【手続補正書】
【提出日】平成24年8月31日(2012.8.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
駆動体５９０は、ポンプカートリッジ５８０Ａ、５８０Ｂ、５８０Ｃの数に対応する多くのレシーバーモジュール５９０Ａ、５９０Ｂ、５９０Ｃを含む。例示的実施態様として、レシーバーモジュール５９０Ａは第一の支持部５９２及び第二の支持部５９４を含む。第一の及び第二の支持部５９２、５９４は各々、ソレノイド又は活性化コイルを受け取るように構成された凹部５９８を含む。各レシーバーモジュール５９０Ａ、５９０Ｂ、５９０Ｃは、ポンプカートリッジ５８０Ａ、５８０Ｂ、５８０Ｃを受け取るように構成されたリセプタクル５００を画成する。図５３において示される通り、受け取りモジュールは積み重ねられた配置で構成され得るか、又は望まれる用途に応じて、背中あわせで、隣り合って、又はその組合せのような他の構成で配置され得る。
上記は、請求された発明の原理の例示としてのみ考慮されている。更に、多くの修正及び変更が、当業者にとって容易に思いつくであろうから、請求された本開示をここで示されそして述べられた正確な構造及び操作に制限することは望まれず、従って、全ての適切な修正及び同等物が用いられ得て、請求された発明の範囲内に包含され得る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
以下、本発明を要約すると下記のとおりである。
１．流体を送達するためのマイクロポンプであって、
第一の流動体流路を画成し、第一のチャンバ（ここで第一のチャンバは第一のチャンバ壁及び第一の側壁を含む）、第一の入口及び第一の出口（ここで第一の入口及び第一の出口は第一のチャンバと流体連通している）を含む、第一のポンプ本体；
第二の流動体流路を画成し、第二のチャンバ（ここで第二のチャンバは第二のチャンバ壁及び第二の側壁を含む）、第二の入口及び第二の出口（ここで第二の入口及び第二の出口は第二のチャンバと流体連通している）を含む、第二のポンプ本体；及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバ間に配列される可撓性膜；
を含むポンプ組立体：及び
ポンプ組立体と協動するように構成され、
膜と磁気的に連結される駆動体；及び
膜の位置を検出するように構成されるセンサ；
を含むアクチュエータ組立体で、ここで駆動体が膜に磁力を印加して、膜をゆがませ、そしてここで膜のそのようなゆがみによって第一のチャンバ及び第二のチャンバ内の圧力の変化を生じさせ、それにより流体流れを生じさせる、アクチュエータ組立体：及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバの各々と流体連通し、流体流れを所定の方向に向けるように構成される、少なくとも一つのバルブ：
を含んでなる、上記マイクロポンプ。
２．少なくとも一つのバルブが第一の入口に近接する第一の入口逆止弁の少なくとも一つ、及び第一の出口に近接する第一の出口逆止弁を含む、上記１に記載のマイクロポンプマイクロポンプ。
３．上記２に記載のマイクロポンプであって、少なくとも一つの第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁がバルブ膜を含み、バルブ膜が、共通点から外側に放射状に広がる複数の交差しているスリットを含む、上記マイクロポンプ。
４．第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁の少なくとも一つが、第一の流動体流路中の第一の側壁内に置かれる上記２に記載のマイクロポンプ。
５．第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁の少なくとも一つが、第一の側壁内に一体的に形成される、上記４に記載のマイクロポンプ。
６．第二の入口に近接する第二の入口逆止弁及び第二の出口に近接する第二の出口逆止弁の少なくとも一つを更に含む、上記２に記載のマイクロポンプ。
７．第二の入口逆止弁及び第二の出口逆止弁の少なくとも一つが、流動体流路中の第二の側壁内に置かれる上記６に記載のマイクロポンプ。
８．第二の入口逆止弁及び第二の出口逆止弁の少なくとも一つが、第二の側壁内に一体的に形成される、上記７に記載のマイクロポンプ。
９．膜の上に配列された第一の磁石を更に含んでなる、上記１に記載のマイクロポンプ。１０．第一の磁石が第一のチャンバに隣接して位置付けられ、そして第二の磁石が第二のチャンバに隣接して位置付けられる、膜の上に配列される第二の磁石を更に含んでなる上記９に記載のマイクロポンプ。
１１．複数の磁石を含んでなる上記９に記載のマイクロポンプであって、ここで複数の磁石が第一のチャンバ及び第二のチャンバのどちらかに隣接した膜の上に配列されているマイクロポンプ。
１２．第一の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である上記９に記載のマイクロポンプ。
１３．第二の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である上記１０に記載のマイクロポンプ。
１４．可撓性膜が磁性材料を混合した軟質ポリマー材料で構成される上記１に記載のマイクロポンプ。
１５．軟質ポリマー材料がポリジメチルシロキサンである上記１４に記載のマイクロポンプ。
１６．流体を送達するためのマイクロポンプであって、
第一の流動体流路を画成し、第一のチャンバ（ここで第一のチャンバは第一のチャンバ壁及び第一の側壁を含む）、第一の入口及び第一の出口（ここで第一の入口及び第一の出口は第一のチャンバと流体連通している）を含む、第一のポンプ本体；
第二の流動体流路を画成し、第二ののチャンバ（ここで第二のチャンバは第二のチャンバ壁及び第二の側壁を含む）、第二の入口及び第二の出口（ここで第二の入口及び第二の出口は第二のチャンバと流体連通している）を含む、第二のポンプ本体；及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバ間に配列される可撓性膜；
を含むポンプ組立体：及び
ポンプ組立体と協動するように構成され、
膜と磁気的に連結される駆動体；及び
膜の位置を検出するように構成されるセンサ；
を含むアクチュエータ組立体で、ここで駆動体が膜に磁力を印加して、膜をゆがませ、そしてここで膜のそのようなゆがみによって第一のチャンバ及び第二のチャンバ内の圧力の変化を生じさせ、それにより流体流れを生じさせる、アクチュエータ組立体：を含み、
ここで、ポンプ組立体は、バルブなしで、所定の方向に流体流れを向けるように構成される、上記マイクロポンプ。
１７．上記１６に記載のマイクロポンプであって、第一の入口が第一の流入路を更に含み、
ここで第一の流入路が、
第一の入口のど部幅を有する第一の入口のど部、及び第一の入口端幅を有する第一の入口端を含み、
ここで第一の流入路が、流体が第一の入口のど部から第一の入口端の方向に流れるように構成され、
ここで第一の入口端が、第一の側壁に配列され、そしてここで第一の入口のど部幅が第一の入口端幅より狭い、
上記マイクロポンプ。
１８．上記１７に記載のマイクロポンプであって、第一の出口が第一の流出路を更に含み、
ここで第一の流出路が、
第一の出口のど部幅を有する第一の出口のど部、及び第一の出口端幅を有する第一の出口端を含み、
ここで第一の流出路が、流体が第一の出口のど部から第一の出口端の方向に流れるように構成され、
ここで第一の出口のど部が、第一の側壁に配列され、そしてここで第一の出口のど部幅が第一の出口端幅より狭い、
上記マイクロポンプ。
１９．第一の流入路及び第一の流出路は、第一のチャンバを通る流体流れが、実質的に第一の入口から第一の出口の方向に流れることを可能にするように構成される、上記１８に記載のマイクロポンプ。
２０．上記１６に記載のマイクロポンプであって：
第一の入口のど部幅を有する第一の入口のど部、及び第一の入口端幅を有する第一の入口端を含む第一の流入路であって、
ここで第一の流入路は、流体が第一の入口のど部から第一の入口端の方向に流れるように構成され、そして
ここで第一の入口端が、第一の側壁に配列され、そしてここで第一の入口のど部幅が第一の入口端幅より狭い、
第一の流入路；
第一の出口のど部幅を有する第一の出口のど部、及び第一の出口端幅を有する第一の出口端を含む第一の流出路であって、
ここで第一の流出路が、流体が第一の出口のど部から第一の出口端の方向に流れるように構成され、そして
ここで第一の出口端が、第一の出口側壁に配列され、そしてここで第一の出口のど部幅が第一の端幅より狭い、
第一の流出路；
第二の入口のど部幅を有する第二の入口のど部、及び第二の入口端幅を有する第二の入口端を含む第二の流入路であって、
ここで第二の流入路が、流体が第二の入口のど部から第二の入口端の方向に流れるように構成され、
ここで第二の入口端が、第二の側壁に配列され、そしてここで第二の入口のど部幅が第二の入口端幅より狭い、
第二の流入路；
第二の出口のど部幅を有する第二の出口のど部、及び第二の出口端幅を有する第二の出口端を含む第二の流出路であって、
ここで第二の流出路が、流体が第二の出口のど部から第二の出口端の方向に流れるように構成され、そして
ここで第二の出口端が、第二の出口側壁に配列され、そしてここで第二の出口のど部幅が第二の出口端幅より狭い、
第二の流出路；
を更に含む、上記マイクロポンプ。
２１．膜の上に配列された第一の磁石を更に含んでなる、上記１６に記載のマイクロポンプ。
２２．膜の上に配列された第二の磁石を更に含んでなり、ここで第一の磁石が第一のチャンバに隣接して位置付けられ、そして第二の磁石が第二のチャンバに隣接して位置付けられる、上記２１に記載のマイクロポンプ。
２３．複数の磁石を含んでなり、ここで複数の磁石が第一のチャンバ及び第二のチャンバのどちらかに隣接した膜の上に配列される、上記２１に記載のマイクロポンプ。
２４．第一の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である上記２１に記載のマイクロポ
ンプ。
２５．第二の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である上記２２に記載に記載のマイクロポンプ。
２６．可撓性膜が磁性材料を混合した軟質ポリマー材料で構成される上記１６に記載のマイクロポンプ。
２７．軟質ポリマー材料がポリジメチルシロキサンである上記２６に記載のマイクロポンプ。
２８．可撓性膜は、テンショニングが調節可能であるように構成され、その結果、駆動体によって膜に印加される磁力に関連して膜のたわみ性が変更され得る、上記１６に記載のマイクロポンプ。
２９．駆動体が、ポンプ本体に近接して位置付けられる第一の磁気コイルを更に含み、ここで第一の磁気コイルがワイヤ巻きを含んでなり、そして外周を画成する、上記２１に記載のマイクロポンプ。
３０．駆動体が、第一の磁石の位置を検出するように構成されるセンサを更に含み、ここで、センサは第一のコイルの磁束密度が第一の磁石の磁束密度に比べて無視できる場所に、第一のコイルの外周に隣接して置かれる上記２９に記載のマイクロポンプ。
３１．センサがホール効果センサである上記３０に記載のマイクロポンプ。
３２．駆動体は、膜に取り付けられた磁石の位置を感知して、その位置を所定の設定点の位置と比較し、そして膜に印加される磁力を調節することによって膜の移動を制御するように構成されるフィードバック制御システムを更に含む、上記１６に記載のマイクロポンプ。
３３．流体リザーバから流体を送達するためのマイクロポンプ組立体であって、
第一のチャンバ（ここで第一のチャンバは第一のチャンバ壁及び第一の側壁を含む）、第一の入口及び第一の出口（ここで第一の入口及び第一の出口は第一のチャンバと流体連通している）、
を画成する、第一のポンプ本体：
第二のチャンバ（ここで第二のチャンバは第二のチャンバ壁及び第二の側壁を含む）、第二の入口及び第二の出口（ここで第二の入口及び第二の出口は第二のチャンバと流体連通している）、
を画成する、第二のポンプハウジング；及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバ間に配列される可撓性膜；
を含むポンプカートリッジであって、ここで流体リザーバから第一のチャンバ及び第二のチャンバの少なくとも一つへの流体連通を可能にするように構成される、ポンプカートリッジ：
ポンプ組立体と協動するように構成され、膜と磁気的に連結される駆動体、及び膜の位置を検出するように構成される第一のセンサ、
を含むアクチュエータ組立体で、ここで駆動体が膜に磁力を印加して、膜をゆがませ、そしてここで膜のそのようなゆがみによって第一のチャンバ及び第二のチャンバ内の圧力の変化を生じさせ、それにより流体流れを生じさせる、アクチュエータ組立体；
駆動体に連結され、そして第一のセンサからの入力を受け、そして駆動体によって印加される磁力を調節することによって膜の位置を制御するように構成されるコントローラ；及び
駆動体及びコントローラにエネルギを与えるように構成される電源部；
を囲むハウジング：
を含んでなり、
ここで、ハウジングは、マイクロポンプカートリッジがアクチュエータ組立体に挿入され、その中に保持され得るように構成される、上記マイクロポンプ組立体。
３４．マイクロポンプカートリッジが使い捨て用に構成される、上記３３に記載のマイクロポンプ組立体。
３５．流体リザーバがマイクロポンプカートリッジに取り付けられる、上記３４に記載のマイクロポンプ組立体。
３６．流体リザーバがハウジング内に収容され、そしてマイクロポンプカートリッジをハウジング内に挿入した際に、マイクロポンプカートリッジと連結するように構成される、上記３４に記載のマイクロポンプ組立体。
３７．コントローラは、第一のセンサからフィードバック信号を受信するように構成され、そしてここでコントローラは、膜に取り付けられた磁石の位置を、所定の設定点と比較するように構成され、そしてここでコントローラは、フィードバック信号に応答して、膜に印加される磁力を調節するように構成される、上記３３に記載のマイクロポンプ組立体。
３８．コントローラが比例積分微分型コントローラである上記３７に記載のマイクロポンプ組立体。
３９．流体リザーバ内の流体の体積を検出するように構成される第二のセンサを更に含み、そしてここでコントローラは、それが流体流れを計算しそして予測できるように、第二のセンサからの入力を受けるように構成される、上記３３に記載のマイクロポンプ組立体。
４０．コントローラは、第一のセンサからのフィードバック信号に基づいて、送達された流体の体積を計算するように構成される、上記３３に記載のマイクロポンプ組立体。
４１．コントローラは、第一のセンサからのフィードバック信号に基づいて送達された流体の体積を、第二のセンサから入力された体積と比較し、そしてここで、比較した体積が所定の範囲外であれば、出力信号を与えるように構成される、上記４０に記載のマイクロポンプ組立体。
４２．出力信号が、警報及びシャットダウンの少なくとも一つである、上記４１に記載のマイクロポンプ組立体。
４３．マイクロポンプの加工方法であって：
シリコンウエハ上に第一のポリマー層をスピンコーティングし、そして第一のポリマー層を硬化させる工程、
磁性材料を第一のポリマー層の上に置く工程、
磁性材料の周りに第二のポリマー層を塗布し、そして第二のポリマー層を硬化させる、及び
第三のポリマー層を塗布し、そして第三のポリマー層を硬化させる工程、
を含む、ポリマー材料から可撓性膜を加工する工程；
流体チャンバ、入口チャンネル及び出口チャンネルを成形するように構成される金型内に液体ポリマー材料を注入し、そして液体ポリマーを硬化させることによって剛性ポンプ本体を加工する工程；
可撓性膜と剛性ポンプ本体を整列させる工程；及び
剛性ポンプ本体に可撓性ポリマー膜を付着させる工程；
を含む、上記加工方法。
４４．第一のポリマー層が、約０．１５ｍｍの厚さにスピンコートされる上記４３に記載の方法。
４５．第一のポリマー層を７５℃で２時間、硬化する上記４４に記載の方法。
４６．第二のポリマー層が、約０．５ｍｍの厚さに塗布される上記４３に記載の方法。
４７．第二のポリマー層を１００℃で３０分間硬化する上記４４に記載の方法。
４８．第三のポリマー層が、約０．１５ｍｍの厚さに塗布される上記４３に記載の方法。４９．第三のポリマー層を７５℃で２時間、硬化する上記４８に記載の方法。
５０．剛性ポンプ本体用の金型が、エポキシ系ネガティブフォトレジスト材料で形成される上記４３に記載の方法。
５１．フォトレジスト材料が、ＳＵ−８である上記５０に記載の方法。
５２．剛性ポンプ本体への可撓性ポリマー層の付着が、接着剤を使用して行われる、上記４３に記載の方法。
５３．可撓性ポリマー膜の付着が、可撓性膜と成形されたポンプ本体の間に配列されたポリマーのフィルムを、１００℃で２０分間、硬化する工程を含む酸素プラズマ法を使用して行われる、上記４３に記載の方法。
５４．可撓性ポリマー膜の付着が、可撓性膜と成形されたポンプ本体の間の未硬化ポリマーのフィルムを、１０％の酸素雰囲気中で１０秒間、マイクロ波を当てることによって硬化する工程を含む酸素プラズマ法を使用して行われる、上記４３に記載の方法。
５５．ポリマー材料が、パリレン、ポリイミド、ＳＵ−８及びポリジメチルシロキサンから成るグループから選択される、上記４３に記載の方法。
５６．可撓性ポリマー膜が、ポリジメチルシロキサン１０部及び硬化剤１部の混合物から加工される上記４３に記載の方法。
５７．剛性ポンプ本体が、ポリジメチルシロキサン５部及び硬化剤１部の混合物から加工される上記４３に記載の方法。
５８．流体を送達するためのマイクロポンプであって、
第一のチャンバ（ここで第一のチャンバは第一のチャンバ壁及び第一の側壁を含む）、
第一の入口及び第一の出口（ここで第一の入口及び第一の出口は第一のチャンバと流体連通している）、及び
第一のチャンバ壁の反対側の第一のチャンバに亘って配列される第一の可撓性膜、
を画成する、第一のポンプ本体；
第二のチャンバ（ここで第二のチャンバは第二のチャンバ壁及び第二の側壁を含む）、
第二の入口及び第二の出口（ここで第二の入口及び第二の出口は第二のチャンバと流体連通している）、及び
第二のチャンバ壁の反対側の第二のチャンバの上に配列される第二の可撓性膜、
を画成する、第二のポンプ本体；
第一のポンプ本体と第二のポンプ本体の間に配列される少なくとも第三のポンプ本体であって、
第三のチャンバ側壁を含む第三のチャンバ、
第三の入口及び第三の出口（ここで第三の入口及び第三の出口は第三のチャンバと流体連通している）、
を画成する、第三のポンプ本体（ここで少なくとも第三のチャンバは第一の膜及び第二の膜に隣接する）；
を含むポンプ組立体：及び
ポンプ組立体と協動するように構成され、
第一の膜及び第二の膜と磁気的に連結される駆動体、及び
第一の膜及び第二の膜の位置を検出するように構成される少なくとも一つのセンサ、
を含むアクチュエータ組立体で、ここで駆動体が膜に磁力を印加して、膜をゆがませ、そしてここで膜のそのようなゆがみによって第一のチャンバ及び第二のチャンバ内の圧力の変化を生じさせ、それにより流体流れを生じさせる、アクチュエータ組立体：
を含んでなる、上記マイクロポンプ。
５９．上記５８に記載のマイクロポンプであって：
第一のポンプ本体と第二のポンプ本体の間に配列された複数の中間ポンプ本体であって、ここで各中間ポンプ本体が、側壁、入口及び出口を含む中間流体チャンバを画成し、ここで入口及び出口が中間流体チャンバと流体連通している、中間ポンプ本体；及び
複数の中間可撓性膜であって、ここで各中間可撓性膜が隣接する中間ポンプ本体の間に配列され、そしてここで駆動体が中間膜の各々に磁気的に連結される、中間可撓性膜；
を更に含んでなるマイクロポンプ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の流動体流路を画成し、第一のチャンバ（ここで第一のチャンバは第一のチャンバ壁及び第一の側壁を含む）、第一の入口及び第一の出口（ここで第一の入口及び第一の出口は第一のチャンバと流体連通している）を含む、第一のポンプ本体；
第二の流動体流路を画成し、第二のチャンバ（ここで第二のチャンバは第二のチャンバ壁及び第二の側壁を含む）、第二の入口及び第二の出口（ここで第二の入口及び第二の出口は第二のチャンバと流体連通している）を含む、第二のポンプ本体；及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバ間に配列される可撓性膜；
を含むポンプ組立体：及び
ポンプ組立体の外側に位置しポンプ組立体と協動するように構成され、
膜と磁気的に連結される駆動体；及び
膜の位置を検出するように構成されるセンサ；
を含むアクチュエータ組立体で、ここで駆動体が膜に磁力を印加して、膜をゆがませ、そしてここで膜のそのようなゆがみによって第一のチャンバ及び第二のチャンバ内の圧力の変化を生じさせ、それにより流体流れを生じさせる、アクチュエータ組立体：及び
第一のチャンバ及び第二のチャンバの各々と流体連通し、流体流れを所定の方向に向けるように構成される、少なくとも一つのバルブ：
を含んでなる、上記マイクロポンプ。
【請求項２】
少なくとも一つのバルブが第一の入口に近接する第一の入口逆止弁の少なくとも一つ、及び第一の出口に近接する第一の出口逆止弁を含む、請求項１に記載のマイクロポンプマイクロポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載のマイクロポンプであって、少なくとも一つの第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁がバルブ膜を含み、バルブ膜が、共通点から外側に放射状に広がる複数の交差しているスリットを含む、上記マイクロポンプ。
【請求項４】
第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁の少なくとも一つが、第一の流動体流路中の第一の側壁内に置かれる請求項２に記載のマイクロポンプ。
【請求項５】
第一の入口逆止弁及び第一の出口逆止弁の少なくとも一つが、第一の側壁内に一体的に形成される、請求項４に記載のマイクロポンプ。
【請求項６】
第二の入口に近接する第二の入口逆止弁及び第二の出口に近接する第二の出口逆止弁の少なくとも一つを更に含む、請求項２に記載のマイクロポンプ。
【請求項７】
第二の入口逆止弁及び第二の出口逆止弁の少なくとも一つが、流動体流路中の第二の側壁内に置かれる請求項６に記載のマイクロポンプ。
【請求項８】
第二の入口逆止弁及び第二の出口逆止弁の少なくとも一つが、第二の側壁内に一体的に形成される、請求項７に記載のマイクロポンプ。
【請求項９】
膜の上に配列された第一の磁石を更に含んでなる、請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項１０】
第一の磁石が第一のチャンバに隣接して位置付けられ、そして第二の磁石が第二のチャンバに隣接して位置付けられる、膜の上に配列される第二の磁石を更に含んでなる請求項９に記載のマイクロポンプ。
【請求項１１】
複数の磁石を含んでなる請求項９に記載のマイクロポンプであって、ここで複数の磁石が第一のチャンバ及び第二のチャンバのどちらかに隣接した膜の上に配列されているマイクロポンプ。
【請求項１２】
第一の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である請求項９に記載のマイクロポンプ。
【請求項１３】
第二の磁石がネオジウム−鉄−ホウ素希土類磁石である請求項１０に記載のマイクロポンプ。
【請求項１４】
可撓性膜が磁性材料を混合した軟質ポリマー材料で構成される請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項１５】
軟質ポリマー材料がポリジメチルシロキサンである請求項１４に記載のマイクロポンプ。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2012517559.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2012517559.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2012517559.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2012517559.tif 000004
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２０】
2012517559.tif 000005
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
2012517559.tif 000006
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３４】
2012517559.tif 000007
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３５】
2012517559.tif 000008