【手続補正書】
【提出日】平成15年12月22日(2003.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプ
【特許請求の範囲】
【請求項１】相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受装置本体と、該磁気軸受装置本体を制御する制御部を備え、該制御部に該磁気軸受装置本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた磁気軸受装置において、
前記磁気軸受装置本体にも前記稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項２】請求項１に記載の磁気軸受装置において、
前記磁気軸受装置本体に設けた記憶手段は、電源未供給時でも記憶保持されることを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項３】請求項１又は２に記載の磁気軸受装置において、
前記磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に記憶された前記稼働来歴及び／又は異常来歴情報を読み出すことが可能な読出手段を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項４】請求項１又は２又は３に記載の磁気軸受装置において、
前記磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に前記制御部が備える記憶手段が記憶する稼働来歴及び／又は異常来歴情報を書き込むことが可能な書込手段を設けたことを特徴とする磁気軸受装置。
【請求項５】相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受を備えた回転装置本体と、該回転装置本体を制御する制御部を備え、該制御部に該回転装置本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた回転装置において、
前記回転装置本体にも前記稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする回転装置。
【請求項６】相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有するターボ分子ポンプ本体と、該ターボ分子ポンプ本体を制御する制御部を備え、該制御部に該ターボ分子ポンプ本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたターボ分子ポンプにおいて、
前記ターボ分子ポンプ本体にも前記稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプに関し、特に磁気軸受装置本体、回転装置本体、ターボ分子ポンプ本体の稼働来歴及び異常来歴を確認するのに好適な磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
図１は、従来のこの種の磁気軸受装置の構成例を示す図である。図において、１は磁気軸受装置本体であり、該磁気軸受装置本体１は図示を省略するが、相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを具備する。１０は該磁気軸受装置本体１を制御する制御部（コントローラ）である。
【０００３】
磁気軸受装置本体１と制御部１０は接続ケーブル２０で接続されている。制御部１０は、少なくとも１つのＣＰＵ１１を備えている。該ＣＰＵ１１は制御部１０の全体の制御を行う。この全体の制御としては、ＬＣＤ１２の表示、外部Ｉ／Ｏ１３、シーケンシャル制御、異常判断、及び稼働来歴及び／又は異常来歴の情報を記憶手段１４へ記憶する等を行っている。また、制御部１０はケーブル２０内の図示しない複数本の芯線（信号線）を介して磁気軸受装置本体１との間で信号の送受を行い、磁気軸受装置本体１の駆動制御を行う。なお、１５はＣＰＵ１１に操作信号等を入力するためのスイッチである。
【０００４】
上記構成の従来の磁気軸受装置においては、制御部１０と磁気軸受装置本体１は一対で対応していたが、技術の進歩により、最近は制御部１０と磁気軸受装置本体１が一対で対応しなくともよくなってきている。これにより、トラブルやオーバーホールのためにメーカ側に返却されるのは、磁気軸受装置本体１のみという場合が多くなっている。返却された磁気軸受装置本体１のトラブルの解消やオーバーホールのためには、本磁気軸受装置の稼働来歴や異常来歴を確認することが必要な場合が多々ある。この稼働来歴や異常来歴を確認するためには制御部１０の記憶手段１４に記憶された稼働来歴や異常来歴の情報を読み出すことが必要であるが、制御部１０が返却されていないため容易に稼働来歴や異常来歴の情報を読み出し、確認することができないという問題があった。
【０００５】
また、同様なことは磁気軸受装置を用いた回転装置やターボ分子ポンプにおいても、トラブルやオーバーホールのためにメーカ側に返却されるのは、磁気軸受装置本体が搭載された回転装置本体やターボ分子ポンプ本体のみという場合が多い。従って、容易に磁気軸受装置本体を搭載した回転装置本体やターボ分子ポンプ本体の稼働来歴や異常来歴を確認することができないという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたもので、トラブルやオーバーホールで磁気軸受装置本体や磁気軸受装置本体を搭載した回転装置本体やターボ分子ポンプ本体のみが返却された場合でも、これらの稼働来歴及び／又は異常来歴を容易に確認できる磁気軸受装置、該磁気軸受装置を用いた回転装置及びターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため請求項１に記載の発明は、相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受装置本体と、該磁気軸受装置本体を制御する制御部を備え、該制御部に該磁気軸受装置本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた磁気軸受装置において、磁気軸受装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする。
【０００８】
上記のように磁気軸受装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側に磁気軸受装置本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な磁気軸受装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読出し、確認することができる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の磁気軸受装置において、磁気軸受装置本体に設けた記憶手段は、電源未供給時でも記憶保持されることを特徴とする。
【００１０】
上記のように磁気軸受装置本体に設けた記憶手段は、電源未供給時でも記憶保持されるので、該記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報は電源遮断された場合でも保持されるから、例えばトラブルやオーバーホールのため磁気軸受装置本体を制御部から切離しても記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報は消失することなく、読出し、確認することができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の磁気軸受装置において、磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報を読み出すことが可能な読出手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
上記のように読出手段を設けたことにより、外部から読出手段を持ち込むことなく容易に記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報を読み出し確認することができる。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１又は２又は３に記載の磁気軸受装置において、磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に制御部が備える記憶手段が記憶する稼働来歴及び／又は異常来歴情報を書き込むことが可能な書込手段を設けたことを特徴とする。
【００１４】
上記のように磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に制御部の記憶手段が記憶する稼働来歴及び／又は異常来歴情報を書き込むことが可能な書込手段を設けたことにより、必要な時に制御部の記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報を磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に書き込むことができる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有する磁気軸受を備えた回転装置本体と、該回転装置本体を制御する制御部を備え、該制御部に該回転装置本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた回転装置において、回転装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする。
【００１６】
上記のように回転装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側に回転装置本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な回転装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読出し、確認することができる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを有するターボ分子ポンプ本体と、該ターボ分子ポンプ本体を制御する制御部を備え、該制御部に該ターボ分子ポンプ本体の稼働来歴及び／又は異常来歴を知らしめる手段及び／又は該稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたターボ分子ポンプにおいて、ターボ分子ポンプ本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことを特徴とする。
【００１８】
上記のようにターボ分子ポンプ本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側にターボ分子ポンプ本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な回転装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読出し、確認することができる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図２は本発明に係る磁気軸受装置の構成を示す図である。図２において、図１と同一符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。磁気軸受装置本体１は、図１の場合と同様、図示は省略するが、相対向する少なくとも一対の電磁石と、該相対向する電磁石間に位置する浮上支持対象物と、該浮上支持対象物の位置変位を検出する位置変位センサとを具備する。
【００２０】
また、磁気軸受装置本体１には、稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段２を設けている。該記憶手段２は電源未供給時でも記憶された情報が記憶保持されるように、ＳＲＡＭ、フラッシュメモリ、Ｅ2ＰＲＯＭ等の不揮発性メモリ、又は電源を供給する電池を具備するＲＡＭで構成されている。
【００２１】
磁気軸受装置本体１と制御部１０はケーブル２０で接続され、制御部１０のＣＰＵ１１は制御部１０の全体制御及び磁気軸受装置本体１の制御を行う。この全体の制御としては、上記と同様、ＬＣＤ１２の表示、外部Ｉ／Ｏ１３、シーケンシャル制御、異常判断及び稼働来歴及び／又は異常来歴の情報を記憶手段１４へ記憶する等である。また、ＣＰＵ１１はスイッチ１５の操作により、ケーブル２０の所定の芯線（信号線）２１を介して磁気軸受装置本体１の記憶手段２に記憶手段１４へ記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴の情報を記憶することができるようになっている。また、ＣＰＵ１１はスイッチ１５の操作により、磁気軸受装置本体１の記憶手段２に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴の情報を読出し、ＬＣＤ１２に表示することができるようになっている。
【００２２】
上記のように磁気軸受装置本体１にも稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段２を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側に磁気軸受装置本体１のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な磁気軸受装置の稼働来歴や異常来歴情報を記憶手段２から読み出して、確認することが容易にできる。また、図３に示すように、磁気軸受装置本体１にケーブル２２を介して接続できる読出装置３０を設け、該読出装置３０で記憶手段２に記憶された稼働来歴や異常来歴情報を読み出すことができるようにすることにより、外部から読出し装置を持ち込むことなく、記憶手段２から稼働来歴や異常来歴情報を読み出し確認することができる。
【００２３】
また、磁気軸受装置本体１に設けた記憶手段２は、ＳＲＡＭ、フラッシュメモリ、Ｅ2ＰＲＯＭ等の不揮発性メモリ、又は電源を供給する電池を具備するＲＡＭで構成されているので、該記憶手段２に記憶された稼働来歴や異常来歴情報は電源遮断された場合でも保持されるから、例えばトラブルやオーバーホールのため磁気軸受装置本体１を制御部１０から切離しても記憶された稼働来歴や異常来歴情報は消失することはない。
【００２４】
また、制御部１０のＣＰＵ１１はスイッチ１５の操作により、磁気軸受装置本体１に設けた記憶手段２に記憶手段１４に記憶した稼働来歴や異常来歴情報を書き込むことができるようにしたので、必要な時に制御部１０の記憶手段１４に記憶された稼働来歴や異常来歴情報を磁気軸受装置本体１の記憶手段２に書き込むことができる。
【００２５】
なお、上記例では制御部１０にケーブル２０を介して磁気軸受装置本体１を接続する磁気軸受装置の例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図示は省略するが、磁気軸受装置本体１に代え、このような磁気軸受装置本体を搭載した回転装置本体とし、該回転装置本体又は磁気軸受装置本体にも稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた構成としてもよい。
【００２６】
また、図示は省略するが、磁気軸受装置本体１に代え、このような磁気軸受装置本体を搭載したターボ分子ポンプ本体とし、該ターボ分子ポンプ本体又は磁気軸受装置本体にも稼働来歴や異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けた構成としてもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上説明したように各請求項に記載の発明によれば、下記のような優れた効果が得られる。
【００２８】
請求項１に記載の発明によれば、磁気軸受装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側に磁気軸受装置本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な磁気軸受装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読み出し、確認することができる。
【００２９】
請求項２に記載の発明によれば、磁気軸受装置本体に設けた記憶手段は、電源未供給時でも記憶保持するので、該記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報は電源遮断された場合でも保持されるから、例えばトラブルやオーバーホールのため磁気軸受装置本体を制御部から切離しても記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報は消失することなく、読み出し、確認することができる。
【００３０】
請求項３に記載の発明によれば、読出手段を設けたことにより、外部から読出手段を持ち込むことなく容易に記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報を読み出し確認することができる。
【００３１】
請求項４に記載の発明によれば、磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に制御部の記憶手段が記憶する稼働来歴及び／又は異常来歴情報を書き込むことが可能な書込手段を設けたことにより、必要な時に制御部の記憶手段に記憶された稼働来歴及び／又は異常来歴情報を磁気軸受装置本体に設けた記憶手段に書き込むことができる。
【００３２】
請求項５に記載の発明によれば、回転装置本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバーホールのためにメーカ側に回転装置本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバーホールのために必要な回転装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読出し、確認することができる。
【００３３】
請求項６に記載の発明によれば、ターボ分子ポンプ本体にも稼働来歴及び／又は異常来歴情報を記憶する記憶手段を設けたことにより、例えばトラブルやオーバホールのためにメーカ側にターボ分子ポンプ本体のみが返却された場合でも、トラブル解消やオーバホールのために必要な回転装置の稼働来歴及び／又は異常来歴情報を容易に読出し、確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の磁気軸受装置の構成例を示す図である。
【図２】本発明に係る磁気軸受装置の構成例を示す図である。
【図３】本発明に係る磁気軸受装置の磁気軸受装置本体の構成例を示す図である。
【符号の説明】
１            磁気軸受装置本体
２            記憶手段
１０          制御部
１１          ＣＰＵ
１２          ＬＣＤ
１３          外部Ｉ／Ｏ
１４          記憶手段
１５          スイッチ
２０          ケーブル
２１          芯線
２２          ケーブル
３０          読出装置