【手続補正書】
【提出日】平成24年6月5日(2012.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程を制御するコンピュータ実装方法であって、該方法は、
該製造工程中に測定される従属変数データを受信することであって、該従属変数データは、１つ以上のセンサによって観測される第１の組の工程パラメータの値を代表している、ことと、
複数の工程ツールから該製造工程中に測定される操作変数データと、第２の組の工程パラメータを代表している予測操作変数データとを受信することと、
少なくとも該受信されたデータおよび該製造工程の多変量モデルに基づいて、予測多変量スコア値、多変量統計量、または両方のうちの少なくとも１つを決定することと、
少なくとも該予測多変量スコア値、該多変量統計量、または両方に基づいて、該製造工程の動作パラメータを決定することと
を含む、方法。
【請求項２】
操作変数データによって代表される前記第２の組の工程パラメータは、前記製造工程中に制御される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
従属変数データによって代表される前記第１の組の工程パラメータは、前記製造工程中に直接制御されない、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記動作パラメータは、操作変数の値を含み、前記複数の工程ツールに該操作変数の値を提供することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記操作変数の過去または現在の値と前記従属変数の過去または現在の値とに基づいて、該操作変数の現在または将来の値を修正することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記従属変数データの予測値を受信することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記従属変数データの値を予測することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
動作パラメータを決定することは、コントローラ目的を満たすことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
コントローラ目的を満たすことは、前記製造工程の工程データ、収率データ、結果データ、またはそれらの任意の組み合わせの値を関連付ける動作目的関数を最適化することを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記目的関数は、前記従属変数データ、前記操作変数データ、前記予測スコア値、前記多変量統計量、またはそれらの任意の組み合わせに対する１つ以上の制約を含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記１つ以上の制約は、ユーザ指定される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記１つ以上の制約は、前記多変量モデルから逸脱することに対するペナルティと関連している、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記コントローラ目的は、二次関数であり、該コントローラ目的を満たすことはさらに、前記目的関数のパラメータを最小化することを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
前記多変量スコアまたは前記多変量統計量の望ましい値を決定することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記操作変数データの決定された値、前記従属変数データの過去の値または現在の値、あるいはそれらの任意の組み合わせに基づいて、予測従属変数データの値を予測する従属変数モデルを使用することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
従属変数データによって代表される前記第１の組の工程パラメータの将来の値および操作変数データによって代表される前記第２の組の工程パラメータの将来の値を予測する多変量スコアモデルを使用することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記多変量モデルは、測定された操作および従属変数データと、予測された操作および従属変数データとを受信する、請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
前記多変量統計量は、少なくともスコア、ホテリングのＴ２値、ＤＭｏｄＸ値、残差標準偏差値、またはそれらの任意の組み合わせを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記多変量スコアは、主成分分析スコアまたは部分最小二乗解析スコアを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
前記製造工程は、バッチ型製造工程である、請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
前記製造工程は、連続型製造工程である、請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
連続型製造工程またはバッチ型製造工程のための多変量コントローラであって、該コントローラは、
複数の工程ツールおよび複数のセンサと通信して、該工程ツールからの操作変数データと該センサからの従属変数データとを監視する制御モジュールであって、該制御モジュールは、該製造工程の多変量モデルを含み、該従属変数データは、該複数のセンサによって観測される第１の組の工程パラメータの値を代表しており、該操作変数データは、第２の組の工程パラメータの期待値を代表している、制御モジュールと、
ソルバモジュールであって、該ソルバモジュールは、少なくとも該監視される操作変数データおよび従属変数データに基づいて、該多変量モデルから、予測収率データ、予測操作変数データ、予測従属変数データ、多変量統計量、またはそれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１つを受信することと、該複数の工程ツールと、少なくとも予測多変量統計データを提供する予測モデルとに提供する操作変数の値を生成することとを行う、ソルバモジュールと
を備える、コントローラ。
【請求項２３】
前記コントローラは、前記操作変数の前記生成された値に基づいて、前記複数の工程ツールの１つ以上のパラメータを調整する、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項２４】
前記多変量統計量は、スコア、ホテリングのＴ２値、ＤＭｏｄＸ値、残差標準偏差値、またはそれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項２５】
前記予測モデルは、１つ以上の多変量統計量の前記ソルバモジュールのための予測値を生成する多変量スコアモデルを含む、請求項２４に記載のコントローラ。
【請求項２６】
前記予測モデルは、予測従属変数値を生成する従属変数モデルを含む、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項２７】
前記予測モデルは、前記製造工程からの従属変数の予測値を提供する、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項２８】
前記予測モデルは、前記制御モジュールおよび前記ソルバモジュールに前記予測統計データを提供する、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項２９】
前記ソルバモジュールは、コントローラ目的に基づいて、前記操作変数の値を生成する、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項３０】
前記コントローラ目的は、前記製造工程と関連している二次関数を最適化する、請求項２９に記載のコントローラ。
【請求項３１】
前記コントローラ目的は、前記従属変数データ、前記操作変数データ、前記予測収率データ、前記多変量統計量、またはそれらの任意の組み合わせに対する１つ以上の制約を含む、請求項２９に記載のコントローラ。
【請求項３２】
前記１つ以上の制約は、ユーザ指定される、請求項３１に記載のコントローラ。
【請求項３３】
前記１つ以上の制約は、前記多変量モデルから逸脱することに対するペナルティと関連している、請求項３１に記載のコントローラ。
【請求項３４】
前記ソルバモジュールは、条件付き最適化ソルバである、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項３５】
前記制御モジュールは、前記ソルバモジュールを備える、請求項２２に記載のコントローラ。
【請求項３６】
製造工程を制御するシステムであって、該システムは、
複数の工程ツールから、一組の工程パラメータの期待値を代表している操作変数データを収集し、複数のセンサから、該複数のセンサによって観測される第２の組の工程パラメータの値を代表している従属変数データを収集するデータ収集手段と、
該製造工程の該複数の工程ツールの動作パラメータを決定する工程制御手段と、
多変量統計モデルに基づいて、該工程制御手段に提供する該操作変数データの値を決定する多変量制御手段であって、該多変量統計モデルは、少なくとも該収集された操作変数データおよび従属変数データを受信し、少なくとも該受信されたデータに基づいて、該工程制御手段に予測収率値および統計情報を提供する、多変量制御手段と
を備える、システム。
【請求項３７】
前記工程制御手段によって決定される前記動作パラメータは、制御目的を最適化するか、または満たす、請求項３６に記載のシステム。