【事件の表示】
　平成　４年特許願第１２３９０７号「物体を静電気的に保持し、解放するための方法および装置」拒絶査定不服審判事件〔平成　７年　１月３１日出願公開、特開平　７−　２９９６８〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯・本願発明
　本願は、１９９２年５月１５日（優先権主張１９９１年５月１７日、オーストラリア）の出願であって、２００１年８月２９日付けで拒絶査定がなされ、同年１２月１１日に拒絶査定に対する審判請求がされ、２００３年４月１１日付けで当審において拒絶理由が通知され、同年１０月２２日付けで意見書及び手続補正書が提出された、「物体を静電的に保持し、解放するための方法及び装置」に関するものと認められる。
　
２．当審の拒絶理由
　当審において２００３年４月１１日付けで通知した拒絶の理由は、明細書の記載が不備であり、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていないというものであり、次の記載不備の点を指摘している。
記載不備（１）；
　項目【００１７】に「物体の運動が電圧信号の基本周波数（第一調波）の最低水準、または第二高調波の最高を示していれば、これは物体を解放するために最適の時間であり、そのときの励振電圧が、最適の解放電圧である。（解放電圧は、電圧信号に関して運動と逆の極性になるので、装置上の残留電圧の大部分を無効にする。）この相反転する点を決定して、解放点を決定することができる。」と記載されているが、この技術的意味が不明。
運動が基本周波数の最低水準を示す、第２高調波の最高を示すとはどういうことか。
また、そのことが時間とどう結び付くのか。
記載不備（２）；
　項目【００２６】に「電圧信号に対して運動の相反転の点に相当する、最小の基本（第一調波）運動が起こる点が、物体の解放が可能になる点である。」とあるが、「最小の基本（第一調波）運動が起こる点」と項目【００１７】の「本周波数（第一調波）の最低水準、または第二高調波の最高」との関係はどうなっているのか。
記載不備（３）；
　項目【００７６】に「一つの対策は、図８に示すように、検出された解放点を過ぎて二つの方向に下降させ、それによって解放点を間に入れることである。より遅い速度の別の下降を使用し、解放点をより正確に決定することができる。」とあるが、この意味は。
図８のどの部分に、検出された解放点を過ぎて二つの方向に下降させ、それによって解放点を間に入れることが記載されているのか。
記載不備（４）；
　項目【００７７】に「好ましい方法は、解放点を過ぎて急速に下降することである。これによって解放点の下にある駆動電圧の低いレベルが固定される。次いで、ゆっくり上昇し、解放点を過ぎ、解放点励振電圧の位置にある上限を固定する。これによって解放点が、２種の励振電圧レベルの間に挟まれる。」とあるが、図８のどの部分を説明しているのか。
　
３．請求人の主張・当審の判断
　上記記載不備１〜５について、請求人は２００３年１０月２２付けで手続補正書を提出して明細書全文を補正するとともに、同日付けで意見書を提出して反論している。
　請求人が意見書で述べている主張について以下に検討する。
（１）記載不備（１）及び（２）について；
　請求人は、記載不備（１）について、意見書で次のとおり主張している。
「ここでいう『物体の運動』とは、物体の振動であり、『水準』とは、振動の振幅を意味する。また、『時間』は、時点を指す。そこで、この項目の前段にある二つの文をつぎのように書き改め、趣旨を明瞭にした。
『第一の好ましい実施態様では、物体の運動を引き起こす電圧信号を電極に印加すると、それが物体の振動的な運動を引き起こし、電極に印加する駆動電圧によって、振動の振幅が変化する。物体の振動が電圧信号の基本周波数（第一調波）において最小の振幅レベルを示し、または第二高調波において最大の振幅レベルを示したならば、それは物体を解放するために最適のタイミングであり、そのときの駆動電圧が、最適の解放電圧である。』」
　同じく、記載不備（２）について、意見書で次のとおり主張している。
「上記のように、『基本周波数（第一調波）の最低水準』は、物体の振動運動が最小であることを意味し、『最小の基本（第一調波）運動が起こる点』は、基本周波数の振動の振幅が最小である点」をいう。」
　そして、補正後の項目【００２０】には上記の主張に基づいて、「物体の振動が電圧信号の基本周波数（第一調波）において最小の振幅レベルを示し、または第二高調波において最大の振幅レベルを示したならば、・・・そのときの駆動電圧が、最適の解放電圧である。」と記載されており、基本周波数及び第二高調波における振幅レベルに基づいて、解放電圧を判断するものと解される。
　しかしながら、最適の解放電圧において、基本周波数における振幅レベルが最小を示し、また、第二高調波における振幅レベルが最大を示す技術的根拠が不明である。
　また、上記「基本周波数（第一調波）」及び「第二高調波」に関しては、補正後の項目【００６８】に、「期間４３で電極駆動電圧を下げると、ＡＣ検知出力５３は、図７の挙動を示す。・・・駆動電圧が『解放点』である点６２を通過すると、解放点電圧からの電圧偏差はすべてウエハーの把持表面への引力を増加させるので、ウエハーの運動は変調の基本周波数で最低レベルになり、ＡＣ変調波形（振動電圧）５１の第二高調波にしたがうウエハー運動になる。平均駆動レベルがさらに低下すると、ウエハー位置検知発振器５０の基本周波数でウエハーが反対相振動し、最高レベル６３に上昇し、次いで平均駆動レベル６４が低下し把持力が増加するにつれて、低下する。」と記載されているが、当該記載を参酌しても、「基本周波数（第一調波）」、「第二高調波」を利用する技術的意味及び具体的な利用方法が不明であり、基本周波数又は第二高調波に対するウエハーの挙動をどのようにして判断するのか不明である。
　以上のとおりであるので、補正後の項目【００２０】の記載について、その技術的意味が依然として不明であり、また、ウエハの振幅レベルが基本周波数で最小、第二高調波で最大を示すことの技術的意味が不明であり、これらの関係についても依然として不明である。
（２）記載不備（３）について；
　請求人は、記載不備（３）について、意見書で次のとおり主張している。
「図８（ａ）の点７３および７４は、解放の過程を示すものである。点７３は、最初の最良の解放点が見出されたことを示し、点７４は、より正確な解放のためには戻るべきことを示している。
　図８（ｂ）は、点７３と７４の間で、『ＡＣ検知信号』が低下し（最適な解放点に到達したことをあらわす）、ついで上昇し（最適の解放点からは離れたことをあらわす）、点７４に至って再度低下することを示している。検知信号は、電極電圧Ｖ１２の若干の点上で、最良の解放のために最適な低いレベルにおいて、解放時に、点７３とＶ１２の最低値との間で波型をしているから、最良の解放点は点７３と、このＶ１２の最低値との間に囲い込まれたことになる。これが『解放点を間に入れる』という意味である。この最適値は、点７４から戻ることにより到達でき、それによって、把持された物体の定常的な解放が得られる。」
　しかしながら、図８（ｂ）を見る限り、ＡＣ検知信号は、図８（ｂ）上の点７３の時点から上昇した後、低下し再度上昇に転じており、少なくとも上記の主張中のＡＣ検知信号に関する説明とは異なる挙動を示している。
　また、図８（ｂ）においては、点７４に対応する時点が不明であり、点７４に至って再度低下することを明示しているとも認められない。
　さらに、上記の請求人の主張において、「電極電圧Ｖ１２の若干の点上」が技術用語として意図しているところが不明であり、「検知信号は、」「解放時に、点７３とＶ１２の最低値との間で波型をしている」とする技術的な根拠が不明であり、「最良の解放点は点７３と、このＶ１２の最低値との間に囲い込まれたことになる。」とする根拠も不明である。
　以上のとおりであるから、請求人の上記主張の意図するところは不明であり、よって、記載不備（３）で指摘した事項である補正後の項目【００８０】の「・・・検出された解放点を過ぎて二つの方向に加工させ、それによって解放点を間に入れることである。」という記載の意味、特に「二つの方向」及び「解放点を間に入れる」が示す技術的事項が、依然として不明であり、また、図８のどの部分が上記記載に対応しているのか依然として不明である。
（３）記載不備（４）について；
　請求人は、記載不備（４）について、意見書で次のとおり主張している。
「図８は、項目【００７７】に記載の操作を直接示しているわけではなく、点７３および７４の領域において、最良の解放点を見つけだす間、そこに記載の電圧傾斜、すなわち『急速に下降』および『ゆっくり上昇』を使用することを示すだけである。」
　しかしながら、上記の請求人の主張において、「電圧傾斜」が図８の（ａ）〜（ｃ）における何れの電圧傾斜を指すのか不明であり、また、その電圧傾斜を「使用する」とは、具体的にどのように利用するものであるのか不明である。
　したがって、補正後の項目【００８１】に記載の方法は、図８のどの部分を説明しているのか、そしてどのように実施されるものであるのか、依然として不明である。
　
　したがって、請求項１に係る発明の「駆動電圧が変化したときの物体の応答、すなわち保持装置に対する物体の運動を監視し、物体の解放を許容する駆動電圧の値を決定する工程」について、発明の詳細な説明に当業者が容易に実施をすることができる程度に記載されているとはいえない。
　
４．むすび
　以上のとおり、本願は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていないので、拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。