【事件の表示】
　平成　７年特許願第５２９３０２号「共振センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年１１月２３日国際公開、ＷＯ９５／３１６９３、平成１０年１０月１３日国内公表、特表平１０−５１０６２０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成６年９月２９日［パリ条約による優先権主張（外国庁受理）１９９４年５月１７日、ドイツ国］を国際出願日とする出願であって、平成１３年３月７日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１３年６月１９日に審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。
　
２．平成１３年６月１９日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１３年６月１９日付けの手続補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の発明
　本件補正は、特許請求の範囲の補正を含むものであり、そのうち請求項１を
　「１．検査対象の対象物の表面の少なくとも２つの物理的な値を決定するための振動体（１０）を有する共振センサにして、前記振動体（１０）は、少なくとも第１の部分構成体及び第２の部分構成体（１、２）を含み、第１の部分構造体（１）はその一端が固定的に取付けられた片持ち梁構造であって、第２の部分構造体はその他端が第１の部分構造体の他端に固定的に取付けられた片持ち梁構造であって第２の部分構造体の一端側にはセンサが取付けられた構造をなし、前記振動体を励起させ、前記振動体の基本共振振動数において、第１の部分構造体の前記一端を固定端として前記振動体振動させて、前記センサにより第１の物理的な値を測定し、第２の部分構成体（２）を前記振動体の励起と独立に励起させ、前記第２の部分構成体の基本共振振動数において、第２の部分構成体の前記一端を固定端として第２の部分構成体を振動させて、前記センサにより第２の物理的な値を測定し、前記センサによる第１及び第２の物理的な値の測定はそれぞれ、第１及び第２の部分構成体の個々の共振周波数により振動させて測定させているため、高い感度で行われることを特徴とする共振センサ。」
　と補正しようとするものである。
　前記補正において、「共振センサ」と「センサ」と「前記センサ」という表現があって、紛らわしいが、「共振センサ」は「振動体（１０）を有する共振センサ」のことであり、「センサ」は「第２の部分構造体の一端側にはセンサが取り付けられ」という記載で配置位置が特定されるセンサであって、具体的には「センシング・プローブとしての鋭い先端部２１」のことであり、「前記センサ」はいずれも「センサ」すなわち「センシング・プローブとしての鋭い先端部２１」のことであると認める。
　
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という）が特許出願の際独立して特許を受けることができたものであるか（平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
　
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された、特開平６−２６８５５号公報（以下、「引用例」という）には次のことが記載されている。
　引用例
　「【００１５】【課題を解決するための手段】試料上で原子間力と表面電位の両方の測定を行なう原子間力顕微鏡は、ある第一の機械的共振周波数を示す第一部分と、異なった第二の機械的共振周波数を示す第二部分との２つの部分から成る導電性プローブ・ビームを備えている。……」、
　「【００１６】【実施例】図１において、ＡＦＭプローブ・ビーム１２は、機械的共振周波数ｆ1を示す第一部分１４を有している。より小さな断面および小さな質量を有する第二部分１６は、より高い共振周波数ｆ2 を示し、プローブ・チップ１８を持つ。プローブ・ビーム１２は、導電性であり、ＰＺＴ（チタンジルコン酸鉛）アクチュエータ２０により駆動されるように取り付けられている。……」、
　「【００１７】
　ＰＺＴアクチュエータ２０は、好適には、発振器３０から周波数ｆ1の信号が供給されるバイモル・アクチュエータである。ＰＺＴアクチュエータ２０は、このように第一部分１４の共振周波数ｆ1 で、矢印３２で示される垂直方向にビーム１２を往復運動させる。往復運動は、第一部分１４と第二部分１６に周波数ｆ1で共振を引き起こす。発振器３４は、周波数ｆ2の信号をプローブ・ビーム１２に直接与える。さらに、可変ＤＣ源３６は、ＤＣ電圧をプローブ・ビーム１２に供給する。」、
　「【００１９】図１に示されるプローブ・ビーム装置の利点は、プローブ・ビーム１２の２つの振動周波数が分離され、別々に制御できることである。周波数ｆ1でのプローブ・ビーム１２の振動は、ＰＴＺアクチュエータ２０に与えられる信号により直接制御される。第二部分１６は周波数ｆ1で振動するが、プローブ・チップ１８と表面２６との間に電位差が存在する限り周波数ｆ2でも振動する。電位差が零のとき、第二部分１６の運動は厳密にはＰＺＴ２０の動作の関数となる。このように、第二部分１６の運動を適切に監視することにより、２つの共振周波数ｆ1とｆ2を検出し分離して、ＡＦＭにおいて独立の現象検出機能を実行できる。」、
　「【００２０】図２は、図１の装置のＡＦＭ制御機構を備えた装置のブロック図を示す。レーザ干渉計４０は、第二部分１６上に光ビーム４２をフォーカスし、反射光ビーム４４の位相変化によりその振動を検出する。レーザ干渉計４０において、反射光ビーム４４が検出され、第二部分１６の振動を示す電気信号が得られる。上述したように、それらの信号は、ＤＣ電位差が第二部分１６と試料２８の表面２６との間に存在する場合に、両方の周波数ｆ1 とｆ2 を持っている。」、
　「【００２１】レーザ干渉計４０は、ＲＦ電子モジュール４６にその出力を与える。……。ＲＦ電子モジュール４６からの出力は、周波数ｆ1 とｆ2 の両方の成分を持った信号波形である。その出力は、１対のロックイン増幅器４８と５０に供給される。また周波数ｆ1の発振器５２と周波数ｆ2の発振器５４からの信号は、入力としてそれぞれロックイン増幅器４８と５０に与えられる。ロックイン増幅器は、既知のようにして、振幅が周波数ｆ1の振動振幅に依存する正または負のＤＣ電圧を生成する。その結果、もしロックイン増幅器への帰還ｆ1信号成分の振幅が変化するならば、その出力の振幅に比例して変化する。」、
　「【００２２】積分器／インバータ５６は、ロックイン増幅器の出力を滑らかにし、反転し、加算器６０に１つの入力として供給する。発振器５２からのｆ1信号も、加算器６０に供給される。その結果、ＰＺＴアクチュエータ２０への帰還信号の値は、ロックイン増幅器４８への２つの入力信号間の振幅変化を修正し、既知のようにしてプローブ・ビーム１２の安定化を達成をするように変化する。積分器／インバータ５６からの出力信号は、試料２８のトポグラフィの表示としてライン６２を経て得られる。」、
　「【００２３】ロックイン増幅器５０と積分器／インバータ５８は、発振器５４から出力されるｆ2信号エネルギーに対する以外は、上述したと同様に動作する。積分器５８は、ロックイン増幅器５０の出力を滑らかにし、反転する。その結果、ライン６４の電位は、ＲＦ電気モジュール４６の出力中のｆ2 信号成分の振幅変化に比例する反転ＤＣ電位になる。このＤＣ電位は、発振器５４からのｆ2 信号とともに、加算器６６に与えられる。これらの信号は、加算器６６で加算され、帰還信号としてプローブ・ビーム１２に与えられ、ｆ2 振動を制御する。」、
　「【００２４】もしプローブ・ビーム１２のＤＣ電位が試料２８の表面電位より大きいならば、第二部分１６の振動は発振器５４から与えられたｆ2 信号の位相を進ませ、反対に小さければ遅らせる。このように帰還装置は、積分器／インバータ５８からの帰還ＤＣ電位をゆっくりと変化するように調整して、プローブ・ビーム１２上のＤＣ電位が、試料２８上の表面電位に等しくなるように連続的に調整する。」、
　「【００２５】……帰還ＤＣ電位（ライン７０に与えられる）は、試料２８上の表面電位に直接関係する。」、
　が記載され、図１をみると、ＡＦＭプローブビームは片持ち梁であって、図１で左側端部付近で固定的に取り付けられるものであり、プローブ・チップ１８が設けられている位置が第二部分１６の一端であることも明かである。
　
（３）対比
　本願補正発明と引用例に記載の発明とを比較すると、引用例発明における「プローブ・ビーム１２」「第一部分１４」、「第二部分１６」、「プローブ・チップ１８」がそれぞれ、本願補正発明における「振動体（１０）」、「第１の部分構成体（１）」、「第２の部分構成体（２）」、「第２部分構成体の一端側に取り付けられたセンサ」に相当し、引用例明細書の「【００１９】図１に示されるプローブ・ビーム装置の利点は、プローブ・ビーム１２の２つの振動周波数が分離され、別々に制御できることである。周波数ｆ1でのプローブ・ビーム１２の振動は、ＰＴＺアクチュエータ２０に与えられる信号により直接制御される。……」の記載は、振動周波数ｆ1と振動周波数ｆ2をそれぞれ独立に制御できることを意味しているから、引用例発明で「共振周波数ｆ1」、「共振周波数ｆ2」、「ＰＺＴアクチュエータ２０で、第一部分１４の一端を固定端として、共振周波数ｆ1で往復運動させて、プローブビーム１２に周波数ｆ1で共振を引き起こさせる」、「発振器３４で、周波数ｆ2の信号をプローブ・ビーム１２に直接与え、プローブ・チップ１８と表面２６との間に電位の差があるときに、共振周波数ｆ2で第二部分１６に振動が生じるようにさせる」がそれぞれ、本願補正発明の「振動体の基本共振振動数」、「第２の部分構成体の基本共振振動数」、「振動体の基本共振振動数において、第１の部分構造体の前記一端を固定端として振動体１０を振動させる」、「第２の部分構成体（２）を前記振動体の励起と独立に励起させ、前記第２の部分構成体の基本共振振動数において、第２の部分構成体の前記一端を固定端として第２の部分構成体を振動させる」ことに相当し、引用例発明は、プローブ・ビーム１２にＰＺＴアクチュエータ２０で共振周波数ｆ1を与えるとともに、発振器３４で、周波数ｆ2の信号をプローブ・ビーム１２に直接与えることで、プローブビームの振動から２つの共振周波数ｆ1、ｆ2の両方の成分を持った信号波形を得て、それを分離した際、周波数ｆ1に係る成分のものからトポグラフィカルな測定を行い、周波数ｆ2に係る成分のものから試料の表面電位の測定を行っており、それら測定はプローブ・チップ１８によっているものであることも明らかであり、引用例発明の「トポグラフィカルな測定で得る物理的な値」、「試料表面電位の測定で得る物理的な値」がそれぞれ、本件補正発明の「第１の物理的な値」、「第２の物理的な値」に相当するから、両者は、
　「検査対象の対象物の表面の少なくとも２つの物理的な値を決定するための振動体（１０）を有する共振センサにして、前記振動体（１０）は、少なくとも第１の部分構成体及び第２の部分構成体（１、２）を含み、第１の部分構造体（１）はその一端が固定的に取付けられた片持ち梁構造であって、第２の部分構造体はその他端が第１の部分構造体の他端に固定的に取付けられた片持ち梁構造であって第２の部分構造体の一端側にはセンサが取付けられた構造をなし、前記振動体を励起させ、前記振動体の基本共振振動数において、第１の部分構造体の前記一端を固定端として前記振動体振動させ、第２の部分構成体（２）を前記振動体の励起と独立に励起させて、前記センサにより第１の物理的な値および第２の物理的な値を測定することを特徴とする共振センサ。」　
　である点で一致し、以下の点で相違している。
　
　相違点
　本願補正発明は、振動体の基本共振振動数において、振動体を振動させて、第１の物理的な値を測定し、第２の部分構成体（２）を励起させ、前記第２の部分構成体の基本共振振動数において、第２の部分構成体を振動させて、第２の物理的な値を測定し、第１及び第２の物理的な値の測定はそれぞれ、第１及び第２の部分構成体の個々の共振周波数により振動させて測定させているため、高い感度で行われるものであるのに対し、引用例発明は、その実施例に、振動体（引用例では「プローブ・ビーム１２」）を基本共振振動数ｆ1で振動させるとともに、第２の部分構成体（２）（引用例では「第二部分１６」）を励起させ、前記第２の部分構成体の基本共振振動数ｆ2において、第２の部分構成体（２）を振動させて、これにより周波数ｆ1とｆ2の両方の成分を持った信号波形を得てこれらを分離してから、第１及び第２の物理的な値を得ることが記載されているものである点。
　
（４）判断
　前記相違点について検討すると、
　引用例発明は、振動数ｆ1での振動制御と、振動数ｆ2での振動制御をそれぞれ独立して行うことができるものであるから、その２つの振動制御を分けて行うことが可能な共振センサ装置であって、プローブ・ビーム１２をアクチュエータで振動数ｆ1で振動制御して、第１の物理的な値を得、次いで、このアクチュエータを停止してから、第二部分１６を励起させ、振動数ｆ2において、第２の部分構成体を振動させて、第２の物理的な値を得るようにすることは、当業者が容易になしうることである。そうすることで高い感度で測定が行われるという出願人主張の効果は、予想範囲内のものに過ぎない。
　
　したがって、本願補正発明は、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で準用する特許法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　
３．本願発明について
　平成１３年６月１９日付けの手続補正は上記のように却下された。したがって、本願の平成１２年３月２９日付けの手続補正書により特定される本願の請求項１の記載は以下の
　「１．少なくとも２つの物理的な値を決定するための振動体（１０）を有する共振センサにして、前記振動体（１０）は少なくとも第１及び第２の部分構造体（１，２）を含み前記振動体を励起させ、全体の前記振動体の基本共振振動数において振動させて第１の物理的な値を測定し、第１の部分構成体を前記励起と独立に励起させ、前記第１の部分構成体の基本共振振動数において振動させて第２の物理的な値を測定するように配置されていることを特徴とする共振センサ」
　であるが、この記載で「第１の部分構成体を前記励起と独立に励起させ、前記第１の部分構成体の基本共振振動数において振動させて第２の物理的な値を測定する」は、明細書および図面の記載からみて、「第２の部分構成体を前記励起と独立に励起させ、前記第２の部分構成体の基本共振振動数において振動させて第２の物理的な値を測定する」の誤記であることが明かであるので、誤記を正しく読み替えたものが本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という）と認める。
　
（１）引用例
　本願発明について原査定の拒絶の理由に前記引用例が引用されており、引用例の記載事項は前記「２．（２）」に記載したとおりのものである。
　
（２）対比・判断
　本願発明は、前記「２．」で検討した本願補正発明から、物理的な値を決定する対象が、「対象物の表面」であるという限定、第１の部分構造体（１）が「その一端が固定的に取付けられた少なくとも片持ち梁構造である」という限定、第２の部分構造体が「その他端が第１の部分構造体の他端に固定的に取付けられた片持ち梁構造であって、第２の部分構造体の一端側にはセンサが取付けられた構造である」という限定、振動体を基本振動数において振動させるのに「第１の部分構造体の前記一端を固定端として振動させる」という限定、第１及び第２の測定が、「高い感度で行われる」という限定、に係る構成をすべて省いたものである。
　そうすると、本願発明の構成要件を全て含み、さらに上記限定を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、上記限定を欠く本願発明は、当然に、引用例に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものである。
　
（３）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。　上記のとおり、本願発明が特許を受けることができないものであるから、本願のその余の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。