【事件の表示】
　特許第３１３０７５１号に関する訂正審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．請求の要旨
　本件審判の請求の要旨は、特許第３１３０７５１号発明（平成７年１月３０日特許出願、平成１２年１１月１７日設定登録）の明細書を審判請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
　請求人が求めている訂正の内容は、以下（１）〜（９）のとおりであると認める。
　
〈訂正事項（１）〉
　本件特許の特許権の設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下、「本件特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載される、
「
　
　
　
「
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させた
前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、
し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御
                       　
〈訂正事項（２）〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項２に記載される、
「
　
沸
　
　
「
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、
前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、
装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ
                       　
〈訂正事項（３）〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項５、９を削除する。
                       　
〈訂正事項（４）〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項６に記載される、
「【請求項
６
　
　
「【請求項
５
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造装置であって、
弗
装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ
                       　
〈訂正事項（５）〉
　本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項８を、項数を繰り上げて、請求項７と訂正するとともに、請求項７の「【請求項
７
又は６
６
　
                       　
〈訂正事項（６）〉
　本件特許明細書の段落【０００６】に記載される、
「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明では、加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持することとしたものである。また、本発明では、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四沸化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御することとしたものである。さらに、本発明では、加圧状態のオゾンガスを多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸膜内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けることとしたものであり、また、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四沸化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸膜内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けると共に、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けることとしたものである。本発明の中空糸膜内の水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ2以上高くするのがよい。」を、
「【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、本発明では、
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させた
前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、
し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるように制御
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、
前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、
装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ
精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造装置であって、
装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ
〈訂正事項（７）〉
　本件特許明細書の段落【０００２】、【０００７】、【０００８】、【０００９】、【００１４】、【００１９】及び【００２２】の「四沸化」を「四
弗
                       　
〈訂正事項（８）〉
　本件特許明細書の段落【０００２】の「エゼクター」を「
エゼクタ
                       　
〈訂正事項（９）〉
　本件特許明細書の段落【０００５】の「ユースポント」を「ユースポ
イ
　
　なお、下線は、訂正個所を明示するために当審が付与したものである。
                       　
２．通知した訂正拒絶の理由
　一方、平成１４年１２月１０日付け（発送：平成１４年１２月１３日）で通知した訂正の拒絶の理由の概要は、次のとおりである。
『訂正後の請求項１〜７に係る発明は、本件特許の出願前に国内で頒布された刊行物である、特開平６−３１２８６号公報（以下、「刊行物４」という。）記載の発明、ならびに、特開平３−１８８９８８号公報（以下、「刊行物１」という。）、実公昭５９−３３４６１号公報（以下、「刊行物２」という。）、特開平５−２３５５３号公報（以下、「刊行物３」という。）、社団法人化学工学協会編、新版化学工学辞典、丸善株式会社、昭和４９年５月３０日発行、第３４７頁（以下、「刊行物５」という。）、実公昭６３−１８４７８号公報（以下、「刊行物６」という。）記載の事項、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　よって、本件審判の請求は、特許法第１３４条第５項において準用する、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる旧法第１２６条第第３項の規定に違反するものである。』
　
３．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項（１）は、「オゾン水製造方法」を「精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法」に、「加圧状態のオゾンガス」を「放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガス」に、「中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持すること」を「中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御すること」に、それぞれ限定するものである。そして、「精密洗浄あるいは電子工業用に使用する」ことは、本件特許明細書の段落【０００５】に、「放電型オゾン発生機で発生させた」加圧状態のオゾンガスを用いることは、本件特許明細書の段落【０００６】に、「中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け」たことは、本件特許明細書の段落【００１３】、【００２２】に、水圧をガス圧より高く維持して「オゾン水中の微細気泡の量を低減し」たことは、本件特許明細書の段落【０００７】、【０００９】、【００１３】に、「装置出口流量を一定に収めるように制御し」たことは、本件特許明細書の段落【００１３】、【００１７】、【００２２】に、「処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御すること」は、本件特許明細書の段落【００１１】に、それぞれ記載されている。してみると、訂正事項（１）は、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項に追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項（２）は、「オゾン水製造方法」を、本件特許明細書の段落【０００５】の記載に基づいて、「精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法」に、「中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し」を、本件特許明細書の段落【００１３】、【００１７】、【００２２】の記載に基づいて、「中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、装置出口流量を一定に収めるように制御し」に、それぞれ限定し、また、「四沸化エチレン」を「四弗化エチレン」に、誤記の訂正をするものであるから、訂正事項（２）は、特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項に追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項（３）は、請求項５、９を削除するものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とした明細書の訂正に該当するものである。
　訂正事項（４）は、訂正事項（３）に対応して、項数を繰り上げるとともに、「オゾン水製造装置」を、本件特許明細書の段落【０００５】の記載に基づいて、「精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造装置」に、「処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御すること」を、本件特許明細書の段落【００１３】、【００１７】、【００２２】の記載に基づいて、「装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御すること」に、それぞれ限定し、また、「四沸化エチレン」を「四弗化エチレン」に、誤記の訂正をするものであるから、訂正事項（３）は、明りょうでない記載の釈明、特許請求の範囲の減縮、及び誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当し、新規事項に追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項（５）は、訂正事項（３）に対応して項数を繰り上げるものであり、また、訂正事項（６）は、訂正事項（１）、（２）、（４）と整合を図るものであるから、訂正事項（５）、（６）は明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。さらに、訂正事項（７）〜（９）は、「四沸化」、「エゼクター」、「ユースポント」を、それぞれ「四弗化」「エゼクタ」「ユースポイント」と、誤記の訂正するものであるから、誤記の訂正を目的とした明細書の訂正に該当する。そして、訂正事項（５）〜（９）のいずれも、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
４．独立特許要件について
（１）訂正発明
　訂正明細書の請求項１〜７に係る発明（以下それぞれを、「訂正発明１」等という。）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された次のとおりのものと認める。
『【請求項１】　精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御することを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項２】　精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、前記中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき放電電圧を変化させて制御することを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項３】前記水圧は、オゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ2以上高くすることを特徴とする請求項１又は２記載のオゾン水製造方法。
【請求項４】　前請求項１、２又は３記載のオゾン水製造方法において、オゾン水を非製造時には、オゾン発生機入口から中空糸膜出口に至るガス配管内をドライガスでパージしておくことを特徴とするオゾン水製造方法。
【請求項５】　精密洗浄あるいは電子工業用に使用するオゾン水製造装置であって、放電型オゾン発生機で発生させた加圧状態のオゾンガスをポリ四弗化エチレン系の多孔質中空糸膜を介して被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、該中空糸膜の上流に中空糸膜内側の水圧を該オゾンガス圧より高く維持し、その水圧及び流量を制御するポンプを設けると共に、装置出口流量を一定に収めるように制御し、かつ処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度により放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けたことを特徴とするオゾン水製造装置。
【請求項６】　前記ポンプは、無段階可変速制御方式のポンプであり、中空糸膜上流に流量計及び圧力計を設け、これらからの出力信号値を演算回路で処理して制御する制御機構を設けたことを特徴とする請求項５記載のオゾン水製造装置。
【請求項７】　前記オゾン濃度制御機構は、中空糸膜下流に設けたオゾン水濃度計と、該濃度計での測定値を処理する演算回路と、処理した値に基づいて放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置とからなることを特徴とする請求項６記載のオゾン水製造装置。』
　
（２）刊行物記載の発明（事項）
　刊行物１（特開平３−１８８９８８号公報）には、
（イ）「第２図において、純度の低下した超純水１３をポンプ１４、バルブ１５、圧力計１６、流量計１７を介して、オゾン・・・溶解装置２７に導入する。該オゾン２３・・・を溶解した水」（第４頁右上欄８行〜１２行）、
（ロ）「第６図に示すように、ガス透過膜３３により膜を介してオゾン２３・・・を溶解させるならば、該オゾン・・・中の微粒子等の不純物を除去できる・・・。ここで、前記ガス透過膜は酸素、窒素、水素、蒸気等のガスを透過し水を透過しない膜であり、一方に水を通水し、他方をガスで加圧するが、膜の素材としては・・・ポリ四弗化エチレン系・・・等の多孔質の疎水性膜を挙げることができる。・・・前記ガス透過膜は使用するガスの種類によりその素材を選択すれば良く、オゾン２３を含有するガスを用いる場合では、ポリ四弗化エチレン系の膜が好ましい。」（第４頁左下欄１３行〜同頁右下欄１０行）、
（ハ）「限外ろ過装置の下流に圧力計１６及びバルブ１５を設ける。通常、半導体製造装置の入口圧は２ｋｇ／ｃｍ２であり、１５及び１６にて最適圧力に調整する。」（第５頁右上欄１４行〜１７行）、
（ニ）「第９図中のガス透過膜３３は、ポリ四弗化エチレン系の中空系であり、膜面積０．８５ｍ２、膜本数６５００本のモジュールを用いた。このガス透過膜３３の一方に被処理水を通水し、他方にオゾン濃度を５００ｐｐｍのオゾン化空気を０．２ｋｇ／ｃｍ２、５０Ｎーｍｌ／ｍｉｎで通気した。」（第６頁左上欄１０行〜１５行）
と記載され、また、第６図には、
（ホ）「ガス透過膜３３の内側にオゾン２３を、ガス透過膜３３の外側に純度の低下した超純水１３を流すこと」が示されている。
　これらの摘記事項、及び、第２図、第６図、第９図の記載からみて、刊行物１には、
『加圧状態のオゾンガス２３を、ポリ四弗化エチレン系の多孔質中空系のガス透過膜３３の内側に供給し、該ガス透過膜３３を介して、ガス透過膜外側の純度の低下した超純水１３に溶解してオゾン水を製造するに際して、該中空系のガス透過膜３３の上流に流量計１７、圧力計１６、バルブ１５、及びポンプ１４を設けること』が記載されているものと認められる。
                       　
　刊行物２（実公昭５９−３３４６１号公報）には、
（ヘ）「本考案は・・・疎水性多孔質中空糸を用いた気液接触炭酸ガス溶解装置と、該飲料水を該中空糸の内部又は外部へ炭酸ガスの圧力以上で供給する手段と、炭酸ガスを該中空糸の外部又は内部へ加圧供給する手段を有する飲料水への炭酸ガス溶解装置である。本考案に使用する中空繊維は、・・・ポリテトラフルオルエチレンなどの結晶性ポリマー・・・が好ましい。これらの高分子からなる中空繊維は、疎水性、耐薬品性、耐熱性に優れ極めて微細な互に連続した空孔を中空繊維壁に多数有する中空繊維状多孔質膜であって」（第２欄８行〜２３行）、
（ト）「中空糸の両端は中空部が開口しており、入口１より入つた飲料水は中空糸の内部を通り弁６，７を取つて外部へ流れる。一方加圧炭酸ガスは入口２より中空糸の外壁部と容器５で形成される空間へ供給される。・・・炭酸ガスは中空糸の多孔膜を通して中空糸内部を流れる飲料水へ供給される。」（第３欄６行〜１５行）、
（チ）「本考案に於ては、疎水性多孔質膜を界して水相側の圧力をガス相と同等又はそれ以上に保たなければならない。万一ガス相の圧が水相より高くなると膜を通して水相側にガスが気泡として浸入し」（第３欄２１行〜２４行）と記載されている。
　これらの摘記事項からみて、刊行物２には、
『加圧状態の炭酸ガスを、ポリテトラフルオルエチレンからなる中空繊維状多孔質膜を介して飲料水に溶解するに際して、中空繊維状多孔質膜に飲料水を通し、中空繊維状多孔質膜内側の水圧をガス圧と同等又はそれ以上に維持して、気泡の浸入を防止すること』が記載されているものと認められる。
                       　
　刊行物３（特開平５−２３５５３号公報）には、
（リ）「膜式気液接触装置を用いて、気体・・・を液体に溶解させる場合往々にして、・・・液体に接する膜表面に於て気泡が発生することがあった。気体の発生は、特に隔膜に疎水性多孔質膜を使用し、かつ気体を加圧する条件で使用する場合に著しく・・・。・・・液体中に気泡が発生すると、気体抜きの弁を設ける必要が生じたり、膜が気泡で覆われて気液接触の有効膜面積が減じ、気体の溶解あるいは除去効率が低下する。・・・このため膜式気液接触装置の運転状態は、気泡を発生させないようにする」（第３欄１０行〜３０行）、
（ヌ）「膜式気体溶解法によって液体に気体を溶解させる場合、・・・液体の溶解気体濃度を高くするためには、気体圧力を高くすることが有利である。しかしながら、例えば、液体圧力を常圧に保ち、気体圧力を次第に上げてゆくと、最初は液体中に気泡が発生しない状態で気体が溶解するが、気体圧力を更に上げると少量の気泡が膜表面より発生し出し、さらに圧力を上昇させると、ついには多量の気泡が発生するいわゆる散気状態となる。」（第４欄１９行〜２８行）、
（ル）「本発明の膜は、気体側より水側の圧力を・・・やや高く・・・保った」（第５欄９行〜１０行）と記載されている。
                       　
　刊行物４（特開平６−３１２８６号公報）には、
（ヲ）「本発明は、食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用されるオゾン水を製造するオゾン水製造装置のオゾン水濃度制御装置に関するものである。」（第２頁左欄１２行〜１５行）、
（ワ）「オゾナイザで発生させたオゾンガスと水とを混合させて、オゾン水処理槽に供給するオゾン水を製造する装置において、上記処理槽に、オゾン水のオゾン濃度を計測する濃度センサを設けると共に、このセンサからの計測値に基づいて上記オゾナイザへの電力を位相制御して処理槽内のオゾン水濃度を所定の値に維持する制御器を設けたものである。」（第２頁左欄４7行〜同頁右欄３行）、
（カ）「図１〜図３において、１はオゾン水製造装置を示し、このオゾン水製造装置１は、圧縮機２からの空気から酸素を取り出す酸素発生装置３が接続されたオゾナイザ４と、そのオゾナイザ４からのオゾンガスと水とを混合させてオゾン水を生成するオゾンガス溶解装置５とから主に構成されている。・・・オゾナイザ４は、放電により酸素をオゾンガスにするもので、その放電電圧を変えると発生するオゾンガス量が増減するようになっている。・・・その発生したオゾンガスがポンプ６により加圧されてからオゾンガス溶解装置５の気液接触機構７に供給される。オゾンガス溶解装置５は、ポンプ８により加圧された水とオゾンガスを気液接触させる・・・気液接触機構７と・・・。」（第２頁右欄２０行〜３９行）、
（ヨ）「処理槽１０には、・・・オゾン水の濃度センサ１３が接続されている。濃度センサ１３は、・・・槽１０内のオゾン水のオゾン濃度を計測し、この計測値を・・・電流信号に変換し、これを制御器１４の支持調節計１５（「指示調節計１５」の誤記と認められる。）に出力するように構成されている。・・・制御器１４は、センサ１３からの信号と設定値の信号とを比較演算する指示調節計１５と、上記オゾナイザ４への電力を指示調節計１５からの制御出力（信号）に基づいて位相制御する電力調整器１６とからなる。・・・電力調整器１６は、オゾナイザ４に接続されその商用電源電圧を調整する」（第２頁右欄４９行〜第３頁左欄１８行）
と記載されている。
　これらの摘記事項及び【図１】〜【図２】の記載からみて、刊行物４には、
『食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用するオゾン水製造方法であって、オゾナイザ４で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置で水に溶解するオゾン水製造方法において、前記オゾンガス溶解装置の上流にポンプ８を設け、かつオゾン水処理槽１０中のオゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づきオゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御するオゾン水製造方法。』以下、「刊行物４記載の発明Ａ」という。）、
『食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用するオゾン水製造装置であって、オゾナイザ４で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置５で水に溶解するオゾン水製造装置において、前記オゾンガス溶解装置５の上流にポンプ８を設け、かつオゾン水処理槽１０中のオゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量によりオゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御する制御器１４を設けたオゾン水製造装置』の発明（以下、「刊行物４記載の発明Ｂ」という。）、及び、
『食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用するオゾン水製造装置であって、オゾナイザ４で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置５で水に溶解するオゾン水製造装置において、前記オゾンガス溶解装置５の上流にポンプ８を設け、かつオゾン水処理槽１０中のオゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量によりオゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御する制御器１４を設け、制御器１４は、オゾンガス溶解装置５の下流に設けた処理槽１０に接続したオゾン水の濃度センサ１３と、該濃度センサ１３での計測値を処理する指示調節計１５と、処理した値に基づいてオゾナイザ４の商用電源電圧を調整させる電力調整器１６とからなる、オゾン水製造装置』の発明（以下、「刊行物４記載の発明Ｃ」という。）が記載されているものと認められる。
                       　
　刊行物５（社団法人化学工学協会編、新版化学工学辞典、丸善株式会社、昭和４９年５月３０日発行、第３４７頁）の「パージ　ｐｕｒｇｅ」の項には、
（タ）「装置または流路に新しく流体を送入する場合，・・・他の不活性流体によってそれまで流れていた流体を追出す操作をいう。この操作は二流体の混合による反応あるいは爆発などの悪影響を防止するために行なわれる。したがって，反応装置の使用開始時ならびに終了時，あるいは間欠操作の切換え時になどに行なわれる。」と記載されている。
                       　
　刊行物６（実公昭６３−１８４７８号公報）には、
（レ）「可変速給水装置では、ポンプ速度制御信号出力部よりの出力の回転速度指令信号たとえば０〜１０Ｖをうけて、ポンプの回転速度を変化させ、吐出側に圧力センサをもうけるなどして給水圧力を一定にたもつなどの制御をおこなうことが一般的である。」（第２欄２行〜７行）と記載されている。
                       　
（３）訂正発明１についての対比・判断
　訂正発明１と刊行物４記載の発明Ａとを対比すると、後者の「オゾナイザ４」は、その技術的意義からみて、前者の「放電型オゾン発生機」に相当し、同様にして、後者の「水」は前者の「被処理水」に、後者の「ポンプ８」は前者の「ポンプ」に、後者の「オゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御する」は前者の「制御する」に、それぞれ相当する。そして、前者の「中空糸膜を介して」と後者の「オゾンガス溶解装置５で」とは、「オゾンガス溶解装置で」の限りで一致する。
　してみれば、両者は、
「オゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置で被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、前記オゾンガス溶解装置の上流にポンプを設け、かつオゾン濃度を制御する、オゾン水製造方法」で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】前者は、オゾン水が精密洗浄あるいは電子工業用に使用するものであるのに対して、後者は、食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用するものである点。
【相違点２】前者は、オゾンガス溶解装置が中空糸膜であって、オゾンガスが加圧状態のものであり、中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設け、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるように制御するのに対して、後者は、そのように特定されていない点。
【相違点３】前者は、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御するのに対して、後者は、オゾン水処理槽１０中のオゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づき制御する点。
  上記相違点１〜３等について、以下検討する。
【相違点１について】
　オゾン水を精密洗浄あるいは電子工業用に使用することは、本件特許の出願前にオゾン水製造技術分野において周知の事項である（特開平６ー２９２８２２号公報の第２欄１３行〜２７行、実願平５ー１８４６９号（実開平６ー７２６９５号）のＣＤーＲＯＭの明細書第３頁４行〜８行、特開平３ー７２９９３号公報の第１頁右下欄１７行〜１９行、特開昭６２ー２７０４０８号公報の第２頁右上欄１５行〜１７行を参照。）。そして、刊行物４記載の発明において、例えば、オゾン濃度の精度を敢えて低くしないと目的が達成されないというような、精密洗浄あるいは電子工業用に適用することを妨げる特段の事情も見当たらない。
　してみると、刊行物４記載の発明のオゾン水製造方法を、精密洗浄用あるいは電子工業用に使用することは、当業者が容易に想到し得ることである。
　請求人は、相違点１につき、（ｉ）刊行物４記載の発明は、要求されるオゾン濃度の精度が、精密洗浄用あるいは電子工業用には全く使用できるようなものではなく、しかも、（ｉｉ）オゾン水溶解装置により生成されるオゾン水のオゾン濃度自体を一定にするものではないから、精密洗浄用あるいは電子工業用に使用することには阻害要因がある旨主張する（意見書第１０頁１１行〜第１１頁２９行を参照）。
　そこで、上記請求人の主張について検討するに、（ｉ）刊行物４に記載されるオゾン水の使用分野としての「食品、医療等の各分野」において要求されるオゾン濃度の精度が、請求人の主張するように、一般に精密洗浄用あるいは電子工業用で要求される精度に比べて低いもので足りるものであるとしても、それは、技術上の問題でなく、むしろ経済上の問題であって、双方とも、程度の差があっても要求される精度で制御すべきものであることは明らかである。なお、（ｉｉ）そもそも「処理水」は、「洗浄等の処理に用いられるオゾン水」であって、オゾン水製造段階であって処理前のオゾン水とともに、刊行物４記載の発明のように、処理に使用中のオゾン水をも意味するというべきである。そして、仮に、訂正発明１でいう「処理水」が「処理に使用中のオゾン水」を意味しないとしても、オゾン水製造段階であって、処理に使用する前のオゾン水のオゾン濃度を制御することが従来周知であって（特開昭５６−１４０００２号公報の第３頁左上欄９行〜１１行を参照）、刊行物４記載の発明においてもそのようにすることを阻害する事情は見出せない。
　したがって、上記請求人の主張は採用できない。
【相違点２について】
　刊行物１には、『加圧状態のオゾンガス２３を、ポリ四弗化エチレン系の多孔質中空系のガス透過膜３３に供給し、該ガス透過膜３３を介して、・・・被処理水１３に溶解してオゾン水を製造するに際して、該中空系のガス透過膜３３の上流に流量計１７、水圧を制御する、圧力計１６及びバルブ１５、並びにポンプ１４を設けること』が記載されており、上記刊行物１記載の「ポリ四弗化エチレン系の多孔質中空系のガス透過膜３３」は、膜面積０．８５ｍ２、膜本数６５００本のモジュールからなるものであって（上記の摘記事項（ニ）参照）、訂正発明１の「中空糸膜」というべきものであるから、刊行物１には、『オゾンガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解してオゾン水を製造するに際して、オゾンガスを加圧状態とし、中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設ける』との技術的事項が示されているものといえる。
　また、ガスを被処理水に溶解させるに際して、ガスを加圧状態とするとともに被処理水を中空糸膜内側に通すこと、また、中空糸膜内側の水圧をガス圧と同等又はそれ以上に維持して気泡が混入しないように設けることは、刊行物２、３に記載もしくは示唆されている。そして、半導体ウエハ等の精密洗浄時に、気泡が存在すると処理ムラが発生すること、また、半導体洗浄等に用いるオゾン水にオゾンガスの気泡が残存することが好ましくないことは、従来周知である（前者については、特開平６−２５２１２０号の段落【０００６】、特開平６−１５１４０４号公報の段落【００１１】を、後者については、実願平５ー１８４６９号（実開平６ー７２６９５号）のＣＤーＲＯＭの明細書の段落【００１０】、特開平３−７２９９３号公報第５頁左上欄２０行〜同頁右上欄３行、同頁右下欄１行〜２行を参照）。
　さらに、半導体、電子部品等の精密洗浄で使用する洗浄液の供給流量を一定に保持することも従来周知である（特開平６−２５２１１７号公報の段落【００１６】、特開平３−１４２８３１号公報の第３頁左上欄１８行〜１９行、特開平４−１９８７１７号公報の第３頁左下欄３行〜１４行、特開平５−１５８６０号公報の段落【０００１】、【０００８】を参照）。
　以上のことを考慮すれば、刊行物４記載の発明Ａに、該発明と同じく、「ガスを被処理水に溶解させる」技術に属する刊行物１〜３記載の事項を組み合わせ、さらに、上記周知の技術を勘案して、被処理水をガス溶解装置である中空糸膜の内側に通し、オゾンガスを加圧状態のものとし、中空糸膜の上流に設けたポンプによって、被処理水の水圧及び流量、並びにオゾン水の流量を制御するとともに、中空糸膜内側の水圧をガス圧より高く維持し、よってオゾン水中の微細気泡の量を低減し、装置出口流量を一定に収めるようにすることは、当業者が容易になし得ることと認められる。
　なお、請求人は、相違点２に関して、以下（ｉ）〜（ｉｉｉ）の旨主張している。
（ｉ）刊行物１記載の発明は、超純水を製造するものであって、オゾン水を製造するものではないから、刊行物１に「オゾン水を製造するに際して、中空糸膜の上流に被処理水の水圧及び流量を制御するポンプを設ける」との技術事項が示されているとの点は誤りである。（意見書第１３頁８行〜２０行）
（ｉｉ）刊行物３には、ガス圧が高いほど気泡が混入しやすく、ガス圧が低いほど気泡が混入しにくいとの開示はあるが、単なる一般的な傾向を述べているだけで、水圧とガス圧との大小関係については全く開示されていない。また、刊行物２記載の発明と訂正発明１とは、ガスの種類が、前者では炭酸ガスであるのに対して後者ではオゾンガスである点、技術分野が、前者では飲料水であるのに対して後者では精密洗浄あるいは電子工業用である点、解決しようとする課題が、前者では逆流の恐れであるのに対して後者では処理表面上のムラの発生である点の３点で相違する。したがって、刊行物２、３記載の技術は刊行物４記載の発明から遠い技術であって、それらを組み合わせることは容易ではない。（意見書第１３頁２１行〜第１５頁１８行）
（ｉｉｉ）精密洗浄あるいは電子工業において、オゾン水供給量を一定に保持することには技術的意義があるのに、引例を示すことなく、「オゾン水供給量を一定に保持することが必要な場合があることも従来周知である」としている。（意見書第１５頁１９行〜第１６頁９行）
　そこで、以下検討するに、（ｉ）刊行物１の摘記事項（イ）〜（ホ）、第２図、第６図、第９図の記載から、オゾン水を製造する技術が認識、把握できること、（ｉｉ）刊行物３には、水圧とガス圧との大小関係についても記載されており（摘記事項（ル）を参照）、また、上述したように、半導体洗浄等の用いるオゾン水に気泡が混入しないように設けることは従来周知の課題であり、しかも、刊行物４記載の発明と刊行物２、３記載の事項とは、「ガスを水に溶解する方法」という共通する技術分野に属し、しかも、それらを組み合わせることを妨げる事情がないことから、刊行物４記載の発明に刊行物２、３記載の事項を組み合わせることは当業者が容易になし得ることといわざるを得ないこと、（ｉｉｉ）上述のとおり、半導体、電子部品等の精密洗浄で使用する洗浄液の供給流量を一定に保持することが従来周知であることを示す周知例を例示していることから、上記請求人の主張は採用できない。
【相違点３について】
　オゾナイザは原料ガス（酸素或いは空気など）中の全ての酸素をオゾンに変化させるものではないことは良く知られており（特開平１ー２７５４０２号公報の第４頁左上欄１６行〜同頁右上欄１行、特開昭５３ー１３８９９３号公報の第１頁右下欄７行〜至１３行、化学大辞典、共立出版株式会社、昭和５３年９月１０日縮刷版第２２刷発行、「オゾン発生器」の項を参照）、通常オゾナイザでの電力位相制御に伴い原料酸素ガスがオゾンに変化する量が増減するのであるから、結局オゾナイザから供給されるオゾン含有ガス（オゾン及び原料ガス混合物）中のオゾンの濃度（オゾン供給量）が増減することになる。そうであるから、刊行物４に記載の制御とは、被処理水へ供給するガス中のオゾン濃度を制御することによってオゾン水濃度を制御することであり、訂正発明１の制御（処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御）と何ら異なるものではない。
【作用効果について】
　そして、訂正発明１の作用効果は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３記載の事項、及び、周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　
（４）むすび
　したがって、訂正発明１は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３記載の事項、及び、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
　
５．むすび　
　以上のとおりであるから、本件審判の請求は、特許法第１３４条第５項において準用する、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる旧法第１２６条第第３項の規定に違反するものである。
　よって、結論のとおり審決する。　
　
  なお、訂正発明２〜７の独立特許要件についても検討するに、その結果を以下に付言する。
〈訂正発明２について〉
　訂正発明２と刊行物４記載の発明Ａとを対比すると、後者の「オゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御する」は前者の「放電電圧を変化させて制御する」に相当するから、両者は、「オゾン水製造方法であって、放電型オゾン発生機で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置で被処理水に溶解するオゾン水製造方法において、前記オゾンガス溶解装置の上流にポンプを設け、かつオゾン濃度を制御する、オゾン水製造方法」で一致し、以下の点で相違する。
【相違点１】前者は、オゾン水製造方法が精密洗浄あるいは電子工業用に使用するものであるのに対して、後者は、食品、医療等の各分野において殺菌、洗浄等に使用するものである点。
【相違点２’】前者は、オゾンガス溶解装置が
ポリ四弗化エチレン系の
【相違点３】前者は、処理水中のオゾン濃度をオゾンガス濃度に基づき制御するのに対して、後者は、オゾン水処理槽１０中のオゾン水中のオゾン濃度をオゾンガス量に基づき制御する点。
　相違点１、３については、すでに検討したとおりである。
　そこで、相違点２’につき検討するに、オゾンガス溶解装置としてポリ四弗化エチレン系の中空糸膜を用いる点は、刊行物１〜３に記載されており、残余の点は、相違点２についての検討で述べたとおりである。
　そして、訂正発明２の作用効果は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３記載の事項、及び、周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　したがって、訂正発明２は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３記載の事項、及び、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
〈訂正発明３について〉
　訂正発明３は、訂正発明１又は訂正発明２の構成に欠くことができない事項に加えて、「水圧をオゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くすること」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるが、刊行物４記載の発明Ａは、上記「水圧をオゾンガス圧より０．１ｋｇ・ｆ／ｃｍ２以上高くする」との事項を備えるように特定されていない。
　しかしながら、中空糸膜内側の水圧をガス圧以上に維持して、気泡が混入しないように設けることは、上述したとおり、刊行物２、３に記載もしくは示唆されており、してみれば、刊行物４記載の発明Ａに刊行物２、３に記載もしくは示唆される事項を組み合わせるに際して、気泡の混入防止効果を勘案しながら水圧とオゾンガス圧との最適関係を求め、訂正発明３のようにすることは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、訂正発明３の作用効果は、訂正発明１と同様に、刊行物４記載の発明Ａ、及び、刊行物１〜３記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、訂正発明３は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３記載の事項及び周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
〈訂正発明４について〉
　訂正発明４は、訂正発明１、２又は３の構成に欠くことができない事項に加えて、
「オゾン水を非製造時には、オゾン発生機入口から中空糸膜出口に至るガス配管内をドライガスでパージしておくこと」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものであるが、刊行物４記載の発明Ａは、上記パージについての事項を備えるように特定されていない。
　ところで、流体を送入する装置、管路の技術分野において、流体送入の終了時等に不活性流体でパージすることは、刊行物５に記載されていると認められるから（上記の摘記事項（カ）を参照）、刊行物５記載の事項と同じく、流体を送入する装置、管路の技術分野に属し、オゾン水の非製造時に配管内を清浄に保つ必要があることが明らかな、刊行物４記載の発明Ａに、上記刊行物５記載の事項を組み合わせ、訂正発明４のように構成することは、当業者が容易になし得ることである。
　そして、訂正発明４の「オゾン発生器放電部の劣化、系内への不純物混入を防止しガス側での不純物増加を制御する。」（訂正明細書の段落【００１２】参照）との作用効果は、刊行物５記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、訂正発明４は、刊行物４記載の発明Ａ、刊行物１〜３、５記載の事項、及び、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
〈訂正発明５について〉
　訂正発明５と刊行物４記載の発明Ｂとを対比すると、後者の「オゾン濃度をオゾナイザ４の商用電源電圧を調整して制御する制御器１４」は前者の「オゾン濃度を放電電圧を変化させて制御する制御機構」に相当するから、両者は、「オゾン水製造装置であって、放電型オゾン発生機で発生させたオゾンガスをオゾンガス溶解装置で被処理水に溶解するオゾン水製造装置において、オゾンガス溶解装置の上流にポンプを設け、オゾン濃度を放電電圧を変化させて制御する制御機構を設けた、オゾン水製造装置」で一致し、上記相違点１、２’、３と実質的に同じ相違点で相違する。
　ところで、相違点１、２’、３については、すでに検討したとおりである。
　そして、訂正発明５の作用効果は、刊行物４記載の発明Ｂ、及び、刊行物１〜３記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、訂正発明５は、刊行物４記載の発明Ｂ、刊行物１〜３、５記載の事項、及び、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
〈訂正発明６について〉
　訂正発明６は、訂正発明５の構成に欠くことができない事項に加えて、「ポンプは、無段階可変速制御方式のポンプであり、中空糸膜上流に流量計及び圧力計を設け、これらからの出力信号値を演算回路で処理して制御する制御機構を設けたこと」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものである。
　ところで、刊行物１には、中空糸膜３３の上流の被処理水の供給路にポンプ１４、バルブ１５に加えて流量計１７、圧力計１６を設けることが記載されている。そして、ガスを中空糸膜を介して被処理水に溶解するに際して、水圧をガス圧より高く維持するために被処理水の水圧、流量を制御することは、刊行物２、３に記載されている（刊行物２の第３欄３８行〜４１行、刊行物３の段落【００３３】等を参照）。そして、刊行物６には、水圧を一定に保持するための無段階可変速制御方式のポンプが記載されている。
　してみれば、刊行物４記載の発明Ｂに刊行物１記載の事項を組み合わせるに際して、刊行物４記載の発明Ｂと技術分野を共通にする刊行物２、３記載の事項、刊行物６記載の事項を併せて適用して、訂正発明６のようにすることは、当業者が容易に想到し得ることであり、しかも、それによる作用効果は、刊行物１、６記載の事項から当業者が予測可能な範囲内のものである。
　したがって、訂正発明６は、刊行物４記載の発明Ｂ、刊行物１〜３、６記載の事項、及び、周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであって、特許法第２９条第２項に違反するものであるから、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものである。
〈訂正発明７について〉
　訂正発明７は、訂正発明５の構成に欠くことができない事項に加えて、「オゾン濃度制御機構は、中空糸膜下流に設けたオゾン水濃度計と、該濃度計での測定値を処理する演算回路と、処理した値に基づいて放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置とからなること」を、その発明の構成に欠くことができない事項とするものである。
　そこで、訂正発明７と刊行物４記載の発明Ｃとを対比すると、後者の「処理槽１０に接続したオゾン水の濃度センサ１３」は前者の「オゾン水濃度計」に、後者の「濃度センサ１３での計測値を処理する指示調節計１５」は前者の「濃度計での測定値を処理する演算回路」に、後者の「オゾナイザ４の商用電源電圧を調製させる電力調整器１６」は前者の「放電型オゾン発生機の放電電圧を変化させる電圧可変装置」に、それぞれ相当するものであるから、刊行物４記載の発明Ｃは、訂正発明７で追加された事項をすべて具備している。