【手続補正書】
【提出日】平成26年7月11日(2014.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池の製造方法であって、
基板の表面に複数の粒子及び複数の空隙を含む多孔質層を形成する工程と、
前記多孔質層の１以上の領域に溶液を分配し、パターニングされた複合層を提供する工程と、
前記基板を加熱する工程とを備える太陽電池の製造方法。
【請求項２】
前記基板を加熱する工程は、前記パターニングされた複合層、前記多孔質層、又はこれらの両者を固化させることを含む請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項３】
前記溶液を分配する工程は、前記基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のドーパント源を含む溶液を分配することを含む請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項４】
前記基板を加熱する工程は、前記電荷キャリア不純物原子を前記ドーパント源から前記基板の内部に向けてドライブインさせることを含む請求項３に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項５】
前記ドーパント源は、シリコン原子に対するＮ型ドーパント源であり、
前記方法が、
第２の溶液を前記多孔質層の他の１以上の領域に分配し、二重にパターニングされた複合層を提供することを更に含み、前記第２の溶液が、前記基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のＰ型ドーパント源を含み、
前記基板を加熱する工程は、前記電荷キャリア不純物原子を前記Ｐ型ドーパント源から前記基板の内部に向けてドライブインさせる工程を更に備える請求項４に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項６】
前記多孔質層を前記基板の前記表面に形成する工程は、前記基板の前記表面に前記溶液を受容し、前記溶液の横方向への拡散を制限するのに適した寸法を有するように、前記複数の空隙のそれぞれを形成することを含む請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項７】
前記基板の領域を露出させるべく、前記溶液が分配される前記１以上の領域を除く前記多孔質層の全ての部分をエッチングする工程を更に備え、
前記エッチングする工程は、前記多孔質層と、前記溶液が分配される前記１以上の領域との間のエッチング選択比に基づいて行われる請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項８】
前記溶液を分配する工程は、インクジェット処理を用いることを含み、
前記溶液の粘度は、略１０センチポアズである請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項９】
前記多孔質層を前記基板の表面に形成する工程は、
前記基板の表面の凹凸と対応した形状を有する前記多孔質層を形成することを含み、前記多孔質層の厚みは、略０．５〜２０ミクロンの範囲とする請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の方法に従って製造された太陽電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】太陽電池の製造方法及び太陽電池
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
以上、太陽電池の製造方法が開示された。本発明の一実施形態によると、太陽電池の製造方法は、基板の表面に多孔質層を形成する工程を含み、この多孔質層は、複数の粒子及び複数の空隙を含む。この方法はまた、パターニングされた複合層を提供するべく、溶液を多孔質層の１以上の領域に分配する工程を含む。この方法はまた、基板を加熱することも含む。一実施形態では、溶液を分配する工程は、基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のドーパント源を有する溶液を分配することを含む。特定の実施形態では、基板を加熱する工程は、電荷キャリア不純物原子をドーパント源から基板の内部に向けてドライブインさせることを含む。
［項目１］
太陽電池の製造方法であって、
基板の表面に複数の粒子及び複数の空隙を含む多孔質層を形成する工程と、
前記多孔質層の１以上の領域に溶液を分配し、パターニングされた複合層を提供する工程と、
前記基板を加熱する工程とを備える太陽電池の製造方法。
［項目２］
前記基板を加熱する工程は、前記パターニングされた複合層、前記多孔質層、又はこれらの両者を固化させることを含む項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目３］
前記溶液を分配する工程は、前記基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のドーパント源を含む溶液を分配することを含む項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目４］
前記基板を加熱する工程は、前記電荷キャリア不純物原子を前記ドーパント源から前記基板の内部に向けてドライブインさせることを含む項目３に記載の太陽電池の製造方法。
［項目５］
前記ドーパント源は、シリコン原子に対するＮ型ドーパント源であり、
前記方法が、
第２の溶液を前記多孔質層の他の１以上の領域に分配し、二重にパターニングされた複合層を提供することを更に含み、前記第２の溶液が、前記基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のＰ型ドーパント源を含み、
前記基板を加熱する工程は、前記電荷キャリア不純物原子を前記Ｐ型ドーパント源から前記基板の内部に向けてドライブインさせる工程を更に備える項目４に記載の太陽電池の製造方法。
［項目６］
前記多孔質層を前記基板の前記表面に形成する工程は、前記複数の空隙のそれぞれが、前記基板の前記表面に前記溶液を受容し、前記溶液の横方向への拡散を制限するのに適した寸法を有するように、前記複数の空隙を形成することを含む項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目７］
前記基板の領域を露出させるべく、前記溶液が分配される前記１以上の領域を除く前記多孔質層の全ての部分をエッチングする工程を更に備え、
前記エッチングする工程は、前記多孔質層と、前記溶液が分配される前記１以上の領域との間のエッチング選択比に基づいて行われる項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目８］
前記溶液を分配する工程は、インクジェット処理を用いることを含む項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目９］
前記溶液の粘度は、略１０センチポアズである項目８に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１０］
前記多孔質層を前記基板の表面に形成する工程は、
前記基板の表面の凹凸と対応した形状を有する多孔質層を形成することを含み、前記多孔質層の厚みは、０．５〜２０ミクロンの範囲とする項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１１］
前記多孔質層が固体であり、
前記多孔質層を形成する工程は、
前記複数の粒子及び溶媒の混合物を供給する工程と、
前記溶媒を蒸発させて、前記混合物から前記多孔質層を提供する工程を含む項目１に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１２］
太陽電池の製造方法であって、
基板の表面に複数の粒子及び複数の空隙を含む多孔質層を形成する工程と、
前記基板に対してドープするべく、電荷キャリア不純物原子のドーパント源を含む溶液を、前記多孔質層の１以上の領域に分配して、パターニングされた複合層を提供する工程と、を備える太陽電池の製造方法。
［項目１３］
前記ドーパント源は、シリコンに対するＮ型ドーパント源であり、
前記方法は、
二重にパターニングされた複合層を提供するべく、前記多孔質層の他の１以上の領域に第２の溶液を分配する工程を更に備え、
前記第２の溶液を分配する工程は、前記基板に対してドープするべき電荷キャリア不純物原子のＰ型ドーパント源を含む第２の溶液を分配することを含む項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１４］
前記溶液を分配する工程及び前記第２の溶液を分配する工程は、前記溶液及び前記第２の溶液の両方を、前記多孔質層を分配するシングルパスで分配することを含む項目１３に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１５］
前記溶液を分配する工程及び前記第２の溶液を分配する工程は、前記多孔質層の第１のパスで前記溶液を分配し、前記多孔質層の前記第１のパスとは異なる第２のパスで前記第２の溶液を分配することを含む項目１３に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１６］
前記多孔質層を前記基板の前記表面に形成する工程は、前記複数の空隙のそれぞれが、前記基板の前記表面に前記溶液を受容し、前記溶液の横方向への拡散を制限するのに適した寸法を有するように、前記複数の空隙を形成することを含む項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１７］
前記基板の領域を露出させるべく、前記溶液が分配される前記１以上の領域を除く前記多孔質層の全ての部分をエッチングする工程を更に備え、
前記エッチングする工程は、前記多孔質層と、前記溶液が分配される前記１以上の領域との間のエッチング選択比に基づいて行われる項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１８］
前記溶液を分配する工程は、インクジェット処理を用いることを含む、
項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目１９］
前記溶液の粘度は、略１０センチポアズである項目１８に記載の太陽電池の製造方法。
［項目２０］
前記多孔質層を前記基板の表面に形成する工程は、
前記基板の表面の凹凸と対応した形状を有する多孔質層を形成することを含み、前記多孔質層の厚みは、０．５〜２０ミクロンの範囲とする項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目２１］
前記多孔質層は固体であり、
前記多孔質層を形成する工程は、
前記複数の粒子及び溶媒の混合物を供給する工程と、
前記溶媒を蒸発させて、前記混合物から前記多孔質層を提供する工程とを含む項目１２に記載の太陽電池の製造方法。
［項目２２］
基板と、
前記基板の表面に設けられた、複数の粒子及び複数の空隙を含む固化した多孔質層とを備える太陽電池。