Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月1日(2003.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外箱と、該外箱内に配設した外槽と、該外槽内に水平軸又は傾斜軸を中心に回転自在に設けられたドラムと、を具備するドラム式洗濯機において、
前記外箱の下部に設けられた台座部に下端が固定された三本のダンパを介して前記外槽を支え受けるようにしたことを特徴とするドラム式洗濯機。
【請求項２】
前記ドラムは左右方向に延伸する軸を中心に回転自在に配設されて成り、前記三本のダンパのうち一本は前記外槽の前方側下部を、他の二本は該外槽の後方側下部を支え受けることを特徴とする請求項１に記載のドラム式洗濯機。
【請求項３】
前記ダンパは振動吸収用の弾性体を介挿して前記外槽及び台座部に固定され、その固定の際の前記弾性体の圧縮量は前記水平軸又は傾斜軸を挟んで配置された一本の側のダンパよりも二本の側のダンパで小さく設定されていることを特徴とする請求項１に記載のドラム式洗濯機。
【請求項４】
前記ダンパは振動吸収用の弾性体を介挿して前記外槽及び台座部に固定され、該弾性体の硬度は前記水平軸又は傾斜軸を挟んで配置された一本の側のダンパよりも二本の側のダンパで小さく設定されていることを特徴とする請求項１に記載のドラム式洗濯機。
【請求項５】
前記ダンパはばねを含み、前記水平軸又は傾斜軸を挟んで配置された一本の側のダンパのばねの定数は二本の側のダンパのばね定数を加算したものと略等しく設定されていることを特徴とする請求項１に記載のドラム式洗濯機。
【請求項６】
前記水平軸又は傾斜軸を挟んで配置された二本の側の各ダンパの減衰力は一本の側のダンパの減衰力よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項１に記載のドラム式洗濯機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月16日(2003.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
これに対して、従来例は図１９（Ｃ）に示すように全てのデータが更新されたタイミング（つまり、図１９（Ｂ）の３倍の更新間隔）でバッファリングするようにしていた。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月31日(2003.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体の種別に応じた複数の撮影モードが設定可能なカメラ装置であって、
前記撮影モード毎に応じて撮影時における装置の撮影条件を制御する制御手段と、
前記撮影モードに対応した複数の見本画像と撮影条件の内容とを説明する説明情報とを記憶する記憶手段と、
この記憶手段に記憶された見本画像とこの見本画像に対応する説明情報とを表示する表示手段と、
この表示手段に表示された前記見本画像を選択する選択手段と、
この選択手段により選択された見本画像に対応する撮影モードを設定する設定する設定手段と
を備えたことを特徴とするカメラ装置。
【請求項２】
使用者の要求に応じ、前記表示手段における前記複数の見本画像の表示順を前記選択手段により過去に選択された履歴順に制御する表示制御手段
を備えたことを特徴とする請求項１記載のカメラ装置。
【請求項３】
前記見本画像に対応する前記説明情報を前記記憶手段から読み出し前記見本画像と共に同一画面上に並べて前記表示手段に表示させる表示制御手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のカメラ装置。
【請求項４】
前記記憶手段は、前記記憶手段に記憶された各見本画像に対応した、シーン説明またはアドバイス情報または制御説明を含む前記説明情報を記憶することを特徴とする請求項１乃至３記載のカメラ装置。
【請求項５】
さらに、被写体を撮像する撮像手段と、
この撮像手段により撮影待機状態で撮像されたスルー画像を表示する前記表示手段と、
前記選択手段により選択された見本画像が所定の見本画像であるとき、前記スルー画像内に、前記選択手段により選択された見本画像に対応する被写体の撮影に適する画面構成を示すフレーム画像を表示させる制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のカメラ装置。
【請求項６】
さらにオートフォーカス手段を備え、
前記制御手段は、前記フレーム画像により示されるスルー画像の所定領域内にフォーカス位置を設定するとともに、設定したフォーカス位置を示すフォーカスマークを前記スルー画像に表示させることを特徴とする請求項５記載のカメラ装置。
【請求項７】
被写体内に設定された測光位置をスポット測光し、その測光結果に基づき露出制御を行う自動露出制御手段を備え、前記制御手段は、前記フレーム画像により示されるスルー画像の所定領域内に前記測光位置を設定することを特徴とする請求項５又は６記載のカメラ装置。
【請求項８】
撮影した画像を画像データとして記録する画像記憶手段と、
撮影条件と撮影条件に対応した見本画像と撮影条件に対応したシーン説明またはアドバイス情報または制御説明を含む付加情報とを記憶する撮影条件記憶手段と、
撮影条件に対応した付加情報と撮影条件に対応した見本画像とを表示する表示手段と、
この撮影条件記憶手段に記憶されている撮影条件であって、前記表示手段に表示された見本画像および付加情報に対応する撮影条件を、使用者の要求に応じ装置の撮影条件として設定する設定手段と
を備えたことを特徴とするカメラ装置。
【請求項９】
前記表示手段は、撮影条件記憶手段に記憶されている撮影条件に対応した見本画像と付加情報とを同一画面上に表示することを特徴とする請求項８記載のカメラ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項７の発明にあっては、被写体内に設定された測光位置をスポット測光し、その測光結果に基づき露出制御を行う自動露出制御機能を備え、前記制御手段は、前記フレーム画像により示されるスルー画像の所定領域内に前記測光位置を設定するものとした。かかる構成においては、使用者が、フレーム画像に従ったフレーミングを行うことにより、選択した撮影モードで制御される撮影条件の下で理想的な露出状態の撮影結果を得ることができる。
さらに請求項８の発明にあっては、  撮影した画像を画像データとして記録する画像記憶手段と、撮影条件と撮影条件に対応した見本画像と撮影条件に対応したシーン説明またはアドバイス情報または制御説明を含む付加情報とを記憶する撮影条件記憶手段と、撮影条件に対応した付加情報と撮影条件に対応した見本画像とを表示する表示手段と、この撮影条件記憶手段に記憶されている撮影条件であって、前記表示手段に表示された見本画像および付加情報に対応する撮影条件を、使用者の要求に応じ装置の撮影条件として設定する設定手段とを備えるものとした。かかる構成においては、使用者は表示手段に表示される情報に従った撮影操作を行うことにより、選択した撮影モードで制御される撮影条件の下で理想的な撮影結果を得ることができる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように請求項１記載の発明においては、使用者は、被写体の種別を直感的に理解することができる見本画像とこの見本画像に対応する説明情報とを介して、被写体の種別に応じた撮影モードの選択ができるようにした。よって、撮影モードの種類が多数存在する場合であっても、撮影モードの設定に混乱を生じることなく、誰もが被写体により適切な撮影条件を容易に設定することが可能となる。同時に、撮影者の好みに応じ撮影結果を簡単に得ることができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、請求項３記載および請求項８の発明においては、見本画像の選択に際しては、見本画像の選択に際しては、撮影条件の内容を説明する説明情報が同一画面上に表示されるため、被写体に応じた撮影結果を容易に知ることができるようにしたことから、その設定に混乱を生じることなくことなく、より多くの撮影モードを設けることができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、請求項４記載の発明においては、各見本画像に対応した、シーン説明またはアドバイス情報または制御説明を含む情報に従った撮影操作を行うことにより、選択した撮影モードで制御される撮影条件の下で理想的な撮影結果を得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月3日(2003.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮影した画像を画像データとして記録する画像記憶手段と、
画像を表示する表示手段と、
前記撮影した画像の撮影条件と、この撮影条件と対応した画像とを記憶する撮影条件記憶手段と、
この撮影条件記憶手段に記憶されている撮影条件であって前記表示手段に表示された画像に対応する撮影条件を、使用者の要求に応じ装置の撮影条件として設定する設定手段と
を備えたことを特徴とするカメラ装置。
【請求項２】
撮影した画像の画像データと撮影条件とを含む所定のフォーマット形式を有するファイルが前記画像記憶手段に記憶され、前記画像記憶手段は前記撮影条件記憶手段として機能することを特徴とする請求項１記載のカメラ装置。
【請求項３】
前記撮影条件記憶手段は前記撮影した画像が縮小された見本画像を記憶し、所定のモードで前記見本画像を前記表示手段に表示させる制御手段を備えるとともに、前記設定手段は、前記見本画像が前記表示手段に表示された状態での使用者の要求に応じて、当該見本画像とに対応するする撮影条件に基づき装置の撮影条件を設定することを特徴とする請求項１記載のカメラ装置。
【請求項４】
撮影した画像と当該画像の撮影時の撮影条件とを記録する画像記憶手段と、
前記画像記憶手段に記憶された画像から生成された見本画像と、当該画像の撮影時の撮影条件とを含む設定データを、使用者の要求に応じて記憶する設定データ記憶手段と、
所定のモードで前記設定データ記憶手段に記憶されている設定データを読み出し、当該設定データに含まれる画像を前記表示手段に表示させるとともに、使用者の要求に応じて当該設定データに含まれる撮影条件を装置の撮影条件として設定する設定手段とを備えたことを特徴とするカメラ装置。
【請求項５】
前記設定データ記憶手段には、所定の撮影モードに対応する被写体の見本となる見本画像と、当該撮影モードが選択された状態での撮影時における装置の撮影条件とを含む設定データが予め記憶されていることを特徴とする請求項４記載のカメラ装置。
【請求項６】
カメラ装置を制御するコンピュータに、
撮影した画像から生成された見本画像と、当該画像の撮影時に記憶された撮影条件と含む設定データを、使用者の要求に応じて記憶させる処理と、
所定のモードにおいて、記憶されている前記設定データを読み出し、当該設定データに含まれる画像を表示手段に表示させるとともに、要求に応じて当該設定データに含まれる撮影条件を装置の撮影条件として設定する処理と
を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項７】
カメラ装置における所定の撮影モードの設定に使用される設定データを作成する装置であって、
外部より取り込んだ画像から見本画像を生成する見本画像生成手段と、
この見本画像生成手段により生成された見本画像と前記画像の撮影時に設定されていた撮影条件を示すデータとが互いに関連づけられた状態で含まれる前記設定データを生成する設定データ生成手段と
を備えたことを特徴とする撮影モード設定データ作成装置。
【請求項８】
カメラ装置における所定の撮影モードの設定に使用される設定データであって、画像から生成された見本画像と、前記画像の撮影時に設定されていた撮影条件を示すデータとが互いに関連づけられた状態で含まれる設定データを記録した記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために請求項１の発明にあっては、撮影した画像を画像データとして記録する画像記憶手段と、画像を表示する表示手段と、前記撮影した画像の撮影条件と、この撮影条件と対応した画像とを記憶する撮影条件記憶手段と、この撮影条件記憶手段に記憶されている撮影条件であって前記表示手段に表示された画像に対応する撮影条件を、使用者の要求に応じ装置の撮影条件として設定する設定手段とを備えたものとした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、請求項２の発明にあっては、撮影した画像の画像データと撮影条件とを含む所定のフォーマット形式を有するファイルが前記画像記憶手段に記憶され、前記画像記憶手段は前記撮影条件記憶手段として機能するものとした。かかる構成においては、装置の撮影条件を設定するときには、同種の装置によって撮影された画像を利用することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、請求項３の発明にあっては、前記撮影条件記憶手段は前記撮影した画像が縮小された見本画像を記憶し、所定のモードで前記見本画像を前記表示手段に表示させる制御手段を備えるとともに、前記設定手段は、前記見本画像が前記表示手段に表示された状態での使用者の要求に応じて、当該見本画像とに対応するする撮影条件に基づき装置の撮影条件を設定するものとした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、請求項４の発明にあっては、撮影した画像と当該画像の撮影時の撮影条件とを記録する画像記憶手段と、前記画像記憶手段に記憶された画像から生成された見本画像と、当該画像の撮影時の撮影条件とを含む設定データを、使用者の要求に応じて記憶する設定データ記憶手段と、所定のモードで前記設定データ記憶手段に記憶されている設定データを読み出し、当該設定データに含まれる画像を前記表示手段に表示させるとともに、使用者の要求に応じて当該設定データに含まれる撮影条件を装置の撮影条件として設定する設定手段とを備えたものとした。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、請求項６の発明にあっては、カメラ装置を制御するコンピュータに、撮影した画像から生成された見本画像と、当該画像の撮影時に記憶された撮影条件と含む設定データを、使用者の要求に応じて記憶させる処理と、所定のモードにおいて、記憶されている前記設定データを読み出し、当該設定データに含まれる画像を表示手段に表示させるとともに、要求に応じて当該設定データに含まれる撮影条件を装置の撮影条件として設定する処理とを実行させるためのプログラムを記録した記録媒体とした。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】携帯型コンピュータから拡張ステーションへの電源供給装置、携帯型コンピュータおよび拡張ステーション
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯型コンピュータと、該携帯型コンピュータを装着可能な拡張ステーションと、からなり、
前記携帯型コンピュータは、
該携帯型コンピュータが前記拡張ステーションに装着されているか否かを確認する手段と、該確認手段が前記装着を確認したとき、前記携帯型コンピュータから前記拡張ステーションへ電力を供給する手段と、を具備することを特徴とする携帯型コンピュータから拡張ステーションへの電力供給装置。
【請求項２】
拡張ステーションが装着可能な携帯型コンピュータにおいて、
前記携帯型コンピュータが前記拡張ステーションに装着されているか否かを確認する手段と、
該確認手段が前記装着を確認したとき、前記携帯型コンピュータから前記拡張ステーションへ電力を供給する手段と、を備えることを特徴とする携帯型コンピュータ。
【請求項３】
携帯型コンピュータと、該携帯型コンピュータを装着可能な拡張ステーションと、からなり、
前記拡張ステーションは、
外部電源からの電力を入力する手段と、
前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段とを備え、
前記携帯型コンピュータは、
前記拡張ステーションから供給された電力を当該拡張ステーションに供給する手段を備えることを特徴とする携帯型コンピュータから拡張ステーションへの電力供給装置。
【請求項４】
前記携帯型コンピュータは、
該携帯型コンピュータが前記拡張ステーションに装着されているか否かを確認する手段を備え、
該確認手段が前記装着を確認したとき、前記携帯型コンピュータから前記拡張ステーションへ前記電力を供給することを特徴とする請求項３記載の携帯型コンピュータから拡張ステーションへの電力供給装置。
【請求項５】
拡張ステーションが装着可能な携帯型コンピュータにおいて、
前記拡張ステーションは外部電源からの電力を入力する手段と、
前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段と、
前記拡張ステーションから供給された電力を当該拡張ステーションに供給する手段と、
を備えることを特徴とする携帯型コンピュータ。
【請求項６】
該携帯型コンピュータが前記拡張ステーションに装着されているか否かを確認する手段を備え、
該確認手段が前記装着を確認したとき、前記携帯型コンピュータから前記拡張ステーションへ前記電力を供給することを特徴とする請求項５記載の携帯型コンピュータ。
【請求項７】
携帯型コンピュータに装着可能な拡張ステーションにおいて、
外部電源からの電力を入力する手段と、
前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段と、
前記携帯型コンピュータに供給した電力を前記携帯型コンピュータから入力する手段と、
を備えることを特徴とする拡張ステーション。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はノート型パーソナルコンピュータ、ワードプロセッサ等の携帯型コンピュータの電源供給装置に関し、特にこの携帯型コンピュータを装着するための拡張ステーションを具備する場合に、携帯型コンピュータからこの拡張ステーションへの電源供給装置、携帯型コンピュータおよび拡張ステーションに関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
これによると、携帯型コンピュータが拡張ステーションに装着されている場合に、携帯型コンピュータの内蔵バッテリ装置のみが電源の供給源の場合は拡張ステーションには電源供給せず、携帯型コンピュータに増設バッテリが接続されている場合、又はＡＣアタプタ等の他の電源が接続されている場合は、携帯型コンピュータから拡張ステーションに電源を供給するようにしている。したがって、携帯型コンピュータの内蔵バッテリのみが電源供給源の場合は、拡張ステーションには電源供給しないため、拡張ステーションは使用できず、拡張ステーション使用による内蔵バッテリのセルあたりの消費電力量が防止され、内部電源（内蔵バッテリ）の寿命が縮むことを防止できる。
また、本発明によると、携帯型コンピュータと、該携帯型コンピュータを装着可能な拡張ステーションと、からなり、前記拡張ステーションは、外部電源からの電力を入力する手段と、前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段とを備え、前記携帯型コンピュータは、前記拡張ステーションから供給された電力を当該拡張ステーションに供給する手段を備えることを特徴とする携帯型コンピュータから拡張ステーションへの電力供給装置が提供される。
更にまた、本発明によると、拡張ステーションが装着可能な携帯型コンピュータにおいて、前記拡張ステーションは外部電源からの電力を入力する手段と、前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段と、前記拡張ステーションから供給された電力を当該拡張ステーションに供給する手段と、
を備えることを特徴とする携帯型コンピュータが提供される。
更にまた、本発明によると、携帯型コンピュータに装着可能な拡張ステーションにおいて、外部電源からの電力を入力する手段と、前記入力した電力を前記携帯型コンピュータに供給する手段と、前記携帯型コンピュータに供給した電力を前記携帯型コンピュータから入力する手段と、
を備えることを特徴とする拡張ステーションが提供される。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月16日(2003.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
つば部を有しシールダイアフラム突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置において、
前記つば部の一方の面を覆う第１の被覆と前記本体ブロックの外側面を覆う第２の被覆と前記本体ブロックの底面の外表面に張り出して設けられシールリングの取付け部を構成する第３の被覆とを有しタンタル材よりなる被覆部
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。
【請求項２】
薄板からスピニング加工により前記つば部と前記本体ブロックとに密着成形加工された被覆部
を具備したことを特徴とする請求項１記載の差圧測定装置。
【請求項３】
円筒状の筒部と円板状の底部とよりなる本体ブロックを具備したこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の差圧測定装置。
【請求項４】
前記つば部と前記本体ブロックとが最初から一体構成に作りだされたこと
を特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の差圧測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項１の差圧測定装置においては、
つば部を有しシールダイアフラム突出型ダイアフラムユニットを具備する差圧測定装置において、
前記つば部の一方の面を覆う第１の被覆と前記本体ブロックの外側面を覆う第２の被覆と前記本体ブロックの底面の外表面に張り出して設けられシールリングの取付け部を構成する第３の被覆とを有しタンタル材よりなる被覆部
を具備したことを特徴とする差圧測定装置。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明の請求項２においては、請求項１記載の差圧測定装置において、
薄板からスピニング加工により前記つば部と前記本体ブロックとに密着成形加工された被覆部
を具備したことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月27日(2003.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記異常ピーク判定手段は、同一グループに属するピークの数が所定値以外であっても所定の閾値以上の強度を有するピークを正常と判定する請求項７記載のミリ波レーダ用データ処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成14年9月30日(2002.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
・（請求項１の内容を全文記載します。）
・４５°の四角すいのピラミッドを２個はり合わせた形にカットした水晶などを６個作り、Ｘ・Ｙ・Ｚの中心ゼロに正確に設置し、又は水晶に電流を流し脳波をあてる。それによって発生する。癒しのエネルギー発生装置．
【請求項２】
・（請求項２の内容を全文記載します。）
・請求項１に示したようにカットした水晶などをもちいたレーザー核融合．
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の詳細な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
古来ピラミッドは不思議な力を持っているとされる。私は、このピラミッドが無限のエネルギーを発していると考え、ピラミッドには、プラスとマイナスがあるのではないかと思い、ピラミッドをはり合わせた形に水晶などをカットしたらどおかと考えた。そして三次元を表す、Ｘ・Ｙ・Ｚの中心ゼロに設置し、又はカットした水晶などに脳波をあて．電流を流せば、無限のエネルギが発生するのではないかと考えたのである。
次に核融合と関わりについてであるが核融合とは物質を作っていく反応ではないかと思う。
私は受精のメカニズムを参考にし、卵巣では何かが起こり精巣では何が起こっているかを思う時、そこではＤＮＡの分かつ非対象化が起こっていると気付き、非対象化されたＤＮＡどおしの融合が受精であると考え、それを核融合に応用できないかと思った。つまりレーザー核融合のレーザーに物質のせっけい図とも言うべき原子核及び素粒子こうぞうを非対象化したじようほうを脳波をみたした．ピラミッドを通して．レーザーに乗せて核融合させれば、エネルギーも物質も自由に作れるのではないかと考えたのである。
さてなぜ脳波が必要なのかという事についてであるが、私たちの宇宙というのは宇宙の管理者の意志によって決定されており、その決定された意志によって素粒子どおしが結びついているからそれによって作られる最初の原子は水素原子である。
私はまず今あるトリチウムを元にレーザー核融合させて原子を組み変え、エネルギーをとり出すことを考えたのである。脳波はその時に核反応に意志として、命を与えるために必要だと考えたのである。又飛躍するが素粒子どおしを組み変えて、四重水素や、あるいは電子どおしを、電子も素粒子であるから、核融合させてダブル電子トリプル電子というものがあってもよいのではないだろうか、この反応を成立するために意志としての脳波がぜひとも必要ではないかと思うのである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】（図・１の簡単な説明を記載します。）
癒しの無限エネルギー発生装置は、水晶などを、ピラミッドの形にカットしてそれをＸ軸・Ｙ軸・Ｚ軸の中心０（ゼロ）にセットする。そして、脳波をあて電流を流す。
【図２】（図・２の簡単な説明を記載します。）
レーザー核融合について、レーザーに非対象化した原子、分子、素粒子構造の情報を乗せて、装置全体に脳波をあてながら、Ｘ・Ｙ・Ｚ軸上にある。水晶などで作られたピラミッドを通して発射し標的に当てて核融合させればＤＮＡを書き変えるように物質を書き書え、エネルギーをとり出すことができる。そのときに高出力のパルスレーザーを用い、レーザーは、同じ周波数のものと、３つのちがう周波数のものを用いる。ちがう周波数のものをもちいるのは、たとえばかねの音がウオン・ウオンとうなるように共鳴するように、レーザー核融合でもレーザーを共鳴させる。これを共鳴パルスレーザー核融合と名ずける。
【符号の説明】
図１．（ア）四角すいのピラミッドをはり合わせた形にカットしたもの。
（イ）セットしたものを上から平面的にみたもの。Ｘ・Ｙ・Ｚ軸の中心ゼロに
（ウ）セットしたものを横から平面的にみたもの。
（エ）カットしたものに電流を流したもの。
（ａ）脳波をあてる。
（ｂ）電源。
（オ）Ｘ・Ｙ・Ｚ・（Ｚ軸はしょうりゃく）軸中心ゼロにセットしたものに電流を流したもの。
図２．（ア）Ｘ・Ｙ軸上にセットした平面的に見たもの。
（イ）Ｚ軸横から平面的に見たもの。
（Ａ）入力、入力時に情報を乗せる。
（Ｂ）出力ピラミッドを通して出たレーザー
（Ｃ）標的トリチウムなど。
（Ｄ）高出力パルスレーザー発生装置。
（ａ）脳波、装置全体を脳波でつつみ込む。もちろん標的にもあてる。
（ウ）Ｘ・Ｙ軸ゼロにセットし平面的に見たもの
（エ）Ｚ軸ゼロを横から平面的に見たもの。
（Ａ）入力
（Ｂ）出力
（Ｃ）標的。
（ａ）脳波をあてる。装置全体に、脳波でつつみ込む  もちろん標的にもあてる。
（ｂ）電源。
（ウ・エ）のように正確にセットすると標的と出力が接するため、装置がこわれるおそれがある。それをふせぐためア・イのようにセットする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2003177187.tif 000001
【図２】
2003177187.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月28日(2003.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
また、本願出願人に係わる特開平１０−１８４６１５号公報には、複数の油圧アクチュエータからの戻り圧油を選択して、選択した戻り圧油のエネルギーを回収及び再利用する戻り圧油回収装置が提案されている。この戻り圧油回収装置は、図６に示すように、複数の油圧アクチュエータ（４０〜４２）からの戻り圧油のうち１又は２の圧油を選択回路（４４）により選択し、選択した圧油を第１油圧ポンプ・モータ（４５）に供給することで、第１油圧ポンプ・モータ（４５）にモータ作用を行わせる。同第１油圧ポンプ・モータ（４５）と機械的に連結している第２油圧ポンプ・モータ（４６）は、第１油圧ポンプ・モータ（４５）の駆動によってポンプ作用を行い、第２油圧ポンプ・モータ（４６）から吐出された高圧油がアキュムレータ（４７）に蓄圧される。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月19日(2004.1.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
景品球タンクの下方にタンクレールを配設すると共に該タンクレールの流下端に景品球タンクのパチンコ球を景品球払出装置に導くカーブレールを設けたパチンコ機において、
前記カーブレールには２条の球通路が形成されると共に、球圧を弱めるための湾曲部を設け、
前記湾曲部にはその下流側の底面に球抜口を開設すると共に、前記球抜口に回動して該球抜口を開閉する可動板を設け、
前記可動板の上面に先端縁からパチンコ球１個分乗る程度の距離を隔てて下流側を低くした段部を設けたことを特徴とするパチンコ機。
【請求項２】
前記２条の球通路は後側壁と前側壁との間に長手方向に沿って仕切壁を設けて形成され、前記仕切壁には前記可動板に対向する下側縁に切欠凹部が設けられていることを特徴とする請求項１記載のパチンコ機。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月3日(2003.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明においては、良好な外観、積層板の高い接着力、高い寸法安定性などを発現させる目的において、フィルムおよび金属シートを熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点より５０℃低い温度から融点より５℃低い温度までの範囲内の温度で熱圧着することが好ましい。この熱圧着前に、金属シートを予熱し、加圧加熱ロールへの急激な熱膨張を緩和させる方法を用いる場合には、ロール接触時の歪みがなく、フィルムにかかる張力を増加させても外観に変化がなくなる。予熱温度は金属シートの材質や熱膨張係数、厚さにより異なる設定が必要であり、例えば、厚さ１８μｍの電解法により製造された幅４００ｍｍの銅箔の場合には、１５０〜２００℃付近が好ましい。予熱時の雰囲気は使用する金属箔の材質により選択すればよく、空気中の酸素により酸化されやすい材質の場合には窒素などの不活性雰囲気が好ましい。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本発明に使用される金属シートとしては、特に制限はないが、電気的接続に使用されているような金属からなる箔が好適であり、銅のほか金、銀、ニッケル、アルミニウムなどからなるものを挙げることができる。銅箔としては、圧延法、電解法などによって製造されるいずれのものでも用いることができるが、表面粗さの大きい電解法によって製造されるものが、熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの接着強度が高いので好ましい。金属箔には、通常銅箔に対して施される酸洗浄などの表面処理が、本発明の作用効果が損なわれない限り、施されていてもよい。金属箔の厚さは、５〜２００μｍであることが好ましく、５〜７５μｍであることがより好ましい。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
さらに本発明では、金属シートとして金属箔ではなく、厚みが０．２〜２ｍｍの金属板を使用することもできる。特に、本発明の積層板を電子部品の放熱板として使用する場合は、折り曲げ加工性の点から、金属板の厚みは０．２〜１ｍｍであることが好ましい。このような板厚の金属板は、一般に圧延法により製造され、その表面粗さは１μｍ以下で平滑であるので、化学的または物理的に表面粗さを２〜４μｍにして用いることが好ましい。このようにすれば、金属板と熱可塑性液晶ポリマーフィルムとの接着強度が高くなる。また、表面粗さに特に制限はないが、金属板の板厚の５０％以上の表面粗さのものは金属板の強度が脆くなるので避けることが好ましい。また、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの厚さの５０％以上の表面粗さのものは、得られた積層板における熱可塑性液晶ポリマーフィルムの強度が脆くなるので避けることが好ましい。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら制限されるものではない。なお、以下の実施例において、熱可塑性液晶ポリマーフィルムの融点、熱変形温度、膜厚、力学物性（引張強度）、外観、積層板の接着強度、寸法安定性、加熱によるフィルムの寸法変化率の評価は以下の方法により行った。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
（４）力学物性（引張強度）
得られたフィルムから試料を切り出し、引張試験機を用いて、ＡＳＴＭ  Ｄ  ８８２の方法に準じて、引張強度を測定した。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月20日(2003.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタンパの一方の表面はその少なくとも一部を断熱材で覆われ、かつ、前記断熱材は前記スタンパと前記スタンパ固定する支持体との間に挟み込まれた構成であることを特徴とする光ディスク射出成形用金型。
【請求項２】
断熱材がスタンパに接する面の面粗さは、０．１０ｓ以下であることを特徴とする請求項１記載の光ディスク射出成形用金型。
【請求項３】
断熱材は、熱伝導度が１５ｗ／ｍ・ｋ以下であり、かつ、硬度が３００Ｈｖ以上であることを特徴とする請求項１記載の光ディスク射出成形用金型。
【請求項４】
断熱材は、その厚みが０．５〜２．０ｍｍであること特徴とする請求項１記載の光ディスク射出成形用金型。
【請求項５】
断熱材は、アモルファスカーボンを材料とすることを特徴とする請求項１記載の光ディスク射出成形用金型。
【請求項６】
断熱材は、スタンパの中央部と断熱板の中央部とをスタンパホルダーにて支持体に共締めして、且つ、断熱板の外周部を吸引して前記支持体に固定することを特徴とする請求項１記載の光ディスク射出成形用金型。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する為に本発明は、スタンパの一方の表面はその少なくとも一部を断熱材で覆われ、かつ、前記断熱材は前記スタンパと前記スタンパ固定する支持体との間に挟み込まれた構成であることを特徴とする光ディスク射出成形用金型を提供する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
なお上記断熱板として該断熱板が上記スタンパに接する面の面粗さが０．１０ｓ以下で
ありあるいは該材料の熱伝導度が１５ｗ／ｍ・ｋ以下でかつ３００Ｈｖ以上の硬度を有し、あるいは０．５〜２．０ｍｍの厚みを有し、あるいはアモルファスカーボン材料であることがより上記目的を達成することができる。また前記断熱材の固定方法として、前記スタンパの中央部と該断熱板中央部とを、スタンパホルダーにて前記支持体に共締めして且つ該断熱板外周部を吸引して該支持体に固定することによりベッターである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月20日(2003.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハの一面に複数形成された回路パターン上にそれぞれ所定のパターン像を重ね合わせるように露光する露光装置において、
ウェハの所定領域に形成されたウェハ識別情報を読み取る読取り手段と、
前記読取り手段によって得たウェハ識別情報と、位置検出されるべきサンプル回路パターンの実測座標値と設計座標値との間の位置ずれ量とを対応させて記憶する情報記憶手段と、
露光時、前記読取り手段によって前記ウェハから得た前記ウェハ識別情報を基に対応する前記位置ずれ量を前記情報記憶手段から読み出し、前記サンプル回路パターンの設計座標値を前記位置ずれ量に基づいて補正するとともに、その補正後の設計座標値と該サンプル回路パターンの実測座標値とに基づいて前記ウェハ上の各回路パターンの位置ずれを補正する補正係数を算出する演算手段とを具え、
当該露光装置が第１の露光に使用された場合には、前記読取り手段によって前記ウェハから得た前記ウェハ識別情報と、前記サンプル回路パターンの前記位置ずれ量とを対応させて前記情報記憶手段に記憶し、
当該露光装置が前記第１の露光の後になされる第２の露光に使用される場合には、前記演算手段によって補正された前記サンプル回路パターンの設計座標値に基づいて前記ウェハを位置合わせした後に該サンプル回路パターンの実測座標値を検出し、該検出された実測座標値に基づいて該演算手段によって算出される前記補正係数に基づいて前記ウェハを位置合わせして露光することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記位置ずれ量は、前記ウェハを搬送する搬送装置によって前記露光装置から搬送されてきたウェハ上の前記回路パターンを計測する計測装置によって計測されたものであることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記位置ずれ量は、前記サンプル回路パターンの位置ずれに対して行われるマニュアルアシスト量を含むことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記情報記憶手段は、
前記第１の露光に使用された際に、同一のウェハに応じた前記位置ずれ量が既に記憶されていた場合には、それに置き換えて新たに得られた位置ずれ量を記憶することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記情報記憶手段は、
前記ウェハ識別情報と共に、前記ウェハの変形に基づく情報、前記ウェハ上に所定パターン像を露光した複数の露光装置の識別情報、露光装置内の投影レンズのディストーションを補正するための補正機構の補正量、前記ウェハに施される処理工程の情報、該処理工程を施した処理装置の識別情報のうちの何れかを記憶することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するため本発明においては、ウェハの所定領域に形成されたウェハ識別情報を読み取る読取り手段と、読取り手段によって得たウェハ識別情報と、位置検出されるべきサンプル回路パターンの実測座標値と設計座標値との間の位置ずれ量とを対応させて記憶する情報記憶手段と、露光時、読取り手段によってウェハから得たウェハ識別情報を基に対応する位置ずれ量を情報記憶手段から読み出し、サンプル回路パターンの設計座標値を位置ずれ量に基づいて補正するとともに、その補正後の設計座標値とサンプル回路パターンの実測座標値とに基づいてウェハ上の各回路パターンの位置ずれを補正する補正係数を算出する演算手段とを設けるようにし、当該露光装置が第１の露光に使用された場合には、読取り手段によってウェハから得たウェハ識別情報と、サンプル回路パターンの位置ずれ量とを対応させて情報記憶手段に記憶し、当該露光装置が第１の露光の後になされる第２の露光に使用される場合には、演算手段によって補正されたサンプル回路パターンの設計座標値に基づいてウェハを位置合わせした後に該サンプル回路パターンの実測座標値を検出し、該検出された実測座標値に基づいて該演算手段によって算出される補正係数に基づいて前記ウェハを位置合わせして露光するようにした。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月28日(2004.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられたアライメントマークを撮像装置によって撮像し、前記アライメントマークの位置を計測して前記基板の位置決めを行うアライメント方法において、
前記アライメントマークは、形状がそれぞれ異なる複数の要素マークの集合からなり、隣接する要素マーク間の距離が前記撮像装置の視野寸法より小さいことを特徴とするアライメント方法。
【請求項２】
前記距離は前記撮像装置の視野寸法よりわずかに小さいことを特徴とする請求項１記載のアライメント方法。
【請求項３】
前記アライメントマークは、矩形領域の各頂点位置に配置された４個の要素マークからなることを特徴とする請求項１又は２記載のアライメント方法。
【請求項４】
基板上に設けられたアライメントマークを撮像装置によって撮像し、前記アライメントマークの位置を計測して前記基板の位置決めを行うアライメント方法において、
前記アライメントマークは、該アライメントマークの中心に対する位置が識別可能な複数の要素マークの集合からなり、隣接する要素マーク間の距離が前記撮像装置の視野寸法より小さく、
前記要素マークの位置情報に基づき、前記アライメントマークの中心位置を求めることを特徴とするアライメント方法。
【請求項５】
前記アライメントマークの中心位置を求める際には、前記要素マークの少なくとも１個の位置情報を用いて求めることを特徴とする請求項４記載のアライメント方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月8日(2003.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、前記マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光部とを備える露光装置において、
露光装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、
前記チャンバー内に導入される外気もしくは前記チャンバー内を循環するガスに含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターと、
前記不純物除去フィルターの上流側及び下流側にそれぞれ配置された不純物濃度測定手段と、
前記不純物除去フィルターの上流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値と下流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値から前記不純物除去フィルターの寿命を推定する手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記不純物除去フィルターが、前記チャンバー内に導入される外気に含まれるガス状不純物を除去する時、該不純物除去フィルターの上流側に配置された不純物濃度測定手段が所定濃度以上のガス状不純物を検出したとき前記外気導入手段の運転を停止させることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記不純物濃度測定手段の測定値に基づいて、前記不純物除去フィルターにおける前記ガス状不純物の除去効率を表示することを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、前記マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光部とを備える露光装置において、
露光装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、
前記チャンバー内に導入される外気に含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターと、
前記外気導入手段の上流側に配置される不純物濃度測定手段とを有し、
前記不純物濃度測定手段が所定濃度以上のガス状不純物を検出したとき前記外気導入手段の運転を停止することを特徴とする露光装置。
【請求項５】
前記不純物濃度測定手段は、前記チャンバーの外部に設置されることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記不純物濃度測定手段の測定結果に基づいて、使用環境の異常を報知することを特徴とする請求項５に記載の露光装置。
【請求項７】
紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、前記光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、前記マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光部とを備える露光装置において、
露光装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、
前記チャンバー内に導入される外気もしくは前記チャンバー内を循環するガスに含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターと、
前記感光性基板が載置されるステージと、
前記ステージの付近に設けられる不純物濃度測定手段と、
前記不純物濃度測定手段の測定値から前記不純物除去フィルターの寿命を推定する手段とを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
前記不純物濃度測定手段は、ＮＨ４＋及びＳＯ４２−の少なくとも一方の濃度を測定するものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記不純物濃度測定手段は、炭化水素系有機物の濃度を測定するものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
すなわち、本発明は、紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光部とを備える露光装置において、露光装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、チャンバー内に導入される外気もしくはチャンバー内を循環するガスに含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターと、不純物除去フィルターの上流側及び下流側にそれぞれ配置された不純物濃度測定手段と、不純物除去フィルターの上流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値と下流側に配置された不純物濃度測定手段の測定値から不純物除去フィルターの寿命を推定する手段とを備えることを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明は、紫外域又は遠紫外域の光を射出する光源と、光源から射出された光をマスクに入射させる照明系部と、マスクのパターンを感光性基板上に形成する露光部とを備える露光装置において、露光装置の一部又は全部を収容するチャンバーと、チャンバー内に外気を導入する外気導入手段と、チャンバー内に導入される外気に含まれるガス状不純物を除去するための不純物除去フィルターと、外気導入手段の上流側に配置される不純物濃度測定手段とを有し、不純物濃度測定手段が所定濃度以上のガス状不純物を検出したとき外気導入手段の運転を停止することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月26日(2003.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ストレプトマイセス・カエスピトーサス（Streptomyces caespitosus）から得ることができることを特徴とするＳｃａＩ制限エンドヌクレアーゼをコードする単離ＤＮＡ。
【請求項２】
ＳｃａＩ制限エンドヌクレアーゼをコードするＤＮＡセグメントが挿入されたベクターを含む組換えＤＮＡベクター。
【請求項３】
ＡＴＣＣ  Ｎｏ．６９９６６から得ることができることを特徴とするＳｃａＩ制限エンドヌクレアーゼ及びメチラーゼをコードする単離ＤＮＡ。
【請求項４】
請求項３に記載の単離ＤＮＡを含むクローニングベクター。
【請求項５】
クローニングベクターがｐＲＲＳ−ＳｃａＩＲ＋を含むことを特徴とする請求項４に記載のクローニングベクター。
【請求項６】
請求項２、４、５のいずれかに記載のクローニングベクターによって形質転換された宿主細胞。
【請求項７】
ＳｃａＩ制限エンドヌクレアーゼの発現に適した条件下、請求項２、４、５のいずれかに記載のベクターによって形質転換された宿主細胞を培養することを含む、前記ＳｃａＩ制限エンドヌクレアーゼの生産方法。