(57)【要約】【課題】石英ガラス塊を加熱加圧成形する際、座屈などの成形異常を抑制して、残留歪の少ない均質な石英ガラスを成形することができる成形方法及び成形装置を提供する。【解決手段】石英ガラス塊２５をモールド１５内に収容して加熱し、加圧部２３を移動させることにより、石英ガラス塊２５を対向部１８との間で加圧して所定形状に成形する方法において、石英ガラス塊２５の温度分布を、加圧部２３側が対向部１８側より高温となるように調整して加圧する。【選択図】  図１
2004307266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英ガラス塊をモールド内に収容して加熱し、加圧部を移動させることにより、前記石英ガラス塊を対向部との間で加圧して所定形状に成形する方法において、
前記石英ガラス塊の温度分布を、前記加圧部側が前記対向部側より高温となるように制御した状態で、前記加圧部により加圧することを特徴とする石英ガラスの成形方法。
【請求項２】
前記石英ガラス塊の温度分布の幅が、５℃以上５０℃以下であることを特徴とする請求項１に記載の石英ガラスの成形方法。
【請求項３】
石英ガラス塊を収容可能な中空部を有するモールドと、前記中空部に移動可能に配置された加圧部と、前記中空部に収容された前記石英ガラス塊を加熱する加熱手段とを備え、前記石英ガラス塊を前記加熱手段で加熱しつつ、前記加圧部を前記モールドの底部側に移動させることにより、該石英ガラス塊を加圧して所定形状に成形する装置であって、
前記加熱手段が、前記石英ガラス塊の前記加圧部側を前記底部側より高温となるように加熱するものであることを特徴とする石英ガラスの成形装置。
【請求項４】
前記加熱手段は、前記モールドの側面側に配置され、前記加圧部側と前記底部側とで発熱量を独立して調整可能に構成されていることを特徴とする請求項３に記載の石英ガラスの成形装置。
【請求項５】
前記加熱手段は、前記モールドの底面側に配置されて、前記石英ガラス塊の底面部を加熱する底部ヒータを有することを特徴とする請求項３又は４に記載の石英ガラスの成形装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、モールド内に石英ガラスを収容して加熱しつつ、加圧して均質な石英ガラスを所定形状に成形するための成形方法及び成形装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＩＣ、ＬＳＩ等の集積回路パターン転写には、主に投影露光装置（または、光リソグラフィ装置）が用いられる。この装置に用いられる投影光学系には、集積回路の高集積化に伴い、広い露光領域と、その露光領域全体にわたって、より高い解像力が要求される。投影光学系の解像力の向上については、露光波長をより短くするか、あるいは、投影光学系の開口数（ＮＡ）を大きくすることが行われる。
【０００３】
露光波長については、ｇ線（４３６ｎｍ）からｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦ（２４８ｎｍ）やＡｒＦ（１９３ｎｍ）エキシマレーザーへと短波長化が進められている。また、更に高集積化を進めるに当たって、現在、Ｆ２（１５７ｎｍ）エキシマレーザ，Ｘ線，電子線を光源に用いる方法が検討されている。この中で、これまでの設計思想を生かして作製することが可能なＦ２エキシマレーザを用いた縮小投影露光装置がにわかに脚光を浴びてきている。
【０００４】
一般に、ｉ線より長波長の光源を用いた縮小投影露光装置の照明光学系あるいは投影光学系のレンズ部材として用いられる光学ガラスは、ｉ線よりも短い波長領域では光透過率が急激に低下し、特に２５０ｎｍ以下の波長領域ではほとんどの光学ガラスでは透過しなくなる。そのため、エキシマレーザを光源とした縮小投影露光装置の光学系を構成するレンズの材料には、石英ガラスとフッ化カルシウム結晶のみが使用可能である。この２つの材料はエキシマレーザの結像光学系で色収差補正を行う上で不可欠な材料である。
【０００５】
縮小投影露光装置でウェハー上に回路を焼き付けるためのもう一つの重要な要素としてレチクルが挙げられる。このレチクルに用いられる材料としては、エキシマレーザ耐久性はもとより、基板の発熱による熱膨張が大きな問題になるため、耐久性が良好でなおかつ熱膨張係数の小さい、直接法と呼ばれる方法（火炎加水分解により透明石英ガラスを製造する方法）で合成された石英ガラスが用いられている。
【０００６】
直接法では、石英ガラス製バーナにて支燃性ガス（酸素含有ガス、例えば酸素ガス）及び可燃性ガス（水素含有ガス、例えば水素ガスあるいは天然ガス）を混合・燃焼させ、前記バーナの中心部から原料ガスとして高純度のケイ素化合物（例えば四塩化ケイ素ガス）をキャリアガス（通常酸素ガス）で希釈して噴出させ、前記原料ガスを周囲の前記酸素ガス及び水素ガスの燃焼により反応（加水分解反応）させて石英ガラス微粒子を発生させ、その前記石英ガラス微粒子を、前記バーナ下方に配置され、回転および揺動および引き下げ運動を行う不透明石英ガラス板からなるターゲット上に堆積させ、同時に前記酸素ガス及び水素ガスの燃焼熱により溶融・ガラス化して石英ガラスインゴットを得ている。
【０００７】
この方法によると、比較的大きな径の石英ガラスインゴットを得易いため、インゴットからブロックを切り出して所望の形状，大きさの光学部材を製造することができる。
【０００８】
また、近年、大型のレンズやレチクル、或いは大型の液晶ディスプレイ等、広い面積の面を有する光学部材を得るため、予め形成されたインゴット等の石英ガラス塊を加熱加圧成形することにより扁平形状にして面積を拡大する成形方法が利用されている。
【０００９】
この成形方法では、石英ガラス塊をモールド内に収容して加熱した状態で、加圧板により加圧することにより成形を行い、その後モールド内で徐冷したり、更にアニール処理を行い、１対向面の面積が拡大された所定形状の成形体を得ることができる。
【００１０】
このような加熱加圧成形を行うものとして、例えば、グラファイト製のモールド内で、絶対圧が  ０．１Ｔｏｒｒ以上大気圧以下へのヘリウムガス雰囲気下に、１７００℃以上の温度に加熱加圧成形し、ついで１１００〜１３００℃まで急冷する方法が知られている。また、石英ガラスとモールドの型材との熱膨張率差に起因する応力を緩和する構造を有するグラファイト製のモールドを用いて１６００℃〜１７００℃で加圧成形する方法（下記、特許文献１参照。）や、そのグラファイト製のモールドが２分割以上の縦型構造である成型装置が提案されている（下記、特許文献２及び３参照。）。更には、黒鉛製のモールド内面に石英粉末からなる被覆層を設けて、１５５０℃〜１７００℃で加圧成形する方法（下記、特許文献４参照。）も知られている。
【００１１】
【特許文献１】
特公平４−５４６２６号公報。
【００１２】
【特許文献２】
特開昭５６−１２９６２１号公報。
【００１３】
【特許文献３】
特開昭５７−６７０３１号公報。
【００１４】
【特許文献４】
特開２００２−２２０２０号公報。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の加熱加圧成形では、均一に加熱可能なヒータで所定温度に加熱されたチャンバー内に、石英ガラス塊を収容したモールドを所定時間保持して石英ガラスを成形可能温度に昇温していた。そのため、円柱状或いは角柱状の石英ガラス塊を長手方向に加圧して成形する場合、石英ガラス塊の略全体が一様に成形可能温度に昇温されて軟化されているため、加圧途中で石英ガラス塊が中間部分や下部で変形して折れる現象、所謂、座屈を生じることがあった。
【００１６】
ところが、座屈を生じて、石英ガラス塊の中間部分や下部から成形されると、座屈部分は境界面となって多数の気泡が発生し、また得られる石英ガラスの残留歪が大きくなり、光学的に不均質になり易いことが明らかになった。
【００１７】
特に、昨今の大面積を一括露光するために要求される大型のレンズ、ミラー、レチクル等の光学部材を形成する場合には、より大きな石英ガラス塊を用いて、大型の成形装置のチャンバー内でより長時間加熱しなければならず、更に座屈が生じ易く、光学的に不均質になり易かった。
【００１８】
そこで、この発明では、石英ガラス塊を加熱加圧成形する際、座屈などの成形異常を抑制して、残留歪の少ない均質な石英ガラスを成形することができる成形方法及び成形装置を提供することを目的とする。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する請求項１に記載の発明は、石英ガラス塊をモールド内に収容して加熱し、加圧部を移動させることにより、前記石英ガラス塊を対向部との間で加圧して所定形状に成形する方法において、前記石英ガラス塊の温度分布を、前記加圧部側が前記対向部側より高温となるように制御した状態で、前記加圧部により加圧することを特徴とする。
【００２０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１の構成に加え、前記石英ガラス塊の温度分布の幅が、５℃以上５０℃以下であることを特徴とする。
【００２１】
更に、請求項３に記載の発明は、石英ガラス塊を収容可能な中空部を有するモールドと、前記中空部に移動可能に配置された加圧部と、前記中空部に収容された前記石英ガラス塊を加熱する加熱手段とを備え、前記石英ガラス塊を前記加熱手段で加熱しつつ、前記加圧部を前記底部側に移動させることにより、該石英ガラス塊を加圧して所定形状に成形する装置であって、前記加熱手段が、前記石英ガラス塊の前記加圧部側を前記モールドの底部側より高温となるように加熱するものであることを特徴とする。
【００２２】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の構成に加え、前記加熱手段は、前記モールドの側面側に配置され、前記加圧部側と前記底部側とで発熱量を独立して調整可能に構成されていることを特徴とする。
【００２３】
更に、請求項５に記載の発明は、請求項３又は４に記載の構成に加え、前記加熱手段は、前記モールドの底面側に配置されて、前記石英ガラス塊の底面部を加熱する底部ヒータを有することを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
［実施の形態１］
以下、この発明の実施の形態１について説明する。
【００２５】
図１はこの実施の形態の成形装置を示す。
【００２６】
この成形装置１０は、四塩化ケイ素、シラン、有機ケイ素等のケイ素化合物を原料として製造される合成石英ガラスのインゴットやその一部、または、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｂ、Ｆ、Ａｌ等の屈折率を変化させる成分を添加した合成石英ガラスのインゴットやその一部等の石英ガラス塊から、例えば、大型の液晶用マスク、半導体用マスク等のレチクル（フォトマスク）用基板、結像光学系の大型のレンズ材料などのように広い面を有する板状体やその他の大型ガラスブロックを成形するための装置である。
【００２７】
この成形装置１０では、金属製の真空チャンバー１１の内壁に、全面にわたって設けられた断熱材１２と、断熱材１２の縦壁内に設けられた加熱手段としての複数のカーボンヒータ１３ａ、１３ｂとが設けられ、更に、真空チャンバー１１内部の略中央部に中空部２１を有するモールド１５が収容されている。ここでは、カーボンヒータ１３ａ、１３ｂはそれぞれ独立して発熱量を調整可能に構成されており、モールド１５の側面側の全周囲に上下に並べて配置されている。
【００２８】
モールド１５は、底板１６及び受板１７を備えた底部１８と、底部１８の上部に筒状に形成された側壁部２０とを備え、この筒状の側壁部２０と底部１８とにより中空部２１が形成されている。
【００２９】
この中空部２１には、中空部２１の形状に対応する形状の加圧部としての天板２３が配置され、天板２３の押圧面２３ｂ（上面）を、真空チャンバー１１の外部に配設された成形手段としての油圧シリンダのシリンダロッド２６で押圧することにより、対向面としてのモールド１５の底部１８側に移動可能となっている。
【００３０】
なお、このシリンダロッド２６を備えた油圧シリンダは、外部から供給する油圧を調整することにより加圧されて移動するように構成されているが、詳細な図示は省略されている。
【００３１】
これらのモールド１５及び天板２３は、塊状の石英ガラス２５の成形時の温度及び圧力に対する耐熱性及び強度を有し、且つ、成形時に塊状の石英ガラス２５と接触しても不純物を混入し難い材料から形成されており、ここでは全てグラファイトにより形成されている。
【００３２】
次に、以上のような構成の成形装置１０を用いて、この実施の形態の方法により、塊状の石英ガラス２５を成形する場合について説明する。まず、真空チャンバー１１内に底板１６、受板１７、側壁部２０を組合わせてモールド１５を形成する。そして、モールド１５の中空部２１内に塊状の石英ガラス２５を配置する。この実施の形態では、塊状の石英ガラス２５として合成石英ガラスインゴットを用いており、リードタイムの短縮化のために、モールド１５の中空部２１に収容する前に、予め３００℃未満の温度で余熱したものを用いるのが好ましい。
【００３３】
そして、中空部２１内に収容した塊状の石英ガラス２５の上部に天板２３を配置し、更に、天板２３の押圧面２３ｂに油圧シリンダのシリンダロッド２６の押圧部位２６ａを当接させてセットする。そして、真空チャンバー１１内を不活性ガスで置換し、真空チャンバー１１内を圧力を、例えば１×１０４Ｐａ〜１×１０５Ｐａとする。
【００３４】
次に、カーボンヒータ１３ａ、１３ｂにより、モールド１５及びその中空部２１に収容された塊状の石英ガラス２５を加熱する。この加熱時には、まず、カーボンヒータ１３ａ、１３ｂを発熱させて、真空チャンバー１１内を５００〜１０００℃／ｈｒの昇温速度で昇温する。そして、モールド１５の上部側、即ち、天板２３側のカーボンヒータ１３ａの発熱量を増加させて、塊状の石英ガラス２５の天板２３側（即ち、上部）の温度が受板１７側（即ち、下部）よりも高くなるように、カーボンヒータ１３ａ、１３ｂの発熱量を制御する。
【００３５】
この状態で、塊状の石英ガラス２５の内部まで十分に加熱される程度の時間、例えば１５〜４５分間保持することにより、塊状の石英ガラス２５の温度分布の幅、即ち、天板２３側の頂部２５ａとモールド１５の底部１８側の底面部２５ｂとの温度差を５℃以上５０℃以下とすることができる。ここでは、塊状の石英ガラス２５の温度分布が５℃未満であると、十分な座屈抑制効果が小さくなり、一方、５０℃より高いと、十分な座屈抑制効果は得られるものの、石英ガラス２５の加圧方向の温度勾配が大き過ぎるため、石英ガラス２５の加圧変形が狭い範囲で起こり、その結果、加圧変形に要する時間が長くなり、種々の不具合が生じる。例えば、不純物による汚染が大きくなり、また、一回の成形に要するサイクルタイムが長くなることによって生産効率が低下し、更に屈折率の均質性が低下する。
【００３６】
更に、この成形に際しては、塊状の石英ガラス２５の全体の温度を、結晶化温度以上軟化点以下、具体的には１５７０℃〜１６７０℃の成形温度に昇温するのが好ましいが、成形の開始段階で、塊状の石英ガラス２５の頂部２５ａ付近を加圧する時点では、少なくとも頂部２５ａ側が、成形温度に到達していればよい。
【００３７】
そして、このように塊状の石英ガラス２５を加熱した状態で、油圧シリンダへの油圧を制御調整することにより、シリンダロッド２６を下方へ移動させて、シリンダロッド２６の押圧部位２６ａで天板２３の押圧面２３ｂを押圧する。これにより、天板２３がモールド１５の底部１８側の加圧方向へ移動し、天板２３の加圧面２３ａの底部１８との間で塊状の石英ガラス２５が加圧される。
【００３８】
すると、石英ガラス２５は頂部２５ａ側が底面部２５ｂ側より高温となっているため、頂部２５ａ側が底面部２５ｂ側より変形し易く、天板２３の加圧面２３ａにより加圧されると、頂部２５ａ側から順次変形されることになる。
【００３９】
このとき、天板２３の下降速度を、例えば５〜１５ｃｍ／ｍｉｎとすることにより、より頂部２５ａ側から変形させ易くできる。
【００４０】
また、成形時に天板２３から加える圧力は、成形初期の段階で天板２３の圧力を小さくし、最終段階で最大加圧力となるようにするのが好ましく、例えば、初期の段階では天板２３の加圧面２３ａの単位面積当りに換算した圧力を０．３〜１．５Ｋｇ／ｃｍ２とし、成形の最終段階では１．０〜５．０Ｋｇ／ｃｍ２とすることができる。このような範囲とすることによっても、頂部２５ａ側から変形させ易くできる。
【００４１】
そして、石英ガラス２５が所定形状の板状体に成形された段階で、天板２３による加圧を終了する。その後、板状に成形された石英ガラス２５を、モールド１５内に配置した状態のままで冷却し、真空チャンバ１１から成形体を取り出すことにより成形が完了する。
【００４２】
以上のようにして、塊状の石英ガラス２５を成形すれば、モールド１５の中空部２１に収容された塊状の石英ガラス２５を、天板１３側の頂部２５ａをモールド１５の底部１８側より高温となるようにカーボンヒータ１３ａ、１３ｂで加熱するので、塊状の石英ガラス２５の天板２３側が底部１８側より成形され易く、成形時に天板２３で塊状の石英ガラス２５を加圧すると、天板２３側から順に成形することができる。そのため、成形途中に中空部２１内の塊状の石英ガラス２５が座屈を生じにくく、得られる板状の石英ガラス２５の残留歪みを抑えることができ、均質な板状体が得られる。
【００４３】
また、ここでは、発熱量を独立して調整可能なカーボンヒータ１３ａ、１３ｂを、モールド１５の側面側加圧方向に並べて配置したので、モールド１５の中空部２１内に収容された塊状の石英ガラス２５を、加圧方向に温度分布を形成するように加熱し易い。
【００４４】
なお、上記実施の形態１では、結晶化温度以上軟化点温度以下の温度で成形する例について説明したが、成形温度は石英ガラス２５の結晶化温度以上であればよく、例えば一部を軟化点より高い温度にして成形することも可能である。
【００４５】
また、上記では、加熱手段として、発熱量が異なる２つのカーボンヒータ１３ａ、１３ｂを用いた例を示したが、３つ以上のヒータを配置することも可能である。また、１つのヒータをモールド１５の側面に配置し、部分的に発熱量を異ならせたり、１つの発熱量が均一なヒータを用いて、底面部２５ｂ側を遮蔽板等で遮蔽することにより加熱量を異ならせることも可能である。
【００４６】
［実施の形態２］
実施の形態２の成形装置では、図２に示すように、断熱材１２の縦壁内に、モールド１５の天板２３側の側面に配置されたカーボンヒータ１３と、モールド１５の底部１８にリング形状に埋設されて塊状の石英ガラス２５の底面部２５ｂを加熱する底部ヒータ２７とが設けられている。その他は、実施の形態の１と同様に構成されている。
【００４７】
このような成形装置１０であっても、カーボンヒータ１３と底部ヒータ２７との発熱量を調整することにより、塊状の石英ガラス１５の頂部２５ａ側を底面部２５ｂ側より高温となるように加熱することができ、成形途中の塊状の石英ガラス２５に座屈が生じることを抑制できる。
【００４８】
しかも、このように石英ガラス２５の底面部２５ｂを加熱する底部ヒータ２７を備えると、塊状の石英ガラス２５の内部を加熱し易く、加圧方向と直交する断面が大きい塊状の石英ガラス２５であっても、内部まで加熱し易く、成形を容易にすることができる。
【００４９】
なお、この実施の形態２では、モールド１５の側面側に配置されたカーボンヒータ１３は全面で均一に発熱量が得られるものを用いたが、図１のように、モールド１５の側面側に複数のカーボンヒータを配置することも可能である。
【００５０】
【実施例】
以下、実施例について説明する。
【００５１】
実施例１
図１に示すような成形装置を用い、直径５０ｃｍで高さが７０ｃｍの合成石英ガラスインゴットからなる塊状の石英ガラス２５から、一辺が１００ｃｍの正方形形状で厚さが１３．７ｃｍの板状の石英ガラス２５を成形した。
【００５２】
この成形では、真空ポンプにて、真空チャンバー１１内の圧力を０．６７Ｐａまで減圧した後、純粋な窒素ガスを圧力１０ｋＰａまで充填させた後、４００℃／ｈｒの昇温速度で、塊状の石英ガラス２５の頂部２５ａに相当する部分のモールド１５の温度が１６４０℃、底面部２５ｂに相当する部分のモールド１５の温度が１６２０℃で、分布の幅が２０℃となるように制御して昇温し、その後、４０分間保持した。
【００５３】
このとき、モールド１５の温度は二色温度計により測定した。
【００５４】
その後、シリンダロッド２６により、初期荷重を５ｔｏｎ、プレス速度を１ｍｍ／ｓｅｃにて天板２３を押圧し、インゴットの成形を行った。プレス荷重が２５ｔｏｎとなった時点で加圧を終了し、冷却した。
【００５５】
得られた板状体を直交クロスニコル法により歪を観察したところ、成形途中の座屈に起因するような歪は見られなかった。
【００５６】
実施例２
図２に示すような成形装置を用い、頂部２５ａに相当する部分のモールド１５の温度が１６５０℃、底面部２５ｂに相当する部分のモールド１５の温度が１６００℃で、分布の幅が５０℃となるように昇温した他は、実施例１と同様にして板状体の石英ガラス２５を成形した。
【００５７】
得られた板状体を直交クロスニコル法により歪を観察したところ、成形途中の座屈に起因するような歪は見られなかった。
【００５８】
実施例３
頂部２５ａに相当する部分のモールド１５の温度を１６５０℃、底面部２５ｂに相当する部分のモールド１５の温度を１５５０℃、分布の幅を１００℃とした他は、実施例１と同様にして板状体の石英ガラス２５を成形した。
【００５９】
得られた板状体のを直交クロスニコル法により歪を観察したところ、成形途中の座屈に起因するような歪は確認できなかったものの、成形前に比べて若干の不純物の混入が認められた。また、屈折率の均質性の悪化が認められた。
【００６０】
比較例１
カーボンヒータ１３ａ及び１３ｂに相当する大きさの１つのカーボンヒータを装着している他は、図１と同一の成形装置を用い、カーボンヒータを均一に発熱させることにより昇温する他は、実施例１と同じ手順で板状体の石英ガラスを成形した。この成形時には、頂部２５ａに相当する部分のモールド１５の温度が１６７０℃、底面部２５ｂに相当する部分のモールド１５の温度が１６６７℃で、分布の幅は３℃となっていた。
【００６１】
得られた板状体を直交クロスニコル法により歪を観察したところ、成形途中の座屈に起因するスジ状の歪が確認できた。また、そのスジ状の歪発生部位付近に多数の気泡が面状に連なり発生していた。この部位が座屈部と推測される。
【００６２】
比較例２
頂部２５ａ及び底面部２５ｂに相当する部分のモールド１５の温度を共に１６３０℃とした他は、実施例１と同様にして板状体の石英ガラスを成形した。
【００６３】
得られた板状体を直交クロスニコル法により歪を観察したところ、成形途中の座屈に起因する  スジ状の歪が確認できた。また、そのスジ状の歪発生部位付近に上記の比較例１と同様に面状に連なった多数の気泡が発生していた。
【００６４】
【発明の効果】
以上詳述の通り、請求項１に記載の発明によれば、石英ガラス塊の温度分布を、加圧部側が対向部側より高温となるように調整して加圧するので、石英ガラス塊の加圧部側が対向部側より成形され易くて、加圧時に加圧部側から順に成形することが可能となる。そのため、成形途中で石英ガラス塊の座屈が生じ難く、残留歪みを抑えて均質に石英ガラスを成形し易い。
【００６５】
更に、請求項２に記載の発明によれば、石英ガラス塊の温度分布の幅が５℃以上５０℃以下であるので、成形途中に座屈が生じることをより確実に抑制することができる。
【００６６】
また、請求項３に記載の発明によれば、モールドの中空部に収容された石英ガラス塊を加熱する加熱手段が、石英ガラス塊の加圧部側を底部側より高温となるように加熱するものであるので、成形時に加圧部をモールドの底部側に移動させて石英ガラス塊を加圧すると、加圧部側から順に成形することが可能である。そのため、成形途中にモールドの中空部内で石英ガラス塊が座屈を生じにくく、所定形状に成形した石英ガラスの残留歪みを抑えて、均質に成形体を成形し易い。
【００６７】
更に、請求項４に記載の発明によれば、加熱手段がモールドの側面側に配置され、加圧部側と前記底部側とで発熱量を独立して調整可能に構成されているので、モールドの中空部内に収容された石英ガラス塊の温度を調整し易い。
【００６８】
また、請求項５に記載の発明によれば、モールドの底面側に配置されて、石英ガラス塊の底面部を加熱する底部ヒータを有しているので、石英ガラス塊の内部まで加熱し易く、加圧方向と直交する断面が大きい石英ガラス塊の場合であっても、内部まで加熱できて成形がより容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の成形装置の一部を示す概略縦断面図である。
【図２】この発明の実施の形態２の成形装置の一部を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
１０  成形装置
１１  真空チャンバ
１３、１３ａ、１３ｂ  カーボンヒータ
１５  モールド
１８  底部
２０  側壁部
２１  中空部
２３  天板（加圧板）
２５  石英ガラス塊
２６  シリンダロッド（成形手段）
２７  底部ヒータ
【図１】
2004307266.tif 000003
【図２】
2004307266.tif 000004