【誤訳訂正書】
【提出日】平成26年4月11日(2014.4.11)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異常値スペクトルを決定するための方法において、
基板を研磨する間に、上記基板の回転中に上記基板の表面から少なくとも３つのスペクトルを得るステップと、
上記少なくとも３つのスペクトルの各々のスペクトルに対して、上記少なくとも３つのスペクトルの中のそのスペクトルと他のスペクトルの各スペクトルとの間の差を計算し、差の累積を提供するため上記差を加えることによって、上記差の累積を計算するステップと、
上記少なくとも３つのスペクトルに対して計算された上記差の累積と閾値との比較に基づき上記少なくとも３つのスペクトルから異常値スペクトルを選択するステップと、
上記異常値スペクトルを破棄するステップと、
を備えた方法。
【請求項２】
差の累積を計算する上記ステップは、
スペクトルごとに、そのスペクトルと他のスペクトルとの間の差の二乗の累積合計を計算する段階を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記異常値スペクトルを選択する上記ステップは、
上記差の二乗の累積合計のうちの最低の差の二乗の累積合計を選択する段階と、
各差の二乗の累積合計を上記最低の差の二乗の累積合計で除算して、各スペクトルに対する正規化数字を得る段階と、
を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
上記基板の第１回転中に得られたスペクトルに対して請求項１から３のいずれか一項に記載の方法を遂行するステップと、
上記第１回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルのライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出すステップと、
上記基板の第２回転中に得られたスペクトルに対して請求項１から３のいずれか一項に記載の方法を遂行するステップと、
上記第２回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルの上記ライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出すステップと、
上記第１回転のスペクトルと合致するスペクトル及び上記第２回転のスペクトルと合致するスペクトルの変化に基づいて研磨速度を決定するステップと、
上記研磨速度及びターゲットスペクトルに基づいて研磨終了点を予測するステップと、
を更に備えた請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
化学的機械研磨のためのシステムにおいて、
研磨面を支持するための回転可能なプラテンと、
上記プラテン内の光源と、
上記プラテン内の光検出器と、
上記研磨面に対して基板を保持すると共に基板を移動するように構成されたキャリアヘッドであって、上記光源からの光が上記基板の上記表面に向けられ且つ上記基板から反射した光が上記光検出器によって検出されるようにするキャリアヘッドと、
上記キャリアヘッドを制御するためのコントローラと、
上記光検出器からの信号を受け取るように構成されたコンピュータであって、上記基板の回転中に得られる少なくとも３つのスペクトルを受け取り、上記少なくとも３つのスペクトルの各々のスペクトルに対して、上記少なくとも３つのスペクトルの中のそのスペクトルと他のスペクトルの各スペクトルとの間の差を計算し、差の累積を提供するため上記差を加えることによって、上記差の累積を計算し、上記少なくとも３つのスペクトルに対して計算された上記差の累積と閾値との比較に基づいて上記少なくとも３つのスペクトルから異常値スペクトルを選択し、その異常値スペクトルを破棄するように更に構成されたコンピュータと、
を備えたシステム。
【請求項６】
上記コンピュータは、更に、
スペクトルごとに、そのスペクトルと他のスペクトルとの間の差の二乗の累積合計を計算するように構成された、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
上記コンピュータは、更に、
上記差の二乗の累積合計のうちの最低の差の二乗の累積合計を選択し、
各差の二乗の累積合計を上記最低の差の二乗の累積合計で除算して、各スペクトルに対する正規化数字を得る、
ように構成された、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
上記コンピュータは、更に、
第１回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルのライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出し、
第２回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルの上記ライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出し、
上記第１回転のスペクトルと合致するスペクトル及び第２回転と合致するスペクトルの変化に基づいて研磨速度を決定し、
上記研磨速度及びターゲットスペクトルに基づいて研磨終了点を予測する（project）、
ように構成された、請求項５から７のいずれか一項に記載のシステム。
【請求項９】
基板の回転中に上記基板の表面から少なくとも３つのスペクトルを受け取り、
上記少なくとも３つのスペクトルの各々のスペクトルに対して、上記少なくとも３つのスペクトルの中のそのスペクトルと他のスペクトルの各スペクトルとの間の差を計算し、差の累積を提供するため上記差を加えることによって、上記差の累積を計算し、
上記少なくとも３つのスペクトルに対して計算された上記差の累積と閾値との比較に基づき上記少なくとも３つのスペクトルから異常値スペクトルを選択し、
上記異常値スペクトルを破棄する、
ことを備えるオペレーションをデータ処理装置に遂行させるように動作可能な、有形プログラムキャリアにエンコードされたコンピュータプログラム製品。
【請求項１０】
差の累積の上記計算は、
スペクトルごとに、そのスペクトルと他のスペクトルとの間の差の二乗の累積合計を計算する、ことを含む、請求項９に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１１】
異常値スペクトルの上記選択は、
上記差の二乗の累積合計のうちの最低の差の二乗の累積合計を選択し、
各差の二乗の累積合計を上記最低の差の二乗の累積合計で除算して、各スペクトルに対する正規化数字を得る、
ことを含む、請求項１０に記載のコンピュータプログラム製品。
【請求項１２】
上記基板の第１回転中に得られたスペクトルに対して請求項９から１１のいずれか一項に記載のオペレーションを遂行し、
上記第１回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルのライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出し、
上記基板の第２回転中に得られたスペクトルに対して請求項９から１１のいずれか一項に記載のオペレーションを遂行し、
上記第２回転中に得られた非破棄スペクトルをスペクトルの上記ライブラリーと比較して、合致するスペクトルを見出し、
上記第１回転の上記スペクトルと上記合致するスペクトル及び上記第２回転の上記スペクトルと上記合致するスペクトルの変化に基づいて研磨速度を決定し、
上記研磨速度及びターゲットスペクトルに基づいて研磨終了点を予測する、
ことを備えるオペレーションをデータ処理装置に遂行させるように動作可能である、請求項９から１１のいずれか一項に記載のコンピュータプログラム製品。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３２】
[0038]異常値スペクトルは、ユーザが目で見て決定し選択することができる。或いは又、システムは、異常値スペクトルがあることを自動的に決定することができる。異常値は、スペクトルごとに、そのスペクトルと他の全てのスペクトルとの間の差の二乗の累積合計を計算することにより見出すことができる。ある実施形態では、互いに比較される全てのスペクトルは、同じ半径方向ゾーン内にあり、同じ回転中に又は規定の時間周期内に得られる。差の二乗の累積合計４１５は、ＧＵＩ４００に表示することができる。任意であるが、この値は、各スペクトルを、そのスペクトルに対する最低の差の二乗の累積合計で除算することにより、正規化することができる。正規化された結果４２０をＧＵＩに表示することができる。正規化された二乗の合計値が所定値又は閾値４４０、例えば、１．５又は２を越えるようなスペクトルは、破棄される。差の二乗の累積合計が正規化されない場合には、差の二乗の累積合計の絶対値を使用して、どのスペクトルが異常値であるか決定することができる。この場合も、異常値の閾値として所定値をセットすることができる。この所定値は、実験で決定することができる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３５】
[0041]ライブラリーに適用される自動方法は、基板研磨中に得られるスペクトルに同様に適用することもできるし、それとは別に適用することもできる。終了点信号を発生するのに使用されるソーススペクトルは、研磨中に得られる測定されたスペクトルの過半数に合致しないスペクトルを破棄するために同様に分類することができる。異常値（１つ又は複数）は、スペクトルごとに、そのスペクトルと他の全てのスペクトルとの間の差の二乗の累積合計を計算することにより決定することができる。単一の回転中に得られたスペクトルは、一緒にグループ化される。任意であるが、スペクトルはゾーンへグループ化することができ、また、単一ゾーンは個々にアドレスすることができる。この値は、各スペクトルを、そのスペクトルに対する最低の差の二乗の累積合計で除算することにより正規化される。正規化された二乗の合計値が所定値を越えるようなスペクトルは、破棄される。残りのスペクトルは、異常値が破棄された後にユーザが再検討し且つ編集するために、例えば、次の研磨シーケンスに対して閾値をリセットすべきかどうかユーザが決定するために、表示することができる。