【手続補正書】
【提出日】平成24年1月31日(2012.1.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロミラー（２４）を駆動する方法であって、
ａ）マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置され前記マイクロミラー（２４）を含むマイクロミラーアレイ（２２）を設けるステップであって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して各傾斜角度（αｘ、αｙ）で傾斜可能であり、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、該マイクロミラー（２４）に、制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が割り当てられる、ステップと、
ｂ）それぞれが１つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に割り当てられると共に両方が非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる、２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を指定するステップと、
ｃ）前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の任意の所望の組み合わせに関して、前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に応じて、前記３つのアクチュエータのうち、制御信号（Ｕ１）が一定値に設定される１つ（Ｅ１）を選択するステップと、
ｄ）前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が他の２つのアクチュエータ（Ｅ２、Ｅ３）に印加されると前記マイクロミラー（２４）が前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）を採用するように、前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるステップと、
ｅ）前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）は、前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に線形に割り当てられることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記制御信号（Ｕ１）が一定値に設定されるアクチュエータ（Ｅ１）は、前記ステップｃ）において、方向（θ）を有する２次元制御変数ベクトル（ＳＧＶ）を、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に割り当て、実効傾斜ベクトル（ｗ１、ｗ２、ｗ３）を個々のアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）それぞれに割り当て、続いて実効傾斜ベクトル（ｗ１）が前記制御変数ベクトル（ＳＧＶ）の前記方向（θ）に直接隣接しない方向（θ）を有するアクチュエータ（Ｅ１）を選択することにより、選択されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ１、ｗ２、ｗ３）は、このアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）のみが駆動されるときに前記マイクロミラー（２４）が採用する前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）から得られることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記実効傾斜ベクトル（ｗ１、ｗ２、ｗ３）は、測定により求められることを特徴とする、請求項３又は４に記載の方法。
【請求項６】
前記制御変数ベクトル（ＳＧＶ）及び前記実効傾斜ベクトル（ｗ１、ｗ２、ｗ３）の方向は、
【数１】
2012505533.tif 000001
に従って求められ、式中、ＳＧｘ及びＳＧｙは、前記各傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）であり、θは、各ベクトルが前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）の一方と一致する方向ｙと形成する角度を示すことを特徴とする、請求項３〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）は、３回対称で配置されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
第１のアクチュエータ（Ｅ１）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ１）は、アライメント角度φ内の前記方向ｙと一致する方向を有し、第２のアクチュエータ（Ｅ２）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ２）は、前記第１のアクチュエータ（Ｅ１）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ１）と１２０°の角度を本質的に形成し、第３のアクチュエータ（Ｅ３）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ３）は、前記第２のアクチュエータ（Ｅ２）の前記実効傾斜ベクトル（ｗ２）と１２０°の角度を本質的に形成し、前記制御変数ベクトル（ＳＧＶ）の前記方向θが求められてから、前記第３のアクチュエータ（Ｅ３）はθ∈［１２０°＋φ［で選択され、前記第１のアクチュエータ（Ｅ１）はθ∈［１２０°＋φ、２４０°＋φ［で選択され、前記第２のアクチュエータ（Ｅ２）はθ∈［２４０°＋φ、３６０°＋φ［で選択されることを特徴とする、請求項６又は７に記載の方法。
【請求項９】
前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）は、前記ステップｂ）において、制御アルゴリズム（６２）、調整アルゴリズム（５８）、又は制御・調整複合アルゴリズム（５４）により設定点傾斜角度から求められることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
目標傾斜角度が指定され、前記マイクロミラー（２４）を瞬時に傾斜させる実傾斜角度から前記目標傾斜角度への遷移を表す一連の設定点傾斜角度を含む軌道が決定されることを特徴とする、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記設定点傾斜角度を求めるときに較正データが考慮されることを特徴とする、請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）は、調整アルゴリズム（５８）により指定されるか又はこれにより補正され、前記調整アルゴリズム（５８）は、前記設定点傾斜角度と、監視システム（６０）により測定される前記マイクロミラー（２４）を瞬時に傾斜させる前記実傾斜角度の負のフィードバックとから求められる調整差を受け取ることを特徴とする、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）は、逆システムダイナミクスモデルを用いる予測制御アルゴリズム（６２）を用いて前記設定点傾斜角度に割り当てることにより指定されることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
前記ステップｃ）及び前記ステップｄ）は、
割り当て表から所与の制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に関する制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるステップ
を含むことを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）と前記３つの制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）との間の前記割り当て表は、前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に様々な制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を印加し、そこから得られる傾斜角度（αｘ、αｙ）を測定し、その後で前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を得られた前記傾斜角度（αｘ、αｙ）に線形に割り当てることにより、パラメータ化段階で編集され、前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）の印加中は１つの制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が一定に保たれていることを特徴とする、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記ステップｄ）は、
パラメータベクトルを用いる計算規則を用いて、所与の制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に関して前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるステップ
を含むこと特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記パラメータベクトルは、傾斜角度（αｘ、αｙ）と前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）との間の少なくとも３つの割り当てからの推定により、パラメータ化段階で求められ、前記少なくとも３つの割り当ては、前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に様々な制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を印加し、そこから得られる傾斜角度（αｘ、αｙ）を測定することにより求められることを特徴とする、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
マイクロミラー（２４）を駆動する方法であって、
ａ）マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されて前記マイクロミラー（２４）を含むマイクロミラーアレイを設けるステップであって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して各傾斜角度（αｘ、αｙ）で傾斜可能であり、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、該マイクロミラー（２４）に、制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が割り当てられる、ステップと、
ｂ）前記マイクロミラーの複数の傾斜角度（αｘ、αｙ）を起動及び測定し、このために前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加される前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を記憶することにより、前記傾斜角度（αｘ、αｙ）と前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）との間の割り当て表を編集するステップと、
ｃ）それぞれが１つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に割り当てられると共に両方が非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に線形に割り当てられる２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を指定するステップと、
ｄ）前記ステップｃ）における割り当てに従って前記２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を前記割り当て表の前記傾斜角度（αｘ、αｙ）に線形に割り当て、前記割り当て表からこれらの傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられた前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を読み出すことにより、前記マイクロミラー（２４）を前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）で傾斜させる制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるステップと、
ｅ）制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加するステップと、
を含む、方法。
【請求項１９】
マイクロミラー（２４）を駆動する方法であって、
ａ）マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されて前記マイクロミラー（２４）を含むマイクロミラーアレイを設けるステップであって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して各傾斜角度（αｘ、αｙ）で傾斜可能であり、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、該マイクロミラー（２４）に、制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が割り当てられる、ステップと、
ｂ）前記マイクロミラー（２４）の様々な傾斜角度（αｘ、αｙ）と、このために前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加される前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）とを起動及び測定することにより、前記傾斜角度（αｘ、αｙ）と前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）との間の少なくとも３つの割り当てを求めるステップと、
ｃ）該ステップｂ）から得られる割り当てからパラメータベクトルを推定するステップと、
ｄ）それぞれが１つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に割り当てられる２つの制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を指定するステップと、
ｅ）前記推定されたパラメータベクトルを用いる計算規則を用いて、所与の制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に関して前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるステップと、
ｆ）前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加するステップと、
を含む、方法。
【請求項２０】
前記パラメータベクトルは、最小２乗推定量により推定されることを特徴とする、請求項１７または１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記マイクロミラー（２４）は、前記傾斜軸（ｘ、ｙ）に対してそれぞれ少なくとも３つの異なる傾斜角度（αｘ、αｙ）を採用し得ることを特徴とする、請求項１〜２０の何れか一項に記載の方法。
【請求項２２】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されるマイクロミラーアレイ（２２）に含まれるマイクロミラー（２４）を駆動するドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）を有し、該２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が前記マイクロミラー（２４）に割り当てられ、該ドライブエレクトロニクス（３９）は、
ａ）前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）用の入力を有する変換器（４６）と、
ｂ）該変換器（４６）により制御され得る２つの信号増幅器（５０、５２）と、
ｃ）前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を印加するのに用いられ得る切換ユニット（４８）と、
を備える、ドライブエレクトロニクス（３９）において、
ｄ）前記変換器（４６）及び前記切換ユニット（４８）を用いて、前記変換器（４６）の前記入力に適用される前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）のうちの１つの前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が一定値に設定され得ると共に、
ｅ）前記マイクロミラー（２４）が、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）に割り当てられた前記非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）を採用するように、前記変換器（４６）、前記切換ユニット（４８）、及び前記２つの信号増幅器（５０、５２）を用いて、他の２つの制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加され得る
ことを特徴とする、ドライブエレクトロニクス。
【請求項２３】
ドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記変換器（４６）の制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）用の前記入力は、設定傾斜角度から前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）を求めるのに用いられ得る制御システム（６２）、調整システム（５８）、又は制御・調整複合システムに接続されることを特徴とする、請求項２２に記載のドライブエレクトロニクス。
【請求項２４】
ドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記変換器（４６）は、該変換器（４６）の前記入力に適用される前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるのに用いられ得る割り当て表のための、メモリ（４５）を備えることを特徴とする、請求項２２又は２３に記載のドライブエレクトロニクス。
【請求項２５】
ドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記変換器（４６）は、パラメータベクトルを用いる計算規則を用いて前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を前記変換器（４６）の前記入力に適用される前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として計算し得る、計算ユニット（４７）を備えることを特徴とする、請求項２２〜２４のいずれか１項に記載のドライブエレクトロニクス。
【請求項２６】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されるマイクロミラーアレイ（２２）に含まれるマイクロミラー（２４）を駆動するドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）を有し、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、該マイクロミラー（２４）に、制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が割り当てられ、該ドライブエレクトロニクス（３９）は、
ａ）前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）用の入力を有する変換器（４６）と、
ｂ）前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加され得るように、前記変換器（４６）により制御され得ると共に前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に直接的又は間接的に接続される２つの信号増幅器（５０、５２）と、
を備える、ドライブエレクトロニクス（３９）において、
ｃ）前記変換器（４６）は、該変換器の前記入力に適用される前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を求めるのに用いられ得る割り当て表のための、メモリ（４５）を備える
ことを特徴とする、ドライブエレクトロニクス。
【請求項２７】
マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されるマイクロミラーアレイ（２２）に含まれるマイクロミラー（２４）を駆動するドライブエレクトロニクス（３９）であって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸を有し、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、該マイクロミラー（２４）に、制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）によりそれぞれ駆動され得る３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が割り当てられ、該ドライブエレクトロニクス（３９）は、
ａ）前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対する非摂動傾斜角度（αｘ、αｙ）に割り当てられる制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）用の入力を有する変換器（４６）と、
ｂ）前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）が前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に印加され得るように、前記変換器（４６）により制御され得ると共に前記アクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）に直接的又は間接的に接続される２つの信号増幅器（５０、５２）と、
を備える、ドライブエレクトロニクス（３９）において、
ｃ）前記変換器（４６）は、パラメータ化段階で推定され得るパラメータベクトルを用いる計算規則を用いて、前記３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）の前記制御信号（Ｕ１、Ｕ２、Ｕ３）を前記変換器（４６）の前記入力に適用される前記制御変数（ＳＧｘ、ＳＧｙ）の関数として計算し得る、計算ユニット（４７）を備える
ことを特徴とする、ドライブエレクトロニクス。
【請求項２８】
請求項２２〜２７のいずれか１項に記載のドライブエレクトロニクスと、マイクロリソグラフィ投影露光装置の照明システム（１０）に配置されるマイクロミラーアレイ（２２）に含まれるマイクロミラー（２４）とを備える、マイクロミラーシステムであって、前記マイクロミラー（２４）は、２つの傾斜軸を有し、前記２つの傾斜軸（ｘ、ｙ）に対して前記マイクロミラー（２４）を傾斜させるために、３つのアクチュエータ（Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３）が前記マイクロミラー（２４）に割り当てられる、マイクロミラーシステム。