【事件の表示】
　平成　６年特許願第１９１６９６号「超音波洗浄装置」拒絶査定に対する審判事件［平成　８年　３月　５日出願公開、特開平　８−　５７４３５］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本願は、平成６年８月１６日の特許出願（特願平６−１９１６９６号）であって、平成１２年１２月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成１３年１月１８日に拒絶査定に対する審判の請求がなされるとともに、同年２月１４日付けで手続補正がなされたものである。
　
【２】平成１３年２月１４日付けの手続補正についての補正却下の決定
［補正却下の決定の結論］
　平成１３年２月１４日付けの手続補正を却下する。
［理由］
［１］補正後の本願発明
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１は、
「箱型に閉塞された箱体および箱体底部中央に設けられた超音波振動子からなる本体と、
前記超音波振動子と対向するように、本体上面より上方に延び、内部にスリットが形成されたノズル部と
前記ノズル部の先端に
前記ノズル部
前記
し
前記
超音波が付加された純水を前記スリットに供給し、前記ノズル部の先端から噴出させて
　前記
スリット
有する
と補正された。
［２］補正の適否についての判断
　上記補正は、補正前の発明における「前記ノズル部は、スリットと同一断面形状を有する直方体形状をしており、上面はスリットとして開放され、下面は純水の通過口として開放されている」という記載事項を、「前記
スリット
有する
　そして、補正前の「前記ノズル部は、スリットと同一断面形状を有する直方体形状をしており」の点は、ノズル部が「直方体形状」をしていることを規定するに止まらず、該ノズル部が「スリットと同一断面形状を有する」ことをも規定したもの、いいかえれば、「スリット」も直方体形状であるノズル部と同じ「断面形状を有する」ことをも規定したものといえる。
　してみると、上記「前記
スリット
有する
　したがって、上記指摘した補正内容を含むところの本件補正は、補正前の特許を受けようとする発明を特定するために必要な事項を限定するものということができないから、特許法第１７条の２第３項第２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当しないし、また、同条同項の各号のいずれにも適合しない。
［３］むすび
　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第３項の規定に違反するものであり、特許法第１５９条第１項で読み替えて準用する特許法第５３条第１項の規定により却下されるべきものである。
　
【３】本願発明について
［１］本願発明
　平成１３年２月１４日付けの手続補正は上記のとおり却下されたので、本願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、平成１２年１０月２７日付け手続補正書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである。
（本願発明）
「純水供給用の給水口と上面中央に設けられたスリットとを除いて箱型に閉塞された箱体および箱体底部中央に前記スリットに対面するように設けられた超音波振動子からなる本体と、半導体製造用の基板をスリットに平行に対面しながらスリット上を通過するように搬送するローラ搬送手段と、スリットが本体上面より上方に位置するように、前記スリットを取り囲むとともに、上方に延ばされ、上方先端のスリットから純水を噴出するノズル部を具備し、ローラ搬送手段に基板を搬送させ、給水口から純水を供給してスリットから噴出させ、超音波振動子を駆動してスリットに超音波を供給し、純水と超音波とで基板を洗浄する超音波洗浄装置において、
　前記ノズル部は、スリットと同一断面形状を有する直方体形状をしており、上面はスリットとして開放され、下面は純水の通過口として開放されていることを特徴とする超音波洗浄装置。」
　
［２］引用文献
　原査定の拒絶の理由に引用文献１として示された特開平３−２２４６７０号公報（以下、「引用例」という。）には、次の事項が記載されている。
（１）「本発明は、・・・（中略）・・・特に高清浄度が要求される半導体ウェハ・・・（中略）・・・等の洗浄に適したバー型洗浄ノズル及び洗浄装置に係わる。」（公報第１頁右下欄第１７行〜第２頁左上欄第１行参照）
（２）「このバー型洗浄ノズルは、基本的には洗浄液を吐出する細長状で突起したノズル部を有するノズル本体と、このノズル部から前記本体の一部にかけて形成された洗浄液滞留室と、この滞留室の本体部分に前記ノズル部の噴射口と対向するように配設された矩形状の振動板と、前記滞留室と反対側の前記振動板の表面に接着された音波振動される矩形状の振動子と、この振動子を駆動するための発振器と、前記本体に連結され、前記滞留室に洗浄液を導入するための洗浄液導入管とを具備した構造になっている。」（同第２頁左上欄第１０行〜右上欄第１行参照）
（３）「前記洗浄液としては、例えば超純水、又は・・・（中略）・・・水溶液等を挙げることができる。」（同第２頁右下欄第５〜９行参照）
（４）「このノズル本体２は、上部ブロック２１、中間ブロック２２、下部ブロック２３から構成されている。」（同第３頁右下欄第１９行〜第４頁左上欄第１行参照）
（５）「前記上部ブロック２１には、長手方向に沿う側面から穿設された大円筒状穴３ａ、３ｂ、小円筒状穴４が形成されている。・・・（中略）・・・前記大円筒状穴３ａ、３ｂには、アスピレータ７ａ、７ｂがそれぞれ挿着されている。前記アスピレータ７ａ、７ｂの後端には、洗浄液（例えば超純水）を導入するための導入管８ａ、８ｂがジョイント９ａ、９ｂを介して連結されている。・・・（中略）・・・前記中間ブロック２２は、下部周縁に枠１２が形成された板状をなし、かつ中央付近に矩形状の開口部１３が形成されている。・・・（中略）・・・前記開口部１３周辺の前記中間ブロック２２の上面（上部ブロック２１側の面）には、例えば厚さ0.05ｍｍのタンタル薄板からなる矩形状の振動板１５がネジ１６を介して固定されている。・・・（中略）・・・前記下部ブロック２３の底面には、矩形状のノズル部１８が前記中間ブロック２２の矩形状の開口部１３と対向する突出しており、これらノズル部１８内及び開口部１３により洗浄液の滞留室１９が形成されている。・・・（中略）・・・このパッキン２０の介在により、下部ブロック２３と前記中間ブロック２２の間に３側部が該パッキン２０で区画され、他の側部が開口して前記滞留室１９と連通する帯状の層流室２１が形成される。また、同パッキン２０の介在により、前記滞留室１９を挟んで反対側の下部ブロック２３と前記中間ブロック２２の間に４側部が該パッキン２０で区画された帯状のエアー除去室２２が形される。　前記帯状の層流室２１は、前記アスピレータ７ａ、７ｂの中空部２３ａ、２３ｂ先端と、前記上部ブロック２１及び中間ブロック２２を上下貫通した穴２４ａ、２４ｂを通してそれぞれ連通されている。こうしたアスピレータ７ａ、７ｂの中空部２３ａ、２３ｂ、穴２４ａ、２４ｂ及び帯状の層流室２１により洗浄液の第１流路が形成される。また、前記エアー除去室２２の一端側は前記中間ブロックの矩形状開口部の内周面から該中間ブロック２２の下面にかけて貫通した複数の傾斜穴２５を通して前記滞留室１９に連通され、かつ他端側は前記中間ブロック２２及び上部ブロック２１を貫通する２つの穴２６ａ、２６ｂを通して前記アスピレータ７ａ、７ｂの中空部２３ａ、２３ｂ側面にそれぞれ連通されている。こうした複数の傾斜穴２５、エアー除去室２２及び２つの穴２６ａ、２６ｂによりエアー除去用の第２流路が形成される。」（同第４頁左上欄第２行〜右下欄第７行参照）
（６）「こうした状態で、図示しない超音波発振器よりケーブル１０を通して矩形状の振動子１７に例えば１．８ＭＨｚの高周波を与えると、・・・（中略）・・・振動板１５が良好に振動し、前記と略同様な高周波を発生する。これにより、該振動板１５と接触する滞留室１９内の超純水に振動が伝達され、該振動板１５と対向するノズル部１８の矩形状噴射口から鉛直下方向に線状の超純水が噴射される。」（同第４頁右下欄第１７行〜第５頁左上欄第６行参照）
（７）「このローダ機構３１の後段には、該ローダ機構３１にセットされたカセット３２内のウェハ３３は搬送機構３４に受け渡すための第１の移載機３５１が配設されている。前記搬送機構３４は、互いに平行して配置された一対のボールネジ３６ａ、３６ｂと、これらボールネジ３６ａ、３６ｂにより水平に移動され、前記ウェハ３３の両面を洗浄できるような厚さ、形状を持つチャック部３７とから構成されている。前記搬送機構３４の・・・（中略）・・・には前述した第１図〜第３図に示す構造のバー型洗浄ノズル３９ａ、３９ｂが上下に対向して配設されている。」（同第５頁左下欄第８行〜右下欄第１行参照）
（８）図面の記載内容のうち、特に、第１図及び第３図を見ると、バー型洗浄ノズル３９ａ、３９ｂの矩形状のノズル部１８の外形形状が、滞留室１９のノズル部１８内部分と同様の傾斜した両側面を有するテーパ形状（方尖碑（オベリスク）形状）をしており、その先端面は超純水の矩形状噴射口として開放されるとともに、該噴射口より内方側は超純水の導入部として上記したテーパ形状とした構成が示されている。
　上記記載事項（１）〜（８）並びに対応する図面に示された内容を総合すると、引用例には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されているといえる。
（引用発明）
「超純水導入用の洗浄液導入管８ａ，８ｂと連通するところの洗浄液の第１流路及びエアー除去用の第２流路のための開放部分と下部ブロック２３中央に設けられたノズル部１８先端の矩形状噴射口とを除いて閉塞された空間を形成する下部ブロック２３及び中間ブロック２２と、中間ブロック２２のノズル部１８内部分に対向する中央位置に固定された振動板に設けられた高周波振動子１７を備えたノズル本体２と、半導体ウェハ３３をノズル部１８先端の矩形状噴射口に平行に対面しながら該矩形状噴射口上を通過するように搬送する搬送機構３４と、前記矩形状噴射口がノズル本体２の下部ブロック２３上面より上方に位置するように、前記矩形状噴射口を取り囲むとともに、上方に延ばされ、その上方先端の矩形状噴射口から超純水を噴射するノズル部１８を具備し、搬送機構３４に半導体ウェハ３３を搬送させ、洗浄液導入管８ａ，８ｂから超純水を導入して前記矩形状噴射口から噴射させ、高周波振動子１７を駆動して前記矩形状噴射口から噴出する超純水に高周波振動を伝達し、超純水と高周波振動とで半導体ウェハ３３を洗浄する高周波振動を用いた洗浄装置において、
　前記ノズル部１８は、その外形形状が矩形状噴射口と同じ断面矩形状を有するとともに、滞留室１９のノズル部１８内部分と同様の傾斜した両側面を有するテーパ形状（方尖碑（オベリスク）形状）をしており、上面は超純水の矩形状噴射口として開放され、下面は超純水の導入部として開放されている高周波振動を用いた洗浄装置。」
　
［３］対比
　本願発明と引用発明とを対比すると、各文言の意味、機能または作用等からみて、引用発明における「超純水導入用の洗浄液導入管８ａ，８ｂと連通するところの洗浄液の第１流路」「のための開放部分」は本願発明の「純水供給用給水口」に、以下同様に、「閉塞された空間を形成する下部ブロック２３及び中間ブロック２２」は「閉塞された箱体」に、「下部ブロック２３中央に設けられたノズル部１８先端の矩形状噴射口」は「上面中央に設けられたスリット」に、「振動板」が固定された「中間ブロック２２」は「箱体底部」に、「中間ブロック２２のノズル部１８内部分に対向する中央位置に固定された振動板に設けられた高周波振動子１７」は「スリットに対面するように設けられた超音波振動子」に、「ノズル本体２」は「本体」に、「半導体ウェハ３３」は「半導体製造用の基板」に、「搬送機構３４」は「搬送手段」に、「噴射」は「噴出」に、「ノズル部１８」は「ノズル部」に、「矩形状噴射口から噴出する超純水に高周波振動を伝達し」は「スリットに超音波を供給し」に、「高周波振動を用いた洗浄装置」は「超音波洗浄装置」に、そして「導入部」は「通過口」に、それぞれ相当するといえるから、本願発明と引用発明とは、
「純水供給用の給水口と上面中央に設けられたスリットとを少なくとも除いて閉塞された箱体および箱体底部中央に前記スリットに対面するように設けられた超音波振動子を備える本体と、半導体製造用の基板をスリットに平行に対面しながらスリット上を通過するように搬送する搬送手段と、スリットが本体上面より上方に位置するように、前記スリットを取り囲むとともに、上方に延ばされ、上方先端のスリットから純水を噴出するノズル部を具備し、搬送手段に基板を搬送させ、給水口から純水を供給してスリットから噴出させ、超音波振動子を駆動してスリットに超音波を供給し、純水と超音波とで基板を洗浄する超音波洗浄装置において、
　前記ノズル部は、スリットと同様の断面形状をしており、上面はスリットとして開放され、下面は純水の通過口として開放されている超音波洗浄装置」である点で一致しており、下記の点で相違している。
［相違点］
（Ａ）基板を搬送する搬送装置に関して、本願発明においては、ローラ搬送手段を用いているのに対して、引用発明では、ローラ搬送手段とは異なる搬送機構を用いている点。
（Ｂ）ノズル部の立体形状に関して、本願発明においては、「スリットと同一断面形状を有する直方体形状」をしているのに対して、引用発明では、「その外形形状が矩形状噴射口と同じ断面矩形状を有するとともに、滞留室１９のノズル部１８内部分と同様の傾斜した両側面を有するテーパ形状（方尖碑（オベリスク）形状）をして」いる点。
（Ｃ）閉塞された空間に関して、本願発明においては、「純水供給用の給水口と上面中央に設けられたスリットとを除いて箱型に閉塞された」空間であるのに対して、引用発明では、「超純水導入用の洗浄液導入管８ａ，８ｂと連通するところの洗浄液の第１流路及びエアー除去用の第２流路のための開放部分と下部ブロック２３中央に設けられたノズル部１８先端の矩形状噴射口とを除いて閉塞された空間」である点。
　
［４］ 当審の判断
　そこで、上記の相違点について検討する。
（１）相違点（Ａ）について
　半導体製造用の基板の搬送装置としてローラ搬送手段を採用することは、本願明細書（例えば、段落【0002】〜【0003】参照）の従来技術において例示されるように、従来より周知の手段であるといえる。
  してみると、引用発明における搬送機構に代えて、従来より周知のローラ搬送手段を採用することは、当業者が容易に想到し得る設計上の変更であるといえる。
（２）相違点（Ｂ）について
　一般に、ノズルの立体形状を具体的にどのようにするかは、必要に応じて適宜選定し得るものということができるが、引用発明において「傾斜した両側面を有するテーパ形状（方尖碑（オベリスク）形状）」を採用したのは、噴出口へ向けて噴射流を効果的に作り出す作用を実現させるためと解される。
　ところで、本願発明において、ノズルの立体形状を、スリットと同一断面形状を有する直方体形状のものとした構成によって奏される効果は、本願明細書（例えば、段落【0011】参照）によれば「スリットを基板に近付けるの」が「容易」であるというものであり、該効果は、引用発明におけるノズル構造が奏するものと同じであって、格別なものとはいえない。（なお、本願明細書の段落【0005】に、本願発明の課題として「洗浄力の良好な」超音波洗浄装置を提供することが記載され、また、段落【0004】には、発明の解決しようとする課題として「従来の超音波洗浄装置においては」「上方に均一に噴き上げるのが難しく」と記載されていることから、本願発明におけるノズルの立体形状は「上方に均一に噴き上げる」ことを可能にしたものと解されるが、これは、本願明細書に添付された図面の図４及び５に示された従来技術におけるスリット部分の構成を見ると明らかなように、該従来技術がスリットを基板に近付けるためのノズル構造を備えていないことを前提としたものであるから、該「上方に均一に噴き上げる」ことを可能にした点においても、ノズル構造を備える点で共通するところの本願発明と引用発明とに作用・効果上の相違はないといえる。）
　そして、ノズルの立体形状を、スリットと同一断面形状を有する直方体形状とすることは、上記説示したように、引用発明の有する噴射口へ向けて噴射流を効果的に作り出すという作用を減ずるものと解さざるを得ない。
　してみると、ノズルの立体形状を本願発明のように構成することは、当業者が適宜採用し得る設計的事項であるといわざるを得ない。
（３）相違点（Ｃ）について
　ところで、引用発明において、閉塞された空間を「超純水導入用の洗浄液導入管８ａ，８ｂと連通するところの洗浄液の第１流路及びエアー除去用の第２流路のための開放部分と下部ブロック２３中央に設けられたノズル部１８先端の矩形状噴射口とを除いて閉塞された空間」としたこと、すなわち、「エアー除去用の第２流路のための開放部分」を加えたことは、専ら「エアー除去用の第２流路をノズル本体に形成することによって振動板の下にエアーが停滞するのを防止でき」るようにするためであり（引用例の公報第６頁左下欄３〜５行参照）、また、引用例には、このようなエアーの停滞は、「洗浄液を鉛直下方向に向けて噴射させる」際に、「水平に配置される振動板の下にエアーが停滞し易くなる」ことが併せて説示されている（引用例の公報第２頁右上欄３〜５行参照）。
　してみると、本願発明のように、洗浄液を上方向に向けて噴射させる際に、いいかえれば、洗浄液を鉛直下方向に向けて噴射させない際には、エアー除去用の第２流路を設けないように選択することは、当業者が適宜選択し得る設計的事項であるといえる。
　以上検討したことから、本願発明は、引用例及び従来より周知の技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものといえる。
　
［５］むすび
　したがって、本願発明は、当業者が引用例及び周知技術に基いて容易に発明をすることができたものと認められるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。