【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年2月12日(2014.2.12)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１６】
本発明（その主目的及び付随する利益を含む）のより完全な理解のためには、以下に示した［発明を実施するための形態］を参照すべきである。この［発明を実施するための形態］は添付図面に照らし合わせて読むのがよい。該添付図面において、
【図１Ａ】図１Ａ〜１Ｃは、本発明に従って製造された窒化ホウ素ナノチューブのストリーマの形成を示すビデオから取った静止画像から作成した図面である。スケールバーは１センチメートルである。
【図１Ｂ】図１Ａ〜１Ｃは、本発明に従って製造された窒化ホウ素ナノチューブのストリーマの形成を示すビデオから取った静止画像から作成した図面である。スケールバーは１センチメートルである。
【図１Ｃ】図１Ａ〜１Ｃは、本発明に従って製造された窒化ホウ素ナノチューブのストリーマの形成を示すビデオから取った静止画像から作成した図面である。スケールバーは１センチメートルである。
【図１Ｄ】図１Ｄは、本発明の一態様に従って、ホウ素含有ターゲットと自由電子レーザー（ＦＥＬ）ビームの関係を示す概略図である。この図には、本発明に従って製造された窒化ホウ素ナノチューブのストリーマの輪郭も示す。スケールバーは１センチメートルである。
【図２Ａ】図２Ａ〜２Ｄは、高分解能走査型電子顕微鏡（ＨＲＳＥＭ）画像から作成した図面である。図２Ａは、未加工のストリーマ材料、窒化ホウ素ナノチューブのネットワーク及び丸いナノ粒子を示す。スケールバーは２００ｎｍである。窒化ホウ素ターゲット。
【図２Ｂ】図２Ａ〜２Ｄは、高分解能走査型電子顕微鏡（ＨＲＳＥＭ）画像から作成した図面である。図２Ｂは、図２Ａに示されているのと同じ材料の走査型透過モード（ＳＴＥＭ）画像を示す。スケールバーは２０ｎｍである。図２Ｂの差込図は、窒化ホウ素で被包されたホウ素ナノ粒子から成長する個別の窒化ホウ素ナノチューブを示す。差込図のスケールバーは１０ｎｍである。
【図２Ｃ】図２Ａ〜２Ｄは、高分解能走査型電子顕微鏡（ＨＲＳＥＭ）画像から作成した図面である。図２Ｃは、ストリーマの未加工材料の画像を示す。ターゲットはホウ素金属である。スケールバーは２００ｎｍである。
【図２Ｄ】図２Ａ〜２Ｄは、高分解能走査型電子顕微鏡（ＨＲＳＥＭ）画像から作成した図面である。図２Ｄは、穴あき炭素格子上の長い窒化ホウ素ナノチューブ束（バンドル）のＳＴＥＭ画像を示す（差込図上の矢印によって示されている）。差込図のスケールバーは５００ｎｍであり、主画像のスケールバーは２０ｎｍである。主画像は整列したバンドルの拡大図を示す。
【図３Ａ】図３Ａ、３Ｃ、３Ｄ及び３Ｅは、高分解能透過型電子顕微鏡法（ＨＲＴＥＭ）画像から作成した図面である。図３Ａは、滑らかな数層の結晶窒化ホウ素ナノチューブを示す。主画像のスケールバーは５ｎｍである。差込図のスケールバーは５ｎｍである。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明による窒化ホウ素ナノチューブの電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）のスペクトルを描く。
【図３Ｃ】図３Ａ、３Ｃ、３Ｄ及び３Ｅは、高分解能透過型電子顕微鏡法（ＨＲＴＥＭ）画像から作成した図面である。図３Ｃは、窒化ホウ素ナノチューブ束及び窒化ホウ素で被包されたホウ素ナノ粒子のゼロ損失画像を示す。スケールバーは５０ｎｍである。
【図３Ｄ】図３Ａ、３Ｃ、３Ｄ及び３Ｅは、高分解能透過型電子顕微鏡法（ＨＲＴＥＭ）画像から作成した図面である。図３Ｄは、図３Ｃに示されているのと同じ領域のエネルギーフィルター透過型電子顕微鏡法（ＥＦＴＥＭ）によるホウ素の元素マップを示す。
【図３Ｅ】図３Ａ、３Ｃ、３Ｄ及び３Ｅは、高分解能透過型電子顕微鏡法（ＨＲＴＥＭ）画像から作成した図面である。図３Ｅは、図３Ｃに示されているのと同じ領域のエネルギーフィルター透過型電子顕微鏡法（ＥＦＴＥＭ）による窒素の元素マップを示す。
【図４】図４は、主図及び差込図において、固化ホウ素小滴の後流中のホウ素／窒素混合ゾーンでの数層窒化ホウ素ナノチューブ成長の提案モデルを概略的に示す。
【図５】図５は、ホウ素含有ターゲットの縁付近における窒化ホウ素ナノチューブファイバーの４つの整列したミリメートル規模のストリーマを描いた光学顕微鏡画像から作成した図面である。ホウ素蒸気は画像の上部から固化金属の頂上部に下降して流れ、そこで窒素と混合することにより、これらのミリメートル規模の数層窒化ホウ素ナノチューブ構造の形成が起きた。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
図１Ａ〜１Ｃで、ビデオクリップからの静止画像は三つの別のストリーマ形成の例を示している。レーザービーム（波長１．６ミクロン、直径８ｍｍ、非集束、１ｋＷ、ＦＥＬ（自由電子レーザー）からのビーム）は、垂直に下降して伝播しターゲットに入る。プレスされたホウ素金属粉末の直径２．５ｃｍのプラグであるターゲットは、ターンテーブル上で２０秒／回転で回転している。ターゲットの回転の中心はビームの中心からビーム直径の約半分偏っているので、ターゲットの回転につれてレーザーはその直径の約２倍の穴を開けることになる。周囲温度の窒素ガスは合成チャンバに絶えず供給されている。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１９】
レーザーで掘削された穴の辺縁でストリーマが形成され、ホウ素蒸気の上昇流によって伸長される。はためく動きはファイバーがホウ素蒸気乱流のストリームラインに従うために発生する。ホウ素蒸気は穴の底部でのレーザー加熱によって生じる。穴はこの時点では約２ｃｍの深さである。ストリーマは迅速に形成され、約１／３０秒以内に１センチメートルを超える長さに達する。ストリーマの部分はプツンと切れ、低速流の窒素ガスによってチャンバから運び出される前はターゲット上方で旋回している。この（ビデオ）クリップのチャンバ圧は約１２バールである。その他の高めた周囲圧も適用され、現在調査中である。その他のレーザー、並びにその他の加熱法も適用され、同じく現在調査中である。高めたチャンバ圧はストリーマの形成に実に重要である。窒素圧を１２バールから１バールよりわずかに高い圧力（ほぼ大気圧）に減じると、ストリーマは見られず、代わりにレーザー照射ゾーンからスパークのシャワーが吐出された。運転後分析で、そのスパークは、レーザーゾーンからの吐出後固化したホウ素金属小滴のようで、チャンバの底に静止した。合成チャンバを開けるとホウ素蒸気の臭気があり、窒素との反応がなかったことを示していた。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
この挙動は図２Ａ及び２Ｃに説明されている。これらは、類似条件下でホウ素金属及び窒化ホウ素の両ターゲットによって形成されたストリーマのＨＲＳＥＭ（高分解能走査型電子顕微鏡画像）である。これを見ると、ストリーマは、荷重下で変形でき、その後元の形状に跳ね戻ることができるＢＮＮＴ束ストランドのネットワークで構成されていることが分かる。同じくＨＲＳＥＭ中に見えるのは、直径５〜８０ｎｍの範囲の多数の球状ナノ粒子である。図２Ｂは、走査型透過モード（ＳＴＥＭ）下でのネットワークの近接図で、差込図に単一の小滴が強調表示されている。この小滴は、結晶コーティングと、一つの頂点から出た直径約３ｎｍの単一ＢＮＮＴを有しているようである。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２４】
エネルギーフィルター透過型電子顕微鏡法（ＥＦＴＥＭ）を用いて作成された元素マップは、ナノチューブがＢＮであることを裏付けていたが、ナノ粒子が結晶ＢＮの層で被覆されたホウ素金属で構成されていることも示していた。図３Ｃは、レース状シリコン膜上のストリーマ原料のＴＥＭゼロエネルギー損失画像を示す。元素マップは、標準的なスリーウィンドウ技術を用いてこの領域から取得した。ホウ素及び窒素のマップを図３Ｄ及び３Ｅに示す。ＢＮＮＴはどちらの画像でも中等度のグレーレベルを示し、予測されたＢ及びＮの含有量と一致する。しかしながら、ナノ粒子は、Ｂマップでは明るいコア、Ｎマップでは明るいコーティングで現れ、表面にＢＮの成長を有する固体のホウ素小滴を示している。図４は、ストリーマがマクロスケールでどのように形成されるかに関する我々の結論のモデルである。左下の図に描かれた状況に到達するのに初期の過渡的プロセスがある。レーザーが最初にターゲット表面にぶつかった後３０秒間ほどはストリーマは見えず、吐出された材料の暗雲が見えるだけである。この間、レーザーはアブレーションによってホウ素金属を除去しながら、ターゲットの奥深くにキャビティ（空洞）を掘削していく。穴が深くなると（〜２ｃｍ）、ウォール（壁）の自然なテーパリング（先細）が掘削プロセスを緩徐化する。約１分間の総照射時間の後、穴は放射キャビティとなり、温度をホウ素の沸点に上昇させる。ビデオでは、影のようなグラフィックウェーブ（熱い道路上の空中に見られる波紋のような）がターゲットの上に出現し、合成チャンバにおける熱い上昇ホウ素蒸気と冷たい窒素ガスの混合を示している。この状態に達すると、ストリーマがキャビティの縁付近で形成され始め、図４の左下に描かれた状況が見られるようになる。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
この時点でホウ素蒸気の著しい上昇流が確立される。ターゲットの運転後分析に基づくと、ストリーマは図４の右側に描かれた空気力学的メカニズムに従って形成されるようである。ターゲットの内部辺縁で、直径数ミクロンから数ミリメートルの多数の固化したホウ素金属小滴が形成された。ストリーマは、これらの金属小滴の下流（上）側に優先的に付着していた。これらは、窒素ガスが金属小滴の空気力学的後流(aerodynamic wake)を上って浸透し、ＢＮＮＴ成長に必要な原料であるホウ素と窒素蒸気の混合ゾーンを形成できる領域である。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
それぞれの長いストリーマの基部に、多数の短い個別のＢＮＮＴ細根(feeder root)が見られた。これらの短い根はウォールから数ミリメートル成長した後、ホウ素蒸気流の乱流力のために一緒に絡まったと結論付けられた。主要ストリーマは、それらの細根の速い相互成長によって供給され、センチメートル長の規模に成長した。光学及びＳＥＭ顕微鏡下での検査で、個々の根は表面上の様々な凹凸、すなわち固化ホウ素金属における粒界、表面上のミクロンサイズの小滴、及び明らかなＢＮ結晶の白色粒子に付着していることが分かった。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
ＢＮＮＴストリーマの核形成におけるホウ素金属小滴の可能性ある役割について一言言っておくべきである。明らかに、ホウ素小滴はストリーマ材料の構造中に見出されており（図２Ａ、２Ｂ及び３Ｃ）、ナノチューブはそれらから成長できるように見える（図２Ｂ、差込図）。しかしながら、ストリーマは成長中（及びレーザーを止めた後も）それらの根によって表面に付着したままなので、それらの主な成長メカニズムは固定された凹凸上での表面核形成であると結論付けられる。もし主な成長メカニズムがホウ素小滴のクラウドによる核形成であったら、ＢＮＮＴストリーマは表面に付着せず、小滴に付着するだけである（レーザー−オーブン製造されたカーボンナノチューブで見られるように）。しかしながら、ホウ素蒸気ストリームはターゲットのキャビティを出るとすぐに冷えるので、ホウ素小滴の発生はよくあることで驚くには当たらない。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】図面
【訂正対象項目名】図４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図４】
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