【手続補正書】
【提出日】平成15年10月22日(2003.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面である請求項７または８に記載の交換結合膜。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
前記交換結合膜は、下から反強磁性層、強磁性層の順に積層され、前記反強磁性層の下側には、結晶構造が主として面心立方晶から成り、しかも前記界面と平行な方向に、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向したシードレイヤが形成されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の交換結合膜。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
従来では上記した整合状態は、例えば反強磁性層の｛１１１｝面が、前記固定磁性層との界面と平行な方向に優先配向し、同様に固定磁性層の｛１１１｝面が、前記界面と平行な方向に優先配向した場合のように、反強磁性層と固定磁性層の結晶配向が、前記界面で同じになっているときに起こり得ると考えられていた。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
ここで（１１１）面は、ミラー指数を用いて表した単結晶構造の場合における結晶面（実格子面；すなわち回折図形においては逆格子面）を示し、前記（１１１）面と等価（同等）な結晶面として他に（−１１１）面、（１−１１）面、（１１−１）面、（−１−１１）面、（１−１−１）面、（−１１−１）面、（−１−１−１）面が存在する。なお本明細書では、これら等価な結晶面を特に区別せず、等価な結晶面のいずれかを示すときは、代表的に｛１１１｝面と表記する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
なお図１７に示す透過電子線回折像に現れた回折班点を、（１１１）面、（１１−１）面等の等価な結晶面として表記せず、これら等価な結晶面をすべて含む表現の｛１１１｝面と明記したのは、図１６の場合と異なり、膜厚方向以外の方向に存在する他の｛１１１｝回折斑点（例えば（−１１１））について、説明上、言及する必要がなかったからである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
本発明では、前記交換結合膜は、下から反強磁性層、強磁性層の順に積層され、前記反強磁性層の下側には、結晶構造が主として面心立方晶から成り、しかも前記界面と平行な方向に｛１１１｝面と等価な結晶面が優先配向したシードレイヤが形成されていることが好ましい。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
このように本発明では反強磁性層の下側にシードレイヤを設けることで、前記反強磁性層及び強磁性層は膜面と平行な方向に、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向する。このように膜面と平行な方向に同じ結晶面が揃うことで、従来に比べて大きな抵抗変化率（ΔＲ／Ｒ）を得ることが可能である。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
ここで「等価な結晶面」とは、ミラー指数を用いて表した結晶格子面を示し、前記｛１１１｝面として表される等価（同等）な結晶面としては（１１１）面、（−１１１）面、（１−１１）面、（１１−１）面、（−１−１１）面、（１−１−１）面、（−１１−１）面、（−１−１−１）面が存在する。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
前記シードレイヤ２２を非磁性で形成するには、上記した材質のうちＮｉ−Ｆｅ−Ｙ合金（ただしＹは、Ｃｒ，Ｒｈ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｎｂ，Ｚｒ，Ｔｉから選ばれる少なくとも１種または２種以上）を選択できる。これら材質は、結晶構造が面心立方晶であり、しかも膜面と平行な方向に、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向しやすく好ましい。前記シードレイヤ２２は、例えば３０Å程度で形成される。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
本発明では上記したように、反強磁性層４の下側にシードレイヤ２２が形成されている。前記シードレイヤ２２は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が膜面に優先配向するように形成されているが、これによって前記シードレイヤ２２上に形成される反強磁性層４もまた膜面と平行な方向に、前記シードレイヤ２２と同じ結晶面が膜面と平行方向に優先配向される。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
なお本発明では、前記膜面と平行な方向に優先配向する結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましいが、これは前記結晶面が最密面であるからである。例えば磁気ヘッド装置内の環境温度やセンス電流密度が高くなると、特に熱的な安定性が求められるが、膜面と平行な方向に最密面である｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向すると膜厚方向の原子の拡散が起こり難く、多層膜界面の熱的安定性が増し、特性の安定化を図ることが可能である。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６６】
前記反強磁性層４及び固定磁性層３の透過電子線回折像には、同じ逆格子面の回折斑点が現れる。前記逆格子面すなわち電子線回折像の投影面は、入射電子線と垂直な結晶面と平行であり、例えば前記逆格子面と平行な結晶面は（１１１）面などである。なお本発明では、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９０】
なお反強磁性層４と固定磁性層３膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、反強磁性層４と固定磁性層３とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９５】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２０３】
また前記シードレイヤ２２は、結晶構造が主として面心立方晶からなり、しかも反強磁性層４との界面と平行な方向に、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。なお前記シードレイヤ２２の材質等に関しては図１で説明したものと同様である。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１０】
なお反強磁性層４と固定磁性層３膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、反強磁性層４と固定磁性層３とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１５】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは、反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２４】
なおエクスチェンジバイアス層１６とフリー磁性層１は膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、エクスチェンジバイアス層１６とフリー磁性層１とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２９】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは、反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２４７】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは、反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５４】
なお反強磁性層４と固定磁性層３膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、反強磁性層４と固定磁性層３とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２５９】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２６８】
なお反強磁性層４と固定磁性層３膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、反強磁性層４と固定磁性層３とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２７３】
なお反強磁性層４と固定磁性層３膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、反強磁性層４と固定磁性層３とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２７８】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは、反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２８８】
なおエクスチェンジバイアス層２１と磁気抵抗層２０は膜面と平行な方向に代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面が優先配向していることが好ましい。また前記結晶面内において、代表的に＜１１０＞方向として表される等価な結晶軸の方向が、エクスチェンジバイアス層２１と磁気抵抗層２０とで互いに異なる方向を向いていることが好ましい。


【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２９３】
上記の場合、前記界面と垂直な方向は、代表的に＜１１１＞方向として表される等価な結晶軸の方向であり、あるいは、反強磁性層及び強磁性層の前記界面と平行な結晶面は、代表的に｛１１１｝面として表される等価な結晶面であることが好ましい。


【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３５４】
一方、上記した膜構成のように反強磁性層の下側にシードレイヤを形成することによって前記シードレイヤ上に形成される反強磁性層等の各層の結晶配向を、前記シードレイヤと同様に膜面と平行な方向に｛１１１｝面を優先配向させやすくなる。