【事件の表示】
　平成６年特許願第２８３９２２号「物体表面改質装置」拒絶査定に対する審判事件［平成８年５月１７日出願公開、特開平８−１２４５４０］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１．本願発明
　本願は、平成６年１０月２５日の出願であって、その特許を受けようとする発明は、平成１２年１１月６日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
「【請求項１】少なくとも一部から紫外エキシマ光を取り出す概略円筒状の放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマを形成するキセノン、もしくはキセノンを主成分とする放電用ガスを充した誘電体バリア放電ランプを、少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった匡体内に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガスとともに配置してなるキセノン照射装置と、
　このキセノン照射装置の窓部材に７ｍｍ以内に接近している処理台とよりなることを特徴とする物体表面改質装置。」（以下、「本願発明」という。）
　なお、平成１３年２月２２日付けの手続補正は、平成１５年５月１４日付けの補正却下の決定により却下された。
　
第２．拒絶理由通知の概要
　これに対して、当審において平成１５年６月３日付けで通知した拒絶の理由の概要は、本願発明は、その出願前日本国内において頒布された下記の刊行物１ないし４に記載された発明及び当該技術分野における周知技術に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
刊行物１：「光技術コンタクト」Ｖｏｌ．３２、Ｎｏ．２、（社）日本オプ　　　　　トメカトロニクス協会、１９９４年（平成６年）２月２０日発行　　　　　、第３０頁乃至第３７頁“誘電体バリア放電を利用したエキシマ　　　　　ランプ”
刊行物２：第５４回応用物理学会学術講演要旨集２７ａ−ＨＥ−１〜２７ａ　　　　　−ＨＥ−３
刊行物３：特開平３−２０１３５８号公報
刊行物４：特開昭６４−２５８６６号公報
　
第３．各刊行物に記載された発明
(１)刊行物１
　「誘電体バリア放電ランプを利用したエキシマランプ」と題し、
(ａ)「１．はじめに」の項には、「われわれは、誘電体バリア放電を励起源としたエキシマランプの実用化を目的にして、種々の検討を行っているが、本報告では、放電用ガスとしてキセノン、クリプトン／塩素およびキセノン／塩素を使用した中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプの特性および応用について報告する。」（第３０頁右欄第１２〜１８行）
(ｂ)「２．誘電体バリア放電を励起源としたエキシマランプの研究経過」の項には、「放電ランプの形状としては、２枚の円板状の誘電体を平行に配置することによって円板状の放電空間を形成した円板形、あるいは同軸中空円筒形（図２参照）が主に使用されている。・・・また、誘電体で被覆された円筒状電極２本を平行にして、放電チャンバ内に被照射試料と一緒に配置した構造の、すなわち、光り取り出し用の窓部材を有さない構造の放電ランプ装置も提案されている。」（第３１頁右欄第３３行〜第３２頁左欄第６行）
(ｃ)「３．試料ランプおよび測定方法」の項には、「実験に使用した試料ランプの概略図を図２に示す。管径の異なる２本の石英ガラス管を同軸に配置し、中空円筒の放電空間を形成した。内側管内面には、光反射板を兼ねたアルミニウム蒸着電極を設けた。また、外側管の外部表面には金属網電極を設けた。光は網電極を通して取り出した。」（第３２頁左欄第１３〜１９行）
(ｄ)「４．中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプの特性」の項には、「以上のように、誘電体バリア放電を励起源としたキセノンエキシマランプは、１７２ｎｍを中心として約１６０ｎｍから１８０ｎｍの領域にのみ発光を有する、高効率の単色光真空紫外光源であることがわかった。放電ガスとしてクリプトン／塩素およびキセノン／塩素を使用した中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプの諸特性も、上記したキセノンエキシマランプの特性と類似であり、発光効率としては、クリプトン／塩素で７％、キセノン／塩素で１０％が得られた。」（第３３頁右欄第２０〜３０行）
(ｅ)「５．エキシマ光照射装置の特性」の項には、「２０ワット型エキシマ光照射装置の外観を図６に、光出力特性を表２に示す。照射装置は電源と照射ユニットに分かれている。照射ユニットにはランプ１本と反射鏡を収納しており、照射口の大きさは１００×１００ｍｍで、照射ユニット内を窒素パ一ジする構成である。また、真空中や特殊なガス中における試料に照射を行う場合には、上記照射ユニットに別の処理ユニットを接続出来る構造になっている。」（第３３頁右欄下から第７行〜第３４頁左欄第２行）
と記載され、
(ｆ)「６．応用」の項には、「６．１光洗浄」、「６．２プラスチックの表面改質」及び「６．３光ＣＶＤ」があげられ、
(ｇ)「６．１　光洗浄（ＵＶ／Ｏ３洗浄）」の項には、「キセノンエキシマランプの放射紫外線の波長は中心波長１７２ｎｍで半値幅は１４ｎｍである。やはり大気中の酸素に吸収される。１７５ｎｍより短波長は直接原子状の酸素に分解すると報告されている。１７２ｎｍはまた１８５ｎｍ光と同様にＯ３を生成し、原子状の酸素を生成する経路も有する。・・・１７２ｎｍでの酸素の吸収係数は１８５ｎｍでの１桁以上高く空気中で強度が１／ｅになるのがわずか３ｍｍである。この間でオゾン、原子状酸素を生成するので、いままで光源から数十ｍｍの距離で吸収され、オゾン、原子状の酸素を生成していた、低圧水銀ランプに比較し、管壁数ミリの距離では、本ランプのそれら生成濃度は１０倍以上であると考えられる。この効果と１７２ｎｍ光が１８５ｎｍ光より光子のエネルギーが大きいため、有機物の切断力が高いことと相まって、従来の低銀（審決注：「低圧」の誤記）水銀ランプより、洗浄効果が高いと予想される。」（第３４頁右欄下から第７行〜第３５頁左欄下から第９行）
(ｈ)「６．２プラスチックの表面改質」の項には、「プラスチックを大気中または減圧状態での酸素雰囲気で照射し、１７２ｎｍという短波長でプラスチックスの表面の結合を切断し、前章で説明したメカニズムで生成した、Ｏ３および原子状酸素の強力な酸化作用により、カルボニル基・・・など極性基をプラスチック表面に導入し、塗装のぬれをよくし、接着強度を上げる手法である。」（第３５頁右欄第１４〜２１行）
(ｉ)「６．３光ＣＶＤ」の項には、「誘電体バリアランプの応用例ではP.BergonnzoのＳｉ３Ｎ４とＳｉＯ２の応用例がある。Ｓｉ３Ｎ４の実験装置を図１１に示す。１７２ｎｍランプ（出力４０ｍＷ／ｃｍ２）を真空チェンバーに入れ、反応チェンバーとはＭｇＦ２窓で分離している。」（第３６頁右欄第６〜１２行）
と記載されている。
　
(２)刊行物４
(ｊ)「【請求項１】箱体状の装置本体の内部に、紫外線発生ランプを装置すると共に同紫外線ランプの対応する面に紫外線透過率のよい板体を設け、同装置本体の内部を紫外線透過率のよい雰囲気に構成し、且つ板体の下面にオゾン処理空間を設けて構成したことを特徴とする表面処理装置。」
(ｋ)「【請求項２】装置本体の内部に窒素ガスあるいは不活性ガスを供給し、装置本体内部の紫外線透過率をよくしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の表面処理装置。」
に関し、
(ｌ)従来技術とその問題点として、「紫外線による処理装置としては、従来の例えば第４図に示すように、箱体状の装置本体１の内部に、例えば複数の反射体２を５ｃｍ程度の間隔で配設すると共に同各反射体２の内部に紫外線発生ランプ、例えば低圧水銀ランプ３を装着し、さらに紫外線発生ランプ３の下面に表面を処理する試料４を例えばコンベアー５の上面に載置し、紫外線発生ランプ３より生成されるオゾンと紫外線１８５ｎｍ、２５４ｎｍとで試料の表面の油脂、有機溶剤、異物、塵埃、微粉等を分解又は除去している。同装置によりオゾンと紫外線による処理能力を高めるには、紫外線発生ランプ３と試料４の距離は可能な限り小さいことが望ましい。しかし紫外線発生ランプ３と試料４面の距離が小さいと、試料面の中央付近と両端付近の照度に差が生じて処理効果が不均一となり、さらに紫外線の照度の低いところで処理効果を満たすように設計しないと処理効果が不十分となる欠点がある。また試料面の均一な処理効果を得るには、紫外線発生ランプと試料の距離を大きくし且つ大きいワット数の紫外線発生ランプを用いなければならない欠点がある。」（第１頁右下欄第１０行〜第２頁左上欄第１１行）
(ｍ)発明の目的として、「本発明は上記の諸点に鑑み発明したものであって、光源と試料までの距離を小さくし、さらに紫外線とオゾンによる処理効果を増大することのできる表面処理装置を提供することを目的とする。」（第２頁左上欄第１３〜１６行）
(ｎ)問題点を解決するための手段として、「以下本発明を第１図乃至第３図について説明する。図において、１１は箱体状の装置本体、１２は装置本体１１の内部上面に例えば５ｃｍ程度の間隔で支持してなる反射体、１３は各反射体１２の内部に位置して装着してなる紫外線発生ランプであって、例えば２５ワットの低圧水銀ランプ、１４は紫外線発生ランプ１３と対応する開口面を覆ってなる紫外線透過率のよい板体であって、例えば合成石英ガラス板を用いて構成してある。合成石英ガラス板の紫外線１８５ｎｍの透過率は７５％程度であり、２５４ｎｍの透過率は９０％程度である。１５は装置本体１１の一部に設けてなる真空排気口であって、窒素ガスあるいは不活性ガス供給口を兼ねてある。同装置本体１１内を真空にするか、窒素ガスあるいは不活性ガスで満し、紫外線の透過率のよい雰囲気に構成する。」（第２頁左上欄下から第３行〜右上欄１３行）
(ｏ)紫外線の照度と照度距離の関係について、「次に上記した表面処理装置における試料面の紫外線１８５ｎｍ，２５４ｎｍの照度と照射距離との関係を第２図について説明する。同図に示すようにオゾン濃度が２００ＰＰＭで、試料面に対する照射距離が０のとき、試料面の紫外線照度を相対値で１．０とすると、紫外線２５４ｎｍは試料面に対する照射距離が２．５ｃｍのとき、約０．５となり、５．０ｃｍのとき０．１８となる。また紫外線１８５ｎｍは試料面に対する照射距離が４．０ｃｍのとき、約０．５となり、６ｃｍのとき０．３３となる。このように試料面における紫外線照度は照射距離により大きく影響し、処理効果を増大するには、試料面の距離と紫外線発生ランプ１３の距離を出来る限り小さく構成することが必要である。」（第２頁左下欄第４〜１７行）
(ｐ)発明の効果について、「本発明は上記したように、装置本体の内部に、紫外線発生ランプを装着すると共に紫外線発生ランプの対応する面に紫外線透過率のよい板体を設け、同装置本体の内部を紫外線透過率のよい雰囲気に構成し、且つ板体の下面にオゾン処理空間を設けて構成したので、紫外線発生ランプより発生する紫外線１８５ｎｍと２５４ｎｍの装置本体内部での透過率はよく、紫外線１８５ｎｍ，２５４ｎｍとオゾン処理空間のオゾンにより、プラスチック、ガラス、金属、セラミック等の試料の表面の油脂、有機溶剤、異物、塵埃、微粉等を効果的に分解除去することができる。また平板の下面にオゾン処理空間が設けてあるので、同オゾン処理空間内において、平板を透過した紫外線によりオゾンが酸化分解され、試料の表面を効果的に殺菌し、無駄なオゾンの酸化分解を防ぐことができる。また装置本体の下面に板体があるので従来の装置に較べ、紫外線発生ランプの指向性は少なく、装置本体の内部に複数の紫外線発生ランプを装着し構成しても板体の下面で試料を均一処理することができる利点がある。」（第３頁左上欄第２行〜右上欄第３行）
と記載されている。
　
第４．対比
　刊行物１に記載された発明について、検討する。
　摘記事項(ｂ)ないし(ｄ)から、刊行物１には、管径の異なる２本の石英ガラス管を同軸に配置した中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプであって、該ランプは、外側管の外部表面に設けた金属網電極を通して光を取り出すものであること、及び放電ガスとして、キセノン、あるいはキセノン／塩素を用いるものであることが記載されているといえる。
　また、摘記事項(ｅ)と図６によれば、刊行物１には、該放電ランプを用いたエキシマ光照射装置について、照射口を有する照射ユニットに放電ランプを収納するとともに、その照射ユニット内を窒素でパージすることが記載されている。
　さらに、摘記事項(ｆ)ないし(ｉ)によれば、刊行物１に記載された中空円筒形誘電体バリア放電エキシマランプが、「光洗浄」、「プラスチックの表面改質」及び「光ＣＤＶ」等に応用されることが記載されているといえる。
　そこで、本願発明と、刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された「照射ユニット」は、本願発明における「匡体」に相当するものである。
　また、本願明細書に「物体表面改質」の具体例として「ＵＶ／Ｏ３洗浄」や「表面改質」が記載されていることからも明らかなように、刊行物１に応用例として記載された「光洗浄」及び「プラスチックの表面改質」は、本願発明における「物体表面改質」に相当する。
　よって、両者は、
「少なくとも一部から紫外エキシマ光を取り出す概略円筒状の放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマを形成するキセノン、もしくはキセノンを主成分とする放電用ガスを充した誘電体バリア放電ランプを、匡体内に、窒素ガスとともに配置してなるキセノン照射装置を有している物体表面改質装置。」
である点で一致し、以下の点で相違している。
相違点１：
　前記「匡体」が、本願発明では、「少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった匡体」であるのに対し、刊行物１記載の発明は、照射ユニット（匡体）が照射口を有するものの、該照射口に「窓部材」が設けられていることについては明記されていない点。
相違点２：
　本願発明では、「このキセノン照射装置の窓部材に７ｍｍ以内に接近している処理台」を有しているのに対して、刊行物１には、そのような「処理台」については具体的な記載がない点。
　
第５．相違点についての判断
　次に、これら相違点１及び相違点２について検討する。
１．相違点１について
(１)刊行物１には、光ＣＶＤに応用した実験装置について、「１７２ｎｍランプ（出力４０ｍＷ／ｃｍ２）を真空チャンバーに入れ、反応チャンバーとはＭｇＦ２窓で分離している。」（摘記事項(ｉ)参照）と記載されており、該「ＭｇＦ２窓」は、紫外エキシマ光を透過するものである。したがって、刊行物１には、チャンバー（匡体）内が真空であって窒素ガスを導入するものではないが、誘電体バリア放電エキシマランプを収容するチャンバー（匡体）において、「少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおう」ことが記載されているといえる。
　また、上記刊行物４には、紫外線発生ランプとして低圧水銀灯を使用したものであって、誘電体バリア放電エキシマランプを用いるものでない点で刊行物１に記載された発明とは相違するものの、紫外線発生ランプを用いた表面処理装置において、「扁平な紫外光を取り出す窓部材」を設けることが記載されている。
　すなわち、上記摘記事項から明らかなように、上記刊行物４には、第１〜３図とともに、「箱体状の装置本体１１と、装置本体１１の内部上面に支持してなる反射体１２と、反射体内部に位置して装着してなる紫外線発生ランプである低圧水銀灯１３、紫外線発生ランプ１３と対応する開口面を覆てなる紫外線透過率のよい、例えば、１８５ｎｍの透過率が７５％程度であり、２５４ｎｍの透過率が９０％程度である合成石英板１４とを有する表面処理装置において、この装置本体１１の一部には、窒素ガスあるいは不活性ガス供給口を兼ねた真空排気口１５を設けて、装置本体１１内を真空にするか、窒素ガスあるいは不活性ガスで満し、紫外線の透過率のよい雰囲気に構成した表面処理装置」が記載されており、該刊行物に記載された「紫外線透過率のよい板体１４」は、本願発明における「扁平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材」に対応するものである。そして、該刊行物４の「装置本体の内部に、紫外線発生ランプを装着すると共に紫外線発生ランプの対応する面に紫外線透過率のよい板体を設け、同装置本体の内部を紫外線透過率のよい雰囲気に構成し、且つ板体の下面にオゾン処理空間を設けて構成したので、紫外線発生ランプより発生する紫外線１８５ｎｍと２５４ｎｍの装置本体内部での透過率はよく、」（摘記事項(ｐ)参照）という記載から明らかなように、刊行物４に記載された発明において、装置本体内に満たされる「窒素ガスあるいは不活性ガス」は、紫外線発生ランプより発生する紫外線の透過率をよくするためのものであって、本願発明における「ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガス」に相当するものであるから、刊行物４に記載された発明と刊行物１に記載された発明とは、「ランプを、少なくとも一部が偏平な紫外光を取り出す窓部材で前方をおおった匡体内に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガスとともに配置した照射装置。」である点でも一致している。
　さらに、刊行物４に記載された発明と同様に、紫外線発生ランプを用いた表面処理装置において、紫外光を取り出す窓部材を設けることは、「応用物理」第５８巻第２号（応用物理学会、１９８９年２月１０発行）第２９９頁（刊行物５とする）、及び特開昭６０−２１２２２６号公報（第１図参照）（刊行物６とする）等に記載されており、本願出願前に既に周知の手段であるといえる。
　以上のとおり、紫外線放電ランプを用いた表面処理装置において、「窓部材」を設けること自体は、本件出願前に既に周知の手段であるうえ、刊行物１には、誘電体バリヤ放電エキシマランプを用いた光ＣＶＤ装置において、紫外エキシマ光を取り出す窓部材を設けることが記載され、さらに、刊行物４には、紫外線放電ランプを配置した空間を窒素ガスあるいは不活性ガスで満たした照射処置を用いた表面改質装置において、紫外光を取り出す窓部材を設けることが記載されているのであるから、当業者であれば、刊行物１に記載された照射ユニット（匡体）の「照射口」に、「紫外エキシマ光を取り出す窓部材」を設けて、「少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった照射ユニット（匡体）」とする程度のことは容易に想到することができた事項というべきである。
　
(２)これに対して、請求人は、参考資料３を提出するとともに、概ね、以下のように主張している。
　“本願発明が対象とする誘電体バリア放電ランプは、キセノンガスあるいはキセノンを主成分とするガスを放電用ガスとする場合、波長１７２ｎｍの光を放射します。この放射光は、酸素を含む雰囲気において、約３ｍｍの距離で放射強度が１／２から１／３に減衰し、約７ｍｍの距離で放射強度が１／８に減衰するという性質を有しています（本願明細書００１１参照）。・・・参考資料３は、誘電体バリア放電ランプと処理物との関係を模式的に示すものであって、説明の便宜上、誘電体バリア放電ランプは簡略化して外観形状のみを示すとともに、誘電体バリア放電ランプと処理物との間に存在する偏平窓部材は省略しております。そして、同図から明らかに分かるように、誘電体バリア放電ランプから処理物に対する照射光（照射１、照射２）は、処理物までの距離が異っております。放電ランプが誘電体バリア放電ランプではなく、低圧水銀ランプのような通常のランプの場合、このような距離の違いがあったとしても問題にはなりません。しかし、誘電体バリア放電ランプは、前記のように数ミリの距離で放射強度が減衰するという特殊な性質を有する関係上、照射１と照射２の違いによって処理物に到達する紫外線強度が大きく相違してしまいます。この現象が結果として、照射１と照射２において処理を不均一にさせたり、あるいは照射１によってのみ処理が行なわれるという問題になります。さらに、誘電体バリア放電ランプは、例えば、内径約２４ｍｍ、肉厚１ｍｍの外側管３（本願明細書段落００１５）であることから、外径値が概ね２６ｍｍであると解釈できます。つまり、仮に、窓部材を配置させることなく、誘電体バリア放電ランプの直下に処理物を配置させたとしても、ランプの形状に起因する照射距離差が必然的に存在することになり、外側管の半径相当分、この場合ならば約１２〜１３ｍｍが生じることになります。本願発明は、誘電体バリア放電ランプを光源とした物体表面改質装置において、上記のような技術的課題を解決するためになされたものであって、偏平な窓部材を設けることで照射距離の違いを生じさせない擬似的な平面光源を構成するとともに、当該構成と一体不可分的に、平面光源と処理物との距離に着目して数値規定したことが特徴であります。”
　
　しかしながら、本件明細書あるいは刊行物１（摘記事項(ｇ)参照）に記載されているとおり、１７２ｎｍの放射光の減衰は、酸素を含む雰囲気中で生じるものであり、そのために、本願発明及び刊行物１に記載された発明では、酸素を含まない窒素ガス等の不活性ガス雰囲気中に放電ランプを配置することにより、参考試料３に示すような不均一な処理の発生を防止するものである。
　一方、前述のとおり、刊行物４に記載された発明は、「ランプを、少なくとも一部が偏平な紫外光を取り出す窓部材で前方をおおった匡体内に、ヘリウム、ネオン、クリプトン、アルゴン、キセノン、水素、窒素から選択された少なくとも一種のガスとともに配置した照射装置」である点で、本願発明あるいは刊行物１に記載された発明と軌を一にしており、該刊行物には、本件発明の偏平な窓部材に相当する「板体」を設けた効果について、「装置本体の下面に板体があるので従来の装置に較べ、紫外線発生ランプの指向性は少なく、装置本体の内部に複数の紫外線発生ランプを装着し構成しても板体の下面で試料を均一処理することができる利点がある。」（摘記事項(ｐ)参照）と明記されており、該記載の効果は、請求人が主張する「照射距離の違いを生じさせない擬似的な平面光源を構成する」という効果に他ならない。
　してみれば、前項(１)に記載したとおり、「少なくとも一部が偏平な紫外エキシマ光を取り出す窓部材で前方をおおった匡体」という構成自体は、刊行物１及び刊行物４に記載された発明から当業者が容易に導き出せる構成であり、その効果についても、上記刊行物４の記載から当業者が予期しうる範囲を越えるものではないと言わざるを得ない。
　
２．相違点２について
(１)刊行物１には、「処理台」についての具体的な記載はないものの、物体の表面改質に用いる以上、例えば刊行物４記載の「コンベア−」、刊行物６記載の「支持具６」、あるいは刊行物５の第１図に図示された「sample」を載置している台等の、被処理物である物体を載置する処理台を用いることは自明である。
　してみると、本願発明と刊行物１記載の発明との実質的な相違点は、処理台の配置について、「キセノン照射装置の窓部材に７ｍｍ以内に接近して」としている点にあるものと認められる。
　「窓部材」については、前項「１．相違点１について」に記載したとおりであるので、ここでは、処理台の配置を、「キセノン照射装置の窓部材に７ｍｍ以内に接近して」と特定することに技術的困難性があるか否かについて検討する。
　刊行物１の第３５頁左欄下から第２１〜９行には、「１７２ｎｍでの酸素の吸収係数は１８５ｎｍでの１桁以上高く、空気中で強度が１／ｅになるのはわずか３ｍｍである。この間でオゾン、原子状酸素を生成するので、いままで光源から数十ｍｍの距離で吸収され、オゾン、原子状酸素を生成していた、低圧水銀ランプに比較し、管壁数ミリの距離では、本ランプのそれら生成濃度は１０倍以上であると考えられる。この効果と１７２ｎｍ光が１８５ｎｍ光より光子のエネルギーが大きいため、有機物の切断力が高いことと相まって、従来の低圧水銀ランプより、洗浄効果が高いと予想される。」（摘記事項（ｇ）参照）と記載されている。
　該記載から、１７２ｎｍの放射光の減衰が、酸素を含む雰囲気中で生じることは明らかであるから、刊行物１記載の誘電体バリア放電ランプを用いた物体表面改質装置に「窓部材」を設けた場合には、該「窓部材」から被処理体を載置する処理台までの、酸素が存在する空間が問題であって、それをできるかぎり短くすることにより、放射された紫外エキシマ光を効率よく利用できることは、当業者であれば当然に予期しうることにすぎず、本願発明は、どの程度近づけなければならないかを単に確認したにすぎない。そして、刊行物１の記載からみて、本願発明で特定する「７ｍｍ以内」という距離が、予期し得ない格別な値であるとも認められない。
(２)これに対して、請求人は、概ね、以下のように主張している。
　“本願発明は「７ｍｍ以下」という数値のみが単独で特徴を有するのではなく、偏平窓を採用したこととの関連において、当該偏平窓から処理台までの距離を７ｍｍ以下と規定することに特徴を有しております。注目すべきは、本願発明は、偏平窓から処理台までの距離を規定しているのであって、決して、ランプそのものと処理台（処理体）との距離を規定しているわけではありません。
　そして、本願発明は偏平窓を採用することと、当該偏平窓からの照射距離を規定することが一体不可分となって発明を構成しており、偏平窓を採用したとしても当該距離が７ｍｍ以下でない場合や、逆に処理台との距離を７ｍｍ以下に設定したとしても偏平窓が存在しない場合は、照射処理に支障をきたすため発明が成立いたしません。この点で審判官殿の拒絶理由通知は、偏平窓の存在しない刊行物１に対して刊行物４の技術を組み合わせた上で、さらに、偏平窓から処理台までの距離の規定をランプと処理物の距離に関する一般的な記載から容易と導くものであって、個々別々に、相違点に対して公知技術などを順次に適用させて本願発明を導いているだけであります。
　本願発明は偏平窓を採用することと、当該偏平窓からの照射距離を規定することが一体不可分となっていることが大きな特徴であり、‘偏平な窓部材’および‘窓部材と処理台との距離’のいずれの構成も具備していない刊行物１を基礎として、決して容易に発明できるものではなく、また、仮に、刊行物１の照射装置に刊行物４の窓部材を適用させたとしても、そのことのみで本願発明が導き出せるものではありません。”
　
　しかしながら、刊行物１の摘記事項(ｅ)から明らかなように、照射口に窓部材を有していない刊行物１記載の誘電体バリア放電ランプを用いたエキシマ光照射装置において、照射ユニット内は窒素ガスでパ一ジする構成であるから、該照射ユニットに別の処理ユニットを接続しない限り、照射口から被処理体までの間には空気が存在するから、この間の距離をできるかぎり短くすることにより、放射された紫外エキシマ光を効率よく利用できることは、当業者であれば当然に予期しうることにすぎない。
　よって、本願発明が、偏平窓を採用したこととの関連において、当該偏平窓から処理台までの距離を７ｍｍ以下と規定するものであることは認めるものの、そのことに、技術的困難性があるとすることはできない。また、相違点１及び相違点２の組み合わせにより、当業者が予期し得ない格別の効果を奏しているとも認められない。
　
第６．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１及び刊行物４に記載された発明及び当該技術分野における周知技術に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が、容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。