Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月6日(2004.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一面が開口部を形成している箱状のキャビティ及び上記開口部を覆う蓋を有し、上記蓋はその厚さ方向に積層した多層基板で構成され、上記キャビティは底部及び側壁が、上記蓋と同じ方向に積層された多層基板で構成されている多層パッケージと、
上記蓋の表面に設けられた素子アンテナと、
上記多層パッケージのキャビティ及び蓋を構成する多層基板に実装された半導体集積回路及びパッシブ回路で構成され、上記素子アンテナへ高周波信号を送信するか又は上記素子アンテナから高周波信号を受信する高周波回路と、
上記キャビティの側壁上面及び上記蓋の上記側壁上面との接触面の対向する位置にそれぞれ設けられ、上記キャビティ側の配線と上記蓋側の配線とを接続する接続端子と、
上記高周波回路へ高周波信号を出力するか又は上記高周波回路から高周波信号を入力すると共に、上記高周波信号，上記高周波回路の制御信号及び電源を含めた信号の分配合成を行う母基板と、上記多層パッケージとを接続するために上記多層パッケージに設けられた接続部品とを備えたことを特徴とする高周波モジュール。
【請求項２】
上記高周波回路は、モノリシックマイクロ波集積回路で構成された高出力増幅器及び移相器，大規模集積回路で構成された移相器用コントローラ並びにパッシブ回路の９０°ハイブリッド回路及びローパスフィルタを、上記キャビティに実装したものであることを特徴とする請求項１記載の高周波モジュール。
【請求項３】
上記高周波回路は、モノリシックマイクロ波集積回路で構成された低雑音増幅器が上記蓋に実装され、モノリシックマイクロ波集積回路で構成された低雑音増幅器及び移相器，大規模集積回路で構成された移相器用コントローラ並びにパッシブ回路の９０°ハイブリッド回路及びローパスフィルタを、上記キャビティに実装したものであることを特徴とする請求項１記載の高周波モジュール。
【請求項４】
上記蓋には、上記キャビティに実装されている低雑音増幅器より雑音指数が小さい低雑音増幅器が実装されていることを特徴とする請求項３記載の高周波モジュール。
【請求項５】
上記多層パッケージは、上記キャビティに実装された半導体集積回路の発熱部に一端が接し、他端が上記キャビティの底部外面まで伸びている複数の放熱用ビアホールと、上記他端が全て接触するように形成された電極パッドと、上記電極パッドに接触している上記ボールグリッドアレー中の１個のボールとで構成された放熱装置を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項記載の高周波モジュール。
【請求項６】
上記多層パッケージは、上記キャビティの側壁内部に形成され中心導体となる中心ビアホールと、上記中心ビアホールを挟んで両側に形成された外側ビアホール及び上記側壁の両面に形成された側面メタライズを含むと共に接地電位にある外導体とで構成された疑似同軸モードの高周波伝送線路を備えていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか一項記載の高周波モジュール。
【請求項７】
上記多層パッケージは、上記キャビティの側壁上面及び上記蓋の間に異方性導電フイルムが挿入され、上記異方性導電フイルムが加圧されて上記接続端子が接続されていることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか一項記載の高周波モジュール。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか一項記載の高周波モジュールを用いて構成されたことを特徴とするアクティブフェーズドアレーアンテナ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、多層パッケージは、キャビティに実装された半導体集積回路の発熱部に一端が接し、他端がキャビティの底部外面まで伸びている複数の放熱用ビアホールと、他端が全て接触するように形成された電極パッドと、電極パッドに接触しているボールグリッドアレー中の１個のボールとで構成された放熱装置を備えているものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、多層パッケージは、キャビティの側壁内部に形成され中心導体となる中心ビアホールと、中心ビアホールを挟んで両側に形成された外側ビアホール及び側壁の両面に形成された側面メタライズからなると共に接地電位にある外導体とで構成された疑似同軸モードの高周波伝送線路を備えているものである。
さらに、多層パッケージは、キャビティの側壁上面及び蓋の間に異方性導電フイルムが挿入され、異方性導電フイルムが加圧されて接続端子が接続されているものである。
さらにまた、この発明に係るアクティブフェーズドアレーアンテナは、上記のような高周波モジュールを用いて構成されたものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、この発明は以上説明したとおり、上記のような高周波モジュールを用いて構成されたものであるから、小型，低コストなアクティブフェーズドアレーアンテナを得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月2日(2003.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続された前記駆動用半導体素子の近傍と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造。
【請求項２】
基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記駆動用半導体素子が接続された前記基板上の周辺端部に延在された電極端子の概略裏面にあたる基板面と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造。
【請求項３】
基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記駆動用半導体素子と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造。
【請求項４】
前記駆動用半導体素子と前記支持フレーム間にも伝熱用部材を設けたことを特徴とする、請求項２記載の電気部品の放熱構造。
【請求項５】
前記伝熱用部材が柔軟性を持つ部材で形成されるか、あるいは柔軟性を持つように形成されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気部品の放熱構造。
【請求項６】
前記駆動用半導体素子が基板上の電極端子にフェースダウン実装されたことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電気部品の放熱構造。
【請求項７】
前記電気素子が液晶表示素子であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の電気部品の放熱構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る本発明は、基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続された前記駆動用半導体素子の近傍と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造にある。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項２に係る本発明は、基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記駆動用半導体素子が接続された前記基板上の周辺端部に延在された電極端子の概略裏面にあたる基板面と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造にある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３に係る本発明は、基板上に形成された電気素子と、前記電気素子から基板上の周辺端部に延在された電極端子に接続され前記電気素子に対して駆動波形を供給する駆動用半導体素子と、前記駆動用半導体素子に電源および制御信号を供給するための入力信号用配線基板と、前記電気素子が形成された基板および入力信号用配線基板を支持する支持フレームからなる電気部品において、前記駆動用半導体素子と前記支持フレーム間に伝熱用部材を設けたことを特徴とする電気部品の放熱構造にある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項４に係る本発明は、前記駆動用半導体素子と前記支持フレーム間にも伝熱用部材を設けたことを特徴とする、請求項２記載の電気部品の放熱構造にある。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項５に係る本発明は、前記伝熱用部材が柔軟性を持つ部材で形成されるか、あるいは柔軟性を持つように形成されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電気部品の放熱構造にある。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項６に係る本発明は、前記駆動用半導体素子が基板上の電極端子にフェースダウン実装されたことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の電気部品の放熱構造にある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
多重／分離部１８には、音声処理部１６で得られる音声符号化データＳ７および映像処理部１７で得られる映像符号化データＳ８が供給される。多重／分離部１８は、記録時には、これら音声符号化データＳ７および映像符号化データＳ８を多重化して多重化データＳ２０を生成し、これを記録メディア部３０に送出する。記録メディア部３０では、その多重化データＳ２０を内蔵する記録メディアに記録する。一方、再生時には、多重／分離部１８には、記録メディア部３０で再生された所定番組の多重化データＳ２５が供給される。多重／分離部１８は、この多重化データＳ２５から音声符号化データおよび映像符号化データを分離する。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
音声デコーダ１９は、音声符号化データＳ２６を伸長復号化し、その結果得た音声データＳ９をＤ／Ａ変換回路２１に送出する。Ｄ／Ａ変換回路２１は、この音声データＳ９をデジタル信号からアナログ信号に変換して音声信号Ｓ１０を生成し、この音声信号Ｓ１０をモニタに出力する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
映像デコーダ２０は、映像符号化データＳ２７を伸長復号化し、その結果得た映像データＳ１１をＲＧＢエンコーダ２２に送出する。ＲＧＢエンコーダ２２は、映像データＳ１１をＮＴＳＣ方式の輝度信号および色差信号に変換し、さらにデジタル信号からアナログ信号に変換することにより映像信号Ｓ１２を生成し、この映像信号Ｓ１２をモニタに送出する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
多重／分離部１８は、多重化データＳ２５を音声符号化データＳ２６と映像符号化データＳ２７とに分離し、このうち音声符号化データＳ２６を音声デコーダ１９およびＤ／Ａ変換回路２１を順次介して音声信号Ｓ１０を生成し、これをモニタに出力すると共に、映像符号化データＳ２７を映像デコーダ２０およびＲＧＢエンコーダ２２を順次介して映像信号Ｓ１２を生成し、これをモニタに送出する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2003309787.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2003309787.tif 000002
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2003309787.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月10日(2003.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１次巻線及び２次巻線を巻軸に巻回したインバータトランスにおいて、
前記２次巻線にタップを設けて前記２次巻線の一部を、前記１次巻線と磁気結合し前記２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線としたことを特徴とするインバータトランス。
【請求項２】
トランスの１次巻線に与えられる電圧をスイッチング素子によりスイッチングして、前記トランスの２次巻線に２次電圧を発生させて当該２次電圧を冷陰極管へ印加する共に、前記冷陰極管を流れる電流を検出し、この検出結果に基づき前記スイッチング素子のスイッチング動作を制御するように構成されたインバータ回路において、
前記２次巻線にタップを設けて前記２次巻線の一部を、前記１次巻線と磁気結合し前記２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線とした前記トランスの前記電圧検出巻線により検出される電圧に基づいて前記冷陰極管へ供給する電圧の異常を検出する異常検出手段と、
前記異常検出手段が異常を検出した場合に前記スイッチングを停止させる停止手段と
を具備することを特徴とするインバータ回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るインバータトランスは、１次巻線及び２次巻線を巻軸に巻回したインバータトランスにおいて、前記２次巻線にタップを設けて前記２次巻線の一部を、前記１次巻線と磁気結合し前記２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線としたことを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係るインバータ回路は、トランスの１次巻線に与えられる電圧をスイッチング素子によりスイッチングして、前記トランスの２次巻線に２次電圧を発生させて当該２次電圧を冷陰極管へ印加する共に、前記冷陰極管を流れる電流を検出し、この検出結果に基づき前記スイッチング素子のスイッチング動作を制御するように構成されたインバータ回路において、前記２次巻線にタップを設けて前記２次巻線の一部を、前記１次巻線と磁気結合し前記２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線とした前記トランスの前記電圧検出巻線により検出される電圧に基づいて前記冷陰極管へ供給する電圧の異常を検出する異常検出手段と、前記異常検出手段が異常を検出した場合に前記スイッチングを停止させる停止手段とを具備することを特徴とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るインバータトランスによれば、トランスの２次巻線にタップを設けて２次巻線の一部を、１次巻線と磁気結合し２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線とし、２次巻線に生じる電圧を検出可能としたので、トランスの高出力側に特別の部品を配置することなく２次巻線に生じる電圧の異常検出を検出可能となり、装置の小形化低廉化を実現することできる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
以上説明したように本発明に係るインバータ回路によれば、トランスの１次巻線に与えられる電圧をスイッチング素子によりスイッチングして、上記トランスの２次巻線に２次電圧を発生させて当該２次電圧を冷陰極管へ印加するように構成されたインバータ回路の上記トランスに、２次巻線にタップを設けて２次巻線の一部を、１次巻線と磁気結合し２次巻線に出力される電圧を検知するための電圧検出巻線としたトランスを採用し、電圧検出巻線によりトランスの２次巻線に生じる電圧を検出して、検出電圧に基づいて上記冷陰極管へ供給する電圧の異常を検出し、上記スイッチングを停止させるので、トランスの高出力側に部品を配置する必要がなく、実装面積を小さくすることできる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月29日(2003.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記計時手段は、所定の動作モードの開始から終了までの動作時間データを、他の動作モードに応じたジョブ実行スケジューリングによる間欠的な動作時間として計時することを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記出力手段は、前記統計情報を前記画像処理装置の外部にある端末装置にマークアップ言語として送信することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の画像処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１１】
複数の動作モードを有する画像処理装置であって、
所定の動作モードの開始から終了までの動作時間データを、他の動作モードに応じたジョブ実行スケジューリングによる間欠的な動作時間として計時する計時手段と、
前記計時手段により計時された計時値に基づいて前記所定の動作モードの消費電力量に関する情報を作成する作成手段とを有することを特徴とする画像処理装置。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１４】
複数の動作モードを有する画像処理装置による情報出力方法であって、
所定の動作モードの開始から終了までの動作時間データを、他の動作モードに応じたジョブ実行スケジューリングによる間欠的な動作時間として計時する計時ステップと、
前記計時ステップにより計時された計時値に基づいて前記所定の動作モードの消費電力量に関する情報を作成する作成ステップとを有することを特徴とする情報出力方法。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
一方、従来技術において、省エネを実行した履歴を実行モード／時刻と共に印刷するファクシミリ装置で、開始・スリープ条件が成立すると、サブＣＰＵを起動させて、メインＣＰＵは停止するなどの省エネ実行を行ない、その省エネ総時間を記憶し、該記憶された時間を元に削減コストを表示する仕組みが開示されている（例えば特許文献１参照）。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
あるいは、複数の動作モードを有する画像処理装置において、所定の動作モードの開始から終了までの動作時間データを、他の動作モードに応じたジョブ実行スケジューリングによる間欠的な動作時間として計時し、該計時された計時値に基づいて前記所定の動作モードの消費電力量に関する情報を作成することを特徴とする仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月8日(2004.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板表面に形成されたＭＯＳトランジスタにおいて、
前記半導体基板表面に形成されたソース、ドレイン領域と、
前記ソース及びドレイン領域間であって前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられたフローティングゲートと、
前記フローティングゲートに絶縁膜を介して設けられた入力ゲートと複数の閾値制御ゲートとを有し、
前記複数の閾値制御ゲートと前記フローティングゲートとの間の容量の比が、所定の比率に設定され、
活性化状態は、前記閾値制御ゲートに第１の電圧が印加されて前記入力ゲートに対して第１の閾値電圧にされ、非活性化状態は、前記閾値制御ゲートに第２の電圧が印加されて前記入力ゲートに対して前記第１の閾値電圧よりも高い第２の閾値電圧にされることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【請求項２】
半導体基板表面に形成されたＭＯＳトランジスタにおいて、
前記半導体基板表面に形成されたソース、ドレイン領域と、
前記ソース及びドレイン領域間であって前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられた第１のゲートと、
前記第１のゲートに容量を介して設けられた入力ゲートと閾値制御ゲートとを有し、
活性化状態は、前記閾値制御ゲートに第１の電圧が印加されて前記入力ゲートに対して第１の閾値電圧にされ、非活性化状態は、前記閾値制御ゲートに第２の電圧が印加されて前記入力ゲートに対して前記第１の閾値電圧よりも高い第２の閾値電圧にされることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【請求項３】
請求項２において、
前記容量は、前記半導体基板表面に形成され前記入力ゲート及び閾値制御ゲートを構成する不純物領域と、前記第１のゲートに接続され前記不純物領域上に絶縁膜を介して設けられた第２のゲートとにより構成されることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【請求項４】
請求項２において、
前記閾値制御ゲートが複数設けられ、当該複数の閾値制御ゲートの前記容量の比が、所定の比率に設定されていることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【請求項５】
請求項１または２において、
前記ＭＯＳトランジスタは、２つの電源間に接続されたＮチャネルトランジスタとＰチャネルトランジスタであり、それぞれの前記閾値制御ゲートには、前記第１の電圧として低レベル及び高レベル電圧が、前記第２の電圧として高レベル及び低レベル電圧がそれぞれ印加され、前記入力ゲートに共通に入力信号が供給されることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【請求項６】
半導体基板表面に形成されたＭＯＳトランジスタにおいて、
前記半導体基板表面に形成されたソース、ドレイン領域と、
前記ソース及びドレイン領域間であって前記半導体基板上に絶縁膜を介して設けられたフローティングゲートと、
前記フローティングゲートに絶縁膜を介して設けられた入力ゲートとを有し、
高速動作用トランジスタは、前記フローティングゲートと入力ゲートとが短絡され、低消費電力動作用トランジスタは前記フローティングゲートと入力ゲートとが絶縁されていることを特徴とするＭＯＳトランジスタ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
この例は、例えばＮＡＮＤゲートを構成するＣＭＯＳトランジスタ回路Ｑ３は、低閾値電圧トランジスタで構成し、その低閾値電圧トランジスタ回路に対して、電流供給用の高閾値電圧トランジスタＱ１，Ｑ２を設ける。そして、活性動作状態では、電流供給用トランジスタＱ１，Ｑ２を導通状態にし、電源VDDから電源用大容量Ｃ１０，Ｃ２０を介して低閾値電圧トランジスタ回路Ｑ３に電流を供給する。その場合、トランジスタ回路Ｑ３は、低閾値電圧であるので高速動作が可能である。一方、非活性状態（低消費電力状態）では、電流供給用トランジスタＱ１，Ｑ２に制御信号ＳＬ=Hレベル、／ＳＬ＝Ｌレベルをそれぞれ印加して、トランジスタＱ１，Ｑ２を非導通状態にする。これらのトランジスタＱ１，Ｑ２は高い閾値電圧であるので、完全に非導通にしてオフリーク電流をなくすことができるので、低閾値電圧トランジスタ回路Ｑ３がオフリーク電流の発生により電流を供給することはなく、内部トランジスタ回路Ｑ３の電力消費を防止することができる。また、特開平１１−２６１３８２号には、発振周波数を制御する別のトランジスタを設けることなく小さな回路面積で済む半導体発振回路が開示される。スタンバイ時には、半導体発振回路に含まれるインバーター回路を構成するＰＭＯＳトランジスタとＮＭＯＳトランジスタにそれぞれ印加するコントロール電圧を制御することで、少なくとも一方のトランジスタをオフ状態にし、半導体発振回路の発振を停止させ、低消費電力が実現されることが記載されている。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月18日(2003.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハに対して配線データ焼付け工程を実行するごとに、ウェーハ表面検査を実行する工程と、
前記ウェーハ表面検査の結果とウェーハ上のチップ位置情報とから、潜在的欠陥を含んだチップを不良チップとして処理するための制御データを作成する工程
を含んでいることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記制御データは、後工程で使用するウェーハ処理装置に、潜在的欠陥を含んだチップを不良チップ化するための処理を実行させるものであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記制御データは、ウェーハ処理工程完了後に行われるウェーハ試験時に使用するウェーハ試験装置に、試験結果に関わらず、潜在的欠陥を含んだチップを不良チップと判定させるものであることを特徴とする請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、ウェーハに対して配線データ焼付け工程を実行するごとに、ウェーハ表面検査を実行する工程と、前記ウェーハ表面検査の結果とウェーハ上のチップ位置情報とから、潜在的欠陥を含んだチップを不良チップとして処理するための制御データを作成する工程を含んでいるというものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月22日(2004.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クロック信号とこのクロック信号と相補的なクロック補信号とをトリガとして動作するとともに、出力を帰還させ前記クロック信号の周波数に対して一定の比率の周期で発振する発振回路を備え、前記発振回路の発振信号を取り出し、前記取り出した発信信号に基づいて前記クロック信号の分周信号を出力する分周回路であって、
取り出された前記発振信号がベースに入力され、エミッタから前記分周信号が出力される出力トランジスタを備える出力エミッタフォロワ回路を出力段にさらに備え、前記発振回路の帰還と出力エミッタフォロワ回路の出力が分離されていることを特徴とする分周回路。
【請求項２】
請求項１に記載の分周回路であって、
前記発振回路は、ベースに該発振回路の出力が入力され、エミッタから前記出力を帰還させる帰還トランジスタを有するエミッタフォロワ回路を有し、前記エミッタフォロワ回路の帰還トランジスタのベースから前記発振信号が取り出されることを特徴とする分周回路。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の分周回路であって、
前記出力エミッタフォロワ回路は、前記出力トランジスタのエミッタと直列に接続された定電流源を備えていることを特徴とする分周回路。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の分周回路であって、
前記発振回路が有する前記エミッタフォロワ回路は、前記帰還トランジスタのエミッタと直列に接続された定電流源を備えていることを特徴とする分周回路。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
第一の本発明は、クロック信号とこのクロック信号と相補的なクロック補信号とをトリガとして動作するとともに、出力を帰還させ前記クロック信号の周波数に対して一定の比率の周期で発振する発振回路を備え、前記発振回路の発振信号を取り出し、前記取り出した発信信号に基づいて前記クロック信号の分周信号を出力する分周回路であって、取り出された前記発振信号がベースに入力され、エミッタから前記分周信号が出力される出力トランジスタを備える出力エミッタフォロワ回路を出力段にさらに備え、前記発振回路の帰還と出力エミッタフォロワ回路の出力が分離されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月22日(2004.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＰＬＬ回路及びそれを構成する半導体集積回路並びに無線通信機器


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準信号を分周する第１分周手段と、
入力電圧レベルに応じて発振周波数が変わる電圧制御発振器と、
上記電圧制御発振器の出力信号を分周する第２分周手段と、
上記第１分周手段の出力信号と上記第２分周手段の出力信号との位相を比較する位相比較手段とを具備して成り、
上記位相比較手段の比較結果に基づいて上記電圧制御発振器の発振周波数が制御され、
上記基準信号の入力経路に、上記基準信号の周波数通過帯域を制限するための周波数通過帯域制限手段を有することを特徴とするＰＬＬ回路。
【請求項２】
基準信号を分周する第１分周手段と、
電圧レベルに応じて発振周波数が変わる電圧制御発振器の出力信号を分周する第２分周手段と、
上記第１分周手段の出力信号と上記第２分周手段の出力信号との位相を比較する位相比較手段と、
上記第１および第２分周手段並びに上記位相比較手段が一括形成された一つの半導体基板とを具備して成り、
上記第１および第２分周手段、上記電圧制御発振器、並びに上記位相比較手段はＰＬＬ回路を構成し、
上記基準信号の入力経路に、上記基準信号の周波数通過帯域を制限するための周波数通過帯域制限手段を有することを特徴とする半導体集積回路。
【請求項３】
ハイパスフィルタを含んで上記周波数通過帯域制限手段を構成することを特徴とする請求項２記載の半導体集積回路。
【請求項４】
周波数通過帯域を変更可能な可変フィルタを含んで上記周波数通過帯域制限手段を構成することを特徴とする請求項２記載の半導体集積回路。
【請求項５】
発振手段と、上記発振手段で発振された信号と受信された高周波信号とを混合するためのミキサーとを具備して成り、
上記発振手段は、請求項２乃至４の何れか１項記載の半導体集積回路を含んで成ることを特徴とする無線通信機器。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月7日(2003.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アナログ入力信号をデジタル出力信号に変換するＡＤ変換器を有する集積回路において、
前記ＡＤ変換器は、
（ａ）  アナログディザー信号を生成するディザー信号生成器（１０７）と、
（ｂ）  前記アナログディザー信号をアナログ入力信号に加え、ディザー化アナログ信号を生成する信号カプラ（１０１）と、
（ｃ）  デジタル出力信号を生成するために前記ディザー化アナログ信号をデジタル化する振幅量子化器（１０３）と、
（ｄ）  前記ディザー信号生成器により生成されたディザー信号の振幅を制御する制御信号を生成するために、前記デジタル出力信号を解析するプロセッサ（１０５）と、
からなり、
前記プロセッサは、前記アナログ入力信号内の１つあるいは複数のキャリアの全瞬時パワーレベルの測定値に基づいて制御信号（１０８）を生成する
ことを特徴とするＡＤ変換器を有する集積回路。
【請求項２】
前記（ａ）ディザー信号生成器（１０７）は、
（ａ１）  ランダムノイズ信号を生成するランダムノイズソース（１０９）と、
（ａ２）  前記ランダムノイズソースからのランダムノイズ信号を、アナログディザー信号を生成するためにプロセッサからの制御信号に基づいて増幅する可変利得増幅器（１１１）と
を有することを特徴とする請求項１記載の集積回路。
【請求項３】
前記（ａ）ディザー信号生成器（１０７）は、
（ａ３）  前記アナログ入力信号を信号カプラで加える前に、前記アナログディザー信号をフィルタ処理するローパスフィルタ（１１３）
をさらに有することを特徴とする請求項２記載の集積回路。
【請求項４】
前記プロセッサは、各個々のキャリアの瞬時パワーレベルを生成し、全瞬時パワーレベルを生成するために個々のキャリアの瞬時パワーレベルを加算する
ことを特徴とする請求項１記載の集積回路。
【請求項５】
前記プロセッサは、対応する個々のキャリアに対する周波数範囲内の複数の周波数でパワーレベルを加算することにより個々のキャリアの瞬時パワーレベルを生成する
ことを特徴とする請求項４記載の集積回路。
【請求項６】
前記プロセッサは、制御信号を更新するためにデジタル出力信号を周期的に再度解析する
ことを特徴とする請求項１記載の集積回路。
【請求項７】
アナログ入力信号をデジタル出力信号に変換するＡＤ変換器において、
（ａ）  アナログディザー信号を生成するディザー信号生成器と、
（ｂ）  前記アナログディザー信号を前記アナログ入力信号に加え、ディザー化アナログ信号を生成する信号カプラと、
（ｃ）  デジタル出力信号を生成するために前記ディザー化アナログ信号をデジタル化する振幅量子化器と、
（ｄ）  前記ディザー信号生成器により生成された前記アナログディザー信号の振幅を制御する制御信号を生成するために、前記デジタル出力信号を解析するプロセッサと、
からなり、
前記プロセッサは、前記アナログ入力信号内の１つあるいは複数のキャリアの全瞬時パワーレベルの測定値に基づいて制御信号を生成する
ことを特徴とするＡＤ変換器。
【請求項８】
アナログ入力信号をデジタル出力信号に変換する方法において、
（ａ）  アナログディザー信号を生成するステップと、
（ｂ）  ディザー化アナログ信号を生成するために前記アナログディザー信号を前記アナログ入力信号に加えるステップと、
（ｃ）  デジタル出力信号を生成するために前記ディザー化アナログ信号をデジタル化するステップと、
（ｄ）  前記ディザー信号の振幅を制御する制御信号を生成するために前記デジタル出力信号を解析するステップと、
からなり、
前記制御信号は、前記アナログ入力信号内の１つあるいは複数のキャリアの全瞬時パワーレベルの測定値に基づいて決定される
ことを特徴とするアナログ入力信号をデジタル出力信号に変換する方法。
【請求項９】
前記（ａ）ステップは、
（ａ１）  ランダムノイズ信号を生成するステップと、
（ａ２）  アナログディザー信号を生成するために前記制御信号に基づいてランダムノイズ信号を増幅するステップと
（ａ３）  前記アナログ入力信号を加える前に、前記アナログディザー信号をローパスフィルタ処理するステップを含む
ことを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記（ｄ）ステップは、
（ｄ１）  各個々のキャリアの瞬時パワーレベルを測定するステップと、
（ｄ２）  全瞬時パワーレベルを生成するために個々のキャリアの瞬時パワーレベルを加算するステップと
を有することを特徴とする請求項８記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月5日(2003.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
［第８実施例］
図９及び図１０は、本発明の第８実施例の負イオン富化空気の供給システムを示す。図９は、例えば、デパートにおける食品展示ケース８ｃの食品２１に対する負イオン富化空気の供給を示している。食品２１への菌の付着防止、並びに菌の増殖防止による食品の鮮度保持と安全性の確保を示している。食品展示ケース８ｃは、食品（例えば、新鮮な魚や肉類）２１が展示、或いは販売用に収納される食品展示部Ｅと、該食品展示部Ｅの空気を清浄化し、更に食品に対して有害な菌類の捕集・除去（殺菌）と負イオンによる菌類の増殖防止を図る本発明の空気清浄部（負イオン富化空気発生装置）１を備えている。
負イオン富化空気発生装置１は、食品展示部Ｅの下部に位置しており、その周辺には食品展示部Ｅの空気を該負イオン富化空気発生装置１に通気するための循環ファン１５、温度を低温に保持するための熱交換器２２、冷凍機２３等が設置されている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
食品展示部Ｅには、デパートのお客に、商品である収納食品２１を美観よく見えるように整然と並べてあり、お客はガラス窓を介して見ることができるようになっている。ところで一般に食品展示部Ｅには、空気中の浮遊菌９や展示食品２１が持ち込んだ菌９が存在する。これらの菌類９は、食品２１上へ沈着降下し、付着すると、鮮度の低下をもたらす原因となる。尚、菌類及び菌類が付着した粒子状物質は、通常数μｍ乃至それ以上と大きいので、重力により自然に沈着してしまう傾向にある。本実施例では、ファン１５により、食品展示部Ｅの菌類を含む汚染空気２−１を図１０にその基本構成が示される負イオン富化空気発生装置１に導入し、菌類の捕集材２０上への捕集・除去、該捕集菌類の殺菌ランプ５−１からの殺菌線照射による殺菌、並びに負イオン富化空気の食品展示部Ｅへの供給により、食品展示部Ｅにおける菌類の増殖防止（不活性化）が図られる。即ち、菌類（粒子状物質）９の除去は上流の粒子状物質除去部Ｃで９０％以上が除去されるが、食品展示部Ｅにおける菌類は、食品２１上へ落下する可能性がある。例えば、空中浮遊菌は前記のごとく粒子状物質除去部Ｃで効率よく捕集されるが、一方でガラス窓面や壁面へ付着した菌は、時おり飛散し、食品２１上へ落下する可能性がある。食品の安全性確保には、食品２１上へ菌類が付着しても、菌の増殖防止を図ることが効果的である。ここでは、菌の増殖防止のために、負イオンを食品展示部Ｅへ供給して、食品に対して負イオン６により菌の増殖防止を図るものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2000312713.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2000312713.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月29日(2004.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】Ｘ線センサおよびＸ線検査装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を透過し光を遮蔽する材質であって溝が形成されている基板と、基板の溝の中に充填された蛍光物質によりＸ線を光に変換する蛍光変換手段と、蛍光変換手段から発生する光を画像信号に変換する光電変換手段とを備えていることを特徴とするＸ線センサ。
【請求項２】
溝形成基板が単一もしくは複数膜から成るシリコン化合物であることを特徴とする請求項１記載のＸ線センサ。
【請求項３】
反応性イオンエッチングにより溝が形成されていることを特徴とする請求項１もしくは２記載のＸ線センサ。
【請求項４】
非導電体の蛍光遮蔽手段と、Ｘ線を透過する導電体の基板と、蛍光遮蔽手段と導電体基板との間に充填された蛍光物質によりＸ線を光に変換する蛍光変換手段と、蛍光変換手段から発生する光を画像信号に変換する光電変換手段とを備えており、蛍光物質は電気泳動により充填されることを特徴とするＸ線センサ。
【請求項５】
非導電体はＳｉ０２であり、導電体はＳｉであることを特徴とする請求項４記載のＸ線センサ。
【請求項６】
Ｘ線センサを使用して検査対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置において、Ｘ線センサとして請求項１または請求項４に記載のＸ線センサを搭載したことを特徴とするＸ線検査装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第５の発明は、非導電体の蛍光遮蔽手段と、Ｘ線を透過する導電体の基板と、蛍光遮蔽手段と導電体基板との間に充填された蛍光物質によりＸ線を光に変換する蛍光変換手段と、蛍光変換手段から発生する光を画像信号に変換する光電変換手段とを備えており、蛍光物質は電気泳動により充填されることを特徴とするとともに、非導電体はＳｉ０２であり、導電体はＳｉであることを特徴とするＸ線センサである。
本発明の第６の発明は、Ｘ線センサを使用して検査対象物に対してＸ線検査を行うＸ線検査装置において、Ｘ線センサとして本発明の第１の発明に記載のＸ線センサ，本発明の第４の発明に記載のＸ線センサのいずれかを搭載したことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月25日(2003.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】回転体装置及び回転体装置の温度チェック方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定体と回転体とこれら固定体と回転体との間に転動自在に設けられた転動体とを備えた回転体装置において、
前記回転体と転動体のうちどちらか一方の温度を検出し、この温度に応じた信号を発する発信子を備えた第１の温度検出手段と、
前記第１の温度検出手段の発信子が発した信号を受信する受信子を備えた受信手段と、
前記受信手段が受信した信号に基づいて回転体または転動体の温度が回転体装置の作動推奨範囲内であるか否かを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする回転体装置。
【請求項２】
前記第１の温度検出手段は振動子を備え、該振動子の振動周波数に基づいて、この周波数に応じた温度を求めることを特徴とする請求項１に記載の回転体装置。
【請求項３】
前記第１の温度検出手段に電力を供給するためのコイルを備えていることを特徴とする請求項２に記載の回転体装置。
【請求項４】
前記回転体が１回転するうちに、少なくとも一度は前記発信子と前記受信子が相対するよう配置されていることを特徴とする請求項３に記載の回転体装置。
【請求項５】
前記振動子が水晶振動子であることを特徴とする請求項２ないし４のうちいずれか１項に記載の回転体装置。
【請求項６】
固定体と回転体とこれら固定体と回転体との間に転動自在に設けられた転動体とを備えた回転体装置の温度チェック方法において、
前記固定体と回転体とのそれぞれの温度を検出する第１の工程と、
固定体の温度と回転体の温度のうち高いほうの温度が第１の所定温度を超えた場合または、前記回転体の温度と固定体の温度との差が第２の所定温度を超えた場合のうち、少くともどちらか一方の場合に、回転体装置が作動推奨範囲を逸脱したと判定する第２の工程と、
を有することを特徴とする回転体装置の温度チェック方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工作機械、航空機、鉄道車両、産業機械などに用いられる回転体装置と、回転体装置の温度チェック方法に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月31日(2003.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記走査搬送手段の下流に、さらに、感光材料を回転して搬送方向と短手方向とを一致させる第２回転手段と、前記第２回転手段の下流に位置される、感光材料を搬送方向と直交する方向に振り分けて複数列とする振分手段とを有するのが好ましい。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このようなプリンタ１０は、感光材料供給部１２と、バックプリントを記録する裏印字手段１４と、画像記録部１６と、振分部１８と、カットシートとした感光材料Ａを画像記録部１６に搬送する第１搬送部３４および第２搬送部３６を有して構成される。また、第２搬送部３６は、搬送方向の下流（以下、下流とする）部に、必要に応じて感光材料Ａを回転する第１回転部４４を有し、さらに、画像記録部１６と振分部１８の間には、同様の第２回転部４６が配置される。
なお、プリンタ１０には、図示した部材以外にも、搬送ローラ等の感光材料Ａの搬送手段や搬送ガイド、センサ等の各種の部材が、必要に応じて配置されている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
前述のように、デジタルの走査露光を利用する画像記録においては、１枚あたりの露光時間は副走査方向の感光材料Ａの長さで決り、これが短い程、短時間で露光を行うことができるので、露光は、短手方向と副走査方向とを一致した状態で行うのが好ましい。しかしながら、マガジン３２に収納される長尺な感光材料Ａ（感光材料ロールＡｒ）の幅と、露光するカットシート状の感光材料Ａのサイズ（作成するプリントサイズ）との兼ね合いで、必ずしも、短手方向と副走査方向とを一致させて露光を行うことができないのは前述のとおりである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図３に露光ユニット４０の概略斜視図を示す。
露光ユニット４０は、感光材料Ａを３原色の光ビームを用いて走査露光する３レーザ光異角入射光学系（３光源非合波光学系）で、記録制御部５２と、光源５４（５４Ｒ，５４Ｇ，５４Ｂ）と、光源５４から射出された光ビームＬの進行方向に沿って、コリメータレンズ５６Ｒと、集光レンズ５８（５８Ｒ，５８Ｇ，５８Ｂ）と、ＡＯＭ６０（６０Ｒ，６０Ｇ，６０Ｂ）と、反射ミラー６２（６２Ｒ，６２Ｇ，６２Ｂ）と、シリンドリカルレンズ６４（６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂ）と、ポリゴンミラー６６と、ｆθレンズ６８と、シリンドリカルミラー７０と、反射ミラー７２および７４とを有して構成される。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図示例の３光源非合波光学系は、感光材料Ａの赤（Ｒ）露光、緑（Ｇ）露光および青（Ｂ）露光のそれぞれに対応する、所定波長の光ビームを射出する３つの光源を用い、各光源から射出された光ビームＬを、互いに若干異なる角度（例えば約４°）でポリゴンミラー６６の反射面６６ａの一点に入射し、主走査方向に偏向されて感光材料Ａ上の同一の主走査線上に異なる角度で結像し、時間的に間隔をあけて同一主走査線上を走査する光学系である。なお、本発明においては、これ以外にも、変調後の光ビームをダイクロイックミラー等を用いて１本の光ビームとする合波光学系でも利用可能である。
例えば、光源５４ＲはＲ露光用の波長６６２nmの光ビームＬｒを射出する半導体レーザ（ＬＤ）で、光源５４ＧはＧ露光用の波長５３２nmの光ビームＬｇを射出するＳＨＧ素子を用いる波長変換レーザで、光源５４ＢはＢ露光用の波長４７３nmの光ビームＬｂを射出するＳＨＧ素子を用いる波長変換レーザである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
1999095398.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
1999095398.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月8日(2003.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理データ供給装置よりの処理データを受け取る受取手段と、
前記処理データ供給装置に対して必要なデータを指示入力可能な指示入力手段と、
前記受取手段で受け取られた処理データのうちの一つを選択して出力すると共に前記指示入力手段よりの指示入力結果を前記選択した処理データの供給装置に出力する選択手段とを備え、
前記選択手段は、前記複数の処理データ供給装置ごとに優先度を割り当て、選択中の処理データ供給装置よりも優先度の高い装置よりの処理データが入力されると、入力時の前記指示入力手段の入力結果を出力中の処理データ供給装置に出力し終わった後に優先度の高い処理データ供給装置への選択に切り換えることを特徴とする出力制御装置。
【請求項２】
複数の処理データ供給装置よりの処理データを受け取る受取手段と、前記処理データ供給装置に対して必要なデータを指示入力可能な指示入力手段とを備える装置における出力制御方法であって、
前記受取手段で受け取られた処理データのうちの一つを選択して出力すると共に前記指示入力手段よりの指示入力結果を前記選択した処理データの供給装置に出力する選択工程を有し、
前記選択工程は、前記複数の処理データ供給装置ごとに優先度を割り当て、選択中の処理データ供給装置よりも優先度の高い装置よりの処理データが入力されると、入力時の前記指示入力手段の入力結果を出力中の処理データ供給装置に出力し終わった後に優先度の高い処理データ供給装置への選択に切り換えることにより行うことを特徴とする出力制御方法。
【請求項３】
前記処理データは表示装置への表示データであり、前記選択工程は選択した表示データを表示装置に出力することを特徴とする請求項２記載の出力制御方法。
【請求項４】
処理データの入力の検出は、処理データの入力に変化があるか否かで判断することを特徴とする請求項２又は請求項３のいずれかに記載の出力制御方法。
【請求項５】
表示データの入力の検出は優先度の高い装置よりの映像信号が入力されたか否かで行うことを特徴とする請求項３記載の出力制御方法。
【請求項６】
前記処理データ供給装置はコンピュータであり、前記指示入力手段は前記コンピュータへの指示を入力可能な操作入力装置であることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の出力制御方法。
【請求項７】
請求項２乃至請求項６のいずれかに記載の方法を実現するためのプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月8日(2003.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
ここで、
Ｍ＝（ｓ2／ｓ1）・（ｓ4／ｓ3）＝ｓ2ｓ4／ｓ1ｓ3
であり、また、ｓ1は、反射鏡２の第１焦点ｆ1から反射鏡３の反射位置までの光路長であり、ｓ2は、反射鏡２の反射位置から第２焦点ｆ2までの光路長であり、ｓ3は、第１レンズアレイ４から第２焦点ｆ2までの光路長であり、ｓ4は、第１レンズアレイ４から第２レンズアレイ５までの光路長である。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、反射鏡３を第２焦点距離（反射鏡とｚ軸との交点から第２焦点ｆ2までの距離）の短い楕円面鏡にした場合には、式（１）のｓ2／ｓ3が大きくなって倍率Ｍが大きくなるので、発光体像が大きくなる。逆に、反射鏡３を放物面鏡とした場合には、楕円面鏡の第２焦点ｆ2が無限遠にある形状とみなせるので、ｓ2→∞、ｓ3→∞であり、ｓ2／ｓ3→１となるので、倍率Ｍは、
Ｍ＝ｓ4／ｓ1          （２）
と表すことができ、最小値となる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、反射鏡３の開口径を小さくするために、反射鏡３の集光角θを小さくすると、反射鏡３による集光効率が低下する。反射鏡３として第２焦点距離の短い楕円面鏡を使用すると、第２レンズアレイ５上の発光体像が大きくなり、第２レンズ径より大きくなると損失となる。いずれも、反射鏡３による集光効率が低下して被照明領域６の照度が低下するという問題が生じる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
さらにまた、反射鏡３からのほぼ円形の断面を持つ光束（円形光束）に対し、第１レンズアレイ４の開口径の外の光束は無効な光束となるので、第１レンズアレイ４における第１レンズの配列は図３及び図４に限定されない。第１レンズアレイ４における第１レンズの配列パターン、開口径、レンズの分割数は、反射鏡３からの円形光束をできるだけ多く集光できるように設計することが望ましい。具体的には、反射鏡３からの円形光束をできるだけ埋め尽くすように第１レンズを配置することが望ましい。この場合、第２レンズの拡大倍率が大きければ、第１レンズの形状は小さくなり、配列できる第１レンズの数は増加する。尚、上記説明においては、第２レンズアレイ５の各第２レンズの開口形状が矩形形状である場合について説明したが、発光体像よりも大きな有効径を有する形状であれば、円形、六角形等の多角形、その他の形状であってもよい。また、一般に、図４（ｂ）に示すように、ｙ軸上の発光体像２１は、ｙ軸方向に長い楕円形となり、ｘ軸上の発光体像（図示せず）は、ｘ軸方向に長い楕円形となるので、第２レンズは円形に近い形状の方が望ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
1999095164.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
1999095164.tif 000002