【手続補正書】
【提出日】平成15年9月18日(2003.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体の表面に処理液を供給する処理液供給手段と、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を調節可能な供給量調節手段と、上記処理液供給手段の処理液供給停止時に、処理液供給手段の供給部に残留する処理液を吸引する処理液吸引手段と、を具備する液処理装置の自動設定方法であって、
処理液供給手段が供給する処理液の供給量を供給量検出手段により検出し、
上記処理液供給手段の供給部の処理液の状態を液検出手段により検出し、
上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項２】
請求項１記載の液処理装置の自動設定方法において、
光を透過する容器に処理液供給手段が供給する処理液を貯留すると共に、容器の側方に照射した光をその対向する側で検知し、検知した光の光量と、予め記憶された情報とに基いて、処理液供給手段が供給する処理液の供給量を検出することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の液処理装置の自動設定方法において、
上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項４】
請求項１記載の液処理装置の自動設定方法において、
上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出する際の状態の画像を検出し、吐出開始時の処理液が上記供給部から供給管路側へ吸い込まれる処理液の引き上がりが生じていないかを画像データから判定し、上記処理液の引き上がりが生じたときの大きさに応じて上記供給量調節手段の開口時間の設定を調整することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項５】
請求項１記載の液処理装置の自動設定方法において、
上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出終了の際の状態の画像を検出し、画像データとして処理し、上記供給部の液面が供給部の所定位置かの判定を行い、上記所定の範囲となるように上記供給量調節手段の閉鎖時間の設定を調整することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項６】
請求項１記載の液処理装置の自動設定方法において、
上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出終了のサックバックする際の状態の画像を検出し、画像データとして処理し、サックバック後の上記供給部の液面が供給部の所定位置かの判定を行い、上記所定の範囲となるように上記処理液吸引手段のサックバック量の設定を調整することを特徴とする液処理装置の自動設定方法。
【請求項７】
被処理体の表面に処理液を供給する処理液供給手段と、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を調節可能な供給量調節手段と、上記処理液供給手段の処理液供給停止時に、処理液供給手段の供給部に残留する処理液を吸引する処理液吸引手段と、を具備する液処理装置の自動設定装置であって、
上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を検出する供給量検出手段と、
上記処理液供給手段の供給部の処理液の状態を検出する液検出手段と、
上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整する制御手段と、
を具備することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項８】
請求項７記載の液処理装置の自動設定装置において、
上記供給量検出手段は、処理液供給手段から供給された処理液を貯留する光を透過可能な容器と、上記容器の側方から光を照射可能な発光手段と、上記発光手段が照射し容器を透過した光を検知する光検知手段とを具備することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項９】
請求項７又は８記載の液処理装置の自動設定装置において、
上記制御手段を、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整するように構成することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項１０】
請求項７記載の液処理装置の自動設定装置において、
上記供給量検出手段は、処理液の重量を検出する電子天秤であることを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項１１】
請求項７記載の液処理装置の自動設定装置において、
一方が圧縮空気供給源に接続される吸気側流路を開閉するための吸気側の電磁弁と、
一方が排気手段に接続される排気側流路を開閉するための排気側の電磁弁と、
上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁との間を接続する流路であって、上記供給量調節手段に接続される出力側流路と、
上記出力側流路内の空気圧を検出する圧力センサと、を更に具備し、
上記制御手段は、上記圧力センサで検出された圧力に基いて上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁とを制御して、上記供給量調節手段の処理液の供給量を調節することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項１２】
請求項７記載の液処理装置の自動設定装置において、
一方が圧縮空気供給源に接続される吸気側流路を開閉するための吸気側の電磁弁と、
一方が排気手段に接続される排気側流路を開閉するための排気側の電磁弁と、
上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁との間を接続する流路であって、上記処理液吸引手段に接続される出力側流路と、
上記出力側流路内の空気圧を検出する圧力センサと、を更に具備し、
上記制御手段は、上記圧力センサで検出された圧力に基いて上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁とを制御して、上記処理液吸引手段の処理液のサックバック量を調節することを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【請求項１３】
請求項７、８又は１０に記載の液処理装置の自動設定装置において、
上記供給量検出手段は、ダミディスペンスを行う位置に設けられていることを特徴とする液処理装置の自動設定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また、この発明の自動設定方法において、上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整する方が好ましい（請求項３）。
また、上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出する際の状態の画像を検出し、吐出開始時の処理液が上記供給部から供給管路側へ吸い込まれる処理液の引き上がりが生じていないかを画像データから判定し、上記処理液の引き上がりが生じたときの大きさに応じて上記供給量調節手段の開口時間の設定を調整する方が好ましい（請求項４）。
また、上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出終了の際の状態の画像を検出し、画像データとして処理し、上記供給部の液面が供給部の所定位置かの判定を行い、上記所定の範囲となるように上記供給量調節手段の閉鎖時間の設定を調整する方が好ましい(請求項５)。
加えて、上記処理液供給手段の供給部から処理液が吐出終了のサックバックする際の状態の画像を検出し、画像データとして処理し、サックバック後の上記供給部の液面が供給部の所定位置かの判定を行い、上記所定の範囲となるように上記処理液吸引手段のサックバック量の設定を調整する方が好ましい（請求項６）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、この発明の第１の液処理装置の自動設定装置は、請求項１記載の自動設定方法を具現化するもので、被処理体の表面に処理液を供給する処理液供給手段と、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を調節可能な供給量調節手段と、上記処理液供給手段の処理液供給停止時に、処理液供給手段の供給部に残留する処理液を吸引する処理液吸引手段と、を具備する液処理装置の自動設定装置であって、上記処理液供給手段が供給する処理液の供給量を検出する供給量検出手段と、上記処理液供給手段の供給部の処理液の状態を検出する液検出手段と、上記供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整する制御手段と、を具備することを特徴とする（請求項７）。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この場合、上記供給量検出手段は、処理液供給手段から供給された処理液を貯留する光を透過可能な容器と、上記容器の側方から光を照射可能な発光手段と、上記発光手段が照射し容器を透過した光を検知する光検知手段とを具備する方が好ましい（請求項８）。


【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、この発明の自動設定装置において、上記制御手段を、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、上記処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、上記処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整するように構成する方が好ましい（請求項９）。
また、上記供給量検出手段を、処理液の重量を検出する電子天秤にて形成することができる（請求項１０）。
また、この発明の自動設定装置において、一方が圧縮空気供給源に接続される吸気側流路を開閉するための吸気側の電磁弁と、一方が排気手段に接続される排気側流路を開閉するための排気側の電磁弁と、上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁との間を接続する流路であって、上記供給量調節手段に接続される出力側流路と、上記出力側流路内の空気圧を検出する圧力センサと、を更に具備し、上記制御手段が、上記圧力センサで検出された圧力に基いて上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁とを制御して、上記供給量調節手段の処理液の供給量を調節するように形成してもよい(請求項１１)。
また、一方が圧縮空気供給源に接続される吸気側流路を開閉するための吸気側の電磁弁と、一方が排気手段に接続される排気側流路を開閉するための排気側の電磁弁と、上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁との間を接続する流路であって、上記処理液吸引手段に接続される出力側流路と、上記出力側流路内の空気圧を検出する圧力センサと、を更に具備し、上記制御手段が、上記圧力センサで検出された圧力に基いて上記吸気側の電磁弁と排気側の電磁弁とを制御して、上記処理液吸引手段の処理液のサックバック量を調節するように形成してもよい（請求項１２）。
加えて、上記供給量検出手段を、ダミディスペンスを行う位置に設ける方が好ましい(請求項１３)。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項１，２，４〜８，１０〜１２に記載の発明によれば、処理液供給手段が供給する処理液の供給量を供給量検出手段により検出し、処理液供給手段の供給部の処理液の状態を液検出手段により検出し、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整するので、液処理装置の設定をオペレータが手動で行う必要がなく、装置の設定を容易にすることができると共に、装置ごとの処理液の供給量に誤差が生じるのを防止することができる。


【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項３，９に記載の発明によれば、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整するので、更に装置ごとの処理液の供給量に誤差が生じるのを防止することができる。


【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また、レジストノズル１１０から供給されるレジスト液は、電空レギュレータＥＲ１によって空気室１４８に導入される圧縮空気の圧力によって調節される。すなわち、電空レギュレータＥＲ１を作動させてエアコンプレッサＣから空気室１４８に供給する圧縮空気の圧力を上げると、ダイヤフラム１４６が圧縮空気の圧力でスプリング１４７の弾性力に抗してロッド１４４を押し上げ、弁体１４５ｂとゲート部１４９との間の隙間を広げるので、吸込側流路１４１から吐出側流路１４２に流れるレジスト液の供給量が増加し、逆に空気室１６２に供給する圧縮空気の圧力を下げると、ロッド１４４がスプリング１４７の弾性力によって押し下げられ、弁体１４５ｂとゲート部１４９との間の隙間を狭めるので、吸込側流路１４１から吐出側流路１４２に流れるレジスト液の供給量が減少することになる。


【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
１）請求項１，２，４〜８，１０〜１２に記載の発明によれば、処理液供給手段が供給する処理液の供給量を供給量検出手段により検出し、処理液供給手段の供給部の処理液の状態を液検出手段により検出し、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、供給量調節手段及び処理液吸引手段の設定を調整するので、液処理装置の設定をオペレータが手動で行う必要がなく、装置の設定を容易にすることができると共に、装置ごとの処理液の供給量に誤差が生じるのを防止することができる。この場合、供給量検出手段を、ダミーディスペンスを行う位置に設けることにより、更に装置の小型化が図れる（請求項１３）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
２）請求項３，９に記載の発明によれば、供給量検出手段及び液検出手段の検出信号と、予め記憶された少なくとも処理液の特性及び配管条件を含む情報とに基いて、処理液供給手段が被処理体に均一に処理液を供給し得るように、処理液供給手段に処理液供給源の処理液を圧送する処理液圧送手段の圧力を調節可能な圧力調節手段の設定を調整するので、更に装置ごとの処理液の供給量に誤差が生じるのを防止することができる。