【事件の表示】
　平成　５年特許願第１６１５７０号「エアーナイフを用いた処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　３月１０日出願公開、特開平　７−　６６１００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願は、平成５年６月３０日の出願であって、平成１４年９月２０日付け手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、その請求項１に係る発明（以下、「本件第１発明」という。）は、請求項１に記載された次のとおりのものである。
　請求項１
「被処理物が搬入される入口及び搬出される出口を有する複数の処理室が連設されこれら複数の処理室で上記被処理物がそれぞれ異なる種類の処理液で順次処理される装置本体と、
　各処理室内の上記入口と出口との近くに配置され上記被処理物に対して圧縮空気を噴射するエアーナイフとを具備し、
　上記エアーナイフは、一対の板体を接合したナイフ本体を有し、これら一対の板体の接合面間には圧縮空気が供給される導入路が形成され、この導入路の先端部はナイフ本体の厚さ方向に所定角度で屈曲するとともに、先端が上記ナイフ本体の先端面に開口した噴出口に形成されていて、
　上記エアーナイフは、上記ナイフ本体が上記被処理物の板面に対してほぼ垂直に配置され、上記処理室の上記入口の近くに配置されるエアーナイフはその噴出口を上記被処理物の搬送方向下流側に向けて配置され、上記出口の近くに配置されるエアーナイフはその噴出口を上記被処理物の搬送方向上流側に向けて配置されていることを特徴とするエアーナイフを用いた処理装置。」
　
２．これに対し、原査定の拒絶の理由に引用した実願昭６２−４０８９６号（実開昭６３−１４９９６６号）のマイクロフィルム（以下、「引用例」という。）には、以下の記載がされている。
　第２頁第１行〜第４行には、
「［産業上の利用分野］
　本考案は、液晶用ガラス基板等の薄板状基板の表面に、エッチング液等の表面処理液をノズルにより噴射して、表面処理をする装置に関する。」
と記載されている。
　第４頁第７行〜同頁第１０行には、
「［考案が解決しようとする問題点］
　第３図示の従来装置では、槽外へのエッチング液の流出を防止し、作業室の床ないし周辺設備の汚染や腐食を防止する効果は認められる」
と記載されている。
　第７頁第１８行〜第８頁第１８行には、
「［実施例］
　第１図は、本考案の１実施例装置を示す縦断面図、第２図はその要部を示す斜視図である。
　図示実施例装置は、基本的には前述第３図示の従来装置に準じて構成され、処理槽（２１）の入口側側壁（２２）には開口（２３）を、出口側側壁（２４）には開口（２５）をそれぞれ設け、多数個の搬送ローラ（２６）で構成するローラーコンベアにより、被処理基板（Ｐ）を水平方向に搬送する。
　処理槽（２１）の上部に、処理液を噴射する複数個のノズル（２７）が配置され、処理液槽（２８）に貯溜した処理液を、ポンプ（２９）により各ノズル（２７）に送って噴射させる。…
　処理槽（２１）の出口側側壁（２４）の内面に、下面に基板（Ｐ）の搬送方向にほぼ直交するスリットを有するエアノズル（３０）を設置する。これは第３図示装置と同様に、ブロワー（３１）から除塵フイルタ（３２）を介して送風され、この位置を通過する基板面の処理液を除去するエアナイフを構成する。」
と記載されている。
　第９頁第１３行〜同頁第１７行には、
「搬送方向に平行に形成され、その上面にエアノズル（３７）が装着してある。エアノズル（３７）は、出口側のエアノズル（３０）と同様に、下面に基板の搬送方向にほぼ直交するスリット状の空気吹き出し口が形成」
と記載されている。
　
３．引用例に記載された発明の認定
　上記記載事項及び第１図も参照すれば、引用例には、液晶用ガラス基板等の薄板状基板（被処理基板（Ｐ））の表面に、エッチング液等の表面処理液をノズルにより噴射して、表面処理をする装置であって、処理槽（２１）の入口側側壁（２２）には開口（２３）を、出口側側壁（２４）には開口（２５）をそれぞれ設け、被処理基板（Ｐ）を水平方向に搬送し、処理槽（２１）の上部に、処理液を噴射する複数個のノズル（２７）が配置され、さらに、処理槽（２１）の出口側側壁（２４）の内面に、下面に被処理基板（Ｐ）の搬送方向にほぼ直交するスリットを有するエアノズル（３０）を設置し、当該エアノズル（３０）にブロワー（３１）から送風し、エアノズル（３０）とブロワー（３１）により、圧縮空気を噴出するエアナイフを構成し、入り口側にエアノズル（３７）を設け、エアノズル（３７）には出口側のエアノズル（３０）と同様に、下面に基板の搬送方向にほぼ直交するスリットを形成し、エアノズル（３７）とブロワー（３１）により、圧縮空気を噴出するエアナイフを構成し、さらに、第１図を参照すると、エアノズル（３０）、（３７）は、処理槽（２１）の板面に対しほぼ垂直に配置されており、また、処理槽（２１）の上記開口（２３）の近くに配置されるエアノズル（３７）は、スリットの先端が所定角度で屈曲し上記被処理基板（Ｐ）の搬送方向下流側に向けて配置され、開口（２５）の近くに配置されるエアノズル（３０）は、スリットの先端が所定角度で屈曲し上記被処理基板（Ｐ）の搬送方向上流側に向けて配置されている表面処理装置。」が記載されている。
　
４．対比
　引用例記載の発明の「被処理基板（Ｐ）」、「処理槽（２１）」、「開口（２３）」、「開口（２５）」、「エアノズル（３０）、（３７）」、「スリット」及び「表面処理装置」は、本件第１発明の、「被処理物」、「処理室」、「入口」、「出口」、「ナイフ本体」、「導入路」及び「処理装置」に相当する。
　そうすると、本件第１発明と、引用例記載の発明は、「被処理物が搬入される入口及び搬出される出口を有する処理室で被処理物が処理液で処理される装置本体と、
　処理室内の上記入口と出口との近くに配置され上記被処理物に対して圧縮空気を噴射するエアーナイフとを具備し、
　上記エアーナイフは、ナイフ本体を有し、これら一対の板体の接合面間には圧縮空気が供給される導入路が形成され、この導入路の先端部はナイフ本体の厚さ方向に所定角度で屈曲するとともに、先端が上記ナイフ本体の先端面に開口した噴出口に形成されていて、
　上記エアーナイフは、上記ナイフ本体が上記被処理物の板面に対してほぼ垂直に配置され、上記処理室の上記入口の近くに配置されるエアーナイフはその噴出口を上記被処理物の搬送方向下流側に向けて配置され、上記出口の近くに配置されるエアーナイフはその噴出口を上記被処理物の搬送方向上流側に向けて配置されていることを特徴とするエアーナイフを用いた処理装置。」の構成において一致し、本件第１発明が、複数の処理室が連設されこれら複数の処理室で被処理物がそれぞれ異なる種類の処理液で順次処理されるのに対し、引用例記載の発明では、１個の処理室のみで処理される点で相違（以下、「相違点１」という。）する。
　さらに、本件第１発明が、一対の板体を接合してナイフ本体を形成するのに対し、引用例記載の発明には、かかる限定が付されていない点で相違（以下、「相違点２」という。）する。
　
５．当審の判断
　上記各相違点について検討する。
　引用例１記載の発明は、液晶用ガラス基板等の薄板状基板の表面に、エッチング液等の表面処理液をノズルより噴射して、表面処理をする装置であるが、洗浄工程等の処理を連続して行うことは当然伴う慣用手段（例えば、実願平３−８９６１４号（実開平５−３３１５３号公報）のマイクロフィルム、実願昭５９−１２５９４２号（実開昭６１−４１２５７号公報）のマイクロフィルム等参照）であり、また、上記慣用手段において、複数の処理室で被処理物がそれぞれ異なる種類の処理液で順次処理することは、上記慣用手段に必然的に伴うことにすぎないから、引用例１記載の発明に対し、上記相違点１の構成に想到することに何ら困難性は認められない。
　さらに、一対の板体を接合してナイフ本体を形成することは慣用手段（例えば、特開昭６３−２１８２７５号公報、特開昭５４−１０６５５０号公報及び実願平３−９１３９７号（実開平５−１８６７３号公報）のＣＤロム参照）にすぎないから、引用例１記載の発明に対し、上記相違点２の構成に想到することに何ら困難性は認められない。
　さらに、上記相違点に基づく効果についても当業者が予測できた程度のものにすぎない。
　従って、上記相違点については、特段の意義は認められない。
　
６．むすび
　そうすると、本件請求項１に係る発明は、引用例に記載された発明及び慣用手段に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって結論のとおり審決する。