【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部と、
上記カセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段を有する基板搬送部と、
上記カセット載置部と基板搬送部との間に設けられ、少なくとも上記カセット載置部側から上記基板搬送部側への物体の侵入を物理的に防止する侵入防止手段と、
上記カセット載置部にカセットが載置されているか否かを検出するカセット検出手段と、
このカセット検出手段での検出結果に基づいて、上記侵入防止手段の動作を制御する制御部と
を含むことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
上記制御部は、上記カセット載置部にカセットが載置されていないときに、上記カセット載置部側から上記基板搬送部側への物体の侵入を防止するように上記侵入防止手段を動作させるものであることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
上記制御部は、上記カセット載置部にカセットが載置されているときに、上記基板搬送手段による上記カセット載置部へのアクセスが可能なように侵入防止手段を動作させるものであることを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
【請求項４】
上記侵入防止手段は、上記カセット載置部と上記基板搬送部との間に設けられ、上記カセット載置部と上記基板搬送部とを仕切る閉成状態および上記カセット載置部と上記基板搬送部とを連通する開成状態に開閉可能な開閉手段を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置。
【請求項５】
基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段による基板搬送方法であって、
上記カセット載置部にカセットが載置されているか否かを検出するカセット検出ステップと、
このカセット検出ステップで上記カセット載置部にカセットが載置されていないことが検出されているときに、上記基板搬送手段を有する基板搬送部側への物体の侵入を侵入防止手段によって物理的に防止するステップと
を含むことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項６】
基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部と、
上記カセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段を有する基板搬送部と、
上記カセット載置部と上記基板搬送部との間に設けられて、上記基板搬送手段が上記カセット載置部にアクセスする際の基板の通過を許容する開口を有する隔壁と、
上記カセット載置部に昇降可能に設けられていて、カセットが載置されていない状態で上記開口を閉塞し、カセットが載置されたときに当該カセットの重みによって下降して、当該カセットを上記開口に対向するカセット載置位置に導く侵入防止部材と
を含むことを特徴とする基板搬送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部と、上記カセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段を有する基板搬送部と、上記カセット載置部と基板搬送部との間に設けられ、少なくとも上記カセット載置部側から上記基板搬送部側への物体の侵入を物理的に防止する侵入防止手段と、上記カセット載置部にカセットが載置されているか否かを検出するカセット検出手段と、このカセット検出手段での検出結果に基づいて、上記侵入防止手段の動作を制御する制御部とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この構成によれば、カセット載置部にカセットが載置されているか否かに基づいて、侵入防止手段の動作が制御されて、カセット載置部側から基板搬送部側への物体の侵入が侵入防止手段によって物理的に阻止される。したがって、カセットをカセット載置部に載置する際などに、人手が基板搬送部に誤って侵入するといったことがない。ゆえに、人手を基板搬送部に侵入させることによる人手と基板搬送手段との接触事故を、より確実に防止することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
具体的には、請求項２に記載されているように、上記制御部は、上記カセット載置部にカセットが載置されていないときに、上記カセット載置部側から上記基板搬送部側への物体の侵入を防止するように上記侵入防止手段を動作させるものであるのが好ましい。
また、上記制御部は、上記カセット載置部にカセットが載置されていないときに、上記カセット載置部側から上記基板搬送部側への物体の侵入を防止するような位置に上記侵入防止手段を位置させるものであるのがさらに好ましい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２記載の構成によれば、カセット載置部にカセットが載置されていないときには、侵入防止手段によってカセット載置部側から基板搬送部側への物体の侵入が阻止される。これにより、カセット載置部にカセットが存在しないときに、誤って人手が基板搬送部に侵入してしまうことがなく、人手と基板搬送手段との接触による事故を確実に防ぐことができる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
さらに、上記制御部は、請求項３に記載されているように、請求項２記載の構成に加えて、上記カセット載置部にカセットが載置されているときに、上記基板搬送手段による上記カセット載置部へのアクセスが可能なように侵入防止手段を動作させるものであるのが好ましい。
また、上記制御部は、上記カセット載置部にカセットが載置されているときに、上記基板搬送手段による上記カセット載置部へのアクセスが可能なような位置に侵入防止手段を移動させるものであるのがさらに好ましい。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項３記載の構成によれば、カセット載置部にカセットが載置されているときには、基板搬送手段によるカセット載置部へのアクセスが許容される。したがって、このとき、侵入防止手段が基板搬送手段の動作の妨げになることがないから、基板搬送手段による基板の搬送を円滑に行うことができる。また、カセット載置部にカセットが載置されているときは、基板搬送部への人手などの侵入がカセットによって妨げられるから、人手が基板搬送部へ侵入して基板搬送手段に接触するおそれはない。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項４記載の発明は、上記侵入防止手段は、上記カセット載置部と上記基板搬送部との間に設けられ、上記カセット載置部と上記基板搬送部とを仕切る閉成状態および上記カセット載置部と上記基板搬送部とを連通する開成状態に開閉可能な開閉手段を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板搬送装置である。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項５記載の発明は、基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段による基板搬送方法であって、上記カセット載置部にカセットが載置されているか否かを検出するカセット検出ステップと、このカセット検出ステップで上記カセット載置部にカセットが載置されていないことが検出されているときに、上記基板搬送手段を有する基板搬送部側への物体の侵入を侵入防止手段によって物理的に防止するステップとを含むことを特徴とする基板搬送方法である。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この方法によれば、カセット載置部にカセットが載置されていないときには、侵入防止手段によってカセット載置部側から基板搬送部側への物体の侵入が阻止されるので、カセット載置部にカセットを載置する際などに、人手と基板搬送手段との接触による事故が発生するのを確実に防ぐことができる。
請求項６記載の発明は、基板を収容可能なカセットを載置するためのカセット載置部と、上記カセット載置部にアクセスして基板を搬送する基板搬送手段を有する基板搬送部と、上記カセット載置部と上記基板搬送部との間に設けられて、上記基板搬送手段が上記カセット載置部にアクセスする際の基板の通過を許容する開口を有する隔壁と、上記カセット載置部に昇降可能に設けられていて、カセットが載置されていない状態で上記開口を閉塞し、カセットが載置されたときに当該カセットの重みによって下降して、当該カセットを上記開口に対向するカセット載置位置に導く侵入防止部材とを含むことを特徴とする基板搬送装置である。
この構成によれば、カセットが侵入防止部材上に載置されていない状態では、侵入防止部材によって開口がカセット載置部側から閉塞された状態となるから、誤って人手が開口を介して基板搬送部側へ侵入することがない。よって、人手と基板搬送手段との接触による事故が発生するのを確実に防ぐことができる。