【事件の表示】
　平成９年特許願第７８３０５号「レーザ装置及びレーザ加工装置」拒絶査定に対する審判事件［平成１０年１０月１３日出願公開、特開平１０−２７５９５０］について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
【1】手続の経緯・本願発明
　本願は平成9年3月28日に出願されたものであり、平成13年10月30日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、同年12月13日に拒絶査定に対する審判請求がなされるとともに、同日付けで手続補正がなされたものである。同手続補正は、特許請求の範囲について、補正前の請求項2及び請求項6に係る発明を削除する内容を含むものである。本願の請求項1〜7に係る発明は、同手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項1〜7に記載されたとおりのものであり、その請求項1に係る発明は、以下のとおりである。
　「【請求項1】 レーザ媒質を介して発生したレーザビームを一対の全反射ミラー間で相互に反射させるレーザ共振器内に、一方の全反射ミラーにより反射されたレーザビームを受けて他方の全反射ミラー方向に反射させる偏光分離ミラーと、この偏光分離ミラーにより反射されたレーザビームを前記他方の全反射ミラーに向けて反射する1/4波長板と、この1/4波長板によって反射されたレーザビームを入射して光学的に振幅変調して前記他方の全反射ミラーに出射させる電気光学振幅変調器とを配置し、且つ、この電気光学振幅変調器に対し、1サイクルの間に時間的な周期関数系に従って電圧値が多段階のステップ状に連続して変化するパルス電圧を印加する可変パルス発生器を備え、前記レーザ媒質を介して発生したレーザビームを前記一対の全反射ミラー間で相互に反射させながら前記偏光分離ミラーから外部に出射することを特徴とするレーザ装置。」
(以下、「本願発明」という。)
　
【2】引用例
　これに対して、原査定の拒絶理由として引用した、特開昭59-126692号公報(以下、「引用例1」という。)及び特公昭52-48067号公報(以下、「引用例2」という。)には、以下の事項が記載されている。
【2-1】引用例1:特開昭59-126692号公報
1頁右下欄6行〜17行
　「第1図は従来のQスイッチレーザ装置の一例の構成図である。図において、反射鏡1及び出力鏡2で構成される光共振器内にレーザ媒質3、偏光子5及び電気光学素子6がレーザ光の光軸上に配置されている。レーザ媒質3を励起する励起ユニット4、及び電気光学素子6を駆動するQスイッチドライバー7は、パルス発生器9からの信号により動作を開始する。なお、パルス発生器9とQスイッチドライパー7の間には遅延回路8を設け、レーザ媒質3の励起が始まり、レーザ媒質3に十分なエネルギーが蓄積された時点でQスイッチを行うようにしている。」
2頁左下欄7行〜右下欄4行
　「本発明の利点は、レーザ共振器のアライメントに影響を与えず、電気信号によりレーザ共振器と外部との結合係数を自由に変えられる共振器構成を用いることにより、低出力領域から高出力領域まで出力の安定なQスイッチレーザ光パルスが得られることにある。
　次に本発明について図面を用いて詳細に説明する。第3図は.本発明の一実施例の構成図であり、以下の3点を除いて構成、名称は第1図と同一である。その3点は、第3図において、λ/4板11をレーザ共振器内の偏光子5と電気光学素子6の間に設けること、レーザ出力を偏光子5の反射光として取り出すこと、及び励起エネルギー値とQスイッチドライバー7の出力高圧電気パルスの波高値とを、発振閾値に対する励起エネルギーの比を一定とする条件で、入力された所要出力エネルギー値から演算した所要値に設定する制御ユニット10を設けることである。」
3頁左上欄10行〜右上欄6行
　「第3図に示す構成において、電気光学素子6に印加される電圧Vと、光共振器と外部との結合係数Tの関係を式(4)に示す。なおTは実効的な出力鏡透過率と呼ぶことができる。
T=COS2((V/Vλ/2)・π)  (4)
　ここでVλ/2は電気光学素子の半波長電圧である。式(4)は、印加電圧Vが0の時、結合係数が100%、印加電圧VがVλ/2/2の時結合係数が0%であり、この間に印加電圧Vを設定すれば任意の結合係数が得られることを示している。第4図(a)は、Qスイッチドライバーの出力高圧電気パルスの波高値を変えた時のレーザパルスの入出力エネルギー特性である。図においてV1,V2,V3は高圧電気パルスの波高値であり、番号の順に電圧は低くなっている。図からわかるように高圧電気パルスの波高値により結合係数が変えられるので、発振閾値及び微分効率が変えられる。」
第3図
　第3図には、左から、反射鏡1、レーザ媒質3、偏光子5、λ/4板11、電気光学素子6及び反射鏡1からなるQスイッチレーザ装置が図示されている。
　
【2-2】引用例2:特公昭52-48067号公報
2欄7行〜20行
　「このような要求に応えて極めて短い期間内に2つのパルスを発振し得、その発振の時間々隔も可変し得るレーザー装置が開発されている。このようなレーザー装置においてはレーザーを発振させるためにレーザー物質を励起して貯えたエネルギーを2段階に分けてQスイッチングを行うようにしている。即ち最初のQスイッチングの際に完全なスイッチングを行なわずロスを多くすることにより発振の強さを制限して次の発振をさせるのに充分なエネルギーを残しているうちに発振が停止するようにし、その後短い時間々隔をおいて更に次のQスイッチングを完全に行うことにより残っているエネルギーによって発振を行なおうとするものである。」
3欄4行〜32行
　「第1図は本発明によるレーザー装置の概略図であり、図面中1はルビー、YAG、Ndガラス等のレーザー素子であり、該レーザー素子はフラッシュランプ2によって励起される。該レーザー素子を狭んで出力鏡3及び全反射鏡4が配置されており、該両共振鏡間には偏光子5及びポッケルズセル或はカーセルの如き電気光学的Qスイッチ素子6が配置されている。該スイッチ素子には高圧パルス発生回路7よりパルス電圧が印加し得るようになっている。
　上述した概略図における電気光学的Qスイッチ素子6及び本発明に基づく高圧パルス発生回路7の詳細を更に第2図に基づいて説明するが、以下一例として電気光学的Qスイッチ素子にKDP結晶を用いたポッケルズセルを使用するものとする。この図面において電気光学的Qスイッチ素子6と並列にコンデンサー8と50Ω程度の低抵抗9とを直列に結合したものが接続されており、該コンデンサ8と抵抗9を直列に結合したものの両端は抵抗10を介して-6KV程度の電圧が印加されている。前記コンデンサ8と抵抗9の中点にはスイッチ素子11を介してパルス整形回路12の出力端が接続されており、該パルス整形回路12は抵抗13を介して6KV程度の直流高電圧で充電されるようになっている。又前記コンデンサ8と抵抗9の中点にはスイッチ素子14を介してパルス整形回路15の出力端が接続されており、該パルス整形回路15は抵抗16を介して12KV程度の直流高電圧で充電されるようになっている。」
3欄42行〜5欄9行
　「第1図及び第2図にて説明した構成において、トリガトランス17及び18よりトリガパルスがスイッチ素子11及び14に供給されない状態においては電気光学的Qスイッチ素子6の非接地端の電位は第3図aに示すように-6KVに保たれており、そのため電気光学的Qスイッチ素子6及び偏光子5による光損失が大きくレーザー装置の光共振鏡間のQ値は低い状態にされている。従ってフラッシュランプ2によってレーザー素子1を励起すれば、該レーザー素子1内には第4図に示すように時間の経過に伴いポンピングエネルギーが蓄積される。そこで前記トリガトランス17よりスイッチ素子11にトリガパルスを供給すれば該スイッチ素子は導通状態にされ、パルス整形回路12に貯えられている電荷は前記抵抗9を通ってアース側に逃げ、その際該抵抗9の両端には波高値3KV程度のパルス状の電圧が発生する。この時コンデンサ8の両端の電圧は急激に変化できないため前記電気光学的Qスイッチ素子6の非接地端の電位は第3図aのイで示されるようにパルス的に上昇し、前記電気光学的Qスイッチ素子6に印加される電圧が瞬間的に減少する。従って偏光子5及び電気光学的Qスイッチ素子6による光の損失が一定程度減少し、光共振鏡3,4間のQ値が増大するその結果第1回目のレーザー発振が行なわれ第5図aに示される如き出力を有する第1のパルス発振光が出力鏡3より取りだされる。それと同時にレーザー素子1内に貯えられていたポンピングエネルギーは第4図に示すように急激に半減する。然しながら第1回目のパルス電圧の印加によってQスイッチが不完全にしか行なわれないため発振は停止し、ポンピングエネルギーは消費尽くされることなく保存されている。次いで例えば1μsec程度の極めて短い間隔をおいて前記トリガトランス18よりトリガパルスを前記スイッチ素子14に供給する。その結果スイッチ素子14は導通状態にされパルス整形回路15に貯えられていた電荷は前記抵抗9を通ってアース側に逃げ、その際該抵抗9の両端には6KV程度の電圧が生じる。この場合にもコンデンサ8の両端の電圧はほとんど変化し得ないため、電気光学的Qスイッチ素子の非接地端の電位は第3図aのロに示すようにパルス的に上昇し、電気光学的Qスイッチ素子の両端の電圧はほとんど0となる斯くして共振鏡間3,4のQ値は瞬間的に最大値にまで増大し、完全なQスイッチンクが行なわれ、レーザー素子1内に残されていたポンピングエネルギーは一度に誘導放出光として放出され、第1発目のパルス発振光の発射から1μsec程度の短い時間の後、第5図bに示す如き第2発目のレーザーパルスがとりだされる。尚第1発目のレーザーパルスの発生から第2発目のレーザーパルスの発生までの時間々隔は1μsecから1000μsec程度にわたって前記スイッチ素子11と14に供給するトリガパルスの間隔を変化させることによって任意に変えることができる。」
　
【3】対比
　本願発明と引用例1に記載された発明とを比較する。
　引用例1の記載事項からみて、引用例1には、
　「レーザ媒質3を介して発生したレーザ光を一対の反射鏡1間で相互に反射させるレーザ共振器内に、一方の反射鏡1により反射されたレーザ光を受けて他方の反射鏡1方向に透過させる偏光子5と、この偏光子5を透過したレーザ光を前記他方の反射鏡1に向けて透過するλ/4板11と、このλ/4板11を透過したレーザ光を入射して前記他方の反射鏡1に出射させる電気光学素子6とを配置し、且つ、この電気光学素子6に対し、高圧電気パルスを印加するQスイッチドライバー7を備え、前記レーザ媒質を介して発生したレーザ光を前記一対の反射鏡1間で相互に反射させながら、前記偏光子5から反射させて外部に出射するQスイッチレーザ装置。」なる発明(以下、「引用発明」という。)が記載されている。
　ここで、引用発明における「電気光学素子6」は、
3頁左上欄10行〜右上欄6行
　そして、引用発明の以下の技術事項A〜Fは、それぞれ、本願発明の以下の技術事項a〜fに相当する。
A:「レーザ光」
B:「反射鏡1」、
C:「偏光子5」
D:「電気光学素子6」、
E:「高圧電気パルス」、及び
F:「λ/4板11」
a:「レーザビーム」、
b:「全反射ミラー」、
c:「偏光分離ミラー」、
d:「電気光学振幅変調器」、
e:「パルス電圧」、及び
f:「1/4波長板」
　よって、両者は、
　「レーザ媒質を介して発生したレーザビームを一対の全反射ミラー間で相互に反射させるレーザ共振器内に、一方の全反射ミラーにより反射されたレーザビームを受けて他方の全反射ミラー方向に向かわせる偏光分離ミラーと、この偏光分離ミラーからのレーザビームを前記他方の全反射ミラーに向かわせる1/4波長板と、この1/4波長板からのレーザビームを入射して光学的に振幅変調して前記他方の全反射ミラーに出射させる電気光学振幅変調器とを配置し、且つ、この電気光学振幅変調器に対し、パルス電圧を印加するパルス発生器を備え、前記レーザ媒質を介して発生したレーザビームを前記一対の全反射ミラー間で相互に反射させながら前記偏光分離ミラーから外部に出射することを特徴とするレーザ装置。」
の点で一致し、以下の点で相違する。
　
相違点1
　
相違点2
　
【4】判断
　(1)
相違点1
　(2)
相違点2
　従って、引用発明のQスイッチレーザ装置を用いて、引用例2のように極めて短い期間内に2つのレーザーパルスを得るために、引用発明のパルス発生器を、引用例2の電圧値が変化するパルス電圧を印加するものとすることは当業者が容易に想到できた事項と認められる。
　なお、請求人は、パルス電圧に関して、『引用文献2(特公昭52-048067号公報)には、Qスイッチレーザ装置において、異なるピーク値を有するパルス電圧を1サイクル中に少なくとも2回印加することが記載されている。・・・上記引用文献1ないし6のいずれにも、本願独立請求項1の「電気光学振幅変調器に対し、1サイクルの間に時間的な周期関数系に従って電圧値が多段階のステップ状に連続して変化するパルス電圧を印加する可変パルス発生器」を備えた構成を示唆するところがない。』(審判請求書5頁)と主張している。しかし、本願の明細書の段落【0036】には、「図4と図6ではレーザ共振器の1サイクル分の時間的な反射率変化が2段階もしくは3段階のステップ状になるようにしたが、図8に示すように電圧値の異なるパルス電圧を続けて印加しても同様の効果が得られる。」と記載され、第8図(a)には、引用例2の異なるピーク値を有する2つのパルス電圧と同様のパルスが例示されている。よって、1サイクル中に異なるピーク値を有するパルス電圧を2回印加すること(第3図(a)のイ及びロ)と、1サイクルの間に時間的な周期関数系に従って電圧値が2段階のステップ状に連続して変化するパルス電圧を印加すること(この具体例として本願の図4を参照)との間に格別の差異が認められない。
　また、引用例2の異なるピーク値を有する2つのパルス(イ)、(ロ)の時間間隔は、ある範囲で任意に変えることができるので、当該時間間隔を短くしていくと、当該2つのパルスは電圧値が2段階のステップ状に連続して変化するパルスとなることも明らかである。
　従って、引用発明のパルス発生器を、1サイクルの間に時間的な周期関数系に従って電圧値が多段階のステップ状に連続して変化するパルス電圧を印加する可変パルス発生器とすることは当業者が容易に想到できた事項と認められる。
　(3)そして、本願発明の、前記相違点1、2に係る構成によりもたらされる効果は、引用例1、2の記載から予測できる範囲のものである。
　よって、本願発明は引用例1、2に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたものである。
　
【5】むすび
　以上のとおりであるから、本願の請求項1に係る発明は特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができない。
　よって、結論のとおり審決する。