(57)【要約】【課題】多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することを目的とする。【解決手段】ＬＳＩデバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施する本検査と、本検査実施前の次に検査する被検査デバイスに対して一部検査項目のみを検査装置の測定ユニットの非動作時間を利用してあらかじめ検査する事前検査とを同時に行い（Ｓ４０１）、事前検査の判定結果が良品判定の場合は、続いて同一被検査デバイスに対して本検査を実施し（Ｓ４０３）、事前検査が不良品判定の時は本検査は実施をしない（Ｓ４０５）。事前検査の実施により不良品を本検査の事前に特定して本検査を削除することができるため、プローブカードの移動時間及び不良デバイスへの検査時間が省略化され、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。【選択図】    図４
2004356120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスターにてスライス状のデバイスを検査するのに用いるプローブカードであって、
被検査デバイスの良否判定に必要な全ての検査項目を実施するためのテスターチャンネルに接続されたプローブからなる第１のプローブカード部と、
前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目を実施するのに必要なテスターチャンネルに接続されたプローブからなる第２のプローブカード部と
を有し、前記第１のプローブカード部を用いて前記デバイスの良否判定検査を行いながら、前記第２のプローブカード部を用いて次に検査を行うデバイスの事前検査を行うことを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
テスターにてスライス状のデバイスを検査するに際し、
デバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施する本検査と、
前記本検査実施前に次に検査するデバイスに対して前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目のみをあらかじめ検査する事前検査と
を同時に行うことを特徴とするＬＳＩデバイスの検査方法。
【請求項３】
検査対象となる任意の第１のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第１のデバイスの次に検査を行う第２のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が良品判定の場合には、前記第２のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第２のデバイスの次に検査を行う第３のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、
前記第３のデバイスの事前検査の判定結果が良品判定の場合、あるいは前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が不良品判定の場合には、前記第３のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第３のデバイスの次に検査を行う第４のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と
を有し、以上の工程を繰り返してスライスに形成された全てのデバイスの検査を行うことを特徴とする請求項２記載のＬＳＩデバイスの検査方法。
【請求項４】
テスターにてデバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施する第１の本検査と、前記本検査実施前に次に検査するデバイスに対して前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目のみをあらかじめ検査する事前検査と、前記第１の本検査の検査項目から前記事前検査の検査項目を除いた検査を実施する第２の本検査とを組み合わせて実施してデバイスをスライス状で検査するに際し、
検査対象となる任意の第１のデバイスに対して前記第１の本検査を行い、前記第１のデバイスの次に検査を行う第２のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、
前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が良品判定の場合には、前記第２のデバイスに対して前記第２の本検査を行い、前記第２のデバイスの次に検査を行う第３のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、
前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が不良品判定の場合には、前記第３のデバイスに対して前記第１の本検査を行い、前記第３のデバイスの次に検査を行う第４のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、
を有し、以上の工程を繰り返してスライスに形成された全てのデバイスの検査を行うことを特徴とするＬＳＩデバイスの検査方法。
【請求項５】
前記事前検査を前記本検査実施時のテスターの非動作時間を利用して行うことを特徴とする請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載のＬＳＩデバイスの検査方法。
【請求項６】
前記事前検査の検査項目を検査実績から不良品となる頻度が高い検査項目を選択して用いることを特徴とする請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載のＬＳＩデバイスの検査方法。
【請求項７】
テスターにてスライス状のデバイスを検査するのに用いるプローブカードであって、
被検査デバイスの検査に必要な全てのテスターチャンネルに接続可能なプローブから成る良否判定に用いる第１のプローブカード部と、
前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目を実施する事前検査に用い、被検査デバイスの検査に必要な全てのテスターチャンネルに接続可能なプローブから成る第２のプローブカード部と、
前記各テスターチャネルが前記第１のプローブカード部のプローブまたは前記第２のプローブカード部のプローブのいずれに接続するかを選択するセレクタとを有し、前記デバイスの良否判定検査を行う場合は前記セレクタにより前記テスターチャネルを前記第１のプローブカード部のプローブと接続し、前記第１のプローブカード部が前記テスターチャネルを使用しない期間に次に検査を行うデバイスの事前検査を行う場合には前記セレクタにより前記テスターチャネルを前記第２のプローブカード部のプローブと接続することを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テスターに用いるプローブカードと、そのプローブカードを用いたＬＳＩデバイスの検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＬＳＩデバイスの検査方法によると、半導体ウエ−ハにおける検査時間の短縮のため、１つのＬＳＩテスターで複数デバイスに対して同時に検査を行っていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、半導体ウエ−ハにおける検査時間の短縮のため、複数のＬＳＩテスターで一枚のプローブカードを共有し複数デバイスに対して同時に検査を行っていた（特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開昭６０−１６７３４４号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開昭６０−２２０９４３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開昭６０−１６７３４４の技術では、同時測定の対象数毎に同数のテスターチャンネルが必要であり、複数デバイスに対し同時に測定するには、テスターチャンネル数に制限があるため多ピン版のＬＳＩデバイスでは実施が難しいという問題点があった。
【０００７】
また、特開昭６０−２２０９４３の技術では、複数のテスターを使用するため設備コストが増大するという問題点があった。
さらに、１スライスを検査する際の検査時間に対して、プローブカードの移動に占める時間が多くなり、検査時間が長くなるという問題点もあった。
【０００８】
本発明のＬＳＩデバイスの検査方法は、かかる問題点を解決するものであり、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、本発明の請求項１記載のプローブカードは、テスターにてスライス状のデバイスを検査するのに用いるプローブカードであって、被検査デバイスの良否判定に必要な全ての検査項目を実施するためのテスターチャンネルに接続されたプローブからなる第１のプローブカード部と、
前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目を実施するのに必要なテスターチャンネルに接続されたプローブからなる第２のプローブカード部と
を有し、前記第１のプローブカード部を用いて前記デバイスの良否判定検査を行いながら、前記第２のプローブカード部を用いて次に検査を行うデバイスの事前検査を行うことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載のＬＳＩデバイスの検査方法は、テスターにてスライス状のデバイスを検査するに際し、デバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施する本検査と、前記本検査実施前に次に検査するデバイスに対して前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目のみをあらかじめ検査する事前検査とを同時に行うことを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載のＬＳＩデバイスの検査方法は、請求項２記載のＬＳＩデバイスの検査方法において、検査対象となる任意の第１のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第１のデバイスの次に検査を行う第２のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が良品判定の場合には、前記第２のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第２のデバイスの次に検査を行う第３のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、前記第３のデバイスの事前検査の判定結果が良品判定の場合、あるいは前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が不良品判定の場合には、前記第３のデバイスに対して前記本検査を行い、前記第３のデバイスの次に検査を行う第４のデバイスに対して前記事前検査を行う工程とを有し、以上の工程を繰り返してスライスに形成された全てのデバイスの検査を行うことを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載のＬＳＩデバイスの検査方法は、テスターにてデバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施する第１の本検査と、前記本検査実施前に次に検査するデバイスに対して前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目のみをあらかじめ検査する事前検査と、前記第１の本検査の検査項目から前記事前検査の検査項目を除いた検査を実施する第２の本検査とを組み合わせて実施してデバイスをスライス状で検査するに際し、検査対象となる任意の第１のデバイスに対して前記第１の本検査を行い、前記第１のデバイスの次に検査を行う第２のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が良品判定の場合には、前記第２のデバイスに対して前記第２の本検査を行い、前記第２のデバイスの次に検査を行う第３のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、前記第２のデバイスに対する事前検査の判定結果が不良品判定の場合には、前記第３のデバイスに対して前記第１の本検査を行い、前記第３のデバイスの次に検査を行う第４のデバイスに対して前記事前検査を行う工程と、を有し、以上の工程を繰り返してスライスに形成された全てのデバイスの検査を行うことを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載のＬＳＩデバイスの検査方法は、請求項２または請求項３または請求項４のいずれかに記載のＬＳＩデバイスの検査方法において、前記事前検査を前記本検査実施時のテスターの非動作時間を利用して行うことを特徴とする。
【００１４】
請求項６記載のＬＳＩデバイスの検査方法は、請求項２または請求項３または請求項４または請求項５のいずれかに記載のＬＳＩデバイスの検査方法において、前記事前検査の検査項目を検査実績から不良品となる頻度が高い検査項目を選択して用いることを特徴とする。
【００１５】
請求項７記載のプローブカードは、テスターにてスライス状のデバイスを検査するのに用いるプローブカードであって、被検査デバイスの検査に必要な全てのテスターチャンネルに接続可能なプローブから成る良否判定に用いる第１のプローブカード部と、前記検査項目の内から少なくとも１つの検査項目を実施する事前検査に用い、被検査デバイスの検査に必要な全てのテスターチャンネルに接続可能なプローブから成る第２のプローブカード部と、前記各テスターチャネルが前記第１のプローブカード部のプローブまたは前記第２のプローブカード部のプローブのいずれに接続するかを選択するセレクタとを有し、前記デバイスの良否判定検査を行う場合は前記セレクタにより前記テスターチャネルを前記第１のプローブカード部のプローブと接続し、前記第１のプローブカード部が前記テスターチャネルを使用しない期間に次に検査を行うデバイスの事前検査を行う場合には前記セレクタにより前記テスターチャネルを前記第２のプローブカード部のプローブと接続することを特徴とする。
【００１６】
以上により、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
以下、図１から図５を用いて本発明の実施の形態１について説明を行う。
【００１８】
図１は本発明の検査方法を説明する概念図、図２は本発明の実施状態におけるプローブカードの形態を示す図、図３は従来の検査と本発明の実施の形態１における検査を比較するタイミングチャート、図４は本発明の実施の形態１におけるＬＳＩデバイスの検査方法のフローチャート、図５はスライス上の検査対象となるデバイスの配置を示す概念図である。
【００１９】
図１において、１１０はデバイスＡの本検査とデバイスＢの事前検査を同時に実行する時の検査状態、１１１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。１１２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくものである。１１３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。また、１２０はデバイスＢの本検査とデバイスＣの事前検査を同時に実行する時の検査状態、１２１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。１２２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくものである。１２３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。さらに、１３０はデバイスＣの本検査とデバイスＤの事前検査を同時に実行する時の検査状態、１３１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。１３２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくものである。１３３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。
【００２０】
図２において、２００はプローブカードであり、ひとつのプローブカード２００には、本検査用のプローブカード部２０１と、事前検査用のプローブカード部２０２が備えられている。本検査実施用のプローブカード部２０１は、デバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施するためのテスターチャンネルに接続されたプローブ１からプローブ２８で構成され、さらに各プローブは、ここでは、デバイスＡに接続されている。また、事前検査実施用のプローブカード部２０２は、事前検査で良否判定に必要な検査を実施するためのテスターチャンネルに接続されたプローブ２９からプローブ３１で構成され、さらに各プローブは、ここでは、デバイスＢに接続されている。
【００２１】
図３において、ｔａは従来検査と本検査の検査開始タイミングを示す。ｔｂは事前検査の開始タイミングを示し、ｔｃは事前検査の判定終了タイミングを示す。ｔｂからｔｃ間は、本検査時においてウェイト時間などの検査装置の測定ユニットの非動作時間を示す。ｔｅは従来検査と本検査の検査終了タイミングを示す。
【００２２】
図４において、まず、ＴＥＳＴ１としてデバイスＡの本検査とデバイスＢの事前検査を行う（Ｓ４０１）。次に、ＴＥＳＴ１でのデバイスＢの事前検査の良品・不良品の判定を行い、良品の時はＳ４０３に、不良品の時にはＳ４０５へ進む（Ｓ４０２）。Ｓ４０２で良品の時は、ＴＥＳＴ２としてデバイスＢの本検査とデバイスＣの事前検査を行う（Ｓ４０３）。次に、ＴＥＳＴ２でのデバイスＣの事前検査の良品・不良品の判定を行い、良品の時はＳ４０５に、不良品の時にはＳ４０７へ進む（Ｓ４０４）。Ｓ４０４で良品の時、およびＳ４０２で不良品の時は、ＴＥＳＴ３としてデバイスＣの本検査とデバイスＤの事前検査を行う（Ｓ４０５）。次に、Ｓ４０６は、ＴＥＳＴ３でのデバイスＤの事前検査の良品・不良品の判定を行い、良品の時はＳ４０７に、不良品の時にはＳ４０８へ進む（Ｓ４０６）。Ｓ４０６で良品の時、およびＳ４０４で不良品の時は、ＴＥＳＴ４としてデバイスＤの本検査を行う（Ｓ４０７）。最後に、全てのデバイスの検査が終了すると処理を終了する（Ｓ４０８）。
【００２３】
以下に具体的な動作を説明する。
ここでは、図５における、ＡからＤまでのデバイスに対する検査を実施する場合を示し、検査は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順に検査を実施するものとする。
【００２４】
まず、図２に示すように、デバイスＡに対して本検査としてテスターからの信号の入力、及びデバイスから出力信号の判定を行うため、プローブカード２００の本検査用のプローブカード部２０１をデバイスＡにコンタクトし、また、同時に事前検査として事前検査用のプローブカード部２０２をデバイスＢにコンタクトする。
【００２５】
次に、図３に示すタイミングチャートで図４の検査フローに従い動作を説明する。
まず、ｔｅｓｔ１の検査として、図３のｔａのタイミングで図２のプローブカード２００の本検査用のプローブカード部２０１と事前検査用のプローブカード部２０２を各々デバイスＡ、デバイスＢにコンタクトさせて検査を図３のタイミングチャートに従い検査を開始する。
【００２６】
次に、本検査実施中の検査装置の測定ユニットが使用されていない時間であるｔｂからｔｃ間を利用して、デバイスＢの事前検査を実施し、判定結果をテスターのメモリに記憶する。ここで、事前検査は、少数のテスターチャンネルで短時間で実施可能な故障検出率の高い検査を用いるのが望ましい。また上記条件を満たせば検査は一項目に限らない。
【００２７】
次に、ｔｅのタイミングでデバイスＡの本検査は終了し、デバイスＡの良品・不良品を判定をする。ただし、デバイスＡの本検査の不良判定がｔｅｓｔ１での事前検査開始であるｔｂのタイミングより前だった場合は、ｔｅｓｔ１を終了しデバイスＡを不良品判定として、図４のＳ４０３に移行する。
【００２８】
次に、ｔｅｓｔ１終了後、図２のプローブカード２００は次の検査対象となるデバイスに移動するため、図４のＳ４０２に移行し、Ｂの事前検査結果を読み出す。ここで、デバイスＢの事前検査が良品判定ならば、図４のＳ４０３に移行し図１の検査状態１２０に示されるように図２のプローブカード２００の本検査実施用のプローブカード部２０１をデバイスＢにコンタクトし、事前検査用のプローブカード部２０２をデバイスＣにコンタクトさせて、ｔｅｓｔ２を実施する。
【００２９】
また、逆に、図４のＳ４０２での事前検査が不良品判定であれば図４のＳ４０５に移行し図１の検査状態１３０に示されるようにデバイスＢを検査することなく、図２のプローブカード２００の本検査用のプローブカード部２０１をデバイスＣにコンタクトし、事前検査用のプローブカード部２０２をデバイスＤにコンタクトさせて、ｔｅｓｔ３を実施する。
【００３０】
以下、ｔｅｓｔ３，ｔｅｓｔ４も同様に検査を行う。
以上のように本実施の形態によれば、事前検査の実施により不良品を本検査の事前に特定して本検査を削除することができるため、プローブカードの移動時間及び不良デバイスへの検査時間が省略化され、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
（実施の形態２）
以下、図８を用いて本発明の実施の形態２について説明を行う。
【００３１】
図８は本発明の実施の形態２における事前検査項目の変更検討のチェックリストである。
ここでは、サンプルを７個、検査項目を７個の時を例として説明する。
【００３２】
サンプル１から７は事前検査を検討するための検査対象となるデバイスであり、サンプル数が多いほど事前検査にふさわしい検査項目の検討の精度が高まる。検査項目１から７は、本検査に含まれる事前検査実施可能な検査項目を示したものである。
【００３３】
実施の形態１における事前検査について、本発明の実施前に、あらかじめ何種類かの事前検査項目を選出する。ただし、事前検査項目としては、少数のテスターチャンネルで短時間で実施可能な故障検出率の高い検査が望ましい。また、上記条件を満たせば検査は一項目に限らない。
【００３４】
実施にあたっては、まず、複数デバイスに対し検査項目検査１から７を全て行い、デバイス毎に不良の発生した項目に対し、ＰＡＳＳ／ＦＡＩＬの判定を記載していく。サンプル１から７に対し上記検査を繰り返し、一番不良発生数の多い図８に示される検査項目２を事前検査項目として用いる。また、この調査は、検査開始前に事前に行っても良いし、検査途中で、そこまでの検査結果からデータを蓄積し、検査項目を変更していっても良い。
【００３５】
以上のように本実施の形態をとれば、事前検査で不良検出率のより高い検査項目を選択することにより、事前検査における不良検出の精度を高めながら、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
（実施の形態３）
以下、図１から８を用いて本発明の実施の形態３について説明を行う。
【００３６】
図６は従来の検査と本発明の実施の形態３における検査を比較するタイミングチャート、図７は本発明の実施の形態３におけるＬＳＩデバイスの検査方法のフローチャートを示す。
【００３７】
図６において、本検査▲１▼は事前検査を実施されなかったデバイスに対する本検査であり、デバイスの良否判定に必要な全ての検査項目の検査を示す。本検査▲２▼は事前検査を実施されたデバイスに対する本検査であり、デバイスの良否判定に必要な全ての検査項目から事前検査で実施した項目を除いた検査を示す。
【００３８】
また、ｔａ６は従来検査と本検査▲１▼と本検査▲２▼の検査開始タイミングを示す。ｔｂ６は事前検査の開始タイミングを示し、ｔｃは事前検査の判定終了タイミングを示す。ｔｂ６からｔｃ６間は本検査▲１▼と本検査▲２▼においてウェイト時間などの検査装置の測定ユニットの非動作時間を示す。ｔｄ６は本検査▲２▼の検査終了タイミングを示し、事前検査の時間分の検査時間が短縮される。ｔｅ６は従来検査と本検査▲１▼の検査終了タイミングを示す。
【００３９】
図７において、まず、ＴＥＳＴ１としてデバイスＡの本検査▲１▼とデバイスＢの事前検査を行う（Ｓ７０１）。次に、ＴＥＳＴ１でのデバイスＢの事前検査の良品・不良品の判定行い、良品の時はＳ７０３に、不良品の時にはＳ７０６へ進む（Ｓ７０２）。Ｓ７０２で良品の時は、ＴＥＳＴ２としてデバイスＢの本検査▲２▼とデバイスＣの事前検査を行う（Ｓ７０３）。次に、ＴＥＳＴ２でのデバイスＣの事前検査の良品・不良品の判定を行い、良品の時はＳ７０５に、不良品の時にはＳ７０９へ進む（Ｓ７０４）。Ｓ７０４で良品の時は、ＴＥＳＴ３としてデバイスＣの本検査▲２▼とデバイスＤの事前検査を行う（Ｓ７０５）。Ｓ７０２で不良品の時は、ＴＥＳＴ５としてデバイスＣの本検査▲１▼とデバイスＤの事前検査を行う（Ｓ７０６）。Ｓ７０４で不良品の時は、ＴＥＳＴ４としてデバイスＤの本検査▲１▼を行いＳ７１０に進む（Ｓ７０９）。次に、ＴＥＳＴ３あるいはＴＥＳＴ５でのデバイスＤの事前検査の良品・不良品の判定を行い、良品の時はＳ７０８に、不良品の時はＳ７１０に進む（Ｓ７０７）。Ｓ７０７で良品の時は、ＴＥＳＴ４としてデバイスＤの本検査▲２▼を行い、Ｓ７１０に進む（Ｓ７０８）。最後に、全てのデバイスの検査が終了すると処理を終了する（Ｓ７１０）。
【００４０】
以下に具体的な動作を説明する。
ここでは、図５における、ＡからＤまでのデバイスに対する検査を実施する場合を示し、検査は、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの順に検査を実施するものとする。
【００４１】
実施の形態１と同様に、まず、デバイスＢ、Ａに対して、それぞれ、図７のＳ７０１として事前検査とデバイスの良否判定に必要な全ての検査である本検査▲１▼を実施する。ただし、図６のｔｂよりもｔｅのタイミングが前だった場合は、ｔｅｓｔ１は終了し図７のＳ７０６に移行する。図６のｔｂよりもｔｅのタイミングが後だった場合は図７のＳ７０２に移行し、デバイスＢの事前検査結果の判定を行う。ここで、デバイスＢの事前検査が良品判定だった場合は、図７のＳ７０３に移行するが、デバイスＢはすでに事前検査の内容は実施済みなため、デバイスの良否判定に必要な全ての検査項目から事前検査で実施した項目を除いた検査である本検査▲２▼とデバイスＣに対する事前検査を実施する。そのために、図６で示すようにデバイスＢの検査時間は事前検査にかかる時間分だけ時短できる。
【００４２】
また、デバイスＢの事前検査が不良品判定だった場合は、図７のＳ７０６に移行し、デバイスＣに対して良否判定に必要な全ての検査である本検査▲１▼とデバイスＤに対する事前検査を実施する。ここでも、同様にデバイスＣの検査時間を事前検査にかかる時間の分だけ時短できる。
【００４３】
以下、ｔｅｓｔ２，ｔｅｓｔ３，ｔｅｓｔ４も同様に行う。
以上のように本実施の形態をよれば、事前検査の未実施・実施により本検査で実施するプログラムを本検査▲１▼と本検査▲２▼として使い分けることにより、事前検査を実施したデバイスの場合には、本検査において事前検査と重複する検査項目がなくなるため、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
（実施の形態４）
以下、図９，図１０を用いて本発明の実施の形態４について説明を行う。
【００４４】
図９は本発明の実施の形態４における検査方法を説明する概念図、図１０は本発明の実施の状態４におけるプローブカードのプローブ形態を示す図である。
図１０において、３００はプローブカードであり、ひとつのプローブカード３００には、本検査用のプローブカード部３０１と、事前検査用のプローブカード部３０２が備えられている。本検査実施用のプローブカード部３０１は、デバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施するためのテスターチャンネルに接続されるプローブ１からプローブ２０で構成され、さらに各プローブは、ここでは、デバイスＡに接続されている。また、事前検査実施用のプローブカード部３０２は、デバイスの良否判定に必要な全ての検査を実施するためのテスターチャンネルに接続されるプローブ２１からプローブ４０で構成され、さらに各プローブは、ここでは、デバイスＢに接続されている。ここで、テスターチャンネルの本検査用のプローブカード部３０１または事前検査用のプローブカード部３０２との接続は、セレクタ（図示せず）によって選択される。
【００４５】
図９において、９１０はデバイスＡの本検査とデバイスＢの事前検査を同時に実行する時の検査状態、９１１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。９１２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくとものである。９１３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。また、９２０はデバイスＢの本検査とデバイスＣの事前検査を同時に実行する時の検査状態、９２１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。９２２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくとものである。９２３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。さらに、９３０はデバイスＣの本検査とデバイスＤの事前検査を同時に実行する時の検査状態、９３１は検査対象となるスライスであり、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは検査対象となる各デバイスを示す。９３２はプローブカードでありデバイスＡ，デバイスＢ，デバイスＣ，デバイスＤの順にプローブカードを移動させて検査していくとものである。９３３はＬＳＩテスターであり、プローブカードを通じて各デバイスに信号の入力と判定を行うものである。
【００４６】
実施の形態４における具体的な動作は、前述の実施の形態１，実施の形態２，実施の形態３と同様な動作を行うことができるので、説明を省略する。実施の形態４の相違点は、各テスターチャネルと両プローブカード部のプローブとの接続を選択するセレクタを備える点で、各テスターチャネル毎にどちらのプローブカード部のプローブと接続するか選択することもできるし、本検査時は全てのテスターチャネルを本検査用プローブカード部のプローブに接続し、事前検査時は全てのテスターチャネルを事前検査用プローブカード部のプローブに接続するように選択することもできる。
【００４７】
以上のように本実施の形態によれば、事前検査の実施により不良品を本検査の事前に特定して本検査を削除することができるため、プローブカードの移動時間及び不良デバイスへの検査時間が省略化され、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができると共に、各テスターチャネルと両プローブカード部のプローブとの接続を選択するセレクタを備えることにより、事前検査用のテスターチャネルを余分に確保する必要がなくテスターチャネルに余裕のないデバイスであっても、事前検査を実施することができる。
【００４８】
【発明の効果】
以上のように、本発明のプローブカードとそれを用いたＬＳＩデバイスの検査方法によれば、事前検査の実施により不良品を本検査の事前に特定して本検査を削除することができるため、プローブカードの移動時間及び不良デバイスへの検査時間が省略化され、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
【００４９】
また、事前検査で不良検出率のより高い検査項目を選択することにより、事前検査における不良検出の精度を高めながら、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
【００５０】
さらに、事前検査の未実施・実施により本検査で実施するプログラムを本検査▲１▼と本検査▲２▼として使い分けることにより、事前検査を実施したデバイスの場合には、本検査において事前検査と重複する検査項目がなくなるため、多ピン版のＬＳＩデバイスを通常のテスターを用いて検査する場合であっても、検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査方法を説明する概念図
【図２】本発明の実施状態におけるプローブカードの形態を示す図
【図３】従来の検査と本発明の実施の形態１における検査を比較するタイミングチャート
【図４】本発明の実施の形態１におけるＬＳＩデバイスの検査方法のフローチャート
【図５】スライス上の検査対象となるデバイスの配置を示す概念図
【図６】従来の検査と本発明の実施の形態３における検査を比較するタイミングチャート
【図７】本発明の実施の形態３におけるＬＳＩデバイスの検査方法のフローチャート
【図８】本発明の実施の形態２における事前検査項目の変更検討のチェックリスト
【図９】本発明の実施の形態４における検査方法を説明する概念図
【図１０】本発明の実施の状態４におけるプローブカードのプローブ形態を示す図
【符号の説明】
１    プローブ
２    プローブ
３    プローブ
４    プローブ
５    プローブ
６    プローブ
７    プローブ
８    プローブ
９    プローブ
１０    プローブ
１１    プローブ
１２    プローブ
１３    プローブ
１４    プローブ
１５    プローブ
１６    プローブ
１７    プローブ
１８    プローブ
１９    プローブ
２０    プローブ
２１    プローブ
２２    プローブ
２３    プローブ
２４    プローブ
２５    プローブ
２６    プローブ
２７    プローブ
２８    プローブ
２９    プローブ
３０    プローブ
５０    プローブ
５１    プローブ
５２    プローブ
５３    プローブ
５４    プローブ
５５    プローブ
５６    プローブ
５７    プローブ
５８    プローブ
５９    プローブ
６０    プローブ
６１    プローブ
６２    プローブ
６３    プローブ
６４    プローブ
６５    プローブ
６６    プローブ
６７    プローブ
６８    プローブ
６９    プローブ
７０    プローブ
７１    プローブ
７２    プローブ
７３    プローブ
７４    プローブ
７５    プローブ
７６    プローブ
７７    プローブ
７８    プローブ
７９    プローブ
８０    プローブ
８１    プローブ
８２    プローブ
８３    プローブ
８４    プローブ
８５    プローブ
８６    プローブ
８７    プローブ
８８    プローブ
８９    プローブ
９０    プローブ
１１０    検査状態
１１１    スライス
１１２    プローブカード
１１３    ＬＳＩテスター
１２０    検査状態
１２１    スライス
１２２    プローブカード
１２３    ＬＳＩテスター
１３０    検査状態
１３１    スライス
１３２    プローブカード
１３３    ＬＳＩテスター
２００    プローブカード
２０１    本検査用のプローブカード部
２０２    事前検査用のプローブカード部
３００    プローブカード
３０１    本検査用のプローブカード部
３０２    事前検査用のプローブカード部
９１０    検査状態
９１１    スライス
９１２    プローブカード
９１３    ＬＳＩテスター
９２０    検査状態
９２１    スライス
９２２    プローブカード
９２３    ＬＳＩテスター
９３０    検査状態
９３１    スライス
９３２    プローブカード
９３３    ＬＳＩテスター
Ａ    デバイス
Ｂ    デバイス
Ｃ    デバイス
Ｄ    デバイス
ｔａ    従来検査と本検査の検査開始タイミング
ｔｂ    事前検査の開始タイミング
ｔｃ    事前検査の判定終了タイミング
ｔｅ    従来検査と本検査の検査終了タイミング
ｔａ６    従来検査と本検査▲１▼と本検査▲２▼検査開始のタイミング
ｔｂ６    事前検査の開始タイミング
ｔｃ６    事前検査の判定終了タイミング
ｔｄ６    本検査▲２▼の検査終了タイミング
ｔｅ６    従来検査と本検査▲１▼の検査終了タイミング
【図１】
2004356120.tif 000003
【図２】
2004356120.tif 000004
【図３】
2004356120.tif 000005
【図４】
2004356120.tif 000006
【図５】
2004356120.tif 000007
【図６】
2004356120.tif 000008
【図７】
2004356120.tif 000009
【図８】
2004356120.tif 000010
【図９】
2004356120.tif 000011
【図１０】
2004356120.tif 000012