(57)【要約】【課題】配線パターンを断裂させることなく、精度よく曲げ加工の行える磁気ヘッド用サスペンションを提供する。【解決手段】バネ性金属板からなるロードビーム１１一端側にスライダ搭載部２２が設けられ、該ロードビーム１１の他端側の側縁部が直角方向に折り曲げられて曲折片１１ａが形成され、ロードビーム１１上に絶縁樹脂層１５が形成され、該絶縁樹脂層１５上に、端子部がスライダ搭載部２２近傍および曲折部１１ａに露出する配線パターン１３が形成され、該配線パターン１３を覆う保護層１６が形成された磁気ヘッド用サスペンション１０において、曲折片１１ａの曲げ部に、少なくとも配線パターン１３が通過する範囲を含む長さに亙ってスリット３０が形成されていることを特徴とする。【選択図】　　　　　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードビームまたはフレキシャの一端側にスライダ搭載部が設けられ、該ロードビームまたはフレキシャの他端側の側縁部に直角方向に折り曲げられた曲折片が形成され、前記ロードビームまたはフレキシャ上に絶縁樹脂層が形成され、該絶縁樹脂層上に、端子部が前記曲折部に露出する配線パターンが形成され、該配線パターンを覆う保護層が形成された磁気ヘッド用サスペンションにおいて、
前記曲折片の曲げ部に、少なくとも前記配線パターンが通過する領域に亙ってスリットが形成されていることを特徴とする磁気ヘッド用サスペンション。
【請求項２】
前記スリット上に位置する配線パターンが、前記曲折片の曲げ方向に対して斜めに交差する方向に曲折していることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド用サスペンション。
【請求項３】
前記配線パターンがＳ字状であることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気ヘッド用サスペンションに関する。
【０００２】
【従来の技術】
磁気ヘッド用のサスペンション１０は、図３に示すように、ステンレススチール等のバネ材からなるロードビーム１１の一端側にスライダ搭載部２２が形成され、このスライダ搭載部２２に磁気ヘッド素子（スライダ）１２が搭載されるとともに、該磁気ヘッド素子１２に電気的に接続する配線パターン１３がロードビーム１１上に形成されてなる。ロードビーム１１はその一端側においてスペーサ１４を介してアクチュエータ１７のアーム部１８に固定され、シーク運動される（図４）。図４は磁気ディスク装置を示し、１９はスピンドル、２０は磁気ディスクである。
【０００３】
配線パターン１３は、図５に示すように、ロードビーム１１上に所要幅で形成された、ポリイミド樹脂からなる絶縁樹脂層１５上に形成され、さらに感光性樹脂、ポリイミド樹脂等のレジストからなる保護層１６によって被覆されている。
【０００４】
配線パターン１３の一端側の端子部は、スライダ搭載部２２近傍に形成されている。
配線パターン１３の他端側の端子部１３ａは、ロードビーム１１の他端側の側縁部が直角方向に折り曲げられて形成された曲折片１１ａ上に露出して形成されている（このような構成は例えば、特許文献１の図１８に記載されている）。なお、１１ｂはロードビーム１１に強度を出すために形成された曲折片である。
【０００５】
図６は、配線パターン１３を外部に導出するための中継ＦＰＣ（フレキシブルプリントサーキット）２２との接続状況を示す説明図である。
上記のように端子部１３ａを曲折片１１ａ上に形成するのは、図６に示すように、スペーサ１４およびアーム部１８の側壁部に沿わせて配設された中継ＦＰＣ２２と接続するためである。上記端子部１３ａと中継ＦＰＣ２２の端子部とははんだ付けによって接続される。中継ＦＰＣ２２の他端側は、素子駆動回路（図示せず）に接続されるのである。
【０００６】
図７は、上記曲折片１１ａを形成する金型の説明図である。
２３は曲げ加工用のダイ、２４はパンチであり、このダイ２３にパンチ２４を押し当てて、対応するロードビーム１１を曲折し、曲折片１１ａを形成する。
曲折片１１ａは、平板状の段階で、ロードビーム１１上に絶縁樹脂層１５、配線パターン１３、保護層１６を作り込んだ後に、ロードビーム１１を曲折して形成される。
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−１４７９１３号公報（図１８）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ＳＵＳ製のロードビーム１１をダイ２３に載置して、ロードビーム１１、絶縁樹脂層１５、配線パターン１３、保護層１６の４層に曲げ加工が施される。
この場合に、ロードビーム１１の内側面がダイ２３のアール部に当接して規制されることから、曲げ加工の際には、外側の層は内側の層に比して伸び率が大きくなる。したがって、外側に位置する配線パターン１３が断裂したり、保護層１６に亀裂が生じたりする不良が発生することがある。
特に、材料のスプリングバックが働くことから、直角に曲げる際には、９０°よりも大きな角度で曲げ加工を行う必要があり、配線パターン１３に断裂が発生しやすくなるという課題がある。
【０００９】
配線パターン１３の断裂等を避けるため、精度は落ちるが、許容公差ぎりぎりの範囲内で曲げ加工を行うなどしているのが実際である。すなわち、曲げ角度には、製品により、±５°以内とか、±１０°以内とかの公差がある。±１０°以内の公差の場合には、例えば、直角よりも緩い、９７°の角度に曲げ角度を設定するのである。これにより、配線パターン１３の断裂不良をかなり防ぐことができる。
しかしながら、許容公差ぎりぎりの範囲内での曲げ加工を行うので、金型の調整とか、加工条件（パンチ２４の押圧力の設定など）の調整に手間がかかり、工数が増大してコストがかかるという課題がある。また、曲げ角度が公差の範囲外となる不良が発生する確率が大きくなる。
【００１０】
そこで本発明は、配線パターンを断裂させることなく、精度よく曲げ加工の行える磁気ヘッド用サスペンションを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁気ヘッド用サスペンションは、ロードビームまたはフレキシャの一端側にスライダ搭載部が設けられ、該ロードビームまたはフレキシャの他端側の側縁部に直角方向に折り曲げられた曲折片が形成され、前記ロードビームまたはフレキシャ上に絶縁樹脂層が形成され、該絶縁樹脂層上に、端子部が前記曲折部に露出する配線パターンが形成され、該配線パターンを覆う保護層が形成された磁気ヘッド用サスペンションにおいて、前記曲折片の曲げ部に、少なくとも前記配線パターンが通過する領域に亙ってスリットが形成されていることを特徴とする。
また、前記スリット上に位置する配線パターンが、前記曲折片の曲げ方向に対して斜めに交差する方向に曲折していることを特徴とする。
また、前記配線パターンがＳ字状であることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明の好適な実施の形態を詳細に説明する。
図１はロードビーム１１の曲折片１１ａを形成する部位のみを示す説明図である。
１３は配線パターンを示す。１５、１６は絶縁樹脂層および保護層を示す。
【００１３】
本実施の形態では、ロードビーム１１に曲げを施して曲折片１１ａを形成する曲げ部位に、曲げを施す前（平坦な状態時）にあらかじめスリット３０を形成しておくのである。
このスリット３０は、少なくとも配線パターン１３が通過する範囲を含む長さに亙って形成される。
また、スリット３０は、曲げ部位の両側平坦部を十分に含む幅で形成するようにすると好適である。
【００１４】
上記のように、ロードビーム１１の曲げを行う部位にあらかじめスリット３０を形成し、このスリット３０上となる位置にも配線パターン１３を形成することになるので、ロードビーム１１上に形成する絶縁樹脂層１５は、スリット３０を形成した後のロードビーム１１上に、配線パターン１３を形成するための銅箔付き絶縁樹脂シートを貼付して形成するようにするとよい。
なお、磁気ヘッド用サスペンションとしては、フレキシャがロードビームを兼ねる２ピースタイプのものが知られている。この場合にはフレキシャ上に絶縁樹脂層１５を形成することになる。したがって、本発明では、ロードビームまたはフレキシャと呼んだが、以下ではロードビームとして説明する。
【００１５】
次に、配線パターン１３を銅箔をエッチング加工して形成する。この場合、スリット３０上を横切る配線パターン１３の部位は、該スリット３０と斜めに交差する方向に曲折する（曲げ線（方向）に対して斜めに交差する方向に曲折する）ように設けると好適である。特に、図示するようにＳ字状に曲折して設けると好適である。
次に、配線パターン１３を覆う保護層１６を形成する。
【００１６】
図２は、ロードビーム１１に曲げ加工を行って曲折片１１ａを形成する場合の説明図である。
曲げ加工用の金型は、従来と同様のダイ２３とパンチ２４を用いることができる。
図示のように、曲げ加工を行うと、この部位のロードビーム１１にはスリット３０が形成されているから、絶縁樹脂層１５、配線パターン１３および保護層１６に加わる、曲げ加工に伴う引張応力が図のＢおよびＢ´の２箇所に分散されて軽減され、これにより配線パターン１３の断裂や保護層１６の亀裂発生を防止できる。
【００１７】
上記のように、スリット３０上を横切る配線パターン１３の部位を、該スリット３０と斜めに交差する方向に曲折することにより、曲げ加工時、配線パターン１３に引張応力が加わったとしても、上記曲げ線に対する配線パターン１３の交差角が変位する（直交する方向に変位）するだけで、直接配線パターン１３には応力が加わらないので、配線パターン１３の断裂が防げる。特に、当該部位の配線パターン１３をＳ字状に曲折するように形成すると、例え配線パターン１３に引張応力が加わったとしても、Ｓ字が延びる方向に引張力が作用するから、配線パターン１３の断裂を完全に防止できる。
また、上記のように、曲げ加工自体による配線パターン１３の断裂を防止できるので、許容公差ぎりぎりでなく、当初より曲げ角度を９０°に設定でき、それだけ金型調整に気を使う必要がなくなり、工数を削減でき、コストの低減化が図れる。
【００１８】
また、曲げ加工の精度が向上した。
実際、曲げ角度９０°の場合、平均値と標準偏差を用いて、曲げ角度のばらつきと規格値との比較を数量的に評価するための工程能力指数Ｃｐｋを求めたところ、従来にあっては１．１４９であったものが、２．２９６に改善できた。これは全ての製品が所望精度内に入っていることを意味し、抜き取り検査も不用となる程の高精度が達成されたことを意味する。
また、配線パターン１３の断裂、保護層１６の亀裂発生不良は、従来にあっては０．１１％程の発生率であったが、上記のように、スリット３０を設け、また配線パターン１３をＳ字に曲折することで上記不良の発生率を０％にすることができた。
【００１９】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る磁気ヘッド用サスペンションでは、製造時の不良率発生をほぼ完全になくすことができ、また工数を減らしてコストの低減化ができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】ロードビームの曲折部位を示す説明図、
【図２】ロードビームの曲折時の状態を示す説明図、
【図３】従来の磁気ヘッド用サスペンションの部位を示す説明図、
【図４】磁気ディスク装置の一例を示す平面図、
【図５】磁気ヘッド用サスペンションの断面説明図、
【図６】配線パターンと中継ＦＰＣの接続状況を示す説明図、
【図７】曲げ加工用金型の説明図である。
【符号の説明】
１０　磁気ヘッド用サスペンション
１１　ロードビーム
１１ａ　曲折片
１２　スライダ
１３　配線パターン
１４　スペーサ
１５　絶縁樹脂層
１６　保護層
１７　アクチュエータ
１８　アーム部
２２　中継ＦＰＣ
２３　ダイ
２４　パンチ
３０　スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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