【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年9月22日(2014.9.22)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールドウエハ（３）からフィルム（２）を分離させるための装置（１）であって、
前記モールドウエハ（３）を非確実動作的に取り付けるための取付手段（４）と、
前記フィルム（２）の一部（１４）を非確実動作的に持ち上げ又は排出するためのフィルム操作部（１３）を伴う除去ローラ（１２）であって、前記フィルム操作部（３）が切替可能な真空／過剰圧力部（１３）として構成される除去ローラと、
前記取付手段（４）の表面（１０）に対して水平及び／又は垂直に前記除去ローラ（１２）を移動させるための移動手段（１７）と、
前記除去ローラ（１２）の中心軸（２５）のまわりに前記除去ローラ（１２）を回転させるための回転手段（２４）と
を備える装置。
【請求項２】
前記移動手段（１７）は、前記取付手段（４）の前記表面（１０）に対して前記除去ローラ（１２）を水平に移動させるための水平移動要素（１８）と、前記取付手段（４）の前記表面（１０）に対して前記除去ローラ（１２）を垂直に移動させるための垂直移動要素（２１）とを備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置（１）は、前記モールドウエハ（３）及び／又は前記フィルム（２）を１８０℃と２４０℃との間の温度に加熱するための加熱手段（２６）を備える請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記取付手段（４）は、前記取付手段（４）のワークピースマウント（５）を前記ワークピースマウント（５）の回転軸（７）のまわりに回転させるための駆動要素（６）を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記装置（１）は、前記モールドウエハ（３）を越えて突出する前記フィルム（２）の一部（１４）を吹き込むための吹込手段（２７）を備え、前記吹込手段（２７）は、前記除去ローラ（１２）の方向に前記突出する一部（１４）を吹き込むように構成される請求項１から４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記フィルム操作部（１３）は、真空によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）を持ち上げるため、又は、過剰圧力によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）を排出するための吸引／吹込ノズル（１３）として、又は前記除去ローラ（１２）の中心軸（２５）に沿って設けられる吸引／吹込スロット（１３）として構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記除去ローラ（１２）は、前記フィルム操作部（１３）によって前記フィルム（２）の前記一部（１４）の前記非確実動作的な持ち上げ又は排出を確立するための真空スイッチ（１５）を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の装置（１）によって、モールドウエハ（３）からフィルム（２）を分離させるための方法であって、以下のステップ、
前記除去ローラ（１２）を、前記除去ローラ（１２）のパーキング位置（Ｐ１）から持ち上げ位置（Ａ）へと水平に移動させ、前記フィルム操作部（１３）が前記持ち上げ位置（Ａ）において前記フィルム（２）と向かい合うステップと、
フィルム操作部（１３）を起動させ、前記除去ローラ（１２）を前記フィルム（２）へと垂直に下降させるステップと、
前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）に貼着させるステップと、
前記除去ローラ（１２）を前記モールドウエハ（３）から垂直に上昇させ、前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記モールドウエハ（３）から少なくとも徐々に分離させるステップと、
所定のラップ角度（α）で、前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）上に少なくとも徐々に巻き付けるために前記除去ローラ（１２）を回転させ、同時に前記除去ローラ（１２）を前記パーキング位置（Ｐ１）の方向に水平に移動させ、前記フィルム（２）が前記モールドウエハ（３）から徐々に分離されるステップと、
水平移動を同時に伴って、前記除去ローラ（１２）の垂直エンド位置（Ｖ）まで、前記除去ローラ（１２）を前記モールドウエハ（３）から離して垂直に移動させるステップと、
前記除去ローラ（１２）を、前記パーキング位置（Ｐ１）を越えて排出位置（Ｐ２）まで水平に移動させ、前記フィルム（２）が前記排出位置（Ｐ２）において、前記モールドウエハ（３）から完全に分離されるステップと、
前記フィルム操作部（１３）が排出位置に位置するように、前記除去ローラ（１２）を前記所定のラップ角度（α）の一部（φ）で反対方向に回転させることによって、前記除去ローラ（１２）に巻き付けられる前記フィルム（２）の前記一部（１４）を前記除去ローラ（１２）から解くステップと、
前記フィルム操作部（１３）によって前記除去ローラ（１２）から前記フィルム（２）を排出するステップと
を備える方法。
【請求項９】
前記除去ローラ（１２）の前記回転移動、前記垂直移動及び前記水平移動が互いに融合して、前記フィルム（２）が前記モールドウエハ（３）から円滑に分離されることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記フィルム（２）は、１８０℃から２４０℃までの温度で、前記モールドウエハ（３）から分離されることを特徴とする請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
前記モールドウエハ（３）を越えて突出する前記フィルム（２）の一部（１４）は、前記フィルム（２）を前記除去ローラ（１２）に貼着させるために、吹込手段（２７）によって前記除去ローラ（１２）の方向において吹き込まれることを特徴とする請求項８から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記ラップ角度（α）として１８０°が選択されることを特徴とする請求項８から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記取付手段（４）の前記ワークピースマウント（５）は、前記フィルム（２）が除去される前に、除去角度（β）で回転させられることを特徴とする請求項８から１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記除去ローラ（１２）からフィルム処理手段（３０）へのフィルム（２）の排出は、前記フィルム処理手段（３０）のライトグリッド（３１）によって監視されることを特徴とする請求項８から１１のいずれか１項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】モールドウエハからフィルムを分離させるための装置及び方法
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００１】
本発明は、モールドウエハからフィルムを分離させるための装置及び方法に関する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００５】
この目的は、請求項１の特徴を有する装置、及び／又は請求項８の特徴を有する方法によって達成される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００７
【訂正方法】削除
【訂正の内容】
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００８】
モールドウエハからフィルムを分離させるための装置であって、前記モールドウエハを非確実動作的に取り付けるための取付手段と、前記フィルムの一部を非確実動作的に持ち上げ又は排出するためのフィルム操作部を伴う除去ローラであって、前記フィルム操作部が切替可能な真空／過剰圧力部として構成される除去ローラと、前記取付手段の表面に対して水平及び／又は垂直に前記除去ローラを移動させるための移動手段と、前記除去ローラの中心軸のまわりに前記除去ローラを回転させるための回転手段とを備える装置。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
この種の装置を使用して、モールドウエハからフィルムを分離させるための方法であって、以下のステップ、
前記除去ローラを、前記除去ローラのパーキング位置から持ち上げ位置へと水平に移動させ、前記フィルム操作部が前記パーキング位置において前記フィルムと向かい合うステップと、フィルム操作部を起動させ、前記除去ローラを前記フィルムへと垂直に下降させるステップと、前記フィルムの前記一部を前記除去ローラに貼着させるステップと、前記除去ローラを前記モールドウエハから垂直に上昇させ、前記フィルムの前記一部を前記モールドウエハから少なくとも徐々に分離させるステップと、所定のラップ角度で、前記フィルムの前記一部を前記除去ローラ上に少なくとも徐々に巻き付けるために前記除去ローラを回転させ、同時に前記除去ローラを前記パーキング位置の方向に水平に移動させ、前記フィルムが前記モールドウエハから徐々に分離されるステップと、水平移動を同時に伴って、前記除去ローラの垂直エンド位置まで、前記除去ローラを前記モールドウエハから離して垂直に移動させるステップと、前記除去ローラを、前記パーキング位置を越えて排出位置まで水平に移動させ、前記フィルムが前記排出位置において、前記モールドウエハから完全に分離されるステップと、前記フィルム操作部が排出位置に位置するように、前記除去ローラを前記所定のラップ角度の一部で反対方向に回転させることによって、前記除去ローラに巻き付けられる前記フィルムの前記一部を前記除去ローラから解くステップと、前記フィルム操作部によって前記除去ローラから前記フィルムを排出するステップとを備える方法。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
これに関し、フィルム、特にフィルムの一部が、除去ローラのフィルム操作部によって除去ローラに付着する。モールドウエハに対する除去ローラの水平及び垂直の移動が、残留物を残すことなく、モールドウエハからフィルムを自動的に素早く分離させる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１３】
除去ローラのさらなる望ましい発展によれば、前記除去ローラは、前記フィルム操作部によって前記フィルムの前記一部の前記非確実動作的な持ち上げ又は排出を確立するための真空スイッチを有する。その結果として、フィルム操作部の操作が監視され、したがって、除去ローラの操作の信頼性が向上する。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
装置の望ましい発展によれば、前記移動手段は、前記取付手段の前記表面に対して前記除去ローラを水平に移動させるための水平移動要素と、前記取付手段の前記表面に対して前記除去ローラを垂直に移動させるための垂直移動要素とを備える。これは、除去ローラがモールドウエハに対して急速かつ正確に配置されるということを可能にする。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
装置のさらなる望ましい発展によれば、前記装置は、前記モールドウエハ及び／又は前記フィルムを１８０℃と２４０℃との間の温度に加熱するための加熱手段を備え、それ故、モールドウエハからのフィルムの確実な分離が保証される。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
装置のさらなる望ましい発展によれば、前記取付手段は、前記取付手段のワークピースマウントを前記ワークピースマウントの回転軸のまわりに回転させるための駆動要素を備える。これは、フィルムが除去される前にワークピースマウントが回転させられることを可能にし、その結果、モールドウエハからのフィルムの分離角度が有利に調整され得る。これは、モールドウエハからのフィルムの除去を促進する。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
装置のさらなる望ましい発展によれば、前記装置は、前記モールドウエハを越えて突出する前記フィルムの一部を吹き込むための吹込手段を備え、前記吹込手段は、前記除去ローラの方向に前記突出する一部を吹き込むように構成される。これは、除去ローラによる前記一部の確実な持ち上げを保証し、それによって、装置の信頼性が向上する。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
本方法の望ましい発展によれば、前記除去ローラの前記回転移動、前記垂直移動及び前記水平移動が互いに融合して、その結果、前記フィルムが前記モールドウエハから円滑に分離される。これは、フィルムの残留物がモールドウエハ上に残留すること、又はモールドウエハが損傷することを確実に防止する。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記フィルムは、１８０℃から２４０℃までの温度で、前記モールドウエハから分離される。これは、フィルムのモールドウエハからの簡単かつ完全な分離を保証する。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記モールドウエハを越えて突出する前記フィルムの一部は、前記フィルムを前記除去ローラに貼着させるために、吹込手段によって前記除去ローラの方向において吹き込まれる。これは、除去ローラによる真っ直ぐなフィルムの一部の持ち上げを与え、それによって、本方法の信頼性が向上する。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記取付手段の前記ワークピースマウントは、前記フィルムが除去される前に、除去角度で回転させられる。結果として、モールドウエハからのフィルムの分離角度は、有利に調整され、それによって、モールドウエハからのフィルムの分離を促進及び加速させる。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
本方法のさらなる望ましい発展によれば、前記除去ローラからフィルム処理手段への前記フィルムの排出は、前記フィルム処理手段のライトグリッドによって監視される。結果として、除去ローラから分離されていないフィルムを確実に検出することが可能になり、その結果、本方法の異常の脆弱性が軽減される。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
図１は、ディスク状のワークピース３、特にコンパウンドウエハ３又はモールドウエハ３からフィルム２を除去又は分離させるための装置１の斜視図である。図２は、図１による装置１の断面図である。図３は、除去ローラ１２の平面図であり、図４は、装置１の除去ローラ１２の断面図である。以下において、図１から図４に対する参照が同時に行われることとなる。装置１は、好ましくは、ディスク状のワークピース３をその表面１０に非確実動作的に取り付けるための取付手段４を備える。取付手段４は、好ましくは、例えば駆動要素６によって、その回転軸７に対して回転可能なワークピースマウント５を備える。ワークピースマウント５は、実質的に、円盤状のワークピース支持部８と、ワークピース支持部８の外側に延びる円筒状のシャンク部９とを備える。ワークピース支持部８は、ディスク状のワークピース３が配置される表面１０を有する。ディスク状のワークピース３は、例えば真空によって取付手段４上に非確実動作的な形で固定される。この目的のために、ワークピース支持部８は、例えば、１つのみに参照番号が付された複数の真空孔１１を有し、それによって、ディスク状のワークピース３は、取付手段４の表面１０上に吸引によって引きつけられる。真空孔１１は、好ましくは、装置１の真空手段（図示せず）に積極的に接続される。シャンク部９は、好ましくは、ワークピース支持部８の表面１０から離れて、表面の外側に延びる。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
装置１はまた、例えば、中心軸２５を伴う中空の円筒状に構成される除去ローラ１２を備える。除去ローラ１２は、好ましくは、フィルム２、具体的にはフィルム２の一部１４を非確実動作的に吸い上げ又は吐き出すように構成されるフィルム操作部１３を有する。フィルム２の一部１４は、例えばフィルム２の端部１４又は周辺部１４である。フィルム２の一部１４は、例えば、ディスク状のワークピース３を越えて及び／又はワークピースマウント５を越えて突出し得る。フィルム操作部１３は、好ましくは、切替可能な真空−過剰圧力部１３として構成される。その代わりに、フィルム操作部１３は、フィルム２を掴むためのクランピンググリッパを伴う把持手段として構成され得る。例えば、図３Ａに例示されるように、フィルム操作部１３は、除去ローラ１２の中心軸２５に沿って設けられる吸引／吹出スロット１３として構成される。代替又追加として、図３Ｂによるフィルム操作部１３は、１又は複数の吸引／吹出ノズル１３として構成され得る。フィルム操作部１３は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４を真空によって非確実動作的に吸い上げるために構成され、或いは、フィルム２、特にその一部１４を過剰圧力によって除去ローラ１２から吐き出すために構成される。この目的のために、装置１は、例えば真空／過剰圧力手段（図示せず）を備える。したがって、フィルム操作部１３は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の非確実動作的な持ち上げ、及び、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の除去ローラ１２からの非確実動作的な排出の両方を選択的に提供する。さらに、除去ローラ１２は、好ましくは、例えば真空スイッチ１５として構成される付着センサ１５を備える。付着センサ１５は、例えば除去ローラ１２の内側１６に設けられる。付着センサ１５の目的は、フィルム２、特にフィルム２の一部１４の非確実動作的な持ち上げ又は排出を、フィルム操作部１３によって確立することである。