Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月8日(2003.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のうち請求項３記載の高圧放電灯は、前記補助電極を非導電材料と金属との混合物で構成したことを特徴とするものである。補助電極をこのような混合物で構成すると、一体焼成の際の容器及び非導電部材の非導電材料の混合物中への十分な拡散による補助電極、容器及び非導電部材との間の強固な接続構造が形成される。したがって、十分な導電性を維持しながら十分な気密性を保持するようになる。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のうち請求項４記載の高圧放電灯は、前記補助電極のうち前記内部空間及び容器外部に露出した部分を金属で構成し、それ以外の部分を非導電材料と金属との混合物で構成したことを特徴とするものである。このような補助電極によって、補助電極、容器及び非導電部材間に強固な接続構造が形成されて、十分な導電性を維持しながら十分な気密性を保持するようになり、補助電極を外部回路に良好に接続することができ、かつ、補助電極による放電が良好に行われる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
セラミック放電管２ａを、二つのリード線９ａ，９ｂを通じて外管１によって保持し、これらリード線９ａ，９ｂをそれぞれ、ホイル１０ａ，１０ｂを通じて口金３ａ，３ｂに接続する。本実施の形態では、補助電極８も、図示しないリード線を通じて口金３ａに接続されている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本実施の形態によれば、補助電極８ａを設ける際に必ずしもフリットシール等の封止をしなくてもよいので、耐食性及び気密性が優れたものとなる。また、セラミック放電管発光部外表面に炭素、プラチナ、パラジウム等を設けていないので、照度が減少しない。さらに、これら管状容器４ａ、キャピラリ６ａ及び補助電極８を一体焼成しているので、管状容器４ａと補助電極８との間及び補助電極８とキャピラリ６ａとの間に強固な接合構造が形成されるという利点がある。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
補助電極８ｃは、管状容器４ｂの内部空間及びその外部にそれぞれ露出する金属部分２１ａ及び２１ｂと、ディスク１８ｂの内周全体を被覆するアルミナとモリブデンとの混合物部分２１ｃとを有し、この補助電極８ｃを管状容器４ｂとキャピラリ６ｄとの間に配置し、これら部材を一体焼成している。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図１４は、第２の実施の形態のセラミック放電管の端部の第４例の周辺を拡大して示す断面図である。図１４においては、一端が樽状容器４ｂの内部空間に露出するとともに他端が樽状容器４ｂの外部に露出し、樽状容器４ｂの内周の一部を被覆するように、樽状容器４ｂとキャピラリ４３との間にアルミナとモリブデンとの混合物から構成された補助電極８ｌを、キャピラリ４３の外周の一部を被覆するように設ける。なお、複合電極７ｊとキャピラリ４３との隙間は溶接によって気密封止されている。このように、アルミナとモリブデンとの混合物から構成された補助電極を、非導電部材（すなわち、キャピラリ４３）の外周の一部のみを被覆するように設けることもできる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
一方、容器（すなわち、管状容器、樽状容器又はその本体）を成形し、この成形体を脱脂し、仮焼して容器の仮焼体を得る。このような仮焼体と、モリブデン粉のペーストを塗布した非導電部材の仮焼体とを組み立て、これを本焼することによって、容器の内部空間及び外部に露出するような補助電極を有する容器及び非導電部材の本焼体を得る。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
図１９〜２１は、図１６〜１８のフローチャートの変形例を示す。これらフローチャートでは、複合電極として、アルミナ製の円柱部材にモリブデンとアルミナとの混合物の層を設けることによって構成されたものを使用し、非導電部材の仮焼体、容器の仮焼体及び複合電極を組み立てた後、一体焼成している。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月1日(2003.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基材及び導体パターンを備えたフレキシブル配線基板であって、基板外縁に補強用導体パターンが形成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項２】
接続端子が形成されてなる接続端子部を有し、前記補強用導体パターンが前記接続端子部の基部側の基板外縁に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項３】
前記絶縁基材の一部に平面的に重なるように支持基材が固定され、前記補強用導体パターンが前記支持基材の端部に対応する前記絶縁基材の外縁に形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項４】
前記補強用導体パターンは、前記導体パターンに接続されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項５】
前記補強用導体パターンは前記絶縁基材における前記導体パターンの形成面と同じ面上に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項６】
前記補強用導体パターンは前記導体パターンと同一の階層に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項７】
前記導体パターンが第１方向に延長形成された配線を含み、前記補強用導体パターンは前記第１方向と交差する方向に伸びるように形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項８】
絶縁基材及び導体パターンを備えたフレキシブル配線基板であって、接続端子が形成されてなる接続端子部を有し、前記接続端子部の基部側の基板外縁に補強パターンが形成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項９】
前記補強パターンは、前記絶縁基材の表裏のうち前記接続端子側に形成されていることを特徴とする請求項８に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項１０】
絶縁基材及び導体パターンを備えたフレキシブル配線基板であって、前記絶縁基材の一部に重なるように支持基材が固定され、該支持基材の端部に対応する前記絶縁基材の外縁に補強パターンが形成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項１１】
前記補強パターンは、前記絶縁基材の表裏のうち前記支持基材側に形成されていることを特徴とする請求項１０に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項１２】
絶縁基材及び導体パターンを備えたフレキシブル配線基板であって、前記導体パターンが第１方向に延長形成された配線を含み、基板外縁に前記第１方向と交差する方向に伸びる補強パターンが形成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項１３】
接続端子が形成されてなる接続端子部を有し、前記補強パターンが前記接続端子部の基部側の基板外縁に設けられていることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項１４】
前記絶縁基材の一部に平面的に重なるように支持基材が固定され、前記補強パターンが前記支持基材の端部に対応する前記絶縁基材の外縁に形成されていることを特徴とする請求項１２に記載のフレキシブル配線基板。
【請求項１５】
少なくとも１枚の基板に沿って電気光学材料が配置されてなる電気光学パネルを備えた電気光学装置であって、前記電気光学パネルに請求項１乃至請求項１４のいずれか１項に記載のフレキシブル配線基板が実装されていることを特徴とする電気光学装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月26日(2004.1.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明電極膜と、
前記透明電極膜を曇り止めの対象物の表面上に取り付けるための取り付け手段と、
前記透明電極膜に電圧を印加する電圧印加手段と
を備えたことを特徴とする曇り止め装置。
【請求項２】
前記透明電極膜は、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）膜からなることを特徴とする請求項１に記載の曇り止め装置。
【請求項３】
透明な樹脂フィルムを更に備えており、
前記透明電極膜は、前記樹脂フィルム上に成膜されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の曇り止め装置。
【請求項４】
前記透明電極膜の表面側に設けられた透明な保護膜を更に備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項５】
前記透明電極膜の裏面側に設けられた透明な保護膜を更に備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項６】
前記取り付け手段は、前記透明電極膜の裏面側に塗布された接着剤からなることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項７】
前記電圧印加手段は、前記透明電極膜の一端に接続された一の端子と、前記透明電極膜の他端に接続された他の端子と、該両端子間に電圧を印加する電圧源と、該電圧源による電圧印加をオンオフ制御するスイッチとを備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項記載の曇り止め装置。
【請求項８】
前記電圧印加装置は、防水性であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項９】
前記電圧印加手段は、外部電源から供給される電圧を用いることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項１０】
前記電圧印加手段は、電池から供給される電圧を用いることを特徴とする請求項１から１８のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項１１】
前記透明電極膜は、前記対象物の表面に対向する面内で所定の平面パターンを有することを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の曇り止め装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の曇り止め装置が取り付けられていることを特徴とする鏡板。
【請求項１３】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の曇り止め装置が取り付けられていることを特徴とする透明板。
【請求項１４】
請求項１から１１のいずれか一項に記載の曇り止め装置が取り付けられていることを特徴とする表示装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月10日(2003.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
不純物の運動エネルギーをＦ、不純物の進行方向と＜１００＞方向とのなす角をθ、シリコン原子との弾性衝突による不純物のエネルギー損失として、結晶を非晶質とみなし、かつ２体衝突近似に基づいたモンテカルロ法を用いて計算する従来の不純物注入シミュレーション方法によって算出される値をＬ、本発明で用いるエネルギー損失をＬとして、1）Ｆが100eV以上300eV未満、かつcos(θ)が0.99以上ならば、Ｌ＝Ｌ／100、2）Ｆが12eV以上100eV未満、かつcos(θ)が0.98以上ならば、Ｌ＝Ｌ／220、3）Ｆが12eV未満、かつcos(θ)が0.99以上ならば、Ｌ＝Ｌ／320、4）Ｆが50eV以下ならば、非弾性衝突によるエネルギー損失はゼロ。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月3日(2003.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器であって、当該容器の開口枠の上端に蓋を密着して容器内を封止する構造の電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には金属層が形成されており、該金属層は上方に凸部を有するものであり、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記凸部の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記凸部の高さを５乃至２０μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項２】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器であって、当該容器の開口枠の上端に蓋を密着して容器内を封止する構造の電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には金属層が形成されており、該金属層は上方に凸部を有するものであり、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記凸部の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記凸部の高さを１０乃至１５μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項３】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器と、当該容器の開口枠の上端に密着して容器内を封止する蓋とを備えた電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には金属層が形成されており、該金属層は上方に凸部を有するものであり、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記凸部の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記凸部の高さを５乃至２０μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項４】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器と、当該容器の開口枠の上端に密着して容器内を封止する蓋とを備えた電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には金属層が形成されており、該金属層は上方に凸部を有するものであり、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記凸部の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記凸部の高さを１０乃至１５μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項５】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器と、当該容器の開口枠の上端に密着して容器内を封止する蓋とを備えた電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には第１の金属層が設けられ、該第１の金属層上の幅方向中央には第２の金属層が設けられており、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記第２の金属層の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記第２の金属層の高さを５乃至２０μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項６】
電子部品を収容する上面が開口した箱形の容器と、当該容器の開口枠の上端に密着して容器内を封止する蓋とを備えた電子部品用パッケージに於いて、
前記開口枠の上端面には第１の金属層が設けられ、該第１の金属層上の幅方向中央には第２の金属層が設けられており、
前記開口枠の幅を０．４±０．１ｍｍとし、
前記第２の金属層の幅を０．１５±０．０５ｍｍとし、
前記第２の金属層の高さを１０乃至１５μｍとしたことを特徴とする電子部品用パッケージ。
【請求項７】
前記蓋は、少なくとも前記開口枠と接合される部分に金属面を有していることを特徴とする請求項３乃至６のいずれかに記載の電子部品用パッケージ。
【請求項８】
前記容器の金属層と前記蓋の金属面との間をろう材にて接合することを特徴とする請求項７に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項９】
前記蓋の金属面にろう材をクラッド化しておき、前記容器の金属層と前記蓋の金属面との間を該ろう材にて接合したものであることを特徴とする請求項７又は８に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項１０】
前記ろう材の厚みを約３０μｍとしたことを特徴とする請求項８又は９に記載の電子部品用パッケージ。
【請求項１１】
前記容器の金属層と前記蓋の金属面との間の接合をパルスヒート方式の加熱法にて接合したことを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の電子部品用パッケージ。
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月29日(2003.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
なお、前述の実施形態においては、キャリア35を固定するとともにケース21を回転可能とし、クランクピン45に入力された回転をピニオン23、24、25により減速してケース21に出力するようにしたが、この発明においては、ケースを固定するとともにキャリアを回転可能とし、クランクピンに入力された回転をピニオン、伝達ディスクにより減速してキャリアに出力するようにしてもよい。また、前述の実施形態においては、ピニオン23、24、25にその中心軸から等距離離れた複数の貫通孔32を形成するとともに、各貫通孔32にクランクピン45の偏心部48、49、50をそれぞれ挿入し、該クランクピン45を回転させることでピニオン23、24、25を偏心回転させるようにしたが、この発明においては、ピニオン、伝達ディスクの中心軸上に貫通孔を形成するとともに、該貫通孔にクランクシャフトの偏心部をそれぞれ挿入し、該クランクシャフトを回転させることでピニオン、伝達ディスクを偏心回転させるようにしてもよい。さらに、前述の実施形態においては、クランクピン45に入力された回転を減速してケース21またはキャリア35から取り出すようにしたが、この発明においては、ケースまたはキャリアに入力された回転を増速してクランクピン、クランクシャフトから取り出すようにしてもよい。また、クランクピン、クランクシャフトの入力端に、例えば複数の平歯車から構成された前段減速機を連結し、入力回転を前段減速機で減速した後、クランクピン、クランクシャフトに入力するようにしてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月10日(2003.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧の電流を出力する高圧出力手段と、
該高圧出力手段の出力電流に比例した電圧の信号を出力する電流検出手段と、
該電流検出手段の出力信号を平滑する平滑手段と、
該電流検出手段の出力信号の電圧のせん頭値を保持するピークホールド手段と、
前記平滑手段及び前記ピークホールド手段のそれぞれの出力信号の電圧と所定の基準電圧を比較する比較手段とを有し、
該比較手段による比較の結果、前記平滑手段又は前記ピークホールド手段の出力信号の電圧が前記基準電圧を越えたときに、前記高圧出力手段の出力を低下もしくは停止させるように構成したことを特徴とする高圧電源装置。
【請求項２】
前記電流検出手段は、比較的周波数の低い電流変動に感度を有する第１の電流検出手段と、比較的周波数の高い電流変動に感度を有する第２の電流検出手段とで構成され、
前記平滑手段は前記第１の電流検出手段の出力信号を平滑し、
前記ピークホールド手段は前記第２の電流検出手段の出力信号の電圧のせん頭値を保持するよう構成されたことを特徴とする請求項１に記載の高圧電源装置。
【請求項３】
前記平滑手段の入力側には、前記第１の電流検出手段の出力信号の電圧を制限する電圧制限手段が接続されたことを特徴とする請求項２に記載の高圧電源装置。
【請求項４】
前記ピークホールド手段の入力側には、入力信号を微分する微分手段が接続されたことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の高圧電源装置。
【請求項５】
前記高圧出力手段は交流の高圧を出力することを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の高圧電源装置。
【請求項６】
直流の高圧を出力する直流高圧出力手段を有し、前記高圧出力手段は、前記直流高圧出力手段から出力される直流の高圧に交流を重畳して出力することを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の高圧電源装置。
【請求項７】
前記高圧出力手段は定電圧出力を行うことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の高圧電源装置。
【請求項８】
前記高圧出力手段は定電流出力を行うことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載の高圧電源装置。
【請求項９】
直流の高圧に交流を重畳して出力する高圧出力手段と、
前記高圧出力手段の出力電流の周波数の低い交流成分を検出する第１の電流検出手段と、
前記高圧出力手段の出力電流の周波数の高い交流成分を検出する第２の電流検出手段を有し、
前記第１の電流検出手段の出力信号に基づいて前記高圧出力手段の出力電流の平均的な増大を検知し、前記第２の電流検出手段の出力信号に基づいて前記高圧出力手段の出力電流の瞬間的な増大を検知することを特徴とする高圧電源装置。
【請求項１０】
前記第１の電流検出手段の出力信号を平滑する平滑手段を有し、この平滑手段の出力信号の電圧を所定の基準電圧と比較して前記高圧出力手段の出力電流の平均的な増大を検知することを特徴とする請求項９に記載の高圧電源装置。
【請求項１１】
前記第２の電流検出手段の出力信号の電圧のせん頭値を保持するピークホールド手段を有し、このピークホールド手段の出力信号の電圧を所定の基準電圧と比較して前記高圧出力手段の出力電流の瞬間的な増大を検知することを特徴とする請求項９または１０に記載の高圧電源装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記高圧出力手段は定電圧出力を行うものとしてもよく、定電流出力を行うものとしてもよい。
さらに、本発明によれば、高圧電源装置において、
直流の高圧に交流を重畳して出力する高圧出力手段と、
前記高圧出力手段の出力電流の周波数の低い交流成分を検出する第１の電流検出手段と、
前記高圧出力手段の出力電流の周波数の高い交流成分を検出する第２の電流検出手段を有し、
前記第１の電流検出手段の出力信号に基づいて前記高圧出力手段の出力電流の平均的な増大を検知し、前記第２の電流検出手段の出力信号に基づいて前記高圧出力手段の出力電流の瞬間的な増大を検知する構成を採用した。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月4日(2003.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子写真画像形成装置本体に着脱可能なプロセスカートリッジにおいて、
電子写真感光体と、
前記電子写真感光体に作用するプロセス手段と、
少なくとも前記電子写真感光体を支持するためのフレームと、
前記フレームに前記電子写真感光体と同軸上に配設されて前記電子写真画像形成装置本体の有する位置決め部材と係合する位置決め部と、
前記位置決め部に配置されて前記電子写真画像形成装置本体の有する前記位置決め部材に回転可能に支持された駆動伝達部材から駆動を受けるための被駆動伝達部材と、
を有し、
前記被駆動伝達部材は、前記プロセスカートリッジが前記電子写真画像形成装置本体に装着された際に、前記駆動伝達部材の有する突起部が嵌合する前記電子写真感光体と同心の穴部と、前記駆動伝達部材の有する複数の駆動伝達用の突起が噛合うよう前記穴部を中心に放射状に配置された複数の駆動伝達用の穴部と、を有する、
ことを特徴とするプロセスカートリッジ。
【請求項２】
前記位置決め部は前記フレームの両側面から外方に突出していることを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項３】
前記被駆動伝達部材は前記位置決め部の外方に突出していることを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項４】
前記被駆動伝達部材の電子写真感光体と同心の穴部は円状であることを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項５】
前記被駆動伝達部材の複数の駆動伝達用の穴部は円弧形状であることを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項６】
前記被駆動伝達部材の電子写真感光体と同心の穴部に前記駆動伝達部材の有する突起部が嵌合すると同時に、前記被駆動伝達部材の複数の駆動伝達用の穴部に前記駆動伝達部材の有する複数の駆動伝達用の突起が噛合うことを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項７】
前記プロセス手段は、少なくとも前記電子写真感光体に帯電を行う帯電手段と、前記電子写真感光体上に残留する現像剤を除去するためのクリーニング手段のいずれか一つであることを特徴とする請求項１に記載のプロセスカートリッジ。
【請求項８】
プロセスカートリッジを電子写真画像形成装置本体に着脱可能で、記録媒体に画像を形成するための電子写真画像形成装置において、
ａ）前記プロセスカートリッジを位置決めするための位置決め部材と、
ｂ）前記位置決め部材に回転自在に支持され、前記プロセスカートリッジの有する電子写真感光体と同心の突起部と、前記突起部を中心に放射状に配置された複数の駆動伝達用の突起と、を有する駆動伝達部材と、
ｃ）電子写真感光体と、
前記電子写真感光体に作用するプロセス手段と、
少なくとも前記電子写真感光体を支持するためのフレームと、
前記フレームに前記電子写真感光体と同軸上に配設されて前記位置決め部材と係合する位置決め部と、
前記位置決め部に配置されて前記駆動伝達部材から駆動を受けるための被駆動伝達部材と、
を有し、
前記被駆動伝達部材は、前記プロセスカートリッジが前記電子写真画像形成装置本体に装着された際に、前記駆動伝達部材の有する突起部が嵌合する前記電子写真感光体と同心の穴部と、前記駆動伝達部材の有する複数の駆動伝達用の突起が噛合うよう前記穴部を中心に放射状に配置された複数の駆動伝達用の穴部と、を有するプロセスカートリッジを、取り外し可能に装着するための装着手段と、
ｄ）前記記録媒体を搬送するための搬送手段と、
を有することを特徴とする電子写真画像形成装置。
【請求項９】
前記駆動伝達部材の突起部が前記被駆動伝達部材の電子写真感光体と同心の穴部に嵌合すると同時に、前記駆動伝達部材の複数の駆動伝達用の突起が前記被駆動伝達部材の複数の駆動伝達用の穴部に噛合うことを特徴とする請求項８に記載の電子写真画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月19日(2003.11.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体に当接し回転体を清掃する清掃部材と、前記清掃部材を固定支持する第１支持部材と、前記第１支持部材を固定支持する第２支持部材と、を有する清掃装置において、
重り部材を有し、この重り部材は前記第１支持部材に固定されることを特徴とする清掃装置。
【請求項２】
前記回転体はトナー像を担持する像担持体であることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項３】
前記第１支持部材はＬ字形の板金であることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項４】
前記第２支持部材は前記回転体を備えるユニットの枠体であることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項５】
前記第２支持部材は前記回転体を支持するものであることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項６】
前記第１支持部材は前記清掃部材と前記重り部材の間で前記第２支持部材に固定されていることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項７】
前記第１支持部材は第１固定部材により前記第２支持部材に固定され、前記重り部材は第２固定部材により前記第１支持部材に固定されていることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項８】
前記第１固定部材と前記第２固定部材は異なる部材であることを特徴とする請求項７記載の清掃装置。
【請求項９】
前記重り部材は前記清掃部材の長手方向に延伸していることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項１０】
前記重り部材は前記第１支持部材よりも単位体積当たりの重量が大きいことを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項１１】
前記清掃部材は自由端と前記第１支持部材に固定される固定部を有し、前記自由端は前記回転体の回転方向に対し前記固定部よりも上流側で前記回転体に当接することを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項１２】
前記清掃部材は電圧印加手段に隣接して設けられ、前記電圧印加手段と上記重り部材の表面は縁面距離以上離間しつつ対向していることを特徴とする請求項１記載の清掃装置。
【請求項１３】
弾性部材と、この弾性部材を固定支持する剛性の支持部材と、重り部材と、を有し、前記支持部材の少なくとも第１面に前記弾性部材が固定されている清掃部材において、
前記重り部材は前記第１面、または前記支持部材の第１面の裏側の第２面に取り付けられていることを特徴とする清掃部材。
【請求項１４】
前記支持部材は板状部材であることを特徴とする請求項１３記載の清掃部材。
【請求項１５】
前記重り部材は接着部材により前記支持部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１３記載の清掃部材。
【請求項１６】
前記重り部材はネジ部材により前記支持部材に取り付けられていることを特徴とする請求項１３記載の清掃部材。
【請求項１７】
前記支持部材には重り部材取付用孔が設けられていることを特徴とする請求項１６記載の清掃部材。
【請求項１８】
前記支持部材はリブ部を有し、前記ネジ部材用の孔は前記リブ部に設けられていることを特徴とする請求項１７記載の清掃部材。
【請求項１９】
前記リブ部は前記弾性部材の自由端と固定端を結ぶ平面に対し略垂直であることを特徴とする請求項１８記載の清掃部材。
【請求項２０】
弾性部材と、この弾性部材を固定支持する剛性の支持部材と、重り部材と、を有し、前記支持部材の少なくとも第１面に前記弾性部材が固定されている清掃部材の製造方法において、前記重り部材を前記第１面、または前記支持部材の第１面の裏側の第２面に取り付けることを特徴とする清掃部材の製造方法。
【請求項２１】
前記支持部材は板状部材であることを特徴とする請求項２０記載の清掃部材の製造方法。
【請求項２２】
前記重り部材を前記支持部材に接着することにより取り付けることを特徴とする請求項２０記載の清掃部材の製造方法。
【請求項２３】
前記重り部材を前記支持部材にネジ部材により取り付けることを特徴とする請求項２０記載の清掃部材の製造方法。
【請求項２４】
前記支持部材にリブを設け、このリブに前記ネジ部材用の孔を設けることを特徴とする請求項２３記載の清掃部材の製造方法。
【請求項２５】
前記リブを前記弾性部材の自由端と固定端を結ぶ平面に対し略垂直にすることを特徴とする請求項２４記載の清掃部材の製造方法。
【請求項２６】
弾性部材と、この弾性部材を固定支持する支持部材と、重り部材と、を有する清掃部材を枠体に取り付けて製造する清掃装置の製造方法において、前記支持部材に前記重り部材を固定し、前記支持部材を枠体に固定することを特徴とする清掃装置の製造方法。
【請求項２７】
前記支持部材をネジ部材によりユニットの枠体に固定することを特徴とする請求項２６記載の清掃装置の製造方法。
【請求項２８】
前記ネジ部材用の孔を前記重り部材と前記弾性部材の間に設け、この孔を介して前記支持部材をユニットの枠体に固定することを特徴とする請求項２６記載の清掃装置の製造方法。
【請求項２９】
前記支持部材の前記重り部材が固定されている面の裏面をユニットの枠体に当接させることを特徴とする請求項２６記載の清掃装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
論理ボリュームに対してアクセス要求を発行するＣＰＵの外部記憶装置として使用される、２台の記憶装置システム間でリモートコピーを行う方法であって、
コピー元の記憶装置システムにおいて、コピー元の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域の指定を受け付け、指定を受け付けた論理ボリュームの部分的な領域のデータを、コピー先の記憶装置システム上の論理ボリュームに前記ＣＰＵを介さずに転送し、
コピー先の記憶装置において、コピー元の記憶装置システムから転送された前
記部分的な領域のデータを、コピー先の記憶装置システム上の論理ボリュームに
書き込むことを特徴とするリモートコピー方法。
【請求項２】
論理ボリュームに対してアクセス要求を発行するＣＰＵの外部記憶装置として使用される、２台の記憶装置システム間でデータを移行する移行コピーを行う方法であって、
コピー先の記憶装置システムにおいて、コピー元の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域の指定を受け付け、指定を受け付けたコピー元の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域のデータを、コピー元の記憶装置システム上の論理ボリュームから前記ＣＰＵを介さずに読み出し、コピー先の記憶装置システム上の論理ボリュームに書き込むことを特徴とする移行コピー方法。
【請求項３】
論理ボリュームに対してアクセス要求を発行するＣＰＵの外部記憶装置として使用される記憶装置システムであって、
複数の記憶装置と、
前記複数の記憶装置によって形成されるアドレス空間上に前記論理ボリュームをマッピングし、前記ＣＰＵが発行した論理ボリュームに対するアクセス要求に従って、当該論理ボリュームをマッピングした前記記憶装置のアドレス空間にアクセスする制御装置とを備え、
前記制御装置は、
ユーザより指定された、前記論理ボリュームの部分的な領域を管理する管理手段と、
前記管理手段が管理している論理ボリュームの部分的な領域のデータを、他の記憶装置システム上の論理ボリュームに前記ＣＰＵを介さずにコピーする手段とを有することを特徴とする記憶装置システム。
【請求項４】
論理ボリュームに対してアクセス要求を発行するＣＰＵの外部記憶装置として使用される記憶装置システムであって、
複数の記憶装置と、
前記複数の記憶装置によって形成されるアドレス空間上に前記論理ボリュームをマッピングし、前記ＣＰＵが発行した論理ボリュームに対するアクセス要求に従って、論理ボリュームをマッピングした前記記憶装置のアドレス空間にアクセスする制御装置とを備え、
前記制御装置は、
ユーザより指定された、他の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域を管理する管理手段と、
前記管理手段が管理している前記他の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域のデータを、前記他の記憶装置システムから、前記記憶装置システム上の論理ボリュームに前記ＣＰＵを介さずにコピーする手段とを有することを特徴とする記憶装置システム。
【請求項５】
論理ボリュームに対してアクセス要求を発行するＣＰＵの外部記憶装置として使用される記憶装置システムを複数備えた情報システムであって、
各記憶装置システムは、
複数の記憶装置と、
前記複数の記憶装置によって形成されるアドレス空間上に前記論理ボリュームをマッピングし、前記ＣＰＵが発行した論理ボリュームに対するアクセス要求に従って、当該論理ボリュームをマッピングした前記記憶装置のアドレス空間にアクセスする制御装置とを備え、
前記複数の記憶装置システムのうちの、第１の記憶装置システムの前記制御装置は、ユーザより指定された、第１の記憶装置システム上の論理ボリュームの部分的な領域を管理する手段と、
管理している論理ボリュームの部分的な領域のデータを、前記複数の記憶装置システムのうちの第２の記憶装置システム上の論理ボリュームに前記ＣＰＵを介さずにコピーする手段とを有し、
前記第２の記憶装置システムの前記制御装置は、
前記部分的な領域のデータがコピーされる第２の記憶装置システム上の論理ボリュームに、前記部分的な領域の容量相当のアドレス空間をマッピングすることを特徴とする情報システム。
【請求項６】
請求項３記載の記憶装置システムであって、
前記制御装置は、前記部分的な領域のデータをコピーする前記他の記憶装置システム上の論理ボリュームに、前記部分的な領域の容量相当のアドレス空間をマッピングすることを特徴とする記憶装置システム。
【請求項７】
請求項３または４記載の記憶装置システムであって、
前記管理手段は、前記部分的な領域を、固定長の領域単位に管理することを特徴とする記憶装置システム。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月17日(2003.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、構文解析部の解析結果を利用して、規約照合機能により、有効でない多重定義の宣言がないかチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、上記チェック結果に基づき、宣言が有効になるコードを自動的、あるいは対話的に生成する
ことを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項２】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、構文解析部の解析結果を利用して、規約照合機能により、異なるスコープで同じ宣言を行っていないかチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、チェック結果に基づき、同じ宣言にならないコードを自動的、あるいは対話的に生成することを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項３】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により、名前空間の宣言で候補が曖昧になる宣言を行っていないかをチェックする
ことを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項４】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により、名前を導入済みのテンプレート部分特殊化定義をおこなっていないかをチェックする
ことを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項５】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により、メンバテンプレートと同じ名前のメンバ名を、明示的にテンプレートと指定せずに使用していないかチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、チェック結果に基づき、テンプレート付きのコードを自動的、あるいは対話的に生成することを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項６】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により、テンプレート名を使ったメンバでテンプレート仮引数が省略されたものがないかチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、チェック結果に基づき、テンプレー卜仮引数を省略していないコードを自動的、あるいは対話的に生成する
ことを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項７】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により、テンプレートパラメータが隠されるようなテンプレートを宣言していないかチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、チェック結果に基づき、テンプレートパラメータが隠されないコードを自動的、あるいは対話的に生成する
ことを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【請求項８】
オブジェクト指向プログラムを入力として、入力プログラムを解析する構文解析部と、プログラムの規約を記述する規約情報を格納する格納部と、入力プログラムの構文解析結果と規約情報とを照合する規約照合部と、照合した結果に基づき修正されたプログラムを出力する解析情報正規化部とを有するオブジェクト指向プログラム作成支援装置であって、
上記規約照合部は、解析結果を利用して、規約照合機能により代入演算子を検出し、正しい復帰値を返しているかをチェックし、
上記解析情報正規化部は、利用者の設定によりコードの生成が有効になっている場合、チェック結果に基づき、正しい復帰値を返すコードを自動的、あるいは対話的に生成することを特徴とするオブジェクト指向プログラム作成支援装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月21日(2004.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨面を有した研磨テーブルと、
回転と停止を繰り返す支持部に円周方向に沿って等角度で放射状に設けられた複数のアームと、
前記アームにそれぞれ支持されてポリッシング対象物を保持しかつポリッシング対象物を前記研磨面に押圧する複数のトップリングと、
前記研磨テーブルの側方に配置されて前記トップリングとの間でポリッシング対象物の受け渡しを行うロードプッシャー及びアンロードプッシャーとを備えたことを特徴とするポリッシング装置。
【請求項２】
前記アンロードプッシャーには、トップリングと該トップリングから受け取った処理後のポリッシング対象物を洗浄するリンス機能が備えられていることを特徴とする請求項１記載のポリッシング装置。
【請求項３】
前記支持部または前記ロードプッシャー及び／またはアンロードプッシャーには、前記トップリングで保持されたポリッシング対象物に流体を噴霧する噴霧装置が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載のポリッシング装置。
【請求項４】
前記アームが３本備えられ、各アームにそれぞれ支持された各トップリングは、前記支持部の回転に伴って、前記ロードプッシャー上方のロード位置、前記研磨テーブル上方の研磨位置、アンロードプッシャー上方のアンロード位置と順次移動するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のポリッシング装置。
【請求項５】
前記アームが４本備えられ、各アームにそれぞれ支持された各トップリングは、前記支持部の回転に伴って、前記ロードプッシャー上方のロード位置、前記研磨テーブル上方の第１研磨位置、前記研磨テーブル上方の第２研磨位置、アンロードプッシャー上方のアンロード位置と順次移動するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のポリッシング装置。
【請求項６】
前記研磨テーブルとしてターンテーブルを使用し、このターンテーブルに設定したポリッシング最適位置半径の回転軌跡と、前記支持部を中心としたトップリングの回転軌跡の２つの交点を前記第１研磨位置及び第２研磨位置としたことを特徴とする請求項５記載のポリッシング装置。
【請求項７】
前記研磨テーブルとしてスクロール運動または往復運動を行うテーブルを使用し、このテーブルを前記第１研磨位置及び第２研磨位置に配置したことを特徴とする請求項５記載のポリッシング装置。
【請求項８】
研磨面を有した研磨テーブルと、
支持部に設けられた複数のアームと、
前記アームにそれぞれ支持されてポリッシング対象物を保持しかつポリッシング対象物を前記研磨面に押圧する複数のトップリングと、
前記トップリングとの間でポリッシング対象物の受け渡しを行うロードプッシャー及びアンロードプッシャーとを備えたことを特徴とするポリッシング装置。
【請求項９】
前記トップリングのうちの１つが前記研磨テーブルの上方に位置した時に、他のトップリングの下方位置にはロードプッシャーが配置され、更に他のトップリングの下方位置にはアンロードプッシャーが配置されていることを特徴とする請求項８記載のポリッシング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記アームが４本備えられ、各アームにそれぞれ支持された各トップリングは、前記支持部の回転に伴って、前記ロードプッシャー上方のロード位置、前記研磨テーブル上方の第１研磨位置、前記研磨テーブル上方の第２研磨位置、アンロードプッシャー上方のアンロード位置と順次移動するように構成されていることを特徴とする。これにより、ポリッシングを第１研磨位置と第２研磨位置で２回に分けて行うことで、十分なポリッシング時間を確保しつつ、スループットを更に向上させることができる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、前記研磨テーブルとしてスクロール運動または往復運動を行うテーブルを使用し、このテーブルを前記第１研磨位置及び第２研磨位置に配置したことを特徴とする。
また、本発明の第２の態様は、研磨面を有した研磨テーブルと、支持部に設けられた複数のアームと、前記アームにそれぞれ支持されてポリッシング対象物を保持しかつポリッシング対象物を前記研磨面に押圧する複数のトップリングと、前記トップリングとの間でポリッシング対象物の受け渡しを行うロードプッシャー及びアンロードプッシャーとを備えたことを特徴とするものである。
また、前記トップリングのうちの１つが前記研磨テーブルの上方に位置した時に、他のトップリングの下方位置にはロードプッシャーが配置され、更に他のトップリングの下方位置にはアンロードプッシャーが配置されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月30日(2004.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物の被研磨面を研磨する研磨部と、研磨後の被研磨物を回転しながら洗浄する１又は複数の洗浄機を設けた洗浄部とを具備する研磨装置において、
何れかの洗浄機に設けたセンサによって被研磨物の基準位置を検出するとともに該検出信号によって被研磨物の前記何れかの洗浄機での洗浄終了時の基準位置を所定の位置に合わせる位置合わせ手段と、前記洗浄機の後段であって前記位置合わせを行った被研磨物の被研磨面の膜厚を測定する膜厚測定手段とを設置したことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記洗浄機は、回転速度制御可能であることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
半導体基板を回転させながら洗浄する洗浄部を有する洗浄装置であって、
前記洗浄部に設けられ、半導体基板の基準位置を検出するセンサと、
前記センサからの検出信号によって洗浄終了時の半導体基板の基準位置を所定の位置に合わせる位置合わせ手段と、
前記位置合わせを行った半導体基板の膜厚を測定する膜厚測定機を備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
ノッチを有する半導体基板を回転させながら洗浄する洗浄部を有する洗浄装置であって、
前記洗浄部に設けられ、半導体基板のノッチを検出する光センサと、
前記光センサからの検出信号によって半導体基板の回転速度を検出する制御装置とを備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
被研磨物の被研磨面を研磨する研磨方法であって、
被研磨物の被研磨面を研磨する工程と、
研磨後の被研磨物を洗浄部にて洗浄する工程と、
前記洗浄部にて洗浄終了後の被研磨物を所定の位置に位置合わせを行う工程と、
前記位置合わせを行った被研磨物の膜厚を測定する工程とを有することを特徴とする研磨方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため本発明は、被研磨物の被研磨面を研磨する研磨部と、研磨後の被研磨物を回転しながら洗浄する１又は複数の洗浄機を設けた洗浄部とを具備する研磨装置において、何れかの洗浄機に設けたセンサによって被研磨物の基準位置を検出するとともに該検出信号によって被研磨物の前記何れかの洗浄機での洗浄終了時の基準位置を所定の位置に合わせる位置合わせ手段と、前記洗浄機の後段であって前記位置合わせを行った被研磨物の被研磨面の膜厚を測定する膜厚測定手段とを設置したことを特徴とする。
また本発明は、半導体基板を回転させながら洗浄する洗浄部を有する洗浄装置であって、前記洗浄部に設けられ、半導体基板の基準位置を検出するセンサと、前記センサからの検出信号によって洗浄終了時の半導体基板の基準位置を所定の位置に合わせる位置合わせ手段と、前記位置合わせを行った半導体基板の膜厚を測定する膜厚測定機を備えたことを特徴とする。
また本発明は、ノッチを有する半導体基板を回転させながら洗浄する洗浄部を有する洗浄装置であって、前記洗浄部に設けられ、半導体基板のノッチを検出する光センサと、前記光センサからの検出信号によって半導体基板の回転速度を検出する制御装置とを備えたことを特徴とする。
また本発明は、被研磨物の被研磨面を研磨する研磨方法であって、被研磨物の被研磨面を研磨する工程と、研磨後の被研磨物を洗浄部にて洗浄する工程と、前記洗浄部にて洗浄終了後の被研磨物を所定の位置に位置合わせを行う工程と、前記位置合わせを行った被研磨物の膜厚を測定する工程とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月1日(2003.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
手持ち式光学走査装置（10）を用いて物体（54）を走査する手持ち式走査装置の走査方法であって、前記物体（54）と前記走査装置（10）を接触させるステップと、前記走査装置（10）を前記物体（54）に沿って移動させ、前記接触を保ちながら走査を実行するステップと、前記走査を実行しながら前記走査装置（10）を可変に傾動させるステップと、前記走査装置（10）を前記物体（54）に沿って移動させるさいに、光路（56）によって前記物体（54）の連続する線部分（52）を結像するステップとを有し、前記光路の大部分が前記物体に直角な方向に伸張することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記結像するステップにおいて、前記光路の大部分が、少なくとも８０％であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記光学走査装置（10）は回転軸（RR）を有する少なくとも１つのローラ（30）を有し、前記接触は前記少なくとも１つのローラ（30）を前記物体（54）に接触させることによって行なうことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
走査される物体（54）を結像する手持ち式光学走査装置（10）であって、
a)結像アッセンブリー（40）を収容するハウジング（20）を有し、
b)前記ハウジング（20）は、前記走査装置（10）を用いた走査の実行時に前記物体（54）に対して傾動可能であり、
c)前記走査装置は、前記結像において前記物体の線部分を結像し、
d)前記結像アッセンブリー（40）は、フォトセンサーと、前記線部分と前記フォトセンサーの間に伸張する光路とを備え、
e)前記線部分で前記光路の大部分が前記物体に直角な方向に伸張することを特徴とする手持ち式光学走査装置。
【請求項５】
前記光路の大部分が、少なくとも８０％であることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
さらに、a）前記ハウジング（20）と関係付けられた接触機構（30）を有し、
b）前記接触機構（30）は、前記走査される物体（54）と唯一接触するように構成された複数のほぼ共直線状の接触点を備えていることを特徴とする請求項４に記載の装置。