【手続補正書】
【提出日】平成24年3月29日(2012.3.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）の物体平面（７，２０７，３０７）の照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置（１）のための照明系（３）であって、
物体平面（７，２０７，３０７）に又はその近くに、又は該物体平面（７，２０７，３０７）と光学的に共役な平面に又はその近くに、ある構成要素が配置され、該構成要素は、
物体平面（７，２０７，３０７）に照明視野の境界を定めることができる限界縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）を各々が有する複数の絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）を含み、マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）の物体平面（７，２０７，３０７）に走査積分照明エネルギを設定するための構成要素であって、
２つの絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の限界縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）の少なくとも一部が、該絞りの任意の変位の場合に常に異なる、
ことを特徴とする照明系（３）。
【請求項２】
前記照明は、前記構成要素が配置された平面に等強度線（４４９）を有し、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）と該等強度線（４４９）の間で走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）に偏位Δｙが存在し、該偏位Δｙは、該走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）の該照明の範囲の０．５％よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の照明系。
【請求項３】
前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）において等強度線（４４９）に対して１°よりも小さい平均角度を有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項２のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項４】
前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）の等強度線（４４９）の平均曲率半径と０．５％未満だけ異なる曲率半径を有する平均曲率を有する、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項５】
前記照明は、前記構成要素が配置された平面に境界曲線（４５１）を有し、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）と該境界曲線（４５１）の間で走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）に偏位Δｙが存在し、該偏位Δｙは、該走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）の該照明の範囲の０．５％よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の照明系。
【請求項６】
前記照明は、前記構成要素が配置された平面に境界曲線（４５１）を有し、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）の該境界曲線（４５１，９５１，１０５１）に対して１°よりも小さい平均角度を有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項５のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項７】
前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）の前記境界曲線（４５１，９５１，１０５１）の平均曲率半径と０．５％未満だけ異なる曲率半径を有する平均曲率を有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項５から請求項６のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項８】
前記照明は、前記構成要素が配置された平面に等照射量線（６６７）を有し、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）と該等照射量線（６６７）の間で走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）に偏位Δｙが存在し、該偏位Δｙは、該走査方向（９，２０９，４０９，５０９，６０９，７０９，８０９，９０９）の該照明の範囲の０．５％よりも小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の照明系。
【請求項９】
前記照明は、前記構成要素が配置された平面に等照射量線（６６７）を有し、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）の該等照射量線（６６７）に対して１°よりも小さい平均角度を有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項８のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１０】
前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、前記絞り領域（８７１）の前記等照射量線（６６７）の平均曲率半径と０．５％未満だけ異なる曲率半径を有する平均曲率を有する、
ことを特徴とする請求項１又は請求項８から請求項９のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１１】
前記照明視野は、弓形形態を有する、
ことを特徴とする請求項１に記載の照明系（３）。
【請求項１２】
前記照明視野は、矩形である、
ことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明系（３）。
【請求項１３】
前記絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の全てが、前記照明視野の境界を該絞りによって片側のみ定めることができるような方法で配置される、
ことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明系（３）。
【請求項１４】
前記絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の全てが、前記照明視野の境界を該絞りによって２つの互いに反対の側で定めることができるような方法で配置される、
ことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明系（３）。
【請求項１５】
各絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）に対して、該絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）を用いて前記照明視野の割り当て影響領域内で前記走査積分照明エネルギを変更することができるような前記物体平面における絞り領域（８７１）及び割り当て影響領域が存在し、前記限界絞り縁部は、該走査積分照明エネルギが該割り当て影響領域において０．５％よりも小さく変化するような方法で構成される、
ことを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の照明系（３）。
【請求項１６】
物体平面（７，２０７，３０７）に照明視野の境界を定めることができる限界縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）を各々が有する複数の絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）を含み、マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）の物体平面（７，２０７，３０７）に走査積分照明エネルギを設定するための構成要素であって、
２つの絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の限界縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）の少なくとも一部が、該絞りの任意の変位の場合に常に異なる、
ことを特徴とする構成要素。
【請求項１７】
前記絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の位置を変更するための調節デバイス（８３３）、
を特徴とする請求項１６に記載の構成要素。
【請求項１８】
前記絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）は、互いに横並びに配置され、
隣接して配置された絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）が、少なくとも部分的に重ね合わさる、
ことを特徴とする請求項１６から請求項１７のいずれか１項に記載の構成要素。
【請求項１９】
少なくとも１つの絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）が、交換可能方式で構成される、
ことを特徴とする請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の構成要素。
【請求項２０】
前記絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の少なくとも１つが、前記限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）を適応させることができるような方法で構成される、
ことを特徴とする請求項１６から請求項１９のいずれか１項に記載の構成要素。
【請求項２１】
前記少なくとも１つの限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）は、曲率を有する、
ことを特徴とする請求項１６から請求項２０のいずれか１項に記載の構成要素。
【請求項２２】
マイクロリソグラフィ投影露光装置（１）の物体平面（７，２０７，３０７）における弓形形態を有する照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置（１）のための照明系（３）であって、
物体平面（７，２０７，３０７）に照明視野の境界を定めることができる限界縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）を各々が有する複数の絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）を含む、該物体平面（７，２０７，３０７）に走査積分照明エネルギを設定するための構成要素が、該物体平面（７，２０７，３０７）に又はその近くに、又は該物体平面（７，２０７，３０７）と光学的に共役な平面に又はその近くに配置され、
各絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）に対して、該絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）を用いて前記照明視野の割り当て影響領域における前記走査積分照明エネルギを変更することができるような前記物体平面における絞り領域（８７１）及び割り当て影響領域が存在し、前記限界絞り縁部は、該走査積分照明エネルギが該割り当て影響領域において０．５％よりも小さく変化するような方法で構成される、
ことを特徴とする照明系。
【請求項２３】
前記物体平面において前記走査積分照明エネルギを測定し、かつ測定信号を利用可能にするためのデバイス（８８７）を含む、
ことを特徴とする請求項１から請求項１５のいずれか１項又は請求項２２に記載の照明系。
【請求項２４】
前記測定信号に基づいて前記構成要素を設定するための調整ユニット（８８５）を含み、
前記設定は、絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の位置変更、限界絞り縁部（８７９，９７９，１０７９，１１７９）の変更、及び／又は絞り（２３３，４６３，４６５，８３３，９３３，１０３３，１１３３）の交換を含む、  ことを特徴とする請求項２３に記載の照明系。
【請求項２５】
請求項１から請求項１５のいずれか１項又は請求項２２から請求項２４のいずれか１項に記載の照明系（３）、
を含むことを特徴とする投影露光装置（１）。
【請求項２６】
請求項２５に記載の投影露光装置（１）を用いてマイクロ電子構成要素を生成する方法。