【事件の表示】
　平成　９年特許願第１８０８８１号「ウェーハの両面ラップ方法及び装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　３月３１日出願公開、特開平１０−　８０８６１、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本件出願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
１．手続の経緯・本件発明　
　本件は、平成９年７月７日（優先権主張平成８年７月１５日）の出願であって、その請求項１乃至５に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至５に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。
「【請求項１】鉛直保持されたウェーハの表裏両面に摺擦する幅の狭い円周状ラップ面をもち、ウェーハの半径にほぼ等しい外径をもつ一対のリング状定盤を対向させてウェーハの中心から周辺に至る部分に押圧し、ウェーハ，リング状定盤で区画された空洞部にリング状定盤の軸に設けた貫通孔を介して砥粒懸濁スラリーを送り込みながらリング状定盤を互いに逆方向に回転させ、ラップ面に形成された溝を介して砥粒を供給し、溝及びラップ面を介して砥粒及び研削屑を排出することを特徴とするウェーハの両面ラップ方法。（以下、「本件発明１」という。）
【請求項２】片方のリング状定盤を基準側とし、ラップ面の摩耗に応じて他方のリング状定盤を基準側に移動させる請求項１記載の両面ラップ方法。（以下、「本件発明２」という。）
【請求項３】ガイドローラで周縁を支持しながら駆動ローラでウェーハを回転させる請求項１又は２記載の両面ラップ方法。（以下、「本件発明３」という。）
【請求項４】砥粒懸濁スラリーを供給する貫通孔が形成された基準軸の先端にリング状ラップ定盤を回転可能に設けた基準側ラップ機構と、砥粒懸濁スラリーを供給する貫通孔が形成された移動軸の先端にリング状ラップ定盤を回転可能に設けた移動側ラップ機構と、鉛直保持されたウェーハの表面に接触してウェーハを回転させる駆動ローラ及びウェーハの周縁に接触して回転中のウェーハを位置制御するガイドローラを備えたウェーハ回転支持機構からなり、リング状定盤のウェーハ表面に対向する側に内部から外部に至る放射状の溝をもつ幅の狭い円周状ラップ面が形成されており、基準側及び移動側のリング状定盤がウェーハの半径にほぼ等しい外径をもち、中心から周辺に至る表面部分のウェーハ両面に押圧され、ウェーハ，リング状定盤で区画された空洞部にリング状定盤の軸に設けた貫通孔を介して砥粒懸濁スラリーが送り込まれ、円周状ラップ面に形成された放射状の溝及びラップ面からリング状定盤の外へ送り出されることを特徴とするウェーハの両面ラップ装置。（以下、「本件発明４」という。）
【請求項５】ラップ面の摩耗に応じて基準側ラップ機構に向けて移動側ラップ機構及びウェーハ回転支持機構を移動させる移動機構を備えている請求項４記載の両面ラップ装置。（以下、「本件発明５」という。）」
　　
２．原査定及び前置報告書の概要
（１）原査定の拒絶の理由
　本件各請求項に係る発明は、本件の出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平６−２４６６２４号公報（以下、「引用例１」という。）及び実願平１−１０４３３号（実開平２−１０４９６０号）のマイクロフィルム（以下、「引用例２」という。）に記載の発明、並びに実願昭５９−１０９２０６号（実開昭６１−２４１４７号）のマイクロフィルム（以下、「周知例」という。）に記載の従来周知の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたというものである。
（２）前置報告書に記載の特許査定できない理由
　本件各請求項に係る発明は、引用例１、引用例２並びに特開昭６１−２６５２６４号公報（以下、「引用例３」という。）、特開昭６１−１９７１５８号公報（以下、「引用例４」という。）、特開昭６２−１６２４６８号公報（以下、「引用例５」という。）に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたというものである。
　　
３．対比・判断　
（１）本件発明１について
　本件発明１と引用例１乃至５に記載の発明並びに周知例に記載の事項を対比すると、本件発明１は、「鉛直保持されたウェーハの表裏両面に摺擦する幅の狭い円周状ラップ面をもち、ウェーハの半径にほぼ等しい外径をもつ一対のリング状定盤を対向させてウェーハの中心から周辺に至る部分に押圧し、ウェーハ，リング状定盤で区画された空洞部にリング状定盤の軸に設けた貫通孔を介して砥粒懸濁スラリーを送り込みながら・・・ラップ面に形成された溝を介して砥粒を供給」することをその発明特定事項とするものであるが、該事項は引用例１乃至５並びに周知例のいずれにも記載されておらず、示唆する記載もない。
　また、本件発明１は、上記発明特定事項を備えることにより、「鉛直保持したウェーハ１にリング状定盤１３を対向させているので、ウェーハ１，リング状定盤１３で区画されたディスク状空洞部Ｖ（重力Ｇが加わる方向）が鉛直面に広がった扁平な形状となる。そのため、ディスク状空洞部Ｖに送り込まれた砥粒懸濁スラリーＡに２Ｇの加速度差が加わり、砥粒懸濁スラリーＡの攪拌流動が促進される」（平成１４年６月５日付意見書の（４）本発明の進歩性欄）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、引用例１乃至５に記載の発明並びに周知例に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（２）本件発明４について
　本件発明４と引用例１乃至５に記載の発明並びに周知例に記載の事項を対比すると、本件発明２は、「リング状ラップ定盤を回転可能に設けた基準側ラップ機構と、・・・リング状ラップ定盤を回転可能に設けた移動側ラップ機構と、鉛直保持されたウェーハ・・・を回転させる駆動ローラ及び・・・ウェーハを位置制御するガイドローラを備えたウェーハ回転支持機構からなり、・・・基準側及び移動側のリング状定盤がウェーハの半径にほぼ等しい外径をもち、中心から周辺に至る表面部分のウェーハ両面に押圧され、ウェーハ，リング状定盤で区画された空洞部にリング状定盤の軸に設けた貫通孔を介して砥粒懸濁スラリーが送り込まれ、円周状ラップ面に形成された放射状の溝及びラップ面からリング状定盤の外へ送り出される」ことをその発明特定事項とするものであるが、該事項は引用例１乃至５並びに周知例のいずれにも記載されておらず、示唆する記載もない。
　また、本件発明４は、上記発明特定事項を備えることにより、「鉛直保持したウェーハ１にリング状定盤１３を対向させているので、ウェーハ１，リング状定盤１３で区画されたディスク状空洞部Ｖ（重力Ｇが加わる方向）が鉛直面に広がった扁平な形状となる。そのため、ディスク状空洞部Ｖに送り込まれた砥粒懸濁スラリーＡに２Ｇの加速度差が加わり、砥粒懸濁スラリーＡの攪拌流動が促進される」（平成１４年６月５日付意見書の（４）本発明の進歩性欄）という顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明４は、引用例１乃至５に記載の発明並びに周知例に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（３）本件発明２、３及び５について
　本件発明２、３及び５は、本件発明２及び３が本件発明１を引用し、本件発明５が本件発明４を引用するものであることから、引用例１乃至５に記載の発明並びに周知例に記載の事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　　
４．むすび　
　以上のとおりであるから、本件出願については、原査定の拒絶の理由及び前置報告書に記載の特許査定できない理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本件出願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。