【手続補正書】
【提出日】平成15年9月19日(2003.9.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
（ａ）半導体装置内の不良ビットの位置を示す第１不良マップを生成するステップと、
（ｂ）前記第１不良マップを複数のブロックに区画し、前記第１不良マップ内の不良ブロックの位置を示す第２不良マップを生成するステップと、
（ｃ）少なくとも１つの前記ブロックからなる集合体を前記第２不良マップから選択するステップと、
（ｄ）前記第１不良マップのうちの前記集合体に対応する領域を用いて前記半導体装置の解析を行うステップと、
を備えた不良解析方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
（ｆ）前記ステップ（ｅ）において認識した結果を第１データベースによって管理するステップと、
（ｇ）前記ステップ（ｄ）において認識した結果を第２データベースによって管理するステップと、
をさらに備えた請求項３記載の不良解析方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図５の原点Ｏ付近のように複数の不良ブロックが密集している場合、不良の原因となる正確な欠陥の座標を決定することができず、不良ブロックと欠陥との照合における信頼性が低いという問題点がある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
本発明の請求項１２に係る課題解決手段は、（ｆ）前記ステップ（ｅ）において認識した結果を第１データベースによって管理するステップと、（ｇ）前記ステップ（ｄ）において認識した結果を第２データベースによって管理するステップとをさらに備える。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図２は本発明の実施の形態１における不良解析方法を示すフローチャートである。図２に示す不良解析方法のアルゴリズムを有するプログラムをデータ解析用ＥＷＳ２に与えることによって、データ解析用ＥＷＳ２は図２のステップＳ１〜ステップＳ６のそれぞれの処理を行う機能手段を有する。すなわち、Ｓ１は第１不良マップ生成手段、Ｓ２は第２不良マップ生成手段、Ｓ３は不良モード認識手段、Ｓ４は選択手段、Ｓ５は詳細認識手段（解析手段）、Ｓ６は出力手段に相当する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
この不良モード認識方法は、次のようにして行う。不良モードは認識ルールによって定義される。認識ルールは集合体の大きさ、形状、及び集合体に含まれる不良ビットの数に基づく値を条件として含む。認識ルールの例を次に示す。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
以上の認識ルールは不良形状が大きい順に配置することによって、大きな不良形状の不良モードを優先的に認識した。小さな不良形状の不良モードを優先的に認識したいときは、不良形状の小さい不良モードの順に配置すればよい。また、ビット不良の不良モードを優先的に認識したいときは、ビット不良の不良モードを先頭に配置すればよい。ライン不良の不良モードを優先的に認識したいときは、ライン不良の不良モードを先頭に配置すればよい。ビット不良の不良モードを先頭に配置することによって、例えばブロック不良の不良モードを先頭に配置したときに認識できなかったブロック不良内に含まれるビット不良を認識することができる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
そして、データ解析用ＥＷＳ本体２１は、ステップＳ４及びステップＳ５の処理の結果を表示装置２２に表示する（ステップＳ６）。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
ステップＳ５における不良モードの認識方法は実施の形態１で説明したものと同様である。なお、ステップＳ３で用いられる不良モードとステップＳ５で用いられる不良モードとは異なっていてもよい。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
実施の形態４．
実施の形態１のステップＳ５では、抽出領域からライン不良等の不良形状を認識した。実施の形態４のステップＳ５では、抽出領域から第３不良マップを作成する。実施の形態４のその他は実施の形態１と同様である。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
実施の形態７．
実施の形態７は、ステップＳ３と同様な方法によって実施の形態６で２階調化された第３不良マップから不良モードを認識する。図２４は実施の形態７のステップＳ５の詳細を示すフローチャートである。図２４中のステップＳ５３１１は実施の形態６で説明した２階調化を行う処理であり、ステップＳ５３３は２階調化された第３不良マップから不良モードを認識する処理であり、ステップＳ５３１、ステップＳ５３２のそれぞれは図２１におけるそれらに対応している。ステップＳ５３３における不良モードの認識方法は実施の形態１で説明したものと同様である。なお、ステップＳ３で用いられる不良モードとステップＳ５３３で用いられる不良モードとは異なっていてもよい。


【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図２８は本発明の実施の形態９における不良解析方法を示すフローチャートである。ステップＳ６１では、ステップＳ３において認識した結果を表示し、ステップＳ７１では、この結果をデータベースＤＢ１に格納して管理する。一方、ステップＳ６２では、ステップＳ５において認識した結果を表示し、ステップＳ７２では、この結果をデータベースＤＢ２に格納して管理する。その他のステップは、図２のそれらと同様である。


【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
実施の形態１０．
図２９は本発明の実施の形態１０における不良解析方法を示すフローチャートである。ステップＳ６では、ステップＳ３あるいはステップＳ５において認識した結果を表示し、ステップＳ７では、これらの結果をデータベースＤＢ１に格納して管理する。その他のステップは、図２のそれらと同様である。


【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
実施の形態１１．
図１４に示したように、どの不良モードにも属さなかった残りの不良構成要素の集合体ＦＵが存在する場合がある。そこで、実施の形態１１では、オペレータが認識結果を改訂したい場合（図３０のステップＳ８）、オペレータがこの集合体ＦＵを指定して入力し、さらに不良モード名称を入力する（ステップＳ９）。改訂した後、改定後の認識の結果を含めて、ステップＳ３あるいはステップＳ５において認識した結果をデータベースＤＢ１に格納して管理する（ステップＳ７）。


【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
実施の形態１３．
従来では、ブロック不良の場合は正確な欠陥位置座標を決定することができないため、不良ブロックと欠陥との照合は行っていなかった。


【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
実施の形態１４による効果は次の通りである。すなわち、ブロック不良の場合であっても、このブロック不良に対応する抽出領域と欠陥との照合を行うことによって、不良の原因となる正確な欠陥の座標を決定することができる。これによって、不良ブロックと欠陥との照合における信頼性が高くなる。


【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
本発明請求項３によると、ステップ（ｅ）と同じようにして領域内の不良モードを認識することによって、ステップ（ｅ）の処理を行うプログラムを利用して不良モードを認識できるという効果を奏す。


【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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