(57)【要約】【課題】ウォームを軸方向に変位させることにより、該ウォームに作用する衝撃力を回避して歯車機構に発生するかみ込みを防止する。【解決手段】回転駆動源１２がボックス２２に連結される。ボックス２２には、シャフト４２により回転駆動源１２に連結され軸方向に変位可能なウォーム３６と、該ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０とが軸支される。ウォーム歯車４０を支持するシャフト１００には平歯車１１２が固着される。ボックス２２には、把持部材１４、１６がピン部材１０４ａ、１０４ｂに回動自在に配設され、該把持部材１４、１６は円弧部１１６ａ、１１６ｂに歯部１１４ａ、１１４ｂが配設され、歯部１１４ａ、１１４ｂは互いに噛合し、円弧部１１６ａの歯部１１４ａが平歯車１１２の歯部１２０に噛合する。ボックス２２には、ワークを把持する把持部材１４、１６の把持力を確認する検出センサー９４が配設される。【選択図】図２
2004216482.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動する回転駆動源と、
前記回転駆動源に連結されたボディと、
前記ボディに設けられ前記回転駆動源の回転駆動力により回転する歯車機構と、
前記回転駆動源の回転駆動力が伝達されることにより、所定角度回動自在に軸支される一組の把持部材と、
前記歯車機構に付設された緩衝部材と、
を備え、
前記緩衝部材により、前記歯車機構を構成する歯車相互のかみ込みを防止することを特徴とする電動チャック装置。
【請求項２】
請求項１記載の電動チャック装置において、
前記歯車機構の変位を検出して前記一組の把持部材に作用する把持力の発生を確認することを特徴とする電動チャック装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の電動チャック装置において、
前記歯車機構は、軸方向に変位可能なウォームと、前記ウォームに噛合するウォーム歯車とを備えることを特徴とする電動チャック装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電動チャック装置に関し、一層詳細には、回転駆動源の作用下に一組の把持部材を回動変位させてワークを把持することが可能な電動チャック装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の電動チャック装置は、ボディと、前記ボディに連結された回転駆動源と、前記ボディに所定角度回転自在に軸支され連動する一組の把持部材と、前記ボディに設けられ前記回転駆動源の駆動軸に連結されるウォームと、前記ウォームに噛合しウォーム歯車と同軸に配設され、かつ前記一組の把持部材のどちらか一方に噛合する平歯車とから構成される。
【０００３】
このように構成された電動チャック装置は、回転駆動源の駆動作用下にウォームおよびウォーム歯車から平歯車を介して一組の把持部材によりワークを把持する技術的思想が本出願人によって提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−３０１４８１号公報（第２頁〜第４頁、図２および図３）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、ウォーム等で構成される歯車機構に発生する衝撃力を吸収し、前記ウォームとウォーム歯車間に惹起するかみ込みを防止して回転駆動源の回転駆動力を把持部材に円滑に伝達することが可能な電動チャック装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するために、本発明は、回転駆動する回転駆動源と、
前記回転駆動源に連結されたボディと、
前記ボディに設けられ前記回転駆動源の回転駆動力により回転する歯車機構と、
前記回転駆動源の回転駆動力が伝達されることにより、所定角度回動自在に軸支される一組の把持部材と、
前記歯車機構に付設された緩衝部材と、
を備え、
前記緩衝部材により、前記歯車機構を構成する歯車相互のかみ込みを防止することを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、歯車機構に発生する衝撃力を緩衝部材で吸収し、該歯車機構に発生するかみ込みを防止して、これによって回転力の円滑な伝達を行うことが可能である。
【０００８】
この場合、前記歯車機構の変位を検出すれば前記一組の把持部材に作用するワークに対する把持力の発生を確認することができる。
【０００９】
さらに、前記歯車機構が、軸方向に変位可能なウォームと、前記ウォームに噛合するウォーム歯車とにより構成されていると、前記ウォームとウォーム歯車との歯部に作用する衝撃力を緩衝部材により円滑に緩和させることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明に係る電動チャック装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１１】
図１および図２において参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る電動チャック装置を示す。
【００１２】
この電動チャック装置１０は、基本的には、電動機等の回転駆動源１２と、前記回転駆動源１２の駆動作用下に一組の把持部材１４、１６が所定角度回動自在に装着された把持部１８と、前記回転駆動源１２の回転駆動力を前記把持部１８に伝達する連結部２０とから構成される。なお、前記回転駆動源１２の電流は、直流または交流のいずれでもよい。さらに、回転駆動源１２は、油圧モータまたは空圧モータでもよい。
【００１３】
図２に示されるように、前記連結部２０はボックス２２と、前記ボックス２２の下部に取着された第１ハウジング２４および該ボックス２２の上部に取着された第２ハウジング２６とを備える。
【００１４】
前記ボックス２２内の空間部３０には一組の把持部材１４、１６に回転駆動力を伝達する歯車機構３２が設けられる。前記歯車機構３２は、回転駆動源１２の駆動軸３４に連結され、前記回転駆動源１２の駆動作用下に前記駆動軸３４と一体的に回転するウォーム３６と、前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０とを備える。前記ウォーム３６は、シャフト４２と、前記シャフト４２の外周面に螺回して突出形成された歯部３８とを備える。なお、本実施の形態では、ウォーム３６とシャフト４２は一体的に形成したが、前記ウォーム３６と前記シャフト４２を個別に形成しても勿論よい。
【００１５】
一方、前記ウォーム歯車４０は、前記シャフト４２とその軸線が略直交する円筒状に形成された本体４４と、前記本体４４の外周面から突出する歯部３９とから構成される。
【００１６】
この場合、回転駆動源１２の駆動作用下に、ウォーム３６からウォーム歯車４０に対して回転力が伝達されて一組の把持部材１４、１６が回動動作するように設けられているが、逆方向、すなわち、前記ウォーム歯車４０からウォーム３６側に向かって回転力が伝達されないように、前記ウォーム３６の歯部３８と前記ウォーム歯車４０の歯部３９とが噛合するように構成されている。
【００１７】
前記ボックス２２内には、第１軸受部４６および第２軸受部４８が設けられ、前記第１軸受部４６および第２軸受部４８に、それぞれ、円筒状の第１移動部材５０、第２移動部材５２が摺動自在に装着される。
【００１８】
前記第１移動部材５０には穴５６ａが画成され、前記穴５６ａには第１ベアリング５８が設けられる。一方、前記第２移動部材５２には穴５６ｂが画成され、前記穴５６ｂには第２ベアリング６０が設けられる。
【００１９】
前記第１ベアリング５８および第２ベアリング６０には、それぞれ、シャフト４２の一端部６２と他端部６３が回転自在に軸支されている。
【００２０】
カップリング６４は、横断面略Ｕ字状の凹部６５を形成する略扇状の一組の突起部６６、６７が所定間隔離間して設けられた本体６８と、前記本体６８の凹部６５に軸方向に設けられた略矩形状の変位部材６９とを有する。
【００２１】
前記本体６８は、凹部６５の底面に臨入された回転駆動源１２の駆動軸３４にキー７１を介して固着される。前記変位部材６９はシャフト４２の一端部６２と同軸であり、かつそれより小である突出部６２ａにキー７３を介して固着される。
【００２２】
図１に示されるように、前記カップリング６４が回転する際、本体６８の突起部６６、６７の側壁面６６ａ、６７ｂまたは側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面に係合して前記変位部材６９を回転させ、シャフト４２が回転駆動される。この場合、前記変位部材６９は、シャフト４２を介して軸方向に変位可能であって、凹部６５において進退動作する。
【００２３】
なお、駆動軸３４および突出部６２ａの端部には、本体６８、変位部材６９のそれぞれを前記駆動軸３４、突出部６２ａの軸方向に位置決めする保持部材７５が設けられている。
【００２４】
前記第１移動部材５０および第２移動部材５２の穴５４ａ、５４ｂには、圧縮ばねである第１ばね部材７０と第２ばね部材７２が装着される。
【００２５】
前記第１ばね部材７０は、シャフト４２の一端部６２を囲繞し、該第１ばね部材７０の一端が第１移動部材５０の穴５４ａを形成する有底部に着座され、該第１ばね部材７０の他端が第１ばね受部材７４に着座される。また、前記第２ばね部材７２は、第２移動部材５２の内部に形成された環状突部５５を囲繞し、該第２ばね部材７２の一端が該第２移動部材５２の穴５４ｂを形成する有底部に着座され、該第２ばね部材７２の他端が第２ばね受部材７６に着座される。
【００２６】
第１ばね部材７０の弾発力により第１移動部材５０を介して第１ベアリング５８がウォーム３６の一端部に当接される。一方、第２ばね部材７２の弾発力により第２移動部材５２を介して第２ベアリング６０がウォーム３６の他端部に当接される。
【００２７】
従って、ウォーム３６、シャフト４２および変位部材６９は、第１移動部材５０を装着する第１軸受部４６と第２移動部材５２を装着する第２軸受部４８とにより一体的に軸方向に変位可能である。
【００２８】
なお、第１ばね受部材７４の孔には、シャフト４２の一端部６２が挿通されている。
【００２９】
さらに、前記シャフト４２の一端部６２には、該一端部６２を囲繞する第１緩衝部材７８と第１固定板８０とが設けられる。ここで、前記第１ばね部材７０、第１ばね受部材７４、第１緩衝部材７８および第１固定板８０は、カラー８４の内部に配置され、前記これらの構成要素はカラー８４に挿通されたねじ部材８６により第１ハウジング２４に一体的に取着される。
【００３０】
また、前記第２ばね受部材７６に係合される第２緩衝部材８８は第２固定板９０に接合し、前記第２固定板９０がねじ部材９２により第２ハウジング２６に取着される。従って、第２ばね部材７２と第２ばね受部材７６および第２緩衝部材８８は、一体的に第２ハウジング２６の内部に収納固定されている。
【００３１】
前記第２移動部材５２の一端部には、磁性体である円筒状の検出体５２ａが設けられている。
【００３２】
なお、第１緩衝部材７８および第２緩衝部材８８は、ウォーム３６に作用する衝撃力を吸収する機能を有する。前記第１緩衝部材７８および第２緩衝部材８８には制振ゴム、皿ばね等を用いるとよく、特に、制振ゴムを用いると衝撃力を効率よく吸収することができ、好適である。
【００３３】
検出センサー９４（図１および図３参照）は、例えば、非接触型のリミットスイッチであって、ウォーム３６の変位位置、すなわち、検出体５２ａが前記検出センサー９４の検出部９４ａの位置に到達した際にＯＮ状態となり図示しないワークに作用する一組の把持部材１４、１６の把持力の発生の有無を確認する。
【００３４】
前記ボックス２２の空間部３０内には、第３ベアリング９６および第４ベアリング９８によって回動自在に軸支されたシャフト１００が設けられ、前記シャフト１００には本体４４を介してウォーム歯車４０が固定されている。
【００３５】
さらに、図２に示されるように、前記ボックス２２の一側面には板状の支持プレート１０２が固着され、前記支持プレート１０２には、一組の把持部材１４、１６をそれぞれ回転自在に軸支するピン部材１０４ａ、１０４ｂが軸着されている。
【００３６】
また、前記支持プレート１０２にはブロック部材１０６が突設され、前記支持プレート１０２およびブロック部材１０６には、前記シャフト１００の他端部を回動自在に軸支する第５ベアリング１０８および第６ベアリング１１０が配設される。
【００３７】
前記シャフト１００の他端部に平歯車１１２が固定され、シャフト１００を介して同軸状に固定されたウォーム歯車４０および平歯車１１２は、それぞれ、シャフト１００と一体的に回動するように設けられている。
【００３８】
図１に示されるように、一組の把持部材１４、１６には、それぞれ、円弧状の周面に互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂが形成され、支持プレート１０２に軸着されたピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として回動動作する円弧部１１６ａ、１１６ｂと、前記円弧部１１６ａ、１１６ｂと一体的に形成され、前記ピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として所定角度変位するフィンガ部１１８ａ、１１８ｂとを有する。この場合、平歯車１１２の歯部１２０と他方の把持部材１６の歯部１１４ｂとが噛合するとともに、他方の把持部材１６の歯部１１４ｂと一方の把持部材１４の歯部１１４ａとが互いに噛合することにより、一組の把持部材１４、１６が所定角度回動する。なお、フィンガ部１１８ａ、１１８ｂには、図示しないアームを装着するための取付用孔部１２２ａ、１２２ｂが形成される。
【００３９】
この場合、他方の把持部材１６の歯部１１４ｂにウォーム歯車４０と同軸状に設けられた平歯車１１２の歯部１２０を噛合させて、前記ウォーム３６の推力を矢印Ｘ方向（図２参照）に作用させたが、一方の把持部材１４の歯部１１４ａにウォーム歯車４０と同軸状に設けられた平歯車１１２の歯部１２０を噛合させて、前記ウォーム３６の推力を矢印Ｙ方向（図２参照）に作用させても勿論よい。
【００４０】
前記他方の把持部材１６には、支持プレート１０２に固着されたブロック体１２４を介してゴム等の弾性体よって形成された緩衝部材１２６ａ、１２６ｂが設けられ、前記把持部材１６が変位終端位置に到達する際、前記緩衝部材１２６ａ、１２６ｂによってその衝撃が吸収される。
【００４１】
本発明の実施の形態に係る電動チャック装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００４２】
回転駆動源１２は図示しない電源に接続され、初期状態としては、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂが図１中の２点鎖線に示される位置にあるものとする。なお、他方の把持部材１６のフィンガ部１１８ｂの一側が緩衝部材１２６ｂに当接している。
【００４３】
この場合、図３に示されるように、ウォーム３６の回転によりシャフト４２を介して変位部材６９は本体６８の凹部６５に係合された状態で軸方向に沿って矢印Ｙ方向に変位し、前記シャフト４２の端面が駆動軸３４の端面に近接した位置に変位する。そして、第１移動部材５０の一端部が第１ばね受部材７４に当接される。
【００４４】
一方、第２移動部材５２は、ウォーム３６に共働して検出体５２ａが検出部９４ａから所定間隔離間した状態にある。
【００４５】
このため、検出センサー９４はＯＦＦ状態にある。これにより、回転駆動源１２の回転駆動力がウォーム３６に伝達されていない状態、すなわち、一組の把持部材１４、１６には把持力が発生していない状態を確認することができる。
【００４６】
なお、ウォーム３６が回転駆動されていないので、前記ウォーム３６と該ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みの現象も惹起していない。
【００４７】
次いで、回転駆動源１２の駆動作用下に該回転駆動源１２の回転駆動力が駆動軸３４よりカップリング６４の本体６８に伝達され、前記本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の他端部６９ｂ、一端部６９ａの各側壁面に当接した状態で、第１ベアリング５８および第２ベアリング６０に軸支されるシャフト４２によりウォーム３６に伝達される。前記回転駆動力は前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０を介して平歯車１１２に伝達される。
【００４８】
従って、平歯車１１２はシャフト１００の軸線を回動中心として所定方向に回動し、前記シャフト１００の回転力が平歯車１１２に伝達される。
【００４９】
さらに、前記平歯車１１２の歯部１２０に噛合する歯部１１４ｂを介して他方の把持部材１６がピン部材１０４ｂを回動中心として回動するとともに、互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂを介して一方の把持部材１４がピン部材１０４ａを回動中心として回動する。
【００５０】
この場合、図４に示されるようにウォーム３６の回転により第１移動部材５０および第２移動部材５２が第１軸受部４６、第２軸受部４８を介して矢印Ｘ方向に変位を開始する。
【００５１】
このため、変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面が本体６８の突起部６７、６６の側壁面６７ａ、６６ｂに当接された状態で矢印Ｘ方向に変位する。
【００５２】
これにより、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂは、ともに所定角度だけ回動動作し、図１の実線に示す状態になる。
【００５３】
ここで、他方の把持部材１６の円弧部１１６ｂが緩衝部材１２６ａに当接して回動終端位置が規制され、略平行となった一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持される。
【００５４】
そして、ウォーム歯車４０は、前記一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持された状態において停止する。
【００５５】
図５に示されるように、ウォーム３６は第１移動部材５０および第２移動部材５２を介して矢印Ｘ方向に変位を開始し、前記第２ばね部材７２の互いに隣り合うコイルが密着したときの高さ、すなわち、第２ばね部材７２が密着高さ（ＪＩＳＢ２７０４）を形成する状態で停止する。
【００５６】
従って、第２ばね部材７２が密着高さを形成する状態における検出体５２ａの位置は、検出部９４ａに略一致し、両者が互いに対向している。これにより、検出センサー９４がＯＮ状態となりウォーム３６の停止状態においても回転駆動源１２の回転駆動力としての把持力が一組の把持部材１４、１６に作用している状態を確認することができる。
【００５７】
一方、図示しないワークが一組の把持部材１４、１６により把持された際、ウォーム３６に付勢される衝撃力は、第２ばね部材７２の縮量により緩和される。
【００５８】
そして、前記ウォーム３６の停止により密着高さが形成される第２ばね部材７２を介して第２緩衝部材８８により衝撃力が吸収される。これにより、ウォーム３６と該ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを防止することができる。
【００５９】
前記ワークの把持状態を解除する場合には、回転駆動源１２に供給される電流の極性を変えて前記とは逆方向に回転させると、カップリング６４の本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ａ、６７ｂが変位部材６９の一端部６９ａ、他端部６９ｂの各側壁面に当接する。これにより、前記変位部材６９は本体６８とともに前記とは逆方向に回転して一組の把持部材１４、１６が互いに離間する方向に回動動作して初期位置に復帰する。
【００６０】
図６および図７は、本発明の他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０の概略構成図を示す。
【００６１】
すなわち、図６および図７に示される電動チャック装置１３０は、ウォーム３６の衝撃力を吸収して該ウォーム３６と前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを回避することを要旨とするもので、図６および図７中、図１および図２に示す構成要素と同一構成要素ついては、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６２】
ボックス２２内には、第１軸受部４６および第２軸受部４８が設けられ、前記第１軸受部４６および第２軸受部４８に、それぞれ、第１軸受部材１３２、第２軸受部材１３４が装着される。
【００６３】
前記第１軸受部材１３２および第２軸受部材１３４には、第１ベアリング５８、第２ベアリング６０が装着される。前記第１ベアリング５８および第２ベアリング６０には、それぞれ、シャフト４２の一端部６２、該シャフト４２の他端部６３が回転自在に軸支される。
【００６４】
前記シャフト４２の一端部６２は、第１ハウジング２４の空間部２８内でカップリング６４を介して回転駆動源１２の駆動軸３４に連結される。
【００６５】
図６に示されるように、一組の把持部材１４、１６には、それぞれ、円弧状の周面に互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂが形成され、支持プレート１０２に軸着されたピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として回動動作する円弧部１１６ａ、１１６ｂと、前記円弧部１１６ａ、１１６ｂと一体的に形成され、前記ピン部材１０４ａ、１０４ｂを回動中心として所定角度変位するフィンガ部１１８ａ、１１８ｂとを有する。この場合、平歯車１１２の歯部１２０と一方の把持部材１４の歯部１１４ａとが噛合するとともに、一方の把持部材１４の歯部１１４ａと他方の把持部材１６の歯部１１４ｂとが互いに噛合することにより、一組の把持部材１４、１６が所定角度回動する。なお、フィンガ部１１８ａ、１１８ｂには、図示しないアームに装着するための取付用孔部１２２ａ、１２２ｂが形成される。
【００６６】
前記第１軸受部４６および第２軸受部４８の内孔には、それぞれ、第１緩衝部材１３６、第２緩衝部材１３８が装着される。
【００６７】
なお、第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８は、ウォーム３６に作用する衝撃力を吸収する機能を有する。前記第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８は制振ゴム、皿ばね等を用いるとよく、特に、制振ゴムを用いると衝撃力を効率よく吸収することができ、好適である。
【００６８】
前記第１緩衝部材１３６は、一側がボックス２２の側板２２ａに装着され、他側が第１軸受部材１３２の外側面に係合されている。前記第２緩衝部材１３８は、一側が押板２２ｂに押圧され、他側が第２軸受部材１３４の外側面に当接されている。
【００６９】
本発明の他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作ならびに作用効果について説明する。
【００７０】
まず、回転駆動源１２を図示しない電源に接続しておく。なお、初期状態としは、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂが図６中の２点鎖線に示される位置にあるものとする。
【００７１】
初期状態において、回転駆動源１２の駆動作用下に該回転駆動源１２の回転駆動力がカップリング６４の本体６８に伝達され、前記本体６８の突起部６６、６７の側壁面、例えば、側壁面６６ｂ、６７ａが変位部材６９の他端部６９ｂ、一端部６９ａの各側壁面に当接して、第１ベアリング５８および第２ベアリング６０に軸支されるシャフト４２によりウォーム３６に伝達される。前記回転駆動力が前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０を介して平歯車１１２に伝達される。
【００７２】
従って、ウォーム歯車４０はシャフト１００の軸線を回動中心として所定方向に回動し、前記シャフト１００の回転力が平歯車１１２に伝達される。
【００７３】
そして、前記平歯車１１２の歯部１２０に噛合する歯部１１４ａを介して一方の把持部材１４がピン部材１０４ａを回動中心として回動するとともに、互いに噛合する歯部１１４ａ、１１４ｂを介して他方の把持部材１６がピン部材１０４ｂを回動中心として回動する。
【００７４】
これにより、一組の把持部材１４、１６のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂは、ともに所定角度だけ回動動作し、図６の実線に示す状態になる。
【００７５】
この場合、他方の把持部材１６の円弧部１１６ｂが緩衝部材１２６ａに当接して回動終端位置が規制され、略平行となった一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持される。
【００７６】
この場合、ウォーム歯車４０は、前記一組のフィンガ部１１８ａ、１１８ｂによって図示しないワークが把持された状態において停止している。
【００７７】
一方、図示しないワークが一組の把持部材１４、１６により把持された際、ウォーム３６に作用する衝撃力は、第２軸受部材１３４を介して第２緩衝部材１３８により吸収される。これにより、ウォーム３６の衝撃力が吸収されるので、該ウォーム３６と前記ウォーム３６に噛合するウォーム歯車４０間に発生するかみ込みを防止することができる。
【００７８】
この他の実施の形態に係る電動チャック装置１３０では、ウォーム３６に作用する衝撃力を第１緩衝部材１３６および第２緩衝部材１３８により吸収する機構を採用しているので、構成が簡単で故障が少なく取り扱いが容易である。
【００７９】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００８０】
すなわち、歯車機構を変位可能に支持して該歯車機構に発生する衝撃力を緩衝部材で吸収することにより、前記歯車機構に発生するかみ込みを防止することが可能である。
【００８１】
また、歯車機構を変位可能にすることにより、一組の把持部材の把持力の発生の有無をセンサーによって確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る電動チャック装置の一部切り欠き斜視図である。
【図２】図１の矢印Ａ方向から見た一部切り欠き縦断面図である。
【図３】把持部材が初期位置に位置する際のウォームの初期位置における検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図４】把持部材がワークを把持してウォームが変位している状態における検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図５】把持部材がワークを把持してウォームが変位終端に位置した検出体と検出センサーとの位置関係を示す縦断動作説明図である。
【図６】他の実施の形態に係る電動チャック装置の一部切り欠き斜視図である。
【図７】図６の矢印Ｂ方向から見た一部切り欠き縦断面図である。
【符号の説明】
１０、１３０…電動チャック装置      １２…回転駆動源
１４、１６…把持部材                １８…把持部
２０…連結部                        ３２…歯車機構
３４…駆動軸                        ３６…ウォーム
３８、３９、１１４ａ、１１４ｂ、１２０…歯部
４０…ウォーム歯車                  ４２、１００…シャフト
４６…第１軸受部                    ４８…第２軸受部
５０…第１移動部材                  ５２…第２移動部材
５８…第１ベアリング                ６０…第２ベアリング
７０…第１ばね部材                  ７２…第２ばね部材
７８、１３６…第１緩衝部材          ８８、１３８…第２緩衝部材
９４…検出センサー                  ９６…第３ベアリング
９８…第４ベアリング                １０８…第５ベアリング
１１０…第６ベアリング              １１２…平歯車
１１６ａ、１１６ｂ…円弧部          １１８ａ、１１８ｂ…フィンガ部
１２６ａ、１２６ｂ…緩衝部材        １３２…第１軸受部材
１３４…第２軸受部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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