【手続補正書】
【提出日】平成15年9月10日(2003.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、記録再生光の入射方向から順に、第１保護層、膜厚が５ｎｍ以上２５ｎｍ以下の相変化型記録層、第２保護層、膜厚が４０ｎｍ以上３００ｎｍ以下で、体積抵抗率が２０ｎΩ・ｍ以上１５０ｎΩ・ｍ以下の反射層、を設けてなり、
該記録層の結晶部を未記録・消去状態とし非晶質部を記録状態とし、最短マーク長０．５μｍ以下の複数の記録マーク長により情報を記録するための光学的情報記録用媒体であって、
該記録層は、Ｇｅy（ＳｂxＴｅ1-x）1-y（０．７≦ｘ≦０．９、０＜ｙ≦０．１）合金を主成分とする薄膜からなり、
該記録層は、一定線速度で、記録層を溶融させるに足る記録パワーＰｗの記録光を連続的に照射すると概ね結晶化されるほど再凝固時の結晶化速度が速く、該記録パワーＰｗを瞬間的に遮断すると非晶質マークが形成されることを特徴とする光学的情報記録用媒体。
【請求項２】
該記録層が添加元素として、Ｇａ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｂ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ、Ａｇのうちの少なくとも１種をさらに含み、
該添加元素の添加量の合計が１０原子％以下であり、Ｇｅと該添加元素との添加量の合計が１５原子％以下である請求項１に記載の光学的情報記録用媒体。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光学的情報記録用媒体であって、
最短マーク長０．５μｍ以下の複数のマーク長により信号を記録したときの記録直後に再生した信号の変調度をＭ0とし、
記録後、８０℃８０％ＲＨの条件下で１０００時間経過ののち再生した信号の変調度をＭ1とすると、
【数１】
2003019868.tif 000001
である光学的情報記録用媒体。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の光学的情報記録用媒体に情報を記録するにあたり、
記録マーク間には、非晶質を結晶化しうる消去パワーＰｅの記録光を照射し、
一つの記録マークの時間的な長さをｎＴとしたとき（Ｔは基準クロック周期、ｎは２以上の整数）、
記録マークの時間的長さｎＴを、
【数２】
2003019868.tif 000002
（ただし、ｍはパルス分割数でｍ＝ｎ−ｋ、ｋは０≦ｋ≦２なる整数とする。
また、Σi（αi＋βi）＋η1＋η2＝ｎとし、η1はη1≧０なる実数、η2はη2≧０な
る実数、０≦η1＋η2≦２．０とする。
αi（１≦ｉ≦ｍ）はαi＞０なる実数とし、βi（１≦ｉ≦ｍ）はβi＞０なる実数とし、Σαi＜０．５ｎとする。
α1＝０．１〜１．５、β1＝０．３〜１．０、βm＝０〜１．５とし、αi＝０．１〜０．８（２≦ｉ≦ｍ）とする。
なお、３≦ｉ≦ｍなるｉにおいてαi＋βi-1＝０．５〜１．５の範囲にあり、かつ、ｉによらず一定とする。）
の順に分割し、
αiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては記録層を溶融させるにたるＰｗ≧Ｐｅなる記録パワーＰｗの記録光を照射し、βiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては、０＜Ｐｂ≦０．２Ｐｅ（ただし、βmＴにおいては、０＜Ｐｂ≦Ｐｅとなりうる）なるバイアスパワーＰｂの記録光を照射することを特徴とする光学的情報記録用媒体の光記録方法。
【請求項５】
記録線速度によらずαi＋βi-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）とし、Ｐｂ，Ｐｗ，Ｐｅ／Ｐｗ比、αi、β1、βmは記録線速度に応じて可変であり、記録線速度が低いほど少なくともαi（ｉは２≦ｉ≦ｍ）の少なくとも一つ）を単調に減少するように変化させることを特徴とする請求項４に記載の光記録方法。
【請求項６】
波長が３５０〜６８０ｎｍの光を、開口数ＮＡが０．５５〜０．９の対物レンズを通して記録層に集光させ、データの記録再生を行う光記録方法であって、
ｍ＝ｎ−１もしくはｍ＝ｎ−２、
α1＝０．３〜１．５、
α1≧αi＝０．２〜０．８（２≦ｉ≦ｍ）、
αi＋βi-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）、
０≦Ｐｂ≦１．５（ｍＷ）、
０．３≦Ｐｅ／Ｐｗ≦０．６
である請求項４又は５に記載の光記録方法。
【請求項７】
波長が６００〜６８０ｎｍの光を、開口数ＮＡが０．５５〜０．６５の対物レンズを通し、基板を介して記録層に集光させ、最短マーク長を０．３５〜０．４５μｍの範囲として、データの記録再生を行う光記録方法であって、
ｎは１〜１４の整数とし、
ｍ＝ｎ−１とし、
Ｐｂは線速によらず一定とし、
（ｉ）記録線速度３〜４ｍ／ｓの範囲においては、基準クロック周期ＴをＴｏとし、
α1＝０．３〜０．８、
α1≧αi＝０．２〜０．４であってｉによらず一定（２≦ｉ≦ｍ）、
α2＋β1≧１．０、
αi＋βi-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）、
βm＝０．３〜１．５とし、
αiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては記録パワーＰｗ1の記録光を照射し、
（ｉｉ）記録線速度６〜８ｍ／ｓの範囲においては、基準クロック周期ＴをＴｏ／２とし、
α’1＝０．３〜０．８、
α’1≧α’i  ＝０．３〜０．５であってｉによらず一定（２≦ｉ≦ｍ）、
α’i＋β’i-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）、
β’m＝０〜１．０とし、
αiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては記録パワーＰｗ2の記録光を照射するとしたとき、
α’i＞αi（２≦ｉ≦ｍ）、かつ、０．８≦Ｐｗ1／Ｐｗ2≦１．２である請求項４乃至６のいずれかに記載の光記録方法。
【請求項８】
所定の記録領域を有する光学的情報記録用媒体を角速度一定で回転させて情報を複数のマーク長により記録する方法であって、
該記録領域は半径によって区切られた複数ゾーンからなり、各ゾーン内の平均線速度に応じて記録密度がほぼ一定となるように基準クロック周期Ｔを変化させる記録方法であって、
ゾーンによらずｍを一定とし、
外周ゾーンから内周ゾーンに向かって、Ｐｂ／Ｐｅ及び／又はαi（ｉは１≦ｉ≦ｍの少なくとも一つ）を単調に減少させる請求項４乃至７のいずれかに記載の光記録方法。
【請求項９】
上記記録領域は半径によってｐ個のゾーンに分割され、最内周側を第１ゾーン、最外周側を第ｐゾーンとし、第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における角速度をωq、平均線速度を＜ｖq＞ave、最大線速度を＜ｖq＞max、最小線速度を＜ｖq＞min、基準クロック周期をＴq、最短マークの時間的長さをｎminＴqとすると、
＜ｖp＞ave／＜ｖ1＞aveは１．２〜３の範囲であって、＜ｖq＞max／＜ｖq＞minは１．５以下であり、
（ｉ）同一ゾーン内では、ωq、Ｔq、αi、βi、Ｐｅ、Ｐｂ、及びＰｗは一定であり、最短マークの物理的長さｎminＴq＜ｖq＞aveは０．５μｍ以下であり、Ｔq
＜ｖq＞aveは１≦ｑ≦ｐなる全てのｑに対してほぼ一定であり、かつ、
ｍ＝ｎ−１もしくはｍ＝ｎ−２、
α1＝０．３〜１．５、
α1≧αi＝０．２〜０．８（２≦ｉ≦ｍ）、
αi＋βi-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）、
０≦Ｐｂ≦１．５（ｍＷ）、
（ｉｉ）各ゾーンごとにＰｂ、Ｐｗ、Ｐｅ／Ｐｗ、αi（１≦ｉ≦ｍ）、β1、βmは可変であり、外周ゾーンから内周ゾーンに向かって、少なくともαi（ｉは２≦ｉ≦ｍの少なくとも一つ）を単調に減少させる請求項８に記載の光記録方法。
【請求項１０】
該記録領域におけるＰｗの最大値をＰｗmax、最小値をＰｗminとするとき、Ｐｗmax／Ｐｗmin≦１．２である請求項９に記載の光記録方法。
【請求項１１】
波長が６００〜６８０ｎｍの光を、開口数ＮＡが０．５５〜０．６５の対物レンズを通し、基板を介して記録層に集光させ、データの記録再生を行う光記録方法であって、
上記記録領域の最内周が半径２０〜２５ｍｍの範囲にあり、最外周が半径５５〜６０ｍｍの範囲にあり、最内周の第１ゾーンの平均線速度が＜ｖ1＞aveであり、
第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における角速度をωq、平均線速度を＜ｖq＞ave、最大線速度を＜ｖq＞max、最小線速度を＜ｖq＞min、基準クロック周期をＴq、最短マークの時間的長さをｎminＴqとすると、
ｎは１〜１４の整数であり、
ｍ＝ｎ−１であり、
ωq、Ｐｂ及びＰｅ／Ｐｗはゾーンによらず一定であり、
Ｔq＜ｖq＞ave  は１≦ｑ≦ｐなる全てのｑに対してほぼ一定であり、かつ、
【数３】
2003019868.tif 000003
を満たし、
（ｉ）第１ゾーンにおいては、
α11＝０．３〜０．８、
α11≧α1i  ＝０．２〜０．４であってｉによらず一定（２≦ｉ≦ｍ）、
α12＋β11≧１．０、
α1i＋β1i-1＝１．０（３≦ｉ≦ｍ）とし、
（ｉｉ）第ｐゾーンにおいては、
αp1＝０．３〜０．８、
αp1≧αpi＝０．３〜０．５であってｉによらず一定（２≦ｉ≦ｍ）、
αpi＋βpi-1＝１．０（２≦ｉ≦ｍ）とし、
（ｉｉｉ）他のゾーンにおいては、α1i≦αqi≦αpi（２≦ｉ≦ｍ）とし、αq1はα11とαp1との間の値とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の光記録方法。
【請求項１２】
α11≧αq1≧αp1（ただし、α11＞αp1）である請求項１１に記載の光記録方法。
【請求項１３】
Ｐｂ、Ｐｅ／Ｐｗ、β1、βmはゾーンによらず一定であり、α1、αi（２≦ｉ≦ｍ）のみをゾーンにより変化させる請求項１１又は１２に記載の光記録方法。
【請求項１４】
請求項１乃至４のいずれかに記載の光学的情報記録用媒体に情報を記録するにあたり、
記録マーク間には、非晶質を結晶化しうる消去パワーＰｅの記録光を照射し、
一つの記録マークの時間的な長さをｎＴとしたとき（Ｔは基準クロック周期、ｎは２以上の整数）、
記録マークの時間的長さｎＴを、
【数４】
2003019868.tif 000004
（ただし、ｍはパルス分割数でｍ＝ｎ−ｋ、ｋは０≦ｋ≦２なる整数とする。
また、Σi（αi＋βi）＋η1＋η2＝ｎとし、η1はη1≧０なる実数、η2はη2≧０なる実数、０≦η1＋η2≦２．０とする。
αi（１≦ｉ≦ｍ）はαi＞０なる実数とし、βi（１≦ｉ≦ｍ）はβi＞０なる実数とする。
α1＝０．１〜１．５、β1＝０．３〜１．０、βm  ＝０〜１．５とし、２≦ｉ≦ｍなるｉにおいてαiは０．１〜０．８の範囲にあり、かつ、ｉによらず一定とする。
なお、３≦ｉ≦ｍなるｉにおいてαi＋βi-1は０．５〜１．５の範囲にあり、かつ、ｉによらず一定とする。）
の順に分割し、
αiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては記録層を溶融させるにたるＰｗ≧Ｐｅなる記録パワーＰｗの記録光を照射し、βiＴ（１≦ｉ≦ｍ）の時間内においては、０＜Ｐｂ≦０．２Ｐｅ（ただし、βmＴにおいては、０＜Ｐｂ≦Ｐｅとなりうる）なるバイアスパワーＰｂの記録光を照射し、
線速度によらずｍ、αi＋βi-1（３≦ｉ≦ｍ）、α1Ｔ、及びαiＴ（２≦ｉ≦ｍ）を一定とし、線速度が小さいほどβmが単調に増加するように変化させることを特徴とする光記録方法。
【請求項１５】
各記録線速度での最大記録パワーをＰｗmax、最小記録パワーをＰｗminとするとき、
Ｐｗmax／Ｐｗmin≦１．２、
Ｐｅ／Ｐｗ＝０．４〜０．６、
０≦Ｐｂ≦１．５（ｍＷ）
である請求項１４に記載の光記録方法。
【請求項１６】
記録線速度が５ｍ／ｓ以下において、Σαi＜０．５ｎである請求項１５に記載の光記録方法。
【請求項１７】
最大記録線速度におけるβmをβHm、最小記録線速度におけるβmをβLmとしたとき、
他の記録線速度におけるβmは、βLmとβHmの間の値とし、
記録線速度によらずＰｂ、Ｐｅ／Ｐｗ比が一定である請求項１５に記載の光記録方法。
【請求項１８】
記録線速度によらずβmが一定である請求項１４乃至１６のいずれかに記載の光記録方法。
【請求項１９】
所定の記録領域を有する光学的情報記録用媒体を回転させて情報を複数のマーク長により記録する方法であって、
記録領域を半径方向に複数のゾーンに分割し、各ゾーン内においては、線速度一定で記録を行うものとし、
最内周ゾーンにおける記録線速度ｖinと最外周ゾーンにおける記録線速度ｖoutの比ｖout／ｖinが１．２〜２であり、βmを各ゾーンの線速度に応じて変化させる請求項１４乃至１８のいずれかに記載の光記録方法。
【請求項２０】
所定の記録領域を有し、該記録領域が半径方向に均等な幅を有するｐ個のゾーンに分割され、半径位置によらず角速度一定で回転させて情報を複数のマーク長により記録するための光学的情報記録用媒体であって、
基板上に、所定の溝蛇行信号を有する溝が形成され、該溝蛇行信号の基準周期は各ゾーン毎に変化し、第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における平均線速度を＜ｖq＞ave、最大線速度を＜ｖq＞max、最小線速度を＜ｖq＞min、溝蛇行信号の基準周期をＴｗqとすると、
＜ｖq＞aveＴｗqが１≦ｑ≦ｐなる全てのｑに対してほぼ一定であり、
（＜ｖq＞max−＜ｖq＞min）／（＜ｖq＞max＋＜ｖq＞min）＜１％を満たす
ことを特徴とする光学的情報記録用媒体。
【請求項２１】
上記溝の一周を１ゾーンとし、該溝はゾーンによらず周期が一定の蛇行を有し、
溝ピッチをＴＰ、蛇行周期をＴｗ0とすると、近似的に
２π・ＴＰ＝ａ・Ｔｗ0・ｖ0
（ただし、ａは自然数）なる関係を満たす請求項２０に記載の光学的情報記録用媒体。
【請求項２２】
所定の記録領域を有し、該記録領域が半径方向に均等な幅を有するｐ個のゾーンに分割され（ただし、ｐは２００以上の整数）、半径位置によらず角速度一定で回転させて情報を複数のマーク長により記録するための光学的情報記録用媒体であって、
基板上に、所定の溝蛇行信号を有する溝が形成され、該溝蛇行信号の基準周期は各ゾーン毎に変化し、第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における平均線速度を＜ｖq＞ave、溝蛇行信号の基準周期をＴｗqとすると、＜ｖq＞aveＴｗqは一定である
ことを特徴とする光学的情報記録用媒体。
【請求項２３】
位相変調されたウォブル信号を溝蛇行により付与されたスタンパの製造方法であって、
フォトレジスト露光用のレーザー光を、±Ｖｗの電圧間で２値位相変調されたウォブル波形に従って半径方向に蛇行させて、ガラス原盤上に形成されたフォトレジスト層に露光を行う工程を有し、
前記工程において、前記フォトレジスト露光用のレーザー光の蛇行を、リング変調器出力波をＥＯ変調器に印可することにより行うことを特徴とする
スタンパ原盤の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
すなわち、基板上に、記録再生光の入射方向から順に、第１保護層、膜厚が５ｎｍ以上２５ｎｍ以下の相変化型記録層、第２保護層、膜厚が４０ｎｍ以上３００ｎｍ以下で、体積抵抗率が２０ｎΩ・ｍ以上１５０ｎΩ・ｍ以下の反射層、を設けてなり、
該記録層の結晶部を未記録・消去状態とし非晶質部を記録状態とし、最短マーク長０．５μｍ以下の複数の記録マーク長により情報を記録するための光学的情報記録用媒体であって、
該記録層は、Ｇｅy（ＳｂxＴｅ1-x）1-y（０．７≦ｘ≦０．９、０＜ｙ≦０．１）合金を主成分とする薄膜からなり、
該記録層は、一定線速度で、記録層を溶融させるに足る記録パワーＰｗの記録光を連続的に照射すると概ね結晶化されるほど再凝固時の結晶化速度が速く、該記録パワーＰｗを瞬間的に遮断すると非晶質マークが形成されることを特徴とする光学的情報記録用媒体に存する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の第二の要旨は、上記媒体と併せ用いるに好ましい光記録方法に存する。
本発明の第三の要旨は、所定の記録領域を有し、該記録領域が半径方向に均等な幅を有するｐ個のゾーンに分割され、半径位置によらず角速度一定で回転させて情報を複数のマーク長により記録するための光学的情報記録用媒体であって、
基板上に、所定の溝蛇行信号を有する溝が形成され、該溝蛇行信号の基準周期は各ゾーン毎に変化し、第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における平均線速度を＜ｖq＞ave、最大線速度を＜ｖq＞max、最小線速度を＜ｖq＞min、溝蛇行信号の基準周期をＴｗqとすると、
＜ｖq＞aveＴｗqが１≦ｑ≦ｐなる全てのｑに対してほぼ一定であり、
（＜ｖq＞max−＜ｖq＞min）／（＜ｖq＞max＋＜ｖq＞min）＜１％を満たす
ことを特徴とする光学的情報記録用媒体に存する。
本発明の第四の要旨は、所定の記録領域を有し、該記録領域が半径方向に均等な幅を有するｐ個のゾーンに分割され（ただし、ｐは２００以上の整数）、半径位置によらず角速度一定で回転させて情報を複数のマーク長により記録するための光学的情報記録用媒体であって、
基板上に、所定の溝蛇行信号を有する溝が形成され、該溝蛇行信号の基準周期は各ゾーン毎に変化し、第ｑゾーン（ただし、ｑは１≦ｑ≦ｐの整数）における平均線速度を＜ｖq＞ave、溝蛇行信号の基準周期をＴｗqとすると、＜ｖq＞aveＴｗqは一定である
ことを特徴とする光学的情報記録用媒体に存する。
本発明の第五の要旨は、位相変調されたウォブル信号を溝蛇行により付与されたスタンパの製造方法であって、
フォトレジスト露光用のレーザー光を、±Ｖｗの電圧間で２値位相変調されたウォブル波形に従って半径方向に蛇行させて、ガラス原盤上に形成されたフォトレジスト層に露光を行う工程を有し、
前記工程において、前記フォトレジスト露光用のレーザー光の蛇行を、リング変調器出力波をＥＯ変調器に印可することにより行うことを特徴とする
スタンパ原盤の製造方法に存する。