【手続補正書】
【提出日】平成23年4月15日(2011.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
片持ち梁の変形を測定するための装置であって、
片持ち梁に照射光を投射するための投射システムと、
前記片持ち梁を透過した放射又は前記片持ち梁から反射した放射を検出するための測定システムと
を備え、
前記投射システムは、前記片持ち梁を透過した前記放射又は前記片持ち梁から反射した前記放射が干渉縞を形成するように構成され、
前記測定システムは、前記干渉縞の少なくとも一部分内における強度の空間変動を測定するように構成され、
前記装置は、更に、前記測定システムによって測定された強度の前記空間変動から前記片持ち梁の変形を算出するための変形算出システムを備え、
前記変形は、前記干渉縞を形成する放射を通過又は反射する前記片持ち梁部分の形状変化からなる強度の前記空間変動から算出される、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記干渉縞の少なくとも一部分は、前記片持ち梁中又は上に形成された透過性又は反射性微細パターンの結果として形成される、装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置であって、前記微細パターンは、反射性又は透過性スリットの規則的な又は不規則なアレイと、透過性又は反射性スポットの規則的な又は不規則なアレイと、二次元アレイと、の内の少なくとも１つを含む、装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の装置であって、前記微細パターンは、個々の片持ち梁を識別するための識別情報を含み、前記装置は、更に、前記微細パターンに含まれる識別情報を読み出すことによって、前記片持ち梁の識別子を判断するように構成された片持ち梁識別装置を備える、装置。
【請求項５】
請求項４に記載の装置であって、前記識別装置は、前記測定システムによって測定された前記干渉縞から前記識別情報を読み出すように構成されている、装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置であって、前記片持ち梁は、流体、真空、又は気体内において自由に浮遊し且つ／又は移動する、装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の装置であって、片持ち梁が任意形状の帯状材から形成される場合、前記投射システムは、片持ち梁の少なくとも一部分に対して、片持ち梁の全幅に及ぶコヒーレント光で片持ち梁を照射するように構成されている、装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の装置であって、前記投射システムは、コヒーレント光で片持ち梁全体を照射するように構成されている装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の装置であって、前記投射システムは、前記片持ち梁に複数光線を投射するように構成されており、前記干渉縞は、前記複数光線から形成されている、装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の装置であって、
前記変形算出システムは、測定された強度空間変動の以下の特性、
（ｉ）少なくとも１つの強度ピーク又は強度底の形状と、
（ｉｉ）少なくとも１つの強度ピーク又は強度底の幅と、
（ｉｉｉ）干渉縞の特定可能位置における強度値であって、ｎが任意の整数であるとき、ｎ次ピークの最大強度値及びｎ次ピークと（ｎ＋１）次ピークとの間の最小強度値の内の少なくとも１つを含む前記強度値と、
の内の１つ又は複数の特性に基づき、変形を算出するように構成されている、装置。
【請求項１１】
原子間力顕微鏡であって、
プローブの先端に一端が固定され、前記プローブの先端とサンプルとの間の離間距離の関数として変形するように構成されている片持ち梁と、
前記片持ち梁の前記変形を測定して先端とサンプルとの相互作用により前記先端のたわみを求めるための請求項１〜１０のいずれか１項に記載の装置と、
を備える、原子間力顕微鏡。
【請求項１２】
流体中の対象物質の有無を検出するためのシステムであって、
前記流体に接触し、前記対象物質の有無の関数として変形するように構成されている片持ち梁と、
前記片持ち梁の変形を測定して前記対象物質の有無を判断するための請求項１〜１０のいずれか１項に記載の装置と、
を備えるシステム。
【請求項１３】
温度センサであって、
片持ち梁であって、前記片持ち梁の温度の関数として変形するように構成された前記片持ち梁と、
前記片持ち梁の変形を測定して、前記片持ち梁の温度を求めるための請求項１〜１０のいずれか１つに記載の装置と、
を備える、温度センサ。
【請求項１４】
圧力センサであって、
流体導管端又は流体内部のいずれかにおいて、圧力勾配の関数として変形するように構成された片持ち梁と、
前記片持ち梁の変形を測定して、前記圧力勾配を求めるための請求項１〜１０のいずれか１つに記載の装置と、
を備える、圧力センサ。
【請求項１５】
片持ち梁の変形を測定する方法であって、
片持ち梁に照射光を投射する段階と、
前記片持ち梁を透過した放射又は前記片持ち梁から反射した放射を検出する段階と
を備え、
前記照射光は、前記透過した放射又は前記反射した放射において干渉縞を形成するように前記片持ち梁に投射され、
前記方法は、更に、
前記干渉縞の少なくとも一部分内における強度の空間変動を測定する段階と、
前記測定した強度の空間変動から前記片持ち梁の変形を算出する段階であって、前記変形は、前記干渉縞を形成する放射を通過又は反射する前記片持ち梁部分の形状変化からなる強度の前記空間変動から算出される、前記変形を算出する段階と、
を備える方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載の方法であって、前記干渉縞は、前記片持ち梁中又は上に形成された透過微細パターン又は反射微細パターンの結果として形成される、方法。
【請求項１７】
請求項１５又は１６に記載の方法であって、前記微細パターンは、個々の片持ち梁を識別するための識別情報を含み、前記方法は、更に、前記微細パターンに含まれる識別情報を読み出すことによって前記片持ち梁の識別子を判断する段階を備える、方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の方法であって、前記識別情報は、前記測定した干渉縞から読み出される、方法。
【請求項１９】
請求項１５〜１８のいずれか１つに記載の方法であって、更に、流体、真空、又は気体内において自由に浮遊し且つ／又は移動する前記片持ち梁を提供する段階を備える、方法。
【請求項２０】
請求項１５〜１８のいずれか１つに記載の方法であって、更に、一端において基板に固定された前記片持ち梁を提供する段階を備える、方法。
【請求項２１】
請求項１５〜２０のいずれか１つに記載の方法であって、更に、複数光線を前記片持ち梁に投射する段階であって、前記干渉縞は、前記複数光線から形成される、方法。
【請求項２２】
装置であって、実質的に、添付図面を参照してこれまで記載し、且つ添付図面に示すように動作するように構築及び構成された片持ち梁の変形を測定するための、装置。
【請求項２３】
方法であって、実質的に、添付図面を参照してこれまで記載し、且つ添付図面に示すように片持ち梁の変形を測定する、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
干渉縞は、片持ち梁全体から形成してよい。例えば、片持ち梁が（入射放射と直交する面内において）ほぼ矩形状である場合、干渉縞は、「単一スリット」（正弦二乗）回折パターンに類似し得る。追加的に又は他の選択肢として、微細パターンを片持ち梁内に形成してよく、また、測定システムは、微細パターンから反射又は透過した放射に起因する干渉縞の強度変動を監視するように構成し得る。すなわち、干渉縞は、片持ち梁内又は片持ち梁上に形成される通過又は反射微細パターンの結果として形成される。言い換えると、微細パターンは、高相対反射率の領域（この場合、パターンは、反射によって生成される）又は高透過率領域（この場合、パターンは、透過によって生成される）によって画成し得る。高透過率領域は、例えば、化学的エッチング又は機械的切開によって生成し得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
識別情報を微細パターンに追加すると、個々の片持ち梁を識別し得る。すなわち、微細パターンは、個々の片持ち梁を識別する識別情報を備えてもよく、方法は、微細パターンに含まれる識別を検出することにより片持ち梁の識別を判定することをさらに備えてもよい。識別情報は、例えば、変形算出プロセスの一部として、微細パターンによって生成された干渉縞から抽出し得る。すなわち、識別情報は、測定された干渉縞から検出される。従って、個々の片持ち梁の識別は、追加ハードウェア及び／又は追加方法手順無しで、効率的に判断し得る。同じ干渉縞は、片持ち梁の変形を求めるために、また、片持ち梁を識別するための双方に用い得る。このことは、多数の異なる片持ち梁を含むアレイが測定されている場合及び／又は片持ち梁が基板に固定されていない場合、特に重要なことがある。例えば、バイオセンシング用途において、多数の異なる物質を同時に選別することが望まれる場合がある。
片持ち梁は、溶液、真空、ガス中を自由に浮遊および移動の少なくとも一方をするように提供され得る。片持ち梁の一端は、基板に固定されるように提供され得る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
様々な光学構成が、可能である。１つのコヒーレント光又は複数のコヒーレント光（例えば、２つ、３つ、又はそれ以上）を片持ち梁の照射に用いることができ、すなわち、片持ち梁上に複数の光線を照射し、干渉縞は、複数の光線から形成される。多コヒーレント光の使用によって生成される効果は、片持ち梁が適切な反射性又は透過性回折格子でパターン化されている場合、単一のコヒーレント光でも達成し得る。