【事件の表示】
　平成　９年特許願第　９２６３５号「走査型プローブ顕微鏡を用いた加工、記録、再生装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年１０月２３日出願公開、特開平１０−２８３９７２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続きの経緯・本願発明
　
　本願は、平成９年４月１０日の出願であって、その請求項１ないし２４に係る発明は、平成１２年８月８日付けの手続補正書によって補正された明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１ないし２４に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、その請求項１には以下のとおり記載されている（以下、「本願発明」という。）。
　
「【請求項１】 先端に探針を有するプローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、前記圧電振動体によって強制振動させられる水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、プローブを試料表面に接近させる粗動手段と、Ｚ軸微動素子とＺサーボ回路とからなる試料とプローブ間の距離制御手段と、ＸＹ微動素子とＸＹ走査回路とからなる２次元走査手段と、測定信号の３次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置において、
ａ）弾性体のバネ圧で前記プローブを前記水晶振動子に一体として作動するように固定し、前記プローブを水平に振動させると共に前記プローブ先端に働くシアーフォースによる前記プローブの振動振幅の減少を前記水晶振動子によって検出するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置。」
　
　
２．引用刊行物記載の発明
　
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である平成７年４月３日に頒布されたKhaled Karrai、Robert D. Grober，Piezoelectric tip-sample distance  control for near field optical microscopes，APPLIED PHYSICS LETTERS，(USA)，AMERICAN INSTITUTE of PHYSICS，1995，VOLUME66，NUMBER14，p.1842-1844（以下「引用刊行物１」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
（１−１）「Piezoelectric tip-sample distance  control for near field optical microscopes」
（近接場光顕微鏡における圧電素子による先端−試料の間隔制御）（１８４２頁表題）
　
（１−２）「In the present design, we take advantage of the mechanical resonance of a piezoelectric tuning fork with large quality of factor Q. As shown in Fig.1, the optical fiber with its aluminized tapered tip is glued along the side of one of the prongs of a quartz crystal tuning fork. Such tuning forks are commercially available for operation at 32768 Hz(i.e,215). In order to excite the mecanical resonance of the fork, it is rigidly mounted on a ceramic piezoelectric tube serving the purpose of a dither. The tuning fork and the tip are vibrated parallel to the sample surface. Both prongs are piezoelectrically coupled through the contact pads A and B shown in Fig.1. On resonance, the bending amplitude of the prongs is maximum. This in turn generates an oscillating piezoelectric potential propotional to the tip oscillation amplitude. A typical resonance of the piezoelectric signal amplitude is shown in Fig.2. When used for feedback, the fork is driven at resonance. This oscillating signal, picked up between both contacts and measured using a lock-in detection synchrone with the dither frequency, is monitored as the tip approaches normally onto the sample plane. similarly to what happens with optical detection, a reduction of the signal amplitude is measured as the tip is within tens of nm of a sample surface. This change in signal is shown in Fig.3. Such piezoelectric signals can be used in conjunction with an electronic feedback loop for surface topography imaging as demonstrated in Fig.4. In the rest of this letter we will show that this device allows to measure quantitatively the amplitude of the shear force originating from the tip-sample interaction.」
（本設計においては、我々は、高いＱ値のピエゾ音叉振動子の機械的共振特性を利用する。Ｆｉｇ．１に示すように、アルミニウムで被覆されたテーパ先端を有する光ファイバが、水晶音叉振動子の一つのフォークに沿って接着されている。そのような音叉振動子は、３２７６８Ｈｚ（つまり、２１５）で操作するものが市販されている。フォークの機械的共振を引き起こすために、フォークは振動の目的を達成するセラミックの圧電チューブの上にしっかりと固定されている。同調したフォークと先端が試料表面と平行に振動する。両フォークはＦｉｇ．１に示される接触パッドＡとＢを通して圧電的に接続されている。共振時に、フォークの曲げ振幅は最大になる。このことは逆に先端の振動振幅に比例した振動圧電電位を発生する。圧電信号振幅の典型的共振特性がＦｉｇ．２に示されている。フィードバックに使用されるとき、フォークは共振点で駆動される。この振動信号は、両接触パッドから取り出され加振周波数と同期したロックイン検出器を用いて測定され、先端の標準的には試料表面への接近としてモニターされる。光学的検出で起こることと同様に、信号振幅の減少が、先端が試料表面から数十ｎｍ内に入ったとき、測定される。信号の変化がＦｉｇ．３に示されている。そのような圧電信号はＦｉｇ．４に示されるような表面形状イメージングのための電子的フィードバックループに接続されて使用できる。この論文の後半では、この装置が先端と試料の相互作用に基づくシアーフォースの振幅を量的に測ることができることを示す。）（１８４２頁左欄下から６行〜１８４３頁左欄２行）
　
（１−３）「Fig.1.Front and back view of a crystal quartz tuning fork with a 125μm tapered aluminum coated fiber probe glued along one of its prongs. X,Y,and Z are the quartz crystal axis. The dither vibrates the whole device along X. The shaded and dark areas represent both contact pads serving both as pickup for the piezoelectric signal as well as coupling between the two prongs, L=4mm, t=0.6mm, w=0.4mm. The tip protudes 0.8mm out of the prong's end.」
（Ｆｉｇ．１．アルミニウムで被覆されたテーパを有する１２５μｍ の光ファイバプローブが、一つのフォークに沿って接着された水晶音叉振動子の前、後面図。Ｘ，ＹそしてＺは、水晶の結晶軸である。加振器は素子全体をＸ方向に振動させる。斜線部及び黒色部は、圧電信号のピックアップそしてＬ＝４ｍｍ，ｔ＝０．６ｍｍ，ｗ＝０．４ｍｍの二つのフォークのカップリングとして働く接触パッドを表している。ファイバ先端はフォークから０．８ｍｍ 突出している。）（１８４２頁Ｆｉｇ．１の説明）
　
（１−４）「Fig.4. Topography measurement using the on resonance piezoelectric signal as a feedback signal controlling the tip-sample distance at about 5nm above the surface. The sample is a grating of developed photoresist exposed in an laser interference pattern. 1.8×1.2μm image acquired in 200s.」（Ｆｉｇ．４．共振圧電信号を、先端と試料表面の距離を約５ｎｍに制御するフィードバック信号として用いた表面形状計測。試料はレーザー干渉パターンにさらされたフォトレジストの格子である。２００秒で１．８×１．２μｍのイメージが得られた。）（１８４３頁Ｆｉｇ．４の説明）　　　　
　
　
　また、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である平成５年７月２３日に頒布された特開平０５−１８０６１６号公報（以下「引用刊行物２」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
（２−１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微鏡又は原子間力顕微鏡等の表面観察装置や、情報処理装置に使用されるプローブ保持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、実空間で導体表面を原子スケールの分解能で観察できる走査型トンネル顕微鏡（以後ＳＴＭと云う）が開発されている。[G.binning etal.,HelveticaPhysica Acta.,55,726(1982)] 。また、最近、ＳＴＭの実用化が進み国内外の数社からのＳＴＭの販売が開始され、幅広い分野で手軽に使用され始めている。ＳＴＭは真空中のみならず大気中や液体中でも動作し、その応用分野は表面粗さ計測等に始まり、半導体、生体分子、化学反応、超微細加工など広範囲に渡っている。」
　
（２−２）「【００１０】本発明の目的は、ねじのような比較的重い材料を使うことなく、ダイヤモンドのような高硬度のプローブを含め、その他の観察目的に応じた種々のプローブを容易にかつ確実に固定でき、交換も容易に行うがことできるプローブ保持機構を提供することにある。」
　
（２−３）「【００１４】図３はプローブ保持機構の作用説明図である。弾性板ばね１１の押圧部は中間部で塑性変形により曲げ角度θが鋭角になるように折り曲げられている。プローブ１０を固定部材１２と平行にかつ弾性板ばね１１の切欠き１３に、弾性板ばね１１を軽く持ち上げながら矢印のように挿入し、プローブ１０の端部が保持部材１４に当接するまで押し込む。この結果、プローブ１０は弾性板ばね１１により固定部材１２に押圧され、プローブ１０は固定部材１２と切欠き１３の２個所により３点支持され、摩擦力により確実に固定される。」
　
（２−４）「【００１８】図５は第１の実施例に示したプローブ保持機構をＳＴＭに搭載したブロック回路構成図である。ウェットプロセスによるエッチング法を用いて作成され、結晶面が（２１１）、（１００）、（１１０）面で囲まれた形状のＴｉＣ単結晶から成るプローブ１７が、第１の実施例と同様に固定部材１２と弾性板ばね１１との間に挿入され保持されている。プローブ１７を三次元に走査する微動用圧電素子１５は粗動機構２０に取り付けられている。粗動機構２０には粗動制御回路２１の出力が接続されており、粗動制御回路２１は粗動機構２０を制御し、プローブ１７を観察試料２２に接近させる働きを持っている。観察試料２２は試料台２３上に固定されており、バイアス電源２４が接続されている。プローブ１７の出力は電流電圧変換器２５、対数変換器２６、比較器２７、積分器２８を介して増幅器２９とマイクロコンピュータ３０に接続され、増幅器２９の出力は微動圧電素子１５に接続されている。また、三次元走査回路３１の出力は微動用圧電素子１５とマイクロコンピュータ３０に接続され、マイクロコンピュータ３０の出力は表示装置３２に接続されている。」
　
（２−５）「【００２２】基板電極３９とプローブ４１には記録層４０に電圧を印加するための電源４３が接続され、電源４３に接続しているマイクロコンピュータ４４によって、記録／消去時には記録／消去用のパルス電圧を発生し、再生時には情報再生用の一定電圧を発生するようになっている。マイクロコンピュータ４４の出力はまたＸＹ走査駆動回路４５を介して微動制御機構４２のＸＹ方向駆動用の圧電素子に接続されており、更にサーボ回路４６を介して微動制御機構４２のＺ方向駆動用の圧電素子に接続されている。基板電極３９とプローブ４１にはプローブ電流増幅器４７も接続され、プローブ４１から基板電極３９に流れるトンネル電流を検出かつ増幅し、サーボ回路４６とマイクロコンピュータ４４に伝達する。また、マイクロコンピュータ４４には粗動機構３６を駆動するＺ方向粗動回路４８と、再生情報の表示等を行う表示手段４９も接続されている。」
　
（２−６）「【００３６】以上説明したように半発明に係るプローブ保持機構は、プローブの保持のために自由端に切欠きを有する弾性板ばねを使用しているので、観察目的に応じた種々のプローブを容易かつ確実に固定でき交換も容易に行うことができ、また表面観察装置や情報処理装置に適用した場合に、観察目的に応じた種々のプローブが使用可能となり、装置性能を向上させることができる。」
　
　さらに、原査定の拒絶の理由に引用された、本願の出願の日前である平成６年１０月２８日に頒布された特開平０６−３００５１５号公報（以下「引用刊行物３」という。）には、次の事項が図面とともに記載されている。
　
（３−１）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、原子間力顕微鏡を代表とする走査プローブ顕微鏡等に用いる走査プローブ顕微鏡用プローブと微細加工装置に関するものである。」（段落番号【０００１】）
　
（３−２）「【００１１】図３に示すように、このプローブ３１を板バネ３２でＡＦＭボディー３３に取り付けた。このとき板バネ３２の強さを調節し、プローブ内部の導電性の部分と導通がとれるようにした。ＡＦＭボデイー３３はステンレスでできており、接地電位とした。試料３４は絶縁スペーサ３５を介して３次元微動機構３６に固定されている。また試料３４はパルス発生器３７に電気的に接続されている。ＨＯＰＧを試料にして、微細加工を行った。まず、探針と試料を接地電位にした状態で１×10-9Ｎの定斥力モードでＨＯＰＧ（高配向性グラファイト）の50nm×50nmの領域をＡＦＭ観察した。この領域では表面粗さが非常に小さく、1nm以下であった。観察後、視野の中心に探針を移動させ、探針を接地電位にした状態で、試料側に4.0V、20μsec の方形波パルスを印加した。この後、試料を接地電位に戻して再びＡＦＭ観察を行ったところ、視野の中心に直径5nm、深さ0.6nm のピットが形成されていることを確認した。この方法で50nm×50nmの領域に10nmピッチで16個のピットを形成したが、要した時間は１秒以内で、ＳＴＭのそれに比べ1/10以下で行うことができた。またピットではなく、数ｎｍ以下の高さの盛り上がり（マウンド）が形成されることもあった。」（段落番号【００１１】）
　
　
３．対比
　
　本願発明と引用刊行物１記載の発明とを対比する。
（ア）引用刊行物１記載の発明における「テーパ先端」、「光ファイバプローブ」及び「水晶音叉振動子」は、それぞれ本願発明における「探針」、「プローブ」及び「水晶振動子」に相当するものである。
（イ）引用刊行物１には、水晶音叉振動子に振動を引き起こすためにセラミックの圧電チューブを用いることが記載されており、該「圧電チューブ」は、本願発明における「圧電振動体」に相当するものである。そして、引用刊行物１には、交流圧電発生手段についての記載はないが、引用刊行物１記載の発明が、かかる圧電チューブを用いている以上、交流圧電発生手段を有していることは自明のことである。
（ウ）引用刊行物１には、水晶音叉振動子のフォークの振動振幅をロックイン検出器を用いて測定することが記載されており、該「ロックイン検出器」は、本願発明における「振動検出部」に相当するものである。そして、引用刊行物１には、電流電圧増幅回路についての記載はないが、水晶音叉振動子からの信号は微弱なものであるということを考えると、引用刊行物１記載の発明は、電流電圧増幅回路と実質的に同じ機能を有する回路を具備していると認められる。
（エ）引用刊行物１には、近接場光顕微鏡における、先端−試料の間隔制御が記載されており、近接場光による試料表面の観察においては、近接場光の先端局在が破壊されるまで、先端を試料表面に近接させる必要があること、具体的には、ＦＩＧ．４に示されているように、先端−試料の間隔を５ｎｍまで近づけこの間隔を維持しつつ表面観察が行われるから、本願発明における「距離制御手段」に相当する、引用刊行物１記載の発明における「距離フィードバック制御手段」がＺ軸微動素子を有することは自明のことである。さらに、ＦＩＧ．４には、Ｘ、Ｙ２次元の表面形状計測結果が示されており、「２００秒で１．８×１．２μｍのイメージが得られた。」との記載があるから、引用刊行物１記載の発明が「ＸＹ微動素子とＸＹ走査回路とからなる２次元走査手段」を有することも自明のことである。
（オ）引用刊行物１には、圧電制御信号を先端−表面間を約５ｎｍに制御するためにフィードバック信号として用いて３次元表面像を測定する技術が記載されているから、引用刊行物１に記載の発明が、「測定信号の３次元画像化を行うデータ処理手段」を有していることは自明である。
（カ）引用刊行物１には、「同調したフォークと先端が試料表面と平行に振動する。」、「このことは逆に先端の振動振幅に比例した振動圧電電圧を発生する。」、「信号振幅の減少が、先端が試料表面から数十ｎｍ内に入ったとき、測定される。」、「この装置が先端と試料の相互作用に基づくシアーフォースの振幅を量的に測ることができることを示す。」と記載されているから、引用刊行物１に記載の発明は、光ファイバプローブ（プローブに相当。）を水平に振動させると共に前記光ファイバプローブ（プローブに相当。）先端に働くシアーフォースによる前記光ファイバプローブ（プローブに相当。）の信号振幅の減少（振動振幅の減少に相当。）を前記水晶音叉振動子（水晶振動子に相当。）によって検出するようにしていると、認めることができる。
　
　なお、本願明細書段落【０００３】に「プローブの変異検出に水晶振動子を用いる走査型プローブ顕微鏡としては、例えば、カレド・カライ等により、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６６（１４）、１９９５、１８４２〜１８４４ページに開示されている。」と記載されているとおり、引用刊行物１は、本願明細書において、水晶振動子を用いる走査型プローブ顕微鏡に関する従来技術として引用している刊行物である。そして、本願の図面の図３には、引用刊行物１に記載されたと同じ図面が記載されているとともに、同段落【０００５】には、「図３は従来の「水晶振動子を用いる走査型プローブ顕微鏡」の主要部の概略図である。４００は光ファイバープローブ、４１０は水晶振動子である。光ファイバープローブを水晶振動子に接着する。水晶振動子を振動用ピエゾ素子（図では省略）で共振させる。水晶振動子の振動により、光ファイバープローブは振動する。プローブの先端が試料に接近すると、プローブ先端には試料表面からの水平方向の力すなわちシアーフォースが働き、水晶振動子の振動状態が変化する。水晶の圧電効果による発生電荷を測定することで、水晶振動子の振動状態を測定する。シアーフォースを一定に保持するように、すなわち、水晶振動子の出力の振幅変化または位相変化を一定に保持するようにピエゾ圧電スキャナー（図では省略）を用いて、試料表面とプローブ先端の距離を制御する。試料からの距離に応じてシアーフォースが急激に減衰することを利用して、試料表面とプローブ先端との距離をナノメーターのオーダーで一定に制御できる。ＸＹＺ微動素子（図では省略）を用いて、試料表面をラスター走査する。このようにして、試料の表面形状がナノメーターのオーダーで測定できる。この状態で、プローブ先端より電界、磁界、電流、光、熱、圧力等を試料表面に印加することにより、試料表面を加工することができる。また、試料移動手段を用いて試料表面上に加工分布を形成することで情報の記録が可能であり、また形成された加工情報を試料移動手段を用いて順次測定することにより情報の再生が可能である。」と記載されており、これらの記載からみても、上記（ア）ないし（カ）に誤りがないことは明らかである。
　
　以上の（ア）ないし（カ）のことから、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
　
【一致点】
「先端に探針を有するプローブと、圧電振動体と交流電圧発生手段からなる加振部と、前記圧電振動体によって強制振動させられる水晶振動子と電流電圧増幅回路からなる振動検出部と、Ｚ軸微動素子からなる試料とプローブ間の距離制御手段と、ＸＹ微動素子とＸＹ走査回路とからなる２次元走査手段と、測定信号の３次元画像化を行うデータ処理手段とからなる走査型プローブ顕微鏡において、
ａ）前記プローブを前記水晶振動子に一体として作動するように固定し、前記プローブを水平に振動させると共に前記プローブ先端に働くシアーフォースによる前記プローブの振動振幅の減少を前記水晶振動子によって検出するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。」
　
で一致し、
　
【相違点１】
　本願発明は、プローブを試料表面に接近させる粗動手段を有しているのに対して、
引用刊行物記載の発明は、それを有していない点、
　
【相違点２】
　本願発明は、試料とプローブ間の距離制御手段がＺサーボ回路を有しているのに対して、
引用刊行物記載の発明は、試料と光ファイバプローブ間の距離フィードバック制御手段がどのような回路を有しているか不明である点、
　
【相違点３】
　本願発明は、プローブの水晶振動子への固定を、弾性体のバネ圧でおこなっているのに対して、
引用刊行物記載の発明は、それを、接着によっておこなっている点、
　
【相違点４】
　本願発明は、走査型プローブ顕微鏡を用いた加工装置であるのに対して、
引用刊行物記載の発明は、単なる近接場光顕微鏡である点、
　
で相違する。
　
　
４．相違点についての判断　
　
（１）相違点１について
　引用刊行物２の【００１８】に、「粗動機構２０には粗動制御回路２１の出力が接続されており、粗動制御回路２１は粗動機構２０を制御し、プローブ１７を観察試料２２に接近させる働きを持っている。」と記載されているように、走査型プローブ顕微鏡にプローブを試料表面に接近させる粗動手段を設けることは周知であるから、引用刊行物１記載の発明である近接場光顕微鏡に、光ファイバプローブを試料表面に接近させる粗動手段を設けることは、当業者が、格別な創意を要することなく容易になし得ることである。
　
（２）相違点２について
　引用刊行物２の【００２２】に、「更にサーボ回路４６を介して微動制御機構４２のＺ方向駆動用の圧電素子に接続されている。」と記載されているように、試料とプローブ間の距離制御手段にＺサーボ回路を設けることは周知であるから、引用刊行物１記載の発明の距離フィードバック制御手段にＺサーボ回路を設けることは、当業者が、格別な創意を要することなく容易になし得ることである。
　
（３）相違点３について
（ａ）引用刊行物２には、走査型トンネル顕微鏡又は原子間力顕微鏡等に使用されるプローブ保持機構に関する発明が記載されており（摘記事項（２−１）参照）、プローブ１０を固定部材１２に弾性体のバネ圧を利用して固定すること（摘記事項（２−３）参照）、及びそれによりプローブを容易にかつ確実に固定でき、交換も容易に行うことができること（摘記事項（２−２）、（２−６））が記載されている。
　また、引用刊行物３には、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を代表とする走査型プローブ顕微鏡等に用いる走査プローブ顕微鏡用プローブに関する発明が記載されており（摘記事項（３−１）参照）、プロ−ブ３１をＡＦＭ（原子間力顕微鏡）ボディー３３に弾性体のバネ圧を利用して固定すること（摘記事項（３−２）参照）が記載されている。
　このように、走査型顕微鏡において、プローブを固定するために弾性体のバネ圧を利用するという技術思想は、本願の出願前に既に公知である。ここで、引用刊行物２におけるプローブが固定されるのは固定部材であり、引用刊行物３におけるプローブが固定されるのはＡＦＭボディーであるから、本願発明のプローブが固定される「水晶振動子」とは異なる。
　しかしながら、光ファイバプローブを水晶音叉振動子に固定することは、引用刊行物１に記載されており、しかも、プローブを固定するために弾性体のバネ圧を利用するという技術思想は、引用刊行物２記載の固定部材や引用刊行物３記載のＡＦＭボディーにしか適用できないものではなく、水晶振動子にも適用できる汎用性のあるものであることは明白であるから、かかる技術思想を、走査型顕微鏡の一種である、引用刊行物１記載の発明である近接場光顕微鏡に適用して、弾性体のバネ圧で光ファイバプローブを水晶音叉振動子固定することは、当業者が、格別な創意を要することなく容易になし得ることである。
　
（ｂ）請求人は、審判請求書において、相違点３が容易でないとする根拠として、以下のように主張している。
　“本願発明の構成によれば、プローブを水晶振動子に弾性体を用いてそのバネ圧で固定するようにしたので、固定位置を任意に調節、修正できるほか、接着固定のように接着剤の量や塗り方の影響等の要因が全くなく、振動特性が安定し、プローブの交換も簡単に行うことができる。このため、本願発明によれば、従来技術における上記問題を一挙に解決し、その使い勝手を飛躍的に向上させることができるという格別の効果が得られるもので、その技術的意義は極めて大きいものである。”
　“水晶振動子が圧電振動体によって強制振動させられるようにすると共に、弾性体のバネ圧でプローブを水晶振動子に一体として作動するように固定し、プローブを水平に振動させると共にプローブ先端に働くシアーフォースによるプローブの振動振幅の減少を水晶振動子によって検出するという技術的思想はいずれの引用文献にも示唆、開示されていない。
　すなわち、引用文献２（本審決における引用刊行物３）は、プローブ３１を板ばね３２でステンレス製のＡＦＭボディ３３に取り付けてそのばね力の調整で所要の導電性を確保するようにしたものである。一方、引用文献３（本審決における引用刊行物２）はトンネル電流検出用のプローブを弾性ばねによって板状の固定部材に押圧固定しこれによりプローブの交換を容易にした構成を開示している。
　このように、引用文献２はプローブの取付構成に関するものであって目的が全く異なっており、プローブの振動振幅の検出のための検出素子である水晶振動子とプローブとを一体に作動させ、且つ水晶振動子の再利用を図るという構想を当業者に容易に想起せしめる一切の記載がないことは明白である。
　一方、引用文献３はプローブの交換を容易にするための板ばねによる固定を開示しており、対象がプローブという点でのみ共通性を有しているが、引用文献３は、目的とする部材を板ばねを用いて挟持させることにより交換の容易性を図るという技術的思想の域を出るものは何も開示がなく、本願発明の狙いとする、接着による場合の問題点の解決、接着の変動によるデータの変動の問題、再現性の問題、接着による取付の困難性、コストアップの問題等（０００７段落の記載）、プローブを水晶振動子に取付ける場合に生じる特有の問題を解決することについて示唆、開示する記載は一切ない。単に交換容易性のために板ばねを利用したという一般的構成を開示しているにすぎないものである。
　よって、板ばねによる一般的な取付構成についてしか開示されていない引用文献３の開示内容から、本願発明の上述の構想が当業者によって容易に推考しえたものでないことは自明である。”
　
（ｃ）しかしながら、請求人の主張するとおり、引用刊行物２記載の発明は、弾性体のばね圧を用いて固定することにより、プローブの交換の容易性を図るという技術的思想の域を出るものではないが、接着剤による固定は交換が可能でなくコストアップを招くことは技術常識であるから、当業者であれば、プローブの交換の容易性を目的として、引用刊行物１記載の発明における接着剤による固定方法に代えて、引用刊行物２、３記載の弾性体のバネ圧による固定手段を採用することは、何ら困難性もなく、当然に採用し得ることにすぎない。
　そして、引用刊行物２あるいは３には、接着による場合の問題点の解決、接着の変動によるデータの変動の問題、再現性の問題、接着による取付の困難性、コストアップの問題等については、何ら記載されていないが、これらの作用効果については、前述のとおり固定手段として当業者であれば容易に採用しうる、「弾性体のバネ圧による」という固定手段を採用した結果もたらされるものであり、このような作用効果を有するとしても、弾性体のバネ圧による固定手段を採用することの容易性を左右するものではない。
　
（４）相違点４について
引用刊行物２の【０００２】には、ＳＴＭが超微細加工に応用されることが、引用刊行物３の【０００１】及び【００１１】には、原子間力顕微鏡を代表とする走査プローブ顕微鏡等を微細加工装置として使用することが、記載されており、走査プローブ顕微鏡の一種である刊行物１記載の近接場光顕微鏡を、加工装置として用いることに困難性は認められない。
　なお、本願の出願の日前である平成５年１２月２４日に頒布された特開平０５−３４１１００号公報に、
「【００２５】従来、トンネル電子を利用した走査トンネル電子顕微鏡のプローブにより、結晶基板上で原子を移動させたり、原子を除去する試みが報告されているが、対象となる原子の種類が不活性気体原子などに限られているが、本発明によれば対象とする原子の共鳴遷移周波数値に同調する光を用いることによって種々の原子の運動を制御することができる。特に半導体素子工学分野において重要なシリコンなどの原子の運動も制御することができる。」、
「【００２８】
【発明の効果】上述した本発明によれば、光ファイバプローブの先端を先鋭化してエバネッセント光を滲出させ、このエバネッセント光のきわめて微小な存在空間内に原子を捕獲し、その運動を制御するようにしたため、１個または少数個の中性原子の運動を制御することができ、原子に対するピンセットのような道具を提供することができ、これを用いてシリコンなどの半導体素子工学の分野において重要な原子の単原子結晶成長を行うことができるだけではなく、局所的かつ選択的なレーザトリミングなど極微細加工など従来不可能であった極微空間に局在する原子の運動を制御することができるようになった。」
と、近接場光顕微鏡を加工装置として用いることが記載されている。
　
（５）相違点についてのまとめ
　以上のとおり、相違点１ないし４のいずれも、引用刊行物１ないし３に記載された発明、あるいはさらに当該技術分野における周知技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　しかも、相違点１ないし４が相俟って、当業者が予期し得ない格別な相乗的な効果を奏しているとも認められない。
　
　
５．むすび
　
　したがって、本願発明は、引用刊行物１ないし３に記載された発明及び当該技術分野における周知技術に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　そして、本願発明が特許を受けることができないものであるから、本願請求項２〜２４に係る発明について審理するまでもなく、本願は拒絶をすべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。