【手続補正書】
【提出日】平成26年9月12日(2014.9.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部電極層である第１の層、活性層である第２の層及び上部電極層である第３の層を有する薄膜デバイスを、相互接続構造によって電気的に直列に相互接続された分離したセルに分割する方法であって、全ての前記層が前記デバイスに渡って連続的であり、前記セルの分割及び隣接する前記セルの間の前記相互接続部の形成が、一度に２つ以上の前記相互接続部上で動作し、各個別の相互接続構造の形成において前記デバイス上を往復する一連の通過によって、複数の段階を実行することができるように構成されたプロセスヘッドによって実施され、
前記段階が、
ａ）前記第１、第２及び第３の層を貫通して第１の切断（６）を行う段階、
ｂ）前記第２及び第３の層を貫通し、前記第１の切断部と隣接する第２の切断（７）を行う段階、
ｃ）第３の層を貫通し、前記第２の切断部に隣接し、前記第１の切断部に対して前記第２の切断部の反対側にあるように第３の切断（８）を行う段階、
ｄ）第１のインクジェット印刷ヘッド（９）を用いて非導電性材料を前記第１の切断部（６）に成膜する段階、並びに
ｅ）第２のインクジェット印刷ヘッド（１２）を用いて導電性材料（１３）を適用し、前記第１の切断部内の前記非導電性材料（１０）を架橋し、前記第２の切断部を完全にまたは部分的に充填して、前記第１の層と前記第３の層との間に電気的接続を形成する段階、を備え、
前記段階（ａ）が前記段階（ｄ）に先行し、前記段階（ｄ）が前記段階（ｅ）に先行し、前記段階（ｂ）が前記段階（ｅ）に先行し（または前記段階がいずれの順序で実施されてもよく）、
前記デバイス上を前記プロセスヘッドが少なくとも１回通過する間に、前記段階の少なくとも２つが、それぞれ分離した相互接続構造上で実施され、異なる前記段階が前記少なくとも１回の通過の間に前記分離した相互接続上で実施される、薄膜デバイスを分割する方法。
【請求項２】
前記段階が実施される順序が、前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド並びに前記ヘッドの移動方向に対して垂直な方向（またはそれに対してある角度を有する方向）に前記第１、第２及び第３の切断部（６、７、８）を形成するための前記プロセスヘッド上の構成要素の、前記プロセスヘッド上の相対的な位置によって決定される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１、第２及び第３の切断部（６、７、８）の１つ以上が、１つ以上のレーザービームを用いて形成される、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記３つの分離したレーザー切断（６、７、８）が、各切断に関してレーザープロセスパラメータを個別に最適化するように使用される、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第３のレーザー切断（８）が前記第１及び第２のレーザー切断の両方の後に実施される、請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記第３の切断部（８）が、前記第２の層を部分的にまたは完全に通して延在し、前記第２の切断部（７）と同様の深さである、請求項１から５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
相互接続構造内の前記切断部（６、７、８）が０．１から０．２ｍｍの範囲の距離で離隔される、請求項１から６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記プロセスヘッドが、前記段階を、前記デバイスを横切る両方の方向で繰り返し通過しつつ実行し、前記第１、第２及び第３の切断部が両方向で同一の構成要素によって形成される、請求項１から７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記同一の第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９、１２）が前記デバイスを横切る前記プロセスヘッドの両方の移動方向で使用される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
１つ以上の硬化段階が、前記非導電材料及び／または前記導電材料を、各切断部内へ成膜した後に硬化する、請求項１から９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記薄膜デバイスが、ソーラーパネル、照明パネル及び電池のうちの１つである、請求項１から１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
下部電極層である第１の層、活性層である第２の層及び上部電極層である第３の層を有する薄膜デバイスを、それぞれ幅Ｗを有し、相互接続構造によって電気的に直列に相互接続され、隣接する前記相互接続構造が、距離Ｗだけ互いに離隔されたセルに分割するための装置であって、前記層の全てが、前記デバイス上で連続的であり、前記装置が、
ａ）前記第１、第２及び第３の層を貫通する第１の切断部（６）、前記第１の切断部に隣接して前記第２及び第３の層を貫通する第２の切断部（７）並びに前記第２の切断部に隣接し、前記第１の切断部に対して前記第２の切断部の反対側にある、前記第３の層を貫通する第３の切断部（８）を形成するための１つ以上のカッターユニット（３、４、５）、
ｂ）前記第１の切断部（６）内に非導電性材料（１０）を成膜するための第１のインクジェット印刷ヘッド（９）、並びに
ｃ）前記第１の切断部内の前記非導電性材料（１０）を架橋し、前記第２の切断部を完全にまたは部分的に埋めるための導電性材料（１３）を適用し、前記第１の層と前記第３の層との間に電気的接続が形成され、前記１つ以上のカッター（３、４、５）の少なくともいくつか並びに前記第１及び第２のインクジェットヘッド（９、１２）が、前記ヘッドの移動の方向に垂直な方向に、距離Ｗ（またはその倍数）だけ互いに離隔され、それによって、前記少なくとも１回の通過の間に前記分離した相互接続の上で異なる段階を実施するように、一度に２つ以上の相互接続構造上で動作することができる第２のインクジェット印刷ヘッド（１２）を含む、プロセスヘッドを含み、
前記装置がまた、
ｄ）前記デバイスに対して相対的に前記プロセスヘッドを移動させる駆動手段（１７、１８）、並びに
ｅ）前記デバイスに対して相対的な前記プロセスヘッドの移動を制御し、前記１つ以上のカッターユニット並びに前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッドを作動させる制御手段（３６）であって、前記デバイスの分離したセルへの分割及びそれぞれ個別の前記相互接続構造の形成が、前記デバイス上を往復する前記プロセスヘッドの一連の通過によって実施される制御手段を含む、薄膜デバイスを分割するための装置。
【請求項１３】
前記１つ以上のカッターユニット（３、４、５）が、前記第１、第２及び第３の切断部（６、７、８）を形成するための単一のパルスレーザーを含む、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記１つ以上のカッターユニットが、前記第１、第２及び／または第３の切断部（６、７、８）を形成するための、２つ以上の種類のパルスレーザーを含む、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記デバイスに第１、第２及び第３のレーザービームを供給するための集束レンズを含み、前記第１、第２及び第３のレーザービームによって形成されるレンズの集束における焦点が、前記第１、第２及び第３の切断部（６、７、８）を形成するために前記デバイスの表面上に必要な空間的間隔を有するように、前記ビーム間に角度偏向がある、請求項１３又は１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記プロセスヘッドが、前記少なくとも１回の通過の間に前記ヘッドの移動方向に垂直な方向に距離Ｗ（またはその倍数）だけ空間的に離隔された１列の６つの構成要素である前記３つのカッターユニット（３、４、５）、前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９、１２）並びに硬化デバイス（１１）を含む、請求項１２から１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１７】
前記プロセスヘッドが、前記少なくとも１回の通過の間に前記ヘッドの移動方向に垂直な方向に距離Ｗ（またはその倍数）だけ空間的に離隔された１列の５つの構成要素である前記３つのカッターユニット（３、４、５）並びに前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９、１２）を含み、前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９）に隣接して位置し、一方が前記デバイス上の第１の方向に前記ヘッドが移動する間動作し、もう一方が前記デバイス上の反対の方向に前記ヘッドが移動する間動作する第１及び第２の硬化デバイス（１１、１１’）をさらに含む、請求項１２から１５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
前記３つのカッターデバイス（３、４、５）が、互いに距離Ｗだけ空間的に離隔し、前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９、１２）が、距離Ｗの倍数だけ互いに離隔された、請求項１５または１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記レーザービームのうち２つまたは３つが、同一の相互接続構造上で動作し、前記第１及び第２のインクジェット印刷ヘッド（９、１２）が、前記レーザービームから距離Ｗ（またはその倍数）だけ及び互いに距離Ｗ（またはその倍数）だけ空間的に離隔された、請求項１３又は１４に記載の装置。
【請求項２０】
前記デバイスおよび前記プロセスヘッドが前記第１及び第２の切断部の長手方向に対して平行な第１の方向に、前記デバイスを横断する連続的な経路で互いに対して移動し、前記通過経路の端部において前記デバイス内に形成される前記セルの幅と等しい距離Ｗ（またはその倍数）だけ、前記第１の方向に対して垂直な方向にステップ送りするように、制御システム（３６）が配置された、請求項１２から１６のいずれか一項に記載の装置。