【事件の表示】
　平成４年特許願第２６６２６９号「異物検査方法及び半導体装置の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成６年４月２８日出願公開、特開平６−１１８０１０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成４年１０月５日の出願であって、その請求項１ないし３に係る発明は、平成１１年９月２７日付、及び平成１３年９月２７日付手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載されたとおりのものであるところ、そのうち請求項１に係る発明は請求項１に記載された次のとおりのものである
「【請求項１】  マスク又はレチクルの上方に付着した異物のサイズを検出する異物検査方法であって、前記マスク又はレチクルにペリクルフレームが備えられているか否かを検出する第１工程と、前記第１工程においてペリクルフレームを検出した場合に、前記ペリクルフレームに記録されたペリクル膜種の情報を読み取り、前記情報に基づく所定の演算を行って異物サイズを検出する第２工程と、を備えることを特徴とする異物検査方法。」
　
２．引用刊行物
　原査定の拒絶の理由に引用された刊行物１：実願平２−４０１９４２号（実開平４−９０９５０号）のマイクロフィルム、刊行物２：特開昭６３−２０８７４６号公報、および刊行物３：特開平４−１９９６５２号公報には、それぞれ以下の事項が記載されている。
(1）刊行物１
(1a）「本考案は、基板上に存在する異物を検出する異物検査装置に関し、特に半導体集積回路の製造に用いられる回路パターン転写用のレチクルやマスク（以下、レチクルと総称する）を環境中の微小なゴミから保護する目的で装着されるペリクル（光透過性高分子薄膜）をレチクルと一体に設けた状態でのレチクル面、又はペリクル面を検査する装置に関するものである。」（段落【０００１】）
(1b）「第２の問題点としては、ペリクルの膜自身の光学的特性は膜の種類によって異なるため、ペリクル付レチクルのレチクル面上の異物検査を行う場合に異物検出感度がその都度変わってしまうということが挙げられる。・・・。従って、ペリクル付レチクルのレチクル面上の異物検査の場合においては、光ビームがペリクルを透過してレチクル面に達するときと、光ビーム照射により発生する異物散乱光がペリクルを透過して受光素子に入射するときの計２回にわたってペリクル透過率の影響を受けるため、レチクル面異物検出感度がペリクルの透過率により変化するという現象が生じる。」（段落【０００６】）
(1c）「【課題を解決するための手段】上記問題点解決のために本考案では、支持部材（２）を介して被検査基板（４）とほぼ平行に光透過性の薄膜（１）が設けられ、光ビームを薄膜（１）の表面、若しくは薄膜（１）を介して被検査基板（４）の表面に照射し、薄膜（１）の表面、若しくは被検査基板（４）の表面の少なくとも一方で生じる光情報（８）を光電検出することによって表面上に存在する異物（７）を検出する装置において、検査すべき表面の最大領域に関する情報、及び薄膜（１）に関する情報のうち少なくとも一方を記録する記録手段（３）が支持部材（２）、若しくは支持部材（２）と一体となる部材上に設けられ、記録手段（３）から情報を検出する情報検出手段（５）と、　情報検出手段（５）によって得られた情報に基づいて、最大領域、若しくは薄膜（１）のうち少なくとも一方に関する検査条件を設定するとともに、光電検出された光情報（８）を検査条件に基づいて補正する処理手段（６）とを備え、　処理手段（６）によって補正された光情報（８）に基づいて異物（７）を検出することとした。」（段落【０００７】）
(1d）「第２図は、本法案の実施例による異物検査装置の概略的な構成を示す図である。ペリクル１はフレーム２を介してレチクル４に張設されている。ペリクルフレーム２上には、第１図に示すようにペリクル１の光学特性に関する情報等がバーコード３の形で設けられている。ここで、バーコード３について第１図を参照して説明する。【００１０】第１図は、本考案の実施例による異物検査装置に用いられるペリクル付レチクルの情報記録部の設置状態を示す略図である。ペリクル１が張設されたペリクルフレーム２の側面にバーコード３の形でペリクルに関する情報が設けられている。情報の内容としては、ペリクルフレーム２の外形寸法（縦×横、高さ、フレームの肉厚等）やペリクル１の光学特性、即ち異物検査装置の光学的条件（光ビームの波長、入射角、受光角）のもとでのペリクルの透過率や反射率等がある。」（段落【０００９】〜【００１０】）
(1e）「本考案の実施例による異物検査装置は、第２図に示すような異物検査装置に対し、読み取り可能な情報（バーコード）をペリクルフレームの一部に設けたペリクル及びペリクル付レチクルを検査対象とするとともに、装置側にこの情報を読み取る検出部（バーコードリーダー）を設ける。さらに、読み取られた情報を装置側にフィードバックすることによって異物検査を制御する構成としてある。」（段落【００１２】）
(1f）「次に、本考案の実施例による異物検査装置の制御について第２図、及び第４図（ａ）に示すブロック図を用いて説明する。第４図（ａ）は、本考案の実施例による異物検査装置の制御を示すブロック図である。第２図に示すような異物検査装置内に設定されたペリクルフレーム２をモータ１０等でＹ方向に移動し、バーコード３の情報をバーコードリーダー５によって検出する。検出された情報は処理回路６に入力し、検出された情報のうちペリクルフレームの寸法情報からは最大検査領域を、またペリクルの光学特性情報からはレチクル面の異物検査感度の補正を行う。」（段落【００１３】）
(1g）「尚、ペリクル付レチクルのレチクル面の検査感度の具体的な補正方法については、既に特開昭６３−２０８７４６号公報に開示されているが、本考案はバーコード３の付いたペリクルフレーム２とバーコードリーダー５を付加することにより、より簡便な構成で、且つ自動的に検査条件の設定を行うことができる。また、バーコード３には最大検査領域の値（縦×横）とレチクル面感度補正の値に関する情報を直接書き込んでおき、これを読み取ることでそのまま異物検査条件として設定するような構成としてもよい。【００１６】さらに感度補正については、汎用性の高いペリクルについて事前に１つ１つのペリクルに対するレチクル面感度補正の値を測定し、そのデータをペリクルの種類と補正値で１対１に対応させて処理回路６に格納しておき、バーコード３にはペリクルの種類に関する情報のみを書き込んでおくこともできる。」（段落【００１５】〜【００１６】）
(1h）「また、バーコードリーダー５等の検出手段は、異物検査装置内に設置しなくとも例えば異物検査装置を組み込んだ露光装置等ではペリクル付レチクルを搬送する経路の途中に設置してもよい。」（段落【００１９】）
が、それぞれ図面と共に記載されている。
　上記記載では、装置の動作または処理の手順等も記載されており、異物検査方法として把握することができるから、これらの記載から
「マスク又はレチクルの上方に付着した異物を検出する異物検査方法であって、ペリクル付きレチクルのペリクルフレームに設けられたペリクルに関する情報を読み取り、前記情報に基づく所定の演算を行って異物を検出する工程、を備える異物検査方法。」が把握される。
　
(2）刊行物２
(2a）「本発明は半導体素子の製造に使われるマスクやレチクルに存在する欠点、特にマスクやレチクルに付着した異物を検出する装置に関し、」（第２頁左上欄1〜3行）
(2b）「このため、ペリクルの付いていないレチクルと、ペリクル付きのレチクルとでは、例え同位置に同程度の異物が付着していても、異物の検出感度が異なってしまうといった不都合が生じることになる。」（第2頁左下欄6〜10行）
(2c）「そこで本発明では、被検査基板（レチクルやマスク等）とほぼ平行に設けられる光透過性基板（ペリクル又は保護ガラス板）の光透過率又は反射率、具体的には透過率又は反射率の光線（レーザ光又は散乱光）の入射角変化に依存した変化特性を入力する入力手段、例えば予め算出、又は実験により求めた透過率の変化特性に関する情報を記憶するメモリ、あるいは実測する測定部を設ける。そして、レーザ光をペリクルを介してレチクルに入射するか、異物からの散乱光をペリクルを介して光電検出する場合には、光電検出された異物の情報（電気信号又はソフトウェア上の数値データ）を透過率の変化特性によって補正する補正手段を設けるようにした。」（第2頁左下欄12行〜右下欄5行）
(2d）「従って検査にあたって、ペリクル付きレチクルか否かのみを指定すれば、その両者に対してほぼ同一の検出感度で異物の付着の有無、異物の大きさ、あるいは付着状況を自動的に検査することができる。」（第2頁右下欄17行〜3頁左上欄1行）)
　
(3）刊行物３
「ペリクルを装着したフォトマスク面上の異物へ、前記ペリクルを通して異物検出光を照射し、前記異物で散乱して再度前記ペリクルを通過した散乱光の強度を測定し、あらかじめ実験で得られた標準ペリクル使用時の異物径と、それに対応した散乱光強度との関係から前記異物径を判定する異物検査装置において、前記異物検出光に対する透過率が、前記標準ペリクルと異なる任意のペリクルについて、前記標準ペリクルに対する透過率の比を記憶し、異物径を判定する際の補正値として用いることを特徴とする異物検査装置。」（特許請求の範囲）
　
３．対比・判断
　そこで本願請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）と刊行物１に記載の発明（以下、「引用発明」という。）とを対比すると、引用発明における「ペリクルに関する情報」が、本願発明における「ペリクル膜腫の情報」、に相当するから、両者は、
「マスク又はレチクルの上方に付着した異物を検出する異物検査方法であって、
ペリクルフレームに記録されたペリクル膜種の情報を読み取り、前記情報に基づく所定の演算を行って異物を検出する工程を備える異物検査方法。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
相違点ａ：　本願発明は、マスク又はレチクルにペリクルフレームが備えられているか否かを検出する第１工程を備えるのに対し、引用発明は、前記第１工程に関しては明記されていない点。
相違点ｂ：　本願発明が、異物のサイズを検出するものであるのに対し、引用発明は、異物検査に関するものであって、異物のサイズを検出する点に関しては明記されていない点。
　
　そこで、上記相違点について検討する。
相違点ａについて、
(1）引用発明においては、ペリクルフレームに付けられたバーコードを読み取って、読み取った情報で異物検査条件を設定して異物検査を行っている（摘記事項(1e)〜(1g)）。また、ペリクル枠のバーコードの読み取り位置をペリクル付レチクルを搬送する経路の途中に設置してもよいことが記載されている（摘記事項(1h)）。
　してみると、搬送経路の途中に設置したバーコードリーダーでペリクル付きレチクルのバーコードを読み取れなかった場合には、そのレチクルをエラーとして別経路に排出するか、あるいはペリクルなしのレチクルとしてペリクルに対する補正なしの条件設定で異物検査を行う等の処理を行わせること、すなわち、レチクルにペリクルフレームが備えられているか否かを検出する工程を設けること、は当業者が適宜採用できる単なる設計変更にすぎない。
(2）別の観点からいえば、引用発明がペリクル付きのレチクルを対象としていることから、引用発明において供給されるレチクルとしては、予めペリクル付きのレチクルが選択されているとすれば、引用発明においてレチクルが供給される時点で、レチクルにペリクルフレームが備えられているか否かが検出されているものと理解されるから、レチクルにペリクルフレームが備えられているか否かを検出する工程を引用発明に含ませて、引用発明を本願発明の上記相違点ａに係る構成を備えたものとすることは適宜なし得たことにすぎない。
(3）刊行物２には、ペリクルの付いていないレチクルと、ペリクル付きのレチクルとでは、例え同位置に同程度の異物が付着していても、異物の検出感度が異なってしまうといった不都合が生じることを解決課題として(摘記事項(2b))、ペリクル付きレチクルか否かのみを指定すれば、その両者に対してほぼ同一の検出感度で異物の付着の有無、異物の大きさ、あるいは付着状況を自動的に検査することができること（摘記事項(2d)）が記載されている。
　そして、刊行物２は、刊行物１の記載中で先行技術として引用されたものであるから、引用発明に刊行物２に記載の発明を用いた場合において、バーコードの検出出力の有無によって、ペリクル付きのレチクルが否かの指定をするようにすることは当業者が容易になし得たことである。
(4）以上の(1）〜(3）のいずれの理由によっても上記相違点ａは当業者が容易になし得た程度のことにすぎない。
　
相違点ｂについて、
　刊行物２は、刊行物１の記載中で先行技術を示す文献として引用された刊行物であって、ペリクル付きのレチクルにおいてもペリクルなしのレチクルとほぼ同一の検出感度で異物の付着の有無、異物の大きさ、あるいは付着状況を自動的に検査することができる旨記載されている。また、刊行物３にもペリクルを装着したフォトマスク面上の異物の径を判定することが記載されている。よって、引用発明に刊行物２または３に記載の発明を適用して異物の大きさを検査するようにすることは当業者が容易になし得たことである。
　
　以上述べたとおり、上記相違点ａおよびｂはいずれも当業者が容易になし得た程度のことにすぎない。
　そして、本願発明によって得られる明細書記載の効果も、刊行物１ないし３から容易に予測される程度のものにすぎない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願発明は、刊行物１ないし３に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。