(57)【要約】【課題】スレーブ媒体の両面にマスター担体を密着させて両面同時転写を行う際に、磁気転写後のスレーブ媒体が常にスレーブ媒体保持側の片側ホルダーに残るようにして取り出し異常の発生を防止する。【解決手段】接離移動する片側ホルダー５と他側ホルダー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写を受けるスレーブ媒体２とその両側に転写情報を担持したマスター担体３，４を収容し、両者を密着させるホルダー１で、片側ホルダー５の押圧面５ｂに片方のマスター担体３とスレーブ媒体２とを保持し、他側ホルダー６の押圧面６ｂに他方のマスター担体４を保持し、押圧密着時における片側ホルダー５の押圧面５ｂの圧縮変形量を、他側ホルダー６の押圧面６ｂの圧縮変形量より大きくする。両側押圧面５ｂ，６ｂを弾性率または厚さの異なる弾性材１０，２０で構成するか、片側ホルダー５に弾性材を設置する。【選択図】　　　　　図１
2004103113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその両側に転写情報を担持したマスター担体を収容し、両者を対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記片側ホルダーは、その押圧面に片方のマスター担体とスレーブ媒体とを保持し、前記他側ホルダーは、その押圧面に他方のマスター担体を保持して押圧密着させるものであり、
押圧密着時における前記片側ホルダーの押圧面の圧縮変形量が、前記他側ホルダーの押圧面の圧縮変形量より大きいことを特徴とする磁気転写装置のホルダー。
【請求項２】
前記片側ホルダーの押圧面および前記他側ホルダーの押圧面が、ともに弾性材で構成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項３】
前記片側ホルダーの弾性材の弾性率が、他側ホルダーの弾性材の弾性率より小さいことを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項４】
前記片側ホルダーの弾性材の厚さが、他側ホルダーの弾性材の厚さより大きいことを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項５】
前記片側ホルダーの押圧面が弾性材で構成され、他側ホルダーの押圧面が剛体で構成されてなることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置のホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報を担持したマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内部空間に収容し密着させるホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
その際、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である。
【０００６】
そして、磁気転写時にホルダー内でマスター担体とスレーブ媒体とを重ねた状態で、エアシリンダーやサーボモータ等の機械的駆動手段によりホルダーを介してマスター担体とスレーブ媒体とを外部から加圧することによりマスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させていた。この機械的加圧では、均等な加圧が得にくいため、片側ホルダーと他側ホルダーの両方に同じ厚みで同じ弾性率の弾性材を配置することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかし、上記のような同一の弾性材を両側に配置してマスター担体とスレーブ媒体とを密着させた場合、この弾性材には、マスター担体とスレーブ媒体とを均等な圧力で均一に密着させるための柔らかさと、平面度を維持した状態で密着させて磁気転写を行うための硬さとが要求され、これらの要件を両立させることができず、密着不良や転写信号の位置ずれの原因となっていた。
【０００８】
上記点から、スレーブ媒体を保持する片側ホルダーに対し、押圧作動する他側ホルダーの押圧面に弾性材を設置し、この弾性材を介してスレーブ媒体を押圧し密着性を高めることも考えられる。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−７８３３７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような磁気転写装置のホルダーにおいては、供給したスレーブ媒体の両面にそれぞれマスター担体を密着させて両面同時に磁気転写を行う場合、このホルダーの接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーのそれぞれの押圧面にマスター担体を予め保持し、片側ホルダーのマスター担体に対してスレーブ媒体を供給して保持させた後、ホルダーを閉じて押圧密着させる磁気転写を連続的に繰り返すものである。しかし、磁気転写後の開作動時に、両面にマスター担体が密着されたスレーブ媒体が、供給時の保持位置である片側ホルダーでなく、反対側の他側ホルダーのマスター担体に吸着されて分離する場合があり、磁気転写後のスレーブ媒体の取り出しが良好に行えない問題があった。
【００１１】
つまり、磁気転写後のスレーブ媒体を取り出す機構は、最初にスレーブ媒体を保持した片側ホルダー側にそのまま磁気転写後のスレーブ媒体が保持されているものとして取り出し作動を行うように設置されているが、時として磁気転写後のスレーブ媒体が反対側の他側ホルダーのマスター担体に密着保持されて、片側ホルダーから離れてしまうことがあり、取り出し機構でスレーブ媒体を保持できずに取り出し異常が発生している。
【００１２】
上記現象を解析した結果、従来では、マスター担体とスレーブ媒体との密着性を高めるための弾性材が、押圧作動しスレーブ媒体を保持しない他側ホルダーの押圧面に設置されていたため、この弾性材を介して押圧された他側マスター担体は、弾性材の作用によってスレーブ媒体の表面形状に倣うように押圧され、片側ホルダーのマスター担体より密着性が高くなって、スレーブ媒体に対する密着力が高まり、この密着力によってスレーブ媒体を片側のマスター担体より引き剥がしてしまうことが判明した。
【００１３】
また、同じ弾性材を両側の押圧面に設置した場合にも、磁気転写後の開作動時に、スレーブ媒体が他側ホルダーに転移することが発生し、安定した剥離が得られない問題がある。
【００１４】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、磁気転写後のスレーブ媒体が常にスレーブ媒体保持側の片側ホルダーに残るようにして取り出し異常の発生を防止するようにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的とするものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置のホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその両側に転写情報を担持したマスター担体を収容し、両者を対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記片側ホルダーは、その押圧面に片方のマスター担体とスレーブ媒体とを保持し、前記他側ホルダーは、その押圧面に他方のマスター担体を保持して押圧密着させるものであり、押圧密着時における前記片側ホルダーの押圧面の圧縮変形量が、前記他側ホルダーの押圧面の圧縮変形量より大きいことを特徴とするものである。
【００１６】
前記片側ホルダーの押圧面および前記他側ホルダーの押圧面を、ともに弾性材で構成するのが好適である。この場合に、前記片側ホルダーの弾性材の弾性率を、他側ホルダーの弾性材の弾性率より小さく形成するか、片側ホルダーの弾性材の厚さを、他側ホルダーの弾性材の厚さより大きく形成して、また両者の組み合わせにより圧縮変形量を調整するものである。
【００１７】
または、前記片側ホルダーの押圧面を弾性材で構成し、他側ホルダーの押圧面を剛体で構成してもよい。また、前記片側ホルダーと他側ホルダーとで、そのホルダーを異なる部材で構成して上記のような特性を得るようにしてもよい。
【００１８】
押圧密着時における前記片側ホルダーの押圧面の圧縮変形量は５〜５０μｍ、他側ホルダーの押圧面の圧縮変形量は５μｍ未満とするのが好ましい。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によれば、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間にスレーブ媒体の両側にマスター担体を密着させて両面同時磁気転写を行う際に、マスター担体とスレーブ媒体とを保持する片側ホルダーの押圧面の押圧密着時における圧縮変形量が、他方のマスター担体を保持する他側ホルダーの押圧面の圧縮変形量より大きいことにより、片側ホルダー側のマスター担体とスレーブ媒体との密着力が、他側ホルダー側のマスター担体とスレーブ媒体との密着力より高くなり、磁気転写後のホルダー開放時にスレーブ媒体が片側ホルダー側に必ず残るようになり、スレーブ媒体の取り出し異常を確実に防ぐことができ、効率よく磁気転写処理を実施することができる。
【００２０】
また、圧縮変形量が小さい他側ホルダーの押圧面が基準面となって、マスター担体とスレーブ媒体との平面度を確保し、圧縮変形量が大きい片側ホルダーの押圧面が緩衝部材として上記基準面にマスター担体とスレーブ媒体とを倣わせることにより、マスター担体とスレーブ媒体の平面度を維持した状態で、スレーブ媒体の両面にマスター担体を全面にわたって均一に密着させることができ、スレーブ媒体の全面における記録信号の高い位置精度と高い信号品位を両立できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図、図２は他の実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図である。なお、この図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００２２】
図１に示す実施形態の磁気転写装置のホルダー１は、両面同時磁気転写を行うものであり、接離移動可能な左側の片側ホルダー５と右側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。ここで対峙密着とは、転写パターン部の接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【００２３】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は背面中心部にそれぞれ支持軸５ａ，６ａを備え、両支持軸５ａ，６ａがそれぞれ固定部８，９に回転可能に支承されている。固定部８，９には軸受け８ａ，９ａ（ベアリング）が設置されるとともに、それぞれＯリングによる３つのシール材８ｂ，９ｂが間隔をもって設置されている。
【００２４】
そして、上記片側ホルダー５は、一方のマスター担体３とスレーブ媒体２を保持するとともに押圧する押圧面５ｂを備え、この押圧面５ｂは第１の弾性材１０によって構成されている。また、他側ホルダー６は、他方のマスター担体４を保持するとともに押圧する押圧面６ｂを備え、この押圧面６ｂは第２の弾性材２０によって構成されている。
【００２５】
第１の弾性材１０および第２の弾性材２０は、後述の押圧密着時に、片側ホルダー５の押圧面５ｂの圧縮変形量が、他側ホルダー６の押圧面６ｂの圧縮変形量より大きくなるように形成されてなる。例えば、第１の弾性材１０の弾性率が第２の弾性材２０の弾性率より小さくなるように、それぞれの材質を選定するか、第１の弾性材１０の厚さを第２の弾性材２０の厚さより大きく形成してなる。また両者の組み合わせにより圧縮変形量が上記の関係となるように調整すればよい。
【００２６】
押圧密着時における片側ホルダー５の押圧面５ｂすなわち第１の弾性材１０の圧縮変形量は５〜５０μｍ、他側ホルダー６の押圧面６ｂすなわち第２の弾性材２０の圧縮変形量は５μｍ未満となるように、材質、厚み等が設定される。
【００２７】
次に、前記片側ホルダー５は、スレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着保持する第１の真空系統１１と、スレーブ媒体２の内周部を吸着保持する第２の真空系統１２とを備える。前記他側ホルダー６は、スレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着保持する第３の真空系統１３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統１４とを備える。
【００２８】
前記第１〜第４の真空系統１１〜１４は、それぞれの支持軸５ａ，６ａを通して片側ホルダー５および他側ホルダー６の外部に導出される。つまり、片側ホルダー５は円盤状で、マスター担体３の大きさに相当する内面部位に前記第１の弾性材１０が設置され、この第１の弾性材１０の押圧面５ｂおよび片側ホルダー５に第１の真空系統１１の吸引穴１１ａが開口され、この吸引穴１１ａに連通する第１エア通路１１ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の外周側部分に設置され、第１の弾性材１０より外周部位は、押圧面５ｂに相当する高さに環状に突出形成されている。また、上記マスター担体３の内径より内周側のホルダー面に第２の真空系統１２の吸引穴１２ａが開口され、この吸引穴１２ａに連通する第２エア通路１２ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の中心部分に設置されている。第１エア通路１１ｂおよび第２エア通路１２ｂは、支持軸５ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部８に３つのシール材８ｂが設置され、このシール材８ｂの間の固定部８に連通穴１１ｃ，１２ｃが形成され、各連通穴１１ｃ，１２ｃに接続されたエアパイプ１１ｄ，１２ｄを通して第１および第２の真空系統１１，１２が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面およびスレーブ媒体２の内周部を吸着により保持する。
【００２９】
なお、片側ホルダー５への第１の弾性材１０の固着は接着剤等によって行う。また、第１の弾性材１０の吸引穴１１ａを一部閉じて、第１の真空系統１１によって第１の弾性材１０を吸引保持するようにしてもよい。
【００３０】
一方、前記他側ホルダー６も円盤状で、マスター担体４の大きさに相当する内面部位に前記第２の弾性材２０が設置され、この第２の弾性材２０の押圧面６ｂおよび他側ホルダー６に第３の真空系統１３の吸引穴１３ａが開口され、この吸引穴１３ａに連通する第３エア通路１３ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体４の内径より内周側のホルダー面には凹部が形成され、この凹部の中心に第４の真空系統１４の吸引穴１４ａが開口され、この吸引穴１４ａに連通する第４エア通路１４ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置されている。第３エア通路１３ｂおよび第４エア通路１４ｂは、支持軸６ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部９に３つのシール材９ｂが設置され、このシール材９ｂの間の固定部９に連通穴１３ｃ，１４ｃが形成され、各連通穴１３ｃ，１４ｃに接続されたエアパイプ１３ｄ，１４ｄを通して第３および第４の真空系統１３，１４が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持するとともに内部空間Ａを減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高める。
【００３１】
前記固定部８，９に設置するシール材８ｂ，９ｂとしては、固定部８，９の内周または支持軸５ａ，６ａの外周に装着するＯリング、磁性流体シール、Ｏリングと磁性流体シールとを併用して構成してもよい。磁性流体シールは摺動において発塵性がなく、シール部分からの発塵が抑えられる。
【００３２】
また、他側ホルダー６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、他側ホルダー６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、片側ホルダー５の押圧面５ｂに圧接して内部空間Ａの開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、他側ホルダー６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００３３】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ，６ａを中心に一体に回転駆動される。なお、図示していないが、磁気転写装置はホルダー１を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備える。
【００３４】
また、前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の少なくとも一方が軸方向（図で左右方向）に移動可能に支持され、両ホルダー５，６が互いに接離移動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移動に伴い、まず、シール部７の端面シール材７ｂが片側ホルダー５の外周部端面に圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを第４の真空系統１４により減圧すると共に、他側ホルダー６を閉方向へ移動させる。これに伴い、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させる。
【００３５】
なお、上記密着力の印加のために、第４の真空系統１４に加えて、ホルダー１を外部から機械的に加圧する押圧手段を備える。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１の支持軸５ａまたは６ａに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００３６】
なお、押圧密着時には、片側ホルダー５に保持されたスレーブ媒体２は、第１の弾性材１０の圧縮変形により沈み込むが、第２の真空系統１２の吸引穴１２ａは、予めこの沈み込み移動分を考慮した高さに設け、押圧密着時にスレーブ媒体２が吸引穴１２ａ周辺のホルダー面に強く当たることがないように設定しておく。
【００３７】
前記第１の弾性材１０および第２の弾性材２０は、弾性特性を有する材料により円盤シート状に形成される。弾性特性を有する材料としては、例えば、非発泡ポリウレタン、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、水素添加ニトリルゴム（ＨＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ・ＥＰＤＭ）、フッ素ゴム、アクリルゴム、ハイトレル３０４６（商品名）、ハイトレル３５４８Ｌ（商品名）を用いることができる。これらの材質の選定においては、加工性に優れ厚み、平面度等が高精度に製作できるもの、密着時に前述の変形量となる弾性率を有するもの、耐摩耗性に優れ保全性の高いもの、低発塵性のもの、温度に対する特性変化の少ないものなどを考慮して行う。第１および第２の弾性材１０，２０は、射出成形、ウォータージェット加工、冷間加工等により、所望の形状に加工される。
【００３８】
また、片側ホルダー５および他側ホルダー６に対するマスター担体３，４およびスレーブ媒体２の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体３，４またはスレーブ媒体２をＸＹ方向へ微調整することにより行うか、位置決め部材をホルダー５，６に設置してマスター担体３，４またはスレーブ媒体２の内径を装着して行う。
【００３９】
前記スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００４０】
マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が両ホルダー５，６に吸着保持される。マスター担体３，４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３，４が使用される。
【００４１】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー１の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダー１を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー１の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー１を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００４２】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置のホルダー１では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５に第１の真空系統１１によってマスター担体３を、他側ホルダー６に第３の真空系統１３によってマスター担体４を、それぞれ位置を合わせて吸着保持させておく。
【００４３】
この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットし第２の真空系統１２によって吸着保持した後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００４４】
そして、ホルダー１の内部空間Ａを閉じた後に、第４の真空系統１４により内部空間Ａのエア排出を行って減圧し、所定の真空度とすると共に、さらに他側ホルダー６を接近移動させる。スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力および印加圧力で、片側ホルダー５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに第１の弾性材１０および第２の弾性材２０を介して均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００４５】
その際、圧縮変形量が小さい他側ホルダー６の第２の弾性材２０による押圧面６ｂが基準面となって、マスター担体３，４とスレーブ媒体２との平面度を確保し、圧縮変形量が大きい片側ホルダー５の第１の弾性材１０による押圧面５ｂが緩衝部材として上記基準面にマスター担体３，４とスレーブ媒体２とを倣わせることにより、マスター担体３，４とスレーブ媒体２の平面度を維持した状態で、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を全面にわたって均一に密着させる。
【００４６】
また、片側ホルダー５における一方のマスター担体３とスレーブ媒体２との密着は、第１の弾性材１０の大きな変形によって該マスター担体３がスレーブ媒体２の片面に対し、より正確に倣って密着するため、他側ホルダー６の他方のマスター担体４とスレーブ媒体２の他面との密着より高い密着度で密着する。
【００４７】
その後、ホルダー１の両側に磁界印加装置を接近させ、ホルダー１を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４８】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４９】
磁気転写後に、スレーブ媒体２を取り出すために、ホルダー１を開作動する。その際、第４の真空系統１４の減圧を停止し、圧力上昇すると共に、他側ホルダー６を片側ホルダー５より離れる方向へ移動させる。前記スレーブ媒体２に対する両側のマスター担体３，４の密着度は、片側ホルダー５の一方のマスター担体３が他側ホルダー６の他方のマスター担体４より高く、それに伴う吸着力も高いことにより、他側ホルダー６のマスター担体４がスレーブ媒体２から剥離し、このスレーブ媒体２は常に片側ホルダー５に吸着保持されたままホルダー１の開作動が行われる。その後、不図示の取り出し機構によって磁気転写後のスレーブ媒体２が取り出されて搬出され、次の新しいスレーブ媒体２が供給され、以下同様の磁気転写が繰り返し行われる。
【００５０】
本実施形態によれば、スレーブ媒体２を保持する片側ホルダー５側に設置した第１の弾性材１０の押圧密着時の圧縮変形量を、他側ホルダー６の第２の弾性材２０の圧縮変形量より大きくしたことにより、ホルダー開放時には確実にスレーブ媒体２は片側ホルダー５側に保持されており、その後の取り出しが確実に行え、取り出し異常の発生による稼働効率の低下を防止できる。また、スレーブ媒体の両面へのマスター担体３，４の良好な密着により、高品位の磁気転写が継続して行え、信頼性が高まる。
【００５１】
図２は他の実施形態にかかるホルダーの開状態を示す概略断面図であり、片側ホルダー５にのみ弾性材３０を設置した例である。
【００５２】
この実施形態の磁気転写装置のホルダー１００は、前実施形態と同様に接離移動可能な片側ホルダー５と他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を収容して密着させ、磁気転写を行う。
【００５３】
片側ホルダー５および他側ホルダー６の基本的構造は、前実施形態と同様であり、同一部材には同一符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
そして、片側ホルダー５は、一方のマスター担体３を保持するとともに押圧する押圧面５ｂを備え、この押圧面５ｂは弾性材３０によって構成されている。また、他側ホルダー６は、他方のマスター担体４を保持するとともに押圧する押圧面６ｂを備え、この押圧面６ｂは他側ホルダー６の剛体によるホルダー面で構成され、弾性材は備えていない。
【００５５】
これにより、押圧密着時に、片側ホルダー５の弾性材３０による押圧面５ｂの圧縮変形量が、他側ホルダー６の剛体による押圧面６ｂの圧縮変形量より大きくなるように形成されてなる。押圧密着時における弾性材３０の圧縮変形量は５〜５０μｍとなるように、材質、厚み等が設定される。
【００５６】
なお、他側ホルダー６におけるマスター担体４の吸着保持は、その押圧面６ｂに開口された第３の真空系統１３の吸引穴１３ａによって行われ、中心部に開口した第４の真空系統１４の吸引穴１４ａにより内部空間Ａを減圧するようになっている。
【００５７】
本実施形態の磁気転写工程も前実施形態と同様であり、片側ホルダー５に一方のマスター担体３を、他側ホルダー６に他方のマスター担体４をそれぞれ吸着保持した開状態で、スレーブ媒体２を供給して保持した後、閉作動して内部空間Ａを密閉して減圧し、弾性材３０を介して均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力でスレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を密着させる。
【００５８】
その際、他側ホルダー６の剛体による圧縮変形量が小さい押圧面６ｂが基準面となって、マスター担体３，４とスレーブ媒体２との平面度を確保し、圧縮変形量が大きい片側ホルダー５の弾性材３０による押圧面５ｂが緩衝部材として上記基準面にマスター担体３，４とスレーブ媒体２とを倣わせることにより、マスター担体３，４とスレーブ媒体２の平面度を維持した状態で、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を全面にわたって均一に密着させる。
【００５９】
また、片側ホルダー５における一方のマスター担体３とスレーブ媒体２との密着は、弾性材３０の変形によって該マスター担体３がスレーブ媒体２の片面に対し、より正確に倣って密着するため、他側ホルダー６の他方のマスター担体４とスレーブ媒体２の他面との密着より高い密着度で密着する。
【００６０】
そして、磁気転写後の開作動時には、片側ホルダー５の一方のマスター担体３が他側ホルダー６の他方のマスター担体４よりスレーブ媒体２への密着度が高く、それに伴う吸着力も高いことにより、他側ホルダー６のマスター担体４がスレーブ媒体２から剥離し、このスレーブ媒体２は常に片側ホルダー５に吸着保持されたままホルダー１の開作動が行われる。
【００６１】
本実施形態によれば、スレーブ媒体２を保持する片側ホルダー５の押圧面５ｂに弾性材３０を設置したことにより、押圧密着時の圧縮変形量が他側ホルダー６の押圧面６ｂより大きくなり、ホルダー開放時には確実にスレーブ媒体２は片側ホルダー５側に保持されており、取り出し異常の発生が防止できる。また、良好な密着により、高品位の磁気転写が継続して行え、信頼性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【図２】他の実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【符号の説明】
１，１００　　ホルダー
２　　スレーブ媒体
３，４　　　マスター担体
５　　片側ホルダー
５ｂ　　押圧面
６　　他側ホルダー
６ｂ　　押圧面
１０，２０，３０　　弾性材
１１〜１４　　真空系統
Ａ　　内部空間
【図１】
2004103113.tif 000003
【図２】
2004103113.tif 000004