(57)【要約】【課題】ダイオードやトランジスター、ＩＣ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ、ＵＬＳＩ等の半導体素子や発熱素子や発光素子等が用いられた各種電子デバイスと放熱体との間に介在させることにより、電子デバイスが発する熱を高効率で放熱体に誘導することができる熱伝達体を提供すること。【解決手段】少なくともカーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維を含む熱伝達体である。更には少なくともカーボンナノチューブを熱伝導性繊維に付与する工程を含む熱伝達体の製造方法である。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともカーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維を含む熱伝達体。
【請求項２】
カーボンナノチューブが、単層である請求項１記載の熱伝達体。
【請求項３】
カーボンナノチューブが、実質的に化学的修飾を受けていない請求項１または２記載の熱伝達体。
【請求項４】
熱伝導性繊維が炭素繊維である請求項１〜３いずれかに記載の熱伝達体。
【請求項５】
カーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維と高分子からなる請求項１〜４いずれかに記載の熱伝達体。
【請求項６】
少なくとも、カーボンナノチューブを熱伝導性繊維に付与する工程を含む熱伝達体の製造方法。
【請求項７】
カーボンナノチューブ分散液を熱伝導性繊維に付与し、次いで該熱伝導性繊維を加熱することにより、前記カーボンナノチューブ分散液の液体成分を揮発させる請求項６記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項８】
カーボンナノチューブ分散液に熱伝導性繊維を浸漬した後、引き上げることによりカーボンナノチューブを熱伝導性繊維に付与する請求項６または７記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項９】
カーボンナノチューブ分散液を熱伝導性繊維にスプレーする請求項６または７記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１０】
カーボンナノチューブ分散液に、直流電源の陽極または陰極を接続した熱伝導性繊維を浸漬し、前記分散液中に前記直流電源の熱伝導性繊維に接続した極の反対の極を設置して、カーボンナノチューブを熱伝導性繊維に電着させる請求項６または７記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１１】
カーボンナノチューブ分散液が、次の構成要素（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）を含んでなるカーボンナノチューブの親水性分散液である請求項７〜１０いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
（Ａ）カーボンナノチューブ
（Ｂ）分散剤
（Ｃ）疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物
【請求項１２】
構成要素（Ｂ）の分散剤がアニオン系の界面活性剤である請求項１１記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１３】
構成要素（Ｂ）の分散剤がアルキルベンゼンスルホン酸塩及び／またはアルキルエーテル硫酸塩からなる請求項１２記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１４】
構成要素（Ｃ）の化合物の疎水部が炭素数１〜２０の整数であるアルキル基である請求項１１〜１３いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１５】
構成要素（Ｃ）の化合物の親水部が水酸基、エチレンオキサイド、炭素−炭素３重結合、イオン性基から選ばれる少なくとも一つである請求項１１〜１４いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１６】
構成要素（Ｃ）の疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物がスルホコハク酸エステル及び／または下記式Ｉで示される化合物である請求項１１〜１３いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【化１】
2004103766.tif 000003
【請求項１７】
カーボンナノチューブの親水性分散液の液体が、水を主体としてなる請求項１１〜１６いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１８】
カーボンナノチューブが単層である請求項６〜１７いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項１９】
熱伝導性繊維が炭素繊維である請求項６〜１８いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項２０】
カーボンナノチューブを、熱伝導性繊維に付与する工程の後、熱伝導性繊維をシート状となす工程を含む請求項６〜１９いずれかに記載の熱伝達体の製造方法。
【請求項２１】
熱伝導性繊維をシート状となす工程の後、該シートに高分子を含浸する工程を含む請求項２０記載の熱伝達体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子デバイスが発生する熱を放熱体に効率良く伝える熱伝達体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ダイオードやトランジスター、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ；集積回路）、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ；中央演算処理装置）、ＭＰＵ（Ｍｉｃｒｏ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ　Ｓｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ　；大規模集積回路）、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ　ＬＳＩ）、ＵＬＳＩ（Ｕｌｔｒａ　ＬＳＩ）等の半導体素子が用いられた各種電子デバイスの高性能化や高集積化に伴い、それらが発生する熱も増大しているが、その放熱処理がうまくできていないと、電子デバイスの破壊につながるため、放熱処理は重要なものとなってきている。
【０００３】
その放熱処理として、電子デバイスに表面積の大きい放熱板を接触させたり、熱伝導性材料を接触させて特定の放熱処理の場所または装置まで熱を誘導することによって電子デバイスの熱を系外に放熱する方法が広く用いられている。この放熱板や熱伝導性材料は、一般に金属等の硬い物質でできているので（例えば、特許文献１参照）、微視的には接触が少なく、熱の伝達性が低くなるという問題がある。このような観点から、放熱板や放熱場所に熱を誘導する熱伝導性材料と、電子デバイスとの密着性を熱的に向上させるために、熱伝導性のグリース（例えば、特許文献２及び３参照）やシート（例えば、特許文献４参照）を介する方法が行われているが、今後の更なる電子デバイスの高性能化や高集積化等に伴う高発熱の放熱処理には適応できないという問題がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３３０４８３号公報（第２頁）
【０００５】
【特許文献２】特開昭５２−１２５５０６号公報（全体）
【０００６】
【特許文献３】特開２０００−１１４４３８号公報（全体）
【０００７】
【特許文献４】特開平９−２８３９５５号公報（全体）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題点を解決し、低い熱抵抗を示す高熱伝導性材料を提供し、電子デバイスの発熱を高効率で放熱体に伝導しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、鋭意検討した結果、下記骨子によって上記課題を解決するものである。
【００１０】
即ち、本発明は、少なくともカーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維を含む熱伝達体であり、また、少なくとも、カーボンナノチューブを熱伝導性繊維に付与する工程を含む熱伝達体の製造方法である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をより詳細に説明する。
【００１２】
本発明は、単にカーボンナノチューブを付与しない熱伝導性繊維で熱伝達体を形成した場合、熱伝達体の熱抵抗は不十分な値であるが、カーボンナノチューブを付与すると、熱伝達体の熱抵抗が小さくなるという知見に基づいてなされたものである。その理由は、定かではないが、カーボンナノチューブが付与されていないと、熱伝導性繊維間の熱的接触が小さく、熱伝達体としての熱抵抗が大きくなるが、カーボンナノチューブが付与されていると熱伝導性繊維間の熱的接触が大きくなり、熱伝達体の熱抵抗も小さくなるからと考えている。
【００１３】
本発明において、カーボンナノチューブの付与量は特に限定されず、わずかにでも付与すれば効果はあるが、熱伝導性繊維１００重量％中に、カーボンナノチューブが０．００１重量％以上付与されていることが好ましく、０．０５重量％以上付与されていることがより好ましい。上限は特にはないが、０．１重量％程度あれば、本発明の目的には十分である。付与量は、付与前後の熱伝導性繊維の重量変化や、付与するカーボンナノチューブの減少量等から求めることができる。
【００１４】
本発明で言うカーボンナノチューブとは、グラファイトの１枚面（グラフェンあるいはグラフェンシート）を筒形に巻いた形状を持っており、その直径はおおよそ数ｎｍから１００ｎｍの値で、長さはおおよそ数ｎｍ〜数μｍである。カーボンナノチューブには、ただ１枚のグラフェンシートが筒状になった単層や、それらが重層構造になった多層があり、そのいずれも指すが、本発明はとりわけ、熱伝導性や電気伝導性の効果が高く発揮される単層カーボンナノチューブが好適に用いられる。また、物性の良好さから、直径は、１００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以下がより好ましく、１０ｎｍ以下がなお好ましい。長さは１０ｎｍ〜１ｍｍが好ましく、１００ｎｍ〜１ｍｍがより好ましく、５００ｎｍ〜１ｍｍがなお好ましい。
【００１５】
また、カーボンナノチューブは、水等の媒体への分散性を付与するための親水基の導入等を行うためのプラズマ処理や有機反応等を行うことができるが、特に単層カーボンナノチューブの場合、それらはカーボンナノチューブの性能を損なう可能性もあるので、それらの化学的修飾は行わない方が好ましい。
【００１６】
本発明に用いられる熱伝導性繊維は、材質が熱伝導性の繊維状物質であれば、特に限定されない。かかる熱伝導性繊維としては、例えば、超高分子量ポリエチレン繊維、ポリパラフェニレンベンズビスオキサゾール繊維、銀やアルミ等をメッキしたり蒸着した繊維、アルミや銅等の金属からなる繊維、ピッチ系炭素繊維、ポリアクリロニトリル系炭素繊維、炭化ケイ素繊維等が挙げられる。中でもピッチ系炭素繊維やポリアクリロニトリル系炭素繊維は熱伝達性の他に、軽量性、熱膨張性等、総合的な性能から好ましく用いられる。ピッチ系炭素繊維、特にメソフェーズピッチから製造されたピッチ系炭素繊維の場合は、ポリアクリロニトリル系炭素繊維に比べて更に熱伝導性が高いので好ましく用いられるが、一方で伸度が低く、折れやすいという傾向がある。本発明の熱伝達体の製造工程中において、ピッチ系炭素繊維が折れると、熱伝達体の中で繊維軸方向に対して熱の伝達が行われにくくなり、電子デバイスの発熱に分布がある場合、均一に放熱体に熱を伝達しにくくなる場合がある。その点、伸度が高いポリアクリロニトリル系炭素繊維は、安定してフィラメント状態を維持しつつ本発明の熱伝達体の製造工程に供することができるという点でより好ましい。
【００１７】
なお、本発明に用いられる熱伝導性繊維は、短繊維でも長繊維でも用いることができるが、均一に放熱体に熱を伝達しやすいという点から、短繊維よりも長繊維が好ましく用いられる。ここでいう長繊維とは、繊維直径に対する長さの比（アスペクト比）は、１０以上が好ましく、１００以上が更に好ましく、１０００以上がなお更に好ましい。上限は、その思想上、規程し得るものではない。ただし、熱伝達体の実施に際しては、その様態に応じた限界値は存在する。
【００１８】
本発明の熱伝達体は、少なくとも上述のカーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維を含むものであり、その形状はシート状が好ましい。シート状を形成するのは熱伝導性繊維であるが、熱伝導性繊維を一方向に引き揃えてシート状となしても良いし、不織布、織物、編物等の形態でシートとなしても良い。シートの厚みは、特に限定されないが、基本的には薄い方が熱抵抗が小さくなるので好ましく、具体的には２００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下が更に好ましく、５０μｍ以下がなお更に好ましく、２０μｍ以下が最も好ましい。薄い側の具体的な値は特に限定されないが、取り扱い性や熱伝導性繊維の直径から自ずと決まり、概ね５μｍ程度が限界である。
【００１９】
本発明の熱伝達体は、更にシート状として安定な形状を保持させるため、高分子をマトリックスとして、上記の熱伝導性繊維からなるシートに含浸することが好ましい。高分子の種類は特に限定されないが、熱可塑性樹脂やワックスは好ましい一例である。形状保持性及び、電子デバイスと放熱体に対する密着性の観点から、高分子の融点もしくは軟化点は、４０〜１５０℃にあるものが好ましく、５０〜１２０℃にあるものが更に好ましく、５０〜１００℃にあるものがなかんずく好ましい。また、高分子が、ゴム様の弾性体であれば、シリコーン樹脂やブタジエン系等の有機ゴム類等の熱硬化性樹脂であっても、密着性は損なわれないので用いられる。
【００２０】
また、カーボンナノチューブが付与された熱伝導性繊維のシート形状を保持させるため、非常に目付の低い熱可塑性高分子からなる繊維布帛をシートに重ねて、加熱することによって、好ましくは圧力を掛けながら加熱することによって、熱可塑性の布帛をシートにしみこませてシート形状を熱可塑性布帛によって融着固定化させることも有効である。この場合の熱可塑性高分子の融点もしくは軟化点は上記の温度範囲には限定されず、高い温度であっても構わない。この２つのシート形状を保持させる方法は、併用することも可能である。
【００２１】
本発明の熱伝達体は、少なくともカーボンナノチューブを熱伝導性繊維に付与する工程を含む製法によって製造される。カーボンナノチューブを熱導電性繊維に付与する方法は、基本的には限定されないが、例えば以下に挙げる方法が好ましく適用できる。
【００２２】
即ち、カーボンナノチューブ分散液を熱伝導性繊維に付与し、次いでこのカーボンナノチューブ分散液が付与された熱伝導繊維を加熱することにより、カーボンナノチューブ分散液の液体成分を揮発させる方法である。かかる付与と加熱は１回でもよいし、複数回繰り返すこともできる。
【００２３】
分散液の液体成分を揮発させる方法としては特に限定されないが、液体の沸点以上で加熱するのが好ましい。例えば、液体が水であれば、１００〜２００℃で加熱するのが好ましく、１２０〜１５０℃で加熱するのがより好ましい。時間は、加熱温度によっても左右されるが、５分〜１時間が好ましく、１０〜３０分がより好ましい。
【００２４】
カーボンナノチューブ分散液を熱伝導性繊維に付与する方法は、特に限定されないが、浸漬法によって付与するのは簡便で好ましい方法の一つである。
【００２５】
また、別の付与方法として、カーボンナノチューブ分散液をスプレー法によって熱伝導性繊維に付与する方法を採用することもできる。かかるスプレー法は、カーボンナノチューブの熱伝導性繊維への付与量を制御しやすいという点で好ましい。また、かかるスプレー法による分散液付与と加熱による液体成分の揮発とを繰り返す方法は、カーボンナノチューブの熱伝導性繊維への付与量を段階的ではあるが自由に制御できるので、好ましい方法の一つである。
【００２６】
更にまた、別の付与方法として、カーボンナノチューブ分散液中のカーボンナノチューブがイオン性基を有する化学修飾あるいはイオン性基を有する分散剤によって分散している場合は、かかる分散液に、直流電源の陽極または陰極を接続した熱伝導性繊維を浸漬し、分散液中に直流電源の熱伝導性繊維に接続した極の反対の極を設置して、カーボンナノチューブを熱伝導性繊維に電着させる方法は、電流密度や時間等の制御によってスプレー法よりも更に自由にカーボンナノチューブの付与量が制御でき、また、熱導電性繊維への付与分布がより均一になるので、好ましい方法である。熱伝導性繊維に接続する極は、化学修飾もしくは分散剤のイオン性基がアニオン性の場合は陽極、カチオン性の場合には陰極である。電流密度としては、０．０５〜５Ａ／ｍ２が好ましく、０．０３〜３Ａ／ｍ２がより好ましく、０．５〜２Ａ／ｍ２が更に好ましい。時間は、電流密度にもよるが、１０秒〜３時間が好ましく、５分〜２時間がより好ましい。なお、熱伝導性繊維に極を接続する部分は、カーボンナノチューブ分散液には浸漬しない方が、極へのカーボンナノチューブの電着を防げるので好ましい。
【００２７】
上記のカーボンナノチューブが分散した液（以下、カーボンナノチューブ分散液という）の組成は、特に限定されないが、以下に挙げる組成が好ましく適用できる。即ち、次の構成要素（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）を含んでなるカーボンナノチューブの親水性分散液である。
（Ａ）カーボンナノチューブ
（Ｂ）分散剤
（Ｃ）疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物
構成要素（Ｂ）の分散剤は、種類が限定されるものではなく、アニオン性、両性、カチオン性、非イオン性のいずれのタイプも使用できるが、好ましくは、アニオン性の界面活性剤であり、より好ましくはアルキルベンゼンスルホン酸塩及び／またはアルキルエーテル硫酸塩からなるものであり、塩のカウンターイオンは、特に限定されるものはないが、アルカリ金属類、アルカリ土類金属類、アミン類などが挙げられ、例えばカリウム、ナトリウム、トリエタノールアミン等が好ましく用いられる。
【００２８】
本発明おける構成要素（Ｃ）である、疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物としては、特に種類は限定されないが、疎水部が炭素数１〜２０の整数であるアルキル基であることが好ましい。炭素数は、アルキル基が直鎖型であるか分岐型であるか、また、親水部とのバランスはどうか等によって決まるので一概には言えないが、あまり炭素数が少なすぎると化合物全体として親水性になり過ぎ、逆に多すぎると化合物全体として疎水性になり過ぎるので、炭素数は２〜１６がより好ましく、４〜１４がなお好ましい。また、親水部が水酸基、エチレンオキサイド、炭素−炭素３重結合、カルボキシル基やスルホン酸基、アミノ基等のイオン性基から選ばれる少なくとも一つが好ましく、組み合わされていても良い。例えば、スルホコハク酸ジエステルは好ましく用いられる一例であり、具体的には、ジオクチルスルホコハク酸塩（スルホコハク酸−２−ジエチルヘキシルナトリウム塩）が挙げられる。また、下記式Ｉの化合物も好ましく用いられる。
【００２９】
【化２】
2004103766.tif 000002
【００３０】
ここで、ａ＋ｂ＝０〜３０であるのが好ましい。より好ましくはａ＋ｂ＝０〜１０、更に好ましくはａ＋ｂ＝０〜７である。
【００３１】
これらの作用機構は、明らかではないが、凝集し合うカーボンナノチューブ間に、先ず疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物が割り入り、次いでそこに分散剤が吸着し、分散に至るものと推定される。
【００３２】
使用濃度は、使用される分散剤や疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物の分子量や、その能力にも依るので、一律に規定できるものではないが、概ね、カーボンナノチューブ１００重量部に対し、分散剤が０．５〜５００重量部が好ましく、１〜１００重量部がより好ましく、１〜５０重量部が更に好ましい。
【００３３】
疎水部−親水部−疎水部の構造を有する化合物については、カーボンナノチューブ１００重量部に対し、０．１〜１００重量部が好ましく、０．５〜５０重量部がより好ましく、１〜２０重量部が更に好ましい。
【００３４】
カーボンナノチューブの分散液中の濃度は、特に限定されるものではないが、薄すぎると利用価値が低くなることが多く、濃すぎると分散安定性が低下することもあるので、分散液１００重量％中にカーボンナノチューブが０．０００１〜１重量％含まれることが好ましく、０．００５〜０．５重量％がより好ましく、０．０１〜０．１重量％が特に好ましい。
【００３５】
本発明に用いられるカーボンナノチューブを分散する液体は、親水性液体が好ましく、親水性液体としては、水、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノールなどの１価アルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオールなどの２価アルコール、グリセリンなどの３価アルコール、アセトンなどのケトン類、蟻酸、酢酸、プロピオン酸などの酸、テトラヒドロフラン等の環状エーテル、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルフォキサイドなどが挙げられる。これらは複数を混合して用いても良い。中でも取り扱い性や環境面を考慮すると水を含む水系液体であることが好ましく、特に純水は好ましい。
【００３６】
また、本発明の親水性分散液中には必要に応じて塩、ｐＨ調整剤、防腐剤、粘度調整剤、キレーター等が含まれていても構わない。
【００３７】
カーボンナノチューブを液体中に分散させる方法としては、特に限定されないが超音波や各種攪拌を用いることができる。攪拌方法としては、ホモナイザーのような高速攪拌やアトライター、ボールミルなどの機械的衝撃を加える攪拌も適用できる。
【００３８】
なお、本発明における分散液とはカーボンナノチューブが液中に散在し、あたかも外見上は一様に見える状態を言う。本発明の分散液は１０日以上放置してもカーボンナノチューブが沈降することも凝集することもなく、外見上一様な分散状態である。更には３０日以上放置しても外見上一様であることが好ましい。
【００３９】
上述した本発明の熱伝達体は、ダイオードやトランジスター、ＩＣ、ＣＰＵ、ＭＰＵ、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ、ＵＬＳＩ等の半導体素子や発熱素子や発光素子等が用いられた各種電子デバイスと放熱体との間に介在させることにより、高効率で電子デバイスが発する熱を放熱体に誘導することができる。
【００４０】
【実施例】
以下、実施例によって、本発明を更に詳細に説明する。なお、実施例によって本発明が制限されることはない。
実施例１
以下の処方で単層カーボンナノチューブの分散液を調製した。
【００４１】
単層カーボンナノチューブ　　　　　　　　　０．０５重量部
ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム　　　　２．５重量部
アルキルエーテル硫酸ナトリウム　　　　　　　２．５重量部
式Ｉの化合物（ａ＋ｂ＝１．３）　　　　　　　　　１重量部
純水　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１００重量部
単層カーボンナノチューブとしては、Ｃａｒｂｏｎ　Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ　Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ社製ＨｉＰｃｏ（ＴＭ）　ＳｉｎｇｌｅＷａｌｌ　Ｃａｒｂｏｎ　Ｎａｎｏｔｕｂｅｓ（直径：約１ｎｍ、長さ：約１００〜１０００ｎｍ）を用いた。
【００４２】
上記調製液を超音波洗浄機（株式会社エスエヌディ製ＵＳＫ−２、発信周波数３８ｋＨｚ、高周波電力１２０Ｗ）にて２時間処理することにより単層カーボンナノチューブの分散体を得た。この分散体は、３０日以上経っても沈降は見られない非常に安定なものであった。
【００４３】
この分散体を、ポリアクリロニトリル系炭素繊維シート（東レ株式会社製；Ｍ４０Ｊ；１２０００フィラメント；幅４ｃｍに広げてポリアミド不織布で融着固定化したシート；厚さ８０μｍ）に、スプレー法によって付与し、１２０℃で乾燥するという方法を炭素繊維に対してカーボンナノチューブが０．１重量％付与されるように、約３０回繰り返した。
【００４４】
次いで、そのシートに融点６０℃付近のパラフィン系ワックスを１００℃で溶融しながら十分量含浸させ、冷えて固まらない内にドクターブレードでシート表面を軽くしごいて余分なワックスを除去した。
【００４５】
得られたシートを、１０Ｎ／ｃｍ２の圧力で発熱体と十分容量の放熱体の間に挟み、発熱体とシートとの間に差し込んだ温度センサーが示す温度から、放熱体とシートとの間に差し込んだ温度センサーが示す温度を差し引き、その値を発熱体が発生する熱量で除して熱抵抗を求めた。得られた熱抵抗は、０．１℃／Ｗであった。
実施例２
実施例１と同じ処方の単層カーボンナノチューブの分散液を調製した。
【００４６】
炭素繊維シートとしてピッチ系炭素繊維シート（三菱化学株式会社製；ダイアリードＫ１３Ｄ２Ｕ；２０００フィラメント；幅３ｃｍに広げてポリアミド不織布で融着固定化したシート；厚さ３０μｍ）を用いた以外は実施例１と同様の方法でカーボンナノチューブの付与を行い、パラフィン系ワックスを含浸させて、本発明のシート状の熱伝達体を得た。
【００４７】
このシートの熱抵抗は、０．０６℃／Ｗであった。
実施例３
実施例１と同じ処方の単層カーボンナノチューブの分散液を調製した。
【００４８】
十分量の分散液内に、直流電源の陰極を沈め、実施例１と同じポリアクリロニトリル系炭素繊維シートに陽極をクリップで接続し、クリップが分散液に浸からないようにして、炭素繊維シートを分散液内に沈めた。この状態で、１Ａ／ｍ２で２時間、電着処理を行った。その後、加熱乾燥させて、本発明のシート状の熱伝達体を得た。
【００４９】
このシートの熱抵抗は、０．０９℃／Ｗであった。
実施例４
実施例３において使用したポリアクリロニトリル系炭素繊維シートの代わりに、ピッチ系炭素繊維シート（三菱化学株式会社製；ダイアリードＫ１３Ｄ２Ｕ；２０００フィラメント；幅３ｃｍに広げてポリアミド不織布で融着固定化したシート；厚さ３０μｍ）を使用し、それ以外は実施例３と同様の操作を行った。
【００５０】
得られたシートの熱抵抗は、０．０５℃／Ｗであった。
実施例５
実施例１における単層カーボンナノチューブの代わりに、多層カーボンナノチューブ（直径：約２０ｎｍ、長さ：約５μｍ、層数：約１５層）を用い、実施例１と同様の操作を行った。
【００５１】
得られたシートの熱抵抗は、０．５℃／Ｗであった。
比較例１
実施例１において、カーボンナノチューブを付与しないで、熱抵抗を測定した結果、５℃／Ｗであった。
比較例２
実施例２において、カーボンナノチューブを付与しないで、熱抵抗を測定した結果、３℃／Ｗであった。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、電子デバイスの発熱を高効率で放熱体に伝達することができる。