(57)【要約】【目的】加工時間を格段に短くして生産性を向上し、バラツキの小さい水晶振動子の端面加工方法を提供する。【構成】水晶片の端部に刃先に倣った傾斜面を形成した水晶振動子の端面加工方法とする。また、平板状の水晶ウェハに刃先を当接し、前記水晶ウェハに前記刃先に倣った傾斜面を形成して、複数の水晶片に分割した水晶振動子の端面加工方法とする。さらに、前記水晶片は一主面にのみ傾斜面を有する水晶振動子の端面加工方法とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶片の端部に刃先に倣った傾斜面を形成したことを特徴とする水晶振動子の端面加工方法。
【請求項２】
平板状の水晶ウェハに刃先を当接し、前記水晶ウェハに前記刃先に倣った傾斜面を形成して、複数の水晶片に分割したことを特徴とする水晶振動子の端面加工方法。
【請求項３】
前記水晶片は一主面にのみ傾斜面を有する請求項１又は２の水晶振動子の端面加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶片の端面をベベル等の傾斜面に加工する水晶振動子の端面加工方法を産業上の技術分野とし、特に生産性を向上した端面加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
（発明の背景）水晶振動子は周波数制御素子として認知され、例えば発振器に組み込まれ周波数や時間の基準源として広く採用されている。一般には、水晶片１の大きさにもよるが振動周波数が概ね３０ＭＨｚ以下程度のものでは、ベベルやコンベックス状の端面加工を施して振動特性を良好に維持している。
【０００３】
（従来技術の一例）第４図は一従来例を説明する水晶振動子の図である。
水晶振動子はＡＴカットとした矩形状の水晶片１からなる。そして、長手方向の両端部に傾斜面を設けてなる。一般には、第５図に示したように球形筒体２内に水晶片１と研磨剤３とを投入し、これを回転する。そして、水晶片１の長手方向の両端部を球形筒体２の内径に倣った形状にする。但し、図では簡略して直線上に描いてある。なお、水晶片１の両主面に図示しない電極を形成し、密閉容器内に保持収容されて水晶振動子が構成される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の端面加工方法では、水晶片１の大きさが小さくなるほど生産性が低下する問題があった。すなわち、近年では小型化が進行し、同一周波数帯の水晶片１自体も小さく加工される。
【０００５】
例えば相似の理により振動特性を良好に維持すべく、水晶片１の両端部に同じ曲率半径の傾斜面を形成する場合は、水晶片１の大きさに比例して球形筒体２も小さくなる。したがって、球形筒体２内に投入する水晶片１の枚数が激減する。
【０００６】
また、球形筒体２の回転による水晶片１の運動量（移動距離）が小さくなり、加工時間が長くなる。これらにより、球形筒体２を用いた端面加工では生産性の低下する問題があった。そして、加工時間が長くなることによって、バラツキも大きくなる問題があった。
【０００７】
（発明の目的）本発明は、生産性を向上してバラツキの小さい水晶振動子の端面加工方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明は、水晶片の端部に刃先５に倣った傾斜面を形成する。より具体的には、平板状の水晶ウェハ４に刃先５を当接し、前記水晶ウェハ４に前記刃先５に倣った傾斜面を形成して、複数の水晶片に分割する。このようなものでは、例えばダイシングブレードの刃先５を規定の傾斜面にして水晶ウェハ４に当接すればよいので、加工時間を格段に短くする。以下、本発明の一実施例を説明する。
【０００９】
【実施例】
第１図（ａｂｃ）は本発明の端面加工方法を説明する工程図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
ここでは、先ず、例えば厚みを８３μｍ（振動周波数が約２０ＭＨｚ）として研磨された直径３インチの水晶ウェハ４を用意する。なお、細線で示した切断線で分割される水晶片１の外形寸法は例えば１．５×１．０ｍｍとする。
【００１０】
次に、水晶片１の端面の傾斜面（ベベル面）に合致した、対称角度αを有するダイシングブレードの刃先５を水晶ウェハ４の側面から一次元方向の切り込みに当接する。この場合、厚みの一部を余して当接する。そして、水晶ウェハ４を一次元方向に送って研削（切断）し、各水晶片１の両端部に角度αの傾斜面を設ける。
【００１１】
次に、水晶ウェハ４の一次元方向に残された溝底を刃幅の薄いダイシングブレードによって切断するとともに、水晶片１の外形寸法に合わせて二次元方向にも切断する。これにより、複数の水晶片１を得る。そして、このようにして得た水晶片１の多数を例えば図示しないバレル研磨によって稜線部に丸みを設ける。
【００１２】
このような加工方法であれば、ダイシングブレードの刃先５を水晶片１の傾斜面に合致させて切断すればよいので、加工時間を大幅に短縮できる。ちなみに、前述の球形筒体２では概ね５００枚の水晶片１が投入されて約１００時間以上の加工時間を要する。これに対し、本実施例では水晶ウェハ４を機械的に切断するのみなので、バレル研磨含めて約１０〜２０時間の加工時間で済む。そして、バラツキを小さくできる。また、水晶片１一主面にのみに傾斜面を形成したので加工を容易にする。
【００１３】
【他の事項】
上記実施例では、水晶ウェハ４の一次元方向に直接に幅広の刃先５を当接して傾斜面を設けたが、予め表面に切り込みを設けた後に刃先５を当接して切断加工してもよい。この場合、加工量が少ないので切断を容易にする。また、水晶片１の両端部に傾斜面を設けたが、二次元方向（４辺）に設けることができる。
【００１４】
また、刃先５の一側を傾斜面として他側を直線上として切断することにより、水晶片１の一端側のみに傾斜面を形成することができ、これらは振動特性に応じて任意に選択できる。また、傾斜面は水晶片１の厚みの一部を残したが、そのまま切断してもよい。但し、破損しやすいので、一部を残して実施例のように垂直に切断した方がよい。
【００１５】
また、最終的には刃幅の薄いダイシングブレードによって切断して分割したが、端面加工後に水晶ウェハをエッチング液中に投入して分割してもよい。この場合、両主面にマスクを形成してエッチングしても、マスクを設けることなく直接に投入してもよい。
【００１６】
また、例えば刃先５を円弧状として水晶片１の両端部に凹みを有する凹面状に形成することもできる（第３図）。この場合、平坦部からの傾斜が急になるので、エネルギー閉じ込め量が大きくクリスタルインピーダンスの低下が期待できる。要するに、本発明は、水晶片１の端部に刃先５に倣った傾斜面を形成することによって、加工時間を短縮できる。
【発明の効果】
本発明は、水晶片の端部に刃先に倣った傾斜面を形成する。より具体的には、平板状の水晶ウェハに刃先を当接し、前記水晶ウェハに前記刃先に倣った傾斜面を形成して、複数の水晶片に分割するので、生産性を向上する水晶振動子の端面加工方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を説明する端面加工の工程図である。
【図２】本発明の一実施例による水晶片の図である。
【図３】本発明の他の例を示す水晶片の図である。
【図４】従来例を説明する水晶片の正面図である。
【図５】従来例を説明する球形筒体の図である。
【符号の説明】
１　水晶片、２　球形筒体、３　研磨剤、４　水晶ウェハ、５　刃先．
【図１】
2004096526.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004096526.tif 000005
【図４】
2004096526.tif 000006
【図５】
2004096526.tif 000007