【手続補正書】
【提出日】平成15年6月30日(2003.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】画像表示装置の製造装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛍光体励起手段が配置された第１の基板、および前記蛍光体励起手段により発光する蛍光体が配置された第２の基板が、その周囲において接合材を介して接合されてなる画像表示装置を製造する装置において、該製造装置が、真空チャンバー、該真空チャンバー内に前記第１の基板および／または第２の基板をＸ，Ｙ，θ方向に動かす位置調整手段、前記第１の基板または第２の基板をＺ方向に動かす位置調整手段、前記第１の基板および第２の基板を加熱する加熱手段、真空チャンバー内を排気する排気手段、を具備することを特徴とする画像表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記Ｚ方向に動かす位置調整手段が、加圧手段を兼ねていることを特徴とする請求項１記載の画像表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記真空チャンバー中に、第１および第２の基板に形成されたアライメントマークの検出手段を有することを特徴とする請求項１または２記載の画像表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記アライメントマーク検出手段が、ＣＣＤであることを特徴とする請求項３記載の画像表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記真空チャンバー内に、気体を導入するための導入管を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の画像表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記気体が、表面伝導型電子放出素子用の活性化ガスであることを特徴とする請求項５記載の画像表示装置の製造装置。
【請求項７】
対向配置されて接合された第１の基板と第２の基板を有するパネル装置の製造装置であって、前記第１の基板と第２の基板の相対位置の調整手段が、該第１の基板と第２の基板の接合のための加圧を兼ねることを特徴とするパネル装置の製造装置。
【請求項８】
前記相対位置の調整と前記加圧をその内部で行なう、内部の雰囲気を所望の状態にできるチャンバーを有することを特徴とする請求項７記載のパネル装置の製造装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画像表示装置等のパネル装置の製造装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の目的は、上記の問題点が解消された画像表示装置（画像形成装置）等のパネル装置の製造装置を提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明及びそれに関連して開示される技術は以下のとおりある。まず、本発明の関連技術としての画像表示装置の製造方法は、蛍光体励起手段が配置された第１の基板、および前記蛍光体励起手段により発光する蛍光体が配置された第２の基板が、対向して配置され、その周囲において接合材を介して接合されてなる画像表示装置を製造する方法において、前記第１の基板および第２の基板を接合部材を介して接合する封着工程、および前記第１の基板と第２の基板との位置合わせを行なう工程、が真空中で行われることを特徴とするものである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明にかかる画像表示装置の製造装置は、蛍光体励起手段が配置された第１の基板、および前記蛍光体励起手段により発光する蛍光体が配置された第２の基板が、その周囲において接合材を介して接合されてなる画像表示装置を製造する装置において、該製造装置が真空チャンバー、該真空チャンバー内に前記第１の基板および／または第２の基板をＸ，Ｙ，θ方向に動かす位置調整手段、前記第１の基板または第２の基板をＺ方向に動かす位置調整手段、前記第１の基板および第２の基板を加熱する加熱手段、真空チャンバー内を排気する排気手段、を具備することを特徴とする画像表示装置の製造装置である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また本発明の関連技術としての画像形成装置を製造する方法は、複数の電子放出素子が配置された第１の基板、および該電子放出素子からの電子の照射により画像を形成する画像形成部材が配置された第２の基板、から構成される真空外囲器を有する画像形成装置を製造する方法において、前記真空外囲器を構成する複数の部材の封着工程が真空雰囲気中で行われ、且つ該封着工程が、前記電子放出素子と画像形成部材を所望の距離に保ちながら加熱して真空排気を行う工程、および前記電子放出素子と画像形成部材の相対位置関係を観測し、封着温度近傍において該電子放出素子と該画像形成部材とを所定の位置関係に保ちながら前記真空外囲器を構成する複数の部材を張り合せる工程、を含むことを特徴とするものである。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また本発明の関連技術としての画像形成装置を製造する方法は、複数の電子放出素子が配置された第１の基板、および該電子放出素子からの電子の照射により画像を形成する画像形成部材が配置された第２の基板、から構成される真空外囲器を有する画像形成装置を製造する方法において、前記電子放出素子の電子放出部を形成する工程、該電子放出素子に活性化を行う工程、該電子放出素子と画像形成部材を所望の距離に保ちながら加熱して真空排気を行う工程、該電子放出素子と画像形成部材の相対位置関係を観測し、封着温度近傍において該電子放出素子と画像形成部材とを所定の位置関係に保ちながら前記真空外囲器を構成する複数の部材を張り合せる工程、の各工程を含むことを特徴とするものである。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また本発明の関連技術としての画像形成装置を製造する方法は、複数の電子放出素子が配置された第１の基板、および該電子放出素子からの電子の照射により画像を形成する画像形成部材が配置された第２の基板、から構成される真空外囲器を有する画像形成装置を製造する方法において、前記画像形成装置の封着が行われる真空チャンバと、前記電子放出素子と画像形成部材とを真空チャンバ内で位置合わせする機構、該真空チャンバ内部を加熱する加熱機構、該真空チャンバの内部を排気する機構、該真空チャンバ内部にガスを導入する機構、前記電子放出素子に活性化を行う機構、の各機構を有することを特徴とするものである。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
さらに本発明の関連技術としての画像形成装置の製造方法は、第１の基板と第２の基板とを有しており、前記第１の基板と第２の基板は対向配置されており、該第１の基板と第２の基板の間に外部に対して気密な空間を有しており、該気密な空間に蛍光体と該蛍光体を励起する手段を有する画像形成装置の製造方法であって、前記第１の基板と第２の基板を接合部材を介して接合する封着工程と、前記第１の基板と第２の基板との相対位置合わせを行う位置合わせ工程を有しており、前記封着工程と前記位置合わせ工程とは、大気雰囲気とは異なる所望の雰囲気で行うことを特徴とするものである。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また本発明の関連技術としての画像形成装置の製造方法は、第１の基板と第２の基板とを有しており、前記第１の基板と第２の基板は対向配置されており、該第１の基板と第２の基板の間に外部に対して気密な空間を有しており、該気密な空間に蛍光体と該蛍光体を励起する手段を有する画像形成装置の製造方法であって、前記第１の基板と第２の基板を接合部材を介して接合するために、該接合部材を加熱する加熱工程と、該接合部材が加熱された状態で前記第１の基板と第２の基板との相対位置合わせを行う位置合わせ工程を有していることを特徴とするものである。ここでも、前記加熱工程と前記位置合わせ工程とを所望の雰囲気で行うと好適である。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また本発明の関連技術としての画像形成装置の製造装置は、第１の基板と第２の基板とを有しており、前記第１の基板と第２の基板は対向配置されており、該第１の基板と第２の基板の間に外部に対して気密な空間を有しており、該気密な空間に蛍光体と該蛍光体を励起する手段とを有する画像形成装置の製造装置であって、内部の雰囲気を所望の雰囲気にすることができるチャンバーと、前記第１の基板と第２の基板を接合部材を介して接合するために、前記チヤンバー内で該接合部材を加熱する加熱手段と、該接合部材が加熱された状態で前記チャンバー内で前記第１の基板と第２の基板との相対位置合わせを行う位置合わせ手段を有してなることを特徴とするものである。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
また本発明の関連技術としての画像形成装置は、前記本発明の画像形成装置の製造方法によって製造されたことを特徴とする画像形成装置、ならびに前記本発明の画像形成装置の製造装置によって製造されたことを特徴とするものである。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
電子源と画像形成部材を含む真空外囲器を構成する複数の部材の封着工程が真空雰囲気中で行われ、且つ当該封着工程が、上記電子源と上記画像形成部材を所望の距離に保ちながら加熱して真空排気を行う工程と、上記電子源と上記画像形成部材の相対位置関係を観測し、封着温度近傍において該電子源と該画像形成部材とを所定の位置関係に保ちながら上記真空外囲器を構成する複数の部材を張り合せる工程と、を含むことを特徴とする画像形成装置の製造方法によれば、封着温度近傍において電子源と画像形成部材を所定の位置関係に保ちながら部材を張り合わせて真空外囲器を形成するために、熱膨張やフリットガラスの軟化等による相対位置のずれを補正することができ、電源基板とフェイスプレートを高い位置精度で張り合わせることができる。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の関連技術としての画像形成装置の製造方法の一つは、以下のようにも言うことができる。すなわち、第１の基板と第２の基板とを有しており、前記第１の基板と第２の基板は対向配置されており、該第１の基板と第２の基板の間に外部に対して気密な空間を有しており、該気密な空間に蛍光体と該蛍光体を励起する手段を有する画像形成装置の製造方法であって、前記第１の基板と第２の基板を接合部材を介して接合する封着工程と、前記第１の基板と第２の基板との相対位置合わせを行う位置合わせ工程を有しており、前記封着工程と位置合わせ工程とは、大気雰囲気とは異なる所望の雰囲気で行うことを特徴とする画像形成装置の製造方法である。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
これらの方法においては、前記第１の基板と第２の基板が接合されることによって、気密な空間が形成される。第１の基板と第２の基板の間には、枠やスペーサがあってもよい。気密な空間の雰囲気には、接合する際の雰囲気が反映される。よって、気密空間内が要求される雰囲気になるような雰囲気に、接合の際の雰囲気を調整しておくとよい。このとき、該雰囲気の調整を、第１の基板と第２の基板の間隙が、接合後の間隙よりも大きい状態で行うことにより、該調整された雰囲気が、より気密空間（接合後に気密空間になる部分）の雰囲気に反映し易くなるため好適である。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
また、本発明の関連技術としての画像形成装置の製造装置の発明の一つは以下のようにも言うことができる。すなわち、第１の基板と第２の基板とを有しており、前記第１の基板と第２の基板は対向配置されており、該第１の基板と第２の基板の間に外部に対して気密な空間を有しており、該気密な空間に蛍光体と該蛍光体を励起する手段とを有する画像形成装置の製造装置であって、内部の雰囲気を所望の雰囲気にすることができるチャンバーと、前記第１の基板と第２の基板を接合部材を介して接合するために、前記チャンバー内で該接合部材を加熱する加熱手段と、該接合部材が加熱された状態で前記チャンバー内で前記第１の基板と第２の基板との相対位置合わせを行う位置合わせ手段を有していることを特徴とする画像形成装置の製造装置である。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、本発明の関連技術としてのパネル装置の製造方法は以下の方法を含むものである。すなわち、対向配置されて接合された第１の基板と第２の基板を有するパネル装置の製造方法であって、前記第１の基板と第２の基板の相対位置の調整と、該第１の基板と第２の基板の接合のための加圧を共通の手段を用いて行なうことを特徴とするパネル装置の製造方法、もしくは、対向配置されて接合された第１の基板と第２の基板を有するパネル装置の製造方法であって、前記第１の基板を保持する第１の保持手段と、前記第２の基板を保持する第２の保持手段とを相対的に移動させて位置調整を行ない、前記第１の保持手段と第２の保持手段を近付けることによって前記第１の基板と第２の基板の接合のための加圧を行なうことを特徴とするパネル装置の製造方法、である。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
【発明の効果】
上記のように、本発明の製造装置を用いることにより、封着温度近傍において電子源と画像形成部材を所定の位置関係に保ちながら部材を張り合わせて真空外囲器を形成するため、熱膨張やフリットガラスの軟化等による相対位置のずれを補正することができ、電子源基板とフェイスプレートを高い位置精度で張り合わせることができ、位置ずれに起因する輝度むらや混色のない、高品位な画像形成装置を作製することができる。