【手続補正書】
【提出日】平成24年2月20日(2012.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学モジュールと、
支持構造部と、
結合装置と
を備える、特にマイクロリソグラフィ用の光学装置であって、
前記結合装置が、第１結合部と第２結合部とを有する少なくとも１つの結合ユニットを備え、
前記第１結合部が前記光学モジュールに結合されており、前記第２結合部が前記支持構造部に結合されており、
前記第１結合部が、第１主曲率を有する第１接触面を備え、前記第１主曲率は第１主曲率軸線を規定し、
前記第２結合部が、第２主曲率を有する第２接触面を備え、前記第２主曲率は第２主曲率軸線を規定し、
前記第２主曲率が前記第１主曲率に適合されており、組付け状態で前記第１接触面が前記第２接触面に接触する光学装置において、
前記結合装置が、第１結合部および第２結合部に作用する位置決め装置の少なくとも一部を備え、
該位置決め装置が、組付け状態となる前の調整状態で前記第１接触面と前記第２接触面との間の狭い間隙を非接触に保持するように構成されており、前記第１接触面と前記第２接触面との間における前記第１主曲率軸線を中心とした補償のための移動が、前記第１結合部と前記第２結合部との間に前記補償のための移動により力作用が生じることなしに可能となり、
前記位置決め装置は、力発生装置を有し、該力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に前記間隙を拡大する力に対する反力として作用する引っ張り力を加えるように構成されている
ことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学装置において、
前記間隙を拡大する力が、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合部に作用する反力により生じる光学装置。
【請求項３】
請求項１に記載の光学装置において、
前記第１接触面と前記第２接触面との間の狭い間隙を保持するための前記位置決め装置が、力発生装置を有し、
該力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に前記間隙を縮小する力に対する反力として作用する当接力を加えるように構成されている光学装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光学装置において、
前記間隙を縮小する力が、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合部に作用する重量により生じる光学装置。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記第１接触面と前記第２接触面との間の狭い間隙を保持するための前記位置決め装置が、力発生装置を有し、
該力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に電気式作動原理および／または磁気式作動原理および／または流体力学式作動原理にしたがって力作用を加えるように構成されている光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に電磁式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に少なくとも１つの結合部が、前記力発生装置の導電性部分を有し、該導電性部分に、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために電流を印可可能である光学装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に静電式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に前記少なくとも１つの結合部が、前記力発生装置の導電性部分を有し、該導電性部分に、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために電荷を印可可能である光学装置。
【請求項８】
請求項５から７までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に流体力学式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記少なくとも１つの結合部が供給装置を備え、該供給装置によって、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために流体流、特にクリーンルーム・圧縮空気流を前記間隙に供給可能である光学装置。
【請求項９】
請求項１から８までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、力発生装置、検出装置、前記力発生装置および前記検出装置に接続された制御装置を備え、
前記検出装置が、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な測定信号を前記制御装置に伝達するように構成されており、
前記制御装置が、前記測定信号および目標値から、前記力発生装置のための制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達するように構成されており、
該力発生装置が、前記狭い間隙を保持するために、前記制御信号に関連して、前記第１結合部と前記第２結合部との間に力作用を生成するように構成されている光学装置。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記第１結合部または前記第２結合部が、第１結合素子および第２結合素子を備え、
前記第１結合素子が、第３主曲率を有する第３接触面を備え、前記第３主曲率は第３主曲率軸線を規定し、
前記第２結合素子が、第４主曲率を有する第４接触面を備え、前記第４主曲率は第４主曲率軸線を規定し、
前記第４主曲率が前記第３主曲率に適合されており、組付け状態で前記第３接触面が前記第４接触面に接触し、
前記結合装置が、前記第１結合素子および前記第２結合素子に作用する前記位置決め装置の少なくとも一部を備え、
該位置決め装置が、調整状態で前記第３接触面と前記第４接触面との間の狭い第２間隙を非接触に保持するように構成されており、前記第３接触面と前記第４接触面との間における前記第３主曲率軸線を中心とした第２の補償のための移動が、前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に前記第２の補償のための移動により力作用が生じることなしに可能となる光学装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、前記第３接触面と前記第４接触面との間の狭い第２間隙を保持するために力発生装置を有し、
該力発生装置が、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に前記第２間隙を拡大する力に対する反力として作用する引っ張り力を加えるように構成されている光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光学装置において、
前記第２間隙を拡大する力が、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合素子に作用する重量により生じる光学装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の光学装置において、
前記第３接触面と前記第４接触面との間の狭い第２間隙を保持するための前記位置決め装置が、力発生装置を有し、
該力発生装置が、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に、前記第２間隙を縮小する力に対する反力として作用する当接力を加えるように構成されている光学装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光学装置において、
前記第２間隙を縮小する力が、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合素子に作用する重量により生じる光学装置
【請求項１５】
請求項１から１４までのいずれか一項に記載の光学装置において、
第３接触面と第４接触面との間の狭い第２間隙を保持するための前記位置決め装置が、力発生装置を有し、
該力発生装置が、前記狭い第２間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に第１結合素子と第２結合素子との間に電気式作動原理および／または磁気式作動原理および／または流体力学式作動原理にしたがって保持するように構成されている光学装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い第２間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に電磁式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に少なくとも１つの結合素子が、前記力発生装置の導電性部分を有し、該導電性部分に、前記狭い第２間隙を保持する力作用を生成するために電流を印可可能である光学装置。
【請求項１７】
請求項１５または１６に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い第２間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に静電式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に前記少なくとも１つの結合素子が、前記力発生装置の導電性部分を有し、該導電性部分に、前記狭い第２間隙を保持する力作用を生成するために電荷を印可可能である光学装置。
【請求項１８】
請求項１５から１７までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記力発生装置が、前記狭い第２間隙を保持するために前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に流体力学式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に少なくとも１つの前記結合素子が供給装置を備え、該供給装置によって、前記狭い第２間隙を保持する力作用を生成するために流体流、特にクリーンルーム・圧縮空気流を前記間隙に供給可能である光学装置。
【請求項１９】
請求項１０から１８までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、力発生装置、検出装置、前記力発生装置および前記検出装置に接続された制御装置を備え、
前記検出装置が、前記第１結合素子と前記第２結合素子との間の第２間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な第２測定信号を前記制御装置に伝達し、
前記制御装置が、前記第２測定信号および第２目標値から、前記力発生装置のための第２制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置が、前記狭い第２間隙を保持するために、前記第２制御信号に関連して、前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に力作用を生成する光学装置。
【請求項２０】
請求項１から１９までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記結合装置が、別の結合ユニットを備え、該別の結合ユニットが、前記光学モジュールに結合された第３結合部および前記支持構造部に結合された第４結合部を備え、
前記第３結合部が、第５主曲率を有する第５接触面を備え、前記第５主曲率は第５主曲率軸線を規定し、
前記第４結合部が、第６主曲率を有する第６接触面を備え、前記第６主曲率は第６主曲率軸線を規定し、
前記第６主曲率が前記第５主曲率に適合されており、組付け状態で前記第５接触面が前記第６接触面に接触し、
前記結合装置が、前記第３結合部および前記第４結合部に作用する前記位置決め装置の少なくとも一部を備え、
該位置決め装置が、調整状態で前記第５接触面と前記第６接触面との間の狭い第３間隙を非接触に保持するように構成されており、前記第５接触面と前記第６接触面との間における前記第５主曲率軸線を中心とした第３の補償のための移動が、前記第３結合部と前記第４結合部との間に前記第３の補償のための移動により力作用が生じることなしに可能となる光学装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、前記第１結合部と前記第２結合部との間の狭い間隙および前記第３結合部と前記第４結合部との間の狭い間隙をほぼ同期的に縮小するように構成されている光学装置。
【請求項２２】
請求項２０または２１に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、前記第１結合部と前記第２結合部との間の狭い間隙および前記第３結合部と前記第４結合部との間の狭い間隙を縮小し、前記第１接触面および前記第２接触面ならびに前記第５接触面および第６接触面がほぼ同時に相互に接触させるように構成されている光学装置。
【請求項２３】
請求項２０から２２までのいずれか一項に記載の光学装置において、
前記位置決め装置が、力発生装置、検出装置、前記力発生装置および前記検出装置に接続された制御装置を備え、
前記検出装置が、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙の寸法を表す第１の値を検出し、適宜な第１測定信号を前記制御装置に伝達し、前記第３結合部と前記第４結合部との間の間隙の寸法を表す第２の値を検出し、適宜な第２測定信号を前記制御装置に伝達し、
前記制御装置が、前記第１測定信号、第２測定信号および少なくとも１つの目標値から、前記力発生装置のための制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置が、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更ならびに前記第３結合部と前記第４結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更を行うために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に第１力作用を生成し、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第３結合部と前記第４結合部との間に第２力作用を生成する光学装置。
【請求項２４】
特にマイクロリソグラフィのための、光学モジュールを支持構造部に結合する方法であって、
光学モジュールが結合装置を介して支持構造部に結合され、
前記結合装置が、第１結合部および第２結合部を有する少なくとも１つの結合ユニットを備え、
前記第１結合部が前記光学モジュールに結合されており、前記第２結合部が前記支持構造部に結合されており、
前記第１結合部が、第１主曲率を有する第１接触面を備え、前記第１主曲率が第１主曲率軸線を規定し、
前記第２結合部が、前記第１主曲率軸線に適合された第２主曲率を備え、該第２主曲率は第２主曲率軸線を規定し、
前記光学モジュールと前記支持構造部とが、組付け状態で第１接触面が第２接触面に接触するように相互に接近させられる方法において、
組付け状態となる前の調整状態で第１接触面と第２接触面との間の狭い間隙を非接触に保持し、前記第１接触面と前記第２接触面との間における前記第１主曲率軸線を中心とした補償のための移動を、前記第１結合部と前記第２結合部との間に補償のための移動により力作用が生じることなしに可能とすることを特徴とする方法。
【請求項２５】
請求項２４に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、前記間隙を拡大する力に対する反力として作用する引っ張り力を加える方法。
【請求項２６】
請求項２５に記載の方法において、
前記間隙を拡大する力を、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合部に作用する重量により生成する方法。
【請求項２７】
請求項２４に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、前記間隙を縮小する力に対する反力として作用する当接力を加える方法。
【請求項２８】
請求項２５に記載の方法において、
前記間隙を縮小する力を、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合部に作用する重量により生成する方法。
【請求項２９】
請求項２４から２８のいずれか一項に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、電気式作動原理および／または磁気式作動原理および／または流体力学式作動原理にしたがって力作用を加える方法。
【請求項３０】
請求項２９に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に電磁式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に少なくとも１つの前記結合部に、前記力発生装置の導電性部分を設け、該導電性部分に、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために電流を印可する方法。
【請求項３１】
請求項２９または３０に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に静電式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に前記少なくとも１つの結合部に、前記力発生装置の導電性部分を設け、該導電性部分に、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために電荷を印可する方法。
【請求項３２】
請求項２９から３１までのいずれか一項に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に流体力学式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために、流体流、特にクリーンルーム・圧縮空気流を前記間隙に供給する方法。
【請求項３３】
請求項２４から３２までのいずれか一項に記載の方法において、
前記検出装置によって、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な測定信号を制御装置に伝達し、
前記制御装置により、前記測定信号および目標値から制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置により、前記狭い間隙を保持するために、前記制御信号に関連して、前記第１結合部と前記第２結合部との間に力作用を生成する方法。
【請求項３４】
請求項２４から３３までのいずれか一項に記載の方法において、
前記第１結合部または前記第２結合部に、第１結合素子および第２結合素子を設け、
前記第１結合素子に、第３主曲率を有する第３接触面を設け、前記第３主曲率により第３主曲率軸線を規定し、
前記第２結合素子に、第４主曲率を有し、前記第３主曲率に適合された第４接触面を設け、前記第４主曲率により第４主曲率軸線を規定し、
前記光学モジュールと前記支持構造部とを、組付け状態で前記第３接触面が前記第４接触面に接触するように相互に接近させ、
調整状態で前記第３接触面と前記第４接触面との間の狭い第２間隙を非接触に保持し、前記第３接触面と前記第４接触面との間における前記第３主曲率軸線を中心とした第２の補償のための移動を、前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に前記第２の補償のための移動により力作用が生じることなしに可能とする方法。
【請求項３５】
請求項３４に記載の方法において、
前記狭い第２間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、前記第２間隙を拡大する力に対する反力として作用する引っ張り力を加える方法。
【請求項３６】
請求項３５に記載の方法において、
前記第２間隙を拡大する力を、少なくとも部分的に、少なくとも１つの前記結合部に作用する重量により生成する方法。
【請求項３７】
請求項３４に記載の方法において、
前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、前記第２間隙を縮小する力に対する反力として作用する当接力を加える方法。
【請求項３８】
請求項３７に記載の方法において、
前記第２間隙を縮小する力を、少なくとも部分的に、前記光学モジュールおよび／または少なくとも１つの前記結合素子に作用する重量により生成する方法。
【請求項３９】
請求項３４から３８のいずれか一項に記載の方法において、
前記狭い第２間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に、電気式作動原理および／または磁気式作動原理および／または流体力学式作動原理にしたがって力作用を加える方法。
【請求項４０】
請求項３９に記載の方法において、
前記狭い間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に電磁式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に少なくとも１つの前記結合素子に、前記力発生装置の導電性部分を設け、該導電性部分に、前記狭い間隙を保持する力作用を生成するために電流を印可する方法。
【請求項４１】
請求項３９または４０に記載の方法において、
前記狭い第２間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に静電式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に前記少なくとも１つの結合素子に、前記力発生装置の導電性部分を設け、該導電性部分に、前記狭い第２間隙を保持する力作用を生成するために電荷を印可する方法。
【請求項４２】
請求項３９から４１までのいずれか一項に記載の方法において、
前記狭い第２間隙を保持するために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合素子と前記第２結合素子との間に流体力学式作動原理にしたがって力作用を生成し、
前記光学モジュールおよび／または前記支持構造部、特に前記少なくとも１つの結合素子に供給装置を設け、該供給装置により、前記狭い第２間隙を保持する力作用を生成するために、流体流、特にクリーンルーム・圧縮空気流を前記第２間隙に供給する方法。
【請求項４３】
請求項３４から４２までのいずれか一項に記載の方法において、
前記検出装置によって、前記第１結合素子と前記第２結合素子との間の間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な第２測定信号を前記制御装置に伝達し、
前記制御装置により、前記第２測定信号および第２目標値から第２制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置により、前記狭い第２間隙を保持するために、前記第２制御信号に関連して、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に力作用を生成する方法。
【請求項４４】
請求項２４から４３までのいずれか一項に記載の方法において、
前記結合装置に、前記光学モジュールに結合した第３結合部および前記支持構造部に結合した第４結合部を設け、
前記第３結合部に、第５主曲率を有する第５接触面を設け、前記第５主曲率により第５主曲率軸線を規定し、
前記第４結合部に、前記第５主曲率に適合した第６主曲率を有する第６接触面を設け、前記第６主曲率により第６主曲率軸線を規定し、
前記光学モジュールと前記支持構造部とを、組付け状態で前記第５接触面が前記第６接触面に接触するように相互に接近させ、
調整状態で、前記第５接触面と前記第６接触面との間の狭い第３間隙を非接触に保持し、前記第５接触面と前記第６接触面との間における前記第５主曲率軸線を中心とした第３の補償のための移動を、前記第３結合部と前記第４結合部との間における前記第３の補償のための移動により力作用が生じることなしに可能とする方法。
【請求項４５】
請求項４４に記載の方法において、
前記第１結合部と前記第２結合部との間の狭い間隙および前記第３結合部と前記第４結合部との間の狭い間隙をほぼ同期的に縮小する方法。
【請求項４６】
請求項４４または４５に記載の方法において、
前記第１結合部と前記第２結合部との間の狭い間隙および前記第３結合部と前記第４結合部との間の狭い間隙を、前記第１接触面および前記第２接触面ならびに前記第５接触面および第６接触面がほぼ同時に相互に接触するように縮小する方法。
【請求項４７】
請求項４４から４６までのいずれか一項に記載の方法において、
前記検出装置によって、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙の寸法を表す第１の値を検出し、適宜な第１測定信号を制御装置に伝達し、前記第３結合部と前記第４結合部との間の間隙の寸法を表す第２の値を検出し、適宜な第２測定信号を前記制御装置に伝達し、
前記制御装置により、前記第１測定信号、第２測定信号および少なくとも１つの目標値から少なくとも１つの制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置により、少なくとも１つの制御信号に関係して、前記第１結合部と前記第２結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更ならびに前記第３結合部と前記第４結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更を行うために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第１結合部と前記第２結合部との間に第１力作用を生成し、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記第３結合部と前記第４結合部との間に第２力作用を生成する方法。
【請求項４８】
請求項２４から４７までのいずれか一項に記載の方法において、
前記光学モジュールにより、周方向および半径方向を規定し、
前記第１主曲率軸線を、少なくとも１つの構成素子を前記周方向および／または前記半径方向に備える方向に延在させる方法。
【請求項４９】
請求項２４から４８までのいずれか一項に記載の光学装置において、
少なくとも１つの前記結合部に、前記第１主曲率軸線の方向に弾性的な減結合部を設け、
前記第１主曲率軸線の方向に作用する力を分離するための前記減結合部を、前記光学モジュールと前記支持構造部との間に構成する方法。
【請求項５０】
請求項２４から４９までのいずれか一項に記載の方法において、
調整状態で、前記補償のための移動により前記結合ユニットの構成素子間に力作用が生じることなしに、少なくとも２つの自由度、特に３つの自由度で補償のための移動を可能とする方法。
【請求項５１】
請求項２４から５０までのいずれか一項に記載の方法において、
組付け状態で前記第１結合部と前記第２結合部とを相互に固定する方法。
【請求項５２】
光学モジュールと、
支持構造部と、
結合装置と
を備える、特にマイクロリソグラフィのための光学装置であって、
前記結合装置が、複数の結合ユニットを備え、
それぞれの結合ユニットが、光学モジュールに結合されたモジュール結合部、および前記支持構造部に結合された構造部結合部を備え、前記モジュール結合部および前記構造部結合部が組付け状態で相互に接触する光学装置において、
前記結合装置が、位置決め装置の少なくとも一部を備え、
前記位置決め装置が、力発生装置、検出装置、前記力発生装置および前記検出装置に接続された制御装置を備え、
前記検出装置が、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間におけるそれぞれの間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な測定信号を前記制御装置に伝達するように構成されており、
前記制御装置が、それぞれの前記測定信号および少なくとも１つの目標値から、前記力発生装置のための少なくとも１つの制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達するように構成されており、
該力発生装置が、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更を行うために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記それぞれのモジュール結合部と前記対応した構造部結合部との間に力作用を生成するように構成され、
該位置決め装置が、組付け状態となる前の調整状態で、それぞれの前記モジュール結合部と、対応した前記構造部結合部との間の間隙を非接触に縮小し、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部とが相互にほぼ同時に接触することを特徴とする光学装置。
【請求項５３】
特にマイクロリソグラフィ用の光学モジュールを支持構造部に結合する方法であって、
前記光学モジュールが結合装置によって支持構造部に結合され、
前記結合装置が、複数の結合ユニットを備え、
それぞれの結合ユニットが、光学モジュールに結合されたモジュール結合部、および前記支持構造部に結合された構造部結合部を備え、
前記光学モジュールと前記支持構造部とが、前記それぞれのモジュール結合部と、対応した前記構造部結合部とを、組付け状態で相互に接触するように相互に接近させる方法において、
組付け状態となる前の調整状態で、検出装置によって、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間のそれぞれの間隙の寸法を表す値を検出し、適宜な測定信号を制御装置に伝達し、
前記制御装置により、前記それぞれの測定信号および少なくとも１つの目標値から少なくとも１つの制御信号を生成し、前記力発生装置に伝達し、
該力発生装置により、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間の間隙のあらかじめ規定可能な変更を行うために、前記光学モジュールと前記支持構造部との間、特に前記それぞれのモジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間に力作用を生成し、
それぞれのモジュール結合部と、前記対応した構造部結合部との間にそれぞれ設けられた間隙を非接触に縮小し、前記モジュール結合部と、前記対応した構造部結合部とを相互にほぼ同時に接触させることを特徴とする方法。