【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年2月3日(2014.2.3)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ光学またはサブマイクロ光学のデバイスを形成するための方法であって、
‐透明な支持体（１０）上にフォトリソグラフィマスク（１６’、１６”）を形成する段階と、
‐前記マスクを支持する前記支持体の面（１４’）上にネガ型の感光性材料の層（１８、１８’）を堆積する段階であって、前記マスクの不透明な部分は前記感光性材料が除去されるべき領域の下にあるところの段階と、
‐前記マスクを支持する前記面と反対側にある前記支持体の面（１０’）を通して前記感光性材料の層を露光する段階と、
‐ミクロンまたはサブミクロンのキャビティ（２１）のウォールを得るために前記感光性材料を現像する段階と、
‐前記ウォールの間に如何なるマスク材料がないキャビティを得るために、前記キャビティの底部に位置されたマスク領域を除去する段階と、
‐前記デバイスの前記キャビティ（２１）内に流体（２４、２６）を導入する段階と、
‐感光性材料の前記ウォール上に閉塞層（９）を形成する段階と、
を含む方法。
【請求項２】
前記マスクと前記支持体の間に少なくとも一つの副層（２０）をさらに含んでいる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記少なくとも一つの副層は、粘着層及び／または電気的作動層及び／またはアラインメント層である請求項２に記載の方法。
【請求項４】
少なくとも一つの副層は、ポリイミドである請求項２または３に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも一つの副層（１２）は、ＩＴＯまたはＷＯ３である請求項２ないし４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
少なくとも一つの副層（１２）は、ＳｉＯ２である請求項２ないし５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記フォトリソグラフィマスクは、ＵＶ吸収材料であり、化学的に除かれうる請求項１ないし６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記マスク（１６’、１６”）は、クロムまたはチタンである請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記ウォール（２２）は、２μｍより大きい厚さを有する請求項１ないし８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記ウォールは、１０μｍより小さいか、または１０μｍと０．５μｍの間を備えた幅を有している請求項１ないし９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記感光性材料は、染料を加えることにより黒色にされた請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
前記支持体は、クオーツまたはプラスチックから選択された材料の透明な基板を備えている請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
ミクロンまたはサブミクロンのキャビティ（２１）のウォール（２２）を形成するための方法であって、
‐透明な支持体（１０）上に少なくとも一つの副層（２０）を形成する段階と、
‐前記少なくとも一つの副層（２０）上にフォトリソグラフィマスク（１６’、１６”）を形成する段階と、
‐前記マスクを支持する前記支持体の面（１４’）上にポジ型の感光性材料の層（１８、１８’）を堆積する段階であって、前記マスクの不透明な部分は前記感光性材料が保持されるべき領域の下にあり、それ故前記ウォールの間には如何なるマスク材料がない段階と、
‐前記マスクを支持する前記面と反対側にある前記支持体の面（１０’）を通して前記感光性材料の層を露光する段階と、
‐前記ウォールを得るために前記感光性材料を現像する段階と、
を含む方法。
【請求項１４】
前記少なくとも一つの副層は、粘着層及び／または電気的作動層及び／またはアラインメント層である請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
少なくとも一つの副層は、ポリイミドである請求項１３または１４に記載の方法。
【請求項１６】
少なくとも一つの副層（１２）は、ＩＴＯまたはＷＯ３である請求項１３ないし１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
少なくとも一つの副層（１２）は、ＳｉＯ２である請求項１３ないし１６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１８】
前記フォトリソグラフィマスクは、ＵＶ吸収材料であり、化学的に除かれうる請求項１３ないし１７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１９】
前記マスク（１６’、１６”）は、クロムまたはチタンである請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記ウォール（２２）は、２μｍより大きい厚さを有する請求項１３ないし１９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２１】
前記ウォールは、１０μｍより小さいか、または１０μｍと０．５μｍの間を備えた幅を有している請求項１３ないし２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記感光性材料は、染料を加えることにより黒色にされた請求項１３ないし２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
前記支持体は、クオーツまたはプラスチックから選択された材料の透明な基板を備えている請求項１３ないし２２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２４】
マイクロ光学またはサブマイクロ光学のデバイスを形成するための方法であって、
請求項１３から２３のいずれか一項に記載の方法を適用して、このデバイスにキャビティの前記ウォール（２２）を形成する段階と、
前記デバイスの前記キャビティ（２１）内に流体（２４、２６）を導入する段階と、
感光性材料である前記ウォール上に閉塞層（９）を形成する段階と、
を含む方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
前記感光性材料は、ネガ型であってもよく、前記マスクの不透明な部分は、前記感光性材料が除かれるべき領域の下に形成される。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
光学的応用の場合において、前記感光性材料がネガ型であるとき、前記キャビティの底部に位置した前記マスクの領域は、これらの同一のキャビティにおける前記材料を除去した後に取り除かれる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
あるいは、前記感光性材料は、ポジ型であってもよく、前記マスクの不透明な部分は、前記感光性材料が保持されるべき領域の下に形成される。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
そのようにして、例として、形成のために用いられる材料として述べることができる。
‐粘着性の副層：ＳｉＯ２
‐電気的作動の副層（電極）：ＩＴＯまたはＷＯ３
‐アラインメント副層：ラビング処理されたポリイミド
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３９】
あるいは、これと同様の基板１０の表面上に、一つ以上の透明フィルム１２、１４が薄層で堆積される。薄層として堆積されたこれらのフィルムは、数百ｎｍの厚さを有するＩＴＯフィルム１２、及び目標とされた応用に依存してこの段階でラビング処理されるか、またはラビング処理されない、厚さが３０ｎｍと１００ｎｍの間を備えた厚さを有するポリイミドフィルム１４（アラインメント層）である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
次の段階の間に（図２Ｄ）、ネガ型を有する厚い感光性樹脂１８（２から１００μｍの間を備えた厚さ）が堆積され、前記マイクロピットの前記ウォールが作られる。この樹脂１８の露光は、前記後面１０’を通して、ＵＶマスク層１６で作られた開口を通して実施される。前記後面１０’からの露光に対して、前記樹脂の除去が続いて望まれる領域を保護している前に作られたマスクと共に、これらのウォールが形成される。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４９】
前記樹脂は、それから露光されていない部分の除去を可能にする現像液に通される。この操作は、この場所で、前記マスク層により保護されている任意のポリマー層１４を損傷させない。化学的エッチングにより前記ＵＶマスク層を除去することにより、マスク及びアラインメント層の堆積に先立って、ラビング処理されることができた前記支持体の表面（ここでは、ポリマー１４の表面）を再び見出すことができる。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５４】
その操作は、この場合では、ポジ型の樹脂である樹脂１８’（図３Ｂ）を除いて、前の実施形態におけるような同様の材料を適用する。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５５】
その段階はそれ故、マスクを作る段階を除いて、前と実質的に同様であり、今後のポジ型のフォトリソグラフィー樹脂１８’を除去することが望まれるところで、前記マスク材料はエッチングにより除去される（図３Ａ）。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５６】
次に、前記マスクの形成後（図３Ｂ）、このポジ型の樹脂１８’が堆積され、再び、前記マイクロピットのウォールが作られる。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６１】
前記実施形態に関わらず、ポジ型またはネガ型の厚い樹脂１８、１８’は染料を加えることによって黒くされてもよい。前記露出時間は、その結果増大するが、しかしそれにも関わらずそれは受け入れられ、この取り組みにおいて、前記後面上の単一の露光が達成される。