【手続補正書】
【提出日】平成15年8月15日(2003.8.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学効果を持つ電気光学素子と、
前記電気光学素子に光を照射する第１光源と、
前記電気光学素子を通った光の偏光状態を解析して被測定対象の電圧波形の交流成分を出力する偏光解析器と、
前記被測定対象の電圧波形の直流成分を出力する増幅器と、
前記交流成分と前記直流成分とを合成して被測定対象の測定波形を得る電圧波形合成処理部と
を有する電圧波形測定装置。
【請求項２】
電気光学効果を持つ電気光学素子と、
前記電気光学素子に光を照射する第１光源と、
前記電気光学素子を通った光の偏光状態を解析して被測定対象の電圧波形の高周波成分を出力する偏光解析器と、
前記被測定対象の電圧波形の低周波成分を出力する増幅器と、
前記高周波成分と前記低周波成分とを合成して被測定対象の測定波形を得る電圧波形合成処理部と
を有する電圧波形測定装置。
【請求項３】
前記被測定対象に接触する針状導体を備える
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電圧波形測定装置。
【請求項４】
前記電気光学素子は、
ＢＳＯ、ＧａＡｓまたはＺｎＴｅの何れかの電気光学材料である
ことを特徴とする請求項１、請求項２または請求項３に記載の電圧波形測定装置。
【請求項５】
前記増幅器が、出力を入力に帰還するように構成されている
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３または請求項４に記載の電圧波形測定装置。
【請求項６】
上記電気光学素子に取り付けられて被測定対象に電気的に接続される第１電極と、
上記電気光学素子に上記第１電極と分離して取り付けられた第２電極と、
を備えることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４または請求項５に記載の電圧波形測定装置。
【請求項７】
前記増幅器は、
入力トランジスタとして電界効果トランジスタを用いた演算増幅器で構成したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５または請求項６に記載の電圧波形測定装置。
【請求項８】
前記第２電極は透明電極であり、前記電気光学素子の第１電極と対向する面に取り付けられている
ことを特徴とする請求項６に記載の電圧波形測定装置。
【請求項９】
前記増幅器の出力を検出するときに前記第２電極を増幅器の入力端子に接続し、
前記偏光解析器の出力を検出するときに上記第２電極を増幅器から切り離すかまたは終端させる
ことを特徴とする請求項６に記載の電圧波形測定装置。
【請求項１０】
前記電気光学素子に導電性を与える波長の光を照射する第２光源を有する
ことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６、請求項７、請求項８または請求項９に記載の電圧波形測定装置。
【請求項１１】
前記電気光学素子上の第１電極と第２電極との間を接続する光導電体または抵抗体を備える
ことを特徴とする請求項６に記載の電圧波形測定装置。
【請求項１２】
前記第２電極に一端を接続され、他端を接地された高抵抗素子を設けたことを特徴とする請求項６に記載の電圧波形測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、電気光学効果を持つ電気光学素子と、
前記電気光学素子に光を照射する第１光源と、
前記電気光学素子を通った光の偏光状態を解析して被測定対象の電圧波形の交流成分を出力する偏光解析器と、
前記被測定対象の電圧波形の直流成分を出力する増幅器と、
前記交流成分と前記直流成分とを合成して被測定対象の測定波形を得る電圧波形合成処理部とを有する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
このように増幅器により被測定対象の電圧波形の直流成分を検出し、この直流成分を偏光解析器で得た交流成分と合成することにより、被測定対象の電圧波形を直流成分から交流成分まで高精度に測定することができる。
請求項２に記載の発明は、電気光学効果を持つ電気光学素子と、
前記電気光学素子に光を照射する第１光源と、
前記電気光学素子を通った光の偏光状態を解析して被測定対象の電圧波形の高周波成分を出力する偏光解析器と、
前記被測定対象の電圧波形の低周波成分を出力する増幅器と、
前記高周波成分と前記低周波成分とを合成して被測定対象の測定波形を得る電圧波形合成処理部とを有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このように増幅器により被測定対象の電圧波形の低周波成分を検出し、この低周波成分を偏光解析器で得た高周波成分と合成することにより、被測定対象の電圧波形を直流成分から高周波成分まで高精度に測定することができる。
請求項３に記載の発明は、前記被測定対象に接触する針状導体を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項４に記載の発明では、前記電気光学素子は、
ＢＳＯ、ＧａＡｓまたはＺｎＴｅの何れかの電気光学材料である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項５に記載の発明では、前記増幅器が、出力を入力に帰還するように構成されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項６に記載の発明は、上記電気光学素子に取り付けられて被測定対象に電気的に接続される第１電極と、
上記電気光学素子に上記第１電極と分離して取り付けられた第２電極と、
を備える。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項７に記載の発明では、前記増幅器は、
入力トランジスタとして電界効果トランジスタを用いた演算増幅器で構成する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
これにより、増幅器の入力インピーダンスを電気光学素子の第１電極と第２電極との間の抵抗値に比べて充分に高くでき、第２電極の第１電極に対する電圧降下を小さくすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項８に記載の発明では、前記第２電極は透明電極であり、前記電気光学素子の第１電極と対向する面に取り付けられている。
このように、第２電極を透明電極とすることにより、電気光学素子の印加電界方向と測定光の進行方向が平行な縦型変調を行うことが可能となる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項９に記載の発明は、前記増幅器の出力を検出するときに前記第２電極を増幅器の入力端子に接続し、
前記偏光解析器の出力を検出するときに上記第２電極を増幅器から切り離すかまたは終端させる。
このように、第２電極を増幅器から切り離すことで配線がアンテナとなって第２電極にノイズが入り込むのを防ぐことができ、高周波成分の測定時に第２電極に発生する電圧を吸収して反射による測定波形のみだれを防止できる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
請求項１０に記載の発明は、前記電気光学素子に導電性を与える波長の光を照射する第２光源を有する。
これにより、電気光学素子の抵抗値が高すぎて増幅器の電圧測定精度が得られない場合に上記電気光学素子の抵抗値を低下させることができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
請求項１１に記載の発明は、前記電気光学素子上の第１電極と第２電極との間を接続する光導電体または抵抗体を備える。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
これにより、電気光学素子自体の光導電性を利用するよりも効率良く第１，第２電極間の抵抗低減を行うことができ、また、電気光学素子の抵抗値が高すぎる場合に、第１，第２電極間の抵抗値を抵抗体によって簡単に所定の値に設定することができる。
請求項１２に記載の発明は、前記第２電極に一端を接続され、他端を接地された高抵抗素子を設ける。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
これによって、抵抗体と高抵抗素子夫々の抵抗値を用いて増幅器の出力電圧から第１電極の平均電圧を正確に知ることができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
【発明の効果】
上述の如く、請求項１に記載の発明によれば、増幅器により被測定対象の電圧波形の直流成分を検出し、この直流成分を偏光解析器で得た交流成分と合成することにより、被測定対象の電圧波形を直流成分から交流成分まで高精度に測定することができる。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
また、請求項２に記載の発明によれば、増幅器により被測定対象の電圧波形の低周波成分を検出し、この低周波成分を偏光解析器で得た高周波成分と合成することにより、被測定対象の電圧波形を直流成分から高周波成分まで高精度に測定することができる。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
また、請求項７に記載の発明によれば、増幅器の入力インピーダンスを電気光学素子の第１電極と第２電極との間の抵抗値に比べて充分に高くでき、第２電極の第１電極に対する電圧降下を小さくすることができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
また、請求項８に記載の発明によれば、第２電極を透明電極とすることにより、電気光学素子の印加電界方向と測定光の進行方向が平行な縦型変調を行うことが可能となる。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
また、請求項９に記載の発明によれば、第２電極を増幅器から切り離すことで配線がアンテナとなって第２電極にノイズが入り込むのを防ぐことができ、高周波成分の測定時に第２電極に発生する電圧を吸収して反射による測定波形のみだれを防止できる。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
また、請求項１０に記載の発明によれば、電気光学素子の抵抗値が高すぎて増幅器の電圧測定精度が得られない場合に上記電気光学素子の抵抗値を低下させることができる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
また、請求項１１に記載の発明によれば、電気光学素子自体の光導電性を利用するよりも効率良く第１，第２電極間の抵抗低減を行うことができ、また、電気光学素子の抵抗値が高すぎる場合に、第１，第２電極間の抵抗値を抵抗体によって簡単に所定の値に設定することができる。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
また、請求項１２に記載の発明によれば、抵抗体と高抵抗素子夫々の抵抗値を用いて増幅器の出力電圧から第１電極の平均電圧を正確に知ることができる。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】削除
【補正の内容】