【手続補正書】
【提出日】平成24年5月28日(2012.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
前駆体源１８は、プラズマ装置１２に前駆体原料を提供する。前駆体原料は、固体、気体または液体のいずれかの形態でよく、固体、液体（例えば粒子または液滴）、ガス、およびそれらの混合物のような任意の状態のイオン化媒体と混合されてよい。前駆体源１８は、前駆体原料が液体の場合など、イオン化媒体と混合する前に気体の状態に加熱されるヒーターを備えてよい。一実施形態では、前駆体は、電源１４からの電気エネルギーにより点火されるとき、またはイオン化媒体１６から形成される素粒子（限定された選択的化学反応性を持つ電子、光子または他のエネルギーに耐える種）との衝突を受けるとき、イオン、電子、励起状態（例えば準安定原子）の種、分子断片（例えばラジカル）などのような、反応性の種を形成することができる任意の化学種でよい。より具体的には、前駆体は、ハロゲン化アシル、アルコール、アルデヒド、アルカン、アルケン、アミド、アミン、ブチル、カルボン酸、シアン酸塩、イソシアン酸塩、エステル、エーテル、エチル、ハロゲン化物、ハロアルカン、ヒドロキシル、ケトン、メチル、硝酸塩、ニトロ、ニトリル、亜硝酸塩、ニトロソ、過酸化物、ヒドロ過酸化物、酸素、水素、窒素およびそれらの組み合わせのような、さまざまな反応性官能基を含んでよい。実施形態では、化学的前駆体は、水；ジクロロメタン、トリクロロメタン、四塩化炭素、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、四フッ化炭素などのようなハロゲノアルカン；過酸化水素、過酸化アセトン、過酸化ベンゾイルなどのような過酸化物；メタノール、エタノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコールのようなアルコール；ＮａＯＨ、ＫＯＨなどのアルカリ；アミン；アルキル；アルケンなどであってよい。そのような化学的前駆体は、実質的にそれだけか、混合されて適用されてよく、または可溶型で適用されてよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性電極を備えるプラズマ装置と、
前記プラズマ装置にイオン化媒体を供給するように構成されたイオン化媒体源であって、前記イオン化媒体源が、前記活性電極の上流の第１接続部で前記プラズマ装置に連結される、イオン化媒体源と、
前記プラズマ装置に少なくとも１つの前駆体原料を供給するように構成された前駆体源であって、前記前駆体源が、前記活性電極またはその上流で前記プラズマ装置に連結される、前駆体源と、
前記活性電極に連結され、プラズマ体積を形成するために、前記プラズマ装置で前記イオン化媒体および前記前駆体原料を点火させるように構成された電源と、
を具備する、プラズマシステム。
【請求項２】
前記イオン化媒体および前記前駆体原料が、それらの混合物の点火前に混合され、かつ／または、前記前駆体源が、バブラー、マイクロ流体素子、ネブライザー、マイクロポンプ、圧電マイクロポンプ、および超音波噴霧器の少なくとも１つを備える、請求項１に記載のプラズマシステム。
【請求項３】
前記イオン化媒体および前記前駆体原料の流動を制御するためのマイクロコントローラをさらに具備する、請求項１に記載のプラズマシステム。
【請求項４】
前記イオン化媒体源に連結される第１調節弁、および前記前駆体源に連結される第２調節弁をさらに具備し、前記第１調節弁および前記第２調節弁が、前記マイクロコントローラに連結される、請求項３に記載のプラズマシステム。
【請求項５】
前記イオン化媒体が、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、ラドン、窒素、水素、酸素、二酸化炭素、亜酸化窒素、およびそれらの混合物から成る群から選択される、請求項１に記載のプラズマシステム。
【請求項６】
前記前駆体原料が、ハロゲン化アシル、アルコール、アルデヒド、アルカン、アルケン、アミド、アミン、ブチル、カルボン酸、シアン酸塩、イソシアン酸塩、エステル、エーテル、エチル、ハロゲン化物、ハロアルカン、ヒドロキシル、ケトン、メチル、硝酸塩、ニトロ、ニトリル、亜硝酸塩、ニトロソ、過酸化物、ヒドロ過酸化物、酸素、水素、窒素、およびそれらの組み合わせの群から選択される官能基を有する化合物である、請求項１に記載のプラズマシステム。
【請求項７】
前記前駆体原料が、水、ハロゲノアルカン、過酸化物、アルコール、アミン、アルキル、アルケン、アルカリ、およびそれらの組み合わせから成る群から選択される、請求項６に記載のプラズマシステム。
【請求項８】
前記プラズマ装置が、誘電性チューブ、およびその外面に配置されたリターン電極を備える、請求項１に記載のプラズマシステム。
【請求項９】
前記活性電極および前記リターン電極が、前記プラズマ体積に容量的に結合される、請求項８に記載のプラズマシステム。 
【請求項１０】
前記前駆体源が、前記活性電極および前記リターン電極の少なくとも１つの上流、またはその近位方向で前記プラズマ装置に連結される、請求項９に記載のプラズマシステム。
【請求項１１】
活性電極の上流でプラズマ装置にイオン化媒体を供給するステップと、
前記活性電極またはその上流で前記プラズマ装置に少なくとも１つの前駆体原料を供給するステップと、
プラズマ体積を形成するために、前記プラズマ装置で前記イオン化媒体および前記前駆体原料を点火させるステップと、
を含む、プラズマを発生させるための方法。
【請求項１２】
前記混合物の点火前に前記イオン化媒体および前記前駆体原料を混合するステップをさらに含み、かつ／または、アルゴン、ヘリウム、ネオン、クリプトン、キセノン、ラドン、窒素、水素、酸素、二酸化炭素、亜酸化窒素、およびそれらの混合物から成る群から前記イオン化媒体を選択するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記前駆体原料が少なくとも１つの官能基を有する化合物であり、前記方法が、前記少なくとも１つの官能基を用いて被処理対象の少なくとも１つの置換基を反応させるために、前記被処理対象に前記プラズマ体積を送達するステップをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記方法が、前記被処理対象に前記プラズマ体積を送達する前に、前記プラズマ体積の中で前記少なくとも１つの官能基を反応させるステップをさらに含み、かつ／または、前記官能基が、前記被処理対象の表面種を変更させるかまたは置換するように、ハロゲン化アシル、アルコール、アルデヒド、アルカン、アルケン、アミド、アミン、ブチル、カルボン酸、シアン酸塩、イソシアン酸塩、エステル、エーテル、エチル、ハロゲン化物、ハロアルカン、ヒドロキシル、ケトン、メチル、硝酸塩、ニトロ、ニトリル、亜硝酸塩、ニトロソ、過酸化物、ヒドロ過酸化物、酸素、水素、窒素、およびそれらの組み合わせの群から選択され、かつ／または、前記方法が、水、ハロゲノアルカン、過酸化物、アルコール、アミン、アルキル、アルケン、アルカリ、およびそれらの組み合わせから成る群から前記前駆体原料を選択するステップをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
活性電極を備えるプラズマ装置と、
前記プラズマ装置にイオン化媒体を供給するように構成されたイオン化媒体源であって、前記イオン化媒体源が、前記活性電極の上流の第１接続部で前記プラズマ装置に連結される、イオン化媒体源と、
複数の前駆体源であって、前記前駆体源のそれぞれが前記プラズマ装置に少なくとも１つの前駆体原料を供給するように構成され、前記前駆体源のそれぞれが前記活性電極またはその近位方向で前記プラズマ装置に連結される、前駆体源と、
前記活性電極に連結され、プラズマ体積を形成するために、前記プラズマ装置で前記イオン化媒体および前記前駆体原料を点火させるように構成された電源と、
を具備する、プラズマシステム。
【請求項１６】
前記プラズマ装置が、前記複数の前駆体源のそれぞれを個別に駆動させる入力制御部を備え、かつ／または、前記イオン化媒体および前記前駆体原料の少なくとも１つが、それらの混合物の点火前に混合され、かつ／または、前記プラズマシステムが、前記イオン化媒体および前記前駆体原料の少なくとも１つの流動を制御するためのマイクロコントローラをさらに具備する、請求項１５に記載のプラズマシステム。