(57)【要約】【課題】金属磁性層が巻線窓では巻線窓内側に形成されるため磁路長が短くなり、フロントギャップ近傍ではギャップ面と金属磁性層面が非平行となる様に形成されるため、トラック幅が精度が高い金属磁性層膜厚で決まり、高精度なトラック幅精度を有する磁気ヘッドを得ることが可能となる。【解決手段】金属磁性層が巻線窓では巻線窓内側に形成され、フロントギャップ近傍ではギャップ面と金属磁性層面が非平行となる様に形成される。本発明は上記した構成によって、高精度なトラック幅の磁気ヘッドを高歩留まりで生産することが可能なる。【選択図】　図２
2004103177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板に金属磁性層が設けられた一対のコア半体が、スペーサを介して突き合わされて接合一体化された磁気ヘッドであって、
金属磁性層が、フロントギャップ面近傍においては、その層面とギャップ面との交線がテープ摺動面とは非平行となり、巻線窓近傍においては、巻線窓内側に形成される構成を特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
巻線窓内側に形成される金属磁性層がアペックス部において除去されていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
金属磁性層が金属磁性層１層あるいは金属磁性層と絶縁層が交互に複数積層された構成の磁路層より成ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
巻線窓内側に形成される金属磁性層に連続してバック側にギャップ面を挟んで金属磁性層が存在することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
非磁性基板に巻線溝とトラック形成溝を形成し、次に金属磁性層を付着させ、
ギャップ面を研磨して巻線溝とトラック形成溝に金属磁性層を残し、次にギャップスペーサと成る非磁性層を付着させ、次に前記基板ふたつを突き合わせてトラック形成溝にガラスを充填して合体し、切断してヘッドチップを得ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
非磁性コア半体に巻線溝とガラス充填溝を形成し、次にガラス充填溝にガラスを充填し、
次にガラス充填溝の一部にかかる様トラック形成溝を形成し、次に金属磁性層を付着させ、
ギャップ面を研磨して巻線溝とトラック形成溝に金属磁性層を残し、次にギャップスペーサと成る非磁性層を付着させ、次に前記コア半体ふたつを突き合わせてトラック形成溝にガラスを充填して合体したギャップドバーを作製し、前記ギャップドバーを切断してヘッドチップを得ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＶＴＲやストリーマ等に用いられる磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気記録の高密度化に伴い、狭トラック化が要求されている。狭トラックを実現するためには、トラック幅精度をより向上させる必要がある。本発明は、この点に鑑み、トラック幅精度の高い磁気ヘッドの構造及び、製造方法を提供するものである。
【０００３】
先に従来の磁気ヘッドの製造方法について図５を用いて説明する（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
まず、非磁性なコア半体２１に巻線溝２２を加工し（図５（ａ））、次に金属磁性層２７をスパッタリング等によって膜付けする（図５（ｂ））。次にガラス充填溝２３を加工し（図５（ｃ））、ギャップ面２５を研磨して平滑に仕上げると同時に付着した金属磁性層２７を除去し、巻線溝２２にのみ金属磁性層２７を残す（図５（ｄ））。
【０００５】
次にギャップ面２５に、スパッタリング等によってギャップスペーサの役目と接着層の役目を果たすガラスを付着した後、コア半体２１二つをギャップ面２５同士を突き合わてトラック合わせを行い、加熱融着する（図５（ｅ））。次に、トラック規制溝２６を加工した後、加熱してガラス充填溝２３とトラック規制溝２６にガラスを充填する（図５（ｆ））。
【０００６】
次にテープ当たり面の幅を規制する段加工を行い、アジマス角度分傾いたｐ−ｐ線、ｑ−ｑ線で切断し（図５（ｇ））、テープ摺動面を研磨して図５（ｈ）に示すようなヘッドチップを得る。こうして得られた従来の磁気ヘッドでは、巻き線窓の内側に金属磁性層が膜付けされ、これが磁路となるため、磁路長が短くなる。そのため、インダクタンスを小さくでき、巻き線を巻き増して、ヘッド出力を大きくできると言う利点がある。
【０００７】
しかし、トラック幅精度はトラック規制溝の機械加工精度で決まるため、１μｍ程度が限界であり、狭トラック化に伴うさらなる高精度な要求を満足するものではない。
【０００８】
【特許文献１】
特開平５−２３４０２９号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、磁気ヘッドにおいて、高トラック幅精度を実現するヘッド構成、製造方法を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気ヘッドは、上記従来の課題を解決するため、非磁性基板に金属磁性層が設けられた一対のコア半体が、スペーサを介して突き合わされて接合一体化された磁気ヘッドであって、金属磁性層が、フロントギャップ面近傍においては、その層面とギャップ面との交線がテープ摺動面とは非平行となり、巻線窓近傍においては、巻線窓内側に形成される構成を特徴とする磁気ヘッドである。
【００１１】
また、本発明の磁気ヘッドは、前記巻線窓内側に形成される金属磁性層がアペックス部において除去されていることを特徴とする。
【００１２】
更にまた、本発明の磁気ヘッドは、前記金属磁性層が金属磁性層１層あるいは金属磁性層と絶縁層が交互に複数積層された構成の磁路層より成ることを特徴とする。
【００１３】
更にまた、本発明の磁気ヘッドは、巻線窓内側に本発明の磁気ヘッドは、形成される前記金属磁性層に連続してバック側にギャップ面を挟んで金属磁性層が存在することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、非磁性基板に巻線溝とトラック形成溝を形成し、次に金属磁性層を付着させ、ギャップ面を研磨して巻線溝とトラック形成溝に金属磁性層を残し、次にギャップスペーサと成る非磁性層を付着させ、次に前記基板ふたつを突き合わせてトラック形成溝にガラスを充填して合体し、切断してヘッドチップを得る磁気ヘッドの製造方法である。
【００１５】
更にまた、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、非磁性コア半体に巻線溝とガラス充填溝を形成し、次にガラス充填溝にガラスを充填し、次にガラス充填溝の一部にかかる様トラック形成溝を形成し、次に金属磁性層を付着させ、ギャップ面を研磨して巻線溝とトラック形成溝に金属磁性層を残し、次にギャップスペーサと成る非磁性層を付着させ、次に前記コア半体ふたつを突き合わせてトラック形成溝にガラスを充填して合体したギャップドバーを作成し、前記ギャップドバーを切断してヘッドチップを得る磁気ヘッドの製造方法である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
本発明は、機械加工によらず、スパッタリング等の薄膜形成技術によりトラック幅を規制することにより１μｍ以下の高精度なトラック幅を実現するものである。図１，２を用いてまず、本発明の磁気ヘッドの製造方法について以下に説明する。
【００１７】
非磁性な基板１に巻線溝２とトラック形成溝６を加工する（図１（ａ））。このとき、図１（ａ）の右側から見た図１（ｂ）に示す様に、トラック形成溝側面１０は基板１に対して直角になっていることが望ましい。これは、切り込み深さの変動に対する溝形成位置の変化をなくしてトラックずれを防ぐためである。次に金属磁性層７をスパッタリング等によって膜付けする（図１（ｃ））。このとき、トラック形成溝側面１０は、膜厚が薄くなる傾向があるため、トラック形成溝側面１０を傾けるなどして、斜め方向から膜付けすることが望ましい。
【００１８】
次に図中の一点鎖線ｐ−ｐで切断しコア半体１１を得る。次にコア半体１１の磁気ギャップ面５を研磨して平滑に仕上げると同時に付着した金属磁性層７を除去し、トラック形成溝６と巻線溝２にのみ金属磁性層７を残す（図１（ｄ））。次にギャップ面５に、スパッタリング等によってギャップスペーサの役目と接着層の役目を果たすガラスを付着した後、コア半体１１二つをギャップ面５同士を突き合わてトラック合わせを行い、加熱してトラック形成溝６にガラスを充填合体接合する（図２（ｅ））。
【００１９】
次に、テープ当たり面の幅を規制する段加工を行い（図示せず）、ｑ−ｑ線で切断し、テープ摺動面を研磨して図２（ｆ）に示すようなヘッドチップを得る。こうして得られた本発明の磁気ヘッドでは、巻線窓８の内側に金属磁性層７が膜付けされることは従来例と同様であるので従来例の特徴である高出力特性は維持され、さらに、トラック９の幅はスパッタリング等の付着膜の膜厚精度で決まるため、トラック幅精度をより高めることができる。薄膜形成技術の膜厚精度として０．数μｍを実現することに何等問題はなく、トラック幅精度を０．５μｍ以上に高めることが可能となる。
【００２０】
（実施の形態２）
図３，４を用いてまず本発明の磁気ヘッドの製造方法について以下に説明する。図３（ａ）に示した非磁性なコア半体１１に巻線溝２と、フロント部４にのみ斜め方向にガラス充填溝３を加工する（図３（ｂ））。次にガラス充填溝３にガラスを加熱溶融充填した後、ギャップ面５を研磨する（図３（ｃ））。
【００２１】
次にガラス充填溝３の端にかかる様にトラック形成溝６をガラス充填溝３と同様に、斜め方向に少なくともフロント部４には加工される様形成する。（図３（ｄ））。このとき、対となるコア半体１１は図４（ｉ）に示す様に、互いに逆向きの傾きを与え、同時に加工する。こうすることによりトラック合わせで起こるずれを解消することができる。
【００２２】
また、トラック形成溝側面１０はギャップ面５に対して直角になっていることが望ましい。これは、実施の形態１と同様に、切り込み深さの変動に対する溝形成位置の変化をなくしてトラックずれを防ぐためである。次に金属磁性層７をスパッタリング等によって膜付けする（図３（ｅ））。このとき、実施の形態１と同様に、斜め方向から膜付けすることが望ましい。
【００２３】
次にギャップ面５を研磨して平滑に仕上げると同時に付着した金属磁性層７を除去し、トラック形成溝６と巻線溝２にのみ金属磁性層７を残す（図３（ｆ））。次にギャップ面５に、スパッタリング等によってギャップスペーサの役目と接着層の役目を果たすガラスを付着した後、コア半体１１二つをギャップ面５同士を突き合わてトラック合わせを行い、加熱してトラック形成溝６にガラスを充填し融着する（図３（ｇ））。
【００２４】
次に、テープ当たり面の幅を規制する段加工を行い（図示せず）、ｐ−ｐ線で切断し、テープ摺動面を研磨して図４（ｈ）に示すようなヘッドチップを得る。こうして得られた本発明の磁気ヘッドでは、実施の形態１と同様に、巻線窓８の内側に金属磁性層７が膜付けされた構成において、トラック９の幅はスパッタリング等の付着膜の膜厚精度で決まるため、トラック幅精度をより高めることができる。
【００２５】
さらに、実施の形態１では図２（ｆ）に示す様に、トラックの側面の一方がコア基材、他方がガラスと異なるため、ヘッド摩耗がトラックの両側面で異なり、テープタッチが不良となる可能性があるのに対して、実施の形態２では、トラックの両側面は共にガラスとなるので、ヘッド摩耗は対称となり、テープタッチが不良となることはない。また、金属磁性層７の配置については、これまで図４（ｈ）に示す様に、巻線窓８周りでは、巻線窓８の内側にのみに形成する構成を示したが、図４（Ｌ）に示す様に、バック側に平行に伸びた構成もある。
【００２６】
次に実施の形態１または２の基本構成においてヘッド特性をさらに上げる構成について説明する。
【００２７】
図２（ｆ）または図４（ｈ）の構成では、デプスが図２（ｆ）に示すｈｄより小さくなるとトラック幅を規制するフロント部の金属磁性層７が無くなってしまうために、ｈｄより大きくなければならない。ギャップデプスを浅くすることによってヘッド出力を上げて用いる場合、実施の形態１または２の構成では、デプスはｈｄより大きくなければならないため問題となることがある。
【００２８】
そこで、図２（ｇ）または図４（ｋ）に示す様に、アペックス部にノッチ１２を設けてこの部分の金属磁性層を除去することにより先の問題を解消することができる。
【００２９】
製造工程においては、実施の形態１、２共に磁気ギャップ面研磨前に図４（ｊ）に示す様なノッチ１２を加工してアペックス巻線窓部の金属磁性層を除去すれば良い。
【００３０】
【発明の効果】
上記した本発明によって、高精度なトラック幅の磁気ヘッドを高歩留まりで生産することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の構成図で、
（ａ）非磁性な基板に加工された巻線溝の図
（ｂ）図１（ａ）の右側から見た図
（ｃ）スパッタリング等によって膜付けされた金属磁性層の図
【図２】本発明の第１の実施の形態の構成図で、
（ｄ）平滑に研磨されたコア半体の磁気ギャップ面の図
（ｅ）加熱してトラック形成溝にガラスを充填合体接合されたガラスの図
（ｆ）テープ摺動面を研磨した後のヘッドチップの図
（ｇ）アペックス部にノッチを設けてこの部分の金属磁性層を除去したヘッドチップの図
【図３】本発明の第２の実施の形態の構成図で、
（ａ）非磁性なコア半体１１に巻線溝２の図
（ｂ）フロント部４にのみ斜め方向に加工されたガラス充填溝３の図
（ｃ）研磨されたギャップ面の図
（ｄ）ガラス充填溝の端にかかる様にトラック形成溝を形成した図
（ｅ）スパッタリング等によって膜付けされた金属磁性層の図
（ｆ）研磨されたギャップ面の図
（ｇ）ガラスを充填し融着したトラック形成溝の図
【図４】本発明の第２の実施の形態の構成図で、
（ｈ）テープ摺動面を研磨したヘッドチップの図
（ｉ）対となるコア半体の図
（ｊ）アペックス部の金属磁性層を除去して形成されるノッチ１２の図
（ｋ）アペックス部にノッチ１２を設けてこの部分の金属磁性層を除去したヘッドチップの図
（Ｌ）バック側に平行に金属磁性層７が配置された図
【図５】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図で、
（ａ）非磁性なコア半体２１に巻線溝２２を加工した図
（ｂ）スパッタリング等によって膜付けされた金属磁性層の図
（ｃ）加工されたガラス充填溝の図
（ｄ）研磨して平滑に仕上げたギャップ面の図
（ｅ）加熱融着されたギャップ面の図
（ｆ）加熱してガラス充填溝２３とトラック規制溝２６にガラスを充填させた図
（ｇ）テープ当たり面の幅を規制する段加工と、チップ切断を示す図
（ｈ）テープ摺動面を研磨されたヘッドチップの図
【符号の説明】
１　基板
２　巻線溝
３　ガラス充填溝
４　フロント部
５　ギャップ面
６　トラック形成溝
８　巻線窓
９　トラック
１０　トラック形成溝側面
１１　コア半体
２１　コア半体
２２　巻線溝
２３　ガラス充填溝
【図１】
2004103177.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004103177.tif 000006
【図５】
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