【手続補正書】
【提出日】平成26年4月22日(2014.4.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能であり、
前記第１モータが第１磁石および少なくとも１つの金属コイルを含み、前記第１磁石および前記少なくとも１つの金属コイルが、互いに可動であるように前記第１軸に沿って離隔して搭載されている、
ことを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記少なくとも１つの金属コイルが鉄を含んでいないことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
前記第１モータのロータがスピンドルに固定され、該スピンドルが２つのベアリングアセンブリによってハウジングに対し回転可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の計測装置。
【請求項４】
前記スピンドルが各端に１つのベアリングアセンブリを有していることを特徴とする請求項３に記載の計測装置。
【請求項５】
それぞれのベアリングアセンブリが雄型ベアリング部分を備え、該雄型ベアリング部分が雌型ベアリング部分に収容されていることを特徴とする請求項４に記載の計測装置。
【請求項６】
前記雄型ベアリング部分がボールであることを特徴とする請求項５に記載の計測装置。
【請求項７】
それぞれのスピンドルは、その搭載位置に対して固定される固定支持部と、回転軸の方向に弾性的に移動することができる可動支持部と、を有することを特徴とする請求項３ないし６のいずれかに記載の計測装置。
【請求項８】
前記モータが第２磁石を含み、該第２磁石はスペーサにより前記第１軸に沿って前記第１軸から離隔しており、前記少なくとも１つの金属コイルが前記第１磁石と前記第２磁石との間に設けられていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか計測装置。
【請求項９】
前記スペーサにより前記第１軸に沿って離隔した磁石のリングを２つ具え、当該磁石のリングの間にコイルのリングが懸架されて前記磁石と前記コイルが相対移動するようになっていることを特徴とする請求項８に記載の計測装置。
【請求項１０】
前記磁石のリングのそれぞれは交互のＮ極とＳ極とを備えていることを特徴とする請求項９に記載の計測装置。
【請求項１１】
一方の前記リングの磁石のＮ極は、他方の前記リングのＳ極に面し且つ軸方向に整列していることを特徴とする請求項１０に記載の計測装置。
【請求項１２】
前記第１磁石および前記第２磁石は、前記コイルを横切って主に前記第１軸と平行な方向に作用する磁界を発生することを特徴とする請求項８ないし１１のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１３】
前記第１磁石および前記第２磁石は互いに対して固定されて磁石アセンブリを形成し、該磁石アセンブリの一方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのステータを形成し、前記磁石アセンブリの他方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのロータを形成することを特徴とする請求項８または１２に記載の計測装置。
【請求項１４】
前記第１モータが磁化可能な材料をさらに含み、該磁化可能な材料はスペーサにより前記第１軸に沿って前記第１磁石から離隔しており、前記少なくとも１つの金属コイルは前記第１磁石と前記磁化可能な材料との間に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項１５】
前記磁化可能な材料はプレートであり、第１磁石および前記プレートが互いに対して固定されて磁石アセンブリを形成し、該磁石アセンブリの一方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのステータを形成し、前記磁石アセンブリの他方および前記少なくとも１つの金属コイルが前記モータのロータを形成することを特徴とする請求項１４に記載の計測装置。
【請求項１６】
前記少なくとも１つの金属コイルは、前記第１磁石が前記金属コイルおよび前記磁化可能な材料に対して移動可能となるように前記磁化可能な材料に固定されていることを特徴とする請求項１５に記載の計測装置。
【請求項１７】
前記第１磁石および前記少なくとも１つの金属コイルの一方が前記第１部材に対して取り付け可能であることを特徴とする請求項１ないし１６のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１８】
前記第１モータは、前記本体に対して前記第１部材を回転させるときに、前記第１軸の位置が実質的に固定されたままとなるよう、前記第１ベアリングに半径方向の力が実質的に作用しないように構成されていることを特徴とする請求項１ないし１７のいずれかに記載の計測装置。
【請求項１９】
前記第１モータがフレームレスモータであることを特徴とする請求項１ないし１８のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２０】
前記第１モータがアイアンレス−コアモータであることを特徴とする請求項１ないし１９のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２１】
前記第１回転軸が連続した回転測定軸であることを特徴とする請求項１ないし２０のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２２】
前記測定装置の前記第１モータの位置がサーボ制御されることを特徴とする請求項１ないし２１のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２３】
前記第１モータがダイレクトドライブモータであることを特徴とする請求項１ないし２２のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２４】
プローブ装置を具えることを特徴とする請求項１ないし２３のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２５】
前記第１部材に対して第２回転軸の周りに回転可能な第２部材を具え、当該回転が第２モータによって生じるものであることを特徴とする請求項１ないし２４のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２６】
前記第２回転軸は、前記第１回転軸および前記第１回転軸からオフセットした回転軸の少なくとも一方を横切り得るものであることを特徴とする請求項２５に記載の計測装置。
【請求項２７】
前記第２モータは、第２磁石と前記第２回転軸に沿って離隔した少なくとも１つの金属コイルとを備え、前記第２磁石および前記少なくとも１つの金属コイルは互いに対して移動可能となるように取り付けられ、前記第２モータの前記少なくとも１つの金属コイルが鉄を含んでいないことを特徴とする請求項２５または２６に記載の計測装置。
【請求項２８】
前記第１部材に取り付け可能な前記表面感知デバイスがプローブであることを特徴とする請求項１ないし２７のいずれかに記載の計測装置。
【請求項２９】
本体と、モータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを備える計測装置であって、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能であり、前記モータが前記第１部材に接続されるロータと前記本体に接続されるステータとを含み、前記ロータおよび前記ステータの一方が、前記ロータおよび前記ステータの他方に対し、前記ロータの回転軸と実質的に平行な方向に主として作用する磁界を確立するための磁石アセンブリを含み、前記ロータおよび前記ステータの他方の少なくとも１つのコイルが、電流が搬送されたときに、前記磁石アセンブリによって確立される前記磁界と協働して前記ロータの回転を生じさせる磁界を発生し、前記ロータおよび前記ステータが軸方向に離隔している、ことを特徴とする計測装置。
【請求項３０】
磁石アセンブリは少なくとも一対の磁石を含み、対になった前記磁石は前記軸方向に離隔しており、前記磁石を相対移動させるために前記少なくとも１つのコイルが取り付けられていることを特徴とする請求項２９に記載の計測装置。
【請求項３１】
前記磁石アセンブリは複数対の磁石を含み、各対の磁石は軸方向に離隔且つ整列し、対をなす一方の磁石のＮ極が、対をなす他方の磁石のＳ極に面していることを特徴とする請求項３０に記載の計測装置。
【請求項３２】
複数のコイルを含み、各コイルは、電流が搬送されたときに、前記軸方向に前記コイルを通る磁界を発生することを特徴とする請求項３１に記載の計測装置。
【請求項３３】
本体と、パンケーキモータの制御下で前記本体に関して可動な第１部材とを具え、前記第１部材が表面感知デバイスに取り付け可能であることを特徴とする計測装置。
【請求項３４】
本体および該本体に対し第１ベアリングによって規定される第１回転軸の周りに回転可能な第１部材と、
前記本体に対する前記第１回転軸の周りの前記第１部材の回転を生じさせる第１モータであって、少なくとも１つのコイルに対し、前記軸の方向に主として作用する磁界を発生するための磁石を少なくとも１つ含んだ第１モータと、を具えた計測装置であって、
前記第１部材とともに前記本体に対して移動できるように表面感知デバイスが前記第１部材に取り付け可能である、
ことを特徴とする計測装置。