【手続補正書】
【提出日】平成24年3月26日(2012.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の式を有するドープシラン：
SinHm-y(PR'R)y
式中、nは3以上の整数であり；mは2nまたは2n-2であり；RおよびR'は独立にHまたはSiH3であり；かつyは1からnまでの整数である。
【請求項２】
下記の式を有する環式化合物である、請求項1記載のドープシラン：
SinHm-y(PH2)y
式中、nは3から10までの整数である。
【請求項３】
置換シクロペンタシラン、置換シクロヘキサシラン、置換シリルシクロペンタシラン、置換シリルシクロヘキサシラン、または置換スピロ[4.4]ノナシランであり；-PR'Rが-PH2であり；かつyが1または2である、請求項2記載のドープシラン。
【請求項４】
式：Si6H11(PH2)を有する、請求項2記載のドープシラン。
【請求項５】
式：Si5H9(PH2)を有する、請求項2記載のドープシラン。
【請求項６】
298℃、1気圧で液体である、請求項1記載のドープシラン。
【請求項７】
mが2nである、請求項1記載のドープシラン。
【請求項８】
yが1または2である、請求項1記載のドープシラン。
【請求項９】
下記の式を有する請求項1記載のドープシラン：
SinHm-y(P(SiH3)R)y
式中、nは3から10までの整数であり；mは2n-2または2nであり；RはHまたはSiH3であり；かつyは1または2である。
【請求項１０】
下記の式を有する請求項1記載のドープシラン：
SinH2n-y(P(SiH3)2)y
式中、nは3から7までの整数であり；かつyは1または2である。
【請求項１１】
請求項8記載のドープシランの調製方法であって、
式：SinHm-y(PR'R)yを有するヘテロ原子ドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM(PR'R)zを含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、nは3〜10の整数であり；mは2nまたは2n-2であり；yは1または2であり；Zは1〜4の整数であり；Xはそれぞれ独立にハロゲン原子であり；RおよびR'は独立にHまたはSiH3であり；かつMは金属原子含有部分である、方法。
【請求項１２】
反応させる段階が、
式：SinHm-y(PRSiH3)yを有するドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM*PRSiH3を含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、M*はアルカリ金属であり；かつXはそれぞれ独立に塩素原子または臭素原子を表す、請求項11記載の方法。
【請求項１３】
M*PRSiH3がLiPHSiH3および/またはLiP(SiH3)2である、請求項12記載の方法。
【請求項１４】
反応させる段階が、
式：SinHm-y(PH2)yを有するドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM(PH2)zを含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、zは1から4までの整数であり；かつMは金属原子含有部分である、請求項11記載の方法。
【請求項１５】
M(PH2)zがLiPH2、NaPH2、KPH2、LiAl(PH2)4、またはNaAl(PH2)4である、請求項14記載の方法。
【請求項１６】
下記の式を有する環式シラン：
SinHm-yXy
式中、nは3から10の整数であり；mは2n-2または2nであり；yは1または2であり；かつXはそれぞれ独立にハロゲン原子を表す。
【請求項１７】
nが5または6であり；mが2nであり；かつXが塩素原子である、請求項16記載の環式シラン。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
特定の他の態様において、ヘテロ原子ドープシラン化合物は、式：SinHm-y(P(SiH3)2)yを有するヘテロ原子ドープシランを提供するために、SinHm-yXyを含む混合物を、M*がアルカリ金属（例えば、Li）である式：M*P(SiH3)2のリン含有求核剤と反応させることにより調製してもよく、式中、nは3以上の整数であり；mは2n-2から2n+2までの整数であり；かつyは1からnまでの整数（しばしば望ましくは1または2）である。
[本発明1001]
下記の式を有するドープシラン：
SinHm-y(PH2)y
式中、nは3以上の整数であり；mは2n-2から2n+2までの整数であり；かつyは1からnまでの整数である。
[本発明1002]
下記の式を有する環式化合物である、本発明1001のドープシラン：
SinHm-y(PH2)y
式中、nは3から10までの整数であり；mは2n-2または2nであり；かつyは1からnまでの整数である。
[本発明1003]
nが3から10までの整数である、本発明1001のドープシラン。
[本発明1004]
シクロトリシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該シクロトリシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1005]
シクロペンタシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該シクロペンタシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1006]
シクロヘキサシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該シクロヘキサシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1007]
シリルシクロペンタシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該シリルシクロペンタシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1008]
シリルシクロヘキサシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該シリルシクロヘキサシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1009]
スピロ[4.4]ノナシランに結合している1つまたは2つの-PH2部分を有する該スピロ[4.4]ノナシランである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1010]
周囲温度かつ周囲圧の条件下（例えば、298℃、1気圧）で液体である、本発明1001のドープシラン。
[本発明1011]
mが2nである、本発明1001のドープシラン。
[本発明1012]
mが2n-2である、本発明1001のドープシラン。
[本発明1013]
mが2n+2である、本発明1001のドープシラン。
[本発明1014]
式：Si6H11(PH2)を有する、本発明1001のドープシラン。
[本発明1015]
式：Si6H10(PH2)2を有する、本発明1001のドープシラン。
[本発明1016]
式：Si5H9(PH2)を有する、本発明1001のドープシラン。
[本発明1017]
式：Si5H8(PH2)2を有する、本発明1001のドープシラン。
[本発明1018]
下記の式を有するヘテロ原子ドープシラン：
SinHm-y(P(SiH3)2)y
式中、nは3から10までの整数であり；mは2n-2または2nであり；かつyは1または2である。
[本発明1019]
下記の式を有するヘテロ原子ドープシラン：
SinH2n-y(P(SiH3)2)y
式中、nは3から7までの整数であり；かつyは1または2である。
[本発明1020]
下記の式を有するハロゲン置換環式シラン：
SinHm-yXy
式中、nは3以上の整数（一般には3から10）であり；mは2n-2または2nであり；yは1または2であり；かつXはそれぞれ独立にハロゲン原子を表す。
[本発明1021]
ドープシランの調製方法であって、
式：SinHm-y(PH2)yを有するヘテロ原子ドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM(PH2)zを含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、nは3以上の整数であり；mは2n-2から2n+2までの整数であり；yは1からnまでの整数であり；zは1から4までの整数であり；Xはそれぞれ独立にハロゲン原子であり；かつMは金属原子含有部分である、方法。
[本発明1022]
Mがアルカリ金属である、本発明1021の方法。
[本発明1023]
M(PH2)zがLiPH2、NaPH2、KPH2、LiAl(PH2)4、またはNaAl(PH2)4である、本発明1021の方法。
[本発明1024]
ドープシランの調製方法であって、
式：SinHm-y(PRSiH3)yを有するヘテロ原子ドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM*PRSiH3を含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、nは3以上の整数であり；mは2n-2から2n+2までの整数であり；yは1からnまでの整数であり；M*はアルカリ金属であり；RはHまたはSiH3であり；かつXはそれぞれ独立にハロゲン原子を表す、方法。
[本発明1025]
M*PRSiH3がLiPHSiH3および/またはLiP(SiH3)2である、本発明1024の方法。
[本発明1026]
ドープシランの調製方法であって、
式：SinHm-y(P(SiH3)2)yを有するヘテロ原子ドープシランを提供するためにSinHm-yXyおよびM*P(SiH3)2を含む混合物を反応させる段階を含み、
式中、nは3以上の整数であり；mは2n-2から2n+2までの整数であり；yは1からnまでの整数であり；M*はアルカリ金属（例えばLi）であり；かつXはそれぞれ独立にハロゲン原子を表す、方法。
[本発明1027]
ハロゲン原子が臭素および/または塩素原子である、本発明1026の方法。