【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年7月28日(2014.7.28)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に少なくとも１つの触媒元素を形成する段階と、前記基板（Ｓ）の前記表面に形成された前記触媒元素の各々からナノワイヤ（ｎｆ）を成長させる段階と、を含む固体油浸レンズの平面に取り付けられた前記基板（Ｓ）の前記表面に前記ナノワイヤ（ｎｆ）を形成する方法であって、
前記触媒元素が金属ナノ粒子（Ｐ）であり、前記基板が動作波長において透過性であるとともに、前記基板の前記表面に前記触媒元素を形成する前記段階が、以下の一連の段階、
−前記基板を、前記金属ナノ粒子を含むタンク（８）に配置された流体（Ｌ）と接触させる段階と、
−固体油浸レンズの半球状面上の入射光線を用いて、前記基板の領域に前記動作波長を有する光線を集束させる段階と、
−金属ナノ粒子が前記集束光線に捕捉されるまで前記タンクを動かす段階と、
−前記捕捉されたナノ粒子を前記基板上に付着させる段階と、
を含むことを特徴とする、前記固体油浸レンズの前記平面に取り付けられた前記基板（Ｓ）の前記表面に前記ナノワイヤ（ｎｆ）を形成する方法。
【請求項２】
前記流体が前記タンクを満たす液体（Ｌ）であって、前記金属ナノ粒子が前記基板に付着すると、前記タンクが除去され、前記基板が乾燥段階の間に乾燥される、請求項１に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項３】
前記流体が前記タンクを満たす空気（Ａ）であって、ナノ粒子（Ｐ）が噴霧器（Ｎ）を用いて前記タンク内に導入され、少なくとも１つの前記ナノ粒子が前記基板に付着すると前記タンクが除去される、請求項１に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項４】
前記金属ナノ粒子が前記基板の前記表面に溶融によって付着する、請求項１から３の何れか１項に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項５】
前記基板への前記ナノ粒子の付着を促進できる表面処理（Ｔ）によって、予め前記基板が覆われる、請求項１から４の何れか１項に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項６】
前記表面処理（Ｔ）がポリ−Ｌ−リジンでの処理又はアミノシランによる処理である、請求項５に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項７】
前記表面処理が前記ナノワイヤの前記成長段階の前に除去される、請求項５又は６の何れか１項に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項８】
前記表面処理が前記ナノワイヤの前記成長段階の後に除去される、請求項５又は６の何れか１項に記載のナノワイヤ形成方法。
【請求項９】
固体油浸レンズと、前記固体油浸レンズに結合した少なくとも１つのナノワイヤとを含む、光学部品の製造方法であって、前記固体油浸レンズの平面に前記ナノワイヤを形成する段階を含み、前記ナノワイヤを形成する前記段階が請求項１から８の何れか１項に記載の方法を用いて遂行されることを特徴とする、光学部品の製造方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１４】
第６の方法はナノインプリンティングによるリソグラフィーに関係する。ポリ−Ｌ−リジンで作られた“インク”によって覆われたポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）で作られた金型が、シリコン基板の表面に適用される。接触領域では、ポリ−Ｌ−リジンがシリコンに運ばれる。そして基板は金コロイドを含む溶液に浸される。コロイドはポリ−Ｌ−リジンに覆われた領域にのみに付着され、裸基板には付着されない。そしてナノワイヤの成長がＶＬＳ法によって遂行される。このような方法の主な短所は、金型の費用である。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
実際に、本発明は、基板表面に少なくとも１つの触媒元素を形成する段階と、前記基板の表面に形成された各前記触媒元素からナノワイヤを成長させる段階と、を含む固体油浸レンズの平面に取り付けられた基板の表面に前記ナノワイヤを形成する方法に関係する。触媒元素が金属ナノ粒子であり、且つ基板が動作波長において透過性であるため、基板の表面に触媒元素を形成する段階は、以下の一連の段階、
−前記基板を、金属ナノ粒子を含むタンクに配置された流体と接触させる段階と、
−固体油浸レンズの半球状面上の入射光線を用いて、基板の領域にその動作波長を有する光線を集束させる段階と、
−金属ナノ粒子がその集束光線に捕捉されるまでタンクを動かす段階と、
−捕捉されたナノ粒子を基板上に付着させる段階と、
を含む。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
本発明の更にもう１つの追加特徴によると、その表面処理はポリ−Ｌ−リジンでの処理又はアミノシランによる処理である。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
粒子捕捉技術の現況では、より大きな直径の粒子は単一のガウスビームを有する光学トラップによって捕捉され得ない。そして代わりに、２つの後方励起レーザー光線が使用される、すなわち反対側にある励起方向が同じ点に集束する。単一ビームで稼働することも可能であるが、その中心部は暗くなる。後者の場合は、光の円錐曲線回転面を用いた反発によって粒子は捕捉される。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
金属粒子Ｐは、流体、例えば液体Ｌなど、を含むタンクＣ内に配置される。タンクＣの底部は、半導体基板Ｓから成る。カバーガラスＬａは、例えばそのタンクを閉じる蓋などを構成する。液体Ｌとの接触を目的とする半導体基板の面は、周知の方法、例えば酸素プラズマ処理タイプの方法など、によって好ましくは予め洗浄される。また好ましくは、表面処理Ｔ、例えばポリ−Ｌ−リジンでの処理又はアミノシランによる処理などが、粒子の付着を促進するために液体と接触している半導体基板の面を覆う。オプティカルクリップは、高く集中された光線ＦのウエストＷによって遂行される。基板の表面の範囲までは、オプティカルクリップはナノ粒子が１つずつ動けるようにする（図１Ｂ参照）。ナノ粒子が基板上に設置されるとき、それは基板の表面に存在する静電気力（ファンデルワールス力）によって基板に付着する。もし存在するなら、表面処理Ｔはこの付着を促進する。そして光線がないときでさえ、ナノ粒子は基板に付着した状態のまま残る。ナノ粒子の移動段階は、所望の空間配置、所望の粒子数まで付着させるために、要求に応じて何度でも繰り返される（図１Ｃ参照）。そしてタンクＣが除去され、温度及び圧力条件を制御しながら、液体Ｌの残留物が乾燥によって蒸発される（図１Ｄ参照）。非制限的な例として、乾燥温度はこのように３５℃であり得、圧力は１気圧であり得る。そして半導体基板Ｓは成長装置（図示せず）に設置され、それ自体周知であるナノワイヤの成長のためのプロセスを開始するために、前駆ガスＧが装置内に導入される。前駆ガスは例えば、酸化亜鉛（ＺｎＯ）ナノワイヤの場合は亜酸化窒素Ｎ２Ｏ又はジエチル亜鉛であり、シリコンナノワイヤ（Ｓｉ）の場合はシランＳｉＨ４である。ナノワイヤｎｆの成長が完了した時（図１Ｅ参照）、金属ナノ粒子Ｐ及び表面処理Ｔは、もし存在するならば、例えば化学的エッチングなどによって除去される（図１Ｆ参照）。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
本発明との関連で、前述の表面処理Ｔは数ナノメートルの厚さを有する有機分子の単層を指定する。有機分子の選択は、生成されるナノ物体の性質及び基板Ｓの性質に対して適切である。非制限的な例として、以前に言及したように、表面処理はポリ−Ｌ−リジンを用いた処理である。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
この変形例によると、マルチビームオプティカルクリップを生成するために、数個の光線が同時に使用される。マルチビームオプティカルクリップは、光源１からもたらされる単一光線とタンクＣとの間に光学部品２を挿入することによって、それ自体周知の方法で生成される。光学部品２は、例えば回折部品、ホログラフィック部品、若しくは１又はそれ以上の空間光変調器から成る部品などである。この方法によって、数個の光線、例えば２００もの数の光線が発生され、タンクＣの同一のレンズ３によって集束される。そして多数の光のビームウエストがタンクＣ内に形成される。光学部品２は、例えばコンピューター４などによって制御され得る。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
直径５０ｎｍの金コロイドＰがエタノールに溶解される。そのコロイド溶液は、その金属粒子がエアロゾル形態で拡散されるようにする噴霧器Ｎのタンクに配置される。ポリ−Ｌ−リジンの薄層Ｔは、その表面へのコロイドの十分な付着を促進するために、微晶質シリコンウエハーＳの表面上に堆積される。ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）で作られたタンクＣの壁が、薄層Ｔによって覆われたウエハーの表面に取り付けられる。タンクは、オプティカルクリップの製造に使用されるレーザーの波長において透過性である。タンクは、流体チャネルＫの端部が挿入される片側に第１開口部０１を有する。流体チャネルＫは、タンクを噴霧器に接続する。タンクはまた、タンク内にある空気と外気との間に第２開口部Ｏｖを有する。“タンク+基板”の集合体は、倒立顕微鏡のサンプルホルダーに設置される。その顕微鏡は、開口数１．２５を有する油浸レンズ３を含む。このレンズは、オプティカルクリップの製造及びサンプルの観察の両方に使用される。ＣＣＤカメラ１１はサンプルを観察するために、その顕微鏡のレンズの後ろに設置される。波長１０６４ｎｍ、電力定格１００ｍＷのＹＡＧレーザー１の放射から生じた光をレンズ３に投入することによって、オプティカルクリップが製造される。オプティカルクリップは、チャネル由来の粒子の到着を待ち受けるために、タンク内の流体チャネルの出力領域に初めに設置される。粒子が捕捉されると、ウエハー表面の目的とする位置に粒子を設置するように、演算子（又はコンピューターのアプリケーション）がオプティカルクリップ及び/又はタンクを動かす。レーザー１が停止したとき、粒子はポリ−Ｌ−リジンによって表面に付着した状態のまま残る。このプロセスは要求に応じて何度でも繰り返される。そしてＰＤＭＳタンクはサンプルから分離される。基板は酸素プラズマ下での処理によって洗浄され、ＬＰＣＶＤ（低圧化学蒸着）装置のチャンバーに設置される。ナノワイヤの成長は、ＶＬＳ（気相−液相−固相）法によって、１０から３０ｓｃｃｍの間の速度及び４００から６５０℃の間の成長温度でシラン（ＳｉＨ４）をその装置内に導入することによって行われる。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５０】
図６Ａから図６Ｃは、本発明によるナノワイヤの位置決めされた成長の方法の一例の段階を示す。本発明によると、固体油浸レンズによって高く集束された光線を用いて、オプティカルクリップは製造される。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
本発明の方法を実行する装置は、平面上に半導体材料層９が堆積された固体油浸レンズ７をこのように含む。半導体材料層９は動作波長において透過性であり、この波長と比較して小さい厚さを有する。半導体材料のレンズ／層の集合体は、金属粒子Ｐを含む液体Ｌによって満たされたタンク８内に、部分的に設置される。半導体材料層９によって覆われたレンズ７の面は、タンク外部に設置されたレンズの残り部分とともに、液体に接触する。液体Ｌと接触する半導体材料の面は、前記に記載したように、同じ表面処理Ｔ（ポリ−Ｌ−リジン）によって覆われる。低開口数の顕微鏡レンズ５から放射される集束光線Ｉを用いて、半球形側のレンズは照らされる。支持体６は、レンズ７と液体Ｌとの接触の保持を可能にする。粒子Ｐがレンズ７の中心近くに設置されるまで、タンク８は動かされる。半導体材料のレンズ／層の集合体の周囲に集束された光は、前述のオプティカルクリップのレーザービームウエストと同じように、今回は粒子を捕捉するオプティカルクリップとして使用される。粒子Ｐが層９に接触すると、静電気力によって粒子Ｐは層９に付着する。静電気力によるこの付着は、粒子の表面状態及び基板の表面状態によって決まる。図６Ａ及び図６Ｂにおいて、符号１０は象徴的にレンズ７の焦点での光強度を示す。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５５】
この特定の段階によると、半導体材料層９の表面に金属ナノ粒子が溶融によって付着する。オプティカルクリップを生成する光線Ｆ１に加えて、レーザー光線Ｆ２、例えば紫外線（ＵＶ）パルスタイプのレーザー光線などもまた、半導体材料層９に集束される。そして光線Ｆ１及びＦ２が、半反射性ブレード１１を用いて、高い開口数を有する同じ顕微鏡対物Ｏｂに投入される。オプティカルクリップを用いて半導体材料層９に運ばれ堆積された金属ナノ粒子Ｐは、集束されたＵＶパルスレーザー光線を用いて、その後この同一の層に溶接される。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
図６Ａから図６Ｂ及び図７に関連して記載された本発明の好ましい実施形態によると、単一のナノ粒子Ｐが層９に付着する。しかし本発明は、数個のナノ粒子が層９に付着した他の実施形態に関係する。数個のナノ粒子はそして、同じ集束ビームによって捕捉される。