【手続補正書】
【提出日】平成26年5月13日(2014.5.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とを有する複数の可動接触要素と、
前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に前記接触要素が接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域よりも容易に前記複数の接触要素の横移動に屈する構造を有し、
前記ギアメカニズムは、前記ボディ内の長いスロットに平行な歯を有するボティの上に位置を有する、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
前記接触要素は、前記第２の位置から前記第１の位置に一体的に移動可能である一連のピンである、装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、
前記装置の前記ボディは、プラスチックで作成される、装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置であって、
前記装置は、枚葉式湿式処理のためのプロセスモジュール内のスピンチャックである、装置。
【請求項５】
請求項２に記載の装置であって、
前記ピンは、円形に並ぶように配置され、
各ピンは、それぞれの枢動ベースの枢動軸に平行で尚且つ該枢動軸からずれた軸に沿って、前記枢動ベースから上向きに突き出している、装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置であって、
前記ギアメカニズムは、その半径方向内側の縁に歯を有するギアリングであり、
前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置であって、
前記ギアメカニズムは、その半径方向外側の縁に歯を有するギアリングであり、
前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、
前記構造は、前記ギアメカニズムが前記接触要素上に対して５から２０Ｎまでの範囲の最大の力で作用するように構成される、装置。
【請求項９】
請求項１に記載の装置であって、
前記構造は、前記その他の領域よりもヤング率が小さい狭められた領域を画定する前記ギアメカニズム内の切り出しである、装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置であって、
前記切り出しは、前記ギアメカニズムの外縁表面が割り込まれることのないように、囲まれている、装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の装置であって、
前記切り出しは、前記狭められた領域が片持ち梁の形態をとるように、前記ギアメカニズムの縁表面に割り込んでいる、装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の装置であって、
前記構造は、前記ギアメカニズムの空洞に収まる挿入物であり、
前記挿入物は、前記少なくとも１つの接触要素の対応する歯と噛み合い係合するギア歯を含み、
前記挿入物は、少なくとも１つの弾性要素によって、前記対応する歯と噛み合い係合するように促され、
前記少なくとも１つの弾性要素は、前記空洞に向かう方向への前記少なくとも１つの接触要素の変位に屈する、装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の装置であって、
前記少なくとも１つの弾性要素は、少なくとも１つのバネである、装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の装置であって、
前記少なくとも１つの弾性要素は、前記空洞に収まるエラストマ材料のボディである、装置。
【請求項１５】
ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とをそれぞれ有する複数の可動のピンアセンブリと、
前記突き出し部分が前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記複数のピンアセンブリを一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数のピンアセンブリの１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域におけるよりも容易に前記複数のピンアセンブリの横移動に適応するための手段を含み、
前記ギアメカニズムは、前記ボディ内の長いスロットに平行な歯を有するボティの上に位置を有する、装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明者らは、上述されたタイプのチャックにおいて、ピンが、極端な処理条件下で常に高い信頼性で開閉するとは限らないことを発見した。本発明にしたがうと、半導体ウエハなどのウエハ状物品を保持するための装置は、一般的なギアリング又は一体的に動作される一連のギアセクタによる制御下でウエハ状物品の周縁に接触される一連のピンを備えている。ピンアセンブリに係合するギアリング又はギアセクタ領域では、これらの要素は、ピンアセンブリの付近におけるチャック部品の熱膨張差に適応するために、その他のギアリング又はギアセクタ領域よりも容易に屈するように設計されている。
（１）本発明の第１の形態は、ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とを有する複数の可動接触要素と、
前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に前記接触要素が接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域よりも容易に前記複数の接触要素の横移動に屈する構造を有し、
前記ギアメカニズムは、前記ボディ内の長いスロットに平行な歯を有するボティの上に位置を有する、装置である。
（２）本発明の第２の形態は、ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とをそれぞれ有する複数の可動のピンアセンブリと、
前記突き出し部分が前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記複数のピンアセンブリを一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数のピンアセンブリの１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域におけるよりも容易に前記複数のピンアセンブリの横移動に適応するための手段を含み、
前記ギアメカニズムは、前記ボディ内の長いスロットに平行な歯を有するボティの上に位置を有する、装置である。
本発明は、以下の適用例としても実現可能である。
［適用例１］
ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とを有する複数の可動接触要素と、
前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に前記接触要素が接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域よりも容易に前記複数の接触要素の横移動に屈する構造を有する、装置。
［適用例２］
適用例１に記載の装置であって、
前記接触要素は、前記第２の位置から前記第１の位置に一体的に移動可能である一連のピンである、装置。
［適用例３］
適用例１に記載の装置であって、
前記装置の前記ボディは、プラスチックで作成される、装置。
［適用例４］
適用例１に記載の装置であって、
前記装置は、枚葉式湿式処理のためのプロセスモジュール内のスピンチャックである、装置。
［適用例５］
適用例２に記載の装置であって、
前記ピンは、円形に並ぶように配置され、
各ピンは、それぞれの枢動ベースの枢動軸に平行で尚且つ該枢動軸からずれた軸に沿って、前記枢動ベースから上向きに突き出している、装置。
［適用例６］
適用例１に記載の装置であって、
前記ギアメカニズムは、その半径方向内側の縁に歯を有するギアリングであり、
前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。
［適用例７］
適用例１に記載の装置であって、
前記ギアメカニズムは、その半径方向外側の縁に歯を有するギアリングであり、
前記歯は、前記接触要素上の対応する歯と噛み合い係合している、装置。
［適用例８］
適用例１に記載の装置であって、
前記構造は、前記ギアメカニズムが前記接触要素上に対して最大で５から２０Ｎまでの範囲で作用するように構成される、装置。
［適用例９］
適用例１に記載の装置であって、
前記構造は、前記その他の領域よりもヤング率が小さい狭められた領域を画定する前記ギアメカニズム内の切り出しである、装置。
［適用例１０］
適用例９に記載の装置であって、
前記切り出しは、前記ギアメカニズムの外縁表面が割り込まれることのないように、囲まれている、装置。
［適用例１１］
適用例９に記載の装置であって、
前記切り出しは、前記狭められた領域が片持ち梁の形態をとるように、前記ギアメカニズムの縁表面に割り込んでいる、装置。
［適用例１２］
適用例１に記載の装置であって、
前記構造は、前記ギアメカニズムの空洞に収まる挿入物であり、
前記挿入物は、前記少なくとも１つの接触要素の対応する歯と噛み合い係合するギア歯を含み、
前記挿入物は、少なくとも１つの弾性要素によって、前記対応する歯と噛み合い係合するように促され、
前記バネは、前記空洞に向かう方向への前記少なくとも１つの接触要素の変位に屈する、装置。
［適用例１３］
適用例１２に記載の装置であって、
前記少なくとも１つの弾性要素は、少なくとも１つのバネである、装置。
［適用例１４］
適用例１２に記載の装置であって、
前記少なくとも１つの弾性要素は、前記空洞に収まるエラストマ材料のボディである、装置。
［適用例１５］
ウエハ状物品を保持するための装置であって、
ウエハ状物品に接触するための突き出し部分と前記装置のボディに収まる取り付け部分とをそれぞれ有する複数の可動ピンアセンブリと、
前記接触要素が前記装置上に位置決めされたウエハ状物品に接触する第１の位置と第２の非接触位置との間で、前記接触要素を一斉に駆動するギアメカニズムと、を備え、
前記ギアメカニズムは、前記複数の接触要素の１つに係合する少なくとも一領域において、前記少なくとも一領域に隣接する前記ギアメカニズムのその他の領域におけるよりも容易に前記複数の接触要素の横移動に適応するための手段を含む、装置。