(57)【要約】【課題】絶対値センサを用いることなく、相対的な位置変化の情報のみを用いることにより、安定してリニアモータの可動子を駆動する。【解決手段】複数相のコイルの配列により構成されるコイル列と、コイル列に対して相対的に移動可能なマグネットとを有し、同相コイルの間隔はマグネットの磁界の周期の（整数＋０．５）倍であるリニアモータ装置は、コイル列を構成する同相コイル全てに対して電流を流すために各相ごとに少なくとも１つ設けられるドライバと、その電流により移動するマグネットと、コイル列との相対位置の変化を測定するセンサと、そのセンサの測定による相対位置の変化に基づいて、同相コイルに印加する電流の極性を決定し、マグネットを所定の方向に駆動するための駆動電流を同相コイルに印加するコントローラとを備える。【選択図】　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数相のコイルの配列により構成されるコイル列と、該コイル列に対して相対的に移動可能なマグネットとを有し、同相コイルの間隔は該マグネットの磁界の周期の（整数＋０．５）倍であるリニアモータ装置であって、
前記コイル列を構成する同相コイル全てに対して電流を流すために各相ごとに少なくとも１つ設けられるドライバと、
前記電流により移動するマグネットと、前記コイル列との相対位置の変化を測定する測定手段と、
前記測定手段の測定による相対位置の変化に基づいて、前記同相コイルに印加する電流の極性を決定し、前記マグネットを所定の方向に駆動するための駆動電流を該同相コイルに印加するコントローラと、
を備えることを特徴とするリニアモータ装置。
【請求項２】
前記コントローラは、前記複数個設けられたドライバを制御して、位相差を有する複数の駆動電流を前記コイルに印加することを特徴とする請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項３】
前記コイル列と前記ドライバは、同相コイル毎に電流の極性を反転することが可能に接続されていることを特徴とする請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項４】
前記コントローラは、前記測定手段の測定に基づき、前記ドライバを制御して、複数相のうちから選択した同相コイルに駆動電流を印加することを特徴とする請求項１記載のリニアモータ装置。
【請求項５】
前記測定手段は、
第１の同相コイルに対する第１電流による前記マグネットの第１整定の後、第２の同相コイルに対する第２電流により駆動した、該マグネットの第２整定の位置を測定し、
前記コントローラは、
前記測定された第２整定の位置に基づき、前記第１の同相コイルに対する第１位相角及び前記第２の同相コイルに対する第２位相角を、前記マグネットの現在位置を特定するための位相角情報として設定することを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ装置。
【請求項６】
前記コントローラは、前記位相角情報に基づいて、前記マグネットを所定の方向に駆動するための駆動電流を前記第１の同相コイルまたは第２の同相コイルに印加することを特徴とする請求項５に記載のリニアモータ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアモータ装置、特には露光装置に利用されるリニアモータ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ムービングマグネット型２相励磁リニアモータは、可動子（ムーバ）がマグネットであり、駆動用の電線は固定子（ステータ）側に構成されるため電線の部分にストレスがかからず断線の心配がなく、また発熱も固定子側なので冷媒による冷却等も容易であるという特徴がある。そのため、高い信頼性と精度が要求される半導体製造装置を含めた多様な分野で用いられるようになってきている。
【０００３】
半導体露光装置においては、スループット向上のため、原版を転写する基板（ウエハ）のサイズの大型化と、リニアモータに要求される加速力および最大速度の向上が求められている。こうした背景から、ムーバのサイズに比べて長いストロークが必要とされるため、複数のコイル対が必要となる。その際、コイル対を全て同じ電流ドライバに接続すれば、推力を発生させることは可能であるが、ムーバの磁界の及ばないコイルは推力を発生せずコイルの電気抵抗による損失（発熱）のみとなるため、モーターの効率は極端に低いものとなってしまう。
【０００４】
それを防ぐため、各相のコイル対にそれぞれ電流ドライバを接続し、各コイルに接続された電流ドライバの電流指令値を個別に与えられるようにして、ムーバの磁界の及ばないコイルには電流を流さない方法が考えられる。この方法は、コイル対の数だけ電流ドライバと指令値生成部が必要となり、コストがストロークに比例して増大する関係となるため、長いストロークの場合には採用できない。
【０００５】
もう一つの方法としては、ムーバの磁界の範囲にあるコイルのみ選択的に電流を流すように各コイルにリレー等を介して電流ドライバを接続することが可能である（特許文献１、２を参照）。
【０００６】
図３はリレーを使用した従来のＡ、Ｂ相２相駆動方式のリニアモータ駆動回路の構成を表す図であり、この図において、Ｍは可動子マグネット、ＣＡｎ−１，　ＣＡｎ，　ＣＡｎ＋１はリニアモータにおけるＡ相の固定子コイル列、ＣＢｎ，　ＣＢｎ＋１はリニアモータにおけるＢ相の固定子コイル列である。そして、ＳＡｎ−１，ＳＡｎ，ＳＡｎ＋１はＡ相のコイルに対するスイッチ、ＳＢｎ，　ＳＢｎ＋１はＢ相のコイルに対するスイッチを示す。Ｕはアブソリュート型のセンサである超音波センサであり、ＤＡはＡ相ドライバ、ＤＢはＢ相ドライバ、Ｇはコントローラである。また、同図より同相コイルの間隔は可動子マグネットＭの磁界の周期の１．５倍となるように構成されている。
【０００７】
次に、この図において、可動子マグネットＭを、＋ｘ方向（図３において左手方向）へ移動させる場合の駆動方法を説明する。固定子コイルの通電方法であるが、図３の位置に可動子マグネットがあるとすると、＋ｘ方向に移動させるためには、Ａ相の通電を、ＣＡｎからＣＡｎ＋１に切り替え、コントローラＧによって、位置に応じた位相角の２相駆動電流を与える必要がある。
【０００８】
さて、コイルの巻き方、およびコイルのドライバへの接続の方法によっては、同相のコイルへの通電切り替え時（たとえばＣＡｎからＣＡｎ＋１）に、ドライバへの指令電流を反転させる必要が生じる。しかしながら、特許文献３に開示されている通り、こうした場合はリニアモータの制御精度を劣化やドライバの負担が増加することなどから、望ましくない。そこで、特許文献３に開示されているように、同相コイル毎に極性が反転するように、同相ドライバに接続されるのが望ましい。こうした接続の場合、図３の位置においては、ＣＡｎ＋１には位相角１８０度、ＣＢｎには位相角９０度の２相駆動電流指令値を与えればよい。
【０００９】
ナノメートルオーダーの精度が要求され、かつ、移動ストロークが数百ｍｍ必要な露光装置などにおいては、位置計測にレーザー干渉計を用いることが多いが、こうした高精度、かつ、長ストロークの計測手段は、通常はアブソリュート型ではなく、相対位置情報を検出するインクリメンタル型となる。したがって絶対的な位置情報を得るには、位置データの初期化（校正）を行う必要がある。通常、位置データの初期化は、可動子を特定の位置（突き当て位置や、初期位置検出用の遮光スイッチ取り付け位置など）へ移動させ（これを初期化駆動と呼ぶ）、そこで計測値を所望の値に書き換える、という方式を取る。ところが、この初期化駆動には、干渉計を含めたインクリメンタル型のセンサを用いることができない。特許文献４においては、初期化駆動のために、超音波センサなどの、干渉計に比べ精度の低いアブソリュートセンサを用いて、干渉計を初期化する方法が開示されている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平６−２８４７８５号公報。
【００１１】
【特許文献２】
特開平８−１１１９９８号公報。
【００１２】
【特許文献３】
特開平１１−３４１８５３号公報。
【００１３】
【特許文献４】
特開平１１−３１６６０７号公報。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、長いストロークを移動する可動部をアブソリュートセンサにおいて測定する場合、干渉計やリニアエンコーダに比べて、アブソリュートセンサは、特に外部環境からの外乱に弱いため、場合によっては誤動作を生じてしまうことがある。そのため、安定した位置制御を実現するためには、アブソリュート型のセンサを用いずに、相対的な位置変化情報のみを用いて可動子を移動させること、可動部分の位置情報を確実に初期化すること、が重要な課題となる。
【００１５】
【発明を解決するための手段】
上記課題を解決するべく、本発明にかかるリニアモータ装置は主として以下を有することを特徴とする。
【００１６】
すなわち、複数相のコイルの配列により構成されるコイル列と、該コイル列に対して相対的に移動可能なマグネットとを有し、同相コイルの間隔は該マグネットの磁界の周期の（整数＋０．５）倍であるリニアモータ装置は、
前記コイル列を構成する同相コイル全てに対して電流を流すために各相ごとに少なくとも１つ設けられるドライバと、
前記電流により移動するマグネットと、前記コイル列との相対位置の変化を測定する測定手段と、
前記測定手段の測定による相対位置の変化に基づいて、前記同相コイルに印加する電流の極性を決定し、前記マグネットを所定の方向に駆動するための駆動電流を該同相コイルに印加するコントローラと、を備えることを特徴とする。
【００１７】
好ましくは、上記のリニアモータ装置において、前記コントローラは、前記複数個設けられたドライバを制御して、位相差を有する複数の駆動電流を前記コイルに印加する。
【００１８】
好ましくは、上記のリニアモータ装置において、前記コイル列と前記ドライバは、同相コイル毎に電流の極性を反転することが可能に接続されている。
【００１９】
好ましくは、上記のリニアモータ装置において、前記コントローラは、前記測定手段の測定に基づき、前記ドライバを制御して、複数相のうちから選択した同相コイルに駆動電流を印加する。
【００２０】
好ましくは、上記のリニアモータ装置において、前記測定手段は、
第１の同相コイルに対する第１電流による前記マグネットの第１整定の後、第２の同相コイルに対する第２電流により駆動した、該マグネットの第２整定の位置を測定し、
前記コントローラは、
前記測定された第２整定の位置に基づき、前記第１の同相コイルに対する第１位相角及び前記第２の同相コイルに対する第２位相角を、前記マグネットの現在位置を特定するための位相角情報として設定する。
【００２１】
好ましくは、上記のリニアモータ装置において、前記コントローラは、前記位相角情報に基づいて、前記マグネットを所定の方向に駆動するための駆動電流を前記第１の同相コイルまたは第２の同相コイルに印加する。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明にかかる実施形態を図面を参照しつつ説明する。
【００２３】
＜第１実施形態＞
図１は第１実施形態に係るＡ、Ｂ相２相駆動方式のリニアモータ駆動回路の構成を表す図であり、この図において、Ｍは可動子マグネットを示し、ＣＡｎ−１，　ＣＡｎ，　ＣＡｎ＋１はＡ相の固定子コイル列、ＣＢｎ，　ＣＢｎ＋１はＢ相の固定子コイル列、そしてＳＡｎ−１，ＳＡｎ，ＳＡｎ＋１、ＳＢｎ，　ＳＢｎ＋１はＡ相、Ｂ相のそれぞれのコイルに対するスイッチである。
【００２４】
Ｌはインクリメンタル型のセンサであるレーザ干渉計であり、Ｒは反射ミラー、ＤＡはＡ相ドライバ、ＤＢはＢ相ドライバ、Ｇはコントローラである。各同相コイルＣＡもしくはＣＢの間隔は可動子マグネットＭの磁界の周期の１．５倍（整数＋０．５）倍となるように構成されている。また、各コイルは、平１１−３４１８５３に開示されているように、同相コイル毎に極性が反転するようにスイッチＳＡ、ＳＢに接続され、同相コイルの少なくとも１つを同相のドライバ（ＤＡ、ＤＢ）が選択的に接続可能となっている。更に、本発明の特徴であるＡ相、Ｂ相の固定子コイル列全てによる全相駆動のために、Ａ相、Ｂ相ドライバによって全ての同相コイルに同時に通電が可能にもなっている。
【００２５】
リニアモータを駆動源とする装置が起動された時点においては、レーザ干渉計Ｌは、可動子マグネットＭの固定子コイル列に対する絶対位置を検知することはできず、あくまでも固定子コイルと可動子マグネットとの相対的な変位情報のみが検出可能である。この状態で、レーザ干渉計Ｌによる検出結果を用いて、リニアモータの原点位置を設定する初期化のために、不図示の遮光センサが配置されている位置まで、可動子マグネットＭを全相駆動によって移動させる。そのための駆動回路の処理の流れを図２のフローチャートに示す。以下、その処理内容を具体的に説明する。
【００２６】
まず、ステップＳ２０１において、Ａ相、Ｂ相の全てのコイルが通電状態になるように、コントローラＧによって各スイッチ（ＳＡｎ．．．、ＳＢｎ．．．）を制御して通電状態にする。次に、ステップＳ２０２において、Ａ相の全コイルに対して、可動子マグネットＭを微小変動させるために正方向の微小電流を与え、同時にレーザー干渉計Ｌによって、固定子コイルに対する可動子マグネットＭの相対的な位置変化の方向（絶対位置を把握する必要はない）を検知する。
【００２７】
ステップＳ２０３において、移動方向を判断し、Ａ相コイル列のみによって可動子マグネットＭを遮光センサの方向へ移動させるための、電流方向（電流の極性）を確定し、駆動電流を印加する。可動子マグネットＭが所望の方向に変位した場合（Ｓ２０３−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ２０４に進め、全Ａ相コイルのみに正の駆動電流を印加した後、可動子マグネットＭの整定を待つ。一方、ステップＳ２０３の判断で、可動子マグネットＭが所望の方向に変位しない場合、すなわち逆方向に変位した場合（Ｓ２０３−Ｎｏ）、処理をステップＳ２０５に進め、変位方向を反転させるために全Ａ相のコイルのみに逆の極性である負の駆動電流を印加した後、可動子マグネットＭの整定を待つ。
【００２８】
すると、可動子マグネットＭは、位相角１８０度もしくは位相角０度の、いずれかの位相角位置に引き込まれて停止する（図４（ａ））。同図において、可動子マグネットの左端Ｘｍ０は位相角０度の位置に整定している状態を示している。Ａ相とＢ相の位相差は９０度であるので、可動子マグネットの停止位置は、Ｂ相における９０度もしくは−９０度の位相角位置に相当する（この位相角位置は可動子マグネットＭとの関係により、最大に磁界を形成するために、Ｂ相によって＋Ｘ方向もしくは−Ｘ方向への最大推力を発生し得る位相角位置に相当する）。
【００２９】
図４（ａ）は、全てのＡ相コイルに正方向の電流を印加して可動子マグネットＭを駆動する場合（全Ａ相駆動）における可動子マグネットＭが引き込まれる方向と、引き込み後の停止状態を模式的に示し、図４（ｂ）は、全てのＢ相コイルに正方向の電流を印加して可動子マグネットＭを駆動する場合（全Ｂ相駆動）における可動子マグネットＭが引き込まれる方向と、引き込み後の停止状態を模式的に示している。可動子マグネットＭの端部Ｘｍ０の位置は、可動子マグネットＭの初期位置によって、引き込まれる方向が位相角１８０度もしくは位相角０度の間で異なることがわかる。
【００３０】
説明を図２に戻し、ステップＳ２０６では、整定後の可動子マグネットＭがフォトセンサを遮光しているか否かを判断し、遮光していれば（Ｓ２０６−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ２０７に進め、全相駆動を終了する。フォトセンサの遮光により、可動子マグネットの位置は初期化されたことになる。すなわち、リニアモータの原点が以上のステップで求められることになる。
【００３１】
ステップＳ２０６の判断で、可動子マグネットＭがフォトセンサを遮光していない場合（Ｓ２０６−Ｎｏ）、処理をステップＳ２０８に進め、以下、Ａ相で行なった処理と同様の処理をＢ相についても行なう。
【００３２】
ステップＳ２０８において、全てのＡ相固定子コイルに対する駆動指令値（正の駆動電流）をゼロにし、Ａ相の場合と同様にして、Ｂ相の全固定子コイルに対して、可動子マグネットＭを微小変動させるために正方向の微小電流を与え、同時にレーザー干渉計Ｌによって可動子マグネットＭの相対的な位置変化の方向を検知する。
【００３３】
ステップＳ２０９において、移動方向を判断し、Ｂ相コイル列のみによって可動子マグネットＭを遮光センサの方向へ移動させるための、電流方向（電流の極性）を確定し、駆動電流を印加する。可動子マグネットＭが所望の方向に変位した場合（Ｓ２０９−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ２１０に進め、全Ｂ相コイルのみに正の駆動電流を印加した後、可動子マグネットＭの整定を待つ。一方、ステップＳ２０９の判断で、可動子マグネットＭが所望の方向に変位しない場合、すなわち逆方向に変位した場合（Ｓ２０９−Ｎｏ）、処理をステップＳ２１１に進め、変位方向を反転させるために全Ｂ相のコイルのみに逆の極性である負の駆動電流を印加した後、可動子マグネットＭの整定を待つ。すると、可動子マグネットＭは、位相角０度もしくは位相角１８０度の、いずれかの位相角位置に引き込まれて停止する（図４（ｂ）を参照）。
【００３４】
ステップＳ２１２の判断で、可動子マグネットＭがフォトセンサを遮光している場合（Ｓ２１２−Ｙｅｓ）は処理をステップＳ２１３に進め、全相駆動を終了する。
【００３５】
ステップＳ２１２の判断で、可動子マグネットＭがフォトセンサを遮光していない場合（Ｓ２１２−Ｎｏ）、処理をステップＳ２０２に戻して、再度Ａ相の処理を繰り返す。
【００３６】
この動作を、不図示の遮光スイッチを遮光（絶対位置を遮光時に確定することができる）するまで繰り返し行うことにより、可動子マグネットＭの絶対位置を検知することなく、固定子コイルと可動子マグネットとの相対的な位置変化の情報を利用して可動子マグネットを原点位置を検出するフォトセンサの遮光位置まで移動させることが可能になる。その後、レーザ干渉計の位置情報を初期化して、可動子マグネットＭの位置に応じてＡ相、Ｂ相の所望のコイルを選択しつつ２相駆動を行えばよい。
【００３７】
以上説明したように、本実施形態によれば、絶対値センサを用いることなく、絶対位置を検知しない相対的な位置変化情報のみを用いることにより、安定して可動子を移動させること、可動部分の位置情報を確実に初期化すること、が可能になる。
【００３８】
＜第２実施形態＞
リニアモータにおける固定子コイル列の全Ａ相および全Ｂ相のコイルに順次駆動電流を与えると、その相対変位の方向によって（絶対位置は確定できないが）Ａ相及びＢ相の位相角が確定できる。第２実施形態では、この位相角の情報に基づく全２相駆動により、可動子マグネットの位置を初期化するものである。可動子マグネットと固定子コイル列の構成は、第１実施形態において説明した図１と同様の構成を有するので、ここではその構成の説明は省略する。図５は第２実施形態にかかる処理の流れを示すフローチャートである。
【００３９】
まず、固定コイル列を構成する各コイルは、第１実施形態と同様に（図１）、同相コイル毎に極性が反転するようにスイッチ（ＳＡｎ．．．、ＳＢｎ．．．）に接続している。また、装置が起動された時点においては、レーザ干渉計Ｌは、可動子マグネットＭの固定子コイル列に対する絶対位置を検知することはできず、あくまでも固定子コイルと可動子マグネットとの相対的な変位情報のみが検出可能である。
【００４０】
まず、ステップＳ５０１において、Ａ相、Ｂ相の全てのコイルが通電状態になるように、コントローラＧによって各スイッチ（ＳＡｎ．．．、ＳＢｎ．．．）を制御して通電状態にする。そして、処理をステップＳ５０２に進め、Ａ相の全コイルに対してプラスの駆動電流を印加して駆動し、可動子マグネットＭの整定を待つ。その後、ステップＳ５０３において、Ａ相の全コイルに対する駆動電流をゼロにして、Ｂ相の全コイルに対してプラスの駆動電流を印加して可動子マグネットＭを駆動して、整定を待つ。
【００４１】
ステップＳ５０４において、レーザ干渉計Ｌにより可動子マグネットの移動方向を検出し、Ｂ相全てのコイルに対するプラスの駆動電流の印加に対する可動子マグネットＭの相対的な位置変化を検出する。その検出結果に基づいて、可動子マグネットＭがプラス方向に変位した場合（Ｓ５０４−Ｙｅｓ）、処理をステップＳ５０５に進め、可動子マグネットＭがマイナス方向に変位した場合（Ｓ５０４ーＮｏ）、処理をステップＳ５０６に進める。
【００４２】
ステップＳ５０５及びＳ５０６の処理では、可動子マグネットＭの初期位置を検出するために、現在位置におけるＡ相、Ｂ相の位相角を設定する。この位相角の設定は、例えば、図４に示すように可動子マグネットＭは、位相角１８０度もしくは位相角０度の、いずれかの位相角位置に引き込まれて停止し、Ａ相とＢ相の位相差は９０度であるので、停止状態におけるＡ相、Ｂ相の位相角を以下のように設定することができる。
【００４３】
・　位置変化がプラス方向の場合（ステップＳ５０５に対応する）
Ａ相の位相角＝−９０度、Ｂ相の位相角＝１８０度
・　位置変化がマイナス方向の場合（ステップＳ５０６に対応する）
Ａ相の位相角＝　９０度、Ｂ相の位相角＝０度。
【００４４】
ステップＳ５０７において、レーザ干渉計Ｌの検出する現在の位置情報を、上記の位相角に対応させ、固定子コイル列上の仮の原点位置として初期化を行う。ここで求めた位相角の情報は、レーザ干渉計の精度に比べて粗い精度であるが、この位相角の情報を用いた仮の初期化を行うことにより、可動子マグネットＭを全２相駆動（Ａ相、Ｂ相の全固定子コイルに対して駆動電流を印加することによる駆動）をして、プラス方向、またはマイナス方向に駆動して、遮光センサまで移動させるためには十分な精度で位相角を確定することができる。
【００４５】
そして、ステップＳ５０８において、全２相駆によって、可動子マグネットＭを遮光センサまで移動させ、ステップＳ５０９における判断で、可動子マグネットＭがフォトセンサを遮光した場合（Ｓ５０９−Ｙｅｓ）、レーザ干渉計の位置情報を正式に初期化して、可動子マグネットＭの位置に応じてＡ相、Ｂ相の所望のコイルを選択しつつ２相駆動を行えばよい。
【００４６】
以上説明したように、本実施形態によれば、絶対値センサを用いることなく、絶対位置を検知しない相対的な位置変化情報のみを用いることにより、安定して可動子を移動させること、可動部分の位置情報を確実に初期化すること、が可能になる。
【００４７】
尚、上記の第１及び第２実施形態ではＡ相、Ｂ相による２相駆動型のリニアモータを用いて説明しているが、３相、４相などの場合も同様の効果が得られる。また、実施形態において説明したように、初期化のための駆動に限らず、絶対位置を検知できないインクリメンタルセンサを使用する多相駆動型のリニアモータの可動子を駆動制御する場合に広く有効である。
【００４８】
＜第３実施形態（露光装置）＞
図６は、上記のリニアモータの駆動回路により駆動されるリニアモータを駆動源とする位置決め装置を基板ステージ及び／または原版ステージとして組み込んだ露光装置の概略構成を示す図である。この露光装置は、原版ステージ６２０に保持された原版（レチクル、マスク）６２１を照明光学系６１０により照明し、原版６２１のパターンを投影光学系６３０を介して基板ステージ（ウエハステージ）６４０上の基板（ウエハ）６４１に投影し基板６４１を露光する。露光された基板は、基板上の感光層が現像されることにより、周知の半導体製造プロセスの中で、半導体デバイスを製造するために処理される。ここで、原版ステージ６２０及び／または基板ステージ６４０は、第１、第２実施形態において説明したリニアモータの駆動回路により駆動されるリニアモータを駆動源とする位置決め装置が適用されている。
【００４９】
従って、本発明の他の側面は、露光装置に係り、該装置は、上記の位置決め装置によって位置決め対象物を位置決めし露光動作を実行することにある。
【００５０】
また、本発明の他の側面は、デバイス製造方法に係り、該方法は、上記の露光装置によって基板にパターンを転写する工程と、該基板を現像する工程とを含むことにある。
【００５１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、絶対値センサを用いることなく、絶対位置を検知しない相対的な位置変化情報のみを用いることにより、安定して可動子を移動させること、可動部分の位置情報を確実に初期化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態に係るリニアモータの駆動回路を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る駆動回路の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図３】従来技術におけるリニアモータ駆動回路を示す図である。
【図４】Ａ相、Ｂ相全相駆動における可動子の停止位置を説明する図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る駆動回路の処理の流れを説明するフローチャートである。
【図６】第１または第２実施形態にかかるリニアモータ駆動回路によるリニアモータを適用した露光装置の概略的な構成を示す図である。
【符号の説明】
Ｍ：可動子マグネット、
ＣＡｎ−１，　ＣＡｎ，　ＣＡｎ＋１、ＣＢｎ，　ＣＢｎ＋１：固定子コイル列、
ＳＡｎ−１，ＳＡｎ，ＳＡｎ＋１，ＳＢｎ，　ＳＢｎ＋１：スイッチ、
Ｌ：レーザ干渉計、
Ｒ：ミラー、
ＤＡ，ＤＢ：ドライバ、
Ｇ：コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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