(57)【要約】【課題】板状ヒーターにおいて、通電時に、熱膨張に起因して歪が発生による板状ヒーターの変形を防止すること。【解決手段】板状ヒーターにおいて、発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化してなる板状ヒーターにおいて、その一部に外周縁に達するスリットを形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化してなる板状ヒーターにおいて、
その一部に外周縁に達するスリットを有することを特徴とする板状ヒーター。
【請求項２】
発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化してなる板状ヒーターにおいて、
その一部に外周縁に達するスリットを有し、複数個の前記スリットを、均等位置としたことを特徴とする板状ヒーター。
【請求項３】
円形平板形状とするとともに、前記スリットの長さを半径の半分以上としたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載する板状ヒーター。
【請求項４】
発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化してなる板状ヒーターにおいて、
発熱体の存在しないスリットエリヤを形成し、
マイカ等の電気絶縁物に、前記スリットエリヤに位置して、外周縁に達するスリットを形成し、たことを特徴とする板状ヒーター。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化したヒーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来この種のヒーターに関し、図７および図８に示す板状ヒーター１０が公知である。該板状ヒーター１０は、マイカ（電気絶縁物）１３、１３の間に発熱体１２を配し、熱プレス等で一体化した構成となっている。発熱体１２に通電した時に、マイカ１３、１３により電気絶縁すると共に、発熱体１２を保持するようになっている。
【特許文献１】実開平５−８１９８４２号「板状ヒータ」
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の図７および図８に示される板状ヒーター１０においては、通電した際に発熱体１２およびマイカ１３、１３が熱膨張し、歪が発生することにより、図９のａ図、ｂ図の如く板状ヒーター１０が変形するという問題点がある。
よって、本発明は、通電時に、熱膨張に起因してマイカに歪が発生するのを防止して、上記問題点を解消することを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、発熱体とマイカ等の電気絶縁物を一体化してなる板状ヒーターにおいて、　その一部に外周縁に達するスリットを形成する。
【０００５】
【発明の実施の態様】
本願発明は、マイカ等の電気絶縁物を、平板円形のマイカで構成し、その外周縁に達するスリット（切り目）を、発熱体の存在しないスリットエリヤに位置して、形成する。
前記スリット（切り目）を、均等位置として、スリットの長さを半径のほぼ半分以上とする。
【０００６】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【０００７】
（実施例１）
図１は本発明の実施例１の板状ヒーターの平面図であり、図２は同じく側面図である。
図１および図２において、１は、発熱体２とマイカ（電気絶縁物）３とを一体化してなる板状ヒーターである。なお、実施例ではマイカ３は２枚として、発熱体２の両面に配置するが、発熱体２の片面にのみ配置して、マイカ３を一枚としてもよいものである。
【０００８】
マイカ３は、平板円形の形状とし、外周縁に達するスリット（切り目）４を形成する。該スリット４は溝状でなくマイカ３を上下に貫通する空間を形成することで、マイカ３の一部に放射方向の間隙が形成されることとなる。板状ヒーター１には、図３を参照して、発熱体２の存在しないスリットエリヤＰを放射方向に設定し、前記スリット４は、スリットエリヤＰに対応する位置とする。図１においてＴは電源端子である。
【０００９】
つぎに作用を説明する。発熱体２に通電時に、発熱体２とスリット４のあるマイカ３とが熱膨張し、板状ヒーター１が変形しようとするが、スリット４により膨張が吸収され、変形が防止される。
【００１０】
（実施例２）
図４は、本発明の実施例２の板状ヒーターの平面図である。図４において、本発明の実施例１の板状ヒーターを示す図１と対比して、スリットエリヤＰおよびスリット４を複数個（４個）とする点で相違する。スリット４をスリットエリヤＰに対応位置させて、発熱体２とマイカ３，３とを熱プレス等で一体化して板状ヒーター１を完成する。
【００１１】
上記の実施例２では、スリット４を４個としているが、２個、３個でもよい。また５個以上とすることも可能であり、何個でもよい。しかし、作用を考えるとスリット４を均等に配し、スリット４の数が多い方が、より板状ヒーター１の変形防止に効果的である。
【００１２】
実施例１および実施例２では、板状ヒーター１の形状を円形としたが、図５に示すごとく四角形、六角形等の円形以外の任意の形状とすることができる。また、スリット４の長さは半径の半分以上が望ましい。
【００１３】
また、実施例１および実施例２では、電気絶縁物をマイカ３としたが、ポリイミド等の樹脂でもよい。
【００１４】
また、発熱体２とマイカ等の電気絶縁物３を一体化するに際して、マイカ等の電気絶縁物３は発熱体２の片側のみ一体化し、他方側は当てがうだけでもよい。
【００１５】
図６は、板状ヒーター１の使用例を示す半導体・液晶等製造装置における半導体・液晶等加熱装置の縦断面図であり、フエイスブレード５とバックブレード６との間に、上マイカ７、板状ヒーター１、下マイカ８を配置している。９は温度センサー、１４は交流電源コード、１５は止めボルト、１６は交流電源である。
【００１６】
本発明は、前記スリットにより、発熱体に通電した際に発熱体とマイカ等の電気絶縁物の熱膨張を吸収し、板状ヒーターの変形を防止することができる。よって、本願発明の板状ヒーターを半導体装置或いは液晶装置の製造装置におけるホットプレート等に使用することで、変形が生じないことによりフェイスプレートの面内温度の均一化に大きな効果を有する。
【００１７】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の板状ヒーターによれば、次の効果が得られる。
発熱体とマイカ等の電気絶縁物とを一体化し、その一部に外周縁に達するスリット（切り目）を有する板状ヒーターのため、発熱体とマイカが熱膨張し、板状ヒーターが変化しようとするが膨張部分が、外周縁に達するスリット（切り目）により吸収されて変形を防止する。
また、前記スリットは均等に数多く設けると、板状ヒーターの変形防止に、より一層効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の第１実施例を示す板状ヒーターの平面図。
【図２】同じく側面図。
【図３】同じく発明の要部であるスリットの説明図で、ａ図は平面図、ｂ図はａ図矢印イ方向の側面図、ｃ図はａ図のＳ−Ｓ線による断面図。
【図４】本願発明の第２実施例を示す板状ヒーターの平面図。
【図５】本願発明の他の実施例を示す板状ヒーターの大要図で、ａ図はスリットを４個とする四角形状の板状ヒーターの平面図、ｂ図はスリットを６個とする六角形状の板状ヒーターの平面図。
【図６】本発明の板状ヒーターを使用した半導体・液晶等加熱装置の縦断面図。
【図７】公知の板状ヒーターの平面図。
【図８】同じく側面図。
【図９】公知の板状ヒーターにおける周辺部の変形説明図で、ａ図は同一方向への湾曲変形、　　ｂ図は左右逆方向への湾曲変形を示す。
【符号の説明】
１　　板状ヒーター
２　　発熱体
３　　マイカ（電気絶縁物）３
４　　スリット（切り目）
Ｐ　　スリットエリヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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