【手続補正書】
【提出日】平成24年5月7日(2012.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体が含まれる粒子の寸法を大きくし、前記気体が含まれる粒子を粒子検出器により検出可能とする装置であって、
蒸発チャンバおよび凝縮器を具えており、
前記蒸発チャンバは、気体を前記蒸発チャンバに流入させる流入口と、蒸気を含む気体を前記蒸発チャンバから流出させる流出口とを有しており、
前記蒸発チャンバに、加熱要素および多孔質支持体を設け、前記加熱要素は、前記多孔質支持体と直接的に接触しており、前記多孔質支持体は、気化可能な物質を保持し、前記加熱要素は、前記気化可能な物質を気化させて、前記蒸発チャンバ内で蒸気を発生させるように加熱可能であり、
前記凝縮器は、前記蒸発チャンバの流出口と流体的に連通しており、かつ、前記粒子検出器に接続される流出口を有し、
前記蒸発チャンバからの蒸気を含んだ気体が前記凝縮器内へ流れ、前記凝縮器内の気体が含まれる粒子上に前記気化可能な物質が凝縮し、前記粒子の寸法が大きくされ、前記粒子検出器により検出可能となるように構成した装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記蒸発チャンバは、少なくとも２つの流入口を有し、一方は、気体が含まれた粒子を含んだ試料気体を前記蒸発チャンバに流入させ、他方は、おおむね粒子を含まない搬送気体源と接続可能とされた装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、前記凝縮器は、少なくとも２つの流入口を有し、一方の流入口は、前記蒸発チャンバと流体的に連通しており、他方の流入口は、気体が含まれた粒子を含む試料気体を前記凝縮器に流入させるようになっている装置。
【請求項４】
気体が含まれる粒子の寸法を大きくし、前記気体が含まれる粒子を粒子検出器により検出可能とする装置であって、
気化可能な物質源と、
前記気化可能な物質を気化させて蒸気とする加熱手段と、
気体が含まれる粒子を含む試料気体を流入させる流入口と、
前記粒子検出器と接続される流出口が設けられた前記凝縮器とを具え、
気体が含まれる粒子上の蒸気が前記凝縮器内で凝縮し、前記粒子の寸法を大きくし、前記粒子検出器により検出可能とするように構成された装置において、
前記気化可能な物質は、フタル酸ジメチル、フタル酸ジオクチルおよびジメチルスルホキシドから選択されることを特徴とする装置。
【請求項５】
気体が含まれる粒子の寸法を大きくし、前記気体が含まれる粒子を粒子検出器により検出可能とする装置であって、
蒸発チャンバと、
前記蒸発チャンバと流体的に連通し、粒子検出器に接続される流出口を有する凝縮器と、
前記蒸発チャンバ内にそれぞれ設けられる加熱要素および多孔質支持体と、前記多孔質支持体は、気化可能な物質を保持し、前記加熱要素は、前記気化可能な物質を気化させ、前記蒸発チャンバ内で蒸気を発生させるように加熱可能であり、
蒸気を前記凝縮器に流すために、搬送気体流を前記蒸発チャンバに流す第１の流入口と、
前記多孔質支持体の下流側にあり、気体が含まれる粒子を含む試料気体流が導入される第２の流入口とを具え、
前記試料気体内において気体が含まれる粒子上の前記気化可能な物質が前記凝縮器内で凝縮し、前記粒子の寸法が大きくされ、前記粒子検出器により検出可能となるように構成した装置。
【請求項６】
前記多孔質支持体は、多孔質セラミック材料または多孔質素材で形成された、請求項１〜３および請求項５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記多孔質支持体は、前記加熱要素を包囲する、請求項１〜３および請求項５及び請求項６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記蒸発チャンバ内に温度センサを設けてある、請求項１〜３および請求項５〜７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
（ａ）前記第２の流入口は、前記蒸発チャンバに開くように設けられており、
（ｂ）前記第２の流入口は、前記蒸発チャンバに延びるノズルを有し、および／または、前記第２の流入口は、前記凝縮器と連通する流出開口と整列している、
請求項５または請求項５を引用する請求項６ないし８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
請求項５〜７のいずれか１項に記載の装置であって、
前記第２の流入口は、前記蒸気チャンバと前記凝縮器との間の中間チャンバに開くように設けられ、
前記中間チャンバは、分割壁により上流および下流のサブチャンバに分割され、前期分割壁の中央の穴は、サブチャンバを連通させ、それにより、前記第２の流入口は、前記上流のサブチャンバに開き、
第３の流入口が前記下流のサブチャンバに開いており、前記第３の流入口は、濾過された気体の供給部に接続可能とされ、
前記蒸発チャンバの流出開口から前記凝縮器内に延び、前記第２の流入口と並んで上流側のサブチャンバの位置に、または、前記第２の流入口の下流側の位置にノズルが設けられ、
前記下流のサブチャンバは、前記ノズルおよび前記分割壁の中央穴と整列する円筒状のバッフルを含み、前記第３のノズルは、前記円筒状のバッフルを囲む空間に開いている装置。
【請求項１１】
前記凝縮器は、円筒部の体積比に対する表面積よりも大きい体積比に対する表面積を有している、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
おおむね平坦または矩形の断面を有する領域を前記凝縮器に設けた、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記凝縮器の内壁から凝縮された物質を除去する手段を前記凝縮器に設けており、
凝縮された物質を除去する手段は、全長にわたって延びる１つ以上の排出ダクトを具え、前記排出ダクトは、液体の凝縮物が通過することが可能な浸透性の壁または膜により、前記凝縮器の内部から分離されており、前記排出ダクトは、前記排出ダクトから液体の凝縮物を抽出するために、ポンプに接続可能な１つ以上の流出口を有している、
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
前記排出ダクトは、前記凝縮器の少なくとも一部の内部を、１つ以上の長手方向に延びる浸透性の壁または膜により分割することにより形成され、
前記浸透性の壁または膜に、前記凝縮器の内部から前記排出ダクトに凝縮物を流す毛細管を設けてある請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記多孔質支持体の温度、および／または、前記凝縮器の温度、または、前記凝縮器の一部の温度を変化させる手段を含み、対象の粒子の検出可能な下限検出寸法を制御し、それにより、ナノ粒子の寸法を分布させるようにした、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか１項に記載の本発明の装置で用いられる凝縮器であって、
流入口、流出口、および、内側長さ、内側幅および内側高さを有する中空内部を具える凝縮器のボディ部と、
前記凝縮器のボディ部の流入口に接続され、前記凝縮器のボディ部の内側幅に亘って延びる流入流れ分配管と、
前記凝縮器のボディ部の流出口に接続され、前記凝縮器のボディ部の内側幅に亘って延びる流出流れ分配管とを具え、
前記凝縮器のボディ部の内側高さは、前記流入分配管および流出分配管のそれぞれの対応する内側高さよりも低くなっており、
前記流入分配管および流出分配管のそれぞれの壁には、前記凝縮器のボディ部の中空内部と連通する１つ以上のスロットまたは穴が設けられており、前記流入分配管から前記凝縮器の中空内部を介して前記流出分配管に至る流路が形成される凝縮器。
【請求項１７】
凝縮粒子計数器に用いられる気化装置であって、
前記凝縮粒子計数器内の蒸発チャンバの壁に取り付けるための取り付け部と、用いられる前記蒸発チャンバの内部に延びるように設けられたロッド部とを具える加熱要素と、
前記ロッド部を囲んで接触し、気化可能な物質を保持するまたは保持可能な多孔質支持体と、
前記多孔質支持体を前記ロッド部の所定位置に保持する選択的な保持手段とを具える気化装置。