【手続補正書】
【提出日】平成15年12月18日(2003.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】バルブ機構及び試料の搬送方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
底面に立設された側壁と該側壁の上部に配置された天井とで覆われ、且つ該底面上には試料を乗せるための台が配置されたチャンバと、
前記側壁に開口されて形成され、前記試料を前記チャンバ内に搬入或いはチャンバ内から搬出するための試料口と、
先端側の上に前記試料を乗せる部位を持つアームと、該アームを水平移動させて該試料を前記試料口から出し入れし、該試料を前記台上に乗せる場合には該アームを降下させる移動機構とを有する搬送機とを備えたシステムに設けられ、
前記試料口を塞いで前記チャンバを閉鎖するバルブ機構において、
前記搬送機と、
前記アームに取り付けられたバルブとで構成し、
前記アームを前記水平移動及び降下させたときに、前記アームの先端側が前記試料口に入ると共に前記バルブが該試料口に押し当てられ前記チャンバが閉鎖されるようにしたことを特徴とするバルブ機構。
【請求項２】
底面に立設された側壁と該側壁の上部に配置された天井とで覆われ、且つ該底面上には試料を乗せるための台が配置されたチャンバと、
前記側壁に開口されて形成され、前記試料を前記チャンバ内に搬入或いはチャンバ内から搬出するための試料口と、
先端側の上に前記試料を乗せる部位を持つアームと、該アームを水平移動させて該試料を前記試料口から出し入れし、該試料を前記台に乗せる場合には該アームを降下させる移動機構とを有する搬送機とを備えたシステムに設けられ、
前記試料口を塞いで前記チャンバを閉鎖するバルブ機構において、
前記側壁に水平に突設され、前記試料口に達する貫通孔を内側に有すると共に斜め上方を向く先端面を有するゲートと、
前記搬送機と、
前記搬送機のアームに取り付けられ、斜め下方を向く先端面を有するバルブとで構成し、
前記移動機構には、前記アームの下に設置され該アームを水平に導く水平部分と該アームを下方に導く湾曲部分とを有し、該アームを前記チャンバに導き該アームの先端を前記試料口に入れたときに、前記バルブの先端面と前記ゲートの先端面とを密着させて前記チャンバを閉鎖するレールを設けたことを特徴とするバルブ機構。
【請求項３】
底面に立設された側壁と該側壁の上部に配置された天井とで覆われ、該底面上には試料を乗せるための台が配置されたチャンバと、
前記側壁に開口されて形成され、前記試料を前記チャンバ内に搬入或いはチャンバ内から搬出するための試料口と、
先端側の上に前記試料を乗せる部位を持つアームと、該アームを水平移動させて該試料を前記試料口から出し入れし、該試料を前記台に乗せる場合には該アームを降下させる移動機構とを有する搬送機とを備えたシステムに設けられ、
前記試料口を塞いで前記チャンバを閉鎖するバルブ機構において、
前記チャンバの側壁に水平に突設され、前記試料口に達する貫通孔を内側に有すると共に斜め下方に向く先端面を有するゲートと、
前記ゲートの下側に配置され、斜め上方に向く先端面を有するバルブと、
前記バルブを上方へ押すバルブ移動手段とを備え、
前記バルブ移動手段で前記バルブを押したときに、前記ゲートの先端面と前記バルブの先端面が密着して前記チャンバが閉鎖される構成にしたことを特徴とするバルブ機構。
【請求項４】
管路の端部を閉鎖するバルブ機構において、
前記管路の端部に押し当てられたとき該端部を閉鎖するバルブと、
軸方向に前進及び後退するシャフトと、
前記シャフトの先端に前記バルブを首ふり自在に連結する連結手段とを備え、
前記シャフトが前進したとき前記バルブで前記管路の端部を閉鎖する構成にしたことを特徴とするバルブ機構。
【請求項５】
前記バルブの先端側は円錐の形状を有し、該円錐の斜面で前記管路の端部を閉鎖する構成にしたことを特徴とする請求項４記載のバルブ機構。
【請求項６】
試料を搬入或いは搬出するための試料口を閉鎖することにより構成される空間内に試料を載置する台が内在されたチャンバの前記台に対して、搬送手段にて搬送される試料を前記試料口を介して搬入或いは搬出する試料の搬送方法において、
前紀搬送手段には、水平移動可能な試料搬送アームと、該搬送アームに取り付けられたバルブとを有し、前記台に対して前記搬送アームにて前記試料を搬入或いは搬出する際、前記搬送アームが前記試料口を介して前記空間内に入ると共に前記バルブにて前記試料口を閉鎖することを特徴とする試料の搬送方法。
【請求項７】
前記試料口は前記試料の搬入を行うための搬入口と、前記試料の搬出を行うための搬出口とで構成されると共に、前記搬送手段は前記搬送アームを、前記試料を前記搬人口を介して前記台上へ搬入するための水平移動可能な試料搬入アームと、前記試料を前記搬出口を介して前記台上から搬出するための水平移動可能な試料搬出アームとで構成し、前記バルブを前記搬入アームに取り付けられた搬入用バルブと、前記搬出アームに取り付けられた搬出アームとで構成し、該バルブにて閉鎖状態を保ちながら前記台上への試料の載置或いは前記台上から試料の取り出しを行うことを特徴とする請求項６記載の試料の搬送方法。
【請求項８】
前記搬送口には傾斜面を有するゲートが設けられると共に前記バルブには前記ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、該バルブと該ゲートのそれぞれの傾斜面を密着して、試料の搬送を行うことを特徴とする請求項６記載の試料の搬送方法。
【請求項９】
前記搬入口には傾斜面を有する搬入ゲートが設けられると共に前記搬入用バルブには前記搬入ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、前記搬出口には傾斜面を有する搬出ゲートが設けられると共に前記搬出用バルブには前記搬出ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、前記搬入用バルブと前記搬入ゲートのそれぞれの傾斜面及び前記搬出用バルブと前記搬出ゲートのそれぞれの傾斜面を密着して、試料の搬送を行うことを特徴とする請求項７記載の試料の搬送方法。
【請求項１０】
前記ゲートの傾斜面はテーパ状であり、前記バルブの傾斜面は逆テーパ状であり、前記バルブは水平に移動した後に、前記ゲートの傾斜面を押圧する方向へ付勢されることを特徴とする請求項８記載の試料の搬送方法。
【請求項１１】
前記搬入ゲート及び前記搬出ゲートの傾斜面はテーパ状であり、前記搬入用バルブ及び前記搬出用バルブの傾斜面は逆テーパ状であり、前記搬入用バルブ或いは前記搬出用バルブはそれぞれ水平に移動した後に、前記搬入ゲート或いは前記搬出ゲートの傾斜面を押圧する方向へ付勢されることを特徴とする請求項９記載の試料の搬送方法。
【請求項１２】
試料を搬入或いは搬出するための試料口を閉鎖することにより構成される空間内に試料を載置する台が内在されたチャンバの前記台に対して、搬送手段にて搬送される試料を前記試料口を介して搬入或いは搬出する試料の搬送方法において、
前記チャンバの前記試料口には傾斜面を有するゲートが設けられ、前記搬送手段には、水平移動可能な試料搬送アームと、前記傾斜面と密着可能な傾斜面を有する、垂直方向に移動可能なバルブとを有し、前記台に対して前記搬送アームを水平方向へ移動して前記試料を搬入或いは搬出した後、前記バルブを垂直方向へ移動して前記ゲートと前記バルブの傾斜面を密着させて前記試料口を閉鎖することを特徴とする試料の搬送方法。
【請求項１３】
前記ゲートの傾斜面は逆テーパ状であり、前記バルブの傾斜面はテーパ状として互いの傾斜面を密着させることを特徴とする請求項１２記載の試料の搬送方法。
【請求項１４】
前記試料口は前記試料の搬入を行うための搬入口と、前記試料の搬出を行うための搬出口とで構成され、前記ゲートは前記搬入口に設けられ、前記傾斜面を有する搬入ゲートと、前記搬出口に設けられ、前記傾斜面を有する搬出ゲートとで構成され、前記搬送手段における前記搬送アームは前記試料を前記搬入口を介して前記台上へ搬入するための水平移動可能な試料搬入アームと、前記試料を前記搬出口を介して前記台上から搬出するための水平移動可能な試料搬出アームとで構成され、前記バルブは前記搬入ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面を有する搬入用バルブと、前記搬出ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面を有する搬出アームとで構成し、該バルブにて閉鎖状態を保つようにしたことを特徴とする請求項１２または１３記載の試科の搬送方法。
【請求項１５】
前記試料は半導体ウェハであり、前記チャンバはエッチャ或いは炉心管装置に設けられるものであることを特徴とする請求項１６〜１５のいずれか１項に記載の試料の搬送方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料である半導体ウエハを収容するスライトエッチャシステムや炉心管装置等におけるバルブ機構及び試料の搬送方法にするものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
図２は、従来のスライトエッチャシステムの正面図及び平面図である。
スライトエッチャシステムでは、側壁１ａで周囲が囲まれると共に天井１ｂで上部が覆われたチャンバ２を有している。チャンバ２の底面にホットプレート３が、台として配置されている。チャンバ２の周囲を囲む側壁１ａの両側に、搬送入口４と搬送出口５が開口されている。搬送入口４の外側に入口側ゲート６が設置され、この入口側ゲート６に、搬送入口４を閉鎖するバルブ６ａが設けられている。搬送出口５の外側に出口側ゲート７が設置され、この出口側ゲート７に、搬送出口５を閉鎖するバルブ７ａが設けられている。
このスライトエッチャシステムには、さらに、試料である半導体ウエハ８をチャンバ２に搬入或いは搬出するための２系統の搬送機１０，２０が設けられている。各搬送機１０，２０は、搬送アームをそれぞれ備えている。搬送機１０の搬送アームは、搬送アーム本体１１とその先端に取り付けられた２本の平行な棒１２ａ，１２ｂとで構成されている。搬送機２０の搬送アームは、搬送アーム本体２１とその先端に取り付けられた２本の平行な棒２２ａ，２２ｂとで構成されている。各棒１２ａ，１２ｂ，２２ａ，２２ｂ上にウエハ８が乗せられるようになっている。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
図４（ａ），（ｂ）は、図２の動作の説明図であり、同図（ａ）は、搬送機１０の動き、及び同図（ｂ）は入口側ゲート６の動きを示している。
このスライトエッチャシステムにおいて、ウエハ８をチャンバ２に搬入して該チャンバ２を閉鎖する場合、まず、ウエハ８が棒１２ａ，１２ｂに乗せられる。そして、図４（ａ）のステップＳ１で、搬送機１０のエアシリンダ１４により、底板１３を上昇させ、ウエハ８の位置がホットプレート３よりも高くなるように、搬送アーム本体１１及び棒１２ａ，１２ｂの高さを調整する。ステップＳ２において、タイミングベルトをモータ等で動かし、支持体１７を水平に摺動させる。これにより、棒１２ａ，１２ｂの先端とウエハ８が搬送入口４を通過しチャンバ２内に入る。ステップＳ３において、エアシリンダ１４により、底板１３を降下させる。この降下により、ウエハ８がホットプレート３上に乗せられる。ステップＳ４において、タイミングベルトを駆動して支持体１７を摺動させ、搬送アーム本体１１及び棒１２ａ，１２ｂを元の位置に戻す。続くステップＳ５において、図４（ｂ）のように、入口側ゲート６のバルブ６ａを上昇させ、ステップＳ６においてバルブ６ａを搬送入口に押し付ける。これにより、チャンバ２が閉鎖される。以上が搬送入口４側の動作である。搬送機２０及び出口側ゲート７は、ウエハ８を搬出するときに使用され、これらが搬送機１０及び入口側ゲート６とは逆の動作を行う。
図５は、従来の炉心管装置のバルブ機構を示す斜視図である。
炉心管装置は、石英管３０にウエハを入れ、熱を加えてガスを注入してウエハ表面に膜を形成ものであり、管３０の端部は、シャフト３１の先端に設けられたバルブ３２で閉鎖されるようになっている。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のスライトエッチャシステム、炉心管装置、及び試料である半導体ウエハ８の搬送方法では、次のような課題があった。
スライトエッチャシステムでは、チャンバ２の搬送入口４及び搬送出口５に入口側ゲート６及び出口側ゲート７が取り付けられているので、バルブ６ａ，７ａの清掃が容易でなく、付着したごみ等を完全に除去できない場合がある。スライトチャンバシステム等では、チャンバ２内をいったん真空状態にし、一定の減圧下で酸素を注入して高周波で発振させるので、ごみ等の付着があると、それがリークの原因になるという課題があった。また、各搬送機１０，２０の搬送動作は、ステップＳ１〜Ｓ４のメカニカルな動作であり、ゲート６，７の動作も、ステップＳ５，Ｓ６のメカニカルな動作であり、信頼性に欠け、トラブルが発生しやすいという課題もあった。
一方、炉心管装置では、シャフト３１の軸と石英管３０の軸が完全に一致していない場合に、該石英管３０の端部を閉鎖できない。また、強くバルブ３２を押さえるようにすると、石英管３０の端部に加わる力が不均一になって、石英管３０の端部を痛めることになるという課題があった。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第５の発明は、第４の発明のバルブ機構において、バルブの先端側は円錐の形状を有し、該円錐の斜面で前記管路の端部を閉鎖する構成にしている。
第１の発明によれば、以上のようにバルブ機構を構成したので、バルブは、チャンバではなく、搬送機のアームに取り付けられ、その搬送機と一体になって移動してチャンバを閉鎖する。
第２の発明によれば、バルブはチャンバではなく、搬送機のアームに取り付けられ、そのアームと共にレールに沿って移動する。その結果、ゲートの先端面とバルブの先端面が密着してチャンバが閉鎖される。
第３の発明によれば、バルブは、チャンバに取り付けられておらず、バルブ移動手段によって押されて、ゲートの先端面とバルブの先端面が密着してチャンバが閉鎖される。
第４及び第５の発明によれば、シャフトが前進することにより、バルブが管路に押し当てられるが、連結手段により、バルブがシャフトに首ふり自在に連結されているので、シャフトの軸方向と管路の軸方向がずれていても、管路の端部がバルブで閉鎖される。
第６の発明は、試料を搬入或いは搬出するための試料口を閉鎖することにより構成される空間内に試料を載置する台が内在されたチャンバの前記台に対して、搬送手段にて搬送される試料を前記試料口を介して搬入或いは搬出する試料の搬送方法において、次のように構成している。
即ち、前紀搬送手段には、水平移動可能な試料搬送アームと、該搬送アームに取り付けられたバルブとを有し、前記台に対して前記搬送アームにて前記試料を搬入或いは搬出する際、前記搬送アームが前記試料口を介して前記空間内に入ると共に前記バルブにて前記試料口を閉鎖している。
第７の発明は、第６の発明の試料の搬送方法において、前記試料口は前記試料の搬入を行うための搬入口と、前記試料の搬出を行うための搬出口とで構成されると共に、前記搬送手段は前記搬送アームを、前記試料を前記搬人口を介して前記台上へ搬入するための水平移動可能な試料搬入アームと、前記試料を前記搬出口を介して前記台上から搬出するための水平移動可能な試料搬出アームとで構成し、前記バルブを前記搬入アームに取り付けられた搬入用バルブと、前記搬出アームに取り付けられた搬出アームとで構成し、該バルブにて閉鎖状態を保ちながら前記台上への試料の載置或いは前記台上から試料の取り出しを行っている。
第８の発明は、第６の発明の試料の搬送方法において、前記搬送口には傾斜面を有するゲートが設けられると共に前記バルブには前記ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、該バルブと該ゲートのそれぞれの傾斜面を密着して、試料の搬送を行っている。
第９の発明は、第７の発明の試料の搬送方法において、前記搬入口には傾斜面を有する搬入ゲートが設けられると共に前記搬入用バルブには前記搬入ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、前記搬出口には傾斜面を有する搬出ゲートが設けられると共に前記搬出用バルブには前記搬出ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面が設けられ、前記搬入用バルブと前記搬入ゲートのそれぞれの傾斜面及び前記搬出用バルブと前記搬出ゲートのそれぞれの傾斜面を密着して、試料の搬送を行っている。
第１０の発明は、第８の発明の試料の搬送方法において、前記ゲートの傾斜面はテーパ状であり、前記バルブの傾斜面は逆テーパ状であり、前記バルブは水平に移動した後に、前記ゲートの傾斜面を押圧する方向へ付勢される。
第１１の発明は、第９の発明の試料の搬送方法において、前記搬入ゲート及び前記搬出ゲートの傾斜面はテーパ状であり、前記搬入用バルブ及び前記搬出用バルブの傾斜面は逆テーパ状であり、前記搬入用バルブ或いは前記搬出用バルブはそれぞれ水平に移動した後に、前記搬入ゲート或いは前記搬出ゲートの傾斜面を押圧する方向へ付勢される。
第１２の発明は、試料を搬入或いは搬出するための試料口を閉鎖することにより構成される空間内に試料を載置する台が内在されたチャンバの前記台に対して、搬送手段にて搬送される試料を前記試料口を介して搬入或いは搬出する試料の搬送方法において、次のように構成している。
即ち、前記チャンバの前記試料口には傾斜面を有するゲートが設けられ、前記搬送手段には、水平移動可能な試料搬送アームと、前記傾斜面と密着可能な傾斜面を有する、垂直方向に移動可能なバルブとを有し、前記台に対して前記搬送アームを水平方向へ移動して前記試料を搬入或いは搬出した後、前記バルブを垂直方向へ移動して前記ゲートと前記バルブの傾斜面を密着させて前記試料口を閉鎖している。
第１３の発明は、第１２の発明の試料の搬送方法において、前記ゲートの傾斜面は逆テーパ状であり、前記バルブの傾斜面はテーパ状として互いの傾斜面を密着させている。
第１４の発明は、第１２または第１３の発明の試料の搬送方法において、前記試料口は前記試料の搬入を行うための搬入口と、前記試料の搬出を行うための搬出口とで構成され、前記ゲートは前記搬入口に設けられ、前記傾斜面を有する搬入ゲートと、前記搬出口に設けられ、前記傾斜面を有する搬出ゲートとで構成され、前記搬送手段における前記搬送アームは前記試料を前記搬入口を介して前記台上へ搬入するための水平移動可能な試料搬入アームと、前記試料を前記搬出口を介して前記台上から搬出するための水平移動可能な試料搬出アームとで構成され、前記バルブは前記搬入ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面を有する搬入用バルブと、前記搬出ゲートの傾斜面と密着可能な傾斜面を有する搬出アームとで構成し、該バルブにて閉鎖状態を保つようにしている。
第１５の発明は、第６〜第１５の発明のいずれか１つの発明の試料の搬送方法において、前記試料は半導体ウェハであり、前記チャンバはエッチャ或いは炉心管装置に設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
搬送機６０も、図６と同様の構成になっており、バルブ６１、２本の棒６２ａ，６２ｂと、搬送出口４５に嵌合する凸部６３とで構成されたアームを有している。なお、棒５２ａと棒５２ｂの間隔は、棒６２ａと棒６２ｂの間隔よりも、広くなっている。
図７（ａ），（ｂ）は、図１の搬送機５０，６０の動作の説明図であり、同図（ａ）が搬送機６０の動作、同図（ｂ）は搬送機５０の動作をそれぞれ示している。図８（ａ）〜（ｃ）は、チャンバ４２の内の様子を示す図であり、同図（ａ）及び（ｂ）は上面図、同図（ｃ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断面図を示している。
これら、図７（ａ），（ｂ）及び図８（ａ）〜（ｃ）を参照しつつ、ホットプレート４３にウエハ４８を乗せて、それをチャンバ４２を外気から閉鎖するときの動作を説明する。
搬送機６０側では、ステップＳ１１でエアシリンダ１４を上昇させ、バルブ６１、棒６２ａ，６２ｂ及び凸部６３を上昇させる。ステップＳ１２において、モータ等でタイミングベルトを駆動し、それらバルブ６１、棒６２ａ，６２ｂ及び凸部６３を水平移動させる。これにより、搬送アームの先端の棒６２ａ，６２ｂが、図８（ａ）のようにチャンバ４２内に入る。ステップＳ１３において、エアシリンダ１４を下げてバルブ６１、棒６２ａ，６２ｂ及び凸部６３を降下させる。これにより、図８（ｃ）のように、各棒６２ａ，６２ｂが溝４３ａ，４３ｂにそれぞれ入る。続くステップＳ１４において、タイミングベルトを駆動し、さらに、搬送アーム全体をチャンバ４２に移動させる。このステップＳ１４の動作で、図８（ｂ）のように、凸部６３が搬送出口４５に嵌合し、バルブ６１がＯリング４７を押圧して側壁４１ａに密着し、その搬送出口４５を閉鎖する。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
搬送機５０側では、ステップＳ１５でエアシリンダ１４を上昇させ、バルブ５１、棒５２ａ，５２ｂ及び凸部５３を上昇させる。ステップＳ１６において、モータ等でタイミングベルトを駆動し、それらバルブ５１、棒５２ａ，５２ｂ及び凸部５３を水平移動させる。これにより、搬送アームの先端の棒５２ａ，５２ｂが、チャンバ４２内に入る。ステップＳ１７において、エアシリンダ１４を下げてバルブ５１、棒５２ａ，５２ｂ及び凸部５３を降下させる。これにより、棒５２ａ，５２ｂが溝４３ａ，４３ｂに入り、ウエハ４８がホットプレート４３上に乗る。ここで、棒５２ａ，５２ｂの間隔は、棒６２ａ，６２ｂの間隔よりも広いので、図８（ｃ）のように、棒５２ａ，５２ｂと棒６２ａ，６２ｂとは、接触しないようになっている。続くステップＳ１８において、タイミングベルトを駆動し、さらに、搬送アーム全体をチャンバ４２側に移動させる。このステップＳ１８の動作で、図８（ｂ）のように、凸部５３が搬送入口４４に嵌合し、バルブ５１がＯリング４６を押圧して側壁に密着し、該搬送入口４４を閉鎖する。
以上のように、この第１の実施形態のスライトエッチャシステムでは、搬送入口４４及び搬送出口４５を閉鎖するバルブ機構を、搬送機５０，６０に設けたバルブ５１，６１と、該搬送機５０，６０の移動機構で構成しているので、次のような利点を有している。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
以上のように、この第３の実施形態では、搬送入口７４、搬送出口７５を閉鎖するバルブ機構を、ゲート１００，１０１と、バルブ１１０，１２０、及びエアシリンダ１１１，１２１とで構成している。よって、バルブ１１０，１２０が、ゲート１００，１０１から離れるので、バルブ１１０，１２０の清掃が容易になる共に、Ｏリング１００ｃ，１０１ｃの交換も容易である。そのうえ、ゲート１００，１０１の先端面が下方を向いているので、上からのごみ等が先端面に付着せず、バルブ１１０，１２０が完全に締まらないというトラブルを防止できる。さらに、バルブ１１０，１２０を閉める動作がそれぞれ１ステップであり、従来よりも構造がシンプルになると共に信頼性が高まる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図１４は、図１３中の軸受部１３３の構成例を示す断面図である。
軸受部１３３は、球状の先端部１３３ａと、該先端部１３３ａの後端側に延設された支持棒１３３ｂとを有している。先端部１３３ａにおける球の直径は、支持棒１３３ｂの太さよりも大きい。支持棒１３３ｂの後端がシャフト１３１の先端に適当な方法で取り付けられている。ここでは、この先端部１３３ａと支持棒１３３ｂとは、シャフトに取り付けるようにしたが、先端部１３３ａ及び支持棒１３３ｂは、シャフト１３１の先端側を削って作製することも、可能である。
バルブ１３２は、例えば２枚の板１３２ａ，１３２ｂで構成されている。その板１３２ａ，１３２ｂが、球状の先端部１３３ａを図１４のようにクランプしている。このようにすることで、バルブ１３２が上下左右に首ふり自在になっている。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
（１）  バルブ５１，６１，８１，９１，１１０，１２０，１３２，１３４の材質には、種々のものが考えられる。例えば、第１の実施形態では、ステンレスで構成したが、アルミニウムで構成することも可能である。また、弾性を有するゴムやプラスチックで構成することも可能である。
（２）  バルブ５１，６１，８１，９１，１１０，１２０，１３２，１３４を移動させる手段は、タイミングベルトやエアシリンダに限定されるものではなく、同様の動作を行うものであればよい。例えば、第１の実施形態において、タイミングベルトではなく、チェーン等で支持体１７を移動させてもよい。
（３）  第１〜第３の実施形態では、チャンバ４２，７２内にホットプレート４３，７３を配置したスライトエッチャシステムについて説明しているが、本発明は、試料をアームに乗せて水平移動及び降下をさせ、チャンバ内の台に乗せる他のシステムにも適用できる。
（４）  第４及び第５の実施形態では、炉心管装置に適用した例を説明しているが、管路の端部を閉鎖するバルブ機構を有する他の装置に対しても、適用が可能である。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
第３の発明によれば、チャンバの側壁に突設され、斜め下方に向く先端面を有するゲートと、ゲートの下側に配置され、斜め上方に向く先端面を有するバルブと、バルブを上方へ押すバルブ移動手段とを備え、バルブ移動手段でバルブを押したときに、ゲートの先端面とバルブの先端面が密着してチャンバが閉鎖される構成にしたので、バルブを閉める動作が従来に比べて少なくなる。そのうえ、ゲートの先端面が斜め下方を向いているので、上からのごみがゲートに付着しなくなる。
第４及び第５の発明によれば、管路の端部を閉鎖するバルブ機構において、バルブ及びシャフトと、該シャフトの先端にそのバルブを首ふり自在に連結する連結手段とでバルブ機構を構成したので、シャフトの運動方向と管路の軸方向とにずれがあっても、バルブでその管路の端部を均一に閉鎖できると共に、管路の端部を痛めることを防止できる。
第６〜第１５の発明によれば、バルブにて試料口を閉鎖するようにしたので、搬送処理の内容が簡単になると共に搬送処理のステップ数が少なくなり、信頼性を向上できる。