【事件の表示】
　平成７年特許願第　７０９０３号「洗浄方法及び洗浄装置」拒絶査定不服審判事件〔平成８年９月１７日出願公開、特開平８−２３８４６３号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成７年３月３日の出願であって、平成１３年９月２６日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年１０月３１日に拒絶査定に対する審判請求がなされ、同年１１月３０日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１３年１１月３０日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１３年１１月３０日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項２は、
　「薄板状の被洗浄物を複数の洗浄工程を経て超清浄にする洗浄方法であって、
　前記洗浄工程の少なくとも最初の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程とし、前記複数の洗浄工程の少なくとも最後の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとすることを特徴とする洗浄方法。」
　と補正された。
　上記補正は、補正前の請求項１を引用する形式で補正前の請求項２に記載された発明であって、
　「薄板状の被洗浄物を複数の洗浄工程を経て超清浄にする洗浄方法であって、
　前記洗浄工程の少なくとも最初の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとし、前記複数の洗浄工程の少なくとも最後の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとすることを特徴とする洗浄方法。」と書き改めることができる発明のうち、最初の洗浄工程を「ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程」に限定するものであるから、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項２に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物である、特開平１−１４０７２７号公報（以下、「引用例１」という。）には、第１図とともに、
　「第１処理ユニットＰ１には、・・・（中略）・・・回転部材３の上下それぞれには、洗浄液噴射用のノズル５，５が設けられ、ウエハＷを駆動回転しながら、その表裏両面それぞれに前述したアンモニア過酸化水素溶液などの洗浄液を噴射供給するように構成されている。第２処理ユニットＰ２には、ウエハＷの搬送経路の上下それぞれに、電動モータなどによって鉛直軸芯周りで互いに逆方向に駆動回転自在に台盤６，６が設けられるとともに、その台盤６，６それぞれにスポンジ状の払拭部材１，２が設けられている。・・・（中略）・・・第３処理ユニットＰ３には、第１処理ユニットＰ１と同一構成の回転部材７および挟持爪８…が設けられ、その回転部材７の上下それぞれに洗浄液噴射用ノズル９，９が設けられるとともに、その洗浄液噴射用ノズル９，９それぞれに超音波振動子１０が付設されており、ウエハＷを駆動回転しながら、その表裏両面それぞれに、超音波振動を付与した洗浄液を噴射供給して洗浄するように構成されている。」（第３頁左下欄第１９行〜第４頁左上欄第１６行）と記載されている。
  ウエハは、薄板状の被洗浄物であるから、引用例には、
　「薄板状の被洗浄物を複数の洗浄工程を経て洗浄する方法であって、その最初の工程をノズルから洗浄液を噴射して洗浄する洗浄工程とし、最後の工程を超音波振動を付与した洗浄液を噴射供給して洗浄する超音波洗浄工程とする洗浄方法。」の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
（３）対比
　本願補正発明と引用発明とを対比すると、超音波振動を付与することは超音波振動エネルギーを与えることになるから、両者は、
　「薄板状の被洗浄物を複数の洗浄工程を経て清浄にする洗浄方法であって、
　前記洗浄工程の最初の洗浄工程を、液体を噴射して洗浄する洗浄工程とし、前記複数の洗浄工程の最後の洗浄工程を、ノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程とすることを特徴とする洗浄方法。」である点で一致し、次の点で相違する。
　相違点（イ）：「最初の洗浄工程」に関し、前者では、「ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程」としているのに対し、後者では、単に「液体を噴射して洗浄する洗浄工程」としている点。
　相違点（ロ）：前者が、「超清浄」に洗浄するとしているのに対し、後者は、「超清浄」にするのか否か不明である点。
（４）判断
　相違点（イ）について検討すると、洗浄工程として「ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程」は従来より周知の技術手段（実公平３−４１８１０号公報、特開平３−１４８８２５号公報等参照）であり、該周知の技術手段を引用発明に適用することを妨げる要因もないから、該技術手段を引用発明に適用して相違点（イ）に係る本願補正発明の構成とすることは当業者が容易に想到し得るものである。
　相違点（ロ）について検討すると、本願補正発明において、「超清浄」にするための特段の構成を備えているわけではないから、この点は単なる表現上の相違にすぎず、相違点（ロ）は実質的な相違点とはいえない。
　したがって、本願補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項で準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１３年１１月３０日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項２に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１２年１２月２８日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項２に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
　「【請求項１】　薄板状の被洗浄物を複数の洗浄工程を経て超清浄にする洗浄方法であって、
　前記洗浄工程の少なくとも最初の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとすることを特徴とする洗浄方法。
　【請求項２】　前記複数の洗浄工程の少なくとも最後の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとすることを特徴とする請求項１に記載の洗浄方法。」
（１）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用した引用例及びその記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
（２）対比・判断
　本願発明は、本願補正発明の、「少なくとも最初の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程」とするのを「少なくとも最初の洗浄工程を、ノズルからキャビテーションを有する高圧液体を噴射して洗浄するキャビテーション洗浄工程、又はノズルから超音波の振動エネルギーを与えた液体を噴射して洗浄する超音波洗浄工程のいずれかとする」もので選択肢を拡げたものである。
　そして、本願補正発明が上記したとおり引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も同様の理由により当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
４．むすび
　したがって、本願発明は引用発明及び周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。