【手続補正書】
【提出日】平成15年9月1日(2003.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】マルチ電子源の特性調整方法及び装置ならびにマルチ電子源の製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電子放出素子を基板上に配置したマルチ電子源の特性調整方法であって、
前記各電子放出素子の電子放出特性を計測し、特性調整目標値を設定する工程と、
前記複数の電子放出素子の一部に、離散的な複数の特性シフト電圧値をもつ特性シフト電圧を印加して各々の前記電子放出素子についての電子放出特性を計測し、計測された電子放出特性の変化率に基づいて前記特性シフト電圧値毎に特性調整テーブルを作成する工程と、
前記電子放出素子毎に前記特性調整テーブルを参照し、前記複数の特性シフト電圧値から所定の特性シフト電圧値を選択して、前記電子放出素子に前記特性シフト電圧を印加することにより前記特性調整目標値まで特性をシフトさせるシフト工程と
を有することを特徴とするマルチ電子源の特性調整方法。
【請求項２】
前記特性シフト電圧を印加した後、前記電子放出特性の変化をモニタし、特性シフト条件を再設定する工程をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のマルチ電子源の特性調整方法。
【請求項３】
前記特性シフト条件を再設定する工程は、初回の特性シフト電圧印加後の電子放出特性の変化率が、所定の範囲内であるかどうかを判別する工程と、前記所定の範囲内にないときは、前記特性シフト電圧のパルス幅を再設定する工程とからなることを特徴とする請求項２に記載のマルチ電子源の特性調整方法。
【請求項４】
前記所定の範囲は、前記計測された電子放出特性の変化率に基づいて算出される、予め設定された最大印加パルス数の特性シフト電圧を印加したときの電子放出特性の変化率上限値及び下限値より定められる範囲であることを特徴とする請求項３に記載のマルチ電子源の特性調整方法。
【請求項５】
前記特性シフト条件は、前記特性シフト電圧のパルス幅である請求項１〜４のいずれか１つに記載のマルチ電子源の調整方法。
【請求項６】
前記電子放出特性が、電子放出電流または発光輝度である請求項１〜４のいずれか１つに記載のマルチ電子源の調整方法。
【請求項７】
複数の電子放出素子を基板上に配置したマルチ電子源の各電子放出素子の電子放出特性を調整する特性調整装置であって、
マルチ電子源を構成する前記電子放出素子を選択する選択制御回路と、
各々の前記電子放出素子に印加すべき電圧の波高値及びパルス幅値を設定する波高値及びパルス幅値設定回路と、
前記選択制御回路により選択された前記電子放出素子に前記波高値及びパルス幅値設定回路により設定された電圧を印加する駆動回路と、
前記駆動回路による駆動時に電子放出素子からの電子放出電流を測定する回路と、
前記電子放出電流の測定値を格納するメモリと、
前記選択制御回路により前記複数の電子放出素子の一部を選択し前記波高値及びパルス幅値設定回路により離散的な複数の特性シフト電圧を設定して前記駆動回路にその一部の電子放出素子を駆動させ、各特性シフト電圧印加時の前記測定回路による測定値に基づいて前記一部の電子放出素子の電子放出特性の変化率を算出し、これを基に前記電子放出素子の電子放出電流特性を調整するための特性調整テーブルを作成する演算回路と、
前記特性調整テーブルならびに前記電子放出素子に印加すべき特性シフト電圧の波高値及びパルス幅値を格納するメモリと、
前記特性調整テーブル及び電子放出電流に基づいて前記波高値及びパルス幅値設定回路の設定値を再設定する制御回路と
を具備することを特徴とするマルチ電子源の特性調整装置。
【請求項８】
複数の電子放出素子を基板上に配置したマルチ電子源の製造方法であって、
前記各電子放出素子の電子放出特性を計測し、特性調整目標値を設定する工程と、
前記複数の電子放出素子の一部に、離散的な複数の特性シフト電圧値をもつ特性シフト電圧を印加して各々の前記電子放出素子についての電子放出特性を計測し、計測された電子放出特性の変化率に基づいて前記特性シフト電圧値毎に特性調整テーブルを作成する工程と、
前記電子放出素子毎に前記特性調整テーブルを参照し、前記複数の特性シフト電圧値から所定の特性シフト電圧値を選択して、前記電子放出素子に前記特性シフト電圧を印加することにより前記特性調整目標値まで特性をシフトさせるシフト工程と
を有することを特徴とするマルチ電子源の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子放出素子を多数個備えるマルチ電子源の特性調整方法及び特性調整装置に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、マルチ電子源を構成する電子放出素子の電子放出特性のメモリ特性が、各電子放出素子毎に異なったり、または複数の電子源パネル間で変化しても、ほぼ同一の電子放出特性を有する電子源パネルをほぼ同一のプロセス時間で製造できるような製造プロセスを提供するものである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の特性調整方法は、複数の電子放出素子を基板上に配置したマルチ電子源の特性調整方法であって前記各電子放出素子の電子放出特性を計測し、特性調整目標値を設定する工程と、
前記複数の電子放出素子の一部に、離散的な複数の特性シフト電圧値をもつ特性シフト電圧を印加して各々の前記電子放出素子についての電子放出特性を計測し、計測された電子放出特性の変化率に基づいて前記特性シフト電圧値毎に特性調整テーブルを作成する工程と、
前記電子放出素子毎に特性調整テーブルを参照し、前記複数の特性シフト電圧値から所定の特性シフト電圧値を選択して、前記電子放出素子に前記特性シフト電圧を印加することにより前記特性調整目標値まで特性をシフトさせるシフト工程と
を有することを特徴とする。
本発明においては、前記特性シフト電圧を印加した後、前記電子放出特性の変化をモニタし、特性シフト条件を再設定する工程をさらに有することが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
これにより、簡易な構成で、複数の電子放出素子が配設されたマルチ電子源を有する電子発生装置における、各電子放出素子の特性調整工程の時間が均一化できるとともに、量産製造工程において、特性調整後の電子源パネル間の電子放出特性や特性調整時間のばらつきを抑制することができ、製造工程の管理が容易となる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、複数の電子放出素子が配設されたマルチ電子源を有する電子発生装置において、各電子放出素子の特性調整工程の時間が均一化できるとともに、量産製造工程において、特性調整後の電子源パネル間の電子放出特性や特性調整時間のばらつきを抑制することができ、製造工程の管理が容易となる。