【手続補正書】
【提出日】平成24年6月5日(2012.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルプレートを有する筐体を備えているリニアドライブアセンブリであって、該筐体は、
該テーブルプレートより上にある第１の面において半導体ウエハを保持する第１のエンドエフェクタと、
該第１の面より上にある第２の面において半導体ウエハを保持する第２のエンドエフェクタと
を有しており、該第１および第２のエンドエフェクタは、共通の直線状の軸に沿って独立に動くように構成され、該第１および第２のエンドエフェクタのうちのそれぞれ１つのエンドエフェクタが、
（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと
によって規定され、
該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、リニアドライブアセンブリ。
【請求項２】
前記テーブルプレートに接続された回転ドライブをさらに備え、該回転ドライブは、前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタが、０度〜１８０度の間で回転することを可能にする、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項３】
前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタのそれぞれをさらに備え、該第１のエンドエフェクタおよび該第２のエンドエフェクタのそれぞれは、
前記中間ステージと前記テーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、
該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリと
を含み、
該第１のベアリングレールアセンブリおよび該第２のベアリングレールアセンブリは、前記共通の直線状の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進する、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項４】
前記第１のプーリおよび前記第２のプーリならびに前記ベルトは、前記中間ステージの動きに対する前記エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項５】
前記増幅の度合いは２倍であり、その結果、前記中間ステージの動きの単位に対して、２つの動きの単位が前記エンドエフェクタステージに課せられる、請求項４に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項６】
垂直ドライブをさらに備え、該垂直ドライブは、前記第１のエンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタをインデックス付けされた位置まで垂直方向に動かすように前記筐体内に拡張する部材を含む、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項７】
機器コントローラをさらに備え、該機器コントローラは、前記第１のエンドエフェクタ、前記第２のエンドエフェクタ、回転ドライブおよび垂直ドライブの動きを制御し、該動きは、回転運動、垂直の動きおよび直線状の水平方向の動きを含む、請求項１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項８】
テーブルプレートより上にある面で半導体ウエハを保持し、共通の直線状の軸に沿って動くように構成されたエンドエフェクタを備えるリニアドライブアセンブリであって、該エンドエフェクタは、
（ａ）該共通の直線状の軸に沿って駆動されるように構成された中間ステージと、
（ｂ）該中間ステージより上に位置するエンドエフェクタステージと、
（ｃ）該中間ステージに接続された第１のプーリおよび第２のプーリであって、該第１のプーリおよび該第２のプーリは、該中間ステージが駆動されるときに該中間ステージと共に動くようにされている、第１のプーリおよび第２のプーリと、
（ｄ）該第１のプーリおよび該第２のプーリの周りに接続されたベルトであって、該ベルトに対する第１の接続が該エンドエフェクタステージに結合され、該ベルトに対する第２の接続は、該テーブルプレートに対して固定された取り付け台に結合され、該ベルトの第１の接続および第２の接続が、該第１のプーリと該第２のプーリとの間で行われる、ベルトと
によって規定され、
該共通の直線状の軸に沿った該中間ステージの動きは、該エンドエフェクタステージを該共通の直線状の軸に沿って動かし、該第１のプーリおよび該第２のプーリならびに該ベルトは、該エンドエフェクタステージに、該中間ステージの動きに対する該エンドエフェクタステージの動きを増幅させる、リニアドライブアセンブリ。
【請求項９】
前記テーブルプレートに接続された回転ドライブをさらに備え、該回転ドライブは、前記エンドエフェクタが、０度〜１８０度の間で回転することを可能にする、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１０】
前記エンドエフェクタをさらに備え、該エンドエフェクタは、
前記中間ステージと前記テーブルプレートとの間の第１のベアリングレールアセンブリと、
該中間ステージと前記エンドエフェクタステージとの間の第２のベアリングレールアセンブリと
を含み、
該第１のベアリングレールアセンブリおよび該第２のベアリングレールアセンブリは、前記共通の直線状の軸に沿った該中間ステージおよび該エンドエフェクタステージのそれぞれの動きを促進する、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１１】
前記第１のプーリおよび前記第２のプーリならびに前記ベルトは、前記中間ステージの動きに対する前記エンドエフェクタステージの動きの増幅の度合いを規定するように寸法設定される、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１２】
前記増幅の度合いは２倍であり、その結果、前記中間ステージの動きの単位に対して、２つの動きの単位が前記エンドエフェクタステージに課せられる、請求項１１に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１３】
垂直ドライブをさらに備え、該垂直ドライブは、前記エンドエフェクタをインデックス付けされた位置まで垂直方向に動かす部材を含む、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１４】
機器コントローラをさらに備え、該機器コントローラは、前記エンドエフェクタ、回転ドライブおよび垂直ドライブの動きを制御し、該動きは、回転運動、垂直の動きおよび直線状の水平方向の動きを含む、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１５】
前記テーブルプレートに接続され、前記エンドエフェクタよりも垂直方向上に規定された第２のエンドエフェクタをさらに備え、該第２のエンドエフェクタは、前記共通の直線状の軸に沿って動くように構成されている、請求項８に記載のリニアドライブアセンブリ。
【請求項１６】
前記エンドエフェクタおよび前記第２のエンドエフェクタのそれぞれが、前記共通の直線状の軸に沿って互いに対向する方向に動く、請求項１５に記載のリニアドライブアセンブリ。