【手続補正書】
【提出日】平成15年9月22日(2003.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び
（Ｂ）下記一般式（Ｉ）、（II）又は(III）で表される１価の多環型の脂環式基のうち少なくとも１つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂
を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
【化１】
1998232495.tif 000001
式（Ｉ）〜（III)中、Ｒ1 〜Ｒ5 は同じでも異なっていてもよく、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基もしくはアルキニル基、ハロゲン原子、シアノ基、−Ｒ6 −Ｏ−Ｒ7 基、−Ｒ8 −ＣＯ−Ｏ−Ｒ9 基、−Ｒ10−ＣＯ−ＮＲ11Ｒ12基又は−Ｒ13−Ｏ−ＣＯ−Ｒ14基を表す。
Ｒ7 、Ｒ9 は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基、又は酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を表す。
Ｒ11〜Ｒ12、Ｒ14は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表し、Ｒ11とＲ12が結合して環を形成しても良い。
Ｒ6 、Ｒ8 、Ｒ10、Ｒ13は同じでも異なっていてもよく、単結合もしくは、置換基を有していても良い、アルキレン基、アルケニレン基、又はシクロアルキレン基を表す。
ｌ、ｍ、ｎ、ｐ、ｑは同じでも異なっていてもよく、０又は１〜５の整数を示す。
ここで、ｌ、ｍ、ｎ、ｐ又はｑが２以上の場合、各複数個のＲ1 〜Ｒ5 は同一でも相異していても良く、その２個のＲ1 〜Ｒ5 が、同一炭素原子上に置換する場合、その２個でカルボニル基（＝Ｏ）又はチオカルボニル基（＝Ｓ）を表しても良く、更に２個のＲ1 〜Ｒ5 が、隣接する炭素原子上に置換する場合はその２個で互いに結合し、それら炭素原子間の二重結合を表しても良い。また、Ｒ1 〜Ｒ5 が各々２個以上置換している場合、その２個のＲ1 〜Ｒ5 が互いに結合して環を形成してもよい。
一般式（Ｉ）、（II）又は(III）で表される１価の多環型の脂環式基の結合手の位置は、それら炭化水素多環構造中のいずれの位置でも良い。
【請求項２】
（Ｂ）成分の樹脂が、下記一般式（IV）、（Ｖ）又は（VI）で表される繰り返し構造単位のうち少なくとも一つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のポジ型感光性組成物。
【化２】
1998232495.tif 000002
式（IV）〜（VI）中、Ｒ15、Ｒ16、Ｒ18〜Ｒ20は同じでも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。
Ｒ17は、シアノ基、−ＣＯ−ＯＲ27又は−ＣＯ−ＮＲ28Ｒ29を表す。
Ｘ1 〜Ｘ3 は同じでも異なってもよく、単結合であるか、置換基を有していても良い、２価のアルキレン基、アルケニレン基もしくはシクロアルキレン基、−Ｏ−、−ＳＯ2 −、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ30−、−ＣＯ−Ｏ−Ｒ31−、又は−ＣＯ−ＮＲ32−Ｒ33−を表す。
Ｒ27は水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基、又は酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を表す。
Ｒ28、Ｒ29、Ｒ32は同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。またＲ28とＲ29が結合して環を形成しても良い。
Ｒ30〜Ｒ31、Ｒ33は同じでも異なってもよく、単結合もしくは、２価のアルキレン基、アルケニレン基又はシクロアルキレン基を表し、更にこれらの基は、エーテル基、エステル基、アミド基、ウレタン基あるいはウレイド基とともに２価の基を形成しても良い。
Ｙは、請求項１に記載の一般式（Ｉ）〜（III)で表される多環型の脂環式基を表す。
【請求項３】
（Ｂ）成分の樹脂が、請求項２に記載の一般式（IV）、（Ｖ）又は（VI）で表される繰り返し構造単位のうち少なくとも一つと、下記一般式（VII)、（VIII）又は（IX）で表される繰り返し構造単位のうち少なくとも一つを有し、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性が増大する樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載のポジ型感光性組成物。
【化３】
1998232495.tif 000003
式（VII)〜（IX）中、Ｒ21、Ｒ22、Ｒ24〜Ｒ26は同じでも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。
Ｒ23は、シアノ基、−ＣＯ−ＯＲ27又は−ＣＯ−ＮＲ28Ｒ29を表す。
Ｘ4 〜Ｘ6 は同じでも異なってもよく、単結合であるか、置換基を有していても良い、２価のアルキレン基、アルケニレン基もしくはシクロアルキレン基、−Ｏ−、−ＳＯ2 −、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ30−、−ＣＯ−Ｏ−Ｒ31−、又は−ＣＯ−ＮＲ32−Ｒ33−を表す。
Ｒ27は水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基もしくはアルケニル基、又は酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を表す。
Ｒ28、Ｒ29、Ｒ32は同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表す。またＲ28とＲ29が結合して環を形成しても良い。
Ｒ30〜Ｒ31、Ｒ33は同じでも異なってもよく、単結合もしくは、２価のアルキレン基、アルケニレン基又はシクロアルキレン基を表し、更にこれらの基は、エーテル基、エステル基、アミド基、ウレタン基あるいはウレイド基とともに２価の基を形成しても良い。
Ｂは、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を表す。
【請求項４】
（Ｂ）成分の樹脂が、更にカルボキシル基を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項５】
（Ｂ）成分の樹脂が、更にカルボキシル基を有する下記一般式（Ｘ）、（XI）又は（XII)で表される繰り返し構造単位のうち少なくとも一つを含有することを特徴とする請求項４に記載のポジ型感光性組成物。
【化４】
1998232495.tif 000004
一般式（Ｘ）〜（XII)中、Ｒ34、Ｒ35、Ｒ37〜Ｒ39は同じでも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、アルキル基又はハロアルキル基を表す。Ｒ36はシアノ基、カルボキシル基、−ＣＯ−ＯＲ40又は−ＣＯ−ＮＲ41Ｒ42を表す。
Ｘ7 〜Ｘ9 は同じでも異なってもよく、単結合、置換基を有していても良い、２価のアルキレン基、アルケニレン基もしくはシクロアルキレン基、−Ｏ−、−ＳＯ2 −、−Ｏ−ＣＯ−Ｒ43−、−ＣＯ−Ｏ−Ｒ44−又は−ＣＯ−ＮＲ45−Ｒ46−を表す。
Ｒ40は置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表す。
Ｒ41、Ｒ42、Ｒ45は同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表し、Ｒ41とＲ42が結合して環を形成しても良い。
Ｒ43、Ｒ44、Ｒ46は同じでも異なってもよく、単結合あるいは、２価のアルキレン基、アルケニレン基、シクロアルキレン基を表し、更にこれらの基は、エーテル基、エステル基、アミド基、ウレタン基又はウレイド基とともに２価の基を形成しても良い。
【請求項６】
酸の作用により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解性が酸の作用により増大する、分子量３，０００以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物を含有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項７】
露光光源として、２５０ｎｍ以下の遠紫外光を使用することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のポジ型感光性組成物。
【請求項８】
露光光源として、２２０ｎｍ以下の遠紫外光を使用することを特徴とする請求項７に記載のポジ型感光性組成物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のポジ型感光性組成物により膜を形成し、該膜を露光、現像することを特徴とするポジ型パターン形成方法。