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【手続補正書】
【提出日】平成15年10月28日(2003.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
監視エリア内で発生する火災を検出し、火災を検出したときに検出信号を出力するセンサと、
該センサと同じ監視エリア内を撮影し画像信号を出力するカメラと、
前記センサが出力する検出信号が入力すると警報および前記カメラから入力される画像信号を出力し、消火剤の放出命令が入力されてから放出停止命令が入力されるまでの間、消火手段を駆動させる駆動信号を出力する判断手段と、
該判断手段が出力する駆動信号が入力すると監視エリア内に消火剤を放出する消火手段と、
前記判断手段が出力する警報および画像信号を制御装置に送信するとともに、制御装置からの受信信号を前記判断手段に出力する第１の送受信手段とから構成される消火装置と、
該消火装置からの警報及び画像信号が入力すると、音声または文字により警報の入力を報知するとともに画像信号を表示する報知手段と、
監視センタの監視員による操作により消火剤の放出命令または放出停止命令を出力する命令入力手段と、
前記消火装置からの警報および画像信号を前記報知手段に出力し、前記命令入力手段が出力する放出命令および放出停止命令を通信回線を介して制御装置に出力する第１の通信手段とから構成される監視装置と、
予め設定されたスケジュールにしたがって前記消火装置および運搬装置を制御する制御信号を出力し、消火剤の放出命令および放出停止命令を前記消火装置に出力する制御手段と、
該制御手段が出力する制御信号を前記消火装置に送信するとともに、前記消火装置からの警報や画像信号を受信し、前記制御手段に出力する第２の送受信手段と、
前記制御手段が出力する制御信号を運搬装置に出力し、消火剤の放出命令または放出停止命令が入力するとその命令を前記制御手段に出力する第２の通信手段とから構成される制御装置と、
該制御装置からの制御信号の入力に応じて前記消火装置を運搬移動する運搬装置をさらに有することを特徴とする請求項１記載の倉庫用自動消火システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記制御装置が、
計時開始信号が入力されると所定時間計時を行なうタイマを備え、
前記制御手段が、
警報および画像信号が入力されると前記タイマに計時開始信号を出力し、前記監視装置が出力する放出命令が入力されたとき、あるいは前記タイマの計時時間が経過するまでに放出命令または放出停止命令が入力されないときに放出命令を出力することを特徴とする請求項５記載の倉庫用自動消火システム。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記監視装置に、
監視員の操作により指定されたブロックを示す確認要求信号を出力する確認要求手段を設け、
前記第１の通信手段は、前記確認要求手段からの確認要求信号を通信回線を介して前記制御装置に出力し、
前記制御手段が、
前記第２の通信手段を介して確認要求信号が入力されると、指定されたブロックのみ、または、指定されたブロックと当該ブロックの周辺ブロックの火災を検出するように前記消火装置および前記運搬装置を制御する制御信号を出力することを特徴とする請求項５乃至７いずれか一項記載の倉庫用自動消火システ厶。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本願の請求項５の発明は、監視エリア内で発生する火災を検出し、火災を検出したときに検出信号を出力するセンサと、
該センサと同じ監視エリア内を撮影し画像信号を出力するカメラと、
前記センサが出力する検出信号が入力すると警報および前記カメラから入力される画像信号を出力し、消火剤の放出命令が入力されてから放出停止命令が入力されるまでの間、消火手段を駆動させる駆動信号を出力する判断手段と、
該判断手段が出力する駆動信号が入力すると監視エリア内に消火剤を放出する消火手段と、
前記判断手段が出力する警報および画像信号を制御装置に送信するとともに、制御装置からの受信信号を前記判断手段に出力する第１の送受信手段とから構成される消火装置と、
該消火装置からの警報及び画像信号が入力すると、音声または文字により警報の入力を報知するとともに画像信号を表示する報知手段と、
監視センタの監視員による操作により消火剤の放出命令または放出停止命令を出力する命令入力手段と、
前記消火装置からの警報および画像信号を前記報知手段に出力し、前記命令入力手段が出力する放出命令および放出停止命令を通信回線を介して制御装置に出力する第１の通信手段とから構成される監視装置と、
予め設定されたスケジュールにしたがって前記消火装置および運搬装置を制御する制御信号を出力し、消火剤の放出命令および放出停止命令を前記消火装置に出力する制御手段と、
該制御手段が出力する制御信号を前記消火装置に送信するとともに、前記消火装置からの警報や画像信号を受信し、前記制御手段に出力する第２の送受信手段と、
前記制御手段が出力する制御信号を運搬装置に出力し、消火剤の放出命令または放出停止命令が入力するとその命令を前記制御手段に出力する第２の通信手段とから構成される制御装置と、
該制御装置からの制御信号の入力に応じて前記消火装置を運搬移動する運搬装置をさらに有することを特徴とする倉庫用自動消火システムである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本願の請求項６の発明は、上記制御装置が、
計時開始信号が入力されると所定時間計時を行なうタイマを備え、
上記制御手段が、
警報および画像信号が入力されると上記タイマに計時開始信号を出力し、上記監視装置が出力する放出命令が入力されたとき、あるいは上記タイマの計時時間が経過するまでに放出命令または放出停止命令が入力されないときに放出命令を出力することを特徴とする倉庫用自動消火システムである。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本願の請求項８の発明は、上記監視装置に、
監視員の操作により指定されたブロックを示す確認要求信号を出力する確認要求手段を設け、
上記第１の通信手段は、上記確認要求手段からの確認要求信号を通信回線を介して上記制御装置に出力し、
上記制御手段が、
上記第２の通信手段を介して確認要求信号が入力されると、指定されたブロックのみ、または、指定されたブロックと当該ブロックの周辺ブロックの火災を検出するように上記消火装置および上記運搬装置を制御する制御信号を出力することを特徴とする倉庫用自動消火システムである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
〈運搬装置の移動〉
ステップ４０２で火災が検出されなかった場合や、ステップ４０８で消火剤の放出を停止すると、制御手段７１Ａは、全ブロックの火災の検出が終了したか否かを判断し（Ｓ１０６）、全てのブロックの火災の検出が終了していなかった場合は、次のブロックで火災が発生しているか否かを検出するために第２の通信手段７３を介して運搬装置６Ａに移動信号を出力する（Ｓ１０９）。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月8日(2003.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像処理の演算を行う演算処理装置を備え、この演算装置が、記憶装置に記憶されたゲームプログラムと入力装置からの入力信号によって、３次元仮想空間に仮想カメラと複数のキャラクタを配置し、この仮想カメラに向けて前記キャラクタが接近する状態にする処理と、前記キャラクタから前期仮想カメラに向けた所定の画像処理によって、操作者に対してゲームを終了させるための処理と、複数のキャラクタの出現を複数のゾーンに分け、前記仮想カメラに最も近いゾーンのキャラクタの数を制限する処理と、を行うようにした画像処理装置。
【請求項２】
画像処理の演算を行う演算処理装置を備え、この演算装置が、記憶装置に記憶されたゲームプログラムと入力装置からの入力信号によって、三次元仮想空間に仮想カメラと複数のキャラクタを配置し、複数のキャラクタに対して前記仮想カメラを向けるようにする処理と、前記仮想カメラの注視点を仮想カメラにより近いキャラクタに対して優先的に設定する処理と、同じ優先度のキャラクタが複数存在する場合には、注視点をこれ等のキャラクタの中間位置に設定する処理と、とを行うようにした画像処理装置。
【請求項３】
画像処理の演算を行う演算処理装置を備え、この演算装置が、記憶装置に記憶されたゲームプログラムと入力装置からの入力信号によって、三次元仮想空間に仮想カメラと複数のキャラクタを配置する処理と、前記三次元仮想空間内に配置された第１のキャラクタ位置と第２のキャラクタ位置とのずれ角に応じて仮想カメラの注視点の移動を制御する処理と、前記ずれ角の値に応じて前記注視点の次回移動位置を設定する処理地と、を行うようにした画像処理装置。
【請求項４】
前記次回移動位置は、前記現在位置と前記移動先位置とを結ぶ線分上の内分点であり、前記内分点は前記ずれ角に応じて定められる、ことを特徴とする請求項３記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記注視点の次回移動量が前記ずれ角を変数とする関数によって設定される、ことを特徴とする請求項３又は４記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記ずれ角に対する仮想カメラの注視点の移動量に上限値と下限値を設けたことを特徴とする請求項５記載の画像処理装置。
【請求項７】
三次元仮想空間に配置された視点を移動してゲームを行うようにしたゲーム装置であって、前記三次元仮想空間内のある場面から分岐する複数の視点の移動コースを分岐条件と共に記憶する記憶手段と、操作手段からの操作信号に応じて画像を形成するデータ処理を行い、かつ前記視点からの映像を形成するための画像変換を行う画像処理手段と、前記複数の視点の移動コース中からゲーム成績に対応する移動コースを選択して、この移動コースに沿って前記視点を移動させるコース選択手段と、を備えるゲーム装置。
【請求項８】
三次元仮想空間に配置された視点を移動しながら、この空間上に定義される移動キャラクタに対する遊戯者の模擬射撃をシミュレートし、所定以上の模擬射撃が遊戯者から所定のキャラクタに行われた際に、このキャラクタを模擬死として攻撃対象のキャラクタから除外するように構成したゲーム装置であって、前記三次元仮想空間内のある場面から分岐する複数の視点の移動コースを分岐条件と共に記憶する記憶手段と、操作手段からの操作信号に応じて画像を形成するデータ処理を行い、かつ前記視点からの映像を形成するための画像変換を行う画像処理手段と、所定の時間内に模擬死に到ったキャラクタの程度をゲーム成績として算定し、前記複数の視点の移動コース中からゲーム成績に対応する移動コースを選択して、この移動コースに沿って前記視点を移動させるコース選択手段と、を備えるゲーム装置。
【請求項９】
前記複数のキャラクタを複数のゾーンに分けて配置し、各ゾーン毎にゾーン内のキャラクタに対して攻撃能力を定義するようにした、ことを特徴とする請求項８記載のゲーム装置。
【請求項１０】
前記複数のゾーンのうち、視点からの距離が遠いゾーンほど優先的にキャラクタを出現させるようにした、ことを特徴とする請求項９記載のゲーム装置。
【請求項１１】
各ゾーン内に配置されるキャラクタの数を制限した、ことを特徴とする請求項９又は１０記載のゲーム装置。
【請求項１２】
三次元仮想空間に配置された視点を移動しながら、この空間上に定義される移動キャラクタと遊戯者との間の闘いをシミュレートし、所定以上の模擬攻撃が遊戯者から所定のキャラクタに行われた際に、このキャラクタを模擬死として攻撃対象のキャラクタから除外するように構成したゲーム装置であって、前記三次元仮想空間内のある場面から分岐する複数の視点の移動コースを分岐条件と共に記憶する記憶手段と、操作手段からの操作信号に応じて画像を形成するデータ処理を行い、かつ前記視点からの映像を形成するための画像変換を行う画像処理手段と、前記複数の視点の移動コース中から、前記模擬死に到らなかったキャラクタに対応して所定の移動コースを選択し、この移動コースに沿って前記視点を移動させるコース選択手段と、を備えることを特徴とするゲーム装置。
【請求項１３】
コンピュータシステムに、請求項１乃至１２記載のいずれか１項記載の各処理を実現させるためのプログラムを記録した媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月24日(2003.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遊技場内に設置される複数種の機器のそれぞれに、不正操作を検出する不正操作検出部を設けるとともに、不正操作が検出されたときに不正の排除指令を行う不正排除指令部を備え、上記不正操作が続行されるのを防止するようにした遊技場の管理装置において、上記不正の排除指令を出力する時間を上記各機器の機種毎に設定された所定時間だけ遅延させるタイマ部を設けて、上記複数種の機器の種別に応じて上記不正の排除指令の出力タイミングを異ならせるようにしたことを特徴とする遊技場の管理装置。
【請求項２】
遊技場内に設置される複数種の機器のそれぞれに、不正操作を検出する不正操作検出部を設けるとともに、不正操作が検出されたときに不正の排除指令を行う不正排除指令部を備え、上記不正操作が続行されるのを防止するようにした遊技場の管理装置において、上記不正の排除指令を出力する時間を上記複数個の機器の設置場所に応じて設定された所定時間だけ遅延させるタイマ部を設け、上記複数個の機器の設置場所に応じて上記不正の排除指令の出力タイミングを異ならせるようにしたことを特徴とする遊技場の管理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は、遊技場内に設置される、パチンコ機、玉貸機、カード販売機、玉計数発券機等の複数種の機器のそれぞれに、不正操作を検出する不正操作検出部を設けるとともに、不正操作が検出されたときに不正の排除指令を行う不正排除指令部を備え、上記不正操作が続行されるのを防止するようにした遊技場の管理装置において、上記不正の排除指令を出力する時間を上記各機器の機種毎に設定された所定時間だけ遅延させるタイマ部を設けて、上記複数種の機器の種別に応じて上記不正の排除指令の出力タイミングを異ならせるようにしたものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項２に係る発明は、上記不正の排除指令を出力する時間を上記複数個の機器の設置場所に応じて設定された所定時間だけ遅延させるタイマ部を設けて、上記複数個の機器の設置場所、具体的には不正が行われているパチンコ機等が、従業員が監視する場所から遠い所にあるとか、近い場所にあるとかに応じて不正の排除指令の出力タイミングを異ならせるようにしたものである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月21日(2003.8.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
なお、反応条件を高温にすることにより、含ヘテロ化合物を熱分解して低分子量化を図り、これを水素化脱メタル化することも試みられている。しかし、高温での反応は含ヘテロ化合物の低分子量化と同時に副反応として炭化水素が縮合して、ドライスラッジが発生し、製品の劣質化や触媒上にコークが堆積して触媒が失活する、いわゆるコーク劣化が生じるという問題があった。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明の触媒は、比表面積が１００〜４５０m2/g、より好ましくは１５０〜３００m2/g、平均細孔容積が０.１〜２cc/g、より好ましくは０.３〜１.５cc/g、平均細孔径は５０〜４００Å、より好ましくは７０〜３００Åの範囲になるようにすると良い。また、触媒の形状は、球状、円柱状、三葉型または四葉型等のいかなる形状でも使用に支障はない。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の触媒は、ＧＰＣ(ゲルパーミエイションクロマトグラフィ)分析におけるポリスチレン換算分子量が３０００以上で、硫黄、窒素、バナジウム、ニッケル、鉄等のヘテロ元素をその骨格に含んでなる含ヘテロ化合物を含有するアスファルテン分等の蒸留残渣が含まれている重質油の水素化精製に好適であり、より具体的には、原油、常圧残油、減圧残油、石炭液化油、シェールオイル、タールサンド等の処理に用いると好ましい。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の触媒の使用に当たっての水素化精製条件は、反応温度が２５０〜５００℃、より好ましくは３００〜４５０℃、反応圧力が１〜３０ＭPa、好ましくは５〜２０ＭPa、水素流量が５０〜５０００l/l、より好ましくは５００〜２０００l/l、及び液空間速度(LHSV)が０.１〜１０hr-1、より好ましくは０.５〜５hr-1の範囲から適宜選定することが好適である。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
この場合の反応条件は、反応温度が３００〜５００℃、好ましくは３５０〜４５０℃、反応圧力が水素圧として２〜２５ＭPa、好ましくは５〜２０ＭPa、液空間速度（ＬＨＳＶ）が０.０５〜７hr-1、好ましくは０.１〜２hr-1、水素ガスと原料油の供給割合（H2/Oil）が３００〜３０００Nm3/kl、好ましくは５００〜１５００Nm3/klの範囲から適宜選定するとよい。なお、上記第１〜３段の各触媒床間では、反応条件を同じとしても、例えば、反応温度等を、違えてもよい。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
含イオウ化合物についての上記GPC-ICP分析結果を図１に、含バナジウム化合物について図２に示し、それらの重量平均分子量（ポリスチレン換算）を表５に示した。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
反応条件は、液空間速度をトータル触媒量に対して１.０hr-1とし、運転時間を１５０時間とした以外は、上記性能試験と同じ条件で実験を行った。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月9日(2003.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を炭素質吸着体で処理する場合に、前段吸着処理部と後段吸着処理部を設け、単数又は複数箇所から使用済炭素質吸着体を取り出す流体の吸着処理法において、（イ）取り出した炭素質吸着体の一部又は全部を、空気又は遊離酸素を含むガスを流動化ガスとして、６００℃付近以下１５０℃付近以上で流動層を使用する熱分解または酸化分解を含む熱処理をして、前段吸着処理部に戻すこと、（ロ）取り出した炭素質吸着体の残部を６００度付近以下１５０℃付近以上で酸化再生して前段または後段吸着部に戻すこと、（ハ）前段吸着処理部と同種又は別種の吸着炭素質で後段吸着処理を行い、廃炭素質の再生には低温酸化再生炉を使用すること、からの選択または組み合わせからなる流体処理法。
【請求項２】
炭素質吸着体を使用する液または廃水の処理において。攪拌流動層吸着装置と攪拌流動層低温熱分解酸化再生装置または攪拌流動層低温酸化再生部から選ばれた１つまたは組み合わせからなる流体処理方法。
【請求項３】
有機質または無機質を吸着した炭素質吸着体を再生する場合に、湿または乾有機質、炭化有機質、有機物を付着しまたは吸着した炭素質から選ばれた１つまたは組み合わせを廃吸着体の熱分解酸化再生室または酸化再生室に添加して、６００度付近以下１５０℃付近以上で空気又は遊離酸素を含む気相雰囲気で処理し、添加物を分離しまたは分離することなく吸着体として使用する処理方法。
【請求項４】
低温熱分解酸化再生室の温度調節に水、無機物または有機物を含む溶液または汚水を注入または噴霧する請求項１ないし３記載の流体の処理方法。
【請求項５】
炭素質吸着体の酸化再生装置において、流動層加熱手段を有し複数であり得る第一流動層部と、１個以上の炭素質供給装置と、第一流動層との間で炭素質吸着体の相互流通可能な複数であり得る第二流動層部とからなる炭素質吸着体の酸化再生装置。
【請求項６】
多孔性炭化物または活性炭に汚染物、有機物、有機性高沸点物質から選ばれた物質を融解物、溶液、懸濁質から選ばれた状態で吸収または付着させ、遊離酸素を含有する雰囲気中で６００℃付近以下で炭化処理し、次に遊離酸素を含む酸化雰囲気中で６００℃付近以下１５０℃付近以上の流動層で低温酸化または再生する操作を１度または２度以上繰り返し処理された粉状、粒状、または顆粒状炭素質吸着体。
【請求項７】
常圧または加圧で操作する請求項１ないし６記載の炭素質吸着体の熱分解または再生方法。
【請求項８】
空気又は遊離酸素を含むガスを流動化ガスとして、流動層を使用する熱分解または酸化分解を含む熱処理炉または吸着兼用炉において空気または流動化ガス予熱器を再生炉底より高位の炉内または炉外に配置した炭素質吸着体処理装置。
【請求項９】
流動層の流動化ガス分散装置の孔またはスリットに可動性線状物を挿入した流動層処理装置。
【請求項１０】
（亜硫酸化合物＋第一鉄塩＋亜硝酸化合物）を（１）多孔質体または炭素質吸着体、（２）水または溶液、の何れかまたは両方と組合せた脱臭剤または酸化処理材。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月31日(2003.10.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に組み込まれたモーター４により自由に転がる球体状の駆動体１と、該駆動体１の転がりの障害となることなく引きずられるように、駆動体１の周囲に配置された床面のゴミや埃を付着させることができる清掃具２とからなることを特徴とする掃除機。
【請求項２】
上記清掃具２が、環状で、清掃する床面と接する部分に、ゴミや埃を付着させる部分３を備える請求項１記載の掃除機。
【請求項３】
上記環状の清掃具２の上面が開放された形状をしている請求項１記載の掃除機。
【請求項４】
上記環状の清掃具２の上面が塞がった形状をしている請求項１記載の掃除機。
【請求項５】
上記球体状の駆動体１の外周部の周囲に自由に被せられる覆い８に、清掃具２を取り付けた請求項１記載の掃除機。
【請求項６】
内部にモーター４が組み込まれた、自由に走行し障害物に対応して方向転換する駆動体１と、この駆動体１に該駆動体１の走行の障害となることなく引きずられるように配置された床面のゴミや埃を付着させることができる清掃具２とからなることを特徴とする掃除機。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月31日(2003.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
すなわち、上記のような構成のチャッキング装置によって、容器２ａを適切にチャッキングするためには、チャッキングヘッド５ａの複数のチャック爪５５ａが、容器２ａの上部外周面を的確に把持するように、チャッキングヘッド５ａの最下降位置を、容器２ａの高さＨに対応する高さに正確に合わせる必要がある。その一方、試料検査装置で用いられる容器２ａは、常に、同一サイズであるとは限らず、容器２ａの高さＨ（長さ）が種々変更される場合がある。したがって、容器２ａの高さＨが変更された場合には、それに応じてチャッキングヘッド５ａの最下降位置も変更する必要がある。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本願発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、容器などの所望のチャッキング対象物の高さが変更される場合であっても、煩雑な制御機構などを必要とすることなく、簡易な構造の手段によって、種々の高さのチャッキング対象物のチャッキング動作を適切に行うことができるようにすることをその課題としている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本願発明では、チャッキングヘッドの下方に所望のチャッキング対象物を配置させた状態において、駆動手段を駆動させて可動部材を下降させてゆく場合には、この可動部材に当接している支持部材を上記可動部材に伴わせてその自重作用によって下降させてゆくことができ、これによりチャッキングヘッドを下降させることができる。次いで、チャッキングヘッドがチャッキング対象物の上部に接近すると、ストッパ手段がチャッキング対象物の上部に当接することとなり、このストッパ手段とチャッキング対象物との当接によって上記支持部材の重量が受けられて、上記支持部材が自重により下降することを阻止することができる。したがって、ストッパ手段がチャッキング対象物に当接した後においては、可動部材をさらに下降させた場合であっても、支持部材が上記可動部材に伴ってさらに下降することはなく、可動部材の最下降位置とは何ら無関係に、チャッキングヘッドをチャッキング対象物の上部をチャッキングするのに適する高さに停止させることが可能となる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
このように、結局、本願発明では、チャッキング対象物の高さに応じて可動部材の下降寸法を所定の寸法に正確に設定するといった必要はなく、チャッキング対象物の高さが変更された場合であっても、ストッパ手段がチャッキング対象物の上部に当接するように、可動部材を単に大きな寸法で下降させるだけで、チャッキングヘッドをチャッキング対象物のチャッキングに適する最下降位置に位置合わせすることができる。したがって、従来とは異なり、チャッキング対象物の高さが変更される都度、それに応じてチャッキングヘッドの最下降位置を変更するための複雑な構成の制御機構は不要となり、チャッキング装置全体の構成の簡素化、ならびに製造コストの低減化が図れるという格別な効果が得られる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
このような構成によれば、ストッパ手段がチャッキングヘッドの複数のチャック爪の開閉方向内方位置に設けられているために、チャッキングヘッドをチャッキング対象物の上方から下降させてゆく場合に、上記ストッパ手段をチャッキング対象物の上部に適切に当接させることができる。また、上記ストッパ手段をチャッキング対象物の上部の外径よりも小サイズに形成しておけば、チャッキングヘッドのチャック爪を閉じることによってチャッキング対象物をチャッキングするときに、上記ストッパ手段がその際の支障となるようなことも適切に回避できるので、好都合となる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本願発明においては、ラックによって起立保持された筒状の容器内に収容されている所望の試料を検査するような場合に、上記筒状の容器をチャッキング装置によって適切にチャッキングしてラックから取り出すことができることは勿論のこと、既述したとおり、チャッキング装置は、容器の高さが変更された場合であっても、それに応じて可動部材の昇降寸法を逐一変更するための制御機構は不要なものとなり、その構成が非常に簡易で、かつ安価に製作可能である。したがって、チャッキング装置を組み込んだ試料検査装置の小型化、ならびに製造コストの低減化を図る上で、有利である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月25日(2003.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザビームで試料を２次元走査して得られた濃淡情報から試料画像を形成するレーザ走査型顕微鏡において、
試料からの信号光を電気信号に変換する光電変換手段と、
前記光電変換手段の信号光に対する感度又は電気信号に対する増幅率を設定する感度調整手段と、
前記光電変換手段の出力信号が予め設定された基準値に近付くように前記感度調整手段を制御する感度制御手段とを備え、
前記光電変換手段に設定された感度又は増幅率を前記濃淡情報に相当する測定値に変換して使用することを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載のレーザ走査型顕微鏡において、
前記光電変換手段からの出力信号と、前記光電変換手段の感度又は増幅率とから、前記濃淡情報に相当する測定値を求めることを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
【請求項３】
入射光を電気信号に変換して当該電気信号に基づいて入射光強度の測定値を取得する測光装置において、
入射光を電気信号に変換する光電変換手段と、
前記光電変換手段の入射光に対する感度又は電気信号に対する増幅率を設定する感度調整手段と、
前記光電変換手段の出力信号が予め設定された基準値に近付くように前記感度調整手段を制御する感度制御手段と、
前記光電変換手段の感度又は増幅率を入射光強度の測定値に変換する演算手段とを具備したことを特徴とする測光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明のレーザ走査型顕微鏡は、前記光電変換手段からの出力信号と、前記光電変換手段の感度又は増幅率とから、前記濃淡情報に相当する測定値を求める。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月29日(2003.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラ本体のレンズ部を覆う閉位置と、該レンズ部を覆う位置から退避する開位置とに移動可能なバリア装置を有するカメラであって、
前記バリア装置は前記カメラ本体に対してスライド可能なメインバリアと、前記カメラ本体に対して回転可能なサブバリアと、前記メインバリアのスライドに伴い前記サブバリアを前記メインバリア側に回転させる開閉機構とを有することを特徴とするカメラ。
【請求項２】
前記メインバリアは、前記開位置において、前記カメラ本体の端よりも出張らないことを特徴とする請求項１に記載のカメラ。
【請求項３】
前記開閉機構は、前記カメラ本体と前記サブバリアとに対して回動支点を有するレバー部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載のカメラ。
【請求項４】
前記開閉機構は、前記サブバリアを前記メインバリアと前記カメラ本体との間に回転させて収納することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本出願に係る第１の発明の目的を実現する構成は、カメラ本体のレンズ部を覆う閉位置と、このレンズ部を覆う位置から退避する開位置とに移動可能なバリア装置を有しており、バリア装置はカメラ本体に対してスライド可能なメインバリアと、カメラ本体に対して回転可能なサブバリアと、メインバリアのスライドに伴いサブバリアをメインバリア側に回転させる開閉機構とを有することを特徴とするカメラにある。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本出願に係る第２の発明の目的を実現する構成は上記の構成において、メインバリアは、開位置において、カメラ本体の端よりも出張らないことを特徴とするカメラにある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
さらに、上記した各構成において、開閉機構は、サブバリアをメインバリアとカメラ本体との間に回転させて収納することを特徴とするカメラにある。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月27日(2003.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスを検索するデバイス検索クライアントであって、
属性データを含む第一の検索条件を入力する入力手段と、
前記属性データを満たすデバイスの情報を受信する受信手段と、
前記受信手段によって受信されたデバイスの情報に基づいて第一の検索条件とは異なる第二の検索条件を生成する生成手段と、
を有することを特徴とするデバイス検索クライアント。
【請求項２】
前記第一の検索条件は、第一の属性データと第二の属性データを含み、前記第一の属性データはデバイスの機能種別を示し、前記第二の属性データは前記第一の属性データが示す機能種別のデバイスに関するデバイスの機能を示し、
前記受信手段は、前記第一の属性データを満たすデバイスの情報を受信することを特徴とする請求項１記載のデバイス検索クライアント。
【請求項３】
前記第一の属性データを前記ネットワーク上の検索サーバに送信する送信手段をさらに有し、
前記受信手段は、前記送信手段により送信された第一の属性データを満たすデバイスの情報を検索サーバから受信することを特徴とする請求項２記載のデバイス検索クライアント。
【請求項４】
前記入力手段によって入力された第一の検索条件を表示する表示手段をさらに有し、
前記表示手段は、第一の検索条件と共に前記生成手段で生成された第二の検索条件を表示することを特徴とする請求項１乃至３記載のデバイス検索クライアント。
【請求項５】
前記生成手段は、前記第一の検索条件に含まれる第一の属性データと同じ第一の属性データと、前記第一の検索条件に含まれる第二の属性データと異なる第二の属性データから成る第二の検索条件を生成することを特徴とする請求項２又は３記載のデバイス検索クライアント。
【請求項６】
前記第一の検索条件は複数の属性データを含み、
前記受信手段によって受信されたデバイスの情報が、前記第一の検索条件に含まれる複数の属性データをすべて満たすか否かを判定する判定手段をさらに有し、
前記判定手段によって、すべてを満たさないと判定された場合、前記生成手段は前記受信手段によって受信されたデバイスの情報に基づいた第二の検索条件を生成することを特徴とする請求項１乃至５記載のデバイス検索クライアント。
【請求項７】
デバイスを検索するデバイス検索方法であって、
属性データを含む第一の検索条件を入力する入力ステップと、
前記属性データを満たすデバイスの情報を受信する受信ステップと、
前記受信ステップによって受信されたデバイスの情報に基づいて第一の検索条件とは異なる第二の検索条件を生成する生成ステップと、
を有することを特徴とするデバイス検索方法。
【請求項８】
デバイスを検索するプログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記憶媒体であって、
属性データを含む第一の検索条件を入力する入力ステップと、
前記属性データを満たすデバイスの情報を受信する受信ステップと、
前記受信ステップによって受信されたデバイスの情報に基づいて第一の検索条件とは異なる第二の検索条件を生成する生成ステップと、
を実行するためのプログラムを格納したことを特徴とするコンピュータ読取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
本発明は、上記問題点を解決する為になされたものであり、ユーザがデバイスを検索するたびに検索条件を入力する必要がなく、デバイス検索を行う際のユーザの負荷を軽減することが可能なデバイス検索クライアント及びデバイス検索方法を提供することを目的とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明におけるデバイス検索クライアントは、属性データを含む第一の検索条件を入力する入力手段と、前記属性データを満たすデバイスの情報を受信する受信手段と、前記受信手段によって受信されたデバイスの情報に基づいて第一の検索条件とは異なる第二の検索条件を生成する生成手段とを有することを特徴とする。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、第一の検索条件を満たすデバイスの情報に基づいて第二の検索条件を作成するので、ユーザがデバイスの検索を行う度に検索条件を入力する手間を省き、ユーザの操作の負荷を軽減させることができる。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月3日(2003.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの発光管と、前記発光管に封入された放電媒体と、前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、前記第１の電極が前記発光管の内部に配置されており、前記第２の電極が複数の線状電極を含み、前記複数の線状電極が、互いに略平行になるように前記発光管の外面上に配置され、かつ、前記発光管の管軸と略平行に配置されている光源装置。
【請求項２】
少なくとも１つの発光管と、前記発光管に封入された放電媒体と、前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、前記第１の電極が前記発光管の内部に配置されており、前記第２の電極が複数の線状電極を含み、前記複数の線状電極が、互いに略平行になるように前記発光管の外面上に配置され、かつ、前記発光管の外面上に螺旋状に配置されている光源装置。
【請求項３】
前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記発光管の肉厚以上である請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記第１の電極に近づくほど狭くなる請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項５】
前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記発光管の中央部で最も狭くなる請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項６】
前記第２の電極が、誘電体を介して前記発光管の外面に接触している請求項１ないし５のいずれかに記載の光源装置。
【請求項７】
前記第１の電極は、前記第２の電極に向かって突出する突起部を備える請求項１ないし５のいずれかに記載の光源装置。
【請求項８】
前記放電媒体は、キセノンガス、クリプトンガス、アルゴンガス、ネオンガスおよびヘリウムガスから選ばれる少なくとも１つのガスを含む請求項１ないし７のいずれかに記載の光源装置。
【請求項９】
前記放電媒体は水銀をさらに含む請求項８に記載の光源装置。
【請求項１０】
前記発光管の内部の圧力が６．６５ｋＰａ以上２６．６ｋＰａ以下である請求項１ないし９のいずれかに記載の光源装置。
【請求項１１】
前記発光管の内面に形成された蛍光体層をさらに含む請求項１ないし９のいずれかに記載の光源装置。
【請求項１２】
前記第１の電極の表面が誘電体によって被覆されている請求項１ないし９のいずれかに記載の光源装置。
【請求項１３】
画像を読みとるための画像読みとり装置であって、光を出射する光源装置と、前記画像で反射された前記光を集光して検出する光学系とを備え、前記光源装置が請求項５に記載の光源装置であることを特徴とする画像読みとり装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の光源装置は、少なくとも１つの発光管と、前記発光管に封入された放電媒体と、前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、前記第１の電極が前記発光管の内部に配置されており、前記第２の電極が複数の線状電極を含み、前記複数の線状電極が、互いに略平行になるように前記発光管の外面上に配置され、かつ、前記発光管の管軸と略平行に配置されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明の光源装置は、少なくとも１つの発光管と、前記発光管に封入された放電媒体と、前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、前記第１の電極が前記発光管の内部に配置されており、前記第２の電極が複数の線状電極を含み、前記複数の線状電極が、互いに略平行になるように前記発光管の外面上に配置され、かつ、前記発光管の外面上に螺旋状に配置されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
上記光源装置では、収縮放電を抑制しやすい。また、発光強度の分布を容易に制御できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
なお、上記光源装置において、「略平行」とは、複数の線状電極がなす角度が、１０°以下であることを意味する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記光源装置では、前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記発光管の肉厚以上であってもよい。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
上記光源装置では、前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記第１の電極に近づくほど狭くなってもよい。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
上記光源装置では、前記複数の線状電極における前記発光管の外面との接触部の間隔が、前記発光管の中央部で最も狭くなってもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月3日(2003.10.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの発光管と、
前記発光管に封入された放電媒体と、
前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、
前記第１の電極が前記発光管の内部または外部に配置されており、
前記第２の電極が、前記第１の電極からの距離が異なり且つ不連続な複数の接触部において前記発光管の外面に接触しており、
前記発光管には、アルゴンガスおよびクリプトンガスから選ばれる少なくとも１つのガスと、６０体積％〜８０体積％の範囲のキセノンガスとを含む混合ガスが封入されていることを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記混合ガスは、アルゴンガスとキセノンガスとからなる請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記放電媒体が水銀を含まない請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記混合ガスの圧力が、１３ｋＰａ〜３６ｋＰａの範囲である請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項５】
複数の前記接触部が、前記発光管の管軸の方向に沿って配置されている請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項６】
前記発光管の内面に形成された蛍光体層をさらに備える請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項７】
前記発光管は、ガラス管と、前記ガラス管の外面に形成された誘電体層とを含む請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項８】
前記第２の電極は、誘電体を介して前記発光管と接触している請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項９】
支持板をさらに備え、前記発光管が前記支持板の上に配置されている請求項１ないし３のいずれかに記載の光源装置。
【請求項１０】
複数の前記発光管をさらに備え、
前記第２の電極は、互いに平行になるように前記支持板上に配置された複数の線状電極を含み、
前記発光管は、前記線状電極と直交するように配置されている請求項９に記載の光源装置。
【請求項１１】
光源装置と、前記光源装置から発せられる光が透過する液晶パネルとを備える液晶表示装置であって、
前記光源装置は、少なくとも１つの発光管と、前記発光管に封入された放電媒体と、前記放電媒体を励起するための第１および第２の電極とを備え、
前記第１の電極が前記発光管の内部または外部に配置されており、
前記第２の電極が、前記第１の電極からの距離が異なり且つ不連続な複数の接触部において前記発光管の外面に接触しており、
前記発光管には、アルゴンガスおよびクリプトンガスから選ばれる少なくとも１つのガスと、６０体積％〜８０体積％の範囲のキセノンガスとを含む混合ガスが封入されていることを特徴とする液晶表示装置。
【請求項１２】
前記光源装置は、前記発光管から発せられた光を出射する導光板をさらに備え、
前記導光板と対向するように前記液晶パネルが配置されている請求項１１に記載の液晶表示装置。
【請求項１３】
前記光源装置は、支持板と、前記支持板に支持された複数の前記発光管とを備え、
前記第２の電極は平行に配置された複数の線状電極を含み、
前記発光管は前記線状電極と直交するように配置されている請求項１１に記載の液晶表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
上記光源装置は、支持板をさらに備え、前記発光管が前記支持板の上に配置されていてもよい。この場合、前記支持板は、前記発光管から発せられた光を取り込んで前記支持板の一主面から放射してもよい。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記光源装置は、複数の前記発光管をさらに備え、前記第２の電極は、互いに平行になるように前記支持板上に配置された複数の線状電極を含み、前記発光管は、前記線状電極と直交するように配置されていてもよい。
また、前記光源装置は、前記発光管から発せられた光を出射する導光板をさらに備え、前記導光板と対向するように前記液晶パネルが配置されていてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月1日(2003.10.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図１に示す例では、下降管１８の下端に接続される下流側接続管路２４は、直接次の処理槽２６に連通しているけれども、本発明はこれに限定されず、溶融ガラスＧが自由表面を持つ下流側開渠に連通されるものであればよく、例えば図２に示すような攪拌槽３２に連通するものであってもよい。図２に示す攪拌槽３２は、同様に電鋳レンガで構成され、内部にスターラ３４を有し、溶融ガラスＧは自由表面を有している。なお、図２において、参照符号３６は、スターラ３４によって攪拌された溶融ガラスＧを次の処理槽、例えば成形槽へ流出させる開口の大きさを調整し、溶融ガラスＧの流出量を調整する弁として機能する流量調節弁（ツイール）である。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月8日(2004.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセス装置から排出される排気ガス中の生成物をトラップ材に接触させて捕捉するトラップ装置において、
排気ガスの流入口と流出口とを有するトラップ容器と、
該トラップ容器内部に前記流入口に接続して設けられ、前記流入口よりも排気ガスの流れ方向に対して断面積の大きな排気ガス取込空間と、
該排気ガス取込空間に隣接して配置され、複数のトラップフィルタの積層体により構成されたトラップ材とを備え、
前記複数のトラップフィルタはそのメッシュサイズが排気ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側にかけて細かくなるように設定され、前記トラップ材を通過した排気ガスが流出口に導かれることを特徴とするトラップ装置。
【請求項２】
前記トラップ材の前記排気ガス取込空間に沿った面には、波形メッシュのトラップフィルタを配置したことを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項３】
前記トラップ容器の排気ガス取込空間に沿った面には、波形メッシュのトラップフィルタを配置したことを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項４】
前記トラップフィルタは、冷却水により冷却されることを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項５】
前記排気ガス取込空間に流入した前記排気ガスの流れ方向は、該排気ガス取込空間とトラップ材の接続面に対して略垂直方向にその流れ方向が変化することを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項６】
前記トラップ容器には、冷却水の流路を備えたことを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項７】
プロセス装置から排出される排気ガス中の生成物をトラップ容器内のトラップ材に接触させて捕捉するトラップ方法において、
前記トラップ容器の排気ガス取込空間に前記排気ガスを導入し、該排気ガス取込空間に入った前記排気ガスはその流れが遅くなり、
前記排気ガス取込空間に隣接してトラップ材を配置し、該トラップ材は複数のトラップフィルタの積層体により構成され、前記複数のトラップフィルタはそのメッシュサイズが排気ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側にかけて細かくなるように設定され、
前記排気ガス取込空間に導入された前記排気ガスの流れ方向は、略直交方向に変換され、前記トラップ材中をさらに緩やかに流れ、前記排気ガス中の生成物を捕捉し、前記トラップ容器の流出口より流出することを特徴とする排気ガス中の生成物のトラップ方法。
【請求項８】
前記トラップ材の前記排気ガス取込空間に沿った面には、波形メッシュのトラップフィルタを配置したことを特徴とする請求項７記載のトラップ方法。
【請求項９】
前記トラップフィルタは、冷却水により冷却されることを特徴とする請求項７記載のトラップ方法。
【請求項１０】
前記トラップ容器には、金属細線をメッシュ状に編んで、畝状に形成した波形メッシュと、これを固定した平編状の多孔性部材とからなる波形メッシュのトラップフィルタを配置したことを特徴とする請求項１記載のトラップ装置。
【請求項１１】
前記波形メッシュを複数層備えたことを特徴とする請求項１０記載のトラップ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置のプロセス装置等を真空排気するに際して、プロセス装置等からの排気ガス中の各種生成物を固形状物質に変化させて捕捉するトラップ装置および方法に関する。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置等においては、半導体基板等の成膜またはエッチング等に際してプロセス装置を真空排気する場合がある。成膜またはエッチング等の処理を行った後の排気ガスには、未反応の反応ガスや反応により新たに生成された反応生成物を含むガスが多量に含まれている。これらは排気経路上にある凹凸部に衝突することによって温度や流速、流れ方向の変化により凝固して固形状物質が形成される。固形状物質が真空ポンプの管路またはロータに付着すると、これにより排気コンダクタンスが低下し、真空ポンプの故障を引き起こす場合がある。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のトラップ装置は、プロセス装置から排出される排気ガス中の生成物をトラップ材に接触させて捕捉するトラップ装置において、排気ガスの流入口と流出口とを有するトラップ容器と、該トラップ容器内部に前記流入口に接続して設けられ、前記流入口よりも排気ガスの流れ方向に対して断面積の大きな排気ガス取込空間と、該排気ガス取込空間に隣接して配置され、複数のトラップフィルタの積層体により構成されたトラップ材とを備え、前記複数のトラップフィルタはそのメッシュサイズが排気ガスの流れ方向に沿って上流側から下流側にかけて細かくなるように設定され、前記トラップ材を通過した排気ガスが流出口に導かれることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
このトラップ装置の動作は次の通りである。まず、流入口２２より流入する排気ガスはテーパ部２４に沿って、排気ガス取込空間２５に流れる。この空間は閉空間であるので、排気ガスはいきづまり、フィルタ２６，２７，２８，２９をそれぞれ略垂直方向に流れ、最も目の粗いフィルタ２９で再び排気ガスの流入方向に方向変換して流出口２３より外部に流出する。排気ガス取込空間２５に流入した排気ガスは、波形メッシュフィルタ２６の面に沿って流れるため、この空間が閉空間であると共に波形の面の部分でよどみが生じ、これにより高い効率で排気ガス中の生成物を凝固して固体状物質として捕捉する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
ここで、フィルタ２６，２７，２８，２９はそれぞれ同軸状に隙間を介して配置されている。流入口２２より流入した排気ガスは、排気ガス取込空間２５に波形メッシュフィルタ２６に沿って流れ、波形メッシュフィルタ２６の表面付近でよどみが生じる。これにより波形フィルタ２６で高い効率で排気ガス中の生成物を捕捉することができる。そして、排気ガスは更に半径方向に中心部に向かい、目の粗い中心部のフィルタ２９の部分で更に流れが流入方向に変換され流出口２３より排出される。ここで、フィルタ２６，２７，２８，２９はそれぞれ十分な隙間を有して配置されていて、反応生成物が凝固してメッシュフィルタに付着しても、これにより閉塞が簡単には起こらない。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば排気ガス中の生成物のトラップ効率が高く、且つメンテナンスが容易なトラップ装置および方法が提供される。


【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2003053101.tif 000001