Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月6日(2003.8.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムに磁気情報を書き込む書込手段と、フィルムに書き込まれている磁気情報の読み出しを行う読出手段と、フィルム給送用の駆動手段とを備えたカメラにおいて、前記書込手段を、フィルム給送方向の先頭側に配置し、前記読出手段を、フィルム給送方向の後方側に配置したことを特徴とするカメラ。
【請求項２】
前記読出手段は、前記駆動手段の駆動時に発生するノイズが影響しない様に、該駆動手段よりも離れた位置に配置されることを特徴とする請求項１記載のカメラ。
【請求項３】
前記フィルムの各撮影画面の前後に具備されたフィルム給送制御用の２個のパーフォレーションの位置を検出することにより、前記書込手段と前記読出手段の書き込み開始用、及び、読み出し開始用のタイミング信号を発生する単一の信号発生手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のカメラ。
【請求項４】
アパーチャ位置に設定された撮影駒のフィルム給送方向の後方のパーフォレーションを前記信号発生手段が検出した時に、前記書込手段は前記撮影駒に対する磁気情報の書き込み開始位置に対向し、前記読出手段は前記書込手段の位置に対して略１駒分後方となる位置関係に、前記書込手段、前記読出手段及び前記信号発生手段は配置されていることを特徴とする請求項３記載のカメラ。
【請求項５】
前記フィルムの各撮影画面の前後に具備されたフィルム給送制御用のパーフォレーションの位置を検出することにより、前記読出手段の読み出し開始用のタイミング信号を発生する第１の信号発生手段と、前記パーフォレーションの位置を検出することにより、前記書込手段の書き込み開始用のタイミング信号を発生する第２の信号発生手段とを備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のカメラ。
【請求項６】
アパーチャ位置に設定された撮影駒のフィルム給送方向の後方のパーフォレーションを前記第２の信号発生手段が検出した時に、前記書込手段は前記撮影駒に対する磁気情報の書き込み開始位置に対向し、アパーチャ位置に次の撮影駒が設定され、該撮影駒のフィルム給送方向の後方のパーフォレーションを前記第１の信号発生手段が検出した時に、前記読出手段は該撮影駒に対する磁気情報の読み出し開始位置に対向する位置関係に、前記書込手段、前記読出手段及び前記信号発生手段は配置されていることを特徴とする請求項５記載のカメラ。
【請求項７】
前記第１の信号発生手段は、前記書込手段の書き込み終了用のタイミング信号発生用としても用いられることを特徴とする請求項５又は６記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この為、書き込まれた磁気情報を基に露光済みか未露光駒かを検知することにより、使用途中フィルムの未露光駒をアパーチャにセットする構成のものにおいては、この読み出しエラーの為に二重露光を起こす危険性を有していた。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
更に、フィルム巻取りスプール側には種々の構成部品が配置されることから、読み出し用磁気ヘッドをフィルム巻取りスプール側に配置するにはレイアウト上、困難性を伴うものであった。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図１において、１はフォトリフレクタであり、フィルムＦのパーフォレーションＰ１，Ｐ２を検知してフィルムの一定距離の給送を行うと共に、フィルムＦ上の磁気記録部（以下、トラックＴとも記す）へ磁気情報を書き込み始めるべきタイミング信号や、書き込まれた磁気情報を読み出し始めるべきタイミング信号を出力する。２は同じくフォトリフレクタであり、フィルムＦのパーフォレーションＰ１，Ｐ２を検知してフィルムの一定距離の給送を行うと共に、フィルムＦ上のトラックＴへ磁気情報の書き込みを終了するべきタイミング信号を出力する。３はフィルム巻取りスプール１８内に配置されたフィルムＦの巻き上げ及び巻き戻しを行う給送用モータ、４は減速及びフィルムＦの巻き上げ及び巻き戻しの切り換えを行うギヤ機構、５は巻き戻し用のフォークである。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
（発明と実施の形態の対応）上記実施の各形態において、書き込み用磁気ヘッド６が本発明の書込手段に、読み出し用磁気ヘッド８が本発明の読出手段に、給送用モータ３が本発明の駆動手段に、フォトリフレクタ２（ＰＩ２）が本発明の単一の信号発生手段に、フォトリフレクタ１（ＰＩ１）が本発明の第１の信号発生手段に、フォトリフレクタ２（ＰＩ２）が本発明の第２の信号発生手段に、それぞれ相当する。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
また、本発明によれば、フィルムの各撮影画面の前後に具備されたフィルム給送制御用の２個のパーフォレーションの位置を検出することにより、前記書込手段と前記読出手段の書き込み開始用、及び、読み出し開始用のタイミング信号を発生する単一の信号発生手段を備えている為、書き込み開始や読み出し開始のタイミング信号とそれに伴った磁気情報の書き込みと読み出しを適切に行うことが可能になる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
また、本発明によれば、フィルムの各撮影画面の前後に具備されたフィルム給送制御用のパーフォレーションの位置を検出することにより、前記読出手段の読み出し開始用のタイミング信号を発生する第１の信号発生手段と、前記パーフォレーションの位置を検出することにより、前記書込手段の書き込み開始用のタイミング信号を発生する第２の信号発生手段とを備えている為、書き込み開始や読み出し開始のタイミング信号とそれに伴った磁気情報の書き込みと読み出しを適切に行うことが可能になる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月9日(2003.9.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図１において、１−１はシーケンス制御及び演算を行う制御手段としてのシステムコントローラ、１−２はデータを記憶するＲＡＭ、１−３はプログラムやデータを記憶するＲＯＭ、１−４は被写体の光量を測定する測光回路、１−５は被写体までの距離を測定する測距回路、１−６はフィルムへの露光を行うシャッタドライバ、１−７はストロボ回路である。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
１−８は使用者の視線を検出する視線検出装置、１−９はファインダ内液晶表示部１−１０の駆動回路であり、このファインダ内液晶表示部１−１０は、透過型であってファインダ視野内に設置されている。１−１１はＣ／Ｈ／Ｐの撮影画面サイズの切り換えを視線入力で行うための指標、１−１２はフィルムへの露光を指示するレリーズスイッチである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図７は、撮影画面サイズＣ／Ｈ／Ｐの切り換えを視線入力で行うための指標１−１１の変化の状態を表している。同図において、７−１は指標が点灯している状態を示しており、７−２は指標が点滅した状態を示している。この７−２の点滅状態は、視線入力待ちの状態を表しており、１度目の視線入力から設定された所定時間点滅することで１度目の視線入力の受け付けを表すと同時に、２度目の視線入力の受け付け待ち状態を表している。７−３は、指標が点灯している状態で、２度目の視線入力を受けた状態を表している。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
（６−２）では、（６−１）で行われた視線検出の判定が行われ、視線の検出が成功している場合は（６−３）に進み、視線の検出が成功していない場合は（６−７）に進む。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
（６−４）では、Ｃ／Ｈ／Ｐ切り換えの指標１−１１が点滅しているか否かの判定を行う。ここでいう点滅している状態とは、図７の７−２で示したように１度視線入力によりＣ／Ｈ／Ｐ切り換えを判定した後、所定時間内に２度目の視線入力を判定するまでの間の状態である。点滅している場合は（６−５）に進み、点灯している場合は（６−６）に進む。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月26日(2003.9.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】電気光学装置


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一基板上に配置された画素マトリクス回路とロジック回路とを有する電気光学装置において、
前記画素マトリクス回路が占有する領域に前記ロジック回路の一部または全部が配置されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
同一基板上に配置された画素マトリクス回路とロジック回路と、
前記画素マトリクス回路を形成する、画素TFTおよび画素電極を有する複数の画素と、を有する電気光学装置において、
前記画素マトリクス回路が占有する領域に前記ロジック回路の一部または全部が配置されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
同一基板上に配置された画素マトリクス回路とロジック回路を有するアクティブマトリクス基板と、
前記画素マトリクス回路を形成する、画素TFTおよび画素電極を有する複数の画素と、前記アクティブマトリクス基板上に保持された液晶層と、を有する電気光学装置において、
前記画素マトリクス回路が占有する領域に前記ロジック回路の一部または全部が配置されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、ロジック回路の一部または全部は前記画素マトリクス回路を構成する画素TFTに接続した画素電極の下方に配置されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、ロジック回路とは駆動回路および／またはコントロール回路とで構成されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５において、コントロール回路は、プロセッサー回路、メモリ回路、Ａ／ＤまたはＤ／Ａコンバータ回路、補正回路、およびパルス発振回路を含むことを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項３乃至請求項６のいずれか一項において、前記液晶層は前記アクティブマトリクス回路と対向基板との間に狭持されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項における電気光学装置を用いていることを特徴とする電子機器。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
なお、図５では一つの画素領域内に２つのロジック回路５０３、５０４が組み込まれた構成となっているがこれは一例にすぎない。他の画素領域との間を相互に引回し配線で接続して、複数の画素領域にわたって一つの機能回路を構成することも可能である。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
以上の様な構成とすることでロジック回路を画素マトリクス回路内に組み込むことが可能である。即ち、図５の様にガラス基板５０１のサイズを最大限に活用して画素マトリクス回路５０２を構成できる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月2日(2003.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納位置と発光位置に移動可能で、かつ、閃光管の照射角を切換可能な閃光発光部を備えたカメラにおいて、
駆動源と、該駆動源の動作に連動して移動する駆動部材と、該駆動部材によって駆動される連結部材と、該閃光発光部内部で該閃光管の照射角を切換可能に保持する保持部材とを備え、
該連結部材は、該駆動部材が第１移動範囲を移動するときは、該駆動部材の移動を該保持部材には伝達せずに該閃光発光部に伝達することで該閃光発光部を収納位置と発光位置との間で移動させ、該駆動部材が第２移動範囲を移動するときは、該駆動部材の移動を該保持部材に伝達することで該閃光発光部の照射角を切換えることを特徴とするカメラ。
【請求項２】
該連結部材と該保持部材が長穴をもって嵌合しており、該駆動部材が第２移動範囲を移動するときに、該連結部材と該保持部材とが該長穴の端部にて当接することを特徴とする請求項１記載のカメラ。
【請求項３】
該連結部材は弾性材で構成され、該駆動部材が第１移動範囲を移動するときは、該連結部材が該閃光発光部を押すことによって該閃光発光部を収納位置と発光位置との間で移動させ、該駆動部材が第２移動範囲を移動するときは、該連結部材が弾性変形をしながら該保持部材を押すことによって該閃光管の照射角を切換えることを特徴とする請求項１または２記載のカメラ。
【請求項４】
該駆動部材が第２移動範囲を移動するときは、該閃光発光部はカメラ本体に当接していることを特徴とする請求項３記載のカメラ。
【請求項５】
該閃光発光部は該閃光管を常にワイド側に付勢する弾性部材を備え、該弾性部材により該閃光管にトリガ電圧を与えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のカメラ。
【請求項６】
該駆動源はカメラに設けられた撮影レンズの焦点距離を変更するために駆動されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
【従来の技術】
従来より、閃光装置内臓カメラは種々提案、または商品化されているが、特に近年においてはカメラの小型化が進み、また、撮影レンズのズーム比が大きくなってきたことにより、撮影レンズ光軸と閃光光軸との距離が小さくなり、さらに被写体（人）とカメラの距離、いわゆる撮影光軸が延びる傾向にある。
このことにより閃光発光が被写体（人）の瞳に入射し、網膜にて反射する、いわゆる赤目現象が起こりやすくなっており、この赤目現象を抑えることはカメラの商品化において重要視せねばならないことになっている。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前述の目的を達成するために、本発明は、収納位置と発光位置に移動可能で、かつ、閃光管の照射角を切換可能な閃光発光部を備えたカメラであって、駆動源と、該駆動源の動作に連動して移動する駆動部材と、該駆動部材によって駆動される連結部材と、該閃光発光部内部で該閃光管の照射角を切換可能に保持する保持部材とを備え  該連結部材は、該駆動部材が第１移動範囲を移動するときは、該駆動部材の移動を該保持部材には伝達せずに該閃光発光部に伝達することで該閃光発光部を収納位置と発光位置との間で移動させ、該駆動部材が第２移動範囲を移動するときは、該駆動部材の移動を該保持部材に伝達することで該閃光発光部の照射角を切換えるものである。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、該駆動スプリング１７はその一端１７ａが途中でＵ字状に曲げられ、さらにその先端部は一度カメラ外側方向に曲げられた状態からクランク部１７ｃになっている。
１８はコンロッドで、その一端は前記ホルダー１４の軸１４ｃに嵌入し、その他端側には長穴１８ａが形成され、該長穴１８ａに該駆動スプリング１７のクランク部１７ｃの端部を抜け止めされた状態で連結している。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この時、駆動スプリング１７の両端１７ａ，１７ｂは前述したように駆動レバー１６のピン１６ｃを挟持した状態であるため、駆動レバー１６と一体になって回動する。この駆動スプリング１７の回動により閃光発光部ユニット８は収納方向への付勢が解かれ、さらに閃光発光部ケース９のピン９ｃが駆動スプリング１７の一端１７ｂに押されることで時計方向へ回動し始める。
さらに、モータ３に通電を続けると、閃光発光部ユニット８は図示しないカメラ本体１のストッパーに当接し、一端１７ｂにより押し付けられて発光位置となる。この場合、他方端１７ａは一方端１７ｂが駆動レバー１６のピン１６ｃから離れる位置までピン１６ｃに押されるため、閃光発光部８は一端１７ｂにより安定的に発光位置へ押し付けられることになる。
また、この時、駆動レバー１６は駆動スプリング１７の一端１７ａにより時計方向回動に付勢され、スライド板７は上方に引き上げられ、Ｌ形レバー６は反時計方向回動へ付勢されるが、Ｌ形レバー６のカムフォロワー軸６ｂは駆動カム５の回転軸を中心とする円弧のカム面５ｂに乗り上がっているため、駆動カム５に回動力は伝わらず、これらの構成部品はそれぞれ安定的に位置規制される。
次に、撮影レンズ鏡筒のポジション検知手段がワイド位置を検出した段階でモータ３への通電が終了し、図５のワイド位置で撮影可能状態となる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【発明と実施例の対応】
以上の実施例において、モータ３が駆動源に、駆動レバー１６が駆動源の動作に連動して移動する駆動部材に、駆動スプリング１７が駆動部材によって駆動される連結部材に、ホルダー１４およびコンロッド１８が閃光発光部内部で該閃光管の照射角を切換可能に保持する保持部材に、それぞれ相当する。
以上が実施例の各構成と本発明の各構成の対応関係であるが、本発明はこの実施例の構成に限定されるものではなく、請求項で示した機能または実施例が持つ機能を達成できる構成であればどのようなものであってもよいことはいうまでもない。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項１ないし６記載の構成によれば、簡略化された構成で、収納位置と突出位置である発光位置への閃光発光部の移動と、閃光発光部の照射角の切換えを自動で行うカメラを提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月17日(2003.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】スクリーン及びそれを用いた投写型画像ディスプレイ装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入射面に映像発生源からの映像光が入射され、かつその光出射面にフレネルレンズが形成されたフレネルレンズシートと、該フレネルレンズシートの光出射側に配置され、その光入射面に画面垂直方向に伸びるレンチキュラーレンズが形成されたレンチキュラーシートと、該レンチキュラーシートの光出射側に配置されたフロントシートとを備えたスクリーンにおいて、
前記フロントシートは、前記映像光に含まれる青色映像光の主波長λBmax と前記緑色映像光の主波長λGmax との間の第１波長領域、及び前記緑色映像光の主波長λGmax と前記赤色映像光の主波長λRmax との間の第２波長領域に対する光透過率が、前記青色映像光の主波長λBmax、前記緑色映像光の主波長λGmax、前記赤色映像光の主波長λRmax の各々に対する光透過率よりも小さく、かつ前記赤色映像光の主波長λRmaxよりも長波長側の第３波長領域に対する光透過率が、前記第1及び第２波長領域の光透過率よりも小さい光透過特性を持つことを特徴とするスクリーン。
【請求項２】
請求項１に記載のスクリーンにおいて、前記第３波長領域は、６６０ｎｍ近傍の領域であることを特徴とするスクリーン。
【請求項３】
映像発生源と、該映像源からの映像光を拡大して投写する投写レンズと、該投写レンズからの映像光が投影されるスクリーンとを備えた投写型画像ディスプレイ装置において、
前記スクリーンは、光入射面に前記映像発生源からの映像光が入射され、かつその光出射面にフレネルレンズが形成されたフレネルレンズシートと、該フレネルレンズシートの光出射側に配置され、その光入射面に画面垂直方向に伸びるレンチキュラーレンズが形成されたレンチキュラーシートと、該レンチキュラーシートの光出射側に配置されたフロントシートとを含み、
前記フロントシートは、前記映像光に含まれる青色映像光の主波長λBmax と前記緑色映像光の主波長λGmax との間の第１波長領域、及び前記緑色映像光の主波長λGmax と前記赤色映像光の主波長λRmax との間の第２波長領域に対する光透過率が、前記青色映像光の主波長λBmax、前記緑色映像光の主波長λGmax、前記赤色映像光の主波長λRmax の各々に対する光透過率よりも小さく、かつ前記赤色映像光の主波長λRmaxよりも長波長側の第３波長領域に対する光透過率が、前記第1及び第２波長領域の光透過率よりも小さい光透過特性を持つことを特徴とする投写型画像ディスプレイ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月24日(2003.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象物である基板に摺接して研磨作用をなす研磨面を構成する研磨工具において、
前記研磨工具の上面に、該研磨工具の中央部から外周縁まで延びる複数のスパイラル溝を形成したことを特徴とする研磨工具。
【請求項２】
前記複数のスパイラル溝は、一方向に巻かれていることを特徴とする請求項１記載の研磨工具。
【請求項３】
前記複数のスパイラル溝は、一方向に巻かれている複数の第１スパイラル溝と、該第１スパイラル溝と反対の方向に巻かれている複数の第２スパイラル溝とからなることを特徴とする請求項１記載の研磨工具。
【請求項４】
前記スパイラル溝の巻き始めから巻き終わりまでの巻き角度は、９０゜〜４５０゜であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の研磨工具。
【請求項５】
前記研磨工具は、研磨パッド又は固定砥粒からなることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の研磨工具。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の研磨工具を具備した研磨テーブルと、ポリッシング対象物である基板を保持して研磨テーブル上の研磨面に押圧するトップリングとを備えたことを特徴とするポリッシング装置。
【請求項７】
研磨面を有する研磨工具と、
前記研磨工具を具備した研磨テーブルと、
研磨対象物である基板を保持して前記研磨面に押圧するトップリングとを備えたポリッシング装置であって、
前記研磨工具は前記研磨面に右巻きのスパイラル溝を形成し、
前記研磨テーブルは反時計回りに回転することを特徴とするポリッシング装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、研磨工具の回転により、スパイラル溝には、遠心力によるポンプ作用が働き、ダイヤモンド粒子や研磨液中の粒子などの有害な大粒径粒子を、スパイラル溝の中を、研磨液と一緒に研磨工具の外周側に流し去ることができる。したがって、基板の被研磨面に大小のスクラッチが発生することを防止できるとともに、基板の被研磨面の全面を均一に研磨工具に押圧することができ、安定した研磨性能を得ることができる。
また、研磨時に、スパイラル溝を通して基板の被研磨面にスラリー状の研磨液を安定して供給できるので、安定した研磨性能を得ることができる。
本発明のポリッシング装置は、研磨面を有する研磨工具と、前記研磨工具を具備した研磨テーブルと、研磨対象物である基板を保持して前記研磨面に押圧するトップリングとを備えたポリッシング装置であって、前記研磨工具は前記研磨面に右巻きのスパイラル溝を形成し、前記研磨テーブルは反時計回りに回転することを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月4日(2003.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホッパから投入されたプラスチック原料をヒータで加熱されたシリンダの内部で駆動モータにより回転するスクリューによって前記シリンダの出口へと送りながら溶融するプラスチック一軸押出成形機であって、
前記スクリューは、軸本体の周囲にプラスチック原料を前記シリンダのホッパ側から出口側へと送るためのネジ山を有し、前記軸本体の中間部の周囲に前記ネジ山の代わりに歯車状に並列の複数の歯を有し、各歯は軸方向に対しそれぞれ傾斜していることを、特徴とするプラスチック一軸押出成形機。
【請求項２】
ホッパから投入されたプラスチック原料をヒータで加熱されたシリンダの内部で駆動モータにより回転するスクリューによって前記シリンダの出口へと送りながら溶融するプラスチック一軸押出成形機であって、前記スクリューは、軸本体の周囲にプラスチック原料を前記シリンダのホッパ側から出口側へと送るためのネジ山を有し、前記軸本体の中間部の周囲に前記ネジ山の代わりに歯車状に並列の複数の歯を有し、各歯は軸方向に対しそれぞれ傾斜しているプラスチック一軸押出成形機の前記ホッパに、前記プラスチック原料としてポリプロピレンと無機物粒子とを投入し、前記プラスチック原料を前記ヒータにより加熱して溶融し、前記スクリューにより混合することを特徴とする無機物分散プラスチックの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月18日(2003.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】文書変換規則生成装置、文書変換規則生成方法及び文書変換規則生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
要素型と構造生成子との組からなる内容モデルにより構造が規定された要素型を含む文書型に沿って作成された構造化文書を、別の文書型に沿った文書に変換するための変換規則を生成する文書変換規則生成装置において、
変換元文書型を保持する変換元文書型保持手段と、
変換先文書型を保持する変換先文書型保持手段と、
要素型と構造生成子から生成し得る構造パターンの２つ組を構造パターン対応条件とし、構造パターン対応条件を別の構造パターン対応条件の論理式へ展開するための展開規則、もしくは構造パターン対応条件に対する真偽値を保持する展開規則保持手段と、
前記変換元文書型保持手段に保持されている変換元文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出す変換元文書型アクセス手段と、
前記変換先文書型保持手段に保持されている変換先文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出す変換先文書型アクセス手段と、
前記変換元文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルと、前記変換先文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルとから生成される構造パターン対応条件を、前記展開規則保持手段内の該当する展開規則に従って展開すると共に、前記展開規則保持手段内の真偽値に基づいて各構造パターン対応条件に真偽値を設定し、真偽値が真である構造パターン対応条件により作成可能な変換規則を生成する展開規則処理手段と、
を有することを特徴とする文書変換規則生成装置。
【請求項２】
前記展開規則処理手段において生成された複数の変換規則の候補を保持する変換規則候補保持手段と、
前記変換規則候補保持手段において保持された変換規則の候補に対して順位付けを行う変換規則順位付け手段と、
をさらに有することを特徴とする請求項１記載の文書変換規則生成装置。
【請求項３】
前記変換規則順位付け手段によって順位付けられた変換規則を、順位にしたがって出力する出力手段をさらに有することを特徴とする請求項２記載の文書変換規則生成装置。
【請求項４】
前記変換規則順位付け手段は、変換先文書型に含まれる各要素型に対応する変換元文書型の要素型の数が少なくなるような変換規則ほど、高い順位付けとすることを特徴とする請求項２記載の文書変換規則生成装置。
【請求項５】
前記展開規則処理手段において展開しようとする前記構造パターン対応条件を順次記憶する、構造パターン対応条件記憶手段をさらに有し、
前記展開規則処理手段は、前記構造パターン対応条件を展開する際に、前記構造パターン対応条件記憶手段に同一の構造パターン対応条件が既に記憶されているかどうかをチェックし、既に記憶されている場合には、展開処置を行わないことを特徴とする請求項１記載の文書変換規則生成装置。
【請求項６】
要素型と構造生成子との組からなる内容モデルにより構造が規定された要素型を含む文書型に沿って作成された構造化文書を、別の文書型に沿った文書に変換するための変換規則を生成する文書変換規則生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体において、
変換元文書型を保持する変換元文書型保持手段、
変換先文書型を保持する変換先文書型保持手段、
要素型と構造生成子から生成し得る構造パターンの２つ組を構造パターン対応条件とし、構造パターン対応条件を別の構造パターン対応条件の論理式へ展開するための展開規則、もしくは構造パターン対応条件に対する真偽値を保持する展開規則保持手段、
前記変換元文書型保持手段に保持されている変換元文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出す変換元文書型アクセス手段、
前記変換先文書型保持手段に保持されている変換先文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出す変換先文書型アクセス手段、
前記変換元文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルと、前記変換先文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルとから生成される構造パターン対応条件を、前記展開規則保持手段内の該当する展開規則に従って展開すると共に、前記展開規則保持手段内の真偽値に基づいて各構造パターン対応条件に真偽値を設定し、真偽値が真である構造パターン対応条件により作成可能な変換規則を生成する展開規則処理手段、
としてコンピュータを機能させることを特徴とする文書変換規則生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【請求項７】
要素型と構造生成子との組からなる内容モデルにより構造が規定された要素型を含む文書型に沿って作成された構造化文書を、別の文書型に沿った文書に変換するための変換規則を生成する文書変換規則生成方法において、
変換元文書型保持手段によって、変換元文書型を保持し、
変換先文書型保持手段によって、変換先文書型を保持し、
展開規則保持手段によって、要素型と構造生成子から生成し得る構造パターンの２つ組を構造パターン対応条件とし、構造パターン対応条件を別の構造パターン対応条件の論理式へ展開するための展開規則、もしくは構造パターン対応条件に対する真偽値を保持し、
変換元文書型アクセス手段によって、前記変換元文書型保持手段に保持されている変換元文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出し、
変換先文書型アクセス手段によって、前記変換先文書型保持手段に保持されている変換先文書型から、要素型および内容モデルの情報を取り出し、
展開規則処理手段によって、前記変換元文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルと、前記変換先文書型アクセス手段が取り出した要素型もしくは内容モデルとから生成される構造パターン対応条件を、前記展開規則保持手段内の該当する展開規則に従って展開すると共に、前記展開規則保持手段内の真偽値に基づいて各構造パターン対応条件に真偽値を設定し、真偽値が真である構造パターン対応条件により作成可能な変換規則を生成する、
ことを特徴とする文書変換規則生成方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は文書変換規則生成装置、文書変換規則生成方法及び文書変換規則生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関し、特にある文書型に沿って作成された構造化文書を、別の文書型に沿った文書に変換するための変換規則を生成する文書変換規則生成装置、文書変換規則生成方法及びそのような処理をコンピュータに行わせるための文書変換規則生成プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、２つの文書型が与えられたときに、文書型どうしの間で規定しうる変換規則の自動生成が可能な文書型変換装置及び文書変換規則生成方法を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月11日(2003.12.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明はインバースグラフトポロジカル相互連接ネットワーク(inverted-graph topological interconnection network)とクロスバースイッチ(crossbar switch)又は高速バス(high-speed bus)のメリットを綜合した上で、大規模並行処理(massive parallel processing)計算機システムに適した新型相互連接ネットワークを提出する。このような新型相互連接ネットワークは通信バンド幅(communication bandwidth)が広く、遅延時間が短く、拡張性が良いものである。
インバースグラフトポロジカル相互連接ネットワークの最初の目的はルーターとネットワークチャンネルの数を減らすことであるが、ノードの数から見ると、同数のｋとｎに対して、ｋ元ｎ次元インバースグラフトポロジカル相互連接ネットワークはｋ元ｎ次元立方体相互連接ネットワーク(k-ary n-cube interconnection network)より数の多いノードを連接できる。図６に示すような４元２次元インバースグラフトポロジカル相互連接ネットワークにおいて、連接されたノードの数は32個で、図３の16個ノードより倍多くなる。図６の直線、丸と黒点で表すものは図５と同じものである。インバースグラフトポロジカル相互連接ネットワークにおいての連接できるノードの数をNIGとすると、２次元に対して、NIG＝2Nで、３次元に対して、NIG＝3Nで、ｎ次元に対して、NIG＝nNである。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
同じように、ｋ元立方体新型相互連接ネットワークを超ノードとし、このような複数の超ノードから更に大規模の立方体新型相互連接ネットワークになると、ノードの数は更に多く増やすことができ、且つネットワーク遅延は三つのバス及び関連する連接回路の遅延だけが増えることになる。図10は64個ノードからなる新型相互連接ネットワークを示している。図中の一つの小立方体は一つの超ノード（例えばSN030）を表し、各超ノードは８元立方体新型相互連接ネットワークからなる。各超ノードの一つのノードは二つのプロセサーを含むと、この相互連接ネットワークは3×83×2×64＝196608個のプロセサーを連接できる。各プロセサーの演算速度は秒毎に５億回であれば、このような大規模並行処理計算機システムの演算速度は秒毎に100兆回になる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月18日(2003.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報検索装置、情報検索方法および情報検索プログラムを記録した記憶媒体


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の検索キーワードの組み合わせで記述された検索条件に沿ってデータベースを検索する情報検索装置において、
入力される前記検索条件を受け付ける検索条件受付手段と、
前記データベースから前記検索条件に適合する適合情報を抽出する情報抽出手段と、
前記適合情報に含まれる前記検索キーワードに付加された係数に基づいて、前記適合情報に対する評価値を算出する評価値算出手段と、
前記評価値に基づいて前記適合情報の提示順を決定する提示順決定手段と、
を有することを特徴とする情報検索装置。
【請求項２】
複数の検索キーワードの組み合わせで記述された検索条件に沿ってデータベースを検索する情報検索プログラムを記録した記憶媒体において、コンピュータを、
入力される前記検索条件を受け付ける検索条件受付手段、
前記データベースから前記検索条件に適合する適合情報を抽出する情報抽出手段、
前記適合情報に含まれる前記検索キーワードに付加された係数に基づいて、前記適合情報に対する評価値を算出する評価値算出手段、
前記評価値に基づいて前記適合情報の提示順を決定する提示順決定手段、
を有することを特徴とする情報検索装置として動作させることを特徴とする記憶媒体。
【請求項３】
複数の検索キーワードの組み合わせで記述された検索条件に沿ってデータベースを検索する情報検索方法において、
検索条件受付手段によって、入力される前記検索条件を受け付け、
情報抽出手段によって、前記データベースから前記検索条件に適合する適合情報を抽出し、
評価値算出手段によって、前記適合情報に含まれる前記検索キーワードに付加された係数に基づき前記適合情報に対する評価値を算出し、
提示順決定手段によって、前記評価値に基づき前記適合情報の提示順を決定する、
ことを特徴とする情報検索方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は情報検索装置、情報検索方法および情報検索プログラムを記録した記憶媒体に関し、特に複数の検索キーワードの組み合わせで記述された検索条件に沿ってデータベースを検索する情報検索装置、情報検索方法および複数の検索キーワードの組み合わせで記述された検索条件に沿ってデータベースを検索する情報検索プログラムを記録した記憶媒体に関する。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、情報検索の結果を、情報検索者の望む順番で提供する情報検索装置および情報検索方法を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、コンピュータを、情報検索の結果を、情報検索者の望む順番で提供する情報検索装置として動作させる情報検索プログラムを記録した記憶媒体を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月6日(2004.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
１９１は軟磁性体の同形状の板を複数枚（本実施形態では６枚）を積層固着してユニット化したステータヨークである。１９２はステータヨーク１９１と同一部品であり、２相タイプのステッピングモータの他方のステータヨークである。このステータヨーク１９２は、ステータヨーク１９１を裏返しにして使用している。１９３はステータヨーク１９１、１９２に励磁されることによって回転駆動されるプラスチックマグネット製のロータであり、その外周には分割的に且つ交互に異なる磁極が着磁され、また異方配向されている。ロータ１９３には、その回転をロックリング材３のギア部３ａに伝達するギア１９３ａが一体的に設けられている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、コイル１９４に通電されていなければ、通電されたコイル１９５によって生じた磁路が支配的となり、マグネットロータ１９３に他方向への回転トルクを発生させる。また、両コイル１９４、１９５に通電された場合も同様にステータヨーク１９１、１９２にそれぞれ磁路が形成され、マグネットロータ１９３と作用し合ってマグネットロータ１９３に回転トルクを与える。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
回転規制部材４は、地板２に設けられた爪２ｊ、２ｋ（図４参照）が係合することにより光軸方向の移動が規制される。また、地板２におけるロータマグネット１９３の軸支部の周囲の突起２ｍおよび突起２ｎの側面に回転規制部材４の摺動面４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅが摺動可能に嵌合することにより、回転規制部材４が図４中の矢印Ｂ方向にのみ移動できるようになっている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
以上のように構成することにより、支持枠１は地板２に対して回転できなくなり、マグネット６ｐ、６ｙおよびコイルユニット８ｐ、８ｙによる駆動力によりピッチ方向およびヨー方向にのみ移動可能となっている。詳しくは、図４の矢印Ｂ方向に対しては、回転規制部材４と共に支持枠１が地板２に対して移動し、矢印Ｂ方向と直交する矢印Ｃ方向には、軸４ａにより支持枠１のみが地板２に対して移動する。また、回転規制部材４の内周開口部は、支持枠１と共に移動する矢印Ｂ方向寸法ｂが矢印Ｃ方向寸法ｃより小さい略楕円形状になっている。これにより、支持枠１の移動に伴って生じる空間を通過してくる有害光を効果的にカットすることができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
更に挿入を進めると、コイルユニット８ｐにおいて巻線コイル８ｃのマグネット対向面を覆う平面状の壁部から取付面までの間に形成された貫通穴８ｆに位置決め突起部２ｒが入り込み、コイルユニット８ｐが地板２に対して位置決めされる。その後、地板２の裏面側（基板１０の反対側）から穴８ｇに挿入されるビス１４によって、コイルユニット８ｐが地板２に対して引き込まれて固定される。本実施形態のように、コイルユニット８ｐとマグネット６ｐによる駆動の際は、これらの空気間隔による磁力の損失が大きいため、コイルユニット８ｐとマグネット６ｐの間隔を狭くしないと駆動力を大きくできない。したがって、この間隔精度を高い精度で維持するため、本実施形態では、地板２にコイル押さえ２ｐ、２ｑを設けることによって位置決め突起２ｒからコイルユニット８ｐを外れにくくしている。また、ビス１４によって引き込まれる際のコイルユニット８ｐの反り変形を防止してマグネット６ｐ等との干渉が避けられている。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、コイルユニット８ｐには、端子部８ｂの圧入されている第１の段部８ｅよりも２方向に高い第２の段部（請求の範囲にいう当接部分）８ｄが設けられており、この第２の段部８ｄにコイル押さえ２ｐが当接する。これは、光軸直交方向よりコイルユニット８ｐを挿入する際のコイル８ｃ（端部が端子部８ｂに接続されている）の断線を防止するためである。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
２２０は上述した振れ検出装置であり、可撓性回路基板１０（図１参照）によってメイン基板２１５と接続されている。斜線で示した２０６はフォーカスユニットであり、メイン基板２１５と接続されてフォーカス駆動を行なう。なお、本レンズ鏡筒では、マニュアルリング２２１を回転操作することによってもフォーカス動作を行なうことができる。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月30日(2004.1.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プロキシミティ露光装置及び方法、並びにこれにより製造された液晶ディスプレイ及びその製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクホルダに保持されたフォトマスク面と露光チャックに保持されたガラス基板面との間に形成されるギャップを所定のギャップとなるようにプロキシミティギャップ制御を行ってから露光を行うプロキシミティ露光装置において、
前記マスクホルダを前記フォトマスクの上面側で吸着する吸着窓を有する上面マスクホルダと前記フォトマスクの下面側で吸着する吸着窓を有する下面マスクホルダとで構成し、
前記上面マスクホルダと前記下面マスクホルダの両方の吸着窓によって前記フォトマスクの外周形状に沿った部分を吸着保持するようにしたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
マスクホルダに保持されたフォトマスク面と露光チャックに保持されたガラス基板面との間に形成されるギャップを所定のギャップとなるようにプロキシミティギャップ制御を行ってから露光を行うプロキシミティ露光装置において、
前記マスクホルダを、前記フォトマスクの外周形状における１組の対辺部分の上面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する上面マスクホルダと、前記フォトマスクの外周形状における他の１組の対辺部分の下面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する下面マスクホルダとで構成し、
前記上面マスクホルダの吸着窓によって吸着保持される１組の対辺部分の対向方向に沿って前記露光チャック及び前記ガラス基板を移動する移動手段と、
前記フォトマスクの一部にプロキシミティ露光時の光線が照射しないように遮光する露光シャッタ手段と
を設けたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプロキシミティ露光装置を用いて液晶ディスプレイを製造することを特徴とする液晶ディスプレイの製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の液晶ディスプレイの製造方法を用いて製造される液晶ディスプレイ。
【請求項５】
マスクホルダに保持されたフォトマスク面と露光チャックに保持されたガラス基板面との間に形成されるギャップを所定のギャップとなるようにプロキシミティギャップ制御を行ってから露光を行うプロキシミティ露光方法において、
前記マスクホルダを、前記フォトマスクの外周形状における１組の対辺部分の上面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する上面マスクホルダと、前記フォトマスクの外周形状における他の１組の対辺部分の下面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する下面マスクホルダとで構成し、
前記上面マスクホルダの吸着窓によって吸着保持される１組の対辺部分の対向方向に沿って前記露光チャック及び前記ガラス基板を移動する工程と、
前記フォトマスクの一部にプロキシミティ露光時の光線が照射しないように遮光する工程と
を実施することを特徴とするプロキシミティ露光方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
第２の発明に係るプロキシミティ露光装置は、マスクホルダに保持されたフォトマスク面と露光チャックに保持されたガラス基板面との間に形成されるギャップを所定のギャップとなるようにプロキシミティギャップ制御を行ってから露光を行うプロキシミティ露光装置において、前記マスクホルダを、前記フォトマスクの外周形状における１組の対辺部分の上面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する上面マスクホルダと、前記フォトマスクの外周形状における他の１組の対辺部分の下面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する下面マスクホルダとで構成し、前記上面マスクホルダの吸着窓によって吸着保持される１組の対辺部分の対向方向に沿って前記露光チャック及び前記ガラス基板を移動する移動手段と、前記フォトマスクの一部にプロキシミティ露光時の光線が照射しないように遮光する露光シャッタ手段とを設けたものである。
すなわち、第２の発明のように、フォトマスクの外周形状における１組の対向部分を上面マスクホルダの吸着窓で吸着するようにしたので、その対向方向におけるフォトマスク下面側にはマスクホルダが存在しなくなり、移動手段で露光チャック及びガラス基板をその対向方向に沿って移動することができるようになる。従って、フォトマスクの面積よりも大きなガラス基板に対して露光を行う場合には、１回目の露光を行った後に、移動手段でガラス基板及び露光チャックを移動し、１回目に露光された部分に対応するフォトマスクの一部を露光シャッタで遮光してから２回目の露光を行えばよい。これによって、ガラス基板全面にフォトマスクによるパターンを形成することができるようになる。
更に、この発明に係る液晶ディスプレイの製造方法は、上記プロキシミティ露光装置を用いて液晶ディスプレイを製造することを特徴とする。
更に、この発明に係る液晶ディスプレイは、上記液晶ディスプレイの製造方法を用いて製造されることを特徴とする。
更に、この発明に係るプロキシミティ露光方法は、マスクホルダに保持されたフォトマスク面と露光チャックに保持されたガラス基板面との間に形成されるギャップを所定のギャップとなるようにプロキシミティギャップ制御を行ってから露光を行うプロキシミティ露光方法において、前記マスクホルダを、前記フォトマスクの外周形状における１組の対辺部分の上面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する上面マスクホルダと、前記フォトマスクの外周形状における他の１組の対辺部分の下面側をそれぞれ吸着する吸着窓を有する下面マスクホルダとで構成し、前記上面マスクホルダの吸着窓によって吸着保持される１組の対辺部分の対向方向に沿って前記露光チャック及び前記ガラス基板を移動する工程と、前記フォトマスクの一部にプロキシミティ露光時の光線が照射しないように遮光する工程とを実施することを特徴とする。