【手続補正書】
【提出日】平成24年4月3日(2012.4.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の重合可能な材料と表面活性剤を含む第１のインプリント流体を基板上に分配するステップと、
前記表面活性剤の少なくとも一部分がインプリント・リソグラフィのテンプレートと接触するように、前記基板と重ね合わせて、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記第１のインプリント流体を接触させるステップと、
前記第１のインプリント流体を固化するステップと、
第１の厚さを有する表面活性剤に富んだ区域と第２の厚さを有する表面活性剤が減少した区域とを、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面上に形成するように、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記固化された第１のインプリント流体を分離させるステップと、
第２のインプリント流体の少なくとも一部分が、前記表面活性剤に富んだ区域と前記表面活性剤が減少した区域を有する前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と接触するように、前記表面活性剤に富んだ区域と前記表面活性剤が減少した区域を有する前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面を前記第２のインプリント流体と接触させるステップと、
から構成され
前記インプリント・リソグラフィのテンプレートと、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面活性剤に富んだ区域内の前記第２のインプリント流体の間の第１の接触角は、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートと、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面活性剤の減少した区域内の前記第２のインプリント流体の間の第２の接触角より大きいことを特徴とする、インプリント・リソグラフィの方法。
【請求項２】
前記第１の厚さは前記第２の厚さより厚いことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第２の厚さは実質的ゼロであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の接触角の大きさは、５０度より小さいことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２のインプリント流体が前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と接触した後、前記第２のインプリント流体を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面は、複数の、間隔をあけて配置された凹部または突起部を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第２の接触角の大きさは、およそ２２度より小さいことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記第２の接触角の大きさは、約１８度より小さいことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の厚さは約０．２〜５ｎｍの厚さであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面とが接触する前は、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面は実質的に表面活性剤と無関係であるが、
前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面が接触している間は、前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面との接触部分によって、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上に最初の表面活性剤に富んだ区域が画成され、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上の前記最初の表面活性剤に富んだ区域の近くには、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上に最初の表面活性剤が減少している区域が画成され、
前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面と、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記最初の表面活性剤に富んだ区域内の前記第１のインプリント流体との間にある第３の接触角は、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記最初の表面活性剤が減少している区域内の前記第１のインプリント流体との間の第４の接触角よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
第１の重合可能な材料と表面活性剤を含む第１のインプリント流体を基板上に分配するステップと、
前記表面活性剤の少なくとも一部分がインプリント・リソグラフィのテンプレートと接触するように、前記基板と重ね合わせて、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記第１のインプリント流体を接触させるステップと、
前記第１のインプリント流体を固化するステップと、
第１の厚さを有する表面活性剤に富んだ区域と第２の厚さを有する表面活性剤が減少した区域とを、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面上に形成するように、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記固化された第１のインプリント流体を分離させるステップと、
第２のインプリント流体の少なくとも一部分が、前記表面活性剤に富んだ区域と前記表面活性剤が減少した区域を有する前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と接触するように、前記表面活性剤に富んだ区域と前記表面活性剤が減少した区域を有する前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面を前記第２のインプリント流体と接触させるステップと、
から構成され
前記インプリント・リソグラフィのテンプレートと前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面活性剤に富んだ区域内の前記第２のインプリント流体の間の第１の接触角と、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートと前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記表面活性剤の減少した区域内の前記第２のインプリント流体の間の第２の接触角との違いは、およそ２度であることを特徴とする、インプリント・リソグラフィの方法。
【請求項１２】
前記第１の厚さは前記第２の厚さより厚いことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２の厚さは実質的ゼロであることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記第１の接触角の大きさは、５０度より小さいことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記第２のインプリント流体が前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と接触した後、前記第２のインプリント流体を固化させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面は、複数の、間隔をあけて配置された凹部または突起部を有することを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記第１の厚さは約０．２〜５ｎｍの厚さであることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面とが接触する前は、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面は実質的に表面活性剤と無関係であるが、
前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面が接触している間は、前記第１のインプリント流体と前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面との接触部分によって、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上に最初の表面活性剤に富んだ区域が画成され、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上の前記最初の表面活性剤に富んだ区域の近くには、前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面上に最初の表面活性剤が減少している区域が画成され、
前記インプリント・リソグラフィのテンプレート表面と、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記最初の表面活性剤に富んだ区域内の前記第１のインプリント流体との間にある第３の接触角は、前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの表面と前記インプリント・リソグラフィのテンプレートの前記最初の表面活性剤が減少している区域内の前記第１のインプリント流体との間の第４の接触角よりも大きいことを特徴とする、請求項１１に記載の方法。