【事件の表示】
　平成８年特許願第３８６８１号「両面研磨機およびこれを用いて被加工物の両面を研磨する方法」拒絶査定不服審判事件〔平成９年８月１２日出願公開、特開平９−２０７０６３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年２月１日の出願であって、平成１４年５月１７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年６月２６日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同年７月１８日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１４年７月１８日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「円盤状のキャリアの外周歯を噛合せしめる太陽歯車と内歯歯車を備え、前記キャリアに保持される被加工物を上下一対の定盤で挟み込んで被加工物の両面を研磨する研磨機であって、前記太陽歯車と内歯歯車の各歯部を所定ピッチで配設される複数のピンで構成するようにした両面研磨機において、前記ピンの外面に樹脂性のスリーブ又は金属製スリーブ表面に樹脂コーティングしたスリーブを嵌装
す
「円盤状のキャリアの外周歯を噛合せしめる太陽歯車と内歯歯車を備え、前記キャリアに保持される被加工物を上下一対の定盤で挟み込んで被加工物の両面を研磨する研磨機であって、前記太陽歯車と内歯歯車の各歯部を所定ピッチで配設される複数のピンで構成するようにした両面研磨機において、前記ピンの外面に樹脂性のスリーブ又は金属製スリーブ表面に樹脂コーティングしたスリーブを嵌装
し、該スリーブは、曲げ強度１，０００kg/cm
2
以上、剪断強さ８００kg/cm
2
以上、摩擦係数０．２以下の特性を有する材質であ
　上記補正事項は、請求項１に記載した発明を特定するために必要な事項である「スリーブ」を「曲げ強度１，０００kg/cm2以上、剪断強さ８００kg/cm2以上、摩擦係数０．２以下の特性を有する材質である」ものに限定したものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）刊行物記載の発明（事項）
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平１−２５２３５６号公報（以下、「刊行物１」という。）及び特開昭６３−３０６８８１号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下の事項が記載されている。
（２−１）刊行物１
（イ）第１頁左下欄１６行〜同頁右下欄５行
「［従来の技術］従来使用されているこの種の両面研磨機を第３図、第４図に示し説明する。上定盤１と下定盤２は不図示の駆動源により、それぞれ単独に駆動されており、両定盤間には円板状で内側にウェハ等の被加工物８を平面状に保持する穴を有するとともに外周面に歯を有し、太陽歯車９と内歯車１０に噛合い自転しながら公転するキャリア１２が下定盤２上に複数個セットされている。」
（ロ）第２頁左上欄９行〜１９行
「［発明が解決しようとする課題］研磨加工中はキャリア内の被加工物を上、下定盤で挟圧しながらキャリアに自転、公転を与えるため太陽歯車、キャリア、内歯車等は負荷がかかった状態で、キャリアの歯の噛合面とピン表面とで滑りながら回転している。そのため滑り面は互いに摩耗する。特にピンは固定（回転しない）であるため局部的に摩耗する。また、キャリアの歯はピンとの滑り面がやせ細り噛合いが不正確になるばかりか歯の強度が低下し破損するが、従来この状態になるまでの時間が短かかった。」
（ハ）第２頁右上欄１９行〜同頁左下欄１１行
「［実施例］本発明の実施例を第１図、第２図により説明する。ただし、第３図で説明した従来の両面研磨機と同等部材は同一符号を付して説明は省略する。キャリア１２に噛合う内歯車１０の歯は第２図に示すように、キャリア１２の歯１３の円周ピッチに合わせて軸１４を等ピッチで数十個垂直方向に内歯車１０の基材１５に打込み、この軸１４に円筒形のローラ１６を挿入し、このローラ１６が抜けないよう上部をオサエネジ１７で軸１４の上面を押付け固定して形成されている。この状態でローラ１６は滑らかに回転できるようになっている。また、太陽歯車９の歯も同一構造で、ただ歯数のみ異なる。」
　上記の摘記事項（イ）〜（ハ）及び第１、２図からみて、刊行物１には、
「円板状のキャリア１２の外周歯を噛合せしめる太陽歯車９と内歯車１０を備え、前記キャリア１２に保持される被加工物８を上下一対の定盤１，２で挟み込んで被加工物８の両面を研磨する研磨機であって、前記太陽歯車８と内歯車１０の各歯部を所定ピッチで配設される複数の軸１４で構成するようにした両面研磨機において、前記軸１４の外面に円筒形のローラ１６を嵌装した、両面研磨機」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
（２−２）刊行物２
（ニ）第１頁右下欄９行〜１１行
「本発明は、両面ポリシング・・・装置に関するものであ・・・る。」
（ホ）第４頁左上欄１０行〜同頁右上欄２行
「研磨剤には腐食性の強いものが少なくない。・・・こうした腐食性研磨剤に対しても装置が支障なく作動しうるようにまた発銹による加工物表面の汚損を防止して高歩留まりの加工が実現できるように、研磨剤と接触する装置部品乃至部分を耐食性材料製とするか或いは耐食性材料でコーティングすることが推奨される。例えば、サンギア５、インターナルギア６等をナイロンその他のプラスチック製とし、上下定盤の内面に・・・プラスチック等のコーティングを施すといった対策をとりうる。」
　
（３）対比
　本願補正発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「円板状のキャリア１２」が前者の「円盤状のキャリア」に、後者の「内歯車１０」が前者の「内歯歯車」に、それぞれ相当することは明らかである。
　また、後者の「軸１４」及び「円筒形のローラ１６」に関して、刊行物１には、「キャリア１２に噛合う
内歯車１０の歯
円周ピッチに合わせて
等ピッチで
挿入し
回転できる
内歯歯車１と太陽歯車２の各歯部
円周方向に沿って所定ピッチで
回転可能な状態で嵌装される
　してみると、両者の一致点及び相違点は以下のとおりである。
〈一致点〉円盤状のキャリアの外周歯を噛合せしめる太陽歯車と内歯歯車を備え、前記キャリアに保持される被加工物を上下一対の定盤で挟み込んで被加工物の両面を研磨する研磨機であって、前記太陽歯車と内歯歯車の各歯部を所定ピッチで配設される複数のピンで構成するようにした両面研磨機において、前記ピンの外面にスリーブを嵌装した、両面研磨機。
〈相違点〉前者は、スリーブが、樹脂性であって、曲げ強度１，０００kg/cm2以上、剪断強さ８００kg/cm2以上、摩擦係数０．２以下の特性を有する材質であるのに対して、後者は、スリーブの材質について明らかではない点。
　
（４）当審の判断
　そこで、上記相違点について検討するに、本願補正発明のスリーブが、「曲げ強度１，０００kg/cm2以上、剪断強さ８００kg/cm2以上、摩擦係数０．２以下の特性を有する材質である」ことについて、本願明細書には、次のとおり記載されている。
「スリーブの材質として、曲げ強度１，０００kg/cm2以上、剪断強さ８００kg/cm2以上、摩擦係数０．２以下の特性を有するものとした。すなわち、研磨中においてキャリアの外周歯とピン（スリーブ）の間には通常５００kg/cm2を越える力が加わるといわれており、耐摩耗性、強度に優れたスリーブにすることで耐久性の向上を図る。そしてこのような材質の一例としては、樹脂性スリーブの場合、例えばポリアミドイミド樹脂、
ポリアミド樹脂
　そうすると、本願発明において、スリーブをその曲げ強度、剪断強さ及び摩擦係数が特定の範囲にある材質のものとすることの技術的意義は、耐摩耗性及び強度に優れた材質でスリーブを構成することにあり、また、スリーブをポリアミド樹脂製とすれば上記の事項が達成できると認められる。
　ところで、刊行物２には、金属部品の摩耗による被加工物の金属汚染に関するものではないが、両面研磨機において、金属部品の研磨剤による腐食で発生する金属汚染を回避するために、サンギア（すなわち、太陽歯車）、インターナルギア（すなわち、内歯歯車）等を、金属部品に代えて、
ナイロン（すなわち、ポリアミド樹脂
　そして、半導体製造装置における被加工物の金属汚染の問題は従来周知の事項である。また、両面研磨機の歯として機能する部分は、請求人自身、本願明細書の段落【０００８】で述べているように、噛合いの際に強い力が加わる部分であり、したがって、刊行物１記載の発明の「歯部」においても、高い耐摩耗性及び強度の求められることは、当業者にとって明らかである。さらに、刊行物１記載の発明と刊行物２記載の事項とは、「ウェハ等の両面研磨機」という同一の技術分野に属するものである。
　そうすると、刊行物１記載の太陽歯車及び内歯歯車に、刊行物２記載の事項を組合わせること、また、その際に、スリーブの材質を本願発明で特定する曲げ強度、剪断強さ及び摩擦係数を有するものとすることは、刊行物２にポリアミド樹脂も明記されていることを勘案すると、当業者が容易になし得ることである。
　そして、本願補正発明の作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
（１）本願発明
　平成１４年７月１８日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１〜３に係る発明は、願書に最初に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「円盤状のキャリアの外周歯を噛合せしめる太陽歯車と内歯歯車を備え、前記キャリアに保持される被加工物を上下一対の定盤で挟み込んで被加工物の両面を研磨する研磨機であって、前記太陽歯車と内歯歯車の各歯部を所定ピッチで配設される複数のピンで構成するようにした両面研磨機において、前記ピンの外面に樹脂性のスリーブ又は金属製スリーブ表面に樹脂コーティングしたスリーブを嵌装することを特徴とする両面研磨機。」
　
（２）刊行物記載の発明（事項）
　刊行物１記載の発明及び刊行物２記載の事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
　
（３）対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「スリーブ」の限定事項である「曲げ強度１，０００kg/cm2以上、剪断強さ８００kg/cm2以上、摩擦係数０．２以下の特性を有する材質である」との事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（３）、（４）」に記載したとおり、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないから、請求項２〜３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。