【手続補正書】
【提出日】平成15年12月12日(2003.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料の付着を、前記樹脂層表面に対向して設置されたパターニング材料付与装置の微細孔から気化したパターニング材料を放出して、前記樹脂層表面に付着させることにより行うことを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２】
微細孔の形状が、丸形、楕円形、長孔形、及び矩形のいずれかを、単独又は複数配列したものであることを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項３】
微細孔の最大径Ｄが１０μｍ〜５００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項４】
微細孔の最大径をＤ、微細孔の深さをＬとしたとき、Ｌ／Ｄが１〜１０であることを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項５】
微細孔の最大径をＤ、微細孔の深さをＬとしたとき、Ｄが１０μｍ〜５００μｍであり、かつ、Ｌ／Ｄが１〜１０であることを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項６】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料の付着を、加熱したパターニング材料付与装置に気化した前記パターニング材料を供給し、次いで前記樹脂層表面に対向して設置された前記パターニング材料付与装置の微細孔を通じて前記樹脂層表面に向けて前記パターニング材料を放出することにより行うことを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項７】
加熱したパターニング材料付与装置に液体状態のパターニング材料を供給し、前記パターニング材料付与装置内でパターニング材料を蒸発させて気体状態にした後、前記パターニング材料付与装置の微細孔を通じて樹脂層表面に向けて前記パターニング材料を放出することを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項８】
パターニング材料付与装置に液体状態のパターニング材料を供給した後、前記パターニング材料付与装置を昇温して前記パターニング材料付与装置内で前記パターニング材料を蒸発させて気体状態にした後、前記パターニング材料付与装置の微細孔を通じて樹脂層表面に向けて前記パターニング材料を放出することを特徴とする請求項１に記載の積層体の製造方法。
【請求項９】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料の付着を、前記樹脂層表面に対向しかつ前記樹脂層表面との距離が略一定となるよう保たれたパターニング材料付与装置から、前記パターニング材料を放出して前記樹脂層表面に付着させることにより行うことを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項１０】
前記パターニング材料付与装置が後退することを特徴とする請求項９に記載の積層体の製造方法。
【請求項１１】
前記支持体の回転数に応じて予め設定した量だけ前記パターニング材料付与装置が後退することを特徴とする請求項１０に記載の積層体の製造方法。
【請求項１２】
前記樹脂層表面との距離を測定する工程と、距離の測定値を用いて前記パターニング材料付与装置と前記樹脂層表面との距離が略一定になるよう調整する工程とを有することを特徴とする請求項９に記載の積層体の製造方法。
【請求項１３】
パターニング材料が付着される樹脂層表面と微細孔との距離を５０〜５００μｍに維持することを特徴とする請求項９〜１２のいずれかに記載の積層体の製造方法。
【請求項１４】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料の付着を、前記樹脂層表面に対向して配置されたパターニング材料付与装置の微細孔から液体状態の前記パターニング材料を放出して、前記樹脂層表面に付着させることにより行うことを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項１５】
液体状態のパターニング材料を液滴として放出することを特徴とする請求項１４に記載の積層体の製造方法。
【請求項１６】
樹脂層表面にパターニング材料の連続した液膜を形成することを特徴とする請求項１５に記載の積層体の製造方法。
【請求項１７】
パターニング材料の放出を圧電素子により行うことを特徴とする請求項１４に記載の積層体の製造方法。
【請求項１８】
パターニング材料付与装置の微細孔を、樹脂層表面の移動方向と垂直な方向に複数個配列することを特徴とする請求項１４に記載の積層体の製造方法。
【請求項１９】
複数個配列された微細孔から選択的にパターニング材料を放出することを特徴とする請求項１８に記載の積層体の製造方法。
【請求項２０】
放出された液体状態のパターニング材料を帯電させることを特徴とする請求項１４に記載の積層体の製造方法。
【請求項２１】
パターニング材料が放出された空間に電場が存在することを特徴とする請求項１４に記載の積層体の製造方法。
【請求項２２】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記支持体が所定の回数回転するごとに前記パターニング材料の付着位置を変更することを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２３】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記金属薄膜層を積層する工程の後であって、前記樹脂層を積層する工程の前に、残存する前記パターニング材料を除去する工程を有することを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２４】
パターニング材料を加熱して除去することを特徴とする請求項２３に記載の積層体の製造方法。
【請求項２５】
加熱を光照射により行うことを特徴とする請求項２４に記載の積層体の製造方法。
【請求項２６】
パターニング材料を分解して除去することを特徴とする請求項２３に記載の積層体の製造方法。
【請求項２７】
分解を、プラズマ照射、イオン照射、及び電子照射のうちの少なくとも一つにより行うことを特徴とする請求項２６に記載の積層体の製造方法。
【請求項２８】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料がエステル系オイル、グリコール系オイル、フッ素系オイル及び炭化水素系オイルよりなる群から選ばれた少なくとも一種のオイルであることを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２９】
パターニング材料の蒸気圧が０．１ｔｏｒｒとなる温度が８０〜２５０℃の範囲内にあることを特徴とする請求項２８に記載の積層体の製造方法。
【請求項３０】
オイルの平均分子量が２００〜３０００であることを特徴とする請求項２８に記載の積層体の製造方法。
【請求項３１】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記樹脂材料を付着させた後、前記樹脂層の硬化度が５０〜９５％になるまで硬化処理することを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項３２】
パターニング材料を付着させる工程の前に、樹脂層の硬化度が５０％〜９５％になるまで硬化処理することを特徴とする請求項１、６、９、１４、２２、２３、又は２８に記載の積層体の製造方法。
【請求項３３】
硬化処理を電子線照射及び紫外線照射のうちの少なくとも一つにより行うことを特徴とする請求項３１又は３２に記載の積層体の製造方法。
【請求項３４】
樹脂材料を付着させて樹脂層を積層する工程と、前記樹脂層上にパターニング材料を非接触で付着させる工程と、金属薄膜層を積層する工程とを一単位とし、これを周回する支持体上で所定回数繰り返すことにより、樹脂層と金属薄膜層とからなる積層体を製造する方法であって、
前記パターニング材料を付着させる工程の前に、前記樹脂層を表面処理することを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項３５】
パターニング材料を付着させる工程の前に、樹脂層を表面処理することを特徴とする請求項１、６、９、１４、２２、２３、又は２８に記載の積層体の製造方法。
【請求項３６】
硬化処理の後であって、パターニング材料を付着させる工程の前に、樹脂層を表面処理することを特徴とする請求項３１に記載の積層体の製造方法。
【請求項３７】
樹脂層の表面処理を行う前に硬化処理を行うことを特徴とする請求項３４に記載の積層体の製造方法。
【請求項３８】
表面処理が酸素プラズマ処理であることを特徴とする請求項３４〜３６のいずれかに記載の積層体の製造方法。
【請求項３９】
積層体の製造を真空中で行うことを特徴とする請求項１、６、９、１４、２２、２３、２８、３１、又は３４に記載の積層体の製造方法。
【請求項４０】
周回する支持体が円筒状のドラムであることを特徴とする請求項１、６、９、１４、２２、２３、２８、３１、又は３４に記載の積層体の製造方法。
【請求項４１】
樹脂材料が反応性モノマー樹脂であることを特徴とする請求項１、６、９、１４、２２、２３、２８、３１、又は３４に記載の積層体の製造方法。