【手続補正書】
【提出日】平成24年8月17日(2012.8.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットバルブアセンブリに結合されるチャンバを密閉する方法であって、前記チャンバは、基板が通過可能な大きさに作られる開口を有し、前記方法は、
スリットバルブドアをスリットバルブアセンブリ本体内で第１方向に第１位置から第２位置まで作動させるステップを含み、前記スリットバルブドアは、１以上のＯリングが結合され、前記スリットバルブアセンブリ本体は、壁によって画定される内部容積を有し、
前記スリットバルブアセンブリ本体は、前記チャンバの前記開口と整列する前記スリットバルブアセンブリ本体を通って延びる開口を有し、
前記方法は、前記スリットバルブドアの少なくとも第１部分を、前記第１方向と実質的に垂直な第２方向に、第１時間間隔、第１距離、及び約１２ｍｍ／秒から約１８ｍｍ／秒の間の第１速度で作動させるステップと、
前記１以上のＯリングが、前記壁の内面に接触する時間を検出するステップと、
前記検出に応じて、前記スリットバルブドアの前記第１部分を、前記第２方向に、第２時間間隔、第２距離、及び第２速度で作動させるステップを更に含み、ここで前記第２距離は前記第１距離未満であり、前記第２速度は約０．５ｍｍ／秒と約０．７ｍｍ／秒の間であり、前記第２時間間隔は前記第１時間間隔未満である方法。
【請求項２】
前記第２方向への前記作動の間、前記スリットバルブドアの前記内部容積を増加させるステップを更に含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記１以上のＯリングが最初に前記壁の内面に接触する時間を検出するステップを更に含み、前記１以上のＯリングは、前記第２時間間隔の間、前記壁の内面に対して圧縮する請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記第２方向への前記作動は、前記スリットバルブドアの内部へガスを流すステップ及び前記スリットバルブドアを拡張するステップを更に含む請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記第２方向への前記作動は、前記スリットバルブドアの第１部分を前記第２方向へ拡張するステップ及び同時に前記スリットバルブドアの第２部分を前記第２方向と反対の第３方向へ前記第１距離と実質的に等しい距離移動させるステップを更に含む請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記スリットバルブドアは、サポートシャフト及びコントロールパネルに結合され、前記サポートシャフト及び前記コントロールパネルは、前記第２部分が前記第３方向に移動するとき、前記第３方向へ移動する請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記壁の内面を前記第２部分と接触させるステップを更に含み、前記第２部分は、１以上の第２Ｏリングに結合され、
前記方法は、前記１以上の第２Ｏリングが前記内面に接触する時間を検出するステップと、
前記第２方向への前記作動の間、前記１以上の第２Ｏリングを前記内面に対して圧縮するステップを更に含む請求項５記載の方法。
【請求項８】
前記第２方向への前記作動と同時に、前記スリットバルブドア内の１以上のばねを圧縮するステップと、
前記スリットバルブドアの内部容積内へガスを流すステップを更に含む請求項１記載の方法。
【請求項９】
基板が通過可能な大きさに作られる開口を有するチャンバを密閉する方法であって、
スリットバルブドアの内部にガスを流すステップを含み、これによって前記スリットバルブドアの前記内部を第１圧力に加圧し、前記スリットバルブドアは、前記チャンバと結合されるスリットバルブアセンブリ本体内に配置され、前記スリットバルブアセンブリ本体は、貫通する開口を有し、前記開口は、前記チャンバの前記開口と整列し、前記スリットバルブドアは、内部容積を密閉する壁を有し、
前記方法は、前記スリットバルブドアに結合される１以上のＯリングが前記壁の内面に接触し、前記スリットバルブドアが前記壁の前記内面から第１距離離間されるまで前記スリットバルブドアを拡張するステップを含み、前記拡張は約１２ｍｍ／秒〜約１８ｍｍ／秒の間の速度で起こり、
前記ガスを前記スリットバルブドアの前記内部へ流し、これによって前記スリットバルブドアの前記内部を第２圧力まで加圧するステップと、
前記スリットバルブドアと前記壁の前記内面の間で前記１以上のＯリングを圧縮し、これによって前記スリットバルブドアが前記壁の前記内面から前記第１距離未満の第２距離離間するステップとを更に含み、前記圧縮は約０．５ｍｍ／秒〜約０．７ｍｍ／秒の間の速度で起こる方法。
【請求項１０】
前記１以上のＯリングが前記壁の前記内面に接触する時間を検出するステップと、
前記検出に応じて前記スリットバルブドアの前記内部への前記ガスの流れを制御するステップとを更に含む請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記開口の下の位置から前記スリットバルブドアを上昇させるステップを更に含む請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記スリットバルブドアの前記内部へ前記ガスを流しながら、前記スリットバルブドア内で１以上のばねを圧縮するステップを更に含む請求項９記載の方法。
【請求項１３】
前記スリットバルブドアの前記内部へ前記ガスを流しながら、前記スリットバルブドア内に配置される１以上のばねを圧縮するステップを更に含む請求項９記載の方法。
【請求項１４】
スリットバルブドアアセンブリであって、
基板が通過可能な大きさに作られる少なくとも１つの開口を有するスリットバルブチャンバ本体を含み、前記スリットバルブチャンバ本体は、壁によって画定される第１内部容積を有し、
前記スリットバルブドアアセンブリは、前記スリットバルブチャンバ本体内に配置されるスリットバルブドアを更に含み、前記スリットバルブドアは拡張可能であり、及び第２容積を有し、
前記スリットバルブドアアセンブリは、前記スリットバルブドアに結合される１以上のＯリングと、
前記第２内部容積内に配置される１以上のばねと、
前記スリットバルブドアと結合される１以上のサポートシャフトと、
前記１以上のシャフトと結合され、前記スリットバルブドアチャンバ本体内で前記シャフト及び前記スリットバルブドアを上下動可能なアクチュエータを更に含み、前記アクチュエータは、前記スリットバルブドアを第１位置から前記第１位置の上方の第２位置まで移動可能であり、
前記スリットバルブドアアセンブリは、前記アクチュエータ、前記スリットバルブドア、及び前記スリットバルブドアチャンバ本体と結合されるコントロールボックスを更に含むスリットバルブドアアセンブリ。
【請求項１５】
１以上のＯリングが前記壁の内面に接触する時間を検出可能な検出器を更に含む請求項１４記載のアセンブリ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以下で議論されるように、スリットバルブドアは、下降位置から上昇し、その後、アセンブリのシール面２１２の内面に対して押し付けるために拡張する。スリットバルブドアを上昇させるために、垂直シリンダは、スリットバルブドア及びコントロールボックス２０４の両方に結合されてもよい。垂直シリンダは、カバー２１６の内側にあってもよい。カバーは、コントロールボックス２０４から本体２０２を隔てている。処理の間、本体２０２は、摂氏１５０度を超える温度に達するかもしれない。そのような温度は、コントロールボックス２０４の電気部品の故障の原因となるかもしれない。従って、カバー２１６は、コントロールボックス２０４に対して断熱を提供する。追加的な熱的分離を提供するために、コントロールボックス２０４は、１以上のスペーサー２２２によってカバー２１６から隔てられてもよい。一実施形態では、スペーサー２２２はセラミックを含んでもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
一旦上昇位置へ移動すると、スリットバルブドア３０６の内部容積３３２内にガスが導入されてもよい。一実施形態では、ガスは窒素を含んでもよい。スリットバルブドア３０６を拡張するために十分なガスがスリットバルブドア３０６の内部容積３３２内に導入されてもよく、これによってＯリング３１４、３１６は本体３０２の内面３１８、３２０にちょうど接触する。スリットバルブドア３０６が拡張することによって、スリットバルブドア３０６の第1側３２８が本体３０２の内面３１８に向かって移動可能となる。また、スリットバルブドアの拡張によって、スリットバルブドア３０６の第２側３３０は、内面３１８と対向する本体の内面３２０に向かって移動可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
スリットバルブドア３０６の第２側３３０が動くとき、コントロールボックス３１０及び垂直シャフト３０８は、第２側３３０と共に横へ動く。しかしながら、カバー３１２は、接続点３２２Ａ〜Ｄで旋回する。一実施形態では、垂直シャフト３０８及びコントロールボックス３１０は、横移動の間に起こる鉛直変位がほとんど又は全く無く、横に移動してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ａ】
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【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３Ａ】
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