【手続補正書】
【提出日】平成24年7月3日(2012.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光の光路の周囲に配置された第１面と、
前記第１面の外縁に隣接して配置された第２面であり、前記第１面に対して傾斜した第１領域を含む前記第２面と、
前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置された液体回収面と、を備え、
前記第１面の少なくとも一部、及び前記液体回収面の少なくとも一部と対向する位置に物体が配置されたときに、前記物体の表面と実質的に垂直な所定方向に関して、前記第２面と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、且つ前記液体回収面の少なくとも一部と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きい露光装置。
【請求項２】
前記第１面は、前記物体の表面と実質的に平行である請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記第２面は、前記第１面の周囲に配置されている請求項１又は２記載の露光装置。
【請求項４】
前記第１領域は、前記第１面の外縁に隣接して配置される請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項５】
前記第２面は、前記第１領域の外縁に隣接して配置され、前記第１面と実質的に平行な第２領域を含む請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記第１領域は、前記光路から離れる方向に沿って、前記物体の表面から徐々に離れる請求項１〜５のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項７】
前記第２面は、前記第２面と前記物体の表面との間に存在する液体が接触し続けるように設けられている請求項１〜６のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項８】
前記液体回収面は、前記光路の周囲に配置されている請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項９】
前記液体回収面は、前記第２面の外縁と隣り合って配置される第３領域を含む請求項１〜８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１０】
前記第３領域は、前記第１面に対して傾斜している請求項９記載の露光装置。
【請求項１１】
前記第３領域は、前記光路から離れる方向に沿って、前記物体の表面に徐々に近づく請求項１０記載の露光装置。
【請求項１２】
前記第３領域は、前記第１面と実質的に平行である請求項９記載の露光装置。
【請求項１３】
前記液体回収面は、前記第３領域の外側に配置された第４領域を含み、前記所定方向に関して、前記第４領域と前記物体との間隔は、前記第３領域と前記物体との間隔よりも小さい請求項９〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１４】
前記第４領域の少なくとも一部は、前記第３領域に対して傾斜している請求項１３記載の露光装置。
【請求項１５】
前記第４領域の少なくとも一部は、前記光路から離れる方向に沿って、前記物体の表面に徐々に近づく請求項１４記載の露光装置。
【請求項１６】
前記第４領域の少なくとも一部は、前記第１面と実質的に平行である請求項１３記載の露光装置。
【請求項１７】
前記所定方向に関して、前記第４領域の少なくとも一部と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔と同程度又は実質的に等しい請求項１６記載の露光装置。
【請求項１８】
前記第４領域は、前記第３領域の外縁に隣接して設けられている請求項１３〜１７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項１９】
前記第１面は、前記液体に対して親液性を有する請求項１〜１８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２０】
前記第２面は、前記液体に対して親液性を有する請求項１〜１９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２１】
前記液体回収面は、多孔部材の表面を含み、前記液体回収面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部は、前記多孔部材を介して回収される請求項１〜２０のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２２】
前記露光光を射出する射出面を有する光学部材をさらに備え、
前記第１面の少なくとも一部が、前記光学部材の射出面の下方に配置された請求項１〜２１のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２３】
前記光学部材の下方に配置された、前記露光光が通過する開口をさらに備え、
前記第１面は、前記開口の周囲に設けられている請求項２２記載の露光装置。
【請求項２４】
前記光学部材の射出面と前記開口との間の空間へ液体を供給する供給口をさらに備えた請求項２３記載の露光装置。
【請求項２５】
前記第１面、前記第２面、及び前記液体回収面を有する液浸部材を備え、
前記液浸部材は、前記光路を囲むように配置されている請求項１〜２４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項２６】
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光の光路の周囲に配置された第１面と、
前記第１面の外縁に隣接して配置された第２面と、
前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置された液体回収面と、を備え、
前記第１面の少なくとも一部、及び前記液体回収面の少なくとも一部と対向する位置で物体が静止しているときに、前記物体の表面と実質的に垂直な所定方向に関して、前記第２面と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、前記液体回収面の少なくとも一部と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、且つ前記物体上の液体の界面が前記第２面と前記液体回収面との境界近傍に形成される露光装置。
【請求項２７】
前記第１面は、前記物体の表面と実質的に平行である請求項２６記載の露光装置。
【請求項２８】
前記第２面は、前記第１面の外縁に隣接して配置される第１領域を含む請求項２６又は２７記載の露光装置。
【請求項２９】
前記第２面は、前記第１領域の外縁に隣接して配置され、前記第１面と実質的に平行な第２領域を含む請求項２８記載の露光装置。
【請求項３０】
前記液体回収面は、前記第２面の外縁と隣り合って配置される第３領域を含む請求項２６〜２９のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３１】
前記液体回収面は、多孔部材の表面を含み、前記液体回収面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部は、前記多孔部材を介して回収される請求項２６〜３０のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項３２】
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光の光路の周囲に配置された第１面と、
前記第１面の外縁に隣接して配置された第２面と、
前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置された液体回収面と、を備え、
前記液体回収面は、前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置される第３領域と前記露光光の光路に対して前記第３領域の外側に配置された第４領域とを含み、
前記第１面の少なくとも一部、及び前記液体回収面の少なくとも一部と対向する位置に物体が配置されたときに、前記物体の表面と実質的に垂直な所定方向に関して、前記第２面と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、前記第３領域と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、前記第４領域と前記物体との間隔は、前記第３領域と前記物体との間隔よりも小さく、
前記露光光の光路に対する放射方向において、前記第４領域の大きさは、前記第３領域の大きさよりも大きい露光装置。
【請求項３３】
前記液体回収面は、多孔部材の表面を含む請求項３２記載の露光装置。
【請求項３４】
前記液体回収面は、前記液体を吸引して回収し、
前記第４領域における吸引力は、前記第３領域における吸引力と異なる請求項３２記載の露光装置。
【請求項３５】
液体を介して露光光で基板を露光する露光装置であって、
前記露光光の光路の周囲に配置された第１面と、
前記第１面の外縁に隣接して配置された第２面と、
前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置され、液体を吸引して回収する液体回収面と、を備え、
前記液体回収面は、前記露光光の光路に対して前記第２面の外側に配置される第３領域と前記露光光の光路に対して前記第３領域の外側に配置された第４領域とを含み、
前記第１面の少なくとも一部、及び前記液体回収面の少なくとも一部と対向する位置に物体が配置されたときに、前記物体の表面と実質的に垂直な所定方向に関して、前記第２面と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、前記第３領域と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔よりも大きく、前記第４領域と前記物体との間隔は、前記第３領域と前記物体との間隔よりも小さく、
前記第４領域における吸引力は、前記第３領域における吸引力と異なる露光装置。
【請求項３６】
前記液体回収面は、多孔部材の表面を含む請求項３４又は３５記載の露光装置。
【請求項３７】
前記液体回収面は、多孔部材の表面を含み、前記液体回収面と対向する前記物体上の液体の少なくとも一部は、前記多孔部材の孔を介して吸引され、
前記第４領域における前記多孔部材の単位面積当たりの孔の総面積は、前記第３領域における前記多孔部材の単位面積当たりの孔の総面積と異なる請求項３６記載の露光装置。
【請求項３８】
前記多孔部材は、前記物体と対向する第１多孔面と、前記第１多孔面との間に前記孔が形成された第２多孔面とを有し、
前記第４領域における前記第１多孔面と前記第２多孔面との圧力差は、前記第３領域における前記第１多孔面と前記第２多孔面との圧力差と異なる請求項３７記載の露光装置。
【請求項３９】
前記第４領域における吸引力は、前記第３領域における吸引力より小さい請求項３４〜３８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４０】
前記第４領域における吸引力は、前記第３領域における吸引力より大きい請求項３４〜３８のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４１】
前記第４領域は、前記第１面と実質的に平行である請求項３２〜４０のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４２】
前記第１面は、前記物体の表面と実質的に平行である請求項３２〜４１のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４３】
前記所定方向に関して、前記第４領域と前記物体との間隔は、前記第１面と前記物体との間隔と実質的に等しい請求項３２〜４２のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４４】
前記第３領域と前記第４領域とは実質的に平行である請求項３２〜４３のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４５】
前記第２面は、前記第１面の外縁に隣接して配置され、前記第１面に対して傾斜した第１領域を含む３２〜４４のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４６】
前記第２面は、前記第１領域の外縁に隣接して配置され、前記第１面と実質的に平行な第２領域を含む請求項４５記載の露光装置。
【請求項４７】
前記第３領域は、前記露光光の光路に対して前記第２面の外縁に隣り合って配置される請求項３２〜４６のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４８】
前記物体は、前記基板を含む請求項１〜４７のいずれか一項記載の露光装置。
【請求項４９】
請求項１〜４８のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。