【手続補正書】
【提出日】平成15年6月12日(2003.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１物体の像を第２物体上に投影する投影光学系において、前記投影光学系は、前記第１物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、負の屈折力を持つ第２レンズ群と、正の屈折力を持つ第３レンズ群と、負の屈折力を持つ第４レンズ群と、正の屈折力を持つ第５レンズ群と、正の屈折力を持つ第６レンズ群とを有し、
前記第２レンズ群は、最も前記第１物体側に配置されて前記第２物体側に凹面を向けた負屈折力の前方レンズと、最も前記第２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けた負屈折力の後方レンズと、前記前方レンズと前記後方レンズとの間に配置される中間レンズ群を含み、
前記中間レンズ群は、前記第１物体側から順に、正の屈折力を持つ第１レンズと、負の屈折力を持つ第２レンズと、負の屈折力を持つ第３レンズとを少なくとも有し、
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２、前記第３レンズ群の焦点距離をｆ３、前記第４レンズ群の焦点距離をｆ４、前記第５レンズ群の焦点距離をｆ５、前記第６レンズ群の焦点距離をｆ６、前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬ、前記前方レンズの第１物体側の面の曲率半径をｒ２Ｆｆ、前記前方レンズの第２物体側の面の曲率半径をｒ２Ｆｒ前記後方レンズの第１物体側の面の曲率半径をｒ２Ｒｆ、前記後方レンズの第２物体側の面の曲率半径をｒ２Ｒｒとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
（１）                    ｆ１  ／Ｌ＜０．８
（２）        −０．１０＜ｆ２  ／Ｌ
（３）          ０．０１＜ｆ３  ／Ｌ＜１．０
（４）                    ｆ４  ／Ｌ＜−０．００５
（５）          ０．０１＜ｆ５／Ｌ＜０．９
（６）          ０．０２＜ｆ６  ／Ｌ＜１．６
（７）    １．００≦（ｒ２Ｆｆ  −ｒ２Ｆｒ  ）／（ｒ２Ｆｆ  ＋ｒ２Ｆｒ  ）＜５．０
（８）  −１０．０＜（ｒ２Ｒｆ  −ｒ２Ｒｒ  ）／（ｒ２Ｒｆ  ＋ｒ２Ｒｒ  ）≦−１．００
【請求項２】
前記条件式（１）に代えて、
ｆ１ ／Ｌ＜０．１４
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
【請求項３】
０．０２＜ｆ１ ／Ｌ
の条件を満足することを特徴とする請求項１または２に記載の投影光学系。
【請求項４】
前記条件式（２）に代えて、
−０．０３２＜ｆ２ ／Ｌ
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項５】
ｆ２ ／Ｌ＜−０．００５
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項６】
前記条件式（４）に代えて、
ｆ４ ／Ｌ＜−０．０４７
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項７】
−０．０９８＜ｆ４ ／Ｌ
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項８】
前記条件式（８）に代えて、
−５．０＜（ｒ２Ｒｆ −ｒ２Ｒｒ ）／（ｒ２Ｒｆ ＋ｒ２Ｒｒ ）≦−１．００
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項９】
前記条件式（８）に代えて、
−２．０＜（ｒ２Ｒｆ −ｒ２Ｒｒ ）／（ｒ２Ｒｆ ＋ｒ２Ｒｒ ）≦−１．００
の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１０】
前記第１物体から前記投影光学系全体の第１物体側焦点までの軸上距離をＩとし、前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項９の何れか一項に記載の投影光学系。
（９）              １．０＜Ｉ／Ｌ
【請求項１１】
前記第１物体から前記投影光学系全体の第１物体側焦点までの軸上距離をＩとし、前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項９の何れか一項に記載の投影光学系。
１．７＜Ｉ／Ｌ
【請求項１２】
以下の条件をさらに満足することを特徴とする請求項１０または１１に記載の投影光学系。
Ｉ／Ｌ＜６．８
【請求項１３】
前記第５レンズ群は、少なくとも７枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１乃至請求項１２の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項１４】
前記第５レンズ群は、さらに、少なくとも１枚の負レンズを有することを特徴とする請求項１３記載の投影光学系。
【請求項１５】
前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第２レンズの焦点距離をｆ２２とし、前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第３レンズの焦点距離をｆ２３とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項１４の何れか一項記載の投影光学系。
（１０）          ０．１＜ｆ２２／ｆ２３＜１０
【請求項１６】
前記条件式（１０）に代えて、
０．１＜ｆ２２／ｆ２３＜１．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系。
【請求項１７】
前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第２レンズの焦点距離をｆ２２とし、前記第２レンズ群中の負の屈折力を持つ第３レンズの焦点距離をｆ２３とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項１４の何れか一項記載の投影光学系。
０．７＜ｆ２２／ｆ２３＜１０
【請求項１８】
前記条件式（１０）に代えて、
０．７＜ｆ２２／ｆ２３＜１．５
の条件を満足することを特徴とする請求項１７に記載の投影光学系。
【請求項１９】
前記第５レンズ群は、最も第２物体側に配置されて第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、第６レンズ群は、最も第１物体側に配置されて第１物体側に凸面を向けたレンズを有し、
前記第５レンズ群の最も第２物体側に配置される負レンズの第２物体側の曲率半径をｒ５Ｒとし、前記第６レンズ群の最も第１物体側に配置されるレンズの第１物体側の曲率半径をｒ６Ｆとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項１８の何れか一項記載の投影光学系。
（１１）  −０．９０＜（ｒ５Ｒ−ｒ６Ｆ）／（ｒ５Ｒ＋ｒ６Ｆ）＜−０．００１
【請求項２０】
前記条件式（１１）に代えて、
−０．３０＜（ｒ５Ｒ−ｒ６Ｆ）／（ｒ５Ｒ＋ｒ６Ｆ）＜−０．００１
の条件を満足することを特徴とする請求項１９に記載の投影光学系。
【請求項２１】
前記第５レンズ群と前記第６レンズ群との間のレンズ群間隔をｄ５６とし、前記第１物体と前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項２０の何れか一項記載の投影光学系。
（１２）          ｄ５６／Ｌ＜０．０１７
【請求項２２】
前記第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面の曲率半径をｒ６Ｆとし、第６レンズ群の最も第１物体側のレンズ面から第２物体までの軸上距離をｄ６とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項２１の何れか一項記載の投影光学系。
（１３）        ０．５０＜ｄ６／ｒ６Ｆ＜１．５０
【請求項２３】
前記条件式（１３）に代えて、
０．８４＜ｄ６／ｒ６Ｆ＜１．５０
の条件を満足することを特徴とする請求項２２に記載の投影光学系。
【請求項２４】
前記第５レンズ群は、最も第２物体側に配置されて第２物体側に凹面を向けた負レンズを有し、前記第５レンズ群中の最も第２物体側に設けられた負レンズにおける第１物体側の曲率半径をｒ５Ｆ、前記第５レンズ群中の最も第２物体側に設けられた負レンズにおける第２物体側の曲率半径をｒ５Ｒとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項２３の何れか一項記載の投影光学系。
（１４）    ０．３０＜（ｒ５Ｆ−ｒ５Ｒ）／（ｒ５Ｆ＋ｒ５Ｒ）＜１．２８
【請求項２５】
前記条件式（１４）に代えて、
０．３０＜（ｒ５Ｆ−ｒ５Ｒ）／（ｒ５Ｆ＋ｒ５Ｒ）＜０．９３
の条件を満足することを特徴とする請求項２４に記載の投影光学系。
【請求項２６】
前記第２レンズ群中の中間レンズ群における正の屈折力の第１レンズの焦点距離をｆ２１とし、前記第１物体から前記第２物体までの距離をＬとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項２５の何れか一項記載の投影光学系。
（１５）    ０．２３０＜ｆ２１／Ｌ＜０．４０
【請求項２７】
前記第２レンズ群中の最も第１物体側に配置されて前記第２物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ前方レンズの焦点距離をｆ２Ｆ、前記第２レンズ群中の最も第２物体側に配置されて前記第１物体側に凹面を向けた負の屈折力を持つ後方レンズの焦点距離をｆ２Ｒとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至請求項２６の何れか一項記載の投影光学系。
（１６）              ０≦ｆ２Ｆ／ｆ２Ｒ＜１８
【請求項２８】
前記第２レンズ群中の中間レンズ群は、負の屈折力を持つことを特徴とする請求項１乃至請求項２７の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項２９】
前記第１レンズ群は、少なくとも２枚の正レンズを有し、前記第３レンズ群は、少なくとも３枚の正レンズを有し、前記第４レンズ群は、少なくとも３枚の負レンズを有し、前記第６レンズ群は、少なくとも１枚の正レンズを有することを特徴とする請求項１乃至請求項２８の何れか一項記載の投影光学系。
【請求項３０】
前記第６レンズ群は、以下の条件を満足するレンズ面を少なくとも一面有する３枚以下のレンズからなることを特徴とする請求項１乃至請求項２９の何れか一項記載の投影光学系。
（１７）          １／｜φＬ｜＜２０
但し、φ：前記レンズ面の屈折力、
Ｌ：前記第１物体から前記第２物体までの物像間距離、
である。
【請求項３１】
前記第５レンズ群は、前記第５レンズ群中で最も第１物体側に位置する正レンズと、該正レンズよりも第２物体側に配置された開口絞りとを備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３０の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項３２】
前記投影光学系を構成するすべてのレンズが非貼合せであることを特徴とする請求項１乃至請求項３１の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項３３】
前記投影光学系を構成するレンズを複数の光学材料により形成していることを特徴とする請求項１乃至請求項３２の何れか一項に記載の投影光学系。
【請求項３４】
第１物体を照明するための照明光学装置と、
前記第１物体上に形成された所定のパターンの像を第２物体上に形成するための請求項１乃至請求項３３の何れか一項に記載の投影光学系とを備えることを特徴とする投影露光装置。
【請求項３５】
前記第１物体を保持する第１のステージと、前記第２物体を保持する第２のステージとを備え、
前記投影光学系の投影倍率を１／Ｍとするとき、露光時において前記第１のステージと前記第２のステージとは、Ｍ：１の速度比のもとで移動することを特徴とする請求項３４に記載の投影露光装置。
【請求項３６】
第１物体上の所定のパターンを第２物体に露光する投影露光方法において、
前記第１物体を照明する工程と、
請求項１乃至請求項３３の何れか一項に記載の投影光学系を用いて前記所定のパターンの像を前記第２物体上に形成する工程とを備えていることを特徴とする投影露光方法。
【請求項３７】
第１のステージによって前記第１物体を保持する工程と、第２のステージによって前記第２物体を保持する工程とをさらに備え、
前記投影光学系の投影倍率を１／Ｍとするとき、露光時において前記第１のステージと前記第２のステージとを、Ｍ：１の速度比のもとで移動させることを特徴とする請求項３６に記載の投影露光方法。