(57)【要約】【課題】客先に納期遅れの事態や欠品を出さないための生産管理システムを提供することにある。【解決手段】生産情報を処理する生産管理ホスト１に、報告端末２，処置担当者管理システム３，工期管理システム４を接続し、且つＷＥＢサーバー８を介して複数のクライアント７Ａ〜７Ｃを収容する。また、ホスト１には、ＬＡＮ回線を介し処置担当Ａ〜Ｃが保持する無線端末６Ａ〜６Ｃを収容する。端末２からの報告により、ホスト１はシステム３，４と情報転送を行い、最優先で処置すべきロット情報を求める。この最優先処置情報をホスト１と無線端末６Ａ〜６Ｃ間でやり取りし、廃棄処理が必要であったときには、所定のクライアント７Ａ，７Ｂ間で処置を行う。【選択図】　　　図１
2004139403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産全体の各種情報を処理および管理する生産管理ホストコンピュータと、ストップロットが発生したときにその情報を前記生産管理ホストコンピュータに伝達するストップロット情報報告端末と、前記ストップロットのストップ工程から処置担当者を選定するために、前記生産管理ホストコンピュータに接続された処置担当者管理システムと、ロット毎に納期と進捗を管理し、目標工期からの遅れ時間により、各工程の作業着手順や前記ストップロットの処置優先順を判断するために、前記生産管理ホストコンピュータに接続された工期管理システムと、前記生産管理ホストコンピュータにＷＥＢサーバーを介して収容された複数のクライアントと、ＬＡＮ回線を介して前記生産管理ホストコンピュータにアクセスする無線端末とを有し、前記ロット毎の納期と進捗を考慮し、前記ストップロットの処置に対して優先度判断を行うことを特徴とする生産管理システム。
【請求項２】
前記優先度判断の処置に際し、廃棄ウエハーが発生したとき、リアルタイムにその情報を前記複数のクライアントのうちの関係部門に伝え、前記廃棄ウエハー処置に対する追加投入の要否判断を行うことを特徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【請求項３】
前記処置担当者管理システムは、前記生産管理ホストコンピュータより処置担当者と関連付けられたストップロット情報を受信すると、処置担当者ごとに処置すべきロットを層別するステップと、工期管理システムで担当者ごとの最優先処置ロットを選定するステップと、各担当の最優先処理ロットを各担当の無線端末に報告するステップとを備えたことを特徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【請求項４】
前記工期管理システムは、前記生産管理ホストコンピュータより各担当が最優先で処置すべきロット情報を受信すると、リワークなどの製品処置を行うステップと、廃棄すべきウエハーの有無を判断するステップと、廃棄すべきウエハーが存在したときには、その廃棄ウエハー情報を前記無線端末に登録するステップと、不良ウエハーを廃棄し次工程へ流すステップと、さらに前記廃棄すべきウエハーの有無を判断するステップで廃棄すべきウエハーが存在しないときにも次工程へ流すステップと、前記無線端末で処置完了を報告するステップとを備えたことを特徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【請求項５】
前記処置担当者は、処置すべきロットを複数個持っていたとき、目標工期からの遅れ時間が最大のロットを最優先処置ロットとみなして処置を行うことを特徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【請求項６】
前記生産管理ホストコンピュータは、前記ストップロット情報報告端末より前記ストップロット情報を受信すると、その情報を前記処置担当者管理システムおよび前記複数のクライアントのうちの関係部門に伝え、前記処置担当者管理システムより処置担当者情報が返送されてくると、前記工期管理システムに対して前記担当者の処置すべきロット情報を伝え、前記工期管理システムより最優先で処置すべきロット情報を受信すると、前記無線端末に前記最優先で処置すべきロット情報を送信し、しかる後に前記無線端末より前記ストップロットに対する処置が完了したことを表わす処置完了情報および廃棄処理がある時にはその廃棄処理情報を受信することを特徴とする請求項１もしくは請求項２記載の生産管理システム。
【請求項７】
前記生産管理ホストコンピュータは、前記無線端末より前記ストップロットに対する処置完了情報および廃棄処理情報を受信したとき、前記ストップロット情報および前記処置完了情報を技術部クライアントに、前記廃棄処理情報を計画部クライアントに送信し、その結果追加投入指示情報を製造部クライアントに送信することにより、追加投入を処理することを特徴とする請求項６記載の生産管理システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は生産管理システムに関し、特に納期遵守率などを向上させる生産管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体デバイスなどの製品の生産管理システムは、製品異常等により停止（ストップ）ロットが発生した場合、作業者が処置担当者を判断し、処置担当者へ電話連絡等により情報を伝え、処置の依頼をしている。このため、作業者の電話連絡が遅れたり、処置担当者が席を外していたりして、処置担当者にストップロットの情報が伝わるまでに時間が掛かり、製品処置に掛かるロスタイムが大きかった。また、一人の処置担当者の処置すべきロットが複数存在する場合、処置の優先順位は通常処置の簡単なものから行われており、ロット毎の納期に対する進捗を無視した形で優先度判断がなされている。また、処置に際し、ロットアウトや廃棄ウエハーが発生した際、その情報が計画部へ正確に伝わらなかったり、連絡が遅れたりして、追加投入の指示が遅れ、客先に対し、納期遅れや欠品を出すことがあった。これらいずれも人手による作業・判断のため、処置や情報伝達が遅れるという問題があった。
【０００３】
従来、このような問題を解決するため、ストップロットが発生した場合、その情報をリアルタイムに処置担当者や関係部門に伝え、処置優先度判断、追加投入要否判断を自動的に行う生産管理システムが導入されている。
【０００４】
例えば、このような生産システムとして、ユーザーであるクライアントとメーカーとが密接な連携下でＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　ＳｐｅｃｉｆｉｃＩｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）を作成できるよう、クライアントとメーカーをインターネットで接続し、クライアントの要求する品種、緊急性に応じてＡＳＩＣを製造する半導体集積回路製作システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、半導体装置の生産管理に際して、各工程の最新段取り履歴データを迅速に入手できるように作業者の所有する無線機能付き端末と生産管理ホストを接続し、作業者が情報の問い合わせと製造上の不具合の内訳報告をすることが可能な生産管理システムが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
図９はかかる従来の一例を説明するための費用・日程データベースの格納内容を表わす図である。図９に示すように、上述した特許文献１の生産管理においては、製品の品種毎に、供給条件と供給する日程とにより、費用を異らせた事例を表わしている。例えば、品種Ａについてみると、「緊急」で供給する必要がある場合は、「費用」が２００万円、「供給日数」が１日であり、また同じ品種Ａを「特割」条件で供給するときは、「費用」が７５万円、「供給日数」が１４日以内となっている。
【０００７】
このように、従来の生産管理システムにおいては、品種毎に、費用と日程を取り決めたデータベースを持ち、製品の緊急性に応じた生産システムである。
【０００８】
これは半導体集積回路の品種毎および緊急性毎に、費用と日数を属性として設定しているＡＳＩＣ製作コースをクライアント側に提示し、クライアント側のニーズに応じ、予約させる為のものである。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−３２６１５１号公報（第５〜６頁、図１）
【特許文献２】
特開２００２−０４１１２４号公報（第４〜５頁、図１）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の生産管理システムは、目標工期に対する実際のロットの進捗を管理するものではないため、客先に対する納期遅れや欠品を出さないように、管理することは困難である。すなわち、従来のシステムは、目標工期に対する各ロットの進捗を管理し、これを基に停止していたロットが複数ある場合の処置優先度を判断したり、あるいはストップロットの処置に際し、廃棄すべきウェハーが発生したとき、リアルタイムにその情報を関係部門に伝え、追加投入要否を判断させるたりすることはできないという欠点がある。
【００１１】
本発明の目的は、上述したようなストップロットが発生したり、あるいは廃棄すべき製品が発生したときでも、客先に納期遅れの事態を発生させないこと及び欠品を出さないことを実現する生産管理システムを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の生産管理システムは、生産全体の各種情報を処理および管理する生産管理ホストコンピュータと、ストップロットが発生したときにその情報を前記生産管理ホストコンピュータに伝達するストップロット情報報告端末と、前記ストップロットのストップ工程から処置担当者を選定するために、前記生産管理ホストコンピュータに接続された処置担当者管理システムと、ロット毎に納期と進捗を管理し、目標工期からの遅れ時間により、各工程の作業着手順や前記ストップロットの処置優先順を判断するために、前記生産管理ホストコンピュータに接続された工期管理システムと、前記生産管理ホストコンピュータにＷＥＢサーバーを介して収容された複数のクライアントと、ＬＡＮ回線を介して前記生産管理ホストコンピュータにアクセスする無線端末とを有し、前記ロット毎の納期と進捗を考慮し、前記ストップロットの処置に対して優先度判断を行うことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の生産管理システムにおける前記優先度判断の処置に際し、廃棄ウエハーが発生したとき、リアルタイムにその情報を前記複数のクライアントのうちの関係部門に伝え、前記廃棄ウエハー処置に対する追加投入の要否判断を行うことを特徴としている。
【００１４】
また、本発明の生産管理システムにおける前記処置担当者管理システムは、前記生産管理ホストコンピュータより処置担当者と関連付けられたストップロット情報を受信すると、処置担当者ごとに処置すべきロットを層別するステップと、工期管理システムで担当者ごとの最優先処置ロットを選定するステップと、各担当の最優先処理ロットを各担当の無線端末に報告するステップとを備えたことを特徴としている。
【００１５】
また、本発明の生産管理システムにおける前記工期管理システムは、前記生産管理ホストコンピュータより各担当が最優先で処置すべきロット情報を受信すると、リワークなどの製品処置を行うステップと、廃棄すべきウエハーの有無を判断するステップと、廃棄すべきウエハーが存在したときには、その廃棄ウエハー情報を前記無線端末に登録するステップと、不良ウエハーを廃棄し次工程へ流すステップと、さらに前記廃棄すべきウエハーの有無を判断するステップで廃棄すべきウエハーが存在しないときにも次工程へ流すステップと、前記無線端末で処置完了を報告するステップとを備えたことを特徴としている。
【００１６】
また、本発明の生産管理システムにおける前記処置担当者は、処置すべきロットを複数個持っていたとき、目標工期からの遅れ時間が最大のロットを最優先処置ロットとみなして処置を行うことを特徴としている。
【００１７】
また、本発明の生産管理システムにおける前記生産管理ホストコンピュータは、前記ストップロット情報報告端末より前記ストップロット情報を受信すると、その情報を前記処置担当者管理システムおよび前記複数のクライアントのうちの関係部門に伝え、前記処置担当者管理システムより処置担当者情報が返送されてくると、前記工期管理システムに対して前記担当者の処置すべきロット情報を伝え、前記工期管理システムより最優先で処置すべきロット情報を受信すると、前記無線端末に前記最優先で処置すべきロット情報を送信し、しかる後に前記無線端末より前記ストップロットに対する処置が完了したことを表わす処置完了情報および廃棄処理がある時にはその廃棄処理情報を受信することを特徴としている。
【００１８】
また、本発明の生産管理システムにおける前記生産管理ホストコンピュータは、前記無線端末より前記ストップロットに対する処置完了情報および廃棄処理情報を受信したとき、前記ストップロット情報および前記処置完了情報を技術部クライアントに、前記廃棄処理情報を計画部クライアントに送信し、その結果追加投入指示情報を製造部クライアントに送信することにより、追加投入を処理することを特徴としている。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明は、半導体デバイスの製造などにおいて、顧客満足度の観点から納期遵守率を上げることが重要であるが、半導体デバイスの製造工程における異常品の発生や、実験のための製造のストップ（停止）という事態は或る程度避けられない。そこで、このような製品ロットのストップが発生した際に、早急にラインに流れている製品の製造を停止し、然るべき処置を行ってから、次工程に流すことが必要となる。本発明の生産管理システムでは、かかる事態が生じたとき、ストップロットの処置優先度判断を行い、処置担当者に指示することにより、異常事態を回避することにある。以下、本発明の実施の形態を図面を参照して具体的に説明する。
【００２０】
図１は本発明の一実施の形態を説明するための生産管理システムの構成図である。図１に示すように、本実施の形態における生産管理システムは、システム全体の生産に関する各種情報を処理・管理する生産管理ホストコンピュータ（以下、単にホストと称す）１を有し、この生産管理ホスト１には、ストップロットが発生した際、その情報（ロットＮｏ．，品名，枚数，工程名，ストップ日時，ストップ内容）を生産管理ホスト１へ伝える為のストップロット情報報告端末２と、ストップロットのストップ工程から処置すべき担当者を選定するための処置担当者管理システム３と、ロット毎に納期と進捗を管理し、目標工期からの遅れ時間により、各工程の作業着手順やストップロットの処置優先順を判断するための工期管理システム４とが接続される。また、この生産管理ホスト１には、ＬＡＮ回線を介し、処置すべきロットの情報を各処置担当者Ａ〜Ｃへ伝えるためのＬＡＮ直結型無線基地局５が接続され、その無線基地局５に携帯端末ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｄｉｇｉｔａｌ　Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）６Ａ〜６Ｃが収容される。さらに、生産管理ホスト１には、生産管理ホスト１の情報（ストップロット情報、処置完了情報、廃棄処理情報、日程管理情報等）をイントラネットを通じ、各関係部門のクライアント、すなわち計画部クライアント７Ａ，製造部クライアント７Ｂ，技術部クライアント７Ｃなどに表示させるためのＷＥＢサーバー８が接続される。
【００２１】
また、上述した生産管理システムにおいて、ストップロット情報報告端末２は、ストップロットが発生した場合、作業者がそのストップロット情報を生産管理ホスト１に報告するための端末であり、携帯端末ＰＤＡ６Ａ〜６Ｃを所有している処置担当者Ａ〜Ｃとは無関係である。一方、処置担当者管理システム３は、あらかじめストップ工程毎に処置担当者Ａ〜Ｃを登録したデータベースを保持している。すなわち、各処置担当者Ａ〜Ｃの技術者コードが担当する工程情報と共に、１対１（または１対複数）で登録されている。さらに、工期管理システム４は、ロット毎の工期を管理するシステムであり、このシステム内には処置担当者情報を保持していない。具体的には後述するが、ロット情報と共に生産管理ホスト１より受信した処置担当者情報を基に処置担当者毎に層別し、例えば処置担当者Ａの処置すべきロットの中で最優先で処置すべきロットを判断して生産管理ホスト１に返送するものである。同様に、処置担当者Ｂの最優先処置ロット、処置担当者Ｃの最優先処置ロットも判断して、生産管理ホスト１に返送する。
【００２２】
次に、かかる生産管理システムにおける処理動作およびデータ処理について図２を参照して説明する。
【００２３】
図２は図１における情報の流れを主体としたシステム構成図である。図２に示すように、全体的な処理としては、ストップロットが発生した場合、ストップロット情報報告端末２より、生産管理ホスト１にストップロット情報ａ１を報告する。生産管理ホスト１では、このストップロット情報ａ１を受信したとき、誰に処置させるかを決めるために、ストップロット情報ａ１と同一内容のストップロット情報ａ２を処置担当者管理システム３に伝える。また、この生産管理ホスト１は、受信したストップロット情報ａ１と同一内容のストップロット情報ａ３をＷＥＢサーバー８に送出すると、ＷＥＢサーバー８は所定の関係部門、例えば技術部クライアント７Ｃなどにストップロット情報ａ３と同一内容のストップロット情報ａ４を転送する。なお、技術部クライアント７Ｃなどは、受信した情報をそれぞれの部門で必要に応じて管理する。
【００２４】
ついで、処置担当者管理システム３は、生産管理ホスト１からのストップロット情報ａ２に基づいて、ストップしているロットのストップ工程より、処置すべき担当者（例えば、図１の担当Ａ）を選定し、受信したストップロット情報ａ２と処置担当者情報ｂを関連付けてホスト１へ戻す。一方、生産管理ホスト１は、ホスト上で現在ストップしている全ロットを処置担当者毎に層別する。その結果、生産管理ホスト１は、工期管理システム４に対し、例えば担当Ａの処置すべきロット情報ｃを伝える。
【００２５】
ついで、工期管理システム４は、処置担当者（Ａ〜Ｃ）毎に最優先で処置すべきロットを判断し、最優先処置ロット情報ｄ１をホスト１へ戻す。ホスト１は、工期管理システム４から最優先処置ロット情報ｄ１を受信すると、各担当者（Ａ〜Ｃ）が最優先で処置すべきロット情報ｄ２を無線基地局５を通じ、各担当者の所持するＰＤＡ６へ伝える。
【００２６】
一方、各担当者（Ａ〜Ｃ）は、受け取った最優先処置ロット情報ｄ２を基に最優先処置ロットについてリワーク等の処置を行う。しかる後、各担当者（Ａ〜Ｃ）によるロット処置が完了すると、それぞれがＰＤＡ６より処置完了情報ｅ１をホスト１に伝える。
【００２７】
次に、ホスト１は、各ＰＤＡ６より最優先ロットの処置が完了したことを表わす処置完了情報ｅ１を受信すると、同一担当者の処置すべきロットが他にあるか否かを判断し、存在する場合は、次の優先ロットを選定し、担当者へ伝える。すなわち、ホスト１はＰＤＡ６との間で同様にｄ２，ｅ１のやりとりを行い、このような処置すべきロットが無くなるまで処理を繰返す。
【００２８】
このホスト１とＰＤＡ６とのやりとりにおいて、ロットの処置に当たり、廃棄すべきウエハーなどが生じた場合は、担当者ＡはＰＤＡ６からホスト１に廃棄処理情報ｆ１を報告する。その際、廃棄処理があった場合は、廃棄枚数とともにそのロット情報を廃棄処理情報ｆ１としてホスト１に転送する。これにより、ホスト１は、ＷＥＢサーバー８に対し、上述したストップロット情報ａ３、処置完了情報ｅ２、廃棄処理情報ｆ２を転送する。このＷＥＢサーバー８からは、必要部門のクライアントへそれぞれの情報を転送する。
【００２９】
例えば、技術部クライアント７Ｃへは、ストップロット情報ａ４と処置完了情報ｅ３を、計画部クライアント７Ａへは、廃棄処理情報ｆ３が伝えられる。なお、これらのストップロット情報ａ４と処置完了情報ｅ３および廃棄処理情報ｆ３は、ホスト１よりＷＥＢサーバー８へ転送されたストップロット情報ａ３、処置完了情報ｅ２、廃棄処理情報ｆ２と同一内容のものであるが、必要によりその他の情報を付加したり、加工してあってもよい。
【００３０】
また、計画部クライアント７Ａは、ホスト１より転送されてきたストップロット情報に対する処置として、追加投入要否の判断を行い、要の場合は追加投入指示情報ｇ１をＷＥＢサーバー８へ送出する。この追加投入指示情報ｇ１がＷＥＢサーバー８を経由して製造部クライアント７Ｂへ追加投入指示情報ｇ２として伝えられると、製造部クライアント７Ｂは追加投入を行い、追加投入が完了したときに、追加投入完了報告ｈ１をＷＥＢサーバー８に返送し、ホスト１に同様の完了報告ｈ２が転送される。
【００３１】
以下、ここでは省略するが、通常の処置に対する完了報告および追加投入完了報告を含む全情報は、生産管理ホスト１より、指定したクライアントや各端末あるいはシステムへ送出され、ストップロットに対する処理を完了する。また、かかる全情報は、ＷＥＢ上で計画部クライアント７Ａ、製造部クライアント７Ｂ以外の技術部クライアント７Ｃあるいは品質管理部クライアント等の関係部門に伝えられ、それぞれの部門で必要に応じて管理することができる。
【００３２】
図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ図１あるいは図２における端末および各管理システムの具体的処理フロー図である。まず、図３（ａ）に示すように、ストップロットが発生すると、ストップロット情報報告端末２のオペレーターは、その情報（ロットＮｏ．、品名、枚数、工程名、ストップ日時、ストップ内容）を登録するために入力する（ステップＳ１）。この情報は、図２における情報ａ１であり、生産管理ホスト１へ報告され（ステップＳ２）、処理を終了する。すなわち、ストップロット情報報告端末２としての処理を終了する。
【００３３】
ついで、図３（ｂ）に示すように、ストップロットが発生すると、すなわち、生産管理ホスト１よりストップロットの情報ａ２が転送されてくると、処置担当者管理システム３は、工程別に処置担当者のマスターデータを持っているため、ストップロットのストップ工程より処置すべき担当者を判断して選定する（ステップＳ３）。これにより、処置担当者管理システム３は、ストップロット情報ａ２に、選定された処置担当者（担当Ａ〜Ｃ）情報を関連付けしたストップロットの情報を処置担当者情報ｂとして、生産管理ホスト１へ報告し（ステップＳ４）、処理を終了する。
【００３４】
さらに、図３（ｃ）に示すように、工期管理システム４は、生産管理ホスト１より担当Ａの処置すべきロット情報ｃを受けとると、担当Ａの処置すべきロットの中から最優先で処置すべきロットを選定する（ステップＳ５）。
【００３５】
この工期管理システム４において、リワーク等の処置には長時間を要するものがあり、一人の担当者が複数のストップロットを抱えている場合、処置の優先順位を誤ることがある。しかし、進捗の遅れているロットの処置を後回しにすると、納期遅れになる場合があるため、優先順位の判断が必要である。
【００３６】
このため、生産管理ホスト１で処置担当者毎に層別されたロット情報ｃにより、工期管理システム４は、ロット毎に現時点での目標工期からの遅れ時間を算出し、遅れ時間の最も大きいロットを最優先で処置すべきロットとしての判断を行う。工期管理システム４で判断した後、最優先処置ロット情報ｄ１を生産管理ホスト１に報告し（ステップＳ６）、処理を終了する。
【００３７】
次に、上述した工期管理システム４において、処置ロットの優先度を判断する具体的な手法を図４により説明する。
【００３８】
図４は図１および図２の工期管理システムにおける優先度判断のイメージ図である。図４に示すように、工期管理システム４の優先度判断は、投入日からの経過時間と、投入から現在を経て入庫までの工程との関係において決定される。
【００３９】
例えば、担当Ａの処置すべきロットＬＡが第１ロット〜第３ロットの３ロットあり、目標工期に対し、現時点において進んでいるロットが１ロット（第３ロット）、遅れているロットが２ロット（第１，第２ロット）あったとする。現時点での目標工期と各ロットの進捗の差を遅れ時間とし、その内の最大の遅れ時間Ｔのロットを第１優先のロット（第１ロット）、すなわち最優先処置ロットとして判断する。かかる図６においては、第２ロットが第２優先のロット、第３ロットが第３優先のロットと判断される。したがって、第１ロットの処置が完了し、新たなストップロット情報が発生していなければ、担当Ａが次に処置すべきロットは第２ロットとして判断される。
【００４０】
以上は、生産管理ホスト１に直接接続される端末２および各管理システム３，４の動作であるが、以下ではＬＡＮ回線を介して接続されるＰＤＡ６およびイントラネットを介して接続される各クライアント７Ａ〜７Ｃの動作について説明する。
【００４１】
図５は図２における生産管理ホストからＰＤＡに報告される最優先処置ロット指示フロー図である。図５に示すように、処置担当者管理システム３よりストップロット情報と関連付けて伝えられた処置担当者情報ｂを基に、生産管理ホスト１は、現在ストップしている全ロットについて、処置担当者毎に層別し（ステップＳ７）、工期管理システム４へ伝える。その後、工期管理システム４では担当者毎に処置すべきロットの優先順位を判断し（ステップＳ８）、担当者毎に最優先で処置すべきロット情報ｄ１を生産管理ホスト１へ転送してくるので、生産管理ホスト１はＬＡＮ直結型無線基地局５に伝える。この情報ｄ２は各担当者（Ａ〜Ｃ）の所持するＰＤＡ端末６（６Ａ〜６Ｃ）に伝えられ（ステップＳ９，Ｓ１０）、各担当者（Ａ〜Ｃ）は自分が最優先で処置すべきロットの情報を得る。
【００４２】
図６は図２における処置担当者処理フロー図である。図６に示すように、工期管理システム４で各担当毎に判断された最優先処置ロット情報ｄ１は、各担当の所有するＰＤＡ６に報告される。処置担当者（Ａ〜Ｃ）は自分が最優先で処置すべきロットに対しリワーク等の処置を行う（ステップＳ１１）。その処置に際し、ロットアウトを含め、廃棄すべき不良ウエハーがあるか否かの判断を行い（ステップＳ１２）、廃棄すべき不良ウエハーがある場合は、廃棄ウエハー情報（ロットＮｏ．、廃棄枚数）をＰＤＡ６に入力し（ステップＳ１３）且つ生産管理ホスト１に報告し、不良ウエハーを廃棄後、次工程へ流す（ステップＳ１４）。
【００４３】
一方、ステップＳ１２において、廃棄すべきウエハーが無い場合は、そのまま次工程に流して処置を完了する（ステップＳ１５）。さらに、ステップＳ１４あるいはステップＳ１５で次工程へ流す処置が完了すると、ＰＤＡ６から生産管理ホスト１に処置完了報告ｅ１を行うことにより、処理担当者処理フローを完了する。
【００４４】
図７は図２における処置完了処理フロー図である。図７に示すように、ＰＤＡ６より生産管理ホスト１に対し処置完了報告がなされると、すなわち担当者によるロットの処置が完了すると、生産管理ホスト１に処置完了報告ｅ１がなされるので、ホスト１内では当該ロットの処置完了処理をし（ステップＳ１７）、ストップロットから除外される。
【００４５】
次に、その担当者（例えば、Ａ）が処置すべきロットが他にあるかどうかを判断する（ステップＳ１８）。例えば、担当Ａのロット処置が完了した場合、ホスト１に現在報告されているストップロットのうち、担当Ａが処置すべきロットがあるかどうかを判断し、無い場合は処理を完了するが、ある場合は前述した図５の最優先処置ロット指示フローに戻り、担当Ａの処置すべきロットが無くなるまで処理を繰り返す。
【００４６】
図８（ａ），（ｂ）はそれぞれ図１における計画部クライアントおよび製造部クライアントの処理フロー図である。まず、図８（ａ）に示すように、ＰＤＡ６の廃棄処理情報ｆ１によりロットアウトや廃棄ウエハーがあった場合、予定されている生産数を下回り、欠品となることがあるため、資材の追加投入の要否を判断する必要がある（ステップＳ１９）。この判断ステップＳ１９において、ロットアウトや廃棄ウエハーがあった場合は、処置担当者から廃棄処理情報ｆ１が生産管理ホスト１に報告され、ＷＥＢで計画部クライアント７Ａのパソコン（ＰＣ）上に情報ｆ３として伝えられる（ステップＳ２０）。すなわち、追加投入指示をＷＥＢ上で登録する。要するに、計画部クライアント７Ａは、廃棄の発生したロットの製品について、追加投入が必要かどうかの判断を行い、追加投入が必要な場合は、クライアントＰＣ上から、製造部クライアント７Ｂに追加投入指示ｇ１，ｇ２を転送する。
【００４７】
次に、図８（ｂ）に示すように、計画部クライアント７Ａより製造部クライアント７Ｂに追加投入指示ｇ１，ｇ２が転送されると、製造部クライアント７Ｂは、必要な追加投入を行い（ステップＳ２１）、クライアントＰＣから追加投入完了報告ｈ１を転送する（ステップＳ２２）。この追加投入完了報告ｈ１は、生産管理ホスト１にｈ２として転送され、必要な部門に送信される。なお、これ以降の手順については、前述したように、説明を省略する。
【００４８】
以上は、本発明の一実施の形態を説明したが、転送する情報については、これに限定されるものではなく、種々の変形が可能である。また、図１および図２における各種のクライアントは、これらに限定されるものではない。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の生産管理システムは、ストップロットが発生した際、即時に生産管理ホストを通じ、処置担当者へ指示できるため、情報伝達に掛かるロスタイムをミニマム化できるので、ロット毎の納期と進捗を考慮した優先度判断により、最優先で処置すべきロットを自動選定し、ロット全体の納期遵守率を上げ、客先に納期遅れを出さないで済むという効果がある。
【００５０】
また、本発明は、処置に当たりウエハーの廃棄が生じた場合、即時に関係部門を通じ、追加投入の要否を判断し、必要な場合は追加投入指示を出せることにより、客先に欠品を出さないで済むという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態を説明するための生産管理システムの構成図である。
【図２】図１における情報の流れを主体としたシステム構成図である。
【図３】図１あるいは図２における端末及び各管理システムの具体的処理フロー図である。
【図４】図１，図２の工期管理システムにおける優先度判断のイメージ図である。
【図５】図２における生産管理ホストからＰＤＡに報告される最優先処置ロット指示フロー図である。
【図６】図２における処置担当者処理フロー図である。
【図７】図２における処置完了処理フロー図である。
【図８】図１における計画部クライアントおよび製造部クライアントの処理フロー図である。
【図９】従来の一例を説明するための費用・日程データベースの格納内容を表わす図である。
【符号の説明】
１　　生産管理ホスト
２　　ストップロット情報報告端末
３　　処置担当者管理システム
４　　工期管理システム
５　　ＬＡＮ直結型無線基地局
６　　ＰＤＡ端末
７，７Ａ〜７Ｃ　　クライアント
８　　ＷＥＢサーバー
Ｔ　　遅れ時間
ＬＡ　　担当者の処置すべきロット
【図１】
2004139403.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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