【事件の表示】
　平成　８年特許願第２９４５７１号「リニアモータ、これを用いたステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年　５月１５日出願公開、特開平１０−１２７０３５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．本願発明
　本願は、平成８年１０月１６日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、平成１２年３月２９日付け、平成１３年１０月１日付け、平成１５年１２月２５日付けの手続補正書により補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認められる。
　
「磁石と、前記磁石に対向するコイル面を有するコイルと、前記磁石と前記コイルの間に配置され前記コイル面に冷媒を流動させる冷却手段とを有し、前記磁石を前記コイルと前記冷却手段に対して相対的に移動するリニアモータにおいて、前記磁石と前記冷却手段の相対移動によって前記冷却手段に渦電流が生じないように前記冷却手段を絶縁体としたことを特徴とするリニアモータ。」
　
２．引用文献
２−１．
（１）当審における平成１５年１０月２９日付け拒絶理由通知に引用した特開平８−１６７５５４号公報（平成８年６月２５日公開、以下「引用文献１」という。）には、次の事項が記載されている。
　
　ア．「従来、例えば半導体素子や液晶表示素子等の製造に使用される露光装置では、マスク（レチクル等）が載置されるレチクルステージや感光性の基板（ウエハ、ガラスプレート等）が載置されるウエハステージの駆動装置としてリニアモータが使用されることがある。」（段落【０００２】）
　
  イ．「図３は、そのムービングマグネット型のリニアモータの断面図を示し、この図３において、リニアモータ２８は、固定子２７と可動子２６とより構成されている。そして、固定子２７側にはコイル支持板３７に支持されたコイル３２を覆う形で筒状の断面形状の外形が矩形の容器３１が設けられ、コイル支持板３７及び筒状の容器３１は、固定子支持体３６に固定されている。以上の構成をもつ固定子２７の筒状の容器３１の外側には、磁石支持部３３の内側に一対の磁石３４を固定した可動子２６が配されている。また、冷却機構用の筒状の容器３１内の流体の流路３５を温調用の流体が流れ、コイル３２からの発熱を流体が吸収する構成となっている。
　以上のように構成されたリニアモータでは、コイル３２から発生する熱が筒状の容器３１内の流路３５を流れる温調用流体により除去されるので、リニアモータの周囲の空気の温度の上昇による弊害の発生が抑えられる。」（段落【０００４】【０００５】）
　
（２）以上から、引用文献１には、図３に示される従来技術について、次の発明が記載されていると認められる。
　
「磁石３４と、前記磁石３４に対向するコイル面を有するコイル３５と、前記磁石３４と前記コイル３５の間に配置され前記コイル面に冷却用の流体を流動させる容器３１とを有し、前記磁石３４を前記コイル３５と前記容器３１に対して相対的に移動するリニアモータ。」
　
２−２．
（１）同じく、当審における平成１５年１０月２９日付け拒絶理由通知に引用した実願昭６０−６３６１３号（実開昭６１−１８０５８９号）のマイクロフィルム（昭和６１年１１月１１日公開、以下「引用文献２」という。）には、次の事項が記載されている。
　
　ア．（第３図、第４図の従来のリニアモータについて）「次に動作について説明する。誘導コイル（５）、鉄心（４）の作用によって発生した移動磁界が対象物（８）に推力を与える。この場合、移動磁界は蓋体（７）を通過して対象物（８）に到達することになる。蓋体（７）は磁性金属材であるため、磁界の影響でうず電流が流れる。このうず電流のため蓋体（７）にはジュール熱が発生して加熱することになる。またこのうず電流のために、対象物（８）に到達すべき磁界の強度が減衰することになる。なお、鉄心（４）、誘導コイル（５）は冷却媒体、例えば水等によって強制冷却されるので、枠体（１）、蓋体（７）は水圧等に耐える強固な構造になっている。
［考案が解決しようとする問題点］
　従来のリニアモータは以上のように構成されているので、蓋体のうず電流による加熱およびこの加熱による対象物に到達する磁束減衰のために、十分な出力を出すことができない等の問題点があった。・・・
［問題点を解決するための手段］
　この考案に係るリニアモータは、蓋体を非磁性、非導電性、耐高温性を有し、かつ化学物質に反応しない材料、例えばファインセラミックス製のもので構成したものである。」（明細書の２頁１０行〜３頁１６行）
　
　イ．「第１図、第２図において、（９）は蓋体で、例えばファインセラミックス製のような非磁性、非導通性、耐高温性を有するとともに、化学物質に対しては反応しない材料で構成されている。
　なお、その他の構成は従来と同様であるから説明を省略する。
　次に動作について説明する。蓋体（９）を構成する例えばファインセラミックスは、非磁性、非導通性であるため、移動磁界を妨げることはなく、それ自身にもうず電流が流れることがないため、加熱されることもない。従って磁束の減衰を起こすことがない。」（明細書の４頁５〜１６行）
　
　ウ．第１図には、誘導コイルと対象物８の間に蓋体９が配置されることが記載されている。
　
（２）ここで、従来のように、蓋体を導電体で構成すると、リニアモータが、蓋体のうず電流による加熱およびこの加熱による対象物に到達する磁束減衰のために、十分な出力を出すことができないということは、リニアモータの駆動効率が低下することであるから、蓋体を非導電体すなわち絶縁体とすることで、リニアモータの駆動効率の低下を防ぐことが記載されているといえる。
　
（３）以上から、引用文献２には、次の発明が記載されていると認められる。
　
「対象物８と、これに対向する誘導コイル５と、これらの間に配置され、誘導コイル５に冷却媒体を流動させるための蓋体９を備えたリニアモータにおいて、蓋体９に渦電流が発生してリニアモータの駆動効率が低下することを防ぐために、蓋体９を絶縁体とすること。」
　
３．対比
　本願発明と引用文献１に記載された発明とを対比すると、後者における「磁石３４」、「冷却用の流体」、「コイル３５」、「容器３１」は、それぞれ前者における「磁石」、「冷媒」、「コイル」、「冷却手段」に相当することから、両発明は、
「磁石と、前記磁石に対向するコイル面を有するコイルと、前記磁石と前記コイルの間に配置され前記コイル面に冷媒を流動させる冷却手段とを有し、前記磁石を前記コイルと前記冷却手段に対して相対的に移動するリニアモータ」
である点で一致し、次の点で相違する。
　
（相違点）
　本願発明においては、磁石と冷却手段の相対移動によって冷却手段に渦電流が生じないように冷却手段を絶縁体としたのに対し、引用文献１に記載の発明においては、そのような構成を備えない点
　
４．判断
（１）上記相違点について検討する。
　ア．引用文献１に記載された発明においては、磁石と冷却手段の相対移動によって冷却手段に渦電流が生じないように冷却手段を絶縁体とする構成を備えるものではない。
　しかし、引用文献１及び本願発明と同じリニアモータの分野において、上記のとおり、「対象物８と、これに対向する誘導コイル５と、これらの間に配置され、誘導コイル５に冷却媒体を流動させるための蓋体９を備えたリニアモータにおいて、蓋体９に渦電流が発生してリニアモータの駆動効率が低下することを防ぐために、蓋体９を絶縁体とすること」が、引用文献２に記載されている。
　
　イ．引用文献２に記載の発明において、「誘導コイル５」、「冷却媒体」、「蓋体９」は、それぞれ、本願発明の「コイル」、「冷媒」、「冷却手段」に相当することから、引用文献２には、「対象物８と、これに対向するコイルと、これらの間に配置され、コイルに冷媒を流動させるための冷却手段を備えたリニアモータにおいて、冷却手段に渦電流が発生してリニアモータの駆動効率が低下することを防ぐために、冷却手段を絶縁体とすること」が記載されているものである。
　
　ウ．引用文献２には、対象物８が磁石を備えることについての記載がないことから、磁石を備えるリニアモータである引用文献１及び本願発明とは、その作動機構を異にすることもあり得るものではあるが、冷却手段に渦電流が発生することによるリニアモータの駆動効率低下を防止するために、冷却手段を、渦電流が発生することのない絶縁体とすることを開示しているものである。
　そして、磁束が変化する場に導電体があれば、渦電流が発生するすること、渦電流が発生すればモータの駆動効率が低下することは、技術常識であり、引用文献１に記載の発明においても、冷却手段が導電体であれば、渦電流が発生することは、当然に想定されることである。
　そうすると、引用文献１に記載された発明において、引用文献２に記載された発明を適用して、本願発明のように、磁石と冷却手段の相対移動によって冷却手段に渦電流が生じないように冷却手段を絶縁体とすることは、その構成による本願発明の効果である「渦電流が発生してリニアモータの駆動効率が低下することを防ぐこと」（平成１３年１０月１日付けの手続補正書により補正された段落【００１８】【００４１】参照）と引用文献２に記載の発明における当該構成の効果が同様であることからしても、当業者が容易に想到することができたものといえる。
　
（２）また、本願発明を全体として検討しても、引用文献１に記載の発明及び引用文献２に記載の発明から予測される以上の格別の効果を奏するとも認められない。
　
５．むすび
　したがって、本願発明は引用文献１、２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
  よって、結論のとおり審決する。