(57)【要約】【課題】圧電基板の一方の面に設置した移動子を二次元的に移動させる。【解決手段】圧電基板の一方の面に設けられた移動子と、櫛形電極とからなり、櫛形電極に高周波を印加することにより発生するレイリー波によって移動子を移動させる弾性表面波アクチュエータにおいて、圧電基板２の一方の面２ａに設けられ、Ｘ軸方向に移動子６を挟んだ第１，第３櫛形電極３Ａ，３Ｃ及びＸ軸方向と直交するＹ軸方向に移動子６を挟んだ第２，第４櫛形電極３Ｂ，３Ｄと、永久磁石６Ｂを少なくとも有する移動子６と、第１，第３櫛形電極のいずれか一方と、及び／又は、第２，第４櫛形電極のいずれか一方とにそれぞれ高周波を選択的に印加する手段４Ａ〜４Ｄ，５Ａ〜５Ｄと、圧電基板２を挟んで移動子６と対向配置されて、移動子保持用の磁性体７Ｂを少なくとも有する移動子保持体７とを備えた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板の一方の面に設けられた移動子と、櫛形電極とからなり、前記櫛形電極に高周波を印加することにより発生するレイリー波によって前記移動子を移動させる弾性表面波アクチュエータにおいて、
前記圧電基板の一方の面に設けられ、Ｘ軸方向に前記移動子を挟んだ第１，第３櫛形電極及び前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に前記移動子を挟んだ第２，第４櫛形電極と、
永久磁石を少なくとも有する前記移動子と、
前記第１，第３櫛形電極のいずれか一方と、及び／又は、前記第２，第４櫛形電極のいずれか一方とにそれぞれ前記高周波を選択的に印加する手段と、
前記圧電基板を挟んで前記移動子と対向配置されて、移動子保持用の磁性体を少なくとも有する移動子保持体とを備えたことを特徴とする弾性表面波アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器であって、
偏向体支持台と、
前記偏向体支持台の一つの面側に支持され、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動する偏向体と、
前記偏向体の凹部内に設けられ、前記偏向体の偏向面部の中心点を通り、且つ前記偏向面部と直交する軸上にあって、該偏向面部をＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように変位する磁性部材と、
前記偏向体支持台の一つの面と対向した対向面側に設けられた前記弾性表面波アクチュエータとを備え、
前記弾性表面波アクチュエータ中で前記移動子の第１永久磁石の移動に伴う磁界により前記磁性部材を変位させて前記偏向体の偏向面部を揺動させることを特徴とする弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波アクチュエータ及び弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、弾性表面波アクチュエータは、高速、高推力、高分解能などの優れた動作特性を備えていることから、リニアアクチュエータなどへの研究開発が進められている。
【０００３】
図１１は従来例１の弾性表面波アクチュエータを説明するための斜視図であり、（ａ）は弾性表面波モータの概略構成を示し、（ｂ）はレイリー波による摩擦駆動の概念を示した図である。
【０００４】
図１１（ａ）に示したように、従来例１の弾性表面波アクチュエータ１００は、例えば弾性表面波モータとして開発が進められている。この弾性表面波アクチュエータ１００では、圧電基板１０１が例えばニオブ酸リチウムなどを用いて長方形状に形成されており、この圧電基板１０１の上面１０１ａ上で右端及び左端に櫛形電極１０２Ａ，１０２Ｂが蒸着法などにより設けられている。また、櫛形電極１０２Ａ，１０２Ｂには、スイッチ１０３Ａ，１０３Ｂを介して高周波電源１０４Ａ，１０４Ｂが接続されている。更に、圧電基板１０１の上面１０１ａ上で櫛形電極１０２Ａ，１０２Ｂ間にスライダ１０５が予圧を付与した状態で移動可能に設置されている。
【０００５】
ここで、例えば右側のスイッチ１０３ＡをＯＮ状態にして高周波電源１０４Ａからの高周波を櫛形電極１０２Ａに印加すると、圧電基板１０１上で高周波が右側から左側（矢印Ｘ２方向）に向かう一方向のレイリー波ＬＷに変換されて圧電基板１０１上を伝播して、予圧を付与したスライダ１０５がレイリー波ＬＷに向かう方向（矢印Ｘ１方向）に動かされるものである。この際、左側のスイッチ１０３ＢをＯＦＦ状態にしておく。
【０００６】
そして、図１１（ｂ）に示したように、レイリー波ＬＷにより、圧電基板１０１の表面粒子は楕円軌跡の回転運動を行い、レイリー波ＬＷの頭の部分で接したスライダ１０５を摩擦駆動により矢印Ｘ１方向に移動させる。この際、スライダ１０５にはある程度の圧力を上から加えなければ十分な摩擦力が作用せずに圧電基板１０１上で上下方向に微小振動するだけであるので、一般的に、スライダ１０５の重量とか、不図示のバネなどを用いてスライダ１０５に予圧を付与している。
【０００７】
しかしながら、上記のようにしてスライダ１０５に予圧を付与した状態で圧電基板１０１を斜めに傾けたり、あるいは、圧電基板１０１の上下を逆にして設置した場合には、スライダ１０５が圧電基板１０１から滑り落ちてしまうなどの現象がおきるために、従来例１における圧電基板１０１は略水平に設置した場合の使用に限定されてしまう。
【０００８】
そこで、圧電基板１０１上からスライダ１０５が落下しないように対策を施した具体例がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２８５２７９号公報（第３頁、第１図）
【００１０】
図１２は従来例２の弾性表面波アクチュエータの構成を説明するための斜視図である。
【００１１】
図１２に示した従来例２の弾性表面波アクチュエータ２００は、特許文献１に開示されているものであり、ここでは特許文献１を参照して簡略に説明する。
【００１２】
図１２に示したように、従来例２の弾性表面波アクチュエータ２００では、圧電基板２０１の上面２０１ａ上で左右両端に櫛形電極２０２Ａ，２０２Ｂが設けられており、櫛形電極２０２Ａ，２０２Ｂのうちの一方に高周波電源（図示せず）により電圧を印加することで圧電基板２０１上に弾性表面波を発生させるようになっている。
【００１３】
また、圧電基板２０１上で弾性表面波の進行路に移動子２０３が載置されている。上記した移動子２０３は、圧電基板２０１の上面２０１ａと接触するために微細な凸部を多数有する移動子基板２０３Ａと、移動子基板２０３Ａ上に設置した永久磁石２０３Ｂと、永久磁石２０３Ｂへの磁気シールド構造体を兼ねた軟磁性体のコ字型磁気ヨーク２０３Ｃとから構成されており、これらの部材２０３Ａ〜２０３Ｃは相互に一体化されている。
【００１４】
更に、圧電基板２０１の下面２０１ｂには、軟磁性体のリニア駆動ガイドとしてコ字型の磁気ガイド２０４が圧電基板２０１の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って取り付けられている。そして、移動子２０３のコ字型磁気ヨーク２０３Ｃと、コ字型の磁気ガイド２０４とが圧電基板２０１を挟んで互いに対向することで両者２０３Ｃ，２０４間に磁気回路が発生し、移動子２０３は圧電基板２０１を介してコ字型の磁気ガイド２０４側に向かって予圧が付与された状態になっている。
【００１５】
ここで、例えば、左方の櫛形電極２０２Ａに高周波電圧を印加することで発生する弾性表面波を駆動源としたとき、移動子２０３はコ字型の磁気ガイド２０４に沿って矢印Ｙ１方向に進行する。この際、移動子２０３のコ字型磁気ヨーク２０３Ｃとコ字型の磁気ガイド２０４とが互いに対向しているときに磁気吸引力が最大で安定し、圧電基板２０１の幅方向であるＸ軸方向に位置ずれが生じても元に戻す働きがある。なお、反対側の櫛形電極２０２Ｂに電圧を印加することで発生する弾性表面波を駆動源としたとき、移動子２０１の進行方向は上記とは逆向きとなる。
【００１６】
上記により、移動子２０３を圧電基板２０１の上面２０１ａ上に載置し、且つ、リニア磁気ガイド２０４を圧電基板２０１の下面２０１ｂに取り付けた状態から圧電基板２０１ごと傾けたり、あるいは圧電基板２０１の上下を逆にして設置したり、もしくは移動子２０３の移動方向が上下方向となるように圧電基板２０１への設置面を変化させることも可能である。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図１１（ａ），（ｂ）を用いて説明した従来例１の弾性表面波アクチュエータ１００では、圧電基板１０１を斜めに傾けたり、あるいは、圧電基板１０１の上下を逆にして設置した場合には、スライダ１０５が圧電基板１０１から滑り落ちてしまう現象があり、この現象を防止するために図１２に示した従来例２の弾性表面波アクチュエータ２００で対策が図られているものの、この従来例２では、移動子２０３のコ字型磁気ヨーク２０３Ｃと、圧電基板２０１の下面２０１ｂに設けたコ字型の磁気ガイド２０４との間で磁束が閉ループを描くので、磁束の漏れが発生しにくくなっているために、移動子２０３の移動に伴う磁束を利用して別の物を動かすことができない。また、圧電基板２０１の下面２０１ｂにコ字型の磁気ガイド２０４が圧電基板２０１の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って取り付けられているために、圧電基板２０１の上面２０１ａに載置した移動子２０３も圧電基板２０１の長手方向（Ｙ軸方向）のみに移動可能であるものの、移動子２０３はＸ軸及び／又はＹ軸方向に二次元的に移動できず、これにより弾性表面波アクチュエータ２００の適用範囲が限定されてしまい問題である。
【００１８】
この理由を説明すると、弾性表面波アクチュエータは、前述したように、高速、高推力、高分解能などの優れた動作特性を備えているので、リニアモータ以外に、例えば、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に二次元的に揺動させる２軸方向揺動型の偏向器への駆動源としての適用も考えられる。
【００１９】
上記した２軸方向揺動型の偏向器は、ここでの図示を省略するものの、例えば、特開平６−１８０４２８号公報に静電駆動を用いた静電力駆動小型光スキャナが開示され、また、特開平８−３２２２７号公報に電磁駆動を用いたプレーナ型電磁アクチュエータが開示されている。このうち、前者の静電力による静電駆動は電圧駆動であり、電流がほとんど流れないので消費電力が小さいものの、発生力が小さく、大きな偏向角度を得ることが難しい。また、駆動のためには数百Ｖの駆動電圧を必要とする。
【００２０】
一方、後者のローレンツ力による電磁駆動は、発生力が大きいので、偏向角度を大きくすることが可能であり、また電流値の制御で偏向角度をコントロールすることが可能である。しかし、ある角度で固定させようとすると、常に一定の電流を流す必要があるため、ある程度の時間同じ角度を維持するような用い方をする場合、消費電力が大きくなる、という問題点があった。
【００２１】
上記したような２軸方向揺動型の偏向器に弾性表面波アクチュエータを適用する場合に、従来例２の構造形態では移動子２０３が二次元的に移動できないので、そのまま適用ができず改善が必要である。
【００２２】
そこで、圧電基板の一方の面に設置した移動子が圧電基板上から落下することなく一方の面内で二次元的に移動できる弾性表面波アクチュエータと、この弾性表面波アクチュエータを適用することで消費電力を小さくして偏向体の偏向面部を二次元的に揺動できる偏向器とが望まれている。
【００２３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、第１の発明は、圧電基板の一方の面に設けられた移動子と、櫛形電極とからなり、前記櫛形電極に高周波を印加することにより発生するレイリー波によって前記移動子を移動させる弾性表面波アクチュエータにおいて、
前記圧電基板の一方の面に設けられ、Ｘ軸方向に前記移動子を挟んだ第１，第３櫛形電極及び前記Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に前記移動子を挟んだ第２，第４櫛形電極と、
永久磁石を少なくとも有する前記移動子と、
前記第１，第３櫛形電極のいずれか一方と、及び／又は、前記第２，第４櫛形電極のいずれか一方とにそれぞれ前記高周波を選択的に印加する手段と、
前記圧電基板を挟んで前記移動子と対向配置されて、移動子保持用の磁性体を少なくとも有する移動子保持体とを備えたことを特徴とする弾性表面波アクチュエータである。
【００２４】
また、第２の発明は、上記した第１の発明の弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器であって、
偏向体支持台と、
前記偏向体支持台の一つの面側に支持され、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動する偏向体と、
前記偏向体の凹部内に設けられ、前記偏向体の偏向面部の中心点を通り、且つ前記偏向面部と直交する軸上にあって、該偏向面部をＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように変位する磁性部材と、
前記偏向体支持台の一つの面と対向した対向面側に設けられた前記弾性表面波アクチュエータとを備え、
前記弾性表面波アクチュエータ中で前記移動子の第１永久磁石の移動に伴う磁界により前記磁性部材を変位させて前記偏向体の偏向面部を揺動させることを特徴とする弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る弾性表面波アクチュエータ及び弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一実施例を図１乃至図１０を参照して、各項目順に詳細に説明する。
【００２６】
＜弾性表面波アクチュエータ＞
図１（ａ），（ｂ）は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを示した斜視図，Ｘ軸上断面図である。
【００２７】
まず、図１（ａ），（ｂ）に示した如く、本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａでは、圧電基板２が例えばニオブ酸リチウムなどを用いて正方形状に形成されて、この圧電基板２の一方の面となる上面２ａはここに設定したＸ軸及びこのＸ軸と直交するＹ軸とからなる二次元のＸＹ平面として形成されている。
【００２８】
また、圧電基板２の上面２ａに設定したＸ軸の左右及びＹ軸の上下にそれぞれ間隔を離して合計４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄが設けられており、即ち、第１〜第４櫛形電極３Ａ〜３Ｄ（以下、櫛形電極３Ａ〜３Ｄと記す）は、正方形状の各辺に沿って９０°間隔に配置されている。上記した４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄは、下記する高周波電源５Ａ〜５Ｄからの高周波をそれぞれ印加することで、圧電基板２上で高周波が一方向のレイリー波ＬＷに変換されるために、一方向性櫛形電極と呼称される場合もある。
【００２９】
また、４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄには、切り換え手段となるスイッチ４Ａ〜４Ｄを介して高周波電源５Ａ〜５Ｄが接続されている。ここでは、４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄと対応して４個の高周波電源５Ａ〜５Ｄを設けたが、これに限ることなく、Ｘ軸用とＹ軸用とで合計２個設けてＸ軸上の左右と、Ｙ軸上の上下とをそれぞれの軸ごとに不図示の切り換え手段により切り換えても良い。
【００３０】
また、圧電基板２の上面２ａ上で４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄ間に対応した内周部位に移動子６がＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に移動可能に設置されている。即ち、この移動子６は、Ｘ軸上の櫛形電極（第１櫛形電極）３Ａと櫛形電極（第３櫛形電極）３Ｃ間に挟まれ、且つ、Ｙ軸上の櫛形電極（第２櫛形電極）３Ｂと櫛形電極（第４櫛形電極）３Ｄ間に挟まれた状態で移動可能になっている。
【００３１】
また、上記した移動子６は、スライダ６Ａの内周に永久磁石６Ｂが接着又は圧入などにより一体的に埋め込まれている。この際、移動子６を構成するスライダ６Ａ及び永久磁石６Ｂの圧電基板２の上面２ａへの摺接部位を粗面に形成しておけばレイリー波ＬＷによる摩擦駆動がし易くなる。
【００３２】
また、圧電基板２の一方の面と反対の他方の面となる下面２ｂには、スライダ７Ａの内周に磁性体７Ｂを埋め込んだ移動子保持体７が圧電基板２を挟んで移動子６と対向しながら移動子６と一体になって移動可能に設けられている。この際、移動子保持体７を構成するスライダ７Ａ及び磁性体７Ｂの圧電基板２の下面２ｂへの摺接部位を粗面に形成しておけば摩擦駆動し易くなる。
【００３３】
更に、移動子６内の永久磁石６Ｂと、移動子保持体７内の磁性体７Ｂは、圧電基板２を挟んで磁界吸引力が働くようにＮ極，Ｓ極の極性を上下方向もしくは水平方向に向けることで磁界吸引力による予圧が移動子６に加わると共に、移動子６内の永久磁石６Ｂからの漏れ磁界Ｈを発生させることが可能となっている。この際、永久磁石６Ｂ，磁性体７Ｂによる磁界吸引力は移動子６と移動子保持体７とが一体となって圧電基板２に対して移動可能な保持力を持つように予め設定されていることで、圧電基板２を傾けたり、あるいは圧電基板２の上下を逆にして設置しても移動子６及び移動子保持体７は圧電基板２上から落下しないので、使い勝手の良い弾性表面波アクチュエータ１Ａを提供できる。そして、移動子６内の永久磁石６Ｂによる漏れ磁界Ｈが例えば上向きに発生している。
【００３４】
尚、上記した移動子６及び移動子保持体７は、スライダ６Ａ，７Ａ内に永久磁石６Ｂ，磁性体７Ｂをそれぞれ埋め込んでいるが、これに限ることなく、スライダ６Ａ，７Ａ内に永久磁石６Ｂ，磁性体７Ｂをそれぞれ埋め込まずに永久磁石６Ｂ，磁性体７Ｂだけでも良いものである。
【００３５】
そして、弾性表面波アクチュエータ１Ａが初期状態に至っている時には、圧電基板２の上面２ａに設置した移動子６が４個の櫛形電極３Ａ〜３Ｄ間でＸ軸とＹ軸とが直交する中央に位置し、且つ、圧電基板２を挟んで移動子６と移動子保持体７とが互いに吸引し合って移動子６と移動子保持体７は停止している。
【００３６】
ここで、例えばＸ軸右側のスイッチ４ＡをＯＮ状態にして高周波電源５Ａからの高周波を櫛形電極３Ａに印加すると、圧電基板２上で高周波が矢印Ｘ２方向に向かう一方向のレイリー波ＬＷに変換されて圧電基板２上を伝播して、レイリー波ＬＷによって移動子６及び移動子保持体７が一体となってＸ軸上に略沿って矢印Ｘ１方向に直線的に移動する。また、Ｘ軸左側のスイッチ４ＣをＯＮ状態にして高周波電源５Ｃを作動させれば、上記とは逆に移動子６及び移動子保持体７が一体となってＸ軸上に略沿って矢印Ｘ２方向に直線的に移動できる。
【００３７】
更に、Ｙ軸上方側の高周波電源５Ｂを作動させれば、移動子６及び移動子保持体７が一体となってＹ軸上に略沿って矢印Ｙ１方向に直線的に移動でき、一方、Ｙ軸下方側の高周波電源５Ｄを作動させれば、上記とは逆に移動子６及び移動子保持体７が一体となってＹ軸上に略沿って矢印Ｙ２方向に直線的に移動できる。
【００３８】
また、例えばＸ軸右側のスイッチ４ＡとＹ軸上方側のスイッチ４Ｂとを略同時にＯＮ状態にして、高周波電源５Ａ，５Ｂからの各高周波を櫛形電極３Ａ，３Ｂに略同時に印加すると、矢印Ｘ２方向，矢印Ｙ２方向の各レイリー波ＬＷ，（ＬＷ…図示せず）によって移動子６及び移動子保持体７が一体となって矢印Ｘ１方向，矢印Ｙ１方向の合成ベクトルの方向に向かうので、ＸＹ平面上の第１象限内を二次元的に移動できる。この際、高周波電源５Ａ，５Ｂからの各高周波の大きさを調整することで、ＸＹ平面上の第１象限内での移動方向を設定できる。
【００３９】
更に、移動子６及び移動子保持体７は、櫛形電極３Ｂ，３Ｃの組み合わせでＸＹ平面上の第２象限内を、櫛形電極３Ｃ，３Ｄの組み合わせでＸＹ平面上の第３象限内を、櫛形電極３Ｄ，３Ａの組み合わせでＸＹ平面上の第４象限内をそれぞれ二次元的に移動できる。
【００４０】
上記構成による本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａでは、Ｘ軸の左右に配置した２個のうちでいずれか一方の櫛形電極（３Ａ），（３Ｃ）及び／又はＹ軸の上下に配置した２個のうちでいずれか一方の櫛形電極（３Ｂ），（３Ｄ）に高周波をそれぞれ印加した時に生じる各レイリー波ＬＷにより、永久磁石６Ｂを少なくとも有する移動子６と、磁性体７Ｂを少なくとも有する移動子保持体７とを圧電基板２を挟んで一体的に二次元的に移動させることができ、且つ、移動子６への駆動源となる高周波電源５Ａ〜５Ｄの消費電力を小さく抑えることができる。
【００４１】
尚、本実施例では、移動子保持体７に磁性体７Ｂを設けた場合について説明しているが、移動子６と同様に、磁性体７Ｂを永久磁石とし、同じ極性を向けて吸引させれば、より強い予圧を移動子６に付与させることができ、且つ、外側への漏れ磁界Ｈを強くすることができる。
【００４２】
次に、本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａを一部変形させた変形例について、図２（ａ），（ｂ）を用いて説明する。
【００４３】
図２（ａ），（ｂ）は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを一部変形させた変形例を示した斜視図，Ｘ軸上断面図である。
尚、図２（ａ），（ｂ）に示した弾性表面波アクチュエータ１Ｂ中で先に図１（ａ），（ｂ）を用いて説明した弾性表面波アクチュエータ１Ａと同じ構成部材に対して同一の符番を付して図示し、且つ、異なる構成部材に新たな符番を付して異なる点を中心にして簡略に説明する。
【００４４】
図２（ａ），（ｂ）に示した如く、変形例の弾性表面波アクチュエータ１Ｂでは、圧電基板２の上面２ａ側が先に説明した弾性表面波アクチュエータ１Ａと全く同じ構成であるものの、弾性表面波アクチュエータ１Ａに対して異なる点は圧電基板２の下面２ｂに接着剤８により大面積の磁性体板を移動子保持体９として接着している。この際、移動子保持体（以下、磁性体板）９は圧電基板２の上面２ａ上を移動する移動子６の移動範囲をカバーできる面積に設定されている。
【００４５】
そして、移動子６内の永久磁石６Ｂと、磁性体板９は、圧電基板２を挟んで磁界吸引力が働くようにＮ極，Ｓ極の極性を上下方向もしくは水平方向に向けることで磁界吸引力による予圧が移動子６に加わると共に、移動子６内の永久磁石６Ｂからの漏れ磁界Ｈを発生させることが可能となっている。この際、永久磁石６Ｂ，磁性体板９による磁界吸引力は移動子６が圧電基板２に対して移動可能な保持力を持つように予め設定されていることで、圧電基板２を傾けたり、あるいは圧電基板２の上下を逆にして設置しても移動子６は圧電基板２上から落下しないので、使い勝手の良い弾性表面波アクチュエータ１Ｂを提供できる。そして、永久磁石６Ｂによる漏れ磁界Ｈが例えば上向きに発生している。
【００４６】
この変形例の弾性表面波アクチュエータ１Ｂによれば、圧電基板２の下面２ｂに接着した第２永久磁石（移動子保持体）９は大面積を必要とするものの下面２ｂに固着しているので、圧電基板２の上面２ａに設置した移動子６のみが移動するために駆動時の負荷が軽くなり、これにより高周波電源５Ａ〜５Ｄを先に説明した弾性表面波アクチュエータ１Ａの場合に対してより小さく設定できるなどの利点がある。
【００４７】
尚、この変形例でも、磁性体板９を永久磁石としても良く、この場合には移動子６の永久磁石６Ｂと磁性体板９となる永久磁石とを共に上下方向に着磁して圧電基板２を挟んで吸引し合うようにすれば、より強い予圧を移動子６に付与させることができ、且つ、外側への漏れ磁界Ｈを強くすることができる。
【００４８】
＜弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器＞
まず、本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一例について、図３及び図４（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。
【００４９】
図３は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一例を説明するための分解斜視図、
図４は図３に示した偏向器の動作を説明するための縦断面図であり、（ａ）は偏向体が初期状態を示し、（ｂ）は偏向体内に形成したミラー状偏向面部を一対の第２梁部（Ｘ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示し、（ｃ）は偏向体内に形成した内枠部及び一対の第２梁部並びにミラー状偏向面部を一対の第１梁部（Ｙ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示した図である。
【００５０】
図３に示した如く、本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａを適用した偏向器１０Ａでは、基台となる偏向体支持台１１のうちで一つの面となる上面１１ａ及びこの上面１１ａと対向した対向面となる下面１１ｂが共に正方形状に形成され、且つ、上面１１ａと下面１１ｂとの間を側面１１ｃ〜１１ｆで囲んで偏向体支持台１１が直方形状に形成されている。更に、偏向体支持台１１の上面１１ａ側には、この上面１１ａの中心から半径Ｒの半球状有底凹部１１ｇが開口して形成されている。
【００５１】
また、偏向体支持台１１の上面１１ａに支持される偏向体１２は、薄い厚みのシリコン，ポリイミド，ステンレスなどの材料を用いて偏向体支持台１１の上面１１ａと略同じ外形寸法で正方形状に形成されている。
【００５２】
尚、以下の説明の都合上、偏向体支持台１１の上面１１ａの中心部位及び偏向体１２の中心部位を２軸座標系のＸ軸とＹ軸とで直交させて図示している。
【００５３】
上記した偏向体１２は、外枠部１２ａの内側に、一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂと、内枠部１２ｃと、一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄと、ミラー状偏向面部１２ｅとが一体的に形成されている。
【００５４】
より具体的に説明すると、偏向体１２は、外枠部１２ａ内から一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂをＹ軸の上下で互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ間にリング状の内枠部１２ｃを一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ（Ｙ軸）を中心にしてＸ軸方向に揺動可能に形成すると共に、一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂに対して直交させた一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄをＸ軸の左右でリング状の内枠部１２ｃ内から互いに対向してそれぞれ内側に延出させ、且つ、一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ間に円盤状に鏡面加工を施したミラー状偏向面部１２ｅを支持して、このミラー状偏向面部１２ｅを一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ（Ｘ軸）を中心にしてＹ軸方向に揺動可能に形成している。従って、偏向体１２のミラー状偏向面部１２ｅは、偏向体支持台１１の一つの面となる上面１１ａ側に位置している。
【００５５】
この際、偏向体１２内に形成した一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ及び一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄは、捩じりバネ性を備える材料特性、構造を有している。また、偏向体１２の外枠部１２ａと内枠部１２ｃとの間で一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂが接続している部位を除いてエッチングなどの処理により貫通してくりぬかれていると共に、内枠部１２ｃとミラー状偏向面部１２ｅとの間で一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄが接続している部位を除いてエッチングなどの処理により貫通してくりぬかれている。
【００５６】
また、偏向体支持台１１に形成した半球状有底凹部１１ｇ内には、球状磁性部材１３が回転可能に収納されている。この球状磁性部材１３は偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの半径Ｒに対してＲ／２の半径で球状に形成されている。この際、球状磁性部材１３の中心は、偏向体１２内のミラー状偏向面部１２ｅの中心点Ｏを通り、且つ、ミラー状偏向面部１２ｅと直交するＺ軸上で偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に向かって設けられている。
【００５７】
そして、偏向体１２の外枠部１２ａの裏面を偏向体支持台１１の上面１１ａ上に取り付けた時に、球状磁性部材１３が偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部と、偏向体支持台１１に形成した半球状有底凹部１１ｇの内周面との間に挟まれた状態で収納されるので、球状磁性部材１３はミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部に対して一点で接触し、且つ、半球状有底凹部１１ｇの内周面に対しても一点で接触している。上記した球状磁性部材１３は、後述する動作で説明するように、偏向体１２のミラー状偏向面部１２ｅをＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇ内で変位するものである。
【００５８】
更に、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側には、先に図１を用いて説明した弾性表面波アクチュエータ１Ａが配置されている。この際、偏向体支持台１１の下面１１ｂに対して圧電基板２の上面２ａが対向しているので、圧電基板２の上面２ａに載置した移動子６が球状有底凹部１１ｇ内に設けた球状磁性部材１３に接近している。尚、上記した弾性表面波アクチュエータ１Ａの各構成部材の説明は先に述べているので、ここでは同じ符番を付して図示し、詳述を省略する。
【００５９】
尚、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に、先に図２を用いて説明した変形例の弾性表面波アクチュエータ１Ｂを配置しても良い。
【００６０】
次に、上記した本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａを適用した偏向器１０Ａの動作について、図４（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。
【００６１】
まず、図４（ａ）に示した如く、偏向体支持台１１上に偏向体１２の外枠部１２ａの裏面を取り付けて、偏向器１０Ａが初期状態の時に、偏向体１２内に形成した一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ（図３）及び一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄの捩じりバネ性による復元力により内枠部１２ｃ及びミラー状偏向面部１２ｅは偏向体支持台１１上で略水平な姿勢を維持している。また、この初期状態の時に、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に配置した弾性表面波アクチュエータ１Ａのうちで、Ｙ軸に沿って設けた櫛形電極３Ｂ，３Ｄはスイッチ４Ｂ，４ＤがＯＦＦ状態になっているので高周波電源５Ｂ，５Ｄからの高周波が印加されず、同様に、図示を省略するもののＸ軸に沿って設けた櫛形電極３Ａ，３Ｃもスイッチ４Ａ，４ＣがＯＦＦ状態になっているので、高周波電源５Ａ，５Ｃからの高周波が印加されていない。また、偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部と、偏向体支持台１１に形成した半球状有底凹部１１ｇの内周面との間に挟まれた球状磁性部材１３は、この半径が半球状有底凹部１１ｇの半径Ｒの半分（Ｒ／２）に形成されているので、ミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部と半球状有底凹部１１ｇの内周面真下中央部とにそれぞれ点接触している。そして、櫛形電極３Ａ〜３Ｄのいずれにも高周波が印加されていないために、圧電基板２の上面２ａに設置した移動子６及び圧電基板２の下面２ｂに設けた移動子保持体７は圧電基板２を挟んで一体となって圧電基板２の中央位置で停止している。この際、移動子６内の永久磁石６Ｂと移動子保持体７内の磁性体７Ｂとが圧電基板２を挟んで吸引し合い、且つ、移動子６内の永久磁石６Ｂによる上方向の漏れ磁界Ｈで球状磁性部材１３を吸引しながらこの球状磁性部材１３を半球状有底凹部１１ｇ内の中央位置に停止させている。
【００６２】
次に、図４（ｂ）に示した如く、偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅのみを初期状態から一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ（Ｘ軸）を中心にして反時計方向に揺動させる場合には、弾性表面波アクチュエータ１Ａのうちで、Ｙ軸右側のスイッチ４ＢをＯＮ状態にして高周波電源５Ｂからの高周波を櫛形電極３Ｂに印加し、一方、Ｙ軸左側のスイッチ４ＤはＯＦＦ状態のままとする。ここで、櫛形電極３Ｂのみに印加した高周波によって生じたレイリー波ＬＷが圧電基板２上に設置した移動子６側に向かうので、このレイリー波ＬＷによって移動子６がＹ軸に略沿って右方に移動する。この時、移動子６内の永久磁石６Ｂと移動子保持体７内の磁性体７Ｂとが圧電基板２を挟んで吸引し合いながら一体に右方に移動すると共に、移動子６内の永久磁石６Ｂによる上方向への漏れ磁界Ｈによって球状磁性部材１３が偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの内周面に沿って矢印方向に吸引されることにより移動する。そして、球状磁性部材１３の矢印方向の移動に伴って、球状磁性部材１３は、偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部と、半球状有底凹部１１ｇの内周面真下中央部からＲｔａｎαだけ右斜め上方に変位した部位とにそれぞれ点接触するので、ミラー状偏向面部１２ｅのみが一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ（Ｘ軸）を中心にして角度αだけ反時計方向に傾動する。そして、櫛形電極３Ｂへの高周波の印加を停止すると、移動子６はその位置で停止し、移動子６内の永久磁石６Ｂによる漏れ磁界Ｈが球状磁性部材１３を吸引した位置で保持するので、電源を供給しない状態でも偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅを一定角度に保持させることが可能となる。
【００６３】
尚、偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅのみを初期状態から一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ（Ｘ軸）を中心にして時計方向に揺動させる場合には、上記とは逆に、Ｙ軸左側のスイッチ４ＤをＯＮ状態にして高周波電源５Ｄからの高周波を櫛形電極３Ｄに印加すれば良い。
【００６４】
次に、図４（ｃ）に示した如く、偏向体１２内に形成した内枠部１２ｃ及び一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ並びにミラー状偏向面部１２ｅを初期状態から一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ（Ｙ軸）を中心にして反時計方向に揺動させる場合には、弾性表面波アクチュエータ１Ａのうちで、Ｘ軸右側のスイッチ４ＡをＯＮ状態にして高周波電源５Ａからの高周波を櫛形電極３Ａに印加し、一方、Ｘ軸左側のスイッチ４ＣはＯＦＦ状態のままとする。ここでも、櫛形電極３Ａのみに印加した高周波によって生じたレイリー波ＬＷが圧電基板２上に設置した移動子６側に向かうので、このレイリー波ＬＷによって移動子６がＸ軸に略沿って右方に移動する。この時、移動子６内の永久磁石６Ｂと移動子保持体７内の磁性体７Ｂとが圧電基板２を挟んで吸引し合いながら一体に右方に移動すると共に、移動子６内の永久磁石６Ｂによる上方向への漏れ磁界Ｈによって球状磁性部材１３が偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの内周面に沿って矢印方向に吸引されることにより移動する。そして、球状磁性部材１３の矢印方向の移動に伴って、球状磁性部材１３は、偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部と、半球状有底凹部１１ｇの内周面真下中央部からＲｔａｎβだけ右斜め上方に変位した部位とにそれぞれ点接触するので、内枠部１２ｃ及び一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ並びにミラー状偏向面部１２ｅが一体となって一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ（Ｙ軸）を中心にして角度βだけ反時計方向に傾動する。そして、櫛形電極３Ａへの高周波の印加を停止すると、移動子６はその位置で停止し、移動子６内の永久磁石６Ｂによる漏れ磁界Ｈが球状磁性部材１３を吸引した位置で保持するので、電源を供給しない状態でも偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅを一定角度に保持させることが可能となる。
【００６５】
尚、偏向体１２内に形成した内枠部１２ｃ及び一対の第２梁部１２ｄ，１２ｄ並びにミラー状偏向面部１２ｅを初期状態から一対の第１梁部１２ｂ，１２ｂ（Ｙ軸）を中心にして時計方向に揺動させる場合には、上記とは逆に、Ｘ軸左側のスイッチ４ＣをＯＮ状態にして高周波電源５Ｃからの高周波を櫛形電極３Ｃに印加すれば良い。
【００６６】
上記では、図４（ｂ）の動作と、図４（ｃ）の動作とをそれぞれ個別に説明したが、弾性表面波アクチュエータ１Ａ，（１Ｂ…図２）のうちで、Ｘ軸の左右に設けた櫛形電極３Ａ，３Ｃのいずれか一方と、Ｙ軸の上下に設けた櫛形電極３Ｂ，３Ｄのいずれか一方とを選択的に組み合わせてそれぞれに高周波を印加すれば、永久磁石６Ｂを少なくとも有する移動子６が圧電基板２内で二次元的に移動すために、移動子６に吸引される球状磁性部材１３も偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの内周面に沿って二次元的に移動するので、この球状磁性部材１３に接したミラー状偏向面部１２ｅをＸＹ平面内で二次元的に揺動させることができ、且つ、移動子６の移動を停止させることで、偏向体１２内のミラー状偏向面部１２ｅの傾斜位置を保持させることが可能なので、ミラー状偏向面部１２ｅの角度保持に電力消費を伴わないため、使用状態での消費電力を小さく抑えることができる。これにより、例えばレーザー光を偏向体１２内に形成したミラー状偏向面部１２ｅに照射すれば、レーザー光がミラー状偏向面部１２ｅの傾動方向に対応して二次元的に反射される。
【００６７】
次に、本発明に係る弾性表面波アクチュエータ１Ａを適用した偏向器１０Ａを一部変形させた変形例について、図５及び図６（ａ）〜（Ｃ）を用いて説明する。
【００６８】
図５は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一例を一部変形させた変形例の偏向器の構成を説明するための分解斜視図、
図６は図５に示した変形例の偏向器の動作を説明するための縦断面図であり、（ａ）は偏向体が初期状態を示し、（ｂ）は偏向体内に形成したミラー状偏向面部を一対の第２梁部（Ｘ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示し、（ｃ）は偏向体内に形成した内枠部及び一対の第２梁部並びにミラー状偏向面部を一対の第１梁部（Ｙ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示した図である。
【００６９】
尚、図５及び図６（ａ）〜（ｃ）に示した変形例の偏向器１０Ｂ中で先に図３及び図４（ａ）〜（ｃ）を用いて説明した偏向器１０Ａと同じ構成部材に対して同一の符番を付して図示し、且つ、異なる構成部材に新たな符番を付して異なる点を中心にして簡略に説明する。
【００７０】
図５に示した如く、変形例の偏向器１０Ｂでは、基台となる偏向体支持台１１と、偏向体支持台１１の上面１１ａに支持される偏向体１２と、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に配置した弾性表面波アクチュエータ１Ａは、先に図３を用いて説明した偏向器１０Ａと全く同じ構成であるものの、偏向器１０Ａに対して異なる点は偏向体１２のミラー状偏向面部１２ｅの裏面中心部に棒状磁性部材１４の一端部を固着させ、且つ、棒状磁性部材１４の他端部を偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇ内に挿入している。
【００７１】
上記した棒状磁性部材１４は、偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの半径Ｒよりも僅かに短い長さに形成されている。この際、棒状磁性部材１４は、偏向体１２内のミラー状偏向面部１２ｅの中心点Ｏを通り、且つ、ミラー状偏向面部１２ｅと直交するＺ軸上で偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に向かって設けられている。上記した棒状磁性部材１４は、後述する動作で説明するように、偏向体１２のミラー状偏向面部１２ｅをＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇ内で変位するものである。
【００７２】
尚、この変形例の偏向器１０Ｂでも、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に、先に図２を用いて説明した変形例の弾性表面波アクチュエータ１Ｂを配置しても良い。
【００７３】
ここで、上記構成による変形例の偏向器１０Ｂの動作を図６（ａ）〜（ｃ）に示しているが、この変形例の偏向器１０Ｂの動作では先に図４（ａ）〜（ｃ）を用いて説明した偏光器１０Ａ中の球状磁性部材１３を棒状磁性部材１４に代えたものである。
【００７４】
従って、弾性表面波アクチュエータ１Ａ，（１Ｂ…図２）のうちで、Ｘ軸の左右に設けた櫛形電極３Ａ，３Ｃのいずれか一方と、Ｙ軸の上下に設けた櫛形電極３Ｂ，３Ｄのいずれか一方とを選択的に組み合わせてそれぞれに高周波を印加することで、永久磁石６Ｂを少なくとも有する移動子６が圧電基板２内で二次元的に移動するために、移動子６内の永久磁石６Ｂの移動に伴う漏れ磁界Ｈで吸引される棒状磁性部材１４も偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇの内周面に沿って二次元的に移動するので、この棒状磁性部材１４の一端部を固着したミラー状偏向面部１２ｅをＸＹ平面内で二次元的に揺動させることができるものであり、図４（ａ）〜（ｃ）と対応した動作を図６（ａ）〜（ｃ）に示し、詳述を省略する。
【００７５】
従って、変形例の偏向器１０Ｂでも、先に説明した偏向器１０Ａと同様の効果を得ることができる。
【００７６】
次に、本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の他例について、図７〜図１０を用いて説明する。
【００７７】
図７は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の他例を説明するための分解斜視図、
図８は図７に示した偏向器の動作を説明するための縦断面図、
図９は図７に示した偏向器の応用例を説明するための分解斜視図、
図１０は図９に示した偏向器の応用例の動作を説明するための縦断面図である。
【００７８】
図７に示した如く、本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器１０Ｃでは、基台となる偏向体支持台１１のうちで一方の面となる上面１１ａ及びこの上面１１ａと対向した対向面となる下面１１ｂが共に正方形状に形成され、且つ、上面１１ａと下面１１ｂとの間を側面１１ｃ〜１１ｆで囲んで偏向体支持台１１が直方形状に形成されている。更に、偏向体支持台１１の上面１１ａ側には、この上面１１ａの中心から半径Ｒの半球状有底凹部１１ｇが開口して形成されている。
【００７９】
また、偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇ内には、この半球状有底凹部１１ｇの半径Ｒよりも僅かに小径で非磁性材を用いて略半球状に形成した半球状偏向体１５が嵌合している。この際、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａは偏向体支持台１１の上面１１ａ側に位置してこの上面１１ａより僅かに上方に向かって突出し、且つ、偏向面部１５ａは上面１１ａと略平行な平坦面に形成されている。
【００８０】
また、半球状偏向体１５の下方には、磁性部材１６が偏向面部１５ａの中心点Ｏを通り、且つ、偏向面部１５ａと直交するＺ軸上で偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に向かって一体的に設けられている。上記した磁性部材１６は、後述する動作で説明するように、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａをＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように偏向体支持台１１の半球状有底凹部１１ｇ内で変位するものである。
【００８１】
更に、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側には、先に図１を用いて説明した弾性表面波アクチュエータ１Ａが配置されている。この際、偏向体支持台１１の下面１１ｂに対して圧電基板２の上面２ａが対向しているので、圧電基板２の上面２ａに設置した移動子６が半球状有底凹部１１ｇ内の半球状偏向体１５の下方に一体的に設けた磁性部材１６に接近している。尚、上記した弾性表面波アクチュエータ１Ａの各構成部材の説明は先に述べているので、ここでは同じ符番を付して図示し、詳述を省略する。
【００８２】
尚、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に、先に図２を用いて説明した変形例の弾性表面波アクチュエータ１Ｂを配置しても良い。
【００８３】
次に、上記構成による偏向器１０Ｃの動作について図８を用いて説明すると、例えば、偏向体支持台１１の下面１１ｂ側に配置した弾性表面波アクチュエータ１Ａのうちで、Ｘ軸右側のスイッチ４ＡをＯＮ状態にして高周波電源５Ａからの高周波を櫛形電極３Ａに印加し、一方、Ｘ軸左側のスイッチ４ＣはＯＦＦ状態のままとする。ここで、櫛形電極３Ａのみに印加した高周波によって生じたレイリー波ＬＷが圧電基板２上に設置した移動子６側に向かうので、このレイリー波ＬＷによって移動子６がＸ軸に略沿って右方に移動する。この時、移動子６内の永久磁石６Ｂと移動子保持体７内の磁性体７Ｂとが圧電基板２を挟んで吸引し合いながら一体に右方に移動すると共に、移動子６内の永久磁石６Ｂによる上方向への漏れ磁界Ｈによって半球状偏向体１５の下方に一体的に設けた磁性部材１６が矢印方向に吸引されることにより移動して、磁性部材１６と一体に半球状偏向体１５が反時計方向に向かってαだけ傾く。これにより、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａも反時計方向に向かってαだけ傾く。
【００８４】
この偏向器１０Ｃでも、Ｘ軸の左右に配置した２個のうちのいずれか一方の櫛形電極（３Ａ），（３Ｃ）及び／又はＹ軸の上下に配置した２個のうちのいずれか一方の櫛形電極（３Ｂ），（３Ｄ）に高周波を選択的に印加することで、移動子６中の永久磁石６Ｂの移動に伴う漏れ磁界Ｈにより半球状偏向体１５の下方に設けた磁性部材１６を移動子６側に変位させて、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａをＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させることができ、且つ、移動子６の移動を停止させることで、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａの傾斜位置を保持させることが可能なので、偏向面部１５ａの角度保持に電力消費を伴わないため、使用状態での消費電力を小さく抑えることができる。
【００８５】
更に、図９及び図１０に示した如く、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａ側からこの内部にビデオカメラ１７を取り付けた場合に、弾性表面波アクチュエータ１Ａ（又は１Ｂ…図２）を作動させることで、半球状偏向体１５の偏向面部１５ａをＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させると、これに伴って、ビデオカメラ１７の先端に取り付けた撮像レンズ１８も二次元的に揺動するので、このビデオカメラ１７を被写体などを監視する監視用ビデオカメラとして使用することができる。
【００８６】
【発明の効果】
以上詳述した本発明に係る弾性表面波アクチュエータによると、とくに、圧電基板の一方の面に設定したＸ軸の左右に配置した２個のうちのいずれか一方の櫛形電極及び／又はＹ軸の上下に配置した２個のうちのいずれか一方の櫛形電極に高周波をそれぞれ印加した時に生じる各レイリー波により圧電基板の一方の面内で移動子をＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に移動することができ、更に、永久磁石を少なくとも有する移動子と、磁性体を少なくとも有する移動子保持体とを圧電基板を挟んで互いに対向して吸引し合うことにより、圧電基板を傾けたり、あるいは圧電基板の上下を逆にして設置しても移動子及び移動子保持体は圧電基板上から落下しないので、使い勝手の良い弾性表面波アクチュエータを提供できる。
【００８７】
また、本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器によると、偏向器の偏向面部を二次元的に揺動させるための駆動源として弾性表面波アクチュエータを用いたために、偏向器の偏向面部を一定角度に傾斜保持させる時の電力消費を伴わずにすみ、全体として消費電力の小さな偏向器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ），（ｂ）は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを示した斜視図，Ｘ軸上断面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は本発明に係る弾性表面波アクチュエータを一部変形させた変形例を示した斜視図，Ｘ軸上断面図である。
【図３】本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一例を説明するための分解斜視図である。
【図４】図３に示した偏向器の動作を説明するための縦断面図であり、（ａ）は偏向体が初期状態を示し、（ｂ）は偏向体内に形成したミラー状偏向面部を一対の第２梁部（Ｘ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示し、（ｃ）は偏向体内に形成した内枠部及び一対の第２梁部並びにミラー状偏向面部を一対の第１梁部（Ｙ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示した図である。
【図５】本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の一例を一部変形させた変形例の偏向器の構成を説明するための分解斜視図である。
【図６】図５に示した変形例の偏向器の動作を説明するための縦断面図であり、（ａ）は偏向体が初期状態を示し、（ｂ）は偏向体内に形成したミラー状偏向面部を一対の第２梁部（Ｘ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示し、（ｃ）は偏向体内に形成した内枠部及び一対の第２梁部並びにミラー状偏向面部を一対の第１梁部（Ｙ軸）を中心にして反時計方向に揺動した状態を示した図である。
【図７】本発明に係る弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器の他例を説明するための分解斜視図である。
【図８】図７に示した偏向器の動作を説明するための縦断面図である。
【図９】図７に示した偏向器の応用例を説明するための分解斜視図である。
【図１０】図９に示した偏向器の応用例の動作を説明するための縦断面図である。
【図１１】従来例１の弾性表面波アクチュエータを説明するための斜視図であり、（ａ）は弾性表面波モータの概略構成を示し、（ｂ）はレイリー波による摩擦駆動の概念を示した図である。
【図１２】従来例２の弾性表面波アクチュエータの構成を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ…弾性表面波アクチュエータ、
２…圧電基板、２ａ…一方の面（上面）、２ｂ…他方の面（下面）、
３Ａ〜３Ｄ…第１〜第４櫛形電極、４Ａ〜４Ｄ…切り換え手段（スイッチ）、
５Ａ〜５Ｄ…高周波電源、
６…移動子、６Ａ…スライダ、６Ｂ…永久磁石、
７…移動子保持体、７Ａ…スライダ、７Ｂ…磁性体、
８…接着剤、９…移動子保持体（磁性体板）、
Ｈ…漏れ磁界、ＬＷ…レイリー波、
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ…偏向器、
１１…偏向体支持台、１１ａ…一つの面（上面）、１１ｂ…対向面（下面）、
１１ｃ〜１１ｆ…側面、１１ｇ…半球状有底凹部、
１２…偏向体、１２ａ…外枠部、１２ｂ，１２ｂ…一対の第１梁部、
１２ｃ…内枠部、１２ｄ，１２ｄ…一対の第２梁部、
１２ｅ…ミラー状偏向面部、
１３…球状磁性部材、１４…棒状磁性部材、
１５…半球状偏向体、１５ａ…偏向面部、１６…磁性部材、
１７…ビデオカメラ、１８…撮像レンズ、
Ｏ…偏光面部１２ｅ又は１５ａの中心点。
【図１】
2004215389.tif 000003
【図２】
2004215389.tif 000004
【図３】
2004215389.tif 000005
【図４】
2004215389.tif 000006
【図５】
2004215389.tif 000007
【図６】
2004215389.tif 000008
【図７】
2004215389.tif 000009
【図８】
2004215389.tif 000010
【図９】
2004215389.tif 000011
【図１０】
2004215389.tif 000012
【図１１】
2004215389.tif 000013
【図１２】
2004215389.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成15年1月10日(2003.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
請求項１記載の弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器であって、
偏向体支持台と、
前記偏向体支持台の一つの面側に支持され、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動する偏向体と、
前記偏向体支持台の凹部内に設けられ、前記偏向体の偏向面部の中心点を通り、且つ前記偏向面部と直交する軸上にあって、該偏向面部をＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように変位する磁性部材と、
前記偏向体支持台の一つの面と対向した対向面側に設けられた前記弾性表面波アクチュエータとを備え、
前記弾性表面波アクチュエータ中で前記移動子の永久磁石の移動に伴う磁界により前記磁性部材を変位させて前記偏向体の偏向面部を揺動させることを特徴とする弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、第２の発明は、上記した第１の発明の弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器であって、
偏向体支持台と、
前記偏向体支持台の一つの面側に支持され、Ｘ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動する偏向体と、
前記偏向体支持台の凹部内に設けられ、前記偏向体の偏向面部の中心点を通り、且つ前記偏向面部と直交する軸上にあって、該偏向面部をＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に揺動させるように変位する磁性部材と、
前記偏向体支持台の一つの面と対向した対向面側に設けられた前記弾性表面波アクチュエータとを備え、
前記弾性表面波アクチュエータ中で前記移動子の永久磁石の移動に伴う磁界により前記磁性部材を変位させて前記偏向体の偏向面部を揺動させることを特徴とする弾性表面波アクチュエータを適用した偏向器である。