(57)【要約】【課題】金属製の隔壁を使用した場合にプラズマディスプレイパネルの非表示領域部分に形成される静電容量を低減して、駆動時における無効電力の発生を抑制する。【解決手段】行方向に延びてプラズマディスプレイパネルの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の列方向に隣接する放電セルＣの間を区画する横壁１６Ａを有し外表面が絶縁層１６ａによって被覆された金属製の隔壁１６であって、横壁１６Ａの表側の面または背面の少なくとも一方の面に、溝１６Ａａが形成されている。【選択図】　　図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
行方向に延びてプラズマディスプレイパネルの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に、溝部が形成されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項２】
前記溝部が、横壁に対して行方向に延びる向きに形成されている請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項３】
前記溝部が、行方向に沿って断続的に形成されている請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項４】
前記溝部が、横壁の表側の面から背面側に貫通する溝孔である請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項５】
前記溝部が、横壁の表側の面から背面側に貫通し行方向に断続的に形成された溝孔である請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項６】
前記溝部内に誘電体が嵌め込まれている請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項７】
前記誘電体が嵌め込まれている溝部が形成されている横壁の面と反対側の面に、溝部が形成されている請求項６に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項８】
行方向に延びてプラズマディスプレイパネルの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項９】
前記誘電体が取り付けられている横壁の面と反対側の面に、溝部が形成されている請求項８に記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁。
【請求項１０】
列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に溝部が形成されているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１１】
列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、プラズマディスプレイパネルの隔壁構造とこの隔壁構造を備えたプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図１は、従来のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）のセル構造を模式的に示す正面図であり、図２は図１のＶ−Ｖ線における断面図である（特許文献１参照）。
【０００３】
この従来のＰＤＰは、パネルの表示面となる前面ガラス基板１の背面に、複数の行電極対（Ｘ，Ｙ）と、この行電極対（Ｘ，Ｙ）を被覆する誘電体層２と、この誘電体層２の裏面を被覆するＭｇＯからなる保護層３が順に設けられている。
【０００４】
各行電極Ｘ，Ｙは、それぞれ、幅の広いＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ　Ｔｉｎ　Ｏｘｉｄｅ）等の透明導電膜からなる透明電極Ｘａ，Ｙａと、その導電性を補う幅の狭い金属膜からなるバス電極Ｘｂ，Ｙｂとから構成されている。
【０００５】
そして、行電極ＸとＹが、それぞれの透明電極ＸａとＹａとが互いに放電ギャップｇを挟んで対向するように列方向に交互に配置されており、各行電極対（Ｘ，Ｙ）によって、マトリクス表示の１表示ラインＬが構成される。
【０００６】
一方、放電ガスが封入された放電空間を介して前面ガラス基板１に対向する背面ガラス基板４には、行電極対Ｘ，Ｙと直交する方向に延びるように配列された複数の列電極Ｄと、この列電極Ｄを被覆する列電極保護層５と、放電空間を区画する後述するような形状の隔壁６と、この隔壁６の側面と列電極保護層５上にそれぞれ赤，緑，青に色分けされて形成された蛍光体層７とが設けられている。
【０００７】
隔壁６は、互いに隣接する行電極対（Ｘ，Ｙ）間において背中合わせに位置するバス電極ＸｂとＹｂに対向する位置において行方向に延びる横壁６Ａと、各行電極Ｘ，Ｙのそれぞれバス電極Ｘｂ，Ｙｂに沿って等間隔に配列された各透明電極Ｘａ，Ｙａの中間位置に対向する位置において列方向に延びる縦壁６Ｂとによって、井桁形状に形成されており、行電極対（Ｘ，Ｙ）のそれぞれ放電ギャップｇを介して互いに対向されている透明電極ＸａとＹａ毎に、放電セルＣを区画している。
【０００８】
このように放電空間を放電セルＣごとに区画する隔壁６は、従来、絶縁性材料によって形成されており、例えば、ガラスペーストなどの隔壁材料を背面ガラス基板４に厚膜塗布して乾燥し、所定のパターンのマスクを介してサンドブラスト処理することにより隔壁材料を切削して井桁形状に成形し、その後、これを焼成することによって形成している。
【０００９】
【特許文献１】
特開２０００−１９５４３１号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来のサンドブラスト処理による隔壁の形成方法では、製造工程が煩雑で生産性が悪く、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
【００１１】
このため、従来の絶縁材を成形することによって形成される隔壁の代わりに、絶縁層によって被覆された金属製の隔壁を用いることが検討されている。
【００１２】
しかしながら、ＰＤＰに金属隔壁を用いると、パネルの静電容量が増大し、これに伴って無効電力も増加して、消費電力が増大するといった問題が発生するため、現在まで実用化はされていない。
【００１３】
この発明は、上記のような従来のＰＤＰが有している問題点を解決するためになされたものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
第１の発明（請求項１に記載の発明）によるプラズマディスプレイパネルの隔壁は、上記目的を達成するために、行方向に延びてプラズマディスプレイパネルの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に、溝部が形成されていることを特徴としている。
【００１５】
また、第２の発明（請求項８に記載の発明）によるプラズマディスプレイパネルの隔壁は、上記目的を達成するために、行方向に延びてプラズマディスプレイパネルの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられていることを特徴としている。
【００１６】
さらにまた、第３の発明（請求項１０に記載の発明）によるプラズマディスプレイパネルは、上記目的を達成するために、列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に溝部が形成されているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されていることを特徴としている。
【００１７】
さらにまた、第４の発明（請求項１１に記載の発明）によるプラズマディスプレイパネルは、上記目的を達成するために、列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されていることを特徴としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００１９】
図３は、この発明によるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の隔壁の実施形態における第１の例を示す正面図であり、図４は、図３のＶ１−Ｖ１線における断面図、図５は、図４のＷ１−Ｗ１線における断面図である。
【００２０】
この第１の例におけるＰＤＰの隔壁１６は、行方向（図３において左右の方向）に延び列方向（図３において上下の方向）に等間隔に配列された金属製の横壁１６Ａと、列方向に延び行方向に等間隔に配列された金属製の縦壁１６Ｂとによって、井桁形状に形成されている。
【００２１】
そして、この隔壁１６の横壁１６Ａの表側の面（図４において上側の面）の中央部に、行方向に延びる溝１６Ａａが形成されている。
【００２２】
この例においては、溝１６Ａａの横断面が矩形に成形されているが、この溝は、半円形や三角形など、その横断面を様々な形状のものにすることが出来る。
【００２３】
また、溝１６Ａａは、行方向において断続的に形成されるようにしても良い。
【００２４】
この隔壁１６の全表面は、絶縁層１６ａによって被覆されている。
【００２５】
この隔壁１６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を抑制することが出来る。
【００２６】
特に、放電空間を介して対向してアドレス放電（発光を行う放電セルを選択するための放電）を行う前面ガラス基板側の行電極と背面ガラス基板側の列電極との間に形成される静電容量が低減されることによって、このアドレス放電時における無効電力の発生を効果的に抑制することが出来る。
【００２７】
図６は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第２の例を、上述した第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００２８】
第１の例は横壁１６Ａの表側の面に溝１６Ａａが形成されていたのに対し、この第２の例は、井桁形状に形成されて絶縁層２６ａによって被覆された隔壁２６の横壁２６Ａの背面（図４において下側の面）の中央部に、溝２６Ａｂが行方向に延びるように形成されている。
【００２９】
この溝２６Ａｂの横断面の形状は、図示のような矩形の他、半円形や三角形など、様々な形状のものを採用することが出来る。
【００３０】
また、溝２６Ａｂは、行方向において断続的に形成されるようにしても良い。
【００３１】
この第２の例における隔壁２６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、第１の例の場合と同様に、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生が抑制される。
【００３２】
図７は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第３の例を、第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００３３】
この第３の例は、井桁形状に形成されて絶縁層３６ａによって被覆された隔壁３６の横壁３６Ａの表側の面の中央部に溝３６Ａａが行方向に延びるように形成され、背面の中央部に溝３６Ａｂが行方向に延びるように形成されている。
【００３４】
この溝３６Ａａおよび３６Ａｂの横断面の形状は、半円形や三角形など、図示のような矩形の他、様々な形状のものを採用することが出来る。
【００３５】
この第３の例における隔壁３６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、第１および第２の例の場合に比べて、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量をさらに低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を大幅に抑制することが出来る。
【００３６】
図８は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第４の例を、第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００３７】
この第４の例における隔壁４６は、第１の例と同様に、井桁形状に形成された金属製の隔壁であって、横壁４６Ａの表側の面の中央部に、行方向に延びる溝４６Ａａが形成されている。
【００３８】
そして、この溝４６Ａａ内に、棒状の誘電体４７が、その上部が横壁４６Ａの表側の面から突出した状態で嵌め込まれている。
【００３９】
この例においては、溝４６Ａａの横断面が矩形に成形されており、誘電体４７の横断面の形状も溝４６Ａａの横断面形状に合わせて矩形に形成されているが、それぞれの横断面の形状は、半円形や三角形など、様々な形状のものを採用することが出来る。
【００４０】
隔壁４６の金属部分の全表面は、絶縁層４６ａによって被覆されている。
【００４１】
この第４の例における隔壁４６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、第１の例の場合に比べて、溝４６Ａａ内に誘電体４７が嵌め込まれていることによって、ＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量をさらに低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を大幅に抑制することが出来る。
【００４２】
図９は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第５の例を、第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００４３】
この第５の例における隔壁５６は、上記第４の例と同様に、井桁形状に形成された金属製の隔壁であって、横壁５６Ａの表側の面の中央部に、行方向に延びる溝５６Ａａが形成されており、そして、この溝５６Ａａ内に、棒状の誘電体５７が、その上部が横壁５６Ａの表側の面から突出した状態で嵌め込まれている。
【００４４】
そして、さらに、横壁５６Ａの背面の中央部に、行方向に延びる溝５６Ａａが形成されている。
【００４５】
この例においては、溝５６Ａａ，５６Ａｂの横断面が矩形に成形されており、誘電体５７の横断面の形状も溝５６Ａａの横断面形状に合わせて矩形に形成されているが、それぞれの横断面の形状は、半円形や三角形など、様々な形状のものを採用することが出来る。
【００４６】
隔壁５６の金属部分の全表面は、絶縁層５６ａによって被覆されている。
【００４７】
この第５の例における隔壁５６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、第４の例の場合に比べて、横壁５６Ａの背面に溝５６Ａｂが形成されていることによって、ＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量をさらに低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を大幅に抑制することが出来る。
【００４８】
図１０は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第６の例を、第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００４９】
この第６の例における隔壁６６は、第１の例と同様に、金属製材料によって井桁形状に成形されており、この隔壁６６の横壁６６Ａの表側の面上に、行方向に延びる棒状の誘電体６７が当接されて一体的に固定されている。
【００５０】
この例においては、誘電体６７の横断面が矩形に成形されているが、半円形や三角形など、他の様々な形状のものを採用することが出来る。
【００５１】
隔壁６６の金属部分の全表面は、絶縁層６６ａによって被覆されている。
【００５２】
この第６の例における隔壁６６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、横壁６６Ａ上に誘電体６７が一体的に設けられていることによって、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量を低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を抑制することが出来る。
【００５３】
図１１は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第７の例を、第１の例の図４と同じ部分において断面して示す図である。
【００５４】
この第７の例における隔壁７６は、第１の例と同様に、金属製材料によって井桁形状に成形されており、この隔壁７６の横壁７６Ａの表側の面上に、行方向に延びる棒状の誘電体７７が当接されて一体的に固定されている。
【００５５】
そして、横壁７６Ａの背面の中央部に、行方向に延びる溝７６Ａｂが形成されている。
【００５６】
なお、この例においては、誘電体７７および溝７６Ａｂの横断面が矩形に成形されているが、それぞれ、半円形や三角形など、他の様々な形状のものを採用することが出来る。
【００５７】
隔壁７６の金属部分の全表面は、絶縁層７６ａによって被覆されている。
【００５８】
この第７の例における隔壁７６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、この隔壁７６が前記第６の例の構成に加えて、横壁７６Ａの背面に溝７６Ａｂが形成されていることによって、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量をさらに低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を大幅に抑制することが出来る。
【００５９】
図１２は、この発明によるＰＤＰの隔壁の実施形態における第８の例を示す正面図であり、図１３は、図１２のＶ２−Ｖ２線における断面図である。
【００６０】
この第８の例における隔壁８６は、第１の例と同様に、金属製の横壁８６Ａと縦壁８６Ｂによって井桁形状に成形されている。
【００６１】
そして、横壁８６Ａに、この横壁８６Ａを裏表に貫通する行方向の幅が放電セルＣ二個分の大きさの溝孔８６Ａａが、行方向に沿って等間隔に形成されており、各溝孔８６Ａａの間が、縦壁８６Ｂと列方向において連続する縦壁部８６Ｂａによって仕切られている。
【００６２】
なお、この例においては、溝孔８６Ａａが、その行方向の幅が放電セルＣ二個分の大きさになるように形成されているが、この行方向の幅は任意に設定することが出来る。
【００６３】
この隔壁８６の全表面は、絶縁層８６ａによって被覆されている。
【００６４】
この第８の例における隔壁８６を、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を放電セル毎に区画する隔壁として使用することにより、この隔壁８６の横壁８６Ａに溝孔８６Ａａが形成されていることによって、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量を大幅に低減することが出来、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生を抑制することが出来る。
【００６５】
上記実施形態の第１ないし５の例および第８の例のＰＤＰの隔壁は、行方向に延びてＰＤＰの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に、溝部が形成されている隔壁をその上位概念の実施形態としているものである。
【００６６】
この上位概念を形成するＰＤＰの隔壁は、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を単位発光領域毎に区画する隔壁として使用されることにより、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が、この隔壁を形成する横壁に溝部が形成されていることによって低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生が抑制される。
【００６７】
特に、放電空間を介して対向してアドレス放電を行う前面ガラス基板側の行電極と背面ガラス基板側の列電極との間に形成される静電容量が低減されることによって、このアドレス放電時における無効電力の発生が効果的に抑制される。
【００６８】
そして、この隔壁の構成によって、金属製隔壁のＰＤＰへの使用が可能になる。
【００６９】
前述した実施形態の第６および７のＰＤＰの隔壁は、行方向に延びてＰＤＰの二枚の基板の間の列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有し外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁であって、前記横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられている隔壁の実施形態をその上位概念としているものである。
【００７０】
この上位概念を形成するＰＤＰの隔壁は、ＰＤＰの前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を単位発光領域毎に区画する隔壁として使用されることにより、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が、この隔壁を形成する横壁に誘電体が一体的に取り付けられたことによって低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生が抑制される。
【００７１】
特に、放電空間を介して対向してアドレス放電を行う前面ガラス基板側の行電極と背面ガラス基板側の列電極との間に形成される静電容量が低減されることによって、このアドレス放電時における無効電力の発生が効果的に抑制される。
【００７２】
そして、この隔壁の構成によって、金属製隔壁のＰＤＰへの使用が可能になる。
また、前記実施形態の第１ないし５の例および第８の例のＰＤＰの隔壁を用いることによって、列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁の表側の面または背面の少なくとも一方の面に溝部が形成されているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されたＰＤＰの実施形態が構成される。
【００７３】
このＰＤＰによれば、前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を単位発光領域毎に区画する隔壁の横壁に溝部が形成されていることによって、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生が抑制される。
【００７４】
特に、放電空間を介して対向してアドレス放電を行う前面ガラス基板側の行電極と背面ガラス基板側の列電極との間に形成される静電容量が低減されることによって、このアドレス放電時における無効電力の発生が効果的に抑制される。
【００７５】
また、前記実施形態の第６および７の例のＰＤＰの隔壁を用いることによって、列方向に隣接する単位発光領域の間を区画する横壁を有しこの横壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられているとともに外表面が絶縁層によって被覆された金属製の隔壁が、二枚の基板の間に介装されたＰＤＰの実施形態が構成される。
【００７６】
このＰＤＰによれば、前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を単位発光領域毎に区画する隔壁に行方向に延びる帯状の誘電体が一体的に取り付けられていることによって、金属製の隔壁を使用した場合にＰＤＰの非表示領域部分に形成される静電容量が低減され、これによって、ＰＤＰの駆動時における無効電力の発生が抑制される。
【００７７】
特に、放電空間を介して対向してアドレス放電を行う前面ガラス基板側の行電極と背面ガラス基板側の列電極との間に形成される静電容量が低減されることによって、このアドレス放電時における無効電力の発生が効果的に抑制される。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のプラズマディスプレイパネルの構成を示す断面図である。
【図２】図１のＶ−Ｖ線における断面図である。
【図３】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第１の例を示す正面図である。
【図４】図３のＶ１−Ｖ１線における断面図である。
【図５】図３のＷ１−Ｗ１線における断面図である。
【図６】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第２の例を示す断面図である。
【図７】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第３の例を示す断面図である。
【図８】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第４の例を示す断面図である。
【図９】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第５の例を示す断面図である。
【図１０】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第６の例を示す断面図である。
【図１１】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第７の例を示す断面図である。
【図１２】この発明によるプラズマディスプレイパネルの隔壁の実施形態における第８の例を示す正面図である。
【図１３】図３のＶ２−Ｖ２線における断面図である。
【符号の説明】
１　　　　　　　…前面ガラス基板（基板）
４　　　　　　　…背面ガラス基板（基板）
１６，２６，３６，４６，５６，６６，７６，８６…隔壁
１６Ａ，２６Ａ，３６Ａ，４６Ａ，５６Ａ，６６Ａ，７６Ａ，８６Ａ…横壁
１６Ａａ，２６Ａｂ，３６Ａａ，３６Ａｂ，４６Ａａ，５６Ａａ，７６Ａｂ，…溝（溝部）
１６ａ，２６ａ，３６ａ，４６ａ，５６ａ，６６ａ，７６ａ，８６ａ…絶縁層
４７，５７，６７，７７…誘電体
８６Ａａ　　　　…溝孔（溝部）
８６Ｂａ　　　　…縦壁部
【図１】
2004139774.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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