【手続補正書】
【提出日】平成24年4月25日(2012.4.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティング装置のための取扱いモジュール（４）であって、
コーティングする基板の可動サポート（１３）であって、少なくとも２つの位置の間を移動できる可動サポート（１３）と、
マスクを前記基板に取り付けるため、およびマスクを前記基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイスと、
前記マスクを前記基板に対して整列させるためのマスク整列デバイスと
を備え、前記マスク整列デバイスが、前記サポートと共に移動できるように前記可動サポート（１３）に取り付けられる取扱いモジュール。
【請求項２】
前記取扱いモジュール（４）が真空チャンバを備え、前記可動サポートが前記基板のための少なくとも１つの保持器を備え、前記マスク配置デバイスが、前記可動サポートの前記少なくとも２つの位置のうちの少なくとも一方の位置における、前記基板のための前記少なくとも１つの保持器の反対側の前記取扱いモジュール（４）の前記真空チャンバ内に配置され、および／または
前記可動サポート（１３）が回転軸（４０９）の周りに回転可能である、請求項１に記載の取扱いモジュール。
【請求項３】
前記可動サポート（１３）が、少なくとも２つの保持器もしくは３つまたは４つあるいは任意の整数個の保持器を備え、前記保持器が、前記可動サポートの前記回転軸に平行である前記可動サポートの面に配置され、面の数が保持器の数に等しく、とりわけ少なくとも２つの保持器または保持器の対が、互いに反対側に背中合わせで配置される、請求項２に記載の取扱いモジュール。
【請求項４】
基板のための前記可動サポートが、前記サポートの保持器が、基板および基板のための基板キャリアのうちの少なくとも１つに直接接触するように設計され、および／または
基板のための前記可動サポートが、前記基板が、垂直方向に対して±４０°の角度領域内に存在する前記基板の主表面に平行の平面を有する、直立位置へ運ばれるように設計され、および／または
前記可動サポートの回転軸（４０９）が本質的に垂直に整列する、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の取扱いモジュール。
【請求項５】
前記マスク配置デバイスおよびマスク整列デバイスが、マスク操作装置の中に統合される、請求項１ないし４のいずれか一項に記載の取扱いモジュール。
【請求項６】
前記可動サポートが、プレート状または立方形状あるいはプリズム状の形態のフレーム（４０１）を備え、回転軸（４０９）が、前記プレートまたは前記立方形あるいは前記プリズムの縦軸に対して並行に延在し、基板のための少なくとも２つの保持器が前記フレームに配置され、前記フレームが、複数の保持器のうちの少なくとも１つの反対側、とりわけ個々の基板保持器の反対側に配置された、マスク配置デバイスおよびマスク整列デバイスのうちの少なくとも１つをさらに有し、前記フレームの頂部領域から前記フレームの底部領域まで延在しているＵベント構造（４１０）部分の、保持器とＵベント構造（４１０）の間に、前記基板および前記マスクを受け取り、かつ、操作するための空間（４２０）が画定される、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の取扱いモジュール。
【請求項７】
マスクを基板に配置するため、およびマスクを基板に整列させるための少なくともいずれかのための６軸平行運動構造が提供される、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の取扱いモジュール。
【請求項８】
前記取扱いモジュールが、少なくとも３つの開口を有するハウジングを備え、および／または
前記可動サポートの前記少なくとも２つの位置が、少なくとも３０°、とりわけ４５°およびその倍数だけ回転し、および／または
前記可動サポート（１３）の前記少なくとも２つの位置が、前記取扱いモジュールの前記ハウジングの前記開口に整列し、前記可動サポートの複数の位置のうちの少なくとも１つの位置に、少なくとも２つの開口を使用することができる、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の取扱いモジュール。
【請求項９】
真空コーティング装置のための取扱いモジュールであって、
真空チャンバと、
コーティングすべき基板のための少なくとも１つの保持器を備えた可動サポート（１３）であって、前記真空チャンバの中に配置され、少なくとも２つの位置の間で回転できる可動サポート（１３）と、を備え、
マスクを前記基板に取り付けるため、およびマスクを前記基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイスが、前記可動サポートの前記少なくとも２つの位置のうちの少なくとも一方の位置における、前記保持器のうちの少なくとも１つの反対側の、前記取扱いモジュールの前記真空チャンバ内に配置される取扱いモジュール。
【請求項１０】
前記マスクを前記基板に対して整列させるためのマスク整列デバイスが、前記可動サポートの前記少なくとも２つの位置のうちの少なくとも一方の位置における、前記基板のための保持器の反対側の、前記取扱いモジュールの前記真空チャンバ内に配置される、請求項９に記載の取扱いモジュール。
【請求項１１】
前記マスク配置デバイスおよび前記マスク整列デバイスのうちの少なくとも１つが、前記サポートと共に移動できるように前記可動サポート（１３）に取り付けられる、請求項９に記載の取扱いモジュール。
【請求項１２】
少なくとも１つ、好ましくは２つ以上の層を基板の上に堆積させるためのコーティング装置、とりわけ真空コーティング装置であって、前記装置が少なくとも１つ、好ましくは２つ以上の堆積領域を備え、個々の堆積領域が少なくとも１つの層の完全な堆積を実施するために設けられ、かつ、個々の堆積領域が前記基板のための入口および出口を有し、
前記堆積領域の前記入口および前記出口に回転型取扱いモジュールが配置され、前記回転型取扱いモジュールが、前記基板のための少なくとも１つの保持器を備えた可動サポートを備え、前記可動サポートが、少なくとも２つの位置の間で回転可能であり、また、マスクを前記基板に取り付けるため、およびマスクを前記基板から取り外すための少なくともいずれかのためのマスク配置デバイス、ならびに前記マスクを前記基板に対して整列させるためのマスク整列デバイスのうちの少なくとも１つが、前記可動サポートの前記少なくとも２つの位置のうちの少なくとも１つの位置における、前記保持器の反対側の前記取扱いモジュールの前記真空チャンバ内に配置されるコーティング装置。
【請求項１３】
堆積領域が、
−複数の二重型コーティングチャンバを備えた連続コーティング経路であって、前記連続コーティング経路に沿って基板の輸送経路が配置され、前記輸送経路が、前記基板をＵターンさせるための回転ユニットを備えた連続コーティング経路と、
−少なくとも１つのコーティングチャンバを備えた前後連続コーティング経路であって、前記基板を同じ輸送経路を逆方向に移動させるための基板の輸送経路が配置された、前後連続コーティング経路と、
−静的堆積およびゆらぎ堆積のうちの少なくともいずれかを実行するためのコーティングチャンバと
を備えたグループの中の少なくとも１つを備える、請求項１２に記載のコーティング装置。
【請求項１４】
前記回転型取扱いモジュールが、請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の取扱いモジュールである、請求項１２または１３に記載のコーティング装置。
【請求項１５】
バッファチャンバ（２８５、２８６）、マスク保管マガジン（７）、輸送チャンバ（８）、ロードロックチャンバおよび処理チャンバ（１８、２０）を備えた前記グループのうちの少なくとも１つが、前記取扱いモジュールに直接または間接的に接続される、請求項１２ないし１４のいずれか一項に記載のコーティング装置。
【請求項１６】
１つの回転型取扱いモジュールのみ、あるいは複数の取扱いモジュールが提供され、前記複数の取扱いモジュールが、直接接続、バッファチャンバを介した接続および輸送チャンバを介した接続を備えたグループのうちの、少なくとも１つを含む接続によって互いに接続される、請求項１２ないし１５のいずれか一項に記載のコーティング装置。
【請求項１７】
それぞれ取扱いモジュール、コーティング領域およびマスクマガジンによって構築された複数のコーティングセクションが、次々に配置され、前記コーティングセクションがバッファチャンバまたは輸送チャンバのうちの少なくとも１つによって互いに接続される、請求項１２ないし１６のいずれか一項に記載のコーティング装置。
【請求項１８】
前記コーティング装置が、基板ローディングセクションおよび基板アンローディングセクションを備え、前記基板ローディングおよび基板アンローディングセクションの設計が、
−基板ローディングセクションが第１の回転型取扱いモジュールに接続され、基板アンローディングセクションが、前記基板を処理している間、前記基板が通過する一連の回転型取扱いモジュールの最後の回転型取扱いモジュールに接続される、
−少なくとも１つの基板ローディングセクションおよび少なくとも１つの基板アンローディングセクションが、同じ回転型取扱いモジュールに接続される、
−基板ローディングおよびアンローディングセクションの少なくとも１つの組合せが、少なくとも１つの回転型取扱いモジュールに接続される、
を含むグループから選択される、請求項１２ないし１７のいずれか一項に記載のコーティング装置。
【請求項１９】
コーティング装置、とりわけ請求項１２ないし１８のいずれか一項に記載のコーティング装置の中で、基板をコーティングするための方法であって、
ａ）回転型取扱いモジュール、とりわけ請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の取扱いモジュールを、前記コーティング装置の中に提供するステップと、
ｂ）前記回転型取扱いモジュール内で、前記基板を少なくとも２つの異なる位置へ回転させるステップと、
ｃ）前記回転型取扱いモジュール内で、マスクを前記基板に配置し、かつ、整列させるステップと、
を含む方法。
【請求項２０】
前記基板が、コーティングステップの最初と最後に、回転型取扱いモジュールを通って移動し、および／または
前記コーティングステップのすべてのコーティングプロセスおよびそれらのためのすべての事前処理プロセスおよび事後処理プロセスの間、ならびにこれらのプロセスの間に、前記基板が、前記取扱いモジュールの外側に位置し、および／または
コーティングステップに先立って、前記取扱いモジュールの中で、マスクが前記基板に取り付けられ、かつ、コーティングステップが終了した後、同じ取扱いモジュールの中で除去され、および／または
すべてのコーティングプロセスのための前記マスクが、１つの回転型取扱いモジュールの中で交換され、および／または
前記方法を使用して、ディスプレイのための有機発光ダイオード構造、照明デバイスのための有機発光ダイオード構造、太陽電池構造、構造化された接触層、薄膜電池、およびシャドウマスクを使用することによって、パターン化された層を含むグループのうちの少なくとも１つが製造される、請求項１９に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】