【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年6月1日(2012.6.1)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサボディと、センサボディに取付けられた偏向可能な部品と、を有し、
偏向可能な部品は、検出されるべきパラメータに応答する、センサにおいて、
センサボディと偏向可能な部品は、酸窒化アルミニウムスピネルおよびアルミン酸マグネシウムスピネルの少なくとも１つからなるニアネットシェイプ焼結セラミックで形成される、
ことを特徴とするセンサ。
【請求項２】
検出されるべきパラメータは圧力であり、
センサボディおよび偏向可能な部品は、少なくとも１つの圧力検出チャンバを構成する、
請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】
センサは、容量型差圧センサからなり、
偏向可能な部品は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間に位置決めされた中央ダイヤフラムを含み、
中央ダイヤフラムは、第１および第２のチャンバの中の流体圧力の関数として偏向可能である、
請求項２に記載のセンサ。
【請求項４】
センサボディは、チャンバを有する第１の部分と、チャンバを有する第２の部分と、を含み、
第１の部分は、第２の部分へ延びてこれに取付けられ、
偏向可能な部品が、第１の部分のチャンバと第２の部分のチャンバとの間に取付けられる、
請求項１に記載のセンサ。
【請求項５】
焼結セラミックは、約３５０ＧＰａ（５０．８×１０6ｐｓｉ）未満の弾性係数および約１．５ＭＰａ・ｍ-1/2より大きい破壊靱性を有するセラミック材料からなる、請求項１に記載のセンサ。
【請求項６】
金属温度センサは、センサボディの表面に固定される、請求項１に記載のセンサ。
【請求項７】
センサボディは、差圧センサの第１の部分と、第１の部分と分離され、金属チューブによって連結された、差圧センサの第２の部分と、を含む、請求項１に記載のセンサ。
【請求項８】
第１のチャンバと、第１のチャンバに隣接して位置決めされた第１のダイヤフラムと、を含む圧力センサであって、
第１のダイヤフラムおよび第１のチャンバが、酸窒化アルミニウムスピネルおよびアルミン酸マグネシウムスピネルの少なくとも１つからなるニアネットシェイプ焼結セラミックで形成された、
ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項９】
圧力センサであって、
センサボディと、センサボディによって支持され、流体圧力の関数として偏向可能なダイヤフラムと、を含み、
センサボディおよびダイヤフラムは、酸窒化アルミニウムスピネルおよびアルミン酸マグネシウムスピネルの少なくとも１つからなるニアネットシェイプ焼結セラミックで形成され、
ダイヤフラムの偏向に基づいて検出圧力の出力表示を生じさせるための手段と、を含む、
ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項１０】
圧力センサを形成する方法であって、
酸窒化アルミニウムスピネルおよびアルミン酸マグネシウムスピネルの少なくとも１つからなる焼結セラミックでセンサボディおよびダイヤフラムをニアネットシェイプ成形するステップと、
センサボディおよびダイヤフラムを最終寸法に機械加工するステップと、
センサボディおよびダイヤフラムを組み立ててセンサを形成するステップと、を含む、
ことを特徴とする方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】ニアネットシェイプ焼結セラミックを用いた圧力センサ
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
本発明は、圧力センサに関する。詳細には、本発明は、費用のかかる機械加工作業を最小限にするために、セルボディと、ニアネットシェイプ焼成された焼結セラミックで作られたダイヤフラム部品と、を有する容量型圧力センサに関する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００５】
圧力センサは、セルボディおよびダイヤフラムのためにニアネットシェイプ焼結セラミックを用いる。本用途に望ましい材料は、高破壊靱性を有する低ヤング率を示す焼結セラミックである。圧力チューブおよび電気コネクタのような金属部品を、焼結セラミック部品を焼成する前あるいは後に、焼結セラミック部品中に組み込むことができる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００６】
図１は、セル半部１２および１４と、ダイヤフラム１６と、によって形成された差圧圧力センサ１０の断面図である。セル半部１２および１４と、ダイヤフラム１６と、は、ニアネットシェイプ焼結セラミックで形成される。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１１】
セル半部１２および１４と、ダイヤフラム１６と、を形成する材料としての焼結セラミックの使用は、顕著な利点を提供する。第１に、ニアネットシェイプ成形製造工程を用いて、部品を製造することができる。セラミック部品を、未焼成の状態で、プレス、鋳造、あるいはモールド粉末から所望形状に形成する。次いで、それを、焼成する（炉の中で加熱する）ことによって、あるいはマイクロ波エネルギーを用いることによって緻密化する。出来た焼結セラミック部品は、本質的に最終製品の仕上形状および寸法を有する。製造は、ニアネットシェイプ成形工程を用いてなされるので、所望の物理的寸法を得るために、表面仕上げ（すなわち研削）のみが要求される。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
好ましい焼結セラミックの一例は、サーメット社（バーリントン、マサチューセッツ州）によって製造された、アルミニウム酸窒化物の透明な形態である、ＡＬＯＮ（登録商標）と呼ばれる酸窒化アルミニウムスピネルである。ＡＬＯＮ（登録商標）は、新しい透明な外装の形態として開発されてきた。それは、例えば、米国特許第４，５２０，１１６号に記載されている。圧力センサ用途に適した他のセラミックは、他の酸窒化アルミニウムスピネル、アルミン酸マグネシウムスピネル、酸化アルミニウム、および、イットリウム安定化、部分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）を含む。焼結セラミック圧力センサダイヤフラムの好ましい機械的特性は、約１．５ＭＰａ・ｍ-1/2を超える破壊靱性および約３５０ＧＰａ（５０．８×１０6ｐｓｉ）以下の弾性係数である。これらおよび他の酸化セラミックは、適当なバインダーを含有する粉末を、モールド内でプレスあるいは鋳造することによって、あるいは、ラピッドプロトタイピング／固形物フリー形成製造工程を用いることによって、ニアネットシェイプ成形される。形成に続いて、部品を焼成して、一般に受け入れられているセラミック処理方法を用いて最終密度のニアネットシェイプに到達させる。また、等方加工プレスを、未焼成の形状を緻密化するために用いてもよい。部品を、別々に焼成し、金属化接合を一緒に蝋付けすることによって組み立ててもよいし、あるいはそれらを未焼成の状態で金属化し、全てのリード線および容量性電極を焼成の前に付着させて、単一の作業で焼成してもよい。ある場合には、部品を、マイクロ波エネルギーを用いて加工してもよい。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
ニアネットシェイプ焼成セラミック圧力センサは、また、製造工程の一部として温度センサの製造を可能にする。金属温度センサ材料を、図１のセル半部１２あるいは１４、あるいは図２のセル半部５２および５４の内面あるいは外面上に金属化するのがよい。温度センサを金属化ステップで形成することによって、高価な別々の部品を除去することができる。