【手続補正書】
【提出日】平成25年12月20日(2013.12.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを長寿命化する方法であって、
使用期間後に、低温処理を実行して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階と、
未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間に、低温処理により除去可能な、インジウムを含む接着剤を塗布する段階と、
前記接着剤を固化して、前記金属製冷却プレート、前記第２のセラミック製プレート、および前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間の接着部（ｂｏｎｄ）を有する静電チャックを形成する段階と
を備え、
前記金属製冷却プレートは平面部分から延伸する複数の突起を有し、
前記接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートの前記平面部分に、前記接着剤を前記複数の突起の高さまで塗布する方法。
【請求項２】
前記低温処理を実行して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階は、前記静電チャックを約２００℃未満の温度に加熱する段階を有する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記突起は、高さが約０．０１インチである請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを長寿命化する方法であって、
使用期間の後、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階と、
未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間にエラストマー系接着剤を塗布する段階と、
前記エラストマー系接着剤を固化して、前記金属製冷却プレート、前記第２のセラミック製プレート、および前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間の接着部（ｂｏｎｄ）を有する静電チャックを形成する段階と
を備える方法。
【請求項５】
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間にエラストマー系接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートに、約２から４ミルの高さまで接着剤を塗布する段階を有する請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階は、前記第１のセラミック製プレートおよび前記金属製冷却プレートを少なくとも約２５０℃の温度まで加熱する段階を有する請求項４または５に記載の方法。
【請求項７】
前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階は、前記第１のセラミック製プレートおよび前記金属製冷却プレートを少なくとも約３００℃の温度まで加熱する段階を有する請求項４から６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを長寿命化する方法であって、
使用期間後に前記静電チャックを約２００℃未満の温度に加熱して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階と、
未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間に低温処理により取り外しできる接着剤を塗布する段階と、
前記接着剤を固化して、前記金属製冷却プレート、前記第２のセラミック製プレートおよび前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間の接着部（ｂｏｎｄ）を有する静電チャックを形成する段階と
を備える方法。
【請求項９】
前記接着部は、前記金属製冷却プレートの縁からはみ出さず、前記金属製冷却プレートの前記縁から引っ込んでいない請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
開口部を有する金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを修理する方法であって、
複数の突起に対して機械加工により適合されているアルミニウムリングを前記金属製冷却プレートから取り外す段階と、
使用期間後に、前記静電チャックを約２００℃未満の温度に加熱して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階と、
開口部を有する未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートの前記開口部が前記金属製冷却プレートの前記開口部と位置合わせされるように、前記第２のセラミック製プレートを前記金属製冷却プレートに位置合わせする段階と、
前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間にインジウム接着剤を塗布する段階と、
前記インジウム接着剤を固化して、前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間にインジウム接着部（ｉｎｄｉｕｍ  ｂｏｎｄ）を形成する段階と、
前記アルミニウムリングを前記金属製冷却プレートに再び取り付ける段階と
を備え、
前記インジウム接着部は、前記金属製冷却プレートからはみ出しておらず、前記第２のセラミック製プレートは、前記インジウム接着部よりも延伸している
方法。
【請求項１１】
前記インジウム接着剤を塗布する前に、前記金属製冷却プレートの前記開口部を被覆する段階をさらに備える請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記第２のセラミック製プレートは、接着剤接触面と接着剤非接触面とを有する請求項１から４、８から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記金属製冷却プレートは、平面部分と、前記平面部分から延伸し、高さが約０．０１インチである複数の突起とを有する請求項８、１０から１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートの前記平面部分に、前記複数の突起の高さまで前記接着剤を塗布する段階を有する請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２のセラミック製プレートの前記接着剤接触面に環状のリングを被覆する段階をさらに備え、前記リングは、前記第２のセラミック製プレートの縁から少なくとも約０．１インチの距離延伸している請求項１２に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本発明を好適な実施形態を参照して記載したが、当業者には、発明の趣旨および範囲か
ら逸脱することなく、形態および詳細に変更を加えうることは理解されるであろう。
［項目１］
金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを長寿命化する方法であって、
使用期間後に、低温処理を実行して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階と、
未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間に、低温処理により除去可能な接着剤を塗布する段階と、
前記接着剤を固化して、前記金属製冷却プレート、前記第２のセラミック製プレート、および前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間の接着部（ｂｏｎｄ）を有する静電チャックを形成する段階と
を備える方法。
［項目２］
前記低温処理を実行して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階は、前記静電チャックを約２００℃未満の温度に加熱する段階を有する項目１に記載の方法。
［項目３］
前記接着剤は、インジウムを含む項目１または２に記載の方法。
［項目４］
前記接着剤は、約２００℃未満の温度に加熱することにより除去可能である項目１から３のいずれか１項に記載の方法。
［項目５］
前記金属製冷却プレートは、平面部分と、前記平面部分から延伸し、高さが約０．０１インチである複数の突起とを有する項目１から４のいずれか１項に記載の方法。
［項目６］
前記接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートの前記平面部分に、接着剤を前記複数の突起の高さまで塗布する段階を有する項目５に記載の方法。
［項目７］
前記接着部は、前記金属製冷却プレートの縁からはみ出さず、前記金属製冷却プレートの前記縁から引っ込んでいない項目１から６のいずれか１項に記載の方法。
［項目８］
開口部を有する金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを修理する方法であって、
使用期間後に、前記静電チャックを約２００℃未満の温度に加熱して、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す段階と、
開口部を有する未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートの前記開口部が前記金属製冷却プレートの前記開口部と位置合わせされるように、前記第２のセラミック製プレートを前記金属製冷却プレートに位置合わせする段階と、
前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間にインジウム接着剤を塗布する段階と、
前記インジウム接着剤を固化して、前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間にインジウム接着部（ｉｎｄｉｕｍ  ｂｏｎｄ）を形成する段階と
を備え、
前記インジウム接着部は、前記金属製冷却プレートからはみ出しておらず、前記第２のセラミック製プレートは、前記インジウム接着部よりも延伸している
方法。
［項目９］
前記インジウム接着剤を塗布する前に、前記金属製冷却プレートの前記開口部を被覆する段階をさらに備える項目８に記載の方法。
［項目１０］
前記第２のセラミック製プレートは、接着剤接触面と接着剤非接触面とを有する項目または９に記載の方法。
［項目１１］
前記金属製冷却プレートは、平面部分と、前記平面部分から延伸し、高さが約０．０１インチである複数の突起とを有する項目８から１０のいずれか１項に記載の方法。
［項目１２］
前記静電チャックを加熱する前に、前記複数の突起に対して機械加工により適合されているアルミニウムリングを前記金属製冷却プレートから取り外し、前記インジウム接着部を形成した後、前記アルミニウムリングを前記金属製冷却プレートに再び取り付ける段階をさらに備える項目１１に記載の方法。
［項目１３］
接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートの前記平面部分に、前記複数の突起の高さまで前記接着剤を塗布する段階を有する項目１１に記載の方法。
［項目１４］
前記第２のセラミック製プレートの前記接着剤接触面に環状のリングを被覆する段階をさらに備え、前記リングは、前記第２のセラミック製プレートの縁から少なくとも約０．１インチの距離延伸している項目１０から１３のいずれか１項に記載の方法。
［項目１５］
金属製冷却プレート、および当該金属製冷却プレートに取り付けられた第１のセラミック製プレートを備えた静電チャックを長寿命化する方法であって、
使用期間の後、前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階と、
未使用の第２のセラミック製プレートを提供する段階と、
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間にエラストマー系接着剤を塗布する段階と、
前記エラストマー系接着剤を固化して、前記金属製冷却プレート、前記第２のセラミック製プレート、および前記金属製冷却プレートと前記第２のセラミック製プレートとの間の接着部（ｂｏｎｄ）を有する静電チャックを形成する段階と
を備える方法。
［項目１６］
前記第２のセラミック製プレートと前記金属製冷却プレートとの間にエラストマー系接着剤を塗布する段階は、前記金属製冷却プレートに、約２から４ミルの高さまで接着剤を塗布する段階を有する項目１５に記載の方法。
［項目１７］
前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階は、前記第１のセラミック製プレートおよび前記金属製冷却プレートを少なくとも約２５０℃の温度まで加熱する段階を有する項目１５または１６に記載の方法。
［項目１８］
前記金属製冷却プレートから前記第１のセラミック製プレートを取り外す処理を実行する段階は、前記第１のセラミック製プレートおよび前記金属製冷却プレートを少なくとも約３００℃の温度まで加熱する段階を有する項目１５から１７のいずれか１項に記載の方法。