(57)【要約】【課題】マスター担体とスレーブ媒体とを磁気転写のために密着させる際に、両者間に気泡が残留して密着不良が発生するのを防止するため、ホルダーの内部空間の減圧を効率よくうようにした磁気転写装置のホルダーを提供する。【解決手段】接離移動する片側ホルダー５と他側ホルダー６との間に開閉される内部空間Ａに、転写を受けるスレーブ媒体２とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体３，４を収容し、内部空間Ａを減圧して両者を対峙密着させるホルダー１０で、片側ホルダー５と他側ホルダー６とが接近し、そのスレーブ媒体２とマスター担体３，４間に密着力が作用する以前に、内部空間Ａを密閉し、この密閉時の内部空間Ａの容積を０．１ｃｍ３以上、１００ｃｍ３以下とする。【選択図】　　　　　図１
2004103111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体を収容し、内部空間を減圧して両者を対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記マスター担体およびスレーブ媒体を収容した前記片側ホルダーと他側ホルダーとが接近し、そのスレーブ媒体とマスター担体間に密着力が作用する以前に、前記内部空間が密閉され、この密閉時の内部空間の容積が０．１ｃｍ３以上、１００ｃｍ３以下であることを特徴とする磁気転写装置のホルダー。
【請求項２】
前記内部空間の密閉時におけるマスター担体とスレーブ媒体間の距離が、０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置のホルダー。
【請求項３】
前記ホルダーは前記内部空間減圧用のエア通路を備え、該エア通路は内部空間に開口した部位よりホルダーの支持軸外周のシール部位間を通して外部に導出され、前記エア通路の内部空間に開口した部位から前記シール部位に至るまでの該エア通路の容積が、前記内部空間の容積より大きいことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気転写装置のホルダー。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内部空間に収容し密着させるホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
その際、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である。
【０００６】
そして、磁気転写時にホルダー内でマスター担体とスレーブ媒体とを重ねた状態で、エアシリンダーやサーボモータ等の機械的駆動手段によりホルダーを介してマスター担体とスレーブ媒体とを外部から加圧することによりマスター担体とスレーブ媒体とを押圧密着させていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
しかし、この機械的加圧では、マスター担体とスレーブ媒体間に残留したエアが気泡状に閉じ込められる場合があり、この気泡部分でマスター担体とスレーブ媒体間に隙間が生じて密着不良となり転写不良が発生することになる。また、加圧力を高めて上記気泡を強制的に排除しようとするとマスター担体やスレーブ媒体に過大な力が作用して損傷を与える場合があった。
【０００８】
この対策として、ホルダー内部にスレーブ媒体およびマスター担体を収容する内部空間を密閉し、マスター担体とスレーブ媒体とを加圧してから内部空間を減圧する、もしくは内部空間を減圧してからマスター担体とスレーブ媒体とを加圧することにより、前記気泡の閉じ込めを解消することが提案されている。
【０００９】
【特許文献１】
特開平７−７８３３７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなホルダーの内部空間を減圧して気泡の閉じ込めを解消する際に、内部空間の容積が大きいと、内部空間を密閉してから減圧し、真空状態としてマスター担体とスレーブ媒体との密着性を確保するためには時間がかかり、タクト時間が長くなって生産性の低下を招くことになる。
【００１１】
また、磁気転写を行ったスレーブ媒体を内部空間より取り出し、次のスレーブ媒体を供給するためにホルダーを開く際には、減圧状態の内部空間を大気開放することになり、この大気開放に伴って内部空間にエア通路を通してエアが流入する。その際、流入するエアに塵埃が含まれていると、この塵埃がマスター担体やスレーブ媒体に付着して転写不良の原因となるが、減圧用のエア通路は外部の真空源（真空ポンプ）へ接続するために、ホルダーの支持軸を回転可能に支承する固定部のシール部分を通して導出されるもので、このシール部分すなわち摺動部分で発生した塵埃物質がエア通路に介在し、上記大気開放時の導入エアとともに内部空間にまで流入して前述の転写不良を引き起こす問題があった。
【００１２】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体とスレーブ媒体との間に気泡が残留するのを防止するためのホルダーの内部空間の減圧を効率よく行って転写品位を高めるようにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置のホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体を収容し、内部空間を減圧して両者を対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記マスター担体およびスレーブ媒体を収容した前記片側ホルダーと他側ホルダーとが接近し、そのスレーブ媒体とマスター担体間に密着力が作用する以前に、前記内部空間が密閉され、この密閉時の内部空間の容積が０．１ｃｍ３以上、１００ｃｍ３以下であることを特徴とするものである。
【００１４】
前記内部空間の密閉時におけるマスター担体とスレーブ媒体間の距離が、０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下であることが望ましい。
【００１５】
前記ホルダーは前記内部空間減圧用のエア通路を備え、該エア通路は内部空間に開口した部位よりホルダーの支持軸外周のシール部位間を通して外部に導出され、前記エア通路の内部空間に開口した部位から前記シール部位に至るまでの該エア通路の容積を、前記内部空間の容積より大きくすることが好ましい。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によれば、マスター担体およびスレーブ媒体を収容した片側ホルダーと他側ホルダーとが接近し、そのスレーブ媒体とマスター担体間に密着力が作用する以前に内部空間が密閉し、この密閉時の内部空間の容積を０．１ｃｍ３以上、１００ｃｍ３以下としたことにより、マスター担体やスレーブ媒体に損傷を与えることなく確実にマスター担体をスレーブ媒体を密着させることができ、さらに内部空間の減圧時間を短縮できることによりタクトタイムが短くなり、処理効率の向上を図ることができる。
【００１７】
また、内部空間減圧用のエア通路の内部空間に開口した部位から支持軸のシール部位に至るまでの容積を、内部空間の容積より大きくすると、ホルダーを開く際にエア通路より流入したエアにシール部位で発生した塵埃が内部空間へ流入するのを最小限にすることができ、マスター担体およびスレーブ媒体に付着する塵埃を低減して高品位な磁気転写が可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図、図２は内部空間が密閉された状態の同概略断面図、図３は密着状態の同概略断面図である。なお、この図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００１９】
図１に示す磁気転写装置のホルダー１０は、両面同時磁気転写を行うものであり、接離移動可能な左側の片側ホルダー５と右側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。ここで対峙密着とは、転写パターン部の接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【００２０】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は背面中心部にそれぞれ支持軸５ａ，６ａを備え、両支持軸５ａ，６ａがそれぞれ固定部８，９に回転可能に支承されている。固定部８，９には軸受け８ａ，９ａ（ベアリング）が設置されるとともに、それぞれＯリングによる３つのシール材８ｂ，９ｂが間隔をもって設置されている。
【００２１】
前記片側ホルダー５は、その押圧内面５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着する第１の真空系統１１と、押圧内面５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着する第２の真空系統１２とを備える。前記他側ホルダー６は、その押圧内面６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着する第３の真空系統１３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統１４とを備える。
【００２２】
上記第１〜第４の真空系統１１〜１４は、それぞれの支持軸５ａ，６ａを通して片側ホルダー５および他側ホルダー６の外部に導出される。つまり、片側ホルダー５は円盤状でマスター担体３の外径より大きい円形状の押圧内面５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に第１の真空系統１１の吸引穴１１ａが開口され、この吸引穴１１ａに連通する第１エア通路１１ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体３の内径より内周側の押圧内面５ｂに第２の真空系統１２の吸引穴１２ａが開口され、この吸引穴１２ａに連通する第２エア通路１２ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の中心部分に設置されている。第１エア通路１１ｂおよび第２エア通路１２ｂは、支持軸５ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部８に３つのシール材８ｂが設置され、このシール材８ｂの間の固定部８に連通穴１１ｃ，１２ｃが形成され、各連通穴１１ｃ，１２ｃに接続されたエアパイプ１１ｄ，１２ｄを通して第１および第２の真空系統１１，１２が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面およびスレーブ媒体２の中心部を内面５ｂに吸着により保持する。
【００２３】
一方、前記他側ホルダー６も円盤状でマスター担体４の外径より大きい円形状の押圧内面６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に第３の真空系統１３の吸引穴１３ａが開口され、この吸引穴１３ａに連通する第３エア通路１３ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体４の内径より内周側の押圧内面６ｂには凹部が形成され、この凹部の中心に第４の真空系統１４の吸引穴１４ａが開口され、この吸引穴１４ａに連通する第４エア通路１４ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置されている。第３エア通路１３ｂおよび第４エア通路１４ｂは、支持軸６ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部９に３つのシール材９ｂが設置され、このシール材９ｂの間の固定部９に連通穴１３ｃ，１４ｃが形成され、各連通穴１３ｃ，１４ｃに接続されたエアパイプ１３ｄ，１４ｄを通して第３および第４の真空系統１３，１４が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持するとともに内部空間Ａを減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高める。
【００２４】
前記固定部８，９に設置するシール材８ｂ，９ｂとしては、固定部８，９の内周または支持軸５ａ，６ａの外周に装着するＯリング、磁性流体シール、Ｏリングと磁性流体シールとを併用して構成してもよい。磁性流体シールは摺動において発塵性がなく、シール部分からの発塵が抑えられる。
【００２５】
また、他側ホルダー６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、他側ホルダー６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａの開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、他側ホルダー６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００２６】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ，６ａを中心に一体に回転駆動される。なお、図示していないが、磁気転写装置はホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備える。
【００２７】
また、前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の少なくとも一方が軸方向（図で左右方向）に移動可能に支持され、両ホルダー５，６が互いに接離移動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移動に伴い、図２のように、シール部７の端面シール材７ｂが片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを第４の真空系統１４により減圧すると共に、他側ホルダー６を閉方向へ移動させる。これに伴い図３のように、スレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させる。
【００２８】
そして、前記図２のように、内部空間Ａが密閉されたときの内部空間Ａの容積は、０．１ｃｍ３以上、１００ｃｍ３以下（好ましくは５０ｃｍ３以下）であるように設定している。さらに、内部空間Ａの密閉時のマスター担体３，４とスレーブ媒体２間の距離ｄは、０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下である。
【００２９】
上記により、マスター担体３，４やスレーブ媒体２に損傷を与えることなく確実にマスター担体３，４とスレーブ媒体２を密着させることができ、さらに減圧時間が短いことにより、１枚のスレーブ媒体２への磁気転写に要するタクトタイムを短縮でき、処理効率の向上を図ることができる。
【００３０】
つまり、上記容積が１００ｃｍ３（距離ｄが５ｍｍ）より大きくなると、所定の真空度まで減圧するために要する時間が長くなり、処理能力の低下を招く。減圧時間を短くするために、排気速度を上げると、内部空間Ａに強い気流が発生し、発塵の原因となる。また、距離ｄが５ｍｍより大きくなると、減圧後の加圧時に、片側ホルダー５および／または他側ホルダー６の移動ストロークが大きくなるためにＯリング等のシール材７ｃからの摺動に伴う発塵が多くなるとともに、ホルダー１０を両側から挟んで転写用磁界を印加する磁界印加装置の設置間隔が大きくなり問題が生じる。
【００３１】
一方、上記容積が０．１ｃｍ３（距離ｄが０．１ｍｍ）より狭いと、各部の機械的精度誤差の点で、内部空間Ａが密閉される前にスレーブ媒体２とマスター担体４とが接触する可能性があり、圧力が過大に作用したり、エア抜きが良好に行えないなどの問題がある。つまり、加圧前の両ホルダー５，６の平行度は、その構造から０．０５ｍｍ程度以下にすることは加工精度上困難であり、加圧前密閉時の上記距離ｄは０．１ｍｍ以上であることが必要である。
【００３２】
また、内部空間減圧用のエア通路１４ｂの内部空間Ａに開口した部位つまり吸引穴１４ａから支持軸６ａのシール材９ｂ（シール部位）に至るまでの容積を、内部空間Ａの容積より大きくすると、減圧状態にある内部空間Ａを大気開放する際に、ホルダー１０の回転に伴う摺動でシール部位で発生した塵埃が、エア通路１４ｂより内部空間Ａへ流入するのを防止することができ、マスター担体３，４およびスレーブ媒体２に付着する塵埃を低減して転写品位を高めている。
【００３３】
なお、上記密着力の印加のために、第４の真空系統１４に加えて、ホルダー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備える。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１０の支持軸５ａまたは６ａに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００３４】
また、他側ホルダー６の内面にはマスター担体４の背面を吸着保持する緩衝材を備えてもよい。この緩衝材は均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性を有する材料により円盤シート状に形成される。
【００３５】
片側ホルダー５および他側ホルダー６に対するマスター担体３，４およびスレーブ媒体２の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体３，４またはスレーブ媒体２をＸＹ方向へ微調整することにより行うか、位置決め部材をホルダー５，６に設置してマスター担体３，４またはスレーブ媒体２の内径を装着して行う。
【００３６】
前記スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３７】
マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が両ホルダー５，６に吸着保持される。マスター担体３，４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３，４が使用される。
【００３８】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３９】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置のホルダー１０では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５に第１の真空系統１１によってマスター担体３を、他側ホルダー６に第３の真空系統１３によってマスター担体４を、それぞれ位置を合わせて吸着保持させておく。
【００４０】
この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットし第２の真空系統１２によって吸着した後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００４１】
そして、図２のように、ホルダー１０の内部空間Ａを閉じた後に、第４の真空系統１４により内部空間Ａのエア排出を行って減圧し、所定の真空度とすると共に、さらに他側ホルダー６を接近移動させる。スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力および印加圧力で、片側ホルダー５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００４２】
その後、ホルダー１０の両側に磁界印加装置を接近させ、ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４３】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４４】
本実施形態によれば、第４の真空系統１４により内部空間Ａの減圧を行うについて、密閉時の内部空間Ａの容積を０．１〜１００ｃｍ３に狭く設定して減圧時間を短縮するとともに、大気開放時に支持軸６ａのシール部位で発生した塵埃がエア通路１４ｂより内部空間Ａに流入しないようにしているため、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が、高い処理効率で行える。
【００４５】
また、上記密閉時のマスター担体とスレーブ媒体間の距離ｄが０．１ｍｍ以上、５ｍｍ以下としたことにより、スレーブ媒体への傷の発生がなく、異物の付着も少い。この距離ｄと転写後のスレーブ媒体の表面性状との関係を求めた実験結果を、下記表１に示す。
【００４６】
この実験は、上記距離ｄを０．０２ｍｍ〜７ｍｍに変更し、磁気転写後のスレーブ媒体の表面性状を、ハロゲンランプを用いて目視観察により検査したものである。各距離ｄにおいて１枚のスレーブ媒体を使用し、それぞれの条件で連続１０回の磁気転写を行った後に、検査した。傷・異物の付着がなく良好なものが○、特に良好なものが◎、傷・異物の付着が許容以上の不良なものを×として評価している。
【００４７】
表１の結果、距離ｄが０．０５ｍｍ以下では、外周部に傷が確認された。また、距離ｄを大きくしていくと開閉ストロークが大きくなるのに伴い、徐々に異物の付着が増加し、距離ｄが６ｍｍ以上では、異物（塵埃）の付着が多く許容範囲を超えた。以上の結果より、距離ｄは０．１〜５ｍｍの範囲で良好であった。特に、異物の付着および傷の発生が極めて少ない０．１ｍｍ以上、１ｍｍ以下の範囲が好ましい。
【００４８】
【表１】
2004103111.tif 000003
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【図２】図１の磁気転写装置のホルダーの内部空間の密閉状態を示す概略断面図
【図３】図１の磁気転写装置のホルダーの密着状態を示す概略断面図
【符号の説明】
１０　　ホルダー
２　　スレーブ媒体
３，４　　　マスター担体
５　　片側ホルダー
５ａ　　支持軸
５ｂ　　内面
６　　他側ホルダー
６ａ　　支持軸
６ｂ　　内面
７　　シール部
８，９　　　固定部
８ｂ，９ｂ　　　シール材（シール部位）
１１〜１４　　真空系統
１１ａ〜１４ａ　　吸引穴
１１ｂ〜１４ｂ　　エア通路
１１ｄ〜１４ｄ　　エアパイプ
Ａ　　内部空間
【図１】
2004103111.tif 000004
【図２】
2004103111.tif 000005
【図３】
2004103111.tif 000006