【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年2月9日(2012.2.9)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
状態監視及び障害診断のシステムであって、
１つ以上の構成要素に対する選択された変数の時間履歴を得るデータ収集機能を実行するプロセッサを有する第１のコントローラと、
前記時間履歴の指定された特徴を算出する事前処理機能を実行するプロセッサを有する第２のコントローラと、
１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生成するために特徴を評価する分析機能を実行するプロセッサを有する第３のコントローラと、
１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の状態を判断する推論機能を実行するプロセッサを有する第４のコントローラと、を含み、
前記データ収集機能、前記事前処理機能、前記分析機能及び前記推論機能の各々の複数のインスタンスは、監視されているマシンの漸進的に高くなるレベルのコントローラ内に存在し、健全状態監視及び障害診断目的で要求されたデータは、当該データを処理する能力があるコントローラレベルにおいて使用されることを特徴とするシステム。
【請求項２】
１つ以上の前記構成要素の判断された状態を利用して前記構成要素のための予防メンテナンスを実行する機能を更に含む請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記推論機能は、前記１つ以上の構成要素が作動するシステムの状態を前記１または複数の仮説から判断する請求項１記載のシステム。
【請求項４】
前記データ収集機能は、選択された変数に対して記録されるべきサンプリング期間、トリガーモード、及びサンプル数を設定することを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項５】
前記データ収集機能、前記事前処理機能、前記分析機能、及び前記推論機能の各々は、１つ以上の前記構成要素のコントローラに存在することを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項６】
前記事前処理機能は、前記時間履歴上の数値演算を実行することによって前記時間履歴の指定された特徴を算出することを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項７】
前記分析機能は、１つ以上のアルゴリズム及び分析技術を、前記時間履歴の前記算出された指定された特徴に適用することによって１つ以上の前記仮説を生じることを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項８】
前記推論機能は、１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の状態を判断するエキスパート診断システムを含むことを特徴とする請求項１記載のシステム。
【請求項９】
構成要素の状態監視及び障害診断の方法であって、
機能コントローラを用いてデータ収集機能によって１つ以上の構成要素に対する選択された変数の時間履歴を獲得するステップと、
前記機能コントローラを用いて事前処理機能によって前記時間履歴の指定された特徴を算出するステップと、
前記機能コントローラを用いて分析機能によって１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生じる前記特徴を評価するステップと、
前記機能コントローラを用いて推論機能によって１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の前記状態を判断するステップと、を含み、
前記データ収集機能、前記事前処理機能、前記分析機能及び前記推論機能の各々の複数のインスタンスは、監視されているマシンの漸進的に高くなるレベルのコントローラ内に存在し、健全状態監視及び障害診断目的で要求されたデータは、当該データを処理する能力があるコントローラレベルにおいて使用されることを特徴とする方法。
【請求項１０】
１つ以上の前記構成要素の判断された前記状態を利用して前記構成要素に対する予知メンテナンスを実行するステップを含む請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記１つ以上の前記構成要素が動作しているシステムの状態を、前記推論機能によって前記１つ以上の仮説から判断するステップを含む請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記時間履歴を獲得するステップは、選択された前記変数に対して記録されるべきサンプリング期間、トリガーモード、及びサンプル数を設定するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１３】
前記時間履歴を獲得するステップは、１つ以上の前記構成要素のコントローラによって実行されることを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１４】
前記時間履歴の指定された特徴を算出するステップは、前記時間履歴上の数値演算を実行するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１５】
１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生じるために前記特徴を評価するステップは、１つ以上のアルゴリズム及び分析技術を前記時間履歴の前記算出された指定された特徴に適用するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１６】
１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の前記状態を決定するステップは、エキスパート診断システムを利用するステップを含むことを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１７】
構成要素状態監視及び障害診断のためのコンピュータ使用可能プログラムコードを有するコンピュータ使用可能媒体を含み、コンピュータ上で実行すると、前記コンピュータに、
データ収集機能を用いて１つ以上の前記構成要素の選択された変数の時間履歴を獲得させ、
事前処理機能を用いて前記時間履歴の指定された特徴を計算させ、
分析機能を用いて１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生じる特徴を評価させ、
推論機能を用いて１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の前記状態を判断させ、
前記データ収集機能、前記事前処理機能、前記分析機能及び前記推論機能の各々の複数のインスタンスは、監視されているマシンの漸進的に高くなるレベルのコントローラ内に存在し、健全状態監視及び障害診断目的で要求されたデータは、当該データを処理する能力があるコントローラレベルにおいて使用されることを特徴とするコンピュータプログラム製品。
【請求項１８】
コンピュータ上で実行すると、１つ以上の前記構成要素の判断された状態を利用して前記構成要素に対する予防メンテナンスを前記コンピュータに実行させることを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１９】
コンピュータ上で実行すると、前記１つ以上のコンポーネントが作動するシステムの状態を前記１つ以上の仮説から前記コンピュータに判断させることを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項２０】
時間履歴獲得することは、選択された前記変数に対して記録されるべきサンプリング期間、トリガーモード、及びサンプルの数を設定することを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項２１】
前記時間履歴の指定された特徴を算出することは、前記時間履歴上の数値演算を実行することを含むことを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項２２】
１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の前記仮説を生じるために前記特徴を評価することは、１つ以上のアルゴリズム及び分析技術を前記時間履歴の算出された指定された特徴に適用することを含むことを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項２３】
１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の前記状態を判断することは、エキスパート診断システムを利用することを含むことを特徴とする請求項１７記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項２４】
構成要素状態監視及び障害診断のシステムであって、
１つ以上の構成要素に対する選択された変数の時間履歴を獲得するデータ収集機能を実行するプロセッサを有する第１のコントローラと、
前記時間履歴の指定された特徴を算出する事前処理機能を実行するプロセッサを有する第２のコントローラと、
１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生じる前記特徴を評価する分析機能を実行するプロセッサを有する第３のコントローラと、
１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の前記状態を判断する推論機能を実行するプロセッサを有する第４のコントローラと、
前記データ収集機能によって獲得された前記選択された変数を決定し、指定された前記特徴を算出する事前処理機能におけるデータ処理を始動し、前記仮説を生む前記分析機能による前記特徴の評価を開始し、さらに前記推論機能による前記構成要素の状態の導出を開始させるマネージャ機能を実行するプロセッサを有する第５のコントローラと、を含み、
前記データ収集機能、前記事前処理機能、前記分析機能及び前記推論機能の各々の複数のインスタンスは、監視されているマシンの漸進的に高くなるレベルのコントローラ内に存在し、健全状態監視及び障害診断目的で要求されたデータは、当該データを処理する能力があるコントローラレベルにおいて使用されることを特徴とするシステム。
【請求項２５】
前記マネージャ機能は、１つ以上の前記構成要素の判断された状態を利用して前記構成要素の予防メンテナンスを実行することを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項２６】
前記推論機能は、前記１つ以上の構成要素が作動するシステムの状態を前記１または複数の仮説から判断することを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項２７】
前記データ収集機能は、前記マネージャ機能の制御下で選択された変数に対して記録されるべきサンプリング期間、トリガーモード、及びサンプル数を設定することを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項２８】
前記事前処理機能は、前記時間履歴に関する数値演算を実行して前記時間履歴の指定された特徴を算出し、前記数値演算は、前記構成要素の種類に基づいて前記マネージャ機能によって判断されることを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項２９】
前記分析機能は、１つ以上のアルゴリズム及び分析技術を適用してメカトロニクスデバイスとして一緒に作動している一群の構成要素の時間履歴の指定された特徴を算出することにより、１つ以上の仮説を生成することを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項３０】
前記推論機能は、１つ以上の前記仮説からメカトロニクスデバイスの状態を決定するエキスパート診断システムを含むことを特徴とする請求項２４記載のシステム。
【請求項３１】
半導体製造ツールの構成要素状態を監視するシステムであって、
前記構成要素のうちの１つ以上の選択された変数の時間履歴を獲得するデータ収集機能を有する構成要素コントローラと、
メカトロニクスデバイスとして一緒に作動している１つ以上構成要素に対する前記時間履歴の指定された特徴を計算する事前処理機能を有しているメカトロニクスデバイスコントローラと、
１つ以上の前記構成要素の状態の１つ以上の仮説を生成するために前記特徴を評価する分析機能を有する一群のメカトロニクスデバイスに対するグループコントローラと、
１つ以上の前記仮説から１つ以上の前記構成要素の状態を判断する推論機能及び、前記データ収集機能によって獲得され前記選択された変数を決定し、指定された特徴を算出するための前記事前処理機能におけるデータ処理を始動し、前記仮説を生む前記分析機能による前記特徴の評価を開始し、前記推論機能による前記構成要素の状態の導出を開始するマネージャ機能を有するシステムコントローラと、
を含むシステム。
【請求項３２】
前記マネージャ機能は、１つ以上の前記構成要素の前記判断された状態を利用して前記構成要素に対する予防メンテナンスを実行することを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【請求項３３】
前記推論機能は、前記１つ以上の構成要素が作動するシステムの状態を前記１または複数の仮説から判断することを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【請求項３４】
前記データ収集機能は、前記マネージャ機能の制御下で前記選択されたサンプリング期間、トリガーモード、及び変数に対して記録されるべきサンプル数を設定することを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【請求項３５】
前記事前処理機能は、前記時間履歴に関する数値演算を実行することによって、前記時間履歴の指定された特徴を算出し、前記数値演算は、前記構成要素及びメカトロニクスデバイスの種類に基づいて前記マネージャ機能によって決定されることを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【請求項３６】
前記分析機能は、１つ以上のアルゴリズム及び分析技術を適用して、前記メカトロニクスデバイスとして一緒に作動している構成要素の前記グループの時間履歴の指定された特徴を算出することによって、１つ以上の仮説を生成することを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【請求項３７】
前記推論機能は、１つ以上の前記仮説から前記メカトロニクスデバイスの状態を決定するエキスパート診断システムを含むことを特徴とする請求項３１記載のシステム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４５】
図１に戻ると、データ収集機能１０５は、監視されている装置の動作に関する選択された変数の時間履歴を得るために作動する。時間履歴は、長時間にわたる特定の変数または変数群に対する値の集合をいう。上記した機能コントローラ２００の構成要素に加えて、データ収集機能１０５は、選択された変数の値を収集するための１つ以上のバッファ１２５を含む。データ収集機能１０５も、記録されるべきデバイス信号及び変数を特定して、データ記録のためのサンプリング期間を設定して、データ記録（例えば、イベント時、運動の開始時、運動の終了時、遅延については、閾値より上の時、閾値より下の時、遅延で）のためのトリガーモードを設定して、記録されるべきサンプル数を設定して、かつデータ記録を停止するためのメカニズムを設定するためのプログラム及び回路１３５を含む。