(57)【要約】　　　（修正有）【課題】１７０ｎｍ以下の波長の光に対する透過率に優れたレジスト組成物の提供。【解決手段】下式（Ｉ）及び（IIａ），（IIｂ）2004139063.tif 0000282004139063.tif 000029から選ばれる少なくとも１種の酸発生剤、並びに、酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる樹脂を含有するポジ型レジスト組成物。【選択図】　　　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
　下式（Ｉ）
2004139063.tif 000021
（式中、Ｑ1、Ｑ2は、互いに独立に、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表すか、又はＱ1とＱ2が結合して２価の脂肪族炭化水素基を表し、隣接するＳ＋と共に環を形成する。該脂肪族炭化水素基の少なくとも１個の−ＣＨ２−が酸素原子又は硫黄原子に置換されていてもよい。Ｑ3は、水素原子を、Ｑ4は、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基により置換されていても良いフェニル基、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表すか、又はＱ3とＱ4が結合して２価の脂肪族炭化水素基を表し、隣接する−ＣＨＣＯ−と共に環を形成する。Ｑ５ＳＯ３−は、有機スルホナートイオンを表す。）
で示されるスルホニウム塩と、
下式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩及び下式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩
2004139063.tif 000022
（式中、Ｐ1〜Ｐ5は、互いに独立に、水素原子、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ６ＳＯ３−、Ｐ７ＳＯ３−は、互いに同一でも異なってもよい有機スルホナートイオンを表す。）
から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを含む酸発生剤、並びに、それ自体はアルカリ水溶液に不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる樹脂を含有するポジ型レジスト組成物において、該樹脂中のハロゲン原子含量が４０重量％以上であり、該樹脂を構成する少なくとも１つの重合単位がエーテル結合を有してもよい脂環式炭化水素骨格を有し、該脂環式炭化水素骨格を有する重合単位が酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる基を少なくとも１つ有し、該脂環式炭化水素骨格の水素原子が少なくとも１つのハロゲン原子で置換されてなることを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。
【請求項２】
　式（Ｉ）におけるＱ1とＱ2が結合して２価の脂肪族炭化水素基を表し、隣接するＳ＋と共に環を形成し、該脂肪族炭化水素基の少なくとも１個の−ＣＨ２−が酸素原子又は硫黄原子に置換されていてもよい請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
　式（Ｉ）におけるＱ5、式（IIa）におけるＰ6及び式（IIb）におけるＰ7が、互いに独立に、炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基又はカンファー基を表す請求項１又は２に記載の組成物。
【請求項４】
　式（IIa）のトリフェニルスルホニウム塩及び式（IIb）のジフェニルヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩と、式（Ｉ）のスルホニウム塩とが９：１〜１：９の重量割合で存在する請求項１〜３のいずれかに記載の組成物。
【請求項５】
　エーテル結合を有してもよい脂環式炭化水素骨格を有する重合単位の含有率が、１５〜５０モル％である請求項１〜４のいずれかに記載の組成物。
【請求項６】
　脂環式炭化水素骨格が下式（１）で示される骨格である請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型レジスト組成物。
2004139063.tif 000023
（式中、Ｒ２とＲ３とは結合して隣接するＣとともに脂環式炭化水素環を形成していることを表す。Ｒ２、Ｒ３及びＣで形成する該脂環式炭化水素環は、酸の作用で樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を含む基の少なくとも１個と結合し、かつ少なくとも１個のハロゲン原子と結合してなる。Ｒ１は、水素原子、ハロゲン原子又は脂肪族炭化水素基を表す。）
【請求項７】
　式（１）で示される脂環式炭化水素骨格が式（２）
2004139063.tif 000024
（式中、Ｘはハロゲン原子を表し、Ｒ８は水素または酸の存在下で解離する酸不安定基を表す。ｎは０〜１の整数を示す。）
で示される脂環式炭化水素骨格である請求項６に記載のポジ型レジスト組成物。
【請求項８】
　式（２）で示される脂環式炭化水素骨格が、式（３）
2004139063.tif 000025
（式中、Ｃは脂環式炭化水素骨格を形成する炭素原子である。Ｒ7は、少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている炭素数１〜６のアルキル基もしくは少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている脂環式炭化水素基を示す。Ｒ8は前記と同じ意味を表す）
で示される部分構造を含む脂環式炭化水素骨格である請求項７に記載のポジ型レジスト組成物
【請求項９】
　式（２）で示される脂環式炭化水素骨格が式（４）
2004139063.tif 000026
（式中、Ｘ、Ｒ８及びｎは前記と同じ意味を表す。）
で示される脂環式炭化水素骨格である請求項８に記載のポジ型レジスト組成物。
【請求項１０】
　Ｒ8が式（５）
2004139063.tif 000027
（式中、Ｒ9及びＲ10は、それぞれ独立に、炭素数１〜１４のアルキル基又は水素原子を表す。該アルキル基は、ハロゲン原子、水酸基及び脂環式炭化水素基からなる群から選ばれた少なくとも１種の基を有しても良い。
　Ｒ11は、炭素数１〜１４のアルキル基、脂環式炭化水素基、ラクトン環又は芳香族炭化水素基を表す。該アルキル基は、ハロゲン原子、水酸基、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基からなる群から選ばれる少なくとも１種の置換基を有しても良く、該脂環式炭化水素基、ラクトン環及び芳香族炭化水素基は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の置換基を有しても良い。）
で示される基である請求項９に記載のポジ型レジスト組成物。
【請求項１１】
　さらに、含窒素塩基性有機化合物をクエンチャーとして含有する請求項１〜１０のいずれかに記載の組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は、半導体の微細加工に用いられる化学増幅型のポジ型レジスト組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　半導体の微細加工には通常、レジスト組成物を用いたリソグラフィプロセスが採用されており、リソグラフィにおいては、レイリー（Ｒａｙｌｅｉｇｈ）の回折限界の式で表されるように、原理的には露光波長が短いほど解像度を上げることが可能である。半導体の製造に用いられるリソグラフィ用露光光源は、波長４３６ｎｍのｇ線、波長３６５ｎｍのｉ線、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザーと年々短波長になってきており、さらに次世代の露光光源として波長１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザーが有望視されている。ＫｒＦエキシマレーザー露光やＡｒＦエキシマレーザー露光用には、露光により発生する酸の触媒作用を利用したいわゆる化学増幅型レジストが、感度に優れることから多く用いられている。そしてＦ２エキシマレーザー露光用にも、感度の点で化学増幅型レジストが使われる可能性が高い。
　特開２００２−１１６５４６号明細書に示されるようなスルホニウム塩を用いることでＡｒＦエキシマレーザー露光用にラインエッジラフネスを改良したものがある（特許文献１参照）。
　しかしながら、従来のＫｒＦエキシマレーザー露光やＡｒＦエキシマレーザー露光用のレジストに用いられている樹脂は、１７０ｎｍ以下の波長の光、例えば、波長１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザーに対して、充分な透過率を示さなかった。透過率が低いと、プロファイル、コントラスト、感度などの諸性能に悪影響を及ぼす。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１１６５４６号公報（第１〜４頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
　本発明の目的は、１７０ｎｍ以下の波長の光に対する透過率に優れ、特にＦ２エキシマレーザーリソグラフィに適したレジスト組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
　本発明者らは、レジスト組成物を構成する樹脂として、特定の構造の樹脂を用いることにより、１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザーにおける、感度・解像度など性能のバランスの良いレジストを作成できることを見出し、本発明を完成した。
【０００６】
　すなわち本発明は、
　下式（Ｉ）
2004139063.tif 000002
（式中、Ｑ1、Ｑ2は、互いに独立に、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表すか、又はＱ1とＱ2が結合して２価の脂肪族炭化水素基を表し、隣接するＳ＋と共に環を形成する。該脂肪族炭化水素基の少なくとも１個の−ＣＨ２−が酸素原子又は硫黄原子に置換されていてもよい。Ｑ3は、水素原子を、Ｑ4は、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基により置換されていても良いフェニル基、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表すか、又はＱ3とＱ4が結合して２価の脂肪族炭化水素基を表し、隣接する−ＣＨＣＯ−と共に環を形成する。Ｑ５ＳＯ３−は、有機スルホナートイオンを表す。）
で示されるスルホニウム塩と、
下式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩及び下式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩
2004139063.tif 000003
（式中、Ｐ1〜Ｐ5は、互いに独立に、水素原子、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｐ６ＳＯ３−、Ｐ７ＳＯ３−は、互いに同一でも異なってもよい有機スルホナートイオンを表す。）
から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを含む酸発生剤、並びに、それ自体はアルカリ水溶液に不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる樹脂を含有するポジ型レジスト組成物において、該樹脂中のハロゲン原子含量が４０重量％以上であり、該樹脂を構成する少なくとも１つの重合単位がエーテル結合を有してもよい脂環式炭化水素骨格を有し、該脂環式炭化水素骨格を有する重合単位が酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる基を少なくとも１つ有し、該脂環式炭化水素骨格の水素原子が少なくとも１つのハロゲン原子で置換されてなる化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供するものである。
【発明の効果】
【０００７】
　本発明の化学増幅型ポジ型レジスト組成物は、１５７ｎｍの波長に高い透過率を示すとともに性能のバランスに優れる。したがって、この組成物は、Ｆ２レーザー用レジストとして優れた性能を発揮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
　化学増幅型のレジスト組成物に用いられる酸発生剤は、その物質自体に、あるいはその物質を含むレジスト組成物に、光や電子線などの放射線を作用させることにより、その物質が分解して酸を発生するものである。本発明の組成物では、このような酸発生剤として、前記式（Ｉ）で示されるスルホニウム塩と、前記式（IIa）で示されるトリフェニルスルホニウム塩及び前記式（IIb）で示されるジフェニルヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩とを併用する。
【０００９】
　式（Ｉ）において、Ｑ1、Ｑ2は、互いに独立に炭素数１〜６のアルキル基、又は炭素数３〜１０のシクロアルキル基であることができ、炭素数３以上の場合は、直鎖でも分岐していてもよい。具体的なアルキル基、シクロアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
　また、Ｑ1とＱ2が結合して脂環基を表す。該脂環基は、さらに酸素原子、硫黄原子を含んでいてもよい。該脂環基としては、例えば、エチレンスルフィド、トリメチレンスルフィド、テトラヒドロチオフェン、テトラヒドロチオピラン、チオキサン、ジチアン、テトラヒドロチオフェン−３−オン、テトラヒドロチオピラン−４−オンなどが挙げられる。これらのうちＱ1とＱ2が結合してさらに酸素原子、硫黄原子を含む脂環基を形成する方が熱安定性の点で好ましい。
　また、Ｑ3は、水素原子を、Ｑ4は炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基により置換されていても良いフェニル基、炭素数１〜６の直鎖もしくは分岐のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基を表すか、又はＱ3とＱ4が結合して脂環基を表すことができる。Ｑ4における具体的なアルキル基、シクロアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基などが挙げられる。
　Ｑ3とＱ4が結合して脂環基を表すことができる場合、該脂環基としては、例えば２−オキソシクロヘキシル基、２−オキソシクロペンチル基、カンファー基などが挙げられる。
【００１０】
　また、式（Ｉ）において、Ｑ５ＳＯ３−は、有機スルホナートイオンを表す。ここで、Ｑ５は、炭素数１〜１２程度の有機基であれば良く、例えば炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基、カンファー基であることができる。パーフルオロアルキル基に該当する具体例としては、トリフルオロメチル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロオクチル基などが挙げられ、炭素数１〜８のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基などが挙げられ、芳香族基としては、フェニル基、トリル基、キシリル基、メジチル基、ナフチル基などが挙げられる。
【００１１】
　式（Ｉ）で示されるスルホニウム塩の具体的な例としては、次のような化合物を挙げることができる。
【００１２】
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１３】
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１４】
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１５】
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１６】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１７】
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２-フェニル-２-オキソエチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート
【００１８】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
【００１９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
【００２０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
【００２１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
【００２２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　トリフルオロメタンスルホナート、
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２５】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２６】
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２７】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２８】
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２-フェニル-２-オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００２９】
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
【００３０】
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
【００３１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
【００３２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
【００３３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロブタンスルホナート、
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３６】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３７】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３８】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００３９】
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２-フェニル-２-オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００４０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００４１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００４２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００４３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００４４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　パーフルオロオクタンスルホナート、
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
【００４５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
【００４６】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　ブタンスルホナート、
【００４７】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
【００４８】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
【００４９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
【００５０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　ブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
【００５１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
【００５２】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
【００５３】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　ブタンスルホナート、
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　ブタンスルホナート、
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５４】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５５】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５６】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５７】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５８】
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００５９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
【００６０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
【００６１】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　ｐ−トルエンスルホナート、
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
【００６２】
ジメチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジメチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジメチルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジメチルスルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジエチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
【００６３】
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　ジエチルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジエチルスルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（３,３−ジメチル２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　スルホニウム　カンファースルホナート、
ジブチル（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　スルホニウム　カンファースルホナート、
【００６４】
ジイソプロピル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ジイソプロピル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル２−オキソブチル　ジイソプロピル　スルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　ジイソプロピルスルホニウム　カンファースルホナート、
【００６５】
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　カンファースルホナート、
ｔｅｒｔ−ブチル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソプロピル）スルホニウム　カンファースルホナート、
【００６６】
シクロヘキシル　メチル（２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソペンチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘキシル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソヘプチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（２−オキソオクチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　メチル（３−メチル−２−オキソブチル）スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　（３,３−ジメチル２−オキソブチル）　メチル　スルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロヘキシル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　カンファースルホナート、
シクロヘキシル　（２−シクロペンチル−２−オキソエチル）　メチルスルホニウム　カンファースルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
【００６７】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロペンタニウム　カンファースルホナート、
２−オキソプロピル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソペンチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソヘキシル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソヘプチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソオクチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
【００６８】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　チアシクロヘキサニウム　カンファースルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
【００６９】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−チオキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソプロピル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソペンチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘキシル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘプチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソオクチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
【００７０】
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（４−オキソチアシクロヘキサニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソプロピル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソペンチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘキシル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソヘプチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−オキソオクチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
３−メチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
３,３−ジメチル−２−オキソブチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−シクロヘキシル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート、
２−シクロペンチル−２−オキソエチル　（１，４−ジチアニウム）　カンファースルホナート
２−オキソシクロヘキシル  チアシクロペンタニウム　カンファースルホナートなど。
【００７１】
　本発明におけるレジスト組成物では、酸発生剤として、前記の式（Ｉ）のスルホニウム塩とともに、式（IIa）及び（IIb）から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩が併用される。該オニウム塩系酸発生剤を併用することにより、式（Ｉ）のスルホニウム塩系酸発生剤を単独で用いた場合に比べ、感度および解像度をより上げることができる。
【００７２】
　次に、本発明におけるトリフェニルスルホニウム塩及びジフェニルヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩を表す式（IIa）及び（IIb）において、Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3、Ｐ4及びＰ5は、互いに独立に水素原子、水酸基、炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、アルキル基及びアルコキシ基は、炭素数３以上の場合は直鎖でも分岐していてもよい。
　具体的なアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基などが挙げられ、アルコキシ基の例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基などが挙げられる。
　また、式（IIa）及び（IIb）において、陰イオンを構成するＰ６ＳＯ３−、Ｐ７ＳＯ３−は、互いに同一でも異なってもよい有機スルホナートイオンを表す。ここで、Ｐ6、Ｐ7は、炭素数１〜１２程度の有機基であれば良く、例えば炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基、カンファー基であることができる。炭素数１〜８のパーフルオロアルキル基、炭素数１〜８のアルキル基、炭素数６〜１２の芳香族基等の具体例としては、前記したものと同様のものが挙げられる。
【００７３】
　式（IIa）、（IIb）に相当するトリフェニルスルホニウム塩、ジフェニルヨードニウム塩の具体例としては、次のような化合物を挙げることができる。
【００７４】
　トリフェニルスルホニウム　メタンスルホナート、
　トリフェニルスルホニウム　エタンスルホナート、
　トリフェニルスルホニウム　ブタンスルホナート、
　トリフェニルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　トリフェニルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
　トリフェニルスルホニウム　カンファースルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　メタンスルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　エタンスルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　ブタンスルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　ベンゼンスルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　カンファースルホナート、
　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　４−ヒドロキシフェニルジフェニルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　トリス（４−メチルフェニル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　トリス（４−メトキシフェニル）スルホニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　４−ヒドロキシフェニルジフェニルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　４−メトキシフェニルジフェニルスルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　トリス（４−メチルフェニル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　トリス（４−メトキシフェニル）スルホニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
【００７５】
　ジフェニルヨードニウム　パーフルオロブタンスルホナート、
　ジ（４−メトキシフェニル）ヨードニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　パーフルオロオクタンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　メタンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　エタンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　ブタンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　ベンゼンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　ｐ−トルエンスルホナート、
　ジ（４−tert−ブチルフェニル）ヨードニウム　カンファースルホナート、
など。
【００７６】
　次に、本発明のレジスト組成物を構成する樹脂成分について説明する。
　本発明における樹脂は、該樹脂中のハロゲン原子含量が４０重量％以上であり、該樹脂を構成する少なくとも１つの重合単位がエーテル結合を有してもよい脂環式炭化水素骨格を有し、該脂環式炭化水素骨格を有する重合単位が酸の作用でアルカリ水溶液に可溶となる基を少なくとも１つ有し、該脂環式炭化水素骨格の水素原子が少なくとも１つのハロゲン原子で置換されてなることを特徴とする。
　本発明において骨格とは、分子の基本的な骨組みを意味し、特に明示された部分を除き、構造式から水素原子、可能な置換基等を取り除いた後の骨組みを表すものである。従って特に水素原子または置換基が特定されている場合には、その水素原子、置換基等で特定された以外の部分については骨組みを示すものである。脂環式炭化水素骨格としては、シクロアルカン骨格等が含まれる。また、本発明において用いる脂環式炭化水素環は、脂環式炭化水素骨格と同義である。
　また、本願明細書において記載する式中、結合手の一端が他の原子または基等と結合していることが明示されていない場合においては、該結合手が記載した式の末端部であることを表し、該結合手は他の骨格、基、構造単位と結合していることを意味する。
【００７７】
　該脂環式炭化水素骨格として、下式（１）で示される骨格が挙げられる。
2004139063.tif 000004
（式中、Ｒ２とＲ３とは結合して隣接するＣとともに脂環式炭化水素環を形成していることを表す。Ｒ２、Ｒ３及びＣで形成する該脂環式炭化水素環は、酸の作用で樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を含む基の少なくとも１個と結合し、かつ少なくとも１個のハロゲン原子と結合してなる。Ｒ１は、水素原子、ハロゲン原子又は脂肪族炭化水素基を表す。）
　Ｒ２、Ｒ３及びＣで形成する脂環式炭化水素環としてはシクロペンタン環、シクロヘキサン環等を挙げることができる。ハロゲン原子としてはフッ素原子が好ましい。酸の作用で樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を含む基としては後述する−ＯＲ８基、ハロゲン原子で置換されていても良いアルコキシアルキル基、ハロゲン原子で置換されていても良いアルコキシアルコキシアルキル基等を挙げることができる。
　式（１）で示される脂環式炭化水素骨格の具体例としては、式（２）
2004139063.tif 000005
（式中、Ｘはハロゲン原子を表し、Ｒ８は酸の存在下で解離する酸不安定基を表す。ｎは０または１を表す。）
で示される脂環式炭化水素骨格、式（６）
2004139063.tif 000006
（式中、Ｘ及びＲ８は前記と同じ意味を表す。）
で示される脂環式炭化水素骨格等を挙げることができる。
【００７８】
　さらに、該脂環式炭化水素骨格として、下式（３）で示されるで示される部分構造を含む骨格が挙げられる。
2004139063.tif 000007
（式中、Ｃは脂環式炭化水素骨格を形成する炭素原子である。Ｒ7は、少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている炭素数１〜６のアルキル基もしくは少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている脂環式炭化水素基を示す。Ｒ8は前記と同じ意味を表す）
　少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている炭素数１〜６のアルキル基として、例えば、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、２,２,２−トリフルオロエチル基、パーフルオロエチル基、−Ｃ（ＣＦ３）3基などを挙げることができる。該アルキル基は、直鎖状又は分岐状のいずれでもよい。
　また、少なくとも１つのハロゲン原子で置換されている脂環式炭化水素基として、パーフルオロシクロペンチル基、パーフルオロシクロヘキシル基などを挙げることができる。
　該脂環式炭化水素骨格として、式（３）で示される部分構造を含む骨格の具体例としては、例えば式（４）
2004139063.tif 000008
（式中、Ｘ、Ｒ８及びｎは前記と同じ意味を表す。）
で示される脂環式炭化水素骨格を挙げることができる。
【００７９】
　Ｒ8としては、式（５）
2004139063.tif 000009
（式中、Ｒ9及びＲ10は、それぞれ独立に、炭素数１〜１４のアルキル基又は水素原子を表す。該アルキル基は、ハロゲン原子及び脂環式炭化水素基からなる群から選ばれる少なくとも１種の基を有しても良い。
　Ｒ11は、炭素数１〜１４のアルキル基、脂環式炭化水素基、ラクトン環又は芳香族炭化水素基を表す。該アルキル基は、ハロゲン原子、脂環式炭化水素基及び芳香族炭化水素基からなる群から選ばれる少なくとも１種の置換基を有しても良い。Ｒ11における脂環式炭化水素基、ラクトン環及び芳香族炭化水素基は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、及びアルキル基からなる群から選ばれる少なくとも１種の置換基を有しても良い。）
で示される基を挙げることができる。
【００８０】
　該酸の存在下で解離する酸不安定基として、具体的には、１−エトキシエチル基、１−（２−メチルプロポキシ）エチル基、１−（２−メトキシエトキシ）エチル基、１−（２−アセトキシエトキシ）エチル基、１−〔２−（１−アダマンチルオキシ）エトキシ〕エチル基、１−〔２−（１−アダマンタンカルボニルオキシ）エトキシ〕エチル基、アダマンチルオキシメチル基、ビシクロヘキシルオキシメチル基、アダマンチルメトキシメチル基、メトシキメチル基、エトキシメチル基、ピバロイルオキシメチル基、メトキシエトキシメチル基、ベンジルオキシメチル基、ジ（トリフルオロメチル）メトシキメチル基などのアセタール型の基が挙げられる。
【００８１】
　特に、容易に購入し、合成できることから、メトシキメチル基、エトキシメチル基などのアセタール型の基を用いることが好ましい。
　該酸の存在下で解離する酸不安定基が、水素原子に置換され、アルカリ可溶性基になる。
　該酸の存在下で解離する酸不安定基（Ｒ８）は、公知の保護基導入反応を施すことによって、又はこのような基を有する不飽和化合物を一つのモノマーとする重合を行うことによって、樹脂中に容易に導入することができる。
【００８２】
　上式（３）においては、Ｒ7がトリフルオロメチル基であることが、１５７ｎｍに代表される真空紫外光の透過率が高くなるため好ましい。
【００８３】
　式（１）で示される脂環式炭化水素骨格からなる基としては、例えば、ハロゲン原子、または酸の作用で樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を含む基と結合する以外は骨格を形成する炭素原子が水素原子と結合した脂環式炭化水素基を挙げることができ、また炭素原子と結合する水素原子の少なくとも１個が（ハロ）アルキル基で置換された脂環式炭化水素基を挙げることができる。
【００８４】
　式（Ｉ）で示される脂環式炭化水素骨格を有する構造単位としては、例えば、以下の式（９）、式（１０）、式（１１）等で表されるものなどが挙げられる。
2004139063.tif 000010
【００８５】
2004139063.tif 000011
【００８６】
2004139063.tif 000012
【００８７】
　本発明で用いる樹脂は、公知の重合反応により重合することにより得ることができる。すなわち、溶媒の存在下もしくは非存在下で、上記構造単位を誘導し得る単量体と開始剤を混合し、適温で攪拌することにより重合することができる。系によっては触媒を混合しても良い。得られた重合体は、適当な溶媒中に沈殿させることにより精製することができる。
【００８８】
　また、本レジスト組成物における樹脂は、脂環式炭化水素骨格を有し、酸の作用で該樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を少なくとも１つ有し、かつ少なくとも１個のハロゲン原子を有してなる構造単位のみから実質的になる樹脂であってもよいが、通常は該構造単位と、酸の作用で該樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を有していない、つまり酸の作用が無くとも該樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を有する以外は該構造単位と同じ構造単位（具体的には例えば前記式（９）、（１０）および（１１）において−ＯＲ８基がＯＨ基に置き換わった構造単位）との共重合体が用いられる。
　具体的には、
2004139063.tif 000013
【００８９】
2004139063.tif 000014
【００９０】
2004139063.tif 000015
【００９１】
　本発明で用いる樹脂は、樹脂中にハロゲン原子を４０重量％以上含有する。また、パターニング露光用の放射線の種類や酸の作用により解裂する基の種類などによっても変動するが、一般には、脂環式炭化水素骨格を有し、酸の作用で該樹脂をアルカリ水溶液に可溶とせしめる基を少なくとも１つ有し、かつ少なくとも１個のハロゲン原子を有してなる構造単位を１５〜５０モル％含有することが好ましい。
【００９２】
　また、本発明のポジ型レジスト組成物には、含窒素塩基性有機化合物をクエンチャーとして添加してもよい。該含窒素塩基性有機化合物をクエンチャーとして添加することにより、露光後の引き置きに伴う酸の失活による性能劣化を改良できるので、該化合物を配合することが好ましい。
　該含窒素塩基性有機化合物の具体例としては、以下の各式で表されるアミン類などが挙げられる。
【００９３】
2004139063.tif 000016
【００９４】
2004139063.tif 000017
　　　（ＸＩＩ）
【００９５】
　式中、Ｔ１、Ｔ２及びＴ７は、それぞれ独立に、水素、アルキル、シクロアルキル又はアリールを表す。該アルキル、シクロアルキル又はアリールは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましく、該アリールは、炭素数６〜１０程度が好ましい。
　Ｔ３、Ｔ４及びＴ５は、それぞれ独立に、水素、アルキル、シクロアルキル、アリール又はアルコキシを表す。該アルキル、シクロアルキル、アリール、又はアルコキシは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、又は炭素数１〜６のアルコキシ基、で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましく、該アリールは、炭素数６〜１０程度が好ましく、該アルコキシは、炭素数１〜６程度が好ましい。
　Ｔ６は、アルキル又はシクロアルキルを表す。該アルキル又はシクロアルキルは、それぞれ独立に、水酸基、アミノ基、炭素数１〜６のアルコキシ基、で置換されていてもよい。該アミノ基は、炭素数１〜４のアルキル基で置換されていてもよい。また、該アルキルは、炭素数１〜６程度が好ましく、該シクロアルキルは、炭素数５〜１０程度が好ましい。
　Ａは、アルキレン、カルボニル、イミノ、スルフィド又はジスルフィドを表す。該アルキレンは、炭素数２〜６程度であることが好ましい。
　また、Ｔ１〜Ｔ７において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。
【００９６】
　このような化合物として、具体的には、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、アニリン、２−，３−又は４−メチルアニリン、４−ニトロアニリン、１−又は２−ナフチルアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、４，４′−ジアミノ−１，２−ジフェニルエタン、４，４′−ジアミノ−３，３′−ジメチルジフェニルメタン、４，４′−ジアミノ−３，３′−ジエチルジフェニルメタン、ジブチルアミン、ジペンチルアミン、ジヘキシルアミン、ジヘプチルアミン、ジオクチルアミン、ジノニルアミン、ジデシルアミン、Ｎ−メチルアニリン、ピペリジン、ジフェニルアミン、トリエチルアミン、トリメチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン、トリヘキシルアミン、トリヘプチルアミン、トリオクチルアミン、トリノニルアミン、トリデシルアミン、メチルジブチルアミン、メチルジペンチルアミン、メチルジヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシルアミン、メチルジヘプチルアミン、メチルジオクチルアミン、メチルジノニルアミン、メチルジデシルアミン、エチルジブチルアミン、エチルジペンチルアミン、エチルジヘキシルアミン、エチルジヘプチルアミン、エチルジオクチルアミン、エチルジノニルアミン、エチルジデシルアミン、ジシクロヘキシルメチルアミン、トリス〔２−（２−メトキシエトキシ）エチル〕アミン、トリイソプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、２，６−イソプロピルアニリン、イミダゾール、ピリジン、４−メチルピリジン、４−メチルイミダゾール、ビピリジン、２，２′−ジピリジルアミン、ジ−２−ピリジルケトン、１，２−ジ（２−ピリジル）エタン、１，２−ジ（４−ピリジル）エタン、１，３−ジ（４−ピリジル）プロパン、１，２−ビス（２−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、１，２−ビス（４−ピリジルオキシ）エタン、４，４′−ジピリジルスルフィド、４，４′−ジピリジルジスルフィド、１，２−ビス（４−ピリジル）エチレン、２，２′−ジピコリルアミン、３，３′−ジピコリルアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトライソプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−ヘキシルアンモニウムヒドロキシド、テトラ−ｎ−オクチルアンモニウムヒドロキシド、フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、３−（トリフルオロメチル）フェニルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、及びコリンなどを挙げることができる。
【００９７】
　さらには、特開平１１−５２５７５号公報に開示されているような、ピペリジン骨格を有するヒンダードアミン化合物をクエンチャーとすることもできる。
【００９８】
　特に式（ＸＩＩ）で表される構造の化合物をクエンチャーとして用いると、解像度向上の点で好ましい。
　具体的には、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラブチルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラヘキシルアンモニウムハイドロオキサイド、テトラオクチルアンモニウムハイドロオキサイド、フェニルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイド、３−トリフルオロメチル−フェニルトリメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどが挙げられる。
【００９９】
　本発明のレジスト組成物は、その全固形分量を基準に、樹脂を８０〜９９.９重量％程度、そして酸発生剤を０.１〜２０重量％程度の範囲で含有することが好ましい。本発明において、式（Ｉ）のスルホニウム塩と，式（IIa）のトリフェニルスルホニウム塩及び式（IIｂ）のヨードニウム塩から選ばれる少なくとも１種のオニウム塩を酸発生剤として併用する場合、両者は通常、９：１〜１：９程度、さらには８：２〜２：８程度の重量割合で用いるのが好ましい。また、クエンチャーとしての塩基性化合物を用いる場合は、レジスト組成物の全固形分量を基準に、０.０１〜１重量％程度の範囲で含有するのが好ましい。この組成物はまた、必要に応じて、増感剤、溶解抑止剤、他の樹脂、界面活性剤、安定剤、染料など、各種の添加物を少量含有することもできる。
【０１００】
　本発明のレジスト組成物は通常、上記の各成分が溶剤に溶解された状態でレジスト液とされ、シリコンウェハーなどの基体上に、スピンコーティングなどの常法に従って塗布される。ここで用いる溶剤は、各成分を溶解し、適当な乾燥速度を有し、溶剤が蒸発した後に均一で平滑な塗膜を与えるものであればよく、この分野で一般に用いられている溶剤が使用しうる。
　例えば、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート及びプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートのようなグリコールエーテルエステル類、乳酸エチル、酢酸ブチル、酢酸アミル及びピルビン酸エチルのようなエステル類、アセトン、メチルイソブチルケトン、２−ヘプタノン及びシクロヘキサノンのようなケトン類、γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などを挙げることができる。これらの溶剤は、それぞれ単独で、又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【０１０１】
　基体上に塗布され、乾燥されたレジスト膜には、パターニングのための露光処理が施され、次いで脱保護基反応を促進するための加熱処理を行った後、アルカリ現像液で現像される。ここで用いるアルカリ現像液は、この分野で用いられる各種のアルカリ性水溶液であることができるが、一般には、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドや（２−ヒドロキシエチル）トリメチルアンモニウムヒドロキシド（通称コリン）の水溶液が用いられることが多い。
　上記において、本発明の実施の形態について説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味及び範囲内でのすべての変更を含むものである。
【実施例】
【０１０２】
　次に実施例を挙げて、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら限定されるものではない。例中にある部は、特記しないかぎり重量基準である。また、重量平均分子量及び分散度は、ポリスチレンを標準品として、ゲルパーミェーションクロマトグラフィーにより求めた値である。
【０１０３】
酸発生剤合成例１：酸発生剤B1の合成
（１）四つ口フラスコにテトラヒドロチオフェン ７０．１７部、アセトン７５０部を仕込み、ここに１−ブロモピナコロン１５０部を滴下し、室温で２４時間攪拌した。析出した結晶を濾取し、tert−ブチルメチルエーテル１００部で洗浄し、乾燥することにより、３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ブロミド１６１．３部を得た。
（２）四つ口フラスコに（１）で得られた３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　ブロミド８０部とアセトニトリル３２００部を仕込み、ここにトリフルオロメタンスルホン酸カリウム５６．３３部を滴下し、室温で１８時間攪拌した。析出した臭化カリウムを濾別し、濾液を濃縮した。ここに、アセトンを加え、室温で１６時間攪拌し、不溶物を濾別した。この濾液をさらに濃縮し、アセトンを加えた後tert−ブチルメチルエーテルへチャージすることにより、目的物９４．７３部を得た。この化合物が次式で示される３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナートであることを、 1Ｈ−ＮＭＲ（日本電子製“GX-270”）で確認した。
【０１０４】
2004139063.tif 000018
【０１０５】
1Ｈ−ＮＭＲ(クロロホルム−d、内部標準物質テトラメチルシラン)：δ（ppm）
　1.24 (s, 9H); 2.26−2.33 (m, 2H);2.42−2.52 (m, 2H); 3.45−3.55 (m, 2H　); 3.61−3.71 (m, 2H); 4.96 (s, 2H).
【０１０６】
樹脂Ａ：以下の樹脂（ａ１）と樹脂（ａ２）との１：１混合品
　樹脂（ａ１）は、次の構造を有し、重量平均分子量が１２０００であり、フッ素含量が４９．３％である。
2004139063.tif 000019
　　　（ａ１）
　メトキシメチル化率は、核磁気共鳴（１Ｈ−ＮＭＲ）分光計により求めた。
　樹脂（ａ２）は、次の構造を有し、重量平均分子量が１２９００であり、フッ素含量が４８．７％である。
2004139063.tif 000020
　　　（ａ２）
　メトキシメチル化率は、核磁気共鳴（１Ｈ−ＮＭＲ）分光計により求めた。
【０１０７】
実施例１及び比較例１
　表１に示す樹脂、酸発生剤を、以下に示す各成分と混合し、さらに孔径０．２μｍのフッ素樹脂製フィルターで濾過してレジスト液を調製した。
樹脂：１０部
酸発生剤：種類と量は、表１のとおり。
　Ｂ：　３,３−ジメチル−２−オキソブチル　チアシクロペンタニウム　トリフルオロメタンスルホナート　
　Ｃ：　４−メチルフェニルジフェニルスルホニウム　トリフルオロメタンスルホネート
クエンチャー：トリ-ｎ-オクチルアミン　　　　　　　　　　０.０４部 
溶剤：プロピレングリコールモノメチルエ−テルアセテート　　９５部
　　　γ−ブチロラクトン　　　　　　　　　　　　　　　　　５部
【０１０８】
　Brewer社製の“DUV-30J”を塗布し、２１５℃、６０秒の条件でベークして厚さ１,６００Åの有機反射防止膜を形成させたシリコンウェハーに、上記のレジスト液を乾燥後の膜厚が０.１９μmとなるようにスピンコートした。レジスト液塗布後は、ダイレクトホットプレート上にて表１に示す温度で６０秒間プリベークした。こうしてレジスト膜を形成したウェハーに、 ＡｒＦエキシマステッパー〔(株)ニコン製の“NSR ArF”、NA=0.55、2/3Annular〕を用い、露光量を段階的に変化させてラインアンドスペースパターンを露光した。露光後は、ホットプレート上にて表１に示す温度で６０秒間ポストエキスポジャーベークを行い、さらに２.３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間のパドル現像を行った。現像後のパターンを走査型電子顕微鏡で観察し、実効感度及び解像度を調べた。
【０１０９】
　実効感度：　０.１５μmのラインアンドスペースパターンが１：１となる最少露光量で表示した。
【０１１０】
　解像度：　実効感度の露光量で分離するラインアンドスペースパターンの最小寸法で表示した。
【０１１１】
　一方、フッ化マグネシウムウェハーに、先に調製したレジスト液及び樹脂のみをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶媒に溶解した液を乾燥後の膜厚が０．１μｍとなるよう塗布し、各々のプリベークの条件で、ダイレクトホットプレート上にてプリベークして、レジスト膜を形成させた。こうして形成されたレジスト膜の波長１５７ｎｍにおける透過率を、真空紫外分光器（日本分光製　ＶＵＶ−２００）用いて測定し、表２に示す結果を得た。
【０１１２】
〔表１〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例 No.　　樹脂　　　　酸発生剤　　　プリベーク(℃)　　PEB(℃)
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例１　 Ａ　Ｃ(0.5部)+Ｂ(0.25部)   　110　　　　　　100
────────────────────────────────
比較例１　 Ａ　　　Ｃ(0.5部)  　　　　　110　　　　　　110
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【０１１３】
〔表２〕
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
例 No.　　 　実効感度　　　　解像度　　　　　透過率
　　　　　(Dark/Bright) 　(Dark/Bright)　　@１５７ｎｍ     
　　　　　　　mJ/cm2       　　μm　　　　　　（％）　
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
実施例１　   10 / 7　　　　 0.14/0.13　  　　 82.2　　　　
──────────────────────────────
比較例１　   12 / 7.5　　   0.14/0.14  　　　 85.1　　　　
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
　表２に示されるように、実施例のレジスト組成物は、比較例にくらべて透過率の低下も少なく、良好な感度、解像度であった。
【産業上の利用可能性】
【０１１４】
　本発明のレジスト組成物は、特にＦ２エキシマレーザーリソグラフィに好適に用いられる。