【手続補正書】
【提出日】平成26年3月4日(2014.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カセット及びカセット容器を含み、薄いウェーハを保持するように構成されたウェーハシッパーであって、
前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって一方はＨバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、
前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは４つの壁と該４つの壁の間にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内の受容部に設置される下部クッションをさらに有し、
前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記ウェーハの周部を受け入れるためのＶ字溝を有し、該Ｖ字溝はウェーハスロットを限定し、前記上部クッションは前記Ｖ字溝によって限定されるスロットの間にそれぞれ位置する複数の突起物を有する、ウェーハシッパー。
【請求項２】
前記底部ウェーハクッションは複数のウェーハ係合部分を支持する一対のレールを含み、前記底部ウェーハクッションはさらに当該の一対のレールから横方向外方に延びる複数のパッドを含み、前記ウェーハクッションは前記複数のパッドを用いて前記ベース部分の床に設置される、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項３】
前記パッドはそれぞれ上面を有し、前記カセットが前記ベース部分に配置されると、前記カセットの前記脚は前記パッドの上に設置され、それによって前記パッドが前記ベース部分の床と前記カセットとの間に挟まれる、請求項２のウェーハシッパー。
【請求項４】
前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記カセット内に設置された１００ｍｍウェーハの周縁から少なくとも５ｍｍ半径方向内側に延びる突起物を有する、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項５】
前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントは該ウェーハ係合セグメントと同じ材料で形成された、対応する一対のＵ字型スプリングを介して前記一対のレールに接続している、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項６】
前記各突起物は、ウェーハが前記カセット内部に装填された状態で前記トップカバーが前記ベース部分に取り付けられるときにウェーハと出会うウェーハクッションの最初の部品となるように配置される、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項７】
前記突起物はそれぞれ、前記トップカバーが前記底部ベース部分上に完全に設置されたとき、ウェーハの周部から半径方向内側に延び、距離はＶ字溝の最大深さの２倍以上である、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項８】
前記カセットが設置されていないときに、前記下部クッションが前記底部ベース部分内に設置され、重量によってのみ内部に固定される、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項９】
カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、
前記下部クッションは一対のレールから外側横方向に延びる複数のパッドをさらに含み、ウェーハクッションは複数のパッドを介して前記ベース部分の床上に設置され、各パッドは上面を有し、前記カセットが前記ベース部分内に配置されると、前記カセットの前記脚は前記パッドの上に設置され、それにより、前記パッドは前記ベース部分の床と前記カセットの間に挟まれる、請求項１のウェーハシッパー。
【請求項１０】
カセット、及び、カセット容器を含むウェーハシッパーであって、
前記カセットは、ウェーハを保持するためのスロットを限定する一対の側壁、該側壁の間に延びる一対の端壁であって、一方はＨバーマシンインターフェースとして構成される端壁、及び、それぞれの前記側壁から下向きに延びる一対の細長い脚を含み、
前記カセット容器は、前記カセットを内部に受け入れるための底部ベース部分、及び、該底部ベース部分に取り付け可能なトップカバーを含み、該トップカバーと前記ベース部分とは４つの壁と該４つの壁にまたがる共通の壁とを各々有し、前記トップカバーと前記ベース部分とは前記ベース部分に対して前記トップカバーを閉じるための接合部を各々有し、前記カセット容器は前記トップカバーに取り付け可能な上部クッション及び前記底部ベース部分内に受容される下部クッションをさらに含み、前記上部クッションは前記トップカバー内に固定され、前記上部クッションは前記トップカバーに取り付けられかつ複数のウェーハ係合セグメントを支持する一対のレールを有し、前記ウェーハ係合セグメントはそれぞれＶ字溝を有し、前記上部クッションは前記レールから下向きに延びてかつ各々先端を有する、複数の先細状ガイドをさらに有し、該ガイドはウェーハの縁がＶ字溝に入る前にガイドの先端がウェーハの周部を通過するように各々位置している、ウェーハシッパー。
【請求項１１】
輸送中にＨバーカセット内の薄いウェーハを保護する方法であって、前記Ｈバーカセットは底部に堅固なエッジ部を各々有する複数のスロットを備えたものにおいて、
ウェーハの上死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された上部弓形ウェーハ係合部の列と、ウェーハの下死点付近を中心とする弓形縁部に係合する、端部を懸架された下部弓形ウェーハ係合部の列との間でウェーハを懸架することで、ウェーハをカセットと接触しないよう持ち上げること、
それぞれのウェーハと対応するそれぞれの堅固なエッジ部との間に所定の半径方向の隙間が存在するように、ウェーハを前記カセットから離隔させ、及び、それぞれの下部弓形係合部の各端と前記堅固なエッジ部との間に所定の周方向隙間が存在するように、前記下部クッションを位置させること、及び以下の段階の一方又は両方を行なうこと、
各々が前記端部を懸架された上部弓側ウェーハ係合部の端部から隔てられた一対の列の堅固な上部弓形支持部分を設けて、該一対の列の堅固な上部弓形支持部分を前記前記堅固なエッジ部とほぼ垂直に並んで位置させること、及び、
隣り合うウェーハの間に延びるように配置される一対の列の突起物を設けて、各列が対応する堅固なエッジ部の列の一つと垂直に並ぶようにすること、
を有する方法。
【請求項１２】
輸送中にウェーハが前記堅固な上部弓形支持部に接触せずかつ衝撃条件下以外で前記堅固なエッジ部に接触しないように、ウェーハと前記堅固な上部弓形支持部の列と間に隙間を設けることをさらに有する、請求項１１の方法。
【請求項１３】
それぞれの部品はポリプロピレンで形成される、請求項６のウェーハシッパー。
【請求項１４】
Ｈバーウェーハカセットの開口上部に配置するためのウェーハクッションであって、各々がＶ字溝を有する、別個でかつ端部を支持された複数の弓形ウェーハ係合セグメントを有し、各ウェーハ係合セグメントの端部から延びるＵ字型スプリングを有し、該Ｕ字スプリングはレール部に接続しており、該レール部はそれぞれの弓形ウェーハ係合セグメントから半径方向外側に離れている堅固な弓形ウェーハ係合面を備えており、各レール部はさらにウェーハ係合セグメントによって固定されたウェーハの間に位置するために半径方向内側に延びる複数の突起物を有する、ウェーハクッション。
【請求項１５】
互いに反対側の側壁備えたカセットを有するウェーハシッパーであって、前記側壁は互いに反対側の端壁により接続されており、各側壁は垂直な上部と収束する下部とを有し、前記側壁の内面は軸方向に並んだウェーハを保持するため相互間にスロットを備えた複数の歯を限定しており、Ｈバーウェーハカセットの開口上部に配置するためのクッションを有し、該クッションはＶ字溝を各々有する複数の弓形ウェーハ係合セグメントを備えており、前記クッションはさらに前記ウェーハ係合セグメントの端部に近接配置された複数のガイドを有し、該ガイドは前記カセットの歯に対して垂直に並んで配置されるように半径方向内側に延びる、ウェーハシッパー。
【請求項１６】
前記ガイドは内部に保持されたウェーハの縁から半径方向最大距離で内側に延びび、前記歯は内部に保持されたウェーハの縁から内側に、前記ガイドがウェーハの縁から内側に延びる半径方向最大距離とほぼ等しい、半径方向最大距離で延びる、請求項１５のウェーハシッパー。
【請求項１７】
内部に保持されたウェーハの端から内側に前記ガイドが延びる半径方向最大距離は、前記歯がウェーハの端から内側に延びる半径方向最大距離の２０％以内である、請求項１６のウェーハシッパー。
【請求項１８】
前記歯の各々は、最も低い部分を有し、前記ガイドは前記歯の最も低い部分と垂直に並んでいる、請求項１５、１６、及び１７のいずれかのウェーハシッパー。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
【図１】本発明によるウェーハシッパーの斜視図。
【図２】本発明によるウェーハシッパーの分解図。
【図３】本発明による図１のウェーハシッパーの断面図。
【図４】図３に示されるシッパーのベース部の上面斜視図。
【図５】ベース部分に設置されるウェーハクッションの上面斜視図。
【図６】図５に示されるウェーハクッションの底面の斜視図。
【図７】図５及び６のウェーハクッションの断面図。
【図８】図７の８−８線における断面図。
【図９】ウェーハクッションが設置された状態のベース部分の上面斜視図。
【図１０】ベース部分とウェーハカセットの脚の間に挟まれたウェーハクッションのパッドを見せるために一部を取り除いた、組み立てられたシッパーの正面図。
【図１１】トップカバーに適し本発明に合うウェーハクッションの上面斜視図。
【図１２】図１１のウェーハクッションの底面斜視図。
【図１３】図１１及び１２のウェーハクッションの断面図。
【図１４】図１３の１４−１４線における断面図。
【図１５】クッションが内部にある状態の容器トップカバー内部の斜視図。
【図１６】図１５のウェーハクッションとトップカバー部分の取り付け構造を詳細に示す断面図。
【図１７】本発明により規制されるウェーハの概略図。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図３〜１０を参照すると、容器部分２２の底部ベース部分２４とウェーハクッションの詳細が例示されている。容器は、容器内に置かれたカセットに格納されたウェーハの軸と一致する軸方向を持っている。本実施形態において、ウェーハクッションは一つのパネルとして構成されており、つまり、個々のウェーハ係合部分又はセグメント５６の間は分離されていない。クッションは、弓形のウェーハ係合部分５６に構造的支持を与える１対のレール５８を有する。レール５８の下縁部からは脚部分６３を備えたタブあるいはパッド６２が延びている。パッドは、ベース部分２４の底床面６８の設置面６６と接触する底面６４を有する。ベース部分の底床面は、軸方向に延びる溝７１として構成される、クッション、特にクッションのレールと合致するクッション受け部７０を持っている。つまり、凹部７２は、原則的にクッションが定位置に落とされて適正に設置されることを可能にする。レールは、ベース部分の凹部の位置決めリブ７６とさらに協働する切欠き７４も有する。該レールはさらに、クッションを非常に簡単に設置するのに役立つ。とりわけ、ボトムクッションを取り付けるにあたっての操作は、クッションを定位置に落下させるのみである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
凹部７０と傾斜面８８とはさらに、カセット３０の脚がベース部分内に下ろされるときに案内を行なう。下部クッション３４がベース部分内に置かれた後、カセットがベース部分内に置かれる。その脚は、クッションレールの横方向外側にある、溝７１内のカセット受け部１１８へと導かれる。特定の実施形態において、底面エッジは床の表面に載せられるのではなく、図１０に最も良く示されているように下部クッションのパッド６２の上に載せられる。パッドはカセットとベース部分の間に挟まれて、安定性をもたらし、また、ポリマーの付加的な層と厚さとによってカセットにさらなる衝撃吸収をもたらす。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図３及び１１〜１６を参照すると、上部クッション３８とトップカバー部分２８の詳細が示されている。上部クッションは複数の細長いウェーハ係合セグメント５０を有し、これらはウェーハの周部に倣った弓形に形成され、セグメント端部１３０には支持レール１４０に接合するＵ字ポリマースプリングとして構成されたスプリング１３４を有している。レールは、タブ１４８に取り付けられる内側に凹んだ凹部１４４を有する。特定の実施形態において、上部クッションは、トップカバー部分に取り付けるために矢印１６０で示される方向に圧縮される必要がある。側部のレール１６４は、便宜的にハンドルとして機能し、また射出成形工程の際に金型から部品を取り出すためのエジェクタピンに対するエジェクタパッドとしても機能する。支持レール１４０から下方に延びているのは、突起物１７０として構成されるウェーハガイドである。これらの突起物は細長く、先細になっていて、トップカバー部分がベース部分に設置されたカセット上にまで下げられたときに、ウェーハと最初に出会うるトップカバーの部分である。突起物は、半径方向の長さを有し、これは関連するウェーハセグメント５０のＶ字溝４９の深さの２倍以上である。突起物は、ウェーハセグメントの長手方向に平行な方向に幅寸法を有し、この幅寸法はウェーハセグメントの長手方向に対して横方向に直角な方向における突起物の幅の少なくとも２倍であり、この突起物の幅は少なくとも２の乗数である。他の実施形態では、乗数は１．５以上で、その他の実施形態では２．５以上である。突起物は、ウェーハカセットの歯によって限定されまたクッションのＶ字溝によっても限定されるスロットの各々の中間に位置する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2013522885.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2013522885.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2013522885.tif 000003
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2013522885.tif 000004
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2013522885.tif 000005
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2013522885.tif 000006
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2013522885.tif 000007
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2013522885.tif 000008
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2013522885.tif 000009