【手続補正書】
【提出日】平成15年10月17日(2003.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄槽と、
該洗浄槽の底部に設けた排液口と、
前記洗浄槽の上面開口外周に設けてあり洗浄液を前記洗浄槽へオーバーフローさせる外槽と、
前記排液口と該外槽とを連通させる循環配管と、
該循環配管に順次介装する循環ポンプ及びフィルタと
を具備したことを特徴とするウエハ洗浄装置。
【請求項２】
第一洗浄槽と、
該第一洗浄槽の底部に設けた給液口と、
該第一洗浄槽からオーバーフローした洗浄液を受ける外槽と、
該外槽からオーバーフローした洗浄液を受ける第二洗浄槽と、
該第二洗浄槽の底部に設けた排液口と、
前記給液口と該排液口とを連通させる循環配管と、
該循環配管に順次介装する循環ポンプ及びフィルタと
を具備したことを特徴とするウエハ洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄液より比重の軽い異物を捕捉するフィルタを前記外槽に設けたことを特徴とする請求項２記載のウエハ洗浄装置。
【請求項４】
上方に開口部が設けられ、かつ、底部に排液口が設けられた洗浄槽を準備し、
前記洗浄槽内に洗浄液を供給し、
前記洗浄液中にウエハを浸漬させ、
前記排液口から排出された前記洗浄液をフィルタによって濾過し、
前記濾過した洗浄液を前記開口部から前記洗浄槽内に供給することを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項５】
請求項４記載のウエハ洗浄方法において、
前記洗浄槽の周囲から中央に向かって傾斜面を有する前記底部を備えた前記洗浄槽を準備することを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５記載のウエハ洗浄方法において、
前記フィルタによって、前記洗浄液よりも比重の重い異物が捕捉されることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項７】
請求項４から請求項６のいずれか一つに記載されたウエハ洗浄方法において、
前記洗浄液は、前記洗浄槽の前記開口部側から前記排液口側に向かって流れることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項８】
請求項４から請求項７のいずれか一つに記載されたウエハ洗浄方法において、
前記洗浄液として、過酸化水素水の混合した洗浄液を用いることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項９】
上方に開口部が設けられ、かつ、底部に給液口が設けられた第１の洗浄槽と、上方に開口部が設けられ、かつ、底部に排液口が設けられた第２の洗浄槽とを準備し、
前記第１及び第２の洗浄槽内に洗浄液を供給し、
前記第１及び第２の洗浄槽内にそれぞれウエハを浸漬させ、
前記第２の洗浄槽の前記排液口から排出された前記洗浄液をフィルタによって濾過し、
前記濾過した洗浄液を前記給液口を介して前記第１の洗浄槽内に供給し、
前記第１の洗浄槽の前記開口部から前記第２の洗浄槽に前記洗浄液を供給することを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項１０】
請求項９記載のウエハ洗浄方法において、
前記第２の洗浄槽の周囲から中央に向かって傾斜面を有する前記底部を備えた前記第２の洗浄槽を準備することを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項１１】
請求項９又は請求項１０記載のウエハ洗浄方法において、
前記フィルタによって、前記洗浄液よりも比重の重い異物が捕捉されること特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項１２】
請求項９から請求項１１のいずれか一つに記載されたウエハ洗浄方法において、
前記洗浄液は、前記第２の洗浄槽の前記開口部側から前記排液口側に向かって流れることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項１３】
請求項９から請求項１１のいずれか一つに記載されたウエハ洗浄方法において、
前記洗浄液は、前記第１の洗浄槽の前記給液口側から前記開口部側に向かって流れることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【請求項１４】
請求項９から請求項１３のいずれか一つに記載されたウエハ洗浄方法において、
前記洗浄液として、過酸化水素水の混合した洗浄液を用いることを特徴とするウエハ洗浄方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薬液を洗浄液として使用するウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法に関し、特に、洗浄槽浸漬時におけるウエハへのパーティクル付着を防止するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したオーバーフロー方式の洗浄装置１３では、洗浄液１５が洗浄槽１の下方から上方に向けて流れるため、特に、過酸化水素水を混合した洗浄液を用いて疎水性ウエハを酸洗浄した場合、洗浄液中に発生した気泡が洗浄槽１の下方から上方に向けて浮上し、気泡とともに浮上した異物がウエハに付着する問題があった。
また、洗浄液１５の比重より重い異物は、洗浄液１５の流れによっては洗浄槽１から外槽３へオーバーフローするに至らず、洗浄槽底部の淀みの中に滞留してしまい、ウエハへの再付着を生じさせる問題を包含していた。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、ウエハへの気泡の付着をなくすことができるとともに、洗浄液より比重の重い異物の洗浄槽底部での滞留を防止することのできるウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法の提供を目的とするものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１記載のウエハ洗浄装置では、洗浄液が洗浄槽内で上方から下方に向かって流れ、洗浄液の比重より重い異物が、洗浄槽の排液口から排出され、フィルタによって捕捉される。また、洗浄液で発生した気泡は、洗浄液が外槽から洗浄槽へオーバーフローする際、浮力により洗浄液表面へ浮き上がり、大気中に逃がされる。これによって、洗浄槽内では、気泡の除去された洗浄液のみがウエハに接触することとなる。
また、請求項２記載のウエハ洗浄装置では、洗浄液が第一洗浄槽で下方から上方に向かって流れ、第二洗浄槽で上方から下方に向かって流れる。このことから、第一洗浄槽では、洗浄液の比重より軽い異物が除去され、第二洗浄槽では、洗浄液の比重より重い異物が排液口から排出され、フィルタによって捕捉される。また、洗浄液に発生した気泡は、洗浄液が第一洗浄槽から第二洗浄槽へオーバーフローする際、除去される。
さらに請求項４乃至請求項１４記載のウエハ洗浄方法は上記ウエハ洗浄装置において、上方に開口部が設けられ、かつ底部に排液口が設けられた洗浄槽が準備され、この洗浄槽内には洗浄液が供給されるものであって、斯る洗浄液中に当該ウエハを浸漬させるとともに前記排液口から排出された前記洗浄液をフィルタにより濾過し、この濾過した洗浄液を前記開口部から前記洗浄槽内に供給することを主たる特徴とするものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るウエハ洗浄装置並びに洗浄方法の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に係るウエハ洗浄装置の第一実施形態を示す概略構成図である。
上面の開口した洗浄槽２１の下部には漏斗状の底部２３を形成してあり、底部２３の中央は排液口２５となっている。この実施形態では、底部２３の表面に排液案内部２９を設けてある。排液案内部２９は、上面３１をすり鉢状に形成してあり、この上面の中央に排液口２５へ連通する中央排液口３３を開口するとともに、上面３１の縁部に同じく排液口２５へ連通する複数の外側排液口３５を開口してある。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
次に、このように構成した洗浄装置５１とそれを用いた洗浄方法の作用を説明する。
洗浄装置５１の洗浄槽２１には、例えば、塩酸、過酸化水素、水などの混合洗浄液５３を満たしてある。この洗浄槽２１内にウエハＷがその円周上の３点を固定した状態で例えば縦置き（浸漬）される。そして循環ポンプ３９を駆動すると、洗浄液５３は底部２３の排液案内部２９に設けた中央排液口３３及び外側排液口３５を介して排液口２５へと吸い込まれる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
このように上述の洗浄装置５１による洗浄方法では、洗浄槽２１の外周に外槽４５を設け、外槽４５に供給した洗浄液５３を洗浄槽２１にオーバーフローさせて供給するようにしたので、洗浄液５３で発生した気泡が外槽４５から洗浄槽２１へオーバーフローする際、洗浄液表面へ浮き上がり、洗浄液５３から除去されることとなる。この結果、洗浄槽２１内において、気泡を除去した洗浄液５３のみをウエハＷに接触させることができ、気泡の接触により生じるウエハＷへの異物の付着を防止することができる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
次に、本発明に係るウエハ洗浄装置とその洗浄方法の第二実施形態を図２に基づき説明する。図２は本発明に係るウエハ洗浄装置の第二実施形態を示す概略構成図である。
この洗浄装置６１は、上面の開口した第一洗浄槽６３と第二洗浄槽６５とを一体化させてあり、第一洗浄槽６３の周壁６７を第二洗浄槽６５の周壁６９より高く形成してある。また、第一洗浄槽６３と第二洗浄槽６５との上面開口外周には外槽７１を設けてあり、外槽７１の周壁７３は第一洗浄槽６３の周壁６７と略同等かそれ以上の高さに形成してある。


【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
次に、このように構成した洗浄装置６１とそれを用いた洗浄方法の作用を説明する。
第一洗浄槽６３と第二洗浄槽６５には、例えば、塩酸、過酸化水素、水などの混合洗浄液５３を満たしてある。この各洗浄槽６３、６５内に、ウエハＷが例えばその円周上を固定されて縦置き状に浸漬される。そして循環ポンプ３９を駆動すると、洗浄液５３は第一洗浄槽６３の給液口７９から第一洗浄槽６３内に流入し、第一洗浄槽６３の上部開口からオーバーフローする。第一洗浄槽６３からオーバーフローした洗浄液５３は、直接第二洗浄槽６５へ流入するか又は外槽７１を経由して第二洗浄槽６５へ流入し、第二洗浄槽６５の底部７５に設けた排液口２５へ吸い込まれる。


【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１に係るウエハ洗浄装置並びにそれによる洗浄方法によれば、洗浄槽の外周に外槽を設け、外槽に供給した洗浄液を洗浄槽にオーバーフローさせて供給するようにしたので、洗浄液が洗浄槽へオーバーフローする際、気泡が洗浄液表面へ浮き上がり、洗浄液から除去されることとなる。この結果、気泡を除去した洗浄液のみをウエハに接触させることができ、気泡の接触により生じるウエハへの異物の付着を防止することができる。また、洗浄液が洗浄槽内の上方から下方に向かって流れることになり、洗浄液の比重より重い異物をフィルタによって捕捉することができる。この結果、比重の重い異物が洗浄槽底部の淀みの中に滞留せず、ウエハへの再付着を防止することができる。
また、請求項２に係るウエハ洗浄装置並びにそれを用いた洗浄方法によれば、第一洗浄槽と第二洗浄槽とを一体化させ、第一洗浄槽からオーバーフローさせた洗浄液を、第二洗浄槽の底部から排液してフィルタを通過させて再び第一洗浄槽の底部から供給するようにしたので、オーバーフローによって気泡が除去できるとともに、洗浄液が下方から上方に向かって流れる第一洗浄槽では、比重の軽い異物が除去でき、洗浄液が上方から下方に向かって流れる第二洗浄槽では、比重の重い異物を除去することができる。