【手続補正書】
【提出日】平成26年7月23日(2014.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を生成および放射するよう構成されたレーザ光源と、
前記レーザ光源に動作可能に連結された、ビームサンプリング装置と、
前記ビームサンプリング装置に動作可能に連結され、且つ前記放射された光の前記サンプリングされた部分を受容することと前記放射された光の前記サンプリングされた部分のパラメータの現在状態を測定することとを実行するよう構成された、ビーム診断システムと、
前記ビーム診断システムに動作可能に連結され、且つ前記ビーム診断システムから前記測定された状態を取得することと、前記パラメータの前記測定された状態を、前記放射された光に対する前記パラメータの所望の状態に対して比較することと、前記比較に基づいて前記レーザシステムに補正を提供することとを実行するよう構成された、ビーム補正システムと、
を備え、前記ビーム補正システムは、放射された光を劣化させる１つ以上の劣化光学要素と前記ビームサンプリング装置との間に配置された補正光学系を含み、前記ビームサンプリング装置は、前記１つ以上の劣化光学要素と前記補正光学系を通った前記放射された光の部分を選択的にサンプリングする、レーザシステム。
【請求項２】
前記パラメータは、前記放射された光の前記サンプリングされた部分のビームウェスト位置および前記放射された光の前記サンプリングされた部分の非点収差のうちの１つである、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項３】
前記ビーム診断システムは、レンズアレイおよびアパーチャアレイのうちの１つを利用する波面センサを備える、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項４】
前記ビーム診断システムは、前記放射された光の前記サンプリングされた部分のビームプロファイルを測定するよう構成されたＭ２乗（Ｍ２）測定システムを備える、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項５】
前記ビーム補正システムの前記補正光学系はレンズまたはミラー要素のうちの１つを含む、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項６】
前記ビームサンプリング装置はホログラフィックビームサンプリング装置および部分透過ミラーのうちの１つである、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項７】
前記ビームサンプリング装置は、部分反射表面である第１表面を備える基板である、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項８】
前記レンズまたはミラー要素は、前記補正が所望の波面を取得するために提供されるとき、第１位置から第２位置に移動される、請求項５に記載のレーザシステム。
【請求項９】
前記レンズまたはミラー要素の温度は、前記補正が所望の波面を取得するために提供されるとき、第１温度から第２温度に変化される、請求項５に記載のレーザシステム。
【請求項１０】
前記レンズまたはミラー要素の傾斜角および前記レンズまたはより多くの要素の回転角のうちの少なくとも１つは、前記補正が所望の波面を取得するために提供されるとき、調節される、請求項５に記載のレーザシステム。
【請求項１１】
モータ装置、圧電装置、または電歪装置のうちの１つが第１位置から第２位置に前記レンズまたはミラー要素を移動させるために利用される、請求項５に記載のレーザシステム。
【請求項１２】
前記レンズまたはミラー要素は回転対称表面を備え、前記回転対称表面のうちの１つは円筒形プロファイルを有する、請求項５に記載のレーザシステム。
【請求項１３】
前記基板は反射防止物質でコーティングされた第２表面を備える、請求項７に記載のレーザシステム。
【請求項１４】
前記部分反射表面は非コーティングガラス、石英ガラス、フッ化カルシウム、およびフッ化マグネシウムのうちの１つである、請求項７に記載のレーザシステム。
【請求項１５】
前記ビーム補正システムの前記補正光学系は、２つのレンズまたは２つのミラー要素のうちの１つを備える、請求項１に記載のレーザシステム。
【請求項１６】
前記２つのレンズまたは２つのミラー要素間の相対的間隔は、前記補正が所望の波面を取得するために提供されるとき、変化される、請求項１５に記載のレーザシステム。
【請求項１７】
前記２つのレンズまたは２つのミラー要素のそれぞれが円筒形表面を備える、請求項１５に記載のレーザシステム。
【請求項１８】
前記２つのレンズまたは２つのミラー要素は、前記補正が所望の波面を達成するために提供されるとき、前記２つのレンズまたはミラー要素の円筒形表面が相互に対して直交方向に整列される第１方向と、前記２つのレンズまたはミラー要素の前記円筒形表面が相互に対して平行方向に整列される第２方向と、の間で回転される、請求項１７に記載のレーザシステム。
【請求項１９】
ビーム補正をレーザシステムにおいて提供するための方法であって、
前記レーザシステムのレーザ光源から放射される光の１部分を前記レーザシステムのビームサンプリング装置に誘導するステップと、
１つ以上の劣化光学要素と補正光学系を通った前記放射された光の部分を、前記ビームサンプリング装置を介してサンプリングし、前記サンプリングされた光の部分を前記レーザシステムのビーム診断システムに提供するステップと、
前記放射された光の前記サンプリングされた部分のパラメータの現在状態を、前記ビーム診断システムを介して測定し、前記パラメータの前記測定された状態を前記レーザシステムのビーム補正システムに提供するステップと、
前記パラメータの前記測定された状態を、前記レーザシステムの前記ビーム補正システムを介して、前記放射された光に対する前記パラメータの所望の状態に対して比較するステップと、
所望の波面を取得するために、前記ビーム補正システムを介して、前記比較に基づいて前記レーザシステムに補正を提供するステップと、
を含む方法。
【請求項２０】
基本光を生成および放射するよう構成されたレーザ光源と、
前記レーザ光源に動作可能に連結された、ビームサンプリング装置と、
前記ビームサンプリング装置に動作可能に連結され、且つ前記放射された光の前記サンプリングされた部分を受容することと前記放射された光の前記サンプリングされた部分の波面パラメータの現在状態を測定することとを実行するよう構成され、ただし前記波面パラメータは、前記放射された光の前記サンプリングされた部分のビームウェスト位置および前記放射された光の前記サンプリングされた部分の非点収差のうちの１つである、ビーム診断システムと、
前記ビーム診断システムに動作可能に連結され、前記測定された状態を前記ビーム診断システムから取得することと、前記波面パラメータの前記測定された状態を前記放射された光に対する前記波面パラメータの所望の状態に対して比較することと、前記比較に基づいて補正を前記レーザシステムに提供することとを行うよう構成された、ビーム補正システムと、
を備え、前記ビーム補正システムは、放射された光を劣化させる１つ以上の劣化光学要素と前記ビームサンプリング装置との間に配置された補正光学系を含み、前記ビームサンプリング装置は、前記１つ以上の劣化光学要素と前記補正光学系を通った前記放射された光の部分を選択的にサンプリングする、レーザシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図２を参照すると、本開示のさらなる代表的な実施形態に係るレーザシステム（例えば、周波数変換レーザ）の概略ブロック図が示される。レーザシステム２０１は、レーザ光源２０２と、レーザ光源２０２に接続された周波数変換システム２０３と、周波数変換システム２０３に接続された（例えば、その１部分として含まれた）ビーム補正システム２０４と、ビームサンプリングシステム２０５と、ビーム診断システム２０６と、を備える。基本レーザ光源２０２から提供される光は周波数変換システム２０３に提供され（例えば、入り）得る。さらに、周波数変換システム２０３は、レーザ光源２０２から提供される基本光の任意の高調波を生成、またはレーザ光源２０２の複数の基本光源からの光を周波数混合し得る。代表的な実施形態において、ビーム補正システム２０４は実質的に周波数変換システム２０３内に配置され得る。ビーム補正システム２０４は、レーザ光源２０２から提供される光に対して直接的に作用するよう、および／または、周波数変換システム２０３により生成される高調波または周波数混合光に対して作用するよう、構成され得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図１１を参照すると、本開示のさらなる実施形態に係る、本明細書において説明されるレーザシステムの実施形態のうちの１つまたは複数において実装され得る、代表的なビーム補正システムの概略ブロック図が示される。代表的な実施形態において、ビーム補正システム１１００は第１レンズ要素（例えば、第１レンズ）１１０２および第２レンズ要素（例えば、第２レンズ）１１０４を備え得る。なお、これらのレンズ要素（１１０２および１１０４）は相互に対して近接するが、相互から可変距離１１０３だけ離間する。本開示の実施形態において、ビーム補正システム１１００は入力光（例えば、略平行光、発散光、または集束光）１１０１を受容するよう構成される。これらのレンズ要素（１１０２、１１０４）は、入力光１１０１が、第１レンズ要素１１０２を通過すること、第２レンズ要素１１０４を通過すること、および出射光（例えば、発散光、集束光、または略平行光）１１０５として第２レンズ要素１１０４から出ること、を可能とするよう構成される。