【手続補正書】
【提出日】平成26年10月17日(2014.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光散乱によって試料の粒子径分布を測定するための装置（１００，２００）であって、
第１波長及び第２波長をそれぞれ有する光の第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）を発生させるための光発生手段（１０２，１０４）と、
ダイクロイック素子（１１６）であって、前記ダイクロイック素子（１１６）における前記第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）それぞれの透過及び反射により、前記第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）の出力の大部分を、試料を通る共通経路（１３３）上に方向付けるように配置されたダイクロイック素子（１１６）と、
を備え、
前記装置（１００）は、前記ダイクロイック素子（１１６）により反射された前記第１ビーム（１３１）の一部を検出するように配置された、第１検出器（１１０）を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置（１００）であって、
前記第１ビーム（１３１）の出力を制御する制御システム（１０６）を更に備え、
前記制御システム（１０６）が、前記第１検出器（１１０）からの出力信号を受けて、前記出力信号に応じて前記第１ビーム（１３１）の出力を調整するように配置されることを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置（１００）であって、
前記共通経路（１３３）から前記第１ビーム又は第２ビームの一部を受光するように配置された検出器（１１２Ａ，１１２Ｊ）からの信号を受けて、前記信号に一部基づき前記試料の粒子径分布を計算するように配置された演算ユニット（１１４）を備えることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置（１００）であって、
前記第１検出器（１１０）は、前記ダイクロイック素子（１１６）により透過された前記第２ビーム（１３２）の一部を検出するように配置されることを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置（２００）であって、
前記第２ビーム（２３２）のほぼ全ての出力を、前記ダイクロイック素子（１１６）に向けて透過し、前記第２ビーム（２３２）の出力の一部を第２検出器（２１１）に向けて反射するように配置された光学素子（２１９）及び前記第２検出器（２１１）を更に備えることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の装置（２００）であって、
前記第１ビーム及び第２ビーム（２３１，２３２）の出力を制御する制御システム（２０６，２０８）を更に備え、
前記制御システム（２０６，２０８）は、前記第１検出器（２１０）からの出力信号、又は、前記第１及び第２検出器（２１０，２１１）からの出力信号を受けて、前記出力信号に応じて前記第１ビーム及び第２ビーム（２３１，２３２）の出力を調整するように配置されることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項４又は請求項５に記載の装置（１００，２００）であって、
前記第１検出器（２１０）からの出力信号、又は、前記第１及び第２検出器（２１０，２１１）からの出力信号を受けて、前記出力信号に一部基づき前記試料の粒子径分布を計算するように配置された演算ユニット（２１４）を備えることを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の装置（１００，２００）であって、
前記第１波長が前記第２波長より短いことを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項８に記載の装置（１００，２００）であって、
前記光発生手段（１０２，２０２；１０４，２０４）が、前記第１ビーム（１３１，２３１）を発生させるための青色レーザダイオード又は青色ＬＥＤと、前記第２ビーム（１３２，２３２）を発生させるためのヘリウムネオンレーザ又は赤色ＬＥＤとを備えることを特徴とする装置。
【請求項１０】
請求項８又は請求項９に記載の装置（１００，２００）であって、
前記ダイクロイック素子（１１６）が、実質的に平らな平行面（１４１，１４２；２４１，２４２）であって、その一面にダイクロイックコーティング（１１７，２１７）が施された平行面（１４１，１４２；２４１，２４２）を有するガラス光学素子であることを特徴とする装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の装置（１００，２００）であって、
前記第１波長の変動範囲における前記ダイクロイックコーティング（１１７，２１７）の反射率の変化率が、実質的にゼロであることを特徴とする装置。
【請求項１２】
請求項１０又は請求項１１に記載の装置（１００，２００）であって、
前記第２波長における前記ダイクロイックコーティング（１１７，２１７）の透過率Ｔλ２が、２％≦Ｔλ２≦１０％の範囲内であることを特徴とする装置。
【請求項１３】
請求項１〜請求項１２のいずれか１項に記載の装置（２００，４００）であって、
前記ダイクロイック素子（２１６，４１６）が、前記装置（２００，４００）内において、試料（２２２，４２２）に光を伝達するための一つ以上の他の光学素子（２１５，２１８，２１９；４１５，４１８）と共に、無塵ハウジング（２２０，４２０）内に備えられることを特徴とする装置。
【請求項１４】
試料（１２２）の粒子径分布測定方法であって、
（ｉ）第１波長及び第２波長をそれぞれ有する光の第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）を発生させるステップと、
（ｉｉ）ダイクロイック素子（１１６）を用いて、前記ダイクロイック素子（１１６）における前記第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）それぞれの透過及び反射により、前記第１ビーム及び第２ビーム（１３１，１３２）の出力の大部分を、試料（１２２）を通る共通経路（１３３）上に方向付けるステップと、
を備え、
前記方法が、前記ダイクロイック素子（１１６）により反射された前記第１ビーム（１３１）の一部を第１検出器（１１０）を用いて検出し、対応する出力信号を生成するステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１検出器（１１０）の前記出力信号を、前記出力信号に応じて前記第１ビーム（１３１）の出力を調整するように配置された制御システム（１０６）に供給するステップを更に備えることを特徴とする方法。
【請求項１６】
請求項１４に記載の方法であって、
前記共通経路（１３３）から前記第１ビーム又は第２ビーム（１３１，１３２）の一部を受光するように配置された検出器（１１２Ａ，１１２Ｊ）からの出力信号を、前記出力信号に一部基づいて前記試料（１２２）の粒子径分布を計算するように配置された演算ユニット（２１４）に供給するステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１４に記載の方法であって、
前記第１検出器（１１０）を用いて、前記ダイクロイック素子（１１６）により透過された前記第２ビームの一部を検出するステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１４に記載の方法であって、
光学素子（２１９）を前記第２ビーム（２３２）内で用いて、前記第２ビーム（２３２）の出力の大部分を前記ダイクロイック素子（２１６）に向けて透過し、前記第２ビーム（２３２）の出力の一部を第２検出器（２１１）に向けて反射するステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項１９】
請求項１７又は請求項１８に記載の方法であって、
前記第１検出器（２１０）からの出力信号、又は、前記第１検出器及び第２検出器（２１０，２１１）からの出力信号を、前記出力信号に応じて前記第１ビーム及び第２ビーム（２３１，２３２）の出力を制御するように配置された制御システム（２０６，２０８）に供給するステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項２０】
請求項１７又は請求項１８に記載の方法であって、
前記第１検出器（２１０）からの出力信号、又は、前記第１検出器及び第２検出器（２１０，２１１）からの出力信号を、前記出力信号に一部基づいて前記試料の粒子径分布を計算するように配置された演算ユニット（２１４）に供給するステップを備えることを特徴とする方法。