【手続補正書】
【提出日】平成24年2月17日(2012.2.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）次式のＩ、ＩＩ、またはＩＩ＊の構造を有する１つ以上のポリベンゾオキサゾール前駆体ポリマーと、
【化１】
2011512552.tif 000001
（ここで、Ａｒ１は、４価の芳香族基、４価の複素環基、またはそれらの混合物であり、Ａｒ２は、２価の芳香族基、２価の複素環基、または随意でケイ素を含む２価の脂肪族基であり、Ａｒ３は、２価の芳香族基、２価の脂肪族基、２価の複素環基、またはそれらの混合物であり、Ａｒ４は、Ａｒ１（ＯＢ）ｋ３（ＯＨ）ｋ４またはＡｒ２であり、ｘは約４〜約１０００の整数、ｙは０〜約５００の整数であって、（ｘ＋ｙ）≦１０００であ
り、Ｂは、酸の影響を受け易い基Ｒ１であるか、または酸の影響を受け易い基Ｒ２を含む部位Ｅ−Ｏ−Ｒ２であり、Ｅは、酸に対し不安定でなく、−Ｅ−ＯＨ部位を水性塩基可溶化基とする、２価の芳香族、脂肪族、または複素環基であり、ｋ３は０．１〜２の分数、ｋ４は０〜１．９の分数であって、（ｋ３＋ｋ４）＝２であり、Ｇは、ポリマーの末端ＮＨに直接結合したカルボニル、カルボニルオキシ、またはスルホニル基を有する、置換または無置換の１価の有機基であり、Ｇ＊は、ポリマーの末端Ｎに直接結合した１つ以上のカルボニルもしくはスルホニル基を有する、置換または無置換の２価の有機基であり、ただし、Ｒ１はＡｒ１基に結合したＯ原子とともにカルボナート基を形成しない）
（ｂ）１つ以上の光酸発生剤と、
（ｃ）次の（１）〜（６）から選択される１つ以上の塩基性化合物、すなわち、
（１）構造ＸＩＶの３級アミン：
【化２】
2011512552.tif 000002
（ここで、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ１〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の３級アミノアルキルと、Ｃ２〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、Ｃ６〜Ｃ３０の置換または無置換アリールと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ１〜Ｃ３０のアルキル基とからなる群から独立に選択される）
（２）構造ＸＩＶの２級アミン：
【化３】
2011512552.tif 000003
（ここで、Ｒ３０は水素原子であり、Ｒ３１およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、Ｃ６〜Ｃ３０の置換または無置換アリールと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ３〜Ｃ３０のアルキル基とからなる群から独立に選択され、Ｒ３１およびＲ３２は窒素に直接結合した炭素上に２つ以上の置換基を有する）
（３）構造ＸＶＩの環状アミン：
【化４】
2011512552.tif 000004
（ここで、Ｒ４７は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、Ｒ４８、Ｒ４９、Ｒ５０、Ｒ５１、Ｒ５２、Ｒ５３、Ｒ５４、およびＲ５５は、独立に、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、Ｊは、酸素原子、硫黄原子、またはＮＲ５６基であり、ここで、Ｒ５６は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、ａおよびｂは、独立に、１、２、または３であり、ｃは０または１である）
（４）構造ＸＶＩＩの環状アミン：
【化５】
2011512552.tif 000005
（ここで、Ｌは、酸素原子、硫黄原子、ＮＲ６７、またはＣＲ６９Ｒ７０であり、Ｒ６７は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、もしくはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであるか、またはＲ６８とともに、Ｌと、それが結合した炭素との間に第２の結合を形成し、Ｒ６９およびＲ７０は、独立に、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、Ｒ５７〜Ｒ６６は、独立に、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、Ｒ６８は、水素原子であるか、またはＲ６７とともに、Ｌと、Ｒ６８が結合した炭素との間に第２の結合を形成し、ｄは、１、２、または３であり、ｅは、１、２、または３である）
（５）３級脂環式アミン、および、
（６）４級アンモニウム水酸化物、から選択される１つ以上の塩基性化合物と、を含む組成物であって、
組成物は化学増幅型の組成物であり、塩基性化合物が構造ＸＩＶの３級アミンであるとき、塩基性化合物における炭素原子の数は６以上であり、かつ、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２のいずれかは、Ｃ６〜Ｃ３０の置換アリールでも無置換アリールでもない、組成物。
【請求項２】
塩基性化合物は、次の（１）〜（６）、すなわち、
（１）構造ＸＩＶの３級アミン（ここで、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ１〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の３級アミノアルキル、Ｃ２〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ１〜Ｃ３０のアルキル基とからなる群から独立に選択される）、
（２）構造ＸＩＶの２級アミン（ここで、Ｒ３１およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、Ｃ６〜Ｃ３０の置換または無置換アリールと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ３〜Ｃ３０のアルキル基とからなる群から独立に選択される）、
（３）構造ＸＶＩの環状アミン（ここで、Ｒ４７は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであり、Ｊは、酸素原子、硫黄原子、またはＮＲ５６基であり、ここで、Ｒ５６は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、またはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールである）、
（４）構造ＸＶＩＩの環状アミン（ここで、Ｌは、酸素原子、硫黄原子、ＮＲ６７、またはＣＲ６９Ｒ７０であり、Ｒ６７は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、もしくはＣ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリールであるか、またはＲ６８とともに、Ｌと、それが結合した炭素との間に第２の結合を形成する）、
（５）３級脂環式アミン、および、
（６）４級アンモニウム水酸化物から選択される請求項１に記載の組成物。
【請求項３】
塩基性化合物は構造ＸＩＶの３級アミンを含み、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１５の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ３０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルとからなる群から独立に選択され、ここで、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２のうちの２つ以上は、３級窒素に結合した炭素上に２つ以上の置換基を有するか、または、Ｒ３０、Ｒ３１およびＲ３２のうちの１つ以上は、１つ以上のエーテル結合を含むＣ１〜Ｃ３０のアルキル基を有する、請求項２に記載の組成物。
【請求項４】
塩基性化合物は構造ＸＩＶの３級アミンを含み、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ１５の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１０の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１５の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルとからなる群から独立に選択され、ここで、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２のうちの２つ以上は、３級窒素に結合した炭素上に２つ以上の置換基を有するか、または、Ｒ３０、Ｒ３１およびＲ３２のうちの１つ以上は、１つ以上のエーテル結合を含むＣ３〜Ｃ１５のアルキル基を有する、請求項３に記載の組成物。
【請求項５】
塩基性化合物は構造ＸＩＶの２級アミンを含み、Ｒ３１およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ１５の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ２０の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１５の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、Ｃ６〜Ｃ１０の置換または無置換アリールと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ３〜Ｃ１５のアルキル基とからなる群から独立に選択される、請求項２に記載
の組成物。
【請求項６】
塩基性化合物は構造ＸＩＶの２級アミンを含み、Ｒ３１およびＲ３２は、Ｃ３〜Ｃ１０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１０の３級アミノアルキルと、Ｃ３〜Ｃ１０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のヒドロキシアルキルと、置換または無置換フェニルと、１つ以上のエーテル結合を含むＣ３〜Ｃ１５のアルキル基とからなる群から独立に選択される、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
塩基性化合物は構造ＸＶＩの環状アミンを含み、Ｒ４７は、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、Ｃ６〜Ｃ１０の置換もしくは無置換アリール、または水素原子であり、ここで、Ｒ４７は水素原子であり、Ｒ４８、Ｒ４９、Ｒ５０、およびＲ５１のうちの２つ以上は、独立に、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキルであり、Ｊは、酸素原子、硫黄原子、またはＮＲ５６基であり、ここで、Ｒ５６は、水素原子、またはＣ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキルである、請求項２に記載の組成物。
【請求項８】
塩基性化合物は構造ＸＶＩの環状アミンを含み、ｃは０であるか、またはｃは１であり、Ｊは酸素原子またはＮＲ５６基であり、ここで、Ｒ５６はＣ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルである、請求項７に記載の組成物。
【請求項９】
塩基性化合物は構造ＸＶＩＩの環状アミンを含み、Ｌは、酸素原子、硫黄原子、ＮＲ６７、またはＣＲ６９Ｒ７０であり、ここで、Ｒ６７は、水素原子、Ｃ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルであるか、またはＲ６８とともに、Ｌと、それが結合した炭素との間に第２の結合を形成する、請求項２に記載の組成物。
【請求項１０】
塩基性化合物は構造ＸＶＩＩの環状アミンを含み、ＬはＮＲ６７であり、ここで、Ｒ６７はＲ６８とともに、Ｌと、Ｒ６８が結合した炭素との間に第２の結合を形成する、請求項９に記載の組成物。
【請求項１１】
塩基性化合物は、次式のうちの１つを有する３級脂環式化合物を含む、
【化６】
2011512552.tif 000006
（ここで、Ｒ７２はＣ１〜Ｃ６の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、または環状のアルキルであるか、またはＣ６〜Ｃ３０の置換または無置換アリールである）
請求項２に記載の組成物。
【請求項１２】
塩基性化合物は構造ＸＶＩＩＩの４級アンモニウム水酸化物を含む、
【化７】
2011512552.tif 000007
（ここで、Ｒ３６、Ｒ３７、Ｒ３８、およびＲ３９は、独立に、置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のアルキル、置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のヒドロキシアルキル、または置換もしくは無置換のフェニルである）
請求項２に記載の組成物。
【請求項１３】
塩基性化合物は構造ＸＶＩＩＩの４級アンモニウム水酸化物を含む、
（ここで、Ｒ３６、Ｒ３７、Ｒ３８、およびＲ３９は、独立に、Ｃ１〜Ｃ１０の直鎖、分岐鎖、もしくは環状の置換もしくは無置換のアルキル、Ｃ２〜Ｃ１０の置換もしくは無置換の直鎖、分岐鎖、もしくは環状のヒドロキシアルキル、または置換もしくは無置換のフェニルである）
請求項１２に記載の組成物。
【請求項１４】
接着プロモータをさらに含む、請求項２に記載の組成物。
【請求項１５】
接着プロモータは、ビニルアルコキシシランと、メタクリルオキサアルコキシシランと、メルカプトアルコキシシランと、エポキシアルコキシシランと、グリシドキシアルコキシシランとからなる群から選択される化合物を含む、請求項１４に記載の組成物。
【請求項１６】
接着プロモータは、エポキシアルコキシシランおよびグリシドキシアルコキシシランからなる群から選択される化合物を含む、請求項１５に記載の組成物。
【請求項１７】
溶媒をさらに含む、請求項２に記載の組成物。
【請求項１８】
塩基性化合物は組成物の約０．００１ｗｔ％〜約３ｗｔ％である、請求項２に記載の組成物。
【請求項１９】
塩基性化合物は組成物の約０．０１ｗｔ％〜約１．５ｗｔ％である、請求項２に記載の組成物。
【請求項２０】
接着プロモータをさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項２１】
接着プロモータは、ビニルアルコキシシランと、メタクリルオキサアルコキシシランと、メルカプトアルコキシシランと、エポキシアルコキシシランと、グリシドキシアルコキシシランとからなる群から選択される化合物を含む、請求項２０に記載の組成物。
【請求項２２】
接着プロモータは、エポキシアルコキシシランおよびグリシドキシアルコキシシランからなる群から選択される化合物を含む、請求項２１に記載の組成物。
【請求項２３】
溶媒をさらに含む、請求項１に記載の組成物。
【請求項２４】
塩基性化合物は組成物の約０．００１ｗｔ％〜約３ｗｔ％である、請求項１に記載の組成物。
【請求項２５】
塩基性化合物は組成物の約０．０１ｗｔ％〜約１．５ｗｔ％である、請求項１に記載の組成物。
【請求項２６】
構造ＸＩＶの３級アミンをさらに含み、Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ６〜Ｃ３０の置換アリールまたは無置換アリールである、請求項１に記載の組成物。
【請求項２７】
Ｒ３０、Ｒ３１、およびＲ３２は、Ｃ６〜Ｃ３０の置換アリールまたは無置換フェニルである、請求項２６に記載の組成物。
【請求項２８】
Ｒ１はＡｒ１基に結合したＯ原子とともに、アセタール基、ケタール基、エーテル基、またはシリルエーテル基を形成する、請求項１に記載の組成物。
【請求項２９】
Ｒ１は次式である、請求項１に記載の組成物。
【化８】
2011512552.tif 000008
【請求項３０】
Ｒ１は次式である、請求項１に記載の組成物。
【化９】
2011512552.tif 000009
【請求項３１】
Ｒ２は、Ｅ−Ｏ−とともに、アセタール基、ケタール基、エーテル基、シリルエーテル基、酸の影響を受け易いメチレンエステル基、酸の影響を受け易いエステル基、またはカルボナート基を形成する、請求項１に記載の組成物。
【請求項３２】
Ｅ−Ｏ−Ｒ２は次式である、請求項１に記載の組成物。
【化１０】
2011512552.tif 000010
【請求項３３】
Ｅ−Ｏ−Ｒ２は次式である、請求項１に記載の組成物。
【化１１】
2011512552.tif 000011
【請求項３４】
請求項１の組成物を含む膜。
【請求項３５】
約５μｍ以上の厚さを有する、請求項３４に記載の膜。
【請求項３６】
約８μｍ以上の厚さを有する、請求項３４に記載の膜。
【請求項３７】
約１０μｍ以上の厚さを有する、請求項３４に記載の膜。
【請求項３８】
基板と、
基板によって支持されている請求項３４に記載の膜と、を含む物品。
【請求項３９】
基板はウエハを含む、請求項３８に記載の物品。
【請求項４０】
ウエハは、シリコンウエハ、セラミックウエハ、ガラスウエハ、金属ウエハ、またはプラスチックウエハである、請求項３９に記載の物品。
【請求項４１】
ウエハは銅がコーティングされたウエハである、請求項３９に記載の物品。
【請求項４２】
請求項１に記載の組成物で基板を処理し、基板上にレリーフパターンを形成する工程を含む方法。
【請求項４３】
組成物の処理前に基板に組成物を塗布する工程をさらに含む、請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
組成物の処理は、組成物をベーク処理し、ベーク処理した組成物を形成することを含む、請求項４３に記載の方法。
【請求項４５】
組成物の処理は、ベーク処理した組成物を化学線に暴露し、暴露した組成物を形成することをさらに含む、請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
組成物の処理は、水性現像剤を用いて暴露した組成物を現像することによって、基板上に未硬化のレリーフ像を形成することをさらに含む、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
組成物の処理は、レリーフ像を硬化させることをさらに含む、請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
請求項４２に記載の方法によって調製される物品。