【手続補正書】
【提出日】平成24年1月17日(2012.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノードを有する真空制御ネットワークシステムであって、
第１のクライオポンプおよび第１のネットワーク通信インタフェースを有する第１のノードと、
第２のネットワーク通信インタフェースを有する第２のノードであって、前記第１のクライオポンプにおけるプロセスを制御するように構成されている第２のノードとを備え、
前記第２のノードは、さらに、第２のクライオポンプを有し、前記第１のノードは、前記第１および第２のクライオポンプにおけるプロセスを制御するように構成されており、
前記ネットワークにおける前記複数のノードのそれぞれは、前記ネットワークの他のノードにおけるプロセスを制御するように構成され、マスタとして選択されることができる、真空制御ネットワークシステム。
【請求項２】
請求項１において、さらに、
前記第１および第２のノードのうちの一方をマスタとして選択するように構成されたネットワークホストを備えた、真空制御ネットワークシステム
【請求項３】
請求項２において、前記ネットワークホストは、前記マスタであるノードにおける故障を検出すると、前記第１および第２のノードのうちの他方をマスタノードとして指定する、真空制御ネットワーク。
【請求項４】
請求項１において、前記複数のノードのそれぞれは、マスタを選択するように相互に調整する、真空制御ネットワーク。
【請求項５】
請求項１において、単一のノードがマスタとして選択され、前記マスタはスーパーノードである、真空制御ネットワーク。
【請求項６】
請求項５において、前記スーパーノードにおける故障を検出すると、前記複数のノードのうちの残りのノードが、次のスーパーノードを選択するように相互に調整する、真空制御ネットワーク。
【請求項７】
請求項１において、複数のノードがプロセスマスタとして選択されることができる、真空制御ネットワーク。
【請求項８】
請求項７において、前記第１および第２のノードがプロセスマスタとして選択され、前記第１のノードは、前記第１および第２のクライオポンプに関係する第１の一連プロセスを制御し、前記第２のノードは、前記第１および第２のクライオポンプに関係する第２の一連プロセスを制御し、前記第１の一連プロセスは、前記第２の一連プロセスとは異なる少なくとも１つのプロセスを含む、真空制御ネットワーク。
【請求項９】
請求項８において、前記第１および第２の一連プロセスのそれぞれは、ネットワークホストとの通信、ネットワーク管理、ヘリウムの管理、構成要素の監視および動作データの収集、安全インタロックの制御、クライオポンプの再生、粗引きおよびパージの段階、ならびにクライオポンプ構成要素のインタロックの制御のうちの１つまたは複数を含む、真空制御ネットワーク。
【請求項１０】
請求項８において、さらに、
前記第１および第２の一連プロセスにプロセスを割り当てるよう構成されたネットワークホストを備えた、真空制御ネットワーク。
【請求項１１】
請求項８において、前記第１および第２のノードは、前記第１および第２の一連プロセスにプロセスを割り当てるために相互に通信するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項１２】
請求項１１において、前記第１および第２のノードのうちの一方または両方において、前記複数のノード間で分散される第３の一連プロセスを受信すると、前記ノードはこれに応答して通信する、真空制御ネットワーク。
【請求項１３】
請求項１２において、前記第１および第２のノードは両方とも、前記第３の一連プロセスの全てのプロセスを実行することができるように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項１４】
請求項１２において、さらに、
第３のネットワークインタフェースを有する第３のノードを備え、
前記第３の一連プロセスは、前記第３のノードを含む前記複数のノード間で分散される、真空制御ネットワーク。
【請求項１５】
請求項１４において、前記第１のノードの故障が検出されると、前記第３のノードは、前記第１の一連プロセスのうちの少なくとも１つのプロセスを制御するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項１６】
請求項１４において、前記第３のノードは、さらに、コンプレッサを有する、真空制御ネットワーク。
【請求項１７】
請求項８において、前記第１のノードは、前記第２のノードの故障が検出されると、前記第２の一連プロセスのうちの少なくとも１つのプロセスを制御するために、前記第２の一連プロセスのうちの少なくとも１つのプロセスを前記第１の一連プロセスに取り込むように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項１８】
複数のノードであって、そのうちの少なくとも１つのノードがクライオポンプを有する、複数のノードと、
前記複数のノードでリングを形成するノードのペア間のネットワーク・リング・セグメントと、
前記ネットワーク・リング・セグメントの故障を決定して、前記ネットワーク・リング・セグメントの有効化または無効化を制御するように構成されたネットワークコントローラとを備えた、真空制御ネットワークシステム。
【請求項１９】
請求項１８において、前記ネットワークコントローラは、前記ネットワーク・リング・セグメントまたはこのセグメントに接続されたノードの完全性とは無関係に、前記ネットワーク・リング・セグメントのうちの１つを無効にするよう構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２０】
請求項１９において、前記複数のノードは、有効にされた前記ネットワーク・リング・セグメントによって形成されたバスを介して通信するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２１】
請求項１９において、前記ネットワークコントローラは、故障したネットワーク・リング・セグメントまたはノードを示すエラー報告を受信することに応答して、前記無効にされたネットワーク・リング・セグメントを有効にし、前記故障したネットワーク・リング・セグメントを無効にする、真空制御ネットワーク。
【請求項２２】
請求項１８において、前記ネットワークコントローラは、前記複数のノードのうちの第１のノードにおいて回路を有する、真空制御ネットワーク。
【請求項２３】
請求項２２において、前記複数のノードのうちの第２のノードは、前記第１のノードにネットワーク接続エラーを報告するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２４】
請求項１８において、少なくとも１つのノードが、隣接するネットワーク・リング・セグメントにおけるエラーを監視および検出するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２５】
請求項２４において、前記少なくとも１つのノードが、さらに、検出されたエラーを共通ノードに報告するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２６】
請求項１８において、少なくとも１つのノードが、前記ネットワーク・リング・セグメント上の通信を介して少なくとも１つのクライオポンプを制御するために、真空ツールコントローラに通信可能に結合されている、真空制御ネットワーク。
【請求項２７】
請求項２６において、さらに、
第２のノードと前記真空ツールコントローラとの間に冗長信号経路を備えた、真空制御ネットワーク。
【請求項２８】
請求項２６において、前記ネットワークコントローラは、前記真空ツールコントローラにおいて回路を有する、真空制御ネットワーク。
【請求項２９】
請求項１８において、少なくとも１つのノードが、前記クライオポンプに安全インタロックを制御するための論理を有する、真空制御ネットワーク。
【請求項３０】
請求項１８において、前記複数のノードのうちの追加のノードは、前記クライオポンプへのヘリウム分配を管理するためにコンプレッサおよび論理を有する、真空制御ネットワーク。
【請求項３１】
請求項１８において、前記クライオポンプは第１のクライオポンプであり、前記複数のノードのうちの追加のノードは、第２のクライオポンプを有し、前記少なくとも１つのノードは、前記第１および第２のクライオポンプによる共通の真空マニホールドへのアクセスを制御するための論理を有する、真空制御ネットワーク。
【請求項３２】
請求項３１において、前記論理は、さらに、前記複数のノードにおける１つ以上のクライオポンプまたはコンプレッサにおいて、モータ速度、温度、再生プロセスおよびヘリウム分配のうちの１つまたは複数を監視および制御するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項３３】
請求項３１において、前記論理は、さらに、前記第１および第２のクライオポンプにおけるほぼ全ての動作を制御するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項３４】
請求項３１において、前記追加のノードは、前記第１および第２のクライオポンプによる共通の真空マニホールドへのアクセスを制御するための論理を有し、前記追加のノードは、前記少なくとも１つのノードが前記制御を終了することに応答して、前記制御を実行するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項３５】
請求項３１において、前記複数のノードは、前記複数のノードのうちの１つまたは複数において、ターボ分子ポンプ、粗引きポンプおよび圧力計のうちの１つまたは複数有する、真空制御ネットワーク。
【請求項３６】
請求項１８において、前記複数のノードのうちの少なくとも１つのノードは、外部の構成要素管理サーバに、前記複数のノードのうちの１つまたは複数の動作に関するデータを伝送するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項３７】
請求項３６において、前記複数のノードのうちの第２のノードは、外部の構成要素管理サーバに、前記複数のノードのうちの１つまたは複数の動作に関するデータを伝送するように構成されている、真空制御ネットワーク。
【請求項３８】
リングネットワーク内に構成された複数のノードを有する真空制御システムを提供する方法であって、
リングネットワークの第１のノードにおいて、前記リングネットワークの第２のノードに対応するアドレスを有する信号を前記リングネットワーク上で伝送する工程と、
前記第１のノードにおいて、前記信号に応答した前記第２のノードからの通信に基づいて、前記リングネットワーク上で通信の方向を設定する工程であって、前記第２のノードは真空ポンプを有する、工程と、
前記第１のノードにおいて、別のノードから受信した信号に応答して、前記通信方向を再設定する工程とを備えた、真空制御システムの提供方法。
【請求項３９】
少なくとも１つのノードがクライオポンプを備えている複数のノードでリングを形成するように、ネットワークセグメントによって接続された複数のノードを有する真空制御システムを管理する方法であって、
第１のネットワーク接続の完全性とは無関係に前記第１のネットワーク接続を無効にする工程と、
前記複数のノードのうちの２つ以上のノードにおいて、前記２つ以上のノードのそれぞれに隣接するネットワーク接続の完全性を監視する工程と、
ノードにおいて、第２のネットワーク接続における故障を検出する工程であって、前記第２のネットワーク接続は前記ノードに隣接している、工程と、
前記第１のネットワーク・リング・セグメントを有効にする工程と、
前記第２のネットワーク・リング・セグメントを無効にする工程とを備えた、真空制御システムの管理方法。