【事件の表示】
　平成５年特許願第３４７９７０号「基板の搬送システム、並びに基板の処理システムおよび処理方法」拒絶査定に対する審判事件［平成７年７月２１日出願公開、特開平７−１８３３５４］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成５年１２月２４日の出願であって、その請求項１〜２３に係る発明は、平成１３年４月２５日付け手続補正書、平成１３年１２月１３日付け手続補正書及び平成１５年９月２２日付け手続補正書により補正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜２３に記載されたとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「基板を基板処理装置へ搬送する搬送システムであって、
　一方の側壁のみに開口が設けられ、その開口が設けられた側壁において前記基板処理装置に対して着脱自在であり、複数の基板を収納して搬送可能な収納容器と、
　前記収納容器の前記開口を開閉可能な単一の開閉部材と、
　前記開閉部材が閉じられた際に前記収納容器と前記開閉部材とを気密にシールし、前記収納容器の内外の雰囲気を隔離するシール機構と、
　前記基板処理装置に設けられ、前記開閉部材を開いた際に前記基板処理装置と前記収納容器が連通されるように前記開閉部材を介して前記収納容器に接続される接続手段と、
　前記基板処理装置側に設けられ、前記収納容器が前記基板処理装置に接続された際に前記開閉部材と係合され、それにより前記開閉部材の開閉動作が可能となり、その状態で前記開閉部材を開閉動作させる開閉手段と、
　前記基板処理装置に設けられ、前記収納容器内の基板を水平状態で枚葉ごとに前記基板処理装置内に搬送する搬送手段と、
　前記開閉部材が閉じられた際に前記開閉部材と前記収納容器とをロックして前記収納容器の気密状態を保持するするロック機構と、
　前記ロック機構をオン・オフするロック機構オン・オフ手段と
を備え、
　複数の基板を前記収納容器に収納した状態で搬送する際に、前記開閉部材により前記収納容器の側壁の開口を閉じるとともに、前記シール機構により前記収納容器と前記開閉部材とを気密にシールした状態で前記ロック機構により前記開閉部材と前記収納容器とをロックして、前記収納容器内を局所的に清浄雰囲気に保ったまま前記収納容器を搬送することを特徴とする基板の搬送システム。」
　
２．刊行物記載の発明（事項）
　一方、当審における、平成１５年６月３０日付けで通知した拒絶の理由に引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開平４−２０６５４７号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次のとおり記載されている。
（イ）「［作用］本発明は、上述した構成によってウエハ等の試料に微細な塵埃，製造工程や分析工程に悪影響を及ぼすガス被膜の形成による表面の汚染がないようにしたものである。すなわち、本発明は、試料交換及び処理装置間の試料搬送の方法として内部雰囲気を外界と遮断可能とした密閉容器を用い、且つ、内部雰囲気の雰囲気ガス、及びそのガス圧力を制御可能とするためのフィルタを介した清浄ガスの供給・排気系を設ける。したがって、容器内は常に制御された雰囲気中にある。すなわち、常に清浄な雰囲気、且つ、任意の圧力に制御されている。そのため、試料表面上への微細な塵埃の付着を防止することができ、さらに処理系や分析系に悪影響を及ぼす雰囲気ガスが試料表面に付着することを防止することが可能となる。」（第２頁左下欄１３行〜同頁右下欄９行）
（ロ）「［実施例］以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。第１図は本発明の装置間搬送方法の第一の実施例である。半導体製造ラインの装置である。図において、１はウエハ等の試料基板、２はウエハケース、３はウエハ入れて製造ラインにある装置間で搬送する密閉容器、・・・、１０はウエハを装置に搬出搬入する際に装置と通じるために開閉されるゲートバルブである。１１は密閉容器３内にウエハを出し入れするための扉である。また、１２は製造ラインにある一製造装置、１３はウエハを装置１２内に搬出搬入する際に、ウエハを装置間搬送するための密閉容器を取り付けるための取付け口、１４はゲートバルブ・・・である。」（第３頁左上欄１行〜同頁右上欄２行）
（ハ）「密閉容器３内の雰囲気は完全に外界と遮断されている。したがって、密閉容器３内は常に清浄な雰囲気であり、且つそのガス種、及びガス圧力等は制御可能とされており、ウエハ表面上への微細な塵埃の付着を防止することができるほか、さらに処理系や分析系に用いられる雰囲気ガス以外のガスが試料表面に付着することを防ぐことが可能となる。」（第３頁右上欄９行〜１６行）
（ニ）「そして、装置１２内にウエハを搬出搬入する際には、第１図（ｂ）に示したように、装置１２側の取付け口１３に密閉容器３を取付け、密閉容器３と装置１２間に作られる空間２１の雰囲気をガス導入・排気口により、密閉容器３と同様にする。次いで密閉容器側及び装置側のゲートバルブ１０，１４が開かれ、移載機構２１によりウエハは密閉容器３から装置１２へ、または装置１２から密閉容器３へ搬出搬入される。この際、移載されるのは、各ウエハ一枚一枚でも、ウエハケース２ごとでも良い。搬出搬入作業が終了したら、密閉容器側及び装置側のゲートバルブ１０，１４は閉じられ、密閉容器３と装置１２間に作られる空間２２の雰囲気は給気口１５から大気が導入される。その後、密閉容器３は装置１２から取外され、次の工程の装置へと運ばれる。このように動作させることにより、ウエハは制御された雰囲気状態を破ることなく装置へ搬出搬入することができ、ウエハ表面への微細な塵埃の付着、あるいは処理系や分析系に用いられる雰囲気ガス以外のガスが試料表面に付着することを防止することが可能となる。」（第３頁左下欄７行〜同頁右下欄７行）
（ホ）「本実施例ではウエハ搬出搬入を行う移載機構を製造装置１２内に配置したが、密閉容器３内にあっても良い。本実施例では密閉容器３内に置かれたウエハケースは一個であったが複数個でも良い。また、本実施例は、半導体製造装置について記述したが、表面層の分析を行う分析例えば機器等に、同様に本実施例を適用すれば余分なガスによる表面の汚染等を防止することができ、高精度の分析が行える。」（第３頁右下欄１３行〜第４頁左上欄１行）
　上記の摘記事項（ロ）、（ニ）、（ホ）及び第１図の記載からみて、刊行物１には、
「ウエハ等の試料基板１を半導体製造装置１２へ搬送する搬送システムであって、
　双方の側壁に開口が設けられ、その一方の開口が設けられた側壁において前記半導体製造装置１２に対して着脱自在であり、複数のウエハ等の試料基板１を収納して搬送可能な密閉容器３と、
　前記密閉容器３の前記一方の開口及び他方の開口をそれぞれ開閉可能なゲートバルブ１０及び扉１１と、
　前記半導体製造装置１２に設けられ、前記ゲートバルブ１０を開いた際に前記半導体製造装置１２と前記密閉容器３が連通されるように前記ゲートバルブ１０を介して前記密閉容器３に接続される空間２１と、
　前記半導体製造装置１２に設けられ、前記密閉容器３内のウエハ等の試料基板１を水平状態で一枚一枚前記半導体製造装置１２内に搬送する移載機構２１と、
を備え、
　複数のウエハ等の試料基板１を前記密閉容器３に収納した状態で搬送する際に、前記ゲートバルブ１０により前記密閉容器３の側壁の開口を閉じて、前記密閉容器３内を局所的に清浄雰囲気に保ったまま前記密閉容器３を搬送するウエハ等の試料基板１の搬送システム」の発明（以下、「刊行物１記載の発明」という。）が記載されているものと認められる。
　
　同じく、当審において通知した拒絶の理由に引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開平５ー３２４０号公報（以下、「刊行物２」という。）には、
（へ）「【産業上の利用分野】本発明は、半導体関連製品等の加工、組み立てに必要な被搬送物を汚染物質のないクリーン状態で移送することが可能なクリーン搬送方法及び装置に関する。」（第１欄２５行〜２８行）、
（ト）「また、クリーンボックス１９の各種処理部１５への突き合わせ面には、各種処理部１５の移送口１７と対向する移送口３９が設けられており、移送口３９にもシャッター４１が開閉自在に設けられている。図示していないが、シャッター４０と処理部１５側の移送口１７との間及びシャッター４１とクリーンボックス側移送口３９との間にはそれぞれ気密封止するためのＯリング等が設けられており・・・。」（第５欄２８行〜３７行）、
（チ）「前記各種処理部１５にはシャッター４０に連結しているシャッター開閉装置が設けられている。すなわち、シャッター開閉装置は各種処理部側に取り付けられたエアシリンダー４８により昇降自在になっていてるロッド４９とそのロッド４９先端に固定されている係合部材５０とで構成されている。シャッター４０,４１の下端部にはそれぞれ係合凸部５１が形成されており、前記係合部材５０の両端に形成されている係合凹部５２とそれぞれ係合自在になっている。各種処理部１５側のシャッター４０は常にその係合凸部５１と係合部材５０の係合凹部５２とが係合しており、一体的に連結されている。クリーンボックス１９側のシャッター４１は、クリーンボックス１９が各種処理部１５と結合したときに前記係合部材５０と連結される。係合部材５０と係合して一体になった両シャッター４０,４１は、ロッド４９が昇降することで同時に移送口１７,３９を開閉する二重ゲート弁の構造を成す。」（第６欄５行〜２１行）、
（リ）「被搬送物である半導体ウエハー等の基板２４の搬送は次のようにして実行する。・・・そして、クリーンボックス１９は搭載レール２１及びガイドレール２２上を走行移動し、図２の如くそれぞれの移送口１７，３９を対向させて処理部１５とクリーンボックス１９の突き合わせ面を近接させ、位置決め用嵌合凸部４４と係合穴４６とを嵌合させて位置決めしながら両者のフランジ４３,４５を圧接し気密封止する。これにより、突き合わせ面間の空気を閉じ込めた状態とし、両移送口１７，３９の間に密閉空間Ｃが構成され、クリーンボックス１９側のシャッター４１がシャッター開閉装置の係合部材５０と連結して前記密閉空間Ｃ内に二重ゲート弁が構成される。そして、各種処理部１５側の真空排気系を用いて該密閉空間Ｃをプロセスチャンバー１６及び真空クリーン室２５と同レベルにまで真空排気を行いクリーンな状態にする。この真空排気後、シャッター開閉装置のロッド４９を降下させてクリーンボックス１９及びプロセスチャンバー１６のそれぞれの移送口１７,３９を閉じていたシャッター４０,４１を開けて、図４に示すように前記密閉空間Ｃに対して各移送口１７,３９を開口させた状態にする。」（第６欄３２行〜第７欄１０行）と記載されている。
　上記の摘記事項（ヘ）〜（リ）及び図１、２の記載からみて、刊行物２には、
「半導体ウエハー等の基板２４を汚染物質のないクリーン状態で移送することが可能なクリーンボックス１９において、開口がクリーンボックス１９の各種処理部１５への突き合わせ面である側壁のみに設けられ、クリーンボックス１９の開口を開閉可能なシャッター４１は単一であって、しかも、各種処理部１５側に設けられ、前記クリーンボックス１９が前記各種処理部１５に接続された際に前記シャッター４１と係合され、それにより前記シャッター４１の開閉動作が可能となり、その状態で前記シャッター４１を開閉動作させる係合部材５０、該係合部材５０をその先端に有するロッド４９及び該ロッド４９を昇降自在にするエアシリンダー開閉手段を備えること」（以下、「刊行物２記載の事項１」という。）、及び、
「シャッター４１が閉じられた際にクリーンボックス１９とシャッター４１とを気密にシールし、前記クリーンボックスの内外の雰囲気を隔離するＯリングを備えること」（以下、「刊行物２記載の事項２」という。）が記載されているものと認められる。
　
　同じく、当審において通知した拒絶の理由に引用され、本願の出願前に国内で頒布された刊行物である特開平５ー７４９２１号公報（以下、「刊行物３」という。）には、
（ヌ）「図５は本発明の他の実施例によるケースの要部を示す斜視図である。この実施例では、ケース１内にカセット７が一体に形成された構造となっている。したがって、このケース１は、プラズマエッチング装置等の処理装置のローディング・アンローディング用テーブル（テーブル４５）に直接取り付けることができ、図示しない搬送機構によって、ウエハ６を前記ケース１内から搬出し、あるいはケース１内に搬入できるようになっている。また、前記蓋体３は図示しない蝶番によって開閉できるとともに、その合わせ面、すなわち、ケース本体２側にシール（Ｏーリング）４が設けられている。また、前記ケース本体２と蓋体３は、特に図示はしないが、ロック機構が設けられていて、外部からの操作で簡単にロックおよびロックの解除ができるようになっている。」（第７欄８行〜２２行）と記載されている。
　
３．対比
　本願発明と上記の刊行物１記載の発明とを対比すると、後者の「ウエハ等の試料基板１」は、その技術的意義からみて、前者の「基板」に相当し、以下同様にして、後者の「半導体製造装置１２」は前者の「基板処理装置」に、後者の「密閉容器３」は前者の「収納容器」に、後者の「密閉容器３の一方の開口及び他方の開口をそれぞれ開閉可能なゲートバルブ１０及び扉１１」は前者の「収納容器の開口を開閉可能な開閉部材」に、後者の「空間２１」は前者の「接続手段」に、後者の「一枚一枚」は前者の「枚葉ごとに」に、後者の「移載機構２１」は前者の「搬送手段」に、それぞれ相当する。
　してみると、両者の一致点及び相違点は、以下のとおりである。
〈一致点〉「基板を基板処理装置へ搬送する搬送システムであって、
　側壁に開口が設けられ、開口が設けられた側壁において前記基板処理装置に対して着脱自在であり、複数の基板を収納して搬送可能な収納容器と、
　前記収納容器の前記開口を開閉可能な開閉部材と、
　前記基板処理装置に設けられ、前記開閉部材を開いた際に前記基板処理装置と前記収納容器が連通されるように、前記開閉部材を介して前記収納容器に接続される接続手段と、
　前記基板処理装置に設けられ、前記収納容器内の基板を水平状態で枚葉ごとに前記基板処理装置内に搬送する搬送手段と、
を備え、
　複数の基板を前記収納容器に収納した状態で搬送する際に、前記開閉部材により前記収納容器の側壁の開口を閉じて、前記収納容器内を局所的に清浄雰囲気に保ったまま前記収納容器を搬送する基板の搬送システム」である点。
〈相違点１〉前者は、開口が収容容器が基板処理装置に対して着脱自在である側壁のみに設けられ、収納容器の開口を開閉可能な開閉部材は単一であって、しかも、基板処理装置側に設けられ、前記収納容器が前記基板処理装置に接続された際に前記開閉部材と係合され、それにより前記開閉部材の開閉動作が可能となり、その状態で前記開閉部材を開閉動作させる開閉手段を備えるのに対して、後者は、そのように構成されていない点。
〈相違点２〉前者は、開閉部材が閉じられた際に収納容器と開閉部材とを気密にシールし、前記収納容器の内外の雰囲気を隔離するシール機構と、前記開閉部材が閉じられた際に前記開閉部材と前記収納容器とをロックして前記収納容器の気密状態を保持するするロック機構と、前記ロック機構をオン・オフするロック機構オン・オフ手段とを備え、前記シール機構により前記収納容器と前記開閉部材とを気密にシールした状態で前記ロック機構により前記開閉部材と前記収納容器とをロックするのに対して、後者は、シール機構、ロック機構、ロック機構オン・オフ手段について明らかではない点。
　
４．当審の判断
　そこで、相違点１につき検討するに、刊行物２記載の「クリーンボックス１９」は、基板２４を収納して搬送可能な容器であって、その限りで本願発明の「収納容器」と共通する。また、刊行物２記載の「各種処理部１５」は、その技術的意義からみて、本願発明の「基板処理装置」に相当し、同様にして、刊行物２記載の「シャッター４１」は本願発明の「開閉部材」に、刊行物２記載の「各種処理部１５側に設けられ、前記クリーンボックス１９が前記各種処理部１５に接続された際に前記シャッター４１と係合され、それにより前記シャッター４１の開閉動作が可能となり、その状態で前記シャッター４１を開閉動作させる係合部材５０、該係合部材５０をその先端に有するロッド４９及び該ロッド４９を昇降自在にするエアシリンダー開閉手段」は本願発明の「基板処理装置側に設けられ、前記収納容器が前記基板処理装置に接続された際に前記開閉部材と係合され、それにより前記開閉部材の開閉動作が可能となり、その状態で前記開閉部材を開閉動作させる開閉手段」に、それぞれ相当する。してみると、刊行物２には、基板を基板処理装置へ搬送する搬送システムにおいて、開口が収容容器が基板処理装置に対して着脱自在である側壁のみに設けられ、収納容器の開口を開閉可能な開閉部材は単一であって、しかも、基板処理装置側に設けられ、前記収納容器が前記基板処理装置に接続された際に前記開閉部材と係合され、それにより前記開閉部材の開閉動作が可能となり、その状態で前記開閉部材を開閉動作させる開閉手段を備えるとの事項が記載されているということができる。
　そして、上記の刊行物２記載の事項は、刊行物１記載の発明と共通する「基板を基板処理装置へ搬送する搬送システム」という技術分野に属するものであるから、刊行物１記載の発明に刊行物２記載の事項を適用して、相違点１に係る本願発明の構成とすることは、当業者が容易になし得ることである。
　次いで、相違点２について検討するに、刊行物２には、シャッター４１が閉じられた際にクリーンボックス１９とシャッター４１とを気密にシールし、前記クリーンボックスの内外の雰囲気を隔離するＯリングを備えることが記載されており（上記の「刊行物２記載の事項２」を参照）、上記Ｏリングは、本願発明の「開閉部材が閉じられた際に収納容器と開閉部材とを気密にシールし、前記収納容器の内外の雰囲気を隔離するシール機構」というべきものである。また、容器の閉状態で気密状態を保持するロック機構及び該ロック機構をオン・オフするロック機構オン・オフ手段を容器に設けることは、刊行物３にも記載されているように、従来周知の事項である。
　ところで、刊行物１の「ウエハ等の試料に・・・表面の汚染がないようにしたものである。すなわち、本発明は、試料交換及び処理装置間の試料搬送の方法として内部雰囲気を外界と遮断可能とした密閉容器を用い・・・。したがって、容器内は・・・常に清浄な雰囲気、且つ、任意の圧力に制御されている。そのため、試料表面上への微細な塵埃の付着を防止することができ、さらに処理系や分析系に悪影響を及ぼす雰囲気ガスが試料表面に付着することを防止することが可能となる。」との記載（上記の摘記事項（イ）を参照）、「密閉容器３内の雰囲気は完全に外界と遮断されている。したがって、密閉容器３内は常に清浄な雰囲気であり、・・・ウエハ表面上への微細な塵埃の付着を防止することができるほか、さらに処理系や分析系に用いられる雰囲気ガス以外のガスが所領表面に付着することを防ぐことが可能となる。」との記載（上記の摘記事項（ハ）を参照）等からみて、刊行物１記載の発明における収納容器が容器外と確実に遮断されている必要があることは、当業者にとって明らかである。
　そうすると、その観点から、収容容器を容器外と確実に遮断することに貢献することが明らかな、刊行物２記載のシール機構、また、容器の閉状態で気密状態を保持する、従来周知のロック機構及び該ロック機構をオン・オフするロック機構オン・オフ手段を、刊行物１記載の発明に設けようとすることは、当業者が容易に想到し得ることである。
　そして、本願発明の作用効果は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項から当業者が予測可能な範囲内のものであって、格別のものではない。
　したがって、本願発明は、刊行物１記載の発明、刊行物２記載の事項及び従来周知の事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、請求項２〜２３に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する