(57)【要約】【課題】安定した隔壁および蛍光体層を得ることの可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】放電空間を分離するための隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に隔壁頂部の少なくともＲＧＢ各色の同色同士が隣接する隔壁頂部を、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射する工程を含むことで解決できる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電空間を分離するための隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に隔壁頂部の少なくともＲＧＢ各色の同色同士が隣接する隔壁頂部を、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
放電空間を分離するための隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射するヘッドを走査しプラズマ照射する工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
放電空間を画素毎に分離するために縦横の隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射するヘッドを走査し、画素ピッチの周期でプラズマ照射のＯＮ／ＯＦＦを繰返すプラズマ照射をする工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
上記プラズマ照射ＯＮを画素の同色が隣接する隔壁部にプラズマ照射ヘッドが位置するタイミングで行うことを特徴とする請求項３記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
放電空間を画素毎に分離するために縦横の隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射するヘッドを走査し、画素ピッチの周期でプラズマ照射の強弱を繰返すプラズマ照射をする工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
上記プラズマ照射を強とするタイミングが画素の同色が隣接する隔壁部にプラズマ照射ヘッドが位置するタイミングで行うことを特徴とする請求項５記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
放電空間を画素毎に分離するために縦横の隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射するヘッドを走査し、画素ピッチの周期でプラズマ照射ヘッドの上下を繰返すプラズマ照射をする工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
上記プラズマ照射を下げるタイミングが画素の同色が隣接する隔壁部にプラズマ照射ヘッドが位置するタイミングで行うことを特徴とする請求項７記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
放電空間を画素毎に分離するために縦横の隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射するヘッドを走査し、画素ピッチの周期でプラズマ照射のガス流量を変化させるプラズマ照射をする工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
上記ガス流量の多のタイミングが画素の同色が隣接する隔壁部にプラズマ照射ヘッドが位置するタイミングで行うことを特徴とする請求項９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
放電空間を画素毎に分離するために縦横の隔壁を形成する隔壁形成工程と該隔壁に囲まれた空間に蛍光体ペーストを塗布・乾燥することにより該基板の該隔壁に囲まれた空間の底面および側面に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、蛍光体塗布工程前に画素の同色が隣接する方向に、少なくともフッ素原子を含むガスとフッ素原子を含まないガスの切替可能なプラズマ照射ヘッドを走査し、画素ピッチの周期でプラズマ照射のガス種を切り替えプラズマ照射をする工程を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
画素の同色が隣接する隔壁部にプラズマ照射ヘッドが位置するタイミングでのプラズマ照射ガス雰囲気が少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射することを特徴とする請求１１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電空間を隔壁で仕切り、放電空間内に蛍光体層が設けられたカラー表示用のプラズマディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
現在、プラズマディスプレイ，フィールドエミッションディスプレイ，エレクトロルミネッセンスディスプレイなどに代表される厚膜を利用したディスプレイパネルが数多くあり、一部は市販され、一部は開発中である。その中で、ＡＣ型のプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」と称す）は、特に４０インチサイズ以上を実現できる大型ディスプレイとして期待されている。
【０００３】
このＰＤＰは、図１に示すように、前面パネル１０１と背面パネル１０２を有し、前面パネル１０１は、前面ガラス基板１０３上に表示電極１０４、ブラックストライプ１０５が形成され、さらにそれが誘電体ガラス層１０６及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる誘電体保護層１０７により覆われて形成されたものである。
【０００４】
また、背面バネル１０２は、背面ガラス基板１０８上に、データ電極１０９、隔壁１１０、及び蛍光体層１１１が設けられて形成されたものである。そして、このような前面パネル１０１と背面パネル１０２とが周辺シール材（図示せず）によって貼り合わせられ、隔壁１１０で仕切られた空間に排気管１１２を通して放電ガスを封入することで放電空間１１３が形成される。カラー表示のためには前記蛍光体層は、通常、赤、緑、青の３色が順に配置されている。放電空間１１３内には例えばネオン及びキセノンなどを混合してなる放電ガスが通常、６５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入されている。放電ガスは、通常アドレス電極、表示電極などに印加される周期的な電圧によって放電により紫外線を照射し、それか蛍光体によって可視光に変換されて、画像表示が行われる。
【０００５】
背面パネル１０２の隔壁１１０は通常、隔壁材料ペーストの塗布により形成した隔壁形成層の上に耐サンドブラスト性を有するマスクを形成し、そのマスクを介してサンドブラスト加工を施すことで隔壁形成層の不要部分を除去してから焼成し形成される。蛍光体層１１１は、隔壁間に相当する位置に、蛍光体ペーストをディスペンサで塗布することにより、蛍光体ペーストを選択的に塗布し、その後、乾燥させる。この塗布と乾燥を赤、緑、青の３回繰り返したのち焼成し、蛍光体層１１１は形成される。蛍光体塗布方法については、特許文献１に開示されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００１−１５０２２号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ＰＤＰの背面パネルの隔壁は上下に隣接した同色の画素同士の干渉発光（クロストーク）を抑制するために画素毎に隔壁で囲まれた構造である。このような隔壁内に、上記のようにディスペンサを用い蛍光体ペーストを同色毎に連続して塗布する場合、隔壁の壁面と頂部は蛍光体ペーストに対する濡れ性が同じであるため、必然的に上下の同色画素を仕切っている隔壁頂部にも蛍光体ペーストは塗布されてしまう。隔壁頂部に付着した蛍光体ペーストは乾燥、焼成した後、蛍光体層として隔壁頂部に残留する。左右に隣接し異なる色の画素間の隔壁頂部には蛍光体は塗布されていないので、上下の画素を分離する残留蛍光体層を含む隔壁の高さは左右の画素を分離する隔壁の高さより残留蛍光体層分だけ高くなる。
【０００８】
この状態で前面パネルと貼り合わせると、左右に隣接し異なる色の画素間に隙間が生じ、ＰＤＰを点灯させる際、クロストークが発生し良い表示品質が得られない。ＰＤＰの表示品質を向上させるためには、隔壁頂部に残留した蛍光体の除去工程が必要となるが、この際、隔壁が欠けるなど歩留が低下する可能性がある。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するものであり、安定した隔壁および蛍光体層を得ることの可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１は、上記課題を解決するために、ＰＤＰの背面パネルの蛍光体ペースト塗布前に隔壁頂部を、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気でプラズマ照射し、隔壁の壁面および頂部のそれぞれに対する蛍光体ペーストの濡れ性を異にし、蛍光体塗布時の隔壁頂部への蛍光体ペーストの付着を抑制することを特徴とする。このとき、プラズマ照射するヘッドを背面パネルに沿って走査することが望ましい。更に好適には、背面パネルの画素の同色が隣接する方向にプラズマ照射するヘッドを走査することが望ましい。
【００１１】
この場合、画素ピッチの周期でプラズマ照射のＯＮ／ＯＦＦを繰返す、もしくは前記周期でプラズマ照射の強弱を繰返すもしくは前記周期でプラズマ照射ヘッドと背面パネルの距離の遠近を繰返すもしくは前記周期でプラズマ照射のガス流量を繰り返し変化させるもしくは前記周期でプラズマ照射のガス種の切替を繰返すことが望ましい。
【００１２】
本発明の第２は、放電空間を分離するための隔壁を有し、上記本発明のＰＤＰの製造方法により製造されたことを特徴とするＰＤＰである。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図２は、本発明のプラズマ照射する背面パネルを説明するものである。まず、図２に示すように、ガラス基板１０８上にデータ電極１０９、誘電体層１１４、および隔壁１１０を設けた基板を準備する。
【００１５】
データ電極１０９の形成方法としては、厚膜用フォトペーストをスクリーン印刷等で塗布し、露光、現像によりパターニングする方法が代表的である。誘電体層１１４の形成方法としてはスクリーン印刷法もしくはダイコート法による塗布方法が代表的である。隔壁１１０の形成方法は、▲１▼スクリーン印刷により隔壁材料ペーストをパターン状に重ね刷りしてから焼成する方法、▲２▼隔壁材料ペーストの塗布もしくは隔壁材料シートの転写により形成した隔壁形成層の上に耐サンドブラスト性を有するマスクを形成し、そのマスクを介してサンドブラスト加工を施すことで隔壁形成層の不要部分を除去してから焼成する方法などが代表的である。
【００１６】
次に、図３は隔壁が形成された背面パネルにプラズマ照射する工程を説明するものである。１１５はプラズマ照射ヘッド、１１６は照射プラズマである。背面パネルに対向して設置したプラズマ照射ヘッド１１５を背面パネルに沿って走査し、プラズマ照射を行っていくものである。なお、背面パネルを走査しても同等の効果は得られる。
【００１７】
（実施の形態１）
図４は、本発明において第１実施形態において行ったプラズマ照射を説明する図であり、背面パネルおよびプラズマ照射ヘッドをヘッドが走査する隔壁を含む断面を表している。背面パネルに対向設置したプラズマ照射ヘッドにより、背面パネルの画素ピッチの周期で、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気のプラズマ照射のＯＮ／ＯＦＦを繰り返し、走査するものである。この工程を経た背面パネルに蛍光体ペーストの塗布を行った。
【００１８】
図５は、蛍光体ペーストの塗布方法を説明するものである。蛍光体塗布は蛍光体ペースト１１７をディスペンサノズル１１８により連続的に吐出し、背面パネルに対してディスペンサを同色画素が隣接する方向に走査し、蛍光体塗布を行っていくものである。
【００１９】
図６は、本形態においてプラズマ照射を行った背面パネルに前記方法で蛍光体ペーストを塗布したものである。隣接する同色画素間の隔壁頂部には蛍光体ペーストは付着していない。同パネルを乾燥、焼成した後も隔壁頂部には蛍光体は付着していなかった。
【００２０】
図７は、従来のプラズマ照射を行わなかった背面パネルに対して前記方法で蛍光体ペーストを塗布したものである。この場合、隣接する同色画素間の隔壁頂部に蛍光体ペーストが付着している。同パネルを乾燥、焼成した後も隔壁頂部には蛍光体が付着していた。
【００２１】
（実施の形態２）
図８は、本発明において第２実施形態において行ったプラズマ照射を説明する図である。背面パネルに対向設置したプラズマ照射ヘッドにより、背面パネルの画素ピッチの周期で、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気のプラズマ照射の強弱を繰り返し、走査するものである。この工程を経た背面パネルに前記方法で蛍光体ペーストの塗布を行い実施の形態１と同様の結果を得た。
【００２２】
（実施の形態３）
図９は、本発明において第３実施形態において行ったプラズマ照射を説明する図である。背面パネルに対向設置したプラズマ照射ヘッドにより少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気のプラズマ照射し、背面パネルの画素ピッチの周期でプラズマ照射ヘッドの上下を繰り返し走査するものである。この工程を経た背面パネルに前記方法で蛍光体ペーストの塗布を行い実施の形態１と同様の結果を得た。
【００２３】
（実施の形態４）
図１０は、本発明において第４実施形態において行ったプラズマ照射を説明する図である。背面パネルに対向設置したプラズマ照射ヘッドにより、背面パネルの画素ピッチの周期で、少なくともフッ素原子を含むガス雰囲気を形成するガス流量を繰り返し変化させ、プラズマ照射の走査するものである。この工程を経た背面パネルに前記方法で蛍光体ペーストの塗布を行い実施の形態１と同様の結果を得た。
【００２４】
（実施の形態５）
図１１は、本発明において第５実施形態において行ったプラズマ照射を説明する図である。背面パネルに対向設置したプラズマ照射ヘッドにより、背面パネルの画素ピッチの周期で、フッ素原子を含むガス雰囲気とフッ素原子を含まない雰囲気を切り替え、プラズマ照射の走査するものである。この工程を経た背面パネルに前記方法で蛍光体ペーストの塗布を行い実施の形態１と同様の結果を得た。
【００２５】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明によるプラズマ照射した背面パネルに蛍光体ペーストを塗布した場合、隣接した同色画素間の隔壁頂部への蛍光体の付着を抑制できる。更に、同背面パネルを用いることによりクロストークのない表示品質のよいＰＤＰを得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の交流型のプラズマディスプレイパネルの要部斜視図
【図２】本発明のプラズマ照射する背面パネルの斜視図
【図３】本発明の実施の形態１に係る背面パネルの斜視図
【図４】本発明の実施の形態１に係る背面パネルの断面図
【図５】蛍光体ペースト塗布方法を示す斜視図
【図６】本発明のプラズマ照射した後、蛍光体ペーストを塗布した背面パネルの斜視図
【図７】従来のプラズマ照射せずに蛍光体ペーストを塗布した背面パネルの斜視図
【図８】本発明の実施の形態２に係るプラズマ照射を示す断面図
【図９】本発明の実施の形態３に係るプラズマ照射を示す断面図
【図１０】本発明の実施の形態４に係るプラズマ照射を示す断面図
【図１１】本発明の実施の形態５に係るプラズマ照射を示す断面図
【符号の説明】
１０８  背面ガラス基板
１０９  アドレス電極
１１０  隔壁
１１２  排気管
１１３  放電空間
１１４  誘電体層
１１５  プラズマ照射ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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