(57)【要約】【課題】ペレットへのダメージを防止する。【解決手段】ウエハシート３の裏面に沿って移動するバキュームステージ３１を設ける。バキュームステージ３１のステージ面４１に小孔４２を設け、小孔４２を負圧が供給される負圧供給パイプ４３に連結し、ステージ面４１を、ピックアップ対象となるペレット４が貼着されたウエハシート３の部位へ裏面から密着できるように構成する。超音波ホーン５２の超音波振動子５３を、バキュームステージ３１に固定し、超音波ホーン５２作動時に発生する超音波振動を、バキュームステージ３１のステージ面４１へ伝達可能とする。そして、ウエハシート３に貼着されたペレット４を吸着してピックアップするコレット６１を設ける。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、
ピックアップ対象となるペレットが貼着された前記ウエハシートの部位に裏面から密着されるステージと、
該ステージに超音波振動を付与する振動付与手段と、
を備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【請求項２】
高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、
前記ウエハシートが張設されたウエハリングを保持する保持機構と、
該保持機構に超音波振動を付与する振動付与手段と、
を備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【請求項３】
高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、
前記コレットに超音波振動を付与する振動付与手段を備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハシートに貼着されたペレットをピックアップするピックアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、図４に示すように、ウエハシート２０１に貼着されたペレット２０２，・・・をピックアップしてリードフレームのボンディングポイントへ移送する際には、ピックアップ装置２０３が用いられていた。
【０００３】
このピックアップ装置２０３は、図５にも示すように、前記ウエハシート２０１裏面からペレット２０２を突き上げる突き上げステージ２１１と、突き上げステージ２１１で突き上げられるペレット２０２を上方から吸着してピックアップするコレット２１２とを備えている。前記突き上げステージ２１１は、上下駆動されるイジェクトピン２１３を備えており、該イジェクトピン２１３は、ステージ面から突出した状態を形成できるように構成されている。
【０００４】
これにより、図５の（ａ）に示すように、前記突き上げステージ２１１を対象ペレット２０２の下部に配置し、図５の（ｂ）に示すように、コレット２１２で対象ペレット２０２を吸着する。そして、図５の（ｃ）に示すように、イジェクトピン２１３を上動してペレット２０２をウエハシート２０１から剥がし、図５の（ｄ）に示すように、コレット２１２に吸着された対象ペレット２０２をピックアップできるように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなピックアップ装置２０３にあっては、ペレット２０２をイジェクトピン２１３で突き上げてウエハシート２０１の貼着面から剥離する構造上、イジェクトピン２１３の針先痕によってペレット２０２にクラックを発生させる恐れがあった。
【０００６】
また、薄肉化されたペレット２０２においては、ピックアップが困難になるという問題点があった。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ペレットへのダメージを防止することができるピックアップ装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために本発明の請求項１のピックアップ装置にあっては、高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、ピックアップ対象となるペレットが貼着された前記ウエハシートの部位に裏面から密着されるステージと、該ステージに超音波振動を付与する振動付与手段と、を備えている。
【０００９】
すなわち、ウエハシートからペレットをピックアップする際には、ピックアップ対象となるペレットが貼着されたウエハシートの部位にステージを密着し、振動付与手段によって前記ステージに超音波振動を付与する。
【００１０】
すると、前記ペレットを貼着する高分子材料からなる粘着剤に超音波振動が付与され、該超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着力が低下するとともにガス化して部分的欠落が生ずる。これにより、前記ペレットの固定力が著しく低下する。
【００１１】
また、本発明の請求項２のピックアップ装置においては、高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、前記ウエハシートが張設されたウエハリングを保持する保持機構と、該保持機構に超音波振動を付与する振動付与手段と、を備えている。
【００１２】
すなわち、ウエハシートからペレットをピックアップする際には、ウエハシートが張設されたウエハリングを保持する保持機構へ振動付与手段によって超音波振動を付与する。
【００１３】
すると、前記ペレットを貼着するウエハシートの高分子材料からなる粘着剤に超音波振動が付与され、該超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着力が低下するとともにガス化して部分的欠落が生ずる。これにより、前記ペレットの固定力が著しく低下する。
【００１４】
さらに、請求項３のピックアップ装置では、高分子材料からなる粘着剤によってウエハシートに貼着されたペレットをコレットでピックアップするピックアップ装置において、前記コレットに超音波振動を付与する振動付与手段を備えている。
【００１５】
すなわち、ウエハシートからペレットをピックアップする際には、ウエハシートに貼着されたペレットにコレットを接触させた状態で、振動付与手段によって前記コレットに超音波振動を付与する。
【００１６】
すると、前記ペレットを介して当該ペレットを貼着する高分子材料からなる粘着剤に超音波振動が付与され、該超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着力が低下するとともにガス化して部分的欠落が生ずる。これにより、前記ペレットの固定力が著しく低下する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
【００１８】
以下、本発明の第１の実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるピックアップ装置１を示す図であり、該ピックアップ装置１は、ウエハリング２に張設されたウエハシート３上のペレット４をピックアップして図外のリードフレームのボンディングポイントへ移送する装置である。
【００１９】
すなわち、リング板状のウエハリング２の内側には、前記ウエハシート３が張設されており、該ウエハシート３表面には、高分子材料からなる粘着剤が塗布されて形成された粘着層１１が設けられている。この粘着層１１には、貼着されたウエハをダイシングして細分化したペレット４，・・・が貼着されており、各ペレット４，・・・間には、隣接するペレット４と分離するストリート１２，・・・が縦横に形成されている。
【００２０】
前記ピックアップ装置１は、前記ウエハリング２を保持する保持機構２１を備えている。該保持機構２１は、円筒状の固定リング２２と、該固定リング２２の外周部に設けられた挟持部２３とによって構成されており、該挟持部２３は、前記ウエハリング２を上下から挟んで固定する上部リング２４及び下部リング２５によって構成されている。これにより、ウエハリング２内側のウエハシート３を前記固定リング２２上に載置した状態で、前記挟持部２３の上部リング２４と下部リング２５で前記ウエハリング２を挟持固定した後、当該挟持部２３を下降することによって、前記ウエハシート３を外側へ拡張できるように構成されている。
【００２１】
また、前記ピックアップ装置１において、該保持機構２１は、図外の移動機構によって水平方向へ移動自在に支持されている。これにより、前記バキュームステージ３１の位置に、ピックアップ対象となるペレット４を配置できるように構成されている。
【００２２】
このバキュームステージ３１上面のステージ面４１には、多数の小孔４２，・・・が設けられており、各小孔４２，・・・は、負圧が供給される負圧供給パイプ４３に連結されている。これにより、該負圧供給パイプ４３に負圧が供給されることによって、前記バキュームステージ３１のステージ面４１を、ピックアップ対象となるペレット４が貼着されたウエハシート３の部位へ裏面から密着できるように構成されている。
【００２３】
前記バキュームステージ３１の下部には、アーム５１で支持された振動付与手段としての超音波ホーン５２が配設されている。該超音波ホーン５２からは、超音波振動子５３が延出しており、該超音波振動子５３の先端には、前記バキュームステージ３１がスクリュー５４によって固定されている。これにより、前記超音波ホーン５２をオン作動した際に発生する超音波振動を、前記超音波振動子５３を介して、前記バキュームステージ３１のステージ面４１へ伝達できるように構成されている。
【００２４】
なお、該超音波振動子５３から発せられる超音波の振動方向を変更するために該超音波振動子５３を本図に対して直角に取付を変更しても良い。
【００２５】
そして、前記ピックアップ装置１は、図２にも示すように、前記ウエハシート３に貼着されたペレット４をピックアップするコレット６１を備えている。該コレット６１は、図外の作動アームに支持されており、ピックアップ対象のペレット４の位置と、該ペレット４がボンディングされるリードフレームのボンディングポイント間を往復移動できるように構成されている。
【００２６】
また、前記コレット６１の下面は、下方開口状に形成されており、この開口部７１は、負圧が供給される負圧供給経路７２に接続されている。これにより、該負圧供給経路７２からの負圧によって、前記ペレット４をコレット６１下面に吸着してピックアップできるように構成されている。
【００２７】
以上の構成にかかる本実施の形態において、保持機構２１に保持されたウエハリング２のウエハシート３からペレット４をピックアップする際には、図２の（ａ）に示すように、ピックアップ対象となるペレット４が貼着されたウエハシート３の真下にバキュームステージ３１が来るように保持機構２１を移動するとともに、バキュームステージ３１に設けられた負圧供給パイプ４３に負圧を供給して、バキュームステージ３１のステージ面４１を前記ウエハシート３へ裏面から密着させる。
【００２８】
この状態において、図２の（ｂ）に示すように、コレット６１を、ピックアップ対象のペレット４上面へ移動し、負圧供給経路７２からの負圧によって前記ペレット４をコレット６１下面に吸着した後、超音波ホーン５２をオン作動して超音波振動を発生し、この超音波振動を超音波振動子５３を介してバキュームステージ３１のステージ面４１へ伝達する。
【００２９】
すると、前記ペレット４を貼着する高分子材料からなる粘着剤に超音波振動が付与され、この超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着層１１の粘着力が低下するとともにガス化して部分的欠落が生ずる。これにより、前記粘着層１１での粘着力を低下させ、前記ペレット４の固定力を著しく低下させることができる。
【００３０】
そして、図２の（ｃ）に示すように、前記バキュームステージ３１を若干上昇して、前記ペレット４の外周部に貼着したウエハシート３を剥離した後、図２の（ｄ）に示したように、前記コレット６１を上動して吸着したペレット４をピックアップし、ボンディングポイントへ移送する。
【００３１】
このとき、前記粘着層１１による前記ペレット４の固定力は著しく低下しており、コレット６１からの吸着力だけで、前記ペレット４を前記ウエハシート３から剥離してピックアップすることができる。
【００３２】
したがって、イジェクトピンでペレット突き上げてウエハシートから剥離しなければならなかった従来と比較して、イジェクトピンの針先痕に起因したクラック発生等のペレット４へのダメージを防止することができる。
【００３３】
また、近年増加傾向にある薄肉化されたペレット４のピックアップにも対応することができる。
【００３４】
（第２の実施の形態）
【００３５】
図３は、本発明の第２の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と同一又は同等な部分に付いては同符号を付して説明を割愛し、異なる部分に付いてのみ説明する。
【００３６】
すなわち、本実施の形態にかかるピックアップ装置１は、ウエハリング２の保持機構２１を構成する固定リング２２に超音波振動を付与する振動付与手段としての超音波ホーン１０１と、ペレット４をピックアップするコレット６１に超音波振動を付与する他の振動付与手段としての超音波ホーン１０２とを備えている。
【００３７】
なお、前記保持機構２１を構成する挟持部２３に超音波振動を付与する振動付与手段としての超音波ホーンを設けても良い。
【００３８】
以上の構成において、超音波ホーン１０１をオン作動することによって、ウエハリング２を保持する保持機構２１の固定リング２２へ超音波振動を付与することができる。
【００３９】
これにより、ペレット４を貼着するウエハシート３の高分子材料からなる粘着剤に超音波振動を付与することができ、この超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着層１１での粘着力が低下するとともにガス化して部分的欠落が生じさせ、前記ペレット４の固定力を著しく低下させることができる。
【００４０】
また、ウエハシート３に貼着されたペレット４にコレット６１を当接させた状態で、他方の超音波ホーン１０２をオン作動することによって、前記コレット６１に超音波振動を付与することができる。
【００４１】
これにより、前記ペレット４を介して当該ペレット４を貼着する高分子材料からなる粘着剤に超音波振動を付与することができ、この超音波振動の振動応力のヒステリシスによる発熱と塑性流動とによって、粘着層１１の粘着力を低下するとともにガス化して部分的欠落が生じさせ、前記ペレット４の固定力を、さらに低下することができる。
【００４２】
したがって、ペレット４のウエハシート３からの剥離容易性を、さらに高めることができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の請求項１から請求項３のピックアップ装置にあっては、ペレットを貼着する高分子材料からなる粘着剤に超音波振動を付与して粘着力を低下させることで、前記ペレットの固定力を著しく低下させることができる。これにより、コレットからの力だけでペレットをピックアップすることができる。
【００４４】
したがって、イジェクトピンでペレット突き上げてウエハシートから剥離しなければならなかった従来と比較して、イジェクトピンの針先痕に起因したクラック発生等のダメージを防止することができる。
【００４５】
また、近年増加傾向にある薄肉化されたペレットのピックアップにも対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す模式図である。
【図４】従来のピックアップ装置示す模式図である。
【図５】同従来例の動作を示す説明図である。
【符号の説明】
１    ピックアップ装置
２    ウエハリング
３    ウエハシート
４    ペレット
１１    粘着層
２１    保持機構
３１    バキュームステージ
５２    超音波ホーン
６１    コレット
１０１    超音波ホーン
１０２    超音波ホーン
【図１】
2004356242.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2004356242.tif 000006
【図５】
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