【事件の表示】
　特願２０００−　７４７０９「識別コードの露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１３年　９月２８日出願公開、特開２００１−２６５０００〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成１２年３月１６日に出願した特願２０００−７４７０９号であって、平成１４年７月３１日付けで拒絶査定がなされ、これに対し平成１４年８月３０日に拒絶査定に対する審判請求がなされた。
　
２．本願発明
　本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「円形ビームを発振するレーザー発振器と、発振されたレーザービームを拡大するビームエキスパンダーと、拡大された円形ビームを矩形に整形する矩形マスクと、矩形にしたレーザービームを縮小する光学系とから成る識別コードの露光装置。」
　
３．引用例
　これに対して、当審の拒絶の理由に引用された、特開平１０−１４４５７９号公報（以下、引用例１という。）には、以下の技術事項が記載されている。
ア．【００１５】
　図１に示されている識別コード付け装置１０はホトレジストを感光させることができる光線を照射する照射装置１１を備えており、照射装置１１の照射方向にはミラーや各種のレンズから構成された光学系１２を介して液晶マスク１３が配置されている。液晶マスク１３は液晶パネルが使用されて構成されており、光を透過させるパターンを電気的に制御して変更し得るように構成されている。液晶マスク１３にはコントローラ１４が電気的に接続されており、コントローラ１４は液晶に印加させる電圧を制御することにより光を透過させるパターンを変更させるように構成されている。
　
イ．【００１６】
　・・・ハーフミラー１５の透過側にはミラー１７を介して縮小レンズ１８が配置されており、縮小レンズ１８は液晶マスク１３のパターンを縮小してウエハ１の表面に投影させるように構成されている。図示しないが、識別コード付け装置１０は縮小レンズ１８のウエハ１に対する投影位置を順次変更して行けるように構成されている。
　
ウ．【００１９】
　図１に示されているように、ウエハ１の所定のペレット部４が縮小レンズ１８の投影位置に対向されると、照射装置１１からの光が液晶マスク１３を透過されて図２（ｂ）に示されているように照射されることにより、液晶マスク１３に形成された識別コードパターン２５がホトレジスト２２に転写される。
　
　したがって、引用例１には、上記各記載事項及び図１から、以下の発明（以下、引用発明、という。）が記載されている。
「円形光線を照射する照射装置１１と、光線を拡大する光学系１２と、識別コードパターンを形成する液晶マスク１３と、パターンを縮小する縮小レンズ１８とから成り、識別コードパターン２５がホトレジスト２２に転写される識別コード付け装置１０。」
　
　同じく、当審の拒絶の理由に引用された、特開平４−３５１２８０号公報（以下、引用例２という。）には、以下の技術事項が記載されている。
エ．【０００７】【実施例】
　以下、この発明の実施例を説明する。
　この実施例によるＹＡＧレーザ加工機１は、図２に示すように、発振器２、高調波化手段３、及び光学系４を備えると共に、図１に示すように、光学系４内に絞り手段５、及びシャッタ手段６を備えている。
　発振器２は、ＹＡＧロッド１０、前後一対の反射ミラー１１、１１、Ｑスイッチ１２、及びアパーチャ１３を備え、Ｑスイッチ１２の操作によりＱスイッチ発振を行えるようになっており、また、発振されるレーザビームＢのビーム径がアパーチャ１３により一定の径となるようになっている。ここで、一定の径とは、発振器２から発振可能な範囲で出来るだけ絞った径のことで、この例では１．３ｍｍとなるようにされている。
【０００８】
　高調波化手段３は、発振器２から波長１．０６μｍで発振されたレーザビームＢを高調波化するためのもので、この例では第２高調波（波長５３２ｎｍ）が得られるものを用いている。
　光学系４は、発振器２からのレーザビームＢの平行性をより高めるための平行化用光学系１４、及び平行化用光学系１４から出たレーザビームＢをスポット状に集光させて被加工物Ｍに照射するための集光レンズ１５、それに平行化用光学系１４と集光レンズ１５との間で光路を９０°変化させるために設けられた反射ミラー１６により形成されている。
　平行化用光学系１４は、図１に示すように、入射側から順に拡大用凹レンズ１７、平行化用凸レンズ１８、縮小用凸レンズ１９、及び平行化用凹レンズ２０を配列してなっている。そして、ここを通るレーザビームＢは、拡大用凹レンズ１７で所定倍率、この例では５倍に拡大された状態で平行化用凸レンズ１８で平行化され、それから縮小用凸レンズ１９で１／５に縮小された後、平行化用凹レンズ２０で平行化されることにより、より高い平行度が得られるようになっている。
【０００９】
　絞り手段５は、１．３ｍｍの径で発振器２から発振されたレーザビームＢの径をより細くして集光レンズ１５によるスポットのスポット径をより小さくするためのもの・・・
　
　上記記載事項、及び図１も参照すれば、引用例２には、レーザビーム発振器２と、発信されたレーザビームを拡大用凹レンズ１７、平行化用凸レンズ１８を介して拡大、平行化し、拡大されたビームを絞る絞り手段５と、絞ったビームを縮小する縮小用凸レンズ１９を備えたレーザビーム照射装置が記載されている。
　
　同じく、当審の拒絶の理由に引用された、特開平１１−２６０６７６号公報（以下、引用例３という。）には、以下の技術事項が記載されている。
オ．【００２９】
　このようなマークＭ１，Ｍ２の形成は、レーザーマーカー（レーザ記録装置）を用い、レーザービーム（例えば、ＹＡＧレーザ等）をウエハＷの側面に照射して、熱でその表面にコード等を記録（刻印）することにより行なうことができる。
　
カ．【００３７】
　なお、上記の説明では、位置検出用のマークＭ１，Ｍ２は、バーコードを使用して記述するようにしたが、例えば、図３に示すように、マトリックスコードを使用しても良く、・・・
　
４．対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、引用発明の「光線を拡大する光学系１２」、「識別コードパターンを形成する液晶マスク１３」、「パターンを縮小する縮小レンズ１８」は、それぞれ、本願発明の「ビームエキスパンダー」、「マスク」、「縮小する光学系」に相当する。
　
　また、引用発明も照射装置１１からの光が液晶マスク１３を透過されて照射されることにより、液晶マスク１３に形成された識別コードパターン２５がホトレジスト２２に転写されることにより識別コード形成するものであるので、引用発明の「識別コード付け装置１０」は、本願発明の「識別コードの露光装置」に相当する。
　
　また、引用発明の「円形光線を照射する照射装置１１」も、本願発明の「円形ビームを発振するレーザー発振器」も、「露光光源」という点で一致している。
　
　したがって、両者は、「露光光源と、光線を拡大するビームエキスパンダーと、拡大された光線を整形するマスクと、成形された光線を縮小する光学系とから成る識別コードの露光装置。」である点で一致し、以下の各点において相違している。
　
相違点１；
　本願発明では、露光光源として、レーザー発振器を用いているのに対し、引用発明では、光線としか記載されていない点。
　
相違点２；
　本願発明では、レーザビームを整形するマスクが、矩形であるのに対し、引用発明では、識別コードパターンを形成する液晶マスクであり形状についての記載がない点。
　
５．当審の判断
　相違点１について検討する。
　露光光源として、レーザー発振器を用いることは、慣用的に行われている。
　なお、上記一致点として認定した、「光線を拡大するビームエキスパンダーと、拡大された光線を整形するマスクと、成形された光線を縮小する光学系とから成る」構成は、レーザービームと限定されたものでないとしても、「発振されたレーザービームを拡大するビームエキスパンダーと、拡大されたビームを整形するマスクと、整形したレーザービームを縮小する光学系を有するレーザビーム照射装置」も引用例２に記載されている。
　
　相違点２について検討する。
　本願発明において、矩形マスクを用いた理由は、識別コードを形成するドットを矩形とするためであるが、矩形ドットからなる識別コードは、引用例３に示されているので、矩形ドットを形成するために矩形のマスクを用いることは、当業者にとって何ら困難性はない。
　
　また、本願発明の効果も、引用例１〜３に記載された発明から予測できる範囲のものである。
　
６．むすび
　したがって、本願発明は、上記引用例１〜３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する 。