【手続補正書】
【提出日】平成15年9月17日(2003.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】流体軸受機構
【特許請求の範囲】
【請求項１】シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、前記筒状体内を軸方向に移動可能な可動子と、この可動子を筒状体内で当接部との間に保持すると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有する保持体より構成したことを特徴とする流体軸受機構。
【請求項２】前記保持体を弾性体で構成すると共に、少なくとも前記ピストンが駆動されていない状態において、前記当接部と可動子と保持体が当接するように構成したことを特徴とする請求項１記載の流体軸受機構。
【請求項３】前記可動子の少なくとも表面が弾性体で構成されたことを特徴とする請求項１乃至２記載の流体軸受機構。
【請求項４】前記当接部の少なくとも表面が弾性体で構成されたことを特徴とする請求項１乃至２記載の流体軸受機構。
【請求項５】前記当接部の当接面を凹円錐面状に形成し、前記当接部と対向する可動子の当接面を凸円錐面状に形成すると共に、両当接面の頂角がほぼ同じになるように構成したことを特徴とする請求項１乃至２記載の流体軸受機構。
【請求項６】シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、基端が前記筒状体の開口に固定されると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有し先端が前記当接部と当接して連通小孔を閉塞可能な閉塞体より構成し、この閉塞体を弾性体で形成したことを特徴とする流体軸受機構。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、往復動式圧縮機等のピストンとシリンダを気体によって潤滑する流体軸受機構に関するものであり、特に、圧縮機の圧縮室内外を連通及び遮断する逆止弁に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
従来この種の流体軸受機構としては、図６〜８に示すような構造のものが知られている。この流体軸受機構は、シリンダ101 と、このシリンダ101 内に微小な間隙Ｇをもって挿入された往復動自在なピストン102 と、このピストン102 内に形成された空洞部102aと、前記ピストン102 の先端側に設けられてシリンダ内空間101aと空洞部102aを連通する逆止弁103 と、ピストン102 の側面102bで開口して間隙Ｇと空洞部102aとを連通する小孔104 で構成されている。なお、前記逆止弁103としては、例えば米国特許第５４６１８５９号に開示されている構造のものが知られている。そして、この逆止弁103 は、弁基体105 と、リード106 と、リード押さえ107 と、ビス108 とで構成されている。前記弁基体105 には、ピストン102 に取り付けた際にシリンダ内空間101aと空洞部102aを連通する連通孔109 が形成されていると共に、この連通孔109 の空洞部102a側の開口109a近傍に前記リード106 とリード押さえ107 がビス108 によって固定されている。なお、前記ピストン102 が停止している状態では、リード106 は、開口部109a周囲の当接面105aと当接して開口109aを閉塞している。そして、前記ピストン102 がシリンダ101 内を往動すると、シリンダ内空間101aと空洞部102aの圧力差により、シリンダ内空間101a内の気体が連通孔109 を通ってリード106 を撓ませ、開口109aから空洞部102aに流入し、更に小孔104 から間隙Ｇに流出する。なお、前記リード押さえ107 によって、リード106 の過度の撓みが防止される。そして、小孔104から間隙Ｇに流出した気体によって、シリンダ101 とピストン102 が潤滑されることになる。一方、前記ピストン102 がシリンダ101 内を復動すると、シリンダ内空間101aと空洞部102aの圧力差及びリード106 の復元力により、リード106 が開口109aを閉塞する。このように、シリンダ内空間101aの気体は、逆止弁103 を一方向にのみ流通する。
【０００３】
しかしながら、これらの流体軸受機構の逆止弁103 においては、リード106 と当接面105aの間から気体が逆流することを防止するため、リード106 及び当接面105aの表面を精度良く平滑に加工する必要があった。また、リード106 は高速で撓ませるために薄い金属板などで構成されており、加工時や取付時に変形しやすいという問題があった。
【０００４】
本発明は以上の問題点を解決し、構造が簡単で、高い加工精度を必要とせず、組立が容易であると共に高い信頼性の得られる逆止弁を用いた流体軸受機構を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の流体軸受機構は、シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、前記筒状体内を軸方向に移動可能な可動子と、この可動子を筒状体内で当接部との間に保持すると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有する保持体より構成したものである。
【０００６】
本発明は以上のように構成することにより、シリンダ内でピストンが圧縮方向に移動すると、可動子がシリンダ内圧力及び慣性によってピストン内方に移動して連通小孔が開放し、シリンダ内の気体が逆止弁の連通小孔から連通溝を経てピストンの内部空洞へ流入し、更に小孔からピストンとシリンダの間隙に流出することで、ピストンとシリンダの隙間を維持して接触しないようにする。また、シリンダ内でピストンが膨張方向に移動すると、可動子が逆にピストン外方に移動して連通小孔が閉塞し、ピストンの内部空洞、ひいてはピストンとシリンダの隙間からシリンダ内に気体が流出しないようにする。
【０００７】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１において、前記保持体を弾性体で構成すると共に、少なくとも前記ピストンが駆動されていない状態において、前記当接部と可動子と保持体が当接するように構成したものである。
【０００８】
本発明は以上のように構成することにより、ピストンの静止時には可動子が当接部に接触して連通小孔を閉塞しており、ピストンが圧縮方向に移動すると、可動子に加わる力によって保持体が弾性変形することで、可動子がピストン内方に移動して連通小孔が開放する。
【０００９】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記可動子の少なくとも表面が弾性体で構成されたものである。
【００１０】
本発明は以上のように構成することにより、当接部と可動子が当接する際に可動子が弾性変形することで、当接部と可動子が密に接するばかりでなく、当接部と可動子が衝突する際の衝撃が吸収される。
【００１１】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記当接部の少なくとも表面が弾性体で構成されたものである。
【００１２】
本発明は以上のように構成することにより、当接部と可動子が当接する際に当接部が弾性変形することで、当接部と可動子が密に接するばかりでなく、当接部と可動子が衝突する際の衝撃が吸収される。
【００１３】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記当接部の当接面を凹円錐面状に形成し、前記当接部と対向する可動子の当接面を凸円錐面状に形成すると共に、両当接面の頂角がほぼ同じになるように構成したものである。
【００１４】
本発明は以上のように構成することにより、当接部と可動子が当接する際に両当接面が全面で接して連通小孔からの気体の漏れが防止される。
【００１５】
更に、本発明の流体軸受機構は、シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、基端が前記筒状体の開口に固定されると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有し先端が前記当接部と当接して連通小孔を閉塞可能な閉塞体より構成し、この閉塞体を弾性体で形成したものである。
【００１６】
本発明は以上のように構成することにより、シリンダ内でピストンが圧縮方向に移動すると、閉塞体がシリンダ内圧力及び慣性によって弾性変形して連通小孔が開放し、シリンダ内の気体が逆止弁の連通小穴からピストンの内部空洞へ流入し、更に小孔からピストンとシリンダの間隙に流出することで、ピストンとシリンダの隙間を維持して接触しないようにする。また、シリンダ内でピストンが膨張方向に移動すると、閉塞体が復元して連通小孔が閉塞し、ピストンの内部空洞、ひいてはピストンとシリンダの隙間からシリンダ内に気体が流出しないようにする。
【００１７】
【発明の実施形態】
以下、本発明の第一の実施形態について、図１乃至図２に基づいて説明する。１はシリンダであり、このシリンダ１の内壁1aとの間に微小な間隙Ｇをもって、ピストン２が往復動自在に挿入されている。このピストン２は、内部に空洞部３が形成されていると共に、この空洞部３とピストン２の側面2aとの間に複数の小孔４が形成されている。また、前記ピストン２の先端面2bと空洞部３との間には取付孔５が形成されており、この取付孔５に対して逆止弁６が取り付けられている。
【００１８】
前記逆止弁６は、弁基体７と、可動子８と、保持体９とで構成されている。前記弁基体７は略筒状に形成されており、その軸線をピストン２の軸方向と平行に設けるものであって、先端側外周にフランジ部10が形成されている。また、前記弁基体７の先端寄り内周にはリブ状の当接部11が形成されており、この当接部11の中央には連通小孔12が形成され、前記当接部11の基端側には、凹円錐面状の当接面11ａが形成されている。この当接面11ａの少なくとも表面はゴム等の弾性体で被覆されている。そして、前記弁基体７内には、その基端側から前記可動子８が挿入されている。この可動子８は弁基体７内において軸方向に移動可能であって、ゴム等の弾性体で構成されており、全体として略短円筒状に形成されていると共に、先端側の当接面8aが凸円錐面状に形成されている。なお、この当接面8aの頂角Ａは、前記当接面11ａの頂角とほぼ等しい角度に形成されている。また、前記可動子８の側面には、その軸方向に通気溝8bが形成されている。更に、前記弁基体７の基端には、保持体９が圧入されている。この保持体９は、前記可動子８と同様にゴム等の弾性体で構成されており、略円筒状の圧入部9aと、この圧入部9aの基端に設けられたフランジ部9bとで形成されており、前記ピストン２の静止時において、前記当接部11と可動子８と保持体９が当接するように構成されている。また、前記保持体９の外周には、その軸方向に弁基体７の内外を連通する連通溝たる通気溝9cが形成されている。なお、前記弁基体７の先端と当接部11の先端側との間には凹部13が形成されていると共に、この凹部13には多孔質樹脂や不織布等で作られた通気性を有するフィルタ14が取り付けられている。尚、前記フランジ部9bは弁基体７の基端側開口15に当接しており、また弁基体７の外周に形成した雄螺子16によって弁基体７を取付孔５に固定している。
【００１９】
次に前記構成についてその作用を説明する。ピストン２の静止時には可動子８の当接面8aが弁基体７の当接部11に接触して連通小孔12を閉塞している。そして、シリンダ１内でピストン２が圧縮方向、すなわち図中左方向に移動すると、可動子８がシリンダ１の内圧力及び慣性によってピストン２内方に、すなわち図中右方向に移動する力が加わることで、可動子８が弁基体７の基端側に移動すると共に、保持体９が弾性変形して連通小孔12が開放し、シリンダ１内の気体が逆止弁６の連通小孔12から通気溝8b及び9cを経てピストン２の内部空洞３へ流入し、更に小孔４からピストン２とシリンダ１の間隙Ｇに流出することで、ピストン２とシリンダ１の隙間Ｇを維持して接触しないようにし、シリンダ１とピストン２が潤滑されることになる。尚、この際、可動子８の質量は比較的大きいので、ピストン２が往復動する際に、慣性力が可動子８の開閉動作を助けるように有効に作用する。
【００２０】
また、シリンダ１内でピストン２が膨張方向、すなわち図中右方向に逆移動すると、可動子８が慣性及び保持体９の復元力によってピストン２の外方に、すなわち図中左方向移動して当接部11に当接し、連通小孔12が閉塞すると共に、保持体９の弾性変形は復元して当初の形状に戻り、可動子８を当接部11に押し付け、ピストン２の内部空洞３、ひいてはピストン２とシリンダ１の隙間Ｇからシリンダ１内に気体が流出しないようにする。
【００２１】
以上のように、前記実施例ではシリンダ１と、このシリンダ１内に位置して内部に空洞３を有すると共にこの空洞３と側面2aを連通する小孔４を有するピストン２と、このピストン２の先端側端面2bと内部の空洞３との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁６よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁６を、前記ピストン２の軸方向と平行に設けられた弁基体７と、この弁基体７の内周側に突出すると共に中央に連通小孔12を形成した当接部11と、前記弁基体７内を軸方向に移動可能な可動子８と、この可動子８を弁基体７内で当接部11との間に保持すると共に前記弁基体７内外を連通する通気溝9cを有する保持体９より構成したものであり、シリンダ１内でピストン２が圧縮方向に移動すると、可動子８がシリンダ１の内圧力及び慣性によってピストン２内方に移動して連通小孔12が開放し、シリンダ１内の気体が逆止弁６の連通小孔12から通気溝8b及び9cを経てピストン2の内部空洞3へ流入し、更に小孔4からピストン2とシリンダ1の間隙Ｇに流出することで、ピストン２とシリンダ１の隙間Ｇを維持して接触しないようにする。また、シリンダ１内でピストン２が膨張方向に移動すると、可動子８が逆にピストン２外方に移動して連通小孔12が閉塞し、ピストン２の内部空洞３、ひいてはピストン２とシリンダ１の隙間Ｇからシリンダ１内に気体が流出しないようにするので、簡素な構造で組立が容易にでき、また逆止弁６の開閉動作も確実にできるようにして、安価で、信頼度の高い流体軸受機構を提供することができる。しかも、可動子８による気体の流入・閉止は単に気体の圧力のみにより行われるのではなく、可動子８における比較的大きな慣性力も作用するため、動作が確実に行われ、高い信頼性が得られる。
【００２２】
また、前記保持体９を弾性体で構成すると共に、前記ピストン２の静止時において、前記当接部11と可動子８と保持体９が当接するように構成したものであり、ピストン２の静止時には可動子８が当接部11に接触して連通小孔12を閉塞しており、ピストン２が圧縮方向に移動すると、可動子８に加わる力によって保持体９が弾性変形することで、可動子８がピストン２内方に移動して連通小孔12が開放するので、ピストン２が圧縮方向に移動しても、可動子８の移動に伴う衝撃を保持体が吸収して騒音の発生を防止できるばかりでなく、ピストン２が静止した状態及び膨張方向に移動する際に保持体９の弾性力によって可動子８が当接部11に接するようにでき、流体軸受を確実に動作させることができる。
【００２３】
また、前記可動子８をゴムなど弾性体で形成して、その表面を弾性体で構成したものであるので、当接部11と可動子８が当接する際に可動子８が弾性変形することで、当接部11と可動子８が密に接して連通小孔12からの気体の漏れを防止でき、流体軸受を確実に動作させることができるばかりでなく、当接部11と可動子８が衝突する際の衝撃を吸収して騒音の発生を防止することができる。
【００２４】
また、前記当接部11の少なくとも表面をゴムなど弾性体で被覆したものであり、当接部11と可動子８が当接する際に当接部11が弾性変形することで、当接部11と可動子８が密に接して連通小孔12からの気体の漏れを防止でき、流体軸受を確実に動作させることができるばかりでなく、当接部11と可動子８が衝突する際の衝撃を吸収して騒音の発生を防止することができる。
【００２５】
また、前記当接部11の当接面11aを凹円錐面状に形成し、前記当接部11と対向する可動子8の当接面8aを凸円錐面状に形成すると共に、両当接面11a,8aの頂角Ａがほぼ同じになるように構成したものであり、当接部11と可動子８が当接する際に両当接面11a,8aが全面で接して連通小孔12からの気体の漏れが防止されるので、流体軸受を確実に動作させることができる。
【００２６】
次に本発明の他の実施形態を説明する。なお、前記実施形態と同一部分には同一符号を付し、その詳細な説明を省略する。図３に示した第二の実施形態では逆止弁６´の可動子21は弾性体としての弗素ゴムで構成された球体である。そして、この球体状の可動子21は、弁基体７内で当接部11と保持体９の間に保持されている。
【００２７】
したがって、シリンダ１内でピストン２が圧縮方向、すなわち図中左方向に移動すると、可動子21がシリンダ１の内圧力及び慣性によってピストン２内方に、すなわち図中右方向に移動する力が加わることで可動子21が弁基体７の基端側に移動すると共に、保持体９が弾性変形して連通小孔12が開放し、シリンダ１内の気体が逆止弁６´の連通小孔12から通気溝9cを経てピストン２の内部空洞３へ流入し、更に小孔４からピストン２とシリンダ１の間隙に流出することで、ピストン２とシリンダ１の隙間を維持して接触しないようにし、シリンダ１とピストン２が潤滑されることになり、簡素な構造で組立が容易にでき、また逆止弁６´の開閉動作も確実にできるようにして、安価で、信頼度の高い流体軸受機構を提供することができる。
【００２８】
図４，５に示した第三の実施形態では、逆止弁６´´は、略筒状の弁基体７と閉塞体31により構成される。弁基体７は内周側に突出すると共に中央に連通小孔12を形成した当接部11を備えている。弾性体で形成した閉塞体31は弁基体７の基端側開口15に当接して固定されると共に前記弁基体７の内外を連通する連通溝たる通気溝32を形成しており、さらに先端が前記当接部11と当接して連通小孔12を閉塞可能に構成している。また、閉塞体31の先端側の当接面31aが凸円錐面状に形成されている。この当接面31aの頂角Ａは、当接面11ａの頂角とほぼ等しい角度に形成されている。尚、前記通気溝32は閉塞体31の外周に先端側から基端側に向けて軸方向に形成されている。
【００２９】
したがって、シリンダ１内でピストン２が圧縮方向に移動すると、閉塞体31がシリンダ内圧力及び慣性によって弾性変形して連通小孔12が開放し、シリンダ１内の気体が逆止弁６´´の連通小穴12から通気溝32を介してピストンの内部空洞３へ流入し、更に小孔４からピストン２とシリンダ１の間隙Ｇに流出することで、ピストン２とシリンダ１の隙間Ｇを維持して接触しないようにする。また、シリンダ１内でピストン２が膨張方向に移動すると、閉塞体31が復元して連通小孔12が閉塞し、ピストンの内部空洞３、ひいてはピストン２とシリンダ１の隙間Ｇからシリンダ１内に気体が流出しないようにする。
【００３０】
以上のように、前記実施形態においてはでは逆止弁６´´を、弁基体７と閉塞体31により構成して、閉塞体31がシリンダ１内圧力及び慣性によって弾性変形して連通小孔12を開放するなどすることにより、簡素な構造で組立が容易にでき、また逆止弁の開閉動作も確実にできるようにして、安価で、信頼度の高い流体軸受機構を提供することができる。
【００３１】
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において、種々の変形実施が可能である。例えば、第一、二実施形態における当接部と可動子との接触においては少なくともいずれか一方の接触面を弾性体により形成すればよく、また第三実施形態における当接部と閉塞体の先端側の当接面との接触においても少なくともいずれか一方の接触面を弾性体により形成すればよい。また、当接部の中央ではなく略中央に連通小孔を形成してもよい。
【００３２】
【発明の効果】
本発明の流体軸受機構は、シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、前記筒状体内を軸方向に移動可能な可動子と、この可動子を筒状体内で当接部との間に保持すると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有する保持体より構成したものであり、シリンダ内でピストンが圧縮方向に移動すると、可動子がシリンダ内圧力及び慣性によってピストン内方に移動して連通小孔が開放し、シリンダ内の気体によりピストンとシリンダの隙間を維持して接触しないようにする。また、シリンダ内でピストンが膨張方向に移動すると、可動子が連通小孔が閉塞してピストンとシリンダの隙間からシリンダ内に気体が流出しないようにするので、簡素な構造で組立が容易にでき、また弁の開閉動作も確実にできるようにして、安価で、信頼度の高い流体軸受機構を提供することができる。
【００３３】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１において、前記保持体を弾性体で構成すると共に、少なくとも前記ピストンが駆動されていない状態において、前記当接部と可動子と保持体が当接するように構成したものであり、ピストンの静止時には可動子が当接部に接触して連通小孔を閉塞しており、ピストンが移動しても、可動子の移動に伴う衝撃を保持体が吸収して騒音の発生を防止できるばかりでなく、ピストンが静止した状態及び膨張方向に移動する際に保持体の弾性力によって可動子が当接部に接するようにでき、流体軸受を確実に動作させることができる。
【００３４】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記可動子の少なくとも表面が弾性体で構成されたものであり、当接部と可動子が当接する際に可動子が弾性変形することで、当接部と可動子が密に接して連通小孔からの気体の漏れを防止でき、流体軸受を確実に動作させることができるばかりでなく、当接部と可動子が衝突する際の衝撃を吸収して騒音の発生を防止することができる。
【００３５】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記当接部の少なくとも表面が弾性体で構成されたものであり、当接部と可動子が当接する際に当接部が弾性変形することで、当接部と可動子が密に接して連通小孔からの気体の漏れを防止でき、流体軸受を確実に動作させることができるばかりでなく、当接部と可動子が衝突する際の衝撃を吸収して騒音の発生を防止することができる。
【００３６】
また、本発明の流体軸受機構は、請求項１乃至２において、前記当接部の当接面を凹円錐面状に形成し、前記当接部と対向する可動子の当接面を凸円錐面状に形成すると共に、両当接面の頂角がほぼ同じになるように構成したものであり、当接部と可動子が当接する際に両当接面が全面で接して連通小孔からの気体の漏れが防止されるので、流体軸受を確実に動作させることができる。
【００３７】
更に、本発明の流体軸受機構は、シリンダと、このシリンダ内に位置して内部に空洞を有すると共にこの空洞と側面を連通する小孔を有するピストンと、このピストンの端面と内部の空洞との間に取り付けられて気体を一方向にのみ流通する逆止弁よりなる流体軸受機構であって、前記逆止弁を、前記ピストンの軸方向と平行に設けられた筒状体と、この筒状体の内周側に突出すると共に略中央に連通小孔を形成した当接部と、基端が前記筒状体の開口に固定されると共に前記筒状体内外を連通する連通溝を有し先端が前記当接部と当接して連通小孔を閉塞可能な閉塞体より構成し、この閉塞体を弾性体で形成したものであり、シリンダ内でピストンが圧縮方向に移動すると、閉塞体がシリンダ内圧力及び慣性によって弾性変形して連通小孔が開放し、シリンダ内の気体がピストンとシリンダの間隙に流出することで、ピストンとシリンダの隙間を維持して接触しないようにし、また、シリンダ内でピストンが膨張方向に移動すると、閉塞体が復元してピストンとシリンダの隙間からシリンダ内に気体が流出しないようにするので、簡素な構造で組立が容易にでき、また弁の開閉動作も確実にできるようにして、安価で、信頼度の高い流体軸受機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態を示す全体断面図である。
【図２】本発明の第一実施形態を示す要部の断面図である。
【図３】本発明の第二実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明の第三実施形態を示す断面図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】従来技術を示す全体断面図である。
【図７】従来技術を示す要部の断面図である。
【図８】従来技術を示す要部の正面図である。
【符号の説明】
１ シリンダ
２ ピストン
2a 側面
2b 先端面
３ 空洞部
４ 小孔
６ ６´ ６´´ 逆止弁
７ 弁基体
８ 21 可動子
8a 当接面
９ 保持体
9c 32 通気溝(連通溝)
11 当接部
11ａ 当接面
12 連通小孔
31 閉塞体
Ａ 頂角
Ｇ 間隙