(57)【要約】【課題】再付着化現象の発生を抑止してより確実に除去対象物質を容器の内面から除去すること。【解決手段】回転盤１６と、回転盤１６に支持され同体に回転する保持器５５と、保持器５５に倒立状態で保持される容器４６の内部に空気を吐出する吐出器３１と、容器４６の内部に吐出される空気を容器４６の外部に吸引する吸引器３８と、回転盤１６の回転軸心線の方向に吐出器３１と保持器５５とを相対的に昇降させる昇降器２８とから構成されている。倒立状態の容器の内面に付着している付着物質は、吐出空気の流れに取り込まれ、吐出された空気の全部はブロアーにより吸引され、付着物質の再付着が抑止される。倒立する容器の中で希薄化された空気に対して付着物質は浮力を持たず重力的に速やかに落下して希薄空気とともに吸引されて容器の外側に排出される。吐出空気の吐出点が降下し又は上昇し、容器の内面に向かう空気流の角度は連続的に変化して、内面付着粒子をその内面から剥がす効果が顕著である。【選択図】　　　　　図１０
2004008976.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転盤と、
前記回転盤に支持されて前記回転盤と同体に回転する保持器と、
前記保持器に倒立状態で保持される容器の内部に空気を吐出する吐出器と、
前記容器の内部に吐出される空気を容器の外部に吸引する吸引器と、
前記回転盤の回転軸心線の方向に前記吐出器と前記保持器とを相対的に昇降させる昇降器
とを具える容器清浄装置。
【請求項２】
前記容器はそれの内面が炭素コーティングされ、
前記容器内面に付着する炭素粉が希薄空気とともに吸引される
請求項１の容器清浄装置。
【請求項３】
前記昇降器は、
前記回転盤に支持される昇降案内レールと、
前記昇降案内レールに昇降自在に支持される昇降台とを備え、
前記保持器は、前記昇降台に支持されている
請求項１又は２の容器清浄装置。
【請求項４】
前記昇降案内レールの案内面はカム面である
請求項３の容器清浄装置。
【請求項５】
前記吐出器は、
昇降本体と、
前記昇降本体に結合し前記容器の下方側に開く口を封じる密封栓とを備え、
前記昇降本体の上方部位はノズルを形成し、
前記空気を前記容器の外部に吸引する吸引口が前記密封栓に形成されている
請求項１の容器清浄装置。
【請求項６】
前記昇降本体は筒状に形成され、前記上方部位は、複数の空気吐出口を有し、
前記空気吐出口は、
昇降本体の軸心線の方向に向く第１噴出口と、
前記軸心線に対して斜めに向く複数の第２噴出口と、
前記軸心線に対して直交する方向に向く複数の第３噴出口とを具え、
複数の前記第２噴出口は前記軸心線のまわりで同一円周上に配置され、
複数の前記第３噴出口は前記軸心線のまわりで同一円周上に配置され、
前記軸心線は前記第１噴出口を通っている
請求項５の容器清浄装置。
【請求項７】
前記第１噴出口は、前記昇降本体の頂面で開口している
請求項６の容器清浄装置。
【請求項８】
前記ノズルの下降と空気噴出は同時的である
請求項５又は６の容器清浄装置。
【請求項９】
前記保持器は電極である
請求項１〜８から選択される１請求項の容器清浄装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の容器清浄装置を用いて前記容器の内面を浄化する容器浄化方法であり、
前記吐出器の吐出口を前記容器の口に挿入する挿入ステップと、
前記吐出口を前記容器の口に挿入した後に前記容器の中で上昇させる上昇ステップと、
前記吐出口を前記容器の中で降下させる降下ステップと、
前記容器の中に噴出される空気を前記容器の外側に吸引する吸引ステップとを具え、
前記降下ステップは、前記吐出口から前記容器の中に空気を噴出するステップを備える
容器清浄方法。
【請求項１１】
前記上昇ステップは前記口を封じるステップを備える
請求項１０の容器清浄方法。
【請求項１２】
前記上昇ステップは、前記吐出口から前記容器の中に空気を噴出するステップを備える
請求項１０又は１１の容器清浄方法。
【請求項１３】
前記上昇ステップの回数と前記降下ステップの回数はともに複数である
請求項１０〜１２から選択される１請求項の容器清浄方法。
【請求項１４】
空気を噴出する前記ステップは、
前記容器の軸心線に対して斜めに空気を噴出するステップを具える
請求項１０〜１３から選択される１請求項の容器清浄方法。
【請求項１５】
空気を噴出する前記ステップは、
前記容器の軸心線に対して直交する方向に空気を噴出するステップを更に具える
請求項１４の容器清浄方法。
【請求項１６】
前記容器はそれの内面に炭素がコーティングされた後の容器である
請求項１０〜１５から選択される１請求項の容器清浄方法。
【請求項１７】
前記吸引ステップは前記噴出ステップの終了の後まで続行される
請求項１０〜１６から選択される１請求項の容器清浄方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器清浄装置、及び、容器清浄方法に関し、特に、回転盤に転置されて周回する皮膜形成後のＰＥＴボトルの内面に付着する炭素粉を除去する容器清浄装置、及び、容器清浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＰＥＴボトルは、多様な液体を封入する容器として、日常生活で欠かすことができない容器である。ＰＥＴボトルのＰＥＴは、空気遮断性が乏しい。酸化を防止するために、ＰＥＴボトルの内周面には、空気遮断性皮膜が形成される。皮膜を形成するための成膜装置（例示：ＤＬＣ（ｄｉａｍｏｎｄ−ｌｉｋｅ　ｃｏａｔｉｎｇ）装置）には、真空チャンバーが用いられている。成膜原料のガス分子は、その真空チャンバーの中で、高周波電源又はイオン化電源に接続された電極によりイオン化され又はプラズマ化され、ペットボトルの内周面に蒸着され、皮膜に形成される。
【０００３】
使い捨てにされ又は再利用されるＰＥＴボトルの大量生産のために、多数のチャンバーが用いられる。成膜装置として、同一円周上で回転する多数のチャンバーを有し、一周する間に真空度が段階的に高められて最高真空度段階で成膜が実行される装置（未公開）の開発が進められている。多数のＰＥＴボトルに対して段階的に真空度を高めるために、複数の真空装置が用いられる。１つのＰＥＴボトルの内部は、複数の真空装置の吸引側に選択的に切り替えられて真空引きされる。このような真空引きのために、ロタリー式真空分配器（未公開）が開発されつつある。このような開発中の真空分配器では、同一円周上で真空度が互いに異なる複数の領域が出現する。高真空度側の真空度が低真空度側の真空度に影響される恐れがある。このような真空引きは、ＰＥＴボトルの内面成膜に限られず、多様な基板に多様な原子成分層を形成する成膜装置にも適用され得る。
【０００４】
一連の処理工程を含むプロセスには、洗浄工程又は清掃工程が組み込まれている。成膜工程に次ぐ清掃工程では、容器の内面に付着している炭素粉のような除去対象物質が除去される。洗浄のために洗浄水が用いられる容器洗浄ノズルは、特開平９−２７６７４７号で知られている。そのような洗浄水に代えられて、噴流空気が用いられる開発中の清浄装置では、噴流空気により除去対象物質をより確実に除去するために、容器の内部に対してノズルが昇降し、そのノズルから空気が容器の内部に吹き込まれる。
【０００５】
このような清浄化装置では、噴流空気により容器の内面に付着している除去対象物質が効果的に剥がされるが、克服されることが望まれる問題点が残存している。噴流生成サイクルの時間帯には、噴流がダイナミックに変化する動的期間と、空気が静流化して滞留する静的期間とがある。動的期間で剥がされた除去対象物質は、特に、前工程の成膜工程でプラズマ化される際に帯電化した除去対象物質は、静的期間で再び容器内面に付着する再付着化現象が見られる。
【０００６】
再付着化現象が生じずにより確実に除去対象物質を容器の内面から除去することができる技術の確立が求められる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、再付着化現象が生じず、より確実に除去対象物質を容器の内面から除去する技術を確立することができる容器清浄装置、及び、容器清浄方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
その課題を解決するための手段が、下記のように表現される。その表現中に現れる技術的事項には、括弧（）つきで、番号、記号等が添記されている。その番号、記号等は、本発明の実施の複数の形態又は複数の実施例のうちの少なくとも１つの実施の形態又は複数の実施例を構成する技術的事項、特に、その実施の形態又は実施例に対応する図面に表現されている技術的事項に付せられている参照番号、参照記号等に一致している。このような参照番号、参照記号は、請求項記載の技術的事項と実施の形態又は実施例の技術的事項との対応・橋渡しを明確にしている。このような対応・橋渡しは、請求項記載の技術的事項が実施の形態又は実施例の技術的事項に限定されて解釈されることを意味しない。
【０００９】
本発明による容器清浄装置は、回転盤（１６）と、回転盤（１６）に支持されて回転盤（１６）と同体に回転する保持器（５５）と、保持器（５５）に倒立状態で保持される容器（４６）の内部に空気を吐出する吐出器（３１）と、容器（４６）の内部に吐出される空気を容器（４６）の外部に吸引する吸引器（３８）と、回転盤（１６）の回転軸心線の方向に吐出器（３１）と保持器（５５）とを相対的に昇降させる昇降器（２８）とから構成されている。
【００１０】
倒立状態の容器の内面に付着している付着物質は、吐出空気の流れに取り込まれ、吐出された空気の全部はブロアーで積極的に吸引され、付着物質の再付着が抑止される。倒立する容器の中で重力方向に吸引する空気に対して付着物質は浮力を持たず速やかに落下して空気とともに吸引されて容器の外側に排出される。吐出空気の吐出点が降下し又は上昇し、容器の内面に向かう空気流の角度は連続的に変化して、内面付着粒子をその内面から剥がす効果が顕著である。
【００１１】
容器はそれの内面が炭素コーティングされている。容器内面に付着する炭素粉は、空気とともに吸引される。吐出が終了した直後では吸引が続行されていて、容器の内部は積極的に吸引される。吐出弁が閉じられた後に吸引弁を閉じる時間的制御が積極的に明確に行われることは重要である。
【００１２】
昇降器は、回転盤に支持される昇降案内レール（２７）と、昇降案内レール（２７）に昇降自在に支持される昇降台（２８）とから形成されている。保持器（５５）は、昇降台（２８）に支持されている。昇降案内レールの案内面は、カム面として形成され得る。
【００１３】
吐出器は、昇降本体（３１）と、昇降本体（３１）に結合し容器（４６）の下方側に開く口を封じる密封栓（３３）とから形成されている。昇降本体（３１）の上方部位はノズルを形成し、空気を容器（４６）の外部に吸引する吸引口（３８）が密封栓（３３）に形成されている。密封状態で吐出と吸引とが行われ、空気置換効率が高い。
【００１４】
昇降本体（３１）は筒状に形成され、その上方部位は複数の空気吐出口を有して、ノズルを形成している。空気吐出口は、昇降本体の軸心線（Ｌ）の方向に向く第１噴出口（５３）と、軸心線（Ｌ）に対して斜めに向く複数の第２噴出口（５２）と、軸心線（Ｌ）に対して直交する方向に向く複数の第３噴出口（５１）とから形成されている。複数の第２噴出口（５２）は軸心線（Ｌ）のまわりで同一円周上に配置され、複数の第３噴出口（５１）は軸心線（Ｌ）のまわりで同一円周上に配置されている。軸心線（Ｌ）は第１噴出口（５３）を通っている。第１噴出口（５３）は、昇降本体の頂面で開口していることが好ましい。このような噴出口群は、空気を放射状に噴射する。空気は、容器の内面の全体に可変角度で照射され、粉塵剥がし効果が更に顕著である。
【００１５】
従って、ノズルの下降特に昇降と空気噴出は同時的であることが重要である。
【００１６】
保持器は電極であることが除電のために好ましい。
【００１７】
本発明による容器清浄方法は、既述の容器清浄装置を用いて容器の内面を浄化する容器浄化方法であり、吐出器（３１）の吐出口（５１、５２、又は、５３）を容器の口に挿入する挿入ステップと、吐出口（５１、５２、又は、５３）を容器の口に挿入した後に容器の中で上昇させる上昇ステップと、吐出口（５１、５２、又は、５３）を容器の中で降下させる降下ステップと、容器の中に噴出される空気を容器の外側に吸引する吸引ステップとから構成されている。降下ステップは、吐出口（５１、５２、又は、５３）から容器の中に空気を噴出するステップを備えている。
【００１８】
降下中の空気噴射の効果は既述の通りである。上昇ステップにより容器の口をシールする（密封する）ことの重要性は、既述の通りである。上昇ステップが吐出口から容器の中に空気を噴出するステップを有することは重要である。上昇ステップの回数と降下ステップの回数はともに複数であることは、除去率の上昇のために有効である。空気を噴出するステップが容器の軸心線に対して斜めに空気を噴出するステップを有することは、更に重要である。空気を噴出するステップが容器の軸心線に対して直交する方向に空気を噴出するステップを有することは更に効果的である。
【００１９】
容器はそれの内面に炭素がコーティングされた後の容器であることが、本発明による容器清浄方法の実施の形態として特に重要である。空気吸引が空気噴出の後まで続行されることは、顕著に重要である。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図に対応して、本発明による容器清浄装置の実施の形態は、成膜装置と清浄化装置とが一連の搬送系とともに配置されて設けられている。その成膜装置１とその清浄化装置２とは、一連の搬送系３の一部を構成している。搬送系３は、供給側コンベア４と、排出側コンベア５と、成膜装置１と清浄化装置２との間に介設される転送回転スター盤６とから構成されている。成膜装置１と清浄化装置２と転送回転スター盤６と搬送系３の一部分は、透明室７の中に収容され、透明室７の床に支持されている。
【００２１】
供給側コンベア４の上には、成形された多数の容器（例示：ＰＥＴボトル）の連続流が形成されている。その連続流は、一定間隔に規定されて同時的に移送される多数の容器により形成されている。成膜装置１は、図２に示されるように、回転円盤８を構成している。回転円盤８は、それの外周領域に等角度間隔で配列される多数のチャンバー９と、多数のチャンバー９の内部を異なる真空度で段階的に真空化する真空分配器（図示されず）とを含んでいる。
【００２２】
その真空分配器は、互いに真空引き能力が異なる複数の真空装置１１に接続されている。１つのチャンバーは、回転円盤８と同体に概ね一周する間に段階的にその真空度を高められる。最高真空度に維持される時間的区間（回転角度区間）で、そのチャンバーの中に導入される材料ガスは、プラズマ化され又はイオン化されて、そのチャンバー９の中に閉じ込められている容器の内面に膜（例示：酸素非透過膜）として蒸着される。
【００２３】
このように成膜処理を受けた容器は、回転円盤８から転送回転スター盤６に移載され、転送回転スター盤６から更に清浄化装置２に転送される。転送回転スター盤６は、図３に示されるように、導入側転送スター盤１２と導出側転送スター盤１３とから構成されている。容器は、導入側転送スター盤１２の上で半周して回転円盤８に移載され、回転円盤８の上で概ね一周して導出側転送スター盤１３に移載される。容器は、このような周回の途中で、複数回の清浄化処理が行われる。
【００２４】
図４は、本発明による容器清浄装置の実施の形態の詳細を示している。浄化装置２は、回転基盤１５と動作回転盤１６とを構成している。回転基盤１５は、透明室７の床１４に軸受（図示されず）を介して回転自在に支持されている。サーボモータ１７は、床１４に支持されて配置されている。回転基盤１５は、減速機１８を介してサーボモータ１７の出力軸に結合している。動作回転盤１６は、回転基盤１５に同軸に結合している。
【００２５】
導入側転送スター盤１２の外周部分として形成される一方側容器保持部位１８に保持されている容器は、動作回転盤１６の外周部位に形成されている他方側容器保持部位１９に自然に渡される。一方側容器保持部位１８にはサイクロイド面（疑似歯車面）が形成されている。一方側容器保持部位１８のピッチ円と、他方側容器保持部位１９のピッチ円とはオフセットに形成され、一方側容器保持部位１８の容器は他方側保持部位１９に自動的に円滑に移し換えられる。
【００２６】
床１４の上面側に、固定円盤２１が固定され床１４に支持されている。固定円盤２１には、軸受２２が固定されている。回転基盤１５の回転軸筒２３は、軸受２２に回転自在に軸受けされている。動作回転盤１６の外周部位に、上下反転倒立器２４が支持されて配置されている。多数の上下反転倒立器２４は、動作回転盤１６の外周領域で等角度間隔で同一円周上に配列されている。１つの上下反転倒立器２４は、図５に示されるように、鉛直面上の１円周上で概ね半周しながら動作回転盤１６の回転軸心線上の１点を中心とし１水平面上にある円に接する接線を回転軸心線として自転する１つの反転把持器２５を有している。容器は、約半周の公転と１８０度の自転により、動作回転盤１６の上で半径方向内側に一定距離を進む間に、その上下（天地）が反転する。
【００２７】
動作回転盤１６と同体に、ノズル昇降機構２６が配置されている。１つのノズル昇降機構２６は、１つの反転把持器２５に位置対応して配置されている。ノズル昇降機構２６は、図６（図５の背面図）に示されるように、昇降案内レール２７を形成している。昇降台２８は、リニアベアリングを介して昇降案内レール２７に対して昇降自在に、且つ、速度制御自在に支持されている。昇降台２８に、空気給排管２９が固定されて支持されている。
【００２８】
図６は、完全に倒立した容器を示している。その容器を把持する反転把持器は、その１点が図に示される半円軌道上で自転しながら往復円運動する。このように倒立した容器の中に空気を吹き込むノズル３１が、空気給排管２９の中に配置されている。空気給排管２９は、外筒３２とノズル３１とから構成されている。ノズル３１の高さ方向の中間部位には、密閉栓３３が同軸的に固着されている。密閉栓３３は、容器の口を閉じることができる。昇降台２８の最上昇位置で、密閉栓３３は容器の口を塞ぐことができる。昇降台２８の最降下位置で、ノズル３１の頂点は容器の口の開口面より十分に下方に降下することができる。ノズル昇降機構は、カム機構に代替され得る。
【００２９】
図７は、空気給排機構３４を示している。空気給排機構３４は、空気供給制御電磁弁３５と、空気排出制御電磁弁３６とから構成されている。空気供給制御電磁弁３５の空気供給口は、図６に示されるように、ノズル３１の下方部位に配置されている空気導入口３７に接続されている。外筒３２の内部は、図７に示されるように、空気吸込み口３８を介して空気排出制御電磁弁３６に接続されている。多数の空気給排管２９は、それぞれに対応する空気給排機構３４を介して、図４に示されるように、共通空気供給管３９と共通空気吸引管４１に接続されている。
【００３０】
空気供給制御電磁弁３５と共通空気供給管３９の間は、動作回転盤１６に同体に回転する共通の中心軸管４２（図４参照）と中心軸管４２から放射方向に多数に分岐する分岐管４３（図６参照）を介して接続されている。空気排出制御電磁弁３６と共通空気吸引管４１の間は、動作回転盤１６に同体に回転する共通の中心軸管４４（図４参照）と軸管４４から放射方向に多数に分岐する分岐管４５（図６参照）を介して接続されている。
【００３１】
図９は、倒立状態のＰＥＴボトル４６とノズル３１との位置取り関係を示している。ノズル３１は、ＰＥＴボトル４６の軸心線Ｌに対して対称に位置づけられている。ノズル３１の上端部位は、図９に示されるように、軸心線Ｌを中心線とする円筒面４７と、軸心線Ｌに対して傾斜する円錐面４８と、軸心線Ｌに直交する平面４９とを有している。
【００３２】
ノズル３１には、軸心線Ｌに対して直交し噴出方向が放射状に向く複数の放射方向噴出口５１と、軸心線Ｌに対して射交し噴出方向が斜めに向く複数の斜め方向噴出口５２と、噴出方向が中心軸心線方向に向く単一の軸心線方向噴出口５３とが形成されている。放射方向噴出口５１の開口面は円筒面４７に一致し、斜め方向噴出口５２の開口面は円錐面４８に一致し、軸心線方向噴出口５３の開口面は平面４９に一致している。
【００３３】
図１０は、２体１対の容器に対して清浄化処理を行う場合の昇降制御を示す展開図である。横軸は動作回転盤１６の回転角度を示している。動作回転盤１６は、等回転角速度で回転していて、横軸は回転的前進距離に一致している。２つの容器に対して同時的に、空気の給排が行われる。昇降台２８は、第１回転位置Ｉにある容器に対して最高位置にある。この位置では、空気供給制御電磁弁３５は既に開いている。この位置のノズル３１から噴射される空気は、図８に示されるように、ＰＥＴボトル４６の底部（上方部位）の円筒内周面６２と底面６３と凹面６４とに吹き付けられる。
【００３４】
このように吹き付けられる空気は、直ちに、空気排出制御電磁弁３６を介して吸引され大気中又は空気循環路中に排気される。容器の中で立体的に立体的広角度範囲に（円錐体状に）噴出する空気は、容器の中の内面に付着している除去対象物質（例示：炭素粉粒子）を均一にその内面から剥がし取る。そのように剥がされる除去対象粒子は、直ちに吸引されて系外に排出され、又は、循環路中に介設されているフィルタに吸着される。
【００３５】
ノズル３１は、連続的に等速度で第２位置ＩＩまで降下する。第２位置ＩＩで、ノズル３１の先端部位である噴出口５２，５３，５４は容器の口から下方側に抜け出している。第２位置ＩＩで、空気供給制御電磁弁３５と空気排出制御電磁弁３６は同時的に又は同期的に閉じられる。ノズル３１は、更に、第３位置ＩＩＩまで降下する。第１位置と第３位置の間は、１回目の清浄工程の半周期に対応している。ノズル３１は、動作回転盤１６と同体に回転しながら上昇し、ノズル３１が第２位置ＩＩと同じ高さ位置に上昇した時に、空気供給制御電磁弁３５と空気排出制御電磁弁３６は再び開く。ノズル３１は空気を噴出しながら、第１位置に対応する位置まで上昇する。このような周期の清浄化工程が、複数周期で繰り返される。
【００３６】
純粋ガスが不純物混合ガスに均等に混合し、このように均等に混合したガスを連続的に排出する場合、純粋ガスが不純物ガスとともに排出されるが、原理的には不純物の全ては永久に排出されず、９５％除去率に到達する時間は非常に長くなる。ノズルの噴出口は第２位置ＩＩでは容器の内部空間の上方部位に存在し、排出は容器の内部空間の下方部位に存在し、不純物含有空気が純粋空気に置換される置換率が高い。このような置換が、１周期の浄化工程で行われる。
【００３７】
図１１は、そのような高置換率の置換の回数と除去率の関係を示している。横軸は、体積比を示している。
体積比＝Ｖ２／Ｖ１
Ｖ２：吹き込み量（質量又は規定気圧換算容積）
Ｖ１：容器の容積
ここで吹き込み量は、１周期に供給される空気量である。体積比は、周期の数に比例的に対応しているので、横軸は清浄工程の回数に対応している。回数のある程度以下の増大に対応して除去率は、回数が少ない区間では急激に非線形に増大するが、回数のある程度以上の増大に対応して除去率は、回数が多い区間ではほとんど増大せず緩やかに１００％に漸近する。既述の高除去率の工程の複数回は、横軸の値に概ね対応している。試作機では、９８％の除去率を得るための周期の回数は５回である。本発明による容器清浄装置では、１回の工程で、容器に供給される空気はその全てが排出されるので、図１１に示される理想的な除去率を達成することができる。
【００３８】
倒立状態のＰＥＴボトル４６は、図６に示されるように、動作回転盤１６に支持されて動作回転盤１６と同体に回転する容器保持器５５に保持される。容器保持器５５は、電極を兼ねている。ＰＥＴボトル４６の内面に付着している帯電炭素粉は、容器保持器５５から除電用電圧を受けてＰＥＴボトル４６の内面から剥がされ、既述の空気噴流により除去される。
【００３９】
【発明の効果】
本発明による容器清浄装置、及び、容器清浄方法は、再付着化現象が生じずにより確実に除去対象物質を容器の内面から除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明による容器清浄装置の実施の形態を示す斜軸投影図である。
【図２】図２は、図１の一部を示す斜軸投影図である。
【図３】図３は、成膜装置を示す平面図である。
【図４】図４は、成膜装置を示す正面断面図である。
【図５】図５は、図４の一部を示す正面断面図である。
【図６】図６は、図４の一部を詳細に示す背面断面図である。
【図７】図７は、図で６の一部を示す平面図である。
【図８】図８は、容器とノズルの位置関係を示す断面図である。
【図９】図９は、ノズルを示す断面図である。
【図１０】図１０は、ノズルと容器の相対的上下位置関係を示す正面展開図である。
【図１１】図１１は、除去率を示すグラフである。
【符号の説明】
１６…回転盤
２７…昇降案内レール
２８…昇降器（昇降台）
３１…昇降本体（吐出器）
３３…密封栓
３８…吸引口（吸引器）
４６…容器
５１…第３噴出口
５２…第２噴出口
５３…第１噴出口
５５…保持器
Ｌ…軸心線
【図１】
2004008976.tif 000003
【図２】
2004008976.tif 000004
【図３】
2004008976.tif 000005
【図４】
2004008976.tif 000006
【図５】
2004008976.tif 000007
【図６】
2004008976.tif 000008
【図７】
2004008976.tif 000009
【図８】
2004008976.tif 000010
【図９】
2004008976.tif 000011
【図１０】
2004008976.tif 000012
【図１１】
2004008976.tif 000013