【手続補正書】
【提出日】平成26年11月7日(2014.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲット（１２１）のフィールド（５０２）を露光するためにマスクレスリソグラフィシステム（１００）により生成された複数の荷電粒子ビームレット（１３２、１３３）を調整するために、ビームレット調整データを前記リソグラフィシステム（１００）に伝送するためのデータパス（１０１）であって、
前記ビームレット調整データを前記リソグラフィシステム（１００）に伝送するための複数の伝送チャネル（２４０）と、
前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第１および第２のチャネルセレクタ（２２０、３２０）と、
を具備し、
前記第１のチャネルセレクタ（２２０）は、前処理システム（１４０）と前記伝送チャネル（２４０）との間に接続され、
前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、前記伝送チャネル（２４０）と前記リソグラフィシステム（１００）との間に接続され、
前記伝送チャネルは、スペアチャネル（２４０）を含み、
前記第１および第２のチャネルセレクタ（２２０、３２０）は、前記パターンデータを伝送するために、前記スペアチャネルを含む前記伝送チャネル間の、機能しないチャネルを除いて選択された伝送チャネルのサブセットに接続するように、互いに連動して動作するように適合されている、データパス（１０１）。
【請求項２】
前記第１のチャネルセレクタ（２２０）および／または前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、並列に配置された複数のスイッチング回路（３２２）を備え、
前記スイッチング回路の第１の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの１つの出力に伝送するように配置されている、請求項１に記載のデータパス（１０１）。
【請求項３】
前記スイッチング回路（３２２）は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチ（３２４）を備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、請求項２に記載のデータパス（１０１）。
【請求項４】
前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチ（３２４）は、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、請求項３に記載のデータパス（１０１）。
【請求項５】
各スイッチング回路（３２２）は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチ（３２４）を備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項２〜４のいずれか１項に記載のデータパス（１０１）。
【請求項６】
前記チャネルセレクタ（２２０、３２０）は、スイッチング回路（３２２）の１つの入力を、事前に規定されたパターンに従うスイッチング回路のスイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項５に記載のデータパス（１０１）。
【請求項７】
前記チャネルセレクタ（２２０、３２０）は、前記スイッチング回路（３２２）の１つの入力を、１つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項２〜６のいずれか１項に記載のデータパス（１０１）。
【請求項８】
前記データパス（１０１）は、前記前処理システム（１４０）から前記パターンデータを受信して前記ビームレット調整データを生成するパターンストリーミングシステム（２３０）をさらに具備し、
前記第１のチャネルセレクタ（２２０）は、前記前処理システムと前記パターンストリーミングシステムとの間に接続される、請求項１〜７のいずれか１項に記載のデータパス（１０１）。
【請求項９】
前記パターンストリーミングシステム（２３０）は、データパスに備えられた複数のパターンストリーマ（２３０ａ〜２３０ｚ）を備え、
各パターンストリーマは、パターンデータの一部を受信し、ビームレット（１３２）の対応するグループを調整するために流出されるビームレットデータ信号を生成し、
前記第１のチャネルセレクタ（２２０）は、前記前処理システム（１４０）と前記パターンストリーマ（２３０ａ〜２３０ｚ）との間に接続される、請求項８に記載のデータパス（１０１）。
【請求項１０】
パターンデータ（２０２）に従ってターゲット（１２１）を露光するためのマスクレスリソグラフィシステム（１００）であって、
前記ターゲット（１２１）を露光するための荷電粒子ビームレット（１３２、１３３）を生成するための電子光学カラム（１０２）であり、前記電子光学カラム（１０２）は、前記ビームレット（１３２）を調整するためのビームレットブランカアレイ（１１７）を含み、前記ビームレットブランカアレイ（１１７）は、ビームレットデータ信号を受信するための受信器（１５０）および前記ビームレットデータ信号に従って前記ビームレット（１３２）を調整するための複数のビームレットブランカ素子（１５２）を含んでいる、電子光学カラム（１０２）と、
請求項８〜９のいずれか１項によるデータパス（１０１）と、
を具備し、
前記前処理システム（１４０）は、前記パターンデータ（２０２）を記憶して処理するように構成され、
前記パターンストリーミングシステム（２３０）は、前記前処理システム（１４０）から前記パターンデータ（２０２）を受信して前記ビームレットデータ信号を生成するように構成され、
スペアチャネル（２４０）を含む前記伝送チャネルは、前記前処理システム（１４０）から前記ビームレットブランカ素子（１５２）へ前記パターンデータ（２０２）を受信するように構成され、
前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、前記伝送チャネルと前記ビームレットブランカ素子（１５２）との間に接続される、システム。
【請求項１１】
前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、前記ビームレットブランカアレイの前記受信器（１５０）と前記ビームレットブランカアレイ（１１７）の前記ビームレットブランカ素子（１５２）との間に接続されて、選択された受信器を選択されたビームレットブランカ素子に接続して、前記ビームレット（１３２）の調整のための前記パターンデータを伝送する伝送チャネル（２４０）を確立する、請求項１０に記載のシステム（１００）。
【請求項１２】
前記受信器（１５０）、前記第２のチャネルセレクタ（３２０）および前記ビームレットブランカ素子（１５２）のすべては、前記ビームレットブランカアレイ（１１７）の基板上に製作される、請求項１０〜１１のいずれか１項に記載のシステム（１００）。
【請求項１３】
各受信器（１５０）は、ビームレットデータ信号を一群のビームレットブランカ素子（１５２）に伝送するように接続され、
前記データパス（１０１）は、複数の多重化装置および多重分離装置を備え、
各多重化装置は、ビームレット（１３２）のグループの１つを制御するための伝送チャネル上での伝送のためにビームレットデータ信号を多重化する、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のシステム（１００）。
【請求項１４】
２つ以上の露光において露光される全体の表面を露光し、前記２つ以上の露光のそれぞれについて前記ビームレットの異なるサブセットを選択するように構成され、
前記システムは、露光の間に露光される表面の選択されたサブセットを露光するために、前記ビームレット（１３２）の選択されたサブセットを割り当てるように構成された制御装置を具備し、
前記データパスは、前記パターンデータの選択されたサブセットを、露光の間に、前記伝送チャネル（２４０）を介して前記ビームレットブランカ素子（１５２）の選択されたサブセットに結合するための第１および第２のビームセレクタ（２１０、３３０）を備え、
前記パターンデータの前記選択されたサブセットは、前記露光の間に露光される前記表面の前記選択されたサブセットに対応し、
前記ビームレットブランカ素子（１５２）の前記選択されたサブセットは、前記露光のためのビームレットの前記選択されたサブセットを調整するためのものである、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載のシステム（１００）。
【請求項１５】
複数の伝送チャネル（２４０）を介してデータ（２０２）を伝送するためのデータパス（１０１）のためのチャネルセレクタ（３２０）であって、
前記チャネルセレクタ（３２０）は、前記複数の伝送チャネル（２４０）のうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続するように適合されており、
前記チャネルセレクタの各入力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記チャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路（３２２）を具備し、
前記スイッチング回路の第１の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの１つの出力に伝送するように配置され、
前記スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、チャネルセレクタ（３２０）。
【請求項１６】
前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第１のスイッチング回路の両側に配置された複数のスイッチング回路（３２２）を備える、請求項１５に記載のチャネルセレクタ（３２０）。
【請求項１７】
各スイッチング回路（３２２）は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチ（３２４）を備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、請求項１６に記載のチャネルセレクタ（３２０）。
【請求項１８】
前記チャネルセレクタ（３２０）は、前記スイッチング回路（３２２）の１つの入力を、１つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、請求項１６〜１７のいずれか１項に記載のチャネルセレクタ（３２０）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３５】
本発明は、上に議論した特定の実施形態を参照することにより説明された。ここで注意されるべきことは、様々な構成および変形例を説明してきたが、当業者が知るように、それは本願明細書において、説明した任意の実施形態と共に使用できる。さらにまた、本発明の精神および範囲から逸脱しない当業者によく知られている様々な変形および変更の形態に、これらの実施形態が影響されやすいことは認識される。したがって、特定の実施形態を説明したが、これらは単なる実施例であって本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲は添付の請求の範囲において定められる。
以下に、本願出願時の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］  パターンデータ（２０２）に従ってターゲット（１２１）を露光するためのマスクレスリソグラフィシステムであって、
前記ターゲットを露光するための複数の荷電粒子ビームレット（１３２、１３３）を生成するための電子光学カラム（１０２）であり、前記電子光学カラムは、前記ビームレットを調整するためのビームレットブランカアレイ（１１７）を含み、前記ビームレットブランカアレイは、ビームレットデータ信号を受信するための複数の受信器（１５０）および前記データ信号に従って前記ビームレットを調整するための複数のビームレットブランカ素子（１５２）を含んでいる、電子光学カラム（１０２）と、
前記パターンデータを記憶して処理するための前処理システム（１４０）および前記処理されたパターンデータを前記前処理システムから前記ビームレットブランカ素子へと伝送するための複数の伝送チャネル（２４０）を備え、前記パターンデータを受信して前記ビームレットデータ信号を生成するためのパターンストリーミングシステム（２３０）をさらに備える、データパス（１０１）と、
前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第１および第２のチャネルセレクタ（２２０、３２０）であり、前記第１のチャネルセレクタ（２２０）は、前記前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、前記チャネルと前記ビームレットブランカ素子との間に接続される、第１および第２のチャネルセレクタ（２２０、３２０）と、
を具備するシステム。
［２］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および前記第２のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、前記［１］に記載のシステム。
［３］  前記第１のチャネルセレクタの入力および前記第２のチャネルセレクタの出力への接続のための前記伝送チャネルの限られたサブセットは、９つ以下の伝送チャネルを備えている、前記［２］に記載のシステム。
［４］  前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの入力および前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、前記［２］または［３］に記載のシステム。
［５］  前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの入力および前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、前記［２］〜［４］のいずれか１つに記載のシステム。
［６］  前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの１つと前記第２のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、前記［２］〜［５］のいずれか１つに記載のシステム。
［７］  前記アルゴリズムは、前記第２のチャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、前記［６］に記載のシステム。
［８］  前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第２のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記第２のチャネルセレクタの各出力は、欠陥があるとみなされない一意の伝送チャネルに接続される、前記［６］または［７］に記載のシステム。
［９］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの出力は、前記伝送チャネルに対するデフォルト接続を有する、前記［１］〜［８］のいずれか１つに記載のシステム。
［１０］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの他の入力または前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、前記［９］に記載のシステム。
［１１］  前記第１のチャネルセレクタおよび／または前記第２のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、
前記スイッチング回路の第１の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの１つの出力に伝送するように配置されている、前記［１］〜［１０］のいずれか１つに記載のシステム。
［１２］  前記スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、前記［１１］に記載のシステム。
［１３］  前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力におよび隣接するスイッチング回路のバッファの入力に、その出力を送信するように配置される、前記［１２］に記載のシステム。
［１４］  前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第１のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、前記［１１］〜［１３］のいずれか１つに記載のシステム。
［１５］  各スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、前記［１１］〜［１４］のいずれか１つに記載のシステム。
［１６］  前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の１つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［１５］に記載のシステム。
［１７］  前記チャネルセレクタは、選択された１つの前記出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、前記［１６］に記載のシステム。
［１８］  前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の１つの入力を、１つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［１１］〜［１７］のいずれか１つに記載のシステム。
［１９］  前記第１のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーマとの間に接続される、前記［１］〜［１８］のいずれか１つに記載のシステム。
［２０］  前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、
各パターンストリーマは、前記パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するための流出されるビームレットデータ信号を生成する、前記［１］〜［１９］のいずれか１つに記載のシステム。
［２１］  前記第２のチャネルセレクタは、前記ビームレットブランカアレイの前記受信器と前記ビームレットブランカアレイの前記ビームレットブランカ素子との間に接続されて、選択された受信器を選択されたビームレットブランカ素子に接続して、前記ビームレットの調整のための前記パターンデータを伝送する伝送チャネルを確立する、前記［１］〜［２０］のいずれか１つに記載のシステム。
［２２］  前記受信器、前記第２のスペアチャネルセレクタおよび前記ビームレットブランカ素子のすべては、前記ビームレットブランカアレイの基板上に製作される、前記［１］〜［２１］のいずれか１つに記載のシステム。
［２３］  各受信器は、ビームレットデータ信号を一群のビームレットブランカ素子に伝送するように接続され、
前記データパスは、複数の多重化装置および多重分離装置を備え、
各多重化装置は、ビームレットのグループの１つを制御するための伝送チャネル上での伝送のためにビームレットデータ信号を多重化する、前記［１］〜［２２］のいずれか１つに記載のシステム。
［２４］  前記データパスは、前記受信器への伝送のために電気信号から光信号へと前記ビームレットデータ信号を変換する電気−光変換装置を備える、前記［１］〜［２３］のいずれかに記載のシステム。
［２５］  前記伝送チャネルは、前記光信号を伝送するための光ファイバを備える、前記［２４］に記載のシステム。
［２６］  露光の間に露光される表面の選択されたサブセットを露光するために、前記ビームレットの選択されたサブセットを割り当てる制御装置をさらに具備し、
露光される全体の表面は、２つ以上の露光において露光され、
前記ビームレットの選択されたサブセットは、前記２つ以上の露光について異なり、
前記データパスは、前記パターンデータの選択されたサブセットを、露光の間に、前記伝送チャネルを介して前記ビームレットブランカ素子の選択されたサブセットに結合するための第１および第２のビームセレクタを備え、
前記パターンデータの前記選択されたサブセットは、前記露光の間に露光される前記表面の前記選択されたサブセットに対応し、
前記ビームレットブランカ素子の前記選択されたサブセットは、前記露光のためのビームレットの前記選択されたサブセットを調整するためのものである、前記［１］〜［２５］のいずれか１つに記載のシステム。
［２７］  ２つ以上のパスにおいて、ターゲット（１２１）のフィールドを露光するためにマスクレスリソグラフィシステムにより生成された複数の荷電粒子ビームレット（１３２、１３３）を調整するために、ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するためのデータパス（１０１）であって、
前記ビームレット調整データを前記リソグラフィシステムに伝送するための複数の伝送チャネル（２４０）と、
前記パターンデータを伝送するための前記伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続する第１および第２のチャネルセレクタ（２２０、３２０）と、
を具備し、
前記第１のチャネルセレクタ（２２０）は、前処理システムと前記伝送チャネルとの間に接続され、
前記第２のチャネルセレクタ（３２０）は、前記伝送チャネルと前記リソグラフィシステムとの間に接続される、データパス。
［２８］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続される、前記［２７］に記載のデータパス。
［２９］  前記第１のチャネルセレクタの入力および／または前記第２のチャネルセレクタの出力への接続のための伝送チャネルの前記限られたサブセットは、９つ以下の伝送チャネルを備えている、前記［２８］に記載のデータパス。
［３０］  前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの入力および前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有する伝送チャネルを備えている、前記［２８］または［２９］に記載のデータパス。
［３１］  前記伝送チャネルの限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの入力および／または前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを備えている、前記［２８］〜［３０］のいずれか１つに記載のデータパス。
［３２］  前記伝送チャネルの限られたサブセットの前記伝送チャネルの１つと前記第１のチャネルセレクタの入力および／または前記第２のチャネルセレクタの出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、前記［２８］〜［３１］のいずれか１つに記載のデータパス。
［３３］  前記アルゴリズムは、前記第１のチャネルセレクタの入力および／または前記第２のチャネルセレクタの出力への接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、前記［３２］に記載のデータパス。
［３４］  前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記第１のチャネルセレクタの前記入力および／または前記第２のチャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの各出力は、欠陥のない一意の伝送チャネルに接続される、前記［３２］または［３３］に記載のデータパス。
［３５］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、前記［２７］〜［３４］のいずれか１つに記載のデータパス。
［３６］  前記第１のチャネルセレクタの各入力および／または前記第２のチャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記第１のチャネルセレクタの他の入力または前記第２のチャネルセレクタの出力へのデフォルト接続を有しない伝送チャネルを含む、前記［３５］に記載のデータパス。
［３７］  前記第１のチャネルセレクタおよび／または前記第２のチャネルセレクタは、並列に配置された複数のスイッチング回路を備え、
前記スイッチング回路の第１の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの１つの出力に伝送するように配置されている、前記［２７］〜［３６］のいずれか１つに記載のデータパス。
［３８］  前記スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、前記［３７］に記載のデータパス。
［３９］  前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、前記［３８］に記載のデータパス。
［４０］  前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第１のスイッチング回路の両側に配置された複数の前記スイッチング回路を備える、前記［３７］〜［３９］のいずれか１つに記載のデータパス。
［４１］  各スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、前記［３７］〜［４０］のいずれか１つに記載のデータパス。
［４２］  前記チャネルセレクタは、スイッチング回路の１つの入力を、事前に規定されたパターンに従うスイッチング回路のスイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［４１］に記載のデータパス。
［４３］  前記チャネルセレクタは、選択された１つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、前記［４２］に記載のデータパス。
［４４］  前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の１つの入力を、１つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［３７］〜［４３］のいずれか１つに記載のデータパス。
［４５］  前記データパスは、前記前処理システムから前記パターンデータを受信して前記ビームレット調整データを生成するパターンストリーミングシステム（２３０）をさらに具備し、
前記第１のチャネルセレクタは、前記前処理システムと前記パターンストリーミングシステムとの間に接続される、前記［２７］〜［４４］のいずれか１つに記載のデータパス。
［４６］  前記パターンストリーミングシステムは、データパスに備えられた複数のパターンストリーマを備え、
各パターンストリーマは、パターンデータの一部を受信し、ビームレットの対応するグループを調整するために流出されるビームレットデータ信号を生成する、前記［４５］に記載のデータパス。
［４７］  複数の伝送チャネル（２４０）を介してデータを伝送するためのデータパス（１０１）のためのチャネルセレクタ（３２０）であって、
前記チャネルセレクタは、前記複数の伝送チャネルのうちの選択された伝送チャネルのサブセットを接続するように適合されており、
前記チャネルセレクタの各入力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記チャネルセレクタの入力と出力との間の接続を決定するために、アルゴリズムが使用される、チャネルセレクタ。
［４８］  前記アルゴリズムは、前記チャネルセレクタの出力に対する接続のために、使用されていないまたは欠陥がない伝送チャネルを検索する、前記［４７］に記載のチャネルセレクタ。
［４９］  前記アルゴリズムは、前記伝送チャネルと前記チャネルセレクタの前記出力との間のマッピングのための検索を実行し、
前記チャネルセレクタの各出力は、欠陥がない一意の伝送チャネルに接続される、前記［４７］または［４８］に記載のチャネルセレクタ。
［５０］  前記チャネルセレクタの各出力は、伝送チャネルへのデフォルト接続を有する、前記［４７］から［４９］のいずれか１つに記載のチャネルセレクタ。
［５１］  前記チャネルセレクタの各出力は、前記伝送チャネルの限られたサブセットに接続され、
前記限られたサブセットは、前記チャネルセレクタの他の出力へのデフォルト接続を有していない伝送チャネルを含む、前記［５０］に記載のチャネルセレクタ。
［５２］  並列に配置された複数のスイッチング回路を具備し、
前記スイッチング回路の第１の回路は、前記スイッチング回路の入力を隣接するスイッチング回路の組のうちの１つの出力に伝送するように配置されている、前記［４７］から［５１］のいずれか１つに記載のチャネルセレクタ。
［５３］  前記スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能である、前記［５２］に記載のチャネルセレクタ。
［５４］  前記直列回路の前記スイッチのサブセットの各スイッチは、前記直列回路の次のスイッチの入力および隣接するスイッチング回路のバッファの入力にその出力を送信するために配置される、前記［５３］に記載のチャネルセレクタ。
［５５］  前記隣接するスイッチング回路の組は、前記第１のスイッチング回路の両側に配置された複数のスイッチング回路を備える、前記［５２］から［５４］のいずれか１つに記載のチャネルセレクタ。
［５６］  各スイッチング回路は、２つ以上の直列回路に接続された複数のスイッチを備え、
各スイッチは、その入力において、信号を通過させるかまたは阻止するべく制御可能であり、
各直列回路の複数の各前記スイッチは、隣接するラングの直列回路のスイッチの入力に接続された出力を有し、
連続するスイッチ出力が、前記隣接するラングの前記直列回路のうちの別の回路のスイッチ入力に接続されるように、前記接続は、交互に切り換わる、前記［４７］〜［５５］のいずれか１つに記載のチャネルセレクタ。
［５７］  前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の１つの入力を、事前に規定されたパターンに従う前記スイッチング回路の前記スイッチの選択的なアクティブ化によって規定されるパスに沿って、隣接するスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［５６］に記載のチャネルセレクタ。
［５８］  前記チャネルセレクタは、選択された１つの出力に入力を伝送するために、一意のパスの事前に規定された組を利用するように構成され、
前記一意のパスの組は、前記スイッチング回路の前記スイッチの事前に規定されたアクティブ化パターンの組によって規定される、前記［５７］に記載のチャネルセレクタ。
［５９］  前記チャネルセレクタは、前記スイッチング回路の１つの入力を、１つまたは複数の中間のスイッチング回路を横切って他のスイッチング回路の出力に伝送するように構成される、前記［４７］〜［５８］のいずれか１つに記載のチャネルセレクタ。