(57)【要約】【課題】シンプルで実用的なプロキシミティブラインドを有する露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】本発明に係る露光装置の可動ブラインド装置１００は、一対のＬ字型ブラインド板１６０、１６１を備えている。ブラインド板１６０、１６１は、ガイド軸兼カウンタマス１１１、１１３にスライド可能に設けられている。ブラインド板１６０、１６１は、インチワーム型の接触式非共振型超音波アクチュエータの駆動によって、Ｘ・Ｙ・Ｚ方向に移動可能である。これら一対のブラインド板１６０、１６１により、レチクルの露光領域を制限する矩形の開口が形成される。そして、ブラインド板１６０、１６１のそれぞれを独立に駆動させることにより、開口寸法と位置の設定を行うことができる。【選択図】      図１
2004356415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版上に形成したパターンを感応基板に転写する露光装置であって、
前記原版の露光領域を制限する、該原版の近傍に配置された可動ブラインドを備え、
該可動ブラインドが、
協動して矩形の開口を形成する一対のＬ字型のブラインド板と、
前記開口の寸法及び／又は位置を変えるために、前記各ブラインド板をそれぞれ独立に駆動するブラインド板駆動手段と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記露光装置は、前記原版のある方向（Ｙ方向）にスキャン露光するものであり、
前記一対のブラインド板は、
前記Ｙ方向の直交方向（Ｘ方向）には、両ブラインド板が相対的に移動して前記開口の幅を変えることにより前記露光領域の端縁を設定し、
前記Ｙ方向には、両ブラインド板が同期移動して前記露光領域の端縁を設定することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記露光装置の前記原版交換時には、前記一対のブラインド板が、前記ＸＹ方向のなす面と鉛直方向（Ｚ方向）にも移動することを特徴とする請求項２記載の露光装置。
【請求項４】
原版ステージが、前記露光装置のボディに振動絶縁手段を介して配置されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の露光装置。
【請求項５】
前記ブラインド板のＹ方向の駆動反力を処理するカウンタマス機構を具備することを特徴とする請求項１〜４いずれか１項記載の露光装置。
【請求項６】
前記ブラインド板駆動手段が、
長手方向に延びるガイドバーと、
該ガイドバーに沿って移動・位置決めされるスライダと、
該スライダを駆動するインチワーム型のアクチュエータと、
を有することを特徴とする請求項１〜５いずれか１項記載の露光装置。
【請求項７】
原版上に形成したパターンを感応基板に転写する露光方法であって、
協動して矩形の開口を形成する一対のＬ字型のブラインド板を、前記原版の近傍でそれぞれ独立に駆動し、該ブラインド板により前記原版の露光領域を制限することを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、原版（マスク、レチクル等）上に形成したパターンを感応基板（ウェハ等）に転写する露光装置及び露光方法に関する。特には、シンプルで実用的なプロキシミティブラインドを有する露光装置及び露光方法に関する。
【０００２】
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体デバイス等の微細パターンを形成するための、いわゆるリソグラフィ技術においては、現在光露光装置が主流である。光露光装置の中でもスキャン方式のものは、パターン原版（レチクル）を載置するレチクルステージと、パターンが転写される感応基板（ウェハ）を載置するウェハステージとを同期走査しながら、パターンをウェハ上に投影転写（いわゆるスキャン露光）する。このスキャン露光装置では、ウェハステージを移動させて転写すべき露光領域を投影光学系の光軸上に位置決めするステップ動作と、レチクルステージとウェハステージを同期移動させながら走査露光するスキャン動作を繰り返す。
【０００３】
光露光においては、露光光が透過するタイプの透過型レチクルが広く用いられる。照明光学系において、露光光は、ブラインド（成形開口板）内側の開口を通過して整形された後、レチクル上に照射される。そして、露光光は、ほとんど強度損失することなくレチクルを透過し、投影光学系を経てウェハに導かれる。光露光では、露光光はほとんど強度損失することはないので、照明光学系中に相当多数のレンズを配置し得る。そして、照明光学系中にレチクル面と共役な面を設け、その面に露光光束を整形するブラインドを設けることができるので、ブラインドはレチクルステージよりも相当遠方に配置することができる。
【０００４】
なお、スキャン露光に用いる露光光束の整形のためのブラインドの他に、レチクル上の露光領域を制限するためのブラインド（視野絞り）も必要となるが、そのようなブラインドも前記の共役面の近傍に配置することができる。
【０００５】
ところで、近年のデバイスパターンの微細化に伴い、光の回折限界によって制限される投影光学系の解像力をさらに向上させることが望まれている。そこで、軟Ｘ線又はＥＵＶ光（Ｅｘｔｒｅｍｅ  Ｕｌｔｒａ  Ｖｉｏｌｅｔ光：極端紫外光）と呼ばれる数ｎｍ〜数１０ｎｍの波長のＸ線が注目されており、具体的には１３ｎｍ程度の波長を有するＥＵＶ光を使用したリソグラフィ技術の開発が進められている。この技術は、光露光の延長上にある波長１９０ｎｍ程度の紫外線を用いた光リソグラフィでは実現不可能な、７０ｎｍ以下の解像力を得られる技術として期待されている。ＥＵＶ光露光装置では、レチクルとウェハとを投影光学系に対して相対走査する走査露光方法が採用されることが想定されている。
【０００６】
ＥＵＶ光領域においては、光が透過する有力な物質は存在せず、透過・屈折型の光学系を構成することはできない。そこで、反射型の光学系を用いることとなるが、レチクルも反射型レチクルが用いられる。照明光学系から照射された露光光束は、反射型レチクルに斜めから入射して反射面で反射し、投影光学系を経てウェハに導かれる。ところが、ＥＵＶ光露光で用いられる反射ミラーは、現状では反射率が約７０％と低いため、ミラー枚数が増えると露光光の幾何級数的な強度低下が生じる。したがって、照明光学系中の反射ミラーの枚数は、できる限り少なくしたい。そのため、照明光学系中にレチクル面との共役な面を置く余裕はなく、露光光束を整形するブラインドをレチクルステージの近傍に配置せざるを得ない。
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであって、シンプルで実用的なプロキシミティブラインドを有する露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、本発明の露光装置は、原版上に形成したパターンを感応基板に転写する露光装置であって、  前記原版の露光領域を制限する、該原版の近傍に配置された可動ブラインドを備え、  該可動ブラインドが、  協動して矩形の開口を形成する一対のＬ字型のブラインド板と、  前記開口の寸法及び／又は位置を変えるために、前記各ブラインド板をそれぞれ独立に駆動するブラインド板駆動手段と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、原版の露光領域を制限する矩形の開口が、一対のＬ字型のブラインド板で形成される。そして、ブラインド板駆動手段で一対のブラインド板のそれぞれを独立に駆動させることにより、開口寸法と位置の設定を行うことができる。
【００１０】
本発明の露光装置においては、前記露光装置は、前記原版のある方向（Ｙ方向）にスキャン露光するものであり、  前記一対のブラインド板は、  前記Ｙ方向の直交方向（Ｘ方向）には、両ブラインド板が相対的に移動して前記開口の幅を変えることにより前記露光領域の端縁を設定し、  前記Ｙ方向には、両ブラインド板が同期移動して前記露光領域の端縁を設定することができる。
原版の露光領域のサイズが変わる場合に、Ｘ方向の幅調整は、両ブラインド板をＸ方向に相対的に移動させて、両ブラインド板間の開口の幅を変える。そして、Ｙ方向の露光領域端縁設定（露光領域のＹ方向長さ調整）は、詳しくは図９（Ｂ）、図１０（Ｂ）を参照しつつ後述するが、原版を載置する原版ステージに対する、ブラインド板の同期移動と非同期移動とを併用しながら、露光領域のＹ方向の端縁を設定する。
なお、露光装置のアライメント時には、各ブラインド板はＹ方向に独立に駆動することが好ましい。
【００１１】
本発明の露光装置においては、前記露光装置の前記原版交換時には、前記一対のブラインド板が、前記ＸＹ方向のなす面と鉛直方向（Ｚ方向）にも移動することができる。
この場合、ブラインド板をＺ方向に移動可能とすることで、原版搬送等をスムーズに行うことができる。
【００１２】
本発明の露光装置においては、原版ステージが、前記露光装置のボディに振動絶縁手段を介して配置されていることができる。
この場合、振動絶縁手段により、原版ステージの移動に伴って生じる振動が、露光装置の筐体に伝わることを回避できる。
【００１３】
本発明の露光装置においては、前記ブラインド板のＹ方向の駆動反力を処理するカウンタマス機構を具備することができる。
この場合、カウンタマス機構により、ブラインド板の駆動に伴って生じる反力を打ち消すことができる。そのため、スキャン露光中にブラインドをスキャン方向に駆動しても、ステージに振動を与えるのを防止でき、パターン転写精度の低下を抑制できる。
【００１４】
本発明の露光装置においては、前記ブラインド板駆動手段が、  長手方向に延びるガイドバーと、  該ガイドバーに沿って移動・位置決めされるスライダと、
該スライダを駆動するインチワーム型のアクチュエータと、を有するものとできる。
そのようなアクチュエータとしては、例えば特願２００２−０３６１４７等を用いることができる。同アクチュエータは、  前記スライダから前記ガイドバーに当てられるとともに、前記スライダを前記ガイドバーの長手方向に押す駆動力伝達部と、  該駆動力伝達部を前記ガイドバー表面に押し当て・引き離しを行う第１の圧電素子（垂直駆動圧電素子）と、  前記駆動力伝達部を前記ガイドバーの長手方向に押す第２の圧電素子（水平駆動圧電素子）と、を有するものとすることができる。
【００１５】
本発明の露光方法は、原版上に形成したパターンを感応基板に転写する露光方法であって、  協動して矩形の開口を形成する一対のＬ字型のブラインド板を、前記原版の近傍でそれぞれ独立に駆動し、該ブラインド板により前記原版の露光領域を制限することを特徴とする。
なお、露光光の種類は、ＥＵＶ光に限られるものではなく、紫外光、電子線、イオンビーム等であってもよい。また、露光の方式も特に限定されず、縮小投影露光や等倍近接転写であってよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ説明する。
なお、以下に述べる本実施の形態では、ＥＵＶＬ露光装置を例に採って説明するが、本発明はＥＵＶ光以外のエネルギ線を用いる他の露光装置に適用することも可能である。
図１１は、ＥＵＶＬ露光装置の一例（４枚投影系）の概略構成を示す図である。
図１１に示すＥＵＶＬ露光装置は、光源を含む照明系ＩＬを備えている。照明系ＩＬから放射されたＥＵＶ光（一般に波長５〜２０ｎｍが用いられ、具体的には１３ｎｍや１１ｎｍの波長が用いられる）は、折り返しミラー１で反射してレチクル２に照射される。
【００１７】
レチクル２は、レチクルステージ３に保持されている。このレチクルステージ３は、走査方向（Ｙ軸）に１００ｍｍ以上のストロークを持ち、レチクル面内の走査方向と直交する方向（Ｘ軸）に微小ストロークを持ち、光軸方向（Ｚ軸）にも微小ストロークを持っている。ＸＹ方向の位置は図示せぬレーザ干渉計によって高精度にモニタされ、Ｚ方向はレチクルフォーカス送光系４とレチクルフォーカス受光系５からなるレチクルフォーカスセンサでモニタされている。
【００１８】
レチクル２で反射したＥＵＶ光は、図中下側の光学鏡筒１４内に入射する。このＥＵＶ光は、レチクル２に描かれた回路パターンの情報を含んでいる。レチクル２にはＥＵＶ光を反射する多層膜（例えばＭｏ／ＳｉやＭｏ／Ｂｅ）が形成されており、この多層膜の上に吸収層（例えばＮｉやＡｌ）の有無でパターニングされている。
【００１９】
光学鏡筒１４内に入射したＥＵＶ光は、第一ミラー６で反射した後、第二ミラー７、第三ミラー８、第四ミラー９と順次反射し、最終的にはウェハ１０に対して垂直に入射する。投影系の縮小倍率は、例えば１／４や１／５である。この図では、ミラーは４枚であるが、Ｎ．Ａ．をより大きくするためには、ミラーを６枚あるいは８枚にすると効果的である。鏡筒１４の近傍には、アライメント用のオフアクシス顕微鏡１５が配置されている。
【００２０】
ウェハ１０は、ウェハステージ１１上に載せられている。ウェハステージ１１は、光軸と直交する面内（ＸＹ平面）を自由に移動することができ、ストロークは例えば３００〜４００ｍｍである。同ウェハステージ１１は、光軸方向（Ｚ軸）にも微小ストロークの上下が可能で、Ｚ方向の位置はウェハオートフォーカス送光系１２とウェハオートフォーカス受光系１３からなるウェハフォーカスセンサでモニタされている。ウェハステージ１１のＸＹ方向の位置は図示せぬレーザ干渉計によって高精度にモニタされている。露光動作において、レチクルステージ３とウェハステージ１１は、投影系の縮小倍率と同じ速度比、すなわち、４：１あるいは５：１で同期走査する。
【００２１】
次に、本発明に係る可動ブラインド装置について説明する。可動ブラインド装置は、前述した図１１のレチクルステージ３の下側に配置されており、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１（図１等参照）を駆動させてレチクル２の露光領域を制限する装置である。なお、可動ブラインドの近くに、照明光束の外形を成形する固定ブラインドも設けられているが、その図示は省略する。
図１は、本実施の形態に係る可動ブラインド装置の構成を示す斜視図である。
図２は、同可動ブラインド装置のブラインド板駆動部の構成を模式的に示すＸＹ平面図である。
図３は、同可動ブラインド装置のブラインド板駆動部の構成を模式的に示すＹＺ面で見た側面図である。
【００２２】
図４は、同ブラインド板駆動部のＸ駆動用アクチュエータ近傍の構成を示す拡大図（図１のＡ部拡大図）である。
図５は、同ブラインド板駆動部のアーム近傍の構成を模式的に示す図である。
（Ａ）はＹＺ面で見た側面図であり、（Ｂ）は斜視図である。
図６は、本発明に係る露光装置内における支持構造体、レチクルステージ、可動ブラインド装置の位置関係を示す模式的側面図である。
なお、以下の説明において、Ｘ・Ｘ´、Ｙ・Ｙ´、Ｚ・Ｚ´方向は、図１に示す矢印方向を指すものとする。他の図中に示す矢印方向も、基本的に図１の矢印方向に準拠している。
【００２３】
まず、図６を参照しつつ、露光装置内における可動ブラインド装置１００の位置関係について説明する。
図６に模式的に示すように、可動ブラインド装置１００は、図１１に示す露光装置のボディＢＤ（支持構造体）に支持されたベース１０１上に設けられている。可動ブラインド装置１００の上方には、前述のレチクルステージ３が配置されている。レチクルステージ３は、ボディＢＤ上にエアマウント（振動絶縁手段）９０を介して搭載されている。このエアマウント９０により、レチクルステージ３の移動に伴って生じる振動がボディＢＤに伝わらず、したがって可動ブラインド装置１００が安定して支持されるようになっている。
【００２４】
次に、可動ブラインド装置１００について詳細に説明する。
図１に示すように、可動ブラインド装置１００は、円盤状のベース１０１を備えている。このベース１０１は、外周の４箇所の張出部（大張出部１０１ａ・１０１ｂ、小張出部１０１ｃ・１０１ｄ）を有している。ベース１０１の中央には、露光光束を通過させる円形開口１０２が形成されている。なお、図示は省略されているが、ベース１０１上には、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１の位置・姿勢を検出するセンサが載置されている。
【００２５】
図１、図２等に示すように、ベース１０１上面には、Ｙ方向に沿って互いに平行に延びる２本のガイド軸１１１、１１３が取り付けられている。これらのガイド軸１１１、１１３は、ベース１０１の中心を通るベース中心ラインＣを挟んで、ベース中心点について対称に配置されている。各ガイド軸１１１、１１３の両端部には、四角い枠状のガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂが外嵌している。各ガイド軸１１１、１１３と各ガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂとの間には、図示せぬリニアガイドが介装されている。各ガイド軸１１１、１１３は、ガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂ内側に支持されつつ、Ｙ・Ｙ′方向に各々独立に摺動可能である。これらのガイド軸１１１、１１３は、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１の駆動反力を打ち消すカウンタマスの役割を兼ねる（後に詳述する）。
【００２６】
各ガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂの側部には、それぞれ突起１２５ａ（図４参照）、１２５ｂ、１２６ａ、１２６ｂが形成されている。ガイド枠１２１Ａの突起１２５ａ及びガイド枠１２３Ａの突起１２６ａは、Ｘ方向に突出しており、ガイド枠１２１Ｂの突起１２５ｂ及びガイド枠１２３Ｂの突起１２６ｂは、Ｘ´方向に突出している。これらの突起１２５ａ、１２５ｂ、１２６ａ、１２６ｂは、それぞれＸ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂに接続されている。前述のガイド軸兼カウンタマス１１１、１１３は、両端部のガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂを介して、Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂによりベース１０１上に支持されている。
【００２７】
図１の各ガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ、１２３Ａ・１２３Ｂに対応するＸ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂの構成は同一であるため、ここでは主にガイド枠１２１ＡとＸ駆動用アクチュエータ１３１Ａとの組（図４にその近傍の拡大図を示す）を説明する。
図２、図３及び図４にわかり易く示すように、Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａは、枠状のケーシング１３１ａを備えている。ガイド枠１２１Ａの突起１２５ａは、ケーシング１３１ａの内側に挿通されている。なお、突起１２５の端部には、抜け止め用フランジ１２５ｆ（図２参照）が設けられている。
【００２８】
Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａのケーシング１３１ａの内面には、Ｚ軸方向上下それぞれにリニアガイド１３５が設けられており、Ｙ軸方向両側それぞれにインチワーム型の接触式非共振型超音波アクチュエータ１３６が設けられている。インチワーム型の超音波アクチュエータ１３６としては、例えば特願２００２−０３６１４７等に開示されているものと同様のものを用いることができる。図２に示すように、超音波アクチュエータ１３６が作動すると、ガイド枠１２１Ａ（１２１Ｂ）の突起１２５ａ（１２５ｂ）がリニアガイド１３５（図３参照）にガイドされつつＸ・Ｘ′方向に駆動する。これにより、ガイド枠１２１Ａ（１２１Ｂ）に支持されたガイド軸兼カウンタマス１１１が、Ｘ・Ｘ´方向に移動できる。なお、ガイド軸兼カウンタマス１１１と１１３とは、それぞれ独立に移動可能である。
【００２９】
図１、図３に示すように、ガイド軸兼カウンタマス１１１には、Ｙ軸方向に沿う溝１１１ａが形成されている。この溝１１１ａには、ブラインド板駆動スライダ１４１がＹ軸方向にスライド可能に組み付けられている。ガイド軸兼カウンタマス１１１の溝１１１ａの上下面には、インチワーム型の接触式非共振型超音波アクチュエータ（Ｙ駆動用アクチュエータ）１４５が設けられている。インチワーム型の超音波アクチュエータ１４５としては、前述と同様に例えば特願２００２−０３６１４７等に開示されているものと同様のものを用いることができる。この超音波アクチュエータ１４５を駆動することにより、ブラインド板駆動スライダ１４１は、ガイド軸兼カウンタマス１１１の溝１１１ａに沿ってＹ・Ｙ´方向にスライドする。
【００３０】
後述するように、ブラインド板１６０、１６１は軽量であるため駆動推力が小さくてもよく、さらに位置決め精度は比較的緩めで済む（一例で±１μｍ程度）。そこで、この種の超音波アクチュエータ１４５のように、発熱が微小でガイド軸兼カウンタマス１１１との一体化が可能なものが最適である。ただし、超音波アクチュエータは、基本的には共振モードを利用するため、振動外乱を生じる可能性がある。そこで、本実施の形態のように、非共振型（共振を利用しない）のものを用いるものとする。さらには、最近検討されている低脱ガス化等の真空対応型のものであると一層好ましい。
【００３１】
なお、図示はしないが、もう一方のガイド軸兼カウンタマス１１３にも、同様に溝やブラインド板駆動スライダ、超音波アクチュエータが設けられている。これらは、ベース１０１の中心を通るベース中心ラインＣ（図１参照）を挟んで、ベース中心点についてガイド軸兼カウンタマス１１１のものと対称に設けられている。
【００３２】
図２、図４及び図５に示すように、ブラインド板駆動スライダ１４１には、枠状のアーム収容部１５１が一体形成されている。このアーム収容部１５１内には、Ｌ字型ブラインド板１６０を支持するアーム１５３の基部１５３ａが収容されている。なお、アーム１５３の基部１５３ａの下端には、抜け止め用フランジ１５３ｆ（図４参照）が設けられている。
【００３３】
ブラインド板駆動スライダ１４１のアーム収容部１５１の内面には、Ｘ軸方向両側それぞれにリニアガイド１５５が設けられており、Ｙ軸方向両側それぞれにインチワーム型の接触式非共振型超音波アクチュエータ（Ｚ駆動用アクチュエータ）１５６が設けられている。この超音波アクチュエータ１５６は、前述の超音波アクチュエータ１４５と同様のインチワーム型のものである。超音波アクチュエータ１５６が作動すると、アーム１５３の基部１５３ａがリニアガイド１５５にガイドされつつＺ軸方向に駆動する（図３、図５参照）。これにより、Ｌ字型ブラインド板１６０が、リニアガイド１５５に支持されつつＺ・Ｚ´方向に移動できる。
【００３４】
なお、図示はしないが、もう一方のガイド軸兼カウンタマス１１３のブラインド板駆動スライダにも、同様にアームやリニアスライダ、超音波アクチュエータが設けられている。
【００３５】
Ｌ字型ブラインド板１６０（１６１）は、ＸＹ平面に広がるように、アーム１５３の上端部に取り付けられている。図１に示すように、ガイド軸１１１側のＬ字型ブラインド板１６０と、ガイド軸１１３側のＬ字型ブラインド板１６１とは、両者の内側に矩形状の領域が形成可能なように対向配置されている。そして、これら一対のＬ字型ブラインド板１６０、１６１の内側において、露光領域が形成される。
【００３６】
次に、前述の可動ブラインド装置の作用について説明する。
図７（Ａ）は本実施の形態に係る露光装置のレチクル搬送状態を示す図であり、図７（Ｂ）はレチクル搬送用のロボットアーム及びその上のレチクルを示す模式図である。
図８は、図７（Ａ）の状態からレチクルステージやロボットアームを除いた図である。
図９（Ａ）は露光装置の露光時において、可動ブラインド装置のブラインド板がＹ´方向に移動した時の状態を示す図であり、図９（Ｂ）はブラインド板によるＹ方向端縁設定状態における露光領域及び照明ビームの関係を示す模式図である。
図１０（Ａ）は同露光装置の露光時において、可動ブラインド装置のブラインド板がＹ方向に移動した時の状態を示す図であり、図１０（Ｂ）はブラインド板によるＹ′方向端縁設定状態における露光領域及び照明ビームの関係を示す模式図である。
【００３７】
まず、前段階として、露光に用いられるレチクルの露光領域のサイズに応じた露光フィールド幅を決める。このときは、可動ブラインド装置１００は、Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂを駆動してガイド軸兼カウンタマス１１１、１１３をそれぞれ独立に移動させ、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１をＸ軸方向に位置決めしておく。そのため、レチクルがレチクルステージに対して少々ずれているような場合、あるいは、レチクルの露光領域がレチクルの中心からオフセンターしているような場合にも対応できる。
【００３８】
図７（Ａ）には、可動ブラインド装置１００のＬ字型ブラインド板１６０、１６１の上方のレチクルステージ３が描かれている（前述の図６も参照）。このレチクルステージ３の中央部には、レチクルを保持する静電チャック３Ａが設けられている。図７（Ｂ）に示すように、レチクル２は、ロボットアーム９５の二股状の先端部に載置されて、レチクルステージ３とＬ字型ブラインド板１６０、１６１との間（図６の隙間ｔ）へと搬送され、静電チャック３Ａの下面側に吸着されて保持される。レチクル２の吸着保持が完了した後、ロボットアーム９５は退避する。
【００３９】
このレチクル搬送時において、可動ブラインド装置１００は、ブラインド板駆動スライダ１４１の超音波アクチュエータ（Ｚ駆動用アクチュエータ）１５６を駆動して、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１を支持しているアーム１５３を下側（Ｚ´方向）に退避させておく（図７（Ａ）、図８参照）。すると、レチクルステージ３の静電チャック３Ａ下面とＬ字型ブラインド板１６０、１６１上面との間に隙間ｔが確保される（図６参照）。前述の通り、この隙間ｔがレチクル２・ロボットアーム９５の搬入スペースとなる。そして、静電チャック３Ａ下面にレチクル２を吸着した後は、前述の隙間ｔが約１ｍｍ程度となるまでアーム１５３を上側（Ｚ方向）に上昇させる（図８→図９（Ａ）参照）。
【００４０】
次いで、レチクル２のアライメントを行う。このアライメント時には、ベース１０１上のアライメントマーク（図示されず：図９（Ｂ）に示す露光領域ＦのＸ・Ｘ′方向の脇に設けられている）が検出可能となるように、Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂを駆動して、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１をＸ・Ｘ′方向に独立に移動させる。
【００４１】
ここで、図９（Ｂ）又は図１０（Ｂ）に示すように、Ｌ字型ブラインド１６０のＸ軸方向に沿うＸ腕部１６０Ｘと、Ｌ字型ブラインド１６１のＸ軸方向に沿うＸ腕部１６１Ｘとは互いに平行であり、Ｌ字型ブラインド１６０のＹ軸方向に沿うＹ腕部１６０Ｙと、Ｌ字型ブラインド１６１のＹ軸方向に沿うＹ腕部１６１Ｙとは互いに平行である。そして、Ｌ字型ブラインド板１６０の両腕部１６０Ｘ、１６０Ｙと、Ｌ字型ブラインド板１６１の両腕部１６１Ｘ、１６１Ｙとにより、矩形状の領域が形成され、この矩形状の領域内に露光領域Ｆが設定される。
【００４２】
アライメントが終了した後は、Ｘ駆動用アクチュエータ１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３ＢによりＬ字型ブラインド板１６０、１６１をＸ・Ｘ′方向に移動させ、図９（Ｂ）に示すように、露光領域ＦのＸ方向端縁を設定する。それと同時に、ガイド軸兼カウンタマス１１１、１１３の超音波アクチュエータ（Ｙ駆動用アクチュエータ）１４５を駆動して、露光領域ＦのＹ方向端縁（符号ＦＹ）を、Ｌ字型ブラインド板１６１のＸ腕部１６１Ｘの内端縁１６１αに一致させる。
【００４３】
そして、これらの露光領域ＦのＹ方向端縁ＦＹと、Ｌ字型ブラインド板１６１のＸ腕部１６１Ｘの内端縁１６１αとの一致が完了した後に、露光を開始する。すなわち、図９（Ｂ）に示すように、図示せぬ固定ブラインドで弧状に成形された照明ビームＢ１（点線参照）に対して、可動ブラインド装置１００の一対のＬ字型ブラインド板１６０、１６１とレチクルステージ３のレチクル２とをＹ方向からＹ′方向に向けてスキャンさせる。このとき、可動ブラインド装置１００においては、ガイド軸兼カウンタマス１１１、１１３の超音波アクチュエータ（Ｙ駆動用アクチュエータ）１４５を駆動してブラインド板駆動スライダ１４１をＹ・Ｙ′方向にスライドさせ、もってＬ字型ブラインド板１６０、１６１を移動させる（図９（Ａ）参照）。なお、照明ビームＢ１は、光学系に対して位置変化しない。
【００４４】
この際、図９（Ｂ）に示すように、最初に照射される照明ビームＢ１による露光領域は、両Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１のＸ腕部１６０Ｘ、１６１Ｘの内端縁によりＸ軸方向両端が制限され、Ｌ字型ブラインド板１６１のＸ腕部１６１Ｘの内端縁１６１αによりＹ方向端縁が制限される。そして、照明ビームがＢ１→Ｂ２へと至ると、露光領域Ｆ内において、両Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１のＸ腕部１６０Ｘ、１６１Ｘの内端縁によりＸ軸方向両端が制限される。そのため、露光領域Ｆ外に照明ビームＢ１、Ｂ２が当るのを防止することができ、パターン転写とは無関係の露光光がウェハ方向に反射するのを防止することができる。
【００４５】
次いで、図１０（Ｂ）に示すように、両Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１をＹ方向に移動させ、露光領域ＦのＹ′方向端縁（符号ＦＹ′）を、Ｌ字型ブラインド板１６０のＸ腕部１６０Ｘの内端縁１６０αに一致させる。この間は、露光領域Ｆ内において、両Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１のＸ腕部１６０Ｘ、１６１Ｘの内端縁によりＸ軸方向両端が制限される。そして、さらにスキャンが進んで照明ビームがＢ２→Ｂ３へと至ったとき、露光領域ＦのＹ′方向端縁ＦＹ′とＬ字型ブラインド板１６０のＸ腕部１６０Ｘの内端縁１６０αとは既に一致しているので、照明ビームＢ３による露光領域は、両Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１のＸ腕部１６０Ｘ、１６１Ｘの内端縁によりＸ軸方向両端が制限され、Ｌ字型ブラインド板１６１のＸ腕部１６１Ｘの内端縁１６１αによりＹ′方向端縁が制限される。この際にも、露光領域Ｆ外に照明ビームＢ２、Ｂ３が当るのを防止することができ、パターン転写とは無関係の露光光がウェハ方向に反射するのを防止することができる。
【００４６】
このようなスキャン露光中、Ｌ字型ブラインド板１６０、１６１を支持するアーム１５３が組み付けられたブラインド板駆動スライダ１４１は、カウンタマス兼ガイド軸１１１（１１３）に沿ってスライドする（図９（Ａ）、図１０（Ａ）参照）。このとき、図３にわかり易く示すように、カウンタマス兼ガイド軸１１１（１１３）は、ガイド枠１２１Ａ・１２１Ｂ（１２３Ａ・１２３Ｂ）に支持されつつ、ブラインド板駆動スライダ１４１のスライド方向（Ｙ方向あるいはＹ′方向）とは逆方向（Ｙ′方向あるいはＹ方向）に移動する。
【００４７】
このカウンタマス兼ガイド軸１１１（１１３）の移動により、ブラインド板駆動スライダ１４１の移動に伴って生じる反力を打ち消すことができる。そのため、スキャン露光中にＬ字型ブラインド板１６０、１６１をスキャン方向に駆動しても、レチクルステージ３に振動を与えるのを防止でき、パターン転写精度の低下を抑制できる。
【００４８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、高精度な露光光束整形を実現できる露光装置及び露光方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る可動ブラインド装置の構成を示す斜視図である。
【図２】同可動ブラインド装置のブラインド板駆動部の構成を模式的に示すＸＹ平面図である。
【図３】同可動ブラインド装置のブラインド板駆動部の構成を模式的に示すＹＺ面で見た側面図である。
【図４】同ブラインド板駆動部のＸ駆動用アクチュエータ近傍の構成を示す拡大図（図１のＡ部拡大図）である。
【図５】同ブラインド板駆動部のアーム近傍の構成を模式的に示す図である。（Ａ）はＹＺ面で見た側面図であり、（Ｂ）は斜視図である。
【図６】本発明に係る露光装置内における支持構造体、レチクルステージ、可動ブラインド装置の位置関係を示す模式的側面図である。
【図７】図７（Ａ）は本実施の形態に係る露光装置のレチクル搬送状態を示す図であり、図７（Ｂ）はレチクル搬送用のロボットアーム及びその上のレチクルを示す模式図である。
【図８】図７（Ａ）の状態からレチクルステージやロボットアームを除いた図である。
【図９】図９（Ａ）は露光装置の露光時において、可動ブラインド装置のブラインド板がＹ´方向に移動した時の状態を示す図であり、図９（Ｂ）はブラインド板によるＹ方向端縁設定状態における露光領域及び照明ビームの関係を示す模式図である。
【図１０】図１０（Ａ）は同露光装置の露光時において、可動ブラインド装置のブラインド板がＹ方向に移動した時の状態を示す図であり、図１０（Ｂ）はブラインド板によるＹ′方向端縁設定状態における露光領域及び照明ビームの関係を示す模式図である。
【図１１】ＥＵＶＬ露光装置の一例（４枚投影系）の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
ＢＤ  ボディ                              ＩＬ  照明系
２  レチクル                              ３  レチクルステージ
１０  ウェハ                              １１  ウェハステージ
９０  エアマウント
１００  可動ブラインド装置                １０１  ベース
１１１、１１３  ガイド軸兼カウンタマス
１２１Ａ、１２１Ｂ、１２３Ａ、１２３Ｂ  ガイド枠
１２５ａ、１２５ｂ、１２６ａ、１２６ｂ  突起
１３１Ａ、１３１Ｂ、１３３Ａ、１３３Ｂ  Ｘ駆動用アクチュエータ
１３５  リニアガイド                      １３６  超音波アクチュエータ
１４１  ブラインド板駆動スライダ
１４５  超音波アクチュエータ（Ｙ駆動用アクチュエータ）
１５３  アーム                            １５５  リニアガイド
１５６  超音波アクチュエータ（Ｚ駆動用アクチュエータ）
１６０、１６１  Ｌ字型ブラインド板
Ｂ１〜Ｂ３  照明ビーム                    Ｆ  露光領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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