【手続補正書】
【提出日】平成24年8月29日(2012.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学測定取得装置（４）によって検出された孤立した光子に対する測定取得データを含む画像の第１データベースから実行され、集積された電子回路（２４）における欠陥を解析する画像処理方法であって、
孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する前記測定取得データから、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で決定された前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））及び前記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））を有する記録を含むフィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定するステップを備えており、
イベント（ｅｖ（ｋ））における所定のフィルタリングされた中央の光子（ｋ）の周りに前記フィルタリングされた光子を配置する少なくとも１つの基本配置ステップ（７１６）を備えており、
その一つの基本配置ステップ又はそれぞれの基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する前記中央の光子（ｋ）の周りで、位置（Ｐ（ｋ））を含み且つ所定の振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有する空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探すステップと、
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の位置の第１関数と等しいイベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子のスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ）））の第２関数と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））とを有する記録のような前記中央の光子（ｋ）と関連するイベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成することによって、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子を一緒に配置するステップと、
を備えることを特徴とする画像処理方法。
【請求項２】
イベントの前記記録は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の最大及び最小の座標を有することを特徴とする請求項１に記載の画像処理方法。
【請求項３】
前記第１関数は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の前記位置（Ｐ（ｋ）、Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））の重み付けされない平均であることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理方法。
【請求項４】
前記第１関数は、前記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））が光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の重心となるように、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））の前記位置（Ｐ（ｋ）、Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））がそれぞれのスカラ重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））によって修正されて重み付けされた平均であることを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理方法。
【請求項５】
前記第２関数は、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（ｋ、ｒｅｇ（ｋ））のそれぞれの重み（Ｗ（ｋ）、Ｗ（ｒｅｇ（ｋ））の和であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項６】
前記データベースの全ての前記フィルタリングされた光子（ｉ）をイベント内に配置する配置ステップ（６０２）を備えており、前記配置ステップ（６０２）は、前記基本配置ステップを各光子（ｉ）に対して一度適用することからなり、光子（ｉ）は中央の光子又はイベントウインドウ内で見つけられた光子の内の何れかと考えられることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項７】
作成された前記イベント（ｅｖ（ｋ））は、イベントのみを含むデータベース内に集められることを特徴とする請求項６に記載の画像処理方法。
【請求項８】
前記イベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））が所定の閾値（Ｓｅｖ）よりも小さい前記イベント（ｅｖ（ｋ））を除去することからなる前記イベント（ｅｖ（ｋ））をフィルタリングするステップ（６０８）を備えており、残されたイベントはフィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））となることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項９】
前記フィルタリングされたイベント及びフィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの画像を作成するステップ（６１４）であって、前記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれを、位置、寸法及び色を有する線分、面積又は体積の形で表すステップを備えており、
線分、面積又は体積の寸法及び位置は、前記フィルタリングされたイベント（ｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベント（ｅｖ（ｋ））それぞれの座標によって決定されており、
色は、前記フィルタリングされたイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋｆｉｌｔｒｅ））及び前記フィルタリングされないイベントの重み（Ｗｅｖ（ｋ））それぞれに依存することを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１０】
前記第１データベースから決定される少なくとも１つのイベント（ｅｖ（ｋ））を、正常に動作する同一の電子回路に対応する基準の第２データベースから決定される少なくとも１つのイベントと比較するステップ（２２４）と、
前記第１データベース及び前記第２データベースから導かれる類似しない各イベントを識別するステップと、
を備えることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１１】
前記光学測定取得装置（４）によって検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）の測定から前記測定取得データを集めるステップを備えており、前記測定取得データを用いて画像が形成されることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１２】
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な前記位置（Ｐ（ｉ））は、前記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、前記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
前記空間座標は、前記電子回路の光子の放射基準空間に対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）は、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な前記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、下記のデカルト積として記載される、
【数１】
2012521028.tif 000001
ことを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１３】
孤立した光子に対して前記測定取得データから前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定する前記ステップは、孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する前記測定取得データを原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する原データに配置する予備ステップ（２０４）と、
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）からの前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換するステップ（２０６、２０８）と、
を備えており、
前記原データは、それぞれの原光子（ｉｂｒｕｔ）に対して、ｎ次元を有する空間的及び／又は時間的基準で決定される前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の空間的及び／又は時間的位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））と、前記原光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する光学センサのスカラ感度値（Ｓ（ｉｂｒｕｔ））と、を有する記録を含んでおり、
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）に対する前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）に対する前記データに変換する前記ステップ（２０６、２０８）は、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を有する前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の周囲で、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を含み且つ振幅（ΔＴＷ）を有しており光子を重み付ける空間的及び／又は時間的ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内に含まれるそれぞれの位置（Ｐ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））を有する光子（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））を探して、前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の前記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の第３関数と等しい重み付けされた光子（ｉｂｒｕｔ）に関連する重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））を計算する重み付けステップ（２０６）を備えていることを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１４】
前記第３関数は、前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））内で見つけられる光子（ｉｂｒｕｔ，ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ））の前記感度値（Ｓ（ｖｏｉｓ（ｉｂｒｕｔ）））の和であることを特徴とする請求項１３に記載の画像処理方法。
【請求項１５】
前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の前記原データを前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータに変換する前記ステップ（２０６，２０８）は、前記重み付けステップ（２０６）の後に、前記重み（Ｗ（ｉｂｒｕｔ））が所定の光子フィルタリング閾値（Ｓｆｉｌｔ）よりも小さい重み付けされた前記原光子（ｉｂｒｕｔ）を除去することからなる重み付けされた前記原光子（ｉｂｒｕｔ）をフィルタリングするステップ（２０８）を備えており、残された重み付けされた光子は前記フィルタリングされた光子（ｉ）を構成することを特徴とする請求項１３又は１４に記載の画像処理方法。
【請求項１６】
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な前記位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））は、前記原光子（ｉｂｒｕｔ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎまで変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ））によって決定されており、前記ｎ座標は、ｎ−１の空間座標及び１つの時間座標（ｔ）によって形成されるｎ個にまとめられており、
前記空間座標は、前記電子回路からの光子の放射に対する基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されており、
原光子重み付け寸法（ΔＴｗ）は、ｎ個（ΔＴｗｊ）によって形成されており、
空間的及び／又は時間的な前記ウインドウ（ＦＷ（ｉｂｒｕｔ））は、位置（Ｐ（ｉｂｒｕｔ））を中心にして振幅（ΔＴｗ）を有しており、下記のデカルト積として記載される、
【数２】
2012521028.tif 000002
ことを特徴とする請求項１３〜１５の何れか一項に記載の画像処理方法。
【請求項１７】
ｎは３以下の整数であり、１から３に変化する整数ｊを有するフィルタリングされた光子（ｉ）の座標（ｘｊ（ｉ））及び原光子（ｉｂｒｕｔ）の座標（ｘｊ（ｉｂｒｕｔ））それぞれは、前記フィルタリングされた光子（ｉ）及び前記原光子（ｉｂｒｕｔ）それぞれの放射位置及び／又は放射モーメントに対応しており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、
前記第１及び第２空間座標（ｘ）及び（ｙ）は、前記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定されることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項１８】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）、（ｙ）座標に沿った２つの空間次元及び１つの時間次元ｔを有する３と等しく、光子を重み付けするステップは、３つの値（ｄｌ，ｄｌ，ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、前記ウインドウの寸法（ΔＴＷ）の２つの空間成分が同一である空間時間光子相関（ＳＴＰＣ）法を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項１９】
取得される次元の数ｎが、（ｘ）及び（ｙ）座標に沿った２つの空間次元を有する２と等しく、光子を重み付けするステップ（２０６）が、２つの値（ｄｌ，ｄｌ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有し、前記ウインドウの寸法の２つの空間成分が同一である空間光子相関法を用いる静的発光のような取得技術を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項２０】
取得される次元の数ｎが、時間座標（ｔ）に沿った１つの時間次元を有する１と等しく、光子を重み付けするステップ（２０６）が、１つの値（ｄｔ）によって形成される重み付けウインドウの寸法（ΔＴＷ）を有する時間光子相関法を用いる時間分解静的発光（ＴＲＥ）のような取得技術を用いることを特徴とする請求項１６に記載の画像処理方法。
【請求項２１】
プログラムがコンピュータ（６０）上で実行される時に、請求項１〜２０の何れか一項に記載の方法のステップを実行するプログラムインストラクションを備えるコンピュータプログラム。
【請求項２２】
集積された電子回路における欠陥を解析するシステムであって、
前記電子回路によって放射された孤立した光子を検出し且つ検出された孤立した光子（ｉａｃｑ）に対する測定取得データを提供可能な光学測定取得装置（４）と、
データベースを形成する、検出された孤立した光子に対する前記測定取得データを保存可能なメモリ（６２）と、
孤立した光子に対する前記測定取得データから、フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースを決定できるコンピュータ（６０）であって、前記フィルタリングされた光子（ｉ）のデータベースは、それぞれのフィルタリングされた光子（ｉ）に対して、
前記フィルタリングされた光子（ｉ）の空間的及び／又は時間的な位置（Ｐ（ｉ））であって、ｎが３以下の整数であるｎ次元を有する空間的及び／又は時間的な基準フレーム内で、前記フィルタリングされた光子（ｉ）の放射位置及び／又は放射モーメントに対応して、１からｎに変化する整数ｊを有するｎ座標（ｘｊ（ｉ））によって決定されており、ｎ座標は、第１空間座標（ｘ）、第２空間座標（ｙ）及び時間座標（ｔ）によって形成される３つにまとめられており、前記第１及び第２空間座標（ｘ）、（ｙ）は、前記電子回路からの光子の放射面の基準空間フレームに対して決定されており、前記時間座標（ｔ）は、前記電子回路の電子励起信号の基準時間に対して決定される、位置（Ｐ（ｉ））と、
前記フィルタリングされた光子（ｉ）と関連するスカラ重み（Ｗ（ｉ））と、
を含む記録を有する、コンピュータ（６０）と、
を備えており、
前記コンピュータ（６０）は、イベント（ｅｖ（ｋ））における所定の中央の光子（ｋ）の周りに前記フィルタリングされた光子を配置する基本配置ステップを実行可能であり、
前記基本配置ステップは、
位置（Ｐ（ｋ））を有する所定の前記中央の光子（ｋ）の周りで、空間的及び／又は時間的なイベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれたそれぞれの位置（Ｐ（ｒｅｇ（ｋ）））を有する光子（ｒｅｇ（ｋ））を探して、所定のｎ個（ΔＴｍａｘｅｖｊ）によって形成される最大イベント寸法（ΔＴｍａｘｅｖ）を定めるステップを有しており、
前記イベントウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））は、位置（Ｐ（ｋ））を中心にして振幅（ΔＴｍａｘｅｖ）を有しており、且つ下記の積として決定され、
【数３】
2012521028.tif 000003
少なくとも一つの光子（（ｒｅｇ（ｋ）））が見つけられた時に、
前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子（（ｒｅｇ（ｋ）））及び前記中央の光子（ｋ）の位置の平均と等しい前記イベントの位置（Ｐｍｏｙ（ｋ））と、
前記中央の光子（ｋ）を有する前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる光子の最大及び最小の座標と、
前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に含まれる全ての光子の重みの和と等しいイベント重み（Ｗｅｖ（ｋ））と、
を有する記録のような前記中央の光子（ｋ）と関連する前記イベント（（ｅｖ（ｋ）））を作成ることによって、前記ウインドウ（Ｆｅｖ（ｋ））内に見つけられた光子が一緒に配置される、ことを特徴とするシステム。