【手続補正書】
【提出日】平成26年8月18日(2014.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムで使用するための変調装置であって、
パターンに従って複数の小ビームをパターン化するための小ビームブランカーアレイと、
固定された接続によって組立てられたグループとして複数のファイバの端セクションを収容するためのファイバ固定基板とを具備し、
前記小ビームブランカーアレイは、複数のモジュレータおよび複数の光感応素子を備え、光感応素子は、パターンデータ伝送光ビームを受け、光ビームを電気信号に変換するために配置され、かつ、前記光感応素子は、１つ以上のモジュレータに受けられるパターンデータを提供するために１つ以上のモジュレータに電気的に接続され、
前記ファイバ固定基板内のファイバは、前記パターンデータ伝送光ビームを提供するために配置される、変調装置。
【請求項２】
前記複数のファイバの端セクションは、対応する光感応素子の１００マイクロメートルの範囲内にあり、好ましくは５０マイクロメートルの範囲内にある請求項１の装置。
【請求項３】
前記小ビームブランカーアレイと前記ファイバ固定基板との間の接続は、光感応素子が無い位置でブランカーアレイと接触し、かつ、ファイバの端セクションが無い位置で前記ファイバ固定基板と接触している接着剤によって確立される請求項１または２の装置。
【請求項４】
前記小ビームブランカーアレイと前記ファイバ固定基板との間の接続は、接着材層によって確立される請求項１または２の装置。
【請求項５】
前記接着材層は、前記ブランカーアレイおよび前記ファイバ固定基板の両方の大部分と接触する請求項４の装置。
【請求項６】
前記接着材層は、前記ファイバ固定基板のファイバ端セクションおよび前記小ビームブランカーアレイに提供される光感応素子と接触している請求項５の装置。
【請求項７】
前記接着材層は、１．４を超え、好ましくは１．５を超える屈折率を有する材料を具備する請求項６の装置。
【請求項８】
前記ファイバ固定基板は、複数の開口が設けられた基板を有し、前記ファイバ端部が前記複数の開口を通って延び、
前記ファイバ端部は、接着剤によって前記基板に接続される請求項１ないし７のいずれか１項の装置。
【請求項９】
前記ブランカーアレイに対面する前記ファイバ固定基板の表面は、基板を介して延びているファイバの端部の高さ間の変化が２マイクロメートル未満となるように研磨される請求項１ないし８のいずれか１項の装置。
【請求項１０】
前記ファイバ固定基板に対面する前記小ビームブランカーアレイの表面は、少なくとも１つのモジュレータおよびモジュレータが無い第２のアレイを備える第１のエリアを具備し、
前記小ビームブランカーアレイおよび前記ファイバ固定基板の接続は、第２のエリアにて確立される請求項１ないし９のいずれか１項の装置。
【請求項１１】
前記光感応素子には、反射防止膜が提供される請求項１ないし１０のいずれか１項の装置。
【請求項１２】
前記小ビームブランカーアレイおよび前記固定されたファイバ基板のうちの少なくとも１つには、１つ以上の相互位置エレメントが提供される請求項１ないし１１のいずれか１項の装置。
【請求項１３】
複数の荷電粒子小ビームを使用してターゲットの表面上にパターンを転送する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムであって、
複数の荷電粒子小ビームを生成するためのビーム発生装置と、
請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の変調装置と、
前記ターゲットの表面上へパターン化された小ビームを投影するためのプロジェクションシステムとを具備するシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のリソグラフィシステムまたは請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の装置で使用するためのファイバ固定基板を製造する方法であって、
基板に複数の開口を提供することと、
複数のファイバを提供し、前記開口を介して複数のファイバのファイバ端部を配置することと、
接着剤を使用することにより前記開口のファイバ端部を固定することとを具備する方法。
【請求項１５】
前記基板のファイバ端面側を研磨することを更に備えている請求項１４の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、複数の荷電粒子小ビーム（ｃｈａｒｇｅｄ  ｐａｒｔｉｃｌｅ  ｂｅａｍｌｅｔｓ）を使用してターゲットの表面上へパターンを転送する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムに関する。本発明は、さらに荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムにて使用される変調装置（ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  ｄｅｖｉｃｅ）に関する。最後に、本発明は、このようなリソグラフィシステムまたはこのような装置のためのファイバ固定基板を製造する方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
リソグラフィシステムに精度を失うことがない改良された信頼性を提供することは、本発明の目的である。この目的のために、本発明は複数の荷電粒子小ビームを使用してターゲット表面上にパターンを転送する荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムを提供する。当該システムは、複数の荷電粒子小ビームを生成するためのビーム発生装置と、パターンに従って複数の小ビームをパターン化するための小ビームブランカーアレイと、ターゲット表面上へパターン化された小ビームを投影するためのプロジェクションシステムとを具備する。そこにおいて、小ビームブランカーアレイは、複数のモジュレータおよび複数の光感応素子とを具備する。光感応素子はパターンデータ伝送光ビーム（ｐａｔｔｅｒｎ  ｄａｔａ  ｃａｒｒｙｉｎｇ  ｌｉｇｈｔ  ｂｅａｍｓ）を受け、光ビームを電気信号に変換するために配置されている。そして光感応素子は１つ以上のモジュレータに受けられるパターンデータを提供するために、１つ以上のモジュレータに電気的に接続される。小ビームブランカーアレイは、パターンデータ伝送光ビームを提供するために、固定接続によって組立てられたグループとして複数のファイバの端セクション（ｅｎｄ  ｓｅｃｔｉｏｎｓ）を収容するファイバ固定基板に接続される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明のいくつかの実施形態は、荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステムにて使用される変調装置に関する。その変調装置は、パターンに従って複数の小ビームをパターン化するための小ビームブランカーアレイと、固定接続によって組立てられたグループとして複数のファイバの端セクションを収容するためのファイバ固定基板と、を具備する。そこにおいて、小ビームブランカーアレイは、複数のモジュレータおよび複数の光感応素子を備えている。光感応素子は、パターンデータ伝送光ビームを受け、光ビームを電気信号に変換するために配置されている。そして光感応素子は、１つ以上のモジュレータに受けられるパターンデータを提供するために、１つ以上のモジュレータに電気的に接続されている。そして、ファイバ固定基板内のファイバは、パターンデータ伝送光ビームを提供するために配置される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
したがって、各種実施形態における本発明に係る測定は、設計によるいわゆるアラインメントを実現する。光感応素子例えばフォトダイオードおよび固定されたファイバ基板内のファイバ端部は、ブランカーアレイの適切な領域内で固定されたファイバ基板およびブランカーアレイを相互に接続させた後の調整、特にファイバ端部の相互の接続（カップリング）および光感応素子のマッチングの可能性なしで所定の仕様に従って予め位置合わせする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
以下は発明の各種実施形態の説明であり、単なる例および図に関するものである。図は、一定の比率で描画されておらず、単に説明の便宜上の目的とされる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
図１は、荷電粒子マルチ小ビームリソグラフィシステム１の実施形態の簡略化された図面を示す。リソグラフィシステム１は、複数の小ビームを生成している小ビームジェネレータと、変調された小ビームを形成するように小ビームをパターン化する小ビームモジュレータと、ターゲットの表面上へ変調された小ビームを投影するための小ビームプロジェクタとを適切に備えている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
図８Ａに示される接着剤１９１とは逆に、接着材層１９３は、また、光感応素子１０７と接触している。接着材層１９３内の材料は、光ファイバ１６３を出る光ビーム１８１の開口角度を減らすのに十分に高い屈折率を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
十分に高い屈折率を有する接着材層１９３の使用は、アラインメント公差が改良される効果がある。例えば、図８Ａで、光ファイバ１６３を出る光ビーム１８１は、光感応素子１０７が完全にカバーされるような開口角度αを有する。しかしながら、光ファイバ１６３と光感応素子１０７との間のアラインメントが完全でない場合、一部の光は光感応素子１０７上へ落ちてはこない。結果的に、光感応素子１０７によって受けられる光出力は、不完全なアラインメントによって容易に減少する。