【誤訳訂正書】
【提出日】平成23年12月21日(2011.12.21)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】請求項７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【請求項７】
前記基板保持チャンバの前記開口部を通って延びている前記第２の経路の前記一部分が、前記搬送アームの肩部における前記搬送アームの旋回軸から該旋回軸の半径方向に伸び、前記基板保持チャンバまで達する線分の一部によってその軌道が描かれることを特徴とする請求項６記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の名称
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の名称】基板搬送装置及び基板搬送方法
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
関節アームを動かすための駆動部は周知である。好適な実施例において、駆動部２７は同軸的に取り付けられた駆動軸４６、４８を含むタイプであり得る。なお、他のいかなる適切な駆動システムも使用され得る。同軸駆動軸４６、４８は可動アームアセンブリ２５の肩部４０において、回転軸Ｙ１の回りをスピンするように位置する。上部アーム３１は、肩部４０における軸Ｙ１の回りにシャフト４６と同調して向きを変えるために第１の駆動軸４６に固定的に搭載される。第２の駆動軸４８は前方アーム部３２に搬送システム１４０によって操作可能な状態で接続され、アームアセンブリ２５の肘部４１において回転軸Ｙ２の回りに前方アーム部を回転させる。好適な実施例において、搬送システムは上部アーム４０内に位置する。前方アーム伝送部１４０に対する駆動軸は、リンクおよびクランクを含み得、さもなくば肘部４１の回りに前方アーム部３２を回転させるために第２の駆動軸４８の回転を伝えるベルトおよび滑車システムを含み得る。別の実施例においては、搬送システムは上部アームの外側に位置し得る。更なる実施例においては、肘部に対して前方アーム部を回転させるための駆動軸は、直接前方アーム部の回転をなすように位置し得る。（例えば、第２の駆動軸は第２の駆動軸に直接搭載される前方アーム部を有する肘部において、上部アームに搭載され得る。）肘部４１の回りの前腕の回転に応答してリスト部４２で回転軸Ｙ３の回りにリスト延長部３４を同期して逆回転するリスト部伝送システム１４２に、リスト延長部３４は、肘部によって前方アーム部３２に接続している。好適な実施例において、リスト部搬送システム１４２に対する肘部は一般に前方アーム部３１の内に位置する。リスト部伝送システムに対する肘部は、リンクおよびオフセットのクランク、または前方アーム部３２をリスト延長部３４に接続しているベルトおよび滑車システムから成ることができ、その結果肘部４１に対して前方アーム部の回転はリスト部４２に対する反対の一方向へリスト延長部３４を回転させる。例えば、肘部４１に対して前方アーム部３１の時計回りの回転はリスト部４２に対して反時計回りに回転しているリスト延長部３２に帰結する。そして、逆に肘部４１の回りの前方アーム部３１の反時計回りの回転は、リスト部４２の回りで時計回りにリスト延長部を駆動する。よって、リスト部４１の回りのリスト延長部３４の回転は、肘部４１の回りの前方アーム部３１の回転に従属する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
カセット２６とロードロック１２との間での基板の移動手順は、実質的に以下の通りである。図２Ａ−２Ｃおよび３Ａ−３Ｃからも明らかなように、当該手順の第１のステップはカー２２を動かして肩部４０を位置決めして、それゆえに位置Ｄで可動アームアセンブリ２５が回転する回転軸Ｙ１を位置決めすることである。位置Ｄはカセット２６Ｌと２６Ｒの間に位置する。アームアセンブリ２５の肩４０が位置Ｄに位置すると、それに沿って基板が２つの横に並んだカセット２６Ｌ、２６Ｒの中へ及びそこから外へ移動する軸Ｘ１、Ｘ２は肩４０の両側に延伸する。その肩部４０を位置Ｄに位置決めするように可動アームアセンブリ２５を移動した後、アームアセンブリ２５は作動せしめられ、並置されたカセット２６Ｌと２６Ｒとのどちらか一方に末端作動体４４を挿入して基板を捕捉する。肩部４０が位置Ｄにある故、可動アームアセンブリ２５は、末端作動体４４を、カセットに対して肩部４０の再配置することなしに２つのカセット２６Ｌ、 ２６Ｒのどちらにでも嵌入出来るように作動せしめられ得る。好適な実施例において、末端作動体４４をカセット２６Ｌ、２６Ｒに挿入するために、コントローラ５２はカセット２６Ｌ、２６Ｒの開口部と共にリスト部４２を半径方向に整列させるために肩部４０の回りに最初に単体としてのアームアセンブリ２５全体を回転させ（「Ｔ」運動）、「Ｔ」運動の終了後、カセット２６Ｌ、２６Ｒに末端作動体４４を挿入するために半径方向に沿って、実質的にアームアセンブリ２５を伸展する（「Ｒ」運動）。本実施例において、位置Ｄにおける肩部４０に対するカセット２６Ｌ、２６Ｒの内側部１２７Ｌ、１２７Ｒ（図２参照）の位置は、側部１２７Ｌ、１２７Ｒがカセット２６Ｌ、２６Ｒ内に実質的に単一の半径方向に沿って末端作動体４４を並進させることを妨げないようなものである。別の実施例においては、カセットの内側の位置がアームアセンブリ２５の「Ｒ」移動を妨げるところでは、末端作動体４４はカセットに対応する基板除去／挿入軸Ｘ１、Ｘ２に対して小さい角度の軸に沿って、カセットに対して末端作動体を並進させることによりカセットに挿入される。このことは、末端作動体４４の中心 のまっすぐなＸ軸運動を提供する、「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動をなすようにアームアセンブリ２５を動かすコントローラ５２によって達成される。カセット２６Ｌ、２６Ｒ中に末端作動体４４が存在する状態において、末端作動体４４は基板Ｓを捕らえる。一旦、基板Ｓが末端作動体４４によって捕えられると、可動アームアセンブリ２５はカセット２６Ｌ、２６Ｒから基板Ｓを取り出すために作動せしめられる。末端作動体４４によって保持される基板Ｓは対応する基板除去軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動される。よって、基板Ｓの除去はカセット２６Ｌ、２６Ｒへの末端作動体４４の挿入経路とは異なる経路に沿う（図２Ｂ−２Ｃ及び３Ｂ−３Ｃ参照）。軸Ｘ１、Ｘ２に実質的に沿って末端作動体４４上の基板Ｓを移動するために、可動アームアセンブリ２５ は、「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動において移動される（図２Ａ−２Ｂ及び３Ａ−３Ｂ参照）。コントローラ５２は２本の駆動軸４６、４８の旋回速度および方向を制御し、実質的に軸Ｘ１、Ｘ２に沿ってカセット２６Ｌ、２６Ｒからの基板Ｓの移動を招来する「Ｒ」および「Ｔ」の複合運動でのアームアセンブリ２５の移動をなす。基板Ｓがカセット２６Ｌ、２６Ｒの外に出た後、可動アームアセンブリ２５はロードロック１２に基板Ｓを搬送する。図２Ｂ及び３Ｂに示すように、肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロック１２の前にあるならば、肩部４０は位置Ｄの場所にとどまり、そしてアームアセンブリ２５は一連の「Ｔ」運動および「Ｒ」運動を経ることによって基板Ｓを移動する。もし肩部４０の位置Ｄが実質的にロードロック１２の正面でなくむしろ隣接しているならば、可動アームアセ ンブリ２５は肩部４０の位置Ｄにとどまっているままで「Ｒ」及び「Ｔ」の複合運動を経ることによって、ロードロックに基板Ｓを移動する。さもなければ、ロードロック１２に基板Ｓを搬送するために、カー２２は位置Ｄから異なる位置まで可動アームアセンブリ２５の肩部４０を移動することで、アームアセンブリが基板をロードロック１２に挿入することができる。ロードロック１２における基板Ｓの解放に続き、可動アームアセンブリ２５は末端作動体４４を上記の通りにカセット２６Ｌ、２６Ｒに戻す。カセット２６Ｌ、２６Ｒが空になるまで、上記の一連のステップは必要に応じて繰り返される。加えて、カセット２６Ｌ、 ２６Ｒとロードロック１２との間における基板の転送は、一度に１つのカセットになされる必要はない。それは、既述したように、位置Ｄから可動アームアセン ブリ２５は左上のカセット２６Ｌと右上のカセット２６Ｒのいずれに対する基板の出し入れをすることも可能であるからである。よって、カセットから基板を取り出す間、基板は、位置Ｄから肩部４０を再配置することなく、順番に左右のカセット２６Ｌ、２６Ｒ双方から移動され得る。あるいは、基板はアームアセンブ リ２５の搬送サイクルの前半において１つのカセット２６Ｌ、２６Ｒから移動され得る。そして異なる（すなわち既処理の）基板はアームアセンブリ２５の肩部４０が位置Ｄにとどまっている間、搬送サイクルの戻りまたは後半において隣接しているカセット２６Ｒ、２６Ｌに戻され得る。