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　平成　７年特許願第５２１４３６号「２端部を有する同調フオーク体の２ポート付電磁駆動装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　８月１７日国際公開、ＷＯ９５／２２０６２、平成　９年　９月　９日国内公表、特表平　９−５０８９７３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、１９９５年２月１４日（優先権主張１９９４年２月１５日、米国）を国際出願日とする出願であって、その請求項１及び２に係る発明は、平成１１年２月２６日付及び平成１３年９月１８日付手続補正書（平成１１年７月２６日付手続補正書は平成１３年７月９日付けで補正却下された。）で補正された請求の範囲、明細書及び図面の記載によれば、特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１には次の事項が記載されている。（以下、請求項１に係る発明を「本願発明」という。）
「【請求項１】　基準質量体（４４）と、ケーシング（４２）と、ケーシング（４２）に対し基準質量体（４４）を連結してヒンジ軸ＨＡを区画する複数のたわみ部材（４６）と、基準質量体（４４）とケーシング（４２）との間に連結される複数の振動ビーム部材（５２、５４）、（１０２、１０４、１０６、１０８）、（１３４、１３６）とを備え、複数の振動ビーム部材（５２、５４）、（１０２、１０４、１０６、１０８）、（１３４、１３６）には複数のポートをなす電気的に絶縁された分離導電路（６０、６２）、（１１０、１１２）、（１３８、１４０、１４２、１４４）が形成されてなる振動ビーム部材加速度計。」
　
２．引用刊行物記載の発明
［引用刊行物１］
　原査定の拒絶の理由に引用された特表平３−５０１５３０号公報（以下、「引用刊行物１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている。
（ア）「振動ビーム力変換器は、加速度計やその他の計器において力から周波数へのコンバータとしてしばしば用いられている。」（第２頁左上欄第８〜１０行）
（イ）「第１図及び第２図は、本発明による加速度計の第１の好適な実施例を示している。加速度計１０は、単一のシリコンウェーハ１２から形成されるのが好適であり、このウェーハ１２は、上面１４及び下面１６を含んでいる。ウェーハ１２はプルーフマス（ｐｒｏｏｆ　ｍａｓｓ）１８を形成するようにエッチング加工され、このプルーフマス１８は１対のたわみ部２２、２４により支持体２０に取り付けられている。たわみ部２２、２４は、以下で述べるように、下面１６側の層２６に形成される。たわみ部２２、２４によって、プルーフマス１８はヒンジ軸線ＨＡを中心として支持体２０に対して回動することができる。ヒンジ軸線ＨＡは、たわみ部２２、２４の中心を通り、また、層２６に位置されている。また、加速度計１０は、ヒンジ軸線ＨＡに直角で且つプルーフマス２０の重心２８を通る揺動軸線ＰＡを有している。加速度計１０は、ヒンジ軸線及び揺動軸線に直角な感知軸線ＳＡに沿う加速度を測定する。
　第１図及び第２図に示される加速度計１０は、プルーフマス１８及び支持体２０の間に連結された力変換器３０、３２を含んでいる。これらの力変換器３０、３２は、ウェーハ１２の上面１４側の層３４に形成されている。力変換器３０、３２は、両頭音叉振動ビームタイプ（ｄｏｕｂｌｅ−ｅｎｄｅｄ　ｔｕｎｉｎｇ　ｆｏｒｋ　ｖｉｂｒａｔｉｎｇ　ｂｅａｍ　ｔｙｐｅ）として示されており、このタイプの場合、１対のビームが、当該ビームの平面において、互いに１８０°位相を異にして振動を起こされる。各変換器において、ビームは、その変換器の感知方向を定める長手方向変換器軸線（ＬＡ）に平行となっている。また、各変換器において、その長手方向軸線に沿う引張り力は共振振動数を増加させ、長手方向軸線に沿う圧縮力は共振振動数を減少させる。
　力変換器３０、３２は揺動軸線ＰＡにほぼ平行である。力変換器３０は、プルーフマス１８との連結点から支持体２０との連結点まで、揺動軸線ＰＡに沿う方向に延びており、力変換器３２は、プルーフマス１８との連結点から支持体２０との連結点まで、揺動軸線ＰＡに沿う反対方向に延びている。この配列によりプッシュプル作動が得られ、感知軸線ＳＡに沿う加速度の所定方向において、一方の力変換器は引張り力を受け、他方の力変換器は圧縮力を受ける。各力変換器はプルーフマスに対して同方向に力を作用させるので、第１図の構成がプルーフマスに望ましくないトルクを生じさせることがないことに、注意されたい。」（第２頁左下欄第１８行〜第３頁左上欄第１０行）
（ウ）「第３図に示される構造は、力変換器７０、７２が互いに比較的近接し、それによりある種の駆動装置（例えば磁気ドライブ）のための加速度計設計を単純化できるという利点がある。これに対して、第１図の実施例は、磁気ドライブシステムにおいて、２つの独立した磁界又は非常に大きな１つの磁界の発生を必要とする。」（第３頁右上欄第２０行〜左下欄第１行）
（エ）「前述した実施例の全ては、色々な形態の力変換器を使用することができる。利用可能な変換器は、前述した振動ビーム型共振子、・・・を含む。振動ビーム型変換器は、色々な種類のドライブ・位置ピックオフ技術を使用できる。使用可能な技術は、磁気、静電、圧電及び圧抵抗ピックオフ、・・・を含んでいる。」（第３頁右下欄第２０行〜第４頁左上欄第４行）
　
［引用刊行物２］
　同じく原査定の拒絶の理由に引用された特開平２−３８９３４号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、図面とともに、次の記載がある。
（オ）「本発明はシリコン基板に形成した振動梁をその振動梁の固有振動数で振動させておき、その基板に加えられる力または環境の変化に対応して振動梁に生ずる振動周波数の変化を検出する振動形トランスデューサに関するものである。」（第１頁右下欄第６〜１０行）
（カ）「＜従来の技術＞第５図〜第８図は昭和６１年６月６日出願の・・・一実施例構成説明図である。・・・１３は振動梁１２の略中央上部に振動梁１２に直交し、かつ、非接触の状態で設けられた磁石である。」（第１頁右下欄第１４行〜第２頁右上欄第１行）、
（キ）「上記構成において・・・振動梁１２に交流電流ｉを流すと振動梁１２の共振周波数において電磁誘導作用により振動梁のインピーダンスが上昇して、比較抵抗Ｒｏ、および中点をコモンラインに接続したＬ２により構成されるブリッジにより不平衡信号を得ることができる。この信号を増幅器２０で増幅し、コイルＬ１に正帰還すると、系は振動梁１２の固有振動数で自励発振する。・・・しかしながら、この様な装置においては、振動梁１２に発生する逆起電力を交流ブリッジを用いて検出しているが、励振電流の励振成分を、交流ブリッジで完全に抑制することは事実上不可能であるから、ブリッジ出力には励振電流成分が乗ってくる。このために、Ｓ／Ｎ比が悪く安定な出力信号が得られない。」（第２頁右上欄第２０行〜右下欄第１８行）、
（ク）「この様な問題点を解決するために、本件出願人は昭和６２年１０月２８日出願の・・・を出願している。以下、この出願について、第９図から第１２図により説明する。・・・図において、第５図と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、第５図と相違部分のみ説明する。
　３０は振動子本体である。振動子本体３０は両端が基板１１に固定され互いに平行に配置された第１振動子３１、第２振動子３２と第１振動子３１、第２振動子３２の振動の腹の部分を相互に機械的に結合する連結梁３３とを備える。
　４０は振動子本体３０に直交する直流磁界を磁石１３により加え第１振動子３１の両端に交流電流を入力トランス４１により流して磁気誘導作用により振動子本体３０を磁界と電流に直交する方向に励振する励振手段である。
　入力トランス４１は、二次側が第１振動子３１の両端に接続されている。
　５０は第２振動子３２の両端に発生する起電力を検出する振動検出手段である。この場合は、出力トランス５１、増幅器５２が用いられている。出力トランス５１の一次側は、第２振動子３２の両端に接続され、二次側は増幅器５２を介して出力端子５３に接続されるとともに、分岐して入力トランス４１の一次側に接続されている。
　以上の構成において、励振手段４０に入力された入力信号により、振動子本体３０は励振される。振動子本体３０の振動は、振動検出手段５０により検出され出力信号として取出される。
　この結果、振動子本体３０は、励振用の第１振動子３１と、起電力検出用の第２振動子３２に分けられ、連結梁３３で、第１振動子３１と第２振動子３２の振動の腹の部分を結合するようにされたので、電気的には分離されているが、機械的には結合されているため、高い励振成分除去比（Ｓ／Ｎ比）が得られる。」（第２頁右下欄第１９行〜右上欄第１９行）
（ケ）「＜実施例＞第１図は本発明の一実施例の要部構成説明図で、・・・図において、第９図と同一記号の構成は同一機能を表わす。以下、第９図と相違部分のみ説明する。第９図との相違は、第１振動子３１と第２振動子３２とを連結する連結梁３３がないのみである。しかして、第１振動子３１と第２振動子３２とは近接して設けられ、その長さ、幅、厚さはほぼ等しく形成されている。」（第５頁左上欄第２〜１３行）、
（コ）「以上の構成において、基板１に外力が加えられる。振動子３１、３２には、直交するように交流磁界をかけ、第１振動子３１の両端に交番電流を流すと、磁気誘導作用により、磁界と電流とに直交する方向に励振する。このときの振動周波数は、第１振動子の長さ、幅、厚さおよび張力により決まる固有振動数で励振する。このとき、第２振動子３２も、同形状、同張力であると、等しい固有振動数を持つために、励振された第１振動子３１の振動エネルギーが、第１振動子の３１の両端の壁を介して伝達し、第２振動子３２も同じ振動数で振動する。第２振動子３２の振動は、振動検出手段により検出され、その周波数は、出力信号として取出される。・・・しかして、（１）振動子本体３０の形状が２本の振動子３１、３２のみとなり、第９図従来例の様な連結梁３３が無くなったために、製造プロセスの歩留が大幅に向上する。（２）励振電流を流す第１振動子３１と、第２振動子３２は電気的に完全に、絶縁されているため、高い励振成分除去比（Ｓ／Ｎ比）が得られる。」（第５頁左上欄第１４行〜右上欄第１９行）、
（サ）「シリコン単結晶の基板上に設けられたシリコン単結晶材よりなる振動子本体と、・・・とを具備する振動形半導体トランスデューサにおいて、両端が前記基板上に固定され互いに平行に配置され長さと幅と厚さがほぼ等しい第１振動子と第２振動子とを備える振動子本体と、該振動子本体に直交する直流磁界を加え第１振動子の両端に交流電流を流して磁気誘導作用により振動子を磁界と電流に直交する方向に励振する励振手段と、前記第２振動子の両端に発生する起電力を検出し自励振するに必要なゲインを付与する増幅器と必要な位相を与えるフィルターとを具備し前記振動子本体の固有振動数で自励発振が持続するように構成された振動検出手段とを具備して成る振動形半導体トランスデューサ。」（特許請求の範囲）
　
３．対比
　本願発明と引用刊行物１に記載の発明とを対比する。
　引用刊行物１の上記記載事項（ア）及び（イ）によれば、引用刊行物１には、「プルーフマス１８と、支持体２０と、支持体２０に対しプルーフマス１８を連結してヒンジ軸線ＨＡを区画する複数のたわみ部２２、２４と、プルーフマス１８と支持体２０との間に連結される両頭音叉振動ビームタイプの力変換器３０、３２とを備えた加速度計１０」が記載されていると認められるから、引用刊行物１記載の発明の「プルーフマス１８」「支持体２０」「ヒンジ軸線ＨＡ」及び「たわみ部２２、２４」が、それぞれ本願発明の「基準質量体」「ケーシング」「ヒンジ軸ＨＡ」及び「たわみ部材」に相当することは明らかである。また、引用刊行物１記載の発明の「力変換器３０、３２」は複数の振動ビーム部材を備えているから、本願発明の「複数の振動ビーム部材」に相当するものであり、引用刊行物１記載の発明の「力変換器３０、３２を備えた加速度計１０」は、本願発明の「振動ビーム部材加速度計」に相当する。
　してみると、両者は、「基準質量体と、ケーシングと、ケーシングに対し基準質量体を連結してヒンジ軸を区画する複数のたわみ部材と、基準質量体とケーシングとの間に連結される複数の振動ビーム部材とを備えた振動ビーム部材加速度計」である点で一致し、次の相違点で相違する。
（相違点）
　本願発明は、複数の振動ビーム部材には複数のポートをなす電気的に絶縁された分離導電路が形成されているのに対して、引用刊行物１には、複数の振動ビーム部材に導電路が形成されることは記載されていない点。
　
４．相違点の判断
　上記相違点について検討する。
　引用刊行物１には、上記記載事項（ウ）に「第３図に示される構造は、力変換器７０、７２が互いに比較的近接し、それによりある種の駆動装置（例えば磁気ドライブ）のための加速度計設計を単純化できるという利点がある。これに対して、第１図の実施例は、磁気ドライブシステムにおいて、２つの独立した磁界又は非常に大きな１つの磁界の発生を必要とする。」と記載されており、また、上記記載事項（エ）に「振動ビーム形変換器は、色々な種類のドライブ・位置ピックオフ技術を使用できる。使用可能な技術は、磁気、静電、圧電及び圧抵抗ピックオフ、・・・を含んでいる。」と記載されていることから、振動ビーム形変換器のドライブ・位置ピックオフ技術として磁気ドライブ・磁気ピックオフ技術を用いることが示唆されている。
　一方、引用刊行物２には、第９〜１２図記載の従来の技術及び第１〜４図記載の実施例として、電磁的作用により振動子を励振し振動子から起電力を検出する振動形トランスデューサにおいて、振動子本体を励振用の第１振動子と起電力検出用の第２振動子に分け、電気的に分離されている構成とすることにより、高い励振成分除去比を（Ｓ／Ｎ比）を得ること、が記載されている。さらに、引用刊行物２記載の、励振用の第１振動子は「励振用の導電路」を、起電力検出用の第２振動子は「起電力検出用の導電路」を構成することが明らかであり、これらの導電路は、第９〜１２図記載の従来の技術においては電気的には分けられた振動子として構成されており、第１〜４図記載の実施例においては電気的に完全に絶縁されている振動子として構成されているから、複数のポートをなす電気的に絶縁された分離導電路に相当する。そして、引用刊行物２記載の「振動形トランスデューサ」は引用刊行物１記載の発明の「振動ビームタイプの力変換器」（本願発明の「振動ビーム部材」）に該当し、「電磁的作用により振動子を励振し振動子から起電力を検出すること」は上記引用刊行物１で示唆される「磁気ドライブ・磁気ピックオフ技術」に当たるものであるから、引用刊行物１記載の発明と引用刊行物２記載の発明とは、振動ビーム部材を電磁的作用により励振し、その振動周波数が振動ビーム部材の長手方向に加わる引張り力又は圧縮力により変化することを利用した変換器であるという点で、技術分野を共通にするものである。そうすると、引用刊行物２に記載された「振動子本体を励振用の第１振動子（励振用の導電路）と起電力検出用の第２振動子（起電力検出用の導電路）に分け、電気的に分離されている構成とすることにより、高い励振成分除去比を（Ｓ／Ｎ比）を得る」という技術思想を、引用刊行物１記載の発明に適用して、複数の振動ビーム部材に形成する導電路を複数のポートをなす電気的に絶縁された分離導電路とすることは、当業者ならば容易になし得たものである。　
　そして、「製造公差若しくは温度による振動ビーム部材の抵抗路の変化を補正するために、本発明による２端部を有した同調フォーク体は駆動回路およびピックオフ回路用の分離した導電路を有する２ポート装置として機能させ得る。分離した導電路を設けることにより、駆動回路の抵抗変化が発振器の性能に与える影響は比較的小さい。」という本願発明の効果も、引用刊行物１及び２に記載された発明から当業者であれば予測し得る程度のものである。
　
　なお、審判請求人は、審判請求書において、
「（２）本願は・・・であり、特に
Ａ．基準質量体とケーシングとの間に連結された複数の振動ビーム部材のそれぞれに、複数のポートをなす互いに電気的に絶縁された分離導電路が形成され、
Ｂ．励振されている各振動ビーム部材上の導電路は、加速力印加時の基準質量体の動きによる振動ビーム部材の拡張もしくは圧縮に伴って抵抗に変化を生じ、互いに分離されている各導電路の駆動電圧とピックオフ電圧をそれぞれ変化させ、これら変化を別個に検出することによって加速度検出性能を高める、
と言う作用、効果が得られるものであります。」、及び、
「（６）引用文献２の上述の基板と振動子のみの構造における自励発振の利用は、本願発明におけるケーシングと基準質量体とを連結する振動ビーム部材上の導電路の抵抗変化の利用とは明らかに技術分野を異にするものと思料します。つまり引用文献２は第１、第２振動子を電気的に分離する点でのみ本願発明の構成に類似するとしても、本願では意図しないＳ／Ｎ比の向上と自励発振安定化の点での差異のみならず、他の構成要件ならびに前述の作用、効果Ｂには類似性もなく、示唆もありません。」旨主張している。
　しかしながら、例えば本願明細書の（発明の開示）の欄に「２端部を有する”同調”フォーク体（ＤＥＴＦ）は基準質量体とケーシングとの間に、感知軸ＳＡを区画するヒンジ軸（ＨＡ）に対して全体として垂直に連結され、このため感知軸ＳＡに沿って力が加えられると２端部を有する同調フォーク体が圧縮あるいは引っ張られる。電磁的に励振されたとき、振動ビーム部材は共振周波数で振動する。感知軸ＳＡに沿った力に応動して、振動ビーム部材は圧縮あるいは引張られ、その結果共振周波数が変化されてこの共振周波数変化はその力の目安として利用される。この励振は、図示の構成の場合２端部を有した同調フォーク体の平面に対し全体として垂直に、また感知軸ＳＡに対し平行方向に生じる磁界Ｂに因る。製造公差若しくは温度による振動ビーム部材の抵抗路の変化を補正するために、本発明による２端部を有した同調フォーク体は駆動回路およびピックオフ回路用の分離した導電路を有する２ポート装置として機能させ得る。分離した導電路を設けることにより、駆動回路の抵抗変化が発振器の性能に与える影響は比較的小さい。」と記載されていることからみて、本願発明は、振動ビーム部材が電磁的に励振された状態において、圧縮あるいは引っ張りによる振動ビーム部材の共振周波数の変化を検出することにより加速度を検出するものであって、導電路の抵抗変化が発振器の性能に与える影響を駆動回路およびピックオフ回路用の分離した導電路を設けることにより少なくするものであると解すべきである。したがって、本願発明は、審判請求人が言うように、振動ビーム部材の拡張もしくは圧縮に伴って抵抗に変化を生じ、互いに分離されている各導電路の駆動電圧とピックオフ電圧をそれぞれ変化させ、これら変化を別個に検出するもの、ではない。また、引用文献２（引用刊行物２）記載の発明は、本願発明と同様に、振動ビーム部材が電磁的に励振された状態において、圧縮あるいは引張りによる振動ビーム部材の共振周波数の変化を検出するという点において、本願発明と差異はないから、審判請求人の上記主張は採用できない。
　なお、引用文献２（引用刊行物２）の＜実施例＞の記載中（上記記載事項（コ）参照）に「振動子３１、３２には、直交するように交番磁界をかけ」とあり、審判請求人も審判請求書の「（５）」において当該箇所を摘記しているが、引用文献２（引用刊行物２）の他の記載、例えば「該振動子本体に直流磁界を加え」（上記記載事項（サ）参照）、「４０は振動子本体３０に直交する直流磁界を磁石１３により加え」（上記記載事項（ク）参照）、「図において、第９図と同一記号の構成は同一機能を表わす」（上記記載事項（ケ）参照）及び図面の第１、６、９図中にいずれも符号：部品名称として「１３：磁石」と記載されていることからみて、「振動子３１、３２には、直交するように直流磁界をかけ」の誤記であると解すべきである。
　
 ５．むすび
  以上のとおりであるから、本願発明は、引用刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　そして、本願発明（請求項１に係る発明）が特許を受けることができないものであるから、その余の請求項２に係る発明についての判断を示すまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。