(57)【要約】【課題】液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材を正しく接着固定する。【解決手段】流路板１２を負圧により吸引保持する手段を有する治具２６で該流路板１２を底面に吸引保持する工程と、上記治具２６底面に吸引保持された流路板１２を基板部材１０の上面にセットする工程と、上記基板部材１０の上面にセットされた流路板１２をヘッドフレーム１１に接着剤３２で接着固定する工程と、上記接着固定された流路板１２の治具２６による吸引保持を解除して該治具２６を取り除く工程と、を行うものである。これにより、上記治具２６で流路板１２を負圧により底面に吸引保持して治具２６の底面に倣わせ、流路板１２の反りや変形を簡易に矯正して、該流路板１２をヘッドフレーム１１に正しく接着固定することができる。【選択図】    図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体加圧室の一側面を構成すると共に複数の液体吐出ノズルが形成されたノズル部材上に、上記液体加圧室の対向側面を構成し該液体加圧室内の液体を上記液体吐出ノズルから吐出させるエネルギーを発生する液体吐出手段を備えた基板部材を配置すると共に、構造隔壁としてのヘッドフレームを配置し、上記基板部材に前記液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材を接着して構成される液体吐出ヘッドの製造方法であって、
上記流路形成部材を負圧により吸引保持する手段を有する治具で該流路形成部材を底面に吸引保持する工程と、
上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を上記基板部材の上面にセットする工程と、
上記基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で接着固定する工程と、
上記接着固定された流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除く工程と、
を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
液体加圧室の一側面を構成すると共に複数の液体吐出ノズルが形成されたノズル部材上に、上記液体加圧室の対向側面を構成し該液体加圧室内の液体を上記液体吐出ノズルから吐出させるエネルギーを発生する液体吐出手段を備えた基板部材を配置すると共に、構造隔壁としてのヘッドフレームを配置し、上記基板部材に前記液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材を接着して構成される液体吐出ヘッドの製造方法であって、
上記流路形成部材を負圧により吸引保持する手段を有する治具で該流路形成部材を底面に吸引保持する工程と、
上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を上記基板部材の上面にセットする工程と、
上記基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに対して接着剤で仮止めする工程と、
上記仮止めされた流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除く工程と、
上記治具を取り除いた後にヘッドフレームに対して流路形成部材を接着剤で本止め固定する工程と、
を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
上記治具は、上記流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する接着剤を注入するための一つ以上の孔又は切欠き部を有していることを特徴とする請求項１又は２記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
上記治具は、上記流路形成部材に対する負圧による吸引保持力で、該流路形成部材の反りや変形を矯正することを特徴とする請求項１又は２記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
上記治具は、負圧で吸引保持した流路形成部材を上記基板部材の上面にセットした状態で該流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間のギャップを所定間隔に保持することを特徴とする請求項１又は２記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
液体加圧室の一側面を構成すると共に複数の液体吐出ノズルが形成されたノズル部材上に、上記液体加圧室の対向側面を構成し該液体加圧室内の液体を上記液体吐出ノズルから吐出させるエネルギーを発生する液体吐出手段を備えた基板部材を配置すると共に、構造隔壁としてのヘッドフレームを配置し、上記基板部材に前記液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材を接着して構成される液体吐出ヘッドの製造方法に使用する治具であって、
上記流路形成部材よりも広幅で且つ全長が長く形成され、上面にはエアー吸引手段が設けられ、底面には上記エアー吸引手段と連通して流路形成部材を負圧により吸引保持する凹所が設けられ、上記流路形成部材の高さよりも下向きに長く伸びた所定長の治具足を複数備えると共に、流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する接着剤を注入するための一つ以上の孔又は切欠き部を備えたことを特徴とする治具。
【請求項７】
上記エアー吸引手段及び凹所は、上記流路形成部材に対する負圧による吸引保持力で、該流路形成部材の反りや変形を矯正するものであることを特徴とする請求項６記載の治具。
【請求項８】
上記治具足は、負圧で吸引保持した流路形成部材を上記基板部材の上面にセットした状態で該流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間のギャップを所定間隔に保持するものであることを特徴とする請求項６記載の治具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液体吐出手段を駆動して所定の液体を液体吐出ノズルから対象物に対して吐出する液体吐出ヘッドの製造方法に関し、詳しくは、液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材を正しく接着固定しようとする液体吐出ヘッドの製造方法及びその方法に使用する治具に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のこの種の液体吐出ヘッド、例えばインクジェット方式のプリントヘッドは、静電引力方式、連続振動発生方式（電気機械変換方式）又はサーマル方式（電気熱変換方式）等の方式でインク液の小滴をノズル部材に形成されたインク吐出ノズルから吐出させ、記録媒体に付着せしめて、文字や画像を印画するものである。特に、サーマル方式のプリントヘッドは簡易にカラー画像を形成できることから、普及が拡大している。
【０００３】
このようなプリントヘッドを製造するには、インク加圧室の一側面を構成すると共に複数のインク吐出ノズルが形成されたノズル部材上に、上記インク加圧室の対向側面を構成し該インク加圧室内のインクを上記インク吐出ノズルから吐出させるエネルギーを発生するインク吐出手段を備えた基板部材を配置すると共に、構造隔壁としてのヘッドフレームを配置し、上記基板部材に前記インク加圧室にインクを供給する流路を形成する流路板を接着剤で接着固定していた。そして、近年では、記録紙（例えばＡ４判）の一辺の幅にわたってノズル部材及び流路板が長尺に形成されたフルラインタイプのプリントヘッドが製造されるようになってきた。このようなプリントヘッドが記載されたものとして、特許文献１がある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−１２７１２９号公報（第３頁、図１０）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来のプリントヘッドにおいては、インク加圧室内のインクをインク吐出ノズルから吐出させるインク吐出手段を備えた基板部材の上面に、上記インク加圧室にインクを供給する流路板を接着剤で接着固定していたので、薄板状の流路板に反りや変形があるまま取り付けると、基板部材の上面に対して上記流路板が接着されない部分が生じ、そこからインク漏れが発生する場合があった。特に、フルラインタイプのプリントヘッドにおいては、流路板が長尺に形成されているので、それ自体で反りや変形が生じ易く、また、部品の輸送時や取り扱い時に反りや変形が生じることがあり、流路板の不接着部分が生じてインク漏れが発生することがあった。
【０００６】
これに対処して、従来は、プリントヘッドの製造現場において、作業者が流路板の反りや変形を修正しながら基板部材の上面に接着剤で接着固定していたが、完全に反りや変形を修正することはできず、不良品が出て歩留まりが悪くなることがあった。また、上記流路板を、それ自体に反りや変形が生じないように正確に製造するという手段もあるが、そのような高い製造精度を出すのが難しいと共に、その精度管理が難しく、且つ製造コストが高くなるものであった。
【０００７】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、液体加圧室に液体を供給する流路を形成する流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材を正しく接着固定しようとする液体吐出ヘッドの製造方法及びその方法に使用する治具を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明による液体吐出ヘッドの製造方法は、流路形成部材を負圧により吸引保持する手段を有する治具で該流路形成部材を底面に吸引保持する工程と、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットする工程と、上記基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で接着固定する工程と、上記接着固定された流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除く工程と、を行うものである。
【０００９】
このような方法により、治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持し、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットし、この基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で接着固定し、この接着固定された流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除いて、液体吐出ヘッドを製造する。これにより、上記治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持して治具底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに正しく接着固定することができる。
【００１０】
また、本発明による他の液体吐出ヘッドの製造方法は、流路形成部材を負圧により吸引保持する手段を有する治具で該流路形成部材を底面に吸引保持する工程と、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットする工程と、上記基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに対して接着剤で仮止めする工程と、上記仮止めされた流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除く工程と、上記治具を取り除いた後にヘッドフレームに対して流路形成部材を接着剤で本止め固定する工程と、を行うものである。
【００１１】
このような方法により、治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持し、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットし、この基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で仮止めし、この仮止めされた流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除き、この治具を取り除いた後にヘッドフレームに対して流路形成部材を接着剤で本止め固定して、液体吐出ヘッドを製造する。これにより、上記治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持して治具底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに仮止めした後に、本止め固定して正しく確実に接着固定することができる。
【００１２】
さらに、本発明による液体吐出ヘッドの製造方法に使用する治具は、流路形成部材よりも広幅で且つ全長が長く形成され、上面にはエアー吸引手段が設けられ、底面には上記エアー吸引手段と連通して流路形成部材を負圧により吸引保持する凹所が設けられ、上記流路形成部材の高さよりも下向きに長く伸びた所定長の治具足を複数備えると共に、流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する接着剤を注入するための一つ以上の孔又は切欠き部を備えたものである。
【００１３】
このような構成により、上面に設けられたエアー吸引手段及び底面に設けられた凹所により該底面に流路形成部材を負圧により吸引保持し、所定長の複数の治具足で上記流路形成部材を基板部材の上面側に保持し、一つ以上の孔又は切欠き部を利用して接着剤を注入して流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する。これにより、上記流路形成部材を負圧により治具底面に吸引保持して該底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに正しく接着固定することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明による液体吐出ヘッドの製造方法を適用して製造される液体吐出ヘッドの一例としてのインクジェット方式のプリントヘッドを備えたインクジェット記録装置の概要を示す斜視図である。ここでは、本発明による液体吐出ヘッドの製造方法を説明する前に、まず、インクジェット記録装置の概要について説明する。このインクジェット記録装置は、プリントヘッドにて記録媒体の所定位置に液体（インク液）を吐出して画像を形成するものであり、プリンター本体部１と、プリントヘッド２と、記録紙トレイ３とを備えている。
【００１５】
上記プリンター本体部１は、記録媒体である記録紙に対して適正に印画を行わせるための記録紙搬送機構部や電気回路部を内部に納めたものであり、上面にはプリントヘッド２を収納する収納部４が開口されており、その上端部には該収納部４を開閉する上蓋５が設けられている。また、プリンター本体部１の前面下部には、後述の記録紙トレイ３を装着するためのトレイ挿入口６が設けられている。なお、このトレイ挿入口６は記録紙の排紙口も兼ねている。
【００１６】
上記プリンター本体部１の収納部４には、プリントヘッド２が矢印Ａのように収納されて、着脱可能な状態に保持されている。ここでは、一例として記録紙（例えばＡ４判）の一辺の幅にわたってノズル部材及び流路形成部材が長尺に形成されたフルラインタイプのプリントヘッドを示している。また、上記プリンター本体部１のトレイ挿入口６には、記録紙トレイ３が着脱可能状態に装着されている。この記録紙トレイ３は、記録紙を重ねて収納するものであり、その上面部にはプリンター本体部１から排紙される記録紙の排紙受け部７が設けられている。
【００１７】
次に、上記プリントヘッド２の概要について説明する。図２は上記プリントヘッド２を示す横断面図であり、図３は図２の要部拡大断面図である。このプリントヘッド２は、固定状態にて記録媒体としての記録紙面上にインクを吐出して必要幅の印画を行う例えばフルラインタイプのものであり、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクタンク８ｙ，８ｍ，８ｃ，８ｋを備えると共に、ノズル部材９と、基板部材１０と、ヘッドフレーム１１と、流路板１２とを備え、上記各色のインクタンク８ｙ〜８ｋ毎に多数のインク吐出ノズルを有している。
【００１８】
そして、図３において、インク加圧室（液体加圧室）１３の一側面を構成すると共に複数のインク吐出ノズル（液体吐出ノズル）１４が形成されたノズル部材９上に、上記インク加圧室１３の対向側面を構成し該インク加圧室１３内のインクを上記インク吐出ノズル１４から吐出させるエネルギーを発生する発熱抵抗体（液体吐出手段）を備えた基板部材１０を配置すると共に、構造隔壁としてのヘッドフレーム１１を左右に配置し、上記基板部材１０に対して前記インク加圧室１３にインクを供給するインク流路１５を形成する流路板（流路形成部材）１２を接着して構成される。
【００１９】
上記インク加圧室１３は、底面にノズル部材９が配置され、側壁を形成する部位にバリア層１６が配置され、上記ノズル部材９に対向する天面には発熱抵抗体を備えてヒータチップと呼ばれる基板部材１０が配置されて構成されている。図３においては、上記バリア層１６の反対側にて対向する側壁を形成する部位には他のバリア層１６′が配置され、その上面にはインク流路を形成するためのダミーチップ１７が配置されている。そして、上記基板部材１０とダミーチップ１７は、図３において紙面に垂直に伸びるプリントヘッド２の長手方向にて、交互に並べて千鳥配置状に配置されている。なお、上記基板部材１０とダミーチップ１７はシリコン等の半導体基板から成り、バリア層１６，１６′は例えば熱硬化性樹脂から成る。
【００２０】
また、上記基板部材１０とダミーチップ１７の上面には、金属製の流路板１２が接着剤で接合され、その内部にインク流路１５が形成されており、例えばインクタンク８ｍからのインクは上記インク流路１５を通ってインク加圧室１３まで供給される。
【００２１】
さらに、上記ノズル部材９の上方には、図３に示すように、プリント基板１８が配置されており、このプリント基板１８と上記基板部材１０とがボンディング端子１９で接続されている。すなわち、ボンディング端子１９のコネクタピン２０がプリント基板１８に挿入され、上記コネクタピン２０から伸びる金線２１が基板部材１０に接続されており、プリント基板１８からの電気信号を基板部材１０に送るようになっている。なお、金線２１は封止剤２２で封止されて保護されている。
【００２２】
そして、ノズル部材９のインク吐出ノズル１４からインクを吐出させるには、上記プリント基板１８からの電気信号がボンディング端子１９→金線２１→基板部材１０と流れ、基板部材１０に設けられた発熱抵抗体に電流を送って発熱させ、インク加圧室１３内部に気泡が発生してその気泡と同等の体積分のインク滴２３がインク吐出ノズル１４から吐出される。その後、冷却によりインク加圧室１３内の気泡は消失する。なお、プリントヘッド２を動作させない状態においては、図１に示すヘッドキャップ２４が閉じて、ノズル部材９側が密閉されてインクが乾燥しないように保護されている。
【００２３】
次に、このようなプリントヘッド２を製造する液体吐出ヘッドの製造方法について、図４〜図１０を参照して説明する。まず、図４は、図２及び図３に示すプリントヘッド２を紙面に垂直に伸びる長手方向において見た正面断面図であり、液体吐出ヘッドの製造工程の初期段階において、ノズル部材９上に、バリア層１６，１６′と基板部材１０とダミーチップ１７とヘッドフレーム１１とが配置された状態を示している。
【００２４】
この状態で、上記基板部材１０及びダミーチップ１７の上面に、図３に示す流路板１２を接着するが、そのために基板部材１０及びダミーチップ１７の上面には、塗布量が管理された例えばシリコン接着剤等の第１の接着剤２５が一様に塗布されている。なお、シリコン接着剤は、液体のシール性に優れているため、流路板１２の接着及び封止に適している。
【００２５】
次に、図５に示すように、図３に示す流路板１２を負圧により吸引保持する手段を有する治具２６で該流路板１２を長手方向に沿って、底面に吸引保持する。ここで、上記治具２６には、流路板１２を負圧により吸引保持する手段として、上面にはエアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂが設けられ、底面には上記エアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂと連通して流路板１２を負圧により吸引保持する２本の凹所２８が設けられている。上記エアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂは、その上端部が図示外の例えば真空吸引装置に接続されており、下端部が治具２６の肉厚部内で上記凹所２８に連通している。また、凹所２８は、治具２６の底面にてその長手方向に沿って細長い凹状溝に形成されており、その長さは治具２６の全長よりもやや短くされている。
【００２６】
そして、上記治具２６の底面部は、全長にわたって平面仕上げがされている。また、治具２６の両側辺には、上記流路板１２の高さよりも下向きに長く伸びた所定長の治具足２９が例えば６本突出している。このような状態で、図５において、エアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂに接続された真空吸引装置を駆動してエアーを矢印Ｂのように真空吸引し、凹所２８で治具２６の下方に位置する流路板１２をその全長にわたって、矢印Ｃのように真空吸着する。
【００２７】
すると、図６に示すように、上記流路板１２はその全長にわたって治具２６の底面に沿って真空吸着により吸引保持される。このとき、図５において、流路板１２の両端部が例えば下向きに湾曲して変形していても、上記治具２６の底面部は平面仕上げがされているので、該治具２６への真空吸着によってその底面部に倣って平面状に保持される。すなわち、上記治具２６は、流路板１２に対する負圧による吸引保持力で、該流路板１２の反りや変形を矯正することができる。
【００２８】
次に、図７に示すように、図６に示す治具２６の底面に吸引保持された流路板１２を図４に示す基板部材１０及びダミーチップ１７の上面にセットする。このとき、基板部材１０及びダミーチップ１７の上面に流路板１２を矢印Ｄのように下降させたときに、治具足２９の下端がノズル部材９の上面に接することにより、上記治具２６の下降が停止するようになっている。そして、上記治具足２９が所定の長さに設定されているので、上記治具２６で吸引保持した流路板１２を基板部材１０及びダミーチップ１７の上面にセットした状態で、該流路板１２の底面部と基板部材１０及びダミーチップ１７の上面との間のギャップを所定間隔（例えば３０μｍ程度）に保持することができる。したがって、第１の接着剤２５の厚みを正しく管理できる。なお、第１の接着剤２５は、基板部材１０及びダミーチップ１７の上面に塗布せずに、図６において、流路板１２の底面部に塗布してもよい。
【００２９】
次に、図８に示すように、上記基板部材１０及びダミーチップ１７の上面にセットされた流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着剤で仮止めする。このとき、治具２６の両側部には、上記流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着固定する接着剤を上面から注入するための一つ以上の注入孔３０又は切欠き部が形成されている。この注入孔３０は、例えば片側に３個ずつ、合計６個設けられている。そして、これらの注入孔３０内に、例えば接着剤注入針３１を挿入し、仮止め用の第２の接着剤３２を注入して、上記流路板１２の外側面とこれに対向するヘッドフレーム１１の内側面とを、例えば６箇所だけ部分的に接着して仮止めする。
【００３０】
上記仮止め用の第２の接着剤３２は、速乾性に優れた接着剤であり、例えば紫外線照射により硬化するＵＶ接着剤を用いればよい。第２の接着剤３２としてＵＶ接着剤を注入した場合は、上記接着剤注入針３１を抜き出した後に、注入孔３０内に例えば光ファイバを挿入し、紫外線を照射してＵＶ接着剤を硬化して仮止めする。なお、速乾性に優れた接着剤であるならば、ＵＶ接着剤以外のものを第２の接着剤３２としてもよい。
【００３１】
このように、速乾性に優れた第２の接着剤３２で流路板１２をヘッドフレーム１１に対して仮止めするので、図７に示す第１の接着剤２５が未硬化であっても、治具２６の流路板１２に対する負圧による吸引保持力で該流路板１２の反りや変形を矯正した状態のままで、基板部材１０及びダミーチップ１７の上面に対する流路板１２の位置関係を正しく保持することができる。
【００３２】
次に、図９に示すように、上記仮止めされた流路板１２の治具２６による吸引保持を解除してその治具２６を取り除く。すなわち、治具２６の上面に設けられたエアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂによるエアーの真空吸引を停止すると、治具２６による流路板１２の吸引保持が解除されて、流路板１２と治具２６とが離れるので、この治具２６を矢印Ｅのように上昇させる。これにより、治具２６が流路板１２の上方から取り除かれる。
【００３３】
次に、図１０に示すように、上記治具２６を取り除いた後に、ヘッドフレーム１１に対して流路板１２を接着剤で本止め固定する。すなわち、流路板１２の両側部において前記仮止めした第２の接着剤３２の無い部分に本止め用の接着剤を注入して（図１０では第２の接着剤３２に隠れて見えない）、流路板１２の両側部の外側面とこれに対向するヘッドフレーム１１の内側面とを接着して固定する。これにより、図８に示す流路板１２をヘッドフレーム１１に対して仮止めした状態を維持して、該流路板１２の反りや変形を矯正した状態でヘッドフレーム１１に対して本止め固定することができる。本止め用の接着剤としては、接着力の強いものが望ましく、例えばＵＶ接着剤を用いればよい。このＵＶ接着剤を使用した場合は、本止め用の接着剤を注入した後に、その部分に紫外線を照射して硬化させる。
【００３４】
これにより、ノズル部材９上の基板部材１０及びダミーチップ１７の上面に対して流路板１２を正しく保持して、該流路板１２がヘッドフレーム１１に対して接着固定されたので、その後図３に示すように、ボンディング端子１９を配置して接着し、さらにプリント基板１８を配置して、該プリント基板１８と上記基板部材１０とがボンディング端子１９で接続される。このようにして、図２及び図３に示すプリントヘッド２が製造される。
【００３５】
なお、以上の説明では、流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着剤で仮止めした後に、治具２６を取り除き、その後ヘッドフレーム１１に対して流路板１２を接着剤で本止め固定するものとしたが、本発明はこれに限られず、流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着剤で直接接着固定してもよい。すなわち、図８において、治具２６の両側部に形成された接着剤注入用の注入孔３０又は切欠き部から接着剤を注入して、いきなり本止め固定してもよい。この場合は、図８に示す治具２６の両側部に形成される接着剤注入用の注入孔３０又は切欠き部を、仮止めを行う際の個数よりも多く形成すればよい。
【００３６】
また、以上の説明においては、液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット方式のプリントヘッド、その内でも記録紙（例えばＡ４判）の一辺の幅にわたってノズル部材９及び流路板１２が長尺に形成されたフルラインタイプのプリントヘッドを製造する場合について述べたが、本発明はこれに限られず、シリアルタイプのプリントヘッドにも適用することができるし、或いは、液体吐出手段を駆動して所定の液体を液体吐出ノズルから対象物に対して吐出するものであるならば、他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。
【００３７】
次に、上述の液体吐出ヘッドの製造方法に使用する治具２６について、図１１及び図１２を参照して説明する。この治具２６は、例えばプリントヘッドの製造方法において、前述の流路板１２に対する負圧による吸引保持力で該流路板１２の反りや変形を矯正すると共に、上記流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着固定する接着剤を注入するもので、その本体部２６ａは図８に示す流路板１２よりも広幅で、且つ全長が長く形成されている。
【００３８】
上記本体部２６ａには、図１１に示すように、流路板１２を負圧により吸引保持する手段として、上面にはエアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂが設けられ、底面には上記エアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂと連通して流路板１２を負圧により吸引保持する２本の凹所２８が設けられている。上記エアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂは、その上端部が図示外の例えば真空吸引装置に接続されており、下端部が本体部２６ａの肉厚部内で上記凹所２８に連通している。また、凹所２８は、本体部２６ａの底面にてその長手方向に沿って細長い凹状溝に形成されており、その長さは治具２６の全長よりもやや短くされている。
【００３９】
なお、図１２に示すように、上記凹所２８は、図８に示す流路板１２内に形成されたインク供給管３３を避けるために、左右２箇所に凹所２８ａ，２８ｂが形成されている。そして、一方の凹所２８ａに一方のエアー吸引パイプ２７ａが接続され、他方の凹所２８ｂに他方のエアー吸引パイプ２７ｂが接続されている。このエアー吸引パイプ２７ａ，２７ｂ及び凹所２８ａ，２８ｂにより、上記流路板１２に対する負圧による吸引保持力で、該流路板１２の反りや変形を矯正することができる。
【００４０】
そして、上記本体部２６ａの底面部は、全長にわたって平面仕上げがされている。これにより、図５に示すように、流路板１２の両端部が例えば下向きに湾曲して変形していても、治具２６への真空吸着によってその底面部に倣って流路板１２は平面状に保持される。
【００４１】
また、本体部２６ａの両側辺には、上記流路板１２の高さよりも下向きに長く伸びた所定長の治具足２９が例えば６本突出している。これにより、負圧で吸引保持した流路板１２を図８に示す基板部材１０及びダミーチップ１７の上面にセットした状態で該流路板１２の底面部と基板部材１０及びダミーチップ１７の上面との間のギャップを所定間隔（例えば３０μｍ程度）に保持することができる。なお、上記治具足２９は６本に限られず、４本でもよいし、或いは７本以上であってもよい。
【００４２】
さらに、図１２に示すように、本体部２６ａの両側部には、図８に示す流路板１２をヘッドフレーム１１に対して接着固定する接着剤を上面から注入するための一つ以上の注入孔３０又は切欠き部が形成されている。この注入孔３０は、例えば片側に３個ずつ、合計６個設けられている。そして、これらの注入孔３０内に、図８に示すように、例えば接着剤注入針３１を挿入し、仮止め用の第２の接着剤３２を注入して、上記流路板１２の外側面とこれに対向するヘッドフレーム１１の内側面とを、例えば６箇所だけ部分的に接着して仮止めするようになっている。なお、上記注入孔３０は６個に限られず、４個でもよいし、或いは７個以上であってもよい。また、注入する接着剤は、仮止め用の接着剤でもよいし、本止め用の接着剤でもよい。
【００４３】
そして、このように構成された治具２６は、図４〜図１０を参照して説明した液体吐出ヘッドの製造方法における使用と同様に使用すればよい。
【００４４】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、請求項１に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持し、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットし、この基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で接着固定し、この接着固定された流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除いて、液体吐出ヘッドを製造する。これにより、上記治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持して治具底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに正しく接着固定することができる。したがって、流路形成部材の部分から液体漏れが発生するのを防止することができる。また、上記流路形成部材を適切な寸法誤差内で効率よく接着でき、液体吐出ヘッドの生産性を向上することができる。
【００４５】
また、請求項２に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持し、上記治具底面に吸引保持された流路形成部材を基板部材の上面にセットし、この基板部材の上面にセットされた流路形成部材をヘッドフレームに接着剤で仮止めし、この仮止めされた流路形成部材の治具による吸引保持を解除して該治具を取り除き、この治具を取り除いた後にヘッドフレームに対して流路形成部材を接着剤で本止め固定して、液体吐出ヘッドを製造する。これにより、上記治具で流路形成部材を負圧により底面に吸引保持して治具底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに仮止めした後に、本止め固定して確実に接着固定することができる。したがって、流路形成部材の部分から液体漏れが発生するのを防止することができる。また、上記流路形成部材を適切な寸法誤差内で効率よく接着でき、液体吐出ヘッドの生産性を向上することができる。
【００４６】
そして、請求項３に係る発明によれば、上記治具が、流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する接着剤を注入するための一つ以上の孔又は切欠き部を有していることにより、その孔又は切欠き部から接着剤を注入して、流路形成部材をヘッドフレームに対して容易に接着固定することができる。
【００４７】
また、請求項４に係る発明によれば、上記治具が、負圧による吸引保持力で流路形成部材を底面に保持することにより、該流路形成部材の反りや変形を矯正することができる。
【００４８】
さらに、請求項５に係る発明によれば、上記治具が、負圧で吸引保持した流路形成部材を基板部材の上面にセットした状態で該流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間のギャップを所定間隔に保持することにより、流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間の接着剤の厚みを正しく管理することができる。
【００４９】
そして、請求項６に係る治具によれば、上面に設けられたエアー吸引手段及び底面に設けられた凹所により該底面に流路形成部材を負圧により吸引保持し、所定長の複数の治具足で上記流路形成部材を基板部材の上面側に保持し、一つ以上の孔又は切欠き部を利用して接着剤を注入して流路形成部材をヘッドフレームに対して接着固定する。これにより、上記流路形成部材を負圧により治具底面に吸引保持して該底面に倣わせ、流路形成部材の反りや変形を簡易に矯正して、該流路形成部材をヘッドフレームに正しく接着固定することができる。したがって、流路形成部材の部分から液体漏れが発生するのを防止することができる。また、上記流路形成部材を適切な寸法誤差内で効率よく接着でき、液体吐出ヘッドの生産性を向上することができる。
【００５０】
また、請求項７に係る発明によれば、上記エアー吸引手段及び凹所が、負圧による吸引保持力で流路形成部材を底面に保持することにより、該流路形成部材の反りや変形を矯正することができる。
【００５１】
また、請求項８に係る発明によれば、上記治具足が、負圧で吸引保持した流路形成部材を基板部材の上面にセットした状態で該流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間のギャップを所定間隔に保持することにより、流路形成部材の底面部と基板部材の上面との間の接着剤の厚みを正しく管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による液体吐出ヘッドの製造方法を適用して製造される液体吐出ヘッドの一例としてのインクジェット方式のプリントヘッドを備えたインクジェット記録装置の概要を示す斜視図である。
【図２】上記インクジェット記録装置におけるプリントヘッドを示す横断面図である。
【図３】図２の要部拡大断面図である。
【図４】液体吐出ヘッドの製造方法を説明する図であり、図２及び図３に示すプリントヘッドを紙面に垂直に伸びる長手方向において見た正面断面図である。
【図５】図３に示す流路板を負圧により吸引保持する手段を有する治具により、該流路板を長手方向に沿って底面に吸引保持する状態を示す正面図である。
【図６】上記流路板がその全長にわたって治具の底面に沿って真空吸着により吸引保持された状態を示す正面図である。
【図７】図６に示す治具の底面に吸引保持された流路板を図４に示す基板部材及びダミーチップの上面にセットした状態を示す正面図である。
【図８】上記基板部材及びダミーチップの上面にセットされた流路板をヘッドフレームに対して接着剤で仮止めする状態を示す図７のＺ−Ｚ線拡大断面図である。
【図９】上記仮止めされた流路板の治具による吸引保持を解除してその治具を取り除く状態を示す図７のＺ−Ｚ線拡大断面図である。
【図１０】上記治具を取り除いた後に、ヘッドフレームに対して流路板を接着剤で本止め固定する状態を示す図７のＺ−Ｚ線拡大断面図である。
【図１１】本発明による液体吐出ヘッドの製造方法に使用する治具の実施形態を示す正面図である。
【図１２】図１１のＺ−Ｚ線拡大断面図である。
【符号の説明】
１…プリンター本体部
２…プリントヘッド
３…記録紙トレイ
９…ノズル部材
１０…基板部材
１１…ヘッドフレーム
１２…流路板
１３…インク加圧室（液体加圧室）
１４…インク吐出ノズル（液体吐出ノズル）
１５…インク流路
１７…ダミーチップ
２５…第１の接着剤
２６…治具
２７ａ，２７ｂ…エアー吸引パイプ
２８，２８ａ，２８ｂ…凹所
２９…治具足
３０…注入孔
３１…接着剤注入針
３２…仮止め用の第２の接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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