(57)【要約】【課題】短時間で、隣接するしきい値電圧分布間のマージンを広くとる処理を行うことによりデータ保持特性を向上させる。【解決手段】それぞれ電荷蓄積層を有するメモリセルトランジスタが複数配設され、電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてメモリセルトランジスタのしきい値電圧を調整することによって、２または３以上の値を取るデータのうちの一つの値がメモリセルトランジスタへ書き込まれるメモリアレイ１に対して、各メモリセルトランジスタのしきい値電圧と、そのメモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応するしきい値電圧分布における中間値とを判定手段３によって比較する。しきい値電圧が中間値よりも低い場合には、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を、しきい値電圧分布の最大値と中間値との差分値だけ高くするために、再書き込み手段３によって電荷蓄積層への電荷再注入を行う。【選択図】　　図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のメモリセルが配設され、２または３以上の値を取る複数のデータのうち一つのデータを該メモリセル毎に記憶可能とする不揮発性半導体記憶装置において、
該一つのデータに対応した複数のメモリセルの記憶電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも、該メモリセルの記憶電圧が低いか否かを判定する判定手段と、
該判定手段による判定結果に応じて、二つのデータの記憶電圧分布間のマージンを広げるように、該メモリセルにデータを再書き込みする再書き込み手段とを備えている不揮発性半導体記憶装置。
【請求項２】
前記再書き込み手段は、前記判定手段による判定結果が前記基準値により分割される各記憶電圧分布の一方に含まれる場合に、該記憶電圧分布の一方から他方に記憶電圧を変化させることにより、一つのデータに対応した複数のメモリセルの記憶電圧分布幅を狭くするように、該メモリセルにデータを再書き込みする請求項１記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項３】
前記メモリセルはそれぞれ電荷蓄積層を持つメモリセルトランジスタで構成されており、該電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の電圧値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイを有する請求項１記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項４】
前記判定手段は、前記メモリセルトランジスタのしきい値電圧が、複数のメモリセルトランジスタに書き込まれた同一データに対応するしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも低いか否かを判定し、前記再書き込み手段は、該判定手段によって、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも低いと判定された場合に、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ高くするために該そのメモリセルトランジスタの電荷蓄積層への電荷再注入を行う請求項３記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項５】
前記判定手段は、前記メモリセルトランジスタのしきい値電圧が、複数のメモリセルトランジスタに書き込まれた同一データに対応するしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも低いか否かを判定し、前記再書き込み手段は、該判定手段によって、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも高いと判定された場合に、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ低くするために該そのメモリセルトランジスタの電荷蓄積層からの電荷放出を行う請求項３記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項６】
前記再書き込み手段は、所定のパルス幅の書き込み信号を前記メモリセルトランジスタに印加することによって、該メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけシフトさせる請求項４または５記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項７】
前記基準値は、前記しきい値電圧分布の中間値に設定されている請求項４または５記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項８】
前記所定値は、前記しきい値電圧分布の最大値と基準値との差分値に設定されている請求項４〜７の何れかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項９】
前記所定値は、前記しきい値電圧分布の最小値と基準値との差分値に設定されている請求項４〜７の何れかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項１０】
前記所定値は、前記しきい値電圧分布の最小値と、該しきい値電圧分布と低電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値に設定されている請求項４〜７の何れかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項１１】
前記所定値は、前記しきい値電圧分布の最大値と、該しきい値電圧分布と高電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値に設定されている請求項４〜７の何れかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項１２】
前記判定電圧は、互いに隣接するしきい値電圧分布間の中間値に設定されている請求項１０または１１記載の不揮発性半導体記憶装置。
【請求項１３】
それぞれ電荷蓄積層を有し、該電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイに対して、
該各メモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応する一つのしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の値を基準値として、各メモリセルトランジスタからデータを読み出す第１ステップと、
該データを読み出した各メモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも低いか否かを判定する第２ステップと、
あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも低い場合にのみ、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ高くするために該電荷蓄積層への電荷再注入を行う第３ステップとを含む不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法。
【請求項１４】
それぞれ電荷蓄積層を有し、該電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイに対して、
該各メモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応する一つのしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の値を基準値として、各メモリセルトランジスタからデータを読み出す第１ステップと、
該データを読み出した各メモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも高いか否かを判定する第２ステップと、
あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも高い場合にのみ、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ低くするために該電荷蓄積層からの電荷放出を行う第３ステップとを含む不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法。
【請求項１５】
前記第３ステップにおいて、所定のパルス幅の書き込み信号を前記メモリセルトランジスタの制御電圧端子に印加することによって、該メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけシフトさせる請求項１３または１４記載の不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば一括消去型ＥＥＰＲＯＭ（エレクトリカリ・イレーザブル・アンド・プログラマブル・リード・オンリー・メモリ）などの多値フラッシュメモリに好適な不揮発性半導体記憶装置およびその再書き込み方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＥＰＲＯＭなどのような電気的に書き換え可能な不揮発性半導体記憶装置では、コントロールゲートと半導体基板間にフローティングゲートや絶縁膜からなる電荷蓄積層を設けたメモリセルトランジスタが複数配置されたメモリアレイを採用している。この電荷蓄積層に電荷を注入するかまたは電荷蓄積層から電荷を放出させて、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈを変化させることにより、メモリセルトランジスタにデータを記憶させる（データを書き込む）ようになっている。
【０００３】
このデータ書き込み方法は、半導体基板に形成されたソース拡散領域に０Ｖ、ドレイン拡散領域に約５Ｖの電荷を印加し、コントロールゲートに約１２Ｖのパルス電圧を印加する。このとき、フローティングゲートは電気的に固定されておらず、浮遊状態である。このコントロールゲートへのパルス電圧印加によりメモリセルトランジスタがオン状態となってソース／ドレイン間に電流が流れ、その電流によってホットエレクトロンが発生する。この電荷（エレクトロン）がフローティングゲートに注入されて蓄積される。フローティングゲートに電子が注入されると、コントロールゲートによって制御されるメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈが上昇する。このしきい値電圧Ｖｔｈをデータ”１”または”０”に対応させることによって、メモリセルトランジスタに２値のデータを記憶させる。
【０００４】
図９は、２値メモリにおいて、フローティングゲートに電子が注入されている場合と注入されていない場合とについて、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈの分布を示す図である。なお、この場合の横軸はしきい値電圧Ｖｔｈを示し、縦軸はそのしきい値電圧Ｖｔｈを示すメモリセルトランジスタの数（ビット数）を示している。
【０００５】
フローティングゲートに電荷が注入されていないメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈは図９の左側の分布に示すように低く、フローティングゲートに電荷が注入されたメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈは図９の右側の分布に示すように高くなっている。よって、コントロールゲートに両しきい値電圧の境界の電圧値を印加した場合には、フローティングゲートに電荷が注入されていないメモリセルトランジスタはオン状態となって読み出し電流が流れ、フローティングゲートに電荷が注入されたメモリセルトランジスタはオフ状態となって読み出し電流が流れない。この読み出し電流の有無をセンス回路を用いて検出することによって、データ”０”または”１”として認識することができる。このように、メモリセルトランジスタの電子蓄積層（フローティングゲート）への電荷注入に伴うしきい値電圧の変化によりオン・オフ状態が変化することによって、メモリセルトランジスタに記憶されているデータを読み出すことができる。
【０００６】
また、近年では、フローティングゲートに注入される電荷量を調整することによって、一つのメモリセルトランジスタにより多くの情報を書き込み可能としたいわゆる多値メモリ技術が提案されている。
【０００７】
この多値フラッシュメモリについては、例えば、１９６６年１１月「ＩＥＥＥ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ　Ｖｏｌ．３１，Ｎｏ．１１」第１５７５頁〜第１５８３頁（非特許文献１）に記載されている。例えば４値メモリにおいては、コントロールゲートに接続されたワード線を、４値の境界の電圧値である３値の電圧のそれぞれに切り換えて３回の読み出しを行う。これは、２値の読み出し動作と同様の動作をワード線の電圧レベルを切り換えながら３回に分けて行うようにするものである。
【０００８】
図１０は、４値メモリにおけるメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈの分布を示す図である。なお、この場合の横軸はしきい値電圧Ｖｔｈを示し、縦軸はそのしきい値電圧Ｖｔｈを示すメモリセルトランジスタの数（ビット数）を示している。
【０００９】
フローティングゲートに電荷が注入されていないメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈは図１０の左側の分布に示すように低く、フローティングゲートに電荷が注入されたメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈは図１０の右側の分布に示すように注入電荷量が多くなるに従って高くなっている。よって、コントロールゲートに二つのしきい値電圧の境界の電圧値を印加した場合には、フローティングゲートの注入電荷量が少ない（または注入されていない）メモリセルトランジスタはオン状態となって読み出し電流が流れ、フローティングゲートの注入電荷量が多いメモリセルトランジスタはオフ状態となって読み出し電流が流れない。この電流読み出しをそれぞれの境界で３回行い、読み出し電流の有無をセンス回路を用いて検出することによって、４値のデータとして認識することができる。
【００１０】
ところで、一般に、メモリセルトランジスタのフローティングゲートに電子を注入し、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈを所定の値に上昇させた後で、メモリセルトランジスタを放置すると、時間の経過につれて、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈが低い側にシフトするという現象が起こる。
【００１１】
図１１は、メモリセルトランジスタの放置時間ｔに伴って、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈがシフトしている状況を表す図である。なお、この場合の横軸は放置時間ｔを示し、横軸はしきい値電圧Ｖｔｈを示している。
【００１２】
図１１に示すように、メモリセルトランジスタの放置時間が所定時間ｔ０に達すると、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈは電圧ΔＶｔｈ分だけ下方にシフトしている。
【００１３】
このようなシフト現象が生じる原因は、時間の経過につれて、メモリセルトランジスタのフローティングゲートに注入された電荷（電子）がフローティングゲートから放出（リーク）されてしまうからである。フローティングゲートからの電荷のリークは、半導体製造プロセスに用いられる材料の改善などによって、ある程度改善することができるが、さらに半導体メモリの微細化が進むと、相対的に電荷リークが生じ易くなるため、この影響が大きくなるものと考えられる。
【００１４】
以下に、このようなメモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈのシフトによって生じる問題を図９および図１０を用いて説明する。
【００１５】
図９および図１０では、メモリセルトランジスタの電荷蓄積量が多いほどしきい値電圧Ｖｔｈが高くなっているため、時間が経過するにつれてメモリセルトランジスタのフローティングゲートから電子が放出してしまうことによって、メモリセルのしきい値電圧Ｖｔｈが下方にシフトしてしきい値電圧Ｖｔｈが低下していく。
【００１６】
一方、２値メモリでは、図９に示すように、電源電圧が十分高いときにはしきい値電圧Ｖｔｈに十分マ−ジンがあるため、しきい値電圧Ｖｔｈが多少低下しても、記憶されている情報（データ）の読み出しに大きな影響を与えることはない。
【００１７】
ところが、一つのメモリセルトランジスタに３値以上の情報を記憶させる多値メモリでは、図１０に示すように、しきい値電圧Ｖｔｈのマ−ジンが非常に小さくなり、メモリセルトランジスタの放置により生じるしきい値電圧Ｖｔｈのシフトを無視することができなくなる。しきい値電圧Ｖｔｈにシフトが生じると、所定の情報を表すしきい値電圧が下がってしまい、他の値を表すしきい値電圧Ｖｔｈの分布領域に入ってしまう。このため、データの読み出しのときに、このしきい値電圧Ｖｔｈの変化によって、デ−タが他のデ−タに変換されてしまう。
【００１８】
２値メモリの場合にも、電源電圧の低電圧化によって、しきい値電圧Ｖｔｈに十分マ−ジンを取れないことがある。このため、メモリセルトランジスタの放置によりしきい値電圧Ｖｔｈが低圧側にシフトし、所定の値を表すしきい値電圧Ｖｔｈが他のデ−タを表すしきい値電圧領域に入ると、データ読み出しのときにデ−タが他のデータに変換されてしまう虞がある。
【００１９】
このような事情を鑑みて、例えば特開平９−３５４８８号公報（特許文献１）には、経時的なしきい値電圧のシフトによる記憶情報の変化を防止する方法が開示されている。この従来技術は、不揮発性半導体記憶装置に内蔵されるリフレッシュ機能ブロックにより各メモリチップまたは各メモリセクタ毎に最後の書き込み時からの経過時間を計時し、この経過時間と予め設定された限界電荷保持時間とを比較して、経過時間が限界電荷保持時間に達したときに各メモリチップまたはメモリセクタに対してデータの再書き込みを行うものである。
【００２０】
また、特開平９−３０６１８２号公報（特許文献２）には、特定のメモリセルトランジスタにおいて、しきい値電圧の変動を検出した場合に、そのメモリセルトランジスタに対して再度のデータ書き込みを行う方法が開示されている。具体的には、検出手段によって、特定のメモリセルトランジスタにおけるしきい値電圧の書き込み直後の分布に対して、一方側に所定電圧だけ離れた検出箇所にしきい値電圧を有するか否かを検出する。データの再書き込み時には、データ消去を行うことなく、メモリセルトランジスタのしきい値電圧の変動分を補償するように、データを書き戻すようになっている。
【００２１】
さらに、特開平１１−１５４３９４号公報（特許文献３）に開示されている方法では、メモリセルトランジスタの適切なしきい値電圧を、データを記憶するための許容状態に対応する範囲とデータ誤りを示す禁止ゾーンに対応する範囲とに分ける。しきい値電圧が禁止ゾーン内に入ると、リフレッシュ動作によってしきい値電圧を許容状態にプログラミングするために、メモリセルのデータをバッファ内に一旦退避させ、メモリセルブロックを消去して、バッファからのデータをメモリセルブロックに再書き込みする。このような再書き込み処理は、通常のデータの書き込み動作とベリファイ動作との繰り返しによって行われる。
【００２２】
ここで、「ベリファイ」とは、データが当初の期待通りに書き込まれているか否かを調べることを意味する。
【００２３】
【特許文献１】
特開平９−３５４８８号公報
【特許文献２】
特開平９−３０６１８２号公報
【特許文献３】
特開平１１−１５４３９４号公報
【非特許文献１】
ＩＥＥＥ　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｓｏｌｉｄ−Ｓｔａｔｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔｓ，　Ｖｏｌ．３１，Ｎｏ．１１，１９６６年１１月，第１５７５頁〜第１５８３頁
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した特開平９−３５４８８号公報（特許文献１）、特開平９−３０６１８２号公報（特許文献２）および特開平１１−１５４３９４号公報（特許文献３）に開示されている従来技術において、しきい値電圧の変動（シフト）分を回復させるために、通常通りのデータの書き込み動作とベリファイ動作とを繰り返し実行するという以外には、具体的な方法は例示されていない。
【００２５】
通常、ベリファイ動作は非常に手間のかかる作業であり、上記繰り返し動作には、比較的長時間（１０μｓ程度）が必要とされる。また、データの再書き込み後にしきい値電圧分布がどのようになるかについても考慮されていない。
【００２６】
本発明は、上記従来の事情を鑑みて為されたものであり、短時間で、隣接するしきい値電圧分布間のマージンを広くとる処理を行うことにより、データ保持特性を向上させることができる不揮発性半導体記憶装置およびその再書き込み方法を提供することを目的とする。
【００２７】
【課題を解決するための手段】
本発明の不揮発性半導体記憶装置は、複数のメモリセルが配設され、２または３以上の値を取る複数のデータのうち一つのデータを該メモリセル毎に記憶可能とする不揮発性半導体記憶装置において、一つのデータに対応した複数のメモリセルの記憶電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも、メモリセルの記憶電圧が低いか否かを判定する判定手段と、判定手段による判定結果に応じて、任意の二つのデータの記憶電圧分布間のマージンを広げるように、メモリセルにデータを再書き込みする再書き込み手段とを備えており、そのことにより上記目的が達成される。
【００２８】
また、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における再書き込み手段は、判定手段による判定結果が基準値により分割される各記憶電圧分布の一方に含まれる場合に、記憶電圧分布の一方から他方に記憶電圧を変化させることにより、一つのデータに対応した複数のメモリセルの記憶電圧分布幅を狭くするように、メモリセルにデータを再書き込みする。
【００２９】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置におけるメモリセルはそれぞれ電荷蓄積層を持つメモリセルトランジスタで構成されており、電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の電圧値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイを有する。
【００３０】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における判定手段は、メモリセルトランジスタのしきい値電圧が、複数のメモリセルトランジスタに書き込まれた同一データに対応するしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも低いか否かを判定し、再書き込み手段は、判定手段によって、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準値よりも低いと判定された場合に、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ高くするために該そのメモリセルトランジスタの電荷蓄積層への電荷再注入を行う。
【００３１】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における判定手段は、メモリセルトランジスタのしきい値電圧が、複数のメモリセルトランジスタに書き込まれた同一データに対応するしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも低いか否かを判定し、再書き込み手段は、判定手段によって、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準値よりも高いと判定された場合に、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ低くするために該そのメモリセルトランジスタの電荷蓄積層への電荷再引き抜きを行う。
【００３２】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における再書き込み手段は、所定のパルス幅の書き込み信号をメモリセルトランジスタに印加することによって、メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけシフトさせる。
【００３３】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における基準値は、しきい値電圧分布の中間値に設定されている。
【００３４】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における所定値は、しきい値電圧分布の最大値と基準値との差分値に設定されている。
【００３５】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における所定値は、しきい値電圧分布の最小値と基準値との差分値に設定されている。
【００３６】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における所定値は、しきい値電圧分布の最小値と、しきい値電圧分布と低電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値に設定されている。
【００３７】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置における所定値は、しきい値電圧分布の最大値と、しきい値電圧分布と高電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値に設定されている。
【００３８】
本発明の不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法は、それぞれ電荷蓄積層を有し、この電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイに対して、各メモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応する一つのしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の値を基準値として、各メモリセルトランジスタからデータを読み出す第１ステップと、このようにデータを読み出した各メモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも低いか否かを判定する第２ステップと、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準値よりも低い場合にのみ、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ高くするために電荷蓄積層への電荷再注入を行う第３ステップとを含み、そのことにより上記目的が達成される。
【００３９】
また、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法は、それぞれ電荷蓄積層を有し、この電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてしきい値電圧を調整することにより、２または３以上の値を取るデータのうち一つのデータを書き込み可能とする複数のメモリセルトランジスタが配設されたメモリアレイに対して、各メモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応する一つのしきい値電圧分布の最大値と最小値間に設定される任意の値を基準値として、各メモリセルトランジスタからデータを読み出す第１ステップと、このようにデータを読み出した各メモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準値よりも高いか否かを判定する第２ステップと、あるメモリセルトランジスタのしきい値電圧が該基準値よりも高い場合にのみ、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけ低くするために電荷蓄積層からの電荷放出（引き抜き）を行う第３ステップとを含み、そのことにより上記目的が達成される。
【００４０】
さらに、好ましくは、本発明の不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法の第３ステップにおいて、所定のパルス幅の書き込み信号をメモリセルトランジスタの制御電圧端子に印加することによって、メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値だけシフトさせる。
【００４１】
上記構成により、以下に、本発明の作用について説明する。
【００４２】
電荷蓄積層（フローティングゲートおよび絶縁膜）を有するトランジスタをメモリセル（メモリセルトランジスタ）として用い、この電荷蓄積層に電荷を注入してメモリセルトランジスタのしきい値電圧を調整することによって、２または３以上の値を取るデータのうち一つのデータが各メモリセルトランジスタに対して書き込まれる。このとき、その同一データに対応したしきい値電圧はそれぞれ、メモリセルトランジスタによって、更にチップによってばらつきが有り、最大値と最小値との間の中間値付近に最大頻度を有するように分布する。このしきい値電圧は、時間の経過と共に電荷蓄積層から電荷が放出されることによってその分布が一定方向、低電圧側にシフトする。このように、しきい値電圧がシフトして、データ読み出し時に他の値を表すしきい値電圧の分布領域に入ってしまうと、誤ったデータが読み出される。
【００４３】
一般的には、例えば、放置などに伴う電荷のリークによって、しきい値電圧は低くなる方向にシフトする。よって、本発明にあっては、しきい値電圧としきい値電圧分布範囲内の基準値とを比較して、しきい値電圧が基準値よりも高い場合にはそのままとして再書き込みをせず、低い場合にのみ所定の値だけしきい値電圧が高くなるように再書き込み（電荷再注入）を行ってしきい値電圧を高電圧側にシフトさせる。これによって、その後、さらに時間の経過によってしきい値電圧が低電圧側にシフトしても、なお、通常のしきい値電圧分布範囲内に入っている時間を長くとることが可能となる。
【００４４】
また、他からの電荷のリークなどによって、しきい値電圧が高くなる方向にシフトする場合には、本発明では、しきい値電圧としきい値電圧分布範囲内の基準値とを比較して、しきい値電圧が基準値よりも低い場合にはそのままとして再書き込みをせず、高い場合にのみ所定の値だけしきい値電圧が低くなるように再書き込み（これを電荷再放出とする）を行ってしきい値電圧を低電圧側にシフトさせる。これによって、その後、さらに時間の経過によってしきい値電圧が高電圧側にシフトしても、なお、通常のしきい値電圧分布範囲内に入っている時間を長くとることが可能となる。
【００４５】
一方、しきい値電圧のばらつき（分布幅）は、小さい（狭い）ことが特性的に好ましく、特に、３以上の値を記憶可能な多値メモリにおいては、隣接するしきい値電圧分布領域間に充分マージンが取れるようにする必要がある。このため、この分布幅は極力狭いことが要求される。換言すると、しきい値電圧の分布幅が狭い方が、一つのメモリセルトランジスタに多くの値（多値）を記憶させることができる。このため、メモリの小型化を達成すると共に大容量化をも達成することができる。よって、本発明にあっては、しきい値電圧が基準値よりも低い（または高い）場合にのみ所定値だけ高電圧側（または低電圧側）にシフトさせることによって、基準値よりも高い側（または低い側）にしきい値電圧を集めることができる。このため、しきい値電圧分布の幅を更に狭くすることができ、隣接するしきい値電圧分布領域間のマージンをより広くとることができて、メモリのデータ保持特性を格段に改善することができる。
【００４６】
しきい値電圧と比較される基準値は、しきい値電圧分布範囲の最大値と最小値間の任意の値とすることができるが、例えば、しきい値電圧分布範囲が左右対称であって中央部にピーク値を有する場合には、しきい値電圧分布範囲の中間値（またはその近傍値）に設定する。これによって、しきい値電圧分布範囲の中間値よりも高い側（または低い側）にしきい値電圧をシフトさせてその分布幅を狭くすることができる。
【００４７】
しきい値電圧をシフトさせる所定値としては、例えば、任意の値とすることができるが、例えば、しきい値電圧分布範囲内の最大値とその中間値との差分値（その最大値と最小値との差の１／２の電圧値）に設定してもよいし、または、各データ（多値メモリの場合にはそれぞれの値）に対応するしきい値電圧分布範囲の最小値と、そのしきい値電圧分布および低電圧側（または高電圧側）に隣接するしきい値電圧分布を判別するための判定電圧との差分値（隣接する二つのしきい値電圧分布のうち、小さい方の最大値と大きい方の最小値との差の１／２の電圧値）に設定してもよい。
【００４８】
しきい値電圧を所定の値だけシフトさせるためには、所定のパルス幅の書き込み信号を一度または所望の回数、シフトが必要とされるメモリセルトランジスタの制御電圧端子（コントロールゲート）に供給することによって行われる。
【００４９】
これによって、通常通りの書き込み動作とベリファイ動作とを繰り返し行う従来技術に比べて、再書き込み（リフレッシュ）のための処理時間が短縮される。
【００５０】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の不揮発性半導体記憶装置の再書き込み方法の実施形態について、図面に基づいて説明する。なお、以下では、再書き込み処理に関係する部分についてのみ説明を行う。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１である不揮発性半導体記憶装置の要部構成を示すブロック図である。
【００５１】
図１において、この不揮発性半導体記憶装置１０は、２または３以上の値を取る複数のデータのうち一つのデータを記憶可能とする複数のメモリセルトランジスタを有するメモリアレイ１と、一つのデータに対応した複数のメモリセルトランジスタの記憶電圧分布範囲（しきい値電圧分布範囲）の最大値と最小値間に設定される任意の基準値よりも、メモリセルトランジスタの記憶電圧が低いかどうかを判定する判定手段２と、判定手段２による判定結果に応じて、データ保持特性を向上させるべく、複数のデータの記憶電圧分布間のマージンを広げるように、メモリセルトランジスタにデータを再書き込みする再書き込み手段３とを有している。
【００５２】
メモリアレイ１は、フローティングゲートや絶縁膜などの電荷蓄積層を有するメモリセルトランジスタが複数配設され、電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてメモリセルトランジスタのしきい値電圧を調整することによって、２または３以上の値を取るデータのうちの一つの値がメモリセルトランジスタに書き込まれる。
【００５３】
ここで、メモリセルトランジスタのしきい値電圧について説明する。
【００５４】
図２は、メモリセルトランジスタのフローティングゲートに電荷を注入して、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈを所定の値に上昇させたときのしきい値電圧Ｖｔｈの分布を示す図である。
【００５５】
図２に示すように、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈには、実際にある程度のばらつきがあり、分布幅を有すると考えられる。ここでは、しきい値電圧Ｖｔｈのばらつき（分布）の上限値（最大値）をＶｔｈ１、下限値（最小値）をＶｔｈ２とし、最大値と最小値との中間値をＶｔｈ３＝１／２×（Ｖｔｈ１＋Ｖｔｈ２）として示している。
【００５６】
このように、データが書き込まれたメモリセルトランジスタを放置すると、時間の経過につれて、メモリセルのしきい値電圧Ｖｔｈが一定方向（低電圧方向または高電圧方向）にシフトする。このように、シフトしたしきい値電圧が、隣接する他の値に対応するしきい値電圧分布の領域に入り込むと、誤ったデータが読み出されるため、データの再書き込み（データのリフレッシュ）を行う必要がある。通常は、電荷のリークによってしきい値電圧が低くなる方向にシフトするため、本実施形態１では、しきい値電圧が低くなる方向にシフトした場合について説明する。
【００５７】
判定手段２は、メモリアレイ１に含まれる各メモリセルトランジスタのしきい値電圧を予め定められた基準値と比較して、その基準値よりも低いかどうかを判定する。この基準値としては、そのメモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応するしきい値電圧分布範囲の最大値と最小値間の任意の値に設定することができる。本実施形態１では、しきい値電圧分布の中間値を基準値として設定する。
【００５８】
再書き込み手段３は、しきい値電圧が基準値よりも低いメモリセルトランジスタの電荷蓄積層に電荷再注入処理を行って、そのしきい値電圧を予め定められた所定値だけ高くする。これによって、しきい値電圧のシフト分（変動分）をリフレッシュ（回復）させることができる。この所定値は、任意の値に設定することができる。本実施形態１では、しきい値電圧分布の最大値と中間値との差分値を所定値として設定している。このときの電荷（電子）再注入処理は、メモリセルトランジスタの制御電圧端子（コントロールゲート）に所定のパルス幅Ｔｐの書き込み信号を印加することによって行う。
【００５９】
以下に、本実施形態１の不揮発性半導体記憶装置における再書き込み処理について説明する。
【００６０】
図３は、本実施形態１の不揮発性半導体記憶装置において、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈがシフトした場合に行われる再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【００６１】
まず、ステップＳ１において、メモリセル（メモリセルトランジスタ）に書き込まれたデータに対応するしきい値電圧分布の中間値Ｖｔｈ３を基準として、メモリセルからデータを読み出す。
【００６２】
次に、ステップＳ２において、ステップＳ１でメモリセルから読み出されたデータが未書き込み状態であるかどうかを判定する。即ち、読み出されたデータがしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３よりも低い場合には、未書き込み状態であると判定してステップＳ３の処理に進む。一方、読み出されたデータがしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３以上である場合にはデータが既に書き込まれている状態であると判定して処理を終了する。
【００６３】
さらに、ステップＳ３において、所定のパルス幅Ｔｐの書き込み信号をメモリセルに印加して、書き込み後のしきい値電圧を（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）だけ高くする。これによって、時間の経過につれてメモリセルのしきい値電圧が低下して、低電圧側に隣接する他の値に対応するしきい値電圧分布の領域に入り込むまでの時間を長くとることができる。したがって、データ保持時間も長くなる。
【００６４】
その後、ステップＳ１の処理に戻り、再び、しきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３を基準としてメモリセルからデータを読み出す。ステップＳ２で読み出されたデータがなお未書込み状態である場合には、ステップＳ３の処理に進み、再び、所定のパルス幅Ｔｐの書き込み信号をメモリセルに印加して、書き込み後のしきい値電圧を（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）だけ高くする。ステップＳ２ｓで読み出されたデータが書き込み状態になるまで、この操作を１回または２回程度繰り返すことおよび、によって、しきい値電圧分布範囲の半分程度の電圧をシフトさせることによって、短時間でリフレッシュ動作を完了することができる。
【００６５】
このようにして、データの再書き込み処理を完了した後のメモリセルトランジスタのしきい値電圧は、しきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３以上最大値Ｖｔｈ１以下の範囲内に含まれる。したがって、再書き込み処理完了後のしきい値電圧分布範囲は、元のしきい値電圧分布範囲に比べて、分布幅が半分程度に狭くなり、データ読み出しマージンが改善される。また、データ再書き込み処理完了後のメモリセルトランジスタのしきい値電圧分布範囲は、元のしきい値電圧分布範囲に比べて、しきい値電圧が高い範囲側にシフトしているので、その後で電荷蓄積層から電荷のリークが生じても、なお、しきい値電圧が分布許容範囲内に入っている時間が長くなり、データ保持時間が長くなる。
【００６６】
なお、しきい値電圧を（Ｖｔｈ３−Ｖｔｈ２）だけ高くするための書き込み信号のパルス幅Ｔｐを求めるためには、本願発明者が既に出願している特願２００１−３１１５７５号に示されている方法を用いることができる。その方法について図４に示している。
【００６７】
図４は、書き込み信号パルス幅を求める際の動作手順を示すフローチャートである。
【００６８】
図４に示すように、まず、ステップＳ１１において、複数のメモリセル（メモリセルトランジスタ）の各々について、しきい値電圧を上記しきい値電圧の下限しきい値電圧Ｖｔｈ２に設定する。
【００６９】
次に、ステップＳ１２において、上記複数のメモリセルに、それぞれ異なるパルス幅の書き込み信号を印加する。
【００７０】
次に、ステップＳ１３において、しきい値電圧の中間値Ｖｔｈ３を基準電圧として、上記複数のメモリセルからデータを読み出す。
【００７１】
次に、ステップＳ１４において、各々のメモリセルに印加した書き込み信号のパルス幅を横軸にプロットし、各々のメモリセルから読み出したデータを縦軸にプロットして、図５に示すようなグラフを得る。最終的に得られる図５において、Ｔｐが求める書き込み信号パルス幅である。
【００７２】
以上の方法によって、書き込み信号のパルス幅Ｔｐを、デバイスの出荷前に行われる製造検査時、デバイスの出荷後に行われる初期化動作時およびデバイスへの電源投入時などに測定することができる。デバイスの出荷前に書き込み信号のパルス幅Ｔｐを測定することによって、通常のフラッシュメモリと同等に使用することができる。また、デバイスの出荷後に書き込み信号のパルス幅Ｔｐを測定することによって、電源電圧、温度、メモリセル特性の経時変化など、実使用条件に最適な書き込み時間を得ることができる。
【００７３】
なお、上記実施形態１では、時間の経過によってメモリセルトランジスタのしきい値電圧が低くなる方向にシフトする場合について説明したが、しきい値電圧が高くなる方向にシフトする場合には、メモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準電圧（例えばＶｔｈ３）よりも高い場合にのみ、メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値（例えばＶｔｈ３−Ｖｔｈ２）だけ低くするようにデータの再書き込み処理を行うようにすればよい。
（実施形態２）
上記実施形態１の再書き込み処理では、データ再書き込み処理の繰り返し動作が含まれているので、比較的長時間を要する。そこで、本実施形態２では、データ再書き込み処理をさらに短時間で行うことが可能な例について説明する。
【００７４】
図６は、本実施形態２の不揮発性半導体記憶装置において、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈがシフトした場合に行われる再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【００７５】
まず、ステップＳ２１において、メモリセル（メモリセルトランジスタ）に書き込まれたデータに対応するしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３を基準として、メモリセルからデータを読み出す。
【００７６】
次に、ステップＳ２２において、読み出されたデータがしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３よりも低い場合には、未書き込み状態であると判定してステップＳ２３に進む。一方、読み出されたデータがしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３以上である場合にはデータが既に書き込まれている状態であると判定して処理を終了する。ここまでの処理は、上記実施形態１において図３に示すステップＳ１およびステップＳ２と同様である。
【００７７】
次に、ステップＳ２３において、所定のパルス幅Ｔｐの書き込み信号をメモリセルに印加して、書き込み後のしきい値電圧を所定値（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３；しきい値電圧分布範囲の半分の電圧）だけ高くする。
【００７８】
通常、あるメモリセルの書き込み状態は、図７に示すように、隣接するしきい値電圧分布間の間隙部のほぼ中央（中間）に位置する判定電圧Ｖｔｈｒを基準として検知される。よって、そのメモリセルのしきい値電圧は、少なくとも判定電圧Ｖｔｈｒよりも高い。また、特に、多値メモリの場合には、一つのしきい値電圧の分布幅は、上記隣接するしきい値電圧分布間の間隙幅より広い。したがって、最もしきい値電圧が低くなっているメモリセルのしきい値電圧の各メモリセルのしきい値電圧を、１回のみの書き込みパルス印加により（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）だけ高くすることによって、そのメモリセルのしきい値電圧を元のしきい値電圧分布範囲内の高電圧側にすることができる。即ち、Ｖｔｈｒを基準として、それより上に分布すると判定されたメモリセルのうち最もしきい値電圧が低くなっているメモリセルのしきい値電圧はＶｔｈｒ以上であり、このメモリセルのしきい値を（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）だけ高くすることによって、元のしきい値電圧分布範囲の最低しきい値Ｖｔｈ２以上にすることができ、元のしきい値電圧分布範囲に入れることができる。
【００７９】
即ち、Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３＞Ｖｔｈ２−Ｖｔｈｒより、（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）だけ高くしたあとのしきい値は、
Ｖｔｈｒ＋（Ｖｔｈ１−Ｖｔｈ３）＞Ｖｔｈｒ＋（Ｖｔｈ２−Ｖｔｈｒ）
＝Ｖｔｈ２以上だからである。
【００８０】
したがって、上記実施形態１のようにデータの読み出しと再書き込み処理（図３のステップＳ１〜ステップＳ３の各処理）を繰り返すことなく、リフレッシュ処理を短時間で完了させることができる。そのときの書き込みパルス幅Ｔｐは、上記実施形態１と同様に求めることができる。
（実施形態３）
本実施形態３では、再書き込み処理をさらに短時間で行うことが可能な例について説明する。
【００８１】
図８は、本実施形態３の不揮発性半導体記憶装置において、メモリセルトランジスタのしきい値電圧Ｖｔｈがシフトした場合に行われるデータの再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【００８２】
まず、ステップＳ３１において、メモリセル（メモリセルトランジスタ）に書き込まれたデータに対応するしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３を基準値として、メモリセルからデータを読み出す。
【００８３】
次に、ステップＳ３２において、読み出されたデータがしきい値電圧分布範囲の中間値Ｖｔｈ３よりも低い場合には、未書き込み状態であると判定してステップＳ２３に進む。一方、読み出されたデータがしきい値電圧分布の中間値Ｖｔｈ３以上である場合にはデータが既に書き込まれている状態であると判定して処理を終了する。ここまでの処理は、実施形態１において図３に示すステップＳ１およびステップＳ２の処理と同様である。
【００８４】
次に、ステップＳ３３において、所定のパルス幅Ｔｐ’の書き込み信号をメモリセルに印加して、書き込み後のしきい値電圧を所定値（Ｖｔｈ２−Ｖｔｈｒ）だけ高くする。
【００８５】
上記実施形態２で説明したように、通常、あるメモリセルの書き込み状態は、図７に示すように、低電圧側に隣接するしきい値電圧分布範囲間の間隙部のほぼ中央（中間）に位置する判定電圧Ｖｔｈｒを基準として検知される。よって、そのメモリセルのしきい値電圧は、少なくとも判定電圧Ｖｔｈｒよりも高くなっている。各メモリセルのしきい値電圧を、１回のみの書き込みパルス印加により（Ｖｔｈ２−Ｖｔｈｒ）だけ高くすることによって、そのメモリセルのしきい値電圧を元のしきい値電圧分布の範囲内に戻すことができる。
【００８６】
しきい値電圧を（Ｖｔｈ２−Ｖｔｈｒ）だけ高くするための書き込みパルス幅Ｔｐ’は、上記実施形態１，２に用いた書き込みパルス幅Ｔｐよりも通常短いため、さらにリフレッシュ処理を短時間で完了させることができる。そのときの書き込みパルス幅Ｔｐ’も、上記書き込みパルス幅Ｔｐと同様に求めることができる。
【００８７】
なお、上記実施形態３では、時間の経過によってメモリセルトランジスタのしきい値電圧が低くなる方向にシフトする場合について説明したが、しきい値電圧が高くなる方向にシフトする場合には、メモリセルトランジスタのしきい値電圧が基準電圧（例えばＶｔｈ３）よりも高い電圧場合に、メモリセルトランジスタのしきい値電圧を所定値（例えば高電圧側に隣接するしきい値電圧分布間の間隙部のほぼ中央に位置（中間に位置）する判定電圧との差分（判定電圧Ｖｔｈｒ−Ｖｔｈ１）だけ低くするようにデータの再書き込み処理を行うようにすればよい。
【００８８】
以上により、上記実施形態１〜３によれば、それぞれ電荷蓄積層を有するメモリセルトランジスタが複数配設され、電荷蓄積層への電荷蓄積量を変えてメモリセルトランジスタのしきい値電圧を調整することによって、２または３以上の値を取るデータのうちの一つの値がメモリセルトランジスタへ書き込まれるメモリアレイ１に対して、各メモリセルトランジスタのしきい値電圧と、そのメモリセルトランジスタに書き込まれたデータ値に対応するしきい値電圧分布範囲における例えば中間値とを判定手段３によって比較する。しきい値電圧が中間値よりも低い場合には、そのメモリセルトランジスタのしきい値電圧を、しきい値電圧分布の最大値と中間値との差分値（所定値）だけ高くするために、再書き込み手段３によって電荷蓄積層への電荷再注入を行う。これによって、より短時間でしきい値電圧の変動分を回復させることができ、しきい値電圧分布範囲内の基準値よりも上側または下側にしきい値電圧分布をシフトさせて、隣接するしきい値電圧分布間のマージンを広くとることにより、データ保持特性を向上させることができる。
【００８９】
なお、上記実施形態１〜３においては、基準値をしきい値電圧分布の中間値に設定したが、これに限らず、基準値を、しきい値電圧分布範囲（記憶電圧分布範囲）の最低値からその分布範囲の１／３，１／４，・・１／ｎの値にしてもよい。ｎは３以上の自然数である。要は、基準値は、しきい値電圧分布範囲の最大値と最小値間に任意に設定される。
【００９０】
また、上記実施形態１〜３においては、変動したメモリセルトランジスタのしきい値電圧をシフトさせる所定値は、しきい値電圧分布の最大値と基準値との差分値、その最小値と基準値との差分値、しきい値電圧分布の最小値と、このしきい値電圧分布と低電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値、および、しきい値電圧分布の最大値と、このしきい値電圧分布と高電圧側に隣接するしきい値電圧分布とを判別するための判定電圧との差分値に設定されるように構成したが、これに限らず、所定値は、二つのデータのしきい値電圧分布範囲（記憶電圧分布範囲）間のマージンを広げるようなものである必要がある。要は、放置によるしきい値変動が少なく、基準値に近いしきい値をもつメモリセルであっても、シフト後、元のしきい値電圧分布範囲に収まる必要がある。
【００９１】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、電荷蓄積層へ電荷を注入してメモリセルトランジスタのしきい値電圧を調整することによって、２または３以上の値を取るデータのうちの一つの値がメモリセルトランジスタへ書き込まれるメモリアレイにおいて、時間の経過と共にシフトしたしきい値電圧が予め定めておいた基準値よりも低い場合（または高い場合）にのみ、所定の値だけしきい値電圧が高く（または低く）なるようにデータの再書き込み（電荷再放出）を行ってしきい値電圧をシフトさせることによって、しきい値電圧の変動分を回復させることができる。また、基準値よりも高い電圧側（または低い電圧側）にしきい値電圧がシフトされるため、しきい値電圧分布の幅を狭くして、メモリのデータ保持特性を向上することができる。また、しきい値電圧を所定の値だけシフトさせるためには、所定のパルス幅Ｔｐの書き込み信号を一度または所望の回数、シフトが必要とされるメモリセルトランジスタに印加するだけでよいため、短時間でリフレッシュ処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態１である不揮発性半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。
【図２】メモリセルトランジスタのしきい値電圧の分布を示す図である。
【図３】図１の不揮発性半導体記憶装置において、しきい値電圧のシフトを回復させる再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【図４】書き込み信号のパルス幅を求める方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】書き込み信号のパルス幅を求める方法の一例を示す図である。
【図６】本発明の実施形態２の不揮発性半導体記憶装置において、しきい値電圧のシフトを回復させる再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【図７】メモリセルトランジスタのしきい値電圧の分布を示す図である。
【図８】本発明の実施形態３の不揮発性半導体記憶装置において、しきい値電圧のシフトを回復させる再書き込み処理の動作手順を示すフローチャートである。
【図９】２値メモリにおけるメモリセルトランジスタのしきい値電圧分布を示す図である。
【図１０】４値メモリにおけるメモリセルトランジスタのしきい値電圧分布を示す図である。
【図１１】メモリセルトランジスタの放置時間に伴うしきい値電圧のシフトを示す図である。
【符号の説明】
１　　メモリアレイ
２　　判定手段
３　　再書き込み手段
１０　　不揮発性半導体記憶装置
【図１】
2004103089.tif 000003
【図２】
2004103089.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2004103089.tif 000010
【図９】
2004103089.tif 000011
【図１０】
2004103089.tif 000012
【図１１】
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