(57)【要約】【課題】良好なＶＳＷＲを有する通過帯域幅が広い弾性表面波装置を提供する。【解決手段】圧電基板上に、弾性表面波フィルタ２０１、２０２と、前記弾性表面波フィルタ２０１、２０２に電気的に接続された弾性表面波共振子２１７、２１８とを備える弾性表面波装置２００において、前記弾性表面波共振子２１７、２１８における反共振点が前記弾性表面波フィルタ２０１、２０２の通過帯域よりも高周波数側に設定している。そして、前記弾性表面波フィルタ２０１、２０２の電極膜厚に対して、前記弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚が厚く形成されている。【選択図】  図１
2004194027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つ以上のくし型電極部を有する弾性表面波フィルタと、前記弾性表面波フィルタに電気的に接続された、くし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える弾性表面波装置において、
前記弾性表面波共振子における反共振点が前記弾性表面波フィルタの通過帯域よりも高周波数側に設定されており、
前記弾性表面波フィルタの電極膜厚と前記弾性表面波共振子の電極膜厚とが互いに異なっていることを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】
前記弾性表面波フィルタの電極膜厚よりも前記弾性表面波共振子の電極膜厚の方が厚いことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波装置。
【請求項３】
前記弾性表面波共振子が、前記弾性表面波フィルタに直列に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項４】
前記弾性表面波共振子が、前記弾性表面波フィルタに並列に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性表面波装置。
【請求項５】
前記弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項６】
平衡−不平衡変換機能を有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【請求項７】
前記弾性表面波共振子の膜厚比は、１４％以下であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の弾性表面波装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば携帯電話等の通信装置に用いられる弾性表面波装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の携帯電話機等の通信装置の小型化、軽量化に対する技術的進歩は目覚しいものがある。これを実現するための手段として、各構成部品の削減、小型化はもとより、複数の機能を複合した部品の開発も進んできた。
【０００３】
弾性表面波装置は、携帯電話機用のＲＦフィルタとして広く一般的に用いられるようになっている。近年においては、携帯電話に用いられる周波数不足から、上記弾性表面波装置において、通過帯域幅を広くするなどの要求が強まってきている。また、携帯電話機における感度は、どの周波数チャンネルを使用しても一定であることが望ましく、通過帯域内の平坦性などの高性能化も求められている。
【０００４】
弾性表面波装置を高性能化する手法としては、例えば特許文献１に記載されているように、弾性表面波フィルタ、特に縦結合共振子型弾性表面波フィルタに弾性表面波共振子を直列接続する構成が広く用いられている。上記特許文献１では、図１２のように、３つのくし型電極部（Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴという）を備える縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１に、弾性表面波共振子１０２が電気的に直列に接続されている。その際、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１における周波数と弾性表面波フィルタ１０２における周波数との関係は、弾性表面波共振子１０２の反共振周波数が、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１の通過帯域より高周波数側に位置し、さらに、弾性表面波共振子１０２の共振周波数が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１の通過帯域内に位置するように設定されている。これにより、弾性表面波共振子１０２の反共振周波数が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ１０１の通過帯域より高周波数側に位置しているので、通過帯域高周波数側ごく近傍の減衰量が大きくなり、かつ、弾性表面波共振子１０２の共振周波数が通過帯域内に位置しているので、通過帯域内に位置している通過帯域内の挿入損失の大きな劣化は生じない。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−３０３６７号公報（公開日１９９５年１月３１日）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１に記載の構成の弾性表面波フィルタでは、通過帯域幅を広くした場合、良好なＶＳＷＲ（Voltage Standing Wave Ratio）が得られないという問題があった。
【０００７】
最も良好なフィルタ特性が得られる弾性表面波フィルタの電極膜厚は、そのフィルタの中心周波数によって異なってくる。つまり、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと、弾性表面波共振子とでは、周波数特性が異なるので、最適な電極膜厚は異なることになる。しかし、上記特許文献１では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと弾性表面波共振子とにおける電極膜厚は等しい。そのため、仮に縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極が最適な膜厚であり、最も良好なフィルタ特性が得られていたとしても、弾性表面波共振子の電極は最適な膜厚からずれていることになる。したがって、弾性表面波共振子の電極が最適な膜厚である場合のフィルタ特性と比較して、特性が悪くなっていることが考えられる。
【０００８】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極膜厚と、弾性表面波共振子の電極膜厚を互いに異ならせ、それぞれの最も良好な特性を得ることで、良好なＶＳＷＲを有する通過帯域幅が広い弾性表面波装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の弾性表面波装置は、上記の課題を解決するために、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つ以上のくし型電極部を有する弾性表面波フィルタと、前記弾性表面波フィルタに電気的に接続された、くし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える弾性表面波装置において、前記弾性表面波共振子における反共振点が前記弾性表面波フィルタの通過帯域よりも高周波数側に設定されており、前記弾性表面波フィルタの電極膜厚と前記弾性表面波共振子の電極膜厚とが互いに異なっていることを特徴としている。また、前記弾性表面波フィルタの電極膜厚よりも前記弾性表面波共振子の電極膜厚の方が厚いことが好ましい。
【００１０】
上記の構成によれば、弾性表面波共振子における共振点と反共振点との間隔を広げることにより比較的通過帯域幅が広い弾性表面波フィルタに利用しても通過帯域内全体のインピーダンスをより整合点に近づけることができる。これにより、弾性表面波装置におけるＶＳＷＲを改善することができる。
【００１１】
また、前記弾性表面波共振子は、前記弾性表面波フィルタに直列に接続されていても、並列に接続されていてもよい。
【００１２】
また、前記弾性表面波フィルタは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタであることが好ましい。
【００１３】
また、上記弾性表面波装置は、不平衡−平衡変換機能を有することが好ましい。
【００１４】
本発明の弾性表面波装置は、上記の構成に加えて、前記弾性表面波共振子の膜厚比は、１４％以下であることが好ましい。これにより、挿入損失の良好な弾性表面波装置を提供することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
〔実施の形態１〕
本発明の実施の一形態について、図１ないし図１０に基づいて説明すれば以下のとおりである。なお、本実施の形態では、Ｗ−ＣＤＭＡ送信用の平衡−不平衡変換機能を有する弾性表面波装置を例にあげる。また、上記弾性表面装置では、不平衡側のインピーダンスが５０Ω、平衡側のインピーダンスが２００Ωとしている。
【００１６】
図１に、本実施の形態にかかる弾性表面波装置２００の要部の構成を示す。上記弾性表面波装置２００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のそれぞれに直列に接続された弾性表面波共振子２１７、２１８を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。圧電基板には、ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3、水晶などを用いる。
【００１７】
そして、上記弾性表面波装置２００には、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２と用いて平衡−不平衡変換機能を持たせている。また、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と不平衡信号端子２２５との間に弾性表面波共振子２１７が直列に接続され、同様に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２と不平衡信号端子２２５との間に弾性表面波共振子２１８が直列に接続されている。さらに、上記上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２は、それぞれ、平衡信号端子２２６、２２７に接続されている。
【００１８】
また、上記弾性表面波装置２００では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２と弾性表面波共振子２１７、２１８の周波数の関係は、弾性表面波共振子２１７、２１８の反共振周波数が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の通過帯域高周波数側の近傍に、共振周波数が通過帯域内に位置するように設定されている。さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の電極膜厚をｈ１、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚をｈ２とした場合、ｈ１＜ｈ２となっている。
【００１９】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１の構成は、くし型電極部（Inter-Digital Transducer、以下、ＩＤＴという）２０４を挟みこむようにＩＤＴ２０３、２０５が形成され、その両側に反射器２０６、２０７が形成されている。図１に示すように、互いに隣り合うＩＤＴ２０３とＩＤＴ２０４との間、およびＩＤＴ２０４とＩＤＴ２０５との間の数本の電極指（電極指のピッチで決まる波長：λｉ）は、ＩＤＴの他の部分の電極指（電極指のピッチで決まる波長：λＩ）よりもピッチが短い（狭ピッチ電極指部２０８、２０９）。これにより通過帯域内の挿入損失を低減することができる。
【００２０】
縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２の構成は、ＩＤＴ２１１を挟みこむようにＩＤＴ２１０、２１２が形成され、その両側に反射器２１３、２１４が形成されている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と同様に、ＩＤＴ２１０とＩＤＴ２１１との間、およびＩＤＴ２１１とＩＤＴ２１２との間には、狭ピッチ電極指部２１５、２１６が設けられている。また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２のＩＤＴ２１１の向きは、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１のＩＤＴ２０４に対して、交叉幅方向に反転させている。これにより、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２における入力信号に対する出力信号の位相は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１に対して約１８０°反転されている。これにより、弾性表面波装置２００は、平衡−不平衡変換機能を有することになる。
【００２１】
また、本実施の形態においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のＩＤＴ２０４、２１１がそれぞれ平衡信号端子２２６、２２７に接続されている。さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のＩＤＴ２０３、２０５およびＩＤＴ２１０、２１２のそれぞれが、弾性表面波共振子２１７、２１８を介して、平衡信号端子２２５にそれぞれ接続されている。
【００２２】
上記弾性表面波共振子２１７、２１８は、共に同じ構成であり、それそれＩＤＴ２１９、２２２を挟み込むように、反射器２２０、２２３と、反射器２２１、２２４とが形成されている。なお、本実施形態においては、弾性表面波共振子として、反射器を持たない弾性表面波共振子を用いてもよい。
【００２３】
なお、図１においては、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２、弾性表面波共振子２１７、２１８は図を簡潔にするため、電極指の本数を実際の本数よりも少なく示している。
【００２４】
ここで、上記弾性表面波装置２００において縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２および弾性表面波共振子２１７、２１８の形成方法としては、蒸着法等が挙げられるが、特に限定されるものではない。例えば、圧電基板に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２あるいは弾性表面波共振子２１７、２１８のいずれか一方を形成した後、残りのもう一方を異なる厚さで形成してもよい。また、例えば、圧電基板に、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２および弾性表面波共振子２１７、２０８を膜厚の厚い方に合わせて形成した後、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２または弾性表面波共振子２１７、２０８のいずれか薄くする方をエッチング等で削ることにより形成してもよい。
【００２５】
以下では、より具体的な例を挙げて本実施の形態について説明する。
【００２６】
本実施の形態にかかる実施例１の縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００２７】
交叉幅Ｗ：３２．６λＩ
ＩＤＴ本数：（ＩＤＴ２０３、ＩＤＴ２０４、ＩＤＴ２００５の順）：１４（３）／（３）１６（３）／（３）１４本（カッコ内はピッチを狭くした電極指の本数）
反射器本数：１００本
ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ）、０．６０（反射器）
電極膜厚ｈ１：０．０８０λＩ
ここでλＩは、狭ピッチではない電極指のピッチで決まる波長である。
【００２８】
なお、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１におけるＩＤＴ２０４を、交叉幅方向に反転させているＩＤＴ２１１に代えている以外は縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と同様の構成である。
【００２９】
また、上記弾性表面波共振子２１７、２１８の詳細な設計の一例については、以下の通りである。
【００３０】
交叉幅Ｗ：１９．７λＩ
ＩＤＴ本数：３０１本
反射器本数：３０本
ｄｕｔｙ：０．６０（ＩＤＴ）、０．６０（反射器）
ＩＤＴ−反射器間隔（電極指中心間距離）：０．５０λＩ
電極膜厚ｈ２：０．０９８１λＩ
なお、弾性表面波共振子２１７、２１８の詳細な設計はすべて同じである。
【００３１】
図２に、実施例１の弾性表面波装置２００における、不平衡信号端子側の周波数に対するＶＳＷＲを、図３に平衡信号端子側の周波数に対するＶＳＷＲを示す。また、比較として、図１に示した弾性表面波装置２００において、従来技術のように縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極膜厚と、弾性表面波共振子の電極膜厚とが等しい場合（以下、従来例とする）の不平衡信号端子側の周波数に対するＶＳＷＲおよび平衡信号端子側の周波数に対するＶＳＷＲも図２および図３に示す。
【００３２】
図２、３より、従来例と実施例１とを比較すると、実施例１のＶＳＷＲの方が改善していることがわかる。具体的には、Ｗ−ＣＤＭＡ送信用フィルタの通過帯域周波数範囲１９２０〜１９８０ＭＨｚ内において、従来例では不平衡信号端子側のＶＳＷＲは１．５９、平衡信号端子側のＶＳＷＲは１．４２であるのに対して、実施例１では不平衡信号端子側のＶＳＷＲは１．５６、平衡信号端子側のＶＳＷＲは１．４０となっている。
【００３３】
また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の電極膜厚を変化させた場合の、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚と不平衡信号端子側のＶＳＷＲとの関係を図４に、平衡信号端子側のＶＳＷＲとの関係を図５に示す。このときの電極膜厚の値は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振子におけるＩＤＴのピッチで決まる波長に対する比（膜厚比）で示している。図４、図５より、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の電極膜厚よりも弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚を厚くすることで、不平衡信号端子側のＶＳＷＲ、平衡信号端子側のＶＳＷＲとも改善されていることがわかる。
【００３４】
以下、本発明における原理について説明する。縦結合共振子型弾性表面波フィルタと弾性表面波共振子とを同じ膜厚とし、弾性表面波共振子の反共振点を縦結合共振子型弾性表面波フィルタの通過帯域高周波数側近傍に、共振点を縦結合共振子型弾性表面波フィルタの通過帯域内に位置するようにした場合、図６に示すように、弾性表面波共振子のインピーダンスは共振点と反共振点との間の周波数範囲内では、誘導性（Ｌ性）となる。通常、図６に示すように、「弾性表面波共振子（トラップ）が誘導性（Ｌ性）として作用する周波数範囲＜弾性表面波フィルタの通過帯域幅」という関係となっている。そのため、通過帯域全体を弾性表面波共振子（トラップ）のＬ性によって作用させることはできない。したがって、通過帯域内全体でインピーダンスの整合を取ることは困難である。
【００３５】
弾性表面波共振子（トラップ）がＬ性として作用する周波数範囲を広げるには、弾性表面波共振子（トラップ）の膜厚を厚くする方法が考えられる。これは、弾性表面波共振子の膜厚を厚くすると共振点と反共振点との間隔が広がり、Ｌ性として作用する周波数範囲が広がるためである。しかし、弾性表面波共振子の膜厚を厚くした分だけ同じように弾性表面波フィルタの膜厚を厚くしたのでは、弾性表面波フィルタの通過帯域幅も広がるため、結局弾性表面波共振子がＬ性として作用する周波数範囲の比率は同じになる。そのため、インピーダンスの整合が取りにくく、ＶＳＷＲが悪くなるという問題がある。
【００３６】
ここで、実施例１で用いた弾性表面波装置における弾性表面波共振子２１７、２１８において設計パラメータは変更せず、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚のみを変えた場合の周波数に対するインピーダンス特性を図７に示す。図７に示すように、弾性表面波共振子の膜厚比を７．１１％から、８．１２％、９．１５％、１０．０％と大きくするにつれて、共振点と反共振点との間隔が広がっていくことがわかる。つまり、Ｌ性として作用する周波数範囲が広がる。したがって、弾性表面波共振子の膜厚比を大きくし、共振点と反共振点との間隔を広くすることで、比較的通過帯域幅が広い弾性表面波フィルタに利用しても通過帯域内全体のインピーダンスをより整合点に近づけることができる。これにより、ＶＳＷＲを改善することができる。
【００３７】
また、図８には、上記弾性表面波装置において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極膜厚を一定にして、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚を変えた場合の弾性表面波共振子の膜厚比に対する挿入損失の変化、ならびに上記弾性表面波装置において、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚を一定にして、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極膜厚を変えた場合の縦結合共振子型弾性表面波フィルタの膜厚比に対する挿入損失の変化を示す。図８より、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの電極膜厚を厚くしていった場合よりも、弾性表面波共振子の電極膜厚を厚くしていった場合の方が挿入損失の悪化が起こりにくいことがわかる。つまり、弾性表面波共振子の電極膜厚を厚くして最適な条件に適宜設定することが挿入損失の悪化を抑制する上で好ましい。また、弾性表面波共振子の膜厚比を大きくしていった場合の挿入損失は、弾性表面波共振子の膜厚比が１２％を超えた辺りから挿入損失が悪くなっていき、１４％を超えると挿入損失が３．０ｄＢを超えることがわかる。通常の弾性表面波フィルタとしての市場要求としては、挿入損失が３．０ｄＢであることが要求されている。したがって、弾性表面波共振子の膜厚比は、１４％以下であり、好ましくは１２％以下である。
【００３８】
図９に、従来例および実施例１の反射特性Ｓ１１をスミスチャートで比較した図を示す。図９より、実施例１のように、弾性表面波共振子の膜厚比を大きくして共振点と反共振点との間隔を広くすることで、従来例と比較して通過帯域内のインピーダンスが整合点に近づけることができ、ＶＳＷＲを改善できることがわかる。
【００３９】
以上説明したように、実施例１では、弾性表面波表面波フィルタの電極膜厚よりも前記弾性表面波共振子の電極膜厚を厚くしている。これにより、ＶＳＷＲが良好な弾性表面波装置が得られる。
【００４０】
また、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタでは、平衡信号端子の平衡度や、通過帯域外の減衰量を大きくする目的などで、設計を互いに異ならせても、同様の効果が得られる。また、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴ−ＩＤＴ間付近に狭ピッチ電極指部を設けているが、狭ピッチ電極指部を設けない構成でもよい。上記の構成においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４１】
また、本実施の形態では、不平衡信号−平衡信号変換機能を有する弾性表面波装置について説明したが、平衡信号入力−平衡信号出力、または不平衡信号入力−不平衡信号出力の弾性表面波装置においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４２】
また、本実施の形態では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと不平衡信号端子間にのみ弾性表面波共振子が１つ直列に接続されている構成となっているが、弾性表面波共振子は特に１つである必要はない。例えば、図１０に示すように、上記の構成において、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと平衡信号端子との間に弾性表面波共振子を追加した構成であってもよい。この構成においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４３】
また、上記弾性表面波共振子では、弾性表面波装置における平衡信号端子間の平衡度や通過帯域外の減衰量を大きくする目的などで、設計を互いに異ならせてもよい。この構成においても、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００４４】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施の形態について図１１に基づいて説明すれば、以下の通りである。なお、説明の便宜上、前記実施の形態１にて示した各部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。
【００４５】
図１１に、本実施の形態にかかる弾性表面波装置１０００の要部の構成を示す。上記弾性表面波装置１０００は、２つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２、および縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２のそれぞれに並列に接続された弾性表面波共振子２１７、２１８を、圧電基板（図示せず）上に、備えている構成である。つまり、上記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１と不平衡信号端子２２５との間に弾性表面波共振子２１７が並列に接続され、同様に縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０２と不平衡信号端子２２５との間に弾性表面波共振子２１８が並列に接続されている。
【００４６】
また、上記弾性表面波装置１０００では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２と弾性表面波共振子２１７、２１８の周波数の関係は、弾性表面波共振子２１７、２１８の反共振周波数が縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の通過帯域高周波数側の近傍に、共振周波数が通過帯域内に位置するように設定されている。さらに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ２０１、２０２の電極膜厚をｈ１、弾性表面波共振子２１７、２１８の電極膜厚をｈ２とした場合、ｈ１＜ｈ２である。
【００４７】
また、上記弾性表面波装置１０００では、弾性表面波共振子の反共振点を縦結合共振子型弾性表面波フィルタの通過帯域高周波数側近傍に、共振点を縦結合共振子型弾性表面波フィルタの通過帯域内に位置するようにしている。
【００４８】
上記の構成によれば、実施の形態１と同様に、弾性表面波共振子における、Ｌ性として作用する周波数範囲が広がる。したがって、弾性表面波共振子の膜厚比を大きくし、共振点と反共振点との間隔を広くすることで、比較的通過帯域幅が広い弾性表面波フィルタに利用しても通過帯域内全体のインピーダンスをより整合点に近づけることができる。これにより、ＶＳＷＲを改善することができる。
【００４９】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００５０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の弾性表面波装置は、圧電基板上に、弾性表面波の伝搬方向に沿って形成された少なくとも２つ以上のくし型電極部を有する弾性表面波フィルタと、前記弾性表面波フィルタに電気的に接続された、くし型電極部を有する少なくとも１つの弾性表面波共振子とを備える弾性表面波装置において、前記弾性表面波共振子における反共振点が前記弾性表面波フィルタの通過帯域よりも高周波数側に設定されており、前記弾性表面波フィルタの電極膜厚と前記弾性表面波共振子の電極膜厚とが互いに異なっており、弾性表面波フィルタの電極膜厚よりも、弾性表面波共振子の電極膜厚の方が厚いことを特徴としている。
【００５１】
上記の構成によれば、弾性表面波共振子における共振点と反共振点との間隔を広げることにより比較的通過帯域幅が広い弾性表面波フィルタに利用しても通過帯域内全体のインピーダンスをより整合点に近づけることができる。これにより、弾性表面波装置におけるＶＳＷＲを改善することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１にかかる実施例１の弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。
【図２】従来例と実施例１とにおける不平衡信号端子側のＶＳＷＲを比較するグラフである。
【図３】従来例と実施例１とにおける平衡信号端子側のＶＳＷＲを比較するグラフである。
【図４】実施例１おける弾性表面波共振子の膜厚比と不平衡信号端子側のＶＳＷＲとの関係を示すグラフである。
【図５】実施例１おける弾性表面波共振子の膜厚比と平衡信号端子側のＶＳＷＲとの関係を示すグラフである。
【図６】実施例１の弾性表面波装置の伝送特性と弾性表面波共振子のインピーダンス特性とを示すグラフである。
【図７】実施例１の弾性表面波共振子の周波数に対するインピーダンス特性を示すグラフである。
【図８】縦結合共振子型弾性表面波フィルタおよび弾性表面波共振子の膜厚比を変化させたときの弾性表面波装置における挿入損失を示すグラフである。
【図９】従来例と実施例１との反射特性を示すスミスチャートである。
【図１０】実施の形態１の変形例を示す概略の構成を示す平面図である。
【図１１】実施の形態２にかかる弾性表面波装置の概略の構成を示す平面図である。
【図１２】従来の弾性表面波装置を示す概略の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
２００  弾性表面波装置
２０１、２０２  縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
２１７、２１８  弾性表面波共振子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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