【手続補正書】
【提出日】平成15年10月29日(2003.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】処理装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を処理するための処理装置において、
二列に並設された複数の処理ユニットと、
一方の列の処理ユニットの上部に配置された洗浄ユニット及び下部に配置された搬入搬出機構と、
上記一方の処理ユニットと隣り合う他方の列の処理ユニットの下部に配置されたスピン処理装置と、
上記洗浄ユニットに未処理の被処理物を供給する第１の受け渡し手段と、
上記洗浄ユニットで洗浄処理された被洗浄物を受けて上記搬入搬出手段に受け渡す第２の受け渡し手段と
を具備したことを特徴とする処理装置。
【請求項２】
一方の列の処理ユニットの下部の一端には上記第１の受け渡し手段によって上記洗浄ユニットに供給される未処理の被処理物を収容したローダ部が設けられ、他方の列の処理ユニットの下部の一端には上記スピン処理装置によって処理されて上記搬入搬出手段によって取り出された被処理物を格納するアンローダ部が上記ローダ部と並んで設けられていることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
上記第１の受け渡し手段と第２の受け渡し手段は、それぞれ上下駆動されるとともに回転駆動されるローラを有するローラユニットを備えていることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項４】
複数のスピン処理装置が直列に設けられていることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項５】
上記第２の受け渡し手段は、上記ローラユニットによって搬送される被処理物に向けて乾燥防止用の液体を供給する液体供給手段と、上記ローラユニットの下面側に設けられ上記液体供給手段から供給された液体を集積するとともに上記ローラユニットと一体的に上下駆動されるドレンパンと、このドレンパンに接続されドレンパンに集積された液体を排出する可動パイプと、この可動パイプがスライド自在に挿入され可動パイプから排出される液体が導入される固定パイプとからなることを特徴とする請求項３記載の処理装置。
【請求項６】
上記洗浄ユニットの搬出側には所定の高さで配置されるとともにその洗浄ユニットから搬出された被処理物を受ける固定式ロ−ラユニットが設けられ、
上記第２の受け渡し手段は、上下方向に駆動されるとともに上昇位置で上記固定式ロ−ラユニットに搬出された被処理物を受けて下降する可動式ロ−ラユニットからなり、
上記可動式ロ−ラユニットが上昇したときに隣り合う上記固定式ロ−ラユニットと可動式ロ−ラユニットとの一側には、各ロ−ラユニットの内方に向かって低く傾斜した傾斜部を有する第１の防水カバ−と第２の防水カバ−とが設けられ、上記可動式ローラユニットに設けられた第２の防水カバ−の傾斜部は、この可動式ローラユニットが上昇したときに上記固定式ロ−ラユニットの防水カバ−の傾斜部の下方に位置することを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項７】
上記搬入搬出手段は、その移動方向に沿って設けられたガイド部と、このガイド部と平行かつ所定の間隔を介して設けられた駆動装置と、上記ガイド部と駆動装置との間に配置されるとともにこれらガイド部と駆動装置とによって走行自在に支持されかつ駆動装置によってその走行方向に沿って駆動されるロボットと、このロボットの走行方向両側に沿って上記ガイド部と駆動装置とを覆う状態で設けられたカバー体とからなることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項８】
上記搬入搬出手段はロボットを有し、このロボットは、複数のリンクを回動自在に連結するとともに先端に被処理物を保持するためのセッタが設けられて伸縮駆動される第１のア−ム体と第２のア−ム体とを備え、
上記第１のア−ム体のセッタは、上記第２のア−ム体のセッタよりも下方に位置するとともに、この第２のア−ム体のセッタにはここに保持された被処理物に向けて液体を噴射するノズル体が設けられていることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項９】
上記他方の列の処理ユニットの上部には上記スピン処理装置に清浄空気を導入するクリーンユニットが設けられ、このクリーンユニットからの清浄空気の一部はガイド体によって上記一方の列の下部に配置された上記搬入搬出機構に導かれることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどの被処理物を複数の処理部によって順次処理する処理装置に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、被処理物を処理するための処理装置において、
二列に並設された複数の処理ユニットと、
一方の列の処理ユニットの上部に配置された洗浄ユニット及び下部に配置された搬入搬出機構と、
上記一方の処理ユニットと隣り合う他方の列の処理ユニットの下部に配置されたスピン処理装置と、
上記洗浄ユニットに未処理の被処理物を供給する第１の受け渡し手段と、
上記洗浄ユニットで洗浄処理された被洗浄物を受けて上記搬入搬出手段に受け渡す第２の受け渡し手段と
を具備したことを特徴とする処理装置にある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
一方の列の処理ユニットの下部の一端には上記第１の受け渡し手段によって上記洗浄ユニットに供給される未処理の被処理物を収容したローダ部が設けられ、他方の列の処理ユニットの下部の一端には上記スピン処理装置によって処理されて上記搬入搬出手段によって取り出された被処理物を格納するアンローダ部が上記ローダ部と並んで設けられていることが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記第１の受け渡し手段と第２の受け渡し手段は、それぞれ上下駆動されるとともに回転駆動されるローラを有するローラユニットを備えていることが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
複数のスピン処理装置が直列に設けられていることが好ましい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記第２の受け渡し手段は、上記ローラユニットによって搬送される被処理物に向けて乾燥防止用の液体を供給する液体供給手段と、上記ローラユニットの下面側に設けられ上記液体供給手段から供給された液体を集積するとともに上記ローラユニットと一体的に上下駆動されるドレンパンと、このドレンパンに接続されドレンパンに集積された液体を排出する可動パイプと、この可動パイプがスライド自在に挿入され可動パイプから排出される液体が導入される固定パイプとからなることが好ましい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記洗浄ユニットの搬出側には所定の高さで配置されるとともにその洗浄ユニットから搬出された被処理物を受ける固定式ロ−ラユニットが設けられ、
上記第２の受け渡し手段は、上下方向に駆動されるとともに上昇位置で上記固定式ロ−ラユニットに搬出された被処理物を受けて下降する可動式ロ−ラユニットからなり、
上記可動式ロ−ラユニットが上昇したときに隣り合う上記固定式ロ−ラユニットと可動式ロ−ラユニットとの一側には、各ロ−ラユニットの内方に向かって低く傾斜した傾斜部を有する第１の防水カバ−と第２の防水カバ−とが設けられ、上記可動式ローラユニットに設けられた第２の防水カバ−の傾斜部は、この可動式ローラユニットが上昇したときに上記固定式ロ−ラユニットの防水カバ−の傾斜部の下方に位置することが好ましい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
上記搬入搬出手段は、その移動方向に沿って設けられたガイド部と、このガイド部と平行かつ所定の間隔を介して設けられた駆動装置と、上記ガイド部と駆動装置との間に配置されるとともにこれらガイド部と駆動装置とによって走行自在に支持されかつ駆動装置によってその走行方向に沿って駆動されるロボットと、このロボットの走行方向両側に沿って上記ガイド部と駆動装置とを覆う状態で設けられたカバー体とからなることが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上記搬入搬出手段はロボットを有し、このロボットは、複数のリンクを回動自在に連結するとともに先端に被処理物を保持するためのセッタが設けられて伸縮駆動される第１のア−ム体と第２のア−ム体とを備え、
上記第１のア−ム体のセッタは、上記第２のア−ム体のセッタよりも下方に位置するとともに、この第２のア−ム体のセッタにはここに保持された被処理物に向けて液体を噴射するノズル体が設けられていることが好ましい。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
上記他方の列の処理ユニットの上部には上記スピン処理装置に清浄空気を導入するクリーンユニットが設けられ、このクリーンユニットからの清浄空気の一部はガイド体によって上記一方の列の下部に配置された上記搬入搬出機構に導かれることが好ましい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
この発明によれば、洗浄ユニットとスピン処理装置とを上下二段に配置したことで、平面的に配置する場合に比べて占有面積を小さくすることができる。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
【発明の効果】
この発明によれば、洗浄ユニットとスピン処理装置とを上下二段に配置したから、複数の処理部を平面的に配置する場合に比べて装置を設置するに要する占有面積を小さくすることができ、それによってたとえばクリーンルーム内のスペースを有効に利用することができる。


【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】削除
【補正の内容】