【手続補正書】
【提出日】平成15年10月7日(2003.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられ、被検査基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段の前記一方向の移動方向と交差する他方向に少なくとも対物レンズを移動可能に設けたミクロ観察系と、
前記基板保持手段に保持された前記被検査基板表面にマクロ照明光を照射し、前記被検査基板表面の反射光の変化から欠陥部を検出するマクロ観察系と、
前記マクロ観察系により検出された前記被検査基板上の欠陥部に前記ミクロ観察系の対物レンズの観察範囲が合致するように前記基板保持手段及び前記対物レンズを移動制御する制御手段と、
を具備したことを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記ミクロ観察系は、前記対物レンズと接眼レンズを有する顕微鏡からなり、前記対物レンズと前記接眼レンズとの間をリレー光学系で連結したことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記マクロ観察系は、前記被検査基板に対して前記照明光の照射角度を可変可能にしたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記マクロ観察系は、前記被検査基板の前面に向けてマクロ照明する光源と、該光源からのマクロ照明光を前記被検査基板表面に向けて照射角度を偏向する反射ミラーと、該反射ミラーの回動角度を制御する照明角度制御部とを備え、前記被検査基板表面に対して前記光源からのマクロ照明光の照射角度を可変可能にしたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記照明角度制御部は、観察者により設定された前記照射角度を記憶部に記憶し、この記憶部から前記照射角度を読み出して自動的に照明角度を設定することを特徴とする請求項４記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記基板保持手段の傾斜面は、４５°〜略垂直の角度に設定されることを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項７】
前記基板保持手段は、前記被検査基板を交換する初期位置に移動した後、前記被検査基板を垂直に近い角度に引き起こして前記被検査基板を交換することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記対物レンズは、顕微鏡機能を備えたミクロ観察ユニットに取り付けられ、該ミクロ観察ユニットを前記橋型のガイドに沿って移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記リレー光学系は、前記対物レンズと前記接眼レンズとの間に屈曲可能な複数のリレー光学系により連結されることを特徴とする請求項２記載の基板検査装置。
【請求項１０】
前記リレー光学系は、前記橋型のガイドに沿って移動可能に設けられた対物レンズを含む対物レンズユニットの光軸を中心に回転自在に連結された第１のリレー光学系と、該第１のリレー光学系の他端に回転自在に連結された第２のリレー光学系と、前記接眼レンズを含む接眼レンズユニットの光軸を中心に前記第２のリレー光学系を回転自在に連結したことを特徴とする請求項９記載の基板検査装置。
【請求項１１】
前記第１のリレー光学系及び前記第２のリレー光学系は、それぞれ両側に光軸を９０°に偏向するミラーを平行に配置し、前記第１のリレー光学系の水平光軸に対して直行する一方の垂直光軸と前記第２のリレー光学系の他方の垂直光軸に対し直行する一方の垂直光軸とを光学的に接続し、前記第１のリレー光学系の他方の垂直光軸に前記対物レンズユニットの光軸を光学的に接続し、前記第２のリレー光学系の他方の垂直光軸を前記接眼ユニットの光軸に光学的に接続したことを特徴とする請求項１０記載の基板検査装置。
【請求項１２】
前記ミクロ観察系は、前記対物レンズから所定の距離だけ離して前記被検査基板面の欠陥部の位置を指定するスポット照明系を設け、前記制御手段は、前記スポット照明系により指定された前記被検査基板上の各欠陥部の位置データを記憶し、各欠陥部の位置データと前記対物レンズとスポット照明系の各中心の相対距離に基づいて前記基板保持手段及び前記対物レンズを移動制御することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１３】
前記マクロ観察系は、前記被検査基板上の画像を取込む撮像手段と、この撮像手段により取込まれた前記画像を画像処理して前記被検査基板上の欠陥部を検出して各欠陥部の位置データを出力する画像処理部とを有し、前記制御部は、前記各欠陥部の位置データに基づいて前記基板保持手段及び前記対物レンズを移動制御することを特徴とする請求項１記載の基板検査装置。
【請求項１４】
被検査基板を保持し一方向に移動可能に設けられた基板保持手段と、
前記基板保持手段を跨いで架設され前記被検査基板の表面に対して平行な水平部を有する橋型のガイドと、
前記橋型のガイドの水平部に沿って前記基板保持手段の前記一方向の移動方向と交差する他方向に移動可能に設けられ、前記被検査基板の表面に対して垂直に配置された対物レンズを有する対物レンズユニットと、
前記対物レンズにより得られた観察像を観察する接眼レンズを有する接眼レンズユニットと、
前記対物レンズユニット及び前記接眼レンズユニットの各光軸に対して回転自在に光学的に連結された屈曲可能なリレー光学系とを
具備してことを特徴とする基板検査装置。
【請求項１５】
前記リレー光学系は、前記橋型のガイドに沿って移動可能に設けられた対物レンズを含む対物レンズユニットの光軸を中心に回転自在に連結された第１のリレー光学系と、該第１のリレー光学系の他端に回転自在に連結された第２のリレー光学系と、前記接眼レンズを含む接眼レンズユニットの光軸を中心に前記第２のリレー光学系を回転自在に連結したことを特徴とする請求項１４記載の基板検査装置。
【請求項１６】
前記第１のリレー光学系及び前記第２のリレー光学系は、それぞれ両側に光軸を９０°に偏向するミラーを平行に配置し、前記第１のリレー光学系の水平光軸に対して直行する一方の垂直光軸と前記第２のリレー光学系の他方の垂直光軸に対し直行する一方の垂直光軸とを光学的に接続し、前記第１のリレー光学系の他方の垂直光軸に前記対物レンズユニットの光軸を光学的に接続し、前記第２のリレー光学系の他方の垂直光軸を前記接眼ユニットの光軸に光学的に接続したことを特徴とする請求項１５記載の基板検査装置。
【請求項１７】
前記基板保持手段の上方に前記被検査基板表面にマクロ照明光を照射し、前記被検査基板表面の反射光の変化から欠陥部を検出するマクロ観察系を設け、更に前記マクロ観察系により検出された前記被検査基板上の欠陥部に前記ミクロ観察系の対物レンズの観察範囲が合致するように前記基板保持手段及び前記対物レンズを移動制御する制御手段とを設けたことを特徴とする請求項１４記載の基板検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板検査装置は、傾斜面の一方向に沿って移動可能に設けられ、被検査基板を保持する基板保持手段と、前記基板保持手段の前記一方向の移動方向と交差する他方向に少なくとも対物レンズを移動可能に設けたミクロ観察系と、前記基板保持手段に保持された前記被検査基板表面にマクロ照明光を照射し、前記被検査基板表面の反射光の変化から欠陥部を検出するマクロ観察系と、前記マクロ観察系により検出された前記被検査基板上の欠陥部に前記ミクロ観察系の対物レンズの観察範囲が合致するように前記基板保持手段及び前記対物レンズを移動制御する制御手段とを具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のミクロ観察系は、対物レンズと接眼レンズを有する顕微鏡からなり、対物レンズと接眼レンズとの間をリレー光学系で連結するようにしている。また、対物レンズと接眼レンズとの間に屈曲可能な複数のリレー光学系により連結するようにしている。
また、本発のマクロ観察系は、前記被検査基板に対して前記照明光の照射角度を可変可能出来るようにしている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の基板検査装置は、被検査基板を保持し一方向に移動可能に設けられた基板保持手段と、前記基板保持手段を跨いで架設され前記被検査基板の表面に対して平行な水平部を有する橋型のガイドと、前記橋型のガイドの水平部に沿って前記基板保持手段の前記一方向の移動方向と交差する他方向に移動可能に設けられ、前記被検査基板の表面に対して垂直に配置された対物レンズを有する対物レンズユニットと、前記対物レンズにより得られた観察像を観察する接眼レンズを有する接眼レンズユニットと、前記対物レンズユニット及び前記接眼レンズユニットの各光軸に対して回転自在に光学的に連結された屈曲可能なリレー光学系とを具備してことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この結果、本発明によれば、観察者は、同じ場所に居ながらにして、接眼レンズで覗くことによる顕微鏡観察と接眼レンズから目を離しての目視観察を交互に行うことができ、欠陥部の目視での状態と見比べながら顕微鏡観察を行うことにより、欠陥部の状態を正確に把握することができる。さらに、観察者は、同じ場所に居ながらにして、接眼レンズで覗くことによる顕微鏡観察を行うことができ、観察者の不必要な動きをなくすことで、観察作業の軽減化を実現できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば、被検査基板表面に対するマクロ照明の照明条件を観察に適した照明角度に設定でき、精度の高い欠陥検査を行うことができる。