月２１日に手続補正がなされ、当審において最後の拒絶理由通知がなされ、平成１５年９月１６日に手続補正がなされたものである。
　
２．平成１５年９月１６日付の手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１５年９月１６日付の手続補正を却下する。
［理由］
（１）　補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「装置を構成する複数のユニットと、前記ユニットの駆動動作を制御する制御手段と、前記制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた露光装置において、
　前記ユニットを駆動させようとする際、前記コンソール部は、前記ディスプレイ上に、前記ユニットの現在位置と前記ユニットの駆動目標位置を前記ユニットの縮尺座標系を用いてグラフィック表示し、オペレータに対して前記駆動目標位置に前記ユニットを駆動させて良いか否かを確認するためのボタンを表示し、また、前記ディスプレイ上に表示された前記ユニットについて、その取るべき位置を、オペレータによりポインティングデバイスを用いて指示可能とするものであり、
　前記制御手段は、前記ポインティングデバイスによる指示に応じて前記取るべき位置に前記ユニットを駆動させ、また、前記ボタンにより前記ユニットを駆動させて良いと確認してから、前記ユニットの駆動目標位置に前記ユニットを駆動させることを特徴とする露光装置。」と補正された。
　上記補正は、ディスプレイ上に表示されたユニットについて、「その取るべき位置を、オペレータによりポインティングデバイスを用いて指示可能とする」との限定を付加し、また、制御手段の作用として、「ポインティングデバイスによる指示に応じて前記取るべき位置に前記ユニットを駆動させ、」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第３項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第４項において準用する同法第１２６条第３項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
（２）．１　当審の拒絶の理由に引用された特開平５−３６５７９号公報（以下、引用例１という。）の【００１５】段落には、
「【００１５】すなわち、被制御装置を制御するための制御プログラムを格納する制御ファイルと、前記被制御装置の処理状態を出力する出力装置と、前記被制御装置の処理内容を指定する入力装置とを備え、前記制御プログラムに基づいて中央処理装置により前記被制御装置を制御可能な自動処理装置において、その処理状態に対応して異なる内容の表示画面を前記出力装置へ出力する表示手段と、前記各表示画面の内容に対応して設けられる複数種類の操作用入力スイッチと、前記出力装置へ出力される前記表示画面の内容に対応して前記操作用入力スイッチの一部または全部の切り替え或いは変更を行う制御手段とを設けるようにしている。」と記載されている。
　また、【００２０】〜【００２２】段落には、
「【００２０】本実施例の電子線露光装置は、被制御装置（例えば、処理チャンバ）１、制御ファイル２（例えば、集積回路パターンなどのデータ）、中央処理装置（例えば、ワークステーションを用いるが、以下においてはＣＰＵと表記する）３、入出力装置（例えば、入力関係ではキーボードやマウス、出力関係はＣＲＴなどによる表示装置）４、記憶装置５、システムバス６（例えば、イーサバス）、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７、制御用Ｉ／Ｏインターフェイス８（例えば、真空機器、ウェハ台駆動機構などの駆動制御用）、及び通信用Ｉ／Ｏインターフェイス９（専用回線、電話線を通しての外部との通信用）の夫々から構成されている。
【００２１】なお、制御ファイル２、ＣＰＵ３、入出力装置４、記憶装置５、システムバス６、複数の制御用Ｉ／Ｏインターフェイス８、通信用Ｉ／Ｏインターフェイス９の夫々によって制御部が構成される。制御ファイル２、記憶装置５、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７及び制御用Ｉ／Ｏインターフェイス８の各々と、ＣＰＵ３とはシステムバス６を介して接続される。また、制御用Ｉ／Ｏインターフェイス８の各々には被制御装置１が接続される。
【００２２】制御ファイル２には、被制御装置１での処理内容を規定する描画データ（パターンデータ、露光位置データ、露光条件データなどを含むデータ）が、複数格納されている。ＣＰＵ３には、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７、システムバス６を介して、入出力装置４からの入力が入力される。このＣＰＵ３は、入出力装置４からの入力に対応して、制御ファイル２からシステムバス６を介して描画データを読み込む。そして、この描画データに基づいて、システムバス６、制御用Ｉ／Ｏインターフェイス８を介して、被制御装置１を制御する。このＣＰＵ３は、被制御装置１での処理状態をシステムバス６、汎用Ｉ／Ｏインターフェイス７を介して、入出力装置４に出力する。入出力装置４に出力される情報は、例えば、ＣＲＴに表示される画像および文字である。従って、オペレータは、この画像および文字情報を認識することにより、被制御装置１での処理状態を確認することができる。また、このＣＰＵ３は、マルチタスク処理が可能であり、被制御装置１を制御しながら、上記の入出力処理を行うことができる。」と記載されている。
　
　そうすると、引用例１記載の「被制御装置１」は、本願補正発明の「装置を構成する複数のユニット」に相当し、引用例１記載の「ＣＰＵ３」は、本願補正発明の「ユニットの駆動動作を制御する制御手段」に相当し、引用例１記載の「ＣＲＴ」は、本願補正発明の「ディスプレイ」に相当し、引用例１記載の「入出力装置４」は、本願補正発明の「コンソール部」に相当するから、引用例１には、装置を構成する複数のユニットと、前記ユニットの駆動動作を制御する制御手段と、前記制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた周知の露光装置が開示されている。
　
（２）．２　当審の拒絶の理由に引用された特開平６−２９３４９５号公報（以下、引用例２という。）の【０００７】段落には、
「【０００７】【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。図１は本実施例のクレーン自動運転操作に使用するシステムの構成図であり、該システムは各部を制御するＣＰＵ（中央処理装置）１と、該ＣＰＵ１へケーブル２を介して接続されたＣＲＴディスプレイ装置（以下ＣＲＴと略称）３と、該ＣＰＵ１の拡張ボード４へケーブル５を介して接続されたタッチスクリーン６とから大略構成されている。」と記載されている。
　また、【００１０】〜【００１２】段落には、
「【００１０】次に、上記構成による本実施例のクレーン自動運転操作方法を図４〜図７に基づき説明する。自動運転対象クレーンの運転開始前は、ＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０及びグラフィック表示部１１にタッチスクリーン６を介して図４に示す如くのデータ・図形が表示される。即ち、キャラクタ表示部１０の表示領域１２には自動運転対象クレーンが「自動運転停止中」である旨が表示され、該表示部１０の表示領域１３には自動運転対象クレーンの現在位置データ（揚程、旋回角度、起伏角度、作業半径、荷重）が表示され、該表示部１０の表示領域１４には該運転開始前の時点では何も表示されず、該表示部１０の表示領域１５には自動運転対象クレーンの行先の指定を要求するメッセージ「目標ポイントを指定して下さい」が表示され、該表示部１０の表示領域１６には自動運転対象クレーンの揚程現在値Ｍ１が表示され、同時に該当建屋の高さをＭ３にて表示する。また、グラフィック表示部１１には自動運転対象クレーンＣ、建屋Ｔ、自動運転対象クレーンＣの自動運転開始ポイントＰ１、現在時間Ｇが表示される。この場合、自動運転対象クレーンと建屋との衝突を防止すべく、グラフィック表示部１１には建屋Ｔを表示している。
【００１１】前記ＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０の表示領域１５へ表示されたメッセージ「目標ポイントを指定して下さい」を目視確認したオペレータが、図５に示す如く、グラフィック表示部１１における自動運転目標ポイントＰ２をタッチスクリーン６を介して押下することにより、自動運転対象クレーンの自動運転目標ポイントを決定する。前記自動運転目標ポイントの決定に伴い、グラフィック表示部１１には自動運転対象クレーンＣの自動運転範囲Ｈが表示されると共に、キャラクタ表示部１０の表示領域１４には目標ポイント（揚程、旋回角度、作業半径）が表示され、該表示部１０の表示領域１５には自動運転対象クレーンの運転方向（本実施例では、旋回方向：左旋回、起伏方向：起こし）とメッセージ「よろしいですか」「確認」が表示される。
【００１２】オペレータがＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０の表示領域１４の目標ポイント（揚程、旋回角度、作業半径）と、該表示部１０の表示領域１５の自動運転対象クレーンの運転方向と、グラフィック表示部１１の自動運転目標ポイントＰ２、自動運転範囲Ｈとを目視確認し、キャラクタ表示部１０の表示領域１５の「確認」をタッチスクリーン６を介して押下すると、自動運転開始ポイントＰ１に位置する自動運転対象クレーンＣの自動運転が開始される共に、ＣＲＴ３の表示面７は図５の表示から図６の表示へ切換わる。即ち、ＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０の表示領域１２には自動運転対象クレーンが「自動運転中」である旨が表示され、該表示部１０の表示領域１３にはクレーンの自動運転に伴い変化する現在位置データ（揚程、旋回角度、起伏角度、作業半径、荷重）がリアルタイムで表示され、該表示部１０の表示領域１５にはクレーンの運転方向（本実施例では、旋回方向：左旋回、起伏方向：起こし）と所用時間（巻上、起伏、旋回）と運転時間とが表示され、該表示部１０の表示領域１６にはクレーンの揚程現在値Ｍ２が表示される。また、グラフィック表示部１１には自動運転中のクレーンＣの現在位置が表示される。」と記載されている。
　そうすると、引用例２には、「ＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０及びグラフィック表示部１１にタッチスクリーン６を介して図４に示す如くのデータ・図形が表示され」（【００１０】段落）、「ＣＲＴ３の表示面７のキャラクタ表示部１０の表示領域１５へ表示されたメッセージ「目標ポイントを指定して下さい」を目視確認したオペレータが、図５に示す如く、グラフィック表示部１１における自動運転目標ポイントＰ２をタッチスクリーン６を介して押下することにより、自動運転対象クレーンの自動運転目標ポイントを決定する」（【００１１】段落）ことが示され、さらに、「グラフィック表示部１１の自動運転目標ポイントＰ２、自動運転範囲Ｈとを目視確認し、キャラクタ表示部１０の表示領域１５の「確認」をタッチスクリーン６を介して押下すると、自動運転開始ポイントＰ１に位置する自動運転対象クレーンＣの自動運転が開始される」（【００１２】段落）ことが示されている。
　また、引用例２記載の、「タッチスクリーン」は、本願補正発明の「ポインテングデバイス」に相当し、引用例２記載の、キャラクタ表示部１０の表示領域１５の「確認」はタッチスクリーン６を介して押下されることから、本願補正発明の「確認するためのボタン」に相当する。さらに、引用例２記載のＣＲＴの表示面は、縮尺座表系を用いてグラフィック表示することは明らかである。
　引用例２記載の【０００７】段落を参照すると、引用例２記載の、「ＣＲＴ」は、本願補正発明の、「コンソール部」に相当する。
　　
　そうすると、引用例２には、「クレーンを駆動させようとする際、前記コンソール部は、前記ディスプレイ上に、前記クレーンの現在位置と前記クレーンの駆動目標位置を前記クレーンの縮尺座標系を用いてグラフィック表示し、オペレータに対して前記駆動目標位置に前記クレーンを駆動させて良いか否かを確認するためのボタンを表示し、また、前記ディスプレイ上に表示された前記クレーンについて、その取るべき位置を、オペレータによりポインティングデバイスを用いて指示可能とするものであり、前記制御手段は、前記ポインティングデバイスによる指示に応じて前記取るべき位置に前記クレーンを駆動させ、また、前記ボタンにより前記クレーンを駆動させて良いと確認してから、前記クレーンの駆動目標位置に前記クレーンを駆動させる」構成が実質的に開示されている。
　
（３）対比
　そこで、本願補正発明と引用例１に記載された発明とを比較する。
　両者は、上記２．（２）．１で認定したとおり「装置を構成する複数のユニットと、前記ユニットの駆動動作を制御する制御手段と、前記制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた露光装置」において一致し、本願補正発明が、「ユニットを駆動させようとする際、前記コンソール部は、前記ディスプレイ上に、前記ユニットの現在位置と前記ユニットの駆動目標位置を前記ユニットの縮尺座標系を用いてグラフィック表示し、オペレータに対して前記駆動目標位置に前記ユニットを駆動させて良いか否かを確認するためのボタンを表示し、また、前記ディスプレイ上に表示された前記ユニットについて、その取るべき位置を、オペレータによりポインティングデバイスを用いて指示可能とするものであり、
　前記制御手段は、前記ポインティングデバイスによる指示に応じて前記取るべき位置に前記ユニットを駆動させ、また、前記ボタンにより前記ユニットを駆動させて良いと確認してから、前記ユニットの駆動目標位置に前記ユニットを駆動させる」（以下、「本願補正発明の特徴的構成」という。）ものであるのに対し、引用例１記載の発明は、この点の記載がない点で相違（以下、「相違点」という。）する。
　
（４）判断
　相違点について検討する。
  引用例２記載のクレーンは、自動制御により移動させる移動対象であるので、引用例１記載のユニットに対応するものであり、引用例２記載のクレーンの駆動方法を、引用例１に適用して、上記相違点の構成とする程度のことに困難性は認められない。
　そして、本願補正発明の作用効果についても、引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明から当業者が予測できる範囲のものにすぎない。
　したがって、本願補正発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明を単に寄せ集めたことにより、当業者が容易に想到しえたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第４項で準用する同法第１２６条第３項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１５年９月１６日付の手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下、同項記載の発明を「本願発明」という。）は、平成１４年１０月２１日付手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
「装置を構成する複数のユニットと、前記ユニットの駆動動作を制御する制御手段と、前記制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備えた露光装置において、
　前記ユニットを駆動させようとする際、前記コンソール部は、前記ディスプレイ上に、前記ユニットの現在位置と前記ユニットの駆動目標位置を前記ユニットの縮尺座標系を用いてグラフィック表示し、オペレータに対して前記ユニットを駆動させて良いか否かを確認するためのボタンを表示するものであり、
　前記制御手段は、前記ボタンにより前記ユニットを駆動させて良いと確認してから、前記ユニットの駆動目標位置に前記ユニットを駆動させることを特徴とする露光装置。」
　
（１）引用例
　当審の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（２）対比・判断                
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から、ディスプレイ上に表示されたユニットについて、「その取るべき位置を、オペレータによりポインティングデバイスを用いて指示可能とする」との限定を省き、また、制御手段の作用として、「ポインティングデバイスによる指示に応じて前記取るべき位置に前記ユニットを駆動させ、」との限定を省くものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例１の発明及び周知手段に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明を単に寄せ集めたことにより、当業者が容易に想到しえたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の発明を単に寄せ集めたことにより、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
よって、結論のとおり審決する。