【手続補正書】
【提出日】平成24年3月28日(2012.3.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動ガスと熱的に接触する蓄冷材を備える極低温冷凍機であって、
少なくとも１つの冷却段において、前記蓄冷材が、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金または錫−ガリウム合金を含む、極低温冷凍機。
【請求項２】
請求項１において、前記作動ガスがヘリウムである極低温冷凍機。
【請求項３】
請求項１において、前記極低温冷凍機がギフォード−マクマホン方式冷凍機、パルス管方式冷凍機およびスターリング方式冷凍機からなるグループから選択される極低温冷凍機。
【請求項４】
請求項１において、前記冷凍機によって冷却されてガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルを有するクライオポンプを含む極低温冷凍機。
【請求項５】
請求項１において、前記少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有する極低温冷凍機。
【請求項６】
請求項５において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含む極低温冷凍機。
【請求項７】
請求項５において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含む極低温冷凍機。
【請求項８】
請求項５において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含む極低温冷凍機。
【請求項９】
請求項１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最低でも０．５重量％のアンチモンが含まれる極低温冷凍機。
【請求項１０】
請求項１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金が球状の錫−アンチモン合金の粒子を有する極低温冷凍機。
【請求項１１】
請求項１において、前記少なくとも１つの冷却段が、さらに、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有する極低温冷凍機。
【請求項１２】
請求項１１において、前記コールドステーションが、銅で構成されている極低温冷凍機。
【請求項１３】
請求項１において、前記蓄冷材が、一般公式Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍで表される３成分合金であって、さらなる元素であるＭは、Ｂｉ，Ａｇ，Ｇｅ，Ｃｕ，Ｌａ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｄ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｋ，Ｒｈ，Ｓｍ，Ｓｅ，Ｓ，Ｙ，Ｆｅ，Ｉｎ，Ａｌ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｃｄ，Ｔｉ，Ａｕ，Ｐ，Ｐｒ，ＹｂおよびＺｎで構成されたグループから選択される少なくとも１種の元素である極低温冷凍機。
【請求項１４】
請求項１３において、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、０．０１重量％から４０重量％のＭ、０．１重量％から４３重量％のＳｂ、および５０重量％から９９．５重量％のＳｎで構成される極低温冷凍機。
【請求項１５】
請求項１において、前記Ｓｎ−Ｇａ合金に最大で３．９重量％のガリウムが含まれる極低温冷凍機。
【請求項１６】
請求項５において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含む極低温冷凍機。
【請求項１７】
請求項５において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含む極低温冷凍機。
【請求項１８】
請求項５において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含む極低温冷凍機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】極低温冷凍機
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
［均等物］
本発明を、実施形態に基づいて詳細に図示かつ説明したが、当業者であれば本発明の範囲を逸脱することなく形態や細部に対して様々な変更が可能であり、そのような変更は、添付の特許請求の範囲に包含される。上記の実施形態はつぎの態様１〜１２８を含む。
［態様１］
作動ガスと熱的に接触する蓄冷材を備える極低温冷凍機であって、
少なくとも１つの冷却段において、前記蓄冷材が、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む、極低温冷凍機。
［態様２］
態様１において、前記極低温冷凍機がギフォード−マクマホン方式である極低温冷凍機。
［態様３］
態様１において、前記極低温冷凍機がパルス管方式である極低温冷凍機。
［態様４］
態様１において、前記極低温冷凍機がスターリング方式である極低温冷凍機。
［態様５］
態様１において、前記作動ガスがヘリウムである極低温冷凍機。
［態様６］
態様１において、前記少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有する極低温冷凍機。
［態様７］
態様６において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含む極低温冷凍機。
［態様８］
態様６において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含む極低温冷凍機。
［態様９］
態様６において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含む極低温冷凍機。
［態様１０］
態様１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で４３重量％のアンチモンが含まれる極低温冷凍機。
［態様１１］
態様１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で９．６重量％のアンチモンが含まれる極低温冷凍機。
［態様１２］
態様１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で６．７重量％のアンチモンが含まれる極低温冷凍機。
［態様１３］
態様１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最低でも０．５重量％のアンチモンが含まれる極低温冷凍機。
［態様１４］
態様１において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金が球状の錫−アンチモン合金の粒子を有する極低温冷凍機。
［態様１５］
態様１４において、前記球状の前記錫−アンチモン合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍである極低温冷凍機。
［態様１６］
態様１において、前記少なくとも１つの冷却段が、さらに、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有する極低温冷凍機。
［態様１７］
態様１６において、前記コールドステーションが、銅で構成されている極低温冷凍機。
［態様１８］
態様１において、前記蓄冷材が、Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金であって、前記Ｍは、Ｂｉ，Ａｇ，Ｇｅ，Ｃｕ，Ｌａ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｄ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｋ，Ｒｈ，Ｓｍ，Ｓｅ，Ｓ，Ｙ，Ｆｅ，Ｉｎ，Ａｌ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｃｄ，Ｔｉ，Ａｕ，Ｐ，Ｐｒ，ＹｂおよびＺｎで構成されたグループから選択される少なくとも１種の元素である極低温冷凍機。
［態様１９］
態様１８において、前記作動ガスがヘリウムである極低温冷凍機。
［態様２０］
態様１８において、前記少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有する極低温冷凍機。
［態様２１］
態様２０において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含む極低温冷凍機。
［態様２２］
態様２０において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含む極低温冷凍機。
［態様２３］
態様２０において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含む極低温冷凍機。
［態様２４］
態様１８において、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、０．０１重量％から４０重量％のＭ、０．１重量％から４３重量％のＳｂ、および５０重量％から９９．５重量％のＳｎで構成される極低温冷凍機。
［態様２５］
態様２４において、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子を有する極低温冷凍機。
［態様２６］
態様２５において、前記球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍである極低温冷凍機。
［態様２７］
態様１８において、前記少なくとも１つの冷却段が、さらに、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有する極低温冷凍機。
［態様２８］
態様２７において、前記コールドステーションが、銅で構成されている極低温冷凍機。
［態様２９］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
極低温冷媒として機能可能な作動ガスを含有し、少なくとも１つのコールドステーションと熱的に接触している少なくとも１つの冷却段と、
錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材と、
前記少なくとも１つのコールドステーションに接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様３０］
態様２９において、前記極低温冷凍機がギフォード−マクマホン方式であるクライオポンプ。
［態様３１］
態様２９において、前記極低温冷凍機がパルス管方式であるクライオポンプ。
［態様３２］
態様２９において、前記極低温冷凍機がスターリング方式であるクライオポンプ。
［態様３３］
態様２９において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様３４］
態様２９において、前記少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有するクライオポンプ。
［態様３５］
態様３４において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様３６］
態様３４において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様３７］
態様３４において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様３８］
態様２９において、前記少なくとも１つの冷却段が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様３９］
態様３８において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様４０］
態様２９において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で４３重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様４１］
態様２９において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で９．６重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様４２］
態様２９において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で６．７重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様４３］
態様２９において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最低でも０．５重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様４４］
態様２９において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金が、球状の錫−アンチモン合金の粒子を有するクライオポンプ。
［態様４５］
態様４４において、前記球状の前記錫−アンチモン合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍであるクライオポンプ。
［態様４６］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
極低温冷媒として機能可能な作動ガスを含有し、少なくとも１つのコールドステーションと熱的に接触している少なくとも１つの冷却段と、
Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金であって、前記Ｍは、Ｂｉ，Ａｇ，Ｇｅ，Ｃｕ，Ｌａ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｄ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｋ，Ｒｈ，Ｓｍ，Ｓｅ，Ｓ，Ｙ，Ｆｅ，Ｉｎ，Ａｌ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｃｄ，Ｔｉ，Ａｕ，Ｐ，Ｐｒ，ＹｂおよびＺｎで構成されたグループから選択される少なくとも１種の元素であるＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材と、
前記少なくとも１つのコールドステーションに接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様４７］
態様４６において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様４８］
態様４６において、前記少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有するクライオポンプ。
［態様４９］
態様４８において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様５０］
態様４８において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様５１］
態様４８において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様５２］
態様４６において、前記少なくとも１つの冷却段が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様５３］
態様５２において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様５４］
態様４６に記載の蓄冷材であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、０．０１重量％から４０重量％のＭ、０．１重量％から４３重量％のＳｂ、および５０重量％から９９．５重量％のＳｎで構成される蓄冷材。
［態様５５］
態様５４に記載の極低温冷凍機であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子を有する極低温冷凍機。
［態様５６］
態様５５に記載の極低温冷凍機であって、前記球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍである極低温冷凍機。
［態様５７］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
互いに同軸である第一段および第二段を有する蓄冷部内に設けられ、極低温冷媒として機能可能な作動ガスを、圧縮と膨張とを交互にする往復動作に駆動されるディスプレーサと、
前記ディスプレーサ内に配置され、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材と、
前記同軸の第二段に接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様５８］
態様５７において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様５９］
態様５７において、前記蓄冷材が、少なくとも二層の蓄冷材を含むクライオポンプ。
［態様６０］
態様５９において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様６１］
態様５９において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様６２］
態様５９において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様６３］
態様５７において、前記同軸の第二段が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様６４］
態様６３において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様６５］
態様５７において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で４３重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様６６］
態様５７において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で９．６重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様６７］
態様５７において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で６．７重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様６８］
態様５７において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最低でも０．５重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様６９］
態様５７において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金が、球状の錫−アンチモン合金の粒子を有するクライオポンプ。
［態様７０］
態様６９において、前記球状の前記錫−アンチモン合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍであるクライオポンプ。
［態様７１］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
互いに同軸である第一段および第二段を有する蓄冷部内に設けられ、極低温冷媒として機能可能な作動ガスを、圧縮と膨張とを交互にする往復動作に駆動されるディスプレーサと、
前記ディスプレーサ内に配置され、Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金であって、前記Ｍは、Ｂｉ，Ａｇ，Ｇｅ，Ｃｕ，Ｌａ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｄ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｋ，Ｒｈ，Ｓｍ，Ｓｅ，Ｓ，Ｙ，Ｆｅ，Ｉｎ，Ａｌ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｃｄ，Ｔｉ，Ａｕ，Ｐ，Ｐｒ，ＹｂおよびＺｎで構成されたグループから選択される少なくとも１種の元素であるＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材と、
前記同軸の第二段に接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様７２］
態様７１において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様７３］
態様７１において、前記蓄冷材が、少なくとも二層の蓄冷材を含むクライオポンプ。
［態様７４］
態様７３において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様７５］
態様７３において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様７６］
態様７３において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様７７］
態様７１において、前記同軸の第二段が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様７８］
態様７７において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様７９］
態様７１に記載の蓄冷材であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、０．０１重量％から４０重量％のＭ、０．１重量％から４３重量％のＳｂ、および５０重量％から９９．５重量％のＳｎで構成される蓄冷材。
［態様８０］
態様７９に記載の極低温冷凍機であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子を有する極低温冷凍機。
［態様８１］
態様８０に記載の極低温冷凍機であって、前記球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍである極低温冷凍機。
［態様８２］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
極低温冷媒として機能可能な作動ガスを収容するバッファタンクと、
前記バッファタンクと流路連通する第１の熱交換領域と、
前記第１の熱交換領域と流路連通し、かつ、ガスの圧力波を当該パルス管に沿って伝達するパルス管と、
前記パルス管と流路連通する第２の熱交換領域と、
前記第２の熱交換領域と流路連通し、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材を収容する空洞部であって、前記蓄冷材が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む空洞部と、
ガスの圧力波を生成する、ガスの圧力源と、
前記第２の熱交換領域と接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様８３］
態様８２において、さらに、
前記バッファタンクと前記第１の熱交換領域とに流路連通する流量制限オリフィスを有するクライオポンプ。
［態様８４］
態様８２において、前記流量制限オリフィスが、さらに、調節可能な開口を有するクライオポンプ。
［態様８５］
態様８２において、前記ガスの圧力源が、前記作動ガスを圧縮と膨張とを交互にする往復動作に駆動されるピストンであるクライオポンプ。
［態様８６］
態様８２において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様８７］
態様８２において、前記蓄冷材が、少なくとも二層の蓄冷材を含むクライオポンプ。
［態様８８］
態様８７において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様８９］
態様８７において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様９０］
態様８７において、少なくとも一層が錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様９１］
態様８２において、前記第２の熱交換領域が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様９２］
態様９１において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様９３］
態様８２において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で４３重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様９４］
態様８２において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で９．６重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様９５］
態様８２において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最大で６．７重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様９６］
態様８２において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金に最低でも０．５重量％のアンチモンが含まれるクライオポンプ。
［態様９７］
態様８２において、前記Ｓｎ−Ｓｂ合金が、球状の錫−アンチモン合金の粒子を有するクライオポンプ。
［態様９８］
態様９７において、前記球状の前記錫−アンチモン合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍであるクライオポンプ。
［態様９９］
極低温冷凍機を備えるクライオポンプであって、
前記極低温冷凍機が、
極低温冷媒として機能可能な作動ガスを収容するバッファタンクと、
前記バッファタンクと流路連通する第１の熱交換領域と、
前記第１の熱交換領域と流路連通し、かつ、ガスの圧力波を当該パルス管に沿って伝達するパルス管と、
前記パルス管と流路連通する第２の熱交換領域と、
前記第２の熱交換領域と流路連通し、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材を収容する空洞部であって、前記蓄冷材がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金であって、前記Ｍは、Ｂｉ，Ａｇ，Ｇｅ，Ｃｕ，Ｌａ，Ｍｇ，Ｍｎ，Ｎｄ，Ｎｉ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｋ，Ｒｈ，Ｓｍ，Ｓｅ，Ｓ，Ｙ，Ｆｅ，Ｉｎ，Ａｌ，Ｃｅ，Ｄｙ，Ｃｄ，Ｔｉ，Ａｕ，Ｐ，Ｐｒ，ＹｂおよびＺｎで構成されたグループから選択される少なくとも１種の元素であるＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含む空洞部と、
ガスの圧力波を生成するガスの圧力源と、
前記第２の熱交換領域と接続され、ガスを凝縮または吸着する少なくとも１つの極低温パネルと、
を有するクライオポンプ。
［態様１００］
態様９９において、さらに、
前記バッファタンクと前記第１の熱交換領域とに流路連通する流量制限オリフィスを有するクライオポンプ。
［態様１０１］
態様９９において、前記流量制限オリフィスが、さらに、調節可能な開口を有するクライオポンプ。
［態様１０２］
態様９９において、前記ガスの圧力源が、前記作動ガスを圧縮と膨張とを交互にする往復動作に駆動されるピストンであるクライオポンプ。
［態様１０３］
態様９９において、前記作動ガスがヘリウムであるクライオポンプ。
［態様１０４］
態様９９において、前記蓄冷材が、少なくとも二層の蓄冷材を含むクライオポンプ。
［態様１０５］
態様１０４において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含むクライオポンプ。
［態様１０６］
態様１０４において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含むクライオポンプ。
［態様１０７］
態様１０４において、少なくとも一層がＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含むクライオポンプ。
［態様１０８］
態様９９において、前記第２の熱交換領域が、前記作動ガスと熱的に直接接触するコールドステーションを有するクライオポンプ。
［態様１０９］
態様１０８において、前記作動ガスと熱的に直接接触する前記コールドステーションが、銅で構成されているクライオポンプ。
［態様１１０］
態様９９に記載の蓄冷材であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、０．０１重量％から４０重量％のＭ、０．１重量％から４３重量％のＳｂ、および５０重量％から９９．５重量％のＳｎで構成される蓄冷材。
［態様１１１］
態様１１０に記載の極低温冷凍機であって、前記Ｓｎ−Ｓｂ−Ｍ合金が、球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子を有する極低温冷凍機。
［態様１１２］
態様１１１に記載の極低温冷凍機であって、前記球状のＳｎ−Ｓｂ−Ｍ合金の粒子の直径が、０．０１ｍｍから３ｍｍである極低温冷凍機。
［態様１１３］
クライオポンプを極低温で動作させる方法であって、
前記クライオポンプの蓄冷部内において、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む蓄冷材を収容したディスプレーサを往復動作させる過程と、
加圧下の作動ガスを前記蓄冷部内に導入する過程と、
を含み、前記ディスプレーサの往復動作および前記作動ガスの圧力の低下により、当該作動ガスが膨張して冷却され、この冷却されたガスによって前記蓄冷材が冷却される、クライオポンプの極低温動作方法。
［態様１１４］
態様１１３において、前記作動ガスがヘリウムである、クライオポンプの極低温動作方法。
［態様１１５］
クライオポンプを極低温域で動作させる冷凍機であって、
クライオポンプの蓄冷部内において、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む蓄冷材を収容したディスプレーサを往復動作に駆動させる手段と、
加圧下の作動ガスを前記蓄冷部内に導入する手段と、
前記作動ガスと前記蓄冷材との間で熱交換する手段と、
を備える冷凍機。
［態様１１６］
態様１１５において、前記作動ガスがヘリウムである冷凍機。
［態様１１７］
クライオポンプを極低温で動作させる方法であって、
極低温冷媒として機能可能な作動ガスを含有し、少なくとも１つのコールドステーションと熱的に接触する少なくとも１つの冷却段と、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む、前記作動ガスと熱的に接触する蓄冷材とを用意する過程と、
前記少なくとも１つのコールドステーションに接続された少なくとも１つの極低温パネルに、ガスを凝縮または吸着させる過程と、
を含む、クライオポンプの極低温動作方法。
［態様１１８］
態様１１７において、前記作動ガスがヘリウムである、クライオポンプの極低温動作方法。
［態様１１９］
作動ガスと熱的に接触する蓄冷材を備える極低温冷凍機であって、
前記蓄冷材が、少なくとも１つの冷却段において、錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含む極低温冷凍機。
［態様１２０］
態様１１９において、前記極低温冷凍機がギフォード−マクマホン方式である極低温冷凍機。
［態様１２１］
態様１１９において、前記極低温冷凍機がパルス管方式である極低温冷凍機。
［態様１２２］
態様１１９において、前記極低温冷凍機がスターリング方式である極低温冷凍機。
［態様１２３］
態様１１９において、前記作動ガスがヘリウムである極低温冷凍機。
［態様１２４］
態様１１９において、少なくとも１つの冷却段が、少なくとも二層の蓄冷材を有する極低温冷凍機。
［態様１２５］
態様１２４において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が少なくとも１種の希土類元素を含む極低温冷凍機。
［態様１２６］
態様１２４において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が、少なくとも１種の希土類元素と希土類以外の金属との希土類金属間化合物を含む極低温冷凍機。
［態様１２７］
態様１２４において、少なくとも一層が錫−ガリウム（Ｓｎ−Ｇａ）合金を含み、少なくとも一層が希土類元素固溶合金を含む極低温冷凍機。
［態様１２８］
態様１１９において、前記Ｓｎ−Ｇａ合金に最大で３．９重量％のガリウムが含まれる極低温冷凍機。