【手続補正書】
【提出日】平成26年1月28日(2014.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高い基板スループットを提供するための基板キャリアシステムであって、
両端部の間の中点を各々有し、互いに平行な平面内で前記中点を中心に回転するよう構成され、前記両端部の各々の上に取り付けられた少なくとも１つの回転取り付け基板キャリアを有する複数のキャリアアームと、
複数の同軸取り付けされた駆動部を含むハブであって、前記複数の駆動部の各々は、前記複数のキャリアアームの内の対応する１つの前記中点付近に結合され、前記複数の同軸取り付けされた駆動部の各々は、前記複数のキャリアアームの対応する１つを同時にいずれかの方向に少なくとも３６０°全周で移動させるように構成されており、前記複数のキャリアアームの少なくとも一部は、残りの前記複数のキャリアアームと独立して駆動されるよう構成される、ハブと、
前記同軸取り付けされた駆動部の各々にそれぞれ結合され、前記複数のキャリアアームの内の結合された１つを回転させるよう構成された駆動モータと、
前記複数のキャリアアームに近接して結合され、その上に取り付けられた複数の線形基板キャリアを有する線形横移動メカニズムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、前記複数のキャリアアームの前記平面と実質的に平行な平面内で前記複数のキャリアアームとは独立に基板を搬送するよう構成され、互いに異なる平面内に存在する、線形横移動メカニズムと、
前記ハブと同軸に各々取りつけられ、前記回転取り付け基板キャリアの各々の内周および外周をそれぞれ支持するよう構成された内側軌道部および外側軌道部と、を備える、システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームが通る回転経路の外周に近接して配置された少なくとも１つの基板搬送スロットを備える、システム。
【請求項３】
請求項２に記載の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームが通る前記回転経路の下方、かつ、前記複数のキャリアアームの前記中点と前記少なくとも１つの基板搬送スロットとの間の半径方向の線の上に配置された基板リフタを備える、システム。
【請求項４】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々の搬送面は、互いから約１０ｍｍに配置される、システム。
【請求項５】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、別個のモータによって独立して駆動される、システム。
【請求項６】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームに結合された基板処理チャンバを備える、システム。
【請求項７】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、前記線形横移動メカニズムは、前記複数のキャリアアームの上方に動作可能に結合される、システム。
【請求項８】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、基板リフタの上方で同軸に前記基板の１つを配置するためにｃ字形構造を有する、システム。
【請求項９】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、前記線形横移動メカニズムは、さらに、
少なくとも２つの上側軌道と、
少なくとも２つの下側軌道と、
前記少なくとも２つの上側軌道および前記２つの下側軌道の各々にそれぞれ結合された線形駆動メカニズムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、前記線形駆動メカニズムの固有の１つと機械的に結合される、線形駆動メカニズムと、
を備える、システム。
【請求項１０】
請求項１に記載の基板キャリアシステムであって、さらに、少なくとも１つの化学剤放出ヘッドを備え、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの各々の回転経路に近接して配置される、システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの経路の上方に配置される、システム。
【請求項１２】
請求項１０に記載の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの経路の下方に配置される、システム。
【請求項１３】
請求項１０に記載の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記ヘッドの内周よりも前記ヘッドの外周において広い断面幅を有する、システム。
【請求項１４】
基板キャリアシステムであって、
両端部の間の中点を各々有し、互いに平行な平面内で前記中点を中心に回転するよう構成され、前記両端部の各々の上に取り付けられた少なくとも１つの回転取り付け基板キャリアを有する複数のキャリアアームと、
複数の同軸取り付けされた駆動部を含むハブであって、前記複数の駆動部の各々は、前記複数のキャリアアームの内の対応する１つの前記中点付近に結合され、前記複数の同軸取り付けされた駆動部の各々は、前記複数のキャリアアームの対応する１つを移動させるように構成されており、前記複数のキャリアアームの少なくとも一部は、残りの前記複数のキャリアアームと独立して駆動されるよう構成される、ハブと、
前記同軸取り付けされた駆動部の各々にそれぞれ結合され、前記複数のキャリアアームの内の結合された１つを回転させるよう構成された駆動モータと、
前記ハブと同軸に各々取りつけられ、前記回転取り付け基板キャリアの各々の内周および外周をそれぞれ支持するよう構成された内側軌道部および外側軌道部と、を備える、システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
さらに、一例として本明細書に記載された構造的要素または動作に対して、複数の例が提供されてもよい。他の機能配分も想定される。他の配分も、本発明の主題の様々な実施形態の範囲に含まれうる。一般に、構成例において別個のリソースとして提示された構造および機能が、一体的な構造またはリソースとして実装されてもよい。同様に、単一のリソースとして提示された構造および機能が、別個のリソースとして実装されてもよい。さらに、半導体産業と同類の多くの産業が、本明細書に記載のシステムを利用できる。例えば、データストレージ産業における薄膜ヘッド（ＴＦＨ）処理、フラットパネルディスプレイ産業におけるアクティブマトリクス液晶ディスプレイ（ＡＭＬＣＤ）、または、微小電気機械（ＭＥＭ）産業は、記載のシステムおよび技術を容易に利用することができる。したがって、「半導体」という用語は、前述の産業および関連業界を含むものとして認識されるべきである。これらおよびその他のバリエーション、変形、追加、および、改良は、添付の特許請求の範囲によって表される本発明の範囲内に含まれる。したがって、明細書および図面は、限定ではなく例示を意図したものであると見なされる。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１
高い基板スループットを提供するための基板キャリアシステムであって、
両端部の間の中点を各々有し、互いに平行な平面内で前記中点を中心に回転するよう構成され、前記両端部の各々の上に取り付けられた少なくとも１つの回転取り付け基板キャリアを有する複数のキャリアアームと、
複数の同軸取り付けされた駆動部を含むハブであって、前記複数の駆動部の各々は、前記複数のキャリアアームの内の対応する１つの前記中点付近に結合され、前記複数のキャリアアームの少なくとも一部は、残りの前記複数のキャリアアームと独立して駆動されるよう構成される、ハブと、
前記同軸取り付けされた駆動部の各々にそれぞれ結合され、前記複数のキャリアアームの内の結合された１つを回転させるよう構成された駆動モータと、
前記複数のキャリアアームに近接して結合され、その上に取り付けられた複数の線形基板キャリアを有する線形横移動メカニズムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、前記複数のキャリアアームの前記平面と実質的に平行な平面内で基板を搬送するよう構成され、互いに異なる平面内に存在する、線形横移動メカニズムと、
を備える、システム。
適用例２
適用例１の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームが通る回転経路の外周に近接して配置された少なくとも１つの基板搬送スロットを備える、システム。
適用例３
適用例２の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームが通る前記回転経路の下方、かつ、前記複数のキャリアアームの前記中点と前記少なくとも１つの基板搬送スロットとの間の半径方向の線の上に配置された基板リフタを備える、システム。
適用例４
適用例１の基板キャリアシステムであって、さらに、前記ハブと同軸に各々取りつけられ、前記回転取り付け基板キャリアの各々の内周および外周をそれぞれ支持するよう構成された内側軌道部および外側軌道部を備える、システム。
適用例５
適用例１の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々の搬送面は、互いから約１０ｍｍに配置される、システム。
適用例６
適用例１の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、別個のモータによって独立して駆動される、システム。
適用例７
適用例１の基板キャリアシステムであって、さらに、前記複数のキャリアアームに結合された基板処理チャンバを備える、システム。
適用例８
適用例１の基板キャリアシステムであって、前記線形横移動メカニズムは、前記複数のキャリアアームの上方に動作可能に結合される、システム。
適用例９
適用例１の基板キャリアシステムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、基板リフタの上方で同軸に前記基板の１つを配置するためにｃ字形構造を有する、システム。
適用例１０
適用例１の基板キャリアシステムであって、前記線形横移動メカニズムは、さらに、
少なくとも２つの上側軌道と、
少なくとも２つの下側軌道と、
前記少なくとも２つの上側軌道および前記２つの下側軌道の各々にそれぞれ結合された線形駆動メカニズムであって、前記複数の線形基板キャリアの各々は、前記線形駆動メカニズムの固有の１つと機械的に結合される、線形駆動メカニズムと、
を備える、システム。
適用例１１
適用例１の基板キャリアシステムであって、さらに、少なくとも１つの化学剤放出ヘッドを備え、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの各々の回転経路に近接して配置される、システム。
適用例１２
適用例１１の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの経路の上方に配置される、システム。
適用例１３
適用例１１の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記回転取り付け基板キャリアの経路の下方に配置される、システム。
適用例１４
適用例１１の基板キャリアシステムであって、前記少なくとも１つの化学剤放出ヘッドは、前記ヘッドの内周よりも前記ヘッドの外周において広い断面幅を有する、システム。