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【手続補正書】
【提出日】平成15年11月25日(2003.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
床面に設置される下ベースと、該下ベースに相対変位可能に対向配置され内部に空間を備えた上ベースとを有するとともに、該上ベースを該下ベースに対向する原点位置に復帰させる復帰バネを配してなる免震装置において、
前記上ベースの空間をケーブル挿通用の通路としたことを特徴とする免震装置。
【請求項２】
前記請求項１記載の免震装置において、
隣接して設置される前記上ベースの前記ケーブル挿通用の通路同士を連通させた状態で互いに隣接する前記上ベース間を連結部材を介して連結させたことを特徴とする免震装置。
【請求項３】
前記請求項１または２記載の免震装置において、
前記上ベースのケーブル挿通用の通路の下側と前記下ベースとの間に、前記復帰バネを装架したことを特徴とする免震装置。
【請求項４】
床面に設置される下ベースと、該下ベースに水平方向に相対変位可能に対向配置された上ベースとを有するとともに、該上ベースの中心を該下ベースの中心に対向する原点位置に復帰させる水平方向に延在する復帰バネを配してなる免震装置において、
前記上ベースの中央に、ケーブル挿通用入り口としての中央開口を形成したことを特徴とする免震装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は以下のような特徴を有する。
上記請求項１の発明は、床面に設置される下ベースと、該下ベースに相対変位可能に対向配置され内部に空間を備えた上ベースとを有するとともに、該上ベースを該下ベースに対向する原点位置に復帰させる復帰バネを配してなる免震装置において、
前記上ベースの空間をケーブル挿通用の通路としたことを特徴とするものである。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
従って、請求項１の発明によれば、上ベースの空間をケーブル挿通用の通路としたため、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
従って、請求項２の発明によれば、隣接して設置される上ベースのケーブル挿通用の通路同士を連通させた状態で上ベース間を連結させるため、互いに連接されるケーブル挿通用の通路を共有させてケーブルを配設することができると共に、ケーブル挿通用の通路に挿通されたケーブルが断線することを防止できる。
また、請求項３の発明は、前記請求項１または２記載の免震装置において、
前記上ベースのケーブル挿通用の通路の下側と前記下ベースとの間に、前記復帰バネを装架したことを特徴とするものである。
従って、請求項３の発明によれば、上ベースのケーブル挿通用の通路の下側と下ベースとの間に、復帰バネを装架することにより、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。
また、請求項４の発明は、床面に設置される下ベースと、該下ベースに水平方向に相対変位可能に対向配置された上ベースとを有するとともに、該上ベースの中心を該下ベースの中心に対向する原点位置に復帰させる水平方向に延在する復帰バネを配してなる免震装置において、
前記上ベースの中央に、ケーブル挿通用入り口としての中央開口を形成したことを特徴とするものである。
従って、請求項４の発明によれば、上ベースの中央に、ケーブル挿通用入り口としての中央開口を形成することにより、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
【発明の効果】
上述の如く、請求項１の発明によれば、上ベースの空間をケーブル挿通用の通路としたため、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。また、多数のケーブルが上ベースの通路に挿通されることにより、外観上すっきりするばかりかメンテナンス時に目的のケーブルをみつけやすく点検、修理等の作業が良好に行える。


【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
また、請求項２の発明によれば、隣接して設置される上ベースのケーブル挿通用の通路同士を連通させた状態で上ベース間を連結させるため、互いに連接されるケーブル挿通用の通路を共有させてケーブルを配設することができる。さらに、隣接して設置される上ベース同士が一体に免振動作するため、ケーブル挿通用の通路に挿通されたケーブルに剪断力が作用せず、ケーブルの断線を防止できる。
また、請求項３の発明によれば、上ベースのケーブル挿通用の通路の下側と下ベースとの間に、復帰バネを装架したため、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。
また、請求項４の発明によれば、上ベースの中央に、ケーブル挿通用入り口としての中央開口を形成したため、多数のケーブルを復帰バネに接触しないように装置内に配設することができると共に、上ベースの高さ位置を高くする必要がないので装置の薄型化にも対応することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月18日(2003.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子データ化地形図をイメージファイルに格納する工程と、該イメージファイル上の該電子データ化地形図と既存の地図データを同時に表示する工程と、該電子データ化地形図と該既存の地図データの対応する２点以上の目標物を対応付ける工程と、該既存の地図データの目標物の緯度経度を該電子データ化地形図の目標物の座標と対応付けて該電子データ化地形図に緯度経度座標を付与する工程とを含むことを特徴とするラスタ地図データ作成方法。
【請求項２】
地図電子化手段により紙面の地形図を電子データ化地形図としてイメージファイルに格納する工程と、該イメージファイル上の該電子データ化地形図と対応する領域の既存の地図データを同時に表示する工程と、該既存の地図の２つの目標物を指示して該目標物の緯度経度データを記憶する工程と、該電子データ化地形図の対応する２つの目標物を指示して該電子データ化地形図の座標と緯度経度データを対応付ける工程と、該電子データ化地形図の２つの座標と緯度経度データの対応から単位緯度当たりのドット数と単位経度当たりのドット数とを求めて、該電子データ化地形図の緯度経度座標を作成する工程とを含む請求項１記載のラスタ地図データ作成方法。
【請求項３】
既存の地図の２つの目標物を指示して該目標物の緯度経度データを記憶する工程と、電子データ化地形図の対応する２つの目標物を指示して該電子データ化地形図の座標と緯度経度データを対応付ける工程と、該電子データ化地形図の２つの座標と緯度経度データの対応から該電子データ化地形図の回転を修正する工程とを含む請求項１記載のラスタ地図データ作成方法。
【請求項４】
既存の地図の３つの目標物を指示して該目標物の緯度経度データを記憶する工程と、電子データ化地形図の対応する３つの目標物を指示して該電子データ化地形図の座標と緯度経度データを対応付ける工程と、該電子データ化地形図の３つの座標と緯度経度データの対応から該電子データ化地形図の回転と平行四辺形歪みを修正する工程とを含む請求項１記載のラスタ地図データ作成方法。
【請求項５】
既存の地図の４つの目標物を指示して該目標物の緯度経度データを記憶する工程と、電子データ化地形図の対応する４つの目標物を指示して該電子データ化地形図の座標と緯度経度データを対応付ける工程と、該電子データ化地形図の４つの座標と緯度経度データの対応から該電子データ化地形図の回転と台形歪みを修正する工程とを含む請求項１記載のラスタ地図データ作成方法。
【請求項６】
既存の地図の５つ以上の目標物を指示して該目標物の緯度経度データを記憶する工程と、電子データ化地形図の対応する５つ以上の目標物を指示して該電子データ化地形図の座標と緯度経度データを対応付ける工程と、該電子データ化地形図の５つ以上の座標と緯度経度データの対応から該電子データ化地形図の回転と歪みを修正する工程とを含む請求項１記載のラスタ地図データ作成方法。
【請求項７】
地図電子化手段により電子データ化地形図が格納されたイメージファイルと、該イメージファイル上の該電子データ化地形図と既存の地図データを同時に表示する表示手段と、該電子データ化地形図と該既存の地図データの対応する２点以上の目標物を対応付けるための入力手段と、該既存の地図データの目標物の緯度経度を該電子データ化地形図の目標物の座標と対応付けて該電子データ化地形図に緯度経度座標を付与する手段とを具備することを特徴とするラスタ地図データ作成装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月18日(2003.11.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクに記録されているデータを読み出すピックアップと、
上記データを蓄積するメモリと、
操作される期間が所定の期間以上の場合にはデータの早送りあるいは早戻しの指示を行い、操作される時間が上記所定の期間以下の場合にはデータの頭出しの指示を行なう操作手段と、
再生時、上記ピックアップにより読み出されたデータを上記メモリに間欠的に書き込ませるとともに当該メモリから連続的に読み出させ、上記再生中に上記操作手段が操作されたとき上記ピックアップによりデータが読み出される位置を上記再生時よりも高速に変更させ当該データの読み出し位置を高速に変更させることにより得られる早送りあるいは巻戻しモードのデータを上記メモリに書き込ませる制御手段と
からなるディスク再生装置。
【請求項２】
請求項１記載のディスク再生装置において、
上記制御手段は、上記再生中に上記操作手段による操作が実行されたとき、この操作の実行以前に上記メモリに蓄積されているデータのうち、最新の所定量のデータを上記メモリに残すとともに、その最新の所定量のデータ以外のデータを上記メモリから捨てて上記早送りあるいは巻戻しモードのデータを上記メモリに書き込む
ようにしたディスク再生装置。
【請求項３】
請求項１記載のディスク再生装置において、
上記制御手段は、上記操作手段の操作が終了したとき、上記メモリに蓄積されている上記早送りあるいは巻戻しモードのデータを捨てるとともに、上記メモリから読み出されている早送りあるいは巻戻しモードのデータに連続する再生モードのデータを上記メモリに蓄積する
ようにしたディスク再生装置。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月7日(2003.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＭＯＳトランジスタの敷居値を補償する回路において、
該ＭＯＳトランジスタのドレインとゲートとの間に接続された第１スイッチ素子と、
該ゲートに接続された第１コンデンサと、
電源供給線と該ドレインとの間に直列接続された第２コンデンサ及び第２スイッチ素子と、
敷居値補償時において、該第１スイッチ素子及び該第２スイッチ素子のオン及びオフを制御する制御回路と、
を有することを特徴とするＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項２】
上記制御回路は、敷居値補償時において、上記第１スイッチ素子及び上記第２スイッチ素子をオンにし、次いで該第２スイッチ素子をオフにし、次いで該第１スイッチ素子をオフにする、
ことを特徴とする請求項１記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項３】
上記ＭＯＳトランジスタはｎＭＯＳトランジスタであり、
上記敷居値補償時かつ上記第１スイッチ素子がオンで上記第２スイッチ素子がオフの時に、該ｎＭＯＳトランジスタのソース電位が上記電源供給線の電位より低い一定値にされる、
ことを特徴とする請求項１又は２記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項４】
上記ＭＯＳトランジスタはｐＭＯＳトランジスタであり、
上記敷居値補償時かつ上記第１スイッチ素子がオンで上記第２スイッチ素子がオフの時に、該ｐＭＯＳトランジスタのソース電位が上記電源供給線の電位より高い一定値にされる、
ことを特徴とする請求項１又は２記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項５】
上記第２コンデンサはその一端が上記電源供給線に接続され、
複数の上記ＭＯＳトランジスタの各々について上記第１スイッチ素子と上記第１コンデンサと上記第２スイッチ素子とを備え、
該第２コンデンサの他端が該複数の該第２スイッチ素子の各々の一端に共通に接続されている、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項６】
上記第２スイッチ素子はその一端が上記電源供給線に接続され、
複数の上記ＭＯＳトランジスタの各々について上記第１スイッチ素子と上記第１コンデンサと上記第２コンデンサとを備え、
該第２スイッチ素子の他端が該複数の該第２コンデンサの各々の一端に共通に接続されている、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路。
【請求項７】
ＭＯＳトランジスタで構成されたフリップフロップ型センスアンプ回路において、
請求項１乃至５のいずれか１つに記載のＭＯＳトランジスタ敷居値補償回路が、少なくとも１つの該ＭＯＳトランジスタに接続され、
上記第１コンデンサの１対の電極のうち該ＭＯＳトランジスタのゲートと非接続の電極が、該ＭＯＳトランジスタの制御電極と見なされて接続され、
該ＭＯＳトランジスタのドレインと該ドレインに接続される他の回路素子の入力端との間に第３スイッチ素子が接続され、
上記制御回路は、上記敷居値補償時に該第３スイッチ素子をオフにする、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載のフリップフロップ型センスアンプ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１つに記載の回路を備えている、
ことを特徴とする半導体装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段及びその作用効果】
本発明では、ＭＯＳトランジスタの敷居値を補償する回路において、
該ＭＯＳトランジスタのドレインとゲートとの間に接続された第１スイッチ素子と、
該ゲートに接続された第１コンデンサと、
電源供給線と該ドレインとの間に直列接続された第２コンデンサ及び第２スイッチ素子と、
敷居値補償時において、該第１スイッチ素子及び該第２スイッチ素子のオン及びオフを制御、例えば、該第１スイッチ素子及び該第２スイッチ素子をオンにし、次いで該第２スイッチ素子をオフにし、次いで該第１スイッチ素子をオフにする制御回路と、
を有する。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月9日(2003.10.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】プラズマディスプレイパネル


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
維持放電を行わせる電極を有する一の絶縁基板と、アドレス時に放電を行わせるアドレス電極を有する他の絶縁基板と、前記一の絶縁基板と他の絶縁基板との間に形成される放電ガス空間と、からなるプラズマディスプレイパネルであって、
前記放電ガス空間を画素毎に区切って分離するロの字型隔壁を前記他の絶縁基板に設け、
前記維持電極は、アドレス時に放電する一方のＹ電極と、前記Ｙ電極と対をなす他方のＸ電極とから構成され、
前記画素毎の前記Ｙ電極とＸ電極の端部を、前記アドレス電極方向に対して横断する隔壁の近傍に配置して開口率を拡大する
ことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記維持電極の配列が、−Ｙ電極−Ｘ電極−Ｘ電極−Ｙ電極−Ｙ電極−Ｘ電極−となることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記Ｘ電極は、前記アドレス電極の方向に沿う２画素に亘って１つの電極を構成する共通電極であることを特徴とする請求項１乃至請求項２の何れか一項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記アドレス電極方向に対して横断する隔壁の部分に封入ガス拡散のための切り欠き部を設けることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載のプラズマディスプレイパネル。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月28日(2003.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貨幣価値を有する有価データを格納する手段を有する複数の情報処理装置が通信ネットワークを介して相互に接続されている電子取引システムにおいて、商品の購入を要求する第１の情報処理装置は、
少なくとも商品を提供する第２の情報処理装置の識別子と所定の納入期日のデータと有価データとを前記商品及び有価デ−タを仲介する第３の情報処理装置に送信し、
前記第２の情報処理装置からの商品データの受信を待機し、
前記商品データを受信した場合は前記第２の情報処理装置に商品の受領書データを送信し、
前記納入期日を超過しても前記商品データを受信しない場合は前記第３の情報処理装置に決済を差し止める命令を送信することを特徴とする電子取引方法。
【請求項２】
貨幣価値を有する有価データを格納する手段を有する複数の情報処理装置が通信ネットワークを介して相互に接続されている電子取引システムにおいて、商品及び有価デ−タを仲介する第３の情報処理装置は、
商品の購入を要求する第１の情報処理装置から少なくとも商品を提供する第２の情報処理装置の識別子と所定の納入期日のデータと有価データとを受信し、
少なくとも前記有価データの金額と第１の情報処理装置の識別子と前記納入期日のデータを前記第２の情報処理装置に送信し、
所定の決済条件が成立したら前記有価データに関する決済を行い、
前記決済条件が成立する前に決済を差し止める命令を前記第１の情報処理装置から受信した場合は前記決済を差し止めることを特徴とする電子取引方法。
【請求項３】
貨幣価値を有する有価データを格納する手段を有する複数の情報処理装置が通信ネットワークを介して相互に接続されている電子取引システムにおいて、商品を提供する第２の情報処理装置は、
商品及び有価デ−タを仲介する第３の情報処理装置から少なくとも商品の購入を要求する第１の情報処理装置の識別子と所定の納入期日のデータと前記有価データの金額とを受信し、
前記第１の情報処理装置に商品データを送信し、
前記第１の情報処理装置から商品の受領書データを受信することを特徴とする電子取引方法。
【請求項４】
請求項１、２のいずれかに記載電子取引方法において、
前記第２の情報処理装置から第４の情報処理装置への有価データの送信して決済することを特徴とする電子取引方法。
【請求項５】
請求項２に記載の電子取引方法において、
決済条件を、前記第１の情報処理装置が送信する決済許可情報の受信とすることを特徴とする電子取引方法。
【請求項６】
請求項２に記載の電子取引方法において、
決済条件を、特定の期日の超過とすることを特徴とする電子取引方法。
【手続補正書】
【提出日】平成15年12月19日(2003.12.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の異なる文字属性の混在した文字列を取り扱い可能な文字表示装置において、
複数の異なる文字属性が混在された文字列を統一した文字属性に変換する変換情報を予め登録するテーブルと、
文字列の表示時に当該文字列中の各文字について上記テーブルを参照して変換情報に従って統一した文字属性に変換する手段と、
この変換後の統一した文字属性の文字列を表示させる手段と
を備えたことを特徴とする文字表示装置。
【請求項２】
上記複数の異なる文字属性が混在された文字列を統一した文字属性に変換する変換情報として、文字種、文字サイズ、文字色、斜体、回転、文字間のうちの少なくとも２つ以上について変換後の情報を上記テーブルに登録したことを特徴とする請求項１記載の文字表示装置。
【請求項３】
上記複数の異なる文字属性が混在された文字列を統一した文字属性に変換する変換情報として、元の文字列中に空白あるいは文字以外の記号が連続したときに１つあるいは指定した個数に変換する情報を上記テーブルに登録したことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の文字表示装置。
【請求項４】
上記テーブルの変換情報を任意に登録あるいは変更させる手段を付加したことを特徴とする請求項１ないし請求項３記載のいずれかの文字表示装置。
【請求項５】
コンピュータを動作させて、
複数の異なる文字属性が混在された文字列を統一した文字属性に変換する変換情報をテーブルに登録する手段と、
文字列の表示時に当該文字列中の各文字について上記テーブルを参照して変換情報に従って統一した文字属性に変換する手段と、
この変換後の統一した文字属性の文字列を表示させる手段と
して機能させるプログラムを記録した記録媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月23日(2003.10.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
オキシ水酸化ニッケルを導電性三次元多孔体に保持したことを特徴とするリチウム電池用正極板。
【請求項２】
コバルトを含有するオキシ水酸化ニッケルを用いたことを特徴とする請求項１記載のリチウム電池用正極板。
【請求項３】
請求項１または２記載の正極板を備えたリチウム電池。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
オキシ水酸化ニッケルの導電性多孔体の材質がアルミニウム、ニッケル、炭素又はステンレスであることが好ましい。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
第一又は第二にかかる第三の発明は、第一又は第二の発明で得られる正極板を備えた電池であることを特徴とする。
【発明の実施の形態】
本発明は、特開昭６３−１９７６０号に開示されているようにオキシ水酸化ニッケルをニッケルメッシュに保持させるのではなく、発泡ニッケル基板のような導電性三次元多孔体に保持させることを特徴としている。このような導電性三次元多孔体は、現在、ニッケル−カドミウム電池あるいはニッケル−水素化物電池の水酸化ニッケル正極板の活物質保持体として使用されており、本発明においてはアルミニウム、ニッケル、炭素、ステンレス等の多孔体を使用することができる。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
本発明になる第一の発明は、オキシ水酸化ニッケルを、導電性三次元多孔体に保持させることを特徴とする。第一の発明にかかる第二の発明はコバルトを含有したオキシ水酸化ニッケルを保持させることを特徴とする。第一又は第二にかかる第三の発明は、第一又は第二の発明で得られる正極板を備えた電池であることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月20日(2003.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
次に、図３を用いて本実施形態の磁壁移動再生に楕円ビームを用いた場合の効果について説明する。図中４７は情報トラックであり、４８はランド部、４９はグルーブ部を示している。また、６０ａは従来の円形状の光スポットを示し、６０ｂは本実施形態の図２で示した楕円形状の光スポットを示している。Ｄは円形の光スポットの大きさであり、Ｄ１、Ｄｓはそれぞれ、楕円形状の光スポットの長軸、短軸の大きさである。同じ対物レンズを用いた場合、ＤとＤｓの大きさはほぼ同じとなる。ここでは、Ｄを約１．２μｍとする。また、Ｄ１の大きさを約１．５６μｍとした。長軸／短軸比は約１．３である。ＭＡＲＫは磁界変調方式で記録されたマークの様子を示したものである。磁壁移動再生では原理的には磁壁の大きさ程度のマークまで再生可能であるが、ここではマークのトラック方向の大きさを約０．１μｍとする。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
図７は図４の原理図における無限系の光学系を更に具体的に示した斜視図である。図７は加熱用の光スポットと再生用の光スポットを各々楕円スポットで照射する例を示している。図７において、２１は加熱用の半導体レーザで、波長は例えば７８０ｎｍである。２４は再生用（記録用）の半導体レーザで、波長は例えば１．３μｍである。両方ともビーム整形プリズムや円形の開口を用いずに、レーザビームの楕円形状をそのままコリメータレンズ２２及び２５で平行光束にしている。偏光方向は同じ方向の直線偏光になるように設定されている。２３は７８０ｎｍの光を１００％透過し、１．３μｍを１００％反射するように設計されたダイクロックミラー、２６は半導体レーザ２１及び２４からの直線偏光の光を７０〜８０％透過し、その直線偏光に対して垂直の成分の直線偏光はほぼ１００％反射する偏光ビームスプリッターである。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月2日(2003.10.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部より高い圧力に加圧された室と、
該室の内部と該外部とを連通させる第一開口部と、
該第一開口部を閉じるドアとを備えるウェーハ処理装置であって、
該ドアが該第一開口部を閉じる位置にあるときに該室の内部と該外部とを連通させる隙間が存在することを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項２】
請求項１において、前記隙間は、該ドアの周囲に形成されて隙間であることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項３】
請求項１あるいは２において、前記隙間は、ドアの面内に設けられる第二開口部であることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかにおいて、該第一開口部はウェーハの出し入れを行うための開口部であることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかにおいて、さらに、該第一開口部の周りに該第一開口部に沿った衝立てを備えることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項６】
ウェーハの処理を行うミニエンバイロメント部と、
蓋を有し内部にウェーハが保管されるクリーンボックスと、
該クリーンボックスと該ミニエンバイロメント部との間でウェーハの出し入れを行うための第一開口部と、
ウェーハの出し入れを行わない際には該第一開口部を閉じウェーハの出し入れを行う際には該第一開口部を開放するドアとを備えるウェーハ処理装置であって、
該ミニエンバイロメント部は外部よりも高い圧力に加圧され、
該ドアが該第一開口部を閉じる位置にあるときに該室の内部と該外部とを連通させる隙間が存在することを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項７】
請求項６において、該クリーンボックスと該ミニエンバイロメント部とは接していないことを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項８】
請求項６あるいは７において、前記隙間は、該ドアの周囲に形成される隙間であることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項９】
請求項６乃至８いずれかにおいて、前記隙間は、ドアの面内に設けられる第二開口部であることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項１０】
請求項６乃至１０いずれかにおいて、さらに、該第一開口部の周りに該第一開口部に沿った衝立てを備えることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項１１】
室の内部と外部とを連通させる第一開口部と、
該第一開口部を閉じるドアとを備えるウェーハ処理装置であって、
該第一開口部の周りに該第一開口部に沿った衝立てを備えることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項１２】
ウェーハの処理を行うミニエンバイロンメント部と、
蓋を有し内部にウェーハが保管されるクリーンボックスと、
該クリーンボックスと該ミニエンバイロンメント部との間でウェーハの出し入れを行うための第一開口部と、
ウェーハの出し入れを行わない際には該第一開口部を閉じウェーハの出し入れを行う際には該第一開口部を開放するドアとを備えるウェーハ処理装置であって、
該第一開口部の周りに該第一開口部に沿った衝立てを備えることを特徴とするウェーハ処理装置。
【請求項１３】
請求項９において、該クリーンボックスと該ミニエンバイロンメント部とは接していないことを特徴とする該ウェーハ処理装置。
【請求項１４】
請求項８乃至１０において、該衝立ては庇を備えることを特徴とするウェーハ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明では、外部より高い圧力に加圧された室と、該室の内部と該外部とをつなぐ第一開口部と、該第一開口部を覆うドアとを備えるウェーハ処理装置であって、該ドアが該第一開口部を閉じても該室の内部と該外部とを連通させる開口部が残ること（すなわち隙間が存在すること）を特徴とするウェーハ処理装置により、前記空気流の発生を抑制しウェーハの汚染を防止する。すなわち、 該ドアが該第一開口部を閉じた状態でドアの近傍またはドア上に室の内部と外部とを連通させる開口すなわち隙間が存在することを特徴とするウェーハ処理装置である。ドアが該第一開口部を閉じた状態でドアの近傍またはドア上に存在する前記開口は、本明細書実施例において説明するように、該ドアの周囲に形成される隙間またはドアの面内に設けられる第二開口部に代表される。
本発明では、さらに、該開口部の周りに該開口部に沿って衝立てを設けることを特徴とするウェーハ処理装置を提供することで、前記空気流によって攪拌された塵がクリーンボックスに侵入することを抑制することが可能となり、前記ウェーハの汚染防止の効果を高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月28日(2003.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性基材の厚さ方向に開けられた貫通孔に導電体が充填され、
前記電気絶縁性基材の両面には所定のパターンに形成された配線層が前記導電体によって電気的に接続されており、
前記電気絶縁性基材は保持材に樹脂を含浸させたコア層と、その両側に形成された樹脂層を備え、
前記樹脂層の厚みが両側でそれぞれ異なり、
前記樹脂層のうち、薄い方の層の厚みは前記導電体を構成する導電性フィラーの平均粒子直径と同一かまたは前記導電性フィラーの平均粒子直径より小さいことを特徴とするプリント配線基板。
【請求項２】
前記樹脂層のうち少なくとも片側の樹脂層内に前記配線層が埋設されている請求項１に記載のプリント配線板。
【請求項３】
前記導電体は、導電性フィラーと樹脂とで構成される導電性ペーストが充填されて硬化されたものである請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項４】
前記コア層の両側に形成された樹脂層の厚さが、前記樹脂層に埋設されている前記配線層の厚さと同じかまたは薄い請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項５】
前記両側の樹脂層の厚さの関係が、薄い方に比較して厚い方が１倍を越え１０倍未満である請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項６】
前記両側の樹脂層の厚さの関係が、薄い方に比較して厚い方が２倍以上４倍以下である請求項５に記載のプリント配線基板。
【請求項７】
前記保持材がガラスクロスである請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項８】
前記樹脂が熱硬化性エポキシ樹脂である請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項９】
前記プリント配線基板が複数枚積層されている請求項１に記載のプリント配線基板。
【請求項１０】
保持材に樹脂を含浸させたコア層と、その両側に樹脂層が形成されており、前記樹脂層の厚みが両側でそれぞれ異なる電気絶縁性基材を準備する工程と、
前記電気絶縁性基材の厚さ方向に貫通孔を設け、前記貫通孔に導電体を充填する工程と、
前記導電体の充填部に合致するように配線基材を少なくとも片面より重ね合わせ、前記配線基材を重ね合わせた前記電気絶縁性基材を加熱・加圧して圧縮する工程とを含み、
前記電気絶縁性基材の薄い方の樹脂層の厚みは、前記導電体を構成する導電性フィラーの平均粒子直径とほぼ同一かまたは前記導電性フィラーの平均粒子直径より小さいことを特徴とするプリント配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記コア層の両側に形成された樹脂層の少なくとも片面より、前記導電体の充填部に合致するように、所定のパターンに配線層が形成された配線基材を重ね合わせ、前記配線層が前記樹脂層に埋設される工程をさらに含む請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１２】
前記コア層の両側に形成された樹脂層の厚さが、前記樹脂層に埋設されている前記配線層の厚さと同じかまたは薄い請求項１１に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１３】
前記貫通孔を、レーザー光の照射によって形成する請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１４】
前記両側の樹脂層の厚さの関係が、薄い方に比較して厚い方が１倍を越え１０倍未満である請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１５】
前記両側の樹脂層の厚さの関係が、薄い方に比較して厚い方が２倍以上４倍以下である請求項１４に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１６】
前記保持材がガラスクロスであり、前記樹脂が熱硬化性エポキシ樹脂である請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１７】
前記プリント配線基板を複数枚積層する請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【請求項１８】
前記配線基材の中に、貫通孔に導電性ペーストが充填され、少なくとも片面に配線層が形成されているガラスエポキシ基材が少なくとも１枚含まれている請求項１０に記載のプリント配線基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明のプリント配線基板は、電気絶縁性基材の厚さ方向に開けられた貫通孔に導電体が充填され、
前記電気絶縁性基材の両面には所定のパターンに形成された配線層が前記導電体によって電気的に接続されており、
前記電気絶縁性基材は保持材に樹脂を含浸させたコア層と、その両側に形成された樹脂層を備え、
前記樹脂層の厚みが両側でそれぞれ異なり、
前記樹脂層のうち、薄い方の層の厚みは前記導電体を構成する導電性フィラーの平均粒子直径と同一かまたは前記導電性フィラーの平均粒子直径より小さいことを特徴とする。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、本発明のプリント配線基板の製造方法は、保持材に樹脂を含浸させたコア層と、その両側に樹脂層が形成されており、前記樹脂層の厚みが両側でそれぞれ異なる電気絶縁性基材を準備する工程と、
前記電気絶縁性基材の厚さ方向に貫通孔を設け、前記貫通孔に導電体を充填する工程と、
前記導電体の充填部に合致するように配線基材を少なくとも片面より重ね合わせ、前記配線基材を重ね合わせた前記電気絶縁性基材を加熱・加圧して圧縮する工程とを含み、
前記電気絶縁性基材の薄い方の樹脂層の厚みは、前記導電体を構成する導電性フィラーの平均粒子直径とほぼ同一かまたは前記導電性フィラーの平均粒子直径より小さいことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成15年9月22日(2003.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部に設けられるアンテナ部を具備する電子機器において、
前記アンテナ部は、前記表示部の左右に配置される第１の無線通信方式の一対のダイバーシティアンテナと、前記一対のダイバーシティアンテナ間に配置される第２の無線通信方式の単一のアンテナとを具備し、
各アンテナは基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを具備し、前記基板のアンテナ素子部分は前記表示部の上端から突出していることを特徴とする電子機器。
【請求項２】
前記基板のアンテナ素子部分は表示部側に折り曲げられていることを特徴とする請求項１記載の電子機器。
【請求項３】
前記本体部は無線通信回路モジュールを内蔵し、該無線通信回路モジュールは前記本体部と表示部とを接続するヒンジ部内を通る信号線を介して前記アンテナ部と接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の電子機器。
【請求項４】
表示部に設けられるアンテナ部を具備する電子機器において、
前記表示部は、表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを具備し、
前記アンテナ部は、前記筐体内に設けられる基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを具備し、前記基板は少なくともアンテナ素子部分と残りの部分との間が可撓性を有し、該残りの部分は前記表示パネルの背面に沿って設けられ、該アンテナ素子部分は前記表示パネルの上端から突出していることを特徴とする電子機器。
【請求項５】
前記基板のアンテナ素子部分は表示パネルの表面側に折り曲げられていることを特徴とする請求項４記載の電子機器。
【請求項６】
前記筐体の先端部は折り曲がっている前記基板の形状に適合して丸みを帯びていることを特徴とする請求項５記載の電子機器。
【請求項７】
前記筐体は導電性を有する材料から形成されることを特徴とする請求項４または請求項５記載の電子機器。
【請求項８】
表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、前記表示部の左右端付近に配置される第１の無線通信方式の一対のダイバーシティアンテナモジュールと、前記一対のダイバーシティアンテナモジュール間に配置される第２の無線通信方式の単一のアンテナモジュールとを有するアンテナとを具備し、
各アンテナモジュールは基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを有し、前記アンテナが置かれる前記基板のアンテナ部分は前記表示部の上端から突出しており、さらに前記表示部の表面側に折り曲げられている電子機器。
【請求項９】
表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを有する表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、基板と、前記基板のアンテナ部分上に設けられるアンテナとを有するアンテナモジュールとを具備し、
前記基板は少なくともアンテナ部分と残りの部分との境界が可撓性を有し、該残りの部分は前記表示パネルの背面に沿って設けられ、該アンテナ部分は前記表示パネルの先端から突出している電子機器。
【請求項１０】
表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを具備する表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、基板と、前記基板のアンテナ部分上に設けられるアンテナとを有するアンテナモジュールとを具備し、
残りの部分は前記表示パネルの背面に沿って設けられ、該アンテナ部分は前記表示パネルの先端から突出しており、さらに前記表示部の表面側に折り曲げられている電子機器。
【請求項１１】
表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを具備する表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、可撓性を持つ基板と、前記基板のアンテナ部分上に設けられるアンテナとを有するアンテナモジュールとを具備し、
残りの部分は前記表示パネルの背面に沿って設けられ、該アンテナ部分は前記表示パネルの先端から突出している電子機器。
【請求項１２】
表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、前記表示部の左右端付近に配置される第１の無線通信方式の一対のダイバーシティアンテナモジュールと、前記一対のダイバーシティアンテナモジュール間に配置される第２の無線通信方式の単一のアンテナモジュールとを有するアンテナとを具備し、
各アンテナモジュールは基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを有し、前記基板は、前記アンテナが置かれるアンテナ部分と残りの部分とを有し、該アンテナ部分は前記表示部の上端から突出しており、さらに該アンテナ部分と筐体との間の距離が該残りの部分と筐体との距離よりも大きい電子機器。
【請求項１３】
表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを有する表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを有するアンテナモジュールとを具備し、
前記基板は、前記アンテナが置かれるアンテナ部分と残りの部分とを有し、該アンテナ部分は前記表示部の上端から突出しており、さらに該アンテナ部分と筐体との間の距離が該残りの部分と筐体との距離よりも大きい電子機器。
【請求項１４】
表示パネルと、該表示パネルを内蔵する筐体とを具備する表示部と、
前記表示部の筐体内に設けられ、可撓性を持つ基板と、前記基板上に設けられるアンテナ素子とを有するアンテナモジュールとを具備し、
前記基板は、前記アンテナが置かれるアンテナ部分と残りの部分とを有し、該アンテナ部分は前記表示部の上端から突出しており、さらに該アンテナ部分と筐体との間の距離が該残りの部分と筐体との距離よりも大きい電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月25日(2003.8.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２ｇ／ｃｃより小さい密度を有する層中で組合された酸素、２５ないし３５原子パーセントシリコン及び５ないし１５原子パーセント水素を含む絶縁体材料。
【請求項２】
１００Ｈｚにおいて４．０より小さい自由空間に対する誘電率を更に特徴とする請求項１記載の材料。
【請求項３】
６３３ｎｍないし６７３ｎｍの波長を有する光に対し、１．４５００より小さい屈折率を更に特徴とする請求項１記載の材料。
【請求項４】
６３３ｎｍないし６７３ｎｍ間の波長を有する光に対し、１．４００ないし１．４５の範囲の屈折率を更に特徴とする請求項１記載の材料。
【請求項５】
上部表面を有する半導体材料の層；
上部表面に沿って形成されたデバイス；
デバイスへの電気的接触を作り、複数の金属レベルを含み、各レベルは導電性要素を含む相互接続構造；及び
導電性要素の部分間を電気的に分離するよう配置され、酸素；少なくとも２５原子パーセントのシリコン；５ないし１５原子パーセントの水素を含み、６３３ｎｍないし６７３ｎｍの波長の光に対し、１．４５より小さい屈折率を特徴とする少なくとも１つの誘電体層
を含む半導体構造。
【請求項６】
半導体層上に形成された少なくとも１つの導電性要素を有する相互接続の第１の上部レベル；
半導体層と第１の上部レベルの間に形成された少なくとも１つの導電性要素を有する相互接続の少なくとも１つの下部レベル；
多孔質層内で組合された酸素；少なくとも２５パーセントのシリコン及び少なくとも５原子パーセントの水素を含み、２ｇ／ｃｃより小さい密度を有し、下部レベルの導電性要素から第１の上部レベルの導電性要素を電気的に分離するよう配置された第１の絶縁性材料
を含む半導体構造。
【請求項７】
半導体層上に形成された導電性要素の上部相互接続レベル；
半導体層及び第１の上部相互接続レベル間に形成された導電性要素を有する少なくとも１つの下部相互接続レベル；及び
少なくとも２５パーセントのシリコン；少なくとも５０原子パーセントの酸素；５ないし１５パーセントの水素を含み、希釈ＨＦを含むエッチャント中で４：１ないし２０：１の熱成長二酸化シリコンに対する湿式エッチング比を特徴とする第１の絶縁性材料を含み、
前記第１の絶縁性材料は下部レベルの導電性要素から上部レベルの導電性要素を絶縁するよう配置される
半導体構造。
【請求項８】
半導体層上に形成された相互接続部の上部レベル；
半導体層と第１の上部レベルの間に形成された相互接続部の少なくとも１つの下部レベル；
酸素；少なくとも２５原子パーセントのシリコン；及び５ないし１５原子パーセントの水素を含み、４５ＧＰａより小さいヤングモジュラスを持ち、下部レベルの部分から第１の上部レベルの部分を電気的に絶縁するよう配置された絶縁性材料の多孔質層を含む半導体構造。
【請求項９】
上部表面を有する半導体層を形成すること；
各レベルが複数の部分を含む相互接続の複数のレベルを形成すること；
少なくともいくつかの部分間に２ｇ／ｃｃより小さい密度の誘電体層を形成するため、ＴＥＯＳの分解により、他の部分から部分を電気的に分離すること
を含む半導体製品の作製方法。
【請求項１０】
半導体層上に形成された相互接続部の上部レベル；
半導体層及び第１の上部レベル間に形成された相互接続部の少なくとも１つの下部レベル；及び
酸素；少なくとも２５原子パーセントのシリコン及び５ないし１５パーセントの水素を含み、層体積の大部分を通して空孔の連続した分布を有する絶縁性材料の層
を含む半導体構造。
【手続補正書】
【提出日】平成15年11月5日(2003.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボックス本体と該ボックス本体の口を閉鎖する蓋とを有するクリーンボックスからウェーハを受け取り、その処理を行う半導体ウェーハ処理装置であって、
半導体ウェーハ処理装置の本体ハウジングの一側面に配置された開口と、
該開口を閉鎖する開閉可能なドアと、
前記開口よりも下方に設けられ、前記本体ハウジングに対して近づき／離れるように水平方向に移動可能に設けられた可動部材であって、その上に前記クリーンボックスが載置されるようになされており、クリーンボックスが載置された後に本体ハウジングに近づくように移動してクリーンボックスを該クリーンボックスからウェーハを取り出すための所定位置に移動させるための可動部材と、
前記可動部材が前記本体ハウジングに近づく方向に移動した際に、該可動部材を所定位置で停止させるストッパとを備え、
前記ドアはクリーンボックスを載置した前記可動部材が前記ハウジングに近づく方向に移動する際に、可動部材がストッパにより停止する前にクリーンボックスの蓋と当接し、
前記ドアは蓋と当接した後に該蓋を保持してクリーンボックスと共に可動部材がストッパにより停止するまで本体ハウジング内方に向かって開くように移動し、
前記ドアは可動部材がストッパにより停止した後も該蓋を保持したまま自ら移動することにより該蓋をボックス本体から引き離してクリーンボックスを開放することを特徴とする該半導体ウェーハ処理装置。
【請求項２】
ボックス本体と該ボックス本体の口を閉鎖する蓋とを備えるクリーンボックスと、
該蓋に当接して該蓋を該クリーンボックスから分離させるドアと、
当接面を備える第一ストッパおよび第二ストッパとを備え、
前記第一ストッパおよび前記第二ストッパは該クリーンボックスを半導体ウェーハ処理装置に備え付けていない状態では互いに分離しており、
該クリーンボックスを半導体ウェーハ処理装置に備え付ける場合には該第一ストッパは該クリーンボックスと共に該第二ストッパに近づくように移動して、該第一ストッパと該第二ストッパとが離れている状態で該蓋と該ドアが当接し、
該第一ストッパと該第二ストッパとが当接した際に該クリーンボックスが停止して該ドアが該蓋を該クリーンボックスからの分離を開始することを特徴とする半導体ウェーハ処理装置。
【請求項３】
請求項２において、前記蓋と該ドアが当接した後に該ドアが移動を開始することにより該第一ストッパは該クリーンボックスと共に該第二ストッパに当接するまで移動し、第一ストッパと該第二ストッパとが当接するまでは該蓋と該本体ハウジング部は分離しないことを特徴とする該半導体ウェーハ処理装置。
【請求項４】
請求項２乃至３において、該第一ストッパは該クリーンボックスとの相対的な位置関係に変化を与えずにクリーンボックスの移動と共に移動し、該第二ストッパは移動しないことを特徴とする該半導体ウェーハ処理装置。
【請求項５】
請求項２乃至３において、該半導体ウェーハ処理装置は駆動装置を備えたドッキングプレートを備え、
該第一ストッパは該ドッキングプレートに固定され、
該クリーンボックスの移動は該ドッキングプレートによることを特徴とする該半導体ウェーハ処理装置。
【請求項６】
請求項５において、該駆動装置はエアシリンダを含むことを特徴とする該半導体ウェーハ処理装置。
【請求項７】
一側面に開口したボックス本体と該開口を閉鎖する蓋とを有するクリーンボックスからウェーハを受け取り、その処理を行う半導体ウェーハ処理装置であって、
一側面にハウジング開口を有する本体ハウジングと、
該ハウジング開口を閉鎖する開閉可能なドアと、
該ハウジング開口よりも下方に設けられ、前記本体ハウジングに対して近づき／離れるように水平方向に移動可能に設けられた可動部材であって、その上に前記クリーンボックスが載置されるようになされており、前記クリーンボックスが載置された後に前記本体ハウジングに近づくように移動して前記クリーンボックスを該クリーンボックスから前記ウェーハを取り出すための所定位置に移動させるための可動部材と、
前記可動部材が前記本体ハウジングに近づく方向に移動した際に、該可動部材を前記所定位置で停止させるストッパとを備え、
前記ストッパは、前記所定位置が、前記クリーンボックスを載置した前記可動部材が前記ハウジングに近づく方向に移動して前記クリーンボックスの蓋が前記ドアと当接する位置よりも前記本体ハウジング側に寄るように配置されることとを特徴とする半導体ウェーハ処理装置。
【請求項８】
一側面に開口したボックス本体と該開口を閉鎖する蓋とを有するクリーンボックスからウェーハを受け取り、その処理を行う半導体ウェーハ処理装置であって、
一側面にハウジング開口を有する本体ハウジングと、
該ハウジング開口を閉鎖する開閉可能なドアと、
該ハウジング開口よりも下方に設けられ、前記本体ハウジングに対して近づき／離れるように水平方向に移動可能に設けられた可動部材であって、その上に前記クリーンボックスが載置されるようになされており、前記クリーンボックスが載置された後に前記本体ハウジングに近づくように移動して前記クリーンボックスを該クリーンボックスから前記ウェーハを取り出すための所定位置に移動させるための可動部材とを備え、
前記可動部材は、前記クリーンボックスを載置した前記可動部材が前記ハウジングに近づく方向に移動して前記クリーンボックスの蓋が前記ドアと当接した後に、更に前記クリーンボックスを前記本体ハウジング側に移動させることを特徴とする半導体ウェーハ処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成16年1月20日(2004.1.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充電可能な電池を備えた基板搬送容器の給電装置であって、前記基板搬送容器を着座させる給電装置本体と、該給電装置本体に設けられた前記基板搬送容器の着座を検知する着座検知手段と、前記給電装置本体に移動可能に設けられた給電コネクタと、前記着座検知手段の検知信号に従って前記給電コネクタを前記基板搬送容器の電池を充電する充電端子に接触させる制御機構とを備えたことを特徴とする基板搬送容器の給電装置。
【請求項２】
外部電源により稼動する電気部品を備えた基板搬送容器の給電装置であって、前記基板搬送容器を着座させる給電装置本体と、該給電装置本体に設けられた前記基板搬送容器の着座を検知する着座検知手段と、前記給電装置本体に移動可能に設けられた給電コネクタと、前記着座検知手段の検知信号に従って前記給電コネクタを前記基板搬送容器の電気部品に給電する給電端子に接触させる制御機構とを備えたことを特徴とする基板搬送容器の給電装置。
【請求項３】
前記基板搬送容器は、該容器内に空気清浄装置及び／又は除湿装置を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送容器の給電装置。
【請求項４】
前記検知手段は、メカニカルスイッチ、近接スイッチ、または光電センサであることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板搬送容器の給電装置。
【請求項５】
電気部品を搭載した基板搬送容器を給電装置本体に着座させ、該給電装置本体はその着座検知手段により着座を検知し、給電コネクタを移動させて前記基板搬送容器の給電端子と接触することで前記電気部品への給電を行い、給電終了後は前記給電コネクタが元の位置に戻るようにしたことを特徴とする基板搬送容器の給電方法。
【請求項６】
半導体工場で基板を内部に収納した基板搬送容器を使用する方法において、
前記基板搬送容器を給電装置に着座させ、
該給電装置が着座を検知し、
該基板搬送容器の端子に該給電装置のコネクタを接触させ、
通電させることを特徴とする基板搬送容器の使用方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の基板搬送装置の給電方法は、電気部品と充電可能な電池又は外部電源で稼動する電気部品を搭載した基板搬送容器を給電装置本体に着座させ、該給電装置本体はその着座検知手段により着座を検知し、給電コネクタを移動させて前記基板搬送容器の給電端子と接触することで前記電池の充電や給電を行い、充電の終了又は基板搬送容器が移動後は、前記充電コネクタが元の位置に戻るようにしたことを特徴とする。
また、本発明の基板搬送容器の使用方法は、半導体工場で基板を内部に収納した基板搬送容器を使用する方法において、前記基板搬送容器を給電装置に着座させ、該給電装置が着座を検知し、該基板搬送容器の端子に該給電装置のコネクタを接触させ、通電させることを特徴とする。