【手続補正書】
【提出日】平成15年12月12日(2003.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】静電アクチュエータ駆動方法、静電アクチュエータ駆動機構
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子の相対移動位置を引数とする電圧関数により決定されることを特徴とする静電アクチュエータ駆動方法。
【請求項２】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定されることを特徴とする静電アクチュエータ駆動方法。
【請求項３】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子の位置と前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定されることを特徴とする静電アクチュエータ駆動方法。
【請求項４】
前記電圧関数が、前記可動子と前記駆動電極の間の静電容量を求める手順と、該静電容量の位置に関する１次と２次の導関数を求める手順と、前記可動子の前記固定子に対する位置をｘ、前記駆動電極の相数をｎ、第ｋ相の駆動電極と前記可動子の間の静電容量をＣｋ、第ｋ相の駆動電圧をＶｋとしたときに、
2000358385.tif 000001
を満たすようにＶｋを設定する手順と、を含む手順によって決定されることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ駆動方法。
【請求項５】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子の相対移動位置を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴とする静電アクチュエータ駆動機構。
【請求項６】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴とする静電アクチュエータ駆動機構。
【請求項７】
複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子の位置と前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴とする静電アクチュエータ駆動機構。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、上記した従来のものにおける課題を解決し、コストが安く、小型化が容易であり、駆動ステップを駆動電極のパターンピッチよりも小さくすることができる静電アクチュエータ駆動方法、静電アクチュエータ駆動機構、および静電アクチュエータを提供することを目的とするものである。
また、本発明は、位置決めされた移動子の保持剛性を自由に設定することができる静電アクチュエータ駆動方法、静電アクチュエータ駆動機構を提供することを目的とするものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を達成するために、静電アクチュエータ駆動方法、静電アクチュエータ駆動機構を、つぎのように構成したことを特徴とするものである。すなわち、つぎの（１）〜（７）のように構成したことを特徴としている。
（１）本発明の静電アクチュエータ駆動方法は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子の相対移動位置を引数とする電圧関数により決定されることを特徴としている。
（２）また、本発明の静電アクチュエータ駆動方法は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定されることを特徴としている。
（３）また、本発明の静電アクチュエータ駆動方法は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子を備え、前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動方法において、
前記駆動電極に印加する駆動電圧が、前記可動子の位置と前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定されることを特徴としている。
（４）また、本発明の静電アクチュエータ駆動方法は、前記電圧関数が、前記可動子と前記駆動電極の間の静電容量を求める手順と、該静電容量の位置に関する１次と２次の導関数を求める手順と、前記可動子の前記固定子に対する位置をｘ、前記駆動電極の相数をｎ、第ｋ相の駆動電極と前記可動子の間の静電容量をＣｋ、第ｋ相の駆動電圧をＶｋとしたときに、
2000358385.tif 000002
を満たすようにＶｋを設定する手順と、を含む手順によって決定されることを特徴としている。
（５）また、本発明の静電アクチュエータ駆動機構は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子の相対移動位置を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴としている。
（６）また、本発明の静電アクチュエータ駆動機構は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴としている。
（７）また、本発明の静電アクチュエータ駆動機構は、複数相の駆動電極を有する固定子と、該固定子上を相対的に移動する可動子と、駆動電圧印加手段を備え、該駆動電圧印加手段によって前記駆動電極に駆動電圧を印加して前記可動子を相対移動させる静電アクチュエータ駆動機構において、
前記駆動電圧印加手段が、前記駆動電極に印加する駆動電圧を、前記可動子の位置と前記可動子が静止位置に保持されるときの保持剛性を引数とする電圧関数により決定する電圧関数手段を有することを特徴とする静電アクチュエータ駆動機構。