【手続補正書】
【提出日】平成16年1月6日(2004.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】位置計測装置、露光装置、デバイス製造方法および位置計測方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２のマークの位置を計測する位置計測装置であって、
前記第１および第２のマークの画像を検出する検出手段と、
前記検出手段により得られた画像を処理する処理手段と、
前記第１および第２のマークに関してそれぞれ信号強度が調整された少なくとも２つの画像が得られるように、前記検出手段および前記処理手段を制御する制御手段と
を有することを特徴とする位置計測装置。
【請求項２】
前記検出手段は、前記第１および第２のマークを照明する照明系を含むことを特徴とする請求項１に記載の位置計測装置。
【請求項３】
前記照明系は調光手段を含むことを特徴とする請求項２に記載の位置計測装置。
【請求項４】
前記検出手段により得られた複数の画像が前記制御手段の制御下で前記処理手段により加算されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の位置計測装置。
【請求項５】
前記検出手段により得られた画像の前記第１および第２のマークの信号強度に基づいて、加算される前記複数の画像の数が決定されることを特徴とする請求項４に記載の位置計測装置。
【請求項６】
前記処理手段による画像加算により得られた画像の前記第１および第２のマークの一方の信号強度に基づいて、加算される前記複数の画像の数が決定されることを特徴とする請求項４に記載の位置計測装置。
【請求項７】
前記検出手段による画像検出の蓄積時間が、前記制御手段の制御下で変更されることを特徴とする請求項１に記載の位置計測装置。
【請求項８】
前記検出手段により得られた画像の前記第１および第２のマークの信号強度に基づいて、前記蓄積時間が変更されることを特徴とする請求項７に記載の位置計測装置。
【請求項９】
前記第１および第２のマークは位置合わせされるべき２つの物体の上にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の位置計測装置。
【請求項１０】
前記第１および第２のマークの一方は前記検出手段内に形成されていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の位置計測装置。
【請求項１１】
前記第１および第２のマークの位置は前記少なくとも２つの画像に基づいて得られることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の位置計測装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の位置計測装置を有し、物体にパターンを露光することを特徴とする露光装置。
【請求項１３】
前記第１および第２のマークの一方は前記物体に関係付けられていることを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記物体にパターンを露光するための投影光学系を有し、前記検出手段は前記投影光学系を介して前記第１および第２のマークの一方を検出することを特徴とする請求項１２又は１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
請求項１〜１１のいずれかに記載の位置計測装置を用いて物体の位置合わせを行う位置合わせ工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１６】
請求項１２〜１４のいずれかに記載の露光装置を用いて物体にパターンを露光する露光工程を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１７】
第１および第２のマークの位置を計測する位置計測方法であって、
前記第１および第２のマークの画像を検出する検出工程と、
前記検出工程において得られた画像を処理する処理工程と、
を含み、
前記第１および第２のマークに関してそれぞれ信号強度が調整された少なくとも２つの画像が得られるように、前記検出工程および前記処理工程を実行させることを特徴とする位置計測方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、位置計測装置、露光装置、デバイス製造方法および位置計測方法に関するものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、２つのマークのコントラスト（光量）の差が大きくても精度よくマーク位置を求めることができる位置計測装置、露光装置、デバイス製造方法および位置計測方法を提供することを目的としている。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の位置計測装置は、第１および第２のマークの位置を計測する位置計測装置であって、前記第１および第２のマークの画像を検出する検出手段と、前記検出手段により得られた画像を処理する処理手段と、前記第１および第２のマークに関してそれぞれ信号強度が調整された少なくとも２つの画像が得られるように、前記検出手段および前記処理手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の好ましい実施の形態において、前記検出手段は、前記第１および第２のマークを照明する照明系を含む。該照明系は調光手段を含んでもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、前記検出手段により得られた複数の画像が前記制御手段の制御下で前記処理手段により加算される。加算される前記複数の画像の数は、前記検出手段により得られた画像の前記第１および第２のマークの信号強度に基づいて、あるいは、前記処理手段による画像加算により得られた画像の前記第１および第２のマークの一方の信号強度に基づいて、決定される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、前記検出手段による画像検出の蓄積時間を前記制御手段の制御下で変更することも可能である。この場合、前記蓄積時間は、例えば、前記検出手段により得られた画像の前記第１および第２のマークの信号強度に基づいて変更される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
前記第１および第２のマークは位置合わせされるべき２つの物体の上にそれぞれ形成されている。または、前記第１および第２のマークの一方は前記検出手段内に形成されている。そして、前記第１および第２のマークの位置は前記少なくとも２つの画像に基づいて得られる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の露光装置は、上記の位置計測装置を有し、物体にパターンを露光することを特徴とする。前記露光装置において、例えば、前記第１および第２のマークの一方は前記物体に関係付けられている。また、前記物体にパターンを露光するための投影光学系を有し、前記検出手段は前記投影光学系を介して前記第１および第２のマークの一方を検出する。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明のデバイス製造方法は、上記の位置計測装置を用いて物体の位置合わせを行う位置合わせ工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
また、本発明の他のデバイス製造方法は、上記の露光装置を用いて物体にパターンを露光する露光工程を含むことを特徴とする。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明の位置計測方法は、第１および第２のマークの位置を計測する位置計測方法であって、前記第１および第２のマークの画像を検出する検出工程と、前記検出工程において得られた画像を処理する処理工程と、を含み、前記第１および第２のマークに関してそれぞれ信号強度が調整された少なくとも２つの画像が得られるように、前記検出工程および前記処理工程を実行させることを特徴とする。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
第１および第２のマークそれぞれについて、信号コントラストが十分な画像を用いての位置計測が可能となる。