【事件の表示】
　平成　９年特許願第　５５１９１号「ウェーハ面取方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　９月２２日出願公開、特開平１０−２４９６８９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年３月１０日の出願であって、その請求項１ないし３に係る発明は、平成１６年５月２８日付け手続補正書により補正された明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりである。
「　【請求項１】
　外周にオリフラが形成されたウェーハのウェーハ面取方法において、
　回転自在に支持したウェーハを水平面で互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石をそのＹ軸上に直交する垂直軸の周囲に回転可能に設置し、
　回転する前記外周加工砥石に向けて前記ウェーハにＹ軸方向の送りを与え、前記ウェーハの円形部が前記外周加工砥石に当接すると、前記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの円形部を面取りし、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハの一方側のオリフラコーナーに達すると、前記外周加工砥石が前記オリフラコーナーに常に当接するように、前記ウエーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハの一方側のオリフラコーナーを面取りし、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハのオリフラに達すると、前記ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハのオリフラを面取りし、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハの他方側のオリフラコーナーに達すると、前記外周加工砥石が前記オリフラコーナーに常に当接するように、前記ウェーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハの他方側のオリフラコーナーを面取りして、最終的に前記ウェーハの軸心がＹ軸上に位置して、他方側のオリフラコーナーの面取りを終了し、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハの円形部に達すると、前記ウェーハに回転を与えて、前記ウェーハの円形部を面取りし、
　前記ウェーハの円形部、オリフラ部、オリフラコーナー部を前記外周加工砥石で連続的に面取りすることを特徴とするウェーハ面取方法。」
２．引用刊行物
　これに対して、当審における、平成１６年３月１６日付けで通知した拒絶の理由に引用した本願の出願前に頒布された特公平６−３７０２４号公報（以下、「刊行物」という。）には次の事項が記載されている。
（１）刊行物
ａ「従来技術
・・・ウェーハの外周面がシャープであると粉塵が多くなる。そこで外周面に形成されるオリエンテーションフラットの直線部と外周面との接続面を円弧状に形成することは粉塵の発生を防止する上で有効な手段となる。
またウェーハの直径やオリエンテーションフラットを正確な寸法に加工することは、次工程の微細加工時の位置合せ時間を短縮することができる結果となるので、高精度の研削加工が要求される。
従来は、このウェーハのオリエンテーションフラットの直線部及びその両側の円弧部を正確な寸法に加工する・・・ワークの回転方向（θ）、左右方向（Ｘ軸）及び前後方向（Ｙ軸）の３軸制御を行う方式となり、オリエンテーションフラットの円弧部の加工は３軸制御により、直線部の加工はＸ軸制御のみで行うのが一般的であった。しかしこの方式によると、３軸制御が必須となるため、装置が複雑で大型化し、かつ高価となる欠点があった。」（第３欄第２５行〜第４欄第１３行）
ｂ「目 的
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、円形のカッタと、該カッタの回転駆動機構と、ワーク取付台と、該ワーク取付台を回転させる回転サーボ機構と、該ワーク取付台をカッタに対して近づけ又は遠ざける直進サーボ機構と、少なくともカッタの直径又は半径とワークの直径又は半径、該ワークのオリエンテーションフラットの直線部の長さ及びその両側の円弧部の曲率半径とを入力操作し得る入力装置と、加工目標となるワークのオリエンテーションフラットに対してカッタが接触しながら相対的に公転する場合の該カッタの回転中心の描く軌跡とワークの中心との距離を該ワークの回転角に対する関数としてその演算プログラムを記憶し、回転サーボ機構と直進サーボ機構と入力装置とに電気的に接続されたコンピュータとを備え、該コンピュータにより回転サーボ機構及び直進サーボ機構を制御してワークの回転及び一方向直進移動の２軸制御によりオリエンテーションフラットを形成するように構成することによって、ワークのオリエンテーションフラットの直線部及び円弧部のすべての加工をワークの回転方向（θ）と前後方向（Ｙ軸）の２軸制御で行うことを可能にすることであり、またこれによって従来の・・・３軸制御のNC研削機械の欠点をすべて解消し、」（第４欄第３３行〜第５欄第６行）
ｃ「カッタ２は、金剛砂を固めて成形したカッタ本体２ａの周囲にダイヤモンドの砥粒２ｂをメタルや電着で固めて形成したものであって、例えば、ワーク１０がシリコンウェーハの場合にはカッタ２の周速度、即ち研削速度は約1300ｍ／minの如く高速で回転するようになっており」（第６欄第１４〜１８行）
ｄ「上記説明においては、オリエンテーションフラットOFの研削加工のみについて説明したが、これはワーク１０の外周面１０ｃ全体について特定の削りしろを以って外周面１０ｃ全部を含めた研削加工として行うことも勿論可能である。」（第１０欄第１２〜１６行）
　上記摘載事項ａの、「ウェーハの直径やオリエンテーションフラットを正確な寸法に加工することは、次工程の微細加工時の位置合せ時間を短縮することができる結果となるので、高精度の研削加工が要求される」ことから、ウェーハの外周面についても研削加工し、そのためにウェーハにその軸心を中心として回転（θ）を与えることは明らかであり、また、「オリエンテーションフラットの直線部と外周面との接続面を円弧状に形成すること」から、３軸制御で加工を施す「円弧部」は、オリエンテーションフラットの直線部と外周面に接しており、したがって、刊行物に記載された従来技術も、オリエンテーションフラットの直線部と円弧部を外周加工砥石が常に当接するように連続加工することを前提としていることは明らかである。また、ウェーハと外周加工砥石とに相対的な送りを与えて、両者を当接することにより研削加工を開始することは、技術常識である。
　そうすると、刊行物１には、従来技術として、
「外周にオリエンテーションフラットが形成されたウェーハのウェーハ研削加工方法において、
　回転自在に支持したウェーハを平面で互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石を前記平面に直交する軸の周囲に回転可能に設置し、
　回転する前記外周加工砥石と前記ウェーハとに相対的方向の送りを与え、両者が当接すると、研削加工を開始し、
　前記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの外周面を研削加工し、
　前記外周加工砥石が前記オリエンテーションフラットの円弧部に常に当接するように、前記ウエーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハのオリエンテーションフラットの一方側の円弧部を研削加工し、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハのオリエンテーションフラットの直線部に達すると、前記ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハのオリエンテーションフラットの直線部を研削加工し、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハの他方側の円弧部に達すると、前記外周加工砥石が前記オリエンテーションフラットの円弧部に常に当接するように、前記ウェーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハのオリエンテーションフラットの他方側の円弧部を研削加工して、
　前記ウェーハの外周面、オリエンテーションフラットの直線部、オリエンテーションフラットの円弧部を前記外周加工砥石で研削加工し、オリエンテーションフラットの直線部及びオリエンテーションフラットの円弧部について連続的に研削加工するウェーハ研削加工方法。」の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されているものと認める。
３．対比
　本願の発明と刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「オリエンテーションフラット」は前者の「オリフラ」に相当し、以下、同様に、「外周面」は「円形部」に、「オリエンテーションフラットの円弧部」は「オリフラコーナー」又は「オリフラコーナー部」に、「オリエンテーションフラットの直線部」は「両側のオリフラコーナー間のオリフラ」又は「オリフラ部」に、それぞれ相当することは明らかである。
　そして、後者の「研削加工する」ことは、その限りにおいて、前者の「面取りする」ことと共通している。
　そうすると、両者は、
「外周にオリフラが形成されたウェーハのウェーハ研削加工方法において、
　回転自在に支持したウェーハを平面で互いに直交するＸ軸及びＹ軸方向に移動自在に支持するとともに、回転自在に支持した外周加工砥石を前記平面に直交する軸の周囲に回転可能に設置し、
　回転する前記外周加工砥石と前記ウェーハとに相対的送りを与え、両者が当接すると、研削加工を開始し、
　前記ウェーハに回転を与えて前記ウェーハの円形部を研削加工し、
　前記外周加工砥石が前記オリフラコーナーに常に当接するように、前記ウェーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハの一方側のオリフラコーナーを研削加工し、
　前記ウェーハと前記外周加工砥石との接触点が、前記ウェーハのオリフラに達すると、前記ウェーハにＸ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハのオリフラを研削加工し、
　前記ウェーハと前記外周砥石との接触点が、前記ウェーハの他方側のオリフラコーナーに達すると、前記外周加工砥石が前記オリフラコーナーに常に当接するように、前記ウェーハに回転とＸ軸及びＹ軸方向の送りを与えて、前記ウェーハの他方側のオリフラコーナーを研削加工して、
　前記ウェーハの円形部、オリフラ部、オリフラコーナー部を前記外周加工砥石で研削加工し、オリフラ部及びオリフラコーナー部については連続的に研削加工するウェーハ研削加工方法。」の点で一致し、以下の点で相違している。
（１）本願発明は、ウェーハ面取方法であって、ウェーハを水平面上に支持して、設置した外周加工砥石に向けてウェーハに送りを与えるのに対して、
　刊行物記載の発明は、ウェーハ研削方法であって、ウェーハを水平面上に支持することが不明であり、また、ウェーハと外周加工砥石の何れを送るのか、不明である点。（以下、「相違点１」という。）
（２）本願発明は、外周加工砥石をＹ軸上に設置し、ウェーハにＹ軸方向の送りを与え、外周加工砥石とウェーハとが当接して研削加工を開始する位置がウェーハの円形部であって、次いで一方側のオリフラコーナー、オリフラ、他方側のオリフラコーナーの順に研削加工して、最終的に前記ウェーハの軸心がＹ軸上に位置して、他方側のオリフラコーナーの研削加工を終了し、その後前記ウェーハの残りの円形部を連続的に研削加工するのに対して、
　刊行物記載の発明は、外周加工砥石の回転軸を何処に設置し、研削加工を開始する位置がウェーハのどの部分であるのか不明であって、ウェーハのオリフラ部及びオリフラコーナー部の研削加工後に、残りの円形部を連続的に加工することについては不明である点。（以下、「相違点２」という。）
４．当審の判断
（１）相違点１について
　例えば、特開平７−２０５００１号公報にも記載されている（特に、図６及び実施例２についての記載参照。）ように、ウェーハを水平面上に支持して、設置した外周加工砥石に向けて前記ウェーハに送りを与えてウェーハを面取することは従来周知であり、しかも、刊行物記載の発明において、前記周知技術の適用を阻害する特段の事由も見出せない。
　そうすると、刊行物記載の発明に上記周知技術を適用することにより、相違点１に係る構成を本願発明のようにすることは当業者が容易になし得たことである。
（２）相違点２について
　刊行物には、「ウェーハの円形部を含めて、オリフラ部及びオリフラコーナー部を連続的に研削加工すること」（上記摘記事項ｄ及び第６図参照。）が記載されている（以下、「刊行物記載の事項」という。）。
　したがって、刊行物記載の発明において、オリフラコーナー部は円形部に接していることから、刊行物記載の発明に、上記刊行物記載の事項を適用することにより、ウエーハの全周を連続的に研削加工することは、当業者であれば、容易になし得たことである。
　また、研削加工の開始点をどこにするかは当業者が適宜選定し得ることであって、しかも、本願発明において、円形部から研削加工を開始することに格別の技術的意義を見出せないことからみると、研削加工の開始点を円形部の途中とすることは当業者が容易になし得ることである。
　さらに、刊行物記載の発明において、ウエーハは、回転、Ｘ軸及びＹ軸の３軸制御が可能であって、オリフラの研削加工にはＸ軸制御のみで行い、また、外周加工砥石との相対的移動により研削加工を開始することから、当初位置の外周加工砥石の回転軸とウエーハの回転軸を結んだ線をＹ軸とすることは、当業者であれば何ら困難性なく採用し得る設計的事項にすぎない。
　したがって、刊行物記載の発明において、まず、ウェーハにＹ軸方向の送りを与えて、外周加工砥石とウェーハとが当接して研削加工を開始する位置が円形部であって、次いで、一方側のオリフラコーナー、オリフラ、他方側のオリフラコーナーの順に研削加工を終了し、残りの円形部を研削加工するようにすることは当業者が容易になし得ることである。
　してみると、刊行物記載の発明に上記刊行物記載の事項を適用することにより、相違点２に係る構成を本願発明のようにすることは当業者が容易に想到し得たことである。
　そして、本願発明の奏する効果も刊行物記載の発明、刊行物記載の上記事項及び上記周知技術から当業者が予測できる範囲にすぎないものである。
　したがって、本願発明は、刊行物記載の発明、刊行物記載の上記事項及び上記周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
５．むすび
　以上の通りであるから、本願の請求項２ないし３に係る発明について検討するまでもなく、結論のとおり審決する。