【手続補正書】
【提出日】平成16年1月27日(2004.1.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより翼排気部および／または、溝排気部からなる気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部のステータ側部材の少なくとも一部が、前記ロータが破壊したときに前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材を構成し、該飛散防止部材は前記ロータの回転軸に対し、略垂直な平面部を前記ロータの軸方向の空隙部に有すると共に、前記ポンプケーシングの内径側で略円筒形状部を、前記平面部と一体構造で設けたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより翼排気部および／または溝排気部からなる気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部のステータ側部材の少なくとも一部が、前記ロータが破壊したときに前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材を構成し、該飛散防止部材は、前記ロータの回転軸に向かって、半径方向外方から内方に向かう複数のステーと、前記ステーと一体構造の前記ステーの半径方向の内方に設けたリング状の内径部と、前記ステーと一体構造の前記ステーの半径方向外方に設けた円筒部とからなることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】
前記略円筒形状部の軸方向寸法は、前記平面部の厚さよりも大きく設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記気体排気部を構成するロータが、軸方向および／または、径方向に少なくとも２つ以上に分割されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記２つ以上に分割されたロータは、主軸との結合部において、それぞれのロータが結合されていることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記２つ以上に分割されたロータは、それぞれの気体排気部が同一材料で構成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の真空ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより翼排気部および／または、溝排気部からなる気体排気部が構成された真空ポンプにおいて、前記気体排気部のステータ側部材の少なくとも一部が、前記ロータが破壊したときに前記ロータの破片が、前記ロータの吸気口側に飛散するのを防止する飛散防止部材を構成し、該飛散防止部材は前記ロータの回転軸に対し、略垂直な平面部を前記ロータの軸方向の空隙部に有すると共に、前記ポンプケーシングの内径側で略円筒形状部を、前記平面部と一体構造で設けたことを特徴とする真空ポンプである。すなわち、該飛散防止部材は、前記ロータの回転軸に向かって、半径方向外方から内方に向かう複数のステーと、前記ステーと一体構造の前記ステーの半径方向の内方に設けたリング状の内径部と、前記ステーと一体構造の前記ステーの半径方向外方に設けた円筒部とからなることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項３に記載の発明は、前記略円筒形状部の軸方向寸法は、前記平面部の厚さよりも大きく設定されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプである。
これにより、飛散防止部材の略円筒形状部の面積が広くなり、結果的にケーシング内周面に対して押し付けられる力が大きくなり、略円筒形状部のケーシングの内側による拘束力が増大する。このため、ロータの回転軸と略垂直な飛散防止部材の平面部がロータの破片により吸気側に移動するのを阻止することができ、ロータの破片が吸気口側に飛び出そうとするのを有効に防止することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載の発明は、前記気体排気部を構成するロータが、軸方向および／または、径方向に少なくとも２つ以上に分割されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプである。
これにより、ロータが腐食やクリープおよびポンプ内部への異物混入またはロータとステータの接触等の原因により破壊した場合にも、ロータは２つ以上に分割されているため、破壊は初期破壊の起こった部分のロータのみに限られる。一方のロータの破壊が激しい場合でも、他方のロータの損傷の程度は分割されていない一体型の場合と比較して、大幅に低減される。その結果、吸気口側への破損したロータの破片の飛出は、他のロータの存在により大幅に阻止される。特に、ロータの破壊の原因である腐食やクリープの起こる可能性の高い排気側のロータが破壊した場合には、吸気側のロータの損傷は限定される。従って、吸気側のロータ自体が排気側のロータの破片の吸気口側への飛出に対して障害物となるため、ロータ破壊時の破片の吸気口からの飛出を有効に阻止することができる。
更に、前述の飛散防止部材をロータの分割部付近に設定しておくことが好ましい。これにより、破壊の可能性の高い排気側のロータが破壊した場合に、該飛散防止部材より排気側のロータの破片は該飛散防止部材によって吸気側への飛散は防止される。その結果、排気側のロータの破片を吸気側ロータのみで受ける必要がなくなり、飛散防止部材より吸気側のロータの損傷の程度は飛散防止部材がない場合と比較して非常に限定されたものとなる。
飛散防止部材の配置により損傷を免れる、あるいは損傷の程度が低減される具体的箇所は、吸気側ロータのみならず、吸気側ロータと一体になった主軸、および主軸が組み込まれているハウジング部である。即ち、飛散防止部材の配置はポンプの主要部の損傷を低減あるいは阻止すると共に、ロータの破片の飛出を防止することができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５に記載の発明は、前記２つ以上に分割されたロータは、主軸との結合部において、それぞれが結合されていることを特徴とする請求項４に記載の真空ポンプである。これにより、ロータが腐食やクリープ等の原因により破壊した場合でも、主軸との結合部においてロータが複数のロータに分割されているため、破壊は初期破壊の起こった部分のロータに限られる。
また、ロータが破壊した場合、破片は遠心力により外方に飛ぶので主軸の損傷は限られ、主軸と結合されている初期破壊の起こらなかったロータは、初期破壊の起こったロータの一部分が飛散するのを阻止できる。特に、破壊の可能性が高い排気側ロータが破損した場合、吸気側ロータと主軸の損傷は限定されるので、破損したロータの破片が吸気口側へ飛び出すのを、吸気側ロータと主軸によって阻止できる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項６に記載の発明は、前記２つ以上に分割されたロータはそれぞれの気体排気部が、同一材料で構成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の真空ポンプである。
これにより、ロータの気体排気部全体を比強度の高い同一材料で構成して、異なる材料による温度変化に伴なう寸法変化の違い等に起因するロータ結合部における強度の低下を阻止できる。このため、ロータの高速回転が可能となり、排気性能の良いポンプを提供できる。