【手続補正書】
【提出日】平成15年8月7日(2003.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように前記ケースが防振構造を有する超音波振動子。
【請求項２】
ケースの防振構造として側壁部は剛性が増大する形状とした請求項１記載の超音波振動子。
【請求項３】
ケースの防振構造として側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設けた請求項２記載の超音波振動子。
【請求項４】
ケースの防振構造として側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えた請求項２または３記載の超音波振動子。
【請求項５】
ケースの防振構造として側壁部を多角形の筒状とした請求項２または４項記載の超音波振動子。
【請求項６】
ケースの防振構造として天部の外周部に凸部または凹部を備えた請求項１または５記載の超音波振動子。
【請求項７】
ケースの防振構造として天部の外周部に薄肉部を備えた請求項１ないし６のいずれか１項記載の超音波振動子。
【請求項８】
被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられ超音波を送受信する請求項１ないし７のいずれか１項記載の１対の超音波振動子と、前記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えた超音波流量計。
【請求項９】
支持部に固定される端子板にシール部を有する超音波振動子を備えた請求項８記載の超音波流量計。
【請求項１０】
圧電体は軸方向に溝を有する請求項１から７のいずれかに記載の超音波振動子。
【請求項１１】
支持部に端子板を固定してケース内部を封止する請求項１から７のいずれかに記載の超音波振動子。
【請求項１２】
ケース内部を不活性ガスにて封止する請求項１１に記載の超音波振動子。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、天部と側壁部とを有する有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記圧電体の振動が前記側壁部へ伝搬することを防止するように前記ケースが防振構造を有する超音波振動子である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態は、超音波振動子を構成する圧電体は被測定流体から遮断する金属製ケースで内包し、この金属製ケースに折り曲げ部を設けることにより剛性を高め、振動の伝搬を低減させたものである。上記実施形態によれば、圧電体の振動が金属製ケースに伝わり難くすることができ、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。この結果残響によるノイズの発生を低減でき、Ｓ／Ｎが改善されて被測定流体の流量、流速の計測精度が向上できる。また被測定流体が圧電体に接触することを防止できるので、超音波振動子の信頼性も向上できる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は第１の形態の超音波振動子は、天部と側壁部を有す有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記ケースが防振構造を有し圧電体の振動が前記ケースへ伝搬することを防止しており、残響の短い超音波パルスの送受信が可能な超音波振動子を得ることができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
以上の説明から明らかなように本発明の実施形態の超音波振動子及びこれを用いた流量計によれば次の効果が得られる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
本発明の実施形態における第１の超音波振動子は、天部と側壁部を有す有天筒状のケースと、前記天部の内壁面に固定された圧電体と、前記天部の外壁面に設けられた音響整合層と、前記側壁部の外壁に設けた支持部とを備え、前記ケースが防振構造を有し圧電体の振動が前記ケースへ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
本発明の実施形態における第２の超音波振動子は、側壁部の剛性が増大する形状としたため、圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
本発明の実施形態における第３の超音波振動子は、側壁部に天部と同心状の折り曲げ部を設けたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
本発明の実施形態における第４の超音波振動子は、側壁部の軸方向に複数の凸部または凹部を備えたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止され、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
本発明の実施形態における第５の超音波振動子は、側壁部を多角形の筒状としたため、側壁部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
本発明の実施形態における第６の超音波振動子は、天部の外周部に凸部または凹部を備えたため、天部の外周部の剛性が増大し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
本発明の実施形態における第７の超音波振動子は、天部の外周部に薄肉部を備えたため、天部のうち圧電体を固定した部分が振動しやすくなり圧電体の振動が側壁部へ伝搬することが防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
本発明の実施形態における超音波流量計は、被測定流体が流れる流量測定部と、この流量測定部に設けられ超音波を送受信する第１ないし第７のいずれかの１対の超音波振動子と、前記超音波振動子間の伝搬時間を計測する計測回路と、前記計測回路からの信号に基づいて流量を算出する流量演算手段とを備えたため、残響によるノイズの影響を低減できＳ／Ｎが改善され、被測定流体の流量、流速の計測精度が高い超音波流量計を得ることができる。
本発明の実施形態における超音波流量計は、支持部に固定される端子板にシール部を有す超音波振動子を備えたため、被測定流体が流量測定部から外部に漏れることが防止でき、信頼性の高い超音波流量計を得ることができる。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように本発明の超音波振動子及びこれを用いた流量計によれば、ケースが防振構造を有し圧電体の振動が側壁部へ伝搬することを防止したため、残響の短い超音波パルスの送受信が可能となり、残響によるノイズの影響を低減した高Ｓ／Ｎの計測ができる超音波振動子を得られる。