【手続補正書】
【提出日】平成25年11月25日(2013.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面が長方形または正方形である板状の基材の前記平面上に薄膜層が形成されている板状部材の周縁部の不必要な薄膜層を除去するための加工装置であって、
前記加工装置は、前記板状部材の周縁部が挿入されるための開口部を備え、該周縁部の不必要な薄膜層を除去するための周縁部加工室と、前記板状部材を前記周縁部加工室に配置されたブラスト加工用ノズルに対して相対的に移動させるための移動手段を備え、
前記周縁部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている周縁部加工用飛散防止カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部加工用飛散防止カバーの壁面で覆われるように該飛散防止カバーに配置される周縁部加工用ブラスト加工ノズルと、前記周縁部加工用飛散防止カバーの開口面と同じ形状の開口面を有する周縁部加工用吸引カバーと、両端面が開口され、端面が前記周縁部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された中空形状の周縁部加工用吸引部材と、を備え、
前記周縁部用飛散防止カバーの前記開口面と前記周縁部加工用吸引カバーの前記開口面とが連結され、且つ前記板状部材の周縁部を挿入するための開口部を備えた構造体を形成し、
前記開口部は、前記板状部材の周縁部を挿入した際に、該開口部の開口上端部と前記板状部材の被加工面との間、および該開口部の開口下端部と前記被加工面の裏面との間に外気が導入可能な空隙を形成できるように形成されていることを特徴とする板状部材の加工装置。
【請求項２】
前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材を前記開口部に挿入した際に、該板状部材とのなす角度が３０〜７５°となるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
【請求項３】
前記周縁部加工室を２つ備え、
前記周縁部加工室は、水平面にある前記板状部材の平行する被加工辺である２辺の外周面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の板状部材の加工装置。
【請求項４】
前記板状部材の被加工辺である周縁部と平行するように該板状部材の内側部を加工する内側部加工室が、平行する被加工辺である周縁部の間に少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項３に記載の板状部材の加工装置。
【請求項５】
前記内側部加工室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の内側部加工用吸引カバーと、被加工面に噴射材を噴射してブラスト加工を行うためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記内側部加工用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される内側部加工用ブラスト加工ノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記内側部加工用吸引カバーおよび吸引手段に連通された内側部加工用吸引部材と、を備え、
該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項４に記載の板状部材の加工装置。
【請求項６】
前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記内側部加工用吸引部材に対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の後方側に配置されていると共に、
前記内側部加工用吸引部材は、該ブラスト加工ノズルに対して、該板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する相対的な移動方向の前方側の上面に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の板状部材の加工装置。
【請求項７】
前記内側部加工用ブラスト加工ノズルは、前記板状部材とのなす角度が３０〜７５°となるように配置されていることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の加工装置。
【請求項８】
前記内側部加工用吸引カバーの側壁面には、吸引手段に連通した補助吸引部材が配置されており、
前記補助吸引部材は、前記内側部ブラスト加工ノズルに対して、前記板状部材の該ブラスト加工ノズルに対する移動方向の前方側に位置する該内側部加工用吸引カバーの側壁面に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の板状部材の加工装置。
【請求項９】
前記内側部加工用吸引カバーの開口端部は、外気を導入するための案内部を備えていることを特徴とする請求項７に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１０】
前記周縁部加工用ブラスト加工ノズルおよび前記内側部加工用ブラスト加工ノズルの少なくともいずれかは、ブラスト加工ノズル本体と、前記ブラスト加工ノズル本体の内部に圧縮空気を導入するとともに、該ブラスト加工ノズル本体の内部に負圧を発生するための空気ノズルと、前記負圧によりブラスト加工ノズル本体の内部に吸引されると共に、該ブラスト加工ノズル本体内部の混合室にて圧縮空気と混合された噴射材を噴射するめの矩形の噴射口を備える噴射部と、を備えることを特徴とする請求項１または請求項５に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１１】
前記周縁部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための周縁部用クリーニング室が少なくとも１つ以上隣接されていることを特徴とする請求項１または請求項３に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１２】
前記周縁部加工用クリーニング室は、天井面を形成する一端面が閉止され、かつ前記天井面と対向する面が開口されている中空形状の周縁部クリーニング用吸引カバーと、被加工面に圧縮空気を吹き付けて、該被加工面に付着した前記噴射材および前記粉塵を該被加工面から剥離して除去するためのノズルであって、該ノズルの噴射口が前記周縁部クリーニング用吸引カバーの側壁で覆われるように該吸引カバーに配置される周縁部クリーニング用エアブローノズルと、両端面が開口され、前記端面が前記周縁部クリーニング用吸引カバーおよび吸引手段に連通された周縁部クリーニング用吸引部材と、を備え、
該吸引カバーの開口端部と被加工面との間に外気を吸引可能な空隙を設けるように配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１３】
前記内側部加工室は、被加工面に付着した噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引・回収するための内側部加工用クリーニング室が隣接されていることを特徴とする請求項４に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１４】
前記移動手段は、前記板状部材が載置されると共に、該板状部材を加工するために移動させる機構を備えることを特徴とする、請求項１に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１５】
前記板状部材の被加工辺である周縁部を加工後、該板状部材を略９０°旋回させるための手段を備えていることを特徴とする請求項１、３、４、１１、１４のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
【請求項１６】
前記板状部材の周縁部を加工する領域へ該板状部材を搬送する搬入手段を備え、前記搬入手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラと、
搬送された前記板状部材の停止位置を設定するための停止位置設定手段と、
を備えることを特徴とする請求項１、３、４、１１、１４のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
【請求項１７】
前記停止位置設定手段は、搬送方向側の停止位置を設定するための搬送方向側設定手段を備え、
前記搬送方向側設定手段は、前記搬送方向と直交するように、円柱状の搬送方向側設定部材が少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項１６に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１８】
前記停止位置設定手段は、搬送方向側に直交する側の停止位置を設定するための加工辺側設定手段を備え、
前記加工辺側設定手段は、円柱状の加工辺側設定部材が少なくとも１つ以上配置されていることを特徴とする請求項１７に記載の板状部材の加工装置。
【請求項１９】
前記板状部材の周縁部を加工した後に該部材を加工領域外へ搬送する搬出手段を備え、
前記搬出手段は独立気泡構造をもつウレタン樹脂製の搬送ローラを備えることを特徴とする請求項１６に記載の板状部材の加工装置。
【請求項２０】
ガラス等の透光性基材の平面上に透明電極層、光半導体層や金属層等の薄膜太陽電池パネルを形成するのに必要な薄膜層が積層された薄膜太陽電池パネルである板状部材を加工することを特徴とする請求項１、３、４、１１、１４のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置。
【請求項２１】
請求項１、３、４、１１、１４のいずれか１つに記載の板状部材の加工装置による板状部材の加工方法であって、前記周縁部加工室の開口部に被加工物である板状部材の周縁部を加工開始位置より挿入する工程と、前記周縁部加工用ブラストノズルより噴射材を被加工物に向けて噴射する工程と、該噴射材によって非加工物表面の不必要な薄膜層を切削除去する工程と、該噴射材およびブラスト加工によって生じた粉塵を吸引手段の吸引力により周縁部加工用吸引カバー側に移動させて、該吸引手段により吸引する工程と、をそなえることを特徴とする板状部材の加工方法。
【請求項２２】
前記板状部材を挿入する方向に該板状部材方向を移動することで最初の非加工辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、最初の被加工辺の加工が完了した後に該板状部材を略９０°回転させると共に該被加工物を前記加工開始位置に移動する工程と、該板状部材を前記挿入する方向に移動することで最初の被加工辺に隣接する辺の不必要な薄膜層を除去する工程と、を備えることを特徴とする請求項２１に記載の板状部材の加工方法。