(57)【要約】【課題】簡単な構造であって、収納された基板を確実に保持できる基板収納カセットを提供する。【解決手段】基板収納カセット１は、開口部３３が形成された載置面２３を含み、開口部３３を塞ぐように載置面２３上にガラス基板２１が載置されるリブ状部２２と、開口部３３に達し、内部が負圧にされる吸引ライン３１と、吸引ライン３１に設けられ、開口部３３を開閉自在なバルブ３２とを備える。【選択図】        図６
2004356452.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部が形成された載置面を含み、前記開口部を塞ぐように前記載置面上に基板が載置されるベース部材と、
前記開口部に達し、内部が負圧にされる吸引ラインと、
前記吸引ラインに設けられ、前記開口部を開閉自在なバルブ部材とを備える、基板収納カセット。
【請求項２】
前記バルブ部材に取り付けられた弾性部材をさらに備え、
前記バルブ部材は、頂面と、前記吸引ラインの内壁と摺動する側面とを含み、前記バルブ部材には、前記頂面から前記側面にまで達する孔が形成されており、
前記載置面から基板が離れた状態では、前記弾性部材の弾性力によって、前記バルブ部材は前記頂面が前記載置面より突出するように位置決めされ、この状態で、前記孔が前記吸引ラインの内壁に塞がれることによって、前記吸引ラインの内部が負圧に維持され、
前記載置面上に基板が載置された状態では、基板と前記頂面とが接触することによって、前記バルブ部材は前記頂面と前記載置面とがほぼ同一平面となるように位置決めされ、この状態で、前記側面側において前記孔が前記吸引ラインに開放され、前記頂面側において前記孔が基板に塞がれることによって、前記載置面に基板が吸引保持される、請求項１に記載の基板収納カセット。
【請求項３】
前記吸引ラインの内壁と、前記バルブ部材の前記側面とに接触するゴム部材をさらに備える、請求項２に記載の基板収納カセット。
【請求項４】
前記吸引ラインは前記ベース部材の内部に設けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載の基板収納カセット。
【請求項５】
前記吸引ラインは、前記ベース部材の内部で前記載置面に平行に延在している部分を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の基板収納カセット。
【請求項６】
前記ベース部材は複数の前記載置面を含み、前記吸引ラインは、前記載置面の各々に形成された前記開口部に達する複数の一方端と、前記一方端の各々と連通し、負圧発生装置に接続される他方端とを含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の基板収納カセット。
【請求項７】
前記吸引ラインに設けられ、前記他方端を開閉自在な蓋部材をさらに備える、請求項６に記載の基板収納カセット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、一般的には、基板収納カセットに関し、より特定的には、液晶表示装置に用いられるガラス基板など平坦な基板を収納する基板収納カセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置に用いられるガラス基板などの基板には、薄膜形成工程、エッチング工程、および洗浄工程などの各種の製造工程が実施される。この際、これらの製造工程間で基板を搬送したり、基板を一時的に保管するために、複数枚の基板を収納する基板収納カセットが必要となる。従来、一般的に普及している基板収納カセットでは、基板がほぼ水平な状態で多段式に収納される構成が採られている。
【０００３】
このような基板収納カセットは、たとえば、特開平４−２３４４８号公報に開示されている（特許文献１）。図９は、特許文献１に開示されている基板収納カセットを示す斜視図である。
【０００４】
図９を参照して、基板収納カセット１１１は、箱型ケース形状を有し、向い合う内壁１１１ｂには、基板を収納するための基板収納溝１１３が複数設けられている。基板収納カセット１１１の基板出入口側には、基板落下防止ストッパー１１２が設けられている。基板落下防止ストッパー１１２には、基板収納カセット１１１を持ち上げると同時に基板落下防止ストッパー１１２が回転する所定の構造が設けられている。
【０００５】
基板収納カセット１１１が平らな面に置かれている場合、基板落下防止ストッパー１１２は基板出入口が開かれた状態となる図９に示す位置に位置決めされる。基板収納カセット１１１を持ち上げた場合、基板落下防止ストッパー１１２は矢印１１４に示す方向に回転し、基板出入口が基板落下防止ストッパー１１２によって閉じられた状態となる。これにより、基板収納カセット１１１に収納されている基板が基板収納溝１１３から滑り落ちることを防止できる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平４−２３４４８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
このような基板収納カセット１１１は、クリーンルーム内に設けられた洗浄装置、薄膜形成装置、エッチング装置などの各装置間を自動搬送車やロボットハンドなどを用いて搬送される。このため、基板収納カセット１１１の搬送時には、大きな振動がともなう場合がある。
【０００８】
一方、基板を基板収納カセット１１１に出し入れする際に、基板と基板収納溝１１３とが接触することを避ける必要がある。このため、基板収納カセット１１１では、基板収納溝１１３によって規定される空間が十分に大きくなるように設計されている。しかし、このように設計された基板収納カセット１１１では、基板収納カセット１１１の搬送時に発生する振動によって、基板収納溝１１３に規定された空間内で基板が激しく移動し、基板が内壁１１１ｂなどと衝突を繰り返すおそれが生じる。
【０００９】
図１０は、図９中のＸ−Ｘ線上に沿った断面図である。図１０を参照して、基板収納カセット１１１の基板収納溝１１３ｍおよび１１３ｎには、それぞれガラス基板１１５ｍおよび１１５ｎが収納されている。しかし、基板収納カセット１１１の搬送時に発生する上下方向の振動によって、ガラス基板１１５ｍは、基板収納溝１１３ｍの上側の部材に接触している。また、基板収納カセット１１１の搬送時に発生する左右方向の振動によって、ガラス基板１１５ｎは、基板収納カセット１１１の内壁１１１ｂに接触している。
【００１０】
このように、基板落下防止ストッパー１１２が機能することによって、基板が基板収納溝１１３から滑り落ちることは防止できるが、基板収納カセット１１１に収納された基板が、ある程度の衝撃力を伴って内壁１１１ｂなどと接触を繰り返すことは避けられない。このため、基板が欠けたり、割れたりするという問題が発生する。
【００１１】
また、基板の表面に形成された薄膜が、搬送時の振動によって基板収納カセット１１１を構成する部材に接触したり、接触によって生じたパーティクルが薄膜に悪影響を与えたりすることも十分に考えられる。この場合、この基板を用いた液晶表示装置等の信頼性が低下するという問題が発生する。
【００１２】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、簡単な構造であって、収納された基板を確実に保持できる基板収納カセットを提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明に従った基板収納カセットは、開口部が形成された載置面を含み、開口部を塞ぐように載置面上に基板が載置されるベース部材と、開口部に達し、内部が負圧にされる吸引ラインと、吸引ラインに設けられ、開口部を開閉自在なバルブ部材とを備える。
【００１４】
このように構成された基板収納カセットによれば、内部が負圧にされた吸引ラインによって基板を載置面上に吸引保持することができる。このため、基板収納カセットの搬送時に発生する振動にもかかわらず、基板を確実に保持することができる。これにより、基板が欠けたり、割れたりすることを防止できる。また、吸引ラインにはバルブ部材が設けられている。このため、載置面上に基板が載置されていない場合であっても、吸引ラインの気密性を保ち、吸引ラインの内部が負圧にされた状態を維持することができる。さらに、基板の保持には、吸引ラインの内部と外部との間の差圧を利用しており、電気や磁気等を用いていない。このため、基板収納カセットの構造を簡単にすることができる。
【００１５】
また好ましくは、基板収納カセットは、バルブ部材に取り付けられた弾性部材をさらに備える。バルブ部材は、頂面と、吸引ラインの内壁と摺動する側面とを含む。バルブ部材には、頂面から側面にまで達する孔が形成されている。
【００１６】
載置面から基板が離れた状態では、弾性部材の弾性力によって、バルブ部材は頂面が載置面より突出するように位置決めされる。この状態で、孔が吸引ラインの内壁に塞がれることによって、吸引ラインの内部が負圧に維持される。載置面上に基板が載置された状態では、基板と頂面とが接触することによって、バルブ部材は頂面と載置面とがほぼ同一平面となるように位置決めされる。この状態で、側面側において孔が吸引ラインに開放され、頂面側において孔が基板に塞がれることによって、載置面に基板が吸引保持される。
【００１７】
このように構成された基板収納カセットによれば、載置面に対して行なう基板の着脱に連動させて、バルブ部材による開口部の開閉を自動的に行なっている。このため、載置面上の状態に対応して開口部の開閉を確実に行なうことができる。また、弾性部材を加えるのみでバルブ部材を所定に動作させることができるため、基板収納カセットの構造を簡単にすることができる。
【００１８】
また好ましくは、基板収納カセットは、吸引ラインの内壁と、バルブ部材の側面とに接触するゴム部材をさらに備える。このように構成された基板収納カセットによれば、ゴム部材は、バルブ部材の側面と吸引ラインの内壁との間でパッキンとして機能する。これにより、吸引ラインの内部の気密性を高めることができるため、基板をより確実に保持することができる。
【００１９】
また好ましくは、吸引ラインはベース部材の内部に設けられている。このように構成された基板収納カセットによれば、ベース部材の外部に配管を別途設ける必要がない。このため、配管を設けることによる煩わしさを低減させることができる。また、吸引ラインが外部に露出していないため、配管としての信頼性を向上させることができる。
【００２０】
また好ましくは、吸引ラインは、ベース部材の内部で載置面に平行に延在している部分を含む。このように構成された基板収納カセットによれば、載置面を構成するベース部材の厚みを薄くすることができる。これにより、載置面を高さ方向に多段に設ける構造の基板収納カセットにおいて、基板収納カセットの全高を維持したまま、より多くの基板を収納することが可能となる。
【００２１】
また好ましくは、ベース部材は複数の載置面を含む。吸引ラインは、載置面の各々に形成された開口部に達する複数の一方端と、一方端の各々と連通し、負圧発生装置に接続される他方端とを含む。このように構成された基板収納カセットによれば、多数枚の基板を一度に収納できるとともに、吸引ラインを一系統にすることができる。吸引ラインを一系統にすることによって、基板収納カセットの構造を簡単にすることができる。なお、本発明では、開口部の開閉を行なうバルブ部材を設けている。このため、複数の載置面の一部に基板が載置されていない載置面が存在する場合であっても、他の載置面上に載置された基板を吸引保持することができる。
【００２２】
また好ましくは、基板収納カセットは、吸引ラインに設けられ、他方端を開閉自在な蓋部材をさらに備える。このように構成された基板収納カセットによれば、蓋部材によって他方端を閉じることによって、吸引ラインの内部を負圧に維持することができる。このため、吸引ラインの他方端を常に負圧発生装置に接続しておく必要がない。これにより、負圧発生装置を基板収納カセットに搭載せずに、たとえば、基板の着脱を行なう場所に負圧発生装置を設置しておくことができる。この場合、各製造工程間で移動させる際、基板収納カセットの取回しが容易となる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
図１は、この発明の実施の形態における基板収納カセットを示す斜視図である。図２は、図１中の基板収納カセットを示す正面図である。
【００２５】
図１および図２を参照して、基板収納カセット１には、たとえば、液晶表示装置に用いられるガラス基板２１を複数枚収納することができる。基板収納カセット１は、箱型のフレーム部と、そのフレーム部の内側に取り付けられた複数の棚部１５とを備える。フレーム部は、平板状の天板１１と、天板１１に向い合って位置決めされた平板状の底板１４と、天板１１および底板１４の四隅に接続され、両者を支持する円柱状の支柱１３と、天板１１および底板１４の一辺に接続された平板状の裏板１２とから構成されている。
【００２６】
天板１１および底板１４の互いに向い合う面には、複数の棚部１５が接続されている。棚部１５の各々は、ガラス基板２１の幅よりも大きい間隔を隔てて互いに平行に位置決めされている。棚部１５には、隣り合う棚部１５の向い合う面から互いに近づく方向に突出し、水平方向に延在する複数のリブ状部２２が形成されている。リブ状部２２は、ガラス基板２１の厚みよりも十分に大きい間隔を隔てて鉛直方向に多段に形成されている。
【００２７】
リブ状部２２は、鉛直上方向を向いた載置面２３を有する。リブ状部２２は、隣り合う棚部１５において載置面２３が同じ高さになるように形成されている。ガラス基板２１は、その同じ高さの載置面２３に周縁が支持されることによって、基板収納カセット１に収納されている。
【００２８】
図３は、図１中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿った断面図である。図４は、図１中のＩＶ−ＩＶ線上に沿った断面図である。図３および図４を参照して、載置面２３には複数の開口部３３が円形に開口されている。ガラス基板２１は、開口部３３を塞ぐように載置面２３上に位置決めされている。底板１４の底面には、開口部３４が円形に開口されている。
【００２９】
棚部１５および底板１４の内部には吸引ライン３１が形成されている。吸引ライン３１は、載置面２３に形成された開口部３３に達する複数の一方端３１ｓと、底板１４の底面に形成された開口部３４に達する他方端３１ｔとを有する。さらに、吸引ライン３１は、一方端３１ｓと他方端３１ｔとの間において、リブ状部２２の内部で載置面２３に平行に延在する部分３１ｕを有する。吸引ライン３１は、一系統に形成されており、複数の一方端３１ｓの全てが部分３１ｕを介して他方端３１ｔに通じている。
【００３０】
部分３１ｕを有するように吸引ライン３１を形成することによって、リブ状部２２の厚みを小さくすることができる。これにより、高さが同じ基板収納カセット１であっても、高さ方向により多くの載置面２３を備えることができるため、基板収納カセット１の基板収納能力を向上させることができる。また、吸引ライン３１は、棚部１５および底板１４の内部に形成されている。加えて、吸引ライン３１は、一系統に形成されている。このため、基板収納カセット１を簡単な構造にできるとともに、気密性等に対する吸引ライン３１の信頼性を向上させることができる。
【００３１】
吸引ライン３１の他方端３１ｔには、開口部３４の開閉を行なうための蓋２５が設けられている。開口部３４には、後述する真空ポンプが接続される。その真空ポンプを稼働させることによって、吸引ライン３１の内部を負圧にすることができる。
【００３２】
吸引ライン３１の一方端３１ｓには、開口部３３の開閉を行なうためのバルブ３２が設けられている。バルブ３２の詳細な構造については後述するが、載置面２３にガラス基板２１が載置された状態では開口部３３が開かれ、載置面２３にガラス基板２１が載置されていない状態では開口部３３が閉じられる。
【００３３】
図５は、図３中の曲線Ｖに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。図５を参照して、載置面２３にガラス基板２１が載置されていない場合が示されている。開口部３３に達する吸引ライン３１が、リブ状部２２の内壁３８によって規定されている。内壁３８には、内壁３８の円周方向に沿って延在するＯリング４２ｐおよび４２ｑが所定の間隔を隔てて設けられている。
【００３４】
吸引ライン３１には、内壁３８と所定の嵌め合いとなる円柱形状のバルブ３２が設けられている。バルブ３２は、頂面３２ａと、頂面３２ａの反対側に位置する底面３２ｃと、頂面３２ａおよび底面３２ｃに連なる側面３２ｂとを有する。バルブ３２には、頂面３２ａ側に開口された凹部３６と、側面３２ｂから凹部３６に達する横孔３７とが形成されている。Ｏリング４２ｐおよび４２ｑは、バルブ３２の側面３２ｂに接触している。
【００３５】
吸引ライン３１には、一方端がバルブ３２の底面３２ｃに接続され、他方端が底面３２ｃに向い合う吸引ライン３１の内壁に接続されたコイルバネ４１が設けられている。コイルバネ４１が有する弾性力によって、バルブ３２は、頂面３２ａが載置面２３から突出するように位置決めされている。この状態において、バルブ３２に形成された横孔３７は、内壁３８によって完全に塞がれている。
【００３６】
図６は、図３中の曲線ＶＩに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。図６を参照して、載置面２３にガラス基板２１が載置された場合が示されている。載置面２３にガラス基板２１が載置された場合、バルブ３２の頂面３２ａとガラス基板２１の裏面とが接触して、バルブ３２にはガラス基板２１の自重がかかる。これにより、バルブ３２は、コイルバネ４１が有する弾性力に逆らって、頂面３２ａと載置面２３とが同一平面となるように位置決めされる。この状態において、バルブ３２に形成された凹部３６は、頂面３２ａ側においてガラス基板２１の裏面に塞がれた状態となる。また、バルブ３２に形成された横孔３７は、内壁３８からずれた位置で吸引ライン３１に開放された状態となる。これにより、吸引ライン３１と凹部３６とが連通する。
【００３７】
吸引ライン３１の内部は、上述の通り負圧にされる。このとき、図５に示す載置面２３にガラス基板２１が載置されていない場合では、バルブ３２によって開口部３３が塞がれた状態となっている。このため、吸引ライン３１の内部が負圧にされた状態が維持される。
【００３８】
一方、図６に示す載置面２３にガラス基板２１が載置された場合では、吸引ライン３１に開放された凹部３６の開口部分をガラス基板２１の裏面が塞いだ状態となっている。このため、ガラス基板２１の表面側と裏面側とで差圧が生じ、ガラス基板２１は、この差圧によって載置面２３に吸引保持される。本実施の形態では、Ｏリング４２ｐおよび４２ｑを所定位置に設けている。このため、吸引ライン３１の気密性を向上させることができ、ガラス基板２１をより確実に吸引保持することができる。
【００３９】
なお、載置面２３に形成される開口部３３の直径は、１ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、ガラス基板２１を載置面２３に確実に吸引保持することができる。
【００４０】
図７は、図３中の曲線ＶＩＩに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。図７を参照して、開口部３４には、真空ポンプ５１の接続ノズル５１ｎが接続されている。この際、底板１４に設けられた蓋２５は、開口部３４からずれた位置に位置決めされている。真空ポンプ５１を稼働させることによって、吸引ライン３１中の空気が外部に排出され、内部が負圧にされる。
【００４１】
図８は、図７中の真空ポンプが開口部から取り外された場合の基板収納カセットを示す詳細図である。図８を参照して、開口部３４から真空ポンプ５１が取り外された状態では、蓋２５は、開口部３４を完全に塞ぐ位置に位置決めされる。図示しないが、蓋２５と底板１４の底面との間にはゴムパッキン等が設けられており、吸引ライン３１の気密性が保たれている。これにより、真空ポンプ５１が取り外された状態であっても、吸引ライン３１が負圧にされた状態を維持することができる。
【００４２】
続いて、実際に図１中の基板収納カセット１を用いる場合の具体例について説明を行なう。本実施の形態では、自動搬送が実施されていない液晶表示装置の製造工程であって、ガラス基板２１の表面に形成された配向膜の焼成工程（配向膜焼成装置）と、配向膜の配向処理工程（ラビング装置）との間で基板収納カセット１を用いる場合を想定する。配向膜焼成装置およびラビング装置の近傍には、図７に示す真空ポンプ５１が設置されている。
【００４３】
まず、カセット専用台車などを用いて、ガラス基板２１が収納されていない基板収納カセット１を配向膜焼成装置の前まで移動させる。基板収納カセット１の蓋２５を図７に示す位置までスライドさせ、開口部３４に真空ポンプ５１の接続ノズル５１ｎを接続する。真空ポンプ５１を稼働させることによって、吸引ライン３１の内部を負圧にする。
【００４４】
配向膜焼成装置から取り出したガラス基板２１を基板収納カセット１に収納する。ガラス基板２１が載置面２３上に載置されると、バルブ３２が図６に示す位置まで降下する。これにより、ガラス基板２１は、吸引ライン３１の内部と外部との差圧によって載置面２３に吸引保持される。なお、基板収納カセット１にはバルブ３２が設けられているため、ガラス基板２１が載置されていない載置面２３があっても吸引ライン３１の気密性は保たれる。このため、基板収納カセット１に収納するガラス基板２１の枚数は制約されない。
【００４５】
全てのガラス基板２１の収納が完了した時点で、真空ポンプ５１を開口部３４から取り外し、蓋２５を図８に示す位置までスライドさせる。これにより、吸引ライン３１の内部が負圧にされた状態が維持される。
【００４６】
基板収納カセット１を配向膜焼成装置の前からラビング装置の前まで移動させる。この間、ガラス基板２１は載置面２３に吸引保持され続けている。基板収納カセット１をラビング装置の前まで移動させたら、蓋２５を図７に示す位置までスライドさせる。これにより、吸引ライン３１の内部が大気に開放され、載置面２３に対するガラス基板２１の吸引保持が解除される。この状態で、ガラス基板２１を基板収納カセット１から取り出して、ラビング装置に装着する。以上の工程によって、配向膜焼成装置とラビング装置との間におけるガラス基板２１の搬送が完了する。
【００４７】
この発明の実施の形態における基板収納カセット１は、開口部３３が形成された載置面２３を含み、開口部３３を塞ぐように載置面２３上に基板としてのガラス基板２１が載置されるベース部材としてのリブ状部２２と、開口部３３に達し、内部が負圧にされる吸引ライン３１と、吸引ライン３１に設けられ、開口部３３を開閉自在なバルブ３２とを備える。
【００４８】
基板収納カセット１は、バルブ３２に取り付けられた弾性部材としてのコイルバネ４１をさらに備える。バルブ３２は、頂面３２ａと、吸引ライン３１の内壁としての内壁３８と摺動する側面３２ｂとを含む。バルブ３２には、頂面３２ａから側面３２ｂにまで達する孔としての凹部３６および横孔３７が形成されている。
【００４９】
基板収納カセット１は、吸引ライン３１の内壁としての内壁３８と、バルブ３２の側面３２ｂとに接触するゴム部材としてのＯリング４２ｐおよび４２ｑをさらに備える。
【００５０】
吸引ライン３１は、リブ状部２２の内部に設けられている。吸引ライン３１は、リブ状部２２の内部で載置面２３に平行に延在している部分３１ｕを含む。
【００５１】
リブ状部２２は、複数の載置面２３を含む。吸引ライン３１は、載置面２３の各々に形成された開口部３３に達する複数の一方端３１ｓと、一方端３１ｓの各々と連通し、負圧発生装置としての真空ポンプ５１に接続される他方端３１ｔとを含む。基板収納カセット１は、吸引ライン３１に設けられ、他方端３１ｔを開閉自在な蓋部材としての蓋２５をさらに備える。
【００５２】
なお、本実施の形態では、基板収納カセットを、複数枚の基板を多段式に収納できる基板収納カセット１として説明したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、本発明は、１枚だけ基板を収納できる箱型形状の基板収納カセットであって、持ち歩く程度の大きさを有する基板収納カセットであっても良い。
【００５３】
このように構成された基板収納カセット１によれば、ガラス基板２１を収納した状態で基板収納カセット１を移動させる間、ガラス基板２１は載置面２３に吸引保持されている。このため、移動時に発生する振動にもかかわらず、ガラス基板２１が載置面２３から滑り落ちたり、欠けたり、割れたりすることを防止できる。また、ガラス基板２１の表面に形成された配向膜が、リブ状部２２等に接触し傷付くことを防止できる。これにより、ガラス基板２１を用いた液晶表示装置の信頼性を向上させることができる。また、鉛直下方向を向いた載置面２３に吸引保持する形態でガラス基板２１を収納することが可能となる。このような形態でガラス基板２１を基板収納カセットに収納することによって、ガラス基板２１に対するパーティクルの影響を軽減させることができる。
【００５４】
また、基板収納カセット１では、開口部３４を開閉自在な蓋２５が設けられている。このため、ガラス基板２１の載せ替えを行なう各製造装置の近傍に真空ポンプ５１を設置し、基板収納カセット１に真空ポンプ５１を搭載しておく必要がない。これにより、基板収納カセット１を移動させる際の取回しが容易になる。
【００５５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００５６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に従えば、簡単な構造であって、収納された基板を確実に保持できる基板収納カセットを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態における基板収納カセットを示す斜視図である。
【図２】図１中の基板収納カセットを示す正面図である。
【図３】図１中のＩＩＩ−ＩＩＩ線上に沿った断面図である。
【図４】図１中のＩＶ−ＩＶ線上に沿った断面図である。
【図５】図３中の曲線Ｖに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。
【図６】図３中の曲線ＶＩに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。
【図７】図３中の曲線ＶＩＩに囲まれた部分の基板収納カセットを示す詳細図である。
【図８】図７中の真空ポンプが開口部から取り外された場合の基板収納カセットを示す詳細図である。
【図９】特許文献１に開示されている基板収納カセットを示す斜視図である。
【図１０】図９中のＸ−Ｘ線上に沿った断面図である。
【符号の説明】
１  基板収納カセット、２１  ガラス基板、２２  リブ状部、２３  載置面、２５  蓋、３１  吸引ライン、３１ｓ  一方端、３１ｔ  他方端、３１ｕ  部分、３２  バルブ、３２ａ  頂面、３２ｂ  側面、３３  開口部、３６  凹部、３７  孔、３８  内壁、４１  コイルバネ、４２ｐ，４２ｑ  Ｏリング、５１  真空ポンプ。
【図１】
2004356452.tif 000003
【図２】
2004356452.tif 000004
【図３】
2004356452.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004356452.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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