【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年2月17日(2014.2.17)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
●  基部、
●  被測定表面との接触または非接触測定用コネクションを確立および維持するためのプローブヘッドであって、少なくとも１つの継手によって基部に可動であるように連結されており、触針キャリア（６１、１６１）、および触針先端部を有する中空触針（６２、６２’、１６２）を含むプローブヘッド、ならびに
●  触針キャリアに対する触針先端部の変位を測定するための光学モニタリングシステムであって、
□  触針（６２、６２’、１６２）内を触針先端部に向けて導かれるビームを発生させるための発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）であり、ビームの少なくとも一部は、触針先端部で反射されて、戻りビームとして戻り光路に沿って伝搬する、発光手段、および
□  触針先端部の変位を示す電気出力信号を発生させることができる、戻りビームの検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）を含む光学モニタリングシステム、
を含む表面粗さ測定装置であって、
●  前記発光手段は、ビームが、所定の特性分布により識別可能な少なくとも２つの光学特性を有するように構築されており、
●  前記光学モニタリングシステムが、触針キャリア（６１、１６１）内において戻り光路に設置された光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）であって、この光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）に対する戻りビームの照射位置（５０、５０’）の情報を、戻りビームの特性分布の変化に変換するように設計された光学エンコード部材をさらに含み、
●  検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）が、前記少なくとも２つの識別可能な光学特性に対してセンシティブであり、戻りビームの特性分布の変化に応じて電気出力信号を発生させるように構成されている
ことを特徴とする表面粗さ測定装置。
【請求項２】
光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）が、光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）に対する戻りビームの照射位置に応じて戻りビームの特性分布が修正されるように設計され、
前記修正された特性分布を有して光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）から検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）へと伝搬する戻りビームが、戻り光路内の戻りビームの正確な伝搬路には依存せずに、触針先端部の変位を示し、
戻りビームによって伝えられる触針先端部の変位の光学的表示を失うことなく、修正された特性分布を有する戻りビームを光ファイバーによって検出器手段まで光導波することが可能となる
ことを特徴とする請求項１に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項３】
●  前記表面粗さ測定装置が、一方の端部が前記基部を形成し、他方の端部が前記プローブヘッドを脱着可能に装着するためのソケットを含む関節付アームを有する座標測定機として設けられること、
●  発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）、特に、１つ以上のレーザー光源を含む発光手段、および検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）、特に、１つ以上の光検出器を含む検出器手段が、前記プローブヘッドの外側に設置され、特に、発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）および検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）が前記基部内に収容されること、ならびに
●  発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）により発せられたビーム、および光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）から検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）へと伝搬する戻りビームが、光ファイバーによって前記関節付アーム内を導波され、特に、サーキュレータ（１５０）をビームガイド装置として用いて、ビームが伝送ファイバー（１１９）からアウトカップリングされ、戻りビームが伝送ファイバー（１１９）内へインカップリングされること、または
●  前記表面粗さ測定装置が、
□  前記基部に可動であるように接続された２つの門脚（９２１、９２２）であって、ブリッジ（９２３）を支持する門脚（９２１、９２２）、
□  前記ブリッジに沿って可動であるＸ−キャリッジ（９２４）、および
□  Ｘ−キャリッジ（９２４）に可動であるように接続され、前記プローブヘッドを脱着可能に装着するためのソケットを含むＺ−柱（９２５）、
を含むブリッジ型座標測定機として設けられ、
特に、前記ソケットが、Ｚ−柱（９２５）または前記関節付アームの他方の端部のそれぞれに対する前記プローブヘッドの回転自由度を与える
ことを特徴とする請求項１または２に記載の表面粗さ測定装置。
【請求項４】
前記少なくとも２つの識別可能な光学特性が、
●  異なる波長もしくは波長範囲および／または
●  異なる偏光状態
を有するビームの光成分によって与えられ、
前記特性分布が、各光成分の割合または部分によって与えられる
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項５】
光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）が、戻り光路の第２光ファイバーコリメータ（７２）の入射瞳面に設置されたセグメント化光学フィルター（１００、２００、３００、５００、６００）を含み、
前記フィルター（１００、２００、３００、５００、６００）が、異なる透過率特性、好ましくは、重複しない透過率特性、の少なくとも２つのセグメント（１０１、１０２、１０３、１０４、１０５、１０６、２０１、２０２、２０３、３０１、３０２、５０１、５０２、５０３）を含み、
特に、セグメント化光学フィルター（１００、２００、３００、６００）が、電気通信のＩＴＵ標準に対応した、スペクトル範囲が１００または２００GHz、すなわちＣ帯およびＬ帯の０．８nmまたは１．６nmである、スペクトル的に重複しない透過窓を備えた色フィルター（１００、２００、３００、６００）である
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項６】
光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）が、戻りビームの偏向を受光面において局所的に変化させることが可能な戻りビーム用光学屈折部材（３０３）を戻りビームの伝搬方向に対して垂直な方向に含む
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項７】
中空触針（６２、６２’、１６２）が触針長を有し、
光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）が、触針長の変化を決定するための干渉距離測定用の信号伝送のために設計されたセグメントを含む
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項８】
戻りビームが、ビーム分配器（１９、９９）を形成する少なくとも１つのビームスプリッター（１７、９７ａ、９７ｂ）を通過した後、光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）に導かれ、
特に、ビーム分配器（１９、９９）が、光学エンコード部材（１００、２００、３００）とともに互いに接着されたミクロ光学部材として設けられ、
特に、このミクロ光学部材が、捕光器（２０）、特に、障害となる非透過光の反射を低減するための黒色ガラスの吸収後面を有する捕光器を備えている
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項９】
前記光学エンコード部材がセグメント化光学フィルター（５００）であり、偏光選択性の透過率を有するセグメント（５０１、５０２）を備え、特に、偏光計を用いることによって偏光の異なる戻りビーム路間の位相関係を決定することを可能とする１／４波長板（５０３）を追加的に含む
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１０】
●  発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）が、異なる波長で発光する複数のレーザー光源（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、９１１）であり、
□  特に、前記光学モニタリングシステムが、複数のレーザー光源（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、９１１）からの異なる波長の光をスペクトル的に合成するように、および合成された光をマルチプレクサから出る第１光ファイバー１１７内へカップリングするように設計されたマルチプレクサ（１２０、７２０、８２０）を追加的に備え、
●  検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）が、前記異なる波長にセンシティブである複数の検出器（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）によって形成されており、
□  特に、前記光学モニタリングシステムが、戻りビームの光を異なる波長のビーム部分へスペクトル的に分離し、複数の検出器（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）により検出するように設計されたデマルチプレクサ（１３０、７２０、８２０、８３０、８３０’）を追加的に備えている
ことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１１】
前記発光手段が、特に、約１０nmの帯幅の発光帯を有する、スーパールミネッセント発光ダイオード（８２５、８２５’）であって、
そのスペクトル光が、戻りビームにおいて、光学エンコード部材（１００、２００、３００、６００）によって波長の異なる複数のパーシャルビームへと分離され、検出器手段（１４１、１４２、１４３、１４４、１４５、５４１、５４２、５４３、５４４、８４１、８４２、８４３、８４４、８４５、８４６、９４１）へと供給される
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１２】
発光手段（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、８２５、８２５’、９１１）が、異なる波長で発光し、フーリエスペクトルにおける複数の周波数（ｆ１、ｆ２、ｆ３、ｆ４）に対応する異なる周波数で変調された複数のレーザー光源（１１１、１１２、１１３、１１４、８１１、８１２、８１３、８１４、９１１）であり、
検出器手段（１４５）が、前記識別可能な光学特性にセンシティブであり、前記個々の信号が、アナログまたはデジタル復調により分離可能である
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１３】
●  前記プローブヘッドが、被測定表面との接触測定用コネクションを確立および維持するための触覚センサー（８０）を含み、触覚センサー（８０）が、好ましくは、レトロリフレクタ（７９）を備えていること、
または、
●  前記プローブヘッドが、被測定表面との接触測定用コネクションを確立および維持するための光学−触覚センサーを含み、この光学−触覚センサーが、光透過性センサー先端部、または光透過用穿孔型センサー先端部を含むこと、
または、
●  前記プローブヘッドが、被測定表面との非接触測定用コネクションを確立および維持するための光学センサー（８５、８５’）を含み、光学センサー（８５、８５’）が、好ましくは、波長分割マルチプレクサ（８９）から触針先端部まで延在するシングルモードファイバー（８８）を備えていること、
特に、
□  回転型アクチュエータが設けられており、触針（６２、６２’、１６２）が、この回転型アクチュエータによって搬送される触針キャリア（６１、１６１）に接続されており、好ましくはファイバーコイル（８８’ａ）を有する範囲測定ファイバー（８８’）を含むこと、または
□  触針（６２、６２’、１６２）を無限に回転させることを可能とするように設計された、シングルモードファイバー（８８）用の回転式光カプラ（９３）を備えており、回転式光カプラ（９３）の一部分が触針（６２、６２’、１６２）と回転可能に接続されており、回転式カプラ（９３）の他の部分が固定されている
ことを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１４】
前記表面粗さ測定装置が３軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ）測定機能を備えており、
●  好ましくはスペクトル的に重複しない透過率特性を有する少なくとも２つのセグメント（１０５、１０６）を備えた追加されるセグメント化色フィルター（６００）、および
●  セグメント化光学フィルター（１００、２００、３００、６００）の組み合わせとともに用いるためのビームスプリッターを有するビーム分配器（９９）を含み、
ビーム分配器（９９）は、ビーム偏位プリズム（９６ａ、９６ｂ）、ビームスプリッター（９７ａ、９７ｂ、９７ｃ）、およびセグメント化色フィルター（１００、２００、３００、６００）を含み、
下側ビームスプリッター（９７ａ）は、Ｚ方向に可動である触針の上端部に取り付けられており、
一方、ビーム分配器（９９）の他の部材は、触針キャリア（６１）内に収容、固定されており、
戻りビームが、ビームスプリッター（９７ａ）によって２つの成分にスプリットされ、
１つの成分は、セグメント化色フィルター（１００、２００、３００）を有するビームスプリッター（９７ｂ）に向けて伝搬し、
他の成分は、プリズム（９６ｂ）を経てセグメント化色フィルター（６００）に導かれる
ことを特徴とする請求項１〜１３のいずれかに記載の表面粗さ測定装置。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかに記載の表面粗さ測定装置用のプローブヘッドであって、
該プローブヘッドは、被測定表面との接触または非接触測定用コネクションを確立および維持するために形成されており、触針キャリア（６１、１６１）、および触針先端部を有する中空触針（６２、６２’、１６２）を含み、
●  前記プローブヘッドが、表面粗さ測定装置から光ファイバーによって導波される、少なくとも２つの識別可能な光学特性を任意の特性分布で有するビームを受光する手段、および、
前記光ファイバーからビームをアウトカップリングし、ビームを触針（６２、６２’、１６２）内で触針先端部に向けて誘導するための手段を含み、
ビームの少なくとも一部は、反射されて、戻りビームとして戻り光路に沿って伝搬し、
●  前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を測定するための光学モニタリングシステムの一部として、光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）を含み、
光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）は、触針キャリア（６１、１６１）内において戻り光路に設置され、光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）に対する戻りビームの照射位置の情報を、戻りビームの特性分布の変化へと変換するように設計されていること、および
●  変化した特性分布を有する戻りビームを、光ファイバー内にインカップリングして、表面粗さ測定装置内の戻りビームを光導波することを可能にするための手段を含む
ことを特徴とする、プローブヘッド。
【請求項１６】
触針キャリア（６１、１６１）が、下記のうち少なくとも１つをさらに含む：
●  伝送ファイバー（１１９）ならびに第１光ファイバー（１１７）および第２光ファイバー（１１８）に接続されたサーキュレータ（１５０）であって、
□  伝送ファイバー（１１９）から受光されたビームを、第１光ファイバーコリメータ（７１）に接続された第１光ファイバー（１１７）に入射させるため、および
□  第２光ファイバーコリメータ（７２）によって第２光ファイバー（１１８）内にインカップリングされた戻りビームを、伝送光ファイバー（１１９）内に入射させるためのサーキュレータ（１５０）；
●  ビームスプリッター（１７、９７ａ、９７ｂ）を含むビーム分配器（１９、９９）
ことを特徴とする、請求項１５に記載のプローブヘッド。
【請求項１７】
表面粗さ測定装置のプローブヘッドのモニタリング方法であって、
前記プローブヘッドは、触針キャリア（６１、１６１）、および触針先端部を有する中空触針（６２、６２’、１６２）を含み、
前記モニタリング方法は、前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を測定するように設計されており、
該モニタリング方法が、
●  所定の特性分布により識別可能な少なくとも２つの光学特性を有するビームを、触針（６２、６２’、１６２）内で触針先端部に向けて誘導し、ビームの少なくとも一部が反射され、戻り光路に沿って戻りビームとして伝搬する工程；
●  □  触針キャリア（６１、１６１）内において前記戻り光路に設置された光学エンコード部材（１００、２００、３００、５００、６００）に対する戻りビームの照射位置の情報を、
□  前記戻りビームの特性分布の変化に変換する工程；
●  戻りビームの前記少なくとも２つの識別可能な光学特性を検出する工程；および
●  前記戻りビームの変化した特性分布に応じて、前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位を決定する工程を含み、
●  特に、前記変換工程の後、戻りビームが光ファイバーによって導波される、
表面粗さ測定装置のプローブヘッドのモニタリング方法。
【請求項１８】
前記触針キャリアに対する前記触針先端部の変位が、Ｘおよび／またはＹ方向において決定され、
特に、
●  前記変換工程を行う前に、Ｚ方向における変位に応じて戻りビームを偏向させ、次に、戻りビームの変化した特性分布に応じて、Ｚ方向における触針先端部の変位も決定することによって、または
●  特に誘導センサーを有する電子範囲測定システムを使用することによって、
前記触針先端部の変位が、Ｚ方向において追加的に決定される
ことを特徴とする請求項１７に記載のモニタリング方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
光学エンコード部材の設計としては、光学エンコード部材に対する戻りビームの照射位置に応じて戻りビームの特性分布が修正されるように設計されていることが好ましく、そのため、その修正された特性分布を有して光学エンコード部材から検出器手段へと伝搬する戻りビームが、戻り光路内の戻りビームの正確な伝搬路には依存せずに、触針先端部の変位を示す。したがって、戻りビームによって伝えられる触針先端部の変位の光学的表示を失うことなく、修正された特性分布を有する戻りビームを光ファイバーによって検出器手段まで光導波することが可能となる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４０】
また、光学エンコード部材は、触針長の変化を決定するための干渉距離測定用の信号伝送のために設計された“チャネル”（セグメント）を含んでいてもよい。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８２】
図２ａ、図２ｂおよび図８に示すような光学エンコード部材は、干渉距離測定などの距離測定からの信号を伝送するための追加される光“チャネル”またはセグメントと組み合わせて、触針長の変化を決定してもよい。