【手続補正書】
【提出日】平成15年11月28日(2003.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極に電圧を印加して、インク室を構成する空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲まれて形成されており、
更に前記圧電性材料基板は、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層され、その積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層されてなり、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反するように構成され、
前記圧電性材料基板及び前記非圧電性材料基板のインク室に面する面に電極を設け、
前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記相対する分極性を付与した圧電性材料基板のそれぞれの基板の前記インク室に面する面と、前記相対する非圧電性材料基板のうちのいずれか１つの非圧電性材料基板の前記インク室に面する面に電極を設けたことを特徴とする請求項１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記インク室は、多段に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧電性材料基板は、平面形状または曲面形状であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
電極に電圧を印加して隔壁で区画されたインク室を変形させて、インクをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、
非圧電性材料基板上に、複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、
更に前記圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備え、
前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成し、
前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記圧電性材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１３】
前記請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェットヘッドプリンタ。
【請求項１４】
電極に電圧を印加して、インク室を構成する空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出させるインクインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲んで形成し、前記圧電性材料基板に電極を設け、
更に前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の圧電性材料からなり、その積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層され、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反し、
前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記インク室を、少なくとも２層の圧電性材料基板を非圧電性材料基板に貼り合わせ、この貼り合わせた後圧電性材料基板に溝加工し、もう一枚の非圧電性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記インク室を、溝加工した少なくとも２層の圧電性材料基板を１枚の非圧電性材料基板に貼り合わせ、もう１枚の非圧電性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記非圧電性材料基板に、電極を設けることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記インク室は、多段に形成することを特徴とする請求項１４乃至請求項１７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記圧電性材料基板は、平面形状または曲面形状であることを特徴とする請求項１４乃至請求項１８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２０】
前記圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請求項１４乃至請求項１９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２１】
電極に電圧を印加して隔壁で区画されたインク室を変形させてインクをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
非圧電性材料基板上に複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、
更にその後圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備え、
前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成し、
前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２２】
前記圧電性材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２３】
前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求項１４乃至請求項２１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２４】
前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２５】
前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２６】
前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項１４乃至請求項２５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２７】
前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項１４乃至請求項２５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことが可能で、かつ電極を設ける作業が容易で低コストで高精度なインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドプリンタ並びにインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、『電極に電圧を印加して、インク室を構成する空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出させるインクジェットヘッドであって、
前記インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲まれて形成されており、
更に前記圧電性材料基板は、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層され、その積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層されてなり、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反するように構成され、
前記圧電性材料基板及び前記非圧電性材料基板のインク室に面する面に電極を設け、
前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることを特徴とするインクジェットヘッド。』である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この請求項１に記載の発明によれば、インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲まれて形成されており、さらに圧電性材料基板は、すくなくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなり、その積層面が非圧電性材料基板と略平行に積層されてなり、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反するように構成され、圧電性材料基板及び非圧電性材料基板のインク室に面する面に電極を設けるから、非圧電性材料基板には電極を設けないようにして圧電性材料基板のみに電極を設ける場合に比べて電極を設ける作業が容易で低コストであり、圧電性材料基板を低電圧で駆動可能で、しかも圧電性材料基板の変形量が大きく、高効率駆動であり、さらに多ノイズに対応可能であるとともに、高周波駆動可能で小液滴多階調吐出可能であることで、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことができる。
また、圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることで、インク室を構成する空間形状をノズル孔の位置に応じて変形させることができ、より効率的にノズル孔からインクを吐出させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項５に記載の発明は、『前記圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
この請求項５に記載の発明によれば、圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することで、インク室を構成する空間形状を種々に変形させて、インクを効率的にノズル孔から吐出させることができる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項６に記載の発明は、『電極に電圧を印加して隔壁で区画されたインク室を変形させて、インクをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドであって、  非圧電性材料基板上に、複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、
更に前記圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備え、
前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成し、
前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。』である。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
この請求項７に記載の発明によれば、非圧電性材料基板上に、複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、圧電性材料基板に複数の溝を設け、更にこの圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を傭えることで、位置精度が低下することなくインク室を形成することができ、低コストで高精度な長手方向に長い長尺状のラインヘッドを得ることが可能で、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことができる。
また、複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に溝を形成することで、より一層インク室の位置精度を向上することができる。
また、圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなり、低コストで高精度なラインヘッドを得ることが可能である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項７に記載の発明は、『前記圧電性材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
この請求項７に記載の発明によれば、圧電性材料基板が非金属材料であり、インク室の隔壁を確実に変形させることができる。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
請求項８に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
この請求項８に記載の発明によれば、非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることで、インク室の隔壁を変形させても圧電性材料基板を確実に支持することができる。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
請求項９に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
この請求項９に記載の発明によれば、非圧電性材料基板と圧電性材料基板との間の接着面の表面粗さを、１．０μｍ以下とすることで、接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込みを防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがないようにすることができる。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
請求項１０に記載の発明は、『前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項６乃至請求項８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
この請求項１０に記載の発明によれば、少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板間の接着面の表面粗さを、１．０μｍ以下とすることで、接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込みを防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがないようにすることができる。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
請求項１１に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この請求項１１に記載の発明によれば、非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面をプラズマ処理及びＵＶ処理することにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができる。  請求項１２に記載の発明は、『前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項６乃至請求項１０のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』である。


【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
この請求項１２に記載の発明によれば、少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面をプラズマ処理及びＵＶ処理をすることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができる。


【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
請求項１３に記載の発明は、『前記請求項１乃至請求項１２のいずれかに記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェットヘッドプリンタ。』である。


【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
この請求項１３に記載の発明によれば、高速で、しかも高画質の画像記録を行うことが可能である。


【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
請求項１４に記載の発明は、『電極に電圧を印加して、インク室を構成する空間形状を変形させて、インクをノズル孔から吐出させるインクインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲んで形成し、前記圧電性材料基板に電極を設け、
更に前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の圧電性材料からなり、その積層面が前記非圧電性材料基板と略平行に積層され、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反し、
前記圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この請求項１４に記載の発明によれば、インク室が相対する分極性を付与した圧電性材料基板と、別途に相対する非圧電性材料基板とで囲んで形成し、圧電性材料基板に電極を設け、さらに圧電性材料基板は、少なくとも２層の圧電性材料からなり、その積層面が非圧電性材料基板と略平行に積層され、この圧電性材料からなる層の分極方向が相反するから、低コストで、圧電性材料基板を低電圧で駆動可能で、しかも圧電性材料基板の変形量が大きく、高効率駆動であり、さらに多ノイズに対応可能であるとともに、高周波駆動可能で小液滴多諧調吐出可能であることで、高速で、しかも高画質の画像記録を行うインクジェットヘッドを製造することができる。
また、圧電性材料基板は、少なくとも２層の積層方向の長さが異なることで、インク室を構成する空間形状をノズル孔の位置に応じて変形させ、より効率的にノズル孔からインクを吐出させることが可能なインクジェットヘッドを製造することができる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
請求項１５に記載の発明は、『前記インク室を、少なくとも２層の圧電性材料基板を非圧電性材料基板に貼り合わせ、この貼り合わせた後圧電性材料基板に溝加工し、もう一枚の非圧電性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
この請求項１５に記載の発明によれば、インク室を、少なくとも２層の圧電性材料基板を非圧電性材料基板に貼り合わせ、この貼り合わせた後圧電性材料基板に溝加工し、もう一枚の非圧電性材料基板を圧電性材料基板に貼り合わせて成形することで、インク室を低コストで、かつインク室の位置合わせが容易で高精度に形成することができる。


【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
請求項１６に記載の発明は、『前記インク室を、溝加工した少なくとも２層の圧電性材料基板を１枚の非圧電性材料基板に貼り合わせ、もう１枚の非圧電性材料基板を前記圧電性材料基板に貼り合わせて成形することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
この請求項１６に記載の発明によれば、インク室を溝加工した少なくとも２層の圧電性材料基板を１枚の非圧電性材料基板に貼り合わせ、もう１枚の非圧電性材料基板を圧電性材料基板に貼り合わせて成形することで、インク室を低コストで、かつインク室の位置合わせが容易で高精度に形成することができる。


【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
請求項１７に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板に、電極を設けることを特徴とする請求項１４乃至請求項１６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
この請求項１７に記載の発明によれば、非圧電性材料基板に電極を設けることで、圧電性材料基板の電極への電気的接続が非圧電性材料基板の電極を介して行うことができ、外部の電源との電気的接続が容易で、作業性も向上する。


【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
請求項１８に記載の発明は、『前記インク室は、多段に形成することを特徴とする請求項１４乃至請求項１７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
この請求項１８に記載の発明によれば、多段のインク室を形成することで、多ノズル化され、より高速で、高画質の画像記録を行うことができる解像度が向上するインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
請求項１９に記載の発明は、『前記圧電性材料基板は、平面形状または曲面形状であることを特徴とする請求項１４乃至請求項１８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
この請求項１９に記載の発明によれば、圧電性材料基板が平面形状で低コストで、または曲面形状でよりインク室を構成する空間形状の変形量が大きく、高速で、高画質の画像記録を行なうインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
請求項２０に記載の発明は、『前記圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することを特徴とする請求項１４乃至請求項１９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
この請求項２０に記載の発明によれば、圧電性材料基板が、少なくとも１層の非圧電性材料からなる層を有することで、インク室を構成する空間形状を種々に変形させて、インクを効率的にノズル孔から吐出させることが可能なインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
請求項２１に記載の発明は、『電極に電圧を印加して隔壁で区画されたインク室を変形させてインクをノズル孔から吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
非圧電性材料基板上に複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、前記圧電性材料基板に複数の溝を設け、
更にその後圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備え、
前記複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に、溝を形成し、
前記圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなることを特徴とするインクジェットヘッド。』である。


【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
この請求項２１に記載の発明によれば、非圧電性材料基板上に複数枚の分極性を付与した圧電性材料基板を並べて設けた後、圧電性材料基板に複数の溝を設け、更にその後圧電性材料基板上に別途に非圧電性材料基板を設けることにより、隔壁によって区画された複数のインク室を備えることで、位置精度が低下することなくインク室を形成することができ、低コストで高精度な長手方向に長い長尺状のラインヘッドを得ることが可能である。
また、複数枚の圧電性材料基板同士の接続部に溝を形成することで、より一層インク室の位置精度が向上する。
また、圧電性材料基板が、少なくとも圧電性材料からなる２層が積層されてなり、低コストで高精度なラインヘッドを得ることが可能である。
【手続補正４５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
請求項２２に記載の発明は、『前記圧電性材料基板が、非金属材料であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正５０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
この請求項２２に記載の発明によれば、圧電性材料基板が非金属材料であり、インク室の隔壁を確実に変形させることができるインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正５１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
請求項２３に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることを特徴とする請求項１４乃至請求項２１のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正５２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
この請求項２３に記載の発明によれば、非圧電性材料基板が、アルミナ、窒化アルミニウム、ジルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイド、石英の少なくとも１つから選ばれることで、インク室の隔壁を変形させても圧電性材料基板を確実に支持可能なインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正５３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
請求項２４に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正５４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
この請求項２４に記載の発明によれば、非圧電性材料基板と圧電性材料基板との間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であり、接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込みを防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがないようにすることが可能なインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正５５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
請求項２５に記載の発明は、『前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であることを特徴とする請求項１４乃至請求項２３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正５６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
この請求項２５に記載の発明によれば、少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面の表面粗さは、１．０μｍ以下であり、接着面の凹部に柔軟性の高分子接着剤（例えばエポキシ樹脂）の入り込みを防止することにより、実効的に接着面の膜厚を最小にとどめ、圧電性材料基板の駆動力が低下し、感度低下、電圧上昇を引き起こすことがないようにすることが可能なインクジェットヘッドを製造することができる。


【手続補正５７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
請求項２６に記載の発明は、『前記非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項１４乃至請求項２５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正５８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
この請求項２６に記載の発明によれば、非圧電性材料基板と前記圧電性材料基板との間の接着表面をプラズマ処理及びＵＶ処理をすることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができる。


【手続補正５９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
請求項２７に記載の発明は、『前記少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面は、プラズマ処理またはＵＶ処理されていることを特徴とする請求項１４乃至請求項２５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。』である。


【手続補正６０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
この請求項２７に記載の発明によれば、少なくとも２層の圧電性材料を有する圧電性材料基板の圧電性材料間の接着表面をプラズマ処理およびＵＶ処理をすることにより、有機物汚染を洗浄除去でき、表面全体への接着剤のぬれ性を向上させ、微小な泡残り等の接着不良を排除でき、それにより、圧電性材料基板の駆動不良をなくすことができる。


【手続補正６１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
図１乃至図１１はインクジェットヘッドを示し、図１は斜視図、図２は正面図、図３は断面図である。
この実施形態のインクジェットヘッド１０１は、インクジェットヘッドプリンタに備えられ、電極に電圧を印加して、インク室１０２を構成する空間形状を変形させて、インクをノズル孔１０８から吐出させる。このインクジェットヘッド１０１は、インク室１０２が相対する２層の分極性を付与した圧電性材料基板１０３、１０３と、別途に相対する非圧電性材料基板１０４、１０４とで囲まれて形成されている。この圧電性材料基板１０３、１０３は、２層１０３ａ、１０３ｂの圧電性材料からなり、その積層面が非圧電性材料基板１０４、１０４を略平行に積層され、この圧電性材料からなる層１０３ａ、１０３ｂの分極方向が相反するように構成されている。圧電性材料基板とは、実質的に圧電性材料からなる基板を言う。実質的とは、該基板の９０％以上、好ましくは９５％以上が圧電性材料であることを言う。また、非圧電性材料基板とは、実質的に非圧電性材料からなる基板を言う。実質的にとは、該基板の９０％以上、好ましくは９５％が、非圧電性材料であることを言う。分極方向とは、電界をかけた際に分極する方向であり、圧電性材料にあらかじめ分極処理を施すことにより、決まるものである。また、圧電性材料基板１０３、１０３の２層１０３ａ、１０３ｂが貼り合わせて形成され、この層の貼り合わせ方法として、例えば接着（熱硬化、熱可塑、熱ＵＶ硬化）、溶着、膜成長等がある。


【手続補正６２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
圧電性材料基板１０３、１０３には、裏表の両面に電極１０５、１０６が設けられ、一方の非圧電性材料基板１０４の内側面にも電極１０５が設けられている。電極１０５、１０６は、蒸着、スパッタリング、あるいはメッキ等によって圧電性材料基板１０３、１０３に設けられ、蒸着、スパッタリングによれば、高純度、かつ高機能膜に形成でき、メッキでは安価で、細部に形成することができる。電極１０５、１０６となる金属は、金、銀、アルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタンを用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点から、金、アルミニウムが良く、メッキ、蒸着、スパッタリングで形成される。


【手続補正６３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４０】
【発明の効果】
請求項１乃至請求項２７に記載の発明は、課題を解決するための手段の欄でそれぞれ記載した効果を奏する。