(57)【要約】【課題】成形金型の構造の複雑化を抑制防止し、磨耗粉の発生に伴う基板や基板処理用のクリーン環境の汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供する。【解決手段】複数枚の基板を整列収納する容器本体と、容器本体の開口正面を開閉する蓋体と、容器本体と蓋体の設置部１０にそれぞれ嵌着され、蓋体で閉塞された容器本体の内圧を調整する内圧調整機構３０とを備える。そして、内圧調整機構３０を、略円筒形に形成される弾性の取付筒３１と、取付筒３１の軸方向に嵌入される中空のフィルタ保持具３３と、フィルタ保持具３３内に保持される複数のフィルタ３６とから構成する。容器本体に取付孔１１を設け、取付孔１１に構成の簡素な取付筒３１を変形させて着脱するだけで良いので、複雑な螺子孔を設ける必要がない。【選択図】　図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の設置部に取り付けられ、蓋体で閉じられた容器本体の内圧を調整する内圧調整機構とを含んでなる基板収納容器であって、
内圧調整機構を、略筒形に形成される弾性の取付筒と、この取付筒の軸方向に嵌め入れられる中空のフィルタ保持具と、このフィルタ保持具内に保持されるフィルタとから構成したことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の設置部に、取付筒用の取付孔を設け、この取付孔の近傍に、内圧調整機構用のガイドリブを形成した請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
取付筒の外周面から取付孔の周縁部に引っかかるフランジを突出させ、フィルタ保持具を相互に対向接触する一対の保持具に分割して各保持具を略筒形に形成し、各保持具の対向接触部をその幅方向外側に広げてフィルタ挟持部とした請求項２記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやフォトマスクガラス等の基板を収納する基板収納容器に関し、より詳しくは、基板収納容器の内外の気圧差を調整するフィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の基板収納容器は、図示しないが、半導体ウェーハからなる複数枚の基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体とを備えている。この種の基板収納容器は、基板の汚染を招かないよう高い密封性が求められるが、航空機輸送やベイ内での高速輸送等により内外間に圧力差が生じ、この圧力差により、容器本体に蓋体が密着して蓋体の開閉が困難になるという問題がある。
そこで、このような問題を解消するため、従来においては、図示しない複数枚の基板を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、この蓋体で閉塞された容器本体用の内圧調整機構とを備えたフィルタ付き基板収納容器が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１‐２３３６０７号公報（図１）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来のフィルタ付き基板収納容器は、以上のように構成され、容器本体に螺子孔を設け、この螺子孔に樹脂製の内圧調整機構を螺嵌するので、容器本体を成形する金型の構造が複雑化するという問題がある。すなわち、容器本体を金型で成形する場合には、離型時の回転機構がどうしても必要になるので、金型の構造が複雑化することとなる。
また、これ以外にも容器本体に係止爪を設け、この係止爪に内圧調整機構を保持させる技術が提案されているが、この場合にも、離型時のアンダーカット部回避用のスライド機構が必要になるので、金型の構造が複雑化する。
さらに、いずれの方法においても、容器本体に内圧調整機構を嵌合保持させるので、搬送時に容器本体と内圧調整機構との間に摩擦が生じて磨耗粉が発生し、基板や基板処理用のクリーン環境が汚染するおそれがある。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、成形金型の構造の複雑化を抑制防止し、磨耗粉の発生に伴う基板や基板処理用のクリーン環境の汚染を防ぐことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明においては、上記課題を達成するため、基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の設置部に取り付けられ、蓋体で閉じられた容器本体の内圧を調整する内圧調整機構とを含んでなるものであって、
内圧調整機構を、略筒形に形成される弾性の取付筒と、この取付筒の軸方向に嵌め入れられる中空のフィルタ保持具と、このフィルタ保持具内に保持されるフィルタとから構成したことを特徴としている。
【０００７】
なお、容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の設置部に、取付筒用の取付孔を設け、この取付孔の近傍に、内圧調整機構用のガイドリブを形成することが好ましい。
また、取付筒の外周面から取付孔の周縁部に引っかかるフランジを突出させ、フィルタ保持具を相互に対向接触する一対の保持具に分割して各保持具を略筒形に形成し、各保持具の対向接触部をその幅方向外側に広げてフィルタ挟持部とすると良い。
【０００８】
ここで特許請求の範囲における基板には、少なくとも単数複数枚の半導体ウェーハやフォトマスクガラス等が含まれる。容器本体の開口部は、正面でも良いし、上面でも良い。また、蓋体には、施錠用のラッチ機構を内蔵しても良いし、そうでなくても良い。内圧調整機構は、容器本体に取り付けても良いし、蓋体に取り付けても良く、これら容器本体と蓋体にそれぞれ取り付けることも可能である。この内圧調整機構における取付筒のフランジやフィルタは、単数複数いずれでも良い。フィルタ保持具は、可撓性や弾性を有していても、そうでなくても良い。さらに、ガイドリブは、各種の筒形、半円弧形、Ｃ字形、Ｕ字形等とすることができる。このガイドリブは、取付孔周縁の全部又は一部に設けることができる。
【０００９】
本発明によれば、フィルタ保持具にフィルタを保持させ、このフィルタ保持具を取付筒に嵌め入れ、容器本体及び又は蓋体の設置部における取付孔に取付筒を取り付ければ、容器本体及び又は蓋体に内圧調整機構を取り付けることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図５に示すように、例えば複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口を開閉する蓋体２０と、これら容器本体１と蓋体２０の設置部１０にそれぞれ嵌着され、蓋体２０で閉塞された容器本体１の内圧を調整する内圧調整機構３０とを備え、この内圧調整機構３０を、弾性の取付筒３１と、この取付筒３１に嵌入保護されるフィルタ保持具３３と、このフィルタ保持具３３内に保持される複数のフィルタ３６とから構成するようにしている。
【００１１】
複数枚の基板Ｗとしては、例えば複数枚の半導体ウェーハがあげられる。より詳しくは、３００ｍｍの（例えば、２５枚や２６枚等）のシリコンウェーハ等が使用される。
【００１２】
容器本体１は、図１に示すように、例えば透明のポリカーボネート等を使用して正面の開口したフロントオープンボックスタイプに形成され、相対向する内部両側に、断面略Ｖ字形あるいはＵ字形の整列溝２を並べ備えた棚体３がそれぞれ配設されており、この一対の棚体３が上下方向に並んだ複数枚の基板Ｗを所定の一定ピッチで水平に支持する。この容器本体１は、その底部に、基板収納容器の種類を検知して区別するための貫通孔を有する平面略Ｙ字形のボトムプレート４が装着され、このボトムプレート４の前部両側と後部とに、断面略Ｖ字形を呈した加工装置用の位置決め部材５が形成される。
【００１３】
容器本体１の天井にはハンドル６が着脱自在に装着され、このハンドル６がＯＨＴ（オーバーヘッドホイストトランスファー）と呼ばれる自動搬送機構に保持されることにより、基板収納容器が工程内を搬送される。また、容器本体１の開口正面は蓋体嵌合用のリム部７が幅広に一体形成され、このリム部７の両側には、蓋体用の係止溝を備えた係止部８がそれぞれ一体的に突出形成されており、容器本体１の外部両側には、手動搬送用の把持ハンドル９がそれぞれ着脱自在に装着される。また、容器本体１の下側部は図１に示すように設置部１０とされ、この設置部１０に取付孔１１が貫通して穿孔される。
【００１４】
なお、容器本体１を構成する一対の棚体３、ボトムプレート４、ハンドル６、一対の把持ハンドル９は、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、環状オレフィン樹脂からなる熱可塑性樹脂等を使用して成形される。また、把持ハンドル９は、Ｕ字形でも良いし、Ｌ字形等でも良い。
【００１５】
蓋体２０は、その四隅部が丸く湾曲した横長の略矩形に形成され、内面に容器本体１のリム部７と嵌合する段差部２１が突出形成されるとともに、この段差部２１には複数の基板Ｗを保持する収納溝付きの弾性リテーナ２２が装着されており、両側部には、容器本体１の係止部８に係合する一対の係止片２３がそれぞれ揺動可能に支持される。この蓋体２０の段差部２１にはエンドレスのシール部材２４が嵌合され、このシール部材２４が蓋体２０の閉塞時の密封性を確保する。また、蓋体２０の下側部は図２に示すように設置部１０とされ、この設置部１０に取付孔１１が貫通して穿孔されており、この取付孔１１の近傍には図３に示すように、内圧調整機構３０用のガイドリブ１２が略半円弧形に突出形成される。
【００１６】
内圧調整機構３０は、図３ないし図５に示すように、設置部１０の取付孔１１に着脱自在に嵌入される弾性の取付筒３１と、この取付筒３１の軸方向に着脱自在に密嵌されて一部露出する中空のフィルタ保持具３３と、このフィルタ保持具３３内に保持される複数のフィルタ３６とから構成され、基板収納容器の内外間の圧力差により、容器本体１に蓋体２０が密着して蓋体２０の開閉が困難になるのを抑制防止する。取付筒３１は、例えばシリコーンゴム等を用いて形成され、図４下方の開口一端面が大きく、開口他端面が小さい略円筒形に形成されており、外周面には取付孔１１の周縁部に嵌合係止する複数のフランジ３２が軸方向に並べて一体形成される。
【００１７】
フィルタ保持具３３は、断面略Т字形あるいは漏斗形に形成されて相互に対向接着、又は対向溶着等される一対の保持具３４・３４Ａを備え、基板収納容器の内外を連通するよう機能する。各保持具３４・３４Ａは、図４に示すように、基本的には細長い略円筒形に形成され、対向接触部がその半径外方向に拡大されて凹部付きのフィルタ挟持部３５とされており、このフィルタ挟持部３５の凹部が複数のフィルタ３６を密封挟持する。
【００１８】
なお、取付筒３１とフィルタ保持具３３の材料としては、例えばポリプロピレン、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂、ハウジング用のポリエステル系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、ポリスチレン系エラストマー等の熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭゴム、ブチルゴム、ニトリルゴム、シリコーンゴム、ウレタンゴム等があげられる。
【００１９】
複数のフィルタ３６は、図４や図５に示すように、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、多孔質テフロン（登録商標）膜、ガラス繊維等からなる分子濾過フィルタ、あるいは活性炭素繊維等の濾材に化学吸収剤を担持させたケミカルフィルタからなる。この複数のフィルタ３６は、一対の保持具３４・３４Ａにおけるフィルタ挟持部３５の凹部間に複数の保護部材３７で挟持された積層状態で保持される。各保護部材３７は、フィルタ３６と同様に薄い円板形に形成され、多数の流通孔が形成される。
【００２０】
なお、複数のフィルタ３６は、同様の性能のタイプでも良いが、異なる性能のタイプからなるのが好ましい。例えば、分子濾過フィルタとケミカルフィルタを組み合わせれば、基板Ｗのパーティクル汚染のみならず、有機ガスの汚染を防止することができる。
【００２１】
上記構成において、一対の保持具３４・３４Ａのフィルタ挟持部３５間に複数のフィルタ３６を保護部材３７を介し積層挟持させてフィルタ保持具３３を形成し、このフィルタ保持具３３を取付筒３１の開口一端面側から開口他端面方向に密嵌して保持具３４Ａの一部を貫通突出させるとともに、各設置部１０の取付孔１１に取付筒３１を弾性変形させて密嵌し、その後、取付孔１１の表裏周縁部に取付筒３１の外周面から張り出したフランジ３２をそれぞれ係止させれば、容器本体１と蓋体２０とに内圧調整機構３０を簡単に取り付けることができる。
【００２２】
上記構成によれば、容器本体１に取付孔１１を設け、この取付孔１１に構成の簡素な取付筒３１を弾性変形させて着脱するだけで良いので、複雑な螺子孔を設ける必要が全くなく、容器本体１を成形する金型の構造が複雑化することがない。この他、洗浄時に容器本体１から内圧調整機構３０を変形させて簡単に取り外したり、洗浄後に再度取り付けることもできる。また、容器本体１に係止爪を設ける必要も全くないので、離型時のアンダーカット部回避用のスライド機構が不要になり、金型構造の複雑化を抑制防止することができる。また、硬度や剛性の高い樹脂同士を噛合する必要もなく、搬送時に容器本体１と内圧調整機構３０との間に摩擦が生じて樹脂粉が発生することがないので、基板Ｗや基板処理用のクリーン環境が汚染するおそれを有効に解消することが可能になる。
【００２３】
また、取付筒３１が可撓性を有する弾性材料からなり、取付孔１１との間にシールを形成するので、Оリング等の別のシール部材を新たに取り付ける必要が全くない。したがって、部品点数の削減と組立作業の作業性を大幅に向上させることができる。さらに、取付孔１１の周囲にガイドリブ１２を沿わせて突出形成するので、内圧調整機構３０に他の基板収納容器を衝突させたり、損傷させることがなく、しかも、位置ずれの抑制も大いに期待できる。さらにまた、フィルタ保持具３３の周囲が取付筒３１に被覆保護されるので、シール性を著しく向上させることが可能となり、空気漏れを有効に抑制防止することができる。
【００２４】
次に、図６や図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、取付筒３１の開口他端面を拡大形成してフィルタ保持具３３の挿入を容易化し、取付筒３１の内周面中央付近から半径内方向に区画支持片３９を突出させ、この区画支持片３９にフィルタ保持具３３の保持具３４を支持させるようにしている。取付筒３１の開口他端面における周縁部には、嵌入したフィルタ保持具３３の脱落を規制する断面略半円形の係止リブ３８が所定の間隔で半径内方向に突設される。また、区画支持片３９は、リング形に形成され、その中心の貫通孔の周囲には図７の下方向に伸びる円筒形のリム部４０が一体形成されており、このリム部４０がフィルタ保持具３３の保持具３４に貫通される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
【００２５】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、区画支持片３９のリム部４０にフィルタ保持具３３の保持具３４を挿入すれば、フィルタ保持具３３を多少傾けて取り付けても、容易に位置を補正することができ、利便性を大幅に高めることができるのは明らかである。さらに、フィルタ３６の周囲が取付筒３１の区画支持片３９に保護されるので、空気漏れが実に少なく、基板収納容器の汚染防止を図ることができる。
【００２６】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、成形金型の構造の複雑化を抑制あるいは防止し、磨耗粉の発生に伴う基板や基板処理用のクリーン環境の汚染等を有効に防ぐことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す斜視説明図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態における蓋体を示す模式正面図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態を示す要部斜視図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における内圧調整機構を示す要部断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるフィルタ等を示す斜視説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における内圧調整機構を示す分解説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における内圧調整機構を示す要部断面説明図である。
【符号の説明】
１　　　　　容器本体
１０　　　　設置部
１１　　　　取付孔
１２　　　　ガイドリブ
２０　　　　蓋体
３０　　　　内圧調整機構
３１　　　　取付筒
３２　　　　フランジ
３３　　　　フィルタ保持具
３４　　　　保持具
３４Ａ　　　保持具
３５　　　　フィルタ挟持部
３６　　　　フィルタ
３８　　　　係止リブ
３９　　　　区画支持片
４０　　　　リム部
Ｗ　　　　　基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2004103937.tif 000008
【図７】
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