(57)【要約】【課題】ペレットの配列方向の傾きの検出に要する時間を短縮し、生産性を向上させること。【解決手段】支持台上で支持されたウエハ１２上のペレット１１の配列方向を検出するにあたって、ウエハ１２上で上記配列方向において同一列上に位置し、設定されたペレット数、或いは距離を隔てて位置する２つのペレット１１Ａ、１１Ｂの位置を検出するときに、２つのペレット１１Ａ、１１Ｂ間に位置するペレット１１の位置を設定部２２に設定された数ｎだけ素通りさせながら検出し、ペレット１１Ａからペレット１１Ｂへと移動する。この素通りさせるペレット数ｎは、ペレット１１の大きさや縦横比、ウエハシート１３の引伸ばしによって生じるウエハシート１３上でのペレット１１の配列の蛇行や湾曲、支持台上に供給されるウエハリング１４の回転方向位置のばらつきの大きさを考慮して決定する。【選択図】　図４
2004103831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイシングラインに沿って各ペレットに分割されたウエハを支持する支持台と、この支持台上の前記ペレットを撮像する撮像装置を有しこの撮像装置による前記ペレットの画像データに基づいて前記ペレットの位置を検出する検出装置と、前記支持台と前記撮像装置とを前記ウエハの面に沿う一方向とこの一方向に直交する他の方向に相対的に移動させる移動装置と、前記支持台を回転自在に支持する回転装置と、前記支持台上から前記ペレットを順次取り出して基板にボンディングする移送搭載装置と、この移送搭載装置による前記ペレットの取り出しに先立ち、前記検出装置にて検出した前記ダイシングラインに沿って配列されるペレットの一つの列上において設定数以上離れて位置する２つのペレットの位置に基づいて前記ペレットの配列方向を算出し、前記ペレットの配列方向が前記移動装置の移動方向のいずれか一方に一致するように前記回転装置を制御する制御装置と、を有するペレットボンディング装置において、
前記設定数以上離れて配置された２つのペレットの位置を検出するにあたり、その列上で前記撮像装置を素通りさせるペレット数を設定する設定部を有し、
前記制御装置は、前記設定部に設定されたペレット数置きに前記２つのペレット間に位置するペレットを前記撮像装置の撮像視野内に位置付けるように前記移動装置を制御し、前記ペレットが撮像装置の撮像視野内に位置付けられたときに前記ペレットの位置を検出するように前記検出装置を制御することを特徴とするペレットボンディング装置。
【請求項２】
前記制御装置はさらに、前記検出装置による前記ペレットの位置検出が行なえなかったときには、前記ペレットが位置する列上において前記ペレットと隣接する他のペレットを前記撮像装置の撮像視野内に位置付けるように前記移動装置を制御し、前記他のペレットが撮像装置の撮像視野内に位置付けられたときに前記他のペレットの位置を検出するように前記検出装置を制御することを特徴とする請求項１記載のペレットボンティング装置。
【請求項３】
前記制御装置はさらに、予め設定した回数だけ連続して前記ペレットの位置検出が行なえないときに、前記ペレットが位置する列とは異なる他の列において前記設定数以上離れて配置された２つのペレットの位置の検出を行なうように前記検出装置および前記移動装置を制御することを特徴とする請求項２記載のペレットボンディング装置。
【請求項４】
前記制御装置はさらに、予め設定した列数だけ列を変えても前記設定数以上離れて配置された２つのペレットの位置の検出が行なえないときに、前記ペレットの位置検出を中断させることを特徴とする請求項３記載のペレットボンディング装置。
【請求項５】
ペレットの寸法情報と前記素通りさせるペレット数との関係を表わす情報を記憶する記憶部を有し、
前記制御装置は、前記ペレットの寸法情報と前記記憶部に記憶された情報とに基づいて、前記ペレットに対応する素通りさせるペレット数を選択して前記設定部に設定することを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載のペレットボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、支持台上からペレット一つずつ取り出してリードフレーム等の基板上に搭載するペレットボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路等の半導体装置の製造工程においては、ペレットボンディング装置を用いてリードフレーム等の基板上にペレットを搭載する作業が行なわれている。
【０００３】
このペレットボンディング装置は、ウエハリングに保持されたウエハシート上に貼り付けられた状態でダイシングラインに沿ってペレット毎に分割されたウエハをペレット供給装置の支持台上に支持し、この支持台をＸ、Ｙ方向に移動させて支持台上のペレットを順次移送コレットによる取り出し位置に位置付け、移送コレットにて取り出されたペレットを、ボンディング位置に順次搬送、位置決めされるリードフレーム上に搭載する。
【０００４】
ところで、ペレットは、ウエハリングに支持された状態で支持台上に供給されるのであるが、この供給時点で、ウエハリングは、回転方向の位置ずれを有しており、支持台上に供給された状態では、ペレットの配列方向が支持台の移動方向であるＸ、Ｙ方向に必ずしも一致しているとは限らない。そこで、支持台上からペレットの取り出しを行なうに先立ち、下記のようにして、ペレットの配列方向を算出し、支持台の移動方向であるＸ、Ｙ方向に一致させる作業を行なう。
【０００５】
すなわち、図６に示すように、ペレット１の配列方向（ここではＹ方向に対応する配列方向とする）における同一列上に位置し、予め設定されたペレット数、或いは距離以上を離れて位置する２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置を検出し、この２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置情報に基づいて、ペレット１の配列方向の傾き、つまり、Ｙ方向に対する傾きを求め、この傾きを無くすように、支持台の回転方向位置を調整する。
【０００６】
このペレット１Ａ、１Ｂ位置の検出は、まず、予め教示されている支持台上でのペレット１Ａの位置に関する情報に基づいて、ペレット１Ａを不図示のカメラによる撮像視野Ｓ内に位置付けるように支持台を移動させる。そして、カメラの画像データに基づいてペレット１Ａ中心の位置を検出する。検出したペレット１Ａ中心の位置情報に基づいて支持台を移動させ、ペレット１Ａ中心をカメラに撮像視野中心に一致させた後、支持台を、Ｙ方向でペレット１Ａに対してペレット１Ｂとは反対方向にペレット１一つ分の距離（以下「１ピッチ」という）移動させ、ペレット１Ａにペレット１Ｂ側で隣接するペレット１Ｃをカメラの撮像視野内に位置付ける。同様にして、ペレット１Ｃ中心の位置を検出した後、ペレット１Ｃ中心をカメラに撮像視野中心に一致させ、支持台を１ピッチ移動させ、次のペレット１Ｄをカメラの撮像視野内に位置付ける。
【０００７】
このとき、例えば、上記１ピッチ移動の回数を計数し、計数値が設定したペレット数以上となるまで上述の動作を繰返し、計数値が設定したペレット数以となったときのペレット中心の位置をペレット１Ｂ中心の位置として検出する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記によれば、２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置を検出するにあたり、その間に位置する複数のペレット１の位置を一つずつ検出しながらペレット１Ａからペレット１Ｂまで移動するので、２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置検出動作に多大な時間を要していた。
【０００９】
また、ペレットの配列方向をより精度良く算出するためには、２つのペレット１Ａ、１Ｂ間の距離はできるだけ長く設定することが好ましいが、距離を長く設定すれば、その分２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置検出に要する時間が増大するという不具合が生じる。
【００１０】
このように、従来のペレットボンディング装置においては、２つのペレット１Ａ、１Ｂの位置検出動作に多大な時間を要することから、ペレットの配列方向の傾きの検出に多くの時間を要し、生産性向上の妨げとなり改善が望まれていた。
【００１１】
本発明は、ペレットの配列方向の傾きの検出に要する時間を短縮し、生産性を向上させることができるペレットボンディング装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ダイシングラインに沿って各ペレットに分割されたウエハを支持する支持台と、この支持台上の前記ペレットを撮像する撮像装置を有しこの撮像装置による前記ペレットの画像データに基づいて前記ペレットの位置を検出する検出装置と、前記支持台と前記撮像装置とを前記ウエハの面に沿う一方向とこの一方向に直交する他の方向に相対的に移動させる移動装置と、前記支持台を回転自在に支持する回転装置と、前記支持台上から前記ペレットを順次取り出して基板にボンディングする移送搭載装置と、この移送搭載装置による前記ペレットの取り出しに先立ち、前記検出装置にて検出した前記ダイシングラインに沿って配列されるペレットの一つの列上において設定数以上離れて位置する２つのペレットの位置に基づいて前記ペレットの配列方向を算出し、前記ペレットの配列方向が前記移動装置の移動方向のいずれか一方に一致するように前記回転装置を制御する制御装置と、を有するペレットボンディング装置において、前記設定数以上離れて配置された２つのペレットの位置を検出するにあたり、その列上で前記撮像装置を素通りさせるペレット数を設定する設定部を有し、前記制御装置は、前記設定部に設定されたペレット数置きに前記２つのペレット間に位置するペレットを前記撮像装置の撮像視野内に位置付けるように前記移動装置を制御し、前記ペレットが撮像装置の撮像視野内に位置付けられたときに前記ペレットの位置を検出するように前記検出装置を制御することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明のペレットボンディング装置の一実施の形態を図を用いて説明する。図１は本発明に係るペレットボンディング装置の構成を示す斜視図、図２は、図１のペレットボンディング装置の制御系統を示すブロック図、図３は、ペレットの縦横長さの比率が異なるウエハを示す平面図、図４は、ペレットの配列方向の傾きを求める動作の説明図である。
【００１４】
図において、ペレットボンディング装置１０は、ダイシングラインに沿ってペレット１１毎に分割されたウエハ１２が貼り付けられたウエハシート１３を保持するウエハリング１４からペレット１１を一つずつ取り出し、リードフレーム１５上にボンディングするもので、ペレット供給装置１６、リードフレーム搬送装置１７、ペレット１１の位置修正機構１８、移送コレット１９、ボンディングコレット２０、制御装置２１（図２）を有する。なお本実施の形態では、位置修正機構１８、移送コレット１９、およびボンディングコレット２０で移送搭載装置を構成する。
【００１５】
ペレット供給装置１６は、ウエハリング１４を支持する不図示の支持台、支持台をＸ、Ｙ方向に移動させる移動装置としてのＸＹステージ１６ａ（図２）、支持台とＸＹステージ１６ａの間に介在され支持台を回転自在に支持する回転装置としての回転ステージ１６ｂ（図２）、移送コレット１９によるペレット１１の取り出し位置の上方に配置された撮像装置としてのカメラ１６ｃを有する。支持台は、支持台上に供給されたウエハリング１４のウエハシート１３を引伸ばすとともに、この状態でウエハリング１２を保持可能に構成される。
【００１６】
リードフレーム搬送装置１７は、一対の搬送レール１７ａ、１７ｂを有し、不図示の供給部から供給されるリードフレーム１５をボンディング位置Ｐへ搬送し、ペレット１１のボンディングが完了したリードフレーム１５を不図示の収納部へと搬送して収納する。
【００１７】
位置修正装置１８は、ペレット１１を載置する回転テーブル１８ａ、回転テーブル１８ａに載置されたペレット１１を撮像するカメラ１８ｂを有し、回転テーブル１８ａは、カメラ１８ｂの画像データに基づいて検出されたペレット１１の回転ずれを修正するように回転移動する。
【００１８】
移送コレット１９は、ペレット供給装置１６のペレット１１の取り出し位置と回転テーブル１８ａとの間で往復動自在とされ、ペレット供給装置１６から回転テーブル１８ａへペレット１１を移送する。
【００１９】
ボンディングコレット２０は、回転テーブル１８ａとボンディング位置Ｐとの間で往復動自在に設けられ、回転テーブル１８ａ上で回転ずれが修正されたペレット１１をボンディング位置Ｐに位置付けられたリードフレーム１５上にボンディングする。
【００２０】
制御装置２１は、図２に示すように、ペレット供給装置１６のＸＹステージ１６ａおよび回転ステージ１６ｂ、カメラ１６ｃ、カメラ１８ｂに接続されるとともに、設定部２２および入力部２３と接続される。なおここで、カメラ１６ｃと制御装置２１とで、検出装置を構成する。
【００２１】
設定部２２は、ウエハ１２上で、ペレット１１の配列方向に沿う同一列上にあり、設定ペレット数、或いは設定距離以上離れて位置する２つのペレット１１の位置を検出するに際に、２つのペレット１１の間でカメラ１６ｃによる撮像を行なわずに素通りさせるペレット１１の数ｎを設定するもので、入力部２３は、設定部２２にペレット数ｎを入力設定するものである。例えば、３つ置きにペレット１１の位置を検出する場合には、設定部２２には「ｎ＝３」を設定する。本実施の形態では、設定部２２に「ｎ＝３」を設定した例で説明する。
【００２２】
なお、設定部２２に設定する素通りさせるペレット数ｎは、ペレット１１の大きさや縦横長さの比率、ウエハシート１３の引伸ばしによって生じるウエハシート１３上でのペレット１１の配列の蛇行や湾曲、支持台上に供給されるウエハリング１４の回転方向位置のばらつきの大きさを考慮して設定する。
【００２３】
例えば、大きさが小さいペレット１１が貼り付けられたウエハシート１３を引伸ばした場合、大きさが大きいペレットに比べ、ペレット１１の配列が大きく蛇行、或いは湾曲することが経験上知られている。このような場合、たとえ、ウエハリング１４の回転方向の位置ずれのばらつきが小さかったとしても、素通りさせるペレット数ｎを大きな値に設定してしまうと、設定数ｎのペレット１１を素通りさせたときに、隣接する列上に位置する他のペレット１１がカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けられる危険がある。そのため上記のような場合には、素通りさせるペレット数ｎを小さい値に設定する必要がある。
【００２４】
一方、ペレット１１の横寸法、つまりペレット１１を素通りさせる方向に直交する方向の寸法が、ウエハシート１３の引伸ばしによって生じるペレット１１の配列の蛇行や湾曲に起因するペレット１１の横ずれ量に対して十分大きい場合には、素通りさせるペレット数ｎを比較的大きな値に設定することができる。
【００２５】
また、ペレット１１の大きさが同じ大きさであっても、図３（Ａ）に示すように、ペレット１１のＸ辺がＹ辺よりも長い場合と、図３（Ｂ）に示すように、ペレット１１のＸ辺がＹ辺よりも短い場合とでは、設定する素通りさせるペレット数ｎは異なり、支持台の移動方向をＸ方向とした場合には、後者の方が素通りさせるペレット数ｎを多く設定することができる。
【００２６】
なお、これらのペレット数ｎは、例えば、実験により求めることが可能である。
【００２７】
次に、支持台上にウエハリング１４を保持した後の、ペレット１１の配列方向を支持台の移動方向のうちＹ方向に一致させる作動について説明する。
【００２８】
設定部２２における、上述の素通りさせるペレット数ｎの記憶領域とは異なる記憶領域には、図４に示すように、起点となるペレット１１Ａ中心の支持台上での位置に関する情報と、ペレット１１Ｂがペレット１１Ａに対して隔てるべきペレット数、或いは距離が記憶されているものとする。なお、ペレット１１Ｂがペレット１１Ａに対して隔てるべきペレット数、或いは距離は、少なくともウエハ１２の半径に相当するペレット数、或いは距離以上に設定すれば、ペレット１１の配列方向を良好に求めることができることが実験により確認されている。
【００２９】
（１）支持台上にウエハリング１４が供給されて保持された後、設定部２２に記憶されたペレット１１Ａの位置に関する情報に基づいて、ペレット１１Ａをカメラ１６ｃの撮像視野Ｓ内に位置付けるようにＸＹステージ１６ａを移動させる。
【００３０】
図４は、ペレット１１Ａがまさにカメラ１６ｃの撮像視野Ｓに位置付けられた状態を示す。
【００３１】
（２）カメラ１６ｃにてペレット１Ａを撮像し、この画像データに基づいてペレット１１Ａ中心の位置を検出する。検出したペレット１１Ａ中心の位置情報に基づいてＸＹステージ１６ａを移動させ、ペレット１１Ａの中心をカメラ１６ｃの撮像視野中心に一致させる。
【００３２】
（３）設定部２２に設定された素通りさせるペレット数（ｎ＝３）に応じた移動量、すなわち、Ｙ方向におけるペレット１１一つ分の移動量を１ピッチとした場合、Ｙ方向に４ピッチ分ＸＹステージ１６ａを移動させ、３つのペレット１１をカメラ１６ｃ下方を素通りさせて、４つ目のペレット１１Ｃをカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付ける。
【００３３】
（４）ペレット１１Ａと同様にして、ペレット１１Ｃ中心の位置を検出し、ペレット１１Ｃ中心をカメラの撮像視野中心に位置付けた後、ＸＹステージ１６ａをＹ方向に４ピッチ分移動させ、Ｙ方向に４つ目のペレット１１Ｄをカメラの視野内に位置付ける。
【００３４】
（５）以下、上述の工程（４）の動作を、ペレット１１Ａに対して設定されたペレット数、或いは距離以上離れて位置するペレット１１Ｂが検出されるまで繰り返す。
【００３５】
すなわち、制御装置２１は、例えば、ＸＹステージ１６ａの４ピッチ移動の回数ｐを計数し、この計数値ｐからペレット１１Ａとの間で隔てられたペレット数ｘ（＝４×ｐ−１）を算出する。そして、算出したペレット数ｘが設定したペレット数以上となったときに検出されたペレット中心の位置をペレット１１Ｂ中心の位置とする。
【００３６】
なお、ペレット数ｘを求める代わりに、ＸＹステージ１６ａの４ピッチ移動の総移動量を求め、この総移動量が設定した距離を超えたときのペレット中心位置をペレット１１Ｂ中心の位置として検出しても良い。総移動量Ｌは、１ピッチ移動量をｔとすれば、Ｌ＝ｔ×ｐで求めることができる。
【００３７】
（６）ペレット１１Ｂ中心の位置が検出されたならば、ペレット１１Ａ中心の位置情報とペレット１１Ｂ中心の位置情報とに基づいて、Ｙ方向に対するペレット１１の配列方向の傾きを求める。そして、求めた傾きを無くすように回転ステージ１６ｂを作動させ、支持台上のペレット１１の配列方向をＹ方向に一致させる。
【００３８】
なお、上述の工程（４）において、ペレット１１の欠落、割れ欠け、或いは、不良等により、カメラ１６ｃの画像データに基づくペレット１１の位置検出に失敗した場合、検出エラーとしてペレット１１の配列方向の傾きを求める作業を中断し、作業者に復旧を促す。
【００３９】
上述の実施の形態によれば、設定されたペレット数、或いは距離を隔てて位置する２つのペレット１１Ａ、１１Ｂの位置を検出するに際し、２つのペレット１１Ａ、１１Ｂ間に位置するペレット１１の位置を設定部２２に設定された数ｎだけ素通りさせながら検出しているので、２つのペレット１１Ａ、１１Ｂ間に位置する全てのペレット１１の位置を検出する従来に比べ、２つのペレット１１Ａ、１１Ｂの位置検出に要する時間を短縮することができる。したがって、ペレット１１の配列方向の傾きの検出を短時間で行なうことができることから、ペレットボンディング装置１０の生産性を向上させることができる。
【００４０】
また、２つのペレット１１Ａ、１１Ｂ間で素通りさせるペレット数ｎは、ペレット１１の大きさや縦横比、ウエハシート１３の引伸ばしによって生じるウエハシート１３上でのペレット１１の配列の蛇行や湾曲、支持台上に供給されるウエハリング１４の回転方向位置のばらつきの大きさを考慮して決定することから、設定数ｎのペレット１１を素通りさせたときに、ペレット１１Ａの存在する列に隣接する列上に位置する他のペレット１１がカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けられることが防止できる。このため、ペレット１１の配列方向の傾きの検出を正確かつ短時間で行なうことができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００４２】
第２の実施の形態は、第１の実施の形態における工程（４）の変形例である。第１の実施の形態における工程（４）は、カメラ１６ｃの画像データに基づくペレット１１の位置検出に失敗した場合、直ちに、検出エラーとしてペレット１１の配列方向の傾きを求める動作を中断し、作業者に復旧を促すものであったが、本実施の形態は、自動的に復旧を試みるものである。
【００４３】
例えば、工程（４）で、図４に示すペレット１１Ｃの位置検出に失敗した場合、下記の動作を実行する。
【００４４】
（４ａ）制御装置２１は、ＸＹステージ１６ａの送り量を４ピッチ送りから１ピッチ送りに切替える。
【００４５】
（４ｂ）ＸＹステージ１６ａをＹ方向に１ピッチ移動させ、ペレット１１Ｃに対し１ピッチ分ペレット１１Ｂ側に位置するペレット１１Ｅをカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付ける。
【００４６】
（４ｃ）カメラ１６ｃの画像データに基づいてペレット１１Ｅ中心の位置を検出する。
【００４７】
（４ｅ）ペレット１１Ｅ中心の位置が検出できた場合、制御装置２１は、ＸＹステージ１６ａを制御してペレット１１Ｅ中心をカメラ１６ｃの撮像視野中心に一致させた後、ＸＹステージ１６ａの送り量を４ピッチ送りに切替え、ペレット１１Ｅに対して４ピッチ分ペレット１１Ｂ側に位置するペレット１１Ｆをカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付け、その後、工程（４）を繰り返す。
【００４８】
（４ｆ）ペレット１１Ｅ中心の位置検出に失敗した場合、制御装置２１は、再度ＸＹステージ１６ａをＹ方向に１ピッチ移動させ、ペレット１１Ｅに対し１ピッチ分ペレット１１Ｂ側に位置するペレット１１Ｇをカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付け、カメラ１６ｃの画像データに基づいてペレット１１Ｇ中心の位置を検出する。
【００４９】
（４ｇ）上記工程（４ｆ）を予め設定した回数ｍ繰返しても、ペレット１１の検出が行なえなかった場合、検出エラーとしてペレット１１の配列方向の傾きを求める作業を中断し、作業者に復旧を促す。
【００５０】
上記第２の実施の形態によれば、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業中に、ペレット１１の位置検出に失敗したとしても、そのペレット１１に隣接して位置する他のペレット１１をカメラ１６ｃの撮像視野内に移動させ、当該他のペレット１１の位置検出を試みるようにしたので、ペレット１１の位置検出に失敗した場合でも、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業が中断されることが防止でき、ペレットボンディング装置の稼動率を向上させることが可能となる。これにより、ペレットボンディング装置１０の生産性をさらに向上させることができる。
【００５１】
なお、第２の実施の形態の工程（４ｂ）で、ペレット１１Ｃに対してペレット１１Ｂ側で１ピッチ隣に位置するペレット１１Ｅをカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けた例で説明したが、ペレット１１Ｂとは反対側で１ピッチ隣に位置するペレット１１をカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けるようにしてもよい。
【００５２】
また、第２の実施の形態は、設定部２２に設定する素通りさせるペレット数ｎ＝０の場合、すなわち、ペレット１１を一つずつ検出する場合にも適用可能である。このような場合にも、ペレット１１の位置検出に失敗したときに直ちにペレット１１の配列方向を求める動作を中断する場合に比べて、ペレットボンディング装置の稼動率を向上させることができ、生産性の向上が期待できる。
【００５３】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。
【００５４】
第３の実施の形態は、第１の実施の形態における工程（４）、および第２の実施の形態の工程（４ｇ）の変形例である。本実施の形態では、工程（４）においてペレット１１の位置検出に失敗した場合、或いは工程（４ｇ）において設定回数ｍ連続してペレット１１の位置検出に失敗した場合、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業を中断することなく、図４に示すように、ペレット１１Ａが存在する列に隣接する列で、設定ペレット数、或いは設定距離以上離れて位置する２つのペレット１１Ａ’、１１Ｂ’の位置検出を試みるものである。
【００５５】
例えば、工程（４ｇ）で、設定回数ｍ連続してペレット１１の位置検出に失敗した場合、下記の動作を実行する。
【００５６】
（４ｇ−１）制御装置２１は、予め教示されているペレット１１Ａの位置に関する情報に基づいてＸＹステージ１６ｃを移動させ、図４において、ペレット１１Ａの右側に位置するペレット１１Ａ’をカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付ける。つまり、上述の工程（２）で検出したペレット１１Ａ中心の位置に対してＸ方向でペレット１１一つ分右側の位置をカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けるようにＸＹステージ１６ｃを移動させる。
【００５７】
なお、上述の工程（２）でペレット１１Ａ中心の位置検出に失敗していた場合には、設定部２２に予め記憶されたペレット１１Ａ中心の位置に対してＸ方向でペレット１１一つ分右側の位置をカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けるようにＸＹステージ１６ｃを移動させれば良い。
【００５８】
（４ｇ−２）工程（２）〜（６）および必要に応じて工程（４ａ）〜（４ｆ）を実行し、ペレット１１の配列方向の傾きを求める。
【００５９】
（４ｇ−３）工程（４ｇ−２）中に、再び設定回数ｍ連続してペレット１１の位置検出に失敗した場合、現在のペレット１１の列のさらに右側に位置するペレット１１の列に移動し、その列において設定ペレット数、或いは設定距離以上離れて位置する２つのペレット１１Ａ’’、１１Ｂ’’の位置の検出を試みる。この列の移動は、予め設定した回数ｋに達するまで繰り返す。
【００６０】
（４ｇ−４）列の移動が設定回数ｋに達したら、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業を中断し、作業者に復旧を促す。
【００６１】
上記第３の実施の形態によれば、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業中にペレット１１の位置検出に失敗したとしても、そのペレット１１が位置する列に隣接する他の列において、設定ペレット数、或いは設定距離以上離れて位置する２つのペレットの位置の検出を試みるようにしたので、ペレット１１の位置検出に失敗した場合でも、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業が中断されることが防止でき、ペレットボンディング装置１０の稼動率を向上させることが可能となる。これにより、ペレットボンディング装置１０の生産性をさらに向上させることが期待できる。
【００６２】
なお、上述の第３の実施の形態における工程（４ｇ−１）において、ペレット１１Ａ中心の位置検出に失敗したときに限らず、常に、設定部２２に予め記憶されたペレット１１Ａ中心の位置に対してＸ方向でペレット１１一つ分右側の位置をカメラ１６ｃの撮像視野内に位置付けるようにＸＹステージ１６ｃを移動させるようにしても構わない。
【００６３】
次に、第４の実施の形態について説明する。
【００６４】
第４の実施の形態は、第１の実施の形態において、設定部２２に設定した素通りさせるペレット数ｎを、ペレット１１の寸法情報に基づいて自動設定するようにしたものである。
【００６５】
本実施の形態によれば、図２に破線で示すように、制御装置２１には、記憶部２４が接続される。そして、この記憶部２４には、図５に示すように、ペレット１１のＸ辺の長さとペレット１１のＸ辺長さとＹ辺長さの比率との組み合わせに対応する素通りさせるペレット数ｎの関係を表わすテーブルが記憶される。なおここでは、ペレット１１のＸ辺の長さ、およびペレット１１のＸ辺長さとＹ辺長さの比率が、ペレット１１の寸法情報である。
【００６６】
さて、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業に先立ち、作業者が入力部２３を操作して、ペレット１１のＸ辺長さと、ペレット１１のＸ辺長さとＹ辺長さとの比率を入力すると、制御装置２１は、入力されたペレットの寸法情報に該当する素通りさせるペレット数ｎを選択して設定部２２に設定し、設定したペレット数ｎに基づいて、ペレット１１の配列方向の傾きを求める作業を実行する。なおここで、ペレット１１のＸ辺長さとＹ辺長さとの比率は、作業者が直接入力するものに限らず、作業者はペレット１１のＸ辺長さ、およびＹ辺長さをそれぞれ入力し、その入力値から制御装置２１が算出するようにしても良い。
【００６７】
上記第４の実施の形態によれば、ペレット１１の寸法情報を入力すれば、そのペレット１１に適した素通りさせるペレット数ｎが自動的に設定されるので、素通りさせるペレット数ｎを容易に設定することができ、ペレットボンディング装置１０の操作性の向上を図ることができる。
【００６８】
なお、上記実施の形態において、移送搭載手段を、位置修正機構１８、移送コレット１９、およびボンディングコレット２０で構成し、移送コレット１９で保持台上から取り出したペレット１１を一旦位置修正機構１８の回転テーブル１８ａに載置した後、ボンディングコレット２０に持ち替えてリードフレーム１５に搭載する方式の例で説明したが、ペレット１１の取り出しからボンディングまでをペレット１１を他のコレットに持ち替えることなく単一のコレット等の保持手段を用いて行なう方式を用いることも可能である。またさらに、位置修正機構１８を設けることなく、単一のコレット等の保持手段で、保持台上から取り出したペレット１１をリードフレーム１５上に直接ボンディングする方式を用いることも可能である。
【００６９】
また、設定されたペレット数、或いは距離を隔てて位置する２つのペレット１１Ａ、１１Ｂの位置を検出する際に、固定配置されたカメラ１６ｃに対して、ＸＹステージ１６ａに載置された保持台を移動させる例で説明したが、上記のペレット１１Ａ、１１Ｂの検出は、カメラ１６ｃと保持台がウエハ１２（ペレット１１）の面に沿う方向で相対的に移動可能であれば実施できるので、固定された支持台に対してカメラ１６ｃが移動するものであっても、保持台とカメラ１６ｃが共に移動するものであっても構わない。
【００７０】
また、保持台の移動方向であるＸ方向およびＹ方向のうち、Ｙ方向に対応するペレット１１の配列方向のＹ方向に対する傾きを求め、Ｙ方向に沿うペレット１１の配列方向がＹ方向に一致するように保持台を回転させる例で説明したが、Ｘ方向に対応するペレット１１の配列方向をＸ方向に一致させるようにするものであっても、Ｘ方向に対応するペレット１１の配列方向、およびＹ方向に対応するペレット１１の配列方向双方を、Ｘ方向、およびＹ方向それぞれに一致させるようにするものであっても良い。なお、後者の場合、両者を完全に一致させることは困難と思われるので、両者の傾きが最小となるように保持台の回転を制御すると良い。またさらに、Ｘ方向に対応するペレット１１の配列方向をＹ方向に一致させるようにするものであっても、Ｙ方向に対応するペレット１１の配列方向をＸ方向に一致させるようにするものにも適用可能である。
【００７１】
また、基板としてリードフレーム１５を用いた例で説明したが、他の基板、例えば、プリント基板や、ポリイミド樹脂等からなるフィルムキャリアテープ等を用いることも可能である。
【００７２】
【発明の効果】
本発明によれば、ペレットの配列方向の傾きの検出に要する時間を短縮し、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るペレットボンディング装置の構成を示す説明図である。
【図２】図１に示すペレットボンディング装置の制御系統を示すブロック図である。
【図３】ペレットの縦横長さの比率が異なるウエハを示す平面図である。
【図４】ペレットの配列方向の傾きを求める動作の説明図である。
【図５】ペレットの寸法情報に対応する素通りさせるペレット数の関係を表わすテーブルである。
【図６】従来のペレットの配列方向の傾きを求める動作の説明図である。
【符号の説明】
１、１１　ペレット
１０　ペレットボンディング装置
１２　ウエハ
１３　ウエハシート
１４　ウエハリング
１５　リードフレーム
１６　ペレット供給装置
１６ａ　ＸＹステージ
１６ｂ　回転ステージ
１６ｃ　カメラ
１７　リードフレーム搬送装置
１８　位置修正機構
１９　移送コレット
２０　ボンディングコレット
２１　制御装置
２２　設定部
２３　入力部
２４　記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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