(57)【要約】　　　（修正有）【課題】基板のサイズ変更に柔軟に対応して製造ラインの稼働時間の低下を防止することができる、バッファ装置を提供する。【解決手段】バッファ装置１０は、複数枚のガラス基板８２を収納することが可能なカセット８１と、上流側の処理ラインのコンベア１５ａから搬送されてきたガラス基板８２をカセット８１内の各段へ１枚ずつ収納するとともに、カセット８１内の各段に収納されたガラス基板８２を下流側の処理ラインのコンベア１５ｂへ１枚ずつ排出する基板出し入れ機構１６とを備えている。カセット８１は、上板８３と、上板８３に立設された左右の側面フレーム８４，８５と、これら左右の側面フレーム８４，８５間に張架された複数のワイヤ８６とを有している。複数のワイヤ８６は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ８６により、ガラス基板８２を水平状態で支持するようになっている。【選択図】　図２
2004075203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、
複数枚の基板を収納することが可能なカセットであって、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有するカセットと、
前記製造ライン上の基板を前記カセット内の各段へ１枚ずつ収納するとともに、前記カセット内の各段に収納された基板を前記製造ライン上へ１枚ずつ排出する基板出し入れ機構とを備えたことを特徴とするバッファ装置。
【請求項２】
前記基板出し入れ機構は、前記カセット内に収納された基板の表面に接触する複数のローラを有する基板搬送機構と、前記カセットと前記基板搬送機構との相対的な位置関係を変化させるよう前記カセットおよび前記基板搬送機構の少なくとも一方を昇降させる昇降装置とを有することを特徴とする、請求項１に記載のバッファ装置。
【請求項３】
前記製造ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを有することを特徴とする、請求項１に記載のバッファ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラーフィルター等の板状製品を製造するための製造ラインに係り、とりわけ、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラーフィルターの製造工程には、（１）クロム成膜、（２）ブラックマトリックスの形成、（３）所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色および青色）の着色層の形成、（４）保護層の形成、（５）ＩＴＯ層の形成、（６）柱状体の形成等の処理工程が含まれている。そして、このような製造工程を実現するための製造ラインとしては従来、上述した各処理工程を実現する複数の処理ラインを直列的に連結した製造ラインが一般的に用いられている。なお、カラーフィルターの製造方法として最も一般的な製造方法はフォトリソグラフィ法を利用したものであり、この場合には、上述した（２）〜（４）や（６）の処理工程が、フォトリソグラフィプロセスを含む処理工程として実現される。
【０００３】
また、
ところで、上述したようなフォトリソグラフィプロセスを含む処理工程では一般に、フォトマスクへの異物の付着等により製品に欠陥が発生しやすく、このような欠陥の発生に伴って特定の処理工程を一時的に停止しなければならない場合が多い。
【０００４】
このため、従来においては、製造ライン中にバッファ装置を組み込み、特定の処理工程が停止している際にその処理工程の前段で処理前の基板を滞留させるようにしている。なお、従来のバッファ装置においては、基板を滞留させるための機構として、左右の側面フレームから水平方向に突出した支持ピンにより基板を水平状態に支持する、いわゆるピン式のカセットが用いられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したピン式のカセットでは、支持ピンの長さ等により収納可能な基板のサイズの範囲が決まってしまうので、その範囲を越えるサイズの基板については、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要があり、カセットの変更に伴う段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうという問題がある。特に近年、製品として製造されるカラーフィルター等の種類は非常に多くなっており、上述した問題はより重要になってきている。
【０００６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、基板のサイズ変更に柔軟に対応して製造ラインの稼働時間の低下を防止することができる、バッファ装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、複数枚の基板を収納することが可能なカセットであって、左右の側面フレームと、これら左右の側面フレーム間に張架され、複数枚の基板を水平状態で支持するよう異なる高さの複数段の水平面に沿って延びる複数のワイヤとを有するカセットと、前記製造ライン上の基板を前記カセット内の各段へ１枚ずつ収納するとともに、前記カセット内の各段に収納された基板を前記製造ライン上へ１枚ずつ排出する基板出し入れ機構とを備えたことを特徴とするバッファ装置を提供する。
【０００８】
なお、本発明において、前記基板出し入れ機構は、前記カセット内に収納された基板の表面に接触する複数のローラを有する基板搬送機構と、前記カセットと前記基板搬送機構との相対的な位置関係を変化させるよう前記カセットおよび前記基板搬送機構の少なくとも一方を昇降させる昇降装置とを有することが好ましい。また、前記製造ラインは、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行う複数の処理ラインを有することが好ましい。
【０００９】
本発明によれば、製造ライン中に組み込まれて用いられるバッファ装置において、左右の側面フレーム間に張架された複数のワイヤにより基板を水平状態に支持するワイヤ式のカセットを用いているので、カセットに収納可能な最大寸法までの任意の寸法の基板を収納することができ、同一の製造ラインを用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がない。このため、少量多品種の製造に効果的に対応することができるとともに、カセットの変更に伴って必要となる段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうことを防止することができる。また、従来のピン式のカセット等と比較してより大量の基板を収納することができ、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１１】
図１は本実施の形態に係るバッファ装置が組み込まれたカラーフィルター製造ラインを示す図である。図１に示すように、カラーフィルター製造ライン１は、カラーフィルターを製造するための各種の処理を行うものであり、例えば、ガラス基板上にクロムを成膜するための処理ライン２０、ガラス基板上に成膜されたクロムをパターニングしてブラックマトリックスを形成するための処理ライン３０、ガラス基板上に所定のパターンを備えた各色（赤色、緑色または青色）の着色層を形成するための処理ライン４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ、ガラス基板上に保護層を形成するための処理ライン５０、ガラス基板上にＩＴＯ層を形成するための処理ライン６０、およびガラス基板上に柱状体を形成するための処理ライン７０を備え、これらの処理ライン２０，３０，…，７０が一筆書き状に直列的に連結されている。なお、処理ライン５０，６０，７０については、製造されるカラーフィルターの種類に応じて所要の処理ラインのみが選択されて利用され、（１）ＩＴＯ層の形成（処理ライン６０）および柱状体の形成（処理ライン７０）のみ、（２）ＩＴＯ層の形成（処理ライン６０）のみ、（３）保護層の形成（処理ライン５０）および柱状体の形成（処理ライン７０）のみ、といった各種の態様で処理が行われる。
【００１２】
ここで、カラーフィルター製造ライン１の各処理ライン２０，３０，…，６０の間にはバッファ装置１０が組み込まれており、特定の処理工程が停止している際にその処理工程の前段で処理前のガラス基板を滞留させることができるようになっている。なお、バッファ装置１０は、個々の処理ライン２０，３０，…，７０中において洗浄装置や現像装置等のウェット系の装置の直後に配置し、これらの装置内でガラス基板８２が滞留しないようにしてもよい。
【００１３】
図２は図１に示すバッファ装置１０の詳細を示す斜視図である。図２に示すように、バッファ装置１０は、複数枚のガラス基板８２を収納することが可能なカセット８１と、上流側の処理ラインのコンベア１５ａから搬送されてきたガラス基板８２をカセット８１内の各段へ１枚ずつ収納するとともに、カセット８１内の各段に収納されたガラス基板８２を下流側の処理ラインのコンベア１５ｂへ１枚ずつ排出する基板出し入れ機構１６とを備えている。
【００１４】
ここで、カセット８１は、上板８３と、上板８３に立設された左右の側面フレーム８４，８５と、これら左右の側面フレーム８４，８５間に張架された複数のワイヤ８６とを有している。ここで、複数のワイヤ８６は、異なる高さの複数段の水平面に沿って延びており、同一段の複数のワイヤ８６により、ガラス基板８２を水平状態で支持するようになっている。なお、左右の側面フレーム８４，８５はそれぞれ、上板８３にネジ止め等により取り付けられた８本の支柱８４ａ，８５ａを有し、これらの支柱８４ａ，８５ａのうち互いに向かい合う支柱同士が複数のステー８７を介して互いに接続されている。なお、ワイヤ８６は、ガラス基板８２を水平状態で支持するための十分な張力を有するものであれば、合成樹脂製や金属製等の任意のものを用いることができる。また、ワイヤ８６の水平面内の本数は、ガラス基板８２を水平面内で十分に支持することができる範囲で、任意の本数とすることができる。さらに、ワイヤ８６の垂直方向の本数は、ガラス基板８２同士が干渉しない状態で所望のガラス基板８２を収納することができる範囲で、任意の本数とすることができる。
【００１５】
一方、基板出し入れ機構１６は、カセット８１内に収納されたガラス基板８２の下面に接触する複数のローラ９０を有する基板搬送コンベア（基板搬送機構）１８と、カセット８１と基板搬送コンベア１８との相対的な位置関係を変化させるようカセット８１を昇降させるカセット昇降装置１７（駆動機構については図示せず）とを有している。ここで、基板搬送コンベア１８は、設置面上に立設された支柱９１の上端に固定されるとともにカセット８１を両側から挟むように配置された左右の支持フレーム８８，８８と、これら左右の支持フレーム８８，８８に回動自在に取り付けられた複数のシャフト８９とを有している。なお、各シャフト８９にはローラ９０が等間隔で６個配置されている。また、これらのシャフト８９には駆動機構（図示せず）が取り付けられており、各シャフト８９を一定の方向（図の矢印の方向）に回動させることができるようになっている。
【００１６】
次に、このような構成からなるバッファ装置１０の動作について説明する。
【００１７】
図１に示すカラーフィルター製造ライン１において、特定の処理ラインが停止した場合には、その上流側の処理ラインから搬送されたガラス基板８２をバッファ装置１０にて滞留させる。
【００１８】
具体的には、図２に示すように、バッファ装置１０において、カセット昇降装置１７によりカセットを１段ずつ上昇させながら、基板搬送コンベア１８のローラ９０を上流側の処理ラインのコンベア１５ａから搬送されてきたガラス基板８２の下面と接触させることにより、ガラス基板８２をカセット８１内の各段へ１枚ずつ収納する（実線矢印参照）。
【００１９】
これに対し、停止していた下流側の処理ラインが復旧した場合には、バッファ装置１０にて滞留させておいたガラス基板８２を下流側の処理ラインへ排出する。
【００２０】
具体的には、図２に示すように、バッファ装置１０において、カセット昇降装置１７によりカセット８１を１段ずつ下降させながら、基板搬送コンベア１８のローラ９０をカセット８１内に収納されている最下方のガラス基板８２の下面と接触させることにより、カセット８１内の各段に収納されているガラス基板８２を下流側の処理ラインのコンベア１５ｂへ１枚ずつ排出する（点線矢印参照）。
【００２１】
このように本実施の形態によれば、カラーフィルター製造ライン１中に組み込まれて用いられるバッファ装置１０において、左右の側面フレーム８４，８５間に張架された複数のワイヤ８６によりガラス基板８２を水平状態に支持するワイヤ式のカセット８１を用いているので、カセット８１に収納可能な最大寸法までの任意の寸法のガラス基板を収納することができ、同一のカラーフィルター製造ライン１を用いて複数種類のカラーフィルター等を製造する場合でも、ガラス基板のサイズに合わせてカセットを交換する必要がない。このため、少量多品種の製造に効果的に対応することができるとともに、カセットの変更に伴って必要となる段取り作業により製造ラインの稼働時間が低下してしまうことを防止することができる。
【００２２】
また、本実施の形態によれば、カラーフィルター製造ライン１中に組み込まれて用いられるバッファ装置１０において、上述したようなワイヤ式のカセット８１を用いているので、従来のピン式のカセット等と比較してより大量のガラス基板を収納することができ、処理工程の一時的な停止に対する対応能力をより向上させることができる。
【００２３】
なお、上述した実施の形態においては、基板搬送コンベア１８を固定して、カセット昇降装置１７によりカセット８１を昇降させるようにしているが、カセット８１と基板搬送コンベア１８との相対的な位置関係を変化させることができるのであれば、カセット８１の側を昇降させる構成に限らず、基板搬送コンベア１８の側を昇降させる構成や、基板搬送コンベア１８およびカセット８１の両方を昇降させる構成をとることもできる。
【００２４】
また、上述した実施の形態において、基板出し入れ機構１６は、図２に示すような構成以外にも、例えば、図３に示すような構成、すなわち、カセット昇降装置１７′（駆動機構については図示せず）の下方から基板搬送コンベア１８′を進入させるような構成をとることができる。なお、図３に示す基板搬送コンベア１８′は、設置面上に配設された支持枠９２と、支持枠９２上に横板９３を介して固定された複数のコ字状のフレーム９４と、フレーム９４の一対の先端部９４ａ，９４ｂに回動自在に取り付けられた複数のシャフト８９とを有している。なお、各シャフト８９にはローラ９０が等間隔で６個配置されている。また、これらのシャフト８９には、駆動機構としてモータ９５および伝達シャフト９６ａ，９６ｂ、ギア９７等が取り付けられており、各シャフト８９を一定の方向（図の矢印の方向）に回動させることができるようになっている。
【００２５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、基板のサイズ変更に柔軟に対応して製造ラインの稼働時間の低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るバッファ装置が組み込まれたカラーフィルター製造ラインを示す図。
【図２】図１に示すバッファ装置の詳細を示す斜視図。
【図３】本発明の他の実施の形態に係るバッファ装置を示す斜視図。
【符号の説明】
１　カラーフィルター製造ライン
１０，１０′　バッファ装置
１５ａ，１５ｂ　コンベア
１６，１６′　基板出し入れ機構
１７，１７′　カセット昇降装置
１８，１８′　基板搬送コンベア（基板搬送機構）
２０，３０，…，７０　処理ライン
８１　カセット
８２　ガラス基板
【図１】
2004075203.tif 000003
【図２】
2004075203.tif 000004
【図３】
2004075203.tif 000005