【手続補正書】
【提出日】平成24年9月3日(2012.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄溶液であって、
腐食防止剤と、
可溶化剤と、
脱酸素剤と、
ｐＨ調整剤としても機能する錯化剤と、を含む、洗浄溶液。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物である、洗浄溶液。
【請求項３】
請求項１または２に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含む、洗浄溶液。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
【請求項６】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
【請求項７】
請求項１または６に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含む、洗浄溶液。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｌ−アスコルビン酸、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、クロロゲン酸、コーヒー酸、ルテオリン、亜硫酸塩、亜硫酸アンモニウム、および、亜硫酸テトラメチルアンモニウムのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
【請求項９】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１０】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１１】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１２】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１３】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１４】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含む、洗浄溶液。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤は、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、または、それらの組み合わせを含む、洗浄溶液。
【請求項１７】
請求項１から１６のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記可溶化剤はイソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
【請求項１９】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤はトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み、
前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２０】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み；前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含み；前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２１】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み；前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２２】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記脱酸素剤はＬ−アスコルビン酸を含み、前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２３】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２４】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み；前記錯化剤はシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２５】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、シュウ酸、ピロリン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、マロン酸、マレイン酸、または、それらの混合物を、２から５０ｇ／Ｌの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
【請求項２６】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で含み、
前記脱酸素剤は、０から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２７】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含み、
前記脱酸素剤は、１０００から５０００ｐｐｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のＬ−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、０．５から２０ｇ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のシュウ酸を含む、洗浄溶液。
【請求項２８】
請求項１、２６および２７のいずれかに記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のエチレングリコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
【請求項２９】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトリアゾール化合物であり、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
【請求項３０】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤はトルオールトリアゾールまたはベンゾトリアゾールを含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
【請求項３１】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌまでの濃度で存在する、洗浄溶液。
【請求項３２】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在し、前記可溶化剤は、１から２００ｍＬ／Ｌの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で存在する、洗浄溶液。
【請求項３３】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、０．１から１００００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、５０ｍＬ／Ｌまでの濃度で含む、洗浄溶液。
【請求項３４】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、１００から２０００ｐｐｍまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度のトリアゾール化合物を含み、前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を、１から２００ｍＬ／Ｌまでの範囲およびその範囲に含まれるすべての部分範囲の濃度で含む、洗浄溶液。
【請求項３５】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、５０ｍＬ／Ｌの濃度のイソプロピルアルコールを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
【請求項３６】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、
前記腐食防止剤は、１ｇ／Ｌの濃度の５−メチルベンゾトリアゾールを含み、
前記可溶化剤は、１０００ｍＬ／Ｌまでの濃度のジメチルスルホキシドを含み、
前記脱酸素剤は、１ｇ／Ｌの濃度のＬ（＋）−アスコルビン酸を含み、
前記錯化剤は、１０ｇ／Ｌの濃度のシュウ酸二水和物を含む、洗浄溶液。
【請求項３７】
請求項１に記載の洗浄溶液であって、前記脱酸素剤は、Ｄ−アスコルビン酸、アスコルビン酸の誘導体、および／または、亜硫酸塩を含む、洗浄溶液。
【請求項３８】
洗浄溶液であって、
ｐＨ調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、を含み、
前記洗浄溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄溶液。
【請求項３９】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨは２以下である、洗浄溶液。
【請求項４０】
請求項３８または３９に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤を含む、洗浄溶液。
【請求項４１】
請求項３８または３９に記載の洗浄溶液であって、さらに、前記腐食防止剤を可溶化することができる可溶化剤を含む、洗浄溶液。
【請求項４２】
請求項３８から４１のいずれかに記載の洗浄溶液であって、さらに、界面活性剤を含む、洗浄溶液。
【請求項４３】
請求項３８から４２のいずれかに記載の洗浄溶液であって、さらに、誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
【請求項４４】
請求項３８または３９に記載の洗浄溶液であって、さらに、可溶化剤および界面活性剤を含む、洗浄溶液。
【請求項４５】
請求項３８または３９に記載の洗浄溶液であって、さらに、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
【請求項４６】
請求項３８から４５のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
【請求項４７】
請求項３８から４６のいずれかに記載の洗浄溶液であって、ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄溶液。
【請求項４８】
請求項３８から４７のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、２以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
【請求項４９】
請求項３８から４７のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記ｐＨ調整剤は、１．５以下のｐＫaを有する１または複数の酸を含み、前記１または複数の酸は、前記洗浄溶液を３以下のｐＨに調整することができる、洗浄溶液。
【請求項５０】
請求項３８から４９のいずれかに記載の洗浄溶液であって、前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含む、洗浄溶液。
【請求項５１】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせからなる群より選択された可溶化剤を含む、洗浄溶液。
【請求項５２】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、エチレングリコールを含む、洗浄溶液。
【請求項５３】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、イソプロピルアルコールを含む、洗浄溶液。
【請求項５４】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、ジメチルスルホキシドを含む、洗浄溶液。
【請求項５５】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、および、それらの組み合わせからなる群より選択された界面活性剤を含む、洗浄溶液。
【請求項５６】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、硫酸塩および／またはスルホン酸塩を含む界面活性剤を含む、洗浄溶液。
【請求項５７】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、ケイ素酸素化合物をエッチングすることができる誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
【請求項５８】
請求項３８に記載の洗浄溶液であって、さらに、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物からなる群より選択された誘電体エッチャントを含む、洗浄溶液。
【請求項５９】
洗浄水溶液であって、
ｐＨ調整剤と、
錯化剤と、
腐食防止剤と、
可溶化剤、誘電体エッチャント、および、界面活性剤のうちの１または複数と、を含む、洗浄水溶液。
【請求項６０】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は実質的に非錯化性である、洗浄水溶液。
【請求項６１】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は第１の酸を含み、前記錯化剤は第２の酸を含む、洗浄水溶液。
【請求項６２】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含む、洗浄水溶液。
【請求項６３】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、前記ｐＨ調整剤は強酸を含む、洗浄水溶液。
【請求項６４】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの混合物を含み、
前記腐食防止剤は、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、ジメチルスルホキシド、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、および、イソプロピルアルコールのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
【請求項６５】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０から０．１Ｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記可溶化剤は、０から２００ｍＬ／Ｌの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記界面活性剤は、０から２０００ｐｐｍの間の範囲およびその範囲に含まれるすべての範囲の濃度を有し、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
【請求項６６】
請求項５９に記載の洗浄水溶液であって、
前記ｐＨ調整剤は、０．１Ｍ未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み、
前記錯化剤は、０．１から２００ｍＭの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、または、それらの組み合わせを含み、
前記腐食防止剤は、０．１から５０ｍＭの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、リン酸塩、無機リン酸塩、アルキルリン酸塩、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、または、それらの組み合わせを含み、
前記可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌ未満の濃度で存在し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含むものであり、
前記誘電体エッチャントは、１から１００ｍＭの濃度で存在し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含むものであり、
前記界面活性剤は、２０００ｐｐｍ未満の濃度で存在し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含むものであり、
前記洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
一般に、本発明の実施形態に従った洗浄溶液は、ｐＨを所望のレベルに維持するために、有効量のｐＨ調整剤を含む。必要とされる具体的な量は、ｐＨ調整剤の特性に依存する。本発明のいくつかの実施形態について、ｐＨ調整剤の量は、約０Ｍから約０．１Ｍの濃度、または、ポリマー酸の場合には５０ｇ／Ｌである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
洗浄水溶液であって、ｐＨ調整剤は、約０．１Ｍ未満の濃度を有し、硫酸、スルホン酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トリフル酸、次亜リン酸、シュウ酸、ハロゲン化カルボン酸、トリフルオロ酢酸、アセチレンジカルボン酸、スクアリン酸、ジヒドロキシフマル酸、マレイン酸、または、それらの混合物を含み；錯化剤は、約０．１ｍＭから約２００ｍＭの濃度を有し、カルボン酸、ヒドロキシカルボン酸、クエン酸、シュウ酸、ホスホン酸、ヒドロキシエチリデンジホスホン酸、フィチン酸、および、それらの組み合わせを含み；腐食防止剤は、約０．１ｍＭから約５０ｍＭの濃度を有し、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、メチルベンゾトリアゾール、５−メチルベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、ヒドロキシベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾチアゾール、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアミン、ポリイミン、ポリアルキルイミン、ポリエチレンイミン、長鎖アルキルアミン、テトラゾール、オルトリン酸塩、メタリン酸塩、亜リン酸塩、ホスホン酸塩、フルオロアルキルリン酸塩、ケイ酸塩、アルキルホスホン酸塩、フルオロアルキルホスホン酸塩、アルコキシシラン、亜硝酸塩、ジシクロヘキシルアンモニウム亜硝酸塩、それらの誘導体、および、それらの組み合わせを含み；可溶化剤は、２００ｍＬ／Ｌ未満の濃度を有し、第一級アルコール、第二級アルコール、第三級アルコール、ポリオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、２−ｎ−ブトキシエタノール、ジメチルスルホキシド、プロピレンカーボネート、および、それらの組み合わせのうちの１または複数を含み；誘電体エッチャントは、約１ｍＭから約１００ｍＭの濃度を有し、フッ化水素、テトラフルオロホウ酸水素、ヘキサフルオロケイ酸水素、非アルカリ金属フッ化物、非アルカリ金属テトラフルオロホウ酸塩、非アルカリ金属ヘキサフルオロケイ酸塩、および、それらの混合物のうちの１または複数を含み；界面活性剤は、約２０００ｐｐｍ未満の濃度を有し、陰イオン界面活性剤、陽イオン界面活性剤、非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、または、それらの組み合わせを含み；洗浄水溶液は、３以下のｐＨを有する、洗浄水溶液。