【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年8月4日(2014.8.4)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に入射し、イオンエネルギーを保有するイオン種の角度分布をモニターする飛行時間（ＴＯＦ）型イオンセンサーシステムであって、
前記イオン種から一パルスのイオンを受け取る第１端と、前記一パルスのイオンのうち重いイオンおよび軽いイオンがそれぞれパケットとして到達する第２端とを有するドリフト管と、
前記ドリフト管の前記第２端に配置され、前記一パルスのイオンから引き出され、かつ異なるイオン質量にそれぞれ対応するイオンの前記パケットを検出するイオン検出器と
を備え、
前記ＴＯＦ型イオンセンサーシステムは、前記ドリフト管の角度を前記基板の平面に対して変化させる
ＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項２】
複数回のＴＯＦ測定において、対応する複数の前記ドリフト管の角度で、イオンを検出する請求項１に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項３】
前記ドリフト管の角度を前記基板の平面に対して変化させる位置決め装置をさらに備える請求項１または２に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項４】
前記異なるイオン質量は、前記パケットの異なる到達時間にそれぞれ対応する請求項１から３のいずれか１項に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項５】
前記ＴＯＦ型イオンセンサーシステムの筺体内に配置された一セットの電極をさらに備え、
前記一セットの電極は、
閉モードにおいて、逆電位を使用して、前記ドリフト管に入るイオンを阻止し、開モードにおいて、前記ドリフト管に向けてイオンを通過させるゲート電極と、
前記筺体に入るイオンに、前記イオンが前記ドリフト管に入る前に、減速電位を供給する減速電極と
を含み、
前記イオン検出器では、異なる質量を持つイオンを分解可能である
請求項１から４のいずれか１項に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項６】
前記イオン種のエネルギーが閾値より高い場合、減速モードで動作する請求項５に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項７】
所定のエネルギーを保有するイオンを第１検出器に向けて偏向させるエネルギー分析器をさらに備える請求項１から６のいずれか１項に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項８】
前記ドリフト管の前記第２端を出射し、前記エネルギー分析器によって軌跡を変更されていない粒子を検出するインライン検出器をさらに備える請求項７に記載のＴＯＦ型イオンセンサーシステム。
【請求項９】
基板平面に入射する、プラズマから受け取ったイオン種を測定する方法であって、
前記プラズマと、ドリフト管および検出器を有する飛行時間（ＴＯＦ）型センサーとの間に第１電位を印加する段階と、
指定されたイオンエネルギーで、前記イオン種を前記ＴＯＦ型センサーに引き付ける段階と、
第１角度走査を実行する段階と
を備え、
前記第１角度走査を実行する段階は、
前記基板平面に対して第１の角度で前記ＴＯＦ型センサーを一つの基板領域に位置付ける段階と、
前記第１の角度で、前記イオン種のイオン質量を検出する段階と、
前記ＴＯＦ型センサーを前記基板平面に対して一つ以上のさらなる角度で位置付ける段階と、
前記一つ以上のさらなる角度のそれぞれで、前記イオン種のイオン質量を検出する段階と
を有する
方法。
【請求項１０】
容量性プローブとして動作する前記ＴＯＦ型センサーの電極にＲＦバイアス電圧を供給する段階と、
堆積厚さをモニターする段階と、
前記ＴＯＦ型センサーの動作パラメータを、前記堆積厚さにしたがって調整する段階と
をさらに備える請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ドリフト管と前記検出器との間にエネルギー分析器を設ける段階と、
所望のエネルギーにしたがって、前記ドリフト管から受け取ったイオンを前記検出器に送るよう前記エネルギー分析器を設定する段階と、
をさらに備える請求項９または１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記イオン種は、正イオンであり、
前記第１の角度または前記一つ以上のさらなる角度のそれぞれで前記イオン質量を検出する段階は、
前記ＴＯＦ型センサーの第１電極に、プラズマ電圧に対して負の電圧パルスを供給する段階と、
イオン種が前記ドリフト管を通過する飛行時間を前記検出器で記録する段階と
をさらに含む
請求項９から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記指定されたイオンエネルギーよりも低いイオンを、前記イオンが前記ドリフト管に入る前に減速させる減速電位を第２電極に供給する段階をさらに備える請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１電極は、閉モードにおいて、前記ＴＯＦ型センサーに入るイオンを阻止し、前記第１電極に対する前記電圧パルスの持続期間に対応する開モードにおいて、前記ドリフト管に向けてイオンを送るゲート電極を含む請求項１２または１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１電位は、一連のＤＣパルスとして印加され、
前記開モードは、前記電圧パルスの間、一回以上トリガされる
請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
プラズマチャンバにおいてプラズマ電位でプラズマを生成するプラズマ源と、
基板領域の基板平面に基板を位置付け、基板電位を受け取る基板ホルダーと、
前記基板ホルダーの近くに配置された飛行時間（ＴＯＦ）型イオンセンサーシステムと
を備え、
前記プラズマチャンバは、前記プラズマの電位と前記基板の電位との差によって決まるエネルギーで、ある範囲の角度で入射するイオンを含むイオンビームを前記基板領域に供給し、
前記ＴＯＦ型イオンセンサーシステムは、
前記基板領域でイオンを受け取る第１端を有し、前記基板の電位を受け取るＴＯＦ型センサーと、
前記基板平面に対する前記ＴＯＦ型センサーの角度を変化させる位置決め装置と
を有し、
複数の角度を含む前記範囲の角度で分散したイオンが、連続した複数のＴＯＦ測定において、対応する複数の前記ＴＯＦ型センサーの角度で、前記ＴＯＦ型イオンセンサーシステムに受け取られる
イオン打ち込みシステム。
【請求項１７】
前記プラズマチャンバは、前記範囲の角度で前記基板平面にイオンを供給する開口を含むプラズマシース変更器を有する請求項１６に記載のイオン打ち込みシステム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
イオンを受け取るセンサー２２２の端を、製造モードで使用されるワークピース２３０の平面を表すワークピース２３０の平面またはその近傍で、基板領域２１４内に配置してよい。このようにセンサー２２２を配置することで、製造モードでワークピースが被るイオンプロファイルの正確な測定が促進される。モニターモードでは、基板ホルダー２３０およびＴＯＦセンサーシステム２２０の両方を、プラズマ２０６から抽出されたイオンを受け取る位置に配置してよい。たとえば、基板ホルダー２３０の中間領域に、開口２１２と位置を揃えて開口を形成し、ＴＯＦシステム２２０にイオンが供給されるようにしてよい。しかし、ＴＯＦセンサー２２２を基板ホルダー２３０とプレート２１０との間に配置する等の、その他のモニターモード構成も可能である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
いくつかの実施形態では、イオンセンサー１００を包囲する圧力は、プラズマチャンバの圧力、典型的には、１〜３０００ｍＴｏｒｒと同等であってよく、他方で、ドリフト管は、典型的には、２×１０−６Ｔｏｒｒ以下で動作される。したがって、圧力差を吸収するべく差動排気を行ってよい。しかし、その他の実施形態では、イオンセンサー１００を包囲する圧力は、約１０−６Ｔｏｒｒ以下であってよく、差動排気は必要でなくなる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
図２ｂを再び参照すると、システム２００の所定の動作条件セット下でワークピースが受けるイオンの分布を正確に測定するための情報を取得するべく、センサーシステム２２０を、基板２３０の平面に対して様々な角度（たとえば、θ１およびθ２を参照）に回転させて、各角度で１回以上のＴＯＦ測定を実行してよい。さらに、ｘ方向に沿ったＴＯＦセンサーの位置を変化させ、位置の関数としてＴＯＦ測定を実行してよい。たとえば、図１をさらに参照すると、システム２００は、ワークピースにイオンを供給するのに使用される抽出プレート１１と同様の抽出プレートを備えてよい。センサー１００として実施してよいセンサー２２０を、図２ａおよび図２ｂに示すように、プレート１１の開口の中心に位置合わせするべく、ホルダー２２４を指標化してよい。一例では、開口は、ｘ方向に沿った幅Ｇが、開口の下の基板平面に対するイオンの幅および角度広がりを決定するのに役立つスリットである。したがって、センサー１００の抽出側が開口の中心２３２付近にある間に、多様な配置角度θにおいて、ＴＯＦ測定を連続的に実行してよい。一例では、ＴＯＦセンサーの電極システムは、約１度程度のイオン受け入れ角度を提供してよい。したがって、各測定または一セットの測定ごとに少なくとも１度、センサー１００を回転させると利便性がよい。所望の角度範囲における離散的な角度でＴＯＦ測定を連続的に実行した後、寸法が小さい開口に対してホルダー２２４を走査してよく、つまり、ホルダー２２４を＋ｘ方向または−ｘ方向に移動させてよく、その後、ある角度範囲で次のセットの測定を連続的に実行してよい。