【手続補正書】
【提出日】平成24年1月16日(2012.1.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器と輻射シールドとの間における流れを案内することにより、凝縮膜が成長する位置を制御する方法であって、
前記真空容器と前記輻射シールドとの間に形成された環状空間から前記流れを遮断すること、
前記流れを主要な排気面に再案内すること、および
前記主要な排気面において前記気体を凝縮させて氷結物を形成すること、
を含む、凝縮膜成長位置制御方法。
【請求項２】
請求項１において、さらに、前記輻射シールドが有する孔を覆っている邪魔部材で流れを遮断し、前記邪魔部材が流れを再案内することを含む、凝縮膜成長位置制御方法。
【請求項３】
請求項２において、前記輻射シールドが有する孔は排出孔であり、クライオポンプの再生処理時に極低温の流体が前記排出孔を通過することを含む、凝縮膜成長位置制御方法。
【請求項４】
請求項１において、さらに、前記輻射シールドの下からの流れを遮断することを含む、凝縮膜成長位置制御方法。
【請求項５】
請求項１において、さらに、前記輻射シールドの側方からの流れを遮断することを含む、凝縮膜成長位置制御方法。
【請求項６】
冷凍機と、
前記冷凍機の少なくとも１つのステージを囲み前記冷凍機によって冷却され、孔を有する輻射シールドと、
前記孔を覆うように配置され、当該孔を通過しないように気体を再案内することにより当該気体が前記主要でない凝縮面に凝縮することを防ぎ、主要な凝縮面に凝縮するように気体を再案内する邪魔部材と、
を備えるクライオポンプ。
【請求項７】
請求項６において、少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する前記冷凍機と、
前記第２ステージを囲み前記第１ステージと熱的に接触し、再生処理時に流体が通過できるようにする排出孔を有する前記輻射シールドと、
前記主要な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および前記主要でない凝縮面を含む第２ステージアレイを備え、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触する主要な排気面と、
を備えるクライオポンプ。
【請求項８】
請求項６において、前記邪魔部材がＵ字形状であるクライオポンプ。
【請求項９】
請求項６において、前記邪魔部材が、前記輻射シールドの底面に接続された第１のアーム部と、当該底面に接続された第２のアーム部と、前記第１のアーム部および前記第２のアーム部に接続された中間部とを有するクライオポンプ。
【請求項１０】
請求項６において、当該クライオポンプの再生処理時に極低温の液体が前記排出孔を通
過できるように、前記邪魔部材が湾曲しているクライオポンプ。
【請求項１１】
請求項６において、さらに、前記輻射シールドの側壁に孔を備えており、当該孔を介した電気接続が可能なように構成され、かつ当該孔は閉塞されているクライオポンプ
【請求項１２】
請求項６において、前記輻射シールドが、前記主要な排気面に面する内面、および外面を有しており、前記邪魔部材が前記内面または前記外面のいずれかに接続されているクライオポンプ。
【請求項１３】
請求項６において、前記邪魔部材が接着によって接続されているクライオポンプ。
【請求項１４】
請求項６において、前記輻射シールドが、前記主要な排気面に面する円筒面を有しており、当該円筒面は気体流を通過させないクライオポンプ。
【請求項１５】
請求項６において、前記輻射シールドが、開口部と、孔を含まない中実な側壁とを有しており、これにより、当該開口部以外の方向から気体が進入して排気されることのないようにしたクライオポンプ。
【請求項１６】
請求項６において、さらに、前記冷凍機の第２ステージと熱的に接触する主要な排気面を備えており、当該主要な排気面は、一体品である最上位のバッフルを有する複数のバッフルのアレイを含み、前記一体品は氷結物の一様な分布が可能なように構成されているクライオポンプ。
【請求項１７】
請求項６において、さらに、前記冷凍機の第２ステージの最も低温の部位と熱的に接触し、前記第２ステージの円筒を囲む第２ステージの円筒状のシールドと、
前記冷凍機の第１ステージと熱的に接触する延設部と、
前記円筒状のシールドと円筒状のシールドとの間に形成された、均一な温度差を有する通路と、
を備えるクライオポンプであって、
前記通路は、気体分子を前記円筒状のシールドの低温面に確実に衝突させて凝縮させる
ことにより、前記気体分子を前記円筒状のシールドに緊密に密着させ、前記第２ステージの冷凍機円筒に凝縮することを防ぎ、
前記円筒状のシールドは前記延設部の近傍に位置するフレア端部を有しており、このフレア部により、前記延設部と前記円筒状のシールドとの間に、当該端部における氷結物が前記延設部に接触することを防ぐのに適切なクリアランスが形成されている、クライオポンプ。
【請求項１８】
請求項１７において、前記通路の幅に対する長さの比が５以上であるクライオポンプ。
【請求項１９】
請求項１７において、前記延設部が、当該延設部と前記輻射シールドとを接続するブラケットを備えており、このブラケットが前記第１ステージと熱的に接触するクライオポンプ。
【請求項２０】
請求項６において、さらに、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触し、主要
な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面を含む主要な排気面を備えるクライオポンプであって、
前記主要でない凝縮面が、気体が堆積して凝縮した際の堆積物における亀裂形成応力を軽減するように構成された面を含む、クライオポンプ。
【請求項２１】
請求項２０において、前記亀裂形成応力を軽減するように構成された面により、低応力の堆積膜が形成されるクライオポンプ。
【請求項２２】
請求項２０において、前記亀裂形成応力を軽減するように構成された面が、連続的な堆積膜が形成することを妨げるクライオポンプ。
【請求項２３】
請求項２０において、前記亀裂形成応力を軽減するように構成された面が、前記主要でない凝縮面に設けられたパターンを含むクライオポンプ。
【請求項２４】
請求項２０において、当該クライオポンプの前記主要でない凝縮面が、少なくとも１つの突起部を有する平面を含むクライオポンプ。
【請求項２５】
請求項６において、さらに、吸着剤を担持し、前記冷凍機の第２ステージと熱的に接触する第２ステージアレイと、
少なくとも第１の部位および第２の部位に区切られた最上位のプレートを含む主要な排気面と、
を備えるクライオポンプであって、
前記第１の部位と前記第２の部位とが強固に接続されており、これにより、当該第１の部位および第２の部位に形成され堆積する凝縮物の相対運動を防止することができるクライオポンプ。
【請求項２６】
請求項２５において、前記第１の部位が、前記第２の部位に上方から一部重なり合っているクライオポンプ。
【請求項２７】
クライオポンプ用の輻射シールドであって、
底部、および当該底部に接続された側壁を有し、前記クライオポンプの主要な排気面を収容するのに十分な体積空間を有するハウジングと、
再生処理動作時に極低温の液体および気体が通過できるように前記ハウジングの底部に設けられた排出孔と、
前記排出孔を覆い、気体が前記排出孔を通って前記輻射シールドに進入して主要でない面で排気されることのないように当該気体の向きを変え、気体を前記クライオポンプの主要な排気面に再案内する邪魔部材と、
を備える輻射シールド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
本発明を、例示的な実施形態を用いて詳細に示し説明したが、当業者であれば、添付の特許請求の範囲に包含される本発明の範囲から逸脱することなく、形態および細部の様々な変更が可能であることを理解できるであろう。
以上説明した実施形態には、以下に列挙する形態１〜９（出願当初の請求項４、１４、１５、２６、３８、４７、４８、５４および５８の内容）が含まれる。
（形態１）
少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲
み前記第１ステージと熱的に接触し、再生処理時に液体が通過できるようにする排出孔を有する輻射シールドと、主要な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面を含む第２ステージアレイとを備え、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触する主要な排気面と、前記排出孔を覆うように配置され、当該排出孔を通過しないように気体を再案内することにより当該気体が前記主要でない凝縮面に凝縮することを防ぎ、前記主要な凝縮面に凝縮するように気体を再案内する邪魔部材と、を備えるクライオポンプ。
（形態２）
クライオポンプ用の輻射シールドであって、底部、および当該底部に接続された側壁を有し、前記クライオポンプの主要な排気面を収容するのに十分な体積空間を有するハウジングと、再生処理動作時に極低温の液体および気体が通過できるように前記ハウジングの底部に設けられた排出孔と、前記排出孔を覆い、気体が前記排出孔を通って前記輻射シールドに進入して主要でない面で排気されることのないように当該気体の向きを変え、気体を前記クライオポンプの主要な排気面に再案内する邪魔部材と、を備える輻射シールド。
（形態３）
少なくとも第１ステージ、および円筒を含む第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲み、前記第１ステージと熱的に接触する輻射シールドと、前記第２ステージの最も低温の部位と熱的に接触し、前記第２ステージの円筒を囲む第２ステージの円筒状のシールドと、前記円筒状のシールドと、前記輻射シールドによって前記第１ステージと熱的に接触する延設部との間に形成された、均一な温度差を有する通路と、を備えるクライオポンプであって、前記通路は、気体分子を前記円筒状のシールドの低温面に確実に衝突させて凝縮させることにより、前記気体分子を前記円筒状のシールドに緊密に密着させ、前記第２ステージの冷凍機円筒に凝縮することを防ぎ、前記円筒状のシールドは、前記延設部の近傍に位置するフレア端部を有しており、このフレア部により、前記延設部と前記円筒状のシールドとの間に、当該端部における氷結物が前記延設部に接触することを防ぐのに適切なクリアランスが形成されている、クライオポンプ。
（形態４）
少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲み、前記第１ステージと熱的に接触する輻射シールドと、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触し、主要な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面を含む主要な排気面と、を備えるクライオポンプであって、前記主要でない凝縮面が、気体が堆積して凝縮した際の堆積物における亀裂形成応力を軽減するように構成された面を含む、クライオポンプ。
（形態５）
少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲み、前記第１ステージと熱的に接触する輻射シールドと、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触する第２ステージアレイと、少なくとも第１の部位および第２の部位に区切られた最上位のプレートを含む主要な排気面と、を備えるクライオポンプであって、前記第１の部位と前記第２の部位とが強固に接続されており、これにより、当該第１の部位および第２の部位に形成され堆積する凝縮物の相対運動を防止することができるクライオポンプ。
（形態６）
第１の部位および第２の部位で構成される主要な排気面における凝縮物の成長を管理する方法であって、前記真空容器と前記輻射シールドとの間に形成された環状空間から気体の流れを遮断すること、前記第１の部位および前記第２の部位で構成される前記主要な排気面に前記流れを再案内すること、前記主要な排気面において前記気体を凝縮させて厚い氷結物を形成すること、および前記第１の部位と前記第２の部位とを互いに強固に機械的に接続することにより、動作時において、前記第１の部位に堆積する凝縮物が、前記第２の部位に堆積する凝縮物を移動させたりこれに接触したりするのを防止すること、を含む、凝縮物成長管理方法。
（形態７）
少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲み、前記第１ステージと熱的に接触する輻射シールドと、吸着剤を担持し、前記第２ステージと熱的に接触し、主要な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面を含む第２ステージアレイと、を備え、さらに、前記主要でない凝縮面における凝縮物を最小限に抑える第１の構造体、または前記主要でない凝縮面に気体が堆積した際の凝縮物における亀裂形成応力を最小限に抑える第２の構造体を少なくとも備えるクライオポンプ。
（形態８）
少なくとも第１ステージおよび第２ステージを有する冷凍機と、前記第２ステージを囲み、前記第１ステージと熱的に接触する輻射シールドと、主要な凝縮面、吸着剤を有する保護面、および主要でない凝縮面を含む第２ステージアレイと、を備えるクライオポンプであって、前記主要な凝縮面が、凝縮物の一様な分布にするように構成された平面を含むクライオポンプ。
（形態９）
チャンバにおける圧力急上昇を防止する方法であって、前記チャンバから気体を排気して凝縮気体を形成する工程と、内部応力を有する形態で前記凝縮気体が形成しないようにすることにより、当該凝縮気体がフレークを形成し放出されたフレークの温度が自然と上昇することで圧力急上昇を生じることのないようにする工程と、を含む、圧力急上昇防止方法。