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　平成　８年特許願第２００００７号「超臨界流体洗浄装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１０年　２月２０日出願公開、特開平１０−　５０６４８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成８年７月３０日の出願であって、平成１４年６月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年７月１７日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、平成１４年８月１日付けで明細書を補正対象書類とする手続補正（以下、「本件補正」という。）がなされたものである。
２．本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
（１）補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「超臨界状態の洗浄溶媒と被洗浄物を洗浄槽内で接触させることにより、前記被洗浄物を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、
　前記洗浄溶媒を貯蔵しており、該洗浄溶媒を気体状態で送出する貯蔵手段と、
　該貯蔵手段からの気体状態の前記洗浄溶媒を濾過する濾過手段と、
　該濾過手段からの気体状態の前記洗浄溶媒を液化する液化手段と、
　該液化手段からの液化された前記洗浄溶媒を加圧、加温して超臨界状態にする超臨界化手段と、
　該超臨界化手段からの超臨界状態にされた前記洗浄溶媒と前記被洗浄物を接触させて前記被洗浄物を洗浄する前記洗浄槽と、
　前記被洗浄物の洗浄後に、前記洗浄槽内の超臨界状態の前記洗浄溶媒を減圧することにより気化させるとともに、前記被洗浄物中の汚染物質を除去する分離手段とを有し、
　前記液化手段は、液化された前記洗浄溶媒を貯えておくための貯液手段を有することを特徴とする超臨界流体洗浄装置。」
と、補正された。
　上記補正は、請求項１に記載された発明を特定するために必要な事項である「液化手段」について「前記液化手段は、液化された前記洗浄溶媒を貯えておくための貯液手段を有する」との限定を付加するものであって、特許法第１７条の２第４項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の前記請求項１に記載された発明（以下、「本願補正発明」という。）が特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するか）について以下に検討する。
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された特開平７−２８４７３９号公報（以下「引用例」という。）には、図面とともに、
「【請求項１】　洗浄媒質を超臨界状態にして被洗浄物の洗浄を行い、前記洗浄媒質を循環させて使用する洗浄方法において、
　洗浄後の前記洗浄媒質を超臨界状態から気体状態にすることによって洗浄媒質に溶解した溶解性汚染物質の除去を行うことを特徴とする洗浄方法。
　【請求項２】　被洗浄物が収納される洗浄室と、
　気体状態の洗浄媒質を液体状態に変化させるための冷却手段を含み、洗浄媒質を超臨界状態にして前記洗浄室に供給する供給手段と、
　前記洗浄室から前記超臨界状態の洗浄媒質を導出し、その洗浄媒質を超臨界状態から気体状態に変化させる気化室と、
　前記気化室から前記供給手段へ前記気体状態の洗浄媒質を供給するポンプとを含むことを特徴とする洗浄装置。
　【請求項３】　前記ポンプと前記供給手段との間には、前記気体状態の洗浄媒質を濾過する濾過手段が備えられることを特徴とする請求項２記載の洗浄装置。」（特許請求の範囲。）
「　　【００１６】
　【実施例】
　図１は、本発明の一実施例である洗浄装置２１の概略的な構成を示す図である。洗浄装置２１は、洗浄室２２、気化室２３、液化室２４、タンク２５、加熱器２６、圧力変換器２７、フィルタ２８、バルブＶ１〜Ｖ５、ポンプＰ１，Ｐ２、逆止弁Ｗ１，Ｗ２および管Ｌ１〜Ｌ４を含んで構成される。
　　　【００１７】
　バルブＶ１が介在される管Ｌ１は、洗浄室２２の底部と気化室２３の上部とに連通し、バルブＶ２が介在される管Ｌ２は洗浄室２２の上部と気化室２３の上部とに連通する。管Ｌ３は、管Ｌ２のバルブＶ２と気化室２３との間に設けられる接続部Ｄ１と、液化室２４とに連通し、管Ｌ３には接続部Ｄ１側から順に、バルブＶ３、ポンプＰ１およびフィルタ２８が介在される。管Ｌ４は、液化室２４の底部と洗浄室２２とに連通し、管Ｌ４には液化室２４側から順に、逆止弁Ｗ１、ポンプＰ２、逆止弁Ｗ２および加熱器２６が介在される。
　　　【００１８】
　液化室２４には、バルブＶ４を介して二酸化炭素供給用のタンク２５が接続される。管Ｌ４の加熱器２６と洗浄室２２との間に設けられる接続部Ｄ２には、圧力変換器２７が接続される。気化室２３の底部にはバルブＶ５が接続される。
　　　【００１９】
　洗浄室２２は、気密性を有するステンレス製の容器で耐圧が４００気圧以上のものが選ばれる。洗浄室２２内部には、半導体素子、液晶ディスプレイなどの微細加工部品や金属加工部品などの被洗浄物３１が収納され、さらに超臨界状態にある二酸化炭素３２が供給され、被洗浄物３１と二酸化炭素３２とが接触することによって被洗浄物３１の洗浄が行われる。洗浄中の洗浄室２２内部の温度および圧力は、二酸化炭素３２を超臨界状態に保つために、適切な値、たとえば５０℃および２００気圧に設定される。被洗浄物３１の出し入れは、洗浄室２２のたとえば上部に設けられる蓋３３を開閉することによって行うことができる。また、洗浄室２２の底部は、管Ｌ１からの超臨界状態の二酸化炭素の排出がスムーズに行われるように、管Ｌ１が接続される部分が最下部になるように傾斜している。
　　　【００２０】
　気化室２３は、気密性を有し、耐圧が４００気圧以上のステンレス製の容器である。気化室２３では、洗浄室２２から管Ｌ１を介して供給される洗浄後の超臨界状態の二酸化炭素が気体状態に変化されて、洗浄によって超臨界状態の二酸化炭素に溶解した溶解性汚染物質の除去が行われる。またこれと同時に、洗浄によって超臨界状態の二酸化炭素に混入した微粒子の除去も行われる。濃縮されて気化室２３の底部に残留した溶解性汚染物質および微粒子は、バルブＶ５を介して外部へ排出される。気化室２３の底部は、バルブＶ５からの溶解性汚染物質および微粒子の排出が容易に行われるように、バルブＶ５が接続される部分が最下部になるように傾斜している。
　　　【００２１】
　フィルタ２８は、気体用フィルタであり、気体に含まれる除去可能な微粒子の粒子サイズが最小のフィルタが用いられ、たとえば日本ミリポア社製のＷＧＦＧ−０．１ＨＲ１を用いることによって粒子サイズが０．０１μｍの微粒子を除去することができる。」（段落【００１６】ないし【００２１】。）
「　　【００２３】
　加熱器２６は、管Ｌ４に接続される管２６ａ内を液体状態の二酸化炭素が通過する際に、温度センサで温度を検知しながら二酸化炭素を予め設定された温度、たとえば５０℃になるまで加熱する。圧力変換器２７は、たとえば減圧バルブによって実現され、超臨界状態にある二酸化炭素の圧力が予め設定された圧力、たとえば２００気圧を超えると減圧を行う。
　　　【００２４】
　タンク２５には、二酸化炭素が液体状態で収納されている。ポンプＰ１，Ｐ２は、吐出圧力が２００気圧以上の高出力ポンプである。逆止弁Ｗ１，Ｗ２は、液体状態の二酸化炭素が管Ｌ４内を洗浄室２２側から液化室２４側へ逆流するのを防止する。バルブＶ１〜Ｖ５は耐圧が４００気圧以上の耐圧バルブである。
　　　【００２５】
　図２は、洗浄媒質として用いられる二酸化炭素の温度・圧力・密度相関図である。二酸化炭素は、温度と圧力とがともに臨界温度Ｔｃである３１．０６℃と臨界圧力Ｐｃである７３．８ｂａｒとを超えた領域Ａ１において超臨界状態となる。図２において蒸発線Ｃ１と昇華線Ｃ２との右側で、かつ圧力が臨界圧力Ｐｃ以下の領域Ａ２では二酸化炭素は気体状態である。また図２において、溶解線Ｃ３よりも右側で、かつ蒸発線Ｃ１よりも上方で、かつ温度が臨界温度Ｔｃよりも低い領域Ａ３では二酸化炭素は液体状態である。また図２において、領域Ａ１〜Ａ３以外の領域Ａ４では二酸化炭素は固体状態である。
　　　【００２６】
　図３は、洗浄装置２１の動作手順を説明するための工程図である。ステップａ１でバルブＶ４が開かれると、ステップａ２で気体状態の二酸化炭素が液化室２４内に供給され、ステップａ３で二酸化炭素が冷却されて、図２において矢印Ｂ１で示されるように、領域Ａ２の気体状態から領域Ａ３の液体状態になり、ステップａ４に移る。ここで、バルブＶ４は、所定量の二酸化炭素がタンク２５から液化室２４に供給されると閉じられる。」（（段落【００２３】ないし【００２６】。）
との記載が認められる。
　さらに、
「　　【００２２】
　液化室２４は、冷却機能を備えた耐圧が４００気圧以上の容器である。気化室２４内に気体状態の二酸化炭素が供給されると、二酸化炭素は周囲に冷却液２４ａが満たされた複数本の細管２４ｂ内に導かれて冷却され、液体状態となり、液化室２４の底部に溜まる。冷却液２４ａは、外部から液化室２４内に気密に挿入される管２４ｃ，２４ｄによって供給および排出される。液化室２４の底部は、管Ｌ４からの液体状態の二酸化炭素の吸い出しが容易に行われるように、管Ｌ４が接続される部分が最下部になるように傾斜している。」（段落【００２２】。）
との記載中の「気化室２４」は、「液化室２４」の誤記と認められ、そして、この記載から、「液化室」の「底部」が、液体状態の二酸化炭素を溜める構造になっていることが明らかである。
　以上の記載によれば引用例には、
「超臨界状態の二酸化炭素と被洗浄物を洗浄室内で接触させることにより、前記被洗浄物を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、
　前記二酸化炭素を貯蔵しており、該二酸化炭素を気体状態で送出するタンクと、
　気体状態の前記二酸化炭素を濾過するフィルタと、
　該タンクからの気体状態の前記二酸化炭素を液化する液化室と、
　該液化室からの液化された前記二酸化炭素を加圧、加温して超臨界状態にするポンプおよび加熱器と、
　該ポンプおよび加熱器からの超臨界状態にされた前記二酸化炭素と前記被洗浄物を接触させて前記被洗浄物を洗浄する前記洗浄室と、
　前記被洗浄物の洗浄後に、前記洗浄室内の超臨界状態の前記二酸化炭素を減圧することにより気化させるとともに、前記被洗浄物中の汚染物質を除去する気化室とを有し、
　前記液化室は、液化された前記二酸化炭素を貯えておくための底部を有する超臨界流体洗浄装置。」
との発明（以下、「引用例発明」という。）が開示されていると認められる。
（３）対比
　そこで、本願補正発明と引用例発明とを比較すると、引用例発明の「二酸化炭素」は、本願補正発明の「洗浄溶媒」に相当し、以下同様に、「タンク」は「貯蔵手段」に、「液化室」は「液化手段」に、「ポンプ」および「加熱器」は「超臨界化手段」に、「洗浄室」は「洗浄槽」に、「気化室」は「分離手段」に、それぞれ相当し、さらに、気体状態の洗浄溶媒を濾過する点では両者に異なるところがないから、引用例発明の「フィルタ」は本願補正発明の「濾過手段」に相当し、また、引用例発明の「液化室」の「底部」が本願補正発明の「貯液手段」に相当することも明らかであるから、両者は、
「超臨界状態の洗浄溶媒と被洗浄物を洗浄槽内で接触させることにより、前記被洗浄物を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、
　前記洗浄溶媒を貯蔵しており、該洗浄溶媒を気体状態で送出する貯蔵手段と、
　気体状態の前記洗浄溶媒を濾過する濾過手段と、
　該貯蔵手段からの気体状態の前記洗浄溶媒を液化する液化手段と、
　該液化手段からの液化された前記洗浄溶媒を加圧、加温して超臨界状態にする超臨界化手段と、
　該超臨界化手段からの超臨界状態にされた前記洗浄溶媒と前記被洗浄物を接触させて前記被洗浄物を洗浄する前記洗浄槽と、
　前記被洗浄物の洗浄後に、前記洗浄槽内の超臨界状態の前記洗浄溶媒を減圧することにより気化させるとともに、前記被洗浄物中の汚染物質を除去する分離手段とを有し、
　前記液化手段は、液化された前記洗浄溶媒を貯えておくための貯液手段を有する超臨界流体洗浄装置。」
の点で一致し、以下の点で相違している。
［相違点］本願補正発明は、濾過手段が、貯蔵手段からの気体状態の洗浄溶媒を濾過して液化手段に供給するのに対し、引用例発明では、濾過手段が、気体状態の洗浄溶媒を濾過して液化手段に供給する点では共通するものの、濾過される洗浄溶媒が、貯蔵手段からのものではない点。
（４）判断
［相違点］について
　濾過手段の配置は、濾過が必要とされる洗浄溶媒の通るところとすればよいのは自明なことであるから、貯蔵手段からの洗浄溶媒を濾過する必要があったならば、そこに濾過手段を配置するのは、適宜選択可能な設計的事項である。
　してみれば、本願補正発明が貯蔵手段からの洗浄溶媒を濾過したのは、設計的事項の変更というべきものであり、上記相違点は、当業者にとって、容易に想到し得たものである。
　そして、本願補正発明の作用効果も、引用例発明から当業者が予測できる範囲のものである。
　したがって、本願補正発明は、引用例発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
（５）むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
３．本願発明について
（１）本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１ないし２に係る発明は、平成１４年４月１９日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定されるものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、以下のとおりのものである。
「超臨界状態の洗浄溶媒と被洗浄物を洗浄槽内で接触させることにより、前記被洗浄物を洗浄する超臨界流体洗浄装置において、
　前記洗浄溶媒を貯蔵しており、該洗浄溶媒を気体状態で送出する貯蔵手段と、
　該貯蔵手段からの気体状態の前記洗浄溶媒を濾過する濾過手段と、
　該濾過手段からの気体状態の前記洗浄溶媒を液化する液化手段と、
　該液化手段からの液化された前記洗浄溶媒を加圧、加温して超臨界状態にする超臨界化手段と、
　該超臨界化手段からの超臨界状態にされた前記洗浄溶媒と前記被洗浄物を接触させて前記被洗浄物を洗浄する前記洗浄槽と、
　前記被洗浄物の洗浄後に、前記洗浄槽内の超臨界状態の前記洗浄溶媒を減圧することにより気化させるとともに、前記被洗浄物中の汚染物質を除去する分離手段とを有する超臨界流体洗浄装置。」
（２）引用例
　原査定の拒絶の理由に引用された引用例、および、その記載事項は、前記「２．（２）」に記載したとおりである。
（３）対比・判断
　本願発明は、前記２．で検討した本願補正発明から「液化手段」の限定事項である「前記液化手段は、液化された前記洗浄溶媒を貯えておくための貯液手段を有する」との発明特定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の発明特定事項を付加したものに相当する本願補正発明が、前記「２．（４）」に記載したとおり、引用例発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、同様の理由により、引用例発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（４）むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、請求項２に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。