【手続補正書】
【提出日】平成24年2月2日(2012.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力測定セルにおいて、
セラミック材料から製作される第１のハウジング本体（１）と、
セラミック材料から製作され、前記第１のハウジング本体（１）の近傍に配置された隔膜（２）とを有しており、前記隔膜は実質的に平坦であるとともに外側縁部を有しており、前記隔膜（２）の外側縁部は第１の縁部シール材（３）によって前記第１のハウジング本体（１）と結合されており、それにより前記第１のハウジング本体（１）と前記隔膜（２）との間に基準真空室（２５）が形成されるようになっており、前記隔膜は第１および第２の向かい合う表面を有しており、前記隔膜（２）の第１の表面は前記第１のハウジング本体（１）の方を向いており、前記第１のハウジング本体（１）は前記隔膜（２）の方を向く表面を有しており、
さらに、セラミック材料から製作され、前記隔膜（２）と向かい合って配置された第２のハウジング本体（４）を有しており、前記第２のハウジング本体（４）は第２の縁部シール材（３’）によって前記隔膜の外側縁部と結合されており、前記第２のハウジング（４）は前記隔膜（２）とともに圧力測定室（２６）を形成しており、前記第２のハウジング本体は測定されるべき媒体と前記圧力測定セルを接続するためのポート（５）を有しており、
前記第１のハウジング本体（１）、前記第２のハウジング本体（４）、および前記隔膜（２）は前記隔膜（２）の外側縁部のところで互いに気密に結合されており、
前記第１のハウジング本体（１）の少なくとも中央領域には前記第１のハウジング本体（１）を通過する穴（７）が形成されており、前記隔膜（２）の少なくとも中央区域では前記穴（７）に向かい合うように前記隔膜（２）の表面が第１の光学反射面（１０）として構成されており、
隔膜表面（２）へ光を導入およびこれから導出するために、前記第１のハウジング本体（１）の前記穴（７）に光を入出力するよう光ファイバ（１５）が配置されており、前記隔膜（２）の表面と光学結合するための第２の光学反射面を形成するために手段が設けられ、それにより前記手段と前記隔膜（２）の反射面（１０）との間に光学キャビティ（３０）を構成しており、該キャビティは前記隔膜（２）の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計検出装置の一部であり、
前記隔膜（２）の表面は少なくとも前記穴（７）と向かい合う領域で拡大された平坦なガラス点により覆われており、該ガラス点の表面が前記第１の光学反射面（１０）を形成
する、圧力測定セル。
【請求項２】
前記ハウジング本体（１，４）および前記隔膜（２）のうち少なくとも１つは少なくとも部分的にアルミナセラミック（Ａｌ２Ｏ３）で製作されている、請求項１に記載の測定セル。
【請求項３】
前記ハウジング本体（１，４）および前記隔膜（２）のうち少なくとも１つは少なくとも部分的にサファイアを含むアルミナセラミック（Ａｌ２Ｏ３）で製作されている、請求項２に記載の測定セル。
【請求項４】
前記隔膜（２）は少なくとも部分的にサファイアであるアルミナセラミック（Ａｌ２Ｏ３）で製作されている、請求項２に記載の測定セル。
【請求項５】
前記ファイバ端部の表面はその前記第２の光学反射面（１６）が前記第１のハウジング本体（１）の内面の平面に対応している、請求項１に記載の測定セル。
【請求項６】
前記第１の縁部シール材（３）および前記第２の縁部シール材（３’）のうち少なくとも１つは少なくとも最高３５０℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項１に記載の測定セル。
【請求項７】
前記第１の縁部シール材（３）および前記第２の縁部シール材（３’）のうち少なくとも１つは少なくとも最高６００℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項１に記載の測定セル。
【請求項８】
前記第１の縁部シール材（３）および前記第２の縁部シール材（３’）のうち少なくとも１つは酸化して酸化アルミニウムになるアルミニウム結合材である、請求項１に記載の測定セル。
【請求項９】
前記第１の縁部シール材（３）および前記第２の縁部シール材（３’）のうち少なくとも１つは少なくとも最高６００℃の温度に耐えるセラミック接着剤である、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１０】
前記ファイバシール手段（６）は少なくとも最高３５０℃の温度に耐えるガラスはんだである、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１１】
前記ファイバシール手段（６）は少なくとも最高６００℃の温度に耐えるセラミック接着剤である、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１２】
前記第１の縁部シール材（３）、前記第２の縁部シール材（３’）、および前記ファイバシール手段（６）のうち少なくとも１つは前記測定セル構造の外部でガラスはんだ材料からなる追加の保護シール材により覆われている、請求項９に記載の測定セル。
【請求項１３】
前記ファイバ端部面（１６）の表面および前記隔膜（２）の反射面（１０）のうち少なくとも１つに薄い膜コーティングが塗布されている、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１４】
前記隔膜（２）は１０μｍから２５０μｍの範囲内の厚みを有している、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１５】
前記測定セル構造は、５ｍｍから８０ｍｍの範囲内の直径を有する円板状の構造を形成する第１のハウジング本体（１）および第２のハウジング本体（４）および隔膜（２）を有している、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１６】
前記測定セル構造は真空測定セル構造として構成されており、前記基準圧力室（２５）は真空室であり、前記測定圧力室（２６）は真空測定室として構成されている、請求項１に記載の測定セル。
【請求項１７】
圧力測定セルを製造する方法において、
セラミック材料から製作される第１のハウジング本体（１）を設け、
セラミック材料から製作され、前記第１のハウジング本体（１）の近傍に配置された実質的に平坦な隔膜（２）を設け、前記隔膜（２）は外側縁部を有しており、前記隔膜（２）の外側縁部は第１の縁部シール材（３）によって前記第１のハウジング本体（１）と結合されており、
前記第１のハウジング本体（１）と前記隔膜（２）との間に基準真空室（２５）を形成し、前記隔膜は第１および第２の向かい合う表面を有しており、前記隔膜（２）の第１の表面は前記第１のハウジング本体（１）の方を向いており、前記第１のハウジング本体（１）は前記隔膜（２）の方を向く表面を有しており、
セラミック材料から製作され、前記隔膜（２）と向かい合って配置された第２のハウジン
グ本体（４）を設け、前記第２のハウジング本体（４）は第２の縁部シール材（３’）によって前記隔膜の外側縁部と結合されており、前記第２のハウジング本体（４）は前記隔膜（２）とともに圧力測定室（２６）を形成しており、前記第２のハウジング本体は測定されるべき媒体と前記圧力測定セルを接続するためのポート（５）を有しており、
前記第１のハウジング本体（１）、前記第２のハウジング本体（４）、および前記隔膜（２）を前記隔膜（２）の外側縁部のところで互いに気密に結合し、
前記第１のハウジング本体（１）の少なくとも中央領域に前記第１のハウジング本体（１）を通過する穴（７）を設け、
前記隔膜（２）の少なくとも中央区域で前記穴（７）に向かい合うように第１の光学反射面（１０）として構成された前記隔膜（２）の表面（１０）を設け、
隔膜表面（２）へ光を導入およびこれから導出するために、前記第１のハウジング本体（１）の前記穴（７）に光を入出力するよう光ファイバ（１５）を設け、前記隔膜（２）の表面と光学結合するための第２の光学反射面を形成するために手段が設けられ、それにより前記手段と前記隔膜（２）の反射面（１０）との間に光学キャビティ（３０）を構成しており、該キャビティは前記隔膜（２）の変形を判定するための測定区域を形成するとともに、ファブリ・ペロ干渉計検出装置の一部であり、
前記隔膜（２）の表面を少なくとも前記穴（７）と向かい合う領域で拡大された平坦なガラス点により覆い、該ガラス点の表面が前記第１の光学反射面（１０）を形成
する、方法。