(57)【要約】【課題】電荷転送型の固体撮像素子を駆動するのにあたって、パルス信号の印加タイミング制御を通じてポテンシャル深さの好適化を図ることにより、画素サイズ縮小化の流れの中においても、読み出し電圧の低減を実現容易化する。【解決手段】フォトダイオード部から転送レジスタ部への電荷の読み出し期間中に転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に読み出しパルス信号Ａを与え、転送レジスタ部での電荷の転送期間中には転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に対して複数相駆動に対応した転送パルス信号Ｂを繰り返して与える固体撮像素子の駆動方法において、転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号Ａを与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極Ｖφ３を、前記転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持する。【選択図】　　　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電荷を蓄積するフォトダイオード部と、当該フォトダイオード部から受け取った電荷を転送する転送レジスタ部と、前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出しおよび前記転送レジスタ部での電荷の転送を制御するための転送電極と、を具備する固体撮像素子の駆動方法であって、
前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出し期間中に前記転送電極に読み出しパルス信号を与え、前記読み出し期間後における前記転送レジスタ部での電荷の転送期間中には前記転送電極に対して複数相駆動に対応した転送パルス信号を繰り返して与えるとともに、
前記転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極を、前記転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持する
ことを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
【請求項２】
電荷を蓄積するフォトダイオード部と、
前記フォトダイオード部から受け取った電荷を転送する転送レジスタ部と、
前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出しおよび前記転送レジスタ部での電荷の転送を制御するための転送電極と、
前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出し期間中に前記転送電極に読み出しパルス信号を与え、前記読み出し期間後における前記転送レジスタ部での電荷の転送期間中には前記転送電極に対して複数相駆動に対応した転送パルス信号を繰り返して与える駆動回路と、
前記転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極を、前記転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持するように、前記駆動回路に指示するタイミングジェネレータと
を備えることを特徴とする固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサに代表される電荷転送型の固体撮像素子の駆動方法および固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、固体撮像素子としては、例えば図４に示すように、二次元マトリクス状に配列されたフォトダイオード部１１と、各フォトダイオード部１１の垂直列毎に配された垂直転送レジスタ部１２と、その垂直転送レジスタ部１２に付随して設けられた垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４と、各垂直転送レジスタ部１２の端部に共通に配された水平転送レジスタ部１３と、その水平転送レジスタ部１３に付随して設けられた水平転送電極Ｈφ１，Ｈφ２と、水平転送レジスタ部１３の端部に配された出力アンプ１４と、を備えて構成されたＣＣＤイメージセンサ１０が広く知られている。このような構成のＣＣＤイメージセンサ１０では、各フォトダイオード部１１が蓄積した信号電荷を、垂直転送レジスタ部１２が受け取ってこれを垂直方向に転送する。そして、各垂直転送レジスタ部１２からの信号電荷を水平転送レジスタ部１３が出力アンプ１４に転送し、その出力アンプ１４から出力信号として出力する。これにより、ＣＣＤイメージセンサ１０では、各フォトダイオード部１１への入射光を電圧信号に変換して出力アンプ１４から出力できるのである。
【０００３】
ここで、このＣＣＤイメージセンサ１０における画素領域（撮像領域として機能する部分）について、さらに詳しく説明する。例えば図５に示すように、画素領域の部分では、水平方向にみると、図中の左側から、垂直転送レジスタ部１２、読み出しゲート部（ただし不図示）、フォトダイオード部１１およびチャネルストップ部（ただし不図示）が順に配されている。また、垂直方向にみると、垂直転送レジスタ部１２に沿って、例えば４相駆動を可能にするための２層構造の垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４が配されている。これにより、垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に印加される電圧によっては、垂直転送レジスタ部１２および読み出しゲート部におけるポテンシャルの深さが変位することになる。
【０００４】
垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４には、例えば１５／０／−８．５Ｖのいずれかの電圧が印可される。１５Ｖはフォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出し、０Ｖと−８．５Ｖは垂直転送レジスタ部１２での信号電荷の転送のための電圧である。そして、これらの電圧を印可するためのパルス信号は、通常、図６に示すようなタイミングで垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４のそれぞれに与えられる。すなわち、例えば全画素読み出しの場合であれば、フォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出し期間中には、垂直転送電極Ｖφ２，Ｖφ３に１５Ｖの読み出しパルス信号（図中Ａ参照）が与えられる。そして、その読み出し期間後における垂直転送レジスタ部１２での信号電荷の転送期間中には、各垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に対して、垂直転送レジスタ部１２の４相駆動に対応した規則正しい０Ｖまたは−８．５Ｖの転送パルス信号（図中Ｂ参照）が、信号読み出しのための所定期間（図中における１Ｈ期間）毎に、繰り返して与えられる。
【０００５】
このように垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に与えられるパルス信号によって、ＣＣＤイメージセンサ１０の画素領域の部分では、フォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出しと、その垂直転送レジスタ部１２での信号電荷の垂直方向への転送とが、それぞれ制御される。つまり、転送期間中にフォトダイオード部１１が蓄積した信号電荷が、読み出し期間中に垂直転送レジスタ部１２へ読み出され、その次の転送期間中に垂直転送レジスタ部１２内を水平転送レジスタ部１３に向けて順次転送される、といった処理動作が行われるのである。
【０００６】
なお、ここで説明した従来の固体撮像素子は、図例からも明らかなように公知公用の技術に基づくものであり、文献公知発明に係るものではない。したがって、ここでは、記載すべき先行技術文献情報はない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ＣＣＤイメージセンサ１０に対しては、その小型化、多画素化、低消費電力化、低電圧化等の要求が依然強い。これらの要求に応えるためには、画素サイズ（フォトダイオード部１１の開口面積）の縮小や駆動電圧の低減等を実現することが有効である。特に、フォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への読み出し電圧は、通常は上述したように１５Ｖであるため（１２Ｖのものも存在する）、この読み出し電圧を低減させることは、ＣＣＤイメージセンサ１０全体の低消費電力化等を実現する上で、非常に効果的であると言える。
【０００８】
読み出し電圧の大きさは、フォトダイオード部１１および垂直転送レジスタ部１２におけるポテンシャル深さと密接な関係がある。つまり、信号電荷の読み出し時には、フォトダイオード部１１側のポテンシャルが浅く、垂直転送レジスタ部１２側のポテンシャルが深くなっていればよい。ただし、そのポテンシャル深さは、垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４へのパルス信号による印加電圧の大きさのみならず、その印加タイミングにも影響を受けてしまう。例えば、パルス信号の印加直後には、電位が＋側（ポテンシャルが深くなる側）に振られる、いわゆるポテンシャル深さのゆらぎが生じてしまうことも考えられる。これは読み出し電圧の低減を実現する上での障害となる可能性がある。
【０００９】
そこで、本発明は、パルス信号の印加タイミング制御を通じてポテンシャル深さの好適化を図ることにより、画素サイズ縮小化の流れの中においても、読み出し電圧の低減を実現容易化することのできる、固体撮像素子の駆動方法および固体撮像装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために案出された固体撮像素子の駆動方法である。すなわち、電荷を蓄積するフォトダイオード部と、当該フォトダイオード部から受け取った電荷を転送する転送レジスタ部と、前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出しおよび前記転送レジスタ部での電荷の転送を制御するための転送電極と、を具備する固体撮像素子の駆動方法であって、前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出し期間中に前記転送電極に読み出しパルス信号を与え、前記読み出し期間後における前記転送レジスタ部での電荷の転送期間中には前記転送電極に対して複数相駆動に対応した転送パルス信号を繰り返して与えるとともに、前記転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極を、前記転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上記目的を達成するために案出された固体撮像装置で、電荷を蓄積するフォトダイオード部と、前記フォトダイオード部から受け取った電荷を転送する転送レジスタ部と、前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出しおよび前記転送レジスタ部での電荷の転送を制御するための転送電極と、前記フォトダイオード部から前記転送レジスタ部への電荷の読み出し期間中に前記転送電極に読み出しパルス信号を与え、前記読み出し期間後における前記転送レジスタ部での電荷の転送期間中には前記転送電極に対して複数相駆動に対応した転送パルス信号を繰り返して与える駆動回路と、前記転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極を、前記転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持するように、前記駆動回路に指示するタイミングジェネレータとを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
上記手順の固体撮像素子の駆動方法および上記構成の固体撮像装置によれば、転送期間中における一つの繰り返し単位が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極に対して、これを転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持するようになっている。ここで、「転送期間の終了後直ちに」とは、例えば駆動回路の構成上の制約等から転送期間が終了してから一定時間が経過した後でなければハイレベルの状態にできない場合には、そのハイレベルの状態にできるようになった後のタイミングをも含み、必ずしも転送期間の終了と同時のタイミングのみを指すわけではない。いずれのタイミングであっても、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでには、ある一定期間以上、転送電極がハイレベルの状態で保持されることになる。したがって、その転送電極をハイレベルの状態とすることでポテンシャル深さのゆらぎが生じる場合であっても、ある一定期間以上の経過後には、その影響により例えばフォトダイオード部におけるポテンシャルが深くなってしまうのが解消されるので、読み出しパルス信号についての電圧低減が実現容易となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき、本発明に係る固体撮像素子の駆動方法および固体撮像装置について説明する。図１は本発明に係る固体撮像素子の駆動方法におけるＣＣＤ駆動の一具体例を示すタイミングチャートであり、図２は本発明に係る固体撮像装置の概略構成例を示すブロック図である。なお、図中および以下の説明において、従来のもの（図４，５参照）と同一の構成要素については、同一の符号を付している。
【００１４】
先ず、本発明に係る固体撮像装置について説明する。図２に示すように、ここで説明する固体撮像装置は、固体撮像素子として機能するＣＣＤイメージセンサ１０と、そのＣＣＤイメージセンサ１０の駆動回路２０と、その駆動回路２０に接続するタイミングジェネレータ２０と、を備えてなるものである。ＣＣＤイメージセンサ１０は、従来と略同様に構成されたものである（図４，５参照）。駆動回路２０は、ＣＣＤイメージセンサ１０に対する駆動信号、具体的には例えば垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４への読み出しパルス信号および転送パルス信号を、そのＣＣＤイメージセンサ１０に与えるものである。タイミングジェネレータ２０は、駆動回路２０が駆動回路２０に読み出しパルス信号や転送パルス信号等を与えるタイミングを、その駆動回路２０に対して指示するものである。なお、タイミングジェネレータ２０は、指示するタイミングが予め設定されたものと、任意のタイミングを設定可能なプログラマブルのものとのどちらであっても構わない。また、駆動回路２０およびタイミングジェネレータ２０の詳細については、周知技術を利用したものであるため、ここではその説明を省略するものとする。
【００１５】
次に、以上のような構成の固体撮像装置において、ＣＣＤイメージセンサ１０を駆動する場合の処理動作、すなわち本発明に係る固体撮像素子の駆動方法について説明する。ＣＣＤイメージセンサ１０の駆動にあたっては、従来における場合（図６参照）と同様に、垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に、例えば１５／０／−８．５Ｖのいずれかの電圧が印可される。１５Ｖはフォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出し、０Ｖと−８．５Ｖは垂直転送レジスタ部１２での信号電荷の転送のための電圧である。
【００１６】
これらの電圧を印可するためのパルス信号は、図１に示すようなタイミングで垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４のそれぞれに与えられる。詳しくは、例えば全画素読み出しの場合であれば、フォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出し期間中には、垂直転送電極Ｖφ２，Ｖφ３に１５Ｖの読み出しパルス信号（図中Ａ参照）が与えられる。また、垂直転送レジスタ部１２での信号電荷の転送期間中には、各垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に対して、垂直転送レジスタ部１２の４相駆動に対応した規則正しい０Ｖまたは−８．５Ｖの転送パルス信号図中Ｂ参照）が、１Ｈ期間毎に繰り返して与えられる。なお、このような読み出し期間および転送期間が組み合わされてなる全体の駆動タイミングについては、既に周知である従来技術における場合と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【００１７】
ところで、例えば図中における最終ラインシフト期間のタイミング▲２▼のように、転送期間中における一つの繰り返し単位である１Ｈ期間が終了した時点では、垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４に与えられる印加電圧は、電極Ｖφ１，Ｖφ２に対するものが０Ｖ（以下、この状態を「ハイレベル」という）、電極Ｖφ３，Ｖφ４に対するものが−８．５Ｖ（以下、この状態を「ローレベル」という）となる。つまり、ある１Ｈ期間の終了後、次の１Ｈ期間が始まるまでの間においては、電極Ｖφ１，Ｖφ２がいわゆるノーマリーハイレベルとなり、電極Ｖφ３，Ｖφ４がいわゆるノーマリーローレベルとなる。
【００１８】
その一方で、転送期間後における読み出し期間にて電極Ｖφ２，Ｖφ３に読み出しパルス信号を与えるまでの間には、その電極Ｖφ２，Ｖφ３をハイレベルの状態としておく必要がある。
【００１９】
そこで、本実施形態で説明する駆動方法では、例えば図中における読み出し期間の最初のタイミング▲２▼において、ノーマリハイレベルである電極Ｖφ１，Ｖφ２に加えて、ノーマリローレベルである電極Ｖφ３についても、ハイレベルの状態となるように印加電圧を与える。これにより、例えば図中における読み出しパルス信号の発生タイミング▲５▼までの間、すなわち電極Ｖφ３に読み出しパルス信号を与えるまでの間、電極Ｖφ１，Ｖφ２，Ｖφ３は、ハイレベルの状態であり続けることになる。
【００２０】
つまり、本実施形態で説明する駆動方法は、転送期間中における一つの繰り返し単位である１Ｈ期間が終了した時点で印加電圧がローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極、具体的には電極Ｖφ３を、転送期間の終了後直ちにハイレベルの状態にして保持する点で、従来における駆動タイミング（図６参照）と大きく異なる。
【００２１】
「転送期間の終了後直ちに」とは、例えば駆動回路２０の構成上の制約等から転送期間が終了してから一定時間が経過した後でなければハイレベルの状態にできない場合には、そのハイレベルの状態にできるようになった後のタイミングをも含み、必ずしも転送期間の終了と同時のタイミングのみを指すわけではない。すなわち、ハイレベルの状態にするのは、遅くとも、読み出しパルス信号を与えるまでの間に、ハイレベルの状態にして保持する期間を必要十分に確保できるタイミングであればよい。必要十分に確保するための保持期間は、後述するようなポテンシャル深さのゆらぎの影響が解消し得る期間であり、ＣＣＤイメージセンサ１０の構成（特に、画素領域の部分の形状や構成材料等）や垂直転送電極Ｖφ１〜Ｖφ４への印加電圧の大きさによって特定することが可能である。
【００２２】
このような転送期間の終了後のタイミングで電極Ｖφ３をハイレベルの状態にすることによって、その電極Ｖφ３は、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えられるまでに、ある一定期間（上述した保持期間）以上、ハイレベルの状態で保持されることになる。したがって、例えば電極Ｖφ３をハイレベルの状態とすることでポテンシャル深さのゆらぎが生じる場合であっても、ある一定期間以上の経過後には、その影響によりフォトダイオード部１１におけるポテンシャルが深くなってしまうのが解消されるので、読み出しパルス信号についての電圧低減が実現容易となる。つまり、読み出し時に必要な読み出しパルス信号の電圧値を小さくすることができるのである。
【００２３】
続いて、読み出しパルス信号の電圧値を小さくできる理由について、図３に示すＣＣＤイメージセンサ１０の単一の画素領域部分の概略構成を参照しながら、図１に示したタイミングチャートと図６の従来例との比較により説明する。図３は、一般的なＣＣＤイメージセンサの単一の画素領域部分の概略構成を示す模式図である。
【００２４】
図１におけるタイミング▲２▼のように、電極Ｖφ３がローレベル→ハイレベルになると、その際に、図３に示すようなＣＣＤイメージセンサ１０の画素領域部分では、Ｐ−Ｗｅｌｌ部１５における電位が＋側に振られる。したがって、図１におけるタイミング▲２▼の時点では、図６におけるタイミング▲２▼’の場合に比べて、Ｐ−Ｗｅｌｌ部１５が＋側の電位状態にあることになる。
【００２５】
ところが、Ｐ−Ｗｅｌｌ部１５は、垂直転送レジスタ部１２の周囲にあって、かつ、ＧＮＤ電位に接地されたＰ層１６と高抵抗で接続しているので、あるタイミングで電位が＋側に振られても、一定期間以上の経過後にはその電位がほぼＧＮＤ電位に戻ってしまう。そのため、図１におけるタイミング▲２▼から一定期間以上の経過後のタイミング▲３▼の時点では、Ｐ−Ｗｅｌｌ部１５の電位がほぼＧＮＤ電位に戻っていることになる。
【００２６】
これらのことから、図１におけるタイミング▲３▼からタイミング▲４▼までの駆動を考えると、本実施形態における駆動方法では、電極Ｖφ３のローレベル→ハイレベルの変化が無く、電極Ｖφ１のハイレベル→ローレベルの変化のみとなるため、図６のタイミング▲３▼’からタイミング▲４▼’までのように、電極Ｖφ３のローレベル→ハイレベルの変化および電極Ｖφ１のハイレベル→ローレベルの変化の両方が行われる場合に比べて、タイミング▲４▼の時点におけるＰ−Ｗｅｌｌ部１５およびフォトダイオード部１１を構成するＮ領域１７の電位が−側に保たれることになる。したがって、本実施形態における駆動方法によれば、フォトダイオード部１１からの尊号電荷の読み出しを行う時点で、そのフォトダイオード部１１のポテンシャルが深くなる方向にゆらいでしまうことが無く、これにより従来よりも読み出し時に必要な読み出しパルス信号の電圧値を小さくすることができるのである。
【００２７】
これが、読み出しパルス信号の電圧値を小さくできる理由である。従来よりも小さい電圧値の読み出しパルス信号によって、図１におけるタイミング▲５▼にてフォトダイオード部１１から垂直転送レジスタ部１２への信号電荷の読み出しを行った後は、その信号電荷は、タイミング▲６▼以降のラインシフト転送により水平転送レジスタ部１３へ転送され、出力アンプ１４から出力されることになる。
【００２８】
以上のように、本実施形態で説明したＣＣＤイメージセンサ１０の駆動方法およびその駆動方法を実施可能な固体撮像装置によれば、読み出し期間の直前にて読み出しパルス信号の状態変化に伴うポテンシャル深さのゆらぎが発生するのを避けるべく、転送期間の終了後直ちに、ローレベルからハイレベルにする必要のある電極Ｖφ３をハイレベルの状態にし、かつ、その状態を一定期間以上保持させるようになっている。そのため、読み出しパルス信号を与える前の段階で、フォトダイオード部１１の電荷蓄積領域に存在するホール電荷を、その電荷蓄積領域外に掃出しておくことが可能となり、その読み出しパルス信号を与える時点でのフォトダイオード部１１における電位を小さい（浅い）状態にすることができる。したがって、従来に比べて読み出しパルス信号についての電圧低減が実現容易となるので、画素サイズ縮小化が進むの流れの中においても、ＣＣＤイメージセンサ１０の低消費電力化等を実現する上で非常に有効であると言える。
【００２９】
なお、本実施形態は、本発明を実現した一具体例に過ぎず、本発明がこれに限定されないことは言うまでもない。
【００３０】
例えば、本実施形態では、電極Ｖφ１についてタイミング▲４▼でハイレベル→ローレベルに状態を変化させているが、この変化は読み出しが行われる最中（例えば、タイミング▲５▼）に行っても良い。このようにすれば、ハイレベル→ローレベルへの電極Ｖφ１についての状態変化によって、Ｐ−Ｗｅｌｌ部１５が−電位状態となり、ホール電荷が電荷蓄積領域に逆に注入し出すのを抑制することができる。
【００３１】
また、本実施形態では、全画素読み出し型のＣＣＤイメージセンサ１０を駆動する場合を例に挙げて説明したが、例えばインタレース型のものについても、全く同様のタイミングで駆動制御を行い、これにより読み出し電圧の低減を図ることが可能である。さらに、本実施形態では、垂直転送レジスタ部１２が４相駆動に対応したものである場合について説明したが、４相駆動以外のものについても全く同様に適用することができるのは勿論である。ただし、このように読み出し方式や駆動方式等が異なれば、当然に転送期間終了後のタイミングでハイレベルの状態とすべき電極も、本実施形態の場合とは異なってくる。つまり、転送期間終了後のタイミングで状態を変化させる電極は、本実施形態で説明したような電極Ｖφ３のみに限定されるわけではなく、転送期間中における１Ｈ期間が終了した時点でローレベルの状態となり、かつ、次の読み出し期間にて読み出しパルス信号を与えるまでにハイレベルの状態とする必要のある転送電極であれば、その全てが状態変化の対象となるのである。
【００３２】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係る固体撮像素子の駆動方法および固体撮像装置によれば、パルス信号の印加タイミング制御を通じて、電荷蓄積領域におけるポテンシャル深さの好適化を図ることができるので、画素サイズ縮小化の流れが進むの中においても、読み出し電圧の低減が実現容易化し、固体撮像素子の低消費電力化等を実現する上で非常に有効なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る固体撮像素子の駆動方法におけるＣＣＤ駆動の一具体例を示すタイミングチャートである。
【図２】本発明に係る固体撮像装置の概略構成例を示すブロック図である。
【図３】一般的なＣＣＤイメージセンサの単一の画素領域部分の概略構成を示す模式図である。
【図４】ＣＣＤイメージセンサに代表される一般的な固体撮像素子の概略構成例を示す模式図である。
【図５】図４の固体撮像素子における画素領域の部分の構成例を示す模式図である。
【図６】図４の固体撮像素子におけるＣＣＤ駆動の一具体例を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
１０…ＣＣＤイメージセンサ、１１…フォトダイオード部、１２…垂直転送レジスタ部、２０…駆動回路、３０…タイミングジェネレータ、Ｖφ１，Ｖφ２，Ｖφ３，Ｖφ４…垂直転送電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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