【誤訳訂正書】
【提出日】平成24年4月9日(2012.4.9)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
可変光収差器は、好ましくは、測定波面の形状への個々の調節の効果を予測するために、現場でモデル化され測定される。測定波面の形状に対する可変光収差器の予測される効果は、主に近ゼロ化のために、例えば、被検査物の対象となる非球面特性にほぼ一致させること等に用いられる。そして、可変光収差器の予測される効果と可変光収差器の実効果との間に残存するいずれの差分もスティッチング（ｓｔｉｔｃｈｉｎｇ）操作によって解消される。例えば、可変光収差器のモデル内の変数及びサブ開口測定内の定誤差測定の代表値に関連する補正項は、被検査物の重なり合った測定から導出しうる。被検査物を測定するために必要とされるサブ開口測定数は可変光収差器によって減少する一方、サブ開口の寸法は、好ましくは、可変光収差器又は計測システム内のその他の特定発生源に起因する定誤差を解消するために複数のサブ開口測定間の十分な重ね合わせ領域が利用可能であるように、限定される。これにより、非球面波面の形状に伴う不確実性を減少させつつ、非球面被検査物の広い範囲にわたって、高精度の波面測定を行うことができる。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１０】
可変光収差器の使用に伴う定誤差を解消するために、好ましくは、複数のサブ開口測定の間、可変光収差器の設定を維持する。これにより、可変光収差器の所定の設定での該サブ開口測定のサブセットをそれぞれ、一連の定誤差と関連づけることができる。被検査物の測定における誤差の影響を減少させるため、こうした定誤差を特徴として、特殊な型のスティッチング用補正項を、定義することができる。通常、補正項は、それぞれのサブ開口測定について異なる数値を自由に仮定できる自由補正項と呼ばれる類のもの、又は、全てのサブ開口測定のために１つの数値を仮定するように拘束される連動型補正項と呼ばれる類のものである。可変光収差器のいくつかの個別設定に関連づけることができる特別な補正項は、可変光収差器の所定の設定に関連するサブ開口のサブセットのそれぞれの内では実質的に同じ数値となると仮定するように拘束されるが、可変光収差器の別の設定に関連するサブ開口の異なるサブセット間では別の数値となることを自由に仮定できる。こうした補正項は、これ以降、部分連動型補正項と呼称する。可変光収差器の他の定誤差は、連動型補正項又は自由補正項によって表されうる。同様に、計測システム全体における他の定誤差は、自由補正項、部分連動型補正項、又は、連動型補正項の様々な組み合わせによって表されうる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
また、波面測定ゲージは限られた範囲の波面形状を測定するための波面センサであってもよい。波面生成器は、波面センサによって測定可能な波面形状の限られた範囲内にある形状の測定波面を生成する。測定波面は伝播し、被検査物の物理的特性に応じて測定波面の形状を変化させるために被検査物と接触する。被検査物との接触によって得られる測定波面の形状の変化と可変光収差器による測定波面の再形成との複合効果により、波面センサによって測定可能な波面形状の限られた範囲内に測定波面の形状が維持されるように、可変光収差器は測定波面の形状を変化させる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
本発明を実施するもう１つの方法は、被検査物の部分的に重なり合っている複数の測定を物理的被検査物の複合測定に統合する工程を含む。被検査物の物理的特性を測定する部分的に重なり合っている複数のデータマップが、被検査物に接触する検査波面から獲得される。それぞれのデータマップは、あるデータに対して参照された検査波面の形状から抽出される。検査波面の形状とデータとの間の差を減少させるため、検査波面の形状は、限られた数のデータマップの収集の間に、被検査物とは無関係に、前記データに対して相対的に変化される。データマップの重なり合っている領域は、データマップの収集の間の波面形状の相対的変化を特徴解析するために評価される。データマップは、部分的に重なり合っているデータマップを複合データマップに統合するための測定間での波面形状の相対的変化の特徴解析に合わせて修正される。複合データマップは、被検査物の外在化表現として、表示されるか、もしくは出力されてもよい。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１７】
好ましくは、被検査物と検査波面との接触によって得られる検査波面の形状の変化は予測され、検査波面形状の予測される変化の少なくとも一部分は、検査波面の形状とデータとの間の差を減少させるために是正される。加えて、データに対する検査波面の相対的な形状の変化もまた予測され、データに対する検査波面の相対的形状の予測される変化は、データマップの定誤差を特徴解析するためのデータに対する検査波面の相対的形状の実変化とは、区別される。データに対する検査波面の形状の相対的変化に関連するデータマップの定誤差の影響を抑制しつつ、部分的に重なり合っているデータマップが複合データマップに統合される。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
本発明を実施する関連する方法は、物理的被検査物の複合測定を被検査物の複数のサブ開口測定から統合することを含む。測定波面が生成され、該測定波面は、可変光収差器と、波面形状の限られた捕捉範囲を有する波面測定ゲージに至る途中の物理的被検査物との両方に接触するように伝播する。波面伝播器の軸は、波面伝播器と被検査物との間の一連の軸外位置を通過する物理的被検査物の軸に対して段差づけられる（ｓｔｅｐｐｅｄ）。波面伝播器は、測定波面を被検査物に運ぶように調節される。波面測定ゲージの捕捉範囲内に測定波面の形状を維持するために、可変光収差器は、限られた数の軸外位置の間で調節される。被検査物の部分的に重なり合っているサブ開口測定は、一連の軸外位置で波面測定ゲージによって収集される。サブ開口測定の重なり合っている部分の範囲内での不一致測定が評価されて、サブ開口測定での可変光収差器の効果が特徴解析される。サブ開口測定における可変光収差器の特徴解析された効果を差し引きつつ、被検査物の複数のサブ開口測定が一つの複合測定にスティッチされる。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
サブ開口測定に関する可変光収差器の効果はモデル化され、サブ開口測定の重なり合っている部分の範囲内の不一致測定を減少させるために、そのモデル内の変数の数値が変更されてもよい。また、可変光収差器が固定された設定で維持されつつ、被検査物の一連の放射状サブ開口測定を集めるために、波面伝播器の軸が被検査物の軸との間で段差づけられてもよい。モデル内の少なくともいくつかの変数は、共通の放射状サブ開口測定のそれぞれにとって実質的に共通する数値を含むように拘束されてもよい。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２３】
本発明は、また、被検査物を測定するための波面測定システムとして表わすこともできる。支持部は、被検査物を取り付けるための取り付け軸を含んでいる。波面伝播器は、測定軸に沿って、被検査物へ向けて、および、被検査物から測定波面を伝播する。波面測定ゲージは、データに対する測定波面の形状を測定する。調節可能な機械軸は、被検査物の部分的に重なり合っている空間（ａｒｅａ）を覆う複数のサブ開口測定を捕捉するため、支持部の取り付け軸と波面伝播器の測定軸との間での軸外動作をもたらす。可変光収差器は、データに対して測定波面の形状を相対的に変化させる。コンピュータで読み取り可能な媒体にまとめられたデータ構造は、可変な振幅と、振幅によって増減可能な、測定波面の形状における変化を定義する関数形式とのそれぞれを有する補正項を含む。プロセッサは、可変光収差器による測定波面の形状の相対的変化に起因する差を含むサブ開口測定の重なり合っている部分の間の差を最小化する補正項の振幅を決定することによって、サブ開口測定を複合測定に統合するための操作において補正項の振幅を計算する。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３７】
しかし、球面形状から逸脱した非球面の被検査面を測定するためには、一般的に、近ゼロ条件が、球状の基準面を用いて得られうる中で最善のものである。即ち、たとえ非球面の被検査面が仕様通りに正確に作られていたとしても、戻ってくる検査波面と基準波面との間の逸脱のいくつかは（つまり、ゼロ条件からの逸脱は）、球面の基準面からの非球面の意図的逸脱の原因とならざるを得ない。干渉計及び他の波面測定ゲージは、一般的に、基準面又はその他のデータから逸脱している検査波面を測定可能な限定された捕捉範囲を有している。干渉計では、結果として生じる干渉パターン内の縞密度が解像限度を超えて増加することがある。そのため、基準形状からの非球面の逸脱は、波面測定ゲージ１２の測定範囲の少なくとも一部を使い果たす。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５１】
また、典型的なデータマップは、被検査物の波面測定を、被検査面上の対応点と同じように扱う。期待される歪みを調整するために、重なり合っているデータマップは、見かけ上の（ｎｏｍｉｎａｌ）歪みマップとともに、グローバル座標系上（たとえば、被検査物の赤道面）に投射されうる。グローバル平面上の座標を（Ｘ、Ｙ）もしくはより単純にＸと記載すると、格子点は、便宜的に順番付けて、Ｘｌ（ただし、ｌ＝１，２，．．．，Ｌ）と記載されうる。格子点の密度は、各サブ開口データセット上の関連ポイントがその解像度とおおよそ一致するように選択することができる。このとき、格子点の密度を、これよりも大きくなるよう選択することは有益ではないが、より小さくすることは利便性が高いかもしれない。グローバル平面上の格子点上でｊ番目のサブ開口データセットの数値を求めるために補間することによって、関数ｆｊ（Ｘ）のための数値が求められる。同様に、このデータのためのスケールされた（ｓｃａｌｅｄ）従来型補正項を、関数ｇｊｋ（Ｘ）（ただし、ｋ＝１，２，．．．Ｋ）を生成するために用いることができる。ここで、Ｋは、使用中のこれら補正項の数である（典型的には７個：４個の基本補正項と、３個のデータ再配置用の補正項）。また、スケールされた連動型補正項を、Ｇｊｒ（Ｘ）（ただし、ｒ＝１，２，．．．，Γ）で表すことができる。ここで、Γは、歪や基準波面の誤差などの誤差を訂正するために用いられる補正項の数である。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
補正済みデータセットは以下のように記載することができる。
【数２】
2011518322.tif 000001
ここで、ａｊｋとαｒはスティッチング係数である。上述のスケーリング（ｓｃａｌｉｎｇ）とは、これらの係数の平方和が１よりも小さいことが求められることを意味する。上記方程式において、連動とは、Ｇｊｒ（Ｘ）の係数が全てのサブ開口について同じ値を有する、すなわち、係数αｒがｊとは独立であることを意味する。スティッチングの基本的な役割は、単位球面内におさまるこれら係数の数値を求め、いずれの重なり合っている数値の間の平均平方偏差も最小化することである。スティッチング操作における自由補正項および連動型補正項の両方の使用についての他の詳細や例は、「表面形状測定のための自己校正サブ開口スティッチング方法」という題名の本願出願人と同一人の出願である米国特許番号６９５６６５７号明細書に開示されている。上記米国特許を参照により本願明細書に組み込む。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
全体連動型補正項は主に全てのサブ開口データセットに共通する系統的な破損を解決する。部分連動型補正項はさまざまな形態をとり、かなりの数の因子に対処しうるが、必ずしも全てのデータセットがこれらの因子によって影響を及ぼされている必要はない。たとえば、回転対称な被検査物の場合では、データセットは、対称軸７２を中心として円７４及び円７６上に配列されているサブ開口の集合を包含し得る。特定の円７４又は円７６上の別のサブ開口を見かけ上（ｎｏｍｉｎａｌ）等しくなるように選択することができ、これにより、軸Ａについての回転を除き、計測システムをそれらサブ開口の全てに対して実質的に同じように構成することができる。この場合、例えば光学機械システムにおける重力の効果や計測システム内のいくつかのその他の一連の部分的に不適当な構成等の影響を解決するために、こうした同心円のそれぞれについて補正を行うことが求められるかもしれない。それゆえ、関連する部分連動型補正項は、特定の円７４又は円７６の周囲で測定されるそれらのデータセットについてのみの影響を有するだろう。また、データセットは単にこれらの同心円上に分割されのみならず他のクラスに分割され得、そして、連動型補正項はこれらのクラスに対応するサブ開口の特定のサブセットの範囲内でのみ役割を果たすだろう。たとえば、サブ開口のなかには、収差器がまったくない形態をとるもの、もしくは、同じサブ開口位置において収差器がある場合とない場合の両方の形態をとるものがありえる。収差器の定誤差は、収差器を用いないサブ開口用の補正項としては含まれないであろう。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５４】
また、部分連動型補正項を式（２）の範囲内で表現することもできる。そのためには、特定のサブセットにおける部分連動型補正項、Ｇｊｒ（Ｘ）に関連する全てのｒの値が、該サブセットに含まれないサブ開口に対応するｊの値に対して等しくゼロになるようにされる。こうした処理は、連動型補正項のそれぞれについて、すなわち、ｒの値のそれぞれについて関与しているｊの値のサブセットを定めることによって実行することができる。その結果は、もしｊがｒと関連するサブセットに含まれなければゼロになり、そうでなければ１になる、いわゆるδｊｒによって表すことができる。式（２）において、こうした因子を明示的に導入することによって、Ｇｊｒ（Ｘ）はもはやそのようなグループ分けに関連する必要はなくなり、システムの特定の摂動に集中することができる。すなわち、式（２）は以下のように書き改めることができる。
【数３】
2011518322.tif 000002
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
補正済みデータセットは、グローバル座標系で表した際に、もともとのデータマップの重なり合あっている部分の間の差を最小化しつつ、サブ開口測定を一つにスティッチングすることによって形成される複合データマップを包含する。スティッチング操作に反映される補正項もまた、もしなければ測定を壊しかねない定誤差の効果を最小化する。可変光収差器１００に起因する定誤差を表す補正項を具体的に包含することによって、サブ開口測定における可変光収差器１００の予測される効果と、可変光収差器１００の実際の効果との間のどんな差も、補正済みデータセットにおいて最小化されうる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５８】
可変光収差器に起因するサブ開口測定における潜在的な誤差のそれぞれは補正項に割り当てられうる。これらは、くさび（典型的には連動型補正項のような）のデザイン仕様と、設定間のパラメータを再配置すること（典型的には部分連動型補正項のような）を含む。より具体的には、補正項は、（ａ）プリズムにおける形状誤差、プリズムの角度誤差、反射率、厚み等の光学的な誤差、（ｂ）取り付け範囲内でのプリズムのずれ等の光学機械的な誤差、（ｃ）移動軸の相対的なずれ等の機械的配列の誤差を表すために調整されうる。そのような補正項のそれぞれは、上記の係数に対応する可変振幅と、測定波面形状において期待される効果に対するこの振幅の変化に関連する関数形式とを含む。たとえば、図１０ａと１０ｂとは、２つの異なる開口角度「α」における回転軸Ｔを中心とするプリズムの小さなチルト誤差による測定波面１２２と１２４とへの期待される効果を示す。これらに表されるように、チルト誤差の同一の振幅は、可変光収差器の異なる設定に対応する２つの開口の範囲内では異なった現れ方をする。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６３】
波面測定機器はまた、類似の中間の光学系が、被検査物表面からの反射のための測定波面を形成する図１１ａと図１１ｂとに示すようなシャック−ハルトマン波面センサシステムの形態もとりうる。図３のフィゾー干渉計と同時に使用するとして記載されている同じ光学系の多くがシャック−ハルトマンセンサシステムに用いられうるし、類似の光学系は同じ基準特性を共有する。２つの大きな差は明らかである。ＣＣＤ検知器１２ｇと、関連する電子機器１２ｈはシャック−ハルトマンパッケージ１２ＨＳによって置換され、構成要素全体が図１１ｂの拡大図に示される。シャック−ハルトマンパッケージ１２ＨＳでは、小型レンズアレイＨＳ１は（ＣＣＤ検知器であってもよい）検知器ＨＳ３の前に位置し、小型レンズアレイＨＳ１の焦点ＨＳ２は検知器ＨＳ３上に現れる。シャック−ハルトマンパッケージ１２ＨＳは、（測定波面の詳細に組み合わされうる）波面の斜面における局所的な変形を測定するために調節されうる。また、フィゾー干渉計と対照的に、透過球面２８は、コリメートされた光線３０を、球面測定波面を有するものの基準波面として光線の一部を逆反射することはない集束ビームに変換する集束レンズ２８ＨＳによって置換される。シャック−ハルトマンパッケージの校正検知器ＨＳ３は、測定波面の変化を測定するもととなるデータ（たとえば基準平面）をもたらす。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）波面伝播器を複数の異なる位置関係で物理的被検査物と関連づける工程と、
（ｂ）波面形状の限られた捕捉範囲を有する波面測定ゲージを用いて、測定波面の形状を測定することによって、前記異なる位置関係のそれぞれで前記被検査物の部分的に重なり合っている波面測定を獲得する工程と、
（ｃ）前記波面測定ゲージの前記捕捉範囲内に前記測定波面を維持するために、前記異なる位置関係での限られた数の測定間で、可変光収差器を用いて前記測定波面を再形成する工程と、
（ｄ）前記部分的に重なり合っている波面測定を一つの複合測定に統合するための操作において、複数の補正項を反映する工程と、
を備え、
前記可変光収差器による前記測定波面の再形成に少なくとも部分的に起因する前記部分的に重なり合っている波面測定の重なり合っている部分の間の差を減少させるため、前記補正項は前記操作において数値を獲得することを特徴とする、非球面被検査物を測定する計測システムの操作範囲を拡張する方法。
【請求項２】
前記可変光収差器は、前記測定波面を再形成するための設定範囲を通して調節可能であり、
前記補正項は、振幅と、前記振幅によって増減可能な前記測定波面の形状の変化を定義する関数形式との両方を有し、
前記補正項は、同一設定の可変光収差器でなされる一連の測定について実質的に共通の振幅を得るように拘束される部分連動型補正項を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記部分連動型補正項は、前記可変光収差器の異なる設定でなされる異なる一連の測定では、別の実質的に共通の振幅を自由に得ることができることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記部分連動型補正項は、前記可変光収差器の特定の設定から生じる前記測定波面の形状の予測される変化と前記可変光収差器の前記特定の設定から生じる前記測定波面の形状の実変化との間の差を少なくとも部分的には解消することを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記可変光収差器のそれぞれの設定で生じる前記測定波面の形状の前記予測される変化が前記可変光収差器のモデルに基づくことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも１つの前記部分連動型補正項の前記関数形式が、前記可変光収差器の前記モデル内の変数を、前記振幅によって増減可能な前記測定波面の前記形状の変化と関連づけることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記可変光収差器は設定間で再構成が可能であり、前記少なくとも１つの部分連動型補正項は前記可変光収差器の再構成と関連づけられていることを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記波面測定ゲージは干渉計を含み、
前記測定波面は、検査波面と基準波面とを含み、
前記（ｂ）工程は、前記検査波面を伝播させて前記被検査物と接触させ、前記被検査物との接触による前記検査波面の形状の変化を前記基準波面と比較することを含み、
前記（ｃ）工程は、前記検査波面と前記基準波面との間の差を低減するために、前記検査波面と前記基準波面とのうち少なくとも１つの形状を変えることを含む、
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記波面測定ゲージは、
前記波面測定ゲージの前記捕捉範囲内にある波面形状の限られた範囲を測定するための波面センサと、
前記波面センサによって測定可能な波面形状の前記限られた範囲に収まる形状の前記測定波面を発生させる波面生成器と、
を含むことを特徴とする請求項１から８のいずれか１項
に記載の方法。
【請求項１０】
前記（ｂ）工程は、前記被検査物の物理的特性に応じて前記測定波面の形状を変化させるために、前記測定波面を伝播させ、被検査物と接触させることを含み、
前記（ｃ）工程は、前記被検査物との接触による前記測定波面の形状の変化と前記測定波面の再形成との組み合わせ効果により、前記波面センサによって測定可能な波面形状の前記限られた範囲に、前記測定波面の形状が維持されるように、前記測定波面の形状を変化させることを含む、
ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記（ｃ）工程は、前記測定波面が前記波面測定ゲージの前記捕捉範囲内にあるか否かを評価し、さらに、前記測定波面を前記波面測定ゲージの前記捕捉範囲内に戻すために前記測定波面を再形成することを含むことを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記（ａ）工程は、前記波面伝播器の軸を、複数の軸外位置を取らせながら、物理的被検査物の軸に対して相対的に移動させることを含むことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記（ｃ）工程は、前記測定波面を、非点収差、コマ収差、三つ葉状収差のうち少なくとも１つを含むように変化させることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
物理的被検査物の複合測定を、前記被検査物の複数の部分的に重なり合っている測定から統合する方法であって、
（ａ）前記被検査物と接触する検査波面から前記被検査物の物理的特性を測定する複数の部分的に重なり合っているデータマップを獲得する工程であって、該データマップのそれぞれが基準データに対して参照された前記検査波面の形状から抽出される工程と、
（ｂ）前記検査波面の形状と前記基準データとの間の差を減少させるため、限られた数のデータマップの獲得の間に前記被検査物とは無関係に前記基準データに対して前記検査波面の形状を相対的に変化させる工程と、
（ｃ）前記データマップの獲得の間の波面形状の前記相対的変化の特性解析のために前記データマップの重なり合っている領域を評価する工程と、
（ｄ）前記部分的に重なり合っているデータマップを複合データマップに統合するために測定間の波面形状の前記相対的変化の前記特性解析に応じて前記部分的に重なり合っているデータマップを修正する工程と、
を含む方法。
【請求項１５】
（ｅ）前記部分的に重なり合っているデータマップを前記複合データマップに統合し、前記被検査物の外在化表現として前記複合データマップを表示する工程を含む請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
（ｆ）前記被検査物と前記検査波面との接触による前記検査波面の形状の変化を予測する工程を含み、且つ、前記（ｂ）工程は、前記検査波面の形状と前記基準データとの間の差を減少させるために前記検査波面の形状の前記予測される変化の少なくとも一部分を是正する工程を含むことを特徴とする請求項１４又は１５に記載の方法。
【請求項１７】
（ｇ）前記（ｂ）工程によって得られる前記基準データに対する前記検査波面の相対的形状の変化を予測する工程を含み、且つ、前記（ｃ）工程は、前記部分的に重なり合っているデータマップの定誤差を特性解析するため、前記基準データに対する前記検査波面の相対的形状の前記予測される変化と前記基準データに対する前記検査波面の相対的形状の実変化とを区別することを含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
（ｈ）前記複合データマップ上の前記基準データに対する前記検査波面の形状の相対的変化に関連する前記部分的に重なり合っているデータマップの前記定誤差の影響を抑制しつつ、前記部分的に重なり合っているデータマップを前記複合データマップに統合する工程を含む請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記（ｃ）工程は、前記基準データに対する前記検査波面の相対的形状の前記予測される変化と、前記基準データに対する前記検査波面の相対的形状の前記実変化との間の差を、少なくとも部分的に解消するよう、補正項を定めることを含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
（ｉ）限られた数の前記部分的に重なり合っているデータマップの獲得の間、前記基準データに対する前記検査波面の形状を維持する工程を含み、且つ、前記補正項は、前記基準データに対する前記検査波面の形状を維持しつつ、獲得された一連の前記部分的に重なり合っているデータマップについて実質的に共通な値を得るように拘束された部分連動型補正項を含むことを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記（ｃ）工程は、前記基準データに対する前記検査波面の形状の相対的変化を少なくとも部分的に解消する補正項を定義することを含み、且つ、前記補正項は、前記基準データに対する前記検査波面の形状の所定の相対的変化について実質的に共通の値を得るように拘束された部分連動型補正項を含む、ことを特徴とする請求項１４から１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
（ｊ）前記部分的に重なり合っているデータマップを複合データマップに統合するための操作において補正項を反映する工程と、
（ｋ）前記部分的に重なり合っているデータマップを前記複合データマップに統合する工程と、
（ｌ）前記複合データマップを前記被検査物の外在的表現として表示する工程と、
を含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
物理的被検査物の複合測定を、前記被検査物の複数のサブ開口測定から統合する方法であって、
（ａ）測定波面を生成する工程と、
（ｂ）可変光収差器と、限られた捕捉範囲の波面形状を有する波面測定ゲージに至る途中の前記物理的被検査物との両方に接触するように前記測定波面を伝播させる工程と、
（ｃ）前記被検査物と、前記測定波面を前記被検査物に運ぶように配置された波面伝播器との間の一連の軸外位置を取るように前記物理的被検査物の軸に対して前記波面伝播器の軸に段を設ける工程と、
（ｄ）前記波面測定ゲージの前記捕捉範囲内に前記測定波面の形状を維持するために限られた数の軸外位置の間で前記可変光収差器を調節する工程と、
（ｅ）前記一連の軸外位置において前記波面測定ゲージを用いて前記被検査物の部分的に重なり合っているサブ開口測定を収集する工程と、
（ｆ）前記サブ開口測定についての前記可変光収差器の効果を特性解析するために前記サブ開口測定の重なり合っている部分のなかで不一致測定を評価する工程と、
（ｇ）前記サブ開口測定についての前記可変光収差器の前記特性解析された効果を差し引きつつ、前記被検査物の前記サブ開口測定を一つの複合測定にスティッチする工程と、
を含む方法。
【請求項２４】
（ｉ）前記サブ開口測定に関する前記可変光収差器の効果がモデル化され、且つ、前記（ｆ）工程は、前記サブ開口測定の前記重なり合っている部分のなかで前記不一致測定を減少させるために前記モデル内の変数の数値を変更する工程を含むことを特徴とする、請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
（ｊ）前記（ｃ）工程は、前記被検査物の一連の放射状サブ開口測定を収集するために、前記被検査物の軸に対して、前記波面伝播器の軸を相対的に回転させることを含むことを特徴とし、且つ、共通の前記放射状サブ開口測定の間に前記可変光収差器を固定された設定に維持する工程を含む、請求項２３又は２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記（ｆ）工程は、前記モデル内のある少なくともいくつかの前記変数を、共通の前記放射状サブ開口測定のそれぞれにとって実質的に共通な数値を含むように拘束する工程を含む請求項２４又は２５に記載の方法。
【請求項２７】
被検査面の複数の重ね合わせサブ開口データマップから物理的対象物の前記被検査面の複合データマップを統合する方法であって、
（ａ）重なり合っているデータの領域を形成するために、複数のサブ開口数値測定データマップの少なくとも一部分は少なくとも１つの隣接したマップの一部部と重なるように、計測システムを用いて複数の前記被検査面の領域から前記被検査面の複数のサブ開口数値データマップを収集する工程と、
（ｂ）部分連動型補正項を、前記サブ開口データマップのグループの範囲内では共通であることが期待され、前記サブ開口データマップのグループ間では異なることが期待される前記データマップの定誤差に関連づける工程と、
（ｃ）前期部分連動型補正項のそれぞれが、振幅と、前記振幅によって増減可能な前記サブ開口データマップにおける変化を定義づける関数形式とを有する工程と、
（ｄ）前期部分連動型補正項を、前記サブ開口データマップのグループ間で異なる振幅を得ることを自由にできつつ、前記サブ開口データマップのそれぞれのグループの範囲内では実質的に共通の振幅を獲得するように拘束する工程と、
（ｅ）前記データマップの前記定誤差を分離するために前記重ね合わせ領域における前記データマップのそれぞれから不一致データを最小化する部分連動型補正項の振幅を識別する工程と、
（ｆ）分離された前記定誤差の影響を抑制しつつ、前記データマップを、前記被検査面の表現として複合データマップに統合する工程と、
を含む方法。
【請求項２８】
（ｇ）自由振幅範囲を有する自由補正項を、全ての前記サブ開口データマップの間で異なることが期待される前記データマップにおける定誤差と関連づける工程と、
（ｈ）全ての前記サブ開口データマップにとって実質的に共通の振幅を獲得するように拘束される連動型補正項を、全ての前記サブ開口データマップの間で共通であることが期待される前記データマップにおける定誤差と関連づける工程と、
（ｉ）前記自由補正項と前記連動型補正項とのそれぞれが、振幅と、前記振幅によって増減可能な前記サブ開口データマップにおける変化を定義づける関数形式と、を有する工程と、
を含む請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記（ｅ）工程は、前記データマップにおける追加の定誤差を分離するために前記重ね合わせ領域の前記データマップのそれぞれからの不一致データを最小化する前記自由補正項と前記連動型補正項との振幅を識別することを含む請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
被検査物を測定するための波面測定システムであって、
前期被検査物を取り付けるための取り付け軸を有する支持部と、
測定軸に沿って、前記被検査物へ向けて、および、前記被検査物から測定波面を伝播する波面伝播器と、
基準データに対する前記測定波面の形状を測定する波面測定ゲージと、
前記支持部の前記取り付け軸と、前記被検査物の部分的に重なり合っている空間を覆う複数のサブ開口測定を捕捉するために前記波面伝播器の前記測定軸との間に軸外動作をもたらす調節可能な機械軸と、
前記基準データに対する前記測定波面の形状を相対的に変化させる可変光収差器と、
可変な振幅と前記振幅によって増減可能な前記測定波面の形状における変化を定義する関数形式とのそれぞれを有する補正項を含む、コンピュータで読み取り可能な媒体にまとめられたデータ構造と、
前記可変光収差器による前記測定波面の形状の相対的変化に起因する差を含む前記サブ開口測定の重なり合っている部分の間の差を最小化する前記補正項の前記振幅を決定することによって、前記サブ開口測定を複合測定に統合するための操作において前記補正項の前記振幅を計算するプロセッサと、
を備える波面測定システム。
【請求項３１】
前記データ構造は、前記可変光収差器による前記測定波面の形状の相対的変化を予測する前記プロセッサにアクセス可能である前記可変光収差器のモデルを含むことを特徴とする請求項３０に記載のシステム。
【請求項３２】
前記補正項は、前記可変光収差器による前記測定波面の形状の予測される変化と、前記可変光収差器による前記測定波面の形状の実変化との間の差の少なくとも一部分を解消する補正項を含むことを特徴とする請求項３０又は３１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記可変光収差器は、前記測定波面の形状において、非点収差、コマ収差、三つ葉状収差のうち少なくとも１つを含むように再構成することが可能な再構成可能光学系を含むことを特徴とする請求項３０から３２のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項３４】
前記可変光収差器は、相互に角度調節可能な、少なくとも２つの相対可動光学系を含むことを特徴とする請求項３０から３３のいずれか１項に記載のシステム。