【事件の表示】
　平成　４年特許願第１６０５１４号「弾性表面波素子電極」拒絶査定に対する審判事件［平成　６年　１月１４日出願公開、特開平　６−　　６１７３］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】本願発明
　本願は、平成4年6月19日に特許出願されたものであって、その請求項1〜3に係る発明は、出願当初の明細書の特許請求の範囲に記載されたとおりのものと認められるところ、当該請求項2に係る発明は、次のとおりのものである。
　なお、平成12年7月12日付け及び平成13年8月21日付けの手続補正は、明細書の要旨を変更するものとして却下され、確定した。
「【請求項2】　圧電性基板上に金属薄膜よりなる膜状の電極を形成して成る弾性表面波素子の該電極において、
　膜状の該電極を構成する主材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の1/50〜1/5の寸法であることを特徴とする弾性表面波素子電極。」
　
【２】引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平4-3510号公報（以下「引用例」という。）には、その実施例と図面及びこれに係わる記載を参酌すると、以下のような技術的事項の記載が認められる。
（1）「純Al薄膜もしくは低濃度に不純物を添加したAl薄膜よりなる第1の電極層を、純金属薄膜または低濃度に不純物を添加した金属薄膜よりなる第2の電極層と重ね合わせた超周期構造の多層電極構造とすることは、周期的に配列された第2の層が、その間に周期的に配列された第1の層のAl原子の結晶粒界拡散を抑圧するように作用するので、Alもしくは低濃度の不純物を含むAlからなる第１の層自体の耐マイグレーション性が向上する。それによって、弾性表面波素子の耐電力性及び長期信頼性は大幅に向上する。
　超周期構造の多層電極において、第1の層と第2の層との各々層間で相互拡散のない多層電極とすることは、薄膜電極の抵抗値を低減するように作用する。この低抵抗化によって、大電力もしくは高周波帯での弾性表面波励振時の電極の発熱による温度上昇を小さくできるようになるので、Al原子の粒界拡散を抑圧でき、耐マイグレーション性が著しく向上する。
　電極を構成する超周期構造の多層膜の結晶粒径分布幅を10nm以下と小さくすることは、粒径分布するなち結晶粒の不均一性に由来するマイグレーションの発生を抑圧するように作用する。これにより、電極の抵抗率の経時的変化が著しく小さくなり、たとえば弾性表面波素子の中心周波数の変動が抑制されて、素子の寿命が大幅に改善できることになる。」（第2頁右下欄第15行〜第3頁右上欄第1行）
（2）「以下、本発明の一実施例を第1により説明する。
　第1図 (a)は、弾性表面波素子のくし型交差指電極パターンの平面図であり、同図のA〜A'で示される部分の断面図を第1図(b)に示す。図の電極パターン1は、圧電性基板LSTカット水晶2の上に補とエッチングにより形成したものである。パターンの最小線幅及びギャップ幅は、各々0.4μmとなっている。」（第3頁右上欄第3〜11行）
（3）「電極及び反射器を構成する超周期構造の多層膜の結晶粒径分布幅を10nm以下と小さくすることにより、粒径分布すなわち結晶粒の不均一性に由来するマイグレーションの発生が抑圧されて、電極等の抵抗率の経時変化が著しく小さくなり、弾性ひ表面波素子の中心周波数変動が抑圧されて、素子の寿命が大幅に改善できる。」（第4頁左下欄第17行〜第４頁右下欄第3行）
（4）「電極の低抵抗化によって、電極の発熱による温度上昇が小さくなり、Al原子の粒界拡散が抑制できるので、電極層の耐電力性が著しく向上できる効果がある。
　さらに、電極層の結晶粒径分布幅を10nm以下と小さくすることにより、結晶粒の不均一性に由来するマイグレーションの発生を抑圧することができるので、電極の抵抗率の経時的変化が著しく小さくなり、弾性表面波素子の中心周波数変動が抑制でき、素子の長期信頼性が大幅に改善できる効果がある。」（第4頁右下欄末1行〜第5頁左上欄第10行）
（5）以上の摘記した記載、及び図面に係わる記載によれば、この電極パターン(1)の電極は、「パターンの最小線幅及びギャップ幅は、各々0.4μm」と記載されており、また「結晶粒径分布幅を10nm以下」と記載されていることから、電極材料の結晶粒径分布幅と電極の幅寸法との比が所定の数値範囲（1/40以下）となるものである。
　したがって、この引用例には、以下のような発明が記載されているものと認められる。
「圧電性基板(2)上に金属薄膜よりなる膜状の電極(1)を形成して成る弾性表面波素子の該電極(1)において、
　膜状の該電極(1)を構成する材料の結晶粒径分布幅と電極の幅寸法との比が所定の数値範囲（1/40以下）である弾性表面波素子電極。」
　
【３】対比・判断
　本願の請求項2に係る発明（以下「本願発明」という。）と上記引用例に記載された発明とを対比すると、引用例における「弾性表面波素子のくし形交差指電極パターン(1)」は圧電性基板(2)の上にホトエッチングにより形成されたものであるから、本願発明における「弾性表面波素子の該電極」に相当する。そして、引用例における「電極パターン(1)」の電極は、「結晶粒径分布幅」と記載されているが、本願発明における「平均結晶粒径」と同義であり、引用例及び本願発明における電極材料の平均結晶粒径と電極の幅寸法との比は、両者とも「所定の数値範囲」である点で共通し、その一部は重複するものと認められる。
　したがって、両者は、以下のとおりの一致点及び相違点を有するものである。
（一致点）
「圧電性基板上に金属薄膜よりなる膜状の電極を形成して成る弾性表面波素子の該電極において、
　膜状の該電極を構成する材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の所定の数値範囲である弾性表面波素子電極。」
（相違点）
　本願発明にあっては、膜状の該電極を構成する主材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の1/50〜1/5の寸法であるのに対して、引用例にあっては、電極を構成する材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の1/40以下の寸法である点、
（検討）
　前記相違点について検討すると、本願発明において、「膜状の該電極を構成する主材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の1/50〜1/5の寸法」であることの技術的意義は、「耐電力性向上と比抵抗の増加しないこと、とを両立させるためには、平均結晶粒径が電極幅の1/5から1/50の範囲内にあることが適切であること」（段落【0018】）としている。
　しかしながら、前記引用例においても、前記した摘記事項(1)に「弾性表面波素子の耐電力性及び長期信頼性は大幅に向上する。」、また「薄膜電極の抵抗値を低減するように作用する。この低抵抗化によって、大電力もしくは高周波帯での弾性表面波励振時の電極の発熱による温度上昇を小さくできるようになるので、Al原子の粒界拡散を抑圧でき、耐マイグレーション性が著しく向上する。」とあるとおり、本願発明の前記技術的意義とする「耐電力性向上と比抵抗の増加しないこと」を開示するものであり、両者間で相違するものとは認められない。そして、本願発明はそのための構成を主材料における数値範囲として規定するものではあるが、この数値範囲は前記技術的意義に基づいて選定されているものであるから、この主材料における数値範囲の選定自体に臨界的な意味乃至困難性は認められない。
　したがって、膜状の該電極を構成する主材料の平均結晶粒径が該電極の幅寸法の1/50〜1/5の寸法と成るように構成することは当業者が容易になし得ることと認められる。
　また、本願発明により奏する作用効果も、当業者が予測し得る程度のものであって格別のものとは認められない。
（なお、上申書（平成15年9月24日付）による特許請求の範囲の補正案とその主張を勘案しても、前記した特開平4-3510号公報、さらには特開平2-274008号公報などの公知技術を参酌すると、これを採用することはできない。）
　
【４】むすび
　以上のとおりであって、本願の請求項2に係る発明は、前記引用例に記載された発明及び周知の技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願は、その余の請求項について論及するまでもなく、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。