【事件の表示】
　平成９年特許願第１３９２５８号「ドライエッチング装置用封止材」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１２月４日出願公開、特開平１０−３１８３７３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年５月１４日の出願であって、その請求項１〜３に係る発明は、平成１６年７月２２日付け手続補正により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
　
「【請求項１】
　封止材用組成物を成形・加硫してなり、ゲートバルブを閉塞封止するためアリ溝内に挿入され、直断面形状が円状である、高密度プラズマが発生するドライエッチング装置用封止材であって、
　前記封止材用組成物が弗素系弾性体に弗素系樹脂微粉末を配合してなり、前記弗素系弾性体がフルオロオレフィンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとから誘導された繰り返し単位を主成分とする弗素系弾性体であり、前記弗素系樹脂微粉末が前記封止材用組成物全体に対し弗素系樹脂微粉末を５〜５０重量％配合してなり、前記円状の円周の一部に一つの凹状部を有することを特徴とするドライエッチング装置用封止材。
　【請求項２】
　前記凹状部以外の他の円周に、少なくとも一つの頂部を有することを特徴とする請求項１記載のドライエッチング装置用封止材。
　【請求項３】
　平面図でみて方形の封止材であって、前記凹状部が前記方形の直線部分にのみ形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のドライエッチング装置用封止材。」
　
２．引用刊行物
　これに対し、当審において、平成１６年５月１７日付けで通知した拒絶の理由に引用された、本願出願前に頒布された刊行物である、次の刊行物には、概略以下(1)〜(4)に示す技術的事項が記載されている。
　
・国際公開９７／８２３９号パンフレット（１９９７年）
　（以下、「刊行物１」という。）
・実願昭６０−１９９６０７号（実開昭６２−１０８６６１号）の
　マイクロフィルム（以下、「刊行物２」という。）
・実願昭５９−１１１９１１号（実開昭６１−２８９４９号）の
　マイクロフィルム（以下、「刊行物３」という。）
・特開平２−５９０２６号公報（以下、「刊行物４」という。）
　　
(1)刊行物１：国際公開９７／８２３９号パンフレット（１９９７年）
　「封止材用組成物および封止材」に関し、次の記載が認められる。
［1-イ］「本発明のエッチング装置用封止材は、フルオロオレフィンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとから誘導された繰り返し単位を主成分とする弗素系弾性体に、弗素系樹脂微粉末を5〜50重量％配合し、加硫後の溶出金属分が8ppb以下である封止材用組成物を成型して得られることを特徴とする。」（３頁２６〜２９行）
［1-ロ］「なお、本発明において、エッチング装置用封止材とは、プラズマエッチング装置、イオンエッチング装置などに使用することのできるゲートバルブシールおよび周辺シールをいう。また、シールの形状としては、Ｏリング状、角リング状、異径リング状、シールパッキン状の形状を挙げることができる。」（８頁１８〜２１行）
　
　上記摘記記載からみて、刊行物１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているものと認める。
[引用発明]
「封止材用組成物を成型・加硫してなり、Ｏリング状の形状を有し、プラズマエッチング装置に使用できるゲートバルブシールおよび周辺シールであって、
　封止材用組成物が弗素系弾性体に弗素系樹脂微粉末を配合してなり、弗素系弾性体がフルオロオレフィンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとから誘導された繰り返し単位を主成分とする弗素系弾性体であり、弗素系樹脂微粉末を5〜50重量％配合してなるプラズマエッチング装置用封止材」
　
(2)刊行物２：実願昭60-199607号(実開昭62-108661号)のマイクロフィルム
　「密封装置」に関し、図面とともに、次の記載が認められる。
［2-イ］「ゴム様弾性材よりなり、一方の部材(5)に凹設された環状溝(6)とこれに対向する他方の部材(7)間に介装して密封を行なう密封装置において、環状溝(6)に対して圧接する２条の環状圧接部(2)(3)と、他方の部材(7)に対して圧接する１条の環状圧接部(4)を有することを特徴とする密封装置。」（実用新案登録請求の範囲）
［2-ロ］「しかし、上記密封装置(13)は、軸線方向肉厚(b)と径方向肉厚(a)の比が大きくなると、図中２点鎖線で示すように、圧縮によって倒れや捩れが生じてシール性が低下したり、あるいはこれに伴ない一部(13')が環状溝(6)からはみ出して両部材(5)(7)間に咬み込まれ、破壊してしまう等の不具合が生じ易くなるものであった。
　本考案は、このような事情のもとに、溝幅の狭い環状溝に対応する密封装置の新規形状を提案するものである。」（３頁５〜１４行）
［2-ハ］「当該密封装置(1)の形状の特異性から、各環状圧接部(2)(3)(4)同士の中間に相当するところには余裕空間(8a)(8b)(8c)が形成され」（５頁１４行〜６頁１行）
［2-ニ］「本考案密封装置は、溝幅の狭い環状溝内においても安定装着されるため、圧縮による倒れや捩れが生じることなく良好なシール性を発揮し、また形状の特質上、圧縮変形に対する内部応力がそれほど高くならないため、割れ等の不具合も起こり難く、このことから環状溝の寸法公差も大きくとることができ、その実用的効果はきわめて大きい。」（６頁１２行〜７頁４行）
　
(3)刊行物３：実願昭59-111911号(実開昭61-28949号)のマイクロフィルム
　「軸方向圧縮式シールパツキン」に関し、図面とともに、次の記載が認められる。
［3-イ］「二つの部材を軸方向に圧縮して、該二つの部材間を気密的にシール接続するための軸方向圧縮式シールパツキンにおいて、前記シールパツキンの軸方向の少なくとも一方に平坦なパツキン作用面を備え、前記平坦なパツキン作用面の中心線に沿つて周状くぼみを設けて成る軸方向圧縮式シールパツキンである。」（４頁１７行〜５頁４行）
［3-ロ］「軸方向の少なくとも一方の平坦なパツキン作用面に周状くぼみが設けてあるので、二つの部材間の締付け圧力を低減でき、かつ一定の押圧を維持できる」（８頁１３〜１６行）
　
(4)刊行物４：特開平２−５９０２６号公報
　「２つの平行な望ましくは平らな封止面の間に押圧されるように企図された弾性材料のリングを含むシール」に関し、図面とともに、次の記載がある。
［4-イ］「Ｏリングによつて望まれた緊締圧力を正確に与えることは甚だ困難であることを見出されている。」（２頁下段左欄１７〜１８行）
［4-ロ］「上述の問題は、封止リングが２つの平行な面に垂直なリングの寸法が前記面に平行な寸法よりも大きく、又封止位置で或る方向に曲げられるような形状を与えられていることを特徴とする特別な形状を与えられることによつて解決されるのである。」（２頁下段右欄８〜１３行）
［4-ハ］「リングは圧縮される前にブーメラン即ちＣ形の形状の形態を与えられるのが望ましい。」（３頁上段左欄１８〜１９行）
　
３．対比
　本件出願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）と上記引用発明とを対比すると、後者の「プラズマエッチング装置」は、前者の「高密度プラズマが発生するドライエッチング装置」に相当し、同様に、「プラズマエッチング装置に使用できるゲートバルブシールおよび周辺シール」は、「ゲートバルブを閉塞封止するため」に用いられる封止材に相当する。そして、引用発明の「Ｏリング状」は、本願発明でいう「直断面形状が円状」に相当する形状と解することができる。
　また、両者とも、「封止材用組成物を成形・加硫」してなる「封止材」である点で軌を一にするものであるから、両者は、
「封止材用組成物を成形・加硫してなり、ゲートバルブを閉塞封止するために用いられるものであって、直断面形状が円状である、高密度プラズマが発生するドライエッチング装置用封止材であって、
　前記封止材用組成物が弗素系弾性体に弗素系樹脂微粉末を配合してなり、前記弗素系弾性体がフルオロオレフィンとパーフルオロアルキルビニルエーテルとから誘導された繰り返し単位を主成分とする弗素系弾性体であり、前記弗素系樹脂微粉末が前記封止材用組成物全体に対し弗素系樹脂微粉末を５〜５０重量％配合してなるものであるドライエッチング装置用封止材」
で一致し、次の相違点１及び２で相違する。
　
［相違点１］
　本願発明の封止材が、「ゲートバルブを閉塞封止するためアリ溝内に挿入され」るものであるのに対し、引用発明のシールが適用される部位の形状は不明である点
［相違点２］
　封止材の直断面形状が、本願発明１においては「前記円状の円周の一部に一つの凹状部を有する」ものであるのに対し、引用発明では「Ｏリング状」に留まる点
　
４．当審の判断
　上記各相違点について検討する。
　
(1)上記相違点１について
　本願明細書にも従来技術の説明として記載されているように（本願明細書段落【０００４】参照）、大型のチャンバー室内用封止材にＯ−リングを用いること、そのような装置における封止を、Ｏ−リングをアリ溝に装着することによって行なうことは、周知の技術と認められる（必要あれば、特開昭６１−２８２６７８号公報、実願昭５９−１７５０５３号（実開昭６１−８９５５３号）のマイクロフィルム及び実願昭５９−１６２１５６号（実開昭６１−７７４６９号）のマイクロフィルム等参照）。
　したがって、上記相違点１に係る本願発明の構成を採用することは当業者が必要に応じて容易に想到し得ることにすぎない。
　
(2)相違点２について
　本願明細書の記載によれば、大型のチャンバー室内用封止材は、通常断面円形のＯ−リングが用いられているが、Ｏ−リングをアリ溝に装着する時に締め幅の大小が生じ、応力の不均等が生じやすくなり、このため、締め幅が小さい部分ではクラックが、締め幅が大きい部分ではＯ−リングがアリ溝にかみ込む現象が発生しやすくなること、応力の不均等によりＯ−リング自身が捩じられやすくなることなどの課題がある（本願明細書【０００４】参照）が、本願発明はこのような課題に対処し、応力の不均等が生じることのない形状として、上記相違点２に係る構成、すなわち、封止材の直断面形状を、円状の円周の一部に一つの凹状部を有するものとする構成を採用するものと認められる（同【０００５】参照）。
　しかるに、上記刊行物２には、密封装置における倒れ、捩れ、あるいは咬み込みによるシール性の低下を解決するために、密封装置の形状として、環状溝に対して圧接する面の圧接部を２条とした断面形状、すなわち圧接部(2)及び(3)の間に余裕空間(8a)として凹部が設けられた形状の断面形状を採用する技術が開示されている（上記摘記事項［2-イ］〜［2-ニ］参照）。
　そして、本願明細書の図３の(a)〜(c)に示される断面形状が、本願発明における「円状」として例示されているのであるから、刊行物２の第１図に示される形状も、本願発明でいう「円状」に相当する形状ということができるものである。
　しかも、刊行物２に記載の密封装置は、環状溝に対して２条の環状圧接部を有し、他方の部材に対しては１条の環状圧接部を有することが必須とされているものであり、溝に対する２条の圧接部間に余裕空間がありさえすれば、その他の圧接部間には必ずしも余裕空間が必要とされるものではない、と解することができる。
　また、Ｏ−リング等のシール材の装着を安定させるために、シール材の断面形状として、「円周の一部に凹部を設けた」形状を採用することは周知といえる技術である（必要あれば、刊行物２の他に刊行物３の摘記事項［3-イ］〜［3-ロ］及び刊行物４の摘記事項［4-イ］〜［4-ハ］を参照されたい。刊行物３及び４に示されるシールの断面形状も、基本的には本願発明でいう「円状」といえるものである。）。
　してみると、引用発明に係る封止材において、その断面形状を、基本的に「円状」である「直断面形状」の円周の一部に凹部を設けた形状とすることが、当業者にとって格別困難なこととはいえない。しかも、刊行物１の摘記事項［1-ロ］からみて、刊行物１には、引用発明に係る封止材の断面形状を円形以外の形状とすることを妨げる事情があるものとは認められない。
　したがって、引用発明において、上記相違点２に係る本願発明の構成とすることは、刊行物２〜４に記載された如きいわば周知の技術を適用することによって、当業者が容易に想到し得たものとするのが相当である。
　
(3)請求人の反論
　本件審判請求人は、平成１６年７月２２日付け意見書において、概ね次のａ〜ｃについて反論している。
　ａ．「本願発明のゴム組成物は、従来のゴム組成物に比較して柔らかく機械的強度が低い」ので刊行物２の第１図に示される形状に成形すると、「ねじれやアリ溝にかみ込む現象が生じやすくなりドライエッチング装置におけるゲートバルブに使用できない」旨
　ｂ．刊行物３に例示されるＮＢＲは、ドライエッチング装置のゲートバルブに使用されることはない旨
　ｃ．刊行物４はアリ溝に挿入される封止材ではない旨
　
　しかしながら、刊行物１に記載されるゴム組成物が、従来のものに比して柔らかいこと等の性質を持っていることは、当業者であれば十分に認識し得ることであり、各種成形物の具体的な形状が材質をも考慮して決定されるものであることを勘案すると、ドライエッチング装置のゲートバルブに使用されるＯリング状の封止材においても、その断面形状を材質に応じて決定することは、当業者が当然に考慮することと認められる。
　そして、刊行物２に記載の密封装置の断面形状が、上記(2)で検討したように、余裕空間が１箇所のものを排除するとはいえないのであるから、引用発明に刊行物２記載の技術を適用し、シール材の横断面の形状を一部変形させたものとする場合であっても、使用するゴム組成物の特性に応じて、凹部を一箇所とした形状とすることは、当業者であれば容易になし得ることとするのが相当である。
　また、刊行物３及び４に記載されたものが、直接ドライエッチング装置の封止材への使用を示唆するものでないとしても、「円状」の封止材の断面形状として、その円状の円周の一部に一つの凹状部を有する形状については、十分に開示していると認められるのであって、Ｏ−リングの断面形状を決定する際の参考にはなり得るものと解される。
　したがって、請求人の上記主張ａ〜ｃは採用できない。
　
(4)結論
　よって、本願発明は、刊行物１〜４に記載された発明及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
５．むすび
　以上のとおり、請求項１に係る発明（本願発明）が、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、その余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。