【手続補正書】
【提出日】平成16年2月2日(2004.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体と、開口部を密閉可能に覆い、開閉が可能なドアとにより構成される保持容器と、
該保持容器内において、基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、
前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、
前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、
前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータと、該ファンモータの駆動電源である二次電池とを備えた基板搬送容器が、ウエーハ搬出入ドア自動開閉装置上に置かれた時、前記基板搬送容器の前記二次電池を充電するための充電端子が、装置側の端子と接続することを特徴とするウエーハ搬出入ドア自動開閉装置。
【請求項２】
容器本体と、開口部を密閉可能に覆い、開閉が可能なドアとにより構成される保持容器と、
該保持容器内において、基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、
前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、
前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、
前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータと、該ファンモータの駆動電源である二次電池とを備えた基板搬送容器が複数台数待機することが可能で、基板搬送容器が前記待機場所に着座した時、前記基板搬送容器の前記二次電池を充電するための充電端子が、装置側の端子と接続することを特徴とする基板搬送容器待機ステーション。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の装置において、
前記基板搬送容器には、前記二次電池が前記保持容器の外部に取り付けられていることを特徴とするウエーハ搬出入ドア自動開閉装置又は基板搬送容器待機ステーション。
【請求項４】
容器本体と開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、
該保持容器内において基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、
前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、
前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、
前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータと、
前記基板の履歴管理用記憶装置とを有することを特徴とする基板搬送容器。
【請求項５】
前記請求項１，２又は４に記載の基板搬送容器内を、乾燥空気で置換後、清浄空気を循環換気することを特徴とする基板の清浄度維持方法。
【請求項６】
容器本体と開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、
該保持容器内において基板に向かって流れる流路とファンモータに向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、
前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、
前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、
前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータと、
該ファンモータの駆動電源である二次電源と、
前記保持容器が装置側に着座する時に装置側の充電用端子と接続する端子を備えたことを特徴とする基板搬送容器。
【請求項７】
前記二次電池は前記保持容器の外部に取り付けられていることを特徴とする請求項６に記載の基板搬送容器。
【請求項８】
前記請求項６に記載の基板搬送容器内を、乾燥空気で置換後、清浄空気を循環換気することを特徴とする基板の清浄度維持方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様の基板搬送容器は、容器本体とこれの正面に配置した開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、該保持容器内において基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータとを有することを特徴とするものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また本発明の第２の態様の基板搬送容器は、容器本体とこれの底面に配置した開口部を密閉可能に覆うドアとにより構成される保持容器と、該保持容器内において基板に向かって流れる流路と送風装置に向かって流れる流路を有する循環流路を形成する隔壁と、前記基板に向かって流れる流路に配置されて基板をその主面を前記基板に向かって流れる流路にほぼ平行にして保持する基板保持部と、前記基板に向かって流れる流路において前記基板保持部の上流側に配置された粒子除去フィルタおよびガス状不純物捕捉フィルタと、前記保持容器に内蔵されて前記循環流路を循環する循環気流を形成するファンモータとを有することを特徴とするものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記第１の態様と異なる点は、自動開閉用ラッチ機構を有するドア体が容器の底部に配置されていることである。ＳＥＭＩスタンダードによると、２００ｍｍ以下のウエーハ搬送容器の標準メカニカルインターフェイスが、容器底面が開閉する構造になっていることによる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記の発明において、前記ドアを、自動開閉用ラッチ機構を有するようにしてもよい。これにより、基板搬送容器に基板の受渡し場所を提供する受渡しステーション等に着座した時に、自動的にドアを開いて迅速に受渡し行なうことができる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の他の態様は、ウエーハ搬出入ドア自動開閉装置上に置かれた時、自動的に二次電池を充電するための充電端子を有することを特徴とするウエーハ搬出入ドア自動開閉装置である。半導体工場の自動化が進むと、ファンモータの駆動電源である二次電池の充電も自動化しなければならない。自動化対応基板搬送容器が必ず滞在する場所は、半導体製造装置へウエーハを搬入・搬出するウエーハ搬出入ドア自動開閉装置である。自動化対応基板搬送容器がウエーハ搬出入ドア自動開閉装置上に置かれた時に自動的に二次電池の充電を行なうことにより、人間の操作を介することなく、長期間連続的にファンモータを運転・制御することができる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の他の態様は、基板搬送容器が複数台数待機することが可能で、基板搬送容器が前記待機場所に着座することにより自動的に充電を開始するための充電端子を有することを特徴とする基板搬送容器待機ステーションである。ファンモータの駆動電源である二次電池は限られた電池容量しか持たないため、数日以上の長時間運転はできない。予め決められた位置に着座し、複数台数の基板搬送容器に搭載している二次電池を自動的に充電・制御することにより、作業者を介すること無く長期間基板の保管を行なうことができる。また、本待機ステーションは、基板保管庫も兼ねる機能を持つ。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明の他の態様は、乾燥空気で置換後、清浄空気を循環換気することを特徴とする基板の清浄度維持方法である。ウエーハは保管環境中の水及び酸素によって自然酸化膜が成長する。ウエーハ収納後に基板搬送装置内の空気を乾燥空気で置換し、水と酸素を極低濃度にすることにより、自然酸化膜の抑制を行なうことができる。それと同時に、粒子汚染物質や有機物の吸着を防止することができる。