【手続補正書】
【提出日】平成15年12月25日(2003.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反応容器内に支持され回転する出発ロッドに対向させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを平行に相対的に往復運動させながらバーナで合成されるガラス微粒子を出発ロッドの表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガラス母材を製造する方法において、前記バーナを反応容器にセットした状態において、反応容器のバーナ取り込み箇所の近傍に通風口を設け、該通風口から母材に向け、母材の長さ方向に異なる流量で気体を供給することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項２】
前記通風口がバーナ周囲にあることを特徴とする請求項１に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項３】
前記通風口から母材に向け、母材の長さ方向で温度の異なる気体を供給することを特徴とする請求項１又は２に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項４】
前記通風口から供給する気体の温度を、各通風口ごとに変えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項５】
前記往復運動を、バーナを固定し出発ロッドを往復運動させる方式とし、反応容器の外側にバーナ列全体を囲む枠を設け、該枠にバーナ列全体を覆う覆いを取り付けて空気溜を形成し、該空気溜内に清浄気体を供給して該清浄気体を前記通風口から母材に向けて供給することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項６】
各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガラス微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し、各堆積面の温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給される気体の流量もしくは流量及び温度を調整することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項７】
通風口から母材に向けて供給される気体の量の調整を、前記通風口の開口度を調整することによって行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項８】
通風口から母材に向けて供給される気体の量の調整を、前記通風口へ供給する気体の量を調整することによって行うことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項９】
前記気体が空気又は不活性ガスであることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【請求項１０】
前記ガラス微粒子合成用バーナとして、助燃性ガス又は不活性ガスを噴出するポートのいずれかから噴出するガスの流速が８ｍ／秒以上のものを使用することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の多孔質ガラス母材の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決する手段として、次の（１）〜（１０）に示す構成を採る。
（１）反応容器内に支持され回転する出発ロッドに対向させて複数本のガラス微粒子合成用バーナを配置し、前記出発ロッドとガラス微粒子合成用バーナとを平行に相対的に往復運動させながらバーナで合成されるガラス微粒子を出発ロッドの表面に一層ずつ堆積させて多孔質ガラス母材を製造する方法において、前記バーナを反応容器にセットした状態において、反応容器のバーナ取り込み箇所の近傍に通風口を設け、該通風口から母材に向け、母材の長さ方向に異なる流量で気体を供給することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。
（２）前記通風口がバーナ周囲にあることを特徴とする前記（１）の多孔質ガラス母材の製造方法。
（３）前記通風口から母材に向け、母材の長さ方向で温度の異なる気体を供給することを特徴とする前記（１）又は（２）の多孔質ガラス母材の製造方法。
（４）前記通風口から供給する気体の温度を、各通風口ごとに変えることを特徴とする前記（１）〜（３）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
（５）前記往復運動を、バーナを固定し出発ロッドを往復運動させる方式とし、反応容器の外側にバーナ列全体を囲む枠を設け、該枠にバーナ列全体を覆う覆いを取り付けて空気溜を形成し、該空気溜内に清浄気体を供給して該清浄気体を前記通風口から母材に向けて供給することを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
（６）各バーナごとにそれぞれのバーナで合成されるガラス微粒子が堆積している堆積面の温度を測定し、各堆積面の温度がほぼ均一に保たれるように通風口から供給される気体の流量もしくは流量及び温度を調整することを特徴とする前記（１）〜（５）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
（７）通風口から母材に向けて供給される気体の量の調整を、前記通風口の開口度を調整することによって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
（８）通風口から母材に向けて供給される気体の量の調整を、前記通風口へ供給する気体の量を調整することによって行うことを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
（９）前記気体が空気又は不活性ガスであることを特徴とする前記（１）〜（８）のいずれか１つの多孔質ガラス母材の製造方法。
（１０）前記ガラス微粒子合成用バーナとして、助燃性ガス又は不活性ガスを噴出するポートのいずれかから噴出するガスの流速が８ｍ／秒以上のものを使用することを特徴とする（１）〜（９）のいずれか１つのの多孔質ガラス母材の製造方法。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の方法においては、各通風口から流量もしくは流量及び温度を変えた空気を供給する。通常は流量は上にいくほど多くし、温度は上にいくほど低くなるようにする。
空気流量の調整手段は特に限定されるものではないが、その１例を図４に示す。この例では図４（ｃ）に示すような中央にバーナ４より径の大きい穴を有する２分割された金属性の調整プレート１４を、バーナ４を挟んで通風口６の一部を覆うように取付け、その間隔を調整することによって通風口１４の開口度を調整する。図４（ａ）はバーナ４に垂直な方向から見た断面図、図４（ｂ）は上方から見た断面図である。この方法は図１、２のように空気溜８を設ける形式の場合に好適である。
他の空気流量の調整手段として、各通風口ごとに空気の供給配管を設け、それぞれの通風口への空気供給量を調整する方法もあるが、空気溜を設ける方式に比べて装置が複雑化する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
（例１）
出発ロッド１（直径３６ｍｍ、長さ１５００ｍｍ）に対向させて４本のバーナ４を２００ｍｍ間隔で配置し、出発ロッド１を軸回りに回転させながら往復運動させる方式でガラス微粒子の堆積を行った。通風口６は四つとも７５ｍｍの外径とした。堆積工程の間、クリーンエア発生器９の平均吹き出し流量を２０ｍ3 ／ｍｉｎで、常温のクリーンエア（大きさ０．５μｍ以上のダスト数が４０個／ｍ3 ：レーザパーティクルカウンタを用いて散乱光強度の検出により測定）を空気溜８に供給するようにした。
その結果、得られた多孔質ガラス母材５の形状は、外径が有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２４５ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであった。多孔質ガラス母材５の全長にクリーンエアを与えることで、多孔質ガラス母材５の長さ方向の温度差が緩和され、得られた多孔質ガラス母材は使用可能なものであった。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
（例２）
図４に示したような金属製の調整プレート１４を使用して各バーナ４の周囲の通風口６の大きさを調整した他は例１と同じ条件で多孔質ガラス母材５を作製した。通風口６の大きさは外径が上から順に７５ｍｍ、７３ｍｍ、７０ｍｍ、６５ｍｍ程度となるようにした。その結果、母材５の外径は有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５２ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであり、外径の均一化効果が顕著に認められた。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
（例３）
図７に示したように各バーナ横にバーナ取り込み箇所１５から１０ｃｍ離れた位置に通風口６を設けた。各通風口の縦の長さは６０ｍｍで一定とし、横幅をそれぞれ１３、１１、９、４ｍｍとし、上に位置する通風口ほど横幅が大きくなるようにした。通風口の形状以外は例２と同じ条件とした。得られた母材の外径は最上部で２５８ｍｍ、最下部で２６２ｍｍであり、実施例２と同等の効果が得られた。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
（例４）
例２の方法において、各バーナ４の周囲の隙間（通風口６）から、放射温度計１２により堆積面温度を測定し、堆積面温度が７００℃となるように調整プレート１４を使用して通風口６の大きさを微調整しながら多孔質ガラス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５８ｍｍ、最下部で２６０ｍｍであり、さらに均一な母材５を得ることができた。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
（例５）
反応容器２、バーナ４、通風口６の構成は例１と同じにし、各通風口６へは温度の異なるクリーンエアを供給できるように配管した。供給クリーンエアの温度を３０℃、供給量をバーナ１本につき４ｍ3 ／ｍｉｎとして堆積を開始したところ、堆積面の温度は有効部の最上部が７２０℃であったのに対し、最下部は６９０℃で約３０℃の温度差が認められた。均一な温度のクリーンエアを多孔質ガラス母材５の全長に与えることで、多孔質ガラス母材５の長さ方向の温度差が緩和され、堆積面の温度を中心値に対して±１５℃以内の範囲に収めることができた。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
（例６）
例５で上下の温度差が認められたので、各通風口６の開口度はそのままとし、供給するクリーンエアの温度を上から順に３０℃、６０℃、９０℃、１２０℃として多孔質ガラス母材５を作製した。その結果、母材５の外径は有効部（長さ６００ｍｍ）の最上部で２５７ｍｍ、最下部で２５８ｍｍであり、均一な母材５を得ることができた。また、堆積の間、ガラス堆積面の温度も有効部の最上部が７２０℃、最下部は７１６℃と均一化されていた。