【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年10月8日(2014.10.8)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハの上に、レチクルパターンを撮像し、焦点を合わせるリソグラフィー露光対物レンズであって、レチクル側から光軸に沿って、
正の屈折力を有する第１のレンズ群Ｇ３１、
正の屈折力を有する第２のレンズ群Ｇ３２、
正の屈折力を有する第３のレンズ群Ｇ３３、
正の屈折力を有する第４のレンズ群Ｇ３４から構成され、
次の式を満たし、
１．８＜｜ｆＧ３２／ｆＧ３１｜＜５．４
０．５７＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３４｜＜０．９７
０．１９＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３２｜＜０．５
前記第１のレンズ群Ｇ３１は、第１レンズから第４レンズの４枚のレンズから構成され、
前記第２のレンズ群Ｇ３２は、第５レンズから第１０レンズの６枚のレンズから構成され、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズ対を２組含み、
前記第３のレンズ群Ｇ３３は、第１１レンズから第１４レンズの４枚のレンズから構成され、前記第１１レンズ及び前記第１２レンズから構成されるサブレンズ群Ｇ３３−１ｎを含み、前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎは正の屈折力を有し、前記第１１レンズ及び前記第１２レンズは、２枚の隣接するレンズであり、共に正の屈折力を有し、
前記第４のレンズ群Ｇ３４は、第１５レンズから第２０レンズの６枚のレンズから構成され、第１６レンズから第１９レンズから構成されるサブレンズ群Ｇ３４−１ｎを含み、前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎは、正の屈折力を有し、３枚の直接に連続的に並ぶレンズを含み、前記３枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有し、
次の式を満たし、
１．０３＜｜ｆｅｌ＿ｍａｘ／ｆＧ３１｜＜１．９５
０．３４＜｜ｆＧ３３−１ｎ／ｆＧ３３｜＜０．８７
０．２１＜｜ｆＧ３４−１ｎ／ｆＧ３４｜＜０．４７
前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対は、次の式を満たす、リソグラフィー露光対物レンズ。
１．２３＜｜ＶＧ３２ーＰ／ＶＧ３２ーＮ｜＜１．８５
ここで、ｆＧ３１は前記第１のレンズ群Ｇ３１の焦点距離、ｆＧ３２は前記第２のレンズ群Ｇ３２の焦点距離、ｆＧ３３は前記第３のレンズ群Ｇ３３の焦点距離、ｆＧ３４は前記第４のレンズ群Ｇ３４の焦点距離であり、
ｆｅｌ＿ｍａｘは前記第１のレンズ群Ｇ３１を構成するレンズのうち最大の屈折力を有するレンズの焦点距離、ｆＧ３３−１ｎは前記第３のレンズ群Ｇ３３の前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎの焦点距離、ｆＧ３４−１ｎは前記第４のレンズ群Ｇ３４の前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎの焦点距離であり、
ＶＧ３２ーＰは前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対の前記正レンズのアッベ数であり、ＶＧ３２ーＮは前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対の前記負レンズのアッベ数である。
【請求項２】
ウエハの上に、レチクルパターンを撮像し、焦点を合わせるリソグラフィー露光対物レンズであって、レチクル側から光軸に沿って、
正の屈折力を有する第１のレンズ群Ｇ３１、
正の屈折力を有する第２のレンズ群Ｇ３２、
正の屈折力を有する第３のレンズ群Ｇ３３、
正の屈折力を有する第４のレンズ群Ｇ３４から構成され、
次の式を満たし、
１．８＜｜ｆＧ３２／ｆＧ３１｜＜５．４
０．５７＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３４｜＜０．９７
０．１９＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３２｜＜０．５
前記第１のレンズ群Ｇ３１は、第１レンズから第４レンズの４枚のレンズから構成され、
前記第２のレンズ群Ｇ３２は、第５レンズから第１０レンズの６枚のレンズから構成され、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズ対を２組含み、
前記第３のレンズ群Ｇ３３は、第１１レンズから第１４レンズの４枚のレンズから構成され、前記第１１レンズ及び前記第１２レンズから構成されるサブレンズ群Ｇ３３−１ｎを含み、前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎは正の屈折力を有し、前記第１１レンズ及び前記第１２レンズは、２枚の隣接するレンズであり、共に正の屈折力を有し、
前記第４のレンズ群Ｇ３４は、第１５レンズから第２０レンズの６枚のレンズから構成され、第１６レンズから第１９レンズから構成されるサブレンズ群Ｇ３４−１ｎを含み、前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎは、正の屈折力を有し、３枚の直接に連続的に並ぶレンズを含み、前記３枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有し、
次の式を満たし、
１．０３＜｜ｆｅｌ＿ｍａｘ／ｆＧ３１｜＜１．９５
０．３４＜｜ｆＧ３３−１ｎ／ｆＧ３３｜＜０．８７
０．２１＜｜ｆＧ３４−１ｎ／ｆＧ３４｜＜０．４７
前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対は、次の式を満たす、リソグラフィー露光対物レンズ。
１．５９＜｜ＶＧ３２ーＰ／ＶＧ３２ーＮ｜＜２．６５
ここで、ｆＧ３１は前記第１のレンズ群Ｇ３１の焦点距離、ｆＧ３２は前記第２のレンズ群Ｇ３２の焦点距離、ｆＧ３３は前記第３のレンズ群Ｇ３３の焦点距離、ｆＧ３４は前記第４のレンズ群Ｇ３４の焦点距離であり、
ｆｅｌ＿ｍａｘは前記第１のレンズ群Ｇ３１を構成するレンズのうち最大の屈折力を有するレンズの焦点距離、ｆＧ３３−１ｎは前記第３のレンズ群Ｇ３３の前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎの焦点距離、ｆＧ３４−１ｎは前記第４のレンズ群Ｇ３４の前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎの焦点距離であり、
ＶＧ３２ーＰは前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対の前記正レンズのアッベ数であり、ＶＧ３２ーＮは前記第２のレンズ群Ｇ３２の２組のレンズ対のそれぞれのレンズ対の前記負レンズのアッベ数である。
【請求項３】
前記第３のレンズ群Ｇ３３の前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎの前記２枚の隣接する正レンズである前記第１１レンズ及び前記第１２レンズの間で、前記レチクルから前記ウエハに向かう方向における下流に配置する前記第１２レンズはより大きい焦点距離を有し、前記２枚の隣接する正レンズである前記第１１レンズ及び前記第１２レンズの焦点距離は共に０．７５ｍｍから１ｍｍの範囲である、請求項１又は２に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項４】
前記露光対物レンズは、少なくとも２つのグループの高屈折率材料と、少なくとも２つのグループの低屈折率材料と、から製造され、
前記高屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ４５より小さいアッベ数を有する第１の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ５０より大きいアッベ数を有する第２の材料グループと、を有し、
前記低屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ５５より小さいアッベ数を有する第３の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ６０より大きいアッベ数を有する第４の材料グループと、を有する、請求項１又は２に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項５】
前記第１のレンズ群Ｇ３１、前記第２のレンズ群Ｇ３２、前記第３のレンズ群Ｇ３３、前記第４のレンズ群Ｇ３４のそれぞれは、前記第１の材料グループ又は前記第２の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも１つ含む、請求項４に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項６】
前記第１のレンズ群Ｇ３１、前記第２のレンズ群Ｇ３２、前記第４のレンズ群Ｇ３４のそれぞれは、前記第１の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも１つ含む、請求項４に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項７】
前記第１のレンズ群Ｇ３１の第１レンズ及び前記第４のレンズ群Ｇ３４の最終レンズは、前記第１の材料グループの材料から製造される、請求項６に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項８】
前記第３のレンズ群Ｇ３３は、前記第２の材料グループの材料から製造されたレンズを少なくとも１つ含む、請求項４に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【請求項９】
前記第２のレンズ群Ｇ３２は、互いに凹面が向き合う少なくとも１組のレンズを含み、
前記第３のレンズ群Ｇ３３は、像側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも１枚含み、
前記第４のレンズ群Ｇ３４は、物体側に凹面を向けるメニスカスレンズを少なくとも１枚含む、請求項４に記載のリソグラフィー露光対物レンズ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
前記第１のレンズ群Ｇ３１は、少なくとも４枚のレンズを備えることが好ましい。また、前記第２のレンズ群Ｇ３２は、少なくとも６枚のレンズを備え、正レンズ及び前記正レンズに直接隣接する負レンズからなる一組のレンズを少なくとも２つ含むことが好ましい。さらに、前記第３のレンズ群Ｇ３３は、少なくとも４枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群Ｇ３３−１ｎを含むことが好ましく、前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎは、前記第３のレンズ群Ｇ３３の少なくとも２枚の隣接するレンズを含み、前記２枚の隣接するレンズは共に正の屈折力を有する。さらに、前記第４のレンズ群Ｇ３４は、少なくとも６枚のレンズを備え、正の屈折力を有するサブレンズ群Ｇ３４−１ｎを含むことが好ましく、前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎは、前記第４のレンズ群Ｇ３４の少なくとも３枚の直接に連続的に並ぶレンズを少なくとも３枚含み、前記３枚の直接に連続的に並ぶレンズはそれぞれ正の屈折力を有する。次の（４）式乃至（６）式を満たす。
１．０３＜｜ｆｅｌ＿ｍａｘ／ｆＧ３１｜＜１．９５      ・・・・・（４）
０．３４＜｜ｆＧ３３−１ｎ／ｆＧ３３｜＜０．８７      ・・・・・（５）
０．２１＜｜ｆＧ３４−１ｎ／ｆＧ３４｜＜０．４７      ・・・・・（６）
ここで、ｆｅｌ＿ｍａｘは前記第１のレンズ群Ｇ３１を構成するレンズのうち最大の屈折力を有するレンズの焦点距離、ｆＧ３３−１ｎは前記第３のレンズ群Ｇ３３の前記サブレンズ群Ｇ３３−１ｎの焦点距離、ｆＧ３４−１ｎは前記第４のレンズ群Ｇ３４の前記サブレンズ群Ｇ３４−１ｎの焦点距離である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
前記高屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ４５より小さいアッベ数を有する第１の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ５０より大きいアッベ数を有する第２の材料グループと、を有することが好ましく、前記低屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ５５より小さいアッベ数を有する第３の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ６０より大きいアッベ数を有する第４の材料グループと、を有することが好ましい。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
露光対物レンズ３０は、少なくとも２つのグループの高屈折率材料と、少なくとも２つのグループの低屈折率材料と、から製造される。高屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ４５より小さいアッベ数を有する第１の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より大きい屈折率を有し且つ５０より大きいアッベ数を有する第２の材料グループと、を有する。低屈折率材料は、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有する材料であり、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ５５より小さいアッベ数を有する第３の材料グループと、Ｉ線に対して１．５５より小さい屈折率を有し且つ６０より大きいアッベ数を有する第４の材料グループと、を有する。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
レンズ群Ｇ３１、Ｇ３２、Ｇ３３、Ｇ３４のパラメータ間の関係は、次の（１）式乃至（９）式で表される。（１）式乃至（９）式は、さらに、露光対物レンズの像品質を最適化するための基本的な条件を決定する。
１．８＜｜ｆＧ３２／ｆＧ３１｜＜５．４      ・・・・・（１）
０．５７＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３４｜＜０．９７      ・・・・・（２）
０．１９＜｜ｆＧ３３／ｆＧ３２｜＜０．５      ・・・・・（３）
１．０３＜｜ｆｅｌ＿ｍａｘ／ｆＧ３１｜＜１．９５      ・・・・・（４）
０．３４＜｜ｆＧ３３−１ｎ／ｆＧ３３｜＜０．８７      ・・・・・（５）
０．２１＜｜ｆＧ３４−１ｎ／ｆＧ３４｜＜０．４７      ・・・・・（６）
０．７５＜ｆ４１＜ｆ４２＜１      ・・・・・（７）
１．２３＜｜ＶＧ３２ーＰ／ＶＧ３２ーＮ｜＜１．８５      ・・・・・（８）
１．５９＜｜ＶＧ３２ーＰ／ＶＧ３２ーＮ｜＜２．６５      ・・・・・（９）
ここで、ｆＧ３１は第１のレンズ群Ｇ３１の焦点距離、ｆＧ３２は第２のレンズ群Ｇ３２の焦点距離、ｆＧ３３は第３のレンズ群Ｇ３３の焦点距離、ｆＧ３４は第４のレンズ群Ｇ３４の焦点距離、ｆｅｌ＿ｍａｘは第１のレンズ群Ｇ３１を構成するレンズのうち最大の屈折力を有するレンズの焦点距離、ｆＧ３３−１ｎは第３のレンズ群Ｇ３３のサブレンズ群Ｇ３３−１ｎの焦点距離、ｆＧ３４−１ｎは第４のレンズ群Ｇ３４のサブレンズ群Ｇ３４−１ｎの焦点距離、ｆ４１は隣り合う２つのレンズ４１、４２のうちレチクルからウエハに向かう方向における上流に配置するレンズ４１の焦点距離、ｆ４２は隣り合う２つのレンズ４１、４２のうちレチクルからウエハに向かう方向における下流に配置するレンズ４２の焦点距離、ＶＧ３２ーＰ及びＶＧ３２ーＮはそれぞれ第２のレンズ群の正レンズのアッベ数、当該正レンズに隣接する第２のレンズ群の負レンズのアッベ数である。