(57)【要約】【課題】製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工装置を提供する。【解決手段】円筒部材Ｗが回転するように駆動するための駆動手段と、研削粒子６２を投射するための投射手段６０，６１と、投射手段６０，６１から投射される研削粒子６２が通過する複数の開口部が形成されたパターン部を有するマスキング部材３０と、パターン部を円筒部材Ｗの外周面に接触させ、円筒部材Ｗの回転に対応して、パターン部の接触面を移動させるための移動手段とを有する。パターン部の開口部を通過した研削粒子６２は、円筒部材Ｗの外周面に、パターン部の開口部に対応する凹部を形成する。【選択図】            図２
2004216512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒部材が回転するように駆動するための駆動手段と、
研削粒子を投射するための投射手段と、
前記投射手段から投射される研削粒子が通過する複数の開口部が形成されたパターン部を有するマスキング部材と、
前記パターン部を前記円筒部材の外周面に接触させ、前記円筒部材の回転に対応して、前記パターン部の接触面を移動させるための移動手段とを有し、
前記パターン部の開口部を通過した研削粒子によって、前記円筒部材の外周面に、前記パターン部の開口部に対応する凹部が形成される
ことを特徴とする円筒部材の加工装置。
【請求項２】
前記移動手段は、前記パターン部の接触面が、前記円筒部材の回転によって従動するように、前記マスキング部材を保持するための保持手段を有することを特徴とする請求項１に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項３】
前記円筒部材の回転送りと前記パターン部の接触面の移動とを同期させるための同期手段を、有することを特徴とする請求項１に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項４】
前記パターン部は、前記パターン部の接触面の移動する方向に沿って配置される、前記開口部のパターンが異なる複数の領域を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項５】
前記マスキング部材は、前記パターン部の接触面の移動方向に関する前記パターン部の両側に、前記開口部が形成されていない隣接部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項６】
前記マスキング部材は、研削粒子が投射される側の面に配置される弾性材料からなる被覆層を有し、前記被覆層は、前記隣接部に配置されることを特徴とする請求項５に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項７】
前記マスキング部材は、外周面に前記パターン部が配置された円筒状であり、前記円筒部材の回転軸に平行な軸の周りを回転することによって、前記パターン部の接触面が移動することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項８】
前記パターン部は、円弧状断面を有する曲面体状であり、前記円筒部材の回転軸に平行な軸の周りを回転することによって、前記パターン部の接触面が移動することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項９】
前記マスキング部材は、外周面に前記パターン部が配置された円錐台状であり、前記円筒部材の回転軸に対して傾斜した軸の周りを回転することによって、前記パターン部の接触面が移動することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の円筒部材の加工装置。
【請求項１０】
投射された研削粒子が通過する複数の開口部が形成されたパターン部を有するマスキング部材の前記パターン部を、円筒部材の外周面に接触させ、
前記円筒部材を回転するように駆動し、
前記円筒部材の回転に対応して、前記パターン部の接触面を移動させ、
前記パターン部の開口部を通過した研削粒子によって、前記円筒部材の外周面に、前記パターン部の開口部に対応する凹部を形成する
ことを特徴とする円筒部材の加工方法。
【請求項１１】
前記パターン部の接触面が、前記円筒部材の回転によって従動することを特徴とする請求項１０に記載の円筒部材の加工方法。
【請求項１２】
前記円筒部材の回転送りと前記パターン部の接触面の移動とを同期させることを特徴とする請求項１０に記載の円筒部材の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒部材の加工装置および加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
円筒部材の外周面に凹部を形成するための従来の加工方法においては、円筒部材の表面に、切り抜き部を形成せるカッティングシート（マスキング部材）を貼着した状態でショットブラスト処理を施して、切り抜き部に対応する凹部を形成し、その後、カッティングシートを剥離している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−５８７６５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記公報に記載された円筒部材の加工方法は、接着剤を使用してカッティングシートを円筒部材の外周面に貼着するための工程、研削粒子をカッティングシート（切り抜き部）に投射して凹部を形成するための工程、カッティングシートおよび接着剤を剥離するための工程を有する。
【０００５】
したがって、作業工数が多く、製造効率に問題を有している。なお、カッティングシートおよび接着剤を剥離するために有機溶剤を使用する場合、有機溶剤を後処理するための工程がさらに必要となり、作業工数を増加させる。
【０００６】
また、カッティングシートの貼着作業は、熟練を要する作業であり、接着剤の厚みを均一にすることが難しい。そのため、研削粒子の投射によって形成される凹部の深さが、場所によって一定せず、安定した品質の部品を提供することが困難である問題を有している。
【０００７】
本発明は、上記従来技術に伴う課題を解決するためになされたものであり、製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工装置および加工方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための請求項１に記載の発明は、
円筒部材が回転するように駆動するための駆動手段と、
研削粒子を投射するための投射手段と、
前記投射手段から投射される研削粒子が通過する複数の開口部が形成されたパターン部を有するマスキング部材と、
前記パターン部を前記円筒部材の外周面に接触させ、前記円筒部材の回転に対応して、前記パターン部の接触面を移動させるための移動手段とを有し、
前記パターン部の開口部を通過した研削粒子によって、前記円筒部材の外周面に、前記パターン部の開口部に対応する凹部が形成される
ことを特徴とする円筒部材の加工装置である。
【０００９】
上記目的を達成するための請求項１０に記載の発明は、
投射された研削粒子が通過する複数の開口部が形成されたパターン部を有するマスキング部材の前記パターン部を、円筒部材の外周面に接触させ、
前記円筒部材を回転するように駆動し、
前記円筒部材の回転に対応して、前記パターン部の接触面を移動させ、
前記パターン部の開口部を通過した研削粒子によって、前記円筒部材の外周面に、前記パターン部の開口部に対応する凹部を形成する
ことを特徴とする円筒部材の加工方法である。
【００１０】
【発明の効果】
上記のように構成した本発明は以下の効果を奏する。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、マスキング部材は、円筒部材の外周面に物理的に接触するのみであり、接着されない。したがって、マスキング部材の接触および解除は、簡単かつ迅速に実行することができるため、製造効率を向上させることが可能となる。なお、マスキング部材の接触解除のために有機溶剤を使用しないため、有機溶剤の後処理は不要であり、作業工数を増加させない。
【００１２】
また、接着剤を使用しないため、熟練を要し煩雑であるマスキング部材の貼着作業が不要である。したがって、研削粒子の投射によって形成される凹部の品質を一定とすることが可能である。つまり、製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工装置を提供することができる。
【００１３】
請求項１０に記載の発明によれば、マスキング部材は、円筒部材の外周面に物理的に接触するのみであり、接着されない。したがって、マスキング部材の接触および解除は、簡単かつ迅速に実行されるため、製造効率が向上する。なお、マスキング部材の接触解除のためには、有機溶剤を使用しないため、有機溶剤を後処理するための工程は不要であり、作業工数を増加させない。
【００１４】
また、接着剤を使用しないため、熟練を要し煩雑であるマスキング部材を貼着するための工程が不要である。したがって、研削粒子の投射によって形成される凹部の品質が一定となる。つまり、製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工方法を提供することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態１に係る円筒部材の加工装置の側面図、図２は、図１の加工装置の正面図、図３は、図１の加工装置におけるマスキング部材の斜視図、図４は、円筒部材とマスキング部材との接触面を説明するための断面図である。
【００１７】
加工装置１０は、円筒部材Ｗが回転するように駆動するための駆動手段２０と、研削粒子６２を投射するためのショットブラスト装置（投射手段）６０と、複数の開口部３２が形成されたパターン部３１を有するマスキング部材３０と、円筒部材Ｗの外周面に対するパターン部３１の接触面を移動させるための移動手段と、コントローラ７０とを有する。円筒部材Ｗは、例えば、軸受や自動車部品などの摺動体である。
【００１８】
移動手段は、マスキング部材３０が回転するように駆動するための駆動手段５０を有し、パターン部３１を円筒部材Ｗの外周面に接触させ、円筒部材Ｗの回転に対応して、マスキング部材３０を回転させることによって、パターン部３１の接触面を移動させる。したがって、開口部３２を通過した研削粒子６２によって、円筒部材Ｗの外周面に、開口部３２に対応する凹部２２が形成される（図４参照）。
【００１９】
詳述すると、駆動手段２０は、円筒部材Ｗの回転軸を着脱自在に把持するチャック２１と、チャック２１に連結され、円筒部材Ｗを回転するように駆動するモータとを有している。円筒部材Ｗは、図１中矢印で示される方向に回転する。円筒部材Ｗの回転速度は、モータの回転速度を調整することにより、可変自在である。
【００２０】
ショットブラスト装置６０は、圧縮空気源と、圧縮空気と共に研削粒子６２を投射するためのノズル６１とを有する。ノズル６１は、円筒部材Ｗの上方にあり、パターン部３１の接触面から所定距離離間した位置に、配置される。研削粒子６２は、炭化珪素やアルミナ等からなる硬質粒子である。研削粒子６２の種類や投射条件（噴射圧力および噴射流量など）は、適宜選択できる。
【００２１】
マスキング部材３０は、外周面にパターン部３１が配置された円筒状であり、回転自在に保持されている。マスキング部材３０は、円筒部材Ｗの回転軸に平行な軸の周りを、図１中矢印で示されるように、駆動手段５０によって回転するように駆動されることによって、パターン部３１の接触面が移動する。なお、マスキング部材３０は、円筒部材Ｗの回転に対応して、接触面が移動し得るパターン部３１を有すれば、特に円筒状の形状に限定されない。
【００２２】
パターン部３１は、マスキング部材３０の全周に渡って形成されており、その長さは、円筒部材Ｗの全周長に等しい。この場合、マスキング部材３０と円筒部材Ｗの回転速度を同一にすることで、円筒部材Ｗの外周面の全体に凹部２２を形成することができる。つまり、パターン部３１の接触面の移動と円筒部材Ｗの回転の同期を取ることが容易である。
【００２３】
なお、パターン部３１の長さは、円筒部材Ｗの全周長に等しいことに限定されない。例えば、パターン部３１の長さを円筒部材Ｗの全周長の２分の１にする場合、パターン部３１の接触面の移動速度を、円筒部材Ｗの周速度の２分の１にすることで、円筒部材Ｗの外周面の全体に凹部２２を形成することができる。
【００２４】
パターン部３１の開口部３２は、所定のパターンを形成している。開口部３２の形状は、例えば、直径５０〜１００μｍの円形である。開口部３２の面積率は、例えば、５〜４０％である。マスキング部材３０の材料は、特に限定されないが、繰り返し使用可能な樹脂や金属などの材料から形成することが好ましい。
【００２５】
なお、マスキング部材３０が円筒状であるため、ショットブラスト装置６０のノズル６１は、マスキング部材３０の側方に配置され、研削粒子６２は、パターン部３１の接触面に対し、傾斜して投射される（図２参照）。
【００２６】
移動手段が有する駆動手段５０は、マスキング部材３０に連結され、マスキング部材３０を図１中矢印で示される方向に回転するように駆動するためのモータを有している。マスキング部材３０の回転速度は、モータの回転速度を調整することにより、可変自在である。
【００２７】
なお、移動手段は、円筒部材Ｗの回転に対応して、マスキング部材３０のパターン部３１の接触面を移動させることが可能であれば、駆動手段５０を有することに限定されず、例えば、マスキング部材３０のパターン部３１の形状に応じて、適宜構成することが可能である。
【００２８】
コントローラ７０は、駆動手段２０，５０の作動を制御すると共に、円筒部材Ｗの回転送りとマスキング部材３０の回転送り（パターン部３１の接触面の移動）とを同期させるための同期手段として機能する。同期手段を有することは、円筒部材Ｗの外周面に対する開口部３２の位置精度が向上し、断面鋭角的なエッジ部を備える凹部２２を形成することができる点で好ましい。
【００２９】
以上のように実施の形態１に係る円筒部材の加工装置においては、マスキング部材は、円筒部材の外周面に物理的に接触するのみであり、接着されない。したがって、マスキング部材の接触および解除は、簡単かつ迅速に実行することができるため、製造効率を向上させることが可能となる。なお、マスキング部材の接触解除のためには、有機溶剤を使用しないため、有機溶剤の後処理は不要であり、作業工数を増加させない。
【００３０】
また、接着剤を使用しないため、熟練を要し煩雑であるマスキング部材の貼着作業が不要である。したがって、研削粒子の投射によって形成される凹部の品質を一定とすることが可能である。つまり、製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工装置を提供することができる。
【００３１】
なお、円筒部材Ｗを、軸受や自動車部品などの摺動体に適用する場合、凹部がオイル溜まりとして機能する。したがって、摩擦し合う摺動面同士の接触部に、潤滑油が十分に行き届くため、摺動体の潤滑性能を向上させることができる。
【００３２】
次に、実施の形態１に係る円筒部材Ｗの加工方法を説明する。
【００３３】
まず、円筒部材Ｗの回転軸をチャック２１によって把持する。その後、マスキング部材３０を円筒部材Ｗに向かって移動させ、マスキング部材３０のパターン部３１を、円筒部材Ｗの外周面（円筒部材Ｗの頂上の部分）に、接触させ、駆動手段２０，５０によって、円筒部材Ｗおよびマスキング部材３０を、図１中矢印で示される方向に回転するように駆動する。
【００３４】
また、コントローラ７０によって、円筒部材Ｗの回転送りとマスキング部材３０の回転送り（パターン部３１の接触面の移動）とを同期させる。この同期した状態の下で、研削粒子６２を、マスキング部材３０のパターン部３１に向けて投射する。
【００３５】
なお、ショットブラスト装置６０のノズル６１は、円筒部材Ｗの上方かつマスキング部材３０の側方に位置し、例えば、パターン部３１の接触面から約１００ｍｍ離間した位置に、配置される。そして、研削粒子６２は、パターン部３１の接触面に対し、傾斜して投射される。例えば、研削粒子６２は、粒度＃８００のアルミナ砥粒、噴射圧力は、０．４ＭＰａ、噴射流量は、１００ｇ／ｍｉｎである。
【００３６】
その結果、パターン部３１の開口部３２を通過した研削粒子６２によって、円筒部材Ｗの外周面に、開口部３２に対応する凹部２２が形成される。研削粒子６２の投射（ショットブラスト処理）は、円筒部材Ｗが１回転する間、継続される。つまり、円筒部材Ｗが１回転した瞬間に、研削粒子６２の投射が停止される。マスキング部材３０のパターン部３１の長さは、円筒部材Ｗの全周長に等しいため、円筒部材の外周面の全体に、凹部２２が形成される。
【００３７】
その後、コントローラ７０によって、駆動手段２０，５０の作動を停止し、マスキング部材３０を、円筒部材Ｗから離間する方向に移動（上昇）させる。マスキング部材３０と円筒部材Ｗの外周面との接触状態が解除された後、円筒部材Ｗの回転軸を把持しているチャック２１を開放することよって、加工済みの円筒部材Ｗが取り出される。
【００３８】
以上のように実施の形態１に係る加工方法においては、マスキング部材は、円筒部材の外周面に物理的に接触するのみであり、接着されない。したがって、マスキング部材の接触および解除は、簡単かつ迅速に実行されるため、製造効率が向上する。なお、マスキング部材の接触解除のためには、有機溶剤を使用しないため、有機溶剤を後処理するための工程は不要であり、作業工数を増加させない。
【００３９】
また、接着剤を使用しないため、熟練を要し煩雑であるマスキング部材を貼着するための工程が不要である。したがって、研削粒子の投射によって形成される凹部の品質が一定となる。つまり、製造効率が良好で、加工品質のばらつきを抑制し得る円筒部材の加工方法を提供することができる。
【００４０】
特に、円筒部材の回転送りとパターン部の接触面の移動とを同期させているため、円筒部材の外周面に対する開口部の位置精度が向上し、断面鋭角的なエッジ部を備える凹部が形成される。
【００４１】
図５は、本発明の実施の形態２に係る円筒部材の加工装置の側面図である。実施の形態２は、移動手段が駆動手段を有しない点で、実施の形態１と概して異なる。なお、実施の形態１と共通する部材には同一の符号を付しており、重複する説明は、省略する。
【００４２】
加工装置１１の移動手段は、マスキング部材３０のパターン部の接触面が、円筒部材Ｗの回転によって従動するように、マスキング部材３０を保持するための保持手段５１を有する。つまり、マスキング部材３０は、円筒部材Ｗとの接触による摩擦力によって連れ回りする。この場合、マスキング部材３０を回転するように駆動するための駆動手段が不要となるため、移動手段の構成を簡略化することができる。
【００４３】
また、コントローラ７１は、円筒部材Ｗを回転させるための駆動手段２０の作動を制御するが、円筒部材Ｗの回転送りとマスキング部材３０の回転送り（パターン部の接触面の移動）とを同期させる機能は有しない。これは、上記のように、パターン部の接触面が、円筒部材Ｗの回転によって従動することによって、円筒部材Ｗの回転送りとパターン部の接触面の移動とが同期するためである。
【００４４】
図６は、本発明の実施の形態３に係る円筒部材の加工装置の側面図、図７は、図６の加工装置の正面図である。実施の形態３は、マスキング部材の形状が概して異なる。なお、実施の形態１と共通する部材には同一の符号を付しており、重複する説明は、省略する。
【００４５】
加工装置１２のマスキング部材４０は、少なくとも半周部分が欠落した円筒状である。マスキング部材４０の外周面に配置されるパターン部３１は、円弧状断面を有する曲面体状であり、円筒部材Ｗの回転軸に平行な軸の周りを回転することによって、パターン部３１の接触面が移動する。
【００４６】
そのため、ショットブラスト装置６０のノズル６１を、マスキング部材４０の側方位置ではなく、マスキング部材４０の欠落した部位によって形成される空間を利用して、パターン部３１の接触面に対して垂直な位置に配置することが可能である。
【００４７】
したがって、研削粒子６２は、傾斜して投射されないため、加工部位によって凹部２２の深さが異なることはなく、ばらつきをさらに抑制することができる。また、ノズル６１の配置に関する取り回しの自由度が増え、装置設計に対する自由度が増すことになる。
【００４８】
図８は、本発明の実施の形態４に係る円筒部材の加工装置の側面図である。実施の形態４は、マスキング部材の形状が概して異なる。なお、実施の形態１と共通する部材には同一の符号を付しており、重複する説明は、省略する。
【００４９】
加工装置１３のマスキング部材４１は、外周面にパターン部が配置された円錐台状であり、円筒部材Ｗの回転軸に対して傾斜した軸の周りを回転することによって、パターン部の接触面が移動する。したがって、マスキング部材４１は、その中心線を含む断面の形状が台形となる。
【００５０】
そのため、ショットブラスト装置６０のノズル６１を、マスキング部材４１の側方位置ではなく、マスキング部材４１が傾斜することで形成される空間を利用して、パターン部の接触面に対して垂直な位置に配置することが可能である。
【００５１】
研削粒子６２は、実施の形態３と同様に、パターン部の接触面に対して垂直に投射されるため、加工部位によって凹部２２の深さが異なることはなく、ばらつきを抑制することができる。また、ノズル６１の配置に関する取り回しの自由度が増え、装置設計に対する自由度が増すことになる。
【００５２】
図９は、本発明の実施の形態５に係る円筒部材の加工装置におけるマスキング部材の斜視図である。実施の形態５は、マスキング部材の形状が概して異なる。なお、実施の形態１と共通する部材には同一の符号を付しており、重複する説明は、省略する。
【００５３】
マスキング部材４２は、外周の一部にパターン部３１が形成されており、パターン部３１の長さは、円筒部材Ｗの全周長に等しい。パターン部３１の接触面の移動方向に関するパターン部３１の両側に、開口部が形成されていない隣接部を有する。
【００５４】
また、マスキング部材４２は、研削粒子が投射される側の面に配置される弾性材料からなる被覆層３３を有する。被覆層３３は、パターン部３１が形成されていない部位つまり隣接部に、配置される。弾性材料は、例えば、ゴムシートである。
【００５５】
この場合、ショットブラスト処理の加工開始位置より手前側および加工終了位置より先側の領域は、隣接部であり、開口部３２が形成されていない。したがって、円筒部材Ｗの外周面における加工開始位置と加工終了位置との継ぎ目に位置する部位の加工が容易であり、非加工部あるいは二重加工部が形成されることが確実に抑制される。
【００５６】
つまり、一定の品質の凹部を確実に得ることができる。なお、マスキング部材４２の構成は、実施の形態１〜４に係るマスキング部材に組み合わせることも可能である。また、必要に応じ、被覆層３３を省略することも可能である。
【００５７】
図１０は、本発明の実施の形態６に係る円筒部材の加工装置におけるマスキング部材の斜視図である。実施の形態６は、マスキング部材の形状が概して異なる。なお、実施の形態１と共通する部材には同一の符号を付しており、重複する説明は、省略する。
【００５８】
マスキング部材４３のパターン部３１は、開口部３２のパターンが異なる第１領域３１Ａおよび第２領域３１Ｂを有する。第１領域３１Ａおよび第２領域３１Ｂは、パターン部３１の接触面の移動する方向に沿って配置される。
【００５９】
ショットブラスト処理においては、マスキング部材４３は、円筒部材Ｗの回転速度と同期させ、第１速度で回転する。第１速度は、第１領域３１Ａの長さと円筒部材Ｗの全周長に基づいており、第１領域３１Ａの範囲で、円筒部材Ｗの全周に渡って接触できるように設定される。したがって、円筒部材Ｗの外周面に、第１領域３１Ａの開口部３２のパターンに対応した凹部が形成される。
【００６０】
マスキング部材４３の回転が継続され、パターン部３１の接触面が第１領域３１Ａを越えると、マスキング部材４３の回転速度が、第２速度に変更される。第２速度は、第２領域３１Ｂの長さと円筒部材Ｗの全周長に基づいており、第２領域３１Ｂの範囲で、円筒部材Ｗの全周に渡って接触できるように設定される。したがって、第１領域３１Ａの開口部３２のパターンに対応した凹部が形成された円筒部材Ｗの外周面に、第２領域３１Ｂの開口部３２のパターンに対応した凹部が、さらに形成される
この結果、第１領域３１Ａおよび第２領域３１Ｂにおける開口部３２のパターンが、凹部の深さを変更するように設定されている場合、円筒部材Ｗの外周面の部位によって深さの異なる凹部の分布パターンが形成される。なお、開口部３２のパターンが異なる領域の数は、特に限定されず、円筒部材Ｗの必要に応じ、適宜設定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る円筒部材の加工装置の側面図である。
【図２】図１の加工装置の正面図である。
【図３】図１の加工装置におけるマスキング部材の斜視図である。
【図４】円筒部材とマスキング部材との接触面を説明するための断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る円筒部材の加工装置の側面図である。
【図６】本発明の実施の形態３に係る円筒部材の加工装置の側面図である。
【図７】図６の加工装置の正面図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る円筒部材の加工装置の正面図である。
【図９】本発明の実施の形態５に係る円筒部材の加工装置におけるマスキング部材の斜視図である。
【図１０】本発明の実施の形態６に係る円筒部材の加工装置におけるマスキング部材の斜視図である。
【符号の説明】
１０，１１，１２，１３…円筒部材の加工装置、
２０…駆動手段、
２１…チャック、
２２…凹部、
３０，４０，４１，４２，４３…マスキング部材、
３１…パターン部、
３１Ａ…第１領域、
３１Ｂ…第１領域、
３２…開口部、
３３…被覆層、
５０…駆動手段、
５１…保持手段、
６０…ショットブラスト装置、
６１…ノズル、
６２…研削粒子、
７０，７１…コントローラ、
Ｗ…円筒部材。
【図１】
2004216512.tif 000003
【図２】
2004216512.tif 000004
【図３】
2004216512.tif 000005
【図４】
2004216512.tif 000006
【図５】
2004216512.tif 000007
【図６】
2004216512.tif 000008
【図７】
2004216512.tif 000009
【図８】
2004216512.tif 000010
【図９】
2004216512.tif 000011
【図１０】
2004216512.tif 000012