【事件の表示】
　平成　９年特許願第１９５２２５号「被処理体研磨のスラリー液供給システム」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　２月　２日出願公開、特開平１１−　２８６６４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件出願は、平成９年７月７日の特許出願であって、同１３年８月３０日付で拒絶の理由が通知され、その指定期間内の同年１０月１１日に意見書と共に明細書について手続補正書が提出されたが、同１４年３月４日付で拒絶をすべき旨の査定がされ、同年３月２０日に本件審判の請求がされると共に明細書について手続補正（以下「本件補正」という。）がなされたものである。
　
第２　本件補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　本件補正を却下する。
［理由］
１　補正の内容の概要
　本件補正は、特許請求の範囲を含む明細書全体について補正するものであって、特許請求の範囲の請求項１について補正前後の記載を補正箇所に下線を付して示すと以下のとおりである。
(1) 補正前の請求項１
「冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水を導入する冷却水タンクと、スラリー液を循環させて冷却する循環タンクとで２重構造のウォータージャケット式タンクを構成し、該循環タンクの底面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するラバーヒータを設け、該スラリー液を温度感知センサーで検出し、該検出信号に基づいて、前記冷却水の液量とスラリー液の温度を制御するシステムに於いて、前記循環タンク内に撹拌用モータのシャフトに固定された撹拌用ペラ板を配置し、該撹拌用ペラ板の両端に、該撹拌用ペラ板の回転方向に対し、θ角度に傾斜した撹拌用ペラ片を設けたことを特徴とする被処理体研磨のスラリー液供給システム。」
(2) 補正後の請求項１
「冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水を導入する冷却水タンクと、スラリー液を循環させて冷却する循環タンクとで２重構造のウォータージャケット式タンクを構成し、該循環タンクの底面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するラバーヒータを設け
ると共に、前記循環タンク内に撹拌用モータのシャフトに固定された撹拌用ペラ板を配置し、該スラリー液を温度感知センサーからの該検出信号に基づいて、前記冷却水の液量とスラリー液の温度を制御するシステムに於いて、ＳＳＲを配線した前記ラバーヒータの出力側にヒータの過昇防止手段を設け、前記冷却水タンクからの冷却水をオン・オフバルブ又はリーク用バルブを介して前記冷凍機に戻す構成を備え
２　補正の適否　　　
　本件補正は、被処理体研磨のスラリー液供給システムが「ＳＳＲを配線した前記ラバーヒータの出力側にヒータの過昇防止手段を設け、前記冷却水タンクからの冷却水をオン・オフバルブ又はリーク用バルブを介して前記冷凍機に戻す構成」を備えたものであるとの限定を付加するものであるので、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「補正発明」という。）が特許出願の際に独立して特許を受けることができるものであるか否かについて検討する。
(1) 補正発明
　補正発明は、本件補正により補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、１(2)に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
(2) 引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された本件出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開平８−９９２６１号公報（以下「引用例１」という。）及び特開昭６２−１７６７６７号公報（以下「引用例２」という。）の記載内容はそれぞれ以下のとおりである。
ア　引用例１　  
ア）段落【００１９】
「スラリ供給ノズル５は前記加工用ローラ１，２，３より上方でワーク７の近傍に配設され、このスラリ供給ノズル５から加工用ローラ１，２間のワイヤ４に対して、砥粒を含むスラリが供給される。サドル６は加工用ローラ１，２，３の上方に上下動可能に配設され、その下面にはワーク取付治具６ａを介してワーク７が接着固定される。そして、このサドル６の下降に伴いワーク７が加工用ローラ１，２間のワイヤ４に押し付けられて、ラッピング作用によりウエハー状に切断される。」
イ）段落【００２０】
「調整手段を構成するスラリ調整装置８は、切断加工に供するスラリの配合を調整するために装備されている。このスラリ調整装置８のスラリタンク９の外周壁及び底部は二重構造となり、冷媒通路９ａにスラリ冷却用の冷媒が通されることにより、加工熱が除去される。・・・」
ウ）段落【００２１】
「撹拌翼１４は前記スラリタンク９の内底部に回転可能に配設され、この撹拌翼１４がモータ１５にて常時回転されることにより、スラリ１０がオイルと砥粒とに分離しないように撹拌される。・・・」
エ）段落【００２３】
「スラリ供給通路２４は前記スラリタンク９とスラリ供給ノズル５との間に配設され、供給ポンプ２５が回転されたとき、スラリタンク９内のスラリ１０が、このスラリ供給通路２４を通してスラリ供給ノズル５に供給される。スラリ供給ノズル５からワイヤ４に供給されたスラリ１０はスラリ受け３４を介してスラリタンク９に回収される。スラリタンク９、スラリ供給通路２４、スラリ供給ノズル５、スラリ受け３４はスラリの循環路を構成している。・・・」
オ）【図１】
　スラリタンク９の冷媒通路９ａに通されるスラリ冷却用の冷媒は、参照番号の付されていない熱交換装置により冷却されること。
　冷媒通路９ａに通されたスラリ冷却用の冷媒をバルブ等を介さず直接熱交換装置に戻す構成が備えられていること。                                
　スラリタンク９に冷媒通路９ａを設けることにより２重構造のジャケット式タンクを構成していること。
　撹拌翼１４は、モータ１５のシャフトに固定されていること。
　これらの事項ア）〜オ）を補正発明に照らして整理すると、引用例１には次の発明が記載されていると認める。
　熱交換装置により冷却されたスラリ冷却用の冷媒を導入する冷媒通路９ａと、スラリを循環させて冷却するスラリタンク９とで２重構造のジャケット式タンクを構成し、前記スラリタンク９内に撹拌用モータ１５のシャフトに固定された撹拌翼１４を配置し、スラリの温度を制御するシステムに於いて、前記冷媒通路９ａからのスラリ冷却用の冷媒を前記熱交換装置に戻す構成を備えた被処理体研磨のスラリ供給システム。
イ  引用例２
ア）第１頁左欄第７，８行
「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、研磨機に関する。」
イ）第２頁右上欄第５〜１０行
「タンク９には、その・・・外部に研磨剤が一定の温度で供給される機器としてヒーター１１がもうけられており、タンク９にもうけられた、温度センサー１２により研磨液８が一定の温度に、温度コントロールされる。」
ウ）第１図
　研磨液８がタンク９を循環すること。
  これらの事項及び技術常識からみて、引用例２には次の事項が記載されていると認める。
　被処理体研磨の研磨液供給システムにおいて、研磨液８が循環するタンク９の外面に研磨液８を外部の電気信号で加熱するヒーター１１を設けると共に、該研磨液８を温度センサー１２からの検出信号に基づいて、前記研磨液８の温度を制御すること。
(3) 対比
　補正発明と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の「スラリ」、「スラリタンク９」及び「撹拌翼１４」は、それぞれ補正発明の「スラリー液」、「循環タンク」及び「撹拌用ペラ板」に相当することが明らかである。
　そして、引用例１記載の発明の「熱交換装置により冷却されたスラリ冷却用の冷媒」は、熱交換装置により冷却されたスラリー液冷却用の冷媒であるという限りで、補正発明の「冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水」と共通しており、また、引用例１記載の発明の「スラリ冷却用の冷媒を導入する冷媒通路９ａ」は、スラリー液冷却用の冷媒を導入する冷却媒体タンクとして把握できるものであってその限りで、補正発明の「冷却水を導入する冷却水タンク」と共通している。
　したがって、補正発明と引用例１記載の発明とは、次の点で一致している。
  熱交換装置により冷却されたスラリー液冷却用の冷媒を導入する冷却媒体タンクと、スラリー液を循環させて冷却する循環タンクとで２重構造のジャケット式タンクを構成し、前記循環タンク内に撹拌用モータのシャフトに固定された撹拌用ペラ板を配置し、スラリー液の温度を制御するシステムに於いて、前記冷却媒体タンクからのスラリー液冷却用の冷媒を前記熱交換装置に戻す構成を備えた被処理体研磨のスラリー液供給システム、である点。
　そして、補正発明と引用例１記載の発明とは、次の２点で相違している。
ア　相違点１
　補正発明では、熱交換装置が、フロン（Ｒ−２２）を冷媒とする冷凍機であり、冷却媒体タンクが、冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水を導入する冷却水タンクであって、冷却水タンクからの冷却水をオン・オフバルブ又はリーク用バルブを介して冷凍機に戻す構成を備えているのに対して、引用例１記載の発明では、熱交換装置がどのようなものであるのか、また、冷却媒体タンクに導入されるスラリー液冷却用の冷媒が水であるのか否か明らかでなく、冷却媒体タンクからのスラリー液冷却用の冷媒をバルブを介さずに熱交換装置に戻す構成である点。
イ　相違点２
　補正発明では、システムが、上記一致点の構成のほかさらに、循環タンクの底面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するラバーヒータを設けると共に、該スラリー液を温度感知センサーからの該検出信号に基づいて、前記冷却水の液量とスラリー液の温度を制御するシステムであって、ＳＳＲを配線した前記ラバーヒータの出力側にヒータの過昇防止手段を設けているのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
(4) 相違点の検討
ア　相違点１について
　被冷却物の如何を問わず、一般に、冷却用の媒体として水を用いること、水を冷却するために冷凍機を用いること、冷凍機の冷媒としてフロン（Ｒ−２２）を用いることは、いずれも特に例示するまでもない従来周知の事項であり、これら従来周知の事項を引用例１記載の発明に適用して、冷却媒体タンクを、冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水を導入する冷却水タンクとすることに格別の困難性はない。
　また、冷却水タンクからの冷却水を冷凍機に戻すに際して、その帰還通路にオン・オフバルブ又はリーク用バルブを設けることは、必要に応じて適宜なし得る設計的事項にすぎない。
イ　相違点２について
　先に認定したように、引用例２には、被処理体研磨の研磨液供給システムにおいて、研磨液８が循環するタンク９の外面に研磨液８を外部の電気信号で加熱するヒーター１１を設けると共に、該研磨液８を温度センサー１２からの検出信号に基づいて、前記研磨液８の温度を制御すること、が記載されている。
　ここで、引用例２記載の事項の「研磨液８」、「研磨液８が循環するタンク９」及び「温度センサー１２」は、それぞれ補正発明の「スラリー液」、「循環タンク」及び「温度感知センサー」に相当することが明らかであり、結局、引用例２には、被処理体研磨の研磨液供給システムにおいて、循環タンクの外面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するヒータを設けると共に、該スラリー液を温度感知センサーからの該検出信号に基づいて、スラリー液の温度を制御すること、が記載されていることになる。
　そして、「ラバーヒータ」及び「ＳＳＲ」それ自体は、それぞれ従来周知であり、また、ヒータの出力側にヒータの過昇防止手段を設けることも従来周知である。
　そうしてみると、引用例２記載の事項及び上記従来周知の各事項を引用例１記載の発明に適用して、そのシステムを、循環タンクの外面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するラバーヒータを設けると共に、該スラリー液を温度感知センサーからの該検出信号に基づいて、スラリー液の温度を制御するシステムであって、ＳＳＲを配線した前記ラバーヒータの出力側にヒータの過昇防止手段を設けるように構成することに格別の困難性はない。
　補正発明では、ラバーヒータを循環タンクの底面に設けると共に、スラリー液の温度だけでなく冷却水の液量を制御するように構成されているが、これらはいずれも上記適用に当たって適宜なし得る設計的事項にすぎない。
ウ  補正発明の効果について
　補正発明によってもたらされる効果も、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び上記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、補正発明は、引用例１記載の発明及び引用例２記載の事項及び上記従来周知の各事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　むすび
　以上のとおり、本件補正は、平成１５年法律第４７号による改正前の特許法第１７条の２第５項において準用する同法第１２６条第４項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
                                        
第３　本件発明について                   
１　本件発明
　本件補正は、上記のとおり却下されたので、本件出願の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、平成１３年１０月１１日付手続補正書により全文補正された明細書及び出願当初の図面の記載からみて、第２の１(1)に示す特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものであると認める。
２　引用例
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された引用例及びその記載内容は、第２の２(2)に示したとおりである。
３　対比
　本件発明と引用例１記載の発明とは、次の点で一致している。
  熱交換装置により冷却されたスラリー液冷却用の冷媒を導入する冷却媒体タンクと、スラリー液を循環させて冷却する循環タンクとで２重構造のジャケット式タンクを構成し、スラリー液の温度を制御するシステムに於いて、前記循環タンク内に撹拌用モータのシャフトに固定された撹拌用ペラ板を配置した被処理体研磨のスラリー液供給システム、である点。
　そして、本件発明と引用例１記載の発明とは、次の３点で相違している。
(1) 相違点１
　本件発明では、熱交換装置が、フロン（Ｒ−２２）を冷媒とする冷凍機であり、冷却媒体タンクが、冷凍機からのフロン（Ｒ−２２）で冷却された冷却水を導入する冷却水タンクであるのに対して、引用例１記載の発明では、熱交換装置がどのようなものであるのか、また、冷却媒体タンクに導入されるスラリー液冷却用の冷媒が水であるのか否か明らかでない点。
(2) 相違点２
　本件発明では、システムが、上記一致点の構成のほかさらに、循環タンクの底面にスラリー液を外部の電気信号で加熱するラバーヒータを設け、該スラリー液を温度感知センサーで検出し、該検出信号に基づいて、前記冷却水の液量とスラリー液の温度を制御するシステムであるのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
(3) 相違点３
　本件発明では、撹拌用ペラ板の両端に、該撹拌用ペラ板の回転方向に対し、θ角度に傾斜した撹拌用ペラ片を設けているのに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
４　相違点の検討
(1) 相違点１及び相違点２について
　相違点１及び相違点２は、第２の２(3)ア及びイの相違点１及び相違点２に含まれており、第２の２(4)ア及びイで既に検討したとおりである。
(2) 相違点３について
　原査定時にもその旨指摘しているように、撹拌用ペラ板の両端に、該撹拌用ペラ板の回転方向に対し、θ角度に傾斜した撹拌用ペラ片を設けることは従来周知であり、この従来周知の事項を引用例１記載の発明に適用して、本件発明のように構成することに格別の困難性はない。
(3) 本件発明の効果について
　本件発明によってもたらされる効果も、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び上記従来周知の各事項から当業者であれば予測できる程度のものであって格別のものではない。
５　むすび
　したがって、本件発明は、引用例１記載の発明、引用例２記載の事項及び上記従来周知の各事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。