【手続補正書】
【提出日】平成24年3月12日(2012.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３００ｍｍ以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
一組の向かい合う側壁部、後壁部、２つの内部垂直角部、上壁部及び底壁部を有するそれぞれのコンパートメントと、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
前記コンパートメントの１つ内で固定されて、一組の側壁部及び背面部から離れている少なくとも１つの細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びて内側に拡大する凹部を有し、凹部の両方の側面において、シェルの突出部はウエハーコンテナの開放前面が上方へ向きながら後方へ回転するときにウエハーコンテナを着座させるための一組の直立足部を規定し、足部は内部コンパートメントを規定しており、
細長い管状制御要素は長さを有しており、その長さは上壁部と底壁部との間の距離で十分に伸びる前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は２つの伸長部から構成されており、それぞれの伸長部は伸長部を共に固定するための複数のラッチによって接続され、２つの伸長部は閉じ込め領域を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項３】
請求項２の前面開放ウエハーコンテナであって、２つの伸長部はヒンジで連結されることで閉じ込め部を規定し、閉じ込め部はフィルター材料又は蒸気吸収材料の少なくとも１つを含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項４】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部とを有し、細長い管状制御要素は直立の軸を有し、及び細長い管状制御要素はパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置される前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項５】
請求項４の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項６】
請求項５の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性材料で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項７】
請求項５の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部とスライド可能に係合して、遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項８】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部を規定する２つの伸長部から構成されており、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項９】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、内部コンパートメントに配置される追加の細長い管状制御要素をさらに含み、２つの細長い管状制御要素は両方ともウエハーコンテナの底部でパージ入口に接続されて、ウエハーコンテナはドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部に配置されるパージ入口をさらに有し、ドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部にパージ出口をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１０】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップを含み、キャップがシェル係合部を有することによって、管状制御要素は２つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１１】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は蒸気吸収材料から構成されており、ウエハーコンテナはスプリングアームを有するブラケットをさらに含むため、コンパートメントの１つの一組の側壁の中間にブラケットを固定可能であり、細長い管状制御要素はブラケットに取り外し可能に取り付けられる側壁前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１２】
３００ｍｍ以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
角領域の１つに配置される細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、
前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、細長い管状制御要素はパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置され、細長い管状制御要素は２つの伸長部から構成されて、それぞれの伸長部は複数のラッチ及びヒンジの少なくとも１つによってもう一方に連結され、２つの伸長部は閉じ込め部を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１３】
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部はそこにフィルター材料及び吸収材料の少なくとも１つを有する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１４】
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１５】
請求項１４の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１６】
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部の１つとスライド可能に係合して、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１７】
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１８】
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの閉じ込め部はフィルター材料及び吸収材料の少なくとも１つをそこに有する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項１９】
前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
コンテナ部に配置されてコンテナ部の底部からコンテナ部の上部まで十分に伸びる細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、
前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、パージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、細長い管状制御要素は閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む管状前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２０】
請求項１９の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御部材は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２１】
請求項１９の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は剛性のポリマーで形成されて閉じ込め部の１つとスライド可能に係合可能であり、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２２】
請求項１９の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は弾性材料から形成されるキャップをさらに含み、それは閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２３】
前面開放ウエハーコンテナであって、
開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、
開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、
一組の角領域の一つでコンテナ部に配置される少なくとも１つの細長い管状制御要素とを含み、
コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、
水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて、開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、
背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、
少なくとも１つの管状制御要素はコンテナ部の底部からコンテナ部の上部まで十分に伸びて、
前記細長い管状制御要素の少なくとも１つはゲッター媒体から構成されており、能動的パージシステムの一部とはならない前面開放ウエハーコンテナ。
【請求項２４】
請求項２３の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの少なくとも１つの管状制御要素は、コンテナ部に取り付けられた少なくとも１つのブラケット内に取り外し可能に固定される前面開放ウエハーコンテナ。