【手続補正書】
【提出日】平成16年1月26日(2004.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電気光学装置及びプロジェクタ


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線とデータ線の交差に対応して配置された薄膜トランジスタ及び画素電極とを有し、
前記薄膜トランジスタを構成する半導体層と前記画素電極とは第１導電層及び第２導電層を介して電気的に接続され、
前記画素電極と前記第２導電層とを電気的に接続するための第1コンタクトホールは、平面的に見て相隣接する２本のデータ線に対してほぼ対称となるように開孔され、
前記半導体層と前記第１導電層とを電気的に接続するための第２コンタクトホールは、前記第２導電層の形成領域内で開孔されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記第２コンタクトホールは、平面的に見て、前記第1コンタクトホールを挟み、相隣接する２本のデータ線に対してほぼ対称となるように開孔されることを特徴とする請求項１記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記第１導電層と前記第２導電層とを電気的に接続するための第３コンタクトホールは、前記第1コンタクトホールと重なるように開孔されることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記第２導電層は、相隣接する２本のデータ線間の前記走査線に沿って形成されることを特徴とする請求項１乃至３にいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記第２導電層の端部は、前記データ線に重なることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置。
【請求項６】
前記第２導電層は、遮光性の導電膜であることを特徴とする請求項１乃至５にいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項７】
前記第１導電層は、前記データ線と同一層で形成されることを特徴とする請求項１乃至６にいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項８】
前記第１導電層は、蓄積容量を構成することを特徴とする請求項１乃至７にいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項の電気光学装置をライトバルブとして用いたことを特徴とするプロジェクタ。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、基板に複数の走査線と、複数のデータ線と、前記走査線とデータ線の交差に対応して配置された薄膜トランジスタ及び画素電極とを有し、前記薄膜トランジスタを構成する半導体層と前記画素電極とは第１導電層及び第２導電層を介して電気的に接続され、前記画素電極と前記第２導電層とを電気的に接続するための第1コンタクトホールは、平面的に見て相隣接する２本のデータ線に対してほぼ対称となるように開孔され、前記半導体層と前記第１導電層とを電気的に接続するための第２コンタクトホールは、前記第２導電層の形成領域内で開孔されることを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のかかる構成によれば、第１コンタクトホールは、相隣接する２本のデータ線に対してほぼ対称な位置に開孔されている。相隣接する２本のデータ線に対して対称な位置とは、各画素の開口領域のデータ線に沿った方向の中心軸に対して線対称な位置に通常は一致するが各画素の開口領域が正方形又は長方形等のデータ線に沿った方向の中心軸が単純に定まらない場合もあり、両者は必ずしも同意義ではない。ここで、第１コンタクトホールは、画素電極に至るが故に、現在のこの種の画素電極を形成する技術によれば、画素電極表面において第１コンタクトホールに対応する個所には、多かれ少なかれ何らかの窪みや凹凸が生じてしまう。この窪みや凹凸が生じた個所は、例えば画素電極上に形成された配向膜に対してラビング処理等を行った後の電気光学物質のディスクリネーションの発生など、平坦な場合と異なり、電気光学物質に対し様々な不良を引き起こす。しかるに本発明では、第１コンタクトホールは、相隣接する２本のデータ線に対して対称な位置に開孔されているので、第１コンタクトホールに対応する画素電極表面の窪みや凹凸は、各画素毎に相隣接する２本のデータ線に対して対称な位置に発生する。従って、例えば画素電極上に形成された配向膜に対してラビング処理を右回り方向のＴＮ液晶用に行った場合と左回りのＴＮ液晶用に行った場合とを考えると、このような画素電極表面の窪みや凹凸に起因した電気光学物質の不良は、どちらの場合にも各画素に同様の傾向で発生することになる。この結果、明視方向が異なる複数の電気光学装置を組み合わせて複板方式のカラープロジェクタ等用に使用する場合に、前述した従来例のように（図２０参照）、特定個所における不良が、組み合わせたことにより増長される事態を防げる。より一般には、各画素単位で第１コンタクトホールに対応する画素電極表面の窪みや凹凸が走査線に沿ったどちらの方向にも偏っていないため、画像表示領域全体では、走査線に沿って指向性を持つ表示むらが生じないで済むのである。このように、本発明におけるデータ線に対して対称な位置とは、走査線に沿って指向性を持つ表示むらが実質的に生じない程度に対称であれば足りる意味である。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明は、前記第２コンタクトホールは、平面的に見て、前記第1コンタクトホールを挟み、相隣接する２本のデータ線に対してほぼ対称となるように開孔されることを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明のかかる構成によれば、半導体層のドレイン領域と第１導電層とは第２コンタクトホールを介して電気的に接続されている。このため、画素電極から半導体層のドレイン領域まで一つのコンタクトホールを開孔する場合と比較して、コンタクトホールの径を小さくできる。更に、第１コンタクトホールにおける画素電極の表面に形成される窪みや凹凸も小さくて済むので、この画素電極部分における平坦化が促進される。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、前記第１導電層と前記第２導電層とを電気的に接続するための第３コンタクトホールは、前記第1コンタクトホールと重なるように開孔されることを特徴とする。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明は、前記第２導電層は、相隣接する２本のデータ線間の前記走査線に沿って形成されることを特徴とする。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明は、前記第２導電層の端部は、前記データ線に重なることを特徴とする。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明は、前記第２導電層は、遮光性の導電膜であることを特徴とする。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明のかかる構成によれば、導電性の遮光膜からなる導電層により、各画素の開口領域を少なくとも部分的に規定することが可能となる。このように例えば、基板に対向して配置される対向基板に形成される遮光膜ではなく、ＴＦＴアレイ基板上に導電性の遮光膜の一部或いは全部を設ける構成は、製造プロセスにおける基板と対向基板との位置ずれによって画素開口率の低下を招かない点で極めて有利である。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この導電層が遮光膜からなる態様では、前記導電層は、画素の開口領域の少なくとも一部を規定するように構成してもよい。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明のかかる構成によれば、導電層単独で、或いは対向基板に形成された遮光膜等と共に、画素の開口領域を規定することが可能となる。特に他方の基板に遮光膜を形成しないで開口領域を規定すれば、製造プロセスにおける工程を削減することが可能となると共に一対の基板間のアライメントずれによる画素開口率の低下やばらつきを防ぐことも可能となり有利である。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明は、前記第１導電層は、前記データ線と同一層で形成されることを特徴とする。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明は、前記第１導電層は、蓄積容量を構成することを特徴とする。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明のかかる構成によれば、限られた基板領域に立体的に導電層を利用して蓄積容量を増大させることができる。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】削除
【補正の内容】