【事件の表示】
　特許第２５４８１６４号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第２５４８１６４号に係る明細書を本件審判請求書に添付された訂正明細書のとおり訂正することを認める。
【理　由】
［１］審判請求の要旨
　本件審判請求の要旨は、本件特許第２５４８１６４号（昭和６２年１月１９日出願、平成８年８月８日設定登録）の願書に添付した明細書（以下、「本件特許明細書」という。）を、本件審判請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものである。
　
［２］訂正の内容
　訂正の内容は、次のとおりである。
訂正事項（１）
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項４の
「真空容器内にガスを供給し、真空容器内を排気手段にて一定圧力に保ち板状電極と被エッチング物載置用電極の間に高周波電力を印加し、ガスをグロー放電させる手段により、ガスプラズマを発生させ、被エッチング物を除去加工するドライエッチング方法において、前記被エッチング物載置用電極が被エッチング物より小さく、かつ被エッチング物載置用電極の周囲にバルクの絶縁物が配置されたことを特徴とするドライエッチング方法。」との記載を、
「真空容器内にガスを供給し、真空容器内を排気手段にて一定圧力に保ち板状電極と被エッチング物載置用電極の間に高周波電力を印加し、ガスをグロー放電させる手段により、ガスプラズマを発生させ、被エッチング物を除去加工するドライエッチング方法において、前記被エッチング物載置用電極が被エッチング物より小さく、かつ被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたことを特徴とするドライエッチング方法。」
と訂正する。
訂正事項（２）
　本件特許明細書第５頁１１〜１５行（本件特許掲載公報（以下、「本件公報」という）第３欄４６〜４９行参照）の
「また、本発明の第２の発明は、被エッチング物載置用電極が被エッチング物より小さく、被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされないという構成を備えたものである。」
との記載を、
「また、本発明の第２の発明は、被エッチング物載置用電極が被エッチング物より小さく、かつ被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたことで、被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされないという構成を備えたものである。」
と訂正する。
訂正事項（３）
　特許明細書第６頁第１〜５行（本件公報第４欄４〜８行参照）の「あるいは、被エッチング物載置用電極を被エッチング物より小さくすることにより、被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされることがなくなり、局部的グロー放電を防止することができる。」という記載を、「あるいは、被エッチング物載置用電極を被エッチング物より小さく、かつ被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたことで、被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされることがなくなり、局部的グロー放電を防止することができる。」と訂正する。
　なお、審判請求書第３頁１１〜１２行の「・・ことにより、・・」との記載は、訂正明細書第３頁１０行の「・・ことで、・・」との記載の誤記と認められるので、訂正事項（３）は、上記のとおりのものとして認定した。
　
［３］当審の判断
　訂正の可否について、以下に検討する。
１．訂正の目的の適否
　訂正事項（１）は、バルクの絶縁物が配置される位置を、被エッチング物載置用電極の『周囲』から、『側方の全周囲』へと、より限定して定めたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　訂正事項（２）、（３）は、発明の詳細な説明に、「被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたこと」を追加して記載したものであるが、何れも、訂正事項（１）に整合させて、本件特許明細書の記載を訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。
　
２．新規事項の有無、拡張・変更の存否
　訂正事項（１）は、バルクの絶縁物が配置される位置を、被エッチング物載置用電極の『周囲』から、『側方の全周囲』へと、より限定して定めたものであるところ、本件特許明細書中には、バルクの絶縁物が配置される位置を、被エッチング物載置用電極の『側方の全周囲』とする点についての直接的な記載はない。
　しかしながら、本件特許明細書中には、バルクの絶縁物の配置について、「第２図において・・・９ｂはアースされた板状電極、８ｂは被エッチング物載置用電極３ｂの側面をプラズマから保護するためのバルクの絶縁物であり、・・・本実施例の特徴は、被エッチング物載置用電極を被エッチング物より小さくし、被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされないような構成にすることにより、被エッチング物載置用電極のエッジ部における局部的グロー放電を防止することができるようにした点にある。」（本件特許明細書第７頁６〜１８行。本件特許公報第４欄２６〜３７行参照）と記載され、また、図面第２図には、被エッチング物４ｂを載置した被エッチング物載置用電極３ｂの側方に、バルクの絶縁物８ｂが配置された状態が図示されている。
　そして、上記「８ｂは被エッチング物載置用電極３ｂの側面をプラズマから保護するためのバルクの絶縁物」、「被エッチング物載置用電極が直接プラズマにさらされないような構成にする」との記載によれば、バルクの絶縁物８ｂは、被エッチング物載置用電極３ｂの側面が直接プラズマにさらされることがないように、また、該側面がプラズマから保護されるように配置されているのであり、さらに、バルクの縁物８ｂの具体的な配置を示す図面第２図によれば、被エッチング物載置用電極３ｂの側方に、バルクの絶縁物８ｂが配置されているのであるから、本件特許明細書の上記記載及び図面第２図の記載を相併せ考慮すれば、バルクの絶縁物は、被エッチング物載置用電極の『側方の全周囲』に配置されているものと当業者は当然に理解するといえる。
　そうすると、本件特許明細書中に直接的な記載がないとしても、バルクの絶縁物が配置される位置を、被エッチング物載置用電極の『側方の全周囲』とする訂正事項（１）は、本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであると認められる。
　また、訂正事項（２）、（３）は、発明の詳細な説明に、「被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたこと」を追加して記載したものであるところ、訂正事項（１）について述べたと同様な理由により、被エッチング物載置用電極の『側方の全周囲』にバルクの絶縁物を配置することは、本件特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであると認められる。
　そして、訂正事項（１）〜（３）の何れも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
３．独立特許要件について
　訂正明細書の特許請求の範囲の請求項４に記載されている事項により構成される発明は、以下のとおりである。
「【請求項４】真空容器内にガスを供給し、真空容器内を排気手段にて一定圧力に保ち板状電極と被エッチング物載置用電極の間に高周波電力を印加し、ガスをグロー放電させる手段により、ガスプラズマを発生させ、被エッチング物を除去加工するドライエッチング方法において、前記被エッチング物載置用電極が被エッチング物より小さく、かつ被エッチング物載置用電極の側方の全周囲にバルクの絶縁物が配置されたことを特徴とするドライエッチング方法。」
　そして、訂正後における特許請求の範囲の請求項４に記載されている事項により構成される上記発明については、特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。
　
［４］むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項乃至第３項の規定に適合する。
　
　よって、結論のとおり審決する。