【手続補正書】
【提出日】平成24年5月18日(2012.5.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１次光源からの光で照明視野を照明するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置のための照明系であって、
１次光源からの光を受光し、かつ照明系の瞳成形面に可変的に調節可能な２次元強度分布を発生させるための可変的に調節可能な瞳成形ユニット、
を含み、
前記瞳成形ユニットは、フーリエ光学系の入射平面を通じて入射する入射ビーム束をフーリエ光学系の射出平面から射出する射出ビーム束へと変換するためのフーリエ光学系を有し、
前記フーリエ光学系は、焦点距離ｆFOSと、入射側の先頭の系の面と射出側の最後の系の面の間で光軸に沿って測定された構造長Ｌとを有し、かつ条件（Ｌ／ｆFOS）＜１／６が成り立ち、
前記フーリエ光学系は、入射側の第１のレンズと射出側の第２のレンズとを有する第１のレンズ群と、該第１のレンズ群の下流に配置され、入射側の第１のレンズと射出側の第２のレンズとを有する第２のレンズ群も含み、
前記第１のレンズ群の射出側の最後の系の面と前記第２のレンズ群の入射側の先頭の系の面との間に群距離ｄG＞０．６*Ｌが存在する、
ことを特徴とする照明系。
【請求項２】
条件（Ｌ／ｆFOS）＜０．１が成り立つことを特徴とする請求項１に記載の照明系。
【請求項３】
前記フーリエ光学系の前記焦点距離ｆFOSは、１０ｍ又はそれよりも大きく、前記構造長Ｌは、４ｍ未満であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の照明系。
【請求項４】
前記第１のレンズ群の前記射出側の最後の系の面と前記第２のレンズ群の前記入射側の先頭の系の面との間で条件ｄG＜０．１２*ｆFOSが成り立つ群距離ｄGが存在することを特徴とする請求項１に記載の照明系。
【請求項５】
前記フーリエ光学系は、幾何学的フラックスＨが与えられた時に単位時間当たりに放射線エネルギＥを伝達させるように設計され、ＰAが、前記第１のレンズ群の前記射出側の第２のレンズの予め決めることができる最大エネルギ負荷であり、ＰBが、前記第２のレンズ群の前記入射側の第１のレンズの予め決めることができる最大エネルギ負荷であり、該第１のレンズ群の射出側の最後の系の面と該第２のレンズ群の入射側の先頭の系の面との間の群距離ｄGが、最小群距離ｄGminよりも小さくなく、該最小群距離に対して次式：
ｄGmin＝ｎ／Ｈ*Ｅ／（ＰaＰb）1/2
が成り立つことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項６】
前記群距離ｄGは、ｄGminと３*ｄGminの間にあることを特徴とする請求項５に記載の照明系。
【請求項７】
前記フーリエ光学系は、０．０１ｍｍ≦Ｈ≦０．２ｍｍの幾何学的フラックスに対して設計され、Ｈは、入射瞳の半径ＥＰＤ／２と、入射側開口数ＮＡOと、入射側屈折率ｎoとの積であることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項８】
前記フーリエ光学系は、４つ、５つ、又は６つのレンズを有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項９】
前記入射側の第１のレンズ群は、厳密に２つのレンズを有することを特徴とする請求項４から請求項８のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１０】
前記フーリエ光学系は、少なくとも１つの非球面形レンズ面を有する少なくとも１つのレンズを有することを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１１】
前記フーリエ光学系の前記射出平面に最も近い射出側レンズ面が、非球面形状を有することを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１２】
前記フーリエ光学系は、入力側と出力側でテレセントリックであることを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１３】
前記フーリエ光学系は、少なくとも１つの平面偏向ミラーを含むことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１４】
前記フーリエ光学系は、ｚ字形方式で折り返されることを特徴とする請求項１から請求項１３のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１５】
前記フーリエ光学系は、少なくとも１対の交差円柱レンズ系を有し、
１対の交差円柱レンズ系が、第１の曲率平面内で湾曲した少なくとも１つの第１の円柱面を有する第１の円柱レンズ系と、第２の曲率面内で湾曲した少なくとも１つの第２の円柱面を有する第２の円柱レンズ系とを有し、
前記第１及び前記第２の曲率平面は、互いに垂直である、
ことを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１６】
前記フーリエ光学系は、複数の第１の円柱レンズを有する第１の円柱レンズ群と、下流に配置されて複数の第２の円柱レンズを有する第２の円柱レンズ群とを有することを特徴とする請求項１５に記載の照明系。
【請求項１７】
前記瞳成形ユニットは、前記フーリエ光学系の上流に配置された光混合デバイスを有することを特徴とする請求項１から請求項１６のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項１８】
前記光混合デバイスは、フライアイコンデンサーを含むことを特徴とする請求項１７に記載の照明系。
【請求項１９】
前記瞳成形ユニットは、光変調デバイス上に入射する光束の角度分布を制御可能に変更するための光変調デバイスを有し、前記フーリエ光学系は、前記１次光源と該光変調デバイスの間に配置されることを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の照明系。
【請求項２０】
前記光変調デバイスは、前記入射放射線の前記角度分布を変更するのに用いることができる個別に駆動可能な個別要素の２次元アレイ配列を含むことを特徴とする請求項１９に記載の照明系。
【請求項２１】
前記光変調デバイスは、多くの個別に駆動可能な個別ミラーを有する多ミラーアレイ（ＭＭＡ）を含むことを特徴とする請求項１９又は請求項２０に記載の照明系。
【請求項２２】
フーリエ光学系の入射平面を通じて入射する入射ビーム束をフーリエ光学系の射出平面から射出する射出ビーム束へと変換するためのフーリエ光学系であって、
焦点距離ｆFOSと、入射側の先頭の系の面と射出側の最後の系の面の間で光軸に沿って測定された構造長Ｌとを有し、かつ条件（Ｌ／ｆFOS）＜１／６が成り立ち、
前記フーリエ光学系は、入射側の第１のレンズと射出側の第２のレンズとを有する第１のレンズ群と、該第１のレンズ群の下流に配置され、入射側の第１のレンズと射出側の第２のレンズとを有する第２のレンズ群も含み、
前記第１のレンズ群の射出側の最後の系の面と前記第２のレンズ群の入射側の先頭の系の面との間に群距離ｄG＞０．６*Ｌが存在する、
ことを特徴とする光学系。
【請求項２３】
請求項２から請求項１６のいずれか１項の特徴付け部分に記載の特徴を特徴とする請求項２２に記載のフーリエ光学系。
【請求項２４】
１次光源からの光を受光し、かつ照明面に実質的に均一な２次元強度分布を発生させるための光混合系であって、
請求項２２及び請求項２３のいずれか１項に記載のフーリエ光学系を有し、角度領域において有効な光混合デバイスが、該フーリエ光学系の上流に配置される、
ことを特徴とする光混合系。
【請求項２５】
前記光混合デバイスは、フライアイコンデンサーを含むことを特徴とする請求項２４に記載の光混合系。
【請求項２６】
投影対物系の像面の領域に配置された感放射線基板を該投影対物系の物体面の領域に配置されたマスクパターンの少なくとも１つの像で露光するためのマイクロリソグラフィ投影露光装置であって、
１次光源と、
前記１次光源からの光を受光し、かつマスクのパターン上に誘導される照明放射線を成形するための照明系と、
前記マスクの構造を感光基板上に結像するための投影対物系と、
を含み、
前記照明系は、請求項１から請求項２１のいずれか１項に記載の方式で構成される、
ことを特徴とする装置。