【手続補正書】
【提出日】平成26年7月3日(2014.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形形状のボディであって、前記ボディは、前記ボディの長手方向軸に平行に延びている４つの長手方向面を有すると共に、前記ボディの前記長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、前記ボディ孔内に延びる弁座部材とを画定する矩形形状のボディと、
前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材であって、この弁部材は４つのヘッド面を呈する矩形形状のヘッドを含む弁部材と、
前記矩形形状のヘッドから一体的に延びているシリンダ形状のスプール弁部材であって、前記シリンダ形状のスプール弁部材は、前記ボディ孔内での前記弁部材の摺動動作中に前記ボディ孔のシリンダ壁に摺動可能で封止的に係合する弾性シール部材を有するスプール弁部材と、及び、
前記矩形形状のヘッド及び前記シリンダ形状のスプール弁部材の両者を貫通して形成されたネジ孔と、
前記弁部材の軸回転を阻止すると共に、前記弁部材の矩形形状のヘッドを摺動可能に収容する矩形形状のヘッド収容凹部を含むドライプアダプタであって、前記ヘッド収容凹部は、更に、前記矩形形状の全周に関してクリアランス隙間を備えており、前記シール部材によって前記クリアランス隙間または前記ヘッド収容凹部に前記ボディ孔内の流体が入ることを防止されているドライプアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータであって、このステップモータは前記弁部材に直接係合するシャフトを軸回転するように作動するステップモータと、
前記ボディのポートが設けられた長手方向面を画定するために、前記ボディ孔から前記ボディの前記長手方向面の1つまで前記ボディを貫通して延びる入口ポートであって、前記入口ポートは、前記ポートが設けられた長手方向面に対して開いており、前記ボディの他の複数の長手方向面に対して閉じている、入口ポートと、
前記入口ポートと隣り合った関係で配置された出口ポートであって、前記出口ポートは、前記ボディ孔から前記ボディの前記ポートが設けられた長手方向面まで前記ボディを貫通して延びており、前記出口ポートは、前記ポートが設けられた長手方向面に対して開いており、前記ボディの他の複数の長手方向面に対して閉じている、出口ポートと、
を備えた流量制御弁。
【請求項２】
前記矩形形状のヘッドは、少なくとも１の平坦なヘッド面を有する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項３】
前記弁部材の軸回転を防止するために、前記ヘッド収容凹部は、前記矩形形状のヘッドの４つのヘッド面に当接する４つの空洞面を含む、請求項２に記載の流量制御弁。
【請求項４】
前記弁部材は更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材にシール係合し、流量制御弁の閉位置を規定する少なくとも１の弁座係合部材を含む、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項５】
前記シャフトの第１方向の回転は、流量制御弁を閉位置から開位置に、ボディ孔内で弁部材を長手方向に移動する作用をなし、前記シャフトの反対の第２方向の回転は、開位置から弁閉位置に弁部材を戻す作用をなす、請求項４に記載の流量制御弁。
【請求項６】
前記弁部材は更に、
前記矩形形状のヘッドから弁部材の反対側端部に配置された第１ピストンと、
前記第１ピストンと前記矩形形状のヘッドとの間に配置された第２ピストンとを含み、これらの第１，第２ピストンは、弁部材がボディ孔内で摺動するときに、シリンダ壁に対してシールするように作用する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項７】
前記第１，第２ピストンは、第１，第２ピストンに反対側に作用する加圧流体が弁部材に作用するバランスされた圧力となるように、実質的に等しい径を有する、請求項６に記載の流量制御弁。
【請求項８】
更に、電子インターフェース装置を備え、コマンド信号を受取り、この電子インターフェース装置でステップモータを作動するための出力に変換される、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項９】
更に、内部に電子インターフェース装置が配置される電子インターフェースハウジングと、この電子インターフェースハウジングを大気から密封し、流量制御弁に対する電気接続部を形成する電気コネクタとを含む、請求項８に記載の流量制御弁。
【請求項１０】
前記弁部材がボディ内に摺動可能に収容される、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１１】
前記ねじ付孔は、前記シャフトを螺合して収容し、前記シャフトは、前記ステップモータに接続されかつこれから延びる雄ねじ付シャフトであり、前記ステップモータの漸進的回転で、前記ねじ付孔に螺合する雄ねじ付シャフトが回転し、前記弁部材が漸進的に軸方向に平行移動する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１２】
前記矩形形状のヘッドは、一体的に接続されかつこれから延びるシャフトを有し、このシャフトは雄ねじ付シャフトであり、更に、ステップモータの雌ねじ付孔内に螺合し、ステップモータ及びシャフトに螺合する雌ねじ付孔の漸進的回転で、弁部材を漸進的に軸方向に平行移動する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１３】
前記ドライブアダプタは、ボディに取外し可能に接続される、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１４】
前記ドライブアダプタは、ボディに一体的に接続され、前記弁部材の矩形形状に成形されたヘッドは、この矩形形状に成形されたヘッドの４つのヘッド面に適合する４つの空洞面を有するヘッド収容凹部内に摺動可能に収容され、弁部材の軸回転を阻止する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１５】
前記弁部材は、スプール弁部材を規定する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１６】
前記弁部材は、ポペット弁部材を規定する、請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項１７】
流量制御弁であって、前記流量制御弁は、
ボディであって、前記ボディは、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、前記ボディと接触するエンドキャップとを有し、前記エンドキャップは、前記ボディ孔を通気するためのボディ孔と連通している前記エンドキャップを貫通しているエンドキャップ通路を有し、前記ボディはボディ直径を有しているボディと、弁部材であって、前記弁部材は、前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向され、この弁部材は、
前記弁部材の部品としてお互いに一体的に結合されている矩形形状のヘッドとシリンダ形状のボディ部分であって、前記矩形形状のヘッドとシリンダ形状のボディ部分は、その内部に形成されたネジ付き孔を有し、
少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材と第１，第２ピストンとを含み、これらの第１，第２ピストンは、前記弁部材の部品として互いに一体的に結合されており、前記第１，第２ピストンに対し反対側に作用する加圧流体がバランスされるように、前記ボアの直径と精密な誤差許容度の嵌め合いを生成する実質的に等しい径を有し、更に、
弁部材の矩形形状のヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含むドライブアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータであって、このステップモータは、前記弁部材を軸方向に平行移動するために、前記弁部材の前記ネジ付き孔内に直接係合したシャフトを回転するステップモータと、を備え、
前記流量制御弁は実質的に矩形形状を有し、前記ボディの各々、前記エンドキャップ、前記ドライブアダプタ、及び前記ステップモータは、実質的に等しい幅を有しており、前記流量制御弁の全体的な幅を画定し、
前記弁部材の前記シリンダ形状のボディ部分は、前記ボアの直径と精密な誤差許容度の嵌め合いを生成する直径を有し、前記弁部材は、前記矩形形状のヘッドから前記シリンダ形状のボディ部分へと先細になっており、前記弁部材の前記矩形形状のヘッドは、前記シリンダ形状のボディ部分の直径よりも大きな直径の所定の幅を有している、
流量制御弁。
【請求項１８】
前記少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第１，第２ピストンの径に等しい直径と前記弁部材の前記シリンダ形状のボディ部分の直径を有する第１，第２弁座係合部材を備える、請求項１７に記載の流量制御弁。
【請求項１９】
前記ボディは、３方弁ボディであり、
前記ボディ孔内に延びる第１，第２弁座部材と、
前記ドライブアダプタと前記第２弁座部材との間に長手方向に配置された入口ポートと、前記第１，第２弁座部材の間に長手方向に配置された出口ポートと、前記キャップと前記前記第１弁座部材の間に長手方向に配置された排気ポートと、を含む、請求項１８に記載の流量制御弁。
【請求項２０】
弁開位置で、前記第１弁座係合部材は前記第１弁座部材に接触し、前記第２弁座係合部材は前記第２弁座部材から移動され、前記入口ポートを前記出口ポートに連通させ、前記入口ポートと前記出口ポートとの双方を前記排気ポートから隔離させ、更に、
弁閉位置で、前記第１弁座係合部材は前記第１弁座部材に接触し、前記第２弁座係合部材は前記第２弁座部材に接触し、前記入口ポート、前記出口ポート及び前記排気ポートがそれぞれ隔離される、請求項１９に記載の流量制御弁。
【請求項２１】
前記第１弁座係合部材は前記第１弁座部材から移動され、前記第２弁座部材は前記第２弁座部材に接触し、前記出口ポート前記が排気ポートに連通しかつ前記入口ポートが前記出口ポートと前記排気ポートとの双方から隔離される排気位置を規定する、請求項１９に記載の流量制御弁。
【請求項２２】
少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第１及び第２ピストンの径と等しい径を有する第１，第２，第３及び第４弁座係合部材を備える、請求項１８に記載の流量制御弁。
【請求項２３】
前記ボディは４方弁ボディであり、
個々に弁座係合部材の１つに接触されるように位置する前記ボディ孔内に延びる複数の弁座部材と、
入口ポートと、第１及び第２出口ポートと、第１及び第２排気ポートと、を含む、請求項１８に記載の流量制御弁。
【請求項２４】
前記ボディは２方弁ボディであり、
前記ボディ孔内に延びる弁座部材と、
入口ポート及び出口ポートを含み、少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は弁閉位置で弁座部材に接触し、入口ポートを出口ポートから隔離する、請求項１７に記載の流量制御弁。
【請求項２５】
流量制御弁であって、前記流量制御弁は、
ボディの長手方向軸に平行に延びている少なくとも１つの長手方向面を有するボディであって、前記ボディは第１及び第２シリンダ壁と前記ボディの前記長手方向軸に同軸に配向されたボディ孔とを画定するボディと、
前記ボディ孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向される弁部材とを備え、この弁部材は、
非円形幾何学的成形ヘッドであって、前記非円形幾何学的成形ヘッドを貫通して延びる前記長手方向軸に同軸状に整合するねじ付孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドと反対側端部に配置される第１ピストンと、
前記第１ピストンと前記幾何学的成形ヘッドとの間に配置される第２ピストンとを含み、更に、
前記ボディに接続されるドライブアダプタを備え、このドライブアダプタは、前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、前記弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含み、更に、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータを備え、このステップモータは前記弁部材の前記ねじ付孔内に直接螺合するねじ付シャフトを回転し、
前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面と前記ボディ孔との間に延びている前記ボディによって画定される第１弁座部材を備え、前記第１弁座部材は、前記ドライブアダプタから最も遠くに位置された外側エッジと前記第１弁座部材を横方向に２等分する中心線とを有し、
前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面と前記ボディ孔との間に延びている前記ボディによって画定される第２弁座部材を備え、前記第２弁座部材は、前記ドライブアダプタから最も近くに位置された外側エッジと前記第２弁座部材を横方向に２等分する中心線とを有し、
前記ドライブアダプタと前記第２弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している入口ポートと、
前記第１弁座部材と前記第２弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している出口ポートと、
前記エンドキャップと前記第１弁座部材との間で横方向に位置されている、前記ボディ孔から前記ボディの前記少なくとも1つの長手方向面まで貫通して延出している排出ポートと、
前記第１弁座部材と前記第２弁座部材とは、前記第１弁座部材の外側エッジと前記第２弁座部材の外側エッジ間の距離と等しい外側空間スペース、及び、前記第１弁座部材の中心線と前記第２弁座部材の中心線との間の距離と等しい中心線空間スペースを画定し、
前記弁ボディは、さらに前記弁ボディから延びている第１弁座係合部材及び第２弁座係合部材を含んでおり、それらは前記第１及び第２弁座部材の外側の間隔よりも小さく、前記第１及び第２弁座部材の中心線の間隔よりも大きい決まった距離で縦方向に互いに離間しており、前記弁ボディが、下記の弁閉位置、弁閉位置、排出位置の１つに動かされる、流量制御弁、
前記第１弁座係合部材が前記第１弁座部材に接触し、前記第２弁座係合部材が前記第２弁座部材から外れており、前記入口ポートと前記出口ポート間の流体連通が可能であり、前記入口ポートと前記出口ポートの両者が前記排出ポートから隔離している、弁開位置、
前記第１弁座係合部材が前記第１弁座部材に接触し、前記第２弁座係合部材が前記第２弁座部材に接触しており、前記入口ポートと前記出口ポートと前記入口ポートと前記出口ポートとが互いに離隔している、弁閉位置、及び、
前記第１弁座係合部材が前記第１弁座部材から外れ、前記第２弁座係合部材が前記第２弁座部材に接触しており、前記出口ポートと前記排出ポート間の流体連通が可能であり、前記前記出口ポートと前記排出ポートの両者を前記入口ポートから隔離する、排出位置。
【請求項２６】
バイアス部材が前記非円形幾何学的成形ヘッドの端部面に対向して受け入れられ、反対側の端部は前記ステップモータに当接し、前記バイアス部材は、前記ねじ付シャフトと前記弁部材のねじ付孔との間のねじのクリアランスを除去するために、弁部材にバイアス力を付与し、ねじのピッチによって変化し得る前記ステップモータの所定の回転数によって、開位置に前記弁部材が繰り返し位置されることを可能にすることを特徴とする、請求項２５に記載の流量制御弁。
【請求項２７】
第１及び第２の弁座係合部材は、前記弁部材から半径方向に外方に延び、前記弁ボディが閉位置にあるとき、第１及び第２の弁座部材に密閉状態に係合する、請求項２５に記載の流量制御弁。
【請求項２８】
前記第１及び第２ピストンの径と前記第１及び第２弁座係合部材の径とは、前記弁ボディが弁閉位置にセットされたとき、前記第１ピストンに作用する加圧流体の力が前記第１及び第２弁座係合部材に作用する加圧流体の力でバランスされるように、実質的に等しい、請求項２７に記載の流量制御弁。
【請求項２９】
前記第１ピストンの径は、前記弁が弁開位置にセットされたとき、前記第１ピストンに作用する加圧流体の力が、前記第２ピストンに作用する加圧流体の力でバランスされるように、前記第２ピストンの径と実質的に等しい、請求項２７に記載の流量制御弁。
【請求項３０】
前記弁部材はスプール部材であり、前記第１及び第２ピストンの径と前記第１及び第２弁座係合部材の径とが実質的に等しい、請求項２５に記載の流量制御弁。
【請求項３１】
前記弁部材は合成のポペット弁であり、第１及び第２の弁係合部材の径が第１及び第２の弁座部材の径よりも大きい、請求項２５に記載の流量制御弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
上述の実施形態の説明は、図示及び説明の目的でなされたものであり、発明を網羅し、又は制限することを意図したものではない。所定の実施形態における個々の要素又は特徴は一般的に特定の実施形態に制限されるものではなく、必要に応じて交換可能であり、具体的に示され又は記載されていない場合であっても、選択した実施形態に使用することが可能である。同様に、多くの態様で変更してもよい。このような変更は、この発明から逸脱したものと見なされるべきではなく、このような変更の全ては、本発明の範囲に含まれるべきものである。
以下に、出願時の特許請求の範囲の記載を付記する。
［条項１］  ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔と、この孔内に延びる弁座部材とを有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は非円形の幾何学的成形ヘッドを含み、更に、
前記弁部材の軸回転を阻止すると共に、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容するヘッド収容凹部を含むドライプアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材に直接係合するシャフトを軸回転するように作動する、流量制御弁。
［条項２］  前記幾何学的成形ヘッドは、少なくとも１の平坦なヘッド面を有する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項３］  前記ヘッド収容凹部は、少なくとも１の平坦なヘッド面に当接して弁部材の軸回転を防止する少なくとも１の空洞面を含む、条項２に記載の流量制御弁。
［条項４］  前記弁部材は更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材にシール係合し、流量制御弁の閉位置を規定する少なくとも１の弁座係合部材を含む、条項１に記載の流量制御弁。
［条項５］  前記シャフトの第１方向の回転は、流量制御弁を閉位置から開位置に、ボディ孔内で弁部材を長手方向に移動する作用をなし、前記シャフトの反対の第２方向の回転は、開位置から弁閉位置に弁部材を戻す作用をなす、条項４に記載の流量制御弁。
［条項６］  前記弁部材は更に、
弁部材の幾何学的成形ヘッドから反対側端部に配置された第１ピストンと、
前記第１ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置された第２ピストンとを含み、これらの第１，第２ピストンは、弁部材がボディ孔内で摺動するときに、シリンダ壁に対してシールするように作用する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項７］  前記第１，第２ピストンは、第１，第２ピストンに反対側に作用する加圧流体が弁部材に作用するバランスされた圧力となるように、実質的に等しい径を有する、条項６に記載の流量制御弁。
［条項８］  更に、電子インターフェース装置を備え、コマンド信号を受取り、この電子インターフェース装置でステップモータを作動するための出力に変換される、条項１に記載の流量制御弁。
［条項９］  更に、内部に電子インターフェース装置が配置される電子インターフェースハウジングと、この電子インターフェースハウジングを大気から密封し、流量制御弁に対する電気接続部を形成する電気コネクタとを含む、条項８に記載の流量制御弁。
［条項１０］  前記孔は、弁部材がボディ内に摺動可能に収容されたときに、ボディの長手方向軸と同軸状に配向される、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１１］  前記非円形幾何学的成形ヘッドは、前記シャフトを螺合して収容するねじ付孔を含み、前記シャフトは、ステップモータに接続されかつこれから延びる雄ねじ付シャフトであり、ステップモータの漸進的回転で、ねじ付孔に螺合する雄ねじ付シャフトが回転し、弁部材が漸進的に軸方向に平行移動する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１２］  前記非円形の幾何学的成形ヘッドは、一体的に接続されかつこれから延びるシャフトを有し、このシャフトは雄ねじ付シャフトであり、更に、ステップモータの雌ねじ付孔内に螺合し、ステップモータ及びシャフトに螺合する雌ねじ付孔の漸進的回転で、弁部材を漸進的に軸方向に平行移動する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１３］  前記ドライブアダプタは、ボディに取外し可能に接続される、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１４］  前記ドライブアダプタは、ボディに一体的に接続され、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドは、この幾何学的成形ヘッドの対応する面に適合する複数の空洞面を有するヘッド収容凹部内に摺動可能に収容され、弁部材の軸回転を阻止する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１５］  前記弁部材は、スプール弁部材を規定する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１６］  前記弁部材は、ポペット弁部材を規定する、条項１に記載の流量制御弁。
［条項１７］  ボディの長手方向軸に同軸状に配向されたボディ孔を有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、ボディの長手方向軸に同軸状に配向された弁部材とを備え、この弁部材は、
孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材と第１，第２ピストンとを含み、これらの第１，第２ピストンは、第１，第２ピストンに反対側に作用する加圧流体がバランスされるように、実質的に等しい径を有し、更に、
弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含むドライブアダプタと、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータとを備え、このステップモータは弁部材の孔内に直接係合したシャフトを回転し、弁部材を軸方向に平行移動する、流量制御弁。
［条項１８］  前記なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第１，第２ピストンの径に等しい径を有する第１，第２弁座係合部材を備える、条項１７に記載の流量制御弁。
［条項１９］  前記ボディは、３方弁ボディであり、
前記孔内に延びる第１，第２弁座部材と、
入口ポートと出口ポートと排気ポートと、を含む、条項１８に記載の流量制御弁。
［条項２０］  弁開位置で、第１弁座係合部材は第１弁座部材に接触し、第２弁座係合部材は第２弁座部材から移動され、入口ポートを出口ポートに連通させ、入口ポートと出口ポートとの双方を排気ポートから分離させ、更に、
弁閉位置で、第１弁座係合部材は第１弁座部材に接触し、第２弁座係合部材は第２弁座部材に接触し、入口、出口及び排気ポートがそれぞれ分離される、条項１９に記載の流量制御弁。
［条項２１］  第１弁座係合部材は第１弁座部材から移動され、第２弁座部材は第２弁座部材に接触し、出口ポートが排気ポートに連通しかつ入口ポートが出口ポートと排気ポートとの双方から分離される排気位置を規定する、条項１９に記載の流量制御弁。
［条項２２］  少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は、それぞれ第１及び第２ピストンの径と等しい径を有する第１，第２，第３及び第４弁座係合部材を備える、条項１８に記載の流量制御弁。
［条項２３］  前記ボディは４方弁ボディであり、
個々に弁座係合部材の１つに接触されるように位置する孔内に延びる複数の弁座部材と、
入口ポートと、第１及び第２出口ポートと、第１及び第２排気ポートと、を含む、条項１８に記載の流量制御弁。
［条項２４］  前記ボディは２方弁ボディであり、
孔内に延びる弁座部材と、
入口ポート及び出口ポートとを含み、少なくとも１の半径方向外方に延びる弁座係合部材は弁閉位置で弁座部材に接触し、入口ポートを出口ポートから分離する、条項１７に記載の流量制御弁。
［条項２５］  ボディの長手方向軸に同軸に配向されたボディ孔と、第１及び第２シリンダ壁とを有するボディと、
前記孔内に摺動可能に配置され、前記ボディの長手方向軸に同軸状に配向される弁部材
とを備え、この弁部材は、
前記長手方向軸に同軸状に整合するねじ付孔を有する非円形幾何学的成形ヘッドと、
前記弁部材の前記幾何学的成形ヘッドと反対側端部に配置される第１ピストンと、
前記第１ピストンと幾何学的成形ヘッドとの間に配置される第２ピストンとを含み、更に、
前記ボディに接続されるドライブアダプタを備え、このドライブアダプタは、前記弁部材の幾何学的成形ヘッドを摺動可能に収容し、弁部材の軸回転を阻止するヘッド収容凹部を含み、更に、
前記ドライブアダプタに接続されるステップモータを備え、このステップモータは弁部材のねじ付孔内に直接螺合するねじ付シャフトを回転する、流量制御弁。
［条項２６］  前記弁ボディは、更に、孔内に延びる弁座部材を含む、条項２５に記載の流量制御弁。
［条項２７］  前記弁部材は、更に、弁部材から外方に半径方向に延び、弁座部材に密閉状態に係合し、流量制御弁の閉位置を規定する弁座係合部材を含む、条項２６に記載の流量制御弁。
［条項２８］  前記第１及び第２ピストンの径と弁座係合部材の径とは、弁閉位置で、第１ピストンに作用する加圧流体の力が弁座係合部材に作用する加圧流体の力でバランスされるように、実質的に等しい、条項２７に記載の流量制御弁。
［条項２９］  第１ピストンの径は、弁座係合部材が弁座部材から移動した弁開位置で、第１ピストンに作用する加圧流体の力が、第２ピストンに作用する加圧流体の力でバランスされるように、第２ピストンの径と実質的に等しい、条項２７に記載の流量制御弁。
［条項３０］  前記弁部材はスプール部材であり、第１及び第２ピストンの径と弁座係合部材の径とが実質的に等しい、条項２５に記載の流量制御弁。
［条項３１］  前記弁部材はポペット弁であり、弁係合部材の径が弁座部材の径よりも大きい、条項２５に記載の流量制御弁。