【手続補正書】
【提出日】平成15年6月27日(2003.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に前記複数のリザーバのそれぞれに連通するもの毎に当該圧力発生室の長手方向の位置が異なるように設けられ、前記複数の圧力発生室の長手方向の一端部近傍と前記リザーバとを連通するインク供給通路を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】
インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に前記複数のリザーバのそれぞれに連通するもの毎に当該圧力発生室と長手方向の位置が異なるように設けられ、前記複数の圧力発生室の長手方向の一端部近傍と前記リザーバとを連通するインク供給通路を有し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】
インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通され、且つ前記リザーバは二つあり、前記複数の圧力発生室は並設方向に交互に異なる前記リザーバに連通し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】
インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に、前記複数のリザーバのそれぞれは、前記流路形成基板に順次積層される異なるインク室形成基板に画成され、当該インク室形成基板に接合されて前記リザーバの厚さ方向の少なくとも一面を仕切る仕切板には、前記ノズル開口からのインク吐出の際に前記リザーバ内に発生する圧力を吸収する圧力吸収手段が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜３の何れかにおいて、前記複数のリザーバのそれぞれは、前記流路形成基板に順次積層される異なるインク室形成基板に画成されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項６】
請求項５において、前記圧力吸収手段は、前記仕切板の前記リザーバに対応する部分の少なくとも一部に設けられ且つ他の部分の厚さよりも薄く且つ前記リザーバとは反対側に中空部を有する薄肉部であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６の何れかにおいて、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室の一方面に設けられた振動板上に配設された圧電振動子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項８】
請求項７において、前記流路形成基板がセラミックスで形成され、前記圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項９】
請求項７において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記圧力発生室が異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜６の何れかにおいて、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱素子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項１１】
請求項１〜１０の何れかのインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の態様は、インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、
前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に前記複数のリザーバのそれぞれに連通するもの毎に当該圧力発生室の長手方向の位置が異なるように設けられ、前記複数の圧力発生室の長手方向の一端部近傍と前記リザーバとを連通するインク供給通路を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
かかる第１の態様では、圧力発生室にインクを供給するリザーバを複数に分割し且つ厚さ方向に積層して形成したことにより、各圧力発生室当たりのリザーバ体積を増大すると共に、各リザーバの厚みを抑えて当該インク供給室内の気泡排出を容易にすることができる。そして、厚さ方向で圧力発生室に近いリザーバと、長手方向の内側に端部のある圧力発生室とを連通し、厚さ方向で遠いリザーバと長手方向外側に端部のある圧力発生室とを連通することにより、互いに干渉することなくインク供給のための通路を形成できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第２の態様は、インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に前記複数のリザーバのそれぞれに連通するもの毎に当該圧力発生室と長手方向の位置が異なるように設けられ、前記複数の圧力発生室の長手方向の一端部近傍と前記リザーバとを連通するインク供給通路を有し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
かかる第２の態様では、圧力発生室にインクを供給するリザーバを複数に分割し且つ厚さ方向に積層して形成したことにより、各圧力発生室当たりのリザーバ体積を増大すると共に、各リザーバの厚みを抑えて当該インク供給室内の気泡排出を容易にすることができる。そして、厚さ方向で圧力発生室に近いリザーバと、長手方向の内側に端部のある圧力発生室とを連通し、厚さ方向で遠いリザーバと長手方向外側に端部のある圧力発生室とを連通することにより、互いに干渉することなくインク供給のための通路を形成できる。また、各圧力発生室には、その端部に連通するインク供給通路を介してリザーバからインクが供給される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第３の態様は、インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通され、且つ前記リザーバは二つあり、前記複数の圧力発生室は並設方向に交互に異なる前記リザーバに連通し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通し、前記圧力発生室の長手方向の他端部近傍には、前記ノズル開口に連通するインク吐出通路が連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
かかる第３の態様では、圧力発生室にインクを供給するリザーバを複数に分割し且つ厚さ方向に積層して形成したことにより、各圧力発生室当たりのリザーバ体積を増大すると共に、各リザーバの厚みを抑えて当該インク供給室内の気泡排出を容易にすることができる。そして、隣接する圧力発生室同士は異なるリザーバからインク供給を受ける。また、各圧力発生室には、その端部に連通するインク供給通路を介してリザーバからインクが供給される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明の第４の態様は、インクを吐出する複数のノズル開口と、該ノズル開口にそれぞれ連通して少なくとも一列に並設された圧力発生室を画成する流路形成基板と、圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生する圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板の厚さ方向の異なる位置に面方向に重なって設けられ且つ前記圧力発生室にインク供給を行う複数のリザーバを具備し、前記圧力発生室のそれぞれは、前記複数のリザーバの何れかと連通されると共に、前記複数のリザーバのそれぞれは、前記流路形成基板に順次積層される異なるインク室形成基板に画成され、当該インク室形成基板に接合されて前記リザーバの厚さ方向の少なくとも一面を仕切る仕切板には、前記ノズル開口からのインク吐出の際に前記リザーバ内に発生する圧力を吸収する圧力吸収手段が設けられていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
かかる第４の態様では、圧力発生室にインクを供給するリザーバを複数に分割し且つ厚さ方向に積層して形成したことにより、各圧力発生室当たりのリザーバ体積を増大すると共に、各リザーバの厚みを抑えて当該インク供給室内の気泡排出を容易にすることができる。そして、インク室形成基板を複数枚積層することにより、複数のリザーバを容易に形成することができる。また、仕切板に設けられた圧力吸収手段により、リザーバにコンプライアンスを付与して、インク滴吐出のクロストークを防止する。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明の第５の態様は、第１〜３の何れかの態様において、前記複数のリザーバのそれぞれは、前記流路形成基板に順次積層される異なるインク室形成基板に画成されることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
本発明の第６の態様は、第５の態様において、前記圧力吸収手段は、前記仕切板の前記リザーバに対応する部分の少なくとも一部に設けられ且つ他の部分の厚さよりも薄く且つ前記リザーバとは反対側に中空部を有する薄肉部であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
かかる第６の態様では、リザーバとは反対側に中空部を有する薄肉部によりリザーバにコンプライアンスが付与される。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明の第７の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室の一方面に設けられた振動板上に配設された圧電振動子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
かかる第７の態様では、各圧電振動子の駆動によりインク滴を吐出することができる。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明の第８の態様は、第７の態様において、前記流路形成基板がセラミックスで形成され、前記圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
かかる第８の態様では、グリーンシートを積層して焼成することによりヘッドを容易に製造することができる。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本発明の第９の態様は、第７の態様において、前記流路形成基板がシリコン単結晶基板からなり、前記圧力発生室が異方性エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法により形成されたものであることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
かかる第９の態様では、高密度のノズル開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ比較的容易に製造することができる。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
本発明の第１０の態様は、第１〜６の何れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱素子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
かかる第１０の態様では、各発熱素子を加熱することにより、インク滴を吐出することができる。


【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
本発明の第１１の態様は、第１〜１０の何れかの態様のインクジェット式記録ヘッドを具備することを特徴とするインクジェット式記録装置にある。


【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
かかる第１１の態様では、インクの流速を低下させることなくインクの流量を増加させることのできるので、高密度化、多ノズル化、高周波数駆動等により、高速、高品質印刷可能なインクジェット式記録装置が実現される。