【手続補正書】
【提出日】平成15年12月5日(2003.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミック組成物であって、有機成分の平均屈折率Ｎ１と無機粉末の平均屈折率Ｎ２に関して、次式を満たし、かつ無機粉末が３０重量％以上のガラス粉末を含有することを特徴とする回路材料用感光性セラミック組成物。
−０．０５≦Ｎ２−Ｎ１≦０．１
【請求項２】
無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミック組成物であって、平均屈折率が１．５〜１．８の範囲の無機粉末を用いることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項３】
平均屈折率が１．５〜１．７５の感光性有機成分を用いることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項４】
無機粉末が、ガラス粉末３０重量％以上と、アルミナ、ジルコニア、マグネシア、ベリリア、ムライト、コーディライト、スピネル、フォルステライト、アノーサイト、セルジアン、シリカおよび窒化アルミの群から選ばれた少なくとも一種の無機フィラー粉末７０重量％以下との混合物からなることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項５】
ガラス粉末が、酸化物換算表記で、
ＳｉＯ2      １５〜７５重量部
Ａｌ2Ｏ3     １０〜６０重量部
Ｂ2Ｏ3         ４〜２０重量部
ＭｇＯ         １〜２５重量部
ＴｉＯ2        １〜１０重量部
および
Ｌｉ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｋ2Ｏ、ＢａＯ、ＣａＯおよびＰｂＯの群から選ばれた少なくとも１種の化合物１〜２５重量部からなることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項６】
ガラス粉末が焼成によって、ムライトを主結晶成分として析出し、無機フィラーとガラス組成粉末との界面でコーディライトを析出することを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項７】
５０〜９５重量部の無機粉末と５〜５０重量部の有機成分からなることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項８】
平均屈折率が１．５〜１．６５の範囲のガラス粉末を用いることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項９】
感光性有機成分として、スチレン、ハロゲン化スチレン、α−メチルスチレン、ハロゲン化α−メチルスチレンの群から選ばれる少なくとも１種類を１０重量％以上含有するオリゴマーもしくはポリマーを用いることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１０】
感光性有機成分として、ベンゼン環を有するアクリレートまたはメタクリレートを１０重量％以上含有するモノマー、もしくはそのモノマーを１０重量％以上含む組成物を重合したオリゴマーもしくはポリマーを用いることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１１】
硫黄原子、臭素原子、ヨウ素原子、ベンゼン環、ナフタレン感、ビフェニル環、アントラセン環、カルバゾール環の群から選ばれた基の感光性有機成分中における含有率が５重量％以上であることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１２】
感光性有機成分中に、紫外線吸光剤を０．０５〜５重量％含有することを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１３】
紫外線吸光剤として、有機染料を用いることを特徴とする請求項１２記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１４】
有機成分中に、多官能のアクリレート化合物および／またはメタアクリレート化合物を１０〜８０重量％含むことを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１５】
シート状に形成されていることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【請求項１６】
厚膜積層用絶縁ペーストであることを特徴とする請求項１記載の回路材料用感光性セラミック組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミック組成物であって、有機成分の平均屈折率Ｎ１と無機粉末の平均屈折率Ｎ２に関して、次式を満たし、かつ無機粉末が３０重量％以上のガラス粉末を含有することを特徴とする回路材料用感光性セラミック組成物によって達成される。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
−０．０５≦Ｎ２−Ｎ１≦０．１
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
ガラスとセラミックの複合粉末は、ガラス粉末を３０重量％以上、好ましくは５０重量％以上用いる。ガラス粉末としては、特に限定はないが、加工性に優れ、ポットライフの長いものがよい。粉末が球形であれば、充填密度が高くなり、緻密な焼結体が得られること、表面積が小さくなるため露光の際の光散乱が低減できるなどの利点がある。平均屈折率が１．５〜１．６５の範囲のガラス粉末を用いることが望ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
−０．０５≦Ｎ２−Ｎ１≦０．１
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
下記実施例１〜４は、感光性ガラスセラミックグリーンシートに、感光性銅ペーストまたは感光性銀ペーストを用いてセラミックパッケージを試作した。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
実施例１
表１に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み２００μｍのグリーンシートを作製した。露光は片面から行い、３０℃にてシャワー現像を行った。パターン形成はセラミックグリーンシート上に銅ペーストを全面塗布し、ビアホールの導体充填を同時に行った。焼成後も良好なビアホール形状が得られた。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
実施例２
表１に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み３００μｍのグリーンシートを作製した。露光は両面同時に行い、３５℃にてシャワー現像を行った。パターン形成はフィルム上に銅ペーストを全面塗布し、ビアホール形成した後、セラミックグリーンシートへ転写した。焼成後も良好なビアホール形状が得られた。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
実施例３
表１に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み３００μｍのグリーンシートを作製した。露光は両面同時に行い、３５℃にてシャワー現像を行った。パターン形成はフィルム上に銀ペーストを全面塗布し、ビアホール形成した後、セラミックグリーンシートへ転写した。焼成後も良好なビアホール形状が得られた。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
実施例４
表１に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み４００μｍのグリーンシートを作製した。露光は両面同時に行い、３５℃にてシャワー現像を行った。パターン形成はフィルム上に銀ペーストを全面塗布し、ビアホール形成した後、セラミックグリーンシートへ転写した。焼成後も良好なビアホール形状が得られた。


【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
実施例５
表１に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み２００μｍのグリーンシートを作製した。露光は両面から同時に行い、３５℃にて現像液中に静置し、現像を行った。その後、グリーンシート上に銀ペーストをスクリーン印刷し、回路形成とビアホール充填を同時に行った。焼成後も良好なビアホール形状が得られた。


【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
比較例１
表２に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み２００μｍの感光性アルミナグリーンシートに、片面露光、現像温度３０℃にてビアホール形成を行った。


【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
比較例２
表２に記載の組成からなる感光性セラミック組成物を用いて、シート厚み３００μｍの感光性コーディライトグリーンシートに、片面露光、現像温度３０℃にてビアホール形成を行った。


【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
【表１】
1998265270.tif 000001
【表２】
1998265270.tif 000002