(57)【要約】【課題】高精度でしかも安価なサファイヤを提供すること。【解決手段】所定の角度でＣ面を有する面２２０研削する。研削されたＣ面を有する面２２０の一部含み、サファイヤインゴット２００の成長軸２３０に平行かつ、水平に研削して基準面１を作成する。透過面は、基準面１に対して所定の角度で切り出す。【選択図】　　図１
2004075500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の角度で研削されたＣ面を有する面の一部含み、サファイヤインゴットの成長軸に平行かつ、水平に研削された基準面と、
前記基準面に対して所定の角度で切り出した透過面と、
を有するサファイヤ。
【請求項２】
前記サファイヤインゴットがサファイヤを堆積させて作成された堆積法により作成された請求項１記載のサファイヤ。
【請求項３】
請求項１又は２記載のサファイヤと、
前記サファイヤの光を入射する第１の透過面に取り付けた偏光板と、
を有する偏光板付きサファイヤ。
【請求項４】
前記第１の透過面と対抗する第２の透過面に反射を防ぐコーティングを施した偏光板付きサファイヤ。
【請求項５】
光源と、
前記光源から発射される光を最初に入射する入射側に配置した請求項１又は２記載の入射側サファイヤと、
前記入射側サファイヤに対して前記光が透過する側に配置した表示素子と、
を有する表示装置。
【請求項６】
前記表示素子の前記光の透過側に配置した請求項１又は２記載の透過側サファイアを有する請求項５記載の表示装置。
【請求項７】
前記入射側はサファイヤの透過側に偏光板を貼付し、
前記透過側サファイアの入射側に偏光板を貼付し、
前記表示素子が液晶である請求項６記載の表示装置。
【請求項８】
種結晶から成長軸に沿って成長したサファイヤインゴットから所定の角度傾けてＣ面を有する面を加工するステップと、
前記Ｃ面を有する面の一部を含んで水平で前記成長軸と平行となる基準面を作成するステップと、
前記基準面に対して所定の角度傾けて切断するステップと、
を有するサファイヤの製造方法。
【請求項９】
前記サファイヤインゴットがサファイヤを堆積させて作成された堆積法により作成された請求項８記載のサファイヤの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
サファイヤ、サファイヤの製造方法及びこれを用いた表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
サファイヤの製法には大きく分けて２通りある。溶解したサファイヤに種結晶を密着させて結晶を成長させる引き上げ法と種結晶の上に溶解したサファイヤを結晶化させる堆積法の２通りである。引き上げ法は緻密な結晶を製造する方法であり、例としてはチョコラルスキー法（ＣＺ法）、やＥＦＧ法がある。堆積法は簡易的なサファイヤ製造法であり、結晶品質は一般的に引き上げ法と比べると生産コストが低い事が特徴として上げられる。堆積法の例としてベルヌーイ法がある。ベルヌーイ法で製造されたサファイヤは時計のカバーガラスや宝飾品などで広くに使われており、生産量も安定している。
【０００３】
また、従来の表示装置、例えば液晶プロジェクタに用いられる偏光板付きサファイヤ板には、従来結晶性の高いサファイヤが使用されて来た。液晶プロジェクタは当初、その価格が高価であった為により明るくより鮮やかにとその光学性能が重視された。従って、液晶プロジェクタに用いられるサファイヤ板も光学特性を高める為に結晶性の高いサファイヤ素材が用いられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、液晶プロジェクタがホームシアター等の家庭用用途に市場が変化する中で、結晶性の高いサファイヤ素材のコストが液晶プロジェクタの価格を引き下げられない１つの要因となる様になった。従って、液晶プロジェクタ装置に用いられるサファイヤ原料のコストを下げる為には、ベルヌーイ材の導入が考えられるが、従来液晶プロジェクタ用に使われて来たサファイヤ原料と比較すると多結晶性が高い為、液晶プロジェクタ用として使う為には従来の加工及び測定方法を用いる事が出来ない。ベルヌーイインゴットは数多くの単結晶サファイヤの集まりで構成されている為に、各結晶の結晶方位がバラバラでサファイヤ板にした場合も板全体の結晶軸方向を規定出来ないためである。
【０００５】
そこで、本発明では、表示装置に適した安価で高精度のサファイヤとこれを用いた表示装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のサファイヤは、所定の角度で研削されたＣ面を有する面の一部含み、サファイヤインゴットの成長軸に平行かつ、水平に研削された基準面と、前記基準面に対して所定の角度で切り出した透過面と、を有する。
【０００７】
本発明のサファイヤは、前記サファイヤインゴットがサファイヤを堆積させて作成された堆積法により作成されたものである。
【０００８】
本発明の偏光板付きサファイヤは、上記のサファイヤと、前記サファイヤの光を入射する第１の透過面に取り付けた偏光板とを有する。
【０００９】
本発明の偏光板付きサファイヤは、前記第１の透過面と対抗する第２の透過面に反射を防ぐコーティングを施したものである。
【００１０】
本発明の表示装置は光源と、前記光源から発射される光を最初に入射する入射側に配置した上記の入射側サファイヤと、前記入射側サファイヤに対して前記光が透過する側に配置した表示素子と、を有する。
【００１１】
本発明の表示装置は、前記表示素子の前記光の透過側に配置した上記の透過側サファイアを有する。
【００１２】
本発明の表示装置は、前記入射側はサファイヤの透過側に偏光板を貼付し、
前記透過側サファイアの入射側に偏光板を貼付し、前記表示素子が液晶であってもよい。
【００１３】
本発明のサファイヤの製造方法は、種結晶から成長軸に沿って成長したサファイヤインゴットから所定の角度傾けてＣ面を有する面を加工するステップと、　前記Ｃ面を有する面の一部を含んで水平で前記成長軸と平行となる基準面を作成するステップと、前記基準面に対して所定の角度傾けて切断するステップと、を有する。
【００１４】
本発明のサファイヤの製造方法は、前記サファイヤインゴットがサファイヤを堆積させて作成された堆積法により作成してもよい。
【００１５】
【発明の実施の態様】
本発明のサファイヤを図面に基づいて説明する。
【００１６】
＜実施例１＞
図１は、サファイアの製造方法を示す。先ずベルヌーイインゴットを用意する（工程１００）。ベルヌーイインゴットの形状を図２に示す。ベルヌーイインゴット２００は砲弾型の形状をしている。図２の右端に示した種結晶２１０と呼ばれるインゴットの結晶方位を決定する部分があり、種結晶２１０から成長軸２３０の方向に沿ってインゴット２００が成長する。通常、種結晶２１０の近傍でインゴット２００が太くなり始める部分に、１対の平面状の部分２２０がある。この部分２２０は一般的にＣ面の方向を表す部分である。多結晶のベルヌーイインゴット２００では平坦部が不明確の場合が多いが、他の部分と比較すると明らかに異なり目視で判断出来る。これをＣ面表示部２２０と言う。
【００１７】
このＣ面表示部２２０の一方が研削用ホイールと平行になる様に、ベルヌーイインゴットを角度冶具に貼り付ける（工程１０１）。図３は、ベルヌーイインゴット２００を角度冶具４００に取り付けた状態を示す状態図である。角度治具４００の上面である接着面４１０に、ベルヌーイインゴット２００を固定する。角度冶具４００上のベルヌーイインゴット２００の取り付け角度は、インゴット２００に因って個体差があるが、概ね１０度が好ましい。
【００１８】
次に、Ｃ面表示部を研削ホイールで切削し、Ｃ面表示部を平坦化し、また明確にする作業を示す（工程１０２）。図３において、取り付け角度を維持して、研削ホイールを回転させてＣ面表示部２２０を平坦化する。更に切削されたＣ面表示部延長線上の面を成長軸と平行になる様に削り出す（工程１０３）。図４は、サファイヤインゴット２００を成長軸２３０と平行に研削する状態を示す模式図である。接着面４１０の角度を０度にして、角度治具４００を成長軸２３０と平行にし、研削ホイール３００で研削する。この工程で加工された面を基準面１とする。基準面１は、例えば表示装置の１つである液晶プロジェクタに使用された場合、光透過面に使われる通称Ａ面と呼ばれる面の基準となる。このＡ面は光透過率が最も高い面である。ベルヌーイインゴット２００が複数結晶で構成されているので個々の結晶方位を明確に定義できないが、各結晶のＡ面方向は成長軸２３０に対して概ね垂直である。従って、ベルヌーイインゴット２００を成長軸２３０に垂直に切断する事で、光透過面がＡ面に近い面を得る事ができる。また、ベルヌーイ法サファイヤでは、成長軸２３０に垂直な面と各結晶のＡ面とがなす角度は、成長軸２３０に垂直な面を中心にある程度均等に分布する事が知られている。従って、成長軸２３０に対して垂直にベルヌーイインゴット２００を切断する事で、切断面上にある各結晶のＡ面方位を切断面に対して一定の範囲に押さえる効果がある。
【００１９】
基準面１に対して、インゴット２００の反対側に基準面１に平行な基準面２を付加する（工程１０４）。
【００２０】
基準面２をＸ線結晶方位測定器でＣ面からのズレ角を測定する（工程１０５）。測定位置を図６に示す。サファイヤインゴット２００の基準面１を５つの部分Ｈ１１、Ｈ１２、Ｈ１３、Ｈ１４、Ｖ１に分ける。基準面２も同様に、５つの部分Ｈ２１、Ｈ２２、Ｈ２３、Ｈ２４、Ｖ２に分ける。Ｘ線結晶方位測定器の基準測定角度は、４１．６８度を用いて測定した。測定の際に測定ピークが複数出る場合があり、測定強度が強い物から順に記述した。測定強度はＣ面２２０に近づくに従って大きくなるが、複数のピークが出るので測定面に複数の結晶が存在している事を立証される。但し、結晶面がＣ面２２０に対して５度を超えると測定強度が大幅に減少するが、この測定に於いてサファイヤの表面に、Ｃ面から５度以上外れた面があるか確認されなかった。
【００２１】
次に、基準面１及び２に対して垂直な面をインゴット状に作成する（工程１０６）。指定された縦及び横の寸法に角材を切り出す（工程１０７）。この角材の形状を図７に示す。角材７００は、成長軸２３０を長手方向とする直方体である。
次に、結晶の成長軸に対して直角になる様に板材を切り出す（工程１０８）。板材８００の厚みは、用途により変更する（図７参照）。
【００２２】
切り出された板材の表面を鏡面加工する（工程１０９）。鏡面研磨法は通常片面ずつ研磨する片面２回研磨方式と、両面を同時に研磨する両面同時研磨法の２つがある。研磨による表面の歪みを押さえる為、本実施例では両面同時研磨法を用いた（特許願０１０００６２１参照）。このサファイヤ板をＸ線結晶方位測定器でＡ面に対する角度差を測定する（工程１１０）。図８は、板材８００の形状と測定位置を示す。Ｘ線結晶方位測定器の基準測定角度は３７．７８度を用いて測定した。その結果、複数の測定位置８１０、８２０において、約マイナス２度から約マイナス１度以内に収めることができる。測定位置によっては、マイナス１度よりも小さい値を示すところがある。この測定に於いても複数のピークが確認される場合があり、測定面に複数の結晶が存在している事を示している。
【００２３】
＜実施例２＞
次に、本発明のサファイヤを使用した表示装置について説明する。本実施例では、表示装置のうち多く使われている液晶プロジェクタ装置の光学系を想定し、この光学系にベルヌーイ材サファイヤ板を用いた時の使用可能範囲を決定する実験を行った。
【００２４】
図９は、液晶プロジェクタ装置の光学系におけるサファイヤ板、偏光板、液晶素子の位置関係を示した図である。なお、図９は液晶装置による光変調装置のみを抜粋したものであり、通常は赤、青、緑と３種の光を分光するダイクロ一クミラーとそれぞれの光に対しての光変調装置及び３つの光を合成するクロスプリズムとからなっている。
【００２５】
入射光は入射サファイヤ９１０を通過してから、サファイヤ板９１０に貼られた入射偏光板９１２に於いて、偏光板の偏光透過軸にあった偏派面を持つ光のみが偏光板を通過する。偏光光は液晶素子９２０を通過し、素子内の液晶の状態によって偏派面が回転させられる光とそうでない光が出来る。液晶による偏派面回転角度は、近年では９０度が一般的になっている。液晶素子９２０を通過した光は出射偏光板９３１を通過しようとするが、ここでも偏派面が出射偏光板の偏光透過軸に一致した光のみが出射偏光板９３１を通過できる。出射偏光板９３１を通過した光は、出射偏光板９３１が貼られたサファイヤ板９３０を通過する。これによって、液晶素子９２０による光変調が可能となる。なお、入射側サファイヤ９１０の入射側と、出射側サファイヤ９３０の出射側には、無反射コート９１１、９３２を施しておく。無反射コート９１１、９３２はサファイヤ板の反射率を高める為に用いられる表面コートである。　多結晶サファイヤ板は、光透過面が結晶方位の異なる複数のサファイヤ単結晶で出来ている為、透過するサファイヤ結晶の向きで偏派面が曲げられる度合いが異なり、それが２枚の偏光板の偏光透過軸を９０度に交差させ、その間に多結晶サファイヤ板を入れた場合に、部分的に色の濃淡が出る問題がある。これをモザイク模様と呼んでいる。しかし、本実施例における光変調部分の光学系、つまり入出射の偏光板９１２の外側にサファイヤ板９１０が配置されるので、サファイヤ板９１０を透過する総光量は、偏派面が曲げられる事で減少しなければ良いことになる。
【００２６】
次に、ここで用いた表示装置の光学特性を測定してみる。図１０は、５つのサファイヤ板サンプルの各波長における相対透過率を表したグラフである。図１に示す加工手順で作成したベルヌーイ製サファイヤ板を、異なる５つのベルヌーイインゴットから各一枚作成し、リファレンスにはＣＺ法サファイヤを原料としたモザイク模様の全くないサファイヤ板を用い、総透過光の変化を各１つのサファイヤ板から２点を測定した。試料は、本発明の図１で示した方法でベルヌーイインゴットから作成されたサファイヤ板５枚を用い、その番号をＡからＥとした。各試料ごとに２点を取り、各１及び２とした。また、基準値は、ＣＺ法サファイヤで製造された同じ外形と同じ厚みを持ったサファイヤ板を１枚用い、そのエッジとＣ軸の成す角度はＸ線結晶方位測定の結果０．２３度であった。測定された変化量は、４００ｎｍから７００ｎｍの間で、レファレンスに対して１％未満との結論を得た。従って、ベルヌーイ材は総光透過量に於いては、ＣＺ法サファイヤに損色ない事が実証された。
【００２７】
次に偏光透過軸とＣ軸の関係や倒れ角に関する制限は、透過光量が使用に適する偏光透過軸とＣ軸の関係は、−５度＋ｎ＊９０度以上で＋５度＋ｎ＊９０度以下の範囲である（特許出願２００２−０９６７２０参照）。ｎは任意の正数である。本実施例で用いたサファイヤ板を、５枚の内から３枚を用いて、偏光板の偏光透過軸とエッジの成す角度が偏光透過光量に与える影響に付いて調査した。調査した波長は、青色の波長４５０ナノメートル、緑色の波長５１０ナノメートル、赤色の波長６１０ナノメートルの３波長を行なった。測定は偏光板の一辺を偏光透過軸に平行に、その他の辺はサファイヤ板の外形と同じ大きさに切った。その偏光板は、サファイヤ板のエッジに対して指定された角度で貼り、それを測定に用いた。
【００２８】
図１１はベルヌーイ製サファイヤ板のエッジと偏光軸の角度を合わせて貼る時の状態を示す模式図である。サファイヤ１１００に対して、偏光板１１２０を一定の角度１１３０をもって貼り合わせる。角度１１３０は、サファイヤ１１１０の辺（エッジ）と偏光板１１２０の偏光軸１１２１とのなす角度とする。接着角度１１３０は、−２０度から＋２０度の間で可変させ、特に０度プラスマイナス５度の範囲は１度毎に測定した。
【００２９】
図１２は、その結果をグラフにしたものである。グラフは、角度１１３０を横軸にとり、透過減衰率を縦軸にとってある。透過光量のリファレンスとして用いた値は、試料毎にエッジ角度と偏光軸角度が０度の時の値を用いた。ベルヌーイサファイヤは多結晶である為、試料に依って透過光率１００％の部分に若干の角度差が出るが、偏光板１１２０の偏光軸１１２１とサファイヤ板１１１０のエッジとが成す角度が５度以下の場合はほぼ１００％となり、ＣＺ法サファイヤで作成されたサファイヤ板とほぼ同等の結果（特許出願２００２−０９６７２０参照）を得た。　次に、本実施例の製造工程について説明する。図１３は、ベルヌーイインゴットを用意する工程からから研磨したサファイヤ板に偏光板を貼り付けるまでの工程を示したものである。先ずベルヌーイインゴット２００を用意する（工程３０１）。ベルヌーイインゴット２００の直径は、作成するサファイヤ板１１１０の対角線長より２ミリメートル程度大きいものを選ぶ。例えば、サファイヤ板１１１０の大きさが縦２３．５ミリメートル、横２０ミリメートルの場合、対角線長が３０．８５ミリメートルになる。本実施例では、直径３３ミリメートルのベルヌーイインゴット２００を用いた。
【００３０】
次にベルヌーイインゴット２００のＣ面表示部２２０が研削ホイール３００に平行となる様に、ベルヌーイインゴット２００を角度冶具４００に固定する（工程３０２）。固定用の接着剤にはラックを使用し、平面研削盤に切削ホイール３００に１５０番のダイヤモンドホイールを装着した設備を使用した。次に角度冶具４００を平坦にしてから、研削したＣ面表示部２２０の延長上で成長軸２３０に平行となる様に、ベルヌーイインゴット２００の上に基準面１を付ける（工程３０３）。
【００３１】
次に基準面１を基準に、ベルヌーイインゴット２００の１８０度反対側の位置に基準面２を付ける（工程３０４）。次に基準面１に対して９０度になるベルヌーイインゴット２００の位置に基準面３を付ける（工程３０５）。更に基準面３の１８０度反対側に基準面４を付ける（工程３０６）。次にベルヌーイインゴット２００を成長軸２３０に対して垂直な面で切断する（工程３０７）。本実施例では基準面１、２、３及び４が成長軸２３０に対して平行に加工してある為、基準面１及び基準面３をガイドにして切断をした。切断にはワーイヤーソーを用いた。切断厚みは、加工上がり厚みが０．５ミリメートルを考慮して０．７ミリメートルとした。
【００３２】
次に切断されて出来たサファイヤ板３２の４基準面をガイドに指定された外形寸法に加工する（工程３０８）。本実施例では縦２３．５ミリメートル、横２０．０ミリメートルとした。また、サファイヤ板１１１０の短辺に対してサファイヤ板１１１０のＣ軸が平行になる様にした。次にサファイヤ板１１１０の面取りを行う（工程３０９）。本実施例では、ダイヤブラシを用いて面取りを行った。この工程が終わると、ｎの値を１する（工程３５１）。
【００３３】
次に、サファイヤ板３２を研磨する工程に付いて説明する。研磨手法には、片面２回研磨と両面同時研磨の二通りが考えられる。本実施例では片面２回研磨に付いて説明する。先ず、サファイヤ板１１１０をワーク盤に貼る（工程３１０）。ワーク盤に接着する接着剤にはラックを使用した。サファイヤ板１１１０を粗研磨する（工程３１１）。研磨機は研磨定盤に錫を用いた定盤を使用し、研磨剤には平均粒径２０ミクロンの単結晶ダイヤをひまし油に溶いたものを使用した。次にサファイヤ板１１１０を中間研磨する（工程３１２）。研磨機は銅定盤を装着したものを、研磨剤には平均粒径５ミクロンのダイヤをひまし油に溶いたものを使用した。次にサファイヤ板３２を化学研磨する（工程３１３）。研磨機にはポリエステル製の研磨パッドを使用し、研磨材は平均粒径４０ナノメートルのコロイダルシリカ乳剤を使用した。研磨終了後に中間検査を行う（工程３１４）。中間検査終了後にサファイヤ１１１０板をワーク盤から剥がす（工程３１５）。ｎの値をチェックし（工程３５２）、Ｎの値が１より大きくないときは、ｎに１を加える（工程３１０）。剥がしたサファイヤ板１１１０を裏返してワーク盤に貼る（工程３１０）。裏返しに貼ったサファイヤ板１１１０を同じ要領で粗研磨し、（工程３１１）。中間研磨する（工程３１２）。その後、化学研磨する（工程３１３）。更に中間検査を行う（工程３１４）。後にサファイヤ板１１１０をワーク盤から剥がす（工程３１５）。
【００３４】
工程３１６でｎが１より大きいときは、サファイヤ板１１１０を洗浄する（工程３１６）。洗浄にはガラス磨きを主成分とする洗剤を用いた。最後に完了検査を行う（工程３１７）。終了検査は外形寸法、表面傷や表面粗さを測定する。特に、サファイヤ板の面内厚みバラツキと平坦度が、サファイヤ板の性能を決める条件となる。
【００３５】
次にサファイヤ板の一面に無反射コート９１１、９３２を施す（工程３１８）。無反射コート９１１、９３２の種類はマルチ及びシングルの２種類が大半を占めるが、本実施例では弗化マグネシウムの３層のマルチコートを使用した。
【００３６】
次に偏光板１１２０の貼り方に付いて説明する。図１４は、偏光板の貼り方を示したフローチャートである。また、図１５は、偏光板とサファイヤとを貼り合せるための治具である。図１６は、サファイヤと偏光板を貼り合わせた後、貼り合わせ時にできた気泡を取り除く様子を示した図である。
【００３７】
偏光板１１２０は、通常サファイヤ板１１１０の大きさと比較して若干小さく出来ている。ベルヌーイ法サファイヤから作成されたサファイヤ板１１１０は、Ｃ軸の方向が明確でない為に、測定機でＣ軸の方向を測定する事が出来ない。本実施例で当初光学式方法でＣ軸位置を測定する試みをしたが、測定位置でその値が変化し、測定不能であった。従って、ここではサファイヤ板１１１０のエッジをガイドにして貼り付ける方法を説明する。
【００３８】
先ず、サファイヤ板１１１０を固定する位置出し冶具１５３０を用意する（工程３２１）。サファイヤ板１１１０を位置出し冶具１５３０の上にセットする（工程３２２）。この時、無反射コート９１１、９３２を施した面は下側にする。偏光板１１２０用位置合わせ冶具１５４０をサファイヤ板１１１０の上に乗せる（工程３２３）。サファイヤ板１１１０の上に接着剤を塗布する（工程３２４）。偏光板１１２０には接着剤が既に塗布されているものの有るが、近年は紫外線乾燥型接着剤を多用する為に、接着剤は後から塗布する方が一般的である。
【００３９】
偏光板１１２０を所定の大きさに切断する（工程３２５）。位置出し冶具１５３０に合わせて、サファイヤ板１１１０の上に切断した偏光板１１２０を密着させる（工程３２６）。ローラー１６１０を使い、偏光板１１２０上に均等に力を掛けて、気泡や歪みをなくす（工程３２７）。はみ出した接着剤を除去する（工程３２８）。接着剤を乾かし、固化させる（工程３２９）。本実施例では紫外線乾燥型の接着剤を用いた為に、紫外線照射型の乾燥機を用いた。硬化時間は接着剤に依って異なるので紫外線照射の時間は送りベルトの速度で調節した。サファイヤ板１１１０は偏光板１１２０の付加着している面を下にして、乾燥用キャリアに入れて硬化させた。本実施例では完全に固化させる為に、２回通しを実施した。最後に検査を行って貼り付け工程を終了する（工程３３０）。検査内容は主に気泡の混入や偏光板の剥がれや歪み、接着剤のはみ出し等を検査の対象とした。
【００４０】
【発明の効果】
本発明のサファイヤは、高精度でしかも安価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のサファイヤの製造方法を示すフローチャートである。
【図２】ベルヌーイサファイヤインゴットの形状を示す。
【図３】ベルヌーイインゴットの角度冶具取り付け状態図である。
【図４】ベルヌーイインゴットの取り付け角度０度状態図である。
【図５】インゴットと基準面の関係を示した図である。
【図６】ベルヌーイインゴット方位測定結果を示した図である。
【図７】インゴットから切り出された角材の状態を示す図である。
【図８】光透過面の結晶方位を示す図である。
【図９】使用頻度が高い光変調回路を示す図である。
【図１０】ベルヌーイ材の透過率測定結果を示した図である。
【図１１】ベルヌーイサファイヤ板のエッジと偏光軸の角度を示す図である。
【図１２】偏光透過特性を表したグラフである。
【図１３】ベルヌーイインゴットによるサファイヤ板の製造工程フローチャートである。
【図１４】サファイヤ板に偏光板を貼る工程のフローチャートである。
【図１５】偏光板接着用位置出し冶具と位置合わせ冶具の模式図である。
【図１６】ローラーによる気泡抜きの模式図である。
【符号の説明】
２００　サファイヤインゴット
２１０　種結晶
２２０　Ｃ面を示す平面
２３０　成長軸
３００　切削ホイール
４００　角度冶具
８００、１１１０　サファイヤ板
９１１、９３２　無反射コート
１１２０　偏光板
【図１】
2004075500.tif 000003
【図２】
2004075500.tif 000004
【図３】
2004075500.tif 000005
【図４】
2004075500.tif 000006
【図５】
2004075500.tif 000007
【図６】
2004075500.tif 000008
【図７】
2004075500.tif 000009
【図８】
2004075500.tif 000010
【図９】
2004075500.tif 000011
【図１０】
2004075500.tif 000012
【図１１】
2004075500.tif 000013
【図１２】
2004075500.tif 000014
【図１３】
2004075500.tif 000015
【図１４】
2004075500.tif 000016
【図１５】
2004075500.tif 000017
【図１６】
2004075500.tif 000018