(57)【要約】【課題】アルミニウム系合金からなるハードディスクドライブ用のアクチュエータアームの表面に、成形加工によって生じるバリや微細なキズが存在せず、また凹凸のない表面性を有する清浄度が高く、かつ寸法精度の高いアクチュエータアームを提供すること。また、このようなアクチュエータアームを得るための、比較的短時間で行える表面処理方法を提供することにある。【解決手段】アルミニウム系合金からコーナー部のバリサイズが３００μｍ以下、根元の幅が５０μｍ以下に成形加工された、ハードディスクドライブ用アクチュエータアームの表面を、電解研磨処理を行った後、リン酸および硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨するアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、解決される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム系合金からコーナー部のバリサイズが３００μｍ以下、根元の幅が５０μｍ以下に成形加工された、ハードディスクドライブ用アクチュエータアームの表面を、電解研磨処理を行った後、リン酸および硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨することを特徴とする、アクチュエータアームの表面処理方法。
【請求項２】
前記電解研磨処理は、前記アクチュエータアームを陽極とし、電荷量（電流×時間）を前記アクチュエータアームの表面積で除した（平均電荷密度）値が、０．５〜１０クーロン（Ｃ）であり、かつ前記化学研磨処理の前記混合水溶液が、リン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含むことを特徴とする、請求項１に記載のアクチュエータアームの表面処理方法。
【請求項３】
前記アクチュエータアームの寸法精度が必要なコーナー部の、長さ５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のバリ部分の電流を遮蔽しながら、前記電解研磨処理を行い、ついで前記遮蔽を取り除いた後に前記化学研磨処理を行うことを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の、アクチュエータアームの表面処理方法。
【請求項４】
請求項１〜３に記載されるアクチュエータアームの表面処理方法により、コーナー部にはバリが存在せず、かつ表面凹凸に起因する白色部分が存在しないことを特徴とする、アクチュエータアーム。
【請求項５】
前記コーナー部の寸法変化が、５μｍ以下であることを特徴とする、請求項４に記載のアクチュエータアーム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、コンピュータのハードディスクドライブの記録再生を行うヘッド部を駆動させる、アクチュエータアーム並びに表面処理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
コンピュータの記憶装置であるハードディスクドライブは、その性能向上がますます要求されており、そのためにその記録、再生を行う磁気ヘッドも同様の要求がなされている。この磁気ヘッドは、アクチュエータによって位置制御されるものであるから、アクチュエータも高速、高精度で駆動する必要がある。このためには、アクチュエータを軽量化することが重要な条件となってきている。そのため、現在使用されているアクチュエータ部品は、通常アルミニウム系合金が使用されている。これは、アルミニウム系合金が高速駆動に十分耐える強度、弾性係数を有し、かつ軽量であるためである。しかしながら、このアクチュエータ部品は形状が複雑であるにもかかわらず、数〜数十μｍ程度の寸法精度を要求される。通常成形加工は、通常切削やプレスによって行われているが、切削加工やプレス加工では、バリの発生が避けられない。そしてこのバリは、工具形状、工具材質、加工速度、ワークの材質や潤滑剤などの加工条件によっても若干変わってくるが、通常根元からの長さが数十μｍ程度のものとなっている。このようなバリは、前述のようにアクチュエータ部品の寸法精度上問題があり、またハードディスクドライブに組み込まれた後に、微細な金属片等として剥がれ落ちたりすると、記録の読取り障害等の原因にもなる。そこでこのバリは、予めブラシ、ヤスリ等の工具或いは電解研磨等によって、取除くことが行われているが、工具を用いる除去では人手を要しコスト等からも問題がある。また、電解研磨は設備が大掛かりになる上に、製品の外観品質に若干問題があった。これは、ワークの位置等により電流密度の差が生じることによって、表面にクレータ状の凹凸が形成され、これが肉眼では白色に変色して見えるものである。特に、電流密度が１Ａ／ｃｍ２以下の場合に顕著となる。そこで、特許文献１に記載されるような、化学研磨薬品による表面処理方法も提案されているが、このような表面処理方法においては大きなサイズのバリに対して、化学研磨液の濃度を高めたり、処理速度をゆっくり行わなくてはならない等、環境上や生産性の問題があり、またコーナー部を含めた全てのバリを除去しようとする場合には、特に問題があった。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２６６５１２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
よって本発明が解決しようとする課題は、アルミニウム系合金からなるハードディスクドライブ用のアクチュエータアームの表面に、成形加工によって生じるバリや微細なキズが存在せず、また凹凸のない表面性を有する清浄度が高く、かつ寸法精度の高いアクチュエータアームを提供すること。また、このようなアクチュエータアームを得るための、比較的短時間で行える表面処理方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そして前記課題を解決するためには、請求項１に記載されるように、アルミニウム系合金からコーナー部のバリサイズが３００μｍ以下、根元の幅が５０μｍ以下に成形加工された、ハードディスクドライブ用アクチュエータアームの表面を、電解研磨処理を行った後、リン酸および硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨するアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、解決される。また、請求項２に記載されるように、前記電解研磨処理は、前記アクチュエータアームを陽極とし、電荷量（電流×時間）を前記アクチュエータアームの表面積で除した（平均電荷密度）値が、０．５〜１０クーロン（Ｃ）であり、かつ前記化学研磨処理の前記混合水溶液が、リン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含む、請求項１に記載のアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、解決される。
【０００６】
さらに請求項３に記載されるように、前記アクチュエータアームの寸法精度が必要なコーナー部の、長さ５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のバリ部分の電流を遮蔽しながら、前記電解研磨処理を行い、ついで前記遮蔽を取り除いた後に前記化学研磨処理を行うことを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載の、アクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、解決される。
【０００７】
また、請求項４に記載されるように、請求項１〜３に記載されるアクチュエータアームの表面処理方法により、コーナー部にはバリが存在せず、かつ表面凹凸に起因する白色部分が存在しないアクチュエータアームとすることによって、解決される。さらに請求項５に記載されるように、前記コーナー部の寸法変化が、５μｍ以下である、請求項４に記載のアクチュエータアームとすることによって、解決される。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を説明する。請求項１に記載される発明は、アルミニウム系合金からコーナー部のバリサイズが３００μｍ以下、根元の幅が５０μｍ以下に成形加工された、ハードディスクドライブ用アクチュエータアームの表面を、電解研磨処理を行った後、リン酸および硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨するアクチュエータアームの表面処理方法とするので、得られたアクチュエータアームは、バリが存在せず、微細なキズや表面凹凸による白色部分等が殆ど存在しないものとなる。そして、このように表面性状が改良されたアクチュエータアームは、寸法精度の高い、清浄度が高められたアクチュエータアームとなる。
【０００９】
図１に基づいて詳細に説明する。この図面に記載したものは一例を示すもので、このアクチュエータアーム１は、回転自在な支持部２、スイングアーム３、磁気コイル４並びに前記磁気コイルの保持部５から構成されるものである。そしてこのアクチュエータアーム１には、通常成形加工によるバリが、特にコーナー部７に存在する。そしてこのバリ６は、突出した長さが３００μｍ以下で、根元の長さが５０μｍ以下のサイズのものである。具体的には、図２（ａ）に示されるようなもので、アクチュエータアーム１のコーナー部７にＬａとして示される部分が突出した長さであり、Ｌｂとして示されるのが、根元の幅である。このようなバリ６の存在は、アクチュエータアーム１としての性能を低下させる原因となるので、取り除く必要がある。そこでまず、アクチュエータアーム１を陽極とする電解研磨を施すものである。
【００１０】
この電解研磨は、前記アクチュエータアーム１を陽極とし、例えば硝酸ナトリウムなどの水溶液中で行われる。このような硝酸イオンを含む電解研磨処理を行うと、電解浴中でアルミニウム系合金の孔食抑制剤として作用し、精密な寸法制度と優れた外観表面を得ることができる。しかしながら、このような電解研磨処理においては、硝酸塩濃度によっては表面が白色する白変現象が見られる。そこで、好ましくは硝酸塩濃度を１５％（ｗｔ）以上とし、電流密度を１Ａｃｍ−２以上の電流で行なっている。なお陰極としては、白金等が用いられる。このような電解研磨によれば、前述のアクチュエータアーム１のコーナー部７に発生した、長さが３００μｍ以下で、根元の幅が５０μｍ以下の大きさのバリ６を、除去することができる。
【００１１】
このような電解研磨が行われたアクチュエータアームは、表面の凹凸が大きいので、表面性を上げるために、以下の化学研磨処理が行われる。前記処理が行われたアクチュエータアーム１を、リン酸と硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨することにより、より好ましい表面性状となるようにしたものである。より詳細に説明すると、例えば市販のリン酸試薬や硝酸試薬をイオン交換水中に添加、混合して、所望の濃度のリン酸、硝酸混合水溶液を作製する。そしてこの時、リン酸が主成分となるように添加、混合するものである。つぎにこの混合水溶液を、ステンレス製等の容器に入れ、外部からウオーターバス等で加熱すると共にステンレス製の投げ込みヒータを入れて、中からも加温することが好ましい。またそのとき、エアーポンプを用いて空気攪拌を行って、所望の温度に調整することも好ましい。
【００１２】
このように温度調整された前記混合水溶液中に、前記電解研磨処理されたアクチュエータアーム１を、ステンレス製のワイヤー等で吊るし、市販のカソードロッカーにより揺動させ所定の時間、化学研磨を行うものである。その時の温度は、前述のように温度８０〜１１０℃の範囲で行うのがよい。これは、研磨速度や環境状態等を考慮して、選定されたものである。このようなリン酸と硝酸からなる混合水溶液を用いて前記温度範囲で化学研磨することによって、前記アクチュエータアーム１表面には凹凸による白色部分が殆どない、平滑な表面とすることができることになる。
【００１３】
なお、前記化学研磨温度を８０〜１１０℃としたのは、８０℃未満では反応速度が遅すぎて実用的ではなく、また１１０℃を越えると混合水溶液中の硝酸や水分の蒸発が大きくなり過ぎ、好ましくないためである。さらに、リン酸を主成分としこれに硝酸を添加した混合水溶液を用いるのは、化学研磨後の表面が平滑で光沢のあるものとするためであり、また溶解速度が０．１μｍ／ｓｅｃ程度であるため、溶解による寸法変化をコントロールし易くするためでもある。このような条件の化学研磨処理とすることにより、通常行われているこの種の化学研磨処理液であるハロゲン化水素をベースとする方法と比較しても優れた、化学研磨処理方法とすることができる。
【００１４】
つぎに好ましい前記研磨条件を特定した、請求項２に記載される発明について説明する。すなわち前記電解研磨処理を、前記アクチュエータアームを陽極とし、電荷量（電流×時間）を前記アクチュエータアームの表面積で除した（平均電荷密度）値が、０．５〜１０クーロン（Ｃ）であり、かつ前記化学研磨処理の前記混合水溶液が、リン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含む、アクチュエータアームの表面処理方法とするもので、より安定した好ましい研磨処理方法とすることができる。詳細に説明すると、まず電解研磨処理の条件を（平均電荷密度）として規定するもので、電荷量（電流×時間）を前記アクチュエータアームの表面積で除した値が、０．５〜１０クーロン（Ｃ）とするものである。このような条件で電解研磨を行うのは、前述のように例えば硝酸ナトリウムなどの水溶液中のように、硝酸イオンを含む電解研磨処理を行う場合に好適なものとなる。すなわち、（平均電荷密度）が０．５（Ｃ）未満であると、長さが３００μｍ以下で根元の幅が５０μｍ以下の大きさのバリを除去するのが困難となり、また１０（Ｃ）を超えると、寸法精度がよいものが得られず、またエネルギーも無駄となるためである。
【００１５】
またつづいて行う化学研磨を、前記混合水溶液をリン酸が５ｍｏｌ／Ｌ以上、および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌからなるものとすることにより、より好ましい表面処理方法とすることができる。このような条件で化学研磨することによって、バリが存在せず、アクチュエータアーム表面も平均粗さが０．５μｍ以下となって、白色部分が全くない表面性のものとすることができる。さらにその製造速度も、実用的な表面処理条件とすることができる。
【００１６】
詳細に説明すると、前記混合水溶液はリン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上、硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含む混合水溶液とすることによって、より好ましい化学研磨による表面処理方法とすることができることになる。すなわち、混合水溶液中のリン酸濃度が５ｍｏｌ／Ｌ未満であると、平均表面粗さが０．５μｍ以下の平滑性を十分達成できず、硝酸濃度を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌとすることによって、前記した表面平滑性が得られることになる。なお、０．８ｍｏｌ／Ｌを越えて添加すると、亜硝酸ガスの発生量が多くなって、作業性が好ましくなくなるためである。このような濃度範囲の混合水溶液を用いることによって、比較的短時間で、前記平均表面粗さが０．５μｍ以下となる。なお、この混合水溶液には他の添加剤として、アルミニウムよりもイオン化傾向の低い銅、鉛、ニッケルのような金属イオン等を添加しても良い。
【００１７】
さらに、より好ましい表面処理方法に関する請求項３に記載について説明すると、前記アクチュエータアームの寸法精度が必要なコーナー部の、長さ５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のバリ部分の、電流を遮蔽しながら前記電解研磨処理を行えるようにし、ついで前記遮蔽を取り除いた後に、前記化学研磨処理を行うアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、前記コーナー部の数法精度を損なわずに、前記バリを除去することができる。
【００１８】
具体的に説明すると、成形加工によってよって生じた長さが３００μｍ以下で、根元の幅が５０μｍ以下のサイズのバリを、電解研磨によって除去する場合に、バリの大きさが、長さが５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のサイズの部分に絶縁体からなる遮蔽を施して、電解研磨処理を行うものである。すなわち、図２（ａ）に示されるアクチュエータアーム１のコーナー部７に、Ｌａとして示される長さ部分並びにＬｂとして示され根元の幅を有するバリ６に、樹脂ワニスや樹脂系の接着剤等からなる電気絶縁体を用いて、遮蔽（或いはマスキング）をした後、まずアクチュエータアーム１を陽極とする電解研磨を施すものである。このような電解研磨処理を行うことによって、電解研磨によって除去しようとするバリのみを除去できることになる。これは電解研磨処理を効率的に行えることになり、実用的である。なお、電解研磨処理条件については、前述したような条件で行えばよい。
【００１９】
このようにして長さが５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のバリのみが残ったアクチュエータアームは、電解研磨処理によって付着した酸物質を、中和処理によって除去した後、前述した化学研磨処理を行って、バリを除去し、表面凹凸も全く無くした寸法精度が高く、かつ表面清浄度が高い優れた表面品質を有するものとすることができる。しかも、その表面処理を極めて効率的に行えることになる。またこのような研磨処理によって、特にコーナー部の寸法変化（Ｌ１）を、数μｍ以下とすることができる。具体的には、前記寸法変化（Ｌ１）を５μｍ以下とするものである。このような数値にまで化学研磨処理することによって、アクチュエータアーム表面も平均粗さが０．５μｍ以下となって、白色部分が全くない表面性のものとすることができるものである。さらにその製造速度も、実用的な条件とすることができることになる。
【００２０】
以上の表面処理方法によって得られたアクチュエータアームは、請求項４に記載されるように、成形加工によって発生したコーナー部の長さ（Ｌａ）が、３００μｍ以下で、根本の幅（Ｌｂ）が５０μｍ以下のバリを完全に除去したものとなる。そしてまた、表面の凹凸も平均粗さが０．５μｍ以下となって、前記凹凸によって生じる白色部分も存在しない、アクチュエータアームとすることができる。このようなアクチュエータアームは、寸法精度が高く、かつ表面清浄度が高められたものとなり、高速、高精度で駆動することが可能なものとなる。
【００２１】
さらに前記アクチュエータアームは、請求項５に記載されるように、前記アクチュエータアームのコーナー部の寸法変化（Ｌ１）が、５μｍ以下であるアクチュエータアームとすることによって、より表面性状の優れたアクチュエータアームとして、使用することが可能となる。すなわち、成形加工によって発生したコーナー部の長さ（Ｌａ）が３００μｍ以下で、根本の幅（Ｌｂ）が５０μｍ以下のサイズのバリが完全に除去され、また表面凹凸に起因する白色部分が存在しないアクチュエータアームとなる。これは、前記アクチュエータアームのコーナー部の寸法変化（Ｌ１）を、５μｍ以下となるようにすることにより、前記アクチュエータアームの表面も全体に研磨されるためである。このようなアクチュエータアームは、寸法精度が高く、表面清浄度等の表面性状に優れた、かつ軽量化されたアクチュエータアームを提供できることになり、ハードディスクドライブの小型化にも対応し、かつ記録、再生等の性能をより向上させることにもなる。
【００２２】
【実施例】
以下に実験例を示して、本発明の効果を述べる。図１に示されるようなアクチュエータアームを作製し、表１に示す条件で、電解研磨ついで化学研磨による表面処理を行い、その表面特性等の確認を行った。なお実施例７〜１２および比較例４〜６は、特に精度を要求されるヘッド保持部８（図１参照）を、絶縁性樹脂で遮蔽して、電解研磨を行ったものである。前記アクチュエータアームは、アルミニウム合金としてＪＩＳ規格６０６１のＴ６を用い、切削加工によって作製しした後、有機溶剤によって洗浄したものである。まずこれらの試料を陽極とし、硝酸ナトリウム水溶液（２０％ｗｔ）を電解液として、陰極に黄銅を用いて表１のように電荷量を変化させて、電解研磨を行った。つぎに、前記電解研磨を行ったアクチュエータアームを、硝酸水溶液（１０％）で酸洗した後、ステンレス製のワイヤで吊るし、エアーポンプ（３Ｌ／ｍｉｎ）を用いて拡散を行って、表１の組成濃度と温度の混合水溶液を入れたステンレス水槽中で、化学研磨処理を行った。
【００２３】
結果は、アクチュエータアームのバリの状態を、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を用いて、長さ（Ｌａ）および根元の長さ（Ｌｂ）を測定した。バリの存在しないものを○印で、存在するものを×印で示した。さらに表面粗さについては、表面粗さ計を用いて測定し、平均表面粗さ（μｍ）として記載した。また寸法変化（Ｌ１）については、レーザ式３次元形状測定装置により測定し、Ｌ１が、５μｍ以下になっているものを合格として○印で、それ以外のものを×印で表示した。また表面凹凸に関しては、平均表面粗さとして０．５μｍ以下になっている場合を、合格として○印で記載した。結果は、表１のとおりである。
【００２４】
【表１】
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【００２５】
表１から明らかなとおり、本発明を示す実施例１〜６に示されるアクチュエータアームは、バリが存在せず、平均表面粗さも合格となる表面性を有する、満足できるものとなっていた。これに対して、従来例１および２、比較例１〜３に示される条件のものは、バリが存在するか或いは平均表面粗さのいずれかが、不合格となるものであった。より詳細に述べると、長さが概ね３００μｍ以下で根元の幅が概ね５０μｍ以下のサイズのバリに対して、実施例１〜６、従来例１および２、比較例１〜３に記載される条件で、電解研磨処理並びに化学研磨処理を行った結果、実施例１〜６に記載される、電解条件が０．５〜１０（Ｃ／ｃｍ２）の範囲で、化学研磨がリン酸濃度５．０（ｍｏｌ／Ｌ）以上、硝酸濃度０．１（ｍｏｌ／Ｌ）以上の混合水溶液で、温度９０〜１１０℃で行うと、バリが存在せず、表面性も０．５μｍ以下と、優れたものであることがわかる。またその処理時間も３分以内と、実用的なものである。これに対して、従来例１のものは化学研磨のみであるから、バリが存在していて本発明が目的とするアクチュエータアームとしては、使用できないものである。また、従来例２のように化学研磨を行わないものは、バリが存在し、表面性も悪いものであった。さらに、比較例１〜３では、電解研磨条件が十分でなかったり、化学研磨条件も好適でないために、バリが存在したり、表面性から問題があるものであった。
【００２６】
また、特に精度を要求される部分を遮蔽して電解研磨を行った場合については、実施例７〜１２に示されるものはバリが存在せず、寸法変化並びに平均表面粗さが合格となる表面性を有する、満足できるものとなっていた。より詳細に述べると、長さが概ね５０μｍ以下で根元の幅が概ね１０μｍ以下のサイズのバリに対して、実施例７〜１２に記載される本発明のものは、電解研磨処理を２（Ｃ／ｃｍ２）で、化学研磨処理を前記本発明の条件範囲で行うことによって、バリが存在せず、寸法変化が５μｍ以下で表面性も０．５μｍ以下と、優れたものであることがわかる。これに対して比較例４〜６のように、電解研磨条件並びに化学研磨条件を本発明の範囲内であっても、遮蔽した部位のバリサイズが、前記アクチュエータアームのコーナー部の長さが５０μｍ以下、或いは根元の幅が１０μｍ以下のバリサイズの条件を外れると、バリが存在したり、寸法変化が５μｍを大幅に越えたりして、問題があった。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明した通り本発明は、アルミニウム系合金からコーナー部のバリサイズが３００μｍ以下、根元の幅が５０μｍ以下に成形加工された、ハードディスクドライブ用アクチュエータアームの表面を、電解研磨処理を行った後、リン酸および硝酸を含む混合水溶液を用い、温度８０〜１１０℃で化学研磨するアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、また前記電解研磨処理を、前記アクチュエータアームを陽極とし、（平均電荷密度）が、０．５〜１０クーロン（Ｃ）であり、かつ前記化学研磨処理の前記混合水溶液が、リン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含むアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、得られたアクチュエータアームは、バリが存在せず、微細なキズや表面凹凸による白色部分等が存在しないものとなる。そして、このように表面性状が改良されたアクチュエータアームは、寸法精度の高い、清浄度が高められた表面性を有するアクチュエータアームとなる。特に前記電解研磨処理を、前記アクチュエータアームを陽極とし、（平均電荷密度）を、０．５〜１０クーロン（Ｃ）の範囲で、かつ前記化学研磨処理の前記混合水溶液が、リン酸を５ｍｏｌ／Ｌ以上および硝酸を０．１〜０．８ｍｏｌ／Ｌ含む、アクチュエータアームの表面処理方法とする場合は、前記特性に加え寸法変化も５μｍ以下と、選りすぐれた表面性を有するものとなり、より安定した研磨処理による表面処理方法とすることができる。
【００２８】
また、前記アクチュエータアームの寸法精度が特に必要な、コーナー部の長さ５０μｍ以下で根元の幅が１０μｍ以下のバリ部分の電流を、遮蔽しながら前記電解研磨処理を行い、ついで前記遮蔽を取り除いた後に前記化学研磨処理を行うアクチュエータアームの表面処理方法とすることによって、得られたアクチュエータアームにはバリが存在せず、微細なキズや表面凹凸による白色部分等が存在しないものとなる。そして、このように表面性状が改良されたアクチュエータアームは、寸法精度の高い、清浄度が高められたアクチュエータアームとなる。そしてこのような表面処理方法は、きわめて実用的なアクチュエータアームの製造方法となる。
【００２９】
また本発明のアクチュエータアームは、請求項１〜３に記載される表面処理方法によってコーナー部にはバリが存在せず、かつ表面凹凸に起因する白色部分が存在しないアクチュエータアームであり、さらにアクチュエータアームのコーナー部の寸法変化が、５μｍ以下であるアクチュエータアームとすることによって、
成形加工によって発生したコーナー部の長さ（Ｌａ）が３００μｍ以下で、根本の幅（Ｌｂ）が５０μｍ以下のサイズのバリが完全に除去され、また表面凹凸に起因する白色部分が存在しないアクチュエータアームとなる。これは、前記アクチュエータアームのコーナー部の寸法変化（Ｌ１）を、５μｍ以下となるようにすることにより、前記アクチュエータアームの表面も全体に研磨されるためである。このようなアクチュエータアームは、寸法精度が高く、表面清浄度等の表面性状に優れた、かつ軽量化されたアクチュエータアームを提供できることになり、ハードディスクドライブの小型化にも対応し、かつ記録、再生等の性能をより向上させることにもなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明のアクチュエータアームの一例を示す概略図面である。
【図２】図２は、コーナー部のバリの概略拡大断面図である。
【符号の説明】
１    アクチュエータアーム
２    回転自在な支持部
３    スイングアーム
４    磁気コイル
５    磁気コイル４の保持部
６    バリ
７    コーナー部
８    ヘッド保持部
Ｌａ      バリの長さ
Ｌｂ      バリの根元の幅
Ｌ１    コーナー部の寸法変化
【図１】
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【図２】
2004216480.tif 000005