Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月6日(2003.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
活性組成分として、（ａ）チタン化合物、マグネシウム化合物、ハロゲン、担体としてのシリカゲル、電子供与体化合物としてのカルボン酸エステルを包含する、チタン含有固体組成分と、共触媒として、（ｂ）アルミニウム化合物と、必要に応じて、さらに（ｃ）他の電子供与体化合物とを含有し、使用される上記シリカゲルが、５から２００μｍの平均粒径、１から１０μｍの一次粒子平均粒径および全粒子中の巨視的量割合が５から２０％を占め、かつ平均径が１から１０μｍであるボイド、チャンネルを有することを特徴とするツィーグラー／ナッタ型触媒組成物。
【請求項２】
使用される前記シリガゲルが、全粒子中の巨視的量割合が５から１５％を占め、かつ平均径が１から５μｍであるボイドないしチャンネルを有することを特徴とする、請求項（１）の触媒組成物。
【請求項３】
使用される前記シリガゲルが、噴霧乾燥形成されることを特徴とする、請求項１または（２）の触媒組成物。
【請求項４】
他の電子供与体化合物（ｃ）として、以下の一般式（Ｉ）：
Ｒ１ｎＳｉ（ＯＲ２）４−ｎ  （Ｉ）
で表わされ、
複数のＲ1が、互に同じでも異なってもよく、それぞれＣ1−Ｃ20アルキル、５から７員のシクロアルキル（これ自体Ｃ1−Ｃ10アルキル、Ｃ6−Ｃ20アリールまたは芳香族アルキルで置換されていてもよい）を意味し、
Ｒ2が、互に同じでも異なってもよく、それぞれＣ1−Ｃ20アルキルを意味し、
ｎが１、２または３を意味する場合の有機珪素化合物を使用することを特徴とする、請求項（１）から（３）のいずれかの触媒組成物。
【請求項５】
アルミニウム化合物（ｂ）として、アルキル基が１から８個の炭素原子を有するトリアルキルアルミニウム化合物を使用することを特徴とする、請求項（１）から（４）のいずれかの触媒組成物。
【請求項６】
チタン含有固体組成分（ａ）及び助触媒（ｂ）と必要により（ｃ）を、０から１５０℃の温度及び１から１００バールの圧力で相互に作用させることを特徴とする、請求項（１）から（５）のいずれかの触媒組成物の製造方法。
【請求項７】
請求項（１）から（５）のいずれかのツィーグラー／ナッタ型触媒組成物の存在下に、２０から１５０℃の温度、１から１００バールの圧力において、プロピレンおよび必要により添加されるコモノマーを重合させることを特徴とする、プロピレン重合体の製造方法。
【請求項８】
請求項（７）の方法により得られるプロピレン重合体。
【請求項９】
請求項（１）から（５）のいずれかのツィーグラー／ナッタ型触媒組成物の存在下に、２０から１００℃の温度、１５から４０バールの圧力、０．５から５時間の平均滞留時間で、プロピレンを重合させることにより得られるプロピレン単独共重合体。
【請求項１０】
請求項（８）又は（９）の重合体を含むフィルム、繊維又は成形体。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月18日(2003.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
ＧａＡｓ，ＩｎＡｓ，ＩｎＰ，またはＧａＰよりなる群から選ばれるＩＩＩ−Ｖ族系化合物において、ＶまたはＣｒよりなる群から選ばれる少なくとも１種の遷移金属がＩＩＩ族元素を置換して混晶を形成してなることを特徴とする単結晶強磁性ＩＩＩ−Ｖ族系化合物。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月11日(2003.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホタテ貝殻の粉砕物を焼成してなる細菌および／またはダイオキシンおよび／またはホルムアルデヒド抑制剤であって、焼成温度が６００〜７００℃である、前記抑制剤。
【請求項２】
除菌剤、抗菌剤または防カビ剤として用いられる請求項１に記載の抑制剤。
【請求項３】
粉砕物の粒度が５ｍｍ以下である、請求項１または２に記載の抑制剤。
【請求項４】
粉砕物の粒度が１０μｍ以下である、請求項１〜３のいずれかに記載の抑制剤。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月28日(2003.7.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】データ連動処理装置および方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
抽出元の並列データベースシステムから抽出したデータを反映先の装置に送信するデータ連動処理装置であって、
前記並列データベースシステムの各ノード毎にそれぞれ配した更新情報の抽出処理部を有する抽出装置と、制御装置と、反映先データベースを有する反映側装置を備え、
前記制御装置は、前記各抽出処理部で抽出した各更新情報を入力し、該更新情報がキーに依存する更新情報の場合には該更新情報を前記反映側装置に送信し、該更新情報がキーに依存しない更新情報の場合には、該更新情報に係る分割表における分割数分の前記抽出した更新情報が入力されるまで更新情報の出力を中止し、前記分割数分の前記抽出した更新情報が入力されたとき、該更新情報を前記反映側装置に送信することを特徴とするデータ連動処理装置。
【請求項２】
抽出元の並列データベースシステムから抽出したデータを反映先の装置に送信するデータ連動処理装置であって、
前記並列データベースシステムの各ノード毎にそれぞれ配した更新情報の抽出処理部を有する抽出装置と、制御装置と、反映先データベースを有する反映側装置を備え、
前記制御装置は、前記各ノード対応に制御処理部を有し、
各制御処理部は、対応するノードの前記抽出処理部で抽出した更新情報を入力し、該更新情報がキーに依存する更新情報の場合には該更新情報を前記反映側装置に送信し、該更新情報がキーに依存しない更新情報の場合には、少なくとも表識別子と分割数と出力停止中数の欄を有する分割表管理テーブルの該出力停止中数を増加し、該分割数と出力停止中数が等しくないとき該更新情報を記憶して該更新情報の出力を停止し、分割数と出力停止中数が等しくなったとき該更新情報を前記反映側装置に送信することを特徴とするデータ連動処理装置。
【請求項３】
抽出元の並列データベースシステムから抽出したデータを反映先データベースを有する反映側装置に送信するためのデータ連動処理方法であって、
前記並列データベースシステムの各ノード毎にそれぞれ配した各更新情報を抽出し、
抽出した更新情報がキーに依存する更新情報の場合には該更新情報を前記反映側装置に送信し、
該更新情報がキーに依存しない更新情報の場合には、該更新情報に係る分割表における分割数分の前記抽出した更新情報が抽出されるまで更新情報の出力を中止し、
前記分割数分の前記更新情報が抽出されたとき、該各更新情報を前記反映側装置に送信することを特徴とするデータ連動処理方法。
【請求項４】
抽出元の並列データベースシステムから抽出したデータを反映先データベースを有する反映側装置に送信するためのデータ連動処理方法であって、
前記並列データベースシステムの各ノード毎にそれぞれ配した各更新情報を抽出し、
抽出した更新情報がキーに依存する更新情報の場合には該更新情報を前記反映側装置に送信し、
抽出した更新情報がキーに依存しない更新情報の場合には、少なくとも表識別子と分割数と出力停止中数の欄を有する分割表管理テーブルの該出力停止中数を増加し、該分割数と出力停止中数が等しくないとき該抽出した更新情報を記憶して該更新情報の出力を停止し、分割数と出力停止中数が等しくなったとき該各更新情報を前記反映側装置に送信することを特徴とするデータ連動処理方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月26日(2003.6.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
別のプラント設備の警報信号または警報情報を読み込み可能な外部インターフェースを備え、入力手段に入力された警報信号と前記別のプラント設備の警報信号または警報情報とを処理することを特徴とする請求項１または２に記載の警報情報伝送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、別のプラント設備の警報信号または警報情報へ引出し可能な外部インターフェースを備え、入力手段に入力された別のプラント設備の警報信号または警報情報を含む警報信号又は警報情報を処理するものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
実施の形態３．
図８はこの発明の実施の形態３による警報情報伝送装置の構成を示す図である。図８のものは実施の形態１の図１の構成に外部出力インターフェース２０１を設けたものである。１７Ｘは外部出力インターフェース付ファーストアウト警報判定装置である。外部出力インターフェース２０１は図示しない他のプラント設備のプラント監視計算機に接続され、このプラント１０で発生した警報情報を他のプラント設備に出力することができる。
また、外部出力インターフェース付ファーストアウト警報判定装置１７Ｘが複数ある場合には、識別するため送信データに例えばＤ２１として図示するようなアドレス情報を付加する。
このようにして運転員は警報表示部１９に表示される機能要素異常のみならず、例えばプラント監視計算機によるプラントトリップ等の異常記録やＣＲＴ画面表示からも監視データの状態変化を監視することができ、外部出力するためのインターフェース設備のコンパクト化が図れる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
また、第２番目以降に入力された警報信号については、第１番目の警報信号の内容との整合性をチェックし、整合性の有無に応じて、第１番目の警報の従属警報とするか、新たなファーストアウトとするかを決定し、これらを識別可能な方法で表示するので、互いに独立して、関係のない２つ以上の警報が入着したときにも、独立した警報項目はそれぞれファーストアウトとして表示され、運転員の迅速な警報対応処理と以後のプラントの補修作業が容易となる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、外部インターフェースにより他のプラント設備の警報信号へも出力処理することができるという作用効果が得られる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2002014722.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2002014722.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2002014722.tif 000003
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2002014722.tif 000004
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2002014722.tif 000005
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2002014722.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月8日(2003.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】エンジン制御用電子制御装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動車に搭載されエンジン制御を行うエンジン制御用電子制御装置において、
イグニッションスイッチがオンになると動作して前記エンジン制御に関するデータ演算や制御を実施すると共に、前記イグニッションスイッチがオフになると停止する制御部と、
前記制御部とは別系統の電源からの給電により動作し、エンジン停止中の時間経過を計測する計時部とを備え、
前記制御部は、計時部への電源供給状態を間接的又は直接的に監視し、それにより計時部のリセットの有無を判定することを特徴とするエンジン制御用電子制御装置。
【請求項２】
前記制御部はその起動に際して、該制御部の停止期間中に計時部がリセットされたかどうかを判定する請求項１に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項３】
前記計時部と電源を同一とし該電源からの給電により記憶内容を保持するメモリを備え、計時部のリセット電圧よりも幾分高い前記メモリのデータ保持電圧をしきい値として電源電圧の低下を監視するエンジン制御用電子制御装置であって、
前記制御部は、前記データ保持電圧以下にメモリの電源電圧が低下したことを表す履歴に基づいて、計時部のリセットの有無を判定する請求項１又は２に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項４】
前記計時部と電源を同一とし該電源からの給電により記憶内容を保持するメモリを備え、
前記制御部は、前記メモリの保持データをチェックし、そのチェック結果から計時部のリセットの有無を判定する請求項１又は２に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項５】
前記計時部の電源電圧を検出する手段を設け、前記制御部は、電源電圧の検出結果に基づいて計時部のリセットを判定する請求項１又は２に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項６】
エンジンの冷却水の温度を検出する水温センサを備え、エンジン停止中の経過時間とエンジン始動時における水温センサの検出値とから当該水温センサの故障を判定するエンジン制御用電子制御装置であり、
前記制御部は、計時部がリセットされたと判定される場合に、水温センサの故障判定を禁止する請求項１〜５の何れかに記載のエンジン制御用電子制御装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、制御部は、イグニッションスイッチがオンになると動作してエンジン制御に関するデータ演算や制御を実施すると共に、イグニッションスイッチがオフになると停止する。計時部は、前記制御部とは別系統の電源からの給電により動作し、エンジン停止中の時間経過を計測する。また特に、制御部は、計時部への電源供給状態を間接的又は直接的に監視し、それにより計時部のリセットの有無を判定する。要するに、時計ＩＣ等で具体化される計時部は自身のリセットを判定する機能を持たないが、本発明によれば、計時部への電源供給状態を監視することにより、計時部のリセットの有無を制御部にて好適に判定することができる。その結果、計時部のリセットが不用意に発生したとしても、それを正しく認識することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月8日(2003.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】エンジン制御用電子制御装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動車に搭載されエンジン制御を行うエンジン制御用電子制御装置において、
イグニッションスイッチがオンになると動作して前記エンジン制御に関するデータ演算や制御を実施すると共に、前記イグニッションスイッチがオフになると停止する制御部と、  前記イグニッションスイッチのオンオフに関わらず継続的に時間を計測し、エンジン停止中の時間経過を計測する計時部とを備え、
前記制御部は、所定の時間間隔でカウントアップされる内部タイマを有し、所定期間の時間を該内部タイマにより計測し、前記所定期間内に計時部により計測される時間と前記内部タイマにより計測された前記所定期間の時間とに基づいて当該計時部の異常を判定することを特徴とするエンジン制御用電子制御装置。
【請求項２】
前記制御部は、起動直後に計時部から読み出した時刻データと、その後前記の所定期間が経過した時に計時部から読み出した時刻データとから、該所定期間内における計時部の時間周期を算出し、その時間周期に基づいて計時部の異常を判定する請求項１に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、計時部の異常発生が判定されると、該計時部を初期化する請求項１又は２に記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項４】
前記制御部は、計時部の異常発生時にはその履歴を不揮発性メモリに記憶する請求項１〜３の何れかに記載のエンジン制御用電子制御装置。
【請求項５】
エンジンの冷却水の温度を検出する水温センサを備え、エンジン停止中の経過時間とエンジン始動時における水温センサの検出値とから当該水温センサの故障を判定するエンジン制御用電子制御装置であり、
前記制御部は、計時部の異常発生が判定されると、水温センサの故障判定を禁止する請求項１〜４の何れかに記載のエンジン制御用電子制御装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、制御部は、所定の時間間隔でカウントアップされる内部タイマを有し、所定期間の時間を内部タイマにて計測し、該所定期間内に計時部により計測される時間と前記内部タイマにより計測された前記所定期間の時間とに基づいて当該計時部の異常を判定する。例えば、計時部で計測した時間が所定期間の時間（制御部内でのタイマ計測時間）と相違する場合、計時部に異常が発生したと判定する。これにより、計時部の異常判定機能を実現し、該計時部の誤動作を正しく判定することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月29日(2003.9.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電子制御装置、エンジン制御用電子制御装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源スイッチの切り替えに伴う電源供給状態に応じて作動又は停止する制御部と、
前記制御部の作動／停止に関わらず継続的に時間を計測し、且つリセットに伴い所定値に初期化される計時部とを備え、
前記リセット時の所定値を含まないように前記計時部による時間計測の範囲を予め規定しておき、前記制御部は、前記電源スイッチの切り替えにて作動となると異常判定処理を実施し、計時部の時刻が規定範囲から外れると、該計時部に異常が発生したと判定することを特徴とする電子制御装置。
【請求項２】
前記制御部は、計時部の時刻データが前記の規定範囲から外れると、当該範囲の開始時刻に計時部を初期化する請求項１に記載の電子制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、計時部に対する電源供給が一旦遮断され、その後電源供給が再開された時に、前記規定範囲の開始時刻に計時部を初期化する請求項１又は２に記載の電子制御装置。
【請求項４】
車載バッテリからの給電により作動する車載用制御装置として適用され、前記計時部で計測される規定範囲は、前記バッテリの耐使用年数を基準に設定される請求項１〜３の何れかに記載の電子制御装置。
【請求項５】
前記制御部は、計時部の異常発生時にはその履歴を不揮発性メモリに記憶する請求項１〜４の何れかに記載の電子制御装置。
【請求項６】
車載エンジンの冷却水の温度を検出する水温センサを備え、エンジン停止中の経過時間とエンジン始動時における水温センサの検出値とから当該水温センサの故障を判定する電子制御装置であり、
前記制御部は、計時部の異常発生が判定されると、水温センサの故障判定を禁止する請求項１〜５の何れかに記載の電子制御装置。
【請求項７】
自動車に搭載されエンジン制御を行うエンジン制御用電子制御装置において、
イグニッションスイッチがオンになると動作して前記エンジン制御に関するデータ演算や制御を実施すると共に、前記イグニッションスイッチがオフになると停止する制御部と、
エンジン停止中の時間経過を計測し、且つリセットに伴い所定値に初期化される計時部とを備え、
前記リセット時の所定値を含まないように前記計時部による時間計測の範囲を前記制御部にて予め規定しておき、
前記制御部は、前記イグニッションスイッチのオンにて作動となると異常判定処理を実施し、前記計時部の時刻データが規定範囲から外れると、該計時部に異常が発生したと判定することを特徴とするエンジン制御用電子制御装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、リセット時の所定値（例えば、００年０１月０１日００時００分００秒）を含まないように計時部による時間計測の範囲が予め規定されるので、例えば、電圧低下や外乱ノイズ等に起因して計時部が不用意にリセットされ、その時刻データに狂いが生じた場合には、計時部の時刻データが規定範囲から外れる。故にこのことから、計時部に異常が発生したと判定できる。本発明によれば、計時部の異常判定が可能になることから、計時部の時刻データが正常か異常かの判定を正しく行うことができるようになる。また、請求項７に記載の発明のように、自動車に搭載されエンジン制御を行うエンジン制御用電子制御装置において、イグニッションスイッチがオンになると動作してエンジン制御に関するデータ演算や制御を実施すると共に、イグニッションスイッチがオフになると停止する制御部と、エンジン停止中の時間経過を計測し、且つリセットに伴い所定値に初期化される計時部とを備え、リセット時の所定値を含まないように計時部による時間計測の範囲を制御部にて予め規定しておき、制御部は、イグニッションスイッチのオンにて作動となると異常判定処理を実施し、計時部の時刻データが規定範囲から外れると、計時部に異常が発生したと判定するように構成してもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月20日(2004.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波変調信号を送信し、目標物体からの受信信号を復調する送受信手段部と、復調した信号から目標情報を得る手段とを備えたレーダ装置において、
熱雑音を発生する熱雑音発生源と、
前記熱雑音からランダムな変調コードを生成する変調コード生成手段と、
前記変調コードの送信タイミングを決定するトリガを発生する送信タイミングトリガ発生手段と、
搬送波信号を出力する発振手段と、
前記変調コードにより前記搬送波信号を変調し高周波変調信号を出力する変調手段と、
受信信号と前記搬送波信号により復調コードを出力する復調手段と、
前記復調コード及び前記復調コードに対応する前記変調コードから目標情報を得る目標情報検出手段と
を具備したことを特徴とするレーダ装置。
【請求項２】
高周波変調信号を送信し、目標物体からの受信信号を復調す送受信手段と、復調した信号から目標情報を得る手段とを備えたレーダ装置において、
変調コードを発生する変調コード発生手段と、
熱雑音を発生する熱雑音発生源と、
前記熱雑音から前記変調コードの送信タイミングを決定する、ランダムな周期を持つトリガを生成する送信タイミングトリガ生成手段と、
搬送波信号を出力する発振手段と、前記変調コードにより前記搬送波信号を変調し高周波変調信号を出力する変調手段と、
受信信号と前記搬送波信号により復調コードを出力する復調手段と、
前記復調コード及び前記復調コードに対応する前記変調コードから目標情報を得る目標情報検出手段と
を具備したことを特徴とするレーダ装置。
【請求項３】
高周波変調信号を送信し、目標物体からの受信信号を復調する送受信手段と、復調した信号から目標情報を得る手段とを備えたレーダ装置において、
熱雑音を発生する熱雑音発生源と、
前記熱雑音からランダムな変調コードを生成する変調コード生成手段と、
前記熱雑音から前記変調コードの送信タイミングを決定する、ランダムな周期を持つトリガを生成する送信タイミングトリガ生成手段と、
搬送波信号を出力する発振手段と、
前記変調コードにより前記搬送波信号を変調し高周波変調信号を出力する変調手段と、
受信信号と前記搬送波信号により復調コードを出力する復調手段と、
前記復調コード及び前記復調コードに対応する前記変調コードから目標情報を得る目標情報検出手段と
を具備したことを特徴とするレーダ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2002014164.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月7日(2003.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
特に、特開平７−３００１８９号の技術は、バルブ（閉鎖器３）の開度制御が不可能に近いため、定量排出のための精度向上は望めないものであった。
また、特表平８ー５０７０３２号の技術は、バルブ（遮蔽装置５およびキャップ４）の開度制御に圧縮空気の量で制御するベローズを用いているため、正確なバルブ開度制御は望めず、多品種流動性物質に対する計量精度の向上には限界があった。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】符号の説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【符号の説明】
１  ホッパー
２  流動性物質
３  排出口
４  バルブ
５  ロッド
６  頭部
７  昇降装置
８  昇降部材
９  昇降機構
１０  基台
１１  固定フレーム
１２  支持板
１３  支持板
１４  スプリング
１５  リニアシャフト
１６  フローティングジョイント
１７  電磁石
１８  振動発生体
１９  リミットスイッチ
２０  ドグ
２１  ストッパー
２２  駆動部
２３  昇降軸
２４  ボールねじナット
２５  モータ
２６  循環ベルト
２７  直動ベアリング
２８  計量容器
２９  計量器
３０  コンピュータ
３１  支持板
３２  支持板
３３  スプリング
３４  シャフト
３５  ストッパー
３６  保持アーム
３７  連結アーム
３８  回動軸
３９  作動片
４０  挟持片
４１  掛止片
４２  スプリング
４３  シリンダー
４４  作動板
４５  振動発生体
４６  リミットスイッチ
４７  ドグ
４８  防震ゴム
４９  シリンダー
５０  ロッド
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月5日(2003.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】炭素材料の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド系樹脂、ポリエーテルスルホン、およびポリエーテルイミドからなる群より選ばれる少なくとも１種のマトリックスポリマーと複素環を形成する官能基の少なくとも１つを他の官能基で置換した芳香族複素環コポリマーの前駆体を有機溶媒中で相溶させて混合溶液となしたのち、脱溶媒して凝固させて複合材とした３次元網目型分子複合材を焼成することを特徴とする炭素材料の製造方法。
【請求項２】
脱溶媒して凝固させて得られた複合材を、不活性ガス中、芳香族複素環コポリマー前駆体の閉環反応が起こらない温度で金型ホットプレス成形し、次いで加圧下で型内熱処理することにより芳香族複素環コポリマー前駆体の閉環反応を起こし、芳香族複素環コポリマーとマトリックスポリマーとの配合比が重量比で１：９９〜７０：３０の範囲の３次元網目型分子複合材とし、該複合材を焼成する請求項１記載の炭素材料の製造方法。
【請求項３】
大気圧中で、不活性ガス雰囲気下、２，３００〜３，０００℃で、２〜６時間焼成する請求項１または２記載の炭素材料の製造方法。
【請求項４】
炭素材料がバルク材であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項５】
マトリックスポリマーがポリアミドであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項６】
ポリアミドが芳香族ポリアミドである請求項５記載の炭素材料の製造方法。
【請求項７】
芳香族複素環コポリマーが、ポリベンゾチアゾールコポリマーおよびポリベンゾオキサゾールコポリマーよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項８】
マトリックスポリマーが芳香族ポリアミドであり、芳香族複素環コポリマーが、ポリベンゾチアゾールコポリマーまたはポリベンゾオキサゾールコポリマーである請求項１〜４いずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項９】
芳香族複素環コポリマーの前駆体が、その閉環反応により複素環形成能を有する官能基の少なくとも１つの水素原子をトリメチルシリル基またはシアノエチル基により置換されている請求項１〜８いずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項１０】
有機溶媒が、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドおよびジメチルスルフォキシドからなる群より選ばれる少なくとも１種である請求項１〜９いずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【請求項１１】
マトリックスポリマーと複素環を形成する官能基の少なくとも１つを他の官能基で置換した芳香族複素環コポリマーの前駆体を有機溶媒中で相溶させて混合溶液となしたのち、脱溶媒して凝固させてなる複合材の形状が、粉末状、フィルム状、繊維状、または板状である請求項１〜１０いずれか１項記載の炭素材料の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、耐熱、耐蝕性や摺動特性から過酷条件における構造材料として、また、導電性やインターカレーション特性から電極材料として有用な炭素材料の製造方法に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、アラミド系樹脂、ポリエーテルスルホン、およびポリエーテルイミドからなる群より選ばれる少なくとも１種のマトリックスポリマーと複素環を形成する官能基の少なくとも１つを他の官能基で置換した芳香族複素環コポリマーの前駆体を有機溶媒中で相溶させて混合溶液となしたのち、脱溶媒して凝固させて複合材とした３次元網目型分子複合材を焼成することを特徴とする炭素材料を提供するものである。
また、本発明の他方は、脱溶媒して凝固させて得られた複合材を、不活性ガス中、芳香族複素環コポリマー前駆体の閉環反応が起こらない温度で金型ホットプレス成形し、次いで加圧下で型内熱処理することにより芳香族複素環コポリマー前駆体の閉環反応を起こし、芳香族複素環コポリマーとマトリックスポリマーとの配合比が重量比で１：９９〜７０：３０の範囲の３次元網目型分子複合材とし、該複合材を焼成する上記の炭素材料の製造方法である。
ここにおいて、焼成は、大気圧で、不活性ガス雰囲気下、２３００〜３０００℃で、２〜６時間行うことが好ましい。
また、本発明の他方は、炭素材料が等方性のバルク材であることを特徴とする炭素材料の製造方法を提供するものである。さらに、本発明は、マトリックスポリマーが、ポリアミドであることが好ましく、さらに好ましくは芳香族ポリアミドである。さらにまた、本発明は、芳香族複素環コポリマーが、ポリベンゾチアゾールコポリマーおよびポリベンゾオキサゾールコポリマーよりなる群から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。
中でも、マトリックスポリマーが芳香族ポリアミドであり、芳香族複素環コポリマーが、ポリベンゾチアゾールコポリマーまたはポリベンゾオキサゾールコポリマーである組み合わせが好ましい。
また、芳香族複素環コポリマーの前駆体としては、その閉環反応により複素環形成能を有する官能基の少なくとも１つの水素原子をトリメチルシリル基またはシアノエチル基により置換されているものが好ましい。
さらに、有機溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドおよびジメチルスルフォキシドからなる群より選ばれる少なくとも１種が好ましい。
マトリックスポリマーと複素環を形成する官能基の少なくとも１つを他の官能基で置換した芳香族複素環コポリマーの前駆体を有機溶媒中で相溶させて混合溶液となしたのち、脱溶媒して凝固させてなる複合材の形状は、粉末状、フィルム状、繊維状、または板状であることが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１１】
このような有機溶媒としては、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどのアミド系の有機溶媒、ジメチルスルフォキサイド（ＤＭＳＯ）を好適に用いることができる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
前駆体コポリマーとマトリックスポリマーとの配合において、前駆体コポリマーの配合量が極めて少なくても補強効果はあるが、最終的に芳香族複素環コポリマーとマトリックスポリマーとの配合比が重量比で１：９９〜７０：３０の範囲となるように設定するのが好ましい。補強高分子である芳香族複素環コポリマーの配合比が多くなりすぎると、その存在が密になりすぎ、芳香族複素環コポリマーどうしが凝集して分子レベルでの分散が悪くなり、それが分子複合材の機械的強度を低下させると考えられる。より好ましい配合比は、１：９９〜６０：４０である。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月12日(2003.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであって、優れた強度、破壊靭性を有し、機械的特性に優れていると共に、優れた熱伝導特性を持つことにより、放熱特性及び信頼性に優れる半導体用回路基板やバルブ等の自動車部品の素材として好適な窒化珪素質焼結体を安価に提供することを目的としている。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月2日(2003.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】気相成長方法及び半導体の製造方法


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、反応炉と、該反応炉内へ反応ガスを供給するための反応ガス供給手段と、該反応炉内に配置されたサセプタを有し、前記サセプタはその上面に載置されるウエハを加熱するための加熱手段を有する枚葉式気相成長装置を用いてウエハの表面に気相成長膜を成膜する気相成長方法において、  成膜開始温度を各成膜処理毎の基板間で一定にすることを特徴とする気相成長方法。
【請求項２】
反応炉内に未処理ウエハを搬入して、該ウエハをサセプタの上面に載置し、前記加熱手段によりサセプタを加熱し、該サセプタが設定温度にまで達したときに、反応炉内に反応ガスを導入し、サセプタ上面のウエハに対して成膜処理を開始し、成膜処理終了後、ウエハを反応炉外へ搬出し、再び反応炉内に新たな未処理ウエハを搬入して、該ウエハをサセプタの上面に載置し、前記加熱手段によりサセプタを加熱し、該サセプタが先の成膜処理の際の設定温度と同じ温度にまで達したときに、反応炉内に反応ガスを導入し、サセプタ上面のウエハに対して成膜処理を開始し、成膜処理終了後、ウエハを反応炉外へ搬出し、この操作を成膜処理すべき所定枚数のウエハに対して繰り返すことからなる請求項１の気相成長方法。
【請求項３】
減圧熱ＣＶＤ装置によりＴａ２Ｏ５膜を生成する請求項１の気相成長方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の気相成長方法により形成された薄膜を表面上に有する基板を用いて半導体を製造することを特徴とする半導体の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月28日(2003.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
以下、本発明を実施例、比較例及び試験例によって詳細に説明するが、本発明はこれらの記載に制限されるものではない。
【実施例】
実施例１〜４及び比較例１〜３
表１に示す組成（単位：質量％）にて常法に従って、精製水を加えて全量を１００質量％として各種練歯磨剤を調製した。
これらの練歯磨剤を以下の試験に供した。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
表１に示す実施例１〜４及び比較例１〜３の各練歯磨剤の30％水懸濁液30mLを加えた各試験管に、上記プラークモデルを浸漬した。30ストローク／分で5分間振とうした後、ハイドロキシアパタイトペレットを取り出し、表面を精製水で十分に洗浄した。コントロールとして、歯磨剤水懸濁液の代わりに精製水を用いて同様に試験を行った。
各ハイドロキシアパタイトペレット表面に残存したプラークを剥離し、精製水に分散させた分散液を被験試料として、450nmにおける濁度を測定した。プラーク除去率を下式により算出し、以下の基準に従って評価を行った。
プラーク除去率（％）＝
［（コントロールのO.D.450nm−各試料のO.D.450nm）／コントロールO.D.450nm］×100


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
＜殺菌力試験＞
各練歯磨剤の殺菌力を検証するため、S. mutansを用いてin vitroによる評価を行った。
24穴のマイクロプレートに２mL人工唾液を加え、２時間室温で放置した。人工唾液を除去し、５％ショ糖含有ＢＨＩ液体培地を加え、上記プラーク除去試験で調製した菌懸濁液からS. mutans を植菌した。37℃で、24時間培養し、ＢＨＩ液体培地を除去して表１に示す実施例１〜４及び比較例１〜３の各練歯磨剤の30％水懸濁液２mLを加えて、37℃で５分間インキュベーションした。歯磨剤懸濁液を除去して、滅菌生理食塩水で十分に洗浄後、化学発光検出器を用いてＡＴＰ（アデノシン三リン酸）を測定し、生菌数を求めた。その結果を表１に併せて示す。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
【表１】
2002234825.tif 000001
1)ビフィズス菌（ビフィドバクテリウム・ロンガム）の凍結乾燥物
2)乳酸発酵分離液（ラクトバチルス・サリバリウスの乳酸発酵分離液、酸度：１．８％、ｐＨ：３．９、蒸発残分：４．８％）
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月8日(2003.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不活性ガスを充填した高圧容器内に、結晶原料および液体封止剤を入れたルツボを配置し、該ルツボをヒーターで加熱することにより結晶原料および液体封止剤を融解し、該融液から単結晶を引き上げる液体封止チョクラルスキー法による単結晶製造方法において、高圧容器内のルツボおよびヒーターを含む領域を遮蔽材で覆い、該遮蔽材の上部と下部に開口部を設け、該開口部を通じて遮蔽材で覆った領域の内外間で不活性ガスの対流を生じさせながら単結晶を引き上げることを特徴とする単結晶製造方法。
【請求項２】
遮蔽材の下部の、開口部の開口面積ａ（単位：ｃｍ２）と、上部の開口部の開口面積ｂ（単位：ｃｍ２）との比ａ／ｂが、０．０５≦（ａ／ｂ）≦０．５の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の単結晶製造方法。
【請求項３】
遮蔽材の下部の、開口部の開口面積ａと、上部の開口部の開口面積ｂとの比ａ／ｂが、０．０５≦（ａ／ｂ）≦０．２５の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の単結晶製造方法。
【請求項４】
開口面積ａが、０．２ｃｍ２≦ａ≦３ｃｍ２の範囲内であり、開口面積ｂが、２ｃｍ２≦ｂ≦２０ｃｍ２の範囲内であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の単結晶製造方法。
【請求項５】
開口面積ａが、０．２ｃｍ２≦ａ≦１．５ｃｍ２の範囲内であり、開口面積ｂが、４ｃｍ２≦ｂ≦７ｃｍ２の範囲内であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の単結晶製造方法。
【請求項６】
遮蔽材の下部の開口部が、遮蔽材の側面下部または底部に複数箇所設けられ、これらの開口部が単結晶引き上げ時の結晶回転軸に対して対称位置に設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の単結晶製造方法。
【請求項７】
液体封止剤内に生ずる温度勾配が、３０〜６０℃／ｃｍの範囲内であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の単結晶製造方法。
【請求項８】
ＩｎＰ単結晶を製造することを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の単結晶製造方法。
【請求項９】
高圧容器内に、結晶原料および液体封止剤を入れるルツボ、該ルツボを加熱するヒーターを有し、高圧容器内のルツボおよびヒーターを含む領域が遮蔽材で覆われ、該遮蔽材の上部と下部に開口部が設けられていることを特徴とする液体封止チョクラルスキー法による単結晶製造装置。
【請求項１０】
請求項１〜７の何れか１項に記載の単結晶製造方法により製造した化合物半導体結晶。
【請求項１１】
ＩｎＰであることを特徴とする請求項１０に記載の化合物半導体結晶。
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月19日(2003.6.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
同管路３０は出口端３１を有している。同真空弁１０は、好ましくは上記出口端３１の位置より高位に好ましくは配設されており、該弁１０は、好ましくは局部的に最高位位置または上り勾配位置で、更に好ましくは出口端３１の近くに配置される。真空弁１０は弁板１１を備え、この弁板１１は重力下で弁板１１の座を形成する環状部材１２に着座している。弁板１１は全体的には水平状態に配置され、垂直な軸ないしステム１３を有し、同ステムは弁体１５内の案内ブッシュ１４内に案内されている。ケース１６は、弁室１７を形成するように弁体１５に結合されている。弁体１５は、また切り株状の接続部１８を備えて、管路３０の岐路へ接続ができるように構成さている。弁体１５の外側から弁座１２および弁板１１によって規定された空間２１に向けて延設された空気通路２０が設けられている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
真空弁１０は管路３０の局地的に高い位置に設けられているので、同弁１０は、管路内に生ずるサイフォン現象を迅速に停止させることができる。本発明に係る弁装置１０は、バネ手段を具備していないことから、管路３０内に流体圧が無いときは、弁板の閉弁位置への移動は重力作用にのみ依存している。弁板１１は同板とそのステムとをアセタール樹脂（ポリオキシメチレン：ＰＯＭ）で製造することにより重量を軽減して質量低下を図ることができ、以て弁板を接続器２０内の圧力低下時には、迅速に開弁位置へ移動する。つまり、弁は低圧力差、例えば周辺環境に対して管路３０内の低下圧力が５ｍｍ水柱程度で開弁することができるのである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月26日(2003.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
請求項２記載のブラシシールを製造する方法において、更に、前記パッキング材料を添加する前に、前記巻付けファイバの選定区域以外の他の区域をマスキングする段階を包含し、前記パッキング材料が前記他の区域に結合するのを防止するようにしたことを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月7日(2003.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心周波数を有し該中心周波数の０．１％を超える関数スペクトル幅を有する光信号を発生するための低コヒーレンス光源と、
前記光信号をフィルムに送り、前記フィルムから反射する光を集めて、集光信号を発生するための結合手段と、
前記集光信号を干渉計に結合して、干渉光信号を発生するための手段と、
前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求めるための処理手段とを備えた、
フィルムの厚さを測定するための測定装置。
【請求項２】
前記低コヒーレンス光源が、第１と第２の光源を備え、前記第１と第２の光源が光学スペクトルの異なる領域の光を放出することを特徴とする、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記処理手段が、前記入力光周波数のサイクル毎に２つ未満のサンプルについて、前記干渉光信号の強度をサンプリングすることを特徴とする、請求項１から請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
低コヒーレンス光源からの光信号でフィルムを照射し、その中心周波数が０．１％を超える関数スペクトル幅を有する光信号を発生するステップと、
前記フィルムから反射する光を集めて、集光信号を発生するステップと、
前記集光信号を干渉計に結合して、干渉光信号を発生するステップと、
前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求めるステップとを備えた、
フィルムの厚さを測定するための方法。
【請求項５】
前記低コヒーレンス光源が、第１と第２の光源を備え、
前記第１と第２の光源が、光学スペクトルの異なる領域の光を放出することを特徴とする、請求項４に記載の測定方法。
【請求項６】
前記位相勾配を周波数の関数として求めるステップが、前記入力光周波数のサイクル毎に２つ未満のサンプルについて、前記干渉光信号の強度をサンプリングするステップからなることを特徴とする、請求項５から請求項６に記載の測定方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月4日(2003.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部表面及び下部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光源から第１のプローブ光信号及び第２のプローブ光信号を発生するための手段と、
前記上部表面に向かって前記第１のプローブ光信号を送り、前記上部表面を出る光を集めるための手段と、
前記上部表面を出る光を部分的に反射して、前記上部表面に向かって戻すための上部基準表面と、
前記下部表面に向かって第２のプローブ光信号を送り、前記下部表面を出る光を集めるための手段と、
前記下部表面を出る光を部分的に反射し、前記下部表面に向かって戻すための下部基準表面と、
前記上部表面及び下部表面から集めた前記光を結合して、集光信号を形成するための結合手段と、
前記集光信号を受信して、前記上部表面及び前記上部基準表面から反射した光と前記下部表面及び前記下部基準表面から反射した光の間における時間遅延を求めるための受信器とを備えた測定装置。
【請求項２】
前記受信器が、光学スペクトル解析器を備えたことを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
上部表面と下部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための方法において、
低コヒーレンス光源から第１のプローブ光信号と第２のプローブ光信号を発生するステップと、
前記上部表面に向けて前記第１のプローブ光信号を送り、前記上部表面を出る光を集めるステップと、
前記上部表面を出る光を部分的に反射して、前記上部表面に向かって戻す上部基準表面を設けるステップと、
前記下部表面に向けて前記第２のプローブ光信号を送り、前記下部表面を出る光を集めるステップと、
前記下部表面を出る光を部分的に反射して、前記下部表面に向かって戻す下部基準表面を設けるステップと、
前記上部表面と前記下部表面から集めた前記光を結合して、集光信号を形成するステップと、受信器において前記集光信号を受信して解析を行い、前記上部表面及び前記基準表面から反射する光と前記下部表面及び前記下部基準表面から反射する光との間における時間遅延を求めるステップとを備えた測定方法。

【請求項４】
前記受信器が光学反射率計を備えたことを特徴とする、請求項３に記載の測定方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月17日(2003.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型標本上にライン状の照明光を照射するラインファイバ照明部と、前記大型標本に照射されたライン状の照明箇所からの反射光を撮像し該大型標本の表面の欠陥を検出する検出手段とを備え、前記ライン状の照明箇所を該ライン方向と交差する方向に相対的に移動させて前記大型基板全面の検査を行う欠陥検査装置であって、
前記ラインファイバ照明部から出射される前記ライン状の照明光の内、前記ライン状の照明光と交差する短手方向に分散する光の成分を集束させ、かつ前記ライン状の照明光に沿う長手方向に分散する光の成分を非集束状態する光調整部材を前記ラインファイバ照明部と前記大型標本との間に配置したことを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記ラインファイバ照明部は、前記ライン状の照明光を前記大型標本の平面に対して斜めから照射することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記ラインファイバ照明部から出射される出射光と前記大型標本から反射する反射光を分離する光路分離手段を前記大型標本面に対して共通光軸が垂直になるように配置し、前記ライン状の照明光を前記大型標本に対して垂直に照射することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記光調整部材は、前記ラインファイバ照明部から出射された前記短手方向照明光をある程度集束させ、該光調整部材を通過した前記ライン状の照明光を前記大型標本上にフォーカスさせるレンズを有することを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
前記光調整部材は、前記ライン状の照明光の短手方向に伸びるスリットを前記ライン状の照明光に沿う長手方向に平行に多数配置し、該スリットにより前記ライン状の照明光を前記長手方向に分散させる回折格子であることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
前記光調整部材は、前記ライン状の照明光の長手方向に沿って伸びたシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明の欠陥検査装置は、大型標本上にライン状の照明光を照射するラインファイバ照明部と、前記大型標本に照射されたライン状の照明箇所からの反射光を撮像し該大型標本の表面の欠陥を検出する検出手段とを備え、前記ライン状の照明箇所を該ライン方向と交差する方向に相対的に移動させて前記大型基板全面の検査を行う欠陥検査装置であって、
前記ラインファイバ照明部から出射される前記ライン状の照明光の内、前記ライン状の照明光と交差する短手方向に分散する光の成分を集束させ、かつ前記ライン状の照明光に沿う長手方向に分散する光の成分を非集束状態する光調整部材を前記ラインファイバ照明部と前記大型標本との間に配置したことを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の欠陥検査装置においては、ラインファイバ照明部からの光を大型標本上に集光させ、大型標本上に照射されたライン状の照明箇所からの反射光を一度に撮像すると共にライン状の照明光を大型標本に対して相対的に移動させるため、大型標本全面を容易に検査することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の欠陥検査装置の光調整部材は、ラインファイバ照明部から出射される前記ライン状の照明光の内、ライン状の照明光に沿う長手方向に分散する光の成分がデフォーカスされるため、ラインファイバ照明部の各光ファイバから出射される各光束が長手方向に互いに重なり合い大型標本を均一に照明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の欠陥検査装置のラインファイバ照明部は、前記ライン状の照明光を斜めから前記大型標本の平面に対して照射するため、大型標本上で反射する全ての反射光を検出手段で欠陥の検査に使用でき、光量損失のない検査が可能となる。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明の欠陥検査装置の光調整部材は、ラインファイバ照明部から出射された短手方向照明光をある程度集束させ、この照明光をレンズを介して大型標本上にフォーカスさせるため、長手方向の光成分だけがデフォーカスされて大型標本を均一に照明できる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月6日(2003.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
上記容器押さえ部材は、上記当接用部が上記栓体の上面部に当接する位置まで下降したときにはその下降動作が停止するように設けられている、請求項１に記載のサンプリング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本願発明の好ましい実施の形態では、上記容器押さえ部材は、上記当接用部が上記栓体の上面部に当接する位置まで下降したときにはその下降動作が停止するように設けられている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
上記ノズルホルダ２は、上記モータＭの駆動によって上下方向に伸縮する昇降ロッド２０に支持されており、上記モータＭによって昇降自在である。上記吸引ノズル１は、このノズルホルダ２の昇降動作に伴って昇降する。上記昇降ロッド２０は、モータＭの回転軸（図示略）の回転動作がたとえばボールネジ送り機構などによって直線運動に変換されることによって昇降動作を行うように構成されたものである。上記ノズルホルダ２の昇降動作をスムーズに行わせるための手段として、このノズルホルダ２には、支持板３の下面部に取付けられたガイドロッド３０に沿って摺動する孔部２１を備えたガイド部２２が設けられている。なお、上記ノズルホルダを昇降動作させるための手段としては、上記モータＭを用いる手段に代えて、たとえばエアシリンダなどのアクチュエータや、上下方向に移動自在な駆動ベルトなどを用いてもかまわない。