【手続補正書】
【提出日】平成26年6月20日(2014.6.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングシステム用の磁石構成体（８００、９００、１０００）であって、スパッタリングシステムの回転式ターゲット（１２６ａ、１２６ｂ）に適合され、
第１の軸（Ｘ）に沿って延びる第１の磁石要素（８１０、９１０、１０１０）と、
前記第１の磁石要素の周りで第１の平面（Ａ）に対して対称に配置された第２の磁石要素（８２０、９２０、１０２０）とを備え、
前記第２の磁石要素が、前記第１の平面と交差する少なくとも１つの磁石区域（８２６、８２７、９２６、９２７、１０２８）を含み、
前記少なくとも１つの磁石区域の磁気軸（８２２、９２２、１０２２）が、前記第１の軸（Ｘ）と直交する第２の平面（Ｂ）に対して傾斜している、
磁石構成体。
【請求項２】
前記磁石区域の前記磁気軸（８２２、９２２、１０２２）が、前記第２の平面に対して約４５度よりも大きい、特に６０度よりも大きい、例えば８０度よりも大きい傾き角を有する、請求項１に記載の磁石構成体。
【請求項３】
前記磁石区域の磁気軸（８２２、９２２、１０２２）が、前記第１の磁石要素（８１０、９１０、１０１０）から離れる方に傾斜している、請求項１または２に記載の磁石構成体。
【請求項４】
前記第１の軸（Ｘ）が前記第１の平面（Ａ）内にある、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項５】
前記磁石区域の前記磁気軸（８２２、９２２、１０２２）が、前記第１の磁石要素（８１０、９１０、１０１０）と実質的に平行に配された第２の磁石要素の第１の磁石部分（８２４、８２５、９２４、９２５、１０２４、１０２５）の磁気軸に対して、約４５度よりも大きい、特に６０度よりも大きい、例えば８０度よりも大きい傾き角を有する、請求項１ないし４のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項６】
前記磁石区域が前記第１の平面（Ａ）の両側に対称的に延びる、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項７】
前記磁石区域の形状が、実質的にＵ形、半円、円弧、および棒からなる群から選択される、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項８】
前記磁石区域が、前記第１の軸（Ｘ）と直交すると共に前記第１の磁石要素の磁気軸（８１２）と直交する方向で、前記第２の磁石要素（８２０、９２０、１０２０）の延長部の少なくとも３０パーセント、特に少なくとも５０パーセントと一致する、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項９】
前記第１の磁石要素が、前記第１の軸の方向に第１の端部と、前記第１の端部の反対側に第２の端部とを有し、前記少なくとも１つの磁石区域が、前記第１の磁石要素の前記第１の端部および／または前記第２の端部で、前記第１の軸（Ｘ）と平行に延びる前記第２の磁石要素（８２０、９２０、１０２０）の第１の磁石部分（８２４、８２５、９２４、９２５、１０２４、１０２５）を接続する、請求項１ないし８のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項１０】
前記第１の磁石要素が、前記第１の軸の方向に第１の端部と、前記第１の端部の反対側に第２の端部とを有し、前記第２の磁石要素が、前記第１の軸と平行に延びる前記第１の磁石部分（８２４、８２５、９２４、９２５、１０２４、１０２５）と、前記第１の端部および／または前記第２の端部で前記第１の磁石部分を接続する第２の磁石部分（８２６、８２７、９２６、９２７、１０２６、１０２７）とを含み、前記第２の磁石部分が前記磁石区域を含む、請求項１ないし９のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項１１】
前記第２の磁石要素が２つの磁石区域を含む、請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の磁石構成体。
【請求項１２】
スパッタリングシステムの回転式ターゲット用のターゲットバッキングチューブ（１２２ａ、１２２ｂ）であって、
長手方向軸を有し、かつ請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の磁石構成体（８００、９００、１０００）を収容し、第１の軸（Ｘ）が前記ターゲットバッキングチューブの前記長手方向軸と平行である、ターゲットバッキングチューブ。
【請求項１３】
請求項１２に記載のターゲットバッキングチューブと、
前記ターゲットバッキングチューブの周りに配置された少なくとも１つのターゲット円筒体（１２６ａ、１２６ｂ）と
を備える、円筒形ターゲットアセンブリ。
【請求項１４】
スパッタリングシステム用の円筒形回転式ターゲット（１２６ａ、１２６ｂ）であって、
長手方向軸を有し、かつ請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の磁石構成体を収容し、第１の軸が前記円筒形回転式ターゲットの前記長手方向軸と平行である、円筒形回転式ターゲット。
【請求項１５】
真空チャンバ（１１０）と、請求項１４に記載の少なくとも１つの円筒形回転式ターゲットとを備え、前記円筒形回転式ターゲットが前記真空チャンバ内に配置される、
スパッタリングシステム（１００）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
平衡磁石要素の場合、プラズマが最高密度を有するところの基準曲線は、図４に示されるコーティングされるべき基板４６０と向き合うターゲット要素４８０の表面と実質的に直交する直線４４４ａ、４４４ｂと一致する。平衡円筒形ターゲットの場合、基準曲線４４４ａ、４４４ｂは直線であり、互いに傾いており（図を簡単にするために図示せず）、各基準曲線４４４ａ、４４４ｂが、プラズマの一部分がターゲット要素に最も近いところであるターゲット要素の表面のそれぞれの接線と実質的に直交する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
図７は、円筒形ターゲットアセンブリの従来の磁石構成体７００の第１の平面Ａおよび第１の軸Ｘに沿った断面を示す。図８および図９はそれぞれ、図４の方向４４６と一致する、図７の磁石構成体の上からの図を示し、磁石構成体７００までが第１の距離Ｉのプラズマの位置（図８）と、磁石構成体７００までが第２の距離ＩＩのプラズマの位置（図９）とを表示しており、第２の距離ＩＩは第１の距離Ｉよりも大きい。同じ特徴は、図４と同じ参照番号が３００だけ増されたもので表示されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
第１の磁石要素８１０は、図７、８および９に示された磁石構成体と同様に配される。第２の磁石要素８２０は複数の部分、つまり第１の磁石要素８１０と実質的に平行に配された第１の磁石部分８２４、８２５と、それぞれ、磁石構成体の第１の軸Ｘの方向の端部８０４、８０６にある第２の磁石部分８２６、８２７とを有する。第１の軸Ｘは通常、第１の磁石要素の長手方向軸と一致する。第２の磁石要素８２０の第２の磁石部分８２６、８２７は、第２の磁石要素８２０の第１の磁石部分８２４と８２５を接続している。さらに、第１の磁石部分８２４、８２５は、第１の平面Ａに対して対称に配される。第２の磁石部分８２６、８２７は、第１の平面および第１の軸Ｘの上に配置される。図１０で分かるように、第２の磁石部分８２６、８２７は磁気軸８２２を有し、これは、第１の軸Ｘと直交する、および／または第１の磁石要素に対して直交する第２の面Ｂに対して９０°の角度で外側に傾斜している。さらに、磁気軸８２２は、第２の磁石要素８２０の第１の磁石部分８２４、８２５の磁気軸に対して外側に９０°だけ傾斜している。他の諸実施形態では、第１の軸Ｘ上にある第２の磁石要素８２０の第２の磁石部分８２６、８２７の磁気軸８２２の傾斜角は、第１の軸と直交する、および／または第１の磁石要素と平行に延びる第２の磁石要素８２０の第１の磁石部分８２４、８２５の磁気軸と直交する、第２の平面Ｂに対して４５度よりも大きく、特に６０度よりも大きく、例えば９０度よりも大きいことがある。いずれの場合でも、第１の軸Ｘと直交する、および／または第１の磁石部分８２４、８２５における第２の磁石要素の磁気軸と直交する、第２の平面Ｂに対する角度は、磁石構成体の第１の端部８０４および第２の端部８０６で平衡磁石構成体が第１の軸Ｘの方向に得られるように選択される。他の諸実施形態では、完全ではない第２の磁石部分は、第２の磁石部分８２６、８２７に含まれる第２の磁石要素８２０の区域を除いて、第１の軸と直交する第２の平面Ｂに対して傾斜した磁気軸を有する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
諸実施形態では、プラズマ折返し位置に傾斜した磁石があるスパッタマグネトロン用の磁石構成体を開示する。その利点は、プラズマが、同じレーストラック曲がり位置を異なるターゲット厚さで有することである。これは、回転マグネトロンにも平面マグネトロンにも当てはまる。さらなる利点は、プラズマが、端部磁石と対称平面内の一区域の内部磁石との間ではなく、端部磁石の最上部に位置することである。このことにより、同じ長さの磁石アセンブリで、第２の磁石部分８２６、８２７の傾斜した端部磁石、または第１の軸上の第２の磁石要素の一区域の場合に、プラズマがより大きいターゲット表面をカバーするという利点がもたらされる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
図１２では、第２の磁石要素９２０の折返し部分すなわち第２の磁石部分９２６、９２７は、磁石構成体の上から見て、つまり第１の平面内の第１の軸と直交する方向に見て半円または半楕円の形状を有する。第２の磁石要素９２０の第２の磁石部分９２６、９２７の磁気軸は、図１０および図１１に示された、先の実施形態と同様に傾斜している。他の諸実施形態では、第２の磁石部分９２６、９２７それぞれだけが、特に第１の軸Ｘおよび／または第１の平面Ａの上にある一区域を含み、この区域は、第１の軸と直交する、および／または第２の磁石要素９２０の第１の磁石部分９２４、９２５の磁気軸と直交する平面に対して傾斜している磁気軸を有する。