【手続補正書】
【提出日】平成24年3月19日(2012.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）であって、光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含み、
該アタッチメントは、ＳＯＣＴデバイス（３００）のレンズと検査される対象物（３７０）の間に位置する補足的光学系（１５４、３８０、４５４、５５４）である点に特徴を有する装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
解決策が、本発明によって選択された実施態様の形をして示された。しかしながら、その例は本発明を制限しない。解決策の材料部分を変更せずに、いくつかの修正をなすことができることは明白である。示された実施態様は、本発明によって解決策を適用する可能性のすべてではない。
本願発明はその実施態様として以下を含む。
第１項：アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）であって、光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含み、
該アタッチメントは、ＳＯＣＴデバイス（３００）のレンズと検査される対象物（３７０）の間に位置する補足的光学系（１５４、３８０、４５４、５５４）である点に特徴を有する装置。
第２項：オブジェクトビームを集めるために、ＳＯＣＴデバイスのレンズに外部焦点が提供され、外部から対象物を検査する間、補足光学系のレンズ（３８０）が配置され、該デバイスが１つ以上のレンズを含む、第１項記載の装置。
第３項：ＳＯＣＴデバイスのレンズにオブジェクトビームを集める外部焦点（２５１）が提供され、対象物の後部部分を検査する間、ひとみ（２６０）の領域が位置する、第１項記載の装置。
第４項：ＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズ（１３０）の上にマウントされたアタッチメント（１５０、４５０、５５０）の内部に、補足光学系（１５４、４５４、５５４）が配置される、第１または２項記載の装置。
第５項：補足光学系（１５４、４５４、５５４）がＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズ上にマウントされたアタッチメント（１５０、４５０、５５０）内に配置され、該ＳＯＣＴデバイス（１００）が、補足光学系（１５４，４５４，５５４）に関連するアタッチメント（１５０、４５０、５５０）に向き合って配置された、ＳＯＣＴデバイス（１００）のレンズの上にマウントされた円筒状の要素（１５１、４５１、５５１）を含む、第１、２または４項記載の装置。
第６項：少なくとも１つの調節および／またはマウンティング・システム（４９０）がアタッチメントに提供され、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対して補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、第４または５項記載の装置。
第７項：調節および／またはマウンティング・システム（４９０）には、円筒状の要素（４５１）とケーシング（４５６）を接続するフランジ（４９５）が提供され、フランジの内部に補足的光学系（４５４）、および少なくとも１つの垂直のマウンティング要素（４９１，４９２）および／または水平のマウンティング要素（４９３，４９４）が提供され、補足的光学系（４５４）の、垂直面および／またはアタッチメント（４５０）の軸（４５５）に沿った移動を防ぐ、第６項記載の装置。
第８項：調節および／またはマウンティング・システム（４９０）に、円筒状の要素（４５１）内にねじ込まれる少なくとも１つのねじ（４９６、４９７）が提供され、それはレンズに接して、アタッチメント（４５０）の軸に垂直な面上での補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、第６項記載の装置。
第９項：円筒状の要素（５５１）に、スリーブ（５５６）の形をしているケーシングを接続するねじが切られたパイプ（５５７）が提供され、その内側に補足的光学系（５５４）が配置される、第４、５、６、７、または８項記載の装置。
第１０項：円筒状の要素に、雄ねじを有するスリーブの形をしているケーシングと接続する雌ねじを有する孔が提供され、その内側に補足的光学系（５５４）が配置される、第４、５、６、７、または８項記載の装置。
第１１項：補足光学系（１５４、４５４、５５４）が単一のレンズ、またはレンズのアセンブリー、または異なる焦点距離を備えたレンズのアセンブリーからの単一レンズである、第１、２、４、５、６、７、８、９または１０項記載の装置。
第１２項：円筒状の要素（５５１）の内部に、弾性の変形可能な円筒状のインサート（５５２）が存在する、第４、５、６、７、８、９、１０または１１項記載の装置。
第１３項：円筒状の要素（４５１）に、円筒状の要素（４５１）のジャケットの厚さ方向全体にわたりノッチ（４５８）が提供される、第４、５、６、７、８、９、１０、１１または１２項記載の装置。
第１４項：光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）のためのアタッチメントであって、ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能なアタッチメント（１５０，４５０、５５０）の形態であり、該ＳＯＣＴデバイスのレンズ上にマウント可能な円筒状の要素（１５１、４５１、５５１）、および該円筒状の要素に関連するアタッチメントに向き合って配置される補足的光学系（１５４、４５４、５５４）を含む、アタッチメント。
第１５項：アタッチメントに少なくとも１つの調節および／またはマウンティング・システム（４９０）が提供され、ＳＯＣＴデバイスのレンズに対する補足的光学系（４５４）の移動を可能にする、第１４項記載のアタッチメント。
第１６項：円筒状の要素（５５１）に、スリーブ（５５６）の形をしているケーシングを接続するねじが切られたパイプ（５５７）が提供され、その内部に補足的光学系（５５４）が配置される、第１４または１５項記載のアタッチメント。
第１７項：円筒状の要素（５５１）の内側に、弾性の変形可能な円筒状のインサート（５５２）が存在する、第１４、１５または１６記載のアタッチメント。
第１８項：円筒状の要素（４５１）に、円筒状の要素（４５１）のジャケットの厚さ方向の全体にわたりノッチ（４５８）が提供される、第１４、１５、１６または１７項記載のアタッチメント。
第１９項：光ビームの生成デバイス、光ビームを少なくとも１つのリファレンスビームおよび、レンズを通って検査対象物に導かれる少なくとも１つのオブジェクトビームに分割するデバイス、少なくとも１つのリファレンスビームおよび対象物で散乱されてレンズを通って戻ってくる少なくとも１つのオブジェクトビームから合成ビームを生成するデバイス、 合成ビームのスペクトル解析用のデバイス、およびアタッチメントを含む、アタッチメントを備えた光学的断層撮影法による対象物の検査用の装置（ＳＯＣＴデバイス）による対象物の検査方法であって、
該ＳＯＣＴデバイスにより外部から対象物を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスの上にマウントされ、該補足的光学系のレンズまたは１つ以上のレンズを含む補足光学系の第一のレンズが、ＳＯＣＴデバイスのレンズの外部焦点に置かれ、対象物の後部部分を検査する間には、アタッチメントはＳＯＣＴデバイスのレンズから取り除かれる、方法。