【事件の表示】
　平成　９年特許願第２８７５９２号「ポリシングマシンにおけるドレッシング方法」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　４月２０日出願公開、特開平１１−１０４９４８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明　
　本願は、平成９年１０月６日の出願であって、その請求項１に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認める。（以下、「本願発明」という。）
　「ワークを水又はバキュームによって下面へ貼着するチャック本体と、該チャック本体を装着させたチャックホルダーをチャック用回動軸に軸着したチャック機構と、該チャック機構と並設されポリシングドレッサーを下面へ装着させたドレッサー本体をドレッシング用回動軸に軸着したドレッシング機構と、前記チャック機構とドレッシング機構とに設けた水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構と、前記ドレッシング機構とチャック機構と対峙しポリシングクロスを上面へ張着させたポリシングプレートと、該ポリシングプレートをポリシング用回動軸に軸着したポリシング機構とから成るポリシングマシンを用いて、前記チャック機構と前記ポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時に前記ポリシング機構のポリシングクロスを前記ドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共に前記チャック機構とドレッシング機構とに水平方向に往復摺動運動を与えることを特徴とするポリシングマシンにおけるドレッシング方法。」
　
２．引用例記載の発明及び従来周知の事項
　これに対し、当審において平成１６年２月１０日付けで通知した拒絶の理由に引用した、本願出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平９−２５４０１９号公報（以下、「引用例」という。）には、以下の事項が記載されていると認められる。
（１）第３欄第４９行−第４欄第１行（段落【００２１】参照）
　「本体１０には、図４に示すように盤面に研磨布１２ａが固着された定盤１２が設けられている。定盤１２は、図示しないモータ等により回転駆動される。」
（２）第４欄第５−１５行（段落【００２２】−【００２３】参照）
  「ウエハ保持部１８は、・・・真空吸着等によりガイド２６の内側にウエハ１６を保持して移動可能なもので、図４に示すようにウエハ１６を定盤１２に圧接した状態で回転軸２８を介して回転駆動されるようになっている。本体１０には、図１，２に示すようにドレッサ保持部２２に保持されたドレッサ３０が定盤１２の盤面に対して平行方向及び上下方向に移動自在に設けられている。ドレッサ３０の底面には、図２〜６に示すように円形状の研削具３０ｂが設けられると共に研削具３０ｂのまわりにブラシ３０ａが設けられている。」
（３）第４欄第２５−３９行（段落【００２６】−【００２７】参照）
　「研磨処理に際しては・・・ウエハ保持部１８でウエハ１６を保持した状態でウエハ１６を回転させながら定盤１２上の研磨布１２ａにウエハ１６を圧接して研磨を行なう。・・・一方、ドレッシング処理に際しては、ドレッサ保持部２２でドレッサ３０を図１〜４に示すように回転する定盤１２上に移動させ、ドレッサ３０を回転させながら回転中の定盤１２上の研磨布１２ａに圧接する。」
（４）第４欄第４１行−第５欄第１行（段落【００２８】参照）
  「ドレッシング処理は、・・・ウエハ研磨に並行して行なってもよい。すなわち、図１〜４に示すように定盤１２上にウエハ保持部１８及びドレッサ保持部２２によりウエハ１６及びドレッサ３０を並べて配置し、・・・定盤１２、ウエハ１６及びドレッサ３０を矢印方向に回転させて研磨とドレッシングとを同時に行なう。このようにすると、研磨中にたえずドレッシングが行なわれるため、安定した研磨性能が得られる・・・」
（５）第５欄第２８行−第５欄第４４行（段落【００３３】−【００３５】参照）
  「図９，１０の装置の特徴とするところは、ドレッサ３０を定盤１２上の研磨布に圧接した状態で回転させつつ矢印Ａ，Ａ’方向及びＢ，Ｂ’方向に揺動させることによりドレッシングを行なうようにしたことである。・・・ドレッサ３０を揺動させるには、一例として、先端にドレッサ保持部２２が取付けられたアーム２２Ａを支持部２３に回動自在に且つ往復動自在に装着し、図示しないシリンダ等の駆動手段でドレッサ保持部２２をＡ，Ａ’方向及びＢ，Ｂ’方向に駆動すればよい。図９，１０の構成によれば、定盤１２の盤面内におけるドレッシングの均一性を図１，２の構成に比べて一層向上させることができる。」
　以上のとおりであるので、上記（１）−（５）の摘記事項及び図１−４、９、１０の記載からみて、引用例には、
　「ウエハを真空によって下面へ貼着するウエハ保持部１８を回転軸２８に軸着した保持機構と、該保持機構と並設されブラシ３０ａ、研削具３０ｂを下面へ装着させたドレッサ３０を回転軸３６に軸着したドレッシング機構と、前記ドレッシング機構に設けた水平方向に揺動運動を与える揺動機構と、前記ドレッシング機構と保持機構と対峙し研磨布１２ａを上面へ貼着させた定盤１２と、該定盤を回動軸に軸着した研磨機構とから成る研磨装置を用いて、前記保持機構と前記研磨機構とによりウエハを研磨加工しながら同時に前記研磨機構の研磨布を前記ドレッシング機構のブラシ及び研磨具によりドレッシングすると共に、前記ドレッシング機構に水平方向に揺動運動を与える研磨装置におけるドレッシング方法。」（以下、「引用例記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
　また、本願出願前に日本国内で頒布された刊行物である特開平９−２４６２１８号公報及び特開平６−３２０４１３号公報に記載されているとおり、以下の事項が本願出願前周知である。
　「水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構をチャック機構とドレッシング機構に設け、チャック機構とポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時に前記ポリシング機構のポリシングクロスをドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共に前記チャック機構とドレッシング機構とに水平方向に往復摺動運動を与えるポリシングマシンにおけるドレッシング方法。」（以下、「従来周知の事項」という。）
　
３．対比
　そこで、本願発明と引用例記載の発明とを対比すると、後者の「ウエハ」は前者の「ワーク」に、後者の「真空」は前者の「バキューム」に、後者の「ウエハ保持部１８」は前者の「チャック本体」及び「該チャック本体を装着させたチャックホルダー」に、後者の「保持機構」は前者の「チャック機構」に、それぞれ相当する。
　また、後者の「ブラシ３０ａ、研削具３０ｂ」は前者の「ポリシングドレッサー」に、後者の「ドレッサ３０」は前者の「ドレッサー本体」に、後者の「揺動運動」は前者の「往復摺動運動」に、後者の「揺動機構」は前者の「往復摺動機構」にそれぞれ相当する。
　さらに、後者の「研磨布１２ａ」は前者の「ポリシングクロス」に、後者の「定盤１２」は前者の「ポリシングプレート」に、後者の「研磨機構」は前者の「ポリシング機構」に、後者の「研磨装置」は前者の「ポリシングマシン」に、それぞれ相当する。
　したがって、本願発明と引用例記載の発明とは、
「ワークをバキュームによって下面へ貼着するチャック本体と、該チャック本体を装着させたチャックホルダーをチャック用回動軸に軸着したチャック機構と、該チャック機構と並設されポリシングドレッサーを下面へ装着させたドレッサー本体をドレッシング用回動軸に軸着したドレッシング機構と、前記ドレッシング機構に設けた水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構と、前記ドレッシング機構とチャック機構と対峙しポリシングクロスを上面へ張着させたポリシングプレートと、該ポリシングプレートをポリシング用回動軸に軸着したポリシング機構とから成るポリシングマシンを用いて、前記チャック機構と前記ポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時に前記ポリシング機構のポリシングクロスを前記ドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共に前記ドレッシング機構に水平方向に往復摺動運動を与えるポリシングマシンにおけるドレッシング方法。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
〈相違点〉前者は、水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構をチャック機構とドレッシング機構に設け、チャック機構とポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時にポリシング機構のポリシングクロスをドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共にチャック機構とドレッシング機構とに水平方向に往復摺動運動を与えるのに対し、後者は、水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構をドレッシング機構にのみ設け、チャック機構とポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時にポリシング機構のポリシングクロスをドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共にドレッシング機構にのみ水平方向に往復摺動運動を与える点。
　
４．当審の判断
　上記相違点について検討すると、水平方向に往復摺動運動を与える往復摺動機構をチャック機構とドレッシング機構に設け、チャック機構とポリシング機構とによりワークを研磨加工しながら同時に前記ポリシング機構のポリシングクロスをドレッシング機構のポリシングドレッサーによりドレッシングすると共に前記チャック機構とドレッシング機構とに水平方向に往復摺動運動を与えるポリシングマシンにおけるドレッシング方法は、従来周知の事項であるから、引用例記載の発明において、当該従来周知の事項を採用し、相違点に係る本願発明の発明特定事項とすることは、当業者が容易になし得ることである。
　また、本願発明の作用効果は、引用例記載の発明及び従来周知の事項から当業者が予測できる範囲のものである。
　
５．むすび
　したがって、本願発明は、引用例記載の発明及び従来周知の事項から当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。