【事件の表示】
　平成　９年特許願第２８７５９３号「ポリシングクロスの表面処理装置」拒絶査定不服審判事件〔平成１１年　４月２０日出願公開、特開平１１−１０４９４９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、平成９年１０月６日の出願であって、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】チャック機構の上面にワークを貼着して研磨加工した後のポリシングマシーンのポリシングクロスの表面処理をする装置であって、プレート用回転軸に固着され表面にポリシングクロスを張着させた円盤形状のポリシングプレートと、該ポリシングクロスの上方に旋回又は進退自在に突出させる駆動部材を基端に備えたＬ字形状のポリシングクロスドレッサー支持杆と、該ポリシングドレッサー支持杆の先端に回転可能に取着したドレッサー用回転軸と、該ドレッサー用回転軸の下端に固着された円盤形状のポリシングドレッサー装着台と、該ポリシングドレッサー装着台の下面に装着したダイヤモンドカップリングホイールとを具備したこと特徴とするポリシングクロスの表面処理装置。」
　
２．刊行物記載の発明
　これに対して、原査定の拒絶の理由に引用された、本願出願前に日本国内で頒布された特開平７−２９９７３１号公報（以下、「刊行物」という。）には、次の事項が記載されている。
記載事項（１）（段落【０００１】）
「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路を形成する半導体ウエハ等の表面を研磨するためのウエハ研磨装置および研磨面のドレッシング方法に関するものである。」
記載事項（２）（段落【０００３】）
「【０００３】図５は従来のウエハ研磨装置１の構成を示す図であって、符号２はウエハ３を保持するヘッド、４は旋回アーム、５はプラテン（研磨盤）である。ヘッド２はその下部にウエハキャリア６を有し、ウエハ３はウエハキャリア６に真空吸着されることにより、研磨されるべき表面を下向きに水平状態に保持されるようになっている。」
記載事項（３）（段落【０００６】）
「【０００６】プラテン５には、その上面に研磨布（図示略）が貼付されており、研磨の際には、この研磨布がヘッド２に保持されたウエハ３と接触するようになっている。このプラテン５の中心には回転軸１０が設けられ、基台７に設置された駆動モータ１１の回転力が動力伝達機構（図示略）を介してこの回転軸１０に伝達され、プラテン５が水平回転させられるようになっている。」
記載事項（４）（段落【００２１】）
「【００２１】本実施例のウエハ研磨装置２０は、プラテン５の研磨面５ａに圧接させられる円盤状のドレッシングパッド２１を有するドレッシング装置２２を具備している。このドレッシング装置２２は、旋回アーム４（離間手段）の旋回中心となる垂直軸４ａ回りに旋回可能に配されるドレッシングアーム２３と、該ドレッシングアーム２３の先端に水平に配されるドレッシングパッド２１と、該ドレッシングパッド２１を上下移動させるシリンダ２４とを具備している。」
記載事項（５）（段落【００２３】）
「【００２３】前記ドレッシングパッド２１は、図３に示すように、断面コ字状の円形に形成されており、その外縁に沿って、研磨面５ａに圧接されることとなるリング状の圧接面２１ａを具備している。この圧接面２１ａには、例えば、約１００メッシュのダイヤモンド砥粒２１ｂが均一分布状態に電着されている。」
記載事項（６）（段落【００２５】）
「【００２５】また、前記シリンダ２４は、先端にドレッシングパッド２１を取り付けたロッド２４ａを下方に向けて突出させることにより、ドレッシングパッド２１を上下方向に移動させ、その圧接面２１ａをプラテン５の研磨面５ａに圧接することができるようになっている。ドレッシングパッド２１は、例えば、ロッド２４ａに水平回転自在に取り付けられており、圧接面２１ａを研磨面５ａに圧接させられることによって、研磨面５ａの動作に倣わせてつれ回り回転させられるようになっている。
記載事項（７）（段落【００２６】）
「【００２６】このように構成されたウエハ研磨装置２０を用いてウエハ３の研磨作業を実施するには、まず、オペレータは、ウエハ３をヘッド２に取り付けて、・・・ヘッド２とプラテン５とを相対運動させる。」
記載事項（８）（段落【００２８】）
「【００２８】次いで、・・・旋回アーム４とドレッシングアーム２３とが連動して水平方向に旋回移動される。そして、ドレッシングアーム２３の先端に設けられたドレッシングパッド２１の圧接面２１ａがプラテン５上に配置され、シリンダ２４の作動によって、プラテン５の研磨面５ａに圧接させられることによってドレッシング作業が開始される。」
　以上の記載事項（１）〜（８）及び第１〜３、５図の記載によれば、刊行物には次の発明（以下、「刊行物記載の発明」という。）が記載されていると認められる。
「ヘッド２の下面にウエハ３を貼着して研磨加工した後のウエハ研磨装置２０の研磨布の表面処理をする装置であって、回転軸１０に固着され表面に研磨布を張着させた円盤形状のプラテン５と、該研磨布の上方に旋回自在に突出させる垂直軸４ａを基端に備えたドレッシングアーム２３と、該ドレッシングアーム２３の先端に回転可能に取着したロッド２４ａと、ロッド２４ａの下端に固着された圧接面２１ａにダイヤモンド砥粒２１ｂが電着されたドレッシングパッド２１とを具備した研磨布の表面処理をする装置。」
　
３．対比
　本願発明と刊行物記載の発明とを対比すると、後者の「ヘッド２」は、その技術的意義から見て、前者の「チャック機構」に相当し、同様に後者の「ウエハ」、「ウエハ研磨装置２０」、「研磨布」、「回転軸１０」、「プラテン５」、「垂直軸４ａ」、「ロッド２４ａ」、「圧接面２１ａにダイヤモンド砥粒２１ｂが電着されたドレッシングパッド２１」、「研磨布の表面処理をする装置」は、それぞれ前者の「ワーク」、「ポリシングマシーン」、「ポリシングクロス」、「プレート用回転軸」、「ポリシングプレート」、「駆動部材」、「ドレッサー用回転軸」、「ダイヤモンドカップリングホイール」、「ポリシングクロスの表面処理装置」に相当する。
　また、後者の「ドレッシングアーム２３」と、前者の「Ｌ字形状のポリシングクロスドレッサー支持杆」とは、その形状を除いた「ポリシングクロスドレッサー支持杆」である限りにおいて一致すると認められる。
　してみると、本願発明と刊行物記載の発明との一致点、相違点は次のとおりであると認められる。
［一致点］
「チャック機構にワークを貼着して研磨加工した後のポリシングマシーンのポリシングクロスの表面処理をする装置であって、プレート用回転軸に固着され表面にポリシングクロスを張着させた円盤形状のポリシングプレートと、該ポリシングクロスの上方に旋回自在に突出させる駆動部材を基端に備えたポリシングクロスドレッサー支持杆と、該ポリシングドレッサー支持杆の先端に回転可能に取着したドレッサー用回転軸と、該ドレッサー用回転軸の下端に固着された円盤形状のダイヤモンドカップリングホイールとを具備したポリシングクロスの表面処理装置。」
［相違点１］
　本願発明は、チャック機構の「上面」にワークを貼着するのに対し、刊行物記載の発明は、チャック機構の「下面」にワークを貼着する点。
［相違点２］
　本願発明のポリシングクロスドレッサー支持杆は「Ｌ字形状」であるのに対し、刊行物記載の発明のものはそのような形状でない点。
［相違点３］
　本願発明は、ドレッサー用回転軸の下端に固着された「円盤形状のポリシングドレッサー装着台」を介在して、ポリシングドレッサー装着台の下面にダイヤモンドカップリングホイールを装着しているのに対して、刊行物記載の発明は、「円盤形状のポリシングドレッサー装着台」を介在させていない点。
　
４．判断
　上記の各相違点について検討する。
［相違点１について］
　本願の明細書及び図面には、チャック機構と他の部材との配置は具体的に記載されていないので、他の部材の配置に基づいて検討する。
　本願発明と刊行物記載の発明とは、ともにポリンシングプレートの表面にポリシングクロスを張着し、その上方にポリシングドレッサー支持杆が旋回するものであるので、このような配置のポリシングマシーンにおいては、ワークをポリシングクロスの上方から押し当てることになり、そのためには、刊行物記載の発明のように、チャック機構の下面にワークを貼着して研磨加工するのが自然であり、本願発明のように、チャック機構の上面にワークを貼着して研磨加工することに格別の技術的意義を見出せない。
　したがって、刊行物記載の発明を、相違点１の如く構成することは、当業者にとって容易になし得るものである。
［相違点２について］
　刊行物記載の発明においても、本願発明と同様に、ポリシングドレッサー支持杆とその先端に回転可能に取着したドレッサー回転軸とで、Ｌ字形状をなしている。このようなポリシングドレッサー支持杆とドレッサー回転軸との関係において、支持杆の回転軸を受ける部位をその軸方向に延ばして形成することは、選択した回転軸の支持の仕方に応じて当業者が設計変更し得る事項と認められる。
　したがって、刊行物記載の発明を、相違点２の如く構成することに、格別の困難性は見出せない。
［相違点３について］
　ドレッサー用回転軸の下端に円盤形状のポリシングドレッサー装着台を固着し、そのポリシングドレッサー装着台の下面にダイヤモンドカップリングホイールを装着することは、本願出願前に周知の技術思想である（必要であれば、国際公開第９５／１８６９７号パンフレットの第２図を参照）。
　してみれば、刊行物記載の発明に、上記周知の技術思想を適用し、相違点３の如く構成することに格別の困難性は見出せず、また、その作用効果も容易に予想し得るものである。
　
５．むずび
　以上のとおりであるから、本願発明は、刊行物記載の発明及び周知の技術思想に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。