Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月16日(2003.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
注入すべき不純物元素のイオンを含むイオンビームを出射するイオンビーム発生手段と、
前記イオンビーム発生手段から出射したイオンビームが入射し、入射したイオンビームから所望のイオンを抽出し、該所望のイオンからなるイオンビームを出射する質量分析器と、
前記質量分析器から出射したイオンビームが入射する内部空洞を画定し、該内部空洞内を進行したイオンビームを出射するビームラインと、
前記ビームラインの内部空洞内に配置され、該内部空洞内に入射したイオンビームを収束させる静電レンズと、
前記ビームラインから出射したイオンビームに照射されるように、不純物を注入すべき基板を保持する基板保持手段と、
前記ビームラインに取り付けられ、該ビームラインの内部空洞を真空排気する真空排気手段と
前記静電レンズが配置された位置及び前記真空排気手段が取り付けられた位置よりも下流側に、イオンビームの近傍の空間を電気的に中和するためのプラズマを発生するプラズマ発生手段と
を有するイオン注入装置。
【請求項２】
注入すべき不純物のイオンを含み、５ｋｅＶ以下のエネルギを有するイオンビームを得る工程と、
前記イオンビームを、ビームラインの内部空洞に入射し、入射したイオンビームを、該内部空洞内に配置された静電レンズで収束させる工程であって、該ビームラインに取り付けられた真空排気手段で該内部空洞内を真空排気しつつイオンビームを収束させる工程と、
収束された前記イオンビームを基板に照射し、該基板にイオンを注入する工程と
を有するイオン注入方法。
【請求項３】
さらに、前記イオンビームを収束させる工程の後、収束されたイオンビームの近傍の空間を電気的に中和する工程を有する請求項２に記載のイオン注入方法。
【請求項４】
注入すべき不純物元素のイオンを含むイオンビームを出射するイオンビーム発生手段と、
前記イオンビーム発生手段から出射したイオンビームが入射し、入射したイオンビームから所望のイオンを抽出し、該所望のイオンからなるイオンビームを出射する質量分析器と、
前記質量分析器から出射したイオンビームが入射する内部空洞を画定し、該内部空洞内を進行したイオンビームを出射するビームラインと、
前記ビームラインの内部空洞内に配置され、該内部空洞内に入射したイオンビームを一旦加速するとともに収束させ、その後減速させる静電レンズであって、加速後のイオンビームのエネルギが、加速前のイオンビームのエネルギの３倍以下となるように制御された前記静電レンズと、
前記ビームラインから出射したイオンビームが入射する位置に、不純物を注入すべき基板を保持する基板保持手段と
を有するイオン注入装置。
【請求項５】
さらに、前記ビームラインに取り付けられ、該ビームラインの内部空洞を真空排気する真空排気手段を有する請求項４に記載のイオン注入装置。
【請求項６】
注入すべき不純物のイオンを含むイオンビームを得る工程と、
前記イオンビームを、ビームラインの内部空洞に入射し、該内部空洞内に配置された静電レンズでイオンビームを収束させる工程であって、該静電レンズが、該静電レンズに入射前のイオンビームの３倍以下のエネルギまで加速するとともに該イオンビームを収束させ、その後減速させる工程と、
減速された前記イオンビームを基板に照射し、該基板にイオンを注入する工程と
を有するイオン注入方法。
【請求項７】
さらに、前記イオンビームを減速させる工程の後、減速されたイオンビームの近傍の空間を電気的に中和する工程を有する請求項６に記載のイオン注入方法。
【請求項８】
注入すべき不純物のイオンを含み、５ｋｅＶ以下のエネルギを有するイオンビームを得る工程と、
前記イオンビームをビームラインの内部空洞に入射し、入射したイオンビームを該内部空洞内に配置された静電レンズで収束させる工程と、
収束された前記イオンビームを、単結晶の半導体基板に、該半導体基板を構成する元素からなるアモルファス層を介すことなく照射し、該半導体基板にイオンを注入する工程と
を有するイオン注入方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の一観点によると、注入すべき不純物元素のイオンを含むイオンビームを出射するイオンビーム発生手段と、前記イオンビーム発生手段から出射したイオンビームが入射し、入射したイオンビームから所望のイオンを抽出し、該所望のイオンからなるイオンビームを出射する質量分析器と、前記質量分析器から出射したイオンビームが入射する内部空洞を画定し、該内部空洞内を進行したイオンビームを出射するビームラインと、前記ビームラインの内部空洞内に配置され、該内部空洞内に入射したイオンビームを収束させる静電レンズと、前記ビームラインから出射したイオンビームに照射されるように、不純物を注入すべき基板を保持する基板保持手段と、前記ビームラインに取り付けられ、該ビームラインの内部空洞を真空排気する真空排気手段と前記静電レンズが配置された位置及び前記真空排気手段が取り付けられた位置よりも下流側に、イオンビームの近傍の空間を電気的に中和するためのプラズマを発生するプラズマ発生手段とを有するイオン注入装置が提供される。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の観点によると、注入すべき不純物のイオンを含み、５ｋｅＶ以下のエネルギを有するイオンビームを得る工程と、前記イオンビームを、ビームラインの内部空洞に入射し、入射したイオンビームを、該内部空洞内に配置された静電レンズで収束させる工程であって、該ビームラインに取り付けられた真空排気手段で該内部空洞内を真空排気しつつイオンビームを収束させる工程と、収束された前記イオンビームを基板に照射し、該基板にイオンを注入する工程とを有するイオン注入方法が提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月7日(2003.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部にクランプエリアが形成された支持基盤上に、少なくとも、情報記録層、透明な読出し層が順次形成された光ディスクにおいて、
前記情報記録層は、前記クランプエリアの外周側に形成され、かつ前記クランプエリアは、前記透明な読出し層に覆われていないことを特徴とする光ディスク。
【請求項２】
前記クランプエリアは、前記支持基盤の両面に形成されていることを特徴とする請求項１記載の光ディスク。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【課題を解決するための手段】
請求項１に規定する発明は、中央部にクランプエリアが形成された支持基盤上に、少なくとも、情報記録層、透明な読出し層が順次形成された光ディスクにおいて、前記情報記録層は、前記クランプエリアの外周側に形成され、かつ前記クランプエリアは、前記透明な読出し層に覆われていないことを特徴とする光ディスクである。
この場合、例えば請求項２に規定するように、前記クランプエリアは、前記支持基盤の両面に形成されている。
これによれば、ディスク構造が異なってもクランプエリアの厚さ変化をなくして、しかも平坦度を向上でき、従って、位置精度良く保持することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月11日(2003.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
暗電流測定時において、複数の画素から成る光電変換器の特定の画素の暗電流と前記特定の画素以外の画素の平均暗電流との差分を遮光画素の出力で除した値を暗電流測定時の暗電流補正値として予め記憶する記憶手段と、
使用時において、前記遮光画素の出力と前記暗電流測定時の暗電流補正値とに基づいて使用時の暗電流補正値を求め、前記光電変換器の前記特定の画素の出力電流から前記使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正する補正手段とを備えることを特徴とする光電変換器の暗電流補正装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光電変換器の暗電流補正装置において、
前記記憶手段は暗電流測定時の温度情報を記憶し、
前記補正手段は、前記記憶手段に記憶されている暗電流測定時の温度情報と、使用時の温度情報とに基づいて前記使用時の暗電流補正値の温度補正を行ない、前記光電変換器の前記特定の画素の出力電流から前記温度補正後の使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正することを特徴とする光電変換器の暗電流補正装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光電変換器の暗電流補正装置において、
前記補正手段は、前記光電変換器の使用頻度の高い領域に含まれる画素に対して優先的に暗電流の補正を行なうことを特徴とする光電変換器の暗電流補正装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの項に記載の光電変換器の暗電流補正装置において、
前記特定の画素は、前記光電変換器の複数の画素の内の暗電流が大きいものから順に所定個数だけ抽出した画素であることを特徴とする光電変換器の暗電流補正装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
（１）  請求項１の発明は、暗電流測定時において、複数の画素から成る光電変換器の特定の画素の暗電流とそれら特定の画素以外の画素の平均暗電流との差分を遮光画素の出力で除した値を暗電流測定時の暗電流補正値として予め記憶しておき、使用時において、遮光画素の出力と暗電流測定時の暗電流補正値とに基づいて使用時の暗電流補正値を求め、光電変換器の特定の画素の出力電流から上記使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正するものである。
（２）  請求項２の光電変換器の暗電流補正装置は、暗電流測定時の温度情報を記憶しておき、暗電流測定時の温度情報と使用時の温度情報とに基づいて上記使用時の暗電流補正値の温度補正を行ない、光電変換器の上記特定の画素の出力電流から温度補正後の使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正するようにしたものである。
（３）  請求項３の光電変換器の暗電流補正装置は、光電変換器の使用頻度の高い領域に含まれる画素に対して優先的に暗電流の補正を行なうようにしたものである。
（４）  請求項４の光電変換器の暗電流補正装置は、光電変換器の複数の画素の内の暗電流が大きいものから順に所定個数だけ抽出し、暗電流補正を行う特定の画素としたものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【発明の効果】
（１）  請求項１の発明によれば、暗電流測定時において、複数の画素から成る光電変換器の特定の画素の暗電流とそれら特定の画素以外の画素の平均暗電流との差分を遮光画素の出力で除した値を暗電流測定時の暗電流補正値として予め記憶しておき、使用時において、遮光画素の出力と暗電流測定時の暗電流補正値とに基づいて使用時の暗電流補正値を求め、光電変換器の特定の画素の出力電流から上記使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正するようにしたので、暗電流補正データを記憶するためのメモリの記憶容量を低減でき、補正処理時間を短縮できる。また、暗電流が大きな特定の画素の暗電流を周辺画素の平均的な暗電流レベルまで低減するので、暗電流補正後の全画素の暗電流レベルが平均化され、この暗電流補正装置を焦点検出装置の光電変換器に用いれば焦点検出における精度と信頼性を向上させることができる。さらに、従来のように暗電流モニター用の遮光画素出力により暗電流補正を行なわないので、いかなる温度でも最適な補正を行なうことができる。
（２）  請求項２の発明によれば、暗電流測定時の温度情報を記憶しておき、暗電流測定時の温度情報と使用時の温度情報とに基づいて上記使用時の暗電流補正値の温度補正を行ない、光電変換器の上記特定の画素の出力電流から温度補正後の使用時の暗電流補正値を減算して暗電流を補正するようにしたので、請求項１の効果に加え、温度変化による暗電流の変動を除去することができる。
（３）  請求項３の発明によれば、光電変換器の使用頻度の高い領域に含まれる画素に対して優先的に暗電流の補正を行なうようにしたので、光電変換器の端にある光束が届かない画素に対する不要な暗電流補正が避けられ、適切な補正処理がなされる。
（４）  請求項４の発明によれば、光電変換器の複数の画素の内の暗電流が大きいものから順に所定個数だけ抽出し、暗電流補正を行なう特定の画素としたので、暗電流の補正精度を向上させることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月16日(2003.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビデオフレームと、該ビデオフレームと関連したテキストとを表示する表示手段と、
前記ビデオフレームと、前記ビデオフレームに関連したタイムコードとを蓄積するビデオ蓄積器と、
前記テキストと、前記テキストに関連したタイムコードとを蓄積するテキスト蓄積器と、
前記表示手段に現在のテキスト位置を示す手段と、
現在のテキスト位置のタイムコードに依存するビデオフレームを表示するように制御するか、現在表示されているビデオフレームのタイムコードに依存する現在のテキスト位置を制御するかを選択する選択手段とを備えた台本編集装置。
【請求項２】
請求項１に記載の台本編集装置において、前記表示手段が前記ビデオフレームと前記テキストとを並べて表示する台本編集装置。
【請求項３】
請求項２に記載の台本編集装置において、前記表示手段は単一の表示スクリーンを備え、そのスクリーン上の隣接するウィンドウにビデオシーケンスとテキストシーケンスが表示されるようになした台本編集装置。
【請求項４】
請求項１，２又は３の何れか１つに記載された台本編集装置において、現在のテキスト位置と関連したタイムコードがテキストの１セクションのスタートを表す第１のタイムコード成分ＴＣｘ及び第２タイムコード成分Ｗ／ｎ（但し、ｎは現在のワード読み取り速度であり、Ｗはそのセクションの最初から現在位置までのテキストのワードの数である）から計算されるようになった台本編集装置。
【請求項５】
請求項４に記載の台本編集装置において、前記タイムコード成分ＴＣｘは、テキストの或セクションのスタートを示しており、該テキストのセクション開始に対応するビデオフレームのタイムコードと同じである台本編集装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の台本編集装置において、ビデオフレームの表示が現在のテキスト位置に依存して制御される場合には、その制御手段はそのビデオ蓄積器から現在のテキスト位置と関連するタイムコードと等しいか最も近いタイムコードを持つフレームを選ぶようになった台本編集装置。
【請求項７】
請求項４又は５に記載の台本編集装置において、現在のテキスト位置の表示が現に表示されているビデオフレームに依存して制御され、その制御された手段が、テキスト蓄積器から、現在のフレームのタイムコードＶＣよりも少ないスタートタイムコードＴＣｘを持つテキストのセクションを選択し、式
ＶＣ＝ＴＣｘ＋Ｗ／ｎ
に従って現在のテキスト位置を計算するようになった台本編集装置。
【請求項８】
請求項４〜７の何れか１つに記載の台本編集装置において、前記ビデオシーケンスの対応セクションと関連するテキストのセクションが次のように分割でき、即ち、多数のワードＷｘ（但し、Ｗｘ＝（ＴＣｘ＋１−ＴＣｘ）ｎ，ｎは現在のワード読み取り速度、ＴＣｘはそのセクションの開始を示すタイムコード、ＴＣｘ＋１は次のセクションの開始を示すタイムコード）を含む初期アクティブ・サブセクション、それに続くインアクティブ・サブセクションに分割でき、前記制御手段がインアクティブ・サブセクションのテキストを無視するようになった台本編集装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、それに関連したタイムコードを有するフレームを持つビデオシーケンスとテキストを関連付けるための台本編集装置（編集システム）が提供される。
この台本編集装置は、以下の手段を備える。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
ビデオフレームと、該ビデオフレームと関連したテキストとを表示する表示手段と、
前記ビデオフレームと、前記ビデオフレームに関連したタイムコードとを蓄積するビデオ蓄積器と、
前記テキストと、前記テキストに関連したタイムコードとを蓄積するテキスト蓄積器と、
前記表示手段に現在のテキスト位置を示す手段と、
（ａ）現在のテキスト位置のタイムコードに依存するビデオフレームを表示するように制御するか、
（ｂ）現在表示されているビデオフレームのタイムコードに依存する現在のテキスト位置を制御するかを選択する選択手段と、
を備えている。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月6日(2003.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形金型内にセットされた転がり軸受の内部に、溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することにより、軸受内部に固形潤滑剤を組み込む固形潤滑剤充填転がり軸受において、前記成形金型の本体が、前記転がり軸受の内外輪と共に軸受内部に充填空間を画成する複数のスライドコアを備えると共に、これらスライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に向かって付勢されながら進退自在に各々独立して配設されており、前記各スライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に圧接された状態で、前記充填空間に溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填したことを特徴とする固形潤滑剤充填転がり軸受。
【請求項２】
成形金型内にセットされた転がり軸受の内部に、溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することにより、軸受内部に固形潤滑剤を組み込む固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法において、前記成形金型の本体が、前記転がり軸受の内外輪と共に軸受内部に充填空間を画成する複数のスライドコアを備えると共に、これらスライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に向かって付勢されながら進退自在に各々独立して配設されており、前記各スライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に圧接された状態で、前記充填空間に溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することを特徴とする固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軸受に直接水がかかる洗浄機等、グリース潤滑方式を採用することができない厳しい環境下で使用される固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
従って、本発明の目的は上記課題を解消することに係り、高い生産性及び量産性を得ることができ、製造コストの上昇を抑えることができる良好な固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を提供することである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の上記目的は、成形金型内にセットされた転がり軸受の内部に、溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することにより、軸受内部に固形潤滑剤を組み込む固形潤滑剤充填転がり軸受において、前記成形金型の本体が、前記転がり軸受の内外輪と共に軸受内部に充填空間を画成する複数のスライドコアを備えると共に、これらスライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に向かって付勢されながら進退自在に各々独立して配設されており、前記各スライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に圧接された状態で、前記充填空間に溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填したことを特徴とする固形潤滑剤充填転がり軸受により達成される。
また、本発明の上記目的は、成形金型内にセットされた転がり軸受の内部に、溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することにより、軸受内部に固形潤滑剤を組み込む固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法において、前記成形金型の本体が、前記転がり軸受の内外輪と共に軸受内部に充填空間を画成する複数のスライドコアを備えると共に、これらスライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に向かって付勢されながら進退自在に各々独立して配設されており、前記各スライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に圧接された状態で、前記充填空間に溶融状態の固形潤滑剤を圧力をかけて充填することを特徴とする固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法により達成される。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明の一実施形態に係る固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態に係る固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を実施するために用いられる成形金型の一例を示す断面図であり、図２は図１に示した成形金型の要部拡大断面図であり、図３は図２のＡ部拡大断面図である。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
【発明の効果】上述した如き本発明の固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法によれば、成形金型内にセットされた転がり軸受の内外輪と共に軸受内部に充填空間を画成する複数のスライドコアが、充填境界となる内外輪との各当接部に圧接される。そこで、充填境界となる開放型転がり軸受における内外輪の両側端面や、密封型転がり軸受におけるシール溝に寸法精度のばらつき等がある場合にも、前記成形金型の各スライドコアとの間には、溶融状態の固形潤滑剤がはみ出す隙間が生じるのを防止できる。従って、充填空間からはみ出した溶融状態の固形潤滑剤が非充填空間で固形化する虞がなく、はみ出した固形潤滑剤を除去する後処理が不要である。従って、高い生産性及び量産性を得ることができ、製造コストの上昇を抑えることができる良好な固形潤滑剤充填転がり軸受および固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を提供できる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を実施するために用いられる成形金型の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示した成形金型の要部拡大断面図である。
【図３】図２のＡ部拡大断面図である。
【図４】比較例としての固形潤滑剤充填転がり軸受の製造方法を実施するために用いられる成形金型を示す断面図である。
【図５】図４のＢ部拡大断面図である。
【符号の説明】
１０  成形金型
１１  固定金型
１２  可動金型
１３ａ，１３ｂ  スリーブ（スライドコア）
１４ａ，１４ｂ  スリーブ（スライドコア）
１５  皿バネ
２０  転がり軸受（固形潤滑剤充填転がり軸受）
２１  内輪
２１ａ  シール溝
２２  外輪
２２ａ  シール溝
Ｅ  当接部
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月20日(2003.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記構成により得られた比較例１、比較例２及び実施例１のポリウレタンエラストマーについて、各種の比較試験を行った。試験の結果は表１に示すとおりであるが、硬さ（ＪＩＳ  Ａ）、引張強さ（ｋｇ／ｃｍ２）、伸び（％）、引き裂き強さ（ｋｇ／ｃｍ）、反発弾性率（％）、圧縮永久歪み（％）、ＮＢＳ摩耗抵抗率（％）の試験については、ＪＩＳ  Ｋ６３０１に基づいて行った。摩擦係数は表面性試験機を用いて行った。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
摩擦係数の試験は、静摩擦係数と動摩擦係数について行った。試験方法は、図１に示す表面性試験機を用いた。移動テーブル１の上に接触物としてコピー紙２を固定し、前記コピー紙２上に試験用ロール３を載置する。試験用ロール３は、外径寸法３０ｍｍ、長さ寸法１２ｍｍのものを用いた。試験用ロール３には、垂直方向に加重（Ｗ）４として１０００ｇをかけるとともに、支点５を有するアーム６を取り付ける。アーム６の支点５の反対側には試験用ロール３のコピー紙２上への自重を除くためのバランサー７を取り付けるとともに、アーム６の先端は測定器８を備えたロードセル９に取り付けてなる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
【表１】
2001348793.tif 000001
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【表２】
2001348793.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月11日(2003.9.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の光ファイバーからなり、前記光ファイバーが互いに実質的平行に結合されているか又は埋め込まれており、前記複数の光ファイバーを通過して転送される信号に対する光伝播時間のスキューが1.0ピコ秒/mよりも小さいように前記ファイバーが選択され且つ結合されているか又は埋め込まれていることを特徴とする光ファイバーリボン。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月27日(2004.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排出部材を動作させ遊技球を賞球または貸球として排出する球排出装置と、
排出目標数の排出を行うべく前記球排出装置を制御する排出制御装置と、
を備えた遊技機において、
前記排出制御装置は、
計数された実際の排出数と前記排出目標数とに不一致が生じた場合に、次回の排出における排出目標数をこの不一致分に基づいて増減補正する排出目標数補正手段を備え、
前記排出目標数補正手段は、
賞球排出または貸球排出の一方で排出目標数に対する不一致が生じた場合、次回の排出が賞球排出であるか貸球排出であるかにかかわらず排出目標数を補正することを特徴とする遊技機。
【請求項２】
前記球排出装置から排出された遊技球を流下させる遊技球流路を有し、
前記遊技球流路は、前記球排出装置から賞球として排出された遊技球を導入する賞球流路と貸球として排出された遊技球を導入する貸球流路とが分岐するように形成され、
前記賞球流路と貸球流路の分岐の始点に、賞球排出であるか貸球排出であるかにしたがって賞球流路または貸球流路の入口を選択的に閉止する流路切換部材を設けると共に、前記賞球流路と貸球流路にそれぞれ賞球検出センサと貸球検出センサを設けるものとし、
前記排出制御装置は、
前記排出目標数を設定するための払出カウンタを有し、該払出カウンタを前記賞球排出と前記貸球排出とで共通に用いるものとし、
前記賞球排出あるいは貸球排出をする場合に前記払出カウンタに前記排出目標数の設定を行い、前記賞球検出センサで賞球検出がなされた際あるいは前記貸球検出センサで貸球検出がなされた際、前記払出カウンタの値を減算し、
前記排出目標数補正手段は、
前記賞球排出あるいは貸球排出を行う場合に、前回の排出における不足数あるいは過剰数を加算した値を前記払出カウンタに設定することを特徴とする請求項１に記載の遊技機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
第１の発明では、排出部材を動作させ遊技球を賞球または貸球として排出する球排出装置と、排出目標数の排出を行うべく前記球排出装置を制御する排出制御装置と、を備えた遊技機において、前記排出制御装置は、計数された実際の排出数と前記排出目標数とに不一致が生じた場合に、次回の排出における排出目標数をこの不一致分に基づいて増減補正する排出目標数補正手段を備え、前記排出目標数補正手段は、賞球排出または貸球排出の一方で排出目標数に対する不一致が生じた場合、次回の排出が賞球排出であるか貸球排出であるかにかかわらず排出目標数を補正する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第２の発明では、前記球排出装置から排出された遊技球を流下させる遊技球流路を有し、前記遊技球流路は、前記球排出装置から賞球として排出された遊技球を導入する賞球流路と貸球として排出された遊技球を導入する貸球流路とが分岐するように形成され、前記賞球流路と貸球流路の分岐の始点に、賞球排出であるか貸球排出であるかにしたがって賞球流路または貸球流路の入口を選択的に閉止する流路切換部材を設けると共に、前記賞球流路と貸球流路にそれぞれ賞球検出センサと貸球検出センサを設けるものとし、前記排出制御装置は、前記排出目標数を設定するための払出カウンタを有し、該払出カウンタを前記賞球排出と前記貸球排出とで共通に用いるものとし、前記賞球排出あるいは貸球排出をする場合に前記払出カウンタに前記排出目標数の設定を行い、前記賞球検出センサで賞球検出がなされた際あるいは前記貸球検出センサで貸球検出がなされた際、前記払出カウンタの値を減算し、前記排出目標数補正手段は、前記賞球排出あるいは貸球排出を行う場合に、前回の排出における不足数あるいは過剰数を加算した値を前記払出カウンタに設定する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
【発明の作用および効果】
第１、第２の発明では、賞球排出、貸球排出は排出目標数に基づいてなされるが、排出数と排出目標数との不一致は、次回の排出における排出目標数を増減する補正により調整される。具体的に、今回の排出において検出された排出数が排出目標数よりも少なかった場合には、次回の排出における補正前の排出目標数にこの不足数を加えて、補正後の排出目標数とする。また、今回の排出において検出された排出数が排出目標数よりも多かった場合には、次回の排出における補正前の排出目標数からこの余剰数を差し引いて、補正後の排出目標数とする。そして、この排出数の調整は、通常の排出とは別の補正排出がなされることはないので、排出の時間および回数が増大してしまうことはなく、また排出は自然な形で行われ、遊技者にいたずらに不信感を抱かせてしまうこともない。また、排出目標数の補正は、賞球排出であるか貸球排出であるかにかかわらず、次回の排出においてなされるので、排出目標数に対する不足や余剰が生じてから最短のタイミングで排出数の調整を行い得る。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月30日(2003.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技者の操作に応じて変化する遊技状況を検出する遊技状況検出手段と、
前記遊技状況検出手段による検出結果に基づく所定の契機の発生によって、複数の識別情報を変動表示可能な可変表示装置と、
前記遊技状況検出手段による検出結果に応じて、確定表示されるべき候補識別情報をランダムに選定する選定手段と、
その選定された候補識別情報を記憶する候補識別情報記憶手段と、
前記変動表示された前記識別情報が特別識別情報となって最終的に確定表示されることを必要条件に、遊技者に有利な特別遊技状態を発生させる特別遊技状態発生手段と
を備えた遊技機であって、
所定の条件が成立することに基づき、最終的に確定表示されるべき識別情報を決定する最終決定手段によって所定の識別情報を確定表示するようにし、
前記最終決定手段は、少なくとも複数の演出表示態様情報を記憶する演出表示態様情報記憶手段を備えるとともに、
前記演出表示態様情報記憶手段は、各演出表示態様情報が選択決定される割合情報を記憶する割合情報記憶手段を備えていることを特徴とする遊技機。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月29日(2003.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式〔Ｉ〕で表される単量体を繰り返し構造単位として含有し、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び塩基性低分子化合物を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【化１】
1998326014.tif 000001
（式中、Ｒ1 は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ2 はアルキル基、環状アルキル基、又は置換アルキル基を表す。Ｒ3 、Ｒ4 は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又はアルキル基を表す。Ａは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、ウレア基の中から選ばれる１つの基もしくはそれら２つ以上を組み合わせた基を表す。）
【請求項２】
前記塩基性低分子化合物の含有量が、全固形分に対して０．００１重量％〜１０重量％であることを特徴とする請求項１に記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項３】
前記樹脂が、更に脂肪族環状炭化水素部位を分子内に有する繰り返し構造単位を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項４】
前記塩基性低分子化合物が、トリフェニルイミダゾール、４−ジメチルアミノピリジン又は２−ジメチルアミノピリジンのうち少なくとも１つであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物によりポジ型フォトレジスト膜を形成し、遠紫外線を用いて該ポジ型フォトレジスト膜を露光、現像することを特徴とするポジ型パターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月29日(2003.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式〔Ｉ〕で表される単量体と分子内にアミン構造を有する単量体を繰り返し構造単位として含有し、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂と、活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【化１】
1998326013.tif 000001
（式中、Ｒ1 は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ2 はアルキル基、環状アルキル基、又は置換アルキル基を表す。Ｒ3 、Ｒ4 は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又はアルキル基を表すが、Ｒ3 とＲ4 のうち少なくとも１つは水素原子である。Ｒ2 とＲ3 あるいはＲ4 とが結合して環を形成してもよい。Ａは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、ウレア基の中から選ばれる１つの基もしくはそれら２つ以上を組み合わせた基を表す。）
【請求項２】
前記分子内にアミン構造を有する単量体に相当する繰り返し構造単位の樹脂中の含有量が、全繰り返し単位に対して０．００１モル％〜１０モル％であることを特徴とする請求項１に記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項３】
前記分子内にアミン構造を有する単量体が、下記一般式〔II〕で示される単量体であることを特徴とする請求項１又は２に記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【化２】
1998326013.tif 000002
（式中、Ｒ1 及びＡは請求項１に記載のものと同義である。Ｒ5 、Ｒ6 は、同じでも異なっていてもよく、アルキル基又は置換アルキル基を表し、Ｒ5 とＲ6 が結合して、ヘテロ原子を含んでいてもよい環を形成してもよい。Ｒ7 、Ｒ8 は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、アルキル基又は置換アルキル基を表す。）
【請求項４】
前記樹脂が、更に脂肪族環状炭化水素部位を分子内に有する繰り返し構造単位を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物によりポジ型フォトレジスト膜を形成し、遠紫外線を用いて該ポジ型フォトレジスト膜を露光、現像することを特徴とするポジ型パターン形成方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月27日(2004.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクと対向する面にダイアモンドライクカーボン膜が形成されている磁気ヘッドスライダであって、前記ダイアモンドライクカーボン膜中にＡｒが含まれており、かつ該ダイアモンドライクカーボン膜の弾性率が８５ＧＰａ以上の値を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
前記Ａｒは前記ダイアモンドライクカーボン膜中に均一に取り込まれており、かつ前記Ａｒの含有量が１原子パーセント以下であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記ダイアモンドライクカーボン膜を第２のＤＬＣ層とし、該第２のＤＬＣ層の下層に第１のＤＬＣ層を有し、該第１のＤＬＣ層がＡｒガスを含まない炭化水素系ガス雰囲気中で形成されたダイアモンドライクカーボン膜であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
磁気ディスク装置に使用される磁気ヘッドスライダのディスク対向面にプラズマ化学的気相成長法によってダイアモンドライクカーボン膜を形成する磁気ヘッドスライダの製造方法であって、炭化水素系ガスと同時にＡｒガスを添加した雰囲気中で前記磁気ヘッドスライダを設置する基板に負の直流電圧を印加し、前記基板の電位を−８００Ｖ以上の条件でＡｒを含有するダイアモンドライクカーボン膜を形成する工程を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項５】
前記炭化水素系ガスと同時にＡｒガスを添加した雰囲気中における炭化水素系ガスがＣＨ４  ガスであって、前記雰囲気中におけるＣＨ４ ／Ａｒガスの混合圧力比が１もしくはそれ以下で、かつその総圧力が０．１ｔｏｒｒ以下であることを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【請求項６】
前記ダイアモンドライクカーボン膜を第２のＤＬＣ層とし、該第２のＤＬＣ層の下層に第１のＤＬＣ層を形成する工程を有し、該第１のＤＬＣ層を形成する工程がＡｒガスを含まない炭化水素系ガス雰囲気中でダイアモンドライクカーボン膜を形成することを特徴とする請求項４または請求項５記載の磁気ヘッドスライダの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の入力信号線に流れる電流の差を電圧差に変換し、前記電圧差を増幅し、第１の出力信号をその一対の出力ノードに出力する電流センスアンプと、
各々、ゲート及びドレインを有し、各々のゲート及びドレインが前記一対の出力ノードの対応するノードに接続された一対の振幅抑制トランジスタと、
前記第１の出力信号を増幅する差動アンプ
を備えることを特徴とするアンプ。
【請求項２】
前記一対の振幅抑制トランジスタは、ｐＭＯＳトランジスタであることを特徴とする請求項１記載のアンプ。
【請求項３】
前記一対の振幅抑制トランジスタのソースは、前記一対の入力信号線に接続されていることを特徴とする請求項２記載のアンプ。
【請求項４】
前記一対の振幅抑制トランジスタのソースは、電源線に接続されていることを特徴とする請求項２記載のアンプ。
【請求項５】
前記一対の振幅抑制トランジスタは、ｎＭＯＳトランジスタであり、そのソースは第２の電源線に接続されていることを特徴とする請求項１記載のアンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【課題を解決するための手段】
本発明中、第１の発明のアンプは、第１、第２の出力信号の振幅を小振幅に抑制する振幅抑制回路を備え、第１、第２の入力ノードをそれぞれ第１、第２の信号線に接続し、第１、第２の信号線に流れる電流の差を検出することにより、第１、第２の信号線から入力される相補関係にある小振幅の第１、第２の入力信号の電圧差を増幅した相補関係にある第１、第２の出力信号をそれぞれ第１、第２の出力ノードに出力する電流センスアンプと、電流センスアンプから出力される第１、第２の出力信号の電圧差を増幅する差動アンプとを備えて構成されるというものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
本発明中、第２の発明は、第１の発明において、電流センスアンプは、一端を正の電源電圧を供給する電源線に接続し、他端を第１の入力ノードに接続した第１の負荷素子と、一端を前記電源線に接続し、他端を第２の入力ノードに接続した第２の負荷素子と、ソースを第１の入力ノードに接続し、ゲートをドレインに接続し、ドレインを第１の定電流源に接続した第１のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ソースを第２の入力ノードに接続し、ゲートを第１のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲートに接続し、ドレインを第２の定電流源及び第１の出力ノードに接続した第２のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ソースを第２の入力ノードに接続し、ゲートをドレインに接続し、ドレインを第３の定電流源に接続した第３のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ソースを第１の入力ノードに接続し、ゲートを第３のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタのゲートに接続し、ドレインを第４の定電流源及び第２の出力ノードに接続した第４のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタとを備えると共に、振幅抑制回路を構成するトランジスタとして、ソースを第２の入力ノードに接続し、ゲートをドレインに接続し、ドレインを第１の出力ノードに接続した第５のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタと、ソースを第１の入力ノードに接続し、ゲートをドレインに接続し、ドレインを第２の出力ノードに接続した第６のｐチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタとを備えて構成されるというものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、電流センスアンプは、電流センスアンプから出力される第１、第２の出力信号の振幅を小振幅に抑制する振幅抑制回路を備えるとしたことにより、電流センスアンプから出力される第１、第２の出力信号の遷移時間を短縮することができるので、電源電圧の低電圧化を図る場合であっても、動作速度の高速化を図り、消費電力を低減化することができ、しかも、動作速度に対するトランジスタのしきい値変動の影響を受けにくくすることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月20日(2003.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版面に描かれたパターンの一部を投影光学系を介してスリット状に基板に投影し、該投影光学系に対し前記原版と基板を相対的に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置において、前記原版を保持する原版ステージの走査方向と逆方向に移動可能な可動部が設けられ、走査露光時に前記原版ステージと該可動部は互いに逆方向に同期して移動することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記原版の走査方向の加速度または位置の検出手段が設けられ、前記原版ステージおよび前記可動部は前記検出手段による検出信号により駆動制御されることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記原版ステージと可動部は共通の案内ガイドにより案内され、該案内ガイドの同軸上をそれぞれ同期移動することを特徴とする請求項１または２記載の露光装置。
【請求項４】
前記原版ステージと前記可動部のそれぞれは共通の固定部を持つリニアモータで駆動されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の露光装置。
【請求項５】
前記リニアモータは、可動側にムービングコイル、固定側にマグネットおよびヨークが配置され、該マグネットおよびヨークの一方あるいは両方を共用する磁気回路を備えることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項６】
前記リニアモータは、可動側にムービングマグネット、固定側にコイルおよびコイル支持部が配置され、該コイルおよびコイル支持部の一方あるいは両方を共用する磁気回路を備えることを特徴とする請求項４記載の露光装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の露光装置を用意して露光する工程によってデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項８】
搬送物を保持して移動するステージと、該ステージの移動方向と逆方向に移動可能な可動部を有し、該ステージと該可動部は互いに逆方向に同期して移動することを特徴とするステージ装置。
【請求項９】
前記ステージと前記可動部は、共通の固定部を持つリニアモータにより、互いに逆方向に同期して移動することを特徴とする請求項８記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記可動部は、前記ステージの移動空間とは異なる空間を移動することを特徴とする請求項８記載のステージ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の露光装置は、原版面に描かれたパターンの一部を投影光学系を介してスリット状に基板に投影し、該投影光学系に対し前記原版と基板を相対的に走査することにより前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置において、前記原版を保持する原版ステージの走査方向と逆方向に移動可能な可動部が設けられ、走査露光時に前記原版ステージと該可動部は互いに逆方向に同期して移動することを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明のステージ装置は、搬送物を保持して移動するステージと、該ステージの移動方向と逆方向に移動可能な可動部を有し、該ステージと該可動部は互いに逆方向に同期して移動することを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
上記実施例では、レチクルステージの走査方向と逆方向に移動し、ダイナミックダンパとして働く可動部は、前記レチクルステージと同軸上の案内ガイドにより移動し、駆動手段も同一ヨークにて駆動していたが、他に図１１（１）に示す様に、レチクルステージ１のリニアモータヨーク３Ｅ，３Ｆを共用する形で、案内ガイド３Ｇ，３Ｈを別に外側にそれぞれ持つ可動部４Ａ，４Ｂを並列に設ける構成としてもよい。この構成でも、レチクルステージ１および可動部４Ａ，４Ｂを走査移動させた際、図１１（２），（３）に示すようにステージユニットの荷重重心はステージ端面からの寸法Ｅの位置から動くことなく走査露光を行なうことができる。また、レチクルステージ１が走査開始時に、レチクルステージ１の駆動コイル３Ａ，３Ｂに駆動電流が流れ、それぞれのコイルに対して推力ＦiおよびＦgが発生し、リニアモータヨーク３Ｅ，３Ｆには同時に反力Ｆi'およびＦg'が発生する。またレチクルステージ１とは逆方向に可動部４Ａ，４Ｂを駆動する電流がコイル５Ｃ，５Ｄに流れそれぞれのコイルに推力Ｆh，Ｆjが発生し同時にリニアモータヨーク３Ｅ，３Ｆに前記反力Ｆi'およびＦg'に等しい大きさのＦh'およびＦj'が発生する。よって、リニアモータヨーク３Ｅ，３Ｆに発生した反力ベクトルの総和は相殺され、反力の発生はほぼ０となる。以上より、上述の実施例とほぼ等しい効果が得られる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月16日(2003.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固体撮像装置、固体撮像素子の搭載方法並びに固体撮像装置の装着方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体撮像装置ならびに固体撮像装置の装着方法に関し、詳しくは、パッケージにガイド部を設けることにより、パッケージへの固体撮像素子の装着する際や、配線基板やレンズなどに固体撮像装置を装着する際に、高精度の位置決めを可能とした固体撮像装置、固体撮像素子の搭載方法並びに固体撮像装置の装着方法に係るものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の課題は、パッケージサイズを大きくしない、組み付け精度の高い固体撮像装置、固体撮像素子の搭載方法並びに固体撮像装置の装着方法を提供することにある。