(57)【要約】【課題】圧電振動片の振動に関与する領域の面積を実質的に減少させないで、しかも振動特性に悪影響を与えることなく、質量削減方式により周波数調整を行うことができるようにした圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。【解決手段】圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕３４，３５と、前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝５６，５７と、前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部６１，６２を設けた周波数調整部とを備える。【選択図】　　図３
2004120249.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕に設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って先端付近まで延びる溝と、
前記溝内に溝の底部より高くした所定の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部と
を備えることを特徴とする、圧電振動片。
【請求項２】
前記所定領域が、前記各振動腕の長さ方向の先端付近に設けた半島部であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記所定領域が、前記各振動腕の長さ方向の中間付近に設けたアイランド部であることを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記基部には、前記振動腕の基端部に近接した領域に、切欠き部を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
【請求項５】
パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記パッケージの少なくとも一部は、光を透過する構成とされており、
前記圧電振動片が、
圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、
前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部と
を備えることを特徴とする、圧電デバイス。
【請求項６】
パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
前記圧電振動片が、
圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、
前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部と
を備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、携帯電話装置。
【請求項７】
パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、
前記圧電振動片が、
圧電材料に形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、
前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、
前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部と
を備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージに収容した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
図１０は、このような圧電デバイスの構成例を示す概略斜視図である。
図において、圧電デバイス１は、パッケージ２の内部に、圧電振動片３を収容している。パッケージ２はこの場合、絶縁材料を浅い箱状に形成したもので、内部に圧電振動片３を収容固定した後で、蓋体４により封止されるようになっている。なお、図１０の圧電デバイス１の蓋体４は透明である。
【０００３】
圧電振動片３は、例えば水晶をエッチングすることにより図示の形状が形成されている。この場合、圧電振動片３は、基部５と、この基部５から図において左方に平行に延びる一対の振動腕６，７を備える、所謂、音叉型水晶片で構成されている。振動腕６，７の表面には、励振電極８，８が形成されており、この励振電極８，８に対して外部から駆動電圧を印加することにより、振動腕６，７はその先端側を互いに接近、離間するように振動する。このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御クロック信号等の各種信号に利用されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような構造の圧電デバイス１では、各振動腕６，７においては、その長さ方向の途中まで励振電極８，８を形成し、各振動腕６，７の先端付近には、励振電極とは異なる金属被覆部９，９を設けている。この金属被覆部９，９は、製造工程において、パッケージ２内に圧電振動片３を収容固定した後で、透明な蓋体４で封止後における、圧電振動片３の最終的な周波数調整を行うために使用される。
【０００５】
すなわち、図１０に示されているように、蓋体４を透過して、レーザ光等の光ビームＬ１を金属被覆部９に照射し、この金属被覆部９を部分的に蒸散させることにより、質量削減方式の周波数調整を行うようにされている。
ところが、このように、各振動腕６，７の先端に金属被覆部９，９を設けるため、励振電極８，８を設ける箇所を、各振動腕６，７の途中までの領域に制限されてしまう。
そして、各振動腕６，７の励振電極８，８が設けられた領域が、図１０のように途中までに制限されると、各振動腕６，７の振動に関与する励振電極の面積の減少に伴い、圧電振動片３の抵抗値が増加する不都合がある。
【０００６】
特に、圧電振動片３及び圧電デバイス１の小型化をはかる上では、圧電振動片３は全体の大きさを、さらに小さくする必要があるが、このような構造では、圧電振動片３の振動に関与する部分の絶対面積がますます減少してしまう。
そこで、図１１のような構成も考えられる。
図１１の圧電振動片１３では、周波数調整のための専用の金属被覆部９を廃止して、各振動腕６，７の励振電極８，８を先端付近まで延長し、励振電極８，８の先端部８ａ，８ａに対して、レーザ光Ｌ１を照射することで、周波数調整しようとするものである。
しかしながら、このような手法によると、励振電極８，８の先端部に孔が形成されてしまい、各振動腕６，７内で、振動に際して形成されるべき電界が乱れてしまい、振動性能に悪影響を与える。
【０００７】
本発明は、圧電振動片の振動に関与する領域の面積を実質的に減少させないで、しかも振動特性に悪影響を与えることなく、質量削減方式により周波数調整を行うことができるようにした圧電振動片と、この圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話と電子機器を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的は、第１の発明によれば、圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕に設けられ、各振動腕の長さ方向に沿って先端付近まで延びる溝と、前記溝内に溝の底部より高くした所定の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部とを備える、圧電振動片により、達成される。
【０００９】
第１の発明の構成によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕には、各振動腕の長さ方向に沿って先端付近まで延びる溝とが形成されている。この溝の内側に励振電極を設けることによって、各振動腕の長さ方向の先端部まで振動に関与する領域として利用できる。
そして、溝内に溝の底部より高くして所定の領域を形成して、その領域に金属被覆部を設ける。この金属被覆部にレーザ光等を照射することによって、励振電極に影響を与えることなく、周波数調整することができる。
このため、本発明によれば、圧電振動片の振動に関与する領域の面積を実質的に減少させないで、しかも振動特性に悪影響を与えることなく、質量削減方式により周波数調整を行うことができるようにした圧電振動片を提供することができるという効果を発揮する。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記所定領域が、前記各振動腕の長さ方向の先端付近に設けた半島部であることを特徴とする。
第２の発明の構成によれば、半島部は、各振動腕の先端付近に設けられているので、各振動腕の先端付近の質量を調整することができる。これにより、圧電振動片の振動周波数の調整幅を大きくすることができる。
【００１１】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記所定領域が、前記各振動腕の長さ方向の中間付近に設けたアイランド部であることを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、前記所定領域が、前記各振動腕の長さ方向の中間付近に設けたアイランド（Ｉｓｌａｎｄ−島）部である。したがって、各振動腕の長さ方向の中間付近の質量を削減することができ、微小な幅での調整が必要な圧電振動片の振動周波数の微調整をすることができる。これにより、振動周波数の精密な合わせ込みを可能とすることができる。
【００１２】
第４の発明は、第１ないし第３の発明のいずれかの構成において、前記基部には、前記振動腕の基端部に近接した領域に、切欠き部を備えることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、音叉型振動片において、その基部に前記切欠き部を形成することで、振動腕からの振動が基部に漏れ込むことを有効に防止でき、クリスタルインピーダンス値を抑制することができる。
【００１３】
また、上述の目的は、第５の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記パッケージの少なくとも一部は、光を透過する構成とされており、前記圧電振動片が、圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部とを備える、圧電デバイスにより、達成される。
第５の発明の構成によれば、基部から平行に延びる一対の振動腕には、各振動腕の長さ方向に沿って先端付近まで延びる溝が形成されている。この溝の内側に励振電極を設けることによって、各振動腕の長さ方向の先端部まで振動に関与する領域として利用できる。
そして、溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成して金属被覆部を設け、パッケージの透明部分、例えば、パッケージにガラス製の蓋体等を介して、圧電振動片の金属被覆部にレーザ光等を照射することによって、励振電極に影響を与えることなく、周波数調整することができる。
【００１４】
また、上述の目的は、第６の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記圧電振動が、圧電材料に形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により、達成される。
【００１５】
さらにまた、上述の目的は、第７の発明によれば、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記圧電振動片が、圧電材料により形成されており、基部から平行に延びる一対の振動腕と、前記各振動腕に設けられ、その長さ方向に延びる溝と、前記溝内にアイランド状もしくは半島状の領域を形成し、当該領域の表面に調整用の金属被覆部を設けた周波数調整部とを備える圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により、達成される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、本発明の圧電デバイスの第１の実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略断面図である。
図において、圧電デバイス３０は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス３０は、パッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。
この内部空間Ｓ２が圧電振動片を収容するための収容空間である。
すなわち、図２に示されているように、この実施形態では、パッケージ３６は、例えば、下から第１の積層基板６１、第２の積層基板６４、第３の積層基板６８を重ねて形成されている。
【００１７】
パッケージ３６の内部空間Ｓ２内の図において左端部付近において、内部空間Ｓ２に露出して内側底部を構成する第２の積層基板６４には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部３１，３１が設けられている。
この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されるようになっている。尚、導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、シリコーン系、エポキシ系またはポリイミド系導電性接着剤等を利用することができる。
【００１８】
圧電振動片３２は、例えば水晶で形成されており、水晶以外にもタンタル酸リチウム，ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図示する形状とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、パッケージ３６側と後述するようにして固定される基部５１と、この基部５１を基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
この圧電振動片３２の詳しい構成については、さらに後で説明する。
【００１９】
また、パッケージ３６の底面のほぼ中央付近には、パッケージ３６を構成する２枚の積層基板に連続する貫通孔３７ａ，３７ｂを形成することにより、外部に開口した貫通孔３７が設けられている。この貫通孔３７を構成する２つの貫通孔のうち、パッケージ内部に開口する第１の孔３７ｂに対して、第２の孔である外側の貫通孔３７ａは、より大きな内径を備えるようにされている。これにより、貫通孔３７は、図２において下向きの段部６２を備える段つき開口とされている。この段部６２の表面には、金属被覆部（図示せず）が設けられている。
【００２０】
ここで、貫通孔３７に充填される金属製封止材３８としては、例えば、鉛を含有しない封止材が選択されることが好ましく、例えば、銀ロウ、Ａｕ／Ｓｎ合金、Ａｕ／Ｇｅ合金等から選択される。これに対応して、段部６２の表面の金属被覆部には、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキを形成すると好ましい。
【００２１】
さらに、この実施形態では、パッケージ３６を構成する積層基板の最下層の基板６１には、図２において右端部付近に孔を形成することにより、この積層基板の厚みに対応した凹部４２が形成されている。この凹部４２は、圧電振動片３２の自由端である先端部の下方に位置している。これにより、本実施形態では、パッケージ３６に外部から衝撃が加わった場合に、圧電振動片３２の自由端が、矢印Ｄ方向に変位して振れた場合においても、パッケージ３６の内側底面と当接されることを有効に防止されるようになっている。
【００２２】
パッケージ３６の開放された上端には、蓋体３９が接合されることにより、封止されている。蓋体３９は、パッケージ３６に封止固定した後で、図２に示すように、外部からレーザ光Ｌ２を圧電振動片３２の後述する金属被覆部に照射して、質量削減方式により周波数調整を行うために、光を透過する材料，特に、薄板ガラスにより形成されている。
蓋体３９として適するガラス材料としては、例えば、ダウンドロー法により製造される薄板ガラスとして、例えば、硼珪酸ガラスが使用される。
【００２３】
次に、図３及び図４を参照して、圧電デバイス３０のパッケージ３６内に収容される圧電振動片３２（圧電振動片の第１の実施形態）について、詳しく説明する。
図３は、圧電振動片３２の構成を示す概略斜視図、図４（ａ）は図３のＢ−Ｂ線切断端面図（切断面だけを示す図）、図４（ｂ）は図３のＣ−Ｃ線切断端面図である。
図３において、圧電振動片３２は、上述したように、基部５１から平行に延びる一対の振動腕３４，３５を有している。そして、各振動腕３４，３５には、それぞれ長さ方向に延びる溝５６，５７を有している。この各溝５６，５７は、図４（ａ），図４（ｂ）に示されているように、各振動腕３４，３５の表裏両面に形成されている。
【００２４】
さらに、図３において、圧電振動片３２の基部５１の端部（図３では右端部）の幅方向両端付近には、引き出し電極５２，５３が形成されている。各引き出し電極５２，５３は、圧電振動片３２の基部５１の図示しない裏面にも同様に形成されている。
これらの各引き出し電極５２，５３は、図１及び図２で説明したパッケージ３６側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３により接続される部分である。そして、各引き出し電極５２，５３は、図示されているように、各振動腕３４，３５の溝５６，５７内に設けた励振電極５４，５５と接続されている。また、各励振電極５４，５５は、図４に示されているように各振動腕３４，３５の両側面にも形成されており、一方の振動腕、例えば、振動腕３４に関しては、溝５７内の励振電極５４と、その側面部の励振電極５５は互いに異極となるようにされている。
【００２５】
さらに、各振動腕３４，３５の好ましくは先端付近において、溝５６，５７内には、圧電振動片３２を構成する圧電材料を部分的に溝の底部より高くして設けた周波数調整部が設けられている。この周波数調整部は、製造工程において、圧電材料としての例えば水晶を、圧電振動片３２の外形を形成するためにエッチングする工程において、当該領域だけ溝形成のエッチングを残すことにより設けられる。この周波数調整部は、この実施形態では、各振動腕３４，３５の最先端部３４ａ，３５ａが図示されているように溝形成を行わない状態として残されている部分と連続して、各溝５６，５７内で溝の延びる方向に延長された半島部５８，５９とされている。
これら各半島部５８，５９の表面には、金属が被覆されることによって、金属被覆部６１，６２とされている。これらの金属被覆部６１，６２を構成する金属は、励振電極５４，５５と同じものでよいが、異なる金属を被覆してもよい。励振電極５４，５５と同じものとする場合には、クロム（Ｃｒ）を下地として、金（Ａｕ）を蒸着もしくはスパッタリングにより成膜する。この実施形態では、金属被覆部６１，６２は各励振電極５４，５５とは接続されていないが、接続してもよい。
【００２６】
本実施形態の圧電振動片３２は以上のように構成されており、各引き出し電極５２，５３を介して、パッケージ３６側から印加された駆動電圧は、励振電極５４，５５に伝えられる。
ここで、図４（ａ），（ｂ）に示されているように、各溝５６，５７の内面と、各振動腕３４，３５の側面部の励振電極は異極となるので、この間で電界が生じ、この電界に基づいて、各振動腕３４，３５は、その最先端部３４ａ，３５ａが互いに接近，離間するように振動する。
【００２７】
この場合、各振動腕３４，３５の溝５６，５７は、各振動腕３４，３５の先端付近まで形成されているので、各振動腕３４，３５のほぼ全長が振動に関与する領域となり、圧電振動片３２を小型に形成した場合においても、振動に関与する励振電極５４，５５の領域の絶対面積が、減少することがない。
【００２８】
さらに、半島部５８，５９に対しては、図２で説明したように、パッケージ３６に蓋体３９を封止後において、レーザ光Ｌ２等を照射することで周波数調整される。具体的には、レーザ光Ｌ２等を金属被覆部６１及び／または６２に照射し、部分的に蒸散させることによって、その部分の質量を削減し、振動周波数が高くなるように周波数調整することができる。
【００２９】
ここで、半島部５８，５９は、各振動腕３４，３５の先端付近に設けられているので、各振動腕３４，３５の先端付近の質量を調整することができる。これにより、振動周波数の調整幅を広くすることができる。
【００３０】
また、半島部５８，５９は、このように周波数調整のための金属被覆部６１，６２を設けるために形成されるが、金属被覆部６１，６２を設けない半島部５８，５９を図４（ａ）に示すように、各振動腕３４，３５の裏面側にも形成している。これにより、各振動腕３４，３５の表面側と裏面側の重量バランスが一致されるので、一方だけに設ける場合と比べて振動性能が向上する。
【００３１】
図５は、圧電振動片の第１の実施形態の変形例を示している。この変形例の圧電振動片７０において、図３及び図４と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図５において、圧電振動片７０では、圧電振動片３２と比較すると金属被覆部７１，７２の構成が異なっており、その他の構成は同じである。ただし、この場合、金属被覆部７１，７２は各励振電極５４，５５とは接続されない。
【００３２】
圧電振動片７０の金属被覆部７１，７２は、各振動腕３４，３５の最先端部３４ａ，３５ａに引き回された各励振電極５４，５５と一体に接続されている。
このため、圧電振動片７０の金属被覆部７１，７２は、製造工程において、圧電振動片７０に励振電極５４，５５を形成する際に、これらと同時に形成されるので、金属被覆部７１，７２だけを形成する工程を設ける必要がなく、その分工程を簡単にすることができる。その他の作用効果は、圧電振動片３２と同じである。
【００３３】
次に、図６及び図７を参照して、圧電デバイス３０のパッケージ３６内に収容される圧電振動片８０（圧電振動片の第２の実施形態）について、詳しく説明する。
図６は、圧電振動片８０の構成を示す概略斜視図、図７（ａ）は図６のＤ−Ｄ線切断端面図、図７（ｂ）は図６のＥ−Ｅ線切断端面図である。
これらの図において、図３及び図４と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図６及び図７において、圧電振動片８０では、圧電振動片３２と比較すると周波数調整部の構成が異なっており、その他の構成は同じである。
【００３４】
この圧電振動片８０では、周波数調整部は、半島状ではなく、各溝５６，５７の長さ方向の中央付近に、それぞれ孤立して凸状に、かつ各溝５６，５７の延びる方向に沿って長い形状に形成されたアイランド部８８，８９として構成されている。
そして、アイランド部８８，８９の表面（図において上面）には、金属被覆部８１，８２がそれぞれ形成されている。この金属被覆部８１，８２は、圧電振動片の第１の実施形態の金属被覆部６１，６２と同じ金属により形成することができる。
【００３５】
本実施形態は以上のように構成されており、第１の実施形態と共通した作用効果を発揮できるとともに、アイランド部８８，８９は、各振動腕３４，３５の長さ方向の中間付近に形成されているので、金属被覆部８１，８２を利用して周波数調整すると、各振動腕３４，３５の長さ方向の中間付近の質量を削減することができる。この結果、圧電振動片８０の振動周波数の調整幅を比較的小さな幅で微調整することができるから、振動周波数の精密な合わせ込みをすることができる。
この結果、極めて高い精度で振動周波数の合わせこみを必要とする圧電デバイスの圧電振動片８０は、従来のレーザー装置を用いて、上述の実施形態の振動腕の先端部と同量の金属被膜を蒸散させても、調整しうる振動数変化量は、より少なくなる。すなわち、微調整のために、わざわざレーザー出力を低く調整して、結果的に金属被膜の蒸散量を不安定なものとするおそれがなく、容易に極めて高精度な周波数調整が可能となる。
このように、周波数調整による必要な調整幅に応じて、周波数調整部は、各振動腕３４，３５の長さ方向の所定の位置に設定することができる。そして、周波数調整部は、各振動腕の長さ方向の先端付近や中間付近だけでなく、両方に、もしくは、さらに多くの箇所に設けるようにしてもよい。
【００３６】
図８は、圧電デバイス３０のパッケージ３６内に収容される圧電振動片９０（圧電振動片の第３の実施形態）の概略斜視図である。
図８において、図３及び図４と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図８において、圧電振動片９０では、圧電振動片３２と比較すると基部５１周辺の構造が圧電振動片３２とは異なっており、その他の構成は同じである。
【００３７】
すなわち、圧電振動片９０の基部５１において、一対の振動腕３４，３５の基端部側に寄った位置には、基部５１の幅方向に縮幅して設けた切り欠き部もしくはくびれ部９１，９１を設けるようにしてもよい。
これにより、基部５１に圧電振動片９０の振動の漏れ込みを防止して、ＣＩ（クリスタルインピーダンス）値を低減することができる。
それ以外の作用効果は、第１の実施形態と同じである。
【００３８】
図９は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図である。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン３０８及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ３０９を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ
Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）３０１を備えている。
ＣＰＵ３０１は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのＬＣＤや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部３０２や、ＲＡＭ，ＲＯＭ等でなる情報記憶手段３０３の制御を行うようになっている。このため、ＣＰＵ３０１には、圧電デバイス３０または圧電デバイス９０や圧電デバイス１００が取り付けられて、その出力周波数をＣＰＵ３０１に内蔵された所定の分周回路（図示せず）等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このＣＰＵ３０１に取付けられる圧電デバイス３０は、圧電デバイス３０等単体でなくても、圧電デバイス３０等と、所定の分周回路等とを組み合わせた発振器であってもよい。
【００３９】
ＣＰＵ３０１は、さらに、温度補償水晶発振器（ＴＣＸＯ）３０５と接続され、温度補償水晶発振器３０５は、送信部３０７と受信部３０６に接続されている。これにより、ＣＰＵ３０１からの基本クロックが、環境温度が変化した場合に変動しても、温度補償水晶発振器３０５により修正されて、送信部３０７及び受信部３０６に与えられるようになっている。
【００４０】
このように、制御部を備えたディジタル式携帯電話装置３００のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電振動片３２、７０、８０、９０と、これらを利用した圧電デバイス３０を利用することにより、小型に構成しても、正確な周波数調整が可能となるため、正確なクロック信号を生成することができる。
【００４１】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内に圧電振動片を収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。
また、上述の実施形態では、パッケージに圧電材料を使用した箱状のものを利用しているが、このような形態に限らず、少なくともパッケージの一部について、光が透過できる箇所を設けたものであれば、いかなるパッケージやケースを伴うものについても本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の圧電デバイスの第１の実施形態を示す概略平面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線概略断面図。
【図３】図１の圧電デバイスに利用される圧電振動片の第１の実施形態を示す概略斜視図。
【図４】図３の各切断端面図であり、（ａ）は図３のＢ−Ｂ線切断端面図、（ｂ）は図３のＣ−Ｃ線切断端面図。
【図５】図３の圧電振動片の変形例を示す概略斜視図。
【図６】図１の圧電デバイスに利用される圧電振動片の第２の実施形態を示す概略斜視図。
【図７】図６の各切断端面図であり、（ａ）は図６のＤ−Ｄ線切断端面図、（ｂ）は図６のＥ−Ｅ線切断端面図。
【図８】図１の圧電デバイスに利用される圧電振動片の第３の実施形態を示す概略斜視図。
【図９】本発明の実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図１０】従来の圧電デバイスの一例を示す概略斜視図。
【図１１】図１０の圧電デバイスに利用された圧電振動片の概略斜視図。
【符号の説明】
３０・・・圧電デバイス、３２，７０，８０，９０・・・圧電振動片、５８，５９・・・半島部、６１，６２，７１，７２，８１，８２・・・金属被覆部、８８，８９・・・アイランド部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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