【手続補正書】
【提出日】平成24年5月31日(2012.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
式Ｉ
【化１】
2011523971.tif 000001
［式中、
R1、R2及びR3は、互いに独立に水素又はＣ1〜Ｃ18−アルキルであり、
ＹはＯ又はＳであり、
Ｄ2、Ｄ3及びＤ4は、互いに独立にO、O(CO)、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン又はAr1であり、
Ar1は、フェニレンであり、
Ar2及びAr3は、フェニレンであり、
Ｘ-は
【化２】
2011523971.tif 000002
であり、
R10は、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキルであり、
R11、R12及びR13は、互いに独立にＣ1〜Ｃ10−ハロアルキルであり、かつ
R14及びR15は、互いに独立にＣ1〜Ｃ10−ハロアルキルであり、
又はR14及びR15は、これらが結合している
【化３】
2011523971.tif 000003
と一緒になって、１つ以上のハロゲンにより置換されている５員環、６員環又は７員環を形成する］
の化合物。
【請求項２】
請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位を有するポリマー。
【請求項３】
請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位に加えて、式II
【化４】
2011523971.tif 000004
［式中、
A1、A2及びA3は、互いに独立に水素、ハロゲン、CN、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、又はOR4により置換されているＣ1〜Ｃ18−アルキルであり；
A4は、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、１つ以上のO、S、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、１つ以上のO、S、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、１つ以上のO、S、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ2〜Ｃ12−アルケニル、
Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、１つ以上のO、S、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり、
その際、前記基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、中断されたＣ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル及び中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルは、場合により１つ以上のAr、OR4、(CO)OR4、O(CO)R8、ハロゲン、NO2、CN、NR5R6、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ及び／又は（４−メチルフェニル）スルホニルオキシにより置換されている；
又はA4は、水素、ハロゲン、NO2、CN、Ar、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、O(CO)R8、O(CO)OR4、O(CO)NR5R6、NR7(CO)R8、NR7(CO)OR4、OR4、NR5R6、SR7、SOR8、SO2R8及び／又はOSO2R8であり、
D5は、直接結合、O、CO、(CO)O、(CO)S、(CO)NR7、SO2、OSO2、Ｃ1〜Ｃ18−アルキレン又はAr1であり、
場合によりA3及びD5は、これらが結合しているエチレン性不飽和二重結合と一緒になって、場合により１つ以上のO、S、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルケニルを形成する；
又は場合により基A2及びD5は、これらが結合しているエチレン性不飽和二重結合の炭素原子と一緒になって、場合により１つ以上のO、S、N、NR7、CO、SO及び／又はSO2により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルを形成する；
Ar1は、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化５】
2011523971.tif 000005
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン、又は
【化６】
2011523971.tif 000006
であり、これらの全ては場合により１つ以上のＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルにより置換されているか、又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルにより置換されている；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルにより置換されている；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルにより置換されている；
又はハロゲン、NO2、CN、Ar、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、O(CO)R8、O(CO)OR4、O(CO)NR5R6、NR7(CO)R8、NR7(CO)OR4、OR4、NR5R6、SR7、SOR8、SO2R8及び／又は−OSO2R8により置換されていて、
その際、場合により置換基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、O(CO)R8、O(CO)OR4、O(CO)NR5R6、NR7(CO)R8、NR7(CO)OR4、OR4、NR5R6、SR7、SOR8、SO2R8及び／又はOSO2R8は、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、R4、R5、R6、R7及び／又はR8を介して、フェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化７】
2011523971.tif 000007
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化８】
2011523971.tif 000008
上の更なる置換基と一緒になって、又はフェニレン、ビフェニレン、ナフチレン、
【化９】
2011523971.tif 000009
、ヘテロアリーレン、オキシジフェニレン又は
【化１０】
2011523971.tif 000010
の炭素原子のうち１つと一緒になって５員環、６員環又は７員環を形成する；
その際、全てのAr1は、酸の作用により切断される−O−C−結合もしくは−O−Si−結合を有する基により更に場合により置換される；
R4は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルである；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり、
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり、
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり、
又はR4は、Ar、(CO)R8、(CO)OR8、(CO)NR5R6及び／又はSO2R8であり、
（その際、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル及びArとしてのR4は、場合により１つ以上のAr、OH、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、NO2、CN、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、NＲ5Ｒ6、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシにより置換されている）；
R5及びR6は、互いに独立に水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり、
又は互いに独立に、１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ2〜Ｃ18−アルキルであり、
又は互いに独立に、１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり、
又は互いに独立に、１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されているＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり、
又はR5及びR6は、互いに独立にAr、(CO)R8、(CO)OR4及び／又は−SO2R8であり、
（その際、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル及びArとしてのR5及びR6は、場合により１つ以上のAr、OH、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、NO2、CN、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、Ｃ1〜Ｃ18−ジアルキルアミノ、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシにより置換されている）；
又はR5及びR6は、これらが結合している窒素原子と一緒になって、場合により１つ以上のO、NR7又はCOにより中断されている５員環、６員環又は７員環を形成する；
R7は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルであり、
又は１つ以上のO、S、O(CO)及び／又は(CO)Oにより中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキルであり、
又は１つ以上のO、S、O(CO)及び／又は(CO)Oにより中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり、
又は１つ以上のO、S、O(CO)及び／又は(CO)Oにより中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり、
又はR7は、Ar、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6及び／又は−SO2R8であり、
（その際、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニル及びArとしてのR7は、場合により１つ以上のAr、OH、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、NO2、CN、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、NＲ5Ｒ6、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシにより置換されている）；
R8は、水素、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ar、NR5R6であり、
又は１つ以上のO、S、NR、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)より中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキルであり、
又は１つ以上のO、S、NR7、CO、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルであり、
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルであり、
（その際、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ar、中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキル、中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル及び中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルとしてのR8は、場合により１つ以上のAr、OH、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキル、Ｃ3〜Ｃ30−シクロアルキル、ハロゲン、NO2、CN、Ｃ1〜Ｃ18−アルコキシ、フェノキシ、フェノキシカルボニル、フェニルチオ、フェニルチオカルボニル、NＲ5Ｒ6、Ｃ1〜Ｃ12−アルキルチオ、Ｃ2〜Ｃ18−アルコキシカルボニル、Ｃ2〜Ｃ10−ハロアルカノイル、ハロベンゾイル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニル、フェニルスルホニル、（４−メチルフェニル）スルホニル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキルスルホニルオキシ、フェニルスルホニルオキシ、（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイル、Ｃ2〜Ｃ18−アルカノイルオキシ、ベンゾイル及び／又はベンゾイルオキシにより置換されている）；
Arは、フェニル、ビフェニル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり、その際、前記フェニル、ビフェニル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールは、場合により１つ以上のＣ3〜Ｃ30−シクロアルキル、Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ1〜Ｃ10−ハロアルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、Ｃ4〜Ｃ30−シクロアルケニル、フェニル−Ｃ1〜Ｃ3−アルキルにより置換されている；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されたＣ2〜Ｃ18−アルキルにより置換されている；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されたＣ3〜Ｃ30−シクロアルキルにより置換されている；
又は１つ以上のO、S、NR7、O(CO)、(CO)O、(CO)NR7及び／又はNR7(CO)により中断されたＣ4〜Ｃ30−シクロアルケニルにより置換されている；
又はハロゲン、NO2、CN、フェニル、ビフェニル、ナフチル、ヘテロアリール、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、O(CO)R8、O(CO)OR4、O(CO)NR5R6、NR7(CO)R8、NR7(CO)OR4、OR4、NR5R6、SR7、SOR8、SO2R8及び／又はOSO2R8により置換されている、ここで、場合により置換基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、(CO)R8、(CO)OR4、(CO)NR5R6、O(CO)R8、O(CO)OR4、O(CO)NR5R6、NR7(CO)R8、NR7(CO)OR4、OR4、NR5R6、SR7、SOR8、SO2R8及び／又はOSO2R8は、基Ｃ1〜Ｃ18−アルキル、Ｃ2〜Ｃ12−アルケニル、R4、R5、R6、R7及び／又はR8を介して、フェニル、ビフェニル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリール上の更なる置換基と一緒になって、又はフェニル、ビフェニル、フルオレニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールの炭素原子のうち１つと一緒になって、５員環、６員環又は７員環を形成する］
のエチレン性不飽和化合物から誘導される１つ以上の同じ又は異なる繰り返し単位を有する、請求項２に記載のポリマー。
【請求項４】
（a）酸の作用により硬化する化合物、又は酸の作用によりその溶解度が増大する化合物；及び／又は
（b）感光性酸供与体として、及び場合により酸の作用によりその溶解度が増大する化合物として、請求項１に記載の式Iの少なくとも１つの化合物；及び／又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、場合により請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマー
を有する化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項５】
ポジレジストである、請求項４に記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項６】
ネガレジストである、請求項４に記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項７】
成分（b）又は成分（a）と（b）の他に、更なる添加剤（c）、更なる感光性酸供与体化合物（b1）、更なる光開始剤（d）及び／又は増感剤（e）を有する、請求項４から６までのいずれか１項に記載の化学増幅型フォトレジスト組成物。
【請求項８】
（１）基板に請求項４に記載の組成物を塗布し；
（２）６０℃〜１６０℃の間の温度で該組成物を塗布後ベークし；
（３）１０nm〜１５００nmの間の波長の光で像様照射し；
（４）場合により、該組成物を６０℃〜１６０℃の間の温度で後露光ベークし；及び
（５）溶剤又は水性アルカリ現像液で現像する
によるフォトレジストの製造法。
【請求項９】
（b）感光性酸供与体として、及び酸の作用によりその溶解度が増大する化合物として、請求項１に記載の式Iの少なくとも１つの化合物；及び／又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマー
を有する組成物。
【請求項１０】
（a）酸の作用により硬化する化合物、又は酸の作用によりその溶解度が増大する化合物；及び
（b）感光性酸供与体として、及び場合により酸の作用によりその溶解度が増大する化合物として、請求項１に記載の式Iの少なくとも１つの化合物；及び／又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、場合により請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマー
を有する組成物。
【請求項１１】
請求項１に記載の式Iの化合物；又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、場合により請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマーを、酸の作用下に架橋可能な組成物における感光性酸供与体として、及び／又は酸の作用下に溶解度が増大する組成物における溶解促進剤として用いる使用。
【請求項１２】
請求項１に記載の式Iの化合物；又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、場合により請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマーを、表面被覆、印刷インク、印刷板、歯科用組成物、カラーフィルター、レジスト又は画像記録材料、又はホログラフ画像を記録するための画像記録材料の製造における感光性酸供与体として用いる使用。
【請求項１３】
請求項１に記載の式Iの化合物；又は請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される少なくとも１つの繰り返し単位と、場合により請求項３に記載の式IIから選択されるエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマーを、カラーフィルター又は化学増幅型レジストの製造における感光性酸供与体として用いる使用。
【請求項１４】
赤、緑及び青色の画素及び黒色マトリックスの用意により製造されるカラーフィルターであって、全て透明基板上に感光性樹脂及び顔料及び／又は染料を有し、かつ前記基板の表面上又はカラーフィルター層の表面上に透明電極を用意し、その際、前記感光性樹脂は、請求項１に記載の式Iの化合物から誘導される繰り返し単位、及び場合により請求項３に記載の式IIのエチレン性不飽和化合物から誘導される繰り返し単位を有するポリマーを感光性酸供与体として有している、カラーフィルター。