(57)【要約】【課題】容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な蓋構造とその蓋構造を備えた容器を提供しようとする。【解決手段】従来の開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器にかわって、開口を設けられた容器本体と、容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた帯状シール材と、開口を覆う面を持った部材である平面部材と該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材である立板部材と該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であるシール板部材とを有する蓋と、を備え、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、ものとした。【選択図】　　図４
2004075159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器本体に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の蓋構造であって、
容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた帯状シール材と、
開口を覆う面を持った部材である平板部材と該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材である立板部材と該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であるシール板部材とを有する蓋と、
を備え、
開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする容器の蓋構造。
【請求項２】
前記平面部が前記端面部に隣接し前記端面部の下端より高い位置に形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載の容器の蓋構造。
【請求項３】
前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、
開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする請求項１に記載の容器の蓋構造
【請求項４】
前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、
前記平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成される第一平面部と該第一平面部に沿って内側に形成される第二平面部とを持ち、
開口を閉状態にしたとき、
前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、
前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、
前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする請求項１に記載の容器の蓋構造
【請求項５】
前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いことを特徴とする請求項３または請求項４のひとつに記載の容器の蓋構造。
【請求項６】
開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器であって、
開口を設けられた容器本体と、
前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた帯状シール材と、
開口を覆う面を持った部材である平板部材と該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材である立板部材と該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であるシール板部材とを有する蓋と、
を備え、
開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材にくい込み前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする容器。
【請求項７】
前記平面部が前記端面部に隣接し前記端面部の下端より高い位置に形成される、
ことを特徴とする請求項６に記載の容器。
【請求項８】
前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、
開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込み前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする請求項６に記載の容器
【請求項９】
前記帯状シール材が前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、
前記平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成される第一平面部と該第一平面部に沿って内側に形成される第二平面部とを持ち、
開口を閉状態にしたとき、
前記端面部が外側帯状シール材にくい込み前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、
前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、
前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールする、
ことを特徴とする請求項６に記載の容器
【請求項１０】
前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いことを特徴とする請求項８または請求項９のひとつに記載の容器の蓋構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器の開口を開閉自在にする蓋構造に係る。特に容器の内部から気体や液体が漏れるのをシールする構造に特徴のある蓋構造とその蓋構造をもった容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶基板を構成するＴＦＴ基板製造工程では、フォトリソグラフィー工程によってガラス基板上にＴＦＴで構成される回路を成形する。フォトリソグラフィー工程おいては、洗浄液やレジスト膜用液やエッチング液やレジスト剥離液等の処理液をガラス基板の表面に吹きつける装置が用いられる。
これらの装置は、クリーンルーム内に設置される。処理液は、密閉された容器の中でガラス基板に塗布又は散布される。大きな開口が容器の上面に設けられ、通常は密閉されている。容器内で処理中のガラス基板が割れた場合の処理作業や、定期的な保守点検作業の際には、開口を開状態にして容器の内部にアクセスする。
製造工程中は、その開口は完全に密閉され、処理液とその蒸気がクリーンルーム内の雰囲気を汚染しない。
一方、処理装置のメンテナンス時間を短くするためには、簡単な操作で短時間に開口を開状態と閉状態とに選択できることが望まれる。
すなわち、開口を開状態と閉状態とにする蓋構造は、閉状態においては、内から処理液やその蒸気を漏らさないようすることが求められ、開状態にする際は、簡単な操作と構造で、環境の汚染を極力押さえて、速やかに開口からアクセスでき、速やかに開口を閉状態にできることが求められる。
【０００３】
例えば、レジスト剥離装置を例にとり説明する。レジスト剥離装置は、ＴＦＴ形成工程中においてエッチング処理の後工程に使用される。レジスト剥離装置は、ガラス基板にレジスト剥離液を散布し、ガラス基板の表面に残っているレジストを除去する装置である。
従来のレジスト剥離装置は、容器とガラス基板搬送機構と処理液散布機構とで構成される。
ガラス基板搬送機構は、四辺形のガラス基板を水平にして所定の辺の平行方向に搬送する機構である。
処理液散布機構は、搬送中のガラス基板の表面に処理液を散布する機構である。
【０００４】
容器は、内部にガラス基板搬送装置と処理液散布機構とを格納し、処理液とその蒸気がクリーンルームの雰囲気中へ漏れるのを防止するものであり、容器本体と蓋構造とを備える。
容器本体は、略六面体の薄板構造であり、開口を上部にもち、対向する一対の側面にガラス基板を出し入れする出口と入口とをもつ。
蓋構造は、上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる構造である。
従来の蓋構造は、蓋と帯状シール材とフランジを有するものである。
フランジが開口の周縁に設けられている。帯状シール材が蓋とフランジのフランジ面に挟まれる。蓋の重量でパッキンが押しつぶされ、処理液の漏洩を防止する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述の蓋構造では、メンテナンス作業を行なう際は、蓋を取り去ることによって開口を開状態にする。開口を閉状態にした際に、処理液の蒸気が帯状シール材部から漏れ、外部で凝縮し、蓋の外側で結露するおそれがある。従って、より処理液の蒸気の漏洩を防止できる蓋構造が望まれた。
【０００６】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、従来の上部に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の蓋構造にかわって、容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な蓋構造とその蓋構造を備えた容器を提供しようとする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明に係る容器本体に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の蓋構造を、容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた帯状シール材と、開口を覆う面を持った部材である平板部材と該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材である立板部材と該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であるシール板部材とを有する蓋と、を備え、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、ものとした。
【０００８】
上記本発明の構成により、帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けら、蓋の平板部材が開口を覆う面を持った部材であり、蓋の立板部材が該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材であり、蓋のシール板部材が該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であり、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、蓋の外周を前記平面部と帯状シール材とでシールでき、その外周を前記端面部と前記帯状シール材とでシールでき、開口からの漏れを防止できる。
【０００９】
さらに、本発明に係る容器の蓋構造は、前記平面部が前記端面部に隣接し前記端面部の下端より高い位置に形成されているのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記平面部が前記端面部に隣接し前記端面部の下端より高い位置に形成されているので、前記端面部の帯状シール材へのくい込みの深さ寸法が、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶす深さ寸法より確実に大きくなり、前記平面部の外周を前記端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、開口からの漏れをより防止できる。
【００１０】
さらに、本発明に係る容器の蓋構造は、前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、のが好ましい。
上記本発明の構成により、内側帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられ、外側帯状シール材が容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられ、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、前記平面部と前記内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
【００１１】
さらに、本発明に係る容器の蓋構造は、前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、前記平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成される第一平面部と該第一平面部に沿って内側に形成される第二平面部とを持ち、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするのが好ましい。
上記本発明の構成により、内側帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられ、外側帯状シール材が容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられ、前記平面部の第一平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成され、前記平面部の第二平面部が該第一平面部に沿って内側に形成され、前記端面部が前記前記外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、前記端面部の帯状シール材へのくい込みの深さ寸法が、前記第一平面部が帯状シール材を押しつぶす深さ寸法より確実に大きくなり、前記第一平面部の外周を前記端面部と帯状シール材とでシールでき、前記第二平面部と前記内側帯状シール材とによるシールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
【００１２】
さらに、本発明に係る容器の蓋構造は、前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いのが好ましい。上記本発明の構成により、前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いので、前記第二平面部と前記内側帯状シール材とによるシールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
【００１３】
また上記目的を達成するため、本発明に係る開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器を、開口を設けられた容器本体と、前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた帯状シール材と、開口を覆う面を持った部材である平板部材と該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材である立板部材と該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であるシール板部材とを有する蓋と、を備え、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールする、ものとした。
【００１４】
上記本発明の構成により、容器本体に開口を設けられ、前記帯状シール材が前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられ、蓋の平板部材が開口を覆う面を持った部材であり、蓋の立板部材が該平板部材の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部を形成する板状部材であり、蓋のシール板部材が該立板部材の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部を形成する部材であり、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記帯状シール材にくい込み前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、蓋の外周を前記平面部と帯状シール材とでシールでき、その外周を前記端面部と帯状シール材とでシールでき、容器の開口からの漏れを防止できる。
【００１５】
さらに、本発明に係る容器は、前記平面部が前記端面部に隣接し前記端面部の下端より高い位置に形成されるのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記平面部が前記端面部に隣接し端面部の下端より高い位置に形成されているので、前記端面部の帯状シール材へのくい込みの深さ寸法が、前記平面部が帯状シール材を押しつぶす深さ寸法より大きくなり、前記平面部の外周を前記端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、容器本体の開口からの漏れをより防止できる。
【００１６】
さらに、本発明に係る容器は、前記帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするのが好ましい。
上記本発明の構成により、内側帯状シール材が前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられ、外側帯状シール材が前記容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられ、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、前記平面部と前記内側帯状シール材とによるシールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、容器本体の開口からの漏れをより防止できる。
【００１７】
さらに、本発明に係る容器は、前記帯状シール材が前記容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられた内側帯状シール材と容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられた外側帯状シール材とを有し、前記平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成される第一平面部と該第一平面部に沿って内側に形成される第二平面部とを持ち、開口を閉状態にしたとき、前記端面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールし、前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と前記容器本体との間を液密にシールする、のが好ましい。
上記本発明の構成により、内側帯状シール材が容器本体の外面に開口の縁に沿って取り付けられ、外側帯状シール材が容器本体の外面に前記内側帯状シール材の外周を囲って取り付けられ、前記平面部の第一平面部が前記端面部に隣接して端面部の下端より高い位置に形成され、前記平面部の第二平面部が該第一平面部に沿って内側に形成され、前記端面部が外側帯状シール材にくい込んで前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第一平面部が前記外側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールし、前記第二平面部が前記内側帯状シール材を押しつぶして前記蓋と容器本体との間を液密にシールするので、前記端面部の帯状シール材へのくい込みの深さ寸法が、前記第一平面部が帯状シール材を押しつぶす深さ寸法より大きくなり、前記第一平面部の外周を前記端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、前記第二平面部と前記内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、容器本体の開口からの漏れをより防止できる。
【００１８】
さらに、本発明に係る容器は、前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いのが好ましい。
上記本発明の構成により、前記外側帯状シール材のシール面の高さ位置が前記内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高いので、前記第二平面部と前記内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、前記容器本体の開口からの漏れをより防止できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態にかかる容器の側面断面図である。図２は、本発明の実施形態にかかる容器の正面断面図である。図３は、本発明の実施形態にかかる容器のＡ部詳細図その１である。図４は、本発明の実施形態にかかる容器のＡ部詳細図そのその２である。図５は、本発明の実施形態にかかる容器のＢ部詳細図である。図６は、本発明の実施形態にかかる容器のＣ部詳細図である。図７は、本発明の実施形態にかかる容器のＤ部詳細図である。
容器が液晶用ガラス基板のレジスト剥離装置である場合を例にとり説明する。処理液は、強アルカリ溶液であって、例えば、モノエタノールアミンまたはジメチルスルホキシドである。
【００２１】
容器１は蓋構造２を備える。容器の蓋構造２は容器本体１０に設けられた開口３を択一的に開状態と閉状態とにすることのできるものである。
容器１は、容器本体１０と帯状シール材２０と蓋３０と重ね蓋構造４０とヒンジ機構５０と排気機構６０とのぞき窓７０と蓋ロック機構８０とを備える。
【００２２】
容器本体１０は、内部に液密または気密にすべき気液を内蔵し、上部に開口を有する。開口３は、メンテナンスの為に設けられたものであり、運用時には蓋構造２で液密にシールされる。（この状態を、閉状態という。）メンテナンス時には、蓋構造２が開放され、開口３から容器本体の内部にアクセスできる。（この状態を開状態いう。）
容器本体１０の内部には、液晶用ガラス基板のレジスト剥離のための機器（例えば、処理液散布機構やガラス基板搬送機構等、図示せず。）が配置されている。
図１、図２では、略６面体であり、僅かに一方に傾斜した上部の板に四辺形の２つの開口３が設けられた容器本体１０が示されている。
容器の内部の温度は、高温（例えば８０°）になっており、処理液が容器内に散布され、処理液の蒸気が容器内に充満している。また、開口３を開状態にする際は、容器内の温度を常温に戻した後で蓋構造を操作するのが通例である。
さらに、容器内の圧力は、容器が設置されるクリーンルーム内の圧力よりも低くなっている。
【００２３】
帯状シール材２０は、容器本体１０の外面１２に開口３の縁に沿って取り付けられた帯状のシール部材であり、外側帯状シール材２１と内側帯状シール材２２とで構成される。
外側帯状シール材２１は、所定の厚みＨ１と所定の幅の断面を持ち所定の素材でできた帯状部材であり、容器本体１０の外面１２に内側帯状シール材２２の外周を囲って取り付けられる。
内側帯状シール材２２は、所定の厚みＨ２と所定の幅の断面を持ち所定の素材でできた帯状部材であり、容器本体１０の外面１２に開口の縁に沿って取り付けられる。
シールする液体が強アルカリ溶液（例えば、モノエタノールアミン、ジメチルスルホキシド、他）である場合、帯状シール材２０の素材は軟質ＰＴＦＥであるのが好ましい。
また、外側帯状シール材２１の上面の高さ位置が内側帯状シール材２２の上面の高さ位置よりも高いのが好ましい。外側帯状シール材２１のシール面と内側帯状シール材２２のシール面の高さの差の寸法を下側シール面段差寸法Ｈ３と呼ぶ。
図３、４、５、７には、開口の縁に帯の内側をほぼ一致させて、容器本体１０の上面１２にネジ止めにより固定された内側帯状シール材２２が示されている。さらに、内側帯状シール材２２の外側の内側帯状シール材２２よりも一段高い位置にネジ止めにより固定された外側帯状シール材２１が示されている。
【００２４】
蓋３０は、開口３を液密にシールして塞ぐものであり、平板部材３１と立板部材３２とシール板部材３３と内側立板部材３４とで構成される。
説明の便宜のために、蓋３０の開口側に向いた向きを下方、反対の向きを上方として説明する。
平板部材３１は、開口を覆う面を持った部材である。
立板部材３２は、平板部材３１の外周に沿って垂下し下方を向いた端面部ａを形成する板状部材である。
シール板部材３３は、立板部材３２の内側に沿って設けられ下方に向いた平面部ｂを形成する部材である。
内側立板部材３４は、シール板部材３３の内側に沿って平板部材３１の下面から垂下した板状部材である。
【００２５】
シール板部材３４は、板を折り曲げて製作されており、外側シール板部３３ａとつなぎ板部３３ｂと内側シール板部３３ｃとで構成される。
外側シール板部３３ａは、シール板部材３４の外側に相当する部分である。外側シール板部３３ａの下面が、下方に向いた平面部ｂ（以下、第一平面部ｂ１と呼ぶ。）を形成する。外側シール板部３３ａの最外周端が、立板部材３２の端面部ａに下端から僅かに高い位置に接合する。
第一平面部ｂ１が、端面部ａに隣接し端面部ａの下端より僅かに高い位置に形成される。第一平面部ｂ１と端面部ａの下端との高さ寸法をＨとすると、高さ寸法Ｈは、外側帯状シール材２１の厚みＨ１より小さいのが好ましい。
【００２６】
内側シール板部３３ｃは、シール板部材３４の内側に相当する部分である。内側シール板部３３ｃの下面が、下方に向いた平面部ｂ（以下、第二平面部ｂ２と呼ぶ。）を形成する。内側シール板部３３ｃは外側シール板部３３ａよりも低い位置にあるのが好ましい。従って、第一平面部ｂ１の高さ位置が第二平面部ｂ２の高さ位置よりも高い。ここで、第一平面部ｂ１の高さ位置と第二平面部ｂ２の高さ位置の差の寸法を上側シール面段差寸法Ｈ４と呼ぶ。
上側シール面段差寸法Ｈ４は、上述した下側シール面段差寸法Ｈ３と略等しい。その寸法誤差は、平面部ｂが帯状シール材２０を押しつぶした際の帯状シール材２０の変形量以下である。
【００２７】
つなぎ板部３３ｂは、外側シール板部３３ａと内側シール板部３３ｃをつなぐ起立した板部分である。つなぎ板部３３ｂの上端が外側シール板部３３ａの内縁に繋がり、つなぎ板部３３ｂの下端が内側シール板部３３ｃの外縁に繋がる。
【００２８】
蓋３０が開口３を閉状態にしたとき、端面部ａが外側帯状シール材２１にくい込み蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第一平面部ｂ１が外側帯状シール材２１を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第二平面部ｂ２が内側帯状シール材２２を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールする様になっている。
【００２９】
重ね蓋構造４０は、開口３を閉状態にしたときに蓋３０を覆うことのできる構造であり、外周壁４１と外周壁水平鍔４２と重ね蓋４３とで構成される。
外周壁４１は、開口３を囲う様に容器本体１０の上面１２に起立した壁部材である。外周壁４１は、複数の開口３を一つとして囲っても良い。
外周壁水平鍔４２は、外周壁４１に設けられた水平の鍔である。
重ね蓋４３は、重ね蓋構造４０を閉じる蓋である。重ね蓋４３の外周が、外周壁水平鍔４２に乗る様になっている。重ね蓋４３は、取り扱いの容易のために複数に分割されていてもよい。また、重ね蓋４３の一部は、蓋３０に乗っていてもよい。
図２には、４つの重ね蓋４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄに分割された重ね蓋４３が示されている。また、図６には、重ね蓋４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄの一部が蓋３０の設けられた重ね蓋座３５に乗っているのが示されている。重ね蓋４３の後述するヒンジ機構５０と干渉する箇所は切り欠かれている。
【００３０】
ヒンジ機構５０は、蓋３０を所定の側を中心に回転可能にする機構である。ヒンジ機構５０は、ヒンジ固定部５１とヒンジ回転部５２とで構成される。　ヒンジ固定部５１が容器本体１０の上面１２にボルト固定される。ヒンジ回転部５２が蓋３０にボルト固定される。ヒンジ機構は、例えば一端をヒンジ固定部５１に固定し、他端をヒンジ回転部５２に固定し長手方向を回転軸に一致させたトルクロッドを持ったいわゆるトーションバー式ヒンジ機構である。
開口３を閉状態にする際は、蓋３０は、ヒンジ機構５０を中心に下方へ回転し、開口を塞ぐ。帯状シール材２０と蓋３０とが合わさってシール機能を発揮する。
開口４を開状態にする際は、蓋３０はヒンジ機構５０を中心に上方へ回転し、蓋３０を開放する。図８には、開口４を開状態にした様子と閉状態にした様子とが示されている。
【００３１】
排気機構６０は、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間から排気する機構であり、排気配管６１と排気ポンプ６２で構成される。
排気配管６１は、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間に連通する配管である。
排気ポンプ６２の吸気口が排気配管６１に連通し、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間から排気する。
容器の置かれた空間の雰囲気が、主に重ね蓋４３の切り欠き部から蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間に入る。容器本体１０の中の気液が、外側帯状シール材２１と端面部ａのシール箇所、外側帯状シール材２１と第一平面部ｂ１のシール箇所、及び内側帯状シール材２２と第二平面部ｂ２のシール箇所を漏れて、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間に入ると、雰囲気に希釈され、排気機構６０により排気される。
【００３２】
のぞき窓７０は、開口３が閉状態の際に容器本体１０の内部を目視確認するための窓であり、蓋３０の平板部材３１と重ね蓋４３とに設けられる。
のぞき窓７０は、透明板７１と押さえパッキン７２と押さえ板７３とで構成される。のぞき穴が、平板部材３１又は重ね蓋４３の所定の箇所に設けられる。透明板７１の外周の上下面を押さえパッキン７２で挟み、押さえ板７３で平板部材３１又は重ね蓋４３に取り付けられる。
押さえパッキン７２の素材は、帯状シール材２０の素材と同じものである。
【００３３】
蓋ロック機構８０は、開口を塞いだ蓋３０を容器本体１０に押さえつけてロックする機構であり、蓋３０の周囲の所定の箇所に設けられる。
蓋ロック機構８０は、ロック爪８１とロックレバー８２とで構成される。ロック爪８１が、容器本体１０の上面１２に固定される。ロックレバー８２が、蓋３０の平板部材３１に固定される。開口３を閉状態にして、ロックレバー８２をロック爪８１に噛み合わせると、蓋３０を容器本体１０の方へ押し付ける所定の押し付け力が発生し、端面部ａが外側帯状シール材２１にくい込み蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第一平面部ｂ１が外側帯状シール材２１を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第二平面部ｂ２が内側帯状シール材２２を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールする。
【００３４】
以下に、本発明の実施形態に係る容器の蓋構造の作用を説明する。
容器１の内部の温度は、高温（例えば８０°）になっており、処理液が容器内に散布され、処理液の蒸気が容器内に充満している。
また、開口３を開状態にする際は、容器内の温度を常温に戻した後で蓋を操作するのが通例である。
さらに、容器内の圧力は、容器が設置されるクリーンルーム内の圧力よりも低くなっている。
図８は、容器の蓋構造の作用を、運用の手順に従って、示している。
【００３５】
開口が開状態の時：
重ね蓋構造４０の重ね蓋４３が取りさらわれ、蓋３０がヒンジ機構４０を中心に上方へ回転され、開口３を開放する。
ロック機構８０が解除されているので、ヒンジ機構５０のトーションバーの回転力により蓋３０は上方に付勢され、蓋３０が開く。
図８には、左右一対の蓋３０ａ、３０ｂが両端にあるヒンジ機構４０を中心に開き、左右一対の開口３を開状態にしているのが示されている。
【００３６】
開口が閉状態の時：
蓋３０が、ヒンジ機構５０を中心に下方へ回転し、蓋３０が開口３を覆う。蓋ロック機構８０が、ロックレバー８２をロック爪８１に噛みあわせ、蓋３０を容器本体１０の方へ押し付ける。
蓋３０の周囲を囲う様に設けられた立板部材３２とシール板部材３３とが、容器本体１０の上面１２に設けられた外側帯状シール材２１と内側帯状シール材に押し付けられる。
端面部ａが外側帯状シール材２１にくい込み蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第一平面部ｂ１が外側帯状シール材２１を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールし、第二平面部ｂ２が内側帯状シール材２２を押しつぶして蓋３０と容器本体１０との間を液密にシールする。
重ね蓋構造４０の重ね蓋４０が外周壁水平鍔４２に乗っている。
排気機構６０の排気ポンプ６２が作動し、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間から排気する。容器の置かれた空間の雰囲気が、重ね蓋構造４０にある隙間から蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間に入る。容器本体１０の中の気液が、外側帯状シール材２１と端面部ａのシール箇所、外側帯状シール材２１と第一平面部ｂ１のシール箇所、及び内側帯状シール材２２と第二平面部ｂ２のシール箇所を漏れて、蓋３０と重ね蓋構造４０とに挟まれた空間に入ると、雰囲気に希釈され、排気機構６０により排気される。
【００３７】
上述の実施形態の蓋構造を用いれば、容器の開口から容器の内容物（例えば、処理液や処理液の蒸気）が外へ出て外部の雰囲気（例えば、クリンルーム）を汚染することを防止できる。
また、端面部ａの内側に隣接して第一平面部を形成したので、端面部ａの第一帯状シール材への食い込み量が安定し、端面部ａと第一帯状シール材とでのシール面での気液の漏れを防止できる。
また、第一帯状シール材の内側に第二平面部と第二帯状シール材とによるシールを重ねたので、さらに気液の漏れを防止できる。
また、蓋を重ね蓋構造で覆ったので、万が一気液が蓋のシール部位から漏れても、排気機構が排気するので、容器の外側の雰囲気を汚染する心配がない。
また、蓋をヒンジ機構で開くようにしたので、蓋が大型化にともない重くなっても、取り扱いが容易である。
また、シール板部材３４を板を折り曲げて製作したので、シール板部材３４の剛性が高まり、薄板でシール板部材３４を製作しても、平面部と帯状シール材の接触面の相対的寸法を維持することができる。
【００３８】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
開口が容器本体の上方にあるとして説明したがこれに限定されず、例えば、開口は容器本体の側面にあってもよい。この場合は、蓋の構造説明に用いた上方または下方の用語は説明の便宜のためのものであり、容器本体に取り付けられた姿勢での蓋の上方または下方とは異なる。
また、端面部と第一帯状シール材とでのシールと第一平面部と第一帯状シール材とでのシールと第二平面部と第二帯状シール材とでのシールを組み合わせた組み合わせ例で説明したがこれに限定されず、例えば、端面部と第一帯状シール材とでのシールと第一平面部と第一帯状シール材とでのシールを組み合わせる組み合わせ例、端面部と第一帯状シール材とでのシールと第二平面部と第二帯状シール材とでのシールを組み合わせた組み合わせ例等でもよい。
また、第二平面部と第二帯状シール材とでのシールの内側に第三平面部と第三帯状シール材とでのシールを追加するごとく、さらに多くのシールを追加しても良い。
また、端面部と第一帯状シール材とでのシールの外側に、平面部と帯状シール材とでのシールを追加するごとく、さらに多くのシールを追加しても良い。
また、重ね蓋構造を説明したがこれに限定されず、重ね蓋構造を省略しても良い。
また、ヒンジ機構を説明したがこれに限定されず、他の形式のヒンジ機構でもよいし、ヒンジ機構を省略し、蓋の重量によりシールの部位を押してもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の容器本体に設けられた開口を択一的に開状態と閉状態とにすることのできる容器の蓋構造とその容器は、その構成により、以下の効果を有する。
容器の開口を囲って帯状シール材を設け、開口を塞ぐ蓋の外周に平面部と端面部とを形成したので、蓋の外周を前記平面部と帯状シール材とでシールでき、その外周を前記端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、開口からの漏れを防止できる。
また、平面部を前記端面部に隣接し端面部の下端より僅かに高い位置に形成したので、平面部の外周を端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、開口からの漏れをより防止できる。
また、帯状シール材を外側帯状シール材と内側帯状シール材とに分け、端面部が外側帯状シール材にくい込み、前記平面部が前記内側帯状シール材を押す様にしたので、前記平面部と前記内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
また、平面部を前記端面部に隣接し端面部の下端より高い位置に形成し、さらに帯状シール材を外側帯状シール材と内側帯状シール材とに分け、端面部が外側帯状シール材にくい込み、前記平面部が前記内側帯状シール材を押す様にしたので、前記第一平面部の外周を前記端面部と帯状シール材とで確実にシールでき、前記第二平面部と前記内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が前記端面部と前記外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
また、外側帯状シール材のシール面の高さ位置が内側帯状シール材のシール面の高さ位置よりも高くなる様にしたので、第二平面部と内側帯状シール材とによるしールの部位から漏れた気液が端面部と外側帯状シール材によるシールの部位に届きにくくなり、開口からの漏れをより防止できる。
従って、容器の内部の液体や気体の漏洩がすくなく、かつ開口を択一的に開状態と閉状態とにすることが容易な蓋構造とその蓋構造を備えた容器を提供できる。
【００４０】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態にかかる容器の側面断面図である。
【図２】本発明の実施形態にかかる容器の正面断面図である。
【図３】本発明の実施形態にかかる容器のＡ部詳細図その１である。
【図４】本発明の実施形態にかかる容器のＡ部詳細図その２である。
【図５】本発明の実施形態にかかる容器のＢ部詳細図である。
【図６】本発明の実施形態にかかる容器のＣ部詳細図である。
【図７】本発明の実施形態にかかる容器のＤ部詳細図である。
【図８】本発明の実施形態にかかる容器の作用説明図である。
【符号の説明】
ａ　　端面部
ｂ　　平面部
ｂ１　第一平面部
ｂ２　第二平面部
Ｈ　　高さ寸法
Ｈ１　厚み寸法
Ｈ２　厚み寸法
Ｈ３　下側シール面段差寸法
Ｈ４　上側シール面段差寸法
１　　容器
２　　重ね蓋構造
３　　開口
３ａ　開口
３ｂ　開口
１０　　容器本体
１１　　容器側面
１２　　容器上面
２０　　帯状シール材
２１　　外側帯状シール材
２２　　内側帯状シール材
３０　　蓋
３０ａ　蓋
３０ｂ　蓋
３１　　平板部材
３２　　立板部材
３３　　シール板部材
３３ａ　外側シール板部と
３３ｂ　つなぎ板部
３３ｃ　内側シール板部
３４　　内側立板部材
４０　　重ね蓋構造
４１　　外周壁
４２　　外周壁水平鍔
４３　　重ね蓋
４３ａ　重ね蓋
４３ｂ　重ね蓋
４３ｃ　重ね蓋
４３ｄ　重ね蓋
５０　　ヒンジ機構
５１　　ヒンジ固定部
５２　　ヒンジ回転部
６０　　排気機構
６１　　排気配管
６２　　排気ポンプ
７０　　のぞき窓
７１　　透明板
７２　　押さえパッキン
７３　　押さえ板
８０　　蓋ロック機構
８１　　ロック爪
８２　　ロックレバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2004075159.tif 000007
【図６】
2004075159.tif 000008
【図７】
2004075159.tif 000009
【図８】
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