(57)【要約】【課題】パラジウムと銀とが合金化され低温脆性が改善されているとともに、耐熱衝撃性に優れ、且つ、高純度の水素を得ることが出来る水素分離体を提供すること。【解決手段】多孔質基体上に水素分離膜が形成された水素分離体の製造方法の提供による。本方法は、多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化し、水素分離膜を形成するところに特徴がある。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質基体上に水素分離膜が形成された水素分離体の製造方法であって、
前記多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化し、前記水素分離膜を形成することを特徴とする水素分離体の製造方法。
【請求項２】
前記多孔質基体が、金属又は高耐熱衝撃性セラミックの多孔質体である請求項１に記載の水素分離体の製造方法。
【請求項３】
多孔質基体上に水素分離膜が形成されてなる水素分離体であって、
前記多孔質基体と前記水素分離膜との間に、多孔質セラミック膜を有することを特徴とする水素分離体。
【請求項４】
多孔質基体上に水素分離膜が形成されたメンブレンリアクタの製造方法であって、
前記多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化し、前記水素分離膜を形成することを特徴とするメンブレンリアクタの製造方法。
【請求項５】
前記多孔質基体が、金属又は高耐熱衝撃性セラミックの多孔質体である請求項４に記載のメンブレンリアクタの製造方法。
【請求項６】
多孔質基体上に水素分離膜が形成されてなるメンブレンリアクタであって、
前記多孔質基体と前記水素分離膜との間に、多孔質セラミック膜を有することを特徴とするメンブレンリアクタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、原料ガスたる多成分混合ガスから水素のみを分離する水素分離体の製造方法、及び、炭化水素の水蒸気改質反応、シクロヘキサンの脱水素反応等を行うメンブレンリアクタの製造方法、並びに、水素分離体及びメンブレンリアクタに関する。
【０００２】
【従来の技術】高純度の水素ガスを得る一方法として、ガス分離膜によって水素ガスを多成分混合ガスから分離する方法がある。そして、水素ガスを得るガス分離膜としては、ポリイミドやポリスルホン等の有機高分子膜、及び、パラジウム又はパラジウム合金等の無機化合物膜が知られているが、特に、パラジウム又はパラジウム合金のガス分離膜（以下、パラジウム薄膜ともいう）は、パラジウム又はパラジウム合金に水素を固溶して透過させる性質を利用して、極めて高純度の水素を得ることが出来る水素分離膜として知られている。
【０００３】このパラジウム薄膜は、水素の透過率を高めるために出来るだけ薄膜化する必要がある。しかし、単独では機械的強度の問題もあり、５０μｍ程度が自立膜の限界であることから、特許文献１に開示されているように、セラミックスの多孔質支持体（基体）の表面にパラジウム又はパラジウム合金を被着させ水素分離体として構成し、機械強度は支持体に持たせる方法がとられる。
【０００４】又、パラジウム薄膜は、低温でパラジウムが水素脆化するため、ひび割れ等を発生し易いという問題を有するので、特許文献２に開示されているように、一般に、耐熱性多孔質基体の表面に、化学メッキ法によりパラジウム薄膜を形成し、パラジウム薄膜上に化学メッキ法により銀薄膜を形成し、次いで、熱処理を行う製造方法を用い、パラジウムと銀とが合金化された水素分離膜を有する水素分離体として構成し、低温脆性を改善する方法がとられる。このとき、パラジウムと銀との合金化に必要な温度は６００〜１３００℃と高温であるため、使用される耐熱性多孔質基体は、そのような高温でもパラジウム及び銀と反応しない材料、例えばアルミナ等のセラミックに限定される。
【０００５】以上記した水素分離体は、長期間連続使用する用途、例えば半導体製造工程に用いられる超高純度水素製造の用に供される場合には、問題ないものであった。しかしながら、自動車用、家庭やビル等建物用、携帯電話やパソコン等の電子機器用の電源として実用化が期待される燃料電池用の水素を得るための燃料改質器では、運転・休止が繰り返しが行われ、休止状態から運転状態へ迅速に移行するために、より速く昇温することが求められる。しかし、上記従来の水素分離体では、セラミック製の耐熱性多孔質基体の耐熱衝撃性が低いことから昇温速度向上の要請に応えられない。
【０００６】例えば、原料としてメタノールを使用した場合、改質器温度は３００℃、メタンガスを使用した場合、改質器温度は５００〜６００℃であることから、水素分離膜の動作温度は３００〜６００℃が好ましい。特に燃料電池自動車用の燃料改質器として適用されるためには上記温度まで迅速に昇温する必要があり、使用される水素分離体には、少なくとも１５０℃／ｍｉｎ程度の昇温速度に耐え得る耐熱衝撃性が求められる。ところが、このような条件下では、上記従来の水素分離体を構成する多孔質基体として、上記アルミナの他、シリカ、シリカ−アルミナ、ムライト、完全安定化ジルコニア等のセラミックを用いた場合に、ひび割れ等が発生してしまう。他方、金属多孔質基体を用いると、パラジウムと銀との合金化反応を行う際に、金属多孔質基体とパラジウム及び銀との反応も起こり、十分な水素分離機能を発現しなくなる。
【０００７】
【特許文献１】
特開昭６２−２７３０３０号公報
【特許文献２】
特開平３−１４６１２２号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従来事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、パラジウムと銀とが合金化され低温脆性が改善されているとともに、耐熱衝撃性に優れ、且つ、高純度の水素を得ることが出来る水素分離体を提供することにある。尚、水素分離体にかかる上記従来の問題及び課題は、水蒸気改質反応等を行うメンブレンリアクタにおいても同様に存在する。従って、本発明の他の目的は、パラジウムと銀とが合金化され低温脆性が改善されているとともに、耐熱衝撃性に優れ、且つ、例えば水素生成反応において高い転化率を実現するメンブレンリアクタを提供することにある。研究が重ねられた結果、水素分離体の製造にかかり、高温でのパラジウムと銀との合金化反応を省いて、多孔質基材とパラジウム及び銀との反応を抑制することにより、多孔質基材として耐熱衝撃性の高いものが選択可能となるとともに、水素分離機能の低下が防止され、上記目的を達成出来ることが見出された。
【０００９】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明によれば、多孔質基体上に水素分離膜が形成された水素分離体の製造方法であって、多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化し、水素分離膜を形成することを特徴とする水素分離体の製造方法が提供される。このとき、多孔質基体は、金属又は高耐熱衝撃性セラミックの多孔質体であることが好ましい。
【００１０】又、本発明によれば、多孔質基体上に水素分離膜が形成されてなる水素分離体であって、多孔質基体と水素分離膜との間に、反応抑止層として多孔質セラミック膜を有することを特徴とする水素分離体が提供される。
【００１１】更に、本発明によれば、多孔質基体上に水素分離膜が形成されたメンブレンリアクタの製造方法であって、多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化し、水素分離膜を形成することを特徴とするメンブレンリアクタの製造方法が提供される。このとき、多孔質基体は、金属又は高耐熱衝撃性セラミックの多孔質体であることが好ましい。
【００１２】尚更に、本発明によれば、多孔質基体上に水素分離膜が形成されてなるメンブレンリアクタであって、多孔質基体と水素分離膜との間に、多孔質セラミック膜を有することを特徴とするメンブレンリアクタが提供される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明について、実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、これらに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。
【００１４】本発明に係る水素分離体の製造方法は、多孔質基体上に水素分離膜が形成された水素分離体の製造方法であり、水素分離膜の形成方法に特徴を有する方法である。本発明に係る水素分離体の製造方法において、水素分離膜は、多孔質基体の表面に、予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させた後に、３００〜６００℃で焼結させて膜化することにより形成される。こうして、多孔質基体上に水素分離膜たるパラジウム−銀合金膜が設けられた水素分離体を得ることが出来る。
【００１５】予め合金化したパラジウム−銀合金のゾルとは、多孔質基体の表面に担持させるときには既に合金になっているナノメートルサイズのパラジウム−銀超微粒子を分散剤中に分散させたものを意味する。パラジウム−銀合金のゾルは、公知の方法で作製することが出来る。例えば、メカノケミカル法や有機金属化合物のゾル−ゲル反応を用いることが可能である。これらの方法は、セラミックコンデンサ等の電極用のパラジウム−銀合金の製造手段として知られている。
【００１６】多孔質基体上に担持させるときには、既にパラジウム−銀合金になっているので、熱処理はそれらを焼結させパラジウム−銀合金のゾルを膜化させるためのより低温の処理でよく６００℃以下で行う。合金化のために６００℃を超えた高温での熱処理を行う必要はない。従来より低い温度での熱処理により、多孔質基体とパラジウム及び銀との反応は抑制され、水素分離機能の低下を招来することがない。但し、３００℃未満の低温では、多孔質基体とパラジウム−銀合金膜との焼結が不十分なため好ましくない。
【００１７】本発明に係る水素分離体の製造方法では、多孔質基体は、金属又は高耐熱衝撃性セラミックの多孔質体であることが好ましい。熱処理が低温で行われるので、パラジウム及び銀との反応性に留意して多孔質基体を選定するのではなく、専ら耐熱衝撃性に着目して多孔質基体を構成する材料を決定することが可能である。限定されるものではないが、多孔質基体を構成する金属としては、例えば、ステンレス、ニッケル合金、タングステン等が挙げられる。高耐熱衝撃性セラミックとしては、窒化珪素、炭化ケイ素等を挙げることが出来る。
【００１８】又、多孔質基体と水素分離膜との間に、多孔質セラミック膜を有する態様を採用することが出来る。上記した如く、多孔質基体の表面にパラジウム−銀合金のゾルを膜化させるための熱処理は６００℃を超える高温では行わないので、多孔質基体に金属材料を用いてもパラジウム及び銀との反応は抑制される。しかし、金属と高耐熱衝撃性セラミックとを比較すれば金属の方がより低廉であるが反応し易い材料である。従って、限定されるものでないが、特に多孔質基体として金属多孔質体を用いる場合には、多孔質基体とパラジウム−銀合金膜（水素分離膜）との間に多孔質セラミック膜を介在させる態様をとることは、更に多孔質基体とパラジウム及び銀との反応を小さくするために望ましい手段である。
【００１９】上記多孔質セラミック膜を構成するセラミック材料は、高耐熱衝撃性セラミックに限定されるものではない。従来、多孔質基体として用いられているアルミナ、シリカ、シリカ−アルミナ、ムライト、完全安定化ジルコニア等を採用することが出来る。これは、膜状になっているので、高速で昇温しても亀裂等が生じ難いからである。
【００２０】上記した多孔質セラミック膜を有する態様は、本発明により提供される水素分離体を示すものである。即ち、本発明に係る水素分離体は、多孔質基体上に水素分離膜が形成されてなるものであって、多孔質基体と水素分離膜との間に多孔質セラミック膜を有することを特徴としている。多孔質セラミック膜は、１０μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは５μｍである。これは、上記したように、より速い昇温速度でも亀裂し難く、且つ、多孔質基体とパラジウム及び銀との反応を小さくする機能を発揮し得る厚さである。尚、本発明に係る水素分離体は、本発明に係る水素分離体の製造方法によってのみ得られるものではなく、上記特徴を有していれば何れの製造方法によって作製してよい。
【００２１】以上、本発明に係る水素分離体の製造方法及び水素分離体について特徴及び効果等を説明したが、上記記載は、水素分離体のように多成分混合ガスから水素のみを拡散分離する用途ではなく、炭化水素の水蒸気改質反応、シクロヘキサンの脱水素反応等を行うメンブレンリアクタにおいても、同様の特徴を発現し同様の効果を得て同様の問題を解決する。本発明に係るメンブレンリアクタの製造方法及びメンブレンリアクタについては記載を省略する。
【００２２】
【実施例】以下、実施例を挙げて、本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２３】（実施例１）
【００２４】先ず、ゾルを担持させた多孔質基体を得た。図１に、多孔質基体の表面に合金化したパラジウム−銀合金のゾルを担持させる装置を示す。多孔質基体として、長さ２００ｍｍ、直径１０ｍｍ（肉厚０．５ｍｍ）のＳＵＳ３１６製の金属多孔体管１（細孔径０．１μｍ）を粉末冶金法により作製した。そして、メカノケミカル法で合金化したパラジウム７８質量％−銀２２質量％合金ナノ粒子（粒子径５ｎｍ）を分散させたゾル溶液１３を用意し、図１に示すように、槽中に入れたゾル溶液１３に金属多孔体管１を浸漬した。次いで、金属多孔体管１の一端を栓１２で閉じ、他端において栓１４で管内を気密に保ちつつポンプ１１で真空吸引し、金属多孔体管１の外表面及び金属粒子間隙にゾル溶液１３をコーティングした。乾燥させた後、ディップコート法により金属多孔体管１の外表面にゾル溶液１３をコーティングし、更に乾燥させ、これらコーティング及び乾燥を繰り返して、金属多孔体管１の外表面に所定の厚さのゾルを担持させた。
【００２５】次に、ゾルを担持させた金属多孔体管１を、アルゴンガス雰囲気中で５００℃にて８時間焼成し、ゾルを焼結させ膜化して、金属多孔体管１外表面上にパラジウム−銀合金膜が形成された水素分離体を得た。得られた水素分離体のパラジウム−銀合金膜の膜厚は３μｍであった。
【００２６】そして、得られた水素分離体（水素分離体１０とする）について、水素分離試験を行った。試験装置の概略図を図２に示す。水素分離体１０はチャンバー１７に収まり、水素分離体１０の内側と外側とはＯリング１５で完全にシールされている。原料ガスとして、窒素２５質量％−水素７５質量％の混合ガス２７を用意し、チャンバー１７を３５０℃にまで加熱した。次いで、導入管２０から水素分離体１０の外側に圧力が８００ｋＰａである混合ガス２７を１Ｎリットル／分で導入した。又、導入管１８から水素分離体１０の内側に、圧力が１００ｋＰａのアルゴンをキャリヤーガス２８として、０．１Ｎリットル／分で導入した。得られた精製ガス２９についてガスクロマトグラフィにより定量分析を行い、精製ガス２９中の水素濃度を調べたところ、９９．９％であった。
【００２７】更に、得られた水素分離体１０について、熱サイクル試験を行った。水素雰囲気中にある水素分離体１０を室温から３５０℃まで昇温速度３００℃／ｍｉｎで加熱し、次いで、降温速度３００℃／ｍｉｎで室温まで冷却した。この加熱・冷却サイクルを１サイクルとし１０００サイクル行った。その後、再び上記水素分離試験を実施したところ、精製ガス中の水素濃度は９９．９％であり、性能低下は認められなかった。
【００２８】（実施例２）
【００２９】先ず、ゾルを担持させた多孔質基体を得た。多孔質基体として、長さ２００ｍｍ、直径１０ｍｍ（肉厚０．５ｍｍ）のタングステン製の金属多孔体管（細孔径１μｍ）を粉末冶金法により作製し、更に、０．３〜０．４μｍのアルミナ粒子をディップコート法で金属多孔体管の外表面にコーティングし、アルゴンガス雰囲気中で１４００℃にて２時間焼成して、焼結させ、金属多孔体管の外表面に多孔質セラミック膜を形成した。このときの細孔径は０．１μｍであった。
【００３０】次いで、メカノケミカル法で合金化したパラジウム７８質量％−銀２２質量％合金ナノ粒子（粒子径５ｎｍ）を分散させたゾル溶液を用意し、実施例１と同様な方法で、外表面に多孔質セラミック膜が形成された金属多孔体管の更に多孔質セラミック膜の上に、所定の厚さのゾルを担持させた。
【００３１】次に、ゾルを担持させた金属多孔体管を、アルゴンガス雰囲気中で、６００℃にて８時間焼成しゾルを焼結させ膜化し、金属多孔体管外表面上にパラジウム−銀合金膜が形成され、且つ、中間層として多孔質セラミック膜を有する水素分離体を得た。尚、得られた水素分離体のパラジウム−銀合金膜の膜厚は３μｍであった。
【００３２】そして、得られた水素分離体について、チャンバーを５００℃にまで加熱した以外は実施例１に準じて、水素分離試験を行った。得られた精製ガス中の水素濃度は、９９．８％であった。
【００３３】更に、得られた水素分離体について、加熱到達温度を５００℃とした以外は実施例１に準じて、熱サイクル試験を行った。その後、再び上記水素分離試験を実施したところ、精製ガス中の水素濃度は９９．７％であり、性能低下は殆ど認められなかった。
【００３４】（比較例１）
【００３５】多孔質基体として、長さ２００ｍｍ、直径１０ｍｍ（肉厚０．５ｍｍ）のＳＵＳ３１６製の金属多孔体管（細孔径０．１μｍ）を粉末冶金法により作製した。そして、得られた金属多孔体管に洗浄、脱脂処理を施した後に、ＳｎＣｌ２・２Ｈ２Ｏを０．１質量％含有する０．１％塩酸水溶液に１分間浸漬させた。次いで、金属多孔体管の外表面を、ＰｄＣｌ２を０．０１質量％含有する０．１％塩酸水溶液に１分間浸漬させた。各々の塩酸水溶液に１０回浸漬させるように、この処理を両塩酸水溶液で繰り返し、活性化処理を行った。
【００３６】次に、イオンを除去した水に、［Ｐｄ（ＮＨ３）４］Ｃｌ２・Ｈ２Ｏ（５．４ｇ／ｌ）、２Ｎａ・ＥＤＴＡ（６７．２ｇ／ｌ）、アンモニア濃度２８％のアンモニア水（６５１．３ｍｌ／ｌ）、Ｈ２ＮＮＨ２・Ｈ２Ｏ（０．４６ｍｌ／ｌ）を加えた水溶液を準備し、図１に示す装置を用いゾル溶液の代わりに５０℃に温度制御した上記水溶液を槽中に入れ、活性化処理済みの金属多孔体管を浸漬した。次いで、実施例１に準じ、金属多孔体管の一端を栓で閉じ、他端において栓で管内を気密に保ちつつポンプで真空吸引し無電解（化学）メッキし、金属多孔体管の外表面に２．５μｍのパラジウム膜を形成した。更に、銀を電気メッキした後、アルゴンガス雰囲気中で、９００℃で２時間、パラジウムと銀の合金化処理を行い、水素分離体を得た。
【００３７】そして、得られた水素分離体について、実施例１に準じて、水素分離試験を行った。得られた精製ガス中の水素濃度は７５．０％であり、水素分離膜として機能していないことが確認された。又、ＳＥＭ観察及びＥＤＸ分析の結果、パラジウムと銀とを合金化する熱処理により、ＳＵＳ３１６製の金属多孔体管とパラジウム及び銀が反応していることが確認された。
【００３８】（比較例２）
【００３９】多孔質基体として、長さ２００ｍｍ、直径１０ｍｍ（肉厚１．０ｍｍ）のアルミナ製多孔体管を焼結法により作製した。そして、得られたアルミナ製多孔体管に、比較例１に準じて活性化処理を施し、又、比較例１に準じてパラジウムを無電解（化学）メッキしてアルミナ製多孔体管の外表面に２．５μｍのパラジウム膜を形成した。更に、比較例１に準じて銀を電気メッキした後、アルゴンガス雰囲気中で、９００℃で２時間、熱処理を行い、パラジウムと銀とを合金化し、水素分離体を得た。尚、得られた水素分離体のパラジウム−銀合金膜の膜厚は３μｍであった。
【００４０】そして、得られた水素分離体について、チャンバーを窒素中において１００℃／Ｈｒで３５０℃にまで加熱したことを除き、実施例１に準じて、水素分離試験を行った。得られた精製ガス中の水素濃度は９９．９％であった。
【００４１】更に、得られた水素分離体について、実施例１に準じて熱サイクル試験を行った。しかしながら、１回目の昇温時にアルミナ製多孔体管に大きなクラックが生じ使用不可能になったため、試験は中止された。
【００４２】（実施例３）
【００４３】実施例１と同様にして、ＳＵＳ３１６製の金属多孔体管の外表面上に３μｍの厚さでパラジウム−銀合金膜が形成された水素分離体１０を得た。そして、この水素分離体１０を用いて図３に示すメンブレンリアクタを作製した。
【００４４】図３に示すメンブレンリアクタは、反応容器３１内に水素生成反応用の触媒３８が充填され、触媒３８の近傍には図示されるように水素分離体１０が配設されている。入口３５から供給された原料ガス３２は、触媒３８で反応して水素３３を生成し、生成された水素３３は水素分離体１０を介して分離され、水素排出管３４を通って反応容器３１の外部に排出される。一方、排ガス３９は、触媒３８を経由して出口３６から外部に排出される。尚、シール板３７は、原料ガス３２が水素分離体１０の内側に混入しないように設けられたものである。
【００４５】このメンブレンリアクタを用いて、メタン（ＣＨ４）の水蒸気改質反応（ＣＨ４＋Ｈ２Ｏ＝ＣＯ＋３Ｈ２）を行った。先ず、反応容器３１を５００℃に加熱した。ＣＨ４が２０体積％、Ｈ２Ｏが８０体積％の原料ガスを入口３５から供給し、反応容器３１内の圧力を８００ｋＰａに保持するように出口３６を制御した。
【００４６】出口３６のＣＨ４をガスクロマトグラフイーで分析して転化率を求めたところ、９０％であった。一般に、メタンの水蒸気改質反応においては、８００℃では平衡転化率が９０％超であるが、５００℃では平衡転化率は５０％程度である。水素分離体１０を有するメンブレンリアクタの適用により、上記水蒸気改質反応式の右辺のＨ２が除去され反応が（右辺方向に）進み、より低温の５００℃でも９０％の転化率を達成出来たと考えられる。
【００４７】（比較例３）
【００４８】比較例１と同様にして、ＳＵＳ３１６製の金属多孔体管の外表面上に３μｍの厚さのパラジウム−銀合金膜の作製を実施し、水素分離体を得た。そして、水素分離体１０の代わりに得られた水素分離体を用いた以外は図３に示すメンブレンリアクタと同じメンブレンリアクタを作製した。
【００４９】そして、作製したメンブレンリアクタを用いて、実施例３に準じてメタンの水蒸気改質反応を行った。出口のＣＨ４をガスクロマトグラフイーで分析して転化率を求めたところ、６０％であった。水素分離体が水素分離機能を十分に発揮していないためと考えられた。メンブレンリアクタから水素分離体を取り出しＳＥＭ観察及びＥＤＸ分析を行った結果、水素分離体においてパラジウムと銀とを合金化する熱処理の際に、ＳＵＳ３１６製の金属多孔体管とパラジウム及び銀が反応していることが確認された。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、パラジウムと銀とが合金化され低温脆性が改善されているとともに、耐熱衝撃性に優れ、高純度の水素を得ることが出来る水素分離体が提供される。本発明により得られる水素分離体は、急激な昇温降温に耐えて高純度の水素を得ることが出来るので、自動車用、家庭やビル等建物用、更には携帯電話やパソコン等の電子機器用の電源として実用化が期待される燃料電池用の燃料改質器への適用が可能となり従来の水素分離体より市場が大きく拡がる。
【００５１】又、本発明によりパラジウムと銀とが合金化され低温脆性が改善されているとともに、耐熱衝撃性に優れ、低温運転時でも高い転化率を実現したメンブレンリアクタが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】水素分離体の製造工程で用いられる装置を示す部分断面図である。
【図２】水素分離試験装置を示す断面図である。
【図３】メンブレンリアクタの一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１…金属多孔体管、１０…水素分離体、１１…ポンプ、１２…栓、１３…ゾル溶液、１４…栓、１５…Ｏリング、１７…チャンバー、１８…導入管、２０…導入管、２７…混合ガス、２８…キャリヤーガス、２９…精製ガス、３１…反応容器、３２…原料ガス、３３…水素、３４…水素排出管、３５…入口、３６…出口、３７…シール板、３８…触媒、３９…排ガス。
【図１】
2004216275.tif 000002
【図２】
2004216275.tif 000003
【図３】
2004216275.tif 000004