Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月28日(2004.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】リサイクル装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の接着に使用される液体を供給する供給タンクと、
対象物に前記液体をスピンコートした際に生じる過剰な液体を回収する排液タンクと、
前記供給タンクと前記排液タンクの間に設けられ、前記排液タンクの液体と未使用の前記液体とを混合する混合タンクと、
前記混合タンクで混合して調整済みの液体を保持して前記供給タンクに供給するリザーバータンクと
を設け、前記供給タンクの液面レベルが規定レベル以下に低下したことを検出して、前記リザーバータンクから前記供給タンクへ前記液体を供給する
リサイクル装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ディスクの貼り合わせに使用する液体のリサイクル装置に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
従って、上記の技術を持ってしても、ＤＶＤの貼り合わせ装置で使用する液体のリサイクル装置に適用することは困難である。本発明は前記問題点を解決し、品質の安定したＤＶＤの貼り合わせが実現できるリサイクル装置を提供することを目的とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明のリサイクル装置は、供給タンクと排液タンクの間に、混合タンクとリザーバータンクとを設けたことを特徴とする。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明のリサイクル装置は、対象物の接着に使用される液体を供給する供給タンクと、対象物に前記液体をスピンコートした際に生じる過剰な液体を回収する排液タンクと、前記供給タンクと前記排液タンクの間に設けられ、前記排液タンクの液体と未使用の前記液体とを混合する混合タンクと、前記混合タンクで混合して調整済みの液体を保持して前記供給タンクに供給するリザーバータンクとを設け、前記供給タンクの液面レベルが規定レベル以下に低下したことを検出して、前記リザーバータンクから前記供給タンクへ前記液体を供給することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月29日(2004.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナンバプレートを含む車両を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された撮影画像を、前記ナンバプレート画像から優先して伝送する伝送手段と、
を具備したことを特徴とする車両監視装置。
【請求項２】
ナンバプレートを含む車両を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影された撮影画像を中央装置に送信する制御手段と、
前記撮影画像の伝送を画像の上端から伝送するか、下端から伝送するかを選択する画像伝送選択手段と、
前記制御手段から送信された撮影画像を表示する表示手段と、
を具備したことを特徴とする車両監視装置。
【請求項３】
前記制御手段に設けられ、前記撮影画像からナンバプレート部分を切り取るナンバプレート切り取り部と、
前記表示手段に設けられ、ナンバプレート画像を表示するナンバプレート表示部と、
を備えたことを特徴とする請求項２に記載の車両監視装置。
【請求項４】
前記制御手段に設けられ、前記撮影画像からナンバプレートの文字認識を行う文字認識手段と、
前記表示手段に設けられ、当該文字認識手段で認識された文字認識情報を表示する文字認識情報表示部と、
を設けたことを特徴とする請求項２また請求項３に記載の車両監視装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記画像選択手段の選択結果により、前記撮影画像の伝送を画像の上端から伝送するか、あるいは下端から伝送するかを切替える画像伝送切替え部を設けたことを特徴とする請求項２乃至４のいずれか１項に記載の車両監視装置。
【請求項６】
前記中央装置は、前記画像伝送選択手段、および前記表示手段を有することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の車両監視装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、撮影された車両を特定するナンバプレートを早く容易に判読できる様にした車両監視装置を提供することを目的とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
第１の発明による車両監視装置は、 ナンバプレートを含む車両を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された撮影画像をナンバプレート画像から優先して伝送する伝送手段とを具備したものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第２の発明による車両監視装置は、ナンバプレートを含む車両を撮影する撮影手段と、前記撮影手段により撮影された撮影画像を中央装置に送信する制御手段と、前記撮影画像の伝送を画像の上端から伝送するか、下端から伝送するかを選択する画像伝送選択手段と、前記制御手段から送信された撮影画像を表示する表示手段とを具備したものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
第３の発明による車両監視装置は、前記制御手段に設けられ、前記撮影画像からナンバプレート部分を切り取るナンバプレート切り取り部と、前記表示手段に設けられ、ナンバプレート画像を表示するナンバプレート表示部とを備えたものである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
第４の発明による車両監視装置は、 前記制御手段に設けられ、撮影画像からナンバプレートの文字認識を行う文字認識手段と、前記表示手段に設けられ、当該文字認識手段で認識された文字認識情報を表示する文字認識情報表示部とを設けたものである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第５の発明による車両監視装置は、 前記画像選択手段の選択結果により前記撮影画像の伝送を画像の上端から伝送するか、下端から伝送するかを切替える画像伝送切替え部を前記制御手段に設けたものである。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
第６の発明による車両監視装置は、前記画像伝送選択手段、表示手段を中央装置に設けたものである。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図２は、図１に示す車両速度監視装置で撮影された画像が下端から伝送するように、画像伝送選択部２２を選択した場合の中央装置表示部１１での伝送画像の表示例を示す図である。
この実施の形態によれば、車両画像の中からナンバプレート画像を他の画像部分より優先して伝送するので、より早く中央装置８でナンバプレート情報の判別が可能となる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この実施の形態によれば、制御機５から中央装置８にナンバプレート切り出し画像を他の画像部分より優先して伝送するので、より早く中央装置８でナンバプレート情報の判別が可能となる。
なお、図５は、図３の中央装置８に送られてくる撮影画像とナンバプレート切り出し画像の表示部１１での表示例を示す図である。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
この実施の形態によれば、制御機５から中央装置８にナンバプレートの文字認識結果とナンバプレート切り出し画像を優先して伝送するので、より早く中央装置８でナンバプレートの判別が可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月30日(2003.6.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
制御回路装置と、該制御回路装置が収納されたメインケースと、表示素子と、該表示素子を収納したサブケースと、両端部において前記制御回路装置と前記表示素子とに接続され、前記制御回路装置と前記表示素子とを電気的に接続する接続線とを備え、前記メインケースと前記サブケースとを相互に回転可能に結合した情報処理装置において、
前記メインケースは、メインケース本体部と、該メインケース本体部の一側部から突出して形成されたメインケース突出部とを備え、
前記サブケースは、サブケース本体部と、該サブケース本体部の一側部から突出して形成されたサブケース突出部とを備え、
前記メインケース本体部の内部には、前記制御回路装置を収納する制御回路収納部が形成され、
前記メインケース突出部の内部には、前記制御回路収納部に連通したメインケース側接続線収納部が形成され、
前記サブケース本体部の内部には、前記表示素子を収納する表示素子収納部が形成され、
前記サブケース突出部の内部には、前記表示素子収納部に連通したサブケース側接続線収納部が形成され、
前記メインケースは、メインケース本体部上部とメインケース突出部上部とを備えたメインケース上部と、メインケース本体部下部とメインケース突出部下部とを備えたメインケース下部とからなり、前記メインケース上部と前記メインケース下部とが組み合わされて前記制御回路収納部と前記メインケース側接続線収納部とが画成され、
前記サブケースは、サブケース本体部上部とサブケース突出部上部とを備えたサブケース上部と、サブケース本体部下部とサブケース突出部下部とを備えたサブケース下部とからなり、前記サブケース上部と前記サブケース下部とが組み合わされて前記表示素子収納部と前記サブケース側接続線収納部とが画成され、
前記メインケース突出部と前記サブケース突出部とにそれぞれ、相互に回転可能に組み合わされるメインケース側結合部とサブケース側結合部が形成され、
前記接続線は、前記制御回路装置収納部、メインケース側接続線収納部、サブケース側接続線収納部、表示素子収納部を通って配線されていることを特徴とする、情報処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月10日(2003.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】接続装置および情報機器


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
携帯情報機器に着脱自在であり、
前記携帯情報機器の接続コネクタに接続されうる対応コネクタと、
前記携帯情報機器の拡張用の複数のコネクタと、
当該装置から突出して前記携帯情報機器に接続するための締結体と、
を有することを特徴とする接続装置。
【請求項２】
請求項１記載の接続装置において、
前記締結体は、
ネジ部を先端に具えたネジ棒部と、
前記ネジ棒部を軸方向に摺動可能に内部収容し且つ前記ネジ棒部と連れ回り得るように連結された本体部と、
前記本体部内に装着されて前記ネジ棒部を外方に付勢する圧縮コイルばねと、
を有することを特徴とする接続装置。
【請求項３】
請求項２記載の接続装置において、
前記本体部は外周面に刻みが形成された円板部を有し、
前記円板部は当該装置に形成された窓部から部分的に突出することを特徴とする接続装置。
【請求項４】
携帯情報機器と接続装置とからなり、
前記接続装置は、
前記携帯情報機器の接続コネクタに接続されうる対応コネクタと、
前記携帯情報機器の拡張用の複数のコネクタと、
当該装置から突出して前記携帯情報機器に接続するための締結体と、
を有することを特徴とする情報機器。
【請求項５】
請求項４記載の情報機器において、
前記締結体は、
ネジ部を先端に具えたネジ棒部と、
前記ネジ棒部を軸方向に摺動可能に内部収容し且つ前記ネジ棒部と連れ回り得るように連結された本体部と、
前記本体部内に装着されて前記ネジ棒部を外方に付勢する圧縮コイルばねと、
を有することを特徴とする情報機器。
【請求項６】
請求項５記載の情報機器において、
前記本体部は外周面に刻みが形成された円板部を有し、
前記円板部は前記接続装置に形成された窓部から部分的に突出することを特徴とする情報機器。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ノート型のパーソナルコンピュータやワープロ等の携帯情報機器に関し、更に詳細には、拡張性や携帯性を大幅に改善した接続装置および情報機器に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明に係る接続装置は、携帯情報機器に着脱自在であり、前記携帯情報機器の接続コネクタに接続されうる対応コネクタと、前記携帯情報機器の拡張用の複数のコネクタと、当該装置から突出して前記携帯情報機器に接続するための締結体と、を有することを特徴とする。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
好ましくは、前記締結体は、ネジ部を先端に具えたネジ棒部と、前記ネジ棒部を軸方向に摺動可能に内部収容し且つ前記ネジ棒部と連れ回り得るように連結された本体部と、前記本体部内に装着されて前記ネジ棒部を外方に付勢する圧縮コイルばねと、を有する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
好ましくは、前記本体部は外周面に刻みが形成された円板部を有し、前記円板部は当該装置に形成された窓部から部分的に突出する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
さらに、本発明による情報機器は、携帯情報機器と接続装置とからなり、前記接続装置は、前記携帯情報機器の接続コネクタに接続されうる対応コネクタと、前記携帯情報機器の拡張用の複数のコネクタと、当該装置から突出して前記携帯情報機器に接続するための締結体と、を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
好ましくは、前記締結体は、ネジ部を先端に具えたネジ棒部と、前記ネジ棒部を軸方向に摺動可能に内部収容し且つ前記ネジ棒部と連れ回り得るように連結された本体部と、前記本体部内に装着されて前記ネジ棒部を外方に付勢する圧縮コイルばねと、を有する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
好ましくは、前記本体部は外周面に刻みが形成された円板部を有し、前記円板部は前記接続装置に形成された窓部から部分的に突出する。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月8日(2003.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】本発明を適用したディスク記録／再生部の主要部の一構成例を示す図である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月8日(2003.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報信号が記録された再生用媒体を再生して情報信号を出力する再生部と、
収納手段に収納された複数の記録媒体の１つを選択して入力された情報信号を記録する記録部とを少なくとも有し、
上記記録部は、記録媒体に対する記録準備が完了したことを示す記録準備完了信号を上記再生部に送り、
上記再生部は、この記録準備完了信号に応じて上記再生用記録媒体を再生して情報信号を上記記録部に送ること
を特徴とする記録再生装置。
【請求項２】
上記記録媒体は、カートリッジ本体内に記録可能な光ディスクを収納してなるディスクカートリッジであることを特徴とする請求項１記載の記録再生装置。
【請求項３】
上記再生部による再生及び上記記録部による記録を制御する制御部をさらに有し、
上記再生部は、複数の再生用記録媒体の１つを選択して再生する機能を有し、上記制御部からの再生制御信号により上記複数の再生用記録媒体の１つが選択されて再生待機状態に制御され、
上記記録部は、上記制御部からの記録制御信号により上記複数の記録媒体の１つが選択されて記録待機状態に制御され、待機状態に達した時点で上記記録準備完了信号を上記再生部に送り、上記再生部からの情報信号の入力に応じて、記録待機状態から記録状態に切り換えて入力された情報信号を記録すること
を特徴とする請求項１記載の記録再生装置。
【請求項４】
上記制御部は、上記再生部の複数の再生用記録媒体を順次再生して上記記録部の複数の記録媒体にそれぞれ順次記録するモードと、上記再生部の複数の再生用記録媒体の１つを繰り返し再生して上記記録部の複数の記録媒体にそれぞれ順次記録するモードとを少なくとも有し、操作に応じてこれらのモードのうちのいずれかを選択して上記再生部及び記録部を制御すること
を特徴とする請求項３記載の記録再生装置。
【請求項５】
上記制御部は、上記再生部の複数の再生用記録媒体のそれぞれ一部を順次再生して上記記録部の複数の記録媒体のうちの指定された記録媒体にそれぞれ順次記録するモードを有すること
を特徴とする請求項３記載の記録再生装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
そこで、各ディスク状記録媒体に記録されるオーディオ信号等の情報信号の選択や、その情報信号を記録するディスク状記録媒体の指定を予め行うことができ、さらに媒体交換機構を備えていることにより媒体を一枚ずつ手で順次記録装置に挿入して記録を行う必要がない記録再生装置が望まれている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
図１は、本発明に係る記録再生装置の実施の形態を適用したディスク記録及び／又は再生システムあるいは装置の主要部の一構成例を示すブロック図である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
次に、本発明の好ましい実施の形態であるディスク記録及び／又は再生装置の具体的な説明に先だって、これに用いる記録媒体の一例である光磁気ディスクについて説明する。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】本発明を適用したディスク記録／再生部の主要部の一構成例を示す図である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月7日(2003.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、
前記試料を前記試料台に対して静電吸着するとともに、
前記試料を前記試料台に対して真空吸着することを特徴とする試料保持方法。
【請求項２】
少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、
前記試料の側面を前記試料台に対して静電吸着することを特徴とする試料保持方法。
【請求項３】
少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、
リンギング現象を利用して前記試料を前記試料台に対して固定することを特徴とする試料保持方法。
【請求項４】
少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、
空気圧を利用して前記試料を前記試料台側に押し付けることによって、当該試料を前記試料台に対して固定することを特徴とする試料保持方法。
【請求項５】
マスクに形成されたパターンを感光基板上に転写する露光装置において、
前記マスクに対して露光用の光を照射する照明手段と；
前記感光基板を載置して移動可能な基板ステージと；
前記マスクを保持するマスクホルダと；
前記マスクホルダを載置して移動可能なマスクステージと；
前記マスクの前記マスクホルダとの接触面に設けられたクロム部と；
前記マスクホルダの前記クロム部との接触面に設けられた誘電体部と；
前記マスクのクロム部と前記マスクホルダの誘電体部との間に電圧を印可する手段と；
前記マスクホルダの前記マスクとの接触面に設けられた吸着孔と；
前記吸着孔を介して、前記マスクを前記マスクホルダ側に吸引する吸引手段と；
前記マスクステージと前記基板ステージとを前記露光用の光に対して同期走査することによって、前記マスクのパターンの像を前記感光基板上に転写する露光制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項６】
マスクに形成されたパターンを感光基板上に転写する露光装置において、
前記マスクに対して露光用の光を照射する照明手段と；
前記感光基板を載置して移動可能な基板ステージと；
前記マスクを保持するマスクホルダと；
前記マスクホルダを載置して移動可能なマスクステージと；
前記マスクホルダと接する前記マスクの側部に設けられたクロム部と；
前記マスクホルダの前記クロム部との接触面に設けられた誘電体部と；
前記マスクのクロム部と前記マスクホルダの誘電体部との間に電圧を印可する手段と；
前記マスクステージと前記基板ステージとを前記露光用の光に対して同期走査することによって、前記マスクのパターンの像を前記感光基板上に転写する露光制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項７】
マスクに形成されたパターンを感光基板上に転写する露光装置において、
前記マスクに対して露光用の光を照射する照明手段と；
前記感光基板を載置して移動可能な基板ステージと；
前記マスクを保持するマスクホルダと；
前記マスクホルダを載置して移動可能なマスクステージと；
前記マスクを前記マスクスホルダに対して押し付けるように、当該マスクの前記パターン形成領域以外の部分に気体による圧力を付与する圧力付与手段と；
前記圧力付与手段の圧力を調整する圧力制御手段と；
前記露光用の光に対し、前記マスクステージと前記基板ステージとを同期して走査することによって、前記マスクのパターンの像を前記感光基板上に転写する露光制御手段とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項８】
前記マスクと前記マスクステージとの相対的な位置を計測する位置計測手段と；
前記位置計測手段による計測結果に基づいて、前記マスクステージと前記基板ステージを相対的に駆動することによって前記マスクと前記感光基板との位置合わせを行う位置調整手段とを更に備えたことを特徴とする請求項５，６又は７に記載の露光装置。
【請求項９】
前記露光に先立ち、前記マスクの前記パターンが形成された面の位置を前記マスクの下面から計測するパターン位置計測手段と；
前記パターン位置計測手段による計測結果に基づいて、前記マスクステージと前記基板ステージを相対的に駆動することによって前記マスクと前記感光基板との位置合わせを行う位置調整手段とを更に備えたことを特徴とする請求項５，６，７又は８に記載の露光装置。
【請求項１０】
少なくとも一次元方向に移動可能な試料台上に平板状の試料を保持する試料保持方法において、
前記試料を前記試料台に対して真空吸着するとともに、
前記真空吸着とは別の態様で発生し且つその大きさが制御可能である保持力を用いて、該試料を該試料台に対して固定することにより、
前記試料台と前記試料との位置関係を、該試料台が前記一次元方向に移動する時に該試料に作用する慣性力に対抗して、維持せしめることを特徴とする試料保持方法。
【請求項１１】
前記保持力の大きさは、前記試料台の移動速度に応じて制御されることを特徴とする請求項１０に記載の試料保持方法。
【請求項１２】
マスクに形成されたパターンを感光基板上に転写する露光装置において、
前記マスクに対して露光用の光を照射する照明手段と、
前記感光基板を載置して移動可能な基板ステージと、
前記マスクを保持するマスクホルダと、
前記マスクホルダを載置して少なくとも一次元方向に移動可能なマスクステージと、
前記マスクホルダ上に載置された前記マスクを真空吸着する真空吸着機構と、
前記真空吸着とは別の態様で発生した保持力を、前記マスクホルダ上に載置された前記マスクに対して付与する保持力発生手段と、を有し、
前記真空吸着機構の発生する真空吸着力と、前記保持力発生手段の発生する保持力とを併用することにより、該マスクステージが前記一次元方向に移動する時に該マスクに作用する慣性力に対抗して、前記マスクホルダと前記マスクとの位置関係を、維持せしめることを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
前記保持力の大きさは、前記マスクステージの移動速度に応じて制御されることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月26日(2003.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
正極、負極、非水電解液から構成される二次電池において、該非水電解液の溶媒がフッ素化カーボネートと鎖状カーボネートを主成分とし、その体積比率（フッ素化カーボネート：鎖状カーボネート）が５：９５から９０：１０の範囲であることを特徴とする二次電池。
【請求項２】
該フッ素化カーボネートが下記構造式で表されることを特徴とする請求項１記載の二次電池。
【化１】
1998116630.tif 000001
Ｒ1 、Ｒ2 はアルキル基をあらわし、少なくとも一方は水素原子の一部または全部をフッ素原子で置換したアルキル基である。
【請求項３】
請求項２において、Ｒ1 、Ｒ2 が炭素数１から５のアルキル基をあらわし、少なくとも一方は水素原子の一部または全部をフッ素原子で置換したアルキル基であることを特徴とする二次電池。
【請求項４】
該正極が、リチウム含有の遷移金属化合物を活物質とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の二次電池。
【請求項５】
該正極の遷移金属化合物が、Ｍｎ、ＮｉおよびＣｏから選ばれる少なくとも一種の遷移金属酸化物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の二次電池。
【請求項６】
該負極が、炭素材料であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の二次電池。
【請求項７】
該負極が、炭素繊維あるいは炭素繊維を微細に粉砕した粉末状炭素材料を含むことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の二次電池。
【請求項８】
該負極の炭素繊維が、ポリアクリルニトリルを主成分とする高分子化合物の焼成体であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の二次電池。
【請求項９】
該負極の炭素材料が、炭素繊維を微細に粉砕した粉末状炭素材料と黒鉛粉末の混合物であることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の二次電池。
【請求項１０】
該負極が金属リチウムあるいはリチウム合金であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の二次電池。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月22日(2003.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リチウムイオンを吸蔵放出するホスト物質又は活物質と、１．０ｍ２／ｇ以上の表面積をもつ無機固体電解質とを備えてなる電極を有することを特徴とする非水電解質二次電池。
【請求項２】
リチウムイオンを吸蔵放出するホスト物質又は活物質と、１．０ｍ２／ｇ以上の表面積をもつ無機固体電解質と、電解液を吸収して膨潤する高分子固体電解質とを備えてなる電極を有することを特徴とする非水電解質二次電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第一又は第二の発明において、前記無機固体電解質が、ペロブスカイト型の無機固体電解質であることが好ましい。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、前記無機固体電解質が、ランタンリチウムチタンペロブスカイトであることが好ましい。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
第一又は第二の発明において、前記無機固体電解質がペロブスカイト型の無機固体電解質であることが好ましい。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
【発明の実施の形態】
さらに、前記無機固体電解質が、ランタンリチウムチタンペロブスカイトであることが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月14日(2003.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、その少なくとも一つが透明な二つの電極間に発光層を含む有機物層を挟持した有機ＥＬ素子を平面状に複数分離配置してなる有機ＥＬ発光装置において、基板と透明電極との間であって、有機ＥＬ素子の配置に対応した位置に、無機カラーフィルタを配設してなることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項２】
基板上に、その少なくとも一つが透明な二つの電極間に発光層を含む有機物層を挟持した有機ＥＬ素子を平面状に複数分離配置してなる有機ＥＬ発光装置において、基板と透明電極との間に、酸化物または窒化物からなる保護層を配設してなることを特徴とする有機ＥＬ発光装置。
【請求項３】
前記酸化物または窒化物が、ＳｉＯx（x＝１〜２）、ＴｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、透明性ＳｉＯＮ、Ｓｉ3Ｎ4であることを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬ発光装置。
【請求項４】
前記保護層が５０μｍ以下の厚さであることを特徴とする請求項２または請求項３記載の有機ＥＬ発光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月17日(2003.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルに形成されたパターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記レチクルに形成されたレチクルアライメントマークと前記感光基板に形成された基板アライメントマークを同時に観察して前記レチクルと前記感光基板の位置合わせを行うアライメント系とを含む投影露光装置において、
前記アライメント系は、撮像面を該アライメント系の光軸に対して非計測方向に傾斜して配置された撮像手段と前記撮像手段に接続された画像処理手段とを備え、
前記画像処理手段は、前記撮像手段の撮像結果に基づいて、前記基板アライメントマークの像のベストフォーカス位置を検出すると共に、その検出されたベストフォーカス位置において該基板アライメントマークの位置検出を行うことを特徴とする投影露光装置。
【請求項２】
前記画像処理手段は前記レチクルアライメントマーク及び前記基板アライメントマークのベストフォーカス位置を検出し、検出された各ベストフォーカス位置において各アライメントマークの検出を行うことを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。
【請求項３】
前記アライメント系の光軸に対する前記撮像面の傾斜角を可変する手段を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の投影露光装置。
【請求項４】
レチクルに形成されたパターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記レチクルに形成されたレチクルアライメントマークと前記感光基板に形成された基板アライメントマークを同時に観察して前記レチクルと前記感光基板の位置あわせと行うアライメント系とを含む投影露光装置において、
前記アライメント系は、撮像面を備えた撮像手段と、該撮像手段に接続された画像処理手段とを備え、
前記撮像手段は、その撮像面と前記アライメント系の光軸とが、非計測方向に前記相対的に傾斜した状態で前記アライメントマークを撮像し、
前記画像処理手段は、前記撮像手段の撮像結果に基づいて、前記アライメントマークの像のベストフォーカス位置を検出することを特徴とする投影露光装置。
【請求項５】
レチクルに形成されたパターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板の前記レチクルに対する位置合わせを行うアライメント系と、を含む投影露光装置において、
前記アライメント系は、撮像面を備えた撮像手段と、該撮像手段に接続された画像処理手段とを備え、
前記撮像手段は、その撮像面と前記アライメント系の光軸とが非計測方向に相対的に傾斜した状態で、前記感光基板面上のパターンを撮像し、
前記画像処理手段は、前記撮像手段の撮像結果に基づいて、前記パターンの像のベストフォーカス位置を検出することを特徴とする投影露光装置。
【請求項６】
レチクルに形成されたパターンを、複数層の回路パターンが形成された感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板の前記レチクルに対する位置合わせを行うアライメント系と、を含む投影露光装置において、
前記アライメント系は、撮像面を備えた撮像手段と、該撮像手段に接続された画像処理手段とを備え、
前記撮像手段は、その撮像面と前記アライメント系の光軸とが非計測方向に相対的に傾斜した状態で、前記感光基板上の複数の層毎に設けられた基板アライメントマークを同時に撮像し、
前記画像処理手段は、前記撮像手段の撮像結果に基づいて、前記各層に設けられた基板アライメントマークの像のベストフォーカス位置を検出すると共に、その検出された各ベストフォーカス位置において該各基板アライメントマークの位置検出を行うことを特徴とする投影露光装置。
【請求項７】
前記撮像手段の前記撮像面は、前記アライメント系の光軸に対して前記非計測方向に傾斜して配置されていることを特徴とする請求項４〜６のうちの何れか一項に記載の投影露光装置。
【請求項８】
前記アライメント系は、前記撮像面に対する入射光軸を傾斜させる光学系を含むことを特徴とする請求項４〜６のうちの何れか一項に記載の投影露光装置。
【請求項９】
前記相対的な傾斜状態の傾斜量は任意に変更可能であることを特徴とする請求項４〜８のうちの何れか一項に記載の投影露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、感光層Ｆがアライメント用の光に対してほぼ透明である場合、皮膜４６，４７，４８が透明であれば、最上層のウエハマーク４２ＸＣだけでなく、下層のウエハマーク４２ＸＢ，４２ＸＡも図１のアライメント系３０の２次元撮像手段３７により直接に観察することができる。したがって、何かの原因により最上層のウエハマーク４２ＸＣを使用することができない場合、その下層のウエハマーク４２ＸＢの中心位置Ｘ２、あるいは更に下層のウエハマーク４２ＸＡの中心位置Ｘ１の情報を用いてアライメントを行うことができる。さらに、複数のウエハマーク、例えば２つのウエハマーク４２ＸＢ，４２ＸＣを使用し、各ウエハマークの中心位置Ｘ２，Ｘ３を用いて求められるアライメント誤差を平均化することで高精度のアライメントを行うこともできる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月9日(2003.10.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ステージ装置およびステージ駆動方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
除振パッドを介して水平に保持された除振台上を所定の移動方向に移動可能な第１ステージと；
前記第１ステージに搭載され、当該第１ステージに対して前記移動方向に相対移動可能で、前記第１ステージに比べて、機構的に高応答特性を有しかつ質量が極めて小さい第２ステージと；
前記第１ステージ又は第２ステージの位置を計測する第１の位置計測手段と；
前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を計測する第２の位置計測手段と；
前記第１ステージを駆動する第１の駆動手段と；
前記第２ステージを駆動する第２の駆動手段と；
前記第１、第２の位置計測手段の計測値と目標値とに基づいて前記第１、第２の駆動手段を制御するとともに、前記第２の駆動手段に対して出力される指令値の加速度成分に比べて滑らかでかつ極めて小さい加速度成分を有する指令値を前記第１の駆動手段に出力する制御手段とを有するステージ装置。
【請求項２】
除振パッドを介して水平に保持された除振台上を所定の移動方向に移動可能で、極めて小さなサーボ剛性を有する第１ステージと；
前記第１ステージに搭載され、当該第１ステージに対して前記移動方向に相対移動可能で、前記第１ステージに比べて、機構的に高応答特性で、大きなサーボ剛性を有しかつ質量が極めて小さい第２ステージと；
前記第１ステージ又は第２ステージの位置を計測する第１の位置計測手段と；
前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を計測する第２の位置計測手段と；
前記第１ステージを駆動する第１の駆動手段と；
前記第２ステージを駆動する第２の駆動手段と；
前記第１、第２の位置計測手段の計測値と目標値とに基づいて前記第１、第２の駆動手段を制御する制御手段とを有するステージ装置。
【請求項３】
除振パッドを介して水平に保持された除振台上を所定の移動方向に移動可能な第１ステージと；
前記第１ステージに搭載され、当該第１ステージに対して前記移動方向に相対移動可能で、前記第１ステージに比べて、機構的に高応答特性を有しかつ質量が極めて小さい第２ステージと；
前記第１ステージ又は第２ステージの位置を計測する第１の位置計測手段と；
前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置を計測する第２の位置計測手段と；
前記第１ステージを駆動する第１の駆動手段と；
前記第２ステージを駆動する第２の駆動手段と；
前記第１、第２の位置計測手段の計測値と目標値とに基づいて前記第１、第２の駆動手段を制御するとともに、前記第１ステージが前記第２ステージに追従するようなそれぞれの指令値を前記第１、第２の駆動手段に出力する制御手段とを有するステージ装置。
【請求項４】
前記第２の駆動手段がボイスコイルモータであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項５】
定盤上を所定の移動方向に移動可能な第１ステージと、該第１ステージに対して前記移動方向に相対移動可能な第２ステージとを駆動するステージ駆動方法において、
前記第２ステージの質量を前記第１ステージの質量よりも小さくするとともに、前記第２ステージを駆動する際の加速度成分を前記第１ステージを駆動する際の加速度成分よりも小さくして、前記第１ステージと前記第２ステージとを駆動することを特徴とするステージ駆動方法。
【請求項６】
前記第１ステージは前記第２ステージに追従して駆動することを特徴とする請求項５に記載のステージ駆動方法。
【請求項７】
前記第２ステージは非接触の駆動手段により駆動されることを特徴とする請求項５または６に記載のステージ駆動方法。
【請求項８】
前記第１ステージの質量は前記第２ステージの質量の１０倍程度であることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載のステージ駆動方法。
【請求項９】
前記第１ステージと前記第２ステージとの加速中に前記第１ステージと前記第２ステージとの相対位置誤差は大きくなっていき、前記第２ステージのストロークは前記相対位置誤差に基づいて決定されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載のステージ駆動方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
これによれば、第２の駆動手段が非接触の駆動手段であるボイスコイルモータであることから、第１ステージと第２ステージとの間に駆動方向には機械的な結合がなく、第１ステージの運動により第２ステージが直接影響を受けることがない。すなわち、第１ステージは、第２ステージの位置決めに直接関係せず、より一層高精度な第２ステージ（又はこれに搭載される試料）の位置決めが可能になる。
請求項５に記載の発明に係るステージ駆動方法は、定盤（１４）上を所定の移動方向に移動可能な第１ステージ（１６）と、この第１ステージ（１６）に対して前記移動方向に相対移動可能な第２ステージ（１８）とを駆動するステージ駆動方法において、前記第２ステージ（１８）の質量を前記第１ステージ（１６）の質量よりも小さくするとともに、前記第２ステージ（１８）を駆動する際の加速度成分を前記第１ステージ（１６）を駆動する際の加速度成分よりも小さくして、前記第１ステージ（１６）と前記第２ステージ（１８）とを駆動している。
これによれば、第２ステージ（１８）の質量が前記第１ステージ（１６）の質量よりも小さいので、第２ステージ（１８）を高加速で移動してもその反力が定盤（１４）にもたらす影響は少なく第２ステージ（１８）を高速、高精度で位置決めすることが可能となる。
請求項６に記載の発明に係るステージ駆動方法は、前記第１ステージ（１６）が前記第２ステージ（１８）に追従して駆動している。
これによれば、前記第２ステージ（１８）が先に目標位置に到達し、前記第１ステージ（１６）が前記第２ステージ（１８）を追いかけて目標位置に到達するようになる。
請求項７に記載の発明に係るステージ駆動方法は、前記第２ステージ（１８）が非接触の駆動手段により駆動されている。
これによれば、前記移動方向に関して前記第１ステージ（１６）と前記第２ステージ（１８）との間に機械的な結合がない。
請求項８に記載の発明に係るステージ駆動方法は、前記第１ステージ（１６）の質量が前記第２ステージ（１８）の質量の１０倍程度である。
これによれば、第２ステージ（１８）を高加速で移動してもその反力が定盤（１４）にもたらす影響は少なく第２ステージ（１８）を高速、高精度で位置決めすることが可能となる。
請求項９に記載の発明に係るステージ駆動方法は、前記第１ステージ（１６）と前記第２ステージ（１８）との加速中に前記第１ステージ（１６）と前記第２ステージ（１８）との相対位置誤差が大きくなっていき、前記第２ステージ（１８）のストロークが前記相対位置誤差に基づいて決定される。
これによれば、前記第１ステージ（１６）の制御はラフでよく、前記第２ステージ（１８）の位置決め精度にも支障はない。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月7日(2003.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクに形成されたパタ−ンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板を載置する基板ステージとを含む露光装置において、
前記基板ステージは、前記感光基板を保持する着脱自在な基板保持用アダプターと、前記基板保持用アダプターを固定する保持部とを備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記保持部は、多数の微小突起と排気手段に連通する開口とを備え、前記多数の微小突起上に前記感光基板を載置した状態で前記開口から前記保持部と前記感光基板の間の空間を排気することにより前記感光基板を真空吸着して保持することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
前記保持部は、多孔質部材と、該多孔質部材と排気手段とを連通する流路とを有し、前記多孔質部材上に前記感光基板を載置した状態で前記多孔質部材内を排気することにより前記感光基板を真空吸着して保持することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項４】
前記基板保持用アダプターは、前記感光基板の形状に応じたものが複数種類用意されていることを特徴とする請求項１、２、又は３記載の露光装置。
【請求項５】
前記保持部は複数の領域に分割されており、排気する領域を前記基板保持用アダプターの形状に応じて選択可能であることを特徴とする請求項２、３、又は４記載の露光装置。
【請求項６】
前記感光基板と前記基板保持用アダプターとを別々に上下動する上下動機構を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の露光装置。
【請求項７】
前記基板保持用アダプターは前記感光基板と同程度の形状と厚みとを有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の露光装置。
【請求項８】
前記基板保持用アダプターはセラミック材であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の露光装置。
【請求項９】
基板を保持する着脱自在な基板保持用アダプターと、前記基板保持用アダプターを固定する保持部とを備えることを特徴とする基板保持装置。
【請求項１０】
前記基板保持用アダプターは前記基板と同程度の形状と厚みとを有していることを特徴とする請求項９項記載の基板保持装置。
【請求項１１】
前記基板保持用アダプターはセラミック材であることを特徴とする請求項９または１０記載の基板保持装置。
【請求項１２】
前記保持部は複数の微小突起を有していることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項記載の基板保持装置。
【請求項１３】
前記基板と前記基板保持用アダプターとを別々に上下動する上下動機構を備えることを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１項記載の基板保持装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月26日(2004.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】真空下水管路への汚水送水装置及び真空下水収集システム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空下水収集システムの真空下水管路の所定部分に接続され、別途収集した汚水を前記真空下水管路に送水する真空下水管路への汚水送水装置において、
前記汚水送水装置は、収集した汚水を送り出すポンプと、ポンプの吐き出し側に取り付けられてポンプから送り出される汚水に空気を混合して噴出するエジェクターとを具備し、エジェクターの先を前記真空下水管路の所定部分に接続することで、エジェクターから噴出された汚水を真空下水管路に導入することを特徴とする真空下水管路への汚水送水装置。
【請求項２】
前記真空下水管路の所定部分で、別途収集された下水を請求項１に記載の汚水送水装置を使用して前記真空下水管路に送水することを特徴とする真空下水収集システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空下水管路への汚水送水装置及び真空下水収集システムに関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、真空弁による流量制限がなく、また真空下水管路末端部の真空圧低下が起きていても、エアロックを引き起こすことなく、多量の汚水を容易に送水できる真空下水管路への汚水送水装置及び真空下水収集システムを提供することにある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため本発明は、真空下水収集システムの真空下水管路の所定部分に接続され、別途収集した汚水を前記真空下水管路に送水する真空下水管路への汚水送水装置において、前記汚水送水装置は、収集した汚水を送り出すポンプと、ポンプの吐き出し側に取り付けられてポンプから送り出される汚水に空気を混合して噴出するエジェクターとを具備し、エジェクターの先を前記真空下水管路の所定部分に接続することで、エジェクターから噴出された汚水を真空下水管路に導入することを特徴とする。
前記汚水を別途収集する方法は、自然流下式、真空下水式、圧力下水式の何れの方法でも良い。
前記エジェクターは、例えばケーシング内にノズルを設け、且つ該ノズル近傍のケーシングに空気吸引管を接続し、ノズルから噴出される汚水の真空圧（負圧）によって空気吸引管から吸い込んだ空気を汚水と混合して噴出するような構成にすることが好ましい。
またエジェクターの真空下水管路への接続は、真空下水管路の末端部の真空が届きにくい場所であることが好ましい。
また本発明は、前記真空下水管路の所定部分で、別途収集された下水を前記汚水送水装置を使用して前記真空下水管路に送水することを特徴とする真空下水収集システムにある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
図示の可塑化装置２におけるリサイクル材料の可塑化と蓄積及び送出は、可塑化スクリュ２３の回転による樹脂圧又は樹脂圧による後退及び前進移動とにより行われ、計量は射出装置１における前進位置の射出プランジャ１１の樹脂圧による後退により行われるが、可塑化装置２は定位置で回転する可塑化スクリュを内装したものであってもよい。その何れの場合でも可塑化された樹脂の送出圧力（たとえば８００Ｋｇｆ／ｃｍ2 ）は、射出プランジャ１１による射出圧力よりも著しく低圧であることから、樹脂圧によりフイルター４７の網目が変形して短期間で機能を失うことはない。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また異物除去装置４を可塑化装置側に設けたことによって、フイルター４７が射出圧力の抵抗とならず、射出装置側に設けた場合に生ずる樹脂の流動圧力損出を来すことなく、リサイクル材料の可塑化から射出充填に至る行程を、通常のプリプラ式射出成形機と同様な成形サイクルのもとに行うことができる。これにより異物の混入を嫌って直接使用を避けていたリサイクル材料を、通常材料と同様に精密成形品などの成形用材料として使用できるようになる。この結果、熱履歴の少ないリサイクル材料による品質の高い製品の射出成形が可能となる。