【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年12月26日(2011.12.26)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体（３０）上の光感応層（２６）を露光するマイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系であって、
ユニットとして前記光学系に取り付け、かつ、前記光学系から取り外すことができるモジュール（５０、１５０）を含み、
前記モジュールは、
ａ）液体（３４、１３４）で完全に満たされ、かつ、気密に密封されるように構成された空洞（４２、１４２）と、
ｂ）前記投影露光装置（１０）の動作中、頂部において前記空洞の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）とを含み、
前記支持体（３０）は前記モジュールの外部に配置されていることを特徴とする光学系。
【請求項２】
前記空洞（１４２）は、前記投影露光装置の動作中、その底部がレンズ（Ｌ１０４、Ｌ１０４’）によって境界となる請求項１に記載の光学系。
【請求項３】
前記レンズは平行平面板（Ｌ１０４’）である請求項２に記載の光学系。
【請求項４】
前記レンズ（Ｌ１０４’）は、前記投影露光装置の動作中、光が出射する前記光学系の最終光学要素である請求項２または３に記載の光学系。
【請求項５】
前記空洞に離れて対面する前記レンズの前記面（Ｌ１０４’）は、前記投影露光装置の動作中に、前記空洞の下側に配列されており、前記投影露光装置の動作中に液体で完全に満たされるように構成されたさらなる空洞（１４２”）に隣接して置かれる請求項２または３に記載の光学系。
【請求項６】
前記さらなる空洞（１４２”）は、前記投影露光装置（１０）の動作中、光が出射する前記光学系（２０）の前記最終光学要素（ＴＰ）により底部が境界となっている請求項５に記載の光学系。
【請求項７】
ａ）前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）は、第１のレンズ・マウント（１５２）内に保持されている第１のレンズ（Ｌ１０３）の一部であり、
ｂ）前記投影露光装置（１０）の動作中、前記空洞（１４２）の底部側の境界となる第２のレンズ（Ｌ１０４）は、第２のマウント（１６６）内に保持されており、かつ、
ｃ）前記第１のマウント（１５２）と前記第２のマウント（１６６）は気密に互いに接続されている請求項２から６のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項８】
前記モジュール（１５０）は、前記空洞（１４２）内に液体を導入するための供給流路（１６８）を含む請求項１から７のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項９】
前記モジュール（１５０）は前記空洞（１４２）から空気を放出するための通気流路（１７２）を含む請求項１から８のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１０】
ａ）前記光学系は、前記投影露光装置（１０）の液浸対物レンズ（２０）であり、
ｂ）前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）は、前記投影露光装置（１０）の動作中、前記液浸対物レンズ（２０）の最終光学面であり、かつ、
ｃ）前記空洞（４２）は、前記液浸対物レンズ（２０）の像平面（２８）の方向において、解放可能に取り付けられた筐体要素（５６）により気密に密封されている請求項１に記載の光学系。
【請求項１１】
前記液体は浸漬用液体（３４）である請求項１０に記載の光学系。
【請求項１２】
前記筐体要素（５６）は少なくとも部分的に透明である請求項１０または１１に記載の光学系。
【請求項１３】
前記筐体要素（５６）は平行平面板を含む請求項１０から１２のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１４】
前記モジュール（５０）のための接続部分（７７）への前記筐体要素（５６）の接続は、電気的、磁気的、または、油圧機械式に解放可能である請求項１０から１３のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１５】
前記筐体要素（５６）は、前記空洞（４２）内に設定することができる減圧により接続部分（７７）に取り付けられるように構成された請求項１０から１４のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１６】
前記空洞（４２）は、閉鎖可能な回路（６８）を介して液体貯液槽に接続可能である請求項１０から１５のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項１７】
支持体（３０）上の光感応層（２６）を露光するマイクロリソグラフィ投影露光装置の液浸対物レンズであって、
ａ）像側に凹に湾曲した面（Ｓ）を有し、かつ、前記像側の最終光学要素であるレンズ（Ｌ３）と、
ｂ）前記レンズ（Ｌ３）を保持するためのレンズ・ホルダ（５２）と、
ｃ）直接に、または、中間要素（５４）を介して前記レンズ・ホルダ（５２）に解放可能に接続可能である筐体要素（５６）であって、前記レンズ（Ｌ３）と前記筐体要素（５６）との間に液体（３４）を保持するための気密に密封可能な空洞（４２’）を作る、前記筐体要素（５６）とを含み、
前記レンズ・ホルダ（５２）が、ユニットとして前記液浸対物レンズ内に取り付けられ、かつ、前記対物レンズから取り外されるように構成されたモジュール（５０）を、前記ホルダ（５２）に接続された前記筐体要素（５６）と共に形成し、前記支持体（３０）は前記モジュールの外部に配置されていることを特徴とする液浸対物レンズ。
【請求項１８】
前記モジュール（５０）のための接続部分（７７）への前記筐体要素（５６）の接続は、電気的、磁気的、または、油圧機械式に解放可能である請求項１７に記載の液浸対物レンズ。
【請求項１９】
マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系（１２、２０）であって、
ａ）液体（３４）で完全に満たされ、かつ、気密に密封されるように構成された空洞（２４２、３４２）と、
ｂ）前記投影露光装置（１０）の動作中、前記空洞（２４２、３４２）の頂部側の境界となる凹に湾曲した光学面（Ｓ）と、
ｃ）前記空洞（２４２、３４２）内に配置され、かつ、前記凹に湾曲した面（Ｓ）上を実質的に継ぎ目無く押圧する排気位置へ可動である排気要素（２９２、Ｋ、Ｋ’、３９２）と、を含み、前記排気要素を前記凹に湾曲した面上に押圧することにより、前記空洞内の空気を逃がすように構成されている光学系。
【請求項２０】
前記排気要素（２９２、Ｋ、Ｋ’、３９２）が前記排気位置にある時、０．５ｍｍ未満の幅を有する隙間が、前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）と前記排気要素との間に残る請求項１９に記載の光学系。
【請求項２１】
前記隙間の前記幅は、０．１ｍｍ未満である請求項２０に記載の光学系。
【請求項２２】
前記排気要素（２９２、Ｋ、Ｋ’、３９２）は、前記凹に湾曲した面の曲率よりも大きさが大きい曲率を有する請求項１９から２１のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２３】
前記排気要素（２９２、３９２）は変形可能な膜である請求項１９から２２のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２４】
前記膜（３９２）は、前記空洞を、前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）に隣接した第１のサブ空間（３４２ａ）と、前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）とは隣接していない第２のサブ空間（３４２ｂ）と、に分割し、かつ、前記光学系が、第２のサブ空間（３４２ｂ）内を、第１のサブ空間（３４２ａ）に対して陽圧とするように構成されている請求項２３に記載の光学系。
【請求項２５】
前記膜（３９２）は、気体に対して少なくとも部分的に透過性である請求項２３または２４に記載の光学系。
【請求項２６】
前記膜（３９２）は、液体に対して部分的に透過性である請求項２３から２５のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２７】
前記排気要素（Ｋ、Ｋ’）は、前記凹に湾曲した光学面の逆の形状に整形された面を有する剛体である請求項１９から２２のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２８】
前記排気要素（２９２、Ｋ、Ｋ’、３９２）が液体に可溶である請求項１９から２７のいずれか一項に記載の光学系。
【請求項２９】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系であって、
ａ）前記投影露光装置の動作中、上方に凹に湾曲しており、かつ、最高点（Ｖ）を有する光学面（Ｓ）を有するレンズと、
ｂ）前記レンズの下方に固定された中間要素と
ｃ）前記投影露光装置の動作前に、前記中間要素を通り、前記最高点（Ｖ）にすぐ隣接して位置決めされるように構成された開口部（４７７、４７７’）を有する流路（４７２、４７２’）と、を含み、
前記流路（４７２，４７２’）は前記光学面（Ｓ）の下方に蓄積する気体を排出し、または、前記光学面（Ｓ）の下方に液体（４３４）を導入するために使用され、該流路は前記投影露光装置の動作中の光路内に無いように前記中間要素を通して引き出すことが可能であることを特徴とする光学系。
【請求項３０】
前記流路（４７２、４７２’）は前記光学面（Ｓ）の下方に蓄積する気体を排出するための気体ポンプに接続されている請求項２９に記載の光学系。
【請求項３１】
前記流路（４７２、４７２’）は前記光学面（Ｓ）の下方に液体（４３４）を導入するための液体ポンプに接続されている請求項２９または３０に記載の光学系。
【請求項３２】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系であって、
ａ）前記投影露光装置の動作中、上方に凹に湾曲しており、かつ、最高点（Ｖ）を有する光学面（Ｓ）と、
ｂ）前記レンズの内部で延び、かつ、第１の開口部と第２の開口部を有する流路（５７２、５７２’、５７２”）であって、前記第１の開口部は前記光学面（Ｓ）の最高点（Ｖ）に配置される流路と、を有するレンズ（Ｌ５０３、Ｌ５０３’、Ｌ５０３”）を含む光学系。
【請求項３３】
前記流路（５７２）は前記レンズ（Ｌ５０３）の対称軸と同軸に延びる請求項３２に記載の光学系。
【請求項３４】
前記第２の開口部は前記レンズ（Ｌ５０３’）の辺縁部に配列されている請求項３２または３３に記載の光学系。
【請求項３５】
気密に密封可能な空洞（４２、１４２）を液体（３４）で完全に満たすための方法であって、前記空洞は、支持体（３０）上の光感応層（２６）を露光するマイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の光学系（１２、２０）の設計単位として構築されたモジュール（５０、１５０）の一部であり、かつ、前記モジュールは、凹に湾曲した光学面（Ｓ）と、前記空洞内に含まれている気体を解放するための通気開口部とを有し、前記支持体（３０）は前記モジュールの外部に配置されており、
ａ）前記通気開口部が上方を向くように、前記光学系の外側に前記モジュール（５０、１５０）を傾ける工程と、
ｂ）前記液体（３４）で前記空洞を満たす工程と、
ｃ）前記凹に湾曲した光学面（Ｓ）が上方を向くように、前記モジュール（５０、１５０）を前記光学系内に取り付ける工程と、を含む方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９５】
圧力ポンプを作動させるために、圧力室２８８内に陽圧を設定する。図１５において、圧力室２８８への気体の供給は、左からの第２の部分的表示において、矢印２９４により示されている。膜２９２は、圧力室２８８内に充満する陽圧により変形し、その膜２９２が像側の最終レンズＬ２０３の面Ｓをほぼ継ぎ目無く押圧するようにされている。したがって、空洞２４２に含まれた空気は膜１９２により移動させられる。移動させられた空気は、レンズ・マウント２５２と膜２９２との間の円周上の隙間を介して逃げる。これの代案として、レンズ・マウント２５２に含まれた流路を、この流路を介して空気を逃がすために開放することもできる。図１５に示された例示的実施形態においては、第１の流路２６８と第２の流路２７２が設けられ、この双方を、この目的のために使用することができる。