【手続補正書】
【提出日】平成16年1月6日(2004.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定端を有する基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延び、前記第一の脚部との交差部において前記基部と接続する第二の脚部、この第一の脚部に対して交差する方向に延びる第一の屈曲振動片、前記第一の脚部から見て前記第一の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第二の屈曲振動片、前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第三の屈曲振動片、前記第二の脚部から見て前記第三の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第四の屈曲振動片、および前記交差部分から前記基部とは反対側へと向かって突出する突出部を備えており、前記基部、前記第一及び第二の脚部、前記第一、第二、第三及び第四の屈曲振動片、及び、前記突出部が、全て、実質的に平面形状であり、同一の平面内に存在することを特徴とする、単結晶振動子。
【請求項２】
前記第一の屈曲振動片の振動の位相と前記第二の屈曲振動片の振動の位相とが前記第一の脚部に対して対称的であり、前記第三の屈曲振動片の振動の位相と前記第四の屈曲振動片の振動の位相とが前記第二の脚部に対して対称的であることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項３】
前記第一の屈曲振動片および前記第二の屈曲振動片からなる全振動系の振動時の重心が前記第一の脚部上またはその延長線上にあり、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片からなる全振動系の振動時の重心が、前記第二の脚部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項２記載の振動子。
【請求項４】
前記第一の脚部、前記第一の屈曲振動片および前記第二の屈曲振動片からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相と、前記第二の脚部、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相とが、前記基部に対して対称的であることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項５】
前記第一の脚部、前記第一の屈曲振動片および前記第二の屈曲振動片からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力と、前記第二の脚部、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力とが、前記基部において互いに相殺されることを特徴とする、請求項４記載の振動子。
【請求項６】
前記第一の脚部、前記第一の屈曲振動片、前記第二の屈曲振動片、前記第二の脚部、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片からなる全振動系の振動時における重心が、前記基部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項４記載の振動子。
【請求項７】
前記第一の脚部、前記第一の屈曲振動片、前記第二の屈曲振動片、前記第二の脚部、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片からなる全振動系の振動時における重心が、前記基部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項５記載の振動子。
【請求項８】
直線加速度を検出するための直線加速度計であって、請求項１記載の振動子と、この振動子に直線加速度が加わったときに前記振動子に加わるニュートンの力による前記振動子の変形を検出するための検出手段とを備えることを特徴とする、直線加速度計。
【請求項９】
前記基部の一方を固定している固定部と、前記基部の振動に対して共振する、前記固定部から突出している第一及び第二の共振アームとを備えていることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項１０】
前記固定部からの前記共振アームの突出位置において、前記共振アームの両側の前記固定部からの突出寸法が異なることを特徴とする、請求項９記載の振動子。
【請求項１１】
前記屈曲振動片にその長手方向に向かって延びる貫通孔が設けられていることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項１２】
前記共振アームにその長手方向に向かって延びる貫通孔が設けられていることを特徴とする、請求項９記載の振動子。
【請求項１３】
固定部が前記固定端を固定するために設けられており、この固定部が二つの固定端を有しており、前記固定部の一方の側に前記基部が設けられており、前記固定部の他方の側に共振片が設けられていることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
【請求項１４】
前記固定部が二つの固定端を有しており、前記固定部の一方の側に前記基部が設けられており、前記固定部の他方の側に共振片が設けられていることを特徴とする、請求項９記載の振動子。
【請求項１５】
回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、請求項１記載の振動子と、この振動子に所定平面内の振動を励振するための励振手段と、前記振動子に前記所定平面内の回転が加わったときに前記振動子に加わるコリオリ力による前記振動子の屈曲振動を検出し、この屈曲振動に応じた信号を出力するための検出手段とを備えることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項１６】
回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、前記第一の屈曲振動片、前記第二の屈曲振動片、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片をそれぞれ屈曲振動させるための励振手段と、前記振動子が前記所定平面内で回転したときに前記振動子に加わるコリオリ力による前記基部の屈曲振動を検出し、この屈曲振動に応じた信号を出力するための検出手段とを備えていることを特徴とする、請求項１５記載の振動型ジャイロスコープ。
【請求項１７】
回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、請求項９記載の振動子と、前記第一の屈曲振動片、前記第二の屈曲振動片、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片をそれぞれ屈曲振動させるための励振手段と、前記振動子が前記所定平面内で回転したときに前記振動子に加わるコリオリ力による前記第一及び第二の共振アームの屈曲振動を検出し、この屈曲振動に応じた信号を出力するための検出手段とを備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項１８】
回転角速度を検出するための振動型ジャイロスコープであって、請求項１３記載の振動子と、前記第一の屈曲振動片、前記第二の屈曲振動片、前記第三の屈曲振動片および前記第四の屈曲振動片をそれぞれ屈曲振動させるための励振手段と、前記振動子が前記所定平面内で回転したときに前記振動子に加わるコリオリ力による前記共振アームの屈曲振動を検出し、この屈曲振動に応じた信号を出力するための検出手段とを備えていることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。
【請求項１９】
直線加速度を検出するための直線加速度計であって、請求項９記載の振動子と、この振動子に直線加速度が加わったときに前記振動子に加わるニュートンの力による前記振動子の変形を検出するための検出手段とを備えることを特徴とする、直線加速度計。
【請求項２０】
直線加速度を検出するための直線加速度計であって、請求項１３記載の振動子と、この振動子に直線加速度が加わったときに前記振動子に加わるニュートンの力による前記振動子の変形を検出するための検出手段とを備えることを特徴とする、直線加速度計。
【請求項２１】
固定端を有する固定部、この固定部の第一の側に接続した固定端を備える基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延びる第二の脚部、この第一の脚部に対して交差する方向に延びる第一の屈曲振動片、前記第一の脚部から見て前記第一の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第二の屈曲振動片、前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第三の屈曲振動片、前記第二の脚部から見て前記第三の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第四の屈曲振動片、および前記固定部の第二の側に接続した共振アーム、を備えることを特徴とする、単結晶振動子。
【請求項２２】
固定端を有する基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延びる第二の脚部、前記第一の脚部の一方の側に設けられている第一の振動系、前記第一の脚部の他方の側に設けられている第二の振動系、前記第二の脚部の一方の側に設けられている第三の振動系、前記第二の脚部の他方の側に設けられている第四の振動系、および前記交差部分から前記基部とは反対側へと向かって突出する突出部を備えており、(i)前記第一の振動系の重心の振動の位相と前記第二の振動系の重心の振動の位相とが前記第一の脚部に対して対称的であり、(ii)前記第三の振動系の重心の振動の位相と前記第四の振動系の重心の振動の位相とが前記第二の脚部に対して対称的であり、(iii)前記基部、前記第一及び第二の脚部、前記第一、第二、第三及び第四の振動系、及び、前記突出部が、全て、実質的に平面形状であり、同一の平面内に存在することを特徴とする、単結晶振動子。
【請求項２３】
前記第一の振動系および前記第二の振動系からなる全振動系の振動時の重心が、前記第一の脚部上またはその延長線上にあり、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動時の重心が、前記第二の脚部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項２２記載の振動子。
【請求項２４】
前記第一の脚部、前記第一の振動系および前記第二の振動系からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相と、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相とが、前記基部に対して対称的であることを特徴とする、請求項２２記載の振動子。
【請求項２５】
前記第一の脚部、前記第一の振動系および前記第二の振動系からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力と、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力とが、前記基部において互いに相殺されることを特徴とする、請求項２４記載の振動子。
【請求項２６】
前記第一の脚部、前記第一の振動系、前記第二の振動系、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動時における重心が、前記基部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項２４記載の振動子。
【請求項２７】
前記第一の振動系が、前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第一の屈曲振動片であり、前記第二の振動系が、前記第一の脚部から見て前記第一の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第二の屈曲振動片であり、前記第三の振動系が、前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第三の屈曲振動片であり、前記第四の振動系が、前記第二の脚部から見て前記第三の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第四の屈曲振動片であることを特徴とする、請求項２２記載の振動子。
【請求項２８】
固定端を有する基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは前記基部を軸として反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延び、前記第一の脚部との交差部において前記基部と接続する第二の脚部、前記第一の脚部の一方の側に設けられている第一の振動系、前記第一の脚部の他方の側に設けられている第二の振動系、前記第二の脚部の一方の側に設けられている第三の振動系、前記第二の脚部の他方の側に設けられている第四の振動系、および前記交差部分から前記基部とは反対側へと向かって突出する突出部を備えており、(i)前記第一の脚部、前記第一の振動系および前記第二の振動系からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相と、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動時における重心の振動の位相とが、前記基部に対して対称的であり、(ii)前記基部、前記第一及び第二の脚部、前記第一、第二、第三及び第四の振動系、及び、前記突出部が、全て、実質的に平面形状であり、同一の平面内に存在することを特徴とする、単結晶振動子。
【請求項２９】
前記第一の脚部、前記第一の振動系および前記第二の振動系からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力と、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動によって前記基部に加わる応力とが、前記基部において互いに相殺されることを特徴とする、請求項２８記載の振動子。
【請求項３０】
前記第一の脚部、前記第一の振動系、前記第二の振動系、前記第二の脚部、前記第三の振動系および前記第四の振動系からなる全振動系の振動時における重心が、前記基部上またはその延長線上にあることを特徴とする、請求項２８記載の振動子。
【請求項３１】
前記第一の振動系の重心の振動の位相と前記第二の振動系の重心の振動の位相とが前記第一の脚部に対して対称的であり、前記第三の振動系の重心の振動の位相と前記第四の振動系の重心の振動の位相とが前記第二の脚部に対して対称的であることを特徴とする、請求項２８記載の振動子。
【請求項３２】
固定部、この固定部に接続された固定端を有する基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延びる第二の脚部、この第一の脚部に対して交差する方向に延びる第一の屈曲振動片、前記第一の脚部から見て前記第一の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第二の屈曲振動片、前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第三の屈曲振動片、前記第二の脚部から見て前記第三の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第四の屈曲振動片、および前記固定部から突出し、前記基部の振動に対して共振する第一及び第二の共振アームを備えることを特徴とする、振動子。
【請求項３３】
固定端を有する基部、この基部に対して交差する方向に延びる第一の脚部、前記基部から見て前記第一の脚部とは反対側に向かって前記基部に対して交差する方向に延びる第二の脚部、この第一の脚部に対して交差する方向に延びる第一の屈曲振動片、前記第一の脚部から見て前記第一の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第一の脚部に対して交差する方向に延びる第二の屈曲振動片、前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第三の屈曲振動片、および前記第二の脚部から見て前記第三の屈曲振動片とは反対側に向かって前記第二の脚部に対して交差する方向に延びる第四の屈曲振動片を備えており、前記屈曲振動片にその長手方向に向かって延びる貫通孔が設けられていることを特徴とする、振動子。