【事件の表示】
　平成１０年特許願第１３５２５７号「ウェーハ面取り装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年１１月２４日出願公開、特開平１１−３２０３６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１０年５月１８日の出願であって、平成１４年３月１９日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年４月１１日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、同年５月１３日付けで明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
２．本件補正について
［補正却下の決定の結論］本件補正を却下する。
［理由］本件補正により、特許請求の範囲の請求項１及び２は、
「　【請求項１】　ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置において、
　砥石と、
　前記砥石を
一定位置で高速
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持
し、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能な
　前記ウェーハテーブルを
θ軸回りに
　前記ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるとともに、前記ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させるウェーハテーブル移動手段と、
　からなり、
ウェーハの円形部は、
ウェーハの円形部を当接し、ウェーハをθ軸回りに回転させることにより面取り加工し、ウェーハのオリフラコーナーは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラコーナーを当接し、該砥石にオリフラコーナーが常に当接するように、ウェーハをθ軸回りに回転及びＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工し、ウェーハのオリフラは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラを当接し、
Ｘ方向に
　　【請求項２】　ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置において、
　砥石と、
　前記砥石を
一定位置で高速
　前記砥石の近傍に
配置され、
　前記ノッチ用砥石を
一定位置で高速
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能なウェーハテーブルと、
　前記ウェーハテーブルを回転させるウェーハテーブル回転手段と、
　前記ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるとともに、前記ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させるウェーハテーブル移動手段と、
　からなり、
ウェーハの円形部は、一定位置で高速回転する砥石にウェーハの円形部を当接し、ウェーハをθ軸回りに回転させることにより面取り加工し、ウェーハのノッチコーナーは、一定位置で高速回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチコーナーを当接し、該ノッチコーナーが常にノッチ用砥石と当接するように、ノッチコーナーの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工し、ウェーハのノッチは、一定位置で高速回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工することを特徴とするウェーハ面取り装置。
と補正された。
　なお、下線は、実質上の補正箇所を明示するために、当審で付したものである。
　上記補正は、
　請求項１において、発明を特定するために必要な事項である、「砥石を回転させる」ことについて「一定位置で高速」と、「ウェーハテーブル」について「Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能な」と、「ウェーハテーブルを回転させる」ことについて「θ軸回り」との限定を付加するものであり、また、「（一定位置で回転する砥石に対して、）回転するウェーハを軸線及び／又は面に沿って移動させることにより、そのウェーハの周縁を砥石に当接させ」ることについて、択一的記載の要素である「軸線」を削除して、「円形部は、θ軸回りに回転させることにより」、「オリフラコーナーは、常に（当接するように）、θ軸回りに回転及びＸ、Ｙ方向に移動させて」及び「オリフラは、Ｘ方向に移動させて」との限定を付加するものであり、
　請求項２において、請求項２の記載を、請求項１の従属形式であったものを独立形式とするものであって、発明を特定するために必要な事項である、「砥石を回転させる」こと及び「ノッチ用砥石を回転させる」ことについて「一定位置で高速」と、「ウェーハテーブル」について「Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能な」と、「ウェーハテーブルを回転させる」ことについて「θ軸回り」との限定を付加するものであり、また、「（一定位置で回転する砥石に対して、）回転するウェーハを軸線及び／又は面に沿って移動させることにより、そのウェーハの周縁を砥石に当接させ」ることについて、択一的記載の要素である「軸線」を削除して、「円形部は、θ軸回りに回転させることにより」、「ノッチコーナーは、常にノッチ用砥石と当接するように、ノッチコーナーの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて」及び「ノッチは、一定位置で高速回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて」との限定を付加するものであり、さらに、「砥石の近傍に・・・ノッチ用砥石」について、「（砥石の近傍に）配置され、」を加入して明瞭にするものであって、特許法第１７条の２第４項第２号及び４号の特許請求の範囲の減縮を目的とするもの及び明瞭でない記載の釈明に該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１ないし２に記載された発明（以下、それぞれ「本願補正発明１」ないし「本願補正発明２」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第４項において読み替えて準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
（１）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された本願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６４−５１９１２号公報（以下、「刊行物１」という。）及び特開平７−２０５００１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、図面とともに、以下の事項が記載されている。
ア．刊行物１
ａ「外周面に形成されるオリエンテーションフラットの直線部と外周面との接続面を円弧状に形成する・・・このウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその両側の円弧部を正確な寸法に加工する」（第２頁左下欄第１〜１１行）
ｂ「ワークの回転方向（θ）、左右方向（Ｘ軸）及び前後方向（Ｙ軸）の３軸制御を行う方式となり、オリエンテーションフラットの円弧部の加工は３軸制御により、直線部の加工はＸ軸制御のみで行うのが一般的であった。しかしこの方式によると、３軸制御が必須となる」（第２頁右下欄第２〜７行）
ｃ「円形のカッタと、該カッタの回転駆動機構と、ワーク取付台と、該ワーク取付台を回転させる回転サーボ機構と、該ワーク取付台をカッタに対して近づけ又は遠ざける直進サーボ機構と、・・・加工目標となるワークのオリエンテーションフラットに対してカッタが接触しながら相対的に公転する場合の該カッタの回転中心の描く軌跡とワークの中心との距離を該ワークの回転角に対する関数としてその演算プログラムを記憶し、回転サーボ機構と直進サーボ機構と入力装置とに電気的に接続されたコンピュータとを備え、該コンピュータにより回転サーボ機構及び直進サーボ機構を制御してワークの回転及び一方向直進移動の２軸制御によりオリエンテーションフラットを形成するように構成することによって、ワークのオリエンテーションフラットの直線部及び円弧部のすべての加工をワークの回転方向（θ）と前後方向（Ｙ軸）の２軸制御で行う」（第２頁右下欄第１２行〜第３頁左上欄第１３行）
ｄ「カッタ２は、金剛砂を固めて成形したカッタ本体２ａの周囲にダイヤモンドの砥粒２ｂをメタルや電着で固めて形成したものであって、例えば、ワーク１０がシリコンウェーハの場合にはカッタ２の周速度、即ち研削速度は約1300ｍ／minの如く高速で回転するようになっており」（第４頁左上欄第１〜６行）
ｅ「オリエンテーションフラットOFの研削加工のみについて説明したが、これはワーク１０の外周面１０ｃ全体について特定の削りしろを以って外周面１０ｃ全部を含めた研削加工として行うことも勿論可能である。」（第６頁右下欄第５〜９行）
　前記記載事項ｃ、ｅにおいて、ワークのオリエンテーションフラット以外の外周面では、カッタの回転中心の描く軌跡とワークの中心との距離は一定であることから、ウェーハをθ回転させることのみにより研削加工することは明らかである。
　そうすると、刊行物１には、前記記載事項ａ、ｃ〜ｄ及び第２、６図からみて、
「ウェーハの外周面を研削加工するウェーハ研削装置において、
　砥石と、
　前記砥石を一定位置で高速回転させる砥石の回転駆動機構と、
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｙ方向に移動可能なワーク取付台と、
　前記ワーク取付台をθ軸回りに回転させるワーク取付台回転サーボ機構と、
　前記ワーク取付台をＹ軸の方向に移動させるワーク取付台直線サーボ機構と、
　からなり、ウェーハの外周面は、一定位置で高速回転する砥石にウェーハの外周面を当接し、ウェーハをθ軸回りに回転させることにより研削加工し、
　ウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面は、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面を当接し、該砥石にオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面が当接するように、ウェーハをθ軸回りに回転及びＹ方向に移動させてウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面の円弧部を研削加工するウェーハ研削装置。」の発明が記載されていると認める。（以下、「刊行物１記載の発明」という。）
イ．刊行物２
ａ「図１に本発明に係る実施例１のウェーハ面取り機の要部が示されている。・・・ウェーハテーブル２１の一方はテーブル軸受け台２３に設けられたテーブル軸２２に取り付けられており、テーブル軸２２はモータ２４で回転される。テーブル軸受け台２３は上下スライダ２５に固着されており、上下スライダ２５は上下ガイド２６によって上下方向移動自在でモータ２７を含む駆動機構によって上下方向に駆動される。」（第２欄第３８〜４７行）
ｂ「図６に本発明に係る実施例２のウェーハ面取り機の要部が示されている。実施例２は実施例１に対してウェーハ面取り機の基本構成が異なっており、ウェーハテーブル２１関係が下側に配置されるとともに、水平スライダ３５に固着されて水平方向に移動自在となっている。また、外周加工砥石３１及びノッチ加工砥石４１関係が上下スライダ２５に固着されて上下方向に移動自在となっている。それ以外は実施例１と同様である。従って、実施例２の場合は、ウェーハ１０は姿勢制御されウェーハテーブル２１に固定されると、上下スライダ２５によって外周加工砥石３１が所定の位置（上下方向）に位置決めされ、ウェーハテーブル２１が水平スライダ３５によって外周加工砥石３１の方向に移動してウェーハ１０の外周面取り加工が行われる。外周面取り加工が終了すると、外周加工砥石３１とノッチ加工砥石４１の位置がウェーハ１０の外周１１から外れるまで水平スライダ３５が後退した後、ノッチ加工砥石４１が上下スライダ２５によって下降し、ノッチ加工砥石４１がウェーハ１０に対する所定の位置（上下方向）に位置決めされる。次に、水平スライダ３５によってウェーハテーブル２１がノッチ加工砥石４１方向への移動するとともにノッチ１２の形状に沿ってウェーハテーブル２１の回転角とノッチ加工砥石４１の位置関係が制御されて、ウェーハ１０のノッチ面取り加工が行われる。」（第４欄第２１〜４４行）
ｃ「ウェーハテーブル２１や外周加工砥石３１及びノッチ加工砥石４１の回転伝達機構及び上下スライダ２５や水平スライダ３５の駆動機構」（第５欄第６〜８行）
　前記記載事項ａ及びｃにおいて、テーブル軸２２、モータ２４及び回転伝達機構は、ウェーハテーブルを回転させる回転手段であることは図６に示されている。
　そうすると、刊行物２には、前記記載事項ｂ、ｃ及び図６からみて、
「ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り機において、
　外周加工砥石３１と、
　前記外周加工砥石３１を回転させる外周加工砥石回転手段と、
　前記外周加工砥石３１の近傍に配置され、前記ウェーハに形成されたノッチの面取り加工を行うノッチ加工砥石４１と
　前記ノッチ加工砥石４１を回転させるノッチ加工砥石回転手段と、
　前記外周加工砥石３１に対してウェーハを平行に保持し、水平方向である、外周加工砥石３１の方向に移動可能なウェーハテーブル２１と、
　前記ウェーハテーブル２１を回転させるウェーハテーブル回転手段と、
　前記外周加工砥石３１及び前記ノッチ加工砥石４１を上下方向に移動させることにより砥石の軸線に沿って移動させる上下スライダ２５の駆動機構と、
　前記ウェーハテーブル２１を水平方向であるノッチ加工砥石４１の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させる水平スライダ３５の駆動機構と、
　からなり、ウェーハの外周は、回転する砥石にウェーハの外周を当接し、ウェーハを外周の中心回りに回転させることにより面取り加工し、
　ウェーハのノッチは、回転するノッチ加工砥石４１にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常にノッチ加工砥石４１と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハを水平方向であるノッチ加工砥石４１の方向に移動させるとともに、ウェーハを中心軸回りに回転させて面取り加工するウェーハ面取り装置。」の発明（以下、「刊行物２記載の発明」という。）が、
　また、前記記載事項ａ及び図１からみて、
「ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取装置において、砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｚ方向に移動可能なウェーハテーブル２１と、前記ウェーハテーブル２１をＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させる手段とからなる」という技術的事項（以下、「刊行物２記載の技術的事項」という。）が、それぞれ記載されていると認める。
（２）対比
〈本願補正発明１について〉
　本願補正発明１と刊行物１記載の発明とを対比すると、刊行物１記載の発明の「回転駆動機構」は、その技術的意義からみて、本願補正発明１の「回転手段」に相当し、以下、同様に、「回転サーボ機構」は「ウェーハテーブル回転手段」に、「ウェーハの外周面」は「ウェーハの円弧部」に、「オリエンテーションフラットの直線部」は「オリフラ」に、「オリエンテーションフラットの直線部の外周面との接続面」は「オリフラコーナー」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、刊行物１記載の発明の「外周を研削加工すること」と、本願発明１の「周縁を面取り加工すること」とは、「外周部を研削加工すること」である限りにおいて共通し、同様に、刊行物１記載の発明の「Ｙ方向に移動可能なワーク取付台」と、「Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能なウェーハテーブル」とは、「Ｙ方向に移動可能なウェーハテーブル」である限りにおいて共通し、同様に、刊行物１記載の発明の「ワーク取付台をＹ軸の方向に移動させるワーク取付台直線サーボ機構」と、本願補正発明１の「ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させるウェーハテーブル移動手段」とは、「ウェーハテーブルをウェーハの面に沿って移動させる手段」である限りにおいて共通し、同様に、刊行物１記載の発明の「ウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面は、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面を当接し、該砥石にオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面が当接するように、ウェーハをθ軸回りに回転及びＹ方向に移動させてウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその直線部と外周面との接続面の円弧部を研削加工する」ことは、本願発明１の「ウェーハのオリフラコーナーは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラコーナーを当接し、該砥石にオリフラコーナーが常に当接するように、ウェーハをθ軸回りに回転及びＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工し、ウェーハのオリフラは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラを当接し、ウェーハをＸ方向に移動させて面取り加工する」ことと、「ウェーハのオリフラコーナーは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラコーナーを当接し、該砥石にオリフラコーナーが当接するように、ウェーハを移動させて研削加工し、ウェーハのオリフラは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラを当接し、ウェーハを移動させて研削加工する」ことである限りにおいて共通している。
　そうすると、両者は、
「ウェーハの外周部を研削加工するウェーハ研削加工装置において、
　砥石と、
　前記砥石を一定位置で高速回転させる砥石回転手段と、
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｙ方向に移動可能なウェーハテーブルと、
　前記ウェーハテーブルをθ軸回りに回転させるウェーハテーブル回転手段と、
　前記ウェーハテーブルをウェーハの面に沿って移動させる手段と、
　からなり、ウェーハの円形部は、一定位置で高速回転する砥石にウェーハの円形部を当接し、ウェーハをθ軸回りに回転させることにより研削加工し、
　ウェーハのオリフラコーナーは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラコーナーを当接し、該砥石にオリフラコーナーが当接するように、ウェーハを移動させて研削加工し、ウェーハのオリフラは、一定位置で高速回転する砥石にウェーハのオリフラを当接し、ウェーハを移動させて研削加工するウェーハ研削装置。」の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本願補正発明１は、ウェーハの周縁を面とり加工するウェーハ面取装置であるのに対して、
　刊行物１記載の発明は、ウェーハの外周面を研削加工するウェーハ研削装置である点。
［相違点２］
　本願補正発明１は、ウェーハテーブルがＺ方向に移動可能であり、ウェーハテーブル移動手段が前記ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるのに対して、
　刊行物１記載の発明は、そのようにされていない点。
［相違点３］
　本願補正発明１は、ウェーハテーブルがＸ，Ｙ方向に移動可能であって、また、ウェーハテーブルをウェーハの面に沿って移動させる手段が、ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させるウェーハテーブル移動手段であって、
　ウェーハのオリフラコーナーは、砥石にオリフラコーナーが常に当接するようにウェーハをθ軸回りに回転及びＸ、Ｙ方向に移動させて研削加工し、ウェーハのオリフラは、ウェーハをＸ方向に移動させて研削加工するのに対して、
　刊行物１記載の発明は、ウェーハテーブルがＹ方向に移動可能であって、また、ウェーハテーブルをウェーハの面に沿って移動させる手段が、ウェーハテーブルをθ軸回りに回転させるウェーハテーブル回転手段、及びウェーハテーブルをＹ軸の方向に移動させる直進サーボ機構であって、
　ウェーハのオリフラコーナー及びオリフラは、ウェーハをθ軸回りに回転及びＹ方向に移動させて研削加工する点。
　以下、相違点１〜３について検討する。
［相違点１、２］について
　刊行物２には、ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取装置において、砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｚ方向に移動可能なウェーハテーブルと、前記ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させる手段とからなるということが記載されている。（刊行物２記載の技術的事項参照。）
　そして、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の技術的事項とは、技術分野が同一であり、しかも、刊行物１記載の発明において、刊行物２記載の前記技術的事項の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の前記技術的事項を適用することにより、相違点１、２に係る構成を本願補正発明１のようにすることは当業者が容易になし得たことである。
［相違点３］について
　刊行物１には、オリエンテーションフラットの直線部及びその両側の円弧部の研削加工において、ワークの回転方向（θ）、左右方向（Ｘ軸）及び前後方向（Ｙ軸）の３軸制御を行う方式となり、オリエンテーションフラットの円弧部の加工は３軸制御により、直線部の加工はＸ軸制御のみで行うという技術的事項が記載されていて（前記記載事項ｂ参照。）、しかも、刊行物１記載の発明において、刊行物１記載の前記技術的事項の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物１記載の発明に刊行物１記載の前記技術的事項を適用し、その際に、オリフラコーナーについて、砥石に常に当接するようにすることにより、相違点３に係る構成を本願補正発明１のようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本願補正発明１の奏する効果も刊行物１記載の発明、及び刊行物１及び２記載の前記技術的事項から当業者が予測できる範囲にすぎないものである。
　したがって、本願補正発明１は、刊行物１記載の発明、及び刊行物１及び２記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
〈本願補正発明２について〉
　本願補正発明２と刊行物２記載の発明とを対比すると、刊行物２記載の発明の「ウェーハ面取り機」は、その技術的意義からみて、本願補正発明２の「ウェーハ面取り装置」に相当し、以下、同様に、「外周加工砥石３１」は「砥石」に、「ノッチ加工砥石４１」は「ノッチ用砥石」に、「水平方向である外周加工砥石３１の方向」及び「水平方向であるノッチ加工砥石４１の方向」は「Ｙ方向」に、「上下方向」は「Ｚ方向」に、「ウェーハの外周」は「ウェーハの円形部」に、「外周の中心回り」は「θ軸回り」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、刊行物２記載の発明の「外周加工砥石３１及びノッチ加工砥石４１を上下方向に移動させることにより砥石の軸線に沿って移動させる上下スライダ２５の駆動機構と、ウェーハテーブル２１を水平方向であるノッチ加工砥石４１の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させる水平スライダ３５の駆動機構」と、本願補正発明２の「ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるとともに、前記ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させるウェーハテーブル移動手段」とは、「ウェーハテーブル側と砥石側との相対位置を上下方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させ、ウェーハテーブルをＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させる移動手段」である限りにおいて共通し、同様に、刊行物２記載の発明の「ウェーハのノッチは、回転するノッチ加工砥石４１にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常にノッチ加工砥石４１と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハを水平方向であるノッチ加工砥石４１の方向に移動させるとともに、ウェーハを中心軸回りに回転させて面取り加工する」ことと、本願補正発明２の「ウェーハのノッチコーナーは、一定位置で高速回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチコーナーを当接し、該ノッチコーナーが常にノッチ用砥石と当接するように、ノッチコーナーの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工し、ウェーハのノッチは、一定位置で高速回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工する」こととは、「ウェーハのノッチは、回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをウェーハの面に沿って移動させて面取り加工する」ことである限りにおいて共通している。
　そうすると、両者は、
「ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置において、
　砥石と、
　前記砥石を回転させる砥石回転手段と、
　前記砥石の近傍に配置され、前記ウェーハに形成されたノッチの面取り加工を行うノッチ用砥石と
　前記ノッチ用砥石を回転させるノッチ用砥石回転手段と、
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持し、Ｙ方向に移動可能なウェーハテーブルと、
　前記ウェーハテーブルを回転させるウェーハテーブル回転手段と、
　前記ウェーハテーブル側と砥石側の相対位置を上下方向に移動させる移動手段と、
　前記ウェーハテーブルをＹ方向に移動させる手段と、
　からなり、ウェーハの円形部は、回転する砥石にウェーハの外周を当接し、ウェーハをθ軸回りに回転させることにより面取り加工し、
　ウェーハのノッチは、回転するノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをウェーハの面に沿って移動させて面取り加工するウェーハ面取り装置。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点１］
　本願補正発明２は、ウェーハテーブル移動手段がウェーハテーブルをＺの方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるとともに、前記ウェーハテーブルをＸ方向に移動させて、砥石が一定位置で高速回転しているのに対して、
　刊行物２記載の発明は、砥石移動手段が砥石をＺの方向のみに移動させるものであり、砥石が高速回転していることについて不明である点。
［相違点２］
　本願補正発明２は、ウェーハのノッチコーナーは、ノッチ用砥石にウェーハのノッチコーナーを当接し、該ノッチコーナーが常にノッチ用砥石と当接するように、ノッチコーナーの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工し、ウェーハのノッチは、ノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工するのに対して、
　刊行物２記載の発明は、ウェーハのノッチは、ノッチ用砥石にウェーハのノッチを当接し、該ノッチが常にノッチ用砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハをＹ方向に移動させるとともに、ウェーハをθ軸回りに回転させて面取り加工する点。
　以下、相違点１、２について検討する。
［相違点１］について
　刊行物１には、砥石を一定位置で高速回転させ、前記砥石に対してウェーハテーブルをＸ，Ｙ方向に移動させθ軸回りに回転させてウェーハの外周を研削加工するという技術的事項が記載されている。
　また、刊行物２記載の発明においても、面取り加工時には、砥石は一定位置で回転している。さらに、刊行物２には、ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させる技術的事項が記載されている。
　そして、刊行物２記載の発明と刊行物１及び２に記載された技術的事項とは、技術分野が同一であり、しかも、刊行物２記載の発明において、刊行物１及び２記載の前記技術的事項の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物２記載の発明に刊行物１及び２記載の前記技術的事項を適用することにより、相違点１に係る構成を本願補正発明２のようにすることは当業者が容易になし得たことである。
［相違点２］について
　ウェーハのノッチを面取り加工する装置において、該ノッチが常に砥石と当接するように、ノッチの形状に沿ってウェーハと砥石とを相対的にＸ、Ｙ方向に移動させて面取り加工することは、例えば、特開平２−１８０５５４号公報に記載されている（第４頁左下欄第１３行〜第５頁左上欄第１４行、第１〜３図参照。）ように従来周知であり、しかも、刊行物２記載の発明において、前記周知技術の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物２記載の発明に前記周知技術を適用することにより、相違点２に係る構成を本願補正発明２のようにすることは当業者が容易になし得たことである。
　そして、本願補正発明２の奏する効果も刊行物２記載の発明、刊行物１及び２記載の技術的事項及び前記周知技術から当業者が予測できる範囲にすぎないものである。
　したがって、本願補正発明２は、刊行物２記載の発明、刊行物１及び２記載の技術的事項及び前記周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（４）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において読み替えて準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
３．本願発明について
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし３に係る発明は、平成１３年２月２６日付けの手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載されたとおりのものと認められるところ、その請求項１ないし２に係る発明（以下、「本願発明１」ないし「本願発明２」という。）は、以下のとおりのものである。
「　【請求項１】　ウェーハの周縁を面取り加工するウェーハ面取り装置において、
　砥石と、
　前記砥石を回転させる砥石回転手段と、
　前記砥石に対してウェーハを平行に保持するウェーハテーブルと、
　前記ウェーハテーブルを回転させるウェーハテーブル回転手段と、
　前記ウェーハテーブルをＺ軸の方向に移動させることによりウェーハの軸線に沿って移動させるとともに、前記ウェーハテーブルを互いに直交するＸ軸及びＹ軸の方向に移動させることによりウェーハの面に沿って移動させるウェーハテーブル移動手段と、
からなり、一定位置で回転する砥石に対して、回転するウェーハを軸線及び／又は面に沿って移動させることにより、そのウェーハの周縁を砥石に当接させて面取り加工することを特徴とするウェーハ面取り装置。
【請求項２】　前記ウェーハ面取り装置は、
　前記砥石の近傍に前記ウェーハに形成されたノッチの面取り加工を行うノッチ用砥石と、
　前記ノッチ用砥石を回転させるノッチ用砥石回転手段と、
を備えていることを特徴とする請求項１記載のウェーハ面取り装置。」
（１）引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物及びその記載事項は、２．（１）に記載したとおりである。
（２）対比・判断
　本願発明１は、前記２．で検討した本願補正発明１から限定事項である構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明１の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明１が、前記２．（２）、（３）に記載したとおり、刊行物１記載の発明、及び刊行物１、及び２記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明１も、同様の理由により、刊行物１記載の発明、及び刊行物１及び２記載の技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　また、本願発明２は、前記２．で検討した本願補正発明２から限定事項である構成を省いたものである。
　そうすると、本願発明２の構成要件を全て含み、さらに他の構成要件を付加したものに相当する本願補正発明２が、前記２．（２）、（３）に記載したとおり、刊行物２記載の発明、刊行物１及び２記載の技術的事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明２も、同様の理由により、刊行物２記載の発明、刊行物１及び２記載の技術的事項及び周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（３）むすび
　以上のとおりであるから、本願発明１及び本願発明２は、ともに特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、本願の請求項３に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。