【手続補正書】
【提出日】平成24年6月21日(2012.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍機と、
前記冷凍機によって冷却される構成品と、
前記冷却される構成品に接続された、少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
【請求項２】
請求項１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が前記冷却される構成品の温度を制御する、極低温ユニット。
【請求項３】
請求項１または２において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が極低温排気面を有する冷却される構成品に取り付けられている、極低温ユニット。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、前記冷却される構成品が輻射シールド、を備え、
前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が前記輻射シールドに接続されている、極低温ユニット。
【請求項５】
請求項１において、前記少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子が、前記冷凍機に対して温度制御を行うように構成された、極低温ユニット。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において、当該極低温ユニットの向きを入力として受け取り、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子を調節するコントローラを備える、極低温ユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において、前記薄層の加熱素子が、前記冷凍機のヒートステーションに位置している、極低温ユニット。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項において、当該極低温ユニットにおける別個の領域に設けられた前記薄層の加熱素子に選択的に通電するように構成されている、コントローラを備える、極低温ユニット。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項において、前記冷凍機が複数の段を備える、極低温ユニット。
【請求項１０】
少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプの冷却される構成品。
【請求項１１】
請求項１０において、クライオアレイ部材と輻射シールドとのいずれか一つを備える、クライオポンプの冷却される構成品。
【請求項１２】
請求項１〜９のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、または抵抗パターンを有する、極低温ユニット。
【請求項１３】
請求項１〜９および１２のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、抵抗層を有する、極低温ユニット。
【請求項１４】
請求項１〜９，１２および１３のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、前記冷却される構成品の重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
【請求項１５】
請求項１〜９および１２〜１４のいずれか一項において、  前記冷却される構成品の重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定する重力センサを備える、極低温ユニット。
【請求項１６】
請求項１０または１１において、前記薄層の電気的な加熱素子が、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、または抵抗パターンを有する、クライオポンプの冷却される構成品。
【請求項１７】
請求項１０、１１および１６のいずれか一項において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、抵抗層を有する、クライオポンプの冷却される構成品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】極低温ユニットおよびその構成品
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
本発明を、実施形態に基づいて詳細に図示かつ説明したが、当業者であれば本発明の範囲を逸脱することなく形態や細部に対して様々な変更が可能であり、そのような変更は、添付の特許請求の範囲に包含される。上記の実施形態はつぎの態様１〜４５を含む。
［態様１］（出願当初の請求項１）
冷凍機と、
少なくとも１つの極低温排気面と、
前記排気面に接続された、少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
［態様２］（同請求項２）
態様１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が前記排気面の温度を制御する、極低温ユニット。
［態様３］（同請求項３）
態様１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が前記排気面に取り付けられている、極低温ユニット。
［態様４］（同請求項４）
態様１において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温ユニット。
［態様５］（同請求項５）
態様１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、前記排気面に対して電気的に絶縁されている、極低温ユニット。
［態様６］（同請求項６）
態様１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
［態様７］（同請求項７）
態様６において、重力センサが、前記排気面の重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
［態様８］（同請求項８）
態様１において、さらに、
前記少なくとも１つの薄層の加熱素子を調節することによって当該極低温ユニットの温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
［態様９］（同請求項９）
態様８において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
［態様１０］（同請求項１０）
態様１において、さらに、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子を調節することによって前記極低温排気面の温度を制御するコントローラ、
を備える、極低温ユニット。
［態様１１］（同請求項１１）
態様１において、前記薄層の加熱素子が、前記冷凍機のヒートステーションに位置している、極低温ユニット。
［態様１２］（同請求項１２）
態様１において、さらに、輻射シールド、を備え、
前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの温度を制御する、極低温ユニット。
［態様１３］（同請求項１３）
態様１２において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している、極低温ユニット。
［態様１４］（同請求項１４）
態様１３において、重力センサが、前記輻射シールドの重力方向における下方側領域に位置している薄層の加熱素子を決定するのに使用される、極低温ユニット。
［態様１５］（同請求項１５）
態様１２において、さらに、前記輻射シールドに位置する少なくとも１つの薄層の加熱素子を調節することによって前記輻射シールドの温度を制御するコントローラ、を備える、極低温ユニット。
［態様１６］（同請求項１６）
態様１５において、前記コントローラが、当該ユニットの向きを入力として受け取る、極低温ユニット。
［態様１７］（同請求項１７）
態様１５において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、前記輻射シールドにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
［態様１８］（同請求項１８）
態様１において、前記少なくとも１つの薄層の加熱素子が、当該極低温ユニットにおける別個の領域に設けられた加熱素子に選択的に通電するように構成されている、極低温ユニット。
［態様１９］（同請求項１９）
態様１において、複数の温度段を備える、極低温ユニット。
［態様２０］（同請求項２０）
少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
［態様２１］（同請求項２１）
態様２０において、前記薄層の電気的な加熱素子が、排気面を形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
［態様２２］（同請求項２２）
態様２０において、少なくとも２つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用のクライオアレイ部材。
［態様２３］（同請求項２３）
少なくとも１つの薄層の電気的な加熱素子を備える、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様２４］（同請求項２４）
態様２３において、前記薄層の電気的な加熱素子が、当該輻射シールドを形成するクラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様２５］（同請求項２５）
態様２３において、少なくとも２つのシート材を互いに接合したクラッドシート構造体で構成される、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様２６］（同請求項２６）
態様２５において、さらに、高い抵抗を有する第３の薄層のシート材、を備え、
前記第３のシート材が、前記クラッドシート構造体における前記第１のシート材と第２のシート材との間に接合され、抵抗加熱体として構成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様２７］（同請求項２７）
態様２６において、前記第３のシート材が、前記第１と第２の２つのシート材に対して電気的に絶縁されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様２８］（同請求項２８）
当該冷凍機に対して温度制御を行うように構成された薄層の加熱素子を備える、極低温冷凍機。
［態様２９］（同請求項２９）
態様２８において、前記薄層の電気的な加熱素子が、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、極低温冷凍機。
［態様３０］（同請求項３０）
冷凍機と、
少なくとも１つのクライオパネルと、
輻射シールドと、
を備え、
前記輻射シールドには、当該輻射シールドの温度を制御する少なくとも１つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
［態様３１］（同請求項３１）
冷凍機と、
クライオアレイと、
を備え、
前記クライオアレイには、当該アレイの温度を制御する少なくとも１つの薄層の加熱素子が設けられ、
前記薄層の加熱素子は、クラッド構造体に設けられた、薄膜の加熱素子、フォイル状の加熱素子、吹付け形成された加熱素子、抵抗パターン、または抵抗層を有する、クライオポンプ。
［態様３２］（同請求項３２）
第１のシート材と、
第２のシート材と、
を備え、
前記第１のシート材と第２のシート材とが互いに接合されてクラッドシート構造体を形成し、
前記第１のシート材は極低温に冷却された表面に面し、
前記第２のシート材は極低温に冷却された表面と反対側の表面に面している、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３３］（同請求項３３）
態様３２において、前記第２のシート材が前記第１のシート材の外側に位置したカップ状に形成されている、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３４］（同請求項３４）
態様３２において、前記第２のシート材が、低放射率の表面部を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３５］（同請求項３５）
態様３４において、前記第２のシート材が、コーティングにより、低放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３６］（同請求項３６）
態様３２において、前記第１のシート材が、高放射率の表面部を支持している、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３７］（同請求項３７）
態様３６において、前記第１のシート材が、コーティングにより、高放射率の表面部を有している、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３８］（同請求項３８）
態様３２において、１つのシート材が高い熱伝導率を有する、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様３９］（同請求項３９）
態様３２において、前記第１のシート材がアルミニウム製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様４０］（同請求項４０）
態様３２において、前記第１のシート材が銅製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様４１］（同請求項４１）
態様３２において、前記第２のシート材がステンレス鋼製である、クライオポンプ用の輻射シールド。
［態様４２］（同請求項４２）
少なくとも１つの段を有する冷凍機と、
極低温排気面に対して温度制御および構造支持体の両方を行うように構成された加熱素子と、
を備える、極低温ユニット。
［態様４３］（同請求項４３）
態様４２において、前記加熱素子がセラミック加熱素子である、クライオポンプ。
［態様４４］（同請求項４４）
態様４２において、前記加熱素子が輻射シールドを支持している、クライオポンプ。
［態様４５］（同請求項４５）
態様４２において、前記加熱素子がクライオアレイを支持している、クライオポンプ。