Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月21日(2003.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１のタスクと第２のタスクとを含む複数のタスクの同時処理が可能な制御手段と、第１の発振手段と、第２の発振手段とを備える電子機器において、
前記制御手段は、前記第１のタスクを処理するときには前記第１の発振手段を用いて前記制御手段を駆動させる第１の駆動状態と、前記第２のタスクを処理するときには前記第２の発振手段を用いて前記制御手段を駆動させる第２の駆動状態とを備え、更に、前記第１の駆動状態から前記第２の駆動状態へ移行するときに前記第１の駆動状態と前記第２の駆動状態との間で前記第１の発振手段と前記第２の発振手段の両方を同時に発振させる第３の駆動状態を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
請求項１において、
前記第２の発振手段と比較して、前記第１の発振手段の発振周波数は低く、かつ発振精度は高く、前記第１のタスクは高精度処理を必要とするタスクであり、前記第２のタスクは高速度処理を必要とするタスクであるえることを特徴とする電子機器。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記制御手段は、前記第１の駆動状態において前記第１のタスク処理が完了していない時点で前記第２のタスク処理の実行を求める割り込みが発生した場合には、前記第３の駆動状態を経て前記第２の駆動状態に移行して前記第２のタスク処理を実行し、その後、前記第１のタスクを完了させるために前記第１の駆動状態へ戻る割り込み制御手段を有していることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明の電子機器は、少なくとも第１のタスクと第２のタスクとを含む複数のタスクの同時処理が可能な制御手段と、第１の発振手段と、第２の発振手段とを備える電子機器において、前記制御手段は、前記第１のタスクを処理するときには前記第１の発振手段を用いて前記制御手段を駆動させる第１の駆動状態と、前記第２のタスクを処理するときには前記第２の発振手段を用いて前記制御手段を駆動させる第２の駆動状態とを備え、更に、前記第１の駆動状態から前記第２の駆動状態へ移行するときに前記第１の駆動状態と前記第２の駆動状態との間で前記第１の発振手段と前記第２の発振手段の両方を同時に発振させる第３の駆動状態を備えることを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
さらに、前記第２の発振手段と比較して、前記第１の発振手段の発振周波数は低く、かつ発振精度は高く、前記第１のタスクは高精度処理を必要とするタスクであり、前記第２のタスクは高速度処理を必要とするタスクであるえることを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、前記制御手段は、前記第１の駆動状態において前記第１のタスク処理が完了していない時点で前記第２のタスク処理の実行を求める割り込みが発生した場合には、前記第３の駆動状態を経て前記第２の駆動状態に移行して前記第２のタスク処理を実行し、その後、前記第１のタスクを完了させるために前記第１の駆動状態へ戻る割り込み制御手段を有していることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月8日(2003.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
汎用ネットワークに接続され特定の受信者へ提供するための情報が登録されている情報提供サーバにおいて、前記登録されている情報を配信プログラムに組み込む配信プログラム設定部と、この配信プログラムを汎用ネットワークに接続されている前記特定の受信者の端末に送信する部分とを備え、配信プログラムは以下の部分を持つことを特徴とする情報提供サーバ。
（１）端末上で表示する情報を格納する情報格納部
（２）情報の削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときに配信プログラムを削除する部分
【請求項２】
配信プログラムとの通信部を備え、端末に配信プログラムの送信後にその削除タイミングの条件を変更可能とする請求項１記載の情報提供サーバ。
【請求項３】
端末から配信プログラムの削除タイミングの条件を受信する受信部を備え、この条件を前記条件記憶部に記憶可能とする請求項１記載の情報提供サーバ。
【請求項４】
請求項１の情報提供サーバに汎用ネットワークを介して接続される端末であって、前記配信プログラムを情報提供サーバから受信し、配信プログラムを実行する配信プログラム実行部と、該配信プログラム実行部の実行結果を表示し、また、表示された内容に対して入力が可能なユーザインターフェイスと、配信プログラムの上記（３）の削除が行われるときに、該配信プログラムの実際の削除動作を行う配信プログラム削除部と、を備えたことを特徴とする端末。
【請求項５】
配信プログラムの削除タイミングの条件を、該プログラムの保存時間が所定時間になったタイミングとする場合に、その保存時間を管理する時間管理部を備える、請求項４記載の端末。
【請求項６】
配信プログラムの削除タイミングは、予め定められた該プログラムの最大コピー回数を超えたコピーの時である請求項４記載の端末。
【請求項７】
汎用ネットワークに接続され特定の受信者へ提供するための情報が登録されている情報提供サーバから、汎用ネットワークに接続されている端末に送信される配信プログラムであって、
（１）情報端末上で表示する情報を格納する情報格納部
（２）情報の削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときに配信プログラムを削除する部分
を備えたことを特徴とする配信プログラム。
【請求項８】
請求項１〜３のいずれかの情報提供サーバと請求項４〜６のいずれかの端末からなる、汎用ネットワークを利用した情報配信システム。
【請求項９】
汎用ネットワークに接続されプロダクトを利用する端末に対してプロダクトに起動許可を与えるライセンスを提供ライセンス提供サーバにおいて、ライセンスを配信プログラムに組み込む配信プログラム設定部と、この配信プログラムをプロダクトを利用する端末に送信する部分とを備え、配信プログラムは以下の部分を持つことを特徴とするライセンス提供サーバ。
（１）ライセンスを格納し、プロダクトに接続してライセンスを入力するライセンス格納／出力部
（２）ライセンスの削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときに配信プログラムを削除する部分
【請求項１０】
汎用ネットワークに接続されプロダクトを利用する端末に対してプロダクトに起動許可を与えるライセンスを与えるライセンス提供サーバにおいて、プロダクトに起動許可を与えるライセンスを提供するライセンスプログラムをプロダクトを利用する端末に送信する部分とを備え、ライセンスプログラムは以下の部分を持つことを特徴とするライセンス提供サーバ。
（１）プロダクトに接続してライセンスプログラム自身を登録するプロダクト通信部
（２）ライセンスプログラムの削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときにライセンスプログラムを削除する部分
【請求項１１】
請求項９のライセンス提供サーバに汎用ネットワークを介して接続される端末であって、前記配信プログラムをライセンス提供サーバから受信し、配信プログラムの上記（３）の削除が行われるときに、該配信プログラムの実際の削除動作を行う配信プログラム削除部と、を備えたことを特徴とする端末。
【請求項１２】
請求項１０のライセンス提供サーバに汎用ネットワークを介して接続される端末であって、前記ライセンスプログラムをライセンス提供サーバから受信し、ライセンスプログラムの上記（３）の削除が行われるときに、該ライセンスプログラムの実際の削除動作を行うライセンスプログラム削除部と、を備えたことを特徴とする端末。
【請求項１３】
汎用ネットワークに接続されプロダクトに起動許可を与えるライセンスが登録されている情報提供サーバから、汎用ネットワークに接続されている端末にライセンスが組み込まれて送信される配信プログラムであって、
（１）ライセンスを格納し、プロダクトに接続してライセンスを入力するライセンス格納／出力部
（２）ライセンスの削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときに配信プログラムを削除する部分
を備えたことを特徴とする配信プログラム。
【請求項１４】
汎用ネットワークに接続されプロダクトに起動許可を与えるライセンスが登録されているライセンス提供サーバから、汎用ネットワークに接続されている端末にライセンスを与えるために送信されるライセンスプログラムであって、
（１）プロダクトに接続してライセンスプログラム自身を登録するプロダクト通信部
（２）ライセンスプログラムの削除タイミングの条件を記憶する条件記憶部
（３）削除タイミングの条件が満たされたときにライセンスプログラムを削除する部分
を備えたことを特徴とするライセンスプログラム。
【請求項１５】
自身の端末間移動を管理する移動管理部を備える、請求項１３記載の配信プログラム。
【請求項１６】
自身の端末間移動を管理する移動管理部を備える、請求項１４記載のライセンスプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
配信プログラム７が一定の期間のみ生存し、その期間が経過すると自身を削除する、配信プログラム７が予め定められた該プログラムの最大コピー回数を超えたときに自身を削除する、  といった条件が考えられる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のスレッドによって並列処理を行うマルチスレッド制御方法において、
並列処理を行っている実行中スレッドの数と待機状態にある待機スレッドの数を監視し、所定時間毎に、前記待機スレッドの数と、前記所定時間内の実行中スレッドの数の最大値、平均値、及びそれらに所定の係数を乗じた値のうちの何れか一つからなる必要数とを比較し、前記待機スレッドの数が前記必要数より多い場合に該必要数まで前記待機スレッドを回収する
ことを特徴とするマルチスレッド制御方法。
【請求項２】
複数のスレッドによって並列処理を行うマルチスレッド制御装置において、
前記複数のスレッドのスレッド情報が記憶されるスレッド情報管理部と、
前記スレッド情報管理部に記憶された待機状態にあるスレッドの数に基づいてスレッドの生成要求、待機状態にあるスレッドに対して処理の実行要求を行うスレッド実行処理部と、
前記スレッド情報管理部に記録された並列処理を行っている実行中スレッドの数と待機状態にある待機スレッドの数に基づいて不要な数の待機スレッドを回収するスレッド回収処理部と
を備えたことを特徴とするスレッド制御装置。
【請求項３】
前記スレッド回収処理部は、
所定時間毎に、前記待機スレッドの数と、前記所定時間内の実行中スレッドの数の最大値、平均値、及びそれらに所定の係数を乗じた値のうちの何れか一つからなる必要数とを比較する手段と、
前記待機スレッドの数が前記必要数より多い場合に該必要数まで前記待機スレッドを回収する手段と
を備えたことを特徴とする請求項２記載のスレッド制御装置。
【請求項４】
複数のスレッドによって並列処理を行うマルチスレッド制御プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体であって、
前記プログラムは、
並列処理を行っている実行中スレッドの数と待機状態にある待機スレッドの数を監視するステップと、
両スレッド数に基づいて不要な数の待機スレッドを回収するステップと
を実行する、記録媒体。
【請求項５】
コンピュータを、
前記複数のスレッドのスレッド情報が記憶されるスレッド情報管理部と、
前記スレッド情報管理部に記憶された待機状態にあるスレッドの数に基づいてスレッドの生成要求、待機状態にあるスレッドに対して処理の実行要求を行うスレッド実行処理部と、
前記スレッド情報管理部に記録された並列処理を行っている実行中スレッドの数と待機状態にある待機スレッドの数に基づいて不要な数の待機スレッドを回収するスレッド回収処理部と
して機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月4日(2003.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力されたテキストに対応する合成音声を生成して音声合成を行なう読み上げ装置において、
上記入力されたテキストの長さに対する、該テキストを読み上げる合成音声の長さの相対比率、または読み上げる合成音声の長さの絶対値である要約率を入力する要約率入力手段と、
合成される音声の長さが上記入力された要約率を満たすように、上記入力されたテキストの部分テキストを１つまたは複数個選択する部分テキスト選択手段とを有することを特徴とする要約読み上げ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の要約読み上げ装置において、
上記入力テキストの言語解析を行う言語解析手段と、
読み上げるべき品詞情報を記載した読み上げ品詞リストとを有し、
上記部分テキスト選択手段は、上記言語解析手段による言語解析の結果上記部分テキストに付加される品詞情報と上記読み上げ品詞リストを用いて上記部分テキストを選択することを特徴とする要約読み上げ装置。
【請求項３】
請求項１に記載の要約読み上げ装置において、
上記入力テキストの言語解析を行う言語解析手段と、
読み上げるべき文字種情報を記載した読み上げ文字種リストとを有し、
上記部分テキスト選択手段は、上記言語解析手段による言語解析した結果上記部分テキストに付加される文字種情報と上記読み上げ文字種リストを参照して上記部分テキストを読み上げることを特徴とする要約読み上げ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
次に、上記のように構成した地盤改良装置Ａにより軟弱な地盤や汚染された土壌ないしは地盤（以下「地盤Ｇ」という）を改良する工法について説明する。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
その結果、例えば、改良材としてセメントミルク等の改良材を使用して、図５に示すように、地盤改良部40の一部を前後方向ないしは左右方向に重複させて連続的に接合することにより、汚染土壌の周囲を囲繞する壁体Ｈを形成した場合には、円筒状の地盤改良部形成体42,42同士が重複して接合部43を形成することになるために、同接合部43において、壁体Ｈの肉厚が地盤改良部40の中央部よりも薄肉となっているにもかかわらず、同接合部43の地盤改良効果である固化による止水効果が高いことから、汚染土壌から有害物質が壁体Ｈの外部に漏出するのを確実に防止することができる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
すなわち、地盤改良域Ｗは、地盤改良部40の一部を前後方向及び左右方向に重複させて連続的に接合させており、三個の円筒状の地盤改良部形成体42,42,42同士を重複させて接合部43を形成したマルチセル状となしている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
従って、第３改良材吐出孔33a,33a,33aから吐出される改良材として、有害物質を中和・消滅・浄化させて無害化するものを使用することにより、円筒状の地盤改良部形成体42を有害物質が、円柱状の地盤改良部形成体41の内方から外方へ浸透・通過する際に、中和・消滅・浄化されるようにして、同有害物質の外方への漏出を確実に防止することができる。
なお、地盤Ｇ中に所定深さの地盤改良部40を築造する際に、所定深さに達したところで、掘削軸体７をわずかに昇降させながら、第１改良材吐出部29より改良材を繰り返し直下方へ向けて吐出させることにより、地盤改良部40の底部に別途に地盤改良部形成体を形成することもできる。
この際、底部の地盤改良部形成体と円筒状の地盤改良部形成体42とにより有底円筒状の地盤改良部40を形成することができる。
このようにして、地盤改良部40の底部の地盤改良効果を高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月10日(2003.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カーナビゲーション装置とその地図データの表示制御方法，地図データ格納方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタとの通信を確立する通信手段と、
前記情報提供センタから取得した地図データを記録媒体に格納する格納手段と、
車両の現在地を検出する位置検出手段と、
車両の走行速度を検出する車速検出手段と、
前記車速検出手段からの信号に基づき、走行・停車の判定を行なう車両状態判定機能と、
現在地を含む地区の地図データが前記記憶媒体に格納されているかどうか検索する地図データ検索機能と、
前記走行状態判定機能によって車両が走行状態にあると判定され、かつ前記地図データ検索機能によって表示すべき地図が前記記録媒体にないと判定されたとき、前記記録媒体に予め格納されている所定の縮尺率の地図データのうち、現在地を含む地域の地図データを読み出して表示する処理を行なう制御手段と
を有することを特徴とするカーナビゲーション装置。
【請求項２】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタとの通信を確立する通信手段と、
前記情報提供センタから取得した地図データを記録媒体に格納する格納手段と、
車両の走行速度を検出する車速検出手段と、
前記車速検出手段からの信号に基づき、走行・停車の判定を行なう車両状態判定機能と、
前記記録媒体の空き容量が所定量以上あるかどうか判定する空き容量判定機能と、表示すべき地図データが前記記憶媒体に格納されているかどうか検索する地図データ検索機能と、
前記地図データ検索機能によって前記記録媒体を検索して表示すべき地区の地図がないと判定され、前記空き容量判定機能によって所定量以上の空き容量があると判定され、かつ前記走行状態判定機能によって車両が停車状態にあると判定されたとき、表示すべき地区とそれに隣接する地区の地図データを前記通信手段を用いて前記情報提供センタから取得する処理を行ない、前記空き容量判定機能にて所定量以上の空き容量がないと判定されると前記記録媒体から所定の縮尺率の地図データを検索して読み出す処理を行なう制御手段と
を有することを特徴とするカーナビゲーション装置。
【請求項３】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタとの通信手段を備え、ユーザにより設定された目的地情報を前記情報提供センタへ送り目的地まで誘導するのに必要な地図データを取得して記録媒体へ格納するカーナビゲーション装置における地図データの表示方法であって、
前記カーナビゲーション装置が搭載された車両が停車中にユーザによる操作で新たな地区の地図データの表示が必要になった場合、前記地区の地図データが前記記録媒体に格納されているかどうか検索し、格納されていない場合には、前記記録媒体の空き容量をチェックし、所定量の空き容量があれば、該地区の地図データ及び該地区と隣り合う地区の地図データのうち、前記記録媒体に格納されていない地図データを前記通信手段を用いて前記情報提供センタから取得し、前記記録媒体に格納するとともに、必要な地図データを読み出して表示することを特徴とする地図データの表示制御方法。
【請求項４】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタとの通信手段を備え、ユーザにより設定された目的地情報を前記情報提供センタへ送り目的地まで誘導するのに必要な地図データを取得して記録媒体へ格納するカーナビゲーション装置における地図データの表示制御方法であって、
前記カーナビゲーション装置が搭載された車両が停車中にユーザによる操作で新たな地区の地図データの表示が必要になった場合、前記地区の地図データが前記記録媒体に格納されているかどうか検索し、格納されていない場合には、前記記録媒体の空き容量をチェックし、所定量の空き容量がない場合には、前記記録媒体に予め格納されている所定の縮尺率の地図データを表示することを特徴とする地図データの表示制御方法。
【請求項５】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタとの通信手段を備え、ユーザにより設定された目的地情報を前記情報提供センタへ送り目的地まで誘導するのに必要な地図データを取得して記録媒体へ格納するカーナビゲーション装置における地図データの表示制御方法であって、
前記カーナビゲーション装置を搭載した車両の走行に伴って新たな地区の地図データが必要になった場合、該地区の地図データが前記記録媒体に格納されているかどうか検索し、格納されていない場合には、前記記録媒体に予め格納されている所定の縮尺率の地図データを読み出して表示することを特徴とする地図データの表示制御方法。
【請求項６】
複数の地区に分割された地図データを保有する情報提供センタから取得した地図データの記録媒体への格納方法であって、
複数の地図データを１つのファイルとして前記記録媒体に格納し、新たに地図データを取得した場合には、該地図データが示す地区に近接する地区の地図データで構成され、既に前記記録媒体に格納されている地図データのファイルを検索して読み出し、新たに取得した地図データも含めて１つのファイルを再構成して前記記録媒体に格納することを特徴とする地図データ格納方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信によって地図情報を取得することができるようにした通信型ナビゲーションシステムのカーナビゲーション装置とその地図データの表示制御方法，地図データ格納方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第１の目的は、かかる問題を解消し、記録媒体から必要なパーセルを常に取得することができ、しかも、この記録媒体の利用効率を高めることができるようにしたカーナビゲーション装置とその地図データの表示制御方法，地図データ格納方法を提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第２の目的は、記録媒体にダウンロードされて記憶されたパーセルの中に必要とするパーセルがない場合でも、ユーザに負担を掛けることなく、所望とする地図表示を可能としたカーナビゲーション装置とその地図データの表示制御方法，地図データ格納方法を提供することにある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月10日(2003.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
目的地までの経路を構成する地点の位置情報を含む経路情報と地図情報とを通信手段を用いて取得し、該情報に基づいて、表示画面に車両の現在位置とともに、現在位置を含む地図と該車両が進むべき経路とを表示するカーナビゲーション装置であって、
ＧＰＳからの位置・方位情報と車速パルスから求めた走行距離とから該車両の位置を求める手段と、
該地点の位置情報の中から該手段によって求められた該車両位置に最も近い地点を検索する検索手段と、
該検索手段によって検索された地点を車両位置を示すマークで表示する表示制御手段と
を有することを特徴とするカーナビゲーション装置。
【請求項２】
目的地までの経路を構成する地点の位置情報を含む経路情報と地図情報とを通信手段を用いて取得し、該情報に基づいて表示画面に車両の現在位置とともに現在位置を含む地図と該車両が進むべき経路とを表示するカーナビゲーション装置における車両の位置を示すマークを表示する方法であって、
ＧＰＳからの位置・方位情報と車速パルスから求めた走行距離とから該車両の位置を求め、前記車両位置に最も近い地点を該経路を構成する該地点の位置情報の中から検索し、検索された地点に車両位置を示すマークを表示することを特徴とする自車位置の表示方法。
【請求項３】
請求項２に記載の自車位置の表示方法であって、
ＧＰＳからの位置・方位情報と車速パルスから求めた走行距離とから求めた該車両の位置と、該車両の位置に最も近い該経路を構成する地点との間の距離が所定値を超えない場合に、該検索された地点を自車位置として補正して車両位置を示すマークを表示することを特徴とする自車位置の表示方法。
【請求項４】
目的地までの経路を構成する地点の位置情報を含む経路情報、地図情報及び誘導ポイントの位置情報、誘導ポイントへの進入・脱出経路リンク長情報、誘導ポイント付近の詳細拡大地図などを含む誘導情報を通信手段を用いて取得し、該経路情報と該地図情報とに基づいて表示画面に車両の現在位置とともに現在位置を含む地図と該車両が進むべき経路とを表示し、該誘導情報を基に該車両の誘導を行なうカーナビゲーション装置であって、
ＧＰＳからの位置・方位情報から該車両の位置を求める手段と、
該手段によって求められた車両の位置情報及び該誘導ポイントの位置情報から両地点間の距離を求め、該距離と該誘導ポイントへの進入経路リンク長あるいは脱出経路リンク長との比率から該詳細拡大地図上での該車両の位置を算出する手段と
を有し、車両が該経路上の誘導ポイントから所定範囲内に入ると、該詳細拡大地図を表示し、該算出手段によって随時求められる該詳細拡大地図上の位置に車両を示すマークを表示することを特徴とするカーナビゲーション装置。
【請求項５】
目的地までの経路を構成する地点の位置情報を含む経路情報、地図情報及び誘導ポイントの位置情報、誘導ポイントへの進入・脱出経路リンク長情報、誘導ポイント付近の詳細拡大地図などを含む誘導情報を通信手段を用いて取得し、該経路と該地図情報とに基づいて表示画面に車両の現在位置とともに現在位置を含む地図と該車両が進むべき経路とを表示し、該誘導情報を基に車両の誘導を行なうカーナビゲーション装置で誘導ポイント付近の詳細拡大地図上に車両の位置を示すマークを表示する自車マークの表示方法であって、
車両が該経路上の誘導ポイントから所定範囲内に入ると、表示画面上に誘導ポイントが中心に来るように、誘導ポイント付近の詳細拡大地図を表示し、ＧＰＳからの位置・方位情報から求めた該車両の位置と、該誘導情報に含まれる該誘導ポイントの位置情報から両地点間の距離を求め、該距離と該誘導情報に含まれる該誘導ポイントへの進入経路リンク長あるいは脱出経路リンク長との比率から該詳細拡大地図における誘導ポイントへの進入リンクあるいは脱出リンク上での該車両の位置を算出し、該車両の位置に車両を示すマークを表示することを特徴とする自車マークの表示方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信によって地図情報や経路情報を取得することができるようにした通信型のカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明の第１の目的は、かかる問題を解消し、ユーザが必要としないときには、地図情報のサーバからのダウンロードを禁止させることができるようにしたカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法を提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第２の目的は、かかる問題を解消し、経路情報のダウンロードが失敗しても、地図上で車両の誘導ができるようにしたカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法を提供することにある。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
従って、本発明の第３の目的は、かかる問題を解消し、サーバからダウンロードされた情報を用いて、精度良く経路マッチングを行なうことができるようにしたカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法を提供することにある。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
そこで、本発明の第４の目的は、簡単な操作でもって、経路全体の確認を短時間で行なうことができるようにしたカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法を提供することにある。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
そこで、本発明の第５の目的は、交差点などの詳細拡大地図上でも、常にカーマークを経路に一致させて表示することができるようにしたカーナビゲーション装置とその自車位置の表示方法，自車マークの表示方法を提供することにある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月21日(2003.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】用紙の給紙タイミング制御方法及び給紙装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）給紙ローラを回転させて少なくとも１枚の用紙を給紙し、
（ｂ）給紙された用紙の用紙長を算出し、
（ｃ）算出された用紙長に基づいて用紙間隔を算出し、
（ｄ）前記用紙長及び用紙間隔に基づいて給紙タイミングを発生させることを特徴とする用紙の給紙タイミング制御方法。
【請求項２】
（ａ）給紙ローラを回転させて少なくとも１枚の用紙を給紙し、
（ｂ）給紙された用紙の用紙長の平均値を算出し、
（ｃ）算出された平均値に基づいて用紙間隔の平均値を算出し、
（ｄ）前記用紙長及び用紙間隔の各平均値に基づいて給紙タイミングを発生させることを特徴とする用紙の給紙タイミング制御方法。
【請求項３】
前記用紙長は、センサの出力に基づいてカウントを開始する給紙カウンタのカウント値に基づいて算出される請求項１又は２に記載の用紙の給紙タイミング制御方法。
【請求項４】
前記用紙長は、搬送ローラ間を搬送される用紙による電気量の変化に基づいて算出される請求項１又は２に記載の用紙の給紙タイミング制御方法。
【請求項５】
用紙を給紙して搬送する給紙装置において、
（ａ）用紙搬送路に配設されたセンサと、
（ｂ）該センサによって用紙が検出されてから検出されなくなるまでの間隔を測定するカウンタと、
（ｃ）該カウンタによって測定された間隔に基づいて、所定の用紙間隔で複数の用紙を給紙する給紙部とを有することを特徴とする給紙装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、用紙の給紙タイミング制御方法及び給紙装置に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、前記従来の用紙の給紙タイミング制御方法の問題点を解決して、印刷装置における全体の印刷時間を短くすることができ、コストを低くすることができ、重走を起こしにくい用紙の給紙タイミング制御方法及び給紙装置を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月10日(2003.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層構造の蓋部及び多層構造の胴部からなり、蓋部と胴部がフランジ部において溶着されているプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器であって、蓋部と接触する胴部の面と胴部と接触する蓋部の面が同種のプラスチック素材であることを特徴とするプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器。
【請求項２】
多層構造の蓋部が、容器内側から外側に向かって、ポリプロピレン層、変性ポリプロピレン層、アルミニウム層、接着剤層、ポリプロピレン層の多層構造である請求項１記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器。
【請求項３】
多層構造の胴部がポリプロピレン層、変性ポリプロピレン層、鉄又はアルミニウム層の多層構造である請求項１記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器。
【請求項４】
多層構造の蓋部が容器内側から外側に向かって、ポリエチレンテレフタレート層、変性ポリエチレンテレフタレート層又はポリウレタン系接着剤層、アルミニウム層、接着剤層及びポリプロピレン層の多層構造である請求項１記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器。
【請求項５】
多層構造の胴部がポリエチレンテレフタレート層、変性ポリエチレンテレフタレート層、鉄又はアルミニウム層の多層構造を含むものである請求項１記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題を解決すべく鋭意研究を重ねた結果、硬い金属製胴部と軟いプラスチックイージーオープン蓋部を二重巻締して接合することは難しいが、両者が接する面を同種のプラスチック素材とすることにより、熱溶着が可能となり、かつ、プラスチック素材としてポリプロピレン又はポリエチレンテレフタレートを用いることにより接合部が安定することを見いだし、この知見に基づいて本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明は、
（１）多層構造の蓋部及び多層構造の胴部からなり、蓋部と胴部がフランジ部において溶着されているプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器であって、蓋部と接触する胴部の面と胴部と接触する蓋部の面が同種のプラスチック素材であることを特徴とするプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器、
（２）多層構造の蓋部が、容器内側から外側に向かって、ポリプロピレン層、変性ポリプロピレン層、アルミニウム層、接着剤層、ポリプロピレン層の多層構造である第１項記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器、
（３）多層構造の胴部がポリプロピレン層、変性ポリプロピレン層、鉄又はアルミニウム層の多層構造である第１項記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器、
（４）多層構造の蓋部が容器内側から外側に向かって、ポリエチレンテレフタレート層、変性ポリエチレンテレフタレート層又はポリウレタン系接着剤層、アルミニウム層、接着剤層及びポリプロピレン層の多層構造である第１項記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器、及び、
（５）多層構造の胴部がポリエチレンテレフタレート層、変性ポリエチレンテレフタレート層、鉄又はアルミニウム層の多層構造を含むものである第１項記載のプラスチックイージーオープン蓋付ラミネート金属複合容器、
を提供するものである。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月7日(2004.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の半導体チップで形成されたマルチチップ型のＩＣメモリにおいて、
メモリセルアレイを有する記憶回路部を半導体基板上に形成した少なくとも１つの第１チップと、
外部から信号が入力される入力回路部、外部へ信号を出力する出力回路部、各内部回路への電源を供給する電源回路部を半導体基板上に形成した第２チップとを備え、
上記第１チップは、第２チップ上に貼り合わせて接続され、上記第１チップに形成されるトランジスタのゲート酸化膜の厚さが、上記第２チップに形成されるトランジスタのゲート酸化膜の厚さよりも薄いことを特徴とするＩＣメモリ。
【請求項２】
上記第１チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚が、上記第２チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項１に記載のＩＣメモリ。
【請求項３】
上記第２チップは、空き領域にデカップル用コンデンサが形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のＩＣメモリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本第１の発明に係るＩＣメモリは、複数の半導体チップで形成されたマルチチップ型のＩＣメモリにおいて、メモリセルアレイを有する記憶回路部を半導体基板上に形成した少なくとも１つの第１チップと、外部から信号が入力される入力回路部、外部へ信号を出力する出力回路部、各内部回路部への電源を供給する電源回路部を半導体基板上に形成した第２チップとを備え、上記第１チップは、第２チップ上に貼り合わせて接続され、上記第１チップに形成されるトランジスタのゲート酸化膜の厚さが、上記第２チップに形成されるトランジスタのゲート酸化膜の厚さよりも薄いものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本第２の発明に係るＩＣメモリは、第１の発明において、上記第１チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚が、上記第２チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚よりも薄いものである。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本第３の発明に係るＩＣメモリは、第１又は第２の発明において、上記第２チップの空き領域にデカップル用コンデンサを形成するものである。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
【発明の効果】
第１の発明に係るＩＣメモリは、メモリセルアレイを有する記憶回路部を半導体基板上に形成した少なくとも１つの第１チップを、外部から信号が入力される入力回路部、外部へ信号を出力する出力回路部、各内部回路への電源を供給する電源回路部を半導体基板上に形成した第２チップ上に貼り合わせて接続するようにした。このことから、従来は同一平面上に２次元的にレイアウトされていたものを、チップを重ねて接続するようにしたため、３次元的にレイアウトできるようになり、各部分を接続する信号線の長さを短くすることができ、動作の高速化を図る上で有利となる。また、製造不良が発生しやすい集積度の高い記憶回路部を第１チップに形成して、第１チップのチップサイズを１００ｍｍ２以下にすることにより、歩留まりを良くすることができチップコストの低下を図ることができる。また、第１チップに形成されるトランジスタのゲート酸化膜の厚さを薄くし、第２チップに形成されるトランジスタゲート酸化膜の厚さを厚くした。このことから、第１チップと第２チップとの製造プロセスを別々にでき、サージ等が入力される可能性のある、第２チップに形成されたトランジスタは、ゲート酸化膜の厚いものを使用し、第１チップに形成されたトランジスタは、ゲート酸化膜の薄い微細化に適したものを使用する。このようにすることによって、微細化したときに生じる入出力部でのサージ耐圧低下を回避することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
第２の発明に係るＩＣメモリは、第１の発明において、第１チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚が、第２チップに形成される回路間を接続する配線層の膜厚よりも薄くなるようにした。このことから、第１チップと第２チップとの製造プロセスを別々にでき、第１チップは、配線層を微細化に適した薄膜で形成し、第２チップは、あまり微細化する必要がないため厚膜で形成することが容易にできる。このため、第１チップの配線は、抵抗値を小さくすることができ、離れた場所に形成された回路を接続する配線は、第１チップに形成し、近い場所に形成された回路を接続する配線は、第２チップに形成することにより、回路の高速化を図ることができる。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
第３の発明に係るＩＣメモリは、第１又は第２の発明において、素子が形成されていない第２チップの空き領域に、デカップル用コンデンサを形成した。このことから、従来と比較して、第２チップに上記空き領域を大きく形成することができるため、従来よりも大きな容量のデカップル用コンデンサを形成することができ、外付けされていた従来のデカップル用コンデンサを削減することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月11日(2003.7.11)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マイクロ波非相反素子
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガーネットと、中心導体と、該中心導体の一方と地導体の間に接続する負荷容量と、前記ガーネットに対向して配置され一方から直流磁界を印加する永久磁石を備え、これらを強磁性金属のケースに収納してなる単磁石方式のマイクロ波非相反素子において、
−３５℃〜＋８５℃の温度範囲において、前記ガーネットの飽和磁化４πＭｓの温度係数αｆが−１９００〜−２３００［ｐｐｍ／℃］の範囲にあり、かつ前記負荷容量の容量値の温度係数αｃが＋１５０〜＋３５０［ｐｐｍ／℃］の範囲にあることを特徴とするマイクロ波非相反素子。
【請求項２】
高さが２ｍｍ以下であることを特徴とするマイクロ波非相反素子。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
このように、近年小型薄型化の要求が強い中、図５に示すような単磁石方式のマイクロ波非相反素子が主流となっている。しかし、上記したように、この単磁石方式のマイクロ波非相反素子は、その温度特性が良くないという問題点を抱えていた。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明は、前述の従来技術の問題点を鑑み、集中定数型サーキュレータの基本特性を考察することにより、各種パラメータの新しい組み合わせ方法により、小型化しても挿入損失の温度特性が劣化しないマイクロ波非相反素子を提供するものである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、ガーネットと、中心導体と、該中心導体の一方と地導体の間に接続する負荷容量と、前記ガーネットに対向して配置され一方から直流磁界を印加する永久磁石を備え、これらを強磁性金属のケースに収納してなる単磁石方式のマイクロ波非相反素子において、
−３５℃〜＋８５℃の温度範囲において、前記ガーネットの飽和磁化４πＭｓの温度係数αｆが−１９００〜−２３００［ｐｐｍ／℃］の範囲にあり、かつ前記負荷容量の容量値の温度係数αｃが＋１５０〜＋３５０［ｐｐｍ／℃］の範囲にあることを特徴とするマイクロ波非相反素子である。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また本発明では、高さ３ｍｍ以下の薄型構造において好適であり、特に高さ２ｍｍ以下の超薄型構造において、有益である。また本発明は、１０ｍｍ角以下の小型のマイクロ波非相反素子において、好適である。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の各種パラメータの温度係数の新しい組み合わせ方法を用いれば、小型・薄型化を図りながら温度特性が良好なマイクロ波非相反素子を構成することができる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、永久磁石の単磁石方式の磁気回路、ガーネットの４πＭｓの温度係数、負荷容量の温度係数の本発明の組み合わせにより、低損失で温度安定な小型・薄型のマイクロ波非相反素子を得ることができ、マイクロ波製品において極めて有益である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月4日(2003.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
例えば、受信帯域で強い妨害波が発生した場合には、ＳＰＤＴスイッチ９２によって受信アンテナ９１と帯域通過フィルタ９３を接続するとともに、ＳＰＤＴスイッチ９８によって帯域通過フィルタ９６と周波数混合器９９を接続する。さらに、信号切り替え回路９５の内部の各スイッチＳ４１〜Ｓ４６によって帯域通過フィルタ９３と帯域通過フィルタ９６を直接に接続する。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月20日(2004.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに形成されたパターンを荷電ビームにより感応基板に投影露光する荷電ビーム露光方法において、
前記マスクに設けられた複数の歪み計測用マークの位置をそれぞれ計測し、それらの計測値に基づいて前記感応基板に投影されるべきパターン像を補正して露光することを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項２】
請求項１に記載の荷電ビーム露光方法において、
前記マスクは複数の小領域に分割されていることを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項３】
請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、
前記計測値に基づいたパターン像の補正は前記小領域の位置を補正することを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項４】
請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、
前記計測値に基づいたパターン像の補正は前記小領域の回転を補正することを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項５】
請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、
前記計測値に基づいたパターン像の補正は前記小領域の倍率を補正することを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の荷電ビーム露光方法において、
前記計測を前記マスクが露光装置のマスクステージに載置された状態で行うようにしたことを特徴とする荷電ビーム露光方法。
【請求項７】
感応基板に投影露光されるべきパターンが形成された荷電ビーム露光装置用マスクにおいて、
前記感応基板に投影されるべきパターン像の補正に用いられる歪み計測用マークを、前記マスクのパターン領域内であって前記パターン領域に形成されたパターン全体の周囲に複数設けたことを特徴とするマスク。
【請求項８】
請求項７に記載のマスクにおいて、
前記マスクは複数の小領域に分割され、前記複数の小領域が形成された領域の最外周に位置する複数の小領域に前記マークをそれぞれ形成し、他の小領域のそれぞれに前記パターンを形成したことを特徴とするマスク。
【請求項９】
感応基板に投影露光されるべきパターンが形成された荷電ビーム露光装置用マスクにおいて、
前記感応基板に投影されるべきパターン像の補正に用いられる歪み計測用マークを、前記マスクのパターン領域の全体に分散するように複数設けたことを特徴とするマスク。
【請求項１０】
請求項９に記載のマスクにおいて、
前記マスクは（ｎ＋ｍ）個の小領域に分割され（ただし、ｎ，ｍは２以上の整数）、ｎ個の小領域に前記パターンをそれぞれ形成し、ｍ個の小領域に前記マークをそれぞれ形成するとともに前記マークの形成された小領域をマスク全体に分散するように設けたことを特徴とするマスク。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
発明の実施の形態を示す図１，図３および図４に対応付けて説明する。
（１）図３に対応付けて説明すると、請求項１の発明は、マスク１に形成されたパターンを荷電ビームＥＢにより感応基板４に投影露光する荷電ビーム露光方法に適用され、マスク１に設けられた複数小領域３ａ，３ｂ，…内に形成された歪み計測用マークの位置をそれぞれ計測し、それらの計測値に基づいて感応基板４に投影されるべきパターン像を補正して露光することにより上述の目的を達成する。
（２）図１に対応付けて説明すると、請求項２の発明は、請求項１に記載の荷電ビーム露光方法において、マスク１は複数の小領域２に分割されている。
（３）請求項３の発明は、請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、小領域２の位置を補正することによりパターン像の補正を行うものである。
（４）請求項４の発明は、請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、小領域２の回転を補正することによりパターン像の補正を行うものである。
（５）請求項５の発明は、請求項２に記載の荷電ビーム露光方法において、小領域２の倍率を補正することによりパターン像の補正を行うものである。
（６）請求項６の発明は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の荷電ビーム露光方法において、計測をマスク１が露光装置のマスクステージ１２に載置された状態で行うようにした。
（７）図４に対応付けて説明すると、請求項７の発明は、感応基板に投影露光されるべきパターンが形成された荷電ビーム露光装置用マスク１００に適用され、前記感応基板に投影されるべきパターン像の補正に用いられる歪み計測用マーク（小領域２全体の周囲に設けられた複数の小領域３内にマークが形成される）を、マスク１００のパターン領域１００ａ内であってパターン領域１００ａに形成されたパターン全体の周囲（図４において、パターンが形成された複数の小領域２の全体の周囲）に複数設けたことにより上述の目的を達成する。
（８）請求項８の発明は、請求項７に記載のマスクにおいて、マスク１００は複数の小領域２，３に分割され、複数の小領域２，３が形成された領域１００ａの最外周に位置する複数の小領域３にマークをそれぞれ形成し、他の小領域２のそれぞれにパターンを形成した。
（９）図１に対応付けて説明すると、請求項９の発明は、感応基板に投影露光されるべきパターンが形成された荷電ビーム露光装置用マスク１に適用され、前記感応基板に投影されるべきパターン像の補正に用いられる歪み計測用マーク（小領域３ａ〜３ｄ内にマークが形成される）を、マスク１のパターン領域１ａの全体に分散するように複数設けたことにより上述の目的を達成する。
（１０）請求項１０の発明は、請求項９に記載のマスクにおいて、マスク１は（ｎ＋ｍ）個の小領域に分割され（ただし、ｎ，ｍは２以上の整数）、ｎ個の小領域２にパターンをそれぞれ形成し、ｍ個の小領域３ａ〜３ｄにマークをそれぞれ形成するとともにマークの形成された小領域３ａ〜３ｄをマスク全体に分散するように設けた。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、マスクに設けられた複数の歪み計測用マークの位置を計測することによりマスクの歪みを算出し、感応基板上に投影露光されるべきパターン像を算出されたマスクの歪みに基づいて補正するため、従来より高精度なパターン露光を行うことができる。
請求項７，８の発明によれば、マスクに形成されたパターンの全体を囲むように複数のマークを設けたのでマーク位置測定時の制御が簡単になり、マスクの歪み計測を容易に行うことができる。
また請求項９，１０の発明によれば、マークを含むマスク上の狭い領域の歪みを測定することができるため、マスクの歪み計測をより高精度に行うことができる。