【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年5月10日(2012.5.10)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
摩擦を減少させ、機械部材（１）の所定面（２）の摩耗抵抗を高めるために、機械部材（１）の所定面（２）上に施こされた、ｓｐ2混成軌道およびｓｐ3混成軌道の炭素からなる水素不含の、３０〜９５ＧＰａの硬度値、３００ＧＰａ〜８２０ＧＰａの範囲内のＥ弾性率および少なくとも０．１５の硬度値とＥ弾性率との比を有する正四面体の少なくとも１つの無定形炭素層（４）を有し、機械部材（１）の所定面（２）と正四面体の無定形炭素層（４）との間に少なくとも１つの支持層（３）および／または少なくとも１つの付着補助層（３）が設けられ、これらの支持層および／または付着補助層が、ＰＶＤ法により、金属含有の炭素層、遷移金属の炭化物を有する層、熱処理により肌焼きされた、浸炭窒化または軟窒化された層、熱化学的方法により窒化処理またはホウ化処理された層として形成されている、内燃機関のための摩擦による摩耗に晒される機械部材（１）の所定面（２）上の耐摩耗性被膜。
【請求項２】
被膜が前記混成軌道の炭素少なくとも９７原子％からなり、この場合前記混成軌道の炭素中のｓｐ3混成軌道の炭素の含量は、少なくとも５０％である、請求項１記載の耐摩耗性被膜。
【請求項３】
正四面体の無定形炭素層（４）中の水素含量が最大１原子％である、請求項１または２記載の耐摩耗性被膜。
【請求項４】
正四面体の無定形炭素層（４）が６００℃までの熱的安定温度または酸化安定性を有する、請求項１から３までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜。
【請求項５】
正四面体の無定形炭素層（４）が０．１μｍ〜４．０μｍの厚さを有する、請求項１から４までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜。
【請求項６】
少なくとも１つの支持層（３）および／または少なくとも１つの付着補助層（３）が０．１μｍ〜４．０μｍの厚さを有する、請求項１から５までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜。
【請求項７】
機械部材（１）の所定面（２）が、１６ＭｎＣｒ５、Ｃ４５、１００Ｃｒ６、３１ＣｒＭｏＶ９、８０Ｃｒ２からなる、請求項１から６までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜。
【請求項８】
カップタペット（５）、牽引レバーまたはロッカーレバー（１１）として形成された機械部材上の対向アーマチュア層としての請求項１から７までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜（３、４）の使用。
【請求項９】
カップタペット（５）のカム接触面（５０）、またはカップタペット（５）のカム接触面（５０）およびカップシャツ（５１）が完全にかまたは少なくとも部分的に請求項１から７までのいずれか１項に記載の耐摩耗性被膜で形成されている、請求項８記載の耐摩耗性被膜の使用。
【請求項１０】
弁駆動構成部材、機械的カップタペットおよび液圧的カップタペット、液圧的な支持部材および嵌め込み部材、ロール支承構成部材、制御ピストン、分離支承部、ピストンボルト、支承ブッシュ、線形案内部材の所定面上での層としての請求項１から７までのいずれか１項に記載の被膜の使用。
【請求項１１】
摩擦による摩耗に晒される機械部材（１）の所定面（２）上の耐摩耗性被膜の製造方法において、次の処理工程：摩擦を減少させるため、および所定面（２）の摩耗抵抗を高めるために、ｓｐ2混成軌道およびｓｐ3混成軌道の炭素からなる水素不含の、３０〜９５ＧＰａの硬度値、３００ＧＰａ〜８２０ＧＰａの範囲内のＥ弾性率および少なくとも０．１５の硬度値とＥ弾性率との比を有する正四面体の少なくとも１つの無定形炭素層（４）を機械部材（１）の所定面（２）上に析出させる工程を有し、機械部材（１）の所定面（２）と正四面体の無定形炭素層（４）との間に少なくとも１つの支持層（３）および／または少なくとも１つの付着補助層（３）を設け、これらの支持層および／または付着補助層が、ＰＶＤ法により、金属含有の炭素層、遷移金属の炭化物を有する層、熱処理により肌焼きされた、浸炭窒化または軟窒化された層、熱化学的方法により窒化処理またはホウ化処理された層として形成される、摩擦による摩耗に晒される機械部材（１）の所定面（２）上の耐摩耗性被膜の製造方法。
【請求項１２】
析出をＰＶＤ法により実現させる、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
正四面体の無定形炭素層（４）を０．１μｍ〜４．０μｍの厚さで形成させる、請求項１１または１２記載の方法。
【請求項１４】
被覆工程を最大１６０℃である温度で実施する、請求項１１から１３までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
摩擦の減少が望ましい場合には、析出された無定形炭素層（４）の熱的後処理および／または機械的後処理を実施しない、請求項１１から１４までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
摩擦による摩耗からの保護が望ましい場合には、析出された無定形炭素層（４）の機械的後処理として、研磨および／またはブラッシングを実施する、請求項１１から１４までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
機械部材（１）の所定面（２）を、１６ＭｎＣｒ５、Ｃ４５、１００Ｃｒ６、３１ＣｒＭｏＶ９、８０Ｃｒ２から製造する、請求項１１から１６までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
機械部材（１）の所定面（２）を析出前に肌焼きしおよび／または浸炭窒化し、焼き戻しする、請求項１１から１７までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
少なくとも１つの支持層（３）および／または少なくとも１つの付着補助層（３）を０．１μｍ〜４．０μｍの厚さで形成させる、請求項１１から１８までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
被膜を前記混成軌道の炭素少なくとも９７原子％から形成させ、この場合前記混成軌道の炭素中のｓｐ3混成軌道の炭素の含量は、少なくとも５０％である、請求項１１から１９までのいずれか１項に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
本発明の基礎となる観念は、耐摩耗性の被膜が摩擦減少のためおよび機械部材の所定面の摩耗抵抗を高めるために、機械部材の所定面上に取り付けられた、ｓｐ2混成軌道およびｓｐ3混成軌道の炭素からのほぼ水素不含の正四面体の少なくとも１つの無定形炭素層からなることにある。この場合、層系は、例えば９７原子％を上廻る炭素からなり、この場合水素含量は、最大３原子％である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
従って、本発明は、公知技術水準による公知の取り組み方と比較して、殊に潤滑油が塗布された状態で水素不含の炭素層によって、摩擦モーメントが著しく減少するという利点を有する。更に、表面状態は、著しく均一化され、安定化される。付加的に、摩耗抵抗は、ｓｐ3混成の含量のために増大される。優れた摩擦特性によって、僅かな内部摩擦を有し、低い粘度を有する安価な潤滑剤が使用されることができる。その上、油交換間隔を高めることができ、ひいては顧客に便利さを与えることができる。潤滑剤として油圧油、ディーゼル燃料、水ないしガソリンを使用することができることによって、食品工業、油圧的用途および媒体による潤滑作用を有する他の用途における全く新規の使用分野が提供される。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
従属請求項には、請求項１に記載された耐摩耗性の被膜の好ましい形成および改良ならびに請求項１１に記載された方法の好ましい形成および改良が見出せる。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
好ましい他の形成によれば、被膜は、前記混成軌道の炭素少なくとも９７原子％からなり、この場合正四面体の無定形炭素層中のｓｐ3混成軌道の炭素の含量は、５０％を上廻る。このようにｓｐ3混成の高い含量によって、高い硬度値および極めて低い乾式摩擦値が達成される。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
更に、好ましい実施例によれば、機械部材の所定面と正四面体の無定形炭素層との間に少なくとも１つの支持層および／または少なくとも１つの付着補助層が設けられ、これらの支持層および／または付着補助層は、例えばＰＶＤ法により金属含有の、例えばタングステンを含む炭素層、遷移金属の炭化物および／または窒化物を有する層、熱処理により肌焼きされた、浸炭窒化または軟窒化された層、熱化学的方法により窒化処理またはホウ化処理された層および／または電気メッキ法によりクロムを有する層として形成されている。特に、少なくとも１つの支持層および／または付着補助層は、それぞれ０．１〜４．０μｍの厚さを有し、この場合この厚さは、再度それぞれ相応する要件または顧客の要望に適合させることができる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
所定面２、即ち当該の場合には、カップタペット５のカム接触面５０は、特に被覆前に肌焼きされるか、浸炭窒化され、焼き戻しされる。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
基体、本発明の場合に有利に安価な鋼材料、例えば１６ＭｎＣｒ、Ｃ４５、１００Ｃｒ６、３１ＣｒＭｏＶ９、８０Ｃｒ２または類似物からなるカップタペット５のカム接触面５０は、本発明の実施例により、引続き支持層３および／または付着補助層３で被覆される。支持層３または付着補助層３は、例えば金属含有炭素、例えばタングステンおよび炭素からの化合物、しかも別の金属材料ならびに遷移金属の硼化物、炭化物および窒化物からなることができる。支持層３および／または付着補助層３は、例えば熱処理、例えば肌焼き、浸炭窒化、軟窒化、熱化学的法、例えば窒化処理、ホウ化処理、電気メッキ法、例えばクロム含有層の施与、またはＰＶＤ法、例えば遷移金属のＭｅ−Ｃ、炭化物および窒化物の施与によって形成されてよい。ＰＶＤ法の場合、例えばスパッタリング技術またはＡＲＣ技術の場合には、同時に金属が蒸発され、形成すべき層中に導入される。この場合、黒鉛は、固体の出発材料として蒸発され、含量の増大により、高いエネルギーを導入することによって、カップタペット５の所定面２上に部分結晶相として析出される。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
図４に示されているように、本発明の実施例によれば、支持層および／または付着補助層３の形成後に耐摩耗性被膜４がその上に形成される。耐摩耗性被膜４は、特に水素不含または少なくともほぼ水素不含の正四面体の無定形炭素層（ｔａ−Ｃ層）または複数のこの種の層４からなる。無定形の炭素層４は、有利に単にｓｐ2混成軌道およびｓｐ3混成軌道の炭素からなり、この場合、有利には、ｓｐ2混成よりも多くのｓｐ3混成が無定形の炭素層４中に設けられている。それによって、耐摩耗性の向上のために被膜４の硬度が増大される。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
正四面体の無定形炭素層４は、特にＰＶＤ法により支持層または付着補助層３上に析出される。この場合、例えば高エネルギービームを有する黒鉛は、黒鉛からの炭素原子からイオンビームが放出され、カップタペット５または機械部材１の表面上に方向付けられうるように加熱される。それによって、ｓｐ2混成およびｓｐ3混成は、支持層または付着補助層３上に析出される。例えば、６０〜１６０電子ボルトのエネルギーを有する、炭素原子からなるイオンビームのイオンのエネルギーに依存して、ｓｐ2混成およびｓｐ3混成のそれぞれの含量は、制御されることができる。炭素原子からなるイオンのエネルギーの上昇は、ｓｐ3混成の含量を上昇させる。従って、小さな結晶範囲を有する全体が無定形の被膜が生じ、この場合この結晶範囲は、高い摩耗抵抗および僅かな摩擦係数を有する。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
正四面体の無定形炭素層４の析出の場合、被覆すべき基体は、析出室中で例えば、全ての回転サイクルでｓｐ2混成軌道およびｓｐ3混成軌道の炭素の層位置が基体上、または支持層または付着補助層３上に形成されるように回転される。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
以下、更に好ましい、本発明による被膜の使用を詳説する。図３は、ピストン９およびケーシング１０を有する液圧的支持部材８の斜視図を示す。液圧的支持部材８は、牽引レバー１１と結合されており、この場合牽引レバー１１は、ロール支承部１２上を旋回可能に支承されている。更に、図３から明らかなように、ピストン９は、ピストン９と牽引レバー１１との間に接触範囲９０を有する。更に、ピストン９は、ピストン９とケーシング１０との間に接触範囲９１を有する。ピストン９と牽引レバー１１との間の接触範囲９０での摩耗を減少させるために、接触範囲９０は、同様にｓｐ2混成およびｓｐ3混成からなる、本発明による水素不含またはほぼ水素不含の正四面体の無定形炭素層４で、例えば支持層および／または付着補助層の中間接続下に被覆されている。この場合、耐摩耗性の被膜は、図１、２に記載の第１の実施例中に説明された被膜３、４に相当する。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
更に、ロール支承部１２の一定のロール支承構成成分、例えばロール体、ロール支承部１２の内側リングおよび外側リング、ロール支承部ケージ、軸方向ディスクまたは類似物は、同様に摩耗抵抗を高めるためおよび摩擦減少のために、ｓｐ2混成およびｓｐ3混成からなる、上記の水素不含またはほぼ水素不含の正四面体の無定形炭素層４で、例えば支持層および／または付着補助層３の中間接続下に被覆されていてよい。