(57)【要約】【課題】同一ウェハ内において、チップ内又はチップ間の配線の厚さに差をつける成膜方法を提供すること。【解決手段】同一ウェハ内において、半導体チップに形成すべき電気的接続に関係する配線パターンとは別にウェハ内又はチップ内に電気的接続に関係しないダミーパターンを設け、前記配線パターンおよび前記ダミーパターンに同時に電解めっきを行うことにより、電流密度の差を利用して、チップ内又はチップ間の配線パターンに形成するめっき層の厚さに差をつけることを特徴とする半導体ウェハのめっき方法。【選択図】　　　なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一ウェハ内において、半導体チップに形成すべき電気的接続に関係する配線パターンとは別にウェハ内又はチップ内に電気的接続に関係しないダミーパターンを設け、前記配線パターンおよび前記ダミーパターンに同時に電解めっきを行うことにより、電流密度の差を利用して、チップ内又はチップ間の配線パターンに形成するめっき層の厚さに差をつけることを特徴とする半導体ウェハのめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハのめっき方法に係り、より詳しくは、同一ウェハ内において電気的接続に関係する配線パターンとは別に電気的接続に関係しないダミーパターンを設けてめっきすることにより、めっき層厚さに差を設けることを可能にした半導体ウェハのめっき方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
同一チップ内で、例えば、大電流を必要とする配線と信号として用いる配線のように、異なる配線容量に対する配線層を形成したい場合に、配線を厚くできれば配線幅を増やさずに大きな電流を流すことができるので、チップ面積の増大を防ぐことが可能である。
【０００３】
しかし、従来、半導体ウェハ上への配線の形成は、スパッタ法又は蒸着法で成膜する場合でも、ウェハ全体に金属膜を成膜し、その金属膜上にレジストを形成しパターニングし、それをマスクにしてエッチングすることで配線を形成している。この場合、ウェハ内に形成される金属膜の厚さはウェハ全面で同じ厚さになる。また、予めレジストのパターイングを行ってからスパッタ法又は蒸着法で成膜する場合でも同様な結果となり、ウェハ内で異なる膜厚の配線を形成することは困難であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、同一チップ内で配線層厚さに差を設けることを可能にした半導体ウェハの配線層形成方法を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、同一ウェハ内において、半導体チップに形成すべき電気的接続に関係する配線パターンとは別にウェハ内又はチップ内に電気的接続に関係しないダミーパターンを設け、前記配線パターンおよび前記ダミーパターンに同時に電解めっきを行うことにより、電流密度の差を利用して、チップ内又はチップ間の配線パターンに形成するめっき層の厚さに差をつけることを特徴とする半導体ウェハのめっき方法を形成する。
【０００６】
本発明者はウェハ上への配線の形成を電解めっきで形成することに着目した。即ち、電解めっきでは、被めっき面積に応じて電界集中に差が生じる性質を利用し、ウェハ上の目的をする配線パターンが形成されていない部分又は、機能上配線を必要としない部分に、ダミーパターン（めっきレジスト開口）を形成すれば、被めっき面積を故意に変化させ、そのダミーパターンの有無の差により、配線厚さに差をつけてめっき層を形成することが可能になる。また、ダミーパターンの面積（幅や長さ）によっても電界集中が制御されるので、配線を任意の厚さに変えることも可能になる。こうして、配線に流れる電流容量によって配線厚さに差を設けることにより、例えば、大電流を必要とする配線と信号として用いる配線の間でも、信号系をまとめてその周りにダミーパターンを形成し、電界集中に差をつけることで信号系の配線層の厚さを薄くして大電流配線の厚さを確保することが可能である。
【０００７】
【発明の実施の形態】
はじめに図１を参照して従来の配線層の形成方法を説明する。図１の上図（あ）は半導体ウェハ１を上から見た図である。下図は半導体ウェハの配線形成工程順の模式断面図である。ウェハ１の全面に金属層２をスパッタ法、蒸着法などで形成し（図１（い））、次いでレジスト膜３を形成およびパターニングし（図１（う））、レジストパターン３をマスクとして金属層２をエッチングすることで金属層２のパターニングを行い（図１（え））、その後レジスト３を除去すれば金属層パターン２が得られる。この方法では、配線パターンに係りなく、ウェハの全面（チップ全表面）に同一厚さの金属層２が形成される（図１（い））。
【０００８】
これに対して、本発明を実施する態様を図２〜６を参照して説明する。本発明では電界めっきを行うので、図２を参照すると、めっきパターンはウェハ１１全面にめっき下地層（例えば、Ｃｕ／Ｃｒ又はＣｕ／Ｔｉ）１２を形成後その上にレジスト膜１３を形成し、レジスト膜１３に開口部１４を形成することにより、その開口部１４が例えばＣｕ，Ｎｉ，Ａｕで選択的にめっきされる領域になる性質を利用して、配線パターンおよびダミーパターンを形成する。開口部１４に選択めっきを行った後、レジスト膜１３を除去してめっきパターン１５を得る。図３〜６における配線パターンおよびダミーパターンはこのようなレジスト膜の開口部、又はそれを利用して形成した金属めっき層である。
【０００９】
図３を参照すると、半導体ウェハ内には多数のチップ２１とその間を分割するスクライブライン２２が存在し、チップ２１内に配線パターン２３が形成されるとともに、スクライブライン２２内にはダミーパターン２４が形成されている。通常のチップ２１内における配線パターン２３だけの場合と比べて、スクライブライン２２内にはダミーパターン２４が形成されているために、配線パターン２３付近におけるめっきの面積および密度が増加してめっき電界集中が緩和（もしくは低下）するために、配線パターン２３に形成されるめっき層の厚さＴ１が、ダミーパターン２４が形成されていない場合Ｔ２（図４）と比べて薄くなる。
【００１０】
図３では、ダミーパターンをスクライブラインに形成したが、図５のように、ダミーパターン２６はチップ内であっても配線パターン２３に影響のない領域に形成してもよい。結果として、配線パターン２３に対するめっき電界集中が緩和（もしくは低下）して、めっき層の厚さＴ３が薄くなる。このチップ内に形成したダミーパターンの金属めっき層２６は配線パターン２３に影響がないものであるからそのまま残してチップ（ＬＳＩ）を形成してもよいし、必要ならダミーパターンの金属めっき層２６だけを後から選択的に除去してもよい。
【００１１】
さらに、図６を参照すると、半導体ウェハの１つのチップ３１内において、大電流を流すべき配線パターン３２と、信号系の配線パターン３３とが存在する場合、一般的に大電流系配線３２は幅広パターンであるのに対して信号系配線パターンは細線パターンであることにより電流容量を異ならせている。本発明ではさらに、信号系配線３３近くにダミーパターン３４を形成して信号系配線領域を密パターンにするとともに、必要に応じて大電流系配線３２を信号系配線から距離Ｌを遠ざけることにより粗パターンとして形成し、電界めっきを行う。この場合、電界集中に差が生じ、粗パターンの領域では電流密度が高くなり、密パターン領域では電流密度が低くなることで、大電流系配線３２のめっき層は厚く、信号系配線３３のめっき層は薄く形成することが可能である。大電流系配線３２のめっき層を厚く形成することで、容易に大電流配線の厚さが確保されるので、配線密度を高めることが可能である。
【００１２】
電界めっき方法そのものは公知の方法でよく、銅めっき、ニッケルめっき、金めっきなどいずれにも適用可能である。
【００１３】
【発明の効果】
本発明によれば、本発明者はウェハ上への配線の形成を電解めっきで形成し、かつウェハ上の目的をする配線パターンが形成されていない部分又は機能上配線を必要としない部分にダミーパターンを形成して、被めっき面積を故意に変化させ、そのダミーパターンの有無の差により配線厚さに差をつけてめっき層を形成することで、同一ウェハ内においてチップ内又はチップ間の配線の厚さに差をつける配線形成方法が提供される。例えば、大電流を必要とする配線と信号として用いる配線の間でも、信号系をまとめてその周りにダミーパターンを形成し、電界集中に差をつけることで信号系の配線層の厚さを薄くして大電流配線の厚さを確保することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の配線形成方法を示す。
【図２】めっきによる配線形成方法を示す。
【図３】本発明によるダミーパターンを利用しためっき厚さに差を設けるめっき方法を説明する図である。
【図４】図３と対照して、本発明によるダミーパターンを利用しためっき厚さに差を設けるめっき方法を説明する図である。
【図５】本発明によるダミーパターンを利用しためっき厚さに差を設ける別のめっき方法を説明する図である。
【図６】本発明によるダミーパターンを利用した大電流系配線と信号系配線にめっき厚さに差を設けるめっき方法を説明する図である。
【符号の説明】
１…半導体ウェハ
２…金属層
３…レジスト層
１１…半導体ウェハ
１２…下地層
１３…レジスト層
１５…めっき層
２１…半導体チップ
２２…スクライブライン
２３…配線パターン
２４…ダミーパターン
３１…半導体チップ
３２…大電流系配線
３３…信号系配線
３４…ダミーパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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